(57)【要約】【課題】搬送システムにおいて、保管庫とその外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行う。【解決手段】搬送システムは、保管庫及び複数のコンベアより構成される第２の搬送装置を備える。保管庫は、複数の棚、第１及び第２の移載装置を含む。第１の移載装置は棚と第２の移載装置との間で被搬送物の授受を行う。特に、第２の搬送装置は保管庫内を横断するように配置されている。これにより、保管庫内に対して、第２の搬送装置を通じて被搬送物を直接的に搬送できる。そして、第２の移載装置は、当該保管庫内においてコンベア及び第１の移載装置との間で被搬送物の授受を行う。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物の受け渡しを行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間の短縮が図れ、保管庫とその外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。【選択図】図５
2010098041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する搬送装置と、
前記被搬送物を保管する少なくとも１つの棚と、前記棚との間で前記被搬送物の授受を行う第１の移載装置とを有する保管庫と、を備え、
前記搬送装置は前記保管庫内を横断するように配置され、
前記保管庫は、当該保管庫内において前記搬送装置及び前記第１の移載装置との間で前記被搬送物の授受を行う第２の移載装置を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記第２の移載装置は、前記保管庫内へ前記被搬送物を入庫する際に、前記搬送装置に載置された前記被搬送物を受け取って、受け取った前記被搬送物を前記第１の移載装置に受け渡すことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第２の移載装置は、前記保管庫内から前記被搬送物を出庫する際に、前記第１の移載装置より受け渡された前記被搬送物を前記搬送装置に受け渡すことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送装置は、一列状に配置された複数のコンベアを備え、
前記保管庫内には、相互に間隙をあけて隣接する２つの前記コンベアの少なくとも一部が配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記コンベアの各々は、前記保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をあけて配置された一対のコンベアユニットを有することを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記第２の移載装置は、前記保管庫の高さ方向及び前記高さ方向とは逆方向に昇降する昇降機構と、前記昇降機構に支持され、前記被搬送物を保持する被搬送物保持部と、を備え、
前記被搬送物保持部は、一端が前記昇降機構に支持され、前記昇降機構側から前記コンベア側にかけて延在する支持部材と、前記支持部材の前記一端とは逆側に設けられ、前記被搬送物を載置する被搬送物載置部と、を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記支持部材の延在方向と直交する方向の幅は、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向における前記間隙の幅より小さく、
前記支持部材の一部は、前記保管庫内の前記間隙に対応する位置に配置されていると共に、前記被搬送物載置部は、前記保管庫内の前記一対のコンベアユニットの間の領域に対応する位置に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記第１の移載装置は、前記保管庫の高さ方向及び前記高さ方向とは逆方向に昇降可能な他の昇降機構と、前記他の昇降機構に支持され、前記棚と平行な水平面上を前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に往復移動可能な水平面移動機構と、前記水平面移動機構の一端に支持され、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向に延在すると共に前記被搬送物を載置する他の被搬送物載置部と、を備え、
前記他の被搬送物載置部と前記被搬送物載置部とは、前記保管庫内において相互に向かい合うことが可能な位置に配置されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記被搬送物載置部は、前記保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された第１及び第２の被搬送物載置部を有し、
前記他の被搬送物載置部は、前記第１及び第２の被搬送物載置部の間の領域に対応する位置まで延在していると共に、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に対応する前記他の被搬送物載置部の幅は、前記第１の被搬送物載置部と前記第２の被搬送物載置部との間隔より小さく、
前記第１の移載装置と前記第２の移載装置との間で前記被搬送物の授受を行う際、前記他の被搬送物載置部は、前記他の昇降機構及び前記水平面移動機構を通じて前記第１の被搬送物載置部と前記第２の被搬送物載置部との間の領域に対応する位置に配置されることを特徴とする請求項８に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送するコンベアと、コンベアより搬送されてきた被搬送物を一時的に保管する保管庫とを備える搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工場や液晶表示パネル製造工場等では、製造プロセスに従って、製造過程の被搬送物を搬送システムにより搬送する。ここで、被搬送物としては、例えば半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物が挙げられる。また、搬送手段としては、例えば、搬送コンベア、ＯＨＴ（Over head Hoist Transport）、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）等が挙げられる。
