(57)【要約】【課題】ユーザの待ち時間の解消及び負担の軽減を図りつつ効率的に信号波形を観察することができる信号波形表示装置、信号波形表示方法、及び信号波形表示プログラムを提供する。【解決手段】本発明は、時間を規定する時間軸と電圧の大きさを規定する電圧軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形を二次元表示する発明であって、ユーザによって設定された分解能よりも低い分解能で信号波形を表示領域に表示する波形表示ステップＳ１と、時間軸について分解能を徐々に高めながら信号波形を表示領域に表示する時間軸精細表示ステップＳ２と、電圧軸について分解能を徐々に高めながら信号波形を表示領域に表示する電圧軸精細表示ステップＳ３とを含む。【選択図】図３
2010066110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
時間を規定する第１軸と信号の大きさを規定する第２軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形を二次元表示する信号波形表示装置において、
予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で前記信号波形を前記表示領域に表示し、前記第１軸及び前記第２軸の少なくとも一方の軸について、前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する表示制御部を備えることを特徴とする信号波形表示装置。
【請求項２】
前記表示制御部は、前記第１軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示した後に、前記第２軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示することを特徴とする請求項１記載の信号波形表示装置。
【請求項３】
時間を規定する第１軸と信号の大きさを規定する第２軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形を二次元表示する信号波形表示方法において、
予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で前記信号波形を前記表示領域に表示する第１ステップと、
前記第１軸及び前記第２軸の少なくとも一方の軸について、前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する第２ステップと
を含むことを特徴とする信号波形表示方法。
【請求項４】
前記第２ステップは、前記第１軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する第３ステップと、
前記第３ステップ後に、前記第２軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する第４ステップと
を含むことを特徴とする請求項３記載の信号波形表示方法。
【請求項５】
前記第１，第２ステップは、前記表示領域に表示すべき前記信号波形の基となるデータを、半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置から取得するステップを含むことを特徴とする請求項３又は請求項４記載の信号波形表示方法。
【請求項６】
コンピュータを、時間を規定する第１軸と信号の大きさを規定する第２軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形を二次元表示する信号波形表示手段として機能させる信号波形表示プログラムにおいて、
前記コンピュータを、予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で前記信号波形を前記表示領域に表示し、前記第１軸及び前記第２軸の少なくとも一方の軸について、前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する表示制御手段として機能させることを特徴とする信号波形表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体メモリ、ＬＳＩ（Large Scale Integraton）等の半導体デバイスの試験を行って得られる信号等の波形を表示する信号波形表示装置、信号波形表示方法、及び信号波形表示プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体デバイスの初期不良を試験するためにメモリテスタやロジックテスタ等の半導体試験装置が用いられている。この半導体試験装置は、被試験対象である半導体デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）に対して試験信号を印加し、ＤＵＴから得られる信号と所定の判定電圧値とを比較するとともに、その比較結果と予め定められた期待値とが一致するか否か（パス／フェイル）を判定することによりＤＵＴの良／不良を試験する装置である。
【０００３】
また、半導体試験装置は、一定のレートでＤＵＴから出力される信号に対し、上記の判定電圧値や上記の判定のタイミングを徐々に変化させつつパス／フェイルを判定し、その判定結果をプロットすることでＤＵＴから出力される信号の波形を求めるデータスキャン機能を備える。このデータスキャン機能を用いることにより、ユーザは、ＤＵＴから出力される信号波形を観察することができる。
【０００４】
図９は、従来の半導体試験装置が備えるデータスキャン機能を説明するための図である。データスキャン機能によって信号波形を求める場合には、図９（ａ）に示す通り、時間軸（図中横方向）及び電圧軸（図中縦方向）の各々が複数に分割され、時間軸の分割点（両端点を含む、以下同じ）と電圧軸の分割点（両端点を含む、以下同じ）との交点の各々においてＤＵＴの試験が行われる。ここで、時間軸及び電圧軸の分割数は、ユーザによって設定される分解能によって規定される。
【０００５】
