(57)【要約】【課題】  圧電アクチュエータを有してスウェイ方向への微小移動が可能なヘッドサスペンションにおいて、前記圧電素子を支持する受け部材の部品点数を削減し、製作工程を簡略化し、組み立て精度を高めることである。【解決手段】  ヘッドサスペンションの基部の面に接して圧電素子を収容するための開口部の内側にせり出して前記圧電素子の両端部を支えるための支持部を有する受け部材を設け、前記受け部材の両端の支持部（基部側と磁気ヘッド側）を圧電素子の外周部で連結して一体化した構造とすることにより課題を解決した。【選択図】図１
2010192010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部とロードビームと前記ロードビーム先端に取り付けられた磁気ヘッドとを有し、前記基部と前記ロードビームとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータを有するヘッドサスペンションにおいて、
前記基部は前記圧電素子を収容するための開口部を有し、
前記基部の面に接して取り付けられて前記開口部の前記基部側の内側にせり出して前記圧電素子を支える基部側の支持部と前記開口部の前記磁気ヘッド側の内側にせり出して前記圧電素子を支える磁気ヘッド側の支持部とが前記圧電素子の外側に配された受け部連結部により一体化している受け部材を有する
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項２】
請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
前記基部の前記開口部のサスペンション長手方向と平行な両端側は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に凸状に張り出した基部連結部を有し、
前記受け部材の前記受け部連結部は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に前記基部連結部と重ならないように凸状に張り出している
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項３】
請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
前記基部の前記開口部のサスペンション長手方向と平行な両端側は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に凸状に張り出した基部連結部を有し、
前記受け部材の前記受け部連結部は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に前記基部連結部と重なるよう凸状に張り出して前記基部連結部と固定されている
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項４】
請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
前記受け部材の前記受け部連結部は、波型の形状に成形されている
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
前記受け部材と前記ロードビームとは一体化して形成されている
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
前記受け部材の前記圧電素子の前記サスペンション長手方向と平行な端部下側に、前記端部の端面を接着剤で覆う土台となる接着剤受け部を有する
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【請求項７】
請求項６記載のヘッドサスペンションであって、
前記接着剤受け部は、前記基部側の支持部と前記磁気ヘッド側の支持部との両端から延長されてその間には空隙が存在する
ことを特徴とするヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスク装置用のヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等を備えたディスク装置において、ディスクの記録面にデータを記録したりデータを読取るために磁気ヘッドが使われている。この磁気ヘッドは、ディスクの記録面と対向するスライダと、スライダに内蔵されたトランスジューサなどを含んでおり、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上し、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。前記磁気ヘッドを保持するためのサスペンションは、ロードビームと呼ばれるビーム部材と、ロードビームに固定された極薄い板ばねからなるフレキシャと、ロードビームの基部に設けるベースプレートなどを備えている。フレキシャの先端部に磁気ヘッドを構成するスライダが装着される。
