(57)【要約】【課題】可動部の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる回転振動型ジャイロを提供する。【解決手段】駆動錘４と、駆動錘４を回転振動させる駆動電極３と、駆動錘４の内側に配設され、Ｘ軸周りの角速度を受けたときのコリオリ力で駆動錘４と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する検出錘５と、基板２上に突設されたアンカー６と、回転振動の吸収機能およびコリオリ力の伝達機能を有し、駆動錘４を検出錘５に連結支持する複数の連結支持ばね８と、Ｙ軸上においてアンカー６と検出錘５との間に掛け渡され、振動する検出錘５のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が可動部１０の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばね７と、振動する検出錘５の変位を検出する一対の検出電極９と、を備えたものである。【選択図】図１
2010054263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板環状の駆動錘と、
前記駆動錘をその中心を通るＺ軸回りに回転振動させる駆動電極と、
前記駆動錘の内側に配設され、Ｘ軸回りの角速度を受けたときに生ずるコリオリ力で前記駆動錘と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する平板状の検出錘と、
基板上に突設され、前記駆動錘および前記検出錘を支持するアンカーと、
前記回転振動の吸収機能および前記コリオリ力の伝達機能を有し、前記駆動錘を前記検出錘に連結支持する複数の連結支持ばねと、
Ｙ軸上において前記アンカーと前記検出錘との間に掛け渡され、シーソー様に振動する前記検出錘のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が前記駆動錘、前記検出錘および前記複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばねと、
シーソー様に振動する前記検出錘の変位を検出する一対の検出電極と、を備えたことを特徴とする回転振動型ジャイロ。
【請求項２】
前記各捻り支持ばねは、Ｙ軸方向に直線状に延在すると共に、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性が、Ｙ軸を中心としたシーソー様の振動に対する剛性よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項３】
シリコンを材料として微細加工技術により製造され、
前記各捻り支持ばねは、前記検出錘と同厚であって断面方形に形成されると共に、幅と厚みの比が１：２〜１０であることを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項４】
前記アンカーは、前記一対の捻り支持ばねに対応し、Ｙ軸上に配設した一対のもので構成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項５】
前記アンカーは、前記一対の捻り支持ばねに対応し、Ｙ軸上に配設した一対のもので構成され、
径方向において、前記検出錘の外周縁と同位置に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項６】
前記複数の連結支持ばねは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対し４５°の角度を為して径方向に延在する４本のもので構成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項７】
前記複数の連結支持ばねは、Ｘ軸上に位置する２本のもので構成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項８】
前記各連結支持ばねは、Ｚ軸方向の振動に対する剛性が、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項９】
前記駆動錘における前記回転振動の共振周波数と、前記検出錘おける前記振動の共振周波数と、が異なることを特徴とする請求項１に記載の回転振動型ジャイロ。
【請求項１０】
円板状の駆動錘と、
前記駆動錘をその中心を通るＺ軸回りに回転振動させる駆動電極と、
前記駆動錘の外側に囲むように配設され、Ｘ軸回りの角速度を受けたときに生ずるコリオリ力で前記駆動錘と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する平板環状の検出錘と、
基板上に突設され、前記駆動錘および前記検出錘を支持するアンカーと、
前記回転振動の吸収機能を有して前記駆動錘を前記検出錘に連結支持する複数の連結支持ばねと、