【０００３】
このような搬送システムは、大型の保管庫（一般に「ストッカ」とも呼称される）と組み合わせて用いられることがある（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
この特許文献１には、自動倉庫及びコンベア方式の入出庫ステーションなどを用いた自動倉庫における物品入出庫方法が記載されている。この自動倉庫は、多数の物品Ｗを収容することが可能な一対の物品保管棚と、物品保管棚に沿って往復移動するスタッカクレーンなどを備えている。そして、入出庫ステーションは、物品保管棚の長手方向の一方の端部を臨むように設置されている。また、入出庫ステーションは、自動倉庫における物品Ｗの出入口であり、物品保管棚から出庫すべき物品Ｗをスタッカクレーンから積み降ろす場所となっているほか、入庫すべき物品Ｗをスタッカクレーンへ積み込む場所ともなっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２３８３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、保管庫と、保管庫の外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことが可能な搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの観点では、搬送システムは、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する搬送装置と、前記被搬送物を保管する少なくとも１つの棚と、前記棚との間で前記被搬送物の授受を行う第１の移載装置とを有する保管庫と、を備え、前記搬送装置は前記保管庫内を横断するように配置され、前記保管庫は、当該保管庫内において前記搬送装置及び前記第１の移載装置との間で前記被搬送物の授受を行う第２の移載装置を備える。
【０００８】
上記の搬送システムは、搬送装置と保管庫とを備える。搬送装置は、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を搬送する。例えば、搬送装置は、被搬送物を載せた状態で当該被搬送物を、一方向又は当該一方向とは逆方向、つまり双方向に向けて搬送する。ここで、被搬送物としては、例えば半導体基板等を収容するＦＯＵＰなどが挙げられる。保管庫は、被搬送物を保管する少なくとも１つの棚と、棚との間で被搬送物の授受を行う第１の移載装置とを有する。
【０００９】
特に、この搬送システムでは、搬送装置は保管庫内を横断するように配置されている。これにより、保管庫内に対して、搬送装置を通じて被搬送物を直接的に搬送することが可能となる。そして、保管庫は、当該保管庫内において搬送装置及び第１の移載装置との間で被搬送物の授受を行う第２の移載装置を備える。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物の授受又は受け渡しを行う構成と比較して、保管庫内への被搬送物の入出庫時間を短縮することができ、保管庫と、保管庫の外部の搬送装置との間において被搬送物の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。
【００１０】
上記の搬送システムの一つの態様では、第２の移載装置は、保管庫内へ被搬送物を入庫する際に、搬送装置に載置された被搬送物を受け取って、受け取った被搬送物を第１の移載装置に受け渡す。これにより、保管庫内に被搬送物を円滑に入庫することが可能となる。
【００１１】
上記の搬送システムの他の態様では、第２の移載装置は、保管庫内から被搬送物を出庫する際に、第１の移載装置より受け渡された被搬送物を搬送装置に受け渡す。これにより、保管庫内から搬送装置に対して被搬送物を円滑に出庫することが可能となる。
【００１２】
上記の搬送システムの他の態様では、搬送装置は、一列状に配置された複数のコンベアを備え、保管庫内には、相互に間隙をあけて隣接する２つのコンベアの少なくとも一部が配置されている。
【００１３】
上記の搬送システムの他の態様では、コンベアの各々は、保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をあけて配置された一対のコンベアユニットを有する。
【００１４】
上記の搬送システムの他の態様では、第２の移載装置は、保管庫の高さ方向及び前記高さ方向とは逆方向に昇降する昇降機構と、昇降機構に支持され、被搬送物を保持する被搬送物保持部と、を備え、被搬送物保持部は、一端が昇降機構に支持され、昇降機構側からコンベア側にかけて延在する支持部材と、支持部材の一端とは逆側に設けられ、被搬送物を載置する被搬送物載置部と、を有する。
【００１５】
上記の搬送システムの他の態様では、支持部材の延在方向と直交する方向の幅は、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向における前記間隙の幅より小さく、支持部材の一部は、保管庫内の前記間隙に対応する位置に配置されていると共に、被搬送物載置部は、保管庫内の一対のコンベアユニットの間の領域に対応する位置に配置されている。
【００１６】
これにより、第２の移載装置は、昇降機構を通じて、支持部材を保管庫内の前記間隙を通してコンベアの上方又は下方に位置させることができると共に、被搬送物載置部を保管庫内の一対のコンベアユニットの間を通してコンベアの上方又は下方に位置させることができる。こうした被搬送物保持部の昇降動作により、第２の移載装置と搬送装置との間で被搬送物の移し替えを容易に行うことができる。
【００１７】
