(57)【要約】【課題】  高い信頼性を持って迅速に相対ティーチングができるようにした搬送ロボットの相対ティーチング方法を提供する。【解決手段】  基板Ｓをロボットハンド１３にて支持した状態で同一平面内を旋回及び伸縮動作させ、前記旋回方向に沿って配置された複数の処理室Ｌ、Ｐ１乃至Ｐ３間で基板を搬送する搬送ロボット１に対し、その搬送動作を教示するとき、いずれか一の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示し、この座標データに基づいて他の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示する。一の処理室における座標データを教示する際にその伸縮軌道データを取得し、他の処理室における座標データを教示する際に、前記一の処理室及び他の処理室への搬送ロボットの伸縮ストロークが相互に異なると、前記伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットハンドを先端に有するロボットアーム及び当該ロボットアームを駆動する駆動手段を備えた搬送ロボットの前記ロボットハンドにて処理すべき基板を支持した状態でロボットアームを少なくとも同一平面内で旋回動作及び伸縮動作させ、前記旋回方向に沿って配置された複数の処理室間で前記基板を搬送する場合に、その搬送動作を教示する搬送ロボットの相対ティーチング方法であって、
いずれか一の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示し、この座標データに基づいて他の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示するものにおいて、
前記一の処理室における座標データを教示する前に、前記ロボットアームの伸縮軌道データを取得し、
前記他の処理室における座標データを教示する場合に、前記一の処理室及び他の処理室へのロボットアームの伸縮ストロークが相互に異なると、前記伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正することを特徴とする搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【請求項２】
前記ロボットハンドに外方に突出させて設けた指標部に対し、搬送ロボットの伸縮方向に沿って光学センサから投光し、前記光学センサの検出結果から前記伸縮軌道データを取得することを特徴とする請求項１記載の搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【請求項３】
前記ロボットハンドの所定位置に設けた指標部に対し、搬送ロボットの伸縮方向に直交する方向で光学センサから投光し、前記光学センサの検出結果から前記伸縮軌道データを取得することを特徴とする請求項１記載の搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【請求項４】
前記一の処理室に対して基準となる座標データを教示する前に、ロボットアームが伸縮する範囲内に設けた検知手段にてロボットアームの所定部分を検知してそのときの座標データを取得し、他の処理室における座標データを教示するときに、ロボットアームが伸縮する範囲内に設けた他の検知手段にてロボットアームの所定部分を検知し、この検知した座標データからロボットアームの位置を補正することを特徴とする請求項１乃至請求項３記載の搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【請求項５】
前記搬送ロボットが、同心に配置された複数の回転軸の回転方向及び回転角を制御することで連動して旋回動作または伸縮動作する複数本のロボットアームを備えたものであり、前記一の処理室に対して基準となる座標データを教示するのに先立って、各ロボットアームの旋回または伸縮する範囲内に設けた同一の検知手段にて各ロボットアームの同一の所定部分をそれぞれ検知して比較し、そのときの各座標データが相互に一致しないと、一のロボットアームを基準とし、その他のものの座標データの差に応じて補正するか、または、２つのロボットアームから得られた座標データが相互に一致するように補正することを特徴とする請求項１乃至請求項４記載の搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【請求項６】
