(57)【要約】【課題】通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図って部品の交換頻度を低減して、検査効率を向上させる。【解決手段】検査対象基板の回路の端子に接触し簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を各電極に選択的に印加して、簡易点灯検査及び通常点灯検査を行うプローブブロック組立体と、当該プローブブロック組立体に接続され前記簡易点灯検査信号及び通常点灯検査信号を適宜発生させてプローブブロック組立体に選択的に印加させる検査信号選択印加手段とを備えた。前記検査信号選択印加手段は、簡易点灯検査信号発生器と、通常点灯検査信号発生器と、これらを前記プローブブロック組立体に選択的に接続させる切替手段とを備えて構成した。切替手段には、ＴＦＴスイッチを備えた。【選択図】図１
2010170087.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板の回路の端子に接触し簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を各電極に印加して、簡易点灯検査又は通常点灯検査を行うプローブ組立体と、
当該プローブ組立体に接続され前記簡易点灯検査信号及び通常点灯検査信号を適宜発生させてプローブ組立体に選択的に印加させる検査信号選択印加手段とを備えたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
前記検査信号選択印加手段が、簡易点灯検査信号を発生させる簡易点灯検査信号発生器と、通常点灯検査信号を発生させる通常点灯検査信号発生器と、前記簡易点灯検査信号発生器又は通常点灯検査信号発生器を前記プローブ組立体に選択的に接続させる切替手段とを備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のプローブユニットにおいて、
前記切替手段が、前記簡易点灯検査信号発生器及び通常点灯検査信号発生器と前記プローブ組立体との間に設けられ、各点灯検査信号を切り替えてプローブ組立体に接続するＴＦＴスイッチを備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項４】
請求項３に記載のＴＦＴスイッチにおいて、
プローブ組立体の後端側に配置されたガラス基板状の面に、薄膜状に加工されたトランジスタで作られた電気回路で、通常信号発生器と簡易信号発生器に接続される複数の接続端子と、プローブ組立体に接続される複数の接続端子と、通常点灯検査と簡易点灯検査を切り替える複数のＴＦＴ素子と切り替え信号の接続端子を備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項５】
検査対象基板の検査に用いる検査装置であって、
外部から挿入された検査対象基板を検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象基板を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットとして、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の検査対象基板の簡易点灯検査及び通常点灯検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の製造工程においては、その液晶パネル等の点灯検査が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合において、点灯検査は、前記プローブユニットの各プローブを液晶パネル等の電極に押し当てた状態で、各電極に検査信号を供給することにより通常点灯検査が行われる。通常検査とは、製品の使用条件と同様な信号を液晶パネル等に印加して、各セルをフルカラーなどで表示させ、点欠陥、線欠陥、ムラ等の多様な検査を行うことを言う。
【０００３】
前記プローブユニットの一例を図２に示す。プローブユニット１は、プローブベース２と、支持部３と、プローブ組立体４と、接続ケーブル部５と、信号発生器６とを備えて構成されている。
【０００４】
前記プローブベース２は、プローブ組立体４を支持した複数の支持部３を一体的に支持する板材である。このプローブベース２で、複数のプローブ組立体４が支持部３を介して、ワークテーブル(図示せず)上の液晶パネル７に対向した状態で支持されている。
【０００５】
前記支持部３は、その基端側が前記プローブベース２に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体４を支持するための部材である。
【０００６】
