(57)【要約】【課題】  大画面液晶テレビ用のガラス基板リペア加工装置において、ステージの前後方向全長を増大させることなく、ガラス基板の大型化に対応すること。【解決手段】  矩形の載物面を有するステージと、ステージの載物面上にあって、リペア対象となるガラス基板を保持する機能を有するスライド機構付のホルダユニットと、ステージの上方にあって、載物面に向けてレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニットと、ステージの載物面に沿って、光学ユニットを前後方向及び左右方向へと走査する機能を有する光学ユニット走査機構とを包含する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の前後方向長及び左右方向幅を有する載物面を有するステージと、前記ステージの載物面上にあって、リペア対象となるガラス基板を保持する機能を有するホルダユニットと、前記ステージの上方にあって、載物面に向けてレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニットと、前記ステージの載物面に沿って、前記光学ユニットを前後方向及び左右方向へと走査する機能を有する光学ユニット走査機構とを包含し、
前記光学ユニット走査機構は、
前記載物面の左右両側縁部にあって、それぞれ所定の可動子を前後方向へと直動させる機能を有する左右の前後方向直動機構と、
前記左右の前後方向直動機構の可動子間に跨って架け渡され、かつ前記レーザ光学ユニットを支持する所定の可動子をステージの左右方向へと直動させることが可能な左右方向直動機構を有するガントリ部とが包含されており、さらに
前記ホルダユニットは、
前記載物面に固定されるホルダベースと、
所定の前後方向長及び左右方向幅を有し、リペア対象となるガラス基板が保持されるテーブル板と、
前記ホルダベースに対して前記テーブル板を前後方向へとスライドさせる機能を有する前後方向直動機構とを有し、かつ
前記テーブル板の前後方向長は、その前端位置が前記ステージの前端位置とほぼ一致するとき、その後端位置が前記レーザ光学ユニットの前後方向光軸ストロークの後端位置よりも、さらに、後方に位置するように定められている、ことを特徴とするガラス基板リペア装置。
【請求項２】
請求項１に記載のガラス基板リペア装置の運転方法であって、
テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したガラス基板受け渡し位置に達するまで、テーブル板を前後方向直動機構を介してステージの前方へとスライドさせて、加工対象となるガラス基板を受け取り、受け取ったガラス基板をテーブル板上に保持させる第１のステップと、
前記第１のステップにてガラス基板を受け取ったのち、テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したテーブル静止状態において、前記ガントリ部を所定の前後方向ストローク内において前方へスライドさせて、テーブル板上に保持されたガラス基板の後端位置から前方所定範囲内の領域をリペア加工する第２のステップと、
前記第２のステップに続いて、テーブル板の前端位置がステージの前端位置と一致するまで、テーブル板を前記前後方向直動機構を介してステージの後方へとスライドさせたのちのテーブル静止状態において、前記ガントリ部を所定の前後方向ストローク内において後方へスライドさせて、テーブル板上に保持されたガラス基板の前端位置から後方所定範囲内の領域をリペア加工する第３のステップと、
テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したガラス基板受け渡し位置に達するまで、テーブル板を前後方向直動機構を介してステージの前方へとスライドさせて、加工終了後のガラス基板を次工程へと受け渡す第４のステップとを包含する、ことを特徴とするガラス基板リペア装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルを構成するガラス基板上の欠陥箇所をレーザ照射によりリペア（修正）するガラス基板リペア装置に係り、特に、ガントリ型ＸＹステージを有するガラス基板リペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルを構成するガラス基板上の欠陥箇所をレーザ照射によりリペア（修正）するガラス基板リペア装置は、従来より知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ガントリ型ＸＹステージを使用したガラス基板リペア装置は、所定の前後方向長及び左右方向幅を有する載物面を有するステージと、ステージの載物面上にあって、リペア対象となるガラス基板を保持する機能を有するホルダユニットと、ステージの載物面の上方にあって、載物面に向けてレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニットと、ステージの載物面に沿って、光学ユニットを前後方向及び左右方向へと走査する機能を有する光学ユニット走査機構とを包含する。