前記ロボットアームの所定部分が、前記ロボットハンドに設けられた少なくとも２個の指標部であることを特徴とする請求項５記載の搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【請求項７】
前記各ロボットアームが昇降自在に構成されている場合、所定の同一高さ位置にて同一の検知手段よる検知を行うことを特徴とする請求項５または請求項６記載の搬送ロボットの相対ティーチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理すべき基板をロボットハンドにて支持した状態で同一平面内を旋回及び伸縮動作させ、旋回方向に沿って配置された複数の処理室間で前記基板を搬送する搬送ロボットに対し、その搬送動作を教示する搬送ロボットの相対ティーチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に対してスパッタリング法やＣＶＤ法による成膜処理やエッチング処理などの各種の処理を施す装置として、図１に示すように、搬送ロボット１を配置した中央の搬送室Ｔを囲うようにして、基板Ｓのロードロック室Ｌと複数の処理室Ｐ１乃至Ｐ３とを（搬送ロボット１の旋回方向に沿って）配置し、搬送ロボット１によりロードロック室Ｌに投入した基板Ｓを各処理室Ｐ１乃至Ｐ３に、または、各処理室Ｐ１乃至Ｐ５の相互間で基板Ｓを搬送するように構成した処理装置（所謂、クラスターツール装置）が知られている。
【０００３】
搬送ロボット１は、ロボットアーム１１と、当該ロボットアーム１１を同一平面上で旋回及び伸縮自在に駆動する駆動手段１２とを備え、ロボットアーム１１の先端には基板Ｓを保持するロボットハンド１３が取り付けられている。そして、ロボットハンド１３にていずれか一の処理室内の基板ステージＰｓから直接または当該基板ステージＰｓから真上にリフトアップさせた位置（以下、これらを「基板受渡位置」という）にて、基板Ｓを受け取った後、ロボットハンド１３を縮動作、旋回動作及び伸動作させて基板Ｓを目的とする他の処理室内の基板受渡位置まで搬送して基板を受け渡す。なお、ロボットアーム１１自体を昇降自在に構成することもできる。
【０００４】
このような搬送ロボットでは、その全ての搬送動作が予めプログラムにより決められ、このプログラムに搬送ロボットの動作位置や順序（搬送動作）を教示するためにティーチングが行われる。ここで、このようなティーチングは、例えば、搬送ロボットを処理装置に組み付けた後、ロボットハンド１３やロボットアーム１１等をメンテナンスのために交換する毎に行う必要があり、ティーチング作業が著しく面倒であるという問題があり、このことは、処理室の数が増加するのに従いより顕著になる。
【０００５】
上記問題を解決するために、搬送ロボットの搬送動作に位置ずれが生じると、一の搬送位置で再ティーチングし、そのときの移動量と記憶内容とから当該搬送位置での誤差旋回移動量と誤差伸縮移動量とを算出し、当該基板搬送ロボットの構造と位置ずれの原因とから、誤差旋回移動量及び誤差伸縮移動量をその他の搬送位置で換算し、各搬送場所の位置を示す記憶内容を修正すること（所謂、相対ティーチング方法）が、例えば特許文献１で知られている。
【０００６】
ところで、上記搬送ロボットでは、例えば駆動手段の回転軸へのロボットアームの組付時に生じたがたや傾き等の影響を受けて、ロボットアームを伸縮動作させたとき、ロボットハンド上の基板は同一線上に沿って移動するものではなく、実際には左右（旋回方向）に振れながら移動している（所謂、搬送ロボットのヨーイング）。