(57)【要約】      （修正有）【課題】コンタクトプローブの摺動性および電気抵抗を安定させることができるようにして、生産性を向上させることができるとともに、被検査対象物の検査を安定して行うことができるコンタクトプローブおよび検査用ソケットを提供する。【解決手段】電気的接触部１８および電気的接触部と一体的に設けられたプランジャ１７とを有する第１導電部材１４と、電気的接触部２０および電気的接触部と一体的に設けられ、プランジャが摺動自在に挿通される挿通孔１９ａを有するシリンダ部１９と、第１導電部材および第２導電部材１５の間に介装され、電気的接触部が近接するようにプランジャが挿通孔内を摺動したときに、電気的接触部を離隔する方向に付勢するコイルバネとを備え、電気的接触部をプリント配線板２３の接続端子に接触させるとともに、電気的接触部を被検査対象物の接続端子に接触させるようにしたコンタクトプローブにおいて、プランジャを湾曲させる。【選択図】図１
2010025844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電気的接触部および前記第１電気的接触部と一体的に設けられた棒状の第１電気的端子部とを有する第１導電部材と、第２電気的接触部および前記第２電気的接触部と一体的に設けられ、前記第１電気的端子部が摺動自在に挿通される挿通孔を有する中空の第２電気的端子部と、前記第１導電部材および前記第２導電部材の間に介装され、前記第１電気的接触部と前記第２電気的接触部が近接するように前記第１電気的端子部が前記挿通孔内を摺動したときに、前記第１電気的接触部と前記第２電気的接触部を離隔する方向に付勢する付勢部材とを備え、
前記第１電気的接触部を被検査対象物の接続端子または検査装置の接続端子の何れか一方に接触させるとともに、前記第２電気的接触部を被検査対象物の接続端子または検査装置の接続端子の何れか他方に接触させるようにしたコンタクトプローブにおいて、
前記第１電気的端子部を湾曲または屈曲させたことを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記第１電気的端子部の軸方向の所定個所に絞り部を形成したことを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のコンタクトプローブを含んで構成される検査用ソケットであって、
前記コンタクトプローブが収納される少なくとも１つ以上の貫通孔が形成されたソケット本体を有し、
前記貫通孔の一端の開口部側に前記第１電気的接触部が配置されるとともに、前記貫通孔の他端の開口部側に前記第２電気的接触部が配置されることを特徴とする検査用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトプローブおよび検査用ソケットに関し、特にＩＣパッケージや集積回路素子等を検査するコンタクトプローブおよび検査用ソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣパッケージ、あるいは、集積回路素子等を検査するものとして、テストされるＩＣパッケージや集積回路素子等の接続端子と検査装置であるテスト回路基板の接続端子との間に複数のコンタクトプローブを備えた検査用ソケットが知られており、この検査用ソケットとしては、図６に示すようなものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図６において、検査用ソケット１０は、ソケット本体１の貫通孔２内にコンタクトプローブ３が収納されており、このコンタクトプローブ３は、上部シリンダ４、下部プランジャ５およびコイルバネ６を備えている。
【０００４】
上部シリンダ４は、有底円筒状の挿通孔４ａが形成された第２電気的端子部としての円筒部４ｂと、図示しない被検査対象物の接続端子に接触される電気的接触部４ｃと、円筒部４ｂと電気的接触部４ｃの間に設けられ、コイルバネ６の一端が係合する大径円筒部４ｄとを備えており、電気的接触部４ｃは、貫通孔２の一端の開口部２ａ側に設けられている。
【０００５】