Ｙ軸上において前記アンカーと前記検出錘との間に掛け渡され、シーソー様に振動する前記検出錘のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が前記駆動錘、前記検出錘および前記複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばねと、
シーソー様に振動する前記検出錘の変位を検出する一対の検出電極と、を備えたことを特徴とする回転振動型ジャイロ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳ（micro electro mechanical system）センサにおける回転振動型の角速度センサである回転振動型ジャイロに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の回転振動型ジャイロとして、円環形状の質量部の内側に駆動電極を配置したものが知られている（特許文献１参照）。この回転振動型ジャイロは、基板上に突設した固定部（アンカー）と、固定部に支持された平板円形形状の質量部（駆動錘および検出錘）と、固定部と質量部とを連結する放射状の質量支持部（支持ばね）と、質量部を回転振動させる駆動電極と、質量部に対面する４つの検出電極と、を備えている。駆動電極に電圧を印加して質量部を回転振動させた状態で、Ｘ軸周りの角速度が作用する（角速度運動）と、コリオリ力が励起されて質量部が、Ｙ軸を中心にシーソー様に振動する。この振動により、質量部と検出電極との間で静電容量が変化し、この変化に基づいて角速度を検出するようになっている。
【特許文献１】特開２０００−１８０１７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の回転振動型ジャイロでは、アンカーの部分で可動部がＺ軸方向において非対称となるため、水平姿勢以外の姿勢でこれを対象物にセットしたり、Ｘ軸方向やＹ軸方向の加速度を受けると、可動部が自重により微妙に傾くことになる。すなわち、Ｚ軸方向に直交する方向の加速度の影響を受けるため、これがノイズとなって、角速度を一義的に精度良く検出することができない問題があった。また、駆動錘（の部分）と検出錘（の部分）とが一体に形成されているため、駆動錘が回転振動する際に検出錘も回転振動してしまう。検出錘が受けるコリオリ力は微小であるため、駆動錘の回転振動に伴って検出錘が回転振動してしまうと、回転振動がノイズとなってコリオリ力に基づく角速度を正確に検出できないという問題があった。
【０００４】
本発明は、可動部の支持構造に基づくノイズの影響および駆動錘の回転振動に基づくノイズの影響を排除することができる回転振動型ジャイロを提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の回転振動型ジャイロは、平板環状の駆動錘と、駆動錘をその中心を通るＺ軸回りに回転振動させる駆動電極と、駆動錘の内側に配設され、Ｘ軸回りの角速度を受けたときに生ずるコリオリ力で駆動錘と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する平板状の検出錘と、基板上に突設され、駆動錘および検出錘を支持するアンカーと、回転振動の吸収機能およびコリオリ力の伝達機能を有し、駆動錘を検出錘に連結支持する複数の連結支持ばねと、Ｙ軸上においてアンカーと検出錘との間に掛け渡され、シーソー様に振動する検出錘のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が駆動錘、検出錘および複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばねと、シーソー様に振動する検出錘の変位を検出する一対の検出電極と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、一対の捻り支持ばねが、駆動錘、検出錘および複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設されているため、可動部は、アンカーを中心にＺ軸方向において対称に支持されることになる。このため、Ｚ軸方向に直交する方向の加速度の影響を受けることがなく、可動部の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる。また、駆動錘と検出錘とが回転振動の方向に対して縁切りされているため、駆動錘の回転振動に伴って検出錘が回転振動することがなく、駆動錘の回転振動に基づくノイズの影響を排除することができる。したがって、補正等を必要とすることなく、角速度を精度良く検出することができる。
【０００７】
