(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハは貼られたウェハシートを拡張するときに、拡張板の全体によってウェハフレームの周縁部を均一に支持することができ、ウェハシートを均一に拡張すること。【解決手段】拡張板の分割部１０の近傍の部分は上下ベース４と共に補強部材１７によって上下から上下ベース４と共に挟まれ、変形することが防止される。特に、変形し易い右部拡張板及び左部拡張板の分割部１０の近傍が上方へ変形することを確実に回避でき、右部拡張板及び左部拡張板全体によってフレーム１３を均一に押さえることができ、ウェハシート５０を均一に拡張することが可能になる。【選択図】図１
2010080462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームが入り込むスリットが形成され、前記ウェハフレームを支持する挟み込み部材を有したウェハテーブルを備え、前記ウェハフレームを前記挟み込み部材によって支持して前記ウェハシートを拡張し、前記ウェハから部品を供給する部品供給装置において、前記ウェハフレームを前記ウェハテーブル内に引き込む経路に位置し、前記挟み込み部材を補強する補強部材を設けたことを特徴とする部品供給装置。
【請求項２】
ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられ、前記ウェハフレームが引き込むまれる部分に切り欠き部が形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートをウェハ前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて拡張した後に前記ウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記拡張板の前記切り欠き部に対応した部分を上方から押さえる補強装置を備えたことを特徴とする部品供給装置。
【請求項３】
ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ウェハフレームを前記ベース内に引き込むスライド装置と、このスライド装置が通過する分割部が形成され前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられて、前記ウェハフレームが引き込まれるときに通過する切り欠き部が分割部に対応して形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートを前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて前記ウェハシートを拡張した後にウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記分割部に位置し、前記拡張板を上方から押さえる補強装置を備えたことを特徴とする部品供給装置。
【請求項４】
ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ウェハフレームを前記ベース内に引き込むスライド装置と、このスライド装置が通過する分割部が形成され前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられて、前記ウェハフレームが引き込まれるときに通過する切り欠き部が分割部に対応して形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートを前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて拡張した後にウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記ウェハフレームを前記拡張板によって押さえて前記ウェハシートを拡張しウェハから部品を供給するときには、前記拡張板の分割部において前記ベースと拡張板とを上下から挟み込む補強装置を設けたことを特徴とする部品供給装置。
【請求項５】
前記補強装置は、前記ベース及び前記拡張板の周縁部を上下から挟み込み、前記ベースと前記拡張板との間隔を維持する断面コの字状の補強部材と、この補強部材の上壁に設けられ下方へ突出した抜け止め部材とを備え、前記拡張板の周縁部には前記抜け止め部材が入り込む溝が形成され、前記抜け止め部材が前記溝に入り込んだ状態で、前記ベース及び拡張板と前記補強部材との相対的な位置を変更させる回転機構の回転によって、前記補強部材は前記分割部に移動することを特徴とする請求項４に記載の部品供給装置。
【請求項６】
