(57)【要約】【課題】剥離時にカバーフィルムと感光性樹脂層との剥離性が良好で、剥離前にはカバーフィルムと感光性樹脂層との密着性が良好な感光性転写材料を提供する。【解決手段】仮支持体と、層表面を二次イオン質量分析計で測定したときのモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮支持体と、層表面のモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料。
【請求項２】
仮支持体と、層表面のモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料に、前記カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口を形成する切り口形成工程と、
前記カバーフィルムと前記感光性樹脂層との間で剥離して、前記感光性転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、
前記カバーフィルムが除去された感光性転写材料と基板とを、前記感光性樹脂層と基板面とが接するようにして貼り合わせて積層体を形成する積層体形成工程と、
前記積層体から前記仮支持体を除去する仮支持体除去工程と、
を有する樹脂パターンの形成方法。
【請求項３】
前記仮支持体除去工程後、前記仮支持体が除去された前記積層体の前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、を有する請求項２に記載の樹脂パターンの形成方法。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の樹脂パターンの形成方法によって形成された樹脂パターンを有する樹脂パターン付き基板。
【請求項５】
請求項４に記載の樹脂パターン付き基板を備えた表示装置。
【請求項６】
請求項４に記載の樹脂パターン付き基板を備えた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性転写材料、樹脂パターンの形成方法、樹脂パターン付き基板、表示装置及び液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタやスペーサー等の形成に用いられる、感光性転写材料は従来から知られている。該感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層および感光性樹脂層をこの順に設けてなる。
例えば、上記カラーフィルタは、感光性転写材料の感光性樹脂層と基体とを「ラミネート法」によって貼り合わせ、その後仮支持体を剥離して、露光、現像をおこない、基体上に画像を形成して作製される。上記感光性転写材料は、感光性樹脂層と基体とを貼り合わせる際に両者の間に気泡が入り転写不良を起こすという問題点を、熱可塑性樹脂層を設けることによって改良し、基体に凹凸がある場合であっても気泡の進入を防止することができ、良好な転写画像を得ることが可能であるとされている。
【０００３】
上記の様に、熱可塑性樹脂層を有する感光性転写材料を用いてカラーフィルタ、スペーサーや、その他液晶配向制御用突起などの材料（樹脂パターン）を作製する場合、ラミネーター及び基板の汚れを防ぐために、所望の部分のカバーフィルムのみを除去し、ガラス基板などの基体への転写が実施される。
しかしながら、従来の感光性転写材料では、感光性樹脂層とカバーフィルムとの間の密着が強く、カバーフィルムを剥がす際に、中間層と感光性樹脂層との界面で剥がれたり、その界面の一部が泡状に浮きあがったりする剥離不良が問題となっていた。
【０００４】
上記について、仮支持体と感光性樹脂層の間にポリビニルアルコール誘導体等の中間層を設けた転写材料が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
また、熱可塑性樹脂層を有する感光性転写材料においては中間層に部分鹸化タイプのポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンを併用することが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平２−２１３８４９号公報
【特許文献２】特開平５−１７３３２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の方法では、仮支持体との剥離性、溶解特性の改良を目的としており、下地に凹凸がある場合の転写性や、カバーフィルムと感光性樹脂層との剥離性については何等考慮されていない。
特許文献２の方法では感光性樹脂層と中間層との密着しか改良されていないため、連続してカバーフィルムを感光性樹脂層から除去する場合は良好なものの、カバーフィルムに切り込みを入れ、カバーフィルムの所望の部分のみ剥離する方法では、カバーフィルムを剥離する際に、除去しようとするカバーフィルムに感光性樹脂層が付着してしまう剥離不良が生じることがある。
【０００６】
その一方で、カバーフィルムと感光性樹脂層との剥離前、例えば、カバーフィルムに切り込みを入れる最中には、カバーフィルムと感光性樹脂層との間に隙間が生じるカバーフィルムと感光性樹脂層との密着性不良が生じることがある。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明の目的は、剥離時にカバーフィルムと感光性樹脂層との剥離性が良好で、剥離前にはカバーフィルムと感光性樹脂層との密着性が良好な感光性転写材料を提供することにある。
また、カバーフィルムを剥離したときに感光性樹脂層がカバーフィルムに付着して剥離する剥離不良や、カバーフィルムに切り込みを入れる最中には、カバーフィルムと感光性樹脂層との間に隙間が生じるカバーフィルムと感光性樹脂層との密着性不良を効果的に抑制でき、良好な樹脂パターンが得られる樹脂パターンの形成方法、表示装置の作製に用いた際、剥離不良や密着不良に起因する表示ムラの発生を抑制できる樹脂パターン付き基板、該樹脂パターン付き基板を備えた表示装置および液晶表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は、以下の本発明によって達成される。
即ち、本発明の感光性転写材料は、
＜１＞  仮支持体と、層表面を二次イオン質量分析計で測定したときのモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料である。
【０００９】
＜２＞  仮支持体と、層表面を二次イオン質量分析計で測定したときのモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料に、前記カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口を形成する切り口形成工程と、前記カバーフィルムと前記感光性樹脂層との間で剥離して、前記感光性転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、前記カバーフィルムが除去された感光性転写材料と基板とを、前記感光性樹脂層と基板面とが接するようにして貼り合わせて積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体から前記仮支持体を除去する仮支持体除去工程と、を有する樹脂パターンの形成方法である。
【００１０】
＜３＞  前記仮支持体除去工程後、前記仮支持体が除去された前記積層体の前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、を有する前記＜２＞に記載の樹脂パターンの形成方法である。
【００１１】
＜４＞  前記＜２＞又は前記＜３＞に記載の樹脂パターンの形成方法によって形成された樹脂パターンを有する樹脂パターン付き基板である。
【００１２】
＜５＞  前記＜４＞に記載の樹脂パターン付き基板を備えた表示装置である。
【００１３】
＜６＞  前記＜４＞に記載の樹脂パターン付き基板を備えた液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、剥離時にカバーフィルムと感光性樹脂層との剥離性が良好で、剥離前にはカバーフィルムと感光性樹脂層との密着性が良好な感光性転写材料を提供することができる。また、感光性樹脂層がカバーフィルムに付着したままとなる剥離不良を効果的に抑制でき、良好な樹脂パターンが得られる樹脂パターンの形成方法、表示装置の作製に用いた際、剥離不良や密着不良に起因する表示ムラの発生を抑制できる樹脂パターン付き基板、該樹脂パターン付き基板を備えた表示装置および液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
＜感光性転写材料＞
本発明の感光性転写材料は、仮支持体と、層表面のモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する。
上記構成とすることにより、感光性樹脂層とカバーフィルムの剥離性を良好なものとしながら、カバーフィルムカット時の感光性樹脂層とカバーフィルムの密着性をも良好なものとするものである。
本発明の感光性転写材料は、本発明の効果を損なわない限度において、さらに、中間層や熱可塑性樹脂層等の他の層を有していてもよい。
以下、本発明の感光性転写材料を詳細に説明するにあたり、まず感光性樹脂層について詳述する。
【００１６】
＜感光性樹脂層＞
本発明の感光性転写材料は、少なくとも１層の感光性樹脂層を有し、層表面のモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５であることが必要である。
以下、「感光性樹脂層の層表面のモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）」を「特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）」とも称する。
【００１７】
ここで、感光性樹脂層の層表面の二次イオン強度とは、感光性樹脂層表面の成分を、二次イオン質量分析装置を用いて測定したときに得られる二次イオン強度である。「モノマー二次イオン強度」とは、測定に用いた感光性樹脂層表面成分中のモノマー成分の全二次イオン強度をいい、「トータル二次イオン強度」とは、測定に用いた感光性樹脂層表面成分中の全成分の全二次イオン強度をいう。
【００１８】
例えば、測定に用いた感光性樹脂層表面成分中にモノマー成分が３種あり、それぞれの成分について二次イオン強度ａ、ｂ、ｃが得られたときは、当該感光性樹脂層の層表面のモノマー二次イオン強度は、ａ＋ｂ＋ｃとして算出される。
測定に用いた感光性樹脂層表面のトータル二次イオン強度は、二次イオン質量分析測定より得られた全成分の各二次イオン強度を全て足し合わせた値として算出される。
【００１９】
特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）の測定方法は、具体的には、感光性転写材料のカバーフィルムを剥離して、露出した感光性樹脂層表面にイオン照射することにより行う。
感光性樹脂層表面へのイオン照射は、脱気あるいは不活性ガス雰囲気下で、冷却（例えば−１２０℃）して行うことが好ましい。
【００２０】
本発明における感光性樹脂層において、特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）が０．００１７より小さいと、カバーフィルムをロータリーカッターでカットする際にカバーフィルムカット性の低下やカバーフィルム−感光性樹脂層間の密着性低下を生じ、カバーフィルムと感光性樹脂層との間が剥れる等の問題が生じる。一方、特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）が０．０１４５よりも大きいと、反対にカバーフィルム−感光性樹脂層間の剥離性が低下するため、カバーフィルムの剥離時にカバーフィルムに感光性樹脂層が付着する。
【００２１】
前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）は、カバーフィルム−感光性樹脂層間の密着性と剥離性を両立する観点から、０．００１７〜０．０１４５とし、０．００１８１〜０．０１１６であることが好ましく、０．００１８９〜０．０１０９であることがより好ましい。
【００２２】
本発明において、特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）は、前記二次イオン質量分析装置として、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ（Ｔｉｍｅ  ｏｆ  Ｆｌｉｇｈｔ  Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ；飛行時間型二次イオン質量分析装置）を用いて測定され、具体的には、ＰＨＩ社製ＴＲＩＦＴ  II型により測定される値である。
なお、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ法については、日本表面科学会編「表面分析技術選書  二次イオン質量分析法」丸善株式会社（１９９９年発行）に、具体的に記載されている。
【００２３】
前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）は、感光性樹脂層中に含まれる種々の成分〔重合性モノマーの種類、重合性モノマーと高分子物質（バインダー）との量比、コロイダルシリカ、及び顔料の固形分含有量〕や、感光性樹脂層を形成するための塗布液の乾燥条件によって制御することができる。
詳細は後述する各項目において説明する。
【００２４】
本発明の感光性転写材料は、少なくとも一層の感光性樹脂層を有する。
前記感光性樹脂層は、スペーサー（以下、「フォトスペーサー」ともいう）等の樹脂パターン（以下、「樹脂構造物」ともいう）を形成する場合に該樹脂構造物を構成する層であり、例えば、高分子物質と、重合性モノマーと、光重合開始剤とを含んでなり、必要に応じて、充填剤、着色剤や他の成分を用いて構成することができる。着色剤を含有する場合には、カラーフィルタを構成する着色画素を形成することができる。
【００２５】
（高分子物質）
高分子物質は、スペーサーや着色画素等の積層体を形成した場合にバインダー成分としての機能を有するものであり、後述する＜熱可塑性樹脂層＞で述べる樹脂や、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーやそれ自体重合性を有する、特開２００３−１３１３７９の段落番号［００３１］〜［００５４］に記載の光により重合可能なアリル基を有する高分子樹脂が好ましい例として挙げられる。
【００２６】
高分子物質は、目的に応じて適宜選択した単量体の単独重合体、複数の単量体からなる共重合体のいずれであってもよく、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーの例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、また、この他にも水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく用いることができる。また、特に好ましい例としては、シクロヘクシル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマー多元共重合体や、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートレと（メタ）アクリル酸との共重合体，ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体、またこれらの多元共重合体にグリシジルメタクリレートを付加させた多元共重合体を挙げることができる。
【００２７】
高分子物質の単量体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルキル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、ビニル化合物、アリル基含有（メタ）アクリレート、等が挙げられる。尚、本明細書中において、（メタ）アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートを表す。
