(57)【要約】【課題】１つ以上の基板処理装置を群管理する。【解決手段】管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６以外の操作端末１６が、接続許可要求があった基板処理装置１４にリモートアクセスをしているか否かを接続情報テーブル５０に基づいて判定する。また、管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６がリモートアクセスをすることを許可し、許可した操作端末１６を特定する情報である接続情報５２を接続情報テーブル５０に追加する。操作端末１６は、リモートアクセスが成功している操作端末１６を特定する情報（接続操作端末名称５６）及びユーザを特定する情報（接続ユーザ名称５７）をＵＩ装置２２により表示する。【選択図】図６
2010080663.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置と、
この基板処理装置が基板を処理する間に送信するデータを収集し、管理する群管理装置と
を有する基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
接続要求があると、前記基板処理装置の接続状況に応じて、接続可能な状態か否かを確認する
ことを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、１つ以上の基板処理装置を群管理する基板処理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータを備えた操作対象となる装置が表示する画面を、ネットワーク接続されている離れた場所に配置された複数のコンピュータによって表示可能とし、操作対象となる装置を離れた場所で操作するリモートアクセスが知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、操作対象となる装置に対して同時にリモートアクセスできるユーザ数が例えば１人（コンピュータが１台）に限定され、リモートアクセスをされている装置に対して他のコンピュータからリモートアクセスを要求した場合、どのコンピュータがリモートアクセスをしているかを知ることができないまま、リモートアクセスに失敗してしまうという問題があった。
【０００４】
本発明は、１つ以上の基板処理装置を群管理することができる基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の特徴とするところは、基板を処理する基板処理装置と、この基板処理装置が基板を処理する間に送信するデータを収集し、管理する群管理装置とを有する基板処理システムであって、前記群管理装置は、接続要求があると、前記基板処理装置の接続状況に応じて、接続可能な状態か否かを確認する基板処理システムにある。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、１つ以上の基板処理装置を群管理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１０の構成例を示す構成図である。図１に示すように、基板処理システム１０は、例えばクリーンルームネットワーク１２−１に接続された基板処理装置１４−１〜１４−４及び機器１５−１〜１５−３、事務所ネットワーク１２−２に接続された操作端末１６−１〜１６−４、並びにクリーンルームネットワーク１２−１及び事務所ネットワーク１２−２に接続された管理サーバ１８を有する。
【０００８】
クリーンルームネットワーク１２−１及び事務所ネットワーク１２−２は、それぞれＬＡＮとして接続されたネットワークであってもよいし、インターネットを介して接続されたネットワークであってもよい。
【０００９】
基板処理装置１４−１〜１４−４は、例えば排他的にリモートアクセスを許可するサーバ機能を具備し、図示しないクリーンルーム内に配置され、例えば複数枚の半導体基板に対し所定の処理をそれぞれ行う。機器１５−１〜１５−３は、例えば排他的にリモートアクセスを許可するサーバ機能を具備する制御機器であり、例えばコンピュータである。
【００１０】
操作端末１６−１〜１６−４は、クリーンルームネットワーク１２−１及び事務所ネットワーク１２−２を介して基板処理装置１４−１〜１４−４及び機器１５−１〜１５−３に対するリモートアクセスを可能にされたクライアント機能を具備する例えばコンピュータなどの端末であり、クリーンルームとは異なる場所である例えば事務所内に配置されている。
【００１１】
管理サーバ１８は、基板処理装置１４−１〜１４−４及び機器１５−１〜１５−３を管理する群管理装置であり、例えば基板処理装置１４−１〜１４−４が稼動中に生成する稼動状態データなどを収集して記憶し、操作端末１６−１〜１６−４からの要求に応じて送信する。
