(57)【要約】      （修正有）【課題】成膜対象の電極に薄膜を短時間に形成するとともに、薄膜を形成する物質が残りの電極に付着することを確実に防止する水晶振動子の成膜装置を提供する。【解決手段】水晶振動子８１は板状の水晶片８２を有し、水晶片８２の両主面には２対の電極が形成される。主感応膜形成部の処理槽４３１には主感応膜となる物質を含む処理液が貯溜され、水晶片８２は処理液中に浸漬される。主感応膜形成部では１対の電極の一方の電極８４２が成膜対象とされ、電位付与部４３４により、処理液中における当該物質のゼータ電位とは異なる極性の電位が電極８４２に付与され、当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位が残りの電極８３１，８３２，８４１に付与される。これにより、成膜対象の電極８４２に薄膜が短時間に形成されるとともに、薄膜を形成する物質が残りの電極８３１，８３２，８４１に付着することが確実に防止される。【選択図】図７
2010103285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極の少なくとも１つの電極に薄膜を形成する成膜装置であって、
前記薄膜となる物質を含む処理液を貯溜するとともに前記処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位が浸漬される処理槽と、
前記１対の電極の少なくとも１つの電極、および、前記少なくとも１つの電極を除く前記処理液中の残りの電極のそれぞれに接続され、前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を前記少なくとも１つの電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を前記残りの電極に付与する電位付与部と、
を備えることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
請求項１に記載の成膜装置であって、
前記処理槽が導電性材料により形成されており、
前記電位付与部が、前記処理槽と前記少なくとも１つの電極との間、および、前記処理槽と前記残りの電極との間に電位差を生じさせることを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の成膜装置であって、
前記処理液中に複数の水晶振動子が浸漬され、
前記電位付与部が、前記複数の水晶振動子の前記少なくとも１つの電極に同電位を付与し、前記複数の水晶振動子の前記残りの電極に同電位を付与することを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の成膜装置であって、
前記少なくとも１つの電極に対する成膜時に、前記処理槽に対する前記処理液の供給および排出が行われないことを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極のうちの一方に薄膜を形成する成膜装置であって、
前記薄膜となる物質を含む処理液を貯溜するとともに前記処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位が浸漬される処理槽と、
前記１対の電極のそれぞれに接続され、前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を一方の電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を他方の電極に付与する電位付与部と、
を備えることを特徴とする成膜装置。
【請求項６】
請求項５に記載の成膜装置であって、
前記水晶振動子において、前記両主面に他の１対の電極が形成され、
前記処理槽において、前記１対の電極が前記処理液中に浸漬され、前記他の１対の電極が前記処理液外に配置されることを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
請求項６に記載の成膜装置であって、
前記水晶片において、前記１対の電極の前記一方の電極と、前記他の１対の電極の前記一方の電極と同じ主面に形成される電極とが電気的に接続していることを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
アルコールを検出する水晶振動子を製造する水晶振動子製造システムであって、
板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子の前記１対の電極の少なくとも１つの電極に無機化合物を含む中間膜を形成する中間膜形成部と、
前記中間膜上にアルコール検出用の感応膜を形成する感応膜形成部と、
を備え、
前記感応膜形成部が、請求項１ないし４、６、並びに、７のいずれかに記載の成膜装置を備えることを特徴とする水晶振動子製造システム。
【請求項９】
板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極の少なくとも１つの電極に薄膜を形成する成膜方法であって、
ａ）処理槽に貯溜されるとともに前記薄膜となる物質を含む処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位を浸漬する工程と、
ｂ）前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を前記１対の電極の少なくとも１つの電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を前記少なくとも１つの電極を除く前記処理液中の残りの電極に付与する工程と、
を備えることを特徴とする成膜方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の成膜方法であって、
前記処理槽が導電性材料により形成されており、
前記ｂ）工程において、前記処理槽と前記少なくとも１つの電極との間、および、前記処理槽と前記残りの電極との間に電位差を生じさせることを特徴とする成膜方法。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の成膜方法であって、
前記ａ）工程において、前記処理液中に複数の水晶振動子が浸漬され、
前記ｂ）工程において、前記複数の水晶振動子の前記少なくとも１つの電極に同電位が付与され、前記複数の水晶振動子の前記残りの電極に同電位が付与されることを特徴とする成膜方法。
【請求項１２】
請求項９ないし１１のいずれかに記載の成膜方法であって、
前記少なくとも１つの電極に対する成膜時に、前記処理槽に対する前記処理液の供給および排出が行われないことを特徴とする成膜方法。
【請求項１３】
板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極のうちの一方に薄膜を形成する成膜方法であって、