【０００３】
ハードディスク装置（ＨＤＤ）においては、ディスクのトラック中心をトラック幅の±１０％以下でフォローイング制御を行う必要がある。近年のディスクの高密度化によってトラック幅は０．１μｍ以下になりつつあり、スライダをトラック中心に保つことが困難になる傾向がある。このためディスクの剛性を上げるなどの低振動化を図るだけでなく、スライダの位置制御をさらに正確に行う必要が生じている。
【０００４】
従来のディスク装置は、一般にボイスコイルモータのみによってサスペンションを動かすシングル・アクチュエータ方式であった。この方式では、低い周波数帯域に多くの共振ピークが存在するため、ボイスコイルモータのみによってサスペンション先端のスライダ（ヘッド部）を高い周波数帯域で制御することが困難であり、サーボのバンド幅を上げることができなかった。
【０００５】
そこでボイスコイルモータ以外に、圧電アクチュエータ部を備えたデュアル・アクチュエータ方式のサスペンションが開発されている。圧電アクチュエータ部は、第２のアクチュエータによってロードビームの先端側あるいはスライダをサスペンションの幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微量だけ動かすようにしている。
【０００６】
この第２のアクチュエータによって駆動される可動部は、シングル・アクチュエータ方式に比べてかなり軽量であるため、スライダを高い周波数帯域で制御することができる。このため、スライダの位置制御を行うサーボのバンド幅をシングル・アクチュエータ方式と比較して数倍高くすることができ、その分、トラックミスを少なくすることが可能となる。
【０００７】
前記第２のアクチュエータの材料としては、ＰＺＴと呼ばれるジルコンチタン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の固溶体）などの圧電セラミック素子が適していることが知られている。ＰＺＴは共振周波数が著しく高いため、デュアル・アクチュエータ方式における第２のアクチュエータに適している。この圧電セラミック素子は、絶縁性接着剤によってアクチュエータベースに固定される。
【０００８】
これらの圧電素子によるアクチュエータ（圧電アクチュエータと呼ぶ）を備えたヘッドサスペンションにおいては、例えば、図８に示すようにベースプレートＰｘ１３上に設けたエッチングによる窪みＰｘ９９に圧電素子Ｐｘ４０を装着する方法（特許文献１参照）や、図９に示すようにベースプレートＰｙ３１の下部に基部側受け部材Ｐｙ１９−１と磁気ヘッド側受け部材Ｐｙ１９−２を設けて、上記受け部材の上に圧電素子Ｐｙ４０を支持する方法（特許文献２参照）や、図１０に示すようにベースプレートＰｚ１３の下部に設けた受け部材Ｐｚ１９の基部側と磁気ヘッド側の間を中心軸状で連結するブリッジ部ＰｚＢを設ける方法（特許文献３参照）等があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−３０７４４２号公報
【特許文献２】特開２００２−５０１４０号公報
【特許文献３】特開２００２−１８４１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１の方法では、図７（Ａ）に示すように、圧電素子Ｐｘ４０の厚み方向の剛性中心軸Ｃ１とベースプレートＰｘ１３の厚み方向の剛性中心軸Ｃ２が一致しないため、圧電アクチュエータのスウェイ方向のねじれやベンディング方向の曲げ振動が生じる問題がある。
【００１１】
また、特許文献２の方法では、受け部材Ｐｙ１９−１とＰｙ１９−２が２つの部材に分かれてしまい、部品点数が増えてしまうこと、工程数が増えてしまうことなどの問題やそれに伴う取り付け精度の劣化や、コスト高の問題がある。
【００１２】
また、特許文献３の方法は、圧電素子Ｐｚ４０が二つに分かれたタイプにおいては中間部にブリッジ部ＰｚＢを設けて部品点数を削減することは可能であったが、ひとつの圧電素子により圧電アクチュエータを構成するタイプでは、配線の都合上や素子とブリッジ部の摺動の問題から中央にブリッジを配置する構成はとれない場合がある。
【００１３】
解決しようとする課題は、圧電アクチュエータを有してスウェイ方向への微小移動が可能なヘッドサスペンションにおいて、前記圧電素子を支持する受け部材の部品点数を削減し、製作工程を簡略化し、組み立て精度（位置決め精度）を高め、圧電アクチュエータのスウェイ方向のねじれやベンディング方向の曲げ振動を無くすことである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のヘッドサスペンションは、基部とロードビームと前記ロードビーム先端に取り付けられた磁気ヘッドとを有し、前記基部と前記ロードビームとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータを有するヘッドサスペンションにおいて、前記基部は前記圧電素子を収容するための開口