(57)【要約】【課題】積層体の切断ズレを容易に検知する。【解決手段】貫通コンデンサの製造方法であって、第１〜第３の電極パターンをグリーンシート上に配列形成する。第１の電極パターン１６が並んだ第１の列Ａと第２の電極パターン１７が並んだ第２の列Ｂとを、第１の切断線Ｌ１に沿って交互に配列形成する。第１の列Ａでは、隣り合う第２の切断線Ｌ２の一方から他方に亘ると共に、隣り合う第１の電極パターン１６の端部同士が連結して帯状になるように第１の電極パターン１６を形成する。第２の列Ｂでは、隣り合う第１の切断線Ｌ１の一方から他方に亘るように第２の電極パターン１７を形成する。第２の切断線Ｌ２の方向に隣り合う第１の電極パターン１６の連結部分同士をつなぐ帯状の第３の電極パターン１９を第２の切断線Ｌ２上に形成する。第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが重なるように積層する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体層を間に挟んで交互に積層された第１の貫通電極と第２の貫通電極と、前記第２の貫通電極と同一層の両端に前記第２の貫通電極を挟んで配置された一対のダミー電極と、を有するコンデンサ素体を備える貫通コンデンサの製造方法であって、
前記第１及び第２の貫通電極と前記ダミー電極となる第１〜第３の電極パターンをグリーンシート上に配列形成するパターン形成工程と、
前記第１〜第３の電極パターンが形成された複数の前記グリーンシートを積層し、積層体を得る積層工程と、
前記積層体を、互いに平行な複数の第１の切断線と前記第１の切断線に垂直で互いに平行な複数の第２の切断線とに沿って積層方向に切断し、略直方体形状の複数のグリーンチップを得る切断工程と、
前記グリーンチップに熱処理を行うことにより得られる前記コンデンサ素体に前記端子電極を形成する端子形成工程と、を備え、
前記パターン形成工程では、
前記第１の電極パターンが並んだ第１の列と前記第２の電極パターンが並んだ第２の列とが、前記第１の切断線に沿って交互に配列し、前記第１の列と前記第２の列との間にはそれぞれ前記第１の切断線が位置し、
前記第１の列において、隣り合う前記第２の切断線の一方から他方に亘るように、且つ、前記第１の切断線の方向に隣り合う前記第１の電極パターンの端部同士が連結して帯状になるように前記第１の電極パターンを形成し、
前記第２の列において、隣り合う前記第１の切断線の一方から他方に亘るように前記第２の電極パターンを形成し、
前記第１の電極パターンの端部同士が連結した連結部分であって、前記第２の切断線の方向に隣り合う前記連結部分同士をつなぐ帯状の第３の電極パターンを前記第２の切断線上に形成し、
前記積層工程では、前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとが重なるように前記グリーンシートを積層することを特徴とする貫通コンデンサの製造方法。
【請求項２】
前記パターン形成工程では、前記第２の電極パターンにおいて、両側の前記第１の切断線にそれぞれ接した両端部の前記第１の切断線方向の幅より、中央部の前記幅を広くすることを特徴とする請求項１記載の貫通コンデンサの製造方法。
【請求項３】
前記パターン形成工程では、前記第１の電極パターンの両側に位置する前記第１の切断線に向かって突出すると共に前記第１の切断線と離間した突出部を有する前記第１の電極パターンを形成し、
前記端子形成工程では、前記端子電極として、
前記第２の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に、前記第１の電極パターンを含む部分から形成された第１の貫通電極と電気的に接続するように第１の端子電極を形成すると共に、
前記第１の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に、前記第２の電極パターンを含む部分から形成された第２の貫通電極と電気的に接続するように第２の端子電極を形成し、
更に、前記第１の端子電極と前記第２の端子電極との間にショートが発生するか否かを判定することを特徴とする請求項１又は２に記載の貫通コンデンサの製造方法。
【請求項４】
前記パターン形成工程では、前記第２の電極パターンの一方の前記第１の切断線側の端部が前記一方の第１の切断線を越え、他方の前記第１の切断線側の端部が前記他方の第１の切断線を越えるように、前記第２の電極パターンを形成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の貫通コンデンサの製造方法。
【請求項５】
前記第１の切断線の間隔を前記第２の切断線の間隔より広く設定し、
前記端子形成工程では、前記端子電極として、前記第２の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面を覆うように第１の端子電極を形成し、前記第１の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に第２の端子電極を形成することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の貫通コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貫通コンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
貫通コンデンサは、コンデンサ素体内に、誘電体層を挟んで交互に積層された第１及び第２の内部電極を備え、この第１及び第２の内部電極（貫通電極）が、それぞれコンデンサ素体において対向する一対の側面の一方から他方まで貫通している。
【０００３】
下記特許文献１に記載された製造方法によれば、複数の第１の貫通電極となる第１の電極パターンが配列形成された絶縁体層と複数の第２の貫通電極となる第２の電極パターンが配列形成された誘電体層とを準備し、第１の電極パターンと第２の電極パターンとが対向するように積層して積層体を形成する。その後、積層体を縦横に切断して複数のコンデンサ素体を形成している。
【特許文献１】特開平１０−２５６０８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載された貫通コンデンサは、第１の貫通電極の端が、コンデンサ素体の長側面の長手方向中央部に露出し、この長側面の長手方向中央部に第１の端子電極が形成され、第１の貫通電極と接続される。このため、製造工程において、積層体の切断ズレが起こると、コンデンサ素体の長側面で、第１の貫通電極の端が露出する位置が中央部から左右にずれることになる。このようなコンデンサ素体の長側面の中央部に第１の端子電極を形成すると、第１の端子電極と第１の貫通電極との接続不良が発生する虞がある。
【０００５】
また、積層体の切断ズレが起こると、個々のコンデンサ素体に含まれる第１及び第２の貫通電極の形状がばらつく場合や、対向面積がばらつく場合があり、貫通コンデンサの特性がばらつく虞がある。
