(57)【要約】【課題】鏡枠に対してレンズが傾斜しないように調整できる調整方法及び調整装置を提供する。【解決手段】リング状光源３００からの照明光を被調整レンズ２３に照射し、光学面からの反射光の像をＣＣＤで受光し、レンズを傾斜させた際に生じる偏心によって当該像がずれる量を検出して傾斜角に換算し、アクチュエータを用いてレンズの傾斜を補正する。【選択図】図１
2010054677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズと、該レンズを組込む鏡枠の基準平面とのなす傾きを調整するレンズ傾き調整方法であって、
発光面が円周状であるリング状光源からの照明光を、前記基準平面に照射し、前記基準平面からの第１の反射光を、結像系を通過させて、所定の位置に配置したセンサに受光させる工程と、
前記センサの出力から前記第１の反射光の重心位置を求める工程と、
前記鏡枠に前記レンズを組込んだ後、前記レンズの光学面からの第２の反射光を、前記結像系を通過させて、前記センサに受光させる工程と、
前記センサの出力から前記第２の反射光の重心位置を求める工程と、
前記第１の反射光の重心位置と前記第２の反射光の重心位置に基づいて前記レンズを傾斜させる工程と、
を含むことを特徴とするレンズ傾き調整方法。
【請求項２】
レンズと、当該レンズを組込む鏡枠の基準平面とのなす傾きを調整するレンズ傾き調整装置であって、
発光面が円周状であるリング状光源からの照明光を投光する手段と、
前記リング状光源の内側に光軸を有する結像系と、
前記結像系によって結像された前記照明光を受光するセンサと、
前記センサの出力に基づいて、前記レンズを傾斜させる傾斜手段と、
を有することを特徴とするレンズ傾き調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信用レンズ、撮像系用レンズ及び光ディスク用レンズ等のレンズ傾き調整方法、及びレンズ傾き調整装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光通信用レンズ等の光学素子のコンパクト化及び非球面レンズの多様化により、レンズを光学ユニットに組込む際に、厳密な位置決め調整精度が要求されている。特許文献１には、レンズ系を構成するレンズ間の偏心量を小さくするために、点光源からの光をレンズ系に透過させ、その点像の位置や形状を観察することで、レンズ間の偏心量を計測し、レンズ系の組立時に光軸調整を行うという方法と装置とが開示されている。
【特許文献１】特開昭６０−１５００１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特許文献１に開示されている技術を用いれば、レンズ系を構成するレンズ間の偏心量を少なく調整することはできるが、レンズを組込む鏡枠に対するレンズの傾斜角を調整することはできない。レンズは鏡枠ごと光学ユニットに組付調整される場合も多く、レンズが鏡枠に対して少なからず傾斜していると、光学ユニットの光軸に対してレンズが傾斜してしまい、所望の性能を有する光学ユニットを得ることができない。本発明は上記問題に鑑み、鏡枠に対してレンズが傾斜しないように調整できる調整方法及び調整装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前述の目的は、下記に記載する発明により達成される。
【０００５】
１．レンズと、該レンズを組込む鏡枠の基準平面とのなす傾きを調整するレンズ傾き調整方法であって、
発光面が円周状であるリング状光源からの照明光を、前記基準平面に照射し、前記基準平面からの第１の反射光を、結像系を通過させて、所定の位置に配置したセンサに受光させる工程と、
