(57)【要約】【課題】  クリスタルインピーダンスＣＩ及び等価並列容量Ｃ０のバランスを良くするために、引出電極を扇形状で励振電極に接続することでクリスタルインピーダンスＣＩを小さくする同時に、等価並列容量Ｃ０が増加しないＡＴカット型の水晶振動片を提供する。【解決手段】水晶振動片（１０）は、引出電極（１３）が扇形状で励振電極（１２）に接続され、扇形状の中心角度は９０°以上で１８０°以下としてクリスタルインピーダンスＣＩが小さくなると共に等価並列容量Ｃ０が増加しないものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚みすべり振動する水晶片と、前記水晶片の両面に形成される一対の励振電極と、前記励振電極からそれぞれ伸びる一対の引出電極とを備えた水晶振動片であって、
前記引出電極は、前記励振電極の中心付近から中心角度θが９０°以上で１８０°未満である扇形状に広がる領域を有し、
前記励振電極の中心と前記引出電極の扇形状の中心とが第１方向に一致しておらず、前記第１方向と直交する第２方向且つ前記励振電極の周囲の両点で、前記一対の引出電極の扇形状に伸びる連結線が交差することを特徴とする水晶振動片。
【請求項２】
厚みすべり振動する水晶片と、前記水晶片の両面に形成される一対の励振電極と、前記励振電極に接続される半円部及びその半円部の外周に配置された基礎部により構成された一対の引出電極とを備えた水晶振動片であって、
前記引出電極の前記半円部は、その半円部の中心が前記励振電極の中心と一致するとともに前記半円部の内周が前記励振電極の半分と接続されており、
前記基礎部は、その基礎部の中心が前記励振電極と一致し、中心角度θが９０°以上で１８０°未満である扇形状に広がる領域を有することを特徴とする水晶振動片。
【請求項３】
前記引出電極は、第一フィルム、第二フィルム、第三フィルム及び第四フィルムが順次に前記水晶片の両面に積み重ねて形成され、
前記励振電極は、前記第三フィルム及び前記第四フィルムが順次に前記水晶片の両面に積み重ねて形成され、
前記第二フィルム及び前記第四フィルムは、金（Ａｕ）を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水晶振動片。
【請求項４】
厚みすべり振動する水晶片と、前記水晶片の両面に形成される一対の励振電極と、前記励振電極からそれぞれ伸びる一対の引出電極とを備えた水晶振動片であって、
前記引出電極は、前記励振電極の中心付近から中心角度θが９０°以上で１８０°以下である扇形状に広がる領域を有し、第一フィルム、第二フィルム、第三フィルム及び第四フィルムが順次に前記水晶片の両面に積み重ねて形成され、
前記励振電極は、前記第三フィルム及び前記第四フィルムが順次に前記水晶片の両面に積み重ねて形成され、
前記第二フィルム及び前記第四フィルムは、金（Ａｕ）を含むことを特徴とする水晶振動片。
【請求項５】
前記第一フィルム及び前記第三フィルムは、前記第二フィルム及び前記第四フィルムより薄いことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の水晶振動片。
【請求項６】
前記第二フィルムは前記第四フィルムより厚いことを特徴とする請求項請求項３又は請求項４に記載の水晶振動片。
【請求項７】
前記一対の励振電極は多角形又は円形であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項８】
請求項１から請求項７に記載の水晶振動片と、
前記水晶振動片を固定するパッケージと、
を備えた水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に振動特性を向上する水晶振動片に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動片は周波数制御素子として知られ、各種電子機器の発振器に周波数及び時間の基準源として組み込まれる。近年、水晶振動片は光通信等の台頭によって例えば６００ＭＨｚ帯とした高周波化が進行し、エッチングによって振動領域の厚みが小さくなったものがある。
【０００３】
