(57)【要約】【課題】ウェハー品質を向上させ、エラー除きの時間を低下させることができるウェハー温度及び傾斜度を監視するシステムを提供する。【解決手段】本発明に係るウェハー温度及び傾斜度を監視する方法は、ウェハー冷却機、モニタシステム及びセンシングモジュールを提供する工程と、ウェハーが前記ウェハー冷却機に固定された後に、前記センシングモジュールは、前記ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出し、信号を生成して前記モニタシステムに伝送する工程と、前記モニタシステムは、前記ウェハーの温度が標準に一致しないと判断した場合、第一の警告信号を発信し、前記ウェハーの傾斜度が標準に一致しないと判断した場合、第二の警告信号を発信する工程とを含む。また、本発明は、さらに、ウェハー温度及び傾斜度を監視するシステムを提供する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハー冷却機、モニタシステム及びセンシングモジュールを用意する工程と、
ウェハーが前記ウェハー冷却機に固定されてから、前記センシングモジュールは、前記ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出し、信号を生成して前記モニタシステムに伝送する工程と、
前記モニタシステムは、前記ウェハーの温度が標準に一致しないと判断した場合、第一の警告信号を発信し、前記ウェハーの傾斜度が標準に一致しないと判断した場合、第二の警告信号を発信する工程とを含むウェハー温度及び傾斜度を監視する方法。
【請求項２】
前記ウェハー冷却機は、固定モジュール及び回転冷却モジュールを含み、前記固定モジュールは前記回転冷却モジュールの上方に位置され、前記ウェハーは前記回転冷却モジュールに固定され、前記センシングモジュールは、第一センシングユニット及び第二センシングユニットを含み、前記第一センシングユニットは前記回転冷却モジュールに固定され、前記第二センシングユニットは前記固定モジュールに固定されたことを特徴とする請求項１に記載のウェハー温度及び傾斜度を監視する方法。
【請求項３】
前記ウェハーが前記回転冷却モジュールに固定された後に、前記回転冷却モジュールは回転し始め、ウェハーを回転させることを特徴とする請求項２に記載のウェハー温度及び傾斜度を監視する方法。
【請求項４】
前記回転冷却モジュールが回転してから、前記第一センシングユニットは、前記ウェハーの一部領域の温度を検出し、前記第二センシングユニットは、前記ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出することを特徴とする請求項３に記載のウェハー温度及び傾斜度を監視する方法。
【請求項５】
固定モジュール及び回転冷却モジュールを含み、前記固定モジュールは前記回転冷却モジュールの上方に位置され、前記回転冷却モジュールは、本体部と、ウェハー冷却板と、一対のウェハー固定部材と、一組の伸縮可能なウェハー支持脚を含み、前記ウェハー冷却板及び前記一組のウェハー支持脚は、前記本体部に接続され、前記一対のウェハー固定部材は前記ウェハー冷却板上に固定されたウェハー冷却機と、
前記ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出し、第一センシングユニット及び第二センシングユニットを含み、前記第一センシングユニットは前記回転冷却モジュールに固定され、前記第二センシングユニットは前記固定モジュールに固定されたセンシングモジュールと、
前記センシングモジュールに電気的に接続されたモニタシステムと、を備えるウェハー温度及び傾斜度を監視するシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度及び傾斜度を監視する方法及びシステムに係り、特に、ウェハー温度及び傾斜度を監視する方法及びシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体のフォトリソグラフィ工程の段階では、ウェハーをウェハー冷却機に通過させて温度を下げる必要がある。ウェハー冷却機に検出装置が装着され、ウェハーが該ウェハー冷却機に固定されると、検出装置はウェハーの局部領域温度を検出し、モニタシステムに温度のデータを伝送して読取を行う。ウェハーの温度がモニタシステムに格納された標準と一致しないと判断された場合、作業員はウェハー冷却機をチェックし、エラーの原因を探し出す。このように、ウェハーの品質をコントロールする。
