(57)【要約】【課題】モジュール作製後において、横方向から光に対してもより遮光する。【解決手段】レンズ領域（光学面Ａ）のみ貫通した貫通孔を一または複数有したレンズ支持板６１Ｃが第１レンズウエハ６５Ｂに設けられ、また、レンズ領域（光学面Ａ）のみ貫通した貫通孔を一または複数有したレンズ支持板６２Ｃが第２レンズウエハ６６Ｂに設けられている。このレンズ支持板６１Ｃ，６２Ｃは黒色で遮光性を有し、レンズ支持板６１Ｃ，６２Ｃの貫通孔の外周部側（突出形状部）がスペーサ部としての突出部６１ａおよび６１ｂおよび突出部６２ａおよび６２ｂの内部に位置しており、レンズ用の貫通孔の外周部側（突出形状部）がその更なる外周部側（段差部位）よりも厚さが厚く構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に光学面が設けられ、該光学面の外周側に所定厚さを持つスペーサ部が設けられた光学素子であって、
透明樹脂材料の内部に、該光学面に対応する箇所で貫通した貫通孔を一または複数有する支持板が配設されており、該支持板は遮光性を有し、該支持板の貫通孔の外周部側が該スペーサ部の内部に設けられ、該貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されている光学素子。
【請求項２】
前記支持板の貫通孔の外周部と前記更なる外周部は、前記光学面領域に対する遮光用のテーパ面を介して連設されている請求項１に記載の光学素子。
【請求項３】
前記支持板の貫通孔の内周面は傾斜面で構成され、前記更なる外周部には、樹脂成形時に樹脂材料を逃がすための貫通孔または／および凹部が更に設けられている請求項１または２に記載の光学素子。
【請求項４】
前記スペーサ部の表面高さが、前記光学面の表面高さよりも高く構成されており、該スペーサ部と該光学面とは傾斜面を介して連設されている請求項１に記載の光学素子。
【請求項５】
前記スペーサ部は、前記光学面の一つ毎に設けられている請求項１に記載の光学素子。
【請求項６】
前記スペーサ部は、前記光学面の外周端部から傾斜面を介して、該光学面を囲むように、該光学面の凸形状よりも突出した突出部または平坦部になっている請求項４または５に記載の光学素子。
【請求項７】
前記突出部は、前記光学面の外周端部から傾斜面を介して、該光学面の凸形状よりも環状に突出しているかまたは、環状の一部として突出している請求項６に記載の光学素子。
【請求項８】
個片化切断時に、上方を覆うように前記スペーサ部上に保持テープを貼り付ける場合に、該保持テープが該光学素子領域の光学面に付着しないように、該スペーサ部の表面高さが、該光学面の表面高さよりも高く構成されている請求項４に記載の光学素子。
【請求項９】
前記光学面およびこれよりも突出した突出部または平坦部は、表面および裏面のうちの少なくともいずれかの面に設けられている請求項４または６に記載の光学素子。
【請求項１０】
前記環状の全部または一部の突出部は、そのトップ面が平坦面になっている請求項７に記載の光学素子。
【請求項１１】
前記スペーサ部の表面高さと前記光学面の表面高さとの差は２０μｍ〜１００μｍの範囲内である請求項４または８に記載の光学素子。
【請求項１２】
前記スペーサ部の表面高さと前記光学面の表面高さとの差は、５０μｍ±１０μｍである請求項４または５に記載の光学素子。
【請求項１３】
前記光学面および前記スペーサ部は透明樹脂材料により一括成型されている請求項４に記載の光学素子。
【請求項１４】
前記光学素子はレンズである請求項１に記載の光学素子。
【請求項１５】
前記光学素子は、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子である請求項１に記載の光学素子。
【請求項１６】
前記光学面が直径１ｍｍ±０.５ｍｍの円形である請求項１に記載の光学素子。
【請求項１７】
前記スペーサ部の更に外周側に段差部を介して接着材配置用の底部が設けられている請求項１に記載の光学素子。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれかに記載の光学素子を複数積層した光学素子モジュールであって、
最も上側および最も下側のうちの少なくともいずれかの光学素子のスペーサ部の表面の高さが、当該光学素子の光学面の表面の高さよりも高く突出しており、最も下側の光学素子のスペーサ部の裏面の高さが、当該光学素子の光学面の裏面の高さよりも傾斜面を介して高く突出している光学素子ウエハモジュール。
【請求項１９】
前記複数の光学素子のうち、前記上側の光学素子と前記下側の光学素子のレンズ間隔は、該上側の光学素子のスペーサ部と、該下側の光学素子のスペーサ部の各平坦面が直に当接して規制されている請求項１８に記載の光学素子モジュール。
【請求項２０】
前記上側の光学素子のスペーサ部と、前記下側の光学素子のスペーサ部との各平坦面の更に外周側の底部によって囲まれた空間部分に接着材が配置されて、該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されている請求項１８または１９に記載の光学素子モジュール。
【請求項２１】
前記底部による空間部分は、前記接着材が接着時に上下の光学素子底部に挟まれて広がるのに十分なスペースを有している請求項２０に記載の光学素子モジュール。
【請求項２２】
前記接着材は、前記光学面の外側で、ダイシングラインに沿った四角形の内側に所定幅で設けられており、該四角形状の接着材の角部または／および辺部に通気孔が設けられている請求項２０または２１に記載の光学素子モジュール。
【請求項２３】
前記光学面の外側で、ダイシングラインに沿った四角形の内側に所定幅で、樹脂硬化後も接着性が残るごみ取り用の接着材が更に設けられている請求項２０〜２２のいずれかに記載の光学素子モジュール。
【請求項２４】
前記ごみ取り用の接着材の一部または全部は、前記通気孔に内側で対向するように設けられている請求項２３に記載の光学素子モジュール。
【請求項２５】
前記接着材は、遮光性を有している請求項２０に記載の光学素子モジュール。
【請求項２６】
前記光学面以外の上面および、前記複数の光学素子の側面のうち少なくとも該上面を遮光する遮光ホルダを有する請求項１８に記載の光学素子モジュール。
【請求項２７】
請求項１〜５、８〜１０および１３〜１７のいずれかに記載の光学素子の前記光学面以外の上面および側面のうち少なくとも該上面を遮光する遮光ホルダを有する光学素子モジュール。
【請求項２８】
請求項１〜１７のいずれかに記載の光学素子を２次元状に複数個一括成形して配設した光学素子ウエハ。
【請求項２９】
請求項２８に記載の光学素子ウエハを前記光学面を一致させて複数積層した光学素子ウエハモジュール。
【請求項３０】
請求項１８〜２５のいずれかに記載の光学素子モジュールを２次元状に複数配設した光学素子ウエハモジュール。
【請求項３１】
請求項２８に記載の光学素子ウエハまたは、該光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュールまたは請求項３０に記載の光学素子ウエハモジュールの表面側および裏面側のうちの少なくともいずれかに保持テープを貼り付る工程と、
該光学素子ウエハまたは該光学素子ウエハモジュールをダイシングラインに沿って一括切断して個片化する切断工程とを有する光学素子モジュールの製造方法。
【請求項３２】
複数の電子素子が配設された電子素子ウエハと、
該電子素子ウエハ上の所定領域に形成された樹脂接着層と、
該電子素子ウエハ上を覆い、該樹脂接着層上に固定された透明支持基板と、
該複数の電子素子のそれぞれに各光学素子が対応するように該透明支持基板上に接着された請求項２８に記載の光学素子ウエハ、該光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュールまたは請求項３０に記載の光学素子ウエハモジュールを有する電子素子ウエハモジュール。
【請求項３３】
最も下側の光学素子ウエハと前記電子素子との間隔は、該最も下側の光学素子ウエハのスペーサ部と前記透明支持基板との各平坦面が直に当接して規制されている請求項３２に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項３４】
前記最も下側の光学素子ウエハのスペーサ部の平坦面の更に外周側の底部と前記透明支持基板とによって囲まれた空間部分に接着材が配置されて、該最も下側の光学素子ウエハと該透明支持基板が接着されている請求項３２または３３に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項３５】
前記底部による空間部分は、前記接着材が接着時に上下から挟まれて広がるのに十分なスペースを有している請求項３４に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項３６】
