(57)【要約】【課題】スピンレスコーター用スリットノズルにおいて、乾燥防止モードでスリットダイ先端がディップ槽の洗浄液の液面に確実に漬かっているかどうかを、人の確認無しに監視可能で、異物の発生を抑制するスリットノズルを提供する。【解決手段】板状被処理物表面に、塗布液を一定幅で塗布するためのスピンレスコーター用スリットノズルにおいて、一連の塗布動作実行中に該スリットノズルを一定時間以上使用しないときに、該スリットノズル先端を洗浄液に浸漬保持し乾燥を防止するディップ槽（洗浄液の溜り部）の液面を検地する液面センサーを、一定幅の開口を有する該スリットノズル両端の少なくとも一方の外側面に具設してある。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状被処理物表面に、塗布液を一定幅で塗布するためのスピンレスコーター用スリットノズルにおいて、
一連の塗布動作実行中に該スリットノズルを一定時間以上使用しないときに、該スリットノズル先端を洗浄液に浸漬保持し乾燥を防止するディップ槽（洗浄液の溜り部）の液面を検地する液面センサーを、一定幅の開口を有する該スリットノズル両端の少なくとも一方の外側面に具設してあることを特徴とするスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の板状被処理物表面に、レジスト等の塗布液を一定幅で塗布するためのスピンレスコーター用スリットノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等の板状被処理物表面に、レジスト等の塗布液を塗布するための塗布方式として、スピンコート方式がある。これは、スピンナー上に載置した被処理物表面の中心部にノズルあるいはスリットから塗布液を滴下し、スピンナーによって被処理物を回転させ、その遠心力で塗布液を外方に向けて拡散させることで均一に塗布しようとする方法である。この場合の塗布液の膜厚は、回転数と時間で制御されるが、この方法では被処理物表面に残る塗布液は僅かであり、殆どが飛散してしまうので無駄がある。
【０００３】
そこで、スピンコート方式に代わって、ノズル自体に所定幅の塗布液吐出口スリットを開口させ、このスリットノズルを一定速度で移動することで被処理物表面に所定幅で塗布液を均一に塗布でき、塗布液の無駄をなくし且つ効率的な方法として提案されている。これは、スリットノズル（ダイ）コート方式と称され、大型液晶表示装置用カラーフィルタ基板の感光性樹脂の塗布等に多用されている。
【０００４】
この塗布方式においては、塗布液をダイのスリットから押し出し、一定速度で移動して、ガラス基板等の被処理物に対してビードを形成させながら塗布する。このスリットダイは、一般的には、サイドプレートで両サイドから挟持された２枚以上のブロックを組み合わせてスリットを形成し、塗布液を供給する供給口と、供給された塗布液を一度留めて貯蔵し幅方向に広げて長手方向に均一に流動させるためのマニホールド部分と、マニホールドより塗布液を幅方向で均一に流動させてリップより吐出させるためのスリットを有している。
【０００５】
しかしながら、スリットノズルのリップ先端面は塗布液に対する濡れ性が良いことが安定したビード形成に必要であるが、通常同じ材質からなるリップ先端側面やサイドプレート先端部も塗布液に対する濡れ性が良いことで、リップの両端で塗布液がサイドプレート先端の上面に濡れ広がる。このスリットノズル先端部に付着した感光性樹脂等の塗布レジスト液は固化あるいは乾燥することで、いわゆる、レジカス異物の発生源となり、また流れ方向にスジやムラ等の塗布欠陥を発生させてしまう問題がある。このため、特許文献１に開示されているように、塗布後の洗浄によってノズル先端及びその周辺部の塗布液を除去する必要がある。また、スリットノズルを一定時間以上使用しないときには、あるいは定期的に、スリットノズル先端のリップ部分を洗浄液のディップ槽に浸漬保持し乾燥を防止することが必須である。
【０００６】
