(57)【要約】【課題】導電性基体上に、有機感光層と、無機の表面保護層をこの順に積層した電子写真感光体の無機の表面保護層を、有機感光層を劣化させることなく形成し、感光体の表面の機械的強度を上げることでクリーニング等による磨耗、傷付きを防止し、高耐久性と高画質化とを可能とする感光体の製造方法及び感光体の提供。【解決手段】導電性支持体上に、感光層及び表面保護層を順次積層した電子写真感光体の製造方法において、前記表面保護層を感光層の温度を８０℃〜１５０℃で、且つ、真空度１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａでプラズマ気相成長法により形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性支持体上に、感光層及び表面保護層を順次積層した電子写真感光体の製造方法において、前記表面保護層を感光層の温度を８０℃〜１５０℃で、且つ、真空度１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａでプラズマ気相成長法により形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項２】
前記表面保護層の厚さが５０ｎｍ〜２μｍであることを特徴とする請求項１に記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項３】
前記表面保護層が金属酸化物、金属窒化物もしくは金属酸化窒化物の中から選ばれる少なくとも１種を含む無機の化合物から形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項４】
前記表面保護層がＡｌ、Ｓｉ、Ｔｉから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物、金属窒化物もしくは金属酸化窒化物から形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項５】
導電性支持体上に、感光層及び表面保護層を順次積層した電子写真感光体において、前記電子写真感光体は請求項１〜４の何れか１項に記載の電子写真感光体の製造方法により製造されたことを特徴とする電子写真感光体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子写真感光体に関し、更に詳しくは複写機、レーザービームプリンタ、ファクシミリなどにおける電子写真プロセスに用いる電子写真感光体の製造方法及び電子写真感光体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子写真プロセスを用いた情報処理システム機の発展には目覚ましいものがある。特に、情報をデジタル信号に変換して光によって情報記録を行うため電子写真感光体（以後、単に感光体とも言う）を用いたレーザープリンタやデジタル複写機は、そのプリント品質、信頼性において向上が著しい。これらの電子写真プロセスのレーザープリンタやデジタル複写機等に使用される感光体としては、有機系の感光材料を用いたものが、コスト、生産性及び無公害性等の理由から広く応用されている。
【０００３】
有機感光体は、初期には感度及び耐久性に欠点を有していたが、これらの欠点は、電荷発生機能と電荷輸送機能とを別々の物質にそれぞれ分担させた機能分離型電子写真感光体の開発によって著しく改善されている。更に、この機能分離型感光体は、有機感光体の有する前記の利点に加え、感光層を構成する材料の選択範囲が広く、任意の特性を有する感光体を比較的容易に作製出来ると言う利点も有している。
【０００４】
機能分離型感光体には積層型と単層型とがある。単層型では、バインダー樹脂と呼ばれる結着性を有する樹脂中に、電荷発生機能を担う電荷発生物質と電荷輸送機能を担う電荷輸送物質とが共分散されてなる単層型の感光層が設けられる。
【０００５】
一方、積層型の機能分離型感光体では、電荷発生物質がバインダー樹脂に分散されてなる電荷発生層と電荷輸送物質がバインダー樹脂に分散されてなる電荷輸送層とが積層された積層型の感光層が設けられる。
【０００６】
有機系の感光体には、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）に代表される光導電性樹脂、ＰＶＫ−ＴＮＦ（２，４，７−トリニトロフルオレノン）に代表される電荷移動錯体型、フタロシアニン−バインダーに代表される顔料分散型、そして電荷発生物質と電荷輸送物質とを組合わせて用いる機能分離型の有機光導電材料を用いた感光体などが知られている。
【０００７】
一方、上記の有機光導電材料の多くは、単独では成膜性を有さないためバインダー樹脂と共に成膜されるのが一般的である。従って耐磨耗性や耐傷性は、このバインダー樹脂の選択によりほとんど限定されると言っても過言ではない。しかし光導電特性を満足するバインダー樹脂はかなり限定されており、機械的強度も十分ではないのが実状である。
【０００８】
又、有機系の感光体は、繰り返し使用によって膜削れが発生し易く、感光層の最外層の膜削れが進むと、感光体の帯電電位の低下や光感度の劣化、感光体の最外層の表面の傷などによる地汚れ、画像濃度低下或いは画質劣化が促進される傾向が強く、従来から感光体の最外層の耐磨耗性が大きな課題として挙げられていた。更に、近年では電子写真装置の高速化或いは装置の小型化に伴う感光体の小径化によって、感光体の最外層の高耐久化がより一層重要な課題となっている。電子写真プロセスにおいて、感光体の最外層の耐磨耗性などの機械的強度に最も影響を与えるのは感光体のクリーニングが挙げられる。
【０００９】
一方、近年、市場の高画質化要求に伴い、現像剤の微粒化が進められている。しかしながら、この様な微粒化の現像剤は、感光体上での転性が大きいため、クリーニング不良などを引き起こし易く、トナーフィルミングや融着などに起因した画像劣化の要因となっており、クリーニングはますます高精度を要求されている。
【００１０】
又、装置の省スペース化に伴い、より簡略な装置構成を実現するためにも、ブレードによるクリーニングを採用するのが有利である。ブレードクリーニングは、板上のポリウレタンなどの弾性部材を感光体上母線方向に突き当てただけの簡単な構成をとる。しかし、この様な場合、感光体の最外層の磨耗を促進し耐久性の低下を起こしてしまう。これに対処するためには、感光体の最外層に摩擦力に耐え得る強度を付与することが有効であり、これまでに多くの検討がなされてきた。
【００１１】
感光体は電子写真プロセスにおいて、帯電、露光、現像、転写、クリーニング、除電などの作用を反復して受けるため機能としては、高画質化及び耐久性とを両立させることが特に重要な課題となっている。特に耐磨耗性や耐傷性などの機械的強度は耐久寿命を決定する最大の要素である。
【００１２】