【００１２】
次に、基板処理装置１４−１〜１４−４、機器１５−１〜１５−３、操作端末１６−１〜１６−４及び管理サーバ１８について詳述する。
以下、基板処理装置１４−１〜１４−４など複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示す場合には、単に「基板処理装置１４」などと略記することがある。
【００１３】
図２は、基板処理装置１４の構成の概要を示すブロック図である。基板処理装置１４は、例えば基板処理部２０、ユーザインタフェース装置（ＵＩ装置）２２、記憶装置２４、通信装置２６及び制御装置２８から構成され、コンピュータとしての機能を有するとともに、例えば複数枚の半導体基板の成膜処理を行う。
【００１４】
基板処理部２０は、複数枚の半導体基板を収容して処理する処理室（図示せず）を含み、例えば半導体基板に対して成膜処理を行う。基板処理部２０が行う成膜処理には、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜又は窒素膜を形成する処理、若しくは金属を含む膜を形成する処理等が含まれる。更に、成膜処理は、アニール処理、酸化処理、窒化処理又は拡散処理等の処理であってもよい。
【００１５】
ＵＩ装置２２は、ＬＣＤ表示装置あるいはＣＲＴ表示装置及びキーボード・タッチパネルなどを含み、ユーザの操作を受け入れるとともに、所定の情報を表示する。記憶装置２４は、例えばＨＤＤ・ＣＤ装置などを含む。通信装置２６は、例えばＴＣＰ／ＩＰなどによりクリーンルームネットワーク１２−１及び事務所ネットワーク１２−２に接続された装置との間でデータの送受信を行うことができるようにされている。
制御装置２８は、ＣＰＵ３０及びメモリ３２を含み、基板処理装置１４を構成する各部を制御する。ＣＰＵ３０は、図示しないタイマを含み、例えば現在時刻などの時間に関する情報を取得可能にされている。
【００１６】
なお、基板処理装置１４は、例えば排他的にリモートアクセスを許可するＲＤＰ（リモート  デスクトップ  プロトコル）によるサーバ機能（及びクライアント機能）を例えばWindows 2003 server（登録商標）などのＯＳがインストールされることによって具備している。
【００１７】
図３は、操作端末１６の構成の概要を示すブロック図である。操作端末１６は、例えばユーザインタフェース装置（ＵＩ装置）２２、記憶装置２４、通信装置２６及び制御装置２８から構成され、コンピュータとしての機能を有する。なお、操作端末１６において、図２に示した基板処理装置１４を構成する部分と実質的に同一のものには、同一の符号が付してある。
管理サーバ１８及び機器１５も、操作端末１６と実質的に同一の構成を有するようにされている。
【００１８】
なお、操作端末１６は、サーバ機能が必要でない場合には、基板処理装置１４にリモートアクセス可能な例えばWindows XP professional（登録商標）などのＯＳがインストールされることによって、クライアント機能を具備するようにされてもよい。
【００１９】
管理サーバ１８は、上述したように、クリーンルームネットワーク１２−１及び事務所ネットワーク１２−２に接続されている。
ここで、管理サーバ１８は、操作端末１６が基板処理装置１４に対してリモートアクセス（リモートデスクトップ）を行う場合に、ＶＰＮサーバとしての機能を有するゲートウェイマシンとして、操作端末１６と基板処理装置１４との接続を仲介するようにされてもよい。また、管理サーバ１８は、操作端末１６が管理サーバ１８に対してリモートアクセスし、さらに管理サーバ１８が基板処理装置１４に対してリモートアクセスすること（例えばリモートデスクトップのチェーン）により、操作端末１６が基板処理装置１４に対してリモートアクセスすることを仲介するようにされてもよい。
【００２０】
図４は、管理サーバ１８により実行される判定プログラム４０の構成を示すブロック図である。
判定プログラム４０は、第１の判定部４２、接続情報データベース（ＤＢ）４４、第２の判定部４６及び有効期間データ４８から構成される。
【００２１】
第１の判定部４２は、操作端末１６のいずれかが送信する基板処理装置１４のいずれかに対しての接続許可要求（リモートアクセスの許可の要求）を通信装置２６を介して受け入れ、接続情報ＤＢ４４にアクセスして、接続許可要求があった基板処理装置１４に他の操作端末１６がリモートアクセスしているか否かを接続機器名称５５及び接続操作端末名称５６（図５を用いて後述）に基づいて判定する。第１の判定部４２は、他の操作端末１６がリモートアクセスしていないと判定した場合には、接続許可要求を送信した操作端末１６がリモートアクセスを排他的に行うことを許可する判定結果を出力するとともに、受け入れた接続許可要求に関する情報（図５を用いて後述）を接続情報ＤＢ４４に対して出力する。また、第１の判定部４２は、他の操作端末１６がリモートアクセスをしていると判定した場合には、受け入れた接続許可要求に関する情報を第２の判定部４６に対して出力する。
