(57)【要約】【課題】搬送される被搬送物に搬送装置が把持や吸着するための専用の領域を新たに設けることなく、被搬送物を搬送することができる搬送装置を提供する。【解決手段】  基板搬送装置１００は、穴部２０１が形成された基板２００を搬送可能な搬送装置であって、基板２００に向けて進退可能に設けられると共に、基板２００の表面に位置する穴部２０１の第１開口部から穴部２０１内に挿入可能な第１状態と、穴部２０１内に挿入された状態で、第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止機器１４０を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴部が形成された被搬送物を搬送可能な搬送装置であって、
前記被搬送物に向けて進退可能に設けられると共に、前記被搬送物の表面に位置する前記穴部の第１開口部から前記穴部内に挿入可能な第１状態と、前記穴部内に挿入された状態で、前記第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止部材を備えた、搬送装置。
【請求項２】
前記被搬送物は、固定部材によって被固定部材に固定され、前記穴部に前記固定部材が挿入される、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記係止部材は、筒状のスリーブと、前記スリーブ内に挿入され、前記スリーブ内を移動可能に設けられた軸部とを有し、
前記スリーブは、該スリーブの周方向に配列し、前記係止部材の前記穴部への挿入方向に向かうに従って、互いに近接するように配置された複数の片部と、前記片部に形成され、前記第２開口部の開口縁部と係合可能な係止部とを含み、
前記軸部が前記片部から退避することで、前記第１状態とされ、前記第１状態から前記軸部が前記挿入方向に移動し、前記片部を押し広げることで、前記第２状態とされる、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記軸部は、前記挿入方向側の前記スリーブの端部から突出可能とされた、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
係止部が形成された被固定部材と、前記係止部に対応する穴部が形成された被搬送物と、前記穴部に挿入され、前記係止部と係合することで、前記被搬送物を前記被固定部材に固定する固定部材とを備えた機器の製造方法であって、
前記被搬送物に向けて進退可能に設けられると共に、前記被搬送物の表面に位置する前記穴部の第１開口部から前記穴部内に挿入可能な第１状態と、前記穴部内に挿入された状態で、前記第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止部材を備えた搬送装置が、前記第１状態とされた前記係止部材を前記穴部内に挿入する工程と、
前記穴部内に挿入された前記係合部材を前記第２状態に切り替え、前記被搬送物を係止する工程と、
前記係止部材で前記被搬送物を係止した状態で、前記搬送装置が前記被搬送物を前記被固定部材上に移送する工程と、
前記係止部材を前記第１状態に切り替えて、前記被搬送物を前記被固定部材上に載置する工程と、
前記搬送装置が前記係止部材を前記穴部から退避させて、前記穴部に前記固定部材を装着して、前記被搬送物を前記被固定部材に固定する工程と、
を備えた、機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置および機器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から装置や機器を製造する過程において、部品を搬送する搬送装置が各種提案されている。
【０００３】
たとえば、特開平９−１６０６２２号公報には、電子部品を把持し、搬送するロボットハンドを備えた搬送装置が記載されている。また、特開２００４−１４８４３６号公報には、基板を吸着保持する吸着パッドを備えた搬送装置が記載されている。そして、特開平１１−３４６０２７号公報には、基板を吸着する真空チャックを備えた搬送装置が記載されている。
【特許文献１】特開平９−１６０６２２号公報
【特許文献２】特開２００４−１４８４３６号公報
