(57)【要約】      （修正有）【課題】推力が大きく、機器の大きさに関する設計の自由度が高いリニアモータ及びリニア移動ステージ装置を提供する。【解決手段】リニアモータ１は、２つの磁石列３と、２つのコイル列５とを有する。２つの磁石列３は、磁化方向が駆動方向（Ｘ軸方向）に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、駆動方向に配列された複数の磁石１１をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように磁化方向（Ｙ軸方向）において対向配置されている。２つのコイル列５は、２つの磁石列３の間において、磁石列３に開口１３ｃを向けて駆動方向に配列された複数のコイル１３をそれぞれ有し、磁化方向において対向配置されて互いに固定されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁化方向が駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように前記磁化方向において対向配置された２つの磁石列と、
前記２つの磁石列の間において、前記磁石列に開口を向けて前記駆動方向に配列された複数のコイルをそれぞれ有し、前記磁化方向において対向配置されて互いに固定された２つのコイル列と、
を有するリニアモータ。
【請求項２】
前記２つのコイル列の間に設けられ、前記２つのコイル列が固定されるコイルヘッドを更に有し、
前記コイルヘッドには、冷却媒体を流すことが可能な流路が形成されている
請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記流路は、前記複数のコイルに対向する放出口を介してコイルヘッド外部に開放されている
請求項２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記複数の磁石の前記駆動方向及び前記磁化方向に直交する幅方向の大きさが、前記複数のコイルの開口の前記幅方向の大きさに対して、前記複数の磁石の前記駆動方向における磁石１個分の大きさ以上の差で大きい
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記複数の磁石のそれぞれは、前記幅方向における大きさが前記複数のコイルの開口の前記幅方向の大きさよりも小さい複数の分割磁石が前記幅方向に配列されて構成されている
請求項４に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記複数のコイルの開口は、前記駆動方向及び前記磁化方向に直交する幅方向の大きさが、前記複数の磁石の前記幅方向の大きさに対して、前記複数の磁石の前記駆動方向における磁石１個分の大きさ以上の差で大きい
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項７】
ベースと、
前記ベースに対して所定の駆動方向に移動可能なステージと、
前記ステージを前記ベースに対して駆動するリニアモータと、
を有し、
前記リニアモータは、
前記ベース及び前記ステージの一方に対して固定された２つの磁石列と、
前記ベース及び前記ステージの他方に対して固定された２つのコイル列と、
を有し、
前記２つの磁石列は、磁化方向が前記駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように前記磁化方向において対向配置され、
前記２つのコイル列は、前記２つの磁石列の間において、前記磁石列に開口を向けて前記駆動方向に配列された複数のコイルをそれぞれ有し、前記磁化方向において対向配置されている
リニア移動ステージ装置。
【請求項８】
ベースと、
前記ベースに対して第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向に移動可能なステージと、
前記ステージを前記ベースに対して前記第１方向を駆動方向として駆動する第１リニアモータと、
前記ステージを前記ベースに対して前記第２方向を駆動方向として駆動する第２リニアモータと、
を有し、
前記第１リニアモータ及び前記第２リニアモータそれぞれは、
前記ベース及び前記ステージの一方に対して固定された２つの磁石列と、
前記ベース及び前記ステージの他方に対して固定された２つのコイル列と、
を有し、
前記２つの磁石列は、磁化方向が前記駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように前記磁化方向において対向配置され、
前記２つのコイル列は、前記２つの磁石列の間において、前記磁石列に開口を向けて前記駆動方向に配列された複数のコイルをそれぞれ有し、前記磁化方向において対向配置され、
前記第１リニアモータの前記複数の磁石の前記第２方向の大きさが、前記第１リニアモータの前記複数のコイルの開口の前記第２方向の大きさに対して、又は、前記第１リニアモータの前記複数のコイルの開口の前記第２方向の大きさが、前記第１リニアモータの前記複数の磁石の前記第２方向の大きさに対して、前記第２リニアモータの前記第２方向におけるストローク以上の差で大きい
リニア移動ステージ装置。
【請求項９】
前記第１リニアモータの前記第１方向のストロークが前記第２リニアモータの前記第２方向のストロークよりも小さく、
前記第２リニアモータは、前記２つの磁石列及び前記２つのコイル列の組み合わせを、前記第１方向に複数有している
請求項８に記載のリニア移動ステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ及びリニア移動ステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
駆動方向に配列された複数の磁石からなる磁石列、及び、駆動方向に配列された複数のコイルからなるコイル列を有するリニアモータ及び当該リニアモータを利用したリニア移動ステージ装置が知られている（例えば特許文献１）。
【０００３】
特許文献１に記載されたリニアモータは、１つのみの磁石列と、１つのみのコイル列とを有している。磁石列に含まれる複数の磁石は、コイル列との対向方向（駆動方向に直交する磁化方向）において磁化され、また、駆動方向において磁極の向きが交互に逆転するように配置される。コイル列に含まれる複数のコイルは、磁石列との対向方向を軸方向として配置される。
【０００４】
特許文献１の従来技術の欄では、２つの磁石列と、２つのコイル列とを有するリニアモータも記載されている。２つの磁石列は、駆動方向に直交する磁化方向において対向し、且つ、異種の磁極同士が対向するように配置される。２列のコイル列は、２つの磁石列の間において、２つの磁石列の対向方向を軸方向として、且つ、２つの磁石列の対向方向において互いに重なるように配置される。