ａ）処理槽に貯溜されるとともに前記薄膜となる物質を含む処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位を浸漬する工程と、
ｂ）前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を前記１対の電極の一方の電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を他方の電極に付与する工程と、
を備えることを特徴とする成膜方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の成膜方法であって、
前記水晶振動子において、前記両主面に他の１対の電極が形成され、
前記ａ）工程において、前記１対の電極が前記処理液中に浸漬され、前記他の１対の電極が前記処理液外に配置されることを特徴とする成膜方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の成膜方法であって、
前記水晶片において、前記１対の電極の前記一方の電極と、前記他の１対の電極の前記一方の電極と同じ主面に形成される電極とが電気的に接続していることを特徴とする成膜方法。
【請求項１６】
アルコールを検出する水晶振動子を製造する水晶振動子製造方法であって、
板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子の前記１対の電極の少なくとも１つの電極に無機化合物を含む中間膜を形成する中間膜形成工程と、
前記中間膜上にアルコール検出用の感応膜を形成する感応膜形成工程と、
を備え、
前記感応膜形成工程が、請求項９ないし１２、１４、並びに、１５のいずれかに記載の成膜方法を備えることを特徴とする水晶振動子製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子において電極に薄膜を形成する技術、および、アルコールを検出する水晶振動子を製造する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特定の物質の濃度を検出する装置において水晶振動子が多く用いられており、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成された水晶振動子において、電極上に当該物質を吸着する感応膜を形成することにより、当該物質の検出用の水晶振動子（すなわち、当該装置における検出部となる水晶振動子）が製造される。電極上への感応膜の形成は、感応膜となる物質を含む処理液中に水晶振動子を浸漬することにより行われる（水晶への成膜に関して、例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、特定の物質を吸着する感応膜を有する１対の電極（以下、「主感応電極対」とも呼ぶ。）が水晶片の両主面に形成され、主感応電極対からの出力の補正に用いられる他の１対の電極（以下、「副感応電極対」とも呼ぶ。）も両主面に形成された水晶振動子が近年、開発されており、このような水晶振動子では温度や湿度等の影響により検出濃度に誤差が生じることが防止される。
【０００４】
なお、特許文献２では、置換めっきを行う際に、基板上の絶縁膜上のゼータ電位と、絶縁膜に形成された金属配線上のゼータ電位とが異極性の電位となるように、触媒めっき液の水素イオン指数ｐＨを調整することにより、金属配線表面に選択的に触媒金属層を形成する手法が開示されている。また、特許文献３では、絶縁性の基材が浸漬されるダイヤモンド微粒子分散液のゼータ電位と、基材表面のゼータ電位と、基材表面に形成された導電性の中間層に印可した電位との相対関係を制御して、中間層表面に選択的にダイヤモンド微粒子を定着させる手法が開示されている。
【特許文献１】特開２００７−６１７５２号公報
【特許文献２】特開２００４−２７３７９０号公報
【特許文献３】特開２００６−７８３７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、薄膜となる物質を含む処理液を処理槽内に貯溜し、当該処理液中に水晶振動子を浸漬することにより（いわゆる、ディップ方式にて）、電極上に薄膜を形成する場合、処理途上にて処理液中の電極近傍における当該物質の濃度が低下するため、当該物質の拡散が律速となって薄膜の形成を短時間に行うことが困難となる。
【０００６】
一方で、主および副感応電極対を有する水晶振動子を高精度に製造するには、成膜対象の電極のみに所定の薄膜を形成するとともに、残りの電極に当該薄膜を形成する物質が付着することを確実に防止する必要がある。成膜対象外の電極上にマスクを設けて当該物質の付着を防止することも考えられるが、マスクの形成および除去等の煩雑な作業が必要となるとともに、処理途上において万一マスクが損傷した場合には、成膜対象外の電極に当該物質が付着してしまう。
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、成膜対象の電極に薄膜を短時間に形成するとともに、薄膜を形成する物質が残りの電極に付着することを確実に防止することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極の少なくとも１つの電極に薄膜を形成する成膜装置であって、前記薄膜となる物質を含む処理液を貯溜するとともに前記処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位が浸漬される処理槽と、前記１対の電極の少なくとも１つの電極、および、前記少なくとも１つの電極を除く前記処理液中の残りの電極のそれぞれに接続され、前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を前記少なくとも１つの電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を前記残りの電極に付与する電位付与部とを備える。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の成膜装置であって、前記処理槽が導電性材料により形成されており、前記電位付与部が、前記処理槽と前記少なくとも１つの電極との間、および、前記処理槽と前記残りの電極との間に電位差を生じさせる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の成膜装置であって、前記処理液中に複数の水晶振動子が浸漬され、前記電位付与部が、前記複数の水晶振動子の前記少なくとも１つの電極に同電位を付与し、前記複数の水晶振動子の前記残りの電極に同電位を付与する。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の成膜装置であって、前記少なくとも１つの電極に対する成膜時に、前記処理槽に対する前記処理液の供給および排出が行われない。