しかしながら、感光体の耐久性には、感光体の最外層の耐刷性が大きく影響する。通常、感光体が電子写真装置に搭載されて使用される際、感光体の最外層は、クリーニングブレード、帯電ローラなどの接触部材によって摺擦され、その一部が削り取られることを余儀なくされる。摺擦による感光体の最外層の削り取られた量、即ち膜減り量が多いと、感光体の帯電保持能が低下し、画質が低下すると言う問題が生じる。このため、感光体の最外層には、上記の接触部材によって削り取られ難いこと、即ち耐刷性に優れることが求められる。感光体の高耐久化を実現するための手段として、感光層（電荷発生層及び電荷輸送層を含める）を表面保護層で被覆することが行われている。
【００１３】
表面保護層の広く一般に採用されている例としては、有機感光層との密着性、親和性、積層状態での一体性、成膜作業の一貫性などを考慮して、例えば成膜性を有する結着樹脂の層や、或いは上記結着樹脂中に、金属酸化物等の導電性微粒子を分散させた層などの有機の層が挙げられる。しかしこの有機の層を表面保護層として使用した電子写真感光体は、繰り返し使用時の残留電位上昇や帯電性低下、環境（温度、湿度等）の変化による感度特性の変動等が大きいと言う問題がある。
【００１４】
他の例としては、金属元素や炭素、或いはこれら元素を含む無機の化合物等の、無機の材料からなる、高硬度でかつ耐磨耗性に優れた無機の層を表面保護層として、例えばスパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法等の気相成長法などによって、有機感光層上に積層、成膜することが検討されている。
【００１５】
例えば、大気圧プラズマ放電処理により導電性支持体上の有機光導電層上に表面保護層を形成する新規な電子写真感光体の製造方法、この方法で製造した電子写真感光体、これを用いた画像形成方法、画像形成装置並びにプロセスカートリッジに関する。（特許文献１参照。）。
【００１６】
導電性基体上に、有機感光層と、無機の表面保護層をこの順に積層した電子写真感光体の有機感光層の少なくとも表面保護層に接する最表面部が、チタニルフタロシアニン誘導体を含有し、表面保護層が気相成長法で形成することを特徴とする電子写真感光体。（特許文献２参照。）。
【００１７】
しかしながら、特許文献１、特許文献２に記載の無機の表面保護層は感光体の耐久性の向上には優れた性能を示すのであるが、特許文献１、特許文献２に記載のスパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法等の気相成長法で無機の表面保護層を形成する場合、次の問題点を有していることが判った。
【００１８】
機能分離型の感光体における静電潜像形成のメカニズムは、感光体を帯電した後、光照射すると、光は電荷輸送層を通過し、電荷発生層中の電荷発生物質により吸収され電荷を生成する。それによって発生した電荷が電荷発生層及び電荷輸送層の界面で電荷輸送層に注入され、更に電界によって電荷輸送層中を移動し、感光体の表面電荷を中和することにより静電潜像を形成するものである。しかしながら、表面保護層形成時の熱により、有機感光層表面近傍の電荷発生剤及び結着樹脂などが分解、変性してしまう。このため、有機感光層の表面近傍は電荷発生剤が無くなるのに加えて、変性生成物の薄層が形成される。この薄層はエネルギー準位が有機感光層及び無機表面保護層よりも高いため、表面保護層への電荷の注入を妨げる。従って、上記薄層は、有機感光層から無機表面保護層への電荷の注入の障壁となる。このため、感光体の露光されたところは、表面保護層表面の電荷を中和するために、逆極性電荷を有機感光層から注入することが困難になり静電潜像の形成が不安定になることが判った。
【００１９】
この様な状況から、導電性基体上に、有機感光層と、無機の表面保護層をこの順に積層した電子写真感光体の無機の表面保護層を有機感光層を劣化させることなく形成し、感光体の表面の機械的強度を上げることでクリーニング等による磨耗、傷付きを防止し、高耐久性と高画質化とを可能とする電子写真感光体の製造方法及び電子写真感光体の開発が望まれている。
【特許文献１】特開２００３−３０２７７４号公報
【特許文献２】特開２００３−１６２０８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明は、上記状況に鑑みなされたものであり、その目的は導電性基体上に、有機感光層と、無機の表面保護層をこの順に積層した電子写真感光体（以下、感光体とも言う）の無機の表面保護層を、有機感光層を劣化させることなく形成し、感光体の表面の機械的強度を上げることでクリーニング等による磨耗、傷付きを防止し、高耐久性と高画質化とを可能とする感光体の製造方法及び感光体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。
【００２２】
１．導電性支持体上に、感光層及び表面保護層を順次積層した電子写真感光体の製造方法において、前記表面保護層を感光層の温度を８０℃〜１５０℃で、且つ、真空度１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａでプラズマ気相成長法により形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【００２３】
２．前記表面保護層の厚さが５０ｎｍ〜２μｍであることを特徴とする前記１に記載の電子写真感光体の製造方法。
【００２４】
３．前記表面保護層が金属酸化物、金属窒化物もしくは金属酸化窒化物の中から選ばれる少なくとも１種を含む無機の化合物から形成されていることを特徴とする前記１又は２に記載の電子写真感光体の製造方法。
【００２５】
４．前記表面保護層がＡｌ、Ｓｉ、Ｔｉから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物、金属窒化物もしくは金属酸化窒化物から形成されていることを特徴とする前記１〜３の何れか１項に記載の電子写真感光体の製造方法。
【００２６】
５．導電性支持体上に、感光層及び表面保護層を順次積層した電子写真感光体において、前記電子写真感光体は前記１〜４の何れか１項に記載の電子写真感光体の製造方法により製造されたことを特徴とする電子写真感光体。
【発明の効果】
【００２７】
導電性基体上に、有機感光層と、無機の表面保護層をこの順に積層した電子写真感光体の無機の表面保護層を、有機感光層を劣化させることなく形成し、感光体の表面の機械的強度を上げることでクリーニング等による磨耗、傷付きを防止し、高耐久性と高画質化とを可能とする感光体の製造方法及び感光体を提供することが出来た。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明の実施の形態を図１〜図４を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２９】
図１は、フルカラー画像形成装置の一例を示す概略断面構成図である。
【００３０】
図中、１はフルカラー画像形成装置を示し、タンデム型フルカラー画像形成装置と称せられるものである。フルカラー画像形成装置１は、複数組の画像形成ユニット１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｋと、転写部としての無端ベルト状中間転写体形成ユニット７と、記録媒体Ｐを搬送する無端ベルト状の給紙搬送手段２１及び定着手段としてのベルト式定着装置２４とを有する。フルカラー画像形成装置１の本体Ａの上部には、原稿画像読み取り装置ＳＣが配置されている。