プローブ組立体４は、液晶パネル７の回路の端子に接触して、検査信号を伝えるための部材である。プローブ組立体４は、支持部３に支持されている。このプローブ組立体４は、プローブブロック８と、プローブ９とを備えて構成されている。プローブブロック８は支持部３に取り付けられている。このプローブブロック８にプローブ９が取り付けられている。プローブ９は、液晶パネル７の回路の端子に直接接触する部材である。プローブ９は、その先端部が液晶パネル７の回路の端子に接触され、基端部が接続ケーブル部５の端子に接触される。
【０００７】
接続ケーブル部５は、前記プローブ９と信号発生器６とを電気的に接続するための部材である。この接続ケーブル部５は具体的には、プローブ９の基端部に電気的に接続されるＴＣＰプレート１１と、このＴＣＰプレート１１に接続されたＦＰＣ１２と、このＦＰＣ１２が接続されるＦＣ基板１３と、このＦＣ基板１３と信号発生器６とを接続するケーブル１４とから構成されている。これにより、接続ケーブル部５は、信号発生器６とプローブ９とを電気的に接続している。
【０００８】
信号発生器６は、通常点灯検査信号を発生させるための装置である。この信号発生器６で発生した通常点灯検査信号は、接続ケーブル部５及びプローブ９を介して液晶パネル７の回路の端子に印加されて液晶パネル７の通常点灯検査を行う。
【０００９】
簡易点灯検査を行う場合は、簡易点灯検査用のプローブユニットや、簡易点灯検査装置が用いられる。即ち、前記プローブユニットを簡易点灯検査用のプローブユニットに付け替えて簡易点灯検査を行ったり、簡易点灯検査装置を設置して簡易点灯検査を行ったりする。簡易検査とは製品の使用条件より少ない信号又は擬似的に作成した信号を液晶パネル等に印加して、全面一色、各種表示パターンなどを表示させ、点欠陥、線欠陥、ムラ等の多様な検査を行うことを言う。
【００１０】
このような点灯検査装置としては特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平９−１３８４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来の点灯検査装置は、通常点灯検査から簡易点灯検査に切り替える場合は、通常点灯検査用のプローブユニットを取り外して簡易点灯検査用のプローブユニットに付け替える。また簡易点灯検査から通常点灯検査に切り替える場合は、簡易点灯検査用のプローブユニットを取り外して通常点灯検査用プローブユニットに付け替える。各々（二種類）のプローブユニットを付け替える場合、その都度交換作業が必要になり、検査効率が悪いという問題がある。
【００１３】
通常検査装置と簡易点灯検査装置を別に設ける場合は、通常点灯検査装置と別の新たな装置であることで、その装置の設置スペースが必要になること等によって、コストが嵩むという問題がある。
【００１４】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図って部品の交換頻度を低減して検査効率を向上させたプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、検査対象基板の回路の端子に接触し簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を各電極に選択的に印加して、簡易点灯検査及び通常点灯検査を行うプローブブロック組立体と、当該プローブブロック組立体に接続され前記簡易点灯検査信号及び通常点灯検査信号を適宜発生させてプローブブロック組立体に選択的に印加させる検査信号選択印加手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る検査装置は、検査対象基板の検査に用いる検査装置であって、外部から挿入された検査対象基板を検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象基板を支持して試験する測定部とを備え、前記測定部のプローブユニットとして、上述したプローブユニットを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、前記検査信号選択印加手段で、前記簡易点灯検査信号及び通常点灯検査信号を適宜発生させて前記プローブブロック組立体に選択的に印加させるため、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図ることができ、装置の交換頻度を低減させて検査効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す側面図である。
