(57)【要約】【課題】隔壁の欠損を抑え、放電セルの動作不良を生じることなく、高品質な画像を表示することができるプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】表示電極対２４が形成された前面板２０とデータ電極が形成された背面板とを対向配置して構成されたプラズマディスプレイパネルであって、表示電極対２４は、黒色層２２１ｃ、２２２ｃの上に導電性の材料を積層して形成された走査電極２２と黒色層２３１ｃ、２３２ｃの上に導電性の材料を積層して形成された維持電極２３との間に放電ギャップＭＧを形成して構成され、前面板２０は、表示電極対２４と表示電極対２４を覆う誘電体層２６と誘電体層２６を覆う保護層２７とを備え、保護層２７は、酸化マグネシウムを主成分とし平均粒径が１０ｎｍ〜１００ｎｍの結晶粒子の層を有する。【選択図】図２
2010080183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示電極対が形成された前面板とデータ電極が形成された背面板とを対向配置して構成されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記表示電極対は、黒色層の上に導電層を積層して形成された走査電極と黒色層の上に導電層を積層して形成された維持電極との間に放電ギャップを形成して構成され、
前記前面板は、前記表示電極対と前記表示電極対を覆う誘電体層と前記誘電体層を覆う保護層とを備え、
前記保護層は、酸化マグネシウムを主成分とし平均粒径が１０ｎｍ〜１００ｎｍの結晶粒子の層を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記走査電極および前記維持電極のそれぞれは、梯子形状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記保護層は、酸化マグネシウムの単結晶粒子が複数個凝集した凝集粒子からなる粒子層をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイ装置に用いられる交流面放電型プラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、単に「パネル」と略記する）として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、ガラス製の前面基板と、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対と、それらを覆う誘電体層および保護層を有する。背面板は、ガラス製の背面基板と、データ電極と、それを覆う誘電体層と、隔壁と、蛍光体層とを有する。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このように構成されたパネルの各放電セル内でガス放電を発生させ、赤、緑、青各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００３】
上記の構成のパネルでは、前面板と背面板とを対向配置すると前面板の保護層と背面板の隔壁とが当接するが、このとき隔壁に欠損が生じて放電セルが正常に動作しなくなることがあった。このような問題を解決するために、例えば特許文献１には隔壁の強度不足をなくし隔壁の欠損を抑える方法が、また特許文献２には隔壁の頂部に緩衝材を設ける方法がそれぞれ開示されている。
【０００４】
また上記パネルの走査電極および維持電極のそれぞれは、例えば幅の広いストライプ状の透明電極の上に幅の狭いストライプ状のバス電極を積層して形成されている。透明電極は、例えばスパッタ法等を用いて前面基板上に形成されたＩＴＯ薄膜をフォトリソグラフィー法等によりストライプ状にパターニングして形成する。またバス電極は、透明電極上に銀ペーストをストライプ状に印刷し焼成して形成する。しかしながらスパッタ法等でＩＴＯ薄膜を形成するためには真空装置や露光機等の設備が必要となり、生産設備が大型になるだけでなく、生産性が低いという問題点があった。
【０００５】
これらの課題を解決するために、透明電極を用いることなく不透明なバス電極を用いて走査電極および維持電極のそれぞれを構成したパネルが検討されている。例えば特許文献３には、走査電極および維持電極のそれぞれを複数の平行なバス電極およびそれらを電気的に接続する短絡バーから構成したパネルが開示されている。
【特許文献１】特開２０００−１３３３号公報
【特許文献２】特開２００３−２９７２３６号公報
【特許文献３】特開２００４−１２７９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１または特許文献２の方法によっても隔壁の欠損を完全になくすことは難しかった。特に、特許文献３に記載のパネルでは隔壁の欠損がわずかであっても放電セルで放電が発生しなくなるという問題があった。隔壁の欠損は前面板と背面板とが当接する位置、例えばバス電極によって前面板に凸部が生じた位置で発生するが、特許文献３に記載のパネルでは隣接するバス電極の間に放電ギャップを形成するので、放電ギャップの周囲で隔壁の欠損が発生して放電そのものが阻害されるからである。
