(57)【要約】【課題】圧力室において発生した圧力波が他の圧力室に伝播してしまうのを防止する。【解決手段】圧力室１０は、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５によって形成される接続流路を介してマニホールド流路１１と接続されている。絞り流路１３は、圧力室１０に連通する貫通孔１２からノズル１７に向かって走査方向に延びている。走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有していることにより、流路軸方向と直交する方向に関する断面積が、接続流路の他の部分よりも大きくなっている。また、絞り流路１３及び圧力波減衰空間１４は、これらの延在方向である走査方向に関する貫通孔１２と反対側の端部同士が接続され、これにより、接続流路は、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において折れ曲がった形状となっている。【選択図】図３
2010023385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力室と、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室とをそれぞれ接続する複数の接続流路とを有しており、これらの室及び流路となりえる孔が設けられたプレートを含む複数のプレートを互いに積層することによって形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段とを備えており、
前記複数の接続流路は、それぞれ、
その途中に設けられており、前記複数の接続流路における他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった、前記接続流路内を伝播する圧力波を減衰させるための圧力波減衰空間と、
前記圧力波減衰空間と前記圧力室とを接続する圧力室側流路と、
前記圧力波減衰空間と前記共通液室とを接続する共通液室側流路から構成されていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記複数のプレートが、
前記複数の圧力室が形成された圧力室プレートと、
前記共通液室が形成された共通液室プレートと、
前記圧力室プレートと前記共通液室プレートとの間に積層された２以上のプレートとを含んでおり、
前記複数の接続流路が、前記２以上のプレートに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記複数の接続流路が、前記複数のプレートの積層方向から見て、前記複数の圧力室及び前記共通液室の少なくともいずれか一方に重なる部分に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記複数の接続流路が、前記圧力波減衰空間と前記圧力室側流路との接続部分において折れ曲がっていることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体移送装置。
【請求項５】
前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路における少なくとも前記圧力波減衰空間との接続部分近傍の部分が、ともに前記複数のプレートの面方向に平行な所定の一方向に延びており、
前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路の前記所定の一方向に延びた部分の、前記所定の一方向に関する同じ側の端部同士が接続されていることを特徴とする請求項４に記載の液体移送装置。
【請求項６】
前記圧力室側流路が、その途中で分岐しており、
前記圧力室側流路の分岐した部分が、それぞれ、前記圧力波減衰空間の互いに異なる部分に接続されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の液体移送装置。
【請求項７】
前記圧力波減衰空間が、
前記２以上のプレートのうち前記共通液室プレートに接合されるプレートの前記圧力室側の面における、前記複数のプレートの積層方向から見て前記共通液室と重なる部分に形成された凹部によって形成されていることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の液体移送装置。
【請求項８】
複数の圧力室と、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室とをそれぞれ接続する複数の接続流路とを有する流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段とを備えており、
前記複数の接続流路は、それぞれ、
その途中に設けられており、前記複数の接続流路における他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった、前記接続流路内を伝播する圧力波を減衰させるための圧力波減衰空間と、
前記圧力波減衰空間と前記圧力室とを接続する圧力室側流路と、
前記圧力波減衰空間と前記共通液室とを接続する共通液室側流路とから構成されているとともに、
前記圧力波減衰空間と前記圧力室側流路との接続部分において折れ曲がっていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項９】
前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路における少なくとも前記圧力波減衰空間との接続部分近傍の部分が、ともに前記複数のプレートの面方向に平行な所定の一方向に延びており、
前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路の前記所定の一方向に延びた部分の、前記所定の一方向に関する同じ側の端部同士が接続されていることを特徴とする請求項８に記載の液体移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を移送する液体移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の液滴噴射装置は、マニホールド流路（共通液室）から圧力室を経てノズルに至るインク流路が形成された流路ユニットと、圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、圧電アクチュエータにより圧力室内のインクに圧力を付与すると、圧力室に連通するノズルからインクが吐出される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−８０７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１に記載の液滴噴射装置においては、圧力室内のインクに圧力を付与したときに圧力波が発生し、この圧力波がマニホールド流路に伝播するが、液滴噴射装置の小型化のためにマニホールド流路を小さくしている場合などには、圧力波がマニホールド流路において十分に減衰されず、他の圧力室に伝播して、当該他の圧力室に連通するノズルからのインクの吐出特性（液体の移送特性）が変動してしまう虞がある。
【０００５】
本発明の目的は、圧力波によって液体の移送特性が変動してしまうのを防止することが可能な液体移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明に係る液体移送装置は、複数の圧力室と、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室とをそれぞれ接続する複数の接続流路とを有しており、これらの室及び流路となりえる孔が設けられたプレートを含む複数のプレートを互いに積層することによって形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段とを備えており、前記複数の接続流路は、それぞれ、その途中に設けられており、前記複数の接続流路における他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった、前記接続流路内を伝播する圧力波を減衰させるための圧力波減衰空間と、前記圧力波減衰空間と前記圧力室とを接続する圧力室側流路と、前記圧力波減衰空間と前記共通液室とを接続する共通液室側流路とから構成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
これによると、接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間が設けられているため、接続流路を伝播する圧力波は、圧力波減衰空間によって減衰された上で共通液室に伝播し、共通液室においてさらに減衰される。これにより、圧力波が、共通液室を介して他の圧力室に伝播してしまうのが防止される。
【０００８】
