(57)【要約】【課題】基板が薄くても、成膜の内部応力に起因する反りの発生を簡易に防止することができる成膜方法の提供。【解決手段】短冊状基板の両面のそれぞれ一部に接する一対の保持部２５，２８を有する成膜治具２を用いて大板１を成膜し、成膜後の大板１を複数の短冊状基板に切断分割し、保持部２５，２８が接した領域を含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板のみを検査する。成膜の内部応力によって大板１が反ろうとしても、大板１の両面を一対の保持部２５，２８で保持しているから、保持部２５，２８と大板１との間の隙間がなくなって大板１の反りを効率的に防止できる。検査工程によって、保持部２５，２８で保持される領域の短冊状基板を製品に使用しないようにするので、製品として使用される短冊状基板が確実に成膜される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大板に成膜し、この成膜後の大板を切断分割して複数の短冊状基板とする成膜方法であって、
前記短冊状基板の領域のそれぞれ一部に接する一対の保持部を有する成膜治具を用いて前記大板を成膜する成膜工程と、
前記成膜後の大板を複数の短冊状基板に切断分割する切断工程と、
前記保持部が接した領域を含まない非保持領域から切断分割された前記短冊状基板のみを検査する検査工程と、
を備えたことを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
成膜対象とされるとともに成膜後に切断分割されて複数の短冊状基板とされる大板を保持する成膜治具であって、
前記短冊状基板の領域のそれぞれ一部に接する一対の保持部と、これらの保持部にそれぞれ設けられ前記大板を露出する開口が形成される枠部とを備えた
ことを特徴とする成膜治具。
【請求項３】
請求項２に記載された成膜治具において、
前記大板は互いに対向する第一辺部と、これらの第一辺部と直交配置される第二辺部とを有する平面矩形状に形成され、
前記一対の保持部の少なくとも一方は、前記大板の前記第一辺部の一部に当接され互いに対向配置される直線状部の一部であってそれぞれ前記枠部の開口の中心に向けて延出された第一延出部と、この第一延出部の一端部に接続された直線状部であって前記枠部の開口の中心に向けて延出された第二延出部とを備え、平面視でコの字状とされる
ことを特徴とする成膜治具。
【請求項４】
請求項２に記載された成膜治具において、
前記大板は互いに対向する第一辺部と、これらの第一辺部と直交配置される第二辺部とを有する平面矩形状に形成され、
前記一対の保持部の少なくとも一方は、前記枠部の互いに対向する辺部の中心位置同士を連結する直線状の連結辺部を備えている
ことを特徴とする成膜治具。
【請求項５】
請求項２に記載された成膜治具において、
前記大板は、それぞれ互いに対向する第一辺部と、これらの第一辺部と直交配置される第二辺部とを有する平面矩形状に形成され、
前記一対の保持部の少なくとも一方は、前記大板の前記第一辺部に当接され互いに対向する第一直線状部と、前記大板の前記第二辺部に当接され前記第一直線状部と直交する第二直線状部とを備え、平面視で口の字状とされた
ことを特徴とする成膜治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大板に成膜する成膜方法及び成膜に用いる成膜治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラ、その他の電子機器では光学素子が多用されており、この光学素子には、ＩＲカットガラス等、表面に光学薄膜が形成された基板がある。
表面に成膜された基板は種々の方法で製造されるが、生産性の向上等を目的として、大板自体を成膜し、この成膜後の大板を切断分割して複数の短冊状基板とすることがある。
【０００３】
従来、真空蒸着法等によってガラス基板等の基板上に光学薄膜等を形成すると、その光学薄膜の内部応力によって、基板が反るという現象が発生していた。そして、基板が反ってしまうと、基板の面内における光学特性分布にばらつきが生じてしまうという問題があった。
【０００４】
基板上の薄膜の内部応力によって発生する基板の反りを防止するために、フレーム治具を用いる方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１に開示されたフレーム治具は、基板より熱膨張係数の大きな材料から形成されており、基板の端部を保持する断面コ字形の溝を有するとともに断面の上下方向に沿った棒状とされる。この治具を用いて光学薄膜を形成するには、まず、治具と基板とを加熱し、治具の溝に基板の端部を保持し、この状態で、治具と基板とを冷却した後、基板上に光学薄膜を真空蒸着で形成する。これにより、光学薄膜に生じる内部応力に対応した反りが予め基板自体に付与されることで基板の反りが防止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−９４０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の従来例では、基板をフレーム治具に保持するために加熱をしなければならないので、基板保持作業が煩雑となる。しかも、基板を治具に保持するための加熱温度、溝の寸法、その他の条件を設定することは困難であり、この条件が十分ではないと不都合、例えば、基板が治具に必要以上に挟持されることになり、これにより、基板に割れやクラックが生じることになる。そして、基板が薄い場合には、コ字状の溝で基板の端部を保持しても、基板と溝との間には隙間が生じることになり、成膜工程の実施に際して、基板が反ることになる。
