(57)【要約】【課題】クリック溝等の摩耗を抑制して耐久性の高いレボルバ装置及びレボルバ装置を備える顕微鏡を提供する。【解決手段】レボルバ回転部材３０の周縁部３９に周方向へ所定の間隔で形成された複数のクリック溝３６に、レボルバ回転部材３０の回転中心へ向けて傾斜するＶ溝面３６Ａ、第２斜面３６Ｂを形成した。また、クリック溝３６間を結ぶ弧状部にレボルバ回転部材３０の回転中心へ向けて傾斜する第１斜面３６Ｃを形成した。Ｖ溝面３６Ａ、第２斜面３６Ｂ及び第１斜面３６Ｃの傾斜角度をベアリングがクリック溝３６及び弧状部に線接触可能な角度とした。さらにレボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されている【選択図】図６
2010054889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レボルバ本体と、
このレボルバ本体に対して回転可能であるとともに、複数の光学素子を装着可能な回転部材と、
前記回転部材の回転軸と、
前記回転部材の周方向へ所定の間隔で形成される複数のクリック溝と、
前記レボルバ本体に設けられ、前記クリック溝に係合する係合部材と、
この係合部材を前記クリック溝に付勢する付勢手段とを備え、
前記係合部材と対峙する前記クリック溝と前記クリック溝間を結ぶ弧状部との少なくとも一方は、前記回転部材の回転軸に対して傾斜し、前記係合部材に線接触又は面接触可能な斜面が形成され、
前記回転部材は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されていることを特徴とするレボルバ装置。
【請求項２】
レボルバ本体と、
このレボルバ本体に対して回転可能であるとともに、複数の光学素子を装着可能な回転部材と、
前記回転部材の回転軸と、
前記回転部材の周方向へ所定の間隔で形成される複数のクリック溝と、
前記レボルバ本体に設けられ、前記クリック溝に係合する係合部材と、
この係合部材を前記クリック溝に付勢する付勢手段とを備え、
前記係合部材と対峙する前記クリック溝と前記クリック溝間を結ぶ弧状部との少なくとも一方は、前記回転部材の回転軸に対して傾斜し、前記係合部材に線接触又は面接触可能な斜面が形成され、
前記回転部材は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターとの焼結体により構成されていることを特徴とするレボルバ装置。
【請求項３】
レボルバ本体と、
このレボルバ本体に対して回転可能であるとともに、複数の光学素子を装着可能な回転部材と、
前記回転部材の回転軸と、
前記回転部材の周方向へ所定の間隔で形成される複数のクリック溝と、
前記レボルバ本体に設けられ、前記クリック溝に係合する係合部材と、
この係合部材を前記クリック溝に付勢する付勢手段とを備え、
前記係合部材と対峙する前記クリック溝と前記クリック溝間を結ぶ弧状部との少なくとも一方は、前記回転部材の回転軸に対して傾斜し、前記係合部材に線接触又は面接触可能な斜面が形成され、
前記回転部材は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターと、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されていることを特徴とするレボルバ装置。
【請求項４】
前記ダイヤモンド粒子クラスターは、表面にグラファイトがコーティングされていることを特徴とする請求項２または３記載のレボルバ装置。
【請求項５】
前記斜面は、前記弧状部に形成された、第１斜面だけで形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のレボルバ装置。
【請求項６】
前記斜面は、前記クリック溝に形成された、第２斜面だけで構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のレボルバ装置。
【請求項７】
前記斜面は、前記弧状部に形成された第１斜面と、前記クリック溝に形成され、前記第１斜面と同じ傾斜方向であるが前記第１斜面と異なる傾斜角度を有する第２斜面とで構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のレボルバ装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項記載のレボルバ装置を備えていることを特徴とする顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はレボルバ装置及びレボルバ装置を備える顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡のアームに装着されるレボルバ本体と、このレボルバ本体に回転可能に装着されるレボルバ回転部材とで構成されるレボルバ装置を備えている顕微鏡がある。通常、レボルバ回転部材には通常倍率の異なる複数の対物レンズが装着される。