【特許文献３】特開平１１−３４６０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特開平９−１６０６２２号公報に記載された搬送装置においては、電子部品にロボットハンドが把持する領域を別途確保する必要があり、電子部品のコンパクト化を阻害する。
【０００５】
また、特開２００４−１４８４３６号公報および特開平１１−３４６０２７号公報に記載された搬送装置においても、吸着パッドおよび真空チャックが吸着する領域を別途確保する必要があり、電子機器を搭載することできないデッドスペースが生じ、基板のコンパクト化を阻害する。
【０００６】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、搬送される被搬送物に搬送装置が把持や吸着するための専用の領域を新たに設けることなく、被搬送物を搬送することができる搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る搬送装置は、穴部が形成された被搬送物を搬送可能な搬送装置であって、被搬送物に向けて進退可能に設けられると共に、被搬送物の表面に位置する穴部の第１開口部から穴部内に挿入可能な第１状態と、穴部内に挿入された状態で、第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止部材を備える。
【０００８】
好ましくは、上記被搬送物は、固定部材によって被固定部材に固定され、穴部に固定部材が挿入される。
【０００９】
好ましくは、上記係止部材は、筒状のスリーブと、スリーブ内に挿入され、スリーブ内を移動可能に設けられた軸部とを有する。そして、上記スリーブは、該スリーブの周方向に配列し、係止部材の穴部への挿入方向に向かうに従って、互いに近接するように配置された複数の片部と、片部に形成され、第２開口部の開口縁部と係合可能な係止部とを含む。さらに、上記軸部が片部から退避することで、第１状態とされ、第１状態から軸部が挿入方向に移動し、片部を押し広げることで、第２状態とされる。
【００１０】
好ましくは、上記軸部は、挿入方向側のスリーブの端部から突出可能とされる。
本発明に係る機器の製造方法は、係止部が形成された被固定部材と、係止部に対応する穴部が形成された被搬送物と、穴部に挿入され、係止部と係合することで、被搬送物を被固定部材に固定する固定部材とを備えた機器の製造方法である。そして、上記被搬送物に向けて進退可能に設けられると共に、被搬送物の表面に位置する穴部の第１開口部から穴部内に挿入可能な第１状態と、穴部内に挿入された状態で、第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止部材を備えた搬送装置が、第１状態とされた係止部材を穴部内に挿入する工程と、穴部内に挿入された係合部材を第２状態に切り替え、被搬送物を係止する工程と、係止部材で被搬送物を係止した状態で、搬送装置が被搬送物を被固定部材上に移送する工程と、係止部材を第１状態に切り替えて、被搬送物を被固定部材上に載置する工程と、搬送装置が係止部材を穴部から退避させて、穴部に固定部材を装着して、被搬送物を被固定部材に固定する工程とを備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る機器の搬送装置および当該搬送装置を用いた機器の製造方法によれば、被搬送物に搬送装置が把持等するための専用の領域を新たに設ける必要がなく、被搬送物のコンパクト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１から図１９を用いて、本発明に係る搬送装置および当該搬送装置を用いた機器の製造方法について説明する。なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組合わせることは、当初から予定されている。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１に係る基板搬送装置１００を備えた設備の一部を模式的に示す斜視図である。この図１に示す製造設備においては、基板搬送装置１００と、基板２００が載置された基板載置台２０２と、この基板載置台２０２に対して間隔を隔てて設けられ、ベース部材３００が載置されたベース部材載置台３０２とを備えている。