【００３１】
各感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋに形成される異なる色のトナー像の１つとして、イエロー色の画像を形成する画像形成ユニット１０Ｙは、第１の像担持体としてのドラム状の感光体１Ｙ、感光体１Ｙの周囲に配置された帯電手段２Ｙ、露光手段３Ｙ、現像手段４Ｙ、一次転写手段としての一次転写ローラ５Ｙ、クリーニング手段６Ｙを有する。
【００３２】
又、別の異なる色のトナー像の１つとして、マゼンタ色の画像を形成する画像形成ユニット１０Ｍは、第１の像担持体としてのドラム状の感光体１Ｍ、感光体１Ｍの周囲に配置された帯電手段２Ｍ、露光手段３Ｍ、現像手段４Ｍ、一次転写手段としての一次転写ローラ５Ｍ、クリーニング手段６Ｍを有する。
【００３３】
又、更に別の異なる色のトナー像の１つとして、シアン色の画像を形成する画像形成ユニット１０Ｃは、第１の像担持体としてのドラム状の感光体１Ｃ、感光体１Ｃの周囲に配置された帯電手段２Ｃ、露光手段３Ｃ、現像手段４Ｃ、一次転写手段としての一次転写ローラ５Ｃ、クリーニング手段６Ｃを有する。
【００３４】
又、更に他の異なる色のトナー像の１つとして、黒色画像を形成する画像形成ユニット１０Ｋは、第１の像担持体としてのドラム状の感光体１Ｋ、感光体１Ｋの周囲に配置された帯電手段２Ｋ、露光手段３Ｋ、現像手段４Ｋ、一次転写手段としての一次転写ローラ５Ｋ、クリーニング手段６Ｋを有する。
【００３５】
無端ベルト状中間転写体ユニット７は、複数のローラにより巻回され、回動可能に支持された半導電性エンドレスベルト状の第２の像担持体としての無端ベルト状中間転写体７０を有する。
【００３６】
画像形成ユニット１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｋより形成された各色の画像は、一次転写ローラ５Ｙ、５Ｍ、５Ｃ、５Ｋにより、回動する無端ベルト状中間転写体７０上に逐次転写されて、合成されたカラー画像が形成される。給紙カセット２０内に収容された記録媒体として用紙等の記録媒体Ｐは、給紙搬送手段２１により給紙され、複数の中間ローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、レジストローラ２３を経て、二次転写手段としての二次転写ローラ５Ａに搬送され、記録媒体Ｐ上にカラー画像が一括転写される。
【００３７】
カラー画像が転写された記録媒体Ｐは、熱ローラ定着器２７０が装着された定着装置２４により定着処理され、排紙ローラ２５に挟持されて機外の排紙トレイ２６上に載置される。
【００３８】
一方、二次転写ローラ５Ａにより記録媒体Ｐにカラー画像を転写した後、記録媒体Ｐを曲率分離した無端ベルト状中間転写体７０は、クリーニング手段６Ａにより残留トナーが除去される。
【００３９】
画像形成処理中、一次転写ローラ５Ｋは常時、感光体１Ｋに圧接している。他の一次転写ローラ５Ｙ、５Ｍ、５Ｃはカラー画像形成時にのみ、それぞれ対応する感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃに圧接する。
【００４０】
二次転写ローラ５Ａは、ここを記録媒体Ｐが通過して二次転写が行われる時にのみ、無端ベルト状中間転写体７０に圧接する。
【００４１】
又、装置本体Ａから筐体８を支持レール８２Ｌ、８２Ｒを介して引き出し可能にしてある。筐体８は、画像形成ユニット１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｋと、無端ベルト状中間転写体ユニット７とを有する。
【００４２】
画像形成ユニット１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｋは、垂直方向に縦列配置されている。感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋの図示左側方には無端ベルト状中間転写体ユニット７が配置されている。無端ベルト状中間転写体ユニット７は、ローラ７１、７２、７３、７４、７６を巻回して回動可能な無端ベルト状の中間転写体７０、一次転写ローラ５Ｙ、５Ｍ、５Ｃ、５Ｋ及びクリーニング手段６Ａとからなる。
【００４３】
筐体８の引き出し操作により、画像形成ユニット１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｋと、無端ベルト状中間転写体ユニット７とは、一体となって、本体Ａから引き出される。
【００４４】
この様に感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋの外周面上を帯電、露光し外周面上に潜像を形成した後、現像によりトナー像（顕像）を形成し、無端ベルト状の中間転写体７０上で各色のトナー像を重ね合わせ、一括して記録媒体Ｐに転写し、ベルト式定着装置２４で加圧及び加熱により固定して定着する。尚、本発明で像形成時とは潜像形成、トナー像（顕像）を記録媒体Ｐに転写し最終画像を形成することを含む。
【００４５】
感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋの外周面上に形成されたトナー像を記録媒体Ｐに転写させた後の各感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋは、各クリーニング手段６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｋで転写時に各感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋに残されたトナーが除去され清掃される。この後、上記の帯電、露光、現像のサイクルに入り、次の像形成が行われる。
【００４６】
上記カラー画像形成装置では、中間転写体をクリーニングするクリーニング手段６Ａのクリーニング部材として、弾性ブレードを用いる。又、各感光体に脂肪酸金属塩を塗布する手段（１１Ｙ、１１Ｍ、１１Ｃ、１１Ｋ）を設けている。尚、脂肪酸金属塩としては、トナーで用いたと同じものを用いることが出来る。
【００４７】
各クリーニング手段６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｋで転写時に各感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋに残されたトナーを清掃する際、各クリーニング手段６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｋにより各感光体１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋの表面が擦られることにより磨耗したり、傷が付いたりする。これらにより、感光体の帯電性、感度・残留電位等が悪化してしまい、結果として潜像の画像再現性が悪くなり最終的に得られる画像の画像再現性が劣化し、鮮明な画像が得られなくなる。