【０００５】
特許文献２に記載されたリニアモータは、２つの磁石列と、１つのコイル列とを有している。２つの磁石列は、駆動方向に直交する磁化方向において対向し、且つ、同種の磁極同士が対向するように配置される。コイル列は、駆動方向を軸方向として配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−７４９７５号公報
【特許文献２】特開２００５−１７６４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されたリニアモータは、１つのみの磁石列及び１つのみのコイル列を有することから、推力が低い。推力を大きくするために、コイルの駆動方向における配列数を増やすと、コイル列が駆動方向に長くなる。リニアモータのストロークは、磁石列の駆動方向における長さとコイル列の駆動方向における長さとの差に規定される。従って、所定のストロークを得る場合において、コイル列が駆動方向に長くなると、磁石列も駆動方向に長くしなければならない。このように、特許文献１に記載されたリニアモータでは、推力を大きくしようとすると、リニアモータ全体を駆動方向に長くしなければならない。
【０００８】
特許文献１の従来技術の欄に記載されたリニアモータは、一方の磁石列から他方の磁石列に向かう磁力を利用することから、２つの磁石列間の距離が大きくなると推力が低下する。すなわち、所定の推力を得ようとすると、２つの磁石列間の距離に関する設計の自由度が制約される。その結果、例えば、２つのコイル列間に配置されて２つのコイル列を保持するコイルヘッドを薄型化する必要性が生じるなどの不都合が生じる。
【０００９】
特許文献２に記載されたリニアモータは、２つの磁石列間の距離を大きくすると、コイルと磁石との近接を保って推力を維持するために、２つの磁石列の対向方向においてコイルの径を大きくしなければならない。その結果、コイルの材料費や電気抵抗の増加を招く。すなわち、２つの磁石列の距離を大きくすることには、コスト等の現実的な観点から制約が生じる。
【００１０】
以上のとおり、従来のリニアモータは、推力を大きくしようとすると、リニアモータの大きさに関して設計上の自由度の低下が生じていた。
【００１１】
本発明の目的は、推力が大きく、機器の大きさに関する設計の自由度が高いリニアモータ及びリニア移動ステージ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の観点のリニアモータは、磁化方向が駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように前記磁化方向において対向配置された２つの磁石列と、前記２つの磁石列の間において、前記磁石列に開口を向けて前記駆動方向に配列された複数のコイルをそれぞれ有し、前記磁化方向において対向配置されて互いに固定された２つのコイル列と、を有する。
【００１３】
好適には、リニアモータは、前記２つのコイル列の間に設けられ、前記２つのコイル列が固定されるコイルヘッドを更に有し、前記コイルヘッドには、冷却媒体を流すことが可能な流路が形成されている。
【００１４】
好適には、前記流路は、前記複数のコイルに対向する放出口を介してコイルヘッド外部に開放されている。
【００１５】
好適には、前記複数の磁石の前記駆動方向及び前記磁化方向に直交する幅方向の大きさが、前記複数のコイルの開口の前記幅方向の大きさに対して、前記複数の磁石の前記駆動方向における磁石１個分の大きさ以上の差で大きい。
【００１６】
好適には、前記複数の磁石のそれぞれは、前記幅方向における大きさが前記複数のコイルの開口の前記幅方向の大きさよりも小さい複数の分割磁石が前記幅方向に配列されて構成されている。
【００１７】
好適には、前記複数のコイルの開口は、前記駆動方向及び前記磁化方向に直交する幅方向の大きさが、前記複数の磁石の前記幅方向の大きさに対して、前記複数の磁石の前記駆動方向における磁石１個分の大きさ以上の差で大きい。
【００１８】
本発明の第２の観点のリニア移動ステージ装置は、ベースと、前記ベースに対して所定の駆動方向に移動可能なステージと、前記ステージを前記ベースに対して駆動するリニアモータと、を有し、前記リニアモータは、前記ベース及び前記ステージの一方に対して固定された２つの磁石列と、前記ベース及び前記ステージの他方に対して固定された２つのコイル列と、を有し、前記２つの磁石列は、磁化方向が前記駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように前記磁化方向において対向配置され、前記２つのコイル列は、前記２つの磁石列の間において、前記磁石列に開口を向けて前記駆動方向に配列された複数のコイルをそれぞれ有し、前記磁化方向において対向配置されている。
【００１９】
本発明の第３の観点のリニア移動ステージ装置は、ベースと、前記ベースに対して第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向に移動可能なステージと、前記ステージを前記ベースに対して前記第１方向を駆動方向として駆動する第１リニアモータと、前記ステージを前記ベースに対して前記第２方向を駆動方向として駆動する第２リニアモータと、を有し、前記第１リニアモータ及び前記第２リニアモータそれぞれは、前記ベース及び前記ステージの一方に対して固定された２つの磁石列と、前記ベース及び前記ステージの他方に対して固定された２つのコイル列と、を有し、前記２つの磁石列は、磁化方向が前記駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように前記磁化方向において対向配置され、前記２つのコイル列は、前記２つの磁石列の間において、前記磁石列に開口を向けて前記駆動方向に配列された複数のコイルをそれぞれ有し、前記磁化方向において対向配置され、前記第１リニアモータの前記複数の磁石の前記第２方向の大きさが、前記第１リニアモータの前記複数のコイルの開口の前記第２方向の大きさに対して、又は、前記第１リニアモータの前記複数のコイルの開口の前記第２方向の大きさが、前記第１リニアモータの前記複数の磁石の前記第２方向の大きさに対して、前記第２リニアモータの前記第２方向におけるストローク以上の差で大きい。
【００２０】
