(57)【要約】【課題】正確な測定を安定的に行うことができる寸法測定装置を提供する。【解決手段】各カメラをＸ軸、Ｙ軸に沿って初期位置から離れる方向へ移動し（Ｓ３）、各カメラでワークを上方から撮像する（Ｓ４）。各カメラ画像にワーク内縁のエッジが検出できるまで各ステップ（Ｓ３〜Ｓ６）を繰り返す。各カメラの視野内にエッジが検出できたら、視野中心から最も近いエッジの部位から内径端を検出し（Ｓ７）、内径端と視野中心とが最短になるまで各ステップ（Ｓ７〜Ｓ９）を繰り返す。最短になったら、対を成すカメラのステージの初期位置からの移動量を加算してＸ軸及びＹ軸方向での内径を算出し（Ｓ１０）、平均化して内径寸法を求める（Ｓ１１）。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セットされたワークの内径や外径の寸法を測定する寸法測定装置において、
前記ワークを上方から撮像する撮像機と、
該撮像機を前記ワークの径方向に沿って移動するステージと、
前記ワークの内縁や外縁などのエッジを前記撮像機が検出する位置まで前記ステージを移動し該ステージの移動量に基づいて前記寸法を測定する測定手段と、
を備えたことを特徴とする寸法測定装置。
【請求項２】
前記測定手段は、前記撮像機の視野内において当該撮像機の移動方向での中心付近に前記エッジが位置するまで前記ステージを移動して測定を行うことを特徴とした請求項１記載の寸法測定装置。
【請求項３】
前記径方向において直交するＸ軸及びＹ軸を設定した際に、Ｘ軸撮像機及び該Ｘ軸撮像機を前記Ｘ軸に沿って移動するＸ軸ステージと、Ｙ軸撮像機及び該Ｙ軸撮像機を前記Ｙ軸に沿って移動するＹ軸ステージとで前記撮像機及び前記ステージを構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の寸法測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの内径等の寸法を測定する寸法測定器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内径差の大きなワークの内径を測定する際には、測定者がノギスをワークの内周部に挿入し、最大寸法の位置を検出して測定していた。
【０００３】
このノギスを用いた測定方法では、測定者がワークを一つ一つ手作業で測定しなければならず、多大な苦労を要した。また、手作業による測定のため、正確性に欠けるとうい欠点もあった。
【０００４】
一方、内径を測定する装置としては、電気マイクロメータやエアマイクロメータが知られているが、測定可能な範囲が狭く、内径差の異なるワークを測定する際には、測定子を交換しなければならず、苦労を要した。
【０００５】
そこで、図５に示すように、所定位置にセットされたワーク８０１を、その上方からカメラ８０２で撮像し、その撮像画像から内径を測定する寸法測定装置８０３が考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような寸法測定装置８０３では、内径のエッジ８１１がカメラ８０２の中心８１２からずれるため、精度を確保するための補正が必要となる。
【０００７】
また、測定対象となる最大径のワーク８０１をセットした状態で、その内径のエッジ８１１が撮像できるようにカメラ８０２の視野角を設定しかつ、その撮像領域全域で所定以上の分解能を維持しなければならないという新たな問題が発生する。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、正確な測定を安定的に行うことができる寸法測定装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために本発明の請求項１の寸法測定装置にあっては、セットされたワークの内径や外径の寸法を測定する寸法測定装置において、前記ワークを上方から撮像する撮像機と、該撮像機を前記ワークの径方向に沿って移動するステージと、前記ワークの内縁や外縁などのエッジを前記撮像機が検出する位置まで前記ステージを移動し該ステージの移動量に基づいて前記寸法を測定する測定手段と、を備えている。