【０００４】
上述の光学ユニット走査機構は、載物面の左右両側縁部にあって、それぞれ所定の可動子を前後方向へと直動させる機能を有する左右の前後方向直動機構と、左右の前後方向直動機構の可動子間に跨って架け渡され、かつ前記レーザ光学ユニットを支持する所定の可動子をステージの左右方向へと直動させることが可能な左右方向直動機構を有する門型架橋部材（以下、「ガントリ部」と称する）とを包含する。
【特許文献１】特開２００７−２０６６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
第５世代、第６世代、第７世代とガラス基板が大型化するのに比例して、ガントリ型ＸＹステージの前後方向の可動ストロークが長大化して、ガラス基板リペア装置の大型化が招来された。その結果、第７世代対応のガントリ部型ＸＹステージにおいては、通常の搬送を支障なく行うことができる限界寸法に迫る装置サイズとなり、第８世代対応の液晶リペア装置を従来と同じ構成で開発すると、最早、搬入・搬出・輸送ができる装置サイズを遙かに超えてしまうと言った問題が発生するに至った。
【０００６】
すなわち、従来のガントリ型ＸＹステージを使用するガラス基板リペア装置においては、ガントリ部の前後方向移動ストロークはステージの前後方向全長により制限されるものであったため、リペア対象となるガラス基板の大型化に対応するためには、ステージそれ自体の前後方向全長も増大させねばならず、その結果、搬入・搬出・輸送に際する問題が生ずるのである。
【０００７】
加えて、従来のガントリ部型ＸＹステージを使用するガラス基板リペア装置にあっては、ステージ上においてリペア加工に使用可能な領域は、レーザ光軸の前後方向移動ストロークの後端位置よりも前方に限られていたため、レーザ光軸の前後方向移動ストロークの後端位置よりも後方領域はリペア加工不能なデッドスペースとなってしまい、所望のガラス基板サイズに対応するためには、デッドスペース分だけ、ステージの前後方向全長を増大させねばならないと言う問題点もあった。
【０００８】
本発明は、上述の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、ステージの前後方向全長を増大させることなく、ガラス基板の大型化に対応することができ、それにより、搬入・搬出・輸送に際する問題を解消することができるガラス基板リペア装置を提供することにある。
【０００９】
また、この発明の他の目的とするところは、従来サイズのガラス基板であれば、前後方向全長のより短いステージで対応することができるガラス基板リペア装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の発明が解決しようとする課題は、以下の構成を有するガラス基板リペア装置によって解決することができるものと考えられる。
【００１１】
すなわち、このガラス基板のリペア装置は、所定の前後方向長及び左右方向幅を有する載物面を有するステージと、ステージの載物面上にあって、リペア対象となるガラス基板を保持する機能を有するホルダユニットと、ステージの上方にあって、載物面に向けてレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニットと、ステージの載物面に沿って、前記光学ユニットを前後方向及び左右方向へと走査する機能を有する光学ユニット走査機構とを包含している。
【００１２】
光学ユニット走査機構は、載物面の左右両側縁部にあって、それぞれ所定の可動子を前後方向へと直動させる機能を有する左右の前後方向直動機構と、左右の前後方向直動機構の可動子間に跨って架け渡され、かつレーザ光学ユニットを支持する所定の可動子をステージの左右方向へと直動させることが可能な左右方向直動機構を有するガントリ部とが包含されている。
【００１３】
さらに、ホルダユニットは、載物面に固定されるホルダベースと、所定の前後方向長及び左右方向幅を有し、リペア対象となるガラス基板が載置固定されるテーブル板と、ホルダベースに対してテーブル板を前後方向へとスライドさせる機能を有する前後方向直動機構とを有し、かつテーブル板の前後方向長は、その前端位置が前記ステージの前端位置とほぼ一致するとき、その後端位置が前記レーザ光学ユニットの前後方向光軸ストロークの後端位置よりも、さらに、後方に位置するように定められている。
