(57)【要約】【課題】カセットがカセットステージの所定の位置に設置されているか否かの判断を簡易に行う。【解決手段】カセット検出システム２０２は、複数のウェハを収容するカセット２４０が設置されるカセットステージ２１０と、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置された場合にカセット２４０の存在を検知するカセットセンサ２１２と、カセットセンサ２１２と電気的に接続され、カセットセンサ２１２がカセット２４０の存在を検知した場合に点灯状態が変化するセンサランプ２１４と、センサランプ２１４を撮影可能に配置されたカメラ２２０と、カメラ２２０が撮影した画像におけるセンサランプ２１４の点灯状態に基づき、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されているか否かを検出するカセット検出部２５０と、を含む。【選択図】図１
2010192654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェハを収容するカセットが設置されるカセットステージと、
当該カセットステージ上の所定の位置に前記カセットが設置された場合に当該カセットの存在を検知するカセットセンサと、
前記カセットセンサと電気的に接続され、前記カセットセンサが前記カセットの存在を検知した場合に点灯状態が変化するセンサランプと、
前記センサランプを撮影可能に配置されたカメラと、
前記カメラが撮影した画像における前記センサランプの点灯状態に基づき、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されているか否かを検出するカセット検出部と、
を含むカセット検出システム。
【請求項２】
請求項１に記載のカセット検出システムにおいて、
前記センサランプは、前記カセットセンサが前記カセットの存在を検知した場合に点灯し、
前記カセット検出部は、前記画像において前記センサランプの点灯が確認できた場合に、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていることを検出するカセット検出システム。
【請求項３】
請求項２に記載のカセット検出システムにおいて、
前記カセット検出部は、前記センサランプが消灯している際に前記カメラが撮影した画像を基準画像として、当該基準画像と、前記カメラが撮影した画像とを比較することにより、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されているか否かを検出するカセット検出システム。
【請求項４】
請求項１から３いずれかに記載のカセット検出システムにおいて、
前記カセットセンサは、前記所定の位置に前記カセットが設置された場合に、前記カセットに設けられた位置合わせ部位と係合する位置に配置されたカセット検出システム。
【請求項５】
請求項１から４いずれかに記載のカセット検出システムにおいて、
前記カメラは、前記カセットステージ上に設置される前記カセットも撮影可能に配置され、
前記カセット検出部は、前記カメラが撮影した画像における前記カセットの有無に基づき、前記カセットステージ上に前記カセットが設置されているか否かを検出するカセット検出システム。
【請求項６】
請求項１から５いずれかに記載のカセット検出システムと、
前記カセットを前記カセットステージ上に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置を制御して前記カセットステージへの前記カセットのロードを指示する搬送装置コントローラと、
を含み、
前記搬送装置コントローラは、前記カセットステージに前記カセットをロードする際に、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていないことが検出された場合に、前記搬送装置に前記カセットのロードを指示し、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていることが検出された場合に、前記カセットのロードの完了を検出するカセット搬送システム。
【請求項７】
請求項１から５いずれかに記載のカセット検出システムと、
前記カセットを前記カセットステージ上に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置を制御して前記カセットステージからの前記カセットのアンロードを指示する搬送装置コントローラと、
を含み、
前記搬送装置コントローラは、前記カセットステージから前記カセットをアンロードする際に、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていることが検出された場合に、前記搬送装置に前記カセットのアンロードを指示し、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていないことが検出された場合に、前記カセットのアンロードの完了を検出するカセット搬送システム。
【請求項８】
複数のウェハを収容するカセットが設置されるカセットステージ上の所定の位置に前記カセットが設置された場合に当該カセットの存在を検知するカセットセンサと、前記カセットセンサと電気的に接続され、前記カセットセンサが前記カセットの存在を検知した場合に点灯状態が変化するセンサランプと、前記センサランプを撮影可能に配置されたカメラと、を含むカセット検出システムを用いて、
前記カメラにより、前記センサランプを撮影する工程と、
前記カメラにより撮影された画像における前記センサランプの点灯状態に基づき、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されているか否かを検出する工程と、
を含むカセット検出方法。
【請求項９】
請求項８に記載のカセット検出方法において、
前記センサランプは、前記カセットセンサが前記カセットの存在を検知した場合に点灯するよう構成され、