【００１４】
基板搬送装置１００は、基板載置台２０２およびベース部材載置台３０２よりも上方に張られたワイヤー１０１によって案内可能とされており、基板載置台２０２上に載置された基板２００をベース部材載置台３０２上に載置されたベース部材３００上にまで搬送可能とされている。
【００１５】
基板２００の主表面上には、複数の図示されない電子部品が搭載されており、基板２００の四隅には、穴部２０１が形成されている。ベース部材３００の主表面のうち、基板２００が搭載される領域には、穴部２０１に対応する部分に、支持突起３０１が形成されている。この支持突起３０１には、上方に向けて開口するネジ穴が形成されている。
【００１６】
そして、各穴部２０１と、各支持突起３０１のネジ穴とが基板２００の厚さ方向に配列するように、基板２００をベース部材３００上に載置した後、穴部２０１およびネジ穴にボルトを挿入して、基板２００とベース部材３００とを互いに固定することで、電機機器または電機機器の中間品が製作される。
【００１７】
基板搬送装置１００は、天板部１２２と、この天板部１２２上に搭載され、ワイヤー１０１上を走行する駆動輪１２１を含む駆動部１２０と、天板部１２２の下面側に設けられ、基板２００を係止可能な係止機器１４０と、係止機器１４０に接続されたスライド軸１３２と、一端が、天板部１２２に接続され、スライド軸１３２を介して係止機器１４０を基板２００に向けて進退可能に支持する案内部材１３１とを備えている。
【００１８】
そして、駆動部１２０が駆動し、駆動輪１２１がワイヤー１０１上を走行することで、基板搬送装置１００は、基板載置台２０２上とベース部材載置台３０２上との間を往復可能とされている。
【００１９】
係止機器１４０は、案内部材１３１によって基板２００に向けて進退可能に設けられている。
【００２０】
図２は、係止機器１４０およびスライド軸１３２の断面図である。この図２に示すように、係止機器１４０は、穴部２０１内に挿入可能に形成されたコレット１４２と、コレット１４２内に挿入され、コレット１４２内を移動可能に設けられた軸部１４１と、軸部１４１を移動させる動力を発生する駆動機構１５５とを備えている。軸部１４１は、係止機器１４０が穴部２０１内に挿入される挿入方向に移動可能とされている。
【００２１】
駆動機構１５５は、一方の端部がスライド軸１３２内のバネ収容室１７０内に収容され、他方の端部が軸部１４１の上端部に接続された接続部材１４６と、接続部材１４６を上方に向けて押圧する弾性部材１４５と、弾性部材１４５からの付勢力に抗して、接続部材１４６を下方に向けて付勢するエアシリンダ１４９とを備えている。
【００２２】
エアシリンダ１４９は、スライド軸１３２の上端部に設けられた空洞状の筐体１４７と、筐体１４７内に摺動可能に設けられたピストンロッド１４８と、筐体１４７に接続され、図１に示す空圧源１５１に接続されたホース１５０とを備えている。そして、ピストンロッド１４８は、スライド軸１３２内に形成され、スライド軸１３２の軸方向に延びるロッド挿入孔１７１内に挿入されている。
【００２３】
なお、バネ収容室１７０と、ロッド挿入孔１７１との間には、段差部が形成されており、接続部材１４６が当該段差部と係合することで、接続部材１４６の上死点が規定される。
【００２４】
スライド軸１３２の下端部には、スライド軸１３２から張り出すように形成された支持部１４３が設けられており、この支持部１４３には、軸部１４１が挿入される支持穴１４４が形成されている。
【００２５】
そして、支持部１４３の下面には、筒状のコレット１４２が固定されており、コレット１４２の穴部と、支持穴１４４とが連通するようにコレット１４２が支持部１４３に装着されている。軸部１４１は、支持穴１４４およびコレット１４２内に亘って挿入されており、上下方向に移動可能に支持されている。
【００２６】
図３は、軸部１４１およびコレット１４２を示す斜視図である。この図３に示すように、軸部１４１は、円柱状に形成された本体部１６６と、この本体部１６６の下端部に形成され、下方に向けて先細状に形成された先細部１６５とを備えている。
【００２７】
コレット１４２は、円筒状に形成された筒部１６１と、この筒部１６１に接続され、筒部１６１の周方向に間隔を隔てて形成された複数の片部１６２と、片部１６２の下端部に形成された係止部１６３とを備えている。
