(57)【要約】【課題】移載領域側と搬入領域側の差圧に対する耐性を向上させ、隔壁の開口部における収納容器の位置ずれを抑制することである。【解決手段】複数の被処理基板Ｗが収納され、上部にフランジ部１４が設けられ、前面の取出し口１１に蓋１２が着脱可能に取付けられた収納容器３を搬入する搬入領域Ｓ１と、該搬入領域Ｓ１とは異なる雰囲気に維持された移載領域Ｓ２と、搬入領域Ｓ１と移載領域Ｓ２を区画する隔壁５と、隔壁５に形成された開口部２５と、開口部２５を開閉する扉２７と、収納容器３を搬入領域Ｓ１側に配置する載置部７とを備え、収納容器３を載置部７に載置して保持した後開口部２５に当接させ、扉２７及び蓋１２を開いて収納容器３内の被処理基板Ｗを移載領域Ｓ２側に搬送して処理する処理装置１において、開口部２５に当接された収納容器３のフランジ部１４を開口部２５側に押圧する押圧機構３９を設ける。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被処理体が収納され、上部にフランジ部が設けられ、前面の取出し口に蓋が着脱可能に取付けられた収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、前記搬入領域と移載領域を区画する隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、該開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域側に配置する載置部とを備え、前記収納容器を載置部に載置して保持した後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理体を移載領域側に搬送して処理する処理装置において、
前記開口部に当接された収納容器の前記フランジ部を前記開口部側に押圧する押圧機構を設けたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置から前記フランジ部の後部に向って水平に旋回してフランジ部を押圧する押圧アームと、該押圧アームを旋回駆動する駆動部とを有することを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置から前記フランジ部の後部に向って水平に旋回してフランジ部を押圧するように基端部が前記収納位置に支軸を介して軸支された押圧アームと、該押圧アームを支軸回りに旋回駆動する駆動シリンダとを有することを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項４】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置に支軸を介して水平に旋回可能に設けられ前記フランジ部の後部を押圧する押圧アームと、該押圧アームを駆動すべく前記収納位置に上下方向に設けられた駆動シリンダと、該駆動シリンダの出力部と前記押圧アームの長手方向略中間部との間に掛け渡され、前記出力部の上下方向の力を押圧アームの旋回方向の力に変換するリンクとを有することを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項５】
前記搬入領域側の雰囲気は大気であり、前記移載領域側の雰囲気は不活性ガス又は清浄乾燥空気であることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の処理装置。
【請求項６】
複数の被処理体が収納され、上部にフランジ部が設けられ、前面の取出し口に蓋が着脱可能に取付けられた収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、前記搬入領域と移載領域を区画する隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、該開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域側に配置する載置部とを備え、前記収納容器を載置部に載置して保持した後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理体を移載領域側に搬送して処理する処理方法において、
前記開口部に当接された収納容器の前記フランジ部を押圧機構により前記開口部側に押圧した後、前記扉及び蓋を開くことを特徴とする処理方法。
