(57)【要約】【課題】半田耐熱性の低い実装基板に対してでも、実装の信頼性を確保しながら高いＴｊｍａｘの半導体装置を実装することを目的とする。【解決手段】半導体チップ５を接着する放熱板３とリード８を電気的かつ熱的に分離することにより、半導体チップ５からの発熱がリード側に伝熱しにくくなるため、半田耐熱性の低い実装基板に対してでも、実装の信頼性を確保することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップを搭載して半導体装置となるリードフレームであって、
前記半導体チップを搭載しながら前記半導体チップから発生する熱を放熱する放熱板と、
前記放熱板と離して形成され前記半導体装置の外部端子となるリードと
を有することを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
前記放熱板と前記リードとを固定する吊りリードをさらに有し、前記半導体装置の形成工程にて前記吊りリードが切り離されることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記半導体チップのジャンクション温度が１２５度以上であることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のリードフレーム。
【請求項４】
前記半導体チップがパワーデバイスであることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のリードフレーム。
【請求項５】
前記半導体チップが窒化物半導体あるいは炭化珪素半導体であることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のリードフレーム。
【請求項６】
前記放熱板が外部ヒートシンクとの機械的な接続が可能であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のリードフレーム。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれかに記載のリードフレームの前記放熱板にチップ接着剤を介して前記半導体チップを搭載してなる半導体装置であって、
前記リードと前記半導体チップの電極パッドとを電気的に接続するチップ−リード間接続材と、
前記リードを固定しながら前記半導体チップの任意の領域を覆うように設けられるモールド樹脂と
を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
前記リードが、前記チップ接着材の熱伝導率よりも低い材料により形成されることを特徴とする請求項７記載の半導体装置。
【請求項９】
前記チップ−リード間接続材が、前記チップ接着材の熱伝導率よりも低い材料により形成されることを特徴とする請求項７または請求項８のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記チップ−リード間接続材が、ワイヤあるいはクランプ材であることを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれかに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱板とリードからなるリードフレームと、このリードフレームの放熱板上に半導体チップを搭載してなる半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パワーＭＯＳＦＥＴ（金属酸化物電界効果トランジスタ）など電力用に用いられる半導体装置は、リードフレーム上に半導体チップがマウントされ、この半導体チップの表面側の電極とリードフレームとがワイヤ或いは板状の導電性金属板によって接続され、リードフレーム全体がモールド樹脂で覆われている構造である。
【０００３】
このような半導体装置の従来例を図３に従い説明する。
図３は従来の半導体装置の構成を示す図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）の側面からの断面図である。
【０００４】