また、下部プランジャ５は、上部シリンダ４の円筒部４ｂの挿通孔４ａに摺動自在に挿通される第１電気的端子部としての円柱部５ａと、円柱部５ａに一体的に設けられ、コイルバネ６の他端が係合する大径円柱部５ｂと、大径円柱部５ｂと一体的に設けられ、図示しない検査装置であるプリント配線板の接続端子に接触する電気的接触部５ｃとを備えており、電気的接触部５ｃは、貫通孔２の他端の開口部２ｂ側に設けられている。
【０００６】
このような構成を有する検査用ソケット１０は、電気的接触部４ｃを被検査対象物の接続端子に接触させるとともに、電気的接触部５ｃをプリント配線板の接続端子に接触させると、円柱部５ａが円筒部４ｂの挿通孔４ａに対して摺動することにより、電気的接触部４ｃ、５ｃが近接する方向に移動する。
【０００７】
このとき、コイルバネ６が圧縮することにより、電気的接触部４ｃ、５ｃが離隔する方向に付勢されるため、電気的接触部４ｃ、５ｃを被検査対象物の接続端子およびプリント配線板の接続端子に高い接触圧で接触させることができ、コンタクトプローブ３を介して被検査対象物の接続端子およびプリント配線板の接続端子を電気的に接続することができる。
【特許文献１】特開２００３−１６７００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような従来のコンタクトプローブ３にあっては、上部シリンダ４の円筒部４ｂの挿通孔４ａに下部プランジャ５の円柱部５ａを摺動自在に挿通するようにしているため、挿通孔４ａの内周部と円柱部５ａのクリアランスを厳しく管理して適切な電気抵抗と摺動性を確保する必要があった。
【０００９】
すなわち、挿通孔４ａの内周部と円柱部５ａのクリアランスが小さいと、挿通孔４ａに円柱部５ａを確実に接触させることができるため、良好な初期電気抵抗を得ることができるが、摺動抵抗が大きくなってしまい、コンタクトプローブ３の稼働中（検査中）に摺動不良が発生し易くなってしまう。
【００１０】
一方、挿通孔４ａの内周部と円柱部５ａのクリアランスが大きいと、挿通孔４ａの内周部と円柱部５ａとの摺動抵抗を小さくすることができるが、挿通孔４ａの内周部に円柱部５ａを安定させて接触させることが困難となり、瞬断が発生する等して電気抵抗を安定させることが困難となってしまう。
【００１１】
このため、切削加工してメッキ等によって表面処理を行うことで上部シリンダ４および下部プランジャ５を製作する場合に、上述したような不具合が生じないようにするために、挿通孔４ａおよび円柱部５ａを高精度に加工して挿通孔４ａの内周部と円柱部５ａのクリアランスを厳密に管理する必要がある。このため、コンタクトプローブ３の歩留りを向上させることに限界があり、生産性が悪化してしまうという問題が発生してしまう。
【００１２】
また、特許文献１に示すコンタクトプローブ３は、挿通孔４ａの内周部と円柱部５ａのクリアランスを大きくした場合であっても、電気抵抗を安定させるために、上部シリンダ４の中心軸（挿通孔４ａの中心軸）に対して下部プランジャ５の中心軸（円柱部５ａの中心軸）を傾けるようにして、円柱部５ａの先端を挿通孔４ａの内周部に確実に接触させるようにしている。
【００１３】
しかしながら、上部シリンダ４の中心軸に対して下部プランジャ５の中心軸を傾けるようにして、コンタクトプローブ３をソケット本体１に組み付ける場合には、上部シリンダ４の中心軸に対して下部プランジャ５の中心軸を傾けるための余裕を確保するために、ソケット本体１の貫通孔２と上部シリンダ４の間にある程度の隙間を確保しなければならない。
【００１４】
このため、円柱部５ａの先端が挿通孔４ａの内周部に対して斜めに接触してしまうことになり、挿通孔４ａの内周部に円柱部５ａを安定させて接触させることが困難となってしまった。
【００１５】
また、一般的に、ソケット本体１は、絶縁体の樹脂が使用され、上部シリンダ４および下部プランジャ５は金属が使用される。このため、上部シリンダ４の中心軸に対して下部プランジャ５の中心軸を傾けるようにして、コンタクトプローブ３をソケット本体１に組み付けると、電気的接触部４ｃ、５ｃが開口部２ａ、２ｂに偏った状態で接触してしまう。
【００１６】
このため、コンタクトプローブ３の稼働中に開口部２ａ、２ｂが偏摩耗してしまい、開口部２ａ、２ｂが変形してしまう。このため、被検査対象物の接続端子およびプリント配線板の接続端子と電気的接触部４ｃ、５ｃとの位置ずれが発生してしまい、被検査対象物の検査を安定して行うことができないという問題が発生してしまう。