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極のうちの一方に薄膜を形成する成膜装置であって、前記薄膜となる物質を含む処理液を貯溜するとともに前記処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位が浸漬される処理槽と、前記１対の電極のそれぞれに接続され、前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を一方の電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を他方の電極に付与する電位付与部とを備える。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の成膜装置であって、前記水晶振動子において、前記両主面に他の１対の電極が形成され、前記処理槽において、前記１対の電極が前記処理液中に浸漬され、前記他の１対の電極が前記処理液外に配置される。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の成膜装置であって、前記水晶片において、前記１対の電極の前記一方の電極と、前記他の１対の電極の前記一方の電極と同じ主面に形成される電極とが電気的に接続している。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、アルコールを検出する水晶振動子を製造する水晶振動子製造システムであって、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子の前記１対の電極の少なくとも１つの電極に無機化合物を含む中間膜を形成する中間膜形成部と、前記中間膜上にアルコール検出用の感応膜を形成する感応膜形成部とを備え、前記感応膜形成部が、請求項１ないし４、６、並びに、７のいずれかに記載の成膜装置を備える。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極の少なくとも１つの電極に薄膜を形成する成膜方法であって、ａ）処理槽に貯溜されるとともに前記薄膜となる物質を含む処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位を浸漬する工程と、ｂ）前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を前記１対の電極の少なくとも１つの電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を前記少なくとも１つの電極を除く前記処理液中の残りの電極に付与する工程とを備える。
【００１７】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の成膜方法であって、前記処理槽が導電性材料により形成されており、前記ｂ）工程において、前記処理槽と前記少なくとも１つの電極との間、および、前記処理槽と前記残りの電極との間に電位差を生じさせる。
【００１８】
請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載の成膜方法であって、前記ａ）工程において、前記処理液中に複数の水晶振動子が浸漬され、前記ｂ）工程において、前記複数の水晶振動子の前記少なくとも１つの電極に同電位が付与され、前記複数の水晶振動子の前記残りの電極に同電位が付与される。
【００１９】
請求項１２に記載の発明は、請求項９ないし１１のいずれかに記載の成膜方法であって、前記少なくとも１つの電極に対する成膜時に、前記処理槽に対する前記処理液の供給および排出が行われない。
【００２０】
請求項１３に記載の発明は、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成された水晶振動子において、前記１対の電極のうちの一方に薄膜を形成する成膜方法であって、ａ）処理槽に貯溜されるとともに前記薄膜となる物質を含む処理液中に前記水晶片の少なくとも前記１対の電極が形成された部位を浸漬する工程と、ｂ）前記処理液中における前記物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を前記１対の電極の一方の電極に付与するとともに、前記物質の前記ゼータ電位と同じ極性の電位を他方の電極に付与する工程とを備える。
【００２１】
請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載の成膜方法であって、前記水晶振動子において、前記両主面に他の１対の電極が形成され、前記ａ）工程において、前記１対の電極が前記処理液中に浸漬され、前記他の１対の電極が前記処理液外に配置される。
【００２２】
請求項１５に記載の発明は、請求項１４に記載の成膜方法であって、前記水晶片において、前記１対の電極の前記一方の電極と、前記他の１対の電極の前記一方の電極と同じ主面に形成される電極とが電気的に接続している。
【００２３】
請求項１６に記載の発明は、アルコールを検出する水晶振動子を製造する水晶振動子製造方法であって、板状の水晶片の両主面に１対の電極がそれぞれ形成され、前記両主面に他の１対の電極もそれぞれ形成された水晶振動子の前記１対の電極の少なくとも１つの電極に無機化合物を含む中間膜を形成する中間膜形成工程と、前記中間膜上にアルコール検出用の感応膜を形成する感応膜形成工程とを備え、前記感応膜形成工程が、請求項９ないし１２、１４、並びに、１５のいずれかに記載の成膜方法を備える。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、成膜対象の電極に薄膜を短時間に形成するとともに、薄膜を形成する物質が残りの電極に付着することを確実に防止することができる。
【００２５】
また、請求項２および１０の発明では、成膜に係る構成を簡素化することができ、請求項３および１１の発明では、複数の水晶振動子の成膜対象の電極に効率よく、かつ、容易に薄膜を形成することができ、請求項４および１２の発明では、成膜対象の電極に形成された薄膜が剥がれることを防止することができる。
【００２６】
また、請求項７および１５の発明では、水晶片に２対の電極が形成され、成膜対象の電極と、当該電極と同じ主面に形成される電極とが電気的に接続している場合であっても、成膜対象の電極のみに薄膜を形成することができ、請求項８および１６の発明では、アルコール検出用の水晶振動子を精度よく製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は水晶振動子８１の正面図であり、図２は水晶振動子８１の背面図である。図１および図２の水晶振動子８１は、後述の水晶振動子製造システム１（図３参照）における処理対象となるものである。
【００２８】
