(57)【要約】【課題】浸漬洗浄および噴射洗浄を組み合わせて小型ノズルの洗浄を１つずつ行うことができ、ハンダ粒子等を確実に除去できるノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】このノズル洗浄装置は、洗浄液を貯蔵する下部タンク２３と、下部タンクと連通する洗浄液収納部を下部に備えると共に、ノズル１７を保持する複数のノズル保持部５１を有しかつ下方への回転移動時にノズルを洗浄液収納部の洗浄液内に浸漬する回転板２１を備える縦タンク２２と、回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、１つのノズルに対して洗浄液を噴射する５方向ノズル１０２と、洗浄液収納部の洗浄液内であって回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、旋回流によりマイクロバブルを発生することにより１つのノズルを洗浄する旋回ノズル１９３を備える。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を貯蔵する第１のタンクと、
前記第１のタンクと連通する洗浄液収納部を下部に備えると共に、洗浄対象であるノズルを保持する環状に配置された複数のノズル保持部を有しかつ下方への回転移動時に前記ノズルを前記洗浄液収納部の前記洗浄液内に浸漬する回転板を備える第２のタンクと、
前記回転板の回転動作による前記ノズルの移動路に沿って配置され、１つの前記ノズルに対して前記洗浄液を噴射する多方向ノズルと、
前記洗浄液収納部の前記洗浄液内であって前記回転板の回転動作による前記ノズルの移動路に沿って配置され、旋回流によりマイクロバブルを発生することにより１つの前記ノズルを洗浄する旋回ノズルと、
を備えることを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項２】
前記回転板の回転動作による前記ノズルの移動路に沿って、前記多方向ノズル、前記旋回ノズルの順序で前記多方向ノズルおよび前記旋回ノズルが配置されることを特徴とする請求項１記載のノズル洗浄装置。
【請求項３】
前記第１のタンクから前記洗浄液を吸い込み前記洗浄液を一定圧力で排出するためのエアーシリンダおよび加圧タンクと、
前記加圧タンクから排出された前記洗浄液を流す流路部材と、
前記洗浄液を前記多方向ノズルと前記旋回ノズルへ分岐して供給する分岐部と、
を備えることを特徴とする請求項１または２記載のノズル洗浄装置。
【請求項４】
前記分岐部の上流側にマイクロバブル発生部を備えることを特徴とする請求項３記載のノズル洗浄装置。
【請求項５】
前記多方向ノズルは、入口側から出口側の内部スペースに直接的に軸方向に前記洗浄液を流す１つの穴と、入口側の内面穴および外周通路を経由して出口側の前記内部スペースに径方向にて前記洗浄液を流す少なくとも３つの穴とを備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のノズル洗浄装置。
【請求項６】
前記旋回ノズルは、入口側と出口側の間に隔壁部を有し、入口側の内面穴および外周通路を経由して出口側の内部スペースに前記洗浄液を流しかつ前記内部スペース内で旋回流を作る少なくとも２つの穴を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のノズル洗浄装置。
【請求項７】
前記マイクロバブル発生部は、中間部の流路に、前記洗浄液の流れ方向に対して傾斜端面を有するエアー吸い込み管を備えることを特徴とする請求項４記載のノズル洗浄装置。
【請求項８】
前記第２のタンクの外側から、タンク正面板に形成された搬入部を通して、前記回転板における前記複数のノズル保持部の各々に１つずつ前記ノズルを搬入してセットするノズル搬入機構と、
前記回転板における前記複数のノズル保持部の各々から１つずつ洗浄済みの前記ノズルを、タンク正面板に形成された排出部を通して排出するノズル排出機構と、
を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のノズル洗浄装置。
【請求項９】
ノズルから噴射される洗浄液のバブル破壊衝撃で対象物を洗浄するバブル発生装置であり、
前記ノズルは、
入口側から出口側の内部スペースに通じる軸方向の第１の穴と、
入口側の内面に形成された１つの穴と、
前記穴に通じる外周通路と、
前記外周通路と出口側の前記内部スペースを連通する少なくとも３つの穴とを備える、
ことを特徴とするバブル発生装置。
【請求項１０】
ノズルから噴射される洗浄液で対象物を洗浄するバブル発生装置であり、
前記ノズルは、
入口側と出口側の間に設けた隔壁部と、
入口側の内面に形成された穴と
前記穴に通じる外周通路と、
前記穴および前記外周通路を通して流れてきた前記洗浄液を出口側の内部スペースに流しかつ前記内部スペース内で旋回流を作る少なくとも２つの穴とを備える、
ことを特徴とするバブル発生装置。
【請求項１１】
加圧タンク装置からノズルに向けて一定圧力の洗浄液が流れる流路に配置されるバブル発生装置であって、
一定径の流路が形成された本体部の軸方向にほぼ直交するように配置されたエアー吸い込み管を備え、前記流路内にある前記エアー吸い込み管の先端開口部に、前記流路における前記洗浄液の流れ方向に対して傾斜する端面を形成し、前記洗浄液にマイクロバブルを発生させることを特徴とするバブル発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はノズル洗浄装置およびバブル発生装置に関し、特に、小型ノズルを１つずつ洗浄するノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置に好適なマイクロバブル等を発生させるためのバブル発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント基板洗浄や半導体洗浄等の産業用洗浄に関する洗浄の方法には様々な方法が提案されている。例を挙げると、手洗い洗浄、浸漬洗浄、噴射洗浄、超音波洗浄、電解水洗浄、ドライアイスブラスト洗浄、プラズマ洗浄、超臨界流体洗浄等である。このうち、洗浄媒体を液体または蒸気に限定すると、浸漬洗浄、噴射洗浄、超音波洗浄、電解水洗浄、超臨界流体洗浄が対象になる。
【０００３】
チップマウンタ吸着ノズル等のノズル掃除の現状工程は、通常、次の工程（１）〜（５）から構成される。なお他の方法として、現物でノズルをマウンタから外し、エアーブローだけで済ます方法もある。
（１）対象のノズルをマウンタから外し、交換品をマウンタにセットする。
（２）超音波洗浄機に複数のノズルを配置したセット治具を手でセットし、洗浄を行う。終了後手でセット治具を取り出す。
（３）次に、ノズルの開口部にエアーガン装置を当てて、ノズルの内部を掃除する。
（４）拡大器でノズル先端部を検査する。
（５）その後、治具で保管する。
【０００４】
また従来の具体的な洗浄装置として非特許文献１に記載されるノズル洗浄装置が存在する。このノズル洗浄装置で洗浄されるノズルはチップマウンタ吸着ノズルである。ノズル洗浄装置は、チップマウンタに付着するハンダ粒子等の除去する。従来のノズル洗浄装置は、複数のノズルをセットしたノズルホルダを洗浄室内に配置し、当該ノズルホルダにセットした複数のノズルをまとめて洗浄液で洗浄する構成であった。洗浄が終了した複数のノズルは、その後、洗浄室から取り出され、エアーブローまたは自然乾燥により乾燥される。
【０００５】