【００２８】
各片部１６２は、挿入孔１６０から離れ、穴部２０１への挿入方向に向かうに従って、互いの先端部が近接するように形成されている。
【００２９】
この図２および図３に示す状態では、軸部１４１の先細部１６５が、コレット１４２内に位置しているものの、軸部１４１は、片部１６２より上方に退避しており、各片部１６２は軸部１４１によって押し広げられていない。そして、各片部１６２の先端部は互いに近接し、コレット１４２は、先細状となっている。このような状態においては、コレット１４２は、図１に示す基板２００の穴部２０１内に挿入可能となる。
【００３０】
図４は、上記図３に示す状態から軸部１４１が下方に変位して、コレット１４２を押し広げた状態を示す斜視図である。
【００３１】
この図４に示すように、軸部１４１が上記図３に示す状態から下方（係止機器１４０が穴部２０１内に挿入される挿入方向）に向けて変位し、各片部１６２が、軸部１４１の本体部１６６によって押し広げられている。これに伴い、各係止部１６３は、筒部１６１の周面から張り出すように突出する。
【００３２】
このため、たとえば、コレット１４２を基板２００の穴部２０１内に挿入した後、コレット１４２を押し広げることで、係止部１６３を基板２００の底面に係合させることができる。具体的には、係止部１６３は、基板２００の表面に位置する穴部２０１の開口部に対して反対側に位置する穴部２０１の開口部の開口縁部と係合する。そして、この状態で、係止機器１４０を上昇させることで、基板２００を搬送することができる。なお、軸部１４１の先細部１６５は、コレット１４２の下端部（穴部２０１への挿入方向側の端部）より、下方に突出している。
【００３３】
ここで、図５から図１５および適宜上記図１から図４を用いて、上記基板搬送装置１００を用いて、機器を製造する製造方法について説明する。
【００３４】
図５は、係止機器１４０の周囲を示し、一部を断面視した側面図であって、機器の製造工程の第１製造工程を示す。
【００３５】
この図５に示すように、基板２００は、基板載置台２０２上に載置されており、基板載置台２０２には、凹部２０３が形成されている。そして、基板２００は、基板２００に形成された穴部２０１と、凹部２０３とが基板２００の厚さ方向に配列するように位置決めされている。
【００３６】
そして、このように基板２００が載置された状態において、案内部材１３１がスライド軸１３２を下方に変位させて、係止機器１４０を穴部２０１に近接させる。この際、軸部１４１の先細部１６５は、コレット１４２の片部１６２から退避しており、コレット１４２は、各片部１６２の先端部が近接した第１状態となっている。
【００３７】
図６は、機器の製造工程の第２製造工程を示す側面図であり、上記図５に示す状態から、係止機器１４０を下方に変位させて、コレット１４２および軸部１４１を基板２００の穴部２０１内に挿入した状態を示す。
【００３８】
この図６に示すように、コレット１４２の下端部が、穴部２０１の開口部うち、基板２００の背面側に位置する開口部の開口縁部より、さらに下方に位置しており、コレット１４２の先端部が凹部２０３内に入り込んでいる。そして、コレット１４２の先端部が凹部２０３内に入り込んだ時点で、案内部材１３１によるスライド軸１３２の下方への変位が停止する。
【００３９】
図７は、機器の製造工程の第３製造工程を示す側面図であり、図８は、この第３製造工程における基板搬送装置１００の斜視図である。図７に示すように、コレット１４２の下端部が凹部２０３内に入り込んだ後、図２に示すエアシリンダ１４９が駆動し、ピストンロッド１４８が接続部材１４６を下方に向けて押圧する。これにより、軸部１４１が下方に変位し、各片部１６２が軸部１４１によって押し広げられ、各係止部１６３が基板２００の背面側に形成された穴部２０１の開口縁部と係合する。
【００４０】
なお、この際、軸部１４１の先細部１６５は、コレット１４２の下端部から突出し、凹部２０３内に入り込んでいる。
【００４１】
図８に示すように、基板２００に形成された各穴部２０１にそれぞれ係止機器１４０のコレットが挿入されている。
【００４２】
このように、複数の係止機器１４０で基板２００を支持した後、各案内部材１３１が駆動して、各スライド軸１３２を上方に引き上げる。