【図２】従来のプローブユニットを示す側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置のワークテーブル及びプローブユニットを示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブユニットを示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係る検査装置のＴＦＴスイッチのソース側ＴＦＴスイッチパネルを示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る検査装置のＴＦＴスイッチのゲート側ＴＦＴスイッチパネルを示す平面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る検査装置の液晶パネルと、簡易点灯検査信号発生器及び通常点灯検査信号発生器との接続状態を示す模式図である。
【図９】本発明の実施形態に係るプローブユニットの変形例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。
【００２０】
本実施形態に係る検査装置２１は、図３に示すように主に、パネルセット部２２と、測定部２３とから構成されている。
【００２１】
パネルセット部２２は、外部から挿入された液晶パネル７を測定部２３へ搬送し、検査終了後の液晶パネル７を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部２２は、開口部２６の奥にパネル受渡装置２７を有し、このパネル受渡装置２７で液晶パネル７を外部から受け取り、搬送アーム２８で支持して測定部２３へ搬送する。また、パネル受渡装置２７は、測定部２３で検査終了後の液晶パネル７を受け取って外部へ搬送する。
【００２２】
測定部２３は、パネルセット部２２から渡された液晶パネル７を支持して検査するための装置である。測定部２３は、ワークテーブル３０やプローブユニット３１等を備えて構成されている。
【００２３】
ワークテーブル３０は、液晶パネル７を支持してＸＹＺθ方向の調整をするための装置である。ワークテーブル３０は、搬送アーム２８で搬送されてきた液晶パネル７を、プッシャー３０Ａとストッパー３０Ｂとで支持し、プローブユニット３１に対して正確に位置合わせして接触させる。液晶パネル７は、図５に示すように、映像が表示されるパネル表示部７Ａと、パネル表示部７Ａの周囲のパネル端子部７Ｂと、パネル端子部７Ｂに設けられてパネル表示部７Ａに信号を伝える端子７Ｃとから構成されている。ワークテーブル３０によって、プローブユニット３１と端子７Ｃとが正確に位置合わせされる。
【００２４】
プローブユニット３１は、図１，４，５に示すように、液晶パネル７の端子７Ｃに接触して検査信号を印加して、液晶パネル７を検査のために点灯させる装置である。プローブユニット３１は、プローブベース３２と、ブローブ装置３３と、アライメントカメラ３４と、検査信号選択印加手段３５とを備えて構成されている。
【００２５】
プローブベース３２は、ブローブ装置３３やアライメントカメラ３４を一体的に支持するための板材である。このプローブベース３２は、装置本体側に固定された状態で、ブローブ装置３３、アライメントカメラ３４等を、ワークテーブル３０上の液晶パネル７に臨ませて支持されている。
【００２６】
ブローブ装置３３は、簡易点灯検査と通常点灯検査を行うための装置である。このブローブ装置３３は、支持部３７と、プローブ組立体３８とから構成されている。
【００２７】
前記支持部３７は、その基端側が前記プローブベース３２に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体３８を支持するための部材である。この支持部３７は、前記プローブベース３２に直接取り付けられて全体を支持するサスペンションブロック４０と、このサスペンションブロック４０の先端部にガイドレール４１を介してスライド可能に支持されたスライドブロック４２と、このスライドブロック４２の下側面に一体的に取り付けられたプローブプレート４３とを備えて構成されている。スライドブロック４２は、サスペンションブロック４０に対して調整ネジ４４で高さ調整が行われる。
【００２８】
プローブ組立体３８は、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに接触して検査信号を印加するための部材である。プローブ組立体３８は、プローブプレート４３の下側面に取り付けられている。このプローブ組立体３８は、プローブブロック４６と、プローブ４７とを備えて構成されている。プローブブロック４６はプローブプレート４３の下側面に直接取り付けられている。このプローブブロック４６にプローブ４７が取り付けられている。プローブ４７は、液晶パネル７の回路の端子７Ｃに接触して点灯検査のための検査信号を印加するブレードタイプの接触子である。プローブ４７は、プローブブロック４６の下側に設けられ、その先端部が液晶パネル７の端子７Ｃに直接接触し、その後端部は、検査信号選択印加手段３５に接続されている。このプローブ４７は、検査信号選択印加手段３５から簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を適宜供給される。
【００２９】
