(57)【要約】【課題】線状パターンの経路の適否判別を簡易な方法で精度良く行うとともに、途切れや接着などの不良がある場合には、確実にその不良を検出できるようにする。【解決手段】モデルの線状パターンの２値化結果を示す画像を表示して、その表示に対する指定操作に応じて、線状パターンの２箇所に、それぞれ線幅方向に沿う仮想ラインを設定する。さらにライン間で一連に連なる２つの輪郭線Ｅ１，Ｅ２を検出し、これらに基づき経路許容範囲を定める。検査では、検査対象の線状パターンの２値画像に設定時と同一の２本の仮想ラインを設定し、一方の仮想ライン上のエッジ点を起点にした輪郭追跡を行いながら、検出されたエッジ点が経路許容範囲に含まれるかを判別する。２回の輪郭追跡で起点が設定されたラインとは異なるラインに到達し、その間に検出されたエッジ点がすべて経路許容範囲に含まれている場合には、線状パターンの経路を良好と判定する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の線状パターンを撮像するための撮像手段と、前記撮像により生成された画像を、前記線状パターンとその他の部分とが分離された２値画像に変換する２値化処理手段と、２値化処理手段により生成された２値画像を処理することにより前記線状パターンを検査する検査実行手段とを具備する視覚検査装置であって、
前記２値化処理手段により生成された２値画像において、前記線状パターンの検査対象範囲の両端部を定めるために、画像中の線状パターンを横切る１または２本の仮想ラインを設定する仮想ライン設定手段を、さらに具備し、
前記検査実行手段は、
前記線状パターンの２値画像において、前記仮想ラインにより定められた検査対象範囲の両端部の一方に位置するエッジ点を起点にした輪郭追跡を、当該検査対象範囲の他方の端部に到達することを成功として、所定回数実行する輪郭追跡手段と、
前記輪郭追跡に成功したか否かと輪郭追跡の成功回数とによって、前記検査対象範囲内の線状パターンの連続性に関する判定を行う連続性判定手段とが、含まれることを特徴とする視覚検査装置。
【請求項２】
前記仮想ライン設定手段は、前記撮像手段により生成された画像または当該画像の２値画像からそれぞれ特定の視覚的特徴が現れている位置を２つ検出し、検出された各位置を基準に前記２値画像に仮想ラインを設定する、請求項１に記載された視覚検査装置。
【請求項３】
前記仮想ライン設定手段は、前記特定の視覚的特徴と検査対象範囲との相対的関係を表す情報を登録するための登録手段を具備し、特定の視覚的特徴が現れているとして検出された２つの位置にそれぞれ前記登録手段に登録された相対的関係を適用して画像中の検査対象範囲を特定し、この検査対象範囲の両端部を表す仮想ラインを前記２値画像に設定する、請求項２に記載された視覚検査装置。
【請求項４】
前記仮想ライン設定手段は、モデルの線状パターンにつき前記撮像手段により生成された画像または当該画像の２値画像を表示して、その表示画面で線状パターンを横切る方向を指定する操作を受け付ける指定操作受付手段と、前記操作により指定された方向に基づき仮想ラインの設定情報を作成する設定情報作成手段と、作成された設定情報を登録する設定情報登録手段とを具備し、検査対象の線状パターンの２値画像に前記登録された設定情報に基づく仮想ラインを設定する、請求項１に記載された視覚検査装置。
【請求項５】
前記連続性判定手段は、前記仮想ラインにより特定の１の検査対象範囲が定められる線状パターンに対しては、前記輪郭追跡に２回成功したときに検査対象範囲の線状パターンが連続していると判定し、前記仮想ラインによって二分されて、分割された各範囲がそれぞれ検査対象範囲に設定される線状パターンに対しては、前記輪郭追跡に４回成功したときに各検査対象範囲の線状パターンが連続していると判定する、請求項１に記載された視覚検査装置。
【請求項６】
前記検査実行手段は、前記検査対象範囲内の線状パターンの輪郭線について基準の経路を表す基準経路情報が登録された基準経路登録手段と、前記輪郭追跡手段により検出される輪郭線の経路を前記基準経路情報と照合する処理を輪郭追跡に追随して実行する経路照合手段と、前記連続性判定手段が検査対象範囲の線状パターンが連続していると判定し、前記経路照合手段が前記輪郭線の経路が前記基準経路情報に適合すると判定したときに検査対象の線状パターンを「良」と判定し、その他の判定結果を得たときには検査対象の線状パターンを「不良」と判定する良否判定手段とを、さらに具備する、請求項１に記載された視覚検査装置。
【請求項７】
前記検査実行手段は、前記検査対象範囲内の線状パターンの輪郭線について基準の長さが登録された基準長さ登録手段と、前記輪郭追跡手段により検出される輪郭線の長さを計測する処理を輪郭追跡に追随して実行する計測手段と、前記輪郭線の長さの最終計測値を前記基準の長さと照合する長さ照合手段と、前記連続性判定手段が検査対象の線状パターンが連続していると判定し、前記長さ照合手段が前記輪郭線の長さの最終計測値が基準の長さに適合すると判定したとき、検査対象の線状パターンを「良」と判定し、その他の判定結果を得たときには検査対象の線状パターンを「不良」と判定する良否判定手段とを、さらに具備する、請求項１に記載された視覚検査装置。
【請求項８】
所定の線状パターンを撮像するための撮像手段と、前記撮像により生成された画像を、前記線状パターンとその他の部分とが分離された２値画像に変換する２値化処理手段と、２値化処理手段により生成された２値画像を処理することにより前記線状パターンを検査する検査実行手段と、画像表示のための表示手段と、設定操作のための入力手段とを具備する視覚検査装置であって、
前記撮像手段によりモデルの線状パターンを撮像して生成された画像による表示用画像、またはこの画像から前記２値化処理手段が生成した２値画像による表示用画像を前記表示手段に表示し、その表示画面上で前記モデルの線状パターンを横切る方向を指定する操作を受け付ける指定受付手段と、
前記方向を指定する操作が受け付けられた２箇所に、それぞれその操作により指定された方向に沿う仮想ラインを設定し、一方の仮想ライン上のエッジ点を起点に他方の仮想ラインまで連なる輪郭線を検出する処理を複数サイクル実行することにより、前記モデルの線状パターンの両側縁を表す輪郭線を検出するモデル輪郭線検出手段と、
前記モデル輪郭線検出手段により検出された各輪郭線に基づきこれらの輪郭線の基準の経路を表す基準経路情報を作成し、この基準経路情報を各仮想ラインの設定情報とともに登録する登録手段とを、さらに具備し、
前記検査実行手段には、
検査対象の線状パターンの２値画像に、前記登録された設定情報に基づき２つの仮想ラインを設定し、一方の仮想ライン上のエッジ点を起点にした輪郭追跡を、起点を設定したラインとは異なるラインに到達することを成功として、所定サイクル実行する輪郭追跡手段と、
前記輪郭追跡により検出されたエッジ点を前記基準経路情報と照合する処理を、輪郭追跡に追随して実行し、前記輪郭追跡に２回または４回成功し、かつ成功した輪郭追跡によって前記基準経路情報が示す基準経路のすべてに適合する輪郭線が検出されたとき、前記検査対象の線状パターンを「良」と判定する判定手段とが含まれる、ことを特徴とする視覚検査装置。
【請求項９】
前記判定手段は、前記輪郭追跡手段により前記輪郭追跡の起点が設定された仮想ラインに戻る輪郭線が検出され、かつこの輪郭線の一部が前記基準経路情報に適合するとき、検査対象の線状パターンに途切れがあると判定する、請求項８に記載された視覚検査装置。
【請求項１０】
前記判定手段は、輪郭追跡の成功により検出され、２つの仮想ラインの間で対向する関係にある２つの輪郭線上の各エッジ点の座標に基づき、これらの輪郭線が表す線状パターンの幅の最大値および最小値を計測し、これらの計測値をそれぞれ所定のしきい値と比較することにより、検査対象の線状パターンの幅の適否を判定する、請求項８に記載された視覚検査装置。
【請求項１１】
所定の線状パターンを撮像するための撮像手段と、前記撮像により生成された画像を、前記線状パターンとその他の部分とが分離された２値画像に変換する２値化処理手段と、２値化処理手段により生成された２値画像を処理することにより前記線状パターンを検査する検査実行手段と、画像表示のための表示手段と、設定操作のための入力手段とを具備する視覚検査装置であって、
前記撮像手段によりモデルの線状パターンを撮像して生成された画像による表示用画像、またはこの画像から前記２値化処理手段が生成した２値画像による表示用画像を前記表示手段に表示し、その表示画面において前記モデルの線状パターンを横切る方向を指定する操作を受け付ける指定受付手段と、
前記指定受付手段が複数箇所に対して前記線状パターンを横切る方向の指定を受け付けたとき、各指定箇所にそれぞれ指定された方向に沿う仮想ラインを設定し、いずれかの仮想ライン上のエッジ点を起点に他の仮想ラインまで連なる輪郭線を検出する処理を複数サイクル実行することにより、２つの仮想ラインの間でそれぞれ一連に連なりかつ対向関係にある一対の輪郭線の組み合わせを、所定数検出するモデル輪郭線検出手段と、
前記モデル輪郭線検出手段により検出された一対の輪郭線の組み合わせ毎に、検出された輪郭線の基準の経路を表す基準経路情報を作成し、各組の基準経路情報をそれぞれその組に対応する仮想ラインの設定情報に対応づけて登録する登録手段とを、さらに具備し、
前記検査実行手段には、
検査対象の線状パターンの２値画像に、前記設定情報に基づき前記複数の指定箇所に対応する仮想ラインを設定し、前記基準経路情報に対応づけられた仮想ラインの組毎に、一方の仮想ラインにおけるエッジ点を起点にした輪郭追跡を、起点を設定したラインとは異なるラインに到達することを成功として、所定サイクル実行する輪郭追跡手段と、
