(57)【要約】【課題】検査装置において、外乱が被検装置に及ぼす影響の時間的な変化を定量的に評価し、検査効率を向上することができるようにする。【解決手段】検査装置１００は、外乱印加部２と、信号データを取得する信号変換部５と、外乱印加タイミングを制御して外乱未印加状態と外乱印加状態とにおいて信号変換部５に信号データを取得せしめる測定制御部１１と、信号データを複数の区間に分割して、区間ごとのマハラノビス距離を算出する演算部１０と、信号データとマハラノビス距離とを測定情報とともに記憶するデータ記憶部４と、記憶された信号データ、マハラノビス距離、および測定情報を表示する操作表示部６とを備え、操作表示部６は測定の条件設定入力を行う入力部を兼ね、演算部１０はマハラノビス距離を比較するための情報を操作表示部６に表示させる検査結果表示制御部を兼ねる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検装置の出力信号を被検信号として、外乱印加時の前記被検装置への影響を検査する検査装置であって、
前記被検装置に外乱を印加する外乱印加部と、
前記被検信号を、デジタル化された時系列の信号データとして取得する信号取得部と、
前記外乱印加部の外乱印加タイミングを制御するとともに、前記被検装置に外乱を印加しない外乱未印加状態と、前記外乱印加部によって前記被検装置に外乱を印加する外乱印加状態とにおいて、前記信号取得部にそれぞれの前記信号データを取得せしめる測定制御部と、
前記信号取得部によって取得された前記信号データを、それぞれ複数のデータを含む複数の区間に分割して、該区間ごとの信号データの特徴量の空間でのマハラノビス距離を算出する演算部と、
前記信号取得部で取得された前記信号データと、前記演算部で演算された前記区間ごとのマハラノビス距離とを、少なくとも前記区間の情報、取得時の時系列情報、および取得時の外乱情報を含む測定情報とともに記憶するデータ記憶部と、
該データ記憶部に記憶された前記信号データ、前記マハラノビス距離、および前記測定情報を表示する表示部と、
前記データ記憶部に記憶された前記外乱情報に基づいて、前記外乱未印加状態のマハラノビス距離と、前記外乱印加状態のマハラノビス距離とを比較するための情報を前記表示部に表示させる検査結果表示制御部と、
測定制御部に対して測定の条件設定入力を行う入力部とを備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記マハラノビス距離は、
前記外乱未印加状態の信号データを単位空間にとったＭＴＡ法によるマハラノビス距離であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記マハラノビス距離は、
前記外乱未印加状態の信号データを単位空間にとったＭＴ法によるマハラノビス距離であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記測定制御部が、前記外乱未印加状態と前記外乱印加状態とを交互に形成する場合に、
前記演算部は、前記外乱印加時のマハラノビス距離を、前記外乱印加時の直前の外乱未印加時の信号データを単位空間にとって算出することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記入力部は、前記条件設定入力として、前記外乱未印加状態のマハラノビス距離と前記外乱印加状態のマハラノビス距離とに基づいて前記被検装置の検査結果の判定を行う判定条件が入力可能とされ、
前記入力部から入力された前記判定条件に基づいて、前記検査結果の判定を行う比較判定部が設けられ、
前記検査結果表示制御部は、前記入力部から入力された判定条件、および前記比較判定部による判定結果を前記表示部に表示させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記入力部は、前記複数の区間のうちから、一部を選択して検査領域に設定する入力が可能とされ、
前記比較判定部は、前記入力部から設定された前記検査領域に含まれる各区間における複数のマハラノビス距離から求められる代表値を用いて、前記検査領域の検査結果の判定を行うことを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記比較判定部は、信号取得開始前に前記入力部から予め入力された前記判定条件に基づいて、前記被検装置の検査結果の判定を行う自動判定モードを備えることを特徴とする請求項５または６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記入力部は、前記条件設定入力として、前記データ記憶部に記憶された前記信号データおよび前記マハラノビス距離の一部を選択する選択情報が入力可能とされ、
前記検査結果表示制御部は、前記入力部から入力された前記選択情報に基づいて、前記信号データの再生および前記マハラノビス距離の表示が可能とされたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の検査装置。
【請求項９】
前記入力部は、前記条件設定入力として、前記データ記憶部に記憶された前記信号データおよび前記マハラノビス距離の一部を選択する選択情報が入力可能とされ、
前記測定制御部は、前記データ記憶部から、前記選択情報に対応する前記測定情報に基づいて、再検査を行えるようにしたことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検装置の出力信号を被検信号として、外乱印加時の被検装置への影響を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検装置の出力信号を被検信号として、外乱印加時の被検装置への影響を検査する検査装置が種々知られている。
例えば、デジタルカメラやオーディオ機器など電子機器では、電磁妨害に対する耐性を試験するため、種々のイミュニティ試験規格に基づく検査装置が知られている。
このような検査装置では、電磁妨害が発生しない外乱未印加状態での電子機器の画像や音声を取得しておき、外乱印加状態での画像や音声と比較することにより、合否の判定を行っている。画質や音質の微妙な変化となって現れる外乱の影響は定量化することが容易ではなく、定量化を図る場合には、多数の複数の評価項目を用いて総合的に判定する必要があった。
また、外乱の影響による良否判定ではないが、過渡応答特性などの複雑な信号出力の合否判定に用いることができるデータ解析の手法の一例として、特許文献１には、磁気回路を有する製品の良否判定方法が記載されている。
この良否判定方法は、ブザーのように磁気回路を有する被判定対象の製品に対して、方形パルス電圧を印加し、磁気回路における過渡応答中の電流値を複数ポイントで取得してベクトルデータとし、良品に対するベクトルデータで形成した基準空間において導出されるマハラノビス距離計算式に代入し、このようにして得られるマハラノビス距離を、良品と不良品を区別するための所定の閾値と比較することによって、上記した製品の良否判定が可能となる、というものである。
【特許文献１】特開２００４−７７１８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の検査装置には以下のような問題があった。
このような検査装置では、定量評価値を算出する場合にも、評価項目が多数に及ぶため、検査者の総合的な判定を行なう必要がある。ところが、検査に用いる外乱は一般に時間変動を伴う外乱であるため、検査者は、経時的に変化する多数の定量評価値を監視しつつ、総合判断を経時的に連続して行う必要がある。したがって、検査の客観性はある程度向上できるものの、検査者の労力はあまり低減されないという問題がある。
また、不合格判定のもれがないように定量評価値の判定基準を厳しく設定して自動判定を行い、定量評価値を超えた検査条件のみ、検査者が立ち会って再検査を行うことも考えられるが、再検査の頻度が増えるため検査効率が低下してしまうという問題がある。
特許文献１には、良品と不良品との過渡応答の差を、１次元の指標であるマハラノビス距離によって評価する技術が記載されているが、時間変動を伴う外乱を印加する検査装置において正常状態と異常状態とを効率的に検査する技術は記載も示唆もされておらず、外乱の影響による被検装置の時間的な変化を検査する検査装置に適用できる技術ではない。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、外乱が被検装置に及ぼす影響の時間的な変化を定量的に評価し、検査効率を向上することができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、被検装置の出力信号を被検信号として、外乱印加時の前記被検装置への影響を検査する検査装置であって、前記被検装置に外乱を印加する外乱印加部と、前記被検信号を、デジタル化された時系列の信号データとして取得する信号取得部と、前記外乱印加部の外乱印加タイミングを制御するとともに、前記被検装置に外乱を印加しない外乱未印加状態と、前記外乱印加部によって前記被検装置に外乱を印加する外乱印加状態とにおいて、前記信号取得部にそれぞれの前記信号データを取得せしめる測定制御部と、前記信号取得部によって取得された前記信号データを、それぞれ複数のデータを含む複数の区間に分割して、該区間ごとの信号データの特徴量の空間でのマハラノビス距離を算出する演算部と、前記信号取得部で取得された前記信号データと、前記演算部で演算された前記区間ごとのマハラノビス距離とを、少なくとも前記区間の情報、取得時の時系列情報、および取得時の外乱情報を含む測定情報とともに記憶するデータ記憶部と、該データ記憶部に記憶された前記信号データ、前記マハラノビス距離、および前記測定情報を表示する表示部と、前記データ記憶部に記憶された前記外乱情報に基づいて、前記外乱未印加状態のマハラノビス距離と、前記外乱印加状態のマハラノビス距離とを比較するための情報を前記表示部に表示させる検査結果表示制御部と、測定制御部に対して測定の条件設定入力を行う入力部とを備える構成とする。
この発明によれば、検査者が、入力部から条件設定入力を行うことで、測定制御部によって、外乱印加部の外乱印加タイミングを制御するとともに、被検装置に外乱を印加しない外乱未印加状態と、外乱印加部によって被検装置に外乱を印加する外乱印加状態とにおいて、信号取得部にそれぞれの信号データを取得せしめることができる。そして、演算部によって、信号取得部によって取得された信号データを、それぞれ複数のデータを含む複数の区間に分割して、この区間ごとの信号データの特徴量の空間でのマハラノビス距離を算出し、データ記憶部に、信号データと、区間ごとのマハラノビス距離とを、少なくともこの区間の情報、取得時の時系列情報、および取得時の外乱情報を含む測定情報とともに記憶する。そして、検査結果表示制御部によって、外乱情報に基づいて、外乱未印加状態のマハラノビス距離と外乱印加状態のマハラノビス距離とを比較するための情報を表示部に表示させることができる。
