(57)【要約】      （修正有）【課題】自動倉庫において、作業者が物品を容易に出し入れできるようにする。【解決手段】自動倉庫１０は、複数の固定棚２４と、移載装置２６と、スライド棚２５と、を備えている。複数の固定棚２４は、カセットＣを載置可能である。移載装置２６は、複数の固定棚２４に沿って移動し、複数の固定棚２４の間でカセットＣを移載する。スライド棚２５は、カセットＣを載置可能な載置台７８と、載置台７８が設けられるとともに載置台７８を移載装置２６が移載可能な位置に対して接近及び離反する水平方向に移動可能な伸縮する伸縮レール７６と、を有する。【選択図】図１
2010285278.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を載置可能な複数の固定棚と、
前記複数の固定棚に沿って移動し、前記複数の固定棚の間で前記物品を移載する移載装置と、
前記物品を載置可能な載置台と、前記載置台が設けられるとともに前記載置台を前記移載装置が移載可能な位置に対して接近及び離反する水平方向に移動可能な伸縮レールと、を有するスライド棚と、
を備えた自動倉庫。
【請求項２】
前記自動倉庫は、前記物品に関連する処理を行う処理装置の外周に面しかつ前記処理装置との受け渡し部付近に前記複数の固定棚が配置され、前記移載装置が前記受け渡し部に前記物品を移載可能な装置前自動倉庫であり、
前記伸縮レールは、前記受け渡し部と前記複数の固定棚とを結ぶ前記移載装置の移動経路を横断して伸縮する、請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項３】
前記固定棚及び前記移載装置を囲むように配置され、かつ前記伸縮レール及び前記物品が載置された前記載置台が通過可能な開口を有する外壁パネルをさらに備える、請求項１又は２に記載の自動倉庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動倉庫、特に、搬送装置と処理装置との間で物品を保管する自動倉庫に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶の製造工場では、シリコンウェハやガラスプレート等の基板上に薄膜形成、酸化、エッチング等の種々の処理構成を経て基板上に半導体デバイスや液晶デバイスが形成される。この種の処理装置の間では、カセット（物品の一例）に基板が収納されてカセット単位で自動搬送台車により搬送される。処理装置と搬送装置との受け渡し場所には、運搬装置と処理装置との間の処理時間を調整するために装置前自動倉庫と呼ばれるバッファが設けられている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
従来の装置前自動倉庫は、上下に間隔を隔てて配置されたカセット保管用の複数の固定棚と、各固定棚の間で物品を受け渡し可能な移載装置と、を備えている。固定棚は上下に間隔を隔てて配置されており、最も上の固定棚が搬送装置である自動搬送台車とのカセット受け渡し場所になっている。そして、最も下の固定棚の下方に処理装置とのカセット受け渡しポートが配置されている。この受け渡しポートで処理装置によりカセット内から基板が取り出され、処理装置で基板が処理される。
【０００４】
移載装置は、固定棚の処理装置と逆側に面して配置され、各固定棚間及び各固定棚と受け渡しポートとの間でカセットを移載する。このような装置前自動倉庫を設けることにより、処理装置や搬送装置のトラブルによりカセットの供給又は搬出が滞ってもシステムダウンすることなく連続して物品を搬入及び搬出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２９８０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような自動倉庫において、試作品や特急品に対応するために、人手により固定棚にカセットを受け渡し可能なマニュアルポートを設けることが考えられる。しかし、前記従来の自動倉庫では、固定棚の前面を移載装置が移動するので、固定棚までの距離が長くなる。このため、作業者が腕を延ばして物品を出し入れしなければならず、物品の出し入れを行いにくい。
