(57)【要約】【課題】孔が従来よりも大きな多孔フィルムを製造する。【解決手段】ポリマーが溶剤に溶解したポリマー溶液からなる液膜３１を、多孔フィルム製造装置８１のチャンバ８２に配する。加湿機９１からの加湿空気と、溶剤ガス生成機９３からの溶剤ガスとを混合機９５で混合して混合ガスをつくり、この混合ガスをチャンバ８２の中に送り込む。これにより、液膜３１の上に水滴を形成し、成長させて、配列させる。配列したら、第３送風機９２から混合機９５へ、加湿機９１を介さずに空気を送るとともに、混合機９５への溶剤ガスの供給を停止する。そして、液膜３１からの溶剤を蒸発させ、液膜３１の流動性が失われたら水滴を蒸発させる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の孔がフィルム面に形成された多孔フィルムの製造方法において、
ポリマーが溶剤に溶解した溶液に、雰囲気中の水分を結露させて水滴を形成させる水滴形成工程と、
前記水滴が蒸発しないように前記溶液から前記溶剤を蒸発させる溶剤蒸発工程と、
前記水滴を蒸発させる水滴蒸発工程と、
前記溶剤蒸発工程前に前記溶剤が前記溶液から蒸発しないように、前記水滴形成工程の間に、前記溶液上に溶剤ガスを供給する溶剤ガス供給工程とを有することを特徴とする多孔フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記溶剤ガス供給工程では、前記溶液をチャンバ内に配して、前記溶剤ガスを前記チャンバの内部に送り込むことにより、前記溶液上に前記溶剤ガスを供給することを特徴とする請求項１記載の多孔フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記溶剤ガス供給工程では、前記溶液と前記溶剤ガスになる液体とをチャンバ内に配して、前記液体を前記チャンバ内で蒸発させることにより、前記溶液上に前記溶剤ガスを供給することを特徴とする請求項１記載の多孔フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記溶剤ガス供給工程では、前記溶液をチャンバ内に配して、前記溶液から蒸発した前記溶剤を前記溶剤ガスとして用いることを特徴とする請求項１記載の多孔フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記水滴形成工程では、加湿空気を前記溶液上に供給することを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の多孔フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の孔を有する多孔フィルムの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学分野、電子分野、医療分野では、μｍスケールの微細な孔が多数形成されて蜂の巣状の構造、すなわちハニカム構造をもつ多孔フィルムが用いられるようになってきている。このような多孔フィルムは、光学分野、電子分野では、集積度の向上や情報量の高密度化、画像情報の高精細化に寄与し、医療分野では、例えば細胞培養の場としての培養基材として用いられる。多孔フィルムの中でもポリマーで構成されたものは、可撓性があり、使用時での形状の自由度が大きいので、用途に関し、より広がりをみせている。
【０００３】
ポリマーからなる多孔フィルムの製造方法としては、例えば、特許文献１のように、ポリマーが溶剤に溶解されたポリマー溶液を流延して液膜にし、この液膜に、雰囲気中の水分を結露させて水滴を形成し、溶剤と水滴とを蒸発させる方法がある。このようないわゆる結露法では、結露によって生じた水滴が液膜に沈みこみ、その水滴が蒸発することにより水滴部分が孔となる。そして、この方法で得られるポリマーフィルムは、孔の大きさが数μｍレベルの非常に微細なハニカム構造である。
【０００４】
従来は、構造のさらなる微細化を求めて孔をより小さく形成する方向に多孔フィルムの製造方法が提案されてきたが、最近では、孔の最適なサイズが用途毎にあることが見いだされてきており、１０μｍ〜数１０μｍレベルの孔が複数形成された多孔フィルムが望まれるようになってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１５７５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１を初めとする従来の多孔フィルムの製造方法では、１０μｍ〜数１０μｍという大きなサイズの複数の孔を形成させることはできない。例えば、大きなサイズの孔になるように液膜を比較的厚く形成して水滴を大きく成長させようとしても、小さいうちに成長が止まってしまう。その結果、図１１及び図１２のように、得られるフィルム２は、フィルム面２ａの法線方向に投影したときの孔３の径Ｄ１とフィルム面２ａにおける孔３の開口径Ｄ２とがいずれも１０μｍに満たない程度に小さく、また孔の深さも浅く、孔３と孔３との中心間距離ＤＣに対して孔３の径Ｄ１及び開口径Ｄ２が小さすぎてハニカム構造とはならない。
【０００７】
このように水滴の成長が小さいうちに止まるのは、水滴が成長する間に、液膜のなんらかの性状が経時的に変化していくことに起因すると、本発明者らは考えた。そこで、水滴の成長が十分に進むまで、ポリマー溶液中が変化しないように、粘度をより低くしたポリマー溶液で液膜を形成するという方法が考えられる。粘度が低いポリマー溶液は、ポリマー濃度を低くすることでつくることができる。しかし、この方法では、液膜におけるポリマー量が少なすぎて、例えば近隣の水滴同士がつながってしまう等、形成される水滴の大きさがあまりに不揃いになってしまったり、水滴とはいえないような水膜が部分的に形成されたりすることがある。したがって、この液膜から溶剤と水滴とを蒸発させても、複数の孔が均一に形成された多孔フィルムとはならずに、図１３のように不均一な凹凸があるフィルム６となってしまう。また、ポリマー濃度が低い液膜ほど蒸発させなければならない溶媒量が多くなってしまうので、環境への負荷も高くなってしまうという問題がある。
【０００８】