上記の搬送システムの他の態様では、第１の移載装置は、保管庫の高さ方向及び前記高さ方向とは逆方向に昇降可能な他の昇降機構と、他の昇降機構に支持され、棚と平行な水平面上を前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に往復移動可能な水平面移動機構と、水平面移動機構の一端に支持され、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向に延在すると共に被搬送物を載置する他の被搬送物載置部と、を備え、他の被搬送物載置部と被搬送物載置部とは、保管庫内において相互に向かい合うことが可能な位置に配置されている。
【００１８】
上記の搬送システムの他の態様では、被搬送物載置部は、保管庫の高さ方向と直交する方向であって、且つ前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された第１及び第２の被搬送物載置部を有し、他の被搬送物載置部は、第１及び第２の被搬送物載置部の間の領域に対応する位置まで延在していると共に、前記搬送装置による前記被搬送物の搬送方向と直交する方向に対応する他の被搬送物載置部の幅は、第１の被搬送物載置部と第２の被搬送物載置部との間隔より小さく、第１の移載装置と第２の移載装置との間で被搬送物の授受を行う際、他の被搬送物載置部は、他の昇降機構及び水平面移動機構を通じて第１の被搬送物載置部と第２の被搬送物載置部との間の領域に対応する位置に配置される。
【００１９】
この態様によれば、第１の移載装置と第２の移載装置との間で被搬送物の授受を行う際、他の被搬送物載置部が第１の被搬送物載置部と第２の被搬送物載置部との間の領域に対応する位置に配置された状態で、第１の移載装置の昇降機構を通じて、被搬送物載置部に対して他の被搬送物載置部を昇降させることにより、被搬送物載置部から他の被搬送物載置部へ、或いは、他の被搬送物載置部から被搬送物載置部へ被搬送物を容易に移し替えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００２１】
[搬送システム]
まず、図１乃至図４を参照して、本発明の実施形態に係る搬送システム１００の構成について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る搬送システム１００の外観構成を模式的に示す斜視図である。図２は、搬送システム１００の高さ方向に沿った一断面図を示す。図３（ａ）は、棚１２と被搬送物３との係合状態を示す断面図である。図３（ｂ）は、被搬送物載置部１３ｃと被搬送物３との係合状態を示す断面図である。図４（ａ）は、図２の切断線Ａ−Ａ’に沿った保管庫１０の断面図を示し、特に第１の移載装置１３による被搬送物３の搬送方法を説明する図である。図４（ｂ）は、図２の切断線Ｂ−Ｂ’に沿った保管庫１０の平面構成を示し、特に第２の移載装置１４の平面構成を示す。図５は、第２の搬送装置２０、第２の移載装置１４及び第１の移載装置１３を模式的に示す要部斜視図を示し、特に第２の搬送装置２０、第２の移載装置１４及び第１の移載装置１３の連携による被搬送物３の搬送方法を説明する図である。なお、図５に示す、コンベア２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、図４（ｂ）に示すコンベア２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対応している。また、図５では、筐体１１などの図示を省略し、説明に必要な最小限の要素のみ図示している。
【００２３】
搬送システム１００は、半導体製造工場や液晶製造工場等に設置され、保管庫１０と、第１の搬送装置３０と、第２の搬送装置２０と、コントローラ４０と、を備える。この搬送システム１００では、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０により、保管庫１０等に対して被収容物（図示略）を収容する被搬送物３を搬送する。
【００２４】
ここで、被収容物としては、例えば、半導体ウェーハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の各種の基板が挙げられる。また、被搬送物３としては、例えばＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）などが挙げられる。本例では、被搬送物３は、図３に示すように、その上面側に設けられた板状のフランジ部４と、その底面に設けられた複数の凹部５及び６と、を有する。フランジ部４は、後述する搬送車２の把持部２ｂにより把持される部位である。各凹部５は、棚１２に被搬送物３を載置した場合に、図３に示すように、その棚１２に設けられた凸部１２ａｂと嵌合する部位である。各凹部６は、図３に示すように、被搬送物載置部１３ｃに被搬送物３を載置した場合に、被搬送物載置部１３ｃに設けられた各凸部１３ｃｂと嵌合する部位である。
【００２５】
（保管庫の構成）
まず、保管庫１０の構成は次の通りである。
【００２６】
保管庫１０は、図示しない床の上に設置され、コントローラ４０による入出庫指示に従って、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０によって搬送されてきた被搬送物３を一時的に保管する役割を果たす。
【００２７】
具体的に、保管庫１０は、筺体１１と、少なくとも１つ（本例では複数）の棚１２と、第１の移載装置１３と、第２の移載装置１４と、を備える。
【００２８】
筺体１１は、アルミニウムなどの金属素材等により形成される。筐体１１は、４つの側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ）と、当該４つの側面に隣接すると共に床側に位置する底面１１ｅと、底面１１ｅと対向する上面１１ｆとを含む箱状の形状を有し、複数の棚１２、第１の移載装置１３及び第２の移載装置１４を夫々収容している。ここで、側面１１ａは、相互に対向する側面１１ｂ及び１１ｄに隣接していると共に側面１１ｃに対向している。
【００２９】
