(57)【要約】【課題】ヘッド保持部材に着脱可能な複ノズルヘッドの複数の吸着ノズルの各々が保持する電子部品の回転姿勢が修正可能な電子部品保持装置および電子部品装着システムを提供する。【解決手段】リボルバヘッド５６のヘッド本体１８０に１２個の吸着ノズル２１２が互いに平行な姿勢でかつ相対回転不能に保持され、負圧によって電子部品を吸着する。リボルバヘッド５６はヘッド保持部材５２により着脱可能に保持され、ヘッド保持部材５２がヘッド回転装置６２によって自身の鉛直な軸線まわりに回転させられることにより、リボルバヘッド５６が回転させられる。それにより、１２個の吸着ノズル２１２の各々に保持された電子部品１５４がリボルバヘッド５６の回転中心線まわりに旋回させられ、回転位置誤差が修正される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸着ノズルを互いに平行な姿勢でかつ相対回転不能に保持し、それら吸着ノズルの各々において電子部品を保持する１つ以上の複ノズルヘッドと、
ヘッド保持部を備え、そのヘッド保持部において前記１つ以上の複ノズルヘッドを択一的に保持するヘッド保持部材と、
そのヘッド保持部材を相対回転可能に保持する保持装置本体と、
その保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材とそのヘッド保持部材に保持された前記複ノズルヘッドとを回転させるヘッド回転装置と、
そのヘッド回転装置を制御することにより、前記複数の吸着ノズルの各々に保持された電子部品の回転姿勢を修正する手段と
を含むことを特徴とする電子部品保持装置。
【請求項２】
さらに、前記保持装置本体が前記ヘッド保持部材を前記吸着ノズルに平行な方向に昇降可能に保持し、当該電子部品保持装置が、前記保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材を昇降させるヘッド保持部材昇降装置を含む請求項１に記載の電子部品保持装置。
【請求項３】
前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルをその吸着ノズルの軸方向に相対移動可能に保持するヘッド本体を含み、当該電子部品保持装置が、前記保持装置本体に保持され、前記ヘッド保持部材昇降装置による前記ヘッド保持部材の昇降に機械的に連動して前記複数の吸着ノズルの任意のものを前記ヘッド本体に対して相対的に昇降させる相対昇降装置を含む請求項２に記載の電子部品保持装置。
【請求項４】
前記ヘッド回転装置が、
前記保持装置本体に相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に保持された回転体と、
前記保持装置本体に保持され、前記回転体を回転させるヘッド回転用モータと
を含む請求項２または３に記載の電子部品保持装置。
【請求項５】
前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルをその吸着ノズルの軸方向に相対移動可能に保持するヘッド本体を含み、当該電子部品保持装置が、前記複数の吸着ノズルの任意のものを前記ヘッド本体に対して各吸着ノズルの軸方向に昇降させる吸着ノズル昇降装置を含む請求項１に記載の電子部品保持装置。
【請求項６】
前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルをその吸着ノズルの軸方向に相対移動可能に保持するヘッド本体を含み、当該電子部品保持装置が、前記ヘッド保持部材昇降装置による前記ヘッド保持部材の昇降に機械的に連動して前記複数の吸着ノズルの任意のものを前記ヘッド本体に対して軸方向に昇降させる相対昇降装置を含む請求項２に記載の電子部品保持装置。
【請求項７】
前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルに負圧を供給する第一負圧供給系を備え、前記ヘッド保持部材が、前記複ノズルヘッドが前記ヘッド保持部に保持されるのに伴って、前記第一負圧供給系と連通する第二負圧供給系を備え、前記ヘッド保持部と、前記複ノズルヘッドの被保持部との少なくとも一方に、他方と共同してヘッド吸着用負圧室を形成する負圧室用凹部が設けられ、前記ヘッド吸着用負圧室を介して前記第一負圧供給系と前記第二負圧供給系とが互いに連通し、第二負圧供給系がヘッド用負圧の供給通路を兼ねる請求項１ないし６のいずれかに記載の電子部品保持装置。
【請求項８】