【請求項７】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置から前記フランジ部の後部に向って水平に旋回してフランジ部を押圧する押圧アームと、該押圧アームを旋回駆動する駆動部とを有することを特徴とする請求項６記載の処理方法。
【請求項８】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置から前記フランジ部の後部に向って水平に旋回してフランジ部を押圧するように基端部が前記収納位置に支軸を介して軸支された押圧アームと、該押圧アームを支軸回りに旋回駆動する駆動シリンダとを有することを特徴とする請求項６記載の処理方法。
【請求項９】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置に支軸を介して水平に旋回可能に設けられ前記フランジ部の後部を押圧する押圧アームと、該押圧アームを駆動すべく前記収納位置に上下方向に設けられた駆動シリンダと、該駆動シリンダの出力部と前記押圧アームの長手方向略中間部との間に掛け渡され、前記出力部の上下方向の力を押圧アームの旋回方向の力に変換するリンクとを有することを特徴とする請求項６記載の処理方法。
【請求項１０】
前記搬入領域の雰囲気は大気であり、前記移載領域側の雰囲気は不活性ガス又は清浄乾燥空気であることを特徴とする請求項６に記載の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、前面の取出し口に蓋が取付けられた収納容器から被処理基板を取出して所定の処理例えば熱処理を行う処理装置及び処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の一つとして、多数の被処理基板例えば半導体ウエハ（以下、ウエハともいう。）に対して例えばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）などの熱処理を施す熱処理装置が知られている。この熱処理装置は、複数のウエハを収納した収納容器が自動搬送ロボット又はオペレータによって搬入される搬入領域と、収納容器内のウエハを基板保持具であるボートに移載して熱処理炉への搬入搬出を行う移載領域であるローディングエリアとを備えている。
【０００３】
このような熱処理装置においては、ローディングエリアを搬入領域よりもクリーン度の高い雰囲気にすると共にウエハの自然酸化膜の発生などを防止するために、大気側の搬入領域とローディングエリアとを隔壁で仕切り、ローディングエリア内を不活性ガス例えば窒素（Ｎ2）ガスで満たした不活性ガス雰囲気とすることが好ましい。また、この場合、ウエハのパーティクル汚染を抑制するために、収納容器の前面の取出し口に蓋を着脱可能に取付けた密閉型収納容器（FOUP ：front openning unify pod、以下、フープともいう。）を適用することが好ましい。
【０００４】
図９（ａ）は、密閉型の収納容器を上述の隔壁に当接させた状態を示している。図中、５は搬入領域Ｓ１とローディングエリアＳ２とを仕切る隔壁、２５はこの隔壁５に形成された開口部、２７はこの開口部２５を開閉する扉である。フープ３は、搬入領域Ｓ１に設けられた載置台（移載ステージともいう。）７に載置され、ロック機構１９で保持された後、当接駆動部である例えばエアシリンダ１６により隔壁５側に押されて開口部２５の周縁部の気密材２６に取出し口１１の周縁部が当接され、その後、フープ３の蓋１２が開かれる。
【０００５】
扉２７には蓋１２を開閉する蓋開閉機構１３が取付けられている。移載ステージ７は架台５１上にスライドガイド５２を介して前後方向（図９の紙面の左右方向）にスライド自在に支持され、移載ステージ７上にはフープ３を位置決めする複数の位置決めピン８が突設されている。前記ロック機構１９は、移載ステージ７に設けられており、フープ３の底部に形成された係合凹部１７に係合部材１８を係合させてフープ３を保持するようになっている。
【０００６】
蓋１２を開く場合、扉２７を閉じたまま蓋開閉機構１３により蓋１２を開き、フープ３内を図示しない窒素ガス置換手段により窒素ガスで置換した後、扉２７及び蓋１２を開口部２５から退避させ、フープ３内のウエハＷをローディングエリアＳ２側に搬入することが、ローディングエリア内の酸素濃度の上昇を抑えることできる点で好ましく、このような技術は特許文献１に記載されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２７４２６７号公報