このため、検査者は、データ記憶部に時系列に記憶され表示部に表示された情報から、外乱未印加状態のマハラノビス距離と外乱印加状態のマハラノビス距離とを比較し、被検装置の合否を判定することができる。
【０００６】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の検査装置において、前記マハラノビス距離は、前記外乱未印加状態の信号データを単位空間にとったＭＴＡ法によるマハラノビス距離である構成とする。
ＭＴＡ（Mahalanobis-Taguchi Adjoint）法は、品質工学においてＭＴ（Mahalanobis-Taguchi）システムとして知られるデータ解析方法のうちの一つである。
【０００７】
請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の検査装置において、前記マハラノビス距離は、前記外乱未印加状態の信号データを単位空間にとったＭＴ法によるマハラノビス距離である構成とする。
ＭＴ法は、品質工学においてＭＴシステムとして知られるデータ解析方法のうちの一つである。
【０００８】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置において、前記測定制御部が、前記外乱未印加状態と前記外乱印加状態とを交互に形成する場合に、前記演算部は、前記外乱印加時のマハラノビス距離を、前記外乱印加時の直前の外乱未印加時の信号データを単位空間にとって算出する構成とする。
この発明によれば、外乱印加時のマハラノビス距離を、外乱印加時の直前の外乱未印加時の信号データを単位空間にとって算出するので、外乱の印加による影響を正確に検査することができる。
【０００９】
請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のいずれかに記載の検査装置において、前記入力部は、前記条件設定入力として、前記外乱未印加状態のマハラノビス距離と前記外乱印加状態のマハラノビス距離とに基づいて前記被検装置の検査結果の判定を行う判定条件が入力可能とされ、前記入力部から入力された前記判定条件に基づいて、前記検査結果の判定を行う比較判定部が設けられ、前記検査結果表示制御部は、前記入力部から入力された判定条件、および前記比較判定部による判定結果と前記表示部に表示させる構成とする。
この発明によれば、検査者が入力した判定条件に基づいて比較判定部が検査結果の判定を行うので、判定条件を変更した場合の判定結果を表示させることができる。
【００１０】
請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の検査装置において、前記入力部は、前記複数の区間のうちから、一部を選択して検査領域に設定する入力が可能とされ、前記比較判定部は、前記入力部から設定された前記検査領域に含まれる各区間における複数のマハラノビス距離から求められる代表値を用いて、前記検査領域の検査結果の判定を行う構成とする。
この発明によれば、信号データの複数の区間のうちから検査領域を設定し、検査領域内に含まれる各区間で算出されるマハラノビス距離から求められる代表値を用いて比較判定することで、検査領域単位の外乱の影響を判定することができる。
【００１１】
請求項７に記載の発明では、請求項５または６に記載の検査装置において、前記比較判定部は、信号取得開始前に前記入力部から予め入力された前記判定条件に基づいて、前記被検装置の検査結果の判定を行う自動判定モードを備える構成とする。
この発明によれば、自動判定モードによって検査結果の自動判定を行うことができるので、検査効率を向上することができる。
【００１２】
請求項８に記載の発明では、請求項１〜７のいずれかに記載の検査装置において、前記入力部は、前記条件設定入力として、前記データ記憶部に記憶された前記信号データおよび前記マハラノビス距離の一部を選択する選択情報が入力可能とされ、前記検査結果表示制御部は、前記入力部から入力された前記選択情報に基づいて、前記信号データの再生および前記マハラノビス距離の表示が可能とされた構成とする。
この発明によれば、検査者が入力部に入力した選択情報に基づいて、信号データの再生およびそのときのマハラノビス距離の表示を行うことができる。このため、検査者が測定結果、検査結果を、必要に応じて部分的に確認することができるので、検査効率が向上する。
【００１３】
請求項９に記載の発明では、請求項１〜８のいずれかに記載の検査装置において、前記入力部は、前記情報入力として、前記データ記憶部に記憶された前記信号データおよび前記マハラノビス距離の一部を選択する選択情報が入力可能とされ、前記測定制御部は、前記データ記憶部から、前記選択情報に対応する前記測定情報に基づいて、再検査を行えるようにした構成とする。
この発明によれば、検査者が入力部に入力した選択情報に対応する測定情報に基づいて再検査を行うことができる。このため、検査者が再確認したい箇所のみを容易に再検査することができるので、検査効率が向上する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の検査装置によれば、データ記憶部に時系列に記憶され表示部に表示された情報から、外乱未印加状態のマハラノビス距離と外乱印加状態のマハラノビス距離とを比較することができるので、外乱が被検装置に及ぼす影響の時間的な変化を定量的に評価し、検査効率を向上することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
本発明の実施形態に係る検査装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る検査装置のシステム構成図である。図２は、本発明の実施形態に係る検査装置の制御系の機能構成を示す機能ブロック図である。図３は、本発明の実施形態に係る検査装置における信号データの区間分けの一例について説明する模式図である。
【００１６】
本実施形態の検査装置１００は、電気・電子機器等における電磁環境適合性（ＥＭＣ）検査のうち、各種の規格に規定された電磁的な耐性を検査する装置であって、被検装置に外乱を印加したときの被検装置への影響を評価するものである。
被検装置への影響としては、被検装置が表示または生成する出力信号に及ぼす影響、例えば、画像、映像や音声の乱れなどが挙げられる。
また、検査種類としては、例えば、放射性電磁界イミュニティ検査、ファーストトランジェント／バーストイミュニティ検査、伝導イミュニティ検査などを挙げることができる。以下では、一例として、デジタルカメラを供試装置１３（被検装置）とする放射性電磁界イミュニティ検査を行う場合の構成で説明する。
【００１７】
検査装置１００のシステム構成は、図１に示すように、電波暗室１内に配置された検査用の外乱を発生する外乱印加部２と、電波暗室１内で不図示の測定台上に載置された供試装置１３の画像出力端子からの出力信号をデジタル化された時系列の信号データとして取得する信号変換部５（信号取得部）と、制御ユニット３と、操作表示部６（表示部、入力部）と、例えば、ハードディスクなどからなるデータ記憶部４とからなる。
本実施形態では、供試装置１３の画像出力端子から出力される出力信号は、電波暗室１内に供試装置１３に近接して設けられた光変換部７によって、光信号に変換され、光ファイバ８を介して電波暗室１の外部の信号変換部５に伝送されるようになっている。このため、出力信号は、光ファイバ８の経路では、外乱印加部２から印加される電磁波の影響を受けないようになっている。
また、信号変換部５で電気信号に変換された信号データは、シールドケーブル９を介して制御ユニット３に伝送されるようになっている。
【００１８】
制御ユニット３は、図２に示すように、外乱印加部２および操作表示部６に電気的に接続された測定制御部１１と、信号変換部５、操作表示部６、およびデータ記憶部４に電気的に接続された演算部１０とからなる。また、測定制御部１１および演算部１０は互いに電気的に接続されている。
測定制御部１１は、操作表示部６から入力されるか、または予めデータ記憶部４に記憶され演算部１０から送出された条件設定入力に基づいて、外乱印加部２の制御信号を送出して、外乱印加部２による外乱印加タイミングを制御するとともに、供試装置１３に外乱を印加しない外乱未印加状態と、外乱を印加する外乱印加状態とにおいて、信号変換部５からそれぞれの信号データを取得するための制御信号を演算部１０に送出するものである。
【００１９】
演算部１０は、測定制御部１１からの制御信号に基づいて、信号変換部５から信号データを取得するとともに、この信号データを、取得時の時系列情報、取得時の外乱情報とともに、データ記憶部４に記憶できるようになっている。本実施形態では、時系列情報は、取得順序を示す自然数と、取得時の時刻情報とからなるが、取得時の時刻を必要としない場合やサンプリング周期が一定の場合には、取得順序を示す整数のみを記憶しておいてもよい。
また、演算部１０は、データ記憶部４に記憶された信号データを、それぞれ複数のデータを含む複数の区間に分割して、この区間ごとの信号データの特徴量の空間でのマハラノビス距離（以下、ＭＤと略称する）を算出し、データ記憶部４に記憶できるようになっている。
以下では、各信号データに対応する各時系列情報、各外乱情報、および各区間の情報を測定情報と称する。
また、本実施形態の演算部１０は、データ記憶部４に記憶された外乱情報に基づいて、外乱未印加状態のＭＤと、外乱印加状態のＭＤとを比較するための情報を操作表示部６に表示させる検査結果表示制御部を兼ねている。
【００２０】
操作表示部６は、データ記憶部４に記憶された信号データ、ＭＤ、および測定情報を表示する表示部と、測定制御部１１に対して測定の条件設定入力を行う入力部とを兼ねており、モニタ、キーボード、マウスなどからなる。
【００２１】
制御ユニット３の装置構成としては、それぞれ、専用のハードウェアを用いてもよいが、本実施形態では、ＣＰＵ、メモリおよび入出力インタフェースを備えたコンピュータによって構成され、上記の制御機能および演算機能を、それぞれに対応した制御プログラム、演算プログラムを実行することにより実現している。
【００２２】
ここで、本実施形態における信号データ、およびＭＤの演算について簡単に説明する。
