(57)【要約】【課題】  過去の測定結果情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供すること。【解決手段】  被測定物２０５を特定する特定情報を入力する入力部２０１と、被測定物の測定部位画像を取得する撮像部２１０と、蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、被測定物の分析結果を表示する表示部２０８と、特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベース２０９と、を備え、測定情報は、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、表示部は、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、撮像部で得られる被測定物の測定部位画像と、データベースに蓄積されている測定情報のうち入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能である、蛍光Ｘ線分析装置。【選択図】図１
2010078592.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物にＸ線を照射し、前記被測定物から発生する蛍光Ｘ線を測定することで、前記被測定物の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、
被測定物を特定する特定情報を入力する入力部と、
前記被測定物の測定部位画像を取得する撮像部と、
蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、前記被測定物の分析結果を表示する表示部と、
特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベースと、を備え、
前記測定情報が、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、
前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、前記撮像部で得られる前記被測定物の測定部位画像と、前記データベースに蓄積されている測定情報のうち前記入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる前記被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
前記入力部が、前記被測定物の複数の前記特定情報を少なくとも上位階層と下位階層とからなる複数の階層別に分類分けして入力可能であると共に、前記データベースが、複数の前記特定情報を上記複数の階層別に分類分けして蓄積可能であることを特徴とする請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
前記表示部が、前記入力部で前記特定情報が入力されると前記特定情報に対応する前記被測定物の過去の前記測定部位画像を複数、一覧表示可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
前記表示部が、一覧表示される前記被測定物の過去の前記測定部位画像を測定日時が古い測定部位の順に並べて表示可能であることを特徴とする請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】
前記測定情報が、前記被測定物に対応させた測定時の測定所要時間も含み、
前記表示部が、前記被測定物に対応した過去の前記測定所要時間から測定時の測定経過時間を減算した測定残り時間を測定時に表示可能であることを特徴とする請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項６】
前記測定情報が、前記被測定物の測定条件の情報を更に含み、
前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、前記特定情報に対応づけられて前記データベースに蓄積されている測定情報のうち前記被測定物の過去の測定時の測定条件を更に表示することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項７】
前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定後においては、前記特定情報に対応づけられて前記データベースに蓄積されている測定情報のうち前記被測定物の過去の測定時の分析結果を同時に画面に表示させることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項８】
前記被測定物の構成元素のうち、特定物質の含有量が所定の閾値を越えているか否かを判定する判定部を更に備え、
前記分析結果が、前記判定部による判定結果を含み、
前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定後においては、前記判定結果を更に表示し、
前記入力部が、前記判定結果を編集可能であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項９】
前記入力部が、前記編集の際に該編集の理由を入力可能であり、
前記表示部が、前記編集前の前記判定結果及び前記編集の理由を表示可能であることを特徴とする請求項８に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項１０】