特に、光学素子の軽量化等を目的として基材の板厚は薄板化される傾向にあるが、このような薄板化された基板に成膜する場合、特許文献１の従来例では、十分に対応することができない。
【０００７】
本発明の目的は、基板が薄くても、成膜の内部応力に起因する反りの発生を簡易に防止することができる成膜方法及び成膜治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例は、大板に成膜し、この成膜後の大板を切断分割して複数の短冊状基板とする成膜方法であって、前記短冊状基板の領域のそれぞれ一部に接する一対の保持部を有する成膜治具を用いて前記大板を成膜する成膜工程と、前記成膜後の大板を複数の短冊状基板に切断分割する切断工程と、前記保持部が接した領域を含まない非保持領域から切断分割された前記短冊状基板のみを検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする成膜方法。
この構成の本適用例では、大板の両面を一対の保持部で保持した成膜治具を、成膜装置、例えば、ドーム状の被装着部材に装着し、成膜工程を実施する。この成膜治具は短冊状基板の領域のそれぞれ一部に接する一対の保持部を有する。成膜された大板は切断工程によって短冊状基板に切断分割される。この切断分割では、例えば、カッター等が利用される。切断工程で成形された短冊状基板は、検査工程によって、保持部が接した領域に属すか否かによってが、例えば、目視等によって判別され、非保持領域から切断分割された短冊状基板のみが製品として検査される。
従って、本適用例では、成膜工程において、成膜の内部応力によって大板が反ろうとしても、大板の両面を一対の保持部で保持しているから、保持部と大板との間の隙間がなくなり、大板の反りが両面から効率的に阻止されることになる。そして、一対の保持部で大板の両面を当接させるだけで保持作業を簡単に実施することができる。しかも、検査工程によって、保持部で保持される領域の短冊状基板を製品に使用しないようにするので、製品として使用される短冊状基板は確実に成膜されていることになり、製品の品質を良好なものにできる。
【０００９】
［適用例２］
本適用例は、成膜対象とされるとともに成膜後に切断分割されて複数の短冊状基板とされる大板を保持する成膜治具であって、前記短冊状基板の領域のそれぞれ一部に接する一対の保持部と、これらの保持部にそれぞれ設けられ前記大板を露出する開口が形成される枠部とを備えたことを特徴とする成膜治具。
この構成の本適用例では、前述の効果を奏することができる成膜治具を提供することができる。
【００１０】
［適用例３］
本適用例は、前記大板が、互いに対向する第一辺部と、これらの第一辺部と直交配置される第二辺部とを有する平面矩形状に形成され、前記一対の保持部の少なくとも一方は、前記大板の前記第一辺部の一部に当接され互いに対向配置される直線状部の一部であってそれぞれ前記枠部の開口の中心に向けて延出された第一延出部と、この第一延出部の一端部に接続された直線状部であって前記枠部の開口の中心に向けて延出された第二延出部とを備え、平面視でコの字状とされることを特徴とする。
この構成の本適用例では、一対の保持部の少なくとも一方が第一延出部及び第二延出部からなる平面コの字状とされるので、一対の保持部の構造が簡易となるだけでなく、大板の撓みが不良となる３カ所を集中的に支持することで、反りを効率的に防止することができる。
【００１１】
［適用例４］
本適用例は、前記大板が、互いに対向する第一辺部と、これらの第一辺部と直交配置される第二辺部とを有する平面矩形状に形成され、前記一対の保持部の少なくとも一方は、前記枠部の互いに対向する辺部の中心位置同士を連結する直線状の連結辺部を備えていることを特徴とする。
この構成の本適用例では、撓み量の大きな大板の中心部の変位を規制するように連結辺部を配置するので、大板の反りを効果的に防止することができる。
【００１２】
［適用例５］
本適用例は、前記大板が、それぞれ互いに対向する第一辺部と、これらの第一辺部と直交配置される第二辺部とを有する平面矩形状に形成され、前記一対の保持部の少なくとも一方は、前記大板の前記第一辺部に当接され互いに対向する第一直線状部と、前記大板の前記第二辺部に当接され前記第一直線状部と直交する第二直線状部とを備え、平面視で口の字状とされたことを特徴とする。
この構成の本適用例では、一対の保持部の少なくとも一方が第一直線状部及び第二直線状部からなる平面口の字状とされるので、一対の保持部の構造が簡易となり、保持部の製造を容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる成膜治具が被装着部材に装着された状態が示された斜視図。
