(57)【要約】【課題】シート供給部からクリーナーヘッドに送られるクリーニングシートの送り量を検出することなく、送り量を正確に制御して低ランニングコストでマスク下面をクリーニングする。【解決手段】待機状態では、シート供給部９３とシート回収部９４の間にあるクリーニングシート（シート部）ＣＳに対して張力が与えらており、しかも巻取軸の反巻取方向への回転が規制されている。そして、クリーニング処理を開始する場合、この状態のままクリーナーヘッド９２が待機位置からクリーニング位置に上昇し、その移動量に応じた送り量で未使用のクリーニングシートＣＳがシート供給部９３から繰り出される。【選択図】図９
2010162699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状のクリーニングシートを長尺方向に繰り出すシート供給部と、
マスクの下方側でクリーニング位置と待機位置との間で昇降自在に設けられ、前記待機位置に降下することで前記マスクの下面から離間する一方、前記クリーニング位置まで上昇することで前記シート供給部から繰り出された前記クリーニングシートの未使用のシート部を前記マスクの下面に接触させて前記マスクの下面をクリーニングするクリーナーヘッドと、
巻取軸を巻取方向に回転させて前記クリーニングシートを巻き取ることでクリーニング使用済のシート部を回収するシート回収部とを備え、
前記シート供給部は前記クリーニング位置よりも低い位置に配置され、
前記巻取軸の反巻取方向への回転を規制した状態で前記クリーナーヘッドが前記クリーニング位置に上昇して前記シート供給部から前記クリーニングシートを繰り出すことを特徴とするクリーニング装置。
【請求項２】
前記シート供給部は前記クリーニングシートの操出を規制する規制手段を有し、
前記シート供給部からの前記クリーニングシートの操出を規制した状態で前記クリーナーヘッドが前記待機位置に降下しながら又は降下した後に、前記巻取軸が前記巻取方向に回転して使用済のシート部を回収するとともに前記シート供給部と前記シート回収部の間で前記クリーニングシートに張力を与える請求項１記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記クリーナーヘッドが前記待機位置でクリーニングシートと係合しながら待機する請求項１または２記載のクリーニング装置であって、
前記待機位置を前記クリーニング位置に対して上下方向に調整して前記クリーナーヘッドが前記クリーニング位置に上昇した際に前記シート供給部から繰り出される前記クリーニングシートの送り量を制御する第１調整部をさらに備えているクリーニング装置。
【請求項４】
前記シート供給部から前記クリーニングシートを送り出す、シート送出位置を前記クリーニング位置に対して調整して前記クリーナーヘッドが前記クリーニング位置に上昇した際に前記シート供給部から繰り出される前記クリーニングシートの送り量を制御する第２調整部をさらに備えた請求項１ないし３のいずれか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項５】
前記シート供給部は、前記クリーニングシートの後端部を固着しながら前記クリーニングシートをロール状に巻き取ったロール軸を有し、前記ロール軸が回転することで前記クリーニングシートが繰り出される請求項１ないし４のいずれか一項に記載のクリーニング装置であって、
前記ロール軸の回転を検出する回転検出部と、
前記クリーナーヘッドを前記クリーニング位置に上昇させようとした際に前記回転検出部により前記ロール軸の回転が検出されないことをもって、前記クリーニングシートの使い切りを検出する使い切り検出部と
をさらに備えるクリーニング装置。
【請求項６】
前記シート回収部は、前記巻取軸の動力源を構成するエアーアクチュエータと、前記エアーアクチュエータと前記巻取軸の間に設けられて前記エアーアクチュエータで発生した動力を前記巻取方向にのみ伝達するワンウェイクラッチとを有している請求項１ないし５のいずれか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項７】
開口部を有するマスクの下方に基板を配置した状態で前記開口部を介してペーストを前記基板表面に印刷するスキージヘッドと、
請求項１ないし６のいずれか一項に記載のクリーニング装置と同一構成を有し、前記マスクの下面を清掃するクリーニングユニットと
を備えたことを特徴とする印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、マスクの下面およびマスク開口部から付着物を除去するクリーニング装置および該クリーニング装置を装備する印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の印刷装置としては、例えばプリント基板に半田ペーストを印刷する装置が知られている。この装置では、プリント基板の上方においてマスクが該プリント基板に対して正確に位置決めされた後、マスク上に載せた半田ペーストがスキージにより広げられる。このとき、マスクに設けた開口部を介して半田ペーストが基板の上面に印刷される。このような印刷処理を繰り返して行うと、半田ペーストがマスクの下面やマスク開口部に付着していき、この付着量が多くなると印刷不良の原因となる。そこで、例えば印刷処理を所定回数行う度にマスクのクリーニングを行う必要がある。
【０００３】