上記の回転振動型ジャイロにおいて、各捻り支持ばねは、Ｙ軸方向に直線状に延在すると共に、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性が、Ｙ軸を中心としたシーソー様の振動に対する剛性よりも高いことが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、一対の捻り支持ばねにより、可動部をアンカーに安定に支持することができ、検出錘に対する加速度の影響を排除することができる。また、捻り支持ばねを、検出錘のシーソー様の振動を吸収してしまうことのないヒンジとして機能させることができる。したがって、角速度の検出感度を低下させることがない。
【０００９】
この場合、シリコンを材料として微細加工技術により製造され、各捻り支持ばねは、検出錘と同厚であって断面方形に形成されると共に、幅と厚みの比が１：２〜１０であることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、可動部に対する上記の支持機能と検出錘のシーソー様の振動に対する上記の非吸収機能と、を好適に達成することができる。
【００１１】
一方、アンカーは、一対の捻り支持ばねに対応し、Ｙ軸上に配設した一対のもので構成されていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、一対の捻り支持ばねにより、検出錘のシーソー様の振動に対する上記の非吸収機能を好適に達成することができると共に、可動部をアンカーにより一層安定に支持することができる。
【００１３】
また、アンカーは、一対の捻り支持ばねに対応し、Ｙ軸上に配設した一対のもので構成され、径方向において、検出錘の外周縁と同位置に配設されていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、検出錘を小型化することなく、捻り支持ばねの長さを十分に取ることができ、検出錘のシーソー様の振動に対する上記の非吸収機能を向上させることができる。
【００１５】
さらに、複数の連結支持ばねは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対し４５°の角度を為して径方向に延在する４本のもので構成されていることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、駆動錘が検出錘に安定に支持されるため、検出錘にコリオリ力を忠実に伝達することができ、検出感度を高めることができる。また一方で、駆動錘の回転振動を吸収することができるため、回転振動に基づくノイズが検出錘に伝達されるのを防止することができ、検出精度を高めることができる。
【００１７】
同様に、複数の連結支持ばねは、Ｘ軸上に位置する２本のもので構成されていてもよい。
【００１８】
この構成によれば、簡単な構造で、検出錘へのコリオリ力の適切な伝達と、検出錘への回転振動の縁切りと、を同時に達成することができる。しかも、Ｙ軸周り（他軸周り）の角速度に対するコリオリ力を、検出錘に伝達し難い構造となるため、この種のノイズも排除することができる。
【００１９】
また、各連結支持ばねは、Ｚ軸方向の振動に対する剛性が、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性よりも高いことが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、駆動錘を検出錘で支持した状態で、駆動錘から検出錘へのコリオリ力の適切な伝達と、駆動錘から検出錘への回転振動の縁切りと、を同時に達成することができる。
【００２１】
上記の回転振動型ジャイロにおいて、駆動錘における回転振動の共振周波数と、検出錘おける振動の共振周波数と、が異なることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、感度は低くなるものの、製造上のばらつきに基づく検出感度のばらつきを抑制することができる。
【００２３】
本発明の他の回転振動型ジャイロは、円板状の駆動錘と、駆動錘をその中心を通るＺ軸回りに回転振動させる駆動電極と、駆動錘の外側に囲むように配設され、Ｘ軸回りの角速度を受けたときに生ずるコリオリ力で駆動錘と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する平板環状の検出錘と、基板上に突設され、駆動錘および検出錘を支持するアンカーと、回転振動の吸収機能を有して駆動錘を検出錘に連結支持する複数の連結支持ばねと、Ｙ軸上においてアンカーと検出錘との間に掛け渡され、シーソー様に振動する検出錘のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が駆動錘、検出錘および複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばねと、シーソー様に振動する検出錘の変位を検出する一対の検出電極と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この場合も、一対の捻り支持ばねが、駆動錘、検出錘および複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設されているため、可動部は、アンカーを中心にＺ軸方向において対称に支持されることになる。