(57)【要約】      （修正有）【課題】基板処理装置と、該基板処理装置と通信手段で接続される群管理装置と、基板処理装置に於ける操作権限の範囲、制限を容易に追加、変更できる様にする。【解決手段】基板処理装置と、該基板処理装置と通信手段で接続される群管理装置とを含む基板処理システムであって、該基板処理装置が持つ機能を使用する為の画面部品を表示し、該画面部品の操作で機能の実行を可能とした表示部を有し、前記群管理装置は、制御演算部１１、記憶部１２を有し、該記憶部には前記画面部品と作業権限とを関連付ける書換え可能な第１のデータ２１と、作業者と作業権限とを関連付ける書換え可能な第２のデータ２２と、前記第１のデータと、前記第２のデータに基づきログインした作業者の作業権限に対応した画面部品管理リストを作成し、該画面部品管理リストに基づき作業者の使用可能な機能の設定を行う様構成した。【選択図】図１
2010080675.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信手段で接続される群管理装置とを含む基板処理システムであって、前記基板処理装置は該基板処理装置が持つ機能を使用する為の画面部品を表示し、該画面部品の操作で機能の実行を可能とした表示部を有し、前記群管理装置は、制御演算部、記憶部を有し、該記憶部には前記画面部品と作業権限とを関連付ける書換え可能な第１のデータと、作業者と作業権限とを関連付ける書換え可能な第２のデータとが格納され、前記制御演算部は前記基板処理装置からの作業者のログイン情報で前記第１のデータと、前記第２のデータに基づきログインした作業者の作業権限に対応した画面部品管理リストを作成し、該画面部品管理リストに基づき作業者の使用可能な機能の設定を行う様構成したことを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板処理装置を群管理装置により管理して個々の基板処理装置を稼働させシリコンウェーハ等の基板を処理して半導体装置を製造する基板処理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先ず、図１１に於いて、基板処理システムの概要を説明する。
【０００３】
図１１中、１は群管理装置を示し、該群管理装置１には通信ケーブル、インターネット或はＬＡＮ等の適宜な通信手段２を介して少なくとも１つの基板処理装置３が接続されている。
【０００４】
前記群管理装置１は、前記通信手段２に接続された群管理制御部５及び群管理操作部６を具備しており、又前記基板処理装置３はそれぞれ、前記通信手段２に接続された基板処理制御部７、基板処理操作部８、及び基板処理炉、基板搬送部等から成る基板処理部９を具備している。
【０００５】
前記群管理装置１は、複数の基板処理装置３を統合管理し、基板処理装置３毎の処理内容（レシピ）の管理、基板処理の実行停止、或は基板処理装置３毎の基板処理の進行状況等を統括管理する。
【０００６】
前記群管理装置１に登録するレシピの変更、前記基板処理装置３の稼働状況の変更、該基板処理装置３の管理状態を変更する場合等は、作業者（ユーザ）が前記群管理制御部５から情報、データの入力、操作を行う。又、情報、データの入力、操作は、ユーザが表示部に操作の内容に対応した操作用の画面（以下操作画面）を表示させ、操作画面より所要の作業を実行する様になっている。
【０００７】
尚、操作画面には、所定の画面部品が表示され、該画面部品には実行すべき機能、作業内容が対応付けられており、ユーザが画面部品をクリックする等の操作をすることによって、機能の実行、作業の実行がされる様になっている。
【０００８】
前記基板処理部９の駆動は、前記基板処理制御部７によって制御され、駆動条件、制御条件の設定、前記基板処理装置３が持つ機能の実行等はユーザが前記基板処理操作部８より行う。尚、該基板処理操作部８はキーボード、マウス等の操作端末、及び操作画面から構成され、又操作画面にはボタン等の画面部品が表示され、ボタンをクリックすることでボタンに関連付けられた機能が実行される様になっている。
【０００９】
上記した様に、ユーザは必要に応じ、前記群管理装置１の前記群管理制御部５に設定されている管理内容の変更、保守を前記群管理操作部６から行い、又前記基板処理制御部７の制御内容の変更、保守を前記基板処理操作部８から行っている。
【００１０】
