(57)【要約】【課題】部品点数を削減し、小型化可能でしかも高感度検出可能な走査型光検出装置を提供する。【解決手段】  本発明の走査型光検出装置は、ミラー２に第一反射領域２ａと第二反射領域２ｂとを有する。第一反射領域２ａの反射面と第二反射領域２ｂの反射面とは常に一定の角度差をもって走査される。【選択図】図１
2010066285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を走査する第一の走査ミラーと、
前記光源、及び前記第一の走査ミラーからの反射光を集光しスポット光を形成するレンズを有する照明光投影光学系と、
前記照明光投影光学系からの前記スポット光により照射された被写体からの戻り光を走査する第二の走査ミラーと、
前記第二の走査ミラーからの反射光をピンホールに集光するレンズを有する受光光学系と、
前記第一の走査ミラー及び第二の走査ミラーを走査させる走査機構制御系と、を有し、
前記走査機構制御系により、前記第一の走査ミラーの反射面と第二の走査ミラーの反射面とが、常に一定の角度差をもって走査されることで前記照明光投影光学系の光路と受光光学系の光路とが分岐されていることを特徴とする走査型光検出装置。
【請求項２】
前記第一の走査ミラー及び前記第二の走査ミラーは、一つのミラー上に形成されており、前記第一の走査ミラーの反射面と第二の走査ミラーの反射面とが互いに角度差を有する反射領域を形成している、請求項１に記載の走査型光検出装置。
【請求項３】
前記第二の走査ミラーは、前記第一の走査ミラーの周囲に形成されている、請求項２に記載の走査型光検出装置。
【請求項４】
前記第一の走査ミラーはマイクロミラーアレイ上の第一反射領域のマイクロミラーにより形成され、前記第二の走査ミラーは、前記マイクロミラーアレイ上の第二反射領域のマイクロミラーにより形成されており、前記第一反射領域と前記第二反射領域とは互いに角度差を有する反射領域を形成している、請求項１に記載の走査型光検出装置。
【請求項５】
前記第二反射領域は、前記第一反射領域の周囲に形成されている、請求項４に記載の走査型光検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被写体を光スポットで走査し戻り光の強度を検出する走査型光検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被写体に投影したスポット光を走査し、その戻り光の強度を検出し、被写体の画像を得る撮像方法は広く知られている。
【０００３】
通常、これらの走査型撮像装置は、特許文献１に示されるように、投影光学系と、走査手段と、受光光学系を有する。投影光学系は、レーザー光源から出た光を集光し被写体面上にスポット光を形成する。走査手段は、投影光学系により形成したスポット光を走査する。受光光学系は、被写体からの戻り光を受光手段に導く。そして、この走査型撮像装置は分岐手段により投影光学系、受光光学系を分岐するように構成されている。
【特許文献１】特開２００２−２２８９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した従来の走査型撮像手段は、走査手段と光路分岐手段を別個に配置していたため、光学系が複雑で部品点数が多く、小型化しにくいという問題があった。また、高感度検出をするためには、微弱光を受光しなければならないが、光分岐手段は光のロスが大きく、また散乱光によりノイズが発生するため高感度検出の妨げになっていた。
【０００５】
そこで、本発明は、部品点数を削減し、小型化可能でしかも高感度検出可能な走査型光検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の走査型光検出装置は、第一の走査ミラーと、照明光投影光学系と、第二の走査ミラーと、走査機構制御系とを有する。第一の走査ミラーは、光源からの光を走査する。照明光投影光学系は、光源、及び第一の走査ミラーからの反射光を集光しスポット光を形成するレンズを有する。第二の走査ミラーは、照明光投影光学系からのスポット光により照射された被写体からの戻り光を走査する。受光光学系は、第二の走査ミラーからの反射光をピンホールに集光するレンズを有する。走査機構制御系は、第一の走査ミラー及び第二の走査ミラーを走査させる。本発明の走査型光検出装置は、走査機構制御系により、第一の走査ミラーの反射面と第二の走査ミラーの反射面とが、常に一定の角度差をもって走査される。これにより、照明光投影光学系の光路と受光光学系の光路とが分岐されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、本発明は、部品点数を削減し、小型化可能でしかも高感度検出可能な走査型光検出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（第１の実施形態）