前記センサの出力から前記第１の反射光の重心位置を求める工程と、
前記鏡枠に前記レンズを組込んだ後、前記レンズの光学面からの第２の反射光を、前記結像系を通過させて、前記センサに受光させる工程と、
前記センサの出力から前記第２の反射光の重心位置を求める工程と、
前記第１の反射光の重心位置と前記第２の反射光の重心位置に基づいて前記レンズを傾斜させる工程と、
を含むことを特徴とするレンズ傾き調整方法。
【０００６】
２．レンズと、当該レンズを組込む鏡枠の基準平面とのなす傾きを調整するレンズ傾き調整装置であって、
発光面が円周状であるリング状光源からの照明光を投光する手段と、
前記リング状光源の内側に光軸を有する結像系と、
前記結像系によって結像された前記照明光を受光するセンサと、
前記センサの出力に基づいて、前記レンズを傾斜させる傾斜手段と、
を有することを特徴とするレンズ傾き調整装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、鏡枠に対してレンズが傾斜しないように調整できる。これにより、鏡枠に組込まれたレンズを、光学ユニットへ組付調整する精度を向上でき、所望の性能を有する光学ユニットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明のレンズ傾き調整方法、及びそのレンズ傾き調整方法を実施するレンズ傾き調整装置の実施の形態を図面に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限定されるものではない。
【０００９】
最初に本発明に係るレンズ傾き調整装置５００の概略構成を図１に示し説明する。レンズ傾き調整装置５００は、リング状光源３００、光軸調整部１００、ＣＣＤ信号処理部７、画像処理部８、演算処理部９、表示部１０、駆動部１１、アクチュエータ１２、１３、紫外線露光装置１６などからなる。
【００１０】
リング状光源３００は、発光面が円周状をなす光源である。図２（ａ）にリング状光源の光の照射面側から見た概略図を示す。照射面２１に点光源であるＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｅｄ  Ｄｉｏｄｅ）を円周上に同一間隔で設けたタイプである。ＬＥＤの他に電球を用いてもよい。また、ＬＥＤ等のような点光源ではなく、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｌｕｍｉｎｅｓｓｅｎｃｅ）発光体を円周状に連続に形成したタイプでもよい。
【００１１】
同図（ｂ）にレンズを保持する光軸調整部１００を示す。光軸調整部１００は、中央にレンズを保持する凹状のスペースを備える。光軸調整部１００の材質としてはアルミなどの金属材料の他、テフロン（登録商標）などのプラスチック材料の採用が好ましい。特にテフロン（登録商標）はレンズ面を傷つけないのでより好ましい。図２（ｃ）に示すように、光軸調整部１００は、凹部にレンズの鏡枠２２と、その鏡枠に傾き調整する対象である被調整レンズ２３を組込む構造となっている。被調整レンズ２３の鏡枠２２は段差部２４に突き当てる状態で位置保持され、被調整レンズ２３は、底面２５に接触して位置保持される。段差部２４の底面２５からの高さは、各レンズのサイズに合わせて設定する。
【００１２】
リング状光源３００からの光は、図１に示すように被調整レンズ２３を照射する。被調整レンズ２３のリング状光源３００側の面にはアクチュエータ１２、１３からプローブ１２１、１３１が伸ばされていて、被調整レンズ２３の表面に軽く接触している。
【００１３】