【０００７】
本発明の課題は、自動倉庫において、作業者が物品を容易に出し入れできるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る自動倉庫は、複数の固定棚と、移載装置と、スライド棚と、を備えている。複数の固定棚は、物品を載置可能である。移載装置は、複数の固定棚に沿って移動し、複数の固定棚の間で物品を移載する。スライド棚は、物品を載置可能な載置台と、載置台が設けられるとともに載置台を移載装置が移載可能な位置に対して接近及び離反する水平方向に移動可能な伸縮レールと、を有する。
この自動倉庫では、搬送装置から固定棚に物品が供給され、固定棚に移載される。また、各固定棚の間で移載装置により物品が移載される。そして、試作品や特急品などの物品が発生すると、スライド棚の載置台を引き出す。すると、載置台が伸縮レールにより移載装置が移載可能な位置から離反する方向に移動する。これより、物品を作業者に近づけることができる。ここでは、物品を載置可能な載置台を移載可能な位置に対して接近及び離反するように構成したので、載置台を自動倉庫との間で出し入れして物品を出庫及び入庫することができる。このため、作業者が物品を容易に出し入れできるようになる。
【０００９】
自動倉庫は、物品に関連する処理を行う処理装置の外周に面しかつ処理装置との受け渡し部付近に複数の固定棚が配置され、移載装置が受け渡し部に物品を移載可能な装置前自動倉庫であってもよい。伸縮レールは、受け渡し部と複数の固定棚とを結ぶ移載装置の移動経路を横断して伸縮するようにしてもよい。
この場合には、載置台が移載装置の移動経路を横断するので、自動倉庫内の移載装置がアクセス可能な位置に載置台を配置しても、載置台を作業者に近づけることができる。
【００１０】
固定棚及び移載装置を囲むように配置され、かつ伸縮レール及び物品が載置された載置台が通過可能な開口を有する外壁パネルをさらに備えてもよい。
この場合には、物品を保護するために外壁パネルを設けても、そこに形成する開口を最小限の大きさにすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、物品を載置可能な載置台を移載可能な位置に対して接近及び離反するように構成したので、載置台を自動倉庫との間で出し入れして物品を出庫及び入庫することができる。このため、作業者が物品を容易に出し入れできるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態による自動倉庫の斜視図。
【図２】その外壁パネルを除いた正面図。
【図３】その側面断面図。
【図４】移載装置の正面拡大図。
【図５】スライド棚の斜視図。
【図６】自動倉庫の制御系のブロック図。
【図７】スライド棚処理のフローチャート。
【図８】カセット割り込み処理のフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（１）自動倉庫の全体構成
図１から図３において、本発明の一実施形態による自動倉庫１０は、たとえば、図示しない天井走行の自動搬送台車と処理装置の一例である半導体処理装置１２（図３）との間に配置される装置前自動倉庫である。自動倉庫１０は、半導体処理装置１２の外周に配置された受け渡しポート（受け渡し部の一例）１４に重なるように配置されている。受け渡しポート１４は、たとえば、４個のカセット載置台１４ａを有している。
【００１４】
自動倉庫１０は、自動搬送台車から搬入され半導体処理装置１２で処理される処理前の複数枚の基板を収納するカセット（物品の一例）Ｃを保管する。また、半導体処理装置１２で処理され自動搬送台車で搬出される処理済みの基板が収納されたカセットＣを保管する。自動倉庫１０は、フレーム２０と、フレーム２０の外側面を囲むように配置された外壁パネル２２と、カセットＣ載置用の固定棚２４と、スライド棚２５と、移載装置２６と、を備えている。スライド棚２５は、作業者が人手によりカセットＣを自動倉庫１０に搬入及び搬出するために使用される。移載装置２６は、図６に示す倉庫制御部１００により制御される。移載装置２６は、カセットＣを、複数の固定棚２４と、スライド棚２５と、複数のカセット載置台１４ａとの間で搬送する。