【００２２】
接続情報ＤＢ４４は、例えば記憶装置２４に記憶され、第１の判定部４２及び第２の判定部４６によりアクセス可能なデータベースであり、図５に例示された接続情報テーブル５０に含まれる情報を含む。接続情報テーブル５０（図５）は、基板処理装置１４に対してリモートアクセスしている操作端末１６についての情報（接続許可要求に関する情報を含む）をリモートアクセスごとにまとめた表である。基板処理システム１０において、例えばｎ個の独立したリモートアクセスが行われている場合、接続情報テーブル５０には接続情報５２−１〜５２−ｎが含まれる。
【００２３】
接続情報５２−１〜５２−ｎには、それぞれ接続機器種別５４、接続機器名称５５、接続操作端末名称５６、接続ユーザ名称５７及び接続時刻５８が含まれている。接続機器種別５４は、操作端末１６がリモートアクセスしている機器の種別を示す情報である。接続機器名称５５は、操作端末１６がリモートアクセスしている機器の名称を示す情報であり、操作端末１６がリモートアクセスしている機器を特定する情報となっている。接続操作端末名称５６は、リモートアクセスを行っている操作端末１６の名称を示す情報であり、リモートアクセスを行っている操作端末１６を特定する情報となっている。接続ユーザ名称５７は、操作端末１６でリモートアクセスする場合にログインしたユーザの名称を示す情報である。接続時刻５８は、操作端末１６がリモートアクセスを開始した時刻を示す情報である。
【００２４】
第２の判定部４６（図４）は、第１の判定部４２が出力する接続許可要求に関する情報を受け入れると、有効期間データ４８からリモートアクセスの有効期間を示す有効期間データ（後述する所定値）受け入れて、接続許可要求があった基板処理装置１４に他の操作端末１６がリモートアクセスしているか否かを有効期間データに基づいて判定する。第２の判定部４６は、他の操作端末１６がリモートアクセスしていないと判定した場合には、接続許可要求を送信した操作端末１６がリモートアクセスを排他的に行うことを許可する判定結果を出力するとともに、受け入れた接続許可要求に関する情報を接続情報ＤＢ４４に対して出力する。また、第２の判定部４６は、他の操作端末１６がリモートアクセスをしていると判定した場合には、判定結果をそのまま出力する。
【００２５】
有効期間データ４８は、操作端末１６が基板処理装置１４に対してリモートアクセスを継続することができる期間（有効期間）を示すデータであり、例えば記憶装置２４に記憶されている。例えば、操作端末１６が基板処理装置１４に対して接続できる時間（ログインからの経過時間）を２時間までと制限する場合、有効期間データ４８は有効期間が２時間であることを示す情報として記憶されている。なお、リモートアクセスを継続することができる期間（有効期間）は、図７を用いて後述するように、延長（継続接続）することができるようにされている。
【００２６】
次に、基板処理システム１０の動作について説明する。
図６は、操作端末１６が基板処理装置１４にリモートアクセスする許可を管理サーバ１８に対して要求した場合の基板処理システム１０の動作を示すチャートである。
図６に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、操作端末１６は、基板処理装置１４に対する接続（リモートアクセス）の許可を、管理サーバ１８に対して要求する（接続許可要求）。
【００２７】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、管理サーバ１８は、Ｓ１００において接続許可要求をした操作端末１６以外の操作端末１６（他の操作端末１６）が、接続許可要求があった基板処理装置１４にリモートアクセスをしているか否かを、接続情報テーブル５０の接続機器名称５５及び接続操作端末名称５６それぞれに基づいて判定し、他の操作端末１６がリモートアクセスをしている場合にはＳ１０４の処理に進み、その他の場合にはＳ１０６の処理に進む。
【００２８】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、管理サーバ１８は、接続許可要求があった基板処理装置１４に他の操作端末１６がリモートアクセスしているか否かを有効期間データ４８に基づいて判定し、他の操作端末１６がリモートアクセスをしていないと判定した場合にはＳ１０６の処理に進み、他の操作端末１６がリモートアクセスをしていると判定した場合にはＳ１１６の処理に進む。例えば、有効期間が２時間であることを有効期間データ４８が示す場合、管理サーバ１８は、図示しないタイマから得られる現在時刻と接続時刻５８との差が２時間未満であるか否かを判定し、差が２時間以下である場合には他の操作端末１６がリモートアクセスしていると判定し、差が２時間を越えている場合には他の操作端末１６がリモートアクセスしていないと判定する。
