(57)【要約】【課題】電気―機械変換素子を駆動源とし、部品点数が少なく組み立てが容易であり、遮光羽根を良好に揺動することができ、光軸方向に装置高さを低くすることができて装置全体のサイズアップ、コストアップ及び消費電力を抑制できるコンパクトな構造の光量制御装置を提供すること。【解決手段】遮光羽根揺動手段３０により、ベースプレート１０内に備えた遮光羽根２０を揺動させ遮光羽根２０で第１の光量制御穴１３を絞り通過光の光量を制御する。遮光羽根揺動手段３０は、ベースプレート１０に、駆動部材３１と、駆動部材３１を摩擦係合状態に支持する摩擦係合部材３２と、駆動部材３１の端面に伸縮方向の一端面を固着されている電気―機械変換素子３３と、電気―機械変換素子３３の他端面に固着された被駆動ヘッド３４と、被駆動ヘッド３４と一体に設けられ遮光羽根２０に連結されている駆動ピン３５を有して構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気―機械変換素子を駆動源とする遮光羽根揺動手段により、ベースプレートに備えた遮光羽根を揺動させ該遮光羽根で前記ベースプレートに備えた第１の光量制御穴の通過光量を制御する光量制御装置において、
前記遮光羽根揺動手段は、ベースプレートに、駆動部材と、前記ベースプレートに設けられていて前記駆動部材を摩擦係合状態に支持する摩擦係合部材と、前記駆動部材の端面に伸縮方向の一端面を固着されている前記電気―機械変換素子と、前記電気―機械変換素子の他端面に固着された被駆動ヘッドとを有し、
更に、前記被駆動ヘッドと一体に設けられ、前記遮光羽根に連結されている駆動ピンを有していることを特徴とする光量制御装置。
【請求項２】
前記駆動ピンが、前記遮光羽根に設けた長穴部に挿入されていることを特徴とする請求項１に記載の光量制御装置。
【請求項３】
前記遮光羽根には丸穴部が設けられ、実質的に前記ベースプレートに固定されたボス部に回転可能に支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光量制御装置。
【請求項４】
前記ベースプレートには、前記駆動部材の移動方向に沿って駆動ピンを貫通させる長穴が設けられ、前記駆動ピンの移動方向をガイドすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載の光量制御装置。
【請求項５】
前記ベースプレートに設けられた長穴は、前記駆動ピンの移動範囲を制限するストッパーであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載の光量制御装置。
【請求項６】
前記遮光羽根には、前記ベースプレートに備えられた第１の光量制御穴より小径の第２の光量制御穴が形成され、前記遮光羽根揺動手段により光量制御穴を切り替え可能であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一に記載の光量制御装置。
【請求項７】
前記ベースプレートは、ベースプレート本体と底蓋で形成され、前記ベースプレート本体と底蓋の間に前記遮光羽根が配置されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一に記載の光量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御電圧を印加され振動する電気―機械変換素子を駆動源としてベースプレート内に備えた遮光羽根を揺動させ光量制御する光量制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光量制御装置としては、地板に設けられた絞り羽根がアイリスモータやステッピングモータなどの電磁モータで駆動される。しかし、電磁モータはマグネットとコイル等で構成されているので、部品点数が多く、構造が複雑になり、組立が難しく、高コストになり、小型化が難しいといった問題があり、電磁モータを使用する光量制御装置の小型化にも限界がある。
【０００３】
