(57)【要約】【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向を横断する基板幅方向へライン状に被検査基板を検査する。【解決手段】被検査基板（２）を搬送しながらライン状に検査する基板検査装置１において、被検査基板（２）の基板搬送方向（矢印Ｄ１）に延びるライン状に被検査基板（２）に照明光Ｌ１を照射するライン状照明部４ａ、及び、このライン状照明部４ａにより被検査基板（２）に照射された照明光Ｌ２を検出する検出部４ｂ、を有する第１の検査部４と、被検査基板（２）に追従して、基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つこの基板搬送方向を横断する基板幅方向（矢印Ｄ２）に第１の検査部４を移動させる駆動手段（８）と、を備える構成とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を搬送しながらライン状に検査する基板検査装置において、
前記被検査基板の基板搬送方向に延びるライン状に前記被検査基板に前記照明光を照射するライン状照明部、及び、該ライン状照明部により前記被検査基板に照射された照明光を検出する検出部、を有する第１の検査部と、
前記被検査基板に追従して、前記基板搬送方向で且つ該基板搬送方向を横断する基板幅方向に前記第１の検査部を移動させる駆動手段と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記基板幅方向に延びるライン状に前記被検査基板に前記照明光を照射するライン状照明部、及び、該ライン状照明部により前記被検査基板に照射された照明光を検出する検出部、を有する第２の検査部を更に備えることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記駆動手段は、前記基板搬送方向には前記被検査基板の搬送速度と同一速度で前記第１の検査部を移動させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記基板幅方向に延びる直線ガイド部を更に備え、
前記駆動手段は、前記直線ガイド部に沿わせて前記第１の検査部を前記基板幅方向に移動させる駆動部と、前記直線ガイド部を前記基板搬送方向に移動させることで前記第１の検査部を前記基板搬送方向に移動させる駆動部とを有する、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記基板搬送方向で且つ前記基板幅方向に延びる傾斜ガイド部を更に備え、
前記駆動手段は、前記傾斜ガイド部に沿わせて前記第１の検査部を前記基板搬送方向で且つ前記基板幅方向に移動させる、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項６】
被検査基板を搬送しながらライン状に検査する基板検査方法において、
前記被検査基板の基板搬送方向に延びるライン状に前記被検査基板に前記照明光を照射するライン状照明部、及び、該ライン状照明部により前記被検査基板に照射された照明光を検出する検出部、を有する第１の検査部を、前記被検査基板に追従して、前記基板搬送方向で且つ該基板搬送方向を横断する基板幅方向に移動させて前記被検査基板の検査を行う工程を含む、
ことを特徴とする基板検査方法。
【請求項７】
前記基板幅方向に延びるライン状に前記被検査基板に前記照明光を照射するライン状照明部、及び、該ライン状照明部により前記被検査基板に照射された照明光を検出する検出部、を有する第２の検査部により、前記被検査基板の検査を行う工程を更に含むことを特徴とする請求項６記載の基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等の被検査基板を検査する基板検査装置及び基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薄型テレビ、ＰＣモニタ、ゲーム機等の表示デバイスとして使用される液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイの製造工程では、各製造工程で製造されたマザーガラス基板に対し、光を照射し、その反射光や透過光を検出することにより、マザーガラス基板の状態を検査する手法がとられている。
【０００３】
液晶ディスプレイには、表面に微細な電気回路を形成したガラス基板が使用されている。このようなガラス基板上の微細な電気回路は、写真技術を用いて形成されるが、製造工程において製造装置の不具合や周囲のパーティクルが付着することなどに起因して、不要に導通する部分や破断部分などの欠陥が生じる場合がある。そのため、平面上を移動するガラス基板にライン状の照明光を照射し、その反射光や透過光を例えば連続撮像により検出することで、欠陥の検出が行われている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