前記電子素子は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子である請求項３２に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項３７】
前記電子素子は、出射光を発生させるための発光素子および入射光を受光するための受光素子である請求項３２に記載の電子素子ウエハモジュール。
【請求項３８】
請求項３２に記載の電子素子ウエハモジュールにおける前記光学素子ウエハまたは前記光学素子ウエハモジュールの表面側に保持テープを貼り付る工程と、
該電子素子ウエハモジュールを前記電子素子ウエハ側からダイシングラインに沿って一括切断して個片化する切断工程とを有する電子素子モジュールの製造方法。
【請求項３９】
複数の電子素子が配設された電子素子ウエハ上を覆うように透明支持基板を樹脂接着層により接着固定して撮像素子ウエハユニットを作製する撮像素子ウエハユニット作製工程と、
該撮像素子ウエハユニットを該電子素子ウエハ側からダイシングラインに沿って一括切断して撮像素子ユニットに個片化する切断工程と、
請求項３１に記載の光学素子モジュールの製造方法により製造された光学素子モジュールを、該撮像素子に光学素子が対応するように撮像素子ユニットに貼り付ける工程とを有する電子素子モジュールの製造方法。
【請求項４０】
請求項３２〜３７のいずれかに記載の電子素子ウエハモジュールから一または複数個毎に切断された電子素子モジュール。
【請求項４１】
請求項３６に記載の電子素子ウエハモジュールから切断されて個片化された電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いた電子情報機器。
【請求項４２】
請求項３７に記載の電子素子ウエハモジュールから切断されて個片化された電子素子モジュールを情報記録再生部にに用いた電子情報機器。
【請求項４３】
請求項３９に記載の電子素子モジュールの製造方法により製造された電子素子モジュールを用いた電子情報機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズや光学機能素子などが設けられた光学素子に関する。本発明は、複数のレンズや複数の光学機能素子などの複数の光学素子がウエハ状に設けられた光学素子ウエハに関する。本発明は、この光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュールに関する。本発明は、この光学素子ウエハまたは光学素子ウエハモジュールを切断した光学素子モジュールおよびその製造方法に関する。本発明は、この光学素子ウエハまたは光学素子ウエハモジュールを電子素子ウエハとモジュール化する電子素子ウエハモジュールに関する。本発明は、この電子素子ウエハモジュールを一括切断したり、この光学素子または光学素子モジュールを電子素子とモジュール化して電子素子モジュールを作製する電子素子モジュールの製造方法に関する。本発明は、この電子素子モジュールの製造方法によって作製した電子素子モジュールに関する。本発明は、この電子素子モジュールを用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、カメラ付き携帯電話装置およびテレビジョン電話装置などの電子情報機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
撮像素子とその上の集光用のレンズ素子とを有する従来の光学機器として、カメラ付き携帯電話装置や携帯端末装置（ＰＤＡ）などにおいて、更なる小型化や低コスト化が強く求められている。
【０００３】
上記要求に応えるべく、特許文献１には、入射光を光電変換して撮像する撮像素子とその上の集光用のレンズ素子とをウェハレベルで形成・接合して電子素子ウエハモジュールとしての撮像素子ウエハモジュールとしてモジュール化した後に、モジュール化した撮像素子ウエハモジュールを一括切断により個片化して撮像素子モジュールを得る方法が提案されている。この本方法によると、中央部分に撮像素子を有する半導体ウェハ上にスペーサを介して透明基板が接着され、その透明基板上に密着するように集光用のレンズ素子としての凸型レンズが形成されている。
【０００４】
また、特許文献１では、レンズ基板の複数のスルーホール中にそれぞれ、各レンズが形成さている事例が開示されている。このレンズウエハモジュールを複数層、撮像素子ウエハ上に積層してモジュール化することが考えられる。このモジュールを、図９を用いて示している。
【０００５】
図９は、特許文献１に開示されているレンズウエハであって、レンズ基板の複数のスルーホール中にレンズを設けたレンズウエハを複数層用いて、撮像素子ウエハ上にモジュール化した撮像素子ウエハモジュールを示す要部縦断面図である。
【０００６】
図９において、この撮像素子ウエハモジュール２５０は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子２５１がマトリクス状に複数配置された撮像素子ウエハ２５２上に、撮像素子２５１上方が取り除かれた樹脂接着層２５３を介して透明支持基板２５４が設けられている。この透明支持基板２５４上に、複数の撮像素子２５１のそれぞれに各レンズ位置が対応するように設けられたレンズウエハモジュール２５５が接着して設けられている。レンズの外周領域を埋め込むようにレンズ基板２５６が配設されたレンズウエハモジュール２５５は、ここでは、レンズウエハ２５５ｂ上にレンズウエハ２５５ａが接着材２５７により接着されて構成されている。また、レンズウエハ２５５ａの表面側には、光学面Ａが開放（開口）された遮光板２５８が、接着材２５７により接着されて設けれている。さらに、透明支持基板２５４とレンズウエハ２５５ｂ間も接着材２５７により接着されている。この接着材２５７は、遮光板２５８およびレンズ基板２５６の開口部よりも外周側で、図１０に示すように、図９の撮像素子ウエハモジュール２５０を上から見た場合に、中央円形状の光学面Ａの外周側の正方形または矩形のダイシングラインＤＬよりも内側の各辺に沿った所定幅領域に配置されている。
【０００７】
なお、この撮像素子ウエハモジュール２５０は、図９では単位モジュール断面構造を示しているが、この単位モジュール断面構造が行列方向のマトリクス状に多数設けられている。この単位モジュール断面構造は、ダイシングラインＤＬに沿って個片化された後の撮像素子モジュールである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表２００５−５３９２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来の特許文献１の構成では、撮像素子２５１に対して上からの遮光は、第１レンズウエハ２５５ａ、２５５ｂの表面側に、光学面Ａが開放（開口）された遮光板２５８が、接着材２５７により接着されて設けれている。また、撮像素子２５１に対して横からの遮光は、レンズ支持板２５６によって行っているものの、接着材２５７および、透明レンズ樹脂の膜厚によって光が入り、横方向から光に対して十分に遮光されない。
【００１０】
本発明は、上記従来の問題を解決するもので、モジュール作製後において、横方向から光に対してもより遮光することができる光学素子ウエハ、この光学素子ウエハを個片化した光学素子、この光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュール、この光学素子ウエハモジュールを個片化した光学素子モジュール、この光学素子ウエハまたは光学素子ウエハモジュールを切断して光学素子モジュールを作製する光学素子モジュールの製造方法、この光学素子ウエハまたは光学素子ウエハモジュールを電子素子ウエハとモジュール化する電子素子ウエハモジュール、この電子素子ウエハモジュールを一括切断したり、この光学素子または光学素子モジュールを電子素子とモジュール化して電子素子モジュールを作製する電子素子モジュールの製造方法および、この電子素子モジュールの製造方法によって作製した電子素子モジュール、この電子素子モジュールを画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の光学素子は、中央部に光学面が設けられ、該光学面の外周側に所定厚さを持つスペーサ部が設けられた光学素子であって、
透明樹脂材料の内部に、該光学面に対応した箇所で貫通した貫通孔を一または複数有する支持板が配設されており、該支持板は遮光性を有し、該支持板の貫通孔の外周部側が該スペーサ部の内部に設けられ、該貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００１２】
また、好ましくは、本発明の光学素子における支持板の貫通孔の外周部と前記更なる外周部は、前記光学面領域に対する遮光用のテーパ面を介して連設されている。
【００１３】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子におけるスペーサ部は、前記光学面の一つ毎に設けられている。