前記特定物質が、ＲｏＨＳ指令で規制される環境負荷物質であることを特徴とする請求項８又は９記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物質の蛍光Ｘ線分析装置に関する。特に、様々な組成から構成される電気・電子機器に用いられる部品に混入する環境負荷物質の蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気・電子機器を構成する部品内に含有する環境負荷物質の危険性が指摘され、法律・法令によりこれら環境負荷物質の含有量を制限する国、または州の数が増加している。例えば、１９９６年からＥＵ各国ではＲｏＨＳ指令により、カドミウム（Ｃｄ）、鉛、水銀、特定臭素系難燃剤、六価クロムを１０００ｐｐｍ（Ｃｄは１００ｐｐｍ）以上含有する部品の使用を禁止している。また、同様な法律が中国やアメリカなどでも施行されている。そのため、電気・電子機器メーカーでは、各部品に規制値以上の環境負荷物質を含有していないことを確認することが必要不可欠となっている。
【０００３】
元素含有量を測定する方法としては、数１０ｐｐｍの感度を有し、かつ非破壊で比較的短時間で測定可能である蛍光Ｘ線分析器を用いるのが一般的である。
【０００４】
蛍光Ｘ線分析とは、被測定物に対しＸ線を照射し、被測定物から発せられる蛍光Ｘ線を測定することで被測定物の元素含有量を分析するものである。この種の分析方法を用いた分析装置において、被測定物に含まれている元素の濃度を定量する手順は、一般的によく知られている。まず、蛍光Ｘ線の測定時間を設定し、測定を開始する。設定時間経過後、測定結果に基づいて含有元素の濃度計算を行う。そして、結果を表示する。これに対して、例えば特許文献１に開示されているように、測定終了点を設定時間でのみ終了するのではなく、蛍光Ｘ線の実測値のバラツキがあらかじめ設定しておいた測定精度以下になった時点で測定を終了し、濃度計算を行って、結果を表示する方法もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００５／１０６４４０号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のような方法で測定された結果は、被測定物の名称やロット番号とともに、被測定物の装置へのセッティング状況を表示する画像、測定条件、測定データ、その他付加情報、が装置に付属のデータ保存部分に保存されている。
【０００７】
電気・電子部品メーカーでは、各使用部品に規制値以上の環境負荷物質が含まれていないことを確認するために、測定実績のある部品であっても、サンプリングなどを行って定期的に測定を行う必要がある。しかし、めっき品やチップ部品に代表されるような２種類以上の部品から構成されている複合部品においては、測定時の測定条件や部品のセッティングの仕方によって、測定結果が異なることがある。よって、これらの条件を前回の測定時と同じにし、定期的な測定結果を時系列的に並べるなどして、製造上での異常などを示す変化点管理を行うことが必要である。
【０００８】
しかし、上記の管理を行うためには、現在の蛍光Ｘ線分析装置では困難である。例えば、新しい納入部品を測定しようとする場合、過去の測定条件や測定画像を紙等に出力し、情報を確認しながら、測定条件や部品のセッティングを行う必要がある。また、過去の複数の測定結果を確認しようとすると、膨大な紙情報の中から参考データを抽出しなければならない。そのため、１部品の測定条件や部品のセッティングに非常に時間がかかるという課題があった。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、過去の測定情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、被測定物にＸ線を照射し、前記被測定物から発生する蛍光Ｘ線を測定することで、前記被測定物の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、被測定物を特定する特定情報を入力する入力部と、前記被測定物の測定部位画像を取得する撮像部と、蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、被測定物の分析結果を表示する表示部と、前記特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベースと、を備え、前記測定情報が、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、前記撮像部で得られる前記被測定物の測定部位画像と、前記データベースに蓄積されている測定情報のうち前記入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる前記被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能である、構成を採る。
【００１１】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記入力部が、前記被測定物の複数の前記特定情報を少なくとも上位階層と下位階層とからなる複数の階層別に分類分けして入力可能であると共に、前記データベースが、複数の前記特定情報を上記複数の階層別に分類分けして蓄積可能であることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記表示部が、前記入力部で前記特定情報が入力されると前記特定情報に対応する前記被測定物の過去の前記測定部位画像を複数、一覧表示可能であることを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記表示部が、一覧表示される前記被測定物の過去の前記測定部位画像を測定日時が古い測定部位の順に並べて表示可能であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記測定情報が、前記被測定物に対応させた測定時の測定所要時間も含み、前記表示部が、前記被測定物に対応した過去の前記測定所要時間から測定時の測定経過時間を減算した測定残り時間を測定時に表示可能であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記測定情報が、前記被測定物の測定条件の情報を更に含み、前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、前記特定情報に対応づけられて前記データベースに蓄積されている測定情報のうち前記被測定物の過去の測定時の測定条件を更に表示することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定後においては、前記特定情報に対応づけられて前記データベースに蓄積されている測定情報のうち前記被測定物の過去の測定時の分析結果を同時に画面に表示させることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記被測定物の構成元素のうち、特定物質の含有量が所定の閾値を越えているか否かを判定する判定部を更に備え、前記分析結果が、前記判定部による判定結果を含み、前記表示部が、蛍光Ｘ線の測定後においては、前記判定結果を更に表示し、前記入力部が、前記判定結果を編集可能であることを特徴とする。