ここで、ガラス基板上の電気回路は、方向性をもった微細なパターンが光の透過率の異なる複数の層に重ねて形成される。そのため、照明光のガラス基板に対する照射方向（検査方向）の相違によって欠陥の見え方が異なり、ある方向では欠陥を検出することができるが、それと異なる方向では同じ欠陥を検出することができない場合がある。
【０００５】
したがって、確実に欠陥を検出するためには複数の方向から検査を行う必要がある。複数の方向からガラス基板の検査を行うには、例えば、搬送路上でガラス基板の向きを変える回転機構（例えば、特許文献３参照）を設けて、一定の方向で検査を行った後に回転機構でガラス基板の向きを変えて、他の方向で検査を行うことが考えられる。
【特許文献１】特開２００７−１０７９４５号公報
【特許文献２】特開２０００−９６６１号公報
【特許文献３】特開２０００−６２９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のようにガラス基板等の被検査基板の向きを変えて複数の方向から検査を行う場合、上記回転機構を別途設ける必要がある。そのため、回転機構を設置するスペースが必要になると共に、装置コストも増大してしまう。
【０００７】
また、回転機構による回転動作を行うために検査時間が長くなるという問題も生じる。更には、被検査基板の製造ライン中に基板検査装置を配置した場合には、被検査基板を、基板搬送方向に基板検査装置を通過させる往路、回転させて向きを変えた後に基板搬送方向の反対方向に基板検査装置を通過させる復路、及び、基板搬送方向に搬送するための往路の３回移動させる必要が生じ、検査時間がより一層長くなってしまう。
【０００８】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向を横断する基板幅方向へライン状に被検査基板を検査することができる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の基板検査装置は、被検査基板を搬送しながらライン状に検査する基板検査装置において、上記被検査基板の基板搬送方向に延びるライン状に上記被検査基板に上記照明光を照射するライン状照明部、及び、このライン状照明部により上記被検査基板に照射された照明光を検出する検出部、を有する第１の検査部と、上記被検査基板に追従して、上記基板搬送方向で且つこの基板搬送方向を横断する基板幅方向に上記第１の検査部を移動させる駆動手段と、を備える構成とする。
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の基板検査方法は、被検査基板を搬送しながらライン状に検査する基板検査方法において、上記被検査基板の基板搬送方向に延びるライン状に上記被検査基板に上記照明光を照射するライン状照明部、及び、このライン状照明部により上記被検査基板に照射された照明光を検出する検出部、を有する第１の検査部を、上記被検査基板に追従して、上記基板搬送方向で且つこの基板搬送方向を横断する基板幅方向に移動させて上記被検査基板の検査を行う工程を含むようにする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、第１の検査部は、被検査基板に追従して基板搬送方向で且つこの基板搬送方向を横断する基板幅方向に移動しながら、基板搬送方向に延びるライン状に被検査基板の検査を行う。
【００１２】
これにより、被検査基板を回転機構により回転させて被検査基板の向きを変えることなく、基板幅方向へライン状に被検査基板の検査を行うことができるため、回転機構を設ける必要がなく、したがって、回転機構分の省スペース化を図ることができると共に、被検査基板の回転動作に要する時間及び基板搬送方向を切り替えて被検査基板を搬送する時間を短縮することができる。
【００１３】
よって、本発明によれば、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向を横断する基板幅方向へライン状に被検査基板を検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態に係る基板検査装置及び基板検査方法について、図面を参照しながら説明する。
＜一実施の形態＞
本実施の形態では、フラットパネルディスプレイの製造ラインで製造される矩形状のガラス基板（被検査基板）２を検査する基板検査装置１について説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施の形態に係る基板検査装置１を示す概略平面図である。
