(57)【要約】【課題】  偏差に基づく補償動作の遅れを補い、目標値の変動に遅れなく追従し、応答性を向上させる。【解決手段】  設定された目標値と制御量との偏差に基づいて、フィードバック制御するプラントの制御装置３０であって、バルブ１３に入力されるバルブ開度Ｖと制御対象から出力される流量ｆとの入出力特性をあらかじめ記憶し、この入出力特性に基づき、目標値に対応するバルブ開度Ｖを特定するとともに、目標値が変動するタイミングにおいて、変動する目標値から特定されるバルブ開度Ｖをバルブ１３に入力するフィードフォワード制御手段と、を備える構成としてある。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
設定された目標値と制御量との偏差に基づいて、所定の制御対象をフィードバック制御するプラントの制御装置であって、
所定の操作端に入力される操作量とこの操作量に対する前記制御対象から出力される制御量との入出力特性をあらかじめ記憶する記憶部と、
前記入出力特性に基づき、目標値に対応する操作量を特定する特定部と、
目標値が変動するタイミングにおいて、変動する目標値から特定される操作量を前記操作端に出力する出力部と、を有するフィードフォワード制御手段を備えることを特徴とするプラントの制御装置。
【請求項２】
前記特定部が、変動前の目標値に対応する前回操作量と変動後の目標値に対応する今回操作量との差分を操作量として特定する請求項１記載のプラントの制御装置。
【請求項３】
前記プラントが、混合物から特定の成分を吸着させて分離する吸着分離装置であって、前記制御対象を、循環させる流体の流量を所定時間毎に変化させる吸着塔とした請求項１又は２記載のプラントの制御装置。
【請求項４】
前記操作端を、前記吸着塔おいて循環させる流体の流量を調節するバルブとした請求項３記載のプラントの制御装置。
【請求項５】
前記入出力特性が非線形を有する対象を制御対象とした請求項１〜４のいずれか一項に記載のプラントの制御装置。
【請求項６】
前記入出力特性が、実測データに基づき算出された近似式からなる請求項１〜５のいずれか一項に記載のプラントの制御装置。
【請求項７】
前記出力部から操作量が前記操作端に入力されるタイミングより、前記フィードバック制御に目標値の変動が伝達されるタイミングを遅らせる遅延手段を備える請求項１〜６のいずれか一項に記載のプラントの制御装置。
【請求項８】
目標値と外乱に対応する応答特性を個別に調整可能な二自由度ＰＩＤ演算手段を備える請求項１〜７のいずれか一項に記載のプラントの制御装置。
【請求項９】
前記出力部から操作端に入力される操作量を変化させる可変手段を備える請求項１〜８のいずれか一項に記載のプラントの制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、目標値と制御量との偏差に基づき、操作量を演算処理して出力するプラントの制御装置に関し、特に、目標値である流量が時間毎に大きく変動する吸着分離装置の制御に適したプラントの制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラントにおける混合物から特定の成分を選択的に分離する方法として、例えば、エチルベンゼンを含む混合キシレンよりパラキシレンを分離回収する場合には、液体クロマトグラフの原理に基づく吸着分離法が広く実施されている。
吸着分離法を用いたプラントの制御としては、ＵＮＩＶＥＲＳＡＬ  ＯＩＬ  ＰＲＯＤＵＣＴＳ社のパレックス（登録商標）法を用いた吸着分離装置がある。
【０００３】
吸着分離装置１は、図８に示すように、吸着剤が充填された２０以上の吸着床を有する吸着塔１０と、吸着塔１０内の流体をポンプ１１により強制的に循環させるライン１０１と、各吸着床と連通するライン１０２と、各ライン１０２と時分割で接続されるロータリーバルブ２０と、混合キシレンや、脱離剤、パラキシレンと脱離剤との混合液等を、ロータリーバルブ２０を介して、供給／抜出を行うライン２０１などから構成されている。
そして、各吸着床を、混合キシレンが流下移動していく間に、パラキシレンが吸着剤に吸着され、他の異性体と分離されるようになっている。
さらに、各吸着床は、ロータリーバルブ２０により、吸着分離工程の役割に応じたゾーンに所定時間毎に切替えられ、ゾーン毎に、混合キシレンの供給、パラキシレンと脱離剤との混合液の抜出等を行うことで、連続的にパラキシレンが回収できるようになっている。