また、筐体１１は、開口１１ｇ、１１ｈ、１１ｉを有する。開口１１ｇは、筐体１１の側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｄ）及び上面１１ｆの一部を切り欠いて形成される。開口１１ｇは、後述する搬送車２と棚１２との間で被搬送物３の授受を行うために利用される。開口１１ｈ、１１ｉは、後述するコンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するために用いられる。本例では、開口１１ｈは、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｂに設けられると共に、開口１１ｉは、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｄに且つ開口１１ｈに対応する位置に設けられる。但し、本発明では、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するための開口の位置は、筐体１１において、上記した位置に限定されるものではない。
【００３０】
複数の棚１２は、筐体１１内に配置され、被搬送物３を一時的に載置及び保管する役割を有する。本例では、筐体１１の高さ方向に一列状に配置された一群の棚１２が、側面１１ａ及び１１ｃの側に夫々配置されており、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２と、側面１１ｃ側に配置された一群の棚１２とは相互に対向する位置に配置されている。但し、側面１１ａ側において、側面１１ｃ側に配置された一群の棚１２のうち最下段に位置する棚１２と対向する位置には棚１２は設けられていない。各棚１２は、Ｕ字状又はコの字状の平面形状を有する。各棚１２の上面１２ａには、図３に示すように、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合する複数の凸部１２ａｂが形成されている。各凸部１２ａｂは、各棚１２の上面１２ａに保管用の被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された複数の凹部５と嵌合して、各棚１２に対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。
【００３１】
また、側面１１ａ側に配置された一群の棚１２のうち、最上段の棚１２は、開口１１ｇを通じて搬送車２との間で被搬送物３の授受を行うための入出庫用ポートとして機能する。
【００３２】
第１の移載装置１３は、複数の棚１２及び第２の移載装置１４との間で被搬送物３の授受又は受け渡しを行う。具体的には、第１の移載装置１３は、コントローラ４０による入庫指示に従い、第２の移載装置１４より受け取った被搬送物３を指定の棚１２に載置する役割を有する。一方、第１の移載装置１３は、コントローラ４０による出庫指示に従い、指定の棚１２より取り出した被搬送物３を第２の移載装置１４へ受け渡す役割を有する。
【００３３】
第１の移載装置１３は、昇降機構１３ａと、水平移動機構１３ｂと、被搬送物載置部１３ｃと、を備え、筐体１１の側面１１ｂ側に配置される。
【００３４】
昇降機構１３ａは、保管庫１０の高さ方向（図２の矢印Ｙ４方向）に昇降可能に構成される。例えば、昇降機構１３ａは、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向に延在する案内部１３ａｂに沿って昇降する。本例では、案内部１３ａｂは筐体１１内の側面１１ｂに取り付けられている。
【００３５】
水平移動機構１３ｂは、昇降機構１３ａに支持され、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって、且つ棚１２と平行な水平面上をコンベア２０ｚの配列方向（図１及び図４の矢印Ｙ２方向）と直交する方向（図２及び図４の矢印Ｙ３方向）に往復移動可能に構成される。例えば、水平移動機構１３ｂは、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向に延在する案内部１３ｂａに沿って往復移動する。水平移動機構１３ｂは、昇降機構１３ａの駆動により、案内部１３ａｂに沿って昇降する。
【００３６】
被搬送物載置部１３ｃは、被搬送物３を載置する長板状部材である。被搬送物載置部１３ｃは、水平移動機構１３ｂに支持され、コンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）に向かって延在している。なお、被搬送物載置部１３ｃと、後述する被搬送物保持部１８とが平面的に重なり合った場合に、被搬送物載置部１３ｃは、被搬送物載置部１８ｂにおける、第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間を上方及び下方へ通過することが可能な長さに形成されている。また、被搬送物載置部１３ｃの延在方向と直交する方向の幅（長さ）ｄ２は、図３乃至図５に示すように、Ｕ字状又はコの字状の棚１２の間隔ｄ５より小さく、また、コンベア２０ｚにおける、コンベアユニット２１とコンベアユニット２２との間隔ｄ１より小さい。
【００３７】
被搬送物載置部１３ｃは、昇降機構１３ａの駆動により、案内部１３ａｂに沿って昇降すると共に、水平移動機構１３ｂの駆動により、案内部１３ｂａに沿って往復移動する。被搬送物載置部１３ｃの上面１３ｃａには、図３乃至図５に示すように、被搬送物３の底面に形成された複数の凹部６と嵌合する複数の凸部１３ｃｂが形成されている。各凸部１３ｃｂは、被搬送物載置部１３ｃの上面１３ｃａに被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された各凹部６と嵌合して、被搬送物載置部１３ｃに対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。
【００３８】
第２の移載装置１４は、第１の移載装置１３、及び保管庫１０内に配置されたコンベア２０ａとの間で被搬送物３の授受又は受け渡しを行う。具体的には、第２の移載装置１４は、コントローラ４０による入庫指示に従い、保管庫１０内において、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３を受け取って、受け取った被搬送物３を第１の移載装置１３に受け渡す役割を有する。一方、第２の移載装置１４は、コントローラ４０による出庫指示に従い、第１の移載装置１３より受け渡された被搬送物３をコンベア２０ａ上に載置する役割を有する。なお、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３は、各種の製造装置等に向けて搬送される。
