(57)【要約】      （修正有）【課題】酸化物エッチング・プロセス中にシャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）を保護する方法を提供する。【解決手段】半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物４をエッチングから保護する方法であって、必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物４の上面を、隣接するシリコン活性領域３の上面よりも低い高さに下げるステップと、前記ＳＴＩ酸化物４の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物４および隣接するシリコン活性領域３上に窒化物ライナ５を堆積するステップと、前記凹部に保護膜６を充填するステップと、前記窒化物ライナを前記隣接する活性領域から除去するステップとを含む方法。【選択図】図６
2010192919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、
必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるステップと、
前記ＳＴＩ酸化物の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に窒化物ライナを堆積するステップと、
前記凹部に保護膜を充填するステップと、
前記窒化物ライナを前記隣接する活性領域から除去するステップと
を含む方法。
【請求項２】
窒化物ライナの前記堆積が化学気相成長法を用いて行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記化学気相成長法が、低圧化学気相成長法、急速熱処理化学気相成長法、プラズマ増速化学気相成長法、または高密度プラズマ化学気相成長法の群から選択される１つである、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記化学気相成長法が、シラン誘導体をアンモニアと反応させるステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記保護膜が有機ポリマーである、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記有機ポリマーが平坦化ポリマーである、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記平坦化保護ポリマーが反射防止膜ポリマーである、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記反射防止膜ポリマーが、アクリレートおよびメタクリレートの混合物と、ポリ尿素およびポリスルホンポリマーの混合物と、ベンゾフェノンおよびビスフェノールＡのコポリマーとの群から選択された１つである、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記平坦化保護ポリマーがフォトレジストポリマーである、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
前記フォトレジストポリマーがノボラック樹脂を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記保護膜がスピンオン酸化物である、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記保護膜が共形的であり、化学的機械研磨によって平坦化される、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記凹部に保護膜を充填する前記ステップが、
前記窒化物層上に前記保護膜の層を堆積すること、および
前記保護膜が前記凹部内にのみ残るように、前記保護膜を窪ませること
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記保護膜が有機ポリマーであり、前記窪ませることがプラズマ・エッチングによって行われる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記保護膜を前記凹部から除去するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記保護膜の前記除去が反応性イオン・エッチングによって行われる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、