【０００６】
そこで本発明は、製造工程において、切断ズレを容易に検知可能な貫通コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の貫通コンデンサの製造方法は、誘電体層を間に挟んで交互に積層された第１の貫通電極と第２の貫通電極と、第２の貫通電極と同一層の両端に第２の貫通電極を挟んで配置された一対のダミー電極と、を有するコンデンサ素体を備える貫通コンデンサの製造方法であって、第１及び第２の貫通電極とダミー電極となる第１〜第３の電極パターンをグリーンシート上に配列形成するパターン形成工程と、第１〜第３の電極パターンが形成された複数のグリーンシートを積層し、積層体を得る積層工程と、積層体を、互いに平行な複数の第１の切断線と第１の切断線に垂直で互いに平行な複数の第２の切断線とに沿って積層方向に切断し、略直方体形状の複数のグリーンチップを得る切断工程と、グリーンチップに熱処理を行うことにより得られるコンデンサ素体に端子電極を形成する端子形成工程と、を備え、パターン形成工程では、第１の電極パターンが並んだ第１の列と第２の電極パターンが並んだ第２の列とが、第１の切断線に沿って交互に配列し、第１の列と第２の列との間にはそれぞれ第１の切断線が位置し、第１の列において、隣り合う第２の切断線の一方から他方に亘るように、且つ、第１の切断線の方向に隣り合う第１の電極パターンの端部同士が連結して帯状になるように第１の電極パターンを形成し、第２の列において、隣り合う第１の切断線の一方から他方に亘るように第２の電極パターンを形成し、第１の電極パターンの端部同士が連結した連結部分であって、第２の切断線の方向に隣り合う連結部分同士をつなぐ帯状の第３の電極パターンを第２の切断線上に形成し、積層工程では、第１の電極パターンと第２の電極パターンとが重なるようにグリーンシートを積層することを特徴とする。
【０００８】
本発明の貫通コンデンサの製造方法では、パターン形成工程において、第１の電極パターンの端部同士が連結した連結部分であって、第２の切断線の方向に隣り合う連結部分同士をつなぐ帯状の第３の電極パターンを第２の切断線上に形成する。このため、複数のグリーンシートを積層し、第１及び第２の切断線に沿って切断すると、第１の切断線によって形成されたグリーンチップの側面には、第３の電極パターンが切断されることにより分割された端面が露出する。この分割された端面は、グリーンチップの側面における両端にそれぞれ露出する。第２の切断線に沿った切断がずれると、グリーンチップの側面における一方の端に露出した端面の幅が広くなり、他方に端に露出した端面の幅が狭くなる。このため、第２の切断線に沿った切断のズレを容易に検知できる。また、端子電極を形成する前に、切断ズレを検知できる。
【０００９】
また、パターン形成工程において、第１の電極パターンが並んだ第１の列と第２の電極パターンが並んだ第２の列とが交互に配列し、第１の列における第１の電極パターンは、隣り合う第２の切断線の一方から他方に亘って形成され、第２の列における第２の電極パターンは、隣り合う第１の切断線の一方の第１の切断線から他方の第１の切断線に亘って形成される。これにより、１枚のグリーンシートに、第１及び第２の貫通電極となる電極パターンを形成する。従って、１種類のグリーンシートで積層体を形成できるので、製造工程を容易にすることができる。
【００１０】
好ましくは、パターン形成工程では、第２の電極パターンにおいて、両側の第１の切断線にそれぞれ接した両端部の第１の切断線方向の幅より、中央部の幅を広くする。
【００１１】
この場合、第２の貫通電極が、幅の広い領域を有することとなる。よって、貫通コンデンサにおいて、この第２の貫通電極と第１の貫通電極との対向面積が大きくなり、静電容量を大きくすることができる。
【００１２】
好ましくは、パターン形成工程では、第１の電極パターンの両側に位置する第１の切断線に向かって突出すると共に第１の切断線と離間した突出部を有する第１の電極パターンを形成し、端子形成工程では、端子電極として、第２の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に、第１の電極パターンを含む部分から形成された第１の貫通電極と電気的に接続するように第１の端子電極を形成すると共に、第１の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に、第２の電極パターンを含む部分から形成された第２の貫通電極と電気的に接続するように第２の端子電極を形成し、更に、第１の端子電極と第２の端子電極との間にショートが発生するか否かを判定する。
【００１３】
パターン形成工程において、第１の電極パターンの略中央部を両側の第１の切断線に向かって突出すると共に第１の切断線と離間した形状とするので、コンデンサ素体が有する第１の貫通電極は、第１の切断線によって形成された側面に向かって突出した突出部を有する。このため、第１の切断線に沿った切断がずれた場合、第１の貫通電極の突出部と第２の端子電極とが接触し、第１の端子電極と第２の端子電極がショートする。従って、第１の端子電極と第２の端子電極との間においてショートが発生するか否かを判定することで、第１の切断線に沿った切断のズレを検知できる。
【００１４】
好ましくは、パターン形成工程では、第２の電極パターンの一方の第１の切断線側の端部が一方の第１の切断線を越え、他方の第１の切断線側の端部が他方の第１の切断線を越えるように、第２の電極パターンを形成する。
【００１５】
この場合、第１の切断線に沿った切断が多少ずれたとしても、第２の電極パターンは、第１の切断線に沿った切断により両端側が切断され、端面がグリーンチップの側面に確実に露出する。従って、第２の貫通電極の端面が、コンデンサ素体の側面に確実に露出して貫通電極として機能すると共に、第２の端子電極との接続不良を防止できる。
【００１６】
また、第２の電極パターンのうち、第１の切断線によって分割された端部側の部分は、ダミー電極として、隣のグリーンチップの第１の電極パターンの層に残る。この端部側の部分の端面は、コンデンサ素体の側面に露出するので、この側面に形成される第２の端子電極と密着し、コンデンサ素体と第２の端子電極との密着性を向上させることができる。
【００１７】
好ましくは、第１の切断線の間隔を第２の切断線の間隔より広く設定し、端子形成工程では、端子電極として、第２の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面を覆うように第１の端子電極を形成し、第１の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に第２の端子電極を形成する。
【００１８】
