(57)【要約】      （修正有）【課題】製作と保守が容易な基板検査治具及びその基板検査治具に用いられる接触子を提供する。【解決手段】接触子２は、導電性で長尺の棒状部材２１と、他方側に配置される大径部２２と、棒状部材２１に貫通されるコイルばね２３と、棒状部材２１の他端を内側に収納する円筒部材で、他端側が先細形状の接続端子２４からなる。接触子保持体３は、接触子２の一端を被検査基板の検査点へ案内する案内孔３１１と、他端を基板検査装置に接続される電極部４１へ案内し、コイルばね２３と接続端子２４を収容する接続孔３５１を有し、接続孔３５１の径は、棒状部材２１の径よりも大きく、大径部２２の径よりも小さく形成されている第一孔３３１と、大径部２２よりも径が大きい第二孔３３２からなり、案内孔３１１のピッチは電極部４１のピッチより小さい。【選択図】図２
2010078432.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具であって、
前記基板検査治具は、
両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する接触子を複数備える接触子群と
前記接触子群を保持する接触子保持体と
前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置に接続される電極体を有し、
前記接触子は、
導電性で長尺の棒状部材と、
前記棒状部材の他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、
前記大径部より他方側に、前記棒状部材に貫通されるコイルばねと、
前記棒状部材の他端を内側に収納する円筒部材で、他端側が先細形状の接続端子を有し、
前記接触子保持体は、
前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、
前記接触子の他端を前記電極部へ案内し、前記コイルばねと前記接続端子を収容する接続孔を有し、
前記接続孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、
前記案内孔のピッチは前記接続孔のピッチより小さいことを特徴とする基板検査治具。
【請求項２】
前記接触子保持体は、
前記接触子の一方端部を前記検査点に案内する前記案内孔が形成される案内板と、
前記接触子の他方端部を前記電極部に案内するとともに前記コイルばねと前記接続端子を内部に収容する前記接続孔を形成する接続板と、
前記棒状部材の径よりも大きいとともに、前記案内孔と前記接続孔を結ぶ直線上に形成される中間孔を具備する中間板を有する
ことを特徴とする請求項１の基板検査治具。
【請求項３】
前記接触子保持体が前記電極体に保持される場合に、
前記接触子のコイルばねは押圧されている
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査治具。
【請求項４】
前記大径部は、前記棒状部材の所定の位置に追加加工し形成されたことを特徴とする請求項１項の基板検査治具。
【請求項５】
被検査物の電気的特性を検査するために、被検査物の電気的特性を算出する検査装置の電極部と該検査物に予め設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための電気的接続治具に備えられる接触子であって、
一端が前記検査点に導通接触される導電性で長尺の棒状部材と、
前記棒状部材の他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、
前記大径部より他方側に、前記棒状部材に貫通されるコイルばねと、
前記棒状部材の他端を内側に収納する円筒部材で、他端が先細形状の前記電極部と導通接触する接続端子からなる
ことを特徴とする接触子。
【請求項６】
前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、
前記大径部はコイルばねの密巻部と前記棒状部材を接合して形成される
ことを特徴とする請求項５記載の接触子。
【請求項７】
前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、
前記大径部はコイルばねの密巻部と前記棒状部材を接合して形成される
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査治具及び接触子に関し、より詳しくは、微細なピッチの検査点の検査が容易に出来る基板検査治具及びそれに用いられる接触子に関する。
尚、本発明はプリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなどの種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板上などに設けられる配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回線配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判断される。