好適には、前記第１リニアモータの前記第１方向のストロークが前記第２リニアモータの前記第２方向のストロークよりも小さく、前記第２リニアモータは、前記２つの磁石列及び前記２つのコイル列の組み合わせを、前記第１方向に複数有している。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、推力が大きく、機器の大きさに関する設計の自由度が高いリニアモータ及びリニア移動ステージ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るリニアモータの平面図。
【図２】図１のリニアモータの側面図。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るステージ装置を模式的に示す平面図。
【図５】図４のステージ装置を模式的に示す側面図。
【図６】図４のステージ装置のＸ軸リニアモータの平面図。
【図７】図６のＸ軸リニアモータの側面図。
【図８】図６のＸ軸リニアモータの正面図。
【図９】図４のステージ装置のＹ軸リニアモータの平面図。
【図１０】図９のＹ軸リニアモータの側面図。
【図１１】図９のＹ軸リニアモータの正面図。
【図１２】本発明の変形例に係るリニアモータの要部を示す模式的な平面図。
【図１３】図１２のリニアモータの要部を示す模式的な側面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るリニアモータ１の平面図である。図２は、リニアモータ１の側面図である。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。なお、リニアモータ１に関する、平面図、及び、側面図の語は、本実施形態の説明において便宜的に用いているものであり、リニアモータ１のいずれの方向が重力方向とされてもよい。
【００２４】
リニアモータ１は、Ｘ軸方向を駆動方向とするものである。リニアモータ１は、Ｘ軸方向に延びる２つの磁石列３と、Ｘ軸方向に延びる２つのコイル列５と、２つの磁石列３を保持する２つのヨーク７と、２つのコイル列５を保持するコイルヘッド９とを有している。
【００２５】
磁石列３は、界磁を構成しており、コイル列５は、電機子を構成している。磁石列３及びヨーク７は、固定子及び可動子の一方を構成し、コイル列５及びコイルヘッド９は、固定子及び可動子の他方を構成している。なお、以下では、磁石列３及びヨーク７が固定子２１を構成し、コイル列５及びコイルヘッド９が可動子２３を構成しているものとして説明する。
【００２６】
磁石列３は、Ｘ軸方向（駆動方向）に配列された複数の磁石１１を有している。図２に示すように、複数の磁石１１は、磁化方向が駆動方向に直交するように（磁化方向がＺ軸方向になるように）配列されている。また、複数の磁石１１は、駆動方向において磁極の向きが交互に逆転するように配列されている。２つの磁石列３は、複数の磁石１１の磁化方向において互いに対向するように配置されている。一方の磁石列３の複数の磁石１１と、他方の磁石列３の複数の磁石１１とは、同種の磁極を対向させている。
【００２７】
磁石１１は、例えば、Ｙ軸方向（駆動方向及び磁化方向に直交する幅方向）を長手方向とし、Ｘ軸方向を短手方向とし、Ｚ軸方向を厚み方向とする板状（薄型直方体状）に形成されている。換言すれば、磁石１１は、Ｙ軸方向の大きさ＞Ｘ軸方向の大きさ＞Ｚ軸方向の大きさとなるように形成されている。
【００２８】
２つのコイル列５は、２つの磁石列３間に配置されている。コイル列５は、Ｘ軸方向に配列された複数のコイル１３を有している。複数のコイル１３は、磁石列３に開口１３ｃを向けて配置されている。コイル１３と磁石１１との距離は、例えば、８ｍｍ以内である。各コイル列５において、複数のコイル１３は、互いに重ならないように配置されている。２つのコイル列５は、互いに同数のコイル１３を、平面視において（Ｚ軸方向に見て）互いに重なる位置に有している。
【００２９】
複数のコイル１３の配列数は、複数の磁石１１の配列数よりも少なく設定されている。また、コイル列５のＸ軸方向の長さは、磁石列３のＸ軸方向の長さよりも小さい。Ｘ軸方向の所定の長さにおける、複数のコイル１３の配列数と複数の磁石１１の配列数との比は、一例として、３：２である。
【００３０】
コイル１３は、例えば、概ね矩形状、若しくは、長円形に形成されており、Ｙ軸方向に延びる２本の平行部１３ａと、２本の平行部１３ａを連結する２本の連結部１３ｂとを有している。平行部１３ａは、推力発生に寄与する部分であり、平面視において磁石列３と重なっている。一方、連結部１３ｂは、平面視において磁石列３と重なっていない。開口１３ｃの幅方向（Ｙ軸方向）の径（平行部１３ａの長さ）は、磁石１１の幅方向の大きさと概ね同等である。
【００３１】
コイル１３は、例えば、Ｙ軸方向を長手方向とし、Ｘ軸方向を短手方向とし、Ｚ軸方向を厚み方向として形成されている。換言すれば、コイル１３は、Ｙ軸方向の大きさ＞Ｘ軸方向の大きさ＞Ｚ軸方向の大きさとなるように形成されている。
【００３２】
ヨーク７は、例えば、鉄等の磁性体により形成され、また、平板状に形成されている。そして、２つのヨーク７は、対向して配置され、対向面それぞれには、磁石列３が固定される。なお、２つのヨーク７は、リニアモータ１の製造者において、若しくは、リニアモータ１の使用者において、不図示の連結部材により互いに固定される。
【００３３】
コイルヘッド９は、例えば、平板状に形成されている。コイルヘッド９は、２つの磁石列３の間において、２つの磁石列３の対向方向に直交するように配置される。そして、コイルヘッド９の両面には、それぞれコイル列５が固定される。コイルヘッド９は、適宜な厚さに設定されてよいが、例えば、コイル１３よりも厚い。
【００３４】
コイルヘッド９は、例えば、アルミニウム等の導電性の非磁性体（非磁性の金属）により形成されている。このような材料は熱伝導がよいため、リニアモータ１の放熱性を向上させることができる。その結果、多くの電流を流して大きな推力を得ることが可能である。コイル１３は、コイルヘッド９に対して、例えば、絶縁材１５を介して固定される。絶縁材１５は、例えば、コイル１３とコイルヘッド９とを接着させる接着剤を兼ねる樹脂である。
【００３５】
コイルヘッド９の内部には、冷却媒体としての空気を流すための流路１７が形成されている。流路１７は、例えば、コイル列５のＹ軸方向中央においてＸ軸方向に延びる主流路１７ａと、平面視においてコイル１３の平行部１３ａと重なる位置において主流路１７ａから分岐して、平行部１３ａへ延びる分岐流路１７ｂとを有している。主流路１７ａの一端は、適宜な位置においてコイルヘッド９の外部へ開放されている。主流路１７ａの他端は、密閉されている。分岐流路１７ｂは、平行部１３ａに対向する放出口１７ｃを介してコイルヘッド９の外部へ開放されている。
【００３６】
以上の構成を有するリニアモータ１の動作を説明する。
【００３７】
