(57)【要約】【課題】透明基板に形成された流路溝中を流れ透明基板より低屈折率の試料溶液に対し、高感度な分光測定を可能とする、簡単な構造の微少量液体分光測定装置を実現する。【解決手段】透明基板１の表面に形成された測定対象である試料溶液の流路である流路溝２と、流路溝の両側に流路溝と平行に形成された反射溝３、４とを備え、透明基板１の材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するものであり、光源５から出て透明基板１の側面から入射された検出光の光束が、流路溝２を横切り反射溝３、４の内壁面６により全反射されることを繰り返し、少なくとも２回以上、流路溝２を横切りながら進行し検出器１２に導かれる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の表面に形成された測定対象である試料溶液の流路である流路溝と、該流路溝の両側に該流路溝と平行に形成された反射溝とを備えた導波型微少量液体分光測定装置であって、
前記透明基板の材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するものであり、
前記透明基板の側面から入射された検出光の光束が、流路溝を横切り反射溝の内壁面により全反射されることを繰り返し、少なくとも２回以上、流路溝を横切りながら進行し検出器に導かれることを特徴とする導波型微少量液体分光測定装置。
【請求項２】
透明基板は、ガラス、フッ化カルシウム、シリコンカーバイド、サファイヤ、アルミナ、水晶又はダイヤモンドで形成される透明硬質基板であることを特徴とする請求項１記載の導波型微少量液体分光測定装置。
【請求項３】
流路溝の両側に形成された反射溝は、それぞれ一本の連続する溝構造又は直線上に間隔をおいて一列に並ぶように形成された複数の溝から成る溝構造であることを特徴とする請求項１又は２記載の導波型微少量液体分光測定装置。
【請求項４】
流路溝及び反射溝は、それぞれ深さが１０〜１０００マイクロメートルであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の導波型微少量液体分光測定装置。
【請求項５】
流路溝の溝幅は、５〜１０００マイクロメートルであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の導波型微少量液体分光測定装置。
【請求項６】
１マイクロメートル以上の溝幅を有する反射溝が、流路溝と平行に１０〜１０００マイクロメートル離れた位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の導波型微少量液体分光測定装置。
【請求項７】
流路溝と反射溝は、レーザー波長に強い吸収をもつ流動性物質を基板の材料である被加工透明材料の表面に接触させて、該被加工透明材料の裏面側から強度範囲が０．０１Ｊ／ｃｍ２／ｐｕｌｓｅ〜１００Ｊ／ｃｍ２／ｐｕｌｓｅのマスクにより形状を調整されたレーザー光を照射することで作製されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の導波型微少量液体分光測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微少量の液体試料について分光測定を行う装置に関し、詳細には、マイクロ流路を流れる微小量の液体試料に対して、流路の表面処理などを行うことなく、高感度な分光測定を実現する測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微少量の液体について高感度な光学的測定を行うニーズが高まっている。その１例は環境分析測定であり、水溶液などのサンプル液体に含まれる微量化学物質を高感度に分光測定する必要がある。また、タンパク質やＤＮＡのような生体関連化学物質の測定でも微量分析が求められる。これは、サンプル量の確保が困難であり、かつ、サンプル処理に用いる検査試薬が高価であり、必要試料量が増加することによって測定コストの増大を招くからである。
【０００３】
このような微小量の液体を扱うシステムとしてマイクロ流体デバイスが注目されている。ここでは、微小溝を流れる試料溶液についての分析を行う。微小流路内の液体の高感度な分光測定の実現が望まれている。分光測定の手法としては、高感度な蛍光法が広く用いられている。
【０００４】
しかし、蛍光法は検出可能物質が蛍光性の物質に限定される。吸光度を測定する吸収法は測定対象を選ばないが、蛍光法と比較すると感度が低い。しかし、吸収法は、測定対象物質が蛍光性の物質に限られない点、吸光度が物質濃度に比例するという点で蛍光法より優れているため、高感度に測定する手法の開発が必要になる。