通常のノズル洗浄装置としては特許文献１，２に開示される装置がある。特許文献１に記載されるノズル洗浄装置は、電子部品実装機用吸着ノズルの洗浄装置である。このノズル洗浄装置では、複数の吸着ノズルをユニット体で取付け、ユニット体ごとに超音波洗浄とエアー洗浄が実行される。特許文献２に記載される吸着ノズルの洗浄方法および装置等では、高温ガス吹付手段から高温ガスを吸着ノズルのノズル穴に向けて吹き付け、所定圧のエアーを吹き付けて吹き飛ばす作用により、吸着ノズルの穴内部の付着物を除去する。
【特許文献１】特開平１０ー３０５２６３号公報
【特許文献２】特開２００７−９８２４１号公報
【非特許文献１】株式会社中村超硬、東西機工株式会社、「自動ノズル洗浄機」の製品パンフレット、２００７年５月印刷・発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば内径０．１〜１．０ｍｍの小型の吸着ノズル等を１つずつ連続的に投入することができ、洗浄用のマイクロバブル等を利用し、かつ浸漬洗浄、噴射洗浄、および蒸気洗浄を組み合わせてノズルの洗浄を１つずつ行えるようにし、さらにノズル表面および吸着穴内部に付着したハンダ粒子等を確実に除去でき、自動的に乾燥することができ、自動的な排出および整列を行うことができる小型で高性能のノズル洗浄装置が求められている。
さらに、実装ラインに装備された実際の吸着ノズル使用装置では、その場で、使用中の吸着ノズルを外して短時間で洗浄し、かつ再度、当該使用装置に装着できることが望まれている。
【０００７】
本発明の目的は、上記の課題に鑑み、小型ノズルを１つずつ連続的に投入でき、浸漬洗浄および噴射洗浄を組み合わせて小型ノズルの洗浄を行うことができ、ノズル表面および吸着穴内部に付着したハンダ粒子等を確実に除去でき、自動的に乾燥することができ、小型ノズルの排出および整列を自動的に行うことができる小型のノズル洗浄装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、効果的にマイクロバブル等を発生させることができ、高い洗浄効果を発揮できるバブル発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るノズル洗浄装置およびバブル発生装置は、上記の目的を達成するため、次のように構成される。
【００１０】
本発明に係るノズル洗浄装置は、洗浄液を貯蔵する第１のタンク（下部タンク）と、第１のタンクと連通する洗浄液収納部を下部に備えると共に、洗浄対象であるノズルを保持する環状に配置された複数のノズル保持部を有しかつ下方への回転移動時にノズルを洗浄液収納部の洗浄液内に浸漬する回転板を備える第２のタンク（縦タンク）と、回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、１つのノズルに対して洗浄液を噴射する多方向ノズルと、洗浄液収納部の洗浄液内であって回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、旋回流によりマイクロバブルを発生することにより１つのノズルを洗浄する旋回ノズルと、を備えるように構成される。
【００１１】
上記のノズル洗浄装置では、第２のタンク内に設けられ、ノズル保持部ごとの距離単位で回転する回転板に設けられた複数のノズル保持部の各々にクランプされたノズルを、１つずつ多方向ノズルおよび旋回ノズルで順次に洗浄する。これにより、１つずつ連続的に投入された小型ノズルのそれぞれを、マイクロバブルを利用して浸漬洗浄および噴射洗浄を組み合わせて洗浄することができ、ノズル表面および吸着穴内部に付着したハンダ粒子等を確実に除去できる。
【００１２】
本発明に係るノズル洗浄装置は、上記の構成において、好ましくは、回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って、多方向ノズル、旋回ノズルの順序で多方向ノズルおよび旋回ノズルが配置されることを特徴とする。
【００１３】
本発明に係るノズル洗浄装置は、上記の構成において、好ましくは、第１のタンクから洗浄液を吸い込み洗浄液を一定圧力で排出するためのエアーシリンダおよび加圧タンクと、加圧タンクから排出された洗浄液を流す流路部材と、洗浄液を多方向ノズルと旋回ノズルへ分岐して供給する分岐部と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るノズル洗浄装置は、上記の構成において、好ましくは、分岐部の上流側にマイクロバブル発生部を備えることを特徴とする。さらに、このマイクロバブル発生部は、中間部の流路に、洗浄液の流れ方向に対して傾斜端面を有するエアー吸い込み管を備える。
【００１５】
本発明に係るノズル洗浄装置は、上記の構成において、好ましくは、第２のタンクの外側から、タンク正面板に形成された搬入部を通して、回転板における複数のノズル保持部の各々に１つずつノズルを搬入してセットするノズル搬入機構と、回転板における複数のノズル保持部の各々から１つずつ洗浄済みのノズルを、タンク正面板に形成された排出部を通して排出するノズル排出機構と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
本発明に係るバブル発生装置は、ノズルから噴射される洗浄液のバブル破壊衝撃で対象物を洗浄し、当該ノズルは、入口側から出口側の内部スペースに通じる軸方向の第１の穴と、入口側の内面に形成された１つの穴と、この穴に通じる外周通路と、外周通路と出口側の内部スペースを連通する少なくとも３つの穴とを備える、ことを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るバブル発生装置は、ノズルから噴射される洗浄液で対象物を洗浄し、当該ノズルは、入口側と出口側の間に設けた隔壁部と、入口側の内面に形成された穴と、この穴に通じる外周通路と、穴および外周通路を通して流れてきた洗浄液を出口側の内部スペースに流しかつ内部スペース内で旋回流を作る少なくとも２つの穴とを備える、ことを特徴とする。
【００１８】
本発明に係るバブル発生装置は、加圧タンク装置からノズルに向けて一定圧力の洗浄液が流れる流路に配置される装置であって、一定径の流路が形成された本体部の軸方向にほぼ直交するように配置されたエアー吸い込み管を備え、流路内にあるエアー吸い込み管の先端開口部に、流路における洗浄液の流れ方向に対して傾斜する端面を形成し、洗浄液にマイクロバブルを発生させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、次の効果を奏する。
【００２０】
本発明に係るノズル洗浄装置によれば、所定の回転動作で回転する回転板に複数のノズル保持部を設け、これらのノズル保持部のそれぞれに洗浄対象であるノズルを１つずつクランプし、回転板を回転させてノズルを移動させ、当該ノズルの移動経路に沿って配置した５方向ノズルおよび旋回ノズルのそれぞれで順次に洗浄液によるバブル破壊衝撃等で洗浄するようにしたため、１つずつ連続的に投入された小型ノズルのそれぞれを浸漬洗浄、噴射洗浄、および蒸気洗浄を組み合わせて洗浄することができ、ノズル表面および吸着穴内部に付着したハンダ粒子等を確実に効果的に除去できる。
【００２１】
本発明に係る５方向ノズルに基づくバブル発生装置によれば、出口側の内部スペースで所定の位置関係にある５つの穴から導入される洗浄液の衝突的な流れによってマイクロバブル等と発生して出口部の穴から噴射するようにしたため、効率よくかつ効果的に小型ノズルの先端部のハンダ粒子等を除去することができる。
