(57)【要約】      （修正有）【課題】大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供すること。【解決手段】搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材とを備えるとともに、支持部材を上下動させる上下駆動機構、および支持部材を水平方向に移動させるための水平駆動機構、および上下方向を軸方向とする所定の中心軸を中心に前記支持部材を回転させるための回転駆動機構を備え、前記上下駆動機構、前記水平駆動機構、前記回転駆動機構は、それぞれ複数の駆動用モータを備える。例えば上下駆動機構においては、上下駆動用モータ２０、プーリ２８，２９とベルト３０、上下ブレーキ機構２４、減速機２１、減速機の出力軸に設けられたピニオン２２をそれぞれ２組有し、１本のラックに２個のピニオン２２が噛み合い駆動する。【選択図】図６
2010023195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームを支持する支持部材とを備えるとともに、
前記支持部材を上下動させる上下駆動機構、および／または、前記支持部材を水平方向に移動させるための水平駆動機構、および／または、上下方向を軸方向とする所定の中心軸を中心に前記支持部材を回転させるための回転駆動機構を備え、
前記上下駆動機構および／または前記水平駆動機構および／または前記回転駆動機構は、複数の駆動用モータを備えることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記上下駆動機構および／または前記水平駆動機構および／または前記回転駆動機構は、前記上下駆動機構および／または前記水平駆動機構および／または前記回転駆動機構を停止させるための複数のブレーキ機構を備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記上下駆動機構および／または前記水平駆動機構および／または前記回転駆動機構は、前記駆動用モータと同じ数の前記ブレーキ機構を備え、
複数の前記ブレーキ機構のそれぞれは、複数の前記駆動用モータのそれぞれに連結されていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
複数の前記駆動用モータとして複数の上下駆動用モータを有する前記上下駆動機構を備えることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記支持部材を上下方向に移動可能に支持するための柱状部材を備え、
前記上下駆動機構は、前記柱状部材に固定される上下駆動用ラックと、前記上下駆動用ラックと噛み合う複数の上下駆動用ピニオンとを備えることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記上下駆動機構は、前記上下駆動用モータと同じ数の前記上下駆動用ピニオンを備え、
複数の前記上下駆動用ピニオンのそれぞれは、複数の前記上下駆動用モータのそれぞれに連結されていることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
【請求項７】
前記上下駆動機構は、前記上下駆動用ピニオンが固定される出力軸を有し複数の前記上下駆動用モータのそれぞれに連結される複数の減速機を備えることを特徴とする請求項５または６記載の産業用ロボット。
【請求項８】
複数の前記駆動用モータとして複数の水平駆動用モータを有する前記水平駆動機構を備えることを特徴とする請求項１から７いずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項９】
前記支持部材を支持するための本体部と、前記本体部を水平方向へ移動可能に支持するためのベース部材とを備え、
前記水平駆動機構は、前記ベース部材に固定される水平駆動用ラックと、前記水平駆動用ラックと噛み合う複数の水平駆動用ピニオンとを備えることを特徴とする請求項８記載の産業用ロボット。
【請求項１０】
前記水平駆動機構は、前記水平駆動用モータと同じ数の前記水平駆動用ピニオンを備え、
複数の前記水平駆動用ピニオンのそれぞれは、複数の前記水平駆動用モータのそれぞれに連結されていることを特徴とする請求項９記載の産業用ロボット。
【請求項１１】
複数の前記駆動用モータとして複数の回転駆動用モータを有する前記回転駆動機構を備えることを特徴とする請求項１から１０いずれかに記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットが広く利用されている。この種の産業用ロボットとして、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドを保持するアームと、アームを上下動させるボールネジとを備える産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の産業用ロボットでは、ボールネジに１台のモータが連結されており、ボールネジは１台のモータで駆動されている。
【０００３】
また、搬送対象物を搬送する産業用ロボットではないが、ロボットの本体部分を搭載するベースが水平方向に移動可能となっている産業用ロボットも知られている（たとえば、特許文献２参照）。この特許文献２に記載の産業用ロボットは、ベースを水平方向に移動させるためのラックおよびピニオンと、ピニオンを回転駆動するための１台のモータを備えている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１０２８８６号公報
【特許文献２】特開平６−１０６４８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液晶ディスプレイ用ガラス基板等のように、産業用ロボットによって搬送される搬送対象物の中には、年々、大型化するものがある。この搬送対象物の大型化に伴って、大型化する搬送対象物を搬送する産業用ロボットは大型化する傾向にある。また、産業用ロボットの大型化に伴って、産業用ロボットのコストが増大する傾向にある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材とを備えるとともに、支持部材を上下動させる上下駆動機構、および／または、支持部材を水平方向に移動させるための水平駆動機構、および／または、上下方向を軸方向とする所定の中心軸を中心に支持部材を回転させるための回転駆動機構を備え、上下駆動機構および／または水平駆動機構および／または回転駆動機構は、複数の駆動用モータを備えることを特徴とする。
