(57)【要約】【課題】粘着テープの消費量が少なくて済み、しかも剥離装置の構造を簡素化して全体コストを削減できる保護フィルムの剥離装置を提供することにある。【解決手段】剥離対象Ｇが載置されるテーブル１と、粘着テープ６４を接着して剥離始端７ａを形成する粘着ヘッド１０と、剥離始端７ａを挟持して剥離移動する剥離ヘッド１１と、これら両ヘッド１０・１１を駆動操作するヘッド駆動構造を備えている。粘着ヘッド１０には、テープ供給リール６５と巻取リール６６と接着腕６７が設けてある。剥離ヘッド１１には、剥離始端７ａを挟持するクランプ体１９が設けてある。以て、保護フィルム７のコーナー部分に、接着腕６７で支持した粘着面を接着して剥離始端７ａを形成し、剥離始端７ａをクランプ体１９で挟持した状態で、離ヘッド１１を対角線に沿って剥離走行させながら保護フィルム７を剥離対象Ｇから剥離する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離対象（Ｇ）が載置固定されるテーブル（１）と、剥離対象（Ｇ）の表面を覆う保護フィルム（７）に粘着テープ（６４）の粘着面を押し付けて剥離始端（７ａ）を形成する粘着ヘッド（１０）と、前記剥離始端（７ａ）を挟持して剥離移動する剥離ヘッド（１１）と、粘着ヘッド（１０）および剥離ヘッド（１１）を駆動操作するヘッド駆動構造とを備えており
粘着ヘッド（１０）には、テープ供給リール（６５）と、巻取リール（６６）と、粘着テープ（６４）の粘着面を剥離対象（Ｇ）と対向させる接着腕（６７）が設けられており、
剥離ヘッド（１１）には、剥離始端（７ａ）を挟持するクランプ体（１９）が設けられており、
保護フィルム（７）のコーナー部分に、粘着ヘッド（１０）の接着腕（６７）で支持された粘着面を接着して剥離始端（７ａ）を剥離対象（Ｇ）から分離し、前記剥離始端（７ａ）をクランプ体（１９）で挟持した状態で剥離ヘッド（１１）を対角線に沿って剥離走行させながら保護フィルム（７）を剥離対象（Ｇ）から剥離することを特徴とする保護フィルムの剥離装置。
【請求項２】
剥離ヘッド（１１）をＸ軸に沿って往復駆動するＸテーブル（１２）と、Ｘテーブル（１２）をＹ軸に沿って往復駆動するＹテーブル（１３）と、粘着ヘッド（１０）をＺ軸に沿って往復駆動するＺテーブル（１４）とを備えており、
Ｚテーブル（１４）はＸテーブル（１２）に支持されて、両テーブル（１２・１４）の間に設けたガイド構造でＸ軸方向に沿って往復動可能に支持されており、
Ｚテーブル（１４）を原点位置からＸ軸方向へ離れる向きに移動操作するアクチュエーター（５６）が、Ｘテーブル（１２）とＺテーブル（１４）との間に設けられており、
Ｚテーブル（１４）を剥離ヘッド（１１）に押し当てることにより、粘着ヘッド（１０）のＸ軸方向の位置決めを剥離ヘッド（１１）で行なう請求項１に記載の保護フィルムの剥離装置。
【請求項３】
剥離対象（Ｇ）を支持するテーブル（１）が、剥離対象（Ｇ）を真空圧によって吸着固定する吸着テーブルで構成してある請求項２に記載の保護フィルムの剥離装置。
【請求項４】
剥離ヘッド（１１）に、剥離始端（７ａ）を挟持する一対のクランプ体（１９）と、両クランプ体（１９）を開閉操作する駆動体（１８）とが設けられており、
両クランプ体（１９）の挟持面に、剥離始端（７ａ）が挟持されたか否かを検出するセンサー（２０）が配置してある請求項２または３に記載の保護フィルムの剥離装置。
【請求項５】
巻取リール（６６）を回転駆動する正逆転モーター（７６）を備えており、
テープ供給リール（６５）はテンショナー（８０）と、ワンウェイクラッチ（７９）と、伝動構造（７８）を介して巻取リール（６６）と連動可能に連結されており、
１個の正逆転モーター（７６）のみで、巻取リール（６６）を正逆転方向へ回転駆動し、同時にテープ供給リール（６５）を逆転方向へ回転駆動する請求項２、３または４に記載の保護フィルムの剥離装置。
【請求項６】
接着腕（６７）の剥離対象（Ｇ）との対向面に弾性変形可能なマット（７３）が配置されており、