水晶振動子８１は、例えば、直径９ミリメートル（ｍｍ）の略円形の板状（円形以外であってもよい。）の水晶片８２を有し、図２に示す水晶片８２の一の主面８２１上には、例えば金（Ａｕ）にて形成される２つの矩形の電極８３１，８４１が形成される。これらの電極８３１，８４１は端部（図２中の下側の端部）にて同様の材料にて形成される矩形の補助部８５１を介して互いに電気的に接続される。図１に示す水晶片８２の他の主面８２２上には、電極８３１，８４１にそれぞれ対向する位置に（すなわち、主面８２２に垂直な方向において重なる位置に）電極８３１，８４１と同形状の電極８３２，８４２が同様に金にて形成される。電極８３２，８４２は離間しており、各電極８３２，８４２の外側（水晶片８２の外縁側）には、電極８３２，８４２と電気的に接続する矩形の補助部８５２，８５３が同様の材料にて形成される。
【００２９】
水晶振動子８１は、所定の金属にて形成される引出線である３本のリード８７１，８７２，８７３を有し、これらのリード８７１〜８７３は、図１および図２の横方向に並んだ状態で、絶縁性材料にて形成されるブロック状の部材８６（リード８７１〜８７３から周囲に突出する部材と捉えることができるため、以下、「フランジ部８６」という。）にて固定される。リード８７１〜８７３は、フランジ部８６の水晶片８２側の面８６１および当該面８６１とは反対側の面８６２の双方から突出しており、面８６２から突出する部位は互いに平行に直線状に伸びている。また、両端のリード８７２，８７３の面８６１から突出する部位は、互いに離れるようにして外側に湾曲し、さらにその先端側にて面８６１から離れるように面８６１の垂線におよそ沿う方向に湾曲している。リード８７１〜８７３の面８６１から突出する部位の端部（以下、「サポータ」という。）８７１１，８７２１，８７３１は、水晶振動子８１の側面から見て二股に分かれており、水晶片８２は各サポータ８７１１，８７２１，８７３１にて挟持され、リード８７１〜８７３およびフランジ部８６（「ベース」と総称される。）に対して固定される。
【００３０】
中央のリード８７１のサポータ８７１１は、図２に示す水晶片８２の主面８２１上にて補助部８５１に導電性接着剤にて接着され、両端のリード８７２，８７３のサポータ８７２１，８７３１は、図１に示す水晶片８２の主面８２２上にて補助部８５２，８５３に導電性接着剤にてそれぞれ接着される。以上の構成により、所定の発振周波数を有する水晶振動子８１が形成されている。
【００３１】
図３は、本発明の一の実施の形態に係る水晶振動子製造システム１の構成を示す図である。図３の水晶振動子製造システムは、水晶振動子８１の電極８３２，８４２（図１参照）に所定の薄膜を多層に形成することにより、アルコール検出用の水晶振動子（エチルアルコールを検出する装置（いわゆる、匂いセンサ）における検出部となる水晶振動子）を製造するものである。水晶振動子製造システム１では、後述するように複数の水晶振動子８１がキャリア９にて保持され、キャリア９内の全ての水晶振動子８１に対して同様の処理が行われる（すなわち、バッチ式の処理が行われる。）。
【００３２】
図３の水晶振動子製造システム１は、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）および過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）を含む洗浄液を用いて電極８３１，８３２，８４１，８４２の表面のコンタミネーションや有機物等の不要物を除去する前洗浄部３１、電極８３１，８３２，８４１，８４２に対してチオール処理等の前処理を施す前処理部３２、水晶片８２の主面８２２上の１つの電極８４２上にエチルアルコールを検出するための多層膜を形成することにより電極８４１，８４２にて構成される主感応電極対を形成する主感応電極形成部４、主面８２２上のもう１つの電極８３２上に所定の膜を形成することにより電極８３１，８３２にて構成されるとともに水晶振動子の主感応電極対からの出力補正用の副感応電極対を形成する副感応電極形成部５、キャリア９を前洗浄部３１、前処理部３２、主感応電極形成部４および副感応電極形成部５に搬送する搬送部２、並びに、水晶振動子製造システム１の各構成要素を制御する制御部（図示省略）を備える。水晶振動子製造システム１では、処理前のキャリア９が載置される投入部６１（ローダ）から、全体処理後のキャリア９が載置される払出部６２（アンローダ）に向かって前洗浄部３１、前処理部３２、主感応電極形成部４および副感応電極形成部５が順に一列に配列される。
【００３３】
ここで、キャリア９について説明する。図４はキャリア９の正面図であり、図５はキャリア９の左側面図である。図４および図５に示すように、キャリア９は直方体の複数の辺に対応するフレーム（ただし、後述のホルダ９２の長手方向に沿う下側の２つの辺に対応する部位（梁）は存在しない。）により形成されるキャリア本体９１、および、それぞれが長いブロック状の複数のホルダ９２を有する。
【００３４】
図５に示すように、複数の水晶振動子８１は、フランジ部８６（図１参照）を挟持する専用のホルダ９２により水晶片８２を下方に向けた状態で、ホルダ９２の長手方向に配列して保持され、水晶片８２およびリード８７１〜８７３の先端（水晶片８２とは反対側の先端）はホルダ９２から突出している。複数のホルダ９２の両端部は、図４および図５に示すキャリア本体９１の下側の２つの梁９１１上に載置され、複数のホルダ９２は梁９１１が伸びる方向に配列される。各ホルダ９２と、当該ホルダ９２と当接する各梁９１１の部分とには互いに嵌合する部位が形成されており、複数のホルダ９２はキャリア本体９１に対して強固に、かつ、一定の位置に保持される。
【００３５】
また、複数のホルダ９２上にはカバー部９３が設けられ、カバー部９３にはホルダ９２から突出するリード８７１〜８７３の先端が挿入される多数の孔が形成される。図５に示すカバー部９３は、キャリア本体９１の鉛直方向（図５の上下方向）に伸びる４本の梁と干渉しない位置にて外側に突出する端子部９３１を有し、端子部９３１には３つの端子が形成される。カバー部９３では、第１の端子はキャリア９にて保持される全ての水晶振動子８１のリード８７１と電気的に接続され、第２の端子は全ての水晶振動子８１のリード８７２と電気的に接続され、第３の端子は全ての水晶振動子８１のリード８７３と電気的に接続される。
【００３６】
キャリア本体９１の下部において底面に相当する矩形の４角には下方に突出する４個の脚部９１３がそれぞれ形成される。また、キャリア本体９１の上部には図４の横方向の両外側にそれぞれ突出するとともに、ホルダ９２の長手方向に長くされる２つの鍔部９１２が形成される。
【００３７】
キャリア９が図３の搬送部２により搬送される際には、搬送部２の支持部２１が有する２つの支持アーム２１１が開いた状態で、支持部２１が昇降機構２２により図３中にて二点鎖線にて示す位置まで下降し、２つの支持アーム２１１が鍔部９１２に係合可能な位置まで閉じた後、支持部２１が上昇する。続いて、横行機構２３により、支持部２１が昇降機構２２と共にキャリア９に対する次の処理が行われる構成（例えば、後述の洗浄部４２）の上方まで移動し、支持部２１が下降してキャリア９が内部に載置される。そして、支持アーム２１１が開いた後、支持部２１が上昇して、キャリア９の搬送が完了する。
【００３８】