第２の発明に係る液体移送装置は、第１の発明に係る液体移送装置において、前記複数のプレートが、前記複数の圧力室が形成された圧力室プレートと、前記共通液室が形成された共通液室プレートと、前記圧力室プレートと前記共通液室プレートとの間に積層された２以上のプレートとを含んでおり、前記複数の接続流路が、前記２以上のプレートに形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
これによると、圧力室プレートと共通液室プレートとの間に配置される２以上のプレートに、圧力波減衰空間を含めた接続流路となる孔などを形成するとともに、これら２以上のプレートを圧力室プレート及び共通液室プレートと積層させることにより、これら２以上のプレートに圧力波減衰空間を含めた接続流路を容易に形成することができる。
【００１０】
第３の発明に係る液体移送装置は、第２の発明に係る液体移送装置において、前記複数の接続流路が、前記複数のプレートの積層方向から見て、前記複数の圧力室及び前記共通液室の少なくともいずれか一方に重なる部分に配置されていることを特徴とするものである。
【００１１】
これによると、接続流路が、複数のプレートの積層方向から見て、圧力室及び共通液室の少なくともいずれか一方に重なる部分に配置されているので、接続流路を形成するためにプレートを大きくする必要がなく、その結果、液体移送装置が大型化してしまうことがない。
【００１２】
第４の発明に係る液体移送装置は、第２又は第３の発明に係る液体移送装置において、前記複数の接続流路が、前記圧力波減衰空間と前記圧力室側流路との接続部分において折れ曲がっていることを特徴とするものである。
【００１３】
これによると、接続流路を圧力室側から圧力波減衰空間に向かって伝播してきた圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において反射して圧力波減衰空間の全域に広がるように伝播する。これにより、圧力波減衰空間において、圧力波が効率よく減衰される。
【００１４】
第５の発明に係る液体移送装置は、第４の発明に係る液体移送装置において、前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路における少なくとも前記圧力波減衰空間との接続部分近傍の部分が、ともに前記複数のプレートの面方向に平行な所定の一方向に延びており、前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路の前記所定の一方向に延びた部分の、前記所定の一方向に関する同じ側の端部同士が接続されていることを特徴とするものである。
【００１５】
これによると、接続流路を、圧力波減衰空間、及び、圧力室側流路の少なくとも圧力波減衰空間との接続部分近傍の部分が、ともに所定の一方向に延びているとともに、圧力波減衰空間、及び、圧力室側流路の所定の一方向に延びた部分の、所定の一方向に関する同じ側の端部同士が接続された構成とすることにより、接続流路が、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部で折れ曲がった構造となるため、接続流路を圧力室側から圧力波減衰空間に向かって伝播してきた圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において反射して圧力波減衰空間の全域に伝播する。これにより、圧力波減衰空間において、圧力波が効率よく減衰される。
【００１６】
また、圧力室側流路の所定の一方向に延びた部分を伝播する圧力波の伝播方向と、圧力波減衰空間内を伝播する圧力波の伝播方向とが、ほぼ反対方向になるため、圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において確実に反射して圧力波減衰空間の全域に広がる。
【００１７】
第６の発明に係る液体移送装置は、第２〜第５の発明に係る液体移送装置において、前記圧力室側流路が、その途中で分岐しており、前記圧力室側流路の分岐した部分が、それぞれ、前記圧力波減衰空間の互いに異なる部分に接続されていることを特徴とするものである。
【００１８】
これによると、圧力室側流路から圧力波減衰空間に向かって伝播する圧力波は、圧力室側流路の分岐した部分から、圧力波減衰空間の互いに異なる部分に伝播するため、圧力波は、圧力波減衰空間の全域に広がり、効率よく減衰される。
【００１９】
第７の発明に係る液体移送装置は、第２〜第６の発明に係る液体移送装置において、前記圧力波減衰空間が、前記２以上のプレートのうち前記共通液室プレートに接合されるプレートの前記圧力室側の面における、前記複数のプレートの積層方向から見て前記共通液室と重なる部分に形成された凹部によって形成されていることを特徴とするものである。
【００２０】
これによると、共通液室プレートの圧力室プレート側の表面に積層されたプレートの凹部が形成されてその厚みが薄くなった部分が共通液室の壁となり、この共通液室の壁となる部分が変形することにより、共通液室内においても圧力波が効率よく減衰される。
【００２１】
第８の発明に係る液体移送装置は、複数の圧力室と、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室と、前記複数の圧力室と前記共通液室とをそれぞれ接続する複数の接続流路とを有する流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段とを備えており、前記複数の接続流路は、それぞれ、その途中に設けられており、前記複数の接続流路における他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった、前記接続流路内を伝播する圧力波を減衰させるための圧力波減衰空間と、前記圧力波減衰空間と前記圧力室とを接続する圧力室側流路と、前記圧力波減衰空間と前記共通液室とを接続する共通液室側流路とから構成されているとともに、前記圧力波減衰空間と前記圧力室側流路との接続部分において折れ曲がっていることを特徴とするものである。
【００２２】
これによると、接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間が設けられているため、接続流路を伝播する圧力波は、圧力波減衰空間によって減衰された上で共通液室に伝播し、共通液室においてさらに減衰される。これにより、圧力波が、共通液室を介して他の圧力室に伝播してしまうのが防止される。
【００２３】
さらに、このとき、接続流路を圧力室側から圧力波減衰空間に向かって伝播してきた圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において反射して圧力波減衰空間の全域に広がるように伝播するため、圧力波減衰空間において、圧力波が効率よく減衰される。
【００２４】
第９の発明に係る液体移送装置は、第８の発明に係る液体移送装置において、前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路における少なくとも前記圧力波減衰空間との接続部分近傍の部分が、ともに前記複数のプレートの面方向に平行な所定の一方向に延びており、前記圧力波減衰空間、及び、前記圧力室側流路の前記所定の一方向に延びた部分の、前記所定の一方向に関する同じ側の端部同士が接続されていることを特徴とするものである。
【００２５】
これによると、接続流路を、圧力波減衰空間、及び、圧力室側流路の少なくとも圧力波減衰空間との接続部分近傍の部分が、ともに所定の一方向に延びているとともに、圧力波減衰空間、及び、圧力室側流路の所定の一方向に延びた部分の、所定の一方向に関する同じ側の端部同士が接続された構成とすることにより、接続流路が、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部で折れ曲がった構造となるため、接続流路を圧力室側から圧力波減衰空間に向かって伝播してきた圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において反射して圧力波減衰空間の全域に伝播する。これにより、圧力波減衰空間において、圧力波が効率よく減衰される。
【００２６】
また、圧力室側流路の所定の一方向に延びた部分を伝播する圧力波の伝播方向と、圧力波減衰空間内を伝播する圧力波の伝播方向とが、ほぼ反対方向になるため、圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において確実に反射して圧力波減衰空間の全域に広がる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりもその流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間が設けられているため、接続流路を伝播する圧力波は、圧力波減衰空間によって減衰され、圧力波が共通液室を介して他の圧力室に伝播してしまうのが防止される。
【００２８】
また、本発明によれば、接続流路を圧力室側から圧力波減衰空間に向かって伝播してきた圧力波は、圧力室側流路と圧力波減衰空間との接続部分において反射して圧力波減衰空間の全域に広がるように伝播する。これにより、圧力波減衰空間において、圧力波が効率よく減衰される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００３０】