【００１４】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における支持板の貫通孔の内周面は傾斜面で構成され、前記更なる外周部には、樹脂成形時に樹脂材料を逃がすための貫通孔または／および凹部が更に設けられている。
【００１５】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子におけるスペーサ部の表面高さが、前記光学面の表面高さよりも高く構成されており、該スペーサ部と該光学面とは傾斜面を介して連設されている。
【００１６】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子におけるスペーサ部は、前記光学面の外周端部から傾斜面を介して、該光学面を囲むように、該光学面の凸形状よりも突出した突出部または平坦部になっている。
【００１７】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における突出部は、前記光学面の外周端部から傾斜面を介して、該光学面の凸形状よりも環状に突出しているかまたは、環状の一部として突出している。
【００１８】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子において、個片化切断時に、上方を覆うように前記スペーサ部上に保持テープを貼り付ける場合に、該保持テープが該光学素子領域の光学面に付着しないように、該スペーサ部の表面高さが、該光学面の表面高さよりも高く構成されている。
【００１９】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における光学面およびこれよりも突出した突出部または平坦部は、表面および裏面のうちの少なくともいずれかの面に設けられている。
【００２０】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における環状の全部または一部の突出部は、そのトップ面が平坦面になっている。
【００２１】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子におけるスペーサ部の表面高さと前記光学面の表面高さとの差は２０μｍ〜１００μｍの範囲内である。
【００２２】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子におけるスペーサ部の表面高さと前記光学面の表面高さとの差は、５０μｍ±１０μｍである。
【００２３】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における光学面および前記スペーサ部は透明樹脂材料により一括成型されている。
【００２４】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における光学素子はレンズである。
【００２５】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における光学素子は、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子である。
【００２６】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子における光学面が直径１ｍｍ±０.５ｍｍの円形である。
【００２７】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子におけるスペーサ部の更に外周側に段差部を介して接着材配置用の底部が設けられている。
【００２８】
本発明の光学素子モジュールは、本発明の上記光学素子を複数積層した光学素子モジュールであって、最も上側および最も下側のうちの少なくともいずれかの光学素子のスペーサ部の表面の高さが、当該光学素子の光学面の表面の高さよりも高く突出しているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００２９】
また、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける複数の光学素子のうち、前記上側の光学素子と前記下側の光学素子のレンズ間隔は、該上側の光学素子のスペーサ部と、該下側の光学素子のスペーサ部の各平坦面が直に当接して規制されている。
【００３０】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける上側の光学素子のスペーサ部と、前記下側の光学素子のスペーサ部との各平坦面の更に外周側の底部によって囲まれた空間部分に接着材が配置されて、該上側の光学素子と該下側の光学素子とが接着されている。
【００３１】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける底部による空間部分は、前記接着材が接着時に上下の光学素子底部に挟まれて広がるのに十分なスペースを有している。
【００３２】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける接着材は、前記光学面の外側で、ダイシングラインに沿った四角形の内側に所定幅で設けられており、該四角形状の接着材の角部または／および辺部に通気孔が設けられている。
【００３３】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける光学面の外側で、ダイシングラインに沿った四角形の内側に所定幅で、樹脂硬化後も接着性が残るごみ取り用の接着材が更に設けられている。
【００３４】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおけるごみ取り用の接着材の一部または全部は、前記通気孔に内側で対向するように設けられている。
【００３５】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおける接着材は、遮光性を有している。
【００３６】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおいて、前記光学面以外の上面および、前記複数の光学素子の側面のうち少なくとも該上面を遮光する遮光ホルダを有する。
【００３７】
さらに、好ましくは、本発明の光学素子モジュールにおいて、本発明の上記光学素子の前記光学面以外の上面および側面のうち少なくとも該上面を遮光する遮光ホルダを有する。
【００３８】
さらに、本発明の光学素子ウエハは、本発明の上記光学素子を２次元状に複数個一括成形して配設したものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００３９】
さらに、本発明の光学素子ウエハモジュールは、本発明の上記光学素子ウエハを前記光学面を一致させて複数積層したものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００４０】
さらに、本発明の光学素子ウエハモジュールは、本発明の上記光学素子モジュールを２次元状に複数配設したものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００４１】
本発明の光学素子モジュールの製造方法は、本発明の上記光学素子ウエハまたは、該光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュールまたは本発明の上記光学素子ウエハモジュールの表面側および裏面側のうちの少なくともいずれかに保持テープを貼り付る工程と、該光学素子ウエハまたは該光学素子ウエハモジュールをダイシングラインに沿って一括切断して個片化する切断工程とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００４２】
本発明の電子素子ウエハモジュールは、複数の電子素子が配設された電子素子ウエハと、該電子素子ウエハ上の所定領域に形成された樹脂接着層と、該電子素子ウエハ上を覆い、該樹脂接着層上に固定された透明支持基板と、該複数の電子素子のそれぞれに各光学素子が対応するように該透明支持基板上に接着された本発明の上記光学素子ウエハ、該光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュールまたは本発明の上記光学素子ウエハモジュールを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００４３】
また、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける最も下側の光学素子ウエハと前記電子素子との間隔は、該最も下側の光学素子ウエハのスペーサ部と前記透明支持基板との各平坦面が直に当接して規制されている。
