(57)【要約】【課題】大面積の印刷パターン形成に関わる印刷版に対して、装置の大型化を回避しながら、高精度に位置合わせを行なうことが可能なように印刷版のパターン矯正を行なうことができる、パターン矯正装置を提供する。【解決手段】被印刷基板に形成されるべきパターン位置に応じて、矩形状の基材からなる印刷版５に対して印刷版５の外周端部より矯正部６のアクチュエーター４ａを駆動させて、伝達板４ｂを当接させ、内部に向けて力を印加して印刷版５を圧縮変形させることで、印刷版５上に形成されたパターンを縮小矯正する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の印刷版を載置するためのステージを有する保持部と、
前記印刷版に設けられたアライメントパターンの位置を測定する測定部と、
予め測定した被印刷部材のアライメントパターンの位置に対して、前記印刷版に設けられたアライメントパターンの位置とが一致するように、前記印刷版の外周端部に当接し、前記印刷版の内部に向けて力を与えて、前記印刷版を圧縮変形させるための矯正部と、
を備える、パターン矯正装置。
【請求項２】
前記矯正部は、
前記印刷版の外周端部に当接する伝達板と、
前記伝達板を前記印刷版の内部に向けて押圧するアクチュエーターと
を含む、請求項１に記載のパターン矯正装置。
【請求項３】
前記伝達板と前記印刷版との間に弾性体を介在させる、請求項１または２に記載のパターン矯正装置。
【請求項４】
前記矯正部は、前記印刷版の外周端部を取り囲むように複数設けられる、請求項１から３のいずれかに記載のパターン矯正装置。
【請求項５】
前記印刷版の一の側辺に当接する当接壁を有し、
前記矯正部は、前記一の側辺とは対向する側の辺に当接するように設けられる、請求項１から３のいずれかに記載のパターン矯正装置。
【請求項６】
前記ステージは、前記印刷版をステージ側に引きつける機能を有する、請求項１から５のいずれかに記載のパターン矯正装置。
【請求項７】
前記ステージは、前記印刷版をステージ側に引きつける機能と、前記印刷版をステージ側と反対の方向に浮上させる機能との両方の機能を有する、請求項１から６のいずれかに記載のパターン矯正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷によりレジスト材や導電性ペースト材料などの機能性樹脂材料などをパターニング形成する際、従来のフォトリソグラフィーで得られるパターン位置精度と同等の位置精度を有したパターンを得るために印刷版のパターンを矯正する、パターン矯正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、印刷技術は微細化用途への応用がすすめられている。例えば、フラットパネルディスプレイなどのμｍオーダーの微細パターン形成用途への応用が挙げられる。このような微細パターン形成用途においては、特に積層パターンにおいては、重ね合わせ時の位置精度が悪いと、抵抗不良や絶縁不良など回路上の動作不良が発生する。したがって、パターンの位置精度は、従来の文字や美術品用途の印刷に比べて高い精度が求められる。
【０００３】
このような高精度の位置合わせを行なうためには、印刷版の基板材料も考慮する必要がある。従来、印刷版の基板材料として、数１００μｍオーダー厚さのＡｌ板が一般的に用いられていた。しかし、Ａｌの線膨張係数は、フラットパネルディスプレイ等に一般的に用いられる基板材料であるガラスや石英等の線膨張係数に比べて１桁程度大きい。そのため、温度変化によるＡｌ板の寸法変化が大きく、Ａｌ板の温度管理が重要となる。したがって、高い位置合わせ精度が要求される印刷版の基板材料としては、熱膨張係数の小さいガラスや石英等の材料を用いることが望ましい。
【０００４】
しかしながら、熱膨張係数の小さいガラスや石英等の基材を用いても、印刷版のサイズがｍ（メートル）サイズになると、全ての印刷位置のパターンをサブμｍから数μｍレベル以下の精度で位置合わせを行なうことは困難となる。そのため、印刷版等に形成されたパターンを下地等のパターンの位置に合わせるなど、下地等のパターンが形成されるべき位置に、印刷版等に形成されるパターンの位置を矯正する必要がある。
【０００５】
印刷版等に形成されるパターンの位置を矯正する技術としては、Ａｌの印刷版の場合には、周辺を万力等により引張り、パターンの位置を矯正する方法が用いられている。また、以下に示す特許文献１では、常盤面上の複数の特定位置（印刷版の周辺部以外の位置）に印刷版を固定する固定機構を設置して印刷版を固定した後、固定機構を、アクチュエーター等を用いて移動させることにより印刷版を変形させて、印刷版に形成されるパターンの位置を矯正する方法が開示されている。
