(57)【要約】【課題】分割露光で画像表示の品質を落とさない。【解決手段】画像表示領域と画像表示領域外周に周辺駆動回路領域を有する大型ＬＣＯＳ表示素子であって、画像表示領域は１回の露光で形成し、画像表示領域外周の周辺駆動回路領域を複数回露光して繋ぎ合わせる大型ＬＣＯＳ表示素子とする【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示領域と画像表示領域外周に周辺駆動回路領域を有する大型ＬＣＯＳ表示素子であって、画像表示領域は１回の露光で形成することを特徴とする大型ＬＣＯＳ表示素子。
【請求項２】
画像表示領域と周辺行動回路領域の間にダミー画素領域を設け、前記画像表示領域と前記ダミー画素領域は１回の露光で形成することを特徴とする請求項１記載の大型ＬＣＯＳ表示素子。
【請求項３】
画像表示領域と周辺駆動回路領域及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）には駆動回路を設けないことを特徴とする請求項１記載の大型ＬＣＯＳ表示素子。
【請求項４】
ダミー画素領域と周辺駆動回路領域及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）には駆動回路を設けないことを特徴とする請求項２記載の大型ＬＣＯＳ表示素子。
【請求項５】
画像表示領域またはダミー画素領域と周辺駆動回路領域、及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）の配線が他の部分より太いことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の大型ＬＣＯＳ表示素子。
【請求項６】
前記ダミー画素領域には、画像表示領域と同等の画素を配列する画素相当ダミー画素領域と大きな表示電極を設ける大画素ダミー領域とを具備することを特徴とする請求項２、４または５のいずれかに記載の大型ＬＣＯＳ表示素子。
【請求項７】
画像表示領域を１回で露光する工程と、画像表示領域外周の周辺駆動回路領域を複数回露光する工程を具備することを特徴とする大型ＬＣＯＳ表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は大型ＬＣＯＳ表示素子及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶テレビ等に使用する液晶表示素子は大型化が進み４０インチ、５０インチ、６０インチと更に大型化されてきている。液晶表示素子部は一括投影露光法により１回で露光するため一括投影露光装置も大型化が進んでいる。
【０００３】
一方、電子ビューファインダーやプロジェクターに使用されるＬＣＯＳ表示素子は小型化が要望され、表示領域は１インチ以下が主流である。通常シリコンマザー基板に多数のＬＣＯＳ表示素子を形成するが、高精細な回路網を形成するため、露光にはステッパーが用いられる。
【０００４】
ステッパーは解像力が非常に高く、小形の表示素子の解像度を上げることが可能であり、集積回路の製造に使用されている。画像表示領域と画像表示領域外周に周辺駆動回路領域を有するＬＣＯＳ表示素子の製造にも適している。
【０００５】
但し、解像度の高いステッパーの露光面積は２０〜３０ｍｍ角程度と小さく、それより大きい対象物を露光するには何回かに分割して露光しなければならない。このようなパターン領域を繋ぎ合わせの精度をよくするためにはパターン領域の近傍にバーニアパターンを配置し位置合わせをしていた。（特許文献１参照）
【０００６】
ＬＣＯＳ表示素子を大型化（例えば画像表示領域を１．５インチ）すると３０ｍｍ角の露光面積では一回で露光できず分割して露光しなければならない。
【０００７】
図２は表示素子の上面図であり、図３はシリコン基板に表示素子を４分割して露光する例を示す上面図である。シリコン基板１上に画像表示領域２と周辺駆動回路領域３を形成するが、露光領域は分割ラインＸと分割ラインＹでＰ１〜Ｐ４に分割し、露光の際は分割したラインの位置を合わせ繋ぎ合わせる。
【０００８】
図３はシリコン基板上に露光領域Ｐ１〜Ｐ４を露光する状態を模式的に示している。順番は特定しないが、４工程を経て表示素子の露光が終了する。ＬＣＯＳ表示素子は多層になっているので、各層で同様な露光を行う。
【０００９】
【特許文献１】特開平５−３４３２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述のように画像表示領域を分割して露光をすると、如何に位置合わせを精確に行っても、温度による露光パターンの歪などで重ね合わせのズレは発生してしまう。
【００１１】
配線は０．５〜５μｍ程度のため、重ね合わせの二重露光による配線の細りや露光ズレが発生すると繋ぎ部分で配線が切れやすく歩留りが低下する。
【００１２】
繋ぎ部で寄生容量等が変化し駆動回路のばらつきが発生する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
画像表示領域と画像表示領域外周に周辺駆動回路領域を有する大型ＬＣＯＳ表示素子であって、画像表示領域は１回の露光で形成する大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【００１４】
画像表示領域と周辺行動回路領域の間にダミー画素領域を設け、前記画像表示領域と前記ダミー画素領域は１回の露光で形成する大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【００１５】
画像表示領域と周辺駆動回路領域及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）には駆動回路を設けない大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【００１６】