この場合、第２の切断線に沿った切断により形成されるグリーンチップの側面には、第１の電極パターンの端部と、第３の電極パターンの分割された部分の端部が露出する。熱処理により、第１の電極パターンは第１の貫通電極の一部となり、第３の電極パターンのうち分割されて第１の電極パターンの層に残った部分は、第１の貫通電極の引き出し部となる。従って、第１の切断線の間隔を第２の切断線の間隔より広く設定することにより、第２の切断線に沿った切断により形成されるグリーンチップ（コンデンサ素体）の側面の幅が広くなり、この側面に露出する第１の貫通電極の幅も大きくなる。従って、第１の貫通電極と第１の端子電極との接続部分の幅を広くすることができる。よって、容易に低ＥＳＬを実現できる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の貫通コンデンサの製造方法によれば、切断ズレを容易に検知することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２１】
図１は、貫通コンデンサの概略斜視図である。貫通コンデンサ１は、略直方体形状のコンデンサ素体２と、コンデンサ素体２の表面に形成された２つの第１の端子電極３，３と、２つの第２の端子電極４，４と、を備えて構成されている。コンデンサ素体２は、互いに対向する短側面２ａ，２ａと、互いに対向する長側面２ｂ，２ｂと、互いに対向する主面２ｃ，２ｃを有している。なお、短側面２ａは、コンデンサ素体２の長手方向に垂直な面である。
【００２２】
第１の端子電極３は、コンデンサ素体２の互いに対向する短側面２ａ，２ａをそれぞれ覆うように形成されている。一方の第１の端子電極３は、コンデンサ素体２の長側面２ｂ，２ｂと主面２ｃ，２ｃにおける一方の短側面２ａ側の領域にまで亘って形成されている。他方の第１の端子電極３は、コンデンサ素体２の長側面２ｂ，２ｂと主面２ｃ，２ｃにおける他方の短側面２ａ側の領域にまで亘って形成されている。
【００２３】
第２の端子電極４は、それぞれ長側面２ｂ，２ｂの略中央部に、一方の主面２ｃから他方の主面２ｃにまで亘るように帯状に形成されている。第２の端子電極４は、コンデンサ素体２の表面において第１の端子電極３と絶縁されている。第１及び第２の端子電極３，４は、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ−Ｐｄなどの材料で形成され、Ｎｉ−Ｓｎなどのめっきが施されている。
【００２４】
図２は、貫通コンデンサの断面構造を示す模式図である。コンデンサ素体２は、複数（本実施形態では４つ）の第１の貫通電極６と複数（本実施形態では４つ）の第２の貫通電極７とが、複数の誘電体層８を挟んで交互に積層された構成を有している。コンデンサ素体２の主面２ｃが、各層と平行な面である。また、コンデンサ素体２は、第２の貫通電極７と同一層に位置するダミー電極９を有している。
【００２５】
コンデンサ素体２において、積層方向に隣り合う誘電体層８同士は、その境界が視認できない程度に一体化している。誘電体層８は、例えばＢａＴｉＯ３系、Ｂａ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ３系、（Ｂａ，Ｃａ）ＴｉＯ３系といった誘電体材料によって形成されている。第１及び第２の貫通電極６，７とダミー電極９とは、例えば、Ｎｉなどの材料によって形成される。
【００２６】
第１及び第２の貫通電極６，７とダミー電極９の形状について、図３，４を参照して説明する。図３は、第１の貫通電極を示す模式図である。図４は、第２の貫通電極とダミー電極を示す模式図である。
【００２７】
図３に示されるように、第１の貫通電極６は、一体的に形成された主部６ａと引き出し部６ｂとを有している。主部６ａは、略長方形状に形成され、コンデンサ素体２の一方の短側面２ａから他方の短側面２ａまで貫通している。引き出し部６ｂは、第１の貫通電極６の両端側において、それぞれ短側面２ａに沿って幅が広がった部分である。すなわち、引き出し部６ｂは、長方形状の誘電体層８に対して、その４隅に位置する矩形状の部分である。
【００２８】
第１の貫通電極６は、その端部が、コンデンサ素体２における短側面２ａ上の一方端から他方端にまで亘って露出している。よって、第１の貫通電極６は、短側面２ａを覆うように形成された第１の端子電極３と接続されている。
【００２９】
第１の貫通電極６は、主部６ａだけでなく引き出し部６ｂを有することで、短側面２ａにそれぞれ形成された第１の端子電極３との接触面積が増える。このため、第１の貫通電極６と第１の端子電極３との電気的な接続の信頼性が向上する。また、第１の端子電極３は、誘電体層８より第１の貫通電極６との密着性が高い。このため、コンデンサ素体２の短側面２ａに露出する第１の貫通電極６の面積を大きくすることにより、コンデンサ素体２と第１の端子電極３との密着性を高めることができる。
【００３０】
図４に示されるように、第２の貫通電極７と一対のダミー電極９，９とは同一層に配置されている。第２の貫通電極７は、一体的に形成された主部７ａと一対の引き出し部７ｂとを有している。主部７ａは、略長方形状に形成され、誘電体層８の略中央部に配置されている。
【００３１】
２つ有るうちの一方の引き出し部７ｂは、主部７ａの長辺の中央部からコンデンサ素体２の一方の長側面２ｂに引き出された部分で、その端部がこの長側面２ｂの長手方向中央部に露出している。他方の引き出し部７ｂは、主部７ａの長辺の中央部からコンデンサ素体２の他方の長側面２ｂに引き出された部分で、その端部がこの長側面２ｂの長手方向中央部に露出している。
【００３２】
すなわち、第２の貫通電極７は、略十字状に形成され、一方の長側面２ｂから他方の長側面２ｂまで貫通している。主部７ａは、短側面２ａが対向する方向に伸びた領域で、引き出し部７ｂより短側面２ａが対向する方向に幅が広い。
【００３３】
また、第２の貫通電極７の一方の引き出し部７ｂは、コンデンサ素体２の一方の長側面２ｂに形成された第２の端子電極４と密着し、他方の引き出し部７ｂは、他方の長側面２ｂに形成された第２の端子電極４と密着している。すなわち、第２の貫通電極７と第２の端子電極４とが電気的に接続されている。
【００３４】
一対のダミー電極９は、第２の貫通電極７を挟んで、同一層における両端にそれぞれ配置されている。ダミー電極９，９は、帯状に形成され、第２の貫通電極７とは離間して配置されている。一方のダミー電極９は、誘電体層８の一方の短側面２ａ側に沿って、一方の長側面２ｂから他方の長側面２ｂに亘って形成されている。このため、一方のダミー電極９は、一方の短側面２ａと、長側面２ｂの一方の短側面２ａ側の部分に、その端部が露出している。この露出した端部は、一方の短側面２ａに形成された第１の端子電極３に覆われ、コンデンサ素体２と第１の端子電極３との密着性向上に寄与する。
【００３５】
他方のダミー電極９も同様に、誘電体層８の他方の短側面２ａ側に沿って、一方の長側面２ｂから他方の長側面２ｂにまで亘って形成され、他方の短側面２ａに形成された第１の端子電極３に覆われ、コンデンサ素体２と第１の端子電極３との密着性向上に寄与する。なお、ダミー電極９の幅寸法（コンデンサ素体２の短側面２ａの対向方向の寸法）は、第１の貫通電極６の引き出し部６ｂの幅寸法（コンデンサ素体２の短側面２ａの対向方向の寸法）と同程度であり、積層方向から見て、ダミー電極９と引き出し部６ｂとは重なっている。
