(57)【要約】【課題】全ての発光素子が無駄に破棄されることなく、長期にわたって各発光素子が出射する光の照射分布を一様に維持し、長寿命化を図ることのできる光照射装置を提供する。【解決手段】紫外線照射装置２は電源電圧が異なる３種類の第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３を設けるとともに、複数の各発光ダイオードＤを回路基板３１に実装した照射モジュール３０を複数列設した。また、回路基板３１に、実装された各発光ダイオードＤのアノード端子に対して電気的に接続される第１固定コネクタＣＮａ１を実装し、固定用コネクタに対して、各紫外線発光ダイオードＤに対してそれぞれ対応するリード線Ｌａを繋いだ第１装着コネクタＣＮｂ１を着脱可能に接続するようにした。そして、対応するリード線を、紫外線発光ダイオードＤの照度低下に応じて第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３に接続するようにした。【選択図】図４
2010098231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に配列された複数の光学素子から出射される光を、貼合わせ基板間に介在された光硬化性樹脂からなる線状のシール材に照射する光照射装置であって、
前記複数の光学素子毎に設けられ、対応する光学素子に電源電圧を供給するためのリード線と、
それぞれ異なる電源電圧が印加された複数のブスバーと、
前記各リード線を、前記各ブスバーに対して電気的に接離可能に接続する接続手段と
を設けたことを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光照射装置において、
前記接続手段は、前記複数のリード線毎に設けられていることを特徴とする光照射装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光照射装置において、
前記複数の光学素子は、紫外線発光ダイオードであって、その複数の紫外線発光ダイオードは回路基板に対して一方向に一直線状に回路基板に実装され、
その複数個の回路基板は、前記一方向に列設し、前記各回路基板に実装された各紫外線発光ダイオードが前記一方向に一直線状に配列されていることを特徴とする光照射装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光照射装置において、
前記回路基板には、実装された複数の紫外線発光ダイオード毎に、そのアノード端子に対して電気的に接続される外部接続端子を備えた固定用コネクタが実装され、
前記固定用コネクタには、複数の紫外線発光ダイオード毎に設けられたリード線に対して電気的に接続される外部接続端子を備えた装着用コネクタが着脱可能に接続されることを特徴とする光照射装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の光照射装置において、
前記回路基板に実装された前記複数の紫外線発光ダイオードの紫外線出射側には、半球レンズが配置され、
その半球レンズの紫外線出射側には、他の半球レンズと共用するシリンドリカルレンズが配置されていることを特徴とする光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネルは、薄膜トランジスタがマトリクス状に配置形成された素子基板と、遮光膜及びカラーフィルタ等が形成された対向基板とが極めて狭い間隔にて対向配置される。そして、両基板が重ね合わせられる際に、これら両基板間であって光硬化性樹脂を含むシール材に囲まれた領域に液晶が封入される。続いて、紫外線をシール材に照射して、同シール材が硬化されて両基板が貼合わされることによって液晶ディスプレイパネルが製造される。
【０００３】
このとき、シール材を紫外線硬化させ両基板同士を接着する装置として光照射装置がある。この種の光照射装置として、例えば光源としてアーク放電式メタルハイランドランプ等を用い、貼合わせる基板の全面に紫外線を照射するものであった（例えば、特許文献１）。
【０００４】
しかしながら、上記光照射装置は、アーク放電式メタルハイランドランプを用い基板全面を照射するため、消費電力が大きく製造コストが増大するという問題があった。また、基板に形成されるシール材のパターンは、基板の種類に応じて異なるため、シール材のみに紫外線を照射させるための遮光マスクをそれに合わせて用意しなければならず部品点数が増加しコストがさらに増大する問題があった。
【０００５】
そこで、これら問題を解消すべく、紫外線発光ダイオードを用いた光照射装置が提案されている。この光照射装置は、複数の紫外線発光ダイオードが一方向に予め定めたピッチで配列されている。そして、各紫外線発光ダイオードの光出射側には、半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系が配置されている。これによって、各紫外線発光ダイオードから出射された光は、これら半球レンズ、シリンドリカルレンズ等の光学系を介して線状の光ビームとなって線状のシール材に照射される。
