(57)【要約】【課題】検査効率を向上させる。【解決手段】電極板１２に載置された回路基板１００の導体パターン１０１に接触させたプローブ３１を介して検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて各導体パターン１０１と電極板１２との間の静電容量を測定すると共に電極板１２に近接させたプローブ３１に検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて測定したプローブ機構１４と電極板１２との間の浮遊容量の測定値に基づいて静電容量の測定値を補正する測定部を備え、電極板１２の中央部には、その領域内のいずれの位置にプローブ３１を近接させたときにも浮遊容量の測定値が同じ値となる載置領域１２ｂが縁部側領域１２ｄと区別可能に設けられ、測定部は、載置領域１２ｂ内の任意の位置にプローブ３１を近接させて測定した浮遊容量の測定値に基づいて全ての導体パターン１０１についての静電容量の測定値を補正する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台と、回路基板を載置可能にされて当該載置台の上に配設される電極板と、当該電極板の上に載置された回路基板の導体パターンに接触させる検査用プローブを有するプローブ機構と、前記導体パターンに接触させた前記検査用プローブを介して当該導体パターンに検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該各導体パターンと前記電極板との間の静電容量を測定すると共に当該電極板に近接させた当該検査用プローブに当該検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて前記プローブ機構と前記電極板との間の浮遊容量を測定して当該浮遊容量の測定値に基づいて当該静電容量の測定値を補正する測定部とを備えて、前記補正後の静電容量の測定値に基づいて前記導体パターンの良否を検査する回路基板検査装置であって、
前記電極板の中央部には、その領域内のいずれの位置に前記検査用プローブを近接させたときにも前記浮遊容量の測定値が同じ値となる載置領域が当該電極板の縁部側の領域と区別可能に設けられ、
前記測定部は、前記載置領域内の任意の位置に前記検査用プローブを近接させて測定した前記浮遊容量の測定値に基づいて全ての前記導体パターンについての前記静電容量の測定値を補正する回路基板検査装置。
【請求項２】
前記電極板は、前記載置領域の外周部に沿って配設されて前記回路基板の縁部を当接させて当該電極板に対して当該回路基板を位置決めさせる枠部材を備えて構成されている請求項１記載の回路基板検査装置。
【請求項３】
前記電極板は、当該電極板の前記縁部から前記載置領域の前記外周部までの最短の長さが前記プローブ機構における前記検査用プローブおよび当該検査用プローブに接続されている導体の前記電極板の表面に沿った長さ以上に規定されている請求項２記載の回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板における導体パターンの良否を検査する回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板検査装置として、特公平４−１７３９４号公報に開示された電気接続回路網のテスト装置（以下、「回路基板検査装置」ともいう）が知られている。この回路基板検査装置では、回路基板（回路板）の一方の面に形成されている複数の導体パターン（導体）の良否を検査する際に、電極板（導電プレート）を回路基板の他方の面側に配置して各導体パターンと電極板との間の静電容量を測定し、その静電容量が基準範囲内のときには導体パターンが良好であると判別し、基準範囲外のときには導体パターンが不良であると判別している。この場合、導体パターンに検査用信号を供給するプローブ機構と電極板との間には浮遊容量が存在するため、この浮遊容量によって静電容量の測定値が影響されることがある。このため、この種の回路基板検査装置では、一般的に、静電容量の測定前または測定後に上記した浮遊容量を測定して、静電容量の測定値を浮遊容量の測定値で補正している。