そこで、駆動装置の駆動源として電気―機械変換素子（例えば圧電素子）を用いることが提案されている（例えば特許文献１参照）。従来の電気―機械変換素子を用いた駆動装置は、インパクト方式（ＩＤＭ）やＳｔｉｃ−Ｓｌｉｐ方式及びスムースインパクト方式（ＳＩＤＭ）等の方式で、一般的に知られている。
【０００４】
特許文献１に記載された光量制御装置は、地板と、４枚の絞り羽根と、動輪と、地板に固定された圧電アクチュエータとによって構成される。圧電アクチュエータは、１つの絞り羽根に係入された摺動嵌合部が摩擦係合した駆動軸と、駆動軸の一端に固着された第１圧電素子と、駆動軸の他端に固着された第２圧電素子とを備え、第１及び第２圧電素子が駆動軸の軸線方向に高速変位と低速変位とを繰り返し行うことで摩擦係合部が軸線方向に、大きな一定の移動量を持って移動される構成である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１２１８８６号公報（図１９参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された光量制御装置によれば、比較的大きな摩擦嵌合部が移動することにより、その分のスペースが必要になり、また２個の圧電素子を使用するので、装置全体のサイズアップ、コストアップ及び消費電力が懸念され、また光軸方向の寸法を大きく取る構造となっている。
【０００７】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、その目的とするところは、装置全体のサイズアップ、コストアップ及び消費電力を抑制して、電気―機械変換素子の振動を駆動部材に良好に伝えることができて遮光羽根を良好に揺動することができ、簡素な構成で光軸方向の寸法を小さく抑えることができる光量制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の光量制御装置は、電気―機械変換素子を駆動源とする遮光羽根揺動手段により、ベースプレートに備えた第１の光量制御穴の通過光量を制御する光量制御装置において、前記遮光羽根揺動手段は、ベースプレートに、駆動部材と、前記ベースプレートに設けられていて前記駆動部材を摩擦係合状態に支持する摩擦係合部材と、前記駆動部材の端面に伸縮方向の一端面を固着されている前記電気―機械変換素子と、前記電気―機械変換素子の他端面に固着された被駆動ヘッドと、を有し、更に、前記被駆動ヘッドと一体に設けられ、前記遮光羽根に連結されている駆動ピンを有して構成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、電気―機械変換素子は制御電圧の印加により振動（伸縮）し駆動部材を軸方向に振動させる。電気―機械変換素子が瞬速伸長と緩速収縮とを交番して行うときの、駆動部材の振動と、駆動部材と摩擦係合部材とによる摩擦係合との協働作用により、被駆動ヘッドが摩擦係合部材の方向に移動し、また電気―機械変換素子が緩速伸長と瞬速収縮とを交番して行うときの、駆動部材の振動と、駆動部材と摩擦係合部材とによる摩擦係合との協働作用により、被駆動ヘッドが摩擦係合部材から離隔する方向に移動する。
従って、駆動ピンが遮光羽根を揺動し、該遮光羽根が第１の光量制御穴に一部あるいは全部が重なり第１の光量制御穴を通過する光量を制御する。
【００１０】
上記構成によれば、ベースプレートに備えた遮光羽根を揺動する遮光羽根揺動手段を、駆動部材と摩擦係合部材と電気―機械変換素子と被駆動ヘッドと駆動ピンを備えて構成してベースプレートに備えたので、部品点数が少なく組み立てが容易であり、電気―機械変換素子の振動を駆動部材に良好に伝えられて遮光羽根を良好に揺動することができ、光軸方向に装置高さを低くすることが可能であるコンパクトな構造の光量制御装置を実現でき、さらに１個の電気―機械変換素子が駆動源であるので装置全体のサイズアップ、コストアップ及び消費電力を抑制できる。
【００１１】