【００４８】
本発明は、感光体の表面の機械的強度を上げることでクリーニング等による磨耗、傷付きを防止し、高耐久性と高画質化とを可能とする感光体の製造方法及び感光体に関するものである。
【００４９】
図２は図１に示されるフルカラー画像形成装置に使用されている感光体の概略図である。図２（ａ）は感光体の概略斜視図である。図２（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ′に沿った概略断面図である。尚、図１に示されるフルカラー画像形成装置に使用されている感光体の構成は全て同じであるため感光体１Ｙを代表として説明する。
【００５０】
図中、１Ｙは感光体を示す。感光体１Ｙは、円筒状の基体１Ｙ１の上に感光層１Ｙ２と、表面保護層１Ｙ３を有し、基体１Ｙ１の一方の端部にフランジ１Ｙ４と、他方の端部にフランジ１Ｙ５とを有しており、基体１Ｙ１の両端に嵌合されている。フランジ１Ｙ４は画像形成装置１（図１参照）にセットする時、感光体１Ｙを回転させるための摺動軸１Ｙ６を有している。
【００５１】
フランジ１Ｙ５は、基材１Ｙ５１と画像形成装置１（図１参照）にセットする時、画像形成装置１（図１参照）側の回転軸と係合し、感光体１Ｙを回転させるための駆動用軸１Ｙ７とを有している。
【００５２】
尚、本図に示す感光体は円筒状の基体を使用した場合を示しているが、画像形成装置の種類によってはベルト状基体の場合もある。
【００５３】
図３は、図２（ｂ）のＳで示される部分の構成の一例を示す拡大概略断面図である。
【００５４】
（ａ）に付き説明する。図中、１Ｙａは感光体を示す。感光体１Ｙａは、基体１Ｙ１の外周に電荷発生層１Ｙ２１を形成し、これに電荷輸送層１Ｙ２２を積層して感光層１Ｙ２を形成し、最上層に表面保護層１Ｙ３を形成したものである。
【００５５】
（ｂ）に付き説明する。図中、１Ｙｂは感光体を示す。感光体１Ｙｂは、（ａ）に示す電荷発生層１Ｙ２１と電荷輸送層１Ｙ２２を逆にした感光層１Ｙ２を形成したものである。
【００５６】
（ｃ）に付き説明する。図中、１Ｙｃは感光体を示す。感光体１Ｙｃは、基体１Ｙ１の外周に中間層１Ｙ２３を設け、その上に電荷発生層１Ｙ２１を形成し、これに電荷輸送層１Ｙ２２を積層して感光層１Ｙ２′を形成し、最上層に表面保護層１Ｙ３を形成したものである。
【００５７】
（ｄ）に付き説明する。図中、１Ｙｄは感光体を示す。感光体１Ｙｄは、（ｃ）に示す電荷発生層１Ｙ２１と電荷輸送層１Ｙ２２を逆にした感光層１Ｙ２′を形成したものである。
【００５８】
（ｅ）に付き説明する。図中、１Ｙｅは感光体を示す。感光体１Ｙｅは、基体１Ｙ１の外周に電荷発生物質Ｐと電荷輸送物質Ｑとを含有する感光層１Ｙ２″を形成し、最上層に表面保護層１Ｙ３を形成したものである。
【００５９】
（ｆ）に付き説明する。図中、１Ｙｆは感光体を示す。感光体１Ｙｆは、基体１Ｙ１の外周に中間層１Ｙ２３を設け、その上に電荷発生物質Ｐと電荷輸送物質Ｑとを含有する感光層１Ｙ２″を形成し、最上層に表面保護層１Ｙ３を形成したものである。
【００６０】
（ａ）〜（ｆ）に示される感光体の基体は、真直度で０．１ｍｍ以下、振れ０．１ｍｍ以下の範囲にある導電性の支持体が好ましく、導電性支持体の材料としてはアルミニウム、ニッケルなどの金属ドラム、又はアルミニウム、酸化錫、酸化インジウムなどを蒸着したプラスチックドラム、又は導電性物質を塗布した紙・プラスチックドラムを使用することが出来る。導電性支持体としては常温で比抵抗１０−３Ωｃｍ以下が好ましい。
【００６１】
（ａ）、（ｂ）に示される感光体の電荷発生層の厚さは、繰り返しに伴う残留電位等を考慮し、０．０１μｍ〜２μｍが好ましい。又、電荷輸送層の厚さは、残留電位上昇、画像の鮮鋭性等を考慮し、０．２μｍ〜４０μｍであり、好ましくは１０μｍ〜３０μｍがより好ましい。
【００６２】
（ｃ）、（ｄ）に示される感光体の電荷発生層の厚さは、繰り返しに伴う残留電位等を考慮し、０．０１μｍ〜２μｍが好ましい。又、電荷輸送層の厚さは、残留電位上昇、画像の鮮鋭性等を考慮し、０．２μｍ〜４０μｍであり、１０μｍ〜３０μｍがより好ましい。
【００６３】
中間層の厚さは、黒ポチの発生、ドット画像の劣化等を考慮し、０．２μｍ〜１０μｍであり、０．５μｍ〜５μｍがより好ましい。
【００６４】
（ｅ）に示される感光層の厚さは、残留電位上昇、画像の鮮鋭性等を考慮し、０．２μｍ〜４０μｍであり、１０μｍ〜３０μｍがより好ましい。
【００６５】
（ｆ）に示される感光層の厚さは、残留電位上昇、画像の鮮鋭性等を考慮し、０．２μｍ〜４０μｍであり、１０μｍ〜３０μｍがより好ましい。中間層の厚さは、黒ポチの発生、ドット画像の劣化等を考慮し、０．２μｍ〜１０μｍであり、０．３μｍ〜５μｍがより好ましい。
【００６６】
（ａ）〜（ｆ）に示される感光体の最上層の表面保護層の厚さは、繰り返しに伴う残留電位等を考慮し、１００ｎｍ〜２μｍが好ましい。尚、表面保護層は複数の層で構成されていても構わない。
【００６７】
表面保護層の膜厚は、「ＭＸＰ２１」（マックサイエンス社製）を用いて測定して得られた値である。具体的な膜厚の測定は、以下の方法で行うことが出来る。Ｘ線源のターゲットには銅を用い、４２ｋＶ、５００ｍＡで作動させる。インシデントモノクロメータには多層膜パラボラミラーを用いる。入射スリットは０．０５ｍｍ×５ｍｍ、受光スリットは０．０３ｍｍ×２０ｍｍを用いる。２θ／θスキャン方式で０から５°をステップ幅０．００５°、１ステップ１０秒のＦＴ法にて測定を行う。得られた反射率曲線に対し、マックサイエンス社製Ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｐｒｏｇｒａｍ  Ｖｅｒ．１を用いてカーブフィッティングを行い、実測値とフィッティングカーブの残差平方和が最小になるように各パラメータを求める。各パラメータから積層膜の膜厚を求める。
【００６８】
又、表面保護層の硬さは、耐傷性、耐磨耗性等を考慮し、１００Ｎ／ｍｍ２〜５００Ｎ／ｍｍ２であることが好ましい。硬さは、Ｆｉｓｃｈｅｒ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｓ社製のフィッシャースコープ（登録商標）Ｈ１００Ｃにて測定した値を示す。
【００６９】
表面保護層はＩｎ、Ｓｎ、Ｃｄ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｍｇ、Ｔｉから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物、金属窒化物もしくは金属酸化窒化物から形成されていることが好ましく、特にＡｌ、Ｓｉ、Ｔｉが好ましい。具体的には、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化窒化ケイ素、酸化チタン、酸化窒化チタン、窒化チタン、酸化アルミニウム等が挙げられる。
