(57)【要約】【課題】プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を除去するために連続体を加熱冷却する加熱冷却処理装置において、リードフレームの表面に傷が生じることを防止すること。【解決手段】一方向に走行する第１金属ベルト３０と、その下に重なって配置され、第１金属ベルト３０と同一方向に走行する第２金属ベルト３２と、第１金属ベルト３０の上に配置されて第１金属ベルトの幅方向の両端部を部分的に加圧する複数の加圧ローラ４０と、第２金属ベルト３２の下に配置された複数の支持ローラ４２とを含み、リードフレームの連続体５０を、第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２との間に供給し、加圧ローラ４０と支持ローラ４２とで挟圧した状態で、金属ベルト３０，３２の走行によって加熱領域Ａ及び冷却領域Ｂを通過させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に走行する第１金属ベルトと、
前記第１金属ベルトの下に重なって配置され、前記第１金属ベルトと同一方向に走行する第２金属ベルトと、
前記第１金属ベルトの上に配置されて、前記第１金属ベルトの幅方向の両端部を部分的に加圧する複数の加圧ローラと、
前記第２金属ベルトの下に配置された複数の支持ローラとを有し、かつ前記第１金属ベルトと前記第２金属ベルトとが重なる領域に加熱領域と冷却領域を備えた加熱冷却処理装置を使用し、
プレス加工が施されたリードフレームの連続体を、前記第１金属ベルトと前記第２金属ベルトとの間に供給し、前記加圧ローラと前記支持ローラとで挟圧した状態で、前記金属ベルトの走行によって前記加熱領域及び前記冷却領域を通過させることにより、前記連続体の残留歪を除去することを特徴とするリードフレームの連続体の製造方法。
【請求項２】
第１駆動ローラと第１従動ローラとからなる一対のローラ間に巻きつけられて回転走行する前記第１金属ベルトの下に、第２駆動ローラと第２従動ローラとからなる一対のローラ間に巻きつけられて回転走行する前記第２金属ベルトが配置されて、前記第１金属ベルトの下に前記第２金属ベルトが重なって配置されていることを特徴とする請求項１に記載のリードフレームの連続体の製造方法。
【請求項３】
前記加圧ローラは、軸部とその両端に連結されて該軸部より径が太い径大部とにより構成される回転体からなり、前記径大部が前記第１金属ベルトの両端部に部分的に接触して加圧することを特徴とする請求項１又は２に記載のリードフレームの連続体の製造方法。
【請求項４】
前記リードフレームの連続体は、その幅が前記加圧ローラの前記軸部の幅より細く設定され、前記金属ベルトの幅方向の中央部に配置されることを特徴とする請求項３に記載のリードフレームの連続体の製造方法。
【請求項５】
一方向に走行する第１金属ベルトと、
前記第１金属ベルトの下に重なって配置され、前記第１金属ベルトと同一方向に走行する第２金属ベルトと、
前記第１金属ベルトの上に配置されて前記第１金属ベルトの幅方向の両端部を部分的に加圧する複数の加圧ローラと、
前記第２金属ベルトの下に配置された複数の支持ローラとを有し、かつ前記第１金属ベルトと前記第２金属ベルトとが重なる領域に加熱領域と冷却領域を備え、
プレス加工が施されたリードフレームの連続体を、前記第１金属ベルトと前記第２金属ベルトとの間に供給し、前記加圧ローラと前記支持ローラで挟圧した状態で、前記金属ベルトの走行によって前記加熱領域及び前記冷却領域を通過させることを特徴とする加熱冷却処理装置。
【請求項６】
第１駆動ローラと第１従動ローラとからなる一対のローラ間に巻きつけられて回転走行する前記第１金属ベルトの下に、第２駆動ローラと第２従動ローラとからなる一対のローラ間に巻きつけられて回転走行する前記第２金属ベルトが配置されて、前記第１金属ベルトの下に前記第２金属ベルトが配置されていることを特徴とする請求項５に記載の加熱冷却処理装置。
【請求項７】
前記加圧ローラは、軸部とその両端に連結されて該軸部より径が太い径大部とにより構成される回転体からなり、前記径大部が前記第１金属ベルトの両端部に部分的に接触して加圧することを特徴とする請求項５又は６に記載の加熱冷却処理装置。
【請求項８】