【００１７】
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、コンタクトプローブの摺動性および電気抵抗を安定させることができるようにして、生産性を向上させることができるとともに、被検査対象物の検査を安定して行うことができるコンタクトプローブおよび検査用ソケットを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明のコンタクトプローブは、上記目的を達成するため、第１電気的接触部および前記第１電気的接触部と一体的に設けられた棒状の第１電気的端子部とを有する第１導電部材と、第２電気的接触部および前記第２電気的接触部と一体的に設けられ、前記第１電気的端子部が摺動自在に挿通される挿通孔を有する中空の第２電気的端子部と、前記第１導電部材および前記第２導電部材の間に介装され、前記第１電気的接触部と前記第２電気的接触部が近接するように前記第１電気的端子部が前記挿通孔内を摺動したときに、前記第１電気的接触部と前記第２電気的接触部を離隔する方向に付勢する付勢部材とを備え、前記第１電気的接触部を被検査対象物の接続端子または検査装置の接続端子の何れか一方に接触させるとともに、前記第２電気的接触部を被検査対象物の接続端子または検査装置の接続端子の何れか他方に接触させるようにしたコンタクトプローブにおいて、前記第１電気的端子部を湾曲または屈曲させたものから構成されている。
【００１９】
この構成により、第１電気的端子部を湾曲または屈曲させたので、第２電気的端子部の貫通孔に第１電気的端子部を挿通したときに、第１電気的端子部が元の湾曲または屈曲した状態に復帰しようと弾性変形することで、第１電気的端子部が挿通孔の内周部に押圧をかけて接触する。
【００２０】
このため、第１電気的端子部と第２電気的端子部の挿通孔の内周部とのクリアランスを厳密に管理するのを不要にして、第１導電部材と第２導電部材の摺動抵抗を小さくすることができるとともに、第１導電部材と第２導電部材の電気抵抗を安定させることができる。この結果、コンタクトプローブの歩留りを向上させてコンタクトプローブの生産性を向上させることができる。
【００２１】
また、コンタクトプローブをソケット本体に取付ける場合には、第１導電部材と第２導電部材を傾ける必要がないため、コンタクトプローブを傾けてソケット本体に収納するために貫通孔とコンタクトプローブのクリアランスを大きくする必要がなく、第１電気的端子部が挿通孔の内周部に斜めの状態で接触するのを防止することができ、第１導電部材と第２導電部材の電気抵抗を安定させることができる。
【００２２】
また、コンタクトプローブをソケット本体に取付ける場合には、第１導電部材と第２導電部材を傾ける必要がないため、ソケット本体の貫通孔の一端の開口部側に第１電気的接触部を配置し、貫通孔の他端の開口部側に第２電気的接触部を配置した場合に、コンタクトプローブの稼働時に第１電気的接触部および第２電気的接触部と貫通孔の両端の開口部とが偏った状態で接触するのを防止して、ソケット本体の開口部が偏摩耗してしまうのを防止することができる。
【００２３】
このため、被検査対象物の接続端子およびプリント配線板の接続端子と第１電気的接触部および第２電気的接触部との位置ずれが発生してしまうのを防止することができ、被検査対象物の検査を安定して行うことができる。
【００２４】
また、本発明によるコンタクトプローブは、前記第１電気的端子部の軸方向の所定個所に絞り部を形成したものから構成されている。
【００２５】
この構成により、第１電気的端子部に絞り部が形成されているため、第２電気的端子部の挿通孔に第１電気的端子部を挿通したときに、第１電気的端子部が元の湾曲または屈曲した状態に復帰するように第１電気的端子部をより一層弾性変形させることができる。また、絞り部の径を調整することにより、第１電気的端子部の弾性変形量を細かく調整することができ、第１導電部材および第２導電部材の摺動抵抗を調整することができる。
【００２６】