同図に示す基板検査装置１は、ガラス基板２を基板搬送方向（矢印Ｄ１）に搬送するための搬送路３と、ライン状照明部４ａ及び検出部４ｂを有する第１の検査部４と、搬送路３を跨ぐように配置された門型形状のガントリ５と、ライン状照明部６ａ及び検出部６ｂを有しガントリ５の底面に固定された第２の検査部６と、基板搬送方向（矢印Ｄ１）を横断し基板搬送方向（矢印Ｄ１）に直交する基板幅方向（矢印Ｄ２）に延びる１対の直線ガイド部７，７と、搬送路３を挟むように位置し基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動する１対の可動ベース部（駆動部）８，８とを備える。
【００１６】
搬送路３としては、例えば、ガラス基板２に当接しガラス基板２を搬送する搬送ローラをマトリクス状に配列してなるものや、ガラス基板２をエアの吐出により浮上させる浮上プレートをマトリクス状に配列してなるものなどを用いることができる。
【００１７】
第１の検査部４及び第２の検査部６のライン状照明部４ａ，６ａは、斜め下方に向けてライン状にガラス基板２に照明光Ｌ１を照射する。第１の検査部４及び第２の検査部６の検出部４ｂ，６ｂは、ライン状照明部４ａ，６ａにより照射された照明光Ｌ１のガラス基板２からの反射光Ｌ２を検出する。これにより、検査部４は、図１に２点鎖線で示すライン状の検査領域ＣＲの検査を行う。
【００１８】
第１の検査部４のライン状照明部４ａ及び検出部４ｂは、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ１）における長さ全域を検査可能なように、光源及びセンサを基板搬送方向（矢印Ｄ１）に複数並設してなる。
【００１９】
また、第２の検査部６のライン状照明部６ａ及び検出部６ｂは、ガラス基板２の基板幅方向（矢印Ｄ２）における幅全域を検査可能なように、光源及びセンサを基板幅方向（矢印Ｄ２）に複数並設してなる。
【００２０】
なお、図１では、ライン状照明部４ａ，６ａ及び検出部４ｂ，６ｂの光源及びセンサをそれぞれ４つのみ図示しているが、実際にはより多く並設されているものとする。
第１の検査部４は、リニアモータ等の図示しない駆動部によって、基板搬送方向（矢印Ｄ１）の両端近傍に位置する直線ガイド部７，７に沿って、ガラス基板２に追従して基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動する。また、第１の検査部４は、可動ベース部８，８がリニアモータ等によりガラス基板２に追従して基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動することで直線ガイド部７，７と共に基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動する。
【００２１】
ここで、可動ベース部８，８が基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動する速度Ｓは、ガラス基板２が搬送路３上を基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動する速度Ｓと同一となっている。
そのため、第１の検査部４は、可動ベース部８，８の移動によって基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動すると共に直線ガイド部７，７に沿って基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動することで、基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に、即ち基板搬送方向（矢印Ｄ１）から基板幅方向（矢印Ｄ２）に傾斜した方向に移動し、搬送路３上を搬送されているガラス基板２を、基板幅方向（矢印Ｄ２）へライン状に検査することが可能となっている。
【００２２】
なお、第１の検査部４が基板幅方向（矢印Ｄ２）へ移動する速度は、可動ベース部８がその移動可能距離を移動する時間又はそれ以下の時間で、ガラス基板２の検査を終了することができるように適宜決定すればよい。
【００２３】
第２の検査部６は、固定式のガントリ５の底面に固定され、搬送中のガラス基板２を、基板幅方向（矢印Ｄ２）に平行なライン状に、基板搬送方向（矢印Ｄ１）の反対方向へ検査する。
【００２４】
以下、基板検査装置１によるガラス基板２の検査について説明する。
図２は、基板検査装置１によるガラス基板２の検査を説明するための概略平面図である。
【００２５】
まず、図示しない搬送ロボット等により、ガラス基板２が搬送路３上に載置される。そして、ガラス基板２は、搬送路３上を速度Ｓで基板搬送方向（矢印Ｄ１）に搬送される。
次に、図１に示すように第１の検査部４の下方にガラス基板２が搬送されてくると、図２に示すように、可動ベース部８，８は、ガラス基板２´に追従してガラス基板２´の搬送速度Ｓと同一速度Ｓで基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動する。また、第１の検査部４は、図示しない駆動部により直線ガイド部７，７に沿って基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動する。