【００１８】
さらに、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記入力部が、前記編集の際に該編集の理由を入力可能であり、前記表示部が、前記編集前の前記判定結果及び前記編集の理由を表示可能であることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、前記特定物質が、ＲｏＨＳ指令で規制される環境負荷物質であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、過去の測定結果情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置の測定条件設定時における表示部を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置の測定後における表示部を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明の実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置の測定後における表示部を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態３に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。
【図９】本発明の実施の形態３に係る蛍光Ｘ線分析装置の測定後における表示部を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態４に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作（特定情報の設定準備）を説明するためのフローチャートである。
【図１１】本発明の実施の形態４に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作（測定時の特定情報入力）を説明するためのフローチャートである。
【図１２】本発明の実施の形態４に係る蛍光Ｘ線分析装置において、特定情報の入力項目の入力欄表示を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態５に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作（特定情報の選択）を説明するためのフローチャートである。
【図１４】本発明の実施の形態５に係る蛍光Ｘ線分析装置において、リスト表示部（リスト表示手段）を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態５に係る蛍光Ｘ線分析装置において、被測定物を示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施の形態５に係る蛍光Ｘ線分析装置において、リスト表示部（リスト表示手段）の表示変化を示す説明図である。
【図１７】本発明の実施の形態６に係る蛍光Ｘ線分析装置において、推定残り時間の表示例を示す図である。
【図１８】本発明の実施の形態６に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作（推定残り時間の表示）を説明するためのフローチャートである。
【図１９】本発明の実施の形態７に係る蛍光Ｘ線分析装置において、過去の測定情報を蓄積した情報の例を示す図である。
【図２０】本発明の実施の形態７に係る蛍光Ｘ線分析装置において、分析結果の表示例を示す図である。
【図２１】本発明の実施の形態７に係る蛍光Ｘ線分析装置において、過去の測定情報を蓄積した情報及び編集履歴情報の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に本発明の具体的な実施の形態を図面を使って説明する。
なお、図面で同じ符号が付いたものは、説明を省略する場合もある。また、図面は理解をしやすくするためにそれぞれの構成要素を模式的に示している。よって、形状などについては正確な表示ではない場合もある。
【００２３】
（実施の形態１）
まず、蛍光Ｘ線分析装置２００の構成について説明する。
図１は、本発明の実施の形態１における蛍光Ｘ線分析装置２００の概略構成図である。
【００２４】
図１において、蛍光Ｘ線分析装置２００は、データを入力する入力部２０１、各種の演算を行う演算部２０２、一次Ｘ線２０４を被測定物２０５へ照射するＸ線発生部２０３、被測定物２０５からの二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）２０６を検出する検出部２０７、各種のデータを表示する表示部２０８、データベース２０９、被測定物２０５の測定部位を撮影する撮像部２１０、を備えている。
【００２５】
入力部２０１は、測定者が被測定物２０５の特定情報や測定条件などを入力するキーボード等からなる。特定情報とは、例えば被測定部品の名称や品番など、被測定物２０５を特定するための情報である。
【００２６】