また、本発明による検査用ソケットは、コンタクトプローブを含んで構成される検査用ソケットであって、前記コンタクトプローブが収納される少なくとも１つ以上の貫通孔が形成されたソケット本体を有し、前記貫通孔の一端の開口部側に前記第１電気的接触部が配置されるとともに、前記貫通孔の他端の開口部側に前記第２電気的接触部が配置されるものから構成されている。
【００２７】
この構成により、検査用ソケットが、第１導電部材と第２導電部材を傾斜させることなく、第１導電部材と第２導電部材の摺動抵抗を小さくすることができるとともに、第１導電部材と第２導電部材の電気抵抗を安定させることができるコンタクトプローブを有するので、コンタクトプローブがソケット本体に取付けられた状態では、ソケット本体の貫通孔とコンタクトプローブのクリアランスを大きくする必要がなく、第１電気的端子部が挿通孔の内周部に斜めの状態で接触するのを防止することができ、第１導電部材と第２導電部材の電気抵抗を安定させることができる。
【００２８】
また、第１導電部材と第２導電部材を傾けた状態でソケット本体に取付ける必要がないので、コンタクトプローブが稼働したときに、第１電気的接触部および第２電気的接触部と貫通孔の両端の開口部とが偏った状態で接触するのを防止して、開口部が偏摩耗してしまうのを防止することができる。
【００２９】
このため、被検査対象物の接続端子およびプリント配線板の接続端子と第１電気的接触部および第２電気的接触部との位置ずれが生じてしまうのを防止することができ、被検査対象物の検査を安定して行うことができる。
【発明の効果】
【００３０】
以上説明したように、本発明は、コンタクトプローブの摺動性および電気抵抗を安定させることができるようにして、生産性を向上させることができるとともに、被検査対象物の検査を安定して行うことができるコンタクトプローブおよび検査用ソケットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
（第１の実施の形態）
図１〜図３は、本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図である。
【００３２】
まず、構成を説明する。図１において、検査用ソケット１１は、コンタクトプローブ１２とソケット本体１３とを備えており、コンタクトプローブ１２は、第１導電部材１４と、第２導電部材１５と、付勢部材としてのコイルバネ１６とを備えている。
【００３３】
第１導電部材１４は、第１電気的端子部としての棒状のプランジャ１７およびプランジャ１７と一体的に設けられた第１電気的接触部としての電気的接触部１８とを備えており、第２導電部材１５は、挿通孔１９ａが形成された中空の第２電気的端子部としてのシリンダ部１９およびシリンダ部１９と一体的に設けられた第２電気的接触部としての電気的接触部２０を備えている。
【００３４】
なお、プランジャ１７は、円筒状または多角形状でもよく、挿通孔１９ａは、丸穴または多角形穴でもよい。ここで、プランジャ１７が円筒状の場合には、挿通孔１９ａが丸穴の方が好ましく、プランジャ１７が多角形状の場合には、挿通孔１９ａが多角形穴の方が好ましい。
【００３５】
ソケット本体１３には貫通孔２１が形成されており、この貫通孔２１にはコンタクトプローブ１２が収納されている。なお、図示していないが、ソケット本体１３には互いに平行に所定ピッチ（図１中、左右方向で一定の間隔）で貫通孔が形成されており、この貫通孔内にもコンタクトプローブ１２が収納されている。
【００３６】
電気的接触部１８は、貫通孔２１の下方（一端）の開口部２１ａ側に配置されており、
電気的接触部１８には円錐状に形成されたコンタクト部１８ａが形成され、このコンタクト部１８ａが検査装置であるプリント配線板２３の接続端子２３ａに接触するようになっている。
【００３７】
また、電気的接触部１８にはフランジ部１８ｂが形成されており、このフランジ部１８ｂにはコイルバネ１６の下端が当接している。
電気的接触部２０は、貫通孔２１の上方（他端）の開口部２１ｂ側に配置されており、
電気的接触部２０には三角形状の凹凸部が連続する冠形状に形成されたコンタクト部２０ａが形成され、このコンタクト部２０ａが被検査対象物２２の接続端子２２ａに接触するようになっている。なお、接続端子２２ａは半田ボールから構成されている。