【特許文献１】特開２００６−６６５８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、紫外線発光ダイオードの発光によって出射される線状の光ビームは、その照度がその照射領域で一様であることが望ましい。そのためには、各紫外線発光ダイオードから出射される光の照度が、全紫外線発光ダイオードで同じであることが好ましい。
【０００７】
そこで、光照射装置を出荷する前に同一に印加電圧の下で同一の照度を出射する特性を有する紫外線発光ダイオードを選択し、これら同一特性を有する紫外線発光ダイオードにて照度が全照射領域で一様である線状の光ビームを形成していた。
【０００８】
しかしながら、紫外線発光ダイオードは、一定電圧を印加して発光させ続けた場合、点灯時間が経過するにつれてその照度が低下する。この照度の低下の度合いは、紫外線発光ダイオード毎で相違する。
【０００９】
従って、当初、ほぼ同一の照度の光を出射した各紫外線発光ダイオードが、時間が経過すると、異なる照度で光を出射することになる。その結果、線状のシール材上に照射されるライン状の光ビームの照度が全照射領域で一様にならず、不均一になって使用不能となる。
【００１０】
そこで、複数の紫外線発光ダイオードを予め定めたピッチで配列してなる新たなモジュールに交換することになるが、その交換が頻繁に行われることになり問題となっていた。また、各紫外線発光ダイオードの一部が、照度が低下したことで、新たなモジュールに交換することになり、多くの正常な紫外線発光ダイオードが無駄に破棄されることになり問題であった。
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、全ての発光素子が無駄に破棄されることなく、長期にわたって各発光素子が出射する光の照射分布を一様に維持し、長寿命化を図ることのできる光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、一方向に配列された複数の光学素子から出射される光を、貼合わせ基板間に介在された光硬化性樹脂からなる線状のシール材に照射する光照射装置であって、前記複数の光学素子毎に設けられ、対応する光学素子に電源電圧を供給するためのリード線と、それぞれ異なる電源電圧が印加された複数のブスバーと、前記各リード線を、前記各ブスバーに対して電気的に接離可能に接続する接続手段とを設けた。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、各発光素子に対して設けたリード線を、発光素子の照度低下に応じて電源電圧が異なる複数のブスバーに接続するようにしたので、複数の発光素子に対して個々に照度を変更させることができる。
【００１４】
従って、複数の発光素子が個々に照度低下しても、個々に光学素子に対して照度を調整でき、基板に介在した線状のシール材上に照射される線状の紫外線の照度を、全照射領域で一様にすることができる。その結果、全ての光学素子を無駄にすることなく、光照射装置の寿命を延ばすことができる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光照射装置において、前記接続手段は、前記複数のリード線毎に設けられている。
請求項２に記載の発明によれば、複数の光学素子毎に設けられた各リード線は、対応する接続手段を介してブスバーに対して電気的に接離可能に接続される。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の光照射装置において、前記複数の光学素子は、紫外線発光ダイオードであって、その複数の紫外線発光ダイオードは回路基板に対して一方向に一直線状に回路基板に実装され、その複数個の回路基板は、前記一方向に列設し、前記各回路基板に実装された各紫外線発光ダイオードが前記一方向に一直線状に配列されている。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、各紫外線発光ダイオードから出射された紫外線は、一方向に直線状に延びた紫外線ビームとなる。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の光照射装置において、前記回路基板には、実装された複数の紫外線発光ダイオード毎に、そのアノード端子に対して電気的に接続される外部接続端子を備えた固定用コネクタが実装され、前記固定用コネクタには、複数の紫外線発光ダイオード毎に設けられたリード線に対して電気的に接続される外部接続端子を備えた装着用コネクタが着脱可能に接続される。