そこで、マスクをクリーニングするクリーニングユニットが印刷装置に装備されている。このクリーニングユニットとしては例えば特許文献１に記載されたクリーニング装置がある。この特許文献１に記載のクリーニング装置では、未使用の綿製拭き取り布（本願発明の「クリーニングシート」に相当）を巻装した供給ロールが設けられている。そして、この供給ロールから拭き取り布が繰り出される一方、巻き取りロールに巻き取り可能となっている。また、供給ロールの右斜め上方および巻き取りロールの左斜め上方に押し当て台が配置されている。より詳しくは、クリーニング装置を側方から見た場合に、これら供給ロール、巻き取りロールおよび押し当て台により三角形が形成されており、供給ロールから繰り出される綿製拭き取り布の途中部が上記三角形の頂点に位置する押し当て台に掛け回されるとともに、さらに押し当て台よりも先端側の綿製拭き取り布が巻き取りロールに巻き取られている。
【０００４】
このように構成された供給ロール、巻き取りロールおよび押し当て台はシリンダにより一体的に昇降駆動される。そして、上昇駆動により押し当て台に掛け回された綿製拭き取り布の途中部がマスクの下面に接触してクリーニング処理が実行される。一方、下降駆動することで供給ロール、巻き取りロールおよび押し当て台が一体的に下降して綿製拭き取り布の途中部がマスクの下面から離間してクリーニング処理を終了する。なお、巻き取りロールと供給ロールは駆動モータから動力を受けて回転するように構成されており、マスクのクリーニング完了後、駆動モータを作動させることで所定の長さ分だけ拭き取り布が供給ロールから繰り出されるとともに、使用済の拭き取り布、つまり途中部が巻き取りロールに巻き取られる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２１７４３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、クリーニング装置やクリーニングユニットに用いられる拭き取り布は高価な消耗品であるため、クリーニングに使用されない領域を極力抑制してランニングコストの低減を図りたい。この要望を満足するためには、クリーニング処理が完了した後に拭き取り布を繰り出す長さを１回のクリーニング処理で使用される操出方向での拭き取り布の長さと一致させる必要がある。このため、従来装置では、駆動モータの回転角を定量化することで拭き取り布の送り量の調整を図っていた。
【０００７】
しかしながら、回転角を一定としただけでは上記要望を完全に満足させることはできない。というのも、供給ロールの直径および巻き取りロールの直径はいずれも使用状況に応じて変化して拭き取り布の送り量が変動するからである。この問題を解消するために、拭き取り布の送り量を検出する検出手段を別途設けるとともに、検出手段からの出力に基づき駆動モータを制御することも考えられる。しかしながら、検出手段を追加的に設ける必要があり、装置構成が複雑になる上に経済的ではない。
【０００８】
この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、シート供給部からクリーナーヘッドに送られるクリーニングシートの送り量を検出することなく、送り量を正確に制御して低ランニングコストでマスク下面をクリーニングすることができるクリーニング装置および該クリーニング装置を装備した印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明にかかるクリーニング装置は、上記目的を達成するため、長尺状のクリーニングシートを長尺方向に繰り出すシート供給部と、マスクの下方側でクリーニング位置と待機位置との間で昇降自在に設けられ、待機位置に降下することでマスクの下面から離間する一方、クリーニング位置まで上昇することでシート供給部から繰り出されたクリーニングシートの未使用のシート部をマスクの下面に接触させてマスクの下面をクリーニングするクリーナーヘッドと、巻取軸を巻取方向に回転させてクリーニングシートを巻き取ることでクリーニング使用済のシート部を回収するシート回収部とを備え、シート供給部はクリーニング位置よりも低い位置に配置され、巻取軸の反巻取方向への回転を規制した状態でクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇してシート供給部からクリーニングシートを繰り出すことを特徴としている。
【００１０】
また、この発明にかかる印刷装置は、上記目的を達成するため、開口部を有するマスクの下面に基板を配置した状態で開口部を介してペーストを印刷するスキージヘッドと、上記クリーニング装置と同一構成を有し、マスクの下面を清掃するクリーニングユニットとを備えたことを特徴としている。
【００１１】
このように構成された発明（クリーニング装置および印刷装置）では、シート供給部はクリーニング位置よりも低い位置に配置されているため、クリーナーヘッドがクリーニング位置よりも低い待機位置で待機している間、シート供給部から既に繰り出され、しかもシート回収部に巻き取られていないシート部はクリーニング位置の下方に位置している。そして、本発明では、巻取軸の反巻取方向への回転を規制した状態でクリーナーヘッドが待機位置からクリーニング位置に上昇する。これにより、クリーナーヘッドはシート部を下方側からクリーナーヘッドに向けて押し上げて移動し、シート供給部とシート回収部の間でクリーニングシートに張力が与えられるが、上記したように巻取軸の反巻取方向への回転が規制されているため、その移動量に応じた送り量だけ未使用のクリーニングシートがシート供給部から繰り出される。このようにシート供給部から未使用クリーニングシートの繰出がクリーナーヘッドの上昇動作のみにより行われる。しかも、クリーニングシートの送り量を検出するための検出手段を設けることなく、クリーナーヘッドの移動量に応じた送り量だけ未使用クリーニングシートを正確に繰り出すことができる。