【０００８】
搬送対象物の大型化に伴って、上下駆動機構、水平駆動機構および／または回転駆動機構で要求される駆動用モータの総容量が大きくなる。そのため、１台の駆動用モータで、上下駆動機構、水平駆動機構および／または回転駆動機構を駆動する場合には、体格の大きなモータを使用する必要があり、産業用ロボットが大型化するおそれがある。
【０００９】
本発明の産業用ロボットでは、上下駆動機構、水平駆動機構および／または回転駆動機構が複数の駆動用モータを備えている。そのため、上下駆動機構、水平駆動機構および／または回転駆動機構で要求される駆動用モータの総容量が大きい場合であっても、体格の小さな駆動用モータを使用することができる。また、体格の大きな１台の駆動用モータを使用する場合と比較して、体格の小さな複数の駆動用モータを使用する場合には、駆動用モータの配置の自由度が高くなる。したがって、本発明では、大きな搬送対象物を搬送するにもかかわらず、産業用ロボットを小型化することが可能になる。
【００１０】
また、駆動用モータの容量が所定の容量を超えると、駆動用モータの価格は急激に高くなるが、本発明では、容量の小さな駆動用モータを使用することができるため、複数の駆動用モータが使用される場合であっても、産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。
【００１１】
さらに、本発明では、容量の小さな駆動用モータを使用することができるため、１台の駆動用モータから伝達される動力は小さくなる。したがって、駆動用モータの動力を伝達する歯車等の動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができ、動力伝達機構の構成を簡素化することができる。また、動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【００１２】
本発明において、上下駆動機構および／または水平駆動機構および／または回転駆動機構は、上下駆動機構および／または水平駆動機構および／または回転駆動機構を停止させるための複数のブレーキ機構を備えることが好ましい。このように構成すると、たとえば、１個のブレーキ機構が破損しても他のブレーキ機構によって、上下駆動機構、水平駆動機構および／または回転駆動機構を停止させることができる。したがって、大きな搬送対象物であっても安全に搬送することができる。また、複数のブレーキ機構を段階的に作動させることが可能になるため、上下駆動機構、水平駆動機構および／または回転駆動機構の急制動を防止することが可能になる。したがって、ハンドからの搬送対象物の落下を防止することが可能になる。
【００１３】
本発明において、上下駆動機構および／または水平駆動機構および／または回転駆動機構は、たとえば、駆動用モータと同じ数のブレーキ機構を備え、複数のブレーキ機構のそれぞれは、複数の駆動用モータのそれぞれに連結されている。この場合には、複数の駆動用モータを個別にかつ確実に停止させることが可能になる。
【００１４】
本発明において、産業用ロボットは、複数の駆動用モータとして複数の上下駆動用モータを有する上下駆動機構を備えることが好ましい。このように構成すると、上下駆動機構を小型化することおよび上下駆動機構のコストを低減することが可能になる。また、上下駆動用モータの動力を伝達する動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができる。そのため、動力伝達機構の構成を簡素化することができ、また、動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【００１５】
本発明において、産業用ロボットは、支持部材を上下方向に移動可能に支持するための柱状部材を備え、上下駆動機構は、柱状部材に固定される上下駆動用ラックと、上下駆動用ラックと噛み合う複数の上下駆動用ピニオンとを備えることが好ましい。
【００１６】
ラックとピニオンとを用いて駆動を行う場合、搬送対象物の大型化に伴って大型化する産業用ロボットでは、ラックの長さが長くなるため、複数のラック片を繋ぎ合わせることでラックを形成する必要がある。したがって、ラックには、ラック片同士の繋ぎ目が発生し、この繋ぎ目部分では、ラック片の組立精度に起因して、ラックに形成される歯のピッチがずれやすくなる。その結果、ラック片の繋ぎ目でも本来、ラックの歯とピニオンの歯とが複数噛み合わなければならないにもかかわらず、ラック片の繋ぎ目で、たとえば、ラックの歯とピニオンの歯とが１枚しか噛み合わない状況が生じ得る。
【００１７】
したがって、上下駆動機構が上下駆動用ラックと噛み合う複数の上下駆動用ピニオンを備えていると、たとえ、ラック片の繋ぎ目で上下駆動用ラックの歯と上下駆動用ピニオンの歯とが１枚しか噛み合わない状況が生じても、他の上下駆動用ピニオンの複数の歯と上下駆動用ラックの複数の歯とを噛み合わせることが可能になる。そのため、ラック片の繋ぎ目に位置する上下駆動用ラックの歯および上下駆動用ピニオンの歯に過剰な応力が生じるのを防止することが可能になる。その結果、上下駆動用ラックおよび上下駆動用ピニオンの構成を簡素化しても、上下駆動用ラックおよび上下駆動用ピニオンの損傷を防止することができる。
【００１８】
本発明において、上下駆動機構は、上下駆動用モータと同じ数の上下駆動用ピニオンを備え、複数の上下駆動用ピニオンのそれぞれは、複数の上下駆動用モータのそれぞれに連結されていることが好ましい。このように構成すると、それぞれの上下駆動用モータの回転数に応じて上下駆動用ピニオンを回転させることができる。したがって、複数の上下駆動用ピニオンが上下駆動用ラックと噛み合っている場合であっても、上下駆動用ピニオンの歯と上下駆動用ラックの歯とが必要以上の力で噛み合うのを防止することが可能になる。その結果、上下駆動用ピニオンおよび上下駆動用ラックの損傷を抑制して、上下駆動機構で支持部材を適切に上下動させることが可能になる。
【００１９】
本発明において、上下駆動機構は、上下駆動用ピニオンが固定される出力軸を有し複数の上下駆動用モータのそれぞれに連結される複数の減速機を備えることが好ましい。このように構成すると、減速機の作用で、上下駆動用ラックと噛み合う上下駆動用ピニオンに大きな動力を伝達することができる。
【００２０】