前記検出する工程において、前記画像において前記センサランプの点灯が確認できた場合に、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていることを検出するカセット検出方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載のカセット検出方法において、
前記カメラは、前記カセットステージ上に設置される前記カセットも撮影可能に配置され、
前記センサランプを撮影する工程において、前記カメラにより、前記カセットステージ上に設置される前記カセットも撮影し、
前記検出する工程において、前記カメラが撮影した画像における前記カセットの有無に基づき、前記カセットステージ上に前記カセットが設置されているか否かを検出するカセット検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセット検出システム、カセット搬送システム、およびカセット検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のウェハを収容するカセットを搬送する搬送装置と、当該カセットに収容されたウェハへの処理を行うプロセス装置との間でのカセットを搬送する場合、プロセス装置のカセットステージの所定の位置にカセットが設置されたか否かを簡易に判断し、装置間でロードまたはアンロード動作のための制御信号をやり取りする必要がある。
【０００３】
特許文献１（特開２００１−１５５８０号公報）には、複数のウェハを収容するためのウェハカセットが載置されるカセット載置部の周囲に設けられた撮像手段と、撮像手段で撮像した情報を画像処理して前記ウェハカセットに関する情報を検知する検知手段とを備えるウェハカセット監視装置が記載されている。
【０００４】
特許文献２（特開２０００−１９５９２４号公報）には、設備のカセット検出手段によりカセットステージにカセットがないと判断されたことに併せて、自動搬送車が設備のカセットステージの画像情報を取り込んで処理することにより、カセットステージにカセットその他の障害物がないと判断すると、自動搬送車が搬送してきたカセットを設備に移載する自動搬送方法が記載されている。これにより、設備のカセットステージ上のカセットその他の障害物の有無についての誤判断を避け、もってカセットの衝突を確実に防止することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１５５８０号公報
【特許文献２】特開２０００−１９５９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の装置では、カセットを撮影して得られた画像に基づきカセットの有無を検出している。そのため、カセットの有無の判断はできても、カセットが正常な位置に設置されているか否かの正確な判断を行うことが困難だった。また、特許文献２に記載の技術では、画像情報を用いたカセットの存在の検出の他に、設備のカセット検出手段を用いてカセットの存在を検出している。そのため、カセットが正常な位置に設置されているか否かも判断することができると考えられる。しかし、カセット検出手段の検出結果を取得するための構成が必要になり、構成が複雑になるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、
複数のウェハを収容するカセットが設置されるカセットステージと、
当該カセットステージ上の所定の位置に前記カセットが設置された場合に当該カセットの存在を検知するカセットセンサと、
前記カセットセンサと電気的に接続され、前記カセットセンサが前記カセットの存在を検知した場合に点灯状態が変化するセンサランプと、
前記センサランプを撮影可能に配置されたカメラと、
前記カメラが撮影した画像における前記センサランプの点灯状態に基づき、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されているか否かを検出するカセット検出部と、
を含むカセット検出システムが提供される。
【０００８】
本発明によれば、
上記のカセット検出システムと、
前記カセットを前記カセットステージ上に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置を制御して前記カセットステージへの前記カセットのロードを指示する搬送装置コントローラと、
を含み、
前記搬送装置コントローラは、前記カセットステージに前記カセットをロードする際に、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていないことが検出された場合に、前記搬送装置に前記カセットのロードを指示し、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていることが検出された場合に、前記カセットのロードの完了を検出するカセット搬送システムが提供される。
【０００９】
本発明によれば、
上記のカセット検出システムと、
前記カセットを前記カセットステージ上に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置を制御して前記カセットステージからの前記カセットのアンロードを指示する搬送装置コントローラと、
を含み、
前記搬送装置コントローラは、前記カセットステージから前記カセットをアンロードする際に、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていることが検出された場合に、前記搬送装置に前記カセットのアンロードを指示し、前記カセット検出部により、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されていないことが検出された場合に、前記カセットのアンロードの完了を検出するカセット搬送システムが提供される。
【００１０】
本発明によれば、
複数のウェハを収容するカセットが設置されるカセットステージ上の所定の位置に前記カセットが設置された場合に当該カセットの存在を検知するカセットセンサと、前記カセットセンサと電気的に接続され、前記カセットセンサが前記カセットの存在を検知した場合に点灯状態が変化するセンサランプと、前記センサランプを撮影可能に配置されたカメラと、を含むカセット検出システムを用いて、