【００３８】
また、シリンダ部１９にはフランジ部１９ｂが形成されており、このフランジ部１９ｂにはコイルバネ１６の上端が当接している。
本実施の形態のコイルバネ１６は、第１導電部材１４および第２導電部材１５の間に介装されており、電気的接触部１８および電気的接触部２０が近接するようにプランジャ１７がシリンダ部１９の挿通孔１９ａ内を摺動したときに、電気的接触部１８および電気的接触部２０を離隔する方向に付勢している。
【００３９】
また、コイルバネ１６は、所定の初期ばね荷重を有しており、電気的接触部１８のコンタクト部１８ａおよび電気的接触部２０のコンタクト部２０ａが開口部２１ａ、２１ｂから外方に突出するように第１導電部材１４および第２導電部材１５を付勢している。
【００４０】
また、開口部２１ａ、２１ｂの開口面積は、貫通孔２１の内周面積よりも小さく形成されており、開口部２１ａ、２１ｂと貫通孔２１の間に環状係合部２１ｃ、２１ｄが形成されている。
この環状係合部２１ｃ、２１ｄに電気的接触部１８のフランジ部１８ｂおよびシリンダ部１９のフランジ部１９ｂがそれぞれ係合することにより、第１導電部材１４および第２導電部材１５がソケット本体１３から抜け出ないようになっている。
【００４１】
また、ソケット本体１３は、分割された第１ソケット本体２４および第２ソケット本体２５から構成されており、貫通孔２１にコンタクトプローブ１２を収納して分割面Ｐ１、Ｐ２を合わせることにより、ソケット本体１３にコンタクトプローブ１２を一体的に保持するようになっている。
【００４２】
一方、被検査対象物２２の接続端子２２ａと高頻度に接触・離脱する第２導電部材１５は、導電率および耐摩耗性が高い硬質の金属材料、例えばチタン（Ｔｉ）系金属および炭素鋼（ＳＫ）から構成されており、プリント配線板２３の接続端子２３ａに接触する第１導電部材１４は、第２導電部材１５ほどの硬度は要求されないので、例えば、燐青銅、黄銅、ベリリウム銅等の銅系金属からなる。
【００４３】
これら第１導電部材１４および第２導電部材１５は、それぞれ快削性のある材料を用いることでその旋削加工等を容易化することができる。また、第１導電部材１４および第２導電部材１５は、切削加工後に表面にメッキ処理が施される。
【００４４】
また、コイルバネ１６は、任意の断面形状と材料（例えば、ばね用のピアノ線、ステンレス線、あるいは、プラスチック）で形成することができ、第１導電部材１４および第２導電部材１５に比べ導電性が要求されない部材となっている。
【００４５】
また、コイルバネ１６は、中空の弾性部材となっている。ここにいう弾性部材とは、金属のみならず、ゴムのような粘弾性体やプラスチックからなるもの、あるいはこれらの複合品で形成することができる。
【００４６】
また、ソケット本体１３は、絶縁体の樹脂、例えば、エンジニア樹脂から構成されており、ソケット本体１３に隣接して収納された複数のコンタクトプローブ１２を電気的に前縁している。
【００４７】
一方、プランジャ１７は、湾曲されており、プランジャ１７がシリンダ部１９の挿通孔１９ａに挿通された状態では、プランジャ１７が元の屈曲した状態に復帰しようと弾性変形することで、プランジャ１７が挿通孔１９ａの内周部に押圧をかけて接触する。すなわち、本実施の形態のプランジャ１７は、挿通孔１９ａの内周部に接触するように弾性押圧力を有している。なお、プランジャ１７は、湾曲ではなく屈曲されていてもよい。
【００４８】
次に、動作について説明する。
実施の形態の検査用ソケット１１では、図２に示すように、テストを行うＩＣパッケージや集積回路を造りこんだウェハー等の被検査対象物２２の接続端子２２ａに電気的接触部２０のコンタクト部２０ａを接触させるとともに、検査機器や診断機器を構成するプリント配線板２３の接続端子２３ａに電気的接触部１８のコンタクト部１８ａを接触させることにより、被検査対象物２２の検査を行う。
なお、コンタクト部２０ａは、冠形状に形成されているため、プリント配線板２３の接続端子２３ａが半田ボールであっても接続端子２３ａに安定して接触することになる。
【００４９】
このとき、プランジャ１７がシリンダ部１９の挿通孔１９ａに対して摺動して電気的接触部１８、２０が近接する方向に移動するとともに、コイルバネ１６により、両コンタクト部１８ａ、２０ａによる第１導電部材１４および第２導電部材１５の変位Ｓ１、Ｓ２が許容される。
