(57)【要約】      （修正有）【課題】キーボードが開いた状態でのテストヘッドの旋回を知らせることでキーボードの破壊を未然に防ぐことができる半導体検査装置を提供する。【解決手段】テストヘッドをヘッド旋回装置により回動させてプローバ側に対向させ、このテストヘッドの回動する領域に使用時の操作手段が干渉する構造の検査処理手段と、前記操作手段が収納されている場合に前記ヘッド旋回装置に旋回許可信号が出力され前記操作手段が収納されていない場合には旋回許可信号が出力されない制御手段とを具備する半導体検査装置において、前記テストヘッドに設けられ前記テストヘッドが水平か否かの信号を発する水平センサと、前記旋回許可信号が出力されない状態において前記水平センサからの前記テストヘッドが水平でないとの信号により警報信号を発する警報手段とを具備したことを特徴とする半導体検査装置である。【選択図】図１
2010098150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッドをヘッド旋回装置により回動させてプローバ側に対向させ、このテストヘッドの回動する領域に使用時の操作手段が干渉する構造の検査処理手段と、
前記操作手段が収納されている場合に前記ヘッド旋回装置に旋回許可信号が出力され前記操作手段が収納されていない場合には旋回許可信号が出力されない制御手段と
を具備する半導体検査装置において、
前記テストヘッドに設けられ前記テストヘッドが水平か否かの信号を発する水平センサと、
前記旋回許可信号が出力されない状態において前記水平センサからの前記テストヘッドが水平でないとの信号により警報信号を発する警報手段と
を具備したことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
前記制御手段の警報信号に基づき異常を報知する報知手段
を具備したこと特徴とする請求項１記載の半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体検査装置に関し、詳しくは半導体検査装置のテストヘッドは旋回装置等によって回転しプローバに接続され、オペレータがこの旋回装置を誤操作した時にそれを検出しオペレータに通知する機能を備えた半導体検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術における半導体検査装置は、図２に示すように、開閉自在な操作手段であるキーボード１２を備えた検査処理手段を形成する本体架１３、本体架１３に取付けられたキーボード１２の開閉状態によりプローバ１４のヘッド旋回装置１５に旋回許可信号を出力する制御装置１６、ヘッド旋回装置１５に基づいて旋回0度乃至１８０度に回動するテストヘッド１７、プローバ１４とからなる。
テストヘッド１７は、外部に設けられた本体架１３で定められたテスト信号を、プローバ１４に収容されたウェハーに供給する機能を有する筐体で、内部には多数のプリント基板が収容されている。
プローバ１４は、ウェハーを搬送してチャックトップに置き、プローブをウェハーに接触させてウェハーを検査する装置である。
【０００３】
このような構成において、通常の運用はテストヘッド１７は０度の位置で半導体の検査を行う。また、半導体検査装置の操作は、本体架１３に取付けてあるキーボード１２を開き操作する。
【０００４】
テストヘッド１７やプローバ１４のメンテナンス時はキーボード１２を収納し、テストヘッド１７を１８０度の位置まで回動させてメンテナンスを行う。この時、キーボード１２を開いた状態のままテストヘッド１７を旋回させるとキーボード１２とテストヘッド１７が干渉しキーボード１２を破壊するおそれがあるため、キーボード１２の開閉状態を制御装置１６からヘッド旋回装置１５に旋回可能かどうかの旋回許可信号を出力する。キーボード１２を開いた状態ではヘッド旋回装置１５に旋回許可信号を出力しないためオペレータが誤ってヘッド旋回装置１５を操作してテストヘッド１７を旋回させようとしても旋回させないように制御される。
【０００５】
一方、テストヘッド１７をプローバ１４に対向させる位置（０度の位置）で位置合わせを行うときには、制御装置１６からの旋回許可信号がなくとも、テストヘッド１７を旋回させて位置合わせを行い、位置あわせ完了後には、再度旋回許可信号がないとテストヘッド１７を旋回できない状態にする。
【特許文献１】特開平１０―１７３０１３号公報（第２頁  第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術で説明した半導体検査装置において、半導体検査装置とプローバの設置時は制御装置とヘッド旋回装置の信号を接続する前にヘッド旋回装置を動作させ、テストヘッドとの位置を合わせる必要がある。そのため、旋回許可信号が無くとも旋回できるようにヘッド旋回装置を設定して、ヘッド旋回装置を動作させ、テストヘッドとの位置合わせ、テストヘッドをヘッド旋回装置に固定する。固定が完了したところで旋回許可信号が無いと旋回できない設定に戻す。この時、旋回許可信号が無いと旋回できない状態に戻し忘れるとキーボードが開いた状態でもテストヘッドを旋回できるため、キーボードを破損させる事故が発生する。