【００１４】
このような構成によれば、テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したテーブル静止状態とすれば、ガントリ部を所定の前後方向ストローク内においてスライドさせることで、テーブル板上に保持されたガラス基板の後端位置から前方所定範囲内の領域をリペア加工することができる。
【００１５】
また、テーブル板の前端位置がステージの前端位置と一致するまで、テーブル板を前記前後方向直動機構を介してステージの後方へとスライドさせたのちの静止状態において、ガントリ部を所定の前後方向ストローク内においてスライドさせれば、テーブル板上に保持されたガラス基板の前端位置から後方所定範囲内の領域をリペア加工することができる。
【００１６】
一方、テーブル板の前端位置がステージの前端位置と一致するまで、テーブル板を前記前後方向直動機構を介してステージの後方へとスライドさせれば、装置全体の前後方向の全長は、ステージの前後方向全長そのものとなる。
【００１７】
そのため、本発明によれば、ステージの前後方向全長を増大させることなく、ガラス基板の大型化に対応することができ、それにより、搬入・搬出・輸送に際する問題を解消することができる。
【００１８】
加えて、本発明によれば、テーブル板の前後方向長は、その前端位置がステージの前端位置とほぼ一致するとき、その後端位置がレーザ光学ユニットの前後方向光軸ストロークの後端位置よりも、さらに、後方に位置するように定められていることから、従来問題とされたデッドスペースを活用することで、ステージの前後方向全長が従前と同じであっても、従来よりも前後方向全長が長いガラス基板に対応することができ、逆に、従来サイズのガラス基板であれば、前後方向長のより短いステージで対応することができる。
【００１９】
上述のガラス基板リペア装置は、次のような運転方法によれば、目的とするガラス基板を効率よくリペア加工することができる。
【００２０】
すなわち、このガラス基板リペア装置の運転方法は、第１〜第４のステップを包含している。
【００２１】
第１のステップは、テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したガラス基板受け渡し位置に達するまで、テーブル板を前後方向直動機構を介してステージの前方へとスライド移動させて、加工対象となるガラス基板を受け取り、受け取ったガラス基板をテーブル板上に保持させる。
【００２２】
第２のステップは、第１のステップにてガラス基板を受け取ったのち、テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したテーブル静止状態において、前記ガントリ部を所定の前後方向ストローク内においてスライドさながら、テーブル板上に保持されたガラス基板の後端位置から前方所定範囲内の領域をリペア加工する。
【００２３】
第３のステップは、第２のステップに続いて、テーブル板の前端位置がステージの前端位置と一致するまで、テーブル板を前記前後方向直動機構を介してステージの後方へとスライド移動させたのち静止させたテーブル静止状態において、ガントリ部を所定の前後方向ストローク内においてスライド移動させながら、テーブル板上に保持されたガラス基板の前端位置から後方所定範囲内の領域をリペア加工する。
【００２４】
第４のステップは、テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したガラス基板受け渡し位置に達するまで、テーブル板を前後方向直動機構を介してステージの前方へとスライドさせて、加工終了後のガラス基板を次工程へと受け渡す。
【００２５】
このような構成によれば、テーブル板の前後方向へのスライド動作とガントリ部の前後方向へのスライド動作とを無駄なく協調させることにより、目的とするガラス基板を効率よくリペア加工することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ステージの前後方向全長を増大させることなく、ガラス基板の大型化に対応することができ、それにより、搬入・搬出・輸送に際する問題を解消することができ、逆に、従来サイズのガラス基板であれば、前後方向長のより短いガントリ型ＸＹステージで対応することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に、本発明に係るガラス基板リペア装置並びに同装置の運転方法の好適な実施の一形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２８】
