(57)【要約】【課題】粘着力を低下させた粘着テープから被着体を簡単に効率よく剥離できる治具および剥離方法を提供することである。【解決手段】粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に挟持搬送する上側平ベルト１６，下側平ベルト１５と、上側平ベルト１６，下側平ベルト１５を介して配置された上部シャフト１１，下部シャフト１０と、を備え、上部シャフト１１の軸心１１ａを下部シャフト１０の軸心１０ａより粘着テープの搬送方向下流側に位置させ、かつ上部シャフト１１，下部シャフト１０を相対的に押し付けて、下側平ベルト１５を下部シャフト１０の表面および上部シャフト１１の表面にそれぞれ沿わせ、下側平ベルト１５の表面に凸曲面部２６，凹曲面部２７をこの順に形成する剥離用治具２０および剥離方法。【選択図】図２
2010003819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凸曲面部および凹曲面部からなる剥離領域に、
粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に凸曲面部および凹曲面部の順に通過させ、
前記粘着テープから被着体を剥離する治具であって、
前記粘着テープを被着体と共に挟持搬送する上側平ベルトおよび下側平ベルトと、
前記上側平ベルトおよび下側平ベルトを介して配置された上部シャフトおよび下部シャフトと、を備え、
前記上部シャフトの軸心を下部シャフトの軸心より粘着テープの搬送方向下流側に位置させ、かつ上部シャフトおよび下部シャフトを相対的に押し付けて、
前記下側平ベルトを下部シャフトの表面および上部シャフトの表面にそれぞれ沿わせ、下側平ベルトの表面に前記凸曲面部および凹曲面部をこの順に形成することを特徴とする剥離用治具。
【請求項２】
前記下部シャフトの軸心を通る鉛直線Ｌ１と、前記下部シャフトの軸心と下部シャフトの表面から下側平ベルトが離間する位置とを結ぶ線Ｌ２とのなすベルト巻付き角度αが４５°以上である請求項１記載の剥離用治具。
【請求項３】
前記下部シャフトの軸心を通る水平線Ｌ３と、前記下部シャフトの軸心と上部シャフトの軸心とを結ぶ線Ｌ４とのなすシャフト角度βが０°より大きい請求項１または２記載の剥離用治具。
【請求項４】
前記上側平ベルトおよび下側平ベルトは、それぞれ左右一対のシャフト間にエンドレス状に張設されると共に、これらの左右一対のシャフトのうち、少なくとも１本のシャフトが回転駆動手段に接続されている請求項１〜３のいずれかに記載の剥離用治具。
【請求項５】
前記上側平ベルトおよび下側平ベルトをそれぞれ張設する前記左右一対のシャフトのうち、粘着テープの搬送方向上流側に位置するシャフトが前記上部シャフトおよび下部シャフトである請求項４記載の剥離用治具。
【請求項６】
凸曲面部および凹曲面部からなる剥離領域に、
粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に凸曲面部および凹曲面部の順に通過させ、
前記粘着テープから被着体を剥離する方法であって、
前記粘着テープを被着体と共に上側平ベルトおよび下側平ベルトにて挟持搬送する過程において、
前記上側平ベルトおよび下側平ベルトを介して配置された上部シャフトおよび下部シャフトのうち、
前記上部シャフトの軸心を下部シャフトの軸心より粘着テープの搬送方向下流側に位置させ、かつ上部シャフトおよび下部シャフトを相対的に押し付けて、
前記下側平ベルトを下部シャフトの表面および上部シャフトの表面にそれぞれ沿わせ、下側平ベルトの表面に前記凸曲面部および凹曲面部をこの順に形成するようにしたことを特徴とする剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着力を低下させた粘着テープから被着体を剥離する治具および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば積層セラミックコンデンサ等の電子部品を回転刃等でダイシング（分割）して複数のチップ部品を得るダイシング工程では、前記電子部品は、ダイシングテープと呼ばれる粘着テープに貼着され固定された状態でダイシングされる。ダイシングテープには、ダイシング時にチップ部品がダイシングテープから飛散するのを抑制することができ、かつ得られた複数のチップ部品をダイシングテープから簡単に取り外せることが要求される。このようなダイシングテープとして、感温性粘着テープがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