図３の主感応電極形成部４は、電極８４２上に中間膜を形成する中間膜形成部４１、中間膜が形成された直後の水晶片８２を純水にて洗浄するとともに乾燥する洗浄部４２、中間膜上にアルコール検出用の膜（すなわち、エチルアルコールを吸着させるための膜であり、以下、「主感応膜」という。）を形成する主感応膜形成部４３、並びに、主感応膜が形成された直後の水晶片８２を純水にて洗浄するとともに乾燥する洗浄部４４を備える。
【００３９】
図６は主感応膜形成部４３の構成を示す図である。主感応膜形成部４３は、シクロデキストリンを含む処理液を貯溜するとともにステンレス鋼等の導電性材料にて形成される処理槽４３１、キャリア９の脚部９１３が処理槽４３１内の底面４３２に当接した状態でカバー部９３の端子部９３１と当接する当接部４３３、並びに、処理槽４３１に電気的に接続されるとともに当接部４３３を介して端子部９３１の第１ないし第３の端子に電位を付与する電位付与部４３４を有する。処理槽４３１内の処理液は、キャリア９の複数の水晶振動子８１の水晶片８２の全体が浸かる深さとされる。
【００４０】
本実施の形態では、水晶振動子８１の電極８４２が主感応膜形成部４３における主感応膜の形成対象（すなわち、成膜対象）とされており、後述するアルコール検出用の水晶振動子の製造処理にて電極８４２上に主感応膜を形成する際には、水晶片８２の全体が処理槽４３１内の処理液中に浸漬された状態で、電位付与部４３４が処理槽４３１と電極８４２との間、および、処理槽４３１と残りの電極８３１，８３２，８４１との間に電位差（電圧）を生じさせる。
【００４１】
具体的には、処理槽４３１に付与する電位を基準として、処理液中のシクロデキストリンのゼータ電位が正である場合には、当接部４３３およびカバー部９３を介して電極８４２に負の電位が付与されるとともに残りの電極８３１，８３２，８４１に正の電位が付与され、処理液中のシクロデキストリンのゼータ電位が負である場合には、電極８４２に正の電位が付与されるとともに残りの電極８３１，８３２，８４１に負の電位が付与される。すなわち、電極８４２には処理液中のシクロデキストリンのゼータ電位とは異なる極性の電位が付与され、残りの電極８３１，８３２，８４１には処理液中のシクロデキストリンのゼータ電位と同じ極性の電位が付与される。
【００４２】
これにより、処理槽４３１内を抽象的に示す図７のように、主感応膜となるシクロデキストリン（図７中にて符号Ａ１を付す丸にて示す。）と電極８４２との間には引力が作用し、シクロデキストリンと残りの電極８３１，８３２，８４１との間には斥力が作用し、電極８４２のみにエチルアルコールと包接錯体を形成するシクロデキストリンの薄膜が形成される。実際には、主感応膜形成部４３では、電極８４２に対する成膜時に、処理槽４３１に対する処理液の供給および排出が行われないため、電極８４２に形成された薄膜が処理途上にて剥がれることが防止される。なお、処理液中のシクロデキストリンのゼータ電位は、水晶振動子８１に影響が生じない範囲内にて処理液の水素イオン指数ｐＨを調整することによりある程度制御可能である。
【００４３】
図３の中間膜形成部４１は、処理槽にて貯溜される処理液の種類が異なる点を除き、図６の主感応膜形成部４３と同様の構成とされ、同様の手法にて薄膜が形成される。すなわち、キャリア９にて保持される複数の水晶片８２が処理槽内の処理液中に浸漬された状態で、処理槽に付与する電位を基準として、電極８４２に処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位が付与され、残りの電極８３１，８３２，８４１に処理液中の当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位が付与される。これにより、電極８４２上に所定の無機化合物の薄膜（例えば、酸化膜）が中間膜として形成される。
【００４４】
また、図３の副感応電極形成部５は、処理液の種類が主感応電極形成部４の中間膜形成部４１および主感応膜形成部４３の処理液と相違する点を除き、主感応電極形成部４と同様の構成とされる。すなわち、副感応電極形成部５は、成膜対象である電極８３２上に無機化合物の中間膜を形成する中間膜形成部、中間膜が形成された直後の水晶片８２を純水にて洗浄するとともに乾燥する洗浄部、空気中の水分もしくは主感応膜に吸着されるエチルアルコール以外の物質のうち少なくとも一方を吸着させるための有機化合物を含む膜（以下、「副感応膜」という。）を中間膜上に形成する副感応膜形成部、並びに、副感応膜が形成された直後の水晶片８２を純水にて洗浄するとともに乾燥する洗浄部を備える。
【００４５】
以上のように、図３の水晶振動子製造システム１では、主感応電極形成部４の中間膜形成部４１および主感応膜形成部４３、並びに、副感応電極形成部５の中間膜形成部および副感応膜形成部のそれぞれが、所定の薄膜を成膜対象の電極上に形成する成膜装置となっている。
【００４６】
図８．Ａおよび図８．Ｂは、水晶振動子製造システム１がアルコール検出用の水晶振動子を製造する処理の流れを示す図である。図３の水晶振動子製造システム１では、複数の水晶振動子８１を保持するキャリア９が投入部６１に載置されると、搬送部２によりキャリア９が前洗浄部３１内に搬入され、洗浄液を用いて水晶片８２が洗浄される（ステップＳ１１）。前洗浄部３１では、洗浄液による洗浄後、純水による洗浄および乾燥が行われる。続いて、キャリア９は前処理部３２へと搬送され、水晶片８２の電極８３１，８３２，８４１，８４２に対してチオール処理等の前処理が施され、電極８３１，８３２，８４１，８４２表面に水酸基が導入される（ステップＳ１２）。前処理部３２においても、前処理の後、純水による洗浄および乾燥が行われる。
【００４７】
前処理が完了すると、キャリア９は主感応電極形成部４の中間膜形成部４１に搬送され、複数の水晶振動子８１の水晶片８２が処理槽内の処理液中に浸漬される（ステップＳ１３）。そして、既述のように、処理液中の中間膜となる物質と電極８４２との間に引力が作用するように、複数の水晶振動子８１の電極８４２に電位が連続的に付与され、当該物質と残りの電極８３１，８３２，８４１との間に斥力が作用するように、複数の水晶振動子８１の電極８３１，８３２，８４１に電位が連続的に付与され、電極８４２のみに中間膜が形成される（ステップＳ１４）。実際には、電極８４２および電極８３１，８３２，８４１への電位の付与は、複数の水晶振動子８１の処理液への浸漬とほぼ同時に開始される（後述のステップＳ１７，Ｓ２１，Ｓ２４において同様）。なお、中間膜形成部４１の設計によっては、複数の水晶振動子８１の処理液への浸漬の直前に、電極８４２および電極８３１，８３２，８４１への電位の付与が開始されてもよい（主感応膜形成部４３、並びに、副感応電極形成部５の中間膜形成部および副感応膜形成部において同様）。
【００４８】
予め定められた時間が経過して電極８４２上に所定の厚さの中間膜が形成されると、キャリア９は処理槽から取り出されて洗浄部４２に搬送される。そして、中間膜が形成された直後の水晶片８２が純水にて洗浄され、その後、窒素ガスの噴射により乾燥される（ステップＳ１５）。もちろん、洗浄部４２では電極８３１，８３２，８４１，８４２に電位は付与されない（他の洗浄部において同様）。