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、各紫外線発光ダイオードのアノード端子に対して電気的に接続される固定用コネクタを回路基板に実装し、固定用コネクタに対して、各紫外線発光ダイオードに対してそれぞれ対応するリード線を繋いだ装着用コネクタを着脱可能に接続するようにしたことから、検査装置を使用して照度検査を行う際、固定用コネクタから装着用コネクタを外し、検査装置の検査用電圧を印加するためのリード線が繋がれた検査用装着コネクタを装着するだけの簡単な操作で照度測定試験を行うことができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項３又は４に記載の光照射装置において、前記回路基板に実装された前記複数の紫外線発光ダイオードの紫外線出射側には、半球レンズが配置され、その半球レンズの紫外線出射側には、他の半球レンズと共用するシリンドリカルレンズが配置されている。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、各紫外線発光ダイオードから出射された紫外線は、一方向に直線状に延びて線状のシール材に照射される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、全ての発光素子が無駄に破棄されることなく、長期にわたって各発光素子が出射する光の照射分布を一様に維持し、長寿命化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の光照射装置を基板貼合わせ装置に備えた紫外線照射装置に具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１において、基板貼合わせ装置１は、紫外線照射装置２を備え、２種類の基板の間に液晶を封入したアクティブマトリクス型液晶ディスプレイを製造する図示しない製造ラインに備えられている。基板貼合わせ装置１は、液晶ディスプレイの製造工程のうち、液晶パネルを構成する貼合わせ基板（以下、下基板Ｗ１、上基板Ｗ２という）間に介在された紫外線硬化樹脂よりなるシール材Ｓに紫外線照射装置２から紫外線を照射し、該シール材Ｓを硬化させる工程に用いられる。
【００２３】
図１及び図２に示すように、基板貼合わせ装置１は、四角箱状の筺体３が床面に設置され、その筺体３の上面３ａには四角形状の開口部４が貫通形成されている。筺体３内には、ステージ移動装置５が配設されている。
【００２４】
ステージ移動装置５は、筺体３の底板３ｂに固設された基台６を有し、その基台６には昇降装置７が設置されている。昇降装置７は、複数の昇降ロッド７ａを有し、各昇降ロッド７ａの上端面には四角板状の支持板８が載置固定されている。昇降装置７は、本体７ｂに昇降モータと、該モータにて正逆回転するボールネジ等が内蔵され、昇降モータを正逆回転させることによって昇降ロッド７ａ（支持板８）を上下方向（Ｚ方向）に移動させるようになっている。
【００２５】
支持板８の上面四方外周位置には、複数のメイン支柱９ａが等間隔に列設され、その各メイン支柱９ａの上端面には、四角枠板状の保持ステージＳＴ１が載置固定されている。保持ステージＳＴ１は、貼合わせを行う下基板Ｗ１と下基板Ｗ２が載置される。保持ステージＳＴ１は、その枠内側にアライメント貫通穴１０が形成されている。また、保持ステージＳＴ１の下面には、アライメントカメラＣＡが設けられ、アライメントカメラＣＡはアライメント貫通穴１０を介して保持ステージＳＴ１に載置された下基板Ｗ１と上基板Ｗ２のアライメントマークを撮像するようになっている。
【００２６】
支持板８の上面外周に沿って列設されたメイン支柱９ａ列の内側には、複数のサブ支柱９ｂがＸ方向及びＹ方向に等間隔に列設されている。そして、Ｙ方向に列設された各サブ支柱９ｂ列毎に、そのサブ支柱９ｂの上端面に、Ｙ方向に延びた板状の浮上ステージＳＴ２を載置固定している。浮上ステージＳＴ２の上面は、メイン支柱９ａに載置固定された保持ステージＳＴ１の上面と面一になっている。
【００２７】
従って、四角枠板状の保持ステージＳＴ１は、その内側に配置された各浮上ステージＳＴ２と協働して下基板Ｗ１と上基板Ｗ２を載置支承する。尚、各浮上ステージＳＴ２は、図示しない複数の吸着孔が形成され、その吸着孔はサブ支柱９ｂに形成された配管を介して真空ポンプと連結されている。従って、吸着孔を負圧にすることによって、載置された下基板Ｗ１と上基板Ｗ２は浮上ステージＳＴ２に対して吸着固定される。
【００２８】
そして、保持ステージＳＴ１及び浮上ステージＳＴ２に載置固定された下基板Ｗ１と上基板Ｗ２は、筺体３内に設けたステージ移動装置５にて支持板８が上下動することによって、筺体３の開口部４を出没可能に配設されている。
【００２９】
支持板８の上面中央位置には、基板移動装置１１が設置固定されている。基板移動装置１１は、上部に円板状のテーブルＴＢを有したアライメント部材１２を設けている。基板移動装置１１は、アライメント部材１２（テーブルＴＢ）を、基板移動装置１１に対して、Ｚ方向、図２において左右方向（Ｘ方向）、及び、Ｚ方向及びＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に搭載されている。また、基板移動装置１１は、アライメント部材１２（テーブルＴＢ）を、該アライメント部材１２の中心軸線Ｌを回転中心軸として回転させるようになっている。