【図２】第１実施形態で成膜された大板の平面図。
【図３】成膜治具が被装着部材に装着された状態を示す断面図。
【図４】図３の要部の拡大断面図
【図５】成膜治具を構成するホルダの平面図。
【図６】ホルダの側面図。
【図７】ホルダの図６とは異なる方向からみた側面図。
【図８】ホルダの裏面図。
【図９】押さえ部材の平面図。
【図１０】押さえ部材の一部を破断した側面図。
【図１１】本発明の第２実施形態にかかる成膜治具が被装着部材に装着された状態の要部が示されるものであって図１２のＸＩ−ＸＩ線に沿った断面図。
【図１２】本発明の第２実施形態にかかる成膜治具のホルダを示す正面図。
【図１３】ホルダの側面図。
【図１４】ホルダの図１３とは異なる方向からみた側面図。
【図１５】ホルダの裏面図。
【図１６】押さえ部材の平面図。
【図１７】図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿った断面図。
【図１８】第２実施形態で成膜された大板の平面図。
【図１９】本発明の第３実施形態にかかる成膜治具が被装着部材に装着された状態を示す断面図。
【図２０】図１９の要部の拡大断面図
【図２１】成膜治具を構成するホルダの平面図。
【図２２】ホルダの一部を破断した側面図。
【図２３】ホルダの図２２とは異なる方向からみた側面図。
【図２４】ホルダの裏面図。
【図２５】押さえ部材の平面図。
【図２６】押さえ部材の一部を破断した側面図。
【図２７】第３実施形態で成膜された大板の平面図。
【図２８】実施例１の各基板と透過波長との関係を示すグラフ。
【図２９】実施例１の透過波長と透過率との関係を示すグラフ。
【図３０】実施例２の各基板と透過波長との関係を示すグラフ。
【図３１】実施例２の透過波長と透過率との関係を示すグラフ。
【図３２】実施例３の各基板と透過波長との関係を示すグラフ。
【図３３】実施例３の透過波長と透過率との関係を示すグラフ。
【図３４】比較例の透過波長と透過率との関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。ここで、各実施形態において、同一構成要素は同一符号を付して説明を省略もしくは簡略にする。
第１実施形態が図１から図１０に示されている。図１は第１実施形態にかかる成膜治具が被装着部材に装着された状態を示す斜視図である。
図１において、本実施形態の成膜対象である大板１は、成膜治具２を介して被装着部材５０に取り付けられている。この被装着部材５０は、図示しない成膜装置内に配置され、成膜処理が実施される。
【００１５】
被装着部材５０は、円錐型ドーム状の本体５１に複数の窓５２が形成された構造である。これらの窓５２は、被装着部材５０の頂部から底部へ向かって放射状に形成されており、大板１が取り付けられた際に、大板１の成膜面が被装着部材５０の内表面側に露出するように形成されている。ここで、被装着部材５０の内表面側とは円錐型ドームの重心に近いほうであり、外表面側とは逆に当該重心よりも遠い側を意味する。
【００１６】
図２には大板１の平面が示されている。図２において、大板１は互いに対向する第一辺部１１と、これらの第一辺部１１と直交配置される第二辺部１２とを有する平面矩形状の板材であり、その大きさは、例えば、約７０ｍｍ×７０ｍｍであり、その厚みは、例えば、約０．５ｍｍから１．０ｍｍ程度である。大板１の材質は、光学素子として用いられる材質であり、例えば、ガラス、シリコン、水晶等である。
大板１の表面には光学薄膜等が成膜される。成膜後の大板１を切断分割して複数の短冊状基板１３が形成される。なお、図２に示される二点鎖線は、大板１を切断するためのダイシングライン１Ａを示し、この位置は本実施形態の説明の都合上示されているものであって、短冊状基板１３の形状、寸法、取出し個数等に応じて適宜変更される。
【００１７】
成膜治具２の具体的な構成が図３から図１０に示されている。
図３は成膜治具２が被装着部材５０に装着された状態を示す断面図であり、図４は図３の要部の拡大断面図である。
図３及び図４において、成膜治具２は、被装着部材５０の本体５１に装着されるホルダ２１と、このホルダ２１へ大板１を押さえる押さえ部材２２とを備えている。
図５から図８にはホルダ２１が示されている。図５はホルダ２１の平面図、図６はホルダ２１の側面図、図７はホルダ２１の図６とは異なる方向からみた側面図、図８はホルダ２１の裏面図である。
【００１８】
図５から図８において、ホルダ２１は、窓部５２に嵌合される枠部２３と、この枠部２３に設けられたフランジ部２４と、枠部２３に設けられた保持部２５とを備えており、これらは金属から一体に形成されている。
枠部２３は、その外周部が窓部５２の平面形状に合わせた平面矩形状とされ、その内周部が大板１の平面形状と一致するように平面矩形状とされる。なお、枠部２３の内周の角部は大板１を取り出しやすくするために、凹部２３Ａが形成されている。
枠部２３の外周角部は窓部５２への装着を容易にするために、切り落とされている。
フランジ部２４は枠部２３の端部から外側に向けて形成されており、その角部は切り落とされるとともに、角部以外の中央部分より厚く形成されている（図６参照）。これにより、被装着部材５０へのホルダ２１の装着作業が容易となる。