【００４４】
さらに、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける最も下側の光学素子ウエハのスペーサ部の平坦面の更に外周側の底部と前記透明支持基板とによって囲まれた空間部分に接着材が配置されて、該最も下側の光学素子ウエハと該透明支持基板が接着されている。
【００４５】
さらに、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける底部による空間部分は、前記接着材が接着時に上下から挟まれて広がるのに十分なスペースを有している。
【００４６】
さらに、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける電子素子は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子である。
【００４７】
さらに、好ましくは、本発明の電子素子ウエハモジュールにおける電子素子は、出射光を発生させるための発光素子および入射光を受光するための受光素子である。
【００４８】
本発明の電子素子モジュールの製造方法は、本発明の上記電子素子ウエハモジュールにおける前記光学素子ウエハまたは前記光学素子ウエハモジュールの表面側に保持テープを貼り付る工程と、該電子素子ウエハモジュールを前記電子素子ウエハ側からダイシングラインに沿って一括切断して個片化する切断工程とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００４９】
本発明の電子素子モジュールの製造方法は、複数の電子素子が配設された電子素子ウエハ上を覆うように透明支持基板を樹脂接着層により接着固定して撮像素子ウエハユニットを作製する撮像素子ウエハユニット作製工程と、該撮像素子ウエハユニットを該電子素子ウエハ側からダイシングラインに沿って一括切断して撮像素子ユニットに個片化する切断工程と、本発明の上記光学素子モジュールの製造方法により製造された光学素子モジュールを、該撮像素子に光学素子が対応するように撮像素子ユニットに貼り付ける工程とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００５０】
本発明の電子素子モジュールは、本発明の上記電子素子ウエハモジュールから一または複数個毎に切断されたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００５１】
本発明の電子情報機器は、本発明の上記電子素子ウエハモジュールから切断されて個片化された電子素子モジュールをセンサモジュールとして撮像部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００５２】
本発明の電子情報機器は、本発明の上記電子素子ウエハモジュールから切断されて個片化された電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００５３】
本発明の電子情報機器は、本発明の上記電子素子モジュールの製造方法により製造された電子素子モジュールを用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
【００５４】
上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。
【００５５】
本発明においては、複数の光学素子を構成する透明樹脂材料の内部に、光学素子領域のみ貫通した貫通孔を一または複数有した光学素子支持板が設けられている。光学素子支持板は遮光性を有し、光学素子支持板の貫通孔の外周部側がスペーサ部の内部に位置しており、レンズ用の貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されている。これによって、この光学素子支持板の貫通孔の外周部と更なる外周部は、光学素子領域に対する遮光用のテーパ面を介して連設されている。このように、レンズ用の貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されている。このため、上下に貼り合わせて更なる外周部側の隙間に接着材を設けることができ、これによって、横方向から光は、モジュール作製後において、接着材がなく透明レンズ樹脂の膜厚だけから入射することになって、より遮光することが可能となる。
【発明の効果】
【００５６】
以上により、本発明によれば、複数の光学素子を構成する透明樹脂材料の内部に、光学素子領域のみ貫通した貫通孔を一または複数有した光学素子支持板が設けられている。光学素子支持板は遮光性を有し、光学素子支持板の貫通孔の外周部側がスペーサ部の内部に位置しており、レンズ用の貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されている。このため、モジュール作製時にウエハを上下に貼り合わせて更なる外周部側の隙間に接着材を設けることができ、これによって、横方向から光は、モジュール作製後において、接着材がなく透明レンズ樹脂の膜厚分から入射することになって、より遮光することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施形態１に係る電子素子ウエハモジュールの構成例を示す要部縦断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、図１の接着材を外周全て囲わずに一部に通気孔を設ける場合の接着材配置構成の各事例を模式的に示す平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、図１の接着材を外周全て囲わずに一部に通気孔を設ける場合の接着材配置構成の他の事例を模式的に示す平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、図１の第１レンズウエハの成形方法の一例について説明するための要部縦断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、図１の第１レンズウエハの成形方法の他の一例について説明するための要部縦断面図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、図１の第１レンズウエハの成形方法のさらに他の一例について説明するための要部縦断面図である。
【図７】本発明の実施形態２として、（ａ）は、図１の各レンズの変形例を示す縦断面図、（ｂ）は、図１のレンズモジュールの変形例を示す縦断面図、（ｃ）は、図１の第１レンズの上面図、（ｄ）は、図７（ａ）の第１レンズの上面図、（ｅ）は、図７（ａ）の第１レンズと遮光ホルダを組み合わせた場合のレンズモジュールの縦断面図、（ｆ）は、図７（ｂ）のレンズモジュールの変形例と遮光ホルダを組み合わせた場合のレンズモジュールの縦断面図、（ｇ）は、遮光ホルダウエハ、第１レンズウエハおよび第２レンズウエハを積層したレンズウエハモジュールの要部構成例を示す縦断面図である。
【図８】本発明の実施形態３として、本発明の実施形態１のセンサモジュール、または本発明の実施形態２のレンズおよびレンズモジュールを用いたセンサモジュールを含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
【図９】特許文献１に開示されているレンズウエハであって、レンズ基板の複数のスルーホール中にレンズを設けたレンズウエハを複数層用いて、撮像素子ウエハ上にモジュール化した撮像素子ウエハモジュールを示す要部縦断面図である。
【図１０】図９の撮像素子ウエハモジュールを上から見た場合の接着材の配置図である。
【発明を実施するための形態】
【００５８】
以下に、本発明の光学素子ウエハ、光学素子ウエハモジュール、光学素子モジュールの製造方法、電子素子ウエハモジュール、電子素子モジュールの製造方法および電子素子モジュールの実施形態１として、レンズウエハ、レンズウエハモジュール、レンズモジュールの製造方法、撮像素子ウエハモジュール、撮像素子モジュールの製造方法および撮像素子モジュール（センサモジュール）に適用した場合について図面を参照しながら詳細に説明する。また、光学素子ウエハを個片化した光学素子、光学素子ウエハモジュールを個片化した光学素子モジュールの実施形態２として、レンズおよびレンズモジュールについて図面を参照しながら詳細に説明する。さらに、上記実施形態２のレンズまたはレンズモジュールを用いた撮像素子モジュールや、上記実施形態１の撮像素子モジュールをセンサモジュールとして画像入力部である撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置やテレビジョン電話装置などの電子情報機器の実施形態３について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００５９】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る電子素子ウエハモジュールの単位構成例を示す要部縦断面図である。