磁石１１は、当該磁石１１に対向するコイル１３の位置において、Ｚ軸方向に向かう磁力を生じさせる。２つの磁石列３は、同種の磁極同士を対向させているから、一の磁石１１から出て、当該一の磁石に対向するコイル１３を通過した後の磁束は、当該一の磁石１１に対向する磁石１１には向かわずに、当該一の磁石１１に隣接する磁石１１に向かう。換言すれば、コイル１３の位置における磁束密度は、２つの磁石列３間の距離に大きくは影響されない。
【００３８】
各コイル列５には電力が供給される。従って、コイル１３の平行部１３ａにおいては、磁石１１の形成したＺ軸方向を向きとする磁界中において、Ｙ軸方向の電流が流れることになり、フレミングの左手の法則に従って、Ｘ軸方向の力が生じる。
【００３９】
２つのコイル列５は、互いに重なるコイル１３同士における電流の向き（コイル１３の回転方向における向き）が互いに逆方向になるように、電力が供給される。すなわち、２つのコイル列５は、平行部１３ａにおける電流の向きがＹ軸方向において互いに逆方向になるように、電力が供給される。一方、上述のように、２つの磁石列は、同種の磁極を対向させて配置されている。従って、２つのコイル列５は、Ｘ軸方向において同一の向きの力を生じる。
【００４０】
なお、２つのコイル列５において、逆方向に電流が流れるようにする方法は、コイル１３の巻き方向を２つのコイル列５間において逆方向にすることにより実現されてもよいし、コイル１３の結線方法を異ならせる（電圧が印加される端子を逆にする）ことにより実現されてもよい。
【００４１】
各コイル列５には、図２に示すように、３相の交流電力が供給される。すなわち、複数のコイル１３は、その配列順に、Ｕ相、Ｖ相、又は、Ｗ相の交流電力が供給される。従って、複数のコイル１３は、交流電力の位相と同期してＸ軸方向に移動する。
【００４２】
なお、磁石列３のＸ軸方向における長さと、コイル列５のＸ軸方向における長さの差は、コイル列５全体が磁石列３に重なった状態でコイル列５が磁石列３に対して移動可能な長さとなっている。換言すれば、上記の差は、推力を減じることのない（若しくは、推力がほとんど減少しない）ストロークとなっている。以下、単にストロークという場合には、この推力を減じることのないストロークをいうものとする。
【００４３】
主流路１７ａの開口端には、不図示のポンプから送出された空気が、当該開口端に接続されたホースを介して流入する。流入した空気は、分岐流路１７ｂを経由して、放出口１７ｃからコイル１３に吹き付けられる。これにより、コイル１３は冷却される。
【００４４】
以上の実施形態によれば、リニアモータ１は、２つの磁石列３と、２つのコイル列５とを有する。２つの磁石列３は、磁化方向が駆動方向（Ｘ軸方向）に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、駆動方向に配列された複数の磁石１１をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように磁化方向（Ｙ軸方向）において対向配置されている。２つのコイル列５は、２つの磁石列３の間において、磁石列３に開口１３ｃを向けて駆動方向に配列された複数のコイル１３をそれぞれ有し、磁化方向において対向配置されて互いに固定されている。
【００４５】
従って、リニアモータ１は、１つのみの磁石列及び１つのみのコイル列を有するリニアモータに比較して、駆動方向の長さを同一にした場合には２倍の推力を得ることができる。なお、推力を同一にした場合には、可動子２３の長さを半分にすることができることになる。また、リニアモータ１は、異種の磁極を対向させる２つの磁石列を有するリニアモータに比較して、２つの磁石列間の距離が推力に及ぼす影響が少ない。さらに、リニアモータ１は、２つの磁石列間の距離を大きくしても、２つの磁石列間に駆動方向を軸方向とするコイル列を有するリニアモータのようにコイル１３が大型化する必要がない。以上のように、リニアモータ１は、推力が大きく、大きさに関する設計の自由度が高い。
【００４６】
リニアモータ１は、２つのコイル列５の間に設けられ、２つのコイル列５が固定されるコイルヘッド９を更に有し、コイルヘッド９には、冷却媒体としての空気を流すことが可能な流路１７が形成されている。従って、コイル１３の温度上昇が抑制される。このような流路１７は、２つの磁石列３間の距離がコイル１３における磁束密度に及ぼす影響が少ないことから、コイルヘッド９を厚く形成することが可能であることにより実現される。
【００４７】
流路１７は、複数のコイル１３に対向する放出口１７ｃを介してコイルヘッド外部に開放されている。従って、冷却媒体としての空気を直接的にコイル１３に触れさせて、コイル１３を効率的に冷却することができる。
【００４８】
（第２の実施形態）
図４は、本発明の第２の実施形態に係るステージ装置５１を模式的に示す平面図である。図５は、ステージ装置５１を模式的に示す側面図である。
【００４９】
ステージ装置５１は、例えば、工作機械等の各種の製造装置に用いられる装置として構成されている。ステージ装置５１は、ベース５３と、ベース５３に対してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能なステージ５５とを有している。また、ステージ装置５１は、ステージ５５をベース５３に対してＸ軸方向に駆動するＸ軸リニアモータ１０１Ｘと、ステージ５５をベース５３に対してＹ軸方向に駆動するＹ軸リニアモータ１０１Ｙとを有している。
【００５０】
なお、以下では、単に「リニアモータ１０１」といい、両者を区別しないことがある。また、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘに係る構成については符号に付加符号Ｘを付し、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙに係る構成については符号に付加符号Ｙを付すが、適宜にＸ、Ｙを省略することがある。
【００５１】
ステージ５５は、ベース５３上にスライド移動可能に載置されている。ステージ５５は、例えば、不図示のガイド機構によって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の移動のみが許容されるようにガイドされている。なお、ステージ５５及びベース５３は、Ｚ軸方向が鉛直方向以外の方向とされるものであってもよい。ステージ５５には、例えば、ワークが載置される。
【００５２】
リニアモータ１０１は、第１の実施形態と同様に、同種の磁極同士を対向させて配置された２つの磁石列１０３と、磁石列１０３にコイル１１３の開口１１３ｃを向けて配置される２つのコイル列１０５とを有するものである。