【０００３】
このような判定検査には、配線パターンの断線及び短絡を検査する検査方法が実施されている。このような断線の検査では、検査対象となる配線パターンの２箇所以上の端点に設けられる検査点に、夫々１つずつ接触子を当接させ、その接触子間に所定レベルの測定用電流を流すことによって、その接触子間の電圧値を測定し、この電圧値と予め定められた閾値を比較することにより良否の判定が行われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、このような検査に用いられる基板検査治具には以下のものが存在する。
特許文献１に記載される「回路基板検査装置のテストヘッド」では、接触ピン（文献１符号１）がコイルばね（文献１符号Ｓ）と受けピン（文献1符合３）に挿通された構成のテストヘッドが開示されている。
特許文献２に記載される「プローブピン及びコンタクタ」では、プローブピン本体（文献２符合１１）とコイルスプリング（文献２符合１２）を一体化する構成が開示されている。
特許文献３に記載される「プローブ、・・・」では、プローブ本体（文献３符合１１０）がスプリング（文献３符合１２０）とガイド管（文献３符合１３０）に挿通された構成のプローブユニットが開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特許3369492
【特許文献２】特開2004-85260
【特許文献３】特開2008-26248
【０００６】
しかしながら、特許文献１乃至３に開示された接触子の部材は切削加工で形成されてコストが掛かることと、接触子が平行な垂直構成で先端と基端が同じピッチとなり、検査点の最小ピッチがコイルばねの外径に制約される共通の問題を有していた。
文献１のテストヘッドにおいては、接触ピン（文献１符合１）の交換にヘッドブロック（文献１符合４）のピンブロック（文献１符合１５）とばねブロック（文献１符合１６）を分離する必要があり作業が複雑になる。
文献２のプローブピン本体（文献２符合１１）の螺旋溝（文献２符合１１Ｄ）の加工形成が複雑でコストが掛かる。
文献３のプローブ支持部(文献３符合２００）へのプローブ（文献３符合１００）の挿入において、第二ガイド板（文献３符合２２０）の板厚が薄いので、第一ガイド板（文献３符合２１０）への挿入が容易でなく組立も複雑になる。上記した各々の問題がある。
【０００７】
近年、基板の微細化と高密度化が進み、接触子の微細化（高単価化する）と検査点の増加とが相乗して、全体価格が騰貴し基板検査治具のコストが重要な課題となっている。
たとえば、一つの形態として、多層基板製造法のビルドアップ工法が微細高密度基板において主流になり、ビア（層間接続）の抵抗値を四端子測定（１つの検査点に電流用と電圧用の２本の接触子を設定）する低抵抗検査の要求が増え接触子を２倍にすることになり、コストと検査ピッチを最小化する必要がある。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので微細ピッチにも製作と保守を容易にし、コスト低減を図ることができる基板検査治具及び接触子を提供する。
【０００８】
請求項１記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置と該被検査基板の配線パターンに設けられている複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具であって、前記基板検査治具は、両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記検査点に圧接される導電性を有する接触子を複数備える接触子群と、前記接触子群を保持する接触子保持体と、前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された電極部を備える、前記基板検査装置に接続される電極体を有し、前記接触子は、導電性で長尺の棒状部材と、前記棒状部材の他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、前記大径部より他方側に、前記棒状部材に貫通されるコイルばねと、前記棒状部材の他端を内側に収納する円筒部材で、他端側が先細形状の接続端子を有し、前記接触子保持体は、前記接触子の一端を前記被検査基板の検査点へ案内する案内孔と、前記接触子の他端を前記電極部へ案内し、前記コイルばねと前記接続端子を収容する接続孔を有し、前記接続孔の径は、前記棒状部材の径よりも大きく、前記大径部の径よりも小さく形成されている第一孔と、第一孔と連通連結される前記大径部よりも径が大きい第二孔からなり、前記案内孔のピッチは前記接続孔のピッチより小さいことを特徴とする基板検査治具を提供する。