上記の分解能は、時間軸及び電圧軸の分割の細かさを規定するものであり、通常、時間軸については「レート」と呼ばれる試験サイクルに対する分割数が設定され、電圧軸についてはＤＵＴの「Ｈ（ハイ）」レベルの電圧と「Ｌ（ロー）」レベルの電圧とが含まれる電圧範囲に対する分割数が設定される。分解能は時間軸と電圧軸とにそれぞれ異なる値を設定することができるが、図９（ａ）に示す例では、説明を簡単にするために、時間軸及び電圧軸の分割数を共に「１０」にしている。
【０００６】
時間軸及び電圧軸の分割数が共に「１０」である場合には、時間軸の分割点の数及び電圧軸の分割点の数が共に「１１」になる。よって、これらの交点の総数は「１２１」になり、ＤＵＴの試験が１２１回繰り返される。尚、図９（ａ）において、各交点に付された番号（丸印で囲まれた番号）は各交点の試験順番を示しており、番号「１」が付された交点から番号「１２１」が付された交点まで順に試験が行われる。
【０００７】
具体的には、まず判定タイミングを変化させずに番号「１」が付された交点から番号「１１」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。次に、判定タイミングを所定値（図９（ａ）に示す分割した時間軸の１マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに番号「１２」が付された交点から番号「２２」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。以下、番号「１２１」が付された交点まで同様の試験が行われる。
【０００８】
図９（ｂ）は、データスキャン機能により得られる信号波形の一例を示す図である。図９（ｂ）において交点に付された記号「Ｐ」（丸印で囲まれた記号「Ｐ」）はその交点における試験結果がパスであることを意味し、記号「Ｆ」（丸印で囲まれた記号「Ｆ」）はその交点における試験結果がフェイルであることを意味する。図９（ｂ）に示す通り、時間軸の分割点の各々における変化点（パスからフェイルに変化する最初の交点）同士を直線で結ぶことにより、ＤＵＴから得られる実際の信号波形ＷＦ１０１に似た疑似波形ＷＦ１０２が得られる。この疑似波形ＷＦ１０２を表示装置に表示することにより、ユーザはＤＵＴから出力される信号の波形を観察することができる。尚、図９（ｂ）では、理解を容易にするために信号波形ＷＦ１０１を図示しているが、これは表示されることはない。
【０００９】
図９（ｂ）に示す例では、時間軸及び電圧軸の分解能が「１０」に設定された場合を例に挙げているため、実際の信号波形ＷＦ１０１と疑似波形ＷＦ１０２との乖離が大きいが、時間軸及び電圧軸の分解能を高く設定することにより、疑似波形ＷＦ１０２を実際の信号波形ＷＦ１０１に近づけることができる。但し、分解能を高く設定するほど試験回数が増加するため試験に長時間を要してしまい、分解能と試験時間とはトレードオフの関係にある。
【００１０】
尚、従来の信号波形の表示が可能な半導体試験装置の詳細については、例えば以下の特許文献１を参照されたい。
【特許文献１】特開平０８−１８４６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上述した通り、従来の半導体試験装置において、データスキャン機能を用いて信号波形を求める場合には、時間軸の分割点と電圧軸の分割点との交点の数分の試験を繰り返し、全ての交点についてパス／フェイルを求めた後に信号波形が表示される。このため、ユーザは全ての交点についての試験が終わるまでは信号波形を観察することができず、長時間の待ち時間が発生して試験効率が低下するという問題があった。特に、分解能を高く設定した場合には待ち時間が長くなり、試験効率が極端に低下してしまう。
【００１２】
また、データスキャン機能により信号波形を求めている途中でユーザが中断指示を行えば、それ以上の待ち時間を解消することができるとともに、中断指示があるまでに得られた試験結果に基づく信号波形を得ることはできる。しかしながら、ユーザが中断指示を行った場合には、図１０に示す通り、途切れた疑似波形ＷＦ１０３が得られてしまい、信号波形の全体を確認することができない。図１０は、データスキャン機能が中断された場合に得られる信号波形の表示例を示す図である。
【００１３】
以上から、従来は、信号波形を効率的に観察するためには、ユーザが以下の手順を経る必要があった。つまり、まずユーザが分解能を低く設定して信号波形の全体を大まかに観察し、次にその観察結果から必要であれば分解能を高く設定して再度試験を行って信号波形の詳細を確認するという手順である。しかしながら、かかる手順により信号波形を観察しようとすると、ユーザの負担が増大してしまうという問題がある。
【００１４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ユーザの待ち時間の解消及び負担の軽減を図りつつ効率的に信号波形を観察することができる信号波形表示装置、信号波形表示方法、及び信号波形表示プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明の信号波形表示装置は、時間を規定する第１軸と信号の大きさを規定する第２軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形（ＷＦ１１〜ＷＦ１５）を二次元表示する信号波形表示装置（１０）において、予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で前記信号波形を前記表示領域に表示し、前記第１軸及び前記第２軸の少なくとも一方の軸について、前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する表示制御部（１６）を備えることを特徴としている。
この発明によると、まず予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で信号波形が表示領域に表示され、次いで第１軸及び第２軸の少なくとも一方の軸について、第２分解能から第１分解能まで徐々に分解能が高められながら信号波形が表示領域に表示される。
また、本発明の信号波形表示装置は、前記表示制御部が、前記第１軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示した後に、前記第２軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示することを特徴としている。