図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置）、搬送ローラ４などを備えている。
【００３１】
キャリッジ２は走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、その下面に形成されたノズル１７（図２参照）からインクを吐出する。搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１７から、記録用紙Ｐにインクが吐出されることにより、記録用紙Ｐに印刷が行われる。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、搬送ローラ４によって紙送り方向に排出される。
【００３２】
次に、インクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の平面図である。図３は図２の部分拡大図である。図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、後述する圧力室１０などのインク流路が形成された流路ユニット３１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ３２（圧力付与手段）とを備えている。
【００３３】
流路ユニット３１は、キャビティプレート２１（圧力室プレート）、アパーチャプレート２２、ベースプレート２３、２枚のマニホールドプレート２４、２５（共通液室プレート）、ダンパプレート２６、サプライプレート２７及びノズルプレート２８が互いに積層されることによって構成されている。なお、これら８枚のプレート２１〜２８のうち、ノズルプレート２８を除く７枚のプレート２１〜２７は、ステンレスなどの金属材料によって構成されており、ノズルプレート２８は、ポリイミド等の合成樹脂材料によって構成されている。あるいは、ノズルプレート２８も他のプレート２１〜２７と同様、金属材料によって構成されていてもよい。
【００３４】
キャビティプレート２１には、複数の圧力室１０となる貫通孔が形成されている。圧力室１０は、走査方向（図４の左右方向）を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。そして、複数の圧力室１０は、紙送り方向（図４の上下方向）に配列されることにより圧力室列を形成しているとともに、このような圧力室列が走査方向に２列に配列されている。
【００３５】
アパーチャプレート２２には、貫通孔１２が形成されているとともに、その下面に、絞り流路１３及び圧力波減衰空間１４となる凹部が形成されている。貫通孔１２は、平面視で圧力室１０の長手方向に関する一方の端部と重なる部分に形成されている。絞り流路１３は、平面視で、圧力室１０の紙送り方向に関する略中央部と重なる部分を、貫通孔１２から圧力室１０の長手方向の略中央部よりもやや貫通孔１２と反対側の部分と重なる部分まで走査方向（所定の一方向）に延びている。
【００３６】
そして、貫通孔１２及び絞り流路１３がこのような形状となっていることにより、貫通孔１２の鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積、及び、絞り流路１３の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積は、圧力室１０の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている。ここで、流路軸方向とは、流路内においてインクの主流が流れる方向のことである。なお、貫通孔１２及び絞り流路１３が本発明に係る圧力室側流路に相当する。
【００３７】
圧力波減衰空間１４は、図２における絞り流路１３の上方に隣接するように配置されている。圧力波減衰空間１４は、走査方向に関する長さが圧力室１０よりも短い、走査方向を長手方向とする（走査方向（所定の一方向）に延びた）略楕円の平面形状を有している。圧力波減衰空間１４がこのような形状となっていることにより、圧力波減衰空間１４の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、貫通孔１２及び絞り流路１３の流路軸方向と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。
【００３８】
そして、走査方向に延びた絞り流路１３（圧力室側流路の少なくとも圧力波減衰空間１４との接続部分近傍の部分）の走査方向に関する貫通孔１２と反対側の端部と、同じく走査方向に延びた圧力波減衰空間１４の走査方向に関する貫通孔１２と反対側の図３における下端部とが（絞り流路１３及び圧力波減衰空間１４の所定の一方向に関する同じ側の端部が）、互いに接続されている。
【００３９】
なお、本実施の形態では、アパーチャプレート２２に、貫通孔１２、絞り流路１３及び圧力波減衰空間１４が形成されているが、貫通孔１２及び絞り流路１３の流路軸方向と直交する方向に関する断面積が比較的小さくなっているため、アパーチャプレート２２には、流路軸方向と直交する方向に関する断面積が比較的大きい圧力波減衰空間１４を形成するスペースが十分にある。
【００４０】
ベースプレート２３には、平面視で圧力波減衰空間１４の図２における右上端部と重なる部分に、貫通孔１５（共通液室側流路）が形成されており、貫通孔１５の鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、圧力波減衰空間１４の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている。なお、本実施の形態においては、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５をあわせた流路が、本発明に係る接続流路に相当する。
【００４１】
すなわち、接続流路は、圧力波減衰空間１４において、流路軸方向と直交する方向に関する断面積が、他の部分よりも大きくなっている。また、この接続流路においては、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４とが上述したように配置されることにより、絞り流路１３と圧力波減衰空間との接続部分において折れ曲がっている。
【００４２】
マニホールドプレート２４、２５には、それぞれ、貫通孔２４ａ、２５ａが形成されており、貫通孔２４ａと貫通孔２５ａとが重なることでマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、図２の右側の圧力室列を構成する圧力室１０の左端部を除いた部分、及び、図２の左側の圧力室列を構成する圧力室１０の右端部を除いた部分にそれぞれ重なるように、上述の圧力室列に沿って紙送り方向に２列に延びている。また、マニホールド流路１１は、図２における下端部において、上記２列に延びた部分同士が、互いに接続されている。なお、マニホールド流路１１には、平面視で、マニホールド流路１１の下端部と重なる部分に形成されたインク供給流路９からインクが供給される。
【００４３】
ここで、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する本発明に係る接続流路である、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５は全て、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート２２、２３（２以上のプレート）における、平面視でマニホールド流路１１及び圧力室１０と重なる部分に配置されている。これにより、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５によって流路ユニット３１（インクジェットヘッド３）がその面方向に大きくなってしまうことがなく（接続流路を形成するためにプレートを大きくする必要がなく）、その結果、インクジェットヘッド３が大型化してしまうことがない。
【００４４】
また、プレート２２、２３に、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート２２、２３をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート２２、２３に接続流路（貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５）を容易に形成することができる。
【００４５】
ダンパプレート２６には、その下面における平面視でマニホールド流路１１と重なる部分に凹部１８が形成されている。これにより、ダンパプレート２６は、平面視でマニホールド流路１１と重なる部分において厚みが薄くなり、ダンパプレート２６のこの厚みが薄くなった部分が変形することにより、後述する圧力波が減衰される。
【００４６】
