(57)【要約】【課題】ピックアップの対象となるチップと、ピックアップの対象とならないチップとが整列したウエハから良品の対象チップをピックアップするピックアップ方法を提供する。【解決手段】ピックアップ対象である対象チップ２と、ピックアップ対象でない非対象チップ３とを備えたウエハ１から、良品の対象チップ２をピックアップする方法である。対象チップ２のアドレス及び対象チップ２が良品であるか否かが記録されたマップ１０を記憶し、ウエハ１に設けられた目印５を記憶し、所定位置離れた位置の対象チップ２を基準チップ６として、マップ上の基準チップ６のアドレス及び目印５と基準チップ６との位置関係を記憶し、目印５を認識可能位置に合わせ、目印５と基準チップ６との位置関係に基づいてマップ上の基準チップ６のアドレスとウエハ上の基準チップ６とが一致するように対応させて、良品のチップ２のみをピックアップする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピックアップの対象である対象チップと、ピックアップの対象でない非対象チップとを備えたウエハから、良品の対象チップをピックアップするピックアップ方法であって、
対象チップの配列を示すアドレス、及び対象チップが良品であるか否かのデータが記録されたマップを記憶し、
ウエハに設けられた目印を記憶し、
前記目印から所定位置離れた位置の対象チップを基準チップとして、マップ上の前記基準チップのアドレス、及びウエハの目印と実際の基準チップとの位置関係を記憶し、
前記記憶した目印を目標点として、ウエハの目印を認識可能位置に合わせ、
前記ウエハの目印と実際の基準チップとの位置関係に基づいてマップ上の基準チップのアドレスとウエハ上の基準チップとを対応させて、
マップに基づいて良品のチップのみをピックアップすることを特徴とするピックアップ方法。
【請求項２】
ウエハを水平方向に移動させるテーブルにおける前記基準チップのテーブル座標を記憶するとともに、目印から基準チップまでの相対座標を記憶し、
前記基準チップのテーブル座標と、目印から基準チップまでの相対座標とから、目印のテーブル座標を求めて目印を認識可能位置に合わせることを特徴とする請求項１のピックアップ方法。
【請求項３】
前記目印の画像を撮影して目印を記憶し、
撮影された画像上における目印を目標として、ウエハにおける目印が画像上の目印と一致するようにして目印の位置確認を行って、目印が認識可能位置に合っている場合は、目印から基準チップまでの相対座標分テーブルを移動させて基準チップを認識可能位置に合わせ、実際の基準チップにマップ上の基準チップのアドレスを対応させ、目印が認識可能位置に合っていない場合は、目印を認識可能位置に再度合わせることを特徴とする請求項２のピックアップ方法。
【請求項４】
対象チップをピックアップする動作のティーチングが行われ、ティーチングに従う動作中に、前記マップのデータに基づいて、良品である対象チップのみをピックアップすることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項のピックアップ方法。
【請求項５】
前記基準チップは、目印から最も近接する対象チップであることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項のピックアップ方法。
【請求項６】
前記目印は、ウエハの外周縁に設けられた切欠部であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項のピックアップ方法。
【請求項７】
ピックアップの対象である対象チップと、ピックアップの対象でない非対象チップとを備えたウエハから、良品の対象チップをピックアップするピックアップ装置であって、
対象チップの配列を示すアドレス、及び対象チップが良品であるか否かのデータが記録されたマップを記憶するマップ記憶手段と、
ウエハに設けられた目印の画像を撮影して記憶する目印記憶手段と、
前記目印から所定位置離れた位置の対象チップを基準チップとして、マップ上の前記基準チップのアドレス、ウエハを水平方向に移動させるテーブルにおける前記基準チップのテーブル座標、及びウエハの目印から実際の基準チップの相対位置を記憶する基準チップ記憶手段と、
前記記憶した目印を目標点として、ウエハの目印を認識可能位置に合わせる目印位置合わせ手段と、
撮影された画像上における目印を目標として、ウエハにおける目印が画像上の目印と一致するようにして目印の位置確認を行う目印確認手段と、