【００２９】
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６がリモートアクセスをすることを許可し、許可した操作端末１６を特定する情報である接続情報５２を接続情報テーブル５０に追加する。
【００３０】
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６に対し、接続（リモートアクセス）を許可する応答を行う（接続許可応答）。
【００３１】
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、接続許可応答を受けた操作端末１６は、接続を許可された基板処理装置１４に対し、接続を要求する（接続要求）。
【００３２】
ステップ１１２（Ｓ１１２）において、接続要求を受けた基板処理装置１４は、接続を完了させる応答を操作端末１６に対して行う（接続応答）。
【００３３】
ステップ１１４（Ｓ１１４）において、操作端末１６は、ＵＩ装置２２により、基板処理装置１４のＵＩ装置２２の画面を表示する。
【００３４】
ステップ１１６（Ｓ１１６）において、管理サーバ１８は、接続許可要求があった基板処理装置１４にリモートアクセスが成功している操作端末１６を特定する情報（接続操作端末名称５６）及びユーザを特定する情報（接続ユーザ名称５７）をＣＰＵ３０が接続情報テーブル５０から取得する。
【００３５】
ステップ１１８（Ｓ１１８）において、管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６に対し、接続許可要求があった基板処理装置１４にリモートアクセスが成功している操作端末１６を特定する情報を送信するとともに、接続（リモートアクセス）の要求を認めない応答を行う（接続不可応答）。
【００３６】
ステップ１２０（Ｓ１２０）において、操作端末１６は、Ｓ１１８の処理で受信した操作端末１６を特定する情報に基づいて、リモートアクセスが成功している操作端末１６を特定する情報（接続操作端末名称５６）及びユーザを特定する情報（接続ユーザ名称５７）をＵＩ装置２２により表示する。
【００３７】
図７は、操作端末１６が基板処理装置１４にリモートアクセスする許可を管理サーバ１８に対して要求した場合の基板処理システム１０の動作を示すチャートである。
図７に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、操作端末１６は、基板処理装置１４にリモートアクセスする許可を管理サーバ１８に対して要求する（接続許可要求）。
【００３８】
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、管理サーバ１８は、基板処理装置１４にリモートアクセスすることを許可する応答を操作端末１６に対して送信する（接続許可応答）。
【００３９】
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、操作端末１６は、接続許可応答を受信して所定期間（定期更新期間）経過後に、基板処理装置１４に対するリモートアクセスを継続する要求を管理サーバ１８に対して送信する（継続接続要求）。
なお、定期更新期間は、予め設定された所定の期間であり、上述したリモートアクセスを継続することができる期間（有効期間）よりも短い期間にされている。
【００４０】
ステップ２０６（Ｓ２０６）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可している操作端末１６から受けた継続接続要求に対し、リモートアクセスを継続することを許可する応答を送信する（継続接続許可応答）。
【００４１】
ステップ２０８（Ｓ２０８）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを継続することを許可した操作端末１６について、接続時刻５８のデータを継続接続許可応答を送信した時刻を示すデータに更新する。
【００４２】
ステップ２１０（Ｓ２１０）において、操作端末１６は、接続許可応答を受信して所定期間（定期更新期間）経過後に、基板処理装置１４に対するリモートアクセスを継続する要求を管理サーバ１８に対して送信する（継続接続要求）。
【００４３】
ステップ２１２（Ｓ２１２）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可している操作端末１６から受けた継続接続要求に対し、リモートアクセスを継続することを許可する応答を送信する（継続接続許可応答）。
