(57)【要約】【課題】透過波面測定に基づく被検レンズの収差測定において、被検レンズのアライメント誤差に起因して発生する測定誤差を補正し得る収差測定誤差補正方法を得る。【解決手段】アライメント誤差の発生量と収差の発生量との対応関係を、コンピュータシミュレーションにより求めるとともに、アライメント誤差の実際の発生量を測定する。求められた上記対応関係とアライメント誤差の実際の発生量とに基づき、該実際の発生量に起因して発生すると予測される収差の発生予測量を求め、該発生予測量に基づき測定誤差を補正する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヌル光学素子を備えた干渉計を用いて被検レンズに対する透過波面測定を行い、該透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、前記被検レンズが有する所定の収差を測定する収差測定において、前記被検レンズのアライメント誤差に起因して発生する測定誤差を補正する方法であって、
前記アライメント誤差の発生量と前記所定の収差の発生量との対応関係を、コンピュータシミュレーションにより求める対応関係特定ステップと、
前記アライメント誤差の実際の発生量を測定する設置誤差実測ステップと、
前記対応関係と前記実際の発生量とに基づき、該実際の発生量に起因して発生すると予測される前記所定の収差の発生予測量を求める収差発生予測量算定ステップと、
前記発生予測量に基づき、前記測定誤差を補正する誤差補正ステップと、をこの順に行うことを特徴とする収差測定誤差補正方法。
【請求項２】
前記所定の収差はコマ収差であり、
前記アライメント誤差は、前記測定光軸に対する前記被検レンズの傾き誤差である、ことを特徴とする請求項１記載の収差測定誤差補正方法。
【請求項３】
前記被検レンズは、該被検レンズの光軸に垂直となるように設置された張出面を有するものであり、
前記干渉計の測定光軸に対する前記張出面の傾きを測定し、該測定結果に基づき、前記傾き誤差の実際の発生量を求める、ことを特徴とする請求項２記載の収差測定誤差補正方法。
【請求項４】
前記所定の収差は球面収差であり、
前記アライメント誤差は、前記ヌル光学素子に対する前記被検レンズの前記測定光軸方向における設置位置の誤差である、ことを特徴とする請求項１記載の収差測定誤差補正方法。
【請求項５】
前記被検体に対する前記透過波面測定により得られた前記干渉縞画像に基づき、該被検レンズのデフォーカス量を測定し、該測定結果に基づき、前記設置位置の誤差の実際の発生量を求める、ことを特徴とする請求項４記載の収差測定誤差補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラ、光学センサ、光ピックアップ等の各種光学機器に用いられるレンズが有するコマ収差や球面収差等を、干渉計を用いた透過波面測定により求める収差測定において、被検レンズのアライメント誤差により発生する測定誤差を補正する収差測定誤差補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、干渉計を用いた透過波面測定により、被検レンズが有するコマ収差や球面収差等を測定する手法が、被検レンズの性能検査のために広く用いられている。
このような透過波面測定においては、干渉計の測定光軸に対し被検レンズを高精度に設置する必要があり、そのための手法も提案されている（下記特許文献１，２参照）。
【０００３】
下記特許文献１に記載の手法は、本願出願人により提案されたものであり、被検レンズの表面からの測定光束の反射光の強度分布に基づく光マークを観察することにより、被検レンズの光軸と基準球面反射鏡（本明細書では、このような基準球面反射鏡もヌル光学素子の１つとして扱う）の光軸とのずれを自動調整するようにしている。
【０００４】
下記特許文献２に記載の手法は、透過波面測定により得られた被検レンズの透過波面収差をツェルニケ（ゼルニケ）多項式により展開して求めたザイデルの収差量に基づき、被検レンズの設置アライメントを自動調整するようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−７８５９３号公報
【特許文献２】特許第２９５１３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、開口数（ＮＡ）の大きい非球面レンズの需要が高まっている。このような高ＮＡの非球面レンズにおいては、かつては問題とされなかった微小な収差が問題視されるようになっている。
【０００７】