前記ウエハの目印と実際の基準チップとの位置関係に基づいて基準チップを認識可能位置に合わせる基準チップ位置合わせ手段と、
テーブル位置を制御する第１制御手段と、
前記制御手段に基づいてテーブルを移動させる駆動手段と、
マップ上の基準チップのアドレスとウエハ上の基準チップとを対応させる第２制御手段と、
前記マップのデータに基づいて、良品である対象チップのみをピックアップするように駆動手段及びピックアップ機構を制御する第３制御手段とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数種のチップが含まれた一枚のウエハから、特定種のチップの良品のみをピックアップするピックアップ方法、及びピックアップ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野において、ピックアップ工程を備える装置としては、例えば、半導体チップをピックアップして、基板やリードフレームにボンディングするダイボンダや、トレイに整列・収納するダイスピッカー等がある。半導体チップをピックアップする際、予め作成されたマップデータ（各半導体チップが良品であるか否かが事前にテストされ、良品・不良品のデータが記録されたもの）に基づいて、良品のみをピックアップする（特許文献１）。
【０００３】
ところで、図５に示すように、従来の半導体チップ１０２は全て等サイズであり、各半導体チップ１０２は、Ｘ方向、及びＹ方向にそれぞれ等ピッチで整列している。そして、ウエハ１０１の外周縁の所定位置には、いわゆるノッチ１０５という半円形の切欠部１０４が設けられている。このノッチ１０５は、他の部位とは異なるユニークなパターン（特殊な形状）を有しているため、容易に視認可能であり、ノッチ１０５にてウエハ１０１の回転方向、及びＸ、Ｙ方向の位置決めを行うことができる。
【０００４】
このようなウエハ１０１から、良品の半導体チップ１０２のみをピックアップする方法について説明する。まず、複数のチップ１０２からなる半導体ウエハ毎に、夫々のチップ１０２が良品であるか否かのテストを行う。そして、図６に示すように、チップ１０２のＸ方向及びＹ方向の配列を示すアドレス、及びチップ１０２が良品であるか否かのデータが記録されたマップ１１０を作成する。図６において、ハッチングは良品、クロスハッチングは不良品を示している。そして、このマップ１１０を、ピックアップする装置に記憶させる。
【０００５】
その後、図６に示すように、実際のウエハ１０１とマップ１１０との位置合わせ（座標合わせ）を行って、各チップ１０２と、マップ上の各アドレスのデータとを対応させる。ウエハ１０１とマップ１１０との位置合わせは、ノッチ１０５が存在するチップを基準チップ１０６として、基準チップ１０６のマップ上のアドレスＡ（図示例ではＸ＝４、Ｙ＝９）を装置に記憶させるとともに、ノッチ１０５の形状を画像として装置に記憶させる。そして、画像認識にて実際の基準チップ１０６を、認識可能位置に合わせる（必要であれば、その後作業者が目視確認を行って位置合わせを行う）。そして、認識可能位置に合わせられた基準チップ１０６に、マップ上の基準チップ１０６のアドレスＡを対応させることによって、他のチップ１０２もマップデータと対応させることができ、基準チップ１０６を特定した認識位置決め、すなわちマッピングデータとの整合ができる。これにより、いずれの半導体チップ１０２が良品、あるいは不良品であるのか整合を行うことができる。なお、図６において、仮想線はウエハ１０１の外周縁を示しており、マップ上の各アドレスに夫々のチップ１０２を重ね合わせた状態を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１２９３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記のように、ノッチ１０５を有する半導体チップを基準チップ１０６として、この基準チップ１０６に対応するマップデータのアドレスＡを整合する方法では、基準チップ１０６にマップデータのアドレスが存在しない場合には適用することができない。すなわち、ウエハ１０１には、図２に示すように、製品チップ（ピックアップの対象となるチップ）と、別の製品やテスト用のダミーチップ（ピックアップの対象とはならないチップ）とが規則正しく整列したウエハが存在する。図２において、ハッチングなしが製品チップであり、ハッチングがダミーチップである。良品・不良品を検査するテストを行う場合、１回のテストにつき複数種のチップを検査することはできず、ピックアップの対象とならないチップは、通常、良品・不良品であるかのテストは行われない。