本実施形態において、演算部１０が取得する信号データは、供試装置１３から出力されるデジタル映像信号を映像フレームごとの２次元画像データとしたものである。供試装置１３が、アナログ映像端子しか備えていない機器の場合には、信号変換部５でＤ／Ａ変換を行ってデジタル化する。
演算部１０は、信号変換部５から取得され、データ記憶部４に記憶された２次元画像データを複数画素含むように予め設定された区間を単位として読み込み、区間ごとに画像データの特徴量ベクトルを算出する。
例えば、図３に示すように、画素数がｍ×ｎの画像データを、ｐ＝Ｍ×Ｎ個（ただし、ｐ、Ｍ、Ｎは自然数で、ｐ≧２）の画素を含む矩形領域からなる区間Ｓｉ（ただし、ｉ＝１，…，ｑ、ｑ＝ｍ・ｎ／ｐ）に分割する。区間Ｓｉの画像データから求められる特徴量ｘが、区間Ｓｉごとにｋ個あるとすると、特徴量ベクトルＸｉは、次式で表されるｋ次元ベクトルである。
【００２３】
Ｘｉ＝（ｘ１，…，ｘｋ）Ｔ                                        ・・・（１）
ここで、上付きのＴは、転置行列を示す（以下同様）。
【００２４】
本実施形態では、品質工学においてＭＴシステムとして知られるＭＤを用いたデータ解析方法を応用している。ＭＴシステムにおけるＭＤの算出方法には、ＭＴ法による算出方法と、ＭＴＡ法による算出方法とがあり、検査装置１００では、検査対象となる画像の画質等に応じて、いずれかの算出方法が選択できるようになっている。
以下では、特徴量の一例として、各区間の輝度値の平均値ｕｉと輝度値の変動係数ｖｉとを採用した場合、すなわち、Ｘｉ＝（ｕｉ，ｖｉ）Ｔの例で説明する。変動係数ｖｉは、各区間の輝度値の標準偏差をσｉとするとき、ｖｉ＝σｉ／ｕｉである。
また、簡単のため、輝度値はモノクロ輝度として説明するが、被検信号がカラーの場合には、例えば、色分解されたＲ成分、Ｇ成分、Ｂ成分ごとの信号値を用いた特徴量からＭＤを求めるようにしてもよい。
区間ＳｉのＭＴ法に基づくＭＤであるＤｉ（Ｘｉ）とは、次式で表される量である。
【００２５】
Ｄｉ（Ｘｉ）＝√｛（Ｘｉ−Ｍｉ）ＴΣ−１（Ｘｉ−Ｍｉ）｝          ・・・（２）
Ｍｉ＝（μ１，…，μｋ）Ｔ                                        ・・・（３）
ここで、Ｍｉは、Ｘｉの平均ベクトルである。また、Σ−１は、Ｘｉの共分散行列Σの逆行列である。
【００２６】
本実施形態では、２次元画像データを複数の区間を含む検査領域を設定する。以下では、設定された検査領域を検査領域マスクと称する。
そして、検査の基準状態として、ＭＴ法における単位空間（以下、単に単位空間と称する）を、各検査領域マスクの外乱未印加時の信号データにとる。また、検査対象であるＭＴ法における信号空間（以下、単に信号空間と称する）は、各検査領域マスクの外乱印加時の信号データにとる。
そして、検査領域マスク内の各区間に応じて計算される複数のＭＤを用いて、検査領域マスクごとに検査判定を行う。
このため、ＭＤを求める演算は、検査領域マスクごとに同様の手順を繰り返して行う。
計算方法の詳細については、以下の動作とともに説明する。ただし、演算方法の説明では、検査領域マスクが画像全体に一致しているとしても一般性を失わないので、図３に示す画素配列が、１つの検査領域マスクを構成するものとして説明する。すなわち、検査領域マスク内には、ｑ＝ｍ・ｎ個の区間Ｓｉ（ｉ＝１，…，ｑ）が存在するとして説明する。実際の計算では、ｍ、ｎを各検査領域マスクの大きさに合わせて変更し、区間Ｓｉの添字ｉは検査領域マスク内で並べ替えた添字を用いることになる。
【００２７】
次に、検査装置１００の動作について説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る検査装置の動作を示すフローチャートである。図５は、本発明の実施形態に係る検査装置のマニュアル測定モードの動作を示すフローチャートである。図６は、図５のフローに続くフローを示すフローチャートである。図７は、図６のフローに続くフローを示すフローチャートである。図８は、図７のフローに続くフローを示すフローチャートである。図９は、検査条件入力画面の一例を示す模式図である。図１０は、単位空間のマハラノビス距離の時間変化を示すグラフの表示例である。横軸は画像番号で表した時間、縦軸はマハラノビス距離である。図１１は、単位空間のマハラノビス距離のヒストグラムの一例を示す棒グラフである。横軸はデータ区間、縦軸は度数を示す。図１２（ａ）は、時系列に取り込まれる画像の様子を示す模式図である。図１２（ｂ）は、データ記憶部に記憶されるデータのイメージを示す模式図である。図１３は、信号空間および単位空間のマハラノビス距離の時間変化を示すグラフの表示例である。横軸は画像番号で表した時間、縦軸はマハラノビス距離である。図１４は、信号空間および単位空間のマハラノビス距離のヒストグラムの一例を示す棒グラフである。横軸はデータ区間、縦軸は度数を示す。図１５（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、正常状態および異常状態での判定結果表示画面を示す模式図である。図１６は、判定ＮＧ部を選択するステップの測定結果表示ウィンドウを示す模式図である。図１７は、再測定後の測定結果を表示する測定結果表示ウィンドウを示す模式図である。図１８は、本発明の実施形態に係る検査装置のプログラム測定モードの動作を示すフローチャートである。図１９は、図１８のフローに続くフローを示すフローチャートである。図２０は、プログラム測定モードで設定するタイミングチャートの一例である。図２１は、外乱未印加測定モードのフローチャートである。図２２は、外乱印加測定モードのフローチャートである。図２３は、本発明の実施形態に係る検査装置の測定結果確認モードの動作を示すフローチャートである。図２４は、図２３のフローに続くフローを示すフローチャートである。
【００２８】
まず、供試装置１３を電波暗室１に搬入し、接続ケーブル１３ａを光変換部７に接続して、図４に示すフローに基づいて測定を開始する。
ステップＳ１では、検査装置１００の動作モードを操作表示部６から入力する。特に図示しないが、操作表示部６の表示画面６ａには、「マニュアル測定モード」、「プログラム測定モード」、「測定結果確認モード」、「終了」のいずれかを選択する画面が表示され、検査者が操作表示部６の操作部を介していずれかを選択入力できるようになっている。例えば、表示画面６ａ上に、ボタン、チェックボックス、ラジオボタンなどのＧＵＩが表示され、検査者がマウスやキーボードなどを用いて、それらのいずれかを選択する。
【００２９】
測定制御部１１は、ＧＵＩによる選択信号の発生を監視し、ステップＳ２では、選択信号が「マニュアル測定モード」に対応する場合にはステップＳ５に移行し、対応しない場合にはステップＳ３に移行する。
ステップＳ３では、選択信号が「プログラム測定モード」に対応する場合にはステップＳ６に移行し、対応しない場合にはステップＳ４に移行する。
ステップＳ４では、選択信号が「測定結果確認モード」に対応する場合にはステップＳ７に移行し、対応しない場合にはステップＳ８に移行する。
ステップＳ８では、選択信号が「終了」に対応する場合には検査装置１００の動作を終了させ、対応しない場合にはステップＳ１に移行し、ステップＳ１からの各ステップを繰り返す。
【００３０】
まず、ステップＳ５の「マニュアル測定モード」の動作について、図５〜８に示すフローチャートに基づいて説明する。
「マニュアル測定モード」は、検査者が、検査動作、検査判定条件、検査結果表示、再測定の有無などを、選択して検査を行えるようにした動作モードである。
ステップＳ１０では、測定制御部１１は、再測定を要求する再測定フラグの状態を調べ、再測定フラグが立っていない場合にはステップＳ１１に移行し、再測定フラグが立っている場合にはステップＳ１３に移行する。
【００３１】
ステップＳ１１では、操作表示部６のＧＵＩを、検査条件入力画面（不図示）に切り替え、検査者が検査条件を入力できるようにする。
検査条件としては、例えば、外乱印加条件、特徴量の種類、距離の種類、基準状態の設定条件、区間の大きさ、検査領域マスクの設定、自動判定を行う場合の判定条件などが挙げられる。
検査条件入力画面は、各検査条件を選択するために、例えば、チェックボックス、選択ボタン、数値入力ウィンドウ、プルダウンメニュー、あるいは別個の設定画面を表示する設定ボタンなどからなる適宜のＧＵＩを備える。これにより、検査条件入力画面上で、各検査条件を選択したり、検査条件の数値入力を行ったりすることができるようになっている。
ただし、これらの検査条件は、初期には、予めデータ記憶部４に記憶されたデフォルト値が設定されており、ステップＳ１１では、検査者は、検査条件入力画面に表示されたデフォルト値から変更したい箇所のみを必要に応じて変更すればよい。
【００３２】
また、検査条件入力画面には、マニュアル測定モードを終了する「モード終了ボタン」と、検査条件入力を終了し、測定を開始する「測定開始ボタン」が設けられている。
測定制御部１１は、検査条件入力画面からの入力を監視しており、入力された検査条件は、測定制御部１１および演算部１０にそれぞれ設定される。
ステップＳ１２では、測定制御部１１は、「モード終了ボタン」の押下の有無を検知し、押下を検知した場合にはマニュアル測定モードを終了して図４のステップＳ８に移行する。これによりマニュアル測定モードの実行を中止することができる。また、押下を検知しない場合にはステップＳ１３に移行する。
ステップＳ１３では、測定制御部１１は、「測定開始ボタン」の押下の有無を検知し、押下を検知した場合には検査条件入力画面を閉じてステップＳ１４に移行する。また、押下を検知しない場合にはステップＳ１０に移行し、ステップＳ１０〜Ｓ１３を繰り返す。
【００３３】
ここで、ステップＳ１１で入力可能な検査条件について説明する。
外乱印加条件は、本実施形態では、供試装置１３に印加する電磁界の強度、周波数、およびそれらの掃引条件や繰り返し条件などからなる。これらは、検査規格によって条件が決まっているため、検査者は、検査規格に応じて予め用意された設定候補の中から選択することができる。
外乱印加条件は、外乱の印加時間の条件も含むため、信号空間を形成する画像取得枚数ｎＴも決定される。
【００３４】
特徴量の種類は、本実施形態では、輝度値の平均および変動係数をデフォルトとしているが、画像種類によってはＲＧＢ信号に基づく特徴量でないと異常が検出しにくい場合があるため、例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂごとの信号の平均および変動量などの特徴量が選択可能となっている。
【００３５】
距離の種類は、本実施形態の場合、ＭＴ法によるＭＤおよび後述するＭＴＡ法によるＭＤのいずれかが選択可能になっている。