前記リードフレームの連続体は、その幅が前記加圧ローラの前記軸部の幅より細く設定され、前記金属ベルトの幅方向の中央部に配置されることを特徴とする請求項７に記載の加熱冷却処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリードフレームの連続体の製造方法及び加熱冷却処理装置に係り、さらに詳しくは、プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を加熱冷却して除去するリードフレームの連続体の製造方法及び加熱冷却処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リードフレームの連続体の製造方法では、プレス加工によって形成されたリードフレームに残留する残留歪を除去するため、リードフレームのインナーリードの先端部同士を連結した状態で加熱処理を施した後に、冷却処理を施すことが行われる。
【０００３】
これに関連する技術としては、特許文献1には、一対のローラの間に巻かれた金属ベルトを２段に重ね合わせ、重なり合う２枚金属ベルトの間にリードフレームの連続体を挟み込んだ状態でベルトを回転走行させながら加熱冷却することが記載されている。
【０００４】
また、特許文献２には、帯状体のエッジ部を支持する一対の段付ローラを備えた帯状体の搬送装置において、帯状体の幅が変化しても段付ローラ間の間隔を自動的に新しい幅に合わせる制御装置を設けたことが記載されている。
【０００５】
また、特許文献３には、長尺の金属板に連続して孔を形成するためのエッチング装置において、金属板の上下に交互に配設されて金属板の両端部近傍のみを接触させると共に、金属板を波状に保持して連続移動させる段付ローラと、金属板の傾斜部にエッチング液を噴射するノズルとを備えたことが記載されている。
【特許文献１】特開２００７−１６５８２３号公報
【特許文献２】特開昭６０−８７１５４号公報
【特許文献３】特開昭６１−９１３７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
リードフレームの連続体の製造方法で使用される加熱冷却処理装置では、リードフレームの連続体を挟み込んだ２枚の金属ベルトを外側からローラで加圧するので、ローラの加圧が強すぎるとリードフレームの表面に傷が生じる問題がある。
【０００７】
本発明は以上の課題を鑑みて創作されたものであり、プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を除去するために連続体を加熱冷却するリードフレームの連続体の製造方法及び加熱冷却処理装置において、リードフレームの表面に傷が生じることを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明はリードフレームの連続体の製造方法に係り、一方向に走行する第１金属ベルトと、前記第１金属ベルトの下に重なって配置され、前記第１金属ベルトと同一方向に走行する第２金属ベルトと、前記第１金属ベルトの上に配置されて前記第１金属ベルトの幅方向の両端部を部分的に加圧する複数の加圧ローラと、前記第２金属ベルトの下に配置された支持ローラとを有し、かつ前記第１金属ベルトと前記第２金属ベルトが重なる領域に加熱領域と冷却領域を備えた加熱冷却処理装置を使用し、プレス加工が施されたリードフレームの連続体を、前記第１金属ベルトと前記第２金属ベルトとの間に供給し、前記加圧ローラと前記支持ローラとで挟圧した状態で、前記金属ベルトの走行によって前記加熱領域及び前記冷却領域を通過させることにより、前記連続体の残留歪を除去することを特徴とする。
【０００９】
本発明の製造方法で使用される加熱冷却処理装置では、第１金属ベルトの下に第２金属ベルトが重なって配置され、それらの金属ベルトは同一方向に走行する。さらに、第１金属ベルトの上に複数の加圧ローラが配置され、第２金属ベルトの下に複数の支持ローラが配置されている。
【００１０】
そして、第１金属ベルトと第２金属ベルトとの間にリードフレームの連続体が供給され、連続体が加圧ローラと支持ローラによって挟圧された状態で、金属ベルトの走行によって加熱領域及び冷却領域を順次通過していく。これにより、プレス加工によって形成されたリードフレームに残留する残留歪が除去される。
【００１１】