保護フィルム（７）のコーナー部分に押し付けられる粘着テープ（６４）の裏面側がマット（７３）で受け止めてある請求項２から５のいずれかに記載の保護フィルムの剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイを構成するガラス基板や、プラスチックシートなどの表面を覆う保護フィルムを自動的に剥離するための剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の剥離装置は例えば特許文献１に公知である。そこでは、フィルム表面のコーナー部分に粘着テープの粘着面を押し付けて保護フィルムの一部をガラス基板から剥離し、剥離始端をチャック体で挟持した状態でガラス基板を送り操作して、保護フィルムの全体をガラス基板から剥離している。粘着テープによる保護フィルムの剥離開始を確実なものとするために、保護フィルムの一部はガラス基板の周縁からはみ出させてあり、このはみ出した部分を含む状態で粘着テープの粘着面を押し付けている。なお、ガラス基板の表裏はそれぞれ保護フィルムで覆われており、表裏の保護フィルムを同時に剥離する必要上、粘着テープとチャック体は、ガラス基板の表裏の左右両側に一対ずつ設けてある。
【０００３】
同様の剥離装置は特許文献２にも開示されている。そこでは、粘着テープが巻かれた押圧ローラを保護フィルムの端縁に押圧したのち、粘着テープを送り操作して保護フィルムの端部を押圧ローラの周りに巻き付け、ガラス基板から剥離されたフィルム端をクランパーで掴んで、保護フィルムの全体をガラス基板から剥離している。この剥離装置においても、粘着テープとクランパーをガラス基板の左右両側に配置している。
【０００４】
本発明の剥離装置は、保護フィルムを対角線に沿って剥離するが、この種の剥離形態は特許文献３に開示してある。そこでは、保護フィルムの対角線に沿って粘着テープを貼り付け、保護フィルムと粘着テープを剥離ローラに巻き掛けて反転しながら、保護フィルムをガラス基板から剥離している。
【０００５】
【特許文献１】特許第４０５４３５９号公報（段落番号００３１〜００３２、図３）
【特許文献２】特許第２７０００８３号公報（段落番号０１０２、図１２）
【特許文献３】特許第３４６５２０９号公報（段落番号００１１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の剥離装置は、保護フィルムの一部をガラス基板の周縁からはみ出させておき、はみ出し部分を含むコーナー部分に粘着テープを接着するので、保護フィルムをガラス基板から確実に剥離できる。しかし、保護フィルムの外縁とガラス基板の周縁とが一致している場合に、粘着テープを確実に接着できずに保護フィルムの剥離に手間取ることがある。
【０００７】
特許文献１、２の剥離装置においては、ガラス基板の左右両側のそれぞれに、粘着テープのカセット部とフィルムチャック装置を配置するので、剥離装置の構造が複雑化し全体コストが高く付く不利がある。また、両側のコーナー部分をフィルムチャック装置で掴んだ状態でないと保護フィルムを確実に剥離できないことがあり、その分だけ剥離に失敗する確率が高くなる。さらに、ガラス基板をローラコンベアで送り操作しながら保護フィルムを剥離するので、例えば、極端に薄いガラス基板や、プラスチックシートに貼り付けられた保護フィルムを剥離するのが難しく、剥離対象が重量の大きなガラス基板に限られる。
【０００８】
特許文献３では、対角線に沿って貼り付けた粘着テープを保護フィルムと共にガラス基板から剥離するので、より簡単に保護フィルムをガラス基板から剥離できる。しかし、保護フィルムの対角線に沿って粘着テープを貼り付けるので、粘着テープの消費量が大きく、そのため、粘着テープを頻繁に交換する必要があり、製造ラインの稼働率が低下するのを避けられない。大量に消費される粘着テープのコストと、保護フィルムに接着した粘着テープを分別して廃棄するコストが嵩む不利もある。
【０００９】
本発明の目的は、粘着テープの消費量が少なくて済み、しかも剥離装置の構造を簡素化して全体コストを削減できる保護フィルムの剥離装置を提供することにある。本発明の目的は、極端に薄いガラス基板や、プラスチックシートなどに貼り付けられた保護フィルムを適正に剥離することができる保護フィルムの剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の剥離装置は、剥離対象Ｇが載置固定されるテーブル１と、剥離対象Ｇの表面を覆う保護フィルム７に粘着テープ６４の粘着面を押し付けて剥離始端７ａを形成する粘着ヘッド１０と、前記剥離始端７ａを挟持して剥離移動する剥離ヘッド１１と、粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１を駆動操作するヘッド駆動構造とを備えている。粘着ヘッド１０には、テープ供給リール６５と、巻取リール６６と、粘着テープ６４の粘着面を剥離対象Ｇと対向させる接着腕６７が設けられてある。剥離ヘッド１１には、剥離始端７ａを挟持するクランプ体１９が設けてある。以て、保護フィルム７のコーナー部分に、粘着ヘッド１０の接着腕６７で支持された粘着面を接着して剥離始端７ａを剥離対象Ｇから分離し、前記剥離始端７ａをクランプ体１９で挟持した状態で剥離ヘッド１１を対角線に沿って剥離走行させながら保護フィルム７を剥離対象Ｇから剥離する。