管理内容、処理項目、制御内容の設定、変更の作業で誤操作があった場合は、前記基板処理装置３の管理、該基板処理装置３による基板処理の実行に大きな支障が生じる。更に、どのユーザでも一様に全ての項目について、設定変更の作業が可能であるとすると、誤操作も生じ易い。
【００１１】
この為、従来より、ユーザ毎にユーザの管理レベルに対応した操作権限を与え、又操作権限に対応して操作可能な項目（機能）を設定し、前記群管理制御部５、前記基板処理制御部７が有する機能を使用（操作）する制限を課している。ここで、機能とは、ユーザ情報編集機能、装置ファイルコピー機能、装置ファイル比較機能等、操作部の表示部に表示される操作項目に対応する機能をいう。
【００１２】
従来、操作権限に対応する操作可能な機能を設定する場合、即ち、操作可能な機能を制限する場合、ユーザ単位で、或は操作権限を得た状態か否かに対応させ、それぞれ操作画面毎に個別に設定を行っている。
【００１３】
この為、操作画面に新たに機能を追加したい場合は、操作画面毎に全ての項目について、所定の操作権限に対応して、使用可能かどうかの判定を行い、所定の権限を有するユーザが操作画面を操作可能かどうかを判定する必要があった。
【００１４】
従って、操作画面中の僅かな変更であっても操作画面全体の更新、変更と同等な作業が必要となり、多くの作業量を必要とし、迅速な変更が困難であり、変更、追加には多くのコストと時間が必要となっていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は斯かる実情に鑑み、群管理装置、基板処理装置に於ける操作権限の範囲、制限を容易に追加、変更できる様にするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信手段で接続される群管理装置とを含む基板処理システムであって、前記基板処理装置は該基板処理装置が持つ機能を使用する為の画面部品を表示し、該画面部品の操作で機能の実行を可能とした表示部を有し、前記群管理装置は、制御演算部、記憶部を有し、該記憶部には前記画面部品と作業権限とを関連付ける書換え可能な第１のデータと、作業者と作業権限とを関連付ける書換え可能な第２のデータとが格納され、前記制御演算部は前記基板処理装置からの作業者のログイン情報で前記第１のデータと、前記第２のデータに基づきログインした作業者の作業権限に対応した画面部品管理リストを作成し、該画面部品管理リストに基づき作業者の使用可能な機能の設定を行う様構成した基板処理システムに係るものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信手段で接続される群管理装置とを含む基板処理システムであって、前記基板処理装置は該基板処理装置が持つ機能を使用する為の画面部品を表示し、該画面部品の操作で機能の実行を可能とした表示部を有し、前記群管理装置は、制御演算部、記憶部を有し、該記憶部には前記画面部品と作業権限とを関連付ける書換え可能な第１のデータと、作業者と作業権限とを関連付ける書換え可能な第２のデータとが格納され、前記制御演算部は前記基板処理装置からの作業者のログイン情報で前記第１のデータと、前記第２のデータに基づきログインした作業者の作業権限に対応した画面部品管理リストを作成し、該画面部品管理リストに基づき作業者の使用可能な機能の設定を行う様構成したので、前記第１のデータの前記画面部品と作業権限とを関連付け、或は第２のデータの作業者と作業権限とを関連付けを行うことで容易に作業者の使用可能な機能の設定の変更が可能であり、又変更に要する時間の短縮を行え、コストの低減が図り得るという優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
【００１９】
本発明が実施される基板処理システムの基本的な構成は、図１１に示したものと同等の構成を有しているので、以下は図１１を参照して説明する。
【００２０】
図１は、前記群管理装置１に於ける群管理制御部５の概略を示す構成図であり、図２は前記基板処理装置３に於ける基板処理制御部７の概略を示す構成図である。
【００２１】
先ず、群管理制御部５について説明する。
【００２２】
該群管理制御部５は主に、ＣＰＵに代表される制御演算部１１、該制御演算部１１に接続された記憶部１２、入出力制御部１３を介して前記制御演算部１１に接続された操作部１４、表示部１５から構成される。
【００２３】