加圧ローラは第１金属ベルトの幅方向の両端部を部分的に加圧する構造になっており、リードフレームの上を直接加圧しないようにしている。このため、加圧ローラとして回転曲面が全体にわたって同一面となる円柱体を使用する場合と違って、リードフレームに直線状に圧力がかからなくなるので、リードフレームの表面に傷が生ずることが防止される。
【００１２】
本発明の好適な態様では、第１駆動ローラと第１従動ローラとからなる一対のローラ間に巻きつけられて回転走行する第１金属ベルトの下に、第２駆動ローラと第２従動ローラとからなる一対のローラ間に巻きつけられて回転走行する第２金属ベルトが配置されて、第１金属ベルトの下に第２金属ベルトが重なって配置される。
【００１３】
また、本発明の好適な態様では、加圧ローラは、軸部とその両端に連結されて該軸部より径が太い径大部とにより構成される回転体からなり、径大部が第１金属ベルトの両端部に部分的に接触して加圧する。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明では、リードフレームの連続体を加熱冷却処理する際に、リードフレームの表面に傷が生じることが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置を示す断面図である。図１に示すように、本実施形態の加熱冷却処理装置１では、上部側の両端側に第１駆動ローラ１０と第１従動ローラ１２とが配置されており、下部側の両端側に第２駆動ローラ２０と第２従動ローラ２２とが配置されている。第１駆動ローラ１０の下側に第２駆動ローラ２０が配置され、第１従動ローラ１２の下側に第２従動ローラ２２が配置されている。
【００１７】
第１駆動ローラ１０と第１従動ローラ１２とが一対のローラを構成し、それらのローラ間に第１金属ベルト３０が無端状に巻き付けられている。また同様に、第２駆動ローラ２０と第２従動ローラ２２とが一対のローラを構成し、それらのローラ間に第２金属ベルト３２が無端状に巻き付けられている。これにより、第１金属ベルト３０の下に第２金属ベルト３２が重なり合う構造が構成される。
【００１８】
第１駆動ローラ１０及び第２駆動ローラ２０がモータなどの駆動手段によって回転することにより、第１、第２金属ベルト３０，３２がそれぞれ回転走行する。第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２は、例えば、ステンレスからなり、その厚みは０．３ｍｍ程度である。
【００１９】
第１、第２駆動ローラ１０，２０の内側近傍には、それらを外側に押圧するシリンダ装置１４ａ，１４ｂがそれぞれ設けられている。これにより、第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２は、第１、第２駆動ローラ１０，２０と第１、第２従動ローラ１２，２２との間で撓まないようにそれぞれ所定圧力で引っ張られて回転走行する。
【００２０】
図１の例では、第１駆動ローラ１０及び第１従動ローラ１２は共に右側（時計周り方向）に回転し、第２駆動ローラ２０及び第２従動ローラ２２は共に左側（反時計周り方向）に回転する。これにより、第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２が重なり合う領域では、第１、第２金属ベルト３０，３２が同期されて同一方向（図１では向かって左側）に走行する。
【００２１】
第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２が重なり合う領域において、第１金属ベルト３０の上には複数の加圧ローラ４０が並んで配置され、第２金属ベルト３２の下には複数の支持ローラ４２が並んで配置されている。複数の加圧ローラ４０と複数の支持ローラ４２はそれぞれ対応する位置に配置されている。
【００２２】
上下に配置された各加圧ローラ４０及び支持ローラ４２が一対の挟圧ローラを構成し、第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２を上下から挟圧することによって、所定の圧力で第１、第２金属ベルト３０，３２を重ね合わせている。
【００２３】
第１従動ローラ１２及び第２従動ローラ２２は共にヒータを備えた加熱ローラであり、第１従動ローラ１２及び第２従動ローラ２２が配置された領域とその近傍が加熱領域Ａとなっている。加熱領域Ａでは、その内壁にも複数のヒータ（不図示）が設けられている。
【００２４】