前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルに負圧を供給する第一負圧供給系と、前記複数の吸着ノズルに正圧を供給する第一正圧供給系と、前記複数の吸着ノズルの各々に対して設けられ、各吸着ノズルをそれぞれ、少なくとも前記第一負圧供給系に連通させる状態と前記第一正圧供給系に連通させる状態とに切り換えが可能な複数のバルブ装置とを備え、前記ヘッド保持部材が、前記複ノズルヘッドが前記ヘッド保持部に保持されるのに伴って、前記第一負圧供給系および前記第一正圧供給系とそれぞれ連通する第二負圧供給系および第二正圧供給系を備えた請求項１ないし７のいずれかに記載の電子部品保持装置。
【請求項９】
前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルに負圧を供給する第一負圧供給系と、前記複数の吸着ノズルに正圧を供給する第一正圧供給系と、前記複数の吸着ノズルの各々に対して設けられ、各吸着ノズルをそれぞれ、少なくとも前記第一負圧供給系に連通させる状態と前記第一正圧供給系に連通させる状態とに切り換えが可能な複数のバルブ装置とを備え、前記ヘッド保持部材が、前記複ノズルヘッドが前記ヘッド保持部に保持されるのに伴って、前記第一負圧供給系および前記第一正圧供給系とそれぞれ連通する第二負圧供給系および第二正圧供給系を備え、当該電子部品保持装置が、前記保持装置本体に保持され、前記ヘッド保持部材昇降装置による前記ヘッド保持部材の昇降に連動して前記バルブ装置を機械的に切り換えるバルブ切換装置を含む請求項２に記載の電子部品保持装置。
【請求項１０】
前記１つ以上の複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する１つ以上の多ノズルヘッドを含む請求項１ないし９のいずれかに記載の電子部品保持装置。
【請求項１１】
前記１つ以上の複ノズルヘッドが、一直線上の３つ以上の位置に、その一直線と直交する姿勢で３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する１つ以上の多ノズルヘッドを含む請求項１ないし９のいずれかに記載の電子部品保持装置。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の電子部品保持装置と、
電子部品を供給する部品供給装置と、
その部品供給装置から供給される電子部品が装着されるべき回路基板を保持する基板保持装置と、
前記電子部品保持装置を、前記部品供給装置および前記基板保持装置に対して、前記吸着ノズルの軸線と直交する方向に相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置と前記電子部品保持装置とを制御することにより、前記電子部品保持装置に前記部品供給装置から電子部品を受け取らせ、前記基板保持装置に保持された回路基板に装着させる制御装置と
を含む電子部品装着システム。
【請求項１３】
前記制御装置が、前記電子部品保持装置の前記ヘッド回転装置を制御することにより、前記複数の吸着ノズルの各々に保持された電子部品を、前記部品供給装置により供給された際の回転姿勢とは異なる回転姿勢に変更する手段を含む請求項１２に記載の電子部品装着システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品保持装置および電子部品装着システムに関するものであり、特に、複数の吸着ノズルの各々により電子部品を保持するノズルヘッドがヘッド保持部材により着脱可能に保持される電子部品保持装置およびその電子部品保持装置を備えた電子部品装着システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の電子部品保持装置は、例えば、下記の特許文献１に記載されているように既に知られている。この電子部品保持装置は電子部品装着システムに設けられ、複数種類のノズルヘッドがヘッド保持部材により択一的に保持される。これらノズルヘッドはそれぞれ、保持する吸着ノズルの種類，数を異にし、回路基板に装着される電子部品の種類，数等に応じた吸着ノズルを保持したノズルヘッドがヘッド保持部材に保持される。
【０００３】