これにより、マップには、ピックアップの対象となるチップのアドレスのみが存在し、ピックアップの対象とはならないチップのアドレスはマップ上には存在しない（図３参照）。換言すると、マップ上のアドレス数と実際のウエハのチップ数とは異なる。このため、マップ上にアドレスを有さないチップ（つまり、ピックアップの対象とはならないチップ）を基準チップとした場合、実際の基準チップと、これに対応するマップ上のアドレスのデータを対応させることができなかった。このため、他の製品チップもマップ上のアドレスのデータと対応させることができなかった。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みて、ピックアップの対象となるチップと、ピックアップの対象とはならないチップとが整列したウエハであっても、従来のマップデータと整合することができ、ピックアップの対象となる対象チップから良品のみをピックアップすることができるピックアップ方法及びピックアップ装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のピックアップ方法は、ピックアップの対象である対象チップと、ピックアップの対象でない非対象チップとを備えたウエハから、良品の対象チップをピックアップするピックアップ方法であって、対象チップの配列を示すアドレス、及び対象チップが良品であるか否かのデータが記録されたマップを記憶し、ウエハに設けられた目印を記憶し、前記目印から所定位置離れた位置の対象チップを基準チップとして、マップ上の前記基準チップのアドレス、及びウエハの目印と実際の基準チップとの位置関係を記憶し、前記記憶した目印を目標点として、ウエハの目印を認識可能位置に合わせ、前記ウエハの目印と実際の基準チップとの位置関係に基づいてマップ上の基準チップのアドレスとウエハ上の基準チップとを対応させて、マップに基づいて良品のチップのみをピックアップするものである。
【００１０】
本発明のピックアップ方法によれば、ピックアップ対象チップを基準チップとして、目印を有するチップと区別しているため、基準チップには常にマップ上のアドレスが存在する。これにより、対象チップと非対象チップとからなるウエハにおいて、マップが対象チップのみのアドレスを有するものであっても、基準チップに対応するマップ上のアドレスを整合させることによって、各対象チップとマップのアドレスとを対応させることができる。
【００１１】
ウエハを水平方向に移動させるテーブルにおける前記基準チップのテーブル座標を記憶するとともに、目印から基準チップまでの相対座標を記憶し、前記基準チップのテーブル座標と、目印から基準チップまでの相対座標とから、目印のテーブル座標を求めて目印を認識可能位置に合わせることができる。
【００１２】
前記目印の画像を撮影して目印を記憶し、撮影された画像上における目印を目標として、ウエハにおける目印が画像上の目印と一致するようにして目印の位置確認を行って、目印が認識可能位置に合っている場合は、目印から基準チップまでの相対座標分テーブルを移動させて基準チップを認識可能位置に合わせ、実際の基準チップにマップ上の基準チップのアドレスを対応させ、目印が認識可能位置に合っていない場合は、目印を認識可能位置に再度合わせることができる。すなわち、目印は他の部位とは異なっているため、視覚的に目印の位置合わせを行うことができる。
【００１３】
対象チップをピックアップする動作のティーチングが行われ、ティーチングに従う動作中に、前記マップのデータに基づいて、良品である対象チップのみをピックアップすることができる。
【００１４】
前記基準チップは、目印から最も近接する対象チップとすることができる。これにより、一旦目印に位置合わせを行った後、基準チップに位置合わせを行う際に、テーブルの移動量を小とすることができる。
【００１５】
前記目印は、ウエハの外周縁に設けられた切欠部とすることができる。これにより、ウエハが通常有する、いわゆるノッチを目印として利用することができ、目印を別途設ける必要がなくなる。ここで、ノッチとはウエハの回転方向の位置決めを行う半円状の切欠きであり、通常ウエハに設けられている。このノッチは、他の部位とは異なるユニークなパターン（特殊な形状）を有しているため、視認が容易である。
【００１６】