該感温性粘着テープは、基材フィルムの片面または両面に設けられた粘着剤層が側鎖結晶性ポリマーからなり、該側鎖結晶性ポリマーの融点以下の温度にまで冷却処理をすると、側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着剤層の粘着力が低下するものである。
【０００４】
一方、本出願人は、粘着力を低下させた感温性粘着テープから被着体を剥離する治具として、先に特許文献２に記載のような治具を開発した。この治具は、凸曲面部および凹曲面部を有し、かつ空気吸引孔を有する壁面を備えている。被着体を貼着した感温性粘着テープの粘着力を温度変化により低下させた後、この感温性粘着テープの基材フィルムを前記空気吸引孔からの吸引力により吸着しながら凸曲面部および凹曲面部の順に通過させると、凸曲面部から凹曲面部へ乗り移る際に、被着体と感温性粘着テープとの間に隙間ができ、これにより感温性粘着テープから被着体を剥離することができる。
【０００５】
しかしながら、この治具は、基材フィルムを吸着しながら凸曲面部および凹曲面部を通過させなければならないので、基材フィルムを進行方向に引っ張る際に抵抗力が発生し、簡単に凸曲面部および凹曲面部を通過させることができないという問題がある。また、凸曲面部および凹曲面部は成形によって形成されているため簡単にその形状を変更させることができず、被着体の形状や粘着力の低下率によっては、被着体を剥離し難いという問題もある。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２５１９２３号公報
【特許文献２】特開２００４−３５７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、粘着力を低下させた粘着テープから被着体を簡単に効率よく剥離できる治具および剥離方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）凸曲面部および凹曲面部からなる剥離領域に、粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に凸曲面部および凹曲面部の順に通過させ、前記粘着テープから被着体を剥離する治具であって、前記粘着テープを被着体と共に挟持搬送する上側平ベルトおよび下側平ベルトと、前記上側平ベルトおよび下側平ベルトを介して配置された上部シャフトおよび下部シャフトと、を備え、前記上部シャフトの軸心を下部シャフトの軸心より粘着テープの搬送方向下流側に位置させ、かつ上部シャフトおよび下部シャフトを相対的に押し付けて、前記下側平ベルトを下部シャフトの表面および上部シャフトの表面にそれぞれ沿わせ、下側平ベルトの表面に前記凸曲面部および凹曲面部をこの順に形成することを特徴とする剥離用治具。
【０００９】
（２）前記下部シャフトの軸心を通る鉛直線Ｌ１と、前記下部シャフトの軸心と下部シャフトの表面から下側平ベルトが離間する位置とを結ぶ線Ｌ２とのなすベルト巻付き角度αが４５°以上である前記（１）記載の剥離用治具。
（３）前記下部シャフトの軸心を通る水平線Ｌ３と、前記下部シャフトの軸心と上部シャフトの軸心とを結ぶ線Ｌ４とのなすシャフト角度βが０°より大きい前記（１）または（２）記載の剥離用治具。
（４）前記上側平ベルトおよび下側平ベルトは、それぞれ左右一対のシャフト間にエンドレス状に張設されると共に、これらの左右一対のシャフトのうち、少なくとも１本のシャフトが回転駆動手段に接続されている前記（１）〜（３）のいずれかに記載の剥離用治具。