【００４９】
続いて、キャリア９は主感応膜形成部４３に搬送され、複数の水晶振動子８１の水晶片８２が処理槽４３１内の処理液中に浸漬される（ステップＳ１６）。そして、処理液中の主感応膜となる物質と電極８４２との間に引力が作用するように、複数の水晶振動子８１の電極８４２に電位が連続的に付与され、当該物質と残りの電極８３１，８３２，８４１との間に斥力が作用するように、複数の水晶振動子８１の電極８３１，８３２，８４１に電位が連続的に付与され、電極８４２上のみに主感応膜が形成される（ステップＳ１７）。電極８４２上に所定の厚さの主感応膜が形成されると、キャリア９は洗浄部４４に搬送され、主感応膜が形成された直後の水晶片８２が純水にて洗浄され、その後、窒素ガスの噴射により乾燥される（ステップＳ１８）。
【００５０】
水晶振動子製造システム１の制御部では、キャリア９に対するステップＳ１３〜Ｓ１８の処理の回数がカウントされており、所定回数に到達していないことが確認されると（ステップＳ１９）、上記ステップＳ１３〜Ｓ１８の処理が繰り返され、電極８４２の主感応膜上に中間膜および主感応膜が形成される。このようにして、上記ステップＳ１３〜Ｓ１８の処理が所定回数（例えば、２回以上１０回以下）だけ繰り返されることにより（ステップＳ１９）、電極８４２上に中間膜および主感応膜が交互積層され、これらの膜を有する電極８４２と、電極８４２に対向する電極８４１との集合である主感応電極対が完成する。なお、製造する水晶振動子に求められる性能等によっては、ステップＳ１３〜Ｓ１８の処理は１回のみであってもよい。
【００５１】
主感応電極対が作製されると、キャリア９は副感応電極形成部５の中間膜形成部に搬送され、複数の水晶振動子８１の水晶片８２が処理槽内の処理液中に浸漬される（ステップＳ２０）。そして、ステップＳ１４の処理と同様にして、電極８３２のみに中間膜が形成される（ステップＳ２１）。電極８３２上に中間膜が形成されると、洗浄部において中間膜が形成された直後の水晶片８２が純水にて洗浄され、その後、窒素ガスの噴射により乾燥される（ステップＳ２２）。
【００５２】
続いて、キャリア９は副感応膜形成部に搬送され、複数の水晶振動子８１の水晶片８２が処理槽内の処理液中に浸漬される（ステップＳ２３）。そして、処理液中の副感応膜となる物質と電極８３２との間に引力が作用するように、複数の水晶振動子８１の電極８３２に電位が付与され、当該物質と残りの電極８３１，８４１，８４２との間に斥力が作用するように、複数の水晶振動子８１の電極８３１，８４１，８４２に電位が付与され、電極８３２上のみにエチルアルコールと包接錯体を形成しない副感応膜が形成される（ステップＳ２４）。電極８３２上に副感応膜が形成されると、洗浄部において副感応膜が形成された直後の水晶片８２が純水にて洗浄され、その後、窒素ガスの噴射により乾燥される（ステップＳ２５）。
【００５３】
水晶振動子製造システム１では、必要に応じてステップＳ２０〜Ｓ２５の処理が繰り返され（ステップＳ２６）、電極８３２上に中間膜および副感応膜が多層に（１層ずつであってもよい。）形成され、これらの膜を有する電極８３２と、電極８３２に対向する電極８３１との集合である副感応電極対が完成する。実際には、複数のキャリア９に対して前洗浄部３１、前処理部３２、主感応電極形成部４および副感応電極形成部５における処理が並行して行われ、水晶振動子製造システム１では、主感応電極対および副感応電極対を有する水晶振動子を効率よく製造することが可能となっている。
【００５４】
ここで、主感応電極対および副感応電極対を有する水晶振動子（専用の発振回路と合わせて、ツインセンサとも呼ばれる。）について説明する。既述のように、水晶振動子では、図１および図２に示す水晶片８２の主面８２１上の電極８３１，８４１に対して、主面８２１に垂直な方向において正確に重なる主面８２２上の位置に同形状の電極８３２，８４２が形成されており、両主面８２１，８２２にそれぞれ形成された１対の電極８４１，８４２（すなわち、主感応電極対）、並びに、水晶片８２の電極８４１，８４２が形成された部位の集合は１つの振動子（以下、「第１振動子」と呼ぶ。）と捉えることができ、両主面８２１，８２２にそれぞれ形成された他の１対の電極８３１，８３２（すなわち、副感応電極対）、並びに、水晶片８２の電極８３１，８３２が形成された部位の集合も、第１振動子と独立して振動する１つの振動子（以下、「第２振動子」と呼ぶ。）と捉えることができる。第１振動子および第２振動子のそれぞれは、所定の基準環境下（常温および常湿、かつ、エチルアルコールの濃度がほぼ０％）において一定の発振周波数（以下、「基準周波数」という。）を示すものとなっている。
【００５５】
既述のように、主感応電極対における主感応膜はエチルアルコールを吸着するものとされ、水晶振動子がエチルアルコールを含む雰囲気中に置かれると、エチルアルコールの吸着により主感応膜の質量が増大する。したがって、当該雰囲気中では第１振動子における発振周波数が基準周波数から変化する。このとき、第１振動子における発振周波数の変化は、正確には、エチルアルコールの吸着の影響以外に、基準環境からの温度および湿度の変化、並びに、主感応膜に吸着されるエチルアルコール以外の物質の影響も含んでいる。副感応電極対における副感応膜は水分もしくは主感応膜に吸着されるエチルアルコール以外の物質のうち少なくとも一方を吸着するものとされ、当該雰囲気中では、基準環境からの温度および湿度の変化の影響により第２振動子における発振周波数が基準周波数から変化する。よって、第１振動子における発振周波数の変化量から第２振動子における発振周波数の変化量を引く（または、これらの変化量を用いた所定の演算を行う）ことにより、第１振動子におけるエチルアルコール以外の要因による周波数変化をキャンセルして、エチルアルコールの濃度を精度よく検出することが可能となる。なお、水晶振動子では、主感応電極対において主感応膜を多層に積層することにより、感度を向上することが実現されている。
【００５６】
ところで、水晶振動子製造システム１において、仮に、各電極８３１，８３２，８４１，８４２に電位を付与することなく水晶振動子８１を処理槽に浸漬すると、成膜対象の電極のみならず、他の電極にも膜が形成されてしまう。したがって、実際には、当該他の電極上にマスクを形成する必要がある。また、処理液中の電極近傍では、薄膜となる物質の濃度の低下が生じるため、当該物質の拡散が律速となって薄膜の形成を短時間に行うことが困難となる。
【００５７】
これに対し、水晶振動子製造システム１では、成膜装置（すなわち、主感応電極形成部４の主感応膜形成部および中間膜形成部、並びに、副感応電極形成部５の副感応膜形成部および中間膜形成部）の電位付与部が、成膜対象の電極および残りの電極のそれぞれに接続され、成膜対象の電極には処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位が付与され、残りの電極には当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位が付与される。これにより、成膜対象の電極に薄膜を短時間に形成するとともに、薄膜を形成する物質が残りの電極に付着することを（マスクを形成することなく）確実に防止することができる。