これら単量体は、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【００２８】
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリル（メタ）アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、等が好適に挙げられる。
【００２９】
前記ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、ヒドロキシメチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシイソブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート等が挙げられ、中でも特に、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシｎ−ブチル（メタ）アクリレート等が好ましい。
【００３０】
前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、等が好適に挙げられる。
【００３１】
前記アリル基含有（メタ）アクリレートとしては、例えば、アリル（メタ）アクリレート、２−メチルアリルアクリレート、クロチルアクリレート、クロルアリルアクリレート、フェニルアリルアクリレート、シアノアリルアクリレート、等が挙げられ、中でもアリル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
【００３２】
上記した高分子物質の中でも、前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）を０．００１７〜０．０１４５とする観点から、アリル基含有（メタ）アクリレートをモノマーユニットとして少なくとも有する樹脂が好ましく、アリル基含有（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸及びアリル基非含有（メタ）アクリレートから選択されるモノマーとをモノマーユニットとして有する樹脂がより好ましい。
【００３３】
前記高分子物質の好ましい具体例としては、（メタ）アクリル酸（Ｍ１）とアリル（メタ）アクリレート（Ｍ２）との二元共重合樹脂〔好適な共重合比［モル比］はＭ１：Ｍ２＝２〜９０：１０〜９８〕や、（メタ）アクリル酸（Ｍ３）とアリル（メタ）アクリレート（Ｍ４）とベンジル（メタ）アクリレート（Ｍ５）との三元共重合樹脂〔好適な共重合比［モル比］はＭ３：Ｍ４：Ｍ５＝５〜４０：２０〜９０：５〜７０〕などが挙げられる。またフォトスペーサーなど高架橋を要するものはこれらにグリシジルメタクリレートを付加させた多元共重合体が有効である。
【００３４】
【化１】
2010066323.tif 000002
【００３５】
【化２】
2010066323.tif 000003
【００３６】
【化３】
2010066323.tif 000004
【００３７】
【化４】
2010066323.tif 000005
【００３８】
【化５】
2010066323.tif 000006
【００３９】
【化６】
2010066323.tif 000007
【００４０】
【化７】
2010066323.tif 000008
【００４１】
前記高分子物質は、モノマーの（共）重合反応の工程とエチレン性不飽和基を導入する工程の二段階の工程から合成することができる。
まず、（共）重合反応は種々のモノマーの（共）重合反応によって作られ、特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、重合の活性種については、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合などを適宜選択することができる。これらの中でも合成が容易であり、低コストである点からラジカル重合であることが好ましい。また、重合方法についても特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、バルク重合法、懸濁重合法、乳化重合法、溶液重合法などを適宜選択することができる。これらの中でも、溶液重合法であることがより望ましい。
【００４２】
前記高分子物質の重量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定値のポリスチレン換算値で５，０００〜１００，０００が好ましく、８，０００〜５０，０００がより好ましい。該重量平均分子量を５，０００〜１００，０００の範囲内とすることで、膜強度を良化することができる。
【００４３】
前記高分子物質の感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１５〜９５質量％が好ましく、３０〜８５質量％がより好ましく、４０〜７５質量％が更に好ましい。
【００４４】
（重合性モノマー）
前記重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、並びにその他の化合物が挙げられる。
【００４５】
前記エステル化合物としては、例えば、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、マレイン酸エステル、その他のエステル化合物、などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよいが、これらの中でも、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル等が好ましい。
【００４６】
前記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチルモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００４７】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。中でも特に、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートが好ましい。
【００４８】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルの他の例としては、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸エステルやウレタン（メタ）アクリレートやビニルエステル、などが挙げられる。
【００４９】
前記「その他のエステル化合物」としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．７，第３００〜３０８頁に記載の光硬化性モノマー及びオリゴマー、などが挙げられる。
【００５０】
また、上記のアミド化合物としては、例えば、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド（モノマー）などが挙げられ、具体的には、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、などが挙げられ、また、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸アミド、などが挙げられる。
【００５１】
また、上記の「その他の化合物」としては、例えば、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載のアリル化合物、などが挙げられる。
【００５２】
前記特定二次イオン強度比を０．００１７〜０．０１４５とする観点から、重合性モノマーは官能基数が大きいものが好ましく、具体的には３以上であることが好ましい。より好ましくは５以上である。官能基数が３以上の重合性モノマーは、感光性樹脂層の乾燥過程、及び乾燥後保存中において感光性樹脂層表面に拡散しにくいためである。
このような重合性モノマーとしては、前記多官能（メタ）アクリル酸エステルが挙げられ、中でもジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）が好ましい。
【００５３】
上記した重合性モノマーは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。重合性モノマーの感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５０質量％がより好ましい。
【００５４】
特に、前記特定二次イオン強度比を０．００１７〜０．０１４５とする観点から、感光性樹脂層中における、前記重合性モノマーの含有量（質量％）Ｍの前記高分子物質（バインダー）の含有量Ｐ（質量％）に対する割合Ｍ／Ｐは、質量基準で、０．４５以上１．２未満であることが好ましく、０．６以上１．０未満であることがより好ましい。
【００５５】
また、感光性樹脂層の現像性の好ましい範囲を達成する観点からも、前記割合Ｍ／Ｐを調整することが好ましい。さらに感光性樹脂層の転写性の観点から、感光性樹脂層の１１０℃における溶融粘度ηを３５０〜１８０，０００Ｐａ・ｓに調整することが好ましい。このとき割合Ｍ／Ｐは０．４以上１．２未満の範囲、好ましくは０．６以上１．０未満の範囲に調整することが好ましい。
【００５６】
上記溶融粘度の好ましい範囲を達成する他の手段として、感光性樹脂層に充填剤を含有させる手段が挙げられる。該充填剤としては、体質顔料又は顔料を挙げることができる。前記体質顔料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開２００３−３０２６３９号公報［００３５］〜［００４１］に記載の体質顔料が好ましい。前記顔料としては着色顔料が挙げられ、前記着色顔料としては、特開２００３−３０２６３９号公報［００４３］に記載の顔料が挙げられる。
【００５７】
（光重合開始剤）
前記光重合開始剤としては、およそ３００ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に約５０以上の分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有しているものが好ましく、例えば、特開平２−４８６６４号公報、特開平１−１５２４４９号公報、及び特開平２−１５３３５３号公報に記載の芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類、ハロゲン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。
【００５８】
上記の中でも、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体との組合せ、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ’−ジ（エトキシカルボニルメチル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン〕、２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ’−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジンなどが好ましい。
【００５９】
上記の光重合開始剤は、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。感光性樹脂層中における光重合開始剤の含有量としては、前記重合性モノマーの量に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１５質量％がより好ましい。
【００６０】
本発明に係る感光性樹脂層には、上記した高分子物質、重合性モノマー、及び光重合開始剤の他、染料、顔料等の着色剤を含有してもよい。好ましい顔料の種類、サイズ等については、例えば特開平１１−１４９００８号公報の記載から適宜選択することができる。顔料等の着色剤を含有させた場合は、着色画素を形成することができる。また、必要に応じて界面活性剤等の添加剤を添加することもできる。
【００６１】
（界面活性剤）
界面活性剤は、前記重合性モノマーや前記高分子物質等と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂層用塗布液を調製したとき、該感光性樹脂層用塗布液表面に配向し易い界面活性剤である。
例えば、特開２００３−３３７４２４号公報［００１５］〜［００２４］、特開２００３−１７７５２２号公報［００１２］〜［００１７］、特開２００３−１７７５２３号公報［００１２］〜［００１５］、特開２００３−１７７５２１号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５１９号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５２０号公報［００１２］〜［００１５］、特開平１１−１３３６００号公報の［００３４］〜［００３５］、特開平６−１６６８４号公報の発明として開示されている界面活性剤が好適なものとして挙げられる。より高い効果を得る為にはフッ素系界面活性剤、及び／又はシリコン系界面活性剤（フッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤）のいずれか、あるいは２種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。
【００６２】
フッ素系界面活性剤を用いる場合、該界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は下記の範囲であることが好ましい。すなわち、前記フッ素含有置換基をＣｎＦ２ｎ＋１又はＣｍＦ２ｍ＋１と表したとき、該ｎ及びｍは、それぞれ１〜１８であることが好ましく、２〜１２であることがより好ましく、４〜８であることが最も好ましい。フッ素原子数が多すぎるとフッ素を含まない通常の溶媒に対する溶解性が落ちる点で好ましくない。フッ素原子数が少なすぎると、ムラの改善効果が得られない点で好ましくない。
【００６３】
特に好ましい界面活性剤として、下記一般式（ａ）で表されるモノマー及び、一般式（ｂ）で表されるモノマーを含み、且つ一般式（ａ）で表されるモノマー／一般式（ｂ）で表されるモノマーのモル比が２０／８０〜６０／４０の共重合体を含有するものが挙げられる。
【００６４】
【化８】
2010066323.tif 000009
【００６５】
一般式（ａ）及び一般式（ｂ）中、Ｒ１、Ｒ２、及びＲ３は各々独立に水素原子またはメチル基を示し、Ｒ４は水素原子または炭素数１〜５のアルキル基を示す。ｎは１〜１８の整数、ｍは２〜１４の整数を示す。ｐ及びｑは各々独立に０〜１８の整数を示すが、ｐ及びｑが同時に０になることはない。
【００６６】
上記界面活性剤〔一般式（ａ）及び、一般式（ｂ）で表されるモノマーを含み、且つ一般式（ａ）／一般式（ｂ）のｍｏｌ比が２０／８０〜６０／４０の共重合体〕を、以下、特定界面活性剤ａとも称する。前記特定界面活性剤ａの具体例は特開２００３−３３７４２４号公報の段落番号［００６８］の表１に記載されている。
【００６７】
一般式（ａ）及び一般式（ｂ）において、Ｒ１、Ｒ２及びＲ４は水素原子が好ましく、Ｒ３はメチル基が好ましい。ｎは１〜１０が好ましく、２が特に好ましい。ｍは２〜１０が好ましく、６が特に好ましい。ｐ及びｑは各々独立に０〜１０であることが好ましい。但し、ｐとｑとが同時に０となることはない。
【００６８】
一般式（ａ）と一般式（ｂ）におけるＲ１等の好ましい組み合わせは、Ｒ１、Ｒ２及びＲ４が水素原子であり、Ｒ３がメチル基であり、ｎが２であり、ｍが６であり、ｐが０〜１０であり、ｑが０〜１０である組み合わせである。但し、ｐとｑとが同時に０となることはない。
【００６９】
また、一般式（ａ）で表されるモノマー／一般式（ｂ）で表されるモノマーのモル比は３０／７０〜６０／４０の共重合体を含有するものであることが好ましい。
【００７０】
前記一般式（ａ）で表されるモノマー及び前記一般式（ｂ）で表されるモノマーは、それぞれ２種以上のモノマーを混合して用いることができる。例えば、特定界面活性剤ａを１種の一般式（ａ）で表されるモノマー及び２種の一般式（ｂ）で表されるモノマーを共重合することで得ることができる。
【００７１】