【０００４】
このような、吸着分離装置１において、効率よくパラキシレンを回収するためには、各ライン１０１，２０１の流量を流量計１２，２２で計測し、吸着分離工程毎に、最適な流量となるように電磁弁からなるバルブ１３，２１を操作する特殊な制御を行う必要がある。
特に、吸着塔１０内の流体を循環させるライン１０１は、吸着塔１０の最下部が現在いかなるゾーンとして機能しているかによって、最上部に循環させる流量大幅に変化させる必要がある。
【０００５】
このような流量変化の制御は、プラントの制御装置３０（ＤＣＳ：デジタル制御装置）において行われている。制御装置３０は、ゾーン毎に目標値としての流量を設定するとともに、流量計１２で計測された実際の制御量と目標値との偏差に基づき、バルブ１３の開度を調節するフィードバック制御を行うようになっている。
【０００６】
ここで、フィードバック制御により、バルブやダンパーなどの操作端を操作する技術として、例えば、ダンパーの開方向と閉方向では、操作端の動作速度が異なることに着目して、動作に応じてＰＩＤ制御動作におけるＰＩＤパラメータを可変設定する発明が開示されている（特許文献１）。
また、目標値の量的、方向的な変化に応じてＰＩＤパラメータを変更するプロセス制御方法が開示されている（特許文献２）。
【０００７】
【特許文献１】特開平６−２５９１０５号公報
【特許文献２】特開平６−２３６２０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、そもそも、フィードバック制御は、偏差の発生に基づき、偏差をなくす追従制御であるため、目標値を急激に変化させるようなプロセス制御においては、応答性が悪い。
特に、吸着分離装置１の吸着塔１０は、容量も大きく、バルブ１３の開度に対し出力される流量も比例関係にないうえに、目標値の変化が制御量として現れるまでのむだ時間や遅れ時間を有する非線形の制御対象であるため、偏差に基づき、操作量を算出する一般的なＰＩＤ制御では、応答が悪くパラキシレンを効率的に回収できなかった。
さらに、吸着塔１０から、複数のライン１０２を介して、流体の供給／抜出を行うことため、ゾーン毎に吸着塔１０内圧が変化する外乱が発生し、流量が安定しなかった。このため、ＰＩＤパラメータを、外乱応答特性を重視するように設定しまうと、目標値応答性が悪くなりバランスの悪い設定となっていた。
例えば、図９に従来のＰＩＤ制御による実測データを示す。同図における破線は、制御装置３０で設定される目標値であって、流量の時間的な変化を示している。実線は、ＰＩＤ制御に基づき、流量計１２で計測された制御量である。
これらを比較すると、制御量が目標値に対して所定の範囲に収束するまでに要する時間（整定時間）が長く（約２分）、応答性が劣っていることがわかる。
【０００９】
本発明は、上述したような問題を解決するために提案されたものであり、目標値の変動に応じた操作量を直接操作端に入力することで、偏差に基づく補償動作の遅れを補い、応答性を向上させるプラントの制御装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明のプラントの制御装置は、設定された目標値と制御量との偏差に基づいて、所定の制御対象をフィードバック制御するプラントの制御装置であって、所定の操作端に入力される操作量とこの操作量に対する前記制御対象から出力される制御量との入出力特性をあらかじめ記憶する記憶部と、前記入出力特性に基づき、目標値に対応する操作量を特定する特定部と、目標値が変動するタイミングにおいて、変動する目標値から特定される操作量を操作端に出力する出力部と、を有するフィードフォワード制御手段を備える構成としてある。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のプラントの制御装置によれば、偏差に基づく補償動作の遅れを補い、目標値の変動に遅れなく追従することができ、応答性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係るプラントの制御装置の好ましい実施形態について、図を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係るプラントの制御装置を含むブロック線図であり、図２は、本実施形態に係るプラントの制御装置のＰＩＤ演算部と遅延部を示すブロック線図である。