さらに、水滴を大きくする場合ほど、液膜をより厚く形成しなければならない。ところが、液膜が厚いほど、水滴と溶剤とを蒸発させる間に、沈んだ水滴で形成されるはずの孔が形状を保持できずにハニカム構造の多孔フィルムが得られなくなってしまい、この場合にも図１３のように不均一な凹凸をもつフィルム６となってしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、１０μｍ〜数１０μｍと従来よりも径が大きいにも関わらず、孔のサイズが均一であるハニカム構造の多孔フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の孔がフィルム面に形成された多孔フィルムの製造方法において、ポリマーが溶剤に溶解した溶液に、雰囲気中の水分を結露させて水滴を形成させる水滴形成工程と、前記水滴が蒸発しないように前記溶液から溶剤を蒸発させる溶剤蒸発工程と、水滴を蒸発させる水滴蒸発工程と、この溶剤蒸発工程前に前記溶剤が溶液から蒸発しないように、水滴形成工程の間に、溶液上に溶剤ガスを供給する溶剤ガス供給工程とを有することを特徴として構成されている。
【００１１】
前記溶剤ガス供給工程では、以下の（１）〜（３）のいずれかひとつを実施することが好ましく、水滴形成工程では、加湿空気を溶液上に供給することが好ましい。
（１）溶液をチャンバ内に配して、前記溶剤ガスをチャンバの内部に送り込むことにより、溶液上に溶剤ガスを供給すること。
（２）溶液と溶剤ガスになる液体とをチャンバ内に配して、液体を前記チャンバ内で蒸発させることにより、溶液上に溶剤ガスを供給すること。
（３）溶液をチャンバ内に配して、溶液から蒸発した溶剤を溶剤ガスとして用いること。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の多孔フィルムの製造方法によると、１０μｍ〜数１０μｍと従来よりも径が大きいにも関わらず、孔のサイズが均一であるハニカム構造の多孔フィルムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明による多孔フィルムの平面図である。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】多孔フィルムの製造工程の説明図である。
【図４】液膜形成方法の概略図である。
【図５】本発明の第１の実施態様である多孔フィルム製造装置の概略図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】第２の実施態様である多孔フィルム製造装置の概略図である。
【図８】第３の実施態様である多孔フィルム製造装置の概略図である。
【図９】実施例７で得られた多孔フィルム１０の光学顕微鏡写真である。
【図１０】比較例１で得られた多孔フィルムの光学顕微鏡写真である。
【図１１】従来の多孔フィルムの製造方法を用いた場合の多孔フィルムの平面図である。
【図１２】図１１のＸII−ＸII線に沿う断面図である。
【図１３】従来技術により製造した場合のフィルムの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１及び図２に示すように、多孔フィルム１０は、一方のフィルム面（以下、第１表面と称する）１０ａに孔１１が複数形成されてある。孔１１は、図２のように、他方のフィルム面（以下、第２表面と称する）１０ｂには貫通せずに第１表面１０ａに窪みとして形成される場合もあるし、多孔フィルム１０を厚み方向で突き抜けるように第１表面１０ａから第２表面１０ｂに貫通して形成される場合もある。
【００１５】
複数の孔１１は、フィルム面に沿って面状に分布するように形成されている。複数の孔１１は、多孔フィルム１０が蜂の巣状のいわゆるハニカム構造となるように形成されており、図２のように個々に独立していてもよいし、あるいはフィルム面に沿った方向で内部に連通路が形成されるように隣り合う孔１１と孔１１とが互いに非独立であってもよい。孔径をＤ１、互いに隣り合う孔１１と孔１１との中心間距離をＤＣとすると、Ｄ１＜ＤＣとなるように多孔フィルム１０をつくると孔１１が互いに独立した態様となるし、Ｄ１≧ＤＣとなるように多孔フィルムをつくると、複数の孔１１が非独立になって内部に連通路が形成される。
【００１６】
孔１１は、略一定の形状及びサイズであり、規則的に配列している。なお、この配列の態様と孔１１のサイズとによっては、孔１１による第１表面１０ａの個々の開口１１ａの形状は、図２のように円である場合もあるし、６角形等の多角形である場合もある。
【００１７】
孔径Ｄ１は開口１１ａの径（以下、開口径と称する）Ｄ２よりも大きい。孔径Ｄ１が１μｍ以上１２０μｍ以下の範囲、開口径Ｄ２が１μｍ以上１００μｍ以下の範囲というように、従来の多孔フィルムと比べて孔径Ｄ１及び開口径Ｄ２が大きいにも関わらず、Ｄ１、Ｄ２がそれぞれ一定である。また、厚みＴは１μｍ以上２００μｍ以下の範囲である。
【００１８】
本発明によると、孔１１の容積をＶ１、孔１１の容積Ｖ１を含めた多孔フィルム１０の体積をＶ２とするときに、１００×Ｖ１／Ｖ２で求める空隙率（％）が３０％以上８０％以下の範囲となるように孔１１を形成することができる。なお上記の体積Ｖ２とはすなわち、多孔フィルム１０に孔１１が形成されていないと仮定して第１表面１０ａ及び第２表面１０ｂとがともに平坦ないわゆる平膜である場合の体積に等しい。
【００１９】
多孔フィルム１０の製造工程について、図３を参照しながら説明する。図３の横軸は時間ｔを示す。図３に示すように、多孔フィルム１０は、ポリマーが溶剤に溶解したポリマー溶液の液面に、雰囲気中の水分を結露させて目的とする大きさの水滴を形成する水滴形成工程２１と、形成された水滴ができるだけ蒸発しないように、ポリマー溶液から溶剤を蒸発させる溶剤蒸発工程２２と、ポリマー溶液に沈んだ水滴を蒸発させる水滴蒸発工程２３と、ポリマー溶液に含まれてある溶剤が蒸発しないようにポリマー溶液の液面上に溶剤ガスを供給する溶剤ガス供給工程２４とを実施することにより製造する。
【００２０】