【０００６】
また、以下に示す特許文献２には、印刷用途ではないが、露光用途に用いられるマスクメンブレンに対して周辺部に押圧により歪みを与えて、マスクメンブレンに形成されたパターンを矯正する方法が示されている。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示される矯正装置においては、印刷版に裏面側にアクチュエーターが係合するための補助板を設ける必要がある。そのため、印刷版への補助板の着脱作業、印刷版の矯正装置への着脱作業、印刷版の洗浄作業が煩雑となる。
【０００８】
また、印刷版を載置する定盤の内部に、印刷版を変形させるためのアクチュエーターを有する構造を設けることは、印刷版の面積が必要以上に大きくなり、定盤の厚さが厚くなるほど困難になる。
【０００９】
また、特許文献２では、露光用のマスクメンブレンの変形を行なう技術を示しており、パターンが形成されているメンブレンがフレーム部材に結合されており、フレーム部材を介してパターン補正手段からの力を伝達して、マスクメンブレンを変形させる構成となっており、マスクメンブレンの外周に直接力を加える構造ではなく、上記特許文献１とは構造が異なっている。
【特許文献１】特開２００５−５３２０５号公報
【特許文献２】特開平９−２１１８７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、上記特許文献１および特許文献２に開示される印刷版等に形成されるパターンの位置を矯正するための装置構成を採用した場合には、大面積の印刷パターン形成する場合に、印刷版の面積が必要以上に大きくなる点にある。
【００１１】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、大面積の印刷パターン形成に関わる印刷版に対して、装置の大型化を回避しながら、高精度に位置合わせを行なうことが可能なように印刷版のパターン矯正を行なうことができる、パターン矯正装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明に基づいたパターン矯正装置においては、矩形状の印刷版を載置するためのステージを有する保持部と、上記印刷版に設けられたアライメントパターンの位置を測定する測定部と、予め測定した被印刷部材のアライメントパターンの位置に対して、上記印刷版に設けられたアライメントパターンの位置とが一致するように、上記印刷版の外周端部に当接し、上記印刷版の内部に向けて力を与えて、上記印刷版を圧縮変形させるための矯正部とを備えている。
【００１３】
また、上記パターン矯正装置の他の形態においては、上記矯正部は、上記印刷版の外周端部に当接する伝達板と、上記伝達板を上記印刷版の内部に向けて押圧するアクチュエーターとを含んでいる。
【００１４】
また、上記パターン矯正装置の他の形態においては、上記伝達板と上記印刷版との間に弾性体を介在させている。
【００１５】
また、上記パターン矯正装置の他の形態においては、上記矯正部は、上記印刷版の外周端部を取り囲むように複数設けられている。
【００１６】
また、上記パターン矯正装置の他の形態においては、上記印刷版の一の側辺に当接する当接壁を有し、上記矯正部は、上記一の側辺とは対向する側の辺に当接するように設けられている。
【００１７】
また、上記パターン矯正装置の他の形態においては、上記ステージは、上記印刷版をステージ側に引きつける機能を有する。
【００１８】
また、上記パターン矯正装置の他の形態においては、上記ステージは、上記印刷版をステージ側に引きつける機能と、上記印刷版をステージ側と反対の方向に浮上させる機能との両方の機能を有している。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に基づいたパターン矯正装置によれば、印刷版の外周端部に当接し、印刷版の内部に向けて力を与えて、印刷版を圧縮変形させるための矯正部を備えることにより、印刷版に直接力を加えることができるため、パターン矯正装置の大型化を回避することが可能となる。
【００２０】
また、微細な回路パターンを重ね合わせ等で形成する場合において、高い位置精度が必要な印刷を行なう場合であっても、予め測定した被印刷部材のアライメントパターンの位置と、上記印刷版に設けられたアライメントパターンの位置とが一致するように、上記印刷版の外周端部に当接し、上記印刷版の内部に向けて力を与えて、上記印刷版を圧縮変形させることで、位置精度良く印刷版のパターンを縮小矯正できることから、大面積の印刷パターン形成の場合であっても、高い位置精度における印刷を行なうことが可能となる。