【０００５】
これまで提案されてきたマイクロ流路内部の液体の吸光度による分光測定を行う具体的な手段、及びその問題点について、以下さらに説明する。
【０００６】
（１）マイクロ流路に対する１回透過の測定
マイクロ流路を横切る光を利用した吸光度による分析をおこなう場合、吸光度はＢｅｅｒ−Ｌａｍｂｅｒｔ則に従うため、溶液濃度あるいは、光路長に比例する。マイクロ流路の深さは通常５０〜１００マイクロメートル程度である。光路長が非常に短くなってしまうため、十分な感度が得られないという問題がある。
【０００７】
（２）マイクロ流路中を流れる液体をコアとする導波システムによる測定
流路内部を流路方向に光を通じれば、十分な光路長が確保される。しかし、マイクロ流路の深さは通常５０〜１００マイクロメートル程度であり、このサイズで光を平行光線化して透過させるのは実質的に不可能である。そのため、光ファイバーに類似した導波形態を利用する必要がある。この導波状態は、液体の屈折率が流路を形成する母材の屈折率より高い場合にのみ実現されるため、母材と溶液の組み合わせが限定される。
【０００８】
最も広範に利用される水溶液サンプルの屈折率はｎ＝１．３３程度であるのに対して、マイクロ流路形成の母材としてよく使われるガラスの屈折率はｎ＞１．４であり、この組み合わせでは導波状態をつくることができない。最も必要性の高い組み合わせに適応できないことが本手法の最大の問題点である。
【０００９】
（３）流路の壁を金属反射層、あるいは、低屈折率材でコートした液体コア導波システムによる測定
溝構造の表面に反射層となる金属の薄膜（特許文献１及び特許文献２参照）、あるいは、水よりも小さな屈折率を有する媒体の薄膜（非特許文献１参照）を形成することにより、低屈折率の水溶液を試料溶液とする場合にも溝内部の液体をコアとする導波状態を作ることができる。これにより、流路の壁を金属反射層、あるいは、低屈折率材でコートした液体コア導波システムによる測定する手段も知られている。
【００１０】
しかし、微小な溝の内部に薄く均一なコート層を作るのは技術的に難しく、繰り返し使用によりコートは剥がれてしまう可能性が高いという問題点がある。
【００１１】
（４）ＡＲＧＯＷシステムによる測定
低屈折率の液体試料がガラスなどの高屈折率部材によって作られた表面反射層を形成していないマイクロ溝構造をながれる場合、高屈折率部材の端面によって反射されて進行する光束が、マイクロ溝部位を繰り返し横切ることを利用するのがＳｃｈｍｉｄｔらにより提案されている非共鳴導波（Ａｎｔｉ−Ｒｅｓｏｎａｎｔ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｗａｖｅ）である（非特許文献１参照）。
【００１２】
この方法は溝構造を形成する母材である２枚のガラス板の上下面での光の全反射を利用するものであり、試料の流通するマイクロ溝を光が横切る回数は、用いるガラスの厚さにより規定される。母材とするガラスが薄いと取り扱いが著しく困難になるため、０．５ミリメートル、好ましくは１ミリメートル以上の厚さを有する必要がある。この厚さが厚いほど、光が液体を通過する回数が減少するため、感度の向上が限定されるという問題点がある。
【００１３】
（５）その他の手段
従来から利用されている分光装置としては、エバネッセント波成分を利用した導波路型の分光装置が存在する（特許文献３参照）。この方法においては、検出光が高屈折率媒体内部を全反射しながら進行する際に、高屈折率媒体の外縁からさらに外側に１波長程度のしみ出す光を利用した測定を行う。
【００１４】
測定対象物質は光が導波する高屈折率媒体の内部ではなく外側に存在するため、導波による光路長の拡大は測定感度の向上に寄与しない。この方法は、高屈折率媒体の外側、検出光の１波長程度以内の距離に存在する物質についての分光分析を行うためのものであり、溶液試料内に均一に分布する測定対象物質に対する測定をおこなう場合の高感度化は望めない。
【００１５】
また、この高屈折率媒体による導波は、その表面に固定化した測定対象物質からの蛍光、あるいは、散乱光を選択的に導くことで高感度に検出するためにも利用される（特許文献４参照）。これらの手段は溶液内部に均一に分布する化学成分の分光測定を高感度に行うことを目的とする本発明とは測定対象が異なる。
【００１６】
【特許文献１】特開２００６−５３０７８公報
【特許文献２】特開２００８−７０３１６参照
【特許文献３】特開２００７−１０１４７１