水滴形成工程２１は、ポリマー溶液の液面で、雰囲気中の水分を凝縮させて極微小な水滴を発生させる発生工程２１ａと、発生した水滴を成長させて大きくする成長工程２１ｂと、所望の大きさに成長した複数の水滴がポリマー溶液の液面に規則的に並ぶように配列させる配列工程２１ｃとからなる。図３においては、発生工程２１ａの開始時（以下、結露開始時と称する）をＰ１、成長工程２１ｂの開始時（以下、成長開始時と称する）をＰ２、配列工程２１ｃの開始時（以下、配列開始時と称する）をＰ３とする。
【００２１】
図３では、発生工程２１ａから成長工程２１ｂに、成長開始時Ｐ２で移行するように表すが、両工程の時間的境界は明確ではなく、発生工程２１ａが終了する前に成長工程２１ｂが始まる場合のように両工程２１ａ，２１ｂが時間的に重なりあう。つまり、極微小な水滴を新たに発生させることと既に生じてある水滴が成長することとが同時に進行する時間がある。また、成長工程２１ｂと配列工程２１ｃとの時間的境界についても同様に、明確ではなく、成長工程２１から配列工程２１ｃに移行した後であっても、水滴が成長し続けてよい。
【００２２】
次に、溶剤蒸発工程２２を開始する。溶剤蒸発の開始時Ｐ４には、溶剤を蒸発させるためにポリマー溶液の温度を上昇させるので、この温度上昇により水滴形成工程２１は終了する。しかし、水滴の成長が止まるまでには、多少なりとも時間を要するので、実際に水滴の成長が止まるタイミングは溶剤蒸発開始時Ｐ４以降となる。このように、配列工程２１ｃと溶剤蒸発工程２２との境界は明確ではない。この溶剤蒸発工程２２では、ポリマー溶液の流動性がなくなる程度にまで溶剤を蒸発させる。ポリマー溶液の流動性がなくなったら、溶剤とともに水滴が蒸発するようにポリマー溶液の温度を上昇させて水滴蒸発工程２３を始める。したがって、水滴蒸発開始時Ｐ５以降も、溶剤蒸発工程２２を継続する。そして、水滴と溶剤とが蒸発すると多孔フィルム１０が得られる。
【００２３】
水滴形成工程２１の間に実施する溶剤ガス供給工程２４でポリマー溶液の液面上に供給する溶剤ガスは、ポリマー溶液に含まれる溶剤と同じ物質である。これを気体として供給することにより、ポリマー溶液からの溶剤の蒸発を抑制する。しかし、これは、溶剤がポリマー溶液から蒸発しないように見える、いわゆる見かけ上の非蒸発であり、ポリマー溶液の液面上に存在する溶剤ガスとポリマー溶液中の溶剤とが平衡関係にあればよい。つまり、このように溶剤ガスの圧力が飽和蒸気圧であるように維持されることが好ましく、飽和蒸気圧が維持されるように液面上の溶剤ガスの濃度を保持する。
【００２４】
ただし、液面上に存在する溶剤ガスとポリマー溶液中の溶剤とは厳密な平衡関係ではなくてもよい。例えば、外部から新たな溶剤ガスを液面上の雰囲気に送り込むことができない場合には、外部空間と仕切るチャンバ内にポリマー溶液を収容し、ポリマー溶液からの溶剤の少量の蒸発を許容して、この蒸発により液面上の雰囲気に溶剤ガスを存在させてもよい。溶剤ガスをポリマー溶液自身から雰囲気中に供給することになるので、溶剤の蒸発がある程度まで進むまでは、上記のような平衡関係ではなくても十分な効果が得られる。また、平衡関係を超えて、液面上の溶剤ガスの圧力（以降、溶剤蒸気圧と称する）が飽和蒸気圧よりも大きな圧力となるように、溶剤ガスを供給してもよいが、溶剤蒸気圧が飽和蒸気圧よりも大きすぎると溶剤ガスがポリマー溶液の液面に凝縮してしまうことがあるので、飽和蒸気圧に達する程度が好ましい。
【００２５】
溶剤ガス供給工程２４を溶剤蒸発開始時Ｐ４まで実施することにより、ポリマー溶液における溶剤含有率が保持されるので、溶剤蒸発開始時Ｐ４までポリマー溶液の粘度が上昇することがない。これにより、水滴の成長が止むことなくさらに進みやすくなり、この結果、孔径Ｄ１と開口径Ｄ２とが従来よりも大きな多孔フィルム１０を製造することができる。さらに、水滴の成長が均一にすすむので、形状及び大きさが均一な複数の孔を形成することができる。
【００２６】
溶剤ガス供給工程２４は、溶剤蒸発開始時Ｐ４までの水滴形成工程２１の間、継続して実施することがもっとも好ましいが、成長工程２１ａの間だけ実施することにより、従来よりもサイズが大きな孔１１をもつ多孔フィルム１０を製造することはできる。さらに、配列工程２１ａで溶剤ガス供給工程２４を実施すると、孔の形状がより均一で配列がより規則的な多孔フィルム１０を得ることができる。
【００２７】
多孔フィルム１０の製造方法としては、容器に入れたポリマー溶液に対して水滴形成工程２１と溶剤蒸発工程２２と水滴蒸発工程２３と溶剤ガス供給工程２４とを実施する方法や、ポリマー溶液を支持体の上に塗布あるいは延展して薄膜状にし、支持体上の液膜に水滴形成工程２１と溶剤蒸発工程２２と水滴蒸発工程２３と溶剤ガス供給工程２４とを実施する方法がある。前者の方法では、容器に入れたポリマー溶液の液面に結露させて水滴を発生させる。このように、水滴形成工程２１と溶剤蒸発工程２２と水滴蒸発工程２３と溶剤ガス供給工程２４とは、ポリマー溶液の深さや厚みに関わらず実施してよい。
【００２８】
図４に示すように、ポリマー溶液からなる液膜３１の形成方法としては、矢線Ａで示す一方向に支持体３２を移動させ、移動している支持体３２に、薄い膜状にポリマー溶液３３を流すという流延方法がある。この他の方法としては、ポリマー溶液が比較的低粘度である場合に、静置した支持体上にポリマー溶液を流し、ポリマー溶液自身の濡れ広がりを利用する流延方法や、ポリマー溶液が濡れ広がりにくいほどの高粘度である場合に、支持体上にポリマー溶液を載せて、表面が平滑な平滑部材でそのポリマー溶液を延展させる流延方法等があり、いずれの方法でもよい。なお、この液膜３１を形成する間は、支持体３２及びポリマー溶液３３の周りの雰囲気を、湿度を低く抑えた乾燥雰囲気としておくことが好ましい。
【００２９】
液膜３１を多孔フィルム１０にするための第１実施態様では、図５及び図６に示す多孔フィルム製造装置を用いる。なお、図６では、図５に示す部材のうち一部のみを示す。多孔フィルム製造装置４１は、液膜３１が一方の面に形成されてある支持体３２を収容するチャンバ４２と、空気をチャンバ４２の内部に送り込む空気供給部４３と、溶剤ガスをチャンバ４２の内部に送り込む溶剤ガス供給部４４とを備える。
【００３０】
空気供給部４３は、空気をチャンバ４２に案内するダクト４７と、このダクト４７に、空気を送り出す第１送風機４８と、第１送風機４８で送り出す空気の温度と湿度と風量とを制御する第１コントローラ４９と、ダクト４７を上下方向にシフトするシフト機構５０とを有する。