特許文献１に開示された水晶振動片７０は、ＡＴカットをした矩形状の水晶片７１からなる。図７に示されるように、水晶片７１の中央には両面間で対向して設けられた一対の励振電極７２が形成されている。また、一対の励振電極７２から互いに反対方向の両端部までに引出電極７３が延出され、その引出電極７３は水晶片７１の両端部の近傍で幅広く形成されている。なお、接続領域ＣＡは励振電極７２と引出電極７３との接続部分であり、矢印ＡＲは電気エネルギーの供給を示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４０６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の水晶振動片では小型化に伴う水晶片の外形寸法の縮小化等により、クリスタルインピーダンスＣＩが基本的に大きくなる問題がある。例えば特許文献１に示されたように励振電極が小さくなることにより、励振電極と引出電極との接続領域が短くなる。このため、励振電極と引出電極との間の電気的な導通抵抗が大きくなり、図７の矢印ＡＲに示されたように励振電極に充分な電気的エネルギーが供給できない問題がある。また、引出電極自体の幅も小さいため導通抵抗が増大することで、クリスタルインピーダンスＣＩが大きくなる問題もある。
【０００６】
また、引出電極と励振電極との接続領域を長くすることでクリスタルインピーダンスＣＩを小さくすることには限界がある。すなわち、各引出電極を励振電極の半周より長い接続領域で接続し、その接続領域から電気エネルギーを供給すればクリスタルインピーダンスＣＩを小さくできると想定される。しかし、この場合には一対の引出電極が両主面間で重畳されてしまうため、等価並列容量Ｃ０が増加する問題がある。
【０００７】
本発明は、クリスタルインピーダンスＣＩ及び等価並列容量Ｃ０のバランスを良くするために、引出電極を扇形状で励振電極に接続することでクリスタルインピーダンスＣＩを小さくすると同時に、等価並列容量Ｃ０が増加しないＡＴカット型の水晶振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１観点の水晶振動片は、厚みすべり振動する水晶片と、水晶片の両面に形成される一対の励振電極と、励振電極からそれぞれ伸びる一対の引出電極とを備える。そして、水晶振動片の引出電極は、励振電極の中心付近から中心角度θが９０°以上で１８０°未満である扇形状に広がる領域を有し、励振電極の扇形状の中心と引出電極の中心とが第１方向に一致しておらず、第１方向と直交する第２方向且つ励振電極の周囲の両点で、一対の引出電極の扇形状に伸びる連結線が交差する。
このような構成によれば、励振電極と引出電極との接続領域が励振電極の半周になり、引出電極が扇形に広がって引出電極の面積も大きくなり、引出電極同士が重ならないので、引出電極のクリスタルインピーダンスＣＩが小さくなるとともに等価並列容量Ｃ０が増大しない。従って、水晶振動片の振動特性が高まる。
【０００９】
第２観点の水晶振動片は、厚みすべり振動する水晶片と、水晶片の両面に形成される一対の励振電極と、励振電極に接続される半円部及びその半円部の外周に配置された基礎部により構成された一対の引出電極とを備える。そして、水晶振動片の引出電極の半円部は、その半円部の中心が励振電極の中心と一致するとともに半円部の内周が励振電極の半分と接続されており、基礎部は、その基礎部の中心が励振電極と一致し、中心角度θが９０°以上で１８０°未満である扇形状に広がる領域を有する。
このような構成によれば、励振電極と引出電極との接続領域が励振電極の半周になるだけでなく、二つの半円部が水晶片の両面に形成された励振電極をそれぞれ囲んでいるので、励振電極の半周から電気エネルギーを供給することができる。また、引出電極が扇形に広がって引出電極の面積も大きくなり、引出電極同士が重ならないので、引出電極のクリスタルインピーダンスＣＩが小さくなるとともに等価並列容量Ｃ０が増大しない。従って、水晶振動片の振動特性が高まる。
【００１０】
第３観点の水晶振動片の引出電極は、第一フィルム、第二フィルム、第三フィルム及び第四フィルムが順次に水晶片の両面に積み重ねて形成され、励振電極は、第三フィルム及び第四フィルムが順次に水晶片の両面に積み重ねて形成され、第二フィルム及び第四フィルムは、金（Ａｕ）を含む。
【００１１】