本発明の実施の形態について図面を参照しながら、以下詳細に説明する。本発明の装置により検出できるものは、例えば、マイクロ流路内の２本鎖ＤＮＡの量、ＤＮＡチップのプローブに結合したターゲットＤＮＡの量等である。
（装置構成）
図１は本実施形態の走査型光検出装置の一つであるマイクロ流路内の蛍光検出装置である。この走査型光検出装置は、照明光投影光学系１０１、ミラー２、受光光学系１０２等の光学系、基板８の温度を制御する温度制御系１０３、及びミラー２を制御する走査機構制御系１０４を有する。
【０００９】
照明光投影光学系１０１は、流路内の蛍光標識を励起する波長４８８ｎｍのレーザー光を発する光源１、レーザー光を被写体面に集光するレンズ３を有する。
【００１０】
受光光学系１０２は、照明光を遮断し蛍光だけを透過する蛍光フィルター４、結像レンズ５、共焦点撮像用のピンホール６、ＰＭＴ等の受光部７を有し、被写体からの戻り光の走査手段であるミラー２の反射光路上に配置されている。
【００１１】
温度制御系１０３は、基板８を加熱冷却する温調部１１、及びこの温調部１１を制御する温度制御部１２を有する。基板８には、微細な流路９ａ〜９ｊが形成され、流路９ａ〜９ｊ内には流路毎に異なる種類の被検体ＤＮＡ及び蛍光標識が入っている。この蛍光標識は、ＤＮＡの二本鎖のなかに取り込まれた状態で波長４７０ｎｍ−４９０ｎｍの光で励起され、５００ｎｍ−５３０ｎｍの蛍光を発するものである。例えば  ＳＹＢＲ  ＧｒｅｅｎＩ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｐｒｏｂｅ社：登録商標）のようなインタカレータ方式の蛍光標識である。この液体は不図示の送液手段により流路９ａ〜９ｊ内を移動する。この基板８は温調ブロック１０により下面が覆われ、温調ブロック１０は、温調部１１により加熱冷却される。この温調手段の設定温度は温度制御部１２によりコントロールされる。
【００１２】
走査機構制御系１０４は、受光部７からの出力が入力される制御回路１６を有し、制御回路１６は、入力された信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換部１９、Ａ／Ｄ変換された信号を記録するメモリー１７、及びＣＰＵ１８を有する。
【００１３】
走査手段であるミラー２は、光源１からの光を走査する第一の走査ミラーと、照明光投影光学系１０１からのスポット光により照射された被写体からの戻り光を走査する第二の走査ミラーと、を有する。すなわち、ミラー２は、１つのミラーに図２に示すように第一の走査ミラーである第一反射領域２ａと、第二の走査ミラーである第二反射領域２ｂを有する。第二反射領域２ｂは、第一反射領域２ａの周囲に形成されている。また、これら第一反射領域２ａと、第二反射領域２ｂの反射面は図３の側面図に示すように互いに角度差のある反射領域を形成しており、この角度差は常に一定である。さらに、光線との反射点を通り、入射・反射光を含む面に垂直な軸２ｃを中心に回転可能に支持されている。この軸を回転中心としてミラー２を回転振動させると、ミラー２に照射されたスポット光の投影位置は変化する。本発明に用いることができる走査手段であるミラー２としては、ガルバノミラー、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラー、マイクロミラーアレイ等がある。また、本発明に用いることができる受光部としては、ＰＭＴ（Ｐｈｏｔｏｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ  Ｔｕｂｅ）、フォトダイオード、アバランシェフォトダイオードがある。
（測定方法）