本発明において、産業用ロボットは、複数の駆動用モータとして複数の水平駆動用モータを有する水平駆動機構を備えることが好ましい。このように構成すると、水平駆動機構を小型化することおよび水平駆動機構のコストを低減することが可能になる。また、水平駆動用モータの動力を伝達する動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができる。そのため、動力伝達機構の構成を簡素化することができ、また、動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【００２１】
本発明において、産業用ロボットは、支持部材を支持するための本体部と、本体部を水平方向へ移動可能に支持するためのベース部材とを備え、水平駆動機構は、ベース部材に固定される水平駆動用ラックと、水平駆動用ラックと噛み合う複数の水平駆動用ピニオンとを備えていることが好ましい。
【００２２】
このように構成すると、たとえ、ラック片の繋ぎ目で水平駆動用ラックの歯と水平駆動用ピニオンの歯とが１枚しか噛み合わない状況が生じても、他の水平駆動用ピニオンの複数の歯と水平駆動用ラックの複数の歯とを噛み合わせることが可能になる。そのため、ラック片の繋ぎ目に位置する水平駆動用ラックの歯および水平駆動用ピニオンの歯に過剰な応力が生じるのを防止することが可能になる。その結果、水平駆動用ラックおよび水平駆動用ピニオンの構成を簡素化しても、水平駆動用ラックおよび水平駆動用ピニオンの損傷を防止することができる。
【００２３】
本発明において、水平駆動機構は、水平駆動用モータと同じ数の水平駆動用ピニオンを備え、複数の水平駆動用ピニオンのそれぞれは、複数の水平駆動用モータのそれぞれに連結されていることが好ましい。このように構成すると、それぞれの水平駆動用モータの回転数に応じて水平駆動用ピニオンを回転させることができる。したがって、複数の水平駆動用ピニオンが水平駆動用ラックと噛み合っている場合であっても、水平駆動用ピニオンの歯と水平駆動用ラックの歯とが必要以上の力で噛み合うのを防止することが可能になる。その結果、水平駆動用ピニオンおよび水平駆動用ラックの損傷を抑制して、水平駆動機構で支持部材を適切に水平方向に移動させることが可能になる。
【００２４】
本発明において、産業用ロボットは、複数の駆動用モータとして複数の回転駆動用モータを有する回転駆動機構を備えることが好ましい。このように構成すると、回転駆動機構を小型化することおよび回転駆動機構のコストを低減することが可能になる。また、回転駆動用モータの動力を伝達する動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができる。そのため、動力伝達機構の構成を簡素化することができ、また、動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明にかかる産業用ロボットでは、大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、産業用ロボットを小型化することおよび産業用ロボットのコストを低減することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１を示す図である。図３は、図１のＦ−Ｆ方向から産業用ロボット１を示す図である。
【００２８】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用ガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。本形態のロボット１は、特に大型の基板２の搬送に適した大型のロボットであり、たとえば、１辺が約３ｍの略正方形状の基板２を搬送する。なお、搬送対象物は、基板２に限定されず、半導体ウエハ等であっても良い。
【００２９】
このロボット１は、図１〜図３に示すように、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース部材６とを備えている。本体部５は、２本のアーム４の基端側を支持するとともに上下動可能な支持部材７と、支持部材７を上下方向に移動可能に支持するための柱状部材８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース部材６に対して水平移動可能な基台９と、柱状部材８の下端が固定されるとともに基台９に対して旋回可能な旋回部材１０とを備えている。なお、本形態では、柱状部材８は、支持部材７を支持する本体部となっている。
【００３０】
上述のように、本形態のロボット１は、大型のロボットである。たとえば、ロボット１の高さは約７ｍであり、支持部材７の上下方向のストローク（移動量）は約５ｍである。また、たとえば、ハンド３の水平方向のストロークは約５．５ｍである。
【００３１】
ハンド３は、基板２を搭載するための複数の爪部１２を備えている。ハンド３の基端は、アーム４の先端に回動可能に連結されている。アーム４は、２個の関節部１３を有し、全体として伸縮するように構成されている。また、アーム４の基端は、支持部材７に固定されている。
【００３２】
本形態では、２個のハンド３と２本のアーム４とが上下方向に重なるように配置されている。すなわち、本形態のロボット１は、ダブルアームタイプのロボットである。なお、ロボット１は、１個のハンド３と１本のアーム４とを備えるシングルアームタイプのロボットであっても良い。
【００３３】
また、ロボット１は、支持部材７を上下動させる上下駆動機構１６（図４参照）と、本体部５を水平方向へ移動させる水平駆動機構１７（図７参照）と、基台９に対して旋回部材１０を旋回させる回転駆動機構１８（図７参照）とを備えている。以下、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８の構成、および、その周辺部分の構成を説明する。
【００３４】
（上下駆動機構およびその周辺部の構成）
図４は、図１のＦ−Ｆ方向から支持部材７および上下駆動機構１６を示す図である。図５は、図４のＧ−Ｇ方向から支持部材７、柱状部材８および上下駆動機構１６を示す図である。図６は、図４のＨ−Ｈ方向から上下駆動機構１６を示す図である。
【００３５】
上下駆動機構１６は、図５に示すように、柱状部材８の側方（図５における柱状部材８の下方）に配置されている。この上下駆動機構１６は、２台の上下駆動用モータ２０と、２台の上下駆動用モータ２０のそれぞれに連結される２個の減速機２１とを備えている。図４に示すように、１台の上下駆動用モータ２０、２個の減速機２１および１台の上下駆動用モータ２０が上からこの順番で移動部材７に固定されている。