演算処理部９が駆動部１１に指示し、例えばアクチュエータ１２を同図に示したＸＹＺ座標系におけるＹ方向のマイナス方向に移動させ、アクチュエータ１３をＹ方向のプラス方向に移動させることで、被調整レンズ２３は底面２５に接触するポイントを支持部として光軸調整部１００の凹部内で回転する構造となっている。なお、演算処理部９は、レンズ傾き調整装置５００の各部を統括的に制御する機能を有し、制御プログラムやデータ等を記憶するＲＯＭ、制御プログラムに従って演算等を実行するＣＰＵ、ＣＰＵがワークエリアとして利用するＲＡＭ、等から構成されている。
【００１４】
リング状光源３００からの光は被調整レンズ２３の光学面Ｓ１や、光学面Ｓ２で反射して結像レンズ１０１を通過して受光素子であるＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｓｅ）１０２に入射する。結像レンズ１０１は、単レンズでもいいし、複数枚のレンズからなるレンズ系であってもよい。ＣＣＤ１０２の撮像面上では、被調整レンズ２３の光学面Ｓ１または光学面Ｓ２面で反射したリング状光源３００の像が写り込んでいる。リング状光源３００の像の形状は、ＣＣＤ１０２、結像レンズ１０１、リング状光源３００、被調整レンズ２３の位置関係、及び結像レンズ１０１の諸元設定に基づいて決定される。被調整レンズ２３の傾斜角を求めるに際し、使用者は傾斜角を求める対象として、光学面Ｓ１または光学面Ｓ２のどちらを選択してもよい。
【００１５】
ＣＣＤ１０２からの出力信号は、ＣＣＤ信号処理部７へ送られ、ＣＣＤ信号処理部７は受光した像の光強度に相当するビデオ信号を発生させ、画像処理部８に送信する。画像処理部８においては、受信したビデオ信号を画像信号に変換する。なお、ＣＣＤ信号処理部７は、ＣＣＤ１０２内に設けても良いし、演算処理部９内に設けてもよい。画像信号はマイクロコンピューターから構成される演算処理部９に送信され、演算により、光強度の重心などを求める。
【００１６】
重心を求める場合には、ＣＣＤ１０２のかわりにＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｎｇ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）を用いても良い。その場合、画像処理部８のかわりにＰＳＤの出力信号を処理する信号処理部を用いる。
【００１７】
演算処理部９は、得られたＣＣＤ１０２の出力信号に基づいて、後述の演算処理を施し被調整レンズ２３の傾斜角を算出し、傾斜角が許容値より大きいと、傾斜角が許容値内に収まるように駆動部１１にアクチュエータ１２、１３の移動を指示する。
【００１８】
被調整レンズ２３の傾斜角が許容値より小さいと、傾斜角の調整は終了し、被調整レンズ２３と鏡枠２２とを固定する。
【００１９】
被調整レンズ２３と鏡枠２２との固定は、図示しない紫外線硬化型接着剤塗布装置を用いて紫外線硬化型接着剤を鏡枠２２と被調整レンズ２３の間に肉盛り塗布した後に、紫外線露光装置１６から紫外線照射プローブ１７を通じて紫外線を照射させて紫外線硬化型接着剤を硬化させて行う。
【００２０】
得られた画像や演算結果は表示部１０に表示する。なお、表示部１０には液晶ディスプレイやＣＲＴディスプレイを採用する。
【００２１】
なお、紫外線照射プローブ１７は、レンズ傾き調整継続中には光軸調整部１００から離れて待避させている。レンズ傾き調整が完了すると、演算処理部９から与えられる信号による指示で図示しないアクチュエータにより光軸調整部１００の横に移動させる。
【００２２】
次に被調整レンズ２３の傾斜角を検出する検出方法について詳細に説明する。本検出方法は、被調整レンズ２３が傾斜した際に生じる偏心の状態を求め、被調整レンズ２３の傾斜角を検出するものである。偏心と像の関係について図３を用いて説明する。