【特許文献１】特公平４−１７３９４号公報（第７頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の回路基板検査装置を含む従来の回路基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この種の回路基板検査装置では、上記したように、プローブ機構と電極板との間の浮遊容量の測定値で静電容量の測定値を補正している。この場合、発明者は、プローブ機構と電極板との間の浮遊容量は、電極板に対するプローブ機構の位置によって異なることを見出した。具体的には、発明者は、図４に示すように、プローブ機構１１４が電極板１１２の中央部１１２ａの上方に位置して、プローブ機構１１４の全体が電極板１１２に対向しているときには、電極板１１２におけるいずれの位置においてもプローブ機構１１４と電極板１１２との間の浮遊容量の測定値が同じ値（ほぼ同じ値）となるのに対して、プローブ機構１１４が電極板１１２の縁部１１２ｂに位置して、プローブ機構１１４の一部または全部が電極板１１２に対向していないときには、浮遊容量の測定値が上記した値よりも小さな値となることを見出した。このため、電極板１１２の上に載置した回路基板における導体パターンが、電極板１１２の中央部１１２ａに位置しているときと、電極板１１２の縁部１１２ｂに位置しているときとでは、浮遊容量の測定値、つまり補正すべき値が異なることとなる。したがって、従来の回路基板検査装置では、回路基板における全ての導体パターンの近傍において浮遊容量を測定する必要があるため、検査効率の向上が困難であり、この点の改善が望まれている。
【０００４】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査効率を向上し得る回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板検査装置は、載置台と、回路基板を載置可能にされて当該載置台の上に配設される電極板と、当該電極板の上に載置された回路基板の導体パターンに接触させる検査用プローブを有するプローブ機構と、前記導体パターンに接触させた前記検査用プローブを介して当該導体パターンに検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて当該各導体パターンと前記電極板との間の静電容量を測定すると共に当該電極板に近接させた当該検査用プローブに当該検査用信号を供給したときに生じる物理量に基づいて前記プローブ機構と前記電極板との間の浮遊容量を測定して当該浮遊容量の測定値に基づいて当該静電容量の測定値を補正する測定部とを備えて、前記補正後の静電容量の測定値に基づいて前記導体パターンの良否を検査する回路基板検査装置であって、前記電極板の中央部には、その領域内のいずれの位置に前記検査用プローブを近接させたときにも前記浮遊容量の測定値が同じ値となる載置領域が当該電極板の縁部側の領域と区別可能に設けられ、前記測定部は、前記載置領域内の任意の位置に前記検査用プローブを近接させて測定した前記浮遊容量の測定値に基づいて全ての前記導体パターンについての前記静電容量の測定値を補正する。
【０００６】
また、請求項２記載の回路基板検査装置は、請求項１記載の回路基板検査装置において、前記電極板は、前記載置領域の外周部に沿って配設されて前記回路基板の縁部を当接させて当該電極板に対して当該回路基板を位置決めさせる枠部材を備えて構成されている。
【０００７】
また、請求項３記載の回路基板検査装置は、請求項２記載の回路基板検査装置において、前記電極板は、当該電極板の前記縁部から前記載置領域の前記外周部までの最短の長さが前記プローブ機構における前記検査用プローブおよび当該検査用プローブに接続されている導体の前記電極板の表面に沿った長さ以上に規定されている。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の回路基板検査装置では、その領域内のいずれの位置に検査用プローブを近接させたときにも浮遊容量の測定値が同じ値となる載置領域が縁部側の領域と区別可能に電極板の中央部に設けられ、測定部が、載置領域内の任意の位置に検査用プローブを近接させて測定した浮遊容量の測定値に基づいて全ての導体パターンについての静電容量の測定値を補正する。このため、この回路基板検査装置によれば、電極板に対するプローブ機構の位置によって浮遊容量が異なることに起因して全ての導体パターンの近傍において浮遊容量を測定する必要のある従来の回路基板検査装置とは異なり、浮遊容量の測定回数を任意の少ない測定回数に削減することができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、浮遊容量の測定回数を削減できる分、検査時間を短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【０００９】