【００１２】
ところで、上記のようにしてクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇してクリーニング処理を行った後、クリーナーヘッドが待機位置に戻るが、そのとき、シート供給部とシート回収部の間にあるクリーニングシートに弛み部が形成される。そこで、次のように構成することで当該弛み部を解消してクリーニング処理を連続的に行うことが可能となる。すなわち、シート供給部に対してクリーニングシートの操出を規制する規制手段が設けられ、シート供給部からのクリーニングシートの操出を規制した状態でクリーナーヘッドが待機位置に降下しながら又は降下した後に、巻取軸が巻取方向に回転して使用済のシート部を回収するとともにシート供給部とシート回収部の間でクリーニングシートに張力を与えるように構成してもよい。
【００１３】
また、クリーナーヘッドの待機位置については、クリーニング位置よりも低い位置であればよく、待機位置でクリーナーヘッドはクリーニングシートと係合してもよいし、クリーニングシートからさらに下方に離間してもよい。これらのうち、待機位置でクリーニングシートと係合しながらクリーナーヘッドを待機させる場合には、待機位置をクリーニング位置に対して上下方向に調整してクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇した際にシート供給部から繰り出されるクリーニングシートの送り量を制御する第１調整部を設けてもよい。これによってクリーニングシートの送り量を柔軟に、しかもさらに高精度に調整することが可能となる。
【００１４】
また、クリーニングシートの送り量を調整するためには、上記第１調整部とともに、あるいは第２調整部に代えて、シート供給部からクリーニングシートを送り出す、シート送出位置をクリーニング位置に対して調整する第２調整部を設けてもよい。つまり、第２調整部によるシート送出位置の調整によって、クリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇した際にシート供給部から繰り出されるクリーニングシートの送り量が制御される。
【００１５】
また、クリーニングシートの後端部を固着しながらクリーニングシートをロール状に巻き取ったロール軸を有し、ロール軸が回転することでクリーニングシートを繰り出す場合には、次のように構成してもよい。すなわち、ロール軸の回転を検出する回転検出部と、クリーナーヘッドをクリーニング位置に上昇させようとした際に回転検出部によりロール軸の回転が検出されないことをもって、クリーニングシートの使い切りを検出する使い切り検出部とを設けることによって、クリーニングシートの使い切りを正確に検出することができる。
【００１６】
さらに、シート回収部は、巻取軸の動力源を構成するエアーアクチュエータと、エアーアクチュエータと巻取軸の間に設けられてエアーアクチュエータで発生した動力を巻取方向にのみ伝達するワンウェイクラッチとを有するように構成してもよい。このような構成を採用することで、モータや減速機構などを組み合わせてシート回収部を構成する従来装置に比べ、より安価に装置を構成することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明によれば、シート供給部からの未使用クリーニングシートの繰出をクリーナーヘッドの上昇動作により行っているので、シート供給部からクリーナーヘッドに送られるクリーニングシートの送り量を検出することなく、送り量を正確に制御して低ランニングコストでマスク下面をクリーニングすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は本発明にかかる印刷装置の一実施形態を示す斜視図である。同図においては、装置内部の構成を明示するために、本体カバーを取り外した状態が図示されている。また、図２はマスクを設置していない状態での印刷装置の概略構成を示す平面図であり、図３はマスクを設置した状態での印刷装置の概略構成を示す側面図である。さらに、図４は印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。この印刷装置では、基台１０上で基板テーブル２０が装置の前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在となっている。また、基台１０上にはコンベア２１、２１が設けられ、搬入コンベア３１、３１が装置の右側面部に設けられる一方、搬出コンベア３２、３２が装置の左側面部に設けられている。
【００１９】
この搬入コンベア３１は半田ペーストを印刷すべき未処理の基板１を支持しながらＸ軸方向に搬送するために設けられたものである。そして、基板テーブル２０をＹ軸方向に移動し、基板テーブル２０上のコンベア２１、２１を搬入コンベア３１、３１と搬出コンベア３２、３２間に位置決めした状態で搬入コンベア３１、３１が駆動されると、印刷処理前の基板１が基板テーブル２０に搬送される。
【００２０】
この基板１は基板クランプユニット（図示省略）により基板テーブル２０に保持される。また、この基板テーブル２０は制御ユニット４０の基板テーブル制御部４３により駆動され、基板テーブル２０の上方で周囲を枠部材５０により保持されたマスク５１がマスククランプユニット５２により固定保持されている。そして、半田供給ユニット６０からマスク５１上に供給された半田ペーストはスキージユニット７０のスキージ７１をＹ軸方向に往復移動させることでマスク５１上に広げられる。このとき、マスク５１に設けた開口部を介して半田ペーストが基板１の上面に印刷される。