【００３１】
また、溶剤ガス供給部４４は、溶剤ガスをチャンバ４２に案内するダクト５３と、このダクト５３に、溶剤ガスを送り出す第２送風機５４と、第２送風機５４で送り出す空気の温度と湿度と風量とを制御する第２コントローラ５５と、ダクト５３を上下方向にシフトするシフト機構５６とを有する。ダクト５３には、液膜３１の液面に沿う方向に伸びたスリット５３ａが複数形成されており、これらのスリット５３ａから溶剤ガスが流出する。なお、ダクト４７にも同様に複数のスリット４７ａが形成されており、各スリット４７ａから空気が流出する。
【００３２】
チャンバ４２には、さらに、支持体３２を下面から温度調整する温度調整部６１が備えられており、この温度調整部６１は、支持体３２と接する上面の昇温と降温とのオン・オフ及びその設定温度を変化させる第３コントローラ６２を有する。
【００３３】
チャンバの上部には、排気のための排気口４２ａが形成されており、この排気口２４ａに設けられてあるバルブ２４ｂによりその開閉と開度とが調整される。
【００３４】
この多孔フィルム製造装置４１を用いて、以下の方法で多孔フィルム１０を製造する。まず、ダクト４３から加湿された空気を流出して液膜３１の上に供給することにより発生工程２１ａを開始する。このとき、液膜３１上の雰囲気の露点が液膜３１の液面温度よりも高くなるように、加湿空気の温度を第１コントローラ２４により調整すると、水滴がより早く形成され、また発生する水滴の数をより多くすることができる。支持体３２を介しての液膜３１は、チャンバ４２の内部雰囲気よりも、温度応答性がよいので、ダクト４３からの空気の湿度を調整することに加えて、温度調整部６１により支持体３２を介して液膜３１の温度を低下させるとよい。
【００３５】
発生時における水滴２５は極めて小さく、ひとつひとつは肉眼で認めることができないような大きさであり、その大きさは数ｎｍ〜数１０ｎｍ程度である。次に、成長工程２１ｂを実施して、このように極微小な水滴を大きくする。成長工程２１ｂでは、ダクト４７からの加湿空気の供給を続ける。
【００３６】
成長工程２１ｂでは、ダクト５３から溶剤ガスを流出して液膜３１の上に供給することにより溶剤ガス供給工程２４を行う。溶剤ガスは、空気と混合された状態でチャンバ４２に案内されてもよい。従来の製造方法では、水滴は、成長が抑制され、最終的には成長が止まって大きさが変化しなくなるが、溶剤ガスを供給する本発明によると、液膜３１の露出面における粘度が上昇することない。これにより水滴を所望の大きさにまで成長させることができる。これは、液膜３１の露出面における粘度の上昇が、溶剤ガスの供給により、抑止されるからである。このように、本発明では、液膜３１の特に露出面の粘度上昇を抑えるように溶剤ガスを供給し、これにより水滴を所望の大きさにまで成長させることができる。水滴を大きく成長させることにより、孔径Ｄ１と開口径Ｄ２とがより大きな多孔フィルム１０とすることができる。
【００３７】
ダクト４７とダクト５３とは、チャンバ４２の底部中央に配された液膜３１の上方で加湿空気と溶剤ガスとが混じり合うように、チャンバ４２の互いに対向する内壁面近傍に備えられる。スリット４７ａとスリット５３ａとの高さとは、各シフト機構５０，５６により独立して変えることができる。これにより、加湿空気と溶剤ガスとの各温度条件や風速等を調整せずとも、スリット４７ａとスリット５３ａとの上下方向での相対的位置を変えることにより、水滴の成長の速さを変えることができる。水滴の成長の速さを変えることにより、水滴の最終的な大きさを微調整しやすくなり、孔径Ｄ１と開口径Ｄ２との制御が容易になる。また、スリット４７ａとスリット５３ａとを上下方向での相対位置を変えることにより、加湿空気と溶剤ガスとの、液膜３１の露出面及びその近傍における混合比を、加湿空気と溶剤ガスとの風量を変えることなく変化させることができる。
【００３８】
次に、配列工程２１ｃを実施する。この配列工程では、水滴が毛細管力によって引き合う。これにより、複数の水滴が、液膜３１の液面に、より密に配される。この配列工程２１ｃでは、空気振動を与えることにより、水滴が引き合うことをより促進させることができる。
【００３９】
この配列工程２１ｃの間にもダクト５３から溶剤ガスを供給することが好ましい。これにより、水滴の並びが密になっても個々の水滴が変形したり互いに結合したりせずに、均一なサイズを保持した状態で規則的に液面に配されることになる。
【００４０】
以上の溶剤ガス供給工程２４では、液膜３１の表面温度ＴＳを−５℃以上３０℃以下の範囲とし、雰囲気の露点ＴＤを５℃以上３０℃以下の範囲とすることが好ましく、さらに液膜の表面温度ＴＳよりも雰囲気の露点ＴＤが高くすることが好ましい。そして、チャンバ４２に送る加湿空気の温度ＴＡと溶剤ガスの温度ＴＧは、ともに、５℃以上３０℃以下の範囲とすることが好ましく、チャンバ４２の雰囲気における溶剤ガスの圧力は０．０１ＭＰａ以上０．１ＭＰａ以下の範囲であることが好ましい。
【００４１】
水滴が規則的に配列したら、ダクト５３からの溶剤ガスの供給を停止し、湿度を水滴形成工程２１における空気よりも低くした乾燥空気をダクト４７からチャンバ４２に案内する。そして、排気口４２ａを開状態にしてチャンバ４２の内部雰囲気の湿度を低下させる。このように、乾燥空気を供給して湿度を低下させることにより液膜３１から溶剤を蒸発する。供給する乾燥空気の温度は、水滴の蒸発を抑制するために、できるだけ低く保持することが好ましい。また、第３コントローラ６２により液膜３１の温度を水滴形成工程２１よりも高くするが、その温度は、水滴の蒸発が抑えられる程度に低くする。
【００４２】
溶剤の蒸発がすすむにつれて、液膜３１を構成するポリマー溶液の粘度が上昇する。そして、液膜３１の流動性がなくなったら、水滴を蒸発させ始める。液膜３１の流動性がなくなったことは、液膜３１を目視で観察して液膜３１の表面のくもり度合いが変化しなくなったことをもって確認することができる。
【００４３】