【０００３】
しかしながら、ウェハーの冷却が均一でないと、ウェハーのある領域の温度が標準に一致しているが、ある領域の温度がその標準に一致しないという場合がある。従来の検出装置は、ウェハーの局部領域温度しか検出できず、ウェハー全体の温度を全面に検出できないので、検出装置が検出した温度のデータは十分に正確ではなく、モニタシステムは、標準と一致しないウェハーを一部残してしまい、ウェハーの品質が低下され並びにコストが浪費されるようになる。また、ウェハーがウェハー冷却機に固定される時に傾斜し過ぎると、ウェハーの冷却効果が悪くなり、ウェハーの品質の不具合となる（図１を参照）。しかし、現在のウェハー冷却機上の検出装置は、ウェハーの傾斜度を検出する機能を揃っていない。
【０００４】
そのため、本発明者は、上記欠点が改良できるのを感心して、長年以来この領域で積み立てた経験により、専念な観察かつ研究をし、さらに学術理論の運用に合せ、設計が合理的で前記問題を有効に改善できる本発明を提案した。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上の問題に鑑みて、本発明は、ウェハー品質を向上し、コストの無駄を避けて、作業員によるエラー除きの時間を低下させるウェハー温度及び傾斜度を監視する方法及びシステムを提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、ウェハー冷却機、モニタシステム及びセンシングモジュールを用意する工程と、ウェハーが前記ウェハー冷却機に固定された後に、前記センシングモジュールは、前記ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出し、信号を生成して前記モニタシステムに伝送する工程と、前記モニタシステムは、前記ウェハーの温度が標準に一致しないと判断した場合、第一の警告信号を発信し、前記ウェハーの傾斜度が標準に一致しないと判断した場合、第二の警告信号を発信する工程とを含むウェハー温度及び傾斜度を監視する方法を提供する。
【０００７】
また、本発明は、ウェハー冷却機と、前記ウェハー冷却機に固定され、前記ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出するセンシングモジュールと、前記センシングモジュールに電気的に接続されたモニタシステムとを備えるウェハー温度及び傾斜度を監視するシステムを提供する。
【０００８】
本発明は、以下の有利な効果がある。
ウェハー冷却機上のセンシングモジュールは、ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出できるので、前記ウェハーの温度及び傾斜度が標準に一致しない時に、モニタシステムは、異なる警告信号を発信して作業員に知らせる。このように、ウェハー品質を向上し、コストの浪費を避けて、作業員によるエラー除きの時間を低下させることができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図２及び図３に示すように、本発明は、ウェハー冷却機１と、センシングモジュール２と、モニタシステム３とを含むウェハー温度及び傾斜度を監視するシステムを提供する。センシングモジュール２はウェハー冷却機１に固定され、ウェハーの領域毎の温度及び傾斜度を検出するもので、モニタシステム３はセンシングモジュール２に電気的に接続された。
【００１０】
ウェハー冷却機１は、固定モジュール１１及び回転冷却モジュール１２を含み、固定モジュール１１は回転冷却モジュール１２の上方に位置される。回転冷却モジュール１２は、本体部１２１、ウェハー冷却板１２２、一対のウェハー固定部材１２３及び一組の伸縮可能なウェハー支持脚１２４を含む。ウェハー冷却板１２２及び該組のウェハー支持脚１２４は、本体部１２１に接続され、一対のウェハー固定部材１２３はウェハー冷却板１２２上に固定される。ウェハー固定部材１２３は、ウェハー冷却板１２２上に載置されたウェハー４を挟んで、ウェハー冷却板１２２上に安定に載置させるようにする。センシングモジュール２は、第一センシングユニット２１及び第二センシングユニット２２を含み、第一センシングユニット２１は本体部１２１内に嵌設され、第二センシングユニット２２は固定モジュール１１の表面に固定される。
【００１１】
