(57)【要約】      （修正有）【課題】マーキング仕様に合わせ、インクマーカを取り外す必要がなく、交換時の位置調整の作業を必要としないインクマーカを有するプローバ装置を提供する。【解決手段】異径または異色の複数のインクマーカを円形式カートリッジ２ｂにおいて同心円の円周上にセットし、製品個別の品種パラメータの制御により、プローバは円形式カートリッジ２ｂをカートリッジ支え部（稼働部）（円形式）５ｂにて自動的に回転させて、一番下面の位置に設置されたインク壺４を自動的に選択して、半導体ウェハにインクマーキングを行う。【選択図】図４
2010192612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバ本体と、
前記プローバ本体に固定ネジで支持されたインクマーカ固定部と、
前記インクマーカ固定部の先端に高さ調整ネジによって高さ調整が可能なように設けられたカートリッジ支え部と、
前記カートリッジ支え部に固定された複数のスライド式カートリッジと、
前記複数のスライド式カートリッジの各々に接続されたインクマーカと、
からなるプローバ装置。
【請求項２】
プローバ本体と、
前記プローバ本体に固定ネジで支持されたインクマーカ固定部と、
前記インクマーカ固定部の先端に高さ調整ネジによって高さ調整が可能なように設けられたカートリッジ支え部と、
前記カートリッジ支え部に回転自在に保持された円形式カートリッジと、
前記円形式カートリッジに接続された複数のインクマーカと、
からなるプローバ装置。
【請求項３】
半導体チップの電気特性検査後の不良チップへインクマークを付けるインクマーカを有するプローバ装置において、前記プローバ装置にカートリッジを介して複数のインクマーカを搭載することを特徴とするプローバ装置。
【請求項４】
前記カートリッジはインクマーカを並列に搭載したスライド式カートリッジであることを特徴とする請求項３に記載のプローバ装置。
【請求項５】
前記カートリッジはインクマーカを同心円の円周上に搭載した円形状式カートリッジであることを特徴とする請求項３に記載のプローバ装置。
【請求項６】
前記複数のインクマーカは、マーク径または色のことなるインクマーカであることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載のプローバ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップの電気特性検査後に不良チップへのマーキングを行うインクマーカを有するプローバ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローバでのマーキング作業は、専用アームに一本のマーカーを取り付け、製品毎に高さ・マーク径・色を交換・調整して実施する。製品が変わりチップサイズが異なるとその度にインクマークの条件が変更となりマークインクの交換、調整が必要となる。特に多種類数の製品が同時に流動している生産現場ではこの切り替えの頻度が当然多くなる。
【０００３】
そこでプローバのインクマーカ内部の針状の部材を２重構造とし、大小２種類のインク径のインクマークを簡単にマーキングできる装置が考案されている。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−７４８８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
現行の半導体のテスト工程においては、さらに少量多品種化が進んでおり、各製品別にインクマーカを交換、調整する度合いが増加している。しかしながらプローバ装置の現行仕様ではマークインクは１本しか取り付けができない構造である。そのため製品の切り替え時には、チップサイズの仕様変更があるたびに、マーキング仕様に合わせて、アームをはずしてインクマーカを別の種類に付け替える必要がある。この時、位置調整等の作業も再度発生し、作業効率が非常に悪く、また作業者のミスを誘発させてしまう可能性もあり非効率である。たとえば、プローバにて測定する製品チップの大きさが大きく異なる場合や製品固有の指定がある場合には、その都度、インクマーカ本体を取り外して、インク径やインク色のインクマーカを人手で交換する必要がある。そのため、その度に設置や調整する必要があり、さらに作業者のミスを起こす可能性がある。
【０００６】
さらに、製品により色を変更してマーキングする必要がある場合もあり、この時も同様の交換調整が必要となる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、インクマーカを他品種のマーキング作業が発生しても交換作業することなく実行する為、多数個のインクマーカを一つのカートリッジ内に収め、製品毎に選択、自動交換可能にする装置とする。また予めカートリッジにマーク径の異なるインクマーカ、異色のインクマーカを搭載しておくことで、設定変更のみで、他製品でもマーキング作業が続けられるようにする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のカートリッジ式のインクマーカは、プローバ本体の機能である品種パラメータ設定において、あらかじめカートリッジ上にセットしていた数種類のインク径、またはインク色のインクマーカを自動で設定できることが可能となる。本発明により、異なったインク径やインク色の複数個のインクマーカを最初に設置調整しておくことで、次回からは、作業者は特別に意識することもなく、プローバの製品特有の設定を読み込むことで、所望のインク径またはインク色が自動で設定されるため、作業量の軽減や人為ミスを最小限にすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例１にかかるプローバ装置の斜視図である。