【００２２】
本発明に係る旋回ノズルに基づくバブル発生装置によれば、出口側の内部スペースにおいて位置をずらせた好ましくは２つの径方向の穴から導入される洗浄液で旋回流を作り、出口部の穴が噴射するようにしたため、洗浄液内に浸漬された小型ノズルの先端部、穴内部、および全体を効率よくかつ効果的に洗浄することができる。
【００２３】
本発明に係るマイクロバブル発生用のバブル発生装置によれば、流路中に所定配置関係を有するエアー吸い込み管を備え、流路にあるエアー吸い込み管の先端開口部に、所定位置関係の傾斜端面を形成するようにしたため、洗浄液に効果的にマイクロバブルを発生させることができ、洗浄効果を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に、本発明の好適な実施形態（実施例）を添付図面に基づいて説明する。
【００２５】
＜装置全体の外観の構成＞
図１〜図４を参照して、本発明に係るノズル洗浄装置の外観の形態と、洗浄対象であるノズルを説明する。図１はノズル洗浄装置の正面図を示し、図２は同装置の右側面図を示し、図３は同装置の平面図を示している。図４は洗浄対象であるノズルの外観斜視図を示している。
【００２６】
ノズル洗浄装置１０は、全体としてほぼ立方体の外観形状を形成する装置ケースで覆われている。ノズル洗浄装置１０は、一辺がおよそ３０ｃｍ程度の寸法である。図１に示したノズル洗浄装置１０の正面部において、１１は操作パネル部、１２は洗浄終了後のノズルを排出するノズル排出口、１３は洗浄機構部が内部に収容された洗浄機本体部、１４はタンク内の洗浄液のレベルを目視できる窓、１５は制御用の電子回路基板が配置された基板配置領域部である。図１において、正面から見たノズル洗浄装置１０の左側面部に、洗浄対象であるノズルをノズル洗浄装置１０の内部に１つずつ搬入するためのノズル搬入部１６が設けられている。
【００２７】
図４に洗浄対象であるノズルの一例を示す。ノズル１７はチップマウンタ吸着ノズルである。ノズル１７は、全体がパイプ状であり、先端部に吸着穴を有し、かつ基端部が開口されているノズル本体部１７ａから成る。さらにノズル本体部１７ａは、ノズル本体部１７ａの軸方向に直交するように環状のつば部１７ｂを有している。
【００２８】
上記のノズル搬入部１６は、ノズル１７のつば部１７ｂを差し入れ、ノズル搬入部１６の長手方向に転がり移動するようにノズル１７を案内するガイド溝を有している。ノズル搬入部１６は、所定の長さを有し、装置内部に入るほどその位置が低くなるように、傾斜して設けられている。ノズル搬入部１６の外側の上端に置かれたノズル１７は、傾斜したノズル搬入部１６に案内されてノズル洗浄装置１０の内部に移動する。ノズル搬入部１６の形状の詳細については後述される。このノズル洗浄装置１０は、チップマウンタ吸着ノズルを１つずつ洗浄しかつ乾燥するための機構を備えた装置である。洗浄されかつ乾燥されたノズルはノズル排出口１２から１つずつ排出される。
【００２９】
図１〜図３において、ノズル洗浄装置１０の内部に設けられた要素は破線で示されている。２１は洗浄されるノズル１７がセットされる内部の回転板であり、２２は縦タンクでであり、２３は下部タンクであり、２４はエアーシリンダであり、２５は加圧タンクである。図１に示した回転板２１は、図２に示した縦タンク２２内に配置される。縦タンク２２と下部タンク２３の間は接続され、内部が連通された状態にて形成されている。下部タンク２３内に洗浄液が収容される。この洗浄液の液面は基本的に下部タンク２３内の収容量に基づいて決まる。下部タンク２３と連通状態にある縦タンク２２の下部には洗浄液収容部が形成されており、その液面の高さは、縦タンク２２内において相対的に下方の所定位置に設定されている。縦タンク２２内には、上記の回転板２１が、その回転中心２１ａの回りに所要の回転動作で回転するように配置されている。回転板２１において、その回転によって最下位の位置に到来した部分は、縦タンク２２の下部の洗浄液収容部に貯められた洗浄液の中に浸漬される。縦タンク２２の下部の一部２２ａは、ノズル１７を洗浄することにより除去されたハンダ粒子を回収する回収部となっている。
【００３０】
＜内部の具体的な構造＞
次に、ノズル洗浄装置１０の内部に設けられたノズル搬入・排出機構部、ノズル保持機構部、回転駆動機構部、洗浄機構部、加圧機構部、バブル発生機構部などの具体的な構造を説明する。
【００３１】
＜ノズル搬入機構＞
図５〜図１１を参照してノズル搬入機構を説明する。図５は、ノズル搬入部の外側端部のノズル投入部を装置ケースの一部を切り欠いて部分的に示し、図６は、装置ケースの正面部分を取り外し、回転板２１が設けられた縦タンク１１の正面側の構造部分を示す図である。ノズル搬入機構は、ノズル１７をセットして装置内部に導入する機構部分として、ノズル搬入部１６を備える。ノズル搬入部１６とその関連部分のみの側面図を図７に示し、ノズル搬入部１６の平面図を図８に示す。ノズル搬入部１６は、長形の２枚の板材３１，３２を所定の隙間３３を設けてビス等で結合することにより形成される。隙間３３が上記のガイド溝である。ノズル搬入部１６は、縦タンク２２の右側の上部に右下がりの姿勢により傾斜状態で取り付けられている。隙間３３にノズル１７のつば部１７ｂを挿入した状態で、ノズル搬入部１６の上端部に配置される。ノズル搬入部１６の上端部に配置されたノズル１７は、図７および図８に示されるように、ノズル搬入部１６の傾斜に沿ってその自重および自由転がり動作によって矢印３４の方に移動する。こうして、ノズル洗浄装置１０の外部に突き出たノズル搬入部１６の上端部にノズル１７を１つずつ配置すると、各ノズル１７は下方に移動し、ノズル洗浄装置１０の内部に移送される。ノズル搬入部１６の下端側の下部にはノズル分離部３５が設けられている。ノズル搬入部１６に沿って装置内部に搬入されたノズル１７は、ノズル分離部３５の手前でノズル分離部３５の停止機構によりその移動を止められる。ノズル分離部３５は、ノズル搬入部１６で搬入されたノズル１７を１つずつ縦タンク２２内の回転板２１に供給する機構を有している。
【００３２】
図９を参照してノズル分離部３５の機構を説明する。図９に示すように、ノズル分離部３５は、２つの停止爪板３６，３７を備えている。２つの停止爪板３６，３７は移動方向に並べて配置され、かつそれぞれ矢印３８の方向に別々の移動タイミングで独立して上下動するように設けられている。手前の停止爪板３６が下動すると、最下端に位置する１つのノズル１７が下側に移動し次の停止爪板３７で停止させられる。次に停止爪板３６が上動し、停止爪板３７が下動すると、１つのノズル１７はさらに下方に移動して、ノズル搬入部１６の下端から搬入回転部３９にセットされる。こうしてノズル分離部３９の２つの停止爪板３６，３７が交互に上下動することにより、ノズル搬入部１６を介して搬入された複数のノズル１７を１つずつ分離される。分離された１つのノズル１７は次の搬入回転部３９に供給される。ノズル分離部３５によって１つのノズル１７を分離する機能は、センサ（図示せず）によるノズルの存在確認に基づいて行われる。
【００３３】
搬入回転部３９は、供給されたノズル１７を支持する溝部４１を有する支持板４２と、当該支持板４２をその軸４２ａの回りに縦タンク２２側にほぼ９０度回転させる回転駆動部４３とを備える。搬入回転部３９に１つのノズル１７が供給されると、その存在をセンサで確認する。センサによる確認が完了すると、制御系により回転駆動部４３を回転動作させ、支持板３２を回転させ、支持板４２にセットされたノズル１７を、縦タンク２２の正面板に形成された搬入口を通して縦タンク２２の内部に搬入し、所定位置（図１２に示す搬入部５０Ａの位置）に到来した回転板２１のノズル保持部５１（図１２に示す）の所定の箇所に配置する。このとき、ノズル保持部５１において、ノズル１７の先端部の吸着穴は回転板２１における外側を向くように配置される。
