(57)【要約】【課題】強度の高いメッシュであって、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布することを可能とするメッシュを提供することを目的とする。【解決手段】メッシュが形成される所定の矩形領域の中央部に複数の同一形状の孔が規則的に形成する。特に所定の矩形領域の端部には上記形状を成す外形線と所定の矩形領域を成す辺とにより孔が形成し、所定の矩形領域の端部に形成された孔の形状は対向する端部に形成された孔の形状と対称な形状とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクの印刷パターン開口用のメッシュであって、所定の略矩形領域内にハニカム構造状の複数の六角形の孔が形成されたメッシュであり、
上記所定の略矩形領域の端部には上記六角形の一部の辺と上記所定の略矩形領域を成す辺とにより多角形の孔が形成され、上記所定の略矩形領域の端部に形成された多角形の孔は対向する端部に形成された多角形の孔と線対称の形状である
ことを特徴とするマスクの印刷パターン開口用のメッシュ。
【請求項２】
上記所定の略矩形領域の端部のうち、左右の端部又は上下の端部に有する多角形の孔であって、角を除く端部に形成された多角形の孔は、上記六角形の開口面積と同一の開口面積を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のマスクの印刷パターン開口用のメッシュ。
【請求項３】
上記複数の六角形の孔の各六角形の孔は、正六角形の孔であり、一辺が上記所定の略矩形領域を成す辺の中の特定の辺と平行に形成された
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のマスクの印刷パターン開口用のメッシュ。
【請求項４】
上記マスクの印刷パターン開口用のメッシュは、スキージが移動することにより印刷を行うスクリーン印刷に用いられるマスクの印刷パターン開口用のメッシュであり、
上記複数の六角形の孔の各六角形の孔は、上記スキージの移動方向と平行な辺を有する
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載のマスクの印刷パターン用のメッシュ。
【請求項５】
略矩形領域の大きさ又は方向が異なる多数の印刷パターンに請求項１から４までのいずれかに記載のマスクの印刷パターン開口用のメッシュを備えることを特徴とするマスク。
【請求項６】
略矩形領域の大きさ又は方向が異なる多数の印刷パターンに請求項１から４までのいずれかに記載のマスクの印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられメッシュが成形された上記印刷パターン開口に重なる部分にメッシュ無しの印刷開口を有する層とを備えることを特徴とする２層構造マスク。
【請求項７】
所定の略矩形領域内に複数の同一形状の孔がリブを介して規則的に並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
正規形状の図形のサイズであって、上記正規形状の図形を上記リブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まるサイズを計算する計算ステップと、
上記計算ステップで計算したサイズの正規形状の図形を上記所定の略矩形領域を覆うように上記リブを間に挟みながら規則的に並べるステップであって、上記所定の略矩形領域を成す辺と並べた正規形状の図形の外形線とから構成された変形形状の図形が、対向する端部の変形形状の図形と対称な形状となるように上記正規形状の図形を並べる敷詰ステップと、
上記敷詰ステップで並べた正規形状の図形と、上記変形形状の図形とを孔とするメッシュパターンデータを生成するデータ生成ステップと
を備えることを特徴とするメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項８】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、
所定の略矩形領域内にハニカム構造状に複数の六角形の孔が並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
上記計算ステップでは、所定の幅のリブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まる六角形の幅であって、縦方向又は横方向の幅が所定の幅以上で上記所定の幅に近い六角形の幅を計算し、
上記敷詰ステップでは、上記計算ステップで計算した幅の六角形を、上記所定の略矩形領域を覆うようにハニカム構造状に間に上記リブを挟みながら、上記所定の略矩形領域を成す辺と並べた六角形の一部の辺とから構成された多角形が対向する端部の多角形と対称な形状となるように並べ、
上記データ生成ステップでは、上記敷詰ステップで並べた六角形と、上記多角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成する
ことを特徴とする請求項７に記載のメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項９】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、さらに、
上記所定の略矩形領域の端部のうち、左右の端部又は上下の端部に形成された多角形であって、角を除く端部に形成された多角形の面積が、上記六角形の面積と同一の面積となるように調整する調整ステップ
を備えることを特徴とする請求項８に記載のメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項１０】
上記調整ステップでは、上記六角形の幅を縦方向又は横方向へ伸縮することにより調整する
ことを特徴とする請求項９に記載のメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項１１】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、さらに、
上記所定の略矩形領域の端部と上記六角形の一部の辺とから構成された多角形に所定の内接円が描けない場合には、上記多角形と隣接する六角形と上記多角形とを併合する併合ステップ
を備えることを特徴とする請求項８から１０までのいずれかに記載のメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項１２】
所定の略矩形領域内に複数の同一形状の孔がリブを介して規則的に並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
正規形状の図形のサイズであって、上記正規形状の図形を上記リブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まるサイズを計算する計算ステップと、
上記計算ステップで計算したサイズの正規形状の図形を上記所定の略矩形領域を覆うように上記リブを間に挟みながら規則的に並べる敷詰ステップと、
上記所定の略矩形領域を成す辺と上記敷詰ステップで並べた正規形状の図形の外形線とから構成された変形形状の図形が、対向する端部の変形形状の図形と対称な形状となるように上記敷詰ステップで並べた正規形状を調整する調整ステップと、
上記調整ステップで調整した正規形状の図形と変形形状の図形とを孔とするメッシュパターンデータを生成するデータ生成ステップと
を備えることを特徴とするメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項１３】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、
所定の略矩形領域内にハニカム構造状に複数の六角形の孔が並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
上記計算ステップでは、所定の幅のリブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まる六角形の幅であって、縦方向又は横方向の幅が所定の幅以上で上記所定の幅に近い六角形の幅を計算し、
上記敷詰ステップでは、上記計算ステップで計算した幅の六角形を上記所定の略矩形領域を覆うようにハニカム構造状に間に上記リブを挟みながら並べ、
上記調整ステップでは、上記所定の略矩形領域を成す辺と上記敷詰ステップで並べた六角形の一部の辺とから構成された多角形が、対向する端部の多角形と対称な形状となるように上記敷詰ステップで並べた六角形を調整し、
上記データ生成ステップでは、上記調整ステップで調整した六角形と多角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成する
ことを特徴とする請求項１２に記載のメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項１４】
複数の矩形領域を有する領域データを入力するデータ入力ステップと、
上記データ入力ステップで入力した領域データが有する複数の矩形領域の矩形領域毎に、その矩形領域に合わせたメッシュパターンを生成するメッシュパターン生成ステップと
を備えることを特徴とするメッシュパターンデータの作成方法。
【請求項１５】
請求項７から１４までのいずれかに記載のメッシュパターンデータの作成方法で生成したメッシュパターンデータを入力するデータ入力ステップと、
上記データ入力ステップで入力したメッシュパターンデータに基づき、基材に塗布されたレジストを露光し、現像してメッシュパターンの開口部分に対応するレジストパターンを形成する露光現像ステップと、
上記露光現像ステップで上記レジストパターンが形成された部分を除いて、上記基材に金属層をめっきにより形成する金属層生成ステップと、
上記レジストパターンを除去し、上記金属層から基材を剥離する除去剥離ステップと
を備えることにより、印刷パターン開口となる部分に上記メッシュパターンデータに基づくメッシュを形成する
ことを特徴とするマスク製造方法。
【請求項１６】
メッシュ無しの印刷開口を有する層を、請求項１５に記載のマスク製造方法により製造したメッシュを有する層に重ねて製造する２層構造マスク製造方法であり、
メッシュが形成された印刷パターン開口にメッシュ無しの印刷開口が重なるように、上記メッシュを有する層の一面に重ねてメッシュ無しの印刷開口を有する層を生成する