【００３６】
基準状態の設定条件は、単位空間を形成する画像取得枚数ｎＮ（ただし、ｎＮは２以上）を設定する。画像取得枚数ｎＮは、外乱未印加状態、すなわち、正常状態の画像を表すために必要な枚数（時間長）を入力する。例えば、正常状態の画像変動が少ない場合には、ｎＮは小さくてよいが、ある程度画像が変動しても正常状態と見なせる場合には、許容範囲の変動が含まれるように十分大きい枚数、すなわち長い時間に設定する。
【００３７】
区間の大きさは、区間Ｓｉを構成する矩形領域の大きさである。本実施形態では、区間Ｓｉが、Ｍ画素×Ｎ画素の矩形領域からなるため、Ｍ、Ｎの値を設定する。
【００３８】
検査領域マスクは、検査判定を行うために取得された画像データの特定部分を取り出して検査領域に指定するために設定するものである。本実施形態では、矩形領域を構成する複数の区間Ｓｉを選択できるようになっている。検査領域マスクの大きさ、位置、数は、画像全体の範囲で自由に設定することができる。
【００３９】
図９に、検査領域マスク設定画面の一例を示した。
検査領域マスク設定画面は、表示画面６ａ上の信号表示ウィンドウ３０と設定ウィンドウ３１とからなる。
信号表示ウィンドウ３０上には、演算部１０によって取得された画像３５を表示される。
設定ウィンドウ３１上には、上部側に、検査領域マスクを追加するため矩形状の設定カーソルを表示させる「追加（Ａｄｄ）ボタン」、設定カーソルの大きさ、位置などマウスなどで調整後に設定カーソルの範囲の区間Ｓｉを検査領域マスクとして設定する「選択（Ｓｅｌｅｃｔ）ボタン」、検査領域マスクの設定を個別に削除する「削除（Ｄｅｌｅｔｅ）ボタン」、検査領域マスクの設定を全部削除する「全削除（ＡＬＬ  ＣＬＥＡＲ）ボタン」、検査領域マスクの大きさを表示させる「サイズ表示（ＳｉｚｅＣｈｅｃｋ）ボタン」などのＧＵＩが設けられている。
また、設定ウィンドウ３１の下部側には、検査領域マスクの設定番号と検査領域マスクの上、左、下、右の各位置とをそれぞれ表示する設定表示部３３と、検査領域マスクの設定を終了して検査領域マスク設定画面を閉じるための決定ボタン３４が設けられている。
図９の信号表示ウィンドウ３０には、一例として、マスク番号０、１の２つの検査領域マスクが、それぞれマスク設定カーソル３６、３７によって設定された様子が図示されている。
【００４０】
自動判定を行う場合の判定条件は、後述する判定閾値ＭＤｔｈや、単位空間のＭＤの測定結果に基づいて判定閾値ＭＤｔｈを算出する場合の算出式や算出アルゴリズムの指定などを挙げることができる。
【００４１】
このように、検査装置１００では、例えば、外乱による影響を判定するのに好適となる被写体が現れる領域や、目視検査では見過ごしやすい領域など、検査者の必要に応じて検査領域を設定することができるので、効率的な検査を行うことができる。また、検査領域を限定することで、ＭＤの算出に要する演算時間を短縮することが可能となり、迅速な検査を行うことができる。
ただし、これらの検査領域マスクは、検査時間に余裕がある場合には、画面全体に設定してもよいし、互いに重複して設定してもよい。
【００４２】
次に、図５のステップＳ１４〜Ｓ１６、ステップＳ２０〜Ｓ２４では、外乱未印加状態での画像データを順次ｎＮ枚取り込み、単位空間の測定を行う。
ステップＳ１４では、測定制御部１１は、外乱印加部２に対して、外乱を発生させない設定を行い、電波暗室１内の供試装置１３を外乱未印加状態とする。
次に、ステップＳ１５では、演算部１０に取り込む外乱未印加状態の画像データの取得枚数をカウントするカウンタｉＮをｉＮ＝０に初期化する。
次に、ステップＳ１６では、カウンタｉＮをｉＮ＝ｉＮ＋１に更新する。
【００４３】
次に、ステップＳ２０では、測定制御部１１は、供試装置１３の出力信号に基づく２次元画像データである画像ＰｉＮを信号変換部５から演算部１０に取り込ませる。特に図示しないが、取り込んだ画像ＰｉＮは、表示画面６ａの一部に表示され、検査者が見られるようになっている。
演算部１０は、取得した画像ＰｉＮを、取得時のカウンタ値ｉＮを画像番号ｉＮとして、取得時の時刻ｔｉＮの情報とともに、時系列情報としてデータ記憶部４に記憶させる。
【００４４】
次に、ステップＳ２１では、測定制御部１１は、カウンタｉＮが、画像取得枚数ｎＮに達したかどうか判定し、ｉＮ＜ｎＮの場合には、ステップＳ１６に移行してステップＳ１６、Ｓ２０〜Ｓ２１を繰り返す。
また、ｉＮ≧ｎＮの場合には、ステップＳ２２に移行する。
【００４５】
次に、ステップＳ２２では、演算部１０は、データ記憶部４に記憶された画像ＰｉＮを用い、各検査領域マスクにおいて、区間Ｓｉごと、対応する画像ごとのＭＤであるＤＮｉ，ｊを求める。ここで、添字ｉ、ｊは、ｉ＝１，…，ｑ、ｊ＝１，…，ｎＮであり、それぞれ区間、画像番号を表す。また、添字Ｎは単位空間のＭＤであることを表す。
【００４６】
ここで、本実施形態における単位空間のマハラノビス距離ＤＮｉ，ｊの算出方法について説明する。
まず、ｎＮ枚の画像から、区間Ｓｉごとに、ｕｉ，ｊ、ｖｉ．ｊの、ｊに関する平均値ｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、と標準偏差ｕσｉ、ｖσｉとを求める。ここで、ｊに関する平均は信号データの時間平均に相当する。
次に、これらｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、ｕσｉ、ｖσｉを用いて、特徴量ベクトルを正規化したｕ＊ｉ，ｊ、ｖ＊ｉ，ｊを、次式のように算出する。
【００４７】
【数１】
2010025849.tif 000003
【００４８】
次に、正規化したｕ＊ｉ，ｊ、ｖ＊ｉ，ｊより、次式のように、相関行列Ｒｉを求める。
【００４９】
【数２】
2010025849.tif 000004
【００５０】
次に、式（６）で表される相関行列Ｒｉの逆行列Ｒｉ−１を次式のように算出する。
【００５１】
【数３】
2010025849.tif 000005
【００５２】
この逆行列Ｒｉ−１から、次式により単位空間のＭＤであるＤｉ，ｊが算出される。このＤｉ，ｊを、後述する信号空間のＭＤと区別するためＤＮｉ，ｊと表す。
【００５３】
【数４】
2010025849.tif 000006
【００５４】
式（１０）は、式（２）を正規化された特徴量ベクトルを用いて書き換えた式になっており、共分散行列の逆行列Σ−１は、式（９）のＲｉ−１に対応している。また、式（１０）の係数１／２は、ｋ＝２に対応している。
【００５５】
次に、ステップＳ２３では、ステップＳ２２において演算部１０によって算出された検査領域マスク内の各区間Ｓｉに対応するｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、ｕσｉ、ｖσｉと、検査領域マスクごとの相関行列の逆行列Ｒｉ−１と、検査領域マスク内の各区間Ｓｉに対応するＤＮｉ，ｊを、画像番号ｉＮ（＝ｊ）と関連付けてデータ記憶部４に記憶する。
【００５６】
次に、ステップＳ２４（図６参照）では、各画像番号ｉＮにおいて、検査領域マスク内のＭＤを代表する代表値ＤｉＮを算出し、データ記憶部４に記憶する。
ＤｉＮは、本実施形態では、後述する各検査領域マスクにおける信号空間のＭＤの代表値と合わせて、検査領域マスク内の最大値を採用している。
ただし、この単位空間のＭＤを代表して、信号空間のＭＤとの相違を把握できれば、他の代表値、例えば、検査領域マスク内の平均値、中央値などの統計的代表値や、平均値＋３σ（σは標準偏差）などの数値を代表値としてもよい。
【００５７】
なお、ステップＳ２３、Ｓ２４は順序を変えてもよいし、ＤＮｉ，ｊ、ＤｉＮをそれぞれ算出してから、データ記憶部４に記憶するようにしてもよい。
【００５８】
次に、ステップＳ２５では、単位空間の測定結果を操作表示部６の表示画面６ａ上に表示する。本実施形態では、ＤｉＮの時系列変化とＤｉＮのヒストグラムとが検査領域マスクごとに表示できるようになっている。
図１０には、マスク番号０におけるＤｉＮの時系列変化のグラフの表示例を示す。横軸は時系列情報である画像番号ｉＮであり、縦軸のＭＤには、ｉＮに応じた代表値ＤｉＮがプロットされている。この表示例のＤｉＮの分布は、平均値０．０５４、標準偏差０．０１５である。図１０には示していないが、平均値や、最大値、平均値＋３σなどの値を示す直線をグラフ上に追加してもよい。このようにすると、グラフ上でＤｉＮのバラツキが把握しやすくなる。
図１１には、ＤｉＮのヒストグラムの一例（マスク番号０のもの）を示す。
本例では、データ区間０．７５から２．０まで分布する釣り鐘型の分布を示し、データ区間１．０で最大度数１３０が得られた。
以上で、単位空間の測定が終了する。
【００５９】
続いて、図６のステップＳ２６〜Ｓ３４では、外乱印加状態での画像データを順次ｎＴ枚取り込み、ステップＳ１１で入力された検査領域マスクごとに信号空間の測定を行う。
ステップＳ２６では、測定制御部１１は、外乱印加部２に対して、外乱印加条件に基づいて、外乱を発生させる設定を行い、電波暗室１内の供試装置１３を外乱印加状態とする。
次に、ステップＳ２７では、演算部１０に取り込む外乱印加状態の画像データの取得枚数をカウントするカウンタｉＴをｉＴ＝０に初期化する。
次に、ステップＳ２８では、カウンタｉＴをｉＴ＝ｉＴ＋１に更新する。
【００６０】
次に、ステップＳ２９では、測定制御部１１は、供試装置１３の出力信号に基づく２次元画像データである画像ＰｉＴを信号変換部５から演算部１０に取り込ませる。特に図示しないが、取り込んだ画像ＰｉＴは、表示画面６ａの一部に表示し、検査者が見られるようにする。
そして、演算部１０は、取得した画像ＰｉＴを、時系列情報である画像番号ｉＴ、取得時の時刻ｔｉＴの情報、取得時に印加された外乱情報とともに、データ記憶部４に記憶させる（図１２（ａ）参照）。
【００６１】
次に、ステップＳ３０では、演算部１０は、データ記憶部４に記憶された画像ＰｉＴを用い、各検査領域マスクにおいて、区間Ｓｉごと、対応する画像ごとのＭＤであるＤＴｉ，ｊを算出する。ここで、添字ｉ、ｊは、ｉ＝１，…，ｑ、ｊ＝１，…，ｎＴであり、それぞれ区間、画像番号を表す。また、添字Ｔは信号空間のＭＤであることを表す。
【００６２】
ＤＴｉ，ｊを算出するには、まず、画像ＰｉＴのｎＮ枚の画像から、区間Ｓｉごとに、ｕｉ，ｊ、ｖｉ．ｊを求め、式（４）、（５）により正規化されたｕ＊ｉ，ｊ、ｖ＊ｉ，ｊを算出する。
ただし、式（４）、（５）におけるｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、ｕσｉ、ｖσｉは、ステップＳ２２で算出され、データ記憶部４に記憶された単位空間のｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、ｕσｉ、ｖσｉを用いる。
