(57)【要約】【課題】クリーンルームの温度制御を確実に行うことができるようにして、空調機の再熱コイルでの空気の再熱温度を高めに設定しなくても良いようにし、省エネルギを図ると共に、クリーンルームの温度制御の精度を良好にする。【解決手段】空気を過冷却して除湿する冷却コイル２９及び過冷却して除湿された空気を再熱する再熱コイル３０を備えた空調機２３と、空調機２３からの空気が導入されると共に、内部で循環する空気を冷却し得るようにした冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃを備えたクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ａとを有し、再熱コイル３０へ温水が供給される温水管路４０の第一の流量制御弁３９の開度を、空調機２３内の再熱空気の温度Ｔｒ及び冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ冷水を供給する冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃに設けた第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度により制御する。【選択図】図１
2010078312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段及び過冷却して除湿された空気を再熱する再熱手段を備えた空調機と、該空調機からの空気が導入されると共に、内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段を備えた少なくとも一つの被空調空間とを有し、前記再熱手段へ熱媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第一の流量制御弁の開度を、空調機内或は空調機出口の再熱空気の温度及び第二の冷却手段へ冷媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第二の流量制御弁の開度を基に制御するよう構成したことを特徴とする空調システム。
【請求項２】
空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段及び過冷却して除湿された空気を再熱する再熱手段を備えた空調機と、該空調機からの空気が導入されると共に、内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段を備えた少なくとも一つの被空調空間とを有し、前記再熱手段へ熱媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第一の流量制御弁の開度を、空調機内或は空調機出口の再熱空気の温度及び第二の冷却手段へ冷媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第二の流量制御弁の開度を基に制御するよう構成し、前記空調機から被空調空間へ空気を送るラインに設けたダンパの開度を、前記第二の流量制御弁の開度に対応して制御し得るよう構成したことを特徴とする空調システム。
【請求項３】
検出した被空調空間の温度と被空調空間の設定温度の偏差から、該偏差に対応した第二の流量制御弁の弁開度指令を算出する第一の手段と、該第一の手段からの第二の流量制御弁の弁開度指令、検出した被空調空間の温度、被空調空間の設定温度、設定された被空調空間の温湿度制御レベル、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、再熱手段で加温される空気の再熱空気設定温度下限値、再熱空気設定温度上限値、再熱空気設定温度変更量、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、温湿度制御レベルが二番目の被空調空間の不感帯温度差分、温湿度制御レベルが一番下の被空調空間の不感帯温度差分から再熱空気設定温度を算出する第二の手段と、該第二の手段からの再熱空気設定温度及び前記再熱手段により再熱された再熱空気の温度の偏差から前記第一の流量制御弁の弁開度指令を算出して前記第一の流量制御弁に与え開度制御する第一の演算制御手段を設けた請求項１に記載の空調システム。
【請求項４】
検出した被空調空間の圧力と該被空調空間の設定した圧力との偏差から、該偏差に対応したダンパＰＩＤ開度を算出する第三の手段と、該第三の手段からのダンパＰＩＤ開度、第二の流量制御弁の弁開度指令、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、ダンパのダンパ開度上限値、ダンパのダンパ開度バイアス量上限値、ダンパ開度バイアス量下限値、ダンパ開度バイアス量変更量からダンパ開度バイアス量を算出する第二の演算制御手段と、該第二の演算制御手段からのダンパ開度バイアス量と前記第三の手段からのダンパＰＩＤ開度からダンパ開度を求め、空調機から被空調空間へのライン中に設けられたダンパの開度を制御し得るよう構成した請求項２に記載の空調システム。
【請求項５】
前記空調機から被空調空間へ供給される給気の温度を、被空調空間で循環する空気の温度よりも低くなるよう構成した請求項１乃至４の何れかに記載の空調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空調システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームは、半導体のような高集積回路の製造室や、遺伝子工学研究室等として用いられている。このため、クリーンルームには、高い清浄度の空気を供給して内部を所定の温度に維持すると共に、この空気を迅速に入れ替えて除塵する必要がある。又、外部からの塵埃などの侵入を防ぐためや、すきま風を排して精密温調を実現するため、クリーンルームを正圧に保つ必要もある。而して、斯かるクリーンルームに空気を供給する空調システムの例としては、従来は例えば図１８に示すシステムがある。図１８中、１ａ，１ｂ，１ｃは被空調空間である複数のクリーンルームで、クリーンルーム１ａ，１ｂ内には内室２ａ，２ｂが設置されている。内室２ａ，２ｂは六面を仕切られていると共に、その床面３ａ，３ｂはパンチングメタル等の多孔板により構成されており、内室２ａ，２ｂの床面３ａ，３ｂと、クリーンルーム１ａ，１ｂの底面との間には空気流路４ａ，４ｂが形成されている。内室２ａ，２ｂの天井部５ａ，５ｂには、ＨＥＰＡフィルタのような高性能フィルタ６ａ，６ｂを介して、軸流ファン７ａ，７ｂが設置されており、高性能フィルタ６ａ，６ｂにより清浄化した冷却空気を内室２ａ，２ｂへ供給し得るようになっている。
【０００３】
クリーンルーム１ａ，１ｂの外壁内面と内室２ａ，２ｂ外壁面との間の空間である空気流通路８ａ，８ｂには、内室２ａ，２ｂの床面３ａ，３ｂ近傍に位置するよう、第二の冷却手段である冷却コイル９ａ，９ｂが設置されており、冷却コイル９ａ，９ｂでは、中途部に冷水の流量を制御する第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂを備えたラインである冷水管路１１ａ，１１ｂから送給された冷水により、空気流通路８ａ，８ｂを通過する空気を冷却し得るようになっている。１２ａ，１２ｂは、冷却コイル９ａ，９ｂから送出された冷水を冷熱源に戻すラインである冷水戻り管路である。
【０００４】
クリーンルーム１ｃの底面よりも所定高さ上部には、パンチングメタル等の多孔板から成る床面３ｃが敷設されて当該床面３ｃとクリーンルーム１ｃの底面との間には、空気流路４ｃが形成されている。床面３ｃの一部を除去した箇所に配置したケーシング１３内には、第二の冷却手段である冷却コイル９ｃが設置されており、冷却コイル９ｃでは、中途部に冷水の流量を制御する第二の流量制御弁１０ｃを備えたラインである冷水管路１１ｃから送給された冷水により、ケーシング１３内を通過する空気を冷却し得るようになっている。１２ｃは冷却コイル９ｃから送出された冷水を冷熱源に戻すラインである冷水戻り管路である。なお、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃは除湿を行わないドライコイルである。
【０００５】
ケーシング１３内の空気流れ方向下流側には、ケーシング１３上面に近接してファン１４が設置されており、冷却コイル９ｃで冷却されてファン１４から送出された冷却空気は、ダクト１５を通り、クリーンルーム１ｃ内の上部に並列に配置された複数のＨＥＰＡフィルタのような高性能フィルタ１６で清浄化され、クリーンルーム１ｃ内に供給されるようになっている。
【０００６】
クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内及びクリーンルーム１ｃ内には所定の生産装置１７ａ，１７ｂ，１７ｃが設置されており、生産装置１７ａ，１７ｂ，１７ｃには、排気管１８ａ，１８ｂ，１８ｃを介してファン１９ａ，１９ｂ，１９ｃが接続されている。又、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂに面した壁面、及びクリーンルーム１ｃに面した壁面には、内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの内圧を一定の正圧に保持し得るよう、差圧ダンパ２０ａ，２０ｂ，２０ｃが設けられている。
【０００７】
２１ａ，２１ｂはクリーンルーム１ａ，１ｂ内に設置した内室２ａ，２ｂ内の温度を検出する温度検出器、２１ｃはクリーンルーム１ｃ内の温度を検出する温度検出器であり、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃで検出した温度（室温）ｔａ，ｔｂ，ｔｃはクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ外部に設けた、第一の手段である冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃへ与え得るようになっている。
【０００８】
冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃでは、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃで検出した温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃから、内室２ａ，２ｂの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ及びクリーンルーム１ｃの設定温度ｔｃｏを差引いて温度偏差を求め、その温度偏差の大きさに対応した第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度調整量を求め、その弁開度調整量に対応した弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに与えてその開度を制御し得るようになっている。温度偏差の絶対値が大きい場合、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開閉量は多くなり、温度偏差の絶対値が小さい場合、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開閉量は少なくなる。
【０００９】
２３はクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃに温調した空気（導入外気）を給気として送給する空調機、いわゆる外気調和機である。空調機２３のケーシング２４内には、空気流れ方向上流側から下流側に向けて、中性能フィルタ２５、冷却コイル２６、冷温水コイル２７、ワッシャ２８、第一の冷却手段である冷却コイル２９、再熱手段である再熱コイル３０、ファン３１、ＨＥＰＡフィルタのような高性能フィルタ３２が、順次配置されている。
【００１０】
冷却コイル２６では、中途部に冷水の流量を制御する流量制御弁３３を備えた冷水管路３４から送給された冷水によって、ケーシング２４内に後述のファン３１の吸引力により導入された外気Ａを冷却し得るようになっている。冷温水コイル２７では、中途部に冷水又は温水の流量を制御する流量制御弁３５を備えた冷温水管路３６から送給された冷水或は温水により、冷却コイル２６で冷却されて送給されてきた空気を夏期は更に冷却し、冬期は加熱し得るようになっている。ワッシャ２８では、冷温水コイル２７からの空気を水により洗浄し得るように、又、冬期は乾いて絶対湿度の低い外気Ａを冷温水コイル２７で加熱した空気により加湿し得るようになっている。冷却コイル２９では、中途部に冷水の流量を制御する流量制御弁３７を備えた冷水管路３８から送給された冷水により、ワッシャ２８からの空気を露点温度以下に過冷却して除湿し得るようになっている。再熱コイル３０では、中途部に温水の流量を制御する第一の流量制御弁３９を備えたラインである温水管路４０から送給された温水により、過冷却して除湿された、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの要求する所定の露点温度に調整された空気を、所定温度まで加熱して再熱し得るようになっている。特に半導体高集積回路の製造室やフラットパネルディスプレイ等の製造室では、室内の機器発熱が非常に大きくて室内で働く人間は非常に少ないので、室内の発汗や呼気由来の潜熱負荷は無視できることとなり、外気由来の潜熱変動（露点温度変動と同じ意味）を外気調和機で調整できれば精密温調の湿度変動を防止できることとなる。上記空調機２３はこれを実現できるものである。
【００１１】
４１はファン３１と高性能フィルタ３２との間に位置するよう、ケーシング２４内に設置されてファン３１から吐出された再熱空気の温度を検出する温度検出器であり、温度検出器４１で検出した再熱空気の温度Ｔｒはケーシング２４外部に設けた、第一の演算制御手段である再熱空気温度コントローラ４２へ与え得るようになっている。
【００１２】
再熱空気温度コントローラ４２では、温度検出器４１で検出した再熱空気の温度Ｔｒから、再熱空気の設定温度Ｔｓｐを差引いて温度偏差を検出し、その温度偏差の大きさに対応した第一の流量制御弁３９の弁開度調整量を求め、その弁開度調整量に対応した弁開度指令Ｖｘを第一の流量制御弁３９に与え、第一の流量制御弁３９の開度を調整し得るようになっている。温度偏差の絶対値が大きい場合、第一の流量制御弁３９の開閉量は多くなり、温度偏差の絶対値が小さい場合、第一の流量制御弁３９の開閉量は少なくなる。
【００１３】
ケーシング２４の出側には、高性能フィルタ３２で清浄化された空気を送給するためのラインである主ダクト４３が接続されている。主ダクト４３は、主ダクト４３からの清浄化された空気が分配されて送給されるラインであるダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃに分岐しており、ダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃは空調機２３からの空気をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃ下部（空気流れ方向上流側）に供給し得るようになっている。
【００１４】
なお、図示していないが、冷却コイル２６へ供給される冷水の流量、冷温水コイル２７へ供給される冷水又は温水の流量、冷却コイル２９へ供給される冷水の流量もケーシング２４内の各所定位置の温度を基に流量制御弁３３，３５，３７の開度が調整されて冷水又は温水の流量制御が行われるようになっている。又、冷温水コイル２７の出口空気温度は、ワッシャ２８の出口空気温度測定値を基に調整し得るようになっている。而して、ワッシャ２８では、断熱変化することで飽和点であるワッシャ２８の出口空気温度とワッシャ２８における出口空気露点温度は略等しくなり、露点温度制御が可能となるよう形成されている。
【００１５】
