(57)【要約】【課題】  電気抵抗を測定すべき回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、この電気抵抗測定用電極シートを具えた電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置を提供する。【解決手段】  本発明の電気抵抗測定用電極シートは、絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に、被検査回路基板における被検査電極に対応して形成された、電流供給用電極および電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対と、絶縁性シートの裏面に形成され、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有し、絶縁性シートには、電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットが形成されていることを特徴する。【選択図】    図２
2010066003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極に対応して形成された、それぞれ電流供給用電極および電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記検査電極対における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
前記絶縁性シートには、前記検査電極対の各々における電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットが形成されていることを特徴する電気抵抗測定用電極シート。
【請求項２】
絶縁性シートの表面に、厚み方向に導電性を示す異方導電性エラストマー層が一体的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用電極シート。
【請求項３】
請求項１に記載の電気抵抗測定用電極シートを製造する方法であって、
絶縁性シートの表面に、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極に対応するパターンに従って、複数の検査電極対形成用パッドを形成し、
これらの検査電極対形成用パッドが形成された絶縁性シートに対してレーザー加工を施すことにより、当該検査電極対形成用パッドを２つに切断して電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すると共に、当該絶縁性シートにおける電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットを形成する工程を有することを特徴とする電気抵抗測定用電極シートの製造方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測定用電極シートと、
この電気抵抗測定用電極シートの裏面に配置された異方導電性エラストマーシートと、  この異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された、前記電気抵抗測定用電極シートの中継電極に対応するパターンに従ってそれぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性支持シートおよび当該絶縁性支持シートの貫通孔の各々に厚み方向に移動可能に設けられた複数の可動電極を有してなる可動電極シートと
を具えてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。
【請求項５】
少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される請求項４に記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板の電極間における配線の電気抵抗を測定するための電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図２９に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。
【０００３】
しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣの各々を被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも、当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう恐れがある。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。
【０００４】
このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されている。
例えば、特許文献１には、エラストマーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材が、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置されてなる電気抵抗測定装置が開示され、特許文献２には、同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置が開示されている。
このような電気抵抗測定装置によれば、電気抵抗を測定すべき回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく回路基板の電気抵抗の測定を行うことができる。
【０００５】
しかしながら、上記の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における配線の電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向にある。而して、上記の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。
【０００６】
然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された回路基板について、上記の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図３０に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図３１（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図３０に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。
このような問題を解決する手段として、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄを小さくすることが考えられるが、そのような電気抵抗測定装置を作製することは、実際上極めて困難である。
また、被検査電極Ｔのサイズが極めて小さい例えば直径Ｌが１００μｍ以下である場合には、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離が１００μｍよりも相当に小さくすることが必要であるため、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖを形成することが極めて困難である。
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２６４４６号公報
【特許文献２】特開２０００−７４９６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、電気抵抗を測定すべき回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、この電気抵抗測定用電極シートを具えた電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の電気抵抗測定用電極シートは、絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極に対応して形成された、それぞれ電流供給用電極および電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記検査電極対における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
前記絶縁性シートには、前記検査電極対の各々における電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットが形成されていることを特徴する。