本発明のピックアップ装置は、ピックアップの対象である対象チップと、ピックアップの対象でない非対象チップとを備えたウエハから、良品の対象チップをピックアップするピックアップ装置であって、対象チップの配列を示すアドレス、及び対象チップが良品であるか否かのデータが記録されたマップを記憶するマップ記憶手段と、ウエハに設けられた目印の画像を撮影して記憶する目印記憶手段と、前記目印から所定位置離れた位置の対象チップを基準チップとして、マップ上の前記基準チップのアドレス、ウエハを水平方向に移動させるテーブルにおける前記基準チップのテーブル座標、及びウエハの目印から実際の基準チップの相対位置を記憶する基準チップ記憶手段と、前記記憶した目印を目標点として、ウエハの目印を認識可能位置に合わせる目印位置合わせ手段と、撮影された画像上における目印を目標として、ウエハにおける目印が画像上の目印と一致するようにして目印の位置確認を行う目印確認手段と、前記ウエハの目印と実際の基準チップとの位置関係に基づいて基準チップを認識可能位置に合わせる基準チップ位置合わせ手段と、テーブル位置を制御する第１制御手段と、前記制御手段に基づいてテーブルを移動させる駆動手段と、マップ上の基準チップのアドレスとウエハ上の基準チップとを対応させる第２制御手段と、前記マップのデータに基づいて、良品である対象チップのみをピックアップするように駆動手段及びピックアップ機構を制御する第３制御手段とを備えたものである。
【００１７】
本発明のピックアップ装置によれば、ピックアップ対象チップを基準チップとして、目印を有するチップと区別しているため、基準チップには常にマップ上のアドレスが存在する。これにより、対象チップと非対象チップとからなるウエハにおいて、マップが対象チップのみのアドレスを有するものであっても、基準チップに対応するマップ上のアドレスを整合させることによって、各対象チップとマップのアドレスとを対応させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のピックアップ方法は、対象チップと非対象チップとからなるウエハと、対象チップのみのアドレスを有するマップとを対応させることができるため、目印を有するチップが非対象チップ（マップ上のアドレスを有さないチップ）であっても、確実に各対象チップとマップとを整合させることができる。これにより、目印を有するチップにマップ上のアドレスは必要がなく、基準チップを自由に設定することができるため、種々のタイプのウエハに適用することができ、汎用性が向上する。また、マッピングを行うテストは、従来の方法をそのまま採用することができるため、装置を大幅に改造することなく、低コストとすることができる。
【００１９】
前記基準チップのテーブル座標と、目印から基準チップまでの相対座標とから、目印のテーブル座標を求めて目印を認識可能位置に合わせると、容易かつ確実に目印を認識可能位置に合わせることができる。
【００２０】
撮影された画像上における目印を目標として、ウエハにおける目印が画像上の目印と一致するようにして目印の位置確認を行うと、作業者でも視覚的に容易に目印を確認することができ、正確に目印を認識可能位置に合わることができる。また、目印を認識可能位置に合わせた後、相対座標分テーブルを移動させて基準チップの位置合わせを行うと、容易かつ確実に基準チップを認識可能位置に合わせることができる。
【００２１】
対象チップをピックアップする動作のティーチングが行われ、ティーチングに従う動作中に、前記マップのデータに基づいて、良品であるチップのみをピックアップすると、対象チップと非対象チップとからなるウエハでも、ピッチ移動時にずれが生じることなく、良品の対象チップのみを選択できる。
【００２２】
一旦目印に位置合わせを行った後、基準チップに位置合わせを行う際に、テーブルの移動量を小とすると、基準チップの位置決めまでの時間を短縮できる、移動時の位置ずれを小とすることができるという利点がある。
【００２３】
ウエハが通常有する、いわゆるノッチを目印として利用すると、目印を別途設ける必要がなく、加工工数の増加を防止することができ、コスト低減を図ることができる。
【００２４】
本発明のピックアップ装置は、目印を有するチップが非対象チップ（マップ上のアドレスを有さないチップ）であっても、確実に各チップとマップとを整合させることができ、基準チップを自由に設定することができるため、種々のタイプのウエハに適用することができ、汎用性が向上する。また、マッピングを行うテストは、従来の方法をそのまま採用することができるため、装置を大幅に改造することなく、低コストとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態を示すピックアップ装置の構成を示すブロック図である。