部を有し、前記基部の面に接して取り付けられて前記開口部の前記基部側の内側にせり出して前記圧電素子を支える基部側の支持部と前記開口部の前記磁気ヘッド側の内側にせり出して前記圧電素子を支える磁気ヘッド側の支持部とが前記圧電素子の外側に配された受け部連結部により一体化している受け部材を有することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記基部の前記開口部のサスペンション長手方向と平行な両端側は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に凸状に張り出した基部連結部を有し、前記受け部材の前記受け部連結部は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に前記基部連結部と重ならないように凸状に張り出していることを特徴としてもよい。
【００１６】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記基部の前記開口部のサスペンション長手方向と平行な両端側は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に凸状に張り出した基部連結部を有し、前記受け部材の前記受け部連結部は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に前記基部連結部と重なるよう凸状に張り出して前記基部連結部と固定されていることを特徴としてもよい。
【００１７】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記受け部材の前記受け部連結部は、波型の形状に成形されていることを特徴としてもよい。
【００１８】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記受け部材と前記ロードビームとは一体化して形成されていることを特徴としてもよい。
【００１９】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記受け部材の前記圧電素子の前記サスペンション長手方向と平行な端部下側に、前記端部の端面を接着剤で覆う土台となる接着剤受け部を有することを特徴としてもよい。
【００２０】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記接着剤受け部は、前記基部側の支持部と前記磁気ヘッド側の支持部との両端から延長されてその間には空隙が存在することを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のヘッドサスペンションは、基部とロードビームと前記ロードビーム先端に取り付けられた磁気ヘッドとを有し、前記基部と前記ロードビームとの間に介在させて設けられ、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータを有するヘッドサスペンションにおいて、前記基部は前記圧電素子を収容するための開口部を有し、前記基部の面に接して取り付けられて前記開口部の前記基部側の内側にせり出して前記圧電素子を支える基部側の支持部と前記開口部の前記磁気ヘッド側の内側にせり出して前記圧電素子を支える磁気ヘッド側の支持部とが前記圧電素子の外側に配された受け部連結部により一体化している受け部材を有することを特徴とする。
【００２２】
このため、ヘッドサスペンションの部品点数を削減し、製作工程の簡略化と低コスト化を実現する。また、製作時のハンドリングを容易にし、組み立て精度を向上する。圧電素子の電極と受け部との間での電気的ショートを抑制する。圧電セラミック素子と圧電アクチュエータの剛性中心軸を容易に一致させることが可能となる。
【００２３】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記基部の前記開口部のサスペンション長手方向と平行な両端側は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に凸状に張り出した基部連結部を有し、前記受け部材の前記受け部連結部は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に前記基部連結部と重ならないように凸状に張り出していることを特徴としてもよい。
【００２４】
このため、受け部連結部と基部連結部は重ならないため、両部の衝突による塵埃の発生を抑制する。
【００２５】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記基部の前記開口部のサスペンション長手方向と平行な両端側は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に凸状に張り出した基部連結部を有し、前記受け部材の前記受け部連結部は、前記サスペンション長手方向中心軸から外側に前記基部連結部と重なるよう凸状に張り出して前記基部連結部と固定されていることを特徴としてもよい。