特に、前記一般式（ｂ）で表されるモノマーは、２種を混合して用いることが好ましい。前記一般式（ｂ）で表される２種のモノマーのうち、一方をモノマーｂ１、他方をモノマーｂ２としたとき、前記モノマーｂ１は、一般式（ｂ）の構成が下記のとおりであるモノマーであることが好ましい。すなわち、Ｒ２は、水素原子が好ましく、Ｒ３はメチル基が好ましく、Ｒ４は水素原子が好ましい。ｐは１〜１０が好ましく、ｑは０が好ましい。
【００７２】
前記モノマーｂ１について、一般式（ｂ）におけるＲ２等の好ましい組み合わせは、Ｒ２及びＲ４が水素原子であり、Ｒ３がメチル基であり、ｐが１〜１０であり、ｑが０である組み合わせである。
【００７３】
一方、前記モノマーｂ２は、一般式（ｂ）の構成が下記のとおりであるモノマーであることが好ましい。すなわち、Ｒ２及びＲ４は水素原子が好ましく、Ｒ３はメチル基が好ましい。ｐは０が好ましく、ｑは１〜１０が好ましい。
【００７４】
前記モノマーｂ２について、一般式（ｂ）におけるＲ２等の好ましい組み合わせは、Ｒ２及びＲ４が水素原子であり、ｐが０であり、ｑが１〜１０である組み合わせである。
【００７５】
前記モノマーｂ１と前記モノマーｂ２との量比、すなわち、モノマーｂ１／モノマーｂ２はｍｏｌ基準で、５／９５〜９５／５であることが好ましい。
【００７６】
前記特定界面活性剤ａに包含される市販の界面活性剤としては、例えば、大日本インキ化学工業（株）製のメガファックＦ−７８０−Ｆが挙げられる。
【００７７】
また、下記一般式（ｃ）で表される界面活性剤も本発明に好ましく用いられる。
【００７８】
【化９】
2010066323.tif 000010
【００７９】
一般式（ｃ）中、Ｒ１〜Ｒ３は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｌ１〜Ｌ３は各々独立に−Ｏ−又は−ＮＨ−を表す。ｎ及びｍは各々独立に１〜１０の整数を表し、ｌは１〜１５の整数を表す。但し、ｍとｎとが同じ整数となることはない。Ｘ、Ｙ及びＺはそれぞれ繰り返し単位の質量比を表し、Ｘ＋Ｙ＝２０〜８０であり、Ｚ＝８０〜２０である。
【００８０】
前記一般式（ｃ）で表される界面活性剤を、以下、特定界面活性剤ｃとも称する。前記特定界面活性剤ｃは、分子中のフッ素原子の割合が多いことから、感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂層用塗布液を調製したとき、該感光性樹脂層用塗布液表面に特定界面活性剤ｃが配向し易い。そのため、特定界面活性剤ｃの含有量にも依るが、該感光性樹脂層用塗布液が乾燥したとき、カバーフィルムと感光性樹脂層とを剥離し易い。
【００８１】
特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）を０．００１７〜０．０１４５とする観点から、一般式（ｃ）におけるＲ１〜Ｒ３はメチル基であることが好ましい。Ｌ１〜Ｌ３は−Ｏ−であることが好ましい。
ｎ及びｍは各々独立に２〜１０であることが好ましく、特に４又は６であることが好ましい。ｌは２〜１２であることが好ましく、特に８であることが好ましい。Ｘ＋Ｙは３０〜６０であることが好ましく、Ｚは７０〜４０であることが好ましい。
【００８２】
一般式（ｃ）において好ましい組み合わせとしては、Ｒ１〜Ｒ３がメチル基であり、Ｌ１〜Ｌ３が−Ｏ−であり、ｎが４であり、ｍが６であり、ｌが８であり、Ｘ＋Ｙが４０〜６０であり、Ｚが６０〜４０である組み合わせである。
【００８３】
前記特定界面活性剤ｃとして表される市販の界面活性剤としては、例えば、大日本インキ化学工業（株）製のメガファックＦ−７８４−Ｆが挙げられる。
【００８４】
また、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３、（新秋田化成（株）製）、フロラードＦＣ４３０、４３１（住友スリーエム（株）製）、Ｆ１７１、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１８９、Ｒ０８（大日本インキ化学工業（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６（旭硝子（株）製）等のフッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーＫＰ−３４１（信越化学工業（株）製）、トロイゾルＳ−３６６（トロイケミカル（株）製）もシリコン系界面活性剤として用いることができる。
【００８５】
前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）を０．００１７〜０．０１４５とする観点から、前記界面活性剤の含有量は感光性樹脂層の全固形分質量に対して、０．０９質量％〜０．２１質量％であることが好ましく、０．１質量％〜０．２質量％であることがより好ましい。
界面活性剤の感光性樹脂層中の含有量が少ないとカバーフィルムと感光性樹脂層とが密着し易く、前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）は大きくなり易い。また、界面活性剤の感光性樹脂層中の含有量が多いとカバーフィルムと感光性樹脂層とは剥離しやすく、前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）は小さくなり易い。
【００８６】
（着色剤）
更に、本発明において、感光性転写材料を用いてカラーフィルタを製造する場合、感光性樹脂層は着色剤を含むことが好ましい。
着色剤としては、公知のもの（染料、顔料）を添加することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂層中に均一に分散されていることが望ましく、そのため粒径が０．１μｍ以下、特には０．０８μｍ以下であることが好ましい。
上記公知の染料ないし顔料としては、例えば、特開２００５−１７７１６号公報の段落番号（００３８）から（００４０）に記載の色材、特開２００５−３６１４４７号公報の段落番号（００６８）から（００７２）に記載の顔料、および特開２００５−１７５２１号公報の段落番号（００８０）から（００８８）に記載の着色剤などが好適に挙げられる。
【００８７】
特に、本発明における感光性樹脂層がテレビ用カラーフィルタの形成に用いられる場合、上記の着色剤の中でも、（ｉ）Ｒ（レッド）の感光性樹脂層においてはＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が、（ｉｉ）Ｇ（グリーン）の感光性樹脂層においてはＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６が、（ｉｉｉ）Ｂ（ブルー）の感光性樹脂層においてはＣ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６が好適なものとして挙げられる。
【００８８】
更に上記顔料は組み合わせて用いてもよい。
本発明において、併用して用いることが好ましい上記記載の顔料の組み合わせは、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４では、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、またはＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との組み合わせが挙げられ、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６では、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、またはＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０との組み合わせが挙げられ、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６では、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３、またはＣ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０との組み合わせが挙げられる。
【００８９】
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（またはビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビヒクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。
前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８項頁に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献の３１０項頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
【００９０】
（微粒子）
感光性樹脂層がスペーサー用途である場合は、微粒子を添加することが好ましい。前記微粒子としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開２００３−３０２６３９号公報［００３５］〜［００４１］に記載の体質顔料が好ましく、中でも良好な現像性、力学強度を有するフォトスペーサーが得られるという観点からコロイダルシリカが好ましい。
【００９１】
前記微粒子の平均粒子径は、高い力学強度を有するフォトスペーサーが得られるという観点から、５〜５０ｎｍであることが好ましく、１０〜４０ｎｍであることがより好ましく、１５〜３０ｎｍであることが特に好ましい。
微粒子の平均粒子径の測定は、以下の方法によって行われる。微粒子の分散物をその分散媒で適宜希釈し、動的光散乱法粒子径測定器を用いて平均粒子径を測定する。
【００９２】
前記微粒子の含有量は、高い力学強度を有するフォトスペーサーが得られるという観点から、本発明における感光性樹脂層中の全固形分に対する質量比率が５〜５０質量％であることが好ましく、１０〜４０質量％であることがより好ましく、１５〜３０質量％であることが特に好ましい。
【００９３】
また、前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）を０．００１７〜０．０１４５とする観点からは、コロイダルシリカの感光性樹脂層中の含有量を定めておくことが好ましい。すなわち、コロイダルシリカの含有量は、感光性樹脂層の全固形分に対して、２５質量％〜３８質量％であることが好ましく、２８質量％〜３６質量％であることがより好ましい。
【００９４】
（その他の添加剤）
−溶媒−
本発明における感光性樹脂層においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
【００９５】
−熱重合防止剤−
本発明における感光性樹脂層は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
【００９６】
−紫外線吸収剤−
本発明における感光性樹脂層には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平５−７２７２４号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−４’−ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジフェニルアクリレート、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピリジン）−セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エステル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルクマリン等が挙げられる。
【００９７】
−その他の添加物−
上記感光性樹脂層や、上記中間層には、前記熱可塑性樹脂層を膨張させる際の露光によって感光性樹脂層まで硬化させないために、露光光を遮断する能力のある物質を添加することが好ましい。
上記露光光を遮断する能力のある物質としては、有機色素などがその代表的な例である。例えば、インドレニン色素等のシアニン色素、アントラキノン系、アズレン系、フタロシアニン系等の色素、ジチオールニッケル錯体等の有機金属化合物等の色素を挙げることができる。感度の点からは、照射光波長における吸光係数の大きなシアニン色素、フタロシアニン系色素などがより好ましい。
尚、上記露光光を遮断する能力のある物質は、感光性樹脂層に含有させる場合の含有量としては、全固形分に対して０．５〜１５質量％が好ましく、１〜１２質量％がより好ましい。また、中間層に含有させる場合には、全固形分に対して０．２〜１０質量％が好ましく、０．４〜８質量％がより好ましい。
【００９８】
また、本発明における感光性樹脂層においては、上記添加剤の他に、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。
【００９９】
＜仮支持体＞
本発明の感光性転写材料は、仮支持体を有する。
前記仮支持体としては、転写の支障とならない程度に前記熱可塑性樹脂層に対する剥離性を有するものが好ましく、化学的・熱的に安定で可撓性を有するものが好ましい。
【０１００】
前記仮支持体の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリ四フッ化エチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、などが挙げられる。
【０１０１】
仮支持体の構造としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。これらは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用してもよい。
【０１０２】
仮支持体には、前記熱可塑性樹脂層との間に良好な剥離性を確保する観点から、グロー放電等の表面処理を行なわないことが好ましく、また、ゼラチン等の下塗層も設けないことが好ましい。仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍ程度が好ましく、２０〜１５０μｍが好ましい。
【０１０３】
前記仮支持体としては、その少なくとも一方の表面に導電性層が設けられているか、或いは仮支持体自体が導電性を有することが好ましい。仮支持体がこのように導電性を有する構成であると、該仮支持体を備えた感光性転写材料を被転写体上に密着させた後に仮支持体を剥離する場合に、該仮支持体や該被転写体等が帯電して周囲のゴミ等を引き寄せることがなく、その結果、該仮支持体を剥離した後においても熱可塑性樹脂層上にゴミ等が付着せず、その後の露光過程で余分な未露光部ができることに伴なうピンホールの形成を効果的に防止することができる。仮支持体上の導電性層又は導電性を有する仮支持体の表面における表面電気抵抗としては、１０１３Ω以下が好ましい。
【０１０４】
前記導電性を有する仮支持体とするには、該仮支持体中に導電性物質を含有させればよい。導電性物質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、金属酸化物、帯電防止剤などが挙げられる。
【０１０５】
前記金属酸化物としては、例えば、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデンなどが挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、金属酸化物の形態としては、結晶微粒子、複合微粒子などが挙げられる。
【０１０６】
前記帯電防止剤としては、例えば、エレクトロストリッパーＡ（花王（株）製）、エレノンＮｏ．１９（第一工業製薬（株）製）等のアルキル燐酸塩系アニオン界面活性剤、アモーゲンＫ（第一工業製薬（株）製）等のベタイン系両性界面活性剤、ニッサンノニオンＬ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル系非イオン界面活性剤、エマルゲン１０６、同１２０、同１４７、同４２０、同２２０、同９０５、同９１０（花王（株）製）やニッサンノニオンＥ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のその他の非イオン系界面活性剤が挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１０７】