【００１５】
（２）フレーム及び外壁パネルの構成
フレーム２０は、図２に示すように、たとえば、四隅に配置された４本の柱部材２０ａと、柱部材２０ａを前後左右に連結する連結部材２０ｂと、を有している。図２の手前左側の柱部材２０ａには、スライド棚２５を使用する場合、その旨を倉庫制御部１００に出力するための扉開指令ボタン１０２が設けられている。なお、左右をつなぐ連結部材２０ｂは、主に半導体処理装置１２側の背面に配置されており、正面には配置されていない。フレーム２０の左右のそれぞれ２本の柱部材２０ａは、床面に固定可能である。フレーム２０の下部に半導体処理装置１２の受け渡しポート１４が配置されている。受け渡しポート１４は、カセットＣを載置可能である。半導体処理装置１２では、カセットＣを開けて、内部に収納された、たとえば円形の基板に処理を施し、処理済みの基板をカセットＣに収納する。
【００１６】
外壁パネル２２は、自動倉庫１０の正面及び左右の側面を覆うとともに、背面の上部を覆うように形成されている。外壁パネル２２の正面の下部には、スライド棚２５及びそれに載置されるカセットＣを通過させるための開口２２ａが形成されている。開口２２ａは、手動により開閉可能な左右にスライド扉２８により塞がれている。スライド扉２８は、図６に示す扉センサ９０により開状態が検出される。また、電磁式の扉ロック９２によりロック及びロック解除される。スライド扉２８は内部を視認可能な透明の窓を有している。これにより、スライド棚２５にカセットＣが移載されているか否かを作業者が判断できる。
【００１７】
（３）固定棚の構成
固定棚２４は、上下方向及び左右方向に配置されている。この実施形態では、左右に４列、上下に３段の合計１２個設けられている。固定棚２４は、上面にカセットＣを位置決めして載置可能である。固定棚２４は、フレーム２０の左右の連結部材２０ｂに固定されている。左右方向において、固定棚２４の間に移載装置２６が上下に通過可能な鉛直通路３０ａが設けられている。この実施形態では、固定棚２４は、左右方向において、固定棚２４，鉛直通路３０ａ，固定棚２４，固定棚２４、鉛直通路３０ａ，固定棚２４の順に並んでおり、すべての固定棚２４が鉛直通路３０ａに面している。これにより、移載装置２６がすべての固定棚２４及び受け渡しポート１４との間でカセットＣを移載できる。固定棚２４には、カセットＣを識別するカセット読み取り器（図示せず）が設けられている。最上段の固定棚２４は、自動搬送台車とのカセットＣの受け渡しに使用される。最下段の固定棚２４と受け渡しポート１４との間は、水平通路３０ｂとなっている。
【００１８】
（４）スライド棚の構成
スライド棚２５は、図５に示すように、床面に固定可能な架台部７４と、架台部７４に設けられた伸縮レール７６と、伸縮レール７６上に設けられた載置台７８と、を有している。架台部７４は、４本の脚部７４ａを有する直方体枠形状に形成されている。
伸縮レール７６は、載置台７８を移載装置２６が移載可能な位置に対して接近及び離反する水平方向に伸縮する。また、移載装置２６の水平通路（移載経路の一例）３０ｂを横断して水平方向（前後方向）に伸縮する。伸縮レール７６は、第１レール部８０と、第１レール部８０に進退自在に支持された第２レール部８２と、を有している。第１レール部８０は、架台部７４を上面に固定される２本の第１レール部材８４と、第１レール部材８４に水平移動自在に装着された可動台８６と、を有している。第１レール部材８４は、架台部７４の上面に固定されており、前後方向に沿って配置されている。第１レール部材８４は、たとえば、断面がＣ字状の部材である。可動台８６は、板状の部材であり、第１レール部材８４に案内される複数のローラ（図示せず）を下面に有している。
【００１９】