【００４４】
ステップ２１４（Ｓ２１４）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを継続することを許可した操作端末１６について、接続時刻５８のデータを継続接続許可応答を送信した時刻を示すデータに更新する。
【００４５】
このように、管理サーバ１８は、例えばリモートアクセスを許可している操作端末１６から継続接続要求を受けた場合、リモートアクセスを継続することをその都度許可する。
【００４６】
図８は、操作端末１６がリモートアクセスを解放する要求を管理サーバ１８に対して送信した場合の、管理サーバ１８の動作を示すチャートである。
図８に示すように、ステップ３００（Ｓ３００）において、操作端末１６は、リモートアクセスを解放（切断）するようにＵＩ装置２２がユーザによって操作されると、リモートアクセスを解放（切断）する要求を管理サーバ１８に対して送信する（接続解放要求）。
【００４７】
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可していた操作端末１６から受けた接続解放要求に対し、リモートアクセスを解放することを許可する応答を送信する（接続解放応答）。
【００４８】
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、操作端末１６は、接続解放応答を受信すると、リモートアクセスを切断した旨をＵＩ装置２２によって表示する。
【００４９】
ステップ３０６（Ｓ３０６）において、操作端末１６は、リモートアクセスを切断したことを管理サーバ１８に通知する（切断通知）。
【００５０】
ステップ３０８（Ｓ３０８）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを解放（切断）した操作端末１６に関する情報（接続情報５２）を接続情報テーブル５０から削除する。
【００５１】
図９は、複数の操作端末１６が異常なく基板処理装置１４にリモートアクセスする許可を管理サーバ１８に対して要求した場合の基板処理システム１０の動作を示すチャートである。
図９に示すように、ステップ４００（Ｓ４００）において、操作端末１６−１は、基板処理装置１４に対する接続（リモートアクセス）の許可を、管理サーバ１８に対して要求する（接続許可要求）。基板処理装置１４に対するリモートアクセスが存在していない場合には、操作端末１６−１は、リモートアクセスに成功し、基板処理装置１４へのリモートアクセスを占有する。
【００５２】
ステップ４０２（Ｓ４０２）において、管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６−１に対し、接続（リモートアクセス）を許可する応答を行う（接続許可応答）。
【００５３】
ステップ４０４（Ｓ４０４）において、操作端末１６−１は、接続許可応答を受信して所定期間（定期更新期間）経過後に、基板処理装置１４に対するリモートアクセスを継続する要求を管理サーバ１８に対して送信する（継続接続要求）。ここで、操作端末１６−１は、実質的にリモートアクセスを継続することができる期間（有効期間）を延長している。
【００５４】
ステップ４０６（Ｓ４０６）において、操作端末１６−２は、基板処理装置１４に対する接続（リモートアクセス）の許可を、管理サーバ１８に対して要求する（接続許可要求）。
【００５５】
ステップ４０８（Ｓ４０８）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可している操作端末１６−１から受けた継続接続要求に対し、リモートアクセスを継続することを許可する応答を送信する（継続接続許可応答）。
【００５６】
ステップ４１０（Ｓ４１０）において、管理サーバ１８は、基板処理装置１４に対するリモートアクセスが存在しているので、操作端末１６−２に対し、接続許可要求があった基板処理装置１４にリモートアクセスが成功している操作端末１６を特定する情報を送信するとともに、接続（リモートアクセス）の要求を認めない応答を行う（接続不可応答）。
【００５７】
ステップ４１２（Ｓ４１２）において、操作端末１６−１は、接続許可応答を受信して所定期間（定期更新期間）経過後に、基板処理装置１４に対するリモートアクセスを継続する要求を管理サーバ１８に対して送信する（継続接続要求）。ここで、操作端末１６−１は、実質的にリモートアクセスを継続することができる期間（有効期間）を延長している。
【００５８】
ステップ４１４（Ｓ４１４）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可している操作端末１６−１から受けた継続接続要求に対し、リモートアクセスを継続することを許可する応答を送信する（継続接続許可応答）。