前記輪郭追跡により検出されたエッジ点を前記基準経路情報と照合する処理を、輪郭追跡に追随して実行し、仮想ラインの各組につきそれぞれ輪郭追跡に２回成功し、かつ成功した各輪郭追跡で検出された輪郭線により各組の基準経路情報が示す基準経路のすべてに適合する輪郭線が検出されたとき、前記検査対象の線状パターンを「良」と判定する判定手段とが含まれる、ことを特徴とする視覚検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、所定の形状の線状パターンを対象に撮像を行い、生成された画像を処理して、線状パターンの連続性に関する検査を実施する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車のエンジンブロックの組立などの部品間の接合を行う場合に、ＦＩＰＧ（Formed In Place Gasket）と呼ばれるシール剤を塗布する方法がよく用いられている。この方法では、一般に、吐出ノズルを有するロボットを用いて、粘着性を有するシール剤を接合面の端縁に沿って塗布するが、ロボットの動作不良によりシール剤の塗布経路や線幅に不備が生じたり、ノズル詰まりなどによってシール剤の塗布が途切れた部位が生じることがある。このため、現場では、画像処理機能を備えた検査装置（この明細書では「視覚検査装置」という。）を用いて、シール剤の塗布状態を検査し、正しく塗布されていることを確認してから接合作業をすすめるようにしている。
【０００３】
上記の検査に関し、下記の特許文献１には、塗布の前後にそれぞれ複数の照明条件の下で撮像を行って、各撮像により生成された画像を用いて検査に最適な画像を生成した後に、この画像を２値画像に変換し、パターンに途切れがないかどうかを検査することが記載されている。この検査では、２値画像中の線状パターン以外の画素（値が「０」の画素）の連続状態に基づき、この値が「０」の領域の数を求め、その数が２であれば、線状パターンは良好であると判定し、その数が１であれば、線状パターンに途切れがあると判定するようにしている（段落００４３，００４４、図１０参照。）。
【０００４】
また、特許文献２には、塗布物の２値画像を、その塗布物を示す線状パターンの一部または画像が消えるまで繰り返し収縮し、その収縮回数によって、塗布物の最小幅または最大幅を計測することが記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特許第３６６７８８６号公報
【特許文献２】特開２００２−９０１１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようなシール剤の検査では、途切れの有無や幅の適否を判別する処理のほかに、シール剤が正しい経路に塗布されているか否かを判別する必要がある。しかし、上記の特許文献１，２には、この経路検査に有効な方法に関しては、なにも示されていない。
【０００７】
また、特許文献１に記載された検査方法は、値が同じ画素が連続する領域毎に集合を作る手法（すなわち「ラベリング」）を応用したものと考えられるが、このような方法は、閉曲線のパターンが対象となる場合でなければ、適用は困難である。たとえば、特許文献１の図６に不良例として記載されているパターン（途切れが１つあるもの）が正しいパターンであるものとすると、この正しいパターンの２値画像における値が「０」の領域の数は１個であるが、このパターンにもう１つ途切れが生じた場合にも、値が「０」の領域の数は１個である。したがってこの場合には、本来あるべきでない途切れが生じたことを判別できない。
【０００８】
上記の点に関しては、値が「０」の領域に代えて、線状パターンを表す値が「１」の領域の数をチェックすることにより、解決するようにも思われる（値が「１」の領域の数は、途切れが発生すると変動する。）。しかし、線状パターンの不良は途切れに限定されるものではなく、途切れ以外の不良を同様の方法で検出するのは困難である。
たとえば、コイルパターンのように、何度も屈曲しながら一連に連なるパターンを対象に、屈曲部を介して対向するライン間に接着が生じていないかどうかを検査する場合に、パターンを表す画素をラベリングして、その領域数を求めると、接着の有無に関わらず、領域の数は１となる。したがって、特許文献１の方法で接着の有無を判別するのは困難である。
【０００９】
この発明は上記の点に着目し、線状パターンの形状を問わず、その経路の適否判別を簡易な方法で精度良く行うとともに、途切れや接着などの不良がある場合には、確実に、その不良を判別できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）第１の視覚検査装置
この視覚検査装置は、所定の線状パターンを撮像するための撮像手段と、この撮像により生成された画像を、線状パターンとその他の部分とが分離された２値画像に変換する２値化処理手段と、２値化処理手段により生成された２値画像を処理することにより線状パターンを検査する検査実行手段とを具備する。
【００１１】
上記の視覚検査装置は、２値化処理手段により生成された２値画像において、線状パターンの検査対象範囲の両端部を定めるために、画像中の線状パターンを横切る１または２本の仮想ラインを設定する仮想ライン設定手段を、さらに具備する。また検査実行手段には、上記の２値画像において、仮想ラインにより定められた検査対象範囲の両端部の一方に位置するエッジ点を起点にした輪郭追跡を、当該検査対象範囲の他方の端部に到達することを成功として、所定回数実行する輪郭追跡手段と、輪郭追跡に成功したか否かと輪郭追跡の成功回数とによって、検査対象範囲内の線状パターンの連続性に関する判定を行う連続性判定手段とが、含まれる。
【００１２】
線状パターンを撮像すると、画像中の線状パターンは、一般に、複数画素分の幅のあるパターンとして現れる。したがって、画像を２値化して、線状パターンが一連に連なっている範囲を対象に、線状パターンと背景部分との境界点（エッジ点）に対する輪郭追跡を行うと、線状パターンの両側縁を表す２本の輪郭線を検出することができると考えられる。
【００１３】
上記の視覚検査装置では、この原理に基づき、線状パターンを横切る１または２本の仮想ラインにより検査対象範囲を特定し、この検査対象範囲の両端部の一方に位置するエッジ点を起点にした輪郭追跡を実行する。ここで、検査対象範囲内の線状パターンが一連に連なっているならば、輪郭追跡は、起点側とは異なる端部に到達して終了し、この追跡により線状パターンの両側縁を表す２本の輪郭線のうちの１つが検出される。
【００１４】
したがって、仮想ラインにより線状パターンに特定の１の検査対象範囲が定められた場合には、輪郭追跡に２回成功したときに検査対象範囲の線状パターンが連続していると判定することができる。また、閉曲線状の線状パターンが１本の仮想ラインによって二分され、分割された各範囲がそれぞれ検査対象範囲に設定される場合には、各範囲につきそれぞれ２回、計４回の輪郭追跡に成功したことをもって、各検査対象範囲の線状パターンが連続していると判定することができる。
【００１５】
一方、検査対象範囲内の線状パターンに途切れがある場合には、起点側の端部から途切れ部分を経由して起点側の端部に戻るような輪郭追跡が行われるため、他方の端部に到達することができない。よって、この場合には、輪郭追跡に「失敗」することになる。
【００１６】
したがって、仮想ラインに基づき検査対象範囲の両端部に位置するエッジ点を認識して複数サイクル分の輪郭追跡を実行し、検査対象範囲の数に応じた回数分の輪郭追跡の成功が得られたか否かによって、検査対象の線状パターンが連続しているか否かを判断することができる。
【００１７】
輪郭追跡では、ある輪郭線の構成点として検出されたエッジ点が別の輪郭線の構成点として重複して検出されることがないようにするのが望ましい。ただし、線状パターンの一部が一画素幅になる可能性がある場合には、エッジ点の重複を認めてもよい。また、線状パターンの全てが一画素幅になる場合には、１つの検査対象範囲につき輪郭追跡に１回成功したことをもって、その検査対象範囲内の線状パターンが連続していると判定してもよい。
【００１８】
つぎに、上記の視覚検査装置の好ましい一態様では、仮想ライン設定手段は、撮像手段により生成された画像または当該画像の２値画像から特定の視覚的特徴が現れている位置を２つ検出し、検出された各位置を基準に２値画像上に仮想ラインを設定する。
【００１９】
上記において、「視覚的特徴」とは、色彩や形状などの外観が他の部分と異なり、正規化相関演算や２値化などの画像処理手法により検出できるものをいう。検出される視覚的特徴は同一であってもよいし、それぞれ異なる特徴であってもよい。
【００２０】
上記の態様によれば、検査対象の線状パターンの画像から、２値化、パターンマッチングなどの画像処理によって視覚的特徴が現れている２つの位置を検出し、それらの位置に基づき仮想ラインを自動設定することができる。
【００２１】
より好ましい態様では、仮想ライン設定手段は、特定の視覚的特徴と検査対象範囲との相対的関係を表す情報を登録するための登録手段を具備し、特定の視覚的特徴が現れているとして検出した２つの位置にそれぞれ上記の登録手段に登録された相対的関係を適用して画像中の検査対象範囲を特定し、この検査対象範囲の両端部を表す仮想ラインを２値画像上に設定する。
【００２２】