このため、Ｚ軸方向に直交する方向の加速度の影響を受けることがなく、可動部の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる。また、駆動錘と検出錘とが回転振動の方向に対して縁切りされているため、駆動錘の回転振動に伴って検出錘が回転振動することがなく、駆動錘の回転振動に基づくノイズの影響を排除することができる。したがって、補正等を必要とすることなく、角速度を精度良く検出することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明によれば、一対の捻り支持ばねの軸心が、駆動錘、検出錘および複数の連結支持ばねを含む可動部の重心を通るように配設されているため、可動部の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる。また、駆動錘と検出錘とが回転振動の方向に対して縁切りされているため、駆動錘の回転振動に基づくノイズの影響を排除することができる。これにより、角速度を精度良く検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る回転振動型ジャイロについて説明する。この回転振動型ジャイロは、シリコン等を材料として微細加工技術により製造されるＭＥＭＳ（micro electro mechanical system）センサにおける１軸の角速度センサであり、平面内において正逆の往復回転振動により駆動する。そして、実施形態のものは、例えば１ｍｍ角程度にパッケージングされ製品化されるようになっている。なお、ここでは、図面の左右方向を「Ｘ軸方向」、前後方向を「Ｙ軸方向」、貫通方向を「Ｚ軸方向」として説明を進める。
【００２７】
図１に示すように、回転振動型ジャイロ１は、基板２上において、最外周に位置する複数組（実施形態のものは８組）の駆動電極３と、複数組の駆動電極３の内側に配設した平板円環状の駆動錘４と、駆動錘４の内側に広く配設した円板状の検出錘５と、検出錘５の外周縁の位置においてＹ軸上に対向配置した一対のアンカー６，６と、一対アンカー６，６と検出錘５との間に渡したＸ軸方向に延びる一対の捻り支持ばね７，７と、駆動錘４と検出錘５との間に渡した４本（複数）の連結支持ばね８と、検出錘５の変位を検出する一対の検出電極９，９と、を備えて構成されている。この場合、駆動錘４および検出錘５（捻り支持ばね７および連結支持ばね８も同じ）は、導電性の部材で構成され、後述する可動駆動電極１２は駆動錘４の一部で構成され、可動検出電極１７は検出錘５の一部で構成される。
【００２８】
複数の駆動電極３は、駆動錘４の外側において周方向に均等間隔で配置されている。各駆動電極３は、基板２上に一体に形成した固定駆動電極１１と、駆動錘４の一部として駆動錘４の外周端から径方向外方に延在するように設けた可動駆動電極１２と、で構成されている。固定駆動電極１１と可動駆動電極１２とは、相互にくし歯の形態で対峙しており、これに交流電圧を印加することで、両電極１１，１２間に生ずる静電気力により駆動錘４がＺ軸周りに回転振動する。
【００２９】
駆動錘４はＺ軸を中心とする平板円環状に形成され、また検出錘５は、駆動錘４との間に僅かな間隙を存しＺ軸を中心とする円板上に形成されている。駆動錘４と検出錘５とは、同一平面上に位置し同一の厚みを有している。言うまでもないが、検出錘５は、その振動の中心となるＹ軸に対し左右（Ｘ軸方向において）対称に形成されている。
【００３０】
一方、駆動錘４と検出錘５とを連結する４本の連結支持ばね８は、Ｘ軸およびＹ軸方向に対し４５°の角度を持って配置され、検出錘５に形成したＸ字状の長い４つの切欠き部１４に内包されるように配設されている。各連結支持ばね８は、幅狭の断面矩形に形成され、構造上、Ｚ軸方向の振動に対する剛性が、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性よりも高くなるようにしている。これにより、駆動錘４の回転振動を吸収すると共に駆動錘４が受けるコリオリ力を検出錘５に伝達する。すなわち、４本の連結支持ばね８により、駆動錘４の回転振動は検出錘５に伝達されないが、コリオリ力による振動は検出錘５に伝達されるようになっている。これにより、検出錘５は、駆動錘４の回転振動の影響を受けることなくコリオリ力によりシーソー様に振動する。
【００３１】
各アンカー６は、Ｙ軸上において検出錘５の周縁部の位置に配設され、検出錘５より僅かに高くなるように基板２上に一体に立設されている。この場合、各アンカー６は丈の低い角柱状に形成されており、その内側面から上記の一対の捻り支持ばね７，７が延在している。各捻り支持ばね７はＹ軸上において直線状に配設され、検出錘５に深く切り込んだ切欠き部１５に内包されるように配設されている。各捻り支持ばね７は検出錘５との間に掛け渡され、検出錘５とこれに連結した駆動錘４とを基板２から浮き上がった状態に支持している。