図３に示すように、基板支持体３１上にチップ３２が半田などによりダイボンディングされ、チップ３２表面の電極と外部リード３３とを細線３４により接続する。基板支持体３１とチップ３２と外部リード３３及び細線３４は絶縁樹脂３９により覆われることにより半導体装置が形成される（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平２−１３９９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような従来のリードフレームを用いる場合、基板支持体３１と中央の外部リード３３が接続されているため、基板支持体３１である放熱板と電極が一体となっており、半導体チップ３２から発生した熱は基板支持体３１と中央の外部リード３３に伝熱していく。半導体チップ３２から発生した熱が外部リード３３へ伝わってしまうと、実装基板の半田耐熱性が一般的には９５〜１０５℃程度しかない為に、半導体チップ３２の温度が高温になった場合には実装不良になる可能性があり、高いＴｊｍａｘ（最大許容ジャンクション温度）となる半導体装置を実現することが出来なかった。
【０００６】
また、近年、窒化物半導体や炭化珪素半導体といったワイドバンドギャップ半導体の開発が盛んに行われている。これらの半導体はワイドバンドギャップ材料である為に、大電力動作が可能である。また、チップサイズが小さいのでデバイスの動作温度はより高温となり、１２５℃〜２００℃といった高温での動作が可能である。しかし、ワイドバンドギャップ半導体もまた、実装基板の半田耐熱性が９５〜１０５℃程度しかないことから、現状のリードフレーム構造では高いＴｊｍａｘを活かすことが出来なかった。このように、半導体装置の動作温度が高くなり、Ｔｊｍａｘが実装基板の半田耐温よりも高くなった場合には、Ｔｊｍａｘまで半導体装置を動作させることができないという問題点があった。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑み、半田耐熱性の低い実装基板に対してでも、実装の信頼性を確保しながら高いＴｊｍａｘの半導体装置を実現できるリードフレーム及び半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成する為、本発明のリードフレームは、半導体チップを搭載して半導体装置となるリードフレームであって、前記半導体チップを搭載しながら前記半導体チップから発生する熱を放熱する放熱板と、前記放熱板と離して形成され前記半導体装置の外部端子となるリードとを有することを特徴とする。
【０００９】
また、前記放熱板と前記リードとを固定する吊りリードをさらに有し、前記半導体装置の形成工程にて前記吊りリードが切り離されることを特徴とする。
また、前記半導体チップのジャンクション温度が１２５度以上であることを特徴とする。
【００１０】
また、前記半導体チップがパワーデバイスであることを特徴とする。
また、前記半導体チップが窒化物半導体あるいは炭化珪素半導体であることを特徴とする。
【００１１】
また、前記放熱板が外部ヒートシンクとの機械的な接続が可能であることを特徴とする。
さらに、本発明の半導体装置は、前記リードフレームの前記放熱板にチップ接着剤を介して前記半導体チップを搭載してなる半導体装置であって、前記リードと前記半導体チップの電極パッドとを電気的に接続するチップ−リード間接続材と、前記リードを固定しながら前記半導体チップの任意の領域を覆うように設けられるモールド樹脂とを有することを特徴とする。
【００１２】
また、前記リードが、前記チップ接着材の熱伝導率よりも低い材料により形成されることを特徴とする。
また、前記チップ−リード間接続材が、前記チップ接着材の熱伝導率よりも低い材料により形成されることを特徴とする。
【００１３】
また、前記チップ−リード間接続材が、ワイヤあるいはクランプ材であることを特徴とする。
以上により、半田耐熱性の低い実装基板に対してでも、実装の信頼性を確保しながら高いＴｊｍａｘの半導体装置を実装できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、半導体チップを接着する放熱板とリードを電気的かつ熱的に分離することにより、半導体チップからの発熱がリード側に伝熱しにくくなるため、半田耐熱性の低い実装基板に対してでも、実装の信頼性を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明のリードフレーム及び半導体装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の構成図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の側面からの断面図である。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態に係るリードフレーム１において半導体チップ５が放熱板３に接着されていない状態では、放熱部２とリード部９は直接接しておらず、放熱板３とリード８が離れて形成されており、半導体チップ５で発生した熱は放熱部２からリード８に伝導し難くなっている。