上記の態様によれば、検査対象範囲に対する相対的関係が固定される視覚的特徴を２つ特定することができる場合には、画像中の線状パターンの位置や向きが種々にばらついても、各視覚的特徴と検査対象範囲との相対的関係を登録しておくことによって、検査対象範囲の両端部を表す仮想ラインを精度良く設定することができる。
【００２３】
他の好ましい態様では、仮想ライン設定手段は、モデルの線状パターンにつき撮像手段により生成された画像または当該画像の２値画像を表示して、その表示画面で線状パターンを横切る方向を指定する操作を受け付ける指定操作受付手段と、その操作により指定された方向に基づき仮想ラインの設定情報を作成する設定情報作成手段と、作成された設定情報を登録する設定情報登録手段とを具備し、検査対象の線状パターンの２値画像に登録された設定情報に基づく仮想ラインを設定する。
【００２４】
上記の態様によれば、検査に先立つティーチングにおいて、モデルの線状パターンの画像の表示を見てユーザが検査対象範囲を判断し、その両端部の位置で、それぞれ線状パターンを横切る方向を指定する操作を行うことにより、仮想ラインの設定情報が登録され、検査時には、この登録情報に基づき、検査ラインを速やかに設定することができる。
【００２５】
つぎに、好ましい一態様では、検査実行手段は、検査対象範囲内の線状パターンの輪郭線について基準の経路を表す基準経路情報が登録された基準経路登録手段と、輪郭追跡手段により検出される輪郭線の経路を基準経路情報と照合する処理を輪郭追跡に追随して実行する経路照合手段と、連続性判定手段が検査対象範囲の線状パターンが連続していると判定し、経路照合手段が輪郭線の経路が基準経路情報に適合すると判定したときに検査対象の線状パターンを「良」と判定し、その他の判定結果を得たときには検査対象の線状パターンを「不良」と判定する良否判定手段とを、さらに具備する。
【００２６】
上記の構成によれば、シール剤の塗布状態など、線状パターンの連続性とともに線状パターンが表す経路の適否を容易に判断することができる。
【００２７】
他の好ましい態様では、検査実行手段は、検査対象範囲内の線状パターンの輪郭線について基準の長さが登録された基準長さ登録手段と、輪郭追跡手段により検出される輪郭線の長さを計測する処理を輪郭追跡に追随して実行する計測手段と、輪郭線の長さの最終計測値を基準の長さと照合する長さ照合手段と、連続性判定手段が検査対象の線状パターンが連続していると判定し、長さ照合手段が輪郭線の長さの最終計測値が基準の長さに適合すると判定したとき、検査対象の線状パターンを「良」と判定し、その他の判定結果を得たときには検査対象の線状パターンを「不良」と判定する良否判定手段とを、さらに具備する。
【００２８】
上記の構成によれば、線状パターンの連続性を判断するための輪郭追跡に連動して、線状パターンの輪郭線の長さを計測し、最終の計測値の適否を判定するので、コイルパターンなど、屈曲しながら一連に連なった形状の線状パターンの検査において、線状パターンに連続性があるとみなされるが、途切れや接着などの不良によって正しい輪郭追跡が行われていない場合には、検査対象の線状パターンに不良があると判定することができる。
【００２９】
（２）第２の視覚検査装置
この発明による第２の視覚検査装置は、所定の線状パターンを撮像するための撮像手段と、撮像により生成された画像を、線状パターンとその他の部分とが分離された２値画像に変換する２値化処理手段と、２値化処理手段により生成された２値画像を処理することにより線状パターンを検査する検査実行手段と、画像表示のための表示手段と、設定操作のための入力手段とを具備する。さらに、この視覚検査装置は、検査前のティーチングを行うために、以下の指定受付手段と、モデル輪郭線検出手段と、登録手段とを具備する。
【００３０】
指定受付手段は、撮像手段によりモデルの線状パターンを撮像して生成された画像による表示用画像、またはこの画像から２値化処理手段が生成した２値画像による表示用画像を表示手段に表示し、その表示画面上でモデルの線状パターンを横切る方向を指定する操作を受け付ける。
【００３１】
モデル輪郭線検出手段は、上記の方向を指定する操作が受け付けられた２箇所に、それぞれ指定された方向に沿う仮想ラインを設定し、一方の仮想ライン上のエッジ点を起点に他方の仮想ラインまで連なる輪郭線を検出する処理を複数サイクル実行することにより、モデルの線状パターンの両側縁を表す輪郭線を検出する。
【００３２】
登録手段は、モデル輪郭線検出手段により検出された各輪郭線に基づきこれらの輪郭線の基準の経路を表す基準経路情報を作成し、この基準経路情報を各仮想ラインの設定情報とともに登録する。
【００３３】
さらに、上記の視覚検査装置の検査実行手段には、検査対象の線状パターンの２値画像に、登録された設定情報に基づき２つの仮想ラインを設定し、一方の仮想ライン上のエッジ点を起点にした輪郭追跡を、起点を設定したラインとは異なるラインに到達することを成功として、所定サイクル実行する輪郭追跡手段と、この輪郭追跡により検出されたエッジ点を基準経路情報と照合する処理を、輪郭追跡に追随して実行し、輪郭追跡に２回または４回成功し、かつ成功した輪郭追跡によって基準経路情報が示す基準経路のすべてに適合する輪郭線が検出されたとき、検査対象の線状パターンを「良」と判定する判定手段とが、含まれる。
【００３４】
上記構成によれば、ティーチング処理において、ユーザが、表示された画像に基づき、線状パターンの検査が必要な範囲を判断して、その範囲の両端位置でそれぞれ線状パターンを横切る方向を指定する操作を行うことにより、各指定箇所にそれぞれ指定された方向に沿う仮想ラインが設定され、これらのラインの間での輪郭追跡によって、線状パターンの両側縁の輪郭線が検出される。さらに、検出された輪郭線に基づき基準経路情報が作成され、各仮想ラインの設定情報とともに登録される。
【００３５】
検査の際には、登録された設定情報に基づき、処理対象の２値画像に、ティーチング時に設定されたのと同じ仮想ラインが設定されて、一方の仮想ライン上のエッジ点を起点にした輪郭追跡が実行される。ここで、仮想ライン間に途切れのない線状パターンが存在する場合には、このパターンに対する輪郭追跡が行われたときに、起点が設定された仮想ラインとは異なるラインに到達するはずである。一方、仮想ライン間の線状パターンに途切れが生じている場合に、このパターンを対象にした輪郭追跡を行うと、起点が設定された方の直線に戻ってしまい、他方の直線に到達することができない。
【００３６】
したがって、起点が設定されたラインとは異なるラインに到達することを輪郭追跡の成功と位置づけると、閉曲線の線状パターンについては輪郭追跡に４回成功したときに、閉曲線にならない線状パターンについては輪郭追跡に２回成功したときに、それぞれ途切れのない線状パターンが存在すると判断することができる。
【００３７】
上記の点に基づき、この視覚検査装置では、輪郭追跡に２回または４回成功し、かつ成功した輪郭追跡によって基準経路情報が示す基準経路のすべてに適合する輪郭線が検出されたとき、検査対象の線状パターンを「良」であると判定するので、途切れ不良が見逃されるおそれがない。また、線状パターンの任意の２箇所に設定された仮想ラインに基づき、開始位置と終了位置とを定めて輪郭追跡を行う、という簡単な手法により、線状パターンの両側の輪郭線を精度良く検出することができる。
【００３８】
上記の視覚検査装置の好ましい態様では、判定手段は、輪郭追跡手段により輪郭追跡の起点が設定された仮想ラインに戻る輪郭線が検出され、かつこの輪郭線の一部が基準経路情報に適合するとき、検査対象の線状パターンに途切れがあると判定する。この構成によれば、線状パターンに途切れがある場合には、それを正確に検出し、具体的に途切れがあるという判定結果を出力することができる。
【００３９】
また他の好ましい態様では、判定手段は、輪郭追跡の成功により検出され、２つの仮想ラインの間で対向する関係にある２つの輪郭線上の各エッジ点の座標に基づき、これらの輪郭線が表す線状パターンの幅の最大値および最小値を計測し、これらの計測値をそれぞれ所定のしきい値と比較することにより、検査対象の線状パターンの幅の適否を判定する。
【００４０】
第２の視覚検査装置では、２つの仮想ライン間でそれぞれ一連に連なり、対向する関係にある一対の輪郭線によって、線状パターンの両側縁を特定することができるので、線状パターンの幅を容易かつ精度良く計測することができる。よって、これらの計測値から幅の最大値および最小値を特定し、幅の適否の判別を精度良く行うことができる。
【００４１】
（３）第３の視覚検査装置
この視覚検査装置は、第２の視覚検査装置におけるモデル輪郭線検出手段、登録手段、検査実行手段の輪郭追跡手段および判定手段の構成を、以下のように変更したものである。
【００４２】
モデル輪郭線検出手段は、指定受付手段が複数箇所に対して線状パターンを横切る方向の指定を受け付けたとき、各指定箇所にそれぞれ指定された方向に沿う仮想ラインを設定し、いずれかの仮想ライン上のエッジ点を起点に他の仮想ラインまで連なる輪郭線を検出する処理を複数サイクル実行することにより、２つの仮想ラインの間でそれぞれ一連に連なりかつ対向関係にある一対の輪郭線の組み合わせを、所定数検出する。
【００４３】
登録手段は、モデル輪郭線検出手段により検出された一対の輪郭線の組み合わせ毎に、検出された輪郭線の基準の経路を表す基準経路情報を作成し、各組の基準経路情報をそれぞれその組に対応する仮想ラインの設定情報に対応づけて登録する。
【００４４】
