(57)【要約】【課題】偏向コイル53に電流を供給する駆動電源65の電力を低減し、ハウジング11の内部の偏向コイル53とハウジング11の外部の駆動電源65との間を結ぶ給電線64，66や電流供給端子63などの電流容量も低減できる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置のハウジング11の内部に、偏向コイル53と並列にコンデンサ62を接続して共振回路61を構成することで、偏向コイル53に電流を供給する駆動電源65の電力を低減する。ハウジング11の内部の偏向コイル53とハウジング11の外部の駆動電源65との間を結ぶ給電線64，66や電流供給端子63の電流容量も低減する。コンデンサ62は発熱を伴うが、コンデンサ62をハウジング11内に収納することで、回転陽極型Ｘ線管と同時に冷却し、使用時の特性変化を防止する。【選択図】図１
2010080400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空外囲器と、この真空外囲器内に配置された陰極の電子発生源と、この電子発生源を支持する陰極支持体と、前記真空外囲器内に回転可能に配置され、前記電子発生源から発生する電子が衝撃してＸ線を発生するＸ線焦点が形成される陽極ターゲットとを有する回転陽極型Ｘ線管と、
前記回転陽極型Ｘ線管の真空外囲器の外側で、前記真空外囲器内の前記電子発生源から発生する電子が前記陽極ターゲットへ移動する軌道に対向する位置に配置され、前記電子発生源から発生する電子の軌道を偏向する偏向磁界を形成する偏向コイルと、
前記偏向コイルと電気的に並列に接続されるコンデンサを有する共振回路と、
前記回転陽極型Ｘ線管、前記偏向コイル、前記共振回路の少なくともコンデンサを冷却液とともに内蔵するハウジングと
を具備していることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項２】
前記冷却液は水系冷却液であり、前記共振回路の少なくとも電気露出部は前記冷却液に対して絶縁被覆されている
ことを特徴とする請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【請求項３】
前記冷却液はグリコール水溶液である
ことを特徴とする請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子発生源から発生する電子を回転する陽極ターゲットに衝突させてＸ線を発生させる回転陽極型Ｘ線管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、Ｘ線ＣＴ装置などでは、陰極の電子発生源から発生する電子を回転する陽極ターゲットに衝突させ、この陽極ターゲットの電子が衝突して形成されるＸ線焦点からＸ線を発生させる回転陽極型Ｘ線管装置が用いられている。
【０００３】
このようなＸ線ＣＴ装置などでは、Ｘ線撮影中に、回転陽極型Ｘ線管装置で異なった位置にＸ線焦点を配置することにより、被写体を通じて検出器に入射するＸ線の入射角度をわずかにずらし、Ｘ線撮影画像の解像特性を向上させる技術が知られている。
【０００４】
Ｘ線撮影中に、回転陽極型Ｘ線管装置で異なった位置にＸ線焦点を配置するには、Ｘ線焦点を１ｍｓｅｃ以下の周期で周期的に微小移動させる必要がある。
【０００５】
Ｘ線焦点を周期的に微小移動させる方式の１つとして、真空容器内に配置する偏向電極に偏向電圧を印加し、静電的に電子ビームを偏向させる静電的電子ビーム偏向方式がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
一般的に、陰極と陽極との間の電圧が１００ｋＶを超えるＸ線管では、少なくとも陰極には負の高電圧電位が供給されるため、陰極電圧供給用ケーブルとしては高電圧ケーブルが採用されているが、静電的電子ビーム偏向方式では、偏向電極に偏向電圧を印加させる必要があるために従来の高電圧ケーブルを使用することができず、専用の高電圧ケーブルが必要となり、また、高電圧電源も専用の電源が必要となる。そのため、回転陽極型Ｘ線管装置を交換するのみで既存のＸ線ＣＴ装置のアップグレイドを達成することはできず、経済性に問題が生じ、逆に、静電偏向方式の回転陽極型Ｘ線管装置、専用高電圧電源と専用高電圧ケーブルを採用した新しいＸ線ＣＴ装置に、従来の回転陽極型Ｘ線管装置を搭載することが困難であるため、回転陽極型Ｘ線管装置がダウンした場合の復旧に支障を来たす場合が生じる。
【０００７】
また、Ｘ線焦点を瞬時に微小移動させる他の方式として、磁極が発生する偏向磁界により電子ビームを偏向させる磁気的電子ビーム偏向方式がある。
【０００８】
この磁気的電子ビーム偏向方式では、陰極と陽極ターゲットとの間に位置する真空外囲器に径小となるくびれ部を設け、そこに偏向磁界を発生する磁極を配置した構成がある。この構成では、くびれ部により真空外囲器が径小となるため、磁極間の距離が短くなり、電子ビーム位置での磁束密度を高め、電子の速度が速くても偏向することが可能となる（例えば、特許文献２〜４参照。）。
