(57)【要約】【課題】機能性部品の位置精度を高める電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】コレット１５は、ケーシング１２側に突出するガイド部１６が一体に設けられている。機能性部品１３を運搬するコレット１５は、ガイド部１６の端面１６１がケーシング１２の端面１２１に接することにより、移動を停止する。これにより、吸着部１７に吸着された機能性部品１３の位置は、移動を停止したコレット１５の吸着部１７によって規定される。そのため、接着剤１４の粘度や厚み、あるいはケーシング１２や機能性部品１３の寸法のばらつきに関わらず、機能性部品１３の端面１３１とケーシング１２の端面１２１とは同一の平面上に位置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能性部品を脱着可能に吸着する吸着部を有するコレットと、
前記コレットに設けられ、端面が前記機能性部品を収容するケーシングに接することにより前記ケーシングに対して前記吸着部に吸着されている前記機能性部品の位置を規定するガイド部と、
を備えることを特徴とする電子部品の製造装置。
【請求項２】
前記吸着部は、前記機能性部品の形状に合わせて成形され前記機能性部品を吸着する吸着面を有することを特徴とする請求項１記載の電子部品の製造装置。
【請求項３】
前記コレットは、前記吸着部に吸着された前記機能性部品を加熱する加熱部を有することを特徴とする請求項１または２記載の電子部品の製造装置。
【請求項４】
機能性部品を、前記機能性部品を収容するケーシングの所定の位置に取り付ける電子部品の製造方法であって、
コレットに設けられている吸着部に機能性部品を吸着する工程と、
前記機能性部品を吸着した前記コレットを、所定の位置に接着剤が塗布された前記ケーシングに移動する工程と、
前記吸着部に吸着された前記機能性部品を前記接着剤に押し付けながら、前記コレットを前記コレットに設けられているガイド部の前記ケーシング側の端面と前記ケーシングの前記コレット側の端面とが接するまで前記ケーシング側に移動する工程と、
前記ガイド部の端面と前記ケーシングの端面とが接した状態を維持したまま、前記接着剤を硬化させる工程と、
を含むことを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記接着剤を硬化させる工程では、前記コレットに設けられている加熱部で前記吸着部に吸着されている前記機能性部品を経由して前記接着剤を加熱することを特徴とする請求項４記載の電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記接着剤を硬化させる工程は、
前記ガイド部と前記ケーシングとが接した状態で前記コレットを前記ケーシング側に押し付けたまま、前記機能性部品の位置を保持する程度に前記接着剤を仮硬化する工程と、
前記ガイド部と前記ケーシングとの接触を解除して、仮硬化した前記接着剤をさらに加熱して本硬化する工程と、
を含むことを特徴とする請求項４または５記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造装置および製造方法に関し、特に機能性部品をケーシングに取り付ける電子部品の製造装置および製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体のセンサチップや光学素子などの機能性部品は、取り付け位置が機能性部品の特性に影響を与える。センサチップや光学素子の場合、センサ面や受光面となる機能面の位置精度の確保が重要であり、位置精度の高い加工方法が求められている。機能性部品と、これを収容するケーシングとは、例えば接着剤によって固定されている。そこで、接着剤の塗布量や機能性部品を接着剤に押し付ける圧力を調整することにより、機能性部品の位置精度の向上が図られている。しかし、接着剤の粘度のばらつき、機能性部品およびケーシングの寸法のばらつきなどにより、機能性部品を取り付ける位置の精度向上は困難である。そのため、センサチップの検出精度などにばらつきが生じ、電子部品は個別に調整が必要となるとともに、検出精度の低下を招く。
【０００３】
