(57)【要約】【課題】梱包状態にある電子部品の外観を検査するに当たって、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止する。【解決手段】撮像過程では、透光性を有するカバーテープＰ２を通して端子Ｔを含む電子部品Ｄの濃淡画像を撮像する。その後、補正値算出過程では、各端子Ｔごとに端子Ｔ周辺の背景領域に周辺ウィンドウＷを設定して周辺ウィンドウＷ内の平均濃淡値を検出し、各端子Ｔごとに、周辺ウィンドウＷの平均濃淡値と基準値との差分値を補正値として算出する。補正過程においては、濃淡画像における各端子Ｔの濃淡値をそれぞれ前記補正値の分だけ高くなるように補正する。しかして、第１検出過程では、補正後の端子Ｔの平均濃淡値に基づいて端子Ｔの厚み方向の曲がりを検出することにより、影Ｎの影響を受けることなく端子Ｔの曲がりを検出することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本の端子を有し、少なくとも一表面側が透光性を有する梱包材で覆われた状態にある表面実装型の電子部品の外観を検査する外観検査方法であって、前記一表面側から電子部品を落射照明からなる照明装置にて照明した状態で、端子を含む電子部品の画像を撮像装置にて前記一表面側から梱包材を通して撮像し、端子周辺よりも各端子で高くなる濃淡値を画素値とする濃淡画像を得る撮像過程を含み、撮像過程で得られた濃淡画像から画像処理装置にて端子の曲がりを検出するものであって、前記濃淡画像から各端子の領域をそれぞれ抽出した後、各端子ごとに端子周辺の背景領域に端子の周縁から所定幅の周辺ウィンドウを設定するウィンドウ設定過程と、各端子ごとに前記周辺ウィンドウの濃淡値の代表値を検出し、当該代表値と既定の基準値との差分を補正値として算出する補正値算出過程と、前記濃淡画像における各端子の濃淡値をそれぞれ補正値算出過程で得られた補正値の分だけ高くなるように補正する補正過程と、補正後の端子の濃淡値に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する第１検出過程とを有することを特徴とする外観検査方法。
【請求項２】
前記撮像過程で得られた前記濃淡画像において１本の前記端子の領域内で濃淡値に既定値以上の差異がある場合、当該端子については、前記補正過程による補正前における当該端子の領域の中で最も高い濃淡値に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する第２検出過程を有することを特徴とする請求項１記載の外観検査方法。
【請求項３】
前記撮像過程で得られた前記濃淡画像において、前記端子の領域の濃淡値の平均が第１閾値以上で且つ当該端子周辺に設定される前記周辺ウィンドウの濃淡値の平均が第２閾値以下のとき、当該端子については、前記補正過程による補正前の当該端子の領域の濃淡値の平均に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する第３検出過程を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の外観検査方法。
【請求項４】
複数本の端子を有し、少なくとも一表面側が透光性を有する梱包材で覆われた状態にある表面実装型の電子部品の外観を検査する外観検査装置であって、前記一表面側から電子部品を照明する落射照明からなる照明装置と、端子を含む電子部品の画像を前記一表面側から梱包材を通して撮像し濃淡画像を得る撮像装置と、撮像装置で得られた濃淡画像から端子の曲がりを検出する画像処理装置とを備え、画像処理装置は、前記濃淡画像から各端子の領域をそれぞれ抽出した後、各端子ごとに端子周辺の背景領域に端子の周縁から所定幅の周辺ウィンドウを設定するウィンドウ設定手段と、各端子ごとに前記周辺ウィンドウの濃淡値の代表値を検出し、当該代表値と既定の基準値との差分を補正値として算出する補正値算出手段と、前記濃淡画像における各端子の濃淡値をそれぞれ補正値算出過程で得られた補正値の分だけ高くなるように補正する補正手段と、補正後の端子の濃淡値に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