【特許文献２】特開平４−６８０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、前記フープ３の蓋１２を開けた場合、ローディングエリアＳ２側の内圧と搬入領域Ｓ１側の大気圧との差圧をフープ３が受けることになる。しかしながら、前記熱処理装置においては、前記差圧に対する耐性が低いため、図９（ｂ）に示すように差圧によりフープ３がばたついたり、フープ３が隔壁５の開口部２５に対して傾いて位置ずれを起こしたりする場合があり、以下の問題の要因になっている。
【０００９】
すなわち、フープ３が位置ずれを起こすことにより、ウエハＷのマッピングエラーやウエハＷの移載ミスが発生したり、窒素ガス漏れによりローディングエリアＳ２内の酸素濃度が上昇したり、再度ローディングエリア内を窒素ガスで置換する必要があるためにＴＡＴ（Turn Around Time）に影響を及ぼす等の問題がある。また、ローディングエリアＳ２内に水分、有機物成分等が流入することも考えられる。
【００１０】
なお、この問題は、本出願人の特許出願に係る特許文献２により解消されているが、特許文献２の場合、収納容器を載置台に上方から押えるため、収納容器の上方に十分なスペースを確保することが難しいタイプの処理装置には適用することが難しい。
【００１１】
本発明は、上述した従来の技術が有する課題を解消し、移載領域側と搬入領域側の差圧に対する耐性の向上が図れ、隔壁の開口部における収納容器の位置ずれを抑制することができる処理装置及び処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明のうちの第１の発明は、複数の被処理基板が収納され、上部にフランジ部が設けられ、前面の取出し口に蓋が着脱可能に取付けられた収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、前記搬入領域と移載領域を区画する隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、該開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域側に配置する載置部とを備え、前記収納容器を載置部に載置して保持した後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理基板を移載領域側に搬送して処理する処理装置において、前記開口部に当接された収納容器の前記フランジ部を前記開口部側に押圧する押圧機構を設けたことを特徴とする。
【００１３】
第２の発明は、複数の被処理基板が収納され、上部にフランジ部が設けられ、前面の取出し口に蓋が着脱可能に取付けられた収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、前記搬入領域と移載領域を区画する隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、該開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域側に配置する載置部とを備え、前記収納容器を載置部に載置して保持した後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理基板を移載領域側に搬送して処理する処理方法において、前記開口部に当接された収納容器の前記フランジ部を押圧機構により前記開口部側に押圧した後、前記扉及び蓋を開くことを特徴とする。
【００１４】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置から前記フランジ部の後部に向って水平に旋回してフランジ部を押圧する押圧アームと、該押圧アームを旋回駆動する駆動部とを有することが好ましい。
【００１５】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置から前記フランジ部の後部に向って水平に旋回してフランジ部を押圧するように基端部が前記収納位置に支軸を介して軸支された押圧アームと、該押圧アームを支軸回りに旋回駆動する駆動シリンダとを有することを特徴とするが好ましい。
【００１６】
前記押圧機構は、搬入領域の一側の収納位置に支軸を介して水平に旋回可能に設けられ前記フランジ部の後部を押圧する押圧アームと、該押圧アームを駆動すべく前記収納位置に上下方向に設けられた駆動シリンダと、該駆動シリンダの出力部と前記押圧アームの長手方向略中間部との間に掛け渡され、前記出力部の上下方向の力を押圧アームの旋回方向の力に変換するリンクとを有することが好ましい。