また、高ＮＡの非球面レンズの収差測定をする場合には、非球面レンズのアライメント誤差に起因して発生する測定誤差が測定結果に多大な悪影響を及ぼすため、非球面レンズのアライメント調整を極めて高精度に行うことが要望されている。
【０００８】
しかしながら、アライメント調整の精度を高めようとすればするほど、それに伴い調整に要する時間が嵩み測定時間の長大化を招くことになる。また、調整ステージ等の調整機構側の機械的な精度の問題もあって、アライメント調整を要望どおりに行うことは、測定精度の要求レベルが高まるに従って今後さらに困難となることが予想される。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、干渉計を用いた透過波面測定に基づく被検レンズの収差測定において、被検レンズのアライメント誤差に起因して発生する測定誤差を補正することが可能な収差測定誤差補正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る収差測定誤差補正方法は、ヌル光学素子を備えた干渉計を用いて被検レンズに対する透過波面測定を行い、該透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき、前記被検レンズが有する所定の収差を測定する収差測定において、前記被検レンズのアライメント誤差に起因して発生する測定誤差を補正する方法であって、
前記アライメント誤差の発生量と前記所定の収差の発生量との対応関係を、コンピュータシミュレーションにより求める対応関係特定ステップと、
前記アライメント誤差の実際の発生量を測定する設置誤差実測ステップと、
前記対応関係と前記実際の発生量とに基づき、該実際の発生量に起因して発生すると予測される前記所定の収差の発生予測量を求める収差発生予測量算定ステップと、
前記発生予測量に基づき、前記測定誤差を補正する誤差補正ステップと、をこの順に行うことを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る収差測定誤差補正方法において、前記所定の収差はコマ収差であり、
前記アライメント誤差は、前記測定光軸に対する前記被検レンズの傾き誤差である、とすることができる。
【００１２】
この場合、前記被検レンズは、該被検レンズの光軸に垂直となるように設置された張出面を有するものであり、
前記干渉計の測定光軸に対する前記張出面の傾きを測定し、該測定結果に基づき、前記傾き誤差の実際の発生量を求める、とすることができる。
【００１３】
また、前記所定の収差は球面収差であり、
前記アライメント誤差は、前記ヌル光学素子に対する前記被検レンズの前記測定光軸方向における設置位置の誤差である、とすることができる。
【００１４】
この場合、前記被検体に対する前記透過波面測定により得られた前記干渉縞画像に基づき、該被検レンズのデフォーカス量を測定し、該測定結果に基づき、前記設置位置の誤差の実際の発生量を求める、とすることができる。
【００１５】
本発明において、ヌル光学素子とは、被検レンズからの透過波面を再帰反射させ得る形状の反射面を有するヌルミラー（反射面が非球面形状）および基準球面反射鏡（反射面が球面形状）等の反射型光学素子や、被検レンズからの透過波面を球面波等の所定の波面に変換するためのヌルレンズ等の透過型光学素子を意味する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る収差測定誤差補正方法によれば、上述の構成を備えたことにより、以下のような作用効果を奏する。
【００１７】
すなわち、被検レンズのアライメント誤差の発生量と所定の収差の発生量との対応関係を、コンピュータシミュレーションにより予め求めておくことにより、アライメント誤差の実際の発生量（測定により求められる）から所定の収差の発生予測量を算定することができ、この所定の収差の発生予測量に基づき収差の測定誤差を補正することが可能となる。
【００１８】
したがって、被検レンズを干渉計に設置する際にアライメント誤差が生じていても、そのまま測定を実施することができるので、アライメント調整に要する時間の短縮化が可能となり、透過波面測定を効率的に実施することが可能となる。また、アライメント誤差により生じる収差の測定誤差は測定後に補正することができるので、高精度な測定結果を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。図１は本発明の一実施形態に係る収差測定誤差補正方法に用いる光波干渉測定装置の概略構成図であり、図２は図１に示す解析制御装置の概略構成を示すブロック図である。また、図３は被検レンズの形状を示す概略図（（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図）であり、図４はレンズ搭載治具の張出面受け台の形状を示す概略図である。