サプライプレート２７は、ダンパプレート２６に形成された凹部１８の開口を塞いでいる。また、アパーチャプレート２２、ベースプレート２３、マニホールドプレート２４、２５、ダンパプレート２６及びサプライプレート２７における平面視で圧力室１０の長手方向に関する貫通孔１２と反対側の端部と重なる部分には、それぞれ、ディセンダ流路１６を形成する貫通孔が形成されている。ノズルプレート２８には、平面視でディセンダ流路１６と重なる部分にノズル１７が形成されている。
【００４７】
そして、流路ユニット３１においては、マニホールド流路１１が貫通孔１５、圧力波減衰空間１４、絞り流路１３及び貫通孔１２を介して圧力室１０に連通しており、圧力室１０がディセンダ流路１６を介してノズル１７に連通している。このように、流路ユニット３１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１７に至る複数の個別インク流路が形成されている。
【００４８】
圧電アクチュエータ３２は、振動板４１、圧電層４２及び複数の個別電極４３を有している。振動板４１は、金属などの導電性を有する材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、キャビティプレート２１の上面に配置されており、キャビティプレート２１の上面に接合されている。また、導電性を有する振動板４１は個別電極４３との間に圧電層４２を挟む共通電極を兼ねており、常にグランド電位に保持されている。
【００４９】
圧電層４２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、振動板４１の上面に複数の圧力室１０にまたがって連続的に配置されている。また、圧電層４２は個別電極４３と振動板４１とに挟まれた部分がその厚み方向に分極されている。
【００５０】
複数の個別電極４３は、複数の圧力室１０に対応して設けられている。個別電極４３は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、圧力室１０の略中央部と重なる部分に配置されている。また、個別電極４３の長手方向に関するノズル１７と反対側の端部は走査方向に圧力室１０及びマニホールド流路１１と対向しない部分まで延びており、その先端部が接続端子４３ａとなっている。そして、接続端子４３ａは、図示しないフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）の配線を介して図示しないドライバＩＣに接続されており、ドライバＩＣにより個別電極４３に駆動電位が付与される。
【００５１】
ここで、圧電アクチュエータ３２の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ３２においては、予め、共通電極としての振動板４１及び複数の個別電極４３がともにグランド電位に保持されている。そして、図示しないドライバＩＣにより、複数の個別電極４３のいずれかに駆動電位が付与されると、駆動電位が付与された個別電極４３と振動板４１との間に電位差が生じ、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分には、その厚み方向の電界が発生する。この電界の方向は、圧電層４２の分極方向と一致しているため、圧電層４２のこの部分は、その厚み方向と直交する水平方向に収縮し、振動板４１及び圧電層４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。これにより、圧力室１０の容積が減少して、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１７からインクが吐出される。
【００５２】
このとき、圧力室１０内のインク圧力上昇により、圧力室１０内に圧力波が発生する。そして、この圧力波は、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５を介してマニホールド流路１１に伝播する。
【００５３】
ここで、本実施の形態とは異なり、圧力波減衰空間１４が設けられていないと、圧力室１０内で発生した圧力波は、十分に減衰されずにマニホールド流路１１に伝播するため、マニホールド流路１１において圧力波を十分に減衰させることができず、圧力波がさらに他の圧力室１０まで伝播してしまい、当該他の圧力室１０に連通するノズル１７からのインクの吐出特性が変動してしまう虞がある。
【００５４】
しかしながら、本実施の形態では、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間１４が設けられているため、圧力室１０内で発生した圧力波は、圧力波減衰空間１４において減衰された上で、マニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１内においてさらに減衰される。これにより、圧力波がマニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【００５５】
さらに、本実施の形態では、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路が、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において折れ曲がっているため、圧力室１０側から圧力波減衰空間１４に伝播する圧力波は、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において反射し、圧力波減衰空間１４の全域に広がるように伝播する。これにより、圧力波は圧力波減衰空間１４において効果的に減衰される。
【００５６】
このとき、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４とが平行であり、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４の走査方向に関する同じ側の端部同士が接続された構成となっているため、絞り流路１３における圧力波の伝播方向と、圧力波減衰空間１４における圧力波の伝播方向とはほぼ反対方向となり、両者の接続部分において反射した圧力波は、確実に圧力波減衰空間１４の全域に広がるように伝播する。
【００５７】
以上に説明した実施の形態によると、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間１４が設けられているため、圧力室１０内で発生した圧力波は、圧力波減衰空間１４において減衰された上で、マニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１内においてさらに減衰される。したがって、圧力波がマニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【００５８】
さらに、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路が、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において折れ曲がっているため、圧力室１０側から圧力波減衰空間１４に伝播する圧力波は、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において反射し、圧力波減衰空間１４の全域に広がるように伝播する。これにより、圧力波は圧力波減衰空間１４において効果的に減衰される。
【００５９】
このとき、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４とが平行であり、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４の走査方向に関する同じ側の端部同士が接続された構成となっているため、絞り流路１３における圧力波の伝播方向と、圧力波減衰空間１４における圧力波の伝播方向とはほぼ反対方向となり、両者の接続部分において反射した圧力波は、確実に圧力波減衰空間１４の全域に広がるように伝播する。
【００６０】
また、本実施の形態では、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路である貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５が、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたアパーチャプレート２２及びベースプレート２３の、平面視で圧力室１０及びマニホールド流路１１と重なる部分に形成されているので、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５が形成されることによって、プレートがその面方向に大きくなることがなく、その結果、インクジェットヘッド３が大型化してしまうことがない。
【００６１】