【００２３】
物体３１から発した光はレンズ３２によって像３３として結像される。レンズ３２が光軸３５に直交する方向にある点線で示した位置３２ａに、偏心量ｚ１で偏心して移動すると、像３３は像３４へずれる。このとき、像３３の光強度の重心位置と、像３４の光強度の重心位置とずれ量は大まかにレンズ３２の偏心量ｚ１に対して像の倍率ｍを掛け合わせた値となる。従って、像の光強度の重心位置のずれ量を求めることができれば、レンズ３２の偏心量を逆算により求めることができる。なお、図３ではレンズ３２の透過光を用いて説明したが、同様に、レンズ３２の反射光の像の光強度の重心位置について、ずれ量を求めることができれば、レンズ３２の偏心量を求めることができることは言うまでもない。
【００２４】
一方、一般にレンズ３２の傾斜角とレンズ３２の偏心量とは所定の関係がある。レンズ３２の偏心量からレンズの傾斜角を求める方法について図４を用いて説明する。
【００２５】
図４において、レンズ３２を、その一方の面Ｓ２の曲率中心Ｃ２を中心に回転させる様子を示す。Ｓ１面の曲率中心Ｃ１とＳ２面の曲率中心Ｃ２とは光軸３５上にある。Ｓ２面は略球面であるとすると、Ｓ２面の曲率中心を中心にレンズ３２を回転させると、Ｓ２面はＳ２面に沿って回転する。これに対し、レンズ３２のもう一方の光学面であるＳ１面の曲率中心Ｃ１はＳ２面の曲率中心と異なるので、レンズ３２の回転に伴って、曲率中心Ｃ１はずれ、ＣＣ１へ移動する。Ｓ１面は球面であるとすると、Ｓ１面が傾斜しても球面であることには変わりは無いので、Ｓ１面での反射光は、レンズ３２が横ずれした場合の挙動、すなわち偏心を生じた場合の挙動を示すこととなる。レンズ３２が光軸３５に対して偏心を生じると、像は横ずれを生じる。この様子を図５に示す。図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において、図中上部にＣＣＤ１０２で得られた画像、図中下部に鏡枠２２に対してのレンズ３２の傾斜状況を示す。
【００２６】
図５（ｂ）はレンズ３２が傾斜していない場合を示す。この時に、ＣＣＤ１０２で得られる画像には、ＣＣＤ視野３６に対してのリング状光源３００の像が現れる。この状態から図５（ａ）に示すようにＷ１の方向にレンズ３２を回転させると、偏心によりレンズ３２が横ずれを起こすので、リング状光源３００の像、すなわち、リング状光源３００の像の重心位置は、図中右にずれて観測される。次に、図５（ｃ）に示すように、Ｗ２の方向にレンズ３２を回転させると、偏心によりレンズ３２が逆方向に横ずれを起こすので、リング状光源３００の像、すなわち、リング状光源３００の像の重心位置は、図中左にずれて観測される。
【００２７】
このように、レンズ３２が傾くと、光学面Ｓ１は偏心することとなり、その偏心の状態は、得られた画像から検出することができるので、検出した偏心の状態から、逆算してレンズ３２の傾斜角等を求めることができる。
【００２８】
すなわち、ＣＣＤ１０２の画像から、リング状光源３００の像の重心位置のずれ方向を検出することで、レンズ３２の傾斜方向を検出でき、リング状光源３００の像の重心位置のずれ量を検出することで、レンズ３２の傾斜角を検出することができる。
【００２９】
次にレンズ傾き調整装置５００を用いて、本発明に係るレンズ傾き調整方法を実施するフローについて説明する。本フローは演算処理部９におけるプログラムからの指示で実行される。プログラムは演算処理部９における図示しないＲＯＭやＲＡＭに記憶されている。フローチャートを図６に示す。
【００３０】