第４観点の水晶振動片は、厚みすべり振動する水晶片と、水晶片の両面に形成される一対の励振電極と、励振電極からそれぞれ伸びる一対の引出電極とを備える。そして、水晶振動片の引出電極は、励振電極の中心付近から中心角度θが９０°以上で１８０°以下である扇形状に広がる領域を有し、第一フィルム、第二フィルム、第三フィルム及び第四フィルムが順次に水晶片の両面に積み重ねて形成され、励振電極は、第三フィルム及び第四フィルムが順次に水晶片の両面に積み重ねて形成され、第二フィルム及び前記第四フィルムは、金（Ａｕ）を含む。
第３観点及び第４観点によれば、引出電極がより厚くなってクリスタルインピーダンスＣＩをより小さくすることができる。さらに、第二フィルム及び第四フィルムが金（Ａｕ）を含んでいるので、高い抗酸化性及び耐腐蝕性、低い化学反応性を備え、高温作業の後でも電気特性などがほとんど変化しない。
【００１２】
第５観点の水晶振動片において、第一フィルム及び第三フィルムは、第二フィルム及び第四フィルムより薄い。
【００１３】
第６観点の水晶振動片において、第二フィルムは第四フィルムより厚い。
第５観点及び第６観点によれば、引出電極をより厚くすることでクリスタルインピーダンスＣＩが更に小さくなり、水晶振動片の振動特性を高めることができる。
第７観点の水晶振動片において、一対の励振電極は多角形又は円形である。
第８観点の水晶振動子において、第１観点から第８観点の水晶振動片と、水晶振動片を固定するパッケージとを備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のＡＴカット型の水晶振動片は、励振電極と引出電極との接続領域を長くし、引出電極が扇形に広がって引出電極の面積が大きくなり、引出電極同士が重ならないので、クリスタルインピーダンスＣＩが小さくなるとともに等価並列容量Ｃ０が増大しない。したがって、ＡＴカット型の水晶振動片の振動特性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】ＡＴカット型の水晶振動片を収容した水晶振動子の断面図である。
【図２】第１の実施例に係るＡＴカット型の水晶振動片の平面図である。
【図３】第１の実施例のＡＴカット型の水晶振動片の引出電極の平面図である。
【図４】ＡＴカット型の水晶振動片の断面図である。
【図５】第２の実施例に係るＡＴカット型の水晶振動片の平面図である。
【図６】第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片の引出電極の平面図である。
【図７】従来技術のＡＴカット型の水晶振動片の一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本形態では、水晶振動片の一例としてＡＴカット型の水晶振動片１０について説明する。
＜水晶振動子１００の全体構成＞
ＡＴカット型の水晶振動片１０について説明する前に、そのＡＴカット型の水晶振動片１０が収容される水晶振動子１００について、図１を参照しながら説明する。図１は、ＡＴカット型の水晶振動片１０を収容した水晶振動子１００の断面図である。
【００１７】
図１に示されたように、水晶振動子１００は、圧電体、セラミック又はガラスなどで形成されたパッケージ１８とその中に収容されるＡＴカット型の水晶振動片１０とを有する。また、パッケージ１８の底面の両端部には外部電源（図示しない）に接続される一対の外部電極１７が形成されている。ここで、ＡＴカット型の水晶振動片１０はＡＴカットした水晶片１１より構成されている。ＡＴカットは、結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、主面（ＹＺ面）がＸ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜した切断角度である。以降、ＡＴカット型の水晶振動片１０の軸方向を表す際には通常、傾斜した新たな軸をＸ´軸、Ｙ´軸及びＺ´軸とし、これらを用いる。
【００１８】