また、請求項２記載の回路基板検査装置によれば、載置領域の外周部に沿って配設されて回路基板の縁部を当接させて電極板に対して回路基板を位置決めさせるための枠部材を備えて電極板を構成したことにより、枠部材の存在によって載置領域を縁部側の領域と明確に区別させることができると共に、枠部材の存在によって回路基板を載置領域内に確実に位置させることができる。
【００１０】
また、請求項３記載の回路基板検査装置では、電極板の縁部から載置領域の外周部までの最短の長さがプローブ機構における検査用プローブおよび検査用プローブに接続されている導体（以下、この導体および検査用プローブを合わせて「導体部分」ともいう）の電極板の表面に沿った長さ以上に規定されている。このため、この回路基板検査装置によれば、例えば、載置領域の外周部に検査用プローブを近接させるときのプローブ機構の姿勢が、電極板における縁部側の領域の上部に導体部分が位置しかつ載置領域の外周部とプローブ機構とのなす平面視の角度が９０°となる姿勢、つまり載置領域の外周部から導体部分の基端部（検査用プローブとは逆側の端部）までの最短の長さが最も長くなる姿勢であったとしても、導体部分の全部を電極板（縁部側の領域）の上方に確実に位置させて電極板に確実に対向させることができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、載置領域の中央部分に検査用プローブを近接させるときは勿論のこと、載置領域の外周部に検査用プローブを近接させるときにも（つまり、載置領域内のいずれの位置に検査用プローブを近接させるときにも）、プローブ機構の姿勢に関わりなく浮遊容量の測定値を確実に同じ値（ほぼ同じ値）とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る回路基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１２】
最初に、図１に示す回路基板検査装置１の構成について説明する。回路基板検査装置１は、本発明に係る回路板検査装置の一例であって、同図に示すように、載置台１１、電極板１２、信号出力部１３、プローブ機構１４、移動機構１５、測定部１６、記憶部１７および制御部１８を備えて、回路基板１００における導体パターン１０１（図２参照）の良否を検査可能に構成されている。
【００１３】
載置台１１は、図１に示すように、電極板１２および回路基板１００を載置可能に構成されている。また、載置台１１には、図外の吸気装置による空気の吸引で電極板１２および回路基板１００を固定するための小径の吸気孔（図示せず）が多数形成されている。
【００１４】
電極板１２は、図２，３に示すように、回路基板１００を載置させる領域としてその中央部に設けられた載置領域１２ｂ（図２参照）に回路基板１００を載置可能に構成されて、図１に示すように、回路基板１００の検査時に載置台１１の上（載置台１１と回路基板１００との間）に配設（載置）される。この場合、電極板１２は、図２，３に示すように、導電性材料によって形成された電極２１と、非導電性材料によって形成されて電極２１の上に積層された絶縁層２２とを備えて矩形の板状に構成されている。また、電極２１および絶縁層２２には、小径の通気孔（図示せず）が多数の形成されており、載置台１１による空気の吸引によって載置領域１２ｂに載置された回路基板１００を吸引して固定することが可能となっている。また、電極板１２の上面１２ａ（本発明における表面）には、載置領域１２ｂの外周部１２ｃに沿って枠部材２３が配設されている。この場合、枠部材２３は、回路基板１００を電極板１２の載置領域１２ｂに載置する際に回路基板１００の縁部を当接させて電極板１２に対して回路基板１００を位置決めする機能を有している。また、枠部材２３は、載置領域１２ｂと電極板１２の縁部側の領域（以下、「縁部側領域１２ｄ」ともいう）とを区画する（載置領域１２ｂを縁部側領域１２ｄと区別する）機能を有している。また、電極板１２は、図２に示すように、その縁部から載置領域１２ｂの外周部１２ｃ（枠部材２３の内側の縁部）までの最短の長さＬ１がプローブ機構１４における導体部分１４ａ（同図参照）の電極板１２の上面１２ａに沿った長さＬ２（平面視の長さ）以上に規定されている。
【００１５】