【００１１】
ヘッド駆動構造は、剥離ヘッド１１をＸ軸に沿って往復駆動するＸテーブル１２と、Ｘテーブル１２をＹ軸に沿って往復駆動するＹテーブル１３と、粘着ヘッド１０をＺ軸に沿って往復駆動するＺテーブル１４とを備えている。Ｚテーブル１４はＸテーブル１２に支持されて、両テーブル１２・１４の間に設けたガイド構造でＸ軸方向に沿って往復動可能に支持されている。Ｚテーブル１４を原点位置からＸ軸方向へ離れる向きに移動操作するアクチュエーター５６を、Ｘテーブル１２とＺテーブル１４との間に設ける。以て、Ｚテーブル１４を剥離ヘッド１１に押し当てることにより、粘着ヘッド１０のＸ軸方向の位置決めを剥離ヘッド１１で行なう。
【００１２】
剥離対象Ｇを支持するテーブル１は、剥離対象Ｇを真空圧によって吸着固定する吸着テーブルで構成する。
【００１３】
剥離ヘッド１１に、剥離始端７ａを挟持する一対のクランプ体１９と、両クランプ体１９を開閉操作する駆動体１８を設ける。両クランプ体１９の挟持面に、剥離始端７ａが挟持されたか否かを検出するセンサー２０を配置する。
【００１４】
巻取リール６６を回転駆動する正逆転モーター７６を備えている。テープ供給リール６５はテンショナー８０と、ワンウェイクラッチ７９と、伝動構造７８を介して巻取リール６６と連動可能に連結する。以て、１個の正逆転モーター７６のみで、巻取リール６６を正逆転方向へ回転駆動し、同時にテープ供給リール６５を逆転方向へ回転駆動する。
【００１５】
接着腕６７の剥離対象Ｇとの対向面に弾性変形可能なマット７３を配置する。保護フィルム７のコーナー部分に押し付けられる粘着テープ６４の裏面側をマット７３で受け止める。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、粘着ヘッド１０や剥離ヘッド１１を備えた剥離装置において、剥離対象Ｇをテーブル１に載置固定し、粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１をヘッド駆動構造で駆動操作して保護フィルム７を剥離するようにした。詳しくは、保護フィルム７のコーナー部分に、粘着ヘッド１０の接着腕６７で支持された粘着面を接着して剥離始端７ａを形成し、得られた剥離始端７ａをクランプ体１９で挟持した状態で、剥離ヘッド１１を対角線に沿って剥離走行させることにより、保護フィルム７を剥離対象Ｇから剥離できるようにした。
【００１７】
上記のように、保護フィルム７を対角線に沿って剥離すると、１台の剥離装置に対して粘着ヘッド１０と剥離ヘッド１１が１個ずつ設けてあればよく、両ヘッドを２組ずつ設ける必要があった従来の剥離装置に比べて、剥離装置の構造を大幅に簡素化して、その導入コストを削減できる。また、保護フィルムの対角線に沿って粘着テープを貼り付ける従来の剥離方法に比べて、粘着テープの消費量を減少して粘着テープの補給回数を大幅に減少でき、製造ラインの稼働率を向上できる。粘着テープの消費コストも削減できる。剥離装置を構成する機器が少ない分だけ、剥離に失敗する確率を低下して信頼性を向上できる。まさらに、剥離対象Ｇをテーブル１に載置固定し、粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１をヘッド駆動構造で駆動操作して保護フィルム７を剥離するので、剥離対象Ｇを正確に位置決め固定でき、剥離対象をコンベアで送り操作しながら保護フィルムを剥離する従来装置に比べて、粘着ヘッド１０によって形成される剥離始端７ａの位置や形状、あるいは剥離ヘッド１１のクランプ体１９による掴み位置を常に一定にして、保護フィルム７の剥離を的確に行なうことができる。
【００１８】
剥離ヘッド１１を往復駆動するＸテーブル１２およびＹテーブル１３と、粘着ヘッド１０を往復駆動するＺテーブル１４などでヘッド駆動構造を構成する剥離装置においては、剥離ヘッド１１がＸＹテーブル１２・１３で正確に位置決めされることを利用して、粘着ヘッド１０の位置決めを行なうことができる。具体的には、Ｚテーブル１４をアクチュエーター５６で原点位置からＸ軸方向へ離れる向きに移動操作して、Ｚテーブル１４を剥離ヘッド１１に押し当てることにより、粘着ヘッド１０のＸ軸方向の位置決めを剥離ヘッド１１で行なうことができる。このように、剥離ヘッド１１を利用して粘着ヘッド１０のＸ軸方向の位置決めを行なうようにすると、粘着ヘッド１０を位置決め駆動するための専用の駆動構造を設ける必要がなく、したがって、剥離装置の構造を簡素化して全体コストをさらに削減できる。なお、粘着ヘッド１０のＹ軸方向の位置決めは、Ｙテーブル１３によって剥離ヘッド１１と同時に位置決めされる。