本発明が適用されたガラス基板リペア装置の外観を斜めから見た斜視図が図１に、同リペア装置のガントリ型ＸＹステージの外観を斜め前方から見た斜視図が図２に、同リペア装置のスライド機構付ホルダユニットの外観を斜め前方から見た斜視図が図３にそれぞれ示されている。
【００２９】
この実施形態のガラス基板リペア装置１（図１参照）は、大画面用液晶テレビのガラス基板（例えば、サイズが２５００ｍｍ×２２００ｍｍで、テレビ画面６個分が一括形成されたガラス基板）の欠陥箇所をレーザビーム照射によりリペアするものであって、ガントリ型ＸＹステージ２（詳細は、図２を参照して後述）とガントリ型ＸＹステージ上に装着されるスライド機構付ホルダユニット３（詳細は、図３を参照して後述）とから概略構成されている。
【００３０】
ガントリ型ＸＹステージ２は、図１に示されるように、所定の前後方向長及び左右方向幅を有する矩形の載物面２２ｄ（図２参照）を有するステージ２２と、ステージ２２の上方にあって、載物面２２ｄに向けてレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニット４と、ステージ２２の載物面２２ｄに沿って、光学ユニット４を前後方向及び左右方向へと走査する機能を有する光学ユニット走査機構２１とを包含している。
【００３１】
ステージ２２は、図２に示されるように、ステージ全体を支える９本の脚を有する架台２２ａと、９本の脚のそれぞれの位置に対応して設けられ、設置床からの振動を吸収する除振マウント２２ｂと、除振マウント２２ｂの上に載置される石定板２２ｃとから構成され、石定板２２ｃの上面が載物面２２ｄとされている。
【００３２】
光学ユニット走査機構２１は、図１に示されるように、ステージ２２の載物面２２ｄの左右両側縁部にあって、それぞれ所定の可動子２１１ｄ（詳細は図２参照）を前後方向へと直動させる機能を有する左右の前後方向直動機構２１１，２１１と、左右の前後方向直動機構２１１，２１１の可動子２１１ｄ，２１１ｄ間に跨って架け渡され、かつレーザ光学ユニット４を支持する所定の可動子２１２ｅ（詳細は図２参照）をステージ２２の左右方向へと直動させることが可能な左右方向直動機構を有するガントリ部２１２とが包含されている。
【００３３】
左右の前後方向直動機構２１１，２１１のそれぞれは、図２に示されるように、石定板２２ｃ上の左右の側縁部に固定されたガイドベース２１１ａと、ガイドベース２１１ａの上に配置された互いに平行な２本の直動ガイドレール２１１ｂ，２１１ｂと、ガイドベース２１１ａの外側面に配置されたリニアモータ固定子２１１ｃと、リニアモータ固定子２１１ｃと協働しかつガイドレール２１１ｂ，２１１ｂに案内されて直動するリニアモータ可動子２１１ｄと、ガイドレール２１１ｂ，２１１ｂの間に配置されてガントリ部２１２の前後方向（Ｙ方向）の位置を測定するためのリニアスケール２１１ｅとを含んで構成されている。
【００３４】
ガントリ部２１２は、左右のリニアモータ可動子２１１ｄ，２１１ｄと一体に固定された左右の支柱２１２ａ，２１２ａと、それらの支柱２１２ａ，２１２ａの間に跨って架け渡されたビーム２１２ｂと、ビーム２１２ｂの上に配置された互いに平行な３本のガイドレール２１２ｃと、上段に位置する２本のガイドレールの間に配置されたリニアモータ固定子２１２ｄと、リニアモータ固定子２１２ｄと協働しかつガイドレール２１２ｃに案内されて直動するリニアモータ可動子２１２ｅと、ビーム２１２ｂの前方側面に固定されてレーザ光学ユニット４の左右方向（Ｘ方向）の位置を測定するためのリニアスケール２１２ｆとを含んで構成されている。
【００３５】
そして、載物面２２ｄに向けて所定の光軸４２（図４参照）に沿ってレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニット４は、移動ベース４１を介してリニアモータ可動子２１２ｅに固定され、水平面内をＸ方向並びにＹ方向へと移動する。
【００３６】
一方、本発明の要部であるスライド機構付ホルダユニット３は、図３に示されるように、ステージ２２の石定板２２ｃ上に固定される左右のベース板３２，３２と、それらのベース板３２，３２上を前後方向（Ｙ方向）へとスライドするスライド部材３１とを含んで構成される。
【００３７】
スライド部材３１は、この例にあっては、加工対象となるガラス板（図示せず）を載置して保持するためのテーブル板３１ａと、左右の垂直な側面板３１ｂ，３１ｂとからなる断面コの字状の構造体である。なお、図示しないが、ガラス板の保持のためには、公知の保持機構（例えば、真空チャック機構、その他各種の自動クランプ機構）が採用される。