ことを特徴とする２層構造マスク製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、マスクの印刷パターン開口用のメッシュ（メッシュ板）であって、所定の開口パターンを有するメッシュに関する。また、本発明は、例えば、上記メッシュを用いて製造されたマスク、上記メッシュの製造方法、上記メッシュを製造するために使用するメッシュパターンデータの作成方法及び上記メッシュを用いたマスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
めっきにより形成され、印刷パターン開口を有する層と、めっきにより形成され、メッシュパターン開口を有する層とが積層された２層構造のマスクがある。特に、２層構造のマスクにおいて、印刷パターン開口の縁と重なる部分に、メッシュパターン開口を形成する網が鋭角でつながらないようにしたマスクがある（特許文献１参照）。これにより、印刷時に、印刷パターン開口の縁と重なる部分に形成されたメッシュパターン開口にインクペーストが詰まり固まってしまうことを防止している。
また、ハニカム構造状に複数の孔が形成されたメッシュがある（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００６−３４７０９９号公報
【特許文献２】特開平８−５２９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のメッシュには、メッシュ形成領域の端部に形成された孔の形状、サイズを他の部分（他の端部）に形成された孔の形状、サイズとの関係から制御して製造されたものはない。そのため、従来のメッシュでは、端部におけるインクペーストの透過量は、他の部分におけるインクペーストの透過量とは異なる。したがって、例えば、従来のメッシュを用いたマスクで印刷を行った場合、メッシュが形成された部分の端部に、他の部分と均一にインクペーストを塗布することができない。
また、メッシュ形成領域の端部におけるインクペーストの透過量を制御するため、端部に形成された孔の形状を、他の部分に形成された孔との規則性を無視して変形すると、メッシュの強度が低下する虞がある。
本発明は、強度の高いメッシュであって、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布することを可能とするメッシュを提供することを目的とする。また、上記メッシュを用いて製造されたマスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明に係るマスクの印刷パターン開口用のメッシュは、マスクの印刷パターン開口用のメッシュであって、所定の略矩形領域内にハニカム構造状の複数の六角形の孔が形成されたメッシュであり、
上記所定の略矩形領域の端部には上記六角形の一部の辺と上記所定の略矩形領域を成す辺とにより多角形の孔が形成され、上記所定の略矩形領域の端部に形成された多角形の孔は対向する端部に形成された多角形の孔と線対称の形状である
ことを特徴とする。
【０００５】
上記所定の略矩形領域の端部のうち、左右の端部又は上下の端部に有する多角形の孔であって、角を除く端部に形成された多角形の孔は、上記六角形の開口面積と同一の開口面積を有する
ことを特徴とする。
【０００６】
上記複数の六角形の孔の各六角形の孔は、正六角形の孔であり、一辺が上記所定の略矩形領域を成す辺の中の特定の辺と平行に形成された
ことを特徴とする。
【０００７】
上記マスクの印刷パターン開口用のメッシュは、スキージが移動することにより印刷を行うスクリーン印刷に用いられるマスクの印刷パターン開口用のメッシュであり、
上記複数の六角形の孔の各六角形の孔は、上記スキージの移動方向と平行な辺を有する
ことを特徴とする。
【０００８】
この発明に係るマスクは、略矩形領域の大きさ又は方向が異なる多数の印刷パターンに上記記載のマスクの印刷パターン開口用のメッシュを備えることを特徴とする。
【０００９】
この発明に係る２層構造マスクは、略矩形領域の大きさ又は方向が異なる多数の印刷パターンに上記記載のマスクの印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられメッシュが成形された上記印刷パターン開口に重なる部分にメッシュ無しの印刷開口を有する層とを備えることを特徴とする。
【００１０】
この発明に係るメッシュパターンデータの作成方法は、所定の略矩形領域内に複数の同一形状の孔がリブを介して規則的に並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
正規形状の図形のサイズであって、上記正規形状の図形を上記リブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まるサイズを計算する計算ステップと、
上記計算ステップで計算したサイズの正規形状の図形を上記所定の略矩形領域を覆うように上記リブを間に挟みながら規則的に並べるステップであって、上記所定の略矩形領域を成す辺と並べた正規形状の図形の外形線とから構成された変形形状の図形が、対向する端部の変形形状の図形と対称な形状となるように上記正規形状の図形を並べる敷詰ステップと、
上記敷詰ステップで並べた正規形状の図形と、上記変形形状の図形とを孔とするメッシュパターンデータを生成するデータ生成ステップと
を備えることを特徴とする。
【００１１】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、
所定の略矩形領域内にハニカム構造状に複数の六角形の孔が並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
上記計算ステップでは、所定の幅のリブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まる六角形の幅であって、縦方向又は横方向の幅が所定の幅以上で上記所定の幅に近い六角形の幅を計算し、
上記敷詰ステップでは、上記計算ステップで計算した幅の六角形を、上記所定の略矩形領域を覆うようにハニカム構造状に間に上記リブを挟みながら、上記所定の略矩形領域を成す辺と並べた六角形の一部の辺とから構成された多角形が対向する端部の多角形と対称な形状となるように並べ、
上記データ生成ステップでは、上記敷詰ステップで並べた六角形と、上記多角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成する
ことを特徴とする。
【００１２】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、さらに、
上記所定の略矩形領域の端部のうち、左右の端部又は上下の端部に形成された多角形であって、角を除く端部に形成された多角形の面積が、上記六角形の面積と同一の面積となるように調整する調整ステップ
を備えることを特徴とする。
【００１３】
上記調整ステップでは、上記六角形の幅を縦方向又は横方向へ伸縮することにより調整する
ことを特徴とする。
【００１４】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、さらに、
上記所定の略矩形領域の端部と上記六角形の一部の辺とから構成された多角形に所定の内接円が描けない場合には、上記多角形と隣接する六角形と上記多角形とを併合する併合ステップ
を備えることを特徴とする。
【００１５】
この発明に係るメッシュパターンデータの作成方法は、所定の略矩形領域内に複数の同一形状の孔がリブを介して規則的に並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
正規形状の図形のサイズであって、上記正規形状の図形を上記リブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まるサイズを計算する計算ステップと、
上記計算ステップで計算したサイズの正規形状の図形を上記所定の略矩形領域を覆うように上記リブを間に挟みながら規則的に並べる敷詰ステップと、
上記所定の略矩形領域を成す辺と上記敷詰ステップで並べた正規形状の図形の外形線とから構成された変形形状の図形が、対向する端部の変形形状の図形と対称な形状となるように上記敷詰ステップで並べた正規形状を調整する調整ステップと、
上記調整ステップで調整した正規形状の図形と変形形状の図形とを孔とするメッシュパターンデータを生成するデータ生成ステップと
を備えることを特徴とする。
【００１６】
上記メッシュパターンデータの作成方法は、
所定の略矩形領域内にハニカム構造状に複数の六角形の孔が並べられたメッシュパターンのメッシュパターンデータの作成方法であり、
上記計算ステップでは、所定の幅のリブを間に挟みながら上記所定の略矩形領域の縦方向又は横方向に並べると丁度収まる六角形の幅であって、縦方向又は横方向の幅が所定の幅以上で上記所定の幅に近い六角形の幅を計算し、
上記敷詰ステップでは、上記計算ステップで計算した幅の六角形を上記所定の略矩形領域を覆うようにハニカム構造状に間に上記リブを挟みながら並べ、
上記調整ステップでは、上記所定の略矩形領域を成す辺と上記敷詰ステップで並べた六角形の一部の辺とから構成された多角形が、対向する端部の多角形と対称な形状となるように上記敷詰ステップで並べた六角形を調整し、
上記データ生成ステップでは、上記調整ステップで調整した六角形と多角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成する
ことを特徴とする。
【００１７】
この発明に係るメッシュパターンデータの作成方法は、複数の矩形領域を有する領域データを入力するデータ入力ステップと、
上記データ入力ステップで入力した領域データが有する複数の矩形領域の矩形領域毎に、その矩形領域に合わせたメッシュパターンを生成するメッシュパターン生成ステップと
を備えることを特徴とする。
【００１８】
上記記載のメッシュパターンデータの作成方法で生成したメッシュパターンデータを入力するデータ入力ステップと、
上記データ入力ステップで入力したメッシュパターンデータに基づき、基材に塗布されたレジストを露光し、現像してメッシュパターンの開口部分に対応するレジストパターンを形成する露光現像ステップと、
上記露光現像ステップで上記レジストパターンが形成された部分を除いて、上記基材に金属層をめっきにより形成する金属層生成ステップと、