【００１９】
剥離対象Ｇを支持するテーブル１が、剥離対象Ｇを真空圧によって吸着固定する吸着テーブルで構成してあると、剥離対象Ｇが極端に薄いガラス基板やプラスチックシートであっても、剥離対象Ｇを載置面４にしっかりと吸着保持することができる。したがって、剥離途中に、保護フィルム７の剥離抵抗によって剥離対象Ｇが載置面４から持ち上げられるのを防止して、保護フィルム７を的確に剥離することができ、適用対象に制限のない剥離装置が得られる。また、剥離対象Ｇを下面側から吸着保持するので、クランプ体１９や保護フィルム７の剥離方向への走行を、何者にも邪魔されることなく迅速にしかも円滑に行なえる。
【００２０】
一対のクランプ体１９と、両クランプ体１９を開閉操作する駆動体１８を剥離ヘッド１１に設け、両クランプ体１９の挟持面にセンサー２０を配置した剥離装置によれば、センサー２０から出力される検知信号によって、剥離始端７ａが挟持されたか否かを検出することができる。したがって、剥離始端７ａの形成に失敗し、あるいは剥離始端７ａの捕捉に失敗したことを剥離初期の段階で知って、剥離始端７ａの形成や剥離始端７ａの捕捉を再び試行することができる。剥離始端７ａが両クランプ体１９で挟持されない状態のまま剥離動作が行なわれて、時間が無駄になることも防止できる。
【００２１】
巻取リール６６を正逆転モーター７６で回転駆動する粘着ヘッド１０において、テープ供給リール６５をテンショナー８０、ワンウェイクラッチ７９、伝動構造７８を介して巻取リール６６と連動可能に連結すると、１個の正逆転モーター７６のみで、巻取リール６６を正逆転方向へ回転駆動し、同時にテープ供給リール６５を逆転方向へ回転駆動できる。したがって、粘着テープ６４をモーター動力で強制的に送り操作する粘着ヘッド１０の構造を簡素化して、その分だけ粘着ヘッド１０の製作に要する費用を削減できる。保護フィルム７の剥離動作に連動して、粘着テープ６４を繰り出し方向や巻き戻し方向へ送り操作することにより、保護フィルム７と粘着テープ６４の粘着部分が分離するのを困難化し、あるいは粘着部分が分離するのを容易化して、一連の剥離動作を円滑に行なうことができる。
【００２２】
接着腕６７に弾性変形可能なマット７３を配置し、保護フィルム７のコーナー部分に押し付けられる粘着テープ６４の裏面側をマット７３で受け止めるようにすると、粘着テープ６４を接着腕６７で保護フィルム７のコーナー部分に押し付ける状態において、マット７３を圧縮変形させて粘着テープ６４の粘着面を保護フィルム７の表面に均等に密着させることができる。したがって、粘着テープ６４を保護フィルム７のコーナー部分に対して強固に接着させて、コーナー部分を確実にめくり起こすことができ、常に安定した状態で剥離始端７ａを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（実施例）  図１ないし図１２は本発明に係る剥離装置の実施例を示す。図１において剥離装置は、剥離対象Ｇが載置されるテーブル（吸着テーブル）１と、テーブル１に隣接する架台２とを備えている。図９に示すように、テーブル１の内部には真空チャンバー３が設けてあり、真空チャンバー３の上面を塞ぐ剥離対象Ｇの載置面４に一群の吸着穴５が形成してある。真空チャンバー３は通路を介して真空ポンプ６に連通されており、真空チャンバー３内の空気を真空ポンプ６で排気することにより、載置面４に載置した剥離対象Ｇを遊動不能に固定保持できる。剥離対象Ｇは、例えば液晶ディスプレイを構成するガラス基板からなり、その表面全体が保護フィルム７で覆われている。
【００２４】
架台２の側には、保護フィルム７のコーナー部分を捲って剥離始端７ａを形成する粘着ヘッド１０と、剥離始端７ａを挟持して剥離移動する剥離ヘッド１１と、これら両ヘッド１０・１１を駆動するＸテーブル１２、Ｙテーブル１３、およびＺテーブル１４などのヘッド駆動構造が設けてある。
【００２５】
図１、図３および図４において剥離ヘッド１１は、Ｘテーブル１２の前面側に配置される縦長の剥離台１６と、剥離台１６の下端から斜め前方へ突設される支持腕１７と、支持腕１７の下面に固定されるソレノイド（駆動体）１８と、ソレノイド１８で同時に開閉操作される一対のクランプ体１９・１９などで構成する。クランプ体１９・１９の挟持面には、剥離始端７ａが挟持されたか否かを検出する接触端子（センサー）２０が配置してある。剥離ヘッド１１をＸ軸（左右方向）に沿って往復駆動するためにＸテーブル１２が設けてある。