【０００７】
近年は、パネルの大画面化、高精細度化にともない、放電セルが微細になって隔壁も細くなってきている。そのためパネル１枚あたりの欠損箇所の数が増える傾向にある。さらには、パネルまたはプラズマディスプレイ装置の運搬中に過大な衝撃を受けたり、プラズマディスプレイ装置が設置された後に転倒または衝撃により欠損が生じる確率も高まっている。そのため隔壁の欠損に対する早期の対策が望まれていた。
【０００８】
本発明はこれらの課題に鑑みなされたものであり、隔壁の欠損を抑え、放電セルの動作不良を生じることなく、高品質な画像を表示することができるパネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明は、表示電極対が形成された前面板とデータ電極が形成された背面板とを対向配置して構成されたパネルであって、表示電極対は、黒色層の上に導電層を積層して形成された走査電極と黒色層の上に導電層を積層して形成された維持電極との間に放電ギャップを形成して構成され、前面板は、表示電極対と表示電極対を覆う誘電体層と誘電体層を覆う保護層とを備え、保護層は、酸化マグネシウムを主成分とし平均粒径が１０ｎｍ〜１００ｎｍの結晶粒子の層を有することを特徴とする。この構成により、隔壁の欠損を抑え、放電セルの動作不良を生じることなく、高品質な画像を表示することができるパネルを提供することができる。
【００１０】
また本発明のパネルの走査電極および維持電極のそれぞれは梯子形状に形成されていてもよい。この構成により、より安定した放電を発生させることができるパネルを得ることができる。
【００１１】
また本発明のパネルの保護層は、酸化マグネシウムの単結晶粒子が複数個凝集した凝集粒子からなる粒子層をさらに有してもよい。この構成により、電子放出性能が高く、かつ電荷保持性能も高い良好な特性を示すパネルを得ることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、隔壁の欠損を抑え、放電セルの動作不良を生じることなく、高品質な画像を表示することができるパネルを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態におけるパネルについて、図面を用いて説明する。
【００１４】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の分解斜視図である。パネル１０は、前面板２０と背面板３０とを対向配置し周辺部を封着部材（図示せず）を用いて封着することにより構成されており、内部に多数の放電セルが形成されている。
【００１５】
前面板２０は、ガラス製の前面基板２１と、走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４と、誘電体層２６と、保護層２７とを有する。前面基板２１上には１対の走査電極２２と維持電極２３とからなる表示電極対２４が互いに平行に複数形成されている。図１には表示電極対２４が、走査電極２２、維持電極２３、走査電極２２、維持電極２３、・・・となるように形成されている図面を示した。しかし表示電極対２４が、走査電極２２、維持電極２３、維持電極２３、走査電極２２、・・・となるように形成されていてもよい。
【００１６】
そしてそれら表示電極対２４を覆うように誘電体層２６が形成され、誘電体層２６上に保護層２７が形成されている。保護層２７は、酸化マグネシウムを主成分とし平均粒径が１０ｎｍ〜１００ｎｍの単結晶粒子（以下、「ナノ結晶粒子」と称する）の層で構成されている。
【００１７】
背面板３０は、ガラス製の背面基板３１と、データ電極３２と、誘電体層３３と、隔壁３４と、蛍光体層３５とを有する。背面基板３１上には、複数のデータ電極３２が互いに平行に形成されている。そしてデータ電極３２を覆うように誘電体層３３が形成され、その上に縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとを有する井桁状の隔壁３４が形成されている。さらに誘電体層３３の表面と隔壁３４の側面とに赤、緑、青各色の蛍光体層３５が形成されている。
【００１８】
そして、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように前面板２０と背面板３０とが対向配置され、表示電極対２４とデータ電極３２とが対向する部分に放電セルが形成される。放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で、低融点ガラスを用いて前面板２０と背面板３０とが封着され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。
