(57)【要約】【課題】ボディを共通化してボディの在庫数を減らすことができる継手選択可能バルブ及び変換部材を提供すること。【解決手段】第１及び第２ポート１８，２０を備えるボディ２と、第１及び第２ポート１８，２０の連通状態を切り替える弁部１０と、弁部１０に駆動力を付与する駆動部３と、を備えるバルブ１において、ボディ２は、塩ビ配管８１に連結可能な継手部２４が、第１及び第２ポート１８，２０ポートに各々設けられたものであり、継手部２４に着脱自在に取り付けられる取付部４４と、塩ビ配管８１と異なる種類の可撓性チューブ８２に連結可能な変換継手部４５，６６と、を一体に設けた変換部材４１，６１を有する。【選択図】図１
2010078070.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のポートを備えるボディと、前記複数のポートの連通状態を切り替える弁部と、前記弁部に駆動力を付与する駆動部と、を備える継手選択可能バルブにおいて、
前記ボディは、第１配管に連結可能な継手部が、前記複数のポートに各々設けられたものであり、
前記継手部に着脱自在に取り付けられる取付部と、前記第１配管と異なる種類の第２配管に連結可能な変換継手部と、を一体に設けた変換部材を有する
ことを特徴とする継手選択可能バルブ。
【請求項２】
請求項１に記載する継手選択可能バルブにおいて、
前記ボディは、前記第１配管を前記ボディに連結するための第１ナット部材が締結される第１雄ねじ部が設けられ、
前記変換部材は、前記第１雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が前記取付部に設けられ、前記第２配管を前記変換部材に連結するための第２ナット部材が締結される第２雄ねじ部が前記変換継手部の外周面に設けられている
ことを特徴とする継手選択可能バルブ。
【請求項３】
請求項２に記載する継手選択可能バルブにおいて、
前記変換部材が正方向に回転して前記雌ねじ部を前記第１雄ねじ部に螺合させることを許容し、前記変換部材が逆方向に回転して緩むことを阻害するロック機構を有する
ことを特徴とする継手選択可能バルブ。
【請求項４】
第１配管に連結可能なボディの継手部に着脱可能に取り付けられるものであって、
前記第１配管と異なる種類の第２配管に接続可能な変換継手部を有する
ことを特徴とする変換部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管が接続される継手選択可能バルブ及び変換部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば、環境問題の観点から、太陽電池装置が注目されている。太陽電池装置には、半導体に電極を接続して構成されるものがある。この半導体は、例えば、処理室に基板を配置し、流体供給源から処理室に洗浄液や純水、作用ガスなどを供給することにより、基板の洗浄や薄膜形成等が行われる。このような太陽電池製造装置は、処理室と流体供給源との間に流体を流すための配管が設けられている。
【０００３】
その配管には、流体を制御するための流体制御機器が取り付けられている。流体制御機器としては、例えば、エアオペレイトバルブや電磁弁などのバルブ類、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、レギュレータなどの圧力制御機器、マスフローコントローラやマスフローメータ、差圧式流量制御装置などの流量制御機器等が挙げられる。また、配管は、変換ブロックに接続して、他の種類の配管に接続される。
【０００４】
流体制御機器や変換ブロックのボディは、流体を入力又は出力するためのポートが設けられている。ボディは、ポートの開口部外周に設けた継手部にクランプ部材を用いて配管が接続される。
【０００５】