輪郭追跡手段は、検査対象の線状パターンの２値画像に、設定情報に基づき複数の指定箇所に対応する仮想ラインを設定し、基準経路情報に対応づけられた仮想ラインの組毎に、一方の仮想ラインにおけるエッジ点を起点にした輪郭追跡を、起点を設定したラインとは異なるラインに到達することを成功として、所定サイクル実行する。
【００４５】
判定手段は、輪郭追跡により検出されたエッジ点を基準経路情報と照合する処理を、輪郭追跡に追随して実行し、仮想ラインの各組につきそれぞれ輪郭追跡に２回成功し、かつ成功した各輪郭追跡で検出された輪郭線により各組の基準経路情報が示す基準経路のすべてに適合する輪郭線が検出されたとき、検査対象の線状パターンを「良」と判定する。
【００４６】
上記の構成によれば、モデルの線状パターンの画像の３以上の箇所に対して線幅方向の指定が行われた場合にも、各指定箇所および指定された線幅方向に基づき仮想ラインを設定することによって、これらの仮想ラインにより区切られた範囲毎に、その範囲の線状パターンの両端の輪郭線を検出することができる。よって、各範囲につき作成された基準経路情報と各仮想ラインの設定情報に基づき、検査の際にも、仮想ラインにより区切られた範囲毎に、輪郭追跡に２回ずつ成功するか否かを判別し、成功した輪郭追跡によって、各範囲の基準経路情報が示す基準経路のすべてに適合する輪郭線が検出されたか否かを判別することによって、線状パターンの経路の適否を精度良く検査することができる。
【発明の効果】
【００４７】
上記の視覚検査装置によれば、検査対象範囲の両端部の一方に位置するエッジ点を起点に輪郭追跡を行う、という簡単な方法によって、線状パターンの連続性を容易かつ正確に判断することができる。
【００４８】
また、第２、第３の視覚検査装置によれば、モデルの線状パターンの画像上で線状パターンを横切る方向を指定するという簡単な操作によって、輪郭追跡や経路の適否判別に必要な情報を登録することができるから、検査のための設定が容易になり、ユーザの負担が軽減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
［装置構成］
図１は、視覚検査装置の構成例を示す。
この視覚検査装置は、検査対象物のカラー静止画像を生成した後に、この画像を検査対象物の色彩に基づき２値化して、２値画像を用いた検査を行うもので、検査に関する一連の処理を実行する本体部１、撮影用のカメラ２、表示部３、操作部４などにより構成される。表示部３は、たとえば液晶モニタにより構成され、操作部４には、マウスやキーボードが含まれる。
【００５０】
本体部１は、ＣＰＵを含む制御部１０を主体とする汎用のコンピュータ装置（パーソナルコンピュータ）であって、主記憶部１１（たとえばハードディスク）や画像メモリ１２（たとえばＲＡＭボード）が組み込まれる。本体部１には、さらに、撮像インターフェース１３、表示用インターフェース１４、入力用インタフェース１５、外部インターフェース１６、外部ディスク用読取部１７などが設けられる。
【００５１】
本体部１では、プログラムが格納された記憶媒体１８（たとえばＣＤまたはＤＶＤ）を外部ディスク用読取部１７にセットし、読み取られたプログラムを主記憶部１１にインストールするようにしている。この主記憶部１１にインストールされたプログラムによって、制御部１０に、一連の画像処理や判定処理を実行する機能が設定される。また制御部１０には、後記する設定画面を介して操作部４からの設定入力を受け付けるグラフィカルユーザインターフェースの機能も設定される。
【００５２】
撮像インターフェース１３は、制御部１０からの撮像制御信号をカメラ２に与えて撮像を行わせ、カメラ２から出力された画像信号をディジタル画像データに変換する。画像メモリ１２には、変換後の画像データのほか、２値化により生成された２値画像や後記する表示用画像が格納される。
【００５３】
表示用インターフェース１４は、制御部１０からの指令に基づき、表示部３への画像表示を制御し、入力用インターフェース１５は、操作部４による操作を受け付けて、その操作内容を示すデータを制御部１０に出力する。外部インターフェース１６は、図示しない外部機器に、検査結果を出力する場合に使用される。
【００５４】
上記構成の視覚検査装置では、主記憶部１１にインストールするプログラムによって、検査対象物の種類や検査目的に応じて種々の手法により検査を実行することができる。以下では、これらのうち、ＦＩＰＧ用の塗布ロボットにより塗布されたシール剤を対象とする検査、およびコイルパターンを対象とする検査について、それぞれ好適な実施例を説明する。
【００５５】
［検査の第１実施例］
図２は、検査対象のワークの全体構成を示す。この実施例のワークＷは、略矩形状のパネルであって、図示しないもう１つのパネルに接合される面には、その端縁の全周に沿ってシール剤１００が塗布されている。
【００５６】
上記のワークＷには、上下および左右に並ぶ４つの撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ４が設定されている。この実施例では、これらの撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ４を、隣り合う領域間に所定幅の重複部分が生じるようにして設定することによって、シール剤の塗布範囲全体をもれなく検査できるようにしている。検査は、撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ４毎に行われるが、以下では、そのうちの斜線で表した領域Ｒ１を例に、検査前の設定処理や検査の手順を説明する。
【００５７】
この実施例による検査では、カメラ２によりワークＷのカラー濃淡画像を生成し、生成された画像をシール剤の色彩に基づき２値化することによって、シール剤を表す線状パターンの画像データを「１」、その他の部分の画像データを「０」とする２値画像を生成する（「１」「０」の設定は逆であってもよい。）。そして、この２値画像に対し、線状パターンのエッジ点（値が「１」の領域の中で「０」の領域との境界に位置する画素である。）を対象にした輪郭追跡処理を行うことによって、線状パターンの輪郭線を検出し、その経路の適否、途切れの有無、線幅の適否などを判定する。
【００５８】
またこの実施例では、上記の検査に先立ち、シール剤の塗布状態が良好なモデルのワークを撮像し、生成された画像を用いて、２値化処理に必要なしきい値や、輪郭追跡の開始位置および終了位置を表す仮想ラインなどを設定し、登録するようにしている。この設定・登録処理は、表示部３に表示された設定画面上でのユーザの指定操作に応じて、実行される。
【００５９】
この実施例の設定画面は４種類あり、図３〜６に示すように、上部のタブ３１，３２，３３，３４を選択することによって、設定画面の表示を切り替えることができる。ただし、未設定の状態下では、左側のタブの画面から順に設定を行う必要がある。
【００６０】
各設定画面には、それぞれ画像表示領域３００が設けられ、その内部にモデルのワークの画像（撮像対象領域Ｒ１内の画像）が表示されるが、この画像の表示状態は、設定操作に応じて変化する。
【００６１】
図３および図４は、４種類の設定画面のうち、タブ３１により選択される「色指定」の画面を示し、図５および図６は、タブ３２により選択される「領域設定」の画面を示す。
【００６２】
「色指定」の画面では、２値化しきい値として、色彩を表す３つのパラメータ（この実施例では、色相、彩度、明度を用いる。）毎に上限値および下限値を設定する。この設定画面の立ち上がり時の画像表示領域３００には、カメラ２により生成されたカラー濃淡画像（以下「原画像」という。）が表示される。また、この設定画面には、画像表示領域３００のほかに、色指定設定領域３０１、表示設定領域３０２、ＯＫボタン３０３、キャンセルボタン３０４などが設けられる。
【００６３】
色指定設定領域３０１には、ユーザに、検出される色彩の範囲を視覚的に認識させるために、２種類の指定色マップ３０５，３０６が設けられる。さらに、これらの下に、各色パラメータの上限値および下限値の具体的な数値を示す表示欄３０８が設けられている。
【００６４】
一方の指定色マップ３０５は、横軸を色相、縦軸を彩度とする２次元座標系に各種色彩を対応づけた構成のものである。他方の指定色マップ３０６は、明度を軸とする１次元座標系により構成される。各指定色マップ３０５，３０６には、それぞれ色パラメータに対応する軸毎に、上限値および下限値を示すポインタ３０７が設けられる。これらのポインタは、初期状態では、図３に示すように、軸の両端位置に表示されているが、マウス操作によって自由に動かすことができる。ポインタ３０７が動かされると、各指定色マップ３０５，３０６内のポインタ３０７により示す位置に直線（図４のマップ中の白線部分）が表示され、また表示欄３０８の数値もポインタ３０７の動きに応じて変化する（図４参照）。なお、使用される頻度は少ないが、表示欄３０８の数値表示を手入力により変更することによって、上限値および下限値を変更することも可能である。
【００６５】
表示設定領域３０２は、画像表示領域３００内における２値化後の画像表示の設定に用いられるもので、「抽出画像表示」を選択するためのチェックボックス３０９と背景色選択用のコンボボックス３１０とが設けられる。
「抽出画像表示」とは、２値化処理の結果を表示することを意味する。「背景色」は、この「抽出画像表示」が選択されたときに有効になり、値が「０」の画素（線状パターン以外の部分を示す画素）の表示色の選択に用いられる。なお、この実施例の２値画像表示では、線状パターンの構成画素に原画像の色彩をそのまま反映させている。