【００３９】
第２の移載装置１４は、図４（ｂ）及び図５に示すように、昇降機構１７と、被搬送物保持部１８と、を備え、筐体１１の側面１１ｄ側に配置される。
【００４０】
昇降機構１７は、図４（ｂ）及び図５に示すように、保管庫１０の高さ方向及び当該高さ方向とは逆方向（図２の矢印Ｙ４方向）に昇降可能に構成される。例えば、昇降機構１７は、図５に示すように、図示しないモータなどにより、筐体１１の高さ方向に延在する案内部１７ａに沿って昇降する。本例では、案内部１７ａは、図４（ｂ）に示すように、筐体１１内の側面１１ｄに取り付けられている。
【００４１】
被搬送物保持部１８は、図４（ｂ）及び図５に示すように、昇降機構１７に支持され、被搬送物３の搬送時に当該被搬送物３を保持する。具体的に、被搬送物保持部１８は、支持部材１８ａ及び被搬送物載置部１８ｂを有し、昇降機構１７の駆動により、案内部１７ａに沿って昇降する。
【００４２】
支持部材１８ａは、一端が昇降機構１７に支持され、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって且つ昇降機構１７側からコンベア２０ｚ側にかけて延在する長板状部材である。支持部材１８ａの延在方向と直交する方向の幅ｄ１２は、図４（ｂ）及び図５に示すように、コンベア２０ａ（２０ｚ）とコンベア２０ｃ（２０ｚ）との間の間隙５１の幅（長さ）ｄ１１より小さい。支持部材１８ａの一部は、保管庫１０内の間隙５１に対応する位置に配置されている。
【００４３】
被搬送物載置部１８ｂは、被搬送物３の搬送時に当該被搬送物３を載置する。被搬送物載置部１８ｂは、保管庫１０内において、被搬送物載置部１３ｃと相互に向かい合うことが可能な位置に配置されている。また、被搬送物載置部１８ｂは、支持部材１８ａの一端とは逆側（他端）であって、且つ保管庫１０内に位置する、コンベア２０ａを構成する一対のコンベアユニット２１及び２２の間に対応する位置に配置される。本例では、被搬送物載置部１８ｂは、筐体１１の高さ方向と直交する方向であって且つ支持部材１８ａの他端側から筐体１１の側面１１ｂ側に向かって延在する長板状の第１の被搬送物載置部１８ｂａ及び第２の被搬送物載置部１８ｂｂを有する。
【００４４】
第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとは一定の間隔ｄ１をあけて相互に対向する位置に配置されている。また、第１の被搬送物載置部１８ｂａ及び第２の被搬送物載置部１８ｂｂの各上面には、図４（ｂ）及び図５に示すように、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合する複数の凸部１９が形成されている。各凸部１９は、被搬送物載置部１８ｂ上に被搬送物３を載置した場合に、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合して、被搬送物載置部１８ｂに対する被搬送物３の移動を規制する役割を有する。
【００４５】
（第１の搬送装置の構成）
次に、第１の搬送装置３０の構成は次の通りである。
【００４６】
第１の搬送装置３０は、軌道（レール）１と、搬送車２と、を備える。
【００４７】
軌道１は、例えば保管庫１０が配置される天井（図示しない）に懸垂される。軌道１の一部は、保管庫１０の上方において、その開口１１ｇを横断する位置に配置される。
【００４８】
搬送車２としては、例えばＯＨＴ（Over head Hoist Transport）が挙げられる。搬送車２は、例えばリニアモータなどの駆動方式により軌道１に沿って保管庫１０を横断する方向（図１の矢印Ｙ１方向）に走行する。搬送車２は、被搬送物３を保管庫１０に向けて搬送するのに加えて、各種処理装置、各種製造装置、或いは各種検査装置等に向けて搬送する。
【００４９】
具体的に、搬送車２は、被搬送物３を収容する収容部２ａと、被搬送物３を把持又は開放する把持部２ｂと、把持部２ｂを昇降する昇降機構（図示略）と、を備える。この搬送車２においては、把持部２ｂによって被搬送物３のフランジ部４を把持した状態で、昇降機構を通じて把持部２ｂを昇降させることにより、被搬送物３の昇降を行う。
【００５０】
本例では、搬送車２は、コントローラ４０からの入庫指示に従い、開口１１ｇの位置で停止して、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚１２の上に載置（入庫）する。一方、搬送車２は、コントローラ４０からの出庫指示に従い、開口１１ｇの位置で停止して、入出庫ポートとして機能する棚１２の上に載置された出庫待ちの被搬送物３を受け取る。
【００５１】
なお、本例では、搬送車２による被搬送物３の搬送方向は、後述する第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送方向に対して逆方向になっている。しかし、かかる構成は一例であり、本発明では、搬送車２による被搬送物３の搬送方向と、第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送方向とは同一の方向であっても構わない。
【００５２】
（第２の搬送装置の構成）
次に、第２の搬送装置２０の構成は次の通りである。
【００５３】
第２の搬送装置２０は、保管庫１０を横断する方向（本例では図１及び図４（ｂ）等の矢印Ｙ２方向）に向かって一列状に配置された複数のコンベア２０ｚを備える。各コンベア２０ｚは、一対のコンベアユニット（２１、２２）を有して構成される。コンベアユニット２１と、コンベアユニット２２とは、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つ各コンベア２０ｚの配列方向（矢印Ｙ２方向）と直交する方向に一定の間隔ｄ１０をあけて配置されている。
【００５４】
本例では、コンベアユニット２１及び２２としては、図１に示すように、複数のローラ（回転部材）２１ａ、２２ａと、複数のローラ２１ａ、２２ａに巻かれたベルト２１ｂ、２２ｂと、を有するベルト駆動方式のコンベアを採用している。また、コンベア２０ｚの配列方向に相隣接するコンベアユニット２１の間には一定の幅ｄ１１を有する間隙５１が形成されていると共に、コンベア２０ｚの配列方向に相隣接するコンベアユニット２２の間にも一定の幅ｄ１１を有する間隙５１が形成されている。
