(57)【要約】【課題】検査対象の電気的検査と同時に、検査対象の変形を検査できるようにする。【解決手段】プローブピン（１）の変位により先端部（１ａ）と小径部（１ｂ）の境界部分が動く範囲の一部または全部をカバーするようにスリーブ（２）に電線を巻回しコイル（４）を設ける。【効果】プローブピン１の先端部１ａと小径部１ｂの境界部分の移動に応じてコイル４のインダクタンスが変化するため、変位出力がプローブピン１の変位に応じて変化する。すなわち、変位出力を見れば、プローブピン１の変位が判る。よって、検査対象の電気的検査と同時に、例えばＩＣチップのピンの飛び出し／へこみ、半田量の過不足、コネクタのコンタクトの飛び出し／へこみのような検査対象の変形を検査できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブピン（１）と、一端側の開口（２ａ）から前記プローブピン（１）の先端部（１ａ）を突出させて且つ前記プローブピン（１）を摺動可能に保持するスリーブ（２）と、前記スリーブ（２）の開口（２ａ）から前記プローブピン（１）が飛び出す方向に前記プローブピン（１）を付勢するコイルスプリング（３）とを備えてなる検査用プローブにおいて、前記スリーブ（２）に対する前記プローブピン（１）の相対変位量を測定するための変位量検出手段を設けたことを特徴とする検査用プローブ（１０）。
【請求項２】
請求項１に記載の検査用プローブ（１０）において、前記変位量検出手段は、前記プローブピン（１）の先端部（１ａ）と、前記先端部（１ａ）に連なる小径部（１ｂ）と、前記プローブピン（１）の変位により前記先端部（１ａ）と前記小径部（１ｂ）の境界部分が動く範囲の一部または全部をカバーするように前記スリーブ（２）に電線を巻回してなるコイル（４）とであることを特徴とする検査用プローブ（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査用プローブに関し、さらに詳しくは、プローブピンの先端と検査対象の電気的接続が出来るのと同時にプローブピンがスリーブ内に押し込まれた量を測定できるようにした検査用プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プローブピンを摺動可能にスリーブに保持した構造の検査用プローブが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【特許文献１】特開平２００６−１９４８０３号公報
【特許文献２】特開平０８−８０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の検査用プローブでは、プローブピンの先端が検査対象に当たると、プローブピンがスリーブ内に押し込まれ、プローブピンの後端が例えばコイルスプリングを押し、そのコイルスプリングの反発力が接触圧を提供し、その接触圧の下でプローブピンの先端と検査対象の電気的接続が出来るようになっている。
しかし、従来の検査用プローブでは、プローブピンがスリーブ内に押し込まれた量を測定できなかったため、検査対象の変形（例えばＩＣチップのピンの飛び出し／へこみ、半田量の過不足、コネクタのコンタクトの飛び出し／へこみ）を別の検査で調べねばならない不便があった。
そこで、本発明の目的は、プローブピンの先端と検査対象の電気的接続が出来るのと同時にプローブピンがスリーブ内に押し込まれた量を測定できるようにした検査用プローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の観点では、本発明は、プローブピン（１）と、一端側の開口（２ａ）から前記プローブピン（１）の先端部（１ａ）を突出させて且つ前記プローブピン（１）を摺動可能に保持するスリーブ（２）と、前記スリーブ（２）の開口（２ａ）から前記プローブピン（１）が飛び出す方向に前記プローブピン（１）を付勢するコイルスプリング（３）とを備えてなる検査用プローブにおいて、前記スリーブ（２）に対する前記プローブピン（１）の相対変位量を測定するための変位量検出手段を設けたことを特徴とする検査用プローブ（１０）を提供する。
上記第１の観点による検査用プローブ（１０）では、スリーブ（２）に対するプローブピン（１）の相対変位量を測定するための変位量検出手段を設けたので、プローブピン（１）の先端と検査対象の電気的接続が出来るのと同時に、プローブピン（１）がスリーブ（２）内に押し込まれた量を測定できる。従って、検査対象の電気的検査と同時に、検査対象の変形（例えばＩＣチップのピンの飛び出し／へこみ、半田量の過不足、コネクタのコンタクトの飛び出し／へこみ）を検査できる。
【０００５】
第２の観点では、本発明は、前記第１の観点による検査用プローブ（１０）において、前記変位量検出手段は、前記プローブピン（１）の先端部（１ａ）と、前記先端部（１ａ）に連なる小径部（１ｂ）と、前記プローブピン（１）の変位により前記先端部（１ａ）と前記小径部（１ｂ）の境界部分が動く範囲の一部または全部をカバーするように前記スリーブ（２）に電線を巻回してなるコイル（４）とであることを特徴とする検査用プローブ（１０）を提供する。
上記第２の観点による検査用プローブ（１０）では、スリーブ（２）に電線を巻回してコイル（４）を付加するだけなので、スリム化できる。従って、複数の検査用プローブ（１０）を狭いピッチで立設可能となり、ＩＣチップの検査や小型コネクタの検査に有用となる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の検査用プローブによれば、検査対象の電気的検査と同時に、検査対象の変形（例えばＩＣチップのピンの飛び出し／へこみ、半田量の過不足、コネクタのコンタクトの飛び出し／へこみ）を検査できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【０００８】