前記記憶部１２には複数の前記基板処理装置３を統括制御する基板処理装置制御プログラム１７、ユーザの操作権限、操作権限内容等を設定、制御する権限管理プログラム１８、図５に例示される画面部品管理リスト２８，２９の作成、削除を行う画面部品管理リストプログラム等のプログラムが格納され、又権限内容に関する権限管理データ１９、例えば図３で示す権限名称・画面部品関連付けファイル２１、図４で示すユーザと権限の関連付けテーブル２２等のデータが格納されている。前記権限管理プログラム１８には、ユーザのＩＤの登録、削除、更にＩＤの判別を行うＩＤ判別プログラムが含まれている。
【００２４】
次に、前記基板処理装置３の前記基板処理制御部７は、表示画面２５、制御演算部２６、記憶部２７等を有し、該記憶部２７には前記表示画面２５に画像、画面部品を表示させる為の表示プログラム、前記ＩＤ判別プログラムと同様のユーザのＩＤ判別プログラム、前記画面部品が操作された場合に画面部品に関連付けられた機能を実行させるコマンドを発生するコマンドプログラム、前記基板処理装置３に作業者がログインした場合に、ログイン情報を前記群管理制御部５に送信する等データを通信する通信プログラム等のプログラムが格納されている。
【００２５】
次に、図３を参照して権限名称と画面部品との関連付けについて説明する。
【００２６】
任意の機能Ａに対応する権限名称（ここでは権限名称Ａとする）を与え、機能Ａを使用する為に必要な画面部品Ｘ，Ａ１，Ａ２，Ａ３を権限名称Ａに関連付ける。
【００２７】
同様に、機能Ｂに対応する権限名称（ここでは権限名称Ｂとする）を与え、機能Ｂを使用する為に必要な画面部品Ｘ，Ｂ１，Ｂ２を権限名称Ｂに関連付ける。
【００２８】
又、図４を参照してユーザと権限名称との関連付けについて説明する。
【００２９】
ユーザを、例えばユーザα、ユーザβとし、ユーザα、ユーザβがそれぞれ使用権限を得た状態で、使用できる権限を割当てる。ユーザαには権限Ａを与え、ユーザβには権限Ａ及び権限Ｂを与える。これによって、ユーザαは、機能Ａを使用できるが機能Ｂは使用できない。又、ユーザβは機能Ａ及び機能Ｂを使用することができる。
【００３０】
図６は、画面部品を操作して機能Ａ、機能Ｂを実行する場合の操作の流れを示している。
【００３１】
前記基板処理制御部７の前記表示画面２５に表示される最初のメニュー画面２５ａには画面部品Ｘを含む所定の画面部品が表示されており、画面部品Ｘを前記基板処理操作部８を介して操作（例えばクリック）すると画面部品Ａ１、Ｂ１を含むメニュー画面２５ｂが表示され、更に画面部品Ａ１をクリックすると画面部品Ａ２、Ａ３を含むメニュー画面２５ｃが表示され、画面部品Ａ２、Ａ３をクリックすることで、機能Ａを実行することができる。又、画面部品Ｂ１をクリックすることで、画面部品Ｂ２を含むメニュー画面２５ｄが表示され、画面部品Ｂ２をクリックすることで、機能Ｂを実行することができる。
【００３２】
機能Ａ、機能Ｂを使用するには上記した様に、ユーザが必要な権限を得る必要がある。
【００３３】
権限の付与、権限の制限については、前記権限管理プログラム１８によって管理される。
【００３４】
前記基板処理装置３から操作するには、ユーザがＩＤを入力してログインする。ＩＤが入力されると、前記ＩＤ判別プログラムがユーザの判別を行い、ログインしたユーザがユーザαであるか、ユーザβであるかを判断する。ユーザの判別は、前記基板処理装置３のＩＤ判別プログラムで行ってもよいし、前記群管理装置１のＩＤ判別プログラムで行ってもよい。
【００３５】
前記基板処理装置３からログイン情報が送信されると、前記権限管理プログラム１８は、図３、図４に示す権限名称・画面部品関連付けファイル２１、ユーザと権限の関連付けテーブル２２に基づきユーザα、ユーザβそれぞれについて前記画面部品管理リスト２８、前記画面部品管理リスト２９を作成し、該画面部品管理リスト２８，２９に基づきユーザα、ユーザβの操作の許可、制限を管理する。又前記基板処理装置３に送信され、前記画面部品管理リスト２８、前記画面部品管理リスト２９は前記表示画面２５に表示され、各ユーザが権限内容を確認できる様にする。尚、前記画面部品管理リスト２８、前記画面部品管理リスト２９は、ユーザがログアウトした場合には削除される。
【００３６】
図７は、権限内容によって操作が許可される場合、制限される場合を示している。
【００３７】
権限が与えられてない状態、即ち特別な権限が与えられていない一般ユーザの場合は、図７（Ａ）に示され、画面部品Ｘの操作が許可されない。従って前記メニュー画面２５ｂ以降のメニュー画面が展開されず、機能Ａ、機能Ｂ共に使用することができない。