そこで、特許文献１は、ケーシングに突起を設けることにより、センサチップとケーシングとの間の接着剤の厚さを規定している。また、接着剤に固形のビーズを混入させ、ビーズの径によってセンサチップとケーシングとの間の接着剤の厚さを規定することも提案されている。しかしながら、センサチップなどの機能性部品とケーシングとの間の接着剤の厚さを規定しても、機能性部品の寸法にばらつきがある場合、機能性部品の取り付け位置精度、特に機能面の位置精度の確保は困難である。また、特許文献１のように、ケーシングとセンサチップが突起によって接している場合、センサチップはケーシングの熱膨張などの影響を受けやすくなるという問題がある。
【特許文献１】特開２００４−１０３６４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ケーシングの熱的な影響を受けることなく、機能性部品の位置精度が向上する電子部品の製造装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、機能性部品の位置精度を高める電子部品の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明では、コレットにはガイド部が設けられている。ガイド部が機能性部品を収容するケーシングに接することにより、吸着部に吸着された機能性部品の位置が規定される。例えば、ガイド部のケーシング側の端面と吸着部のケーシング側の端面とを同一の平面上に設ける場合、ガイド部がケーシングに接しているとき、吸着部に吸着されている機能性部品のコレット側の端面はケーシングのコレット側の端面に一致する。これにより、機能性部品の端面とケーシングのコレット側の端面とは、同一の平面上に位置する。このように、ガイド部とケーシングとの位置合わせによって、機能性部品の位置が規定される。その結果、機能性部品およびケーシングの形状、ならびに機能性部品とケーシングとを接着する接着剤の物性に関係なく、機能性部品の位置が規定される。また、機能性部品またはケーシングは、直接接することもない。したがって、ケーシングの熱的な影響を受けることなく、機能性部品の位置精度を高めることができる。
【０００６】
請求項２記載の発明では、吸着部の端面は機能性部品の形状に合わせて成形されている。機能性部品は、例えばセンサチップのような半導体チップなどの板状だけでなく、レンズなどの球面状に形成される場合がある。吸着部の端面をこれら機能性部品の端面形状に合わせることにより、ケーシングに対する機能性部品の位置合わせ精度が向上する。したがって、機能性部品の位置精度を高めることができる。
【０００７】
請求項３記載の発明では、コレットは加熱部を有している。例えば熱硬化性の接着剤を用いて機能性部品とケーシングとを接着する場合、加熱部により機能性部品を加熱することにより、この熱によって接着剤が硬化する。そのため、機能性部品は、ケーシングに取り付けられた後、コレットの吸着部によって位置が規定されたまま接着剤でケーシングに固定される。したがって、機能性部品を精度よく固定することができるとともに、コレットの移動が不要となり工程を短縮することができる。
【０００８】
請求項４記載の発明では、吸着部に機能性部品を吸着したコレットは、接着剤が塗布されたケーシングへ移動するとともに、ガイド部の端面がケーシングに接するまで移動する。ガイド部の端面がケーシングに接することにより、吸着部に吸着された機能性部品の位置は規定される。例えば、ガイド部のケーシング側の端面と吸着部のケーシング側の端面とを同一の平面上に設ける場合、ガイド部がケーシングに接しているとき、吸着部に吸着されている機能性部品のコレット側の端面はケーシングのコレット側の端面に一致する。これにより、機能性部品の端面とケーシングのコレット側の端面とは、同一の平面上に位置する。このように、ガイド部とケーシングとの位置合わせによって、機能性部品の位置が規定される。その結果、機能性部品およびケーシングの形状、ならびに機能性部品とケーシングとを接着する接着剤の物性に関係なく、機能性部品の位置が規定される。また、ガイド部の端面とケーシングの端面とが接したまま、すなわちケーシングに対し機能性部品の位置が規定されたまま、接着剤は硬化される。これにより、機能性部品は、規定された位置が接着剤によって保持されるとともに、コレットおよびケーシングの移動は不要となる。したがって、工数の増大を招くことなく、機能性部品の位置精度を高めることができる。
【０００９】
請求項５記載の発明では、コレットの加熱部によって機能性部品を経由して接着剤が加熱される。例えば熱硬化性の接着剤を用いて機能性部品とケーシングとを接着する場合、加熱部により機能性部品を加熱することにより、この熱によって接着剤が硬化する。そのため、機能性部品は、ケーシングに取り付けられた後、コレットの吸着部によって位置が規定されたまま接着剤でケーシングに固定される。したがって、機能性部品を精度よく固定することができるとともに、コレットの移動が不要となり工程を短縮することができる。