上記構成によれば、駆動部材と被駆動ヘッドとが電気―機械変換素子の伸縮方向における両端に配設され、駆動部材を摩擦係合状態に支持する摩擦係合部材がベースプレートに設けられているので、摩擦係合部材と駆動部材との間に生じた摩擦による振動が被駆動ヘッドに直接伝わることを防止でき、摩擦によって発生する振動による被駆動ヘッドへの影響を抑制することが可能となる。
【００１２】
そして、遮光羽根揺動手段が、電気―機械変換素子の伸縮方向の一端面に駆動部材が一軸一体に設けられ、他端面に被駆動ヘッドが一軸一体に設けられていて、駆動部材が摩擦係合部材により摩擦係合状態に支持される構成であることに特徴があるので、電気―機械変換素子の振動がフレームに伝わってしまうことがなく、駆動部材の慣性力と摩擦係合部材の摩擦係合力との差により、駆動部材と電気―機械変換素子と被駆動ヘッドが一体に移動し易い。
【００１３】
上記構成によれば、遮光羽根を揺動する遮光羽根揺動手段を、駆動部材と摩擦係合部材と電気―機械変換素子と被駆動ヘッドと駆動ピンを備えて構成してベースプレートに備えたので、摩擦係合状態に支持される駆動部材と一軸一体の電気―機械変換素子に制御電圧を印加して振動させることにより被駆動ヘッドを往復動させこの往復動を利用してベースプレートに備えた遮光羽根を揺動して光量制御するように構成されている。
【００１４】
上記構成によれば、電気―機械変換素子を駆動源とする遮光羽根揺動手段を分離独立して組み立てることができ、遮光羽根揺動手段のベースプレートへの組付けが、摩擦係合部材のベースプレートへの固定設置及び駆動ピンの差し込み連結で実現できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の光量制御装置によれば、部品点数が少なく組み立てが容易であり、かつ遮光羽根を良好に揺動することができ、光軸方向に装置高さを低くすることができて装置全体のサイズアップ、コストアップ及び消費電力を抑制できるコンパクトな構造の光量制御装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態の光量制御装置について、添付図面を参照しつつ説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態に係る光量制御装置１を示す斜視図である。図２は、光量制御装置１の分解斜視図である。図１、図２に示すように、光量制御装置１は、ベースプレート１０と、ベースプレート１０内に設けられた遮光羽根２０と、ベースプレート１０外面に設けられた遮光羽根揺動手段３０とを備えてなる。
【００１８】
ベースプレート１０は、ベースプレート本体１１と底蓋１２とで構成されている。
ベースプレート本体１１は、ほぼ正方形の上面部１１ａと、上面部１１ａの三つの側縁にわたり垂下するコ字脚１１ｂ及び二つのコーナに垂下するコーナ脚１１ｃ，１１ｄとを備え、上面部１１ａは、略中央にすり鉢状斜面を有する円錐穴１３ａが形成され、かつコーナ脚１１ｄに寄った位置に上側長穴１４ａが開口され、上面部１１ａの上側長穴１４ａに近い内面より一体に垂下するボス部であるピボット軸１５とを有して構成されている（図２，図５参照）。
底蓋１２は、ベースプレート本体１１の上面部に対応するほぼ正方形であり、略中央に円錐穴１３ａの最小径より若干大きい円穴１３ｂと、ベースプレート本体１１の上面部１１ａの上側長穴１４ａに対応して１４ａより若干大きく開口された下側長穴１４ｂと、ピボット軸１５を嵌合支持する軸穴１６を有している。
遮光羽根２０は、所要輪郭のアーム形状に形成され、軸穴２１と、第２の長穴２２と、第２の光量制御穴２３とを有している（図２参照）。
そして、ベースプレート本体１１のピボット軸１５に遮光羽根２０の丸穴部である軸穴２１を嵌合して、遮光羽根２０をベースプレート本体１１内に収容し、底蓋１２の周縁部をベースプレート本体１１の周壁部下端（コ字脚１１ｂ及びコーナ脚１１ｃ，１１ｄ）に当接し（図２，図５，図９参照）、ねじ等の止着具(不図示)によりベースプレート本体１１と底蓋１２は止着されている。
【００１９】