演算部２０２は、各種の信号処理回路からなる。演算部２０２は、入力２０１によって入力された特定情報や測定条件等に基づいて、Ｘ線発生部２０３に照射時間を設定したり、検出部２０７で検出した二次Ｘ線２０６のスペクトルに基づいて、各成分の定量分析を行ったりする演算機能を有する。また、演算部２０２は、判定部２１１を有している。判定部２１１は、被測定物２０５の分析結果に対し、各成分の中で、特定物質の含有量が所定の閾値を越えているか否かを判定する。特定物質としては、本実施の形態では、ＲｏＨＳ指令で規制される環境負荷物質を対象とする。特定物質は、適宜変更可能であり、登録して保存することができる。
【００２７】
表示部２０８は、例えば液晶ディスプレイなどからなる。表示部２０８は、測定条件を設定する際には、例えば測定条件の入力画面や、被測定物２０５の測定部位画像等を表示する。また、測定後には、演算部２０２による分析結果等を表示する。
【００２８】
データベース２０９は、例えばハードディスク等からなる。データベース２０９は、演算部２０２による分析結果や、測定条件（測定レシピ、とも言う）などの測定情報を記憶する。測定条件とは、一次Ｘ線２０４の照射時間や照射強度、二次Ｘ線２０６の測定時間などである。
【００２９】
撮像部２１０は、撮像用レンズや撮像素子などからなる。撮像部２１０は、試料台（図示せず）に配置された被測定物２０５の測定部位の画像を撮影し、表示部２０８に表示させる。撮像部２１０は、リアルタイムで被測定物２０５の測定部位画像を表示部２０８に表示させることができる。また、撮像部２１０は、測定部位を確定後は、測定部位画像を取得し、測定情報のひとつとしてデータベース２０９へ保存することができる。
【００３０】
分析結果、測定条件および測定部位画像などの測定情報は、入力された特定情報と対応付けられてデータベース２０９へ保存される。
以上、蛍光Ｘ線分析装置２００の構成について説明した。
【００３１】
次に、蛍光Ｘ線分析装置２００の動作について説明する。
【００３２】
図２は実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置２００の動作を説明するためのフローチャートである。
【００３３】
まず、ステップＳ１において、測定者が入力部２０１より、測定を行う部品の品番あるいは名称である特定情報を入力する。
ステップＳ２では、ステップＳ１で入力された特定情報を基に、データベース２０９内の過去の測定情報を検索する。
ステップＳ３では、該当する過去３回分の測定情報を表示部２０８に表示させる。ここで表示する測定情報は、測定レシピ、被測定物２０５の測定部位画像等である。
【００３４】
ステップＳ４では、測定者が被測定物２０５を試料台にセットする。なお、被測定物２０５のセットは事前に行っておいてもよい。ステップＳ４では、試料台にセットされた被測定物２０５の測定部位画像が撮像部２１０によって撮影され、表示部２０８へリアルタイム表示される。なお、図３は、蛍光Ｘ線の測定条件設定時の表示部２０８を示す図である。図３に示すように、表示部２０８には、ステップＳ３で表示される被測定物２０５の過去の測定部位画像が同時に表示されている。これにより測定者は、過去の測定部位画像を参照しながら被測定物２０５を過去に測定した時と同じ位置・同じ向きにセットすることができる。
【００３５】
ステップＳ５では、データベース２０９に保存されている測定レシピから、被測定物２０５に対応する測定レシピを選択する。このとき、入力された特定情報に基づいて、前回測定した際の測定レシピが初期選択されている。
【００３６】
ステップＳ６では、被測定物２０５に対する蛍光Ｘ線分析が行われる。具体的には、まず、選択された測定レシピに応じて、Ｘ線発生部２０３が被測定物２０５に対してＸ線を所定時間照射する。そして、被測定物２０５から発せられる蛍光Ｘ線を検出部２０７で検出する。演算部２０２では、検出された蛍光Ｘ線のスペクトル等に基づいて、被測定物２０５の含有元素の濃度を定量する。
【００３７】
ステップＳ７では、分析結果が表示部２０８に表示される。なお、図４は、蛍光Ｘ線の測定後の表示部２０８を示す図である。図４に示すように、表示される分析結果は、被測定物２０５に含まれる特定物質毎の含有量と、判定部２１１で判定された判定結果である。また、入力された特定情報に基づいて、過去３回分の分析結果が同時に表示される。なお、これらの分析結果に加え、その他の情報が表示されてもよい。
その後ステップＳ８に進んでデータベース２０９に分析結果や測定条件などの蓄積を行って終了する。
【００３８】
上述したステップによって動作する本実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置２００においては、特に、以下のような効果を有している。
【００３９】
蛍光Ｘ線の強度は、被測定試料の表面状態や形状により影響を受ける。そのため、同一の被測定物であっても、試料台へセットする位置や向きが異なっただけで測定値が大きく変動し、過去の測定情報との比較による変化点管理ができなくなる。これに対して、蛍光Ｘ線分析装置２００では、ステップＳ４に示すように、画像を確認しながら被測定物２０５のセッティングを行うことができる。そのため、位置や向きの精度を上げることができるため、位置や向きの違いを要因として発生する蛍光Ｘ線測定値のバラツキを抑制することができる。結果として、変化点管理の精度を上げることができるようになる。
【００４０】
また、測定レシピは、Ｘ線発生の条件や測定元素の種類、定量の方法等を規定したものである。異なる測定条件で測定した場合、被測定物が同一でも全く異なった値となってしまい、変化点管理ができなくなる。測定レシピの種類が少ない場合はまだ選択における誤りが少ないが、通常は１０種類以上の測定レシピを作成するため、選択時に測定レシピの誤選択を起こす可能性は否定できない。それを防ぐため、蛍光Ｘ線分析装置２００では、ステップＳ５に示すように、入力された特定情報に基づいて、前回測定した際の測定レシピが初期選択されている。この機能により、測定レシピの誤選択を防止することができ、かつ操作性が向上する。
なお、初期選択されている測定レシピを変更することは当然に可能である。