【００２０】
図１に示す光波干渉測定装置は、フィゾー型の干渉計を構成するものであり、干渉計本体部２０と被検体ポジショニング部３０とを備えてなる。干渉計本体部２０は、レーザ光源等の可干渉距離の長い光源２１、ビーム径拡大用レンズ２２、ビームスプリッタ２３、コリメータレンズ２４、結像レンズ２５、および光検出面を有する撮像手段２６を備えている。また、この干渉計本体部２０は、撮像手段２６により撮像された画像についての画像処理、各種演算処理および各種調整部の駆動制御を行う、コンピュータ等からなる解析制御装置２７と、干渉縞画像等を表示するモニタ装置２８と、解析制御装置２７に対する各種入力を行うための入力装置２９とを備えている。なお、図１に示す基準板４は、通常、干渉計本体部２０に含まれるが、本明細書では説明の便宜上、被検体ポジショニング部３０に含めて説明する。
【００２１】
一方、被検体ポジショニング部３０は、干渉計本体部２０からの測定用光束の進行方向（図１では上方向）に向かって、基準板４、被検レンズ１、補正板６、表面が基準球面とされた、ヌル光学素子としての基準球面反射鏡７、およびシャッター装置８を、この順に支持し、かつ各部のアライメント調整を行うように構成されたものである。
【００２２】
すなわち、基準板４は、手動２軸チルトステージ１１によって支持され、かつＸ軸（図１の左右方向に延びる軸）およびＹ軸（図１の紙面に対し垂直に延びる軸）を中心とした回転角度（傾き）を手動調整されるようになっている。なお、図示されていないが基準板４には、フリンジスキャン計測を実施する際に基準板４を光軸方向に微動させるためのフリンジスキャンアダプタが設けられている。
【００２３】
また、被検レンズ１は、レンズ搭載治具５を介して電動２軸チルトステージ１３によって支持され、かつＸ軸およびＹ軸を中心とした回転角度（傾き）を自動調整されるようになっている。さらに、補正板６、基準球面反射鏡７およびシャッター装置８は、手動２軸チルトステージ１２、電動Ｙ軸ステージ１４、電動Ｘ軸ステージ１５および電動Ｚ軸ステージ１６により順次支持されている。
【００２４】
上記補正板６は、光記録媒体の保護層に対応するように設けられた透明板（通常はガラス板）であり、実際に光記録媒体を記録/再生する状態と光学条件をそろえる目的で配設されるものであって、手動２軸チルトステージ１１によって、基準板４の基準面に対して平行となるように、Ｘ軸およびＹ軸を中心とした回転角度（傾き）を手動調整されるようになっている。一方、基準球面反射鏡７は、電動Ｙ軸ステージ１４、電動Ｘ軸ステージ１５および電動Ｚ軸ステージ１６により、Ｙ軸、Ｘ軸、Ｚ軸（図１の上下方向に延びる軸）の各方向に平行に移動調整が可能とされ、これにより自動的にアライメント調整されるようになっている。
【００２５】
さらに、図示されていないが、この光波干渉測定装置は、被検レンズ１のロード/アンロード操作を自動的に行うためのサンプルステージ移動機構を備えている。このサンプルステージ移動機構は、前掲の特許文献１および特願２００６−２２３６６８号明細書（特開２００８−４６０５１号公報参照。以下「先願明細書１」と称する）に記載されたものと同様のものであり、その詳細な説明は省略する。
【００２６】
本実施形態において被検レンズ１は、ＣＤ、ＤＶＤ（ＡＯＤを含む）、ＢＤ（ブルーレイディスク）等の光記録媒体を記録/再生する装置に光ピックアップレンズとして搭載されるものであり、図３に示すように、レンズ部２およびフランジ部３とからなる。レンズ部２は非球面形状または球面形状からなる両凸レンズとされており、光記録媒体記録/再生装置の光源側に強い曲率の面が配されてなる。また、フランジ部３の該光源側に配されるフランジ下面３Ａは、張出面を構成するものであり、被検レンズ１の光軸に対して高精度に垂直となるように設定されている。
【００２７】
なお、被検レンズ１の形状およびその用途は上記実施形態のものに限られるものではなく、例えば、回折光学面を付設することも可能である。また、本実施形態では、被検レンズ１として、入射された平面波を球面波に変換して出力するものを想定しているが、被検レンズ１から非球面波が出力される場合には、基準球面反射鏡７の替わりに、非球面形状の反射面を有するヌル光学素子（ヌルミラー）が配置される。
【００２８】
上記レンズ搭載治具５の張出面受け台の形状は、干渉計本体部２０から見ると、図４に示す如く、その中央部分に被検レンズ１のレンズ部２の透過波面測定を行うための中央窓５Ａ、中央窓５Ａの外側に位置する４つの張出面反射光用窓５Ｂ、さらに、張出面反射光用窓５Ｂの外側に位置する４つの補正板反射光用窓５Ｃとからなる連続した窓部と、フランジ下面３Ａの対応領域に突き出した４つの張出面受け領域５Ｄとを備えている。
