(57)【要約】【課題】容器本体内を適切に密閉でき、汚染物を含んだ気体が容器本体内に流入するのを防ぎ、蓋体の開閉に支障を来たすおそれの少ない基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面のリムフランジ２６を開閉する蓋体５０と、容器本体１の開口したリムフランジ２６と蓋体５０との間に介在される変形可能なガスケットとを備える。ガスケットを、容器本体１のリムフランジ２６内周に嵌合されて蓋体５０の周壁に密接するガスケット２８と、蓋体５０に嵌合されて容器本体１のリムフランジ２６内周に密接するガスケット６４とから形成する。リップタイプのガスケット２８・６４を装着して二重シール構造とするので、容器本体１内を適切かつ確実に密閉することができ、しかも、蓋体５０の嵌合の際、抵抗が増大して開閉に支障を来たすおそれがない。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、これら容器本体の開口部と蓋体との間に介在される変形可能なガスケットとを備えた基板収納容器であって、
ガスケットは、容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方に取り付けられる第一、第二のガスケットを含み、この第一、第二のガスケットからシール形成用の突片をそれぞれ斜めに突出させ、第一、第二のガスケットの突片の指向方向を逆方向としたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
第一、第二のガスケットのいずれか一方の突片を容器本体の開口部から内方向に指向させ、他方の突片を容器本体の開口部から外方向に指向させるようにした請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
容器本体の開口部内周に第一のガスケットを取り付けてその突片を蓋体に接触させ、蓋体に第二のガスケットを取り付けてその突片を容器本体の開口部内周に接触させるようにした請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる筐体と、この筐体に設置され、回転体の回転により筐体から出没可能な係止爪を突出させて容器本体の開口部内周に係止させる施錠機構とを備え、この施錠機構を第一、第二のガスケットの間に位置させるようにした請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
筐体の周壁に、施錠機構の係止爪を突出させる貫通孔を設け、この貫通孔を第一、第二のガスケットの間に位置させるようにした請求項４記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板を支持する基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを収納する従来の基板収納容器は、図示しないが、例えばφ３００ｍｍの薄い半導体ウェーハを複数枚整列収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面部をガスケットを介して開閉する着脱自在の蓋体とを備え、容器本体内の空気が窒素ガス等に置換され、半導体ウェーハの表面酸化等が防止される。
【０００３】
ガスケットは、一般的には、圧縮タイプとリップタイプとに分類される。このうち、リップタイプのガスケットは、例えば所定の成形材料を使用して変形可能な枠形に成形され、突片が突出形成されており、容器本体あるいは蓋体に単数複数嵌合される。このようなガスケットは、突片が容器本体や蓋体に屈曲しながら圧接し、気密性を確保する（特許文献１、２、３、４、５、６参照）。
【特許文献１】ＷＯ９９／３９９９４
【特許文献２】特開２０００‐３０６９８８号公報
【特許文献３】特開２００４‐２１４２６９号公報
【特許文献４】特開２００６‐１２８４６１号公報
【特許文献５】特開２００２‐６８３６４号公報
【特許文献６】特開２００３‐１７４０８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、ガスケットから突片が単に突出しているので、容器本体内の空気を窒素ガス等に置換する際、窒素ガス等が容器本体の外部に漏洩しやすく、この結果、半導体ウェーハの表面酸化の防止効果を長期に亘り維持することができないという問題がある。また、汚染物を含んだ空気が容器本体の外部から内部に流入し易いという問題もある。さらに、容器本体や蓋体に圧縮タイプのガスケットが複数嵌合される場合には、容器本体の開口した正面部に蓋体が自動的に嵌合される際、抵抗が増大し、蓋体の開閉に支障を来たすおそれがある。
【０００５】
本発明は上記に鑑みなされたもので、容器本体内を適切に密閉することができ、汚染物を含んだ気体が容器本体内に流入するのを防ぎ、蓋体の開閉に支障を来たすおそれの少ない基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、これら容器本体の開口部と蓋体との間に介在される変形可能なガスケットとを備えたものであって、