【００２１】
また、伝達板と印刷版との間に弾性体を介在させることにより、印刷版の端部形状によらず、安定した押圧力で印刷版のパターンの縮小矯正を行なうことができる。
【００２２】
また、印刷版に圧縮力を加えて座屈が生じる場合でも、保持部のステージに、印刷版をステージ側に引きつける機能と、印刷版をステージ側と反対の方向に浮上させる機能との両方の機能を設けることにより、印刷版を座屈させることなく、印刷版のパターンの縮小矯正を行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に基づいた実施の形態にかかるパターン矯正装置について、図面を用いて詳細に説明する。
【００２４】
以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の構成を適宜組み合わせることは、当初から予定されている。
【００２５】
（実施の形態１）
以下、本発明に基づいた実施の形態におけるパターン矯正装置１００について、図１から図４を用いて説明する。なお、図１は、パターン矯正装置１００の全体構成を示す模式図であり、図２は、被印刷基板３を載置した状態でのパターン矯正装置１００の全体構成を示す模式図であり、図３は、印刷版５を載置した状態でのパターン矯正装置１００の全体構成を示す模式図であり、図４は、図３中ＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。
【００２６】
（パターン矯正装置１００の構成）
パターン矯正装置１００は、印刷版５を載置する保持部２と、複数の矯正部６とを有している。印刷版５を保持するための、平面視において矩形形状の保持部２は、微動ステージ１ａ上に吸着ステージ１ｂを搭載している。印刷版５は保持部２の上の吸着ステージ１ｂに載置される。なお、吸着ステージ１ｂに採用される印刷版５の吸着機構については、一般に広く知られている真空吸着技術を用いていることから、ここでの詳細な説明は省略する。
【００２７】
矯正部６は、図１から図３に示すように印刷版５の外周部に所定の間隔で複数配置されている。矯正部６は、複数のアクチュエーター４ａと伝達板４ｂから構成されている。矯正部６は印刷版の外周端部より外周の辺に対して概略垂直方向（印刷版５の水平面内）に圧縮力を与える構成となっている。
【００２８】
保持部２の四隅の上方位置には、印刷版や被印刷基板に設けられたアライメントパターンの位置情報を読取るためのＣＣＤ等の撮像装置（カメラ）８が配置されている。撮像装置８には、アライメントパターンの位置測定精度に関して、サブミクロンオーダまでの分解能を有するマクロレンズ７が取り付けられている。なお、図１に示すカメラ８の設置位置は、一例であって、保持部２の四隅の上方位置に限定されるものではない。
【００２９】
撮像装置（カメラ）８で得られた印刷版や被印刷基板に設けられたアライメントパターンの位置情報は、パソコン等の演算処理装置１０に入力される。演算処理装置１０には、アライメントパターンの重心位置を計算するための重心計算ソフト等がインストールされている。マクロレンズ７、撮像装置（カメラ）８、および、演算処理装置１０により測定部が構成される。
【００３０】
印刷版や被印刷基板には、縦横の大きさが３６０ｍｍ×４６５ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板が用いられる。印刷版や被印刷基板の上面には、アライメントパターンと図示していない回路等のパターンが形成されたもの（被印刷物である基板に形成されている下地のパターンより数〜数１０ｐｐｍ程度大きく形成されてもの）を用いる。
【００３１】
（パターン矯正装置１００の動作）
（被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置測定）
次に、本実施の形態におけるパターン矯正装置１００の動作について説明する。図２に示すように、被印刷基板３を保持部２の吸着ステージ１ｂ上に載置して、被印刷基板３を真空吸着により保持する。
【００３２】
次に、被印刷基板３の複数個所に設けられたアライメントパターン３Ａを撮像装置８で読取り、被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置情報を演算処理装置１０に入力する。その後、この演算処理装置１０にインストールされた重心計算ソフト等を用いて、各アライメントパターン３Ａの重心位置等を計測する。