【００３４】
図１１に、縦タンク２２内に設けられた回転板２１のノズル保持部５１の受け板５２の平面図を示す。縦タンク２２内に搬入されたノズル１７は、ノズル保持部５１の当該受け板５２にセットされる。受け板５２にも、ノズル１７を配置する溝５２ａに入口側から奥側に向かって傾斜を形成しているので、後述するクランプ解除状態において、搬入部位置でのノズル搬入の際には自然な転がり状態が生じ、その結果、縦タンク２２内の回転板２１の搬入部位置のノズル保持部５１に容易にセットされる。
【００３５】
＜回転板およびその周辺部の構造＞
図１２および図１３を参照して回転板２１およびこれに関連する周辺部の構造を説明する。図１２および図１３に示すように、回転板２１は、縦タンク２２の内部に配置され、かつその回転中心２１ａの回りに反時計方向（図１２中矢印５３）に回転し得るように取り付けられている。回転板２１は、環状の形状を有し、その外周縁部２１Ａは例えば４個のガイドローラ６１，６２，６３，６４をほぼ等間隔で配置することにより回転自在に支持されている。ガイドローラ６１〜６４の配置位置は任意であるが、ほぼ等間隔で配置されることが好ましい。また回転板２１の内周縁部２１Ｂには例えば２個のカムフォロア７１，７２が設けられている。カムフォロ７１，７２の配置位置も任意である。回転板２１を回転させる回転駆動機構は、縦タンク２２の背面部に設けられている。回転板２１は、図１２に示すように、その正面側に例えば２０個のノズル保持部５１を取り付けている。回転板２１は、１つのノズル保持部５１の分だけの距離、すなわち１８°（＝３６０°／２０）の回転角度を単位として回転する。回転板２１の正面側に取り付けられた２０個のノズル保持部５１は各々同じ構造を有している。
【００３６】
回転板２１の内周縁部２１Ｂの内側に位置する円形スペースには、縦タンク２２の裏面板等に取り付けれた固定された支持環状板５４（図１２中で斜線で示した部分）が取り付けられている。この支持環状板５４には、その正面側の所定の複数箇所（Ｐ１，Ｐ４等に対応する箇所）の各々に、後で説明される洗浄機構における要素が取り付けられている。
【００３７】
図１４を参照して回転板２１の回転支持構造と回転駆動機構とノズル保持機構（ノズル保持部５１）を説明する。図１４は図１２におけるＡ−Ａ線断面図を示している。図１４において、８１は縦タンク２２の正面板であり、８２は縦タンク２２の裏面板である。また２１ａは回転板２１の回転中心を示しており、図１４は回転板２１の回転中心２１ａよりも上側部分の一部断面側面図を示している。縦タンク２２内において、正面板８１と裏面板８２の間に形成されたスペースに回転板２１が、その面が略垂直になるように立てた状態で、回転自在に配置されている。
【００３８】
裏面板８２には、上部に配置した１つのガイドローラ６１が回転自在に取り付けられている。このガイドローラ６１は回転板２１の外周縁部２１Ａを支持し、回転板２１の反時計方向の自由な回転を可能にしている。回転板２１の外周縁部２１Ａに沿ってほぼ等距離の間隔で配置された残りの３つのガイドローラ６２〜６４も同じ取付け構造および支持構造を有している。また回転板２１の内周縁部２１Ｂの側は、内周縁部２１Ｂに当たるカムフォロア７１が配置されるように、当該カムフォロア７１が裏面板８２に取り付けられている。カムフォロア７１はベアリング構造を内蔵し、回転板２１を内周側から回転自在に支持している。他の箇所に設けられたカムフォロア７２も同様な取付け構造および支持構造を有している。上記の回転板２１の回転可能な支持構造において、ガイドローラ６１〜６４はその円周部にＶ字形状の溝が形成されているので、回転板２１の軸方向の移動を規制している。
【００３９】
また回転板２１の裏面には、回転板２１の内周縁部２１Ｂの縁に沿ってリング形状の内部ギヤ８３が設けられている。リング状の内部ギヤ８３には外歯を有している。
【００４０】
また縦タンク２２の背面側には、裏面板８２に取付板８４を介して固定された回転シリンダ８５が設けられる。回転シリンダ８５の回転軸にはワンウェイベアリング８６を介して回転ギヤ８７が取り付けられている。回転シリンダ８５の回転軸に固定されたワンウェイベアリング８６および回転ギヤ８７は、裏面板８２に形成された開口部を通して縦タンク２２の内部に挿入されている。この配置状態において、回転ギヤ８７は、回転板２１の裏面側に設けた上記の内部ギヤ８３と噛み合っている。回転シリンダ８５の回転動作に基づき、ワンウェイベアリング８６を介して回転ギヤ８７が時計回りの一方向だけに回転すると、内部ギヤ８３により回転板２１は反時計回り（図１２に示した矢印５３）に回転することが可能になる。この回転板２１の反時計回りの回転動作は、所定の距離毎（１８°の回転角度分）に行われる。
【００４１】
ノズル保持部５１は回転板２１の正面側に取り付けられており、回転板２１の外周側に上記の受け板５２を備え、内周側に断面Ｌ字形状の支持板９１を備えている。支持板９１は回転板２１に固定されている。受け板５１は、支持板９１に平行になるように配置されている。支持板９１と受け板５２は、共に、正面側から裏面側に向かって同じ位置および同じ形状の溝（受け板５２では前述の溝５２ａ）が形成されている。また受け板５２については、取付け回転軸の回りに回転し得るように圧縮バネによって弾支されている。ノズル保持部５１の受け板５２は、ノズル１７の搬入時または排出時に、搬入部５０Ａの位置または排出部５０Ｂの位置に設置された捩りバネ９２によって押圧されたとき、溝５２ａの開口を開くように僅かな角度だけ回転する。これにより、ノズル保持部５１に保持されたノズルのクランプ状態が解除される。捩りバネ９２はクランプ解除部を形成している。捩りバネ９２は、裏面板８２に固定されたビス９３に取り付けられている。
【００４２】
また符号９４は位置決め穴を指している。位置決め穴９４は回転板２１の円周方向に複数（例えば２０個）形成されている。図示された１つの位置決め穴９４には図示しないピンおよびプランジャが係合している。回転シリンダ８５が駆動するとき、位置決め穴９４からピンとプランジャが外れ、ワンウェイベアリング８６、回転ギヤ８７、内部ギヤ８３を介して回転板２１が１８°回転する。
【００４３】
図１２において、破線で示した領域５０Ａは搬入部の箇所であり、破線で示した領域５０Ｂは排出部の箇所である。回転板２１が回転し、搬入部５０Ａの位置に到来したノズル保持部５１に、縦タンク２２内に搬入された洗浄対象のノズル１７が保持される。ノズル保持部５１において、ノズル１７の先端部は外側に向き、基端部は内側を向いている。このとき、ノズル１７はノズル保持部５１の支持板９１と受け板５２の溝に挿入され、支持板９１と受け板５２によってクランプされる。回転板２１のノズル保持部５１に保持されたノズル１７は回転板２１の反時計回りの方向（矢印５３）に送られる。回転板２１が回転し、各ノズル保持部５１が搬入部５０Ａから排出部５０Ｂに移動する間に、箇所Ｐ１で第１のノズル洗浄が行われ、箇所Ｐ２で第２のノズル洗浄が行われ、箇所Ｐ３で第３のノズル洗浄が行われ、箇所Ｐ４で第４のノズル洗浄が行われ、箇所Ｐ５でノズル乾燥が行われる。
【００４４】