また、パッケージ１８の内部空間の下面には二つの台座１５が設けられ、ＡＴカット型の水晶振動片１０は導電接着剤１６を介して台座１５に固定されている。ここで、片側の主面がエッチングにより逆メサ型に振動領域１４が形成されている。振動領域１４が形成された水晶片１１は、その中央付近の両主面（表裏面）に一対の励振電極１２が対向して配置されている。この両主面間の厚さは２μｍから１０μｍ程度である。一対の励振電極１２には一対の引出電極１３がそれぞれ接続されている。ＡＴカット型の水晶振動片１０は、主面と主面とが逆方向に動く「厚みすべり」により主に数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの振動を発生させる。このため、振動領域１４の厚さ調整および励振電極１２又は引出電極１３の厚さは非常に重要である。
【００１９】
一対の引出電極１３は、励振電極１２より厚く構成され、水晶片１１のＺ´軸方向の両端部まで伸ばしている。パッケージ１８内は真空又は不活性ガスの状態であり、励振電極１２又は引出電極１３が酸化しにくいようになっている。第１の実施例では片側の主面が逆メサ型になったＡＴカット型の水晶振動片１０で説明するが、両主面とも逆メサ型になったＡＴカット型の水晶振動片であってもよい。
【００２０】
＜ＡＴカット型の水晶振動片１０の構成＞
（第１の実施例）
以下、ＡＴカット型の水晶振動片１０の第１の実施例について、図面を参照しながら説明する。図２は、第１の実施例に係るＡＴカット型の水晶振動片１０の平面図である。図３は、第１の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０の引出電極１３の平面図である。なお、励振電極１２と引出電極１３とは同時に形成されるが、図３では説明のため、励振電極１２を除いた引出電極１３の部分のみを描いている。
【００２１】
図２に示されたように、ＡＴカット型の水晶振動片１０は、幅ＣＷにＡＴカットをした水晶片１１から構成され、中心を通るＺ´軸に対して対称である。また、この水晶片１１の中央には逆メサ型の振動領域１４が備えられている。振動領域１４の中央には励振電極１２が形成され、一対の励振電極１２の中心Ｏは互いにＹ´軸方向に対向して重なり合っている。また、一対の引出電極１３の扇形状の中心Ｐは励振電極１２の中心Ｏに一致しない。一対の引出電極１３の扇形状の中心Ｐは、互いにＺ´軸に沿って励振電極１２の中心Ｏを越えて伸びている。なお、円形になっている逆メサ型の振動領域１４の半径Ｒは約０．２５ｍｍである。一対の励振電極１２の半径ｒは約０．１ｍｍである。水晶片１１の幅ＣＷは０．３０ｍｍから０．５０ｍｍ程度であり、引出電極１３の幅ＷＷは０．２８ｍｍから０．４５ｍｍ程度である。
【００２２】
図３に示されたように引出電極１３は、励振電極１２側のＸ´軸方向の真ん中に中心角度がθ（以下、角度θと称する）でその半径が励振電極１２の半径ｒと同じである中空部１５を有する。中空部１５の中心Ｐは励振電極１２の中心Ｏに一致しない。本明細書では中空部１５と接する引出電極１３の円弧の両端部を点Ａ、点Ｃと呼ぶ。一方の主面の引出電極１３の円弧の点Ａ、点Ｃは、他方の主面の引出電極１３の円弧の点Ａ、点Ｃと一致している。この引出電極１３の点Ａ及び点Ｃは、励振電極１２の円周上にあり励振電極１２の中心ＯからＸ´軸方向に伸びた位置と一致する。このとき、励振電極１２と引出電極１３との接続領域ＣＡは中空部１５の外周に相当する。
【００２３】
また、引出電極１３のＸ´軸方向は、中空部１５の中心Ｐから中空部１５の両端部の点Ａ、点Ｃを通って点Ｂ、点Ｄと交差する。連結線ＡＢと連結線ＣＤとからなる扇形状の中心角度もθである。引出電極１３は、連結線ＡＢと連結線ＣＤとからなる扇形状の角度θを９０°以上で１８０°未満である。このため、本実施例の角度θは約１６０°とする。
【００２４】
第１の実施例に示されたように接続領域ＣＡの角度θが約１６０°である場合、引出電極１３と励振電極１２との接続領域ＣＡが励振電極１２の半周まで長くなっている。このため、クリスタルインピーダンスＣＩが十分に小さくなり、図２の矢印ＡＲで示されたように引出電極１３から励振電極１２への電気ネルギーの供給も充分である。また、引出電極１３の面積がより大きくなるので、クリスタルインピーダンスＣＩが更に小さくなる。また、水晶片１１の両主面に設けられた一対の引出電極１３が互いに重ならないので、等価並列容量Ｃ０が増大しない。つまり、接続領域ＣＡの角度θを約１６０°にすると、引出電極１３のクリスタルインピーダンスＣＩが小さくなるとともに等価並列容量Ｃ０が増大しないので、ＡＴカット型の水晶振動片１０の振動特性をより高めることができる。