【００６０】
図１において、本実施形態１の電子素子ウエハモジュールとしての撮像素子ウエハモジュール１Ｂは、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光部を有する撮像素子２がマトリクス状に複数配置された電子素子ウエハとしての撮像素子ウエハ３と、この撮像素子ウエハ３上の撮像素子２間上に形成された樹脂接着層４と、撮像素子ウエハ３上を覆い、樹脂接着層４上に接着固定されたガラス板などの透明支持基板５と、この透明支持基板５上に、複数の撮像素子２のそれぞれにレンズ位置が対応するように設けられたレンズウエハモジュール６Ｂとを有している。なお、図１では、撮像素子ウエハモジュール１Ｂの１単位の撮像素子モジュールを示しており、実際には、この１単位の撮像素子モジュールが多数設けられており、撮像素子ウエハモジュール１から切断されて多数の撮像素子モジュールに個片化される。
【００６１】
撮像素子ウエハ３は、各ウエハ表面側に、複数の撮像素子２（撮像素子２毎に複数の画素を構成する複数の受光部が設けられている）がマトリクス状に多数配列されている。その撮像素子２毎にウエハ裏面から表面のパッド（電極パッド）下に貫通する複数の貫通穴が明けられている。この貫通穴の側壁と裏面側は絶縁膜で覆われており、パッドにコンタクトを持つ配線層が貫通穴を介して裏面まで形成されている。この配線層に接続された外部接続端子３１上および裏面には絶縁膜３２が形成されている。この配線層の外部接続端子３１上に半田ボール（図示せず）が形成される部分は絶縁膜３２が窓明けされて半田ボール（図示せず）が外部に露出して形成されている。ここでは、撮像素子ウエハ３として、撮像素子２毎に貫通電極が設けられた場合について説明したが、このような貫通電極が設けられていない場合もある。
【００６２】
樹脂接着層４は、ウェハ表面の各撮像素子２の周囲部上に形成されて、撮像素子ウエハ３と透明支持基板５とを接着している。この樹脂接着層４は、半導体表面上方が透明支持基板５で覆われる場合に、撮像素子ウエハ３上の電子素子としての撮像素子２が設けられたセンサ領域上の内部空間が密閉される。樹脂接着層４は、撮像素子ウエハ３上の所定場所に通常のフォトリソ技術により形成され、その上に透明支持基板５が接着される。この場合、このフォトリソ技術の他に、樹脂接着層４をスクリーン印刷手法またはディスペンス手法を用いて形成することができる。
【００６３】
レンズウエハモジュール６Ｂは、透明支持基板５上に、各撮像素子２にそれぞれ対応するように、複数の第１レンズ６１Ｂからなる第１レンズウエハ６５Ｂと、複数の第２レンズ６２Ｂからなる第２レンズウエハ６６Ｂとが積層されて設けられている。この第１レンズ６１Ｂの光学面Ａは凸レンズ形状で外部に突出している。光学面Ａ内中央部の最も突出したトップ部分よりも、光学面Ａの外周部分において環状に突出している。図１では、第１レンズ６１Ｂにおける光学面Ａの環状の突出部６１Ｂａ、６１Ｂｂが平坦面になっているが、環状の平坦面に限らず、円弧状突起部や、円弧状突起部を片列に並べ波打った形状など、どんな形状でもよく、環状の突出部であればよい。
【００６４】
第２レンズ６２Ｂは、表面および裏面共に凸形状の光学面Ａであり、この光学面Ａの外周の光学面外周端部Ｂから、光学面Ａの凸形状よりも環状に突出した突出部６２Ｂａ、６２Ｂｂが平坦面になっている。第１レンズ６１Ｂの裏面の光学面Ａから外周側の環状の突出部６１Ｂｂと、第２レンズ６２Ｂの表面の光学面Ａの外周側の環状の突出部６２Ｂａとが互いにその平坦面で接している。その環状の突出部６１Ｂｂ、６２Ｂａのさらに外側の低部または底部（段部）による隙間に接着材７が配設されている。この接着材７により第１レンズ６１Ｂおよび第２レンズ６２Ｂがその隙間において上下に接着固定されている。これと同様に、透明支持基板５と、第２レンズ６２Ｂの裏面の光学面Ａの外周端部Ｂの環状の突出部６２Ｂｂとがその平坦面で接している。その環状の突出部６２Ｂｂのさらに外側の低部または底部（段部）による隙間に接着材７が配設されている。この接着材７により透明支持基板５と第２レンズ６２Ｂとがその隙間において上下に接着固定されている。
【００６５】
これによって、第１レンズ６１Ｂと第２レンズ６２Ｂの間隔、および第２レンズ６２Ｂと透明支持基板５の間隔は、環状の突出部６１Ｂｂ、６２Ｂａおよび、環状の突出部６２Ｂｂの各平面によって当接して規制されている。このため、接着材７の厚みや量のバラツキに影響されない。このため、レンズモジュール６Ｂ全体の厚みが安定する。即ち、第１レンズ６１Ｂと第２レンズ６２Ｂ同士の当たり面（突出部６１Ｂｂ、６２Ｂａおよび６２Ｂｂ）でレンズ間隔を決めている。この当たり面のさらに外側の底部（段差部）による空間部分（隙間部分）の接着材７で接着している。これにより、接着材７の量が多くても隙間内で広がるだけで、接着材７の厚みや量のバラツキに悪影響されない。このため、レンズモジュール６Ｂ全体の厚みが安定して、レンズモジュール６Ｂの光学的な特性も安定する。
【００６６】
即ち、第１レンズウエハ６５Ｂの当たり面と第２レンズウエハ６６Ｂの当たり面とを直に当接させると共に、第２レンズウエハ６６Ｂの当たり面と透明支持基板５とを直に当接させて、その外周部の隙間部で接着材７により接着する。これによって、第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ６６Ｂは精度よく作製可能なため、レンズ間隔ｂや、レンズと撮像素子２の間隔ｄはばらつかない。この場合、レンズ当たり面のさらに外周側の底部（段差部）による空間部分（隙間部分）内に接着材７が配置される。この底部（段差部）による空間部分（隙間部分）内で接着材７が充填されるのではなく、空間部分（隙間部分）内で一部空間を残すように接着材７が配置されて始めて、接着材７の量が多くなってもその隙間内で接着材７が広がるだけで、接着材７の厚みや量のバラツキに悪影響されず、しいては、レンズモジュール６Ｂ全体の厚みが安定化して、レンズモジュール６Ｂの光学的な特性も安定する。
【００６７】
なお、この場合のレンズ間隔ｂや、レンズと撮像素子２の間隔ｄは、従来のように第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ６６Ｂとの間に接着材７を挟み込んだり、第２レンズウエハ６６Ｂと透明支持基板５の上面との間に接着材７を挟み込んだりするので、接着材７の厚みによってバラツキが大きい。例えば接着材７の厚さが５０μｍの接着シートであれば±１０μｍ程度はばらつく。接着材７が液剤であれば、接着材７の塗布時に、それ以上にばらつくことになる。
【００６８】
また、従来、リフロー実装（半田付け処理により摂氏２５０度）時に、レンズ間などの内部密閉空間が膨張したときに空気の逃げ場がない。このため、樹脂接着層４が介在した撮像素子ウエハ３と透明支持基板５との間の他に、接着材７が介在した第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ６６Ｂとの間や、第２レンズウエハ６６Ｂと透明支持基板５との間で剥離が発生する。これを解決するために、樹脂接着層４や接着材７を外周完全に囲わずに一部で空気孔（通気孔）を設ける。
【００６９】
その事例について、図２（ａ）〜図２（ｃ）および図３を用いて説明する。
【００７０】
図２（ａ）では、レンズ光学面Ａの外周側のダイシングラインＤＬまでの４辺に沿って接着材７が配置さている。この場合、所定幅の４角形状の接着材７において、内部との通気のために接着材７を１角部のみ取り除いて通気孔７１を形成する。１角部のみ取り除いた開口部分に対向するように接着材７ａを接着材７の内部に配置しておく。開口部分（通気孔７１）に対向するように配置した接着材７ａによって、ごみを外部からレンズ光学面Ａ内部の空間部分７ｂに入れるのを阻止して困難にすることができる。開口部分（通気孔７１）に対向するように配置した接着材７ａだけでも、樹脂硬化後も接着材７ａの粘着性を持たせることにより、ごみをくっ付けてゲットすることができる。
【００７１】
図２（ｂ）では、所定幅の４角形状の接着材７において、１角部に通気孔７１を形成し、４角とも、角部に対向するように、樹脂硬化後も接着性が残るごみ取り用の接着材７ａを４つ設けておく。これによって、接着材７ａの数が増えた分だけ、ごみをゲットする性能が向上する。
【００７２】
図２（ｃ）では、所定幅の４角形状の接着材７において、少なくとも１辺に複数箇所（ここでは３箇所）の細い通気孔７２を設ける。ここでも、各通気孔７２に内部で対向するように、樹脂硬化後も接着性が残るごみ取り用の接着材７ａを３つ設ける。また、他の二つの角部にも接着材７ａを２つ設けておく。これによって、接着材７ａの数が増えた分だけ、ごみをゲットする性能が向上する。また、通気孔７２自体は、切削水の浸入を防ぐため、できるだけ小さな孔にする。接着材７を島状に塗布してその島間の隙間を通気孔７２としてもよい。また、接着材７の量を減らして接着材７に通気孔７２を形成するようにしてもよい。