【００６６】
この実施例の２値化処理では、３種類の色パラメータのすべての値が、それぞれの上限値および下限値が示す数値範囲に含まれた画素を「１」とし、それ以外の画素を「０」とする。したがって、各色パラメータの上限値および下限値を、検査対象の線状パターンとその他の部分とを確実に切り分けられるような値に設定する必要がある。そこでこの実施例では、画像表示領域３００のカラー画像や各指定色マップ３０５，３０６を用いて、線状パターンの色彩の検出に適した上限値および下限値を定める上でのユーザの処理が、容易になるようにしている。
【００６７】
以下、「色指定」の画面の機能および設定手順について、図３，４を参照して説明すると、まず図３に示す初期の画面では、画像表示領域３００に原画像が表示され、その領域３００内の任意の点や領域をクリック操作により自由に指定することができる。またこの指定操作が行われると、各指定色マップ３０５，３０６のクリック位置に対応する座標に、本来とは異なる色彩によるマーキング画像３１１，３１２が表示される。
【００６８】
ユーザは、上記の機能を利用して、画像表示領域３００内の線状パターンの色彩が現れている場所を指定した後、各指定色マップ３０５，３０６に生じたマーキング画像３１１，３１２を参照して、各ポインタ３０７を動かす。指定操作は任意の回数行うことができるので、線状パターンの色彩に多少のむらがある場合でも、様々な場所を指定することにより、各色パラメータの値のばらつき度合いを反映したマーキング画像３１１，３１２を表示できる。このような表示に基づき、線状パターンの検出に適した上限値や下限値を容易に設定することができる。
【００６９】
上記の上限値および下限値が設定され、これらにより原画像が２値化されたときに、表示設定領域３０２内の「抽出画像表示」が選択されていると、画像表示領域３００内の表示は、図４のように切り替えられる。この表示画像では、２値化により値が「１」に設定された画素（線状パターンを示す画素）に原画像の画像データが反映される一方、値が「０」に設定された画素（背景を示す画素）の色彩は選択された背景色に設定される。
【００７０】
このような表示により、ユーザは、各設定値が適切であったかどうかを容易に判断することができる。設定が適切であると判断したときには、ＯＫボタン３０３を操作することにより、各設定値を確定して登録することができる。また、設定に不備があると判断したときは、キャンセルボタン３０４を操作することにより、設定をやり直すことができる。
【００７１】
上記の方法により２値化しきい値の設定が完了し、つぎにタブ３２により「領域設定」の画面が選択されると、設定画面は図５に示すものに切り替えられる。この画面には、色指定設定領域３０１に代えて、経路許容幅の設定値の入力ボックス３２１や設定用ボタン３２２〜３２５などが設けられる。
【００７２】
経路許容幅は、後記する経路許容範囲の幅を表すもので、入力ボックス３２１には幅の大きさを表す画素数が入力される。この数値は、所定の上限値までであれば、ユーザにより自由に設定することができる。
【００７３】
各種設定用ボタンのうち、「計測領域登録」ボタン３２２は、画像表示領域３００の全範囲の中から後記する計測パラメータを求める範囲を絞り込む場合に用いられる。「判定外領域」登録ボタン３２４は、画像表示領域３００内の線状パターンの中から判定対象から除外する領域を設定する場合に用いられる。これらのボタン３２２，３２４による登録は、たとえばボタンの操作後に画像表示領域３００内で領域指定操作を行うことにより、指定された領域が計測領域または判定外領域として設定される。
【００７４】
「開始終了ライン登録」ボタン３２３は、輪郭追跡の開始位置および終了位置を示す仮想ラインを設定するためのものである。このボタン３２３が操作されると、画像表示領域３００内の線状パターンの任意位置をパターンを横切るようにドラッグして、そのドラッグの方向を線幅方向として指定することが可能になる。この指定は２回まで受け付けられ（キャンセル操作は可能である。）、指定の都度、その指定された箇所に、線幅方向を表す矢印画像が表示される。
【００７５】
図５の設定画面は、この指定操作を実行したときの状態を示すもので、画像表示領域３００内には、２回の指定操作に対応する２つの矢印画像Ａ，Ｂが表示されている。
制御部１０では、各指定箇所にそれぞれ指定された線幅方向に沿う仮想の線分（以下、「仮想ライン」という。）を設定する。これらの仮想ラインは、輪郭追跡の開始位置および輪郭追跡の終了位置を示す指標として機能する。
【００７６】
「経路作成」ボタン３２５は、モデルの線状パターンの輪郭線の経路を検出することを指定するためのものである。上記の線幅方向の指定が完了したところで「経路作成」ボタン３２５が操作されると、各仮想ラインを基準にした輪郭追跡処理が実行され、この結果、画像表示領域３００内の画像は、図６に示すような状態に変更される。
【００７７】
この画像では、矢印画像Ａ，Ｂに対応する各ライン間に含まれる線状パターンの両側縁の輪郭線Ｅ１，Ｅ２が、それぞれ数画素分膨張され、線状パターンとは異なる色彩により明示される。さらに、この明示された輪郭線Ｅ１，Ｅ２の外側には、それぞれ輪郭線や線状パターンと異なる色彩により、輪郭線の形状に沿った線状の領域Ｄ１，Ｄ２が表示される。これらの線状領域Ｄ１，Ｄ２は、線状パターンの輪郭線の経路として許容する範囲（以下「経路許容範囲」という。）を示すものである。これらの領域Ｄ１，Ｄ２の境界線は、輪郭線Ｅ１，Ｅ２から入力ボックス３２１に入力された数値分の画素を隔てた各点をつなぐことにより設定される。
【００７８】
輪郭線Ｅ１，Ｅ２は、矢印画像Ａ，Ｂに対応する２つの仮想ラインを基準にした輪郭追跡処理により検出されたものである。矢印画像Ａ，Ｂが設定されたときの線幅方向の指定操作は、いずれもモデルの線状パターンを横切るように行われているので、指定操作により設定された各仮想ラインも、それぞれ指定操作に対応する長さに設定される。したがって、いずれの仮想ラインにも線状パターンの両側の輪郭線を構成する２つのエッジ点が存在するはずである。この実施例では、この点に着目して、いずれか一方の仮想ラインのエッジ点を最初の着目点とする輪郭追跡処理を、着目点が他方の仮想ラインに到達するまで実行する処理を２サイクル実行することにより、各仮想ラインの間に存在する線状パターンの両側の輪郭線を検出し、これをＥ１，Ｅ２に設定している。
【００７９】
なお、図５の例によれば、矢印画像Ａ、Ｂのいずれについても、その画像が示す線幅方向に対して輪郭追跡が可能な方向は２方向ある。ただし、あらかじめ「判定外領域登録」ボタン３２４を用いて、輪郭追跡が不要な方向に含まれる線状パターン（矢印画像Ａより下のパターン、および矢印画像Ｂより右のパターン）を含むように判定外領域を設定しておけば、輪郭追跡の方向を適切な方向のみに限定することができる。このように設定することで、検査のときにも、各直線からの輪郭追跡の方向を一方向に限定することができる。
なお、判定外領域に含められる線状パターンについては、他の撮像対象領域（図２に示した領域Ｒ２，Ｒ３）において検査されるものとする。
【００８０】
上記の「領域設定」画面による設定が確定されると、各仮想ラインについて、それぞれその設定情報が登録される。ここでは、仮想ラインの位置および長さを表す情報を設定情報とするのが望ましい（たとえば、矢印画像の線上に位置する各画素の座標を登録する。）。ただし、便宜上、仮想ライン上の２つのエッジ点を設定情報として登録し、検査時に、登録されたエッジ点間の距離より若干大きな仮想ラインを設定するようにしてもよい。また、指定箇所以外の線状パターンに交わることがない場合には、仮想ラインを含む直線の式を設定情報としてもよい。
【００８１】
経路許容範囲については、この範囲を表すマップ画像（範囲内の画素と範囲外の画素とで、「１」「０」の値を切り分けた２値画像）が登録される。なお、マップ画像上の経路許容範囲には、画像表示領域３００に表示された線状領域Ｄ１，Ｄ２のほか、その内側の線状パターンに対応する領域も含まれる。よって、上記のマップ画像は、「基準の経路を表す基準経路情報」に相当することになる。
【００８２】
上記のように、「色指定」画面において、線状パターンの色彩に基づく２値化しきい値を設定し、「領域設定」画面において、輪郭追跡の開始位置および終了位置を示す仮想ライン、ならびに許容経路範囲を設定することにより、検査のための基本的な設定は終了する。なお、線幅方向の指定は、２値画像による表示用画像に対するものに限らず、原画像による表示用画像に対して行うことも可能である。
【００８３】
タブ３３により選択される「計測パラメータ」の画面、およびタブ３４により選択される「出力パラメータ」の画面については、図示を省略するが、「計測パラメータ」の画面では、検査の際に計測されるパラメータ（後記する最大幅、最小幅、平均幅、途切れ幅など）について、良・不良を判定するためのしきい値（以下「判定しきい値」という。）が設定される。
【００８４】
「出力パラメータ」の画面では、良・不良の判定結果の出力方法や、各計測パラメータに対する計測値の出力方法などが選択される。判定結果の出力の選択肢は、表示部３に表示するか否かや、外部に出力するか否かなどが含まれ、計測値の出力の選択肢には、画素単位の計測値を出力する方法やミリメートル換算した計測値を出力する方法などが含まれる。
【００８５】
以下、図７〜９を用いて、検査時の処理について説明する。