上記従来の設備では、外部からケーシング２４内に導入された外気Ａは、中性能フィルタ２５においてごみを粗取りされ、冷却コイル２６において予冷され、冷温水コイル２７において夏期は冷却され、冬期は予熱され、ワッシャ２８においては、水により洗浄されてＮＨ３、ＮＯｘ、ＳＯｘ等のガス成分を除去されると共に、冬期は加湿され、夏期は空気温度湿度変化なくワッシャ２８から出て、冷却コイル２９において同コイル２９の入口空気の露点以下の温度に過冷却されて除湿され、除湿されて所定の露点温度に調整された空気は再熱コイル３０において所定温度まで加熱、再熱されて昇温され、ファン３１で加圧のうえ送出され、高性能フィルタ３２により微小なごみを除去され清浄化されて空調された空気としてケーシング２４から送出され、主ダクト４３からダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃを経てクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内に給気される。
【００１６】
外気Ａに含まれる粒子径０．５μｍ以上のごみは数百万個／ｃｆｔであるが、中性能フィルタ２５及び高性能フィルタ３２でごみが除去される結果、空調機２３から送出される空気には、ごみは殆んどない状態となる。又、ワッシャ２８で加湿し、冷却コイル２９で過冷却して除湿するのは、精密空調で温湿度の主な外乱となる導入空気の露点温度を所定の値に制御するためであり、例えば、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の露点温度を１０．５℃とすることで、２３℃乾球温度において相対湿度を約４５％に保持するためである。更に、再熱コイル３０において空気を所定温度に再熱するのは、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃ内の温度を所定の状態に保つための制御を行う際に、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃ内の負荷が変動しても、冷却コイル９ａ、９ｂ、９ｃの冷水との熱交換により精密に調整可能とするよう、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃ内の室側負荷に通常連動しない導入外気（給気）の循環空気還気との温度差による冷却分を少なくして、安定した制御を行うためである。
【００１７】
空調機２３のケーシング２４から主ダクト４３、ダクト４３ａ，４３ｂを通りクリーンルーム１ａ，１ｂに送給された空気は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂから内室２ａ，２ｂの床面３ａ，３ｂに形成された多数の孔を通り空気流路４ａ，４ｂに送出された空気と合流し、空気流通路８ａ，８ｂに配置されている冷却コイル９ａ，９ｂにより所定温度に冷却されて空気流通路８ａを上昇し、軸流ファン７ａ，７ｂにより加圧されて高性能フィルタ６ａ，６ｂにより更に細かいごみを除去されて内室２ａ，２ｂ内に吹込まれる。而して、内室２ａ，２ｂ内に吹込まれた空気は、内室２ａ，２ｂに配置された生産装置１７ａ，１７ｂから発生する熱を吸収して熱負荷を処理すると共に、内室２ａ，２ｂ内をクリーンな状態に保持する。内室２ａ，２ｂから床面３ａ，３ｂの孔を通り空気流路４ａ，４ｂに送出された空気（循環空気還気）は、空調機２３からの空気（給気）と合流して、再び上述のように循環する。
【００１８】
空調機２３のケーシング２４から主ダクト４３、ダクト４３ｃを通りクリーンルーム１ｃに送給された空気（給気）は、クリーンルーム１ｃにおける床面３ｃの多数の孔を通り空気流路４ｃに送出された空気（循環空気還気）と合流し、クリーンルーム１ｃ内に設置したケーシング１３内に配置されている冷却コイル９ｃにより所定温度に冷却されてケーシング１３内を上昇し、ファン１４により加圧されてケーシング１３からダクト１５へ送出され、ダクト１５から高性能フィルタ１６へ送給されて更に細かいごみを除去され、クリーンルーム１ｃへ吹込まれてクリーンルーム１ｃに配置された生産装置１７ｃから発生する熱を吸収して熱負荷を処理すると共に、クリーンルーム１ｃ内をクリーンな状態に保持する。クリーンルーム１ｃの上方から床面３ｃの孔を通って空気流路４ｃに送出された空気は空調機２３からの空気と合流して、再び上述のように循環する。
【００１９】
クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂ内に設置された生産装置１７ａ，１７ｂからは、ファン１９ａ，１９ｂにより排気が行われ、クリーンルーム１ｃ内に設置された生産装置１７ｃからは、ファン１９ｃにより排気が行われ、更には、クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂの室圧は差圧ダンパ２０ａ，２０ｂにより調整され、クリーンルーム１ｃ内の室圧は差圧ダンパ２０ｃにより調整される。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂ内の内室２ａ，２ｂの室圧及びクリーンルーム１ｃ内の室圧は所定の圧力に保持される。
【００２０】
上記設備において再熱コイル３０で再熱される空気の温度制御及びクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃで冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃにより冷却される空気の温度制御は以下に述べるようにして行われる。
【００２１】
すなわち、空調機２３のケーシング２４内においてファン３１から吐出されて温度検出器４１により検出された再熱空気の温度Ｔｒは再熱空気温度コントローラ４２へ与えられ、再熱空気温度コントローラ４２では、再熱空気の温度Ｔｒから予め設定されている再熱空気の設定温度（再熱空気設定温度）Ｔｓｐを差引かれて温度偏差が求められ、この温度偏差が比例積分演算されて得られた弁開度指令Ｖｘは第一の流量制御弁３９へ与えられて、第一の流量制御弁３９は所定の開度に制御される。このため、温水管路４０から再熱コイル３０へ供給される温水の流量が所定の流量に制御され、その結果、空調機２３のケーシング２４からクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃへ送給される空気の温度は所定の温度に制御される。
【００２２】
クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内の温度ｔａ，ｔｂ及びクリーンルーム１ｃ内の温度ｔｃは、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃにより検出されて冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃへ与えられ、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃでは、検出された温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃから予め設定された、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏが差引かれて温度偏差が求められ、この温度偏差が比例積分演算されて得られた弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与えられて、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは所定の開度に制御される。このため、冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃから冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ供給される冷水の流量は所定の流量に制御され、その結果、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内の生産装置１７ａ，１７ｂ及びクリーンルーム１ｃ内の生産装置１７ｃの熱負荷が処理されて、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃ内の温度は所定の温度に精密に制御される。又、空気は空調機２３において冷却コイル２９で過冷却により除湿され所定の露点温度に調整されて導入されているため、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの湿度も所定の湿度に精密に制御される。
【００２３】
なお、図１８には示してないが、空調機２３のケーシング２４内の複数箇所には温度検出器が設置されており、温度検出器により検出した温度を基に、冷却コイル２６へ冷水を供給する冷水管路の流量制御弁３３、冷温水コイル２７に冷水或いは温水を供給する冷温水管路３６の流量制御弁３５、冷却コイル２９に冷水を供給する冷水管路３８の流量制御弁３７も適宜、開度制御が行われる。
【００２４】
クリーンルームの温度を制御するシステムとしては特許文献１がある。特許文献１中の一例では、各被空調空間の室内機が冷房運転の際に、室内熱交換器から室内機へ送出する冷媒の量を制御する流量制御弁の開度が１００％の場合、判定部は、室内機の冷房能力が不足していると判定し、又、室内機が暖房運転の際に、室内熱交換器から室内機へ送出する冷媒の量を制御する流量制御弁の開度が１００％の場合、判定部は室内機の暖房能力が不足していると判定するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】特開２００５−１５６１４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
図１８に示す従来の空調システムの空調機２３では、除湿のために過冷却した空気を所定温度まで再熱する際の再熱温度制御と、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃ内を設定した温度に制御する温度制御は、互いに関連なく完全に別個に独立して行われている。このため、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの冷房負荷が低い場合、すなわち、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃで、循環する空気を強く冷却しなくても良い場合でも、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃを設定した温度に維持する温度制御を確実に行うためには、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃ内の冷房負荷に関連しない給気と循環空気還気との温度差による室内冷房負荷処理を小さくし、冷却コイル９ａ、９ｂ、９ｃによる負荷処理を大きくしないと、室内負荷が変動した場合精密空調が不能となるので、再熱コイル３０での空気の再熱温度を余裕を見込んで高めに設定、つまり給気と循環空気還気との温度差による冷房負荷処理能力を小さくする必要があり、このため、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの冷房負荷が大きくなり、無駄なエネルギの消費が行われている。
【００２７】
又、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃに供給された空気は、循環させて冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃにより冷却しているにも拘らず、空調機２３では、再熱コイル３０により空気を設定した温度まで再熱しているため、この点からも、余分なエネルギが消費されるという無駄が生じる。更に、再熱コイル３０での空気の再熱温度を高くすることにより、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ側の冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃでの冷房負荷も大きくなり、冷熱を生成させるためのエネルギが無駄に消費される。
【００２８】
すなわち、再熱後の給気の温度は通常、２０℃に制御され、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度は２３℃に制御されるため、空調機２３からクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに導入された給気は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂからの循環空気還気とクリーンルーム１ｃ内の循環空気還気と混合して、循環空気還気を冷却することができる。従って、空調機２３からの給気を２０℃よりも低温にできれば、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃの冷房負荷処理能力を小さくできることができる。しかるに、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの冷房負荷が低い場合にも、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃには、再熱された２０℃の給気が供給されるため、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃで、循環する空気を強く冷却しなくてはならず、前述のような無駄なエネルギの消費が行われている。
【００２９】
特許文献１のように、単に被空調空間へ冷媒を供給する流量制御弁の開度或いは、各被空調空間の熱負荷を見て制御を行った場合、未使用の被空調空間や極端に熱負荷が小さな被空調空間がある場合、これらの被空調空間の系統の流量制御弁の開度が下限設定値となり、このため、各被空調空間で冷えすぎが発生しないように、空調機の再熱温度制御に流量制御弁の下限設定値を割り込ませて制御することが考えられ、空調機での空気の再熱温度を下げることができない。又、空気の再熱温度を下げることができないと、図１８の空調システムと同様、無駄なエネルギの消費を避けることができない。更に、流量制御弁の開度の下限値を低く設定し過ぎると、流量制御弁の制御動作範囲が小さくなり、被空調空間の温度制御の精度が悪化する。
【００３０】
本発明は、上述の実情に鑑み、熱負荷が小さくてクリーンルームの冷却コイルで循環する空気を強く冷却しなくても良いような場合においても、クリーンルームの内室やクリーンルームを設定した温度に維持する温度制御を確実に行うことができるようにして、空調機の再熱コイルでの空気の再熱温度を高めに設定しなくてもすむようにし、省エネルギを図ると共に、クリーンルームの温度制御の精度を良好にすることを目的としてなしたものである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
請求項１の空調システムは、空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段及び過冷却して除湿された空気を再熱する再熱手段を備えた空調機と、該空調機からの空気が導入されると共に、内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段を備えた少なくとも一つの被空調空間とを有し、前記再熱手段へ熱媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第一の流量制御弁の開度を、空調機内或は空調機出口の再熱空気の温度及び第二の冷却手段へ冷媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第二の流量制御弁の開度を基に制御するよう構成したものである。
【００３２】
請求項２の空調システムは、空気を過冷却して除湿する第一の冷却手段及び過冷却して除湿された空気を再熱する再熱手段を備えた空調機と、該空調機からの空気が導入されると共に、内部で循環する空気を冷却し得るようにした第二の冷却手段を備えた少なくとも一つの被空調空間とを有し、前記再熱手段へ熱媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第一の流量制御弁の開度を、空調機内或は空調機出口の再熱空気の温度及び第二の冷却手段へ冷媒が供給されるか或は送出されるラインに設けた第二の流量制御弁の開度を基に制御するよう構成し、前記空調機から被空調空間へ空気を送るラインに設けたダンパの開度を、前記第二の流量制御弁の開度に対応して制御し得るよう構成したものである。