ガスケットは、容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方に取り付けられる第一、第二のガスケットを含み、この第一、第二のガスケットからシール形成用の突片をそれぞれ斜めに突出させ、第一、第二のガスケットの突片の指向方向を逆方向としたことを特徴としている。
【０００７】
なお、第一、第二のガスケットのいずれか一方の突片を容器本体の開口部から内方向に指向させ、他方の突片を容器本体の開口部から外方向に指向させることができる。
また、容器本体の開口部内周に第一のガスケットを取り付けてその突片を蓋体に接触させ、蓋体に第二のガスケットを取り付けてその突片を容器本体の開口部内周に接触させることができる。
【０００８】
また、蓋体は、容器本体の開口部に嵌め合わされる筐体と、この筐体に設置され、回転体の回転により筐体から出没可能な係止爪を突出させて容器本体の開口部内周に係止させる施錠機構とを備え、この施錠機構を第一、第二のガスケットの間に位置させることもできる。
さらに、筐体の周壁に、施錠機構の係止爪を突出させる貫通孔を設け、この貫通孔を第一、第二のガスケットの間に位置させても良い。
【０００９】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００、φ３００、φ４５０ｍｍの半導体ウェーハ、ガラス基板、マスクガラス等が含まれる。また、容器本体は、透明、不透明、半透明、フロントオープンボックスタイプ、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプを特に問うものではない。さらに、第一、第二のガスケットは、容器本体のみに取り付けて良いし、蓋体のみに取り付けても良く、容器本体と蓋体とにそれぞれ取り付けても良い。また、エンドレスでも良いし、複数の線条からなるものでも良い。これらの突片についても、エンドレスでも良いし、複数の個片からなるものでも良い。
【００１０】
本発明によれば、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、第一、第二のガスケットの相互に逆方向を向く傾いた突片が容器本体の開口部あるいは蓋体にそれぞれ接触し、シール機能を発揮する。
また、本発明によれば、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、蓋体に第一のガスケットの内方向に傾いた突片が接触し、容器本体の開口部内周に第二のガスケットの外方向に傾いた突片が接触する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、第一、第二のガスケットからシール形成用の突片をそれぞれ斜めに突出させ、第一、第二のガスケットの突片の指向方向を逆方向とするので、汚染物を含んだ気体が容器本体内に流入するのを防ぐことができるとともに、基板収納容器内の気体が漏れ出ることを抑制し、置換した不活性ガス等のガスを長期間維持することができるという効果がある。また、容器本体内を適切に密閉することができ、蓋体の開閉に支障を来たすおそれが少ないという効果がある。
【００１２】
また、施錠機構を第一、第二のガスケットの間に位置させれば、施錠機構から発生する汚染物を第一、第二のガスケットにより規制することができ、汚染物の流出を防ぐことができる。
さらに、筐体の周壁に、施錠機構の係止爪を突出させる貫通孔を設け、この貫通孔を第一、第二のガスケットの間に位置させれば、施錠機構から筐体周壁の貫通孔を経由して外部に流出しようとする塵埃を第一、第二のガスケットにより規制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明に係る基板収納容器の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１４に示すように、半導体ウェーハＷを複数枚収納するフロントオープンボックスの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部２５を開閉する蓋体５０とを備え、これら容器本体１と蓋体５０とにガスケット２８・６４をそれぞれ装着し、容器本体１の内部両側には、半導体ウェーハＷを水平に支持可能な別体の支持体４０をそれぞれ装着するようにしている。
【００１４】
半導体ウェーハＷは、図４、図９、図１０等に示すように、例えば９２５μｍの厚さを有するφ４５０ｍｍの薄く重いシリコンウェーハからなり、周縁部に図示しない位置合わせや識別用のノッチが平面半円形に切り欠かれており、例えば容器本体１に２５枚が整列して収納される。
【００１５】