【００３３】
その後、吸着ステージ１ｂによる被印刷基板３の真空吸着を解除し、吸着ステージ１ｂに設けられたリフトピン等（図示省略）で被印刷基板３を持ち上げ、搬送手段（図示省略）を用いて被印刷基板３をパターン矯正装置１００から搬出する。
【００３４】
（印刷版５のアライメントパターン５Ａの位置測定）
次に、図３および図４に示すように、インクが塗布された印刷版５を搬送手段（図示省略）を用いてパターン矯正装置１００に搬入し、吸着ステージ１ｂ上に印刷版５を載置する。吸着ステージ１ｂで印刷版５を真空吸着する。
【００３５】
次に、全ての矯正部６のアクチュエーター４ａを駆動させて、伝達板４ｂが印刷版５の端部に当接するまで移動させる。伝達板４ｂが印刷版５に当接した時点で、印刷版５の吸着ステージ１ｂによる真空吸着を解除する。その後、プレ荷重として、ロードセルに一定荷重（例えば、４９Ｎ）が加わる位置まで、アクチュエーター４ａを動作させて停止させる。ロードセルは、図示していないが、アクチュエーター４ａと伝達板４ｂとの間に設けられており、伝達板４ｂが印刷版５に当接することによりアクチュエーター４ａに加わる荷重を測定する。
【００３６】
次に、印刷版５上にある複数のアライメントパターン５Ａを撮像装置８で読取り、印刷版５のアライメントパターン５Ａの位置情報を演算処理装置１０に入力する。その後、この演算処理装置１０にインストールされた重心計算ソフト等を用いて、各アライメントパターン５Ａの重心位置等を計測する。
【００３７】
（印刷版５のパターンの矯正動作）
次に、あらかじめ取得した被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置に、印刷版５のアライメントパターン５Ａの位置を合わせるため、矯正部６のアクチュエーター４ａを駆動させ、複数のアライメントパターン５Ａの位置が、被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置と一致するように、アクチュエーター４ａによる印刷版５への印加荷重を調整して、パターン矯正を行なう。その後、吸着ステージ１ｂにより印刷版５の吸着を再度行ない、印刷版５のパターン矯正動作が完了する。
【００３８】
上記では、被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置をあらかじめ取得する動作について説明したが、複数の被印刷基板３を用いる場合に、各被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置が同じ場合は、被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置を毎回計測する必要は無く、印刷版５のパターン矯正動作において、被印刷基板３のアライメントパターン３Ａの位置計測のための動作を省略することができる。
【００３９】
（作用・効果）
以上、本実施の形態におけるパターン矯正装置１００によれば、被印刷基板３に形成されるべきパターン位置に応じて、矩形状の基材からなる印刷版５に対して印刷版５の外周端部より矯正部６のアクチュエーター４ａを駆動させて、伝達板４ｂを当接させ、内部に向けて力を印加して印刷版５を圧縮変形させることで、印刷版５上に形成されたパターンを縮小矯正することが可能となる。
【００４０】
その結果、印刷版５の外周端部に当接し、印刷版５の内部に向けて力を与えて、印刷版５を圧縮変形させるための矯正部６を備えることにより、印刷版５に直接力を加えることができるため、パターン矯正装置１００の大型化を回避することが可能となる。
【００４１】
また、微細な回路パターンを重ね合わせ等で形成する場合に、高い位置精度が必要な印刷を行なう場合であっても、位置精度良く印刷版５のパターンを矯正して、被印刷基板３に位置精度良くパターンの転写を行なうことが可能となる。
【００４２】
（実施の形態２）
以下、本発明に基づいた実施の形態におけるパターン矯正装置２００について、図５から図７を用いて説明する。図５は、印刷版５を載置した状態でのパターン矯正装置２００の全体構成を示す模式図であり、図６は、１軸補正実験機構成を示す平面図であり、図７は、２点間距離と圧縮量との関係を示す図である。なお、本実施の形態におけるパターン矯正装置２００において、上述した実施の形態１におけるパターン矯正装置１００と同一または相当部分については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さないこととする。