【０００３】
レボルバ装置は、複数の対物レンズの中から選択された対物レンズを正確に観察光軸上に配置するための位置決め機構としてクリック機構を備えている。
【０００４】
このクリック機構は、レボルバ回転部材に設けられ、複数の対物レンズにそれぞれ対応する複数のクリック溝と、レボルバ本体に板ばねを介して設けられ、クリック溝に係合可能な例えばベアリングとを備える。レボルバ回転部材を回転させると、ベアリングが対物レンズに対応するクリック溝に係合し、所望の対物レンズが光軸上に位置決めされる。
【特許文献１】特開２００６−２７６１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記クリック機構では、ベアリングは回転軸を中心に転動する円筒状の筐体（内部に鋼球を有する）を備える。したがって、クリック溝及びクリック溝間を結ぶ弧状部と係合部材（例えばベアリング）の相対的な位置関係によってはクリック溝の上面や弧状部の上面と係合部材とが点線接触するため、ベアリングが線接触しないクリック溝及び弧状部の他方は摩耗し易い。
【０００６】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題はクリック溝等の摩耗を抑制して耐久性の高いレボルバ装置及びレボルバ装置を備える顕微鏡を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、レボルバ本体と、このレボルバ本体に対して回転可能であるとともに、複数の光学素子を装着可能な回転部材と、前記回転部材の回転軸と、前記回転部材及び前記レボルバ本体の一方の周方向へ所定の間隔で形成される複数のクリック溝と、前記回転部材及び前記レボルバ本体の他方に設けられ、前記クリック溝に係合する係合部材と、この係合部材を前記クリック溝に付勢する付勢手段とを備え、前記係合部材と対峙する前記クリック溝と前記クリック溝間を結ぶ弧状部との少なくとも一方は、前記回転部材の回転軸に対して傾斜し、前記係合部材に線接触又は面接触可能な斜面が形成され、前記回転部材は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されていることを特徴とするレボルバ装置である。
【０００８】
請求項２記載の発明は、レボルバ本体と、このレボルバ本体に対して回転可能であるとともに、複数の光学素子を装着可能な回転部材と、前記回転部材の回転軸と、前記回転部材の周方向へ所定の間隔で形成される複数のクリック溝と、前記レボルバ本体に設けられ、前記クリック溝に係合する係合部材と、この係合部材を前記クリック溝に付勢する付勢手段とを備え、前記係合部材と対峙する前記クリック溝と前記クリック溝間を結ぶ弧状部との少なくとも一方は、前記回転部材の回転軸に対して傾斜し、前記係合部材に線接触  又は面接触可能な斜面が形成され、前記回転部材は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターとの焼結体により構成されていることを特徴とするレボルバ装置である。
【０００９】
請求項３記載の発明は、レボルバ本体と、このレボルバ本体に対して回転可能であるとともに、複数の光学素子を装着可能な回転部材と、前記回転部材の回転軸と、前記回転部材の周方向へ所定の間隔で形成される複数のクリック溝と、前記レボルバ本体に設けられ、前記クリック溝に係合する係合部材と、この係合部材を前記クリック溝に付勢する付勢手段とを備え、前記係合部材と対峙する前記クリック溝と前記クリック溝間を結ぶ弧状部との少なくとも一方は、前記回転部材の回転軸に対して傾斜し、前記係合部材に線接触又は面接触可能な斜面が形成され、前記回転部材は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターと、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されていることを特徴とするレボルバ装置である。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項２または３記載のレボルバ装置において、前記ダイヤモンド粒子クラスターは、表面にグラファイトがコーティングされていることを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載のレボルバ装置において、前記斜面は、前記弧状部に形成された、第１斜面だけで形成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載のレボルバ装置において、前記斜面は、前記クリック溝に形成された、第２斜面だけで構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載のレボルバ装置において、前記斜面は、前記弧状部に形成された第１斜面と、前記クリック溝に形成され、前記第１斜面と同じ傾斜方向であるが前記第１斜面と異なる傾斜角度を有する第２斜面とで構成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項記載のレボルバ装置を備えていることを特徴とする顕微鏡である。