このため、上記特許文献１記載の相対ティーチング方法では、ロボットアームの旋回位置からティーチングしようとする処理室内における基板受渡位置までの伸縮ストロークが相互に一定でないと、旋回方向の位置ずれが生じ、高い信頼性を持って迅速に相対ティーチングできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２７３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、以上の点に鑑み、高い信頼性を持って迅速に相対ティーチングし得る搬送ロボットの相対ティーチング方法を提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の搬送ロボットの相対ティーチング方法は、ロボットハンドを先端に有するロボットアーム及び当該ロボットアームを駆動する駆動手段を備えた搬送ロボットの前記ロボットハンドにて処理すべき基板を支持した状態でロボットアームを少なくとも同一平面内で旋回動作及び伸縮動作させ、前記旋回方向に沿って配置された複数の処理室間で前記基板を搬送する場合に、その搬送動作を教示する搬送ロボットの相対ティーチング方法であって、いずれか一の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示し、この座標データに基づいて他の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示するものにおいて、前記一の処理室における座標データを教示する前に、前記ロボットアームの伸縮軌道データを取得し、前記他の処理室における座標データを教示する場合に、前記一の処理室及び他の処理室へのロボットアームの伸縮ストロークが相互に異なると、前記伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正することを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、搬送ロボットが伸縮動作するときの伸縮軌道データを予め取得しておき、一の処理室に対する座標データを基にその他の処理室に対して相対ティーチングする場合に、その伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正する。その結果、各処理室内の基板受渡位置までの伸縮ストロークが相互に一定でないときでも、旋回方向の位置ずれが生じることなく、高い信頼性を持って迅速に搬送ロボットにその動作を教示でき、生産性に優れた搬送ロボットを提供できる。なお、処理室には、ロードロック室も含まれるものとする。
【００１１】
本発明においては、前記ロボットハンドに外方に突出させて設けた指標部に対し、搬送ロボットの伸縮方向に沿って光学センサから投光し、前記光学センサの検出結果から前記伸縮軌道データを取得する構成を採用すればよい。
【００１２】
他方、前記ロボットハンドの所定位置に設けた指標部に対し、搬送ロボットの伸縮方向に直交する方向で光学センサから投光し、前記光学センサの検出結果から前記伸縮軌道データを取得する構成を採用してもよい。ここで、指標部を例えばロボットハンドの所定位置に形成した貫通孔から構成し、この貫通孔を検出する場合には、光学センサとしては、透過式、反射式のいずれのものでも使用可能である。他方、指標部を例えばロボットハンドの片面所定位置に取り付けた所定面積の反射板から構成し、この反射板を検出する場合には、光学センサとしては反射式のものを使用すればよい。
【００１３】
また、本発明においては、前記一の処理室に対して基準となる座標データを教示する前に、ロボットアームが伸縮する範囲内に設けた検知手段にてロボットアームの所定部分を検知してそのときの座標データを取得し、他の処理室における座標データを教示するときに、ロボットアームが伸縮する範囲内に設けた他の検知手段にてロボットアームの所定部分を検知し、この検知した座標データからロボットアームの位置を補正すれば、処理室毎に一層高精度なティーチングが実現できてよい。
【００１４】
ところで、複数の処理室が連結された所謂クラスターツール用の搬送ロボットとしては、スループットの向上等のため、同心に配置された２本の回転軸の回転方向及び回転角を適宜制御することで連動して旋回動作または伸縮動作する２本のロボットアームを備えたものも用いられ、同時に２個の処理室に対して基板の受け渡しを行い得るようにしたものも知られている。
【００１５】