【００２９】
また、図２に示すように上記解析制御装置２７は、該解析制御装置２７内に搭載されるＣＰＵやハードディスク等の記憶部および該記憶部に格納されたプログラム等により構成される傾き誤差算定部３１、収差誤差発生予測量算定部３２、設置位置誤差算定部３３、収差解析部３４、対応関係記憶部３５および収差測定誤差補正部３６を備えてなる。
【００３０】
上記傾き誤差算定部３１は、被検レンズ１のフランジ下面３Ａの干渉縞画像に基づき（詳しくは後述する）、干渉計本体部２０の測定光軸Ｌ（図１参照）に対するフランジ下面３Ａの傾きを測定し、該測定結果に基づき、被検レンズ１の傾き誤差の実際の発生量を求めるものである。
【００３１】
上記収差解析部３４は、被検レンズ１のレンズ部２に対する透過波面測定により得られた干渉縞画像に基づき（詳しくは後述する）、被検レンズ１が有する所定の収差（球面収差およびコマ収差）の各測定値（被検レンズ１のアライメント誤差に起因する測定誤差を含む）および被検レンズ１のデフォーカス量（焦点移動、パワーとも称される）を求めるものである。
【００３２】
上記設置位置誤差算定部３３は、収差解析部３４により求められたデフォーカス量に基づき、基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差の実際の発生量を求めるものである。
【００３３】
上記対応関係記憶部３５は、コンピュータシミュレーションにより求められた、被検レンズ１のアライメント誤差（基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差および測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差）の発生量と所定の収差（球面収差およびコマ収差）の発生量との間に成立する対応関係を記憶するものである。
【００３４】
上記収差誤差発生予測量算定部３２は、傾き誤差算定部３１により求められた、測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差の実際の発生量と、対応関係記憶部３５に記憶された、測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差の発生量とコマ収差の発生量との対応関係（以下「第１の対応関係」と称する）とに基づき、被検レンズ１の傾き誤差に起因するコマ収差の発生予測量を算定するとともに、設置位置誤差算定部３３により求められた、基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差の実際の発生量と、対応関係記憶部３５に記憶された、基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差の発生量と球面収差の発生量との対応関係（以下「第２の対応関係」と称する）とに基づき、被検レンズ１の設置位置の誤差に起因する球面収差の発生予測量を求めるものである。
【００３５】
以下、本発明の一実施形態に係る収差測定誤差補正方法の実施手順について説明する。本実施形態の収差測定誤差補正方法は、上述の光波干渉測定装置を用いて被検レンズ１の透過波面測定を行う際に適用されるものである。
【００３６】
なお、透過波面測定を実施する際には、基準板４、補正板６、基準球面反射鏡７および被検レンズ１のアライメント調整が行われる。これらのアライメント調整については、例えば、上記先願明細書１に開示されている手法を適用することが可能であるが、ここでは詳細な説明を省略する。
【００３７】
本実施形態の収差測定誤差補正方法は、このようなアライメント調整によって調整し切れなかった被検レンズ１のアライメント誤差（測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差および基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差）に起因して発生する被検レンズ１の球面収差およびコマ収差に係る測定誤差を補正するものであり、以下の手順で行われる。
【００３８】
〈１〉まず、コンピュータシミュレーションにより、上記第１の対応関係（測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差の発生量とコマ収差の発生量との対応関係）と、上記第２の対応関係（基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差の発生量と球面収差の発生量との対応関係）を求める（対応関係特定ステップ）。
