(57)【要約】【課題】ウェーハの搬送装置と検査装置間のデータ信号の伝達に必要な回路制御や、誤信号が伝達されたかどうかの判断に関する処理の簡素化・高速化を図り得る信号伝達システムを提供する。【解決手段】搬送装置１００と検査装置１１０間をハードワイヤ接続して搬送装置１００の状態を信号として検査装置１１０に伝達するシステムにおいて、検査装置１１０にラッチアンドループバック系の電子回路５、６、７を設け、このラッチアンドループバック系の電子回路を、検査装置１１０側のソフトウェアを使用することなく搬送装置１００側のソフトウェアによって制御する。これにより、データ信号線５０にノイズが乗ったり断線したりして検査装置１１０に誤信号が伝達されていないかどうかをチェックするとともに、検査装置１１０の入力ポートへの誤信号の入力を防止することが、簡素且つ高速に達成できる。【選択図】図１
2010003730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを検査する検査装置、及び前記検査装置に検査対象となるウェーハを搬送する搬送装置のうちの一方が、自身の状態をデータ送信するためのデータ送信側、他方が前記データ送信側の状態をデータ受信するデータ受信側となるように設定され、
前記データ送信側のデータがＩ／Ｏポート及びデータ信号線を介して、前記データ受信側の入力ポートに入力されるウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムであって、
前記データ受信側には、前記データ信号線を介して前記データ送信側から送信されるテストデータ信号の該データ受信側への入力を、該データ受信側の入力ポートの手前で阻止し且つ該テストデータ信号を前記データ送信側に前記データ信号線を利用してループバックするラッチアンドループバック系の電子回路を備え、
このラッチアンドループバック系の電子回路は、前記データ送信側の制御部により制御信号線を介して制御されるように設けられ、
前記データ送信側の制御部は、
前記データ受信側の前記ラッチアンドループバック系の電子回路に前記ループバックの制御を実行する場合に、前記データ送信側の前記Ｉ／Ｏポートを出力ポートから入力ポートに切り替えて、ループバックされたテストデータ信号を入力する手段と、入力したループバックのテストデータ信号からデータ送信エラーの有無をチェックする手段と、前記ループバックの後にループバックを遮断するよう前記ラッチアンドループバック系の電子回路を制御信号線を介して制御する手段と、データ送信エラーが無い場合には、前記データ送信側の前記Ｉ／Ｏポートを出力ポートにして、前記データ信号線及び前記ラッチアンドループバック系の電子回路を介して前記データ送信側の状態に関するデータを前記データ受信側の前記入力ポートに送るよう、前記ラッチアンドループバック系の電子回路を制御信号線を介して制御する手段と、を構成するソフトウェアを有している、
ことを特徴とするウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項２】
請求項１記載のウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記データ送信側が前記搬送装置であり、前記データ受信側が前記検査装置であり、
データ受信側となる前記検査装置側の前記ラッチアンドループバック系の電子回路は、少なくとも、前記データ信号線上で該検査装置の入力ポートの手前に配置される第１、第２の２段のラッチ回路と、前記第１、第２のラッチ回路間のデータ信号線と前記搬送装置・第１のラッチ回路間のデータ信号線との間を接続するループバック系の信号線と、このループバック系の信号線上に配置される３ステート出力バッファ回路とで構成されるウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項３】
請求項１記載のウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記データ送信側が前記検査装置であり、前記データ受信側が前記搬送装置であり、
データ受信側となる前記搬送装置側の前記ラッチアンドループバック系の電子回路は、少なくとも、前記データ信号線上で該搬送装置の入力ポートの手前に配置される第１、第２の２段のラッチ回路と、前記第１、第２のラッチ回路間のデータ信号線と前記検査装置・第１のラッチ回路間のデータ信号線との間を接続するループバック系の信号線と、このループバック系の信号線上に配置される３ステート出力バッファ回路とで構成されるウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項４】
請求項２記載のウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記検査装置側の前記第１、第２のラッチ回路及び３ステート出力バッファ回路を前記搬送装置側のソフトウェアにより制御可能とするため、これらの回路の制御信号入力端子が前記搬送装置の各制御用の出力端子と制御信号線を介して接続され、
前記搬送装置側のソフトウェアにより該搬送装置側の前記Ｉ／Ｏポート、及び前記検査装置側の前記第１、第２のラッチ回路及び３ステート出力バッファ回路を制御することによって、前記搬送装置側から出力されたテストデータ信号を、前記検査装置側の前記第２のラッチ回路の手前で前記データ信号線を介して前記搬送装置側にループバックさせることを可能にした回路構成とし、この回路構成において、
前記搬送装置側のソフトウェアは、最初に前記検査装置側の前記第２のラッチ回路をラッチ出力して該第２のラッチ回路へのデータ信号入力を無効にした後に、前記搬送装置側の前記Ｉ／Ｏポートから所定のテストデータ信号を出力して、このテストデータ信号を前記第１のラッチ回路及び前記３ステート出力バッファ回路を介して前記搬送装置側にループバックする手段と、前記搬送装置側から出力されたテストデータ信号とそのループバックされたテストデータ信号とを比較してデータ信号線上のデータ送信エラーの有無をチェックする手段と、データ送信エラーが無い場合には、前記搬送装置側の前記Ｉ／Ｏポートを出力ポートにして、前記搬送装置の状態に関するデータ信号を前記データ信号線及び前記第１、第２のラッチ回路を介して前記検査装置側の前記入力ポートに入力させる手段と、を構成することを特徴とするウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項５】
請求項３記載のウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記搬送装置側の前記第１、第２のラッチ回路及び３ステート出力バッファ回路を前記検査装置側のソフトウェアにより制御可能とするため、これらの回路の制御信号入力端子が前記検査装置の各制御用の出力端子と制御信号線を介して接続され、