例えば、特許文献１に記載されるバルブでは、弁本体のみを簡単に交換できるように、バルブの流体入口と流体出口の両側に継手を着脱自在に取り付けるように構成されている。具体的には、特許文献１に記載されるバルブは、弁本体の両側に流体入口と流体出口とが開口し、その開口部の外側にガスケット用装着凹部が形成されている。継手は、ボルトを用いて配管が接続されている。継手は、弁本体に当接する端面にフランジが設けられている。バルブは、ガスケット用装着用凹部にガスケットを装着し、流体入口と流体出口とに継手のフランジが当接される。流体入口側と流体出口側の継手は、長ボルトがフランジ部に挿通され、長ボルトにナット部材を締結することより、流体入口と流体出口の両側に固定される。このようなバルブによれば、長ボルトを取り外せば、配管を切断等せずに、弁本体のみを継手から取り外して交換できる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１１６５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のバルブは、継手を配管に固定した状態で弁本体のみを交換するものである。そのため、従来のバルブは、配管が交換されて、配管の流路径や材質が変わった場合には、弁本体と継手の両方を交換する必要があった。よって、従来のバルブは、配管の種類変更に備えて、継手の種類別に弁本体をストックしなければならなかった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ボディを共通化してボディの在庫数を減らすことができる継手選択可能バルブ及び変換部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る継手選択可能バルブ及び変換部材は、次のような構成を有している。
（１）複数のポートを備えるボディと、前記複数のポートの連通状態を切り替える弁部と、前記弁部に駆動力を付与する駆動部と、を備える継手選択可能バルブにおいて、前記ボディは、第１配管に連結可能な継手部が、前記複数のポートに各々設けられたものであり、前記継手部に着脱自在に取り付けられる取付部と、前記第１配管と異なる種類の第２配管に連結可能な変換継手部を一体に設けた変換部材を有する。
【００１０】
（２）（１）に記載の発明において、前記ボディは、前記第１配管を前記ボディに連結するための第１ナット部材が締結される第１雄ねじ部が設けられ、前記変換部材は、前記第１雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が前記取付部に設けられ、前記第２配管を前記変換部材に連結するための第２ナット部材が締結される第２雄ねじ部が前記変換継手部の外周面に設けられている。
【００１１】
（３）（２）に記載の発明において、前記変換部材が正方向に回転して前記雌ねじ部を前記第１雄ねじ部に螺合させることを許容し、前記変換部材が逆方向に回転して緩むことを阻害するロック機構を有する。
【００１２】
（４）第１配管に連結可能なボディの継手部に着脱可能に取り付けられるものであって、前記第１配管と異なる種類の第２配管に接続可能な変換継手部を有する変換継手。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の継手選択可能バルブによれば、複数のポートを備えるボディと、複数のポートの連通状態を切り替える弁部と、弁部に駆動力を付与する駆動部と、を備える継手選択可能バルブにおいて、ボディは、第１配管に連結可能な継手部が、複数のポートに各々設けられたものであり、継手部に着脱自在に取り付けられる取付部と、第１配管と異なる種類の第２配管に連結可能な変換継手部と、を一体に設けた変換部材を有する。このような継手選択可能バルブは、変換部材をボディの継手部に取り付けない場合には、第１配管しかボディに接続することができない。しかし、変換部材をボディの継手部に取り付ることにより、本発明の継手選択可能バルブは第２配管を変換部材を介してボディに接続することが可能である。よって、本発明の継手選択可能バルブによれば、ボディの形状を共通化してボディの在庫数を減らすことができる。
【００１４】
また、本発明の継手選択可能バルブによれば、ボディは、第１配管をボディに連結するための第１ナット部材が締結される第１雄ねじ部が設けられ、変換部材は、第１雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が取付部に設けられ、第２配管を変換部材に連結するための第２ナット部材が締結される第２雄ねじ部が変換継手部の外周面に設けられている。よって、本発明の継手選択可能バルブによれば、第１及び第２配管を第１及び第２ナット部材を用いてボディと変換部材に簡単に着脱できると共に、変換部材をボディに簡単に着脱できる。