前記カメラにより、前記センサランプを撮影する工程と、
前記カメラにより撮影された画像における前記センサランプの点灯状態に基づき、前記カセットステージ上の前記所定の位置に前記カセットが設置されているか否かを検出する工程と、
を含むカセット検出方法が提供される。
【００１１】
このような構成によれば、カセットがカセットステージ上の所定の位置に設置された場合にカセットセンサがカセットの存在を検知するとともに、センサランプの点灯状態が変化する構成となっている。これにより、センサランプの点灯または消灯等の点灯状態の変化をカメラで撮影して、撮影した画像におけるセンサランプの点灯または消灯等の点灯状態の変化を検出するだけで、カセットがカセットステージの所定の正しい位置に設置されているか否かの判断を簡易に行うことができる。
【００１２】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、カセットがカセットステージの所定の位置に設置されているか否かの判断を簡易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態におけるカセット搬送システムの構成を示す模式図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるカセット搬送システムの構成を示す模式図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるカセットステージの構成を示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態において、カセットステージ上にカセットが配置される状態を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態において、カメラにより取得された画像を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態において、カメラにより取得された画像を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態におけるカセット搬送システムにおいて、カセットをプロセス装置にロードする際のシーケンス図である。
【図８】本発明の実施の形態におけるカセット搬送システムにおいて、カセットをプロセス装置からアンロードする際のシーケンス図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１６】
図１および図２は、本実施の形態におけるカセット搬送システム１００の構成を示す模式図である。
カセット搬送システム１００は、プロセス装置２００と、カメラ２２０と、搬送装置２３０と、カセット検出部２５０と、搬送装置コントローラ２６０とを含む。
【００１７】
プロセス装置２００は、カセットステージ２１０と、カセットセンサ２１２と、センサランプ２１４とを含む。カセットステージ２１０には、複数のウェハを収容するカセット２４０が設置される。プロセス装置２００は、カセット２４０に収容されたウェハへの処理を行う。図１は、搬送装置２３０がカセット２４０を搬送している状態、図２は、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置された状態を示す。
【００１８】
カセットセンサ２１２は、カセットステージ２１０の予め設定された所定の位置にカセット２４０が設置された場合に、カセット２４０の存在を検知し、オンとなる。カセットセンサ２１２は、たとえば、圧力スイッチ、遮光センサ、または反射センサ等とすることができる。
【００１９】
センサランプ２１４は、カセットセンサ２１２と電気的に接続されており、カセットセンサ２１２と連動している。センサランプ２１４は、カセットセンサ２１２がカセット２４０の存在を検知してオンした場合に点灯状態が変化する。本実施の形態において、センサランプ２１４は、カセットセンサ２１２がオンの場合に点灯し、カセットセンサ２１２がオフの場合に消灯する構成とることができる。つまり、本実施の形態において、センサランプ２１４は、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されている間点灯し、カセット２４０がカセットステージ２１０から除去されると消灯する。
【００２０】
搬送装置２３０は、カセット２４０をプロセス装置２００へロード、またはプロセス装置２００からアンロードする。本実施の形態において、プロセス装置２００および搬送装置２３０は、それぞれ通信部２１８および通信部２３２を含み、これらの間でインタロック通信を行う。
【００２１】
搬送装置コントローラ２６０は、搬送装置２３０を制御してカセットステージ２１０へのカセット２４０のロードおよびカセットステージ２１０からのカセット２４０のアンロードを指示する。搬送装置コントローラ２６０は、搬送装置２３０とプロセス装置２００との間のインタロック通信を仲介する。また、搬送装置コントローラ２６０は、搬送装置２３０の行き先を指示する。
【００２２】
カメラ２２０は、センサランプ２１４を撮影可能に配置される。また、カメラ２２０は、プロセス装置２００のカセットステージ２１０およびカセットステージ２１０に設置されるカセット２４０も撮影可能に配置される。つまり、カメラ２２０は、カセットステージ２１０上におけるカセット２４０の有無およびセンサランプ２１４の点灯消灯を撮影することができる。
【００２３】
カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づき、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されているか否かを検出する。具体的には、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像において、センサランプ２１４が点灯している場合に、カセットステージ２１０上の位置にカセット２４０が設置されていることを検出する。また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像において、センサランプ２１４が点灯していない場合に、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されていないことを検出する。