【００１０】
請求項６記載の発明では、接着剤を硬化させる工程では、仮硬化および本硬化の工程が含まれている。ガイド部とケーシングとの接触によって機能性部品の位置を規定しているとき、接着剤は機能性部品の位置を維持可能な程度に硬化すればよい。仮硬化された接着剤は、別の工程および別の設備で本硬化される。このように、接着剤の効果を仮硬化および本硬化に分けることにより、コレットのガイド部とケーシングとが接したまま接着剤を硬化させる時間が短縮される。すなわち、コレットとケーシングとの接触時間は短縮される。その結果、機能性部品のケーシングへの取り付けおよび接着剤の仮硬化と、接着剤の本硬化とが分離されるため、コレットの稼動効率が向上する。したがって、全工程に必要な時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明による電子部品の製造装置の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施形態において実質的に同一の構成部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態による電子部品の製造装置を図１に示す。製造装置１０は、図１（Ａ）および（Ｂ）に示すように載置台１１に載置されているケーシング１２に機能性部品１３を取り付けることにより図１（Ｃ）に示す電子部品１００を製造する。電子部品１００は、主にケーシング１２、機能性部品１３、接着剤１４、および例えばボンディングワイヤやリードフレームなどの図示しない配線部材から構成されている。
【００１２】
製造装置１０は、コレット１５およびガイド部１６を備えている。コレット１５は、中央に吸着部１７を有している。吸着部１７は、ケーシング１２側の端面に吸着面１８を有している。ガイド部１６は、吸着部１７の外周側にコレット１５と一体に設けられている。コレット１５およびガイド部１６は、例えばセラミックスなどにより一体に形成されている。ケーシング１２は、例えばセラミックスや樹脂などで形成されており、機能性部品１３を収容する収容部１９を有している。第１実施形態の場合、収容部１９は、ケーシング１２に窪んで設けられている。収容部１９には、機能性部品１３が取り付けられる位置に、接着剤１４が塗布されている。接着剤１４としては、例えば加熱することにより硬化する熱硬化性の接着剤が適用される。
【００１３】
コレット１５は、図示しない外部の駆動装置により、図１の前後左右方向へ移動可能であるとともに、上下に移動可能である。コレット１５は、図１の前後または左右方向へ移動することにより、外部に設けられている図示しない貯留部から機能性部品１３を運搬する。そして、コレット１５は、図１の上下方向へ移動することにより、運搬した機能性部品１３をケーシング１２に取り付ける。コレット１５は、吸着部１７の中心部を貫く吸気穴２１を有している。吸気穴２１は、図示しない外部の減圧ポンプに接続している。吸着部１７は、ケーシング１２側の端面である吸着面１８に機能性部品１３を吸着する。すなわち、吸気穴２１の内部を減圧することにより、機能性部品１３は吸着部１７の吸着面１８に吸着される。
【００１４】
ガイド部１６は、コレット１５からケーシング１２側へ突出している。ガイド部１６のケーシング１２側の端面１６１は、ケーシング１２のコレット１５側の端面１２１と接触可能である。コレット１５がケーシング１２側に下降するとき、ガイド部１６の端面１６１とケーシング１２の端面１２１とが接することにより、コレット１５はケーシング１２側への移動が制限される。第１実施形態の場合、ガイド部１６の端面１６１と吸着部１７の吸着面１８とは、同一の平面上に位置している。
コレット１５は、吸着部１７の近傍に加熱部２２を有している。加熱部２２は、例えば電気ヒータなどを有しており、通電することにより発熱する。通電により加熱部２２から発生した熱は、吸着部１７に吸着されている機能性部品１３に伝わる。これにより、吸着部１７に吸着されている機能性部品１３は、加熱部２２によって加熱される。
【００１５】
次に、上記の構成による製造装置１０による電子部品１００の製造方法について説明する。