前記検査装置側のソフトウェアにより該検査装置側の前記Ｉ／Ｏポート、及び前記搬送装置側の前記第１、第２のラッチ回路及び３ステート出力バッファ回路を制御することによって、前記検査装置側から出力されたテストデータ信号を、前記搬送装置側の前記第２のラッチ回路の手前で前記データ信号線を介して前記検査装置側にループバックさせることを可能にした回路構成とし、この回路構成において、
前記検査装置側のソフトウェアは、最初に前記搬送装置側の前記第２のラッチ回路をラッチ出力して該第２のラッチ回路へのデータ信号入力を無効にした後に、前記検査装置側の前記Ｉ／Ｏポートから所定のテストデータ信号を出力して、このテストデータ信号を前記第１のラッチ回路及び前記３ステート出力バッファ回路を介して前記検査装置側にループバックする手段と、前記検査装置側から出力されたテストデータ信号とそのループバックされたテストデータ信号とを比較してデータ信号線上のデータ送信エラーの有無をチェックする手段と、データ送信エラーが無い場合には、前記検査装置側の前記Ｉ／Ｏポートを出力ポートにして、前記検査装置の状態に関するデータ信号を前記データ信号線及び前記第１、第２のラッチ回路を介して前記搬送装置側の前記入力ポートに入力させる手段と、を構成することを特徴とするウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項６】
請求項４又は５記載のウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記テストデータ信号と前記ループバックされたテストデータ信号との比較は、そのテストデータ信号を少なくとも２通りのパターン用意して、少なくとも２回行うウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項７】
ウェーハを検査する検査装置の入力ポートと、前記検査装置に検査対象となるウェーハを搬送する搬送装置のＩ／Ｏポートとがデータ信号線を介して接続され、
前記搬送装置からのデータを前記データ信号線を介して前記検査装置に送信する、ウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記検査装置側に、前記データ信号線上で前記検査装置の入力ポートの手前に配置される第１、第２の２段のラッチ回路と、前記第１、第２のラッチ回路間のデータ信号線と前記搬送装置・第１のラッチ回路間のデータ信号線との間を接続するループバック系の信号線と、このループバック系の信号線上に配置される３ステート出力バッファ回路とが設けられ、
前記第１、第２のラッチ回路と３ステート出力バッファ回路とが制御信号線を介して前記搬送装置側のソフトウェアにより制御されるよう構成され、
前記搬送装置のソフトウェアは、前記データ信号線を介して前記搬送装置から前記検査装置に送信されるテストデータ信号を、該検査装置への入力を阻止して該検査装置の手前で前記搬送装置の前記Ｉ／Ｏポートに前記データ信号線を介してループバックするように、前記第１、第２のラッチ回路及び３ステート出力バッファ回路を制御するラッチアンドループバック制御手段を構成する、
ことを特徴とするウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【請求項８】
ウェーハを検査する検査装置のＩ／Ｏポートと、前記検査装置に検査対象となるウェーハを搬送する搬送装置の入力ポートとがデータ信号線を介して接続され、
前記検査装置からのデータを前記データ信号線を介して前記搬送装置に送信する、ウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、
前記搬送装置側に、前記データ信号線上で前記搬送装置の入力ポートの手前に配置される第１、第２の２段のラッチ回路と、前記第１、第２のラッチ回路間のデータ信号線と前記検査装置・第１のラッチ回路間のデータ信号線との間を接続するループバック系の信号線と、このループバック系の信号線上に配置される３ステート出力バッファ回路とが設けられ、
前記第１、第２のラッチ回路と３ステート出力バッファ回路とが制御信号線を介して前記検査装置側のソフトウェアにより制御されるよう構成され、
前記検査装置のソフトウェアは、前記データ信号線を介して前記検査装置から前記搬送装置に送信されるテストデータ信号を、該搬送装置への入力を阻止して該搬送装置の手前で前記検査装置の前記Ｉ／Ｏポートに前記データ信号線を介してループバックするように、前記第１、第２のラッチ回路及び３ステート出力バッファ回路を制御するラッチアンドループバック制御手段を構成する、
ことを特徴とするウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体用のウェーハ検査装置（以後「検査装置」と記す）とウェーハ検査装置にウェーハを搬送するウェーハ搬送装置（以後「搬送装置」と記す）間の信号伝達システムに関する。特に、搬送装置と検査装置間の信号伝達異常をチェックする機能を有する信号伝達システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、装置間の情報伝達手段として、Ethernet（登録商標）やUART（Universal Asynchronous Receiver Transmitter）を用いて文字列や数値を情報として伝達する場合と、Ｉ／Ｏポートを用いて「１」又は「０」の信号レベルを情報として伝達する場合とがある。半導体関連の分野では、Ｉ／Ｏポートを用いた信号伝達手段は、搬送装置と検査装置の各Ｉ／Ｏポート間をハードワイヤ接続して、「１」又は「０」の単純な信号レベルを情報として伝達するのに用いられることがある。
【０００３】
例えば、搬送装置の状態を４つのＩ／Ｏポートを用いて４ビットの二進数として検査装置に情報として伝達する場合がある。この場合、搬送装置の状態が「００００」は初期化前、「０００１」は初期化完了、「０１００」はウェーハアライメント中など、搬送装置と検査装置との間で予め搬送装置の状態を表す信号を取り決めておくことにより、搬送装置の状態や搬送装置内のウェーハの状態（以後、両者を「搬送装置の状態」とまとめて称する）を、離れた位置に設置してある検査装置に通知することができる。
【０００４】
Ｉ／Ｏポートを用いた情報伝達手段の適用例として、半導体ウェーハの搬送装置に異常があったときの対応と運転再開に関する技術が知られている（例えば、特許文献１）。しかし、搬送装置と検査装置とを接続する信号線が断線していた場合などに、伝達すべき正常な信号とは異なる信号が検査装置の入力ポートに入力されることを未然に防ぐ有効な手段を講じたものは知られていない。
【０００５】
例えば、従来は、搬送装置の出力ポートから出力されたデータ信号の信号線は検査装置側の入力ポートへバッファＩＣ等を通して直結されており、信号線の断線チェックを行うことなく情報伝達していた。この場合、信号線が断線していた場合に検査装置側は誤信号を入力することになるので、検査装置がどのような状態に遷移するか予測できない。
【０００６】