【００３６】
また、上下駆動機構１６は、２個の減速機２１のそれぞれの出力軸に固定される上下駆動用ピニオンとしての２個のピニオン（小歯車）２２と、２個のピニオン２２と噛み合う上下駆動用ラックとしてのラック２３とを備えている。この２個のピニオン２２とラック２３とによって、支持部材７は上下方向に移動する。さらに、上下駆動機構１６は、上下駆動機構１６を停止させるための（すなわち、支持部材７を停止させるための）２個の上下ブレーキ機構２４を備えている。
【００３７】
また、ロボット１は、図５に示すように、支持部材７を上下方向に案内するためのガイド部２５を備えている。ガイド部２５は、ガイドレール２６とガイドレール２６に係合するガイドブロック２７とから構成されている。なお、柱状部材８は、上下方向を長手方向とする細長い略角柱状に形成され、支持部材７は、ブロック状に形成されている。
【００３８】
上下駆動用モータ２０は、上下駆動用モータ２０の回転速度を検出するための速度検出機構（図示省略）を備えている。この速度検出機構は、たとえば、円板状に形成されたスリット板と、スリット板を挟んだ状態で対向配置される発光素子および受光素子とから構成されている。
【００３９】
図６に示すように、上下駆動用モータ２０の出力軸には、プーリ２８が固定されている。また、減速機２１の入力軸には、プーリ２８よりも径の大きなプーリ２９が固定されている。プーリ２８、２９には、ベルト３０が架け渡されており、上下方向で隣接配置される上下駆動用モータ２０と減速機２１とがこのベルト３０によって連結されている。
【００４０】
ラック２３は、上下方向を長手方向として柱状部材８に固定されている（図５参照）。上述のように、本形態では、支持部材７の上下方向のストロークが長い。すなわち、ラック２３の長さは長い。そのため、本形態では、ラック２３は、複数のラック片を繋ぎ合わせることで形成されている。なお、１個のラック片の長さは、２個のピニオン２２の配置ピッチよりも長くなっている。
【００４１】
上下ブレーキ機構２４は、図６等に示すように、プーリ２９に隣接するように減速機２１の入力軸に取り付けられている。すなわち、２個の上下ブレーキ機構２４のそれぞれは、プーリ２８、２９およびベルト３０を介して２台の上下駆動用モータ２０のそれぞれに連結されている。
【００４２】
この上下ブレーキ機構２４は、いわゆる無励磁作動型のブレーキであり、コイルが収納されるケース体と、ケース体に固定されるサイドプレートと、ケース体に対して軸方向に移動可能に配置されるアマーチュアと、サイドプレートとアマーチュアとの間に配置されるとともに減速機２１の入力軸に固定されるブレーキディスクと、アマーチュアをブレーキディスクに向かって付勢する圧縮コイルバネとを備えている。上下ブレーキ機構２４では、コイルが通電状態となると、アマーチュアがケース体に吸引されて、ブレーキディスクが解放される。また、コイルへの通電が停止されると、圧縮コイルバネの付勢力でアマーチュアとサイドプレートとの間にブレーキディスクが挟まれて、減速機２１に急激にブレーキがかかる。なお、１個の上下ブレーキ機構２４は、基板２、ハンド３、アーム４および支持部材７等を含む上下方向に移動する部分を十分に停止させることができる制動力を有している。
【００４３】
ガイドレール２６は、上下方向を長手方向として柱状部材８に固定されている（図５参照）。本形態では、２本のガイドレール２６が柱状部材８に固定されている。具体的には、図５の左右方向に平行な２つの柱状部材８の取付面のそれぞれにガイドレール２６が固定されている。また、図５の下側に配置されるガイドレール２６は、ラック２３に隣接するように固定されている。
【００４４】
ガイドブロック２７は、支持部材７に固定されている。具体的には、支持部材７の、アーム４の固定面（図５の右端面）に直交する面に、ガイドブロック２７が固定されており、ガイドブロック２７は、図５の上下方向の外側からガイドレール２６に係合している。
【００４５】
なお、本形態では、図５に示すように、柱状部材８にカバー部材３１が固定されている。このカバー部材３１は、図５の上下方向からガイドレール２６を覆うように配置されている。
【００４６】
（水平駆動機構およびその周辺部の構成）
図７は、図２のＪ部の内部構成を説明するための図である。図８は、図３のＫ−Ｋ方向から水平駆動機構１７等の構成を説明するための図である。図９は、図８のＬ−Ｌ方向から水平駆動機構１７の構成を説明するための図である。
【００４７】
水平駆動機構１７は、図７に示すように、図７における基台９の左端側に配置されている。この水平駆動機構１７は、２台の水平駆動用モータ４０を備えている。図８に示すように、２台の水平駆動用モータ４０は、図８の左右方向で隣接するように配置されている。また、２台の水平駆動用モータ４０のそれぞれは、基台９に固定された２個のブラケット５２のそれぞれに固定されている。２個のブラケット５２のそれぞれには、図８、図９に示すように、回転軸５３が軸受５４を介して回転可能に保持されている。２本の回転軸５３は、図８の左右方向で隣接するように配置されている。
【００４８】
また、水平駆動機構１７は、２本の回転軸５３のそれぞれの下端に固定される水平駆動用ピニオンとしての２個のピニオン４２と、２個のピニオン４２と噛み合う水平駆動用ラックとしてのラック４３とを備えている。この２個のピニオン４２とラック４３とによって、基台９は水平方向へ移動する。さらに、水平駆動機構１７は、水平駆動機構１７を停止させるための（すなわち、基台９を停止させるための）２個の水平ブレーキ機構４４を備えている。
【００４９】
また、ロボット１は、基台９を水平方向に案内するためのガイド部４５を備えている。ガイド部４５は、ガイドレール４６とガイドレール４６に係合するガイドブロック４７とから構成されている。また、ベース部材６は、図７、図８に示すように、細長い２本のレール状部材５１を備えている。このレール状部材５１は、図７の左右方向に所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。
【００５０】
水平駆動用モータ４０は、水平駆動用モータ４０の回転速度を検出するための速度検出機構（図示省略）を備えている。この速度検出機構は、たとえば、円板状に形成されたスリット板と、スリット板を挟んだ状態で対向配置される発光素子および受光素子とから構成されている。