また、コイルバネ１６が圧縮してばね荷重を発生することにより、電気的接触部１８、２０を被検査対象物２２の接続端子２２ａおよびプリント配線板２３の接続端子２３ａに高い接触圧で接触させ、コンタクトプローブ１２を介して被検査対象物２２の接続端子２２ａおよびプリント配線板２３の接続端子２３ａを電気的に接続することができる。
【００５０】
本実施の形態の検査用ソケット１１は、コンタクトプローブ１２が収納される貫通孔２１が形成されたソケット本体１３を有し、貫通孔２１の下端の開口部２１ａ側に電気的接触部１８を配置するとともに、貫通孔２１の上端の開口部２１ｂ側に電気的接触部２０を配置し、シリンダ部１９の挿通孔１９ａに摺動自在に挿通されるプランジャ１７を湾曲させたので、シリンダ部１９の挿通孔１９ａにプランジャ１７を挿通したときに、プランジャ１７が元の屈曲した状態に復帰しようと弾性変形することで、プランジャ１７を挿通孔１９ａの内周部に押圧をかけて接触させることができる。
【００５１】
このため、プランジャ１７とシリンダ部１９の挿通孔１９ａの内周部とのクリアランスを厳密に管理するのを不要にして、還元すれば、第１導電部材１４と第２導電部材１５を切削加工して表面処理を行うときにプランジャ１７および挿通孔１９ａの加工を容易にして、第１導電部材１４と第２導電部材１５の摺動抵抗を小さくすることができるとともに、第１導電部材１４と第２導電部材１５の電気抵抗を安定させることができる。この結果、コンタクトプローブ１２の歩留りを向上させてコンタクトプローブ１２の生産性を向上させることができる。
【００５２】
また、コンタクトプローブ１２をソケット本体１３に取付ける場合には、従来のように第１導電部材１４と第２導電部材１５を傾ける必要がないため、コンタクトプローブ１２を傾けてソケット本体１３に収納するために貫通孔２１とコンタクトプローブ１２のクリアランスを大きくする必要がなく、プランジャ１７が挿通孔１９ａの内周部に斜めの状態で接触するのを防止することができ、第１導電部材１４と第２導電部材１５の電気抵抗を安定させることができる。
【００５３】
また、コンタクトプローブ１２をソケット本体１３に取付けたときに、第１導電部材１４と第２導電部材１５を傾ける必要がないため、コンタクトプローブ１２が稼働したとき、すなわち、被検査対象物２２の導通検査を行うときに、電気的接触部１８、２０と貫通孔２１の両端の開口部２１ａ、２１ｂとが偏った状態で接触するのを防止して、開口部２１ａ、２１ｂが偏摩耗してしまうのを防止することができる。
【００５４】
このため、被検査対象物２２の接続端子２２ａおよびプリント配線板２３の接続端子２３ａと電気的接触部１８、２０との位置ずれが生じてしまうのを防止することができ、被検査対象物２２の検査を安定して行うことができる。
【００５５】
なお、本実施の形態では、プランジャ１７の径を軸方向に亘って同一径にしているが、図３に示すように、プランジャ１７の軸方向の略中央部に絞り部１７ａを形成してもよい。この絞り部１７ａは、プランジャ１７の他の部分よりも径が細くなっている部分である。
【００５６】
このようにすれば、シリンダ部１９の挿通孔１９ａにプランジャ１７を挿通したときに、プランジャ１７が元の湾曲した状態に復帰するようにプランジャ１７をより一層弾性変形させることができる。
また、絞り部１７ａの径を調整することにより、プランジャ１７の弾性変形量を細かく調整することができ、第１導電部材１４および第２導電部材１５の摺動抵抗を調整することができる。
【００５７】
（第２の実施の形態）
図４、図５は、本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第２の実施の形態を示す図であり、第１の実施の形態と同一の構成には同一番号を付して説明を省略する。
【００５８】
図４において、検査用ソケット３１は、コンタクトプローブ３２とソケット本体１３とを備えており、コンタクトプローブ３２は、第１導電部材３３と、第２導電部材３４と、付勢部材としてのコイルバネ１６とを備えている。
【００５９】