図３は、本実施形態に係るプラントの制御装置で設定される目標値（流量）の時間的な変化を示す図であり、図４は、本実施形態に係るプラントの制御装置で実行されるフィードフォワード制御の概念を示した図である。
【００１３】
本実施形態に係るプラントの制御装置は、図８に示した吸着分離装置１を制御する制御装置３０である。
前述したように、図８の吸着分離装置１は、特に、吸着塔１０内の流体を最下部から最上部に循環させるライン１０１おいて、吸着塔１０の最下部が現在いかなるゾーンとして機能しているかによって、最上部に循環させる流量を大幅に変化させるようになっている。
具体的には、図３に示すように、最下部が機能するゾーン１〜４に応じて、最上部に循環させる流量を変化させる。
このような流量の変化は、本実施形態では、制御装置３０が所定の時間毎に目標値の変動として出力するようになっている。
そして、本実施形態の制御装置３０は、このように所定の時間毎に変化する目標値と、流量計１２において計測された制御量との偏差に基づき、吸着塔１０内の流体を最下部から最上部に循環させる流体の流量を調節するバルブ１３を開閉する操作量を演算し、偏差をなくすフィードバック制御を行うようになっている。
【００１４】
具体的には、本実施形態のプラントの制御装置３０は、ＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭなどの記憶手段、Ｉ／Ｏ等を有するコンピュータで構成され、図１及び図８に示すように、制御対象である吸着塔１０の最下部から最上部へ循環させる流量を流量計１２で計測し、計測された制御量ＰＶに基づき、操作端である循環させる流体の流量を調節するバルブ１３を操作する。
詳細には、制御装置３０には、目標値ＳＶ１として複数設定されている流量を所定の時間毎に切替えて出力する設定部３０１と、出力された目標値ＳＶ１をフィードバック制御に遅らせて伝達する遅延部３０２と、目標値ＳＶ１をＰＩＤ演算して目標値ＳＶ２を出力する第二のＰＩＤ演算部３０３と、ＰＩＤ演算部３０３から出力された目標値ＳＶ２と計測された制御量ＰＶから偏差Ｅを算出する減算部３０４と、この偏差Ｅに基づく操作量をＰＩＤ演算して出力する第一のＰＩＤ演算部３０５と、本発明のフィードフォワード手段であるフィードフォワード制御部３０６と、フィードフォワード制御部３０６からの操作量と、ＰＩＤ演算部３０５からの操作量を加算して、バルブ１３に操作量ＭＶを出力する加算部３０７などが設けられている。
【００１５】
設定部３０１は、少なくとも４つのゾーンに対応する目標値としての流量が設定されており、図８に示すロータリーバルブ２０の切替えタイミングに応じて、目標値ＳＶ１を変動して出力する。目標値ＳＶ１は、遅延部３０２とフィードフォワード制御部３０６にそれぞれ入力される。
遅延部３０２は、図２に示すように、一次遅れ系のフィルタとして機能し、設定部３０１から出力された目標値ＳＶ１がＰＩＤ演算部３０２へ入力される立ち上りを遅らせることができる。
また、立ち上りの遅れ時間は、時定数パラメータＴｊを変化させることで調整することができるようになっている。
【００１６】
ＰＩＤ演算部３０３は、図２に示すように、比例要素３０３ａと、積分要素３０３ｂと、微分要素３０３ｃと、微積分共通要素３０３ｄとで構成されている。
遅延部３０２によって遅れて伝達された目標値ＳＶ１は、最初に、比例要素３０２と積分要素３０２ｂと微分要素３０２ｃとに入力され、積分要素３０２ｂと微分要素３０２ｃからの出力が微積分共通要素３０２ｄに入力される。そして、比例要素３０２と微積分共通要素３０２ｄからの出力が加算され、目標値ＳＶ２として出力されるようになっている。
【００１７】
ＰＩＤ演算部３０５は、図２に示すように、微分先行型のＰＩＤ演算処理を行う比例積分要素３０５ａと微分要素３０５ｂで構成されている。
偏差Ｅが、比例積分要素３０５ａに入力されるとともに、制御量ＰＶが先行して微分要素３０５ｂに入力される。
そして、比例積分要素３０５ａと微分要素３０５ｂとの差が、加算部３０７に出力されるようになっている。
【００１８】
このように本実施形態では、ＰＩＤ演算部３０３とＰＩＤ演算部３０５の２つのＰＩＤ演算部が設けられている。これにより、本実施形態のプラントの制御装置３０は、ＰＩＤ演算部３０３にある比例、積分、微分の各要素にそれぞれ設けられた目標値パラメータα、β、γと、ＰＩＤ演算部３０５にある比例、積分、微分の各要素にそれぞれ設けられたＰＩＤパラメータ（Ｋｐ、Ｔｉ、Ｔｄ）とを個別に調整して、制御対象１０を制御する、所謂二自由度ＰＩＤ制御装置として機能するようになっている。