前記導電性層としては、公知の導電性物質の中から適宜選択して使用することにより形成することができ、該導電性物質としては、例えば、ＺｎＯ、ＴｉＯ２、ＳｎＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＭｏＯ３などが湿度環境に影響されず安定した導電効果が得られる点で好ましい。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１０８】
前記金属酸化物又は前記導電性物質の体積抵抗値としては、１０７Ω・ｃｍ以下が好ましく、１０５Ω・ｃｍ以下がより好ましい。
前記金属酸化物又は前記導電性物質の粒子径としては、０．０１〜０．７μｍが好ましく、０．０２〜０．５μｍがより好ましい。
【０１０９】
前記導電性層には、バインダーとして、例えば、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等のセルロースエステル、塩化ビニリデン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、炭素数１〜４のアルキルアクリレート、ビニルピロリドン等を含むホモポリマー又はコポリマー、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド、などを使用することができる。
【０１１０】
＜カバーフィルム＞
本発明の感光性転写材料は、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムを有する。
感光性転写材料においては、カバーフィルムは、保管等の際に汚れや損傷等から前記感光性樹脂層を保護する機能を有し、上記の仮支持体と同一又は類似の材料で構成することができる。
カバーフィルムとしては、前記感光性樹脂層から容易に剥離可能なものであればよく、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィンシート、ポリテトラフルオロエチレンシート等が好適に挙げられる。これらの中でも、ポリエチレンシート又はフィルム、ポリプロピレンシート又はフィルムが好ましい。カバーフィルムの厚みとしては、５〜１００μｍ程度が好ましく、１０〜３０μｍがより好ましい。
【０１１１】
＜熱可塑性樹脂層＞
本発明の感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層を有することが好ましい。
前記熱可塑性樹脂層は、転写時にはみ出した熱可塑性樹脂層自身による被転写体の汚染防止を可能とする点からアルカリ可溶性であることが好ましく、後述する感光性樹脂層を被転写体上に転写する際に、被転写体上に存在する凹凸に起因して発生する転写不良を効果的に防止するクッション材としての機能を有し、感光性転写材料を被転写体上に加熱密着させた際の被転写体上の凹凸に対応して変形可能な層であることが好ましい。
【０１１２】
本発明においては、熱可塑性樹脂層の層厚は、２．０μｍ〜５０．０μｍであることが好ましく、３．０μｍ〜３０．０μｍであることがより好ましい。
【０１１３】
前記熱可塑性樹脂層は、少なくともアルカリ可溶な熱可塑性樹脂を用いて構成することができ、必要に応じて適宜他の成分を用いることができる。アルカリ可溶な熱可塑性樹脂は、特に制限はなく適宜選択することができるが、ヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５によるポリマー軟化点測定法）による軟化点が８０℃以下であるものが好ましい。
【０１１４】
熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体とのケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、および（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等との（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のケン化物、等より選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。さらに「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することもできる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、これらの熱可塑性樹脂のうち、軟化点が８０℃以下のものが好ましい。尚、本発明において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸およびメタクリル酸を総称し、その誘導体の場合も同様である。
【０１１５】
上記アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂の中でも、好ましくは重量平均分子量５万〜５０万の範囲（本発明では、この範囲の樹脂を「熱可塑性樹脂Ｃ」ともいう）で、より好ましくは重量平均分子量５万〜５０万（Ｔｇ＝０〜１４０℃）の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量６万〜２０万（Ｔｇ＝３０〜１１０℃）の範囲で選択して使用することができる。これらの樹脂の具体例としては、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５５−３８９６１号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭６１−１３４７５６号、特公昭５９−４４６１５号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５４−９９４１８号、特開昭５４−１３７０８５号、特開昭５７−２０７３２号、特開昭５８−９３０４６号、特開昭５９−９７１３５号、特開昭６０−１５９７４３号、特開昭６０−２４７６３８号、特開昭６０−２０８７４８号、特開昭６０−２１４３５４号、特開昭６０−２３０１３５号、特開昭６０−２５８５３９号、特開昭６１−１６９８２９号、特開昭６１−２１３２１３号、特開昭６３−１４７１５９号、特開昭６３−２１３８３７号、特開昭６３−２６６４４８号、特開昭６４−５５５５１号、特開昭６４−５５５５０号、特開平２−１９１９５５号、特開平２−１９９４０３号、特開平２−１９９４０４号、特開平２−２０８６０２号、特開平５−２４１３４０号の各公報明細書に記載されているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができる。特に好ましいのは、特開昭６３−１４７１５９号明細書に記載されたメタクリル酸／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メチルメタクリレート共重合体である。
【０１１６】
また、上記した種々の樹脂の中から、好ましくは重量平均分子量３千〜３万の範囲（本発明では、この範囲の樹脂を「熱可塑性樹脂Ｄ」ともいう）で、より好ましくは重量平均分子量３千〜３万（Ｔｇ＝３０〜１７０℃）の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量４千〜２万（Ｔｇ＝６０〜１４０℃）の範囲で選択して使用することができる。これらの好ましい具体例は、上記の特許明細書に記載されているものの中から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭５５−３８９６１号、特開平５−２４１３４０号の各公報に記載のスチレン／（メタ）アクリル酸共重合体が挙げられる。
【０１１７】
本発明における熱可塑性樹脂としては、熱可塑性樹脂層に隣接する層または仮支持体との密着性の観点から、前記熱可塑性樹脂Ｃと前記熱可塑性樹脂Ｄとを含むことが好ましく、熱可塑性樹脂Ｃと熱可塑性樹脂Ｄとを含み、かつ前記熱可塑性樹脂Ｃ及び前記熱可塑性樹脂Ｄを含む全樹脂成分のうち４０質量％以上が前記熱可塑性樹脂Ｃであることがより好ましい。
【０１１８】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層には、前記熱可塑性樹脂以外に他の成分として、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的に軟化点が８０℃を超えない範囲内で各種ポリマー、過冷却物質、密着改良剤、界面活性剤、離型剤、可塑剤等を添加することができる。これらによりＴｇの調整も可能である。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物を挙げることができる。アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層中の、可塑剤の量は熱可塑性樹脂に対して２００質量％以下が一般的で、２０〜１００質量％の範囲が好ましい。
【０１１９】
前記界面活性剤は、本発明の前記熱可塑性樹脂と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、前記感光性樹脂層において説明した界面活性剤を挙げることができ、特に前記一般式（ａ）〜一般式（ｃ）で表されるフッ素系の界面活性剤を用いることが好ましい。
【０１２０】
界面活性剤の添加量は，熱可塑性樹脂層に含まれるバインダーと可塑剤の固形分に対し、２８〜４３％が好ましく、より好ましくは３０〜４０％であり、３２〜３８％が特に好ましい。２８％未満であると、クッション性が低下することがあり、４３％を越えると、転写時に熱可塑性樹脂層がはみ出し、ラミネートのヒートロールを汚す場合があり好ましくない。
【０１２１】
＜中間層＞
本発明の感光性転写材料は、中間層を有することが好ましい。
前記中間層は、複数の層の形成時、および形成後の保存時における成分の混合を防止することができ、酸素遮断膜とすることにより、露光時の感度をアップし、生産時の時間負荷を減らすことができ、それにより生産性が向上する。
特に、前記中間層は、前記感光性樹脂層と前記熱可塑性樹脂層との間に設けられる形態が好ましい。
【０１２２】
本発明の感光性転写材料においては、中間層にポリビニルアルコールを含有することが好ましい。
前記中間層にポリビニルアルコールを含有することにより、カバーフィルムを剥離する際に、感光性樹脂層等の剥離残りを含むことがなく、そのためムラの発生を抑制することができる感光性転写材料を得ることができる。
【０１２３】
前記ポリビニルアルコールは、酢酸ビニルを付加重合したのち、得られたポリマーをケン化する等の、従来公知の製法で製造することができる。
【０１２４】
前記ポリビニルアルコールの鹸化度は、８０〜９９％が好ましく、８０％以上では感度低下及び感光層との分離性が悪化し難く、９９％以下は溶解性が悪化し難い点で好ましい。
前記ポリビニルアルコールの重合度は、２５０〜１１００が好ましい。２５０以上では感度及び感光性樹脂層との分離性が悪化し難く、１１００以下であると感光性樹脂層との密着力が低下し難い点で好ましい。
前記ポリビニルアルコールの添加率は、中間層のバインダーの１５〜１００質量％が好ましい。より好ましくは２０〜８０質量％であり、２５〜７０質量％が特に好ましい。
前記添加率が、１５質量％以上であると感光樹脂層との密着が低下し難い点で好ましい。
【０１２５】
中間層には、前記酸素遮断膜として、低い酸素透過性を示し、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解するものを添加することが好ましく、公知のものの中から選択することができる。
これらのうち、好ましくはポリビニルアルコールとの組み合せの観点から、ポリビニルピロリドンが挙げられる。
【０１２６】
＜感光性転写材料の作製方法＞
本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に、感光性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥することにより感光性樹脂層を設け、感光性樹脂層上にカバーフィルムを設けることにより作製することができる。
さらに、中間層や熱可塑性樹脂層を形成するときは次のようにして感光性転写材料を作製することもできる。
すなわち、仮支持体上に熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、形成された熱可塑性樹脂層上にその後中間層用塗布液及び感光性樹脂層用塗布液を同様に順次塗布、乾燥して中間層、感光性樹脂層を設け、感光性樹脂層上にカバーフィルムを設ける。
【０１２７】
尚、本発明の感光性転写材料において、感光性樹脂層の膜厚としては、１．０〜６．０μｍが好ましく、１．０〜５．０μｍがより好ましく、１．０〜４．７μｍが特に好ましい。
また、特に限定されるわけではないが、その他の各層の好ましい膜厚としては、中間層は０．５〜３．０μｍが一般的に好ましい。
【０１２８】
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布方法によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）によって行うことが好ましい。
前記スリット状ノズルとしては、液が吐出する部分にスリット状の吐出口を有するスリット状ノズルによって塗布することが好ましい。具体的には、特開２００４−８９８５１号公報、特開２００４−１７０４３号公報、特開２００３−１７００９８号公報、特開２００３−１６４７８７号公報、特開２００３−１０７６７号公報、特開２００２−７９１６３号公報、特開２００１−３１０１４７号公報等に記載のスリット状ノズル、およびスリットコーターが好適に用いられる。
【０１２９】
（感光性樹脂層用塗布液の乾燥条件）
上述したように、前記特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）を０．００１７〜０．０１４５とする観点から、感光性樹脂層用塗布液の乾燥条件を定めることが好ましい。
例えば、感光性樹脂層用塗布液を高温（好ましくは１１０℃以上、より好ましくは１２０℃以上）の一定温度下で乾燥すると、カバーフィルムと感光性樹脂層との密着性は高まるが、剥離性は低下することがある。反対に、感光性樹脂層用塗布液を低温（好ましくは９０℃以下、より好ましくは８０℃以下）の一定温度下で乾燥すると、カバーフィルムと感光性樹脂層との剥離性は高まるが、密着性は低下することがある。
【０１３０】
本発明においては、感光性樹脂層用塗布液は、低温側から高温へ徐々に昇温して乾燥することが好ましい。
また、乾燥時間は、感光性樹脂層用塗布液の塗布量にもよるが、１〜５分であることが好ましい。
【０１３１】
以上を考慮すると、カバーフィルムと感光性樹脂層との密着と剥離性との両立を図るためには、具体的には、乾燥開始温度を８０℃として、１１０℃以上まで毎分１０〜２０℃で昇温したり、乾燥開始温度を１００℃として、１００℃２分・１２０℃１分で乾燥することが好ましい。
【０１３２】
≪樹脂パターンの形成方法≫
本発明の樹脂パターンの形成方法は、仮支持体と、層表面のモノマー二次イオン強度Ａ及びトータル二次イオン強度Ｂの比（Ａ／Ｂ）が０．００１７〜０．０１４５である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料に、前記カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口を形成する切り口形成工程と、前記カバーフィルムと前記感光性樹脂層との間で剥離して、前記感光性転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、前記カバーフィルムが除去された感光性転写材料と基板とを、前記感光性樹脂層と基板面とが接するようにして貼り合わせて積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体から前記仮支持体を除去する仮支持体除去工程と、を有する。
ここで、感光性転写材料については、前述の本発明の感光性転写材料で述べた事項を適用でき、好ましい範囲も前述の本発明の感光性転写材料と同じである。
樹脂パターンの形成方法を上記本発明の構成とすることにより、カバーフィルムの剥離性及び感光性樹脂層とカバーフィルムとの密着性を共に良好なものとし、良好な樹脂パターンが得られる。