【００１０】
本発明の電気抵抗測定用電極シートにおいては、絶縁性シートの表面に、厚み方向に導電性を示す異方導電性エラストマー層が一体的に形成されていることが好ましい。
【００１１】
本発明の電気抵抗測定用電極シートの製造方法は、上記の電気抵抗測定用電極シートを製造する方法であって、
絶縁性シートの表面に、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極に対応するパターンに従って、複数の検査電極対形成用パッドを形成し、
これらの検査電極対形成用パッドが形成された絶縁性シートに対してレーザー加工を施すことにより、当該検査電極対形成用パッドを２つに切断して電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すると共に、当該絶縁性シートにおける電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットを形成する工程を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の電気抵抗測定用コネクターは、上記の電気抵抗測定用電極シートと、
この電気抵抗測定用電極シートの裏面に配置された異方導電性エラストマーシートと、  この異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された、前記電気抵抗測定用電極シートの中継電極に対応するパターンに従ってそれぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性支持シートおよび当該絶縁性支持シートの貫通孔の各々に厚み方向に移動可能に設けられた複数の可動電極を有してなる可動電極シートと
を具えてなることを特徴とする。
【００１３】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される上記の電気抵抗測定用コネクターを具えてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、検査電極対形成用パッドが形成された絶縁性シートに対してレーザー加工を施すことにより、当該検査電極対形成用パッドを２つに切断して電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することができるので、電流供給用電極および電圧測定用電極が極めて小さい離間距離で配置されてなる検査電極対が得られ、このような検査電極対は、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、電気抵抗を測定すべき回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用電極シート〉
図１は、本発明に係る電気抵抗測定用電極シートの一例における構成を示す説明用断面図、図２は、図１に示す電気抵抗測定用電極シートの要部を拡大して示す平面図、図３は、図１に示す電気抵抗測定用電極シートの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
この電気抵抗測定用電極シート（以下、「測定用電極シート」ともいう。）１０は、柔軟な樹脂よりなる絶縁性シート１１を有し、この絶縁性シート１１の表面には、電気抵抗を測定すべき回路基板（以下、「被検査回路基板」という。）における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って、それぞれ電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対１２が形成されている。そして、絶縁性シート１１には、検査電極対１２の各々における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の間に位置する領域にスリット１１Ｓが形成されている。
また、絶縁性シート１１の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極１５が形成されている。図示の例では、中継電極１５の各々は、測定用電極シート１０をその厚み方向に透視したときに、検査電極対１２と重ならない位置に配置されている。そして、中継電極１５の各々は、当該中継電極１５から絶縁性シート１１をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部１６、および絶縁性シート１１の表面に形成され、短絡部１６に連結された配線部１７を介して、検査電極対１２における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のいずれか一方に電気的に接続されている。
【００１６】
絶縁性シート１１を構成する材料としては、高い機械的強度を有する樹脂材料を用いることが好ましく、その具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。
また、電流供給用電極１３、電圧測定用電極１４、中継電極１５、短絡部１６および配線部１７を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
絶縁性シート１１の厚みは、当該絶縁性シート１１が柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜３０μｍである。
検査電極対１２における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の離間距離すなわち絶縁性シート１１のスリット１１Ｓの幅は、例えば３〜２５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。
【００１７】
このような測定用電極シート１０は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図４に示すように、絶縁性シート１１の表面に金属層１７Ａが形成されてなる積層材料１０Ａを用意し、この積層材料１０Ａに、図５に示すように、絶縁性シート１１および金属層１７Ａの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔１０Ｈを、形成すべき測定用電極シート１０の短絡部１６のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔１０Ｈが形成された積層材料１０Ａに対してフォトリソグラフィーおよびメッキ処理を施すことにより、図６に示すように、絶縁性シート１１の裏面に中継電極１５を形成すると共に、当該中継電極１５と金属層１７Ａとを電気的に接続する、当該絶縁性シート１１の厚み方向に伸びる短絡部１６を形成する。その後、金属層１７Ａに対してフォトリソグラフィーおよびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図７および図８に示すように、絶縁性シート１１の表面に、被検査回路基板における被検査電極に対応するパターンに従って配置された複数の検査電極対形成用パッド１２Ａを形成すると共に、この検査電極対形成用パッド１２Ａと短絡部１７とを電気的に接続する配線部１７を形成する。ここで、検査電極対形成用パッド１２Ａの各々には、それぞれ配線部１７および短絡部１６を介して、２つの中継電極１５に電気的に接続されている。そして、絶縁性シート１１に対してレーザー加工を施すことにより、検査電極対形成用パッド１２Ａを２つに切断して互いに離間して配置された電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４よりなる検査電極対１２を形成すると共に、絶縁性シート１１における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の間に位置する領域にスリット１１Ｓを形成し、以て、図１〜図３に示す測定用電極シート１０が得られる。
以上において、レーザー加工機としては、紫外線レーザー加工機、エキシマレーザー加工機などを用いることができる。
【００１８】
このような測定用電極シート１０によれば、検査電極対形成用パッド１２Ａが形成された絶縁性シート１１に対してレーザー加工を施すことにより、検査電極対形成用パッド１２Ａを２つに切断して電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４を形成することができるので、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４が極めて小さい離間距離で配置されてなる検査電極対１２が得られ、このような検査電極対１２は、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。
【００１９】
図９は、本発明に係る電気抵抗測定用電極シートの他の例における要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