このような搬送ロボットに対しても、作業性を考慮すれば、上記のような相対ティーチングを行い得ることが望まれるが、特に、両ロボットアーム間においてロボットハンドが伸動作する際の位置が旋回方向及び／または伸縮方向にずれていると、いずれか一の処理室において一方のロボットハンドにて基板を受け渡す場合と、他方のロボットハンドにて基板を受け渡す場合とでは、基板がその旋回方向または伸縮方向のずれを生じる。
【００１６】
このため、前記搬送ロボットが、同心に配置された複数の回転軸の回転方向及び回転角を制御することで連動して旋回動作または伸縮動作する複数本のロボットアームを備えたものであり、前記一の処理室に対して基準となる座標データを教示するのに先立って、各ロボットアームの旋回または伸縮する範囲内に設けた同一の検知手段にて各ロボットアームの同一の所定部分をそれぞれ検知して比較し、そのときの各座標データが相互に一致しないと、一のロボットアームを基準とし、その他のものの座標データの差に応じて補正するか、または、２つのロボットアームから得られた座標データが相互に一致するように補正することが好ましい。これにより、各処理室にて基板が旋回方向や伸縮方向のずれが生じることを防止でき、高い信頼性を持って迅速に搬送ロボットにその動作を教示できる。
【００１７】
また、前記ロボットアームの所定部分が、前記ロボットハンドに設けられた少なくとも２個の指標部であれば、例えば検知手段が搬送ロボットの伸縮方向に直交する方向から投光するように設けられた光学センサである場合、その光軸の傾きによる誤差の影響を受けることなく、座標データを取得できてよい。
【００１８】
他方、前記各ロボットアームが昇降自在に構成されている場合、所定の同一高さ位置にて同一の検知手段よる検知を行うようにして、光軸の傾きによる誤差の影響を受けることなく、座標データを取得できるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】（ａ)及び（ｂ）は、搬送ロボットを具備する処理装置を示す模式的に示す平面図及び断面図。
【図２】ロードロック室から処理室への基板の搬送を説明する模式的平面図。
【図３】搬送ロボットのヨーイングを説明する模式的平面図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、伸縮起動データを取得するための構成を説明する図。
【図５】相対ティーチング時の位置補正を説明する図。
【図６】伸縮起動データを取得するための他の構成を説明する図。
【図７】変形例に係るロボットアームの位置ずれを説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、図１に示す処理装置で本発明の搬送ロボットの相対ティーチング方法を適用した実施の形態について説明する。処理装置の搬送室Ｔには、公知の構造を有する搬送ロボット１が設けられている。搬送ロボット１は、図示省略したが、ロボットアーム１１を回転駆動する２個のモータと、モータの作動を制御する制御手段とを有し、各モータの回転軸１２ａ、１２ｂが同心に配置されている。各回転軸１２ａ、１２ｂにはロボットアーム１１がリンク機構をなしてそれぞれ連結され、その先端には、ギアボックスＧを介してロボットハンド１３が取り付けられている。そして、各モータの回転軸１２ａ、１２ｂの回転角及び回転方向を図示省略の制御手段により適宜制御することでロボットアーム１１が伸縮及び／または旋回動作する。
【００２１】
ロボットアーム１１及びロボットハンド１３は、基板Ｓが処理室Ｐ１乃至Ｐ３で実施されるプロセスで高温に加熱される場合があることから耐熱性を有する材料、例えば、Ａｌ合金、Ａｌ２Ｏ３、Ｓｉ０２やＳｉＣ等の板材で形成されている。また、ロボットハンド１３は、ロボットアーム１１に連結される基端部１３ａと、この基端部１３ａから二股状に分岐して先方に延びる一対のフィンガー部１３ｂとから構成されている（図２参照）。なお、図示省略したが、基端部１３ａと両フィンガー部１３ｂの先端部とには、基板Ｓの下面外周部がその周方向３箇所で位置決めされて着座可能な座面が設けられ、基板Ｓがその外周部以外の下面がロボットハンド１３から浮くようにして支持されるようになっている。
【００２２】