【０１３３】
本発明の樹脂パターンの形成方法で形成される樹脂パターンには特に制限はないが、例えば、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ、無機ＥＬ等）などの表示装置に用いる、カラーフィルタ（着色画素）、ブラックマトリクス、フォトスペーサー、液晶配向制御用突起等が挙げられる。
尚、カラーフィルタにおける着色画素の形成の場合には、基板上に樹脂層を形成し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法などによって得ることができる。
以下、本発明の樹脂パターンの形成方法を、工程の順を追って説明する。
【０１３４】
＜切り口形成工程＞
本発明における切り口形成工程は、感光性転写材料に、前記カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口を形成する工程である。
前記切り口は、特に限定されず、公知の感光性転写材料の製造装置に設けられたロータリーカッター等を用いることにより作製することができる。
前記仮支持体の一部に至るまでとは、仮支持体の一部が切り込まれるものの、切断されていない状況を意味する。
切り口形成工程では、カバーフィルム、感光性樹脂層、（存在する場合には中間層、熱可塑性樹脂層）が切断され、更に、仮支持体の深さ方向に例えば約４０μｍまで切り込まれる。
切り口の断面の形（切り口を、該切り口の長さ方向軸に直交する平面で切ったときの該切り口の形）は、Ｖ字型の溝のように設けることが好ましい。
切り口の平面の形（感光性転写材料の法線方向カバーフィルム側から見たときの切り口の形）は、カバーフィルムの除去すべき領域を囲む形に設けることが好ましい。
前記切り口を設けることにより、カバーフィルム、感光性樹脂層、（存在する場合には中間層、熱可塑性樹脂層）を確実に切断することができる。
【０１３５】
＜カバーフィルム除去工程＞
本発明におけるカバーフィルム除去工程は、カバーフィルムと感光性樹脂層との間で剥離して、感光性転写材料からカバーフィルムを除去する工程である。
上記で切断されたカバーフィルム上に、前記製造装置の粘着層を有する粘着ローラ等を貼りつけて、カバーフィルムと感光性樹脂層との間で接着したカバーフィルムを剥離することにより、カバーフィルムを除去することができる。
上記カバーフィルム切断・除去工程は、具体的に、特開２００７−２６０８６５号公報、特開２００７−０８４２００号公報記載の方法を用いるのが好ましい。
【０１３６】
＜積層体形成工程＞
本発明における積層体形成工程は、前記カバーフィルムが除去された感光性転写材料と基板とを、前記感光性樹脂層と基板面とが接するようにして貼り合わせて積層体を形成する工程である。
ここで、得られた積層体の構造の例としては、「仮支持体／感光性樹脂層／基板」の構造が挙げられる。中間層及び熱可塑性樹脂層を有する感光性転写材料を用いた場合の例としては、「仮支持体／熱可塑性樹脂層／中間層／感光性樹脂層／基板」の構造が挙げられる。
但し、上記の各層間の少なくとも１箇所に、その他の層が存在していてもよい。
【０１３７】
前記カバーフィルムが除去された感光性転写材料と基板との貼り合わせ（以下、「ラミネート」ともいう）は、例えば、加熱及び／又は加圧したローラー又は平板で、圧着又は加熱圧着することにより行うことができる。
具体的には、特開平７−１１０５７５号公報、特開平１１−７７９４２号公報、特開２０００−３３４８３６号公報、特開２００２−１４８７９４号公報に記載のラミネーターおよびラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平７−１１０５７５号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
【０１３８】
＜基板＞
本発明における基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性転写材料との密着を良好にすることができる。
該カップリング処理としては、特開２０００−３９０３３号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の厚みとしては、７００〜１２００μｍが一般的に好ましい。
また、本発明における基板としては、上記ガラス板や上記プラスチックフィルム上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が配置されたＴＦＴ基板を用い、ＴＦＴ基板上に樹脂パターンを形成してもよい。例えば、本発明の樹脂パターンの形成方法を用いてＴＦＴ基板上にカラーフィルタ（着色画素）を形成することで、カラーフィルタ・オン・アレイ（ＣＯＡ）基板を作製することができる。
また、本発明における基板としては、既に他の樹脂パターンが形成されている基板を用いてもよい。例えば、既に他の樹脂パターンとしてカラーフィルタ（着色画素）が形成されているカラーフィルタ基板上に、本発明の樹脂パターンの形成方法を用いてフォトスペーサーや配向制御用突起を形成してもよい。
【０１３９】
＜仮支持体剥離工程＞
本発明における仮支持体剥離工程は、前記積層体から前記仮支持体を除去する工程である。
具体的には、基板面と前記感光性転写材料の感光性樹脂層とを接するようにラミネートして積層体を得た後（前記積層体形成工程）、仮支持体と感光性樹脂層との界面で剥離して、該積層体から仮支持体を除去する工程である。
仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有する場合、すなわち、仮支持体に隣接する層が熱可塑性樹脂層である場合には、仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離して、該積層体から仮支持体を除去する。
【０１４０】
前記仮支持体は、上記のカバーフィルムの剥離工程と同様に、前記製造装置の粘着層を有する粘着ローラ等を貼りつけて、仮支持体を、感光性樹脂層との間で接着した仮支持体を剥離することにより除去することができる。
上記仮支持体の剥離は、具体的に、仮支持体を連続巻取式に剥離する連続剥離或いは枚葉式に分離された基板より突出する仮支持体の端部を把持して剥離することもできる。
上記仮支持体の剥離は、具体的に、連続剥離は特開２００６−２９７８７９号公報、枚葉剥離は特開２００７−３２０６７８号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
【０１４１】
＜露光・現像工程＞
本発明における樹脂パターンの形成方法は、樹脂パターンのマスク再現性、現像性、及びベーク後の力学強度の観点から、前記仮支持体除去工程後の前記積層体の前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、を有することが好ましい。
【０１４２】
前記露光工程としては、上述の方法により仮支持体と感光性樹脂層（仮支持体に隣接する層が熱可塑性樹脂層である場合は、熱可塑性樹脂層）を剥離した後、基板側に残った感光性樹脂層や中間層等の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、中間層等を介してマスク上方から露光する形態が好適である。
前記露光の光源としては、樹脂層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。
具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常５〜２００ｍＪ／ｃｍ２程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ２程度である。
【０１４３】
前記現像工程としては、前記露光工程で露光された前記感光性樹脂層を現像液により現像する形態が好適である。これにより、基板上に樹脂パターンを得ることができる。
前記現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。
尚、現像液は樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は０．１質量％〜３０質量％が好ましい。
また、上記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１質量％〜１０質量％が好ましい。
【０１４４】
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディップ現像等、公知の方法を用いることができる。
ここで、上記シャワー現像について説明すると、露光後の樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、現像の前に樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
洗浄液としては公知のものを使用できるが、（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ１（富士フイルム（株）製）」、或いは、炭酸ナトリウム・フェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ２（富士フイルム（株）製）」）が好ましい。
現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。
【０１４５】
＜その他の工程他＞
本発明の樹脂パターンの形成方法は、ポスト露光工程、ベーク工程等、上記以外のその他の工程を有していてもよい。
前記ポスト露光は現像後に行う露光である。例えば、該樹脂層（パターン構造物）の側から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ2程度の露光量にて露光される。両面から実施してもよく、また１００〜８００ｍＪ／ｃｍ2の範囲で選択してもよい。ポスト露光の実施により、その後のベークでの重合効果が高まる他、ポスト露光の量により、画素のベーク後の断面形状を調整することができる。
【０１４６】
現像後又はポスト露光後にベーク（ポストベーク）を行うことで、モノマー又はオリゴマーを反応させてより硬い膜とすることができる。
ベークの条件としては特に限定はないが、２００〜２４０℃で３０〜１８０分である条件が好適である。これらの温度と時間は、ベークにより黄ばみの発生が少なく、かつ、生産タクトを落さないよう、高めの温度で、かつ短めの時間に設定される。
【０１４７】
パターン露光、現像等のパターニング工程の具体例としては、特開２００６−６４９２１号公報の段落番号［００７１］〜［００７７］に記載の形成例や、特開２００６−２３６９６号公報の段落番号［００４０］〜［００５１］に記載の工程などが、本発明においても好適な例として挙げられる。
【０１４８】
本発明において、樹脂パターンとして、フォトスペーサーを形成する場合、該フォトスペーサーは、ブラックマトリクス及び着色パターン（着色画素）を含むカラーフィルタを形成した後に形成することができる。
前記ブラックマトリクス及び着色パターンとフォトスペーサーとは、感光性樹脂組成物を塗布する塗布法と感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を有する転写材料を用いる転写法と、を任意に組合せて形成することが可能である。
前記ブラックマトリクス及び着色パターン並びに前記フォトスペーサーはそれぞれ感光性樹脂組成物から形成でき、具体的には、例えば、基板に液体の前記感光性樹脂組成物を直接塗布することにより感光性樹脂組成物層を形成した後に、露光・現像を行い、前記ブラックマトリクス及び着色パターンをパターン状に形成し、（更に必要に応じ、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等の透明電極膜を形成し）、その後、別の液体の前記感光性樹脂組成物を前記基板とは異なる別の基板（仮支持体）上に塗布して感光性樹脂組成物層を形成することにより作製された転写材料を用い、この転写材料を前記ブラックマトリクス及び着色パターンが形成された前記基板に密着させて感光性樹脂組成物層を転写した後に、露光・現像を行うことによりフォトスペーサーをパターン状に形成することができる。
このようにして、フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタを作製することができる。
【０１４９】
また、配向制御用突起もフォトスペーサーと同様の方法により作製できる。
カラーフィルタにおける着色画素の形成の場合には、本発明の樹脂パターンの形成方法により、樹脂パターンである着色画素を形成し、この工程を色の数だけ繰り返す方法などによって得ることができる。
【０１５０】
≪樹脂パターン付き基板≫
本発明の樹脂パターン付き基板は、前述の本発明の樹脂パターンの形成方法によって形成された樹脂パターンを有する。
このため、表示装置に用いた際、バーフィルムと感光性樹脂層との剥離不良や密着不良に起因する表示ムラの発生が抑制される。
本発明の樹脂パターン付き基板は、着色パターン付き基板（カラーフィルタ）、フォトスペーサー付き基板、ブラックマトリクス付き基板、液晶配向制御用突起付き基板等の表示装置用基板（前述のＣＯＡ基板を含む）として、好適に用いることができる。
【０１５１】
≪表示素子≫
前記本発明の樹脂パターン付き基板を設けて表示素子を構成することができる。
表示素子の１つとして、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体（本発明の表示装置用基板を含む。）間に液晶層と液晶駆動手段（単純マトリクス駆動方式及びアクティブマトリクス駆動方式を含む。）を少なくとも備えたものが挙げられる。
【０１５２】
この場合、本発明の樹脂パターン付き基板は、複数のＲＧＢ画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリクスで離画されているカラーフィルタ基板として構成できる。このカラーフィルタ基板には、高さ均一で変形回復性に優れたフォトスペーサーが設けられるため、該カラーフィルタ基板を備えた表示素子は、カラーフィルタ基板と対向基板との間にセルギャップムラ（セル厚変動）の発生が抑えられ、色ムラ等の表示ムラの発生を効果的に防止することができる。これにより、作製された表示素子は鮮やかな画像を表示できる。
【０１５３】
また、表示素子の別の態様として、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体（本発明の表示装置用基板を含む。）間に液晶層と液晶駆動手段とを少なくとも備え、前記液晶駆動手段がアクティブ素子（例えばＴＦＴ）を有し、かつ一対の基板間が、高さが均一で変形回復性に優れたフォトスペーサーにより所定幅に規制して構成されたものである。
この場合も、本発明の表示装置用基板は、複数のＲＧＢ画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリクスで離画されたカラーフィルタ基板として構成されている。
【０１５４】
本発明において使用可能な液晶としては、ネマチック液晶、コレステリック液晶、スメクチック液晶、強誘電液晶が挙げられる。
また、前記カラーフィルタ基板の前記画素群は、互いに異なる色を呈する２色の画素からなるものでも、３色の画素、４色以上の画素からなるものであってもよい。例えば３色の場合、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３つの色相で構成される。ＲＧＢ３色の画素群を配置する場合には、モザイク型、トライアングル型等の配置が好ましく、４色以上の画素群を配置する場合にはどのような配置であってもよい。カラーフィルタ基板の作製は、例えば２色以上の画素群を形成した後既述のようにブラックマトリクスを形成してもよいし、逆にブラックマトリクスを形成した後に画素群を形成するようにしてもよい。ＲＧＢ画素の形成については、基板上にＲＧＢに着色された感光性樹脂組成物を直接塗布乾燥しフォトリソグラフィー法により画素を形成する方法と、支持体上に少なくともＲＧＢの着色剤を含む感光性樹脂組成物層を設けた感光性樹脂転写材料を用いて基板上に感光性樹脂組成物層を転写しフォトリソグラフィー法により画素を形成する方法、ＲＧＢのインクを用いたインクジェット法などにより作製することができる。特開２００４−３４７８３１号公報等を参考にすることができる。