以上、蛍光Ｘ線分析装置２００の動作について説明した。
【００４１】
なお、本実施の形態において、分析結果として、被測定物に含まれる特定物質毎の含有量と、判定部で判定された判定結果とを有しているが、それ以外のものをさらに有していてもよい。例えば、被測定物に含まれる特定物質毎のスペクトラムを比較したグラフを有していてもよい。
【００４２】
また、測定条件としては、上述したものの他、Ｘ線発生部２０３への設定電圧や電流、スペクトルの定量に用いる検量線の種類等も含んでいてもよい。
【００４３】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置３００について説明する。実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置３００は、判定結果の修正機能を有する点で、実施の形態１の蛍光Ｘ線分析装置２００とは異なる。
【００４４】
図５は、本発明の実施の形態２における蛍光Ｘ線分析装置３００の概略構成図である。蛍光Ｘ線分析装置３００は、実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置２００とほぼ同様の構成をしているが、入力部３０１によって、判定結果の修正が可能である。その他の構成は、実施の形態１の蛍光Ｘ線分析装置２００とほぼ同様であるので、説明を省略する。なお、図５において、蛍光Ｘ線分析装置３００における入力部３０１は図１の入力部２０１と、演算部３０２は図１の演算部２０２と、Ｘ線発生部３０３は図１のＸ線発生部２０３と、検出部３０７は図１の検出部２０７と、表示部３０８は図１の表示部２０８と、データベース３０９は図１のデータベース２０９と、撮像部３１０は図１の撮像部２１０と、判定部３１１は図１の判定部２１１と、それぞれ対応している。
【００４５】
次に、蛍光Ｘ線分析装置３００の動作について説明する。
【００４６】
図６は実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置３００の動作を説明するためのフローチャートである。ステップＳ１〜ステップＳ８までは、蛍光Ｘ線分析装置２００の動作とほぼ同様であるので説明を省略する。ここでは、ステップＳ７のあと、ステップＳ９に進んだ場合について説明する。
ステップＳ９では、表示部３０８に表示される判定結果を修正する。修正された判定結果は、例えば表示箇所の背景色を変更したり、網掛け処理がなされたりして、修正されたことが分かる形で表示される。
【００４７】
ステップＳ１０では、判定結果を修正した理由を入力することができる。この修正理由を保存しておくことで、後に分析結果を読み出した際、修正された理由を確認することができる。
その後ステップＳ８に進んでデータベース３０９に分析結果や測定条件などの蓄積を行って終了する。
【００４８】
上述した判定結果の修正ステップＳ９、Ｓ１０を有する本実施の形態に係る蛍光Ｘ線分析装置３００において、特徴的に有する効果について、以下に説明する。
【００４９】
図７は被測定物３０５として、臭素系難燃剤含有プラスチック部品を測定した時の、ステップＳ７における表示部３０８での結果表示の一例を示したものである。表示部３０８は、あらかじめ登録しておいたＲｏＨＳ指令で規制される環境負荷物質に対する分析結果を表の形で表示する。分析結果としては、上記物質の含有測定値と規制値に対する合否判定結果が自動で表示される。さらに、表示部３０８は、同一画面上に測定前に検索機能により抽出した過去３回分の分析結果を表示する。図７の分析結果において、背景色が変更されている部分は、各測定後にそれぞれ結果を編集したことを示している。
【００５０】
ＲｏＨＳ検査においては、カドミウム（Ｃｄ）、鉛（Ｐｂ）、水銀（Ｈｇ）、ポリ臭化ビフェニル、ポリ臭化ジフェニルエーテル（以下、特定臭素（Ｂｒ）と称す）、六価クロム（Ｃｒ）の含有を調査する。前記物質の含有分析には、蛍光Ｘ線装置やガスクロマトグラフ質量分析器、誘導結合プラズマ発光分析器など様々な分析装置が使用される。しかし、操作性・コストの観点から、通常は、まず蛍光Ｘ線分析装置で含有元素の定量分析を行い、カドミウム、鉛、水銀、臭素、クロム元素の含有量を測定する。得られた測定結果のうち、カドミウム、鉛、水銀の３元素については、そのまま含有量とみなすことができる。しかし、臭素とクロムの測定結果は、各元素の含有量を示しているだけであり、必ずしもすべてが特定臭素や六価クロムとして存在しているわけではない。そこで、蛍光Ｘ線分析結果において、規格値を上回る臭素元素やクロム元素が得られた場合、特定臭素や六価クロムを明らかに使用していないと判明しない限りはさらに詳細な分析を実施するのが通常である。
【００５１】
このように、蛍光Ｘ線分析における臭素及びクロムの含有結果と特定臭素、六価クロムの含有結果とは、必ずしも一致しないため、自動判定を採用すると、誤判定することがある。
【００５２】
図７は、臭素系難燃剤含有プラスチック部品の蛍光Ｘ線測定結果を示したものである。被測定部品は、臭素系難燃剤としてテトラブロモビスフェノール−Ａを数％程度含有している。そのため、臭素元素の測定結果は、１０００００ｐｐｍとなっている。ＲｏＨＳ指令では、特定臭素１０００ｐｐｍ以上の含有を禁じているため、蛍光Ｘ線装置における臭素元素含有に対する自動判定では測定結果が１０００を超えていれば「×」と表示される。しかし、含有物質テトラブロモビスフェノール−Ａは特定臭素には該当しないため、ＲｏＨＳ指令指定物質ではない。そのため、これ以上詳細な分析を行う必要はない。よって、判定結果は「×」であるが、実際には問題なく、当該部品を使用することができる。この事実を知らずに、自動表示された結果のみを参照した場合、判定「×」という表記のみを見て、市場への負荷物質含有部品の流出対策を取るべきと誤判断する可能性がある。すなわち、前回測定した同一サンプルを再測定したり、高精度分析を行ったりしてしまう可能性がある。また、この例外を知らなければ、過去のデータも「×」判定で蓄積されていた場合、過去に問題にしなかった原因を調査するなどしてしまう可能性もある。再分析や高精度分析、調査を行うことは時間や費用のムダである。