【０００９】
また、磁気的電子ビーム変更方式において、陰極の一部を磁性体からなる磁路とし、磁路に巻き付けられた偏向コイルにより磁界を発生させる構成もあるが（例えば、特許文献５参照。）、この構成では、偏向コイルが真空外囲器内の陰極位置に配置されているため、偏向コイルへの電流供給は高電圧ケーブルを通して行う必要があり、上述した静電的電子ビーム偏向方式の問題点と全く同様の問題点がある。
【特許文献１】米国特許第４６８９８０９号
【特許文献２】米国特許第７２８９６０３号
【特許文献３】米国特許第６９７７９９１号
【特許文献４】米国特許第６５２９５７９号
【特許文献５】特開平１１−１１１２０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のように、電子の軌道を確実に偏向させるために、陰極と陽極ターゲットとの間に位置する真空外囲器にくびれ部を設け、そのくびれ部に磁極を配置した磁気的電子ビーム偏向方式では、静電的電子ビーム偏向方式や、磁気的電子ビーム変更方式においても陰極の一部を磁路として偏向コイルを巻き付けた構成の場合のような問題点がでない利点がある。
【００１１】
しかしながら、真空外囲器のくびれ部の形成に伴い、陰極と真空外囲器との間の空間絶縁距離を維持させるために、陰極を陽極ターゲットからより離して配置する必要が生じ、また、くびれ部の形成に伴い、電子ビームが集束しにくくなるように電位分布が変化してしまい、これらが相俟って、Ｘ線焦点の拡大、ぼけ、歪みなどが発生する問題がある。
【００１２】
このように真空外囲器にくびれ部を作り磁気的に電子ビームを変更する方式においては多くの困難を伴う。真空外囲器に特別にくびれ部分を設けずに磁極を配置する方式では相対的に偏向電力が大きくなるという問題が生じるが、一方それ以外は従来技術の適用でシステムを構成することができるという大きなメリットがある。
【００１３】
本発明者らは、磁気的電子ビーム偏向方式の場合、Ｘ線管内の、陽極ターゲット上のビームスポットの運動として、偏向コイルの駆動電圧が相対的に低くて済む正弦波運動を採用することに着眼し、真空外囲器に特別にくびれ部分を設けない方式を実現すべく研究を進めてきた。正弦波の偏向電流を用いる装置の場合においては駆動電源の電力を低減させるために共振回路を用いることが一般的に知られている。真空外囲器に特別にくびれ部分を設けない電磁偏向方式の例では偏向コイルには数十Ａ以上の大きな電流を流す必要があるが、共振回路を構成することにより，駆動電源側の電流を１／５から１／１０に低減させることが可能である。その結果、駆動電源の電力も１／５から１／１０に低減できる。
【００１４】
一般的に共振回路を構成するためには、偏向コイルと電気的に並列に、所望の共振周波数になるような静電容量を持ったコンデンサが駆動電源内に配置される。
【００１５】
しかし、この場合、駆動電源とＸ線管とを結ぶ給電線およびターミナルは大きな電流容量を必要とし、また、給電線の電気抵抗は特に共振回路の振幅増大係数に大きく影響し、偏向電力を増大させてしまう問題がある。
【００１６】
可能な限り短く、太い給電線が好ましいが、長さを短くすることは装置上の制約があり、給電線を太くして電気抵抗を低く抑えることは装置のコストを高めるという問題が生じる。
【００１７】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、偏向コイルに電流を供給する駆動電源の電力を低減でき、ハウジング内部の偏向コイルとハウジング外部に配置される駆動電源との間を結ぶ給電線や接続ターミナルなどの電流容量も低減できる回転陽極型Ｘ線管装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、真空外囲器と、この真空外囲器内に配置された陰極の電子発生源と、この電子発生源を支持する陰極支持体と、前記真空外囲器内に回転可能に配置され、前記電子発生源から発生する電子が衝撃してＸ線を発生するＸ線焦点が形成される陽極ターゲットとを有する回転陽極型Ｘ線管と、前記回転陽極型Ｘ線管の真空外囲器の外側で、前記真空外囲器内の前記電子発生源から発生する電子が前記陽極ターゲットへ移動する軌道に対向する位置に配置され、前記電子発生源から発生する電子の軌道を偏向する偏向磁界を形成する偏向コイルと、前記偏向コイルと電気的に並列に接続されるコンデンサを有する共振回路と、前記回転陽極型Ｘ線管、前記偏向コイル、前記共振回路の少なくともコンデンサを冷却液とともに内蔵するハウジングとを具備しているものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、回転陽極型Ｘ線管装置のハウジング内部に、偏向コイルと並列にコンデンサを接続して共振回路を構成することで、偏向コイルに電流を供給する駆動電源の電力を低減でき、ハウジング内部の偏向コイルとハウジング外部に配置される駆動電源との間を結ぶ給電線や接続ターミナルなどの電流容量も低減できる。さらに、コンデンサは発熱を伴うが、ハウジング内に収納することで、Ｘ線管と同時に冷却され、使用時の特性変化を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００２１】