また、プレート２２、２３に、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート２２、２３をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート２２、２３に接続流路（貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間１４及び貫通孔１５）を容易に形成することができる。
【００６２】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００６３】
一変形例では、図５に示すように、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に、アパーチャプレート２２（図４参照）及びベースプレート２３（図４参照）の代わりに、プレート５１、５２が積層されている。プレート５１には、平面視で圧力室１０のノズル１７と反対側の端部と重なる部分に貫通孔５３が形成されている。
【００６４】
マニホールドプレート２４の上面に接合されるプレート５２には、その上面（圧力室１０側の面）に絞り流路５４及び圧力波減衰空間５５となる凹部５２ａが形成されているとともに、貫通孔５６（共通液室側流路）が形成されている。絞り流路５４及び圧力波減衰空間５５は、それぞれ、絞り流路１３（図４参照）及び圧力波減衰空間１４（図４参照）と同様の平面形状を有しているとともに、平面視で、絞り流路１３及び圧力波減衰空間１４と同様の位置に配置されている。これにより、絞り流路５４及び圧力波減衰空間５５となる凹部５２ａは、平面視でマニホールド流路１１と重なる部分に位置している。貫通孔６５は、プレート５２の平面視で貫通孔１５（図４参照）と同様の位置に形成されている（変形例１）。
【００６５】
なお、この場合には、貫通孔５３、絞り流路５４、圧力波減衰空間５５及び貫通孔５６が本発明に係る接続流路に相当し、貫通孔５３及び絞り流路５４が本発明に係る圧力室側流路に相当する。
【００６６】
この場合でも、上述の実施の形態と同様、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間５５が設けられているため、圧力室１０において発生した圧力波は、圧力波減衰空間５５において減衰された上でマニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１においてさらに減衰される。したがって、圧力波が、マニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【００６７】
また、この場合にも、接続流路が絞り流路５４と圧力波減衰空間５５との接続部分において折れ曲がっているので、圧力室１０側から圧力波減衰空間５５に伝播した圧力波は、絞り流路５４と圧力波減衰空間５５との接続部分において反射して圧力波減衰空間５５の全域に広がるように伝播するため、圧力波減衰空間５５において圧力波を効率よく減衰させることができる。
【００６８】
さらに、このとき、絞り流路５４及び圧力波減衰空間５５がともに走査方向に延びており、両者の走査方向に関する同じ側の端部同士が接続されているため、絞り流路５４における圧力波の伝播方向と圧力波減衰空間５５における圧力波の伝播方向とがほぼ反対方向となり、両者の接続部分において反射した圧力波は、確実に圧力波減衰空間５５の全域に広がる。
【００６９】
また、この場合にも、貫通孔５３、絞り流路５４、圧力波減衰空間５５及び貫通孔５６が、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート５１、５２における平面視で圧力室１０及びマニホールド流路１１と重なる部分に配置されているため、貫通孔５３、絞り流路５４及び圧力波減衰空間５５が形成されることによって、プレートがその面方向に大きくなることがなく、その結果、インクジェットヘッドが大型化してしまうことがない。
【００７０】
また、プレート５１、５２に、貫通孔５３、絞り流路５４、圧力波減衰空間５５及び貫通孔５６となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート５１、５２をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート５１、５２に接続流路（貫通孔５３、絞り流路５４、圧力波減衰空間５５及び貫通孔５６）を容易に形成することができる。
【００７１】
さらに、この場合には、プレート５２の、絞り流路５４及び圧力波減衰空間５５となる凹部５２ａが形成されることによって厚みが薄くなった部分が、マニホールド流路１１の上面を形成しているため、ダンパプレート２６の凹部１８が形成されて厚みが薄くなった部分の変形に加え、プレート５２の凹部５２ａが形成されて厚みが薄くなった部分の変形によってもマニホールド流路１１内の圧力波が減衰される。これにより、マニホールド流路１１内においてさらに効率よく圧力波を減衰させることができる。
【００７２】
別の一変形例では、図６に示すように、アパーチャプレート２２には、上述の実施の形態と同様の貫通孔１２及び凹部２２ａが形成されているが、上述の実施の形態とは異なり、凹部２２ａは絞り流路１３と、圧力波減衰空間６２の上端部とを形成している。ベースプレート２３の上面には、平面視で貫通孔６１と重なる部分に、圧力波減衰空間６０の上端部を除いた部分を形成する凹部２３ａが形成されている。そして、凹部２２ａと凹部２３ａとが重なることにより、平面視で圧力波減衰空間１４（図３参照）と同様の位置に、圧力波減衰空間１４よりも高さの高い圧力波減衰空間６２が形成されている。また、ベースプレート２３には、平面視で貫通孔１５（図４参照）と同様の位置に、貫通孔６３（共通液室側流路）が形成されている（変形例２）。
【００７３】
この場合でも、上述の実施の形態と同様、圧力室１０において発生した圧力波は、圧力波減衰空間６２において減衰された上でマニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１においてさらに減衰されるため、圧力波がマニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【００７４】
また、この場合にも、接続流路が絞り流路１３と圧力波減衰空間６２との接続部分において折れ曲がっているので、圧力室１０側から圧力波減衰空間６２に伝播した圧力波は、絞り流路１３と圧力波減衰空間６２との接続部分において反射して圧力波減衰空間６２の全域に広がるように伝播するため、圧力波減衰空間６２において圧力波を効率よく減衰させることができる。
【００７５】
さらに、このとき、絞り流路１３及び圧力波減衰空間６２がともに走査方向に延びており、両者の走査方向に関する同じ側の端部同士が接続されているため、絞り流路１３における圧力波の伝播方向と圧力波減衰空間６２における圧力波の伝播方向とがほぼ反対方向となり、両者の接続部分において反射した圧力波は、確実に圧力波減衰空間６２の全域に広がる。
【００７６】
また、この場合にも、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間６２及び貫通孔６３が、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート２２、２３における、平面視でマニホールド流路１１及び圧力室１０と重なる部分に配置されているため、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間６２及び貫通孔６３が形成されることによって、プレートがその面方向に大きくなることがなく、その結果、インクジェットヘッドが大型化してしまうことがない。
【００７７】
また、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート２２、２３に、貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間６２及び貫通孔６３となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート２２、２３をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート２２、２３に接続流路（貫通孔１２、絞り流路１３、圧力波減衰空間６２及び貫通孔６３）を容易に形成することができる。
【００７８】
さらに、この場合には、凹部２２ａと凹部２３ａとが重なることによって圧力波減衰空間６２が形成されているため、圧力波減衰空間６２の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、凹部２２ａのみによって形成された圧力波減衰空間１４（図４参照）の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。したがって、圧力波減衰空間６２において効率よく圧力波を減衰させることができる。
【００７９】