【図２】前記図１のピックアップ装置にセットされるウエハの平面図である。
【図３】前記図２のウエハにおける各チップの良否を示すマップの平面図である。
【図４】本発明の実施形態を示すピックアップ方法を示すフローチャートである。
【図５】従来のピックアップ装置にセットされるウエハの平面図である。
【図６】前記従来のウエハにおける各チップの良否を示すマップの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。
【００２７】
このピックアップ装置は、半導体チップ（以下、チップという）２、３等の電子部品を回路基板に実装するために、複数種のチップ２、３が含まれた一枚のウエハ１から、特定種のチップ２の良品のみをピックアップするものである。
【００２８】
本発明において使用されるウエハ１は、図２に示すように、ピックアップの対象となる対象チップ２と、ピックアップの対象とはならない非対象チップ３ａ、３ｂ、３ｃとが規則正しく整列している。図２において、ハッチングなしが対象チップ２を示しており、ハッチングありが非対象チップ３ａ、３ｂ、３ｃを示している。つまり、図示例では、Ｘ方向及びＹ方向に対象チップ２が２個ずつ連続して整列し、その間に、対象チップ２とは異なるサイズの非対象チップ３が整列している。そして、ウエハ１の外周縁の所定位置には、視認可能に設けられた切欠部４（いわゆるノッチ）を有している。この切欠部４にて、ウエハ１の回転方向の位置決めを行う目印５とすることができる。そして、切欠部４から最も近接する一の対象チップ２を基準チップ６とする。
【００２９】
図１に示すように、このピックアップ装置は、ウエハ１をＸ方向及びＹ方向に移動させる駆動手段５６及びテーブル５９と、チップ２をピックアップするピックアップ機構６０と、対象チップ２の配列を示すアドレス、及び対象チップ２が良品であるか否かのデータが記録されたマップ１０（図３参照）を記憶するマップ記憶手段５１と、ウエハ１に設けられた目印５を記憶する目印記憶手段５２と、マップ上の基準チップ６のアドレス（Ｘ、Ｙ）、ウエハ１を水平方向に移動させるテーブルにおける基準チップ６のテーブル座標（ｘ、ｙ）、及びウエハ１の目印５から実際の基準チップ６の相対位置を記憶する基準チップ記憶手段５３と、ウエハ１の目印５を認識可能位置に合わせる目印位置合わせ手段５４と、ウエハ１の目印５の位置確認を行う目印確認手段５８と、実際の基準チップ６を認識可能位置に合わせる基準チップ位置合わせ手段５５と、駆動手段５６及びピックアップ機構６０を制御する制御手段５７とを備えている。
【００３０】
テーブル５９は、ウエハ１を載置するものであって、駆動手段５６の駆動力にてＸ方向及びθ（回転）方向に移動するものである。駆動手段５６としては、サーボモータ、ステッピングモータ等から構成される。
【００３１】
ピックアップ機構６０は、良品である対象チップ２を実際にピックアップするための機構であり、例えばコレット、アーム等から構成される。
【００３２】
マップ記憶手段５１は、予め個々の対象チップ２の特性が評価されたマップ１０を記憶しておくものである。すなわち、ウエハ１は、ダイシングされる前に、対象チップ毎にプローブ装置による電気的測定が行われ、電極パターンのショート、チップ２の入出力特性等を調べることにより、対象チップ２の良否が判定される。そして、図３に示すように、各対象チップ２のＸ方向及びＹ方向の位置を示すためのアドレスと、そのアドレスに対応する対象チップ２が良品であるか否かのデータが記録されたマップ１０が作成される。図３において、ハッチングは良品、クロスハッチングは不良品を示している。なお、非対象チップ３については、良品・不良品であるかのテストは行われないため、図３に示すように、マップ１０には対象チップ２に対応するアドレスのデータのみが存在し、非対象チップ３のデータは存在しない。
【００３３】
目印記憶手段５２は、ウエハ１に設けられた目印５を記憶するものである。本実施形態では、目印５の画像を撮影して記憶する。
【００３４】
基準チップ記憶手段５３は、マップ上の基準チップ６のアドレスＡ（Ｘ＝３、Ｙ＝７）、基準チップ６のテーブル座標、及びウエハ１の目印５から実際の基準チップ６の相対位置を記憶するものである。
【００３５】
目印位置合わせ手段５４は、ウエハ１をテーブルにセットした際に、目印５を認識可能位置に合わせるものである。具体的には、基準チップ６のテーブル座標と、目印５から実際の基準チップ６までの相対位置とから、目印５のテーブル座標がわかるため、目印５を目標点としてテーブル５９を動かして目印５を認識可能位置に合わせる。