【００４３】
本実施の形態におけるパターン矯正装置２００は、基本的構成は、上述した実施の形態１におけるパターン矯正装置１００と同じであり、矯正部６の伝達板４ｂと印刷版５との間に、弾性体１１を介在している点が相違している。弾性体１１としては、一例として、シリコーンゴムを用いている。
【００４４】
ここで、矯正部６の伝達板４ｂと印刷版５との間に、弾性体１１を介在させて印刷版５のパターンを矯正するための効果確認実験として、１つの矯正部６を用いて印刷版５のパターン矯正を行った場合の実験例を図６および図７を用いて説明する。
【００４５】
所定のパターンが形成された印刷版５に対して、図６に示すような構成の装置で実験を実施した。印刷版５には、縦横の大きさが３６０ｍｍ×４６５ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板を用いた。印刷版５の一端側の辺は、固定部１３に当接させる構成とした。印刷版５の一端側の辺と固定部１３との間には、幅約１４０ｍｍ、高さ約１０ｍｍ、厚さ約０．７ｍｍ、硬度約５０のシリコーンゴム製の弾性体１１を介在させた。
【００４６】
印刷版５の一端側とは反対側の他端側の辺は、矯正部６の伝達板４ｂに当接させる構成とした。印刷版５の他端側の辺と伝達板４ｂとの間には、幅約３７０ｍｍ、高さ約１０ｍｍ、厚さ約０．７ｍｍ、硬度約５０のシリコーンゴム製の弾性体１１を介在させた。また、伝達板４ｂには、ロードセル１２、バネ１５、およびアクチュエーター４ａを連結させている。ロードセル１２における荷重差Δｆは、４９Ｎ，９８Ｎである。
【００４７】
印刷版５において、基準位置０に対して、Ｘ方向に１２４ｍｍ、２４８ｍｍ、３１０ｍｍ離れた位置を測定点とした。
【００４８】
図７に、２点間距離（ｍｍ：基準位置と測定点との間の距離）と圧縮量（μｍ：矯正量）との関係を示す結果を示す。３箇所の２点間距離において、荷重差Δｆが、４９Ｎ、および、９８Ｎのいずれの場合であっても、２点間距離の増加に比例して、圧縮量も増加しており、所望のパターンを線形的に矯正する（均等に縮小する）ことができることが確認できた。
【００４９】
上記の実験結果の計測時には、印刷版５の他端側の辺と伝達板４ｂとの間には、弾性体１１を介在させている。その結果、印刷版５と伝達板４ｂとの間に弾性体１１を介在させた方が安定的にパターンを矯正することができると考えられる。この理由としては、印刷版５の端の形状について印刷版５間で差があること、同じ印刷版５内でも数１０μｍ程度のうねりがあるため、剛体で形成された伝達板４ｂで押圧を加えると微視的に伝達板４ｂと印刷版５端部との接触が不均等となり印刷版５の面内にかかる力が不均等になると考えられるからである。
【００５０】
弾性体１１を介在させると、印刷版５と伝達板４ｂとの間の接触の不均等性を緩和できるため、異なる印刷版５を用いた場合でも安定的にパターンを矯正することができると考えられる。この結果を上記の実施の形態に適用した場合、パターン矯正装置は、図５に示すように、すべての矯正部６のアクチュエーター４ａに連結される伝達板４ｂに弾性体１１が取り付けられる構成となる。
【００５１】
以上、本実施の形態におけるパターン矯正装置２００によっても、実施の形態１に示したパターン矯正装置１００と同様の作用効果を得ることが可能となる。さらに、本実施の形態におけるパターン矯正装置２００よれば、印刷版５の他端側の辺と伝達板４ｂとの間に弾性体１１を介在させることで、印刷版５と伝達板４ｂとの間の接触の不均等性を緩和して、異なる印刷版５を用いた場合でも安定的にパターンを矯正することが可能となる。
【００５２】
なお、上記各実施の形態において、複数のアクチュエーター４ａを用いてパターン矯正を行なう場合には、各アクチュエーター４ａを駆動してロードセルにかかる荷重を調整にすることにより、印刷版５のパターンを線形に矯正するだけでなく、非線形にもパターンを矯正する（不均等に縮小する）ことが可能である。
【００５３】
なお、上記各実施の形態において、矯正部６のアクチュエーター４ａを用いて印刷版５に荷重を印加した場合に、印刷版５の基板材料やその厚さによっては座屈が生じる場合がある。その場合、アクチュエーター４ａを駆動する前に、吸着ステージ１ｂにより印刷版５を吸着する方向に保持する場合の吸引力より弱い吸引を行なう。この場合の吸引力は、アクチュエーター４ａを用いて印刷版５に荷重を印加した場合、印刷版５は吸着ステージ１ｂ上において水平方向に移動可能な程度の吸引力である。
【００５４】