上記レジストパターンを除去し、上記金属層から基材を剥離する除去剥離ステップと
を備えることにより、印刷パターン開口となる部分に上記メッシュパターンデータに基づくメッシュを形成する
ことを特徴とする。
【００１９】
この発明に係る２層構造マスク製造方法は、メッシュ無しの印刷開口を有する層を、上記記載のマスク製造方法により製造したメッシュを有する層に重ねて製造する２層構造マスク製造方法であり、
メッシュが形成された印刷パターン開口にメッシュ無しの印刷開口が重なるように、上記メッシュを有する層の一面に重ねてメッシュ無しの印刷開口を有する層を生成する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るメッシュは、中央部には同一形状の孔が規則的に形成されており、中央部に均一にインクペーストを塗布することができる。また、本発明に係るメッシュは、端部には対向する端部に形成された孔と対称形状の孔が形成されており、対向する端部間で均一にインクペーストを塗布することができる。さらに、本発明に係るメッシュは、端部まで規則的に孔が形成されているため、強度が弱い部分がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
実施の形態１．
この実施の形態では、所定の矩形領域１０にハニカム構造状に複数の六角形（正規形状の図形の一例）の孔１１が形成されたメッシュ１について説明する。
【００２２】
図１は、この実施の形態に係るメッシュ１の開口形状を示す図である。
図１に示すように、この実施の形態に係るメッシュ１は、指定されたＸ×Ｙの矩形領域１０に、ハニカム構造状に複数の同一の六角形の孔１１が形成されている。矩形領域１０の中央部には六角形の孔１１が形成され、矩形領域１０の端部（周辺部）には六角形の孔１１を形成する六角形の一部の辺と矩形領域１０を成す辺とにより多角形（変形形状の図形の一例）の孔１２，１３が形成されている。特に、横方向（Ｘ方向）の端部を除く縦方向（Ｙ方向）の端部には、六角形の孔１１以外に、台形の孔１２が形成されている。また、横方向の端部には、五角形の孔１３が形成されている。各孔１１，１２，１３の間には所定の幅のリブ１４が形成されている。
矩形領域１０の端部に形成された多角形の孔１２，１３は、対向する端部に形成された多角形の孔１２，１３と線対称の形状である。また、矩形領域１０の横方向の端部に形成された五角形の孔１３の開口面積は、六角形の孔１１の開口面積と同一である。また、矩形領域１０の縦方向の端部に形成された台形の孔１２は、加工限界値以上の（加工限界値を示す内接円を描くことができる）大きさである。
以上のように、この実施の形態に係るメッシュ１は、矩形領域１０の中央部にはハニカム構造状に複数の同一の六角形の孔１１が形成されているため、矩形領域１０の中央部全体に均一にインクペーストを塗布することができる。また、矩形領域１０の横方向の端部には、六角形の孔１１と同一開口面積の五角形の孔１３が形成されているため、矩形領域１０の中央部とともに均一にインクペーストを塗布することができる。
さらに、この実施の形態に係るメッシュ１は、ハニカム構造状に孔が形成されているため強度が高い。
なお、開口面積が同一とは、上記効果が得られる程度に同一であれば足りる。
【００２３】
また、六角形の孔１１は、矩形領域１０の縦方向の端部を成す辺と一部の辺が平行な正六角形、又は、上記正六角形が横方向へ伸縮された六角形に形成されている。そのため、六角形の孔１１は、矩形領域１０の横方向の端部を成す辺と平行な辺を有さない。六角形の孔１１の一部の辺が矩形領域１０の縦方向の端部を成す辺と平行であるため、台形の孔１２、五角形の孔１３の一部の辺も縦方向の端部を成す辺と平行である。そのため、五角形の孔１３の辺のうち矩形領域１０の横方向の端部を成す辺により形成された辺を除き、台形の孔１２、五角形の孔１３は、横方向の端部を成す辺と平行の辺を有さない。
このメッシュ１を用いて製造したスクリーン印刷用のマスクを使って、スキージを摺動させて印刷を行う。この場合、スキージの移動方向に垂直な辺を有する孔がメッシュ１に存在すると、その孔へインクペーストが十分に充填されない虞がある。しかし、メッシュ１には矩形領域１０の横方向の端部を成す辺により形成された辺を除き矩形領域１０の縦方向と平行な辺を有する孔はない。そのため、矩形領域１０の横方向へスキージを移動させれば、各孔へ十分にインクを充填することができる。
【００２４】
なお、矩形領域１０は、概ね矩形であればよく、完全な矩形でなくてもよい。例えば、矩形領域１０は、矩形の角の部分に丸みを帯びていてもよい。
【００２５】
次に、この実施の形態に係るメッシュ１のメッシュパターンデータの作成方法について説明する。
図２は、メッシュ１のメッシュパターンデータを作成するメッシュパターン作成装置１００の機能を示す機能ブロック図である。図３は、メッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャートである。
メッシュパターン作成装置１００は、データ入力部１０１、計算部１０２、敷詰部１０３、併合部１０４、調整部１０５、データ生成部１０６を備える。メッシュパターン作成装置１００は、以下のように動作することで、メッシュパターンデータを作成する。
＜Ｓ１１：データ入力ステップ＞
データ入力部１０１は、矩形領域１０の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）と、六角形の孔１１の最低サイズと、リブ１４の幅と、加工限界値とを入力データとして入力して記憶装置に記憶する。
なお、以下の説明では、六角形の孔１１のサイズは六角形の幅で表す。六角形の幅とは、六角形の対向する２辺間の距離（図１のＳ１）である。なお、六角形が正六角形でない場合には、六角形の幅は、矩形領域１０の縦方向に対向する２辺間の距離とする。
また、六角形の孔１１の最低サイズを入力せず、単位面積（例えば、１インチ）当たりに形成したい孔の最大数（メッシュ数）を入力してもよい。この場合、入力されたメッシュ数とリブ１４の幅とから、六角形の孔１１の最低サイズを計算することができる。
＜Ｓ１２：計算ステップ＞
計算部１０２は、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら矩形領域１０の縦方向に並べると丁度（ぴったりと）収まる正六角形の幅であって、縦方向の幅が指定された幅以上で指定された幅に最も近い正六角形の幅Ｓ１を処理装置により計算する。
つまり、図４に示すように、計算部１０２は、矩形領域１０の上の端部を成す辺の一部を一辺とする正六角形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら同じ幅の正六角形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺の一部を一辺とする正六角形で終わる正六角形の幅Ｓ１を計算する。特に、計算部１０２は、データ入力ステップで入力された六角形の幅以上で入力された幅に最も近い幅Ｓ１を計算する。
＜Ｓ１３：敷詰ステップ＞
敷詰部１０３は、計算ステップで計算した幅の正六角形を矩形領域１０を覆うようにハニカム構造状に間にリブ１４を挟みながら処理装置により並べる。
例えば、図５に示すように、矩形領域１０の横方向中央から順に正六角形を並べる。つまり、まず、図５（ａ）に示すように、矩形領域１０の横方向の中心と、正六角形の横方向の中心とが一致するように、第１の列１５を並べる。第１の列１５とは、矩形領域１０の上の端部を成す辺の一部を一辺とする幅Ｓ１の正六角形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ１の正六角形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺の一部を一辺とする幅Ｓ１の正六角形で終わる列である。次に、図５（ｂ）に示すように、第２の列１６を、先に並べた第１の列１５の左右両隣にリブ１４を間に挟んで並べる。第２の列１６とは、矩形領域１０の上の端部を成す辺の一部を一辺とする幅Ｓ２の台形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ１の正六角形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺の一部を一辺とする幅Ｓ２の台形で終わる列である。ここで、上記台形は、幅Ｓ１の正六角形の一部の辺と矩形領域１０の端部を成す辺とから形成された台形である。幅Ｓ２とは、幅Ｓ１の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅である（Ｓ２＝（Ｓ１−Ｌ）／２）。そして、図５（ｃ）に示すように、矩形領域１０全体を覆うまで、第１の列１５と第２の列１６とをリブ１４を間に挟んで交互に並べる。
＜Ｓ１４：併合ステップ＞
併合部１０４は、矩形領域１０の横方向の端部に形成された多角形が加工限界値未満の場合には、多角形と隣接する正六角形と多角形とを併合する。
例えば、図６に示すように、横方向の端部に形成された多角形をその隣の正六角形と併合する。つまり、図６（ａ）に示すように、横方向の端部に形成された多角形が小さく、加工限界値未満の場合、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の正六角形又は台形の縦方向の端部と平行な辺を矩形領域１０の横方向の端部まで伸ばす。そして、図６（ｂ）に示すように、上記隣の正六角形の辺と矩形領域１０の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形を形成する。
＜Ｓ１５：形状面積調整ステップ＞
調整部１０５は、横方向の端部に形成された多角形の面積が、六角形の面積と同一の面積となるように処理装置により調整する。
調整部１０５は、横方向の端部に形成された多角形を横方向へ伸縮させるとともに、横方向の端部に形成された多角形が横方向へ伸縮されたことに伴い正六角形を横方向へ伸縮させる（形状調整ステップ）ことにより、面積を調整する。
例えば、図７に示すように、横方向の端部に形成された多角形の面積が正六角形の面積よりも大きい場合、横方向の端部に形成された多角形をそれぞれ横方向に収縮する。さらに、横方向の端部に形成された多角形が収縮された分だけ、正六角形を横方向に伸長する。そして、図７（ｂ）に示すように、横方向に収縮された横方向の端部の多角形の面積と横方向に伸長された六角形の面積とを同一面積にする（面積調整ステップ）。