信号出力部１３は、図１に示すように、検査用信号Ｓｅ（例えば、交流電圧）を生成する。プローブ機構１４は、同図に示すように、プローブ３１（本発明における検査用プローブ）、および非導電材料によって形成されてプローブ３１を保持するアーム部３２を備えて構成されている。また、プローブ３１には、検査用信号Ｓｅを供給するための導線３３が接続されており、この導線３３は、アーム部３２に沿って配線されている。なお、導線３３が、本発明における「検査用プローブに接続されている導体」に相当する。移動機構１５は、ＸＹ方向（電極板１２の上面１２ａに沿った方向）、およびＺ方向（上下方向）にプローブ機構１４を移動させる。
【００１６】
測定部１６は、回路基板１００の導体パターン１０１に接触させたプローブ３１を介して導体パターン１０１に検査用信号Ｓｅを供給したときに流れる電流Ｉ（本発明における、「検査用信号を供給したときに生じる物理量」の一例）に基づき、各導体パターン１０１と電極板１２との間の静電容量を測定する（以下、静電容量の測定値を「静電容量Ｃａ」ともいう）。また、測定部１６は、電極板１２に近接させたプローブ３１に検査用信号Ｓｅを供給したときに流れる電流Ｉに基づいてプローブ機構１４（具体的には、プローブ機構１４における導体部分１４ａであって、より具体的には、プローブ３１およびプローブ３１に接続された導線３３におけるアーム部３２に沿って配線された部分）と電極板１２との間の浮遊容量を測定する（以下、浮遊容量の測定値を「浮遊容量Ｃｂ」ともいう）。さらに、測定部１６は、浮遊容量Ｃｂに基づいて静電容量Ｃａを補正する。
【００１７】
記憶部１７は、静電容量Ｃａ、浮遊容量Ｃｂ、および補正後の静電容量Ｃａ（以下、補正後の静電容量Ｃａを「補正後静電容量Ｃｃ」ともいう）を記憶する。また、記憶部１７は、制御部１８による導体パターン１０１の良否検査に用いられる基準値Ｃｄを記憶する。制御部１８は、図外の操作部から出力される操作信号に従って回路基板検査装置１を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部１８は、信号出力部１３による検査用信号Ｓｅの出力、移動機構１５によるプローブ機構１４の移動、並びに測定部１６による静電容量の測定、浮遊容量の測定、および静電容量Ｃａの補正（補正後静電容量Ｃｃの算出）を制御する。また、制御部１８は、静電容量Ｃａ、浮遊容量Ｃｂおよび補正後静電容量Ｃｃを記憶部１７に記憶させる。また、制御部１８は、補正後静電容量Ｃｃと基準値Ｃｄとを比較して、導体パターン１０１の良否を検査する。
【００１８】
次に、回路基板検査装置１を用いて回路基板１００の各導体パターン１０１の良否を検査する方法、およびその際の回路基板検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００１９】
まず、載置台１１上の所定位置に電極板１２を載置し、次いで、電極板１２の載置領域１２ｂに検査対象の回路基板１００を載置する。続いて、図２に示すように、枠部材２３の１つの角部に回路基板１００の１つの角部を押し付けることにより、電極板１２に対して回路基板１００を位置決めする。次いで、図外の吸気装置を作動させる。この際に、載置台１１に形成されている吸気孔からの空気の吸引によって電極板１２が載置台１１に固定されると共に、回路基板１００が電極板１２に固定される。
【００２０】
続いて、図外の操作部を用いて検査開始操作を行う。次いで、制御部１８が、操作部から出力された操作信号に従い、信号出力部１３、移動機構１５および測定部１６を制御して、プローブ機構１４と電極板１２との間の浮遊容量の測定を実行させる。具体的には、制御部１８は、移動機構１５を制御して、図３に示すように、電極板１２の載置領域１２ｂに載置された回路基板１００の任意の位置（例えば、回路基板１００の中央部）、つまり載置領域１２ｂ内の任意の位置にプローブ３１が近接するようにプローブ機構１４を移動させる。続いて、制御部１８は、信号出力部１３を制御して検査用信号Ｓｅを出力させると共に、測定部１６を制御して、プローブ３１に対する検査用信号Ｓｅの供給に伴って流れる電流Ｉに基づく浮遊容量の測定を行わせる。次いで、制御部１８は、測定部１６によって測定された浮遊容量Ｃｂを記憶部１７に記憶させる。
【００２１】
続いて、制御部１８は、信号出力部１３、移動機構１５および測定部１６を制御して、各導体パターン１０１と電極板１２との間の静電容量の測定を実行させる。具体的には、制御部１８は、移動機構１５を制御して、１つの導体パターン１０１にプローブ３１が接触するようにプローブ機構１４を移動させる。次いで、制御部１８は、信号出力部１３を制御して検査用信号Ｓｅを出力させると共に、測定部１６を制御して、プローブ３１を介しての導体パターン１０１に対する検査用信号Ｓｅの供給に伴って流れる電流Ｉに基づく静電容量の測定を行わせる。続いて、制御部１８は、測定部１６によって測定された静電容量Ｃａを記憶部１７に記憶させる。同様にして、制御部１８は、他の各導体パターン１０１と電極板１２との間の静電容量の測定を実行させて、静電容量Ｃａを記憶部１７に記憶させる。