最初に、ステップＳ１０において、レンズ３２の光学面であるＳ１面からの反射光７４（第１の反射光７４とも称す）から、ＣＣＤ１０２上の基準を定める。そのために、図７（ａ）に示すように、鏡枠２２の鏡枠上面７１に基準ミラー７２を設置し、リング状光源３００からの第１の反射光７４を照射してＣＣＤ１０２で受光する。
【００３１】
第１の反射光７４は図７（ｂ）に示すように、結像レンズ１０１によってＣＣＤ１０２の撮像面上に結像される。ＣＣＤ１０２の撮像面上で結像された像Ｉ１とＣＣＤ視野３６の大きさの関係は、結像レンズ１０１、ＣＣＤ１０２及び基準面７３の位置関係と、結像レンズ１０１の倍率などの諸元によって決定される。ＣＣＤ１０２による像Ｉ１の解像度は、ＣＣＤ１０２の撮像面内の像Ｉ１の大きさに比例することから、第１の反射光７４の像Ｉ１を撮像面内に大きく捕らえるように結像レンズ１０１のパワーとＣＣＤ１０２等の位置を設定する。
【００３２】
ＣＣＤ１０２上では、図８に示すようにリング状光源３００の形状に相当する像Ｉ１が受光され、像Ｉ１の光強度の重心位置ｒ１を次のような方法で、演算処理部９のＣＰＵなどの制御手段を用いて求める。ＣＣＤ１０２は、同図に示したｘｙ座標系におけるｘ方向に６４０画素、ｙ方向に４８０画素を有するとする。位置（ｘ、ｙ）における画素の光強度の出力値をｐ（ｘ、ｙ）とし、ｒ１におけるｘ方向の光強度の重心位置をｒ１（ｘ）、ｙ方向の光強度の重心位置をｒ１（ｙ）とすると、各重心位置は次のように求められる。
【００３３】
ｒ１（ｘ）については、次式のように、各ｘ方向において、ｙが１から４８０までの全てのｐ（ｘ、ｙ）を足し合わせてｍｙ（ｘ）を得る。
ｍｙ（ｘ）＝ＳＵＭ（ｐ（ｘ、１）〜ｐ（ｘ、４８０））
次に、各ｍｙ（ｘ）を重みとしてｘ方向の重心座標ｒ１（ｘ）を求める。
ｒ１（ｘ）＝ＳＵＭ（ｍｙ（ｘ）×ｘ）／ＳＵＭ（ｍｙ（ｘ））
同様にｒ１（ｙ）については、最初に、次式のように、各ｙ方向において、ｘが１から６４０までの全てのｐ（ｘ、ｙ）を足し合わせてｍｘ（ｙ）を得る。
ｍｘ（ｙ）＝ＳＵＭ（ｐ（１、ｙ）〜ｐ（６４０、ｙ））
次に、各ｍｘ（ｙ）を重みとしてｙ方向の重心座標ｒ１（ｙ）を求める。
ｒ１（ｙ）＝ＳＵＭ（ｍｘ（ｙ）×ｙ）／ＳＵＭ（ｍｘ（ｙ））
２値画像を用いる場合、ｐ（ｘ、ｙ）は１または０の値となる。画素出力として８ビットの出力を用いると、ｐ（ｘ、ｙ）は０から２５５までの値を示すこととなる。なお、ＣＣＤ１０２の解像度を上げれば、ｒ１の検出精度も向上する。また、８ビットの出力よりも１６ビット、さらに３２ビットとビット数を上げることでも検出精度を向上させることができる。ＣＣＤ１０２の出力は環境温度によってバラつくため、時間平均をとるなどして検出値のバラツキを抑える。このような手法を用いて求めたｒ１は、演算処理部９に備えた図示しないＲＡＭ等に記憶させておく。
【００３４】
次にステップＳ１１以降では、鏡枠２２に被調整レンズ２３を調整して接着し固定する工程に入る。ステップＳ１１においては、図９に示すように、被調整レンズ２３を鏡枠２２内に挿入してセットする。鏡枠２２の内側には予め図示しないディスペンサーを用いて紫外線硬化型接着剤を塗布しておいてもよいし、被調整レンズ２３を挿入後に被調整レンズ２３と鏡枠２２との接触部分に紫外線硬化型接着剤を図示しない冶具を用いて肉盛りして塗布してもよい。
【００３５】
次に、ステップＳ１２においてレンズ３２からの反射光７５（第２の反射光７５とも称す）のＣＣＤ１０２の撮像面上での重心位置ｒ２を求める。
【００３６】
ＣＣＤ１０２上では図１０に示すように円形の像（像Ｉ２と称す）が受光されるので、上記と同じ手法を用いて像Ｉ２の光強度の重心位置ｒ２を求める。
【００３７】
記憶しておいた像Ｉ１の重心位置ｒ１と像Ｉ２の重心位置ｒ２の画素上の距離を演算処理部が算出し、画素上の距離から第１の反射光７４の重心位置ｒ１と、第２の反射光７５の重心位置ｒ２の差、すなわち、重心位置ずれ量ｒ１２を求める。ｒ１２は次の式で求められる。