第２レール部８２は、可動台８６に左右方向に間隔を隔てて配置された２本の第２レール部材８８を有している。第２レール部材８８は、たとえば断面がＣ字状の部材であり、第２レール部材８８に載置台７８が前後方向に移動自在に案内される。
【００２０】
載置台７８は、作業員が搬出及び搬入するためのカセットＣを載置するための台である。載置台７８は、図５に示すフレーム２０外に引き出された第１位置と、図３に示すフレーム２０内に配置された第２位置と、の間で伸縮レール７６に移動自在に案内される。載置台７８は、第２レール部材８８に案内される複数のローラを内側面に有している。載置台の上面の高さは、受け渡しポート１４のカセット載置台１４ａと同じ高さとなるように調整されている。また、載置台７８には、カセットＣを位置決めする、たとえば３つの位置決めピン７８ａが設けられている。なお位置決めピン７８ａは固定棚２４にも設けられている。
【００２１】
スライド棚２５には、第１位置と第２位置とで載置台７８をそれぞれ移動しにくくなるように係止する機械的な２つのラッチ（図示せず）が設けられている。また、スライド棚２５には、図６に示すように、閉まった位置にあることを検出する棚センサ９４と、閉まった位置で載置台７８をロック及びロック解除可能な電磁式の棚ロック９６が設けられている。さらに、載置台７８には、カセットＣが正常に載置されているか否かを判断するための第１カセットセンサ９８が設けられている。また、架台部７４には、第２位置で載置台７８上にカセットＣがあるか否かを検出す第２カセットセンサ９９が設けられている。第１カセットセンサ９８は、第１位置及び第２位置のいずれの位置にあってもカセットＣが正しく載置台７８上にあるか否かを判断する。第２カセットセンサ９９は、第２位置において、位置決めされているか否かに関わらず、フレーム２０内にカセットＣがあるか否かを大まかに検出する。
【００２２】
（５）移載装置の構成
移載装置２６は、水平レール３２と、水平レール３２に沿って移動する鉛直レール３４と、鉛直レール３４に沿って各別に移動する移載ヘッド３６と、を備えている。水平レール３２は、固定棚２４の正面側に固定棚２４と隙間を空けて水平方向に配置されている。移載装置２６は、左右方向に沿った水平軸及び鉛直軸の二軸を有する装置であり、カセットＣを水平軸方向の移動で保持可能である。
【００２３】
図２に示すように、水平レール３２は、左右方向に沿って配置されている。水平レール３２は、図４に示すように、上レール部材４０ａ及び下レール部材４０ｂと、鉛直レール３４を水平方向に駆動するための水平駆動モータ４４と、上駆動プーリ４６ａ及び下駆動プーリ４６ｂと、上従動プーリ４８ａ及び下従動プーリ４８ｂと、上歯付きベルト５０ａ及び下歯付きベルト５０ｂと、を有している。上レール部材４０ａ及び下レール部材４０ｂは、両端部で上下方向に配置された接続部材４１によりつながれている。
水平駆動モータ４４は、上レール部材４０ａの図４左端（図２右端）に固定された減速機付きのモータであり、９０度曲げて回転を出力可能である。水平駆動モータ４４の出力は、水平駆動プーリ４６に伝達され、かつ連結軸５４を介して下駆動プーリ４６ｂに伝達される。上駆動プーリ４６ａ及び下駆動プーリ４６ｂは、上レール部材４０ａ及び下レール部材４０ｂの図２右端（図４の左端）に配置されている。上従動プーリ４８ａ及び下従動プーリ４８ｂは、上レール部材４０ａ及び下レール部材４０ｂの図２左端（図４の右端）に配置されている。上歯付きベルト５０ａは、上駆動プーリ４６ａと上従動プーリ４８ａに巻回されている。上歯付きベルト５０ａには、上レール部材４０ａに水平方向に案内される上スライダ５２ａが固定されている。下歯付きベルト５０ｂには、下レール部材４０ｂに水平方向に案内される下スライダ５２ｂが固定されている。上スライダ５２ａ及び下スライダ５２ｂに鉛直レール３４が固定されている。
【００２４】
鉛直レール３４は、図４に示すように、鉛直レール部材６０と、移載ヘッド３６を鉛直方向に駆動するための鉛直駆動モータ６４と、駆動プーリ６６と、従動プーリ６８と、歯付きベルト７０と、を有している。これらの構造は、水平レール３２の上レール部材４０ａと同様である。移載ヘッド３６は、歯付きベルト７０に固定されたスライダ７２に固定されている。