【００１０】
すなわち、ワークの上方から撮像したエッジの画像を用いて寸法を測定することができるため、エッジを斜めから撮像した画像を用いる場合のように、補正を行うことなく、精度が維持される。
【００１１】
また、前記エッジが検出できる位置まで前記撮像機をステージで移動するため、ワークの大きさに合わせて撮像機の視野を広げること無く、前記エッジは検出される。
【００１２】
さらに、前記ステージによる前記撮像機の移動範囲内であれば、大きさの異なるワークであっても、同一の精度で寸法測定が行われる。
【００１３】
そして、前記撮像機による撮像範囲内であれば測定可能なため、ワークのセット時には、前記撮像範囲内においてセット位置の配置誤差が許容される。
【００１４】
また、請求項２の寸法測定装置においては、前記測定手段は、前記撮像機の視野内において当該撮像機の移動方向での中心付近に前記エッジが位置するまで前記ステージを移動して測定を行う。
【００１５】
すなわち、前記撮像機の視野内において当該撮像機の移動方向での中心付近に前記エッジが位置した状態で測定が行われる。
【００１６】
さらに、請求項３の寸法測定装置では、前記径方向において直交するＸ軸及びＹ軸を設定した際に、Ｘ軸撮像機及び該Ｘ軸撮像機を前記Ｘ軸に沿って移動するＸ軸ステージと、Ｙ軸撮像機及び該Ｙ軸撮像機を前記Ｙ軸に沿って移動するＹ軸ステージとで前記撮像機及び前記ステージを構成した。
【００１７】
これにより、前記ワークの寸法は、直交したＸ軸方向とＹ軸方向とで測定される。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように本発明の請求項１の寸法測定装置にあっては、ワークの上方から撮像したエッジの画像を用いて寸法を測定するため、エッジを斜めから撮像した画像を用いる従来のように、補正処理を行うことなく、測定精度を維持することができる。
【００１９】
これにより、画像の処理工程を簡素化することができる。
【００２０】
また、前記エッジが検出できる位置まで前記撮像機をステージで移動するため、ワークの大きさに合わせて撮像機の視野を広げなければならなかった従来と比較して、撮像視野を絞った状態でも前記エッジを検出することができる。
【００２１】
このため、視野範囲内での解像度が高められ、分解能を高めることができるので、エッジの測定精度を向上することができる。
【００２２】
さらに、前記ステージによる前記撮像機の移動範囲であれば、大きさの異なるワークであっても、同一の精度で寸法測定を行うことができる。
【００２３】
これらから、正確な測定を安定的に行うことができる。
【００２４】
そして、前記撮像機による撮像範囲内であれば測定が可能なため、ワークのセット時には、前記撮像範囲内においてセット位置の配置誤差を許容することができる。これにより、セット作業も容易となり、利便性が向上する。
【００２５】
また、請求項２の寸法測定装置においては、前記撮像機の視野内において、当該撮像機の移動方向での中心付近に前記エッジが位置した状態で測定を行うことができる。
【００２６】
これにより、中心からずれた位置に検出されたエッジに基づいて測定を行う場合と比較して、測定精度をさらに向上することができる。
【００２７】
さらに、請求項３の寸法測定装置では、前記ワークの寸法を直交したＸ軸方向とＹ軸方向とで測定することができる。
【００２８】
このため、前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向での測定結果に基づいて、例えば、その平均値から測定寸法を算出することによって、一方向のみで測定する場合と比較して、測定精度をさらに向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
【００３０】
図１は、本実施の形態にかかる寸法測定装置１を示す図であり、該寸法測定装置１は、寸法の異なる複数のワーク２を測定する装置である。
【００３１】
このワーク２の一例としては、円形リング状のダイスが挙げられ、本実施の形態では、ダイスの内径寸法Ｄを測定し、この内径寸法Ｄが所定範囲内にあるか否かを検査する場合を例に挙げて説明するが、この寸法測定装置１では、ワーク２の外径を測定するこも可能である。