【００２５】
図４は、図２のＡ―ＡからのＡＴカット型の水晶振動片１０の断面図である。
図４に示されるように、水晶片１１は、中央部に厚みの薄い振動領域１４と、その外周を包囲する厚さの大きい外周部とを有する。ここで、中央部の厚さｈを約２μｍ〜１０μｍ、外周部の厚さＨ約８０μｍ〜２００μｍにすることが好ましい。さらに、引出電極１３は、第一フィルム１０１及び第二フィルム１０２と、第三フィルム１０３及び第四フィルム１０４とより構成される。中央部の真ん中に形成された励振電極１２は、第三フィルム１０３及び第四フィルム１０４で形成されている。なお、第一フィルム１０１及び第三フィルム１０３は、第二フィルム１０２及び第四フィルム１０４より薄く、第二フィルム１０２は第四フィルム１０４より厚くなっている。また、第１の実施例の第一フィルム１０１及び第三フィルム１０３は製品の要求によってニッケル（Ｎｉ）又はクロム（Ｃｒ）などの金属から構成されば良いし、第二フィルム１０２及び第四フィルム１０４は、金（Ａｕ）から構成される。
【００２６】
引出電極１３の第一フィルム１０１〜第四フィルム１０４は真空蒸着工程及びフォトリソグラフィ工程によって形成される。第三フィルム１０３及び第四フィルム１０４は同時に形成される、すなわち励振電極１２と引出電極１３とが同時に形成される。図３に描かれた引出電極１３は、第一フィルム１０１及び第二フィルム１０２が形成され、第三フィルム１０３及び第四フィルム１０４が形成されていない状態と一致する。
【００２７】
上述の構成にすれば、引出電極１３が励振電極１２より厚くなる上に、導電性に優れる金（Ａｕ）から構成されるので、クリスタルインピーダンスＣＩがより小さくなる。その他、金（Ａｕ）は高い抗酸化性及び耐腐蝕性、低い化学反応性を備える。さらに、水晶振動子１００を製造する際に、１５０℃〜３５０℃の高温にさらされてもより高い電気特性を保つことができる。励振電極１２が第一フィルム１０１及び第二フィルム１０２を有しないのは、振動領域１４の中央部の厚さｈが薄いため、励振電極１２の厚さが厚いと高い共振周波数を得ることができないからである。
【００２８】
さらに、周波数をより安定にするためには水晶デバイスの製造工程でＡＴカット型の水晶振動片１０に熱処理をする必要がある。このとき、引出電極１３の膨張によって振動領域１４に応力が加わりＡＴカット型の水晶振動片１０の周波数変動が起こる。特に、振動領域１４の厚さが薄いときさらに顕著である。したがって、第１の実施例において連結線ＡＢと連結線ＣＤとからなる扇形状の中心角度θが大きくなるほど振動領域１４における引出電極１３の面積が大きくなり、ＡＴカット型の水晶振動片１０に熱処理をしたときの周波数が変動される。
第２の実施例は、このような問題も解決するための実施例である。
【００２９】
（第２の実施例）
次に、第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０について図面を参照しながら説明する。図５は、第２の実施例に係るＡＴカット型の水晶振動片１０の平面図である。図６は、第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０の引出電極１３の平面図である。なお、第１の実施例で説明したものと同じ構成要素については同符号を付し説明する。
【００３０】
図５に示されたように、第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０は第１の実施例に基づいて改良したものである。第２の実施例では、一対の引出電極１３の扇形状の中心Ｐは励振電極１２の中心Ｏに一致している。また、第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０では矢印ＡＲに示されたように水晶片の両面に形成された励振電極１２の半周から電気エネルギーを供給することができる。このため、電気エネルギーの供給については第１の実施例より更に良好である。また、水晶片１１の両面に設けられた一対の引出電極１３が重ならないため等価並列容量Ｃ０も増加しない。したがって、振動特性がより高いＡＴカット型の水晶振動片１０が得られる。以下、図６を参照しながら第２の実施例の引出電極１３の形状に対して詳述する。