【００２５】
移載ヘッド３６には、図３に示すように、カセットＣの上面に突出して形成された突起部Ｃ１を保持可能な１対の保持部３６ａが左右方向（図３紙面直交方向）に開閉可能に配置されている。また、移載ヘッド３６のカセットＣに対向可能な位置には、カセットＣを識別するためのカセット識別センサ３６ｂが設けられている。移載ヘッド３６は、保持部３６ａを開閉するヘッドモータ１０４（図６）を有している。移載ヘッド３６は、固定棚２４に対する搬入時及び搬出時には、保持部３６ａを開閉して突起部Ｃ１を保持解除及び保持する。移載ヘッド３６は、水平レール３２及び鉛直レール３４に案内されて、２つの鉛直通路３０ａ及び水平通路３０ｂを移動する。
【００２６】
（６）制御系の構成
倉庫制御部１００は、たとえば、マイクロコンピュータを有するものである。倉庫制御部１００は、ソフトウェアにより、移載装置２６の水平駆動モータ４４、鉛直駆動モータ６４及びヘッドモータ１０４を制御する。また、倉庫制御部１００は、フレーム２０の扉ロック９２及びスライド棚２５の棚ロック９６を制御する。このため、倉庫制御部１００には、図６に示すように、扉開指令ボタン１０２と、扉センサ９０と、棚センサ９４と、第１カセットセンサ９８と、第２カセットセンサ９９と、が接続されている。また、倉庫制御部１００には、水平駆動モータ４４と、鉛直駆動モータ６４と、ヘッドモータ１０４と、カセット識別センサ３６ｂ等のその他のセンサ及び半導体処理装置１２等の外部装置とのデータの入出力を行う他の入出力部１０６と、が接続されている。
【００２７】
（７）自動倉庫の動作
このように構成された自動倉庫１０では、図示しない自動搬送台車がカセットＣを最上段の固定棚２４のいずれかに搬入する。搬入されたカセットＣは、搬入された最上段の固定棚２４が面する鉛直通路３０ａから下方の２列の２段の固定棚２４のいずれかに移載される。そして半導体処理装置１２からの要求により、受け渡しポート１４又はスライド棚２５にさらに移載される。この移載時には、移載ヘッド３６を、保持部３６ａを開けた状態で移載対象のカセットＣの中心の上方に移動させる。このとき、移載ヘッド３６を移載対象のカセットＣが面する鉛直通路３０ａに移動させ、鉛直レール３４に沿って昇降させる。そしてカセットＣの上方に到達すると、水平レール３２に沿って水平にカセットＣの中心に移動させる。そして、移載ヘッド３６を下降させ、ヘッドモータ１０４により保持部３６ａを閉じて突起部Ｃ１を保持部３６ａで保持する。これにより突起部Ｃ１が保持され、カセットＣを移載することができる。そして、最上段の固定棚２４からその下方の２段の固定棚２４のいずれかにカセットＣを移載する。また、移載命令によっては、受け渡しポート１４のカセット載置台１４ａ又はスライド棚２５に直接移載する。スライド棚２５に搬入されたカセットＣをカセット載置台１４ａに移載することもある。逆に、カセット載置台１４ａ又はスライド棚２５から搬出する場合は、逆の手順でそれぞれの固定棚２４に移載される。
【００２８】
一方、作業者が手動でスライド棚２５へのカセットＣの搬入及びスライド棚２５からの搬出を行う場合、扉開指令ボタン１０２を押圧操作する。このスライド棚２５に関連する倉庫制御部１００のスライド棚処理を図７及び図８に示すフローチャートにしたがって説明する。
【００２９】
図７のステップＳ１では、カセットＣをスライド棚２５から搬出するカセット搬出指令を受けたか否かを判断する。このカセット搬出指令は、半導体処理装置１２や自動倉庫１０の図示しない操作盤等から出力される。ステップＳ２では、扉開指令ボタン１０２が操作されたか否かを判断する。作業者は、搬出指令がある場合は、スライド扉２８からスライド棚２５にカセットＣがあるときに、この扉開指令ボタン１０２を操作する。また、搬入指令がある場合には、搬入指令を確認すると作業者は扉開指令ボタン１０２を操作する。ステップＳ３では、DOフラグがセットされているか否かを判断する。このＤＯフラグは、扉開指令ボタン１０２が操作されると、スライド扉２８が開いて再度閉じるまでセットされる。