請求項２記載の発明は、前記接触子保持体は、前記接触子の一方端部を前記検査点に案内する前記案内孔が形成される案内板と、前記接触子の他方端部を前記電極部に案内するとともに前記コイルばねと前記接続端子を内部に収容する前記接続孔を形成する接続板と、前記棒状部材の径よりも大きいとともに、前記案内孔と前記接続孔を結ぶ直線上に形成される中間孔を具備する中間板を有することを特徴とする請求項１の基板検査治具を提供する。
請求項３記載の発明は、前記接触子保持体が前記電極体に保持される場合に、前記接触子のコイルばねは押圧されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査治具を提供する。
請求項４記載の発明は、前記大径部は、前記棒状部材の所定の位置に追加加工し形成されたことを特徴とする請求項１項の基板検査治具を提供する。
請求項５記載の発明は、被検査物の電気的特性を検査するために、被検査物の電気的特性を算出する検査装置の電極部と該検査物に予め設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための電気的接続治具に備えられる接触子であって、一端が前記検査点に導通接触される導電性で長尺の棒状部材と、前記棒状部材の他方側に配置される該棒状部材の径よりも大きく形成される大径部と、前記大径部より他方側に、前記棒状部材に貫通されるコイルばねと、前記棒状部材の他端を内側に収納する円筒部材で、他端が先細形状の前記電極部と導通接触する接続端子からなることを特徴とする接触子を提供する。
請求項６記載の発明は、前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、前記大径部はコイルばねの密巻部と前記棒状部材を接合して形成されることを特徴とする請求項５記載の接触子を提供する。
請求項７記載の発明は、前記コイルばねは密巻部と疎巻部からなり、前記大径部はコイルばねの密巻部と前記棒状部材を接合して形成されることを特徴とする請求項１記載の基板検査治具を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１又は５記載の発明によれば、棒状部材の検査点側が長く、少し傾斜させることで検査点の位置を電極部に比べ小さくすることができ、微小ピッチの検査が容易にできる。そして、接触子保持体が電極体と着脱可能で基板検査治具の組立と保守が容易にできる。
請求項２記載の発明によれば、案内孔と収容孔を結ぶ直線上に形成される中間孔を具備する中間板を備えることにより、接触子を接触子保持体に装着する際に接触子を接続孔側から容易に中間孔を経由させて案内孔に挿通させることができる。
請求項３記載の発明によれば、電極部と接触子が安定した導通接触状態になる。そして、棒状部材の案内板からの突出量を均一にすることができる。
請求項４記載の発明によれば、大径部を切削加工で形成しないので、加工を実施の際の切り屑が殆ど発生することがなく、コスト低減を行うことができる。
請求項５記載の発明によれば、棒状部材が長尺であるので少し傾斜して保持されることで、一端側と他端側の接触子の配置を少し移動することができ、微小ピッチの検査が容易にできる。そしてコイルばねに棒状部材を挿通することでインダクダンスの低減が図れる。
請求項６及び７記載の発明によれば、大径部をコイルばねの密巻部で形成するので、粗巻部に応力が均等に掛かりコイルばねの特性と寿命を確保できる。そして、コスト低減にもなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る基板検査治具１を使用する場合の全体の概略構成を示している。この図１では、基板検査治具１は、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に保持する接触子保持体３、この接触子保持体３を支持するとともに接触子２と接触して導通となる電極部４１を有する電極体４、電極部４１とコネクタ４５を接続するリード線４４及びベース板４６を示している。
接触子２は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接触子保持体３は接触子２と電極部４１を電気的に接続する。
本発明は、この基板検査治具１に関する発明であり、特に、接触子２と接触子２を保持する接触子保持体３の構造に関する。
尚、説明に示す図は概略を示す図であり、接触子２の本数やリード線４４の本数は特に限定されるものではない。また、図面中で示される接触子２や電極部４１は、説明の都合上一本分の構造しか開示しておらず、実際の基板検査治具１では複数の接触子２やその接触子２に対応する複数の電極部４１を有している。
【００１１】
図２は、本発明にかかる基板検査治具１が組み立てられた際の断面図である。