アライメントカメラ３４は、ブローブ装置３３のプローブブロック４６の各プローブ４７と、液晶パネル７の端子７Ｃとの位置合わせに際して、液晶パネル７の表面に設けられたアライメントマーク(図示せず)を撮影するためのカメラである。アライメントカメラ３４は、設定位置に３つ設けられている。
【００３０】
検査信号選択印加手段３５は、簡易点灯検査信号と通常点灯検査信号とを適宜発生させてプローブブロック４６の各プローブ４７に送信するための装置である。検査信号選択印加手段３５は、プローブブロック４６のプローブ４７に接続されて、前記簡易点灯検査信号又は通常点灯検査信号を適宜発生させ、液晶パネル７の端子７Ｃに印加させる。
【００３１】
検査信号選択印加手段３５は、具体的には、簡易点灯検査信号発生器５１と、通常点灯検査信号発生器５２と、切替手段５３とを備えて構成されている。
【００３２】
簡易点灯検査信号発生器５１は、簡易点灯検査信号を発生させるための装置である。通常点灯検査信号発生器５２は、通常点灯検査信号を発生させるための装置である。これらの装置としては、既存の検査信号発生器を用いることができる。
【００３３】
切替手段５３は、簡易点灯検査信号発生器５１又は通常点灯検査信号発生器５２を前記プローブ組立体３８のプローブ４７に選択的に接続させるための装置である。切替手段５３は、前記簡易点灯検査信号発生器５１及び通常点灯検査信号発生器５２と前記プローブ組立体３８との間に設けられ、簡易点灯検査信号発生器５１と前記プローブ４７との接続と、通常点灯検査信号発生器５２と前記プローブ４７との接続とを、選択的に切り替える。即ち、簡易点灯検査信号と通常点灯検査信号とを適宜切り替えてプローブ組立体３８に接続する。
【００３４】
切替手段５３は、ＴＦＴプレート５５を備えて構成されている。ＴＦＴプレート５５は、支持部３７のプローブプレート４３の下側面に取り付けられている。ＴＦＴプレート５５の下側面にはＴＦＴスイッチ５６が設けられている。このＴＦＴスイッチ５６は、図６、７に示すように、液晶パネル７のソース側とゲート側の電極にそれぞれ検査信号を送るために、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７と、ゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８とから構成されている。
【００３５】
ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７は、図６に示すように、多数のＴＦＴ素子（thin film transistor）を並べて構成されている。具体的には、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７は、通常点灯検査信号発生器５２側に接続される複数の接続端子６０からなる通常側接続端子群６１と、簡易点灯検査信号発生器５１側に接続される複数の接続端子６２からなる簡易側接続端子群６３と、複数のプローブ４７側にそれぞれ接続される複数の接続端子６４からなるプローブ側接続端子群６５と、前記通常側接続端子群６１とプローブ側接続端子群６５との間に設けられた複数のＴＦＴ素子６６からなる通常側ＴＦＴ素子群６７と、前記簡易側接続端子群６３とプローブ側接続端子群６５との間に設けられた複数のＴＦＴ素子６８からなる簡易側ＴＦＴ素子群６９とから構成されている。
【００３６】
通常側ＴＦＴ素子群６７では、各ＴＦＴ素子６６が、通常側接続端子群６１の各接続端子６０と、プローブ側接続端子群６５の各接続端子６４とを一対一で接続した状態で、すべての組を同時に接続、切断して通常点灯検査のオンオフを制御するようになっている。通常側ＴＦＴ素子群６７の各ＴＦＴ素子６６の接続端子７０は検査装置の制御部に接続され、この制御部で各ＴＦＴ素子６６のオンオフ制御が行われるようになっている。
【００３７】
簡易側ＴＦＴ素子群６９は、簡易側接続端子群６３の各接続端子６２が、プローブ側接続端子群６５の各接続端子６４に、図の例では６個置きにそれぞれ接続された状態で、これら簡易側接続端子群６３の各接続端子６２とプローブ側接続端子群６５の各接続端子６４とを同時に接続、切断して簡易点灯検査のオンオフを制御するようになっている。簡易側ＴＦＴ素子群６９の各ＴＦＴ素子６８の接続端子７１は検査装置の制御部に接続され、この制御部で各ＴＦＴ素子６８のオンオフ制御が行われるようになっている。
【００３８】
これにより、制御部で接続端子７０を介して通常側ＴＦＴ素子群６７の各ＴＦＴ素子６６がオン制御されると、通常側接続端子群６１とプローブ側接続端子群６５とが接続されて、通常点灯検査信号発生器５２からの通常点灯検査信号が各プローブ４７を介して液晶パネル７に印加されるようになっている。また、通常側ＴＦＴ素子群６７の各ＴＦＴ素子６６がオフ制御され、接続端子７１を介して簡易側ＴＦＴ素子群６９の各ＴＦＴ素子６８がオン制御されると、簡易側接続端子群６３とプローブ側接続端子群６５とが接続されて、簡易点灯検査信号発生器５１からの簡易点灯検査信号が各プローブ４７を介して液晶パネル７に印加されるようになっている。尚、本実施形態では、簡易側接続端子群６３の各接続端子６２が、プローブ側接続端子群６５の各接続端子６４に６個置きに接続された構成を一例として説明したが、液晶パネル、検査信号選択印加手段の回路等の諸条件に応じて変更される。