まず、図１（Ａ）に示すように製造装置１０のコレット１５は、機能性部品１３をケーシング１２へ運搬する。上述のようにコレット１５は、図示しない駆動装置により外部の貯留部に貯留されている機能性部品１３をケーシング１２へ運搬する。このとき、載置台１１には、ケーシング１２が載置されている。また、載置台１１に載置されているケーシング１２は、収容部１９に接着剤１４が塗布されている。この場合、接着剤１４は、まだ硬化していない。
【００１６】
機能性部品１３がケーシング１２へ運搬されると、コレット１５は図１（Ｂ）に示すように下方すなわちケーシング１２側へ移動する。コレット１５は、ガイド部１６の端面１６１がケーシング１２の端面１２１に接するまでケーシング１２側へ移動する。ガイド部１６の端面１６１とケーシング１２の端面１２１とが接すると、コレット１５は移動を停止する。このとき、コレット１５が下方へ移動することにより、吸着部１７に吸着されている機能性部品１３もケーシング１２側へ移動する。そして、吸着部１７に吸着されている機能性部品１３は、未硬化の接着剤１４を押し付けながらケーシング１２側へ移動する。
【００１７】
第１実施形態の場合、上述のようにガイド部１６の端面１６１と吸着部１７の吸着面１８とは同一の平面上に位置している。そのため、吸着部１７に吸着されている機能性部品１３のコレット１５側の端面１３１は、ケーシング１２の端面１２１とほぼ同一の平面上に位置する。例えば自動車の吸気流量を検出するエアフローメータを電子部品１００とする場合、ケーシング１２であるエアフローメータの本体に機能性部品１３であるセンサチップが取り付けられる。このとき、センサチップによる吸気の流れの乱れを低減させるために、センサチップの端面と本体の端面とは同一の平面上に位置することが望ましい。第１実施形態の場合、ガイド部１６の端面１６１とケーシング１２の端面１２１とが接してコレット１５の移動が停止したとき、吸着部１７に吸着されている機能性部品１３の端面１３１とケーシング１２の端面１２１とは同一の平面上に位置する。すなわち、接着剤１４の厚さや粘度、ケーシング１２や機能性部品１３の寸法にばらつきがあっても、機能性部品１３の端面１３１は、ガイド部１６の端面１６１によってい位置が規定される。その結果、機能性部品１３の端面１３１は、ケーシング１２の端面１２１と同一の平面上に位置する。
【００１８】
ガイド部１６の端面１６１とケーシング１２の端面１２１との接触によりコレット１５が移動を停止すると、加熱部２２は通電される。通電された加熱部２２は発熱し、加熱部２２から発生した熱は吸着部１７に吸着された機能性部品１３を経由して接着剤１４に伝わる。機能性部品１３を例えばセンサチップなどの半導体チップで形成する場合、機能性部品１３の板厚は数ｍｍ以下である。そのため、加熱部２２で発生した熱は、機能性部品１３を経由して容易に接着剤１４へ伝わる。これにより、熱硬化性の接着剤１４は、機能性部品１３を経由して伝えられる熱によって硬化する。このとき、接着剤１４は、完全に硬化する必要がない。すなわち、接着剤１４は、機能性部品１３を規定の位置、すなわち機能性部品１３の端面１３１とケーシング１２の端面１２１とが同一の平面上に位置している状態を維持できる程度に硬化すれば足りる。このように、接着剤１４は、加熱部２２による短期間の加熱により仮硬化される。
【００１９】
接着剤１４が仮硬化されると、コレット１５は図示しない吸引ポンプによる機能性部品１３の吸着を停止するとともに、図示しない駆動部により上方へ移動する。接着剤１４は仮硬化されているため、図１（Ｃ）に示すようにコレット１５がケーシング１２から離れても、機能性部品１３の端面１３１はケーシング１２の端面１２１と同一の平面上に維持されている。機能性部品１３が取り付けられたケーシング１２は、後続する工程によって再度加熱される。これにより、接着剤１４が本硬化し、機能性部品１３はケーシング１２に固定される。
【００２０】
以上説明したように、本発明の第１実施形態では、コレット１５に設けられているガイド部１６の端面１６１が機能性部品１３を収容するケーシング１２の端面１２１に接することにより、コレット１５は移動を停止する。これにより、吸着部１７に吸着された機能性部品１３の位置は、移動を停止したコレット１５の吸着部１７によって規定される。そのため、接着剤１４の粘度や厚み、あるいはケーシング１２や機能性部品１３の寸法のばらつきに関わらず、機能性部品１３の端面１３１とケーシング１２の端面１２１とは同一の平面上に位置する。したがって、機能性部品１３の位置精度、特にセンサ面などが設けられる端面１３１の位置精度を高めることができる。
【００２１】