【００３８】
次に権限Ａが与えられたユーザαがログインした場合、前記画面部品管理リスト２８に従って操作権限が特定され、図７（Ｂ）に示される様に、前記メニュー画面２５ａ中の画面部品Ｘ、更に前記メニュー画面２５ｂ中の画面部品Ａ１の使用が許可されているので、機能Ａが使用できる。又、前記メニュー画面２５ｂ中の画面部品Ｂ１の使用は制限されているので、機能Ｂを使用することはできない。
【００３９】
又、権限Ｂが与えられたユーザβがログインした場合、前記画面部品管理リスト２９に従って操作権限が特定され、図７（Ｃ）に示される様に、前記メニュー画面２５ａ中の画面部品Ｘ、更に前記メニュー画面２５ｂ中の画面部品Ａ１、Ｂ１の使用が許可されているので、機能Ａ、機能Ｂ共に使用することができる。
【００４０】
而して、前記権限管理プログラム１８によって、ユーザによって権限内容が確認され、又使用可能な機能の制限が行われる。
【００４１】
次に、図８、図９に於いて、新たな機能Ｃを実行する為に、画面部品を登録する場合について説明する。尚、画面部品の登録は、前記群管理制御部５、又は前記基板処理制御部７から操作可能である。
【００４２】
新たな機能Ｃを実行させる為の画面部品Ｃ１，Ｃ２を作成し、前記権限管理プログラム１８を介して前記権限名称・画面部品関連付けファイル２１に登録する。又、前記権限管理プログラム１８は、機能Ｃと前記画面部品Ｃ１，Ｃ２との関連付け、画面部品Ｘ，Ｃ１，Ｃ２間の関連付け等の正当性、関連付けが成功しているかどうか、前記画面部品Ｃ１，Ｃ２の操作により機能Ｃが実行可能かどうか等を判断し、妥当である場合は、登録が有効の判断をすると共に前記表示画面２５に登録有効の表示を行う。
【００４３】
又、正当性がなく、関連付けが不正であれば、登録無効の判断をすると共に前記表示部１５又は前記表示画面２５に登録無効の表示を行う。
【００４４】
更に、登録が有効と判断された場合は、前記権限管理プログラム１８は、前記権限名称・画面部品関連付けファイル２１に権限Ｃを追加し、画面部品としてメニュー画面２５ｂに画面部品Ｃ１を追加し、更にメニュー画面２５ｅを作成する。
【００４５】
前記メニュー画面２５ｂ中で、前記画面部品Ｃ１をクリックすると、画面部品Ｃ２を含む前記メニュー画面２５ｅが展開され、画面部品Ｃ２をクリックすると、機能Ｃが実行される様にファイルを更新する。
【００４６】
図１０を参照して権限が変更される場合について説明する。
【００４７】
権限の変更は、前記権限管理プログラム１８により前記権限名称・画面部品関連付けファイル２１の内容の変更、又は前記ユーザと権限の関連付けテーブル２２の内容の変更を行う。
【００４８】
例えば、権限内容自体の変更を行う場合は、前記権限名称・画面部品関連付けファイル２１の変更を行う。例えば権限Ａから画面部品のＡ３の削除を実行し、権限Ａでは画面部品Ａ３を操作できない様にする。
【００４９】
前記権限名称・画面部品関連付けファイル２１は、前記画面部品のＡ３を削除したことにより、画面部品と機能Ａとの関連性、画面部品間の関連付け等の正当性、関連付けが成功しているかどうかを判断し、妥当である場合は、登録が有効の判断をすると共に前記表示画面２５に登録有効の表示を行う。又、正当性がなく、関連付けが不正であれば、登録無効の判断をすると共に前記表示画面２５に登録無効の表示を行う。
【００５０】
又、上記した画面部品の追加等によりユーザに割当てる権限を変更する場合、例えば、ユーザβに権限Ａ、権限Ｂに加えて権限Ｃを割当てる場合、ユーザと権限の関連付けテーブル２２に於いてユーザβに権限Ｃを追加する。
【００５１】
前記ユーザと権限の関連付けテーブル２２のユーザβに権限Ｃが追加されることにより、ユーザβがログインした際に作成される画面部品リストの特権行使時に使用可能な画面部品として画面部品Ｃ１，Ｃ２が追加され、更に前記権限管理プログラム１８は、この画面部品リストに基づいて、ユーザβが画面部品Ｃ１，Ｃ２を操作して機能Ｃを実行することを許可する。
【００５２】
而して、機能に関連した画面部品の登録を行うだけで、関連する機能の使用制限を可能とし、ユーザに権限の割当てをするだけで、ユーザが使用可能な機能の制限ができ、又権限の割当ての変更が容易に行え、ユーザの使用可能な機能の制限の変更が可能である。
【００５３】
尚、上記実施の形態は、群管理装置１の群管理制御部５が権限管理プログラム１８を備えている場合を説明したが、基板処理装置３の基板処理制御部７が前記権限管理プログラム１８を備え、基板処理装置３個々にユーザの権限管理を行う様にしてもよい。