【００７０】
本発明に用いられる最上層の表面保護層の機械的強度を高めた感光体の構成は、図３（ａ）〜（ｆ）で示される何れの構成でもよい。尚、（ａ）〜（ｆ）に示される感光体の構成は、ベルト状基体の感光体の場合も同じである。
【００７１】
次に本発明の、感光体の表面の機械的強度を上げることでクリーニング等による磨耗、傷付きを防止し、高耐久性と高画質化とを可能とする感光体を作製する手段に付き説明する。
【００７２】
本発明の感光体の製造方法に係わる表面保護層の形成方法としては、感光層の温度を８０℃〜１５０℃で、且つ、真空度１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａで行うプラズマ気相成長法であれば特に限定はなく、例えばプラズマアシスト触媒ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ミラートロン方式によるスパッタ装置等を使用したプラズマ気相成長法が挙げられる。以下、プラズマ気相成長法による表面保護層形成方法の一例としてミラートロン方式によるスパッタ装置について説明する。
【００７３】
図４はミラートロン方式によるスパッタ装置の概略図である。図４（ａ）はミラートロン方式によるスパッタ装置の概略斜視図である。図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ′に沿った概略断面図である。
【００７４】
図中、２は真空環境が維持可能な筐体（不図示）内に収納されているミラートロン方式によるスパッタ装置（以下、単にスパッタ装置とも言う）を示す。スパッタ装置２は、間隔をおいて対向配置されている一対のターゲット２０１ａ、２０１ｂと、磁場空間Ｈを形成するための磁石２０２ａ、２０２ｂと、放電ガス供給管２０３と、反応ガス供給管２０４とを有している。
【００７５】
磁石２０２ａはターゲット２０１ａの背面側に配置し、磁石２０２ｂはターゲット２０１ｂの背面側に配置されており、磁石２０２ａと磁石２０２ｂとの間で磁場空間Ｈを形成している。尚、一対の磁石２０２ａと磁石２０２ｂとは、磁力線が一方のターゲット２０１ａのホルダー（不図示）から他方のターゲット２０１ｂのホルダー（不図示）に向かって走るよう、対向する部分が対極をなす配置となっている。即ち、一方のターゲット２０１ｂのホルダー（不図示）の磁石２０２ｂは、Ｎ極が他方のターゲット２０１ａのホルダー（不図示）の磁石２０２ａに向く様に配置されている。又、ターゲット２０１ｂのホルダー（不図示）の磁石２０２ａは、Ｓ極が一方のターゲット２０１ｂのホルダー（不図示）の磁石２０２ｂに向くように配置されている。
【００７６】
磁石の形状は特に限定はなく、円形、楕円、矩形であってもよく必要に応じて適宜設定することが可能である。本図は円形の場合を示している。
【００７７】
磁場空間Ｈにおける最大磁束密度は１０ｍＴ〜３０ｍＴ、最小磁束密度は、２ｍＴ〜８ｍＴであることが好ましい。
【００７８】
そして、磁石２０２ａ（２０２ｂ）の材質は、フェライト磁石からサマリウム（Ｓｍ）−コバルト（Ｃｏ）系、更には、鉄（Ｆｅ）−ネオジム（Ｎｄ）−ボロン（Ｂ）系の磁石等、種々の公知の磁石が使用出来る。但し、磁力が強い（表面磁束密度が約３００〜４００［ｍＴ］）点で、鉄（Ｆｅ）−ネオジム（Ｎｄ）−ボロン（Ｂ）系の磁石（ネオジム系希土類磁石）がより好ましい。
【００７９】
２０５ａは、ターゲット２０１ａの側面と表面の所定領域のみが露出するようにしてターゲット２０１ａを覆うシールドカバーを示す。２０５ｂは、ターゲット２０１ｂの側面と表面の所定領域のみが露出するようにしてターゲット２０１ｂを覆うシールドカバーを示す。又、シールドカバー２０５ａ（２０５ｂ）は、導電性の材料（例えばＳＵＳ３０６）で構成され、アース電位（０Ｖ）とされる。又、ターゲット２０１ａ、ターゲット２０１ｂに陰極とすべく電圧を印加する様になっている。
【００８０】
放電ガス供給管２０３は、磁場空間Ｈにプラズマ発生ガスを供給出来るように筐体（不図示）に配設されている。反応ガス供給管２０４は、磁場空間Ｈの外側で感光体３との間に反応ガス供給することが出来るように筐体（不図示）に配設されている。反応ガス供給管２０４の先端は反応ガスの吹き出し孔を有しており、感光体の表面に向けて吹き出されるように配設することが好ましい。
【００８１】
反応ガスの供給はスパッタ粒子の化合物の組成を変える（例えばターゲット２０１ａ（２０１ｂ）の材質がシリコン（Ｓｉ）である場合、酸化シリコン（ＳｉＯＸ）のＸを０〜２まで変化させる）ため供給量を制御する様に配設することが好ましい。
【００８２】
３は感光層までが形成された感光体を示す。感光体３は回転可能に軸支され、磁場空間Ｈと対峙する様に配設されている。即ち、磁場空間Ｈの外側に感光体３が配設されるため、直接に磁場空間Ｈで発生するプラズマに晒されないため、感光体３の感光層の温度を低く抑え、表面保護層を形成することが可能となっている。
【００８３】
表面保護層を形成する時の感光体３の感光層の温度は、８０℃〜１５０℃である。感光層の温度が８０℃未満の場合は、スパッタリング時のダングリングボンド（不対電子で形成された結合）が多くなることにより、表面保護層中の水酸基が多くなり、空気中の水分子が吸着することにより表面抵抗が下がり画像流れが発生するため好ましくない。感光層の温度が１５０℃を超える場合は、感光層中の電荷輸送物質が分解することにより、電荷輸送層の電荷輸送機能が悪くなり、画像濃度が出ないなどの画像不良につながるため好ましくない。感光層の温度は、市販の温度測定装置であるＫＹＥＮＣＥ（株）製  ＧＲ−３５００で測定した値を示す。
【００８４】
表面保護層を形成する時のスパッタ装置を収納してある筐体（不図示）の真空度は、１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａである。真空度が１０−１Ｐａ未満の場合は、残留気体の影響で蒸着が阻害されて、均一の薄膜の形成が行えなくなるので好ましくない。真空度が１０−６Ｐａを超える場合は、薄膜の性能には影響を及ぼさないが真空に対して装置に高い耐久性が要求されるなど生産性が悪くなりコスト高となるため好ましくない。
【００８５】
真空度は、上記範囲の真空度測定が可能な市販の真空計を用いて測定したもので、エドワーズ（株）製のマグネトロン真空計ＡＩＭ−Ｘにより測定した値を示す。
【００８６】
一対のターゲット２０１ａ、２０１ｂは、互いに対向する面が平行になる様に、ターゲットホルダー（不図示）を介して筐体（不図示）に取り付けられている。
【００８７】
本図に示すスパッタ装置２を使用して、感光体３の表面（感光層の表面）への表面保護層の形成は次の様にして行われる。
１．感光体３を所定の位置に回転可能に取り付ける。
２．スパッタ装置２が収納されている筐体（不図示）内を真空排気した後、放電ガス供給管２０３から放電ガスを磁場空間Ｈに導入する。
３．ターゲット２０１ａ、２０１ｂに陰極とすべく電圧を印加する。