（５）前記上側平ベルトおよび下側平ベルトをそれぞれ張設する前記左右一対のシャフトのうち、粘着テープの搬送方向上流側に位置するシャフトが前記上部シャフトおよび下部シャフトである前記（４）記載の剥離用治具。
【００１０】
（６）凸曲面部および凹曲面部からなる剥離領域に、粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に凸曲面部および凹曲面部の順に通過させ、前記粘着テープから被着体を剥離する方法であって、前記粘着テープを被着体と共に上側平ベルトおよび下側平ベルトにて挟持搬送する過程において、前記上側平ベルトおよび下側平ベルトを介して配置された上部シャフトおよび下部シャフトのうち、前記上部シャフトの軸心を下部シャフトの軸心より粘着テープの搬送方向下流側に位置させ、かつ上部シャフトおよび下部シャフトを相対的に押し付けて、前記下側平ベルトを下部シャフトの表面および上部シャフトの表面にそれぞれ沿わせ、下側平ベルトの表面に前記凸曲面部および凹曲面部をこの順に形成するようにしたことを特徴とする剥離方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、粘着力を低下させた粘着テープを被着体と共に上下一対の平ベルトにて挟持搬送する過程において、凸曲面部および凹曲面部からなる剥離領域を凸曲面部および凹曲面部の順に通過させるようにした。これにより、基材フィルムを吸着することによる抵抗力の発生がなく、簡単に前記剥離領域を通過させることができる。
【００１２】
しかも、前記剥離領域を、前記上下一対の平ベルトを介して配置された上部シャフトおよび下部シャフトの位置関係を調整することによって形成するようにした。これにより、被着体の形状や粘着テープの粘着力の低下率に応じて前記シャフトの位置関係を調整し、前記剥離領域を所望の形状にすることができる。
【００１３】
したがって、本発明によれば、粘着力を低下させた粘着テープから被着体を損傷させることなく簡単に効率よく剥離することができるという効果が得られる。特に、被着体が複数のチップ部品等からなる場合に本発明を適用すると、その有用性がより向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明にかかる粘着テープは、被着体を所定の粘着力で固定でき、被着体から剥離する際には、該粘着力を低下させることができる。このような粘着テープとしては、例えば感温性粘着テープ、熱発泡粘着テープ、ＵＶ硬化型粘着テープ等が挙げられる。
【００１５】
前記感温性粘着テープは、粘着剤層が側鎖結晶性ポリマーからなる。このポリマーは、該ポリマーの融点を境に粘着性の発現・消失を可逆的に示すという特性を有する。該感温性粘着テープとしては、例えば特許第３２０４４５５号公報等に記載されている。また、このような感温性粘着テープは市販されており、例えばニッタ株式会社製の感温性粘着テープ「インテリマーテープ（登録商標）」が好適に採用可能である。
【００１６】
前記熱発泡粘着テープは、所定の感圧性接着剤に発泡剤を含有してなり、加熱処理による発泡剤の膨脹ないし発泡で粘着力が低下する。前記ＵＶ硬化型粘着テープは、ＵＶ（紫外線）が照射されることにより硬化して粘着力が低下する。これらは、いずれも公知のものが採用可能である。
【００１７】
なお、前記粘着テープを構成する基材フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられ、その厚さとしては数十〜数百μｍ程度である。この基材フィルムの片面または両面に設けられる粘着剤層の厚さとしては、数十μｍ程度である。
【００１８】
前記被着体としては、例えば積層セラミックコンデンサ、セラミックインダクタ、セラミックバリスタ等のセラミックチップ部品が挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１９】