する検出手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数本の端子を有し、少なくとも一表面側が透光性を有する梱包材で覆われた状態にある表面実装型の電子部品の外観を検査する外観検査方法および外観検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数本の端子を有する表面実装型の電子部品においては、プリント基板への実装時に端子の厚み方向の曲がり等に起因して端子がプリント基板から浮き上がった状態になっていると半田付け不良が発生するので、その対策として、端子の厚み方向の曲がり等を検出する外観検査が行われている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
この種の外観検査方法として、図９に示すように、端子Ｔを含む電子部品Ｄの画像を電子部品Ｄの一表面側から撮像し、撮像した画像から得られる濃淡画像における端子Ｔ部分の濃淡値の変化（つまり端子Ｔでの反射光強度の変化）を検出することにより、端子Ｔの厚み方向の曲がりを検出するものが考えられている。すなわち、曲がっている端子Ｔは表面が傾斜することで照明光の反射方向が他の端子Ｔと相違するので、図１０に例示する濃淡画像のように、濃淡値に基づいて、曲がっている端子Ｔと曲がっていない端子Ｔとを判別することが可能である（図１０では、右から３番目の端子Ｔの斜線部分が曲がっている）。
【０００４】
ところで、近年、プリント基板への電子部品の実装を自動化する自動実装機が多く用いられており、この自動実装機に電子部品を自動的に供給するために、電子部品を複数の凹所が列設されたエンボスキャリアテープの凹所内に収納した状態で使用することがある。通常、エンボスキャリアテープには凹所を塞ぐ形でカバーテープが貼り付けられるので、電子部品はエンボスキャリアテープとカバーテープとで梱包された状態となる。
【０００５】
このような梱包状態にある電子部品の外観検査方法としては、透明なカバーテープを通して電子部品を撮像し、得られた画像から電子部品の外観形状の良否を判断するものが一般的である（たとえば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平６−３１３７０６号公報
【特許文献２】特開２００７−９３２５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ただし、梱包状態にある電子部品の外観を検査する場合、梱包材（たとえば上記カバーテープ）を通して撮像される電子部品の画像には、梱包材の歪み等に起因して影（ノイズ）が映り込むことがある。この影が端子に重なっていると、濃淡画像における端子の濃淡値が前記影によって変化するため、上述したように濃淡画像の濃淡値から端子の曲がりを検出する外観検査方法では、実際には曲がっていない端子が曲がっていると判断されたり、実際には曲がっている端子が曲がっていないと判断されたりする可能性があり、端子曲がりの検出精度が低下するという問題がある。
【０００７】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであって、梱包状態にある電子部品の外観を検査するに当たって、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止した外観検査方法および外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、複数本の端子を有し、少なくとも一表面側が透光性を有する梱包材で覆われた状態にある表面実装型の電子部品の外観を検査する外観検査方法であって、前記一表面側から電子部品を落射照明からなる照明装置にて照明した状態で、端子を含む電子部品の画像を撮像装置にて前記一表面側から梱包材を通して撮像し、端子周辺よりも各端子で高くなる濃淡値を画素値とする濃淡画像を得る撮像過程を含み、撮像過程で得られた濃淡画像から画像処理装置にて端子の曲がりを検出するものであって、前記濃淡画像から各端子の領域をそれぞれ抽出した後、各端子ごとに端子周辺の背景領域に端子の周縁から所定幅