【００３９】
ゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８は、図７に示すように、多数のＴＦＴ素子を並べて構成されている。具体的には、ゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８は、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７側の通常側接続端子群６１の接続端子６０と共に通常点灯検査信号発生器５２側に接続される複数の接続端子７３からなる通常側接続端子群７４と、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７側の簡易側接続端子群６３と共に簡易点灯検査信号発生器５１側に接続される複数の接続端子７５からなる簡易側接続端子群７６と、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７側のプローブ側接続端子群６５と共に複数のプローブ４７側にそれぞれ接続される複数の接続端子７７からなるプローブ側接続端子群７８と、前記通常側接続端子群７４とプローブ側接続端子群７８との間に設けられた複数のＴＦＴ素子７９からなる通常側ＴＦＴ素子群８０と、前記簡易側接続端子群７６とプローブ側接続端子群７８との間に設けられた複数のＴＦＴ素子８１からなる簡易側ＴＦＴ素子群８２とから構成されている。
【００４０】
通常側ＴＦＴ素子群８０では、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７側の通常側ＴＦＴ素子群６７と同様に、各ＴＦＴ素子７９が、通常側接続端子群７４の各接続端子７３と、プローブ側接続端子群７８の各接続端子７７とを一対一で接続した状態で、すべての組を同時に接続、切断して通常点灯検査のオンオフを制御するようになっている。通常側ＴＦＴ素子群８０の各ＴＦＴ素子７９の接続端子８４は検査装置の制御部に接続され、この制御部で各ＴＦＴ素子７９のオンオフ制御が行われるようになっている。
【００４１】
簡易側ＴＦＴ素子群８２は、簡易側接続端子群７６の各接続端子７５が、プローブ側接続端子群７８の各接続端子７７に図の例では４個置きにそれぞれ接続された状態で、これら簡易側接続端子群７６の各接続端子７５とプローブ側接続端子群７８の各接続端子７７とを、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７側の簡易側ＴＦＴ素子群６９と同様に、同時に接続、切断して簡易点灯検査のオンオフを制御するようになっている。簡易側ＴＦＴ素子群８２の各ＴＦＴ素子８１の接続端子８５は検査装置の制御部に接続され、この制御部で各ＴＦＴ素子８１のオンオフ制御が行われるようになっている。
【００４２】
これにより、制御部で接続端子８４を介して通常側ＴＦＴ素子群８０の各ＴＦＴ素子７９がオン制御されると、通常側接続端子群７４とプローブ側接続端子群７８とが接続されて、通常点灯検査信号発生器５２からの通常点灯検査信号が各プローブ４７を介して液晶パネル７に印加されるようになっている。また、通常側ＴＦＴ素子群８０の各ＴＦＴ素子７９がオフ制御され、接続端子８５を介して簡易側ＴＦＴ素子群８２の各ＴＦＴ素子８１がオン制御されると、簡易側接続端子群７６とプローブ側接続端子群７８とが接続されて、簡易点灯検査信号発生器５１からの簡易点灯検査信号が各プローブ４７を介して液晶パネル７に印加されるようになっている。尚、本実施形態では、簡易側接続端子群７６の各接続端子７５が、プローブ側接続端子群７８の各接続端子７７に４個置きに接続された構成を一例として説明したが、液晶パネル、検査信号選択印加手段の回路等の諸条件に応じて変更される。
【００４３】
液晶パネル７と、簡易点灯検査信号発生器５１及び通常点灯検査信号発生器５２とは、図１及び図８に示すように接続されている。
【００４４】
液晶パネル７と簡易点灯検査信号発生器５１とは、液晶パネル７のソース側及びゲート側の各電極に各プローブ４７の先端部がそれぞれ接触され、ソース側の各プローブ４７の後端部がソース側ＴＦＴスイッチパネル５７のプローブ側接続端子群６５とがそれぞれ接続されると共にゲート側の各プローブ４７の後端部とゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８のプローブ側接続端子群７８とがそれぞれ接続されたＴＦＴスイッチ５６と、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７の簡易側接続端子群６３及びゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８の簡易側接続端子群７６にそれぞれ接続されて信号を分配するＳＢ基板８７とを介して電気的に接続されている。なお、簡易点灯検査信号発生器５１とＳＢ基板８７との間は、ケーブル８８を介して電気的に接続されている。ＳＢ基板８７とＴＦＴスイッチ５６との間はＦＰＣ８９を介して電気的に接続されている。