４．ターゲット２０１ａ、２０１ｂに電圧が印加されることで、ターゲット２０１ａ、２０１ｂ間（磁場空間Ｈ）に介在する放電ガスは、イオン化してプラズマとなり、磁場空間Ｈに閉じ込められた状態でターゲット２０１ａ、２０１ｂ間を往復運動して、ターゲット２０１ａ、２０１ｂの露出した部分をスパッタする。ターゲット２０１ａ、２０１ｂがＳｉの場合、Ｓｉ原子が形成される。
５．Ｓｉ原子は磁場空間Ｈから飛び出し（図中の矢印方向）、反応ガス供給管２０４から供給された反応ガスと反応する。例えば、Ｏ２ガスの場合は酸化されてＳｉＯＸとなり、感光体の感光層の表面に堆積する。これによって、感光体３の感光層の表面には、ＳｉＯＸからなる酸化物薄膜の表面保護層が形成されるのである。
【００８８】
図４に示すスパッタ装置で使用する放電ガスとは上記のような条件においてプラズマ励起される気体をいい、窒素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等及びそれらの混合物などが挙げられる。これらの中でも窒素、ヘリウム、アルゴンが好ましく用いられ、特に窒素がコストも安く好ましい。
【００８９】
又、無機層を形成するための反応ガスとしては、酸素、窒素等が挙げられる。
【００９０】
図４に示すスパッタ装置で使用するターゲットに使用する材質は、表面保護層を形成する化合物に合わせ選択することが可能である。例えばＩｎ、Ｓｎ、Ｃｄ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｗ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｍｇ、Ｔｉ等が挙げられる。これらの中で、ターゲットに使用する材質をＡｌ、Ｓｉ、Ｔｉとし、反応ガスに酸素を使用した場合は、それぞれ酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化チタンが表面層として形成される。反応ガスに窒素を使用した場合は、それぞれ窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化チタンが表面層として形成される。
【００９１】
次に本発明の感光体の基体、感光層を構成する材料に付き説明する。
【００９２】
（基体）
ロール状感光体の基体としては、円筒状で、比抵抗が１０３Ωｃｍ以下のものが好ましい。具体例として、切削加工後表面洗浄した円筒状アルミニウムを挙げることが出来る。
【００９３】
ベルト状感光体の基体としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の表面にアルミニウムを蒸着したり、インジウム／スズ酸化物を形成したものが挙げられる。
【００９４】
（中間層）
中間層は、バインダー、分散溶媒等から構成される中間層形成用塗布液を導電性基体上に塗布、乾燥して形成される。中間層のバインダーとしては、ポリアミド樹脂、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂並びに、これらの樹脂の繰り返し単位の内の２つ以上を含む共重合体樹脂が挙げられる。これら樹脂の中ではポリアミド樹脂が、繰り返し使用に伴う残留電位増加を小さく出来好ましい。又、電位特性向上や黒ポチ欠陥の低減、モアレの低減等の目的で、必要に応じて、中間層に酸化チタンや酸化亜鉛等のフィラーや酸化防止剤等の添加剤を添加することも出来る。
【００９５】
中間層形成用塗布液を作製する溶媒としては、必要に応じ添加する無機粒子を良好に分散し、ポリアミド樹脂を溶解するものが好ましい。具体的には、メタノール、エタノール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、ｔ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール等の炭素数２〜４のアルコール類が、ポリアミド樹脂の溶解性と塗布性能に優れ好ましい。これらの溶媒は全溶媒中に３０質量％〜１００質量％、好ましくは４０質量％〜１００質量％、更には５０質量％〜１００質量％が好ましい。前記溶媒と併用し、好ましい効果を得られる助溶媒としては、ベンジルアルコール、トルエン、メチレンクロライド、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。中間層の膜厚は、０．２μｍ〜４０μｍが好ましく、０．３μｍ〜２０μｍがより好ましい。
【００９６】
（感光層）
感光層は、電荷発生機能と電荷輸送機能を１つの層に持たせた単層構造でもよいが、より好ましくは感光層の機能を電荷発生層（ＣＧＬ）と電荷輸送層（ＣＴＬ）に分離した層構成をとるのがより好ましい。機能を分離した構成をとることにより繰り返し使用に伴う残留電位増加を小さく制御出来、その他の電子写真特性を目的に合わせて制御し易い。負帯電用の感光体では中間層の上に電荷発生層（ＣＧＬ）、その上に電荷輸送層（ＣＴＬ）の構成をとる。正帯電用の感光体では前記層構成の順が負帯電用感光体の場合の逆の構成をとる。好ましい感光層の層構成は前記機能分離構造を有する負帯電感光体である。
【００９７】
以下に機能分離負帯電感光体の感光層の各層について説明する。
【００９８】
〈電荷発生層（ＣＧＬ）〉
ＣＧＬには電荷発生物質（ＣＧＭ）を含有する。その他の物質としては必要によりバインダー樹脂、その他添加剤を含有してもよい。ＣＧＭとしては公知のＣＧＭであるＣｕＫα線によるＸ線回折においてブラッグ角（２θ±０．２）２７．２°に最大回折ピークを有するオキシチタニウムフタロシアニン顔料が用いられる。
【００９９】
ＣＧＬにＣＧＭの分散媒としてバインダーを用いる場合、バインダーとしては公知の樹脂を用いることが出来るが、最も好ましい樹脂としてはホルマール樹脂、ブチラール樹脂、シリコーン樹脂、シリコーン変性ブチラール樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられる。バインダー樹脂とＣＧＭとの割合は、バインダー樹脂１００質量部に対し、ＣＧＭが２０質量部〜６００質量部が好ましい。これらの樹脂を用いることにより、繰り返し使用に伴う残留電位増加を最も小さく出来る。
【０１００】
〈電荷輸送層（ＣＴＬ）〉
ＣＴＬは、ＣＴＬが表面層となる場合はフィラー、ＣＴＭ及びバインダー樹脂から形成される。その他の物質としては必要により酸化防止剤等の添加剤を添加して形成してもよい。ＣＴＬが表面層を形成する時、ＣＴＬ中に占めるフィラーの量は、５質量％〜５０質量％が好ましい。ＣＴＭとしては公知のＣＴＭを用いることが出来る。例えばトリフェニルアミン誘導体、ヒドラゾン化合物、スチリル化合物、ベンジジン化合物、ブタジエン化合物等を用いることが出来る。
【０１０１】
ＣＴＬに用いられる樹脂としては、例えばポリスチレン、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコーン樹脂、メラミン樹脂並びに、これらの樹脂の繰り返し単位の内の２つ以上を含む共重合体樹脂。又これらの絶縁性樹脂の他、ポリ−Ｎ−ビニルカルバゾール等の高分子有機半導体が挙げられる。
【０１０２】