【００１７】
前記搬入領域側の雰囲気は大気であり、前記移載領域側の雰囲気は不活性ガス又は清浄乾燥空気であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、移載領域側と搬入領域側の差圧に対する耐性の向上が図れ、隔壁の開口部における収納容器の位置ずれを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明を実施するための最良の形態を添付図面に基いて詳述する。
【００２０】
図１は本発明の処理装置の実施の形態である縦型熱処理装置を概略的に示す縦断側面図、図２は上記縦型熱処理装置を概略的に示す横断平面図である。
【００２１】
図１ないし図２に示すように、縦型熱処理装置（以下、熱処理装置ともいう。）１は外郭を形成する筐体２を有し、この筐体２内には、被処理体であるウエハＷを収納したフープ３が熱処理装置１に対して搬入、搬出されるための搬入領域Ｓ１と、フープ３内のウエハＷを搬送して後述の熱処理炉４内に搬入するための移載領域であるローディングエリアＳ２とが形成されている。搬入領域Ｓ１とローディングエリアＳ２とは隔壁５により仕切られており、搬入領域Ｓ１は大気雰囲気とされ、ローディングエリアＳ２は不活性ガス雰囲気例えば窒素（Ｎ2）ガス雰囲気とされている。なお、ローディングエリアＳ２は清浄乾燥気体（パーティクル及び有機物成分が少なく、露点−６０℃以下の空気）とされていてもよい。
【００２２】
搬入領域Ｓ１における熱処理装置の正面側には、２個のフープ３を左右に載置可能な第１の載置台（ロードポート）６が設置され、搬入領域Ｓ１の奥側には１個のフープ３を載置可能な載置部である第２の載置台（移載ステージ）７が設置されている。なお、第１の載置台６の載置面及び第２の載置台７の載置面には、フープ３の底部に設けられた凹部（図示省略）に嵌合してフープを位置決め保持（３点支持）するためのピン８（図３参照）が突設されている。筐体２の正面部にはロードポート６に対するフープ３の搬入搬出を行うための開口部９が設けられ、この開口部９には昇降可能なドア１０が取付けられている。
【００２３】
フープ３は、例えば直径３００ｍｍのウエハＷを複数枚例えば２５枚棚状に配列して収納可能であり、前面の取出し口１１には蓋１２が着脱自在に取付けられている。この蓋１２は、これをフープ３の取出し口１１に保持するための図示しないラッチ機構を備え、このラッチ機構を後述の蓋開閉機構１３により解除することにより取出し口１１から取外せるようになっている。なお、蓋１２には鍵穴が設けられ、この鍵穴内に蓋開閉機構１３側のキーが差し込まれてラッチ機構が解除される（図示省略）。蓋開閉機構１３としては、例えば特開２００２−３５３２８９号公報等に記載された蓋着脱装置が適用可能である。また、フープ３の上面には、自動搬送ロボットが把持可能な平面四角形のフランジ部１４が当該上面と隙間を介して設けられている。
【００２４】
移載ステージ７は、後述のフープ搬送機構１５によりフープ３が置かれる位置とフープ３が隔壁５に当接される位置との間で駆動部１６（図３参照）例えばエアシリンダにより前後に移動可能に構成される。
【００２５】
また、移載ステージ７には、フープ３を保持するためにフープ３の底部に形成された係合凹部１７に係合するカギ型の係合部材１８を有するロック機構１９が設けられている。このロック機構１９は、係合部材１８を駆動部２０により水平な軸の回りに回動できるように構成され、係合凹部１７に係合する位置とその係合が解除される位置との間で回動する。
【００２６】
一方、搬入領域Ｓ１におけるロードポート６の上方と移載ステージ７の上方には複数個のフープ３を一時的に保管することが可能な複数の保管棚部２１が設けられている。そして、搬入領域Ｓ１には、フープ３をロードポート６及び移載ステージ７並びに保管棚部２１の間で搬送するフープ搬送機構１５が設けられている。このフープ搬送機構１５は、左右に延びかつ昇降可能なガイド部２２と、このガイド部２２に沿って左右に移動する移動部２３と、この移動部２３に設けられ、フープ３の底部を保持してフープ３を水平方向に搬送する関節アーム２４とを備えている。
【００２７】
隔壁５には、移載ステージ７に載置されたフープ３が隔壁５に当接した時にフープ３内とローディングエリアＳ２とを連通する開口部２５が形成されると共に、この開口部２５における搬入領域Ｓ１側の周縁部には、当接するフープ３の取出し口１１の周縁部との間を気密に封止するためのシール部材２６が設けられている。また、隔壁５におけるローディングエリアＳ２側には、開口部２５を開閉する扉２７が設けられ、この扉２７には扉２７を閉じたままでフープ３の蓋１２を開閉する蓋開閉機構１３が設けられている。この扉２７は、フープ３の蓋１２が開かれた後、図示しない扉開閉機構により蓋開閉機構１３及び蓋１２と共にウエハＷの移載の邪魔にならないように例えば上方側に退避するように構成される。