必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるステップと、
前記隣接するシリコン活性層を、その上面に堆積させた共形的窒化物ライナによって引き起こされる応力から保護するのに有効な酸化シリコン層を、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に任意選択で堆積するステップと、
化学的気相成長法を実行して、前記ＳＴＩ酸化物の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に前記共形的窒化物ライナを堆積するステップと、
前記窒化物ライナを、有機ポリマーを含む保護膜で覆うステップと、
前記保護膜が前記凹部内にのみ残るように、前記保護膜をプラズマ・エッチングによって窪ませるステップと、
前記窒化物層を反応性イオン・エッチングによって前記隣接する活性領域から除去するステップと、
前記保護膜を、プラズマ・エッチングによって前記凹部から除去するステップと
を含む方法。
【請求項１８】
１つまたは複数のシャロー・トレンチ・アイソレーションによって分離された複数の活性領域を含む半導体構造であって、前記シャロー・トレンチ・アイソレーションのみが窒化シリコンの保護層によって覆われる構造。
【請求項１９】
１つまたは複数のシャロー・トレンチ・アイソレーションによって分離された複数の活性領域を含む半導体構造であって、
前記活性領域およびシャロー・トレンチ・アイソレーションが窒化シリコン層によって覆われ、前記窒化シリコン層が、前記シャロー・トレンチ・アイソレーション上に凹部を含み、
前記凹部内には保護膜が堆積されている構造。
【請求項２０】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、
必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるための手段を提供するステップと、
前記ＳＴＩ酸化物の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に窒化物ライナを堆積するための手段を提供するステップと、
前記窒化物ライナによって引き起こされた応力から前記隣接するシリコン活性領域を保護するための手段を提供するステップと、
前記凹部に保護膜を充填するための手段を提供するステップと、
前記窒化物層を前記隣接する活性領域から除去するための手段を提供するステップと
を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスの製造に関し、詳細には、エピタキシャル前洗浄中に単一のトレンチ・アイソレーション酸化物がエッチングされるのを防止する方法と、それによって形成された半導体構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
レイズド・ソース・ドレインを適用するための選択的エピタキシャル前洗浄中にシャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物がエッチングされると、シリコン・オン・インシュレータ（ＳＯＩ）およびその他の技術に問題が生じる。エピタキシャル成長の前にＳｉ表面を洗浄にすることは、エピタキシャル層の成長の質に不可欠である。これは、デバイス性能がエピタキシャル膜の質に大きく左右されるため、重要なことである。一般に、洗浄プロセスは、表面の汚染物質を取り除くことを必要とし、また、水素終端によりＳｉ表面のパッシベーションを行って、エピタキシャル成長前に汚染物質が表面に吸着しないようにすることを必要とする。シリサイド前洗浄も絶対的な要件である。欠陥のない高品質のシリサイドを生成するために、Ｓｉ表面を洗浄にし、またＳｉ表面の水素パッシベーションを行うことも必要である。標準的な洗浄および水素パッシベーションを行うための化学薬品には、フッ化水素酸（ＨＦ）が含まれるが、これはＳｉを洗浄にする他にも、望ましくないＳＴＩのエッチングを引き起こす。エピタキシャル成長またはシリサイド形成にとって適切にＳｉ表面を洗浄するために、ＳＴＩを過剰にエッチングする。これは、薄いＳｉ  ＳＯＩを適用する場合に特に問題になる。その理由は、ＳＴＩの厚さがＳｉの厚さに正比例し、したがって薄いＳｉ  ＳＯＩの場合は薄くなるからである。エピタキシャル成長前洗浄またはシリサイド前洗浄あるいはその両方を行う間に、ＳＴＩ全体がエッチングされる可能性がある。ＳＴＩがなくなった後、埋込み酸化膜（ＢＯＸ）層のエッチングが始まる。ＢＯＸは活性領域の直下に位置付けられ、したがってＢＯＸがエッチング除去されるにつれて活性領域のアンダーカットが生じる可能性がある。アンダーカットが過剰であると、活性領域が完全に剥離され、それによってデバイスが破壊される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】シロ（Ｓｈｉｒｏ）他、米国特許第５，６７４，６５７号