【００３３】
請求項３の空調システムは、検出した被空調空間の温度と被空調空間の設定温度の偏差から、該偏差に対応した第二の流量制御弁の弁開度指令を算出する第一の手段と、該第一の手段からの第二の流量制御弁の弁開度指令、検出した被空調空間の温度、被空調空間の設定温度、設定された被空調空間の温湿度制御レベル、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、再熱手段で加温される空気の再熱空気設定温度下限値、再熱空気設定温度上限値、再熱空気設定温度変更量、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、温湿度制御レベルが二番目の被空調空間の不感帯温度差分、温湿度制御レベルが一番下の被空調空間の不感帯温度差分から再熱空気設定温度を算出する第二の手段と、該第二の手段からの再熱空気設定温度及び前記再熱手段により再熱された再熱空気の温度の偏差から前記第一の流量制御弁の弁開度指令を算出して前記第一の流量制御弁に与え開度制御する第一の演算制御手段を設けたものである。
【００３４】
請求項４の空調システムは、検出した被空調空間の圧力と該被空調空間の設定した圧力との偏差から、該偏差に対応したダンパＰＩＤ開度を算出する第三の手段と、該第三の手段からのダンパＰＩＤ開度、第二の流量制御弁の弁開度指令、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定下限値、第二の流量制御弁の流量制御弁開度設定値の不感帯、ダンパのダンパ開度上限値、ダンパのダンパ開度バイアス量上限値、ダンパ開度バイアス量下限値、ダンパ開度バイアス量変更量からダンパ開度バイアス量を算出する第二の演算制御手段と、該第二の演算制御手段からのダンパ開度バイアス量と前記第三の手段からのダンパＰＩＤ開度からダンパ開度を求め、空調機から被空調空間へのライン中に設けられたダンパの開度を制御し得るよう構成したものである。
【００３５】
請求項５の空調システムは、前記空調機から被空調空間へ供給される給気の温度を、被空調空間で循環する空気の温度よりも低くなるよう構成したものである。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の請求項１〜５の空調システムによれば、空気は被空調空間において循環して冷却されている場合でも、再熱手段では空調機に導入された空気を必要以上に高い温度まで再熱する必要がなくなるため、過冷却して除湿された空気を再熱するための無駄なエネルギが軽減されて省エネルギに貢献することができ、又、被空調空間において循環している空気の温度や湿度は、被空調空間の状態に合わせて調整が可能であるため、省エネルギと共に、精密且つ正確な温度制御をも行うことができ、且つ、加えて請求項２、４の空調システムでは、第二の流量制御弁の弁開度により、各被空調空間への分配を調整するダンパ開度の制御が可能となるため、負荷の大きい被空調空間のダンパ開度が大きくなるよう制御して給気の流量を増加することにより、第二の流量制御弁の弁開度を小さくできて、第二の冷却手段に供給される冷水が減少し、この点からも省エネルギを図ることができ、温度制御に対する信頼性が向上し、更に請求項５の空調システムによれば、空調機から被空調空間へ送給される給気の温度は、被空調空間内の温度よりも低いため、空調機から被空調空間へ送給される給気により、被空調空間の冷却が可能となり、省エネルギをより有効に達成できて温度制御の信頼性がより一層向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の空調システムの実施例１であり、システム全体を示す構成図である。
【図２】図１のシステムにおける制御系統のブロック図である。
【図３】図１のシステムにおける制御時のフローチャートである。
【図４】図３のフローチャートに続くフローチャートで、最も厳しい温湿度制御の場合のフローチャートである。
【図５】図３のフローチャートに続くフローチャートで、二番目に厳しい温湿度制御の場合のフローチャートである。
【図６】図３のフローチャートに続くフローチャートで、最も緩い温湿度制御の場合のフローチャートである。
【図７】図４、図５、図６に示すフローチャートに続くフローチャートである。
【図８】流量制御弁の実際の開度Ａｐｖｉと個別判断指令ｙｉの関係を示すグラフで、流量制御弁が開閉しない不感帯を説明するためのグラフである。
【図９】クリーンルームの内室若しくはクリーンルームの検出した温度Ｔｐｖｉと個別判断指令ｙｉの関係を示すグラフで、クリーンルームの内室若しくはクリーンルームの温度において流量制御弁が開閉しない不感帯温度を説明するためのグラフである。
【図１０】本発明の空調システムの実施例２であり、システム全体を示す構成図である。
【図１１】図１０のシステムにおける全運転状態の制御時のフローチャートである。
【図１２】図１０のシステムにおける制御系統のブロック図である。
【図１３】図１２のブロック図により制御を行う際のフローチャートである。
【図１４】図１０の空調システムの動作フローを示すための図で、流量制御弁の開度情報の読み取りに関する、数値を入れた具体例である。
【図１５】図１０の空調システムの動作フローを示すための図で、サブルーチンＩにおける給気の温度の設定を変更する場合の、数値を入れた具体例である。
【図１６】図１０の空調システムの動作フローを示すための図で、サブルーチンＩＩにおける給気の分配を変更する場合の、数値を入れた具体例である。
【図１７】図１０の空調システムの動作フローを示すための図で、図１６の状態から引き続き流量制御弁の開度情報の読み取り、給気の温度の設定を変更する場合の、数値を入れた具体例である。
【図１８】従来の空調システムの一例であり、システム全体を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００３９】
図１〜図９は本発明の実施例１であり、図１中、図１８に示すものと同一のものには同一の符号が付してある。而して、本図示例において特徴としたところは、第二の手段である再熱空気設定温度コントローラ５１を設け、第一の手段である冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃで求められた冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃの第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに与える弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを、再熱空気設定温度コントローラ５１にも与え得るようにし、再熱空気設定温度コントローラ５１において、再熱手段である再熱コイル３０での再熱空気設定温度Ｔｓｐを求め、この再熱空気設定温度Ｔｓｐを第一の演算制御手段である再熱空気温度コントローラ４２ヘ与えて、再熱空気設定温度Ｔｓｐや温度検出器４１で検出したファン３１出側の再熱空気の温度Ｔｒを基に、再熱コイル３０に温水を供給する温水管路４０の第一の流量制御弁３９に対する弁開度指令Ｖｘを求め、この弁開度指令Ｖｘにより、第一の流量制御弁３９の開度を制御し得るようにしたことである。
【００４０】
冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ及び再熱空気設定温度コントローラ５１並びに再熱空気温度コントローラ４２の詳細は図２に示されている。なお、以下の説明では、図が複雑になるため、図１、図２のうちどちらかの図にのみに示してある記号もあるが、実際には図１、図２の系統の両方に必要である。又、設定される各データは図示してない上位コントローラより与えられる。更に、図２では、図の簡略化のため、３台の冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃを１台で示してあるが、図示例の場合、実際は３台である。
【００４１】
冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃには、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃで維持すべき温度を、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏとして設定し得るようになっていると共に（図１、図２参照）、温度検出器２１ａ，２１ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度ｔａ，ｔｂ、温度検出器２１ｃで検出したクリーンルーム１ｃ内の温度ｔｃを与え得るようになっている（図１、図２参照）。而して、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃの減算部５２では、検出した温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃと設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの差を採って温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃを求め、得られた温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃを比例積分微分演算（比例積分演算の１種）して制御する機能を有する部分、すなわち、ＰＩＤ制御部５３へ与え得るようになっている。
【００４２】
冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃのＰＩＤ制御部５３では、温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃを比例積分して、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを求め、この弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ冷水を供給する冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃの第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与え得るようになっていると共に（図１参照）、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４へ与え得るようになっている（図２参照）。
【００４３】
再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温設定値である設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ、クリーンルーム１ｃの室温設定値である設定温度ｔｃｏを設定し得るようになっている（図２参照）。又、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温である温度ｔａ，ｔｂ、クリーンルーム１ｃの室温である温度ｔｃを与え得るようになっている（図１、図２参照）。
【００４４】
再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕを設定し得るようになっている（図２参照）。第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕは、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの全開時の開度（単位：％）の例えば約１０％とする。これは、流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕを小さくし過ぎると、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度調整範囲が大きくなった場合、制御がうまくいかない虞があるためである。この流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ、Ａｂｕ、Ａｃｕは、流量制御弁の型式や弁特性によって異なることは云うまでもない。
【００４５】
更に、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３を設定し得るようになっている（図２参照）。
【００４６】
ここで、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３はクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの維持したい温度及び湿度による重み付けである。すなわち、Ｌａ１、Ｌｂ１はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ、２ｂにおける、又、Ｌｃ１はクリーンルーム１ｃにおける温湿度制御レベルで、例えば室内温調条件として、温度２３℃±０．５℃、相対湿度４５±５％の場合であり、製品が晒されたり製造装置の温度管理が最も要求されるゾーンであったりする（最も厳しい温湿度制御レベル）。又、温度管理が最も要求されるゾーンにはたいがい製造装置が多く存在し発熱負荷も多い傾向がある。Ｌａ２、Ｌｂ２はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ、２ｂにおける、又、Ｌｃ２はクリーンルーム１ｃにおける温湿度制御レベルで、例えば室内温調条件として、温度２３℃±１℃、相対湿度４５±１０％の場合であり、製品が隔離された場所であったり製造装置のメンテナンス側ゾーンであったりする（二番目に厳しい温湿度制御レベル）。Ｌａ３、Ｌｂ３はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ、２ｂにおける、又、Ｌｃ３はクリーンルーム１ｃにおける温湿度制御レベルで、例えば室内温調条件として、温度２３℃±２℃、相対湿度４５±１５％の場合であり、製造装置がこれから設置される予備ラインゾーンであったり、清浄度温度の条件の緩い後工程のラインであったりする（三番目に厳しい（最も緩い）温湿度制御レベル）。
【００４７】
更に、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、再熱コイル３０で空気を再熱する際の、再熱空気設定温度下限値Ｔｓｐｍｉｎ、再熱空気設定温度上限値Ｔｓｐｍａｘ、再熱空気設定温度変更量ΔＴｓｐを設定し得るようになっており（図２参照）、更に又、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに関する流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度差分（温湿度制御レベルが二番目の室の不感帯温度差分）Ｔ２ｄｉｆαｉ、Ｔ２ｄｉｆβｉ、最も緩い温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度差分（温湿度制御レベルが三番目の室の不感帯温度差分）Ｔ３ｄｉｆαｉ、Ｔ３ｄｉｆβｉを設定し得るようになっている（図２参照）。但し、Ｔ２ｄｉｆαｉとＴ２ｄｉｆβｉは任意に設定でき、例えば段落［００４５］の室内温度許容範囲（二番目に厳しい温湿度制御レベルの許容温度±１℃、最も緩い温湿度制御レベルの許容温度±２℃）に基くと、０≦Ｔ２ｄｉｆαｉ＜Ｔ２ｄｉｆβｉ≦１である。又、Ｔ３ｄｉｆαｉとＴ３ｄｉｆβｉは任意に設定でき、０≦Ｔ３ｄｉｆαｉ＜Ｔ３ｄｉｆβｉ≦２である。なお、「不感帯」については後述する。
【００４８】
再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４では、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃにおけるＰＩＤ制御部５３からの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃで検出されたクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕ、再熱空気設定温度下限値Ｔｓｐｍｉｎ又は再熱空気設定温度上限値Ｔｓｐｍａｘ若しくは再熱空気設定温度変更量ΔＴｓｐ、流量制御弁開度不感帯Ａｄｉｆ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度差分Ｔ２ｄｉｆαｉ、Ｔ２ｄｉｆβｉ、最も緩い温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度差分Ｔ３ｄｉｆαｉ、Ｔ３ｄｉｆβｉを基に、空調機２３の再熱コイル３０での再熱空気設定温度Ｔｓｐが求められ、求められた再熱空気設定温度Ｔｓｐは再熱空気温度コントローラ４２の減算部５５に与えられるようになっている（図１、図２参照）。