【００３９】
図５および図６に第１および第２の対応関係の一例をそれぞれ示す。図５は測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差の発生量（傾き角度）とザイデルの３次のコマ収差の発生量との対応関係の一例を示す図であり、図６は測定光軸Ｌ方向における被検レンズ１の設置位置の誤差の発生量（測定光軸方向位置）とザイデルの３次の球面収差の発生量との対応関係の一例を示す図である。なお、図５における傾き角度は、被検レンズ１の最大傾斜方向の傾き角度を示しており、図６における測定光軸方向位置は、基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における適正な設置位置（被検レンズ１の焦点位置が基準球面反射鏡７の中心と合致する位置）からの被検レンズ１の離間距離（基準球面反射鏡７から離れる方向を、図６のグラフでは横軸の負の向きとしている）を示している。
【００４０】
コンピュータシミュレーションにより求められた第１および第２の対応関係は、上記対応関係記憶部３５に記憶される。なお、コンピュータシミュレーションは、上記解析制御装置２７において実行するように構成することも可能であるが、別のコンピュータシミュレーションシステムを用いて行うようにしてもよい。また、設計の異なる複数種類のレンズを測定対象とする場合には、種類毎にコンピュータシミュレーションが行われ、それぞれの対応関係が対応関係記憶部３５に記憶される。
【００４１】
〈２〉続いて、図１に示す光波干渉測定装置を用いて、測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差の実際の発生量および基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差の実際の発生量を測定する（設置誤差実測ステップ）。
【００４２】
まず、測定光軸Ｌに対する被検レンズ１の傾き誤差の実際の発生量（以下「傾き誤差値」と称する）が、以下の手順で測定される。
【００４３】
（ａ）図１に示すシャッター装置８により補正板６および基準球面反射鏡７と、被検レンズ１との間の光路を閉鎖する。なお、シャッター装置８は、補正板６および基準球面反射鏡７に測定用光束が入射し、その反射光が撮像手段２６に入射することを防止するためのものであり、遮光板８Ａと該遮光板８Ａを基準球面反射鏡７の光軸に直交する平面内において回動させる駆動部８Ｂとを備え、測定用光束の光路上に遮光板８Ａを出し入れすることにより、測定用光束の光路を開閉するように構成されている。
【００４４】
（ｂ）シャッター装置８により光路を閉鎖した状態を維持しつつ、被検レンズ１に対し測定用光束を照射して、前述の、被検レンズ１のフランジ下面３Ａの干渉縞画像、すなわち、被検レンズ１のフランジ下面３Ａからの反射光と参照光との干渉により形成される、フランジ下面３Ａの傾き情報を担持した干渉縞画像（以下「張出面の干渉縞画像」と称する）を得る。なお、張出面の干渉縞画像を得る際には、フランジ下面３Ａ以外の他の領域に係る画像を遮蔽するために適宜マスキング処理を行う（上記先願明細書１参照）。
【００４５】
（ｃ）得られた張出面の干渉縞画像に基づき、測定光軸Ｌに対するフランジ下面３Ａの傾き角度を算定し、これを上記傾き誤差値として求める。なお、ここでの処理は、図２に示す傾き誤差算定部３１において実行される。
【００４６】
次いで、基準球面反射鏡７に対する被検レンズ１の測定光軸Ｌ方向における設置位置の誤差の実際の発生量（以下「設置位置誤差値」と称する）が、以下の手順で測定される。
【００４７】
（ａ´）シャッター装置８により、補正板６および基準球面反射鏡７と被検レンズ１との間の光路を開放する。
【００４８】
（ｂ´）この光路開放状態において、前述の、被検レンズ１のレンズ部２に対する透過波面測定により得られる干渉縞画像、すなわち、被検レンズ１のレンズ部２を透過して基準球面反射鏡７により再帰反射され、再びレンズ部２を透過した光と参照光との干渉により形成される、レンズ部２の透過波面情報を担持してなる干渉縞画像（以下「レンズ部の干渉縞画像」と称する）を得る。なお、レンズ部の干渉縞画像を得る際には、レンズ部２以外の他の領域に係る画像を遮蔽するために適宜マスキング処理を行う（上記先願明細書１参照）。
【００４９】
（ｃ´）得られたレンズ部の干渉縞画像に基づき、被検レンズ１の透過波面の収差解析を行い、得られた波面収差をツェルニケ多項式により展開することにより、被検レンズ１のデフォーカス量を求める。また、このとき、レンズ部の干渉縞画像に基づき、被検レンズ１の３次の球面収差および３次のコマ収差も求めておく。なお、ここでの処理は、図２に示す収差解析部３４において実行される。