【特許文献２】トーマス（Ｔｈｏｍａｓ）他、米国特許第６，２０７，７８７号
【特許文献３】ダラクチーブ・アイ・エス（Ｄａｒａｋｔｃｈｉｅｖ，  Ｉ．  Ｓ．）、ＵＳ４，９９６，０８０
【特許文献４】ペイブリック（Ｐａｖｅｌｉｃｋ）他、ＵＳ６，１９０，９３９Ｂ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のＳＴＩは、初めにＳｉ基板上にパッド酸化物層を形成し、次いでＳｉＮを堆積し、リソグラフィおよびエッチングによってパターニングする。ＳｉＮは、Ｓｉにトレンチをエッチングするハード・マスクとして使用し、次いで熱酸化によってＳｉＯ２ライナを形成する。最後にＳＴＩ酸化物を堆積し、化学的機械的研磨（ＣＭＰ）を使用して、シャロー・トレンチの外側の領域から酸化シリコンを除去する。エピタキシャル前洗浄またはシリサイド前洗浄の間にＳＴＩが過剰にエッチングされる可能性をなくすため、その１つの解決策として、酸化物ライナの形成後でありかつＳＴＩ充填堆積の前に、トレンチ内に保護窒化物ライナを堆積する。この方法には、主に２つの欠点がある。第１の問題は、パッド窒化物層の除去中に窒化物ライナの上部がエッチングされることであり、その結果、活性領域に隣接して、削り取られた後の窪みが生じる。この窪みには、その後、ゲート・ポリシリコン堆積中にポリシリコンが充填され、その窪み内のポリシリコンによって、隣接するゲート間に望ましくない電気接続が生じる可能性があり、いわゆる「ラップアラウンド」ゲートも生成される。ラップアラウンド・ゲートによって閾値電圧が低下し、早過ぎるうちにトランジスタを活動化させる。第２の問題は、窒化物層が、その最上部にあるどのＳＴＩ酸化物も保護できないことである。その上部にあるＳＴＩ酸化物のすべてがエッチング除去される可能性があり、それによって平面性が損なわれる。したがって、酸化物エッチング・プロセス中にシャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）を保護する方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるステップと、前記ＳＴＩ酸化物の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に窒化物ライナを堆積するステップと、前記凹部に保護膜を充填するステップと、前記窒化物ライナを前記隣接する活性領域から除去するステップとを含む方法を開示する。
【０００６】
本発明の別の態様では、窒化物ライナの前記堆積が、化学気相成長法によって行われる。
【０００７】
本発明の別の態様では、前記化学気相成長法が、低圧化学気相成長法、急速熱処理化学気相成長法、プラズマ増速化学気相成長法、または高密度プラズマ化学気相成長法から選択される１つである。
【０００８】
本発明の別の態様では、前記化学気相成長法が、シラン誘導体をアンモニアと反応させるステップをさらに含む。
【０００９】
本発明の別の態様では、前記保護膜が有機ポリマーである。
【００１０】
本発明の別の態様では、前記有機ポリマーが平坦化ポリマーである。
【００１１】
本発明の別の態様では、前記平坦化保護ポリマーが反射防止膜ポリマーである。
【００１２】
本発明の別の態様では、前記反射防止膜ポリマーが、アクリレートおよびメタクリレートの混合物と、ポリ尿素およびポリスルホンポリマーの混合物と、ベンゾフェノンおよびビスフェノールＡのコポリマーとから選択された１つである。
【００１３】
本発明の別の態様では、前記平坦化保護ポリマーがフォトレジストポリマーである。
【００１４】
本発明の別の態様では、前記フォトレジストポリマーがノボラック樹脂である。
【００１５】
本発明の別の態様では、前記保護膜がスピンオン酸化物である。
【００１６】
本発明の別の態様では、前記保護膜が共形的であり、化学的機械研磨によって平坦化される。
【００１７】
本発明の別の態様では、前記凹部に保護膜を充填する前記ステップが、前記窒化物層上に前記保護膜の層を堆積すること、前記保護膜が前記凹部内にのみ残るように、前記保護膜を窪ませることを含む。
【００１８】
本発明の別の態様では、前記保護膜が有機ポリマーであり、前記窪ませることがプラズマ・エッチングによって行われる。
【００１９】
本発明の別の態様では、前記保護膜が前記凹部から除去される。
【００２０】
本発明の別の態様では、前記保護膜が反応性イオン・エッチングによって前記凹部から除去される。