溶剤の他に、水滴を積極的に蒸発させるために、ダクト４７からの乾燥空気の温度を溶剤蒸発工程２２におけるよりも高くし、さらに、第３コントローラ６２により液膜３１の温度も溶剤蒸発工程２２におけるよりも高くする。なお、この水滴蒸発工程２３の間も、溶剤蒸発工程２２と同様に、ダクト５３からの溶剤供給は停止し、排気口４２ａからの排気を行う。
【００４４】
以上のように水滴と溶剤とが蒸発して多孔フィルム１０が得られるが、他の方法でも多孔フィルム１０を製造することができる。例えば、図７に示すような多孔フィルム製造装置を用いてもよい。第２の実施態様である多孔フィルム製造装置７１は、多孔フィルム製造装置４１と同様に空気供給部４３と温度調整部６１とを、チャンバ７２に備える。さらにこの多孔フィルム製造装置７１は、容器７３中の溶剤７４を加熱して蒸発させて溶剤ガスにするために、容器７３を下方から温度調整する温度調整部７６が備えられており、この温度調整部７６は、容器７３と接する上面における昇温と降温とのオン・オフ及びその設定温度を変化させる第４コントローラ７７を有する。
【００４５】
この多孔フィルム製造装置７１で多孔フィルムを製造する場合には、溶剤ガスの供給を、溶剤７４を加熱して蒸発させることにより行う。この蒸発によりチャンバ７２の内部に溶剤ガスが広がり、液膜３１上に溶剤ガスが供給される。なお、溶剤７４を入れた容器７３に代えて、表面積が大きくなるように空隙が多数形成され、この空隙に溶剤を含ませた例えば弾性高分子の発泡体を用いてもよい。
【００４６】
温度調整部７６は温度調整部６１を囲むように複数配することが好ましく、これにより液膜３１上での溶剤ガスが飽和蒸気圧に達するまでの時間を短くして、水滴の成長速度を速めることができる他、均一なサイズを保持した状態で水滴を規則的に液面に配することができる。
【００４７】
さらに、このチャンバ７２の内部を上部空間と仕切る上板７２ｃには、シフト機構（図示無し）が設けられ、このシフト機構により上板７２ｃを下方にシフトすることにより、溶媒ガスをチャンバ７２内により早く充満させることができる。また、この上板７２ｃを液膜３１の極近傍にまで近づけるように下方へ変位させることによりチャンバ７２の内部容積を小さくすると、溶剤７４を入れた容器７３をチャンバ７２の内部に配することなく、液膜３１の中の溶剤の蒸発をある程度許容することにより、液膜３１の近傍での溶剤ガス濃度を上昇させ、チャンバ７２内部の雰囲気における溶剤ガスの圧力を飽和蒸気圧近くで保持することができるようになる。つまり、この場合には、液膜３１からある程度の溶剤が蒸発することを許容し、これにより液膜３１上に溶剤ガスを供給する。この溶剤ガスの供給は、液膜３１上における溶剤ガスの濃度が、液膜３１から溶剤が蒸発しなくなる程度の濃度になるまで実施する。そして、その程度に溶剤ガスの濃度が高まったら、以降液膜３１から溶剤が蒸発しないようにその溶剤ガス濃度を保持してある。このように、本発明における溶剤ガスの供給とは、必ずしも外部からの供給に限られず、液膜３１自体からの溶剤ガス供給も含まれる。溶剤蒸発工程のときにはこの上板７２ｃを上方にシフトすることにより、溶媒の蒸発をより速くすすめることができる。
【００４８】
第３の実施態様である図８の多孔フィルム製造装置８１は、多孔フィルム製造装置２４，７１と同様に、温度調整部６１を、チャンバ８２に備え、また、このチャンバ８２の上部には、排気口８２ａが形成されている、この排気口８２ａに設けられるバルブ８２ｂにより排気口８２ａの開閉と開度とが調整される。
【００４９】
この多孔フィルム製造装置８１は、さらに、溶剤ガスと水蒸気との混合ガスをチャンバに供給する混合ガス供給部８３を備える。この混合ガス供給部８３は、溶剤ガスと水蒸気との混合ガスをチャンバ８２に案内するダクト８７と、溶剤ガスと水蒸気との混合ガスをつくってダクト８７におくる混合ガス生成ユニット８８とを備え、ダクト８７には混合ガスを流出するスリット８７ａが形成される。混合ガス生成ユニット８８は、加湿空気を生成するための加湿機９１と、この加湿器９１に空気を送り出す第３送風機９２と、溶剤ガスを生成するための溶剤ガス生成機９３と、この溶剤ガス生成機９３に空気を送り出す第４送風機９４と、加湿機９１から案内されてくる加湿空気と溶剤ガス生成機９３からの溶剤ガスとを混合して水蒸気と溶剤ガスとの混合ガスをつくる混合機９５とを備える。
【００５０】
加湿機９１は、水９６が貯留される水槽９７を備え、溶剤ガス生成機９３は、溶剤ガスになる液体の溶剤７４が貯留される液槽１０２を備える。また、この混合ガス生成ユニット８８は、第３送風機９２からの空気を水９６の中と混合機９５とのいずれか一方に案内する第１の管１０４と、溶剤７４の中に第４送風機９４からの空気を導く第２の管１０６と、溶剤ガス生成機９３と混合機９５とを接続する第３の管１０７と、混合機９５とダクト８７とを接続して混合ガスをダクト８７へ案内する第４の管１０８とを備える。
【００５１】
第１の管１０４は、第３送風機９２からの空気を水槽９７に案内する第１分岐管１０４ａを備え、第１分岐管１０４ａが第１の管１０４から分岐する分岐位置には第１バルブＶ１が設けてある。第１分岐管１０４の下流端は水９６の中に配される。第１バルブＶ１により、混合機９５と水槽９７とのいずれか一方に空気が送られるよう流路を切り替える。また、第１の管１０４の第１分岐管１０４ａよりも下流側には、水槽９７の水９６の液面、すなわち水面よりも上の空間に下流端が配される第２分岐管１０４ｂが備えてある。この第２分岐管１０４ｂが第１の管１０４から分岐する分岐位置には第２バルブＶ２が設けられる。この第２バルブにより、第３送風機９２の空気を水槽９７に送り込むことなく混合機９５へ案内することと、水槽９７の上部空間にある加湿空気を混合機９５へ案内することとの切り替えを行う。
【００５２】
第３送風機９２から混合機９５には、乾燥空気と加湿空気とのいずれか一方が選択的に送られる。乾燥空気を混合機９５に送る場合には、第１バルブＶ１及び第２バルブＶ２により、第３送風機９２からの空気を水槽９１を介さずに直接混合機９５へ案内する。また、加湿空気を混合機９５に送る場合には、第１，第２バルブＶ１，Ｖ２により流路を切り替え、第３送風機９２からの空気を水９６の中におくって、いわゆるバブリングを実施する。このようにして、水蒸気濃度が高められた空気が水面上の空間に溜まり、加湿空気を混合機９５へ案内する。なお、水面上の空間における水蒸気の露点は、水９６の温度を変化させることにより変えることができる。これにより、混合機９５におくる加湿空気中の水蒸気濃度を変化させることができる。以上のようにして、乾燥空気と露点を制御された加湿空気との混合機９５への送り込みを所定のタイミングで切り替える。
