(57)【要約】【課題】  ６０以上の比誘電率を維持しつつ、高い品質係数Ｑ値と０に近い安定した温度特性（τｆ）の得られる結晶形態と添加物量としたＢａＯ−Ｎｄ２Ｏ３−ＴｉＯ２系誘電体セラミックスおよび共振器を提供すること。【解決手段】  Ｂａ，ＮｄおよびＴｉを含有し、組成式をαＢａＯ・βＮｄ２Ｏ３・γＴｉＯ２と表したとき、モル比α、βおよびγが、１３．０≦α≦１８．５、１０．５≦β≦１８．０,６６．０≦γ≦７３．５を満足し、かつアルミニウムを酸化物換算で１．１質量％以上５質量％以下、マンガンを酸化物換算で０．５質量％以下（０質量％を除く）含むことを特徴とする誘電体セラミックスとし、この誘電体セラミックスを誘電体材料として用いた誘電体共振器とする。【選択図】  図１
2010235336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂａ，ＮｄおよびＴｉを含有し、組成式を
αＢａＯ・βＮｄ２Ｏ３・γＴｉＯ２
と表したとき、α、βおよびγが
１３．０≦α≦１８．５  
１０．５≦β≦１８．０  
６６．０≦γ≦７３．５  
α＋β＋γ＝１００  
を満足し、かつアルミニウムを酸化物換算で１．１質量％以上５質量％以下、マンガンを酸化物換算で０．５質量％以下（０質量％を除く）含むことを特徴とする誘電体セラミックス。
【請求項２】
Ｂａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４の結晶を有することを特徴とする請求項１に記載の誘電体セラミックス。
【請求項３】
前記結晶が、Ｘ線回折チャートからリートベルト法によって算出される格子定数ａ、ｂおよびｃ（単位Å）が下記式を満足することを特徴とする請求項２に記載の誘電体セラミックス。
２２．３０≦ａ≦２２．３４  
７．６７≦ｂ≦７．７０  
１２．１６≦ｃ≦１２．１９  
【請求項４】
Ｘ線回折チャートの２θが２８．１°〜２８．３°の範囲内にあるＢａ１．２３Ａｌ２．４６Ｔｉ５．５Ｏ１６結晶の最大ピークのピーク強度をＩＡとし、２θ＝３１．５°〜３１．７°の範囲内にあるＢａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４結晶の最大ピークのピーク強度をＩＣとしたとき、ピーク強度比ＩＡ／ＩＣの値が０．１５以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の誘電体セラミックス。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の誘電体セラミックスを誘電体として用いたことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項６】
入出力端子と、請求項１乃至４のいずれかに記載の誘電体セラミックスを用いた誘電体とを備えたことを特徴とする誘電体共振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波、ミリ波等を含む高周波領域において、高い比誘電率εｒ（真空の誘電率εｏとの比）および共振の先鋭度（品質係数）Ｑ値を有する誘電体セラミックスおよび共振器に関する。例えば、上記高周波領域において使用される種々の共振器用材料、ＭＩＣ（Monolithic ＩＣ）用誘電体基板材料、誘電体導波路用材料または積層型セラミックコンデンサの誘電体材料等に使用される誘電体セラミックス、およびこれを用いた誘電体共振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の携帯電話、パソコン等のモバイル通信市場の急速な技術の進展に伴い、部品および材料に要求される特性も益々厳しくなってきている。一般に、コンデンサなどに使用される誘電体材料には、高い誘電率が要求されることはもちろんであるが、誘電損失が小さく、なお且つ温度係数が良好であるなど諸条件を同時に満足する必要がある。最近では、使用機能の多様化により使用周波数もより高周波帯へシフトし、特に高周波領域（８００ＭＨｚ〜２ＧＨｚ）での誘電特性が要求されるようになっている。