図１は、実施例１に係る検査用プローブ１０を示す正面断面図である。図２は、同上面図である。
この検査用プローブ１０は、プローブピン１と、スリーブ２と、コイルスプリング３と、コイル４とを備えている。
【０００９】
プローブピン１は、先端部１ａと、先端部１ａより小径の小径部１ｂと、先端部１ａと同径の基端部１ｃとからなり、金属（例えばＳＫ４やベリリウム銅など）にメッキ（例えばロジウムメッキ）を施した物である。
先端部１ａの一部はスリーブ２の開口２ｄから突出しているが、他は摺動可能にスリーブ２に保持されている。
【００１０】
スリーブ２は、プローブピン１の先端部１ａより僅かに大きな内径を有する先端部２ａと、プローブピン１の小径部１ｂより僅かに大きな内径を有する括れ部２ｂと、プローブピン１の基端部１ｃより僅かに大きな内径を有する基端部２ｃとからなり、真鍮にメッキ（例えば金メッキ）を施した物である。
括れ部２ｂは、プローブピン１の小径部１ｂに嵌っている。従って、プローブピン１は、ほぼ小径部１ｂの長さだけスリーブ２に対して摺動し相対変位しうる。
【００１１】
コイルスプリング３は、スリーブ２の基端部２ｃに内蔵され、スリーブ２の開口２ｄからプローブピン１が飛び出す方向にプローブピン１を付勢している。
【００１２】
コイル４は、スリーブ２の開口２ｄから先端部２ａの長さの約７５％までスリーブ２の外周に電線を巻回した物である。
【００１３】
数値例を示せば、プローブピン１の先端部１ａは、外径０．７ｍｍ、長さ５．７ｍｍである。小径部１ｂは、外径０．５ｍｍ、長さ３．７ｍｍである。スリーブ２の先端部２ａは、外径１．２ｍｍ、内径０．７２ｍｍ、長さ４ｍｍである。コイル４は、線径０．０６ｍｍのエナメル線を５０ターン×４層巻回しており、外径１．７ｍｍ、巻き幅３ｍｍである。
【００１４】
図３は、コイル４を含む変位測定回路２０の回路図である。
この変位測定回路２０は、発振回路２１と、発振回路２１の出力に応じた電圧を出力するバッファ２２と、バッファ２２に直列接続された抵抗２３と、抵抗２３に直列接続されたコイル４と、抵抗２３とコイル４の直列回路を介してバッファ２２で充放電されるキャパシタンス２５と、キャパシタンス２５の充電電圧が上昇時閾値ＶthHより高くなった時に「Ｌ」を出力し下降時閾値ＶthL（＜ＶthH）より低くなった時に「Ｈ」を出力する反転出力コンパレータ回路２６と、発振回路２１の出力と反転出力コンパレータ回路２６の出力の論理積を出力するＡＮＤ回路２７と、ＡＮＤ回路２７の出力の単位時間当たりの面積に比例した電圧を変位出力として出力する平滑回路２８とを具備している。
なお、上記変位測定回路２０は特開２００４−６９４１５号公報に詳細に開示されている。
【００１５】
変位測定回路２０によれば、プローブピン１の先端部１ａと小径部１ｂの境界部分の移動に応じてコイル４のインダクタンスが変化するため、変位出力がプローブピン１の変位に応じて変化する。すなわち、変位出力を見れば、プローブピン１の変位が判る。
【００１６】
図４は、ホルダＨに複数の検査用プローブ１０−１，１０−２，１０−３を保持し、回路パターンＰａ，Ｐｂ，Ｐｃ上の半田ａ，ｂ，ｃに接触させ、回路の電気的検査を行っている状態を示している。
この時、検査用プローブ１０−１，１０−２，１０−３でプローブピン１−１，１−２，１−３の変位を測定すれば、半田ａ，ｂ，ｃの付着量の適否の検査を同時に行うことが出来る。
【００１７】
実施例１の検査用プローブ１０によれば、検査対象の電気的検査と同時に、検査対象の変形（例えばＩＣチップのピンの飛び出し／へこみ、半田量の過不足、コネクタのコンタクトの飛び出し／へこみ）を検査することが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明の検査用プローブは、例えばＩＣチップの検査、回路の検査、コネクタの検査に利用することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１に係る検査用プローブを示す正面断面図である。
【図２】実施例１に係る検査用プローブを示す上面図である。
【図３】実施例１に係る変位測定回路を示す回路図である。
【図４】回路の電気的検査を行っている状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１                          プローブピン
１ａ                        先端部
１ｂ                        小径部
１ｃ                        基端部
２                          スリーブ
２ａ                        先端部
２ｂ                        括れ部
２ｃ                        基端部
３                          コイルスプリング
４                          コイル
１０                        検査用プローブ
２０                        変位測定回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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