次にこのような構成の装置を用いて、基板８内に形成された流路９ａ〜９ｊ中の蛍光強度を検出する方法を説明する。図１の光源１からの光は、ミラー２の第一の走査ミラーである第一反射領域２ａにより反射され、レンズ３によりφ１０μｍ程度のスポット光に集光される。スポット光に励起された流路内の蛍光標識は、蛍光を発する。この蛍光は、再びレンズ３により平行光となってミラー２に達する。ミラー２の第二の走査ミラーである第二反射領域２ｂで反射された光は、蛍光フィルター４に入射し、蛍光以外の光は遮断され、レンズ５によりピンホール６に集光され、ピンホールを通過した光は、受光部７に受光される。受光部７からの出力は、制御回路１６に入力され、Ａ／Ｄ変換部１９でＡ／Ｄ変換され、その強度が走査ミラーの走査角度に対応してメモリー１７に記録される。
（走査と光路分岐）
次に、図４、５、６を用いて、走査と光路分岐の関係を説明する。なお、本発明の作用・効果は、蛍光撮影であるか否かに関係しないので、図４，５，６では、蛍光フィルター４を省略して説明している。
【００１４】
光源１からの光線１ａは、光源出射口とミラー２を結ぶ光軸４０１に沿って進む。この光軸４０１とレンズ３の光軸４０２のなす角度をａ１とする。いま、ａ１＝３０°とする。この場合、ミラー２の第一反射領域２ａの法線ベクトル４０３が、光軸４０２となす角度ａ２＝１５°のとき、光軸４０１と法線ベクトル４０３のなす角度ａ３も１５°となり、光源１からの光線は光軸４０２に平行に反射される。
【００１５】
光軸４０２に平行な反射光４０４は、レンズ３の焦点位置付近に集光され、この焦点位置に配置された被写体上の位置Ｐ１にスポット光を形成する。被写体上の位置Ｐ１からの光は、再びレンズ３により平行光４０５に変換され光軸４０２に平行に進み、ミラー２へ向かう。ミラー２の第一反射領域２ａと第二反射領域２ｂとのなす角度を３０°とする。その場合、第二反射領域２ｂの法線ベクトル４０６と、レンズ３の光軸４０２のなす角度をａ４とすると、ａ４＝１５°である。これにより、戻り反射光４０５の第二反射領域２ｂによる反射光４０８と光軸４０２とのなす角度をａ５とすると、ａ５＝３０°の方向に反射される。レンズ５の光軸４０７は、レンズ３の光軸に対し３０°の角度をなすように配置されており、光軸４０７上のレンズ５の焦点位置にピンホール６と、その後方に受光部７とが配置されている。したがって、第二反射領域２ｂで３０°方向に反射された反射光４０８は、光軸４０７に平行に進みレンズ５によりピンホール６に集光され、受光部７に達することとなる。
【００１６】
次に図５に示すようにミラー２を時計周りに５°回転することにより被写体面上のスポット光を位置Ｐ２まで走査する。このとき、ミラー２の第一反射領域２ａの法線ベクトル４０３とレンズ３の光軸４０２のなす角度はａ２＝１０°になる。これにより光軸４０１と法線ベクトル４０３のなす角度はａ３＝２０°になる。したがって、第一反射領域２ａによる反射光４０４と、レンズ３の光軸４０２のなす角度はａ６＝１０°（＝ａ３−ａ２）となり、レンズ３に集光されて、被写体上の位置Ｐ２にスポットを形成する。被写体上の位置Ｐ２からの光は、レンズ３により、光軸４０２と１０°の角度をなす平行光４０５に変換され、ミラー２に向かう。このとき、ミラー２の第二反射領域２ｂの法線ベクトル４０６が、光軸４０２となす角度はａ４＝２０°である。したがって、反射光４０５と、第二反射領域２ｂの法線ベクトル４０６のなす角度はａ７＝１０°（＝ａ４−ａ６）となり、反射光４０８が、光軸４０２となす角度はａ５＝３０°（＝ａ４−（ａ６−ａ４））となる。これは、図４で説明した場合と同一であり、受光光学系のレンズ４の光軸４０７と同一の方向に反射される。これにより、図４の場合と同様にレンズ４によりピンホール６に集光され、受光部７に達する。
【００１７】
次に、図６に示すように、図４の状態に対してミラー２を反時計周りに５°回転し被写体面上でスポット光を位置Ｐ３まで走査する。このとき、ミラー２の第一反射領域２ａの法線ベクトル４０３とレンズ３の光軸４０２のなす角度はａ２＝２０°となり、光軸４０１と法線ベクトル４０３のなす角度はａ４＝１０°になる。したがって、第一反射領域２ａによる反射光４０４が、レンズ３の光軸４０２となす角度はａ６＝１０°（＝ａ２−ａ４）となる。この反射光４０４はレンズ３に集光され、被写体上の位置Ｐ３にスポットを形成する。被写体上の位置Ｐ３からの光は、レンズ３により、光軸４０２と１０°の角度をなす平行光４０５に変換され、ミラー２に向かう。このとき、第二反射領域２ｂの法線ベクトル４０６が、光軸４０２となす角度はａ４＝１０°である。したがって、被写体上の位置Ｐ３からの反射光４０５が、第二反射領域２ｂの法線ベクトル４０６となす角度はａ７＝２０°になる。これにより反射光４０８が、光軸４０２となす角度はａ５＝３０°となる。この方向は、図４、図５で説明した場合と同様、受光光学系１０２のレンズ４の光軸４０７と同一の方向である。これにより、図４の場合と同様にレンズ４によりピンホール６に集光され、受光部７に達する。