加えて、この場合にも、変形例１と同様、マニホールドプレート２４の上面に接合されたベースプレート２３における、上面（圧力室１０側の面）に凹部２３ａが形成されることによって厚みが薄くなった部分が、マニホールド流路１１の上面を形成しているため、ダンパプレート２６の凹部１８が形成されて厚みが薄くなった部分の変形に加え、ベースプレート２３の凹部２３ａが形成されることによって厚みが薄くなった部分の変形によってもマニホールド流路１１内の圧力波が減衰される。これにより、マニホールド流路１１内においてさらに効率よく圧力波を減衰させることができる。
【００８０】
別の一変形例では、図７、図８に示すように、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に、アパーチャプレート２２（図４参照）及びベースプレート２３（図４参照）の代わりに、３枚のプレート７１、７２、７３が積層されている。ここで、図８（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、図７の平面Ａ、平面Ｂ及び平面Ｃにおける平面図を示している。
【００８１】
プレート７１には、上述の実施の形態と同様の貫通孔１２に加え、その下面に絞り流路７４と流路７５の略上半分とになる凹部７１ａが形成されている。絞り流路７４は、貫通孔１２に接続されているとともに、平面視で貫通孔１２から圧力室１０の長手方向に関する略中央部と対向する部分まで走査方向に延びている。流路７５は、平面視で絞り流路７４の貫通孔１２と反対側の端部から紙送り方向（図８の上下方向）の両側に分岐して延びているとともに、圧力室１０の紙送り方向に関する両端部と重なる部分において、走査方向の貫通孔１２側（図８の右側）に折れ曲がっている。
【００８２】
プレート７２には、平面視で流路７５と重なる部分に、プレート７２を貫通する貫通孔７２ａが形成されており、貫通孔７２ａの略上半分により流路７５の略下半分が形成されている。また、プレート７２には、その下面における、圧力室１０と対向する部分のうち、流路７５よりも貫通孔１２側（図８の右側）の部分に凹部７２ｂが形成されている。そして、貫通孔７２ａの略下半分と凹部７２ｂとが合わさって圧力波減衰空間７６が形成されている。プレート７３には、平面視で圧力波減衰空間７６の走査方向に関する貫通孔１２側の端部と重なる部分に貫通孔７７が形成されている（変形例３）。
【００８３】
なお、この場合には、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する、貫通孔１２、絞り流路７４、流路７５、圧力波減衰空間７６及び貫通孔７７をあわせた流路が、本発明に係る接続流路に相当し、貫通孔１２、絞り流路７４及び流路７５が、本発明に係る圧力室側流路に相当し、貫通孔７７が、本発明に係る共通液室側流路に相当する。
【００８４】
そして、この場合には、圧力波減衰空間７６の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、貫通孔１２、絞り流路７４及び流路７５の流路軸方向と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。ここで、貫通孔１２における流路軸方向は鉛直方向であり、絞り流路７４における流路軸方向は走査方向であり、流路７５における流路軸方向は、絞り流路７４との接続部分から紙送り方向の両側に向かい、さらに走査方向の図８の右側に折れ曲がる方向である。
【００８５】
また、この接続流路においては、絞り流路７４及び圧力波減衰空間７６の走査方向に関する貫通孔１２と反対側（図７の左側）の端部同士が流路７５の図７における左端部を介して接続されている。これにより、接続流路は、図７において絞り流路７４の左端部から流路７５の左端部を経て圧力波減衰空間７６の左端部に至る部分（圧力室側流路と圧力波減衰空間７６との接続部分）において折れ曲がっている。したがって、圧力室１０において発生し、絞り流路７４を伝播した圧力波は、この部分において反射して、圧力波減衰空間７６の全域に広がるように伝播する。これにより、圧力波減衰空間７６において圧力波が効率よく減衰される。
【００８６】
さらに、この場合には、絞り流路７４を伝播した圧力波は、絞り流路７４と流路７５との接続部分において反射して、流路７５の分岐した２つの部分に別れて伝播し、さらに流路７５の分岐した部分の各々から、圧力波減衰空間７６の互いに異なる部分に伝播するため、圧力波はさらに確実に圧力波減衰空間７６の全域に広がる。これにより、圧力波減衰空間７６においてさらに効率よく圧力波が減衰される。
【００８７】
また、この場合にも、貫通孔１２、絞り流路７４、流路７５、圧力波減衰空間７６及び貫通孔７７が、全て、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート７１〜７３の、平面視で圧力室１０及びマニホールド流路１１と重なる部分に配置されているため、貫通孔１２、絞り流路７４、流路７５、圧力波減衰空間７６及び貫通孔７７によってプレートがその面方向に大きくなることがなく、その結果、インクジェットヘッドが大型化してしまうことがない。
【００８８】
また、プレート７１〜７３に、貫通孔１２、絞り流路７４、流路７５、圧力波減衰空間７６及び貫通孔７７となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート７１〜７３をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート７１〜７３に接続流路（貫通孔１２、絞り流路７４、流路７５、圧力波減衰空間７６及び貫通孔７７）を容易に形成することができる。
【００８９】
また、上述の実施の形態では、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４とがともに走査方向に延びているとともに、両者の走査方向に関する同じ側の端部同士が接続されることによって、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路が、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において折れ曲がっていたが、接続流路が絞り流路１３の延在方向と圧力波減衰空間１４との接続部分において折れ曲がっていれば、絞り流路１３の延在方向と圧力波減衰空間１４の延在方向とが互いに異なっていてもよい。
【００９０】
また、上述の実施の形態では、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路が、絞り流路１３と圧力波減衰空間１４との接続部分において折れ曲がっていたが、これには限られない。
【００９１】
別の一変形例では、図９、図１０に示すように、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に、アパーチャプレート２２（図４参照）及びベースプレート２３（図４参照）の代わりに、プレート８１〜８３が積層されている。
【００９２】
プレート８１には、実施の形態と同様の貫通孔１２が形成されているとともに、その下面に、絞り流路８４及び圧力波減衰空間８５の上端部となる凹部８１ａが形成されている。プレート８２には、圧力波減衰空間８５の上端部を除いた部分となる貫通孔８２ａが形成されている。そして、凹部８１ａと貫通孔８２ａとが重なることによって圧力波減衰空間８５が形成されている。また、プレート８３には貫通孔８６（共通液室側流路）が形成されている。
【００９３】
絞り流路８４は、貫通孔１２と接合されているとともに、平面視で、圧力室１０の走査方向に関する略中央部に重なる部分を、貫通孔１２から圧力室１０の略中央部と重なる部分まで延びている。これにより、貫通孔１２の鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積、及び、絞り流路８４の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、圧力室１０の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている。
【００９４】
圧力波減衰空間８５は、絞り流路８４の貫通孔１２と反対側の端部に接続されており、走査方向に関する長さが圧力室１０よりも短い略楕円の平面形状を有している。そして、圧力波減衰空間８５がこのような形状となっていることにより、圧力波減衰空間８５の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、貫通孔１２の鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積、及び、絞り流路８４の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。
【００９５】
貫通孔８６は、プレート８３の、平面視で圧力波減衰空間８５の走査方向に関するノズル１７側の端部近傍と重なる部分に形成されており、その鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が圧力波減衰空間８５の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている（変形例４）。