の周辺ウィンドウを設定するウィンドウ設定過程と、各端子ごとに前記周辺ウィンドウの濃淡値の代表値を検出し、当該代表値と既定の基準値との差分を補正値として算出する補正値算出過程と、前記濃淡画像における各端子の濃淡値をそれぞれ補正値算出過程で得られた補正値の分だけ高くなるように補正する補正過程と、補正後の端子の濃淡値に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する第１検出過程とを有することを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、補正値算出過程において、撮像過程で得られた濃淡画像から各端子ごとに端子周辺に設定される周辺ウィンドウの濃淡値を検出し、当該濃淡値と既定の基準値との差分を補正値として算出し、補正過程において、前記補正値を用いて濃淡画像における各端子の濃淡値をそれぞれ補正しているから、濃淡画像に梱包材の歪み等に起因して影が映り込んでいたとしても、補正後の端子の濃淡値においては前記影によって変化が生じることはない。すなわち、影と重なっている端子については、端子周辺の濃淡値に応じて影による濃淡値変化を差し引く補正が為されるため、第１検出過程においては、影の影響を受けることなく濃淡画像における端子の濃淡値に基づいて端子の曲がりを検出することができ、結果的に、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止できるという利点がある。なお、ここでいう周辺ウィンドウの濃淡値の代表値は、周辺ウィンドウの濃淡値の平均値や中間値や最頻値などを含む。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記撮像過程で得られた前記濃淡画像において１本の前記端子の領域内で濃淡値に既定値以上の差異がある場合、当該端子については、前記補正過程による補正前における当該端子の領域の中で最も高い濃淡値に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する第２検出過程を有することを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、濃淡画像において梱包材の歪み等に起因して生じた影が端子の一部にのみ重なっている場合、当該端子については、第２検出過程により、端子のうち影が重なっていない部位の濃淡値に基づいて端子の曲がりを検出することとなるので、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止できる。また、第２検出過程で端子の曲がりを検出する場合、第１検出過程において補正後の濃淡値に基づいて端子の曲がりを検出する場合に比べて、検査速度の向上を図ることができる。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明において、前記撮像過程で得られた前記濃淡画像において、前記端子の領域の濃淡値の平均が第１閾値以上で且つ当該端子周辺に設定される前記周辺ウィンドウの濃淡値の平均が第２閾値以下のとき、当該端子については、前記補正過程による補正前の当該端子の領域の濃淡値の平均に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する第３検出過程を有することを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、濃淡画像において梱包材の歪み等に起因して生じた影が、端子の周辺に設定される周辺ウィンドウのみに重なっており端子自体には重なっていない場合、当該端子については、第３検出過程により、補正過程による補正前の端子の濃淡値の平均に基づいて端子の曲がりを検出するので、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止できる。また、第１検出過程において補正後の濃淡値に基づいて端子の曲がりを検出する場合に比べて、検査速度の向上を図ることができる。
【００１４】