また、誤信号が搬送装置から検査装置に入力されることを防ぐ従来の手段としては、検査装置側が搬送装置からの信号変化を捕捉した後に誤信号が伝達された場合を想定して、別途UARTやEthernetなど高度な通信手段を用いて搬送装置側へ問い合わせることにより、信号の変化が正しいかどうかを再確認していた。この場合には、情報伝達に時間がかかり、且つCPU負荷も高くなる。また、搬送装置の状態として緊急停止を要求する情報を検査装置に伝達する場合に、ソフトウェアが多くの複雑な通信処理を行うことは好ましくない。
【０００７】
また、従来の別の手段として、搬送装置から検査装置へ往路用と復路用のデータ信号線を設け、搬送装置からのデータ信号は往路用のデータ信号線に出力し、検査装置側で受信したデータ信号を復路用のデータ信号線へループバックして折り返し、搬送装置側は別途入力ポートからループバックした信号を入力して断線チェックをする手段が知られている。この場合、ループバックした信号によって断線していることは判別できても、同時に検査装置側の入力ポートへデータ信号が入力されてしまう。従って、信号線が断線している場合には、検査装置側は誤信号を入力することになるので、検査装置がどのような状態に遷移するか予測できない。
【０００８】
また、上述の従来技術では、信号線にノイズが乗った場合にも、信号線が断線した場合と同様に、検査装置の入力ポートにノイズが混入した誤信号が入力されることを未然に防ぐ有効な手段にはならない。
【０００９】
【特許文献１】特開平５−３１５２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図２は、搬送装置と検査装置間の信号伝達システムのうち、最も単純な信号伝達手段として知られているＩ／Ｏポート間を直結した構成例を表した概略図である。この構成では、搬送装置側の出力ポートと検査装置側の入力ポートの間がデータ信号線でハードワイヤ接続されただけであり、搬送装置の出力ポートから出力されたデータ信号は、検査装置側の入力ポートにそのまま入力される。
【００１１】
この場合、データ信号の信号線のいずれかが断線したりノイズが乗ったりして検査装置側の入力ポートに誤信号が伝達された場合でも、搬送装置側及び検査装置側の双方は誤信号が伝達されたことを認識することができない。また、生成される誤信号によっては検査装置がどのような状態に遷移するか予測できないため、検査装置側で二次災害が発生する可能性がある。
【００１２】
このような搬送装置・検査装置間の誤信号伝達防止として、以下に述べるような種々の手段が考えられるが、いずれも必ずしも十分にユーザを満足させるに至っていない。
【００１３】
図３に示した信号伝達システムも、図２と同様にＩ／Ｏポートを用いた信号伝達システム構成例の概略図である。図２の例と異なるところは、搬送装置の出力ポート１〜４から出力されたデータ信号は、検査装置では入力ポートＡ〜Ｄを介して入力するが、検査装置側のソフトウェアにより出力ポートＡ〜Ｄに折り返され、搬送装置側の入力ポート１〜４へループバックされる点である。この場合、データ信号の信号線のいずれかが断線したりノイズが乗ったりして検査装置に誤信号が伝達されたかどうかは、搬送装置側のソフトウェアがループバックした信号を確認することで可能である。
【００１４】
しかし、データ信号をループバックさせるために検査装置側のソフトウェアの介入が必要になるため、検査装置が稼動してない状態では断線のチェックはできない。また、このような搬送装置と検査装置の双方のソフトウェアが協調しあって確認する手段では、処理を確実とするために何らかの通信プロトコルが必要となる。従って、タイムアウト管理が必須になるなど処理が煩雑になって制御に時間がかかり、緊急停止要求などの緊急を要する情報伝達の場合に好ましくない。さらに、ループバック信号を伝達するための信号線が必要になり、信号線の総数は、図２のようにデータ信号だけを伝達する場合に必要な信号線の数の２倍になる。このため、配線する空間の確保やコストの上昇などの点で課題が生じる。
【００１５】
図４に示した信号伝達手段は、図３と同様にＩ／Ｏポートとループバックを利用した信号伝達システム構成例の概観図である。図３の例と異なるところは、搬送装置側のデータ信号の出力ポートが入出力ポート１〜４になっており、搬送装置の入出力ポート１〜４から出力されたデータ信号を同じデータ信号線にループバックさせて搬送装置に入力させる点である。また、搬送装置は出力ポートＱ、Ｓ、及び入力ポートＲを、検査装置は入力ポートＱ、Ｓ、出力ポートＲ、及びラッチ回路と３ステート出力バッファ回路を備えている点も異なる。
【００１６】
搬送装置は、検査装置に対して、出力ポートＱからループバック開始／停止要求信号を出力し、ループバックの開始や停止を要求する。また、入出力ポート状態信号を出力し、入出力ポート１〜４の状態（入力ポートであるか出力ポートであるか）を伝達する。データ信号は、入出力ポート１〜４を出力ポートに切り替えた後、入出力ポート１〜４から検査装置へ出力される。これらの信号制御は、搬送装置のソフトウェアがＭＰＵにより実行されて行われる。
【００１７】
検査装置は、入力ポートＱで入力したループバック開始／停止要求信号によりループバック開始要求があると、入力したデータ信号をラッチ回路でラッチする。ラッチ後に、搬送装置の入力ポートＲに対して入出力ポート切替え要求信号を出力して、搬送装置の入出力ポート１〜４を入力ポートに切り替えるよう指示する。搬送装置が入力ポートに切り替えたことを入出力ポート状態信号で確認した後、３ステート出力バッファを入力スルーにし、データ信号をデータ信号線に出力して搬送装置へループバックする。検査装置でのこれらの制御は、検査装置のソフトウェアにより行われる。
【００１８】
この場合も、データ信号線のいずれかが断線したりノイズが乗ったりして検査装置に誤信号が伝達されたかどうかは、搬送装置側のソフトウェアがループバックした信号を確認することで可能である。しかし、データ信号を搬送装置側へループバックするために、搬送装置側の入出力ポート１〜４を出力ポートから入力ポートに切り替えるタイミングを検査装置から搬送装置に教える必要があるため、搬送装置と検査装置の双方のソフトウェア間で簡易な通信プロトコルをもって切替えタイミングを計る必要がある。このため、両方のソフトウェアは互いの通信エラーを監視するためのタイムアウト管理が必要になるなど、処理が煩雑になり情報伝達に時間がかかるようになる。従って、緊急停止要求などの緊急を要する情報伝達の場合に不利である。
【００１９】
図５に示した信号伝達手段は、図３の例と同様にＩ／Ｏポートとループバックを利用した信号伝達システムの構成例の概略図である。図３の例と異なるところは、搬送装置の出力ポート１〜４から出力されたデータ信号は、検査装置の入力ポートＡ〜Ｄに入力されると同時に搬送装置の入力ポート１〜４にループバックされる点である。
【００２０】
この場合も、データ信号線のいずれかが断線したりノイズが乗ったりして検査装置に誤信号が伝達されたかどうかは、ループバックした信号を搬送装置側のソフトウェアが確認することで可能である。しかし、ループバックと同時に検査装置側の入力ポートＡ〜Ｄにデータ信号が入力されているため、断線していた場合などでは検査装置側に誤信号が入力されてしまう。従って、この例でも、生成される誤信号によって検査装置がどのような状態に遷移するか予測できないため、検査装置側で二次災害が発生する可能性がある。