フランジ部２４の平面にはホルダ２１に押さえ部材２２を装着する際の目印２４Ａが刻設されている。この目印２４Ａは、例えば、三角形である。
【００１９】
保持部２５は、枠部２３の互いに対向する辺部に沿って形成された第一直線状部２５１と、これらの第一直線状部２５１にそれぞれ直交配置された第二直線状部２５２とを備え、平面視で口の字状とされている。
第一直線状部２５１は大板１の第一辺部１１に幅寸法ｔに渡って当接され、第二直線状部２５２は大板１の第二辺部１２に幅寸法ｔに渡って当接される。
第一直線状部２５１と第二直線状部２５２の一方、例えば、第二直線状部２５２に、大板１のいずれかの面に成膜を形成したか確認するための凹状の切欠部２５Ａが形成されているが、本実施形態では、この切欠部２５Ａを省略してもよい。
【００２０】
押さえ部材２２が図９及び図１０に示されている。図９は押さえ部材２２の平面図であり、図１０は押さえ部材２２の一部を破断した側面図である。
図９及び図１０において、押さえ部材２２は、ホルダ２１の枠部２３に入れ子状に収納される平面矩形状の枠部２６と、この枠部２６に設けられホルダ２１のフランジ部２４に重合されるフランジ部２７とを備えており、これらは金属から一体に形成されている。
枠部２６は、その先端部がホルダ２１の保持部２５との間で大板１の外周縁部を保持する保持部２８を構成している。保持部２８は、ホルダ２１の第一直線状部２５１と大板１の第一辺部１１を挟んで対向配置される第一直線状部２８１と、ホルダ２１の第二直線状部２５２と大板１の第二辺部１２を挟んで対向配置される第二直線状部２８２とを備え、平面視で口の字状とされている。
第一直線状部２８１は大板１の第一辺部１１に幅寸法ｔに渡って当接され、第二直線状部２８２は大板１の第二辺部１２に幅寸法ｔに渡って当接される。
フランジ部２７の外周形状はホルダ２１のフランジ部２４の外周形状と略等しい。
【００２１】
次に、成膜方法について説明する。
本実施形態の成膜方法は、大板１を成膜治具２に取り付ける取付工程と、大板１が取り付けられた成膜治具２を被装着部材５０の窓部５２に装着する装着工程と、窓部５２に装着された大板１に成膜する成膜工程と、この成膜した大板１を切断して複数の短冊状基板１３に分割する切断分割工程と、この切断分割された短冊状基板１３のみを検査する検査工程と、を備えて構成される。
【００２２】
〔取付工程〕
本実施形態では、まず、成膜対象となる大板１をホルダ２１の枠部２３に収納するとともに、大板１の第一辺部１１と第二辺部１２との一面を保持部２５で支持する。そして、押さえ部材２２の枠部２６をホルダ２１の枠部２３の内部に押し込んで、大板１を押さえ部材２２で押さえる。これにより、押さえ部材２２の保持部２８とホルダ２１の保持部２５とで大板１の第一辺部１１と第二辺部１２との両側面が保持される。
〔装着工程〕
大板１が取り付けられた成膜治具２を被装着部材５０の窓部５２に装着する。そのため、成膜治具２のホルダ２１を窓部５２に押し込む。
【００２３】
〔成膜工程〕
成膜工程にて、大板１の被成膜面に光学薄膜を形成する。
光学薄膜の形成は、成膜治具２が取り付けられた被装着部材５０を成膜装置内へ搬入し、所定の成膜方法を用いて行われる。
本実施家形態では、屈折率が異なる高屈折率材料と低屈折率材料の二種類の膜が交互に積層された誘電体多層膜を光学薄膜の例に挙げて説明する。
誘電体多層膜は、真空蒸着法を用いてＴｉＯ2の高屈折率材料層とＳｉＯ2の低屈折率材料層とを交互に多層で成膜することによって形成される。大板１の成膜面上に形成された誘電体多層膜は、低屈折率材料のＳｉＯ2膜の強い圧縮応力と、高屈折率材料のＴｉＯ2膜の弱い引張応力により、大板１の成膜面が凸に反る内部応力が発生する。なお、本実施形態では、光学薄膜の種類は限定されるものではなく、成膜方法も限定されるものではない。誘電体多層膜が形成された後、被装着部材５０を成膜装置から搬出する。
【００２４】
〔切断分割工程〕
切断分割工程にて、光学薄膜が形成された大板１から短冊状基板１３を取出す。
図２に示される通り、格子状に形成されたダイシングライン１Ａに沿って、ダイシングマシンで切断分割することで、短冊の基板１３を得ることができる。なお、大板１の外周辺部は保持部２５，２８が接した領域１Ｂであり、製品化に際しては、この領域１Ｂを含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板１３のみを製品として使用する。
〔検査工程〕
検査工程は、領域１Ｂを含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板１３を検査する。
保持部２５，２８が接したか否かを判定するために、短冊状基板１３の表面に光学薄膜が形成されているか否かを目視して判定する。成膜時に保持部２５，２８が蒸着源に対して影を成すので、保持部２５，２８が接した部分は全く成膜されないか、または周囲と異なる膜厚なる。よって膜の色合い等を目視することにより判定し、検査対象から事前に除外する。従って、検査対象外の短冊状基板を簡便に除外して、保持部２５，２８が接した領域を含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板１３のみを検査できるので、検査時間を短縮することができる。