【００３６】
第１の貫通電極６と第２の貫通電極７とは、第１の貫通電極６の主部６ａと第２の貫通電極７の主部７ａとが誘電体層８を挟んで対向し、容量を形成する。特に、第２の貫通電極７の主部７ａの短手方向の長さ（コンデンサ素体２の長側面２ｂの対向方向の寸法）は、第１の貫通電極６の主部６ａの短手方向の長さ（コンデンサ素体２の長側面２ｂの対向方向の寸法）と同程度で、互いに重なり合っている。
【００３７】
コンデンサ素体２は、短側面２ａと長側面２ｂと主面２ｃとが互いに直交している。そして、コンデンサ素体２内において、第１及び第２の貫通電極６，７とダミー電極９とは、理想的には、コンデンサ素体２の中央を通り短側面２ａ，２ａに平行な面に対して対称に形成されると共に対称に配置され、且つ、コンデンサ素体２の中央を通り長側面２ｂ，２ｂに平行な面に対して対称に形成されると共に対称に配置されている。
【００３８】
以上説明した貫通コンデンサ１は、いずれか一方の主面２ｃが他の部品（例えば、回路基板や電子部品等）に対向して実装される。例えば、回路基板上の信号ラインに第１の端子電極３が接続され、第２の端子電極４が回路基板上のグランドラインに接続される。
【００３９】
図５を参照して、本実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法について説明する。図５は、本実施形態に係る貫通コンデンサの製造工程を示すフロー図である。本実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法は、準備工程Ｓ１、パターン形成工程Ｓ２、積層工程Ｓ３、切断工程Ｓ４、焼成（熱処理）工程Ｓ５、端子形成工程Ｓ６を備える。以下、各工程について説明する。
【００４０】
準備工程Ｓ１では、誘電体層８となる複数のグリーンシートを準備する。まず、ＢａＴｉＯ３系、Ｂａ(Ｔｉ，Ｚｒ)Ｏ３系、又は（Ｂａ，Ｃａ）ＴｉＯ３系の誘電体材料に、有機ビヒクルなどを混合・混練することによってセラミックペーストを得る。このセラミックペーストをドクターブレード法等によりＰＥＴフィルム上に塗布し、グリーンシートを形成する。
【００４１】
パターン形成工程Ｓ２では、グリーンシート上に第１及び第２の貫通電極６，７とダミー電極９となる第１〜第３の電極パターンを配列形成する。第１〜第３の電極パターンは、電極ペーストをグリーンシート上にスクリーン印刷することによって形成する。
【００４２】
積層工程Ｓ３では、第１〜第３の電極パターンが形成された複数のグリーンシートを積層し、積層方向から加圧して積層体を形成する。
【００４３】
切断工程Ｓ４では、積層体を切断して略直方体形状のグリーンチップを複数形成する。切断は、グリーンシートの主面において互いに平行な複数の第１の切断線と第１の切断線に垂直で互いに平行な複数の第２の切断線とに沿って行う。
【００４４】
焼成工程Ｓ５では、グリーンチップの脱バインダ処理を行い、その後、グリーンチップを焼成し、コンデンサ素体２を得る。この熱処理により、グリーンシートが誘電体層８となり、電極パターンが第１及び第２の貫通電極６，７とダミー電極９とになり、コンデンサ素体２が得られる。
【００４５】
端子形成工程Ｓ６では、コンデンサ素体２の短側面２ａにそれぞれ第１の端子電極３を形成し、長側面２ｂにそれぞれ第２の端子電極４を形成する。コンデンサ素体２の短側面２ａ，２ａには、面全体を覆うように導電性ペーストを塗布し、長側面２ｂ，２ｂには、長手方向中央部に帯状に導電性ペーストを塗布する。その後、塗布した導電性ペーストを焼付け、更に、めっきを施すことにより、第１及び第２の端子電極３，４を形成する。以上により、貫通コンデンサ１を形成する。
【００４６】
図６を参照して、パターン形成工程Ｓ２において形成する第１〜第３の電極パターン１６，１７，１９の形状について説明する。第１〜第３の電極パターン１６，１７，１９は、グリーンシート１８上に設定された第１及び第２の切断線Ｌ１，Ｌ２を基準に形成する。第１の切断線Ｌ１の間隔は、第２の切断線Ｌ２の間隔より狭い。
【００４７】
第１の電極パターン１６は、第１の貫通電極６の主部６ａとなる部分である。第２の電極パターン１７は、第２の貫通電極７となる部分である。第３の電極パターン１９は、ダミー電極９と第１の貫通電極６の引き出し部６ｂとなる部分である。このため、第１の切断線Ｌ１と第２の切断線Ｌ２とで形成される各ます目には、第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とのいずれか一方が形成されている。
【００４８】
第１の電極パターン１６が並んだ第１の列Ａと第２の電極パターン１７が並んだ第２の列Ｂとが交互に形成されている。第１の列Ａと第２の列Ｂとの間にはそれぞれ第１の切断線Ｌ１が位置している。第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とは、互いに離間して配置されている。
【００４９】
第１の電極パターン１６は、隣り合う第２の切断線Ｌ２の一方から他方に亘って形成されている。第１の切断線Ｌ１の方向に隣り合う第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士は、連結して、端部１６ａ同士が連結した連結部分１６ｂは、帯状になるように形成されている。
【００５０】
第２の電極パターン１７は、隣り合う第１の切断線Ｌ１の一方から他方に亘るように形成されている。また、第２の電極パターン１７は、その中央部が第１の切断線Ｌ１の方向の幅が広い領域１７ａを有して、十字状に形成されている。この第１の切断線Ｌ１の方向に伸びた部分の幅（第２の切断線Ｌ２の方向の寸法）は、第１の電極パターン１６の幅（第２の切断線Ｌ２の方向の寸法）と同程度である。
【００５１】
第３の電極パターン１９は、第１の電極パターン１６と一体的に形成され、第１の電極パターン１６の連結部分１６ｂを第２の切断線Ｌ２方向につなぐように帯状に形成されている。第３の電極パターン１９は、第２の切断線Ｌ２上に形成され、第２の切断線Ｌ２の方向に隣り合う連結部分１６ｂ同士をつなぐように形成されている。第３の電極パターン１９は、第１の切断線Ｌ１の方向に並んだ第２の電極パターン１７同士の間に配置され、この第２の電極パターン１７とは離間して配置されている。
【００５２】
以上のように第１〜第３の電極パターン１６，１７，１９を形成することで、第１の電極パターン１６と第３の電極パターン１９とによって、格子状のパターンが形成され、その格子のます目に第２の電極パターン１７が配置されている。
【００５３】
図６に示されるように、積層工程Ｓ３では、第１〜第３の電極パターン１６，１７，１９が形成されたグリーンシート１８を第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが重なるように積層して積層体１０を形成する。すなわち、第１の切断線Ｌ１の間隔だけ積層されるグリーンシート１８をオフセットして積層する。これにより、第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが対向することとなる。