この測定用電極シート１０は、絶縁性シート１１の表面に、厚み方向に導電性を示す異方導電性エラストマー層１８が一体的に密着乃至接着した状態で形成されていることを除き、図１〜図３に示す測定用電極シート１０と同様の構成である。
【００２０】
異方導電性エラストマー層１８は、図１０に拡大して示すように、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されて構成されている。また、異方導電性エラストマー層１８には、検査電極対１２の各々における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の間に位置する領域にスリット１８Ｓが形成されている
異方導電性エラストマー層１８を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
【００２１】
異方導電性エラストマー層１８に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。
【００２２】
導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。
【００２３】
また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマー層１８を得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。
【００２４】
このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマー層１８中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマー層１８が得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストー層１８は脆弱なものとなりやすく、必要な弾性が得られないことがある。
【００２５】
また、第１の異方導電性エラストマー層１８の厚みは、１０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。
【００２６】
このような測定用電極シート１０は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図１〜図３に示す測定用電極シート１０の製造方法と同様にして、絶縁性シート１１の裏面に中継電極１５を形成すると共に、当該絶縁性シート１１の表面に、中継電極１５に短絡部１６および配線部１７を介して電気的に接続された検査電極対形成用パッド１２Ａを形成する（図３乃至図７参照。）。
【００２７】
次いで、図１１に示すように、絶縁性シート１１の表面に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料層１８Ａを形成する。
その後、導電性エラストマー用材料層１８Ａの表面および絶縁性シート１１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１８Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１８Ａ中に分散されている導電性粒子が、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子による連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１８Ａを硬化処理することにより、図１２に示すように、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる異方導電性エラストマー層１８が、絶縁性シート１１の表面に一体的に形成される。
【００２８】
以上において、導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１８Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１８Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。
【００２９】
その後、異方導電性エラストマー層１８が形成された絶縁性シート１１に対してレーザー加工を施すことにより、異方導電性エラストマー層１８にスリット１８Ｓを形成し、更には、検査電極対形成用パッド１２Ａを２つに切断して互いに離間して配置された電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４よりなる検査電極対１２を形成すると共に、絶縁性シート１１における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の間に位置する領域にスリット１１Ｓを形成し、以て、図９に示す測定用電極シート１０が得られる。
【００３０】
このような測定用電極シート１０によれば、検査電極対形成用パッド１２Ａが形成された絶縁性シート１１に対してレーザー加工を施すことにより、検査電極対形成用パッド１２Ａを２つに切断して電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４を形成することができるので、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４が極めて小さい離間距離で配置されてなる検査電極対１２が得られ、このような検査電極対１２は、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。
しかも、異方導電性エラストマー層１８は、絶縁性シート１１の表面に一体的に形成されているため、使用時において、異方導電性エラストマー層１８に皺が生ずることが防止され、その結果、繰り返し使用した場合であっても、被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。
【００３１】
〈電気抵抗測定用コネクター〉
図１３は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター１は、回路基板における電極間の電気抵抗を測定するために用いられるものであって、図９に示す構成の測定用電極シート１０と、この測定用電極シート１０の裏面に配置された異方導電性エラストマーシート１９と、この異方導電性エラストマーシート１９の裏面に配置された可動電極シート２０とにより構成されている。
【００３２】
異方導電性エラストマーシート１９は、図１４に示すように、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
異方導電性エラストマーシート１９を構成する弾性高分子物質および導電性粒子Ｐとしては、図９に示す測定用電極シート１０における異方導電性エラストマー層１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子Ｐと同様のものを例示することができる。
【００３３】
異方導電性エラストマーシート１９は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図１５に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする異方導電性エラストマーシート１９の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該異方導電性エラストマーシート１９の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図１６に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図１６において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１９Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１９Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図１６において下面）が導電性エラストマー用材料１９Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。
【００３４】