上記課題を解決するために、本発明の信号波形表示方法は、時間を規定する第１軸と信号の大きさを規定する第２軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形（ＷＦ１１〜ＷＦ１５）を二次元表示する信号波形表示方法において、予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で前記信号波形を前記表示領域に表示する第１ステップ（Ｓ１）と、前記第１軸及び前記第２軸の少なくとも一方の軸について、前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する第２ステップ（Ｓ２、Ｓ３）とを含むことを特徴としている。
また、本発明の信号波形表示方法は、前記第２ステップが、前記第１軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する第３ステップ（Ｓ２）と、前記第３ステップ後に、前記第２軸について前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する第４ステップ（Ｓ３）とを含むことを特徴としている。
また、本発明の信号波形表示方法は、前記第１，第２ステップが、前記表示領域に表示すべき前記信号波形の基となるデータを、半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置から取得するステップ（Ｓ１３、Ｓ２３、Ｓ２５、Ｓ２７、Ｓ３３、Ｓ３５、Ｓ３７）を含むことを特徴としている。
本発明の信号波形表示プログラムは、コンピュータを、時間を規定する第１軸と信号の大きさを規定する第２軸とを有する表示領域に、大きさが経時的に変化する信号波形（ＷＦ１１〜ＷＦ１５）を二次元表示する信号波形表示手段として機能させる信号波形表示プログラムにおいて、前記コンピュータを、予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で前記信号波形を前記表示領域に表示し、前記第１軸及び前記第２軸の少なくとも一方の軸について、前記第２分解能から前記第１分解能まで徐々に分解能を高めながら前記信号波形を前記表示領域に表示する表示制御手段（１６）として機能させることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、予め設定された第１分解能よりも低い第２分解能で信号波形を表示領域に表示し、その後に第１軸及び第２軸の少なくとも一方の軸について、第２分解能から第１分解能まで徐々に分解能を高めながら信号波形を表示領域に表示しているため、ユーザの待ち時間の解消及び負担の軽減を図りつつ効率的に信号波形を観察することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による信号波形表示装置、信号波形表示方法、及び信号波形表示プログラムについて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による信号波形表示装置が用いられる半導体試験システムの全体構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の信号波形表示装置１０は、ＤＵＴ３０の試験を行う半導体試験装置２０に接続される。
【００１８】
半導体試験装置２０は、ＤＵＴ３０に印加する試験信号を発生し、試験信号をＤＵＴ３０に印加して得られる信号と所定の判定電圧値とを比較するとともに、その比較結果と予め定められた期待値とが一致するか否か（パス／フェイル）を判定することによりＤＵＴ３０の良／不良を試験する。ＤＵＴ３０の試験を行って得られたパス／フェイルを示すフェイル情報は、半導体試験装置２０の内部に記憶される。
【００１９】
また、半導体試験装置２０は、一定のレートでＤＵＴ３０から出力される信号に対し、上記の判定電圧値や上記の判定のタイミングを徐々に変化させつつパス／フェイルを判定し、その判定結果をプロットすることでＤＵＴから出力される信号の波形を求めるデータスキャン機能を備える。この機能により得られた信号波形は信号波形表示装置１０に表示され、これによりユーザはＤＵＴ３０から出力される信号波形を観察することができる。
【００２０】
信号波形表示装置１０は、半導体試験装置２０がＤＵＴ３０の試験を行って得られた試験結果の表示や各種解析を行うためのものである。具体的には、半導体試験装置２０との間で通信を行って半導体試験装置２０の内部に記憶された上記のフェイル情報や、上記のデータスキャン機能により得られるデータを取得して、これらを表示する。また、半導体試験装置２０に制御信号を出力して半導体試験装置２０の動作を制御するためにも用いられる。この信号波形表示装置１０は、図１に示す通り、ワークステーション又はパーソナルコンピュータで実現される。
【００２１】
図２は、信号波形表示装置１０の要部構成を示すブロック図である。図２に示す通り、信号波形表示装置１０は、操作部１１、本体部１２、及び表示部１３を備えている。操作部１１は、ユーザによって操作され、信号波形表示装置１０に対してユーザの各種の指示を入力するためのものである。この操作部１１は、例えばキーボードやマウス等により実現される。
【００２２】
本体部１２は、通信部１４、記憶部１５、及び表示制御部１６等を備えている。通信部１４は、半導体試験装置２０との間で通信を行い、半導体試験装置２０の内部に記憶されている上記のフェイル情報や信号を取得する。また、半導体試験装置２０を制御するための制御信号を半導体試験装置２０に送信する。記憶部１５は、通信部１４が半導体試験装置２０から取得したフェイル情報や信号を記憶する。この記憶部１５は、ＲＡＭ(Random Access Memory）等の半導体メモリ又はハードディスク装置で実現される。
【００２３】
表示制御部１６は、表示部１３に表示させる内容の制御を行う。例えば、半導体試験装置２０から得られるデータ（データスキャン機能により得られるデータ）の各々を、時間軸と電圧軸とを有するウィンドウ（表示領域）にプロット表示することにより、電圧が経時的に変化する信号波形を二次元表示する。尚、表示制御部１６で行われる表示制御の詳細については後述する。
【００２４】