【００３０】
カセット搬出指令を受けるとステップＳ１からステップＳ１０に移行する。ステップＳ１０では、第１カセットセンサ９８及び第２カセットセンサ９９のいずれもがオフしているか否かを判断する。すなわち、スライド棚２５にカセットＣがあるか否かを判断する。スライド棚２５にカセットＣがある場合はステップＳ２に移行する。スライド棚２５にカセットＣがない場合には、ステップＳ１０からステップＳ１１に移行し、指令されたカセットＣを固定棚２４又はカセット載置台１４ａに取りに行き、それをスライド棚２５に移載する。
【００３１】
扉開指令ボタン１０２が操作されるとステップＳ２からステップＳ１２に移行する。ステップＳ１２では、ＤＯフラグをセットする。ステップＳ１３では、図８に示すカセット割り込み処理を実行する。ステップＳ３及びステップＳ１３が終わるとステップＳ１に戻る。
【００３２】
ステップＳ１３のカセット割り込み処理では、図８のステップＳ２１で現在動作が終了しているか否かを判断する。現在動作とは、現在処理中の移載動作である。ステップＳ２２では、スライド扉２８が開いているか否かを判断する。この判断は扉センサ９０がオフしているか否かにより判断する。ステップＳ２３では、棚センサ２３がオフしているか否かを判断する。最初は載置台７８が第２位置に配置されているので、この判断はＮｏになる。
【００３３】
現在動作が終了している場合は、ステップＳ２１からステップＳ２５に移行する。ステップＳ２５では、鉛直レール３４をスライド棚２５と干渉しない所定位置、たとえば、図２右側の鉛直通路３０ａの位置に移動させる退避処理を行う。ステップＳ２６では、扉ロック９２を解除し、スライド扉２８を開けられるようにする。ステップＳ２７では、作業者にランプ等の適宜の手段にスライド扉２８を開けられることを報知し、ステップＳ２２に移行する。作業者は、その報知により、スライド扉２８を開ける。そのことがステップＳ２２で判断される。
【００３４】
スライド扉２８が開けられて扉センサ９０がオフすると、ステップＳ２２からステップＳ２８に移行する。ステップＳ２９では、棚ロック９６をロック解除し、ステップＳ２３に移行する。
【００３５】
ステップＳ２３では、作業者がスライド棚２５を引き出しため棚センサ９４がオフしているか否かを判断する。作業者がスライド棚２５を引き出して棚センサ９４がオフするとステップＳ２８に移行し、オンしているとスライド棚処理に戻る。ステップＳ２８では、棚センサ９４がオンしたか否かを判断する。棚センサ９４がオフしてからオンするのは、作業者がカセットＣを載置台７８から運び出した後又は載置台７８にカセットＣを載置した後に載置台７８を第２位置に操作したときである。棚センサ９４がオンしたと判断すると、ステップＳ３０に移行し、オンしていない場合はスライド棚処理に戻る。ステップＳ３０では、扉センサ９０がオンしてスライド扉２８が閉まったか否かを判断する。カセットＣの移載を終わると、作業者がスライド扉２８を閉めるので、これによりカセットＣが移載されスライド扉２８が閉まったことを判断できる。扉センサ９０がオンするとステップＳ３０からステップＳ３１に移行し、オフしているとスライド棚処理に戻る。ステップＳ３１では、ＤＯフラグをリセットし、スライド棚処理を終了し、ステップＳ３２に移行する。ステップＳ３２では、通常の移載処理に戻る。
【００３６】
（８）特徴
（Ａ）自動倉庫１０は、複数の固定棚２４と、移載装置２６と、スライド棚２５と、を備えている。複数の固定棚２４は、カセットＣを載置可能である。移載装置２６は、複数の固定棚２４に沿って移動し、複数の固定棚２４の間でカセットＣを移載する。スライド棚２５は、カセットＣを載置可能な載置台７８と、載置台７８が設けられるとともに載置台７８を移載装置２６が移載可能な位置に対して接近及び離反する水平方向に伸縮する伸縮レール７６と、を有している。