次いで、図１７に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１９Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１９Ａを形成する。。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１９Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１９Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１９Ａ中に分散されている導電性粒子が、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子による連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。  そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１９Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる異方導電性エラストマーシート１９が製造される。
以上において、導電性エラストマー用材料層１９Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１９Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１９Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１９Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。
【００３５】
可動電極シート２０は、図１８にも拡大して示すように、測定用電極シート１０におけ中継電極１５のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔２２が形成された絶縁性支持シート２１と、この絶縁性支持シート２１の各貫通孔２２に、当該絶縁性支持シート２１の両面の各々から突出するよう設けられた可動電極２５とにより構成されている。  可動電極２５の各々は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に挿通された円柱状の胴部２５ａと、この胴部２５ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート２１の表面に露出する端子部２５ｂとにより構成されている。可動電極２５における胴部２５ａの長さは、絶縁性支持シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２５ａの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より小さいものとされており、これにより、当該可動電極２５は、絶縁性支持シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、可動電極２５における端子部２５ｂの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より大きいものとされている。
【００３６】
絶縁性支持シート２１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、絶縁性支持シート２１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径は、２０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜６０μｍである。
【００３７】
可動電極２５を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において、絶縁性支持シート２１に形成される金属薄層よりエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
可動電極２５における胴部２５ａの径ｒ２は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、可動電極２５必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径と可動電極２５の各々における胴部２５ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性支持シート２１の厚み方向に対して可動電極２５を移動させることが困難となることがある。
可動電極２５における端子部２５ｂの径は、中継電極１５の径の７０〜１５０％であることが好ましい。また、可動電極２５における端子部２５ｂの径と絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、可動電極２５が絶縁性支持シート２１から脱落する恐れがある。
絶縁性支持シート２１の厚み方向における可動電極２５の移動可能距離、すなわち可動電極２５における胴部２５ａの長さと絶縁性支持シート２１の厚みとの差は、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。これらの移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、これらの移動可能距離が過大である場合には、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２から露出する可動電極２５の胴部２５ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、可動電極２５の胴部２５ａが座屈または損傷するおそれがある。
【００３８】
上記の可動電極シート２０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図１９に示すように、絶縁性支持シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図２０に示すように、金属層２３Ａに形成すべき可動電極のパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図２１に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性支持シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２２を形成する。そして、図２２に示すように、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２２が形成された絶縁性支持シート２１と、この絶縁性支持シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。  以上において、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２を形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅、ニッケルなどを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、形成すべき可動電極２５の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径と形成すべき可動電極２５の各々における胴部２５ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。
【００３９】
そして、この複合積層材料２０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の各々に可動電極２５を形成する。具体的に説明すると、図２３に示すように、絶縁性支持シート２１の一面に形成された金属層２３Ａの表面および絶縁性支持シート２１の他面の各々に、形成すべき可動電極２５における端子部２５ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に連通する複数のパターン孔２４Ｋが形成されたレジスト膜２４を形成する。次いで、金属層２３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層２３Ａにおける露出した部分および金属薄層２３Ｂの表面に金属を堆積させ、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２内およびレジスト膜２４のパターン孔２４Ｋ内に金属を充填することにより、図２４に示すように、それぞれ絶縁性支持シート２１の厚み方向に伸びる可動電極２５を形成する。
このようにして可動電極２５を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図２５に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理によって、絶縁性支持シート２１の一面から金属層２３Ａを除去することにより、可動電極シート２０が得られる。
【００４０】
上記の構成の電気抵抗測定用コネクター１によれば、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４が極めて小さい離間距離で配置された、図９に示す構成の測定用電極シート１０を有することにより、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。