＜Ｓ１６：データ生成ステップ＞
データ生成部１０６は、形状調整ステップ及び面積調整ステップで調整した六角形と多角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成して記憶装置に記憶する。
このメッシュパターンデータに基づき、メッシュ１を製造することで、図１に示すようなメッシュ１を製造することができる。メッシュ１の製造方法については後の実施の形態において説明する。
【００２６】
上記説明において、敷詰ステップ（Ｓ１３）では、横方向の中央から順に正六角形を並べた。しかし、図８に示すように矩形領域１０の端（図８では左端）から順に正六角形を並べてもよい。まず、図８（ａ）に示すように、矩形領域１０の縦方向に丁度収まるように並べられた幅Ｓ１の五角形の列を矩形領域１０の左の端部に並べる。ここで、上記五角形は、幅Ｓ１の正六角形の一部の辺と矩形領域１０の端部を成す辺とから形成された五角形である。つまり、図８（ａ）に示すように、矩形領域１０の上の端部を成す辺の一部を一辺とする幅Ｓ１の上記五角形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ１の上記五角形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺の一部を一辺とする幅Ｓ１の上記五角形で終わるように五角形を並べる。次に、図８（ｂ）に示すように、第２の列１６を先に並べた五角形の列との間にリブ１４を挟んで並べる。次に、図８（ｃ）に示すように、第１の列１５を先に並べた第２の列１６との間にリブ１４を挟んで並べる。そして、図８（ｄ）に示すように、第１の列１５と第２の列１６とを交互にリブ１４を間に挟んで並べる処理を、矩形領域１０全体を覆うまで続ける。
このように、左側から順に正六角形を並べた場合、横方向の端部に形成された多角形が線対称の形状にならない場合がある。この場合には、調整部１０５は、矩形領域１０を成す辺と敷詰ステップで並べた正六角形の一部の辺とから構成された多角形が、対向する端部の多角形と対称な形状となるように敷詰ステップで並べた六角形を処理装置により調整する形状調整ステップを敷詰ステップ（Ｓ１３）又は併合ステップ（Ｓ１４）の後に実行する。
例えば、図９に示すように、調整部１０５は、正六角形と多角形とを横方向へずらすことにより、横方向に形成された多角形を線対称となるように調整する。つまり、図９（ａ）に示すように、敷詰ステップで並べられた横方向の端部の多角形が非対称であるとする。すなわち、図９（ａ）では、左の端部の多角形の方が、右の端部の多角形よりも大きい。そこで、正六角形と多角形とを左へずらす。そして、図９（ｂ）に示すように、横方向の端部の多角形を線対称とする。
また、図１０に示すように、調整部１０５は、六角形の幅を横方向へ伸縮することにより、横方向に形成された多角形を線対称となるように調整してもよい。つまり、図１０（ａ）に示すように、図９（ａ）と同様に、敷詰ステップで並べられた横方向の端部の多角形が非対称であるとする。すなわち、図１０（ａ）では、左の端部の多角形の方が、右の端部の多角形よりも大きい。そこで、図１０（ｂ）に示すように、正六角形を左へ伸長して、横方向の端部の多角形を線対称とする。
【００２７】
なお、敷詰ステップ（Ｓ１３）での正六角形の敷き詰め方法は、上述した方法に限られず、どのような方法であっても構わない。しかし、上述した方法でない場合には、縦方向の端部に形成された多角形が加工限界値未満の可能性がある。この場合には、併合ステップ（Ｓ１４）で、横方向の端部だけでなく、縦方向の端部についても併合を行わなければならない場合がある。また、横方向の端部だけでなく、縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない可能性がある。縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない場合には、敷詰ステップ（Ｓ１３）又は併合ステップ（Ｓ１４）の後で線対称となるように調整する必要がある。
【００２８】
また、第２の列１６の縦方向の端部に形成される台形の孔１２の幅Ｓ２は、六角形の幅Ｓ１とリブ１４の幅Ｌとを用いて、「Ｓ２＝（Ｓ１−Ｌ）／２」と表せる。
つまり、第２の列１６の縦方向の幅Ｙは、「Ｙ＝２Ｓ１＋２Ｓ２＋３Ｌ」であり、第１の列１５の縦方向の幅Ｙは、「Ｙ＝３Ｓ１＋２Ｌ」である。したがって、「２Ｓ１＋２Ｓ２＋３Ｌ＝３Ｓ１＋２Ｌ」を「Ｓ２」について解けば上記「Ｓ２＝（Ｓ１−Ｌ）／２」が得られる。
そのため、データ入力ステップ（Ｓ１１）で六角形の幅の最小値Ｓを指定する際、（Ｓ−Ｌ）／２≧Ｋ（Ｋは加工限界値）を満たすような値を指定する必要がある。もし、上記式を満たさない六角形の幅の最小値Ｓを指定した場合、併合ステップ（Ｓ１４）で、横方向の端部だけでなく、縦方向の端部についても併合を行わなければならない場合がある。
【００２９】
また、以上に説明した方法によれば、図１１（ａ）に示すように、矩形領域１０の縦方向に六角形が３個以上入る場合だけでなく、図１１（ｂ）（ｃ）に示すように、１個や２個だけしか入らない場合であってもメッシュパターンデータを作成することができる。
【００３０】
実施の形態２．
この実施の形態では、所定の矩形領域１０に同一開口面積の複数の円形（正規形状の図形の一例）の孔２１が形成されたメッシュ２について説明する。
【００３１】
図１２は、この実施の形態に係るメッシュ２の開口形状を示す図である。
図１２に示すように、この実施の形態に係るメッシュ２は、指定されたＸ×Ｙの矩形領域１０の中央部に、同一開口面積の複数の円形の孔２１が規則的に配置されている。矩形領域１０の角（四隅）を除く端部には、円形の孔２１を形成する円周の一部と矩形領域１０を成す辺の一部を一辺とする長方形とにより舌状（変形形状の図形の一例）の孔２２が形成されている。矩形領域１０の角には、円形の孔２１を形成する円周の一部と矩形領域１０を成す２つの辺の一部を辺とするＬ字型の図形とにより略扇状（変形形状の図形の一例）の孔２３が形成されている。また、各孔２１，２２，２３の間には、円形の補助孔２４が形成されている。さらに、各孔２１，２２，２３，２４の間には、所定の幅以上のリブが形成されている。
また、矩形領域１０の端部に形成された舌状の孔２２、略扇状の孔２３は、対向する端部に形成された舌状の孔２２、略扇状の孔２３とそれぞれ線対称の形状である。特に、矩形領域１０の角を除く端部に形成された舌状の孔２２は、円形の孔２１の開口面積と同一の開口面積を有する。また、各孔２１，２２，２３，２４は、加工限界値以上の大きさである。
【００３２】
以上のように、この実施の形態に係るメッシュ２は、矩形領域１０の中央部には同一開口面積の複数の円形の孔２１が規則的に配置されているため、矩形領域１０の中央部全体に均一にインクペーストを塗布することができる。また、矩形領域１０の角を除く端部には、円形の孔２１と同一開口面積の舌状の孔２２が形成されているため、矩形領域１０の中央部とともに均一にインクペーストを塗布することができる。
また、この実施の形態に係るメッシュ２は、規則的に孔が形成されているため強度が高い。
【００３３】
次に、この実施の形態に係るメッシュ２のメッシュパターンデータの作成方法について説明する。
図１３は、メッシュ２のメッシュパターンデータを作成するメッシュパターン作成装置１００の機能を示す機能ブロック図である。図１４は、メッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャートである。
メッシュ２のメッシュパターンデータを作成するメッシュパターン作成装置１００の構成は、実施の形態１に係るメッシュパターン作成装置１００の機能に加え、変形部１０７、補助孔形成部１０８を備える。メッシュパターン作成装置１００は、以下のように動作することで、メッシュパターンデータを作成する。
＜Ｓ２１：データ入力ステップ＞
データ入力部１０１は、矩形領域１０の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）と、円形の孔２１の最低サイズと、リブ１４の幅と、加工限界値とを入力データとして入力して記憶装置に記憶する。
なお、以下の説明では、円形の孔２１のサイズは円の直径で表す。
また、円形の孔２１の最低サイズを入力せず、単位面積（例えば、１インチ）当たりに形成したい孔の最大数（メッシュ数）を入力してもよい。この場合、入力されたメッシュ数とリブ１４の幅とから、円形の孔２１の最低サイズを計算することができる。
＜Ｓ２２：計算ステップ＞
計算部１０２は、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら矩形領域１０の縦方向及び横方向に並べると丁度収まる円の直径Ｓ３であって、円の直径が指定された長さ以上で指定された長さに最も近い円の直径Ｓ３を処理装置により計算する。
つまり、図１５に示すように、計算部１０２は、矩形領域１０の上の端部を成す辺と接する円から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら同じ円を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺と接する円で終わる円の直径Ｓ３であって、矩形領域１０の左の端部を成す辺と接する円から始まって、幅のリブ１４を間に挟みながら同じ円を並べて、矩形領域１０の右の端部を成す辺と接する円で終わる円の直径Ｓ３を計算する。特に、計算部１０２は、データ入力ステップで入力された直径以上で入力された直径に最も近い円の直径Ｓ３を計算する。
＜Ｓ２３：敷詰ステップ＞
敷詰部１０３は、計算ステップで計算した直径Ｓ３の円を矩形領域１０を覆うようにリブ１４を間に挟みながら処理装置により規則的に並べる。
例えば、図１６に示すように、敷詰部１０３は、矩形領域１０に丁度収まるように円を並べる。つまり、矩形領域１０の上の端部を成す辺と接する円から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら同じ円を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺と接する円で終わる縦方向に丁度収まる列を、横方向へ丁度収まるように並べる。すなわち、縦方向に丁度収まる列を、矩形領域１０の左の端部を成す辺と接する列から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら同じ列を並べて、矩形領域１０の右の端部を成す辺と接する列で終わるように並べる。