【００５１】
図９に示すように、水平駆動用モータ４０の出力軸には、プーリ４８が固定されている。また、回転軸５３の上端側には、プーリ４８よりも径の大きなプーリ４９が固定されている。プーリ４８、４９には、ベルト５０が架け渡されており、図８の上下方向で隣接配置される水平駆動用モータ４０と回転軸５３とがこのベルト５０によって連結されている。
【００５２】
ラック４３は、図８に示すように、レール状部材５１の上面に固定されている。本形態では、基台９の移動量が大きいため、ラック４３の長さは長い。そのため、ラック４３は、複数のラック片を繋ぎ合わせることで形成されている。
【００５３】
水平ブレーキ機構４４は、図９に示すように、プーリ４８に隣接するように水平駆動用モータ４０の出力軸に取り付けられている。この水平ブレーキ機構４４は、上下ブレーキ機構２４と同様にいわゆる無励磁作動型のブレーキであり、上下ブレーキ機構２４と同様に構成されている。すなわち、水平ブレーキ機構４４では、コイルが通電状態となると、アマーチュアがケース体に吸引されて、ブレーキディスクが解放される。また、コイルへの通電が停止されると、圧縮コイルバネの付勢力でアマーチュアとサイドプレートとの間にブレーキディスクが挟まれて、水平駆動用モータ４０に急激にブレーキがかかる。
【００５４】
ガイドレール４６は、図８に示すように、レール状部材５１の上面に固定されている。本形態では、２本のレール状部材５１のそれぞれの上面にガイドレール４６が固定されている。また、図８の上側に配置されるガイドレール４６は、ラック４３に隣接するように固定されている。ガイドブロック４７は、図７に示すように、図７の左右方向における基台９の両端部に固定されている。このガイドブロック４７は、上側からガイドレール４６に係合している。
【００５５】
（回転駆動機構およびその周辺部分の構成）
図１０は、図１に示す旋回部材１０の平面図である。図１１は、図１０のＭ−Ｍ断面の断面図である。
【００５６】
回転駆動機構１８は、図１０、図１１に示すように、旋回部材１０の旋回中心となる中心軸ＣＬの周りに配置されている。この回転駆動機構１８は、２台の回転駆動用モータ６０を備えている。図１０に示すように、２台の回転駆動用モータ６０は、中心軸ＣＬに対して点対称に配置され、旋回部材１０の中心部に固定されている。また、回転駆動機構１８は、旋回部材１０の中心部に固定される減速機６１を備えている。さらに、回転駆動機構１８は、回転駆動機構１８を停止させるための（すなわち、旋回部材１０を停止させるための）１個の回転ブレーキ機構６４を備えている。なお、旋回部材１０は、細長いブロック状の部材であり、一端側（図１０の左端側）に柱状部材８の下端が固定されている。
【００５７】
回転駆動用モータ６０は、回転駆動用モータ６０の回転速度を検出するための速度検出機構（図示省略）を備えている。この速度検出機構は、たとえば、円板状に形成されたスリット板と、スリット板を挟んだ状態で対向配置される発光素子および受光素子とから構成されている。
【００５８】
図１１に示すように、回転駆動用モータ６０の出力軸には、出力歯車６８が固定されており、２個の出力歯車６８が減速機６１の入力歯車６９と噛み合っている。この２個の出力歯車６８と入力歯車６９を含む減速機６１とによって、旋回部材１０は、基台９に対して旋回する。すなわち、旋回部材１０の中心部には減速機６１の出力側が固定されており、減速機６１を介して伝達される回転駆動用モータ６０の動力で、旋回部材１０は、基台９に対して旋回する。
【００５９】
回転ブレーキ機構６４は、図１１に示すように、旋回部材１０の中心部に軸受７４を介して回転可能に保持される回転軸７３の上端に固定されている。回転軸７３の下端には、減速機６１の入力歯車６９と噛み合う歯車７０が固定されている。また、回転ブレーキ機構６４は、図１０に示すように、中心軸ＣＬを中心に回転駆動用モータ６０を９０°回転させた位置に配置されている。
【００６０】
この回転ブレーキ機構６４は、上下ブレーキ機構２４と同様にいわゆる無励磁作動型のブレーキであり、上下ブレーキ機構２４と同様に構成されている。すなわち、回転ブレーキ機構６４では、コイルが通電状態となると、アマーチュアがケース体に吸引されて、ブレーキディスクが解放される。また、コイルへの通電が停止されると、圧縮コイルバネの付勢力でアマーチュアとサイドプレートとの間にブレーキディスクが挟まれて、入力歯車６９に急激にブレーキがかかる。
【００６１】
（制御部の構成）
図１２は、図１に示す産業用ロボット１の制御部８０およびその関連部分のブロック図である。なお、図１２では、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８の制御に関連する制御部８０の構成が図示されている。
【００６２】
制御部８０は、図１２に示すように、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８の制御に関連する構成として、２台の上下駆動用モータ２０を制御する上下モータ制御部８１と、２台の水平駆動用モータ４０を制御する水平モータ制御部８２と、２台の回転駆動用モータ６０を制御する回転モータ制御部８３と、２個の上下ブレーキ機構２４を制御する上下ブレーキ制御部８４と、２個の水平ブレーキ機構４４を制御する水平ブレーキ制御部８５と、１個の回転ブレーキ機構６４を制御する回転ブレーキ制御部８６とを備えている。また、制御部８０には、制御指令部８７が接続されている。
【００６３】
上下モータ制御部８１は、２台の上下駆動用モータ２０のうちの一方の上下駆動用モータ２０を速度制御とトルク制御とによって制御し、他方の上下駆動用モータ２０をトルク制御によって制御する。すなわち、上下モータ制御部８１は、一方の上下駆動用モータ２０に対しては、この上下駆動用モータ２０の速度検出機構からの出力に基づくフィードバック制御とこの上下駆動用モータ２０の電流値を制御するトルク制御とを行い、他方の上下駆動用モータ２０に対しては、この上下駆動用モータ２０の速度検出機構からの出力に基づくフィードバック制御を行わずにこの上下駆動用モータ２０の電流値を制御するトルク制御を行う。
【００６４】