表示部１３は、本体部１２に設けられた表示制御部１６の制御の下で、半導体試験装置２０がＤＵＴ３０の試験を行って得られた試験結果等を表示するものである。この表示部１３は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）や液晶表示装置等により実現される。尚、信号波形表示装置１０は、複数のウィンドウを表示部１３に表示可能であり、各ウィンドウ内にフェイル情報やＤＵＴ３０から出力される信号波形を表示可能である。
【００２５】
次に、信号波形を表示する場合の動作について説明する。図３は、本発明の一実施形態による信号波形表示装置の信号波形表示時の動作を示すフローチャートである。図３に示すフローチャートは、ユーザが信号波形表示装置１０を操作して波形表示の指示を行うことにより開始される。動作が開始されると、図３に示す通り、粗波形表示ステップＳ１（第１ステップ）、時間軸精細表示ステップＳ２（第２ステップ、第３ステップ）、及び電圧軸精細表示ステップＳ３（第２ステップ、第４ステップ）が順に行われる。
【００２６】
粗波形表示ステップＳ１は、信号波形が表示されるウィンドウに設定される時間軸（表示部１３の画面横方向の軸：第１軸）及び電圧軸（表示部１３の画面縦方向の軸：第２軸）の双方について、ユーザによって設定された分解能（第１分解能）よりも低い分解能（第２分解能）で信号波形を表示するステップである。時間軸精細表示ステップＳ２は、時間軸のみについて粗波形表示ステップＳ１で表示された分解能（第２分解能）からユーザによって設定された分解能（第１分解能）まで徐々に分解能を高めながら信号波形を表示するステップである。電圧軸精細表示ステップＳ３は、電圧軸のみについて粗波形表示ステップＳ１で表示された分解能（第２分解能）からユーザによって設定された分解能（第１分解能）まで徐々に分解能を高めながら信号波形を表示するステップである。
【００２７】
このように、本実施形態では、まず粗波形表示ステップＳ１において信号波形の全体がユーザによって設定される分解能よりも低い分解能で表示され、次いで、時間軸精細表示ステップＳ２及び電圧軸精細表示ステップＳ３の各々において、時間軸及び電圧軸の分解能が徐々に高められながら信号波形の詳細が徐々に表示される。ここで、電圧軸精細表示ステップＳ３よりも前に時間軸精細表示ステップＳ２を行うのは、ディジタル信号を観察する場合には、立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジの位置（時間位置）が重要になるため、ユーザがその位置をいち早く確認できるようにするためである。以下、粗波形表示ステップＳ１、時間軸精細表示ステップＳ２、及び電圧軸精細表示ステップＳ３の各々の詳細について順に説明する。
【００２８】
粗波形表示ステップＳ１が開始されると、まず表示制御部１６の制御の下で、分解能を入力するための入力ウィンドウが表示部１３に表示される。ユーザが信号波形表示装置１０の操作部１１を操作してその入力ウィンドウに分解能を入力すると、入力された分解能（第１分解能）が信号波形表示装置１０に設定される（ステップＳ１１）。但し、ここで入力される分解能は時間軸精細表示ステップＳ２及び電圧軸精細表示ステップＳ３の処理を行う関係上、「４」以上である必要がある。尚、以下では説明を簡単にするために、信号波形が表示されるウィンドウに設定される時間軸及び電圧軸の分解能が共に「１０」に設定されたとする。
【００２９】
次に、信号波形表示装置１０は、信号波形が表示されるウィンドウの電圧軸及び時間軸の各々について、ステップＳ１１で設定された分解能を１／３に低下させて最初に表示すべき信号波形の分解能（第２分解能）を求める（ステップＳ１２）。ユーザに入力された時間軸及び電圧軸の分解能が共に「１０」である場合には、最初に表示すべき信号波形の分解能として「３」が求められる。
【００３０】
図４は、粗波形表示ステップＳ１で行われる処理を説明するための図である。図４（ａ）に示す通り、ユーザによって入力された分解能が「１０」である場合には、時間軸の分割点の数及び電圧軸の分割点の数が共に「１１」になる。よって、これらの交点の総数は「１２１」になり、本来であればＤＵＴ３０の試験が１２１回繰り返される筈である。しかしながら、上記のステップＳ１２の処理によって求められた分解能が「３」であるため、実際に試験が行われるのは、図４（ａ）中において丸印が付された交点（１２１個の交点）のうち、時間軸の分割点のうちの２個おきの分割点と、電圧軸の分割点のうちの２個おきの分割点との交点、即ち図４（ａ）において番号「１」〜「１６」が付されている１６個の交点のみになる。
【００３１】
ステップＳ１２の処理が終了すると、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、図４（ａ）において番号「１」〜「１６」が付されている１６個の交点について番号順に試験が行われる（ステップＳ１３）。つまり、ＤＵＴ３０から出力される信号と期待値との判定タイミングを変化させずに、番号「１」が付された交点から番号「４」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。次に、判定タイミングを所定値（図４（ａ）に示す時間軸の３マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに番号「５」が付された交点から番号「８」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。以下、番号「１６」が付された交点まで同様の試験が行われる。
【００３２】
図４（ａ）中の番号「１」〜「１６」が付されている１６個の交点についての試験が終了すると、各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより低分解能の粗い信号波形が表示される（ステップＳ１４）。図４（ｂ）は、粗波形表示ステップＳ１で表示される信号波形の一例を示す図である。図４（ｂ）において交点に付された記号「Ｐ」（丸印で囲まれた記号「Ｐ」）はその交点における試験結果がパスであることを意味し、記号「Ｆ」（丸印で囲まれた記号「Ｆ」）はその交点における試験結果がフェイルであることを意味する。
【００３３】