【００１９】
具体的には、図１に示すブロック線図の制御応答は、次式で表される。
ＰＶ＝［（Ｆ＋Ｈ・Ｇ１・Ｇ２）・Ｐ／（１＋Ｇ１・Ｐ）］×ＳＶ１
＋［Ｐ／（１＋Ｇ１・Ｐ）］×Ｄ・・・（１）
なお、Ｆ、Ｈ、Ｇ１、Ｇ２、Ｐは、それぞれ図１に示すように、フィードフォワード制御部３０６、遅延部３０２、ＰＩＤ演算部３０５、ＰＩＤ演算部３０３、制御対象１０の伝達関数を示す。
【００２０】
（１）式からわかるように、右辺第一項の目標値ＳＶ１に対して作用するＰＩＤ制御動作は、伝達関数Ｇ１と伝達関数Ｇ２であり、一方、右辺第二項の外乱Ｄに対しては、伝達関数Ｇ２は関与せず、伝達関数Ｇ１のみ作用する。
その結果、伝達関数Ｇ１に係るＰＩＤ演算部３０５のＰＩＤパラメータ（Ｋｐ、Ｔｉ、Ｔｄ）を、外乱Ｄが加わった場合にその影響を早急に抑制し得る状態、すなわち外乱抑制最適状態に設定するとともに、伝達関数Ｇ２に係るＰＩＤ演算部３０３の目標値パラメータα、β、γを、目標値ＳＶ１の変動に追随するのに最適な特性状態、すなわち目標値追随最適状態に設定することができる。
このように、本発明のプラントの制御装置３０は、目標値ＳＶ１と外乱Ｄの応答に対して各々個別にＰＩＤ動作の応答特性を調整可能とする二自由度ＰＩＤ制御装置として構成されており、これにより、制御対象１０に対して最適な応答を求めることができるようになっている。
【００２１】
さらに、本実施形態のプラントの制御装置３０には、偏差Ｅに基づく補償動作の遅れを補い、目標値ＳＶ１の変動に応じた操作量ＭＶを直接バルブ１３に入力するフィードフォワード手段であるフィードフォワード制御部３０６が設けられている。
フィードフォワード制御部３０６には、バルブ１３に入力される操作量ＭＶであるバルブ開度Ｖと、制御対象１０から出力され、流量計１２により計測される流量ｆである制御量ＰＶとの入出力特性をあらかじめ記憶する記憶３０６ａと、この入出力特性に基づき、目標値ＳＶ１に対応するバルブ開度Ｖを特定する特定部３０６ｂと、設定部３０１が目標値ＳＶ１を変動するタイミングにおいて、変動する目標値ＳＶ１から特定されたバルブ開度Ｖをバルブ１３に直接に出力する出力部３０６ｃなどから構成されている。
【００２２】
そして、記憶部３０６ａに記憶されているバルブ開度Ｖと流量ｆとの入出力特性は、あらかじめ実測されたデータに基づき決定される。
図５は、バルブ開度Ｖと流量ｆとの関係を示す実測データであり、図６（ａ）は、バルブ開度Ｖを横軸とし、流量ｆを縦軸として図５をグラフに示した図である。また、図６（ｂ）は、流量ｆを横軸とし、バルブ開度Ｖを縦軸として、図５をグラフに示すとともに、実測データに基づき、近似式として算出された入出力特性式を示す図である。
これらの図に示すように、バルブ開度Ｖと流量ｆとの関係は、比例関係とならない非線形特性を有している。そこで、これらの実測されたバルブ開度Ｖと流量ｆのデータから、次式に示すように、流量ｆを代入することで、バルブ開度Ｖが算出可能な近似式である流量ｆ−バルブ開度Ｖ特性式を求めることができる。
Ｖ＝Ｕ（ｆ）
＝ａｆ５＋ｂｆ４＋ｃｆ３＋ｄｆ２＋ｅｆ＋ｇ・・・（２）
但し、ａ〜ｇは、図５におけるバルブ開度Ｖと流量ｆの実測データから求められる定数である。
そして、記憶部３０６ａには、このｆ−Ｖ特性式が、入出力特性として記憶されている。
特定部３０６ｂは、このｆ−Ｖ特性式により、目標値ＳＶ１である流量ｆの変動に対応したバルブ開度Ｖを特定するようになっている。
【００２３】
具体的には、図４に示すように、特定部３０６ｂでは、設定部３０１で設定された前回の目標値ＳＶ１（ｎ−１）と、新たに設定された今回の目標値ＳＶ１（ｎ）である各々の流量ｆを、ｆ−Ｖ特性式に代入して、前回の目標値ＳＶ１（ｎ−１）に対応したバルブ開度Ｖ（ｎ−１）と今回の目標値ＳＶ１（ｎ）に対応したバルブ開度Ｖ（ｎ）を算出する。
そして、さらに、特定部３０６ｂでは、前回のバルブ開度Ｖ（ｎ−１）と今回のバルブ開度Ｖ（ｎ）との差分ΔＶ（＝Ｖ（ｎ）−Ｖ（ｎ−１））を算出し、この差分ΔＶをバルブ１３に出力する操作量として特定する。
このように、実測データに基づく近似式から操作量を特定するため、操作端と制御対象が実際に有する特性から、かけ離れた操作量となることはない。また、実測データに基づく近似式から操作量を特定するため、入出力特性が非線形性を有する制御対象にも適用できる。
【００２４】