【００２１】
以上のように、図２に示した従来技術では、データ信号線にノイズが乗ったり断線したりした場合に、検査装置に誤信号が伝達されているかどうかを認識することができない。
【００２２】
図３、図４に示した従来技術では、検査装置に誤信号が伝達されているかどうかを搬送装置側のソフトウェアの処理で認識することはできるが、信号のループバック処理に検査装置側のソフトウェアの処理も必要になる。この場合、双方のソフトウェア間で通信を行い同期して処理を行わなければならなく、処理が煩雑になり情報伝達に時間がかかる。
【００２３】
図５に示した従来技術では、検査装置側のソフトウェアを用いずに、搬送装置側のソフトウェアで検査装置に誤信号が伝達されているかどうかを認識することができる。しかし、誤信号は、そのまま検査装置に入力されてしまう。
【００２４】
本発明の目的は、搬送装置・検査装置間のデータ信号の伝達に必要な回路制御や、誤信号が伝達されたかどうかの判断に関する処理の簡素化・高速化を図り得る信号伝達システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、ウェーハを検査する検査装置、及び前記検査装置に検査対象となるウェーハを搬送する搬送装置のうちの一方が、自身の状態をデータ送信するためのデータ送信側、他方が前記データ送信側の状態をデータ受信するデータ受信側となるように設定され、前記データ送信側のデータがＩ／Ｏポート及びデータ信号線を介して、前記データ受信側の入力ポートに入力されるウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムに適用される。
【００２６】
すなわち、前記データ受信側には、前記データ信号線を介して前記データ送信側から送信されるテストデータ信号の該データ受信側への入力を、該データ受信側の入力ポートの手前で阻止し且つ該テストデータ信号を前記データ送信側に前記データ信号線を利用してループバックするラッチアンドループバック系の電子回路を備える。
【００２７】
このラッチアンドループバック系の電子回路は、前記データ送信側の制御部により制御信号線を介して制御されるように設けられる。
【００２８】
前記データ送信側の制御部は、前記データ受信側の前記ラッチアンドループバック系の電子回路に前記ループバックの制御を実行する場合に、前記データ送信側の前記Ｉ／Ｏポートを出力ポートから入力ポートに切り替えて、ループバックされたテストデータ信号を入力する手段と、入力したループバックのテストデータ信号からデータ送信エラーの有無をチェックする手段と、前記ループバックの後にループバックを遮断するよう前記ラッチアンドループバック系の電子回路を制御信号線を介して制御する手段と、データ送信エラーが無い場合には、前記データ送信側の前記Ｉ／Ｏポートを出力ポートにして、前記データ信号線及び前記ラッチアンドループバック系の電子回路を介して前記データ送信側の状態に関するデータを前記データ受信側の前記入力ポートに送るよう、前記ラッチアンドループバック系の電子回路を制御信号線を介して制御する手段とを構成するソフトウェアを有している。
【００２９】
このようなウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、例えば、前記データ送信側が前記搬送装置であり、前記データ受信側が前記検査装置である場合には、データ受信側となる前記検査装置側の前記ラッチアンドループバック系の電子回路は、少なくとも、前記データ信号線上で該検査装置の入力ポートの手前に配置される第１、第２の２段のラッチ回路と、前記第１、第２のラッチ回路間のデータ信号線と前記搬送装置・第１のラッチ回路間のデータ信号線との間を接続するループバック系の信号線と、このループバック系の信号線上に配置される３ステート出力バッファ回路とで構成される。
【００３０】
また、ウェーハ搬送装置・検査装置間の信号伝達システムにおいて、前記データ送信側が前記検査装置であり、前記データ受信側が前記搬送装置である場合には、データ受信側となる前記搬送装置側の前記ラッチアンドループバック系の電子回路は、少なくとも、前記データ信号線上で該搬送装置の入力ポートの手前に配置される第１、第２の２段のラッチ回路と、前記第１、第２のラッチ回路間のデータ信号線と前記検査装置・第１のラッチ回路間のデータ信号線との間を接続するループバック系の信号線と、このループバック系の信号線上に配置される３ステート出力バッファ回路とで構成される。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によって、搬送装置の状態を検査装置に伝達するデータ信号線が断線したりノイズが乗ったりして、搬送装置から検査装置に誤信号が伝達されようとしているかどうかが、搬送装置側のソフトウェア制御のみで判断可能になる。誤信号が伝達されようとしていると搬送装置側のソフトウェアが判断した場合は、搬送装置側単独で速やかに異常停止処理を講じることができるので、搬送装置側での二次災害を防止できる。
【００３２】
また、誤信号が検査装置に伝達されることがなくなるため、誤信号伝達による検査装置側の誤動作も防止することができる。
【００３３】
あるいは、検査装置の状態を搬送装置に伝達するデータ信号線が断線したりノイズが乗ったりして、検査装置から搬送装置に誤信号が伝達されようとしているかどうかが、検査装置側のソフトウェア制御のみで判断可能になる。誤信号が伝達されようとしていると検査装置側のソフトウェアが判断した場合は、検査装置側単独で速やかに異常停止処理を講じることができるので、検査装置側での二次災害を防止できる。
【００３４】
また、誤信号が搬送装置に伝達されることがなくなるため、誤信号伝達による搬送装置側の誤動作も防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１は、本発明によるウェーハ搬送装置（搬送装置）とウェーハ検査装置（検査装置）との間の信号伝達システムを実現する電子回路図の概略である。
【００３６】
搬送装置１００は、離れた位置に設置された検査装置１１０に半導体ウェーハを搬送し、検査装置１１０は、搬送されたウェーハの欠陥の有無などを検査する。また、搬送装置１００のＩ／Ｏポートと検査装置１１０の入力ポート（Ｉ／Ｏポートでも良い）は、データ信号線となるハードワイヤ接続されている。
【００３７】
搬送装置１００は、Ｉ／Ｏポートとして入出力ポート（１〜４）１〜４を備え、ハードワイヤ接続されたデータ信号線５０によりデータ信号を検査装置１１０に出力する。搬送装置１００の状態は、このデータ信号により検査装置１１０に伝達される。また、搬送装置１００は、出力ポートＡ１０、出力ポートＢ２０、及び出力ポートＣ３０を備え、それぞれラッチ回路Ａ制御信号１１、ラッチ回路Ｂ制御信号２１、及び３ステート出力バッファ制御信号３１を検査装置１１０に出力し、後述するように検査装置１１０のラッチアンドループバック系の電子回路を制御する。