【００４３】
図９は、機器の製造工程の第４製造工程を示す側面図である。この図９に示すように、係止機器１４０が基板２００を係止した状態で、係止機器１４０が上方に変位することで、基板２００が基板載置台２０２の上方に持ち上げられる。さらに、図１に示す駆動部１２０が駆動することで、基板２００がベース部材３００に向けて変位する。
【００４４】
図１０は、機器の製造工程の第５製造工程を示す側面図であり、図１１は、第６製造工程を示す側面図である。図１０に示すように、各係止機器１４０は、ベース部材３００に形成された各支持突起３０１上に移動する。そして、図１に示す案内部材１３１がスライド軸１３２を下方に変位させることで、図１１に示すように、各係止機器１４０は、支持突起３０１に近接するように変位する。
【００４５】
この際、軸部１４１の先細部１６５は、コレット１４２の下端部から下方に突出しており、上記のように係止機器１４０が支持突起３０１に近接することで、先細部１６５の一部が支持突起３０１に形成されたネジ穴３０３内に入り込む。
【００４６】
このように、先細部１６５がネジ穴３０３内に入り込むことで、ベース部材３００に対する係止機器１４０の位置決めを正確に行うことができる。これに伴い、係止機器１４０に保持された基板２００とベース部材３００との位置決めを正確に行うことができ、基板２００の穴部２０１と、ベース部材３００のネジ穴３０３とが互いに高さ方向に配列する。
【００４７】
図１２は、機器の製造工程の第７製造工程を示す側面図であり、図１３は、第８製造工程を示す側面図である。図１２に示すように、基板２００とベース部材３００との位置決めがなされた後、軸部１４１は、上方に変位し、コレット１４２の各片部１６２が先細状に窄まる。これにより、係止機器１４０による基板２００の係止状態が解除され、図１３に示すように、基板２００がベース部材３００上に載置される。
【００４８】
そして、図１４に示すように、係止機器１４０をベース部材３００上から退避させた後、ネジ穴３０３および穴部２０１にボルト５００を螺合させて、基板２００とベース部材３００とを互いに固定して、図１５に示すような機器を製作することができる。
【００４９】
上記のように、本実施の形態１に係る基板搬送装置１００は、係止機器１４０は、穴部２０１内に挿入可能な第１状態と、係止機器１４０の少なくとも一部が挿入された状態であって、基板２００の表面に位置する穴部２０１の開口部に対して反対側に位置する穴部２０１の開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされている。
【００５０】
この基板搬送装置１００によれば、基板２００をベース部材３００上に載置する際に、まず、第１状態とされた係止機器１４０を穴部２０１内に挿入し、その後、係止機器１４０を上記第２状態に切り替えことで、基板２００を係止し、搬送することができる。
【００５１】
このように、基板搬送装置１００は、ボルト（固定部材）が挿入される穴部２０１を利用して、基板２００を搬送しており、基板２００に係止機器１４０が係止するための専用の領域を設ける必要がない。これにより、基板２００のコンパクト化を図ることができる。
【００５２】
さらに、基板２００を固定する支持突起３０１に形成されたネジ穴３０３を利用することで、基板２００とベース部材３００とを正確に位置決めすることができ、基板２００とベース部材３００とを位置決めするための専用の機器を要さず、基板搬送装置１００のコンパクト化を図ることができる。
【００５３】
（実施の形態２）
図１６から図１９を用いて、本実施の形態２に係る基板搬送装置１００について説明する。なお、図１６から図１９に示された構成のうち、上記図１から図１５に示された構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【００５４】
図１６は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の係止機器１４０の断面図である。
この図１６に示すように、係止機器１４０は、コレット１４２内に挿入されたボルト６００と、このボルト６００を支持するチャック部４１０と、チャック部４１０上に固定され、ボルト６００を回転させるモータ４２０とを備えている。