【００３０】
そして、基板移動装置１１は、アライメント部材１２をＺ方向に上動させると、保持ステージＳＴ１及び浮上ステージＳＴ２にて載置されている基板Ｗ１，Ｗ２を上方に持ち上げ、同基板Ｗ１，Ｗ２を保持ステージＳＴ１及び浮上ステージＳＴ２から僅かに離間させる。また、離間させた状態で、基板移動装置１１は、アライメント部材１２をＸ方向及びＹ方向に移動させると、テーブルＴＢに載置された状態で基板Ｗ１，Ｗ２をＸ方向及びＹ方向に移動させることができる。さらに、離間させた状態で、基板移動装置１１は、アライメント部材１２を回転させると、テーブルＴＢに載置された基板Ｗ１，Ｗ２をアライメント部材１２の中心軸線Ｌを回転中心軸として回転させることができる。
【００３１】
基板移動装置１１は、アライメント部材１２をＸ方向に移動させるＸ軸モータ、アライメント部材１２をＹ方向に移動させるＹ軸モータ、アライメント部材１２をＺ方向に移動させるＺ軸モータ、及び、アライメント部材１２の中心軸線Ｌを回転中心軸として回転させる回動モータを有し、これら各モータが制御回路（図示しない）にて駆動制御されるようになっている。
【００３２】
尚、アライメント部材１２のテーブルＴＢは、図示しない複数の吸着孔が形成され、吸着孔はアライメント部材１２に形成された配管を介して真空ポンプと連結されている。従って、吸着孔を負圧にすることによって、載置された基板Ｗ１，Ｗ２はアライメント部材１２のテーブルＴＢに対して吸着固定される。
【００３３】
従って、アライメント部材１２のテーブルＴＢに基板Ｗ１，Ｗ２を吸着した状態において、アライメントカメラＣＡがアライメント貫通穴１０を介して撮像した基板Ｗ１，Ｗ２に印刷されたアライメントマークの画像データに基づいて、アライメント部材１２をＸ方向またはＹ方向に移動または回転させることによって基板Ｗ１，Ｗ２を所定の位置に配置することができる。
【００３４】
筺体３の上面３ａには、開口部４をＸ方向に跨ぐ門型のガントリ１５が固定されている。ガントリ１５は、上面３ａに固設された一対の脚部１５ａと両脚部１５ａに連結された連結フレーム１５ｂとからなる。連結フレーム１５ｂの一側面にはＸ方向に延出したガイドレール１６が取着されている。
【００３５】
ガイドレール１６には、同ガイドレール１６に沿って移動する複数のＸ軸リニアモータ１７が設けられています。各Ｘ軸リニアモータ１７にはベース１８が設けられ、その各ベース１８には取り付け部材１９を介してそれぞれ紫外線照射装置２が設けられている。取り付け部材１９に設けられた各紫外線照射装置２は、Ｙ方向に沿って延出形成され、Ｘ軸リニアモータ１７の移動に伴って、Ｘ方向に往復移動する。
【００３６】
すなわち、各紫外線照射装置２は、保持ステージＳＴ１及び浮上ステージＳＴ２に載置固定され筺体３の開口部４から吐出した基板Ｗ１，Ｗ２の上方位置をＸ方向に往復移動し、所定の上方位置（基板Ｗ１，Ｗ２間に形成したシール材Ｓと対峙する位置）で停止する。各紫外線照射装置２は、該停止した位置から下方の基板Ｗ１，Ｗ２（シール材Ｓ）に向かって紫外線を照射し、該シール材Ｓを硬化させるようになっている。
【００３７】
次に、紫外線照射装置２について図３〜図７に従って説明する。
図３及び図４に示すように、紫外線照射装置２は、取り付け部材１９の下端にボルトにて連結固定された四角形状の支持板２１を有し、その支持板２１のＸ方向の両側部下面には一対の側板２２ａ，２２ｂが固着されている。一対の側板２２ａ，２２ｂは、Ｙ方向に長いプレートであって、互いに等間隔の配置されている。
【００３８】
一対の側板２２ａ，２２ｂの上側部間であって、Ｙ方向に所定の間隔をおいて、間隔保持部材２３が連結されている。また、一対の側板２２ａ，２２ｂ間であって、Ｙ方向に所定の間隔をおいて、絶縁板２４が連結されている。各絶縁板２４には、Ｙ方向に長い４本の第１〜第４ブスバーＢ１〜Ｂ４が貫挿され支持固定されている。
【００３９】
４本の第１〜第４ブスバーＢ１〜Ｂ４は、図５に示すように、銅製の棒体であって、一対の側板２２ａ，２２ｂの間をＹ方向に沿って配設されている。第１ブスバーＢ１は、低電圧の電源電圧Ｖ１が図示しない外部電源回路から印加されている。第２ブスバーＢ２は、中電圧の電源電圧Ｖ２（＞Ｖ１）が図示しない外部電源回路から印加されている。第３ブスバーＢ３は、高電圧の電源電圧Ｖ３（＞Ｖ２）が図示しない外部電源回路から印加されている。そして、第４ブスバーＢ４は、グランドに接地され、接地電圧（０ボルト）となっている。
【００４０】
また、図４に示すように、一対の側板２２ａ，２２ｂの下端部間には、Ｙ方向に延出した連結板２５が連結されている。連結板２５の下面には、複数個（本実施形態では８個）の紫外線発光ダイオードＤが列設されてなる複数個（本実施形態では４０個）の照射モジュール３０が、Ｙ方向に沿って一列に配列固定されている。
【００４１】