【００３２】
各捻り支持ばね７は、連結支持ばね８と同様に幅狭の断面矩形に形成され、検出錘５および駆動錘４を支持すると共に、伝達されたコリオリ力によりシーソー様に振動する検出錘５のヒンジ軸として機能する。すなわち、捻り支持ばね７は、いわゆるトーションばねとして機能する。これにより、コリオリ力を受けた検出錘５は、Ｘ軸方向の一方の半部と他方の半部とが、一対の捻り支持ばね（Ｙ軸）７，７を中心にシーソー様に振動する。このため、一対の検出電極９では、それぞれの静電容量の変化の差分を取って角速度を検出することになる。したがって、例えばＺ軸方向の加速度を受けても、シーソー様の振動が影響を受けることがなく、加速度に基づくノイズが角速度の検出に影響を及ぼすことがない。
【００３３】
この場合、各捻り支持ばね７は、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性が、Ｙ軸を中心としたシーソー様の振動に対する剛性よりも高いことが、好ましい。具体的には、その幅と厚み比が１：２から１：１０であることが好ましい。より好ましくは、１：５前後とする。
【００３４】
さらに、一対の捻り支持ばね７は、その軸心が駆動錘４、検出錘５および連結支持ばね８を含む可動部１０の重心を通るように配設されている。すなわち、可動駆動電極１２を含む駆動錘４、検出錘５、４本の連結支持ばね８および一対の捻り支持ばね７は、同一平面内に同一厚（および同一材質）で形成され、一対の捻り支持ばね７の外端部は、アンカー６の側面に連結されている。これにより、可動部１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対称に形成されるだけでなく、Ｚ軸方向においても対称に形成されている。
【００３５】
一対の検出電極９は、検出錘５のＸ軸方向の一方の半部と他方の半部とにより構成された一対の可動検出電極１７，１７と、一対の可動検出電極１７，１７に対し微小間隙（但し、検出錘５の振幅より大きい）を存して対面する一対の固定検出電極１８，１８と、で構成されている。なお、一対の固定検出電極１８，１８は、基板２上に設けてもよいが、図示のように封止部材２０の内面に設けてもよい。コリオリ力により検出錘５がシーソー様に振動すると、可動検出電極１７と固定検出電極１８との間の静電容量が変化し、この変化に基づいて角速度が検出される。実施形態のものでは、駆動錘４が回転振動している状態で、例えばＸ軸周りの角速度を受けると、発生するコリオリ力により駆動錘４と共に検出錘５がＹ軸を中心にシーソー様に微小振動する。これにより、一対の検出電極９，９の静電容量が変化し、受けた角速度が検出される。
【００３６】
ところで、このような回転振動型ジャイロ１では、駆動錘４における回転振動の共振周波数と、検出錘５おける振動の共振周波数とを同一にすることで、検出感度を高めることができる。しかし、実際の製造において共振周波数を同一にすることは、極めて難しいものとなる。そこで、検出感度の良好な本実施形態のものでは、あえて駆動錘４における回転振動の共振周波数と、検出錘５における振動の共振周波数と、が異なるものとすることも可能である。これにより、感度は低くなるものの、製造上のばらつきに基づく検出感度のばらつきを抑制することができ、且つ製品の歩留りを向上させることができる。
【００３７】
以上のように、本実施形態によれば、一対の捻り支持ばね７，７の軸心が、駆動錘４や検出錘５等の可動部１０の重心を通るように配設されているため、可動部１０は、アンカー（捻り支持ばね７）６を中心にＺ軸方向においても対称に支持される。このため、Ｚ軸方向に直交する方向の加速度（重力加速度も含む）の影響を受けることがなく、可動部１０の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる。また、４本の連結支持ばね８により、駆動錘４の回転振動を吸収するようにしているため、検出錘５がこの回転振動に基づくノイズの影響を受けることがない。さらに、検出錘５をシーソー様に振動させる構造であるため、角速度の検出を安定に行うことができる。
【００３８】
次に、図２を参照して、上記の第１実施形態の変形例について説明する。この変形例では、Ｙ軸上において一対のアンカー６，６が駆動回転中心の近傍に背合せに配設され、これに連結した一対の捻り支持ばね７，７が、Ｙ軸上においてアンカー６から外向きに直線状に延在している。この場合も、上記の第１実施形態と同様に、一対の捻り支持ばね７，７は、その軸心が駆動錘４、検出錘５および連結支持ばね８を含む可動部１０の重心を通るように配設されている。したがって、この変形例にあっても、可動部１０の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができ、角速度の検出精度を向上させることができる。
【００３９】