【００５８】
また、上記成膜装置では、処理液中に複数の水晶振動子８１が浸漬され、電位付与部により、複数の水晶振動子８１の成膜対象の電極には、処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の同電位が付与され、複数の水晶振動子８１の残りの電極には、当該物質のゼータ電位と同じ極性の同電位が付与される。これにより、複数の水晶振動子８１の成膜対象の電極に効率よく（すなわち、高い生産性にて）、かつ、個別に電位を付与する場合に比べて容易に薄膜を形成することが可能となる。
【００５９】
図９および図１０は主感応膜形成部の他の例を示す図である。図９は主感応膜形成部４３ａ内の水晶片８２を主面８２２側から見た図であり、図１０は水晶片８２を主面８２１側から見た図である。図９および図１０では図７と同様に主感応膜形成部４３ａ内を抽象的に示しており、実際には多数の水晶片８２が処理液中に浸漬されている。主感応膜形成部４３ａを有する水晶振動子製造システム１では、図１および図２の水晶振動子８１のベース（すなわち、リード８７１〜８７３およびフランジ部８６）を省略したものが処理対象となっている。
【００６０】
主感応膜形成部４３ａでは、水晶片８２は電極８３２，８４２が図９の縦方向（液面に垂直な方向）に並ぶ状態にて、水晶片支持部７１により支持されている。水晶片支持部７１は導電性を有する３個の支持要素７１１，７１２，７１３（ただし、耐薬品性を有する絶縁性材料にて被覆されている。）を有し、各支持要素７１１〜７１３の先端には水晶片８２を挟持するクランプ部７２１が形成される。既述のように、図１０の水晶片８２において、１対の電極８４１，８４２の電極８４１と、他の１対の電極８３１，８３２の電極８４１と同じ主面８２１に形成される電極８３１とは、補助部８５１を介して互いに電気的に接続しており、支持要素７１１のクランプ部７２１はこの補助部８５１に接続される。また、図９に示すように、支持要素７１２のクランプ部７２１は電極８３２に連続する補助部８５２に接続され、支持要素７１３のクランプ部７２１は電極８４２に連続する補助部８５３に接続される。支持要素７１１〜７１３は電位付与部４３４（図６参照）に接続され、電極８３１，８４１、電極８３２、並びに、電極８４２に対して個別に電位を付与することが可能とされる。
【００６１】
主感応膜形成部４３ａでは、電極８３１と接続する電極８４１が成膜対象とされており、１対の電極８４１，８４２が処理槽４３１内の処理液中に浸漬され、他の１対の電極８３１，８３２が処理液外に配置されるように、水晶片８２が支持されている。そして、成膜対象の電極８４１には処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位が付与され、処理液中の残りの電極８４２には当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位が付与される。その結果、成膜対象の電極８４１（および補助部８５１の一部）のみに薄膜を短時間に形成するとともに、薄膜を形成する物質が処理液中の残りの電極８４２、並びに、他の１対の電極８３１，８３２に付着することを（マスクを形成することなく）確実に防止することができる。なお、主感応膜形成部４３ａでは、電極８３２には電位は付与されない。
【００６２】
主感応電極形成部４の中間膜形成部、並びに、副感応電極形成部５の副感応膜形成部および中間膜形成部は主感応膜形成部４３ａと同様の構成とされ、副感応電極形成部５では、電極８３１，８３２が処理槽内の処理液中に位置し、電極８４１，８４２が処理液外に位置するように、水晶片８２を図９および図１０に示す姿勢から外周に沿って１８０度だけ回転させた姿勢にて、水晶片８２が水晶片支持部により支持される。そして、成膜対象の電極８３１には処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位が付与され、処理液中の残りの電極８３２には当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位が付与され、電極８３１のみに薄膜が形成される。主感応電極対および副感応電極対が形成された水晶振動子（ただし、ベースは形成されていない。）は、例えば、専用の電気的回路が形成されたプリント基板に組み込まれ、アルコールの濃度を検出する装置が完成する。
【００６３】
なお、図９および図１０の成膜装置を有する主感応電極形成部４および副感応電極形成部５にて電極８４２，８３２がそれぞれ成膜対象とされてもよい。この場合に、水晶片８２の全体を処理液中に浸漬し、成膜対象の電極には処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を付与し、残りの全ての電極には当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位を付与することにより、成膜対象の電極のみに薄膜が形成されてもよい。
【００６４】
また、図１１に示すように水晶片８２の主面８２１上の電極８３１，８４１が分離した水晶振動子８１ａ（図１１ではベースの図示を省略している。）が、水晶振動子製造システム１における処理対象とされてもよい。この場合に、図６の主感応膜形成部４３において電極８４１，８４２の双方を主感応膜の成膜対象とするときには、水晶片８２の全体を処理液中に浸漬しつつ、電極８４１，８４２には処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位が付与され、残りの電極８３１，８３２には当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位が付与される。これにより、成膜対象の電極８４１，８４２のみに薄膜を短時間に形成することができる（水晶振動子製造システム１の他の成膜装置において同様）。
【００６５】
もちろん、図１１に示す水晶片８２の１つの電極のみに薄膜が形成されてもよく、この場合に、図９および図１０の成膜装置を用いるときには、図１１の水晶振動子８１ａ（ただし、ベースは省略されている。）の水晶片８２上の２対の電極のうち１対の電極のみが処理液中に浸漬され、当該１対の電極の一方の電極のみに薄膜が形成されるように、当該１対の電極のそれぞれに付与する電位が調整される。
【００６６】