図１ないし図５に第１の実施の形態を示す。
【００２２】
図２および図３に示すように、回転陽極型Ｘ線管装置は、ハウジング11、およびこのハウジング11内に配置された陽極接地型の回転陽極型Ｘ線管12を備えている。ハウジング11と回転陽極型Ｘ線管12との間の空間には水系の冷却液13が満たされ、この冷却液13をハウジング11に対してホースで接続された冷却器に循環させて冷却するように構成されている。
【００２３】
回転陽極型Ｘ線管12は、真空外囲器15を備え、この真空外囲器15は、径大部16、この径大部16の上下の径小部17，18を有する円筒状に形成されている。さらに、真空外囲器15の径大部16上には円筒状の陰極収納部19が形成されている。
【００２４】
陰極収納部19を含む真空外囲器15の材料は、非磁性体であり、交流磁界によって渦電流が発生し難い高電気抵抗材であることが好ましい。例えば、非磁性ステンレス鋼、インコネル、インコネルＸ、チタン、導電性セラミクス、表面を金属薄膜でコーティングした非導電性セラミクスなどを用いてもよい。
【００２５】
真空外囲器15の径大部16の外周面には、陰極収納部19の位置に対応して、Ｘ線が透過するＸ線透過窓20が取り付けられている。
【００２６】
また、真空外囲器15内には、真空外囲器15の中心に固定軸23が配置されているとともに、この固定軸23に対して回転可能に支持された回転体24が配置されている。この固定軸23は、回転体24からみて、回転体24の回転中心となる回転軸として構成される。
【００２７】
この回転体24には、径大部16内に回転可能に配置される円板部25、および下部側の径小部18内に回転可能に配置されるロータ部26が形成されている。回転体24の円板部25の上面外周部側は、Ｘ線透過窓20へ向けて対向するように所定の角度で下降傾斜され、この下降傾斜された表面に電子が衝突してＸ線を発生する陽極ターゲット27が設けられている。
【００２８】
真空外囲器15の下部側の径小部18の外側には、誘導電磁界を発生してロータ部26を介して回転体24および陽極ターゲット27を回転させるコイル28が配置されている。
【００２９】
また、真空外囲器15の陰極収納部19内には、陽極ターゲット27に対向するように配置された陰極31が収納されている。この陰極31は、図４に示すように、電子を発生する電子発生源としてのフィラメント32、およびこのフィラメント32を支持する陰極支持体33を備えている。
【００３０】
フィラメント32は、小焦点用フィラメント32aと大焦点用フィラメント32bとを備え、それぞれ幅が長い長手方向とこの長手方向に直交する幅が狭い幅方向とを有する形状に形成され、陰極支持体33に対して幅方向に沿った方向に互いに並列に配置されている。フィラメント32の長手方向が陽極ターゲット27の径方向に沿って配置され、幅方向が陽極ターゲット27の回転方向に沿って配置されている。
【００３１】
陰極支持体33は、絶縁体35によって真空外囲器15に支持されている。
【００３２】
また、図２および図３に示すように、真空外囲器15の陰極収納部19は、上部側が円筒状の周壁部38にて構成され、下部側が環状の反跳電子捕獲構造体39にて構成されている。
【００３３】
反跳電子捕獲構造体39は、陽極ターゲット27からの反跳電子を捕獲するもので、中心部にはフィラメント32から発生する電子を通過させる円形状の開口部40が形成されており、フィラメント32から発生する電子が陽極ターゲット27へ移動する軌道を取り囲むように配置されている。反跳電子捕獲構造体39の陰極31に対向する面は凹面に形成され、陽極ターゲット27に対向する面は平坦面に形成され、外周面は円筒状側面に形成されている。
【００３４】
反跳電子捕獲構造体39の材料は、非磁性体でかつ高熱伝導性材であることが好ましく、例えば、銅、銅合金、ＧＬＩＤ−ＣＯＰなどの強化銅、モリブデン、モリブデン合金などの金属材料の他、熱伝導率が大きいＳｉＣ、ＡｌＮ、ＢｅＯなどのセラミクス表面を金属薄膜でコーティングしたものを用いてもよい。
【００３５】
図示していないが、反跳電子捕獲構造体39は冷却構造を備えており、この冷却構造としては、例えば、反跳電子捕獲構造体39の内部に冷却液が循環する冷却液流路が形成され、この冷却液流路の冷却液を冷却器に循環させて反跳電子捕獲構造体39を冷却するように構成されている。
【００３６】