【００５９】
ステップ４１６（Ｓ４１６）において、操作端末１６−１は、リモートアクセスを解放（切断）する要求を管理サーバ１８に対して送信する（接続解放要求）。つまり、管理サーバ１８に対するリモートアクセスを占有する操作端末１６は無くなる。
【００６０】
ステップ４１８（Ｓ４１８）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可していた操作端末１６−１から受けた接続解放要求に対し、リモートアクセスを解放することを許可する応答を送信する（接続解放応答）。
【００６１】
ステップ４２０（Ｓ４２０）において、操作端末１６−２は、基板処理装置１４に対する接続（リモートアクセス）の許可を、管理サーバ１８に対して要求する（接続許可要求）。基板処理装置１４に対するリモートアクセスが存在していないので、操作端末１６−２は、リモートアクセスに成功し、基板処理装置１４に対するリモートアクセスを占有する。
【００６２】
ステップ４２２（Ｓ４２２）において、管理サーバ１８は、接続許可要求をした操作端末１６−２に対し、接続（リモートアクセス）を許可する応答を行う（接続許可応答）。
【００６３】
図１０は、リモートアクセスを解放していない操作端末１６に異常が生じた後に、他の操作端末１６が基板処理装置１４にリモートアクセスする許可を管理サーバ１８に対して要求した場合の基板処理システム１０の動作を示すチャートである。
なお、図１０に示したチャートにおいて、図９に示したステップと実質的に同一のものには、同一の符号が付してある。
図１０に示すように、ステップ４０８（Ｓ４０８）において、操作端末１６−１がリモートアクセスを継続することを許可する応答を受信した後、リモートアクセスを解放（切断）する要求を管理サーバ１８に対して送信する前に、例えば操作端末１６−１に障害が発生した場合、管理サーバ１８は、どこからも接続開放要求を受けることができない。
【００６４】
ステップ５００（Ｓ５００）において、管理サーバ１８は、リモートアクセスを許可していた操作端末１６−１からＳ４０４の処理のような継続接続要求を有効期間内に受けなかった（継続接続要求を受けることなく有効期間が経過した）場合、リモートアクセスを許可していた操作端末１６−１に関する情報（接続情報５２）を接続情報テーブル５０から削除する。つまり、操作端末１６−１がリモートアクセスしていた基板処理装置１４に対するリモートアクセスを占有する操作端末１６は無いものとみなされる（接続情報５２の初期化）。
【００６５】
したがって、ステップ４２０（Ｓ４２０）において、操作端末１６−２が基板処理装置１４に対する接続（リモートアクセス）の許可を管理サーバ１８に対して要求する（接続許可要求）と、基板処理装置１４に対するリモートアクセスが存在していないので、操作端末１６−２は、リモートアクセスに成功し、基板処理装置１４に対するリモートアクセスを占有する。
【００６６】
このように、基板処理システム１０は、各操作端末１６が基板処理装置１４と同様のクリーンルームに配置されていなくても、各操作端末１６が基板処理装置１４にリモートアクセスすることができる。
なお、上記実施形態においては、基板処理システム１０が半導体基板に対して成膜処理を行う基板処理装置１４を有する場合を例に説明したが、これに限定されることなく、例えば基板処理装置１４は、露光装置、塗布装置、乾燥装置及び加熱装置等であってもよい。さらに、基板処理装置１４は、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置であってもよい。
【００６７】
以上のように、本発明は、特許請求の範囲に記載した事項を特徴とするが、さらに次のような実施形態であってもよい。
（１）基板を処理する基板処理装置と、この基板処理装置が基板を処理する間に送信するデータを収集し、管理する群管理装置と、この群管理装置に接続され、前記データの解析処理をする複数の操作端末とを有する基板処理システムであって、前記群管理装置は、前記操作端末のいずれかから接続要求があると、他の操作端末と前記基板処理装置との接続状況に応じて、接続可能な状態か否かを確認することを特徴とする基板処理システム。
（２）基板を処理する基板処理装置と、この基板処理装置に接続される複数の操作端末とを管理する群管理装置であって、前記基板処理装置が基板を処理する間に送信するデータを収集するとともに、前記複数の操作端末のいずれかが前記基板処理装置に対して接続要求をした場合に、前記操作端末のいずれかと前記基板処理装置との接続状況に応じて、接続要求をした操作端末が接続可能な状態か否かを確認することを特徴とする群管理装置。