【００２８】
フープ３の内部の空気を窒素ガスで置換するために、隔壁５の開口部２５における左右対向縁部の一側には窒素ガス供給孔部が、他側には排気孔部が設けられている（図示省略）。
【００２９】
ローディングエリアＳ２の上方には、下端が炉口４ａとして開口された縦型の熱処理炉４が設けられ、この熱処理炉４の下方には、多数枚例えば１００枚のウエハＷを棚状に保持する保持具であるボート２８が断熱部２９を介して蓋体３０の上に載置されている。蓋体３０は昇降機構３１に支持されており、この昇降機構３１によりボート２８が熱処理炉４に対して搬入あるいは搬出されると共に蓋体３０が熱処理炉４の炉口４ａを閉塞あるいは開放する。
【００３０】
また、ローディングエリアＳ２内におけるボート２８と隔壁５の開口部２５との間には、開口部２５に当接されたフープ３とボート２８との間でウエハＷの搬送ないし移載を行う移載機構３２が設けられている。この移載機構３２は、左右に延びかつ昇降可能なガイド部３３と、このガイド部３３に沿って左右に移動可能で且つ鉛直軸の回りに回動可能な直方体状の台座３４と、この台座３４上にその長手方向に沿って往復移動可能な移動体３５と、この移動体３５に設けられた複数例えば５枚のフォーク３６とを備えており、各フォーク３６にウエハＷが支持される。
【００３１】
なお、図１において、３７はウエハＷの外周に設けられた切欠部（例えばノッチ）を一方向に揃えるための整列装置（アライナ）であり、隔壁５に設けた開口を通してローディングエリアＳ２側に臨んで設けられており、例えばウエハは前記移載機構３２により整列装置３７を経由してフープ３からボート２８に移載される。
【００３２】
搬入領域Ｓ１には、上記フープ搬送機構１５から移載ステージ７にフープ３を受け渡すフープキャッチャ（受渡機構）３８が設けられている。このフープキャッチャ３８は、搬送領域Ｓ１の一側部（図示例では正面側から見て左側）に設けられた昇降機構３８ａにより昇降移動される昇降アーム３８ｂと、この昇降アーム３８ｂに設けられフープ３のフランジ部１４を把持する把持機構３８ｃとから主に構成されている。フープキャッチャ３８は、例えばフープ搬送機構１５からフープ３を受取って待機しており、移載ステージ７からフープ搬送機構１５がフープ３を保管棚部２１又はロードポート６に搬送している間に次のフープ３を移載ステージ７に置くことにより搬送作業の効率化を図っている。
【００３３】
そして、前記熱処理装置１においては、ローディングエリアＳ２側と搬入領域Ｓ１側の差圧に対する耐性を向上させて、隔壁５の開口部２５におけるフープ３の位置ずれを抑制するために、前記開口部２５に当接されたフープ３の前記フランジ部１４を前記開口部２５側（すなわち隔壁５側）に押圧する押圧機構３９が設けられている。この場合、押圧機構３９は、図４（ａ）に示すようにフープ搬送機構１５やフープキャッチャ３８により搬送されるフープ３（仮想線で示す）と干渉しないように、且つ図４（ｂ）に示すようにフープ搬送機構１５により搬送されるフープ３（仮想線で示す）と干渉しないように、搬入領域Ｓ１の一側（図示例では正面側から見て右側）に設けられていることが好ましい。
【００３４】
前記押圧機構３９は図４ないし図５に示すように、搬入領域Ｓ１の一側の収納位置４０から前記フランジ部１４の後部に向って水平に旋回してフランジ部１４を押圧する押圧アーム４１と、該押圧アーム４１を旋回駆動する駆動部４２とから主に構成されている。本実施形態では、狭いスペースにおいて大きな押圧力を得るために、前記押圧機構３９は、搬入領域の一側の収納位置４０に支軸４３を介して水平に旋回可能に設けられ前記フランジ部１４の後部を押圧する押圧アーム４１と、該押圧アーム４１を駆動すべく前記収納位置に上下方向に設けられた駆動シリンダ（駆動部）４２と、該駆動シリンダ４２の出力部４４と前記押圧アーム４１の長手方向略中間部との間に掛け渡され、前記出力部４４の上下方向の力を押圧アーム４１の旋回方向の力に変換するリンク４５とを有している。
【００３５】