【００３２】
この寸法測定装置１は、図１の（ａ）に示すように、ベース１１の左側に測定するワーク２を投入する為の投入部１２が設定されており、その右側には、投入されたワーク２を測定する測定部１３が設定されている。該測定部１３の手前側には、取り出し部１４が設定されており、前記測定部１３で測定されたワーク２が当該取り出し部１４より取り出されるように構成されている。
【００３３】
前記ベース１１上には、取付プレート２１が移動できるように配置されており、該取付プレート２１には、前記ワーク２を位置決めした状態でセットできるように構成されている。これにより、前記取付プレート２１に前記ワーク２をセットするとともに、この取付プレート２１を前記投入部１２から前記測定部１３へ移動して測定を行った後、前記取り出し部１４から取り出せるように構成されている。
【００３４】
前記ベース１１には、前記測定部１３に移動された前記取付プレート２１を固定するエアシリンダ３１が設けられており、該エアシリンダ３１によって前記測定部１３に移動された前記取付プレート２１を固定して、該取付プレート２１上のワーク２を所定位置に位置決めできるように構成されている。
【００３５】
ここで、前記測定部１３にセットされた前記ワーク２の径方向であって図中左右方向に延在する軸をＸ軸４１とするとともに、該Ｘ軸４１に直交して図中奥行き方向に延在する軸をＹ軸４２とした際に、前記Ｘ軸４１と前記Ｙ軸４２との交点４３に前記ワーク２の中心が配置されるように構成されている。
【００３６】
前記測定部１３の上部には、支柱５１，・・・で支持された天板５２が設けられており、該天板５２には、セットされた前記ワーク２を上方から撮像する撮像機と、該撮像機を前記ワーク２の径方向に沿って移動するステージとが設けられている。
【００３７】
前記撮像機は、前記Ｘ軸４１に沿って移動されるとともに、その移動範囲を前記交点４３より図中左側とする左Ｘ軸カメラ６４と、前記Ｘ軸４１に沿って移動されるとともに、その移動範囲を前記交点４３より図中右側とする右Ｘ軸カメラ６３と、前記Ｙ軸４２に沿って移動されるとともに、その移動範囲を前記交点４３より図中手前側とする前Ｙ軸カメラ６１と、前記Ｙ軸４２に沿って移動されるとともに、その移動範囲を前記交点４３より図中奥側とする後Ｙ軸カメラ６２とによって構成されている。
【００３８】
また、前記ステージは、前記左Ｘ軸カメラ６４を前記交点４３より図中左側の領域で移動する左Ｘ軸ステージ７４と、前記右Ｘ軸カメラ６３を前記交点４３より図中右側の領域で移動する右Ｘ軸ステージ７３と、前記前Ｙ軸カメラ６１を前記交点４３より図中手前側の領域で移動する前Ｙ軸ステージ７１と、前記後Ｙ軸カメラ６２を前記交点４３より図中奥側の領域で移動する後Ｙ軸ステージ７２とによって構成されている。
【００３９】
そして、前記左Ｘ軸ステージ７４で移動される前記左Ｘ軸カメラ６４と、前記右Ｘ軸ステージ７３で移動される前記右Ｘ軸カメラ６３とは、共に前記Ｘ軸４１に沿って移動され、対を成すように構成されており、前記前Ｙ軸ステージ７１で移動される前記前Ｙ軸カメラ６１と、前記後Ｙ軸ステージ７２で移動される前記後Ｙ軸カメラ６２とは、共に前記Ｙ軸４２に沿って移動され、対を成すように構成されている。
【００４０】
前記両Ｘ軸カメラ６３，６４は、初期位置において前記Ｙ軸４２の近傍位置に配置されるように設定されており、前記両Ｘ軸カメラ６３，６４の初期位置からの移動量を加算することで、両Ｘ軸カメラ６３，６４間の距離を測定できるように構成されている。
【００４１】
また、前記両Ｙ軸カメラ６１，６２は、初期位置において前記Ｘ軸４１の近傍位置に配置されるように設定されており、両Ｙ軸カメラ６１，６２の初期位置からの移動量を加算することで、両Ｙ軸カメラ６１，６２間の距離を測定できるように構成されている。
【００４２】
そして、前記測定部１３の下側には、窓部が設けられており（図示省略）、該窓部の下部には、前記前記Ｘ軸４１、Ｙ軸４２に沿って延在する照明８１，・・・が直線上に延設されている。これにより、各照明８１，・・・からの光によって前記測定部１３に配置された前記取付プレート２１上の前記ワーク２を下方から照明できるように構成されており、各照明８１，・・・は、前記ワーク２のバックライトとして機能するように構成されている。