また、図２および図５に示すように、真空外囲器15の陰極収納部19の外側には、フィラメント32から発生する電子の軌道を周期的に偏向する偏向交流磁界を形成する偏向磁界形成手段51が配置されている。この偏向磁界形成手段51は、略コ字形のヨーク52、およびこのヨーク52の両端にそれぞれ巻回された偏向コイル53を有し、ヨーク52の両端に対の磁極54が形成された双極子で構成されている。偏向コイル53は、１本の巻線を巻回して形成され、ヨーク52の一端に巻回されたコイル部53aとヨーク52の他端に巻回されたコイル部53bとを有し、これらコイル部53a，53bが接続されている。対の磁極54は、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に互いに対向して配置されている。
【００３７】
ヨーク52を構成する主材料は、軟磁性体であり、かつ交流磁界によって渦電流が発生し難い高電気抵抗体であり、例えば、Ｆｅ−Ｓｉ合金（珪素鋼）、Ｆｅ−Ａｌ合金、電磁ステンレス鋼、パーマロイなどのＦｅ−Ｎｉ高透磁率合金、Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｃｒ合金などからなる薄板を電気絶縁膜を挟んで積層させた積層体や、これら材料からなる線材を電気絶縁膜で覆ってから束にして固めた集合体、またはこれら材料を１μｍ程度の微細な粉末にしてその表面を電気絶縁膜で覆ってから圧縮成形により形成した成形体を用いてもよい。さらに、ソフトフェライトも最適な材料である。
【００３８】
そして、図２に示すように、陰極支持体33と陽極ターゲット27とが互いに対向する方向にみて、磁極54の長さをＹ、陽極ターゲット27に対向する陰極支持体33の表面と磁極の前記方向における中心位置との距離をＸとした場合、Ｙ＞Ｘの関係を有する。
【００３９】
より具体的には、陽極ターゲット27に対向する陰極支持体33の表面を基準に陽極ターゲット27に対して反対側を−側とした場合、Ｙ＞Ｘ＞−Ｙの関係を有し、より好ましくは０．５Ｙ＞Ｘ＞−０．５Ｙの関係を有する。
【００４０】
なお、この陽極接地型の回転陽極型Ｘ線管12は、陽極のみならず、反跳電子捕獲構造体39や真空外囲器15の金属部分も接地電位である。
【００４１】
また、図３に示すように、ハウジング11には、真空外囲器15のＸ線透過窓20に対向してＸ線が透過するＸ線透過窓11aが設けられている。
【００４２】
また、図１は偏向系の給電システムを示す模式図である。
【００４３】
ハウジング11の内部には、回転陽極型Ｘ線管12、偏向コイル53、この偏向コイル53と並列に接続されて共振回路61を構成するコンデンサ62、ハウジング11に設けられた接続ターミナルである電流供給端子63と偏向コイル53およびコンデンサ62とを接続する給電線64が内蔵されている。これらハウジング11の内部に内蔵される機器および部品の全ての電気露出部は、冷却液13に対して絶縁被覆処理が施されている。
【００４４】
ハウジング11の外部には駆動電源65が配置され、この駆動電源65と電流供給端子63とが給電線66で接続されている。駆動電源65はコントローラ67により所望の出力に制御される。
【００４５】
偏向コイル53は例えば巻き数７０ターンでそのインダクタンスは１．１ｍＨ、それと並列に接続されるコンデンサ62は１．２５μＦで共振周波数４．３ｋＨｚになっている。所望の電子ビーム偏向量を得るためには、偏向コイル53に供給する電流は最大２８Ａｒｍｓであるが、コンデンサ62をハウジング11内に収容しているので、共振回路61の振幅増大係数を大きくできる結果、駆動電源65から供給される電流は約３．５Ａｒｍｓで済んでいる。駆動電源65は定電圧動作または定電流動作のいずれでも良い。なお、この効果は、以下に示す各実施の形態のいずれにおいても同様である。
【００４６】
そうして、Ｘ線撮影時には、回転陽極型Ｘ線管装置において、回転体24および陽極ターゲット27が回転し、陰極31のフィラメント32から発生する電子が陽極ターゲット27に衝突して、フィラメント32の形状に対応したＸ線焦点が形成され、この陽極ターゲット27のＸ線焦点から発生したＸ線が真空外囲器15のＸ線透過窓20およびハウジング11のＸ線透過窓11aを通じて外部へ照射される。
【００４７】
ここで、Ｘ線焦点とは、実焦点ではなく、実効焦点を意味している。
【００４８】
陽極ターゲット27からの反跳電子が反跳電子捕獲構造体39で捕獲される。
【００４９】
また、図５に示すように、偏向磁界形成手段51の偏向コイル53への通電にて周期的に変化する偏向磁界が発生し、この偏向磁界により、フィラメント32から陽極ターゲット27へ向かう電子が陽極ターゲット27の径方向（フィラメント32の長手方向）に偏向され、陽極ターゲット27に形成されるＸ線焦点が陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長手方向）に周期的に微小移動する。