搬送室Ｔには、各処理室Ｐ１乃至Ｐ３との連結箇所の近傍において基板Ｓの有無を検知する検知手段２が設けられている。検知手段２としては、例えば、レーザーセンサやＬＥＤファイバーセンサなど公知構造を有する光学センサやＣＣＤカメラなどの視覚センサを用いることができ、例えば、検知手段２は、搬送ロボット１のモータの回転中心と後述の基板ステージＰｓの中心Ｐｃとを結ぶ線ＲＰに対して垂直に投光し、受光し得るように配置された投光器２１と受光器２２とを備える（図１（ｂ）参照）。
【００２３】
搬送室Ｔの外側面には、ゲートバルブＶを介してロードロック室Ｌ及び各処理室Ｐ１乃至Ｐ３が接続されている。各処理室Ｐ１乃至Ｐ３は、基板Ｓに対しスパッタリング法やＣＶＤ法による成膜処理やエッチング処理などの各種の処理を施すことができるように構成されている。各処理室Ｐ１乃至Ｐ３には、所定の処理を施す際に基板を保持できるようにステージＰｓが配置されている。ここで、各処理室Ｐ１乃至Ｐ３の容積は、その内部で行われる処理に応じて適宜設定され、このような場合には、後述のように旋回可能位置から基板受渡位置までの伸縮ストロークＬ１、Ｌ２は処理室毎に相違することになる。なお、搬送室Ｔに設けられる処理室やロードロック室の数は上記に限定されるものではない。
【００２４】
そして、ロボットハンド１３にて基板Ｓを支持した状態で、ロボットアーム１１を伸縮させたり、旋回させたりして、ロードロック室Ｌ及び各処理室Ｐ１乃至Ｐ３の間で基板Ｓが搬送される。このような搬送ロボット１の搬送動作をロードロック室Ｌから第１の処理室Ｐ１に基板Ｓを搬送させる場合を例に説明すると、図２中二点鎖線で示すように、ロボットアーム１１が縮んだ状態であってフィンガー部１３ｂの先端がロードロック室Ｌを指向した状態（旋回可能位置）から、ロボットアーム１１を伸動作させ、ロードロック室Ｌ内の基板受渡位置にロボットハンド１３を移動して基板Ｓを受け取る。その後、ロボットアーム１１を縮動作させて原点位置に戻す。本実施形態では、フィンガー部１３ｂの先端がロードロック室Ｌを指向した旋回可能位置を原点位置とする。
【００２５】
次に、ロボットアーム１１を原点位置からフィンガー部１３ｂの先端が第１の処理室Ｐ１を指向する位置まで旋回し、ロボットアーム１１を伸動作して第１の処理室Ｐ１の基板受渡位置にロボットハンド１３を移動する。このとき、検知手段２によりロボットハンド１３で基板Ｓが精度よく支持されているか否かが確認され、そして、基板Ｓを受け渡した後、縮動作させて旋回可能位置に戻される。
【００２６】
このような搬送ロボット１の作動は、制御手段に予めプログラムされており、上記搬送動作の基準となる原点位置の座標データ等を搬送ロボット１に教示するために、搬送ロボット１を処理装置に組み付けたときやメンテナンスのためにロボットアーム１１やロボットハンド１３を交換等したときに、搬送ロボット１のティーチングが行われ、旋回可能位置及び基板受渡位置での座標データが上記制御手段に記憶される。以下、搬送ロボット１の相対ティーチングについて説明する。
【００２７】
先ず、一の処理室、つまり、ロードロック室Ｌについての原点位置の座標データを教示し、この原点位置を基準として基板受渡位置の座標データを教示する。このとき、搬送ロボット１が待機位置から伸縮動作すると、検知手段２を横切ることを利用して作業者の視認に頼らず搬送ロボット１のティーチングを行う。
【００２８】
即ち、ロボットハンド１３で基板Ｓを適正な位置で保持させたときに基板Ｓの中心Ｓａを通る中心線上に位置させて、ロボットハンド１３の基端部１３ａにロボットアームの所定部分をなす平面視円形の貫通孔１４を形成する。ここで、貫通孔１４の開口径は、検知手段２として用いる光学センサに応じて適宜設定され、例えば、レーザーセンサを用いるような場合には、レーザー光を投光したときの光径の変化が小さいことから、貫通孔１４の孔径をレーザーの光径より大きく設定しておけばよい。そして、検知手段２により貫通孔１４が検出されると、ロボットハンド１３が、モータの回転軸１２ａ、１２ｂの回転中心１２ｃと基板ステージＰｓの中心Ｐｃとを結ぶ線ＲＰ上に適切に位置するようになり、旋回または伸縮する際にその動作の基準となる原点位置に搬送ロボット１が正確に位置決めされたと判断する。
【００２９】