【００１８】
これは、光軸４０２を基準として反時計周りの角度を正にとると、以上説明した角度は以下の式であらわすことができる。
【００１９】
ａ５＝ａ４−（ａ６−ａ４）＝２×ａ４−ａ６
ａ６＝ａ２−（ａ１−ａ２）＝２×ａ２−ａ１
したがって
ａ５＝ａ１−２×（ａ４−ａ２）
但し、
ａ１：  光軸４０２と光軸４０１のなす角度
ａ２：  法線ベクトル４０３と光軸４０２のなす角度
ａ３：  光軸４０１と法線ベクトル４０３のなす角度
ａ４：  法線ベクトル４０６と光軸４０２のなす角度
ａ５：  反射光４０７と光軸４０２のなす角度
ａ６：  反射光４０４と光軸４０２のなす角度
以上より、第一反射領域２ａ、第二反射領域２ｂの法線ベクトルの差（ａ４−ａ２）が一定であれば、戻り光の反射方向は、ミラー２の角度によらず一定であることがわかる。
【００２０】
以上説明したように、ミラー２を回転振動させることにより、スポット光で被写体を走査することが可能になる。それとともに第一反射領域２ａの反射面に対して常に一定の角度を有する第二反射領域２ｂの反射面を用いて戻り光を反射することにより、走査角度を打ち消し、常に一定の方向に反射できる。したがって説明した場合以外の走査角度においても常に固定して配置された受光手段により受光することができる。すなわち、２つの反射領域を有するミラー２は、走査手段でありながら、光分岐手段でもある。これにより、光分岐専用の部品を設ける必要がないため、部品点数の削減、装置の小型化、及び光分岐部材による光のロスを少なくし、また有害光の発生も削減することができる。
（蛍光検出）
上述した走査を行うことにより、受光部７は、被写体の被走査領域からの蛍光を検知することができる。図７は、基板８を上面より見た図である。基板８の中には、微細な流路９ａ〜９ｊが形成され、その内部には既に増幅されたＤＮＡと、２本鎖ＤＮＡの中に入っている時のみ蛍光を発するインタカレータ式の蛍光標識が入っている。また、流路９ａ〜９ｊには、それぞれ異なる配列のＤＮＡが入っている。
【００２１】
これらＤＮＡを含んだ溶液は、図７中の矢印７０１の方向に向けて不図示の送液手段によって送液されている。さらに、これら溶液は送液されながら、図１に示した温調部１１により５５℃から、ＤＮＡの乖離温度を超えて９０℃まで加熱される。すなわち温度上昇にともない、各流路内のＤＮＡは、それぞれの特性に応じて乖離を開始し、蛍光強度は減弱する。この減弱する温度、すなわちメルティング温度を求めることによりＤＮＡの配列を求めることができる。例えば、１秒間に温度を１℃上昇する場合には、一秒間に１０回ミラー２の回転振動によりスポット光を走査することにより、０．１℃毎の蛍光強度データを得ることができる。
【００２２】
照明光により形成されたスポット光は、図７に符号７０２で示した線分上を、位置Ｐ２から位置Ｐ３までの間を走査される。温度は不図示の既知の手段で検知しているため、各流路９ａ〜９ｊ毎に温度に応じた蛍光強度を検出することができる。また送液しながら蛍光強度を検出するため励起光による褪色の影響を回避でき、正確な蛍光強度を検出できる。これにより各流路９ａ〜９ｊのＤＮＡが乖離する温度すなわちメルティング温度を求めることができる。
（第２の実施形態）
（マイクロミラー）
以上説明した装置においては、角度の異なる反射面を有するミラーを回転振動しスポット光を走査する実施形態について説明したが、マイクロミラーをアレイ状に配列したマイクロミラーアレイを用いてもよい。マイクロミラーは、一般的に良く知られたものであり、不図示のヒンジを軸として外部より個々のミラーの角度調整が可能に構成されている。
【００２３】