【００２６】
このため、受け部連結部と基部連結部は結合されて動作するため、振動による塵埃の発生を抑制する。
【００２７】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記受け部材の前記受け部連結部は、波型の形状に成形されていることを特徴としてもよい。
【００２８】
このため、厚み方向の剛性を下げずにスウェイ方向の剛性を下げることが可能となる。
【００２９】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記受け部材と前記ロードビームとは一体化して形成されていることを特徴としてもよい。
【００３０】
このため、さらに部品点数を削減可能となり、製作工程の簡略化と低コスト化を実現する。また、製作時のハンドリングを容易にし、組み立て精度を向上する。
【００３１】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記受け部材の前記圧電素子の前記サスペンション長手方向と平行な端部下側に、前記端部の端面を接着剤で覆う土台となる接着剤受け部を有することを特徴としてもよい。
【００３２】
このため、圧電素子の側面を接着剤で覆うことにより、塵埃の発生を抑制することが可能である。
【００３３】
また、本発明のヘッドサスペンションの前記接着剤受け部は、前記基部側の支持部と前記磁気ヘッド側の支持部との両端から延長されてその間には空隙が存在することを特徴としてもよい。
【００３４】
このため、スウェイ方向の剛性を上げることなく、接着剤により圧電素子の側面を覆うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】（Ａ）本発明の実施例１のヘッドサスペンションを構成する３つの主要部品の下面図（磁気ディスク側から見た図）である。（Ｂ）本発明の実施例１のヘッドサスペンションの下面図である。（Ｃ）本発明の実施例１のヘッドサスペンションのアクチュエータ部の上面図である。
【図２】本発明の実施例１のヘッドサスペンションのアクチュエータ部の断面図である。
【図３】（Ａ）本発明の実施例２のヘッドサスペンションを構成する２つの主要部品の下面図（磁気ディスク側から見た図）である。（Ｂ）本発明の実施例２のヘッドサスペンションの下面図である。（Ｃ）本発明の実施例２のヘッドサスペンションのアクチュエータ部の上面図である。
【図４】本発明の実施例２のヘッドサスペンションのアクチュエータ部の断面図である。
【図５】（Ａ）本発明の実施例３のヘッドサスペンションを構成する２つの主要部品の下面図（磁気ディスク側から見た図）である。（Ｂ）本発明の実施例３のヘッドサスペンションの下面図である。
【図６】（Ａ）本発明の実施例４のヘッドサスペンションを構成する２つの主要部品の下面図（磁気ディスク側から見た図）である。（Ｂ）本発明の実施例４のヘッドサスペンションの下面図である。
【図７】（Ａ）従来例（特許文献１）のヘッドサスペンションのアクチュエータ部の断面図である。（Ｂ）本発明実施例２のヘッドサスペンションのアクチュエータ部の断面図である。
【図８】従来例（特許文献１）のヘッドサスペンションの斜視図である。
【図９】従来例（特許文献２）のヘッドサスペンションの下面図である。
【図１０】従来例（特許文献３）のヘッドサスペンションの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
圧電アクチュエータを有してスウェイ方向への微小移動が可能なヘッドサスペンションにおいて、前記圧電素子を支持する受け部材の部品点数を削減し、製作工程を簡略化し、組み立て精度を高める目的をヘッドサスペンションの基部の面に接して圧電素子を収容するための開口部の内側にせり出して前記圧電素子の両端部を支えるための支持部を有する受け部材を設け、前記受け部材の両端の支持部（基部側と磁気ヘッド側）を圧電素子の外周部で連結して一体化した構造とすることにより課題を解決した。
【実施例１】
【００３７】
以下に本発明の実施形態の実施例１としてのヘッドサスペンション１０Ａについて、図１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）と図２を参照して説明する。図１（Ａ）は、ヘッドサスペンションを構成する三つの主要部品である、ベースプレート１３ａ、受け部材１９ａ、ロードビーム１１ａの組み立て前の下面図（磁気ディスク側から見た図面）を示す。図１（Ｂ）に上記３部品の組み立て時の下面図、図１（Ｃ）に上記３部品に圧電素子である圧電セラミック素子４０を載せた状態の圧電アクチュエータ部分の上面図を示す。
【００３８】