【００５３】
第２の管１０６は、上流端が第４送風機９４に接続し、下流端が溶剤７４の液面よりも低く配される。これにより、第４送風機９４からの空気を溶剤７４の中におくって、バブリングを実施する。このようにして、溶剤ガスを発生させて空気の中に含ませる。そして溶剤ガスを含む空気は溶剤７４の液面上の空間に溜まる。このとき、液面上の空間における溶剤ガスの露点は、溶剤７４の温度を変化させることにより変えることができる。これにより、混合機９５におくる溶剤ガスの濃度を変化させることができる。
【００５４】
第３の管１０７は、上流端が液槽１０２における液面上に配され、下流端は混合機９５に接続する。これにより、溶剤ガス生成機９３の溶剤ガスを含む空気は、混合機９５へ案内される。なお、溶剤ガスが空気に含まれた状態で混合機９５へ案内される場合もあるし、溶剤７４の種類によってはこれが空気の成分を吸収して溶剤ガスだけが混合機９５へ案内されたりあるいは溶剤ガスと空気の一部成分との混合物が混合機９５へ案内される場合もある。
【００５５】
第３送風機９２には、加湿機９１または混合機９５に送り出す空気の風量を制御する第５コントローラ１０８を、第４送風機９４には、溶剤ガス生成機９３に送り出す空気の風量を制御する第６コントローラ１１０を、それぞれ設けてある。第３送風機９２からの空気を水槽９７へ案内して加湿空気を混合機９５へ送るときには、第５コントローラ１０８と第６コントローラ１１０との各風量制御により、混合機９５での混合ガスにおける水蒸気と溶剤ガスとの割合を制御することができる。なお、第３送風機９２と第４送風機９４とのいずれか一方からの送風を実施すると、チャンバ８２には、加湿空気または乾燥空気と、溶剤ガスとのいずれか一方のみを送ることができる。
【００５６】
混合機９５の混合ガスにおける水蒸気と溶剤ガスとの割合は、水９６と溶剤７４との温度を制御することや、混合機９５の内部温度を制御することによっても調整することができる。水９６の温度や溶剤７４の温度を制御することで各槽９７，１０２の空間の露点を制御できるし、また、混合機９５の内部温度を制御することにより、溶剤ガスと水蒸気とのいずれか一方を凝縮させることができるからである。
【００５７】
第４の管１０８は、上流端が混合機９５に接続し、下流端はダクト８７に接続する。これにより、混合機９５からの混合ガスは、ダクト８７のスリット８７ａからチャンバ８２の内部へ出される。このようにして、チャンバ８２の雰囲気中には、加湿空気、すなわち水蒸気を含んだ空気と、溶剤ガスとの両方が含まれるようになる。
【００５８】
なお、ダクト８７は、ダクト４７，５３と同様に、このダクト８７を上下方向にシフトするシフト機構１０９を有する。
【００５９】
この多孔フィルム製造装置８１によると、多孔フィルム製造装置２４，７１と同じくらい確実に、しかもより簡易に、溶剤ガスと加湿空気とを送ることができるので、簡易かつ効果的に水滴を成長させることができる。
【００６０】
水槽９７は、水９６の温度を調整する第１温度コントローラ（図示無し）と、水面上の上部空間の温度を調整する第２温度コントローラ（図示無し）とを備え、液槽１０２は、溶剤７４の温度を調整する第３温度コントローラ（図示無し）と、液面上の上部空間の温度を調整する第４温度コントローラ（図示無し）とを備える。また、第１の管１０４と第３の管１０７にもそれぞれ管内温度を制御する第５，第６温度コントローラ（いずれも図示無し）が設けられ、混合機９５にも第７温度コントローラが設けられる。第１，第３温度コントローラにより、水蒸気、溶剤ガスの露点を前述のように制御することができ、第２，第４，第５，第６コントローラにより、水蒸気と溶剤ガスとの温度を調整して混合ガスの温度が調整される。乾燥空気を混合機９５におくる場合には、第５コントローラは乾燥空気の温度を制御する。また、第７コントローラにより、混合ガスの温度が調整される他、混合ガスにおける水蒸気と溶剤ガスとの割合も前述の通り変えることができる。
【００６１】
第３の実施形態では、加湿空気を混合機９５へ送る場合には、加湿機９１と溶剤ガス生成機９３とを混合機９５にそれぞれ接続するが、これに代えて、加湿機９１と溶剤ガス生成機９３と直列に配し、溶剤ガス生成機９３とチャンバ８２に接続してもよい。例えば、加湿機９１の下流に溶剤ガス生成機９３を配し、この溶剤ガス生成機９３を混合機９５に接続する。この場合には、第３送風機９２からの空気を加湿機９１で加湿して、加湿空気をつくり、溶剤ガス生成機９３で加湿空気に対して溶剤ガスを加え、混合ガスをつくる。そしてこの混合ガスがチャンバ８２に送られる。なお、加湿機９１と溶剤ガス混合機９３との上下流関係を逆にして、溶剤ガス混合機９３を加湿機９１の上流に配しても同様の効果を得ることができる。
【００６２】
また、図５及び図７の第１送風機４８と第１コントローラ４９とを、図８の加湿機９１と第３送風機９２と第５コントローラ１０８とに代えてもよい。そして、図５の第２送風機５４と第２コントローラ５５とを、図８に示す溶剤ガス生成機９３と第４送風機９４と第６コントローラ１１０とに代えてもよい。
【００６３】
［原料］
ポリマーとしては、疎水性のポリマーを用いる。なお、この疎水性ポリマーに両親媒性化合物を加えてもよい。両親媒性化合物は親水性をもつとともに親油性をもち、具体的には、親水基と疎水基をもつ化合物であり、これを用いることにより、ポリマー溶液の液面に水滴をより形成しやすくなる。
【００６４】
そして、両親媒性化合物と併用される場合の疎水性のポリマーは、非水溶性の溶媒つまり疎水性の溶媒に溶解するものが好ましく、例えば、ポリ−ε−カプロラクトン、ポリ−３−ヒドロキシブチレート、アガロース、ポリ−２−ヒドロキシエチルアクリレート、ポリスルホンなどが好ましい。生分解性を必要とする場合や、あるいは、コストや入手の容易さなどを考慮すると、ポリ−ε−カプロラクトンが特に好ましい。
【００６５】