【００４３】
また、前記各カメラ６１〜６４や前記各ステージ７１〜７４は、パソコンなどで構成された制御装置９１に接続されており、該制御装置９１がハードディスク等の記憶手段に記憶されたプログラムに従って動作することにより、前記各ステージ７１〜７４を作動するとともに前記各カメラ６１〜６４から取得した画像を解析して、セットされたワーク２の内径寸法Ｄを測定し、良否を判定するように構成されている。
【００４４】
図２は、この寸法測定装置１の動作を示すフローチャートであり、このフローチャートに従って前記ワーク２を測定して検査する動作を説明する。
【００４５】
すなわち、前記ワーク２の測定及び検査を行う際には、始めに、図３の（ａ）に示したように、前記各ステージ７１〜７４を作動して対応したカメラ６１〜６４を基準位置へ移動し、予め校正を行う。
【００４６】
そして、前記制御装置９１を前記プログラムに従って作動することで、測定処理が開始されると、当該制御装置９１は、前記各ステージ７１〜７４を制御して総てのカメラ６１〜６４を前記初期位置へ移動する（Ｓ１）。この状態において、前記投入部１２から投入されたワーク２を、前記測定部１３へ移動するとともに、図３の（ｂ）に示したように、当該ワーク２の中心１０１が前記Ｘ軸４１と前記Ｙ軸４２の交点４３に近接又は一致するようにセットする（Ｓ２）。
【００４７】
次に、前記各ステージ７１〜７４を作動して前記各カメラ６１〜６４を前記Ｘ軸４１又は前記Ｙ軸４２に沿って前記初期位置から離れる方向へ所定量移動し（Ｓ３）、各カメラ６１〜６４によって前記ワーク２を上方から撮像する（Ｓ４）。
【００４８】
このとき、前記ワーク２は、前記照明８１，・・・からのバックライトで照らされており、図４に示すように、各カメラ６１〜６４の各視野１１１〜１１４内の画像には、ワーク２中央の開口部１２１が高輝度で表示される一方、リング状のワーク本体１２２は低輝度で表示される。このため、その境を検出することで、当該ワーク２の内縁１２３のエッジ１２４を検出することができる（Ｓ５）。
【００４９】
この検出処理において、各視野１１１〜１１４内に前記エッジ１２４が検出されたか否かの判断を、各カメラ６１〜６４にて行い（Ｓ６）、前記視野１１１〜１１４内にエッジ１２４が検出されないカメラ６１〜６４があった場合には、ステップＳ３へ分岐して、当該カメラ６１〜６４の移動と（Ｓ３）、撮像と（Ｓ４）、エッジ１２４の検出と（Ｓ５）を繰り返し、図３の（ｂ）に示したように、総てのカメラ６１〜６４の視野１１１〜１１４内にエッジ１２４が検出されるまで前記各ステップ（Ｓ３〜Ｓ６）を繰り返す。
【００５０】
各カメラ６１〜６４の視野１１１〜１１４内に前記エッジ１２４が検出された際には、図４にも示すように、当該視野１１１〜１１４内の視野中心１３１〜１３４から最も近い位置に位置する前記エッジ１２４の部位から内径端１４１を検出するとともに（Ｓ７）、この内径端１４１と前記視野中心１３１〜１３４とが、例えば予め定められた所定距離以内であるか否かから最短であるか否かを判断し（Ｓ８）、最短で無い場合には、前記内径端１４１と前記視野中心１３１〜１３４との離間距離に基づいて当該カメラ６１〜６４を所定量外周方向へ移動した後（Ｓ９）、前記内径端１４１の検出と（Ｓ７）、この内径端１４１から前記視野中心１３１〜１３４までの距離が最短か否かを判断と（Ｓ８）を繰り返し、前記各カメラ６１〜６４において、視野中心１３１〜１３４から内径端１４１までの距離が最短になるまで、前記各ステップ（Ｓ７〜Ｓ９）を繰り返す。
【００５１】
この動作を図４を用いて具体的に説明すると、前記左Ｘ軸ステージ７４に支持された前記左Ｘ軸カメラ６４の左Ｘ軸視野１１１内において、左Ｘ軸視野中心１３１を通過するとともに前記Ｙ軸４２に沿って延在する左Ｘ軸中心線１５１を仮想し、この左Ｘ軸中心線１５１をＸ軸４１方向に平行移動した際に、この平行移動線１５２と前記エッジ１２４とが接する接点を、前記左Ｘ軸視野中心１３１から最も近い前記エッジ１２４の部位である前記内径端１４１として検出する（Ｓ７）。そして、この内径端１４１と接する前記平行移動線１５２から前記左Ｘ軸中心線１５１までの離間距離が前記所定距離以内であるか否かから最短であるか否かを判断する（Ｓ８）。