図１（Ｂ）に示された圧電素子がひとつの圧電アクチュエータ方式のヘッドサスペンション１０Ａは、ベースプレート１３ａ（基部）、受け部材１９ａ、ロードビーム１１ａなどを備えている。ロードビーム１１ａは、厚さが例えば５０μｍ前後のばね性を有するステンレス鋼等の金属板からなる。ロードビーム１１ａにフレキシャ１５が取付けられる。フレキシャ１５はロードビーム１１ａよりもさらに薄い精密な金属製の薄板ばねからなる。フレキシャ１５の前端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ１６が設けられる。フレキシャ１５及びスライダ１６は、本発明の本質には直接関係無いので、図１（Ｂ）において他の本質的な箇所がよくわかるように一点鎖線で表記した。
【００３９】
ベースプレート１３ａは、厚さが例えば１５０μｍ前後のステンレス鋼等の金属板からなる。ベースプレート１３ａの基部側（磁気ヘッドの反対側）には円形のボス孔２１が形成されている。ベースプレート１３ａの基部側２０と前端部２２（図１（Ｃ））との間に、圧電セラミック素子４０を収容可能な大きさの開口部２３（図１（Ａ））が形成されている。ベースプレート１３ａの開口部２３の両側面には、ヘッドサスペンションの長手方向とは垂直遠心方向に略Ｕ字型に延びる（凸状に張り出した）基部連結部３１ａを有する。ベースプレート１３ａのボス孔２１は、図示しないボイスコイルモータによって駆動されるアクチュエータアームの先端部に固定され、ボイスコイルモータによって旋回駆動されるようになっている。
【００４０】
受け部材１９ａは厚さが例えば２０から３０μｍのステンレス鋼等の金属板からなる。受け部材１９ａは、前記開口部２３の内側にせり出す基部側の支持部３３ａと、磁気ヘッド側の支持部３５ａとを有し、この両方の支持部は、前記基部連結部３１ａの内側に重ならないように配置された受け部連結部３７ａで接続されている。この受け部連結部３７ａの形状は、前記基部連結部３１ａと同様にヘッドサスペンションの長手方向とは垂直遠心方向に略Ｕ字型に延びる（凸状に張り出した）形状となっているが、前記基部連結部３１ａの内側に配置されているため前記基部連結部３１ａとは、直接重ならない構造となっている。受け部材１９ａには、圧電セラミック素子４０のヘッドサスペンション長手方向に平行な両側面５４，５５（図１（Ｃ））の下側に前記両側面を接着剤で覆う際の接着剤の土台となる接着剤受け部３９ａ（図１（Ｂ））が設けられている。これら接着剤受け部３９ａは、受け部材の磁気ヘッド側と基部側の両側からせり出しているが、その間には隙間があり連続していない。
【００４１】
この受け部材１９ａは、ベースプレート１３ａの下面（磁気ディスク側）にレーザー溶接等により融着されて固定されている。
【００４２】
さらに、受け部材１９ａの下面にロードビーム１１ａが同じくレーザー溶接等により融着されて固定されている。
【００４３】
前記ベースプレート１３ａと受け部材１９ａと前記開口部２３に配置された圧電セラミック素子４０（圧電素子）から圧電アクチュエータ１２（図１（Ｃ））を構成している。
【００４４】
圧電セラミック素子４０は、例えば、ＰＺＴと呼ばれるジルコンチタン酸鉛からなるセラミック素子でできている。矩形の圧電セラミック素子４０は、その厚み方向の表面５０および裏面５１（図２に示す）と、長手方向の両端に位置する端面５２，５３と、両側面５４，５５（図１（Ｃ））とを有している。圧電セラミック素子は典型的には０．０７ｍｍから０．２０ｍｍ程度の厚さを有する。
【００４５】
これらの圧電セラミック素子４０は、ベースプレート１３ａの開口部２３に収容されている。圧電セラミック素子４０の両端面５２，５３は、開口部２３に挿入された状態において、それぞれ、ヘッドサスペンション１０Ａの長手方向両端の内面６０，６１との間に形成されるクリアランスを介して互いに対向している。
【００４６】
図２に示すように、圧電セラミック素子４０の表面５０と裏面５１に、それぞれ蒸着、スパッタリングあるいはメッキ等によって、金属等の導電材料からなる電極７０，７１が形成されている。一方の電極７０は、銀ペースト７２によってベースプレート１３ａに接地される。他方の電極７１にワイヤ７３が接続される。このワイヤ７３は、フレキシャ１５に設けられたフレキシブルな配線部材の端子７４にボンディングされる。
【００４７】
素子４０の一端部４０Ｘは、受け部材１９ａの支持部３５ａに、絶縁性接着剤８０によって固定される。素子４０の他端部４０Ｙは、受け部材１９ａの支持部３３ａに、絶縁性接着剤８０によって固定される。このとき絶縁性接着剤８０は、素子４０と圧電アクチュエータ１２の開口部２３の内面６０，６１との間にも充填される必要がある。これは素子４０の歪み（変位）をより効果的にロードビーム１１ａに伝えるためと、素子４０の端面５２，５３や側面５４，５５等とベースプレート１３ａとの絶縁を十分に確保するためである。さらに、接着剤は、受け部材１９ａの接着剤受け部３９ａ上で圧電セラミック素子４０の両側面５４、５５にも塗られる。
【００４８】
これら一対の圧電セラミック素子４０は、電圧が印加されたときに、素子４０の長手方向中心軸を中心に一方の片側が長手方向に伸びるとともに、他方片側の素子４０が長手方向に縮む。このように一対の圧電セラミック素子４０の歪む方向とストロークに応じて、ロードビーム１１側が幅方向（スウェイ方向；図１（Ｂ）の矢印Ｘ）に所望量だけ変位することになる。