【００２１】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるステップと、化学的気相成長法を実行して、前記ＳＴＩ酸化物の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に共形的窒化物ライナを堆積するステップと、前記窒化物ライナを、有機ポリマーを含む保護膜で覆うステップと、前記保護膜が前記凹部内にのみ残るように、前記保護膜をプラズマ・エッチングによって窪ませるステップと、前記窒化物層を反応性イオン・エッチングによって前記隣接する活性領域から除去するステップと、前記保護膜を、プラズマ・エッチングによって前記凹部から除去するステップとを含む方法を開示する。
【００２２】
１つまたは複数のシャロー・トレンチ・アイソレーションによって分離された複数の活性領域を含む半導体構造であって、前記シャロー・トレンチ・アイソレーションのみが窒化シリコンの保護層によって覆われる構造を開示する。
【００２３】
１つまたは複数のシャロー・トレンチ・アイソレーションによって分離された複数の活性領域を含む半導体構造であって、前記活性領域およびシャロー・トレンチ・アイソレーションが窒化シリコン層によって覆われ、前記窒化シリコン層が、前記シャロー・トレンチ・アイソレーション上に凹部を含み、前記凹部内には保護膜が堆積されている構造を開示する。
【００２４】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるための手段を提供するステップと、前記ＳＴＩ酸化物の上方に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に窒化物ライナを堆積するための手段を提供するステップと、前記凹部に保護膜を充填するための手段を提供するステップと、前記窒化物層を前記隣接する活性領域から除去するための手段を提供するステップとを含む方法を開示する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】典型的な、開始時のＳＴＩ構造を示す図である。
【図２】酸化物エッチング・プロセスの結果を示す図である。
【図３】窒化物堆積の結果を示す図である。
【図４】保護平坦化膜の堆積を示す図である。
【図５】保護平坦化膜の部分エッチングの結果を示す図である。
【図６】エッチング操作の結果を示す図である。
【図７】平坦化膜を除去した結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１を参照すると、典型的な開始時の構造、すなわちシリコン・ウェハ１の断面図が示されており、任意の適切な半導体材料（たとえばプレーンなシリコンなど）とすることができるが、通常は埋込み酸化膜（ＢＯＸ）２と、絶縁酸化物４が充填される１つまたは複数のシャロー・トレンチを画定する活性領域３構造とを含み、それによって、トレンチの両側にある活性領域３が互いに分離される。
【００２７】
図２を参照すると、絶縁酸化物４がまだ隣接する活性領域３の高さよりも下にない場合は、図面に示すように、その活性領域よりも低い高さにまでＳＴＩ酸化物をエッチングすることが望ましい。この目的は、窒化物ライナを堆積した後に、ＳＴＩ酸化物上に凹部を画定することである。
【００２８】
ポリシリコンに対して選択性のあるＨＦエッチングやドライ・プラズマ・プロセスなど、隣接する活性領域に害のない任意のエッチング方法で十分である。ポリシリコンよりも速い速度で酸化シリコンをエッチングするためのドライ・エッチング・プラズマ・プロセスでの使用に適する気体には、ＣＦ４−Ｏ２とＣＦ４−Ｈ２の混合物が含まれ、この混合物中のＣＦ４の割合は一般に８０％以下であり、より好ましくは６０％以下であり、最も好ましくは約５０％±１０％である。Ｃ２Ｆ６などの実質的に純粋なフルオロカーボン・プラズマを利用してもよい。
【００２９】
一般にプラズマ・エッチング・プロセスは、プラズマ増速（ＰＥ）または反応性イオン・エッチングのどちらか、またはその両方の能力を持つ、エッチング・チャンバ内で実施する。ＰＥタイプのエッチングは、一般に１００トルよりも高い圧力で行われ、一方ＲＩＥエッチングは、一般にその圧力よりも低い圧力で行われる。エッチングは、バレル・エッチャーや平行電極エッチャー、６極管エッチャーなどの、バッチ・チャンバ内で行うことができる。一般に直径約２００ｍｍ以上の大型ウェハは、枚葉式エッチャーでうまく行うことができる。
【００３０】
図３を参照すると、ウェハ上に窒化シリコン・ライナ５が堆積されている。ウェハおよびその表面に堆積した窒化物層上には、任意選択で酸化物層（図示せず）を堆積しまたは成長させることができ、その結果、活性領域のシリコン表面は、窒化物層によって引き起こされる応力から保護される。堆積は、ＳＴＩ酸化物上に凹部を画定するのに有効な手法で行うことが好ましく、したがってその技法は、低位ＳＴＩ酸化物の微細構成に対して共形的であるべきである。