両親媒性化合物と併用される場合の疎水性ポリマーの他の例としては、ビニル重合ポリマー（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリメタクリルアミド、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン、ポリヘキサフルオロプロペン、ポリビニルエーテル、ポリビニルカルバゾール、ポリ酢酸ビニル、ポリテトラフルオロエチレン等）、ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンサクシネート、ポリブチレンサクシネート、ポリ乳酸等）、ポリラクトン（例えばポリカプロラクトンなど）、ポリアミド又はポリイミド（例えば、ナイロンやポリアミド酸など）、ポリウレタン、ポリウレア、ポリカーボネート、ポリアロマティックス、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリシロキサン誘導体、などが挙げられる。これらは、溶解性、光学的物性、電気的物性、強度、弾性等の観点から、ホモポリマーであってもよいし、コポリマーやポリマーブレンド、ポリマーアロイとしてもよい。
【００６６】
疎水性ポリマーとともに用いられる両親媒性の化合物としては、市販される多くの界面活性剤のようなモノマーの他に、二量体や三量体等のオリゴマー、ポリマーを用いることができる。両親媒性化合物と疎水性のポリマーとをともに用いる場合には、疎水性ポリマーの重量に対する両親媒性化合物の重量の割合を０．１％以上２０％以下の範囲にすることが好ましい。
【００６７】
ポリマー溶液の溶媒となる溶剤及び供給される溶剤ガスは、疎水性のポリマーを溶解させるものであれば、特に限定されない。例としては、クロロホルム、ジクロロメタン、四塩化炭素、シクロヘキサン、酢酸メチルなどが挙げられる。また、ポリマー溶液の溶媒となる溶剤と供給される溶剤ガスとは、互いに異なる化合物であってもよい。さらに、ポリマー溶液の溶媒となる溶剤及び供給される溶剤ガスは、２以上の化合物の混合物であってもよく、互いに異なる組成であってもよい。
【００６８】
溶剤として互いに異なる２種以上の化合物を用い、その割合を適宜代えて用いることにより、水滴の成長速度、成長に要する時間等を制御することができる。この場合の溶剤ガスとしては、ポリマー溶液中の溶剤成分のうち、水滴形成工程で最も蒸発しやすいものを用いるとよい。
【００６９】
ポリマー溶液は、有機溶媒１００重量部に対し疎水性のポリマーが０．０２重量部以上２０重量部以下となるようにつくることが好ましい。そして、この重量濃度範囲で、溶液の流れやすさ、すなわち流動性を調整することが好ましい。
【００７０】
ポリマー溶液については、その粘度を高くするほど結露で発生した水滴が移動しにくくなるとともにポリマー溶液自体が流れにくくなり、粘度を低くするほど水滴同士が結合して合体してしまいやすく孔径が不均一になる傾向があるとともに、流延溶液自体の流れやすくなる傾向がある。そこで、この粘度を０．１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下の範囲とし、この範囲で溶液の流れやすさを調整することが好ましい。ポリマー溶液の流れやすさを調整することにより厚みＴの調整と孔径Ｄの調整と、孔径差の調整とをすることができる。
【実施例１】
【００７１】
ポリマー溶液３３を以下の配合で調製した。
ポリブタジエン                                                １重量部
ジクロロメタン                                            １００重量部
ポリエチレングリコオールとポリプロピレングリコオールとのブロックコポリマー
０．１重量部
【００７２】
支持体３２の上に上記のポリマー溶液３３を載せたあと、ポリマー溶液３３が濡れ広がるまで乾燥雰囲気下で自然放置した。このように形成した液膜３１を支持体３２に載せた状態で、多孔フィルム製造装置８１を用いて水滴形成工程２１と溶剤蒸発工程２２と水滴蒸発工程２３と、溶剤ガス供給工程２４とを以下の条件で実施した。
【００７３】
水滴形成工程２１の発生工程２１ａでは、水槽９７の水９６の温度を２５℃、水槽９７内部の水面上の空間における露点を２０℃とした。これにより、水槽９７から出る加湿空気につき温度を２５℃、露点を２０℃にした。この加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間は３分間とした。
【００７４】
水滴形成工程２１の成長工程２１ｂでは、水９６の温度を２５℃、水槽９７内部の水面上の空間における露点を１７℃とした。これにより、水槽９７から出る加湿空気につき温度を２５℃、露点を１７℃にした。この加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間は１０分間とした。
【００７５】
水滴形成工程２１の配列工程２１ｃでは、水９６の温度を２５℃、水槽９７内部の水面上の空間における露点を１５℃とした。これにより、水槽９７から出る加湿空気につき温度を２５℃、露点を１５℃にした。この加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間は３分間とした。
【００７６】
なお、発生工程２１ａ〜配列工程２１ｃの水滴形成工程２１では、温度調整部６１により、液膜３１の液面温度を５℃に保持した。
【００７７】
溶剤蒸発工程２２では、水９６の温度を２５℃、水槽９７内部の水面上の空間における露点を１５℃とした。これにより、水槽９７から出る加湿空気につき温度を２５℃、露点を１５℃にした。この加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間は１０分間とし、この間に溶剤の蒸発をすすめた。
【００７８】
水滴蒸発工程２３では、水９６の温度を２５℃、水槽９７内部の水面上の空間における露点を１５℃とした。これにより、水槽９７から出る加湿空気につき温度を２５℃、露点を１５℃にした。この加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間は３分間とし、この間に水滴と残っている溶剤とを蒸発させた。なお、この水滴蒸発工程２３では、温度調整部６１により、液膜３１の液面温度を１０℃に保持した。