【００２５】
従って、第１実施形態では次の作用効果を奏することができる。
（１）短冊状基板１３の両面のそれぞれ一部に接する一対の保持部２５，２８を有する成膜治具２を用いて大板１を成膜し、成膜後の大板１を複数の短冊状基板１３に切断分割し、保持部２５，２８が接した領域を含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板１３のみを検査して成膜方法を実施する。成膜工程において、成膜された光学薄膜の内部応力によって大板１が反ろうとしても、大板１の両面を一対の保持部２５，２８で保持しているから、保持部２５，２８と大板１との間の隙間がなくなり、大板１の反りが両面から効率的に阻止されることになる。そして、大板１を一対の保持部２５，２８で保持することで装着工程が終了するので、基板をフレーム治具に保持するために加熱をしなければならない従来例に比べて大板１の保持作業が容易となる。しかも、検査工程によって、保持部２５，２８で保持される領域１Ｂの短冊状基板１３を製品に使用しないようにするので、製品として使用される短冊状基板１３が確実に成膜されていることになり、製品の品質を良好なものにできる。
【００２６】
（２）ホルダ２１の保持部２５と押さえ部材２２の保持部２８とは大板１を挟んで対称な形状とされているので、一対の保持部２５，２８で大板１を確実に挟持する構成となり、成膜時の大板１の反りをより効果的に防止することができる。
【００２７】
（３）ホルダ２１の平面矩形状の枠部２３は、その内周の角部に凹部２３Ａを形成したから、成膜された大板１の取り出しを容易に行うことができる。
【００２８】
（４）一対の保持部２５，２８は大板１の第一辺部１１に当接され互いに対向する第一直線状部２５１，２８１と、大板１の第二辺部１２に当接され第一直線状部２５１，２８１と直交する第二直線状部２５２，２８２とを備え、平面視で口の字状の形状としたから、一対の保持部２５，２８の構造を簡易なものにしてホルダ２１と押さえ部材２２の製造を容易に行うことができる。
【００２９】
次に、本発明の第２実施形態を図１１から図１８に基づいて説明する。第２実施形態は第１実施形態とは保持部の構造が相違するもので、他の構造は第１実施形態と同じである。
図１１は本発明の第２実施形態にかかる成膜治具が被装着部材に装着された状態が示された要部が示されるものであって、図１２のＸＩ−ＸＩ線に沿った断面図である。
図１１において、成膜治具３は、被装着部材５０の本体５１に装着されるホルダ３１と、このホルダ３１へ大板１を押さえる押さえ部材３２とを備えている。
図１２から図１５にはホルダ３１が示されている。図１２はホルダ３１の平面図、図１３はホルダ３１の側面図、図１４はホルダ３１の図１３とは異なる方向からみた側面図、図１５はホルダ３１の裏面図である。
【００３０】
図１２から図１５において、ホルダ３１は、窓部５２に嵌合される枠部２３と、この枠部２３に設けられたフランジ部３４と、枠部２３に設けられた保持部３５とを備えており、これらは金属から一体に形成されている。
フランジ部３４は枠部２３の端部から外側に向けて形成されおり、その角部は切り落とされている。なお、第２実施形態のフランジ部３４は、第１実施形態のフランジ部２４とは異なり、切欠き３４Ａが側部中央に形成されている。
【００３１】
保持部３５は、枠部２３の互いに対向する辺部の端部から中心部に沿って形成された第一直線状部２５１と、これらの第一直線状部２５１と連続して形成され枠部２３の開口の中心に向けて延出された第一延出部３５１と、第一直線状部２５１のうちの一方に直交配置された第二直線状部２５２と、この第二直線状部２５２に対向配置され枠部２３の開口の中心に向けて延出された第二延出部３５２とを備えている。第一延出部３５１の幅寸法Ｔは第一直線状部２５１の幅寸法ｔより大きく、第二延出部３５２の幅寸法Ｔは第二直線状部２５２の幅寸法ｔより大きい。２つの第一延出部３５１及び１つの第二延出部３５２は平面視でコの字状とされる。
第一直線状部２５１は大板１の第一辺部１１の幅寸法ｔに渡って当接され、第一延出部３５１は大板１の第一辺部１１の幅寸法Ｔに渡って当接され、第二直線状部２５２は大板１の第二辺部１２の幅寸法ｔに渡って当接され、第二延出部３５２は大板１の第二辺部１２の幅寸法Ｔに渡って当接される。
【００３２】
押さえ部材３２が図１６及び図１７に示されている。図１６は押さえ部材３２の平面図であり、図１７は図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿った断面図である。
図１６及び図１７において、押さえ部材３２は、ホルダ３１の枠部２３に入れ子状に収納される平面矩形状の枠部３６と、この枠部３６に設けられホルダ３１のフランジ部３４に重合されるフランジ部３７とを備えており、これらは金属から一体に形成されている。