【００３１】
窒化シリコン・ライナを共形的に堆積するための典型的な方法は、低圧化学気相成長法（ＬＰＣＶＤ）、急速熱処理化学気相成長法（ＲＴＣＶＤ）、およびプラズマ増速化学気相成長法（ＰＥＣＶＤ）などの化学的気相成長（ＣＶＤ）技法である。この操作を行うため、高密度プラズマ堆積（ＨＤＰ−ＣＶＤ）技法を使用してもよい。
【００３２】
ＬＰＣＶＤ窒化シリコン膜は、一般に、約７００℃〜８００℃の温度でジクロロシラン（ＳｉＣｌ２Ｈ２）をアンモニア（ＮＨ３）と反応させることによって形成することができ、その結果、Ｓｉ３Ｎ４膜とＨＣｌおよびＨ２ガスが形成される。ＬＰＣＶＤ膜は、その膜を均一にし処理コストを比較的低くするのに望ましい。ＬＰＣＶＤ堆積速度は、ジクロロシラン濃度（すなわち分圧）のアンモニア濃度に対する比と相関関係にある。ＬＰＣＶＤ堆積は、一般に、約０．２５〜２．０トルの圧力で、ホットウォール管反応器内で実施する。
【００３３】
ＬＰＣＶＤ反応は、一般に、「ホットウォール」管反応器とも呼ばれる水平管ＬＰＣＶＤバッチ反応器内で実施され、その良好な経済性、スループット、均一性、および直径のより大きいウェハを収容する能力にとって望ましい。そのような反応器は、真空生成および加熱手段を備えた、通常は石英である管を備え、その内部を反応性ガスが通過する。管の長さ方向に流下するように、反応性ガスが一端から導入されるような構成の場合は、管の長さに沿って温度勾配が確立されるように、温度ランプ手段を設けることが一般に望ましい。これは、気体流供給源にあるウェハのほうが、反応性ガスの濃度が高くなり、したがって下流のウェハよりも窒化シリコンの堆積速度が速くなるという影響を受けるからである。これは、下流の温度を上昇させて反応速度を速くすることにより、補償することができる。あるいは、反応チャンバの長さに沿って実質的に一様に分布された複数の開口を通して、反応性ガスをチャンバ内に注入することができる。管の長さに沿って反応物質ガスの減少を補う別の方法は、気体流の速度を速くすることである。
【００３４】
ＲＴＣＶＤ窒化シリコン膜は、一般に、ジクロロシランとアンモニアとを炉内で反応させることによって形成することができ、この場合、炉内のウェハ温度は約５分以内で１１００℃ほどに急速に上昇する。一般に、５０℃／秒から約７５℃／秒の温度上昇速度はほとんどのスモール・バッチ・ファースト・ランプ（ＳＢＦＲ）炉内で実現され、いくつかの最新モデルでは、１５０℃／秒ほどの高い速度が実現される。ＲＴＣＶＤ法は、数ある利点の中でも、急速な処理を行い、３００ｎｍ以上の大型のウェハを取り扱うのに望ましい。また、より短い期間にわたってより高い温度を使用することで、望ましくない過渡的増速拡散作用が低減される。
【００３５】
急速熱処理プロセス（ＲＴＰ）炉は、とりわけアプライド・マテリアル（ＡｐｐｌｉｅｄＭａｔｅｒｉａｌｓ）やエージー・アソシエーツ（ＡＧ  Ａｓｓｏｃｉａｔｅｓ）などから市販されている。好ましいＲＴＰシステムでは、温度を急速に上昇させまた下降させる間、ウェハの幅方向の温度を均一に維持し、その温度を制御するようにウェハ温度の正確な測定手段を有することになる。典型的なアプライド・マテリアルズＲＴＰは、水冷式反応チャンバと、ハロゲン・ランプなどの加熱ランプ・アレイと、光ファイバ温度プローブとを有する。ハロゲン・ランプは一般にウェハ上方に配列され、その光はライト・ガイドをコリメートすることによって下向きになっており、しばしば石英または溶融シリカガラスの窓によってランプと反応チャンバとが分離されている。このため急速加熱が可能になり、排気がなされるようにチャンバを切り離すことができる。ウェハは、絶縁性の回転ベース上に載置されるが、その回転は、気体流および光のどのようなばらつきも均等にするのに効果的である。高温計は、通常ウェハの下に取り付けられ、ウェハ裏面から放射される温度を定期的に、典型的には秒当たり２０回測定し、それによって、ウェハの温度を上昇させかつ冷却する間、精密なコンピュータ制御が可能になる。
【００３６】
ＰＥＣＶＤ窒化シリコン膜は一般に、無線周波数領域の電磁放射線の存在下、シラン・ガス（ＳｉＨ４）をアンモニア（ＮＨ３）または窒素（Ｎ２）ガスと反応させ、それによってポリマー様Ｓｉ−Ｎ−Ｈ材料が堆積することにより、形成することができる。反応温度は、典型的な場合、０．２〜０．３トルおよび無線周波数０．３〜１３．５６ＭＨｚで２００℃〜４００℃になる。２重周波システムは、典型的な場合、高周波（たとえば約１３．５ＭＨｚ）ｒｆ信号と低周波（たとえば０．３〜０．５ＭＨｚ）ｒｆ信号を組み合わせて、ＳｉＮ膜に関連する膜応力を制御する。アンモニア・ガスを使用する場合、アンモニアとシランの比は、典型的な場合、シランに対してアンモニアが約５〜約２０部になる。窒素を使用する場合、典型的にはシランに対して１００〜１，０００部の窒素を使用することになる。一般に、アンモニアを用いて作製されたＰＥＣＶＤ膜は、窒素で作製したものよりも良好な共形性を示す。