【００５３】
蛍光Ｘ線分析装置３００は、この「×」判定を手動で「○」に修正する機能及び修正理由を併記させる機能を有している。この機能を利用して結果を編集することにより、後日結果判定を行った際、前記被測定部品は特定物質を規定値以上に多量に含有していてもかまわないことが一見してわかり、結果判定を確実に素早く行うことができる。
【００５４】
（実施の形態３）
図８は、本発明の実施の形態３における蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。
【００５５】
実施の形態３に係る蛍光Ｘ線分析装置４００は、複数の蛍光Ｘ線分析装置において、データベースを共有して構成している点で、実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置３００と異なる。蛍光Ｘ線分析装置４００において、個々の蛍光Ｘ線分析装置３００の構成や動作は、実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置と同じである。
【００５６】
蛍光Ｘ線分析装置４００において、個々の蛍光Ｘ線分析装置３００は、それぞれ単独に分析を行うことができる。得られた測定情報（分析結果、測定条件、測定部位画像等）は、データベース４０９へデータ転送され、蓄積される。蓄積の頻度は、分析毎に行う。なお、本実施の形態においては、一つのデータベース４０９を共有している構成としたが、これに限られるものではない。例えば、共有のデータベースと共に、各蛍光Ｘ線分析装置にそれぞれデータベースを備えていてもよい。このような構成の場合には、個々のデータベースから共有のデータベースへ、定期的にデータの転送を行い、データが蓄積される。蓄積の頻度は、分析ごとに行ってもよいが、例えば、１時間に１回や、１日に１回といったように定期的に行うこともできる。
【００５７】
次に、蛍光Ｘ線分析装置４００の動作について説明する。
【００５８】
蛍光Ｘ線分析装置４００において、個々の蛍光Ｘ線分析装置３００の動作は、実施の形態２で説明した動作と同様である。しかし、データベース４０９には、一方の蛍光Ｘ線分析装置３００での測定情報に加えて、他方の蛍光Ｘ線分析装置３００での測定情報も蓄積されている。よって、複数の蛍光Ｘ線分析装置で得られた測定情報の中で、最新の測定情報を表示させることができる。
【００５９】
図９は一方の蛍光Ｘ線分析装置３００において、被測定物３０５として、黄銅部品を測定した時の、表示部３０８での結果表示の一例を示したものである。表示部３０８は、あらかじめ登録しておいたＲｏＨＳ指令で規制される環境負荷物質に対する分析結果を表の形で表示する。分析結果としては、上記物質の含有測定値と規制値に対する合否判定結果が自動で表示される。さらに、表示部３０８は、同一画面上に測定前に検索機能により抽出した過去３回分の分析結果を表示する。図９の分析結果において、背景色が変更されている部分は、各測定後にそれぞれ結果を編集したことを示している。
【００６０】
ＲｏＨＳ検査においては、カドミウム（Ｃｄ）、鉛（Ｐｂ）、水銀（Ｈｇ）、ポリ臭化ビフェニル、ポリ臭化ジフェニルエーテル（以下、特定臭素（Ｂｒ）と称す）、六価クロム（Ｃｒ）の含有を調査する。前記物質の含有分析には、蛍光Ｘ線装置やガスクロマトグラフ質量分析器、誘導結合プラズマ発光分析器など様々な分析装置が使用される。しかし、操作性・コストの観点から、通常、まず蛍光Ｘ線分析装置で含有元素の定量分析を行い、臭素元素とクロム元素が規格値以上検出された場合には、さらに詳細な分析を行う。
【００６１】
前記被測定物である黄銅部品は、図９に示すように、鉛元素を１５００ｐｐｍ以上含有している。一方、ＲｏＨＳ指令では、鉛元素１０００ｐｐｍ以上の含有を禁じているため、自動判定では「×」と表示される。しかし、ＲｏＨＳ指令の適用除外項目において、黄銅素材中の鉛含有は材料純度の問題から４００００ｐｐｍまで許容される。そのため、鉛元素の判定結果も適用除外により本来は「○」と判断され、これ以上分析する必要はない。よって、表示される判定結果は「×」であるが、実際には問題なく、当該部品を使用することができる。この適用除外を知らずに、自動表示された結果のみを参照した場合、判定「×」という表記のみを見て、市場への負荷物質含有部品の流出対策を取るべきと誤判断する可能性がある。すなわち、前回測定した同一サンプルを再測定したり、高精度分析を行ったりしてしまう可能性がある。また、この例外を知らなければ、過去のデータも「×」判定で蓄積されていた場合、過去に問題にしなかった原因を調査するなどしてしまう可能性もある。再分析や高精度分析、調査を行うことは時間や費用のムダである。
【００６２】
蛍光Ｘ線分析装置３００は、この「×」判定を手動で「○」に修正する機能及び修正理由を併記させる機能を有している。この機能を利用して結果を編集することにより、後日結果判定を行った際、前記被測定部品は特定物質を規定値以上に多量に含有していてもかまわないことが一見してわかり、結果判定を確実に素早く行うことができる。
【００６３】
本実施の形態においては、過去３回分の分析結果は、一方の蛍光Ｘ線分析装置３００の過去の分析結果のみを表示するものではない。つまり、データベース４０９を共有していることにより、実際には過去に測定を行っていない蛍光Ｘ線分析装置においても、別の蛍光Ｘ線分析装置の過去の測定結果を表示することができる。このような構成により、いずれかの蛍光Ｘ線分析装置で過去に行った分析結果を、他の蛍光Ｘ線分析装置で共有して表示することができ、変化点管理の精度を更に上げることができるようになる。
【００６４】
なお、本実施の形態では、データベース４０９を、蛍光Ｘ線分析装置２台で共有しているが、２台に限定されるものではない。３台以上の蛍光Ｘ線分析装置がデータベースを共有していてもよい。
【００６５】
また、共有するデータベースの配置場所については、複数台ある蛍光Ｘ線分析装置の本体とは別体で備えていてもよいし、いずれか１台の本体中に取り込んでいてもよい。要するに、複数台間での過去の測定情報の共有ができれば、配置場所は特に制限されるものではない。