上記の搬入部５０Ａと排出部５０Ｂの位置に対応する縦タンク２２の正面板８１の箇所には、それぞれ、搬入口と排出口が形成されている。また搬入口と排出口の各々の正面側には、開閉扉（図６、図２５に示す２４１，２４２）が設けられている。搬入部５０Ａの搬入口を通してノズル１７を搬入する際、あるいは排出部５０Ｂの排出口を通してノズル１７を排出する際には、各々の開閉扉は開いた状態になる。その他の時には開閉扉は閉じた状態に保持される。開閉扉の駆動機構については後述する。
【００４５】
箇所Ｐ１でのノズル洗浄では、支持環状板５４に固定された一般ノズル１０１が使用され、バブル破壊衝撃に基づきノズル基端側からノズル１７の洗浄が行われる。箇所Ｐ２のノズル洗浄では、５方向ノズル１０２が使用され、バブル破壊衝撃に基づきノズル先端側からノズル１７の洗浄が行われる。
【００４６】
上記の５方向ノズル１０２は後述するように５つの方向（軸方向１つ、径方向４つ）から洗浄液の流れが作られるので、「５方向ノズル」と記すことにする。ただし、径方向の流れ等は数を例えば３方向に減らすことができる。この場合には、全体で４つの方向の洗浄液の流れが作られるので、「４方向ノズル」となる。一般的には「多方向ノズル」と言うことができる。実施形態の説明では代表的に「５方向ノズル」について説明する。
【００４７】
５方向ノズル１０２は、原則的に回転板２１の外側に配置され、かつ矢印５５に示されるように移動自在に設けられている。回転板２１が回転動作するときには、５方向ノズル１０２は外側に向かって移動し、回転板２１の外縁部の外側に位置している。箇所Ｐ３でのノズル洗浄では、洗浄液収納部５６に収容された洗浄液５７内にノズル１７の先端部側が浸漬された状態で、かつ洗浄液５７内に配置された旋回ノズル１０３を用いてマイクロバルブを発生してノズル１７を洗浄する。５７ａは洗浄液５７の液面であり、洗浄液収納部５６の深さは約２３ｍｍであり、ワーク（ノズル）のサイズに応じて外部から＋１５ｍｍの高さ調整を行うことができる。なお箇所Ｐ３においては液体波動発生装置１１１，１１２およびチェックバルブ１１３を備えている。液体波動発生装置１１１，１１２によれば、圧縮エアーブローを瞬時に交互に行うことにより、洗浄液５７内におけるノズル１７の先端部近傍の領域でで液体波動を作り出す。箇所Ｐ４でのノズル洗浄では、支持環状板５４に固定された一般ノズル１０４が使用され、バブル破壊衝撃に基づきノズル基端側からノズル１７の洗浄が行われる。箇所Ｐ５ではノズル乾燥装置１１４，１１５が設けられている。ノズル乾燥装置１１４，１１５によれば、エアーブローを交互に行うことにより、洗浄したノズル１７の乾燥を行う。さらに図１２において、２２ａはハンダ回収部を示し、２３は下部タンクの一部を示している。
【００４８】
上記の一般ノズル１０１、５方向ノズル１０２、旋回ノズル１０３、一般ノズル１０４の各々には、共通の加圧システムにより、４つの枝路を備えた分岐部を経由して所要の圧力の洗浄液が供給される。
【００４９】
なお図１２において、矢印ＡＬ１は旋回ノズル１０３から吐出される洗浄液の流れを示し、矢印ＡＬ２は洗浄液収納部５６から溢れて流れ出す洗浄液の流れを示し、矢印ＡＬ３は回収物（ハンダ粒子等）の移動・流れを示している。
【００５０】
図１３に示された符号１０５は上記の分岐部である。分岐部１０５は、支持環状板５４の中央に形成された円形スペースに配置されている。図１３に示された構造では、分岐部１０５の２つの枝路が２つの一般的ノズル１０１，１０４の各々に接続されている。分岐部１０５の他の枝路は、内部スペースに延設されている。
【００５１】
さらに図１３では、ノズル乾燥装置１１４と液体波動発生装置１１１に可撓性を有するチューブ１０６が接続されている。チューブ１０６を介して、エアーブローを行うための空気流がノズル乾燥装置１１４と液体波動発生装置１１１等に供給される。
【００５２】
また縦タンク２２の内部であって回転板２２の上方位置には冷却部１０７が設けられている。縦タンク２２の下部の洗浄液収納部５６に収容された洗浄液５７は４０℃程に温められるので、蒸発して蒸気が出る。冷却部１０７は、その蒸気を再び洗浄液収納部５６に戻す目的で、蒸気を冷却するために設けられる。冷却部１０７は例えば右上がりで傾斜した状態で取り付けられている。冷却部１０７に付着した洗浄液は左方向に移動し、その後落下して洗浄液収納部５６に戻る。冷却の方法としては、圧縮エアーを断続的に供給することにより、冷却部が冷やされ、結露する。あるいは、ペルチェ素子等を使用することもできる。冷気が下降することにより、縦タンク２２の上部でのワーク（ノズル）の乾燥性を高めることができる。
【００５３】
＜洗浄、加圧、バブル発生の機構＞
図１５〜図２０を参照して洗浄機構部、加圧機構部、およびバブル発生機構部を説明する。
【００５４】
図１５は加圧機構部および洗浄機構部を示している。図１５において、２２は縦タンクである。縦タンク２２の中に上述した回転板２１が配置されている。また縦タンク２２の内部には、回転板２１に関連させて、洗浄機構部を構成する一般ノズル１０１、５方向ノズル１０２、旋回ノズル１０３、一般ノズル１０４等が配置されている。図１５では、これらの要素の図示は、説明の便宜上省略されている。
【００５５】
さらに縦タンク２２の下側部分と連通した状態で下部タンク２３が設けられている。下部タンク２３内には洗浄液５７が収容され貯蔵されている。洗浄液５７の液面５７ａは破線で示されている。下部タンク２３の内部は、隔壁部１２１により正面側区域２３Ａと裏面側区域２３Ｂに区分けされている。隔壁部１２１の下縁部にはその辺に沿って長穴１２１ａが形成されている。この長穴１２１ａを通して正面側区画２３Ａと裏面側区画２３Ｂとは連通している。縦タンク２２と下部タンク２３との連結部であって、縦タンク２２の下部にはハンダ回収部２２ａが設けられている。ハンダ回収部２２ａには、ノズルの洗浄で除去されたハンダ粒子等のうちその比重が液体より重いものが回収される。
【００５６】
隔壁部１２１で区画された裏面側区域２３Ｂには、その天井部に設けた開口部１２２から洗浄液を供給し得る構造を有している。当該開口部１２２には、通常、蓋部が備えられている。裏面側区域２３Ｂから長穴１２１ａを介して正面側区域２３Ａに洗浄液５７が供給される。下部タンク２３の正面側区画２３Ａと裏面側区画２３Ｂとの間は長穴１２１ａを介して連通状態にあるので、洗浄液５７の液面５７ａは同じ高さになっている。こうして、下部タンク２３内に供給された洗浄液５７は、液面位置が５７ａの状態で収容されている。
【００５７】
また正面側区画２３Ａの内部において、長穴１２１ａの近くの箇所にヒータ１２３が設けられている。ヒータ１２３は洗浄液５７を所要の温度に加熱するための手段である。
【００５８】
次に、正面側区画２３Ａの箇所には、加圧タンク２５とエアーシリンダ２４とが設けられている。エアーシリンダ２４と加圧タンク２５は一体的な構造物として作られ、シリンダ部材の内部に往復動作するピストン部材が設けられている。なお、エアーシリンダ２４等は作動部の負荷を小さくするため、重力方向に取り付けられている。
【００５９】
加圧タンク２５は、チェックバルブを備えた洗浄液吸い込み部１２４を介して下部タンク２３の裏面側区画２３Ｂとつながっている。洗浄液吸い込み部１２４の入口部にはフィルタ１２５が設置されている。洗浄液吸い込み部１２４に設けられたチェックバルブによって、裏面側区画２３Ｂから加圧タンク２５の内部空間への洗浄液の流れは生じるが、この逆向きの洗浄液の流れは阻止される。エアーシリンダ２４のピストン部材は、往復動するように設けられ、加圧タンク２５において洗浄液を吸い込む作用および排出する作用を生じさせる。
【００６０】