枠部３６は、その先端部がホルダ３１の保持部３５との間で大板１の外周縁部を保持する保持部３８を構成している。保持部３８は、ホルダ３１の第一直線状部２５１に大板１の第一辺部１１を挟んで対向配置される第一直線状部２８１と、ホルダ３１の第一延出部３５１に大板１の第一辺部１１を挟んで対向配置される第一延出部３８１と、ホルダ３１の第二直線状部２５２に大板１の第二辺部１２を挟んで対向配置される第二直線状部２８２と、ホルダ３１の第二延出部３５２に大板１の第二辺部１２を挟んで対向配置される第二延出部３８２とを備えて構成される。第一延出部３８１の幅寸法Ｔは第一直線状部２８１の幅寸法ｔより大きく、第二延出部３８２の幅寸法Ｔは第二直線状部２５２の幅寸法ｔより大きい。２つの第一延出部３８１及び１つの第二延出部３８２は平面視でコの字状とされる。
【００３３】
第２実施形態の成膜方法は第１実施形態の成膜方法と同様に、取付工程、装着工程、成膜工程、切断分割工程及び検査工程を備えて構成される。
ただし、装着工程において、成膜治具３を、第一延出部３５１，３８１及び第二延出部３５２，３８２が被装着部材５０の上方になるように被装着部材５０に装着する。そして、成膜工程は第１実施形態と同じ工程であるが、成膜治具３が第１実施形態の成膜治具２と構造が異なることにより、大板１に形成される光学薄膜の箇所が第１実施形態とは異なる。
図１８に示される通り、格子状に形成されたダイシングライン１Ａに沿って、ダイシングマシンで切断分割することで、短冊の基板１３を得ることができる。なお、大板１の下方の外周辺部は保持部３５，３８の第一直線状部２５１，２８１及び第二直線状部２５２，２８２が接した領域１Ｂであり、大板１の上方の外周辺部は保持部３５，３８の第一延出部３５１及び第二延出部３５２が接した領域１Ｃである。製品化に際しては、これらの領域１Ｂ，１Ｃを含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板１３のみを製品として使用する。
【００３４】
従って、第２実施形態では第１実施形態の（１）〜（３）と同様の効果を奏することができる他、次の作用効果を奏することができる。
（５）一対の保持部３５，３８は、それぞれ枠部２３，３６の開口の中心に向けて延出された第一延出部３５１，３８１と、第一延出部３５１，３８１の一端部に接続された直線状部であって枠部２３，３６の開口の中心に向けて延出された第二延出部３５２，３８２とを備え、平面視でコの字状とされた構成である。そのため、一対の保持部３５，３８の構造が簡易となり、保持部３５，３８の製造を容易に行える。しかも、被装着部材５０に取り付けられた大板１は、その上部が下部に対して撓み量が大きいので、この大きな部位に第一延出部３５１，３８１と第二延出部３５２，３８２とが位置するように成膜治具３を被装着部材５０に装着することで、大板１の反りを効果的に防止することができる。
【００３５】
（６）一対の保持部３５，３８は、第一直線状部２５１，２８１と第二直線状部２５２，２８２を備えて構成されている。これらの第一直線状部２５１，２８１及び第二直線状部２５２，２８２に加えて第一延出部３５１，３８１及び第二延出部３５２，３８２から枠部２３，３６の開口の内周辺に沿って全て保持部３５，３８が構成されることになり、大板１の撓み量の大きくない部位も反りの防止を図ることができる。
【００３６】
次に、本発明の第３実施形態を図１９から図２７に基づいて説明する。第３実施形態は第１実施形態とは保持部の構造が相違するもので、他の構造は第１実施形態と同じである。
図１９は第３実施形態にかかる成膜治具が被装着部材に装着された状態を示す断面図であり、図２０は図１９の要部の拡大断面図である。
図１９及び図２０において、成膜治具４は、被装着部材５０の本体５１に装着されるホルダ４１と、このホルダ４１へ大板１を押さえる押さえ部材４２とを備えている。
図２１から図２４にはホルダ４１が示されている。図２１はホルダ４１の平面図であり、図２２はホルダ４１の一部を破断した側面図であり、図２３はホルダ４１の図２２とは異なる方向からみた側面図であり、図２４はホルダ４１の裏面図である。
【００３７】
図２１から図２４において、ホルダ４１は、窓部５２に嵌合される枠部２３と、この枠部２３に設けられたフランジ部３４と、枠部２３に設けられた保持部４５とを備えており、これらは金属から一体に形成されている。
保持部４５は、枠部２３の互いに対向する辺部にそれぞれ形成された第一直線状部２５１と、これらの第一直線状部２５１にそれぞれ直交配置された第二直線状部２５２と、これらの第二直線状部２５２の中心位置同士を連結する直線状の連結辺部４５１とを備えている。この連結辺部４５１は断面が略三角形状であり、その一つの外面が大板１の略中心部に接するようにされている。連結辺部４５１の外面の幅寸法Ｔは第一直線状部２５１及び第二直線状部２５２の幅寸法ｔより大きい。
【００３８】
押さえ部材４２が図２５及び図２６に示されている。図２５は押さえ部材４２の平面図であり、図２６は押さえ部材４２の一部を破断した側面図である。
図２５及び図２６において、押さえ部材４２は、ホルダ４１の枠部２３に入れ子状に収納される平面矩形状の枠部３６と、この枠部３６に設けられホルダ４１のフランジ部３４に重合されるフランジ部３７と、枠部３６の互いに対向する内壁部の中間位置同士を連結する連結部材４２０とを備えており、これらは金属から一体に形成されている。