上記構成のように、ベースプレート本体１１と底蓋１２とが重ね合わされることにより、ベースプレート本体１１の下部開口が底蓋１２で閉じられ、かつピボット軸１５が遮光羽根２０の軸穴２１と底蓋１２の円穴１３ｂに係入されている。これにより、遮光羽根２０が、ピボット軸１５を回転中心として揺動可能な状態でベースプレート１０に収容されている（図２、図５、図８参照）。
また、ベースプレート本体１１と底蓋１２とが重ね合わされることにより、円錐穴１３ａと円穴１３ｂとによってベースプレート本体１１の略中心に貫通状態に第１の光量制御穴１３が構成され、第１の光量制御穴１３とコーナ脚１１ｄとの間に、上側長穴１４ａと下側長穴１４ｂとが合致しベースプレート本体１１に対し貫通状態に第１の長穴１４が備えられている（図２参照）。
さらに、ベースプレート本体１１と底蓋１２とが重ね合わされることにより、ベースプレート１１の三方の側面にスリット窓１７〜１９が形成され、スリット窓１７〜１９から遮光羽根２０が揺動位置によっては突出可能であり、これにより、ベースプレート１１の四角形を小さく形成できる（図２，図５参照）。
【００２０】
遮光羽根揺動手段３０は、ベースプレート本体１１の上面部１１ａに備えられる。遮光羽根揺動手段３０は、駆動部材３１と、摩擦係合部材３２と、圧電素子等の電気―機械変換素子３３と、被駆動ヘッド３４と、駆動ピン３５と、を有して構成されている。この構成によれば、電気―機械変換素子を駆動源とする遮光羽根揺動手段を分離独立して組み立てることができ、遮光羽根揺動手段のベースプレートへの組付けが、摩擦係合部材のベースプレートへの固定設置及び駆動ピンの差し込み連結で実現できる。
【００２１】
駆動部材３１は、比重が小さい強靭な材料（例えば、ＣＦＲＰ等）より丸棒状に形成されている。駆動部材３１は、回転軸の機能を必要としない構成要素であるから角棒状等に構成されても良い。摩擦係合部材３２は、駆動部材３１を保持する溝を備えた固定係合部材３２ａと、駆動部材３１を固定係合部材３２ａの溝との間で保持する押さえ板３２ｂと、押さえ板３２ｂを固定係合部材３２ａの溝方向に付勢するばね部材３２ｃとから構成されていて、ベースプレート１０に設けられ、駆動部材３１を摩擦係合状態に支持する（図１、図１０参照）。電気―機械変換素子３３は、制御電圧を印加され振動する駆動部品であり、駆動部材３１の端面に伸縮方向の一端面を固着されている。被駆動ヘッド３４は、電気―機械変換素子３３の他端面に固着されている。駆動部材３１と電気―機械変換素子３３と被駆動ヘッド３４は一軸一体に接合されている。駆動ピン３５は、被駆動ヘッド３４と一体に成形されている。被駆動ヘッド３４と駆動ピン３５は、静止慣性力を大きく具有するために、駆動部材３１と比較して比重の大きい材料により形成されている。
【００２２】
駆動ピン３５は、ベースプレート本体１１に設けられた上側長穴１４ａを通してベースプレート１０内に入り、遮光羽根２０に設けられた第２の長穴２２に摺動可能に通されて該遮光羽根２０を揺動可能であり、さらに底蓋１２に設けられた下側長穴１４ｂに通されている。上側長穴１４ａと下側長穴１４ｂとは、上記の第１の長穴１４を構成し、第１の長穴１４内を駆動ピン３５が移動する方向が、摩擦係合部材３２が駆動部材３１をガイドする方向に合致するように備えられている（図１，図２，図９，図１０参照）。詳しくは、下側長穴１４ｂは上側長穴１４ａより若干大きいため、上側長穴１４ａは、駆動ピン３５の移動をガイドする役目を果たす。
【００２３】
上側長穴１４ａは、更に、駆動ピン３５の移動範囲を制限し、移動範囲の両端において、遮光羽根２０の第１の光量制御穴１３に対する位置決めを行う役目を果たす。上側長穴１４ａは、一方の端（摩擦係合部材３２に近い側の端）に駆動ピン３５を当接停止するとき（図３，図４参照）、遮光羽根２０を第１の光量制御穴１３に掛からない位置へ停止させ（図５参照）、また他方の端（摩擦係合部材３２から遠い側の端）に駆動ピン３５を当接停止するとき（図６，図７参照）、遮光羽根２０の第２の光量制御穴２３を第１の光量制御穴１３と同心位置へ停止させる（図８参照）。
【００２４】
続いて、光量制御装置１の動作について説明する。