【００９６】
なお、この場合には、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間８５及び貫通孔８６をあわせた流路が本発明に係る接続流路に相当し、貫通孔１２及び絞り流路８４をあわせた流路が本発明に係る圧力室側流路に相当する。
【００９７】
この場合には、接続流路が、絞り流路８４と圧力波減衰空間８５との接続部分において折れ曲がっておらず、絞り流路８４と圧力波減衰空間８５との接続部分において圧力波が反射しないため、絞り流路８４から圧力波減衰空間８５に伝播する圧力波は、圧力波減衰空間８５の全域に広がりにくい。しかしながら、この場合でも、圧力室１０において発生した圧力波は、絞り流路８４から、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間８５に流れ込み、圧力波減衰空間８５において減衰された上で、貫通孔８６からマニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１においてさらに減衰されるため、圧力波がマニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【００９８】
また、この場合にも、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間８５及び貫通孔８６が、全てキャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート８１〜８３の、平面視で圧力室１０及びマニホールド流路１１と重なる部分に形成されているため、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間８５及び貫通孔８６を形成することによって、プレートがその面方向に大きくなることがなく、その結果、インクジェットヘッドが大型化してしまうことがない。
【００９９】
また、プレート８１〜８３に、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間８５及び貫通孔８６となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート８１〜８３をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート８１〜８３に接続流路（貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間８５及び貫通孔８６）を容易に形成することができる。
【０１００】
別の一変形例では、図１１、図１２に示すように、アパーチャプレート２２に実施の形態と同様の貫通孔１２が形成されているとともに、その下面に変形例４と同様の絞り流路８４（圧力室側流路）及び圧力波減衰空間９２となる凹部２２ｂが形成されており、ベースプレート２３に貫通孔９３（共通液室側流路）が形成されている。
【０１０１】
圧力波減衰空間９２は、走査方向（図１１の左右方向）に関する長さが圧力室１０よりも短く、紙送り方向（図１１の上下方向）に関する長さが圧力室１０よりも長い略楕円の平面形状を有しており、絞り流路８４の貫通孔１２と反対側の端部に接続されている。貫通孔９３は、平面視で圧力波減衰空間９２の走査方向に関するノズル１７側の端部に形成されている（変形例５）。
【０１０２】
なお、この場合には、絞り流路８４、圧力波減衰空間９２及び貫通孔９３をあわせた流路が、本発明に係る接続流路に相当し、圧力波減衰空間９２の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、絞り流路８４の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積、及び、貫通孔９３の鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。
【０１０３】
この場合にも、接続流路が、絞り流路８４と圧力波減衰空間９２との接続部分において折れ曲がっておらず、絞り流路８４と圧力波減衰空間９２との接続部分において圧力波が反射しないため、絞り流路８４から圧力波減衰空間９２に伝播する圧力波は圧力波減衰空間９２の全域に広がりにくい。しかしながら、この場合でも、圧力室１０において発生した圧力波は、絞り流路８４から、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間９２に流れ込み、圧力波減衰空間９２において減衰された上で貫通孔９３からマニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１においてさらに減衰されるため、圧力波がマニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【０１０４】
また、この場合にも、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間９２及び貫通孔９３が、全てキャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に配置されたプレート２２、２３の、平面視でマニホールド流路１１及び圧力室１０と重なる部分に形成されているため、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間９２及び貫通孔９３を形成することによって、プレートがその面方向に大きくなることがなく、その結果、インクジェットヘッドが大型化しまうことがない。
【０１０５】
また、プレート２２、２３に、貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間９２及び貫通孔９３となる貫通孔や凹部を形成するとともに、プレート２２、２３をキャビティプレート２１及びマニホールドプレート２４と積層させることにより、プレート２２、２３に接続流路（貫通孔１２、絞り流路８４、圧力波減衰空間９２及び貫通孔９３）を容易に形成することができる。
【０１０６】
また、以上の説明では、圧力室１０が形成されたキャビティプレート２１とマニホールド流路１１が形成されたマニホールドプレート２４、２５との間に２以上のプレートが配置されており、これら２以上のプレートに、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路が形成されていたが、これには限られない。
【０１０７】
別の一変形例では、図１３、図１４に示すように、キャビティプレート２１とマニホールドプレート２４との間に１枚のプレート１０１のみが配置されている。キャビティプレート２１には、圧力室１０が形成されているとともに、その下面に絞り流路１０２及び圧力波減衰空間１０３の上端部となる凹部２１ａが形成されている。プレート１０１には、その上面に圧力波減衰空間１０３の上端部を除いた部分となる凹部１０１ａが形成されているとともに、貫通孔１０４が形成されている。そして、凹部２１ａと凹部１０１ａとが重なることによって圧力波減衰空間１０３が形成されている。
【０１０８】
絞り流路１０２（圧力室側流路）は、走査方向に関する圧力室１０のノズル１７と反対側の端部に接続されているとともに、走査方向に延びている。また、絞り流路１０２の紙送り方向（図１３の上下方向）に関する長さは圧力室１０よりも短くなっており、これにより、絞り流路１０２の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が圧力室１０の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている。
【０１０９】
圧力波減衰空間１０３は、圧力室１０よりも走査方向に関する長さが短い略楕円の平面形状を有しており、これにより、圧力波減衰空間１０３における走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、絞り流路１０２の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。
【０１１０】
そして、絞り流路１０２の走査方向に関する圧力室１０と反対側（図１３の右側）の端部が、圧力波減衰空間１０３の走査方向に関する圧力室１０側（図１３の左側）の端部に接続されている。貫通孔１０４（共通液室側流路）は、平面視で、圧力波減衰空間１０３の走査方向に関する圧力室１０と反対側の端部と重なる部分に形成されており、貫通孔１０４の鉛直方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、圧力波減衰空間１０３の流路軸方向と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている（変形例６）。
【０１１１】
なお、この場合には、絞り流路１０２、圧力波減衰空間１０３及び貫通孔１０４がをあわせた流路が、本発明に係る接続流路に相当する。
【０１１２】