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、クリック溝等の摩耗を抑制してレボルバ装置及びレボルバ装置を備える顕微鏡の耐久性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１はこの発明の第１実施形態に係るレボルバ装置を備える顕微鏡の側面図である。
【００１８】
顕微鏡ＭＳは、アーム１と、アーム１の上部に取り付けられた接眼レンズ２を有する鏡筒３と、アーム１の下面に取り付けられ、複数の対物レンズ４を有するレボルバ装置１０と、アーム１を支持する支持部５に沿って上下動するステージ６とを備えている。
【００１９】
レボルバ装置１０はアーム１の下面に対して着脱可能である。
【００２０】
図２はこの発明の一実施形態に係るレボルバ装置の断面図、図３は図２のＡ矢視図である。
【００２１】
図２、図３は円筒形の転動体であるベアリング（係合部材）２３がクリック溝３６に落ち込んだ状態を示している。
【００２２】
レボルバ装置１０はレボルバ本体２０とレボルバ回転部材（回転部材）３０とを備える。
【００２３】
クリック機構の一部を構成する板ばね（付勢手段）２１はほぼ三角形の平板であり、その基端部が２つのビス２２でレボルバ本体２０の段差部２５に取り付けられている。板ばね２１の係合部材側端部にはベアリング（係合部材）２３が回転可能に支持されている。
【００２４】
ベアリング２３の中心孔に装着されたほぼ円柱状の支持部材２４の端部は半円柱状に形成されている。支持部材２４は平面２４ａとこの平面２４ａに直交する平面２４ｂとを有する。板ばね２１の係合部材側端部の下面が支持部材２４の平面２４ａに溶接されている。その結果、ベアリング２３の中心軸Ｏと板ばね２１の係合部材側端部の下面とは同一仮想平面上に位置する。なお、ベアリング２３の板ばね２１への取付方法は上述のものに限られるものではなく、特開２００６−２７６１９２号公報に記載されているように、板ばね２１の係合部材側端部をＬ字形に折り曲げ、板ばね２１の係合部材側端部にベアリング２３の中心軸Ｏを支持させるようにしてもよい。
【００２５】
クリック溝３６にベアリング２３を落ち込ませることで対物レンズ４の位置決めが行われる。なお、板ばね２１は平板状のものに限られない。
【００２６】
ベアリング２３としては、例えばラジアル玉軸受やラジアルコロ軸受が用いられる。なお、高い回転精度が要求される場合には静圧軸受けを採用すればよい。また、ころがり軸受に代えて円筒形焼結含油軸受等のすべり軸受を用いることもできる。なお、ベアリング２３の直径は５ｍｍ程度である。
【００２７】
レボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、
グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されている。
【００２８】
或いはレボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターとの焼結体により構成されている。
【００２９】
或いはレボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターと、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されている。
【００３０】
前記ダイヤモンド粒子クラスターは、表面にグラファイトがコーティングされている。
【００３１】
グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンは、潤滑性を有するので、これとアルミニウム及び／またはアルミニウム合金との焼結体は、耐摩耗性及び潤滑性に富んでいる。
【００３２】
また、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターは、従来用いられているダイヤモンド微粒子と異り、多結晶でアブレイシブ機構がないため、接触する相手材に傷をつけることがない。また、ダイヤモンドであるため、化学的に極めて安定しており、非常に硬く、粒子の破壊が少ない。
【００３３】
前記ダイヤモンド粒子クラスターは、多結晶ダイヤモンドを１００オングストローム以下の超微粒子に分級化し、かつ丸みを帯びた粒子形状に整粒化した超微粒子クラスターである。このため、この超微粒子クラスターはそれ自体優れた硬さと自己潤滑性を兼備している。