【００３８】
ベース板３２側には、スライド部材３１の左右の側面板３１ｂの下縁内面と当接する複数のガイド突部３２ａ，３２ａ・・・と、前後方向へと延出されたリニアモータ固定子３２ｂとが配置されており、スライド部材３１の側面板３１ｂ側には、リニアモータ固定子３２ｂと協働しかつガイド突部３２ａ，３２ａ・・・の配列に沿って直動するリニアモータ可動子３１ｃと、テーブル板３１ａの前後方向（Ｙ方向）の位置を測定するためのリニアスケール３１ｄとが配置されている。
【００３９】
そして、ホルダユニット３のスライド部材３１の前後方向全長は、図４〜図９に示されるように、その前端位置がステージ２２の前端位置とほぼ一致するとき、その後端位置がレーザ光学ユニット４の前後方向光軸ストロークＬの後端位置よりも、さらに、後方に位置するように定められている。
【００４０】
次に、以上の構成よりなるガラス基板リペア装置の運転方法について、図４〜図９の作用説明図、及び図１０のフローチャートを参照しながら説明する。
【００４１】
同リペア装置の作用説明図（ガントリ部待機位置）が図４に示されている。同図に示されるように、最初のステップでは、ガントリ部２１２はステージ２２の最後部に位置し、ホルダユニット３のスライド部材（すなわち、テーブル板３１ａ）３１はその前端位置がステージ２２の前端位置とほぼ一致した状態にある（ステップ１０１）。このとき、ホルダユニット３のスライド部材３１の後端位置は、光軸４２の前後方向移動ストロークの後端位置よりも、さらに、後方の領域に位置する。
【００４２】
この後方の領域（換言すれば、ガントリ部２１２の真下の領域）は、ホルダユニット３が前後方向へとスライドしない従来例にあっては、レーザ加工不能なデッドスペースとされていた。そのため、ステージ２２上においてリペア加工に使用可能な前後方向領域は、上述のデッドスペースを除いた残りの領域だけとなり、加工対象となるガラス基板の前後方向全長に対応するためには、デッドスペース分だけ、ステージの前後方向全長を増大させねばならなかった。
【００４３】
同リペア装置の作用説明図（ホルダユニット前進）が図５に示されている。同図に示されるように、次のステップでは、ガントリ部２１２はステージ２２の最後部に残したままで、ホルダユニット３のスライド部材３１の前端位置がステージ２２の前端位置よりも所定距離突出（矢印で示す）したガラス基板受け渡し位置に達するに至るまで、ホルダユニット３のスライド部材３１は、リニアモータ固定子３２ｂとリニアモータ可動子３１ｃとで構成されるリニアモータを介してステージ２２の前方へとスライド移動される（ステップ１０２）。そして、この状態において、図示しないガラス基板の自動ローダとの間において、加工対象となるガラス基板の受け取りが行われ、受け取ったガラス板はホルダユニット３のスライド部材３１のテーブル板３１ａ上に図示しない真空チャック機構等で自動的に固定されて保持される（ステップ１０３）。
【００４４】
同リペア装置の作用説明図（略後半分リペア加工）が図６に示されている。同図に示されるように、次のステップでは、ガラス基板を受け取ったのち、スライド部材３１の前端位置がステージ２２の前端位置よりも所定距離突出したテーブル静止状態において、ガントリ部２１２を所定の前後方向ストロークＬ内において前方へスライドさながら、スライド部材３１上に保持されたガラス基板の後端位置から前方所定範囲内の領域に関するリペア加工が行われる（ステップ１０４）。
【００４５】
同リペア装置の作用説明図（ホルダユニット後退）が図７に示されている。同図に示されるように、次のステップでは、ホルダユニット３のスライド部材３１の前端位置がステージの前端位置と一致するまで、スライド部材３１をリニアモータを介してステージの後方へとスライド移動（矢印で示す）させたのち静止させる（ステップ１０５）。
【００４６】
同リペア装置の作用説明図（略前半分リペア加工）が図８に示されている。同図に示されるように、次のステップでは、そのテーブル静止位置において、ガントリ部２１２を所定の前後方向ストロークＬ内において後方へスライドさながら、スライド部材３１上に保持されたガラス基板の前端位置から後方所定範囲内の領域に関するリペア加工が行われる（ステップ１０６）。
【００４７】