【００４９】
再熱空気温度コントローラ４２の減算部５５には、再熱空気設定温度Ｔｓｐの他に、空調機２３のファン３１の下流側で温度検出器４１により検出された再熱空気の温度Ｔｒを与え得るようになっている（図１、図２参照）。
【００５０】
再熱空気温度コントローラ４２の減算部５５では、空調機２３内の温度検出器４１により検出された再熱空気の温度Ｔｒと再熱空気設定温度コントローラ５１からの再熱空気設定温度Ｔｓｐとの差が採られて再熱空気の設定温度偏差（Ｔｒ−Ｔｓｐ＝ΔＴｒｈ）が求められ、求められた設定温度偏差ΔＴｒｈはＰＩＤ制御部５６に与えられるようになっている。又、ＰＩＤ制御部５６では、再熱空気の設定温度偏差ΔＴｒｈが比例積分演算されて、再熱コイル３０へ温水を供給する温水管路４０の第一の流量制御弁３９の弁開度指令Ｖｘが求められ、求められた弁開度指令Ｖｘにより、第一の流量制御弁３９の開度は所定の開度に調整されるようになっている。
【００５１】
次に、実施例１の作動について、先ず図２をも参照しつつ説明する。なお、空調機２３における外気Ａの流れや空調機２３での各機器の作動、空調機２３からクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃに供給される空気（給気）の流れ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃにおける循環する空気の流れは図１８の場合と略同様であるため、説明は省略する。又、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃや再熱空気設定温度コントローラ５１、再熱空気温度コントローラ４２に入力される各データのうち、温度検出器で検出される温度（温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃ，再熱空気の温度Ｔｒ）以外のデータは図示してない上位コントローラから与えられる。
【００５２】
運転時においては、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃには、図示してない上位コントローラからクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ内やクリーンルーム１ｃで維持すべき温度が、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏとして設定されていると共に、温度検出器２１ａ，２１ｂで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度ｔａ，ｔｂ、温度検出器２１ｃで検出したクリーンルーム１ｃ内の温度ｔｃが与えられている。而して、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃの減算部５２では、検出した温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃと設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの差を採って温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃが求められ、得られた温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃは、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃのＰＩＤ制御部５３へ与えられる。
【００５３】
ＰＩＤ制御部５３では、温度偏差Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃが比例積分演算されて、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが求められ、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃへ与えられて第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは所定の開度に制御される。このため、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ供給される冷水の流量が制御され、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの温度（室温）は所定の温度に制御される。又、ＰＩＤ制御部５３で得られた弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、同時に、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４へも与えられる（図２参照）。
【００５４】
又、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ、クリーンルーム１ｃの設定温度ｔｃｏが設定されている。又、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃで検出したクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの室温である温度ｔａ，ｔｂ、クリーンルーム１ｃの室温である温度ｔｃが与えられ、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕが設定されている。
【００５５】
更に、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１，又はＬａ２若しくはＬａ３、温湿度制御レベルＬｂ１又はＬｂ２若しくはＬｂ３、温湿度制御レベルＬｃ１又はＬｃ２若しくはＬｃ３が設定されており、再熱空気設定温度下限値Ｔｓｐｍｉｎ、再熱空気設定温度上限値Ｔｓｐｍａｘ、再熱空気設定温度変更量ΔＴｓｐが設定されており、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆが設定されている。更に又、再熱空気設定温度算出部５４には、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度差分Ｔ２ｄｉｆαｉ、Ｔ２ｄｉｆβｉ、最も緩い三番目の温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度差分Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉを設定されている。
【００５６】
再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４では、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃにおけるＰＩＤ制御部５３からの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ、温度検出器２１ａ，２１ｂ，２１ｃで検出されたクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃ、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルＬａ１又はＬａ２若しくはＬａ３，温湿度制御レベルＬｂ１又はＬｂ２若しくはＬｂ３、温湿度制御レベルＬｃ１又はＬｃ２若しくはＬｃ３、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕ、再熱空気設定温度下限値Ｔｓｐｍｉｎ又は再熱空気設定温度上限値Ｔｓｐｍａｘ又は再熱空気設定温度変更量ΔＴｓｐ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ、温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の不感帯温度差分Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ、温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の不感帯温度差分Ｔ３ｄｉｆαｉ、Ｔ３ｄｉｆβｉを基に、空調機２３の再熱コイル３０での再熱空気設定温度Ｔｓｐが求められ、求められた再熱空気設定温度Ｔｓｐは再熱空気温度コントローラ４２の減算部５５に与えられる。なお、再熱空気設定温度算出部５４で演算される再熱空気設定温度Ｔｓｐは、温湿度制御レベルの如何によって用いられる設定項目は異なる。再熱空気設定温度Ｔｓｐの算出については、図３〜図７のフローチャートにより後述する。
【００５７】
再熱空気温度コントローラ４２の減算部５５には、再熱空気設定温度Ｔｓｐの他に、空調機２３のファン３１の下流側で温度検出器４１により検出された再熱空気の温度Ｔｒが与えられ、減算部５５では、再熱空気の温度Ｔｒと再熱空気設定温度Ｔｓｐとの差が採られて再熱空気の設定温度偏差ΔＴｒｈが求められ、求められた設定温度偏差ΔＴｒｈはＰＩＤ制御部５６に与えられ、ＰＩＤ制御部５６では、再熱空気の設定温度偏差ΔＴｒｈが比例積分演算されて温水管路４０の第一の流量制御弁３９の弁開度指令Ｖｘが求められ、求められた弁開度指令Ｖｘは、空調機２３の再熱コイル３０へ温水を供給する温水管路４０に設けた第一の流量制御弁３９に与えられて、その開度は所定の開度に調整される。これにより、冷却コイル２９で過冷却され除湿された空気は、再熱コイル３０へ導入される温水により、クリーンルーム１ａ，１ｂ、１ｃの空気流路４ａ，４ｂ，４ｃからの循環空気還気の温度よりも低い温度に加温される。
【００５８】
このように、再熱コイル３０で加温された空気の温度を、クリーンルーム１ａ,１ｂ，１ｃにおける空気流路４ａ，４ｂ，４ｃの循環空気還気の温度よりも低い温度にすることにより、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃにおいて、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃが設けられた冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃからの冷水により、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内を循環する空気を強く冷却しなくても、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃを設定した温度に維持する温度制御を確実に行うことができ、空調機２３の再熱コイル３０での空気の再熱温度を高めに設定しなくてもすむ。従って、システム全体の省エネルギを図られると共に、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度制御の精度が良好に行われる。
【００５９】
次に、再熱空気設定温度コントローラ５１の再熱空気設定温度算出部５４における再熱空気設定温度Ｔｓｐの演算の手順を図３〜図７をも参照しつつ説明する。なお、再熱空気設定温度Ｔｓｐの演算に際しては、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの温湿度制御レベルに応じた開度重み付けについても考慮される。すなわち、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１の場合は、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度下限値は上述のように例えば１０％と、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの制御性を考慮した値に設定されており、再熱空気設定温度Ｔｓｐは第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度により決定される。温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合は、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度下限値は０％で、再熱空気設定温度Ｔｓｐはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度やクリーンルーム１ｃの温度により決定される。温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合は、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度下限値は０%で、再熱空気設定温度Ｔｓｐは、温湿度制御レベルＬａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合と同様、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの温度やクリーンルーム１ｃの温度により決定される。
【００６０】
而して、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１の場合は、温度制御幅が温度２３℃±０．５℃と厳しいため、弁の制御性を考慮した開度下限値、例えば１０％が温湿度制御レベルに応じた重み付けとして与えられ、温湿度制御レベルＬａ２、Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合及び温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合は、温度制御幅が温度２３℃±１℃、２３℃±２℃と緩いため、弁の制御性を考慮せず開度下限値０％が温湿度制御レベルに応じた重み付けとして与えられる。これにより、温湿度制御レベルＬａ１、Ｌｂ１，Ｌｃ１の場合は、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの制御性を考慮した開度下限値、例えば１０％が与えられ、且つ第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を制御信号として用いることにより、他の温湿度制御レベルＬａ２、Ｌｂ２，Ｌｃ２の場合及び温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合と比べて、第二の流量制御弁１０ａ、１０ｂ、１０ｃの開度の制御信号に重み付けを与えられていることが明らかである。
【００６１】
次に、図３〜図７のフローチャートに従って再熱コイル３０における再熱空気設定温度Ｔｓｐの演算を行う場合について説明すると、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃについて上位コンピュータにより与えられた温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１，Ｌａ２，Ｌｂ２，Ｌｃ２，Ｌａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３の何れかからクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの全ての室について以下に述べるような手順により、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度や室温について順次所定の演算を一巡し、それらの結果から総合的な判断に基いて今回の再熱空気設定温度Ｔｓｐを決定し、次いで上記したと同様の手順によりクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの全ての室について順次、次回の演算を一巡し、それらの結果から総合的な判断に基いて次回の再熱空気設定温度Ｔｓｐを決定し、以下同様の手順により一定時間間隔（例えば１０分毎）にその回の再熱空気設定温度Ｔｓｐを決定することになる。なお、以下の図３〜図７の説明で、図２に示す記号と同一の記号は同一の意義を有する。