【００３６】
目印確認手段５８は、目印記憶手段５２にて記憶した目印５の画像上における目印を目標として、実際のウエハ１における目印５が画像上の目印と一致するようにして目印５の位置確認を行う。このように、切欠部４からなる目印５が、他の部位とは視覚的に異なっていることを利用して、視覚的に目印５の位置合わせを行うことができる。
【００３７】
基準チップ位置合わせ手段５５は、ウエハ１の目印５を認識可能位置に合わせた後、基準チップ６を認識可能位置に合わせるものである。具体的には、目印５から基準チップ６までの相対座標分テーブル５９を移動させるものである。
【００３８】
制御手段５７は、第１制御手段６１と、第２制御手段６２と、第３制御手段６３とからなる。第１制御手段６１は、目印位置合わせ手段５４や、基準チップ位置合わせ手段５５の指令に基づいて、テーブル５９を移動させる指令を駆動手段５６に与えるものである。第２制御手段はマップ上の基準チップ６のアドレスＡとウエハ上の基準チップ６とを対応させるものである。第３制御手段６３は、マップ１０のデータに基づいて、良品である対象チップ２のみをピックアップするように制御手段５６及びピックアップ機構６０を制御するものである。
【００３９】
次に、図１に示したピックアップ装置を使用して、対象チップ２をピックアップする方法を、図４を参照して説明する。まず、ウエハ１をテーブル５９にセットする（ステップＳ１）。セットされるウエハ１は、ウエハ１より若干大きめのウエハシートに貼着されており、ウエハシートをエキスパンド機構で引っ張ることにより、チップ２、３は隣接するチップ２、３から離間され、ピックアップし易いようにしている。
【００４０】
予め対象チップ毎に特性を評価したマップ１０のデータをマップ記憶手段５１に記憶させ（ステップＳ２）、目印５から最も近接する対象チップ２を基準チップ６として設定する（ステップＳ３）。そして、目印５の画像を撮影して目印記憶手段５２にて記憶させるとともに（ステップＳ４）、マップ上の基準チップ６のアドレスＡ（本実施形態では、Ｘ＝３、Ｙ＝７）、基準チップ６のテーブル座標、ウエハ１の目印５から実際の基準チップ６までの相対座標を基準チップ記憶手段５３に記憶させる（ステップＳ５）。
【００４１】
その後、基準チップ６のテーブル座標と、目印５から実際の基準チップ６までの相対位置とから、目印５のテーブル座標がわかるため、目印位置合わせ手段５４は、目印５を目標点として目印５を認識可能位置に合わせるように、第１制御手段６１に指令を送る（ステップＳ６）。これに基づいて第１制御手段６１は、駆動手段５６を駆動させてテーブル５９を移動させる。その後、撮影された画像上における目印５を目標として、目印確認手段５８は、ウエハ１における目印５が画像上の目印５と一致するようにして目印５の位置確認を行う（ステップＳ７）。
【００４２】
目印５が認識可能位置に合っている場合（ステップＳ８）は、基準チップ位置合わせ手段５５は、目印５から基準チップ６までの相対座標分テーブルを移動させて基準チップ６を認識可能位置に合わせるように、第１制御手段６１に指令を送る（ステップＳ９）。これに基づいて第１制御手段６１は、駆動手段５６を駆動させてテーブル５９を移動させる。そして、第２制御手段６２は、実際の基準チップ６にマップ上の基準チップのアドレスＡ（Ｘ＝３、Ｙ＝７）を対応させる（ステップＳ１０）。目印５が認識可能位置に合っていない場合（ステップＳ８）は、ステップＳ６に戻って目印５を認識可能位置に再度合わせる。
【００４３】
また、対象チップ２をピックアップする動作のティーチングが予め行われており、ティーチングに従う動作中に、前記マップ１０のデータに基づいてテーブル５９を移動させ、ピックアップ機構６０にて良品である対象チップ２のみをピックアップする（ステップＳ１１）。ピックアップ動作としては、良品であるか不良品であるかに拘わらず、対象チップ２をピックアップポジションに位置させて良品のみをピックアップすることができる。この場合、対象チップ２のみがピックアップポジションに位置するように、順番（例えば、Ｘ方向）にテーブル５９を移動させて、不良品がピックアップポジションに位置したときはピックアップしないようにする。また、不良品をピックアップポジションに位置させることなく、良品のみをピックアップポジションに位置させて良品のみをピックアップすることもできる。対象チップ２をピックアップポジションに位置させる際には、マップ記憶手段５１のデータより、基準チップ６から非対象チップ３までの間のチップ数、連続する対象チップ２のチップ数を記憶させる。これにより、Ｘ方向及びＹ方向の移動において、非対象チップ３が含まれるか否かがわかる。非対象チップ３が含まれない場合には、対象チップ２のピッチが移動量となり、非対象チップ３が含まれる場合には、対象チップ２のピッチに、非対象チップ３のピッチを加えたものが移動量となる。そして、ピックアップ機構６０が、位置決めされた良品の対象チップ２をピックアップする。なお、ピックアップ機構６０は、ピックアップすべき対象チップ２がピックアップポジションに位置したときに、コレットが下降してチップを吸着して、その後ピックアップポジションから移動して他の位置（例えば、ボンディング位置）に搬送するものである。