【特許文献４】特開２００５−１４０６８２
【非特許文献１】滝口ら、Analytical Science、22巻、7号、1017頁参照
【非特許文献２】Schmidtら、Applied Physics Letters、88巻、15号、151109/1-3頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は上記従来の分光測定の手段の問題点を解決することを目的とするものであり、透明基板に形成された流路溝中を流れ透明基板より低屈折率の試料溶液に対し、高感度な分光測定を可能とする、簡単な構造の微少量液体分光測定装置を実現するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は上記課題を解決するために、透明基板の表面に形成された測定対象である試料溶液の流路である流路溝と、該流路溝の両側に該流路溝と平行に形成された反射溝とを備えた導波型微少量液体分光測定装置であって、前記透明基板の材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するものであり、前記透明基板の側面から入射された検出光の光束が、流路溝を横切り反射溝の内壁面により全反射されることを繰り返し、少なくとも２回以上、流路溝を横切りながら進行し検出器に導かれることを特徴とする導波型微少量液体分光測定装置を提供する。
【００１９】
透明基板は、ガラス、フッ化カルシウム、シリコンカーバイド、サファイヤ、アルミナ、水晶又はダイヤモンドで形成される透明硬質基板で形成することが好ましい。
【００２０】
流路溝の両側に形成された反射溝は、それぞれ一本の連続する溝構造又は直線上に間隔をおいて一列に並ぶように形成された複数の溝から成る溝構造であることが好ましい。
【００２１】
流路溝及び反射溝の深さは１０〜１０００マイクロメートルであり、より好ましくは１５０〜１０００マイクロメートルである。
【００２２】
流路溝の溝幅は、５〜１０００マイクロメートルであることが好ましい。
【００２３】
反射溝の溝幅は１マイクロメートル以上であり、より好ましくは１〜５０マイクロメートルである。反射溝は流路溝と平行に１０〜１０００マイクロメートル離れた位置に配置されていることが好ましい。
【００２４】
流路溝と反射溝は、レーザー波長に強い吸収をもつ流動性物質を基板の材料である被加工透明材料の表面に接触させて、該被加工透明材料の裏面側から強度範囲が０．０１Ｊ／ｃｍ２／ｐｕｌｓｅ〜１００Ｊ／ｃｍ２／ｐｕｌｓｅのマスクにより形状を調整されたレーザー光を照射することで好適に作製される。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置によれば、透明基板に形成された流路溝中を流れる、透明基板より低屈折率の試料溶液に対する分光測定を行うために、流路溝の両側に、反射板となる反射溝を形成することによって、反射溝の内壁面に反射層となる薄膜を形成することなく、検出用光束が試料溶液を横切り、反射溝による反射させることを複数回の繰り返させた導波状態を発生させる構成としたので、高感度な分光測定が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置の実施の形態を実施例に基づいて図面を参照して、以下に説明する。
【００２７】
（概要）
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置は、透明基板に形成された流路溝内を流れる試料溶液の分光測定を可能とする装置であり、透明基板材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するもので作製され、分光測定の対象となる液体試料を流す流路としての溝構造（以下、「流路溝」という。）の両側に、反射板としての溝構造（以下、「反射溝」という。）を形成することで、反射溝内の壁面に特に表面反射層を形成することなく、導波状態を形成して分光測定の高感度化を図るようにした構成を特徴とするものである。
【００２８】
ここで、導波状態とは、透明基板の側面から入射された検出光の光束が、流路溝を横切り反射溝の内壁面により全反射されることを繰り返し、少なくとも２回以上、流路を横切りながら進行する状態を言う。
【００２９】
透明基板の材料（母材）として石英ガラス（屈折率１．４６）を用いた場合、反射溝を中空とすることによって、反射溝に対する入射角が臨界角である４３．２３°を超える光束は全反射される。これに対して、流路溝中に水溶液試料が含まれる場合の臨界角は６５．６４°であり、入射角がこの角度を超えない限り、光束は溶液を透過する。