そのため、ヘッド保持部材には、ヘッド固定装置が設けられている。ヘッド固定装置は、係止ピンおよび係止ピン作動装置を含む。係止ピン作動装置はカム板を備え、作業者がロッドを回転操作してカム板を回転させることにより、係止ピンが昇降させられる。ノズルヘッドをヘッド保持部材に保持させる際には、作業者はカム板を回転させ、係止ピンを退避位置へ退避させた状態でノズルヘッドをヘッド保持部材にセットするとともに、カム板を逆方向に回転させ、係止ピンを作用位置へ移動させてノズルヘッドに設けられたローラに係合させる。ノズルヘッドをヘッド保持部材から取り外す場合には、作業者は逆の操作を行い、係止ピンによる係止を解除してノズルヘッドをヘッド保持部材から取り外す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２２１５１８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、電子部品保持装置においては、吸着ノズルに保持された電子部品の回転姿勢を修正し得ることが必要である。
本発明は、以上の事情に鑑みて為されたものであり、ヘッド保持部材により択一的に保持されるノズルヘッドの複数の吸着ノズルが保持する電子部品の回転姿勢の修正が可能な電子部品保持装置および電子部品装着システムの提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る電子部品保持装置は、上記の課題を解決するために、(A)複数の吸着ノズルを互いに平行な姿勢でかつ相対回転不能に保持し、それら吸着ノズルの各々において電子部品を保持する１つ以上の複ノズルヘッドと、(B)ヘッド保持部を備え、そのヘッド保持部において前記１つ以上の複ノズルヘッドを択一的に保持するヘッド保持部材と、(C)そのヘッド保持部材を相対回転可能に保持する保持装置本体と、(D)その保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材とそのヘッド保持部材に保持された前記複ノズルヘッドとを回転させるヘッド回転装置と、(E)そのヘッド回転装置を制御することにより、前記複数の吸着ノズルの各々に保持された電子部品の回転姿勢を修正する手段とを含むことを特徴とする。
複ノズルヘッドが３つ以上の吸着ノズルを保持する多ノズルヘッドを含む場合、多ノズルヘッドは、例えば、発明の態様の項の(2)項に記載の多ノズルヘッドでもよく、一直線上の３つ以上の位置に、その一直線と直交する姿勢で３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドでもよく、互いに交差する複数本ずつの直線の３つ以上の交点の位置に、それら直線と直交する姿勢で３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドでもよい。
【０００７】
本発明に係る電子部品装着システムは、上記の課題を解決するために、(a)本発明に係る電子部品保持装置と、(b)電子部品を供給する部品供給装置と、(c)その部品供給装置から供給される電子部品が装着されるべき回路基板を保持する基板保持装置と、(d)前記電子部品保持装置を、前記部品供給装置および前記基板保持装に対して、前記吸着ノズルの軸線と直交する方向に相対移動させる相対移動装置と、(e)その相対移動装置と前記電子部品保持装置とを制御することにより、前記電子部品保持装置に前記部品供給装置から電子部品を受け取らせ、前記基板保持装置に保持された回路基板に装着させる制御装置とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る電子部品保持装置においては、ヘッド保持部材に択一的に保持される複ノズルヘッドが、ヘッド回転装置によって回転させられることにより、複数の吸着ノズルの各々に保持された電子部品が複ノズルヘッドの回転中心線まわりに旋回させられ、その回転姿勢が修正される。それにより、電子部品装着システムにおいては、複ノズルヘッドの複数の吸着ノズルの各々により部品供給装置から取り出された電子部品が回転姿勢を修正されて回路基板に装着される。
【発明の態様】
【０００９】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施形態の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１０】
（１）複数の吸着ノズルを互いに平行な姿勢で保持し、それら吸着ノズルの各々において電子部品を保持する１つ以上の複ノズルヘッドと、
ヘッド保持部を備え、そのヘッド保持部において前記１つ以上の複ノズルヘッドを択一的に保持するヘッド保持部材と
を含み、前記ヘッド保持部と、前記複ノズルヘッドの被保持部との少なくとも一方に、ヘッド用負圧供給通路に接続されるとともに他方と共同してヘッド吸着用負圧室を形成する負圧室用凹部が設けられた電子部品保持装置。