【００６６】
また、全ての実施の形態において、結果判定として「○」、「×」表記の例を示したが、これに限られるものではない。例えば、「△」などの別の表記を使用してもよいし、数字を用いて判定してもよい。
【００６７】
（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４における蛍光Ｘ線分析装置について、図１０から図１２を参照して説明する。
【００６８】
実施の形態４に係る蛍光Ｘ線分析装置は、入力部３０１が、被測定物３０５の複数の特定情報を少なくとも上位階層と下位階層とからなる複数の階層別に分類分けして入力可能であると共に、データベース３０９が、複数の特定情報を上記複数の階層別に分類分けして蓄積可能である点で、実施の形態２と異なる。
【００６９】
例えば、特定情報の設定準備について、図１０のフローチャートを参照して説明する。
まず、被測定物３０５の特定情報が、何段階の階層情報で構成されているかを入力部３０１により入力する（ステップＳ４１）。例えば、階層情報が３段階である場合は、３件と入力する。次に、特定情報を構成する要素の名称を、上位階層から順に入力する（ステップＳ４２）。例えば、上位階層として「製品」、中位階層として「品番」、下位階層として「測定部位名」という３つの項目名を入力する。さらに、データベース３０９が、入力された特定情報の上記件数と要素の上記名称とを記憶する（ステップＳ４３）。
【００７０】
次に、測定時の特定情報入力について、図１１のフローチャートを参照して説明する。
まず、データベース３０９から特定情報の件数と特定情報の入力項目の名称とが読み出され（ステップＳ４４）。次に、演算部（装置制御部）３０２が、図１２に示すように、特定情報の入力項目（入力欄）を表示部３０８に入力可能に表示させる（ステップＳ４５）。さらに、測定作業者が、表示部３０８の入力項目に各特定情報（製品、品番、測定部位名）の入力を行う（ステップＳ４４５）。
【００７１】
このように本実施の形態では、入力部３０１が、被測定物３０５の複数の特定情報を複数の階層別に分類分けして入力可能であると共に、データベース３０９が、複数の特定情報を上記複数の階層別に分類分けして蓄積可能であるので、被測定物３０５の形態や装置利用者の運用ルールに合わせた入力が可能になる。
【００７２】
（実施の形態５）
次に、本発明の実施の形態５における蛍光Ｘ線分析装置について、図１３から図１５を参照して説明する。
【００７３】
実施の形態５に係る蛍光Ｘ線分析装置は、図１３から図１５に示すように、表示部５０８が、入力部３０１で特定情報が入力されると該特定情報に対応する被測定物５０５の過去の測定部位画像を複数、一覧表示可能であると共に、表示部５０８が、一覧表示される被測定物５０５の過去の測定部位画像を測定日時が古い測定部位の順に並べて表示可能である点で、実施の形態４と異なる。
【００７４】
すなわち、本実施の形態の蛍光Ｘ線分析装置は、特定情報選択手段として、図１４に示すように、選択操作を行う階層に対して候補となるデータをリスト表示するリスト表示部（リスト表示手段）５０８ａと、リスト内に被測定物５０５の画像を表示する画像表示部５０８ｂと、リスト内の任意のデータを選択するためボタンマークであるデータ選択部５０８ｃと、選択された特定情報を表示する特定情報表示部５０８ｄと、が演算部（装置制御部）３０２によって表示部５０８に表示される。また、本実施の形態の蛍光Ｘ線分析装置は、最終階層（下位階層）の特定情報を選択する時に、測定した時の被測定物５０５の画像と測定条件とを表示部５０８に表示して測定操作を行うようになっている。
【００７５】
例えば、本実施の形態について特定情報の図１３に示すフローチャートを参照して説明する。まず、本実施の形態の蛍光Ｘ線分析装置は、過去の測定情報を蓄積したデータベース３０９から選択済みの特定情報で測定情報を検索し、選択対象の階層に対する選択肢をリストアップし、図１４に示すように、表示部５０８のリスト表示部５０８ａに特定情報を出力する（ステップＳ５１）。
すなわち、上位階層である製品選択時は、特定情報として製品名のリストを出力する。また、中位階層である品番選択時は、上位階層である選択済み製品における品番のリストを出力する。さらに、下位階層である測定部位名選択時は、上位階層の選択済み製品と中位階層の品番とにおける測定部位名のリストを出力する。
【００７６】
次に、最終階層（下位階層）の選択時であれば（ステップＳ５２）、対応する被測定物５０５の画像で、図１４に示すように、最も日付の新しい画像を表示部５０８に表示する（ステップＳ５３）。なお、分かり易くするために、図１５に示すサイコロ状のものを被測定物５０５とした場合の表示を、図１６に示す。
【００７７】
次に、作業者は、表示部５０８上のリストを選択するボタンマーク（データ選択部５０８ｃ）を画面上で指定し、選択を確定すると（ステップＳ５４）、演算部（装置制御部）３０２は、選択された特定情報を表示部５０８の特定情報表示部５０８ｄに出力する（ステップＳ５５）。次に、最終階層（下位階層）の選択時であれば（ステップＳ５６）、演算部（装置制御部）３０２は、選択されたリストの測定条件を元に測定の準備を行う（ステップＳ５７）。
【００７８】
このように本実施の形態では、入力部３０１で特定情報が入力されると特定情報に対応する被測定物５０５の過去の測定部位画像を複数、一覧表示可能であるので、測定件数を把握でき、測定すべき量を把握できる。
【００７９】
さらに、本実施の形態では、表示部５０８が、一覧表示される被測定物５０５の過去の測定部位画像を測定日時が古い測定部位の順に並べて表示可能である。
すなわち、図１６に示すように、測定制御部である演算部３０２によって制御された入力部３０１のリスト表示部（リスト表示手段）５０８ａが、被測定物５０５の特定情報の最終階層選択時に、測定日付の古い順に選択項目を表示する。このとき、作業者が、日付の古い項目を選択して測定作業を実施する。
さらに、上記測定が終了すると、再び、リスト表示部（リスト表示手段）５０８ａが被測定物５０５の特定情報の最終階層選択時に、測定日付の古い順に選択項目を表示する。