【００１９】
図２は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０（図１）の表示電極対２４の詳細を示す図であり、図２（ａ）は前面板２０を前面基板２１側から見た正面図、図２（ｂ）は前面板２０の断面図である。なお図１に記載した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付している。
【００２０】
走査電極２２は黒色層２２１ｃ、２２２ｃの上に導電層２２１ｄ、２２２ｄを積層して形成された２本のバス電極２２１、２２２から構成され、維持電極２３は黒色層２３１ｃ、２３２ｃの上に導電層２３１ｄ、２３２ｄを積層して形成された２本のバス電極２３１、２３２から構成されている。そしてバス電極２２１とバス電極２３１との間に放電ギャップＭＧが形成されている。
【００２１】
すなわち、走査電極２２を構成するバス電極２２１は黒色層２２１ｃと導電層２２１ｄとからなり、バス電極２２２は黒色層２２２ｃと導電層２２２ｄとからなる。同様に、維持電極２３を構成するバス電極２３１は黒色層２３１ｃと導電層２３１ｄとからなり、バス電極２３２は黒色層２３２ｃと導電層２３２ｄとからなる。
【００２２】
黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃは、パネル１０を表示面側から見たときにバス電極２２１、２２２、２３１、２３２を黒く見せるために設けられており、例えば酸化ルテニウムを主成分とする黒色の材料を前面基板２１の上に幅の狭いストライプ状に形成したものである。そして導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄは、バス電極２２１、２２２、２３１、２３２の導電性を高めるために設けられており、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃの上に銀を含む導電性の材料を積層して形成したものである。
【００２３】
次にパネル１０の製造方法について説明する。図３は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の前面板２０の製造方法を説明するための図である。
【００２４】
前面板２０を製造するには、まずガラス製の前面基板２１をアルカリ洗浄する。
【００２５】
次に、酸化ルテニウムや黒色顔料を主成分とする黒色層用ペーストを用いて、黒色層２２１ｃ、２２２ｃ、２３１ｃ、２３２ｃの前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘを形成する。そして、銀を含む導電層用ペーストを用いて前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘの上に導電層２２１ｄ、２２２ｄ、２３１ｄ、２３２ｄの前駆体２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成する。
【００２６】
本実施の形態においては、スクリーン印刷法を用いて感光性の黒色層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光した。その後、感光性の導電層用ペーストを前面基板２１の全面に塗布し露光マスクを用いて露光した。そしてその後、現像を行って前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘを形成した（図３（ａ））。
【００２７】
次に、前駆体２２１ｃｘ、２２２ｃｘ、２３１ｃｘ、２３２ｃｘ、２２１ｄｘ、２２２ｄｘ、２３１ｄｘ、２３２ｄｘが形成された前面基板２１を焼成して、バス電極２２１、２２２、２３１、２３２を形成する。このときの焼成のピーク温度は５５０℃〜６００℃が望ましく、本実施の形態においては５８０℃である。またバス電極２２１、２２２、２３１、２３２の厚みは、１μｍ〜６μｍが望ましく、本実施の形態においては４μｍである（図３（ｂ））。
【００２８】
次に、走査電極２２、維持電極２３が形成された前面基板２１上に、スクリーン印刷法等の公知技術により、誘電体層２６の前駆体を形成する。そして誘電体層２６の前駆体を焼成して、厚み２０μｍ〜５０μｍの誘電体層２６を形成する。
【００２９】
本実施の形態においては、酸化硼素３５ｗｔ％、酸化硅素１．４ｗｔ％、酸化亜鉛２７．６ｗｔ％、酸化物バリウム３．３ｗｔ％、酸化ビスマス２５ｗｔ％、酸化アルミニウム１．１ｗｔ％、酸化モリブデン４．０ｗｔ％、酸化タングステン３．０ｗｔ％を含んだ誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを作成した。このようにして作成された誘電体ガラスの軟化点は約５７０℃である。次に走査電極２２、維持電極２３が生成された前面基板２１上にダイコート法により誘電体ペーストを塗布して誘電体層２６の前駆体を形成した。そして誘電体層２６の前駆体を約５９０℃で焼成して誘電体層２６を形成した。このときの誘電体層２６の厚みは約４０μｍである。