図１５において、エアーシリンダ２４のピストン部材が上動すると、フィルタ１２５および洗浄液吸い込み部１２４を介して裏面側区画２３Ｂ内の洗浄液が加圧タンク２５内に吸い込まれる。このとき、さらに正面側区画２３Ａ内の洗浄液も長穴１２１ａを介して裏面側区画２３Ｂへ流れる。図１５の２つの矢印１２６は、洗浄液の流れを示す。この際に、ヒータ１２３の近傍を流れるため、吸い込まれる洗浄液は加熱されることになる。下部タンク２３内に隔壁部１２１を設け、その下縁部の長穴１２１ａを通して洗浄液を供給させることにより、洗浄液内の泡（バブル）の大きいものを吸い込まないようにすることができる。さらに、フィルタ１２５の孔径を例えば０．４５μｍとすることにより、微細なゴミ等を除去して加圧タンク２５内に供給することができる。
【００６１】
エアーシリンダ２４の吸入動作で加圧タンク２５内に洗浄液５７が吸い込まれた後、ピストン部材が下動すると、加圧作用が生じ、加圧タンク２５内の洗浄液が液排出口１２７より排出される。このときのエアーの圧力は好ましくは０．５Ｍｐａである。また加圧タンク２５の容量は例えば約１７５ｃｃである。加圧タンク２５の液排出口１２７には、排出方向のみに洗浄液を流すためのチェックバルブが付設されている。加圧タンク２５から排出された洗浄液は、流路を介して、前述した一般ノズル１０１、５方向ノズル１０２、旋回ノズル１０３、一般ノズル１０４の各々に供給される。
【００６２】
次に、図１６を参照して、加圧タンク２５から排出された洗浄液５７の供給システム、および各ノズルの構造を説明する。
【００６３】
図１６において、２３は下部タンク、２４はエアーシリンダ、２５は加圧タンクを示している。下部タンク２３の設置位置は破線で示している。加圧タンク２５において、１２８は洗浄液吸い込み口であり、１３１は洗浄液を排出する液排出部である。液排出部１３１から排出された洗浄液は、流路１３２を流れ、先ず最初にマイクロバブル発生器１４０を通り、その後、再び流路１３２を流れ、４分岐部１３３を経由して、一般ノズル１０１、５方向ノズル１０２、旋回ノズル１０３、一般ノズル１０４の各々に供給される。矢印１３４は洗浄液の流れを示す。４分岐部１３３は、前述した分岐１０５に相当している。
一般ノズル１０１、５方向ノズル１０２、旋回ノズル１０３、一般ノズル１０４の各々のノズル機構は、内径が例えば０．５〜１．０ｍｍ程度の細管である。
【００６４】
流路１３２は、金属性または可撓性を有するパイプ状部材で形成され、洗浄液の排出圧力に対抗して所要耐圧を有する。流路１３２は、例えば内径が略４ｍｍである。
【００６５】
マイクロバブル発生器１４０は、全体形状は略円柱状の形状を有する。マイクロバブル発生器１４０の入口部１４１では径の大きい部分から径の小さい部分（略６．４ｍｍの内径）にテーパー状に流路１４２が形成される。その中央部１４３では略１．６ｍｍの一定内径の流路１４４が形成されている。またその出口部１４５では、径の小さい部分から径の大きい部分にテーパー状の流路１４６が形成される。中央部１４３の流路１４４では、当該流路１４４に直交する径方向にエアー吸い込み部材１４７が設けられている。当該エア吸い込み部材１４７は、パイプ（管）状部材であり、その外端部１４７ａは調整弁により大気に開放されている。またエア吸い込む部材１４７の内端部１４７ｂは、図１６に示すように、斜辺部１４７ｂ−１を形成するようにカットされている。内端部１４７ｂの斜辺部１４７ｂ−１は、流路１４４における洗浄液の流れる方向（進行方向）に斜辺部１４７ｂ−１が向かうように配置されている。図１７に拡大図を示す。図１７の（Ａ）は下面図、（Ｂ）は側面図である。矢印１４８は洗浄液の流れである。１４７ｃはエアー吸い込み部材１４７のエアー孔である。エアー吸い込み部材１４７の内端部１４７ｂの斜辺部１４７ｂ−１は、流れ１４８の進行方向に対して向かうように配置される。その結果、斜辺部１４７ｂ−１の背後に負圧（バブル）が発生しやすく、カルマン流１４９が発生する。以上のごとく、内端部１４７ｂにおける乱流発生と負圧に基づきエアー吸い込み部材１４７によってエアー吸い込みが行われ、特に斜辺部１４７ｂ−１を設けることにより洗浄液の中にマイクロバブルが効果的に発生する。このような作用は、ベンチュリー管の原理の応用に基づいて生じる。
【００６６】
マイクロバブル発生器１４０の下流側の流路１３２は、その経路をＬ字状に形成することによりマイクロバブルを破壊する。その後、４分岐部１３３によって洗浄液は４つの方向に分岐される。
【００６７】
第１の筒状の一般的ノズル１０１では、洗浄液がそのまま放出されてノズル１７の基端部に当たり、バブル破壊衝撃によりノズル１７は洗浄される。
【００６８】
第２の筒状の一般的ノズル１０４においても、洗浄液はそのまま放出され、ノズル１７の基端部に当たり、バブル破壊衝撃によりノズル１７は洗浄される。
【００６９】
５方向ノズル１０２は、全体形状が円筒形状であり、一端が入口部１５１、他端が出口部１５２となっている。入口部１５１と出口部１５２の間の中間部に絞り穴１５３が形成され、かつ、絞り穴１５３の入口部１５１側の内面部に形成された穴１５４、この穴１５４に通じる断面環状の側部通路１５５、および出口部１５２側における側部通路１５５に通じる４箇所の穴１５６が形成されている。４分岐部１３３から供給される洗浄液が５方向ノズル１０２の入口部１５１に入ると、第１に絞り穴１５３を通って出口部１５２側に流れる（矢印１５７）と共に、第２に穴１５４、側部通路１５５、４つの穴１５６を通って出口部１５２側に流れ（矢印１５８）、出口部１５２の近傍では最終的に５つの穴から５方向の洗浄液が流れ込み、これらの洗浄液が合流して出口部１５２から噴出される（矢印１５９）。
【００７０】
図１８と図１９を参照して５方向ノズル１０２のより詳細な構造を説明する。５方向ノズル１０２は、ノズル基部１０２Ａと筒状のノズルカバー１６０とから構成される。図１８はノズル基部１０２Ａを示し、（Ａ）はノズル基部１０２Ａの要部断面図、（Ｂ）は図１５の（Ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図、（Ｃ）はＡ１方向矢視図を示す。また図１９はノズルカバー１６０の側面図（Ａ）と端面図（Ｂ）を示している。
【００７１】
ノズル基部１０２Ａでは、上記の入口部１５１、出口部１５２、絞り穴１５３、内面側部の穴１５４、出口部１５２側の４つの穴１５６が形成されている。ノズル基部１０２Ａの外周面には全周にわたり凹所１６１が形成されており、当該凹所１６１が上記の側部通路１５５を形成する。側部通路１５５は、ノズル基部１０２Ａに対してノズルカバー１６０を取り付けることにより、当該凹所１６１が側部通路１５５となる。図１８の（Ｃ）を示す通り、４つの穴１５６は、９０°の角度離して等間隔で形成されており、４つの矢印１６２（上記の矢印１５８に対応）に示される通り、四方から出口部１５２側の内部スペース１６３に外側から洗浄液が流れ込む。ノズルカバー１６０は、筒体形状を有する。ノズルカバー１６０は、ノズル基部１０２Ａの出口部１５２側から嵌め込まれ、ノズル基部１０２Ａの周囲を覆うように取り付けられる。その結果、側部通路１５５が形成されることになる。
【００７２】
さらに、図１８の（Ｂ）では５方向ノズル１０２とノズル１７の位置関係が示される。ノズル１７の先端部の穴等に対して洗浄液の流れ１６２と１６４（上記の矢印１５７に対応）が生じる。洗浄液の流れ１６２，１６４は合流して、さらに矢印１６５のごとき流れが生じる。また図１８の（Ｃ）では中央位置にノズル１７の先端部が示されている。
【００７３】