【００５４】
切断工程Ｓ４において、積層体１０を第１及び第２の切断線Ｌ１，Ｌ２に沿って切断すると、グリーンチップが形成される。このグリーンチップ１２には、第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが交互に積層されている。また、第３の電極パターン１９は、第２の切断線Ｌ２によって、幅が半分に切断され、第１の切断線Ｌ１によって、ダミー電極９となる部分１９ａと第１の貫通電極６の引き出し部６ｂとなる部分１９ｂとに分割される。
【００５５】
図７は、第１の切断線Ｌ１に沿った切断により形成されたグリーンチップ１２の長側面１２ｂを示す図である。グリーンチップ１２の短側面１２ａは、第２の切断線Ｌ２に沿った切断により形成された切断面である。グリーンチップ１２の短側面１２ａと長側面１２ｂとは、それぞれコンデンサ素体２の短側面２ａと長側面２ｂとなる面である。
【００５６】
長側面１２ｂにおける長手方向の中央部には、第２の電極パターン１７の端部が露出している。長側面１２ｂにおける長手方向の両端には、第３の電極パターン１９の部分１９ａと部分１９ｂとの切断面が露出している。実際のグリーンチップ１２では、グリーンシート１８が比較的白い色をしており、第１〜第３の電極パターン１６，１７，１９が比較的黒い色をしているので、長側面１２ｂ上に露出した第２の電極パターン１７の端部と第３の電極パターン１９の部分１９ａ，１９ｂの端部を視認できる。
【００５７】
切断工程Ｓ４において第２の切断線Ｌ２に沿って切断する際には、第３の電極パターン１９の中央に沿って切断する。このため、グリーンチップ１２の長側面１２ｂ上に露出する第３の電極パターン１９の部分１９ａ，１９ｂの一方の側の幅寸法Ｇ１と他方の側の幅寸法Ｇ２は、同程度となる。幅寸法Ｇ１，Ｇ２とは、グリーンチップ１２の短側面１２ａの対向方向の寸法である。
【００５８】
ところが、第２の切断線Ｌ２に沿った切断が（第１の切断線Ｌ１の方向に）ずれると、長側面１２ｂ上に露出した部分１９ａ，１９ｂの幅寸法Ｇ１，Ｇ２のうち一方が大きくなり、他方が小さくなる。例えば、幅寸法Ｇ１と幅寸法Ｇ２との大小関係を比較することにより、切断ズレを判定してもよいし、設計値等の予め定めた値と幅寸法Ｇ１，Ｇ２とを比較することにより、切断ズレを判定してもよい。これにより、第２の切断線Ｌ２に沿った切断のズレを容易に検知できる。
【００５９】
以上説明したように、本実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法では、パターン形成工程Ｓ２において、第１の電極パターン１６が並んだ第１の列Ａと第２の電極パターン１７が並んだ第２の列Ｂとが、第１の切断線Ｌ１に沿って交互に配列し、第１の列Ａと第２の列Ｂとの間それぞれには、第１の切断線Ｌ１が位置し、第１の列Ａにおいて、隣り合う第２の切断線Ｌ２の一方から他方に亘るように、且つ、第１の切断線Ｌ１の方向に隣り合う第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士が連結して帯状になるように第１の電極パターン１６を形成し、第２の列Ｂにおいて、隣り合う第１の切断線Ｌ１の一方から他方に亘るように第２の電極パターン１７を形成し、第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士が連結した連結部分１６ｂであって、第２の切断線Ｌ２の方向に隣り合う連結部分１６ｂ同士をつなぐ帯状の第３の電極パターン１９を第２の切断線Ｌ２上に形成する。
【００６０】
このため、複数のグリーンシート１８を第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが重なるように積層し、第１及び第２の切断線Ｌ１，Ｌ２に沿って切断すると、第１の切断線Ｌ１によって形成されたグリーンチップ１２の長側面１２ｂには、第３の電極パターン１９が切断されることにより分割された部分１９ａ，１９ｂの端面が露出する。この部分１９ａ，１９ｂの端面は、グリーンチップ１２の長側面１２ｂにおける両端にそれぞれ露出する。第２の切断線Ｌ２に沿った切断がずれると、グリーンチップ１２の長側面１２ｂにおける一方の端に露出した端面の幅寸法Ｇ１が広くなり、他方に端に露出した端面の幅寸法Ｇ２が狭くなる。このため、第２の切断線Ｌ２に沿った切断のズレを外観検査によって容易に検知できる。また、第１及び第２の端子電極３，４を形成する前、グリーンチップ１２を焼成する前に、切断ズレを検知できる。
【００６１】
また、積層工程Ｓ３におけるグリーンシート１８の積層ズレが発生した場合は、部分１９ａ，１９ｂの幅寸法Ｇ１，Ｇ２が揃わないので、グリーンチップ１２の外観検査により積層ズレも検知することができる。
【００６２】
また、１枚のグリーンシートに、第１及び第２の貫通電極６，７となる電極パターンを含む第１〜第３の電極パターン１６，１７，１９を形成する。従って、１種類のグリーンシートで積層体を形成できるので、製造工程を容易にすることができる。
【００６３】
また、パターン形成工程Ｓ２では、第２の電極パターン１７において、両側の第１の切断線Ｌ１にそれぞれ接した両端部の第１の切断線方向の幅より、中央部の幅を広くする。この場合、第２の貫通電極７における、第１の貫通電極６の貫通方向の寸法が大きくなる。よって、貫通コンデンサ１において、この第１の貫通電極６と第２の貫通電極７との対向面積が大きくなり、静電容量を大きくすることができる。
【００６４】
引き続いて、上記実施形態の変形例について説明する。各変形例の説明において、上記実施形態と同様な点は説明を省略し、異なる点を主に説明する。
【００６５】
（第１変形例）
図８及び図９を参照して、第１変形例に係る貫通コンデンサ１Ａについて説明する。図８は、第１の貫通電極を示す模式図である。図９は、第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。貫通コンデンサ１Ａが有する第１の貫通電極２１は、第１の貫通電極６を構成する主部６ａと４つの引き出し部６ｂと同様な主部２１ａと４つの引き出し部２１ｂとを有し、更に、２つの突出部２１ｃを有する。
【００６６】
一方の突出部２１ｃは、第１の貫通電極２１の主部２１ａにおける一方の長側面２ｂ側の一辺の中央部がこの一方の長側面２ｂに向かって略矩形状に突出した部分である。他方の突出部２１ｃは、第１の貫通電極２１の主部２１ａにおける他方の長側面２ｂ側の一辺の中央部がこの他方の長側面２ｂに向かって略矩形状に突出した部分である。すなわち、突出部２１ｃは、第２の端子電極４に向かって突出している。ただし、突出部２１ｃの先端と長側面２ｂとの間にはギャップがあり、突出部２１ｃと長側面２ｂに形成された第２の端子電極４とは絶縁されている。
【００６７】