【００５３】
Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘにおいては、Ｘ軸方向が駆動方向になるように、磁石１１１Ｘ及びコイル１１３ＸがＸ軸方向に沿うように配置されている。また、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙにおいては、Ｙ軸方向が駆動方向になるように、磁石１１１Ｙ及びコイル１１３ＹがＹ軸方向に沿うように配置されている。
【００５４】
各リニアモータ１０１において、磁石列１０３は、ベース５３に対して固定され、コイル列１０５は、ステージ５５に対して固定されている。従って、Ｘ軸リニアモータ１０１ＸにおけるＸ軸方向の推力により、ステージ５５はベース５３に対してＸ軸方向に駆動される。また、Ｙ軸リニアモータ１０１ＹにおけるＹ軸方向の推力により、ステージ５５はベース５３に対してＹ軸方向に駆動される。
【００５５】
Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの磁石列１０３Ｘと、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの磁石列１０３Ｙとは、ベース５３を介して互いに固定されている。また、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘのコイル列１０５Ｘと、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙのコイル列１０５Ｙとは、ステージ５５を介して互いに固定されている。従って、一方のリニアモータ１０１においては、他方のリニアモータ１０１の駆動により、コイル列１０５が磁石列１０３に対して駆動方向とは異なる方向（より詳細には、駆動方向に直交する幅方向）にも移動する。すなわち、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘにおいては、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動により、コイル列１０５Ｘが磁石列１０３Ｘに対してＹ軸方向にも移動する。Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙにおいては、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの駆動により、コイル列１０５Ｙが磁石列１０３Ｙに対してＸ軸方向にも移動する。
【００５６】
図６は、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの平面図である。図７は、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの側面図、すなわち、駆動方向（Ｘ軸方向）の側方から見た図である。図８は、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの正面図、すなわち、駆動方向から見た図である。
【００５７】
複数の磁石１１１Ｘ及び複数のコイル１１３Ｘの数、並びに、磁石列１０３Ｘ及びコイル列１０５Ｘの駆動方向（Ｘ軸方向）における大きさは、第１の実施形態と概ね同様である。すなわち、コイル１１３Ｘは、磁石１１１Ｘよりも数が少ない。また、コイル列１０５ＸのＸ軸方向における長さは、磁石列１０３ＸのＸ軸方向における長さよりも小さく、その差は、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの駆動方向におけるストロークとなっている。ただし、所定の長さにおけるコイル１１３Ｘの数と磁石１１１Ｘの数との比は、第１の実施形態の３：２とは異なる、３：４が例示されている。
【００５８】
磁石１１１Ｘ及びコイル１１３Ｘの幅方向（Ｙ軸方向）における大きさの関係は、第１の実施形態と相違する。すなわち、第１の実施形態においては、幅方向において、コイル１３の開口１３ｃの径が磁石１１と同等であったのに対し、本実施形態では、幅方向において、磁石１１１Ｘがコイル１１３Ｘの開口１１３ｃの径よりも大きい。その差は、例えば、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動方向（Ｙ軸方向）におけるストロークと概ね同等である。
【００５９】
従って、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動によって、コイル列１０５Ｘが磁石列１０３Ｘに対してＹ軸方向に移動したとしても、コイル列１０５Ｘは、磁石列１０３Ｘに対向することになり、推力が維持される。なお、磁石１１１Ｘ及びコイル１１３Ｘは、例えば、第１の実施形態と同様に、Ｙ軸方向の大きさ＞Ｘ軸方向の大きさ＞Ｚ軸方向の大きさとなる薄型直方体状に形成されている。
【００６０】
磁石１１１Ｘは、図６及び図８に示すように、複数の分割磁石１１９Ｘが幅方向（Ｙ軸方向）に配列されることにより構成されている。複数の分割磁石１１９Ｘは、例えば、幅方向（Ｙ軸方向）を長手方向とし、駆動方向（Ｘ軸方向）を短手方向とし、磁化方向（Ｚ軸方向）を厚み方向とする板状（薄型直方体状）に形成されている。換言すれば、分割磁石１１９Ｘは、Ｙ軸方向の大きさ＞Ｘ軸方向の大きさ＞Ｚ軸方向の大きさとなるように形成されている。
【００６１】
なお、複数の分割磁石１１９Ｘは、樹脂等により直接的に互いに固定されていてもよいし、それぞれがヨーク１０７Ｘに固定されることにより、間接的に互いに固定されていてもよい。複数の分割磁石１１９Ｘは、互いに当接していてもよいし、離間していてもよい。
【００６２】
ヨーク１０７Ｘの基本的構成は、第１の実施形態のヨーク７と同様である。すなわち、ヨーク１０７Ｘは、磁性体により形成され、磁石列１０３Ｘを挟んで対向配置されており、磁石列１０３Ｘが固定されている。２つのヨーク１０７Ｘは、図８に示すように、ヨーク１０７Ｘの側方において、駆動方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる板状のヨーク連結部材１２５Ｘにより互いに固定されている。また、ヨーク１０７Ｘの一方は、図５に示すように、支持部材５７を介してベース５３と固定される。
【００６３】
なお、支持部材５７は、ステージ装置５１の一部であってもよいし、ステージ装置５１を含む工作機械等の製造装置の一部であってもよいし、工場の床面等の施設の一部であってもよい。また、支持部材５７は、ヨーク１０７及びベース５３の少なくとも一方と一体化されていてもよい。
【００６４】