第１導電部材３３は、第１電気的端子部としてのプランジャ３５およびプランジャ３５と一体的に設けられた第１電気的接触部としての電気的接触部３６とを備えており、第２導電部材３４は、挿通孔３７ａが形成された第２電気的端子部としてのシリンダ部３７およびシリンダ部３７と一体的に設けられた第２電気的接触部としての電気的接触部３８を備えている。
なお、プランジャ３５は、円筒状または多角形状でもよく、挿通孔１９ａは、丸穴または多角形穴でもよい。ここで、プランジャ３５が円筒状の場合には、挿通孔１９ａが丸穴の方が好ましく、プランジャ３５が多角形状の場合には、挿通孔１９ａが多角形穴の方が好ましい。
【００６０】
電気的接触部３６は、貫通孔２１の上方（一端）の開口部２１ｂ側に配置されており、電気的接触部３６には三角形状の凹凸部が連続する冠形状に形成されたコンタクト部３６ａが形成され、このコンタクト部３６ａが被検査対象物２２の接続端子２２ａに接触するようになっている。
【００６１】
また、電気的接触部３６にはフランジ部３６ｂが形成されており、このフランジ部３６ｂにはコイルバネ１６の上端が当接している。
【００６２】
電気的接触部３８は、貫通孔２１の下方（他端）の開口部２１ａ側に配置されており、電気的接触部３８には円錐状に形成されたコンタクト部３８ａが形成され、このコンタクト部３８ａが検査装置であるプリント配線板２３の接続端子２３ａに接触するようになっている。
【００６３】
また、シリンダ部３７にはフランジ部３７ｂが形成されており、このフランジ部３７ｂにはコイルバネ１６の下端が当接している。
【００６４】
被検査対象物２２の接続端子２２ａと高頻度に接触・離脱する第１導電部材３３は、導電率および耐摩耗性が高い硬質の金属材料、例えばチタン（Ｔｉ）系金属および炭素鋼（ＳＫ）から構成されており、プリント配線板２３の接続端子２３ａに接触する第２導電部材３４は、第１導電部材３３ほどの硬度は要求されないので、例えば、燐青銅、黄銅、ベリリウム銅等の銅系金属からなる。
【００６５】
これら第１導電部材３３および第２導電部材３４は、それぞれ快削性のある材料を用いることでその旋削加工等を容易化することができる。また、第１導電部材３３および第２導電部材３４は、切削加工後に表面にメッキ処理が施される。
【００６６】
一方、プランジャ３５は、湾曲されており、プランジャ３５がシリンダ部３７の挿通孔３７ａに挿通された状態では、プランジャ３５が元の屈曲した状態に復帰しようと弾性変形することで、プランジャ３５が挿通孔３７ａの内周部に押圧をかけて接触するようになっている。すなわち、本実施の形態のプランジャ３５は、挿通孔３７ａの内周部に接触するように弾性押圧力を有している。なお、プランジャ３５は、湾曲ではなく屈曲されていてもよい。
【００６７】
本実施の形態では、検査用ソケット３１は、コンタクトプローブ３２が収納される貫通孔２１が形成されたソケット本体１３を有し、貫通孔２１の下端の開口部２１ａ側に電気的接触部３８を配置するとともに、貫通孔２１の上端の開口部２１ｂ側に電気的接触部３６を配置し、シリンダ部３７の挿通孔３７ａに摺動自在に挿通されるプランジャ３５を湾曲させたので、シリンダ部３７の挿通孔３７ａにプランジャ３５を挿通したときに、プランジャ３５が元の屈曲した状態に復帰しようと弾性変形することで、プランジャ３５を挿通孔３７ａの内周部に押圧をかけて接触させることができる。
【００６８】
このため、プランジャ３５とシリンダ部３７の挿通孔３７ａの内周部とのクリアランスを厳密に管理するのを不要にして、還元すれば、第１導電部材３３と第２導電部材３４を切削加工して表面処理を行うときにプランジャ３５および挿通孔３７ａの加工を容易にして、第１導電部材３３と第２導電部材３４の摺動抵抗を小さくすることができるとともに、第１導電部材３３と第２導電部材３４の電気抵抗を安定させることができる。この結果、コンタクトプローブ３２の歩留りを向上させてコンタクトプローブ３２の生産性を向上させることができる。
【００６９】
また、コンタクトプローブ３２をソケット本体１３に取付ける場合には、従来のように第１導電部材３３と第２導電部材３４を傾ける必要がないため、コンタクトプローブ３２を傾けてソケット本体１３に収納するために貫通孔２１とコンタクトプローブ３２のクリアランスを大きくする必要がなく、プランジャ３５が挿通孔３７ａの内周部に斜めの状態で接触するのを防止することができ、第１導電部材３３と第２導電部材３４の電気抵抗を安定させることができる。