【００２１】
この印刷処理の後に、基板テーブル２０は再び搬入コンベア３１、３１と搬出コンベア３２、３２間に移動して位置決めされる。そして、基板テーブル２０に設けられたコンベア２１、２１が基板テーブル制御部４３により駆動されることで印刷処理を受けた処理済基板１が搬出コンベア３２、３２に搬送される。その後、搬出コンベア３２、３２が駆動されると、印刷処理済の基板１が印刷装置から搬出される。
【００２２】
この実施形態では、基板１のフィデューシャルマーク等を撮像するための基板カメラ８１が基台１０に固定されたビーム１２に沿ってＸ軸方向に移動自在に取り付けられている。また、基板テーブル２０にはマスク５１下面のフィデューシャルマーク（図示せず）を撮像してマスク５１の位置や種類等を識別するためのマスクカメラ８２がＸ軸方向に移動自在に設けられている。
【００２３】
さらに、基板テーブル２０のＹ軸方向の前側に本発明の「クリーニング装置」および「クリーニングユニット」に相当するクリーナー９０が取り付けられており、基板テーブル２０のＹ軸方向移動に伴ってクリーナー９０がＹ軸方向に移動する。このクリーナー９０は基板１への半田ペーストの印刷処理によりマスク５１に付着した半田ペースト等をクリーニング除去する装置である。なお、当該クリーナー９０の構成およびクリーニング動作などについては後で詳述する。
【００２４】
上記のように構成された印刷装置では、印刷装置全体を制御する制御ユニット４０が設けられている。この制御ユニット４０は、演算処理部４１と、プログラム記憶部４２と、基板テーブル制御部４３と、クリーナー制御部４４とを有している。この演算処理部４１はＣＰＵ等により構成されており、プログラム記憶部４２に予め記憶されている印刷プログラムにしたがって印刷装置各部を制御して印刷処理を繰り返して行う。また、印刷処理を繰り返して行うことでマスク５１に半田ペースト等が付着するため、演算処理部４１はプログラム記憶部４２に予め記憶されているクリーニングプログラムにしたがってクリーナー制御部４４を介してクリーナー９０を制御し、所定タイミング（例えば印刷処理の所定回数実行後）でマスク５１のクリーニングを行う。なお、同図中の符号４５は印刷プログラムやクリーニングプログラムなどを表示したり、作業者が制御ユニット４０に対して各種データや指令などの情報を入力するための表示／操作ユニットである。また、符号４６は入出力制御部である。
【００２５】
次に、クリーナー９０の構成およびクリーニング動作について詳述する。図５はクリーナーの全体構成を示す斜視図である。また、図６は図５のクリーナーの側面図である。このクリーナー９０では、ベース部材９１１がＸ軸方向に延設されるとともに、ベース部材９１１のＸ軸方向の両端部に側板９１２ａ、９１２ｂがそれぞれ立設されている。これらベース部材９１１、側板９１２ａ、９１２ｂによりクリーナー９０の本体部９１が形成されている。また、本体部９１の上方部にクリーニングシートＣＳによりマスク５１をクリーニングするクリーナーヘッド９２が設けられている。このクリーニングシートＣＳとしては、従来より天然材や人工材からなり、可撓性と通気性のある布、紙、皮革等からなる長尺シートが用いられている。
【００２６】
また、クリーナーヘッド９２の下方位置に未使用のクリーニングシートＣＳをクリーナーヘッド９２に向けて供給するシート供給部９３が本体部９１に設けられており、シート供給部９３から繰り出した未使用のクリーニングシート（未使用シート部）を用いてクリーナーヘッド９２がマスク５１の下面をクリーニングした後、使用済のクリーニングシートＣＳが下方に搬送されてシート供給部９３の下方位置で本体部９１に設けられたシート回収部９４の巻取軸に巻き取られて回収される。以下、シート供給部９３、シート回収部９４およびクリーナーヘッド９２の順で構成について説明する。
【００２７】
このシート供給部９３は長尺状の未使用クリーニングシートＣＳをロール状に巻き取った供給ロール９３１を２本のシャフト９３２ａ、９３２ｂにより本体部９１に対して回転自在に支持している。これら２本のシャフト９３２ａ、９３２ｂのうちシャフト９３２ａは矢印状の先端部を有しており、当該先端部を左方側板９１２ｂに向けた状態で右方側板９１２ａの中央部に回転自在に設けられている。また、他方のシャフト９３２ｂも矢印状の先端部を有しており、当該先端部を右方側板９１２ａに向けた状態で左方側板９１２ｂの中央部に回転自在に設けられている。このように配置された供給用シャフト９３２ａ、９３２ｂの間に、未使用の長尺クリーニングシートＣＳを中空ロール軸（送り出し軸）にロール状で巻き取った供給ロール９３１が配置されている。そして、ロール軸の右方中空端部に対してシャフト９３２ａの先端部が挿入されるとともに、左方中空端部に対してシャフト９３２ｂの先端部が図示を省略するスプリングにより押し込まれている。このため、供給ロール９３１は左方から右方に押圧されながら２つのシャフト９３２ａ、９３２ｂで挟み込まれて本体部９１に対して回転自在に支持されている。
【００２８】
また、本実施形態では、シート供給部９３は本発明の「規制手段」に相当する電磁クラッチ９３３を有している。すなわち、シャフト９３２ａの後端部が電磁クラッチ９３３を介して本体部９１の右方側板９１２ａに接続されている。このため、電磁クラッチ９３３が閉じている間、シャフト９３２ａは右方側板９１２ａに接続されてシャフト９３２ａの回転が規制される。その結果、供給ロール９３１に対してブレーキがかかった状態となり、クリーニングシートＣＳの操出が禁止される。一方、クリーナー制御部４４により電磁クラッチ９３３が開いてシャフト９３２ａと右方側板９１２ａとの接続が解除されると、供給ロール９３１はクリーナー９０の本体部９１に対して回転自在となり、供給ロール９３１からのクリーニングシートＣＳの操出が可能となる。