【００５５】
そして、モータ４２０と、チャック部４１０とは、支持部１４３の支持穴１４４内に挿入されており、接続部材１４６によって、上下方向に移動可能に設けられている。
【００５６】
この図１６に示す状態においては、ボルト６００の軸部６０１は、片部１６２と当接しておらず、各片部１６２は、先細状に閉じた状態となっている。そして、エアシリンダ１４９が、接続部材１４６を下方に変位させることで、ボルト６００の軸部６０１がコレット１４２の各片部１６２を押し広げるように形成されている。
【００５７】
支持部１４３の底部は、分割底板部４５０および分割底板部４５１とによって形成されている。
【００５８】
図１７は、分割底板部４５０および分割底板部４５１を示す平面図である。この図１７に示すように、分割底板部４５０および分割底板部４５１は、いずれも、半円環状に形成されている。
【００５９】
分割底板部４５０は、図１６に示すスライド軸１３２に設けられた回転軸４７０を中心に回転可能に設けられており、分割底板部４５１も、回転軸４７１を中心に回転可能に設けられている。
【００６０】
分割底板部４５０のうち、回転軸４７０の周囲に位置する部分には、ギヤ部４７３が形成されており、このギヤ部４７３は、図１６に示すモータ４６０の駆動軸４６１と噛合しており、モータ４６０からの動力によって分割底板部４５０が回転する。
【００６１】
分割底板部４５１のうち、回転軸４７１の周囲に位置する部分には、ギヤ部４７４が形成されており、このギヤ部４７４は、分割底板部４５０のギヤ部４７３と噛合している。
【００６２】
このため、駆動軸４６１が回転すると、分割底板部４５０が回転軸４７０を中心に回転すると共に、分割底板部４５１は、回転軸４７１を中心として、分割底板部４５０と反対方向に回転する。
【００６３】
これにより、分割底板部４５０，４５１は、図１７の実線に示すように、互いに接触して穴部４３０を形成する状態から、互いに離れるように回転移動したり、互いに離間した状態から穴部４３０を形成するように互いに接触するように回転移動することができる。
【００６４】
そして、図１７に示すように、分割底板部４５０と分割底板部４５１とが互いに協働して、上記図１６に示すボルト６００の軸部６０１が挿入可能な穴部４３０を規定する。
【００６５】
分割底板部４５０の下面には、コレット１４２を分割した分割コレット４４１が設けられており、分割底板部４５１の下面にも、分割コレット４４２が設けられている。
【００６６】
そして、分割底板部４５０と分割底板部４５１とが協働して、穴部４３０を形成する際には、分割コレット４４１と分割コレット４４２とによって、筒状のコレット１４２が形成される。
【００６７】
ここで、図１８から図１９を用いて、本実施の形態２に係る基板搬送装置を用いて、機器を製造する製造方法について説明する。
【００６８】
まず、基板２００を保持する際には、図１６に示すように、分割底板部４５０および
分割底板部４５１とを互いに接触させて、筒状のコレット１４２を形成し、さらに、ボルト６００をコレット１４２から退避させた状態で、コレット１４２を基板２００の穴部２０１内に挿入する。
【００６９】
そして、図１８に示すように、ボルト６００を下方に変位させることで、コレット１４２を押し広げて、基板２００を保持する。その後、ベース部材３００の上方にまで搬送する。ここで、図１８に示すように、ボルト６００の下端部は、コレット１４２の下端部から僅かに下方に突出しているため、上記実施の形態１に係る製造方法と同様に、基板２００とベース部材３００との位置決めを行うことができる。
【００７０】
基板２００とベース部材３００との位置決めを行った後、ボルト６００を上方に変位させることで、上記実施の形態１に係る製造方法と同様に、コレット１４２を先細状に変形させて、基板２００をベース部材３００の上面上に載置する。
【００７１】
その後、図１７の破線に示すように、分割底板部４５０および分割底板部４５１を互いに離間させる。その後、図１９に示すように、ボルト６００を下方に変位させる。そして、ボルト６００の下端部がベース部材３００のネジ穴３０３に入り込む際に、チャック部４１０を開放し、モータ４２０を駆動させる。モータ４２０が駆動することで、ねじ込み軸４２１がボルト６００を下方に押圧しながら、回転させる。これにより、ボルト６００がベース部材３００のネジ穴３０３内に挿入され、基板２００とベース部材３００とを固定することができる。