通常、ディップ槽の洗浄液は、加圧等で周期的にディップ槽に供給され、一定液面以上でオーバーフローさせることにより液面を一定に保っている。しかし、例えば、供給加圧の低下、供給配管の詰り等なんらかの影響で供給液の流量が低下すると、洗浄液の液面が低下して、スリットノズル先端が洗浄液に漬かっていない状態となり、異物発生の原因となる。スリットノズル先端のリップ部分が洗浄液の液面に漬かっているかどうかは、現状の設備では、人が定期的に目視確認する方法で対応せざるを得なかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−２７０８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
洗浄ユニットが装設されたスリットノズル（ダイ）は、通常、環境の清浄度を保ち、有機溶剤蒸気の飛散を抑制し、かつ移動するスリットダイとの接触を避ける安全性のために、ガラス等の透明な板からなる扉付の仕切り壁で囲われたクリーンブース内で運用・稼動している。スリットダイ先端のリップ部分がディップ槽の洗浄液の液面に漬かっているかどうかを、人が確認する場合、ガラス板越に確認することになるが、光の反射等があり正確に確認できず、扉を開けて確認する場合には、安全のためコーターユニットを一時的に停止させる方法で対応せざるを得ず、クリーン度の維持の上でも好ましくなかった。本発明の目的は、乾燥防止モードでスリットダイ先端のリップ部分がディップ槽の洗浄液の液面に確実に漬かっているかどうかを、人の確認無しに監視可能で、異物の発生を抑制するスリットノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の請求項１に係る発明は、板状被処理物表面に、塗布液を一定幅で塗布するためのスピンレスコーター用スリットノズルにおいて、一連の塗布動作実行中に該スリットノズルを一定時間以上使用しないときに、該スリットノズル先端を洗浄液に浸漬保持し乾燥を防止するディップ槽（洗浄液の溜り部）の液面を検地する液面センサーを、一定幅の開口を有する該スリットノズル両端の少なくとも一方の外側面に具設してあることを特徴とするスリットノズルである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のスリットノズルは、一定幅の開口を有し、その両端の少なくとも一方の外側面に、ディップ槽の液面を検地する液面センサーを具設してある。そのため、ガラス基板等の板状非処理物表面に感光性樹脂溶液等の塗布液を塗布する工程で、スリットノズルを一定時間以上使用しないときにスリットノズル先端をディップ槽の洗浄液に浸漬しておく乾燥防止モードで、スリットノズル先端がディップ槽の洗浄液に確実に浸漬しているかどうかを常時監視することが可能となり、ディップ槽液面の低下等トラブルに早急に対応することが可能となる。その結果、スリットノズル先端部に付着した塗布レジストの乾燥を防止し、いわゆる、レジカス異物の発生を防止することができ、製品不良率の低減、塗布装置稼働率の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係るスリットノズルの、両端側面に液面センサーを具設している一例で、ディップ槽の洗浄液に先端が浸漬している状態を説明する概略図である。
【図２】本発明に係るスリットノズルの一例のスリットダイの（ａ）は側面から、（ｂ）は上面から見た概略図である。
【図３】本発明に係るスリットノズルの、先端の洗浄装置、乾燥防止装置、予備吐出装置からなる事前調整装置の一例の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に本発明のスリットノズルを一実施形態に基づいて説明する。
【００１３】
図１に示す通り、本発明のスリットノズル１０は、外側面に具設された液面センサー１でディップ槽２の洗浄液３の液面を検地する。そのため、スリットノズル先端をディップ
槽の洗浄液に浸漬しておく乾燥防止モードで、スリットノズル先端がディップ槽の洗浄液に確実に浸漬しているかどうかを常時監視する。スリットノズル先端がディップ槽の液面に漬かっていないときは、警報を発して、異物発生を未然に防止する。
【００１４】