図４（ｂ）に示す通り、試験が行われた時間軸の分割点の各々における変化点（パスからフェイルに変化する最初の交点）同士を表示制御部１６が直線で結ぶことにより、疑似波形ＷＦ１１が表示部１３に表示される。図４（ｂ）に示す例では、三角波状の疑似波形ＷＦ１１が表示されており、ＤＵＴ３０から実際に得られる矩形波状の信号波形ＷＦ１０とは大きく乖離していることが分かる。これは、時間軸及び電圧軸の分解能が共に低すぎるからである。尚、図４（ｂ）では、理解を容易にするために、ＤＵＴ３０から実際に得られる信号波形ＷＦ１０を図示しているが、これは表示されることはない。以上の処理によって粗波形表示ステップＳ１は終了し、次いで時間軸精細表示ステップＳ２が開始される。
【００３４】
時間軸精細表示ステップＳ２が開始されると、信号波形表示装置１０は、信号波形が表示されるウィンドウの時間軸の分解能を、ステップＳ１２求めた分解能の２倍に上昇させる。つまり、図４（ａ）に示す試験が行われた時間軸の分割点の間（例えば、番号「１」，「５」が付された交点の間、番号「５」，「９」が付された交点の間、番号「９」，「１３」が付された交点の間）をそれぞれ２分割する（ステップＳ２１）。
【００３５】
次に、信号波形表示装置１０は、ステップＳ１１で設定された分解能を超えない範囲で時間軸の分解能を更に上昇可能であるか否かを判断する。具体的には、ステップＳ２１の処理にて分割点の間を２分割した結果が「３」以上であるか否かを判断する（ステップＳ２２）。図４に示す通り、図４（ａ）に示す試験が行われた時間軸の分割点の間にはそれぞれ３個の分割点が存在しており、２分割するとその結果は「１．５」になるため、ステップＳ２２の判断結果は「ＮＯ」になる。
【００３６】
ステップＳ２２の判断結果が「ＮＯ」になると、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、時間軸の偶数番目の分割点に係る交点の試験が順に行われる（ステップＳ２３）。尚、時間軸の分割点のうち、図４（ａ）において紙面左端の分割点（番号「１」〜「４」が付された交点を形成する分割点）を第０番目としている。図５は、時間軸精細表示ステップＳ２のステップＳ２３，Ｓ２４で行われる処理を説明するための図である。
【００３７】
図５（ａ）に示す通り、時間軸の分割点のうち、紙面左端の分割点を第０番目として、偶数番目（第２，４，６，８，１０番目）の分割点にかかる交点の試験が行われる。つまり、ＤＵＴ３０から出力される信号と期待値との判定タイミングを変化させずに、第２番目の分割点に係る交点である番号「１７」が付された交点から番号「２０」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。
【００３８】
次に、判定タイミングを所定値（図５（ａ）に示す時間軸の２マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに第４番目の分割点に係る交点である番号「２１」が付された交点から番号「２４」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。以下、番号「３２」が付された交点まで同様の試験が行われる。
【００３９】
尚、図５（ａ）において交点に付された文字「済」（丸印で囲まれた文字「済」）は、その交点における試験がステップＳ１３で実行済みであることを意味している。また、図５（ａ）に示す第６番目の分割点に係る交点のように、ステップＳ１３で既に試験が実行済みである場合には、その分割点に係る交点についての試験は省略され、次の第８番目の分割点に係る交点における試験が実行される。
【００４０】
図５（ａ）中の番号「１７」〜「３２」が付されている１６個の交点についての試験が終了すると、各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより時間軸についてより分解能が高められた信号波形が表示される（ステップＳ２４）。図５（ｂ）は、ステップＳ２４で表示される信号波形の一例を示す図である。図５（ｂ）に示す通り、ステップＳ１３に加えてステップＳ２３で試験が行われた時間軸の分割点の各々における変化点同士を表示制御部１６が直線で結ぶことにより、疑似波形ＷＦ１２が表示部１３に表示される。
【００４１】
図４（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１１と図５（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１２とを比較すると、疑似波形ＷＦ１２の方が疑似波形ＷＦ１１よりもＤＵＴ３０から実際に得られる矩形波状の信号波形ＷＦ１０に近似していることが分かる。これは、疑似波形ＷＦ１１よりも疑似波形ＷＦ１２の方が時間軸の分解能が高められているからである。尚、図５（ｂ）においても、理解を容易にするために、ＤＵＴ３０から実際に得られる信号波形ＷＦ１０を図示しているが、これは表示されることはない。
【００４２】
ステップＳ２４の処理が終了すると、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、時間軸の残りの分割点に係る交点の試験が順に行われる（ステップＳ２５）。尚、ここでも時間軸の分割点のうち、図４（ａ）において紙面左端の分割点（番号「１」〜「４」が付された交点を形成する分割点）を第０番目としている。図６は、時間軸精細表示ステップＳ２のステップＳ２５，Ｓ２６で行われる処理を説明するための図である。
【００４３】
図６（ａ）に示す通り、時間軸の分割点のうち、紙面左端の分割点を第０番目として、奇数番目（第１，３，５，７，９番目）の分割点にかかる交点の試験が行われる。つまり、ＤＵＴ３０から出力される信号と期待値との判定タイミングを変化させずに、第１番目の分割点に係る交点である番号「３３」が付された交点から番号「３６」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。
【００４４】
次に、判定タイミングを所定値（図６（ａ）に示す時間軸の４マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに第５番目の分割点に係る交点である番号「３７」が付された交点から番号「４０」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。尚、第３番目の分割点に係る交点は、ステップＳ１３で既に試験が実行済みであるため、この分割点に係る交点についての試験は省略される。
【００４５】