容器本体１と蓋体５０とは、所定の樹脂を含有する成形材料によりそれぞれ射出成形される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えば力学的性質や耐熱性等に優れるポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、あるいは環状オレフィン樹脂等があげられる。これらの樹脂には、カーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー、帯電防止剤、又は難燃剤等が必要に応じて選択的に添加される。
【００１６】
容器本体１は、図１、図４、図５、図７に示すように、半導体ウェーハＷよりも大きい底板２と、この底板２に半導体ウェーハＷの収納空間をおいて上方から対向する天板１６と、これら底板２と天板１６の後部間を上下に連結する背面壁２１と、底板２と天板１６の左右両側部間を上下に連結する左右一対の側壁２３とを備えた不透明のフロントオープンボックスタイプに形成され、開口した横長の正面部２５を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置や気体置換装置上に位置決めして搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。
【００１７】
底板２は、有底円筒形を呈する多数の螺子ボス３が配設され、四隅部付近には円筒形のフィルタボス４がそれぞれ穿孔して配設されており、この複数のフィルタボス４に、容器本体１の内外を連通する給気用フィルタ５と排気用フィルタ６とがそれぞれＯリングを介し着脱自在に嵌合される。これら給気用フィルタ５と排気用フィルタ６とは、例えば一方向弁が内蔵され、この場合には、気体置換装置に接続されて容器本体１内の空気を窒素ガスに置換し、半導体ウェーハＷの表面酸化等を防止するよう機能する。
【００１８】
底板２の前部両側と後部中央とには、細長い複数の高さ調整板７がそれぞれ所定のピッチで並設され、この複数の高さ調整板７に、基板収納容器、具体的には容器本体１を位置決めする位置決め具８が締結ビスや底板２の螺子ボス３を介しそれぞれ螺着される。各位置決め具８は、図２や図５等に示すように、複数の高さ調整板７間に接触する一対の位置決めブロック９を備え、この一対の位置決めブロック９が僅かな水切り空間１０をおいて相互に対向する。
【００１９】
各位置決めブロック９は、基本的には平面略正方形を呈する断面略Ｖ字形に形成されてその一対の斜面を備えた凹部を下方に指向させ、両側部には取付フランジ１１がそれぞれ水平に突出形成されており、半導体加工装置や気体置換装置の位置決めピンに上方から凹部を嵌合・摺接させ、容器本体１を高精度に位置決めするよう機能する。
【００２０】
底板２の螺子ボス３には図２、図４、図６に示すように、底板２を被覆して複数の給気用フィルタ５、排気用フィルタ６、及び位置決め具８をそれぞれ露出させるボトムプレート１２が締結ビスを介して水平に螺着される。このボトムプレート１２は、底板２よりも一回り小さい類似の形に形成され、周縁部が起立して補強される。
【００２１】
ボトムプレート１２の底板２に対向する対向内面には、直線形の強化リブと共に円筒形の複数の螺子ボス３Ａと位置決めボス１３とが配設され、この複数の螺子ボス３Ａと位置決めボス１３とを貫通した締結ビスが底板２の螺子ボス３に螺挿されることにより、ボトムプレート１２が底板２に高精度に位置決めされる。また、ボトムプレート１２の四隅部付近には、給気用フィルタ５と排気用フィルタ６とを近接して露出させる円形あるいは半円形の露出孔１４がそれぞれ穿孔され、ボトムプレート１２の前部両側と後部中央とには、位置決め具８を近接して露出させる矩形の露出孔１４Ａがそれぞれ穿孔される。
【００２２】
ボトムプレート１２の後部には、露出孔１４Ａの近傍に位置する複数の識別孔１５が穿孔され、この複数の識別孔１５に図示しない着脱自在の情報識別パッドが選択的に挿入されることにより、基板収納容器の種類や半導体ウェーハＷの枚数等が半導体加工装置等に識別される。
【００２３】
天板１６と側壁２３の撓みにくい稜線近傍部、換言すれば、天板１６の両側部には図７等に示すように、側壁２３の上面上に位置する一対の螺子ボス３Ｂがそれぞれ前後に並べて配設され、この複数対の螺子ボス３Ｂに、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ１９が締結ビスを介し水平に螺着される。一対の螺子ボス３Ｂは、トップフランジ１９の裏面に接触あるいは近接する補強用の連結リブ１７が架設され、各螺子ボス３Ｂが有底円筒形に形成されてその外周面には容器本体１の中心部前方向に傾斜して伸びる補強リブ１８が一体形成される。
【００２４】
トップフランジ１９は、図１や図４等に示すように、容器本体１の正面部２５側が広く長く、背面壁２１側が狭く短い平面多角形の平板に形成され、前部中央には、天井搬送機構の一対の保持爪に貫通して干渉保持される保持孔２０が平面矩形に穿孔される。
【００２５】
背面壁２１は、図５等に示すように、中央部に透明の覗き窓２２が二色成形法等により縦長に形成され、この覗き窓２２により、容器本体１の内部が外部から視覚的に観察・把握される。