【００１５】
また、本発明の継手選択可能バルブによれば、変換部材が正方向に回転して雌ねじ部を第１雄ねじ部に螺合させることを許容し、変換部材が逆方向に回転して緩むことを阻害するロック機構を有する。よって、本発明の継手選択可能バルブによれば、第２ナット部材を緩めて第２配管を変換部材から取り外す場合に、変換部材がボディから緩んで外れない。
【００１６】
本発明の変換部材によれば、第１配管に連結可能なボディの継手部に着脱可能に取り付けられるものであって、第１配管と異なる種類の第２配管に接続可能な変換継手部を有する。このような変換部材は、ボディに着脱されることにより、第１配管と第２配管をボディに選択的に取り付けることを可能にする。よって、本発明の変換部材によれば、ボディの形状を共通化してボディの在庫数を減らすことができる。
【００１７】
尚、変換部材が取り付けられるボディは、バルブのボディに限らず、センサ類や圧力制御機器、流量制御機器などのポートが設けられたボディであってもよいし、異なる種類の配管を接続する変換ブロックのボディであっても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明に係る継手選択可能バルブの一実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る継手選択可能バルブ１（以下、単に「バルブ１」という。）の断面図であって、変換部材４１とクランプ部材３１とナット部材４３を装着した状態を示す。図２は、変換部材６１とナット部材６２を取り付けた継手選択可能バルブ１の断面図である。図３は、シール溝２２側から見た継手部２４を示す図である。尚、図３は、ロック爪２６の説明に用いるので、継手部２４のみを記載してボディ２全体の形状を記載していない。図４は、図１に示す変換部材４１をロック溝５５側から見た図である。図５は、図１に示す変換部材６１をロック溝５５側から見た図である。
【００１９】
図１及び図２に示すバルブ１は、例えば、太陽電池装置などの半導体を製造する装置の配管に組み付けられ、水や薬液の供給と遮断を制御する。バルブ１は、ボディ２に駆動部３が取り付けられて外観を構成されている。バルブ１は、ボディ２に「第１配管」の一例である塩ビ配管８１に接続可能な継手部２４が設けられ、その継手部２４に変換部材４１を取り付けることにより、「第２配管」の一例である可撓性チューブ８２をボディ２に接続できるようにしている。
【００２０】
ボディ２は、「複数のポート」の一例である第１及び第２ポート１８，２０を備える。ボディ２には、第１及び第２ポート１８，２０の連通状態を切り替える弁部１０が内設されている。駆動部３は、弁部１０に駆動力を付与するように構成されている。
【００２１】
具体的には、駆動部３は、シリンダ４とカバー５との間に形成されるピストン室６に、ピストン７が摺動可能に装填されている。ピストン室６は、ピストン７により、一次室６Ａと二次室６Ｂとに気密に区画されている。一次室６Ａには、シリンダ４に開設された操作ポート４ａが連通し、操作エアが給排気されるようになっている。二次室６Ｂには、シリンダ４に開設された呼吸孔４ｂが連通している。圧縮ばね８は、ピストン７とカバー５との間に縮設され、ピストン７に図中下向きの力を常時作用させている。
【００２２】
シリンダ４には、軸線方向に回転止め溝４ｃが形成されている。ピストン７は、回転止め溝４ｃに突起７ａを摺動可能に嵌合し、回転止めされている。ピストン７は、操作ポート４ａから一次室６Ａに供給された操作エアの圧力と、圧縮ばね８の弾性力とのバランスに応じて、図中上下方向に移動する。ピストン７は、ピストンロッド７ｂが一体に設けられている。ピストンロッド７ｂは、シリンダ４に摺動可能に貫き通されて、ボディ２側に突出し、ダイアフラム９に連結されている。
【００２３】