この自動倉庫１０では、自動搬送台車から固定棚２４にカセットＣが供給され、固定棚２４に移載される。また、各固定棚２４の間で移載装置２６によりカセットＣが移載される。そして、試作品や特急品などのカセットＣが発生すると、スライド棚２５の載置台７８を引き出す。すると、載置台７８が伸縮レール７６により移載装置２６が移載可能な位置から離反する方向にスライドする。これより、カセットＣを作業者に近づけることができる。ここでは、カセットＣを載置可能な載置台７８を移載可能な位置に対して接近及び離反してスライドするように構成したので、載置台７８を自動倉庫１０との間で出し入れしてカセットＣを出庫及び入庫することができる。このため、作業者がカセットＣを容易に出し入れできるようになる。
【００３７】
（Ｂ）自動倉庫１０は、カセットＣに関連する処理を行う半導体処理装置１２の外周に面しかつ半導体処理装置１２との受け渡しポート１４付近に複数の固定棚２４が配置され、移載装置２６が受け渡しポート１４にカセットＣを移載可能な装置前自動倉庫であり、伸縮レール７６は、受け渡しポート１４と複数の固定棚２４とを結ぶ移載装置２６の水平通路３０ｂを横断して伸縮するようにしている。
このため、載置台７８が移載装置２６の水平通路３０ｂを横断するので、自動倉庫１０内の移載装置２６がアクセス可能な位置に載置台７８を配置しても、載置台７８を作業者に近づけることができる。
【００３８】
（Ｃ）固定棚２４及び移載装置２６を囲むように配置され、かつ伸縮レール７６及びカセットＣが載置された載置台７８が通過可能な開口２２ａを有する外壁パネル２２をさらに備えている。
この場合には、カセットＣを保護するために外壁パネル２２を設けても、そこに形成する開口２２ａを最小限の大きさにすることができる。
【００３９】
（９）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４０】
（ａ）本発明は、半導体処理装置に移載する装置前自動倉庫に限定されず、スライド棚を有するすべての自動倉庫に適用できる。
（ｂ）スライド棚のレール部材の構成は前記実施形態に限定されない。たとえば、筒状のものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、固定棚と移載装置とを有し、物品を保管する自動倉庫に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１０    自動倉庫
１２    半導体処理装置
１４    受け渡しポート
１４ａ  カセット載置台
２０    フレーム
２０ａ  柱部材
２０ｂ  連結部材
２２    外壁パネル
２２ａ  開口
２４    固定棚
２５    スライド棚
２６    移載装置
２８    スライド扉
３０ａ  鉛直通路
３０ｂ  水平通路
３２    水平レール
３４    鉛直レール
３６    移載ヘッド
３６ａ  保持部
３６ｂ  カセット識別センサ
４０ａ  上レール部材
４０ｂ  下レール部材
４１    接続部材
４４    水平駆動モータ
４６ａ  上駆動プーリ
４６ｂ  下駆動プーリ
４８ａ  上従動プーリ
４８ｂ  下従動プーリ
５０ａ  上歯付きベルト
５０ｂ  下歯付きベルト
５２ａ  上スライダ
５２ｂ  下スライダ
５４    連結軸
６０    鉛直レール部材
６４    鉛直駆動モータ
６６    駆動プーリ
６８    従動プーリ
７０    歯付きベルト
７２    スライダ
７４    架台部
７４ａ  脚部
７６    伸縮レール
７８    載置台
７８ａ  位置決めピン
８０    第１レール部
８２    第２レール部
８４    第１レール部材
８６    可動台
８８    第２レール部材
９０    扉センサ
９２    扉ロック
９４    棚センサ
９６    棚ロック
９８    第１カセットセンサ
９９    第２カセットセンサ
１００    倉庫制御部
１０２    扉開指令ボタン
１０４    ヘッドモータ
１０６    他の入出力部
Ｃ    カセット
Ｃ１  突起部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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