【００４９】
この上記のスウェイ方向Ｘの動きをさせるために、ベースプレート１３ａは、基部連結部３１ａの略Ｕ字型構造により、基部側と先端側の間で面内の可撓性を持たせ、かつ面の厚さ方向には充分な剛性を持たせている。
【００５０】
同様にスウェイ方向Ｘの動きをさせるために、受け部材１９ａも受け部連結部３７ｂの略Ｕ字型構造により面内の可撓性を持たせている。
【００５１】
［実施例１の効果］
受け部材１９ａの基部側及び磁気ヘッド側が圧電セラミック素子の外周で受け部連結部３７ａにより接続されているために部品点数が削減され、製造工程が簡略化され、組み立て精度が向上する。
【００５２】
受け部材１９ａの連結が圧電セラミック素子の外周で受け部連結部３７ａにより行われているために、圧電アクチュエータ１２がひとつの圧電セラミック素子から構成されているタイプでも、圧電セラミック素子との摺動による塵埃発生の問題や、電極とのショートの問題を発生することが無くなる。
【００５３】
接着剤受け部３９ａの存在により、圧電セラミック素子の両端面を接着剤で覆うことが容易となり、圧電セラミック素子の端面からの塵埃発生を防ぐことができる。
【００５４】
基部連結部３１ａと受け部連結部３７ａは重なっていないために、圧電アクチュエータ１２のスウェイ動作時に、両部が接触して塵埃等が発生することがない。
【００５５】
受け部材１９ａは、一般的にエッチング工程により作成されるため、受け部連結部３７ａの形状を簡単に正確に変更可能であるため、圧電アクチュエータ１２のスウェイ方向のばね定数を簡単に変更可能である。
【００５６】
ベースプレート１３ａと受け部材１９ａが別の部材で構成されているために、図７（Ａ）で示したようなベースプレートにエッチングにより形成された窪みに圧電セラミック素子４０を配置する場合と異なり、図７（Ｂ）で示すように、ベースプレートと受け部材からなる圧電アクチュエータ１２の剛性の中心軸と、圧電セラミック素子４０の厚みの中心軸をＣ３に示すように容易に一致させることが可能となり、圧電アクチュエータ１２のスウェイ動作の際のよじれ動作等の発生を抑制する。
【実施例２】
【００５７】
以下に本発明の実施形態の実施例２としてのヘッドサスペンション１０Ｂについて、図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）と図４を参照して説明する。実施例２は、実施例１での受け部材とロードビームが一体化した構造となっていることが特徴である。図３（Ａ）は、ヘッドサスペンション１０Ｂを構成する二つの主要部品である、ベースプレート１３ｂとロードビーム１１ｂ（受け部材でもある）の組み立て前の下面図（磁気ディスク側から見た図面）を示す。図３（Ｂ）に上記２部品の組み立て時の下面図、図３（Ｃ）に上記２部品に圧電素子である圧電セラミック素子４０を載せた状態の圧電アクチュエータ部分の上面図を示す。
【００５８】
実施例２においては、実施例１との違いについて述べる。実施例２では、実施例１での受け部材１９ａとロードビーム１１ａを一体化して、ロードビーム１１ｂとした。
【００５９】
図４に示すように、ベースプレート１３ｂの下面に、受け部材とロードビームが一体化したロードビーム１１ｂが取り付けられている。これらは、実施例１と同様にレーザー溶接等により融着されている。ロードビーム１１ｂは、実施例１と同様に５０μｍ厚程度のステンレス鋼等の金属板から構成されてもよいし、実施例１よりやや薄い典型的には３６μｍの厚程度のステンレス鋼等の金属板を用いてもよい。
【００６０】
ベースプレート１３ｂには、同様に開口部２３が開けられている。また、開口部の両側には、同様に基部連結部３１ｂが設けられている。
【００６１】
ロードビーム１１ｂにも、同様に基部側の支持部３３ｂ、磁気ヘッド側の支持部３５ｂ、受け部連結部３７ｂ、接着剤受け部３９ｂが設けられている。
【００６２】
これらの各部の機能は、実施例１と同様である。
【００６３】
［実施例２の効果］
実施例２では、実施例１の効果に加えてさらに以下の効果がある。
【００６４】
ロードビームと受け部材を一体化したために、さらに部品点数が減り、製作工程が簡略化され、組み立て精度が向上する。
【実施例３】
【００６５】
以下に本発明の実施形態の実施例３としてのヘッドサスペンション１０Ｃについて、図５（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。実施例３は、実施例２での受け部連結部３７ｃの構造を波型としたことが特徴である。図５（Ａ）は、ヘッドサスペンション１０Ｃを構成する二つの主要部品である、ベースプレート１３ｃとロードビーム１１ｃ（受け部材でもある）の組み立て前の下面図（磁気ディスク側から見た図面）を示す。図５（Ｂ）に上記２部品の組み立て時の下面図を示す。
【００６６】
断面図は、実施例２と同じであるので省略した。
【００６７】