枠部３６と連結部材４２０は、その先端部がホルダ４１の保持部４５との間で大板１の外周縁部と中心部とを保持する保持部４８とされる。
保持部４８は、ホルダ４１の第一直線状部２５１に大板１の第一辺部１１を挟んで対向配置される第一直線状部２８１と、ホルダ４１の第二直線状部２５２に大板１の第二辺部１２を挟んで対向配置される第二直線状部２８２と、ホルダ４１の連結辺部４５１に大板１の中心位置を挟んで対向配置される連結辺部４８１とを備えて構成される。第一直線状部２８１及び第二直線状部２８２は枠部３６に形成され、連結辺部４８１は連結部材４２０に形成されている。連結辺部４８１は、その幅寸法がＴとされる。
【００３９】
第３実施形態の成膜方法は第１実施形態の成膜方法と同様に、取付工程、装着工程、成膜工程、切断分割工程及び検査工程を備えて構成される。
ただし、装着工程において、成膜治具４を、連結辺部４５１，４８１の長手方向が被装着部材５０の周面上の上下に延びるように被装着部材５０に装着する。また、成膜工程において、大板１に形成される光学薄膜の箇所が第１実施形態と異なる。
図２７に示される通り、大板を、格子状に形成されたダイシングライン１Ａに沿って、ダイシングマシンで切断分割することで短冊状基板１３を得ることができる。なお、大板１の外周辺部は保持部４５，４８の第一直線状部２５１，２８１及び第二直線状部２５２，２８２が接した領域１Ｂであり、大板１の中央部分は保持部３５，３８の連結辺部４５１，４８１が接した領域１Ｄである。これらの領域１Ｂ，１Ｄを含まない非保持領域から切断分割された短冊状基板１３のみを製品として使用する。
【００４０】
従って、第３実施形態では第１実施形態及び第２実施形態の（１）〜（３）（６）と同様の効果を奏することができる他、次の作用効果を奏することができる。
（７）一対の保持部４５，４８は、枠部２３，３６の互いに対向する辺部の中心位置同士を連結する直線状の連結辺部４５１，４８１を備えているから、これらの連結辺部４５１，４８１で撓み量の大きな大板１の中心部の変位を規制するようにしたので、大板１の反りを効果的に防止することができる。
【実施例】
【００４１】
次に、本発明の各実施形態の効果を確認するための実施例について説明する。
［実施例１］
実施例１は第１実施形態に対応するものである。実施例１では、大板１を厚さ０．１ｍｍのガラス板とした。この大板１の４辺を保持部２５，２８で保持し、この保持部２５，２８で保持された領域１Ｂを含まない非保持領域の大板１を互いに直交する方向に切断分割して短冊状基板１３を作製した。この際、図２に示される通り、大板１の第二辺部１２に沿って、Ｓ１からＳ１１の領域に区画し、第一辺部１１に沿ってＬ１からＬ１３に区画した。これにより、１４３個（＝１１×１３）の基板１３が作製された。
これらの基板１３にそれぞれ光を照射し、透過した光の波長を検出する。その結果が図２８に示される。
【００４２】
図２８にはＳ１からＳ１１並びにＬ１からＬ１３で区画された基板１３に光を透過させた際の透過波長の値が示されている。図２８により、各基板１３の光学特性のバラツキを見ることができる。保持部２５，２８で保持される領域１Ｂに近いＳ１やＳ１１では各区画Ｌ１からＬ１３での透過波長のバラツキが小さいことがわかる。
【００４３】
各基板１３で透過された光の透過率と波長との関係が図２９に示されている。図２９に示される通り、各基板１３での検出値は狭いエリアで集中しており、この範囲のうち最大値と最小値の数値で設定される面内半値バラツキＤは実施例１では、２．８６ｎｍである。なお、図２９では、グラフを見やすくするために、最大値と最小値との間の線図が間引いて表示されている。
【００４４】
［実施例２］
実施例２は第２実施形態に対応するものである。実施例２では、実施例１と同じ大板１を用いた。この大板１の４辺を保持部３５，３８で保持し、この保持部３５，３８で保持された領域１Ｂ，１Ｃを含まない非保持領域の大板１を互いに直交する方向に切断分割して短冊状基板１３を作製した。そのため、図１８に示される通り、大板１の外辺部に沿って設けられる領域１Ｂを切断して取り除き、残りの平面矩形状に形成された領域を第一辺部１１に沿って１３等分し、第二辺部１２に沿って１１等分するように格子状に切断した。実施例２では、大板１の第一延出部３５１，３８１及び第二延出部３５２，３８２で平面コ字状に保持される領域１Ｃが製品に適さないので、図１８中、最上辺に位置する長方形領域と、この領域の両端からそれぞれ下方の途中まで延びる領域とからなる平面コ字状の領域１Ｃとが除かれることになり、その結果、大板１から１２２個の基板１３が作製される。これらの基板１３にそれぞれ光を照射し、透過した光の波長を検出する。その結果が図３０に示される。
【００４５】
図３０にはＳ１からＳ１１並びにＬ１からＬ１２で区画された基板１３に光を透過させた際の透過波長の値が示されている。図３０により、各基板１３の光学特性のバラツキを見ることができる。保持部３５，３８で保持される領域１Ｂ，１Ｃに近いＳ１やＳ１１では各区画Ｌ１からＬ１３での透過波長のバラツキが小さいことがわかる。
【００４６】