【００３４】
従って、このような超微粒子クラスターを、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金粉末に混合して冷間成形後焼結した焼結体は、化学的に安定し、また摩擦抵抗が低く、極めて耐摩耗性及び潤滑性に富むものになる。
【００３５】
レボルバ回転部材３０の周縁部３９の上面には、クリック溝３６が周方向へ等間隔に形成されている。
【００３６】
クリック溝３６はレボルバ回転部材３０の周縁部３９の上面に周方向へ等間隔で形成されている。クリック溝３６の数はレボルバ回転部材３０に装着可能な対物レンズ４の数と同じ（この実施形態の場合は５）である。
【００３７】
また、レボルバ本体２０の中央部には下方へ突出する筒部２８が形成され、この筒部２８に形成されたねじ穴２７にレボルバ回転部材３０の回転中心となる皿ねじ３１が螺着されている。この皿ねじ３１の座面にはテーパ面３１ａが形成されている。
【００３８】
レボルバ回転部材３０の中心部には皿ねじ３１の頭部を収容可能な中心穴３２が形成されており、テーパ面３１ａと中心穴３２の内周面との間にはベアリングボール３３が転動可能に配置されている。
【００３９】
また、レボルバ本体２０の周縁部に形成された段差部２６と、レボルバ回転部材３０の周縁部３９の内周面３５との間にはベアリングボール３４が転動可能に配置されている。
【００４０】
この構成によって、レボルバ回転部材３０はレボルバ本体２０に対して回転可能に支持される。
【００４１】
レボルバ回転部材３０には複数の対物レンズ４を装着するための複数の装着孔３７が周方向へ等間隔に形成されている。
【００４２】
図４はレボルバ回転部材の部分側面図、図５は図４の５Ａ−５Ａ線に沿う断面図、図６は図４のＢ矢視図である。図５の紙面に向かって左側にレボルバ回転部材３０の回転軸が配置されている。
【００４３】
レボルバ回転部材３０の周縁部３９の上面には５つのクリック溝３６が形成されている。クリック溝３６間を結ぶ５つの弧状部３９Ａの上面には第１斜面３６Ｃが形成されている。第１斜面３６Ｃはレボルバ回転部材３０の回転軸へ向けて傾斜している。
【００４４】
クリック溝３６は第１斜面３６Ｃに連なる第２斜面３６Ｂとこの第２斜面３６Ｂに連なるＶ溝面３６Ａとで構成されている。第２斜面３６Ｂ、Ｖ溝面３６Ａのそれぞれの傾斜方向は第１斜面３６Ｃの傾斜方向と同じでレボルバ回転部材３０の回転軸に向かって傾斜しているが、それぞれの傾斜角度は第１斜面３６Ｃの傾斜角度と異なる。
【００４５】
Ｖ溝面３６Ａ、第２斜面３６Ｂ、第１斜面３６Ｃと回転軸３１に直交する面とのなす角度がα、β、γ（α＜β＜γ）である。角度γは、ベアリング２３が弧状部３９Ａの上面を転動している状態でベアリング２３と第１斜面３６Ｃとが線接触する角度、角度α、βはクリック溝３６に落ち込んだ状態でベアリング２３と第２斜面３６Ｂ、Ｖ溝面３６Ａとが線接触する角度である。なお、α＝０°、β＝５°、γ＝１０°である。
【００４６】
図７、８はレボルバ装置の部分断面図である。
【００４７】
図７はベアリングがクリック溝に落ち込んだ状態を示し、図８はベアリングがクリック溝間の弧状部を転動している状態を示す。
【００４８】
図に基いてレボルバ装置１０の動作を説明する。
【００４９】
回転軸３１（図２参照）を中心としてレボルバ回転部材３０を回転させると、ベアリング２３はレボルバ回転部材３０の周縁部３９の上面を板ばね２１に付勢されながら相対的に転動する。
【００５０】
弧状部３９Ａの上面を転動するベアリング２３は第１斜面３６Ｃからクリック溝３６の第２斜面３６Ｂ（図６参照）を経てＶ溝面３６Ａに落ち込む。Ｖ溝面３６Ａ、第２斜面３６Ｂ、第１斜面３６Ｃがレボルバ回転部材３０の回転中心へ向けて傾斜しているので、ベアリング２３は第１斜面３６Ｃ、第２斜面３６Ｂ及びＶ溝面３６Ａに対して線接触している。つまり、ベアリング２３の形状は回転軸を有する円筒形の筐体中に複数の鋼球を備えるものである。この円筒形の筐体の円筒表面が周縁部３９の上面又は溝の上面に常に当接した状態にある。
【００５１】
Ｖ溝面３６Ａに落ち込んだベアリング２３は板ばね２１の付勢力によってＶ溝面３６Ａに押し付けられる。
【００５２】
その結果、対物レンズ４（図２参照）が観察光軸上に位置決めされる。
【００５３】
この実施形態によれば、ベアリング２３は第１斜面３６Ｃ、第２斜面３６Ｂ、Ｖ溝面３６Ａを線接触状態で転動するので、従来例のようにベアリング２３が周縁部３９（弧状部３９Ａ）の上面又はクリック溝３６を点接触状態（周縁部９の上面又はクリック溝３６の上面とベアリング２３の外周面の辺部とが接触する状態）で摺動することに起因する弧状部３９Ａ又はクリック溝３６の摩耗や変形を大幅に抑制でき、長期間に亘って位置決め精度や安定したクリック動作を維持することができる。また、ベアリング２３の中心軸Ｏと板ばね２１の係合部材側端部の下面とが同一仮想平面上に位置させれば、板ばね２１に生じるねじれが小さくなり、高い位置決め精度を得ることができる。