【００５５】
複数のコンベア２０ｚのうち、少なくとも２つのコンベア２０ｚの少なくとも一部は、開口１１ｈ、１１ｉを通じて保管庫１内に配置される。本例では、図４（ｂ）に示すように、複数のコンベア２０ｚのうち、コンベア２０ａは保管庫１０内に配置され、また、コンベア２０ｂは、保管庫１０の外部から内部にかけて開口１１ｈを跨るように配置され、また、コンベア２０ｃは、保管庫１０の内部から外部にかけて開口１１ｉを跨るように配置されている。但し、本発明では、保管庫１０内に配置されるコンベア２０ｚの数に限定はない。
【００５６】
（コントローラの構成）
次に、コントローラ４０の構成は次の通りである。
【００５７】
コントローラ４０は、図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）や、図示しないＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等に代表されるメモリなどを備え、製造プロセスに基づいて、保管庫１０、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０に対する各種の制御を行う。例えば、コントローラ４０は、製造プロセスに基づいて、保管庫１０、第１の搬送装置３０及び第２の搬送装置２０に対して被搬送物３の搬送及び入出庫などの指示を出したりする。
【００５８】
［保管庫システムの動作］
（第１の搬送装置と保管庫との間における搬送動作）
次に、第１の搬送装置３０と保管庫１０との間における搬送動作の一例について簡単に説明する。なお、以下では、入出庫ポートとして機能する棚（図２の領域Ｐ１に位置する棚）１２から、その棚１２と同段の棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）へ被搬送物３を入庫する動作について説明する。
【００５９】
まず、軌道１に沿って走行する搬送車２は、コントローラ４０による入庫指示を受けると、図２に示すように、保管庫１０の開口１１ｇの上方位置で停止して、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚（図２の領域Ｐ１に位置する棚）１２の上に載置する。ここで、図３（ａ）には、被搬送物３が入庫ポートとして機能する棚１２に載置された状態が示されている。このとき、棚１２上に形成された各凸部１２ａｂは、被搬送物３の底面に形成された各凹部５と嵌合して、当該棚１２に対する被搬送物３の移動が規制される。
【００６０】
次に、保管庫１０内の第１の移載装置１３は、その棚１２上に載置された被搬送物３を、同段のもう一つの棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）１２上に移載する。この場合、まず、第１の移載装置１３は、図３（ａ）の矢印方向に示すように、被搬送物載置部１３ｃをＵ字状又はコの字状の平面形状を有する棚１２の間隙部分を通過するように上昇させ、被搬送物３を当該棚１２から被搬送物載置部１３ｃへ移し替える。このとき、被搬送物載置部１３ｃ上に形成された各凸部１３ｃｂは、被搬送物３の底面に形成された各凹部６と嵌合して、被搬送物載置部１３ｃに対する被搬送物３の移動が規制される。かかる状態が図３（ｂ）に示されている。
【００６１】
次に、第１の移載装置１３は、昇降機構１３ａによる昇降及び水平移動機構１３ｂによる水平移動を通じて、図４（ａ）の矢印方向に示すように、被搬送物載置部１３ｃ上に移し替えられた被搬送物３を、入出庫ポートとして機能する棚１２と同段のもう一つの棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）１２上に移載する。こうして、被搬送物３を入出庫ポートとして機能する棚（図２の領域Ｐ１に位置する棚）１２から、その棚１２と同段の棚（図２の領域Ｐ２に位置する棚）への被搬送物１３の入庫作業が完了する。なお、図２の領域Ｐ２に位置する棚１２に載置された被搬送物３を、入出庫ポートとして機能する棚（図２の領域Ｐ１に位置する棚）１２を通じて第１の搬送装置３０に向けて出庫する方法は、上記した方法と逆のことを行えばよい。
【００６２】
（第２の搬送装置と保管庫との間における搬送動作）
次に、図２、図４（ｂ）及び図５等を参照して、第２の搬送装置２０と保管庫１０との間における搬送動作の一例について説明する。
【００６３】
まず、第２の搬送装置２０による被搬送物３の入庫動作は次の通りである。
【００６４】
コントローラ４０は、第２の搬送装置２０及び保管庫１０に対して被搬送物３の入庫指示を出す。これに伴って、第２の移載装置１４は、昇降機構１７を通じて被搬送物保持部１８を案内部１７ａに沿って下降させて、被搬送物載置部１８ｂをコンベア２０ａにおける、コンベアユニット２１とコンベアユニット２２との間の領域の真下に配置する。この場合、第２の移載装置１４は、昇降機構１７を通じて、支持部材１８ａを保管庫１０内において隣接するコンベア２０ａ及び２０ｃの間隙５１を通してコンベア２０ｚの下方に位置させると共に、被搬送物載置部１８ｂを保管庫１０内の一対のコンベアユニット（２１、２２）の間を通してコンベア２０ｚの下方に位置させる。かかる被搬送物保持部１８の状態が図５の破線にて示されている。
【００６５】
一方、第２の搬送装置２０の複数のコンベア２０ｚは、コントローラ４０からの被搬送物３の入庫指示に従い、被搬送物３を保管庫１０内に向けて搬送する。このとき、複数のコンベア２０ｚは、被搬送物３を保管庫１０側（矢印Ｙ２方向）に搬送して、さらに被搬送物３を筐体１１の開口１１ｈを通過させて保管庫１０内に進入させ、さらに被搬送物３をコンベア２０ａの位置まで到達させた段階で、コンベア２０ａの駆動を停止する。これにより、被搬送物３はコンベア２０ａ上で待機した状態となる。
【００６６】
次に、第２の移載装置１４は、保管庫１０内において、コンベア２０ａ上で待機している被搬送物３を受け取る。具体的には、第２の移載装置１４は、昇降機構１７を通じて被搬送物保持部１８を案内部１７ａに沿って上昇させ、被搬送物３をコンベア２０ａ上から被搬送物載置部１８ｂ上に移し替える（図示略）。この場合、第２の移載装置１４は、昇降機構１７による支持部材１８ａの上昇を通じて、支持部材１８ａをコンベア２０ａ及び２０ｃの間隙５１を通してコンベア２０ｚの上方に位置させると共に、被搬送物載置部１８ｂを保管庫１０内の一対のコンベアユニット（２１、２２）の間を通してコンベア２０ｚの上方に位置させる。これにより、被搬送物３をコンベア２０ａ上から被搬送物載置部１８ｂ上に移し替える。