【００２６】
各側壁２３は、図１や図５等に示すように、底板２と天板１６の形に応じ、前部側が略直線的な板形に形成され、後部側が底板２と天板１６の内方向に傾斜したり、湾曲して形成されており、この後部が背面壁２１の側部に一体的に連結される。各側壁２３の表面には、補強や変形防止の他、指等を干渉させることのできる略台形のグリップ部２４が前後方向に伸長して凹み形成される。
【００２７】
容器本体１の正面部２５は、図１、図４、図５、図７等に示すように、周縁に外方向に張り出すリムフランジ２６が三角形の小さな保持リブを介して膨出形成され、このリムフランジ２６内に着脱自在の蓋体５０が蓋体開閉装置により嵌合される。このリムフランジ２６は、その内周面に正面枠形の取付溝２７が切り欠かれ、この取付溝２７に、蓋体５０に圧接するリップタイプのガスケット２８が嵌合されており、内周面の上下両側部には、ガスケット２８の後方に位置する係止穴３１がそれぞれ穿孔される。
【００２８】
ガスケット２８は、図８等に示すように、例えば取付溝２７に密嵌されて蓋体５０を包囲する正面枠形の基体２９と、この基体２９から突出するエンドレスの突片３０とを備え、所定の成形材料により弾性変形可能に成形される。このガスケット２８の突片３０は、基体２９の蓋体５０に対向する対向面の内周寄りから容器本体１の正面部２５方向に伸びる先細りに形成され、容器本体１の正面部２５方向に向かうに従い徐々に容器本体１の内方向に傾斜し、蓋体５０の周壁外周面に屈曲しながら密接してシールし、基板収納容器内からの気体の漏洩を防止して気密性を確保するよう機能する。
【００２９】
このようなガスケット２８により、基板収納容器内の圧力が高まった場合に基板収納容器の内部から外部に漏洩する気体は、ガスケット２８の突片３０をシール形成方向に押圧するので、基板収納容器内からの気体の漏洩を防止することができる。但し、基板収納容器の外部から内部に気体が流入する場合には、ガスケット２８の突片３０がシール形成方向から離れる方向に押圧されるので、シール性を損ない易いという特徴を有する。
【００３０】
ガスケット２８の所定の成形材料としては、例えば、耐熱性や耐候性等に優れるフッ素ゴム、シリコーンゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系等）等があげられる。
【００３１】
リムフランジ２６の外周面のうち、少なくとも上部と左右両側部とには、略枠形を呈する前後一対の枠リブ３２が間隔をおいて配列形成され、この一対の枠リブ３２の間には、強度を確保する複数のＸリブ３３が並べて連結架設される。一対の枠リブ３２間の上部と左右両側部とのうち、少なくとも両側部には、複数のＸリブ３３を前後に二分する板形の強度保持リブ３４がそれぞれ選択的に一体形成され、この強度保持リブ３４がリムフランジ２６の剛性をさらに向上させる。また、リムフランジ２６の外周面下部には、ボトムプレート１２の前方に整合して位置する搬送用のコンベヤレール３５が設けられる。
【００３２】
各支持体４０は、所定の樹脂、例えば滑り性に優れるポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、あるいはＣＯＰ等を含有する成形材料により射出成形される。この成形材料には、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー、導電性の付与された樹脂等が必要に応じて選択的に添加される。
【００３３】
各支持体４０は、図４、図９、図１０等に示すように、容器本体１の側壁２３内面に対向する枠体４１と、この枠体４１から上下に並んだ状態で突出し、半導体ウェーハＷを支持する複数の支持片４２とを備え、各支持片４２を、枠体４１から水平横方向に突出して半導体ウェーハＷの少なくとも周縁部の側部前方を水平に支持する前部支持片４３と、枠体４１から水平横方向に突出して半導体ウェーハＷの少なくとも周縁部の側部後方を水平に支持する後部支持片４４とから形成しており、容器本体１の両側壁２３内面にそれぞれ着脱自在に装着される。
【００３４】
蓋体５０は、図１、図３、図４、図８、図１１ないし図１４等に示すように、容器本体１の開口したリムフランジ２６内に嵌合する横長の筐体５１と、この筐体５１の開口した表面（正面）を被覆する表面プレート６８と、これら筐体５１と表面プレート６８との間に介在される施錠機構８０とを備えて構成される。
【００３５】
筐体５１は、基本的には枠形の周壁を備えた浅底の断面略皿形に形成され、中央部５２が裏面側から表面側に向け正面略箱形に突出形成されており、この中央部５２と周壁の左右両側部との間に複数の螺子ボスと共に施錠機構８０用の設置空間がそれぞれ区画形成される。この筐体５１の周壁外周面の丸まった四隅部付近には、蓋体５０の着脱を容易化する複数本のドアガイド５３がそれぞれ配設され、周壁の上下両側部には、施錠機構８０用の貫通孔５４がそれぞれ穿孔されており、各貫通孔５４がリムフランジ２６の係止穴３１に対向する。
【００３６】