【００２９】
また、繰り出されたクリーニングシートＣＳをクリーナーヘッド９２に案内するために、シート供給部９３には、ガイドバー９３４が設けられている。このガイドバー９３４の両端部はそれぞれ左右側板９１２ａ、９１２ｂに穿設された支持孔９１３に挿入されるとともにナットなどの固定金具により左右側板９１２ａ、９１２ｂに着脱自在に固定されている。なお、この実施形態では、左右側板９１２ａ、９１２ｂの各々に３つの支持孔９１３が形成されており、ガイドバー９３４の取付位置を位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の３段階で変更可能となっている。これは後述するようにしてクリーニングシートＣＳを繰り出した際のシートＣＳの送り量を変更する機能を担っている。この点については後で詳述する。
【００３０】
なお、シート供給部９３の構成はこれに限定されるものではなく、長尺状のクリーニングシートＣＳを長尺方向に繰り出すことができる限り任意の構成を採用することができる。また、規制手段についても電磁クラッチ以外に限定されるものではなく、クリーニングシートＣＳの操出を規制できる構成であれば任意である。また、ガイドバー９３４の取付位置も「３」に限定されるものではなく、任意である。
【００３１】
このようにシート供給部９３から繰り出された未使用のクリーニングシートＣＳはクリーナーヘッド９２でマスク５１のクリーニングに使用された後、シート回収部９４に案内される。このシート回収部９４は巻取軸９４１を２本のシャフト９４２ａ、９４２ｂにより本体部９１に対して回転自在に支持している。これら２本のシャフト９４２ａ、９４２ｂはシート供給部９３と同様にして本体部９１に回転自在に支持されている。つまり、シャフト９４２ａは矢印状の先端部を有しており、当該先端部を左方側板９１２ｂに向けた状態で右方側板９１２ａの下方部に回転自在に設けられている。また、他方のシャフト９４２ｂも矢印状の先端部を有しており、当該先端部を右方側板９１２ａに向けた状態で左方側板９１２ｂの下方部に回転自在に設けられている。このように配置された巻取用シャフト９４２ａ、９４２ｂの間に使用済のクリーニングシートを巻き取るための中空巻取軸９４１が配置され、巻取軸９４１の右方中空端部に対してシャフト９４２ａの先端部が挿入されるとともに、左方中空端部に対してシャフト９４２ｂの先端部が図示を省略するスプリングにより押し込まれており、巻取軸９４１を左方から右方に押圧した状態で２つのシャフト９４２ａ、９４２ｂで挟み込み、巻取軸９４１を本体部９１に対して回転自在に支持している。
【００３２】
また、この実施形態では、図７に示すように、巻取軸９４１が所定の巻取方向（＋α）にのみ回転し、反巻取方向（−α）に回転するのを規制するため、ワンウェイクラッチ９４４が用いられている。すなわち、巻取用シャフト９４２ａの中央部がワンウェイクラッチ９４４を介して右方側板９１２ａに支持され、巻取用シャフト９４２ａおよび巻取軸９４１は巻取方向（＋α）にのみ回転自在となっている。
【００３３】
また、このように構成された巻取軸９４１に使用済のクリーニングシートＣＳを巻き取って回収するために、シート回収部９４には、巻取用シャフト９４２ａの後端部に駆動機構９４５が設けられている。この駆動機構９４５では、巻取軸９４１の動力源としてエアーシリンダ９４５ａが用いられている。ここでは、エアーシリンダ９４５ａの後端部、つまり反ピストン側端部が右方側板９１２ａに回動自在に支持されている。そして、エアーシリンダ９４５ａのピストン部に対してリンクプレート９４５ｂの一方端が接続される一方、リンクプレート９４５ｂの他方端がワンウェイクラッチ９４５ｃを介して巻取用シャフト９４２ａの後端部に接続されている。このため、クリーナー制御部４４から伸長指令を受けてエアーシリンダ９４５ａのピストン部が伸長すると、その伸長運動がリンクプレート９４５ｂにより回転運動に変換され、ワンウェイクラッチ９４５ｃを介して巻取用シャフト９４２ａに伝達される。その結果、巻取用シャフト９４２ａおよび巻取軸９４１が巻取方向（＋α）に回転し、使用済クリーニングシートＣＳの巻取が可能となる。逆に、クリーナー制御部４４によりエアーシリンダ９４５ａのピストン部が後退した場合においても、２つのワンウェイクラッチ９４４、９４５ｃの作用により巻取用シャフト９４２ａおよび巻取軸９４１が反巻取方向（−α）に回転するのが防止される。
【００３４】
図８はクリーナーヘッドを上方から見た平面図である。このクリーナーヘッド９２では、ヘッド本体９２１が本体部９１の上方部に対して昇降自在に設けられている。このヘッド本体９２１には、側板９１２ａの外面上方部に固定されたエアーシリンダ９２２のピストン部が接続されており、エアーシリンダ９２２のピストン部が後退しているときには、図６の実線で示すように、ヘッド本体９２１は本体部９１の上方後側に形成された切欠部に入り込んでいる。このときのヘッド本体９２１の位置Ｐwが本発明の「待機位置」に相当する。一方、クリーナー制御部４４によりエアーシリンダ９２２のピストン部が伸長すると、同図の１点鎖線で示すように、ヘッド本体９２１がクリーニングシートと共に上昇する。このときのヘッド本体９２１の位置Ｐcが本発明の「クリーニング位置」に相当し、後述するようにヘッド本体９２１の上昇移動により未使用のクリーニングシートＣＳがシート供給部９３から繰り出され、ヘッド本体９２１で支持するクリーニングシートＣＳのシート部がマスク５１の下面に押し当て付けられてマスク５１のクリーニング処理が実行される。