水平モータ制御部８２は、２台の水平駆動用モータ４０のうちの一方の水平駆動用モータ４０を速度制御とトルク制御とによって制御する。また、水平モータ制御部８２は、他方の水平駆動用モータ４０の停止前には、一方の水平駆動用モータ４０と同様に、他方の水平駆動用モータ４０を速度制御とトルク制御とによって制御するが、他方の水平駆動用モータ４０の停止前を除くその他のときには、他方の水平駆動用モータ４０をトルク制御によって制御する。すなわち、水平モータ制御部８２は、他方の水平駆動用モータ４０の停止前を除くその他のときには、他方の水平駆動用モータ４０に対して、この水平駆動用モータ４０の速度検出機構からの出力に基づくフィードバック制御を行わずにトルク制御を行う。
【００６５】
同様に、回転モータ制御部８３は、２台の回転駆動用モータ６０のうちの一方の回転駆動用モータ６０を速度制御とトルク制御とによって制御する。また、回転モータ制御部８３は、他方の回転駆動用モータ６０の停止前には、一方の回転駆動用モータ６０と同様に、他方の回転駆動用モータ６０を速度制御とトルク制御とによって制御するが、他方の回転駆動用モータ６０の停止前を除くその他のときには、他方の回転駆動用モータ６０をトルク制御によって制御する。
【００６６】
上下ブレーキ制御部８４は、制御指令部８７から支持部材７の停止信号が入力されると、２個の上下ブレーキ機構２４を段階的に作動させる。すなわち、制御指令部８７から支持部材７の停止信号が入力されると、上下ブレーキ制御部８４は、一方の上下ブレーキ機構２４の作動開始タイミングと他方の上下ブレーキ機構２４の作動開始タイミングとが変わるように（ずれるように）、２個の上下ブレーキ機構２４を作動させる。具体的には、上下ブレーキ制御部８４は、他方の上下ブレーキ機構２４の作動開始タイミングが一方の上下ブレーキ機構２４の作動開始タイミングよりも遅れるように、２個の上下ブレーキ機構２４を作動させる。より具体的には、上下ブレーキ制御部８４は、他方の上下ブレーキ機構２４のコイルへの通電を停止するタイミングが一方の上下ブレーキ機構２４のコイルへの通電を停止するタイミングよりも遅れるように、２個の上下ブレーキ機構２４のコイルへの通電を停止する。
【００６７】
同様に、水平ブレーキ制御部８５は、制御指令部８７から基台９の停止信号が入力されると、２個の水平ブレーキ機構４４を段階的に作動させる。すなわち、制御指令部８７から基台９の停止信号が入力されると、水平ブレーキ制御部８５は、一方の水平ブレーキ機構４４の作動開始タイミングと他方の水平ブレーキ機構４４の作動開始タイミングとが変わるように、２個の水平ブレーキ機構４４を作動させる。具体的には、水平ブレーキ制御部８５は、他方の水平ブレーキ機構４４の作動開始タイミングが一方の水平ブレーキ機構４４の作動開始タイミングよりも遅れるように、２個の水平ブレーキ機構４４を作動させる。なお、水平ブレーキ制御部８５は、制御指令部８７から基台９の停止信号が入力されたときに、２個の水平ブレーキ機構４４を同時に作動させても良い。
【００６８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、上下駆動機構１６は、２台の上下駆動用モータ２０を備えている。そのため、大型の基板２を搬送するために、上下駆動機構１６で要求される上下駆動用モータ２０の総容量が大きくなる場合であっても、比較的体格の小さな上下駆動用モータ２０を使用することができる。たとえば、上下駆動機構１６で要求される上下駆動用モータ２０の総容量が１０ｋＷである場合には、体格の大きな１０ｋＷの上下駆動用モータを使用するのではなく、比較的体格の小さな５ｋＷの上下駆動用モータ２０を使用することができる。また、体格の大きな１台の上下駆動用モータを使用する場合と比較して、体格の小さな２台の上下駆動用モータ２０を使用する場合には、上下駆動用モータ２０の配置の自由度が高くなる。したがって、本形態では、大きな基板２を搬送するにもかかわらず、ロボット１を小型化することが可能になる。
【００６９】
また、上下駆動用モータ２０の容量が所定の容量を超えると、上下駆動用モータ２０の価格は急激に高くなるが、本形態では、比較的容量の小さな上下駆動用モータ２０を使用することができるため、２台の上下駆動用モータ２０が使用される場合であっても、ロボット１のコストを低減することが可能になる。
【００７０】
さらに、本形態では、比較的容量の小さな上下駆動用モータ２０を使用することができるため、１台の上下駆動用モータ２０から伝達される動力は小さくなる。したがって、上下駆動用モータ２０の動力を伝達する減速機２１、ピニオン２２およびラック２３等の動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができ、減速機２１、ピニオン２２およびラック２３等の動力伝達機構の構成を簡素化することができる。また、減速機２１、ピニオン２２およびラック２３等の動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【００７１】
本形態では、上下駆動機構１６は、２個の上下ブレーキ機構２４を備えている。そのため、たとえば、一方の上下ブレーキ機構２４が破損しても他方の上下ブレーキ機構２４によって、上下駆動機構１６を停止させることができる。すなわち、支持部材７を停止させて、ハンド３およびアーム４の落下を防止することができる。したがって、大きな基板２であっても安全に搬送することができる。また、メンテナンス時に一方の上下ブレーキ機構２４を取り外す場合であっても、他方の上下ブレーキ機構２４で支持部材７を所定位置に停止させることができる。そのため、上下駆動機構１６のメンテナンスが容易になる。
【００７２】
また、本形態では、２個の上下ブレーキ機構２４を段階的に作動させているため、上下駆動機構１６の急制動を防止することができる。したがって、支持部材７が急停止することに起因して生じ得るハンド３からの基板２の落下を防止することができる。
【００７３】
本形態では、２個の上下ブレーキ機構２４のそれぞれが、プーリ２８、２９とベルト３０とを介して２台の上下駆動用モータ２０のそれぞれに連結されている。そのため、上下ブレーキ機構２０によって、２台の上下駆動用モータ２０を個別にかつ確実に停止させることができる。
【００７４】