上記において、５方向ノズル１０２の軸方向寸法は例えば略１５ｍｍであり、ノズルカバー１６０の外径の寸法は例えば略１０ｍｍであり、入口部１５１および出口部１５２の内径は例えば略４ｍｍである。なお入口部１５１には雌ネジが形成されており、当該入口部１５１には継手部材が螺合される。
【００７４】
再び図１６に戻り、旋回ノズル１０３を説明する。旋回ノズル１０３は、全体形状が円筒形状であり、一端が入口部１７１、他端が出口部１７２となっている。入口部１７１と出口部１７２の間に隔壁部１７３が形成され、かつ、隔壁部１７３の入口部１７１側の内面部に形成された穴１７４、この穴１７４に通じる断面環状の側部通路１７５、および出口部１７２側における側部通路１７５に通じる２つの穴１７６が形成されている。出口部１７２には、小径の穴１７７を有する出口板１７８が取り付けられている。４分岐部１３３から供給される洗浄液が旋回ノズル１０３の入口部１７１に入ると、穴１７４、側部通路１７５、２つの穴１７６を通って出口部１７２側に流れ、出口部１７２の近傍の内部スペース１７９では軸回りに旋回する洗浄液の流れが作られる。旋回する洗浄液の流れは、２つの穴１７６の形成位置を対向させるのではなく、ずらすことにより作られる。旋回ノズル１０３の出口部１７２側の内部スペース１７９では、その軸回りに旋回する洗浄液の流れが作られ、その後、出口板１７２の出口板１７８の穴１７７から洗浄液が噴出される（矢印１８０）。
【００７５】
上記旋回ノズル１０３によれば、空気取り込む口を設けず、液中飽和空気を微細化し、マイクロバブルを発生することができる。出口部１７２側の内部スペース１７９は、底側の形状が径が小さくなるように湾曲形状で形成されている。この形状によって、大きなバブルが発生しにくい形状にしている。上記の２つの穴１７６はガイド穴であり、安定した旋回流を発生させることができる。
【００７６】
図２０と上記の図１９とを参照して旋回ノズル１０３のより詳細な構造を説明する。旋回ノズル１０３は、５方向ノズル１０２と同様に、ノズル基部１０３Ａと、図１９で説明した上記のノズルカバー１６０とから構成される。図２０はノズル基部１０３Ａを示し、（Ａ）はノズル基部１０３Ａの要部断面図、（Ｂ）は図２０の（Ａ）におけるＣ−Ｃ線断面図、（Ｃ）はＡ２方向矢視図を示す。なお図２０の（Ｂ）では、出口板１７８を分解して示している。
【００７７】
図２０に示したノズル基部１０３Ａでは、入口部１７１側における隔壁部１７３の近傍の内面部に穴１７４が形成される。穴１７４は外面側まで通じている。ノズル基部１０３Ａの外周面には全周にわたり凹所１８１が形成されており、当該凹所１８１が上記の側部通路１７５を形成する。側部通路１７５は、ノズル基部１０３Ａに対してノズルカバー１６０を取り付けることにより、当該凹所１８１が側部通路１７５となる。図２０の（Ｃ）を示す通り、２つの穴１７６は、中心軸に対してずれた位置に形成されている。複数の矢印１８２に示される通り、周囲の側部通路を通り、２つの穴１７６から出口部１７２側の内部スペース１７９に外側から洗浄液が流れ込むと、旋回流１８３が生じる。筒体形状のノズルカバー１６０は、ノズル基部１０３Ａの出口部１７２側から嵌め込まれ、ノズル基部１０３Ａの周囲を覆うように取り付けられる。その結果、側部通路１７５が形成されることになる。出口部１７２側の端面に凹所１８４が形成されており、当該凹所１８４には出口板１７８が取り付けられる。
【００７８】
５方向ノズル１０２および旋回ノズル１０３におけるノズル基部１０２Ａ，１０３Ａとノズルカバー１６０や出口板１７８等の結合はロウ付けで行われる。
【００７９】
＜乾燥機構＞
図２１を参照してノズル乾燥装置１１４，１１５に関係する乾燥機構を説明する。ノズル乾燥装置１１４，１１５によればエアーブローを利用して乾燥が行われる。ノズル乾燥装置１１４，１１５は、縦タンク２２の排出部５０Ｂの外側に装備された後述のガイドレールに付設されるホットプレート２００（図６に示す）から、所要温度のエアーを供給される。当該温度は、例えば、ワーク（ノズル）におけるダメージを考慮して６０〜８０℃に設定される。図２１は、上記のホットプレート２００のヒータ２０１を示している。図２１において、（Ａ）はヒータ２０１の平面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）はその右端面図を示す。図２１の（Ｂ）において、ヒータ２０１の上面にロウ付け等で固定される蓋板２０２が併せて示されている。
【００８０】
ヒータ２０１の内部には着脱自在なカートリッジヒータ２０１Ａが組み込まれている。ヒータ２０１の上面には溝状のエアー通路２０３が形成されている。ヒータ２０１の上面に蓋板２０２を固定することにより、出入り口を除き閉じたエアー通路が形成される。２０４はエアー入口、２０５はエアー出口である。エアー通路２０３は、ヒータ２０１の上面で部分的に蛇行して形成されている。ヒータ２０１のエアー通路２０３の中にはＣ型の複数のスプリングピン２０６がランダムに設けられている。スプリングピン２０６は、エアー通路２０３内に乱流を起こし、エアー接触面積を増し、ヒータ熱を効率よく伝達する。
【００８１】
上記のホットプレートに対して、エアーの流れがエアー入口２０４に供給される。エアー通路２０４を流れることによってエアーは加熱される。加熱されたエアーは、乾燥箇所に到来したノズル保持部５１に保持されたノズル１７に与えられ、洗浄されたノズル１７を乾燥する。
【００８２】
＜ノズル排出機構＞
ノズル１７が排出部５０Ｂまで移動すると、排出部の開閉扉が開き、かつ受け板５２によるクランプ状態が捩りバネ９２によって解除され、排出口から縦タンク２２の外部に排出される。排出口の外側にはノズル１７を下方に移動させるガイドレール２１１を設けられている。ガイドレール２１１により、排出されたノズル１７は下方に移送させ、ノズル排出部１２を通してノズル回収部に回収される。
【００８３】
＜ノズルのクランプ機構＞
図２２〜図２４を参照してノズル保持部５１におけるノズルクランプ機構について説明する。図２２は受け板５２の詳細な平面図を示し、（Ａ）は通常のクランプ時の状態、（Ｂ）は搬入時または排出時のクランプ解除時の状態を示している。また図２３には回転板２１における取付け構造を示している。
【００８４】
図２３に示すごとく、受け板５２は、回転板２１の正面側に固定されたＬ字支持板２２１に軸２２２の回りに回転し得るように取り付けられる。さらに図２２の（Ａ）に示すように、受け板５２は、Ｌ字支持板２２１の端板２２３と受け板５２の押え板２２４との間に設けられた圧縮バネ２２５によって軸２２２の回りで図２２中反時計方向に回転するように押されている。これにより通常状態のクランプ状態が作られる。押え板２２４には２つの縦板２２６，２２７が一体的になるように結合されている。
【００８５】
受け板５２が搬入部５０Ａまたは排出部５０Ｂに到来する時には、図２３およびそのＡ３方向矢視図である図２４に示すように、縦タンク２２の裏面板８２に固定されたビス９３に取り付けた捩りバネ９２が、受け板５２の押え板２２４に一体化された縦板２２６に当たる。その結果、捩りバネ９２によって、受け板５２が軸２２２の回りに時計回りに僅かに回転する。捩りバネ９２が縦板２２６に接触すると、バネ接触部によって、図２２の（Ａ）で示すように矢印２２８のごとき力が加わる。そのため、図２２の（Ｂ）に示されるように、実線直線２３１に対する破線直線２３２に示すように、ノズル１７を受けるための溝５２ａが開き、図２２の（Ｂ）に示した受け板５２の溝５２ａと同形で同位置の溝を有する下方に設けられた支持板９１との関係で、ノズル１７のクランプ状態が解除される。
【００８６】