図７は検査における一連の流れを示すものである。この図によれば、検査では、まず検査対象のワークＷの登録された撮像対象領域にカメラ２の視野を合わせて撮像を行い（ＳＴ１）、生成された画像を、「色指定」画面で設定された各しきい値を用いて２値化する（ＳＴ２）。
【００８６】
２値画像が生成されると、「領域設定」画面で登録された仮想ラインの設定情報に基づき、この２値画像上に２つの仮想ラインを設定し（ＳＴ３）、これらのライン上に２つのエッジ点があるか否かを判別する。ここで２つのエッジ点が認められない仮想ラインがあれば（ＳＴ４が「ＮＯ」の場合）には、エラー出力（ＳＴ１３）を行った後に処理を終了する。
【００８７】
各仮想ライン上にそれぞれ２つのエッジ点が存在する場合（ＳＴ４が「ＹＥＳ」の場合）には、輪郭追跡処理（ＳＴ５）および幅計測処理（ＳＴ６）を実行する。
【００８８】
ここで、輪郭追跡処理および幅計測処理について、それぞれ図８，９を用いて詳細な処理の流れを説明する。
輪郭追跡処理は、上記２つの仮想ラインの一方を開始ラインとし、他方を終了ラインにしてスタートする。まず開始ライン上の２つのエッジ点の一方を着目点に設定し（ＳＴ１０１）、つぎに、着目点に隣接する画素の中からエッジ点に相当する画素を検出する（ＳＴ１０２）。エッジ点が検出されると、そのエッジ点を新たな着目点に設定して、その着目点の座標を保存する（ＳＴ１０３，１０４）。
【００８９】
つぎに、新たな着目点の座標により経路許容範囲を表すマップ画像を照合することにより、この着目点が経路許容範囲に含まれているかどうかをチェックする。ここで、着目点が経路許容範囲に含まれ、いずれのラインにも到達していない場合（ＳＴ１０５が「ＹＥＳ」、ＳＴ１０７が「ＮＯ」の場合）には、ＳＴ１０２に戻り、新たなエッジ点を検出する。
【００９０】
一方、新たな着目点が経路許容範囲の外にあると判定した場合（ＳＴ１０５が「ＮＯ」の場合）には、この着目点の座標に異常を示すフラグを設定するなどの方法により、当該座標を経路異常部位として保存する（ＳＴ１０６）。ただし、この後も、いずれかの仮想ラインに達するまでエッジ点を検出する処理を続行する。
【００９１】
以下、同様にエッジ点の検出処理を繰り返し、２つの仮想ラインのいずれか一方に到達したときを、１サイクル分の輪郭追跡が終了したときとする。このときは、開始ラインと終了ラインとを入れ替えて（ＳＴ１０７〜１０９）、新たな開始ライン上のエッジ点を着目点に設定し（ＳＴ１０１）、ＳＴ１０２〜１０７による輪郭追跡をもう１サイクル実行する。この処理が終了すると、ＳＴ１０８が「ＹＥＳ」となる。
【００９２】
ここまでの処理において、２つの仮想ライン間の線状パターンに途切れがない場合には、いずれの仮想ラインを開始ラインに設定した場合も、終了ラインに達するまでエッジ点の検出を続けることができる。また検出された各エッジ点が経路許容範囲に含まれるか否かを照合する処理を輪郭追跡に追随して行っているので、終了ラインまで到達する「輪郭追跡の成功」が２回成立し、これら成功した輪郭追跡によって検出されたエッジ点がすべて経路許容範囲に含まれていた場合には、「基準経路情報が示す基準の経路のすべてに適合する輪郭線」を検出できたことになる。
【００９３】
よって、上記の場合には、ＳＴ１１０が「ＹＥＳ」、ＳＴ１１１が「ＮＯ」となり、経路異常はないと判定する（ＳＴ１１２）。これに対し、いずれかのエッジ点の座標が経路異常部位として保存されている場合には、「基準経路情報が示す基準の経路のすべてに適合する輪郭線」を検出できていないことになるから、ＳＴ１１１が「ＹＥＳ」となり、経路異常があると判定する（ＳＴ１１３）。
【００９４】
つぎに、２つの仮想ライン間の帯状パターンに途切れがある場合には、輪郭追跡処理のいずれのサイクルでも、途切れ部分に到達した後は、その途切れ部分を廻って反対側の側縁のエッジ点に着目点が移動し、最終的に開始ライン側に戻ってしまう。よって、この場合には、ＳＴ１１０が「ＮＯ」となり、検査対象の線状パターンに途切れがあると判定する（ＳＴ１１４）。
【００９５】
つぎに図９に示す幅計測処理では、輪郭追跡処理により途切れが検出されなかった場合には、計測パラメータとして、線状パターンの線幅の最大値および最小値ならびに平均値を求めるようにしている（以下、これらを「最大幅」「最小幅」「平均幅」という。）。一方、途切れが検出された場合には、計測パラメータとして、途切れ部分の幅（途切れにより分断された線状パターン間の距離）を算出する。
【００９６】
以下、上記の輪郭追跡処理により検出された２つの輪郭線の一方を「輪郭線ａ」とし、他方の輪郭線を「輪郭線ｂ」として説明する。
幅計測処理では、輪郭線ａを構成する各エッジ点に順に着目して、各着目点につき、それぞれ輪郭線ｂの各点に対する距離のうちの最小のものを求める処理を実行する（ＳＴ２０１〜２０３）。
【００９７】
上記の輪郭線ａ，ｂが、それぞれ２つの仮想ライン間で一連に連なるものである場合、すなわち線状パターンに途切れがなく、輪郭線ａ，ｂがこの線状パターンの両側縁の輪郭線を表す場合には、上記のＳＴ２０１〜２０３のループにより、線状パターンの各位置における線幅が求められることになる。よって、途切れが検出されなかった場合（ＳＴ２０４が「ＮＯ」の場合）には、ＳＴ２０１〜２０３のループで求められた各距離の中の最大値を最大幅として特定し（ＳＴ２０５）、各距離の中の最小値を最小幅として特定する（ＳＴ２０６）。さらに、各距離の平均値を算出し、算出された値を平均幅として特定する（ＳＴ２０７）。
【００９８】
一方、輪郭追跡処理で途切れが検出された場合には、輪郭線ａ，ｂは、途切れにより分割された各線状パターンの輪郭を表すことになるから、ＳＴ２０１〜２０３で算出された最小の距離は、線幅ではなく、輪郭線ａが検出された線状パターンの各エッジ点から輪郭線ｂが検出された線状パターンまでの距離を示すと考えられる。よって、途切れが検出されている場合（ＳＴ２０４が「ＹＥＳ」の場合）には、算出された距離の中の最小値を、途切れ部分の幅（途切れ幅）として抽出する（ＳＴ２０８）。
【００９９】
上記のように、この実施例では、２つの仮想ラインによって、線状パターンの両側の輪郭線を個別に検出することができるので、途切れが存在しない場合には、各輪郭線の構成点の座標によって線幅を正しく算出することが可能になる。また、途切れがある場合でも、分断された各線状パターン毎に輪郭線を検出するので、同じアルゴリズムを用いて途切れ幅を算出することができ、計測処理の流れを簡単にすることができる。
【０１００】
図７に戻って、上記の輪郭追跡処理および幅計測処理が終了し、これらの処理において途切れや経路異常が見つからなかった場合（ＳＴ７が「ＮＯ」の場合）には、幅計測処理で求められた最大幅、最小幅、平均幅を、それぞれ「計測パラメータ」の画面で設定された判定しきい値と比較する（ＳＴ８）。この比較により、いずれの線幅の値も良好であると判断した場合（ＳＴ９が「ＹＥＳ」の場合）には、線状パターンに対して良判定を行う（ＳＴ１０）。一方、輪郭追跡処理において経路異常や途切れがあると判定された場合（ＳＴ７が「ＹＥＳ」の場合）や、ＳＴ８で比較されたパラメータのいずれかが不良と判断された場合（ＳＴ９が「ＮＯ」の場合）には、線状パターンに対し不良判定を行う（ＳＴ１１）。そして、最後に、これらの判定結果やパラメータの計測結果を出力し（ＳＴ１２）、処理を終了する。
【０１０１】
図１０は、上記検査の結果の表示画面の例を示す。
この表示画面には、検査対象のワークの処理結果画像を表示するための画像表示領域５００や判定結果や計測結果の表示領域５０１などが設定される。
【０１０２】
図中の（１）は、良判定がなされた場合の表示例に相当し、（２）は不良判定が行われた場合の表示例に相当する。いずれの例でも、画像表示領域５００には、設定時の輪郭線の追跡後の画像表示（図６）に従って、２値化の結果を示す画像に輪郭追跡により検出された輪郭線や経路許容範囲を示す線状領域を合成したものが表示されている。ただし、（２）の例では、経路許容範囲の表示は正常な輪郭線が検出された範囲に限定される。
【０１０３】
上記の検査結果画面によれば、線状パターンの経路の良否に関わらず、検出された２つの輪郭線Ｅ１，Ｅ２を明示した画像が表示されるので、ユーザは、輪郭追跡の対象となった範囲やその追跡結果を容易に把握することができる。
【０１０４】
つぎに、上記の実施例では、１サイクル目の輪郭追跡で開始ラインに戻った場合でも、途切れ箇所の確認や途切れ幅の算出のために２サイクル目の輪郭追跡を実行するようにしたが、これに限らず、１サイクル目の輪郭追跡で途切れが検出された時点で途切れありと判定し、輪郭追跡を打ち切ってもよい。輪郭追跡中で経路異常部位が検出された場合も同様に、その時点で経路異常ありと判定して以後の処理を打ち切ってもよい。
【０１０５】
一方、上記の実施例では、輪郭追跡中に経路許容領域の外に出たエッジ点を１つでも検出した場合には、経路異常があると判定したが、この検査基準を少し緩めてもよい。たとえば、輪郭追跡に２回成功することができた場合には、経路許容範囲の外に出たエッジ点が所定数までであれば、基準の経路のすべてに適合する輪郭線を検出できたものとして、良判定を行ってもよい。
【０１０６】
また、上記の実施例では、２つの仮想ラインに対し、それぞれ輪郭追跡を行う必要のない範囲を「判定外領域」として登録したが、このような登録が行われない場合には、検査対象外の部位に対しても輪郭追跡が行われる。この場合に、検査対象外の部位の形状によっては、開始ラインに戻るような輪郭追跡が行われる場合もある（たとえば、検査対象外部位の端縁が画像に現れている場合）が、この場合には、検出されたエッジ点のすべてが経路許容範囲から大きく逸脱することになるので、それをもって、検査対象外の部位であると判断することができる。