コイルヘッド１０９Ｘの基本的構成は、第１の実施形態のコイルヘッド９と同様である。すなわち、２つのコイル列１０５Ｘの間に設けられ、２つのコイル列１０５Ｘが固定されている。また、図６及び図８に示すように、コイルヘッド１０９Ｘには、第１の実施形態と同様に、冷却媒体としての空気を流すための流路１１７Ｘが形成されている。なお、分岐流路やコイル１１３Ｘに対向する放出口は図示が省略されている。流路１１７Ｘの主流路の開口端は、図８に示すように、コイルヘッド１０９Ｘの駆動方向（Ｘ軸方向）の端部において開口している。
【００６５】
コイルヘッド１０９Ｘの駆動方向（Ｘ軸方向）の端部は、コイルヘッド１０９Ｘとステージ５５とを連結するステージ連結部材５９Ｘ（図４及び図５）の取付部となっている。例えば、当該端部には、図８に示すように、孔部１２７Ｘが形成され、孔部１２７Ｘには、軸状のステージ連結部材５９Ｘが挿入される。
【００６６】
また、コイルヘッド１０９Ｘには、コイル列１０５Ｘが固定される面に、駆動方向（Ｘ軸方向）に延びる溝部１２９Ｘが形成されている。当該溝部１２９Ｘには、コイル列１０５Ｘに電力を供給するためのケーブル１３１Ｘが配置されている。ケーブル１３１Ｘは、コイルヘッド１０９Ｘの、ステージ連結部材５９Ｘが取り付けられる端部から延出している。
【００６７】
図９は、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの平面図である。図１０は、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの側面図、すなわち、駆動方向（Ｙ軸方向）の側方から見た図である。図１１は、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの正面図、すなわち、駆動方向から見た図である。
【００６８】
Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙは、磁石列１０３Ｙとコイル列１０５Ｙとの組み合わせからなるモータアセンブリ１０６Ｙを複数（より具体的には２つ）有している。２つのモータアセンブリ１０６Ｙは、幅方向（Ｘ軸方向）に配列されている。２つのモータアセンブリ１０６Ｙの構成は、互いに同一である。
【００６９】
各モータアセンブリ１０６Ｙにおいて、複数の磁石１１１Ｙ及び複数のコイル１１３Ｙの駆動方向（Ｙ軸方向）における数、並びに、磁石列１０３Ｙ及びコイル列１０５Ｙの駆動方向における大きさは、第１の実施形態やＸ軸リニアモータ１０１Ｘと概ね同様である。すなわち、Ｙ軸方向において、コイル１１３Ｙは、磁石１１１Ｙよりも数が少ない。また、コイル列１０５ＹのＹ軸方向における長さは、磁石列１０３ＹのＹ軸方向における長さよりも小さく、その差は、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動方向におけるストロークとなっている。所定の長さにおけるコイル１１３Ｙの数と磁石１１１Ｙの数との比は、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘにおける比と同じ３：４が例示されている。
【００７０】
また、各モータアセンブリ１０６Ｙにおいて、磁石１１１Ｙ及びコイル１１３Ｙの幅方向（Ｘ軸方向）における大きさの関係は、第１の実施形態と同様である。すなわち、幅方向において、コイル１１３Ｙの開口１１３ｃの径（平行部１１３ａの長さ）は、磁石１１１Ｙと同等である。なお、磁石１１１Ｙ及びコイル１１３Ｙは、例えば、第１の実施形態やＸ軸リニアモータ１０１Ｘと同様に、幅方向（Ｘ軸方向）の大きさ＞駆動方向（Ｙ軸方向）の大きさ＞Ｚ軸方向の大きさとなる薄型直方体状に形成されている。
【００７１】
各モータアセンブリ１０６Ｙにおいて、磁石１１１Ｙは、図９及び図１１に示すように、複数の分割磁石１１９Ｙが幅方向（Ｙ軸方向）に配列されることにより構成されている。複数の分割磁石１１９Ｙは、例えば、幅方向（Ｘ軸方向）を長手方向とし、駆動方向（Ｙ軸方向）を短手方向とし、磁化方向（Ｚ軸方向）を厚み方向とする板状（薄型直方体状）に形成されている。換言すれば、分割磁石１１９Ｙは、Ｘ軸方向の大きさ＞Ｙ軸方向の大きさ＞Ｚ軸方向の大きさとなるように形成されている。
【００７２】
なお、複数の分割磁石１１９Ｙは、樹脂等により直接的に互いに固定されていてもよいし、それぞれがヨーク１０７Ｙに固定されることにより、間接的に互いに固定されていてもよい。複数の分割磁石１１９Ｙは、互いに当接していてもよいし、離間していてもよい。
【００７３】
なお、磁石１１１Ｙ、コイル１１３Ｙ、及び、分割磁石１１９Ｙの大きさ及び形状は、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの磁石１１１Ｘ、コイル１１３Ｘ、及び、分割磁石１１９Ｙの大きさ及び形状と異なっていてもよいし、同一でもよい。
【００７４】
以下では、磁石１１１Ｘ及び磁石１１１Ｙは、駆動方向（磁石１１１ＸにおいてはＸ軸方向、磁石１１１ＹにおいてはＹ軸方向）における大きさが同一であるものとする。また、磁石１１１Ｙは、磁石１１１Ｘよりも、幅方向（磁石１１１ＸにおいてはＹ軸方向、磁石１１１ＹにおいてはＸ軸方向）の大きさが大きいものとする。コイル１１３Ｘ及びコイル１１３Ｙは、大きさ及び形状が同一であるものとする。分割磁石１１９Ｘ及び分割磁石１１９Ｙは、大きさ及び形状が同一であるものとする。
【００７５】
Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動方向（Ｙ軸方向）におけるストロークは、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの駆動方向（Ｘ軸方向）におけるストロークよりも大きく設定されている。例えば、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘのストロークは、磁石１１１Ｘの駆動方向（Ｘ軸方向）の大きさの２個分であるのに対し、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙのストロークは、磁石１１１Ｙの駆動方向（Ｙ軸方向）の大きさの９個分である。
【００７６】
また、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘのストロークは、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙのコイル１１３Ｙの平行部１１３ａの長さよりも小さい。従って、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙにおいては、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘが駆動されて、コイル列１０５Ｙが幅方向（Ｘ軸方向）に移動しても、コイル列１０５Ｙは、磁石列１０３Ｙの外側へ完全には出ず、Ｙ軸方向の推力を発揮可能である。