【０１５５】
≪表示装置≫
本発明の表示装置は、本発明の樹脂パターン付き基板を備えるものである。
このため、剥離不良に起因する表示ムラの発生が抑制され、表示品質に優れている。
表示装置としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。
【０１５６】
表示装置の中でも液晶表示装置が好ましい。
液晶表示装置は、例えば、互いに向き合うように対向配置された一対の基板間をフォトスペーサーで所定幅に規制し、規制された間隙に液晶材料を封入（封入部位を液晶層と称する。）して構成されており、液晶層の厚さ（セル厚）が所望の均一厚に保持されるようになっている。
【０１５７】
液晶表示装置における液晶表示モードとしては、ＳＴＮ型、ＴＮ型、ＧＨ型、ＥＣＢ型、強誘電性液晶、反強誘電性液晶、ＶＡ型、ＩＰＳ型、ＯＣＢ型、ＡＳＭ型、その他種々のものが好適に挙げられる。中でも、本発明の液晶表示装置においては、最も効果的に本発明の効果を奏する観点から、液晶セルのセル厚の変動により表示ムラを起こし易い表示モードが望ましく、セル厚が２〜４μｍであるＶＡ型表示モード、ＩＰＳ型表示モード、ＯＣＢ型表示モードに構成されるのが好ましい。
【０１５８】
液晶表示装置の基本的な構成態様としては、（ａ）薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等の駆動素子と画素電極（導電層）とが配列形成された駆動側基板と、対向電極（導電層）を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、（ｂ）駆動基板と、対向電極（導電層）を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等が挙げられ、本発明の液晶表示装置は、小型モバイル機器や大型ディスプレイ等、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。
【０１５９】
液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、側工業調査会、１９９４年発行）」に記載がある。液晶表示装置には、本発明の表示装置用基板を備える以外に特に制限はなく、例えば前記「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載された種々の方式の液晶表示装置に構成することができる。中でも特に、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置を構成するのに有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については、例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）、１９９６年発行）」に記載がある。
【０１６０】
本発明の液晶表示装置は、既述の本発明の樹脂パターン付き基板を備える以外は、電極基板、偏光フイルム、位相差フイルム、バックライト、視野角補償フイルム、反射防止フイルム、光拡散フイルム、防眩フイルムなどの様々な部材を用いて一般的に構成できる。これら部材については、例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島健太郎、（株）シーエムシー、１９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表良吉、（株）富士キメラ総研、２００３等発行）」に記載されている。
【実施例】
【０１６１】
以下、本発明を、実施例を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、以下において「部」、「％」および「分子量」は、それぞれ「質量部」、「質量％」および「重量平均分子量」を表す。
【０１６２】
〔実施例１〕
≪感光性転写材料（スペーサー用感光性転写フイルム）の作製≫
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）上に、下記処方Ａ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、１００℃で２分間乾燥させた後さらに１２０℃で１分間乾燥させ、乾燥層厚１６．５μｍの熱可塑性樹脂層を形成した。ここで、乾燥条件における温度「１００℃」及び「１２０℃」は、いずれも乾燥風の温度である。以下の乾燥条件における温度も同様である。
【０１６３】
＜熱可塑性樹脂層用塗布液の処方Ａ１＞
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（＝５５／１１．７／４．５／２８．８［ｍｏｌ比］、重量平均分子量９０，０００）                                                …  ５８．４部
・スチレン／アクリル酸共重合体（＝６３／３７［ｍｏｌ比］、重量平均分子量８，０００）                                                              …    １３６部
・２，２−ビス〔４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル〕プロパン
…  ９０．７部
・下記界面活性剤１                                              …    ５．４部
・メタノール                                                    …    １１１部
・１−メトキシ−２−プロパノール                                …  ６３．４部
・メチルエチルケトン                                            …    ５３４部
【０１６４】
＊界面活性剤１
・下記構造物１                                                  …    ３０％
・メチルエチルケトン                                            …    ７０％
【０１６５】
【化１０】
2010066323.tif 000011
【０１６６】
次に、形成した熱可塑性樹脂層上に、下記処方Ｂからなる中間層用塗布液をし、８０℃で１分間乾燥させた後さらに１２０℃１分乾燥させて、乾燥層厚１．６μｍの中間層を積層した。
【０１６７】
＜中間層用塗布液の処方Ｂ＞
・ポリビニルアルコール（ＰＶＡ−２０５、鹸化率８８％、（株）クラレ製）
…  ３．２２部
・ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ  Ｋ−３０、アイエスピー・ジャパン株式会社製）
…  １．４９部
・メタノール                                                    …  ４２．９部
・蒸留水                                                        …  ５２．４部
【０１６８】
次に、形成した中間層上に更に、下記処方１からなる感光性樹脂層用塗布液を塗布した後それぞれ１００℃で２分間乾燥させた後、更に、１２０℃で１分間乾燥させて（乾燥条件Ａ）、乾燥層厚３．２μｍの感光性樹脂層を積層した。
【０１６９】
＜感光性樹脂層用塗布液の処方１＞
・１−メトキシ−２−プロピルアセテート                          …    ４６８部
・コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルイソブチルケトン：７０部、日産化学工業社製ＭＩＢＫｓｔ）                              …    ２０９部
・ソルスパース２００００（アシビア製）                          …    ４．２部
・前記構造式Ｐ−２５のポリマー４５％溶液（重量平均分子量＝３．５万、固形分４５％、１−メトキシ−２−プロピルアセテート１５％、１−メトキシ−２−プロパノール４０％）                                                            …    １６０部
・ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６％、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４％）                                …    ８６．０部
・２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン            …    ２．１４部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル                            …  ０．０２４部
・ビクトリアピュアブルーＮＡＰＳ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）の５％溶液
（固形分５％、メタノール２６％、メチルエチルケトン６９％）      …  ７０．０部
・メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）  …  ０．７５部
【０１７０】
以上のようにして、ＰＥＴ仮支持体／熱可塑性樹脂層／中間層／感光性樹脂層の積層構造に構成した後、感光性樹脂層の表面に更に、カバーフィルムとして厚み１２μｍのポリプロピレン製フィルムを加熱・加圧して貼り付け、感光性転写材料として、スペーサ用感光性転写フイルム（１）を得た。
【０１７１】
≪カラーフィルタ基板の作製≫
＜１．感光性濃色組成物の調製＞
−カーボンブラック分散液（Ｋ−１）の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を調製した。
・カーボンブラック（デグッサ社製  カラーブラックＦＷ２）        …  ２６．７部
・分散剤（楠本化成社製ディスパロンＤＡ７５００  酸価２６  アミン価４０）
…    ３．３部
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８［ｍｏｌ比］）共重合体（分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０質量％溶液）                                                              …      １０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート              …      ６０部
【０１７２】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液（Ｋ−１）を得た。
【０１７３】
得られたカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を用いて、下記表１の処方で感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を調製した。表１中の数値は質量比を示す。
【０１７４】
【表１】
2010066323.tif 000012
【０１７５】
表１中の各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液Ｃ−２：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝８５／１５ｍｏｌ比）共重合体（Ｍｗ１００００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０ｗｔ％溶液）
・ＵＶ硬化性樹脂Ｃ−３：商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業（株）製〔側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）〕
・重合性化合物Ｃ−５：商品名  ＴＯ−１３８２  東亞合成（株）製
（ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの末端ＯＨ基の一部をＣＯＯＨ基に置換した５官能のアクリロイル基を有するモノマーが主成分。）
・開始剤Ｃ−７：商品名「ＯＸＥ−０２」  チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤Ｃ−８：商品名「メガファックＲ３０」  大日本インキ化学工業（株）製
・溶剤：ＰＧＭＥＡ＝プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＥＥＰ＝３−エトキシエチルプロピオネート
【０１７６】
＜２．塗布によるブラックマトリクスの形成＞
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物ＣＫ−１を、洗浄したガラス基板（コーニング社製ミレニアム  ０．７ｍｍ厚）にスリットコーター（型番ＨＣ８０００、平田機工株式会社製）を用いて、ポストベーク後の膜厚が１．２μｍとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０１７７】
−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、９０℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機（型番ＭＰＡ−８８００、キヤノン株式会社社製）を用いて、１００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。
【０１７８】
−現像工程−
その後、傾斜搬送型の現像装置（型番ＳＫ-２２００Ｇ、大日本スクリーン製造株式会社製、傾斜角５°）で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２５℃）でシャワー圧を０．２０ＭＰａに設定して、６０秒現像し、純水で洗浄し、現像後のブラックマトリクスを得た。
【０１７９】
−ベーク工程−
次いで２２０℃のクリーンオーブンで４０分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が９０μｍ×２００μｍで、厚みが１．２μｍで、線幅が約２５μｍの格子状パターンであるブラックマトリクスを備えたブラックマトリクス基板を形成した。
Ｘ-Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ(Ｖ)（サカタインクスエンジニアリング（株）製）を用いて、
出来上がったブラックマトリクスの光学濃度（ＯＤ）を測定したところ、４．２であった。
【０１８０】
＜３．感光性着色組成物の調製＞
−  ３−１．赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１の調製−
下記処方で赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）を調製した。
・Pigment Red 254（ＳＥＭ観察での平均粒子径４３ｎｍ）            …    １１部
・Pigment Red 177（ＳＥＭ観察での平均粒子径５８ｎｍ）            …      ４部
・下記分散樹脂Ａ−３の溶液                                       …      ５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製）
（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの３０％溶液）  …  ３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（＝７５／２５［ｍｏｌ比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））                            …    ９部