実施例３では、図５（Ａ）（Ｂ）に示すように受け部連結部３７ｃを波状の形状として、ロードビーム１１ｃの受け部の磁気ヘッド側と基部側を連結させた。
【００６８】
上記波型の受け部連結部３７ｃは、圧電セラミック素子の両側部の下面に設けられているため、実施例３では、独立した接着剤受け部は設けられていない。前記波型の受け部連結部３７ｃを圧電セラミック素子の両側面に接着剤を塗布するための接着剤受け部として用いてもよい。
【００６９】
［実施例３の効果］
実施例３では、実施例２の効果に加えてさらに以下の効果がある。
【００７０】
受け部連結部３７ｃの形状を波型形状としたため、スウェイ方向の剛性を低くしてスウェイしやすくさせることが可能となる。また、実施例２において、前記した実施例３と同様な低い剛性を得るために受け部連結部３７ｂの幅を細くすると、ロードビームの厚さ方向の剛性が足りなくなり、レーザー溶接前の製作工程におけるハンドリング時に問題が発生する場合があるが、本実施例３における波状構造を用いることで面の厚み方向での充分な剛性が得られる。
【実施例４】
【００７１】
以下に本発明の実施形態の実施例４としてのヘッドサスペンション１０Ｄについて、図６（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。実施例４は、実施例２での受け部連結部を基部連結部と重ねて両者を固定したことが特徴である。図６（Ａ）は、ヘッドサスペンション１０Ｄを構成する二つの主要部品である、ベースプレート１３ｄとロードビーム１１ｄ（受け部材でもある）の組み立て前の下面図（磁気ディスク側から見た図面）を示す。図６（Ｂ）に上記２部品の組み立て時の下面図を示す。
【００７２】
断面図は、実施例２と同じであるので省略した。
【００７３】
ロードビーム１１ｄの受け部連結部３７ｄは、組み立て時にベースプレート１３ｄの基部連結部３１ｄの略Ｕ字型に重なるような略Ｕ字型構造をしている。重なったふたつの部分は、レーザー溶接で融着されて固定される。典型的にはＵ字の一番底の中央部、すなわち両側に張り出した重なり部の中央部において、レーザー溶接される。
【００７４】
［実施例４の効果］
実施例４では、以下の効果が得られる。
【００７５】
基部連結部３１ｄと受け部連結部３７ｄの重なり点において固定されているため、圧電アクチュエータのスウェイ方向の動作による振動でも両者は連結されて動作するため、振動によるぶつかり合いのための塵埃の発生を抑制することが可能となる。
【００７６】
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
【００７７】
本明細書の説明中では、磁気ディスクを下にその上にヘッドサスペンションが載っていることを前提に上下を説明した。実際の磁気ディスクでは、磁気ディスクの下面にヘッドサスペンションが対向して配置している場合もあるが、それらについても適宜上下関係を解釈して適応される。
【００７８】
本実施例においては、圧電セラミック素子が１個の場合について説明したが、本発明は二つの圧電セラミック素子を用いて圧電アクチュエータを構成するヘッドサスペンションにおいても適用可能である。
【符号の説明】
【００７９】
１０Ａ…ディスク装置用サスペンション（実施例１）
１０Ｂ…ディスク装置用サスペンション（実施例２）
１０Ｃ…ディスク装置用サスペンション（実施例３）
１０Ｄ…ディスク装置用サスペンション（実施例４）
１１ａ…ロードビーム（実施例１）
１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ…ロードビーム（ロードビームと受け部材の一体型；実施例２，３，４）
１２…圧電アクチュエータ（実施例１，２，３，４）
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ…ベースプレート（実施例１，２，３，４）
１９ａ…受け部材（実施例１）
２３…開口部（実施例１，２，３，４）
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ…基部連結部（実施例１，２，３，４）
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ…基部側の支持部（実施例１，２，３，４）
３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ…磁気ヘッド側の支持部（実施例１，２，３，４）
３７ａ、３７ｂ、３７ｄ…受け部連結部（実施例１，２，４）
３７ｃ…受け部連結部（接着剤受け部として用いてもよい；実施例３）
３９ａ、３９ｂ、３９ｄ…接着剤受け部（実施例１，２，４）
４０…圧電セラミック素子（ＰＺＴ）（圧電素子）（実施例１，２，３，４）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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