次いで、判定タイミングを所定値（図６（ａ）に示す時間軸の２マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに第７番目の分割点に係る交点である番号「４１」が付された交点から番号「４４」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。尚、第９番目の分割点に係る交点もステップＳ１３で既に試験が実行済みであるため、この分割点に係る交点についての試験は省略される。
【００４６】
図６（ａ）中の番号「３３」〜「４４」が付されている１２個の交点についての試験が終了すると、各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより時間軸について更に分解能が高められた信号波形が表示される（ステップＳ２６）。図６（ｂ）は、ステップＳ２６で表示される信号波形の一例を示す図である。図６（ｂ）に示す通り、ステップＳ１３及びステップＳ２３に加えてステップＳ２５で試験が行われた時間軸の分割点の各々における変化点同士を表示制御部１６が直線で結ぶことにより、疑似波形ＷＦ１３が表示部１３に表示される。
【００４７】
図５（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１２と図６（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１３とを比較すると、疑似波形ＷＦ１２よりも疑似波形ＷＦ１３の方が時間軸の分解能が高められているため、疑似波形ＷＦ１３の方が疑似波形ＷＦ１２よりも更に信号波形ＷＦ１０に近似していることが分かる。尚、図６（ｂ）においても、理解を容易にするために、ＤＵＴ３０から実際に得られる信号波形ＷＦ１０を図示しているが、これは表示されることはない。
【００４８】
他方、ステップＳ２２の判断結果が「ＹＥＳ」になった場合には、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、時間軸の第ｎ番目の分割点に係る交点の試験が順に行われる（ステップＳ２７）。ここで、上記の変数ｎは、ステップＳ２１の処理において、図４（ａ）に示す試験が行われた時間軸の分割点の間を２分割して得られた商である。尚、ここでも時間軸の分割点のうち、図４（ａ）において紙面左端の分割点（番号「１」〜「４」が付された交点を形成する分割点）を第０番目としている。
【００４９】
次に、ステップＳ２７の試験が終了すると、試験が行われた各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより時間軸についてより分解能が高められた信号波形が表示される（ステップＳ２８）。そして、波形表示装置１０によって時間軸の分解能が更に２倍に高められ（ステップＳ２９）、その後にステップＳ２２の処理に戻る。ステップＳ２２の判断結果が「ＹＥＳ」である間は、ステップＳ２７〜Ｓ２９の処理が繰り返し行われるため、信号波形表示部１３のウィンドウには、時間軸の分解能が徐々に高められる信号波形が表示される。
【００５０】
前述したステップＳ２６の処理が終了すると時間軸精細表示ステップＳ２は終了し、次いで電圧軸精細表示ステップＳ３が開始される。電圧軸精細表示ステップＳ３が開始されると、信号波形表示装置１０は、信号波形が表示されるウィンドウの電圧軸の分解能を、ステップＳ１２求めた分解能の２倍に上昇させる。つまり、図４（ａ）に示す試験が行われた電圧軸の分割点の間（例えば、番号「１」，「２」が付された交点の間、番号「２」，「３」が付された交点の間、番号「３」，「４」が付された交点の間）をそれぞれ２分割する（ステップＳ３１）。
【００５１】
次に、信号波形表示装置１０は、ステップＳ１１で設定された分解能を超えない範囲で電圧軸の分解能を更に上昇可能であるか否かを判断する。具体的には、ステップＳ３１の処理にて分割点の間を２分割した結果が「３」以上であるか否かを判断する（ステップＳ３２）。図４に示す通り、図４（ａ）に示す試験が行われた電圧軸の分割点の間にはそれぞれ３個の分割点が存在しており、２分割するとその結果は「１．５」になるため、ステップＳ３２の判断結果は「ＮＯ」になる。
【００５２】
ステップＳ３２の判断結果が「ＮＯ」になると、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、電圧軸の偶数番目の分割点に係る交点の試験が順に行われる（ステップＳ３３）。尚、電圧軸の分割点のうち、図４（ａ）において紙面下端の分割点（番号「１」，「５」，「９」，「１３」が付された交点を形成する分割点）を第０番目としている。図７は、電圧軸精細表示ステップＳ３のステップＳ３３，Ｓ３４で行われる処理を説明するための図である。
【００５３】
図７（ａ）に示す通り、電圧軸の分割点のうち、紙面下端の分割点を第０番目として、偶数番目（第２，４，６，８，１０番目）の分割点にかかる交点の試験が行われる。つまり、ＤＵＴ３０から出力される信号と期待値との判定タイミングを変化させずに、第２番目の分割点に係る交点である番号「４５」が付された交点から第１０番目の分割点に係る交点である番号「４８」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。
【００５４】
次に、判定タイミングを所定値（図７（ａ）に示す時間軸の１マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに第２番目の分割点に係る交点である番号「４９」が付された交点から第１０番目の分割点に係る交点である番号「５２」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。以下、番号「８８」が付された交点まで同様の試験が行われる。
【００５５】
尚、図７（ａ）において交点に付された文字「済」（丸印で囲まれた文字「済」）は、その交点における試験が粗波形表示ステップＳ１又は時間軸精細表示ステップＳ２で実行済みであることを意味している。また、図７（ａ）に示す例では、電圧軸の第６番目にかかる交点の試験が実行済みであるため、この分割点に係る交点についての試験は省略される。
【００５６】