ダミー画素領域と周辺駆動回路領域及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）には駆動回路を設けない大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【００１７】
画像表示領域またはダミー画素領域と周辺駆動回路領域、及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）の配線が他の部分より太い大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【００１８】
前記ダミー画素領域には、画像表示領域と同等の画素を配列する画素相当ダミー画素領域と大きな表示電極を設ける大画素ダミー領域とを具備する大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【００１９】
画像表示領域を１回で露光する工程と、画像表示領域外周の周辺駆動回路領域を複数回露光する工程を具備する大型ＬＣＯＳ表示素子の製造方法とする。
【発明の効果】
【００２０】
画像表示領域は分割しないので、画像表示領域内でのズレは発生せず、表示は均一に見える。
【００２１】
画像表示領域外周にダミー画素領域を設けたので、ダミー画素領域を黒表示とすることで見切りとして使用でき、またダミー画素領域と周辺駆動回路領域を接続することで画像表示領域への繋ぎ部の影響を無くすことができる。
【００２２】
二重露光する部分の繋ぎ部の配線を太くしたので、二重露光による配線細りに対応でき、配線が切れることを防げるので歩留りの低下がなくなる。
【００２３】
ダミー画素領域と周辺駆動回路領域及び周辺駆動回路領域と周辺駆動回路領域繋ぎ部分（重ね合わせ部）には駆動回路を設けないので、繋ぎ部による駆動回路のばらつきがなくなり、駆動回路のばらつきに起因する不良の発生がなくなる。
【００２４】
ダミー画素領域には、画像表示領域と同等の画素を配列する画素相当ダミー画素領域と大きな表示電極を設ける大画素ダミー領域とを設けたので、大画素ダミー領域をベタ電極にして黒表示にし、大画素ダミー領域の下に下層の重ね合わせ部を配置することで下層の重ね合わせ部の目隠しとして利用でき、重ね合わせが楽になる。
また、ダミー画素領域は、大型ＬＣＯＳ表示素子をプロジェクター等に使用する場合に表示中心を出すための合わせの縦、横の自由度が増し、対向電極に見切りを設ける場合の中央合わせの自由度を増すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
画像表示領域と画像表示領域外周に周辺駆動回路領域を有する大型ＬＣＯＳ表示素子であって、画像表示領域は１回の露光で形成し、画像表示領域外周の周辺駆動回路領域を複数回露光して繋ぎ合わせる大型ＬＣＯＳ表示素子とする。
【実施例１】
【００２６】
図１は本発明により形成された大型ＬＣＯＳ表示素子の上面図であり、図４はシリコン基板に表示素子を５分割して露光する例を示す上面図である。シリコン基板１上に画像表示領域２と周辺駆動回路領域３を形成するが、露光領域は画像表示領域Ｐ０、と周辺駆動回路領域を４つのＰ５、Ｐ６、Ｐ７、Ｐ８に分割し、５分割したラインの位置を合わせ繋ぎ合わせる。
【００２７】
図４はシリコン基板上に露光領域Ｐ０、Ｐ５、Ｐ６、Ｐ７、Ｐ８を露光する状態を模式的に示している。例えば最初に露光領域Ｐ０を所定位置に露光し（図では２８箇所）、その周囲にＰ５、Ｐ６、Ｐ７、Ｐ８の順に重ね合わせ露光をする。ＬＣＯＳ表示素子は多層になっているので、各層で同様な露光を行う。
【００２８】
特に図示はしないが、重ね合わせて露光する部分の配線は他の配線より太くして二重露光による配線細りを防止する。また、重ね合わせて露光する部分は配線のみとし、駆動回路網は形成しない配置とする。
【実施例２】
【００２９】
図５は本発明による大型ＬＣＯＳ表示素子の第２実施例を示す上面図である。実施例１と異なるのは、画像表示領域２と外周駆動回路領域３の間にダミー画素領域２ａを設けた点であり、その他は同じである。図１と同じ符号は同じ物であり、説明は省略する。露光としては、画像表示領域２とダミー画素領域２ａは一つのマスクを使用する１回露光とし、その他は実施例１と同様に露光する。
【実施例３】
【００３０】
図６は本発明による大型ＬＣＯＳ表示素子の第３実施例を示す上面図である。実施例２と異なるのは、ダミー画素領域を画像表示領域と同等の画素を配列する画素相当ダミー画素領域２ｂと大きな表示電極を設ける大画素ダミー領域２ｄとしていることと、下層の繋ぎ合わせ部を大画素ダミー領域２ｄの下である２ｃにしている点であり、その他は同じである。図５と同じ符号は同じ物であり、説明は省略する。露光としては、画像表示領域２と画素相当ダミー画素領域２ｂと大きな表示電極を設ける大画素ダミー領域２ｄを一つのマスクを使用する１回露光とし、その他は実施例２と同様に露光する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明により形成された大型ＬＣＯＳ表示素子の上面図
【図２】表示素子の上面図
【図３】シリコン基板に表示素子を４分割して露光する例を示す上面図
【図４】シリコン基板に表示素子を５分割して露光する例を示す上面図
【図５】本発明による大型ＬＣＯＳ表示素子の第２実施例を示す上面図
【図６】本発明による大型ＬＣＯＳ表示素子の第３実施例を示す上面図
【符号の説明】
【００３２】
１    シリコン基板
２    画像表示領域
２ａ  ダミー画素領域
２ｂ  画素相当ダミー画素領域
２ｃ  下層の繋ぎ合わせ部
２ｄ  大画素ダミー領域
３    周辺駆動回路
Ｐ０〜Ｐ８  露光領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2010066486.tif 000007
【図６】
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