この接触子２は、一方が基板に設定される検査点（図示せず）に導通接触され、他方が後述する電極部４１と導通接触する導電性を有する複数の部材から構成されている。この接触子２は、検査点から電極部４１へ、または電極部４１から検査点へ電気信号の伝送を行うことになる。
【００１２】
接触子２は、図２で示す如く、棒状部材２１、大径部２２、コイルばね２３と接続端子２４を有してなる。この接触子２が電極部４１と検査点を電気的に接続することになる。
棒状部材２１は棒状に形成される長尺の部材であり、特に限定されていないが円柱形状に形成される。
この棒状部材２１の一方端部は図２で示すが如き、湾曲形状や半球状又は尖鋭形状に形成されることが好ましい。このように棒状部材２１の一方端部が上記の如き形状を有するように形成されることで検査点に接触する場合に安定して接触することができる。棒状部材２１の他方端部の形状は特に限定されていないが湾曲形状や半球状が好ましい。
【００１３】
この棒状部材２１は、導電性を有する部材（導電物質）で形成されており、例えば、ＳＫ鋼(SKH)、ベリリウム銅（BeCu）をあげることができる。棒状部材２１は、検査点と大径部２２にその両側が圧接された場合に、略撓みが無い程度の強度を有することが好ましい。このような強度を接触子２が有することで、コイルばね２３の付勢により検査点に圧接状態を維持することができ、コイルばね２３の伸縮方向の圧接力を提供することができる。
棒状部材２１の長さや太さは特に限定されるものではなく、その使用に応じて適宜変更することができるとともに、被検査基板に形成される検査点のピッチやその形状と大きさに合わせて適宜設定される。
この棒状部材２１の長さや径の大きさは、特に限定されるものではなく使用者により適宜に設定されるが、例えば、その長さを、３０〜４０ｍｍに形成されることができ、また、その径の大きさを、０．２〜０．４ｍｍに形成することができる。
【００１４】
大径部２２は、図２で示す如く、棒状部材２１の他端側の所定の箇所に設けられる。この大径部２２は、棒状部材２１の径よりも大きい径を有するように、棒状部材２１の側周縁を覆うように形成されている。この大径部２２は導電性の物質から形成されることが好ましく、大径部２２と棒状部材２１を導通接続されていることが好ましい。
この大径部２２の径の大きさは特に限定されていないが、後述するコイルばね２３の外径と同様に形成される。また、大径部２２の長軸方向の長さは、棒状部材２１の長軸方向の長さに応じて適宜調整されるため特に限定されないが、２〜３ｍｍの長さを有するように形成される。
【００１５】
この大径部２２が設けられる場所は、棒状部材２１の電極部４１に接触する側に形成されていることが好ましく、後述する接触子保持体３の接続板３５の内部に収容される位置に形成される。この大径部２２が棒状部材２１の径よりも大きい径を有するように形成されることにより、接触子保持体３に接触子２を装着した場合に、この大径部２２により接触子保持体３から抜け出ることを防止することができるとともに、接触子２に後述する初期荷重を掛けて一端側の高さを揃えることができる。
尚、図２で示される大径部２２は棒状部材２１の所定位置の外周を覆うように設けられているが、切削加工にて一体型に形成することもできるが、切削の切り屑が発生し資源とコスト的には好ましくない。
【００１６】
図４ａで示す如く、大径部２２は、パイプやリング形状の部材を溶接等で接合することで形成することができる。
図４ｂで示す如く、大径部２２は、密巻ばねを溶接等で接合することでも形成することができる。
図４ｃで示す如く、大径部２２は、棒状部材をかしめ加工することでも形成することができる。この様に追加加工にて大径部２２を付加することが簡単でコスト的にも好ましい。
【００１７】
コイルばね２３は棒状部材２１を内部に収容し、棒状部材２１を貫通保持した状態になるように配置される。このコイルばね２３は、棒状部材と導通接触される。これはコイルばね２３の線抵抗とインダクダンスの低減にもなる。
コイルばね２３が設けられる場所は棒状部材２１の大径部２２より他端側に配置されている。コイルばね２３は、図２で示される如く、棒状部材２１のコイルばね保持部２１１よりも短く形成されており、棒状部材２１の他方端部がコイルばね２３から延出するように形成されている。
このコイルばね２３は、ピアノ線、ステンレス鋼、ベリリウム銅（BeCu）やタングステン（W）などの導電性を有する部材で形成されており、棒状部材２１のコイルばね保持部２１１に保持され、大径部２２で係止され導通接触されている。コイルばね２３は棒状部材２１の長軸方向に伸縮することになる。
【００１８】
接触子２の他端を形成する接続端子２４は、棒状部材２１の他端を内側に収納する円筒部材であって、一端側を開口形状にされ、他端側を先細形状に形成されている。
先細形状であることで、電極部４１の表面が平面の場合導通接触が容易になる。そして電極部４１の径が小さい場合にも導通接触を確実にすることができる。