図３及び図４に示すように、本発明に係るウェハー温度及び傾斜度を監視する方法は、下記のステップを含む。
ウェハー４はウェハー冷却板１２２の表面に接触するとともに一対のウェハー固定部材１２３の間に挟まれ、ウェハー固定部材１２３はウェハー４の温度を下げるステップ（Ｓ１０１）と、
回転冷却モジュール１２は回転し始め、ウェハー冷却板１２２上のウェハー４を回転させるステップ（Ｓ１０２）と、
第一センシングユニット２１は、ウェハー４の一部領域の温度を検出し、また、回転冷却モジュール１２はウェハー４を回転させるため、第二センシングユニット２２は、ウェハー４の領域毎の温度及びウェハー全体の傾斜度を検出し、第一センシングユニット２１及び第二センシングユニット２２は、ウェハー４の温度及び傾斜度の状態を即時に信号を生成してモニタシステム３へ伝送するステップ（Ｓ１０３）と、
モニタシステム３は、ウェハー４の温度及び傾斜度が標準と一致するか否かを判断するステップ（Ｓ１０４）と、
ウェハー４の温度及び傾斜度はモニタシステム３の標準に一致すると判断されると、ウェハー４がウェハー冷却板１２２上に温度下げをすることを引き続いて行うステップ（Ｓ１０５）と、
ウェハー４の温度はモニタシステム３の標準に一致しないと判断された場合、モニタシステム３は第一の警告信号を発信して作業員に知らせ、作業員はウェハー冷却機１をチェックし、故障であるか或いは操作パラメータを調整する必要があるか否かとチェックするステップ（Ｓ１０６）と、
ウェハー４の傾斜度は、モニタシステム３の標準に一致しないと判断された場合、モニタシステム３は第二の警告信号を発信して作業員に知らせる。このように、作業員は、ウェハー４がウェハー冷却板１２２上に歪んで置かれているせいでウェハー４の温度が標準と一致していないことを招く可能性があると知るステップ（Ｓ１０７）と、を含む。
【００１２】
図５に示すように、ウェハー４は温度が下がった後に、該一組のウェハー支持脚１２４は伸びてウェハー冷却板１２２からウェハー４を押し上げ、そして、工場内のロボットアームは、該一組のウェハー支持脚１２４から温度が下がったウェハー４を取り出し、此の際、ウェハー４は次の工程に進まれる。
【００１３】
本発明に係るウェハー温度及び傾斜度を監視する方法は、ウェハー冷却機１上のセンシングモジュール２がウェハー４の領域毎の温度及び全体の傾斜度を検出することができるので、ウェハー４の温度及び傾斜度が標準に一致しない場合、モニタシステム３は、異なる警告信号を発信して作業員に知らせる。このように、ウェハー４の品質を向上し、コストの無駄を避けて、作業員によるエラー除きの時間を低下させることができる。
【００１４】
しかし、前記の説明は、単に本発明の好ましい具体的な実施例の詳細説明及び図面に過ぎず、本発明の特許請求の範囲を局限するものではなく、本発明の主張する範囲は、下記の特許請求の範囲に基づくべき、いずれの当該分野における通常の知識を有する専門家が本発明の分野の中で、適当に変更や修飾などを実施できるが、それらの実施のことが本発明の主張範囲内に納入されるべきことは言うまでもないことである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、傾斜ウェハーと標準ウェハーの温度下げ状態の対比図である。
【図２】図２は、本発明に係るウェハー温度及び傾斜度を監視するシステムのブロック図である。
【図３】図３は、本発明に係るウェハー冷却機がウェハーを温度下げる際の平面図である。
【図４】図４は、本発明に係るウェハー温度及び傾斜度を監視する方法のフローチャートである。
【図５】図５は、本発明に係るウェハー冷却機がウェハーへの温度下げを完了際の平面図である。
【符号の説明】
【００１６】
１ウェハー冷却機
２センシングモジュール
３モニタシステム
１１固定モジュール
１２回転冷却モジュール
１２１本体部
１２２ウェハー冷却板
１２３ウェハー固定部材
１２４ウェハー支持脚
４ウェハー
２１第一センシングユニット
２２第二センシングユニット
【図１】
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【図２】
2010080905.tif 000004
【図３】
2010080905.tif 000005
【図４】
2010080905.tif 000006
【図５】
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