【００１７】
実装工程は、まず放熱板３上に電極パッド６を有する半導体チップ５がチップ接着材１０により接着される。また、放熱板３に外部のヒートシンクと機械的な接続を可能とするネジ穴や穴といった機構を設けてもよく、放熱板３に外部のヒートシンクを接続した場合、半導体チップ５で発熱した熱をヒートシンクへ放熱させることができ、さらに半導体チップ５の熱をリード８へ伝えにくくすることが可能となる。次に、電極パッド６とリード８とは接続材としてＡｕ、Ａｌなどのワイヤ７により電気的に接続され、最後に、モールド樹脂４にて封止される。モールド樹脂４は少なくともリード８を固定するように設けられ、さらに、ワイヤ７や半導体チップ５の任意の領域に設けられる。例えば、半導体チップ５が半導体レーザチップの場合には、レーザが出力する領域を開口して樹脂封止される。また、ワイヤ７の代わりにＡｕ、Ａｌ、Ｃｕ等の材料からなるリボンやクランプ材を用いても良い。
【００１８】
ここで、放熱板３とリード８が分離されているので半導体装置の実装が困難となる。そのため、実装装置において、放熱板３とリード８を固定して工程が行われる。また、リードフレーム１の放熱板３とリード８に、半導体チップ５の実装安定性を向上させる為にそれぞれ隣のフレーム間や放熱板３とリード８との間を支える吊りリードを形成することもできる。この吊りリードは実装時の安定性を向上させるものである為、最終工程で切り離され、放熱板３とリード８が離される。
【００１９】
このように、放熱板１３とリード１８とを離して形成することにより、半導体チップ５で発生した熱の放熱経路は主として放熱板３へ向かい、リード８への伝熱を抑制する効果が得られる。例えば、最大許容ジャンクション温度が１２５℃以上の半導体チップ５を放熱板３上に搭載した半導体装置を、半田耐熱性が９５℃程度の実装基板に搭載した場合でも、放熱板３とリード８とが接続していないために、半導体チップ５の発熱量が大きくても熱がリード８を介して実装基板との接続部まで伝熱することがなく、半導体チップ５の発熱によって半田実装部が高温になることがないので、実装不具合を抑制することができる。
【００２０】
半導体チップ５は、どのようなものを用いても良いが、例えば最大許容ジャンクション温度が１２５℃以上と発熱量が非常に大きくなるシリコンパワーデバイスや窒化物半導体あるいは炭化珪素半導体といったワイドバンドギャップ半導体で特に大きな効果が得られる。チップ接着材１０は、どの様な材料を用いても良いが、エポキシ系樹脂で形成された導電性ペーストやＳｎ系のＰｂフリー半田、Ｓｎ−Ｐｂ系共晶半田、Ａｕ−ＳｎやＡｕ−Ｓｉ等のその他共晶半田を用いると良い。また、リード８はどのような材料を用いても良いが、半導体チップ５で発熱した熱を放熱板３へ伝熱させるために、例えばコバール（熱伝導率：１９．７Ｗ／ｍＫ）やインバー（熱伝導率：１３．４Ｗ／ｍＫ）などのチップ接着材１０よりも熱伝導率が低い材料を用いると良い。また、ワイヤ７として、リード８への伝熱を抑制するために、チップ接着材１０よりも熱伝導率が低い材料を用いることが好ましい。
【００２１】
以上のように、リードフレームにおいて、半導体チップ搭載部にもなる放熱板と外部端子となるリードとが互いに接続されることなく分離された構成とすることにより、最大許容ジャンクション温度が高い半導体チップを搭載した場合でも、半導体チップからの発熱が外部端子に伝熱されることが抑制され、半田耐熱性が低い実装基板に搭載したとしても実装不良となることを抑制することができる。
【００２２】
（第２の実施形態）
図２は本発明の第２の実施形態に係る半導体装置の構成図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の側面からの断面図である。
【００２３】
図２に示すように、リードフレーム１１において半導体チップ１５が放熱板１３に接着されていない状態では、放熱部１２とリード部１９は直接接しておらず、放熱板１３と低熱伝導率材料を用いたリード１８が離れて形成されており、半導体チップ１５で発生した熱は放熱部１２からリード１８に伝導し難くなっている。
【００２４】
実装工程は、まず放熱板１３上に電極パッド１６を有する半導体チップ１５がチップ接着材２１により接着される。また、放熱板１３に外部のヒートシンクと機械的な接続を可能とするネジ穴や穴といった機構を設けてもよく、放熱板１３に外部のヒートシンクを接続した場合、半導体チップ１５で発熱した熱をヒートシンクへ放熱させることができ、さらに半導体チップ１５の熱をリード１８へ伝えにくくすることが可能となる。次に、電極パッド１６とリード１８とは接続材として低熱伝導率材料を用いたクランプ材１７によりクランプ材接着材２０を用いて電気的に接続され、最後に、モールド樹脂１４にて封止される。モールド樹脂１４は少なくともリード１８を固定するように設けられ、さらに、ワイヤ１７や半導体チップ１５の任意の領域に設けられる。例えば、半導体チップ１５が半導体レーザチップの場合には、レーザが出力する領域を開口して樹脂封止される。