そして、ｕ＊ｉ，ｊ、ｖ＊ｉ，ｊを式（１０）に代入することで、信号空間のＭＤであるＤｉ，ｊが算出される。このＤｉ，ｊを、ＤＴｉ，ｊと表す。ここで、逆行列Ｒｉ−１は、ステップＳ２２で算出され、データ記憶部４に記憶された単位空間のＲｉ−１である。
【００６３】
次に、ステップＳ３１では、ステップＳ３０で演算部１０によって算出された検査領域マスク内の各区間Ｓｉに対応するＤＴｉ，ｊを、画像番号ｉＴ（＝ｊ）と関連付けてデータ記憶部４に記憶する。
次に、ステップＳ３２では、各画像番号ｉＴにおいて、検査領域マスク内のＭＤを代表する代表値ＤｉＴを算出し、データ記憶部４に記憶する。
ＤｉＴは、本実施形態では検査領域マスク内の最大値を採用している。ＤｉＴは、演算部１０によって、検査領域マスク内のＤＴｉ，ｊの大きさを相互比較して算出する。
【００６４】
なお、代表値ＤｉＴは、検査領域マスクにおける外乱の影響を判定できる評価値であれば、最大値には限定されない。最大値は、区間単位における異常性の強さによって判定したい場合に好適な代表値である。
例えば、検査領域マスクよりは小さく区間よりは大きい領域での画像の異常性を判定したい場合には、隣接する複数区間のＤＴｉ，ｊの平均値を計算し、これら平均値の検査領域マスク内の最大値を代表値ＤｉＴとしてもよい。
【００６５】
また、ステップＳ３１、Ｓ３２は順序を変えてもよいし、ＤＴｉ，ｊ、ＤｉＴをそれぞれ算出してから、データ記憶部４に記憶するようにしてもよい。
【００６６】
次に、ステップＳ３３では、測定結果であるＤｉＴを検査領域マスクごとに操作表示部６の表示画面６ａに表示する。
図１３に、マスク番号０におけるＤｉＴの時系列変化のグラフの表示例を示す。横軸は時系列情報である画像番号ｉＴであり、縦軸のＭＤには、ｉＴに応じた代表値ＤｉＴがプロットされている。図１３は、信号空間の全データが表示されているが、画像番号ｉＴの測定では、画像番号ｉＴより以前のデータのみが表示される。これにより、検査者はＤｉＴの時間変化を略リアルタイムで把握することができる。
また、本実施形態では、ＤｉＴを図１０のグラフに重ね合わせてプロットしている。本例では、１≦ｉＴ≦３２３の範囲でＤｉＮが色分けされた状態で重畳してプロットされている。これにより、検査者は、測定されたＤｉＴを単位空間のＤｉＮと容易に比較できるようになっており、外乱の影響がどの程度現れているか、略リアルタイムに把握することができる。
【００６７】
例えば、図１０に示す単位空間のＤｉＮの片側３σをとると、１．７４４（＝１．０００＋０．２４８×３）であるから、ＤｉＴ＞１．７４４では、外乱未印加状態とは類似性が少ない画像となり外乱の影響が出ている、といった判断が可能となる。
したがって、図１３のグラフから、画像番号約７００以下では、略正常状態と同様の画像と判断することができる。一方、約７００以上で、徐々に異常画像が増加し、画像番号約８５０以上では外乱の影響が顕著になり、画像番号約１２６０〜約１３５０の領域４１、画像番号約１６００〜約１７００の領域４２、画像番号約１８００〜約２０００の領域４３では、顕著な異常画像が発生していると判断することができる。それぞれの領域の画像番号ｉＴから検索される外乱情報を参照すれば、どのような外乱によって、これらの異常画像が発生しているかを知ることができる。
【００６８】
なお、再測定フラグが立っている場合には、後述するように、再測定前の結果に再測定結果を重ね合わせて表示する。
【００６９】
次に、ステップＳ３４では、測定制御部１１は、カウンタｉＴが、画像取得枚数ｎＴに達したかどうか判定し、ｉＴ＜ｎＴの場合には、ステップＳ２８に移行してステップＳ２８〜Ｓ３４を繰り返す。
また、ｉＴ≧ｎＴの場合には、信号空間の測定を終了し、ステップＳ３５（図７参照）に移行する。
【００７０】
このように、信号空間の測定が終了すると、信号空間のＤｉＴのヒストグラムを求めることができる。図１４に、このような信号空間のＤｉＴのヒストグラムの一例（マスク番号０のもの）を無地の棒グラフ２２ｂとして示した。本実施形態では、図１０の単位空間のヒストグラムに対応するハッチングされた棒グラフ２２ａも同時に示している。
本例では、最大度数は、データ区間１．２５で得られたが、全体の分布は、０．５〜１０．０までの間に、波形の変化を伴って幅広く分布している。このため、ＤｉＴの分布に閾値を設定して、正常状態と異常状態とを判別したり、多段階の閾値を設定して、異常状態のパターンを分類したりすることが可能となる。
なお、このようなヒストグラムは、ステップＳ３３において、図１３の時系列のグラフとともに並列して表示し、測定の進行と合わせてヒストグラムの時間変化を把握できるようにしてもよい。
【００７１】
次に、図７に示すステップＳ３５からは、検査結果を判定するモードに移行する。本実施形態では、判定モードとして、「自動判定モード」、「時系列データ判定モード」、「ヒストグラム判定モード」を備える。以下では、検査領域マスクを固定した場合の例で説明するが、検査者は、後述する測定結果表示ウィンドウ２２においてマスク選択ＧＵＩを用いることによって、いつでも検査領域マスクを変更することができ、各マスク番号のデータについて同様の判定を行うことができる。
【００７２】
ステップＳ３５では、演算部１０は、表示画面６ａに判定モード選択画面を表示させる。判定モード選択画面は、特に図示しないが、「自動判定モード」、「時系列データ判定モード」、「ヒストグラム判定モード」、マニュアル測定モードを終了する「モード終了」をそれぞれ選択する適宜のＧＵＩ、例えばボタンが表示される。測定制御部１１は、各ボタンの押下の有無を監視し、以下のようにプログラムの分岐を行う。
【００７３】
ステップＳ３６では、「自動判定モード」の選択ボタンの押下の有無を検知し、押下を検知した場合にはステップＳ４０に移行する。押下を検知しない場合にはステップＳ３７に移行する。
ステップＳ３７では、「ヒストグラム判定モード」の選択ボタンの押下の有無を検知し、押下を検知した場合にはステップＳ５０に移行する。押下を検知しない場合にはステップＳ３８に移行する。
ステップＳ３８では、「時系列データ判定モード」の選択ボタンの押下の有無を検知し、押下を検知した場合にはテップＳ６０に移行する。押下を検知しない場合には、ステップＳ７２に移行する。
ステップＳ７２では、「モード終了」の選択ボタンの押下の有無を検知し、押下を検知した場合にはマニュアル測定モードを終了し、図４のステップＳ８に移行する。これにより、例えば、それまでのリアルタイムの測定結果の表示などから改めて定量的な判定するまでもないと検査者が判断した場合などに判定モード、およびマニュアル測定モードの続行を中止することができる。
また、押下を検知しない場合はステップＳ３５に移行し、上記の各ステップを繰り返す。
【００７４】
まず、時系列データ判定モードが選択され、ステップＳ６０に分岐された場合のフローを説明する。
ステップＳ６０では、表示画面６ａに判定閾値入力画面が表示され、検査者がマハラノビス距離の判定閾値ＭＤｔｈを入力することができる。
次に、ステップＳ６１では、操作表示部６から入力された判定閾値ＭＤｔｈと、ステップＳ３２において、データ記憶部４に記憶された検査領域マスクごとの代表値ＤｉＴとを比較することで判定を実行する。すなわち、ＤｉＴ≧ＭＤｔｈとなる画像番号ｉＴをデータ記憶部４に記憶する。
【００７５】
次に、ステップＳ６２では、ステップＳ６１の判定結果を表示画面６ａに表示する。この判定結果表示画面の一例を図１５（ａ）、（ｂ）に示す。なお、これらの図面は模式図であり、実際に表示される詳細部分は簡略化あるいは誇張されている。
判定結果表示画面は、図１５（ａ）に示すように、測定結果表示ウィンドウ２２、条件表示ウィンドウ２１、および信号表示ウィンドウ２０からなる。
【００７６】
測定結果表示ウィンドウ２２は、測定結果のグラフを示す表示ウィンドウであり、図１５（ａ）では、横軸が全測定時間にわたる時間（画像番号ｉＴで示す）、縦軸がＭＤＴからなる全体表示グラフ２５と、全体表示グラフ２５の一部を横軸方向に拡大表示するズーム表示グラフ２４とからなる。
ここで、全体表示グラフ２５、ズーム表示グラフ２４を簡略化して図示しており、例えば、ズーム表示グラフ２４は、図１３に示すようなグラフとして表示される。すなわち、表示データ２４ａは実際にはデータ点の集合であるが、簡略化して曲線で描いている。
【００７７】
全体表示グラフ２５に表示するグラフの検査領域マスクは、不図示のマスク選択ＧＵＩによって選択可能になっている。このようなマスク選択ＧＵＩとしては、例えば、測定結果表示ウィンドウ２２上でマウスを右クリックすると表示可能なマスク番号のリストからなるプルダウンメニューが表示され、全体表示グラフ２５に表示するマスク番号を選択できる、といった例を挙げることができる。
【００７８】
ズーム表示グラフ２４に表示するデータ範囲は、全体表示グラフ２５上に表示されるズーム域選択カーソル２６をマウスでドラッグすることによって選択することができる。
ズーム表示グラフ２４におけるデータ検索カーソル２７は、ズーム表示グラフ２４上で画像番号ｉＴを選択するためのＧＵＩであり、表示データ２４ａを先端で示す矢印と、この矢印の先端を通る水平線および垂直線からなる。そして、検査者はマウスを用いて矢印を図示横軸方向にドラッグすることで、ズーム表示グラフ２４上の任意の画像番号ｉＴを選択できるようになっている。そして、選択された表示データ２４ａのグラフ上の座標である（ｉＴ，ＤｉＴ）の値が、データ表示部２９に数値データとして表示されるようになっている。
図１５（ａ）の例では、データ検索カーソル２７により画像番号ｉＴ＝２５２１が選択され、データ表示部２９には、この画像番号と、ＤｉＴの値が「ＭＤ＝１．１２」として表示されている。
データ検索カーソル２７の水平線を参照すると、選択された表示データ２４ａのＤｉＴと他の表示データ２４ａのＤｉＴとの大小関係が容易に視認できる。
【００７９】
ズーム表示グラフ２４上に表示された判定ライン２８は、ステップＳ６０で入力したＭＤｔｈの値を横軸方向にわたって示す直線画像である。実際の画面では、判定ライン２８の上下では、表示データ２４ａが色分けして表示される。これにより、ＤｉＴ≧ＭＤｔｈとなって不合格と判定される（以下、判定ＮＧと称する）表示データ２４ａの範囲が、表示色の違いからただちに視認できるようになっている。
また、データ検索カーソル２７をドラッグすることで、例えば、任意の判定ＮＧのデータの画像番号ｉＴとＤｉＴの値をデータ表示部２９上で確認することができる。
【００８０】
条件表示ウィンドウ２１は、データ検索カーソル２７で選択された表示データ２４ａに対応する外乱情報などの検査条件を、データ記憶部４から呼び出して表示するものである。