各基板１３で透過された光の透過率と波長との関係が図３１に示されている。図３１に示される通り、各基板１３での検出値は狭いエリアで集中しており、この範囲のうち最大値と最小値の数値で設定される面内半値バラツキＤは実施例２では、２．４３ｎｍである。なお、図３１では、グラフを見やすくするために、最大値と最小値との間の線図が間引いて表示されている。
【００４７】
［実施例３］
実施例３は第３実施形態に対応するものである。実施例３では、実施例１と同じ大板１を用いた。この大板１の４辺と中心部分とを保持部４５，４８で保持し、この保持部４５，４８で保持された領域１Ｂ，１Ｄを含まない非保持領域の大板１を互いに直交する方向に切断分割して短冊状基板１３を作製した。そのため、図２７に示される通り、大板１の外辺部に沿って設けられる領域１Ｂを切断して取り除き、残りの平面矩形状に形成された領域を第一辺部１１に沿って１３等分し、第二辺部１２に沿って１１等分するように格子状に切断した。実施例３では、連結辺部４５１，４８１で保持される中央部分の長方形領域の領域１Ｄが製品に適さないので、除かれることになり、その結果、大板１から１３０個の基板１３が作製された。これらの基板１３にそれぞれ光を照射し、透過した光の波長を検出する。その結果が図３２に示される。
【００４８】
図３２にはＳ１からＳ１０並びにＬ１からＬ１２で区画された基板１３に光を透過させた際の透過波長の値が示されている。図３２により、各基板１３の光学特性のバラツキを見ることができる。図３２からＳ３やＳ８では各区画Ｌ１からＬ１３での透過波長のバラツキが小さいことがわかる。
【００４９】
各基板１３で透過された光の透過率と波長との関係が図３３に示されている。図３３に示される通り、各基板１３での検出値は狭いエリアで集中しており、この範囲のうち最大値と最小値の数値で設定される面内半値バラツキＤは実施例３では、２．４４ｎｍである。なお、図３３では、グラフを見やすくするために、最大値と最小値との間の線図が間引いて表示されている。
【００５０】
［比較例］
比較例は大板をホルダにセットし、押さえ部材を使用しないで大板に成膜したものである。そのため、比較例では、大板は成膜の内部応力に起因して大きな反りが発生した。この反りを検証するため、実施例１と同様に、大板をＳ１からＳ１１並びにＬ１からＬ１３で区画されるように切断して基板を形成し、これらの基板に光を透過させた。
各基板で透過された光の透過率と波長との関係が図３４に示されている。図３４に示される通り、各基板での検出値は広いエリアに拡散されており、この範囲のうち最大値と最小値の数値で設定される面内半値バラツキＤは比較例では、３０．１８ｎｍである。なお、図３４では、グラフを見やすくするために、最大値と最小値との間の線図が間引いて表示されている。
以上の通り、実施例１〜３では面内半値バラツキＤが２．４３ｎｍ〜２．８６ｎｍという狭い範囲であるのに対して、比較例では面内半値バラツキＤが３０．１８ｎｍという大きな範囲にある。
【００５１】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、大板１の形状を平面視略正方形状としたが、その他、矩形、多角形、円形等の他の形状であってもよい。つまり、短冊状基板１３の形状、寸法、取出し個数等に応じて、形状や寸法を適宜変更した大板１を用いることができる。なお、大板と記述しているものは基板の大小を意味していない。成膜後に切断分割して短冊状基板を得る成膜方法において、成膜前に準備される基板を大板として記述している。
【００５２】
本発明では、保持部２５，２８，３５，３８，４５，４８の平面形状は前記各実施形態に限定されるものではない。例えば、保持部を十字状や格子状に形成してもよい。
さらに、前記実施形態では、ホルダ２１，３１，４１の保持部２５，３５，４５と押さえ部材２２，３２，４２の保持部２８，３８，４８とは大板１を挟んで対称な形状とされたが、本発明では、一対の保持部２５，２８，３５，３８，４５，４８の形状を対称にすることを要せず、異なる形状を採用してもよい。例えば、第１実施形態の４辺部を当接する保持部２５と、第２実施形態のコ字状の延出部を有する保持部３８との組み合わせを採用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、光学薄膜等の成膜方法及び成膜に用いる成膜治具として利用できる。
【符号の説明】
【００５４】
１…大板、２，３，４…成膜治具、１１…第一辺部、１２…第二辺部、１３…短冊状基板、１Ａ…ダイシングライン、１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…保持部が接した領域、２１，３１，４１…ホルダ、２２，３２，４２…押さえ部材、２５，２８，３５，３８，４５，４８…保持部、５０…被装着部材、５２…窓、２５１，２８１…第一直線状部、２５２，２８２…第二直線状部、３５１，３８１…第一延出部、３５２，３８２…第二延出部、４５１，４８１…連結辺部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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