加熱領域Ａの外側（図１では向かって左側）から第１駆動ローラ１０及び第２駆動ローラ２０が配置された領域は、ヒータが設けられておらず冷却領域Ｂとなっている。冷却領域Ｂでは、必要に応じて冷却ガスを上下側から第１、第２金属ベルト３０，３２に吹き付けて冷却するようにしてもよい。
【００２５】
このようにして、加圧ローラ４０及び支持ローラ４２によって所定圧力で挟圧されて重ね合わされた第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２が、第１、第２従動ローラ１２，２２側から第１、第２駆動ローラ１０，２０側に回転走行し、加熱領域Ａ及び冷却領域Ｂを順次通過する。
【００２６】
さらに、第１従動ローラ１２の斜め右上には補助加熱ローラ２４が設けられている。補助加熱ローラ２４の近傍にはリードフレームの連続体が供給される供給口１６が設けられており、供給口１６の外側には予熱部Ｃが設けられている。予熱部Ｃにはリードフレームの連続体の挿入をガイドするガイド１８が設けられている。予熱部Ｃにはヒータ（不図示）が設けられており、加熱領域Ａと略同一の温度雰囲気になるように予熱部Ｃが加熱される。さらに、予熱部Ｃの外側には張力付加ローラ２６が配置されている。
【００２７】
リードフレームの連続体５０（図１に太線で表示（単に連続体５０と呼ぶことがある））は、張力付加ローラ２６によって引っ張られた状態で予熱部Ｃのガイド１８によって加熱領域Ａ側に導かれる。予熱部Ｃを通過した連続体５０は補助加熱ローラ２４によって引っ張られた状態で第１従動ローラ１２と第２従動ローラ２２とによって挟まれた第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２との間に供給される。
【００２８】
本実施形態と違って補助加熱ローラ２４を省略する場合、連続体５０が第１従動ローラ１２（加熱ローラ）の回転曲面に沿って一方向のみに曲げられて搬送されるため、加熱冷却処理を施すと連続体５０に長手方向の反り（長反り）が発生することがある。
【００２９】
本実施形態では、連続体５０が補助加熱ローラ２４の回転曲面に沿って一方向に曲げられて搬送された後に、第１従動ローラ１２（加熱ローラ）の回転曲面に沿って逆方向に曲げられて搬送されるので、長手方向の反り（長反り）を修正することができる。
【００３０】
さらに、連続体５０は第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２との間に挟み込まれた状態で加熱領域Ａを通過していく。連続体５０は予熱部Ｃで予め加熱されているので、加熱領域Ａで迅速に所望温度まで連続体５０を加熱することができ、処理速度の向上を図ることができる。このとき、連続体５０は第１金属ベルト３０の上に配置された加圧ローラ４０と、第２金属ベルト３２の下に配置された支持ローラ４２とによって所定の挟圧力で加圧されながら搬送される。
【００３１】
このようにして、連続体５０は第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２とによって拘束された状態で加熱領域Ａを順次通過しながら加熱処理される。
【００３２】
ここで、図２及び図３を参照しながら、本実施形態で使用されるリードフレームの連続体５０の一例について説明する。
【００３３】
図２には、リードフレームの連続体５０のうち半導体チップが搭載されるダイパッド６０とその周辺のインナーリード６２の一部のみが示されている。ダイパッド６０はサポートバー（不図示）によって枠部（不図示）に連結されていると共に、ダイパッド６０を取り囲むように形成されたインナーリード６２は、その先端部が連結部６４によって相互に連結されている。
【００３４】
そのようなリードフレームの連続体５０は金属薄板がプレス加工によって打ち抜かれて形成されるため、インナーリード６２の内部には残留歪が帯有した状態となっている。このため、連結部６４を切り離して所定形状のインナーリード６２を得る際に、残留歪によって、分離されたインナーリード６２がねじれたり反ったりしてリード同士が接触することがある。
【００３５】
本実施形態の加熱冷却処理装置１で連続体５０を加熱処理することによってインナーリード６２に帯有する残留歪が除去される。これにより、図３に示すように、後工程で連結部６４を切り離す際にインナーリード６２の先端部にねじれや反りなど変形が発生する事態を防止できる。
【００３６】