電気―機械変換素子３３が瞬速伸長するときは、被駆動ヘッド３４の慣性力が摩擦係合部材３２による摩擦係合力よりも大きくなる。このため、被駆動ヘッド３４が静止位置に止まるから、このとき摩擦係合部材３２の駆動部材３１を保持する位置は、電気―機械変換素子３３に接近する方向に微小ステップ移動した状態にずれる。そして、次に電気―機械変換素子３３が緩速収縮するときは、被駆動ヘッド３４の慣性力が摩擦係合部材３２による摩擦係合力よりも小さくなり、摩擦係合部材３２の駆動部材３１を保持する位置にずれは生じない。こうして、電気―機械変換素子３３が一回の瞬速伸長と一回の緩速収縮を行うと、被駆動ヘッド３４が摩擦係合部材３２に接近する方向に微小移動する。
従って、電気―機械変換素子３３が瞬速伸長と緩速収縮とを交番する振動を行うときは、図６，図７中の矢印Ａに示すように、被駆動ヘッド３４が摩擦係合部材３２に接近移動し、図３，図４に示すように、駆動ピン３５が上側長穴１４ａの摩擦係合部材３２に近い側の端に当接停止すると、図５に示すように、遮光羽根２０は、円錐穴１３ａの側方へ避けて位置される。もって、光量制御装置１は、開口が大きい第１の光量制御穴（入光窓）１３の円錐穴１３ａによって第１の光量（最大値）となるように制御し得る。
【００２５】
上記とは逆に、電気―機械変換素子３３が瞬速収縮するときは、被駆動ヘッド３４の慣性力が摩擦係合部材３２による摩擦係合力よりも大きくなる。このため、被駆動ヘッド３４が静止位置に止まり、摩擦係合部材３２の駆動部材３１を保持する位置は、電気―機械変換素子３３から離間する方向に微小移動する。そして、次に電気―機械変換素子３３が緩速伸長するときは、被駆動ヘッド３４の慣性力が摩擦係合部材３２による摩擦係合力よりも小さくなり、摩擦係合部材３２の駆動部材３１を保持する位置にずれは生じない。こうして、電気―機械変換素子３３が一回の瞬速収縮と一回の緩速伸長を行うと、被駆動ヘッド３４が摩擦係合部材３２から離隔する方向に微小移動する。
従って、電気―機械変換素子３３が瞬速収縮と緩速伸長とを交番する振動を行うときは、図３，図４中の矢印Ｂに示すように、被駆動ヘッド３４が摩擦係合部材３２から離間する方向に移動し、図６，図７に示すように、駆動ピン３５が上側長穴１４ａの摩擦係合部材３２から遠い側の端に当接停止すると、図８に示すように、遮光羽根２０は、第２の光量制御穴２３を第１の光量制御穴１３（具体的には円錐穴１３ａ）と同心位置となるように駆動ピン３５により揺動される。もって、光量制御装置１は、開口が小さい第２の光量制御穴２３によって第２の光量（最小値）となるように制御し得る。
【００２６】
上記実施形態では、第１の長穴１４（詳しくは、ベースプレート本体１１の上側長穴１４ａ）に対して遮光羽根２０に設けられた第２の長穴２２を交差させ
る構成であるので、駆動ピン３５が、ベースプレート本体１１の上側長穴１４ａ及び遮光羽根２０の第２の長穴２２に対し摺動することにより、駆動ピン３５の直動でベースプレート１０内の遮光羽根２０を揺動させる運動変換伝達機構の構成を大幅に簡素化できる。
【００２７】
上記実施形態では、ベースプレート本体１１の内面に一体にピボット軸１５が設けられ、ピボット軸１５が遮光羽根２０に設けられた軸穴２１に嵌挿され更に底蓋１２に設けられた円穴１３ｂに嵌合された構成であるので、部品点数を最小にしてベースプレート本体１１内に収容する遮光羽根２０をピボット回動可能に支持でき、構成を大幅に簡素化できる。
【００２８】
上記実施形態では、第１の長穴１４（詳しくは、ベースプレート本体１１の上側長穴１４ａ）が、駆動部材３１の移動方向に沿って設けられ駆動ピン３５の移動方向をガイドする構成であるので、移動範囲をガイドする独立したガイド部材を無くし構成を簡素化できる。
【００２９】
上記実施形態では、第１の長穴１４（詳しくは、ベースプレート本体１１の上側長穴１４ａ）が、駆動ピン３５の移動範囲を制限する構成であるので、移動範囲を制限する独立したストッパ部材を無くし構成を簡素化できる。
【００３０】