一方、ボディ２は、樹脂成形品である。ボディ２は、シリンダ４が取り付けられる図中上側面に、有底孔１１が開設されている。ボディ２は、有底孔１１の開口部外側に、ダイアフラム９を装着するための装着溝１２が形成されている。ボディ２は、シリンダ４との間でダイアフラム９の外縁部を気密に挟持し、有底孔１１とシリンダ４との間に形成される空間を弁室１３と背圧室１４に区画している。
【００２４】
ボディ２は、弁室１３と同軸上に弁孔１５が形成されている。弁孔１５が弁室１３に開口する部分には、弁座１６が設けられ、ダイアフラム９が当接又は離間するようになっている。弁孔１５には、第１流路１７を介して第１ポート１８が連通している。また、ボディ２は、弁室１３を第２ポート２０に連通させるための第２流路１９が、弁座１６の外側に形成されている。よって、ボディ２は、第１及び第２ポート１８，２０は、第１流路１７、弁座１６、弁室１３、第２流路１９を介して連通している。
【００２５】
ボディ２は、第１及び第２ポート１８，２０の開口部外周に、継手部２４がそれぞれ設けられている。継手部２４は、円筒形状をなし、外周面に第１雄ねじ部２５が形成されている。継手部２４の端面には、環状シール部材２１を装着するためのシール溝２２が形成されている。尚、環状シール部材２１は、弾性力があれば、その材質はゴムでも樹脂でも良い。
【００２６】
第１及び第２ポート１８，２９の外周に設けた継手部２４は、第１雄ねじ部２５の奥側に、図３に示すロック爪２６が設けられている。図３に示すロック爪２６は、継手部２４の外周面から外側に突出するように設けられている。ロック爪２６は、後述する変換部材４１の正方向への回転を円滑に行わせるための傾斜面２６ａと、後述する変換部材４１の逆方向への回転を阻害するための係止面２６ｂとを備える楔形状をなす。係止面２６ｂは、継手部２４の外周面から外向きに突き出している。傾斜面２６ａは、係止面２６ｂの頂部を継手部２４の外周面になだらかに接続するように設けられている。かかるロック爪２６は、継手部２４の外周面円周方向に沿って複数設けられている。
【００２７】
図１に示すように、ボディ２の継手部２４には、クランプ部材３１を介して塩ビ配管８１が接続される。クランプ部材３１は、樹脂製のユニオンエンド３２と樹脂製のユニオンナット３３とを備える。
【００２８】
ユニオンエンド３２は、円筒状をなし、一端がボディ２に突き当てられ、ユニオンナット３３によりボディ２に連結される。ユニオンエンド３２の他端には、塩ビ配管８１が接着される。ユニオンエンド３２の一端面には、第１及び第２ポート１８，２０と同一の内径を有するように第１開口部３４が設けられ、第１開口部３４の外側にボス部３５が継手部２４のシール溝２２を塞げるように設けられている。ユニオンエンド３２の他端面には、塩ビ配管８１の流路８３と同一内径を有する第２開口部３６が、第１開口部３４に連通するように設けられている。
【００２９】
一方、ユニオンナット３３は、筒状をなす。ユニオンナット３３の内周面には、ボディ２の第１雄ねじ部２５に螺合可能な雌ねじ部３７が形成され、ユニオンエンド３２を継手部２４に対して位置決め固定できるようになっている。ユニオンナット３３の一端面には、ユニオンエンド３２が摺動可能に挿通される挿通孔３８が開設されている。挿通孔３８と雌ねじ部３７との間には、ユニオンエンド３２のボス部３５を継手部２４に対して押し付けて環状シール部材２１を押しつぶすための段差部３９が設けられている。
【００３０】
また、ボディ２は、変換部材４１が継手部２４に着脱可能に取り付けられる。変換部材４１は、ロック機構２７により回転止めされた状態でボディ２に取り付けられている。可撓性チューブ８２は、「第２ナット部材」の一例であるナット部材４３を介して変換部材４１に接続され、変換部材４１を介してボディ２の継手部２４に接続されている。
【００３１】
変換部材４１は、樹脂を材質とする。変換部材４１は、ボディ２の第１雄ねじ部２５に螺合される雌ねじ部４６を備える取付部４４と、継手部２４と形状が異なり、可撓性チューブ８２が接続される変換継手部４５とを、一体成形したものである。
【００３２】