【００３０】
なお、誘電体ペーストとしては、上記以外にも、例えば、酸化硼素、酸化硅素、酸化亜鉛、アルカリ土類酸化物、アルカリ金属酸化物、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化セリウム等の中からいくつかを含んだ軟化点５２０℃〜５９０℃の誘電体ガラスを含む誘電体ペーストを用いることができる。
【００３１】
このように本実施の形態においては、厚み４μｍのバス電極２２１、２２２、２３１、２３２の上に厚み４０μｍの誘電体層２６を形成するが、バス電極２２１、２２２、２３１、２３２の影響で誘電体層２６の表面にはおよそ２μｍの凹凸が生じる（図３（ｃ））。
【００３２】
そして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とする保護層２７を形成する。保護層２７を形成するには、まず、平均粒径が１０ｎｍ〜１００ｎｍのナノ結晶粒子を含有する酸化マグネシウムペーストを作成する。ナノ結晶粒子は気相生成法によって作成することができる。気相成長法はプラズマや電子ビーム等の高エネルギー下で気化したマグネシウム蒸気を、酸素ガスを含む冷却ガス（例えばアルゴンガス）によって瞬間冷却してナノサイズの微粒子を作成する方法である。
【００３３】
本実施の形態では、ターピネオールを６０重量％とブチルカルビトールアセテートを３０重量％とアクリル樹脂を１０重量％とを混合し作成したビークルに、平均粒径が５０ｎｍのナノ結晶粒子を同等の重量配分となるように混錬して酸化マグネシウムペーストを作成した。そしてスクリーン印刷法等の公知技術を用いて誘電体層２６の上に酸化マグネシウムペーストを塗布し、保護層２７の前駆体２７ｘを形成した（図３（ｄ））。
【００３４】
その後、前駆体２７ｘを形成した前面基板２１を乾燥、焼成して、厚さ１μｍ〜５μｍの保護層２７を形成する。本実施の形態においては、まず酸化マグネシウムペーストを塗布した前面基板２１を３５０℃で１１ｍｉｎ保持して乾燥した。その後、５００℃で１２ｍｉｎ保持して焼成し、厚さ約２μｍの保護層２７を形成した。
【００３５】
このようにして誘電体層２６の上に、酸化マグネシウムを主成分とし平均粒径が１０ｎｍ〜１００ｎｍのナノ結晶粒子の層で構成された保護層２７を形成した。なお、誘電体層２６の表面に生じた凹凸の影響により、保護層２７の表面にもおよそ２μｍの段差が生じている（図３（ｅ））。
【００３６】
次に背面板３０の製造方法について説明する。図４は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の背面板３０の製造方法を示す図である。
【００３７】
まず、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知技術を用いて、背面基板３１上に、Ａｇを主成分とする導電体材料を一定間隔でストライプ状に塗布し、データ電極３２の前駆体を形成する。その後、背面基板３１を焼成して、データ電極３２を形成する。データ電極３２の厚みは、例えば２μｍ〜１０μｍであり、本実施の形態においては厚みは２．５μｍである（図４（ａ））。
【００３８】
続いて、データ電極３２を形成した背面基板３１上に、低融点ガラスのペーストを塗布し、この背面基板３１を焼成して誘電体層３３を形成する。誘電体層３３の厚みは、例えば約５μｍ〜１５μｍであり、本実施の形態においては厚みは１０μｍである（図４（ｂ））。
【００３９】
続いて、誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性の誘電体ペーストを塗布し焼成して隔壁３４の前駆体を形成する。その後、露光マスクを用いて感光し、エッチングして隔壁３４を形成する。隔壁３４の高さは、例えば１００μｍ〜１５０μｍである。本実施の形態においては、誘電体層３３を形成した背面基板３１上に感光性誘電体ペーストを膜厚が約２７０μｍになるように塗布した後乾燥し、横隔壁３４ｂの形状に露光した。そしてさらにその上に感光性誘電体ペーストを膜厚が約３７μｍになるように塗布した後乾燥し、今度は縦隔壁３４ａの形状に露光した。その後エッチングし、焼成することにより高さ約１２０μｍの縦隔壁３４ａと高さ約１０４μｍの横隔壁３４ｂとを持つ隔壁３４を形成した（図４（ｃ））。
【００４０】
そして、隔壁３４の壁面および誘電体層３３の表面に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体のいずれかを含む蛍光体インクを塗布する。その後乾燥、焼成して蛍光体層３５を形成する。
【００４１】