【００２５】
ここで、放熱板１３とリード１８が分離されているので半導体装置の実装が困難となる。そのため、実装装置において、放熱板１３とリード１８を固定して工程が行われる。また、リードフレーム１１の放熱板１３とリード１８に、半導体チップ１５の実装安定性を向上させる為にそれぞれ隣のフレーム間や放熱板１３とリード１８との間を支える吊りリードを形成することもできる。この吊りリードは実装時の安定性を向上させるものである為、最終工程で切り離され、放熱板１３とリード１８が離される。
【００２６】
このように、放熱板１３とリード１８とを離して形成することにより、半導体チップ１５で発生した熱の放熱経路は主として放熱板１３へ向かい、低熱伝導率材料を用いたクランプ材１７とリード１８への伝熱を抑制する効果が得られる。
【００２７】
例えば、最大許容ジャンクション温度が１２５℃以上の半導体チップ１５を放熱板１３上に搭載した半導体装置を、半田耐熱性が９５℃程度の実装基板に搭載した場合でも、放熱板１３とリード１８とが接続していないために、半導体チップ１５の発熱量が大きくても熱がリード１８を介して実装基板との接続部まで伝熱することがなく、半導体チップ１５の発熱によって半田実装部が高温になることがないので、実装不具合を抑制することができる。
【００２８】
半導体チップ１５は、どのようなものを用いても良いが、例えば最大許容ジャンクション温度が１２５℃以上と発熱量が非常に大きくなるシリコンパワーデバイスや窒化物半導体あるいは炭化珪素半導体といったワイドバンドギャップ半導体で特に大きな効果が得られる。クランプ材接着材２０とチップ接着材２１は、どの様な材料を用いても良いが、エポキシ系樹脂で形成された導電性ペーストやＳｎ系のＰｂフリー半田、Ｓｎ−Ｐｂ系共晶半田、Ａｕ−ＳｎやＡｕ−Ｓｉ等のその他共晶半田を用いると良い。クランプ材１７とリード１８は、どのような材料を用いても良いが、半導体チップ１５で発熱した熱を放熱板１３へ伝熱させるために、例えばコバール（熱伝導率：１９．７Ｗ／ｍＫ）やインバー（熱伝導率：１３．４Ｗ／ｍＫ）などのチップ接着材２１よりも熱伝導率が低い材料を用いると良い。また、クランプ材の代わりにＡｕ、Ａｌ、Ｃｕ等の材料からなるワイヤやリボンを用いても良い。
【００２９】
以上のように、リードフレームにおいて、半導体チップ搭載部にもなる放熱板と外部端子となるリードとが互いに接続されることなく分離された構成とすることにより、最大許容ジャンクション温度が高い半導体チップを搭載した場合でも、半導体チップからの発熱が外部端子に伝熱されることが抑制され、半田耐熱性が低い実装基板に搭載したとしても実装不良となることを抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明は、半田耐熱性の低い実装基板に対してでも、実装の信頼性を確保しながら高いＴｊｍａｘの半導体装置を実装でき、放熱板とリードからなるリードフレームや、このリードフレームの放熱板上に半導体チップを搭載してなる半導体装置等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の構成図
【図２】本発明の第２の実施形態に係る半導体装置の構成図
【図３】従来の半導体装置の構成を示す図
【符号の説明】
【００３２】
１    リードフレーム
２    放熱部
３    放熱板
４    モールド樹脂
５    半導体チップ
６    電極パッド
７    ワイヤ
８    リード
９    リード部
１０    チップ接着材
１１    リードフレーム
１２    放熱部
１３    放熱板
１４    モールド樹脂
１５    半導体チップ
１６    電極パッド
１７    クランプ材
１８    リード
１９    リード部
２０    クランプ材接着材
２１    チップ接着材
３１    基板支持体
３２    チップ
３３    外部リード
３４    細線
３９    絶縁樹脂
【図１】
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【図２】
2010098144.tif 000004
【図３】
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