【００４１】
本発明において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板は、図２６（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６のみを有し、当該一面側被検査電極６間に形成された配線パターン８ａのみを有する被検査回路基板５であっても、図２６（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６および他面に形成された他面側被検査電極７を有し、一面側被検査電極６と他面側被検査電極７との間に形成された配線パターン８ｂのみを有する被検査回路基板であっても、図２６（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６および他面に形成された他面側被検査電極７を有し、一面側被検査電極６間に形成された配線パターン８ａおよび一面側被検査電極６と他面側被検査電極７との間に形成された配線パターン８ｂの両方を有する被検査回路基板５であってもよい。
【００４２】
〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図２７は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図である。この電気抵抗測定装置は、一面に一面側被検査電極６を有すると共に他面に他面側被検査電極７を有する被検査回路基板５について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うためのものであって、被検査回路基板５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、被検査回路基板５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。
検査実行領域Ｅの上方には、図１３に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１および上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、電気抵抗測定用コネクター４０および下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
【００４３】
電気抵抗測定用コネクター４０は、検査用回路基板４１上に異方導電性エラストマー層４５が一体的に形成されて構成されている。
検査用回路基板４１の表面（図２７において上面）には、互いに離間して配置された電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用電極４２ｂよりなる検査電極対が、被検査回路基板５の他面側被検査電極７の配置パターンに対応するパターンに従って配置されている。検査用回路基板４１の裏面には、適宜のパターンに従って端子電極４３が配置されており、これらの端子電極４３の各々は、電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用電極４２ｂのいずれかに電気的に接続されている。
検査用回路基板４１における電流供給用電極４２ａと電圧測定用電極４２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、異方導電性エラストマー層４５を介して電流供給用電極４２ａと電圧測定用電極４２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極７の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極７の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。
【００４４】
異方導電性エラストマー層４５は、検査用回路基板４１の検査用電極対のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の導電路形成部４６と、これらを相互に絶縁する絶縁部４７とにより構成されており、導電路形成部４６は、検査用回路基板４１の検査電極対における電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用電極４２ｂの両方の全面に接するよう配置されている。
異方導電性エラストマー層４５における導電路形成部４６は、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなるものである。一方、絶縁部４７は弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。
導電路形成部４６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。この比が１を超える場合には、導電路形成部４６を介して電流供給用電極４２ａと電圧測定用電極４２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
異方導電性エラストマー層４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、段１の異方導電性エラストマーシート１７を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものと同様のものを用いることができる。
このような異方導電性エラストマー層４５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。
【００４５】
上部側検査ヘッド５０ａは、板状の検査電極装置５１ａと、この検査電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート５５ａとにより構成されている。検査電極装置５１ａは、電気抵抗測定用コネクター１における可動電極２５に対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン５２ａを有し、これらの電極ピン５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の検査電極装置５１ｂと、この検査電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート５５ｂとにより構成されている。検査電極装置５１ｂは、電気抵抗測定用コネクター４０における端子電極４３のパターンに対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン５２ｂを有し、これらの電極ピン５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
【００４６】
上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性シート５５ａ，５５ｂは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性シート５５ａ，５５ｂとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。
【００４７】
このような回路基板の電気抵抗測定置においては、被検査回路基板５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が被検査回路基板５に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板５が電気抵抗測定用コネクター１および電気抵抗測定用コネクター４０によって挟圧される。
この状態においては、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々は、図２８に示すように、電気抵抗測定用コネクター１における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に、異方導電性エラストマー層１９を介して電気的に接続され、この電気抵抗測定用コネクター１における中継電極１５の各々は、異方導電性シート５５ａを介して検査電極装置５１ａの電極ピン５２ａに電気的に接続されている。一方、被検査回路基板５の他面側被検査電極７は、電気抵抗測定用コネクター４０の検査用回路基板４１の検査用電極対における電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用電極４２ｂの両方に、異方導電性エラストマー層４５を介して電気的に接続され、この電気抵抗測定用コネクター４０の端子電極４３の各々は、異方導電性シート５５ｂを介して検査電極装置５１ｂの電極ピン５２ｂに電気的に接続されている。
【００４８】