赤色蛍光体としては、例えば（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、（Ｙ，Ｖ）ＰＯ４：Ｅｕ等を、緑色蛍光体としては、例えばＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３:Ｔｂ、（Ｙ，Ｇｄ）Ａｌ３（ＢＯ３）４：Ｔｂ等を、青色蛍光体としては、例えばＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、Ｓｒ３ＭｇＳｉ２Ｏ８：Ｅｕ等をそれぞれ用いることができる（図４（ｄ））。
【００４２】
そして上述した前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが立体交差するように対向配置し、放電セルが形成された画像表示領域の外側の位置で低融点ガラスを用いて封着する。その後、内部の放電空間にキセノンを含む放電ガスを封入して、パネル１０が完成する。
【００４３】
図５は、本発明の実施の形態１におけるパネル１０の断面図であり、データ電極３２に平行な面での放電ギャップＭＧ付近の拡大図である。上述したように、誘電体層２６の表面には凹凸が生じておりおよそ２μｍの段差となっている。そして前面板２０と背面板３０とを対向配置した際に、誘電体層２６上の凸の位置、すなわちバス電極２２１、２３１が形成されている位置で保護層２７と縦隔壁３４ａとが当接する。
【００４４】
ここで、保護層２７と縦隔壁３４ａとが点で当接しているのではなく、保護層２７が縦隔壁３４ａに押されて変形し、その結果、保護層２７と縦隔壁３４ａとが面で当接している。そのために縦隔壁３４ａに加わる応力は分散されて、縦隔壁３４ａに欠損を生じる可能性が低くなっている。
【００４５】
もし仮に保護層が剛性の高い従来の保護層であれば、保護層は変形せず保護層と縦隔壁とが点で当接するので、縦隔壁の当接している部分に大きな応力が加わり、縦隔壁に欠損が発生する可能性が高くなる。そして放電ギャップの周囲で隔壁の欠損が発生すると、対応する放電セル内部に隔壁の破片が飛散する。加えて蛍光体層がはがれて落下する可能性もある。このような放電セルは放電特性が大きく変化して正常な動作ができなくなる。
【００４６】
しかしながら本実施の形態においては、保護層２７は、酸化マグネシウムを主成分とするナノ結晶粒子の層で形成されている。またこのときの膜厚は、誘電体層２６の表面に生じる凹凸による段差と同程度に設定されている。そのため、保護層２７と縦隔壁３４ａとが当接する位置では、保護層２７が縦隔壁３４ａに押されて変形し、その結果、保護層２７と縦隔壁３４ａとが面で当接する。そのために縦隔壁３４ａに大きな応力が加わることがなく、縦隔壁３４ａに欠損を生じることがない。
【００４７】
このように、本実施の形態においては、ナノ結晶粒子の層で形成された保護層２７がクッションの役割を果たし、隔壁３４に加わる応力を分散させるので、隔壁３４にリブ欠けを発生する可能性を低減することができる。このとき保護層２７の厚みを誘電体層２６の表面に生じる凹凸による段差の程度またはそれ以上に設定することが望ましいが、必ずしもこの条件を満たさなくても上記効果を得ることができる。本発明者は、保護層２７の厚みが１μｍ以上あれば上記効果が得られることを実験的に確認した。
【００４８】
なお、実施の形態１において、走査電極２２は２本のバス電極２２１、２２２で構成され、維持電極２３も２本のバス電極２３１、２３２で構成されるものとして説明した。しかし本発明はこれに限定されるものではなく、３本以上のバス電極で構成してもよい。また他の形状であってもよい。以下に、走査電極および維持電極を梯子形状で構成したパネルについて説明する。
【００４９】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２におけるパネルの表示電極対５４の詳細を示す図である。前面板５０に形成された走査電極５２は、梯子形状の長い縦木の一方に相当し放電ギャップＭＧを規定するバス電極５２１と、梯子形状の長い縦木の他方に相当し走査電極５２の導電性を高めるためのバス電極５２２と、梯子形状の横木に相当しバス電極５２１とバス電極５２２との間の抵抗を下げるためのバス電極５２３とを有する。維持電極５３も同様に、梯子形状の長い縦木の一方に相当し放電ギャップＭＧを規定するバス電極５３１と、梯子形状の長い縦木の他方に相当し維持電極５３の導電性を高めるためのバス電極５３２と、梯子形状の横木に相当しバス電極５３１とバス電極５３２との間の抵抗を下げるためのバス電極５３３とを有する。
【００５０】
走査電極５２および維持電極５３をこのような形状で構成することで、バス電極５２１とバス電極５２２との間の抵抗、およびバス電極５３１とバス電極５３２との間の抵抗を下げることができ、より安定した放電を発生させることができる。なお、図６には、放電セルのそれぞれに対してバス電極５２３、５３３を１つずつ設けた例を示した。しかしバス電極５２３、５３３は、例えば３つの放電セルに対して１つ設ける等、必要に応じて適宜設ければよい。