【００６７】
また、このとき、被搬送物保持部１８は、図５に示すように、コンベア２０ａの上面から被搬送物３の上面までの高さｄ３よりも高い位置まで上昇させられる。即ち、このとき、コンベア２０ａの上面から被搬送物載置部１８ｂの下面までの高さｄ４は、コンベア２０ａの上面から被搬送物３の上面までの高さｄ３より大きくなる。これは、保管庫１０の上流側のコンベア２０ｚより順次搬送されてくる、入庫の必要のない被搬送物３を保管庫１０の下流側に通過させて、第２の搬送装置２０による被搬送物３の搬送を円滑にするためである。
【００６８】
次に、第１の移載装置１３は、昇降機構１３ａを通じて被搬送物載置部１３ｃを図５の矢印Ｙ１０に示す経路に沿って動作させて、被搬送物３を被搬送物載置部１８ｂ上から被搬送物載置部１３ｃ上へ移し替える。
【００６９】
具体的には、まず、このとき、第１の移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃが被搬送物載置部１８ｂより下方に位置するように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物載置部１３ｃを案内部１３ａに沿って下降させる。次に、第１の移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃが被搬送物載置部１８ｂにおける、第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間の領域の真下に位置するように、水平移動機構１３ｂを通じて被搬送物載置部１３ｃをコンベア２０ｚ側に向けて水平移動させる。
【００７０】
次に、第１の移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃが第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間を上方に向かって通過するように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物載置部１３ｃを上昇させる。これにより、被搬送物保持部１８上に載置された被搬送物３が被搬送物載置部１３ｃ上へ移し替えられる（図示略）。次に、第１の移載装置１３は、上述した方法により、昇降機構１３ａ及び水平移動機構１３ｂの制御を通じて、被搬送物３を複数の棚１２のうち指定の棚１２上に載置する。こうして、保管庫１０内への被搬送物３の入庫動作が完了する。
【００７１】
次に、第２の搬送装置２０による被搬送物３の出庫動作は次の通りである。
【００７２】
コントローラ４０は、第２の搬送装置２０及び保管庫１０に対して被搬送物３の出庫指示を出す。これに伴って、まず、第１の移載装置１３の被搬送物載置部１３ｃは、昇降機構１３ａ及び水平移動機構１３ｂの制御を通じて、複数の棚１２のうち指定の棚１２から出庫用の被搬送物３を受け取る。
【００７３】
次に、第１の移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃが第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間の領域に対して平面的に重なるように、水平移動機構１３ｂを通じて被搬送物載置部１３ｃを水平移動させる。次に、第１の移載装置１３は、被搬送物載置部１３ｃが第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間の領域を下方に向かって通過するように、昇降機構１３ａを通じて被搬送物載置部１３ｃを下降させる。これにより、被搬送物載置部１３ｃ上に載置された被搬送物３が被搬送物載置部１８ｂ上へ移し替えられる（図示略）。
【００７４】
次に、第２の搬送装置２０は各コンベア２０ｚの駆動を一時的に停止しつつ、さらに、第２の移載装置１４は、上述した方法により昇降機構１７を通じて被搬送物保持部１８を案内部１７ａに沿って下降させて、被搬送物載置部１８ｂをコンベア２０ａにおける、コンベアユニット２１とコンベアユニット２２との間の領域の真下に配置する。これにより、被搬送物載置部１８ｂ上に載置された被搬送物３がコンベア２０ａ上へ移し替えられる（図示略）。
【００７５】
次に、第２の搬送装置２０は各コンベア２０ｚを駆動させる。こうして、コンベア２０ａ上に載置された被搬送物３が、保管庫１０の下流側に向けて搬送され、被搬送物３の出庫動作が完了する。
【００７６】
次に、この搬送システム１００の特徴的な点について説明する。
【００７７】
この搬送システム１００では、第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚは保管庫１０内を横断するように配置されている。これにより、保管庫１０内に対して、第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚを通じて被搬送物３を直接的に搬送することが可能となる。そして、保管庫１０は、当該保管庫１０内において第２の搬送装置２０の各コンベア２０ｚ及び第１の移載装置１３との間で被搬送物３の授受を行う第２の移載装置１４を備えている。これによれば、保管庫の外部に配置された搬送装置と、保管庫との間で被搬送物３の受け渡しを行う構成と比較して、保管庫１０内への被搬送物３の入出庫時間を短縮することが可能となり、保管庫１０と第２の搬送装置２０との間において被搬送物３の搬送を迅速且つ容易に行うことができる。
【００７８】
また、この搬送システム１００では、保管庫１０内に被搬送物３を入庫する際に、第２の移載装置１４は、保管庫１０内において、第２の搬送装置２０のコンベア２０ａ上に載置された被搬送物３を受け取って、受け取った被搬送物３を第１の移載装置１３の被搬送物載置部１３ｃ上に受け渡す。これにより、保管庫１０内に被搬送物３を円滑に入庫することが可能となる。
【００７９】