本形態では、上下駆動機構１６は、ラック２３と噛み合う２個のピニオン２２を備えている。そのため、本形態のようにラック２３が複数のラック片を繋ぎ合わせることで形成されることに起因して、ラック片同士の繋ぎ目でラック２３の歯のピッチがずれ、ラック片の繋ぎ目でラック２３の歯と一方のピニオン２２の歯とが１枚しか噛み合わない状況が生じたとしても、他方のピニオン２２の複数の歯とラック２３の複数の歯とを噛み合わせることができる。したがって、本形態では、ラック片の繋ぎ目に位置するラック２３の歯およびピニオン２２の歯に過剰な応力が生じるのを防止することができる。その結果、ラック２３およびピニオン２２の構成を簡素化しても、ラック２３およびピニオン２２の損傷を防止することができる。特に、上下駆動機構１６の場合には、基板２、ハンド３、アーム４および支持部材７等に生じる重力の影響で、ラック片の繋ぎ目に位置するラック２３の歯およびピニオン２２の歯に過剰な応力が生じる可能性が高いが、本形態では、この過剰な応力の発生を防止することができる。
【００７５】
本形態では、２個のピニオン２２のそれぞれが、減速機２１等を介して２台の上下駆動用モータ２０のそれぞれに連結されている。また、本形態では、上下モータ制御部８１が、２台の上下駆動用モータ２０のうちの一方の上下駆動用モータ２０を速度制御とトルク制御とによって制御し、他方の上下駆動用モータ２０をトルク制御によって制御している。そのため、２個のピニオン２２がラック２３と噛み合っている場合であっても、２個のピニオン２２の歯とラック２３の歯とが必要以上の力で噛み合うのを防止することができる。その結果、ピニオン２２およびラック２３の損傷を抑制して、上下駆動機構１６で支持部材７を適切に上下動させることができる。
【００７６】
本形態では、ピニオン２２は、上下駆動用モータ２０に連結された減速機２１の出力軸に固定されている。そのため、減速機２１の作用で、ラック２３と噛み合うピニオン２２に大きな動力を伝達することができる。
【００７７】
本形態では、水平駆動機構１７は、２台の水平駆動用モータ４０を備えている。そのため、上下駆動機構１６と同様に、水平駆動機構１７で要求される水平駆動用モータ４０の総容量が大きくなる場合であっても、比較的体格の小さな水平駆動用モータ４０を使用することができ、また、水平駆動用モータ４０の配置の自由度が高くなる。したがって、本形態では、大きな基板２を搬送するにもかかわらず、ロボット１を小型化することが可能になる。
【００７８】
また、本形態では、比較的容量の小さな水平駆動用モータ４０を使用することができるため、２台の水平駆動用モータ４０が使用される場合であっても、ロボット１のコストを低減することが可能になる。さらに、本形態では、比較的容量の小さな水平駆動用モータ４０を使用することができるため、１台の水平駆動用モータ４０から伝達される動力は小さくなる。したがって、水平駆動用モータ４０の動力を伝達するピニオン４２およびラック４３等の動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができ、水平駆動用モータ４０の動力を伝達する動力伝達機構の構成を簡素化することができる。また、水平駆動用モータ４０の動力を伝達する動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【００７９】
本形態では、水平駆動機構１７は、２個の水平ブレーキ機構４４を備えている。そのため、たとえば、一方の水平ブレーキ機構４４が破損しても他方の水平ブレーキ機構４４によって、水平駆動機構１７を停止させることができる。すなわち、本体部５を停止させることができる。したがって、大きな基板２であっても安全に搬送することができる。また、本形態では、２個の水平ブレーキ機構４４を段階的に作動させているため、水平駆動機構１７の急制動を防止することができる。したがって、本体部５が急停止することに起因して生じ得るハンド３からの基板２の落下を防止することができる。
【００８０】
本形態では、２個の水平ブレーキ機構４４のそれぞれが、２台の水平駆動用モータ４０のそれぞれの出力軸に連結されている。そのため、水平ブレーキ機構４０によって、２台の水平駆動用モータ４０を個別にかつ確実に停止させることができる。
【００８１】
本形態では、水平駆動機構１７は、ラック４３と噛み合う２個のピニオン４２を備えている。そのため、本形態のようにラック４３が複数のラック片を繋ぎ合わせることで形成されることに起因して、ラック片同士の繋ぎ目でラック４３の歯のピッチがずれ、ラック片の繋ぎ目でラック４３の歯と一方のピニオン４２の歯とが１枚しか噛み合わない状況が生じたとしても、他方のピニオン４２の複数の歯とラック４３の複数の歯とを噛み合わせることができる。したがって、ラック片の繋ぎ目に位置するラック４３の歯およびピニオン４２の歯に過剰な応力が生じるのを防止することができ、ラック４３およびピニオン４２の構成を簡素化しても、ラック４３およびピニオン４２の損傷を防止することができる。なお、水平駆動機構１７の場合には、水平駆動用モータ４０の起動直後や停止直前の加減速時に、ラック片の繋ぎ目に位置するラック２３の歯およびピニオン２２の歯に過剰な応力が生じる可能性が高い。
【００８２】
本形態では、２個のピニオン４２のそれぞれが、プーリ４８、４９およびベルト５０を介して２台の水平駆動用モータ４０のそれぞれの出力軸に連結されている。また、本形態では、水平モータ制御部８２が、２台の水平駆動用モータ４０のうちの一方の水平駆動用モータ４０を速度制御とトルク制御とによって制御し、他方の水平駆動用モータ４０をトルク制御によって制御している。そのため、２個のピニオン４２がラック４３と噛み合っている場合であっても、ピニオン４２の歯とラック４３の歯とが必要以上の力で噛み合うのを防止することができる。その結果、ピニオン４２およびラック４３の損傷を抑制して、水平駆動機構１７で本体部５を適切に水平移動させることができる。
【００８３】
本形態では、回転駆動機構１８は、２台の回転駆動用モータ６０を備えている。そのため、上下駆動機構１６と同様に、回転駆動機構１８で要求される回転駆動用モータ６０の総容量が大きくなる場合であっても、比較的体格の小さな回転駆動用モータ６０を使用することができ、また、回転駆動用モータ６０の配置の自由度が高くなる。したがって、本形態では、大きな基板２を搬送するにもかかわらず、ロボット１を小型化することが可能になる。
【００８４】
また、本形態では、比較的容量の小さな回転駆動用モータ６０を使用することができるため、２台の回転駆動用モータ６０が使用される場合であっても、ロボット１のコストを低減することが可能になる。さらに、本形態では、比較的容量の小さな回転駆動用モータ６０を使用することができるため、１台の回転駆動用モータ６０から伝達される動力は小さくなる。したがって、回転駆動用モータ６０の動力を伝達する出力歯車６８や減速機６１等の動力伝達機構への伝達動力を小さくすることができ、回転駆動用モータ６０の動力を伝達する動力伝達機構の構成を簡素化することができる。また、回転駆動用モータ６０の動力を伝達する動力伝達機構の損傷を抑制することができる。