【００７３】
図３では、レンズ光学面Ａの内部の空間部分７ｂに切削水を入れるのを阻止するために、レンズ内の空気パス孔（例えば通気孔７１、７２）の加工を、図２（ａ）〜図２（ｃ）の場合のように接着材７、７ａの塗布時に行うのではなく、個片レンズユニットの切断後に行う。図３（ａ）では、レンズ光学面Ａの全周部に、ディスペンス方式により、４辺に沿って４角形状に接着材７を塗布する。４角形状の接着材７の内側で、レンズ光学面Ａの外側に、樹脂硬化後も接着性が残るごみ取り用の接着材７ａを各角部に対向させて塗布する。
【００７４】
その後、図３（ｂ）では、４角形状に接着材７を塗布する。接着材７への紫外線（ＵＶ）照射による樹脂硬化処理を施す。さらに、個片レンズユニットの切断加工を行う。
【００７５】
さらに、図３（ｃ）では、４角形状の接着材７の１角部をレーザ光により切断加工する。これにより、空気パス孔として通気孔７１を形成している。
【００７６】
即ち、接着材７は、平面視で、レンズ領域（光学面Ａ）の外側で、ダイシングラインに沿った四角形状の内側に所定幅で設けられている。この四角形状の接着材４の４角部および４辺部のうちの少なくとも１角部および／または１辺部に通気孔７１または／および７２が設けられている。また、平面視で、レンズ領域の外側で、ダイシングラインに沿った四角形の内側に所定幅で、樹脂硬化後も接着性が残るごみ取り用の接着材７ａが設けられている。このごみ取り用の接着材７ａの一部または全部は、通気孔７１または／および７２に、レンズ光学面Ａの平面視で外側の通気孔内部の空間部分７ｂで対向するように設けられている。
【００７７】
一方、第１レンズウエハ６５Ｂの各第１レンズ６１Ｂにおいて、その透明レンズ材料内部に、凸形状の光学面Ａであるレンズ形状領域のみ貫通した貫通孔を有するレンズ支持板６１Ｃが配設されている。また、第１レンズウエハ６５Ｂの下側に配置される第２レンズウエハ６６Ｂの各第２レンズ６２Ｂにおいて、その透明レンズ材料内部に、凸形状の光学面Ａであるレンズ形状領域のみ貫通した貫通孔を有するレンズ支持板６２Ｃが配設されている。
【００７８】
この場合に、撮像素子２に対して上からの遮光は、第１レンズウエハ６５Ｂの各第１レンズ６１Ｂの表面側に、光学面Ａが開放（開口）された遮光板６９が、接着材７により接着されて設けれている。また、撮像素子２に対して横からの遮光は、レンズ支持板６１Ｃ、６２Ｃによって行っている。これらのレンズ支持板６１Ｃ、６２Ｃは、レンズ形状領域（光学面Ａに対応した領域）のみ貫通した貫通孔を有している。この貫通孔にはテーパーが設けられている。貫通孔の外周部側は、更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されている。これは、横からの光に対して直接通過しにくいように貫通孔の周囲部が膨れて、更なる外周部側にテーパー部６９ｂが設けられている。一方、透明支持基板５の側壁には遮光材６９ａが配置されている。この遮光板６９と第１レンズウエハ６５Ｂ間の接着材７、第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ６６Ｂ間の接着材７および、第２レンズウエハ６６Ｂと透明支持基板５間の接着材７にカーボンなどを混合して遮光機能を持たしている。これらによって、撮像素子２に対する遮光がより確実に行われる。
【００７９】
次に、第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ６６Ｂのレンズ厚ａ，ｃ自体がばらつく。これは、透明レンズ樹脂に金型による圧力で逃げ場がないためである。したがって、透明レンズ樹脂の樹脂量が多いときは面圧が高くなってレンズ厚ａ，ｃが厚くなるが、レンズ支持板６１Ｃ、６２Ｃの貫通孔の周囲部が膨れ、その更なる外周部側に、貫通孔６８を設ける。この貫通孔６８により、透明レンズ樹脂材料を金型で挟み込んだときに、金型による圧力で貫通孔６８を通して樹脂材料に逃げ場ができて、樹脂成形時に樹脂材料に対する面圧が高くならないようにすることができる。これによって、第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ６６Ｂのレンズ厚ａ，ｃ自体がばらつくことが回避される。なお、この貫通孔６８に代えてまたはこの貫通孔６８と共に、貫通孔６８の間口を広く取ったり、凹ましたりすることによっても、成形時に樹脂材料に対する面圧を抑えることができる。
【００８０】
まず、図１の第１レンズウエハ６５Ｂの成形方法について図４（ａ）〜図４（ｃ）を用いて詳細に説明する。
【００８１】
図４（ａ）に示すように、第１レンズウエハ６５Ｂのレンズ表面形状に対応した上側金型８１のレンズ表面形状側に、複数の貫通孔を有したレンズ支持板６１Ｃを、レンズ形状領域と貫通孔とが対応するように位置決めして搭載する。
【００８２】
次に、図４（ｂ）に示すように、第１レンズウエハ６５Ｂのレンズ裏面形状に対応した下側金型８２上に透明樹脂材料８３を配置する。
【００８３】
さらに、図４（ｃ）に示すように、レンズ支持板６１Ｃが配置された上側金型８１と、透明樹脂材料８３が配置された下側金型８２とにより、上下方向から、レンズ支持板６１Ｃおよび透明樹脂材料８３を挟み込んでプレスする。このとき、第１レンズ６１Ｂの透明樹脂材料８３を所定のレンズ厚さになるように制御される。成形された透明樹脂材料８３は、複数個の第１レンズ６１Ｂがウェハスケールに２次元状でマトリクス状に配列されて連なって第１レンズウエハ６５Ｂを構成している。透明樹脂材料８３としては、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂、熱硬化樹脂、ＵＶと熱の併用による硬化樹脂のうちのどれでも構わない。
【００８４】
次に、図１の第１レンズウエハ６５Ｂの他の成形方法について図５（ａ）〜図５（ｃ）を用いて詳細に説明する。
【００８５】
図５（ａ）に示すように、第１レンズウエハ６５Ｂのレンズ裏面形状に対応した下側金型８２のレンズ裏面形状側に、複数の貫通孔を有したレンズ支持板６１Ｃを、レンズ領域形状と貫通孔とが対応するように位置決めして搭載する。
【００８６】
次に、図５（ｂ）に示すように、第１レンズウエハ６５Ｂのレンズ裏面形状に対応した下側金型８２上のレンズ支持板６１Ｃ上に透明樹脂材料８３を配置する。
【００８７】
さらに、図５（ｃ）に示すように、レンズ支持板６１Ｃおよび透明樹脂材料８３が配置された下側金型８２と、上側金型８１とにより、上下方向から、レンズ支持板６１Ｃおよび透明樹脂材料８３を挟み込んでプレスする。このとき、第１レンズ６１Ｂの透明樹脂材料８３を所定のレンズ厚さになるように制御される。成形された透明樹脂材料８３は、複数個の第１レンズ６１Ｂがウェハスケールに２次元状でマトリクス状に配列されて連なって第１レンズウエハ６５Ｂを構成している。透明樹脂材料８３としては、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂、熱硬化樹脂、ＵＶと熱の併用による硬化樹脂のうちのどれでも構わない。
【００８８】
次に、図１の第１レンズウエハ６５Ｂの他の成形方法について図６（ａ）および図６（ｂ）を用いて詳細に説明する。
【００８９】
図６（ａ）に示すように、複数の貫通孔を有したレンズ支持板６１Ｃに透明樹脂材料８３を塗布して配置する。
【００９０】
次に、図６（ｂ）に示すように、レンズ形状領域と貫通孔とが対応するように位置決めした状態で、第１レンズウエハ６５Ｂのレンズ表面形状に対応した上側金型８１と、第１レンズウエハ６５Ｂのレンズ裏面形状に対応した下側金型８２とにより、透明樹脂材料８３が塗布されたレンズ支持板６１Ｃを、上下方向から挟み込んでプレスする。このとき、第１レンズ６１Ｂの透明樹脂材料８３を所定のレンズ厚さになるように制御される。成形された透明樹脂材料８３は、複数個の第１レンズ６１Ｂがウェハスケールに２次元状でマトリクス状に配列されて連なって第１レンズウエハ６５Ｂを構成している。透明樹脂材料８３としては、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂、熱硬化樹脂、ＵＶと熱の併用による硬化樹脂のうちのどれでも構わない。
【００９１】