これらＣＴＬのバインダーとして最も好ましいものはポリカーボネート樹脂である。ポリカーボネート樹脂はＣＴＭの分散性、電子写真特性を良好にすることにおいて、最も好ましい。バインダー樹脂と電荷輸送物質との割合は、バインダー樹脂１００質量部に対し１０質量部〜２００質量部が好ましい。
【０１０３】
酸化防止剤としては、公知の化合物を用いることが出来、具体的には「Ｉｒｇａｎｏｘ１０１０」（日本チバガイギー社製）を挙げることが出来る。
【０１０４】
感光体に係る各層（中間層、感光層、電荷発生層、電荷輸送層、）の作製は、浸漬塗布、或いは円形量規制型塗布、或いは浸漬塗布と円形量規制型塗布を組合わせて塗膜を設けて作製することが出来がこれに限定されるものではない。尚、円形量規制型塗布については例えば特開昭５８−１８９０６１号公報に詳細に記載されている。
【実施例】
【０１０５】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１０６】
実施例１
図３の（ｃ）に示される構成の感光体を作製した。
【０１０７】
（導電性支持体の準備）
円筒形アルミニウム支持体の表面を切削加工し、１０点表面粗さＲｚ＝１．５（ｕｍ）、直径３０ｍｍ、長さ３６０ｍｍの導電性支持体を準備した。尚、１０点表面粗さＲｚはＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９９４に準じて測定した値を示す。
【０１０８】
（中間層の形成）
中間層形成用塗布液の調製
ポリアミド樹脂（アミランＣＭ−８０００：東レ社製）                    ６０ｇ
メタノール                                                      １６００ｍｌ
１−ブタノール                                                    ４００ｍｌ
上記成分を混合溶解して、中間層形成用塗布液を調製した。この塗布液を準備した導電性支持体に浸漬塗布法で塗布し、１２０℃で乾燥し、厚さ０．３μｍの中間層を形成した。
【０１０９】
（電荷発生層の形成）
電荷発生層形成用塗布液の調製
チタニルフタロシアニン                                                ６０ｇ
シリコーン樹脂溶液（ＫＲ５２４０、１５質量％キシレン−ブタノール溶液、信越化学社製）                                                                ７００ｇ
２−ブタノン                                                    ２０００ｍｌ
上記成分を、混合し、サンドミルを用いて１０時間分散し、電荷発生層形成用塗布液を調製した。この塗布液を、中間層の上に浸漬塗布法で塗布し、１２０℃で乾燥し、膜厚０．２μｍの電荷発生層を形成した。
【０１１０】
（電荷輸送層の形成）
電荷輸送層形成用塗布液の調製
電荷輸送物質：４−メトキシ−４′−（４−メチル−α−フェニルスチリル）トリフェニルアミン                                                            ２００ｇ
ビスフェノールＺ型ポリカーボネート（ユーピロンＺ３００：三菱ガス化学社製）
３００ｇ
酸化防止剤（サノールＬＳ２６２６、三共社製）                        １．７ｇ
テトラヒドロフラン                                              ２０００ｍｌ
上記成分を混合溶解して、電荷輸送層形成用塗布液を調製した。この塗布液を電荷発生層の上に浸漬塗布方法で塗布し、１２０℃で乾燥し、膜厚２５μｍの電荷輸送層を形成した。
【０１１１】
（表面保護層の形成）
電荷輸送層までを形成した導電性支持体を図４に示すスパッタ装置を使用し、以下に示す条件で、表１に示す様に温度、真空度を変えて電荷輸送層の上に窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）からなる表面保護層を形成した感光体を作製しＮｏ．１０１〜１１２とした。
【０１１２】
磁石の材質：フェライト磁石
磁石の直径：８０ｍｍ
磁石の高さ：５０ｍｍ
ターゲットの材質：Ｓｉ、厚さ７５ｍｍ、直径７０ｍｍ
ターゲット間の距離：１８０ｍｍ
ターゲットに印加する電圧：２ｋＷ
放電ガスの種類：Ｎ２
電荷輸送層までを形成した導電性支持体の回転速度：１０ｒｐｍ
表面保護層形成時間：１００ｎｍ／ｍｉｎ
【０１１３】
【表１】
2010066551.tif 000003
【０１１４】
評価
準備した感光体Ｎｏ．１０１〜１１２の高耐久性と高画質化とを評価するため、各感光体Ｎｏ．１０１〜１１２を図１に示す構成を有する市販の画像形成装置（コニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）製ｂｉｚｈｕｂ  Ｃ３５２）に装着し、代表特性として、初期画像、画像流れ、表面保護層の磨耗性、膜削れの均一性に付き以下に示す条件で測定し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表２に示す。
【０１１５】
初期画像の評価方法  
前記各感光体を装着したコニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）製ｂｉｚｈｕｂ  Ｃ３５２により、常温常湿環境（２３℃、５０％）でプリント作製を行い、Ａ４の文字画像で２枚出力し、目視にて評価した。○と△とを合格とした。
【０１１６】
初期画像の評価ランク
○：文字画像がきれいに出力される
△：文字画像が判別出来る程度に印字されたが、かすれている
×：文字画像が印字されないか判別出来ない程度にかすれている
画像流れの評価方法
前記各感光体を装着したコニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）製ｂｉｚｈｕｂ  Ｃ３５２を用いて、高温高湿環境（３８℃、８０％ＲＨ）でＡ４フルカラー画像を１００枚連続出力する際、出力前後に黒化率５％のＡ４の文字画像をプリントし、下記基準で文字画像を目視にて測定した。○と△とを合格とした。
【０１１７】
画像流れの評価ランク
○：１００枚焼き出し後にも画像流れなしで良好
△：１００枚焼き出した後に、画像流れ発生
×：１００枚焼き出し前に、画像流れ発生
保護層の磨耗性の測定方法
感光体をコニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）製複写機ｂｉｚｈｕｂ  Ｃ３５２にて一般環境（２３℃、５０％）でＡ４フルカラー画像を黒化率５％で５００００枚焼き出した後の保護層の磨耗量（μｍ）をＦｉｓｃｈｅｒ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｓ社製のフィッシャースコープ（登録商標）ｍｍｓにて測定し、感光体１０万回転あたりの磨耗量（μｍ）を求め、保護層の磨耗性とした。