本発明にかかる剥離用治具は、凸曲面部および凹曲面部からなる剥離領域に、粘着力を低下させた前記粘着テープを被着体と共に凸曲面部および凹曲面部の順に通過させ、前記粘着テープから被着体を剥離するものである。以下、本発明にかかる剥離用治具の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態にかかる剥離用治具を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す剥離用治具の投入部付近を示す概略側面図である。図３（ａ）は、ベルト巻付き角度αを示す概略説明図であり、図３（ｂ）は、シャフト角度βを示す概略説明図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態にかかる剥離用治具２０は、左右一対のシャフト１１，１２間にエンドレス状に張設される上側平ベルト１６と、左右一対のシャフト１０，１３間にエンドレス状に張設される下側平ベルト１５とを備えている。この上下一対の平ベルト１５，１６にて投入部２１から排出部２２へ被着体および粘着テープを挟持搬送する。
【００２１】
すなわち、下側平ベルト１５を張設するシャフト１０，１３のうち、排出部２２側に位置するシャフト１３は、一端がモータ１４（回転駆動手段）に接続されている。平ベルト１５，１６は互いに接触しており、モータ１４を駆動させてシャフト１３を回転させ、下側平ベルト１５を例えば時計回りに走行させると、上側平ベルト１６は連れ回り方式によって自動的に反時計回りに走行し、これにより被着体および粘着テープを挟持搬送することができる。
【００２２】
シャフト１０〜１３としては、直径２０〜４０ｍｍφ程度、長さ１００〜３００ｍｍ程度の鉄製やステンレス鋼製のものが挙げられる。特に、モータ１４が接続されるシャフト１３は、摩擦係数を向上させる上で、表面がウレタン焼付けされているのが好ましい。平ベルト１５，１６は、表面平滑であり、厚さ０．６〜０．７ｍｍ程度であり、挟持搬送可能な公知の平ベルトが採用可能である。
【００２３】
ここで、投入部２１側に位置するシャフト１０，１１は、互いの位置関係を調整自在に構成されている。具体的に説明すると、剥離用治具２０は、鉄等の金属からなる板状の台１を備えている。この台１上の投入部２１側には調節部２、排出部２２側には調節部３がそれぞれ配置されている。
【００２４】
調節部２には、調節部ハンドル４が取り付けられており、該調節部ハンドル４を回すことによって、調節部２が左右方向に粗動し、下側平ベルト１５に対して張力変化を与えることができるよう構成されている。
【００２５】
すなわち、投入部２１側の台１上には平ベルト１５，１６の長手方向に沿ってガイドレール２ａ，２ａが配置されている。調節部２は、下面に取り付けられた図示しないガイド部材によってガイドレール２ａ，２ａ上にスライド自在に保持されている。また、調節部２の背面には、図示しないナット部材が取り付けられている。
【００２６】
一方、調節部ハンドル４には、ガイドレール２ａ，２ａと平行にネジ棒である切り込み軸４ａが取り付けられている。この切り込み軸４ａには、比較的大きなネジ溝が切り込まれており、一端が前記ナット部材に螺合されている。したがって、調節部ハンドル４を回すと、切り込み軸４ａが回転し、これと螺合する前記ナット部材を介して調節部２が左右方向に粗動する。
【００２７】
これと同様に、調節部３には、調節部ハンドル５が接続されており、該調節部ハンドル５を回すことによって、調節部３が左右方向に粗動し、上側平ベルト１６に対して張力変化を与えることができるよう構成されている。
【００２８】
すなわち、調節部３には、調節部ハンドル５と、回転自在にシャフト１２とが取り付けられている。排出部２２側の台１上には平ベルト１５，１６の長手方向に沿って図示しないガイドレールが配置されている。調節部３は、下面に取り付けられた図示しないガイド部材によって前記ガイドレール上にスライド自在に保持されている。また、調節部３の背面には、図示しないナット部材が取り付けられている。
【００２９】
調節部ハンドル５には、前記ガイドレールと平行にネジ棒である切り込み軸５ａが取り付けられている。この切り込み軸５ａには、比較的大きなネジ溝が切り込まれており、一端が前記ナット部材に螺合されている。したがって、調節部ハンドル５を回すと、切り込み軸５ａが回転し、これと螺合する前記ナット部材を介して調節部３が左右方向に粗動する。