以上により、本実施形態１によれば、レンズ領域（光学面Ａ）のみ貫通した貫通孔を一または複数有したレンズ支持板６１Ｃが第１レンズウエハ６５Ｂに設けられている。また、レンズ領域（光学面Ａ）のみ貫通した貫通孔を一または複数有したレンズ支持板６２Ｃが第２レンズウエハ６６Ｂに設けられている。このレンズ支持板６１Ｃ，６２Ｃは黒色で遮光性を有し、レンズ支持板６１Ｃ，６２Ｃの貫通孔の外周部側（突出形状部）がスペーサ部としての突出部６１ａおよび６１ｂおよび突出部６２ａおよび６２ｂの内部に位置している。レンズ用の貫通孔の外周部側（突出形状部）がその更なる外周部側（段差部位）よりも厚さが厚く構成されている。これによって、このレンズ支持板６１Ｃ，６２Ｃの貫通孔の外周部（突出形状部）と更なる外周部（段差部位）は、レンズ領域側に対する遮光用のテーパ面を介して連設されている。このように、レンズ用の貫通孔の外周部（突出形状部）側がその更なる外周部（段差部位）側よりも厚さが厚く構成されている。このため、レンズが上下に貼り合わされて更なる外周部（段差部位）側の隙間に接着材７を設けることができる。これによって、横方向から光は、モジュール作製後において、光がもれて入射される位置に接着材７がなく透明レンズ樹脂の膜厚だけからレンズ領域側に入射することになって、より遮光することが可能となる。
【００９２】
また、光学素子領域としての光学面Ａの外周側に設けられたスペーサ部の表面高さが、その中央部の光学素子領域としての光学面Ａの表面高さよりも高く構成されている。このため、製造プロセス過程において、切断時の切削水によるレンズ光学面Ａへの汚染を防ぎ、光学特性の低下を抑止することができて、光学的に機能する凸レンズ面などの光学素子表面を綺麗に保つことができる。ただし、レンズウエハモジュールの表面と裏面に、切断保持テープ９ａと表面保護テープ９ｂを貼り付けて切断してレンズモジュールに個片化するが、表面保護テープ９ｂを貼り付けず、切断後に切断保持テープ９ａにレンズを貼り付けた状態のまま、スピン洗浄することにより、光学面Ａを洗浄する方法もある。このように、切断保持テープ９ａのレンズへの貼り付けは必須であるが、表面保護テープ９ｂのレンズへの貼り付けは必須ではない。表面保護テープがなくてもスピン洗浄によりレンズ表面をきれいにすることができる。したがって、レンズ表面およびレンズ裏面のどちらか一方においてレンズ面（光学面Ａ）よりもスペーサ部が高ければよい。
【００９３】
（実施形態２）
本実施形態２では、光学素子としてのレンズおよび光学素子モジュールとしてのレンズモジュールについて詳細に説明する。
【００９４】
図７（ａ）は、図１の各レンズの変形例を示す縦断面図、図７（ｂ）は、図１のレンズモジュールの変形例を示す縦断面図、図７（ｃ）は、図１の第１レンズの上面図、図７（ｄ）は、図７（ａ）の第１レンズの上面図、図７（ｅ）は、図７（ａ）の第１レンズと遮光ホルダを組み合わせた場合のレンズモジュールの縦断面図、図７（ｆ）は、図７（ｂ）のレンズモジュールの変形例と遮光ホルダを組み合わせた場合のレンズモジュールの縦断面図、図７（ｇ）は、遮光ホルダウエハ１８７Ｂ、第１レンズウエハ６５Ｂおよび第２レンズウエハ１８５Ｂを積層したレンズウエハモジュールの要部構成例を示す縦断面図である。
ダイシングラインＤＬに沿って第１レンズウエハ６５Ｂおよび第２レンズウエハ６６Ｂをそれぞれ切断して、図７（ａ）に示すように多数の第１レンズ１８４を得ると共に、多数の第２レンズ１８５を得ることができる。第１レンズ１８４と第２レンズ１８５はそれぞれ、中央部の光学面Ａの外周側に所定厚さを持つスペーサ部が設けられている。スペーサ部は、図７（ｄ）に示すように、平面視外形４角形で内形円形の斜線部分で示すように、光学面Ａを囲む円形状の外周端部Ｂから光学面Ａの凸形状よりも突出した平坦部Ｆ１になっている。これらの第１レンズ１８４と第２レンズ１８５において、光学面Ａおよびスペーサ部は透明樹脂材料により一括成型されている。なお、図７（ｆ）の平面視４角形の第１レンズ６１Ｂは、そのスペーサ部が、図７（ｃ）に示すように環状の斜線部分で示すように、光学面Ａを囲む円形状の外周端部Ｂから光学面Ａの凸形状よりも突出した環状の突出部Ｆ２になっている。環状の突出部Ｆ２の表面も平坦面である。したがって、図１の第１レンズ６１Ｂおよび第２レンズ６２Ｂと、図７（ａ）の第１レンズ１８４および第２レンズ１８５との異なる点は、表面および裏面共、環状の突出部Ｆ２か平坦部Ｆ１かの違いである。
【００９５】
また、複数の第１レンズ１８４Ａが形成された第１レンズウエハと、複数の第２レンズ１８５Ａが形成された第２レンズウエハとが上下に接着材７で貼り合わされた状態で、ダイシングラインＤＬに沿って一括切断して、図７（ｂ）に示すレンズモジュール１８６を得ることができる。この切断の際にも、第１レンズ１８４Ａや第２レンズ１８５Ａの切断時と同様に、切断保持テープを、下側の第２レンズウエハの平坦部Ｆ１に貼り付け、また、レンズ面保護のために、表面保護テープを、上側の第１レンズウエハの平坦部Ｆ１に貼り付ける。これによって、切断時に、第１レンズ１８４Ａおよび第２レンズ１８５Ａの各レンズ光学面Ａが、切断保持テープおよび表面保護テープによって密閉されて保護されて、切削水によって各レンズ光学面が汚れない。ただし、表面保護テープ９ｂを貼り付けず、切断後に切断保持テープ９ａにレンズを貼り付けた状態のまま、スピン洗浄することにより、光学面Ａを洗浄する方法もある。このように、切断保持テープ９ａのレンズへの貼り付けは必須であるが、表面保護テープ９ｂのレンズへの貼り付けは必須ではない。表面保護テープがなくてもスピン洗浄によりレンズ表面をきれいにすることができる。したがって、レンズ表面およびレンズ裏面のどちらか一方においてレンズ面（光学面Ａ）よりもスペーサ部が高ければよい。
【００９６】
図７（ｂ）に示すレンズモジュール１８６と図１に示すレンズモジュール（第１レンズ６１Ｂおよび第２レンズ６２Ｂ）との異なる点は、表面および裏面共、環状の突出部Ｆ２か平坦部Ｆ１かの違いである。
【００９７】
この場合、上側の第１レンズ１８４Ａのスペーサ部と、下側の第２レンズ１８５Ａのスペーサ部との間で各環状の突起部Ｆ２の平坦面が直に接し、各平坦面の更に外周側の底部によって囲まれた空間部分に接着材７が配置されて、第１レンズ１８４Ａおよび第２レンズ１８５Ａが接着されている。
【００９８】
さらに、図７（ａ）において、第１レンズ１８４ａの表面だけに、光学面Ａおよびこれよりも突出した平坦部Ｆ１が設けられている場合に、第１レンズ１８４ａと第２レンズ１８５がセットになる。また、第２レンズ１８５ａのレンズが突出している場合に、第１レンズ１８４と第２レンズ１８５ａがセットになる。第２レンズ１８５ａの表面の光学面Ａが突出していても、第１レンズ１８４の裏面の凹みに嵌まり込む。第２レンズ１８５ａの裏面だけに、光学面Ａおよびこれよりも突出した平坦部Ｆ１が設けられている。これによっても、前述したように、切削水によって各レンズ光学面Ａが汚れない。
【００９９】
要するに、光学面Ａおよびこれよりも突出した突出部Ｆ２または平坦部Ｆ１は、表面および裏面のうちの少なくともいずれかの面に設けられていればよいことになる。
【０１００】
さらに、図７（ｅ）に示すように、光学面Ａと遮光ホルダ１８７の開口部が一致するように、遮光ホルダ１８７を図７（ａ）の第１レンズ１８４上に接着材７で貼り合わせてレンズモジュール１８８とすることができる。また、図７（ｆ）に示すように、光学面Ａと遮光ホルダ１８７の開口部が一致するように、図１の第１レンズ６１Ｂおよび図７（ｂ）の第２レンズ１８５Ａからなるレンズモジュール１８６Ａ上に遮光ホルダ１８７を接着材７で貼り合わせてレンズモジュール１８９とすることもできる。このように、レンズに遮光ホルダ１８７をセットしてこれもレンズモジュールとする。
【０１０１】
別の製造方法によっても、レンズモジュール１８８、１８９を製造することができる。図７（ｇ）に示すように、光学素子ウエハとしての第１レンズウエハ６５Ｂ、光学素子ウエハとしての第２レンズウエハ１８５Ｂおよび遮光ホルダウエハ１８７Ｂを接着材７でそれぞれ貼り合わせて光学素子ウエハモジュールとしてのレンズウエハモジュール１８９Ｂを作製することができる。この場合、第１レンズウエハ６５Ｂと遮光ホルダウエハ１８７Ｂを先に、その光学面Ａと遮光ホルダウエハ１８７Ｂの開口部が一致するように接着材７で貼り付けてから、その下側に第２レンズウエハ１８５Ｂを光学面Ａ同士が一致するように後で貼り付けてもよい。また、第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ１８５Ｂを光学面Ａ同士が一致するように先に接着材７で貼り付けてから、遮光ホルダウエハ１８７Ｂをその上側に、それらの光学面Ａと遮光ホルダウエハ１８７Ｂの開口部が一致するように貼り付けてもよい。さらに、第１レンズウエハ６５Ｂと第２レンズウエハ１８５Ｂからなるレンズウエハモジュールの表面側にそれらの光学面Ａと遮光ホルダウエハ１８７Ｂの開口部が一致するように遮光ホルダウエハ１８７Ｂを接着材７で貼り付けてもよい。
【０１０２】
次に、図７（ｇ）に示すように、レンズウエハモジュール１８９Ｂをダイシングブレードやダイシングワイヤなどを用いて、各レンズ間のダイシングラインＤＬで一括切断してレンズ毎に個片化する。このとき、レンズウエハモジュール１８９Ｂの表面および裏面は切断保護テープおよび切断保持テープを貼り付けて行う。これによっても、レンズモジュール１８９を製造することができる。ただし、表面保護テープ９ｂを貼り付けず、切断後に切断保持テープ９ａにレンズを貼り付けた状態のまま、スピン洗浄することにより、光学面Ａを洗浄する方法もある。このように、切断保持テープ９ａのレンズへの貼り付けは必須であるが、表面保護テープ９ｂのレンズへの貼り付けは必須ではない。表面保護テープがなくてもスピン洗浄によりレンズ表面をきれいにすることができる。したがって、レンズ表面およびレンズ裏面のどちらか一方がレンズ面（光学面Ａ）よりもスペーサ部が高ければよい。