同リペア装置の作用説明図（基板送出及び待機位置復帰）が図９に示されている。同図に示されるように、次のステップでは、ガントリ部２１２をステージ２２上の最後部へとスライド移動（矢印で示す）させると共に、ホルダユニット３のスライド部材３１をその前端位置が所定の受け渡し位置に達するまで、スライド部材３１を前進（矢印で示す）させて静止させ、その静止状態において、リペア加工が完了したガラス基板を自動ローダへと受け渡す。以後、以上の動作（ステップ１０１〜１０６）を繰り返す。
【００４８】
上述の運転方法によれば、ガントリ部２１２及びスライド部材３１はそれぞれ前後方向へと１往復するだけであるから、スライド部材３１の前後方向へのスライド動作とガントリ部２１２の前後方向へのスライド動作とを無駄なく協調させることにより、目的とするガラス基板を効率よくリペア加工することができる。
【００４９】
また、上述のガラス基板リペア装置によれば、ホルダユニット３のスライド部材３１を後退させた状態では、その前端位置はステージ２２の前端位置内に収まるため、搬入・搬出・輸送に際する問題を解消することができる。
【００５０】
加えて、従来にあっては、加工対象となるガラス基板を侵入させることができなかったデッドスペースにも、ガラス基板を侵入させることができるため、逆に、従来サイズのガラス基板であれば、従来よりも前後方向長のより短いステージで対応することも可能となる。
【００５１】
なお、以上の実施形態においては、大画面液晶ディスプレイのガラス基板リペアに本発明を適用したが、大画面プラズマディスプレイ等の他の形式のガラス基板リペアにも本発明は広く適用が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明によれば、大画面液晶テレビ用のガラス基板リペア加工装置において、ガントリ部型ＸＹステージの前後方向全長を増大させることなく、ガラス基板の大型化に対応することができ、それにより、搬入・搬出・輸送に際する問題を解消することができ、逆に、従来サイズのガラス基板であれば、前後方向長のより短いガントリ部型ＸＹステージで対応することが可能となる。より具体的には、大画面液晶ディスプレイ用のガラス基板に適用した場合、第８世代機にあっても、第７世代機とほぼ同等にまでサイズをコンパクト化し、また装置重量も軽量化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明が適用されたガラス基板リペア装置の外観を斜め前方から見た斜視図である。
【図２】同リペア装置のガントリ部型ＸＹステージの外観を斜め前方から見た斜視図である。
【図３】同リペア装置のスライド機構付ホルダユニットの外観を斜め前方から見た斜視図である。
【図４】同リペア装置の作用説明図（ガントリ部待機位置）である。
【図５】同リペア装置の作用説明図（ホルダユニット前進）である。
【図６】同リペア装置の作用説明図（略後半分リペア加工）である。
【図７】同リペア装置の作用説明図（ホルダユニット後退）である。
【図８】同リペア装置の作用説明図（略前半分リペア加工）である。
【図９】同リペア装置の作用説明図（基板送出及び待機位置復帰）である。
【図１０】同リペア装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５４】
１          ガラス基板リペア装置
２          ガントリ型ＸＹステージ
３          スライド機能付ホルダユニット
４          レーザ光学ユニット
２１      光学ユニット走査機構
２２      ステージ
２２ａ    架台
２２ｂ    除振マウント
２２ｃ    石定板
２２ｄ    載物面
３１      スライド部材
３１ａ    テーブル板
３１ｂ    側面板
３１ｃ    リニアモータ可動子
３１ｄ    リニアスケール
３２      ベース板
３２ａ    リニアガイド突部
３２ｂ    リニアモータ固定子
４１      移動ベース
４２      光軸
２１１    前後方向直動機構
２１１ａ  ガイドベース
２１１ｂ  直動ガイドレール
２１１ｃ  リニアモータ固定子
２１１ｄ  リニアモータ可動子
２１１ｅ  リニアスケール
２１２    ガントリ部
２１２ａ  支柱
２１２ｂ  ビーム
２１２ｃ  直動ガイドレール
２１２ｄ  リニアモータ固定子
２１２ｅ  リニアモータ可動子
２１２ｆ  リニアスケール
Ｌ        光軸の前後方向移動ストローク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010066691.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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