照射モジュール３０は、回路基板３１を有し、図６に示すように、その回路基板３１上に８個の光学素子としての紫外線発光ダイオードＤがＹ方向に沿って一列に実装されている。そして、回路基板３１が連結板２５の下面にボルト３２にて固着されるとき、実装された紫外線発光ダイオードＤが下側に位置すると共に、８個の紫外線発光ダイオードＤがＹ方向に沿って配列されるように固着する。しかも、隣同士の照射モジュール３０は、それぞれ回路基板３１に実装された８個の紫外線発光ダイオードＤが、等間隔にＹ方向に沿って一直線状に配列されるように位置決め固着されている。
【００４２】
従って、本実施形態では、３２０個の紫外線発光ダイオードＤが、等間隔にＹ方向に沿って一直線状に配置されることになる。
照射モジュール３０の回路基板３１には、第１固定コネクタＣＮａ１と第２固定コネクタＣＮａ２が実装されている。
【００４３】
第１固定コネクタＣＮａ１は、雄型コネクタであって、回路基板３１に実装された８個の紫外線発光ダイオードＤに対応した数の外部接続端子としての接触端子を有し、各接触端子は対応する紫外線発光ダイオードＤのアノード端子とそれぞれ電気的に接続されている。第１固定コネクタＣＮａ１は、第１装着コネクタＣＮｂ１と着脱可能に連結されている。第１装着コネクタＣＮｂ１は、雌型コネクタであって、第１固定コネクタＣＮａ１の接触端子の数（回路基板３１に実装された８個の紫外線発光ダイオードＤに対応した数）の外部接続端子としての接触端子を有し、各接触端子は各紫外線発光ダイオードＤに対応して設けられたプラス側リード線Ｌａとそれぞれ電気的に接続されている。そして、各プラス側リード線Ｌａは、連結板２５に形成した貫通穴２５ａを介して挿通され、その各先端が第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３のいずれか１つに電気的に接続されるようになっている。
【００４４】
第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３には、各プラス側リード線Ｌａの先端部を接離可能に接続する接続手段としての接続ネジ３３がそれぞれ設けられている。そして、第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３と各プラス側リード線Ｌａの先端部は、接続ネジ３３を介して接離可能に接続されるようになっている。
【００４５】
詳述すると、接続ネジ３３は、そのネジ部３３ａが第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３に螺合し、頭部３３ｂを時計回る方向に回すことによってネジ部３３ａが螺入する方向に進み、頭部３３ｂを反時計回る方向に回すことによってネジ部３３ａがはずれ方向に進むようになっている。
【００４６】
従って、プラス側リード線Ｌａの先端部をネジ部３３ａに巻き付けて頭部３３ｂを時計回る方向に回すことによって、プラス側リード線Ｌａの先端部は接続ネジ３３の頭部３３ｂと第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３とで挟持される。その結果、プラス側リード線Ｌａは第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３に対して電気的に接続される。反対に、プラス側リード線Ｌａが第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３に対して電気的に接続される状態で、頭部３３ｂを反時計回る方向に回すことによって、プラス側リード線Ｌａの先端部は接続ネジ３３の頭部３３ｂと第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３とによる挟持が開放されて、プラス側リード線Ｌａの先端部をネジ部３３ａから簡単に外すことができる。
【００４７】
一方、第２固定コネクタＣＮａ２は、雄型コネクタであって、回路基板３１に実装された８個の紫外線発光ダイオードＤに対応した数の接触端子を有し、各接触端子は対応する紫外線発光ダイオードＤのカソード端子とそれぞれ電気的に接続されている。第２固定コネクタＣＮａ２は、雌型コネクタであって、第２装着コネクタＣＮｂ２と着脱可能に連結されている。第２装着コネクタＣＮｂ２は、第２固定コネクタＣＮａ２の接触端子の数（回路基板３１に実装された８個の紫外線発光ダイオードＤに対応した数）の接触端子を有し、各接触端子は各紫外線発光ダイオードＤに対応して設けられたマイナス側リード線Ｌｂとそれぞれ電気的に接続されている。そして、各マイナス側リード線Ｌｂは、連結板２５に形成した貫通穴２５ａを介して挿通され、その各先端が第４ブスバーＢ４に電気的に接続されるようになっている。
【００４８】
第４ブスバーＢ４は、各マイナス側リード線Ｌｂの先端部を接離可能に接続する第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３と同じ接続ネジ３３がそれぞれ設けられている。そして、第４ブスバーＢ４と各マイナス側リード線Ｌｂの先端部は、接続ネジ３３を介して接離可能に接続されるようになっている。