【００７２】
このように、本実施の形態２に係る基板搬送装置によれば、基板２００の搬送等のみならず、基板２００とベース部材３００との固定をも行うことができる。
【００７３】
なお、本実施の形態に係る基板搬送装置においては、拡径および縮径可能なコレット１４２含む係止機器１４０を用いて、基板２００を搬送することとしているが、これに限られない。
【００７４】
すなわち、基板２００に向けて進退可能に設けられ、基板２００に形成された穴部２０１内に挿入可能な第１状態と、基板２００の背面側で穴部２０１の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能であれば、上記のような構成み限られない。たとえば、リンク機構を利用したようなものであってもよい。
【００７５】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。さらに、上記数値などは、例示であり、上記数値および範囲にかぎられない。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、搬送装置に好適であり、特に穴部が形成された被搬送物の搬送に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】実施の形態１に係る基板搬送装置を備えた設備の一部を模式的に示す斜視図である。
【図２】係止機器およびスライド軸の断面図である。
【図３】軸部およびコレットを示す斜視図である。
【図４】図３に示す状態から軸部が下方に変位して、コレットを押し広げた状態を示す斜視図である。
【図５】機器の製造工程の第１製造工程を示す側面図である。
【図６】機器の製造工程の第２製造工程を示す側面図である。
【図７】機器の製造工程の第３製造工程を示す側面図である。
【図８】第３製造工程における基板搬送装置の斜視図である。
【図９】機器の製造工程の第４製造工程を示す側面図である。
【図１０】機器の製造工程の第５製造工程を示す側面図である。
【図１１】機器の製造工程の第６製造工程を示す側面図である。
【図１２】機器の製造工程の第７製造工程を示す側面図である。
【図１３】機器の製造工程の第８製造工程を示す側面図である。
【図１４】機器の製造工程の第９製造工程を示す側面図である。
【図１５】製造された機器の斜視図である。
【図１６】実施の形態２に係る基板搬送装置の係止機器の断面図である。
【図１７】分割底板部を示す平面図である。
【図１８】実施の形態２に係る製造方法の製造過程を示す断面図である。
【図１９】上記図１８に示された製造過程後における係止機器の断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１００  基板搬送装置、１０１  ワイヤー、１２０  駆動部、１２１  駆動輪、１２２  天板部、１３１  案内部材、１３２  スライド軸、１４０  係止機器、１４１  軸部、１４２  コレット、１４３  支持部、１４４  支持穴、１４５  弾性部材、１４６  接続部材、１４７  筐体、１４８  ピストンロッド、１４９  エアシリンダ、１５０  ホース、１５１  空圧源、１５５  駆動機構、１６０  挿入孔、１６１  筒部、１６２  片部、１６３  係止部、１６５  先細部、１６６  本体部、１７０  バネ収容室、１７１  ロッド挿入孔、２００  基板、２０１  穴部、２０２  基板載置台、２０３  凹部、３００  ベース部材、３０１  支持突起、３０２  ベース部材載置台、３０３  ネジ穴、４１０  チャック部、４２０  モータ、４２１  軸、４３０  穴部、４４１，４４２  分割コレット、４５０  分割底板部、４５０，４５１  分割底板部、４６０  モータ、４６１  駆動軸、４７０  回転軸、４７１  回転軸、４７３  ギヤ部、４７４  ギヤ部、５００  ボルト、６００  ボルト、６０１  軸部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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