図１０は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。突出部２１ｃを有する第１の貫通電極２１を形成するために、第１の電極パターン２３は、２つの突出部２３ｃを有する。一方の突出部２３ｃは、第１の電極パターン２３の一方の第１の切断線Ｌ１側の中央部が隣接する一方の第１の切断線Ｌ１に向かって突出した部分である。他方の突出部２３ｃは、第１の電極パターン２３の他方の第１の切断線Ｌ１側の中央部が隣接する他方の第１の切断線Ｌ１に向かって突出した部分である。突出部２３ｃの先端は、第１の切断線Ｌ１と離間している。
【００６８】
第１の電極パターン２３は、上記第１の電極パターン１６と同様に、第１の切断線Ｌ１の方向に隣り合う端部２３ａ同士が連結している。この連結部２３ｂは、第２の切断線Ｌ２の方向に隣り合う連結部２３ｂ同士が、第３の電極パターン１９によって接続されている。積層工程Ｓ３では、この第１の電極パターン２３と第２及び第３の電極パターン１７，１９とが形成されたグリーンシート１８が、積層される。
【００６９】
切断工程Ｓ４では、第１の切断線Ｌ１に沿って積層体を切断するが、実際の切断が第１の切断線Ｌ１からずれる場合がある。実際の切断面がずれると、第２の電極パターンの端面が、第１の切断線Ｌ１に沿った切断面に露出しないグリーンチップが形成される虞がある。この場合、このグリーンチップを用いて形成される貫通コンデンサにおいて、第２の貫通電極と第２の端子電極との接続不良が発生する虞がある。
【００７０】
また、第１の切断線Ｌ１に沿った実際の切断面がずれると、第１の電極パターン２３の突出部２３ｃと第１の切断線Ｌ１に沿った切断面とのギャップが小さくなる。この場合、第１及び第２の端子電極３，４を湿式めっき法などによって形成する場合、めっき液がコンデンサ素体内の第１の貫通電極が形成された層に侵入し、信頼性が低下する虞がある。
【００７１】
また、第１の切断線Ｌ１に沿った実際の切断面がずれると、コンデンサ素体に含まれる第１及び第２の貫通電極の形状が変化するので、貫通コンデンサとしての特性が変化する虞もある。
【００７２】
そこで、第１の切断線Ｌ１に沿った実際の切断面がずれたことを容易に検知するために、突出部２３ｃを有する第１の電極パターン２３を形成している。第１の切断線Ｌ１に沿った切断がずれた場合、貫通コンデンサ１Ａでは、第１の貫通電極２１の突出部２１ｃと第２の端子電極４とが接触し、第１の端子電極３と第２の端子電極４がショートする。このため、端子形成工程Ｓ６において第１及び第２の端子電極３，４を形成した後に、第１の端子電極３と第２の端子電極４との間にショートが発生するか否かを判定することで、第１の切断線Ｌ１に沿った切断のズレを容易に検知できる。
【００７３】
（第２変形例）
図１１及び図１２を参照して、第２変形例に係る貫通コンデンサ１Ｂについて説明する。図１１は、第１の貫通電極を示す模式図である。図１２は、第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。貫通コンデンサ１Ｂは、第１の貫通電極６が配置された層に、２つのダミー電極３１を有する。
【００７４】
２つのダミー電極３１は、略矩形状で、それぞれ第１の貫通電極６の両側の長側面２ｂ側にそれぞれ配置されている。また、ダミー電極３１は、第１の貫通電極６と離間して配置されている。ダミー電極３１は、一辺が長側面２ｂに露出している。また、ダミー電極３１は、長側面２ｂに沿った方向の寸法が、第２の貫通電極７の引き出し部７ｂにおける同方向の寸法と同程度で、ダミー電極３１は、第２の貫通電極７の引き出し部７ｂと重なっている。このダミー電極３１が存在することで、第２の端子電極４とコンデンサ素体２Ｂとの密着性が向上する。
【００７５】
図１３は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。第２の電極パターン３２は、一方の第１の切断線Ｌ１側の端部が一方の第１の切断線Ｌ１を越え、他方の第１の切断線Ｌ１側の端部が他方の第１の切断線Ｌ１を越えている。第２の電極パターン３２は、隣り合う第１の切断線Ｌ１に亘って形成された部分、すなわち、第２の列Ｂにおいて第１の切断線Ｌ１の間に存在する部分３３が、第２の貫通電極７となる。一方、第１の切断線Ｌ１に沿った切断により、部分３３から切り離される部分３４が、ダミー電極３１となる。
【００７６】
この場合、第１の切断線Ｌ１に沿った切断が多少ずれたとしても、第２の電極パターン３２は、第１の切断線Ｌ１に沿った切断により両端側が切断され、端面がグリーンチップ１２の長側面１２ｂに確実に露出する。従って、第２の貫通電極７の端面が、コンデンサ素体２の長側面２ｂに確実に露出して貫通電極として機能すると共に、第２の端子電極４との接続不良を防止できる。
【００７７】
また、第２の電極パターン３２のうち、第１の切断線Ｌ１によって分割された端部側の部分３４は、ダミー電極３１として、隣のグリーンチップ１２の第１の電極パターン１６の層に残る。この部分３４の端面は、コンデンサ素体２の長側面２ｂに露出するので、この長側面２ｂに形成される第２の端子電極４と密着し、コンデンサ素体２と第２の端子電極４との密着性を向上させることができる。
【００７８】
（第３変形例）
図１４〜図１６を参照して、第４変形例に係る貫通コンデンサ４１の構成について説明する。図１４は、貫通コンデンサの概略斜視図である。図１５は、第１の貫通電極を示す模式図である。図１６は、第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。第４変形例に係る貫通コンデンサ４１は、上記の貫通コンデンサ１を長側面２ｂの対向方向に引き伸ばした形状を有する貫通コンデンサである。
【００７９】
貫通コンデンサ４１では、第１の端子電極３がコンデンサ素体４２の長側面４２ｂを覆うように形成されている。第２の端子電極４は、短側面４２ａの略中央部に帯状に形成されている。短側面４２ａと長側面４２ｂとは互いに直交し、短側面４２ａは、コンデンサ素体４２の長手方向と垂直な面である。
【００８０】
コンデンサ素体４２が有する第１及び第２の貫通電極４６，４７とダミー電極４９とは、上述したコンデンサ素体２の第１及び第２の貫通電極６，７とダミー電極９と寸法比が異なる。この点について主に説明する。
【００８１】
図１５に示されるように、第１の貫通電極４６は、一体的に形成された主部４６ａと引き出し部４６ｂとを有している。主部４６ａは、略長方形状に形成され、コンデンサ素体４２の一方の長側面４２ｂから他方の長側面４２ｂまで貫通し、第１の端子電極３と電気的に接続されている。第１の貫通電極４６が誘電体層８の短手方向に貫通し、その端部が長側面４２ｂに露出している。このため、第１の貫通電極４６が誘電体層８の長手方向に貫通する場合より、幅が広くなり、電流が流れる方向と垂直な断面の面積が大きくなる。本実施形態では、この幅の広い第１の貫通電極４６をグランド電極として機能させる。このため、ＥＳＬを低下させることができる。
【００８２】
図１６に示されるように、第２の貫通電極４７は、略長方形状の主部４７ａとこの主部４７ａの両側に一体的に形成された引き出し部４７ｂとで構成されている。主部４７ａは、引き出し部４７ｂより長側面４２ｂが対向する方向に幅が広い領域である。第２の貫通電極４７は、一方の短側面４２ａから他方の短側面４２ａまで貫通し、第２の端子電極４と電気的に接続されている。