【００５２】
前記内径端１４１と前記左Ｘ軸視野中心１３１との離間距離を示す前記左Ｘ軸中心線１５１から前記平行移動線１５２までの離間距離が前記所定距離より大きい場合には、前記内径端１４１と前記左Ｘ軸視野中心１３１との離間距離を、前記左Ｘ軸中心線１５１から前記平行移動線１５２までの離間距離ＤＸ３から求め、この離間距離ＤＸ３分、前記左Ｘ軸ステージ７４を前記Ｘ軸４１に沿って左側へ移動して、前記左Ｘ軸カメラ６４を前記離間距離ＤＸ３分外周方向へ移動する（Ｓ９）。
【００５３】
そして、前記内径端１４１の検出と（Ｓ７）、この内径端１４１から前記左Ｘ軸視野中心１３１までの距離が前記所定距離以内であるか否かの判断と（Ｓ８）を繰り返し、前記左Ｘ軸カメラ６４において、図４中下段に示したように、前記左Ｘ軸中心線１５１から前記平行移動線１５２までの離間距離が示す前記左Ｘ軸視野中心１３１から前記内径端１４１までの距離が最短になるまで、前記各ステップ（Ｓ７〜Ｓ９）を繰り返す。
【００５４】
また、前記右Ｘ軸カメラ６３においては、前記右Ｘ軸ステージ７３に支持された前記右Ｘ軸カメラ６３の右Ｘ軸視野１１２内において、右Ｘ軸視野中心１３２を通過するとともに前記Ｙ軸４２に沿って延在する右Ｘ軸中心線１６１を仮想し、この右Ｘ軸中心線１６１をＸ軸４１方向に平行移動した際に、この平行移動線１６２と前記エッジ１２４とが接する接点を、前記右Ｘ軸視野中心１３２から最も近い前記エッジ１２４の部位である前記内径端１４１として検出する（Ｓ７）。そして、この内径端１４１と接する前記平行移動線１６２から前記右Ｘ軸中心線１６１までの離間距離が前記所定距離以内であるか否かから最短であるか否かを判断する（Ｓ８）。
【００５５】
前記内径端１４１と前記右Ｘ軸視野中心１３２との離間距離を示す前記右Ｘ軸中心線１６１から前記平行移動線１６２までの離間距離が前記所定距離より大きい場合には、前記内径端１４１と前記右Ｘ軸視野中心１３２との離間距離を、前記右Ｘ軸中心線１６１から前記平行移動線１６２までの離間距離ＤＸ１から求め、この離間距離ＤＸ１分、前記右Ｘ軸ステージ７３を前記Ｘ軸４１に沿って右側へ移動して、前記右Ｘ軸カメラ６３を前記離間距離ＤＸ１分外周方向へ移動する（Ｓ９）。
【００５６】
そして、前記内径端１４１の検出と（Ｓ７）、この内径端１４１から前記右Ｘ軸視野中心１３２までの距離が前記所定距離以内であるか否かの判断と（Ｓ８）を繰り返し、前記右Ｘ軸カメラ６３において、図４中下段に示したように、前記右Ｘ軸中心線１６１から前記平行移動線１６２までの離間距離が示す前記右Ｘ軸視野中心１３２から前記内径端１４１までの距離が最短になるまで、前記各ステップ（Ｓ７〜Ｓ９）を繰り返す。
【００５７】
この処理を前記前Ｙ軸カメラ６１と前記後Ｙ軸カメラ６２とで行い、各Ｘ軸視野中心１３３，１３４から前記内径端１４１までの距離が最短になるまで、各Ｙ軸カメラ６１，６２を前記Ｙ軸４２に沿って移動する。
【００５８】
これにより、総てのカメラ６１〜６４において、前記視野中心１３１〜１３４から内径端１４１までの距離が最短になった状態で、対を成すカメラ６１〜６４のステージ７１〜７４の前記初期位置からの移動量をそれぞれ演算し、対を成すステージ７１〜７４の移動量を加算することで、前記Ｘ軸４１方向及びＹ軸４２方向での内径寸法Ｄを算出する（Ｓ１０）。
【００５９】
つまり、前記初期位置からの前記左Ｘ軸ステージ７４の移動量と、前記初期位置からの前記右Ｘ軸ステージ７３の移動量とを加算して前記Ｘ軸４１方向での内径寸法Ｄを算出するとともに、前記初期位置からの前記前Ｙ軸ステージ７１の移動量と、前記初期位置からの前記後Ｙ軸ステージ７２の移動量とを加算して前記Ｙ軸４２方向での内径寸法Ｄを算出する。
【００６０】
そして、前記Ｘ軸４１方向での内径寸法Ｄと前記Ｙ軸４２方向での内径寸法Ｄの平均値を求め、これを当該ワーク２の内径寸法Ｄとし（Ｓ１１）、この内径寸法Ｄが予め定められた許容範囲にあるか否かを判断する（Ｓ１２）。
【００６１】