【００２６】
これにより、第１の検査部４は、基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に、即ち基板搬送方向（矢印Ｄ１）から基板幅方向（矢印Ｄ２）に傾斜した方向に移動し（第１の検査部４´）、搬送路３上を搬送されているガラス基板２´を、基板幅方向（矢印Ｄ２）へ、基板搬送方向（矢印Ｄ１）に平行なライン状に検査する。
【００２７】
第１の検査部４が基板幅方向（矢印Ｄ２）へガラス基板２の検査を行った後には、ガラス基板２´は、そのまま速度Ｓでガントリ５の下方を通過する。この通過の際に、第２の検査部６は、基板幅方向（矢印Ｄ２）に平行なライン状に、基板搬送方向（矢印Ｄ１）の反対方向へガラス基板２の検査を行う。
【００２８】
第２の検査部６がガラス基板２の検査を行っている間には、第１の検査部４は、直線ガイド部７，７に沿って基板幅方向（矢印Ｄ２）の反対方向に移動すると共に、可動ベース部８，８の移動により基板搬送方向（矢印Ｄ１）の反対方向に移動することで、新たに搬送されてくるガラス基板２の検査を開始する待機位置に移動する。
【００２９】
以上説明した本実施の形態では、第１の検査部４は、ガラス基板２に追従して基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動しながら、基板搬送方向（矢印Ｄ１）に延びるライン状にガラス基板２の検査を行う。
【００３０】
これにより、ガラス基板２を回転機構により回転させてガラス基板２の向きを変えることなく、基板幅方向（矢印Ｄ２）へライン状にガラス基板２の検査を行うことができるため、回転機構を設ける必要がなく、したがって、回転機構分の省スペース化を図ることができると共に、ガラス基板２の回転動作に要する時間及び基板搬送方向（矢印Ｄ１）を切り替えてガラス基板２を搬送する時間を短縮することができる。
【００３１】
よって、本実施の形態によれば、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向（矢印Ｄ１）を横断する基板幅方向（矢印Ｄ２）へライン状にガラス基板２を検査することができる。
また、本実施の形態では、第２の検査部６は、基板幅方向（矢印Ｄ２）に延びるライン状に、基板搬送方向（矢印Ｄ１）の反対方向へガラス基板２の検査を行う。そのため、第１の検査部４により基板幅方向（矢印Ｄ２）へガラス基板２の検査を行うことができると共に、第２の検査部６により基板搬送方向（矢印Ｄ１）の反対方向へガラス基板２の検査を行うことができる。したがって、一方向からの検査では検出しづらい欠陥をも検出することができ、より一層精度良くガラス基板２の検査を行うことができる。
【００３２】
また、本実施の形態では、第１の検査部４は、基板搬送方向（矢印Ｄ１）にはガラス基板２の搬送速度Ｓと同一速度Ｓで移動しながらガラス基板２の検査を行う。したがって、複雑な画像処理を要することなくガラス基板２の検査を行うことができる。
【００３３】
また、本実施の形態では、第１の検査部４は、直線ガイド部７，７に沿って基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動すると共に、可動ベース部８，８による直線ガイド部７，７の移動によって基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動する。したがって、第１の検査部４を容易に基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動させてガラス基板２の検査を行うことができる。
【００３４】
なお、本実施の形態では、ガラス基板２からの反射光を検出部４ｂ，６ｂにより検出する構成を説明したが、ライン状照明部４ａ，６ａをガラス基板２の下方に配置し、ガラス基板２を透過した光を検出部４ｂ，６ｂにより検出する構成としてもよい。
【００３５】
また、本実施の形態では、可動ベース部（駆動部）８，８自体が移動してガラス基板２を基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動させる構成について説明したが、直線ガイド部７，７のみを基板搬送方向（矢印Ｄ１）に移動させる構成としてもよい。
【００３６】
＜他の実施の形態＞
本実施の形態は、第１の検査部４を移動させるための構成を除いて上記一実施の形態と概ね同様であるため、同一又は同様の構成については図３及び図４に同一の符号を付して説明を省略する。
【００３７】
図３は、本発明の他の実施の形態に係る基板検査装置１１を示す概略平面図である。
同図に示す基板検査装置１１は、上記一実施の形態において述べた直線ガイド部７，７及び可動ベース部８，８に代えて、基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に、即ち基板搬送方向（矢印Ｄ１）から基板幅方向（矢印Ｄ２）に傾斜した方向に延びる１対の傾斜ガイド部１７，１７を備える。