【００３０】
透明基板の側面からの入射した光束が透明基板内部において、流路溝および反射溝に対して入射する角度を、上記臨界角４３．２３°と臨界角６５．６４°の中間に設定することにより、光束は反射溝の内壁面で全反射され、試料溶液を流す流路溝を何度も横切りながら進行し、検出器に導かれる。このように、試料溶液を複数回、流路溝を横切ることで、実質的な光路長が増大し、その結果測定感度が向上する。
【００３１】
この導波型微少量液体分光測定装置においては、流路溝及び反射溝の配置を加工時の破損が起こらない範囲で自由に設定可能であり、ガラス板の厚さなどによる制限を受けない。そのため、著しく取り扱いを困難にすることなく、流路を横切る回数を増加させ、感度を向上させることが可能である。
【実施例１】
【００３２】
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の導波型微少量液体分光測定装置の平面図及びＡ−Ａ断面を示す図である。この導波型微少量液体分光測定装置（以下、単に「分光測定装置」ともいう。）は、石英ガラス等で形成された透明硬質の透明基板１の表面に、分光測定の対象となる液体試料を流す流路としての流路溝２、流路溝２の両側にそれぞれ配置され、流路溝２と平行に形成された反射溝３、４とを有する構成を特徴とする。
【００３３】
分光測定に用いる検出光の光束は、光源５から、図２に示すように、分光測定装置の透明基板１の斜め後方から透明基板１の側面を通過して入射し、流路溝２を通過するとともに、両側の反射溝３、４の内壁面６で反射することを繰り返し、導波状態が形成される。以下、本発明の分光測定装置の各部の構成について、具体的に説明する。
【００３４】
（透明基板）
透明基板１は、石英ガラスの他に、ホウケイ酸ガラスなどの光学用途に用いられる一般ガラス、フッ化カルシウム、シリコンカーバイド、サファイヤ、アルミナ、水晶又はダイヤモンドの透明硬質透明基板を利用可能である。そして、透明基板１材料は、試料溶液の屈折率より大きな屈折率を有するもので作製される。一般ガラスとしては、ホウケイ酸ガラス以外に、ホウケイ酸クラウンガラス、白板ガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス等がある。
【００３５】
（流路溝）
液体試料を導入して流す流路溝２は、幅及び深さについてマイクロオーダの溝、要するにマイクロ溝として形成される。流路溝２は、幅が狭くなると液体試料の導入が困難になるとともに、測定のための光路長が減少し、幅が広くなると溝の容積増加により分光に必要な液体試料の必要量より増加する。そのため、溝幅は５〜１０００マイクロメートルであることが好ましく、５０〜５００マイクロメートルが更に好ましい。
【００３６】
溝深さについては、１０〜１０００マイクロメートルとすることができるが、検出光の光束が通過するのに十分な深さを有している必要があるため、１５０〜１０００マイクロメートルの範囲であることが好ましい。実際には、８．００ｘ０．４０  ミリメートルの開口を有するマスクを１／８縮小して露光することにより、５０マイクロメートル幅の流路溝２の作製を行った。石英ガラスの表面に長さ１．００ミリメートル、幅５０マイクロメートルの照射領域ができる。
【００３７】
レーザーを８０ヘルスのパルス繰り返し周波数で照射しながらステージを溝の長軸方向に１０．３ミリメートルの範囲を毎秒１００マイクロメートルの速度で往復移動させた。１行程ごとに、焦点方向に対して、６．５マイクロメートルステージを移動させることにより加工位置が焦点深度内に位置するように調整した。
【００３８】
クラックの発生を防ぐために、流路溝２の作製は、はじめの５往復は、１平方センチメートルあたり１．０ジュールのレーザー照射強度（フルエンス）に調整し、その後、レーザー照射強度を１平方センチメートルあたり０．９ジュールに減じ、さらに８往復することで作製した。この操作により長さ１０．３ミリメートル、幅５０マイクロメートル、深さ２００マイクロメートルの流路溝２を作製した。但し、流路溝２の両端の各１ミリメートルの部分は傾斜面になっている。この流路溝２の容積は９３ナノリットルである。
【００３９】
（反射溝）
流路溝２の両側に形成された反射溝３、４は、互いに平行であり、それぞれ平滑性に優れた垂直な内壁面６を有する。このように反射溝３、４は、平滑性に優れた垂直な内壁面６を有するから、光の散乱による損失を抑制することができる。内壁面６の面粗さは検出光の波長の１／４以下、例えば、１００ナノメートル以下であることが好ましい。さらに、検出光の光束が通過、反射するのに十分な深さを有している必要がある。反射溝３、４の深さは１０〜１０００マイクロメートル、より好ましくは１５０〜１０００マイクロメートルの範囲である。