【００７９】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のすべての工程、すなわち発生工程２１ａ〜配列工程２１ｃで実施した。溶剤７４はジクロロメタンである。液槽１０２における溶剤７４の温度を１５℃とした。液槽１０２から出る溶剤ガスにつき温度を２５℃にした。この加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間は３分間とし、この間に水滴と残っている溶剤とを蒸発させた。
【００８０】
得られた多孔フィルム１０について、孔径Ｄ１と、孔１１の配列を含めた均一性とにつき評価した。均一性については、多孔フィルム１０の孔径Ｄ１を測定し孔径変動係数Ｘを算出し、この算出値を以下の基準に対応させて評価した。なお、孔径変動係数Ｘは、｛（孔の径の標準偏差）／（孔の径の平均値）｝×１００で求める。
◎：孔径変動係数Ｘが５％以下である場合
○：孔径変動係数Ｘが５％より大きく１０％以下である場合
×：孔径変動係数Ｘが１０％より大きい場合
【００８１】
孔径Ｄ１と均一性とに基づき、総合評価を以下の基準で実施した。各評価結果については表１に示す。
Ａ：孔径Ｄ１が２０μｍ以上であり、均一性が◎
Ｂ：孔径Ｄ１が１０μｍ以上２０μｍ未満であり、均一性が○
Ｃ：孔径Ｄ１が１０μｍ以上２０μｍ未満であり、均一性が×
Ｄ：孔径Ｄ１が１０μｍ未満であり、均一性が×
【実施例２】
【００８２】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のうち発生工程２１ａと成長工程２１ｂとでのみ実施し、配列工程２１ｃでは実施しなかった。その他の条件は、実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【実施例３】
【００８３】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のうち成長工程２１ｂと配列工程２１ｃとでのみ実施し、発生工程２１ａでは実施しなかった。その他の条件は、実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【実施例４】
【００８４】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のうち発生工程２１ａでのみ実施し、成長工程２１ｂと配列工程２１ｃとでは実施しなかった。その他の条件は、実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【実施例５】
【００８５】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のうち成長工程２１ｂでのみ実施し、発生工程２１ａと配列工程２１ｃとでは実施しなかった。その他の条件は、実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【実施例６】
【００８６】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のうち配列工程２１ｃでのみ実施し、発生工程２１ａと成長工程２１ｂとでは実施しなかった。その他の条件は、実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【実施例７】
【００８７】
溶剤ガス供給工程２４を、水滴形成工程２１のすべての工程、すなわち発生工程２１ａ〜配列工程２１ｃで実施した。成長工程２１ｂにおける加湿空気のチャンバ８２の内部への供給時間を７分とした以外の条件は実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【００８８】
［比較例１］
溶剤ガス供給工程２４を実施しなかった。その他の条件は、実施例１と同じである。そして、得られた多孔フィルム１０に関して実施例１と同様に評価した。評価結果は表１に示す。
【００８９】
【表１】
2010235808.tif 000003
【００９０】
実施例１〜３，５〜７で得られた多孔フィルム１０は、孔径がいずれも１０μｍ以上と従来の多孔フィルムに比べて大きく、さらに多孔フィルム１０としての均一性に優れる。実施例４では均一性が実施例１，３に比べて劣る箇所が若干は認められたものの、孔径が１０μ以上の孔１１を形成することができた。例えば、図９に示す実施例７の多孔フィルム１０は、図１０に示す比較例１のフィルムと比べて孔が大きく、フィルムとしての均一性も非常に優れている。このように実施例及び比較例から、本発明によると、１０μｍ〜数１０μｍの孔径をもつ孔が複数形成されたハニカム構造の多孔フィルムが得られることがわかる。
【符号の説明】
【００９１】
１０    多孔フィルム
１１    孔
３１    液膜
３３    ポリマー溶液
４１，７１，８１  多孔フィルム製造装置
４３    空気供給部
４４    溶剤ガス供給部
７４    溶剤
７６    温度調整部
８３    混合ガス供給部
９１    加湿機
９３    溶剤ガス生成機
９５    混合機
Ｄ１    孔径
Ｄ２    開口径
【図１】
2010235808.tif 000004
【図２】
2010235808.tif 000005
【図３】
2010235808.tif 000006
【図４】
2010235808.tif 000007
【図５】
2010235808.tif 000008
【図６】
2010235808.tif 000009
【図７】
2010235808.tif 000010
【図８】
2010235808.tif 000011
【図９】
2010235808.tif 000012
【図１０】
2010235808.tif 000013
【図１１】
2010235808.tif 000014
【図１２】
2010235808.tif 000015
【図１３】
2010235808.tif 000016