次いで、図１に戻って、加熱領域Ａを通過した連続体５０は、同様に第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２とによって挟み込まれた状態で冷却領域Ｂを順次通過し、拘束状態で所定の温度になるように冷却処理が施される。連続体５０は第１金属ベルト３０と第２金属ベルト３２とで拘束された状態で徐々に冷却されるので、冷却処理の際に発生しやすいリードフレームの幅反りやリード段差の発生が防止される。
【００３７】
さらに、冷却処理された連続体５０は、第２駆動ローラ２０の横に設けられたグリップローラ１３でガイドされて装置の外部に搬送される。
【００３８】
次に、本実施形態の加熱冷却処理装置１の第１、第２金属ベルト３０，３２を挟圧する加圧ローラ４０及び支持ローラ４２についてさらに詳しく説明する。本実施形態の加圧ローラ４０及び支持ローラ４２を説明する前に、比較例の加圧ローラ及び支持ローラの問題点について説明する。図４は比較例の加熱冷却処理装置における加圧ローラ及び支持ローラの近傍の様子を示す斜視図である。
【００３９】
図４に示すように、比較例では、第１金属ベルト３００と第２金属ベルト３２０との間にリードフレームの連続体５００が挟まれて配置されている。加圧ローラ４００及び支持ローラ４２０によって第１、第２金属ベルト３００，３２０が挟圧される。
【００４０】
第１、第２金属ベルト３００，３２０の回転走行に連動して加圧ローラ４００及び支持ローラ４２０が回転し、連続体５００が加圧されながら搬送される。加圧ローラ４００及び支持ローラ４２０は細長の円柱体からなり、加圧ローラ４００及び支持ローラ４２０の回転曲面は全体にわたって同一の連続面となっている。
【００４１】
比較例では、加圧ローラ４００はストレート型の円柱体からなるため、連続体５００は加圧ローラ４００によって幅方向の直線部分が局所的に加圧されることになる。リードフレームの連続体５００は銅などの比較的柔らかい金属から形成されるので、加圧ローラ４００と支持ローラ４２０の挟圧によって表面に傷が生ずることがあり、製造歩留りの低下の要因になる。
【００４２】
以下に説明する本実施形態に係る加圧ローラを採用することにより、そのような不具合を解消することができる。図５は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置における加圧ローラ及び支持ローラの近傍の様子を示す斜視図である。図５は図１の加熱冷却処理装置１のＤで示される領域を裏側から斜視的にみた図に相当する。
【００４３】
本実施形態の加熱冷却処理装置１では、第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２の間にリードフレームの連続体５０が挟み込まれて配置されている。第１金属ベルト３０の上の長尺方向に複数の加圧ローラ４０が並んで配置され、第２金属ベルト３２の下の長尺方向に複数の支持ローラ４２が並んで配置されている。
【００４４】
個々の加圧ローラ４０及び支持ローラ４２は金属ベルト３０，３２の幅方向にそれぞれ配置されている。また、個々の加圧ローラ４０は各支持ローラ４２に対応する位置にそれぞれ配置されている。
【００４５】
加圧ローラ４０及び支持ローラ４２によって第１、第２金属ベルト３０，３２を介して連続体５０が挟圧される。第１、第２金属ベルト３０，３２の回転走行に連動して加圧ローラ４０及び支持ローラ４２が回転し、連続体５０が加圧ローラ４０及び支持ローラ４２によって挟圧されながら搬送される。
【００４６】
本実施形態に係る加圧ローラ４０は、第１金属ベルト３０の幅方向のうち両端部のみに接触して加圧するように工夫されている。加圧ローラ４０は、細長の円柱体からなる軸部４０ｂと、その両端に連結されて軸部４０ｂより径が太い円柱体からなる径大部４０ａとにより構成される。
【００４７】
そのような加圧ローラ４０は、ストレート型の細長円柱部材の回転曲面の中央部を加工して段差を形成することにより得られる。リードフレームの連続体５０は、その幅が加圧ローラ４０の軸部４０ｂの幅より細く設定され、第１、第２金属ベルト３０，３２の幅方向の中央部に配置されて挟圧される。
【００４８】
これにより、加圧ローラ４０はその両端部の径大部４０ａのみが第１金属ベルト３０の両端部に接触して連続体５０を加圧し、第１金属ベルト３０の幅方向の中央部には加圧ローラ４０が接触しないようになっている。従って、前述した比較例と違って、連続体５０が幅方向に直線状に加圧されなくなるので、連続体５０の表面に傷が生じることが防止される。