【０１０７】
また、上記の実施例のように、輪郭追跡の開始位置および終了位置とした箇所の線幅方向が大きく異なる場合には、各指定箇所毎に指定操作を行う必要があるが、図１１に示すように、指定対象の箇所ｃ１，ｃ２の線幅方向の差が小さい場合には、これらの指定箇所ｃ１，ｃ２を横切るようなドラッグ操作により、２つの箇所を一度に指定してもよい。
【０１０８】
ただし、この場合にも、輪郭追跡の起点となるエッジ点を特定するには、各指定箇所ｃ１，ｃ２毎に、仮想ラインの設定情報を登録する必要がある。または、ドラッグ操作に基づき１本の仮想ラインの設定情報を登録するならば、検査時の２値画像に設定情報に基づく仮想ラインを設定した際に、この仮想ライン上で線状パターンを横切っている範囲を２つを検出し（上記のｃ１，ｃ２に対応する範囲）、これらの範囲に含まれるエッジ点を、輪郭追跡の開始点または終点として位置づけてもよい。
【０１０９】
また、いずれの方法で指定を行う場合にも、ユーザのドラッグ操作は、線状パターンの長さ方向にほぼ直交するように行われるのが望ましいが、これに限らず、線状パターンを斜めに横切る方向を指定する操作を受け付けてもよい。また、線状パターンの形状によっては、線状パターンを横切るような曲線を描く操作に応じて、その作図に基づく仮想ラインを設定してもよい。この場合には、曲線を構成する各画素の座標、または曲線の近似式が仮想ラインの設定情報として登録されることになる。
【０１１０】
また、上記の実施例では、閉曲線を描くような経路による線状パターンを複数に分割して、分割された部位毎に撮像を行った（図２参照）が、このパターン全体を１回で撮像できる場合にも、同様に、線状パターンの２箇所に仮想ラインを設定し、一方の仮想ラインから他方の仮想ラインまでの輪郭追跡を４サイクル行うことによって、線状パターンの全範囲の輪郭線を検出することができる。よって、これら４サイクルの輪郭追跡のすべてに成功するか否かによって、途切れの有無を判別することができる。さらに、輪郭追跡で検出された各エッジ点の座標を経路許容範囲と照合することによって、線状パターンの経路が適切であるかどうかも判定することができる。
【０１１１】
また、上記の実施例では、１つの画面での線幅方向を指定する箇所を２箇所に限定したが、これに限らず、３箇所以上に対して線幅方向の指定を実行してもよい。この場合には、モデルの線状パターンの画像に対し、各指定に基づき設定した仮想ラインによって線状パターンを複数の検査対象範囲に分割し、検査対象範囲毎に輪郭追跡処理を行うことによって、その範囲の両端にあたる２つの仮想ラインの間でそれぞれ一連に連なり、かつ対向関係にある一対の輪郭線を検出することができる。よって、各範囲毎に、検出された輪郭線に基づき経路許容範囲を定め、これを仮想ラインの設定情報に対応づけて登録しておけば、検査においても、各範囲毎に同様の輪郭線検出を行い、「輪郭追跡の成功」が２回成立したことをもって線状パターンに途切れがないと判断することができる。また、これらの輪郭追跡により検出されたエッジ点がすべて経路許容範囲に含まれていることをもって、経路異常がないと判定することができる。
【０１１２】
［検査の第２実施例］
つぎに、図１に示した視覚検査装置を、チップインダクタ等の電子部品に組み込まれるコイルパターンの検査に適用する場合について説明する。
【０１１３】
図１２は、この実施例における検査対象の画像の一例を示す。
この実施例は、蒸着法により所定大きさの基板上に金属薄膜として形成されたコイルパターンを検査対象とするものである。図中、６０が検査対象のコイルパターンであり、６１，６２は、コイルパターン６０の両端部に接続された端子である。なお、各端子６１，６２は、基板の厚み部分を貫くように配備され、それぞれ基板の裏面側で図示しない他の部品に接続される。
【０１１４】
上記の画像は、背景に相当する基板６３と、コイルパターン６０と、端子６１，６２とが、それぞれ異なる色彩により表されたカラー画像である。検査では、第１実施例と同様に、コイルパターン６０とその他の部分とが分離された２値画像を生成し、この２値画像上に２本の仮想ラインを設定して輪郭追跡処理を実行する。
【０１１５】
図１３〜１５は、上記コイルパターン６０に不良がある場合の画像の例を示す。
図１３の例では、コイルパターン６０の巻き線の一部に途切れが生じて、パターンが２つに分割された状態になっている。図１４の例では、隣り合う巻き線同士が接着して、いわゆる短絡状態になっている。図１５の例では、図１４の例と同様に、隣り合う巻き線同士が接着し、さらに接着が生じた箇所に本来連なっているはずの巻き線に途切れが生じたために、パターンの一部が切り離された状態になっている。
【０１１６】
図１６は、上記のコイルパターンを形成する方法を、図１７は、上記の途切れおよび接着が生じる原因を、それぞれ模式的に示す。なお、これらの図でも、説明の便宜上、コイルパターンおよび基板を図１２〜１５と同様の符号により示す。
【０１１７】
図１６，１７を用いて、上記の不良の原因について説明すると、コイルパターン６０は、図１６に示すように、基板６３の金属薄膜を形成しない箇所にマスクパターン６４を形成した後に、金属６０ａを吹き付け、その後にマスクパターン６３を除去することにより、形成される。
【０１１８】
上記の工程のうち、マスクパターン６４を除去する工程において、金属６０ａの一部がマスクパターン６４と一緒に除去されると、コイルパターン６０の途切れが発生する（図１７（Ａ）参照。）。
また、マスクパターン６４の一部に他より低い箇所があると、金属６０ａを吹き付た際に、この低いマスクパターン６４が金属６０ａで覆われた状態になる。この結果、このマスクパターン６４を残したまま、その上方および周囲の金属６０ａが繋がって固定され、接着不良が生じる（図１７（Ｂ）参照。）。さらに、図１７（Ａ）（Ｂ）の双方の現象が生じた場合には、図１５に示したように、接着および途切れが生じることになる。
【０１１９】
この実施例では、第１の実施例と同様の手法による輪郭追跡を行いながら、この追跡により検出された輪郭線の長さの適否を判別することによって、上記３種類の不良を容易に検出できるようにしている。
【０１２０】
図１８〜２１は、それぞれ図１２に示した良好なコイルパターン、および図１３〜１５に示した不良があるコイルパターンに対する輪郭追跡の結果を示す。いずれの図でも、コイルパターン６０の両端縁にそれぞれ線幅方向に沿う仮想ラインＬ１，Ｌ２を設定し、コイルパターンの内側の仮想ラインＬ１上の一点Ａを起点に輪郭追跡を行ったものである。
【０１２１】
なお、図１８〜２１では、説明の便宜上、先の図１２〜１５と同様の画像に、検出された輪郭線を極太線にして表しているが、実際の輪郭追跡は、コイルパターン６０とその他の部分とが分離された２値画像に対して行われる。すなわち、輪郭追跡の処理対象の２値画像では、端子６１，６２と基板６３とは、背景として統合される。
【０１２２】
以下、各例の輪郭追跡結果について説明する。まず、コイルパターン６０が良好な場合には、図１８に示すように、仮想ラインＬ１上の点Ａから他方の仮想ラインＬ２上の点Ｂまでの経路をすべて辿ることができる。したがって、この輪郭追跡によれば、コイルパターンの両側縁を表す輪郭線の一方（点Ａ，Ｂを含むもの）が検出されることになる。さらに、強調表示していない他方の輪郭線も、同様に検出することができる。
【０１２３】
一方、コイルパターン６０に途切れが生じている場合には、図１９に示すように、点Ａから途切れ部分Ｐを廻って起点側の仮想ラインＬ１に戻るような輪郭追跡が行われる。また、コイルパターン６０に接着が生じている場合の輪郭追跡でも、図２０に示すように、点Ａから接着部分Ｑに達した後は、本来の方向に進むことができなくなり、起点側の仮想ラインＬ１に戻る方向に経路が変更されてしまう。また、他方の仮想ラインＬ２から輪郭追跡を行った場合も、途切れや接着が生じていると、同様に、起点側の仮想ラインＬ２に戻ってしまう。
【０１２４】
よって、コイルパターン６０に途切れまたは接着が生じた場合には、輪郭追跡の経路が起点側の仮想ラインに戻ったことをもって、いずれかの不良が生じていると判断することができる。
【０１２５】
つぎに、接着および途切れの双方が生じている場合の輪郭追跡では、図２１に示すように、仮想ラインＬ１上の点Ａから接着部分Ｒに達した後、途切れにより分断された部分（図中の黒塗り部分）をとばして仮想ラインＬ２に向かう方向へと進む。したがって、仮想ラインＬ１上の点Ａから仮想ラインＬ２上の点Ｂまで連続する輪郭線を追跡したことにはなるが、途切れにより分断された部分が追跡の経路に含まれていないため、検出された輪郭線の長さは、良好なコイルパターン６０から検出された輪郭線の長さより短くなる。仮想ラインＬ２から輪郭追跡を行った場合も同様である。
【０１２６】
よって、コイルパターン６０に接着および途切れが生じた場合には、輪郭追跡により検出された輪郭線の長さが基準の長さに到達していないことをもって、不良がある旨を判別することができる。
【０１２７】
つぎに、図１８〜２１の例では、コイルパターン６０を全長にわたって検査する必要から、パターン６０の両端部に線幅方向に沿う仮想ラインＬ１，Ｌ２を設定した。これらの仮想ラインは、第１実施例と同様に、ティーチングにより設定することができる。ただし、この実施例では、より精度の良い仮想ラインを設定するために、コイルパターン６０と端子６１，６２との相対的関係に着目して、仮想ラインＬ１，Ｌ２を自動設定するようにしている。詳細については以下で説明する。