図８は、マイクロミラーアレイを用いて、本発明の検出装置を構成した例であり、図９は、マイクロミラーによる反射の様子を説明する図である。図９の符号８０１から符号８０９は、マイクロミラーアレイ２１の個々のマイクロミラーを示す。実際には、マイクロミラーアレイ２１は、縦横３００から１０００列程度と数多くのマイクロミラーにより構成されるが、ここでは、一方向に並んだ９枚のミラーを使って説明する。このミラーのうち、中央部のミラー８０４〜８０６は、前述した第１の実施形態のミラー２の第一反射領域２ａに相当する第一反射領域２１ａであり、ミラー８０１〜８０３、８０７〜８０９は、ミラー２の第二反射領域２ｂに相当する第二反射領域２１ｂである。第二反射領域２１ｂは第一反射領域２ａの周囲に形成されている。第一反射領域２１ａを構成するミラー８０４〜８０６は、常に各々の反射面を互いに平行に保ったまま同一の各速度で回転走査される。すなわちどのミラーも光線を同一方向に反射する。第二反射領域２１ｂを構成するミラー８０１〜８０３、８０７〜８０９も常に各々の反射面を互いに平行に保った状態で同一の各速度で回転走査される。
【００２４】
すなわち、光源１からの光線１ａは、光軸４０１上を進み、第一反射領域２１ａのミラー８０４〜８０６で反射され、その反射光４０４は、被写体方向に向かう。第１の実施形態と同様に、ミラー８０４〜８０６の法線ベクトル４０３が光軸４０２となす角度を１５°とすると、反射光４０４は、レンズ３の光軸４０２と平行に反射され、被写体の位置Ｐ１にスポットを形成する。そして、図８に破線で示した被写体上の位置Ｐ１からの反射光４０５は、第１の実施形態と同様に、光軸４０２と平行に戻り、第二反射領域２１ｂに向かう。第二反射領域のミラーの法線ベクトル４０６は、第１の実施形態と同様に光軸４０２とのなす角度は１５°である。これにより第１の実施形態と同様に反射光４０８は、光軸４０７に平行に反射されレンズ５によりピンホール６に結像され受光部７に向かう。
【００２５】
図１０は、これらマイクロミラーデバイスを用いて被写体の位置Ｐ２までスポットを走査する場合の図である。このときのマイクロミラーの拡大図を図１１に示す。このとき、すべてのミラー２１の反射面は、図８及び図９で示した角度に対して時計周りに５°回転している。これにより第１の実施形態と同様に、第一反射領域２１ａで反射された反射光４０４が、光軸４０２となす角度は１０°となり、レンズ３により被写体上の位置Ｐ２にスポット光を形成する。そして、位置Ｐ２からの光は、第１の実施形態と同様に、レンズ３により反射光４０４と平行な平行光４０５になりミラー２１に向かう。ミラー２１の第二反射領域２１ｂのミラー８０１〜８０３とミラー８０７〜８０９の、法線ベクトル４０６が、光軸４０２と２０°の角度をなすため、反射光４０８は、光軸４０２と３０°の角度をなす方向に反射される。すなわち、これはレンズ５の光軸４０７と平行な方向であり、レンズ４で集光され、ピンホール６を介して受光部７に達する。
【００２６】
第１の実施形態において数式を用いて説明したように、反射光４０８の反射方向は、第一反射領域２ａと第二反射領域２ｂの法線ベクトルの角度差のみに依存し、ミラーの走査角度に因らずに一定である。このため上記説明した角度のみならず走査中の全ての角度において常に固定して配置された受光光学系で受光可能である。したがって、マイクロミラーにより光線走査と光路分岐を行うことができる。
【００２７】
第１の実施形態においては、異なる角度をなす二つの反射領域を有するミラーを回転振動することにより、光の走査及び投影光と戻り光の分岐をおこなった。これに対して本実施形態は、マイクロミラーアレイ２１上のマイクロミラーの角度を制御したが、第１の実施形態と同様の効果が得られる。この場合マイクロミラーは、高速な回転振動が可能であり、走査時間を短縮できるという特徴がある。
（第３の実施形態）
上述した各実施形態においては、一方向に回転振動可能なミラーを用いてスポット光を１次元方向に走査したが、二次元方向に走査することにより二次元の情報を得ることができる。図１２は、２次元走査可能なミラーに適用した例であり、ミラー２２は、２つのヒンジ２２０１、２２０２によりミラー枠２３に支持されている。ミラー２２は、このヒンジを回転軸として回転振動可能である。ミラー２２には、第１の実施形態で示した構成のミラー２を用いることができる。ミラー枠２３は、不図示の部材にヒンジ２２０３、２２０４で支持されている。ミラー枠２３は、ミラー２２とともにこのヒンジ２２０３、２２０４を回転軸として回転振動可能である。またミラー２２には、第１の実施形態と同様に、第一反射領域２２ａ、第二反射領域２２ｂが、所定角度をなして形成されている。このヒンジ２２０１、２２０２を軸とする回転振動で主走査を行い、ヒンジ２２０３、２２０４を回転軸とする回転振動により副走査を行うことによりスポット光を二次元方向に走査可能である。