筐体５１の中央部５２の隆起した表面には、上下方向に指向する複数本の強化リブ５５が所定のピッチをおいて並設され、中央部５２の凹んだ裏面には、左右水平方向に指向する保護棚板５６が上下方向に所定のピッチで並設されており、各保護棚板５６が収納された複数枚の半導体ウェーハＷの周縁部前方を非接触で仕切るよう機能する。保護棚板５６の表裏面には、位置ずれした半導体ウェーハＷの周縁部前方に干渉可能な三角形の小さな干渉リブ５７が複数配列形成される。
【００３７】
筐体５１の裏面両側部には、筐体５１に剛性を付与して反りを防止する格子リブ５８がそれぞれ縦長に一体形成され、各格子リブ５８と複数の保護棚板５６との間には、半導体ウェーハＷを弾発的に保持するフロントリテーナ５９がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００３８】
各フロントリテーナ５９は、格子リブ５８と保護棚板５６との間に押さえ爪を介し着脱自在に装着され、かつ施錠機構８０の後方に位置して蓋体５０の変形を防止する縦長の枠体６０を備え、この枠体６０の保護棚板５６に近接する縦桟部には、保護棚板５６方向に傾斜しながら伸びる弾性片６１が上下に並べて一体形成されており、各弾性片６１の先端部には、半導体ウェーハＷの周縁部前方をＶ溝により保持する小さな保持ブロック６２が一体形成される。
【００３９】
筐体５１の裏面周縁部には枠形の嵌合溝６３が形成され、この嵌合溝６３には、リムフランジ２６のガスケット２８との間に複数の貫通孔５４や施錠機構８０を挟むリップタイプのガスケット６４が嵌合されており（図８等参照）、このガスケット６４がリムフランジ２６内に圧接する。
【００４０】
ガスケット６４は、図８等に示すように、例えば嵌合溝６３に密嵌されて施錠機構８０を包囲する枠形の基体６５と、この基体６５の外周面から突出するエンドレスの屈曲突片６６とを備え、所定の成形材料により弾性変形可能に成形される。基体６５の内周面や端面には、嵌合溝６３内に圧接する複数の突起６７が形成され、この複数の突起６７がガスケット６４の位置ずれや脱落を防止するよう機能する。また、屈曲突片６６は、容器本体１の背面壁２１方向に指向する断面略へ字形に形成されて容器本体１の内方向から外方向に斜めに伸び、リムフランジ２６の内周面に密接してシールし、気密性を確保する。
【００４１】
このようなガスケット６４は、屈曲突片６６が容器本体１の正面部２５外方向に斜めに伸び、基板収納容器の内部から外部に流出しようとする気体の圧力により、屈曲突片６６がシール形成方向から離れる方向に押圧されるので、内部の気体が流出し易いものの、基板収納容器の外部から内部に気体が流入する場合には、屈曲突片６６がシール形成方向に押圧されるので、基板収納容器外からの気体の流入を効果的に防止することができるという特徴を有する。
【００４２】
所定の成形材料としては、例えば、耐熱性や耐候性等に優れるフッ素ゴム、シリコーンゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系等）等があげられる。
【００４３】
表面プレート６８は、筐体５１の開口した表面に対応するよう横長の平板に形成され、左右両側部には、施錠機構８０用の操作口６９と共に複数の取付孔がそれぞれ穿孔されており、この複数の取付孔を貫通した締結ビスが筐体５１の螺子ボスに螺挿されることにより、筐体５１の表面に位置決め固定される。この表面プレート６８の周縁部は、筐体５１の周壁外周面に係合する複数の係合リブ７０が所定のピッチをおいて配列形成され、蓋体５０の周壁としてガスケット２８の突片３０に密接される。
【００４４】
施錠機構８０は、表面プレート６８の操作口６９を貫通した蓋体開閉装置の操作ピンに回転操作される左右一対の回転プレート８１と、各回転プレート８１の回転に伴い上下方向にスライドする複数のスライドプレート８４と、各スライドプレート８４のスライドに伴い筐体５１から突出してリムフランジ２６の係止穴３１に係止する複数の係止爪８７とを備えて構成され、フロントリテーナ５９の前方に位置する。
【００４５】
各回転プレート８１は、基本的には断面略凸字形の円板に形成され、周縁部付近に一対の係合溝孔８２が間隔をおいてそれぞれ略半円弧形に切り欠かれており、筐体５１表面の左右両側部にそれぞれ軸支されてフロントリテーナ５９の前方近傍に位置する。この回転プレート８１の表面側に突出した中心部には、表面プレート６８の操作口６９に対向する正面略小判形の操作穴８３が穿孔され、この操作穴８３に蓋体開閉装置の操作ピンが着脱自在に挿入される。
【００４６】
各スライドプレート８４は、筐体５１の上下方向に指向する縦長の板に形成され、筐体５１表面の左右両側部に複数のガイドピン８５を介しそれぞれ支持されてフロントリテーナ５９の前方近傍に位置しており、末端部が回転プレート８１の表面周縁部付近に対向する。このスライドプレート８４の末端部には嵌入ピンが突出形成され、この嵌入ピンには、回転プレート８１の係合溝孔８２に遊嵌するローラ８６が回転可能に嵌合される。