前記押圧機構３９は、筐体２内の一側壁に取付けられるブラケット４６を有し、このブラケット４６に対して押圧アーム４１が支軸４３を介して水平旋回可能に取付けられていると共に駆動シリンダ（例えばエアシリンダ）４２が取付けられている。駆動シリンダ４２はピストンロッド４２ａを下に向けた状態で鉛直に設けられている。この場合、駆動シリンダ４２の力をリンク４５を介して押圧アーム４１に効果的に付与するために、前記支軸４３と駆動シリンダ４２とは搬入領域の前後方向にオフセットされていることが好ましい。
【００３６】
前記駆動シリンダ４２のピストンロッド４２ａの先端部には昇降ブロック（出力部）４４が連結され、この昇降ブロック４４は前記ブラケット４６に取付けられた鉛直のガイド４７にスライド自在に支持されている。この昇降ブロック４４の下部には鉛直軸回りに回転可能な第１の支持部材４８が設けられ、この第１の支持部材４８には前記リンク４５の一端部が水平軸回りに回動可能に支持されている。
【００３７】
前記押圧アーム４１の長手方向略中間部から先端部側が支軸４３に対してオフセットされており、この押圧アーム４１の長手方向略中間部には鉛直軸回りに回転可能な第２の支持部材４９が設けられ、この第２支持部材４９には前記リンク４５の他端部が水平軸回りに回動可能に支持されている。
【００３８】
ここで、図４において、水平面に対する前記リンク４５の傾斜角度をθ２とし、このリンク４５の一端に駆動シリンダ４２から加わる力をｆとすると、第２支持部材４９に作用する水平方向の力ｆ１は、ｆ１＝ｆ／ｔａｎθ２となる。第２支持部材４９の鉛直軸と支軸４３を結ぶ線と前記リンク４５の交わる角度をθ１とし、第２支持部材４９の鉛直軸と支軸４３までの間の押圧アーム４１の長さをＬ１、支軸４３から押圧アーム４１の先端部までの長さをＬ２、押圧アーム４１の先端部に作用する力（押圧力）をＦとすると、ｆ１ｓｉｎθ１Ｌ１＝ＦＬ２であるから、Ｆ＝ｆ（Ｌ１ｓｉｎθ１／ｔａｎθ２）／Ｌ２となる。実験では、駆動シリンダ４２の力ｆ（１９５Ｎ）とほぼ同じ押圧力Ｆ（１９６Ｎ）が得られた。これにより、差圧に対する耐性が、４００Ｐａから１０００Ｐａに向上し、最大差圧時のフープの位置ずれが１ｍｍから０．５ｍｍに低減した。
【００３９】
次に上述実施の形態の作用について説明する。先ず自動搬送ロボットまたはオペレータによりフープ３がロードポート６に載置される。続いてフープ搬送機構１５により前記フープ３が移載ステージ７に搬送される。フープ３が移載ステージ７に載置されると、先ず図３に示す係合部材１８が回動してフープ３の底部の係合凹部１７に係合し、次いで移載ステージ７が隔壁５側に移動してフープ３の取出し口１１の周縁部が隔壁５の開口部２５の周縁部のシール部材２６に気密に当接する。
【００４０】
次いで、押圧機構３９の駆動シリンダ４２により昇降ブロック４４を介してリンク４５の一端が斜め上方に傾斜した状態から水平状態になるまで押し下げられ、この時にリンク４５の他端に発生する水平方向の力により押圧アーム４１が支軸４３を支点に収納位置４０から水平に回動され、移載ステージ７上のフープ３のフランジ部１４の後部に押圧アーム４１の先端部が当接してこのフランジ部１４を前方（隔壁５側）に押圧する。このようにフープ３の下部だけでなく上部も隔壁に押圧することができるため、ローディングエリア側と搬入領域側の差圧に対する耐性が、例えば４００Ｐａから１０００Ｐａに向上し、最大差圧時のフープの位置ずれを１ｍｍから０．５ｍｍに低減することができる。
【００４１】
その後、蓋開閉機構１３の図示しないキーがフープ３の蓋１２の鍵穴に差し込まれて蓋１２がフープ３から取外され、扉２７、蓋開閉機構１３及び蓋１２が例えば上昇して開口部２５から退避し、フープ３内とローディングエリアＳ２とが連通した状態となる。
【００４２】
そして、移載機構３２によりフープ３内のウエハＷが順次取り出されてボート２８に移載される。フープ３内のウエハＷが空になると、上述と逆の動作でフープ３の蓋１２が閉じられ、移載ステージ７が後退してフープ３が隔壁５から離れ、フープ搬送機構１５により保管棚部２１に搬送されて一時的に保管される。
【００４３】
一方、ボート２８に所定枚数のウエハＷが搭載されると、熱処理炉４内に搬入されてウエハＷに対して熱処理例えばＣＶＤ、アニール処理、酸化処理などが行われる。熱処理が終了すると、上述と逆の動作でウエハＷがフープ３内に戻される。なお、押圧機構３９が押圧を解除するタイミングつまりこの例では押圧アーム４１が待機位置に戻るタイミングは例えばフープ３の取出し口１１が蓋１２により閉じられた後である。
【００４４】