次に、出力部３０６ｃは、この差分ΔＶを、設定部３０１が変動する目標値ＳＶ１を出力するタイミングで、バルブ１３の操作量として図１に示す加算部３０７に出力する。
その結果、加算部３０７において、ＰＩＤ演算部３０５からの出力と、フィードフォワード制御部３０６からの出力が加算され、この加算値が操作量ＭＶとしてバルブ１３に入力されるようになっている。
ところが、遅延部３０２を介して、フィードバック制御に伝達される目標値ＳＶ１の変動は、立ち上りが遅れるため、設定部３０１が変動する目標値ＳＶ１を出力するタイミングでは、フィードフォワード制御部３０６からの出力が先にバルブ１３に入力されるようになっている。
このように、フィードフォワード制御部３０６が、目標値ＳＶ１の変動に応じた操作量を直接バルブ１３に入力するため、目標値ＳＶ１の変動に対する応答特性を飛躍的に向上することができる。
また、フィードフォワード制御部３０６からの出力は、前回のバルブ開度Ｖ（ｎ−１）と今回のバルブ開度Ｖ（ｎ）との差分ΔＶであり、絶対値と異なり、相対的な値となるため、絶対誤差を減少することができる。
【００２５】
また、遅延部３０２の一次遅れ系のフィルタにおける時定数Ｔｊは、出力部３０６ｃから直接バルブ１３に入力される操作量に対して、制御対象１０から出力される流量の応答特性と、位相がほぼ一致するように設定されている。
すなわち、制御対象１０は、遅れ時間やむだ時間を有することから、フィードフォワード制御部３０６による直接操作に対しても、応答が遅れることになるため、この応答特性に合わせて、遅延部３０２の時定数Ｔｊが設定されている。
その結果、遅延部３０２を介して、フィードバック制御に伝達される目標値変動の時間的な変化と、フィードフォワード制御部３０６の出力部３０６ｃからの出力によって生じる目標値変動に対する応答特性とは、位相が一致することになるため（ＳＶ１≒ＰＶ）、目標値が変動するタイミングにおいて、偏差Ｅの発生を抑制することができ、ＰＩＤ演算部３０５はほとんど動作しないようになっている。
つまり、ＰＩＤ演算部３０５は、目標値が変動した後において、偏差Ｅの迅速な整定と、外乱Ｄの抑制とを担うＰＩＤ制御手段として機能するようになっている。
【００２６】
このような本実施形態のプラントの制御装置３０における制御に基づく実際の制御結果を図７に示す。
図７は、設定部３０１から出力される目標値（破線）の変動に対する実測された制御量（実線）の応答特性を示す図である。
これを前述の図９と比べると、制御量が目標値に対して所定の範囲に収束するまでに要する時間（整定時間）が半分以下（約１分）となり、応答性が格段に向上していることがわかる。
このように、本発明のプラントの制御装置３０では、フィードフォワード制御部３０６が、目標値ＳＶ１の変動に対応する操作量を直接バルブ１３に入力することで、制御対象１０の応答を速めることができるとともに、遅延部３０２により位相を遅らせることで、ＰＩＤ演算部３０５による補償動作と干渉することなく、最適な制御を行うことができる。
【００２７】
さらに、本実施形態では、フィードフォワード制御部３０６からの操作量出力を変化させる可変手段を備えている。
具体的には、前述した記憶部３０６ａに記憶されているｆ−Ｖ特性式（式（２））において、調整可能なパラメータとして、適応ゲインＫａと、切替係数Ｍが次式のように設定されている。
Ｖ＝Ｋａ・Ｍ・Ｕ（ｆ）・・・（３）
（３）式において、適応ゲインＫａは、フィードフォワード制御部３０６の出力部３０６ｃから出力される操作量を加減調整するパラメータとして設定してある。
一方、切替係数Ｍは、‘０’又は‘１’のいずれかを選択可能なパラメータとして設定してある。
これにより、フィードフォワード制御部３０６からの出力をゼロにすることもできる。すなわち、フィードフォワード制御部３０６の機能を停止状態又は作動状態に切替えることができるようになっている。
【００２８】
すなわち、吸着分離装置１の稼動状況や、変動させる目標値流量の差に応じて、フィードフォワード制御を行うか否か選択できる。
また、フィードフォワード制御部３０６が停止状態のときは、遅延部３０２が機能しないようにする切替手段を備えることもできる。
さらに、前述の第二のＰＩＤ演算部３０３の目標値パラメータα、β、γにおいても、図２に示すようにα＝１、β＝０、γ＝０とすることにより、ＰＩＤ演算部３０３の伝達関数を‘１’とすることができ、これにより、ＰＩＤ演算部３０５のみからなるＰＩＤ制御装置とすることもできる。