【００４４】
本発明では、対象チップ２と非対象チップ３とからなるウエハ１と、対象チップ２のみのアドレスを有するマップ１０とを対応させることができるため、目印５を有するチップが非対象チップ３（マップ上のアドレスを有さないチップ）であっても、確実に各対象チップ２とマップ１０とを整合させることができる。これにより、目印５を有するチップにマップ上のアドレスは必要がなく、基準チップ６を自由に設定することができるため、種々のタイプのウエハ１に適用することができ、汎用性が向上する。また、マッピングを行うテストは、従来の方法をそのまま採用することができるため、装置を大幅に改造することなく、低コストとすることができる。
【００４５】
前記基準チップ６のテーブル座標と、目印５から基準チップ６までの相対座標とから、目印５のテーブル座標を求めて目印５を認識可能位置に合わせると、容易かつ確実に目印５を認識可能位置に合わせることができる。
【００４６】
撮影された画像上における目印５を目標として、ウエハ１における目印５が画像上の目印５と一致するようにして目印５の位置確認を行うと、作業者でも視覚的に容易に目印を確認することができ、正確に目印５を認識可能位置に合わることができる。また、目印５を認識可能位置に合わせた後、相対座標分テーブル５９を移動させて基準チップ６の位置合わせを行うと、容易かつ確実に基準チップ６を認識可能位置に合わせることができる。
【００４７】
対象チップ２をピックアップする動作のティーチングが行われ、ティーチングに従う動作中に、前記マップ１０のデータに基づいて、良品である対象チップ２のみをピックアップすると、対象チップ２と非対象チップ３とからなるウエハ１でも、ピッチ移動時にずれが生じることなく、良品の対象チップ２のみを選択できる。
【００４８】
一旦目印５に位置合わせを行った後、基準チップ６に位置合わせを行う際に、テーブル５９の移動量を小とすると、基準チップ６の位置決めまでの時間を短縮できる、移動時の位置ずれを小とすることができるという利点がある。
【００４９】
ウエハ１が通常有する、いわゆるノッチ５を目印として利用すると、目印５を別途設ける必要がなく、加工工数の増加を防止することができ、コスト低減を図ることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、連続する対象チップ２の数は、Ｘ方向・Ｙ方向に２個ずつでなくてもよく、Ｘ方向とＹ方向とで相違していてもよい。非対象チップ３の大きさや数は、実施形態のものに限らず、種々のものを採用することができる。対象チップ２と非対象チップ３との大きさが同一であってもよい。ステップＳ２とステップＳ３との順序は逆であってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１      ウエハ
２      対象チップ
３      非対象チップ
４      切欠部
５      目印
６      基準チップ
１０    マップ
５１    マップ記憶手段
５２    目印記憶手段
５３    基準チップ記憶手段
５４    目印位置合わせ手段
５５    基準チップ位置合わせ手段
５６    駆動手段
５８    目印確認手段
５９    テーブル
６０    ピックアップ機構
６１    第１制御手段
６２    第２制御手段
６３    第３制御手段
【図１】
2010192817.tif 000003
【図２】
2010192817.tif 000004
【図３】
2010192817.tif 000005
【図４】
2010192817.tif 000006
【図５】
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【図６】
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