・溶剤Ｂ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      …    ６８部
【０１８１】
上記各成分を、３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いてビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて４時間微分散処理を施し赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）を得た。得られた赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）中の分散粒子をＳＥＭで観察したところ平均粒子径は３６ｎｍであった。
【０１８２】
得られた赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）を用いて、下記処方で赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を調製した。
・赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）                                    …  １００部
・エポキシ樹脂：（商品名ＥＨＰＥ３１５０  ダイセル化学工業社製    …      ２部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート    …    ８部
・重合開始剤：４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノ−フェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン      …      １部
・重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−ｍｏｌフォリノフェニル）−ブタノン−１                                                    …    １部
・重合開始剤：ジエチルチオキサントン                            …    ０．５部
・重合禁止剤：ｐ−メトキシフェノール                            …０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ３０  大日本インキ化学工業社製）
…  ０．０１部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：テトロニックＲ１５０  ＡＤＥＫＡ社製）
…    ０．２部
・溶剤：プロピレングリコールｎ−ブチルエーテルアセテート        …      ３０部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        …    １００部
上記成分を混合撹拌し、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を得た。
【０１８３】
−  ３−２．緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１の調製−
下記処方で緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を調製した。
・Pigment Green 36（ＳＥＭ観察での平均粒子径４７ｎｍ）          …      １１部
・Pigment Yellow150（ＳＥＭ観察での平均粒子径３９ｎｍ）         …        ７部
・下記分散樹脂Ａ−３の溶液                                      …        ５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製  ３０％溶液）
…        ３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（＝８５／１５［ｍｏｌ比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））                            …      １１部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        …      ７０部
【０１８４】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を得た。得られた緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）中の分散粒子をＳＥＭで観察したところ平均粒子径は３２ｎｍであった。
【０１８５】
得られた緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を用いて、下記処方で緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１を調製した。
・緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）                                  …    １００部
・エポキシ樹脂：（商品名ＥＨＰＥ３１５０  ダイセル化学工業社製）  …      ２部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート  …      ８部
・重合性化合物：ペンタエリスリトールのテトラ（エトキシアクリレート）…    ２部
・重合開始剤：１，３−ビストリハロメチル−５−ベンゾオキソラントリアジン
…      ２部
・重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−ｍｏｌフォリノフェニル）−ブタノン−１                                                    …      １部
・重合開始剤：ジエチルチオキサントン                              …  ０．５部
・重合禁止剤：ｐ−メトキシフェノール                          …  ０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ０８  大日本インキ化学工業社製）
…    ０．０２部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：エマルゲンＡ−６０  花王社製）  …    ０．５部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        …    １２０部
・溶剤：プロピレングリコールｎ−プロピルエーテルアセテート      …      ３０部
上記組成を混合撹拌し、緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１を得た。
【０１８６】
−  ３−３．青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１の調製−
下記処方で青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を調製した。
・Pigment Blue 15:6（ＳＥＭ観察での平均粒子径５５ｎｍ）          …  １４部
・Pigment Violet 23（ＳＥＭ観察での平均粒子径６１ｎｍ）          …    １部
・下記分散樹脂Ａ−３の溶液                                        …    ５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製  ３０％溶液）
…    ３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８０／２０［ｍｏｌ比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））              …    ４部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          …  ７３部
【０１８７】
上記各成分を、３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いてビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて４時間微分散処理を施し、青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を得た。得られた青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）中の分散粒子をＳＥＭで観察したところ平均粒子径は３９ｎｍであった。
【０１８８】
得られた青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を用いて、下記処方で青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１を調製した。
・青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）                                  …  １００部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（＝８０／２０［ｍｏｌ比］共重合体、分子量３０，０００）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））                          …      ７部
・エポキシ樹脂：（商品名セロキサイド２０８０  ダイセル化学工業社製）…  ２部
・ＵＶ硬化性樹脂：（商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業社製）
（側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）  …  ４部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート    …１２部
・重合開始剤：１−（９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾル−３−イル）−１−（ｏ−アセチルオキシム）エタノン                    …  ３部
・重合禁止剤：  ｐ−メトキシフェノール                      …  ０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ０８  大日本インキ化学工業社製）
…    ０．０２部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：エマルゲンＡ−６０  花王社製）  …  １．０部
・溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル                          …    ２０部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        …  １５０部
上記成分を混合撹拌し、青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１を得た。
【０１８９】
＜４．分散樹脂Ａ−３の合成＞
（１．連鎖移動剤Ａ３の合成）
ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）〔ＤＰＭＰ；堺化学工業（株）製〕（下記化合物（３３））７．８３部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物（ｍ−６）４．５５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル２８．９０部に溶解させ、窒素気流下、７０℃に加熱した。これに、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）〔Ｖ−６５、和光純薬工業（株）製〕０．０４部を加えて３時間加熱した。更に、Ｖ−６５を０．０４部加え、窒素気流下、７０℃で３時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物（連鎖移動剤Ａ３）の３０％溶液を得た。
【０１９０】
【化１１】
2010066323.tif 000013
【０１９１】
（２．分散樹脂Ａ―３の合成）
前記のようにして得られた連鎖移動剤Ａ３の３０％溶液４．９９部、メタクリル酸メチル１９．０部、及びメタクリル酸１．０部、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．６６部の混合溶液を、窒素気流下、９０℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔Ｖ−６０１、和光純薬工業（株）製〕０．１３９部、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．３６部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９．４０部の混合溶液を２．５時間かけて滴下した。滴下終了してから、９０℃で２．５時間反応させた後、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル０．０４６部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．００部の混合溶液を投入し、更に２時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル１．５２部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１．７部を加え、室温まで冷却することで分散樹脂Ａ−３（ポリスチレン換算の重量平均分子量２４０００）の溶液（分散樹脂３０質量％、プロピレングリコールモノメチルエーテル２１質量％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４９質量％）を得た。
この分散樹脂Ａ−３の酸価は４８ｍｇ／ｇであった。分散樹脂Ａ−３の構造を以下に示す。
【０１９２】
【化１２】
2010066323.tif 000014
【０１９３】
＜カラーフィルタの作製＞
−感光性着色組成物層形成工程−
得られた赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、前記ブラックマトリクス基板のブラックマトリクス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層の層厚が約２．１μｍとなるようにスリットとブラックマトリクス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０１９４】
−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機（型番ＭＰＡ−８８００、キヤノン株式会社製）を用いて、９０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。
また、露光パターンと、ブラックマトリクスとの重なり（露光重なり量）が９．０μｍとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。
【０１９５】
−着色層現像工程、着色層ベーク工程−
その後、傾斜搬送型の現像装置（型番ＳＫ-２２００Ｇ、大日本スクリーン製造株式会
社製、傾斜角５°）で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２５℃）でシャワー圧を０．２ＭＰａに設定して、４５秒現像し、純水で洗浄した。