【００２８】
ミラー２２には、第１の実施形態で示したミラー２に代えて、マイクロミラーを配置し、マイクロミラーアレイ２１全体を傾斜可能なステージに配置するものであってもよい。この場合、マイクロミラーを個々に回転振動することにより主走査を行い、マイクロミラーアレイ２１全体の傾斜により副走査を行うことにより同様に２次元走査が可能である。
【００２９】
本発明によれば、被写体の画像を撮像することが可能である。このような構成でＤＮＡチップの蛍光画像を撮影する撮像装置の一例を図１３に示す。図１３の配置においては、光源１の光軸とレンズ４の光軸は同一平面内であり、それぞれ、レンズ３の光軸とは９０°の角度をなしている。これまでの説明においては、光線走査角度の説明を容易にするため光学系を平面内に配置した図を用いた。しかしこのような配置にすると、光源の光軸４０１と光軸４０７のなす角度が大きくなり、第一反射領域２１ａ、第二反射領域２１ｂのなす角度が大きくなる。一方、図１３の配置では、光源１の光軸とレンズ４の光軸を近接して配置できるため、装置全体を小型化することができる。またこれにより第一反射領域２１ａと第二反射領域２１ｂのなす角度を小さくすることができる。図１３において、マイクロミラーアレイ２１は、回転ステージ２２に支持されており、モータ２３により回転振動される。符号２４はＤＮＡチップであり、ＤＮＡプローブには蛍光標識が結合している。モータ２３によりミラー２１を回転振動することにより副走査が可能になりＤＮＡチップの蛍光強度に関する２次元的な情報を得て、蛍光画像を生成することができる。
【００３０】
以上、本発明によれば、光路走査手段と光路分岐手段を一つの部品で構成することができるため、小型化・低価格化が可能になる。さらには、光学部品が減るため、光のロス及び、散乱光等の有害光を低減でき、撮像感度を向上することができる。
【００３１】
なお、本発明の実施形態は、以上説明したように、蛍光強度の検出の例を用いて説明したが、蛍光フィルターを取り外せば、被写体の反射像が得られることからも判るように、一般の走査型撮像装置に適用した場合にも作用効果が変わらないことは言うまでもない。また、上述の説明においては、本発明の光検出装置は検査対象をＤＮＡとして説明したが、本発明の光検出装置の検査対象はこれに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施形態における光検出装置の概略を示す模式図である。
【図２】本発明の第１の実施形態のミラーの平面図である。
【図３】図２に示すミラーの側面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態のミラーによる光線走査を説明する図である。
【図５】図４の状態からミラーを時計回りに５°回転させた状態でのミラーによる光線走査を説明する図である。
【図６】図４の状態からミラーを反時計回りに５°回転させた状態でのミラーによる光線走査を説明する図である。
【図７】本発明の第１の実施形態における流路基板の平面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態におけるマイクロミラーによる光線走査を説明する図である。
【図９】マイクロミラーによる反射の様子を説明する図である。
【図１０】マイクロミラーの反射面を図８で示した角度に対して時計周りに５°回転させた状態の光線走査を説明する図である。
【図１１】マイクロミラーの反射面を図８で示した角度に対して時計周りに５°回転させた状態のマイクロミラーによる反射の様子を説明する図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態における２次元走査ミラーの模式図である。
【図１３】本発明を適用した撮像装置の一例の模式的な斜視図である。
【符号の説明】
【００３３】
１    光源
２    ミラー
２ａ    第一反射領域
２ｂ    第二反射領域
１０４    走査機構制御系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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