つまり、フィンガー部１３ｂの先端がロードロック室Ｌを指向する搬送ロボット１の旋回可能位置たる原点位置から、回転軸１２ａ、１２ｂを回転させてロボットアーム１１を伸動作させ、貫通孔１４が検知手段２により検知される位置を検索する。その当初は、投光器２１からの光がロボットハンド１３で遮蔽されることがないため、検知手段２の信号がＯＮ状態である。ロボットアーム１１をさらに伸動作させ、投光器２１からの光がロボットハンド１３の基端部１３ａで遮蔽されると、検知手段２の信号がＯＦＦ状態になる。この状態で回転軸１２ａ、１２ｂを回転させてロボットハンド１３を旋回及び／または伸縮させ、検知手段２の信号がＯＮ状態になる位置を探す。
【００３０】
検知手段２の信号がＯＮ状態になることで貫通孔１４が検知されると、ロボットアーム１１を伸縮方向及びその左右方向にそれぞれ走査移動させる。このとき、検知手段２の信号がＯＮ、ＯＦＦに切り替わり、その切り替わりの周期から貫通孔１４の中心座標を特定する。このように貫通孔１４の中心座標が特定されると、ロボットハンド１３が中心線ＲＰ上に位置することになる。この状態からロボットアーム１１を縮動作させて旋回可能位置に戻すと原点位置が特定される。そして、このときの座標データを制御手段に教示させると共に、装置の設計値から定まる原点位置から基板受渡位置までの基板Ｓの中心の移動量、つまり、ロードロック室Ｌに対する伸縮ストロークＬ１から基板受渡位置の座標データを算出して教示する。
【００３１】
次いで、ロードロック室Ｌについてのティーチングが終了すると、制御手段により上記ロードロック室Ｌに対する座標データから他の処理室Ｐ１乃至Ｐ３の座標データを自動算出する。即ち、装置の設計値から各処理室Ｐ１乃至Ｐ３における旋回可能位置と、当該旋回可能位置から基板受渡位置までの伸縮ストロークＬ１、Ｌ２が定まっているため、この値を予め制御手段に入力しておくことで、他の室の座標データが自動算出される。これにより、相対ティーチングが終了する。  
【００３２】
なお、各処理室Ｐ１乃至Ｐ３において旋回可能位置を教示する場合、装置の設計値から算出された座標データに基づき搬送ロボット１を実際に旋回させ、上記と同様にして検知手段２にてロボットハンドに形成した貫通孔１４を検知し、このときの検知結果から教示すべき座標データを補正するようにしてもよい。これにより、一層高精度なティーチングが実現できてよい。
【００３３】
ところで、上記搬送ロボット１では、例えば駆動手段の回転軸１２ａ、１２ｂへのロボットアーム１１の組付時に生じたがたや傾き等の影響を受けて、実際には、ロボットアームを伸縮動作させるときにロボットハンド１３、ひいては基板Ｓが図３中一点鎖線で示すように旋回方向左右に振れたり、一方の傾きながら移動する。このため、図３に示すように各処理室に対する伸縮ストロークＬ１、Ｌ２が相互に一定でない場合でも、相対ティーチング時に旋回方向の位置ずれが生じないようにする必要がある。
【００３４】
そこで、一の処理室（本実施形態ではロードロック室）における座標データを教示する際に、搬送ロボット１の伸縮軌道データを取得し、相対ティーチングの際に、伸縮軌道データからロボットハンド１３、ひいては基板Ｓ位置を補正することとした。以下に、伸縮軌道データの取得について説明する。
【００３５】
図４を参照して説明すれば、ロボットハンド１３には、基板Ｓを支持したときに基板Ｓの中心位置に指標部Ｍ１が設けられている。指標部Ｍ１は、例えばフィンガー部１３ｂ間に架設された支持板ＭＰに立設した円筒部材から構成される（図４（ａ）参照）。また、上記線ＲＰに沿って投光可能となるように、投光器３１及び受光器３２が搬送室Ｔ及びロードロック室Ｌにそれぞれ配置され、投光器３１及び受光器３２が伸縮動作時に指標部Ｍ１を検出する検知手段を構成する。
【００３６】
そして、ロードロック室Ｌに対する旋回可能位置にロボットアーム１１が位置する状態で伸動作させる。このとき、ロボットアーム１１が直線運動する間は、指標部Ｍ１で投光器３１からの光が遮られることで受光器３２からの信号がＯＦＦ状態であり、ロボットアーム１１が伸びるにつれて左右のいずれか一方にずれてくると、受光器３２からの信号がＯＮ状態となる。
【００３７】