取付部４４は、外形が多角形上をなし、工具などを用いて変換部材４１を回転させやすくしている。図４に示すように、取付部４４は、雌ねじ部４６の開口部内周に、図３に示すボディ２のロック爪２６に係合可能なロック溝５５が形成されている。ロック溝５５は、図４に示すように、ロック爪２６の傾斜面２６ａに摺接する摺接面５５ａと、ロック爪２６の係止面２６ｂに当接する当接面５５ｂとを備え、円周方向に凹凸状に設けられている。当接面５５ｂは、雌ねじ部４６の開口部内周面から内向きに突き出すように設けられ、摺接面５５ａは、当接面５５ｂの頂部を雌ねじ部４６の内周面になだらかに接続するように設けられている。
【００３３】
変換継手部４５は、中空孔４７の軸線方向に対して直交する断面積が第２ポート２０の開口部口径より小さくされている。変換継手部４５の外周面には、第２雄ねじ部４８が形成されている。変換継手部４５の先端部には、可撓性チューブ８２に挿入される挿入部４９が設けられている。挿入部４９の先端面には、可撓性チューブ８２を挿入部４９へ案内するための傾斜５０が設けられている。
【００３４】
ナット部材４３は、筒状をなす。ナット部材４３の内周面には、変換部材４１の第２雄ねじ部４８に螺合する雌ねじ部５１が形成されている。ナット部材４３の内周面には、雌ねじ部５１より奥側に、可撓性チューブ８２の変形を許容するための環状溝５２が形成されている。ナット部材４３の端面には、挿入孔５３が変換部材４１の挿入部４９の外径寸法より小さく形成され、可撓性チューブ８２を変換部材４１の傾斜５０に押し付けるように押圧部５４が設けられている。
【００３５】
図２に示すように、ボディ２は、変換部材６１が継手部２４に着脱可能に取り付けられる。変換部材６１は、ロック機構２７により回転止めされた状態でボディ２に取り付けられている。変換部材６１は、樹脂を材質とする。変換部材６１は、ナット部材６２を介して可撓性チューブ８２が接続される。そのため、可撓性チューブ８２は、変換部材６１を介してボディ２の継手部２４に接続される。変換部材６１は、変換継手部６６の形状を除き、変換部材４１と構成が同じである。ここでは、変換部材４１と相違する点のみ説明する。
【００３６】
変換部材６１の変換継手部６６は、円筒形状をなす。変換継手部６６のが外周面には、第２雄ねじ部６９が形成されている。中空孔６８は、軸線方向に対して直交する断面積が第１及び第２ポート１８，２０の開口面積より小さくされている。変換継手部６６は、内筒部材６４を取り付けるための取付孔７０が中空孔６８より大径に形成され、取付孔７０と中空孔６８との間に形成された段部に、内筒部材６４を位置決め固定するための固定溝７１が形成されている。取付孔７０の開口部内周面には、開口部に向かって大径となる傾斜７０ａが形成されている。
【００３７】
内筒部材６４は、変換部材６１の中空孔６８に連通する貫通孔７２を備える。貫通孔７２は、中空孔６８と同一径を有し、流路内周面に形成される凹凸を少なくしている。内筒部材６４は、凸部７３を固定溝７１に圧入して固定されている。内筒部材６４は、変換部材６１の変換継手部６６の内周面との間に、可撓性チューブ８２を差し込むための隙間を形成している。内筒部材６４の先端部には、先端部から後端部に向かって大径となる第１傾斜面７４と、第１傾斜面７４に接続して後端部に向かって小径となる第２傾斜面７５とが設けられている。
【００３８】
ナット部材６２は、樹脂を材質とし、筒状をなす。ナット部材６２の内周面には、変換部材６１の第２雄ねじ部６９に螺合する雌ねじ部７６が形成されている。ナット部材６２の端面には、挿入孔７７が内筒部材６４の第１傾斜面７４に対応するように形成されている。そのため、ナット部材６２には、可撓性チューブ８２を変換部材６１の第１傾斜面７４に押し付けるための押圧部７８が設けられている。
【００３９】
続いて、上記構成を有するバルブ１に塩ビ配管８１と可撓性チューブ８２を接続する方法について説明する。
塩ビ配管８１は、クランプ部材３１を用いてバルブ１に接続される。具体的には、ユニオンナット３３を塩ビ配管８１に通してから、ユニオンエンド３２を塩ビ配管８１に接着する。そして、ユニオンナット３３をボディ２の第１雄ねじ部２５にねじ込み、ボス部３５をボディ２に押し付けるようにしてユニオンエンド３２を固定する。これにより、ボディ２のシール溝２２に装着した環状シール部材２１が、ボディ２とボス部３５との間で押し潰され、ボディ２とユニオンエンド３２との接続部分をシールする。これにより、塩ビ配管８１の流路８３がユニオンエンド３２を介してボディ２の第１ポート１８に連通する。