【００３８】
上述した各種信号の出力やウェーハの搬送など搬送装置１００の制御は、搬送装置１００に組み込まれたソフトウェアをＭＰＵが実行することによって行われる。
【００３９】
検査装置１１０は、入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３を備え、搬送装置１００から出力されたデータ信号をデータ信号線５０により入力する。また、入力したデータ信号に従いウェーハの搬送を搬送装置１００に命令したりウェーハの検査を実行したりするなどの検査装置１１０の制御は、検査装置１１０に組み込まれたソフトウェアをＭＰＵが実行することによって行われる。
【００４０】
また、検査装置１１０側には、ラッチ回路Ａ（第１ラッチ回路）５、ラッチ回路Ｂ（第２ラッチ回路）６、及び３ステート出力バッファ回路７を備える。このラッチ回路Ａ５、ラッチ回路Ｂ６、及び３ステート出力バッファ回路７は、搬送装置１００に組み込まれたソフトウェアによって制御される。すなわち、搬送装置１００が出力したラッチ回路Ａ制御信号１１、ラッチ回路Ｂ制御信号２１、及び３ステート出力バッファ制御信号３１により制御される。３ステート出力バッファ回路７は、３ステート出力バッファ制御信号３１の制御により、入力したデータ信号をループバック信号１５として、データ信号線５０を介して搬送装置１００側へループバックさせる。
【００４１】
ここで、搬送装置１００側のソフトウェアが、搬送装置１００の入出力ポート（１〜４）１〜４から出力されたデータ信号を、データ信号線５０を介して検査装置１１０の入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３に伝播させるまでの制御の処理手順を以下に記す。最初に、本発明を構成するラッチアンドループバック系の電子回路（ラッチ回路Ａ５、ラッチ回路Ｂ６、及び３ステート出力バッファ回路７）とそれを制御する信号の説明を行う。次に、これらの電子回路を搬送装置１００側のソフトウェアで制御して、データ信号線５０が正常にデータ信号を伝達しているかどうかを判断する手順と、搬送装置１００からデータ信号を検査装置１１０に伝達させる手順とを説明する。
【００４２】
まず、前記電子回路とその制御信号を説明する。ラッチ回路Ａ制御信号１１は、搬送装置１００側のソフトウェアが検査装置１１０のラッチ回路Ａ５の状態を切り替えるためのラッチ信号である。すなわち、搬送装置１００側のソフトウェアが出力ポートＡ１０に「０」又は「１」のラッチ回路Ａ制御信号１１を出力することによって、ラッチ回路Ａ５の「入力スルー」と「ラッチ出力」の２つの状態を搬送装置１００側のソフトウェアから切り替える。
【００４３】
ラッチ回路Ａ制御信号１１として「０」が出力されると、ラッチ回路Ａ５は、「入力スルー」に切替わってデータ信号入力端子から入力したデータ信号をスルーしてそのままデータ信号出力端子に出力する。一方、「１」が出力されると、ラッチ回路Ａ５は、「ラッチ出力」に切替わってデータ信号入力端子から入力しているデータ信号をラッチして出力する。
【００４４】
ラッチ回路Ｂ制御信号２１は、搬送装置１００側のソフトウェアが検査装置１１０のラッチ回路Ｂ６の状態を切り替えるためのラッチ信号である。すなわち、搬送装置１００側のソフトウェアが出力ポートＢ２０に「０」又は「１」のラッチ回路Ｂ制御信号２１を出力することによって、ラッチ回路Ｂ６の「入力スルー」と「ラッチ出力」の２つの状態を搬送装置１００側のソフトウェアから切り替える。
【００４５】
ラッチ回路Ｂ制御信号２１として「０」が出力されると、ラッチ回路Ｂ６は、「入力スルー」に切替わってデータ信号入力端子から入力したデータ信号をスルーしてそのままデータ信号出力端子に出力する。一方、「１」が出力されると、ラッチ回路Ｂ６は、「ラッチ出力」に切替わってデータ信号入力端子から入力しているデータ信号をラッチして出力する。
【００４６】
なお、ラッチ回路Ａ５及びラッチ回路Ｂ６は、図６で示すような一般的によく知られているフリップフロップ回路で構成してもよいし、標準ＩＣを組み合わせて構成してもよい。ラッチ回路Ａ制御信号１１とラッチ回路Ｂ制御信号２１は、プルアップしておくことが望ましい。
【００４７】
３ステート出力バッファ制御信号３１は、搬送装置１００側のソフトウェアが検査装置１１０の３ステート出力バッファ回路７の状態を切り替えるための制御信号である。すなわち、搬送装置１００側のソフトウェアが出力ポートＣ３０に「０」又は「１」の３ステート出力バッファ制御信号３１を出力することによって、３ステート出力バッファ回路７の「入力スルー」と「ハイインピーダンス出力」の２つの状態を搬送装置１００側のソフトウェアから切り替える。
【００４８】
３ステート出力バッファ制御信号３１として「０」が出力されると、３ステート出力バッファ回路７は、「入力スルー」に切替わり、データ信号入力端子から入力したデータ信号をスルーしてそのままデータ信号出力端子に出力する。３ステート出力バッファ回路７が「入力スルー」の状態になると、ラッチ回路Ａ５にラッチ出力されているデータ信号をループバック信号１５として、データ信号線５０を介して搬送装置１００側へループバックさせることができる。一方、「１」が出力されると、３ステート出力バッファ回路７は、「ハイインピーダンス出力」に切替わり、データ信号入力端子から入力しているデータ信号の信号レベルに関係なくハイインピーダンス出力状態（電気的に出力してない状態）になる。
【００４９】
３ステート出力バッファ回路７は、一般的に図７で示すような論理回路記号で表される３ステート出力バッファ回路を用いることができ、市販されている各種標準ＩＣを利用してもよい。３ステート出力バッファ制御信号３１は、プルアップしておくことが望ましい。
【００５０】
ここからは、ラッチ回路Ａ５、ラッチ回路Ｂ６、及び３ステート出力バッファ回路７を、搬送装置１００側のソフトウェアが制御して、データ信号線５０が正常にデータ信号を伝達しているかどうかを判断する手順（以下の（１）〜（３））と、搬送装置１００からデータ信号を検査装置１１０に伝達させる手順（以下の（４））とを説明する。
【００５１】
まず、以下の処理手順にて、搬送装置１００から検査装置１１０にデータ信号を伝達するデータ信号線５０が、正しくデータ信号を伝達しているかどうかの信号伝達正常チェックを行う。この信号伝達正常チェックは、搬送装置１００が出力した信号と、検査装置１１０がその信号をループバックしたループバック信号とが一致していることを、以下の方法で３回確認することにより行う。
【００５２】
（１）ループバック信号の確認１回目
（１−１）ループバック信号の確認１回目を行う準備
最初に、搬送装置１００側のソフトウェアは、搬送装置１００の出力ポートＢ２０に「１」を出力し、値が「１」であるラッチ回路Ｂ制御信号２１を検査装置１１０のラッチ回路Ｂ６に送信する。これは、ラッチ回路Ｂ６を「ラッチ出力」の状態にすることにより、ラッチ回路Ａ５の出力信号がラッチ回路Ｂ６の出力に影響しないようにするためである。
【００５３】