このとき、ロボットアーム１１の伸動作を停止し、その位置でロボットアーム１１を旋回させ、左右のうちいずれの方向にずれているかを検索する。そして、受光器３２からの信号がＯＮ状態になると、ロボットアーム１１の旋回動作を停止すると共に伸動作を再開する。このように検知手段２の信号のＯＮ、ＯＦＦの切り替わりを判断しながら、基板受渡位置まで伸動作させ、信号の切り替わりの平均値とそのときの旋回角度の関係を記憶することで、連続的に伸縮動作の伸縮軌道データが連続して取得できる。これにより、任意のストロークＬ１、Ｌ２における旋回方向のずれ量が取得され、制御手段により任意のストロークでの補正量が算出できる。なお、上記のように装置の設計値から基板受渡位置の座標データを算出して教示する場合には、伸縮軌道データを取得した時点で補正しておくことが好ましい。
【００３８】
次に、相対ティーチングする場合には、他の処理室Ｐ１乃至Ｐ３で伸縮ストロークＬ１が相互に一定であれば、上記のようにして座標データを教示する。他方で、伸縮ストロークＬ１、Ｌ２が異なる場合には、その処理室Ｐ１乃至Ｐ３における伸縮ストロークＬ２と測定した伸縮起動データとから補正量を算出し、これを基に座量データを教示する（図５参照）。
【００３９】
このように上記実施形態によれば、予め伸縮軌道データを取得しておき、一の処理室に対する座標データを基にその他の処理室に対して相対ティーチングする場合に、伸縮軌道データからロボットハンド１３、ひいては基板Ｓの位置を補正するため、各処理室毎に伸縮ストロークＬ１、Ｌ２が異なる場合でも、旋回方向の位置ずれが生じることなく、高い信頼性を持って迅速に搬送ロボット１にその動作を教示でき、生産性に優れた搬送ロボットを提供できる。
【００４０】
なお、上記実施形態では、連続して軌道データを取得するように構成したものについて説明したが、これに限定されるものではなく、図６に示すように、ロードロック室Ｌや処理室Ｐ１乃至Ｐ３のいずれかにレーザーセンサやＬＥＤファイバーセンサなど公知構造を有する光学センサ３１、３２を伸縮軌道上でかつ所定の間隔を存して列設すると共に、ロボットハンド１３の所定位置に指標部（図示せず）に設けておき、各光学センサ３１、３２にて特定の伸縮ストロークでの軌道データを断続的に取得し、この値を基づいて補正するようにしてもよい。指標部としては、図６に示すように、透過式のものを用いる場合には例えばロボットハンド１３の所定位置に形成した貫通孔から構成でき、他方、反射式のものである場合には、貫通孔以外に、例えばロボットハンドの片面所定位置に取り付けた所定面積の反射板から構成することもできる。
【００４１】
また、上記実施形態では、伸縮起動データを取得する際の指標部Ｍ１として円筒形状の部材を用いたものを例に説明したが、光源からの光を遮ったり、特定の方向に投光器からの光を反射できるものであれば、これに限定されるものではない。また、センサとして透過式のものを例に説明したが、反射式のものも用いることができ、この場合、指標部の外表面には反射板を設けておけばよい。
【００４２】
更に、上記実施形態では、ロボットアームの旋回方向の揺れを補正するものを例に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、指標部Ｍ１を円錐形状とし、伸縮起動データを取得するときに上下の垂れやせり上がりをも検知するようにしてもよい。そして、搬送ロボットにロボットアームを上下動する昇降機構を備えているような場合には、当該昇降機構により基板受渡位置で高さ調節したり、ロボットハンドのロボットアームへの取り付け箇所にスペーサーを介在させて高さ調節したりしてもよい。これにより、搬送ロボット１を伸動作させ、ロボットハンドが基板受渡位置に達した場合の垂れやせり上がりを補正できてよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、同心に配置したモータの回転軸１２ａ、１２ｂの回転角及び回転方向を適宜制御することでロボットアーム１１が伸縮及び／または旋回自在となるものを用いた場合を例に説明したが、他の多関節式のロボットにも本発明は適用できる。この場合、ロボットハンドを伸縮方向に対して直交する方向に水平移動できるような場合には、搬送室Ｔに配置される駆動源の回転中心と各室の基板ステージＰｓの中心Ｐｃとを結ぶ線と直行する方向両側で等間隔に２個の指標部を形成しておき、ティーチングするようにしてもよい。