【００４０】
可撓性チューブ８２は、変換部材４１を用いてバルブ１に接続される。変換部材４１は、変換部材４１を正方向に回転させ、変換部材４１の雌ねじ部４６をボディ２の第１雄ねじ部２５に螺合させる。正方向に回転される変換部材４１は、ボディ２のロック爪２６がロック溝５５に係合する。このとき、ロック溝５５の摺接面５５ａがロック爪２６の傾斜面２６ａに摺接するため、変換部材４１は正方向への回転が許容される。そこで、変換部材４１を更に正方向へ回転させ、変換部材４１がボディ２に突き当たるまで雌ねじ部４６を第１雄ねじ部２５に螺合させる。これにより、環状シール部材２１は、変換部材４１とボディ２との間で押し潰されてシールを行う。また、変換部材４１は、ロック溝５５の当接面５５ｂをロック爪２６の係止面２６ｂに当接させ、逆方向への回転が阻害される状態になる。
【００４１】
ナット部材４３は、可撓性チューブ８２が挿入孔５３に挿通される。変換部材４１の挿入部４９には、可撓性チューブ８２が嵌め込まれる。ナット部材４３は、正方向に回転されて、雌ねじ部５１が変換部材４１の第２雄ねじ部４８に螺合され、変換部材４１に連結される。雌ねじ部５１と第２雄ねじ部４８のねじ送りによって、可撓性チューブ８２は、ナット部材４３の押圧部５４により変換部材４１の傾斜５０に押し付けられてシールされる。このとき、可撓性チューブ８２は、環状溝５２により変形を許容されるため、ナット部材４３を変換部材４１に円滑に螺合させることができる。これにより、可撓性チューブ８２の流路８４が変換部材４１を介してボディ２の第２ポート２０に連通される。
【００４２】
ここで、例えば、バルブ１が制御する薬液の種類が変更され、可撓性チューブ８２を交換する場合には、変換部材４１から既存の可撓性チューブ８２を取り外す必要がある。この場合には、ナット部材４３は、逆方向に回転され、変換部材４１から取り外される。可撓性チューブ８２は、変換部材４１の挿入部４９から引っ張って取り外され、ナット部材４３の挿入孔５３から抜き出される。その後、新しい可撓性チューブ８２がナット部材４３の挿入孔５３に挿通される。以下、上記と同様にして、新しい可撓性チューブ８２は、変換部材４１を用いてボディ２に取り付けられる。
【００４３】
変換部材４１は、ナット部材４３を逆方向に回転させたときにナット部材４３と共周りしようとする。しかし、変換部材４１は、ロック溝５５の当接面５５ｂがボディ２のロック爪２６に設けた係止面２６ｂに当接し、逆方向への回転を阻害される。よって、変換部材４１は、ナット部材４３を逆方向に回転させても、ボディ２から外れない。
【００４４】
例えば、バルブ１が高温な薬液を制御する場合には、変換部材４１を使用して可撓性チューブ４１を継手部２４に接続すると、変換部材４１や継手部２４の熱膨張・熱収縮によりシール力が低下する虞がある。そこで、図２に示す変換部材６１を用いて可撓性チューブ８２をボディ２に接続する。
【００４５】
変換部材６１は、ボディ２に対して正方向に回転され、雌ねじ部４６をボディ２の第１雄ねじ部２５に螺合させる。正方向に回転される変換部材６１は、ボディ２のロック爪２６がロック溝５５に係合する。このとき、ロック溝５５の摺接面５５ａがロック爪２６の傾斜面２６ａに摺接するため、変換部材６１は正方向への回転が許容される。そこで、変換部材６１を更に正方向へ回転させ、変換部材６１がボディ２に突き当たるまで雌ねじ部４６を第１雄ねじ部２５に螺合させる。これにより、環状シール部材２１は、変換部材６１とボディ２との間で押し潰されてシールを行う。また、変換部材６１は、ロック溝５５の当接面５５ｂをロック爪２６の係止面２６ｂに当接させ、逆方向への回転が阻害される状態になる。
【００４６】
ナット部材６２は、可撓性チューブ８２が挿入孔７７に挿通される。変換部材６１の内筒部材６４には可撓性チューブ８２が第１及び第２傾斜面７４，７５を覆うように嵌め込まれる。
【００４７】
ナット部材６２は、正方向に回転されて、雌ねじ部７６が変換部材６１の第２雄ねじ部６９に螺合され、変換部材６１に連結される。雌ねじ部７６と第２雄ねじ部６９のねじ送りによって、可撓性チューブ８２は、ナット部材６２の押圧部７８により内筒部材６４の第１傾斜面７４に押し付けられてシールされると共に、内筒部材６４の第２傾斜面７５と変換部材６１の傾斜７０ａとの間でシールされる。これにより、可撓性チューブ８２の流路８４が変換部材６１を介してボディ２の第２ポート２０に連通される。