【００８０】
例えば、図１６の左端に表示されたリストに、測定日付が最も古い被測定物５０５の測定部位としてＴｏｐ（測定部位名１）の画像が表示されている場合、作業者がこの左端のリストに表示されているボタンマーク（データ選択部５０８ｃ）を画面上で指定し、選択を確定すると、このリストの測定部位及び測定条件で測定が開始される。この測定後、被測定物５０５の測定部位であるＴｏｐ（測定部位名１）の測定日付は、最も新しい測定時の日付に更新される。
【００８１】
このため、次に作業者が測定を行う際に、特定情報の最終階層を選択した際に、被測定物５０５の測定部位であるＴｏｐ（測定部位名１）のリストは表示部５０８の右端に表示され、前回で左から２番目に表示されていた測定部位であるＲｉｇｈｔ  ｓｉｄｅ（測定部位名５）のリストが最も古い測定部位として左端に表示される。そして、作業者は、再び左端のリストに表示されているボタンマーク（データ選択部５０８ｃ）を画面上で指定し、選択を確定すると、このリストの測定部位及び測定条件で測定が開始される。
【００８２】
このように本実施の形態では、表示部５０８が、一覧表示される被測定物５０５の過去の測定部位画像を測定日時が古い測定部位の順に並べて表示可能であるので、作業者が一覧表示されたものの中で常に端のものを選択して測定することで、常に古い測定部位を容易に選択して測定可能になる。したがって、操作の順序を装置が指示することで、作業者の負担軽減が図られ、分析に集中することが可能になると共に、漏れなく測定することができる。
【００８３】
（実施の形態６）
次に、本発明の実施の形態６における蛍光Ｘ線分析装置について、図１７から図１９を参照して説明する。
【００８４】
実施の形態６に係る蛍光Ｘ線分析装置は、図１７から図１８に示すように、測定情報が、被測定物３０５に対応させた測定時の測定所要時間も含み、表示部３０８が、被測定物３０５に対応した過去の測定所要時間から測定時の測定経過時間を減算した推定残り時間（測定残り時間）を測定時に表示可能である点で、実施の形態１と異なる。
【００８５】
すなわち、図１８に示すフローチャートを参照して、推定残り時間（測定残り時間）の表示について説明すると、まず被測定物３０５の特定情報を事前に設定し、測定を開始する（ステップＳ６１）。次に、演算部（測定制御部）３０２は、図１９に示すように過去の測定情報を蓄積したデータベース３０９から、該当する測定結果を検索し、最も新しい測定日付のデータを抽出すると共に測定時間の実績を読み出す（ステップＳ６２）。さらに、演算部（装置制御部）３０２は、前回の測定実績時間から現在実施している測定の経過時間を減算し、図１７に示すように、推定残り時間を表示部３０８に逐次出力して表示する。
【００８６】
このように本実施の形態では、表示部３０８が、被測定物３０５に対応した過去の測定所要時間から測定時の測定経過時間を減算した測定残り時間を測定時に表示可能であるので、測定中に測定終了予定時刻を予測できる。
【００８７】
（実施の形態７）
次に、本発明の実施の形態７における蛍光Ｘ線分析装置について、図２０及び図２１を参照して説明する。
【００８８】
実施の形態７に係る蛍光Ｘ線分析装置は、図２０に示すように、表示部３０８が、編集前の判定結果及び編集の理由を表示可能である点で、実施の形態３と異なる。すなわち、本実施の形態では、図２１に示すように、データベース３０９に過去の測定情報を蓄積した情報と、判定結果、編集理由及び編集者名等が蓄積された編集履歴情報と、が記憶されており、測定制御部である演算部３０２が、分析結果を表示部３０８に出力する際に、編集前の判定結果を再表示すると共に判定結果の編集理由も併せて表示するように設定可能である。例えば、図２０に示すように、ＲｏＨＳ適用除外に該当していることにより判定結果を編集した場合、分析結果に「ＲｏＨＳ適用除外」と表示される。
【００８９】
このように本実施の形態では、表示部３０８が、編集前の判定結果及び編集の理由を表示可能であるので、変更前の状態を確認でき、判定結果をどのような理由で変更したかを確認でき、エビデンスとなる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明にかかる蛍光Ｘ線分析装置は、特に、定期的に部品の含有物質分析を行うような分野において有用である。
【符号の説明】
【００９１】
２００、３００、４００  蛍光Ｘ線分析装置
２０１、３０１  入力部
２０２、３０２  演算部
２０３、３０３  Ｘ線発生部
２０４、３０４  一次Ｘ線
２０５、３０５、５０５  被測定物
２０６、３０６  二次Ｘ線
２０７、３０７  検出部
２０８、３０８、５０８  表示部
２０９、３０９、４０９  データベース
２１０、３１０  撮像部
２１１、３１１  判定部
【図１】
2010078592.tif 000003
【図２】
2010078592.tif 000004
【図４】
2010078592.tif 000005
【図５】
2010078592.tif 000006
【図６】
2010078592.tif 000007
【図８】
2010078592.tif 000008
【図１０】
2010078592.tif 000009
【図１１】
2010078592.tif 000010
【図１３】
2010078592.tif 000011
【図１４】
2010078592.tif 000012
【図１６】
2010078592.tif 000013
【図１８】
2010078592.tif 000014
【図１９】
2010078592.tif 000015
【図２１】
2010078592.tif 000016
【図３】
2010078592.tif 000017
【図７】
2010078592.tif 000018
【図９】
2010078592.tif 000019
【図１２】
2010078592.tif 000020
【図１５】
2010078592.tif 000021
【図１７】
2010078592.tif 000022
【図２０】
2010078592.tif 000023