次に、搬送装置１００側のソフトウェアは、出力ポートＡ１０に「１」を出力し、値が「１」であるラッチ回路Ａ制御信号１１を検査装置１１０のラッチ回路Ａ５に送信する。これにより、ラッチ回路Ａ５を「ラッチ出力」の状態にする。
【００５４】
次に、搬送装置１００側のソフトウェアは、出力ポートＣ３０に「１」を出力し、値が「１」である３ステート出力バッファ制御信号３１を検査装置１１０の３ステート出力バッファ回路７に送信する。これは、３ステート出力バッファ回路７を「ハイインピーダンス出力」の状態にするためである。
【００５５】
次に、搬送装置１００側のソフトウェアは、入出力ポート（１〜４）１〜４を出力ポートに切り替え、出力ポートＡ１０に「０」を出力して、ラッチ回路Ａ５を「入力スルー」の状態にする。
【００５６】
このようにラッチ回路Ｂ６、ラッチ回路Ａ５、及び３ステート出力バッファ回路７の状態を設定することによって、検査装置１１０側の３ステート出力バッファ回路７からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号と、搬送装置１００側の入出力ポート（１〜４）１〜４からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号とが信号レベルで衝突しないよう（電気的にショートしないよう）にしてから、以下の手順にてループバック信号の１回目の確認を行う。
【００５７】
（１−２）ループバック信号の確認１回目の実行
本実施例において、入出力（Ｉ／Ｏ）ポート（１）１に「０」、入出力ポート（２）２に「１」、入出力ポート（３）３に「０」、入出力ポート（４）４に「１」を出力することを、「入出力ポート（１〜４）１〜４に“０１０１”を出力する」とまとめて記す。信号の値が異なる場合も同様に、「“１０１０”を出力する」などとまとめて記す。
【００５８】
搬送装置１００側のソフトウェアは、搬送装置１００の入出力ポート（１〜４）１〜４に“０１０１”のテストデータ信号を出力する。このデータ信号は、データ信号線５０により検査装置１１０に伝播されるとともに、ループバック信号（すなわち、ループバックされるテストデータ信号）との比較のために、搬送装置１００側のソフトウェアによりメモリ等の記憶装置（図示せず）に記憶される。数十μ秒ディレイ（ディレイ値は、データ信号線５０の長さやラッチ回路Ａ５の信号伝播速度によって変わる）した後、出力ポートＡ１０に「１」を出力して検査装置１１０のラッチ回路Ａ５にこの信号「１」を送り、ラッチ回路Ａ５にデータ信号線５０で伝播されたデータ信号をラッチさせて出力させる。
【００５９】
その後、入出力ポート（１〜４）１〜４を入力ポートに切り替え、出力ポートＣ３０に「０」を出力し、検査装置１１０の３ステート出力バッファ回路７を「入力スルー」の状態にする。これにより、ラッチ回路Ａ５にラッチ出力されているデータ信号を、ループバック信号１５として搬送装置１００側へデータ信号線５０を介してループバックさせる。
【００６０】
搬送装置１００側のソフトウェアは、ループバック信号１５が入出力ポート（１〜４）１〜４まで伝播する時間だけディレイ（データ信号線５０の長さや３ステート出力バッファ回路７の信号伝播速度によって決まるが、およそ数十μ秒）してから、ループバック信号１５を入出力ポート（１〜４）１〜４から入力する。そして、入力したループバック信号１５が、先に検査装置１１０へ出力し、前記記憶装置に記憶されているデータ信号と同じ“０１０１”であることを確認する。
【００６１】
（２）ループバック信号の確認２回目
（２−１）ループバック信号の確認２回目を行う準備
続いて、搬送装置１００側のソフトウェアは、出力ポートＣ３０に「１」を出力することにより、３ステート出力バッファ回路７を「ハイインピーダンス出力」の状態にする。次に、入出力ポート（１〜４）１〜４を出力ポートに切り替え、出力ポートＡ１０に「０」を出力して、ラッチ回路Ａ５を「入力スルー」の状態にする。
【００６２】
このように３ステート出力バッファ回路７、入出力ポート（１〜４）１〜４、及びラッチ回路Ａ５の状態を設定することによって、検査装置１１０側の３ステート出力バッファ回路７からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号と、搬送装置１００側の入出力ポート（１〜４）１〜４からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号とが信号レベルで衝突しないよう（電気的にショートしないよう）にしてから、以下の手順にてループバック信号の２回目の確認を行う。
【００６３】
（２−２）ループバック信号の確認２回目の実行
搬送装置１００側のソフトウェアは、搬送装置１００の入出力ポート（１〜４）１〜４に“１０１０”のテストデータ信号を出力する。このデータ信号は、データ信号線５０により検査装置１１０に伝播されるとともに、ループバック信号との比較のために、搬送装置１００側のソフトウェアによりメモリ等の記憶装置（図示せず）に記憶される。数十μ秒ディレイ（ディレイ値は、データ信号線５０の長さやラッチ回路Ａ５の信号伝播速度によって変わる）した後、出力ポートＡ１０に「１」を出力し、検査装置１１０のラッチ回路Ａ５にデータ信号線５０で伝播されたデータ信号をラッチさせて出力させる。
【００６４】
その後、入出力ポート（１〜４）１〜４を入力ポートに切り替え、出力ポートＣ３０に「０」を出力し、検査装置１１０の３ステート出力バッファ回路７を「入力スルー」の状態にする。これにより、ラッチ回路Ａ５にラッチ出力されているデータ信号を、ループバック信号１５として搬送装置１００側へデータ信号線５０を介してループバックさせる。
【００６５】
搬送装置１００側のソフトウェアは、ループバック信号１５が入出力ポート（１〜４）１〜４まで伝播する時間だけディレイ（データ信号線５０の長さや３ステート出力バッファ回路７の信号伝播速度によって決まるが、およそ数十μ秒）してから、ループバック信号１５を入出力ポート（１〜４）１〜４から入力する。そして、入力したループバック信号１５が、先に検査装置１１０へ出力し、前記記憶装置に記憶されているデータ信号と同じ“１０１０”であることを確認する。
【００６６】
（３）ループバック信号の確認３回目
（３−１）ループバック信号の確認３回目を行う準備
引き続き、搬送装置１００側のソフトウェアは、出力ポートＣ３０に「１」を出力することにより、３ステート出力バッファ回路７を「ハイインピーダンス出力」の状態にする。次に、入出力ポート（１〜４）１〜４を出力ポートに切り替え、出力ポートＡ１０に「０」を出力して、ラッチ回路Ａ５を「入力スルー」の状態にする。
【００６７】
このように３ステート出力バッファ回路７、入出力ポート（１〜４）１〜４、及びラッチ回路Ａ５の状態を設定することによって、検査装置１１０側の３ステート出力バッファ回路７からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号と、搬送装置１００側の入出力ポート（１〜４）１〜４からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号とが信号レベルで衝突しないよう（電気的にショートしないよう）にしてから、以下の手順にてループバック信号の３回目の確認を行う。