【００２４】
また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像におけるカセット２４０の有無にも基づき、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されているか否かを検出することができる。たとえば、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像中にカセット２４０の存在が確認でき、かつ、センサランプ２１４が点灯している場合に、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されていることを検出することができる。また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像中にカセット２４０の存在が確認できず、かつ、センサランプ２１４が点灯していない場合に、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていないことを検出することができる。
【００２５】
また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像中にカセット２４０の存在を確認できるが、センサランプ２１４が点灯していない場合に、カセットステージ２１０上のカセット２４０の位置ずれが生じていることを検出し、エラー通知等を行うこともできる。
【００２６】
また、カセット検出部２５０は、センサランプ２１４が消灯している際にカメラ２２０が撮影した画像を基準画像として記憶する記憶部を含むことができる。カセット検出部２５０は、当該基準画像と、カメラ２２０が撮影した画像とを比較することにより、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセットが設置されているか否かを検出することができる。また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に対して、センサランプ２１４が消灯している際にカメラ２２０が撮影した画像が２値化により黒色となるように処理を行い、黒色からの変化量に基づき、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されているか否かを検出することができる。また、カセット検出部２５０は、搬送装置２３０とプロセス装置２００との間のインタロック通信を仲介する。
【００２７】
本実施の形態において、カセット検出部２５０は、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されているか否かの検出結果に基づき、搬送装置２３０がプロセス装置２００へカセット２４０を搬送する際のインタロック信号を搬送装置コントローラ２６０に送信する。本実施の形態において、カセットステージ２１０、カセットセンサ２１２、センサランプ２１４、カメラ２２０、およびカセット検出部２５０により、カセット検出システム２０２が構成される。
【００２８】
図３は、カセットステージ２１０の構成を示す平面図である。図４は、カセットステージ２１０上にカセット２４０が配置される状態を示す断面図である。図４（ａ）は、カセット２４０が配置されていない状態、図４（ｂ）は、カセットステージ２１０上にカセット２４０が配置される状態を示す。図４（ｂ）では、一つのウェハ１０２しか示していないが、カセット２４０には、複数のウェハ１０２が収容されている。
【００２９】
図３に示すように、カセットステージ２１０上には、カセットガイド２１６ａ、カセットガイド２１６ｂ、およびカセットガイド２１６ｃが配置されている。カセットガイド２１６ａおよびカセットガイド２１６ｂは、カセット２４０の側面をガイドする位置に設けられる。カセット２４０は、これらのカセットガイドに沿ってカセットステージ２１０上に配置される。
【００３０】
また、図４（ｂ）に示すように、カセット２４０のカセットステージ２１０と対向する面には、位置合わせバー２４２（位置合わせ部位）が設けられている。位置合わせバー２４２は、たとえばＴ字形状のＴバーとすることができる。カセットセンサ２１２は、カセット２４０がカセットステージ２１０上のカセットガイド２１６ａ、カセットガイド２１６ｂ、およびカセットガイド２１６ｃに沿って所定の位置に設置された場合、位置合わせバー２４２と係合するように配置される。カセットガイド２１６ｃは、カセット２４０の位置合わせバー２４２がカセットセンサ２１２と係合するようにカセット２４０をガイドする。ここで、カセット２４０は、カセットステージ２１０の上側からカセットステージ２１０上に設置される。たとえば、カセットセンサ２１２が圧力スイッチの場合、カセット２４０が所定の位置に置かれた場合に、カセットセンサ２１２が位置合わせバー２４２により押され、カセットセンサ２１２はカセット２４０が所定の位置に設置されたことを検知する。これにより、センサランプ２１４が点灯する。
【００３１】
本実施の形態において、カセット２４０がカセットステージ２１０上に設置された場合でも、所定の位置に設置されていなければ、カセットセンサ２１２がカセットステージ２１０の設置を検知しないので、センサランプ２１４も点灯しない。これにより位置合わせ精度を高めることができる。
【００３２】
図５および図６は、カメラ２２０により取得された画像を示す図である。
図５（ａ）は、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていない状態を示す。このとき、センサランプ２１４も点灯していない。これにより、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていないことおよび所定の位置にカセット２４０が設置されていないことが検出できる。