ｒ１２＝（（ｒ１（ｘ）−ｒ２（ｘ））２＋（ｒ１（ｙ）−ｒ２（ｙ））２）１／２
次にステップＳ１３において、得られた重心位置ずれ量ｒ１２から、レンズ偏心量を求める。まず、得られた重心位置ずれ量ｒ１２は画素換算の量であるので、１画素の大きさを考慮し、得られた重心位置ずれ量ｒ１２を実空間でのずれ量に変換する。実空間でのずれ量に変換した重心位置ずれ量ｒ１２は、レンズ偏心量に対して結像レンズ１０１の倍率分程大きくなっているので、レンズ偏心量は、実空間でのずれ量に変換した重心位置ずれ量ｒ１２を結像レンズ１０１の倍率で除するなどして得る。
【００３８】
次に得られたレンズ偏心量から被調整レンズ２３の傾斜角を導き出す。レンズ偏心量から被調整レンズ２３の傾斜角を換算は、被調整レンズ２３の形状等の諸元から容易に行える。また、次のようにも導き出せる。最初に、予め被調整レンズ３２を一定の角度、アクチュエータ１２、１３を用いて実際に移動させる。次に、ＣＣＤ１０２上において形成されたｒ１とｒ２との画素間の画素間距離を求め、１画素相当のＣＣＤ１０２上の距離が実空間においてどれだけの距離に相当するかを算出する。
【００３９】
次にステップＳ１４において、被調整レンズ２３の傾斜角が許容値内の値であるどうかを演算処理部９が判断する。被調整レンズ２３の傾斜角が許容値内に収まっていれば、ステップＳ１６において、被調整レンズ２３に対し紫外線を照射させ、紫外線硬化型接着剤を硬化させる。この時、図９に示すように、光軸調整部１００から離れて待避させておいた紫外線露光装置１６を、図示しないアクチュエータを用いて光軸調整対象である被調整レンズ２３と鏡枠２２の横に移動させる。傾き調整後の状態で被調整レンズ２３を接着固定することが可能となる。所定時間経過後、紫外線露光装置１６の紫外線照射を止め、待避させて傾き調整と被調整レンズ２３の接着固定を終了する。
【００４０】
被調整レンズ２３の傾斜角が許容値内に収まっていなければ、再度傾き調整を行うためにステップＳ１５へ移って被調整レンズ２３を所定の角度を傾斜させて傾き調整を行う。なお、被調整レンズ２３を使用者が光軸調整部１００に初期設定した際には、被調整レンズ２３と鏡枠２２の鏡枠上面７１とは傾いている可能性が大きい。
【００４１】
例えば図９に示すように、被調整レンズ２３が傾いている場合には、アクチュエータ１３を矢印９１の方向へ、アクチュエータ１２を矢印９２の方向へ移動させることで、被調整レンズ２３の傾斜角を小さくできる。以上のフローを繰り返して、被調整レンズ２３の傾斜角が許容値内に収まる実施する。
【００４２】
ところで、被調整レンズ２３を移動させるために動かしたアクチュエータ１２、１３の距離と、実際に被調整レンズ２３が動いた距離とが異なる場合がある。例えば、被調整レンズ２３を移動させるアクチュエータ１２、１３にバックラッシュやロストモーションを有している場合である。そのため、アクチュエータ１２、１３を一度駆動しただけでは、被調整レンズ２３の傾斜角が許容値内に収まらない場合がある。その場合はさらに同様の工程を繰り返して傾き調整を行う。なお、予めそのようなバックラッシュやロストモーションの量が判明している場合には、それらの量を考慮して被調整レンズ２３を移動させれば、１度のアクチュエータ１２、１３の駆動で許容値内に傾き調整できるので、バックラッシュやロストモーションの量を測定しておくことが望ましい。
【００４３】
被調整レンズ２３を移動させるアクチュエータの種類としては、微調整と租調整とを併せ持つものが好適である。最初に所定の位置に速く移動させ、次に微調整することでレンズの精度よく位置決めする。アクチュエータはサーボモータ（図示せず）、パルスモータ（図示せず）、またはピエゾ素子などの動力で駆動する。