【００３１】
図６に示されたように第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０の引出電極１３は、Ｚ´軸方向で励振電極１２側の同心半円部１３１及び端部側の基礎部１３２に分けられる。まず、同心半円部１３１で内円の半径は励振電極１２の半径ｒと同じである。外円の半径Ｒ１は振動領域１４の半径Ｒより小さく、中空部１５の中心Ｐから中空部１５の両端部の点Ａ、点Ｃを通って外円の半径Ｒ１上の点Ｅ、点Ｆと交差する。
【００３２】
端部側の基礎部１３２は第１の実施例で説明された引出電極１３と同じ形状であり、幅ＷＷである。次に、中空部１５の中心Ｐから基礎部１３２へは同心半円部１３１の円周上の点Ｇ、Ｊを経由して基礎部１３２の点Ｂ、点Ｄと交差する。同心半円部１３１と基礎部１３２とが点Ｇ、Ｊで接続されている。連結線ＧＢと連結線ＪＤとからなる扇形状の中心角度θは９０°以上、１８０°未満である。
【００３３】
第２の実施例のＡＴカット型の水晶振動片１０のＡ―Ａからの断面も図４に示されたように、ＡＴカット型の水晶振動片１０の引出電極１３が、第一フィルム１０１及び第二フィルム１０２と、第三フィルム１０３及び第四フィルム１０４とより構成される。また、中央部の真ん中に形成された励振電極１２は、第三フィルム１０３及び第四フィルム１０４で形成されている。
【００３４】
また、励振電極１２と引出電極１３との接続領域ＣＡが励振電極１２の半周になるため、クリスタルインピーダンスＣＩを小さくすると共に等価並列容量ＣＯの増加を抑えることができる。したがって、ＡＴカット型の水晶振動片１０の振動特性を高めることができる。また、第２の実施例は励振電極１２と引出電極１３との接続領域ＣＡを励振電極１２の半周にしても、振動領域１４における引出電極１３の面積を小さくできる。このため、応力の影響を抑えることができ、ＡＴカット型の水晶振動片１０の周波数変動を抑止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
以上、本発明の最適な実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００３６】
例えば、本発明ではＡＴカット型の水晶振動片を一例として説明したが、これに限らずＢＴカット型の水晶振動片、ＳＣカット型の水晶振動片などでも本発明と同じ効果が得られる。また、励振電極の形状は本発明の実施例に示された円形に限らず、様々に変化できて四角形、六角形などの多角形でもよい。また、励振電極及び引出電極を構成する材料も本発明の実施例に示された金属に限らず、アルミニウム（Ａｌ）などの金属でもよいし、金（Ａｕ）の含量が１〜４０ｗｔ．％の金（Ａｕ）銀（Ａｇ）合金でもよい。さらに、水晶片については、より厚い外周部が本発明の実施例のように一主面に形成されてもよいし両主面に形成されてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１０、７０  …  ＡＴカット型の水晶振動片
１１、７１  …  水晶片
１２、７２  …  励振電極
１３、７３  …  引出電極
１４  …  振動領域
１５  …  台座
１６  …  導電接着剤
１７  …  外部電極
１８  …  パッケージ
１００  …  水晶振動子
１０１  …  第一フィルム
１０２  …  第二フィルム
１０３  …  第三フィルム
１０４  …  第四フィルム
１３１  …  同心半円部
１３２  …  基礎部
ＡＲ  …  電気エネルギーの供給
ＣＡ  …  接続領域
ｈ  …  振動領域の厚さ
Ｏ  …  励振電極１２の中心
Ｐ  …  引出電極１３の扇形状の中心
Ｈ  …  外周部の厚さ
ｒ  …  励振電極の半径
Ｒ  …  振動領域の半径
【図１】
2010103963.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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