図７（ａ）中の番号「４５」〜「８８」が付されている４４個の交点についての試験が終了すると、各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより電圧軸についてより分解能が高められた信号波形が表示される（ステップＳ３４）。図７（ｂ）は、ステップＳ３４で表示される信号波形の一例を示す図である。図７（ｂ）に示す通り、粗波形表示ステップＳ１及び時間軸精細表示ステップＳ２に加えてステップＳ３３で試験が行われた電圧軸の分割点の各々における変化点同士を表示制御部１６が直線で結ぶことにより、疑似波形ＷＦ１４が表示部１３に表示される。
【００５７】
図６（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１３と図７（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１４とを比較すると、疑似波形ＷＦ１４では電圧軸の分解能が高められているため、疑似波形ＷＦ１４の下部が疑似波形ＷＦ１３よりもＤＵＴ３０から実際に得られる矩形波状の信号波形ＷＦ１０に近づいていることが分かる。尚、図７（ｂ）においても、理解を容易にするために、ＤＵＴ３０から実際に得られる信号波形ＷＦ１０を図示しているが、これは表示されることはない。
【００５８】
ステップＳ３４の処理が終了すると、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、電圧軸の残りの分割点に係る交点の試験が順に行われる（ステップＳ３５）。尚、ここでも電圧軸の分割点のうち、図４（ａ）において紙面下端の分割点（番号「１」，「５」，「９」，「１３」が付された交点を形成する分割点）を第０番目としている。図８は、電圧軸精細表示ステップＳ３のステップＳ３５，Ｓ３６で行われる処理を説明するための図である。
【００５９】
図８（ａ）に示す通り、電圧軸の分割点のうち、紙面左端の分割点を第０番目として、奇数番目（第１，３，５，７，９番目）の分割点にかかる交点の試験が行われる。つまり、ＤＵＴ３０から出力される信号と期待値との判定タイミングを変化させずに、第１番目の分割点に係る交点である番号「８９」が付された交点から第７番目の分割点に係る交点である番号「９１」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。尚、図８（ａ）に示す通り、第３，９番目の分割点に係る交点は、粗波形表示ステップＳ１及び時間軸精細表示ステップＳ２で素電い試験が実行済みであるため、この分割点に係る交点についての試験は省略される。
【００６０】
次に、判定タイミングを所定値（図８（ａ）に示す時間軸の１マス分）だけ変化させるとともに判定電圧値を初期値に戻してから、判定タイミングを変化させずに第１番目の分割点に係る交点である番号「９２」が付された交点から第７番目の分割点に係る交点である番号「９４」が付された交点まで順次判定電圧値を変化させつつ試験が行われる。以下、番号「１２１」が付された交点まで同様の試験が行われる。
【００６１】
図８（ａ）中の番号「８９」〜「１２１」が付されている３３個の交点についての試験が終了すると、各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより電圧軸について更に分解能が高められた信号波形が表示される（ステップＳ３６）。図８（ｂ）は、ステップＳ３６で表示される信号波形の一例を示す図である。図８（ｂ）に示す通り、粗波形表示ステップＳ１及び時間軸精細表示ステップＳ２並びにステップＳ３３に加えてステップＳ３５で試験が行われた電圧軸の分割点の各々における変化点同士を表示制御部１６が直線で結ぶことにより、疑似波形ＷＦ１５が表示部１３に表示される。
【００６２】
図７（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１４と図８（ｂ）に示す疑似波形ＷＦ１５とを比較すると、波形が一致していることが分かる。これは、ＤＵＴ３０から出力される信号が２値をとるディジタル信号であるため、「Ｈ」レベルの近傍又は「Ｌ」レベルの近傍の分解能を上げなければ変化点同士を直線で結ぶことにより得られる疑似波形の形状は殆ど変化しないことによる。尚、図８（ｂ）においても、理解を容易にするために、ＤＵＴ３０から実際に得られる信号波形ＷＦ１０を図示しているが、これは表示されることはない。
【００６３】
他方、ステップＳ３２の判断結果が「ＹＥＳ」になった場合には、信号波形表示装置１０から半導体試験装置２０に対して制御信号が出力され、電圧軸の第ｍ番目の分割点に係る交点の試験が順に行われる（ステップＳ３７）。ここで、上記の変数ｍは、ステップＳ３１の処理において、図４（ａ）に示す試験が行われた電圧軸の分割点の間を２分割して得られた商である。尚、ここでも電圧軸の分割点のうち、図４（ａ）において紙面下端の分割点（番号「１」，「５」，「９」，「１３」が付された交点を形成する分割点）を第０番目としている。
【００６４】
次に、ステップＳ３７の試験が終了すると、試験が行われた各交点での試験結果（パス／フェイル）が表示制御部１６によって表示部１３のウィンドウにプロット表示され、これにより電圧軸についてより分解能が高められた信号波形が表示される（ステップＳ３８）。そして、波形表示装置１０によって電圧軸の分解能が更に２倍に高められ（ステップＳ３９）、その後にステップＳ３２の処理に戻る。ステップＳ３２の判断結果が「ＹＥＳ」である間は、ステップＳ３７〜Ｓ３９の処理が繰り返し行われるため、信号波形表示部１３のウィンドウには、電圧軸の分解能が徐々に高められる信号波形が表示される。前述したステップＳ３６の処理が終了すると図３に示す一連の処理が終了する。
【００６５】
以上説明した通り、本実施形態によれば、まず粗波形表示ステップＳ１において信号波形の全体がユーザによって設定される分解能よりも低い分解能で表示された後に、時間軸精細表示ステップＳ２において時間軸の分解能が徐々に高められながら信号波形の詳細が徐々に表示され、次いで電圧軸精細表示ステップＳ３において電圧軸の分解能が徐々に高められながら信号波形の詳細が徐々に表示される。このため、ユーザは、何らの操作をせずとも無駄な待ち時間が生ずることなく、粗波形表示ステップＳ１で信号波形を全体を即座に観察でき、続く時間軸精細表示ステップＳ２及び電圧軸精細表示ステップＳ３で時間軸及び電圧軸の分解能が徐々に高められながら表示される信号波形を観察することができる。
【００６６】