信号表示ウィンドウ２０は、データ検索カーソル２７で選択された表示データ２４ａに対応する画像データを、データ記憶部４から呼び出して表示するものである。図１５（ａ）では、正常画像２３が表示されている。なお、信号表示ウィンドウ２０に表示する画像は、不図示のＧＵＩによって、画像全体（図１５（ａ）の表示例）と、測定結果表示ウィンドウ２２に表示された測定結果に対応する検査領域マスク内の画像（不図示）とを選択的に切り替えることができるようになっている。
【００８１】
図１５（ｂ）に示すのは、データ検索カーソル２７によって、判定ＮＧとなる画素番号ｉＴ＝３１６５を選択し、信号表示ウィンドウ２０に、画素番号に対応する画像を表示させた場合の例である。正常画像２３に外乱の影響による画像乱れである異常画像２８が重畳されている。検査者は、信号表示ウィンドウ２０の画像を見て、「ＭＤ＝２．８１」の場合の画像の異常の程度を把握することができる。
以上で、時系列データ判定モードを終了し、ステップＳ６３に移行する。
【００８２】
次に、ヒストグラム判定モードが選択され、ステップＳ５０に分岐された場合のフローを説明する。
ステップＳ５０では、演算部１０は、データ記憶部４から、検査領域マスクごとのＤｉＮ、ＤｉＴの測定結果を呼び出してヒストグラムを作成し、表示画面６ａに表示する。本実施形態では、上記に説明した判定表示画面における測定結果表示ウィンドウ２２に、ズーム表示グラフ２４、全体表示グラフ２５に代えて、図１４に示すようなヒストグラムを表示させる。
【００８３】
次にステップＳ５１では、表示画面６ａに判定閾値入力画面が表示され、検査者は、測定結果表示ウィンドウ２２に表示されたヒストグラムを見ながら判定閾値ＭＤｔｈを入力することができる。
例えば、画像データによっては、単位空間のヒストグラムが正規分布以外の分布を示す場合もある。この場合には、分布の平均値、標準偏差から演算した閾値が適切な判定閾値とならないおそれがあるが、本モードによれば、棒グラフ２２ａの分布を見て、単位空間の分布を確認しながら判定閾値ＭＤｔｈを入力することができる。本判定モードでは、判定閾値ＭＤｔｈを複数入力することが可能となっている。以下では、一例として、２つの判定閾値ＭＤｔｈが入力されたものとして説明する。
例えば、ヒストグラムに複峰が見られる場合などは、このように複数の判定閾値を設定することで、複峰の範囲を分離することができるので、測定結果解析などに有効に用いることができる。
【００８４】
次に、ステップＳ５２では、操作表示部６から入力された判定閾値ＭＤｔｈと、ステップＳ３１において、データ記憶部４に記憶された検査領域マスクごとの代表値ＤｉＴとを比較することで判定を実行する。すなわち、ＤｉＴ≧ＭＤｔｈとなる画像番号ｉＴをデータ記憶部４に記憶する。
【００８５】
次に、ステップＳ５３では、ステップＳ５２の判定結果を表示画面６ａに表示する。
本判定モードの場合、測定結果表示ウィンドウ２２に、図１４に示すヒストグラムに加えて、全体表示グラフ２５、ズーム表示グラフ２４も合わせて表示する。
ヒストグラムには、図１４に示すように、ステップＳ４２で入力された判定閾値ＭＤｔｈに対応する閾値カーソル２２ｃ、２２ｄが表示され、閾値カーソル２２ｃ以下のデータ区間、閾値カーソル２２ｃ、２２ｄの間のデータ区間、および閾値カーソル２２ｄ以上のデータ区間の３つの区間が色分けして表示される。
また、全体表示グラフ２５、ズーム表示グラフ２４も、この色分けに対応した色分け表示が行われる。
以上で、ヒストグラム判定モードを終了し、ステップＳ６３に移行する。
【００８６】
次に、自動判定モードが選択され、ステップＳ４０に分岐された場合のフローを説明する。
ステップＳ４０では、演算部１０は、データ記憶部４から予め設定された判定条件を読み込み、必要に応じて演算を行って、判定閾値ＭＤｔｈを設定する。
判定条件としては、判定閾値ＭＤｔｈの値や、単位空間のＤｉＮの測定結果を用いて判定閾値ＭＤｔｈを算出する算出式や算出アルゴリズムが指定されている。
例えば、単位空間のＤｉＮの測定結果を用いて判定閾値ＭＤｔｈを算出する例としては、ＤｉＮの平均値および標準偏差から算出する、ＤｉＮの分布範囲の推定値、例えば、平均値＋３σを用いる、といった例などを挙げることができる。
【００８７】
次に、ステップＳ４１では、ステップＳ４０で設定された判定閾値ＭＤｔｈと、ステップＳ３２において、データ記憶部４に記憶された検査領域マスクごとの代表値ＤｉＴとを比較することで判定を実行する。すなわち、ＤｉＴ≧ＭＤｔｈとなる画像番号ｉＴをデータ記憶部４に記憶する。
【００８８】
次に、ステップＳ４２では、ステップＳ４１の判定結果を、ステップＳ６２、Ｓ５３などと同様にして、表示画面６ａに表示する。ただし、ステップＳ４２では、判定閾値ＭＤｔｈとの比較による判定ＮＧの結果があれば、予め入力された判定条件に基づいて、総合的な判定ＮＧ、あるいは判定ＯＫの検査結果を自動的に出力する。
以上で、自動判定モードを終了し、ステップＳ６３に移行する。
【００８９】
ステップＳ６３では、演算部１０は、選択された判定モードが終了したことを表示するメッセージを操作表示部６に表示させ、判定モードを変更するかどうかの入力を求める。
例えば、自動判定モードで判定ＮＧが出力された場合に、検査者がさらに時系列判定モードやヒストグラム判定モードをやり直して、判定結果を再確認し、必要に応じて判定結果を変更することができる。
判定モードを変更するとの入力がなされた場合にはステップＳ３５に移行し、上記に説明したステップＳ３６以下の各ステップを繰り返す。
判定モードを変更しないとの入力がなされた場合にはステップＳ６４（図８参照）に移行する。
【００９０】
ステップＳ６４では、演算部１０は、判定ＮＧの画像を動画再生するかどうかの入力を求める。
操作表示部６から、再生するとの入力がなされた場合には、ステップＳ６５に移行する。
再生しないとの入力がなされた場合には、ステップＳ６８に移行する。
【００９１】
ステップＳ６５では、検査者は操作表示部６を介して再生対象の入力を行う。入力手段は、適宜の手段を採用することができる。例えば、図１６に示すように、演算部１０によって、再生候補範囲として、判定ＮＧ部分を含む連続した時系列ブロックをハイライトさせ、検査者が再生させたい判定ＮＧ部をマウスによってクリックすると、クリックされた判定ＮＧ部が選択され、選択カーソルが表示される、といった手段を採用することができる。図１６の例では、選択カーソル４０ａ、４０ｂで示される２箇所のＮＧ判定部が選択されている様子を示す。
再生対象の選択入力が終了したら、ステップＳ６６に移行する。
【００９２】
次に、ステップＳ６６では、演算部１０によって、選択された再生対象に対応する画像をデータ記憶部４から読み込む。
次に、ステップＳ６７では、演算部１０に読み込まれた画像ＰｉＴを操作表示部６に送出し動画再生させる。この動画は、信号表示ウィンドウ２０上に再生してもよいし、別の表示画面を開いて再生させるようにしてもよい。
再生が終了すると、ステップＳ６８に移行する。
【００９３】
ステップＳ６８では、演算部１０は、再生された判定ＮＧ部の測定条件で再測定を行うかどうかの入力を求める。
操作表示部６から、再測定するとの入力がなされた場合には、ステップＳ７１に移行する。
再測定しないとの入力がなされた場合には、ステップＳ６９に移行する。
【００９４】
ステップＳ７１では、演算部１０は、選択された判定ＮＧ部の測定条件を、測定制御部１１および演算部１０にそれぞれ設定し、再測定フラグを立てる。そして、図５のステップＳ１０に移行し、上記に説明したステップＳ１０からの各ステップを繰り返す。ただし、この場合、ステップＳ３３では、再測定フラグを検出して、図１７に示すように、再測定前の信号空間のＭＤの測定結果（図示×印）と重ね合わせて再測定結果を表示する（図示○印）。
【００９５】
ステップＳ６９では、演算部１０は、検査判定入力画面を表示画面６ａに表示させ、検査結果の判定の入力を求める。
検査者は、以上の判定モードの情報や、動画再生の結果や再測定の情報などに基づき、各検査領域マスクの結果を踏まえて、供試装置１３に対する総合的な検査判定を入力する。例えば、検査者は、判定モードで判定ＮＧとされた箇所がある場合にも、動画再生の結果や再測定の結果から許容範囲と判断できれば、合格の検査判定を行うことができる。また、判定ＯＫであっても、検査者が動画再生などで観察した結果、不合格であれば、不合格の検査判定を行うことができる。
【００９６】
次に、ステップＳ７０では、ステップＳ６９で入力された結果を、データ記憶部４に記憶させる。
以上で、マニュアル測定モードを終了し、図４のステップＳ８に移行する。
【００９７】
次に、図４のステップＳ６の「プログラム測定モード」の動作について、図１８、１９に示すフローチャートに基づいて、上記「マニュアル測定モード」と異なる点を中心に説明する。
「プログラム測定モード」は、予め、上記のマニュアル測定モードのステップＳ１１で入力するような検査条件を、測定条件としてデータ記憶部４に記憶しておき、自動的に検査および判定を行えるようにした動作モードである。
ステップＳ８０では、測定制御部１１は、再測定を要求する再測定フラグの状態を調べ、再測定フラグが立っていない場合にはステップＳ８１に移行し、再測定フラグが立っている場合にはステップＳ８３に移行する。
【００９８】
ステップＳ８１では、演算部１０によって、データ記憶部４に記憶された測定条件を読み込んで、測定制御部１１および演算部１０に条件設定を行う。
次に、ステップＳ８２では、演算部１０は、設定された測定条件に基づいて、外乱印加タイミングおよび単位空間のＭＤの算出タイミングの制御データを生成し、測定制御部１１に設定する。この設定についてタイミングチャートの一例である図２０を例にとって説明する。図２０では、時刻をｔｊ（ｊ＝１，…，１２）で表し、時刻ｔｊの添字の大小で、時刻の大小関係を示している。すなわち、Ｉ＜Ｊであれば、ｔＩ＜ｔＪである。
【００９９】
本測定モードでは、測定条件において、予め単位空間のＭＤの算出タイミングを設定することができる。
図２０に示す例では、２種類の外乱印加状態Ｔ１、Ｔ２が順次設定されるものとし、それぞれの外乱条件、例えば、周波数、パワー、印加時間などは、測定条件から決まっており、印加時間はそれぞれΔＴ１、ΔＴ２である。そして、本例では、外乱印加状態Ｔ１の直前の外乱未印加状態、外乱印加状態Ｔ２の直前の外乱未印加状態、外乱印加状態Ｔ２の直後の外乱未印加状態において、それぞれ単位空間のＭＤの算出を行うようにしている。
【０１００】
折れ線１００で示すシステムトリガーは、プログラム測定モードにおける測定開始および終了のタイミングを設定する信号であり、時刻ｔ１で測定開始信号が出力され、時刻ｔ１２で測定終了信号が出力される。