【００３５】
このヘッド本体９２１の頂部に設けられたシート支持面９２３には、２種類の貫通孔９２４、９２５が穿設されている。一方の貫通孔９２４は吸引ノズルであり、ヘッド本体９２１の側部から延設された吸引ホース９２６の一方端と接続されている。また、この吸引ホース９２６はホースガイド９２７にガイドされながら吸引ユニット９２８（図４）に接続されている。このため、バキューム弁（図示省略）が開放状態になると吸引ノズル９２４に負圧が供給されて吸引を行う一方、バキューム弁が閉止状態となって大気圧に開放されると吸引ノズルによる吸引が停止される。
【００３６】
また、もう一方の貫通孔９２５は溶剤吐出ノズルであり、溶剤供給チューブ９２９を介して溶剤供給ユニット（図示省略）に接続されている。このため、溶剤を用いる必要がある場合には、溶剤供給ユニットが作動して溶剤供給チューブ９２９を通じて溶剤吐出ノズル９２５に溶剤が圧送されると、ヘッド本体９２１とマスク５１の間に位置するクリーニングシートＣＳのシート部に溶剤が供給されてクリーニング処理を良好に行うことができる。
【００３７】
次に、上記のように構成されたクリーナー９０の動作について図９を参照しつつ詳述する。印刷装置において印刷処理が行われている間、クリーナー９０は待機状態となっている。つまり、図９（ａ）に示すように、シート供給部９３では、電磁クラッチ９３３が閉じて供給ロール９３１に対してブレーキが作用している。また、クリーナーヘッド９２では、エアーシリンダ９２２のピストン部が後退してヘッド本体９２１は待機位置Ｐwに降下しており、マスク５１の下面から大きく離間している。さらに、シート回収部９４では、エアーシリンダ９４５ａのピストン部は後退した位置で静止している。なお、同図中の符号ＳＡ1は前回のクリーニング処理において使用した使用済シート部である。また、この実施形態では、ヘッド本体９２１のシート支持面９２３に対してクリーニングシートＣＳが巻き掛けられた状態（係合状態）で、しかもシート供給部９３とシート回収部９４の間でクリーニングシートＣＳに対して張力を与えた状態で待機している。
【００３８】
そして、予め設定しておいた条件、例えば印刷処理を所定回数実行する等のクリーニング開始条件に達すると、演算処理部４１はプログラム記憶部４２に予め記憶されているクリーニングプログラムにしたがってクリーナー制御部４４を介してクリーナー９０を制御して「ヘッド上昇」、「クリーナー９０のＹ軸方向移動」、「ヘッド降下」および「巻取」をこの順序で行った後、元の待機状態に戻る。以下、各動作について説明する。
【００３９】
この「ヘッド上昇」動作では、電磁クラッチ９３３が開いて供給ロール９３１に対するブレーキを解除する。また、これと同時あるいはブレーキ解除後に、エアーシリンダ９２２のピストン部を伸長させてヘッド本体９２１をクリーニング位置Ｐcまで上昇させる。このとき、ヘッド本体９２１の上昇によりシート供給部９３とシート回収部９４の間でクリーニングシートＣＳが引っ張られる形でシート回収部９４に応力が作用するが、ワンウェイクラッチ９４４の作用により巻取軸９４１が反巻取方向（−α）に回転するのを効果的に防止することができる。このヘッド本体９２１の上昇移動に伴う応力はシート供給部９３にも作用するが、このシート供給部９３に対するブレーキは同時に解除される、あるいは既に解除されているため、その応力を受けて供給ロール９３１から未使用のクリーニングシートＣＳが繰り出されて使用済シート部ＳＡ1に対してシート供給部９３側に隣接する未使用シート部ＳＡ2がヘッド本体９２１のシート支持面９２３に移動する一方、それと入れ替わって使用済シート部ＳＡ１がヘッド本体９２１のシート支持面９２３からシート回収部９４側に移動する（図９（ｂ））。したがって、ヘッド上昇量を調整することで１回の「ヘッド上昇」によりシート支持面９２３から使用済シート部ＳＡ１の全部をシート回収部９４側に移動させるとともに未使用シート部ＳＡ2の全部をシート支持面９２３上に移動させることができる。
【００４０】
なお、クリーニング処理に際して溶剤を使用する場合には、この「ヘッド上昇」中に溶剤供給ユニットを作動させて未使用シート部ＳＡ2に溶剤を吐出する。これにより未使用シート部ＳＡ2にクリーニングに適した溶剤が含まれてマスク５１下面の洗浄を良好に行うことができる。
【００４１】
「ヘッド上昇」によりシート支持面９２３への未使用シート部ＳＡ2の送り出しが完了すると、電磁クラッチ９３３を閉じてシート供給部９３に対してブレーキを作用させる（図９（ｃ））。これによって供給ロール９３１からのクリーニングシートＣＳの繰出や巻戻が防止されてシート支持面９２３に対する未使用シート部ＳＡ2の位置ズレが防止される。この状態で基板テーブル制御部４３により基板テーブル２０をＹ軸方向前側からＹ軸方向後側に移動させる。この基板テーブル２０のＹ軸方向の移動に伴ってクリーナー９０がＹ軸方向に移動してマスク５１の下面に対して（溶剤供給を行った場合には溶剤を含んだ）未使用シート部ＳＡ2がＹ軸方向に相対移動し、これによってマスク５１の下面がクリーニングされる。
【００４２】
クリーナー９０がマスク５１のＹ軸方向後側まで移動してマスク５１の下面全体に対するクリーニングが完了すると、シート供給部９３にブレーキを作用させたまま、エアーシリンダ９２２のピストン部を後退させてヘッド本体９２１をクリーニング位置Ｐcから待機位置Ｐwまで降下させる。これにより、ヘッド本体９２１に対してシート回収部９４側でクリーニングシートＣＳに弛み部が形成されるとともに、使用済のシート部ＳＡ1、ＳＡ2がシート回収部９４側に近づく（図９（ｄ））。
【００４３】