また、図８に示すように、印刷版５をステージ側に引きつける機能を有する吸着ステージ１ｂにおいて、印刷版５をステージ側と反対の方向に浮上させる機能として、印刷版５をステージから浮上させる方向に空気、または、窒素等のガスを導出するとともに、吸着する方向にも真空等の吸着力を働かせる構成の採用が可能である。
【００５５】
このように、ステージ側に引きつける機能と、ステージ側と反対の方向に浮上させる機能との両方の機能のバランスをとり、印刷版５の自重も合わせて両者が均衡する浮上力と吸着力を作用させて印刷版５の平面度を維持した後、矯正部６のアクチュエーター４ａを駆動して印刷版５のパターン矯正を行ない、矯正後は吸着力のみを作用させて、パターン矯正後の印刷版５の形状を維持することにより、印刷版５のパターン矯正を行なうことも可能である。
【００５６】
また、基板保持機構として真空吸着機構を持たせ、印刷版５をステージ側に引きつける機能を有する吸着ステージ１ｂに代わり、図９に示すように、印刷版５をステージ側に引きつける他の機能として、装置構成等に応じて印刷版５の上方から空気、又は、窒素等を吹き出し、ステージに印刷版５を押さえつける噴出ステージ１ｃを、印刷版５の上方に載置する構成の採用も可能である。
【００５７】
さらに、図１０に示すように、印刷版５の上方および下方の両側から空気、又は、窒素等を吹き出すための噴出ステージ１ｃ，１ｄを採用して、印刷版５の平面度を維持させる構成の採用も可能である。
【００５８】
また、上記各実施の形態では、直交する２軸の方向について、各軸に対して対向する方向の双方に複数のアクチュエーター４ａを用いる構成について記載したが、各軸に対して片側のみに複数のアクチュエーター４ａを用い対向側はアクチュエーター４ａを設けずに、当て機構のみの構成とすることも可能である。
【００５９】
また、印刷精度に異方性があり１方向のみのパターン矯正で良い場合は、１軸のみに矯正部材を設けて、印刷版５のパターン矯正を行なっても良い。また、１つのアクチュエーター４ａで所望の変形が出来るのであれば、１つのアクチュエーター４ａのみで印刷版５のパターン矯正を行なっても構わない。
【００６０】
一つのアクチュエーター４ａに一つの伝達板４ｂを設ける構成だけでなく、一つのアクチュエーター４ａに複数の伝達板４ｂを設ける構成の採用も可能である。
【００６１】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】実施の形態１におけるパターン矯正装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】実施の形態１における被印刷基板を載置した状態でのパターン矯正装置の全体構成を示す模式図である。
【図３】実施の形態１における印刷版を載置した状態でのパターン矯正装置の全体構成を示す模式図である。
【図４】図３中ＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。
【図５】実施の形態２における印刷版を載置した状態でのパターン矯正装置の全体構成を示す模式図である。
【図６】実施の形態２に関連し、１軸補正実験機構成を示す平面図である。
【図７】２点間距離と圧縮量との関係を示す図である。
【図８】図３中ＩＶ−ＩＶ線矢視断面に対応する、保持部の他の形態を示す断面図である。
【図９】図３中ＩＶ−ＩＶ線矢視断面に対応する、保持部の他の形態を示す断面図である。
【図１０】図３中ＩＶ−ＩＶ線矢視断面に対応する、保持部の他の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１ａ  微動ステージ、１ｂ  吸着ステージ、１ｃ，１ｄ  噴出ステージ、２  保持部、３  被印刷基板、３Ａ，５Ａ  アライメントパターン、４ａ  アクチュエーター、４ｂ  伝達板、５  印刷版、６  矯正部、７  マクロレンズ、８  撮像装置（カメラ）、１０  演算処理装置、１１  弾性体、１００，２００  パターン矯正装置。
【図１】
2010143021.tif 000003
【図２】
2010143021.tif 000004
【図３】
2010143021.tif 000005
【図４】
2010143021.tif 000006
【図５】
2010143021.tif 000007
【図６】
2010143021.tif 000008
【図７】
2010143021.tif 000009
【図８】
2010143021.tif 000010
【図９】
2010143021.tif 000011
【図１０】
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