【０００３】
そこで、例えば比誘電率が６０以上を示す誘電体セラミックスとして、ＢａＯ−Ｎｄ２Ｏ３−ＴｉＯ２系の誘電体セラミックスが示されている（下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１０３８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のＢａＯ−Ｎｄ２Ｏ３−ＴｉＯ２系の誘電体セラミックスでは、必要とされる比誘電率（εｒ）および誘電損失の逆数で表される品質係数Ｑ値，温度特性（τｆ）が得られない。
【０００６】
本発明では、６０以上の比誘電率を維持しつつ、高い品質係数Ｑ値と、０に近い安定した温度特性（τｆ）とを有するＢａＯ−Ｎｄ２Ｏ３−ＴｉＯ２系の誘電体セラミックスおよび誘電体共振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態に係る誘電体セラミックスは、Ｂａ、ＮｄおよびＴｉを含有し、組成式を
αＢａＯ・βＮｄ２Ｏ３・γＴｉＯ２
と表したとき、α、βおよびγが
１３．０≦α≦１８．５  
１０．５≦β≦１８．０  
６６．０≦γ≦７３．５  
α＋β＋γ＝１００
を満足し、かつアルミニウムを酸化物換算で１．１質量％以上５質量％以下、マンガンを酸化物換算で０．５質量％以下（０質量％を除く）含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の一形態に係る誘電体共振器は、前記誘電体セラミックスを誘電体材料として用いたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の一形態に係る誘電体共振器は、入出力端子と、請求項１乃至４のいずれかに記載の誘電体セラミックスを用いた誘電体とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一形態に係る誘電体セラミックスおよび誘電体共振器によれば、高い比誘電率が得られ、誘電体のコンパクト化が可能となる。さらに、高いＱ値（品質係数）を実現できる。しかも、誘電体磁器の共振周波数の温度依存性を安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一形態に係る誘電体共振器の一例を模式的に示す一部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本実施形態の誘電体セラミックスは、Ｂａ，Ｎｄ，Ｔｉを含有し、組成式をαＢａＯ・βＮｄ２Ｏ３・γＴｉＯ２と表したとき、モル比α，β，γが１３．０≦α≦１８．５，１０．５≦β≦１８．０，６６．０≦γ≦７３．５を満足し、かつアルミニウムを酸化物換算で１．１質量％以上５質量％以下、マンガンを酸化物換算で０．５質量％以下（０質量％を除く）含む。
【００１３】
ここで、各成分のモル比α，β，γを上記の範囲に限定した理由は、比誘電率（εｒ）が大きくなり、Ｑ値が高くなり、さらに共振周波数における温度係数τｆの絶対値が小さくなるからである。特に、αの下限は１５が好ましく、αの上限は１８．５が好ましい。また、βの下限は１０．５が好ましく、βの上限は１８．０が好ましい。さらに、γの下限は６６．０が好ましく、γの上限は７３．５が好ましい。
【００１４】
また、本実施形態の誘電体セラミックスは、上記組成において、さらに、アルミニウムを酸化物換算で１．１質量％以上５質量％以下含むことにより、０により近い温度係数τｆを得ることができ、安定した共振周波数の温度依存性とすることができる。しかも、高いＱ値を得ることができる。
【００１５】
上記アルミニウム含有量によれば、主結晶相へのアルミニウム成分の固溶量が適当であることから、高Ｑ値化が可能な主結晶相の格子定数変化とすることができる。さらに、余剰のアルミニウム成分が少ないことから、アルミニウム成分と、ＢａおよびＴｉとが化合物を形成して、異相として誘電体セラミックス中に存在することが抑制され、誘電特性が低下することが抑制される。