【００４０】
これらの条件を満たす反射溝３、４は、公知のレーザー誘起背面湿式加工法（特許第３０１２９２６号参照）により作製可能である。この加工法によれば、レーザー波長に強い吸収をもつ流動性物質を被加工透明材料の表面に接触させて、被加工透明材料の裏面側から強度範囲が０．０１Ｊ／ｃｍ２／ｐｕｌｓｅから１００Ｊ／ｃｍ２／ｐｕｌｓｅまでのマスクにより形状を調整されたレーザー光を照射することで溝などの微細構造を作製することができる。
【００４１】
さらに、この加工法においてはレーザー照射時に、被加工面が常に照射光学系のレンズの焦点深度内に位置するようにステージ位置を制御することで、たとえば幅が７マイクロメートル、深さが４２０マイクロメートルの高アスペクト比の反射溝３、４を作製することができる（川口ら、Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) L176.参照）。
【００４２】
こうして得られる高アスペクト比を有する反射溝３、４は、表面粗さが１００ナノメートル以下の平滑な内壁面６を有しており、光の散乱による損失を抑制可能である。
【００４３】
反射溝３、４は、検出光を全反射する。このときに発生するエバネッセント光が対向する壁面に達して、吸収、散乱よる損失が生じないように、反射溝３、４のそれぞれの幅は検出波長の２倍以上であることが好ましい。そのため、反射溝３，４は、１マイクロメートル以上の溝幅を有していることが好ましい。また、溝幅が増大することによって、周囲の構造が薄くなり加工時、あるいは、後記する上板７の設置時の破損を招きやすい。さらに、加工時の除去体積が増加し、加工により多くのエネルギーが必要になる。そのために、反射溝３、４の溝幅は、１〜５０マイクロメートルの範囲にあることが好ましい。
【００４４】
また、反射溝３、４の溝深さについては、検出光の光束が反射するのに十分な深さを有している必要があるため、１０〜１０００マイクロメートル、より好ましくは１５０〜１０００マイクロメートルの範囲であり、かつ、流路溝２と同程度の深さであることが好ましい。
【００４５】
反射溝３、４は、前記のとおり、流路溝２に平行に、さらに、加工時の破損が起こらない範囲で流路溝２に近い位置に作製される。反射溝３、４が中央の流路溝２に近づくことにより、検出光の光束が流路溝２を横切る回数を増やすことができるが、流路溝２と反射溝３、４との間に形成される壁構造８が薄くなり、加工時に、あるいは、上板７の設置時に破損しやすくなる。
【００４６】
そのため、反射溝３、４の間の距離は１０〜１０００マイクロメートルの範囲であり、更には１００〜５００マイクロメートルであることが好ましい。この距離は検出光の導入部（基板側面）から、導波の進行にしたがって変化させてもよい。
【００４７】
また、反射溝３、４は、破損を防ぐために、一本の連続する溝構造（一本の溝）でなく、より短い複数の溝９が、検出光の幅の１／１０程度である５０マイクロメートル程度の間隔をおいて直線上に一列に並ぶように作製してもよい。
【００４８】
このような複数の溝９から成る反射溝３、４について、以下説明する。このような反射溝３、４の作製時には、溝方向に一直線に走査を行わず、長さ１ミリメートルの溝９を、一直線上に、５０マイクロメートルの間隔をおいて複数作製した。各溝９は、８．０００ｘ０．０８０  ミリメートルの開口を有するマスクを１／８縮小して露光することにより、１０マイクロメートル幅で作製した。
【００４９】
複数の溝９は、それぞれ８０ヘルツのパルス繰り返し周波数、１．０ジュールの照射フルエンスにおいて２５７秒間の照射を行うことにより作製した。照射中、加工の進行に合わせて加工位置を毎秒０．６マイクロメートルの速度で移動した。この操作を１３回繰り返すことにより、流路溝２の両側に合計１３カ所の溝の作製を行った。
【００５０】
このようにして、複数の溝９が一直線上に一列に並んで成る反射溝３、４を、流路溝２の両側に、５００マイクロメートル離れた位置に互いに平行になるように作製した。得られた反射溝３、４を構成する各溝９の深さは２００マイクロメートルであった。
【００５１】
（上板）