また、粗波形表示ステップＳ１が終了した後又は時間軸精細表示ステップＳ２若しくは電圧軸精細表示ステップＳ３の途中において、ユーザはそれまで観察した信号波形からそれ以上の詳細な信号波形を表示する必要がないと判断した場合には、即座に信号波形の表示を中止することができるため、効率的に信号波形を観察することができる。ここで、本実施形態では、最初の粗波形表示ステップＳ１で信号波形の全体を表示しているため、図１０を用いて説明した従来のように、波形表示を中止した場合にユーザが信号波形の全体を確認できないといった不具合は生ずることはない。
【００６７】
以上、本発明の一実施形態による信号波形表示装置及び信号波形表示方法について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、粗波形表示ステップＳ１が終了した後に時間軸精細表示ステップＳ２を行ってから電圧軸精細表示ステップＳ３を行っていたが、粗波形表示ステップＳ１が終了した後に電圧軸精細表示ステップＳ３を行ってから時間軸精細表示ステップＳ２を行っても良い。
【００６８】
また、粗波形表示ステップＳ１が終了した後に、時間軸精細表示ステップＳ２と電圧軸精細表示ステップＳ３とを交互に行っても良い。つまり、例えば時間軸精細表示ステップＳ２で分解能を一段階高めた表示を行った後に、電圧軸精細表示ステップＳ３で分解能を一段階高めた表示を行い、更に時間軸精細表示ステップＳ２で分解能を一段階高めた表示を行うといった具合である。また、粗波形表示ステップＳ１が終了した後に、必ずしも時間軸精細表示ステップＳ２と電圧軸精細表示ステップＳ３との両ステップを行う必要はなく、時間軸精細表示ステップＳ２及び電圧軸精細表示ステップＳ３の何れか一方のみを行っても良い。
【００６９】
また、上記実施形態では、時間軸及び電圧軸の双方の分解能を２倍ずつ高める例について説明した。しかしながら、分解能を高める方法としては、４倍又は６倍ずつ高めるといった方法、指数関数的に高めるといった方法、その他の任意の方法を用いることができる。また、時間軸について分解能を高める方法と電圧軸について分解能を高める方法とは同じであっても良く、異なっていても良い。更に、上記実施形態では、電圧が変化する信号波形を表示する場合を例に挙げて説明したが、本発明は経時的に大きさが変化する種々の信号波形を表示することが可能である。
【００７０】
また更に、上記実施形態では、半導体試験装置２０で試験を行いつつ得られたデータを表示する例について説明したが、本発明は予め得られている信号波形のデータを表示する場合についても適用可能である。更には、半導体試験装置２０から得られた信号波形を表示する場合のみならず、オシロスコープ等の他の装置から得られた信号波形を表示する場合一般に本発明を適用することは可能である。つまり、本発明は、大きさが経時的に変化する信号波形を表示する場合一般について適用することができる。
【００７１】
更に、上記実施形態では、表示制御部１６をハードウェアで実現する場合を例に挙げて説明したが、この表示制御部１６をソフトウェアにより実現しても良い。つまり、表示制御部１６を実現するプログラムをコンピュータに実行させることにより実現しても良い。このプログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭ又はＤＶＤ（登録商標）−ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されていてもよい。この記録媒体に記録されたプログラムをＣＤ−ＲＯＭドライブ又はＤＶＤ（登録商標）−ＲＯＭドライブ等のドライブ装置を用いて読み取れば、コンピュータにインストールすることができる。
【００７２】
或いは、インターネット等のネットワークにコンピュータを接続し、プログラムをネットワークからコンピュータにダウンロード可能にしても良い。コンピュータにダウンロードされたプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体から読み取る場合と同様にコンピュータにインストールすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の一実施形態による信号波形表示装置が用いられる半導体試験システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】信号波形表示装置１０の要部構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態による信号波形表示装置の信号波形表示時の動作を示すフローチャートである。
【図４】粗波形表示ステップＳ１で行われる処理を説明するための図である。
【図５】時間軸精細表示ステップＳ２のステップＳ２３，Ｓ２４で行われる処理を説明するための図である。
【図６】時間軸精細表示ステップＳ２のステップＳ２５，Ｓ２６で行われる処理を説明するための図である。
【図７】電圧軸精細表示ステップＳ３のステップＳ３３，Ｓ３４で行われる処理を説明するための図である。
【図８】電圧軸精細表示ステップＳ３のステップＳ３５，Ｓ３６で行われる処理を説明するための図である。
【図９】従来の半導体試験装置が備えるデータスキャン機能を説明するための図である。
【図１０】データスキャン機能が中断された場合に得られる信号波形の表示例を示す図である。
【符号の説明】
【００７４】
１０                  信号波形表示装置
１６                  表示制御部
Ｓ１                  粗波形表示ステップ
Ｓ２                  時間軸精細表示ステップ
Ｓ３                  電圧軸精細表示ステップ
ＷＦ１１〜ＷＦ１５    疑似波形
【図１】
2010066110.tif 000003
【図２】
2010066110.tif 000004
【図３】
2010066110.tif 000005
【図４】
2010066110.tif 000006
【図５】
2010066110.tif 000007
【図６】
2010066110.tif 000008
【図７】
2010066110.tif 000009
【図８】
2010066110.tif 000010
【図９】
2010066110.tif 000011
【図１０】
2010066110.tif 000012