【００３０】
一方、調節部２には、上下方向に微動する微調整部６と、左右方向に微動する微調整部７とが備えられている。微調整部６には、微調整部ハンドル８と、回転自在にシャフト１０とが取り付けられている。微調整部７には、微調整部ハンドル９と、回転自在にシャフト１１とが取り付けられている。微調整部ハンドル８，９を回すことによって、微調整部６，７が上下左右方向に微動し、シャフト１０，１１の位置関係を調整することができる。
【００３１】
すなわち、調節部２の正面一方には、鉛直方向にガイドレール６ａ，６ａが配置されている。微調整部６は、背面に取り付けられた図示しないガイド部材によってガイドレール６ａ，６ａ上にスライド自在に保持されている。また、微調整部６の上面には、微調整部ハンドル８側に向かって突出したナット部材６ｂが取り付けられている。
【００３２】
微調整部ハンドル８には、ガイドレール６ａ，６ａと平行にネジ棒である切り込み軸８ａが取り付けられている。この切り込み軸８ａには、比較的小さなネジ溝が切り込まれており、一端がナット部材６ｂに螺合されている。したがって、微調整部ハンドル８を回すと、切り込み軸８ａが回転し、これと螺合するナット部材６ｂを介して微調整部６が上下方向に微動する。
【００３３】
一方、調節部２の正面他方には、水平方向にガイドレール７ａ，７ａが配置されている。微調整部７は、背面に取り付けられた図示しないガイド部材によってガイドレール７ａ，７ａ上にスライド自在に保持されている。また、微調整部７の一側面には、上方に向かって突出したナット部材７ｂが取り付けられている。
【００３４】
微調整部ハンドル９には、ガイドレール７ａ，７ａと平行にネジ棒である切り込み軸９ａが取り付けられている。この切り込み軸９ａには、比較的小さなネジ溝が切り込まれており、一端がナット部材７ｂに螺合されている。したがって、微調整部ハンドル９を回すと、切り込み軸９ａが回転し、これと螺合するナット部材７ｂを介して微調整部７が左右方向に微動する。
【００３５】
これら調節部２，３および微調整部６，７を操作することによって、投入部２１側（搬送方向上流側）に位置するシャフト１０，１１の位置関係を調整することができる。そして、シャフト１０，１１の位置関係を調整することによって、図２に示すように、連続した凸曲面部２６および凹曲面部２７からなる剥離領域２５を形成することができる。
【００３６】
すなわち、まず、調節部ハンドル４，５を回して調節部２，３を左右方向に粗動させ、大まかな位置決めをする。ついで、微調整部ハンドル９を回して微調整部７を左右方向に微動させ、シャフト１１（上部シャフト）の軸心１１ａをシャフト１０（下部シャフト）の軸心１０ａより排出部２２側（搬送方向下流側）に位置させる。
【００３７】
この状態で微調整部ハンドル８を回して微調整部６を上下方向に微動させ、シャフト１０，１１を相対的に押し付ける。これにより、下側平ベルト１５をシャフト１０の表面およびシャフト１１の表面にそれぞれ沿わせることができ、下側平ベルト１５の表面に凸曲面部２６，凹曲面部２７がこの順に形成される。
【００３８】
剥離領域２５の形状としては、被着体の形状や粘着力の低下率に応じて所望の形状が採用可能であり、特に、ベルト巻付き角度α，シャフト角度βがそれぞれ以下の値となる形状が好ましい。すなわち、図３（ａ）に示すように、シャフト１０の軸心１０ａを通る鉛直線Ｌ１と、シャフト１０の軸心１０ａとシャフト１０の表面から下側平ベルト１５が離間する位置１５ａとを結ぶ線Ｌ２とのなすベルト巻付き角度αが４５°以上、好ましくは４５°以上９０°未満であるのがよい。
【００３９】
一方、ベルト巻付き角度αが４５°未満であると、凸曲面部２６，凹曲面部２７の段差が小さすぎ、剥離領域２５を通過させても粘着テープから被着体を剥離できないおそれがある。また、ベルト巻付き角度αが９０°以上であると、下側平ベルト１５の内面同士が接触する。
【００４０】