ヘッド本体９２１の待機位置Ｐwへの下降後に、シート供給部９３にブレーキを作用させたまま、エアーシリンダ９４５ａのピストン部を伸長させて巻取用シャフト９４２ａおよび巻取軸９４１を巻取方向（＋α）に回転させる（図９（ｅ））。これによって、使用済クリーニングシートＣＳをシート供給部９３とシート回収部９４の間の弛み分だけ巻き取り、再びシート供給部９３とシート回収部９４の間でクリーニングシートＣＳに対して張力を与える。
【００４４】
こうして「巻取」まで完了すると、ヘッド本体９２１を待機位置Ｐwに位置決めしたまま基板テーブル制御部４３により基板テーブル２０をＹ軸方向前側に移動させることでクリーナー９０を元の待機位置Ｐw（図９（ａ））に戻す。
【００４５】
以上のように、本実施形態によれば、シート供給部９３はクリーニング位置Ｐcよりも低い位置に配置されているため、クリーナーヘッド９２が待機位置Ｐwで待機している間、シート供給部９３から既に繰り出され、しかもシート回収部９４に巻き取られていないクリーニングシートＣＳ（シート部）はクリーニング位置Ｐcの下方に位置している。また、待機状態では、シート供給部９３とシート回収部９４の間にあるクリーニングシート（シート部）に対して張力が与えられており、しかも巻取軸９４１の反巻取方向（−α）への回転が規制されている。そして、クリーニング処理を開始する場合には、クリーナーヘッド９２が待機位置Ｐwからクリーニング位置Ｐcに上昇し、その移動量に応じた送り量だけ未使用のクリーニングシートＣＳをシート供給部９３から繰り出している。したがって、クリーニングシートＣＳの送り量を検出するための検出手段を設けることなく、クリーナーヘッド９２の移動量に応じた送り量だけ未使用クリーニングシートＣＳを正確に繰り出すことができる。その結果、低ランニングコストでマスク５１の下面をクリーニングすることができる。
【００４６】
また、クリーニング処理が完了してクリーナーヘッド９２が待機位置Ｐwに降下した後に、シート供給部９３にブレーキ力を与えてクリーニングシートＣＳの操出を規制した状態で巻取軸９４１を巻取方向（＋α）に回転させて使用済のシート部を回収するとともにシート供給部９３とシート回収部９４の間でクリーニングシートに張力を与えて元の待機状態に戻している。したがって、次のクリーニング処理を円滑に開始することができる。なお、この実施形態では、クリーナーヘッド９２が待機位置Ｐwに降下した直後に使用済クリーニングシートＣＳの巻取を行っているが、下降後に一定時間が経過した時点や当該下降と並行して使用済クリーニングシートＣＳの巻取を実行してもよい。要は、次のクリーニング処理を実行する時点でクリーナー９０が上記した待機状態となっていればよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、巻取軸９４１の動力源としてエアーシリンダ９４５ａを用いるとともに、エアーシリンダ９４５ａで発生した動力をワンウェイクラッチ９４５ｃにより巻取軸９４１に伝達して巻取軸９４１が反巻取方向（−α）に回転するのを防止している。このような構成を採用することで、モータや減速機構などを組み合わせてシート回収部を構成する従来装置に比べ、装置コストを低減させることができる。なお、この実施形態では、エアーシリンダ９４５ａとリンクプレート９４５ｂを用いて回転動力を発生させているが、これらに代えて例えばエアー方式のロータリーアクチュエータを用いてもよく、エアーアクチュエータ全般を巻取軸９４１の動力源として用いることができる。
【００４８】
さらに、上記実施形態では、シート供給部９３のガイドバー９３４からクリーニングシートＣＳをクリーナーヘッド９２に向けて送り出しており、ガイドバー９３４の取付位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3が本発明の「シート送出位置」に相当している。そして、上記クリーナー９０ではガイドバー９３４の取付位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3を３段階で変更可能に構成しており、シート送出位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の調整が可能となっている。つまり、支持孔９３１およびガイドバー９３４が本発明の「第２調整部」に相当しており、ガイドバー９３４の取付位置を変更することでクリーナーヘッド９２の上昇により繰り出されるクリーニングシートＣＳの送り量を制御することができる。特に、クリーニングシートＣＳは上記したように可撓性を有しており、クリーニングシートＣＳの材質、幅および厚みなどにより伸び量が異なる。したがって、使用するクリーニングシートＣＳに応じて送り量を制御することでクリーニングシートＣＳを常に適切な送り量でクリーナーヘッド９２に送り込むことができる。
【００４９】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、シート送出位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の調整によりクリーニングシートＣＳの送り量を最適化しているが、クリーナーヘッド９２の移動量を調整することでクリーニングシートＣＳの送り量を制御してもよい。例えば上記実施形態のように待機位置Ｐwでクリーナーヘッド９２がクリーニングシートＣＳと係合するクリーナー９０では、待機位置Ｐwをクリーニング位置Ｐcに対して上下方向に変更すると、待機位置Ｐwからクリーニング位置Ｐcまでの距離が変わる。その結果、クリーニング処理を行うためにクリーナーヘッド９２がクリーニング位置Ｐcに移動した際の移動量が変わり、それに応じてシート供給部９３からの未使用クリーニングシートＣＳの送り量も増減する。そこで、クリーナーヘッド９２を昇降駆動するために、クリーニング位置Ｐcに対する待機位置Ｐwを多段階に変更させることができるアクチュエータを本発明の「第１調整部」として装備し、使用するクリーニングシートＣＳに応じて待機位置Ｐwを調整して送り量を制御してもよい。このように構成することで、クリーニングシートＣＳを常に適切な送り量でクリーナーヘッド９２に送り込むことができる。