前記補強装置は、前記ベース及び前記拡張板の周縁部を上下から挟み込み、前記ベースと前記拡張板との間隔を維持する断面コの字状の補強部材と、この補強部材の上壁に設けられ下方へ突出した抜け止め部材とを備え、前記拡張板の周縁部に形成されて前記抜け止め部材が入り込む溝と、前記ベース及び拡張板を同時に回転させる回転機構と、この回転機構の回転時に前記補強部材の移動を阻止する移動阻止部材とを備え、前記拡張板は前記回転機構の動作によって前記抜け止め部材が前記溝内に位置した状態で回転し、前記補強部材は前記分割部に位置することを特徴とする請求項５に記載の部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハの周縁部をスリットを備えたクランプ機構内に収め、前記周縁部をクランプしてからウェハを拡張し、ウェハから部品を供給する部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の部品供給装置は、例えば特許文献１などに記載されている実装装置に設けられているが、ウェハ収納マガジンからウェハを拡張するエキスパンド機構を備えたウェハ支持部（部品供給装置）に移動させ、このウェハ支持部にてウェハが貼られているウェハシートを拡張してチップ部品間の隙間を空けて供給する。
【特許文献１】特開２００６−１３５０１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような従来の部品供給装置では、エキスパンド機構に設けられ、ウェハシートの周縁部を支持するウェハフレーム（ウェハリング）を押さえる支持リング（拡張板）には、ウェハをマガジンとの間で移動させるためのスライド装置を通過させるための切り欠き部（分割部）が必要であり、この切り欠き部が形成されているため、切り欠き部は強度が低下し、押さえが十分に行われないため、ウェハシートの拡張が均一に行われなく、隣り合うチップ間の隙間が確実に形成されない部分が発生する虞があり、チップの供給が確実に行われないという問題が発生する。
【０００４】
そこで本発明は、支持リング（拡張板）全体によってウェハフレームを均一に押さえることができ、ウェハシートを均一に拡張することができ、この結果、部品を安定して供給することができる部品供給装置提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため第１の発明は、ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームが入り込むスリットが形成され、前記ウェハフレームを支持する挟み込み部材を有したウェハテーブルを備え、前記ウェハフレームを前記挟み込み部材によって支持して前記ウェハシートを拡張し、前記ウェハから部品を供給する部品供給装置において、前記ウェハフレームを前記ウェハテーブル内に引き込む経路に位置し、前記挟み込み部材を補強する補強部材を設けたことを特徴とする。
【０００６】
第２の発明は、ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられ、前記ウェハフレームが引き込むまれる部分に切り欠き部が形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートをウェハ前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて拡張した後に前記ウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記拡張板の前記切り欠き部に対応した部分を上方から押さえる補強装置を備えたことを特徴とする。
【０００７】
第３の発明は、ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ウェハフレームを前記ベース内に引き込むスライド装置と、このスライド装置が通過する分割部が形成され前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられて、前記ウェハフレームが引き込まれるときに通過する切り欠き部が分割部に対応して形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートを前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて前記ウェハシートを拡張した後にウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記分割部に位置し、前記拡張板を上方から押さえる補強装置を備えたことを特徴とする。
【０００８】