なお図２３に示すような姿勢によって、ノズル１７は、受け板５２と支持板９１との間にクランプされる。
【００８７】
＜開閉扉の開閉機構＞
図２５と図２６を参照して、図６等に示された２つの開閉扉２４１，２４２の開閉機構を説明する。図２５に示される通り、２４１は搬入部５０Ａの開閉扉であり、２４２は排出部５０Ｂの開閉扉である。開閉扉２４１は、矢印２４３のごとく動き、実線で示された位置は閉状態の位置を示し、想像線で示された位置は開状態の位置を示す。同様に、開閉扉２４２は矢印２４４のごとく動き、実線で示された位置は閉状態の位置を示し、想像線で示された位置は開状態の位置を示す。２つの開閉扉２４１，２４２は、共通の１つの駆動機構２４５で同時に開閉動作する。このことは、搬入部５０Ａにおけるノズル１７の搬入動作と、排出部５０Ｂにおけるノズル１７の排出動作は同期がとられ、同時に行われることを意味している。駆動機構２４５は、ギア支持板２４６を備え、中心線２４７に関して線対称的な位置に２つのギア２４８，２４９を備えている。ギア２４８にはレバー２３０が固定され、レバー２３０の先部に形成された長穴２３０ａに開閉扉２４１に設けられた突起２４１ａが係合している。同じくギア２４９にもレバー２３１が固定され、当該レバー２３１の先部に形成された長穴２３１ａに開閉扉２４２に設けられた突起２４２ａが係合している。図２５に示したギア２４８，２４９とレバー２３０，２３１の状態は、開閉扉２４１，２４２を閉じた状態に維持している。２つのギア２４８，２４９の間には、ギア２４８，２４９に係合するラックギア２３２が配置されている。２つのギア２４８，２４９とラックギア２３２の係合関係を平面図で示すと、図２６のようになる。ラックギア２３２は、２枚のラックギア２３２Ａ，２３２Ｂからなり、各々により左右のギアを動作させる。図２５において、このラックギア２３２が矢印２３３のように移動すると、ギア２４８は時計回りに、ギア２４９は反時計回りに回転する。これによって開閉扉２４１，２４２はそれぞれ開状態になる。開閉扉２４１，２４２の開状態において、ラックギア２３２が矢印２３４の方向に移動すると、ギア２４８は反時計回りに、ギア２４９は時計回りに回転し、開閉扉２４１，２４２はそれぞれ閉状態になる。上記の構成を有する開閉機構によれば、ラックギア２３２のストロークが短くなり、コンパクトに開閉扉２４１，２４２を開閉することができる。
【００８８】
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構成の組成（材質）等については例示にすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明に係るノズル洗浄装置は、ハンダ粒子が付着したチップマウンタ吸着ノズルを１つずつ洗浄する洗浄装置として利用される。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の実施形態に係るノズル洗浄装置の正面図である。
【図２】本実施形態に係るノズル洗浄装置の右側面図である。
【図３】本実施形態に係るノズル洗浄装置の平面図である。
【図４】洗浄対象であるノズルの外観斜視図である。
【図５】ノズル搬入部の外側先端部を示す図である。
【図６】ノズル洗浄装置の縦タンクの正面側の内部構造を示す図である。
【図７】ノズル搬入部の内側先端部と、縦タンクの正面部に形成された搬入部周辺の構造部との関係を示す図である。
【図８】ノズル搬入部とノズル分離部と搬入回転部の正面図である。
【図９】ノズル搬入部の平面図である。
【図１０】ノズル搬入部に付設されたノズル分離部の構造を示す図である。
【図１１】受け板の平面図である。
【図１２】縦タンク内に設けられた回転板および周辺構造の要部の正面図である。
【図１３】回転板の中央部の配置構造とガイドローラの回転板指示構造を示す図である。
【図１４】図１０におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１５】加圧機構部および洗浄機構部の構造を示す一部断面側面図。
【図１６】洗浄液の供給流路システムとノズルを示す図である。
【図１７】マイクロバブル発生装置におけるエアー吸い込み部材の構造を示す図である。
【図１８】５方向ノズルのノズル基部を示す図であり、（Ａ）はノズル基部の要部断面図、（Ｂ）は（Ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図、（Ｃ）は（Ａ）におけるＡ１方向矢視図である。
【図１９】５方向ノズルのノズルカバーを示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は端面図である。
【図２０】旋回ノズルのノズル基部を示す図であり、（Ａ）はノズル基部の要部断面図、（Ｂ）は（Ａ）におけるＣ−Ｃ線断面図、（Ｃ）は（Ａ）におけるＡ２方向矢視図である。
【図２１】ホットプレートのヒータを示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は右端面図である。
【図２２】受け板およびその周辺部の詳細構造を示し、（Ａ）は通常（クランプ時）の平面図であり、（Ｂ）はクランプ解除時の平面図である。
【図２３】回転板のノズル保持部における受け板と捩りバネの関係を示す部分断面側面図である。
【図２４】図２０におけるＡ３方向矢視図である。
【図２５】ノズルの搬入部および排出部の扉開閉機構を示す正面図である。
【図２６】ラックギアと二つのギアの係合関係を示す平面図である。
【符号の説明】
【００９１】
１０          ノズル洗浄装置
１１          操作パネル
１２          ノズル排出部
１６          ノズル搬入部
１７          ノズル
２１          回転板
２２          縦タンク
２３          下部タンク
２４          エアーシリンダ
２５          加圧タンク
３５          ノズル分離部
３９          搬入回転部
４１          溝
４２          支持板
５０Ａ        搬入部
５０Ｂ        排出部
５１          ノズル保持部
５２          受け板
５２ａ        溝
６１〜６４    ガイドローラ
７１，７２    カムフォロア
８１          正面板
８２          裏面板
８３          内部ギア
８４          取付板
８５          回転シリンダ
８６          ワンウェイベアリング
８７          回転ギア
９１          支持板
９２          捩りバネ
９３          ビス
１０１        一般的ノズル
１０２        ５方向ノズル
１０２Ａ      ノズル基部
１０３        旋回ノズル
１０３Ａ      ノズル基部
１０４        一般的ノズル
１１４        乾燥装置
１１５        乾燥装置
１２１        隔壁部
１３２        流路
１４０        マイクロバブル発生器
１４７        エアー吸い込み部材
２０１        ヒータ
２４１        開閉扉（搬入部）
２３２        開閉扉（排出部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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