【００７０】
また、コンタクトプローブ３２をソケット本体１３に取付けたときに、第１導電部材３３と第２導電部材３４を傾ける必要がないため、コンタクトプローブ３２が稼働したとき、すなわち、被検査対象物２２の導通検査を行うときに、電気的接触部３６、３８と貫通孔２１の両端の開口部２１ａ、２１ｂとが偏った状態で接触するのを防止して、開口部２１ａ、２１ｂが偏摩耗してしまうのを防止することができる。
【００７１】
このため、被検査対象物２２の接続端子２２ａおよびプリント配線板２３の接続端子２３ａと電気的接触部３６、３８との位置ずれが生じてしまうのを防止することができ、被検査対象物２２の検査を安定して行うことができる。
【００７２】
なお、本実施の形態では、プランジャ３５の径を軸方向に亘って同一径にしているが、図５に示すように、プランジャ３５の軸方向の略中央部に絞り部３５ａを形成してもよい。この絞り部３５ａは、プランジャ３５の他の部分よりも径が細くなっている部分である。
【００７３】
このようにすれば、シリンダ部３７の挿通孔３７ａにプランジャ３５を挿通したときに、プランジャ３５が元の湾曲した状態に復帰するようにプランジャ３５をより一層弾性変形させることができる。また、絞り部３５ａの径を調整することにより、プランジャ３５の弾性変形量を細かく調整することができ、第１導電部材３３および第２導電部材３４の摺動抵抗を調整することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
以上のように、本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットは、コンタクトプローブの摺動性および電気抵抗を安定させることができるようにして、生産性を向上させることができるとともに、被検査対象物の検査を安定して行うことができるという効果を有し、ＩＣパッケージや集積回路素子等を検査するコンタクトプローブおよび検査用ソケット等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、検査用ソケットの正面断面図である。
【図２】本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、テスト時動作状態を示す検査用ソケットの正面断面図である。
【図３】本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、他の構成のコンタクトプローブを有する検査用ソケットの正面断面図である。
【図４】本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第２の実施の形態を示す図であり、検査用ソケットの正面断面図である。
【図５】本発明に係るコンタクトプローブおよび検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、他の構成のコンタクトプローブを有する検査用ソケットの正面断面図である。
【図６】従来の検査用ソケットの正面断面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１１、３１  検査用ソケット
１２、３２  コンタクトプローブ
１３  ソケット本体
１４、３３  第１導電部材
１５、３４  第２導電部材
１６  コイルバネ（付勢部材）
１７、３５  プランジャ（第１電気的端子部）
１７ａ、３５ａ  絞り部
１８、３６  電気的接触部（第１電気的接触部）
１９、３７  シリンダ部（第２電気的端子部）
１９ａ、３７ａ  挿通孔
２０、３８  電気的接触部（第２電気的接触部）
２１  貫通孔
２１ａ、２１ｂ  開口部
２２  被検査対象物
２２ａ  接続端子
２３  プリント配線板（検査装置）
２３ａ  接続端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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