【００８３】
一対のダミー電極４９は、第２の貫通電極４７を挟んで、同一層における両側の長側面４２ｂ側にそれぞれ配置されている。ダミー電極４９は、それぞれ誘電体層８の長側面４２ｂ側に沿って、一方の短側面４２ａから他方の短側面４２ａにまで亘って形成されている。
【００８４】
図１７は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。本変形例では、第１の切断線Ｌ１に沿った切断面が、コンデンサ素体４２の短側面４２ａとなり、第２の端子電極４が形成される。一方、第２の切断線Ｌ２に沿った切断面が、コンデンサ素体４２の長側面４２ｂとなり、第１の端子電極３が形成される。本変形例では、第１の切断線Ｌ１の間隔は、第２の切断線Ｌ２の間隔より広い。
【００８５】
また、上記実施形態と同様に、第１の電極パターン５６は、第１の貫通電極４６の主部４６ａとなる部分である。第２の電極パターン５７は、第２の貫通電極４７となる部分である。第３の電極パターン５９は、ダミー電極４９と第１の貫通電極４６の引き出し部４６ｂとなる部分である。
【００８６】
第１の切断線Ｌ１の間に、第１の電極パターン５６が並んだ第１の列Ａと第２の電極パターン５７が並んだ第２の列Ｂとが交互に形成されている。
【００８７】
第１の電極パターン５６は、隣り合う第２の切断線Ｌ２の一方から他方に亘って形成されている。第１の切断線Ｌ１の方向に隣り合う第１の電極パターン５６の端部５６ａ同士は、連結して、端部５６ａ同士が連結した連結部分５６ｂは、帯状になるように形成されている。
【００８８】
第２の電極パターン５７は、隣り合う第１の切断線Ｌ１の一方から他方に亘るように形成されている。また、第２の電極パターン５７は、その中央部が第１の切断線Ｌ１の方向の幅が広い領域５７ａを有している。
【００８９】
第３の電極パターン５９は、第１の電極パターン５６と一体的に形成され、第１の電極パターン５６の連結部分５６ｂを第２の切断線Ｌ２方向につなぐように帯状に形成されている。第３の電極パターン５９は、第２の切断線Ｌ２上に形成され、第２の切断線Ｌ２の方向に隣り合う第１の電極パターン５６の連結部分５６ｂ同士をつなぐように形成されている。
【００９０】
このように第１〜第３の電極パターン５６，５７，５９が形成されたグリーンシート１８を積層し、切断することにより、グリーンチップを形成する。その切断工程Ｓ４において、第３の電極パターン５９は、第２の切断線Ｌ２によって、幅が半分に切断され、第１の切断線Ｌ１によって、ダミー電極４９となる部分５９ａと第１の貫通電極４６の引き出し部４６ｂとなる部分５９ｄとに分割される。
【００９１】
グリーンチップの短側面においては、その中央部には、第２の電極パターン５７の端部が露出し、両端には、第３の電極パターン５９の部分５９ａと部分５９ｂとの切断面が露出している。このため、グリーンチップの短側面上に露出した第３の電極パターン５９の部分５９ａ，５９ｂの一方の側の幅寸法と他方の側の幅寸法の大小関係を比較することで、第２の切断線Ｌ２に沿った切断のズレを容易に判定できる。
【００９２】
以上のように、第１の切断線Ｌ１の間隔を第２の切断線Ｌ２の間隔より広く設定することにより、第１の貫通電極４６の幅寸法（貫通方向と垂直な方向の寸法）が大きくなる。このため、低ＥＳＬを実現した貫通コンデンサ４１を容易に製造することができる。
【００９３】
（第４変形例）
図１８及び図１９を参照して、第４変形例に係る貫通コンデンサ４１Ａについて説明する。図１８は、第１の貫通電極を示す模式図である。図１９は、第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。上記の第２変形例に係る貫通コンデンサ１Ａを長側面２ｂの対向方向に引き伸ばした形状を有する貫通コンデンサである。
【００９４】
この貫通コンデンサ４１Ａは、第３変形例に係る貫通コンデンサ４１に変形を加えたものでもあるので、第３変形例に係る貫通コンデンサ４１と異なる点を主に説明する。貫通コンデンサ４１Ａが有する第１の貫通電極６１は、第３変形例に係る貫通コンデンサ４１が有する第１の貫通電極４６を構成する主部４６ａ及び４つの引き出し部４６ｂと同様な主部６１ａ及び４つの引き出し部６１ｂとを有し、更に、２つの突出部６１ｃを有する。
【００９５】
一方の突出部６１ｃは、第１の貫通電極６１の主部６１ａにおける一方の短側面４２ａ側の一辺の中央部がこの一方の短側面４２ａに向かって略矩形状に突出した部分である。他方の突出部６１ｃは、第１の貫通電極６１の主部６１ａにおける他方の短側面４２ａ側の一辺の中央部がこの他方の短側面４２ａに向かって略矩形状に突出した部分である。すなわち、２つの突出部６１ｃは、それぞれ２つの第２の端子電極４に向かって突出している。ただし、突出部６１ｃの先端と短側面４２ａとの間にはギャップがあり、突出部６１ｃと短側面４２ａに形成された第２の端子電極４とは絶縁されている。
【００９６】
図２０は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。突出部６１ｃを有する第１の貫通電極６１を形成するために、第１の電極パターン６３は、２つの突出部６３ｃを有する。一方の突出部６３ｃは、第１の電極パターン６３の一方の第１の切断線Ｌ１側の中央部が隣接する第２の電極パターン５７に向かって突出している。他方の突出部６３ｃは、第１の電極パターン６３の他方の第１の切断線Ｌ１側の中央部が隣接する第２の電極パターン５７に向かって突出している。突出部６３ｃの先端は、第１の切断線Ｌ１と離間している。
【００９７】
この突出部６３ｃ（６１ｃ）は、第１の切断線Ｌ１に沿った実際の切断面がずれたことを容易に検知するために形成されている。第１の切断線Ｌ１に沿った切断がずれた場合、貫通コンデンサ４１Ａでは、第１の貫通電極６１の一方の突出部６１ｃと第２の端子電極４とが接触し、第１の端子電極３と第２の端子電極４がショートする。このため、端子形成工程Ｓ６において第１及び第２の端子電極３，４を形成した後に、第１の端子電極３と第２の端子電極４との間にショートが発生するか否かを判定することで、第１の切断線Ｌ１に沿った切断のズレを検知できる。
【００９８】
（第５変形例）
図２１及び図２２を参照して、第５変形例に係る貫通コンデンサ４１Ｂについて説明する。図２１は、第１の貫通電極を示す模式図である。図２２は、第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。第５変形例に係る貫通コンデンサ４１Ｂは、上記の第３変形例に係る貫通コンデンサ１Ｂを長側面２ｂの対向方向に引き伸ばした形状を有する貫通コンデンサである。
【００９９】
この貫通コンデンサ４１Ｂは、第３変形例に係る貫通コンデンサ４１に変形を加えたものでもあるので、第３変形例に係る貫通コンデンサ４１と異なる点を主に説明する。貫通コンデンサ４１Ｂは、第１の貫通電極４６が配置された層に、２つのダミー電極７１を有する。