【００６２】
各機器の運転が開始されると、再熱空気設定温度コントローラ５１には、上位コンピュータから、例えば、ｉ＝１番目の室であるクリーンルーム１ａの内室２ａに関しては、温湿度制御レベルＬａ１又はＬａ２或はＬａ３の何れかが与えられ、ｉ＝２番目の室であるクリーンルーム１ｂの内室２ｂに関しては、温湿度制御レベルＬｂ１又はＬｂ２或はＬｂ３の何れかが与えられ、ｉ＝３番目の室であるクリーンルーム１ｃに関しては、温湿度制御レベルＬｃ１又はＬｃ２或はＬｃ３の何れかが与えられる（図３のＳ１）。
【００６３】
例えば、クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルが、最も厳しい温湿度制御レベルＬａ１の場合、先ず、ｉ番目のチェックにおいて、第二の流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉのチェック※１が行われる（図４のＳ２）。すなわち、チェック※１では、第二の流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉは、Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げるため、個別判断指令ｙｉ＝２が出力される。又、ＮＯの場合は、第二の流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉのチェック※２が行われる（図４のＳ３）。すなわち、チェック※２では、第二の流量制御弁１０ａの実際に開いている開度Ａｐｖｉは、Ａｐｖｉ＞Ａａｕか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐを維持するため、個別判断指令ｙｉ＝１が出力される。又、ＮＯの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐを上げるため、個別判断指令ｙｉ＝０が出力される。温湿度制御レベルＬａ１の場合は、第二の流量制御弁１０ａの実際の開度や流量制御弁開度設定下限値Ａａｕや流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆを考慮した制御を行っているが、これは、第二の流量制御弁１０ａの開度に対して重み付けを行うことを意味している。なお、ここでは、クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルを最も厳しいＬａ１と設定して演算を行う場合について説明しているが、クリーンルーム１ｂの内室２ｂやクリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルが最も厳しいＬｂ１，Ｌｃ１の場合も同様にして演算が行われる。又、温湿度制御レベルＬａ１の場合、Ｓ２のステップから明らかなように、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度余地を残すことになる。
【００６４】
クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルが二番目に厳しい温湿度制御レベルＬａ２の場合、例えば、先ず、ｉ番目のチェックにおいて検出したクリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度（室温（図１、図２のｔａに相当））Ｔｐｖｉのチェック※３が行われる（図５のＳ４）。すなわち、チェック※３では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げるため、個別判断指令ｙｉ＝２が出力される。ＮＯの場合は、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉのチェック※４が行われる（図５のＳ５）。すなわち、チェック※４では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆβｉか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は再熱空気設定温度Ｔｓｐを維持するため、個別判断指令ｙｉ＝１が出力される。又、ＮＯの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐを上げるため、個別判断指令ｙｉ＝０が出力される。温湿度制御レベルＬａ２の場合、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度は０％を許容することになる。なお、図５では、ｉ番目のチェックはクリーンルーム１ａの内室２ａについて行う場合について説明しているが、実際にはＴｉｏはｉ番目のチェック時のクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ又はクリーンルーム１ｃの設定温度で、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの何れかに相当する。
【００６５】
クリーンルーム１ａの内室２ａの温湿度制御レベルが三番目に厳しい（最も緩い）温湿度制御レベルＬａ３の場合、例えば、先ず、ｉ番目のチェックにおいて検出したクリーンルーム１ａの内室２ａの温度（室温（図１、図２のｔａに相当））Ｔｐｖｉのチェック※５が行われる（図６のＳ６）。すなわち、チェック※５では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げるため、個別判断指令ｙｉ＝２が出力される。ＮＯの場合は、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉのチェック※６が行われる（図６のＳ７）。すなわち、チェック※６では、クリーンルーム１ａの内室２ａの実際の温度Ｔｐｖｉは、Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆβｉか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は再熱空気設定温度Ｔｓｐを維持するため、個別判断指令ｙｉ＝１が出力される。又、ＮＯの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐを上げるため、個別判断指令ｙｉ＝０が出力される。温湿度制御レベルＬａ３の場合、温湿度制御レベルＬａ２とは、不感帯温度の数値のみが異なる。なお、図６では、ｉ番目のチェックはクリーンルーム１ａの内室２ａについて行う場合について説明しているが、実際にはＴｉｏはｉ番目のチェック時のクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ又はクリーンルーム１ｃの設定温度で、設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏの何れかに相当する。又、クリーンルーム１ｂ，１ｃの内室２ｂ，２ｃ，クリーンルーム１ｃの温湿度制御レベルがＬｂ２，Ｌｃ２，Ｌｂ３，Ｌｃ３の場合も上述した図４、図５、図６に示すようにして演算を行う。
【００６６】
温湿度制御レベルや流量制御弁開度、室温を基に求められた個別判断指令ｙｉ＝０，１，２は、図７に示すように集積されて、総合判断に供せられる。すなわち、例えば、ｉ番目であるクリーンルーム１ａの内室２ａの総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉとなる。Ｙ（ｉ−１）は（ｉ−１）番目の総合判断指令である。而して、データはクリーンルーム１ａのデータ、クリーンルーム１ｂのデータ、クリーンルーム１ｃのデータと順次、ｉ＝１，２，３・・・Ｎのように蓄積されてｉ＝Ｎ（図７のＳ８）か否か判断されるが、ｉ＝Ｎ（Ｎは全ての室についての総数であり、本例の場合は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂとクリーンルーム１ｃの合計３室）がＮＯの場合は、まだ全ての室（クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃ）の個別判断指令ｙｉ、延いては総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが得られていないため、次の室の個別判断指令ｙ（ｉ＋１）を求めるために図３のＳ１に戻り、例えば、次のクリーンルーム１ｂの内室２ｂについて、クリーンルーム１ａの内室２ａと同様な手順で演算が行われて、クリーンルーム１ｂの内室２ｂの個別判断指令ｙｉ、延いてはクリーンルーム１ａ，１ｂの合計の総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが求められる。
【００６７】
更に、Ｓ８でｉ＝ＮがＮＯの場合は、前記したと同様にして更に次の室であるクリーンルーム１ｃの個別判断指令ｙｉ、延いてはクリーンルーム１ａ，１ｂ及びクリーンルーム１ｃの合計の総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが求められる。Ｓ８でｉ＝ＮがＹＥＳの場合は、全ての室（３室）の個別判断指令ｙｉを基とした総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉが求められるため、次のステップに移行し、図７のＳ９に示すように、今回の再熱空気設定温度Ｔｓｐを上げるか、そのまま維持するか、下げるかを決める最終判断指令Ｙが０か１か２以上として決定される。
【００６８】
而して、図７のＳ９における最終判断指令Ｙ＝０の場合は、再熱コイル３０における再熱空気設定温度Ｔｓｐのｊ回目の操作上の上限値のチェックが行われる（図７のＳ１０）。すなわち、Ｓ１０でＴｓｐ（ｊ）＜Ｔｓｐｍａｘか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）をＴｓｐ（ｊ）＝Ｔｓｐ（ｊ−１）＋ΔＴｓｐだけ上げることになる。
【００６９】
Ｓ９で最終判断指令Ｙ＝１の場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は前回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ−１）と同一で、再熱空気設定温度Ｔｓｐはそのまま維持することになる。
【００７０】
Ｓ９で最終判断指令Ｙ≧２の場合は、再熱コイル３０における再熱空気設定温度Ｔｓｐのｊ回目の操作上の下限値のチェックが行われる（図７のＳ１１）。すなわち、Ｔｓｐ（ｊ）＞Ｔｓｐｍｉｎか否かチェックされ、ＹＥＳの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）をＴｓｐ（ｊ）＝Ｔｓｐ（ｊ−１）−ΔＴｓｐだけ下げることになる。
【００７１】
Ｓ１０、Ｓ１１でＮＯの場合は、Ｙ＝１の場合と同様、再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は前回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ−１）と同一で、再熱空気設定温度Ｔｓｐはそのまま維持することになる。
【００７２】
なお、総合判断指令ＹｉをＹ１として計算する際、式左側最初の項Ｙ（ｉ−１）がＹ（１−１）つまりＹ０が必要になるが、このＹ０は、Ｙ０＝１とする。この意味合いは、現状の再熱空気設定温度をそのまま維持するところから始めるということである。この総合判断指令Ｙｉ＝Ｙ（ｉ−１）×ｙｉの式の特徴は、各室の個別判断指令ｙｉに０と１と２を用いることと、これらを乗じることで、一つでも個別判断指令ｙｉに０があれば、つまり再熱空気設定温度が低すぎる室が一つでもあれば総合判断指令も０となり再熱空気設定温度を上げる指令が出せること、全ての室の個別判断指令ｙｉが１であれば、つまり全ての部屋が現状の再熱空気設定温度が適している場合は、総合判断指令Ｙｉも１となり再熱空気設定温度を維持すること、それ以外では総合判断指令Ｙｉは２以上の解となり再熱空気設定温度を下げる動作が確実にできることである。
【００７３】
本実施例１のようにクリーンルームがクリーンルーム１ａの内室２ａ、クリーンルーム１ｂの内室２ｂ、クリーンルーム１ｃの３室の場合は、前記手順で演算した結果、具体的には、最終判断指令Ｙは、以下のようになる。すなわち、ｉ＝１（クリーンルーム１ａの１室の場合）の総合判断指令Ｙ１＝Ｙ０×ｙ１＝１×ｙ１（この場合、Ｙ０＝１、ｙ１はクリーンルーム１ａの個別判断指令）、ｉ＝２（クリーンルーム１ａ，１ｂの２室の場合）の総合判断指令Ｙ２＝Ｙ１×ｙ２＝Ｙ０×ｙ１×ｙ２＝１×ｙ１×ｙ２（この場合、ｙ２はクリーンルーム１ｂの内室２ｂの個別判断指令）、ｉ＝３（クリーンルーム１ａ，１ｂ,１ｃの３室の場合）の総合判断指令Ｙ３＝Ｙ２×ｙ３＝Ｙ０×ｙ１×ｙ２×ｙ３＝１×ｙ１×ｙ２×ｙ３＝ｙ１×ｙ２×ｙ３であり、３室の総合判断指令Ｙ３が最終判断指令Ｙとなる。このため、Ｙ＝ｙ１×ｙ２×ｙ３となる。なお、最終判断指令Ｙが２以上になるのは、例えば、個別判断指令ｙｉがｙ１＝ｙ２＝ｙ３＝２の場合で、総合判断指令Ｙ３＝８となるためである。
【００７４】
Ｓ９において最終判断指令Ｙ＝０の場合は、前述のように、ｊ回目（今回）の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）と操作上の再熱空気設定温度上限値Ｔｓｐｍａｘが、Ｔｓｐ（ｊ）＜Ｔｓｐｍａｘか否かチェックされ（Ｓ１０）、Ｓ９において最終判断指令Ｙ≧２の場合は、ｊ回目（今回）の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）と再熱空気設定温度下限値Ｔｓｐｍｉｎが、Ｔｓｐ（ｊ）＞Ｔｓｐｍｉｎか否かチェックされる（Ｓ１１）。
【００７５】
而して、Ｙ＝０であり、且つＳ１０において、Ｔｓｐ（ｊ）＜ＴｓｐｍａｘがＹＥＳの場合は、個別判断指令ｙｉが１室でも０があり、且つ、再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は、再熱空気設定温度上限値Ｔｓｐｍａｘに対し低いということである。このため、対応する室が冷えすぎになる虞があるので導入外気の温度、つまり再熱コイル３０の出口空気温度を上昇させなければならない。このため、再熱空気設定温度Ｔｓｐは改められて、例えばＴｓｐ（ｊ）＝Ｔｓｐ（ｊ−１）＋ΔＴｓｐ（例えば０．１℃だけ上昇）となるのである。
【００７６】
すなわち、Ｓ１０でＹＥＳの場合、今回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は、前回（本図示例では１０分前）の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ−１）よりもΔＴｓｐだけ高くなり、空調機２３の再熱コイル３０においては空気を前回よりも加熱することになる。これはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのうち、何れかの室に冷えすぎのおそれがある室があるためである。今回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）及び前回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ−１）は、図１、図２では何れもＴｓｐとして表示されている（以下の説明でも同様である）。なお、ｊはｊ＝１，２，・・・Ｊと一定時間間隔（本図示例では１０分間）で変化する時間項であり、本図示例では前述したように、例えば１０分間隔で再熱空気設定温度Ｔｓｐを改めることになる。なお、具体的には、例えば、Ｊ＝１でクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの３室（ｉ＝１〜３）の前述した演算を一斉に行って総合判断指令Ｙを求め、１０分後に次回のＪ＝２でクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの３室（ｉ＝１〜３）の演算を前述したと同様に一斉に行って総合判断指令Ｙを求めることになり、以下同様に演算を繰り返す。