【００２６】
図３において、Ｘテーブル１２は横長長方形状に形成してあり、その上端と前面に剥離台１６をＸ軸方向へ往復移動可能に案内支持するガイドレール２３・２４が設けてある。さらに剥離台１６をガイドレール２３・２４に沿って往復駆動する駆動構造を設けている。駆動構造は、ステップモーター２５と、同モーター２５の回転動力で駆動される一対のタイミングプーリー２６・２７と、両プーリー２６・２７に巻き掛けられるタイミングベルト２８などで構成する。
【００２７】
剥離台１６には、先のガイドレール２３・２４でスライド案内されるスライドブロック２９・３０が固定してある（図１参照）。図４に示すように剥離台１６は、タイミングベルト２８の上側の直線ベルト部分に連結体３１を介して同行移動可能に固定してある。したがって、ステップモーター２５でタイミングプーリー２６・２７を回転駆動すると、剥離台１６をＸ軸に沿って右または左へ変位できる。上記構成のＸテーブル１２をＹ軸（前後方向）に沿って往復駆動するためにＹテーブル１３が設けてある。
【００２８】
図２に示すようにＹテーブル１３は四角枠状に形成してあり、その上面にＸテーブル１２をＹ軸方向へ往復移動可能に案内支持する左右一対のガイドレール３４・３４を設け、さらにＸテーブル１２を往復駆動する駆動構造がガイドレール３４・３４に沿って設けてある。駆動構造は、ステップモーター３５と、同モーター２５の回転動力で駆動される４個のタイミングプーリー３６・３６・３７・３７と、前後一対ずつのプーリー３６・３７に巻き掛けられるタイミングベルト３８などで構成する。
【００２９】
タイミングプーリー３６・３７は、それぞれガイドレール３４・３４の前後端に隣接して配置してあり、前側のタイミングプーリー３７・３７は共通のプーリー軸３９で軸支してある。また、後側のタイミングプーリー３６・３６のうち、図２に向かって左側のタイミングプーリー３６がステップモーター３５で回転駆動される。Ｘテーブル１２の両側端には支持枠４０が固定してあり、各支持枠４０の後端に固定したスライドブロック４１が、先のガイドレール３４・３４で案内支持してある。両スライドブロック４１は、タイミングベルト３８の上側の直線ベルト部分に連結体４２を介して同行移動可能に固定してある。したがって、ステップモーター３５でタイミングプーリー３６・３７を回転駆動すると、Ｘテーブル１２をＹ軸に沿って前後へ変位できる。
【００３０】
粘着ヘッド１０をＺ軸（上下方向）に沿って往復駆動するためにＺテーブル１４が設けてある。図５に示すようにＺテーブル１４は縦長四角形状に形成してあり、その前面に粘着台４５をＺ軸方向へ往復移動可能に案内支持するガイド軸４６を設け、さらに粘着台４５を往復駆動する駆動構造をガイド軸４６に沿って設けてある。駆動構造は、ステップモーター４７と、同モーター４７の回転動力で駆動される送りねじ軸４８と、送りねじ軸４８に噛み合う雌ねじ体４９と、送りねじ軸４８の上下を軸支する軸受ブロック５０などで構成する。粘着台４５の後面の上下には、先のガイド軸４６で案内されるスライドブロック５１が固定してある。図６に示すように雌ねじ体４９は粘着台４５に固定してある。したがって、ステップモーター４７で送りねじ軸４８を回転駆動すると、粘着ヘッド１０をＺ軸方向に昇降変位することができる。
【００３１】
Ｚテーブル１４は、剥離ヘッド１１と同様にＸテーブル１２で支持する。詳しくは、図１に示すようにＬ字状のテーブル枠５４を先に説明したガイドレール２３・２４と、専用のガイドレール５５でスライドブロック５３を介して往復スライド自在に案内支持し、テーブル枠５４の前端にＺテーブル１４を固定している。なお、先に説明した剥離台１６の支持腕１７は、テーブル枠５４の下面下方に位置している（図４参照）。
【００３２】
Ｚテーブル１４をＸ軸（左右方向）に沿って移動操作するために、テーブル枠５４の上下中途部に複動型のエアーシリンダー（アクチュエーター）５６を固定し、そのピストンロッド５７の突端を支持枠４０の前端内面に固定している（図４参照）。また、テーブル枠５４に接当ピース５９を固定して、剥離台１６に設けたストッパー軸６０の軸端に設けたストッパー６１で接当ピース５９を受け止められるようにしてある。ストッパー軸６０はねじ軸で形成してあり、そのねじ込み位置を変更することにより、接当ピース５９がストッパー６１に接当するタイミングを微調整できる。エアーシリンダー５６、接当ピース５９、およびストッパー軸６０を設ける理由は後述する。
【００３３】