【００７７】
一方、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙのストロークは、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘのコイル１１３Ｘの平行部１１３ａの長さよりも大きい。従って、仮に、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘにおいて、第１の実施形態と同様に、磁石１１１Ｘの幅方向の大きさが、平行部１１３ａの長さと同程度であるとすると、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動により、コイル列１０５Ｘは磁石列（１０３Ｘ）の外側へ完全に出てしまい、Ｘ軸方向の推力が生じないことが起こり得る。
【００７８】
しかし、上述のように、本実施形態では、磁石列１０３Ｘの幅方向（Ｙ軸方向）の大きさは、平行部１１３ａの長さよりも大きいから、コイル列１０５Ｘと磁石列１０３Ｘとの重なりは維持され、推力が発揮される。
【００７９】
Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの、ヨーク１０７Ｙ、コイルヘッド１０９Ｙ、ヨーク連結部材１２５Ｙ及びケーブル１３１Ｙ等のその他の構成は、概ね、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘのその他の構成と同様である。
【００８０】
ただし、ヨーク１０７Ｙ、コイルヘッド１０９Ｙ、ヨーク連結部材１２５Ｙ及びケーブル１３１Ｙは、２つのモータアセンブリ１０６Ｙに共通に設けられている。
【００８１】
また、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙは、ヨーク連結部材１２５Ｙ等の配置位置や向きに関して、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘと相違点がある。これは、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘは、ステージ連結部材５９Ｘによって、駆動方向（Ｘ軸方向）の端部から動力が取り出されるのに対し、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙは、ステージ連結部材５９Ｙ（図４及び図５）によって、駆動方向（Ｙ軸方向）の側方から動力が取り出されることなどからである。
【００８２】
具体的には、ヨーク連結部材１２５Ｙは駆動方向（Ｙ軸方向）の端部に設けられている。なお、ヨーク連結部材１２５Ｙは、コイル列１０５Ｙが駆動方向において磁石列１０３Ｙ外へ移動することを規制するストッパとして機能可能である。また、コイルヘッド９に設けられる、流路１１７Ｙの主流路の開口端及びヨーク連結部材１２５Ｙを取り付けるための孔部１２７Ｙは、駆動方向の側方において開口している。溝部１２９Ｙ（切り欠き部）は、幅方向（Ｙ方向）に延びている。溝部１２９Ｙに配置されるケーブル１３１Ｙは、駆動方向の側方からコイルヘッド９外へ延出している。なお、流路１１７Ｙは、２つのモータアセンブリ１０６Ｙに対応して２本設けられている。ただし、流路１１７Ｙは、一本であってもよい。
【００８３】
以上の実施形態によれば、ステージ装置５１は、ベース５３と、ベース５３に対して所定の駆動方向（Ｘ軸方向又はＹ軸方向）に移動可能なステージ５５と、ステージ５５をベース５３に対して駆動するリニアモータ１０１とを有する。リニアモータ１０１は、第１の実施形態のリニアモータ１と同様の構成を有している。従って、第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果、すなわち、推力を大きくしつつ、大きさに関する設計の自由度を高くするという効果が奏される。
【００８４】
ステージ装置５１は、ステージ５５を駆動するリニアモータとして、Ｘ軸方向を駆動方向とするＸ軸リニアモータ１０１Ｘと、Ｙ軸方向を駆動方向とするＹ軸リニアモータ１０１Ｙとを有している。各リニアモータ１０１においては、磁石列１０３がベース５３に固定され、コイル列１０５がステージ５５に固定されている。従って、上述のように、一のリニアモータ１０１においては、他のリニアモータ１０１の駆動によって駆動方向に直交する幅方向へ移動される。このような構成は、各リニアモータ１０１の駆動方向におけるストロークが、２つの磁石列１０３及び２つのコイル列１０５によって短くされることにより、現実的に許容され易くなる。
【００８５】
Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの複数の磁石１１１ＸのＹ軸方向の大きさが、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの複数のコイル１１３Ｘの開口１１３ｃのＹ軸方向の大きさに対して、Ｙ軸リニアモータ１０１ＹのＹ軸方向におけるストローク以上の差で大きい。従って、上述のように、コイル列１０５Ｘが、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動により、磁石列１０３Ｘに対してＹ軸方向へ移動したとしても、コイル列１０５Ｘと磁石列１０３Ｘとは、重なりを維持できる。その結果、推力の低下を抑制することができる。
【００８６】
複数の磁石１１１Ｘのそれぞれは、幅方向（Ｙ軸方向）における大きさが複数のコイル１１３Ｙの幅方向の大きさよりも小さい複数の分割磁石１１９Ｘが幅方向に配列されて構成されている。従って、分割磁石１１９Ｘの配列数を変更するだけで、複数の磁石１１１Ｘの幅方向の大きさを変更することができる。その結果、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘに対して、種々のストロークのＹ軸リニアモータ１０１Ｙを組み合わせることが容易化される。
【００８７】