【００３３】
図５（ｂ）は、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置された状態を示す。このときセンサランプ２１４も点灯している。これにより、カセットステージ２１０上の所定の正しい位置にカセット２４０が設置されていることが検出できる。
【００３４】
図６は、カセットステージ２１０上のカセット２４０が設置されているが、正しく位置合わせされていない状態を示す。このときセンサランプ２１４は点灯していない。これにより、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されているが、所定の正しい位置に設置されていないことが検出できる。
【００３５】
次に、カセット搬送システム１００において、カセット２４０をプロセス装置２００にロードする際の手順を説明する。カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていないことを検出した場合に、搬送装置コントローラ２６０にカセット２４０のロード動作を指示する。また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていないことを検出した場合に、搬送装置コントローラ２６０にカセット２４０のロード動作の完了を指示する。
【００３６】
図７は、本実施の形態におけるカセット搬送システム１００において、カセット２４０をプロセス装置２００にロードする際のシーケンス図である。
（ａ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、搬送装置２３０をプロセス装置２００の前に移動させ、ＶＡＬＩＤ、カセット指定（ＣＳ＿０−ＣＳ＿３）をオンとする。
（ｂ）カセット検出部２５０（Ｐ）は、（ａ）を受け、かつカメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０の存在が確認できず、かつセンサランプ２１４が消灯している場合に、ロード要求（Ｌ＿ＲＥＱ）をオンとする。
【００３７】
（ｃ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ロード要求（Ｌ＿ＲＥＱ）のオンを受け、搬送要求（ＴＲ−ＲＥＱ）をオンとする。
（ｄ）カセット検出部２５０（Ｐ）は、搬送要求（ＴＲ−ＲＥＱ）のオンを受け、かつカメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０の存在が確認できず、かつセンサランプ２１４が消灯している場合に、ＲＥＡＤＹをオンとする。
（ｅ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ＲＥＡＤＹのオンを受け、搬送装置２３０に、プロセス装置２００へのカセット２４０のロードを指示する。また、搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ＢＵＳＹをオンとする。
【００３８】
（ｆ）この後、カセット検出部２５０（Ｐ）は、カメラ２２０が撮影した画像に基づき、センサランプ２１４の点灯を確認して、Ｌ＿ＲＥＱをオフとする。
（ｇ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、搬送終了すると、ＢＵＳＹをオフ、搬送要求（ＴＲ＿ＲＥＱ）をオフ、ＣＯＭＰＴをオンとする。
（ｈ）カセット検出部２５０（Ｐ）は、ＣＯＭＰＴのオンを受け、かつカメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されている場合に、ＲＥＡＤＹをオフとする。ここで、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づき、カセットステージ２１０上にカセット２４０の存在が確認でき、かつセンサランプ２１４が点灯している場合に、カセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されていると判断する。これにより、ロード搬送動作を完了と見なし、搬送装置コントローラ２６０（Ａ）へ作業完了を指示する。
（ｉ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ＣＯＭＰＴをオフとする。
【００３９】
次に、カセット搬送システム１００において、カセット２４０をプロセス装置２００からアンロードする際の手順を説明する。カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上の所定の位置にカセット２４０が設置されていることを検出した場合に、搬送装置コントローラ２６０にカセット２４０のアンロード動作を指示する。また、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていないことを検出した場合に、搬送装置コントローラ２６０にカセット２４０のアンロード動作の完了を指示する。
【００４０】
図８は、本実施の形態におけるカセット搬送システム１００において、カセット２４０をプロセス装置２００からアンロードする際のシーケンス図である。
（ａ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、搬送装置２３０をプロセス装置２００の前に移動させ、ＶＡＬＩＤ、カセット指定（ＣＳ＿０−ＣＳ＿３）をオンとする。
（ｂ）カセット検出部２５０（Ｐ）は、（ａ）を受け、かつカメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０の存在が確認され、かつセンサランプ２１４が点灯している場合に、アンロード要求（Ｕ＿ＲＥＱ）をオンとする。
【００４１】
（ｃ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、アンロード要求（Ｕ＿ＲＥＱ）のオンを受け、搬送要求（ＴＲ−ＲＥＱ）をオンとする。