【００４５】
液晶パネル７と通常点灯検査信号発生器５２とは、液晶パネル７のソース側及びゲート側の各電極に各プローブ４７の先端部がそれぞれ接触され、ソース側の各プローブ４７の後端部とソース側ＴＦＴスイッチパネル５７のプローブ側接続端子群６５とがそれぞれ接続されると共にゲート側の各プローブ４７の後端部とゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８のプローブ側接続端子群７８とがそれぞれ接続されたＴＦＴスイッチ５６と、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７の通常側接続端子群６１及びゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８の通常側接続端子群７４にそれぞれ接続されるＴＣＰ９１及びＦＣ基板９２とを介して電気的に接続されている。なお、ＴＣＰ９１とＦＣ基板９２は、支持基板９５によって一体的に支持されている。また、通常点灯検査信号発生器５２とＦＣ基板９２との間は、ケーブル９３を介して電気的に接続されている。ＴＣＰ９１とＴＦＴスイッチ５６との間はＦＰＣ９４を介して電気的に接続されている。これにより、ＴＦＴスイッチ５６のソース側ＴＦＴスイッチパネル５７及びゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８が、制御部で簡易点灯検査及び通常点灯検査に合わせて制御されて適宜切り替わることで、簡易点灯検査信号発生器５１と前記プローブ４７との間と、通常点灯検査信号発生器５２と前記プローブ４７との間とを、選択的に切り替えて接続するようになっている。
【００４６】
以上のように構成されたプローブユニット３１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、前記制御部の制御によるプローブユニット３１の作用を中心に説明する。
【００４７】
まず、通常点灯検査について説明する。
【００４８】
ワークテーブル３０に支持された液晶パネル７が正確に位置合わせされて、液晶パネル７の端子７Ｃと、プローブブロック４６のプローブ４７とが互いに接触される。
【００４９】
次いで、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７の通常側ＴＦＴ素子群６７の各ＴＦＴ素子６６がオンされ、通常側接続端子群６１の各接続端子６０と、プローブ側接続端子群６５の各接続端子６４とが互いに接続されて、通常点灯検査信号発生器５２とソース側の各プローブ４７とが接続される。さらに、ゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８の通常側ＴＦＴ素子群８０の各ＴＦＴ素子７９がオンされ、通常側接続端子群７４の各接続端子７３と、プローブ側接続端子群７８の各接続端子７７とが互いに接続されて、通常点灯検査信号発生器５２とゲート側の各プローブ４７とが接続される。次いで、通常点灯検査信号発生器５２で発生させた通常点灯検査信号が、プローブ４７から液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて、各セルに対しフルカラー表示等のテストパターンが表示され液晶パネル７の通常点灯検査が行われる。
【００５０】
簡易点灯検査を行う場合は、ソース側ＴＦＴスイッチパネル５７の簡易側ＴＦＴ素子群６９の各ＴＦＴ素子６８がオンされ、簡易側接続端子群６３の各接続端子６２と、プローブ側接続端子群６５の各接続端子６４とが互いに接続されて、簡易点灯検査信号発生器５１とソース側の各プローブ４７とが接続される。さらに、ゲート側ＴＦＴスイッチパネル５８の簡易側ＴＦＴ素子群８２の各ＴＦＴ素子８１がオンされ、簡易側接続端子群７６の各接続端子７５と、プローブ側接続端子群７８の各接続端子７７とが互いに接続されて、簡易点灯検査信号発生器５１とソース側の各プローブ４７とが接続される。これにより、簡易点灯検査信号発生器５１と各プローブ４７との間の接続に切り替わる。
【００５１】
そして、簡易点灯検査信号発生器５１で簡易点灯検査信号が発生され、その簡易点灯検査信号がプローブ４７から液晶パネル７の端子７Ｃに印加されて、簡易点灯検査簡易点灯検査が行われる。この簡易点灯検査において、赤、青又は緑のうちの一色による表示、即ち、液晶パネル７の全面同一色表示等のテストパターンが適宜行われる。