【００４９】
従って、照射モジュール３０の回路基板３１に実装された各紫外線発光ダイオードＤは、それぞれ対応するプラス側リード線Ｌａとマイナス側リード線Ｌｂを介して直流の電源電圧が印加されて、紫外線を出射する。
【００５０】
このとき、各紫外線発光ダイオードＤは、それぞれ対応するプラス側リード線Ｌａが第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３のどのブスバーに電気的に接続されているかによって、印加される電源電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３の値が相違するため、その出射する紫外線の照度を調整することができるようになっている。
【００５１】
尚、本実施形態では、紫外線照射装置２を出荷する前においては、各プラス側リード線Ｌａは、最も低い値の電源電圧Ｖ１が印加された第１ブスバーＢ１に接続されている。これは、使用前で経年変化していない各紫外線発光ダイオードＤが使用されているため、最も低い電源電圧Ｖ３が印加されたときに、全ての紫外線発光ダイオードＤが所望の照度の紫外線を出射するようになっているからである。
【００５２】
回路基板３１に一直線上に実装された各紫外線発光ダイオードＤの下側には、半球レンズ３５がそれぞれ配置され、各半球レンズ３５はそれぞれ対応する紫外線発光ダイオードＤが出射する紫外線を入射する。そして、各半球レンズ３５は、その入射した紫外線の拡散を抑制して下方にそれぞれ出射する。
【００５３】
各紫外線発光ダイオードＤに対応して配置した８個の半球レンズ３５の下側には、各半球レンズ３５全体を覆う棒状のシリンドリカルレンズ３６がＹ方向に沿って配置されている。シリンドリカルレンズ３６は、各半球レンズ３５から出射された拡散が抑制された紫外線を入射する。シリンドリカルレンズ３６は、各半球レンズ３５から入射した紫外線を、Ｘ方向に対しては収束させて楕円形状に集光させて出射するようになっている。
【００５４】
詳述すると、図７（ａ），（ｂ）に示すように、各紫外線発光ダイオードＤから出射された紫外線は、直下に配置された半球レンズ３５にて拡散が抑制されて出射される。そして、各半球レンズ３５から出射された紫外線を、シリンドリカルレンズ３６にて、Ｘ方向のみ収束させて楕円形状に集光させる。これによって、各紫外線発光ダイオードＤから出射された紫外線の基板Ｗ２上での照射領域ＴはＹ方向に長軸を有する長楕円形状になる。そして、各照射領域Ｔの長軸方向端部Ｔｅ同士が重なり、紫外線照射装置２から線状の紫外線が基板Ｗ２上に照射されることになる。
【００５５】
前記各半球レンズ３５及びシリンドリカルレンズ３６は、回路基板３１に下面にＹ方向に延出形成された保持部材４０にて保持されるようになっている。保持部材４０は、回路基板３１が連結板２５の下面にボルト３２にて固着される際に、あわせて同ボルト３２にて回路基板３１に対して固着されるようになっている。
【００５６】
保持部材４０の下面中央位置には、Ｙ方向に沿って形成され収容溝４１が凹設され、該収容溝４１にシリンドリカルレンズ３６が収容されるようになっている。
また、保持部材４０に凹設した収容溝４１の底面であって、各半球レンズ３５と対応する位置には、貫通穴４２が等間隔に貫通形成されている。貫通穴４２の直径は、半球レンズ３５の直径より若干短くなっていて、回路基板３１に実装された各紫外線発光ダイオードＤに配置された半球レンズ３５の一部が貫通穴４２に嵌入される。そして、保持部材４０が回路基板３１に固着されたとき、半球レンズ３５は、保持部材４０と回路基板３１に実装された紫外線発光ダイオードＤとの間で挟持固定されるようになっている。
【００５７】
保持部材４０の下面Ｘ方向両側に一対の脱落防止板４３が配置されている。一対の脱落防止板４３は、保持部材４０が回路基板３１の下面にボルト３２にて固着される際に、あわせて同ボルト３２にて保持部材４０に対して固着されるようになっている。
【００５８】
一対の脱落防止板４３は、所定の間隔をおいて相対向する位置に弾性係止爪４３ａが延出されていて、該弾性係止爪４３ａにて、収容溝４１に収容されたシリンドリカルレンズ３６を下側から弾圧係止して、シリンドリカルレンズ３６が収容溝４１から脱落しないようにしている。
【００５９】
また、一対の側板２２ａ，２２ｂの間であって第１〜第４ブスバーＢ１〜Ｂ４と連結板２５と中間位置には、複数の冷却ファン４５が、Ｙ方向に所定の間隔で配置固定されている。複数の冷却ファン４５は、回路基板３１に実装した各紫外線発光ダイオードＤは発する熱を放熱する。
【００６０】
次に、基板貼合わせ装置１に設けた紫外線照射装置２の作用について説明する。
（紫外線照射）
ステージＳＴ１に載置され位置決めされた基板Ｗ１，Ｗ２に対して、紫外線照射装置２をＸ方向に移動させ、基板Ｗ１，Ｗ２間に形成された線状のシール材Ｓに対峙する上方位置に配置する。そして、紫外線照射装置２の各照射モジュール３０の全紫外線発光ダイオードＤに発光させ紫外線を出射させる。
【００６１】