図５において粘着ヘッド１０は、粘着台４５の前面の上下に配置されて、粘着テープ６４を繰り出し供給するテープ供給リール６５と、粘着テープ６４を巻き取る巻取リール６６と、粘着台４５の前面下部に固定される接着腕６７と、両リール６５・６６を回転駆動するリール駆動構造などで構成する。テープ供給リール６５から繰り出された粘着テープ６４は、２個のガイドローラ６８で変向案内したのち、接着腕６７の下面側から上面側へ巻き掛けて反転案内し、巻取リール６６で巻き取る。ガイドローラ６８の間には、粘着テープ６４の有無を検知するレバー６９が設けてある。なお、粘着ヘッド１０の全体は、想像線で示す筐体７０に収容されているので、筐体７０を取り外した状態でないと目視することはできない。
【００３４】
接着腕６７は先端へ向かって下り傾斜しており、その先端に粘着テープ６４を反転案内するガイド面７２が優弧状に形成され、先端の下面側、即ち剥離対象Ｇとの対向面にマット７３が固定してある。マット７３は、発泡ゴムや発泡プラスチックなどの弾性変形可能な素材で形成してあり、マット７３とガイド面７２の外面を経由する状態で粘着テープ６４が巻き掛けてある。
【００３５】
図７に示すように、リール駆動構造はステップモーター（正逆転モーター）７６と、同モーター７６の回転動力を巻取リール６６に伝動する第１巻掛伝動機構７７と、第１巻掛伝動機構７７から分岐される第２巻掛伝動機構（伝動構造）７８と、第２巻掛伝動機構７８の出力軸とテープ供給リール６５との間に設けられるワンウェイクラッチ７９と、テンショナー８０などで構成する。第１・第２の両巻掛伝動機構７７・７８は、それぞれ一対のタイミングプーリーと、両タイミングプーリーに巻き掛けられるタイミングベルトを伝動要素にして構成してある。
【００３６】
通常は、ステップモーター７６を正転駆動することにより、巻取リール６６を所定角度だけ回転させて、マット７３の外面に位置する粘着面を更新することができる。このときのテープ供給リール６５は、ワンウェイクラッチ７９によって動力の伝動が遮断されるため、ステップモーター７６の動力で回転駆動されることはなく、巻取リール６６の巻取力がテンショナー８０によって付与される張力を越える状態においてのみテープ繰り出し方向へ回転する。ステップモーター７６を逆転駆動すると、巻取リール６６が粘着テープ６４を繰り出す向きに回転駆動される。同時に、第２巻掛伝動機構７８の回転動力が、ワンウェイクラッチ７９とテンショナー８０を介してテープ供給リール６５に伝動されるので、テープ供給リール６５が粘着テープ６４を巻き取る向きに回転駆動される。テープ供給リール６５をテープ巻き取り方向へ駆動する意味は後述する。
【００３７】
上記のように構成した剥離装置における保護フィルム７の剥離動作は、載置面４の上に剥離対象Ｇを載置する準備過程と、粘着ヘッド１０によって粘着テープ６４の粘着面を保護フィルム７のコーナー部分に押し付けて剥離始端７ａを形成する過程と、剥離始端７ａを剥離ヘッド１１のクランプ体１９で挟持して剥離走行する過程と、剥離された保護フィルム７を所定位置に排出する過程と、粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１を待機位置へ復帰させる過程とからなる。一連の過程において、粘着ヘッド１０のＸ軸方向の位置決めは剥離ヘッド１１を利用して行なっており、したがって、粘着ヘッド１０専用の駆動構造を省略できる分だけ、剥離装置の構造を簡素化し、装置全体の製造コストを削減できる。以下、各過程ごとの粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１の詳細な動作を説明する。
【００３８】
［準備過程］  準備過程における粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１は、Ｙテーブル１３の上面前部に位置しており、この状態で剥離対象Ｇを搬送ロボットで載置面４上に載置して位置決めする。さらに、真空チャンバー３に真空圧を作用させて、位置決めされた剥離対象Ｇを吸着固定する。
【００３９】
［剥離始端を形成する過程］  準備作業が終了すると、剥離ヘッド１１がＸテーブル１２およびＹテーブル１３によって前方斜め４５度方向へ進出操作され、粘着ヘッド１０が同行して変位する。次にエアーシリンダー５６のピストンロッド５７をシリンダーバレルから進出させることにより、粘着ヘッド１０がＸ軸に沿って原点位置から離れる向きに移動し、その接当片５９がストッパー６１で受け止められて位置決めされる。この位置決めされた位置が粘着ヘッド１０のスタート位置となり、この状態では図８に示すようにマット７３が保護フィルム７のコーナー部分の真上に位置している。