【００１６】
また、本実施形態の誘電体セラミックスは、上記組成において、さらにマンガンを酸化物換算で０．５質量％以下（０質量％を除く）含むとよい。これにより、マンガン酸化物の価数変化に伴って生じる酸素で、誘電体セラミックス内の酸素欠陥に酸素供給することが可能となる。また、誘電体セラミックス内の酸素欠陥の発生が主な要因となって生じる比誘電率の低下を抑制することができ、共振周波数の温度依存性を改善することができる。
【００１７】
また、本実施形態の誘電体セラミックスは、前述の組成のＢａ−Ｎｄ−Ｔｉ系の誘電体セラミックスが、Ｂａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４の結晶を含み、Ｘ線回折チャートからリートベルト法によって算出される上記結晶の格子定数のａが２２．３０Å以上２２．３４Å以下、ｂが７．６７Å以上７．７０Å以下、ｃが１２．１６Å以上１２．１９Å以下である。これにより、本実施形態の誘電体セラミックスに含まれるＢａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４結晶の構造が最適化され、誘電特性、特に品質係数Ｑ値の値が向上する。
【００１８】
なお、リートベルト法とは、物質のＸ線回折パターンから結晶の構造パラメータを精密化する方法である。
【００１９】
例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）の格子定数の精密化を行おうとすれば、まず試料としてＴｉＯ２の粉末を準備し、これを充分に粉砕した後、Ｘ線回折装置を用いてＸ線回折の測定をする。そして、ＴｉＯ２のＸ線回折パターン（実測値）を得た後、リートベルト解析プログラムを用いパターン解析（計算値）を行う。この解析では原子座標とともに格子定数が精密化されるため、装置による誤差を極小化するために、標準試料を用いてＸ回折測定ピーク位置の補正を行う必要がある。なお、ＴｉＯ２の格子定数等の結晶構造データはＪＣＰＤＳカードに基づく。また、Ｂａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４の一般的な格子定数はａ＝２２．３４７９Å，ｂ＝７．６９５５Å，ｃ＝１２．２０２１Åである。
【００２０】
また、本実施形態の誘電体セラミックスは、Ｘ線回折チャートの２θ＝２８．１°〜２８．３°の範囲内にあるＢａ１．２３Ａｌ２．４６Ｔｉ５．５Ｏ１６結晶の最大ピークをＩＡとし、２θ＝３１．５°〜３１．７°の範囲内にあるＢａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４結晶の最大ピークのピーク強度をＩＣとしたとき、ＩＡ／ＩＣの値が０．１５以下である。
【００２１】
本実施形態の誘電体セラミックスでは、Ｂａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４結晶の割合が多いほど、より高く安定した誘電特性を得ることが可能である。
【００２２】
よって、異相として存在するＢａ１．２３Ａｌ２．４６Ｔｉ５．５Ｏ１６結晶の割合が少ない方が誘電特性を低下させにくい。つまり、ＩＡ／ＩＣの値をＢａ１．２３Ａｌ２．４６Ｔｉ５．５Ｏ１６結晶の少ない０．１５以下とすれば、より安定した高い誘電特性を有する誘電体セラミックスとすることが可能となる。
【００２３】
なお、Ｘ線回折は、例えばＸ線回折装置（BrukerAXS社製 ADVANCE）により、測定範囲２θ＝１０°〜９０°，ＣｕＫα測定の条件で行う。
【００２４】
また、本実施形態の誘電体セラミックスは、ボイド率が４％以下である。誘電体セラミックスの表面および内部のボイド率を４％以下とすることで誘電体セラミックスの機械的強度の低下を抑えるとともに、電気的特性の低下やばらつきを抑えることができる。ボイド率が４％以下であれば、誘電体セラミックス磁器の密度が低下せず、著しい強度劣化が生じない。
【００２５】