請求項４の発明は、複数本の端子を有し、少なくとも一表面側が透光性を有する梱包材で覆われた状態にある表面実装型の電子部品の外観を検査する外観検査装置であって、前記一表面側から電子部品を照明する落射照明からなる照明装置と、端子を含む電子部品の画像を前記一表面側から梱包材を通して撮像し濃淡画像を得る撮像装置と、撮像装置で得られた濃淡画像から端子の曲がりを検出する画像処理装置とを備え、画像処理装置が、前記濃淡画像から各端子の領域をそれぞれ抽出した後、各端子ごとに端子周辺の背景領域に端子の周縁から所定幅の周辺ウィンドウを設定するウィンドウ設定手段と、各端子ごとに前記周辺ウィンドウの濃淡値の代表値を検出し、当該代表値と既定の基準値との差分を補正値として算出する補正値算出手段と、前記濃淡画像における各端子の濃淡値をそれぞれ補正値算出過程で得られた補正値の分だけ高くなるように補正する補正手段と、補正後の端子の濃淡値に基づいて端子の厚み方向の曲がりを検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、第１検出手段においては、影の影響を受けることなく濃淡画像における端子の濃淡値に基づいて端子の曲がりを検出することができ、結果的に、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止できるという利点がある。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、濃淡画像に梱包材の歪み等に起因して影が映り込んでいたとしても、濃淡画像のうち影と重なっている端子については、当該端子周辺の濃淡値に応じて影による濃淡値変化を差し引く補正が為されるため、補正後の濃淡値に基づいて端子の曲がりを検出することにより、梱包材の生じる影によって端子の曲がりの検出精度が低下することを防止できるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施形態１）
本実施形態の外観検査装置は、複数本の端子を有し、少なくとも一表面側が透光性を有する梱包材にて覆われた状態にある表面実装型の電子部品を対象とし、この電子部品の外観を検査するものである。ここでは、一例として、図２に示すようにエンボスキャリアテープＰ１とカバーテープＰ２とで梱包された状態の電子部品Ｄを対象とするが、その他の梱包材で梱包された状態の電子部品Ｄを対象としてもよい。
【００１８】
ここに、エンボスキャリアテープＰ１は、一面側に複数の凹所が列設されており、各凹所内にそれぞれ電子部品Ｄを収納し、カバーテープＰ２は、エンボスキャリアテープＰ１の前記一面側に凹所を塞ぐ形で貼り付けられる。以下では、図２の上下を上下とし、電子部品Ｄの上面側を覆う梱包材たるカバーテープＰ２が透光性を有するものとして説明する。
【００１９】
外観検査装置は、図２に示すように、電子部品Ｄの上方に設置され上面側から電子部品Ｄを照明する落射照明からなる照明装置（図示せず）と、電子部品Ｄの上方に設置されカバーテープＰ２を通して電子部品Ｄの画像を撮像して濃淡画像を得るカメラ（撮像装置）１と、カメラ１で得られた濃淡画像を用いて電子部品Ｄの外観検査を行う画像処理装置２とを備えている。なお、ここでいう濃淡画像は、反射光の強度が高い部位（白く映る部位）ほど高くなる濃淡値を画素値とする画像である。つまり、濃淡画像において端子Ｔとその周辺（背景）とでは、端子Ｔ部分の方が濃淡値は高くなる。
【００２０】
照明装置は、たとえば中央部に円形開口の開口部を有する円環状に形成されたリング照明であって、その下面から下方に光を照射する。ここでは、電子部品Ｄが端子Ｔ部分を中心に照明されるように、開口部の中心が端子Ｔ部分を通る形で位置決めされる。
【００２１】
カメラ１は、照明装置の更に上方に配置され、照明装置の開口部を通して電子部品Ｄを撮像するように、照明装置との位置関係が設定されている。ここで、本実施形態の外観検査装置は、電子部品Ｄにおける端子Ｔの厚み方向（図２の上下方向）の曲がりを検出するためのものであって、カメラ１は、視野の中心に端子Ｔが位置するように位置決めされている。
【００２２】