（ｄ）カセット検出部２５０（Ｐ）は、搬送要求（ＴＲ−ＲＥＱ）のオンを受け、かつカメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０の存在が確認され、かつセンサランプ２１４が点灯している場合に、ＲＥＡＤＹをオンとする。
（ｅ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ＲＥＡＤＹのＯＮを受け、搬送装置２３０に、プロセス装置２００からのカセット２４０のアンロードを指示する。また、搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ＢＵＳＹをオンとする。
【００４２】
（ｆ）この後、カセット検出部２５０（Ｐ）は、カメラ２２０が撮影した画像に基づき、センサランプ２１４の消灯を確認して、Ｕ＿ＲＥＱをオフとする。
（ｇ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、搬送終了するとＢＵＳＹをオフ、搬送要求（ＴＲ＿ＲＥＱ）をオフ、ＣＯＭＰＴをオンとする。
（ｈ）カセット検出部２５０（Ｐ）は、ＣＯＭＰＴのオンを受け、かつカメラ２２０が撮影した画像に基づきカセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていない場合に、ＲＥＡＤＹをオフとする。ここで、カセット検出部２５０は、カメラ２２０が撮影した画像に基づき、カセットステージ２１０上にカセット２４０の存在が確認できず、かつセンサランプ２１４が消灯している場合に、カセットステージ２１０上にカセット２４０が設置されていないと判断する。これにより、ロード搬送動作を完了と見なし、搬送装置コントローラ２６０（Ａ）へ作業完了を指示する。
（ｉ）搬送装置コントローラ２６０（Ａ）は、ＣＯＭＰＴをオフとする。
【００４３】
次に、本実施の形態におけるカセット搬送システム１００の効果を説明する。
本実施の形態におけるカセット搬送システム１００によれば、カセット２４０がカセットステージ２１０上の所定の位置に設置された場合にカセットセンサ２１２がカセット２４０の存在を検知するとともに、センサランプ２１４の点灯状態が変化する構成となっている。これにより、センサランプ２１４の点灯または消灯等の点灯状態の変化をカメラ２２０で撮影して、撮影した画像におけるセンサランプ２１４の点灯または消灯等の点灯状態の変化を検出するだけで、カセット２４０がカセットステージ２１０の所定の正しい位置に設置されているか否かの判断を簡易に行うことができる。
【００４４】
従来、カメラでカセットを撮影して、カセットの状態に基づきカセットを検出していたが、この方法では、たとえばカセットに位置合わせバーのような位置合わせ部位が存在していても、この部分がカメラで撮影されないため、カセットが所定の位置に設置されているか否かを正確に判断するのが困難だった。しかし、本実施の形態におけるカセット検出システム２０２およびカセット搬送システム１００によれば、カセット２４０がカセットステージ２１０の所定の正しい位置に設置されているか否かの判断を簡易に行うことができる。
【００４５】
また、特許文献２に記載の技術では、画像情報を用いたカセットの存在の検出の他に、設備のカセット検出手段を用いてカセットの存在を検出しているが、カセット検出手段の検出結果を取得するための構成が必要になり、構成が複雑になるという課題があった。本実施の形態におけるカセット搬送システム１００によれば、カメラ２２０でカセット２４０自体とセンサランプ２１４の点灯状態との両方を同時に撮影して画像処理を行うことにより、カセット２４０の存在と、カセット２４０が所定の位置に設置されているか否かの判断とを、同様の処理構成で行うことができる。
【００４６】
また、以上のカセット搬送システム１００およびカセット検出システム２０２の構成は、プロセス装置２００コア部分の構成を改造することなく、センサランプ２１４等を後付で追加することにより、簡易に実現することができる。以上のカセット搬送システム１００は、たとえばＳＥＭＩ  Ｅ２３−９６に記載されたような自動搬送インタフェースを有しないプロセス装置に適用することができる。このようなプロセス装置にセンサランプ２１４等を設け、センサランプ２１４をカメラ２２０で撮影するようにすることにより、安価にＳＥＭＩ  Ｅ２３−９６に記載されたような自動搬送インタフェースのシーケンスを実現することができる。
【００４７】
なお、以上で説明した搬送装置コントローラ２６０およびカセット検出部２５０の構成は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。搬送装置コントローラ２６０およびカセット検出部２５０は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置にはいろいろな変形例があることは、当業者には理解されるところである。
【００４８】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４９】
１００ カセット搬送システム
１０２ ウェハ
２００ プロセス装置
２０２ カセット検出システム
２１０ カセットステージ
２１２ カセットセンサ
２１４ センサランプ
２１６ａ カセットガイド
２１６ｂ カセットガイド
２１６ｃ カセットガイド
２１８ 通信部
２２０ カメラ
２３０ 搬送装置
２３２ 通信部
２４０ カセット
２４２ 位置合わせバー
２５０ カセット検出部
２６０ 搬送装置コントローラ
【図１】
2010192654.tif 000003
【図２】
2010192654.tif 000004
【図３】
2010192654.tif 000005
【図４】
2010192654.tif 000006
【図５】
2010192654.tif 000007
【図６】
2010192654.tif 000008
【図７】
2010192654.tif 000009
【図８】
2010192654.tif 000010