上記実施形態では、遮光羽根２０には、第２の光量制御穴２３が設けられ、遮光羽根揺動手段３０が、遮光羽根２０を揺動し第２の光量制御穴２３を第１の光量制御穴１３（詳しくは、円錐穴１３ａ）に対応する位置に合わせる構成であるので、光軸に対して同心円となるように２段階に光量を絞ることができる。
【００３１】
上記実施形態では、ベースプレート１０が、ベースプレート本体１１と底蓋１２とで構成され、第１の長穴１４が、ベースプレート本体１１に設けられた上側長穴１４ａと、底蓋１２に設けられた該上側長穴１４ａより若干大きな形状の下側長穴１４ｂとで構成されているので、駆動ピン３５が遮光羽根２０を挟んで両側の上側長穴１４ａと下側長穴１４ｂを嵌合し、遮光羽根２０を確実に揺動可能とし、且つ該上側長穴１４ａにより進行方向へ円滑にガイドされる。
【００３２】
〔その他の実施の形態、変形例〕
以上、本発明に係る実施形態について図面を参照し説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない限度で種々の設計変更や工程の変更が可能であり、そのような変更を技術的範囲に含むものである。例えば、ピボット軸１５と軸穴１６は、逆転した配置に備えても良い。本発明の光量制御装置は、第１の光量制御穴１３による第１の光量制御と、遮光羽根２０に設けられた第２の光量制御穴２３を第１の光量制御穴１３と同心円となる位置に移動する第２の光量制御との二段階の光量制御に限定されるものではない。遮光羽根２０を揺動することにより、該遮光羽根２０で第１の光量制御穴１３を無段階に絞ることができる構成も含まれる。さらに、遮光羽根２０は、一枚羽根に限定されない、遮光羽根２０と連鎖状にリンクして設けられ該遮光羽根２０の揺動に連動して揺動し該遮光羽根２０と共同して第１の光量制御穴１３を絞ることができる構成も含まれる。駆動ピン３５が第１の長穴１４の適宜の中途で停止するように設ける場合も本発明に含まれる。駆動ピン３５の直動方向と遮光羽根２０の揺動方向とが逆転して設けられる場合も本発明に含まれる。
又、ベースプレート１０の形状は、本発明の光量制御装置が設置される光学機器の形状に合わせて任意の形状とすることも、本発明の範囲に含まれるものである。
【００３３】
本発明の光量制御装置は、構造の簡素化、小型化等を達成しており、近年小型化されているデジタルカメラの光量制御装置として適用できるのは勿論のこと、その他のレンズ光学系の光量制御装置としても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態に係る光量制御装置を示す斜視図である。
【図２】図１の光量制御装置の分解斜視図である。
【図３】図１の光量制御装置の第１の光量制御状態の斜視図である。
【図４】図３に示す第１の光量制御状態の光量制御装置の平面図である。
【図５】図３におけるＶ−Ｖ矢視図である。
【図６】図１の光量制御装置の第２の光量制御状態の斜視図である。
【図７】図６に示す第２の光量制御状態の光量制御装置の平面図である。
【図８】図６におけるIIＸ−IIＸ矢視図である。
【図９】図１の光量制御装置の縦断面図である。
【図１０】図１の光量制御装置の他の位置の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  光量制御装置
１０  ベースプレート
１１  ベースプレート本体
１１ａ  上面部
１２  底蓋
１３  第１の光量制御穴
１３ａ  円錐穴
１３ｂ  円穴
１４  第１の長穴
１４ａ  上側長穴
１４ｂ下側長穴
１５  ピボット軸
１６  軸穴
２０  遮光羽根
２１  軸穴
２２  第２の長穴
２３  第２の光量制御穴
３０  遮光羽根揺動手段
３１  駆動部材
３２  摩擦係合部材
３２ａ  固定係合部材
３２ｂ  押さえ板
３２ｃ  ばね部材
３３  電気―機械変換素子（圧電素子）
３４  被駆動ヘッド
３５  駆動ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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