流路溝２と、流路溝２の両側に反射溝３、４を表面に作製した透明基板１の上に、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、上板７が載置されている。この上板７は、厚さが１ミリメートルのポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）の板が使用される。この上板７には、直径０．７５ミリメートルの貫通孔１０、１１が、９ミリメートルの間をおいて２カ所に形成されている。この上板７に形成された貫通孔１０、１１は、試料溶液の出入り口であり、流路溝２の両端に位置するように形成されている。
【００５２】
上板７については、このようにＰＤＭＳ板を用いることも出来るし、石英ガラス、あるいは、一般ガラスを用いて、フッ酸処理法、あるいは、熱融着法を用いて接着してもよい。この装置において、上板７は導波に直接関係しない。そのため、溶液試料に比べて高屈折率の媒質であっても問題なく利用可能である。
【００５３】
ＰＤＭＳ板に作製した貫通孔１０、１１は、図４に示すように、試料溶液の導入、排出口として利用する。片方の貫通孔の上に試料溶液を滴下した場合、その試料溶液は、毛細管現象により流路溝２（マイクロ溝）内に充填され、導波による分光分析が可能な状態になる。この貫通孔上にＰＥＥＫ製、テルフン製チューブを固定化して試料の流通に利用することが出来る。
【００５４】
また、上板７の貫通孔１０、１１を通してではなく、透明基板１上にさらに試料溶液を供給するためのマイクロ流路（図示せず）を形成してそれを通じて、試料流通用の溝に試料を供給することも可能である。この場合、試料供給用の溝の深さを５０マイクロメートル以下とし、分光測定用の溝に比べて十分に浅いものを利用することで導波する光束との干渉を防ぐことができる。
【００５５】
上記実施例の分光装置によって、マイクロ流路内にローダミン６Ｇのエタノール溶液を導入し、光源５として波長５３２ナノメートルのグリーンのレーザー光を利用することで、その蛍光により導波の状態を確認した。
【００５６】
分光分析のための光源５としては、公知の任意の光源５が使用可能であり、例えば、平行光化した各種ランプ光をスリットにより細い光束とした光や、レーザー光、あるいは、発光ダイオードの光を平行光化したものなどを光源５として利用できる。
【００５７】
また、検出器１２については、光の検出には光線を感知しうる任意の計測装置が使用可能であるが、一般に、フォトダイオード、リニアＣＣＤセンサー、ＣＭＯＳカメラ、ＣＣＤカメラなどが好適に使用される。
【００５８】
以上、本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置の最良の形態を実施例に基づいて説明したが、本発明はこのような実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内で、いろいろな実施例があることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置は、以上のような構成であるから、近年、ニーズが高まっている微少量の液体について高感度な分光測定を行う装置であり、環境分析測定、あるいは、タンパク質やＤＮＡのような生体関連化学物質の測定に利用される。この様な分析に関して液体クロマトグラフィーの検出部として利用可能である。また、このような分析操作を１つの板状に集積したマイクロ流体デバイスにおける、分析部位として同一透明基板上に組み込むことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る導波型微少量液体分光測定装置実施例を説明する図であり、（ａ）は流路溝及び反射溝の形成された基板の平面図であり、（ｂ）は断面図である。
【図２】本発明の実施例の作用（導波状態）を説明する平面図である。
【図３】上板を設置した本発明の実施例を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は断面図である。
【図４】上板を設置した本発明の実施例の作用を説明する図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  透明基板
２  流路溝
３、４  反射溝
５  光源
６  反射溝の内壁面
７  上板
８  流路溝と反射溝との間の壁構造
９  反射溝を構成する複数の溝
１０、１１  上板に形成された貫通孔（流路溝への出入り口）
１２  検出器
【図１】
2010054392.tif 000003
【図３】
2010054392.tif 000004
【図２】
2010054392.tif 000005
【図４】
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