上述の実施の形態によれば、移載ステージ７上のフープ３はローディングエリアＳ２側と搬入領域Ｓ１側の差圧によりばたついたり、隔壁に対して傾いたりすることがなく、差圧に対する耐性が向上し、安定した姿勢を保持することができる。このためフープ３と隔壁５との気密状態が破られないので大気側である搬入領域Ｓ１側からローディングエリアＳ２側への大気の流入を防止でき、ローディングエリアＳ２内の酸素濃度の上昇が抑えられる。また、ウエハＷの飛び出しも起こらないので、その後の移載機構３２によるウエハＷの取出し動作やマッピング動作にも支障がない。
【００４５】
なお、フープ３内を不活性ガスで置換する場合、不活性ガスの流量を大きくしてもフープがばたつかず、不活性ガスの流量を増大できるので、不活性ガスによる置換に要する時間を短縮でき、スループットを向上させることができる。更に、フープ３の蓋１２を開閉するときの衝撃が大きくても、フープ３が隔壁５に押付けられていることによりフープ３の姿勢が安定する。また、押圧機構３９は、移載ステージ７上のフープ３の自動搬送用のフランジ部１４を隔壁５側に押圧するものであり、一側方の収納位置４０から押圧アーム４１を水平に旋回させてフランジ部１４を押圧するものであるため、移載ステージ７上のフープ３の上方に障害物例えばフープキャッチャ３８等があって十分なスペースを確保することが難しいタイプの処理装置にも適用することができる。
【００４６】
図６〜図８は押圧機構の他の実施形態を概略的に示す斜視図である。図６に示す押圧機構３９は、搬入領域Ｓ１の一側の収納位置４０から前記フランジ部１４の後部に向って水平に旋回してフランジ部１４を押圧するように基端部が前記収納位置４０に支軸４３を介して軸支された押圧アーム４１と、この押圧アーム４１を支軸回りに旋回駆動する駆動シリンダ４２とから主に構成されている。なお、駆動シリンダ４２は前記実施形態と異なり横に設置されている。
【００４７】
図７に示す押圧機構３９は、搬入領域Ｓ１の一側の収納位置４０から前記フランジ部１４の後部に向って水平に旋回してフランジ部１４を押圧する押圧アーム４１と、該押圧アーム４１を旋回駆動する駆動部（例えばギヤ付モータ）４２とから主に構成されている。
【００４８】
図８に示す押圧機構は、フープキャッチャ３８を利用したものである。フープキャッチャ３８の昇降アーム３８ｂには、フープ３のフランジ部１４の後部に上方から当接して下向きの力を隔壁５側への横向きの力と下向きの力に変換（分解）する傾斜面５０ａを有する押圧ブロック５０が設けられている。本実施形態によれば、フープキャッチャ３８を利用できるので、構造の簡素化及びコストの低減が図れる。
【００４９】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、本発明は、縦型熱処理装置に限らず例えば枚葉式の熱処理装置やレジストの塗布、現像を行う装置、イオン注入装置など、被処理基板に対して所定の処理を行う装置に適用できる。また、本発明は、フープを搬入する領域と搬出する領域とが別々の場所に設けられる装置に対しても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の処理装置の実施の形態である縦型熱処理装置を概略的に示す縦断側面図である。
【図２】上記縦型熱処理装置を概略的に示す横断平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線概略的断面図である。
【図４】図１のＡ部を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線平面図である。
【図５】押え機構を示す図で、（ａ）は作動前の斜視図、（ｂ）は作動途中の斜視図、（ｃ）は作動状態の斜視図である。
【図６】押圧機構の他の実施形態を概略的に示す斜視図である。
【図７】押圧機構の他の実施形態を概略的に示す斜視図である。
【図８】押圧機構の他の実施形態を概略的に示す斜視図である。
【図９】従来技術の問題点を説明するための図で、（ａ）は隔壁の扉を開ける前の側面図、（ｂ）は隔壁の扉を開けた時の側面図である。
【符号の説明】
【００５１】
Ｗ  被処理基板
１  熱処理装置
２  筐体
３  フープ（収納容器）
５  隔壁
７  移載ステージ（載置部）
１１  取出し口
１２  蓋
１３  蓋開閉機構
１４  フランジ部
２５  開口部
２７  扉
３２  移載機構
３９  押圧機構
４０  収納位置
４１  押圧アーム
４２  駆動部
４３  支軸
４５  リンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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