ところで、本実施形態では、カメラ１と電子部品Ｄとの間に位置するカバーテープＰ２を透明にすることにより、カバーテープＰ２を通して電子部品Ｄを撮像可能としているものの、カバーテープＰ２表面の歪み等によって部分的に光の透過率が変化すると、濃淡画像の一部に影（ノイズ）が発生することがある。この影Ｎ（図１（ａ）参照）が電子部品Ｄの端子Ｔに重なっていると、濃淡画像における端子Ｔの濃淡値が前記影Ｎによって変化するため、濃淡画像の濃淡値から端子Ｔの曲がりを検出する際に、実際には曲がっていない端子Ｔが曲がっていると判断されたり、実際には曲がっている端子Ｔが曲がっていないと判断されたりする可能性がある。
【００２３】
この問題を解決するため、本実施形態では画像処理装置２に、カメラ１で得られた濃淡画像について各端子Ｔごとに平均濃淡値（濃淡値の平均）をそれぞれ検出する端子濃淡値検出手段２１と、各端子Ｔごとに端子Ｔ周辺に周辺ウィンドウＷ（図１（ｃ）参照）を設定するウィンドウ設定手段２２と、周辺ウィンドウＷ内の平均濃淡値を検出する周辺濃淡値検出手段２３と、周辺ウィンドウＷ内の平均濃淡値と既定の基準値との差分を補正値として算出する補正値算出手段２４と、補正値算出手段２４で得られた補正値を用いて濃淡画像における各端子Ｔの平均濃淡値をそれぞれ補正する補正手段２５と、補正後の平均濃淡値に基づいて端子Ｔの曲がりを検出する検出手段２６とを備えている。
【００２４】
以下、上記構成の外観検査装置を用いた電子部品Ｄの外観検査方法について図３に示すフローチャートを参照して説明する。ここでは、図１に示すように、パッケージの一側面から８本の端子Ｔが突出する構成の電子部品Ｄを一例として、電子部品Ｄの各端子Ｔには図中左端から順に「１」〜「８」の端子番号（Ｎｏ）がそれぞれ割り当てられており、濃淡画像においては、カバーテープＰ２の歪み等によって一部の端子（端子番号「４」〜「６」の端子）Ｔに重なる形で影Ｎが生じているものとして説明する。
【００２５】
まず、カメラ１で電子部品Ｄの画像を撮像する撮像過程（Ｓ１）により、図１（ａ）に示すような濃淡画像を得る。
【００２６】
端子濃淡値検出手段２１では、図１（ｂ）に示すように各端子Ｔごとに濃淡画像における端子Ｔ部分のエッジを抽出し、当該エッジで囲まれた端子Ｔ上面について平均濃淡値を検出する（Ｓ２）。ここで、エッジの抽出にはｓｏｂｅｌフィルタをベースとした微分方向化処理を用いるものとし、端子Ｔ上面の４辺のうち１辺でもエッジが検出できない場合には端子Ｔ曲がりと判断する。ただし、１辺の全長に亘ってエッジが検出される必要はなく、所定長さ以上のエッジが検出されれば当該１辺についてエッジが検出されたものとする。
【００２７】
周辺濃淡値検出手段２３は、図１（ｃ）に示すように、各端子Ｔごとに端子Ｔ部分の周辺の背景領域に当該端子Ｔの周縁（エッジ）から所定幅の周辺ウィンドウＷを設定し（ウィンドウ設定過程Ｓ３）、周辺ウィンドウＷ内の平均濃淡値を検出する（Ｓ４）。ウィンドウ設定過程では、各端子Ｔの周辺に前記エッジよりも一回り大きい外枠を想定し、当該外枠とエッジとの間の背景領域（図１（ｃ）の斜線部）を周辺ウィンドウＷとする。ここに、隣り合う端子Ｔ間で周辺ウィンドウＷ同士が重なることがないように、エッジから外枠までの距離は、隣り合う端子Ｔの離間距離の２分の１よりも小さい値とする。なお、周辺ウィンドウＷは、各端子Ｔごとに電子部品Ｄのパッケージ部分との境界を除く端子Ｔの全周縁に亘って設定される。
【００２８】
次に、補正値算出手段２４では、各端子Ｔごとに、周辺ウィンドウＷの平均濃淡値と基準値との差分値を算出し、当該差分値を補正値とする（補正値算出過程Ｓ５）。ここに、補正値算出手段２４において周辺ウィンドウＷ内の平均濃淡値と比較される基準値は、カバーテープＰ２に歪み等がない状態における端子Ｔ周辺部（周辺ウィンドウＷ）の平均濃淡値であって、全ての端子Ｔについて同じ値が予め設定されている。ここでは、カバーテープＰ２の歪み等によって端子番号「４」〜「６」の端子Ｔに重なる形で影Ｎが生じているので、図４に示すように、端子番号「４」〜「６」の端子Ｔの周辺ウィンドウＷにおいてのみ前記影Ｎの影響で平均濃淡値が基準値を下回ることとなり、前記影Ｎの影響による周辺ウィンドウＷの平均濃淡値の変化分（平均濃淡値と基準値との差分）が、補正値算出過程２３にて補正値として算出されることとなる。なお、図４では各端子Ｔの周辺ウィンドウＷの平均濃淡値を棒グラフで表している。