＜Ｓ２４：変形ステップ＞
変形部１０７は、敷詰ステップで矩形領域１０の角を除く端部に並べられた円を変形して、端部へ線で接する舌状の図形を生成する。また、変形部１０７は、敷詰ステップで矩形領域１０の角に並べられた円を変形して、２つの端部へ線で接する図形を処理装置により生成する。
例えば、図１７に示すように、変形部１０７は、矩形領域１０の端部に並べられた円を変形する。まず、図１７（ａ）に示すように、矩形領域１０の端部に並べられた円を半分に分ける線であって、端部を成す辺と平行な線（平行線）を引く。次に、図１７（ｂ）に示すように、平行線の端部から矩形領域１０の端部を成す辺へ垂線を引く。そして、図１７（ｃ）（ｄ）に示すように、矩形領域１０の端部を成す辺の一部と平行線と垂線とから構成される図形と、円周の一部とから構成される図形を形成する。つまり、矩形領域１０の端部に並べられた円の一部に、一辺を上記所定の矩形領域を成す辺の一部とする長方形２５を接続する。その結果、矩形領域１０の角を除く端部に並べられた円は、端部へ線で接する舌状の図形となり、角に並べられた円は、２つの端部へ線で接する略扇状の図形となる。
＜Ｓ２５：面積調整ステップ＞
調整部１０５は、矩形領域１０の中央部（端部以外）に並べられた円の面積と、変形ステップで変形して生成した舌状体の面積とが同一面積となるように処理装置により調整する。
例えば、調整部１０５は、矩形領域１０の中央部に並べられた円の直径を長くして円を拡大するとともに、中央部に並べられた円が拡大されたことに伴い端部に形成された舌状体を縮小することにより、円と舌状体との面積が同一となるように調整する。
＜Ｓ２６：補助孔形成ステップ＞
補助孔形成部１０８は、矩形領域１０に形成された各図形の間のリブ１４に補助孔２４となる図形を形成する。
つまり、図１８（ａ）に示すように、横方向の隣の図形との間と縦方向の隣の図形との間とには、指定された幅Ｌ１のリブ１４が形成されているが、斜め方向の隣の図形との間には、幅Ｌ１よりも広い幅Ｌ２のリブ１４が形成されている。この幅Ｌ２のリブ１４には、加工限界値以上の大きさの図形を形成することができる場合がある。つまり、加工限界値以上の大きさの図形を形成しても、幅Ｌ１以上の幅のリブを各図形の間に残すことができる場合がある。そこで、幅Ｌ２のリブ１４に加工限界値以上の大きさの図形を形成することができる場合には、加工限界値以上の大きさの図形を形成する。図１８（ｂ）では、一例として加工限界値以上の大きさの円を形成している。
＜Ｓ２７：データ生成ステップ＞
データ生成部１０６は、調整ステップで調整した円と舌状体と角に形成された図形を孔として、補助孔形成ステップで形成した図形を補助孔２４とするメッシュパターンデータを生成して記憶装置に記憶する。
このメッシュパターンデータに基づき、メッシュ２を製造することで、図１２に示すようなメッシュ２を製造することができる。メッシュ２の製造方法については後の実施の形態において説明する。
【００３４】
なお、上記説明では、計算ステップ（Ｓ２２）において計算部１０２は、縦方向と横方向とのいずれにも丁度収まる円の直径であって、データ入力ステップで入力された直径以上で入力された直径に最も近い円の直径Ｓ３を計算した。しかし、計算部１０２は、横方向には丁度収まらないが、縦方向には丁度収まる円の直径を求めるとしてもよい。
この場合、図１９（ａ）に示すように、敷詰ステップ（Ｓ２３）において敷詰部１０３は、横方向の円との間のリブ１４の幅を広げることにより、横方向に丁度収まるように計算した直径Ｓ３の円を並べる。つまり、図１９（ａ）に示す縦方向のリブ１４の幅Ｌ３（指定されたリブ１４の幅）よりも、横方向のリブ１４の幅Ｌ４を広くする。
または、図１９（ｂ）に示すように、敷詰部１０３は、横方向の円との間のリブ１４の幅を広げることなく、直径Ｓ３の円を横方向に伸長して楕円を形成し、横方向に丁度収まるように楕円を並べてもよい。
【００３５】
また、面積調整ステップ（Ｓ２５）において調整部１０５は、矩形領域１０の中央部に並べられた円を拡大するのではなく、リブ１４の幅を広くするとともに、リブ１４の幅を広くされたことに伴い端部に形成された舌状体を縮小することにより、円と舌状体との面積が同一となるように調整してもよい。
【００３６】
また、図１２に示すように、補助孔２４は各孔２１，２２，２３の間に円形に形成されている。しかし、補助孔２４は円形に限らず、図２０（ａ）に示すように菱形であっても、図２０（ｂ）に示すように略十字形であってもよい。但し、リブ１４の幅がデータ入力ステップで指定された幅未満とならないようにする。
補助孔２４をこのような形状にすることにより、リブ１４の幅を全体的に指定された幅まで狭めることができる。
【００３７】
また、上記説明では、敷詰ステップ（Ｓ２３）において、縦方向に丁度収まる列を横方向へ丁度収まるように並べるとした。しかし、図２１に示すように、縦方向に丁度収まる列と、縦方向に約半円ずらして円を配置した列とを交互に千鳥状に配置してもよい。
縦方向に丁度収まる列と、縦方向に半円ずらして円を配置した列とを交互に配置する場合、図２２に示すように、各円の間に形成されるリブ１４の幅を狭くすることもできる。
【００３８】
また、図２３（ａ）に示すように、縦方向に丁度収まる列と、縦方向に半円ずらして円を配置した列とを交互に配置した場合に、縦方向の端部に半円形（三日月形）の図形を形成してもよい。そして、図２３（ｂ）に示すように、半円を残したまま、変形ステップ（Ｓ２４）、面積調整ステップ（Ｓ２５）を行ってもよい。
また、加工限界値未満の半円形の図形しか形成できない場合、図２４（ａ）に示すように、半円形の図形をその半円形の図形と縦方向に隣接する円と併合してもよい。そして、図２４（ｂ）に示すように、変形ステップ（Ｓ２４）、面積調整ステップ（Ｓ２５）を行ってもよい。
【００３９】
また、図２２に示すように、各円の間に形成されるリブ１４の幅を狭くして、円を千鳥状に配置した場合に、変形ステップ（Ｓ２４）で舌状の図形に変形すると、横方向の隣の円との間に指定された幅のリブ１４を形成することができない場合がある。そこで、図２５に示すように、縦方向に半円ずらして円を配置した列の端部の円には、円の一部に、隣の円との間に指定された幅のリブ１４が形成可能な幅の狭い長方形２６を接続して、舌状体を形成するとしてもよい。つまり、図２５（ｂ）に示すように、円と円との間のリブ１４の幅Ｌ５と、長方形と長方形との間のリブ１４の幅Ｌ６とが等しくなる（Ｌ５＝Ｌ６）、又は円と円との間のリブ１４の幅Ｌ５よりも長方形と長方形との間のリブ１４の幅Ｌ６が大きくなる（Ｌ５＜Ｌ６）ように、縦方向に半円ずらして円を配置した列の端部の円に幅の狭い長方形２６を接続する。
【００４０】
実施の形態３．
この実施の形態では、所定の矩形領域１０に辺の長さ（幅）Ｓ５が同一の複数の菱（正規形状の図形の一例）形の孔３１が形成されたメッシュ３について説明する。
【００４１】
図２６は、この実施の形態に係るメッシュ３の開口形状を示す図である。
図２６に示すように、この実施の形態に係るメッシュ３は、指定されたＸ×Ｙの矩形領域１０に、複数の辺の長さ（幅）Ｓ５が同一の菱形の孔３１が規則的に形成されている。矩形領域１０の中央部には菱形の孔３１が形成され、矩形領域１０の端部（周辺部）には菱形の孔３１を形成する菱形の一部の辺と矩形領域１０を成す辺の一部とにより多角形（変形形状の図形の一例）の孔３２，３３が形成されている。矩形領域１０の角（四隅）を除く端部には、矩形領域１０を成す辺の一部を一辺とする五角形の孔３２が形成されている。矩形領域１０の角には、矩形領域１０を成す２つの辺の一部を一辺とする五角形の孔３３が形成されている。各孔３１，３２，３３の間には所定の幅のリブ１４が形成されている。
矩形領域１０の端部に形成された多角形の孔３２，３３は、対向する端部に形成された多角形の孔３２，３３と線対称の形状である。特に、矩形領域１０の角を除く縦方向の端部に形成された五角形の孔３２の開口面積は、菱形の孔３１の開口面積と同一である。
以上のように、この実施の形態に係るメッシュ３は、矩形領域１０の中央部には複数の同一の菱形の孔３１が形成されているため、矩形領域１０の中央部全体に均一にインクペーストを塗布することができる。また、矩形領域１０の角を除く縦方向の端部には、菱形の孔３１と同一開口面積の五角形の孔３２が形成されているため、矩形領域１０の中央部とともに均一にインクペーストを塗布することができる。
また、この実施の形態に係るメッシュ３は、規則的に孔が形成されているため強度が高い。
【００４２】
次に、この実施の形態に係るメッシュ３のメッシュパターンデータの作成方法について説明する。
図２７は、メッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャートである。
なお、メッシュ３のメッシュパターンデータを作成するメッシュパターン作成装置１００の機能構成は、実施の形態１に係るメッシュパターン作成装置１００と同様である。メッシュパターン作成装置１００は、以下のように動作することで、メッシュパターンデータを作成する。
＜Ｓ３１：データ入力ステップ＞
データ入力部１０１は、矩形領域１０の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）と、菱形の孔３１の最低サイズと、リブ１４の幅と、加工限界値とを入力データとして入力して記憶装置に記憶する。
なお、以下の説明では、菱形を正方形を４５度傾けた図形とする。そして、菱形の孔３１のサイズは菱形の一辺の長さ（図２６のＳ４）で表す。ここでは、菱形を正方形を４５度傾けた図形としたため、入力された菱形の一辺の長さＳ４から菱形の幅（対角線の長さ，図２６のＳ５）を計算することができる。つまり、入力された一辺の長さＳ４の約１．４１倍が菱形の幅Ｓ５となる。
また、菱形の孔３１の最低サイズを入力せず、単位面積（例えば、１インチ）当たりに形成したい孔の最大数（メッシュ数）を入力してもよい。この場合、入力されたメッシュ数とリブ１４の幅とから、菱形の孔３１の最低サイズ（一辺の長さＳ４）を計算することができる。
＜Ｓ３２：計算ステップ＞
計算部１０２は、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら矩形領域１０の縦方向に並べると丁度収まる所定の菱形の幅Ｓ５であって、指定された幅以上で指定された幅に最も近い菱形の幅Ｓ５を処理装置により計算する。