この場合にも、接続流路が絞り流路１０２と圧力波減衰空間１０３との接続部分において折れ曲がっておらず、絞り流路１０２と圧力波減衰空間１０３との接続部分において圧力波が反射しないため、絞り流路１０２から圧力波減衰空間１０３に伝播する圧力波は、圧力波減衰空間１０３の全域に広がりにくい。しかしながら、この場合でも、圧力室１０において発生した圧力波は、絞り流路１０２から、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間１０３に流れ込み、圧力波減衰空間１０３において減衰された上でマニホールド流路１１に伝播し、マニホールド流路１１においてさらに減衰されるため、圧力波が、マニホールド流路１１を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【０１１３】
また、この場合には、絞り流路１０２、圧力波減衰空間１０３及び貫通孔１０４が平面視でマニホールド流路１１と重なる部分に配置されているため、これらがマニホールド流路１１と重ならない部分に配置されている場合と比較して、絞り流路１０２、圧力波減衰空間１０３及び貫通孔１０４によってはインクジェットヘッドが大型化しない。
【０１１４】
ただし、この場合には、絞り流路１０２及び圧力波減衰空間１０３の上端部となる凹部１０１ａが、圧力室１０と同じキャビティプレート２１に形成されているため、絞り流路１０２及び圧力波減衰空間１０３を平面視で圧力室１０とは重なる部分に形成することはできない。このため、接続流路が圧力室１０及びマニホールド流路１１と重なるように配置されている場合と比較すると、プレートがその面方向に大きくなってインクジェットヘッドが大型化してしまう。
【０１１５】
また、以上の説明では、圧力室、接続流路などとなる貫通孔や凹部が形成された複数のプレートが積層されることによって、圧力室１０、マニホールド流路１１、及び圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続する接続流路が形成されていたが、これには限られない。
【０１１６】
別の一変形例では、図１５に示すように、一平面上に、圧力室１０、絞り流路１１１（圧力室側流路）、圧力波減衰空間１１２、流路１１３（共通液室側流路）及びマニホールド流路１１４が形成されている。絞り流路１１１は、圧力室１０の長手方向に関するノズル１７と反対側の端部に接続されているとともに、走査方向に延びている。また、絞り流路１１１は、紙送り方向（図１５の上下方向）に関する長さが圧力室１０よりも短くなっており、これにより、絞り流路１１１の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、圧力室１０の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている。
【０１１７】
圧力波減衰空間１１２は、絞り流路１１１の図１５における上方に配置されており、走査方向に延びている。また、圧力波減衰空間１１２は、紙送り方向に関する長さが絞り流路１１１よりも大きくなっており、これにより、圧力波減衰空間１１２の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が、絞り流路１１１の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも大きくなっている。そして、絞り流路１１１の図１５における右端部と圧力波減衰空間１１２の図１５における右下端部とが（圧力室側流路と圧力波減衰空間１１２の所定の一方向に関する同じ側の端部同士が）、接続されている。
【０１１８】
流路１１３は、圧力波減衰空間１１２の図１５における上方に配置されており、走査方向に延びている。また、流路１１３は、紙送り方向に関する長さが圧力波減衰空間１１２よりも短くなっており、これにより、流路１１３の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積が圧力波減衰空間１１２の走査方向（流路軸方向）と直交する方向に関する断面積よりも小さくなっている。そして、圧力波減衰空間１１２の図１５の左上端部と、流路１１３の図１５の左端部とが接続されている。
【０１１９】
マニホールド流路１１４は、走査方向に関する流路１１３の圧力室１０と反対側に配置されており、紙送り方向に延びている。そして、複数の流路１１３の圧力波減衰空間１１２と反対側の端部とマニホールド流路１１４とが接続されている（変形例７）。
【０１２０】
なお、この場合には、絞り流路１１１、圧力波減衰空間１１２及び流路１１３をあわせた流路が、本発明に係る接続流路に相当する。そして、この接続流路は、ともに走査方向に延びた絞り流路１１１及び圧力波減衰空間１１２の走査方向に関する同じ側（図１５の右側）の端部同士が接続されていることにより、両者の接続部分において折れ曲がっている。
【０１２１】
この場合にも、圧力室１０とマニホールド流路１１４とを接続する接続流路の途中に、接続流路の他の部分よりも流路軸方向と直交する方向に関する断面積が大きくなった圧力波減衰空間１１２が設けられているため、圧力室１０内で発生した圧力波は、圧力波減衰空間１１２において減衰された上で、マニホールド流路１１４に伝播し、マニホールド流路１１４内においてさらに減衰される。したがって、圧力波がマニホールド流路１１４を介して他の圧力室１０に伝播してしまうのが防止される。
【０１２２】
さらに、接続流路が、絞り流路１１１と圧力波減衰空間１１２との接続部分において折れ曲がっているため、圧力室１０において発生した圧力波は、絞り流路１１１と圧力波減衰空間１１２との接続部分において反射し、圧力波減衰空間１１２の全域に広がるように伝播する。これにより、圧力波は、圧力波減衰空間１１２において効率よく減衰される。
【０１２３】
加えて、このとき、絞り流路１１１と圧力波減衰空間１１２とが平行であり、絞り流路１１１と圧力波減衰空間１１２の走査方向に関する同じ側の端部同士が接続された構成となっているため、絞り流路１１１における圧力波の伝播方向と、圧力波減衰空間１１２における圧力波の伝播方向とはほぼ反対方向となり、両者の接続部分において反射した圧力波は、確実に圧力波減衰空間１１２の全域に広がるように伝播する。
【０１２４】
また、以上の説明では、圧電アクチュエータを駆動させることによって圧力室１０内のインクに圧力を付与していたが、これには限られず、圧電アクチュエータ以外の圧力付与手段によって圧力室１０内のインクに圧力を付与してもよい。
【０１２５】
また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インク以外の液体を吐出、移送する液体移送装置に本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】変形例１の図４相当の図である。
【図６】変形例２の図４相当の図である。
【図７】変形例３の図４相当の図である。
【図８】図７の平面Ａ、平面Ｂ及び平面Ｃにおける平面図である。
【図９】変形例４の図３相当の図である。
【図１０】変形例４の図４相当の図である。
【図１１】変形例５の図３相当の図である。
【図１２】変形例５の図４相当の図である。
【図１３】変形例６の図３相当の図である。
【図１４】変形例６の図４相当の図である。
【図１５】変形例７の図３相当の図である。
【符号の説明】
【０１２７】
３  インクジェットヘッド
１０  圧力室
１１  マニホールド流路
１２  貫通孔
１３  絞り流路
１４  圧力波減衰空間
１５  貫通孔
２１  キャビティプレート
２２  アパーチャプレート
２３  ベースプレート
２３ａ  凹部
２４、２５  マニホールドプレート
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
５１、５２  プレート
５２ａ  凹部
５３  貫通孔
５４  絞り流路
５５  圧力波減衰空間
５６  貫通孔
６０  圧力波減衰空間
６３  貫通孔
７１〜７３  プレート
７４  絞り流路
７５  流路
７６  圧力波減衰空間
７７  貫通孔
８１〜８３  プレート
８４  絞り流路
８５  圧力波減衰空間
８６  貫通孔
９２  圧力波減衰空間
９３  貫通孔
１０１  プレート
１０２  絞り流路
１０３  圧力波減衰空間
１０４  貫通孔
１１１  絞り流路
１１２  圧力波減衰空間
１１３  流路
１１４  マニホールド流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010023385.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010023385.tif 000011
【図１０】
2010023385.tif 000012
【図１１】
2010023385.tif 000013
【図１２】
2010023385.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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