【００４４】
更に、上記実施形態では、モータの回転軸１２ａ、１２ｂに１個のロボットアーム１１を取り付けたものを例に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、基板処理のスループットを向上させる等のため、モータの回転軸１２ａ、１２ｂに２個のロボットアーム１１ａ、１１ｂが取り付けられている搬送ロボットにも本発明を適用し得る。
【００４５】
ここで、図７に示すように、このような搬送ロボット１００では、組付け時の誤差等により、原点位置で両ロボットハンド１３０ａ、１３０ｂの位置が旋回方向及び／または伸縮方向で相互にずれている場合がある。このような場合、いずれか一方のロボットアーム１１０ａまたは１１０ｂを基準とし、このロボットアームの原点位置の座標データを基に、他方のロボットアームの原点位置を含めて相対ティーチングしたのでは、ロードロック室Ｌや処理室Ｐ５、Ｐ６にて一方のロボットハンド１３０ａまたは１３０ｂにて基板を受け渡す場合と、他方のロボットハンド１３０ｂまたは１３０ａにて基板を受け渡す場合とでは、基板Ｗがその旋回方向または伸縮方向のずれてしまう虞がある。
【００４６】
つまり、原点位置における各ロボットハンド１３０ａ、１３０ｂの位置が伸縮方向で前後にずれている場合を例に説明すると、同一の処理室、例えばＰ６の基板ステージＰｓまで両ロボットハンド１３０ａ及び１３０ｂにより基板Ｗを搬送したときに、上記ずれに応じて、同一の伸縮ストロークで伸動作させたときの停止位置（基板受渡位置）も、その伸縮方向前後でずれてしまう。
【００４７】
このため、上記と同様に検知手段２を用いてロボットアーム１１０ａ、１１０ｂ毎に原点位置における座標データをそれぞれ取得し、そのときの座標データが相互に一致しないと、一方のロボットアーム（例えば１１０ａ）を基準とし、検出した座標データの差から、回転軸１２ａ、１２ｂの回転方向及び回転角を適宜制御して他方のロボットアーム１１０ｂの原点位置を補正する。その上で上記と同様の手順で各処理室に対して相対ティーチングを行う。これにより、各処理室にて基板Ｗが旋回方向や伸縮方向のずれが生じることを防止でき、高い信頼性を持って迅速に搬送ロボット１００にその動作を教示できる。なお、旋回方向のずれが両ロボットアーム１１０ａ、１１０ｂ間で生じている場合にも上記と同じ手順で補正する。また、２つのロボットアームから得られた座標データが相互に一致するように補正するようにしてもよい。
【００４８】
さらに、上記搬送ロボット１００では、同一水平面内にロボットアーム１１０ａ、１１０ｂを実質的に取付けできないことから、回転軸１２ａ、１２ｂの上下方向にずらして各ロボットアーム１１０ａ、１１０ｂを取り付けると共に（図７参照）、回転軸１２ａ、１２ｂを一体に上下動するように駆動手段を設けた構成が採用されている。
【００４９】
このような場合に、上記検知手段２にて各ロボットアーム１１０ａ、１１０ｂの所定部分を検知して原点位置のティーチングを行うとき、その光軸が傾いていると、その傾きに応じて誤差が生じる。このため、ロボットハンドに設けられた少なくとも２個の所定部分（上記した指標部であってもよい）を検知してその座標データを取得することが好ましい。
【００５０】
他方で、前記各ロボットアームが昇降自在に構成されている場合、所定の同一高さ位置にて同一の検知手段よる検知を行うようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１  搬送ロボット
１１  ロボットアーム
１２ａ、１２ｂ  回転軸（駆動手段）
１３  ロボットハンド
３１  投光器
３２  受光器
Ｌ  ロードロック室
Ｐ１乃至Ｐ３  処理室
Ｔ  搬送室
Ｍ１  指標部
ＭＰ  支持板
Ｓ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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