【００５０】
（ｄ´）求められたデフォーカス量に基づき、上記設置位置誤差値を算定する。なお、この処理は、図２に示す設置位置誤差算定部３３において実行される。
【００５１】
〈３〉次に、対応関係記憶部３５に記憶された上述の第１および第２の対応関係と、求められた上記傾き誤差値および上記設置位置誤差値とに基づき、これら誤差値に起因して発生すると予測される、被検レンズ１の３次のコマ収差および３次の球面収差の発生予測量を求める（収差発生予測量算定ステップ）。なお、ここでの処理は、図２に示す収差誤差発生予測量算定部３２において実行される。
【００５２】
具体的には、図５に示す第１の対応関係と傾き誤差算定部３１で算定された傾き誤差値とに基づき、被検レンズ１の３次のコマ収差の発生予測量（以下「コマ収差の誤差発生予測量」と称する）が求められるとともに、図６に示す第２の対応関係と設置位置誤差算定部３３で算定されたた設置位置誤差値とに基づき、被検レンズ１の３次の球面収差の誤差発生予測量（以下「球面収差の誤差発生予測量」と称する）が求められる。
【００５３】
〈４〉次いで、上記コマ収差の誤差発生予測量および上記球面収差の誤差発生予測量に基づき、収差解析部３４で求められた被検レンズ１の３次のコマ収差および３次の球面収差の各測定誤差を補正する（誤差補正ステップ）。なお、ここでの処理は、図２に示す収差測定誤差補正部３６において実行される。
【００５４】
具体的には、収差解析部３４で求められたコマ収差の測定値から上記コマ収差の誤差発生予測量を減算することにより補正後のコマ収差の測定値を求めるとともに、収差解析部３４で求められた球面収差の測定値から上記球面収差の誤差発生予測量を減算することにより補正後の球面収差の測定値を求める。
【００５５】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、種々の態様のものを実施形態とすることができる。
【００５６】
例えば、本発明は、特開２００８−８９３５６号公報において開示されているような透過型のヌル光学素子（ヌルレンズ）を用いた透過波面測定に対しても適用することが可能である。
【００５７】
また、上記実施形態においては光波干渉測定装置がフィゾー型の干渉計とされているが、本発明は、マイケルソン型等の他のタイプの干渉計を用いた透過波面測定に対しても適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】一実施形態に係る収差測定誤差補正方法に用いる光波干渉測定装置の概略図
【図２】図１に示す解析制御装置の概略構成を示すブロック図
【図３】被検レンズの形状を示す概略図（（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図）
【図４】レンズ搭載治具の張出面受け台の形状を示す概略図
【図５】被検レンズの傾き角度とコマ収差との対応関係の一例を示す図
【図６】被検レンズの測定光軸方向位置と球面収差との対応関係の一例を示す図
【符号の説明】
【００５９】
１      被検レンズ
２      レンズ部
３      フランジ部
３Ａ    フランジ下面（張出面）
４      基準板
５      レンズ搭載治具
６      補正板
７      基準球面反射鏡（ヌル光学素子）
８      シャッター装置
８Ａ    遮光板
８Ｂ    駆動部
５Ａ    中央窓
５Ｂ    張出面反射光用窓
５Ｃ    補正板反射光用窓
５Ｄ    張出面受け領域
１１    手動２軸チルトステージ（基準板調整用）
１２    手動２軸チルトステージ（補正板調整用）
１３    電動２軸チルトステージ
１４    電動Ｙ軸ステージ
１５    電動Ｘ軸ステージ
１６    電動Ｚ軸ステージ
２０    干渉計本体部
２１    光源
２２    ビーム径拡大用レンズ
２３    ビームスプリッタ
２４    コリメータレンズ
２５    結像レンズ
２６    撮像手段
２７    解析制御装置
２８    モニタ装置
２９    入力装置
３０    被検体ポジショニング部
３１    傾き誤差算定部
３２    収差誤差発生予測量算定部
３３    設置位置誤差算定部
３４    収差解析部
３５    対応関係記憶部
３６    収差測定誤差補正部
Ｌ      測定光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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