【００２２】
次いで、制御部１８は、測定部１６を制御して、浮遊容量Ｃｂに基づく静電容量Ｃａの補正を実行させる。この場合、測定部１６は、記憶部１７から各導体パターン１０１についての静電容量Ｃａを読み出すと共に、浮遊容量Ｃｂを読み出して、例えば、静電容量Ｃａから浮遊容量Ｃｂを減算することによって補正後静電容量Ｃｃを算出する。続いて、制御部１８は、測定部１６によって算出された補正後静電容量Ｃｃを記憶部１７に記憶させる。
【００２３】
ここで、この回路基板検査装置１では、上記したように、電極板１２の縁部から載置領域１２ｂの外周部１２ｃ（枠部材２３の内側の縁部）までの最短の長さＬ１がプローブ機構１４における導体部分１４ａの電極板１２の上面１２ａに沿った長さＬ２以上に規定されている。このため、例えば、載置領域１２ｂの外周部１２ｃにプローブ３１を近接させるときのプローブ機構１４の姿勢が、縁部側領域１２ｄの上部に導体部分１４ａが位置しかつ載置領域１２ｂの外周部１２ｃとプローブ機構１４とのなす平面視の角度が９０°となる姿勢、つまり載置領域１２ｂの外周部１２ｃから導体部分１４ａの基端部（プローブ３１とは逆側の端部）までの最短の長さが最も長くなる姿勢であったとしても、プローブ機構１４における導体部分１４ａの全部が電極板１２（縁部側領域１２ｄ）の上方に確実に位置して電極板１２に確実に対向している。
【００２４】
この場合、図４に示すように、電極板１２の縁部にプローブ機構１４が位置して、導体部分１４ａの一部または全部が電極板１２に対向していないときには、その対向していない部分が大きいほど浮遊容量Ｃｂが小さな値となる。つまり、電極板１２の縁部にプローブ機構１４が位置しいるときには、プローブ機構１４の位置に応じて浮遊容量Ｃｂが変化することとなる。これに対して、導体部分１４ａの全部が電極板１２に対向しているときには、プローブ機構１４の位置に拘わらず浮遊容量Ｃｂが同じ値（ほぼ同じ値）となる。したがって、この回路基板検査装置１では、上記のように電極板１２を構成したことで、載置領域１２ｂの中央部分にプローブ３１を近接させるときは勿論のこと、載置領域１２ｂの外周部１２ｃにプローブ３１を近接させるときにも（つまり、載置領域１２ｂ内のいずれの位置にプローブ３１を近接させるときにも）、プローブ機構１４の姿勢に関わりなく浮遊容量Ｃｂが同じ値（ほぼ同じ値）となる結果、載置領域１２ｂ内の任意の位置にプローブ３１を近接させて測定した浮遊容量Ｃｂに基づいて全ての導体パターン１０１についての静電容量Ｃａの補正を正確に行うことが可能となっている。
【００２５】
次いで、制御部１８は、記憶部１７から補正後静電容量Ｃｃおよび基準値Ｃｄを読み出して、両者を比較することによって各導体パターン１０１の良否を検査する。続いて、制御部１８は、検査結果を図外の表示に表示させる。以上により、回路基板１００における各導体パターン１０１についての良否検査が終了する。
【００２６】
このように、この回路基板検査装置１では、その領域内のいずれの位置にプローブ３１を近接させたときにも浮遊容量Ｃｂが同じ値（ほぼ同じ値）となる載置領域１２ｂが、電極板１２の縁部側領域１２ｄの領域と区別可能に電極板１２の中央部に設けられ、測定部１６が、載置領域１２ｂ内の任意の位置にプローブ３１を近接させて測定した浮遊容量Ｃｂに基づいて全ての導体パターン１０１についての静電容量Ｃａを補正する。このため、この回路基板検査装置１によれば、電極板に対するプローブ機構の位置によって浮遊容量が異なることに起因して全ての導体パターンの近傍において浮遊容量を測定する必要のある従来の回路基板検査装置とは異なり、浮遊容量の測定回数を任意の少ない測定回数に削減することができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、浮遊容量の測定回数を削減できる分、検査時間を短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００２７】
また、この回路基板検査装置１によれば、載置領域１２ｂの外周部１２ｃに沿って配設されて回路基板１００の縁部を当接させて電極板１２に対して回路基板１００を位置決めさせるための枠部材２３を備えて電極板１２を構成したことにより、枠部材２３の存在によって電極板１２の載置領域１２ｂを縁部側領域１２ｄと明確に区別させることができると共に、枠部材２３の存在によって回路基板１００を載置領域１２ｂ内に確実に位置させることができる。