また、第１実施形態では、機能性部品１３の位置を規定するためにケーシング１２と機能性部品１３とを直接接触させる必要がない。そのため、機能性部品１３は、ケーシング１２の寸法の変化による影響を受けにくい。したがって、機能性部品１３の精度の低下を招くことがない。
さらに、第１実施形態では、コレット１５に内蔵した加熱部２２によって機能性部品１３を経由して接着剤１４を加熱している。そのため、機能性部品１３は、ケーシング１２に取り付けられた後、コレット１５の吸着部１７によって位置が規定されたまま接着剤１４でケーシング１２に固定される。また、接着剤１４は、機能性部品１３の位置を維持するための仮硬化と、完全に硬化させる本硬化との工程を経て硬化する。そのため、ケーシング１２に取り付けられた機能性部品１３とコレット１５との接触時間は、仮硬化に必要な比較的短時間となる。接着剤１４が仮硬化されると、ケーシング１２および機能性部品１３は例えば他の設備などで本硬化される。これにより、コレット１５は、仮硬化が完了すると、次の機能性部品１３の運搬およびケーシング１２への取り付けへ移行する。したがって、コレット１５の稼働効率が向上し、全体的な加工効率を高めることができる。
【００２２】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態による製造装置を図２に示す。
第２実施形態では、図２に示すようにケーシング１２は機能性部品１３を収容する傾斜した収容部１９を有している。例えば車両に搭載される電子部品１００は、空間的な制約などから、水平方向に対し傾斜した面に搭載せざるをえない場合がある。一方、電子部品１００を構成する例えば加速度センサなどの機能性部品１３は、センサ面すなわち機能性部品１３の端面１３１が水平面と一致することが要求される。このような場合、電子部品１００を搭載する部分の傾斜を相殺する角度で機能性部品１３をあらかじめケーシング１２に取り付けることにより、機能性部品１３の端面１３１を水平面に一致させることができる。
【００２３】
図２（Ａ）に示すように吸着部１７に吸着された機能性部品１３は、接着剤１４が塗布されたケーシング１２へコレット１５によって運搬される。そして、図２（Ｂ）に示すようにコレット１５が下降することにより、機能性部品１３は接着剤１４を押し付けながらコレット１５ともに下方へ移動する。ガイド部１６の端面１６１とケーシング１２の端面１２１とが接することにより、コレット１５の移動が規制されるとともに、吸着部１７に吸着された機能性部品１３の位置は規定される。このように機能性部品１３の位置が規定された状態で接着剤１４は仮硬化される。この後、接着剤１４を本硬化させることにより、図２（Ｃ）に示すように機能性部品１３は接着剤１４によってケーシング１２に固定される。
以上のようにあらかじめ機能性部品１３を傾斜させる場合も、機能性部品１３の端面１３１の位置精度の確保が必要となる。図２に示す製造装置１０は、コレット１５の吸着部１７がケーシング１２の収容部１９に対応して傾斜している。これにより、機能性部品１３は、ケーシング１２に対し傾斜した状態であっても規定の位置に取り付けることができる。
【００２４】
ガイド部１６の高さ、ガイド部１６の端面１６１の角度、吸着部１７の高さ、および吸着部１７の角度などは任意に変更することができる。このようにガイド部１６の高さ、ガイド部１６の端面１６１の角度、吸着部１７の高さ、および吸着部１７の角度などを変更することにより、吸着部１７に吸着された機能性部品１３の位置はケーシング１２の形状にあわせて設定される。したがって、ガイド部１６および吸着部１７を調整することにより、ケーシング１２の形状に関わらず、任意の角度で任意の位置に位置精度を確保しつつ機能性部品１３を取り付けることができる。
【００２５】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態による製造装置を図３に示す。
第３実施形態では、図３に示すように製造装置１０は、球状の機能性部品１３をケーシング１２に取り付ける。近年、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術の進展にともない球状の歪みセンサや加速度センサなどの機能性部品１３が開発されている。吸着部１７の吸着面１８をこのような球状の機能性部品１３の形状にあわせることにより、製造装置１０は各種の機能性部品１３を取り扱うことができる。
【００２６】