【０１００】
２つのダミー電極７１は、略矩形状で、それぞれ第１の貫通電極４６の両側の短側面４２ａ側にそれぞれ配置されている。また、ダミー電極７１は、第１の貫通電極４６と離間して配置されている。ダミー電極７１は、一辺が短側面４２ａに露出している。また、ダミー電極７１は、短側面４２ａに沿った方向の寸法が、第２の貫通電極４７の引き出し部４７ｂにおける同方向の寸法と同程度で、ダミー電極７１は、第２の貫通電極４７の引き出し部４７ｂと重なっている。このダミー電極７１が存在することで、第２の端子電極４とコンデンサ素体４２Ｂとの密着性が向上する。
【０１０１】
図２３は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。第２の電極パターン７２は、一方の第１の切断線Ｌ１側の部分７４が一方の第１の切断線Ｌ１を越え、他方の第１の切断線Ｌ１側の部分７４が他方の第１の切断線Ｌ１を越えている。第２の電極パターン７２は、隣り合う第１の切断線Ｌ１に亘って形成された部分７３が第２の貫通電極４７となり、部分７４がダミー電極７１となる。
【０１０２】
この場合、第１の切断線Ｌ１に沿った切断が多少ずれたとしても、第２の電極パターン７２は、第１の切断線Ｌ１に沿った切断により両端側が切断され、端面がグリーンチップの短側面に確実に露出する。従って、第２の貫通電極４７の端面が、コンデンサ素体４２の短側面４２ａに確実に露出して貫通電極として機能すると共に、第２の端子電極４との接続不良を防止できる。
【０１０３】
また、第２の電極パターン７２のうち、第１の切断線Ｌ１によって分割された端部側の部分７４は、ダミー電極７１として、隣のグリーンチップの第１の電極パターン５６の層に残る。この端部側の部分７４の端面は、コンデンサ素体４２の側面に露出するので、この側面に形成される第２の端子電極４と密着し、コンデンサ素体４２と第２の端子電極４との密着性を向上させることができる。
【０１０４】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、第２の電極パターン（第２の貫通電極）は、中央部の幅が端部の幅より大きいこととしたが、これに限られない。第２の電極パターンは、両側の第１の切断線Ｌ１に亘って形成されていればよく、これにより、コンデンサ素体を貫通する第２の貫通電極を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサの概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサの概略断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を示す模式図である。
【図４】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサが有する第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。
【図５】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法を示すフロー図である。
【図６】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。
【図７】本発明の実施形態に係る貫通コンデンサの製造工程において形成されるコンデンサ素体の長側面を示す模式図である。
【図８】第１変形例に係る貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を示す模式図である。
【図９】第１変形例に係る貫通コンデンサが有する第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。
【図１０】第１変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。
【図１１】第２変形例に係る貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を示す模式図である。
【図１２】第２変形例に係る貫通コンデンサが有する第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。
【図１３】第２変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。
【図１４】第３変形例に係る貫通コンデンサの概略斜視図である。
【図１５】第３変形例に係る貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を示す模式図である。
【図１６】第３変形例に係る貫通コンデンサが有する第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。
【図１７】第３変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。
【図１８】第４変形例に係る貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を示す模式図である。
【図１９】第４変形例に係る貫通コンデンサが有する第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。
【図２０】第４変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。
【図２１】第５変形例に係る貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を示す模式図である。
【図２２】第５変形例に係る貫通コンデンサが有する第２の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。
【図２３】第５変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第１〜第３の電極パターンを示す模式図である。
【符号の説明】
【０１０６】
１，１Ａ，１Ｂ，４１，４１Ａ，４１Ｂ…貫通コンデンサ、２，２Ａ，２Ｂ，４２，４２Ａ，４２Ｂ…コンデンサ素体、２ａ…短側面、２ｂ…長側面、３…第１の端子電極、４…第２の端子電極、６，４６…第１の貫通電極、７，４７…第２の貫通電極、８…誘電体層、９，４９…ダミー電極、１０…積層体、１２…グリーンチップ、１６，１７，１９…第１〜第３の電極パターン、１６ａ…端部、１６ｂ…連結部分、１８…グリーンシート、２３…第１の電極パターン、２３ｃ…突出部、３１…ダミー電極、３２…第２の電極パターン、Ａ…第１の列、Ｂ…第２の列、Ｇ１，Ｇ２…幅寸法、Ｌ１…第１の切断線、Ｌ２…第２の切断線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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