【０１２８】
この実施例では、検査に先立つティーチングにおいて、良好なコイルパターン６０が形成されたモデルの基板を撮像し、生成された画像を含む「色指定」の画面（図３，４参照）を用いて、コイルパターン６０の検出に適した２値化しきい値と、端子６１，６２の検出に適した２値化しきい値を設定する。さらにこの実施例では、設定した各２値化しきい値を用いてモデルの画像を２値化し、検査時と同様の方法により、仮想ラインの設定、輪郭追跡、および輪郭線の長さ計測の各処理を実行する。そして、最終的に得た計測値を輪郭線の基準の長さとして登録する。
【０１２９】
図２２は、上記のティーチングが終了した後に実行される検査の処理の流れを示す。また、図２３は、図２２のフローチャートの中の輪郭追跡処理（ＳＴ２６）に関する詳細な処理の流れを示す。
【０１３０】
まず図２２に基づき、この実施例の検査の全体の流れを説明すると、この処理でも、始めに、検査対象のワーク（コイルパターン６０が形成された基板６３）を撮像して、カラー画像を生成する（ＳＴ２１）。
【０１３１】
つぎに、上記のカラー画像を、端子６１，６２につき設定された２値化しきい値により２値化することによって、各端子６１，６２を「１」とし、その他の部分を「０」とする２値画像を生成する（ＳＴ２２）。ついで、同じカラー画像を、コイルパターン６０につき設定された２値化しきい値により２値化することによって、コイルパターン６０を「１」とし、その他の部分を「０」とする２値画像を生成する（ＳＴ２３）。
【０１３２】
このようにして２種類の２値画像が生成されると、前者の２値画像を用いて各端子６１，６２に対応する領域を特定し、これらの領域をコイルパターンの２値画像に対応づけることによって、コイルパターン６０の両端部の位置を特定する（ＳＴ２４）。さらに、特定された各位置に出現している線幅方向のエッジに沿って、仮想ラインＬ１，Ｌ２を設定する（ＳＴ２５）。
【０１３３】
この後は、第１実施例と同様に、各仮想ラインＬ１，Ｌ２上に２つのエッジ点があるか否かを判別する（ＳＴ２６）。そして、エッジ点が２つ存在すると判断した場合（ＳＴ２６が「ＹＥＳ」の場合）には、輪郭追跡処理を行ってコイルパターン６０の良否を判定し、その判定結果を出力する（ＳＴ２７，２８）。一方、２つのエッジ点が認められなかった場合には、所定のエラー出力（ＳＴ２９）を行った後に処理を終了する。
【０１３４】
つぎに、図２３を参照して、上記のＳＴ２７で実施される処理を詳細に説明する。
この処理では、まず、輪郭線の構成点を計数するためのカウンタｎを初期値のゼロに設定する（ＳＴ３０１）。つぎに、第１の実施例と同様に、一方の仮想ラインを開始ラインとして、そのライン上のエッジ点を輪郭追跡の着目点に設定する（ＳＴ３０２）。また、着目点に隣接する画素の中からエッジ点を検出し、そのエッジ点を新たな着目点に設定する（ＳＴ３０３，３０４）。さらに、この実施例では、新たな着目点を見つけたことに応じて、カウンタｎをインクリメントする（ＳＴ３０５）。
【０１３５】
以下、着目点がいずれかの仮想ラインに到達するまで、ＳＴ３０３〜３０５の処理を繰り返す。そして、いずれか一方の仮想ラインに到達すると、１サイクル分の輪郭追跡が終了したと判断して、そのときのｎの値を、このサイクルで検出した輪郭線の長さとして保存する。さらに、開始ラインと終了ラインとを入れ替えて（ＳＴ３０８，３０９）、２サイクル目の輪郭追跡を実行し、同様にそのサイクルにより検出された輪郭線の長さを保存する。
【０１３６】
２サイクル分の輪郭追跡が終了し、いずれの輪郭追跡でも終了ラインに到達することができた場合には（ＳＴ３０８，３１０が「ＹＥＳ」の場合）、各サイクルで検出した輪郭線の長さを基準の長さと比較する。ここで検出された輪郭線の長さと基準の長さとの差が所定の許容値以内であれば、輪郭線の長さは基準の長さに適合しているとして、検査対象のコイルパターン６０は良好であると判定する（ＳＴ３１１，３１２）。
【０１３７】
一方、コイルパターン６０に接着および途切れが生じている場合には、輪郭追跡により終了ラインに到達することはできるが、輪郭線の長さは基準の長さに適合しないと判断される（ＳＴ３１０が「ＹＥＳ」、ＳＴ３１１が「ＮＯ」）。またコイルパターン６０に接着または途切れが生じている場合には、輪郭追跡は終了ラインではなく、開始ライン上で終了する（ＳＴ３１０が「ＮＯ」）。よって、これらの場合には、検査対象のコイルパターン６０は不良であると判定する（ＳＴ３１３）。
【０１３８】
上記の検査によれば、検査対象のコイルパターン６０と各端子６１，６２との境界位置に仮想ラインＬ１，Ｌ２を自動設定して、これらのラインＬ１，Ｌ２の間に一連に連なる２本の輪郭線が存在するかどうかを判定するとともに、各輪郭線の長さの適否を判定することができる。よって、図１２に示した良好なコイルパターンと、図１３〜１５に示した不良のあるコイルパターンとを、容易に見分けることができ、検査の信頼度を高めることができる。
【０１３９】
なお、上記の実施例では、検査対象の線状パターンに特定の視覚的特徴（端子６１，６２の画像）が隣接していることを利用して仮想ラインＬ１，Ｌ２を自動設定したが、線状パターンの種類によっては、線状パターンに現れているマークや色彩などの特徴に基づいて仮想ラインを設定することもできる。
また、検査対象範囲より離れた場所に視覚的特徴が現れる場合もあるが、このような場合でも、あらかじめ視覚的特徴と各仮想ラインとの間の相対的関係を登録し、画像から検出された視覚的特徴に登録された相対的関係を適用することによって、仮想ラインを自動設定することができる。
【０１４０】
また、検査対象のワークが一種類に特化され、画像中の線状パターンの位置が大きく変動する可能性がない場合には、モデルのワークの画像を用いて仮想ラインの位置や方向を特定し、その特定された仮想ラインの設定情報を含むプログラムを装置にインストールしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】視覚検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】検査対象のワークの全体構成を示す図である。
【図３】２値化しきい値の設定画面を示す図である。
【図４】図３の設定画面が設定操作により変化した状態を示す図である。
【図５】線状パターンの線幅方向を指定するための設定画面を示す図である。
【図６】図５の設定画面について、指定に応じた輪郭追跡処理が実行された後の表示状態を示す図である。
【図７】検査に関するフローチャートである。
【図８】輪郭追跡処理の詳細な手順を示すフローチャートである。
【図９】幅計測処理の詳細な手順を示すフローチャートである。
【図１０】良判定の場合と不良判定の場合について、検査結果の表示画面を示す図である。
【図１１】２箇所に対する線幅方向を一括で指定する例を示す図である。
【図１２】良好なコイルパターンの画像を示す図である。
【図１３】途切れが生じたコイルパターンの画像を示す図である。
【図１４】接触が生じたコイルパターンの画像を示す図である。
【図１５】途切れおよび接触が生じたコイルパターンの画像を示す図である。
【図１６】コイルパターンの形成方法を示す図である。
【図１７】途切れおよび接触の原因を表す図である。
【図１８】良好なコイルパターンに対する輪郭追跡結果を示す図である。
【図１９】途切れが生じたコイルパターンに対する輪郭追跡結果を示す図である。
【図２０】接触が生じたコイルパターンに対する輪郭追跡結果を示す図である。
【図２１】途切れおよび接触が生じたコイルパターンに対する輪郭追跡結果を示す図である。
【図２２】コイルパターンの検査に関するフローチャートである。
【図２３】輪郭追跡および良否判定の詳細な手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１４２】
１    本体部
２    カメラ
３    表示部
４    操作部
１０  制御部
１１  主記憶部
６０  コイルパターン
１００  シール剤
３００  画像表示領域
Ａ，Ｂ  矢印画像
【図１】
2010054289.tif 000003
【図２】
2010054289.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010054289.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010054289.tif 000011
【図１０】
2010054289.tif 000012
【図１１】
2010054289.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2010054289.tif 000015
【図１４】
2010054289.tif 000016
【図１５】
2010054289.tif 000017
【図１６】
2010054289.tif 000018
【図１７】
2010054289.tif 000019
【図１８】
2010054289.tif 000020
【図１９】
2010054289.tif 000021
【図２０】
2010054289.tif 000022
【図２１】
2010054289.tif 000023
【図２２】
2010054289.tif 000024
【図２３】
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