【００３８】
第１の検査部４は、基板搬送方向（矢印Ｄ１）の両端近傍で傾斜ガイド部１７，１７に懸架され、リニアモータ等の図示しない駆動部によって、ガラス基板２に追従して、傾斜ガイド部１７，１７に沿って基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動する。
【００３９】
ここで、第１の検査部４が傾斜ガイド部１７，１７に沿って移動する速度のうち基板搬送方向（Ｄ１）成分の速度Ｓは、ガラス基板２の搬送速度Ｓと同一となっている。
そのため、第１の検査部４は、傾斜ガイド部１７，１７に沿って基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動することで、搬送路３上を搬送されているガラス基板２を、基板幅方向（矢印Ｄ２）へライン状に検査することが可能となっている。
【００４０】
以下、基板検査装置１１によるガラス基板２の検査について説明する。
図４は、基板検査装置１１によるガラス基板２の検査を説明するための概略平面図である。
【００４１】
まず、図示しない搬送ロボット等により、ガラス基板２が搬送路３上に載置される。そして、ガラス基板２は、搬送路３上を速度Ｓで基板搬送方向（矢印Ｄ１）に搬送される。
次に、図３に示すように第１の検査部４の下方にガラス基板２が搬送されてくると、第１の検査部４は、図４に示すように、ガラス基板２´に追従して、傾斜ガイド１７，１７に沿って基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に、即ち基板搬送方向（矢印Ｄ１）から基板幅方向（矢印Ｄ２）に傾斜した方向に移動する（第１の検査部４´）。
【００４２】
この際、第１の検査部４が傾斜ガイド部１７，１７に沿って移動する速度のうち基板搬送方向（Ｄ１）成分の速度Ｓは、ガラス基板２の搬送速度Ｓと同一であるため、第１の検査部４は、搬送路３上を搬送されているガラス基板２´を、基板幅方向（矢印Ｄ２）へ、基板搬送方向（矢印Ｄ１）に平行なライン状に検査する。
【００４３】
第１の検査部４が基板幅方向（矢印Ｄ２）へガラス基板２´の検査を行った後には、ガラス基板２は、そのまま速度Ｓでガントリ５の下方を通過する。この通過の際に、第２の検査部６は、基板幅方向（矢印Ｄ２）に平行なライン状に、基板搬送方向（矢印Ｄ１）の反対方向へガラス基板２の検査を行う。
【００４４】
第２の検査部６がガラス基板２の検査を行っている間には、第１の検査部４は、新たに搬送されてくるガラス基板２の検査を開始する待機位置に向かって、傾斜ガイド部１７，１７に沿って反対方向に移動する。
【００４５】
以上説明した本実施の形態においても、第１の検査部４は、ガラス基板２に追従して基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動しながら、基板搬送方向（矢印Ｄ１）に延びるライン状にガラス基板２の検査を行う。よって、本実施の形態によっても、省スペース且つ短時間で、基板搬送方向（矢印Ｄ１）を横断する基板幅方向（矢印Ｄ２）へライン状にガラス基板２を検査することができる。
【００４６】
また、本実施の形態では、第１の検査部４は、傾斜ガイド部１７，１７に沿って基板搬送方向（矢印Ｄ１）で且つ基板幅方向（矢印Ｄ２）に移動する。そのため、第１の検査部４を移動させる構成が簡素となり、より一層、基板検査装置１１を省スペースな構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板検査装置を示す概略平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る基板検査装置によるガラス基板の検査を説明するための概略平面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態に係る基板検査装置を示す概略平面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態に係る基板検査装置によるガラス基板の検査を説明するための概略平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１      基板検査装置
２      ガラス
３      搬送路
４      第１の検査部
４ａ      ライン状照明部
４ｂ      検出部
５      ガントリ
６      第２の検査部
６ａ      ライン状照明部
６ｂ      検出部
７      直線ガイド部
８      可動ベース部
１１      基板検査装置
１７      傾斜ガイド部
【図１】
2010066241.tif 000003
【図３】
2010066241.tif 000004
【図２】
2010066241.tif 000005
【図４】
2010066241.tif 000006