これにより、ハンドリング時、落下時、共振器およびアンテナ共用器内への取付け時および各携帯電話基地局等への設置後にかかる衝撃等によって、誘電体セラミックス磁器にカケ、割れおよび破損等が生じ難い。より好ましくは、ボイド率を３％以下とする。これにより、機械的特性および電気的特性がいっそう安定化する。
【００２６】
なお、ボイド率は例えば１００μｍ×１００μｍの正方形範囲が観察できるように、任意の倍率に調節した金属顕微鏡またはＳＥＭ等により、誘電体セラミックスの磁器表面および内部断面の数カ所を写真または画像として撮影する。そして、この写真または画像を画像解析装置で解析することにより、数カ所のボイド率を算出し、この平均値を求める。これによりボイド率を算出することが可能である。画像解析装置としては、例えばニレコ社製のＬＵＺＥＸ−ＦＳ等を用いればよい。
【００２７】
また、本実施形態の誘電体セラミックスは、不可避不純物として、Ｆｅ，Ｓｒ，Ｎａ，Ｃａ，Ｋ，Ｓｉ，Ｐｂ，Ｎｉ，ＣｕまたはＭｇを酸化物換算で合計１質量％以下含んでいてもよい。これにより、各種誘電特性の値が低下することが抑制され、焼結体としての機械的特性の低下が抑制される。
【００２８】
次に、本実施形態の誘電体セラミックスの製造方法について説明する。具体的には、例えば以下の工程（１）〜（５）から成る。
【００２９】
工程（１）：
出発原料として、純度９９質量％以上の高純度の炭酸バリウム、酸化ネオジウム、酸化チタニウムおよび酸化アルミニウムの各粉末を準備し、所望の割合となるように秤量後、純水を加え、混合原料の平均粒径が２．０μｍ以下となるまで１〜５０時間、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行い、混合物を得る。
【００３０】
工程（２）：
この混合物を乾燥後、大気雰囲気中１０００〜１２００℃で１〜１０時間仮焼し、仮焼物を得る。
【００３１】
工程（３）：
得られた仮焼物を軽く解砕する。これに、平均粒径２μｍ以下の炭酸マンガンと有機バインダー，水を加え、ジルコニアボールなどを使用したボールミルにより湿式混合および粉砕を行う。
【００３２】
工程（４）：
その後、公知の例えばスプレードライ法等により造粒または整粒し、得られた造粒体又は整粒粉体等を公知の成形法、例えば金型プレス法、冷間静水圧プレス法等により任意の形状に成形する。なお、造粒体又は整粒粉体等の形態は粉体等の固体のみならず、スラリー等の固体、液体混合物でもよい。この場合、溶媒は水以外の液体、例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、メタノ−ル、エタノ−ル、トルエンまたはアセトン等でもよい。
【００３３】
工程（５）：
得られた成形体を大気雰囲気中１３００℃〜１４５０℃で１時間を超え１０時間以内保持して焼成する。なお、焼成棚板としては高純度ジルコニア製のものを用い、この焼成棚板上に必要に応じて平均粒径１０μｍ以下のジルコニア粉体を敷いて用いても良い。得られた焼結体については、必要に応じて研削加工を施して所望の形状を得る。
【００３４】
次に、本実施形態の誘電体セラミックスを誘電体として用いた誘電体共振器の一例について説明する。
【００３５】
図１に、本実施形態の誘電体セラミックスを搭載したＴＥモ−ド型の誘電体共振器を横からみた一部断面図を示す。誘電体共振器１は、金属ケース２内壁の相対する両側に入力端子３及び出力端子４を設け、これらの入出力端子３，４の間に上記誘電体セラミックスからなる誘電体５を配置して構成される。このようなＴＥモ−ド型誘電体共振器１は、入力端子３からマイクロ波が入力され、マイクロ波は誘電体５と自由空間との境界の反射によって誘電体５内に閉じこめられ、特定の周波数で共振を起こす。そしてこの信号が出力端子４と電磁界結合して出力される。
【００３６】
また、図示しないが、本実施形態の誘電体セラミックスを、ＴＥＭモードを用いた同軸型共振器やストリップ線路共振器、ＴＭモードの誘電体磁器共振器、またはその他の共振器に適用してよいことは勿論である。さらには、入力端子３及び出力端子４を誘電体５に直接設けても誘電体共振器１を構成できる。