【００７７】
Ｓ９において最終判断指令Ｙ＝１の場合、或はＳ１０で、Ｔｓｐ（ｊ）＜Ｔｓｐｍａｘ
がＮＯ、Ｓ１１でＴｓｐ（ｊ）＞ＴｓｐｍｉｎがＮＯの場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐは前回（（ｊ−１）番目）の再熱空気設定温度と等しく、Ｔｓｐ（ｊ）＝Ｔｓｐ（ｊ−１）となるのは前述のとおりである。すなわち、今回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は、前回（本図示例では１０分前）の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ−１）と等しく、空調機２３の再熱コイル３０においては空気の加熱は前回と同様にし、変更しない。これは第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃが最適なバルブ開度にあるか、若しくはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃが最適な温度状態にあるためである。
【００７８】
Ｓ９において最終判断指令Ｙ≧２で且つ、Ｓ１１においてＴｓｐ（ｊ）＞ＴｓｐｍｉｎがＹＥＳの場合、再熱空気設定温度Ｔｓｐは改められてＴｓｐ（ｊ）＝Ｔｓｐ（ｊ−１）−ΔＴｓｐとなり、前回の再熱空気設定温度よりもΔＴｓｐ（例えば０．１℃）だけ低くなる。すなわち、今回の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は、前回（本図示例では１０分前）の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ−１）よりも低く、空調機２３の再熱コイル３０においては空気の加熱は前回よりも低くする。これは第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃのバルブ開度が大きい状態か、若しくはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃが高い温度状態にあるためである。
【００７９】
上述のようにして求められた再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）のうち、温湿度制御レベル
Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３に対応した所定の再熱空気設定温度Ｔｓｐ（ｊ）は、再熱空気設定温度Ｔｓｐとして出力されて、前記再熱空気温度コントローラ４２に与えられる。再熱空気設定温度Ｔｓｐが再熱空気温度コントローラ４２に与えられた場合の作動は前述したとおりである。又、システムが停止しているか否か判断され（図７のＳ１２）、ＹＥＳの場合、運転は終了し、ＮＯの場合は、一定時間後（本図示例では１０分後）に次の順番（図３のＳＴＡＲＴの下の「ｉ番目のデータ」の部分）に移行して再び図３のＳ１に戻り、クリーンルーム１ａの室２ａについて演算を開始し、制御を続行する。
【００８０】
本実施例１において冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへの冷水流量を制御する第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が設定値（最小弁開度（本実施例では１０％））よりも開いている場合は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃ内で処理した生産装置１７ａ，１７ｂ，１７ｃ等の熱負荷を処理して空気流路４ａ，４ｂ，４ｃへ送出された空気の温度が高いためであり、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの冷水流量が多くなる。これは、空調機２３の再熱コイル３０での再熱空気の温度Ｔｒが高いことも関係している。そこで、再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げて、空調機２３からクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃへ供給する空気（給気）の温度を下げ、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに流す冷水が少なくても良いように、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃを絞るようにしている。又、図示例のように、複数の冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃがある場合は、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度うち、最小の開度を基準として再熱空気設定温度Ｔｓｐを決定することになる。
【００８１】
更に、温湿度制御レベルＬａ１，Ｌｂ１，Ｌｃ１のように、冷房がフル稼働中の系統の第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃについては、重み付けを大きくし、温湿度制御レベルＬａ３，Ｌｂ３，Ｌｃ３のように、システムが稼動前の熱負荷が小さい系統の第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃについては、重み付けを小さくすることができる。
【００８２】
本発明の実施例１においては、空気はクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃにおいて循環して冷却されている場合でも、再熱コイル３０では空調機２３に導入された空気を必要以上に高い温度（最高でも２０℃）まで再熱する必要がなくなるため、加熱のための無駄なエネルギが軽減されて省エネルギに貢献することができる。又、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃにおいて循環している空気は、各内室２ａ，２ｂ等の状態に合わせて調整が可能であるため、省エネルギと共に、精密且つ正確な温度制御をも行うことができる。
【００８３】
すなわち、本発明の実施例１においては、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が一つでも所定弁開度（例えば、Ａｓｐｖｉ−５％）よりも小さい場合は、再熱コイル３０での再熱空気設定温度Ｔｓｐ（最高で２０℃であり、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ側の室温２３℃よりも低い。）をあげ、総合判断を行う結果、再熱コイル３０の系統の第一の流量制御弁３９の再熱空気温度コントローラ４２では、再熱空気設定温度Ｔｓｐと再熱空気の温度Ｔｒとの間の温度偏差Δｔが増加し、第一の流量制御弁３９が開いて温水の流量が増加して、再熱コイル３０で加熱される空気の温度が上昇することになるため、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの過剰に絞られている開度を大きくでき、制御が容易になる結果、省エネルギと共に、精密且つ正確な温度制御をも行うことができる。なお、再熱コイル３０での再熱空気設定温度Ｔｓｐは、上述のように最も高くて２０℃であり、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの設定温度ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ（２３℃を基準として最大の差は±２℃）よりも低くしているが、これは、加熱コイル３０で加熱された空気をクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃの冷却に供するためである。
【００８４】
次に、前述した流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆについて図８により説明すると、図８では、横軸は第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの実際の開度Ａｐｖｉ（＝弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ）を示し、縦軸は再熱空気設定温度の個別判断指令ｙｉを示している。而して、図４のフローチャートでＳ２がＹＥＳ（Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆ）の場合は、個別判断指令ｙｉ＝２を示し、この場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐは下げることになり、例えば、第二の流量制御弁１０ａの弁開度指令Ｖａは「流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ＋流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ」から弁開度１００％の範囲で変化し（図８の線イ参照）、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃは開く。
【００８５】
図４のフローチャートでＳ２がＮＯ（Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆでない）で、Ｓ３がＹＥＳ（Ａｖｉ＞Ａａｕ）の場合は、個別判断指令ｙｉ＝１を示し、この場合は再熱空気設定温度Ｔｓｐはそのまま維持することになり、例えば、第二の流量制御弁１０ａの弁開度指令Ｖａは流量制御弁開度設定下限値Ａａｕと、「流量制御弁開度設定下限値Ａａｕ＋流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆ」との間となる（図８の線ロ参照）。この線ロの範囲を流量制御弁開度設定値の不感帯Ａｄｉｆといい、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が、線ロの間にある場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐを維持する。
【００８６】
図４のフローチャートでＳ２がＮＯ（Ａｐｖｉ＞Ａａｕ＋Ａｄｉｆでない）で、且つ、Ｓ３がＮＯ（Ａｖｉ＞Ａａｕでない）の場合は、個別判断指令ｙｉ＝０を示し、この場合は再熱空気設定温度Ｔｓｐを上げることになり、例えば、第二の流量制御弁１０ａの弁開度指令Ｖａは全閉（０％）から流量制御弁開度設定下限値Ａａｕの間に該当する（図８の線ハ参照）。第二の流量制御弁１０ｂ，１０ｃの開度Ａｐｖｉ（＝弁開度指令Ｖｂ，Ｖｃ）の場合も同様である。
【００８７】
続いて、前述した不感帯温度差分Ｔ２ｄｉｆαｉ、Ｔ２ｄｉｆβｉ、Ｔ３ｄｉｆαｉ、Ｔ３ｄｉｆβｉについて図９により説明すると、図９では、横軸はクリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ，２ｂ若しくはクリーンルーム１ｃの温度Ｔｐｖｉ（＝室温ｔａ，ｔｂ，ｔｃ）、縦軸は再熱空気設定温度の個別判断指令ｙｉである。而して、図５のフローチャートで、Ｓ４がＹＥＳ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉ（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉ））の場合は、クリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ，２ｂ若しくはクリーンルーム１ｃの温度Ｔｐｖｉは高いため、個別判断指令ｙｉ＝２となり、再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げることになる（図９の線ニ参照）。
【００８８】
図５のフローチャートで、Ｓ４がＮＯ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉでない（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉでない））で、Ｓ５がＹＥＳ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉ（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆβｉ））の場合は、個別判断指令ｙｉ＝１となり、クリーンルーム１ａ、１ｂの内室２ａ，２ｂ若しくはクリーンルーム１ｃの温度Ｔｐｖｉは適温であるため、再熱空気設定温度Ｔｓｐを維持することになる（図９の線ホ参照）。而して、温度Ｔｐｖｉが、Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉとＴｉｏ＋Ｔ２ｄｉｆβｉ（又はＴｓｐｉ−Ｔ３ｄｉｆαｉとＴｓｐｉ−Ｔ３ｄｉｆβｉ）との間の場合は、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの内室、クリーンルーム１ｃの温度ｔａ，ｔｂ，ｔｃが変化しても、再熱空気設定温度Ｔｓｐは変えることなく維持される（図９の線ホ参照）。このＴ２ｄｉｆαｉとＴ２ｄｉｆβｉを温湿度制御レベルが二番目の室の不感帯温度差分といい、Ｔ３ｄｉｆαｉとＴ３ｄｉｆβｉを温湿度制御レベルが二番目の室の不感帯温度差分という。
【００８９】
図５のフローチャートで、Ｓ５がＮＯ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆαｉでない（又はＴｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ３ｄｉｆαｉでない））の場合で、Ｓ５がＮＯ（Ｔｐｖｉ＞Ｔｉｏ−Ｔ２ｄｉｆβｉでない（又はＴｐｖｉ＞Ｔｓｐｉ−Ｔ３ｄｉｆβｉでない））の場合は、個別判断指令ｙｉ＝０の場合を示し、この場合は、再熱空気設定温度Ｔｓｐは上げることになり、例えば、温度Ｔｐｖｉを決めるための再熱空気設定温度Ｔｓｐは、Ｔｉｏ−ΔＴｓｐとなる（図９の線へ参照）。
【実施例２】
【００９０】
図１０〜図１７は本発明の実施例２である。図１０中、図１と同一のものには同一の符号が付してある。而して、本図示例の特徴とするところは、図１の空調システムにおけるダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃに駆動装置により開閉可能なダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃを設けて、該ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度を調整することにより、空調機２３からクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃへ供給される空気の流量をも調整し、これにより、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度を調整して第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃに供給する冷水量を減少させ、省エネルギを図ること、及び内室２ａ，２ｂ及びクリーンルーム１ｃの室圧を確実に所定の値に保持し得るようにしたことである。
【００９１】
すなわち、空調機２３から主ダクト４３、ダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃを経てクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃに導入される空気（給気）の温度は、最大で２０℃程度である。又、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂの空気流路４ａ，４ｂ、クリーンルーム１ｃの空気流路４ｃを通る循環空気還気は、負荷の大きい室では、約２３℃程度以上に昇温されていることがある。従って、再熱された後においても２０℃と循環空気還気よりも低温の空気を利用するのが省エネルギ上このましく、そのためには、第二の流量制御弁１０ａ，１ｂ，１０ｃの弁開度の他に、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度を考慮して、加熱コイル３０へ温水を供給する温水管路４０の第一の流量制御弁３９の制御を行うのが好ましいのである。