第４の発明は、ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ウェハフレームを前記ベース内に引き込むスライド装置と、このスライド装置が通過する分割部が形成され前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられて、前記ウェハフレームが引き込まれるときに通過する切り欠き部が分割部に対応して形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートを前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて拡張した後にウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記ウェハフレームを前記拡張板によって押さえて前記ウェハシートを拡張しウェハから部品を供給するときには、前記拡張板の分割部において前記ベースと拡張板とを上下から挟み込む補強装置を設けたことを特徴とする。
【０００９】
第５の発明は、請求項４に記載の部品供給装置において、前記補強装置は、前記ベース及び前記拡張板の周縁部を上下から挟み込み、前記ベースと前記拡張板との間隔を維持する断面コの字状の補強部材と、この補強部材の上壁に設けられ下方へ突出した抜け止め部材とを備え、前記拡張板の周縁部には前記抜け止め部材が入り込む溝が形成され、前記抜け止め部材が前記溝に入り込んだ状態で、前記ベース及び拡張板と前記補強部材との相対的な位置を変更させる回転機構の回転によって、前記補強部材は前記分割部に移動することを特徴とする。
【００１０】
第６の発明は、請求項５に記載の部品供給装置において、前記補強装置は、前記ベース及び前記拡張板の周縁部を上下から挟み込み、前記ベースと前記拡張板との間隔を維持する断面コの字状の補強部材と、この補強部材の上壁に設けられ下方へ突出した抜け止め部材とを備え、前記拡張板の周縁部に形成されて前記抜け止め部材が入り込む溝と、前記ベース及び拡張板を同時に回転させる回転機構と、この回転機構の回転時に前記補強部材の移動を阻止する移動阻止部材とを備え、前記拡張板は前記回転機構の動作によって前記抜け止め部材が前記溝内に位置した状態で回転し、前記補強部材は前記分割部に位置することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、ウェハを拡張するときに、拡張板の全体によってウェハフレームを均一に押さえることができ、ウェハシートを均一に拡張することができ、この結果、部品供給装置から部品を安定して供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本願発明に係る拡張機構（エキスパンド機構）を備えた部品供給装置の実施形態について説明する。
【００１３】
図１は部品供給装置の平面図、図２は、部品供給装置に設けられた後述するウェハ支持機構であるウェハテーブルの断面図であり、図３は、部品供給装置に設けられウェハの拡張機構を示した断面図である。
【００１４】
部品供給装置本体１には、図示しない例えば複数枚のウェハを積み重ねて収納したマガジンからウェハシート５０に張られた状態のウェハ２が供給される。３は供給されたウェハ２を支持するウェハテーブルであり、このウェハテーブル３は、環状の上下ベース（挟み込み部材）４と、この上下ベース４の上方に間隔を存して設けられた拡張板（挟み込み部材）５と、上下ベース４と拡張板５との間に積み重ねて設けられ、左右に分割された第１及び第２の間隔板６、６及び７、７とから構成されている。そして、上下ベース４と、第１及び第２の間隔板６及び７と、拡張板５とはそれぞれ固定されている。
【００１５】
上下ベース４の上面の前後中央にはウェハ２を供給ストッカとウェハテーブル３との間で移動させるため後述するスライド装置が通過するための溝８、８が形成され、拡張板５の前後の中央部には、溝８、８と同様にスライド装置のための分割部１０、１０が形成され、右部拡張板１１及び左部拡張板１２に分割されている。また、拡張板５の下面と第１の間隔板７の上面との間には、ウェハ２の移動時及び拡張時にウェハシートの周縁部を支持する環状のウェハフレーム（以下、フレームという）１３が位置する空間（スリット）１４が第２の間隔板７によって形成されている。第２の間隔板７、７の前部（図１においては、下部）には、ウェハ２が図１に矢印４１にて示したようにウェハテーブル３内へ引き込まれる時、或いは、ウェハテーブル３から引き出されるときに通過するための切り欠き１５、１５が形成されている。従って、左右の切り欠き１５、１５間の開口１６の幅は、フレーム１３の幅と略同様になるように形成されている。このように、開口１６が形成されているため、右部拡張板１１及び左部拡張板１２の前部は第１及び第２の間隔板６及び７によってされていなく、浮いた状態になっている。
【００１６】
更に、ウェハテーブル３には図示しない回転機構が設けられ、この回転機構３はウェハ２から部品をピックアップするときに部品の角度を回転補正するときに、時計回り方向或いは反時計回り方向に回転する。
【００１７】