【００３７】
また、誘電体５は、本実施形態の誘電体セラミックスからなる所定形状の共振媒体であるが、その形状は直方体、立方体、板状体、円板、円柱、多角柱、その他共振が可能な立体形状であればよい。また、入力される高周波信号の周波数は５００ＭＨｚ〜５００ＧＨｚ程度であり、共振周波数としては２ＧＨｚ〜８0ＧＨｚ程度が実用上好ましい。
【実施例】
【００３８】
＜実施例１＞
良好な誘電体特性を有する組成について調べた。
【００３９】
まず、純度９９．９質量％の各炭酸バリウム（ＢａＣＯ３），酸化ネオジウム（Ｎｄ２Ｏ３），酸化チタン（ＴｉＯ２），酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）を出発原料とし、表１に示す各組成に応じて所定量を秤量混合した。水による混合および粉砕を行った後、大気雰囲気中１１００℃の温度で２時間仮焼した。これにより、得られた仮焼物に対し、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ３）を表１に示す量を加えた。さらに、適量の有機バインダーと水を加えジルコニアボールで粉砕した。その後、噴霧乾燥により造粒し、この造粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ２のプレス圧で１２ｍｍφ×１０ｍｍｔ（厚さ）の円板状に成形した。
【００４０】
次に、この成形体を大気雰囲気中、１３００〜１４５０℃の最高温度で、２時間保持するパターンで焼成した。そして、最後に両端面を約９ｍｍφ×６ｍｍｔ（厚さ）の円板状に研磨して、試料Ｎｏ．１〜２２を製造した。
【００４１】
次に、これらの試料について誘電特性を測定した。誘電特性は円柱共振器法により測定周波数８００ＭＨｚで比誘電率εｒ，品質係数Ｑ値，共振周波数の温度係数τｆを測定した。Ｑ値は、マイクロ波誘電体において一般的に成立する（Ｑ値）×（測定周波数ｆ）＝一定の関係から、４ＧＨｚでのＱ値に換算した。共振周波数の温度係数は、２５℃における共振周波数を基準にして２５〜８５℃の温度係数τｆを算出した。これらの結果を表１に示す。
【００４２】
【表１】
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表１から、αが１２．５の場合（Ｎｏ．１，６，２３）は、比誘電率εｒが５８．１，５８．７，５８．４であり、それぞれ低い値であった。また、αが１９．５の場合（Ｎｏ．２）は、比誘電率εｒが５５．０であり、低い値であった。また、αが１１．０でβが２１．０の場合（Ｎｏ．１６）は、品質係数Ｑ値が６７０９であり、低い値であった。βが９．５の場合（Ｎｏ．３，１９）は、比誘電率εｒが４９．５，５８．８であり、それぞれ低い値であった。γが７４．５の場合（Ｎｏ．４，５）は、比誘電率εｒが５０．０，５３．０であり、品質係数Ｑ値が８６２４，９６３７であり、それぞれ低い値であった。また、Ａｌ２Ｏ３が１．０質量％の場合（Ｎｏ．２４）は、品質係数Ｑ値が９７３５となり低い値であり、γが６４．５でＡｌ２Ｏ３が５．１質量％の場合（Ｎｏ．２０）は、比誘電率εｒが４２．４となり低い値であった。また、γが６４．５でＡｌ２Ｏ３が０．０質量％の場合（Ｎｏ．２１）は、品質係数Ｑ値が５１０５となり低い値であり、温度係数τｆが＋１２２．０となり大きな正の値であった。ＭｎＣＯ３が０．０質量％の場合（Ｎｏ．１８）は、品質係数Ｑ値が９８７２となり低い値であり、ＭｎＣＯ３が０．６質量％の場合（Ｎｏ．２７）は比誘電率εｒが５８．８と低く、温度係数τｆが１５．２と高い値であった。
【００４３】
これらの試料と比較して本発明範囲内の試料Ｎｏ．７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１７，２２，２５，２６については、比誘電率εｒの値が６０以上、品質係数Ｑ値が１００００以上、温度係数τｆが−１５〜＋１５であり、良好な誘電特性を有していた。