【００５０】
このとき、磁極54は、陰極支持体33に対して、Ｙ＞Ｘの関係、好ましくはＹ＞Ｘ＞−Ｙの関係、より好ましくは０．５Ｙ＞Ｘ＞−０．５Ｙの関係を有するため、フィラメント32に近い位置で偏向磁界を発生させるため、フィラメント32から陽極ターゲット27へ移動する電子の速度が比較的遅いうちに電子の軌道を確実に偏向させることができる。
【００５１】
磁極54は、陰極支持体33に対して、Ｙ＞Ｘの関係、より好ましくは０．５Ｙ＞Ｘの関係にないと、磁極54が陰極支持体33から陽極ターゲット27の方向に離れてしまい、フィラメント32から陽極ターゲット27へ移動する電子の速度が速い位置で電子の軌道を偏向させることになるため、電子を偏向しにくくなり、従来のように磁極間の距離を近付けるなどして磁界強度を高める必要が生じる。一方、Ｘ＞−Ｙの関係、より好ましくはＸ＞−０．５Ｙの関係にないと、磁極54が陰極支持体33側に寄り過ぎるために、フィラメント32から陽極ターゲット27へ移動する電子に対して磁極54が発生する偏向磁界が弱くなり、電子を偏向しにくくなる。
【００５２】
そのため、従来のように真空外囲器にくびれ部を設け、磁極間の距離を短くして磁束密度を高めなくてもよいことから、Ｘ線焦点の拡大、ぼけ、歪みなどの発生を低減できる。
【００５３】
しかも、交流磁場を発生するための偏向コイル53への電流を低減させることができ、発熱が少なく、効率の良い偏向磁界形成手段51を実現することができる。
【００５４】
次に、図６に第２の実施の形態を示す。
【００５５】
偏向磁界形成手段51の対の磁極54を、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に対して所定の角度αだけずらした位置に、互いに対向して配置する。
【００５６】
そして、対の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。
【００５７】
角度αは、Ｘ線焦点の陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）への移動距離および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）への移動距離の比に合わせて設定する。
【００５８】
Ｘ線焦点を、Ｘ線焦点の長さ方向と幅方向に等しい距離移動させるためには、角度αは陽極ターゲット27の傾斜角に等しくする。
【００５９】
次に、図７に第３の実施の形態を示す。
【００６０】
偏向磁界形成手段51として、２組の双極子を備える。
【００６１】
２組の双極子の対の磁極54を、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に対してそれぞれ反対側へ所定の角度αずつずらした位置に、互いに対向して配置する。
【００６２】
そして、２組の双極子の対の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。
【００６３】
Ｘ線焦点の陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）への移動距離および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）への移動距離の比は、２組の双極子のそれぞれの磁界の比を変えることにより、０からｔａｎαの間の範囲で自由に変えることができる。
【００６４】
次に、図８に第４の実施の形態を示す。
【００６５】
偏向磁界形成手段51として、個別のヨーク52と偏向コイル53とを組み合わせて個別の対の磁極54を設けた双磁極子を用い、これら対の磁極54を陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に配置する。
【００６６】
そして、対の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）に移動することができる。
【００６７】
次に、図９に第５の実施の形態を示す。
【００６８】
偏向磁界形成手段51の双磁極子の対の磁極54を、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に対して所定の角度αだけずらした位置に、互いに対向して配置する。
【００６９】
そして、対の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。
【００７０】
角度αは、Ｘ線焦点の陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）への移動距離および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）への移動距離の比に合わせて設定する。