【００９２】
図１０中、５８はクリーンルーム１ａにおける内室２ａの圧力（室圧）Ｐａを検出するための圧力検出器、５９は第三の手段であるＰＩＤ演算器、６０ａ，６０ｂ，６０ｃは、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに対応して設置されたダンパ開度コントローラである。ＰＩＤ演算器５９及び第二の演算制御手段である再熱空気設定温度コントローラ５１並びにダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃの詳細は図１０に示されている。なお、以下の説明では、図が複雑になるため、図１０、図１２のうちどちらかの図にのみに示してある記号もあるが、実際には図１０、図１２の系統の両方に必要である。又、設定される各データは図示してない上位コントローラより付与される。なお、図１２では、図の簡略化のため、３台のダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃを１基で示してあるが、図示例の場合、実際は３基である。
【００９３】
ＰＩＤ演算器５９は図１２に示すように、圧力検出器５８から与えられた内室２ａの圧力Ｐａと設定された内室２ａの設定圧力Ｐｏの差である圧力偏差ΔＰを求める減算部６１と、減算部６１で求められた圧力偏差ΔＰを比例積分してダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄを求めるＰＩＤ制御部６２を備えている。又、図１２に示すように、実施例２では、再熱空気設定温度コントローラ５１には、図２に示す再熱空気設定温度算出部５４以外に、ダンパ開度バイアス量演算部６３を備えている。而して、再熱空気設定温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６３には、ＰＩＤ演算器５９におけるＰＩＤ制御部６２からのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄと、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃのダンパ開度演算時に用いる流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕと、同じく流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆと、弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃと、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃのダンパ開度上限値Ｄｏと、同じくダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量Ｄｂを設定し得るようになっている。
【００９４】
再熱空気設定温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６３では、ＰＩＤ演算器５９のＰＩＤ制御部６２から与えられたダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄ、設定された流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、ダンパ開度上限値Ｄｏ、ダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量Ｄｂからダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃを演算し、演算したダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃはダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃのダンパ開度演算部６４へ与え得るようになっている。又、ＰＩＤ演算器５９のＰＩＤ制御部６２からのダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄもダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃのダンパ開度演算部６４へ与えられるようになっている。
【００９５】
ダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃのダンパ開度演算部６４では、ダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄとダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃを基に、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃを演算し、演算したダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃは、ダンパ開度指令としてダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃに設けたダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの駆動装置に与え得るようになっている。
【００９６】
実施例２の空調システムにおける概略の運転手順は図１１に示されており、運転が開始されると先ず省エネ運転設定ＯＮがチェックされる（Ｓ２１）。而して、省エネ運転設定がＹＥＳの場合は、サブルーチンＩの運転を開始する。サブルーチンＩでは、空調機２３から主ダクト４３、ダクト４３ａ，４３ｂ，４３ｃを経てクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ、２ｂ、クリーンルーム１ｃに導入される空気（給気）についての温度の設定変更を行う。具体的には、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を見て、再熱コイル３０の温水管路４０に設けられている第一の流量制御弁３９の開度を制御して、再熱コイル３０に供給する温水の温度を調整して再熱コイル３０で再熱される空気の温度を制御することが行われ、省エネルギに役立つ。手順は実施例１と同様である。
【００９７】
又、サブルーチンＩが終了後にサブルーチンＩＩに移行する。この場合は、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃによりクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃに分配される空気（給気）の流量を調整することになる。すなわち、例えば熱負荷が高い室では循環空気還気を冷すため、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が大きくなり、多量の冷水が必要となるが、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃによりクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃに分配される空気（給気）を増量すれば、当該給気は、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃにおける空気流路４ａ，４ｂ，４ｃの循環空気還気の温度よりも低いため、循環空気還気を冷すのに用いることができる。このため、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度を絞ることができ、冷水の流量を減少させることができる。
【００９８】
サブルーチンＩＩでは、サブルーチンＩＩが開始されてから、例えば３０分経過しているか否か検討され（Ｓ２２）３６、ＹＥＳの場合は、省エネ運転設定ＯＮの前に戻って次回の省エネ運転設定ＯＮに備え、ＮＯの場合は３０分経過するまでは、サブルーチンＩＩの運転が継続される。云うまで  もなくこの経過時間は、ケースにより変更されるが、１分未満ではハンチングする虞があるので、分単位が望ましい。
【００９９】
次に、実施例２で、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃ求める手順を図１２、図１３をも参照しつつ説明するが、ここでは、サブルーチンＩＩの運転となる。以下の説明では、ダンパの開度に関連する記号の単位は％である。なお、図１３においてＺ１で示す範囲は、図１２の再熱空気設定温度コントローラ５１におけるダンパ開度バイアス量演算部６３での演算となり、Ｚ２で示す範囲は、図１２のダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃにおけるダンパ開度演算部６４での演算になる。又、図１２と図１３に示す記号で同一の記号は同一のものを示している。更に、図１３の各記号の添字ｋは、図１２の各記号の添字ａ，ｂ，ｃの順にループ演算することをまとめて示している。
【０１００】
運転時には一定時間間隔（例えば、１０分間隔）でｉ番目の種々のデータが与えられる。ｉ番目のデータとしては、例えば、クリーンルーム１ａの内室２ａの設定圧力Ｐｏ、圧力検出器５８により検出した内室２ａの圧力Ｐａ、流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃのダンパ開度上限値Ｄｏ、ダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量Ｄｂがある（図１２参照）。而して、これらのデータからｉ番目の所定の演算が行われる。
【０１０１】
すなわち、ＰＩＤ演算器５９の減算部６１には、上位コントローラからクリーンルーム１ａの内室２ａの設定圧力Ｐｏが設定されると共に、圧力検出器５８により検出した内室２ａの圧力Ｐａが与えられる。而して、ＰＩＤ演算器５９の減算部６１においては、圧力Ｐａと設定圧力Ｐｏの差が採られて圧力偏差ΔＰが求められ、求められた圧力偏差ΔＰはＰＩＤ制御部６２で比例積分調整されてダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄが算出され、ダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄは再熱空気設定温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６３に与えられる。又、同時にダンパＰＩＤ開度ＤｐｉｄはＰＩＤ演算器５９からダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃにも与えられる（図１２参照）。
【０１０２】
而して、図１３のＺ１の範囲の演算は、図１２の再熱空気設定温度コントローラ５１におけるダンパ開度バイアス量演算部６３で行われ、図１３のＺ２の範囲の演算は、ダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃにおけるダンパ開度演算部６４で行われる。
【０１０３】
再熱空気設定温度コントローラ５１のダンパ開度バイアス量演算部６３においては、ダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄの他に流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ、流量制御弁開度設定値の不感帯Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃのダンパ開度上限値Ｄｏ、ダンパ開度バイアス量上限値Ｄｂｍａｘ、ダンパ開度バイアス量下限値Ｄｂｍｉｎ、ダンパ開度バイアス量変更量Ｄｂが入力されており、これらのデータからダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃが演算されてダンパ開度コントローラ６０ａ，６０ｂ，６０ｃに与えられる（図１２参照）。
【０１０４】
例えば、ｉ番目のダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄとダンパ開度上限値ＤｏがＤｐｉｄ＞Ｄｏか否かチェックされ（図１３のＳ３１）、ＹＥＳの場合は優先処理が行われる。すなわち、優先処理となった場合は、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃが「前回の値＋ΔＤｂ」として求められる。ここで、優先処理とは、ＰＩＤ演算器５９の指示値が大きくて、ＰＩＤ演算器５９がダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃに大きな開度を要求している場合、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃ内の陽圧を確保するためには、当該室には、多量の給気が必要となる。従って、バイアスによってダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度を小さくして給気を絞っては危険であるため、バイアスを全系統で増加する処理を行う。
【０１０５】
優先処理で演算されたダンパ開度バイアス量Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，ＤｂｉｃはダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄと加算され、ダンパ開度Ｄｃａ或はＤｃｂ又はＤｃｃ＝Ｄｐｉｄ＋Ｄｂｉａ或はＤｂｉｂ又はＤｂｉｃとして演算され、このダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃにより、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度が制御される。
【０１０６】
又、Ｄｐｉｄ＞ＤｏがＮＯの場合は、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃごとの個別処理が、ループ演算ｋとして行われる。ｋはクリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃのダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃに対応して、ａ，ｂ，ｃのループで順次繰り返されることである。すなわち、Ｓ３１でＤｐｉｄ＞ＤｏがＮＯの場合は、弁開度指令Ｖｋ＜Ｂｋｕ−Ｂｋｄｉｆか否かチェックされる（図１３のＳ３２）。ここで、ｋはａ，ｂ，ｃの何れかを意味し、順次繰り返されることになる。Ｖｋは図１２の弁開度指令Ｖａ又はＶｂ若しくはＶｃのことであり、Ｂｋｕは、図１２の流量制御弁開度設定下限値Ｂａｕ又はＢｂｕ若しくはＢｃｕのことである。
【０１０７】
Ｓ３２でＶｋ＜Ｂｋｕ−ＢｋｄｉｆがＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉｋ＞Ｄｂｍｉｎか否かチェックされ（図１３のＳ３３）、ＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量が「Ｄｂｉｋ＝前回の値−ΔＤｂ」として演算される。ここで、ｋはａ又はｂ若しくはｃの順で循環したものをまとめて示している。以下の説明でも同様である。
【０１０８】
Ｓ３２でＶｋ＜Ｂｋｕ−ＢｋｄｉｆがＮＯの場合は、弁開度指令Ｖｋ＜Ｂｋｕか否かチェックされ（図１３のＳ３４）、ＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量は「Ｄｂｉｋ＝前回の値」となる。
【０１０９】
Ｓ３４でＶｋ＜ＢｋｕがＮＯの場合は、ダンパ開度バイアス量Ｄｂｉｋ＜Ｄｂｍａｘか否かチェックされ（図１３のＳ３５）、ＹＥＳの場合は、ダンパ開度バイアス量は「Ｄｂｉｋ＝前回の値＋ΔＤｂ」として演算される。
【０１１０】
Ｓ３３でＤｂｉｋ＞ＤｂｍｉｎがＮＯの場合、Ｓ３５でＤｂｉｋ＞ＤｂｍｉｎがＮＯの場合は、Ｓ３４でＶｋ＜ＢｋｕがＹＥＳの場合と同様、ダンパ開度バイアス量は「Ｄｂｉｋ＝前回の値」となる。
【０１１１】