全紫外線発光ダイオードＤから出射され紫外線は、各半球レンズ３５及びシリンドリカルレンズ３６を介して線状の紫外線ビームとなって、基板Ｗ１，Ｗ２（線状のシール材Ｓ）に照射され、シール材Ｓを硬化させる。そして、シール材Ｓが硬化されることによって、両基板Ｗ１，Ｗ２は貼合わせられる。
（照度調整）
紫外線照射装置２は、長時間使用することにより、回路基板３１に実装した各紫外線発光ダイオードＤが経年変化し、印加電圧に対する紫外線照度が低下することが知られている。また、紫外線発光ダイオードＤの経年変化による印加電圧に対する紫外線照度の低下は、その低下の程度が紫外線発光ダイオードＤの個体差によって相違することが知られている。
【００６２】
そこで、定期的に各紫外線発光ダイオードＤについて照度検査を行う。照度検査は、検査装置（図示しない）を使用して行われる。まず、第１固定コネクタＣＮａ１から第１装着コネクタＣＮｂ１を外すとともに、第２固定コネクタＣＮａ２から第２装着コネクタＣＮｂ２を外す。
【００６３】
次に、第１固定コネクタＣＮａ１に、検査装置から各紫外線発光ダイオードＤのアノードに、検査用の検査用電圧を印加するためのリード線が繋がれた検査用第１装着コネクタ（図示しない）を装着する。一方、第２固定コネクタＣＮａ２に、検査装置から各紫外線発光ダイオードＤのカソードを接地するためのリード線が繋がれた検査用第２メス型コネクタ（図示しない）を装着する。
【００６４】
そして、回路基板３１に実装された各紫外線発光ダイオードＤに対して、検査電圧をそのアノード・カソード間に印加して、その時の紫外線照度を測定する。測定の結果に基づいて、各紫外線発光ダイオードＤに対して紫外線照度の低下の程度を求め、グループ化する。
【００６５】
詳述すると、紫外線照度の低下が見られない又は低下していてもその低下の程度は小さいＡランクの第１グループ、紫外線照度が第１グループとの比較し照度差が顕著に低下しているＢランクの第２グループ、紫外線照度が第２グループとの比較し照度差が顕著に低下しているＣランクの第３グループに分ける。
【００６６】
第１グループに属するＡランクの紫外線発光ダイオードＤは、経年変化が極めて小さく、プラス側リード線Ｌａをそのまま第１ブスバーＢ１に接続させて最も低い値の電源電圧Ｖ１を印加させ続けても紫外線照度の低下がみられない紫外線発光ダイオードである。
【００６７】
第２グループに属するＢランクの紫外線発光ダイオードＤは、経年変化があり、プラス側リード線Ｌａを第１ブスバーＢ１から第２ブスバーＢ２に接続させて中電圧の値の電源電圧Ｖ２（＞Ｖ２）を印加させることによって、その照度が第１グループの紫外線発光ダイオードＤの紫外線照度と同じ程度の上げることのできる紫外線発光ダイオードである。
【００６８】
第３グループに属するＣランクの紫外線発光ダイオードＤは、経年変化が大きく、プラス側リード線Ｌａを第２ブスバーＢ２（又は第１ブスバーＢ１）から第３ブスバーＢ３に接続させて最も高い値の電源電圧Ｖ３（＞Ｖ２）を印加させることによって、その照度が第１グループの紫外線発光ダイオードＤの紫外線照度と同じ程度の上げることのできる紫外線発光ダイオードである。
【００６９】
そして、各紫外線発光ダイオードＤに対して、グループ分けが完了すると、第１固定コネクタＣＮａ１から検査用第１メス型コネクタを外すとともに、第２固定コネクタＣＮａ２から検査用第２メス型コネクタを外す。続いて、第１固定コネクタＣＮａ１に、先に外した第１装着コネクタＣＮｂ１を装着するとともに、第２固定コネクタＣＮａ２に、先に外した第２装着コネクタＣＮｂ２を装着する。
【００７０】
次に、第２グループに属する紫外線発光ダイオードＤのプラス側リード線Ｌａを、第１ブスバーＢ１から外して第２ブスバーＢ２に接続させる。つまり、第２グループに属する紫外線発光ダイオードＤは、第２ブスバーＢ２から中電位の値の電源電圧Ｖ２が印加されて、電源電圧Ｖ２に相対した駆動電流が流れることから、照度を第１グループの紫外線発光ダイオードＤの紫外線照度と同じ程度にまで上げることかできる。
【００７１】
また、第３グループに属する紫外線発光ダイオードＤのプラス側リード線Ｌａを、第２ブスバーＢ２（又は第１ブスバーＢ１）から外して、第３ブスバーＢ３に接続させる。つまり、第３グループに属する紫外線発光ダイオードＤは、第３ブスバーＢ３から最も高い値の電源電圧Ｖ３が印加されて、電源電圧Ｖ３に相対した大きな駆動電流が流れることから、照度が第１グループの紫外線発光ダイオードＤの紫外線照度と同じ程度にまで上げることができる。
【００７２】
なお、第１グループに属する紫外線発光ダイオードＤのプラス側リード線Ｌａは、第１ブスバーＢ１から外すことなくその状態を維持する。つまり、第１グループに属する紫外線発光ダイオードＤは、従前と同様に第１ブスバーＢ１から最も低い値の電源電圧Ｖ１が印加されて、従前と同じ照度で紫外線を出射する。
【００７３】
従って、このように、各グループ毎で、対応する第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３に接続することで、各紫外線発光ダイオードＤから出射する紫外線の照度が、ほぼ均一にすることができ、基板Ｗ１，Ｗ２間に形成した線状のシール材Ｓ上に照射されるライン状の光ビームの照度は全照射領域で一様となる。