【００４９】
また、支持ローラ４２は回転曲面が全体にわたって同一面となるストレート型の円柱体からなり、支持ローラ４２の回転曲面が第２金属ベルト３２の下面の幅方向全体に接触して加圧ロール４０からの加圧力を支持するようになっている。
【００５０】
図６に示すように、支持ローラ４２は、その両端部が基台７０に回転自在に連結されている。また、加圧ローラ４０はその両端部が支持部材８０に回転自在に連結されている。１個の支持部材８０によって複数（例えば２個）の加圧ローラ４０が支持される。支持部材８０からの圧力によって加圧ローラ４０が第１金属ベルト３０側に押圧される。この押圧力によって連続体５０が第１金属ベルト３０及び第２金属ベルト３２によって挟圧されるようになっている。
【００５１】
このように、本実施形態では、加圧ローラ４０はその両端部の径大部４０ａが第１金属ベルト３０の両端部を部分的に加圧し、第１金属ベルト３０の連続体５０が配置された中央部を直接加圧しないようになっている。
【００５２】
従って、加熱冷却処理装置１の加熱冷却過程で連続体５０の表面に傷が生じることが防止され、リードフレームを信頼性よく高歩留りで製造することができる。第１金属ベルト３０はある程度の剛性をもっていることから、第１金属ベルト３０の両端部を加圧するだけで連続体５０は適度に第２金属ベルト３２側に押圧されるので、加熱冷却処理が安定して行われる。
【００５３】
第１金属ベルト３０の両端部のみを加圧する加圧ローラ４０は、加熱領域Ａ及び冷却領域Ｂの両方に採用してもよいし、あるいはいずれか一方に採用してもよい。
【００５４】
なお、本実施形態の加熱冷却処理装置１では、第１金属ベルト３０の下に第２金属ベルト３２が重なり合って同一方向に走行できればよく、図１で説明した一対のローラを２段に配置するベルト駆動方式の他に各種のベルト駆動方式を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】図１は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置を示す断面図である。
【図２】図２は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置で処理されるリードフレームの連続体を示す部分平面図である。
【図３】図３は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置でリードフレームの連続体を処理した後にインナーリードの連結部を除去した様子を示す部分平面図である。
【図４】図４は本発明に関連する比較例の加熱冷却処理装置における加圧ローラ及び支持ローラの近傍の様子を示す斜視図である。
【図５】図５は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置における加圧ローラ及び支持ローラの近傍の様子を示す斜視図である。
【図６】図６は本発明の実施形態の加熱冷却処理装置における一対の加圧ローラ及び支持ローラの各連結状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…加熱冷却処理装置、１０…第１駆動ローラ、１２…第１従動ローラ、１３…グリップローラ、１４ａ，１４ｂ…シリンダ装置、１６…供給口、１８…ガイド、２０…第２駆動ローラ、２２…第２従動ローラ、２４…補助加熱ローラ、３０…第１金属ベルト、３２…第２金属ベルト、４０…加圧ローラ、４０ａ…径大部、４０ｂ…軸部、４２…支持ローラ、５０…リードフレームの連続体、６０…ダイパッド、６２…インナーリード、６４…連結部、７０…基台、８０…支持部材、Ａ…加熱領域、Ｂ…冷却領域、Ｃ…予熱部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010080841.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成21年4月9日(2009.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第１駆動ローラ１０及び第２駆動ローラ２０がモータなどの駆動手段によって回転することにより、第１、第２金属ベルト３０，３２がそれぞれ回転走行する。