この判断において、前記内径寸法Ｄが前記許容範囲内にある場合には、例えば青ランプを点灯する等の正常処理を行って（Ｓ１３）、当該処理を終了する一方、前記内径寸法Ｄが許容範囲内に無い場合には、例えば赤ランプを点灯する等のＮＧ処理を行って（Ｓ１４）、当該処理を終了する。
【００６２】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記ワーク２の上方から撮像したエッジ１２４の画像を用いて内径寸法Ｄを測定することができるため、エッジ１２４を斜めから撮像した画像を用いる従来のように、補正処理を行うことなく、測定精度を維持することができる。
【００６３】
これにより、画像の処理工程を簡素化することができる。
【００６４】
また、前記エッジ１２４が検出できる位置まで前記各カメラ６１〜６４を対応したステージ７１〜７４で移動するため、前記ワーク２の大きさに合わせてカメラの視野を広げなければならなかった従来と比較して、撮像視野を絞った状態でも前記エッジ１２４を検出することができる。
【００６５】
このため、視野範囲内での解像度が高められ、分解能を高めることができるので、前記エッジ１２４の測定精度を向上することができる。
【００６６】
さらに、前記各ステージ７１〜７４による各カメラ６１〜６４の移動範囲であれば、大きさの異なるワーク２であっても、同一の精度で寸法測定を行うことができる。
【００６７】
これらから、正確な測定を安定的に行うことができる。
【００６８】
そして、前記各カメラ６１〜６４による撮像範囲内であれば測定が可能なため、ワーク２セット時には、前記撮像範囲内においてセット位置の配置誤差を許容することができる。
【００６９】
これにより、セット作業も容易となり、利便性が向上する。
【００７０】
また、前記各カメラ６１〜６４の視野１１１〜１１４内において、当該カメラ６１〜６４の移動方向での中心付近、つまり視野中心１３１〜１３４に前記エッジ１２４が近接した状態で測定を行う。
【００７１】
このため、前記ワーク２の内縁１２３のエッジ１２４に接する接線上に、各カメラ６１〜６４中心の鉛直位置を合わせることができるため、前記視野中心１３１〜１３４からずれた位置に検出されたエッジ１２４に基づいて測定を行う場合と比較して、測定精度をさらに向上することができる。
【００７２】
そして、前記ワーク２の内径寸法Ｄを、直交したＸ軸４１方向とＹ軸４２方向とで測定することができる。
【００７３】
このため、前記Ｘ軸４１方向及び前記Ｙ軸４２方向での内径の平均値から内径寸法Ｄを算出することによって、一方向のみで測定する場合と比較して、測定精度をさらに向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図で、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図２】同実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図３】同実施の形態の動作を示す図で、（ａ）は校正工程を示す説明図であり、（ｂ）は測定状態を示す説明図である。
【図４】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図５】従来の寸法測定装置を示す模式図である。
【符号の説明】
【００７５】
１    寸法測定装置
２    ワーク
４１    Ｘ軸
４２    Ｙ軸
６１    前Ｙ軸カメラ
６２    後Ｙ軸カメラ
６３    右Ｘ軸カメラ
６４    左Ｘ軸カメラ
７１    前Ｙ軸ステージ
７２    後Ｙ軸ステージ
７３    右Ｘ軸ステージ
７４    左Ｘ軸ステージ
９１    制御装置
１１１    左Ｘ軸視野
１１２    右Ｘ軸視野
１１３    前Ｙ軸視野
１１４    後Ｙ軸視野
１２３    内縁
１２４    エッジ
【図１】
2010054449.tif 000003
【図２】
2010054449.tif 000004
【図３】
2010054449.tif 000005
【図４】
2010054449.tif 000006
【図５】
2010054449.tif 000007