この接続端子２４は、コイルばね２３と導通接続されており、図２で示される如く、接続端子２４の円筒部材の一端側の端面とコイルばね２３の他端側の端部とが圧接されている。このため、接触子２の一方端が検査点に押圧されると、コイルばね２３が伸縮するとともに棒状部材２１が接続端子２４の内部へ挿入されることになる。
また、この接続端子２４を設けることにより、接触子２が傾斜して配置されている場合であっても（図２では、向かって右側の接触子は検査治具の面に対して直角に配置されているが、左側の接触子が傾斜して配置されている）、接続端子２４がその傾斜によるずれを吸収することができ、安定して棒状部材２１を保持することができる。
【００１９】
本発明の接触子２は、上記の如く、棒状部材２１、大径部２２、コイルばね２３、接続端子２４を具備してなるが、大径部２２はコイルばね２３を利用して形成することができる。
図３で示される接触子２の一実施形態の断面図では、大径部２２がコイルばね２３の密巻部２３１と棒状部材２１とが溶接等で接合されて形成されている。
【００２０】
コイルばね２３が一端側を密巻部２３１として形成し、連続して他端側へこの密巻部２３１からばねの巻きが粗い粗巻部２３２として形成される。この粗巻部２３２が圧縮ばねの特性を受け持つことになる。コイルばね２３の伸縮時の応力は粗巻部２３２に均質に掛かり、特性と寿命を確保できる。
コイルばね２３の内径について、粗巻部２３２は棒状部材２１より僅かに大きいことが摩擦上好ましい。そして、密巻部２３１は接合が可能な範囲にあることが好ましい。
【００２１】
接触子保持体３は、複数の接触子２を保持する。この接触子保持体３は、各接触子２の一端を予め設定される検査点へ案内し、各接触子２の他端を予め設定される電極部４１へ案内する。
この接触子保持体３は、複数の絶縁板と円柱３６で形成されていることが好ましい。図２で示される接触子保持体３では、案内板３１、中間板３２、接続板３５を有している。
複数の検査点の位置に対し各々に対応する電極部４１の位置は長尺の接触子２を少し傾斜させることで移動することができる。これは、接触子２が長いことと一端側の径が他端側より小さいことを利用して、微小ピッチの検査を容易にする。
【００２２】
案内板３１は、接触子２の一端を検査点へ案内するための案内孔３１１を有している。この案内孔３１１は、接触子２の棒状部材２１の径よりも僅かに大きく形成されている。このため、接触子２を接触子保持体３に装着した場合には、接触子保持体３の案内板３１の案内孔３１１から接触子２が突出された状態になる。この場合、複数の接触子２の検査点の最小ピッチは案内孔３１１と絶縁壁３１２の厚さの和になる。
なお、図２で示される案内孔３１１は、径の相違する二つの孔を連通連結することで形成されているが、複数の相違する径の孔を連通連結することで形成しても、一つの径を有する孔から形成されてもよい。
【００２３】
中間板３２は、接触子２を接触子保持体３に装着する場合、接続板３５の接続孔３５１から接触子２を案内孔３１１へ挿入する場合の挿入を案内する中間孔３２１を有している。この中間孔３２１は、中間板３２を貫通するように形成されている。
この中間孔３２１は、案内孔３１１より大きい径を有する孔で、位置は案内孔３１１と接続孔３５１を結ぶ直線上に形成されて接触子２の挿入を容易にする。
中間板３２は、接触子２を圧接した場合に棒状部材２１が撓んで相互に接触して短絡を防止することができるので、複数枚の構成としても有効である。
【００２４】
接続板３５は、第一収容板３３と第二収容板３４を積層してなる。接続板３５と中間板３２及び中間板３２と案内板３１の間は円柱３６で間隔を取っている。
第一収容板３３は、棒状部材２１の径よりも径が大きく、大径部２３の径よりも径が小さい第一孔３３１が形成され、接触子２が係止される。そして、第一孔３３１と連通連結される大径部２２よりも径が大きい第二孔３３２が形成される。
【００２５】
第二収容板３４は、接続端子孔３４１を有している。この接続端子孔３４１は、第二孔３３２と同様に、接触子２のコイルばね２３、大径部２２及び接続端子２４を内部に収容できる。この接続端子孔３４１は、第二孔３３と連通連結される。
第一孔３３１、第二孔３３２と接続端子孔３４１が連通連結されて接続孔３５１が形成され、この接続孔３５１が接触子２の他方の端部を電極部４１へ案内する。
なお、第一収容板３３の第二孔３３２と接続端子孔３４１は同じ径を有する孔を形成されていることが好ましく、実質的に同等である。
複数の円柱３６は詳細しないが各絶縁板を同軸に組立が出来る構造になっている。同軸を確実にするには、全絶縁板を貫通する複数の貫通円柱を設定するのが好ましい。
【００２６】