【００２８】
また、この回路基板検査装置１では、電極板１２の縁部から載置領域１２ｂの外周部１２ｃまでの最短の長さＬ１がプローブ機構１４における導体部分１４ａの電極板１２の上面１２ａに沿った長さＬ２以上に規定されている。このため、この回路基板検査装置１によれば、例えば、載置領域１２ｂの外周部１２ｃにプローブ３１を近接させるときのプローブ機構１４の姿勢が、縁部側領域１２ｄの上部に導体部分１４ａが位置しかつ載置領域１２ｂの外周部１２ｃとプローブ機構１４とのなす平面視の角度が９０°となる姿勢、つまり載置領域１２ｂの外周部１２ｃから導体部分１４ａの基端部（プローブ３１とは逆側の端部）までの最短の長さが最も長くなる姿勢であったとしても、プローブ機構１４における導体部分１４ａの全部を電極板１２（縁部側領域１２ｄ）の上方に確実に位置させて電極板１２に確実に対向させることができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、載置領域１２ｂの中央部分にプローブ３１を近接させるときは勿論のこと、載置領域１２ｂの外周部１２ｃにプローブ３１を近接させるときにも（つまり、載置領域１２ｂ内のいずれの位置にプローブ３１を近接させるときにも）、プローブ機構１４の姿勢に関わりなく浮遊容量Ｃｂを確実に同じ値（ほぼ同じ値）とすることができる。
【００２９】
なお、本発明は、上記した構成に限定されない。例えば、電極板１２の載置領域１２ｂと縁部側領域１２ｄとを区別させる手段として枠部材２３を用いる例について上記したが、線やマークなどを載置領域１２ｂの外周部１２ｃに沿って設けたり、載置領域１２ｂと縁部側領域１２ｄとを色分けしたりすることで、載置領域１２ｂと縁部側領域１２ｄとを区別させる構成を採用することもできる。また、載置領域１２ｂ内の１つの位置（上記の例では、載置領域１２ｂに載置された回路基板１００の中央部）において浮遊容量を測定し、その１つの位置における浮遊容量Ｃｂに基づいて全ての導体パターン１０１についての静電容量Ｃａの補正を行う例について上記したが、載置領域１２ｂ内の２つ以上の位置において浮遊容量を測定し、各浮遊容量Ｃｂに基づいて静電容量Ｃａの補正を行う構成を採用することもできる。この場合、各位置における浮遊容量Ｃｂを平均してその平均値に基づいて静電容量Ｃａの補正を行うこともできるし、各浮遊容量Ｃｂのうちの、補正対象の静電容量Ｃａの導体パターン１０１に最も近い位置において測定した浮遊容量Ｃｂに基づいてその静電容量Ｃａの補正を行うこともできる。
【００３０】
また、電極板１２の縁部から載置領域１２ｂの外周部１２ｃまでの最短の長さＬ１をプローブ機構１４における導体部分１４ａの電極板１２の上面１２ａに沿った長さＬ２以上に規定した例について上記したが、プローブ機構１４の姿勢が、載置領域１２ｂの外周部１２ｃに対してプローブ機構１４が斜めとなる姿勢（外周部１２ｃとプローブ機構１４とのなす平面視の角度が９０°以外となる姿勢）で載置領域１２ｂにプローブ３１を近接させる構成では、上記した長さＬ１を長さＬ２よりも短く規定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】回路基板１００を載置した状態の電極板１２の平面図である。
【図３】図２におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】電極板１２（電極板１１２）に対するプローブ機構１４（プローブ機構１１４）の位置と浮遊容量Ｃｂとの関係を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  回路基板検査装置
１１  載置台
１２  電極板
１２ａ  上面
１２ｂ  載置領域
１２ｃ  外周部
１２ｄ  縁部側領域
１４  プローブ機構
１４ａ  導体部分
１６  測定部
１８  制御部
２３  枠部材
３１  プローブ
１００  回路基板
１０１  導体パターン
Ｃａ  静電容量
Ｃｂ  浮遊容量
Ｃｃ  補正後静電容量
Ｃｄ  基準値
Ｉ  電流
Ｌ１，Ｌ２  長さ
Ｓｅ  検査用信号
【図１】
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【図２】
2010066031.tif 000004
【図３】
2010066031.tif 000005
【図４】
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