【００４４】
＜実施例２＞
次に、本発明の誘電体セラミックスについて、より良好な誘電特性の得られる主結晶の格子定数を測定した。
【００４５】
まず、実施例１と同様の製造方法にて、表２に示す組成の試料Ｎｏ．２２〜２５を作製した。
【００４６】
次に、これらの試料について、Ｘ線回折測定装置（PANalytical社製 X'PertPRO）にてＸ線回折測定を実施した。その後、Ｂａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４の格子定数の解析をリートベルト解析プログラムＲＩＥＴＡＮを用いて実施した。なお、格子定数の測定には、格子定数をより精度良く求めるために、各々の試料に標準試料Ｓｉを添加して実施し、格子定数の解析時には標準試料Ｓｉの格子定数をａ＝５．４３１１９Åに固定し測定を実施した。
【００４７】
また、各試料につき実施例１と同様の方法を用いて比誘電率εｒ，品質係数Ｑ値，温度係数τｆを測定した。
【００４８】
これらの結果を表２に示す。
【００４９】
【表２】
2010235336.tif 000004
表２から、格子定数ｃの値が１２．１９６Åを示す試料Ｎｏ．２８は、品質係数τｆが１４．９と大きな正の値を示した。また、格子定数ｂの値が７．６６９Åを示す試料Ｎｏ．３３は、比誘電率εｒが６０．２と低い値であった。
【００５０】
これらの試料と比較して試料Ｎｏ．２９〜３２については、格子定数ａの値が２２．３０Å以上２２．３４Å以下、ｂの値が７．６７Å以上７．７０Å以下、ｃの値が１２．１６Å以上１２．１９Å以下の範囲内を示し、比誘電率εｒが６２以上，品質係数Ｑ値が１２０００以上，温度係数τｆ−１５〜＋１３の値を示した。
【００５１】
＜実施例３＞
次に、誘電体セラミックスについて、異相強度比が誘電特性に与える影響について検討した。
【００５２】
まず、実施例１と同様の製造方法を用いて表３に示す組成の試料Ｎｏ．２９〜３３を製造した。
【００５３】
そして各試料について、Ｘ線回折装置を用いて（BrukerAXS社製 ADVANCE）により、測定範囲２θ＝10°〜90°，ＣｕＫα測定の条件でＸ線回折を実施し、そのＸ線回折チャートから、２θ＝２８．１°〜２８．３°の範囲内にあるＢａ１．２３Ａｌ２．４６Ｔｉ５．５Ｏ１６結晶の最大ピークＩＡと、２θ＝３１．５°〜３１．７°の範囲内にあるＢａ４．５Ｎｄ９Ｔｉ１８Ｏ５４結晶の最大ピークのピーク強度をＩＣの値を求め、ＩＡ／ＩＣの値を算出した。
【００５４】
また、各試料につき、実施例１と同様の方法を用いて比誘電率εｒ，品質係数Ｑ値，温度係数τｆを測定した。
【００５５】
これらの結果を表３に示す。
【００５６】
【表３】
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表３から、Ａｌ２Ｏ３の添加量が５質量％である試料Ｎｏ．３８は、ＩＡ／ＩＣの値が０．１５２７と大きく、比誘電率εｒが６０．１と比較的低い値を示した。
【００５７】
これと比較して、Ａｌ２Ｏ３の添加量が４．５質量％以下であり、ＩＡ／ＩＣの値が０．１５以下である試料Ｎｏ．３４〜３７については、比誘電率εｒが６３以上、品質係数Ｑ値が１２０００以上を示し、特に温度係数τｆについては、＋０．８〜１３．８であり、０近辺の値を含む安定した数値になることが確認された。
【００５８】
表３から、Ａｌ２Ｏ３の添加量が５質量％である試料Ｎｏ．３３は、ＩＡ／ＩＣの値が０．１５２７と大きく、比誘電率εｒが６０．１と比較的低い値を示した。
【００５９】
これと比較して、Ａｌ２Ｏ３の添加量が４．５質量％以下であり、ＩＡ／ＩＣの値が０．１５以下である試料Ｎｏ．２９〜３２については、比誘電率εｒが６３以上、品質係数Ｑ値が１２０００以上を示し、特に温度係数τｆについては、＋０．８〜１３．８であり、０近辺の値を含む安定した数値になることが確認された。
【符号の説明】
【００６０】
１：誘電体共振器
２：金属ケース
３：入力端子
４：出力端子
５：誘電体
【図１】
2010235336.tif 000006