【００４７】
各係止爪８７は、筐体５１の貫通孔５４付近に揺動可能に軸支されるとともに、スライドプレート８４の先端部に揺動可能に軸支され、スライドプレート８４のスライドにより貫通孔５４から突出あるいは退没する。この係止爪８７には円筒形のローラ８８が回転可能に軸支され、このローラ８８が貫通孔５４から突出してリムフランジ２６の係止穴３１内に摺接・係止する。
【００４８】
上記構成において、容器本体１の一対の支持体４０に半導体ウェーハＷを支持させる場合には、容器本体１の一対の支持体４０間に半導体ウェーハＷを専用のロボットにより水平に挿入し、その後、半導体ウェーハＷを下降させ、各支持体４０の前部支持片４３と後部支持片４４とに半導体ウェーハＷの裏面を支持させれば、容器本体１の一対の支持体４０に半導体ウェーハＷを水平に支持させることができる。
【００４９】
この際、各支持片４２の前部支持片４３と後部支持片４４とが、半導体ウェーハＷの周縁部側方の最大径近傍のみならず、半導体ウェーハＷの裏面両側を従来よりも広範囲に亘り側方から支持する。
【００５０】
容器本体１の一対の支持体４０に半導体ウェーハＷを支持させたら、容器本体１の開口したリムフランジ２６内に蓋体５０を蓋体開閉装置が嵌合して蓋体５０の周壁にガスケット２８の傾斜した突片３０を圧接させるとともに、リムフランジ２６内にガスケット６４の傾斜した屈曲突片６６を圧接させ、施錠機構８０を施錠操作する。
【００５１】
この際、ガスケット２８の突片３０とガスケット６４の屈曲突片６６との向きが相互に反対方向なので、基板収納容器内からの気体の漏洩も、基板収納容器外からの気体の流入も効果的に防止することができる。したがって、基板収納容器内への汚染物の流入を防止し、しかも、置換した基板収納容器内の気体の確実な維持が期待できる。
【００５２】
また、施錠機構８０の具体的な施錠操作については、各回転プレート８１が蓋体開閉装置の操作ピンにより例えば施錠方向である時計方向に回転操作されると、各スライドプレート８４が蓋体５０の上下外方向に直線的にスライドし、各係止爪８７が筐体５１の貫通孔５４から突出してリムフランジ２６の係止穴３１内にローラ８８を介して係止し、容器本体１のリムフランジ２６内に嵌合した蓋体５０が強固に施錠される。
【００５３】
また、各回転プレート８１が操作ピンにより例えば解錠方向である反時計方向に回転操作されると、突き出た各スライドプレート８４が蓋体５０の上下内方向に直線的にスライド復帰し、各係止爪８７のローラ８８がリムフランジ２６の係止穴３１内から筐体５１の貫通孔５４内に退没復帰し、容器本体１のリムフランジ２６内から蓋体５０が取り外し可能となる。
【００５４】
上記構成によれば、容器本体１と蓋体５０とにリップタイプのガスケット２８・６４をそれぞれ装着して二重シール構造とするので、容器本体１内を適切かつ確実に密閉することができ、しかも、蓋体５０の嵌合の際、抵抗が増大して開閉に支障を来たすおそれがない。また、ガスケット２８の内向きに傾斜した突片３０が容器本体１内からの圧力に優れた効果を発揮するので、容器本体１内の空気を窒素ガス等に置換する際、窒素ガス等が容器本体１の外部に漏洩しにくい。したがって、半導体ウェーハＷの表面酸化の防止効果を長期に亘り維持することができる。
【００５５】
また、ガスケット６４の外向きに傾斜した屈曲突片６６が容器本体１外からの圧力に優れた効果を発揮するので、汚染物を含んだ空気が容器本体１の内部に流入するのを抑制防止することができる。さらに、ガスケット２８・６４の間に複数の貫通孔５４や施錠機構８０を介在させるので、施錠機構８０から発生する汚染物をガスケット２８・６４により規制することができ、汚染物の流出や拡散の防止が大いに期待できる。
【００５６】
次に、図１５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、ガスケット２８の突片３０を、容器本体１の正面部２５方向に向かうに従い徐々に容器本体１の外方向に傾斜させて蓋体５０の周壁外周面に屈曲密接させ、ガスケット６４の屈曲突片６６を、容器本体１の背面壁２１方向に指向する先細りに形成して容器本体１の外方向から内方向に斜めに傾斜させ、リムフランジ２６の内周面に密接してシールさせるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００５７】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、複数の貫通孔５４や施錠機構８０を挟むガスケット２８・６４の形状の多様化が期待できるのは明らかである。
【００５８】
次に、図１６は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、筐体５１の周壁と筐体５１の裏面周縁部とに枠形の嵌合溝６３をそれぞれ形成してこれらを容器本体１の前後方向に位置させ、この前後一対の嵌合溝６３にガスケット２８・６４をそれぞれ密嵌して複数の貫通孔５４や施錠機構８０を挟ませるようにしている。