【００４４】
なお、像Ｉ１、像Ｉ２を表示部に表示させ、かつ、重心位置ｒ１、重心位置ｒ２を画像処理部８により算出させ、使用者が確認しながらアクチュエータ１２、１３を駆動して、紫外線露光装置１６を直接駆動するマニュアル操作も行うことができる。
【００４５】
また、Ｓ２面はレンズの回転によって偏心しないものとして、被調整レンズ２３のＳ１面の反射光のみを検出して被調整レンズ２３の傾きの調整を行ったが、被調整レンズ２３の回転によりＳ２面も偏心する場合には、Ｓ２面の曲率中心のレンズ偏心量も合わせて測定し、Ｓ１面のレンズ偏心量からＳ２面のレンズ偏心量を差し引くことで、正確に被調整レンズ２３の傾斜角を検出でき、鏡枠２２に対する被調整レンズ２３の傾斜角をより精度よく補正して調整できる。
【００４６】
なおＳ１面は凹面を前提としたが、凸面でも同様にレンズ２３の傾斜角を調整することができる。凸面からの反射光をＣＣＤ１０２の撮像面上に結像させれば、レンズ偏心量と傾斜角は図３と図４を用いて説明した事情と同様であるからである。
【００４７】
以上のように、鏡枠２２の基準面からの第１の反射光７４の像の光強度の重心位置ｒ１と、被調整レンズ２３の光学面からの第２の反射光７５の像の光強度の重心位置ｒ２とを合わせることで、鏡枠２２に対して被調整レンズ２３が傾斜しないように調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態におけるレンズ傾き調整装置の概略構成図である。
【図２】本実施形態におけるリング状光源３００と光軸調整部の概略図である。
【図３】レンズが軸ずれした際に、像が位置ずれすることを表す概念図である。
【図４】本実施形態における被調整レンズ２３の傾斜と、曲率中心の横ずれを表す概念図である。
【図５】本実施形態における被調整レンズ２３の傾斜と、ＣＣＤ１０２上での像の関係を表す概念図である。
【図６】本実施形態におけるレンズ傾き調整方法のフローチャートである。
【図７】本実施形態におけるレンズ傾き調整過程の一部を示す概略図である。
【図８】本実施形態におけるＣＣＤ１０２の撮像面上での像の概略図である。
【図９】本実施形態におけるレンズ傾き調整過程の一部を示す概略図である。
【図１０】本実施形態におけるＣＣＤ１０２の撮像面上での像の概略図である。
【符号の説明】
【００４９】
７  ＣＣＤ信号処理部
８  画像処理部
１０  表示部
１１  駆動部
１２、１３  アクチュエータ
１６  紫外線露光装置
１７  紫外線照射プローブ
２１  照射面
２２  鏡枠
２３  被調整レンズ
２４  段差部
２５  底面
３１  物体
３２，１０１  レンズ
３３、３４  像
３５  光軸
３６  ＣＣＤ視野
７１  鏡枠上面
７２  基準ミラー
７３  基準面
７４  第１の反射光
７５  第２の反射光
１００  光軸調整部
１０２  ＣＣＤ
１２１、１３１  プローブ
３００  リング状光源
５００  調整装置
【図１】
2010054677.tif 000003
【図２】
2010054677.tif 000004
【図３】
2010054677.tif 000005
【図４】
2010054677.tif 000006
【図５】
2010054677.tif 000007
【図６】
2010054677.tif 000008
【図７】
2010054677.tif 000009
【図８】
2010054677.tif 000010
【図９】
2010054677.tif 000011
【図１０】
2010054677.tif 000012