（３）排他的にリモートアクセスを許可するサーバ機能を具備し、基板を処理する１つ以上の基板処理装置と、ネットワークを介して前記基板処理装置に対するリモートアクセスを可能にされて、情報を表示可能にされたクライアント機能を具備する複数の操作端末と、ネットワークを介して複数の前記操作端末に接続され、複数の前記操作端末が行うリモートアクセスを管理する管理サーバとを有し、前記管理サーバは、前記基板処理装置に対してリモートアクセスが成功している前記操作端末を特定する情報を受信する受信手段と、この受信手段が受信した情報を記憶する記憶手段と、前記操作端末のいずれかがリモートアクセスを要求した場合に、リモートアクセスを要求された前記基板処理装置に対して他の操作端末のいずれかがリモートアクセスをしているか否かを、前記記憶手段が記憶する情報に基づいて判定する判定手段と、この判定手段がリモートアクセスをしていると判定した場合に、前記記憶手段が記憶する情報に基づいて、リモートアクセスを要求された前記基板処理装置に対してリモートアクセスが成功している前記操作端末を特定する情報を、リモートアクセスを要求した前記操作端末に対して送信するよう制御する制御手段とを有する基板処理システム。
（４）排他的にリモートアクセスを許可するサーバ機能を具備し、基板を処理する基板処理装置に対してネットワークを介してリモートアクセスが成功し、情報を表示可能にされたクライアント機能を具備する複数の操作端末のいずれかを特定する情報を受信する受信手段と、この受信手段が受信した情報を記憶する記憶手段と、前記操作端末のいずれかがリモートアクセスを要求した場合に、リモートアクセスを要求された前記基板処理装置に対して他の操作端末のいずれかがリモートアクセスをしているか否かを、前記記憶手段が記憶する情報に基づいて判定する判定手段と、この判定手段がリモートアクセスをしていると判定した場合に、前記記憶手段が記憶する情報に基づいて、リモートアクセスを要求された前記基板処理装置に対してリモートアクセスが成功している前記操作端末を特定する情報を、リモートアクセスを要求した前記操作端末に対して送信するよう制御する制御手段とを有する管理サーバ（群管理装置）。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上述べたように、本発明は、１つ以上の基板処理装置を群管理する基板処理システムに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成例を示す構成図である。
【図２】基板処理装置の構成の概要を示すブロック図である。
【図３】操作端末の構成の概要を示すブロック図である。
【図４】管理サーバにより実行される判定プログラムの構成を示すブロック図である。
【図５】接続情報テーブルの概要を示す図表である。
【図６】操作端末が基板処理装置にリモートアクセスする許可を管理サーバに対して要求した場合の基板処理システムの動作を示すチャートである。
【図７】操作端末が基板処理装置にリモートアクセスする許可を管理サーバに対して要求した場合の基板処理システムの動作を示すチャートである。
【図８】操作端末がリモートアクセスを解放する要求を管理サーバに対して送信した場合の、管理サーバの動作を示すチャートである。
【図９】複数の操作端末が異常なく基板処理装置にリモートアクセスする許可を管理サーバに対して要求した場合の基板処理システムの動作を示すチャートである。
【図１０】リモートアクセスを解放していない操作端末に異常が生じた後に、他の操作端末が基板処理装置にリモートアクセスする許可を管理サーバに対して要求した場合の基板処理システムの動作を示すチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１０    基板処理システム
１２−１    クリーンルームネットワーク
１２−２    事務所ネットワーク
１４−１〜１４−４    基板処理装置
１５−１〜１５−３    機器
１６−１〜１６−４    操作端末
１８    管理サーバ
２０    基板処理部
２２    ＵＩ装置
２４    記憶装置
２６    通信装置
２８    制御装置
３０    ＣＰＵ
３２    メモリ
４０    判定プログラム
４２    第１の判定部
４４    接続情報ＤＢ
４６    第２の判定部
４８    有効期間データ
５０    接続情報テーブル
５２−１〜５２−ｎ    接続情報
５４−１〜５４−ｎ    接続機器種別
５５−１〜５５−ｎ    接続機器名称
５６−１〜５６−ｎ    接続操作端末名称
５７−１〜５７−ｎ    接続ユーザ名称
５８−１〜５８−ｎ    接続時刻
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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