ガスケット２８の突片３０は、容器本体１の背面壁２１方向に向かうに従い徐々に容器本体１の内方向に傾斜し、リムフランジ２６の内周面に密接してシールするよう機能する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００５９】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、ガスケット２８の形状や取付位置の多様化が期待できるのは明らかである。
【００６０】
なお、上記実施形態における容器本体１やトップフランジ１９は、樹脂を含む成形材料により成形しても良いが、アルミニウム、ＳＵＳ、チタン合金等の金属を用いて形成しても良い。また、容器本体１の側壁２３外面には、必要に応じ、握持操作用のハンドルを設けても良い。また、ボトムプレート１２、例えばその後部に、バーコードやＲＦＩＤシステムのＲＦタグを取り付けるための取付部を形成しても良い。
【００６１】
また、Ｘリブ３３の代わりに板リブやＶリブ等を適宜用いても良い。また、ガスケット２８の突片３０は、同様の作用効果が期待できるのであれば、断面略し字形等でも良い。また、ガスケット６４の屈曲突片６６は、同様の作用効果が期待できるのであれば、断面略Ｊ字形、略Ｌ字形、略Ｚ字形等とすることもできる。さらに、施錠機構８０のローラ８８を円筒形ではなく、多角形の筒形に形成してその平坦面を係止穴３１内に係止させ、蓋体５０の施錠の安定化や確実化を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す底面図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す正面図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す断面側面図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における上下逆にした容器本体の底板を模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるボトムプレートの内側を模式的に示す斜視説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体の天板を模式的に示す斜視説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるリムフランジ、ガスケット、及び蓋体の関係を模式的に示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における半導体ウェーハの支持状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における支持体と半導体ウェーハとを模式的に示す正面図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における筐体の表面側を模式的に示す斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の裏面側を模式的に示す斜視説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す平面図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す側面説明図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるリムフランジ、ガスケット、及び蓋体の関係を模式的に示す部分断面説明図である。
【図１６】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態におけるリムフランジ、ガスケット、及び蓋体の関係を模式的に示す部分断面説明図である。
【符号の説明】
【００６３】
１        容器本体
２        底板
１６      天板
２１      背面壁
２３      側壁
２５      正面部（開口部）
２６      リムフランジ（開口部）
２７      取付溝
２８      ガスケット（第一のガスケット）
２９      基体
３０      突片
３２      枠リブ
３３      Ｘリブ
４０      支持体
５０      蓋体
５１      筐体
５４      貫通孔
６３      嵌合溝
６４      ガスケット（第二のガスケット）
６５      基体
６６      屈曲突片（突片）
６８      表面プレート
８０      施錠機構
８１      回転プレート（回転体）
８４      スライドプレート
８７      係止爪
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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