このようにして、被検査回路基板５の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける検査電極装置５１ａの検査ピン５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける検査電極装置５１ｂの検査ピン５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態である。  そして、この測定可能状態において、被検査回路基板５の一面側に配置された電気抵抗測定用コネクター１における電流供給用電極１３と、被検査回路基板５の他面側に配置された電気抵抗測定用コネクター４０における電流供給用電極４２ａとの間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極６に電気的に接続された電圧測定用電極１４のうち１つの電圧測定用電極１４を指定し、当該指定された電圧測定用電極１４と、当該電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極６に対応する他面側被検査電極７に電気的に接続された電圧測定用電極４２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極６とこれに対応する他面側被検査電極７との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する電圧測定用電極１４を順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。
【００４９】
上記の回路基板の電気抵抗検査装置によれば、図１３に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１を有するため、被検査回路基板５が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極６を有するものであっても、一面側被検査電極６に対する電気的接続を確実に達成することができ、当該被検査回路基板５についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る電気抵抗測定用電極シートの一例における構成を示す説明用断面図である。
【図２】図１に示す電気抵抗測定用電極シートの要部を拡大して示す平面図である。
【図３】図１に示す電気抵抗測定用電極シートの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
【図４】電気抵抗測定用電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。
【図５】積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図６】積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図７】積層材料における絶縁性シートに検査電極対形成用パッドおよび配線部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図８】積層材料における絶縁性シートに検査電極対形成用パッドおよび配線部が形成された状態を示す平面図である。
【図９】本発明に係る電気抵抗測定用電極シートの他の例における要部の構成を示す説明用断面図である。
【図１０】異方導電性エラストマー層の要部を拡大して示す説明用断面図である。
【図１１】絶縁性シートの表面に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１２】絶縁性シートの表面に異方導電性エラストマー層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１３】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。
【図１４】異方導電性エラストマーシートの要部を拡大して示す説明用断面図である。
【図１５】異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。
【図１６】他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。
【図１７】一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１８】可動電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。
【図１９】可動電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。
【図２０】積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２１】積層材料における絶縁性支持シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２２】複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。
【図２３】複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２４】複合積層材料における絶縁性支持シートの貫通孔に可動電極が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２５】複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。
【図２６】被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。
【図２７】本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を、被検査回路基板と共に示す説明図である。
【図２８】図２７に示す回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査回路基板の一面側被検査電極が検査電極装置の電極ピンに電気的に接続された状態を示す説明用断面図である。
【図２９】電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。
【図３０】従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。
【図３１】従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  電気抵抗測定用コネクター
２  ホルダー
３  位置決めピン
５  被検査回路基板
６  一面側被検査電極
７  他面側被検査電極
８ａ，８ｂ  配線パターン
１０  電気抵抗測定用電極シート
１０Ａ  積層材料
１０Ｈ  貫通孔
１１  絶縁性シート
１１Ｓ  スリット
１２  検査電極対
１２Ａ  検査電極対形成用パッド
１３  電流供給用電極
１４  電圧測定用電極
１５  中継電極
１６  短絡部
１７  配線部
１７Ａ  金属層
１８  異方導電性エラストマー層
１８Ｓ  スリット
１８Ａ  異方導電性エラストマー用材料層
１９  異方導電性エラストマーシート
１９Ａ  導電性エラストマー用材料層
１９Ｂ  導電性エラストマー用材料
２０  可動電極シート
２０Ａ  複合積層材料
２０Ｂ  積層材料
２１  絶縁性支持シート
２２  貫通孔
２３Ａ  金属層
２３Ｂ  金属薄層
２３Ｋ  開口
２４  レジスト膜
２４Ｋ  パターン孔
２５  可動電極
２５ａ  胴部
２５ｂ  端子部
３０  一面側成形部材
３１  他面側成形部材
３２  スペーサー
３２Ｋ  開口
３３  加圧ロール
３４  支持ロール
３５  加圧ロール装置
４０  電気抵抗測定用コネクター
４１  検査用回路基板
４２ａ  電流供給用電極
４２ｂ  電圧測定用電極
４３  端子電極
４５  異方導電性エラストマー層
４６  導電路形成部
４７  絶縁部
５０ａ  上部側検査ヘッド
５０ｂ  下部側検査ヘッド
５１ａ，５１ｂ  検査電極装置
５２ａ，５２ｂ  電極ピン
５３ａ，５３ｂ  電線
５４ａ，５４ｂ  支柱
５５ａ，５５ｂ  異方導電性シート
５６ａ  上部側支持板
５６ｂ  下部側支持板
５７ａ，５７ｂ  コネクター
９０  被検査回路基板
９１，９２  被検査電極
９３  電源装置
９４  電気信号処理装置
Ｐ  導電性粒子
ＰＡ，ＰＤ  電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ  電圧測定用プローブ
Ａ  電流供給用電極
Ｖ  電圧測定用電極
Ｔ  被検査電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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