【００８５】
本形態では、回転モータ制御部８３が、２台の回転駆動用モータ６０のうちの一方の回転駆動用モータ６０を速度制御とトルク制御とによって制御し、他方の回転駆動用モータ６０をトルク制御によって制御している。そのため、２個の出力歯車６８が減速機６１の入力歯車６９と噛み合っている場合であっても、出力歯車６８の歯と入力歯車６９の歯とが必要以上の力で噛み合うのを防止することができる。その結果、入力歯車６８および出力歯車６９の損傷を抑制して、回転駆動機構１８で旋回部材１０を適切に旋回させることができる。
【００８６】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００８７】
上述した形態では、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８は、２台の駆動用モータ２０、４０、６０を備えている。この他にもたとえば、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および／または回転駆動機構１８は、３台以上の駆動用モータ２０、４０、６０を備えていても良い。
【００８８】
また、上述した形態では、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８がいずれも２台の駆動用モータ２０、４０、６０を備えているが、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８の少なくともいずれか１つの駆動機構が２台の駆動用モータ２０、４０、６０を備えているのであれば、他の駆動機構が備える駆動用モータ２０、４０、６０は、１台であっても良い。
【００８９】
上述した形態では、上下ブレーキ機構２４は、減速機２１の入力軸に取り付けられている。この他にもたとえば、上下ブレーキ機構２４は、上下駆動用モータ２０の出力軸や減速機２１の出力軸に取り付けられても良い。また、上下方向を長手方向とする細長い板状のブレーキ板が柱状部材８に固定されるとともに、支持部材７とともに上下動するサイドプレートとアマーチュアとがこのブレーキ板を挟んだ状態で配置されることで、上下ブレーキ機構が構成されても良い。すなわち、上下ブレーキ機構は、上下駆動用モータ２０に連結されていなくても良い。
【００９０】
同様に、水平ブレーキ機構４４は、水平駆動用モータ４０の出力軸に取り付けられているが、水平ブレーキ機構４４は、回転軸５３に取り付けられても良い。また、水平方向を長手方向とする細長い板状のブレーキ板がレール状部材５１に固定されるとともに、基台９とともに水平移動するサイドプレートとアマーチュアとがこのブレーキ板を挟んだ状態で配置されることで、水平ブレーキ機構が構成されても良い。すなわち、水平ブレーキ機構は、水平駆動用モータ４０に連結されていなくても良い。
【００９１】
上述した形態では、上下駆動機構１６は、２個の上下ブレーキ機構２４を備えているが、上下駆動機構１６は、３個以上の上下ブレーキ機構２４を備えていても良い。同様に、水平駆動機構１７は、３個以上の水平ブレーキ機構４４を備えていても良い。また、上下駆動機構１６または水平駆動機構１７の一方が２個のブレーキ機構２４、４４を備えているのであれば、他方の駆動機構が備えるブレーキ機構２４、４４は、１個であっても良い。また、上述した形態では、回転駆動機構１８は、１個の回転ブレーキ機構６４を備えているが、回転駆動機構１８が２個以上の回転ブレーキ機構６４を備えていても良い。
【００９２】
上述した形態では、２個のピニオン２２とラック２３とによって、支持部材７が上下方向に移動する。この他にもたとえば、ボールネジとこのボールネジに螺合する複数のナット部材とによって、支持部材７が上下方向に移動しても良い。また、所定のリンク機構によって、支持部材７が上下方向に移動しても良い。同様に、上述した形態では、２個のピニオン４２とラック４３とによって、基台９が水平方向へ移動するが、ボールネジとこのボールネジに螺合する複数のナット部材とによって、基台９が水平方向に移動しても良い。
【００９３】
上述した形態では、ロボット１は、上下駆動機構１６と水平駆動機構１７と回転駆動機構１８とを備えている。この他にもたとえば、ロボット１は、上下駆動機構１６、水平駆動機構１７および回転駆動機構１８の中から任意に選択される２個あるいは１個の駆動機構のみを備えていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットを示す図である。
【図３】図１のＦ−Ｆ方向から産業用ロボットを示す図である。
【図４】図１のＦ−Ｆ方向から支持部材および上下駆動機構を示す図である。
【図５】図４のＧ−Ｇ方向から支持部材、柱状部材および上下駆動機構を示す図である。
【図６】図４のＨ−Ｈ方向から上下駆動機構を示す図である。
【図７】図２のＪ部の内部構成を説明するための図である。
【図８】図３のＫ−Ｋ方向から水平駆動機構等の構成を説明するための図である。
【図９】図８のＬ−Ｌ方向から水平駆動機構の構成を説明するための図である。
【図１０】図１に示す旋回部材の平面図である。
【図１１】図１０のＭ−Ｍ断面の断面図である。
【図１２】図１に示す産業用ロボットの制御部およびその関連部分のブロック図である。
【符号の説明】
【００９５】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（搬送対象物）
３  ハンド
４  アーム
６  ベース部材
７  支持部材
８  柱状部材（本体部）
１６  上下駆動機構
１７  水平駆動機構
１８  回転駆動機構
２０  上下駆動用モータ（駆動用モータ）
２１  減速機
２２  ピニオン（上下駆動用ピニオン）
２３  ラック（上下駆動用ラック）
２４  上下ブレーキ機構（ブレーキ機構）
４０  水平駆動用モータ（駆動用モータ）
４２  ピニオン（水平駆動用ピニオン）
４３  ラック（水平駆動用ラック）
４４  水平ブレーキ機構（ブレーキ機構）
６０  回転駆動用モータ（駆動用モータ）
ＣＬ  中心軸
【図１】
2010023195.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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