接触子保持体３は、案内板３１、中間板３２、第一収容板３３及び第二収容板３４からなる接続板３５を有してなるが、接触子保持体３を容易に電極体４から着脱自在にする複数の基準ピンが電極体４に固定されている。このように、接触子保持体３が着脱自在に形成されていることにより、接触子２を接触子保持体３に装着する場合には、電極体４から接触子保持体３を取り外し、接続板３５の接続孔３５１を上側に、且つ案内板３１の案内孔３１１を下側に配置して、接触子２を一方の端部を下に向けて接続孔３５１から落とし入れることにより、接触子２が接触子保持体３に保持されることになる。
【００２７】
この接触子保持体３に接触子２が保持されて、電極体４に固定する場合には、接触子２のコイルばね２３が接続端子２４と接触子保持体３から押圧されて収縮して付勢状態で保持されることになる。つまり、接触子２は、検査点に接触される前に押圧されて、コイルばね２３が付勢状態の所定の初期荷重で保持されて電極部４１と導通接触している。
接触子２の棒状部材２１は、コイルばね２３の付勢を一方方向に受けて、案内板３１より均一な量の突起した状態で保持される。
【００２８】
電極体４の電極部４１は、各接触子２の他端と導通接触して、基板を検査する基板検査装置（図示せず）に接続される。
電極体４は、電極部４１、電極部保持板４２、リード線４４、コネクタ４５を有してなり、ベース板４６に支持されている。
図２の電極部４１は、電極部保持板４２の電極部孔４２１にリード線４４を挿通して、裏側から接着剤４３を充填して固定し、電極部保持板４２の表面を平面加工することで形成している。
【００２９】
リード線４４は、エナメル線や単線のリード線を用いることができる。そして、リード線４４の他端はコネクタ４５の該当の端子に半田付け等で接続される。
基板検査治具１に使用の部材のめっき処理について、棒状部材２１、大径部２２、コイルばね２３、接続端子２４及び電極部４１の表面は金めっき仕上げが好ましい。本発明の機能として接触接続の信頼性に欠かせない導電性部材に対する表面処理である。
以上が、本基板検査治具の構成の説明である。
【００３０】
次に本発明にかかる基板検査治具の組立について説明する。
基板検査治具１は電極体４と接触子保持体３が着脱自在に構成されており、個別に平行して作業が可能である。
接触子保持体３の組立について、第二収容板３４の上に第一収容板３３を積層し円柱３６を複数箇所に固定して接続板３５を形成する。円柱３６を使用することで積層した各板は同軸上に組立ができる構成になっている。次に中間板３２を積層し円柱３６を固定する。最後に案内板３１を積層し固定する。これで接触子保持体３の組立は完了する。
接触子２の接触子保持体３への挿入前の予備作業について説明する。
大径部２２を上記の何れかの方法で棒状部材２１に加工付加する。コイルばね２３を棒状部材２１の大径部２２の他端側に装着する。なお、大径部２２がコイルばね２３の密巻部２３１からなる場合はその必要がない。
接触子２の装着について説明する。接触子２は、接触子保持体３の案内板３１を下側に、接続板３５を上側にして接触子保持体３により保持される。そして、棒状部材２１の一方端部を接続孔３５１に挿入し、次に該当する中間孔３２１に挿入する。最後に該当する案内孔３１１に挿入する。全ての接続孔３５１に棒状部材２１とコイルばね２３を同時に挿入する。
最後に接続端子２４を接続孔３５１の棒状部材２１の他端の全てについて挿入する。
【００３１】
接触子保持体３の装着について、電極体４と接触子保持体３を９０度回転し、接触子２が水平になる状態で対向させて、接触子保持体３を基準ピンに合わせて積層し固定する。
【００３２】
接触子２の交換について、基板検査治具１を９０度以上回転して、接触子保持体３を取り外す。次に不良の接触子２を取り外し、良品の接触子２を挿入する。この交換を不良箇所全てについて行う。最後に接触子保持体３を装着し完了する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る基板検査治具を使用する場合の一実施形態の概略構成を示している。
【図２】本発明にかかる基板検査治具が組み立てられた際の断面図である。
【図３】本発明にかかる接触子の断面図である。
【図４】本発明にかかる大径部の形態の正面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１・・・・基板検査治具
２・・・・接触子
２１・・・棒状部材
２２・・・大径部
２３・・・コイルばね
２３１・・密巻部
２３２・・粗巻部
２４・・・接続端子
３・・・・接触子保持体
３１・・・案内板
３１１・・案内孔
３２・・・中間板
３２１・・中間孔
３３・・・第一収容板
３３１・・第一孔
３３２・・第二孔
３４・・・第二収容板
３４１・・接続端子孔
３５・・・接続板
３５１・・接続孔
３６・・・円柱
４・・・・電極体
４１・・・電極部
４２・・・電極部保持板
４４・・・リード線
４５・・・コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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