図３（ｂ）に示すように、シャフト１０の軸心１０ａを通る水平線Ｌ３と、シャフト１０の軸心１０ａとシャフト１１の軸心１１ａとを結ぶ線Ｌ４とのなすシャフト角度βが０°より大きく、好ましくは０°より大きく４５°以下であるのがよい。シャフト角度βが０°以下になると、下側平ベルト１５の内面同士が接触する。また、シャフト角度βが４５°を超えると、凸曲面部２６，凹曲面部２７の段差が小さすぎ、剥離領域２５を通過させても粘着テープから被着体を剥離できないおそれがある。なお、ベルト巻付き角度α，シャフト角度βは、式：α＋β＝９０°を満足する。
【００４１】
次に、上記した剥離用治具２０を用いて被着体を粘着テープから剥離する方法について、被着体としてチップ部品、粘着テープとして感温性粘着テープを例に挙げ、図面を参照して詳細に説明する。図４は、本実施形態にかかる剥離方法を示す概略説明図である。
【００４２】
同図に示すように、まず、チップ部品３０を貼着した感温性粘着テープ３１の粘着力を温度変化により低下させる。ついで、平ベルト１５，１６にて投入部２１から排出部２２へチップ部品３０，感温性粘着テープ３１を挟持搬送する（図１参照）。
【００４３】
この搬送過程において、凸曲面部２６，凹曲面部２７からなる剥離領域２５に、感温性粘着テープ３１をチップ部品３０と共に凸曲面部２６，凹曲面部２７の順に通過させ、感温性粘着テープ３１からチップ部品３０を剥離する。具体的には、投入部２１に形成された剥離領域２５の凸曲面部２６に感温性粘着テープ３１，チップ部品３０を通過させると、チップ部品３０の前方が感温性粘着テープ３１から浮き上がる（図４中のチップ部品３０ａ参照）。ついで、凹曲面部２７を通過させると、チップ部品３０の後方が感温性粘着テープ３１から浮き上がる（図４中のチップ部品３０ｂ参照）。その結果、感温性粘着テープ３１からチップ部品３０が完全に剥離される。
【００４４】
剥離領域２５で剥離されたチップ部品３０，感温性粘着テープ３１は平ベルト１５，１６にて挟持搬送され、排出部２２から感温性粘着テープ３１と損傷のないチップ部品３０とに分別される。
【００４５】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内において、種々の改善や変更が可能である。例えば上記した実施形態では、シャフト１０，１１のうち、シャフト１０を微調整部６にて上下方向に動かす場合について説明したが、シャフト１０，１１は相対的に押し付け可能であればよく、シャフト１１を上下方向に動かすように構成してもよい。
【００４６】
また、上記した実施形態では、剥離領域２５は投入部２１に形成されているが、本発明にかかる剥離領域は、被着体および粘着テープを挟持搬送する過程に形成されていればよい。投入部２１以外に剥離領域を形成する場合には、挟持搬送過程における所望の位置に上部シャフト，下部シャフトを配置して剥離領域を形成すればよい。その他の構成は、前記した一実施形態にかかる剥離用治具２０と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態にかかる剥離用治具を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示す剥離用治具の投入部付近を示す概略側面図である。
【図３】（ａ）は、ベルト巻付き角度αを示す概略説明図であり、（ｂ）は、シャフト角度βを示す概略説明図である。
【図４】本発明の一実施形態にかかる剥離方法を示す概略説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  台
２，３  調節部
２ａ，６ａ，７ａ  ガイドレール
４，５  調節部ハンドル
４ａ，５ａ，８ａ，９ａ  切り込み軸
６，７  微調整部
６ｂ，７ｂ  ナット部材
８，９  微調整部ハンドル
１０，１１，１２，１３  シャフト
１０ａ，１１ａ  軸心
１４  モータ
１５  下側平ベルト
１６  上側平ベルト
２０  剥離用治具
２１  投入部
２２  排出部
２５  剥離領域
２６  凸曲面部
２７  凹曲面部
３０  チップ部品
３１  感温性粘着テープ
【図１】
2010003819.tif 000003
【図２】
2010003819.tif 000004
【図３】
2010003819.tif 000005
【図４】
2010003819.tif 000006