ｋがａ，ｂと順次ループした後、ｋ＝ｃになれば、ループ演算は終了し、ダンパ開度Ｄｃａ或はＤｃｂ又はＤｃｃ＝Ｄｐｉｄ＋Ｄｂｉａ或はＤｂｉｂ又はＤｂｉｃとして演算され、このダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃにより、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度が制御せれる。
【０１１２】
ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃの演算が終了した場合は、終了か否かチェックされ（Ｓ３６）、ＹＥＳの場合は次回のダンパ開度の調整を行うまで制御は終了し、ＮＯの場合は次の順番に移行し、ｉ＋１番目のデータの入力が開始され、前述の手順が繰り返される。
【０１１３】
次に、図１０に示す空調システムの動作フローについて、図１４〜図１７により説明する。図１４は流量制御弁の開度情報の読み取りに関する、数値を入れた具体例である。必要箇所にはその位置の温度或はその機器により検出された温度や指示値を具体的に記載してある。この図示例では、冷却コイル２９下流側の空気の温度は１２℃、再熱コイル３０下流側の空気の温度（再熱空気設定温度Ｔｓｐ）は再熱コイル３０加熱量が多く２０℃、クリーンルーム１ａの内室２ａは負荷大、クリーンルーム１ｂの内室２ｂは負荷中、クリーンルーム１ｃは負荷小、又、再熱空気設定温度コントローラ５１は、弁開度として、冷水コントローラ２２ａ，２２ｂ，２２ｃから弁開度指令Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを読み取っている。ここで、Ｖａ＝５０％、Ｖｂ＝３０％、Ｖｃ＝２０％である。弁開度が異なるのは、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃでは、負荷が異なるためであり、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの空気流路４ａ，４ｂ，４ｃからの循環空気還気は、空調機２３からの給気による冷却が少ないため、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの開度が大きく、このため、冷水による循環空気還気の冷却が大きくなっている。更に、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃには、バイアスを加えていないため、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃは何れも５０％と一律になっている。
【０１１４】
図１５はサブルーチンＩにおいて給気の温度の設定を変更する場合の、数値を入れた具体例で、空調機２３からの空気の温度（再熱空気設定温度Ｔｓｐ）を２０℃から１７℃に変更する場合を図示しており、必要箇所にはその位置の温度或はその機器により検出された温度や指示値を具体的に記載してある。この図示例では、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度（ここでは、弁開度指令が弁開度である。以下の説明においても同様。）Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは何れも判断閾値よりも大きかったため、再熱空気設定温度Ｔｓｐを２０℃から１７℃まで、約３０分に１回当たり０．１℃ずつ下げた。
【０１１５】
この場合、第二の流量制御弁１０ａの弁開度は５０％から４０％に絞られ、第二の流量制御弁１０ｂの弁開度は３０％から２０％に絞られ、第二の流量制御弁１０ｃの弁開度Ｖｃは２０％から下限値の１０％に達した。従って、これ以上再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げることはできない。このように、弁開度を１０％残すのは、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂ、クリーンルーム１ｃ（図示例では、クリーンルーム１ｃ）の負荷が急激に減少した場合に、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃ（図示例では流量制御弁１０ｃ）を絞って室温を設定温度に保つ余地を残すためである。図１４の場合と同様、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃには、バイアスを加えていないため、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃは何れも５０％と一律になっている。
【０１１６】
この図示例では、再熱空気設定温度Ｔｓｐを下げることができるため、再熱コイル３０での空気の加熱エネルギが減少し、且つ、空気流路４ａ，４ｂ，４ｃからの循環空気還気を空調機２３からの給気により冷却できるため、省エネルギにより一層貢献することができる。
【０１１７】
図１６はサブルーチンＩＩにおいて給気の分配を変更する場合の、数値を入れた具体例で、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度を調整して空調機２３からの給気の分配をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに対応し変更する場合を図示しており、必要箇所にはその位置の温度或はその機器により検出された温度や指示値を具体的に記載してある。この図示例では、空調機２３からの空気の温度（再熱空気設定温度Ｔｓｐ）を１７℃とし、給気の分配の仕方としては、第二の流量制御弁１０ａの弁開度Ｖａが大きい（４０％）クリーンルーム１ａに対しては、ダンパ５７ａのダンパ開度Ｄｃａを、当初のダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄ＝５０％にダンパ開度バイパス量Ｄｂｉａ＝１５％を加えて６５％とし、第二の流量制御弁１０ｃの弁開度Ｖｃが小さい（１０％）クリーンルーム１ｃに対しては、ダンパ５７ｃのダンパ開度Ｄｃｃを、当初のダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄ＝５０％からダンパ開度バイパス量Ｄｂｉｃ＝１０％だけ減じて４０％とし、第二の流量制御弁１０ｂの弁開度Ｖｂが中位（２０％）のクリーンルーム１ｃに対しては、ダンパ５７ｃのダンパ開度Ｄｃｃを、当初のダンパＰＩＤ開度Ｄｐｉｄ＝５０％から少し減じて４５％とした。ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃは実際には３０分に一度、±２％ずつ変更した。
【０１１８】
再熱コイル３０で加熱された空気の温度は１７℃であり、クリーンルーム１ａの空気流路４ａからの循環空気還気の温度（室温ｔａ）２３℃よりも低く、且つダンパ開度Ｄｃａは５０％から６５％と大きくなっているため、クリーンルーム１ａの内室２ａはダンパ５７ａで調整された空気（給気）の流量が増加して冷却量が増える。このため、第二の流量制御弁１０ａの弁開度Ｖａは２５％に絞られて、冷水による循環空気還気の冷却は減少される。
【０１１９】
同様に、再熱コイル３０で加熱された空気の温度は１７℃であり、クリーンルーム１ｃの空気流路４ｃからの循環空気還気の温度（室温ｔｃ）２３℃よりも低いが、ダンパ開度Ｄｃｃは５０％から４０％と小さくなっているため、クリーンルーム１ｃの内室２ｃはダンパ５７ｃで調整された空気（給気）の流量が減少し、冷却量が減る。このため、流量制御弁１０ｃの弁開度Ｖｃは２０％に開き、冷水による循環空気還気の冷却は増加する。
【０１２０】
更に、再熱コイル３０で加熱された空気の温度は１７℃であり、クリーンルーム１ｂの空気流路４ｂからの循環空気還気の温度（室温ｔｂ）２３℃よりも低いが、ダンパ開度Ｄｃｂは５０％から４５％と小さくなっているため、クリーンルーム１ｂの内室２ｂはダンパ５７ｂで調整された空気（給気）の流量が減少し、冷却量が減る。このため、第二の流量制御弁１０ｂの弁開度Ｖｂは２５％に開き、冷水による循環空気還気の冷却は増加する。
【０１２１】
空調機２３からの給気の分配比をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに対応し変更する場合に給気の温度を変更した場合は、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度Ｖａ，Ｖｂは、Ｖａ＝Ｖｂ＞２０％となり、給気の温度は減少する（図４のＳ２でＹＥＳの場合に相当し、ｙａ＝ｙｂ＝２）。
【０１２２】
又、第二の流量制御弁１０ｃの弁開度Ｖｃは、１０％＜Ｖｃ＝２０％≦２０％で、給気の温度は不変で（図４のＳ３でＹＥＳに相当し、ｙｃ＝１）となり、最終判断指令Ｙ＝ｙａ×ｙｂ×ｙｃ≧２となり、再熱空気設定温度Ｔｓｐを０．１℃下げることになる。
【０１２３】
図１７は図１６の状態から引き続き流量制御弁の開度情報の読み取り、給気の温度の設定を変更する場合の、数値を入れた具体例で、空調機２３からの空気の温度（再熱空気設定温度Ｔｓｐ）を変更し、その後、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃの開度を調整して空調機２３からの給気の分配比をクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに対応して変更する場合を図示しており、必要箇所にはその位置の温度或はその機器により検出された温度や指示値を具体的に記載してある。この図示例では、給気の分配の変更により、クリーンルーム１ｃの系統の弁開度Ｖｃが大きくなったため、再熱空気設定温度Ｔｓｐを１４℃まで下げた。ここで、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃのばらつきを給気の分配により平滑化するとことにより、給気による冷却を最大限に利用し、加熱、冷却の両者のエネルギを最小限にする運転状態が完成した。
【０１２４】
この場合は、再熱コイル３０における更なる加熱エネルギの低減が可能であり、第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃを更に絞ることにより、冷水による冷却を減少させて更なる冷却エネルギの低減が可能である。
【０１２５】
本実施例２においては、実施例１と同様の作用効果を奏し得る他、冷水用の第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃにより再熱コイル３０の第一の流量制御弁３９の開度を制御すると共に、前記第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃによりダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃのダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃをも制御するようにしており、しかも、再熱コイル３０で加熱された空気の温度は、クリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃの空気流路４ａ，４ｂ，４ｃから冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃに導入される循環空気還気よりも温度が低いため、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの負荷が大きい場合は、ダンパ５７ａ，５７ｂ，５７ｃを開いてクリーンルーム１ａ，１ｂ，１ｃに導入される空調機２３からの空気（給気）を増やすことで、クリーンルーム１ａ，１ｂの内室２ａ，２ｂやクリーンルーム１ｃの温度を所定の値に制御でき、且つ、ダンパ開度Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃを増やした系統の第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃの弁開度Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを絞って冷水の流量を減少させることが可能となる。従って、実施例２では、実施例１の場合よりもより一層効率的に省エネルギを達成することができる。
【０１２６】
なお、本発明の実施例では、再熱コイル３０へ温水を供給する温水管路４０に第一の流量制御弁３９を設け、冷却コイル９ａ，９ｂ，９ｃへ冷水を供給する冷水管路１１ａ，１１ｂ，１１ｃに第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃを設ける場合について説明したが、温水が戻される管路に第一の流量制御弁３９を設け、冷水が戻される管路に第二の流量制御弁１０ａ，１０ｂ，１０ｃを設けても実施できること、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【０１２７】
１ａ，１ｂ，１ｃ    クリーンルーム（被空調空間）
９ａ，９ｂ，９ｃ    冷却コイル（第二の冷却手段）
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ        第二の流量制御弁
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ        冷水管路（ライン）
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ        冷水戻り管路（ライン）
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ        冷水コントローラ（第一の手段）
２３  空調機
２９  冷却コイル（第一の冷却手段）
３０  再熱コイル（再熱手段）
３９  第一の流量制御弁
４０  温水管路（ライン）
４２  再熱空気温度コントローラ（第一の演算制御手段）
４３ａ，４３ｂ，４３ｃ        ダクト（ライン）
５１  再熱空気設定温度コントローラ（第二の手段）（第二の演算制御手段）
５２  減算部
５３  ＰＩＤ制御部
５４  再熱空気設定温度算出部
５５  減算部
５６  ＰＩＤ制御部
５７ａ，５７ｂ，５７ｃ        ダンパ
５９  ＰＩＤ演算器（第三の手段）
６０ａ，６０ｂ，６０ｃ        ダンパ開度コントローラ
６１  減算部
６２  ＰＩＤ制御部
６３  ダンパ開度バイアス量演算部
６４  ダンパ開度演算部
ｔａ，ｔｂ，ｔｃ        温度（室温）
ｔａｏ，ｔｂｏ，ｔｃｏ    設定温度
Δｔａ，Δｔｂ，Δｔｃ  温度偏差（偏差）
Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ        弁開度指令（弁開度）（データ）
Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３，Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３，Ｌｃ１，Ｌｃ２，Ｌｃ３    温湿度制御レベル
Ａａｕ，Ａｂｕ，Ａｃｕ    流量制御弁開度設定下限値
Ｂａｕ，Ｂｂｕ，Ｂｃｕ    流量制御弁開度設定下限値
Ａｄｉｆ  流量制御弁開度設定値の不感帯
Ｂａｄｉｆ，Ｂｂｄｉｆ，Ｂｃｄｉｆ    流量制御弁開度設値の不感帯
Ｔｒ    再熱空気の温度
Ｔｓｐ  再熱空気設定温度
Ｔｓｐｍｉｎ  再熱空気設定温度下限値
Ｔｓｐｍａｘ  再熱空気設定温度上限値
ΔＴｓｐ  再熱空気設定温度変更量
ΔＴｒｈ        設定温度偏差（偏差）
Ｔ２ｄｉｆαｉ，Ｔ２ｄｉｆβｉ，Ｔ３ｄｉｆαｉ，Ｔ３ｄｉｆβｉ  不感帯温度差分
Ｖｘ    弁開度指令
Ｐａ    圧力
Ｐｏ    設定圧力
ΔＰ    圧力偏差（偏差）
Ｄｐｉｄ        ダンパＰＩＤ開度（データ）
Ｄｂｉａ，Ｄｂｉｂ，Ｄｂｉｃ    ダンパ開度バイアス量
Ｄｂｍａｘ  ダンパバイアス量上限値
Ｄｂｍｉｎ  ダンパバイアス量下限値
ΔＤｂ  ダンパバイアス量変更量
Ｄｃａ，Ｄｃｂ，Ｄｃｃ    ダンパ開度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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