さらに、Ｘ軸リニアモータ１０１ＸのＸ軸方向のストロークが、Ｙ軸リニアモータ１０１ＹのＹ軸方向のストロークよりも小さく、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙは、モータアセンブリ１０６ＹをＸ軸方向に複数有している。従って、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙの駆動による幅方向（Ｙ軸方向）への移動が大きいＸ軸リニアモータ１０１Ｘにおいては、上述のように、磁石列１０３Ｘが幅方向へ大きく形成されることにより、推力の低下が抑制される。その一方で、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘの駆動による幅方向（Ｘ軸方向）への移動が小さいＹ軸リニアモータ１０１Ｙにおいては、多少の推力の低下が生じても、複数のモータアセンブリ１０６Ｙにより大きな推力を維持できる。その結果、全体として、Ｘ軸方向の移動量及びＹ軸方向の移動量の比率に応じた効率的な推力確保がなされる。
【００８８】
なお、第２の実施形態において、ステージ装置５１は本発明のリニア移動ステージ装置の一例であり、Ｘ軸方向は本発明の第１方向の一例であり、Ｙ軸方向は本発明の第２方向の一例であり、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘは本発明の第１リニアモータの一例であり、Ｙ軸リニアモータ１０１Ｙは本発明の第２リニアモータの一例である。
【００８９】
本発明は以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【００９０】
磁石及び分割磁石の形状は、幅方向の長さ＞駆動方向の長さ＞磁化方向の長さ＞となる直方体状に限定されない。他の寸法比の直方体状であってもよいし、円柱状等の他の形状であってもよい。
【００９１】
各コイル列において、複数のコイルは、互いに重ならないように配列されるものに限定されない。例えば、複数のコイルは、幅方向に延びる部分（平行部１３ａ）が、隣接するコイルの開口（１３ｃ）に位置するように、互いに重ね合わされて配置されていてもよい。また、複数のコイルは、軸方向が磁化方向に一致する必要はなく、軸方向が磁化方向に対して傾斜していてもよい。
【００９２】
駆動方向の所定長さにおけるコイルの数と磁石の数との比は、実施形態において例示したものに限定されない。例えば、コイルの数と磁石の数との比は、３：１であってもよい。
【００９３】
コイルヘッド及びヨークは、省略されてもよい。すなわち、複数の磁石同士、又は、複数のコイル同士を互いに固定して、可動子又は固定子を構成してもよい。
【００９４】
コイルヘッドの形状は、平板状のものに限定されず、枠状等の他の形状であってもよい。また、コイルヘッドは、平板状である場合において、複数のコイルが嵌合する凹部が形成されていてもよい。
【００９５】
コイルヘッドの材料は、アルミニウム等の導電性の非磁性体に限定されない。例えば、コイルヘッドの材料は、ガラスエポキシクロス等の非導電性の非磁性体であってもよい。この場合、渦電流の発生が抑制される、コイルヘッドが軽量化される、及び、コイルヘッドとコイルとの絶縁対策が不要になる等の効果がある。また、コイルヘッドの材料は、鉄等の磁性体であってもよい。
【００９６】
冷却媒体が流れる流路は、コイルに対向する放出口を介してコイルヘッドの外部へ開放されていなくてもよい。コイルに隣接する流路に冷却媒体が流れることによって、コイルの除熱がなされてもよい。また、冷却媒体は、空気に限定されない。例えば、冷却媒体は、水等の液体であってもよいし、窒素等の他の気体であってもよい。ただし、気体であれば、コイルに直接的に冷却媒体を触れさせることが容易である。
【００９７】
２つのリニアモータが互いに異なる方向を駆動方向として組み合わされ、ステージ等の駆動対象を駆動する場合、２つのリニアモータの駆動方向は、直交するものに限定されない。２つの駆動方向は互いに傾斜していてもよい。また、２つのリニアモータのストロークは、同一であってもよいし、第２の実施形態のように異なっていてもよい。
【００９８】
一のリニアモータ（１０１Ｘ）において、複数の磁石（１１１Ｘ）の幅方向（Ｘ軸方向）の大きさが複数のコイル（１１３Ｘ）の幅方向（Ｘ軸方向）の大きさよりも大きく設定される場合、その差は、当該一のリニアモータに組み合わされる他のリニアモータ（１０１Ｙ）のストロークと同等以上の大きさに限定されない。他のリニアモータのストロークよりも小さくてもよい。例えば、上記の差は、他のリニアモータ（１０１Ｙ）の磁石（１１１Ｙ）の駆動方向（Ｙ軸方向）における１個分の大きさであってもよい。
【００９９】
また、組み合される他のリニアモータのストロークが確定していなくてもよい。例えば、一のリニアモータ（１０１Ｘ）において、複数の磁石（１１１Ｘ）の幅方向（Ｙ軸方向）の大きさが、複数のコイル（１１３Ｘ）の開口（１１３ｃ）の幅方向（Ｙ軸方向）の大きさに対して、複数の磁石（１１１Ｘ）の駆動方向（Ｘ軸方向）における磁石１個分の大きさ以上の差で大きい場合には、少なくとも、当該一のリニアモータ（１０１Ｘ）と同一のリニアモータが他のリニアモータとして組み合わせることにより、本願発明の効果が奏される。
【０１００】
第２の実施形態では、Ｘ軸リニアモータ１０１Ｘにおいて、幅方向（Ｙ軸方向）において、磁石１１１Ｘをコイル１１３Ｘよりも大きくすることにより、コイル１１３ＸがＹ軸方向に移動したときの推力の低下を抑制した。しかし、幅方向において、コイルを磁石よりも大きくすることにより、コイルが幅方向に移動したときの推力の低下を抑制してもよい。
【０１０１】
図１２は、そのような変形例に係るリニアモータ２０１の要部を示す模式的な平面図である。図１３は、リニアモータ２０１の要部を示す模式的な側面図である。
【０１０２】
リニアモータ２０１は、例えば、第２の実施形態のＸ軸リニアモータ１０１Ｘと同様に、Ｘ軸方向を駆動方向とするものであるとともに、Ｙ軸方向を駆動方向とする不図示のリニアモータと組み合わされるものである。
【０１０３】
リニアモータ２０１は、複数の磁石２１１がＸ軸方向に配列されて構成された磁石列２０３と、複数のコイル２１３がＸ軸方向に配列されて構成されたコイル列２０５とを有している。幅方向（Ｙ軸方向）において、コイル２１３の平行部２１３ａ（開口２１３ｃ）は、磁石２１１よりも大きい。従って、その差の範囲内でコイル２１３が磁石２１１に対して幅方向に移動したとしても、推力の低下は生じない。上記の差の大きさについては、幅方向において、磁石がコイルよりも大きい場合における差と同様に設定されてよい。
【符号の説明】
【０１０４】
１…リニアモータ、３…磁石列、５…コイル列、１１…磁石、１３…コイル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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