１７は、ウェハテーブル３の開口１６から外れた側部の周縁に設けられた補強部材である。この補強部材１７は、図３に示したように、断面略コの字上に形成され、上壁１８、側壁２０及び下壁２１から構成され、上壁１８の下部には下方へ突出した抜け止め部材である複数の抜け止めピン２２が例えば等間隔に設けられている。そして、ピン２２は、拡張板５の上面の周縁部に形成された溝２３内に差し込まれている。なお、溝２３は右部拡張板１１の側部から分割部を跨いで左部拡張板１２の前部に至り形成されている。
【００１８】
なお、上壁１８の下部に、ピン２２の代わりに突条を形成してもよい。また、補強部材１７の上壁１８の下部にその外縁に沿って溝を形成すると共に、拡張板５の上面の周縁部に溝２３内に対応し、複数個のピンを間隔を存して設けてもよく、ピンの代わりに突条を形成してもよい。
【００１９】
以下、ウェハ２の拡張機構２４について、図３に基づいて説明する。
【００２０】
拡張機構２４は、ウェハテーブル３の下方に所定間隔（角度）毎に設けられた昇降機構２５と、ウェハテーブル３の下方に設けられた環状のウェハシート支持機構（以下、シート支持機構という。）２６とから構成されている。昇降機構２５は、シート支持機構２６に対して、複数箇所に所定の間隔（角度）毎に設けられ、それぞれは、同様にモータなどの図示しない回転駆動源から例えばタイミングベルト２７を介して回転するプーリ２８、このプーリの中央に固定された円筒状のナット３０及び上下ベース４の下面に固定され垂直に伸びたボールネジ３１を備えている。そして、ボールネジ３１は、ナット３０を貫通している。
【００２１】
また、シート支持機構２６は、環状の支持体３２と、この支持体３２の上面周縁部に固定され、垂直に伸びた環状のシート支持部３３とを備えている。そして、ナット３０の上部は、上部及び下部に設けられたベアリング４４、４４を介してシート支持部３３を貫通している。このため、複数個所にて同様に昇降機構２５が動作すると、シート支持機構２６が水平状態を保って昇降する。
【００２２】
３４は補強部材１７の移動を阻止する移動阻止部材であるシリンダであり、部品供給装置１本体の図示しない例えばフレームに取り付けられている。このシリンダ３４はウェハテーブル３の周縁の外方に位置し、ウェハテーブル３に沿い水平に移動可能であり、そのロッド３５が図１に矢印にて示したようにウェハテーブル３の中心に向かい伸びたときには、ロッド３５の先端部は補強部材１７の上部とほぼ同じ高さに位置し、補強部材１７が移動したときには、補強部材１７の一端或いは他端がロッド３５に当接する。
【００２３】
次に、ウェハ２をウェハテーブル３内へ引き込み、部品供給後に引き出すスライド装置５１について説明する。
【００２４】
５２は、部品供給装置１のスライド駆動源に接続された取り付け部材であり、この取り付け部材５２の先端には、垂直に支持部材５３が取り付けられている。支持部材５３の下端には、ベース５４が取り付けられ、前面には接続部財５５を介してシリンダ５６が取り付けられている。更に、シリンダ５６のロッド５７の下端には、挟み込み部材５８が略水平に取り付けられている。このスライド装置５１は図１に破線にて示した引き込み位置であるウェハテーブル３より前方の位置（図１においては下部の位置）と、ウェハ２の収納位置であるウェハテーブル３の後部の位置（図１においては上部の位置）との間でスライドする。
【００２５】
以下、上述した部品供給装置の動作について、図１〜図７に基づいて説明する。なお、図４から図６において、図１から図３において説明した構造と同様構造のものには同様な符号を付しその詳細説明は省略する。
【００２６】
ウェハ２から部品を供給するときには、ウェハ２はスライド装置５１によってウェハを積み重ねて収納したマガジンからウェハテーブル３内の空間１４内に引き込まれる。このとき、シリンダ５６のロッド５６が下方へ伸び、挟み込み部材５８とベース５４との間にフレーム１３が挟まれる。そして、スライド装置５１は前部の分割部１０及び溝８を通過し、後部の分割部１０及び溝８まで移動し、第２の間隔板７の左右の切り欠き１５、１５の間に位置する。そして、ロッド５６が引き込まれフレーム１３が解除された後、スライド装置５１は更にウェハテーブル３より外の位置まで移動し停止する。
【００２７】