【０１１８】
上記耐久試験後にハーフ画像で画像出しを行い、表面保護層上の膜の不均一な削れによって生じる傷に起因して発生すると見られる画像上の白スジ発生を目視で観察し、以下に示す評価ランクに基づいて評価を行った。○と△とを合格とした。
【０１１９】
膜削れの均一性評価ランク
○：白い筋がほとんど見えない
△：白い筋がまばらに見える
×：白い筋が全面に見える
【０１２０】
【表２】
2010066551.tif 000004
【０１２１】
感光層の温度を８０℃〜１５０℃で、且つ、真空度１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａで作製した感光体Ｎｏ．１０２〜１０５は初期画像、画像流れ、表面保護層の磨耗性、膜削れの均一性に対して何れも優れた性能を示した。
【０１２２】
感光層の温度を７０℃、真空度１０−２Ｐａで作製した感光体Ｎｏ．１０１は製膜時のダングリングボンド発生により水酸基濃度が多くなることにより画像流れ、膜削れの均一性が劣る結果となった。
【０１２３】
感光層の温度を１７０℃、真空度１０−２Ｐａで作製した感光体Ｎｏ．１０６は製膜時にサンプル温度が上昇することで感光層の電荷輸送物質の分解により初期画像が印字されなかったため以降の評価を中止した。
【０１２４】
感光層の温度を１００℃で、且つ、真空度１０−１Ｐａ〜１０−６Ｐａで作製した感光体Ｎｏ．１０８〜１１１は初期画像、画像流れ、表面保護層の磨耗性、膜削れの均一性に対して何れも優れた性能を示した。
【０１２５】
感光層の温度を１００℃、真空度１０Ｐａで作製した感光体Ｎｏ．１０７は、プラズマ発生不良により製膜時にダングリングボンドの発生が多くなり、表面保護層中の水酸基が多くなることと膜の強度不足により画像流れ、表面保護層の磨耗何れも劣る結果となった。
【０１２６】
感光層の温度を１００℃、真空度１０−７Ｐａで作製した感光体Ｎｏ．１１２は、初期画像、画像流れ、表面保護層の磨耗性、膜削れの均一性は何れも問題ないる結果となったが所望の真空度を得るための時間が掛かり生産性に問題が残る結果となった。本発明の有効性が確認された。
【０１２７】
実施例２
図３の（ｃ）に示される構成の感光体を作製した。
【０１２８】
（導電性支持体の準備）
実施例１と同じ導電性支持体を準備した。
【０１２９】
（中間層の形成）
実施例１と同じ中間層を同じ方法で導電性支持体の上に形成した。
【０１３０】
（電荷発生層の形成）
実施例１と同じ電荷発生層を同じ方法で中間層の上に形成した。
【０１３１】
（電荷輸送層の形成）
実施例１と同じ電荷輸送層を同じ方法で電荷発生層の上に形成した。
【０１３２】
（表面保護層の形成）
電荷輸送層までを形成した導電性支持体を図４に示すスパッタ装置を使用し、以下に示す条件で、表３に示す様に厚さを変えて表面保護層を電荷輸送層の上に、形成する時間を変えた他は実施例１の感光体Ｎｏ．１０３と同じ条件で形成し、感光体を作製しＮｏ．２０１〜２０７とした。
【０１３３】
評価
準備した感光体Ｎｏ．２０１〜２０７の高耐久性と高画質化とを評価するため、各感光体Ｎｏ．２０１〜２０７をコニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）製複写機ｂｉｚｈｕｂ  Ｃ３５２に装着し、代表特性として、初期画像、画像流れ、表面保護層の磨耗性に付き実施例１と同じ方法で測定し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表３に示す。
【０１３４】
【表３】
2010066551.tif 000005
【０１３５】
本発明の表面保護層の厚さ５０ｎｍ〜２０μｍとした感光体Ｎｏ．２０２〜２０６は、何れも初期画像、画像流れ、表面保護層の磨耗性に対して優れた性能を示した。本発明の有効性が確認された。
【０１３６】
実施例３
図３の（ｃ）に示される構成の感光体を作製した。
【０１３７】
（導電性支持体の準備）
実施例１と同じ導電性支持体を準備した。
【０１３８】
（中間層の形成）
実施例１と同じ中間層を同じ方法で導電性支持体の上に形成した。
【０１３９】
（電荷発生層の形成）
実施例１と同じ電荷発生層を同じ方法で中間層の上に形成した。
【０１４０】
（電荷輸送層の形成）
実施例１と同じ電荷輸送層を同じ方法で電荷発生層の上に形成した。
【０１４１】
（表面保護層の形成）
電荷輸送層までを形成した導電性支持体を図４に示すスパッタ装置を使用し、表４に示す条件で無機化合物の種類を変えて表面保護層を形成し感光体を作製しＮｏ．３０１〜３０５とした。
【０１４２】
【表４】
2010066551.tif 000006
【０１４３】
評価
準備した感光体Ｎｏ．３０１〜３０５の高耐久性と高画質化とを評価するため、各感光体Ｎｏ．３０１〜３０５をコニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）製複写機ｂｉｚｈｕｂ  Ｃ３５２に装着し、代表特性として、画像流れ、表面保護層の磨耗性に付き実施例１と同じ方法で測定し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表５に示す。
【０１４４】
【表５】
2010066551.tif 000007
【０１４５】
表面保護層を金属窒化物（Ｓｉ２Ｎ３、ＡｌＮ、ＴｉＮ）で作製した感光体Ｎｏ．３０１〜３０３及び、金属酸化物（ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３）で作製した感光体Ｎｏ．３０４、３０５は何れも画像流れ、表面保護層の磨耗性に付き優れた性能を示した。本発明の有効性が確認された。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】フルカラー画像形成装置の一例を示す概略断面構成図である。
【図２】図１に示されるフルカラー画像形成装置に使用されている感光体の概略図である。
【図３】図２（ｂ）のＳで示される部分の構成の一例を示す拡大概略断面図である。
【図４】ミラートロン方式によるスパッタ装置の概略図である。
【符号の説明】
【０１４７】
１  フルカラー画像形成装置
１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｋ  画像形成ユニット
１Ｙ、１Ｍ、１Ｃ、１Ｋ、１Ｙａ〜１Ｙｆ  感光体
６Ａ、６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｋ  クリーニング手段
１Ｙ１  基体
１Ｙ２、１Ｙ２′、１Ｙ２″  感光層
１Ｙ２１  電荷発生層
１Ｙ２２  電荷輸送層
１Ｙ３  表面保護層
２  スパッタ装置
２０１ａ、２０１ｂ  ターゲット
２０２ａ、２０２ｂ  磁石
２０３  放電ガス供給管
２０４  反応ガス供給管
【図１】
2010066551.tif 000008
【図２】
2010066551.tif 000009
【図３】
2010066551.tif 000010
【図４】
2010066551.tif 000011