【００６８】
（３−２）ループバック信号の確認３回目の実行
搬送装置１００側のソフトウェアは、搬送装置１００の入出力ポート（１〜４）１〜４に“０１０１”のテストデータ信号を出力する。このデータ信号は、データ信号線５０により検査装置１１０に伝播されるとともに、ループバック信号との比較のために、搬送装置１００側のソフトウェアによりメモリ等の記憶装置（図示せず）に記憶される。数十μ秒ディレイ（ディレイ値は、データ信号線５０の長さやラッチ回路Ａ５の信号伝播速度によって変わる）した後、出力ポートＡ１０に「１」を出力し、検査装置１１０のラッチ回路Ａ５にデータ信号線５０で伝播されたデータ信号をラッチさせて出力させる。
【００６９】
その後、入出力ポート（１〜４）１〜４を入力ポートに切り替え、出力ポートＣ３０に「０」を出力し、検査装置１１０の３ステート出力バッファ回路７を「入力スルー」の状態にする。これにより、ラッチ回路Ａ５にラッチ出力されているデータ信号を、ループバック信号１５として搬送装置１００側へデータ信号線５０を介してループバックさせる。
【００７０】
搬送装置１００側のソフトウェアは、ループバック信号１５が入出力ポート（１〜４）１〜４まで伝播する時間だけディレイ（データ信号線５０の長さや３ステート出力バッファ回路７の信号伝播速度によって決まるが、およそ数十μ秒）してから、ループバック信号１５を入出力ポート（１〜４）１〜４から入力する。そして、入力したループバック信号１５が、先に検査装置１１０へ出力し、前記記憶装置に記憶されているデータ信号と同じ“０１０１”であることを確認する。
【００７１】
上記のように搬送装置１００側の入出力ポート（１〜４）１〜４からデータ信号として“０１０１”⇒“１０１０”⇒“０１０１”を出力して、そのループバック信号も“０１０１”⇒“１０１０”⇒“０１０１”であれば、搬送装置１００側のソフトウェアは、データ信号線５０が正常にデータ信号を伝達していると判断する。もし、ループバック信号が“０１０１”⇒“１０１０”⇒“０１０１”でなければ、データ信号線５０が断線していたりデータ信号線５０にノイズが乗っていたりするなどのために、誤信号が伝達されていると判断する。誤信号が伝達されていると判断した場合は、搬送装置１００側のソフトウェアは、速やかに異常停止処理に入って検査装置１１０からの指令を遮断することにより、搬送装置１００側での二次災害を防止する。
【００７２】
以上のように、本発明によれば、データ信号線に異常があった場合や誤信号が検出された場合、搬送装置１００は、検査装置１１０と通信することなく、単独で速やかに検査装置１１０との全ての制御線や通信線をソフトウェア的に遮断することができ、検査装置１１０からの指令を受け付けないようにすることができる。搬送装置１００は、このようにして異常停止等の処置を講じることにより、検査装置１１０の誤作動や搬送装置１００側での二次災害を防ぐことができる。
【００７３】
また、データ信号線５０にノイズが乗ったり断線したりしていないかを、実際の稼動環境でも常時監視することができるので、信号伝達の高信頼性を確保することができる。
【００７４】
（４）搬送装置１００からデータ信号を検査装置１１０に伝達させる手順
上述の信号伝達正常チェック処理において、データ信号線５０がデータ信号を正常に伝達していると判断した場合にのみ、搬送装置１００の状態をデータ信号により検査装置１１０へ伝達させる処理を以下の手順で行う。
【００７５】
（４−１）搬送装置１００の状態を検査装置１１０まで伝達する準備
最初に、搬送装置１００側のソフトウェアは、出力ポートＣ３０に「１」を出力することにより、３ステート出力バッファ回路７を「ハイインピーダンス出力」の状態にする。次に、入出力ポート（１〜４）１〜４を出力ポートに切り替え、出力ポートＡ１０に「０」を出力して、ラッチ回路Ａ５を「入力スルー」の状態にする。
【００７６】
このように３ステート出力バッファ回路７、入出力ポート（１〜４）１〜４、及びラッチ回路Ａ５の状態を設定することによって、検査装置１１０側の３ステート出力バッファ回路７からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号と、搬送装置１００側の入出力ポート（１〜４）１〜４からデータ信号線５０へ出力されたデータ信号とが信号レベルで衝突しないよう（電気的にショートしないよう）にしてから、以下の手順にて搬送装置１００の状態を検査装置１１０側の入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３まで伝達する。
【００７７】
（４−２）搬送装置１００の状態を検査装置１１０まで伝達
搬送装置１００側のソフトウェアは、搬送装置１００の入出力ポート（１〜４）１〜４に搬送装置１００の状態をデータ信号として出力する。このデータ信号は、データ信号線５０により検査装置１１０に伝達される。
【００７８】
数十μ秒ディレイ（ディレイ値は、データ信号線５０の長さやラッチ回路Ａ５の信号伝播速度によって変わる）した後、出力ポートＡ１０に「１」を出力し、検査装置１１０のラッチ回路Ａ５にデータ信号をラッチ出力させる。
【００７９】
再度、数十μ秒ディレイ（データ信号がラッチ回路Ｂ６のデータ信号入力端子まで伝播される時間）した後、出力ポートＢ２０に「０」を出力してラッチ回路Ｂ６を「入力スルー」の状態にし、ラッチ回路Ａ５から出力されているデータ信号をラッチ回路Ｂ６に入力する。
【００８０】
さらに数十μ秒ディレイ（データ信号がラッチ回路Ｂ６から入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３まで伝播される時間）した後、出力ポートＢ２０に「１」を出力してラッチ回路Ｂ６にデータ信号をラッチ出力させる。ラッチ出力したデータ信号は、入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３まで伝達され、検査装置１１０のＭＰＵにより処理される。
【００８１】
このようにして、搬送装置１００側のソフトウェアは、検査装置１１０に搬送装置１００の状態をデータ信号により伝達し、検査装置１１０は、入力したデータ信号に基づきウェーハの搬送や検査などの処理を行う。
【００８２】
以上のように、本実施例の搬送装置１００のソフトウェアは、次のような手段を構成している。すなわち、データ受信側のラッチアンドループバック系の電子回路にループバックの制御を実行する場合に、データ送信側のＩ／Ｏポートを出力ポートから入力ポートに切り替えて、ループバックされたテストデータ信号を入力する手段と、入力したループバックのテストデータ信号からデータ送信エラーの有無をチェックする手段とを構成している。さらに、ループバックの後にループバックを遮断するようラッチアンドループバック系の電子回路を制御信号線を介して制御する手段と、データ送信エラーが無い場合には、データ送信側のＩ／Ｏポートを出力ポートにして、データ信号線及びラッチ回路を介してデータ送信側の状態に関するデータをデータ受信側の入力ポートに送るよう、ラッチアンドループバック系の電子回路を制御信号線を介して制御する手段とを構成している。