【００４０】
上記の状態で、Ｚテーブル１４に設けたステップモーター４７を駆動することにより、粘着ヘッド１０の全体を下降移動させて、図１０（ａ）に示すように、接着腕６７に設けたマット７３でバックアップされた粘着テープ６４の粘着面を保護フィルム７のコーナー部分に押し付けて接着する。このとき、マット７３が圧縮変形して、粘着テープ６４の粘着面を保護フィルム７の表面に均等に密着させる。
【００４１】
次に、図１０（ｂ）に示すように、Ｚテーブル１４のステップモーター４７を逆転駆動することにより、粘着ヘッド１０の全体をゆっくりと上昇させて、保護フィルム７のコーナー部分を剥離対象Ｇからめくり起こす。さらに、粘着台４５のステップモーター７６を駆動して粘着テープ６４を繰り出し供給し、図１０（ｃ）に示すように粘着テープ６４と保護フィルム７の接着個所を接着ガイド面７２の側へ回りこませながら、剥離ヘッド１１を対角線方向へ移動させて剥離始端７ａを成長させる。同時に、ステップモーター４７を逆転駆動することにより、図１１（ａ）に示すように粘着ヘッド１０の全体をさらに上昇させて、剥離始端７ａの剥離長さを充分なものとする。この時点で、剥離ヘッド１１の対角線方向への移動は停止される。
【００４２】
上記のように、粘着テープ６４と保護フィルム７の接着個所を接着ガイド面７２の側へ回りこませることにより、両者７・６４の分離強度を向上し、さらに保護フィルム７に作用する剥離抵抗をガイド面７２の上面側に負担させることができる。したがって、剥離始端７ａを形成する過程で、保護フィルム７が粘着テープ６４から分離するのをよく防止できる。
【００４３】
［剥離過程］  上記のように、粘着ヘッド１０で剥離始端７ａを形成する過程においては、剥離ヘッド１１に設けた一対のクランプ体１９は全開している（図８参照）。また、剥離対象Ｇの表面から分離された剥離始端７ａは、図１１（ａ）に示すように、両クランプ体１９のほぼ中央部付近に位置している。したがって、ソレノイド１８を駆動して両クランプ体１９を挟持操作すると、図１１（ｂ）に示すように、剥離始端７ａの上下中途部を両クランプ体１９で挟持固定できる。このとき、一対の接触端子２０が電気的に導通していなければ、剥離始端７ａを両クランプ体１９で適正に挟持できたことになる。逆に、一対の接触端子２０が電気的に導通する場合には、剥離始端７ａを両クランプ体１９で適正に挟持できなかったことになる。その場合には、粘着ヘッド１０をスタート位置へ復帰させて、再び剥離始端７ａの形成と、クランプ体１９による剥離始端７ａの挟持を繰り返し行なう。
【００４４】
両クランプ体１９で剥離始端７ａを挟持した状態のままで、ステップモーター７６を逆転駆動して、粘着テープ６４をテープ供給リール６５側へ巻き戻すことにより、図１１（ｃ）に示すように粘着テープ６４と保護フィルム７の接着個所をマット７３の下面側へ移行させる。これにより、保護フィルム７を粘着テープ６４から分離しやすくすることができる。以後は、図１２に示すように、剥離ヘッド１１をＸ・Ｘテーブル１２・１３で対角線方向へ一気に移動操作することにより、先の接着個所から剥離始端７ａを強制的に分離して、図１に示す剥離途中状態を経ながら、保護フィルム７の全体を剥離対象Ｇから完全に剥ぎ取ることができる。この時の粘着ヘッド１０は、剥離ヘッド１１に置き去りにされるので、Ｘ軸方向へ変位することはなく、Ｙ軸方向に限って剥離ヘッド１１に同行する。
【００４５】
［保護フィルムを排出する過程］  剥離対象Ｇから剥離された保護フィルム７は、剥離ヘッド１１によって四角枠状のＹテーブル１３の枠内面へと搬送され、図示していない補助装置と協同して保護フィルム７を所定位置に排出する。排出動作が完了した時点で、クランプ体１９を開閉操作して接触端子２０の導通状態を確認することにより、保護フィルム７が適正に排出されたか否かを確認することができる。このときテーブル１側では、真空チャンバー３に対する真空圧の供給を停止して剥離対象Ｇの拘束を解除する。
【００４６】
［待機位置への復帰過程］  保護フィルム７の排出が終了したのち、剥離ヘッド１１をＸテーブル１２およびＹテーブル１３によって、剥離ヘッド１１の原点位置へ戻す。同時にエアーシリンダー５６のピストンロッド５７をシリンダーバレル側へ退縮させることにより、粘着ヘッド１０をその原点位置に戻す。その間に、巻取リール６６を巻き取り側へ駆動して新規な粘着面をマット７３の外面に位置させる。なお、本発明で使用される粘着テープ６４のテープ幅は１５〜２０ｍｍであり、保護フィルム７を剥離するごとに消費されるテープ長さは１０ｍｍでしかなく、新規なテープ供給リール６５の１個で約４０００個の剥離対象Ｇの保護フィルム７を剥離できる。したがって、剥離処理に伴う粘着テープ６４の消費量が少なくて済む剥離装置とすることができる。