つまり、図２８に示すように、計算部１０２は、矩形領域１０の上の端部を成す辺に接する菱形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら同じ幅の菱形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺に接する菱形で終わる菱形の幅Ｓ５を計算する。特に、計算部１０２は、データ入力ステップで入力された菱形の幅以上で入力された幅に最も近い幅Ｓ５を計算する。
＜Ｓ３３：敷詰ステップ＞
敷詰部１０３は、計算ステップで計算した幅の菱形を矩形領域１０を覆うように間にリブ１４を挟みながら処理装置により規則的に並べる。
例えば、図２９に示すように矩形領域１０の左右中央から順に多角形と菱形とを並べる。つまり、まず、図２９（ａ）に示すように、矩形領域１０の左右の中心と、菱形の左右の中心とが一致するように、計算ステップで計算した幅Ｓ５の菱形の列であって、縦方向に丁度収まる菱形の列を並べる。縦方向に丁度収まる菱形の列とは、矩形領域１０の上の端部を成す辺に接する幅Ｓ５の菱形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ５の菱形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺に接する幅Ｓ５菱形で終わる列である。次に、図２９（ｂ）に示すように、三角形を両端に有する列を、先に並べた菱形の列の左右両隣に指定された幅のリブ１４を間に挟んで並べる。三角形を両端に有する列とは、矩形領域１０の上の端部を成す辺の一部を一辺とする縦方向の幅が幅Ｓ５の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅である三角形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ５の菱形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺を一辺とする縦方向の幅が幅Ｓ５の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅であるの三角形で終わる列である。そして、図２９（ｃ）に示すように、矩形領域１０全体を覆うまで、菱形の列と三角形を両端に有する列とを交互に並べる。
＜Ｓ３４：併合ステップ＞
併合部１０４は、矩形領域１０の横方向の端部に形成された多角形が加工限界値未満の場合には、多角形と隣接する菱形又は台形と多角形とを処理装置により併合する。
例えば、図３０に示すように、横方向の端部に形成された多角形をその隣の菱形及び多角形（三角形）と併合する。つまり、図３０（ａ）に示すように、横方向の端部に形成された多角形が小さく、加工限界値未満の場合、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の菱形及び多角形（三角形）の縦方向の頂点から矩形領域１０の縦方向の端部を成す辺と平行な辺を矩形領域１０の横方向の端部まで伸ばす。そして、図３０（ｂ）に示すように、上記隣の菱形及び多角形（三角形）の辺と矩形領域１０の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形（五角形及び台形）を形成する。
なお、図３０では、横方向の端部に形成された多角形の隣の列は、菱形及び多角形（三角形）からなる列であった。しかし、上記隣の列は、菱形のみが形成された列の場合もある。この場合も上記と同様に、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の菱形の縦方向の頂点から矩形領域１０の縦方向の端部を成す辺と平行な辺を矩形領域１０の横方向の端部まで伸ばす。そして、上記隣の菱形の辺と矩形領域１０の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形（五角形）を形成すればよい。
＜Ｓ３５：面積調整ステップ＞
調整部１０５は、横方向の端部を除く縦方向の端部に形成された多角形（三角形）の面積が、菱形の面積と同一の面積となるように処理装置により調整する。
例えば、図３１（ａ）に示す状態であった場合に、図３１（ｂ）に示すように、縦方向の端部に形成された菱形の横方向の端点から矩形領域１０の縦方向の端部へ垂線を引き、五角形を形成する。次に、図３１（ｃ）に示すように、各菱形と横方向の端部の五角形とを縦方向に伸長する。さらに、菱形と五角形とが伸長された分だけ、縦方向の端部に形成された五角形を縮小する。そして、縮小された五角形の面積を拡大された菱形の面積と同一にする。
＜Ｓ３６：リブ調整ステップ＞
調整部１０５は、さらに、五角形と五角形の間に形成された幅の広いリブ１４を、データ入力ステップで指定された幅のリブ１４に処理装置により調整する。
図３２（ａ）に示すように、五角形と五角形の間に形成されたリブ１４の幅Ｌ８は、菱形と菱形、又は菱形と五角形との間に形成されたリブ１４の幅Ｌ７（指定されたリブ１４の幅）よりも広い。そこで、図３２（ｂ）に示すように、調整部１０５は、五角形の面積を広げることにより、五角形と五角形の間に形成されたリブ１４の幅Ｌ７を指定されたリブ１４の幅Ｌ７にする。また、端部に形成された五角形の面積を広げたため、端部に形成された五角形は、菱形と同一面積でなくなってしまう。そこで、菱形を拡大するとともに、端部に形成された五角形を縮小して、角を除く、端部に形成された五角形の面積を菱形と同一面積にする。
＜Ｓ３７：データ生成ステップ＞
データ生成部１０６は、併合ステップ（Ｓ３４）及びリブ調整ステップ（Ｓ３６）で調整した菱形と五角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成して記憶装置に記憶する。
このメッシュパターンデータに基づき、メッシュ３を製造することで、図２６に示すようなメッシュ３を製造することができる。メッシュ３の製造方法については後の実施の形態において説明する。
【００４３】
上記説明において、敷詰ステップ（Ｓ３３）では、横方向の中央から順に多角形と菱形とを並べた。しかし、実施の形態１と同様、図３３に示すように、矩形領域１０の端（図３３では左端）から順に菱形を並べてもよい。まず、図３３（ａ）に示すように、矩形領域１０の左の端部に、計算ステップ（Ｓ３２）で計算した菱形と同一面積の五角形であって、縦方向の幅が計算ステップで計算した幅Ｓ５である五角形を中央部に有し、縦方向の幅が幅Ｓ５の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅である台形を両端部に有する列を並べる。次に、図３３（ｂ）に示すように、先に並べた列の隣に、菱形の列をリブ１４を間に挟んで並べる。次に、図３３（ｃ）に示すように、上記菱形の列の隣に、三角形を両端に有する列をリブ１４を間に挟んで並べる。そして、図３３（ｄ）に示すように、三角形を両端に有する列と、菱形の列とを交互にリブ１４を間に挟んで並べる処理を、矩形領域１０全体を覆うまで続ける。
このように、左側から順に菱形を並べた場合、横方向の端部に形成された多角形が線対称の形状にならない場合がある。この場合には、調整部１０５は、矩形領域１０を成す辺と敷詰ステップで並べた菱形の一部の辺とから構成された多角形が、対向する端部の多角形と対称となるように処理装置により調整する形状調整ステップを敷詰ステップ（Ｓ３３）又は併合ステップ（Ｓ３４）の後に実行する。
例えば、図３４に示すように、調整部１０５は、菱形と多角形とを横方向へずらすことにより、横方向に形成された多角形を線対称となるように調整する。つまり、図３４（ａ）に示すように、敷詰ステップで並べられた横方向の端部の多角形が非対称であるとする。すなわち、図３４（ａ）では、左の端部の多角形の方が、右の端部の多角形よりも小さい。そこで、菱形と多角形とを右へずらす。そして、図３４（ｂ）に示すように、横方向の端部の多角形が線対称とする。
【００４４】
なお、敷詰ステップ（Ｓ３３）での菱形の敷き詰め方法は、上述した方法に限られず、どのような方法であっても構わない。しかし、上述した方法でない場合には、横方向の端部だけでなく、縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない可能性がある。縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない場合には、敷詰ステップ（Ｓ３３）又は併合ステップ（Ｓ３４）の後で線対称となるように調整する必要がある。
【００４５】
また、上記説明では、１つの矩形領域に、その矩形領域に合ったメッシュパターンを生成することを説明した。しかし、データ入力ステップ（Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１）で複数の矩形領域を有する領域データ（例えば、ガーバーデータ）を入力し、計算ステップ（Ｓ１２，Ｓ２２，Ｓ３２）以下の処理（メッシュパターン生成ステップ）で、領域データが有する複数の矩形領域の各矩形領域について、その矩形領域に合った（適した）メッシュパターンデータを生成するとしてもよい。ここで、矩形領域の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）は、矩形領域毎に異なっていてもよい。
なお、領域データは、各矩形領域の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）と、各矩形領域の位置（例えば、中心の座標）との情報を有する。つまり、データ入力ステップ（Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１）でデータ入力部１０１は、領域データが入力されれば、領域データから各矩形領域の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）を取得することができる。また、データ生成ステップ（Ｓ１６，Ｓ２７，Ｓ３７）でデータ生成部１０６は、各矩形領域の位置の情報に基づき、各矩形領域を配置することができる。つまり、データ生成部１０６は、所定の位置に配置した複数の矩形領域の各矩形領域について、その矩形領域に合ったメッシュパターンデータを生成することができる。データ生成部１０６は、例えば、各矩形領域が印刷パターンを示す場合には、複数の印刷パターン開口の各印刷パターン開口部分について、その印刷パターン開口部分に合ったメッシュパターンデータを生成することができる。