【０１０３】
なお、本実施形態２では、例えば第１レンズ１８４と第２レンズ１８５の２枚の組レンズ（レンズモジュール１８６）、または、例えば第１レンズ１８４の一枚のレンズについて説明したが、これに限らず、光学素子としてのレンズを３枚以上用いて光学素子モジュールとしてのレンズモジュールを構成することもできる。レンズの代わりに他の光学素子であってもよい。他の光学素子として、プリズムや光学機能素子（例えばホログラム光学素子）などがある。これらのプリズムや光学機能素子（例えばホログラム光学素子）は、上記レンズの光学面Ａに形成すればよい。
【０１０４】
（実施形態３）
図８は、本発明の実施形態３として、本発明の実施形態１のセンサモジュール１０Ｂ、または本発明の実施形態２のレンズおよびレンズモジュールを用いたセンサモジュール１０Ｃを含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
【０１０５】
図８において、本実施形態３の電子情報機器９０は、上記実施形態１のセンサモジュール１０Ｂ、または本発明の実施形態２のレンズおよびレンズモジュールを用いたセンサモジュール１０Ｃからの撮像信号を各種信号処理してカラー画像信号を得る固体撮像装置９１と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を記録用に所定の信号処理した後にデータ記録可能とする記録メディアなどのメモリ部９２と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示可能とする液晶表示装置などの表示手段９３と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を通信用に所定の信号処理をした後に通信処理可能とする送受信装置などの通信手段９４と、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号を印刷用に所定の信号処理をした後に印刷処理可能とするプリンタなどの画像出力手段９５とを有している。なお、この電子情報機器９０として、これに限らず、固体撮像装置９１の他に、メモリ部９２と、表示手段９３と、通信手段９４と、プリンタなどの画像出力手段９５とのうちの少なくともいずれかを有していてもよい。
【０１０６】
この電子情報機器９０としては、前述したように例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラ、ドアホンカメラ、車載用後方監視カメラなどの車載用カメラおよびテレビジョン電話用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、テレビジョン電話装置、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置（ＰＤＡ）などの画像入力デバイスを有した電子機器が考えられる。
【０１０７】
したがって、本実施形態３によれば、この固体撮像装置９１からのカラー画像信号に基づいて、これを表示画面上に良好に表示したり、これを紙面にて画像出力手段９５により良好にプリントアウト（印刷）したり、これを通信データとして有線または無線にて良好に通信したり、これをメモリ部９２に所定のデータ圧縮処理を行って良好に記憶したり、各種データ処理を良好に行うことができる。
【０１０８】
なお、上記実施形態３の電子情報機器９０に限らず、本発明の電子素子モジュールを情報記録再生部に用いたピックアップ装置などの電子情報機器であってもよい。この場合のピックアップ装置の光学素子としては、出射光を直進させて出射させると共に、入射光を曲げて所定方向に入射させる光学機能素子（例えばホログラム光学素子）である。また、ピックアップ装置の電子素子としては、出射光を発生させるための発光素子（例えば半導体レーザ素子またはレーザチップ）および入射光を受光するための受光素子（例えばフォトＩＣ）を有している。
【０１０９】
なお、本実施形態１では、特に詳細には説明しなかったが、複数の光学素子を構成する透明樹脂材料の内部に配設された光学素子支持板は遮光性を有し、光学素子支持板の貫通孔の外周部側がスペーサ部の内部に設けられ、貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されていることにより、モジュール作製後において、横方向から光に対してもより遮光することができる本発明の目的を達成することができる。
【０１１０】
以上のように、本発明の好ましい実施形態１〜３を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態１〜３に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態１〜３の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
【産業上の利用可能性】
【０１１１】
本発明は、レンズや光学機能素子などの光学素子、複数のレンズや複数の光学機能素子などの光学素子モジュール、複数のレンズや複数の光学機能素子などの複数の光学素子がウエハ状に設けられた光学素子ウエハ、この光学素子ウエハを複数積層した光学素子ウエハモジュール、この光学素子ウエハまたは光学素子ウエハモジュールを切断して光学素子モジュールを作製する光学素子モジュールの製造方法、この光学素子ウエハまたは光学素子ウエハモジュールを電子素子ウエハとモジュール化する電子素子ウエハモジュール、この電子素子ウエハモジュールを一括切断して電子素子モジュールを作製する電子素子モジュールの製造方法および、この電子素子モジュールの製造方法によって作製した電子素子モジュール、この電子素子モジュールを用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、カメラ付き携帯電話装置およびテレビジョン電話装置などの電子情報機器の分野において、光学素子領域の外周側に設けられたスペーサ部の表面高さが、その中央部の光学素子領域の表面高さよりも高く構成されているため、製造プロセス過程において、複数の光学素子を構成する透明樹脂材料の内部に、光学素子領域のみ貫通した貫通孔を一または複数有した光学素子支持板が設けられ、光学素子支持板は遮光性を有し、光学素子支持板の貫通孔の外周部側がスペーサ部の内部に位置しており、レンズ用の貫通孔の外周部側がその更なる外周部側よりも厚さが厚く構成されているため、モジュール作製時にウエハを上下に貼り合わせて更なる外周部側の隙間に接着材を設けることができ、これによって、横方向から光は、モジュール作製後において、接着材がなく透明レンズ樹脂の膜厚分から入射することになって、より遮光することができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１Ｂ  撮像素子ウエハモジュール（電子素子ウエハモジュール）
２  撮像素子（電子素子）
３  撮像素子ウエハ
３１  外部接続端子
３２  絶縁膜
４  樹脂接着層
５  透明支持基板
６Ｂ  レンズウエハモジュール（光学素子ウエハモジュール）
６１Ｂ  第１レンズ
６１Ｂａ、６１Ｂｂ、６２Ｂａ、６２Ｂｂ  突出部（スペーサ部）
６１Ｃ，６２Ｃ  レンズ支持板
６２Ｂ  第２レンズ
６５Ｂ  第１レンズウエハ（光学素子ウエハ）
６６Ｂ  第２レンズウエハ（光学素子ウエハ）
７  接着材
７、７ａ  接着材
７ｂ  空間部分
７１，７２  通気孔
８  撮像素子ウエハユニット
８０  撮像素子ユニット
８１  上側金型
８２  下側金型
８３  透明樹脂材料
９ａ  切断保持テープ
９ｂ  表面保護テープ
１８４，１８４Ａ、１８４Ｂ、１８４ａ  第１レンズ
１８５，１８５Ａ、１８５ａ  第２レンズ
１８６，１８６Ａ  レンズモジュール
１８７  遮光ホルダ
１８７Ｂ  遮光ホルダウエハ
１８８，１８９  レンズモジュール
１８９Ｂ  レンズウエハモジュール
１０Ｂ、１０Ｃ  撮像素子モジュール（センサモジュール）
９０  電子情報機器
９１  固体撮像装置
９２  メモリ部
９３  表示手段
９４  通信手段
９５  画像出力手段
Ａ  光学面
Ｂ  光学面外周端部
ＤＬ  ダイシングライン
Ｆ１  平坦部
Ｆ２  環状の突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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