【００４７】
以上のように構成した剥離装置においては、テーブル１の載置面４に載置した剥離対象Ｇを真空圧によって吸着固定しておき、粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１をヘッド駆動構造で駆動して、保護フィルム７を対角線方向へ剥離操作するので、粘着ヘッド１０と剥離ヘッド１１は１個ずつ設けてあればよく、全体として剥離装置の構造を簡素化できる。さらに、Ｘテーブル１２およびＹテーブル１３で正確に位置決めされる剥離ヘッド１１を利用して、粘着ヘッド１０のＸ軸方向の位置決めを行なうので、この点でも剥離装置の構造を簡素化して全体コストを削減できる。
【００４８】
剥離対象をコンベアで送り操作しながら保護フィルムを剥離する場合に比べて、剥離対象Ｇを正確に位置決めし、しかも強固に吸着固定できるので、粘着ヘッド１０によって形成される剥離始端７ａの位置や形状、あるいは剥離ヘッド１１のクランプ体１９による掴み位置を常に一定にして、保護フィルム７の剥離を的確に行なうことができる。また、剥離対象Ｇが極端に薄いガラス基板やプラスチックシートであっても、剥離対象Ｇを載置面４にしっかりと吸着保持した状態で保護フィルム７を剥離することができ、適用対象に制限のない剥離装置が得られる。
【００４９】
上記の実施例以外に、テーブル１は真空チャンバー３を備えた吸着テーブルであることが好ましいが、剥離対象Ｇの表面を押さえローラで押さえ保持する形態のテーブルであってもよい。その場合には、押さえローラを対角線方向へ移動させながら、保護フィルム７を押さえローラに追随させながら剥離するとよい。Ｚテーブル１４を移動操作するアクチュエーター５６としては、エアーシリンダー以外に電動シリンダーや、油圧シリンダー、あるいはソレノイドを適用できる。同様に、クランプ体１９を開閉操作する駆動体１８としては、ソレノイド以外に、エアーシリンダーや電動シリンダーなどを適用できる。
【００５０】
巻取リール６６をステップモーター７６で直接駆動するようにして、第１巻掛伝動機構７７を省略することができる。巻取リール６６は正逆転モーターで回転駆動することができる。センサー２０は、一対の接触端子で形成する以外に、マイクロスイッチや圧力センサーなどで構成することができる。上記の実施例では、図１に向かって左前方のコーナー部分において剥離始端７ａを形成したがその必要はなく、図１に向かって右前方のコーナー部分において剥離始端７ａを形成することができる。その場合には、粘着ヘッド１０および剥離ヘッド１１を、図１で示す状態と線対称となる位置に配置するとよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】剥離途中状態の剥離装置の平面図である。
【図２】剥離開始時の剥離装置の平面図である。
【図３】Ｘテーブルの正面図である。
【図４】粘着ヘッドと剥離ヘッドの横断平面図である。
【図５】Ｚテーブルおよび粘着ヘッドと正対する状態の要部正面図である。
【図６】Ｚテーブルと粘着ヘッドの関係構造を示す平面図である。
【図７】リール駆動構造を概念的に示す説明図である。
【図８】粘着ヘッドがスタート位置にある状態の平面図である。
【図９】吸着テーブルと各ヘッドの関係を示す一部破断正面図である。
【図１０】粘着ヘッドで剥離始端を形成する過程を示す説明図である。
【図１１】剥離始端をクランプ体で挟持する過程を示す説明図である。
【図１２】剥離途中状態の剥離ヘッドを示す平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  テーブル
２  架台
７  保護フィルム
７ａ  剥離始端
１０  粘着ヘッド
１１  剥離ヘッド
１２  Ｘテーブル
１３  Ｙテーブル
１４  Ｚテーブル
１９  クランプ体
５６  アクチュエーター
６４  粘着テープ
６５  テープ供給リール
６６  巻取リール
６７  接着腕
Ｇ  剥離対象
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2010001104.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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