【００２９】
その後、補正手段２５において、濃淡画像における各端子Ｔの濃淡値をそれぞれ前記補正値の分だけ高くなるように補正する（補正過程Ｓ６）。そのため、補正過程での補正後の各端子Ｔの平均濃淡値は、各々の周辺で検出された影Ｎの影響による平均濃淡値の変化分を差し引いた値となる。言い換えれば、濃淡画像において、カバーテープＰ２の歪み等によって生じた影Ｎが一部の端子Ｔと重なっている場合、影Ｎの重なっている端子Ｔについては、当該影Ｎによる濃淡値の変化分が補正され、影Ｎの影響がないものと同等の濃淡値が得られることとなる。
【００３０】
したがって、検出手段２６では、第１検出過程（Ｓ７）において補正後の端子Ｔの平均濃淡値に基づいて端子Ｔの曲がりを検出することにより、影Ｎの影響を受けることなく端子Ｔの曲がりを検出することができる。このとき、端子Ｔが厚み方向に曲がっている場合には、当該端子Ｔの上面がカメラ１の光軸に対して傾斜するから、他の端子Ｔに比べてカメラ１に向けて正反射される照明光の強度が低下し、濃淡画像における当該端子Ｔの濃淡値が変化（低下）する。しかして、補正後の平均濃淡値の低下が所定の閾値を下回る端子Ｔを曲がっているものと判断する。
【００３１】
以上説明した外観検査方法によれば、たとえカバーテープＰ２の歪みによって電子部品Ｄの濃淡画像に影Ｎが映り込むようなことがあっても、当該影Ｎの影響を受けることなく端子Ｔの曲がりを検出することができるので、梱包状態にある電子部品Ｄの外観を検査するに当たり、梱包材に起因して生じる影Ｎの影響で端子Ｔ曲がりの検出精度が低下することはない。
【００３２】
なお、補正値を算出するために用いる値は、上述したように周辺ウィンドウＷの平均濃淡値（濃淡値の平均）に限るものではなく、周辺ウィンドウＷの濃淡値から抽出される代表値であればよく、たとえば周辺ウィンドウＷ内の濃淡値の中間値や最頻値などであってもよい。
【００３３】
（実施形態２）
本実施形態の外観検査装置を用いた電子部品Ｄの外観検査方法は、図５に示すように、各端子Ｔごとに濃淡画像における端子Ｔ部分のエッジを抽出した（Ｓ２’）後、１本の端子Ｔ内で濃淡値に既定値以上の差異があるか否かを判断する第１判断過程（Ｓ１０）を有する点が実施形態１と相違する。
【００３４】
ここで、第１判断過程において、１本の端子Ｔ内で濃淡値に既定値以上の差異がないと判断されれば（Ｓ１０：Ｎｏ）、周辺ウィンドウＷを設定する過程（Ｓ３）に移行しステップＳ３以降は実施形態１と同様の処理がなされるが、前記差異があると判断されれば（Ｓ１０：Ｙｅｓ）、当該端子Ｔについては、補正過程（Ｓ６）による補正前の当該端子Ｔの中で最も高い濃淡値に基づいて端子Ｔの曲がりを検出する第２検出過程（Ｓ１１）に移行する。
【００３５】
すなわち、図６（ａ）に示すように１本の端子Ｔの一部にのみ影Ｎが重なっているような場合、この端子Ｔについては、影Ｎが影響しない部位の濃淡値を用いることで端子Ｔ曲がりを検出することが可能である。この場合、濃淡画像においては、図６（ｂ）のように１本の端子Ｔについて影Ｎが影響していない領域Ａ１と、影Ｎが重なっている領域Ａ２とで濃淡値が異なることとなる。したがって、前記既定値を影Ｎの影響で生じる濃淡値の変化分よりも小さく設定し、両領域Ａ１，Ａ２間に生じる濃淡値の差異を判断過程にて検出することにより、当該端子Ｔについては、第２検出過程において影Ｎが影響していない領域Ａ１の濃淡値に基づき端子Ｔの曲がりを検出することができる。
【００３６】
上記構成によれば、１本の端子Ｔの一部にのみ影Ｎが重なっているような場合には、この端子Ｔについては周辺ウィンドウＷの設定（Ｓ３）から補正過程（Ｓ６）までの処理が不要となり、端子Ｔ曲がりの検査のための処理の高速化を図ることができるという利点がある。
【００３７】
なお、その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【００３８】
（実施形態３）