【００５２】
以上のように、簡易点灯検査信号発生器５１と、通常点灯検査信号発生器５２と、切替手段５３とを備えた検査信号選択印加手段３５が、簡易点灯検査信号及び通常点灯検査信号を適宜発生させてプローブブロック４６のプローブ４７に選択的に印加させるため、通常点灯検査と簡易点灯検査とで装置の共有化を図ることができる。これにより、プローブブロック４６の交換頻度を低減させることができて、検査効率を向上させることができる。
【００５３】
ＴＦＴスイッチ５６は、既存の技術によってガラス基板等に、薄膜状に加工されたトランジスタで作られた電気回路で、薄くて嵩張らないため、既存のプローブユニットの構成をそのまま維持した状態で組み込むことができる。また、既存の検査装置のプローブユニットと本実施形態のプローブユニット３１とを入れ替えることも容易であり、既存の検査装置に、簡易点灯検査機能と通常点灯検査機能とを容易に持たせることができる。
【００５４】
また、ＴＦＴスイッチ５６は、メカニカルスイッチと異なり可動部がないため、動作が安定していて、信頼性が高いスイッチ機構にすることができる。この結果、ＴＦＴスイッチ５６を備えた検査装置に対する信頼性を向上させることができる。
【００５５】
［変形例］
前記実施形態に係る検査装置では、検査信号選択印加手段３５を構成する、簡易点灯検査信号発生器５１と、通常点灯検査信号発生器５２と、切替手段５３とを、別部材として構成したが、これらを一体の部材として構成してもよい。即ち、簡易点灯検査信号発生器５１と通常点灯検査信号発生器５２とを小型にしてプローブベース３２の下側面に取り付けるようにして、検査信号選択印加手段３５をプローブユニット３１に一体的に取り付けるようにしてもよい。これにより、既存の検査装置に対しても、本実施形態のプローブユニット３１を容易に組み込むことができる。
【００５６】
本発明に係るプローブユニットは、メンブレンタイプのプローブや、ニードルタイプのプローブユニットに適用することができる。また、他のタイプのプローブユニットに適用してもよいことは言うまでもない。このようなプローブユニットを備えることができるすべての検査装置に対して本願発明を適用することができる。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。
【００５７】
また、前記実施形態では、検査信号選択印加手段３５の切替手段５３のＴＣＰ９１とＦＣ基板９２を、支持基板９５によって一体的に支持される構成にしたが、図９に示すように、別部材として構成してもよい。具体的には、ＦＣ基板９６を単体の板状に構成して、プローブベース３２の下側面に取り付け、ＴＣＰ９７を、ＦＣ基板９６とＴＦＴスイッチ５６とに架け渡して取り付けるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、液晶パネル７等の検査対象基板の回路の端子に接触して、簡易点灯検査と通常点灯検査を選択的に行う機能を備えたプローブユニット及びそのプローブユニットを用いた検査装置すべてに適用することができる。
【符号の説明】
【００５９】
７：液晶パネル、７Ａ：パネル表示部、７Ｂ：パネル端子部、７Ｃ：端子、２１：検査装置、２２：パネルセット部、２３：測定部、２６：開口部、２７：パネル受渡装置、２８：搬送アーム、３０：ワークテーブル、３１：プローブユニット、３２：プローブベース、３３：ブローブ装置、３４：アライメントカメラ、３５：検査信号選択印加手段、３７：支持部、３８：プローブ組立体、４０：サスペンションブロック、４１：ガイドレール、４２：スライドブロック、４３：プローブプレート、４４：調整ネジ、４６：プローブブロック、４７：プローブ、５１：簡易点灯検査信号発生器、５２：通常点灯検査信号発生器、５３：切替手段、５５：ＴＦＴプレート、５６：ＴＦＴスイッチ、５７：ソース側ＴＦＴスイッチパネル、５８：ゲート側ＴＦＴスイッチパネル、６０：接続端子、６１：通常側接続端子群、６２：接続端子、６３：簡易側接続端子群、６４：接続端子、６５：プローブ側接続端子群、６６：ＴＦＴ素子、６７：通常側ＴＦＴ素子群、６８：ＴＦＴ素子、６９：簡易側ＴＦＴ素子群、７０，７１：接続端子、７３：接続端子、７４：通常側接続端子群、７５：接続端子、７６：簡易側接続端子群、７７：接続端子、７８：プローブ側接続端子群、７９：ＴＦＴ素子、８０：通常側ＴＦＴ素子群、８１：ＴＦＴ素子、８２：簡易側ＴＦＴ素子群、８４：接続端子、８５：接続端子、８７：ＳＢ基板、８８：ケーブル、８９：ＦＰＣ、９１：ＴＣＰ、９２：ＦＣ基板、９３：ケーブル、９４：ＦＰＣ、９５：支持基板、９６：ＦＣ基板、９７：ＴＣＰ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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