【００３７】
３タイプのＰＥＣＶＤ反応器、すなわち平行板バッチ反応器と、ミニバッチ・ラジアル反応器と、枚葉式反応器が広く使用されている。
【００３８】
平行板バッチ反応器は、その名前が示すように、一組の平行なプレートを有する。この反応器は一般に、垂直シリンダの形をとり、１枚のプレートがその底部にあり、もう１枚のプレートが上部にある。ウェハは底部プレート上に載置し、通常はこのプレートを回転させ加熱して、無線周波信号を電極に印加する。
【００３９】
より一般的なＰＥＣＶＤ反応器はミニバッチ・ラジアル反応器であり、これは複数の堆積ステーション含み、各ウェハが平面加熱電極上に載置される。各ウェハ上方のシャワーヘッド様電極から、反応物質ガスを吐出する。これらのタイプの反応器は、反応速度を速くし、汚染の問題を最小限に抑え、かつ均一性を良好にするのに好ましい。均一性は、堆積のすべてを一度に行うのではなく、ウェハを１つのステーションから別のステーションに移動させてさらに堆積を行うことによって実現され、それによって、個々のステーションでのどのような偏差も平均になる。
【００４０】
アプライド・マテリアルズから販売されているような枚葉式ＰＥＣＶＤ反応器は、一般に複数のチャンバを有し、それぞれは１枚のウェハを収容するようになされている。各チャンバは、上部にウェハを載置するベース電極と、無線周波信号で作動するシャワーヘッド様ガス・ノズル電極とを備えている。加熱は、通常、急速放射加熱をもたらす複数のランプによって行われる。膜応力は、無線周波数または電極間のサイズを調整することによって制御することができる。
【００４１】
ＨＤＰ−ＣＶＤ窒化シリコン膜は、一般に、電磁放射線とアルゴン（Ａｒ）やヘリウム（Ｈｅ）などの不活性ガスの存在下、シラン・ガス（ＳｉＨ４）をアンモニア（ＮＨ３）または窒素（Ｎ２）ガスと反応させることによって、形成することができる。一般に、反応圧力はかなり低く、一般には１０ｍＴｏｒｒより低い。ＨＤＰ−ＣＶＤ技法は、アスペクト比の高いフィーチャ表面に膜を配置するのに望ましい。
【００４２】
ＨＤＰ−ＣＶＤ反応器は、一般にグロー放電を利用して、堆積する材料をスパッタリングするのに十分強力なイオンを生成する。グロー放電は、直流ダイオード型システムまたは無線周波ダイオード・システムのいずれかあるいはその両方によって生成される自続的なプラズマである。アルゴンなどの不活性ガスは、反応物質および不活性ガスをプラズマに電離するのに十分強力な電場で１対の電極間に導入する。直流ダイオード・システムは、窒化シリコンなどの絶縁性材料をスパッタリングすることができず、たいていの適用例においてその堆積速度が遅いので、無線周波ダイオード・システムが好ましい。好ましい無線周波ダイード・システムは、ウェハ表面の近くに電子を閉じ込めるのを助けるように、マグネトロン源を備えている。商用として一般的なシステムには、「Ｃｅｎｔｕｒａ」という商標でアプライド・マテリアルズから販売されているものが含まれる。
【００４３】
図４を参照すると、保護膜６が堆積されている。保護平坦化膜は、平坦化した（すなわち、窒化物ＣＶＤ堆積のが場合のように凹部の微細構成に共形的なのではなく、凹部を満たす）任意の適切なポリマー・プラスチックであることが好ましく、そのために、窒化シリコンに関して選択的なエッチングを行う（すなわち、ポリマーをエッチングするが窒化シリコンはエッチングしない）。市販されかつ経済的な保護ポリマーは、反射防止膜用およびリソグラフィ技法でのフォトレジスト層用として販売されているものであり、これはしばしば「有機スピンオン」ポリマーと呼ばれ、溶媒に溶かしたポリマー樹脂を含むものである。そのような樹脂の分子量は、一般に、ゲル透過クロマトグラフィで測定した場合に数千または数万になるが、数百万であってもよい。ノボラック（Ｎｏｖｏｌａｋ）バインダー樹脂が市販されかつ本発明での使用に役立つが、これはシロ（Ｓｈｉｒｏ）他の米国特許第５，６７４，６５７号に開示されており、その教示全体を本明細書に参照により援用する。一般に使用されるフォトレジストは、ニュージャージー州オリン・ハント・スペシャルティ・プロダクツ（ＯｌｉｎＨｕｎｔ  Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ）から「ＨＰＲ−２０４」という名称で販売されており、混合型メタ−およびパラ−クレゾール系ノボラックバインダー樹脂と、トリヒドロキシベンゾフェノンのナフタキノン−１，２−ジアジド−５−スルホン酸トリエステル増感剤であって、これを８５重量％のエチルセルロースアセテート、８．