【００５４】
また、この実施形態によれば、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンは、潤滑性を有するので、これとアルミニウム及び／またはアルミニウム合金との焼結体により構成されるレボルバ回転部材３０は、耐摩耗性及び潤滑性に富んでいる。
【００５５】
また、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターは、従来用いられているダイヤモンド微粒子と異り、多結晶でアブレイシブ機構がないため、接触する相手材に傷をつけることがない。また、ダイヤモンドであるため、化学的に極めて安定しており、非常に硬く、粒子の破壊が少ない。
【００５６】
前記ダイヤモンド粒子クラスターは、多結晶ダイヤモンドを１００オングストローム以下の超微粒子に分級化し、かつ丸みを帯びた粒子形状に整粒化した超微粒子クラスターである。このため、この超微粒子クラスターはそれ自体優れた硬さと自己潤滑性を兼備している。
【００５７】
従って、このような超微粒子クラスターを、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金粉末に混合して冷間成形後焼結した焼結体により構成されるレボルバ回転部材３０は、化学的に安定し、また摩擦抵抗が低く、極めて耐摩耗性及び潤滑性に富むものになる。
【００５８】
かかるレボルバ回転部材３０の周縁部３９の上面には、クリック溝３６が周方向へ等間隔に形成されており、周縁部３９の上面を板ばね２１に支持された鋼球２３が摺動する。
【００５９】
したがって、ベアリング２３の摺動は耐摩耗性の高い材料同士が接触することになり、摩耗が抑えられ、対物レンズ４の位置決め精度が悪化し難くなる。これとともに、レボルバ回転部材３０には、硬度は低いが軽い材料を使用することができる。
【００６０】
なお、上記実施形態では、レボルバ回転部材３０にクリック溝３６を、板ばね２１を介してレボルバ本体２０にベアリング２３をそれぞれ設けたが、レボルバ回転部材３０に付勢手段として板ばね２１を介してベアリングを、レボルバ本体２０にクリック溝をそれぞれ設け、ベアリングをクリック溝に落ち込ませるようにしてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態は手動タイプのレボルバ装置にも、電動タイプのレボルバ装置にも適用可能である。高速で対物レンズの切換動作を繰り返す半導体検査装置等に用いられる電動タイプのレボルバ装置に上記実施形態を適用することは特に有効である。
【００６２】
なお、係合部材はベアリング２３に限られるものではなく、転動しない円柱や円錐台等の辺部を有する部材の場合に有効である。
【００６３】
図９はレボルバ回転部材の変形例を示す部分側面図である。
【００６４】
レボルバ回転部材１３０の周縁部１３９の上面にはクリック溝１３６と、クリック溝１３６間を結ぶ弧状部１３９Ａとが形成されている。弧状部１３９Ａの上面には第１斜面１３６Ｃが形成されている。第１斜面１３６Ｃはレボルバ回転部材１３０の回転軸へ向けて傾斜している。
【００６５】
クリック溝１３６は第１斜面１３６Ｃに連なるＶ溝面である。Ｖ溝面１３６の傾斜方向は第１斜面１３６Ｃの傾斜方向と同じであるがＶ溝面１３６の傾斜角度は第１斜面１３６Ｃの傾斜角度と異なる。因みに、第１斜面１３６Ｃは回転軸に対して直交する面としてもよい。
【００６６】
図１０、１１はこの発明の第２実施形態に係るレボルバ装置の部分断面図であり、第１実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。図１０はベアリングがクリック溝に落ち込んだ状態を示し、図１１はベアリングが弧状部３９Ａを転動している状態を示す。
【００６７】
この実施形態は、レボルバ本体２２０の中央の段差部２２５の高さを第１実施形態の段差部２５より高くした点及び周縁部１３９の上面又はクリック溝１３６の上面の傾斜方向がレボルバ本体２２０の回転軸からレボルバ本体の外周方向に向かって傾斜している点で第１実施形態と相違する。このとき、角度αとγとの関係は、α＞γである。なお、α＝１７．５°、γ＝１２．５°である。
【００６８】
レボルバ本体２２０の周縁部に形成された段差部２２６と、レボルバ回転部材３０の周縁部３９の内周面３５との間にはベアリングボール３４が転動可能に配置されている。
【００６９】
また、レボルバ本体２２０の中央の段差部２２５には板ばね２１の基端部がビス２２で取り付けられている
レボルバ回転部材３０はレボルバ本体２２０に対して回転可能に支持されている。
【００７０】
レボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、
グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されている。
【００７１】
或いはレボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターとの焼結体により構成されている。
【００７２】
或いはレボルバ回転部材３０は、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金と、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターと、グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種との焼結体により構成されている。
【００７３】
前記ダイヤモンド粒子クラスターは、表面にグラファイトがコーティングされている。
【００７４】
グラファイト、二硫化モリブデンおよび二硫化タングステンは、潤滑性を有するので、これとアルミニウム及び／またはアルミニウム合金との焼結体は、耐摩耗性及び潤滑性に富んでいる。
【００７５】
また、粒径が１００オングストローム以下の丸みを帯びた形状のダイヤモンド粒子クラスターは、従来用いられているダイヤモンド微粒子と異り、多結晶でアブレイシブ機構がないため、接触する相手材に傷をつけることがない。また、ダイヤモンドであるため、化学的に極めて安定しており、非常に硬く、粒子の破壊が少ない。
【００７６】
前記ダイヤモンド粒子クラスターは、多結晶ダイヤモンドを１００オングストローム以下の超微粒子に分級化し、かつ丸みを帯びた粒子形状に整粒化した超微粒子クラスターである。このため、この超微粒子クラスターはそれ自体優れた硬さと自己潤滑性を兼備している。
【００７７】
従って、このような超微粒子クラスターを、アルミニウム及び／またはアルミニウム合金粉末に混合して冷間成形後焼結した焼結体は、化学的に安定し、また摩擦抵抗が低く、極めて耐摩耗性及び潤滑性に富むものになる。
【００７８】
レボルバ回転部材３０の周縁部３９の上面には、クリック溝３６が周方向へ等間隔に形成されている。
【００７９】
レボルバ装置の動作は第１実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
【００８０】
この実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００８１】
なお、上記各実施形態において、αとγとの角度差が小さい場合には、β＝α又はβ＝γとしてもよい。この場合、より部材の加工が容易になる。
【００８２】
また、上記各実施形態では、この発明をレボルバ装置に適用した場合について述べたが、ターレット（フィルタ用）に適用することもできる。
【００８３】
更に、上記各実施形態では弧状部とクリック部３６，２３６との両方に斜面を形成したが、弧状部及びクリック部３６，２３６の一方をレボルバ本体２０の上面と平行な平面とし、弧状部及びクリック部３６，２３６の他方を斜面としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係るレボルバ装置を備える顕微鏡の側面図である。
【図２】図２はこの発明の一実施形態に係るレボルバ装置の断面図である。
【図３】図３は図２のＡ矢視図である。
【図４】図４はレボルバ回転部材の部分側面図である。
【図５】図５は図４の５ａ−５ａ線に沿う断面図である。
【図６】図６は図４のＢ矢視図である。
【図７】図７はレボルバ装置の部分断面図である。
【図８】図８はレボルバ装置の部分断面図である。
【図９】図９はレボルバ回転部材の変形例を示す部分側面図である。
【図１０】図１０はこの発明の第２実施形態に係るレボルバ装置の部分断面図である。
【図１１】図１１はこの発明の第２実施形態に係るレボルバ装置の部分断面図である。
【符号の説明】
【００８５】
１０：レボルバ装置、２０：レボルバ本体、２１：板ばね（付勢手段）、２３：ベアリング（係合部材）、３０：レボルバ回転部材（回転部材）、３６，１３６，２３６：クリック溝、３６Ａ：Ｖ溝面、３６Ｂ：第２斜面、３６Ｃ：第１斜面、３９Ａ：弧状部、ＭＳ：顕微鏡。
【図１】
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【図２】
2010054889.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2010054889.tif 000007
【図６】
2010054889.tif 000008
【図７】
2010054889.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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