【００７４】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、照射モジュール３０の回路基板３１に実装した各紫外線発光ダイオードＤに対して、個々に相違する電源電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３を選択して印加できるようにした。そして、当初、出射した紫外線の照度が均一であった各紫外線発光ダイオードＤが、経年変化で、各紫外線発光ダイオードＤが出射する紫外線の照度が均一でなくなったとき、照度の低下に応じて、印加する電源電圧を変更して各紫外線発光ダイオードＤが出射する紫外線の照度が一均にするようにした。
【００７５】
従って、紫外線照射装置２は、基板Ｗ１，Ｗ２間に介在した線状のシール材Ｓ上に照射される線状の紫外線の照度を、全照射領域で一様にすることができる。
その結果、実装した複数の紫外線発光ダイオードＤが個々に照度低下しても、個々に紫外線発光ダイオードＤに対して照度を調整できるため、実装した全ての紫外線発光ダイオードＤを無駄にすることなく、紫外線照射装置２の寿命を延ばすことができる。
【００７６】
（２）上記実施形態によれば、電源電圧が異なる３種類の第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３を設けるとともに、各紫外線発光ダイオードＤに対してそれぞれ対応するリード線Ｌａを設けた。そして、対応するリード線を、紫外線発光ダイオードＤの照度低下に応じて第１〜第３ブスバーＢ１〜Ｂ３に接続するようにした。
【００７７】
従って、回路基板３１に実装した複数の紫外線発光ダイオードＤに対して、簡単に印加する電源電圧を変更し照度を変更させることができる。
（３）上記実施形態によれば、前記回路基板３１に、実装された各発光ダイオードＤのアノード端子に対して電気的に接続される第１固定コネクタＣＮａ１を実装し、前記固定用コネクタに対して、各紫外線発光ダイオードＤに対してそれぞれ対応するリード線Ｌａを繋いだ第１装着コネクタＣＮｂ１を着脱可能に接続するようにした。
【００７８】
従って、検査装置を使用して照度検査を行う際、第１固定コネクタＣＮａ１から第１装着コネクタＣＮｂ１を外し、検査装置の検査用電圧を印加するためのリード線が繋がれた検査用第１装着コネクタを装着するだけの簡単な操作で測定試験を行うことができる。
【００７９】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、紫外線照射装置２に４本のブスバーＢ１〜Ｂ４で実施したが、その数を適宜変更してもよい。
【００８０】
・上記実施形態では、基板貼合わせ装置１に紫外線照射装置２を４個設けたが、その数を適宜変更して実施してもよい。
・上記実施形態では、紫外線照射装置２に１２個の照射モジュール３０を配置したが、その数を適宜変更して実施してもよい。
【００８１】
・上記実施形態では、照射モジュール３０の回路基板３１に８個の紫外線発光ダイオードＤを実装したが、その数を適宜変更して実施してもよい。
・上記実施形態では、各紫外線発光ダイオードＤに対してマイナス側リード線Ｌｂを設けたが、これを一本のリード線で供用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本実施形態の紫外線照射装置を備えた貼合わせ装置の斜視図。
【図２】同じく貼合わせ装置の断面図。
【図３】紫外線照射装置の要部断面図。
【図４】紫外線照射装置の照射モジュールの要部断面図。
【図５】ブスバーの配置状態を示す図。
【図６】照射モジュールの配置状態を示す図。
【図７】（ａ）（ｂ）紫外線照射装置から出射される紫外線の照射領域を説明するための模式図。
【符号の説明】
【００８３】
１…基板張合わせ装置、２…紫外線照射装置、２２ａ，２２ｂ…側板、２４…絶縁板、２５…連結板、２６…、３０…照射モジュール、３１…回路基板、３２…ボルト、３３…接続ネジ、３５…半球レンズ、３６…シルンドリカルレンズ、４０…保持部材、４１…収容溝、４２…貫通穴、４３…脱落防止板、４３ａ…弾性係止爪、Ｂ１…第１ブスバー、Ｂ２…第２ブスバー、Ｂ３…第３ブスバー、Ｂ４…第４ブスバー、ＣＮａ１…第１固定コネクタ、ＣＮａ２…第２固定コネクタ、ＣＮｂ１…第１装着コネクタ、ＣＮｂ２…第２装着コネクタ、Ｄ…紫外線発光ダイオード、Ｌａ…プラス側リード線、Ｌｂ…マイナス側リード線、Ｓ…シール材、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…電源電圧、Ｗ１…下基板、Ｗ２…上基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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