【００４８】
尚、可撓性チューブ８２は、上記と同様にして、変換部材６１を用いてボディ２の第１ポート１８に接続される。
また、可撓性チューブ８２を交換する場合には、変換部材６１は、ナット部材６２を逆方向に回転させて変換部材６１から取り外す。この場合、変換部材４１と同様に、変換部材６１は、ロック機構２７により逆方向への回転を阻害されるため、変換部材６１がボディ２から外れない。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態のバルブ１によれば、第１及び第２ポート１８，２０を備えるボディ２と、第１及び第２ポート１８，２０の連通状態を切り替える弁部１０と、弁部１０に駆動力を付与する駆動部３と、を備えるバルブ１において、ボディ２は、塩ビ配管８１に連結可能な継手部２４が、第１及び第２ポート１８，２０ポートに各々設けられたものであり、継手部２４に着脱自在に取り付けられる取付部４４と、塩ビ配管８１と異なる種類の可撓性チューブ８２に連結可能な変換継手部４５，６６と、を一体に設けた変換部材４１，６１を有する。このようなバルブ１は、変換部材４１，６１をボディ２の継手部２４に取り付けない場合には、塩ビ配管８１しかボディ２に接続することができない。しかし、変換部材４１，６１をボディ２の継手部２４に取り付ることにより、バルブ１は可撓性チューブ８２を変換部材４１，６１を介してボディ２に接続することが可能である。よって、本実施形態のバルブ１によれば、ボディ２の形状を共通化してボディ２の在庫数を減らすことができる。
【００５０】
また、本実施形態のバルブ１は、図１に示すように、一方の継手部２４に変換部材４１（６１）を取り付ければ、違う継手形状の塩ビ配管８１と可撓性チューブ８２をボディ２に接続することができる。よって、本実施形態のバルブ１は、ボディ２が配管の種類を変えるための変換ブロックの役割も果たし、配管経路上に設けた変換ブロックを省いて配管構造を簡素化できる。
【００５１】
また、本実施形態のバルブ１は、ボディ２に接続する配管の種類（例えば塩ビ配管８１と可撓性チューブ８２）が特定されないため、同一種類の配管をボディ２に接続したり、異種類の配管をボディに接続するなど、配管構成の自由度を広げることができる。
【００５２】
また、本実施形態のバルブ１によれば、ボディ２は、塩ビ配管８１をボディ２に連結するためのクランプ部材３１が締結される第１雄ねじ部２５が設けられ、変換部材４１，６１は、第１雄ねじ部２５に螺合する雌ねじ部４６が取付部４４に設けられ、可撓性チューブ８２を変換部材４１，６１に連結するためのナット部材４３，６２が締結される第２雄ねじ部４８，６９が変換継手部４５，６６の外周面に設けられている。よって、本実施形態のバルブ１によれば、塩ビ配管８１と可撓性チューブ８２をクランプ部材３１及びナット部材４３，６２を用いてボディ２と変換部材４１，６１に簡単に着脱できると共に、変換部材４１，６１をボディ２に簡単に着脱できる。
【００５３】
また、本実施形態のバルブ１によれば、変換部材４１，６１が正方向に回転して雌ねじ部４６を第１雄ねじ部２５に螺合させることを許容し、変換部材６１が逆方向に回転して緩むことを阻害するロック機構２７を有する。よって、本実施形態のバルブ１によれば、ナット部材４３，６２を緩めて可撓性チューブ８２を変換部材４１，６１から取り外す場合に、変換部材４１，６１がボディ２から緩んで外れない。
【００５４】
また、本実施形態の変換部材４１，６１によれば、塩ビ配管８１に連結可能なボディ２の継手部２４に着脱可能に取り付けられるものであって、継手部２４と異なる形状を有し、塩ビ配管８１と異なる種類の可撓性チューブ８２に接続可能な変換継手部４５，６６を有する。このようなの変換部材４１，６１は、ボディ２に着脱されることにより、塩ビ配管８１と可撓性チューブ８２をボディ２に選択的に取り付けることを可能にする。よって、本実施形態の変換部材４１，６１によれば、ボディ２の形状を共通化してボディ２の在庫数を減らすことができる。