【図２】従来のプローバ装置の断面図である。
【図３】本発明の実施例２にかかるプローバ装置の断面図である。
【図４】本発明の実施例２にかかるプローバ装置の斜視図である。
【図５】本発明のマーキング装置により形成したインクマークを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図２はプローバ装置の内部に取り付けられた従来のインクマーカの断面図である。プローバ本体７に固定ネジ１０を介してインクマーカ固定部６を支持し、インクマーカ固定部６の先端には、高さ調整ネジ９によって高さ調整が可能なようにカートリッジ支え部５ａが設けられ、そして、その上にスライド式カートリッジ２ａが固定されている。スライド式カートリッジ２ａには、マーキングを行うためのインクマーカ１が接続されている。インクマーカ１は上下する駆動軸８が上部にあり、下方にはインク壺４があり、その先にはインク針３が固定されている。インクマーカ１は駆動軸８が上下してインク壺４内のインクをインク針３より押し出してウェハにインクマークを付けるという動作を行う。
【００１１】
従来のインクマーカはプローバ本体に一個しか設置することができず、製品のマーキング条件に即したインクマーカを取り替えることでマーキングを実施していた。製品の品種が多くなっても、様々な半導体製品の固有な要求やその製品のチップサイズに応じたインク径やインク色が異なる場合には、その都度、人が介在して製品に適したインクマーカを取り替えることで対応してきた。
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
本発明は、図２のインクマーカ１を条件の異なる仕様のインクマーカ１を、あらかじめ図のスライド式カートリッジ２ａ、もしくは図３および図４の円形式カートリッジ２ｂのように複数個設置しておくことで、測定前に製品品種パラメータを読み込み、設定を自動変更が可能で測定する半導体製品のマーキング個別仕様に対応したインクマーキングを実行できる。この際、カートリッジ２ａもしくは２ｂはその機構によらず、プローバ内における制御で行なわれ、自動的に切り替えが行なわれる。選択されたインクマーカ１はプローバより出された制御信号により、インク針３が不良チップへのマーキングを所望の条件にて実行される。
【００１４】
図１は本発明の実施例１にかかるプローバ装置を示し、インクマーカの切り替えを行なうスライド式インクカートリッジ機構の斜視図である。異径または異色の複数のインクマーカ１がインクカートリッジ２ａに並列に固定され、インクカートリッジ２ａは、プローバは作業者が設定した製品品種パラメータの設定情報に基づき、プローバ装置による制御でカートリッジがインクマーカ固定部６に固定されているカートリッジ支え部（スライド式）５ａ上をスライドして所望のインクマーカが選択される。その結果として、所望のインク径やインク色がウエハ上に打たれることになる。
【００１５】
図３および図４はそれぞれ本発明の実施例２にかかるプローバ装置の断面図および斜視図である。異径または異色の複数のインクマーカが円形の台座のカートリッジ２ｂに同心円の円周上にセットされ、製品個別の品種パラメータの制御により、プローバは円形式カートリッジをカートリッジ支え部（円形式）５ｂにて自動的に回転させて、一番下面の位置に設置されたインクマーカ１をプローバより出された制御信号にてインク針３が不良チップを接触することにより、所望のインク条件が選択される仕組みとなる。一番下面のインクマーカは、図３に示す断面図で容易に確認できる。すなわち、カートリッジ支え部５ｂの最も近く、インク針３が最も下面にあるインクマーカがマーキングに適用される。
【００１６】
図５は、異なるインクマークを示す図である。チップサイズの小さな半導体チップ１１の場合には小径のインクマーク１２を打つことで、小さな半導体チップ１１からインクマークがはみ出すことのないようにインクマークを形成する。また、チップサイズの大きな半導体チップ１３に対しては大径のインクマーク１４を打つことで識別の容易なインクマークを形成する。本発明のマーキング装置によれば、このような異なる径のインクマークをインクマーカの取り外し交換作業無しに形成することが可能である。また、異なる色のインクマークが必要な場合も異なる色のインクマーカをカートリッジにセットしておくことで容易に異なる色のインクマークを形成することができる。
【符号の説明】
【００１７】
１    インクマーカ
２ａ  スライド式カートリッジ
２ｂ  円形式カートリッジ
３    インク針
４    インク壺
５ａ  カートリッジ支え部（稼動部）（スライド式）
５ｂ  カートリッジ支え部（稼動部）（円形式）
６    インクマーカ固定部
７    プローバ本体
８    駆動軸
９    高さ調整ネジ
１０  固定ネジ
１１  チップサイズの小さな半導体チップ
１２  小径のインクマーク
１３  チップサイズの大きい半導体チップ
１４  大径のインクマーク
【図１】
2010192612.tif 000003
【図２】
2010192612.tif 000004
【図３】
2010192612.tif 000005
【図４】
2010192612.tif 000006
【図５】
2010192612.tif 000007