また、折れ線１０１で示す外乱トリガーは、外乱印加状態の開始タイミングを制御するトリガー信号であり、時刻ｔ４で外乱印加状態Ｔ１を開始し、時刻ｔ８で外乱印加状態Ｔ２を開始する。このタイミングは、それぞれの外乱印加状態の前後で、単位空間におけるＭＤの算出が可能となる時間から決定される。
これにより、折れ線１０２に示すように、外乱未印加状態が、時刻ｔ１から時刻ｔ４、時刻ｔ５（＝ｔ４＋ΔＴ１）から時刻ｔ８、時刻ｔ９（＝ｔ８＋ΔＴ２）から時刻ｔ１２の３つの時間帯で形成される。
【０１０１】
また、折れ線１０３で示す単位空間測定トリガーは、単位空間測定の開始タイミングを制御するトリガー信号であり、時刻ｔ２、ｔ６、ｔ１０で、それぞれ、単位空間測定Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３を開始する。このタイミングは、それぞれの外乱未印加状態で、単位空間におけるＭＤの算出が可能となる時間から決定される。
これにより、折れ線１０４に示すように、単位空間測定Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、それぞれ、時刻ｔ２から時刻ｔ３（＝ｔ２＋ΔＴＣ）、時刻ｔ６から時刻ｔ７（＝ｔ６＋ΔＴＣ）、時刻ｔ１０から時刻ｔ１１（＝ｔ１０＋ΔＴＣ）に設定される。ここで、ΔＴＣは、全画像を取得する測定時間およびＭＤを算出するための演算時間の和である。
【０１０２】
次に、ステップＳ８３では、時刻ｔ１において、測定制御部１１から測定開始信号のシステムトリガーが出力され、これを基準として、外乱トリガー、単位空間測定トリガーがセットされる。
次に、ステップＳ８４では、測定制御部１１は、外乱印加部２を外乱未印加状態とし、外乱トリガーが発生したら、所定の外乱を印加させる。
【０１０３】
次に、ステップＳ８５（図１９参照）では、測定制御部１１は、トリガー信号の監視を開始する。
トリガー信号を検知すると、ステップＳ８６で、単位空間測定トリガーかどうか判定し、単位空間測定トリガーである場合には、外乱未印加測定を行うためステップＳ９０に移行する。単位空間測定トリガーでない場合には、ステップＳ８７に移行する。
ステップＳ８７では、外乱トリガーかどうか判定し、外乱トリガーである場合には、外乱印加測定を行うためステップＳ９１に移行する。外乱トリガーでない場合には、ステップＳ８８に移行する。
ステップＳ８８では、測定終了信号かどうか判定し、測定終了信号である場合には、図４のステップＳ８に移行する。終了測定信号でない場合には、ステップＳ８５に移行し、ステップＳ８５からの各ステップを繰り返す。
【０１０４】
まず、ステップＳ９０に分岐され、外乱未印加測定モードを実行する場合のフローについて、図２１に基づいて説明する。
ステップＳ１００では、測定開始信号が開始されてからの外乱未印加測定モードの実行回数ＪＮをカウントする。
次に、ステップＳ１０１〜Ｓ１０５は、それぞれマニュアル測定モードのステップＳ１５〜Ｓ２２（図５参照）に対応して、同様の動作を行う。
【０１０５】
次に、ステップＳ１０６、Ｓ１０７は、それぞれマニュアル測定モードのステップＳ２３、Ｓ２４（図５、６参照）に対応して、同様の動作を行う。ただし、データ記憶部４に記憶される各データは、画像番号ｉＮ（＝ｊ）とともに実行回数ＪＮにも関連付けてデータ記憶部４に記憶する点のみが異なる。
ステップＳ１０８は、マニュアル測定モードのステップＳ２５（図６参照）と同様の動作を行う。
以上で、ＪＮ番目の単位空間の測定を行う外乱未印加測定モードを終了し、図１９のステップＳ８５に移行する。
【０１０６】
次に、図１９のステップＳ９１に分岐され、外乱印加測定モードを実行する場合のフローについて、図２２に基づいて説明する。
ステップＳ１１０では、測定開始信号が開始されてからの外乱印加測定モードの実行回数ＪＴをカウントする。
次に、ステップＳ１１１〜Ｓ１１４は、それぞれマニュアル測定モードのステップＳ２７〜Ｓ３０（図６参照）に対応して、同様の動作を行う。
【０１０７】
次に、ステップＳ１１５、Ｓ１１６は、それぞれマニュアル測定モードのステップＳ３１、Ｓ３２（図６参照）に対応して、同様の動作を行う。ただし、データ記憶部４に記憶される各データは、画像番号ｉＴ（＝ｊ）とともに実行回数ＪＴにも関連付けてデータ記憶部４に記憶する点のみが異なる。
ステップＳ１１７は、マニュアル測定モードのステップＳ３３（図６参照）と同様の動作を行う。
次に、ステップＳ１１８では、測定制御部１１は、カウンタｉＴが、画像取得枚数ｎＴに達したかどうか判定し、ｉＴ＜ｎＴの場合には、ステップＳ１１２に移行してステップＳ１１２〜Ｓ１１８を繰り返す。
また、ｉＴ≧ｎＴの場合には、信号空間の測定を終了し、ステップＳ１１９に移行する。
【０１０８】
ステップＳ１１９は、マニュアル測定モードの自動判定モードであるステップＳ４０と同様の動作を行う。ただし、このとき読み込まれる判定条件には、ＪＴ番目の信号空間の測定において、ＤＴｉ，ｊの算出に用いるｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、ｕσｉ、ｖσｉ、相関行列の逆行列Ｒｉ−１の番号ＪＮが含まれる点が異なる。
【０１０９】
次に、ステップＳ１２０では、演算部１０は、ステップＳ１１９の判定条件に含まれるＪＮに対応するｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉ、ｕσｉ、ｖσｉ、相関行列の逆行列Ｒｉ−１をデータ記憶部４から読み込む。
例えば、本実施形態では、それぞれの信号空間の測定では、直前に測定された単位空間の測定結果を用いるようにしているため、ＪＴ＝１，２に対して、それぞれ、ＪＮ＝１，２が指定されている。このように、信号空間のＭＤを外乱印加状態の直前の外乱未印加状態のＭＤに基づいて算出することにより、それ以前の外乱印加履歴や、供試装置１３の検査期間における経時変動の影響を排除して、印加された外乱による影響のみを検査することが可能となる。
なお、ＪＮ≦ＪＴであれば、すでにデータ記憶部４に単位空間のデータが記憶されているので、必要に応じてどのＪＮを採用してもよい。例えば、外乱未印加状態の画像が安定している場合には、すべてのＪＴに対して、ＪＮ＝１を採用してもよい。
【０１１０】
次に、ステップＳ１２１、Ｓ１２２では、マニュアル測定モードの自動判定モードであるステップＳ４１、Ｓ４２と同様の動作を行う。
以上で、ＪＴ番目の単位空間の測定を行う外乱印加測定モードを終了し、図１９のステップＳ９２に移行する。
【０１１１】
ステップＳ９２では、ステップＳ９１における判定結果が、判定ＮＧかどうかを判定し、判定ＮＧでない場合は、ステップＳ８５に移行して、検査を続行する。
判定ＮＧであった場合には、ステップＳ９３に移行する。
【０１１２】
ステップＳ９３では、測定制御部１１は、測定を一時停止する。
次に、ステップＳ９４では、演算部１０は、再生された判定ＮＧ部の測定条件で再測定を行うかどうかの入力を求める。
操作表示部６から、再測定するとの入力がなされた場合には、ステップＳ９５に移行する。
再測定しないとの入力がなされた場合には、ステップＳ９６に移行する。
【０１１３】
ステップＳ９５では、演算部１０は、選択された判定ＮＧ部の測定条件を、測定制御部１１および演算部１０にそれぞれ設定し、再測定フラグを立てるとともに、カウンタＪＴを１つ戻して、図１８のステップＳ８０に移行し、上記に説明したステップＳ８０からの各ステップを繰り返す。
【０１１４】
ステップＳ９６では、測定一時停止を解除して、ステップＳ８５に移行する。これにより、プログラム測定モードが続行される。
このような動作を繰り返して、ステップＳ８８で測定終了と判定されるとプログラム測定モードが終了する。
【０１１５】
次に、図４のステップＳ７の「測定結果確認モード」の動作について、図２３、２４に示すフローチャートに基づいて、上記「マニュアル測定モード」と異なる点を中心に説明する。
「測定結果確認モード」は、データ記憶部４に記憶された種々の測定結果を呼び出して、検査結果の再現や再判定を行えるようにした動作モードである。
まず、ステップＳ１３１では、演算部１０は、表示データの選択を求める表示データ選択画面を表示画面６ａに表示させる。
この表示データ選択画面では、例えば、図１２（ｂ）に示すようなデータ記憶部４内に記憶されている検査データのリストと、それぞれに対応する判定結果とが含まれる選択リストが表示され、適宜番号を入力することで表示データを選択できるようになっている。
検査者が、表示データを選択すると、ステップＳ１３２に移行する。
【０１１６】
ステップＳ１３２では、演算部１０は、選択された表示データに対応する画像、ＭＤ、判定結果等のデータを読み込む。
次に、ステップＳ１３３では、読み込まれた画像、ＭＤ、判定結果等のデータを、例えば、図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、表示画面６ａに表示させる。
【０１１７】
次に、ステップＳ１３４では、演算部１０は、表示された検査データを再判定するかどうかの入力を求める。
操作表示部６から、再判定するとの入力がなされた場合には、ステップＳ１３５に移行する。
再判定しないとの入力がなされた場合には、ステップＳ１６４（図２４参照）に移行する。
【０１１８】
ステップＳ１３５〜Ｓ１３８、Ｓ１４０〜Ｓ１４２、Ｓ１５０〜Ｓ１５３、Ｓ１６０〜Ｓ１６３、Ｓ１７２は、それぞれ、上記「マニュアル測定モード」のＳ３５〜Ｓ３８、Ｓ４０〜Ｓ４２、Ｓ５０〜Ｓ５３、Ｓ６０〜Ｓ６３、Ｓ７２に対応してそれぞれ同様の動作を行う。これにより、「マニュアル測定モード」と同様な「自動判定モード」、「時系列データ判定モード」、「ヒストグラム判定モード」を実行することができる。
【０１１９】
また、ステップＳ１６４〜Ｓ１６６は、上記「マニュアル測定モード」のＳ６４〜Ｓ６７に対応してそれぞれ同様の動作を行う。これにより、「マニュアル測定モード」と同様な判定ＮＧ部の動画再生を行うことができる。
ステップＳ１６６の実行後、または、ステップＳ１６４で、操作表示部６から、再生しないとの入力がなされた場合には、ステップＳ１６７に移行する。
【０１２０】
次に、ステップＳ１６７、Ｓ１６８では、それぞれ、上記「マニュアル測定モード」のＳ６９、Ｓ７０と同様の動作を行う。これにより、検査者の判定結果が、データ記憶部４に記憶される。そして、ステップＳ１６９に移行する。
ただし、ステップＳ１６７では、検査判定を変更しないとの選択肢が用意されている。検査判定を変更しないことが選択された場合には、ステップＳ１６９は、データ記憶部４に記憶された検査判定を更新することなくステップＳ１６９に移行する。