【００５５】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施形態では、エアオペレイト式のバルブ１に変換部材９１を適用したが、電磁弁やスプール弁などの各種バルブ類や、圧力センサや流量センサなどのセンサ類や、レギュレータなどの圧力制御機器、マスフローコントローラやマスフローメータ、差圧式流量制御装置等の流量制御機器などのボディに変換部材４１，６１を取り付けて、ボディに接続する配管の種類を変更できるようにしても良い。また、例えば、配管同士を接続する変換ブロックのボディに変換部材４１，６１を取り付けてボディに接続する配管の種類を変更しても良い。
【００５６】
（２）例えば、上記実施形態では、バルブ１の構成部品が樹脂を材質とするが、各部品の材質を金属としても良い。
（３）例えば、上記実施形態では、バルブ１のボディ２が第１及び第２ポート１８，２０を備えるが、ボディ２に３以上のポートを設けても良い。
（４）例えば、上記実施形態では、変換部材４１，６１をねじ構造によりボディ２に取り付けたが、固定部材（抜け止めピン、押さえカバー、スナップ形状等）により変換部材をボディに取り付けるようにしても良い。この場合、変換部材が経時的に緩みを生じてボディから外れる恐れがないので、ロック機構２７を省くことができる。
【００５７】
（５）例えば、上記実施形態では、変換部材４１，６１の取付部４４の外形を六角形状にしたが、取付部４４の外形をローレット形状にして変換部材４１，６１を小型化しても良い。
（６）例えば、上記実施形態では、ボディ２に２個のロック爪２６を設けたが、３以上のロック爪２６を継手部２４に設けもよい。この場合、変換部材４１，６１の回転をより強固に阻止することができ、緩み止めの効果を向上させることができる。
（７）例えば、上記実施形態では、ロック爪２６の形状を楔形にしたが、ロック爪２６を山形や半円形にして加工を容易にしても良い。この場合、変換部材４１，６１のロック溝５５の形状もロック爪２６の形状に応じて変えると良い。
（８）例えば、上記実施形態のバルブ１及び変換部材４１，６１は、半導体製造装置に限らず、一般工業で使用する装置に適用しても良い。
（９）上記実施形態では、バルブ１や変換部材４１，６１，第１及び第２配管８１，８２、クランプ部材３１（ユニオンエンド３２、ユニオンナット３３）、ナット部材４３の材質を樹脂としたが、それらの材質を金属としても良い。また、例えば、バルブ１を樹脂製とし、変換部材４１，６１，第１及び第２配管８１，８２、クランプ部材３１（ユニオンエンド３２、ユニオンナット３３）、ナット部材４３の材質を金属にしたり、バルブ１を金属製とし、変換部材４１，６１，第１及び第２配管８１，８２、クランプ部材３１（ユニオンエンド３２、ユニオンナット３３）、ナット部材４３の材質を樹脂にするなど、異なる材質の部品を組み合わせても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態に係る継手選択可能バルブの断面図であって、変換部材とクランプ部材とナット部材４３を装着した状態を示す。
【図２】図１と異なる変換部材とナット部材を取り付けた継手選択可能バルブの断面図である。
【図３】シール溝側から見た継手部を示す図である。
【図４】図１に示す変換部材をロック溝側から見た図である。
【図５】図２に示す変換部材をロック溝側から見た図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  継手選択可能バルブ
２  ボディ
３  駆動部
１０  弁部
１８，２０  第１及び第２ポート（複数のポートの一例）
３１  第１クランプ部材（第１ナット部材の一例）
４１，６１  変換部材
２４  継手部
２５  第１雄ねじ部
２７  ロック機構
４３，６２  ナット部材（第２ナット部材の一例）
４４  取付部
４５，６６  変換継手部
４６  雌ねじ部
４８．６９  第２雄ねじ部
８１  塩ビ配管（第１配管の一例）
８２  可撓性チューブ（第２配管の一例）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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