【００４６】
実施の形態４．
この実施の形態では、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すメッシュパターンを印刷パターン開口５１部分に有するマスク５０を製造する方法について説明する。また、製造したメッシュの層と、印刷パターン開口を有する層とを有する２層構造のマスクを製造する方法について説明する。
【００４７】
まず、図３５に基づき、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すハニカム構造等のメッシュパターンを印刷パターン開口５１部分に有するマスク５０を製造する方法について説明する。
初めに、図３５（ａ）に示すように、基材４１を準備する。基材４１の材質は例えばＳＵＳ（ステンレス鋼，Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  Ｕｓｅｄ  Ｓｔｅｅｌ）、鉄板、アルミニウム等の導電性基材を用いる事ができる。または、導電性皮膜が形成された非導電性基材でもよく、例えば、ガラスにＮｉ，Ｃｒ、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）膜等の導電性物質を蒸着した基材でもよい。そして、図３５（ｂ）に示すように、基材４１上にレジスト４２をラミネートする。
次に、印刷パターン開口５１部分に、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータを紫外線レーザーを照射する直描機に入力する。そして、メッシュパターンデータが示すメッシュパターンを直描機を用いてレジスト４２に直接描画する。つまり、メッシュパターンデータが示すメッシュパターン部分を露光する。そして、現像する。すると、図３５（ｃ）に示すように、メッシュパターンに対応する開口となる位置にのみレジスト４２が残る。
次に、図３５（ｄ）に示すように、レジスト４２が形成された領域を除いて、基材４１の上にメッシュパターン形状の金属層４３をニッケル等のめっきにより形成する。つまり、メッシュパターンに対応する開口となる位置に残されたレジスト４２以外の部分に金属層４３を形成するため、金属層４３はメッシュパターンに対応する開口を有することになる。
そして、図３５（ｅ）に示すように、レジスト４２を剥離し、金属層４３を基材４１から剥がす。これにより、印刷パターン開口５１部分にリブ１４を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有するマスク５０が金属層４３により形成される。つまり、印刷パターン開口５１部分に、図１、図１２、図２６に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するマスク５０が製造される。
なお、上記説明では、直描機を用いてレジスト４２を露光した。しかし、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すメッシュパターンを有するパターンフィルムを作成して、作成したパターンフィルム、ガラス活版等を用いてレジスト４２を露光してもよい。
また、複数の矩形領域を有する領域データを入力してメッシュパターンデータを生成した場合、複数の矩形領域の各矩形領域を印刷パターン開口５１として、印刷パターン開口５１部分に、図１、図１２、図２６に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するマスク５０を製造することができる。つまり、複数の印刷パターン開口５１を有するマスク５０であって、各印刷パターン開口５１部分にメッシュを有するマスク５０を製造する場合には、予め各印刷パターン開口５１を矩形領域とした領域データを入力としてメッシュパターンデータを生成すれば、各印刷パターン開口５１部分に、その印刷パターン開口５１に合ったメッシュパターンを有するマスク５０を製造することができる。
【００４８】
図３６は、印刷パターン開口５１部分に、図３５に基づき説明した製造方法により製造されたメッシュを備えるマスク５０を示す図である。図３６（ａ）は、マスク５０の断面図（図３６（ｂ）のＡ−Ａ’断面図）であり、印刷パターン開口５１部分には本来メッシュパターンが形成をされている訳であるが形状が複雑になるため、図示を省略してある。図３６（ｂ）は、図３６（ａ）のＤ方向から見た図である。図３６（ｃ）は、図３６（ｂ）の複数の印刷パターン開口５１のうちのある１つの印刷パターン開口５１部分に形成されたメッシュの一例を示す図である。
マスク５０には、複数の印刷パターン開口５１が形成されている。各印刷パターン開口５１には、図３６（ｃ）に示すように、図３５に基づき説明した製造方法により製造されたメッシュが形成されている。つまり、印刷パターン開口５１それぞれに、図１、図１２、図２６に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するメッシュが形成されている。
マスク５０の厚さ（板厚）が薄い場合、印刷パターン開口５１に強度がなく、印刷パターン開口５１部分から破損する虞がある。そこで、上述したように、印刷パターン部分にメッシュを持たせ、印刷パターン部分の強度を高めている。特に、上記実施の形態で説明したメッシュパターンは、ハニカム構造状等に規則的に孔が形成されているためメッシュの強度が高い。そのため、上記実施の形態で説明したメッシュパターンのメッシュを印刷パターン部分に形成することにより、マスク５０の印刷パターン部分の強度も特に高くなる。なお、図３６では、印刷パターンを矩形で示しているが、印刷パターンは完全な矩形でなくてもよい。つまり、角の部分に丸みを持った略矩形であってもよい。角の部分に丸みを持たせることにより、印刷パターンの角部分に負荷が集中し、角部分から破損することを防止できる。
【００４９】
次に、図３７に基づき、メッシュを有する複数の印刷パターン開口５１が形成された層（マスク５０）と、メッシュが形成された印刷パターン開口５１に重なるように形成されたメッシュ無しの印刷開口４９を有する樹脂層とを有する２層構造のマスクを製造する方法について説明する。図３７（ａ）は、マスク５０の断面図であり、印刷パターン開口５１部分には本来メッシュパターンが形成をされている訳であるが形状が複雑になるため、図示を省略してある。
図３７（ａ）、図３７（ｂ）に示すように、製造したメッシュ（金属層４３）を有する層（マスク５０）を紗張りする。図３７（ｂ）は、図３７（ａ）のＥ方向から見た図である。スクリーン枠４５に取り付けられた開口のある紗４６の開口内周囲にマスク５０の外周囲が接着剤等でワーク側（印刷面側）に取り付けられ、紗４６の張力によりマスク５０が外方向（スクリーン枠４５方向）へ張られた状態とする。図３７（ｂ）において、紗４６とマスク５０とはのりしろ４７部分で接着されている。すなわち、マスク５０をコンビネーション４４（紗張りされた枠）に接合する。
次に、図３７（ｃ）に示すように、コンビネーション４４に接合したマスク５０に感光性樹脂４８を塗布して乾燥又は硬化する。次に、印刷パターンを直描機を用いて、乾燥又は硬化した感光性樹脂４８に描画する。この場合もパターンフィルムを用いて露光してもよい。そして、現像すると、図３７（ｄ）に示すように、乾燥又は硬化した感光性樹脂４８にメッシュ無しの印刷開口４９が形成される。なお、印刷開口４９は、マスク５０のメッシュが形成された印刷パターン開口５１部分に重なるように形成する。
これにより、印刷パターン開口５１部分にリブ１４を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有する層（マスク５０）と、マスク５０の上面にメッシュ無しの印刷開口４９を有する樹脂層４８とを備える２層構造のマスクが製造される。つまり、図１、図１２、図２６に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有する印刷パターン開口５１を有する層（マスク５０）と、印刷開口４９を有する樹脂層４８とを有する２層構造のマスクが製造される。
なお、マスク５０を紗張りする場合、マスク５０を紗４６のワーク側ではなく、図３７（ｅ）に示すようにマスク５０をインク側（スキージ側）に接着し、紗４６の内周囲をマスク５０と感光性樹脂４８とで挟んでも構わない。
【００５０】
マスクの製造工程において、メッシュが紗張りされる。紗張りされるとメッシュには外方向へ引っ張る力が加わる。ここで、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータから製造されたメッシュは、メッシュパターンがハニカム構造状等に規則的に形成されているため、引っ張る力に対する強度が強い。したがって、紗張りされた場合であっても、メッシュが破れることがない。
【００５１】
次に、図３８に基づき、メッシュを有する複数の印刷パターン開口５１が形成された層（マスク５０）と、メッシュ無しの印刷開口４９を有する金属層とを有する２層構造のメタルマスクを製造する方法について説明する。
まず、図３５（ａ）から（ｄ）までに示すように、レジスト４２が形成された領域を除いて、基材４１の上にメッシュパターン形状の金属層４３をニッケル等のめっきにより形成する。続いて、図３８（ａ）に示すように、レジスト４２を剥離する。次に、図３８（ｂ）に示すように、製造したメッシュ（金属層４３）を有する層（マスク５０）の上にレジスト５２を形成する。次に、印刷パターンを直描機を用いて、レジスト５２に描画する。この場合もパターンフィルムを用いて露光してもよい。そして、現像すると、図３８（ｃ）に示すように、レジスト５２が印刷開口４９となる部分に形成される。次に、図３８（ｄ）に示すように、レジスト５２が形成された部分を除き、マスク５０の上に、金属層５３を形成する。そして、図３８（ｅ）に示すように、レジスト５２を剥離し、基材から剥がす。
これにより、印刷パターン開口５１部分にリブ１４を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有する複数の印刷パターン開口５１を有する層と、メッシュ無しの印刷開口４９を有する金属層５３とを有する２層構造のメタルマスクが製造される。つまり、図１、図１２、図２６に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有する印刷パターン開口５１を有する層（マスク５０）と、メッシュ無しの印刷開口４９を有する金属層５３とを有する２層構造のメタルマスクが製造される。