複ノズルヘッドは、ヘッド吸着用負圧室に供給される負圧により、ヘッド保持部材によって吸着され、保持される。そのため、複ノズルヘッドをヘッド保持部材に保持させる場合には、両者を合わせてヘッド吸着用負圧室を形成させるとともにそのヘッド吸着用負圧室に負圧を供給すればよく、ヘッド保持部材から外す場合には、ヘッド吸着用負圧室の負圧を解除して複ノズルヘッドとヘッド保持部材とを離せばよいのであり、複ノズルヘッドをヘッド保持部材に容易に着脱することができる。また、複数の吸着ノズルはノズルヘッドごと一斉にヘッド保持部材に対して着脱され、複数の吸着ノズルの着脱あるいは交換を容易にかつ短時間で行うことができる。
複ノズルヘッドのヘッド保持部材に対する取付け，取外しは、作業者が行ってもよく、取付・取外装置により自動で行ってもよい。自動で行えば、複ノズルヘッドのヘッド保持部材に対する着脱が更に容易になる。
電子部品保持装置が複ノズルヘッドを複数有する場合、それら複ノズルヘッドは、吸着ノズルの配設ピッチを互いに異にする複ノズルヘッドであって、保持する電子部品の種類に応じた種類，数の吸着ノズルがスペース効率良く保持された複ノズルヘッドであることが望ましい。複数の複ノズルヘッドを有する場合、複ノズルヘッドのヘッド保持部材に対する着脱は、ヘッド保持部材に対する複ノズルヘッドの交換となり、取付・取外装置はヘッド自動交換装置となる。
（２）前記１つ以上の複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドを１つ以上含む(1)項に記載の電子部品保持装置。
（３）前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルに負圧を供給する第一負圧供給系と、前記複数の吸着ノズルに正圧を供給する第一正圧供給系とを備え、前記ヘッド保持部材が、前記複ノズルヘッドが前記ヘッド保持部に保持されるのに伴って、前記第一負圧供給系および前記第一正圧供給系とそれぞれ連通する第二負圧供給系および第二正圧供給系を備えた(1)項または(2)項に記載の電子部品保持装置。
吸着ノズルは負圧の供給により電子部品を吸着し、正圧の供給により電子部品を解放しあるいは吸着ノズル内が清掃される。複ノズルヘッドがヘッド保持部材に保持されるとき、吸着ノズルに負圧および正圧が供給される状態が簡単に得られ、ヘッド保持部材の負圧による複ノズルヘッドの保持の容易さの利点を効果的に享受することができる。
なお、本項および(5)項ないし(33)項にそれぞれ記載の各特徴は、(1)項および(2)項に記載の各特徴とは独立して採用することができる。
（４）前記第一負圧供給系と前記第二負圧供給系とが前記負圧室用凹部を介して互いに連通し、前記ヘッド用負圧供給通路が前記第二負圧供給系の負圧供給通路を兼ねる(3)項に記載の電子部品保持装置。
第二負圧供給系とヘッド用負圧供給通路とを別個に設けることもできる。しかし、本項の電子部品保持装置によれば、ヘッド保持部材を簡易に構成することができる。
（５）前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルの各々に対して設けられ、各吸着ノズルをそれぞれ、少なくとも前記第一負圧供給系に連通させる状態と前記第一正圧供給系に連通させる状態とに切り換えが可能な複数のバルブ装置を含む(3)項または(4)項に記載の電子部品保持装置。
複数の吸着ノズルについて個々に負圧，正圧の供給の切換えが行われる。バルブ装置は、切換えを電気的に行うものとすることも、機械的に行うものとすることもできる。
（６）前記複ノズルヘッドが、前記複数の吸着ノズルを保持する複数のノズル保持部と、前記複数のバルブ装置を保持する複数のバルブ装置保持部とを備え、前記ヘッド保持部材に負圧により吸着されるヘッド本体を含む(5)項に記載の電子部品保持装置。
（７）前記複数の吸着ノズルの各々と前記ヘッド本体とを相対的に昇降させる相対昇降装置を含む(6)項に記載の電子部品保持装置。
例えば、複数の吸着ノズルのうちの少なくとも１つを選択して昇降させ、電子部品の吸着，解放を行わせることができる。相対昇降装置は、吸着ノズルとヘッド本体とを電気的に相対昇降させる装置とすることも、機械的に相対昇降させる装置とすることもできる。（８）前記複数のバルブ装置の各々を切り換えるバルブ切換装置を含む(5)項ないし(7)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