図３は、第１実施形態の他の変形例を表している。この変形例では、連結支持ばね８を２本（一対）で構成している。すなわち、一対の連結支持ばね８，８が、Ｘ軸上においてＹ軸に対し左右対称に配置されている。上記と同様に、各連結支持ばね８は、幅狭の断面矩形に形成され、構造上、Ｚ軸方向の振動に対する剛性が、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性よりも高くなるように構成されている。そして、駆動錘４の回転振動を吸収すると共に駆動錘４が受けるコリオリ力を検出錘５に伝達する。また、この場合には、駆動錘４と検出錘５とがＸ軸方向でのみ連結されているため、Ｙ軸周り（他軸周り）の角速度に対するコリオリ力を、検出錘に伝達し難い構造となり、他軸周りのコリオリ力に基づくノイズを排除することができる。したがって、角速度の検出精度をより一層向上させることができる。
【００４０】
次に、図４を参照して、本発明の第２実施形態に係る回転振動型ジャイロ１について説明する。第２実施形態では、第１実施形態の回転振動型ジャイロ１と異なり、外側に検出錘５が配設され内側に駆動錘４が配設されている。すなわち、この回転振動型ジャイロ１は、基板２上において、最外周に位置する平板円環状の検出錘５と、検出錘５の内側に配設した略円板状の駆動錘４と、駆動錘４の左右（Ｘ軸方向）の扇状切欠き開口２１，２１に配設した一対の駆動電極３，３と、Ｙ軸上において駆動錘４の一対の切欠き部分２２，２２に背合せで配置した一対アンカー６，６と、一対のアンカー６，６と検出錘５との間に渡したＹ軸方向に直線状に延びる一対の捻り支持ばね７，７と、駆動錘４と検出錘５との間に渡した４本（複数）の連結支持ばね８と、検出錘５の変位を検出する一対の検出電極９，９と、を備えて構成されている。
【００４１】
この場合も、各アンカー６の形態、各捻り支持ばね７の形態および各連結支持ばね８の形態は、変形例を含む第１実施形態のものと同一であり、且つ同様の機能を発揮する。また、駆動電極３および検出電極９においても、個数や配置は異なるものの第１実施形態のものと同様の機能を有している。したがって、この実施形態にあっても、Ｚ軸方向に直交する方向の加速度の影響を受けることがなく、可動部１０の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができ、角速度の検出精度を向上させることができる。
【００４２】
次に、図５を参照して、第２実施形態の変形例について説明する。この変形例では、一対のアンカー６，６および一対の捻り支持ばね７，７が、検出錘５の外側に配設されている。すなちわ、Ｙ軸上において一対のアンカー６，６と一対の捻り支持ばね７，７とが、検出錘５の外側に配設されている。また、これに伴って、駆動錘４のＸ軸上およびＹ軸上に、計４つの扇状切欠き開口２１が形成され、この４つの扇状切欠き開口２１に４つの駆動電極３が配設されている。
【００４３】
これら第２実施形態の変形例においても、一対の捻り支持ばね７，７の軸心が、駆動錘５、検出錘４および連結支持ばね８を含む可動部１０の重心を通るように配設されている。したがって、この変形例にあっても、Ｚ軸方向に直交する方向の加速度の影響を受けることがなく、可動部１０の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができ、角速度の検出精度を向上させることができる。また、捻り支持ばね７とアンカー６とが可動部１０の外側に配設されているため、Ｙ軸を中心とするシーソー様の振動に対する剛性を抑えつつ、Ｚ軸回りの回転振動に対する剛性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】第１実施形態に係る回転振動型ジャイロの平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図２】第１実施形態の変形例に係る回転振動型ジャイロの平面図である。
【図３】第１実施形態の他の変形例に係る回転振動型ジャイロの平面図である。
【図４】第２実施形態に係る回転振動型ジャイロの平面図である。
【図５】第２実施形態の変形例に係る回転振動型ジャイロの平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  回転振動型ジャイロ                      ２  基板
３  駆動電極                                ４  駆動錘
５  検出錘                                  ６  アンカー
７  捻り支持ばね                            ８  連結支持ばね
９  検出電極                              １０  可動部
【図１】
2010054263.tif 000003
【図２】
2010054263.tif 000004
【図３】
2010054263.tif 000005
【図４】
2010054263.tif 000006
【図５】
2010054263.tif 000007