６重量％の酢酸ブチル、および５．２重量％のキシレン、および１．２重量％のエチルベンゼンに溶かしたものを含んでいる。適切な反射防止膜は、参照によりその開示全体を本明細書に援用するトーマス（Ｔｈｏｍａｓ）他の米国特許第６，２０７，７８７号に記載されているような，有機溶媒に溶かしたビスフェノールＡとベンゾフェノンとのコポリマーである。その他の適切な反射防止膜には、多官能性アクリレートおよびメタクリレートモノマーの有機溶液と、ポリ尿素およびポリスルホンポリマーが含まれるが、当然これらに限定するものではない。本発明で使用するのに適する共形的な反射防止膜は、「ＤＵＶ  ３０」および「ＤＵＶ  ３２」という商標でミズーリ州ローラ（Ｒｏｌｌａ）ブリュワー・サイエンス・インコポレイテッド（ＢｒｅｗｅｒＳｃｉｅｎｃｅ，  Ｉｎｃ．）からも販売されている。フォトレジストおよび反射防止膜は、参照によりその開示全体を本明細書に援用するダラクチーブ・アイ・エス（Ｄａｒａｋｔｃｈｉｅｖ，Ｉ．  Ｓ．）のＵＳ４，９９６，０８０に記載されるように、追加の溶媒中に混合することによって、濃度を薄くしまたは希釈してもよい。本発明での使用に適する市販の平坦化反射防止膜には、「ＤＵＶ  ３０」および「ＤＵＶ  ３２」という製品名でミズーリ州ローラ（Ｒｏｌｌａ）ブリュワー・サイエンス・インコポレイテッドから販売されているものが含まれる。
【００４４】
保護膜に、スピンオン・オキサイド（たとえばグラス・スピンオン）膜を使用して、それを化学的機械研磨（ＣＭＰ）により平坦化することも可能である。あるいは、共形的な有機膜を堆積し、やはりＣＭＰによって平坦化することもできる。共形的有機膜は、参照によりその開示全体を本明細書に援用するペイブリック（Ｐａｖｅｌｉｃｋ）他のＵＳ６，１９０，９３９Ｂ１に記載されているように、一般に分子量が比較的高い樹脂、たとえば４０，０００ダルトン以上に高い樹脂を、溶媒に溶かしたものからなる。本発明での使用に適する市販の共形的反射防止膜には、「ＡＲＣ  ２５」、「ＤＵＶ  ４４」、および「ＤＵＶ  ４２」という製品名で、やはりミズーリ州ローラ、ブリュワー・サイエンス・インコポレイテッドから販売されているものと、マサチューセッツ州（Ｍａｓｓａｃｈｕｓｓｅｔｔｓ）マールボロ（Ｍａｒｌｂｏｒｏｇｈ）のシップレイ・カンパニー・エルエルシー（ＳｈｉｐｌｅｙＣｏｍｐａｎｙ，ＬＬＣ）から「ＡＲ」シリーズの商標で販売されているもの、特に「ＡＲ５」とそれよりも番号の大きい「ＡＲ７」や「ＡＲ１４」などの名称のものが含まれる。
【００４５】
当然ながら、平坦化し、接着し、必要な選択性を所有するのに十分な溶媒に溶解したどのポリマーも、本発明に適する。フォトレジストおよび反射防止膜は、どのような半導体組立設備においてもその材料をほぼ常に容易に入手できるので、本発明での使用に特に引用される。
【００４６】
図５を参照すると、保護膜６が窪んでおり、酸化物分離４上の凹部内にのみ保護膜６が残るようになされている。有機ポリマー保護膜の場合、これは、無線周波数の存在下で酸素および窒素ガスを使用したプラズマ・エッチングによって実現することができる。
【００４７】
図６を参照すると、露出した窒化物（すなわちアークによって保護されない）を、好ましくは反応性イオン・エッチング（ＲＩＥ）でエッチング除去し、それによって活性領域３を露出させる。あるいは、熱リン酸エッチングまたは同様のエッチングを使用することができるが、この手順は、ドライＲＩＥエッチングよりも制御しにくい。
【００４８】
窒化シリコンのＲＩＥエッチングでは、一般に無線周波数（たとえば１３．５ＭＨｚ）の存在下、ＣＦ４−Ｏ２またはＣＨＦ３−Ｏ２ガスの混合物あるいはＣＨ２Ｆ２またはＣＨ３Ｆガスを利用して、グロー放電を実施する。典型的な反応圧力は約７〜約６０００ｍＴｏｒｒである。
【００４９】
本発明で使用される市販のＲＩＥシステムには、とりわけ「Ｅｔｃｈ  Ｃｅｎｔｕｒａ」という商標シリーズでアプライド・マテリアルズから販売されているものが含まれる。そのようなシステムでは、グロー放電と電極を利用して、スパッタリングの利点と増速プラズマ・エッチングの利点を兼ね備えた状態にし、異方性の高いエッチングを実現する。
【００５０】
図７を参照すると、次いで保護膜６がエッチング除去されており、保護窒化物キャップ５で覆われたトレンチ酸化物４が残っている。次にトレンチ酸化物４に損傷を与えるおそれなしに活性領域を前洗浄することができる。
【００５１】