バルブ切換装置は、複数のバルブ装置の各々について設けてもよく、共通に設けてもよい。共通に設ければ、電子部品保持装置を簡易に構成することができる。
（９）当該電子部品保持装置が、
前記ヘッド保持部材を前記吸着ノズルに平行な方向に昇降可能に保持する保持装置本体と、
その保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材を相対的に昇降させるヘッド保持部材昇降装置と
を含む(5)項ないし(8)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
ヘッド保持部材の昇降により、複ノズルヘッドを昇降させることができる。
（１０）前記保持装置本体に保持され、前記ヘッド保持部材の昇降に連動して前記バルブ装置を機械的に切り換えるバルブ切換装置を含む(9)項に記載の電子部品保持装置。
本項のバルブ装置は、正圧供給状態と負圧供給状態とに機械的に切り換えられるバルブ装置とされる。そのため、バルブ装置の切換えが電気的に為される場合のように、複ノズルヘッドおよびヘッド保持部材における電気配線や、複ノズルヘッドをヘッド保持部材に保持させる際の電気的な接続が不要であり、負圧によるノズルヘッド着脱の利点を損なうことなく、吸着ノズルへの負圧，正圧の供給の切換えを行うことができる。また、ヘッド保持部材の昇降の利用により、バルブ切換装置を簡易に構成することができる。
（１１）前記バルブ装置が、前記複ノズルヘッドの本体であるヘッド本体に、前記複数の吸着ノズルの各々と平行な方向に移動可能に保持された少なくとも１つのバルブスプールを含み、前記バルブ切換装置が、前記ヘッド保持部材の下降に伴って前記バルブスプールの被係合部に係合し、そのバルブスプールを前記ヘッド本体に対して相対移動させるバルブ切換部材を含む(10)項に記載の電子部品保持装置。
（１２）前記バルブスプールの前記被係合部が、そのバルブスプールの軸線に平行な方向の位置が段階的に異なる複数の被係合面を備えた(11)項に記載の電子部品保持装置。
バルブ切換部材が係合する被係合面の選択により、ヘッド保持部材の下降に対するバルブ装置の切換タイミングを変えることができる。
（１３）前記バルブ装置が、前記バルブスプールの、前記バルブ切換装置により移動させられた位置を維持するスプール位置維持装置を含む(11)項または(12)項に記載の電子部品保持装置。
バルブスプールが所定の位置に移動させられた状態に保たれ、吸着ノズルへの負圧，正圧の供給，遮断が正確に行われる。
（１４）前記スプール位置維持装置が、前記バルブスプールが嵌合されるスプール孔の内周面に開口する圧力室であって、前記バルブスプールにそれの軸線に対して非対称に圧力を作用させる形状を有する非対称圧力室を含む(13)項に記載の電子部品保持装置。
バルブスプールは、軸線に対して一方の側から他方の側に向かって作用させられる圧力によってスプール孔の内周面に押し付けられ、摩擦により位置が維持される。機械的なブレーキ装置を設けてバルブスプールの位置を維持する場合に比較して、寿命の長いスプール位置維持装置が得られる。
（１５）前記複数のバルブ装置の各々が、前記複数の吸着ノズルの各々を前記第一負圧供給系に接続する複数の個別通路の各々に設けられ、第一バルブスプールを備えて前記吸着ノズルを前記第一負圧供給系に連通させる負圧供給状態と前記第一正圧供給系に連通させる正圧供給状態とに切換え可能な第一バルブと、その第一バルブと前記第一負圧供給系との間に設けられ、第二バルブスプールを備えて前記第一バルブと前記第一負圧供給系とを連通させる負圧供給状態と前記第一バルブと前記第一負圧供給系とを遮断する負圧不供給状態とに切換え可能な第二バルブとを含む(5)項ないし(14)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
第一，第二バルブの各々の切換えの組合わせにより、吸着ノズルに負圧あるいは正圧が供給され、供給が遮断される。１つのバルブにより正圧供給状態，負圧供給状態，正圧・負圧不供給状態の３つの状態を得るようにすることも可能である。しかし、バルブスプールを２つ設ければ、各バルブスプールをそれぞれ２つの位置に移動させることによりバルブ装置の切換えを行うことができ、切換え動作が容易である。
（１６）前記保持装置本体に保持され、前記ヘッド保持部材の昇降に機械的に連動して前記複数の吸着ノズルの任意のものを前記複ノズルヘッドの本体であるヘッド本体に対して相対的に昇降させる相対昇降装置を含む(9)項ないし(14)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