【００５０】
また、上記実施形態では、未使用の長尺クリーニングシートＣＳの後端部を中空ロール軸（送り出し軸）に固着しながらロール状で巻き取った供給ロール９３１を用いており、クリーナーヘッド９２の上昇に伴ってクリーニングシートＣＳが繰り出される。このとき、シート送りに伴ってロール軸が回転する。一方、クリーニングシートＣＳが使い切られた時には、クリーニングシートＣＳの繰出が行われず、ロール軸は回転停止状態となる。そこで、例えば図１０に示すように、ロール軸の回転を検出する回転検出部９５を設け、当該回転検出部９５の検出結果に基づきクリーニングシートＣＳの使い切りを検出してもよい。この回転検出部９５としては、同図に示すように、回転検出用ドグ９５１と光センサ９５２とを組み合わせたものと使用することができる。この回転検出用ドグ９５１は、円盤部材の外周部に切欠を複数個等角度間隔で設けたものであり、ロール軸を回転自在に支持しているシャフト９３２ａに固定されている。このため、クリーニングシートＣＳの繰出によりロール軸、シャフト９３２ａおよび回転検出用ドグ９５１が回転する。また、光センサ９５２は回転検出用ドグ９５１の外周部を検出するように配置されており、ドグ９５１の回転に応じて光センサ９５２からパルス信号が出力される。この光センサ９５２は入出力制御部４６に接続され、上記パルス信号が入出力制御部４６を介して演算処理部４１に与えられる。そして、このパルス信号に基づき演算処理部４１は、クリーナーヘッド９２がクリーニング位置Ｐcに上昇した際にロール軸が回転しているか否かを判定し、ロール軸が回転していないことを検出したとき、クリーニングシートＣＳの使い切りと判断している。この実施形態では、演算処理部４１が本発明の「使い切り検出部」として機能しており、クリーニングシートＣＳの使い切りを自動的に検出することができる。なお、使い切りを検出した際には、その旨を表示／操作ユニット４５に表示したり、報知してもよい。
【００５１】
また、上記実施形態では、シート供給部９３側でシートの使い切りを検出しているが、シート回収部９４側でシートの使い切りを検出してもよく、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。すなわち、クリーニングシートＣＳを使い切った場合、シート回収部９４のエアーシリンダ９４５ａに伸長指令を出したとしても、クリーニングシートＣＳの巻取が不可能であるため、エアーシリンダ９４５ａのピストン部は後退したままとなっている。そこで、エアーシリンダ９４５ａのピストン部が原位置（後退している位置）にあることを検出するセンサを設け、演算処理部４１から伸長指令を２回出力したとしてもピストン部が原位置から離れないことをセンサが検出した場合、演算処理部４１がクリーニングシートＣＳの使い切りを検出するように構成してもよい。
【００５２】
さらに、上記実施形態において、供給ロール９３１の両端部に摩擦伝動面を設けると、クリーニングシートＣＳは所定の力で引かれることにより回転するように調整がすることができる。このようにすることで、ブレーキが解除されたときにも繰り出したクリーニングシートＣＳは張力を保持したままとなる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明にかかる印刷装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】印刷装置の概略構成を示す平面図である。
【図３】印刷装置の概略構成を示す側面図である。
【図４】印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図５】本発明にかかるクリーニング装置の一実施形態であるクリーナーの全体構成を示す斜視図である。
【図６】図５のクリーナーの側面図である。
【図７】シート回収部の構成を示す図である。
【図８】クリーナーヘッドを上方から見た平面図である。
【図９】図５のクリーナーの動作を模式的に示す図である。
【図１０】本発明にかかるクリーニング装置の他の実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…基板
４１…演算処理部
４４…クリーナー制御部
５１…マスク
９０…クリーナー（クリーニング装置、クリーニングユニット）
９２…クリーナーヘッド
９３…シート供給部
９４…シート回収部
９５…回転検出部
９１３…支持孔（第２調整部）
９３１…供給ロール
９３３…電磁クラッチ（規制手段）
９３４…ガイドバー（第２調整部）
９４１…巻取軸
９４４…ワンウェイクラッチ
９４５…駆動機構
９４５ａ…エアーシリンダ
９４５ｃ…ワンウェイクラッチ
９５１…回転検出用ドグ
９５２…光センサ
ＣＳ…クリーニングシート
Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3…シート送り出し位置
Ｐc…クリーニング位置
Ｐw…待機位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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