【００８３】
より具体的には、上述の実施例の場合では、搬送装置１００のソフトウェアは、次のような手段を構成する。すなわち、最初に検査装置１１０側のラッチ回路Ｂ６をラッチ出力してラッチ回路Ｂ６へのデータ信号入力を無効にした後に、搬送装置１００側のＩ／Ｏポートから所定のテストデータ信号を出力して、このテストデータ信号をラッチ回路Ａ５及び３ステート出力バッファ回路７を介して搬送装置１００側にループバックする手段を構成する。さらに、搬送装置１００側から出力されたテストデータ信号とそのループバックされたテストデータ信号とを比較してデータ信号線５０上のデータ送信エラーの有無をチェックする手段と、データ送信エラーが無い場合には、搬送装置１００側のＩ／Ｏポートを出力ポートにして、搬送装置１００の状態に関するデータ信号をデータ信号線５０及びラッチ回路Ａ５、Ｂ６を介して検査装置１１０側の入力ポートに入力させる手段とを構成する。
【００８４】
以上のように、検査装置１１０側に備えられたラッチ回路Ａ５、ラッチ回路Ｂ６、３ステート出力バッファ回路７を搬送装置１００側のソフトウェアから制御することによって、データ信号線５０が正常にデータ信号を伝達している場合のみにデータ信号を検査装置１１０の入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３に伝播させることで、検査装置１１０側に誤った搬送装置１００の状態を伝達することを防ぐことが可能となる。
【００８５】
また、データ信号の伝達に必要な回路制御や、誤信号が伝達されたかどうかの判断は、検査装置１１０側のソフトウェアを使用することなく搬送装置１００側のソフトウェア単独で行うため、処理の簡素化・高速化を図ることができる。
【００８６】
なお、本実施例ではデータ信号線５０は４本の信号線から構成されているが、本発明は、この数に限るものではない。データ信号線５０の数が４本以外であっても、それに対応して搬送装置１００と検査装置１１０のＩ／Ｏポートや入力ポートの数を変えればよく、検査装置１１０の電子回路は、上述の３種類の制御信号で制御することができる。従って、電子回路の制御やデータ信号の伝達などは、上述の実施例と同様に行うことができる。
【００８７】
ここで、本実施例で説明した搬送装置１００のソフトウェアが行う「ループバック信号の確認１回目」の処理手順と、ループバック信号が正常であることを確認後の「搬送装置１００からデータ信号を検査装置１１０に伝達させる手順」を、フローチャートで図８（ａ）、（ｂ）と図９に示す。なお、「ループバック信号の確認」の２回目と３回目のフローチャートは、「ループバック信号の確認１回目」に準ずるので省略する。
【００８８】
今まで述べてきた実施例では、搬送装置１００がデータ送信側であり検査装置１１０がデータ受信側であったが、検査装置１１０がデータ送信側であり搬送装置１００がデータ受信側である場合にも、本発明を適用することができる。この場合は、検査装置１１０は、搬送装置１００に向けて、検査装置１１０の状態やウェーハの搬送命令などをデータ信号として出力する。ここからは、この場合の実施例について述べる。
【００８９】
本実施例の場合の搬送装置・検査装置間の信号伝達システムの電子回路図を図１０に示す。図１０において図１と同一の符号は、上述した実施例と同一あるいは共通する要素を示す。本実施例は、上述の実施例において、搬送装置１００と検査装置１１０の構成要素を入れ替えて搬送装置１００がラッチアンドループバック系の電子回路を備えるようにし、データ信号を検査装置１１０から搬送装置１００に伝達するようにしたものである。ラッチアンドループバック系の電子回路やＩ／Ｏポートなど各構成要素の機能や動作は、上述の実施例と同様である。従って、図１だけでなく、図６と図７に示した電子回路、及び図８（ａ）、（ｂ）と図９に示したフローチャートも本実施例に準用することができる。
【００９０】
これにより、搬送装置１００側に備えられたラッチ回路Ａ５、ラッチ回路Ｂ６、３ステート出力バッファ回路７を検査装置１１０側のソフトウェアから制御することによって、データ信号線５０が正常にデータ信号を伝達している場合のみにデータ信号を搬送装置１００の入力ポート（Ａ〜Ｄ）４０〜４３に伝播させることで、搬送装置１００側に誤った検査装置１１０の状態などを伝達することを防ぐことが可能となる。
【００９１】
この場合も、データ信号の伝達に必要な回路制御や、誤信号が伝達されたかどうかの判断は、搬送装置１００側のソフトウェアを使用することなく検査装置１１０側のソフトウェア単独で行うため、処理の簡素化・高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明による搬送装置と検査装置間の信号伝達システムを実現する電子回路図の概略。
【図２】従来の搬送装置と検査装置間の信号伝達手段のうち、最も単純な構成を表した概略図。
【図３】従来の搬送装置と検査装置間の信号伝達手段のうち、ループバックを利用した構成の概略図。
【図４】従来の搬送装置と検査装置間の信号伝達手段のうち、入出力ポートとループバックを利用した構成の概観図。
【図５】従来の搬送装置と検査装置間の信号伝達手段のうち、ループバックを利用した別な構成の概略図。
【図６】ラッチ回路の構成例。
【図７】３ステート出力バッファ回路の例。
【図８（ａ）】ループバック信号の確認１回目の処理手順。
【図８（ｂ）】ループバック信号の確認１回目の処理手順（続き）。
【図９】データ信号を搬送装置から検査装置に伝達させる手順。
【図１０】本発明による搬送装置と検査装置間の信号伝達システムを実現する別の電子回路図の概略。
【符号の説明】
【００９３】
１…入出力ポート１、２…入出力ポート２、３…入出力ポート３、４…入出力ポート４、５…ラッチ回路Ａ、６…ラッチ回路Ｂ、７…３ステート出力バッファ回路、１０…出力ポートＡ、１１…ラッチ回路Ａ制御信号、１５…ループバック信号、２０…出力ポートＢ、２１…ラッチ回路Ｂ制御信号、３０…出力ポートＣ、３１…３ステート出力バッファ制御信号、４０…入力ポートＡ、４１…入力ポートＢ、４２…入力ポートＣ、４３…入力ポートＤ、５０…データ信号線、１００…ウェーハ搬送装置、１１０…ウェーハ検査装置。
【図１】
2010003730.tif 000003
【図２】
2010003730.tif 000004
【図３】
2010003730.tif 000005
【図４】
2010003730.tif 000006
【図５】
2010003730.tif 000007
【図６】
2010003730.tif 000008
【図７】
2010003730.tif 000009
【図８（ａ）】
2010003730.tif 000010
【図８（ｂ）】
2010003730.tif 000011
【図９】
2010003730.tif 000012
【図１０】
2010003730.tif 000013