ヘッド保持部材の昇降の利用により、相対昇降装置を簡易に構成することができる。また、吸着ノズルとヘッド本体とを機械的に相対移動させるものであるため、複ノズルヘッドをヘッド保持部材に保持させる際の電気的な接続が不要である。
（１７）前記複ノズルヘッドが、それぞれ一対のアームを備え、前記ヘッド本体に、前記複数の吸着ノズルの各々の軸線と直角に立体交差する回動軸線のまわりに回動可能に保持され、前記一対のアームの一方が前記複数の吸着ノズルの各々と連携させられた回動レバーを含み、前記相対昇降装置が、その回動レバーの前記一対のアームの前記一方とは別のアームに係合して、その回動レバーを回動させるレバー駆動部材を含む(16)項に記載の電子部品保持装置。
（１８）前記レバー駆動部材が、前記ヘッド保持部材の昇降に連動して前記バルブ装置を切り換えるバルブ切換部材を兼ねる(17)項に記載の電子部品保持装置。
吸着ノズルとヘッド本体との相対的な昇降時に、吸着ノズルへの気体供給の切換えが必要とされることが多く、レバー駆動部材にバルブ切換部材を兼ねさせることは容易であり、電子部品保持装置を簡易に構成することができる。
（１９）前記第一正圧供給系が、正圧を減圧する作用状態と、正圧を減圧しない非作用状態とに切り換えが可能な減圧バルブを含む(3)項ないし(18)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
吸着ノズルに減圧されない正圧と、減圧された正圧とを選択に供給することができる。減圧バルブを電磁圧力調整弁装置とし、作用状態における正圧の減圧を電気的に行うものとすることもでき、減圧バルブを作用状態における正圧の減圧を機械的に行うものとすることもできる。機械的に行えば、複ノズルヘッドをヘッド保持部材に保持させる際の電気的な接続が不要である。また、減圧バルブの作用状態と非作用状態との切換えも、電気的に行ってもよく、機械的に行ってもよく、手動で行ってもよい。
（２０）前記複ノズルヘッドの本体であるヘッド本体が、それぞれ互いに異なる気体通路が形成された複数枚のプレートが互いに気密に積層されて成る積層構造部を含む(1)項ないし(19)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
複数枚のプレートは、ボルト等取り外し可能な結合部材により分離可能に結合しても、接着剤等で分離不能に固着してもよく、両者を併用してもよい。例えば、原則として分離不能に固着するが、一個所以上において分離可能とすれば、複ノズルヘッド内に構成部品を組み込むこと、あるいは複ノズルヘッド内から構成部品を取り出すことが容易となる。
複ノズルヘッドにおいては複数の吸着ノズルの各々について負圧が供給され、ヘッド本体内には多数の負圧供給通路を設けることが必要であり、これら通路を互いに干渉することなく、一体のヘッド本体内に形成することは容易ではないが、ヘッド本体を積層構造部を含むものとすれば、複数枚のプレートの各々に形成された気体通路を組み合わせて多数の負圧供給通路を容易に形成することができる。更に複数の吸着ノズルの各々に正圧が正圧供給通路により供給される場合、通路形成容易化の効果を特に有効に享受し得る。
（２１）前記積層構造部が前記プレートを３枚以上含む(20)項に記載の電子部品保持装置。
プレート数が多いほど気体通路の形成の自由度が高く、容易に形成することができる。（２２）前記複数枚のプレートの少なくとも１枚は、表裏両面の少なくとも一方にその一方と平行に延びる溝部と、その少なくとも１枚を貫通する貫通路とを含む(20)項または(21)項に記載の電子部品保持装置。
これら溝部や貫通路は、複数枚のプレートが互いに重ねられることにより塞がれ、あるいは互いに連通させられて気体通路を構成し、正圧供給通路や負圧供給通路を形成する。（２３）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、前記溝部が、前記一円周の周方向に延びる周方向溝部と、前記一円周のほぼ半径方向に延びる半径方向溝部との少なくとも一方を含む(22)項に記載の電子部品保持装置。
半径方向溝部は、一円周の中心線に近い部分と中心線から遠い部分とをつなぐ通路であり、その目的からすれば、半径方向に延びればよいのであるが、その半径方向溝部がつなぐべき２部分の相対位置関係や、他の部分との干渉を回避するため等の理由で、半径方向に対してやや傾斜させざるを得ない場合がある。ここにおいて、「ほぼ半径方向」は、半径方向に対して±３０度の範囲内の方向とする。