その後、上述した部品をピックアップするときに角度を回転補正するための回転機構が動作し、ウェハテーブル３が図１の矢印４２に示したように反時計回り方向に９０度回転する。このように、部品の角度を回転補正するときに動作する回転機構を兼用することができ、機構の簡略化を図ることができる。このとき、拡張機構２４もウェハテーブル３と共に回転する。また、シリンダ３４のロッド３５は伸びており、補強部材１７の上部の一方の端部（図１においては上端）に当接し、ウェハテーブル３が回転するとき、補強部材１７の移動はシリンダ３４によって阻止される。このため、ウェハテーブル３の回転に伴い、拡張板５が回転するとき、補強部材１７に設けられたピン２２が溝２３内に位置した状態で拡張板５が回転し、補強部材１７の位置は維持される。そして、更にウェハテーブル３が回転すると、補強部材１７の他方の端部が分割部を跨り、図４に示したように左部拡張板１２まで移動する。このとき、補強部材１７の一方の端部側に位置したピン２２が右部拡張版１１の溝２３内に位置して補強部材１７が支持されている状態で、他方の端部の下に設けられたピン２２が左部拡張板１２の溝２３内は入り、補強部材１７の位置は維持される。この結果、補強部材１７は右部拡張板１１と左部拡張板１２とを跨いでほぼ中央に位置し、右部拡張板１１及び左部拡張板１２それぞれの周縁部において、分割部１０の近傍の部分、即ち、第２の間隔板７が存在していなく、右部拡張板１１及び左部拡張板１２が浮いている部分は、補強部材１７によって上下ベース４と共に上下から挟まれ、右部拡張板１１及び左部拡張板１２は上方から押さえられる。なお、ピン２２が溝２３に入り込んだ状態で、補強部材１７をウェハテーブル３に沿って移動させ、上下ベース４及び拡張板５と補強部材１７との相対的な位置を変更してもよい。
【００２８】
図４に示した状態で、次に、拡張機構２４が動作し、タイミングベルト２７を介してプーリ２８が回転し、ナット３０が回転する。ナット３０の回転によってボールネジ３１が下降する。拡張機構２４は上述したようにウェハテーブル３に対して複数個所間隔を存して設けられ、同様に運転する。このため、ウェハテーブル３が水平状態を保ちつつ、下降する。ウェハテーブル３の下降に伴い、ウェハ２及びウェハシート５０が下降してウェハシート５０がシート支持体３３の上端に当接し、更に、ウェハテーブル３が下降すると次第にウェハシート５０が拡張される。
【００２９】
このとき、ウェハシート５０には上方へ力が働き、周囲のフレーム１３にも上方へ力が働くが、拡張板５に押さえられる。そして、拡張板５の分割部１０の近傍の部分、即ち、右部拡張板１１及び左部拡張板１２が浮いている部分にも他の部分と同様に上方へ力が働くが、浮いている部分は上下ベース４と共に補強部材１７によって上下から上下ベース４と共に挟まれ、上下ベース４から離れないようにされているため、浮いている部分が変形することが防止される。特に、変形し易い右部拡張板１１及び左部拡張板１２の分割部１０の近傍が上方へ変形することを確実に回避できる。このように、右部拡張板１１及び左部拡張板１２全体によってフレーム１３を均一に押さえることができ、ウェハシート５０を均一に拡張することができる、この結果、部品を安定して供給することができる。
【００３０】
ウェハ２の拡張運転が終了すると、図示しないピックアップ機構がウェハから部品を順次ピックアップして例えばリードフレーム上にボンディングする。
【００３１】
ウェハ２からの部品供給が終了すると、拡張機構２４が動作し、タイミングベルト２７を介してプーリ２８が逆転し、ナット３０が逆転する。ナット３０の逆転によってボールネジ３１が上昇する。拡張機構２４は上述したようにウェハテーブル３に対して複数個所間隔を存して設けられ、同様に運転する。このため、ウェハテーブル３が水平状態を保ちつつ、上昇する。ウェハテーブル３の上昇に伴い、ウェハ２及びウェハシート５０が上昇し、シート支持体３３の上端から離れる。
【００３２】
そして、ウェハ２の引き出し運転の前に、まず、シリンダ３４において、ロッド３５が引き込まれ、その状態でシリンダ３４が例えば弧状のレールに案内されウェハテーブル３に沿い時計回り方向に移動する。そして、図５に示したように補強部材１７の他端に対応した位置でシリンダ３４は停止し、その後、ロッド３５が伸びる。ロッド３５はその先端が補強部材１７より内側に位置した状態で停止し、ロッド３５は補強部材１７の他方の端部に対向する。
【００３３】
その後、回転機構によってウェハテーブル３は図５に矢印４３に示したように時計回り方向に９０度回転する。このとき、ロッド３５は補強部材１７の他方の端部（図５においては下端）に当接し、ウェハテーブル３が回転するとき、補強部材１７の移動はシリンダ３４によって阻止される。このため、ウェハテーブル３の回転に伴い、拡張板５が回転するとき、補強部材１７に設けられたピン２２が溝２３内に位置した状態で拡張板５が回転し、補強部材１７の位置は維持される。そして、更にウェハテーブル３が回転すると、ピン２２が左部拡張板１２の溝２３から外れ、補強部材１７は図５に示したように右部拡張板１１の側部、即ち、ウェハテーブル３に対して図１に示した位置と同じところに位置する。
【００３４】
ウェハテーブル３の回転が停止すると、ロッド３５が引き込まれ、その状態でシリンダ３４が例えば弧状のレールに案内されウェハテーブル３に沿い反時計回り方向に移動する。そして、図１に示した位置に到達すると停止し、ロッド３５が伸びる。