まず、本発明のスリットノズル１０は、図２に示すように、少なくともサイドプレート８、９で両サイドから挟持された２枚以上のブロック６、７を組み合わせてスリット４を形成し、図示しない塗布液を供給する供給口と、供給された塗布液を一度留めて貯蔵し幅方向に広げて長手方向に均一に流動させるためのマニホールド５と、マニホールドより塗布液を幅方向で均一に流動させてリップ部４０より吐出させるためのスリット４を有している。液面センサー１は、サイドプレートの外側面の片方又は両方に具設される。スリットノズルの幅方向に対して前面あるいは後面側に具設すると、後述する洗浄装置でノズル先端を洗浄するときに邪魔になるため好ましくない。
【００１５】
液面センサーとしては、非接触式のものとして、液面付近と大気中との温度差を検出するものや、液面での超音波の反射を検出するもの、あるいは光学式のもの等がある。接触式のものとしては、静電容量式のものや、フロート式のもの等がある。本発明のスリットノズルはガラス基板等の被処理物の上面を移動して塗布を行うため、洗浄液が付着して落下する恐れのない非接触式の液面センサーが好ましい。
【００１６】
本発明のスリットノズル１０は、図示しないポンプから供給された塗布液がマニホールド５及びスリット４を通ったのちリップ部４０でガラス基板等の被処理物表面にビードを作り、被処理物上を一定速度で移動しながら塗布を行う。塗布終了後、スリットノズルは、図３に例示する洗浄調整装置１００に運ばれ、ノズル先端を洗浄し、次のコートのために先端部の調整を行う。
【００１７】
前述したように、スリットノズルでの塗布では安定したビードの形成のために、ノズル先端のリップ部は塗布液に対する接触角が低く濡れが良いことが必要である。このスリットノズル先端部に付着した感光性樹脂等の塗布レジスト液は固化あるいは乾燥することで、いわゆる、レジカス異物の発生源となり、また流れ方向にスジやムラ等の塗布欠陥を発生させてしまう問題がある。塗布液がリップ部先端の側面に回りこまないために、様々な工夫が行われているが、リップ部先端面に存在する塗布液のビードが、スリットノズル先端の側面に濡れて広がることは避けられず、塗布後の洗浄によってノズル先端及びその周辺部の塗布液を除去する必要がある。また、スリットノズルを一定時間以上使用しないときには、あるいは定期的に、スリットノズル先端のリップ部分を洗浄液のディップ槽に浸漬保持し乾燥を防止することが必須である。
【００１８】
スリットノズルは、洗浄調整装置１００の洗浄装置に運ばれ、洗浄液の吹き付け等でノズル先端を洗浄する。先端の洗浄後、乾燥防止装置２０のディップ槽２に運ばれて、ノズル先端が洗浄液中に漬けられる。このとき、ノズル先端が洗浄液中に確実に漬けられたかどうかを液面センサーにより検知する。浸漬されていないと判断すると、洗浄液供給装置３１に通知され、洗浄液を供給する。ガラス基板等の被処理物が塗布位置に近づくと、次のコートのために、スリットノズルを調整する予備吐出装置５０に運び、スリット内にたまっている塗布液を捨てるために予備吐出ロール５１に予備吐出を行った後、スリットノズルを塗布位置に運びコートを行う。
【００１９】
以上説明した通り、本発明のスリットノズルを用いることで、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板のレジスト塗布でのトラブルが低減され、不良率の低減、塗布装置稼働率の向上が可能となり、製品のコストダウンに寄与する。
【符号の説明】
【００２０】
１・・・液面センサー    ２・・・ディップ槽    ３・・・洗浄液    
４・・・スリット    ５・・・マニホールド    ６、７・・・ブロック    
８，９・・・サイドプレート    １０・・・スリットノズル（スリットダイ）
２０・・・乾燥防止装置    ３０・・・洗浄装置    ３１・・・洗浄液供給装置
３２・・・洗浄液オーバーフロー    ４０・・・リップ部    ４１・・・開口部
５０・・・予備吐出装置５１・・・予備吐出ロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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