本明細書に開示したすべての物理量は、特に他に示さない限り、開示した量に厳密に等しいとみなすものではなく、開示した量にほぼ等しいとすることが理解されよう。さらに、「約」などの修飾語が単にないものは、本明細書に開示する任意のその他の物理量に関してそのような修飾語が使用されているか否かに関わらず、開示された任意のそのような物理量が、厳密な量であることを明示すると解釈すべきでない。
【００５２】
好ましい実施形態について図示し記述してきたが、その実施形態には、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、様々な修正および置換えを行うことができる。したがって、本発明は単なる例示として記述され、本明細書に開示したそのような例示および実施形態は、特許請求の範囲を限定すると解釈すべきでないことを理解されたい。
【図１】
2010192919.tif 000003
【図２】
2010192919.tif 000004
【図３】
2010192919.tif 000005
【図４】
2010192919.tif 000006
【図５】
2010192919.tif 000007
【図６】
2010192919.tif 000008
【図７】
2010192919.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月12日(2010.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体シャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）酸化物をエッチングから保護する方法であって、
必要に応じて前記ＳＴＩ酸化物の上面を、隣接するシリコン活性領域の上面よりも低い高さに下げるステップと、
前記ＳＴＩ酸化物の上方にトレンチ内に凹部を画定するのに有効な手法で、前記ＳＴＩ酸化物および隣接するシリコン活性領域上に窒化物ライナを堆積するステップと、
前記凹部に保護膜として有機ポリマーを充填するステップと、
前記窒化物ライナを前記隣接する活性領域から除去するステップとを含み、
前記保護膜が共形的であり、化学的機械研磨によって平坦化される、
方法。
【請求項２】
窒化物ライナの前記堆積が化学気相成長法を用いて行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記化学気相成長法が、低圧化学気相成長法、急速熱処理化学気相成長法、プラズマ増速化学気相成長法、または高密度プラズマ化学気相成長法の群から選択される１つである、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記化学気相成長法が、シラン誘導体をアンモニアと反応させるステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記有機ポリマーが平坦化ポリマーである、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記平坦化ポリマーが反射防止膜ポリマーである、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記反射防止膜ポリマーが、アクリレートおよびメタクリレートの混合物と、ポリ尿素およびポリスルホンポリマーの混合物と、ベンゾフェノンおよびビスフェノールＡのコポリマーとの群から選択された１つである、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記平坦化ポリマーがフォトレジストポリマーである、請求項５に記載の方法。
【請求項９】
前記フォトレジストポリマーがノボラック樹脂を含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記保護膜がスピンオン酸化物である、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記凹部に保護膜を充填する前記ステップが、前記窒化物層上に前記保護膜の層を堆積すること、および前記保護膜が前記凹部内にのみ残るように、前記保護膜を窪ませることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記保護膜が有機ポリマーであり、前記窪ませることがプラズマ・エッチングによって行われる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記保護膜を前記凹部から除去するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記保護膜の前記除去が反応性イオン・エッチングによって行われる、請求項１３に記載の方法。