なお、印刷開口４９は、マスク５０のメッシュが形成された印刷パターン開口５１部分に重なるように形成する。
また、上記マスクの製造方法は一例であり、他の方法によりマスクを製造してもよい。
【００５２】
以上で説明したメッシュやマスクは、スクリーン印刷用のメッシュやマスクだけでなく、ボール搭載用のマスク、バンプ形成用のマスク、篩等に用いることができる。
【００５３】
つまり、以上の実施の形態に係るメッシュは、
所定の領域の中央部において、規則的に配列された同一形状の正規孔（六角形、円形、菱形の孔）と、
上記所定の領域内の周辺部において、上記正規孔と形状が異なるが同一面積の変形孔（端部に形成された多角形、舌状等の孔）と
を備えることを特徴とする。
言い換えると、以上の実施の形態に係るメッシュは、
所定の領域の中央部において、同一形状の正規孔（六角形、円形、菱形の孔）を規則的に配列する正規孔形成部（正規孔を形成するリブ１４）と、
上記所定の領域内の周辺部において、上記正規孔と形状が異なるが同一面積の変形孔を形成する変形孔形成部（変形孔を形成するリブ１４）と
を備えることを特徴とする。
【００５４】
また、以上の実施の形態に係るメッシュは、
所定の領域に複数の孔を有するメッシュが形成されたメッシュにおいて、
上記所定の領域の辺を辺の一部とする孔と、
上記所定の領域の辺を辺の一部としない孔との面積が同一であることを特徴とする。
【００５５】
次に、上記実施の形態におけるメッシュパターン作成装置１００のハードウェア構成について説明する。
図３９は、メッシュパターン作成装置１００のハードウェア構成の一例を示す図である。
図３９に示すように、メッシュパターン作成装置１００は、プログラムを実行するＣＰＵ９１１（Ｃｅｎｔｒａｌ・Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ・Ｕｎｉｔ、中央処理装置、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、プロセッサともいう）を備えている。ＣＰＵ９１１は、バス９１２を介してＲＯＭ９１３、ＲＡＭ９１４、ＬＣＤ９０１（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、キーボード９０２（Ｋ／Ｂ）、通信ボード９１５、磁気ディスク装置９２０と接続され、これらのハードウェアデバイスを制御する。磁気ディスク装置９２０の代わりに、光ディスク装置、メモリカード読み書き装置などの記憶装置でもよい。
【００５６】
ＲＯＭ９１３、磁気ディスク装置９２０は、不揮発性メモリの一例である。ＲＡＭ９１４は、揮発性メモリの一例である。ＲＯＭ９１３とＲＡＭ９１４と磁気ディスク装置９２０とは、記憶装置（メモリ）の一例である。また、キーボード９０２、通信ボード９１５は、入力装置の一例である。また、通信ボード９１５は、通信装置の一例である。さらに、ＬＣＤ９０１は、表示装置の一例である。
【００５７】
磁気ディスク装置９２０又はＲＯＭ９１３などには、オペレーティングシステム９２１（ＯＳ）、ウィンドウシステム９２２、プログラム群９２３、ファイル群９２４が記憶されている。プログラム群９２３のプログラムは、ＣＰＵ９１１、オペレーティングシステム９２１、ウィンドウシステム９２２により実行される。
【００５８】
プログラム群９２３には、上記の説明において「データ入力部１０１」、「計算部１０２」、「敷詰部１０３」、「併合部１０４」、「調整部１０５」、「データ生成部１０６」、「変形部１０７」、「補助孔形成部１０８」等として説明した機能を実行するソフトウェアやプログラムやその他のプログラムが記憶されている。プログラムは、ＣＰＵ９１１により読み出され実行される。
ファイル群９２４には、上記の説明において「矩形領域１０の縦方向、横方向の幅」、「六角形の孔１１の最低サイズ」、「円形の孔２１の最低サイズ」、「菱形の孔３１の最低サイズ」、「リブ１４の幅」、「加工限界値」等の情報やデータや信号値や変数値やパラメータが、「ファイル」や「データベース」の各項目として記憶される。「ファイル」や「データベース」は、ディスクやメモリなどの記録媒体に記憶される。ディスクやメモリなどの記憶媒体に記憶された情報やデータや信号値や変数値やパラメータは、読み書き回路を介してＣＰＵ９１１によりメインメモリやキャッシュメモリに読み出され、抽出・検索・参照・比較・演算・計算・処理・出力・印刷・表示などのＣＰＵ９１１の動作に用いられる。抽出・検索・参照・比較・演算・計算・処理・出力・印刷・表示のＣＰＵ９１１の動作の間、情報やデータや信号値や変数値やパラメータは、メインメモリやキャッシュメモリやバッファメモリに一時的に記憶される。
また、上記の説明におけるフローチャートの矢印の部分は主としてデータや信号の入出力を示し、データや信号値は、ＲＡＭ９１４のメモリ、その他光ディスク等の記録媒体に記録される。また、データや信号は、バス９１２や信号線やケーブルその他の伝送媒体によりオンライン伝送される。
【００５９】
また、上記の説明において「〜部」として説明するものは、「〜回路」、「〜装置」、「〜機器」、「〜手段」、「〜機能」であってもよく、また、「〜ステップ」、「〜手順」、「〜処理」であってもよい。また、「〜装置」として説明するものは、「〜回路」、「〜装置」、「〜機器」、「〜手段」、「〜機能」であってもよく、また、「〜ステップ」、「〜手順」、「〜処理」であってもよい。さらに、「〜処理」として説明するものは「〜ステップ」であっても構わない。すなわち、「〜部」として説明するものは、ＲＯＭ９１３に記憶されたファームウェアで実現されていても構わない。或いは、ソフトウェアのみ、或いは、素子・デバイス・基板・配線などのハードウェアのみ、或いは、ソフトウェアとハードウェアとの組み合わせ、さらには、ファームウェアとの組み合わせで実施されても構わない。ファームウェアとソフトウェアは、プログラムとして、ＲＯＭ９１３等の記録媒体に記憶される。プログラムはＣＰＵ９１１により読み出され、ＣＰＵ９１１により実行される。すなわち、プログラムは、上記で述べた「〜部」としてコンピュータ等を機能させるものである。あるいは、上記で述べた「〜部」の手順や方法をコンピュータ等に実行させるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施の形態１に係るメッシュ１の開口形状を示す図。
【図２】実施の形態１に係るメッシュパターン作成装置１００の機能を示す機能ブロック図。
【図３】実施の形態１に係るメッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャート。
【図４】六角形の幅の計算の説明図。
【図５】六角形を並べる処理の説明図。
【図６】端部に形成された多角形と隣の六角形とを併合する処理の説明図。
【図７】六角形を伸縮する処理の説明図。
【図８】六角形を並べる処理の他の例の説明図。
【図９】六角形を移動する処理の説明図。
【図１０】六角形を伸縮する処理の説明図。
【図１１】幅が狭い矩形領域１０へメッシュパターンを作成した例を示す図。
【図１２】実施の形態２に係るメッシュ２の開口形状を示す図。
【図１３】実施の形態２に係るメッシュパターン作成装置１００の機能を示す機能ブロック図。
【図１４】実施の形態２に係るメッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャート。
【図１５】円形の直径の計算の説明図。
【図１６】円形を並べる処理の説明図。
【図１７】端部の円形を変形する処理の説明図。
【図１８】補助孔２４を形成する処理の説明図。
【図１９】円形の直径の計算及び円形を並べる処理の他の例の説明図。
【図２０】他の形状の補助孔２４を示す図。
【図２１】円形を並べる処理の他の例の説明図。
【図２２】円の間に形成されるリブ１４の幅を狭くした例を示す図。
【図２３】端部に半円型の図形を並べた例を示す図。
【図２４】端部に並べた半円型の図形と隣の円形とを併合する処理の説明図。
【図２５】円の間に形成されるリブ１４の幅が狭い場合に円形を変形する処理の説明図。
【図２６】実施の形態３に係るメッシュ３の開口形状を示す図。
【図２７】実施の形態３に係るメッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャート。
【図２８】菱形の幅の計算の説明図。
【図２９】菱形を並べる処理の説明図。
【図３０】端部に形成された多角形と隣の菱形とを併合する処理の説明図。
【図３１】図形の面積を調整する処理の説明図。
【図３２】リブ１４の幅を調整する処理の説明図。
【図３３】菱形を並べる処理の他の例の説明図。
【図３４】菱形を移動する処理の説明図。
【図３５】印刷パターン開口５１部分にメッシュを有する１層構造のマスクを製造する処理の説明図。
【図３６】印刷パターン開口５１部分にメッシュを有する１層構造のマスクを示す図。
【図３７】メッシュを有する層と、印刷パターン開口５１を有する樹脂層とを有する２層構造のマスクを製造する処理の説明図。
【図３８】メッシュを有する層と、印刷パターン開口５１を有する金属層とを有する２層構造のメタルマスクを製造する処理の説明図。
【図３９】メッシュパターン作成装置１００のハードウェア構成の一例を示す図。
【符号の説明】
【００６１】
１，２，３  メッシュ、１０  矩形領域、１１  六角形の孔、１２  台形の孔、１３  五角形の孔、１４  リブ、１５  第１の列、１６  第２の列、２１  円形の孔、２２  舌状の孔、２３  略扇状の孔、２４  補助孔、２５  長方形、２６  幅の狭い長方形、３１  菱形の孔、３２，３３  五角形の孔、４１  基材、４２，５２  レジスト、４３，５３  金属層、４４  コンビネーション、４５  スクリーン枠、４６  紗、４７  のりしろ、４８  感光性樹脂、５０  マスク、５１  印刷パターン開口、１００  メッシュパターン作成装置、１０１  データ入力部、１０２  計算部、１０３  敷詰部、１０４  併合部、１０５  調整部、１０６  データ生成部、１０７  変形部、１０８  補助孔形成部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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