【００５１】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３におけるパネルの特徴は、保護層が２層になっており、下層がナノ結晶粒子の層で構成され、上層がナノ結晶粒子よりも大きい酸化マグネシウムの単結晶粒子で構成されている点である。以下にこのパネルの詳細について説明する。
【００５２】
図７は、本発明の実施の形態３におけるパネルの前面板８０の構成を示す断面の拡大図であり、図１に示した前面板２０とは上下を逆にして示している。前面基板８１上に、走査電極８２と維持電極（図示せず）とが形成され、それらを覆うように誘電体層８６が形成されている。
【００５３】
誘電体層８６上には保護層８７が形成されている。保護層８７は、誘電体層８６の上に形成された下地保護層８７ａと、下地保護層８７ａ上に形成された粒子層８７ｂとから構成されている。下地保護層８７ａは酸化マグネシウムを主成分とするナノ結晶粒子の層であり、その厚みは、例えば２μｍである。粒子層８７ｂは、粒径が０．３μｍ〜２．０μｍ程度の酸化マグネシウムの単結晶粒子８８が複数個凝集した凝集粒子８９からなる。
【００５４】
このように本実施の形態における保護層８７は、この凝集粒子８９を下地保護層８７ａの全面にわたってほぼ均一に分布するように離散的に付着させることにより構成されている。なお、図７には単結晶粒子８８および凝集粒子８９を拡大して示している。凝集粒子８９とは単結晶粒子８８が凝集またはネッキングした状態のもので、静電気やファンデルワールス力等によって複数の単結晶粒子８８が集合体をなしているものである。単結晶粒子８８としては、１４面体や１２面体等の７面以上の面を持ち、粒径が０．３μｍ〜２．０μｍ程度の多面体形状を有するものが望ましい。また凝集粒子８９としては単結晶粒子８８が２個〜５個凝集したものが望ましく、凝集粒子８９の粒径としては、０．３μｍ〜５μｍ程度のものが望ましい。このような単結晶粒子８８およびそれらが凝集した凝集粒子８９は電子放出性能が優れており、放電遅れが小さく、高速で放電制御できるパネルが得られるため、特に高速で多数の放電セルを制御する必要のある高精細パネルに有用である。
【００５５】
上述した条件を満たす単結晶粒子８８およびそれらが凝集した凝集粒子８９は、次のようにして生成することができる。例えば、炭酸マグネシウムや水酸化マグネシウム等の酸化マグネシウム前駆体を焼成して生成する場合、焼成温度を比較的高い１０００℃以上に設定することで、粒径を０．３μｍ〜２μｍ程度に制御することができる。さらに、酸化マグネシウム前駆体を焼成することにより、単結晶粒子８８同士が凝集またはネッキングした凝集粒子８９を得ることができる。
【００５６】
このように保護層８７を構成すれば、電子放出性能が高く、かつ電荷保持性能も高い良好な特性を示すパネルを得ることができる。
【００５７】
なお、実施の形態１〜３において用いた具体的な各数値は、単に一例を挙げたに過ぎず、パネルの特性や仕様等に合わせて、適宜最適な値に設定することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、隔壁の欠損を抑え放電セルの動作不良を生じることなく高品質な画像を表示することができるパネルを提供することができ、プラズマディスプレイ装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態１におけるパネルの分解斜視図
【図２】同パネルの表示電極対の詳細を示す図
【図３】同パネルの前面板の製造方法を説明するための図
【図４】同パネルの背面板の製造方法を示す図
【図５】同パネルの断面図
【図６】本発明の実施の形態２におけるパネルの表示電極対の詳細を示す図
【図７】本発明の実施の形態３におけるパネルの前面板の構成を示す断面の拡大図
【符号の説明】
【００６０】
１０    パネル
２０，５０，８０    前面板
２１，８１    前面基板
２２，５２，８２    走査電極
２３，５３    維持電極
２４，５４    表示電極対
２６，８６    誘電体層
２７，８７    保護層
２７ｘ    （保護層の）前駆体
３０    背面板
３１    背面基板
３２    データ電極
３３    誘電体層
３４    隔壁
３４ａ    縦隔壁
３４ｂ    横隔壁
３５    蛍光体層
８７ａ    下地保護層
８７ｂ    粒子層
８８    単結晶粒子
８９    凝集粒子
２２１，２２２，２３１，２３２，５２１，５２２，５２３，５３１，５３２，５３３    バス電極
２２１ｃ，２２２ｃ，２３１ｃ，２３２ｃ    黒色層
２２１ｃｘ，２２２ｃｘ，２３１ｃｘ，２３２ｃｘ    （黒色層の）前駆体
２２１ｄ，２２２ｄ，２３１ｄ，２３２ｄ    導電層
２２１ｄｘ，２２２ｄｘ，２３１ｄｘ，２３２ｄｘ    （導電層の）前駆体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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