【０００７】
従って、旋回許可信号が無くともテストヘッドを旋回できる状態であるときに、テストヘッドを旋回した時にオペレータに異常動作を知らせる手段を設け、キーボードを破壊する事故を未然に防ぐことに解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本願発明の半導体検査装置は、次に示す構成にしたことである。
【０００９】
（１）半導体検査装置は、テストヘッドをヘッド旋回装置により回動させてプローバ側に対向させ、このテストヘッドの回動する領域に使用時の操作手段が干渉する構造の検査処理手段と、前記操作手段が収納されている場合に前記ヘッド旋回装置に旋回許可信号が出力され前記操作手段が収納されていない場合には旋回許可信号が出力されない制御手段とを具備する半導体検査装置において、前記テストヘッドに設けられ前記テストヘッドが水平か否かの信号を発する水平センサと、前記旋回許可信号が出力されない状態において前記水平センサからの前記テストヘッドが水平でないとの信号により警報信号を発する警報手段とを具備したことを特徴とする半導体検査装置。
（２）前記制御手段の警報信号に基づき異常を報知する報知手段を具備したこと特徴とする（１）記載の半導体検査装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、テストヘッドに水平センサを備えた構成にすることで、ヘッド旋回装置の設定ミスや故障時に操作手段であるキーボードが開いた状態でテストヘッドを旋回させると水平センサが水平でないことを検出して報知することで、キーボードが開いた状態でのテストヘッドの旋回を知らせることでキーボードの破壊を未然に防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本願発明に係る半導体検査装置の実施例について図面を参照して説明する。尚、従来技術で説明したものと同じものには同一符号を付与して説明する。
【００１２】
本願発明の半導体検査装置は、従来技術で説明した半導体検査装置と略同じ構成であり、相違するのはテストヘッドに水平センサを備え、異常動作表示器や異常通知ブザーを備えたことである。
【００１３】
本願発明の半導体検査装置は、図１に示すように、開閉自在な操作手段であるキーボード１２を備え、キーボード１２からの入力操作によりテストヘッド１７を操作するための検査処理手段を構成する本体架１３と、本体架１３に取付けられたキーボード１２の開閉状態によりプローバ１４のヘッド旋回装置１５に旋回許可信号を出力する制御装置１６と、ヘッド旋回装置１５に基づいて旋回0度乃至１８０度に回動するテストヘッド１７と、プローバ１４とからなる。
【００１４】
プローバ１４は、ウェハーを搬送してチャックトップに置き、プローブをウェハーに接触させてウェハーを検査する装置である。
【００１５】
テストヘッド１７は、外部に設けられた本体架１３で定められたテスト信号を、プローバ１４に収容されたウェハーに供給する機能を有する筐体で、内部には多数のプリント基板が収容されている。このテストヘッド１７には、水平状態を検出する水平センサ１８が取り付けられており、また異常動作を表示する表示器１９や異常通知ブザー２１が取り付けられている。
【００１６】
この異常動作表示器１９や異常通知ブザー２１は、旋回許可信号が無い状態でテストヘッド１７の水平センサ１８が水平でなくなった時に動作するようにする。このようにする事でキーボード１２が開き、旋回許可信号が無いにもかかわらずヘッド旋回装置１５が動作したとしても、表示とブザー音で異常をオペレータに通知し旋回動作を止めることができる。
【００１７】
又、水平センサ１８と異常動作表示器１９、異常通知ブザー２１をコンパクトな一つのユニットにすることでこれら装置が付いていないテストヘッドにも、簡単に後付けすることができる。
尚、異常動作表示器１９と異常通知ブザー２１は片方だけでもオペレータに通知可能であるためテストヘッド１７の設置条件により自由に選択しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
テストヘッドに水平センサを備えた構成にすることで、ヘッド旋回装置の設定ミスや故障時に操作手段であるキーボードが開いた状態でテストヘッドを旋回させると水平センサが水平でないことを検出して報知することで、キーボードが開いた状態でのテストヘッドの旋回を知らせることでキーボードの破壊を未然に防ぐことができる半導体検査装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本願発明の半導体検査装置を略示的に示した説明図である。
【図２】従来技術における半導体検査装置を略示的に示した説明図である。
【符号の説明】
【００２０】
１２      キーボード
１３      本体架
１４      プローバ
１５      ヘッド旋回装置
１６      制御装置
１７      テストヘッド
１８      水平センサ
１９      異常動作表示器
２１      異常通知ブザー
【図１】
2010098150.tif 000003
【図２】
2010098150.tif 000004