ステップＳ１６９では、演算部１０は、他の結果確認を行うかどうかの入力を求める。他の結果確認を行う場合には、ステップＳ１３１（図２３参照）に移行し、ステップＳ１３１以下の各ステップを繰り返す。
他の結果確認を行わない場合には、測定結果確認モードを終了し、図４のステップＳ８に移行する。
【０１２１】
次に、マニュアル測定モードの検査条件、あるいはプログラム測定モードの測定条件において、ＭＴ法によるＭＤに代えて、ＭＴＡ法によるＭＤが選択された場合について説明する。
まず、ＭＴＡ法による単位空間のマハラノビス距離ＤＮｉ，ｊの算出方法について、上記の説明と異なる点を中心に、マニュアル測定モードのステップに即して説明する。
ステップＳ２２（図５参照）では、ｎＮ枚の画像から、区間Ｓｉごとに、ｕｉ，ｊ、ｖｉ．ｊの、ｊに関する平均値ｕａｖｅｉ、ｖａｖｅｉを求める。以下では、それぞれを、ｍｉ、μｉと表記する。
次に、ｕｉ，ｊ、ｖｉ，ｊ、ｍｉ、μｉによって、次式のように、単位空間における区間Ｓｉごとの分散共分散行列Ｖｉを求める。
【０１２２】
【数５】
2010025849.tif 000007
【０１２３】
この分散共分散行列Ｖｉの余因子行列Ａｉは、次式で表される。
【０１２４】
【数６】
2010025849.tif 000008
【０１２５】
この余因子行列Ａｉから、次式により単位空間のＭＤであるＤＡｉ，ｊが算出される。このＤＡｉ，ｊを、後述する信号空間のＭＤと区別するためＤＮｉ，ｊと表す。
【０１２６】
【数７】
2010025849.tif 000009
【０１２７】
次に、ステップＳ２３では、ステップＳ２２において演算部１０によって算出された検査領域マスク内の各区間Ｓｉに対応するｍｉ＝ｕａｖｅｉ、μｉ＝ｖａｖｅｉ、式（１５）の余因子行列Ａｉと、検査領域マスク内の各区間Ｓｉに対応するＤＮｉ，ｊを、画像番号ｉＮ（＝ｊ）と関連付けてデータ記憶部４に記憶する。
【０１２８】
また、ステップＳ３０（図６参照）では、演算部１０は、データ記憶部４に記憶された画像ＰｉＴを用い、各検査領域マスクにおいて、区間Ｓｉごと、対応する画像ごとのＭＤであるＤＴｉ，ｊを算出する。ここで、添字ｉ、ｊは、ｉ＝１，…，ｑ、ｊ＝１，…，ｎＴであり、それぞれ区間、画像番号を表す。また、添字Ｔは信号空間のＭＤであることを表す。
【０１２９】
ＤＴｉ，ｊを算出するには、まず、画像ＰｉＴのｎＮ枚の画像から、区間Ｓｉごとに、ｕｉ，ｊ、ｖｉ．ｊを求め、式（１６）に代入することで、信号空間のＭＤであるＤＡｉ，ｊが算出される。このＤＡｉ，ｊを、ＤＴｉ，ｊと表す。
ここで、ｍｉ、μｉ、余因子行列Ａｉは、ステップＳ２２で算出され、データ記憶部４に記憶された単位空間のｍｉ、μｉ、Ａｉである。
【０１３０】
このようなＭＴＡ法によるＭＤを用いる場合、分散共分散行列の余因子行列を用いて計算するので、逆行列を計算しなくてもよいため、計算が簡素になる。
また、信号データによっては逆行列を求めることができないため、ＭＴ法によるＭＤは求めることができない場合があるが、ＭＴＡ法によるＭＤでは逆行列を計算しないため、このような不具合を回避することができる。
【０１３１】
以上に説明したように、本実施形態の検査装置１００によれば、データ記憶部４に時系列に記憶され操作表示部６に表示された情報から、外乱未印加状態のＭＤと外乱印加状態のＭＤとを比較することができるので、外乱が供試装置１３に及ぼす影響の時間的な変化を定量的に評価し、検査効率を向上することができる。
また、時系列データ判定モードによって、時間変化を見て判定することが容易となり、ヒストグラム判定モードを有するため、時間変動の分布を考慮して、判定を行うことが容易となり、検査効率が向上するとともに、検査精度を向上することができる。
また、自動判定モードを有することにより、予め設定した判定条件によって自動判定を行うことができるので、検査効率を向上するとともに、検査者の負荷を低減することができる。
また、このような自動判定モードを備えることにより、複数種類の外乱を切り替えて検査するプログラム測定モードが可能となり、検査者の負荷を低減することができる。
また、信号データ、検査結果が、データ記憶部４に記憶されているため、検査者は、必要に応じて、過去の検査結果を呼び出して、再判定を行ったり、動画再生を行って、検査結果の再検討、再判定を行うことができる。
【０１３２】
なお、上記の説明では、信号データとして、２次元画像データを用いる場合の例で説明したが、信号データは、例えば、音声データなどの１次元の信号データであってもよい。この場合、測定開始時間から、外乱印加パターンに合わせて予め設定された時間帯を区間として、信号データを区切り、各時間帯における単位空間と信号空間との信号パターンの類似性をＭＤによって比較することができる。この場合、検査領域マスクは、これら区間を複数選択して設定することができる。
【０１３３】
また、上記の説明では、検査装置がＥＭＣ検査を行う検査装置の例で説明したが、被検装置の出力信号を被検信号として、外乱印加時の被検装置への影響を検査する検査装置であれば、ＥＭＣ検査には限定されない。他の例としては、例えば、振動試験、温度負荷試験、運転負荷試験などを行う検査装置を挙げることができる。
また、外乱としては、電磁波の他に、電流、電圧、振動、熱、音響放射、光照射などの例を挙げることができる。
また、被検装置としては、マイクロフォン、ビデオカメラ等の電子機器や、光センサ、加速度センサ、圧電素子、アンテナ、パワーメーター等を有する計測用の電子機器などの例を挙げることができる。
【０１３４】
また、上記の説明では、簡単のため、判定ＮＧ部を選択して動画再生する場合の例で説明したが、同様にして単位空間の動画再生も選択できるようにすることが好ましい。
【０１３５】
また、上記の実施形態で説明した構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせて実施することができる。
例えば、上記実施形態のプログラム測定モードにおいて、ステップＳ９３とステップＳ９４の間（図１９参照）に、マニュアル測定モードのステップＳ６４〜Ｓ６７（図８参照）の各ステップを挿入してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置のシステム構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る検査装置の制御系の機能構成を示す機能ブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置における信号データの区間分けの一例について説明する模式図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置のマニュアル測定モードの動作を示すフローチャートである。
【図６】図５のフローに続くフローを示すフローチャートである。
【図７】図６のフローに続くフローを示すフローチャートである。
【図８】図７のフローに続くフローを示すフローチャートである。
【図９】検査条件入力画面の一例を示す模式図である。
【図１０】単位空間のマハラノビス距離の時間変化を示すグラフの表示例である。
【図１１】単位空間のマハラノビス距離のヒストグラムの一例を示す棒グラフである。
【図１２】時系列に取り込まれる画像の様子を示す模式図、およびデータ記憶部に記憶されるデータのイメージを示す模式図である。
【図１３】信号空間および単位空間のマハラノビス距離の時間変化を示すグラフの表示例である。
【図１４】信号空間および単位空間のマハラノビス距離のヒストグラムの一例を示す棒グラフである。
【図１５】正常状態および異常状態での判定結果表示画面を示す模式図である。
【図１６】判定ＮＧ部を選択するステップの測定結果表示ウィンドウを示す模式図である。
【図１７】再測定後の測定結果を表示する測定結果表示ウィンドウを示す模式図である。
【図１８】本発明の実施形態に係る検査装置のプログラム測定モードの動作を示すフローチャートである。
【図１９】図１８のフローに続くフローを示すフローチャートである。
【図２０】プログラム測定モードで設定するタイミングチャートの一例である。
【図２１】外乱未印加測定モードのフローチャートである。
【図２２】外乱印加測定モードのフローチャートである。
【図２３】本発明の実施形態に係る検査装置の測定結果確認モードの動作を示すフローチャートである。
【図２４】図２３のフローに続くフローを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３７】
２  外乱印加部
３  制御ユニット
４  データ記憶部
５  信号変換部（信号取得部）
６  操作表示部（表示部、入力部）
６ａ  表示画面
７  光変換部
８  光ファイバ
１０  演算部（測定結果表示制御部）
１１  測定制御部
１３  供試装置（被検装置）
１００  検査装置
ＤＮｉ，ｊ  単位空間のマハラノビス距離
ＤＴｉ，ｊ  信号空間のマハラノビス距離
ＤｉＮ、ＤｉＴ  マハラノビス距離の代表値
ＭＤｔｈ  判定閾値
ｉＮ、ｉＴ  画像番号
Ｓｉ  区間
ｕｉ  平均値
ｖｉ  変動係数
ＰｉＮ、ＰｉＴ  画像（信号データ）
【図１】
2010025849.tif 000010
【図２】
2010025849.tif 000011
【図３】
2010025849.tif 000012
【図４】
2010025849.tif 000013
【図５】
2010025849.tif 000014
【図６】
2010025849.tif 000015
【図７】
2010025849.tif 000016
【図８】
2010025849.tif 000017
【図９】
2010025849.tif 000018
【図１０】
2010025849.tif 000019
【図１１】
2010025849.tif 000020
【図１２】
2010025849.tif 000021
【図１３】
2010025849.tif 000022
【図１４】
2010025849.tif 000023
【図１５】
2010025849.tif 000024
【図１６】
2010025849.tif 000025
【図１７】
2010025849.tif 000026
【図１８】
2010025849.tif 000027
【図１９】
2010025849.tif 000028
【図２０】
2010025849.tif 000029
【図２１】
2010025849.tif 000030
【図２２】
2010025849.tif 000031
【図２３】
2010025849.tif 000032
【図２４】
2010025849.tif 000033