【００３５】
その後、ウェハ２の引き出し運転が開始される。即ち、スライド装置５１はウェハテーブル３の外側から後部の分割部１０及び溝８まで移動し、挟み込み部材５８とベース５４との間にフレーム１３が位置した状態で、シリンダ５６のロッド５６が下方へ伸び、挟み込み部材５８とベース５４との間にフレーム１３が挟まれる。そして、スライド装置５１は前部の分割部１０及び溝８まで移動し、第２の間隔板７の左右の切り欠き１５、１５の間から外れる。そして、ウェハ２がマガジンの空き段部に収納されるとロッド５６が引き込まれフレーム１３が解除される。
【００３６】
そして、スライド装置５１がマガジンから出た後、マガジンが上昇或いは下降し、ウェハ２が収納されている段にスライド装置５１が位置し、ウェハ２がウェハテーブル３から引き出される。以後、同様に、ウェハ２がウェハテーブル３に引き込まれ、上述したように拡張されてウェハから部品が供給されると共に、部品の供給が終了したウェハはウェハテーブル３から引き出される。
【００３７】
なお、シリンダ３４を、図１に示した位置と、図５に示した位置との双方に設けてもよく、このように２つのシリンダを設けた場合には、シリンダを移動させる機構を省略することができる。
【００３８】
また、シリンダ３４を、図１に示した位置に固定して設けてもよい。
このときには、ウェハをウェハテーブル３に引き込んだ後に、ウェハテーブル３の回転時には、ロッド３５によって補強部材１７の移動を阻止し、図５に示した状態でウェハシート５０を拡張し、部品を供給した後には、一旦ロッド３５を引き込み、ウェハテーブル３を補強部材１７と共に反時計回り方向に例えば３０度回転させ、補強部材１７をシリンダ３４の反時計回り方向上流側、即ち、図４においては上側に位置させる。次に、ロッド３５を伸ばし、ロッドによって補強部材１７の時計回り方向への移動を阻止しつつ、ウェハテーブル３を時計回り方向へ回転させる。そして、開口１６側の分割部１０が図６に示した位置に到達する前にロッド３５を引き込み、補強部材１７をウェハテーブル３と共に時計回り方向へ回転させ、ウェハテーブル３の回転が停止したときには、補強部材１７が図１或いは図６に示した位置に止まるようにしてもよい。このように構成することにより、シリンダは１個で済み、またシリンダを移動させる機構を省略することができる。
【００３９】
更に、補強部材１７を図１に示した位置で支持する支持機構を補強部材が昇降可能なようにレール及びガイド等を介して補強部材１７に接続し、ウェハテーブル３が回転したときにも補強部材１７が移動しないようにしてもよい。このように補強部材１７を設けることによって、簡単な機構によって上述した実施例と同様な作用効果を得ることができる。
【００４０】
また、補強部材１７の代わりに、右部拡張板１１及び左部拡張板１２の分割部１０の近傍の特に内側の部分をそれぞれ上方から押圧する一対のシリンダを補強部材として設けてもよい。このようにシリンダを設けることによって、ウェハ２を拡張するときに特に変形する可能性がある右部拡張板１１及び左部拡張板１２の分割部１０の近傍の特に内側の部分を確実に支持することができる。
【００４１】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本願発明の実施形態の部品供給装置の平面図である。
【図２】ウェハテーブルの正面図である。
【図３】補強部材及びウェハの拡張機構を示す縦断面図である。
【図４】ウェハを拡張し、部品を供給するときの状態を示す部品供給装置の平面図である。
【図５】ウェハからの部品供給後、ウェハテーブルを回転する前の状態を示す部品供給装置の平面図である。
【図６】ウェハからの部品供給後に、ウェハテーブルを回転したときの状態を示す部品供給装置の平面図である。
【図７】スライド機構の概略縦断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１        部品供給装置
２        ウェハ
３        ウェハテーブル
４        上下ベース
５        拡張板
６        第１の間隔板
７        第２の間隔板
８        溝
１０      分割部
１１      右部拡張板
１２      左部拡張板
１３      ウェハフレーム
１４      空間（スリット）
１５      切り欠き
１７      補強部材
２２      ピン
２３      溝
２４      拡張機構
３４      シリンダ
５０      ウェハシート
５１      スライド装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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