【００５４】
更に、本発明の対象となる基板処理システムとしては、半導体製造装置、ＬＣＤ製造装置に実施可能であり、又基板処理は、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜処理、窒化膜処理、金属膜処理等の成膜処理、アニール処理、エッチング処理、拡散処理等基板処理全般に実施可能であることも言う迄もない。
【００５５】
（付記）
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
【００５６】
（付記１）基板処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信回線で接続される群管理装置とを具備する基板処理システムであって、前記群管理装置は機能とその機能を使用する為に必要な画面を関連付けた第１のデータと、作業者とその作業者が使用可能な機能を関連付けた第２のデータを保有し、前記基板処理装置からログイン情報又は作業者の変更情報が送信されると、前記基板処理装置の機能を使用する権限を取得した作業者に従って、前記基板処理装置の操作画面で使用する画面を設定することを特徴とする基板処理システム。
【００５７】
（付記２）複数の基板処理装置が通信回線を介して接続される群管理装置であって、該群管理装置は機能とその機能を使用する為に必要な画面を関連付けた第１のデータと、作業者とその作業者が使用可能な機能を関連付けた第２のデータを保有し、前記基板処理装置からログイン情報又は作業者の変更情報が送信されると、前記基板処理装置の機能を使用する権限を取得した作業者に対して前記第１のデータと前記第２のデータに基づき前記基板処理装置の操作画面で操作可能な機能の設定を行う様構成したことを特徴とする群管理装置。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板処理システムを構成する群管理装置の群管理制御部の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板処理システムを構成する基板処理装置の基板処理制御部の概略構成図である。
【図３】権限名称と画面部品の関連付けを示す図である。
【図４】ユーザと権限の関連付けを示す図である。
【図５】ユーザに対応する画面部品管理リストを示す図である。
【図６】画面部品を操作して機能Ａ、機能Ｂを実行する場合の説明図である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）はユーザの権限によって操作可能な流れを示す説明図である。
【図８】画面部品の登録をする場合の説明図である。
【図９】画面部品の登録をした場合の操作の流れを示す説明図である。
【図１０】画面部品の状態を変更する場合の説明図である。
【図１１】基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５９】
１              群管理装置
２              通信手段
３              基板処理装置
５              群管理制御部
７              基板処理制御部
１１            制御演算部
１２            記憶部
１８            権限管理プログラム
２１            権限名称・画面部品関連付けファイル
２２            ユーザと権限の関連付けテーブル
２５            表示画面
２６            制御演算部
２７            記憶部
２８            画面部品管理リスト
２９            画面部品管理リスト
【図１】
2010080675.tif 000003
【図２】
2010080675.tif 000004
【図３】
2010080675.tif 000005
【図４】
2010080675.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2010080675.tif 000009
【図８】
2010080675.tif 000010
【図９】
2010080675.tif 000011
【図１０】
2010080675.tif 000012
【図１１】
2010080675.tif 000013