また、この搬送システム１００では、第２の移載装置１４は、保管庫１０内から被搬送物３を出庫する際に、第１の移載装置１３より受け渡された被搬送物３を第２の搬送装置２０に受け渡す。これにより、保管庫１０内から第２の搬送装置２０に対して被搬送物３を円滑に出庫することが可能となる。
【００８０】
また、この搬送システム１００では、第２の搬送装置２０は、保管庫１０を横断する方向（本例では図１、図４（ｂ）及び図５の矢印Ｙ２方向）に向かって一列状に配置された複数のコンベア２０ｚを備え、相互に間隙５１をあけて隣接する２つのコンベア２０ｚの少なくとも一部は、保管庫１０内に配置されて構成される。また、各コンベア２０ｚは、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つ保管庫１０を横断する方向と直交する方向に間隔ｄ１０をあけて配置された一対のコンベアユニット（２１、２２）を有する。また、支持部材１８ａの延在方向と直交する方向の幅ｄ１２は、隣接するコンベア２０ａ及び２０ｃの間隙５１の幅ｄ１１より小さく、支持部材１８ａの一部は、保管庫１０内の間隙５１に対応する位置に配置されている。また、被搬送物載置部１８ｂの延在方向と直交する方向の幅ｄ１３は、コンベアユニット２１とコンベアユニット２２の間隔ｄ１０より小さく、被搬送物載置部１８ｂは、保管庫１０内の一対のコンベアユニット（２１、２２）の間に対応する位置に配置されている。
【００８１】
これにより、第２の移載装置１４は、昇降機構１７を通じて、支持部材１８ａを保管庫１０内において隣接するコンベア２０ａ及び２０ｃの間隙５１を通してコンベア２０ｚの上方又は下方に位置させることができると共に、被搬送物載置部１８ｂを保管庫１０内の一対のコンベアユニット（２１、２２）の間を通してコンベア２０ｚの上方又は下方に位置させることができる。こうした被搬送物保持部１８の昇降動作により、第２の移載装置１４と第２の搬送装置２０のコンベア２０ｚとの間で被搬送物３の移し替えを容易に行うことができる。
【００８２】
また、この搬送システム１００では、被搬送物載置部１８ｂは、保管庫１０の高さ方向と直交する方向であって、且つコンベア２０ｚの配列方向と直交する方向に間隔ｄ１０をおいて配置された第１の被搬送物載置部１８ｂａ及び第２の被搬送物載置部１８ｂｂを有し、被搬送物載置部１３ｃは、第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間の領域に対応する位置まで延在していると共に、被搬送物載置部１３ｃの幅ｄ２は、第１の被搬送物載置部１８ｂａと第２の被搬送物載置部１８ｂｂとの間隔ｄ１より小さく、第１の移載装置１３と第２の移載装置１４との間で被搬送物３の授受を行う際、被搬送物載置部１３ｃは、昇降機構１３ａ及び水平移動機構１３ｂを通じて第１の被搬送物載置部１８ｂａ及び第２の被搬送物載置部１８ｂｂの間の領域に対応する位置に配置される。
【００８３】
この構成によれば、第１の移載装置１３と第２の移載装置１４との間で被搬送物３の授受を行う際、第１の移載装置１３の昇降機構１３ａを通じて、被搬送物載置部１８ｂに対して被搬送物載置部１３ｃを昇降させることにより、被搬送物載置部１３ｃから被搬送物載置部１８ｂへ、或いは、被搬送物載置部１８ｂから被搬送物載置部１３ｃへ被搬送物３を容易に移し替えることができる。
【００８４】
[変形例]
本発明では、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形をすることが可能である。
【００８５】
図６は、図１に対応する、変形例に係る搬送システム１００ａの外観構成を模式的に示す斜視図である。
【００８６】
変形例に係る搬送システム１００ａと、上記した実施形態に係る搬送システム１００とを比較した場合、その両者は、筐体１１の構成が若干異なり、それ以外は同様である。
【００８７】
即ち、上記した実施形態に係る搬送システム１００では、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置するために、筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｂに開口１１ｈを設けると共に筐体１１の底面１１ｅ側であって且つ側面１１ｄに且つ開口１１ｈに対応する位置に開口１１ｉを設けるようにした。
【００８８】
この点、変形例に係る搬送システム１００ａでは、筐体１１ｗにそのような開口１１ｈ、１１ｉを設けるのではなく、筐体１１ｗには、その底面１１ｅ側において、側面（１１ａ、１１ｂ、１１ｄ）の一部を切り欠いて形成される開放部１１ｖを設けるようにしている。これにより、コンベア２０ｚを保管庫１０内に配置することが可能となり、上記した本実施形態と同様の作用効果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送システムの外観構成を模式的に示す斜視図。
【図２】本実施形態に係る搬送システムの高さ方向に沿った一断面図。
【図３】棚又は第１の移載装置の被搬送物載置部と被搬送物の係合状態を示す断面図。
【図４】図２の切断線Ａ−Ａ’及びＢ−Ｂ’に沿った保管庫の各断面図。
【図５】第２の搬送装置、第２の移載装置及び第１の移載装置の連携による被搬送物の搬送方法を説明する要部斜視図。
【図６】本発明の変形例に係る搬送システムの外観構成を模式的に示す斜視図。
【符号の説明】
【００９０】
１  軌道、  ２  搬送車、  ３  被搬送物、  １０  保管庫、  １１、１１ｗ  筐体、  １１ｈ、１１ｉ  開口、  １１ｖ  開放部、  １２  棚、  １３  第１の移載装置、  １３ａ、１７  昇降機構、  １３ｂ  水平移動機構、  １３ｃ、１８ｂ  被搬送物載置部、  １４  第２の移載装置、  １８  被搬送物保持部、  ２０  第２の搬送装置、  ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｚ  コンベア、  ２１、２２  コンベアユニット、  ３０  第１の搬送装置、  ４０  コントローラ、  １００、１００ａ  搬送システム
【図１】
2010098041.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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