（２４）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、前記複数枚のプレートの少なくとも１枚に形成される前記溝部が、前記一円周と同心の円周に沿って形成された円環溝である(22)項または(23)項に記載の電子部品保持装置。
（２５）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、それら吸着ノズルの各々に対する負圧と正圧との供給を制御するバルブ装置がそれら吸着ノズルより外周側に配設された(1)項ないし(24)項のいずれかにか記載の電子部品保持装置。
外周側の方が内周側より広く、バルブ装置の配設が容易である。
（２６）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、その多ノズルヘッドを前記一円周の中心線のまわりに回転させるヘッド回転装置を含む(1)項ないし(25)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
本多ノズルヘッドは、回転多ノズルヘッドであり、リボルバヘッドと称することができ、例えば、その回転により、吸着ノズルを予め設定された回転位置に位置させたり、吸着ノズルに保持された電子部品の回転姿勢を修正，変更したりすることができる。
（２７）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、前記バルブ切換装置が前記保持装置本体に、前記一円周の中心線まわりに旋回可能に保持され、当該電子部品保持装置が、前記バルブ切換装置を任意の位置へ旋回させるバルブ切換装置旋回装置を含む(10)項または(11)項に記載の電子部品保持装置。
バルブ切換装置を複数のバルブ装置のうちの任意の１つについて、それを切り換える位置へ移動させることができ、複数のバルブ装置に共通とすることができる。
（２８）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、前記相対昇降装置が前記保持装置本体に、前記一円周の中心線まわりに旋回可能に保持され、当該電子部品保持装置が、前記相対昇降装置を任意の位置へ旋回させる相対昇降装置旋回装置を含む(16)項ないし(18)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
相対昇降装置を複数の吸着ノズルのうちの任意の１つを昇降させる位置へ移動させることができ、相対昇降装置を複数の吸着ノズルに共通とすることができる。
（２９）前記保持装置本体に保持され、その保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材がリセット位置まで上昇させられた場合に前記バルブスプールに係合して、そのバルブスプールを原位置にリセットするリセット部材を含む(11)項ないし(14)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
ヘッド保持部材の上昇を利用してバルブスプールを容易に原位置にリセットすることができる。
（３０）前記保持装置本体に保持され、その保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材が特別リセット位置まで上昇させられた場合に、前記複数の吸着ノズルのうちの任意の一つに対応する前記バルブスプールに係合して、そのバルブスプールを原位置にリセットする特別リセット部材を含む(29)項に記載の電子部品保持装置。
特別リセット部材によれば、例えば、電子部品の吸着ミスを起こした吸着ノズルに対応するバルブスプールのみを原位置にリセットすることができる。ヘッド保持部材の上昇を利用して、任意の１つのバルブスプールを原位置にリセットすることができる。本項の特別リセット部材との対比において(29)項のリセット部材を通常リセット部材と称することとする。
（３１）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、前記特別リセット部材が前記保持装置本体に、前記一円周の中心線まわりに旋回可能に保持され、当該電子部品保持装置が、前記特別リセット部材を任意の位置へ旋回させる特別リセット部材旋回装置を含む(30)項に記載の電子部品保持装置。
（３２）前記保持装置本体に保持され、その保持装置本体に対して前記ヘッド保持部材が特別切換位置まで下降させられた場合に、前記複数の吸着ノズルのうちの任意の一つに対応する前記バルブスプールに係合して、その任意の一つを前記第一正圧供給系に連通させる状態にそのバルブスプールを切り換える特別バルブ切換装置を含む(30)項または(31)項に記載の電子部品保持装置。