このように、本実施形態のプラントの制御装置３０は、上述のパラメータを調整することで、吸着分離装置１の稼動状況や、変動させる目標値流量の差、さらには応答特性が異なる制御対象にも対応できる。
【００２９】
以上説明したように、本発明のプラントの制御装置によれば、目標値の変動に応じた操作量を直接操作端に入力することで、偏差に基づく補償動作の遅れを補い、応答性を向上させることができる。特に、目標値が大きく変動し、操作端に入力される操作量と当該操作量に対応して出力される制御量とが非線形を有するとともに、遅れ時間、むだ時間を有する制御対象を最適に制御することができる。
【００３０】
以上、本発明のプラントの制御装置の好ましい実施形態について説明したが、本発明に係るプラントの制御装置は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることはいうまでもない。
例えば、本実施形態では、プラントの制御装置を、吸着分離装置に適用したが、一般的に広い設定範囲を有する流量制御や、加熱炉のダンパーの制御など、操作端の操作量に対する制御対象からの出力特性が非線形性を有するプラントの制御に適用できる。
また、本実施形態では、二自由度ＰＩＤ制御として、第二のＰＩＤ演算部を設定部３０１の後段に設けたが、二自由度ＰＩＤ制御は、さまざまな構成が提案されていることから、目標値の変動に作用するパラメータと、外乱の抑制に作用するパラメータとが、各々個別に調整できれば足り、本実施形態の構成には限定されない。
また、操作端は、制御対象に応じて変わるため、バルブに限定するものではない。例えば、ダンパーなどの操作量と出力される制御量とが非線形を有する操作端に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、プラントの制御装置として広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係るプラントの制御装置を含むブロック線図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るプラントの制御装置のＰＩＤ演算部と遅延部を示すブロック線図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るプラントの制御装置で設定される目標値の時間的な変化を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るプラントの制御装置で実行されるフィードフォワード制御の概念を示した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る操作端に入力される操作量に対応して制御対象から出力される制御量の実測値を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る操作端の操作量と制御量との関係を示し、（ａ）は、バルブ開度を横軸とし、流量を縦軸としてグラフに示した図であり、（ｂ）は、流量を横軸とし、バルブ開度を縦軸としてグラフに示した図と、流量（ｆ）−バルブ開度（Ｖ）の特性式を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るプラントの制御装置で設定される目標値と実測された制御量との関係を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るプラントの制御装置が適用される吸着分離装置の概略図である。
【図９】従来のＰＩＤ制御による設定された目標値と実測された制御量との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  吸着分離装置
１２  流量計
１３  バルブ
３０  制御装置
３０２  遅延部
３０３  ＰＩＤ演算部
３０５  ＰＩＤ演算部
３０６  フィードフォワード制御部
【図１】
2010003071.tif 000003
【図２】
2010003071.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010003071.tif 000006
【図５】
2010003071.tif 000007
【図６】
2010003071.tif 000008
【図７】
2010003071.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010003071.tif 000011