【００７１】
Ｘ線焦点を、Ｘ線焦点の長さ方向と幅方向に等しい距離移動させるためには、角度αは陽極ターゲット27の傾斜角に等しくする。
【００７２】
次に、図１０に第６の実施の形態を示す。
【００７３】
偏向磁界形成手段51として、２組の双磁極子を備える。
【００７４】
２組の双磁極子の対の磁極54を、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に対してそれぞれ反対側へ所定の角度αずつずらした位置に、互いに対向して配置する。
【００７５】
そして、２組の双磁極子の対の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。
【００７６】
Ｘ線焦点の陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）への移動距離および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）への移動距離の比は、２組の双磁極子のそれぞれの磁界の比を変えることにより、０からｔａｎαの間の範囲で自由に変えることができる。
【００７７】
次に、図１１に第７の実施の形態を示す。
【００７８】
偏向磁界形成手段51として、両端に磁極54が形成される２つの双極子を備える。
【００７９】
２つの双極子の両端の磁極54を、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に対してそれぞれ反対側へ所定の角度βずつずらした位置に配置する。
【００８０】
そして、２つの双極子の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）に移動することができる。
【００８１】
次に、図１２に第８の実施の形態を示す。
【００８２】
偏向磁界形成手段51として、２組の双磁極子を備える。
【００８３】
２組の双磁極子の対の磁極54を、陽極ターゲット27の回転方向であってフィラメント32の幅方向に沿った方向に対してそれぞれ反対側へ例えば４５°ずつずらした等間隔位置に、互いに対向して配置する。
【００８４】
そして、２組の双磁極子の対の磁極54が発生する偏向磁界により、Ｘ線焦点は陽極ターゲット27の径方向（Ｘ線焦点の長さ方向）および回転方向（Ｘ線焦点の幅方向）に同時に移動することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置の偏向系の給電システムの模式図である。
【図２】同上回転陽極型Ｘ線管装置の断面図である。
【図３】同上回転陽極型Ｘ線管装置の図１に対して９０°異なる方向の断面図である。
【図４】同上回転陽極型Ｘ線管装置の陰極を示し、(a)は陰極の断面図、(b)は陰極の底面図である。
【図５】同上回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図７】本発明の第3の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図８】本発明の第4の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図９】本発明の第5の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図１０】本発明の第6の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図１１】本発明の第7の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【図１２】本発明の第8の実施の形態を示す回転陽極型Ｘ線管装置における偏向磁界形成手段の配置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８６】
11    ハウジング
12    回転陽極型Ｘ線管
13    冷却液
15    真空外囲器
27    陽極ターゲット
31    陰極
32    電子発生源としてのフィラメント
33    陰極支持体
53    偏向コイル
61    共振回路
62    コンデンサ
【図１】
2010080400.tif 000003
【図２】
2010080400.tif 000004
【図３】
2010080400.tif 000005
【図４】
2010080400.tif 000006
【図５】
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【図６】
2010080400.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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