本実施形態の外観検査装置を用いた電子部品Ｄの外観検査方法は、図７に示すように、各端子Ｔごとに周辺ウィンドウＷを設定した（Ｓ３）後、各端子Ｔについて、端子Ｔ自体の平均濃淡値の第１閾値以上で且つ周辺ウィンドウＷの平均濃淡値が第２閾値以下であるか否かを判断する第２判断過程（Ｓ２０）を有する点が実施形態１と相違する。ここで、第１閾値は、カバーテープＰ２に歪み等がない状態における正常な（端子曲がりの生じていない）端子Ｔの平均濃淡値よりもやや低く設定され、第２閾値は、第１閾値よりも低く、且つカバーテープＰ２に歪み等がない状態における端子Ｔ周辺部（周辺ウィンドウＷ）の平均濃淡値よりもやや低く設定されている。
【００３９】
第２判断過程において、端子Ｔ自体の平均濃淡値が第１閾値以上で且つ周辺ウィンドウＷの平均濃淡値が第２閾値以下ではないと判断されれば（Ｓ２０：Ｎｏ）、周辺ウィンドウＷの平均濃淡値を算出する過程（Ｓ４）に移行しステップＳ４以降は実施形態１と同様の処理がなされるが、端子Ｔ自体の平均濃淡値の第１閾値以上で且つ周辺ウィンドウＷの平均濃淡値が第２閾値以下であると判断されれば（Ｓ２０：Ｙｅｓ）、当該端子Ｔについては、補正過程（Ｓ６）による補正前の当該端子Ｔの平均濃淡値に基づいて端子Ｔの曲がりを検出する第３検出過程（Ｓ２１）に移行する。
【００４０】
すなわち、図８に示すように端子Ｔ自体には影Ｎの影響はなく当該端子Ｔの周辺ウィンドウＷにのみ影Ｎが重なっている場合、この端子Ｔについては、平均濃淡値の補正を行うことなく端子Ｔ曲がりを検出することが可能である。要するに、端子Ｔ自体の平均濃淡値が第１閾値以上であることから端子Ｔ自体には影Ｎが重なっていないと判断され、また、周辺ウィンドウＷの平均濃淡値が第２閾値以下であることから周辺ウィンドウＷにのみ影Ｎが重なっていると判断された場合、当該端子Ｔについては、影Ｎが影響していない端子Ｔ自体の平均濃淡値に基づいて端子Ｔの曲がりを検出することができる。
【００４１】
上記構成によれば、端子Ｔの周辺ウィンドウＷにのみ影Ｎが重なっている場合には、この端子Ｔについては周辺ウィンドウＷの平均濃淡値の算出（Ｓ４）から補正過程（Ｓ６）までの処理が不要となり、端子Ｔ曲がりの検査のための処理の高速化を図ることができるという利点がある。
【００４２】
なお、本実施形態の第２判断過程並びに第３検出過程を、実施形態２に示した外観検査方法に適用してもよく、この場合、更なる処理の高速化を図ることができる。その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態１の外観検査装置を用いた外観検査方法を示す概略説明図である。
【図２】同上の外観検査装置の構成を示す概略図である。
【図３】同上の外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】同上の周辺ウィンドウの平均濃淡値を示すグラフである。
【図５】本発明の実施形態２の外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】同上の濃淡画像の要部を示す概略図である。
【図７】本発明の実施形態３の外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図８】同上の濃淡画像の要部を示す概略図である。
【図９】従来例を示す概略図である。
【図１０】同上の濃淡画像を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  カメラ（撮像装置）
２  画像処理装置
２２  ウィンドウ設定手段
２４  補正値算出手段
２５  補正手段
２６  検出手段
Ｄ  電子部品
Ｎ  影
Ｐ２  カバーテープ
Ｔ  端子
Ｗ  周辺ウィンドウ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010054249.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010054249.tif 000007
【図６】
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【図７】
2010054249.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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