以上のように、水晶振動子製造システム１における成膜装置（すなわち、主感応電極形成部４の主感応膜形成部および中間膜形成部、並びに、副感応電極形成部５の副感応膜形成部および中間膜形成部）では、水晶片に形成される２対の電極のうちの１対の電極の少なくとも１つの電極が成膜対象とされる場合に、薄膜となる物質を含む処理液中に水晶片の少なくとも当該１対の電極が形成された部位を浸漬し、処理液中における当該物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を当該少なくとも１つの電極（成膜対象の電極）に付与するとともに、当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位を当該少なくとも１つの電極を除く処理液中の残りの電極に付与することにより、成膜対象の電極に薄膜を短時間に形成するとともに、薄膜を形成する物質が残りの電極に付着することを確実に防止することができる。
【００６７】
なお、図１０に示す水晶片８２では、電極８３１，８４１が接続していることにより、図１１に示す水晶片８２のように電極８３１，８４１が分離している場合に比べて、電極８３１，８４１の表面をより平滑化する（粗さを低くする）ことができ、電極８４１上により好ましい（欠陥が少ない）薄膜を形成することが容易に可能となる。また、水晶振動子８１においてベースを設ける場合には、電極８３１，８４１を接続させることにより、部品点数（リードの個数）を少なくすることができ、水晶振動子８１の製造に係るコストを削減することができる。
【００６８】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００６９】
図９および図１０の主感応膜形成部４３ａでは、２対の電極を有する水晶振動子８１において、１対の電極のみを処理液中に浸漬しつつ、当該１対の電極のうちの一方の電極のみに薄膜を形成することが行われるが、図１２および図１３に示すように、水晶片８２の両主面８２１，８２２に１対の電極８３１ａ，８３２ａのみが形成された水晶振動子８１ｂにおいて、水晶片８２の少なくとも当該１対の電極８３１ａ，８３２ａが形成された部位を処理液中に浸漬しつつ、当該１対の電極８３１ａ，８３２ａのそれぞれに接続される電位付与部により、処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位とは異なる極性の電位を当該１対の電極８３１ａ，８３２ａの一方の電極に付与するとともに、当該物質のゼータ電位と同じ極性の電位を他方の電極に付与することにより、当該１対の電極８３１ａ，８３２ａのうちの一方の電極のみに薄膜が形成されてもよい。
【００７０】
水晶振動子製造システム１の成膜装置では、処理槽と処理液中の各電極との間に電位差を付与することにより、成膜に係る構成の簡素化が図られているが、成膜装置の設計によっては、処理槽内に対極が設けられ、対極と水晶振動子の処理液中の各電極との間に電位差が付与されてもよい。また、必要に応じて処理槽がテフロン（登録商標）等の耐薬品性を有する材料にて薄くコーティングされ、処理槽の劣化が防止されてもよい。
【００７１】
上記実施の形態における成膜装置では、処理液の回収や補充等が電極に対する成膜時以外に行われ、成膜時には処理槽に対する処理液の供給および排出が行われないが（いわゆる、ディップ方式にて成膜が行われる。）、イオン結合や静電気的結合により電極上に形成される薄膜の剥がれが生じにくい場合には、成膜時に処理液の緩やかな供給および排出が行われてもよい。
【００７２】
成膜対象の電極に付与する電位と、処理液中の残りの電極に付与する電位とを、処理液中の薄膜となる物質のゼータ電位に合わせて制御する上記手法は、アルコールの検出に重要な主感応膜の形成のみにて用いられてもよく、この場合に、中間膜は気相蒸着等により形成されてもよい。水晶振動子製造システム１の主感応電極形成部では、主感応膜形成部および中間膜形成部のうち少なくとも主感応膜形成部が上記手法を用いる成膜装置を有することにより、高精度な主感応膜を形成してアルコール検出用の水晶振動子を精度よく製造することができる。
【００７３】
図８．Ａおよび図８．Ｂに示す水晶振動子製造処理において、ステップＳ２０〜Ｓ２６の処理が省略され、副感応電極対が副感応膜を有していないアルコール検出用の水晶振動子が製造されてもよい。この場合であっても、副感応電極対を有する第２振動子では、基準環境からの温度の変化の影響による周波数変化が発生するため、第１振動子における周波数変化に対する温度補償が可能となる。
【００７４】
アルコール検出用の水晶振動子の製造において、主感応膜形成部にて形成される主感応膜は、シクロデキストリン以外のエチルアルコールと包接錯体を形成する有機化合物を含むものであってもよい。また、水晶振動子製造システム１では、エチルアルコール以外の物質（例えば、毒性ガス、可燃性ガス、煙（火災時の煙等）、特定の危険物、環境ホルモン、特定の汚染物質（土壌汚染物質等）、エチルアルコールまたは薬物の摂取による代謝物、疾病による代謝物等）を検出する水晶振動子が製造されてもよく、水晶振動子の用途に応じて、水晶振動子製造システム１の各成膜装置にて用いられる処理液は適宜変更される。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】水晶振動子の正面図である。
【図２】水晶振動子の背面図である。
【図３】水晶振動子製造システムの構成を示す図である。
【図４】キャリアの正面図である。
【図５】キャリアの左側面図である。
【図６】主感応膜形成部の構成を示す図である。
【図７】処理槽内を抽象的に示す図である。
【図８．Ａ】アルコール検出用の水晶振動子を製造する処理の流れを示す図である。
【図８．Ｂ】アルコール検出用の水晶振動子を製造する処理の流れを示す図である。
【図９】主感応膜形成部の他の例を示す図である。
【図１０】主感応膜形成部の他の例を示す図である。
【図１１】水晶振動子の他の例を示す図である。
【図１２】水晶振動子のさらに他の例を示す図である。
【図１３】水晶振動子のさらに他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１    水晶振動子製造システム
４１    中間膜形成部
４３，４３ａ    主感応膜形成部
８１，８１ａ，８１ｂ    水晶振動子
８２    水晶片
４３１    処理槽
４３４    電位付与部
８２１，８２２    主面
８３１，８３１ａ，８３２，８３２ａ，８４１，８４２    電極
Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１６，Ｓ１７，Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２３，Ｓ２４    ステップ
【図１】
2010103285.tif 000003
【図２】
2010103285.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８．Ａ】
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【図８．Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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