図３（Ａ）に示すように吸着部１７に吸着された機能性部品１３は、接着剤１４が塗布されたケーシング１２へコレット１５によって運搬される。そして、図３（Ｂ）に示すようにコレット１５が下降することにより、機能性部品１３は接着剤１４を押し付けながらコレット１５ともに下方へ移動する。ガイド部１６の端面１６１とケーシング１２の端面１２１とが接することにより、コレット１５の移動が規制されるとともに、吸着部１７に吸着された機能性部品１３の位置は規定される。このように機能性部品１３の位置が規定された状態で接着剤１４は仮硬化される。この後、接着剤１４を本硬化させることにより、図３（Ｃ）に示すように機能性部品１３は接着剤１４によってケーシング１２に固定される。
第３実施形態では、吸着部１７の吸着面１８の形状を機能性部品１３の外形に応じて成形することにより、種々の形状の機能性部品１３を取り扱うことができる。
【００２７】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態による製造装置を図４に示す。
第４実施形態では、図４に示すように製造装置１０は、レンズなどのように球面状の表面を有する機能性部品１３をケーシング１２に取り付ける。機能性部品１３は、半導体チップやＭＥＭＳ素子に限らず、ガラスや樹脂で形成された凸レンズや凹レンズなどの光学装置であってもよい。吸着部１７の吸着面１８をこのような機能性部品１３の形状にあわせることにより、製造装置１０は各種の機能性部品１３を取り扱うことができる。
【００２８】
図４（Ａ）に示すように吸着部１７に吸着された機能性部品１３は、接着剤１４が塗布されたケーシング１２へコレット１５によって運搬される。そして、ガイド部１６の端面１６１がケーシング１２の端面１２１と接するまでコレット１５を移動させた後、接着剤１４を硬化させることにより、上述の各実施形態と同様に機能性部品１３はケーシング１２に取り付けられる。
この場合、ガイド部１６の高さを調整することにより、図４（Ｂ）に示すように機能性部品１３の球面状の端面１３１をケーシング１２の端面１２１よりも突出する位置に設けたり、図４（Ｃ）に示すように機能性部品１３の球面状の端面１３１の先端をケーシング１２の端面１２１と同一の平面上に設けりすることができる。このように、ガイド部１６の高さを調整することにより、機能性部品１３の端面１３１の位置は高精度に規定することができる。
【００２９】
（その他の実施形態）
以上説明した複数の実施形態では、接着剤１４として熱硬化性の接着剤を利用する例について説明した。しかし、接着剤１４は、熱硬化性に代えて例えば紫外線や可視光などの光の照射により硬化する光硬化性の接着剤であってもよい。機能性部品１３によっては、耐熱性の確保が困難な場合がある。この場合、コレット１５に設けられた加熱による加熱では、機能性部品１３の素子が破壊されたり、性能の低下を招くおそれがある。光硬化性の接着剤１４を利用することにより、機能性部品１３は加熱されることがない。したがって、機能性部品１３の破壊や性能の低下を防止することができる。また、この場合も、接着剤１４を加熱により硬化する場合と同様に、機能性部品１３の位置を規定するていどに接着剤１４を硬化させる仮硬化と、接着剤１４を完全に硬化させる本硬化とに分けてもよい。
また、第１実施形態では、ガイド部１６の端面１６１と吸着部１７の吸着面１８とが同一の平面上に位置する例について説明した。しかし、端面１６１と吸着面１８とは異なる平面上に位置させて、ケーシング１２の端面１２１と機能性部品１３の端面１３１とを異なる平面上において相対的な位置を規定してもよい。
【００３０】
以上説明した本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１実施形態による電子部品の製造装置を示す模式図
【図２】本発明の第２実施形態による電子部品の製造装置を示す模式図
【図３】本発明の第３実施形態による電子部品の製造装置を示す模式図
【図４】本発明の第４実施形態による電子部品の製造装置を示す模式図
【符号の説明】
【００３２】
図面中、１０は製造装置、１２はケーシング、１３は機能性部品、１４は接着剤、１５はコレット、１６はガイド部、１７は吸着部、１８は吸着面、２２は加熱部、１００は電子部品、１６１は端面を示す。
【図１】
2010003962.tif 000003
【図２】
2010003962.tif 000004
【図３】
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【図４】
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