次いで２２０℃のクリーンオーブンで３０分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
【０１９６】
次いで、上記感光性着色組成物層形成工程、着色層プリベーク工程、着色層露光工程、着色層現像工程、及び着色層ベーク工程において、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１に代えた他は同様にして、緑色画素を形成した。さらにその後、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１に代えた他は同様にして、青色画素を形成してカラーフィルタを得た。
【０１９７】
上記より得たカラーフィルタのＲ画素、Ｇ画素、及びＢ画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）透明電極を、スパッタリングにより形成した。
【０１９８】
−フォトスペーサーの作製−
黒色のポリエチレンフィルム及び透明のポリエチレンフィルムを剥がして、スペーサー用感光性転写フイルム（１）を取り出し、カバーフィルム上からロータリーカッターを用いて、該カバーフィルム表面から仮支持体の一部に至るまでの深さの切り口をつけた。
次に、テープを用いてカバーフィルムと感光性樹脂層との界面で剥離し、カバーフィルムを除去した。
この時のカバーフィルムのカット性及び剥離性は良好であった。
【０１９９】
露出した感光性樹脂層の表面を、上記で作製したＩＴＯ膜がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のＩＴＯ膜上に重ね合わせ、ラミネーターＬａｍｉｃＩＩ型〔（株）日立インダストリイズ製〕を用いて、線圧１００Ｎ／ｃｍ、１３０℃の加圧・加熱条件下で搬送速度２ｍ／分にて貼り合わせた。
【０２００】
別途、カバーフィルムを剥離後、以下の条件で感光性樹脂層表面モノマー二次イオン強度/トータル二次イオン強度を測定した。
その後、ＰＥＴ仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去し、感光性樹脂層を熱可塑性樹脂層及び中間層と共に転写した（層形成工程）。
【０２０１】
次に、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）を用いて、マスク（画像パターンを有する石英露光マスク）と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の中間層に接する側の表面との間の距離を１００μｍとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量１５０ｍＪ／ｃｍ２にてプロキシミティー露光した。
【０２０２】
次に、トリエタノールアミン系現像液（トリエタノールアミン３０％含有、商品名：Ｔ−ＰＤ２（富士フイルム（株）製）を純水で１０倍（Ｔ−ＰＤ２を１部と純水９部の割合で混合）に希釈した液）を３０℃で５０秒間、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
引き続き、炭酸Ｎａ系現像液（０．３８ｍｏｌ／リットルの炭酸水素ナトリウム、０．４７ｍｏｌ／リットルの炭酸ナトリウム、５％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有；商品名：Ｔ−ＣＤ１（富士フイルム（株）製）を純水で１０倍に希釈した液）を用いて２９℃で５０秒間、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し、スペーサーのパターン像を得た。
引き続き、洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有；商品名：Ｔ−ＳＤ３（富士フイルム（株）製））を純水で１０倍に希釈した液を用いて３３℃で２０秒間、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、所望のスペーサーパターンを得た。
【０２０３】
次に、スペーサーパターンが設けられたカラーフィルタ基板を、２３０℃下で６０分間加熱処理を行ない（熱処理工程）、フォトスペーサーを作製した。
以上により、フォトスペーサー付きカラーフィルタ基板を得た。
得られたスペーサーパターンは、直径２６μｍ、平均高さ３．０μｍの円柱状であった。尚、平均高さは、得られたスペーサー１０００個のそれぞれについて、三次元表面構造解析顕微鏡（メーカー：ＺＹＧＯ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、型式：Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ５０２２）を用い、ＩＴＯの透明電極形成面からスペーサーの最も高い位置までの高さを測定し、１０００個の値の算術平均を算出することにより求めた。
【０２０４】
＜液晶表示装置の作製＞
別途、対向基板として、ガラス基板上にＴＦＴが配設されたＴＦＴ基板を用意し、上記で得られたフォトスペーサー付きカラーフィルタ基板の透明電極形成面側及び対向基板のＴＦＴ形成面側に、それぞれＰＶＡモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
【０２０５】
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＰＶＡモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、（株）サンリッツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付けた。
【０２０６】
次いで、赤色（Ｒ）ＬＥＤとしてＦＲ１１１２Ｈ（スタンレー電気（株）製のチップ型ＬＥＤ）、緑色（Ｇ）ＬＥＤとしてＤＧ１１１２Ｈ（スタンレー電気（株）製のチップ型ＬＥＤ）、青色（Ｂ）ＬＥＤとしてＤＢ１１１２Ｈ（スタンレー電気（株）製のチップ型ＬＥＤ）を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
【０２０７】
〔実施例２〕
実施例１において、感光性樹脂層用塗布液の処方１に用いた大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８０−Ｆの添加量を０．７５部から１．１３部に変更した以外は実施例１と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２０８】
〔実施例３〕
実施例１において、感光性樹脂層用塗布液の処方１に用いた大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８０−Ｆを大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８４−Ｆに変更した以外は、実施例１と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
なお、大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８４−Ｆは、前記一般式（ｃ）において、ｎ＝６、ｍ＝４、ｌ＝８、Ｒ１〜Ｒ３がいずれも−ＣＨ３であり、Ｌ１〜Ｌ３がいずれも−Ｏ−であり、Ｘ：Ｙ：Ｚが質量基準で２５：２５：５０である界面活性剤であり、Ｍｗ＝１５，０００である。
【０２０９】
〔実施例４〕
実施例２において、感光性樹脂層用塗布液の処方１に用いた大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８０−Ｆを界面活性剤２に変更した以外は、実施例２と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
ここで、前記界面活性剤２は、前記一般式（ｃ）において、ｎ＝６、ｍ＝４、ｌ＝８、Ｒ１〜Ｒ３がいずれも−ＣＨ３であり、Ｌ１〜Ｌ３がいずれも−Ｏ−であり、Ｘ：Ｙ：Ｚが質量基準で２０：２０：６０である界面活性剤であり、Ｍｗ＝１５０００である。
【０２１０】
〔実施例５〕
実施例２において、感光性樹脂層用塗布液の処方１に用いた大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８０−Ｆを大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８４−Ｆに変更した以外は、実施例２と同様に行ない、表２に示す結果を得た。施
【０２１１】
〔実施例６〜実施例８〕
実施例５において、スペーサ用感光性転写フイルム（１）の感光性樹脂層の厚みを３．２μｍからそれぞれ２．７μｍ（実施例６）、４．５μｍ（実施例７）、５．１μｍ（実施例８）に変更した以外は、実施例５と同様に行ない、表２に示す結果を得た。施
【０２１２】
〔実施例９〕
実施例２において、スペーサ用感光性転写フイルム（１）の感光性樹脂層用塗布液塗布時の乾燥条件を表２に示す条件変更した以外は、実施例２と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１３】
〔実施例１０〕
実施例５において、スペーサ用感光性転写フイルム（１）の感光性樹脂層用塗布液塗布時の乾燥条件を表２に示す条件変更した以外は、実施例５と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１４】
〔実施例１１〕
実施例５おいて、スペーサ用感光性転写フイルム（１）の感光性樹脂層用塗布液塗布時の乾燥条件を表２に示す条件変更した以外は、実施例５同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１５】
〔実施例１２〜実施例１４〕
実施例５おいて、コロイダルシリカ含有率、ＤＰＨＡ／ポリマー（Ｐ−２５）固形分比が表２に示す条件になるように、感光性樹脂層用塗布液の処方１中のコロイダルシリカ分散物、ＤＰＨＡ液、ポリマー（Ｐ−２５）溶液添加量を変更した以外は、実施例５同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１６】
〔比較例１〕
実施例１において、感光性樹脂層用塗布液の処方１に用いた大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８０−Ｆの添加量を０．７５部から０．６部に変更した以外は、実施例１と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１７】
〔比較例２〕
実施例１４において、感光性樹脂層用塗布液の処方１に用いた大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−７８４−Ｆの添加量を１．１３部から１．５部に変更した以外は、実施例１と同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１８】
〔比較例３〕
実施例５おいて、スペーサ用感光性転写フイルム（１）の感光性樹脂層用塗布液塗布時の乾燥条件を表２に示す条件変更した以外は、実施例５同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２１９】
〔比較例４〕
実施例５おいて、ＤＰＨＡ／ポリマー（Ｐ−２５）固形分比が表２に示す条件になるように、感光性樹脂層用塗布液の処方１中のＤＰＨＡ液、ポリマー（Ｐ−２５）溶液添加量を変更した以外は、実施例５同様に行ない、表２に示す結果を得た。
【０２２０】
≪評価≫
１．特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）
実施例および比較例の感光性転写材料の感光性樹脂層表面の特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）、すなわちモノマー二次イオン強度／トータル二次イオン強度比を求めた。特定二次イオン強度比（Ａ／Ｂ）は、感光性転写材料のカバーフィルムを剥離した後、１０分以内に冷却開始し、−１２０℃で１０分間冷却した後、予備排気１０分間行い、そのまま約−１２０℃で冷却して、ＰＨＩ社製の−ＴＯＦ−ＳＩＭＳ、ＴＲＩＦ  II型を用いて測定した。測定条件は下記のとおりである。
【０２２１】
−測定条件−
・一次イオン：Ａｕ＋
・加速電圧：３３ｋＶ
・一次イオン電流：２ｎＡ
・中和銃：ＯＦＦ
・スペクトル測定：バンチングなし、ｐｏｓｉ／ｎｅｇａ，測定面積８０μｍ×８０μｍ、３ｍｉｎ
・モノマーの二次イオン種：アクリレート部（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ）
【０２２２】
２．カバーフィルムカット性（感光性樹脂層とカバーフィルムとの密着性評価）
上記実施例および比較例において、得られたスペーサー用感光性転写フイルムのカバーフィルム上からロータリーカッターで仮支持体の一部に至る切り口をつけた。このとき、カバーフィルムと感光性樹脂層とが密着しているか否かを、下記の基準で評価した。結果を表２に示す。尚、実用レベルはＣ以上である。
【０２２３】
−評価基準−
Ａ：ロータリーカッターでカバーフィルムを切った後も切り口が充分な密着を保った。
Ｂ：ロータリーカッターでカバーフィルムを切った際、切り口のエッジ部１ｍｍ幅程度が感光性樹脂層から浮きが微かに見られるが、感光性樹脂層とカバーフィルムは密着していた。
Ｃ：カバーフィルム切り口のエッジ部に２−３ｍｍ幅程度の感光性樹脂層の剥離が少し見られるが、感光性樹脂層とカバーフィルムは密着していた。
Ｄ：ロータリーカッターでカバーフィルムを切っている途中で、カバーフィルムと感光性樹脂層が剥離し始め、切り口が波打った。
Ｅ：ロータリーカッターでカバーフィルムを切りかけた途中で、カバーフィルムと感光性樹脂層が剥離し、ジャムが発生してロータリーカッターが途中で停止した。
【０２２４】
３．カバーフィルム剥離性
上記実施例および比較例において、得られたスペーサー用感光性転写フイルムのカバーフィルム上からロータリーカッターで仮支持体の一部に至る切り口をつけ、テープを用いてカバーフィルムと感光性樹脂層の界面で剥離してカバーフィルムを除去した。このとき剥離したカバーフィルムに感光性樹脂層が付着しているか否かを目視で観察し、下記の基準で評価した。結果を表２に示す。尚、実用レベルはＣ以上である。
【０２２５】
−評価基準−
Ａ：カバーフィルムに感光性樹脂層が全く付着していない。
Ｂ：カバーフィルム切り口のエッジ部に点状の感光性樹脂層の付着が微かに見られるが、カバーフィルムの他の部分には感光性樹脂層は付着していない。
Ｃ：カバーフィルム切り口のエッジ部に１ｍｍ幅程度の感光性樹脂層の付着が少し見られ、またエッジ部から数ｃｍ離れた場所に微小な泡状に浮き上がった中間層と感光性樹脂層との間の剥離故障が僅かに発生とするが、表示部には感光性樹脂層は付着していない。
Ｄ：カバーフィルムの切り口から数ｃｍ幅の帯状の感光性樹脂層の付着が基板の表示部内まで至る。
Ｅ：カバーフィルム全面に感光性樹脂層が付着している。
【０２２６】
【表２】
2010066323.tif 000015
【０２２７】
前記表２における「シリカ含有量」欄の数値は感光性樹脂層全固形分中のコロイダルシリカ（固形分）の質量〔％〕を表し、「ＤＰＨＡ／ポリマー」欄の数値は感光性樹脂層全固形分中の前記構造式Ｐ−２５のポリマーの固形分質量に対するＤＰＨＡ液固形分質量の割合を表す。「界面活性剤」欄の「量」の単位は〔部〕である。
【０２２８】
前記表２に示す「乾燥条件」の詳細は次のとおりである。
Ａ：感光性樹脂層用塗布液を塗布した後、１００℃で２分間乾燥させた後、更に、１２０℃で１分間乾燥させた。
Ｂ：感光性樹脂層用塗布液を塗布した後、１００℃で１分間乾燥させた後、更に、１２０℃で２分間乾燥させた。
Ｃ：感光性樹脂層用塗布液を塗布した後、１２０℃で３分間乾燥させた。
Ｄ：感光性樹脂層用塗布液を塗布した後、８０℃で１分間乾燥させた後、１００℃で１分間乾燥させ、更に、１２０℃で１分間乾燥させた。
【０２２９】
表２から明らかな通り、比較例はいずれもカバーフィルムと感光性樹脂層との密着力（剥離力）バランスが悪く、カバーフィルムのカット性と剥離性の両方を満足できなかった。一方、実施例は全てにおいて、カバーフィルムと感光性樹脂層との密着力（剥離力）バランスが良好であり、カバーフィルムのカット性と剥離性の満足していた。