特別バルブ切換装置によれば、例えば、電子部品の吸着ミスを起こした吸着ノズルに対応するバルブスプールのみを第一正圧供給系に連通させる状態に切り換え、吸着ミスを起こした吸着ノズルに正圧を供給して不適切な姿勢で吸着されている電子部品を放棄させ、あるいは異物の詰まった吸着ノズルの清掃を行うことができる。本項の特別バルブ切換装置との対比において電子部品の吸着や装着のためのバルブ切換装置を通常バルブ切換装置と称することとする。特別バルブ切換装置と通常バルブ切換装置とを別個に設けることも可能であるが、バルブ切換部材やそれに切換作用を行わせるための切換駆動装置は両バルブ切換装置に兼用とし、切換駆動装置の制御プログラムのみを互いに異なるものとすることも可能である。本項においては切換駆動装置はヘッド保持部材を含み、その下降を利用して任意の１つのバルブスプールを特別に切り換えることができる。
（３３）前記複ノズルヘッドが、一円周上の３つ以上の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で、前記複数の吸着ノズルとして３つ以上の吸着ノズルの各々を保持する多ノズルヘッドであり、前記特別バルブ切換装置が前記保持装置本体に、前記一円周の中心線まわりに旋回可能に保持され、当該電子部品保持装置が、前記特別バルブ切換装置を任意の位置へ旋回させる特別バルブ切換装置旋回装置を含む(32)項に記載の電子部品保持装置。
特別リセット部材旋回装置と特別バルブ切換装置旋回装置と別個に設けることも可能である。しかし、兼用とすることも可能であり、その場合には装置コストを低減し得る。特別リセット部材を特別バルブ切換装置の特別バルブ切換部材と一体的に構成することも可能である。
（３４）１つの吸着ノズルを保持し、前記複ノズルヘッドと択一的に前記ヘッド保持部に保持される一ノズルヘッドを１つ以上含む(1)項ないし(33)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
（３５）高粘性流体を収容する流体収容部と、その流体収容部内の高粘性流体を吐出する１つ以上の吐出ノズルとを備え、前記複ノズルヘッドと択一的に前記ヘッド保持部に保持されるディスペンサヘッドを１つ以上含む(1)項ないし(34)項のいずれかに記載の電子部品保持装置。
例えば、電子部品装着システムと高粘性流体塗布システムとを一体に設け、１つのシステムによって回路基板への電子部品の装着と高粘性流体の塗布との両方を行うことができ、装置設置スペース，装置コストを低減させることが可能である。場合によっては、電子部品装着システムとしてのみ使用することもでき、あるいは高粘性流体塗布システムとしてのみ使用することもできる。
（３６）(34)項に記載の電子部品保持装置と、
電子部品を供給する部品供給装置と、
その部品供給装置から供給される電子部品が装着されるべき回路基板を保持する基板保持装置と、
それら電子部品保持装置，部品供給装置および基板保持装置を、前記吸着ノズルの軸線と直交する方向に相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置と前記電子部品保持装置とを制御することにより、電子部品保持装置に前記部品供給装置から電子部品を受け取らせ、基板保持装置に保持された回路基板に装着させる制御装置と
を含む電子部品装着システム。
電子部品装着システムは、複数の吸着ノズルの配設ピッチを異にする複数種類の複ノズルヘッドを含むものとすることが望ましい。
本電子部品装着システムによれば、設備コストを低減し、あるいは装着効率を向上させることができる。例えば、一ノズルヘッドを有する電子部品保持装置を含む電子部品装着システムと、複ノズルヘッドを有する電子部品保持装置を含む電子部品装着システムとにより電子部品装着ラインを構成し、各装着システムにおいて並行して回路基板への電子部品の装着を行わせる場合、複数の装着システムが必要となり、設備コストが高くなる。それに対し、本電子部品装着システムは１台で済み、設備コストを低減させることができる。また、複数台の装着システムによる場合は、各システムが装着すべき電子部品の種類，数等によって装着時間が異なり、複数のシステムの一方が他方における装着終了を待つ事態が生ずることが多く、その分、装着効率が低下する。それに対し、１つの電子部品装着システムが一ノズルヘッドも複ノズルヘッドも有して択一的に使用し得るものであれば、一ノズルヘッドの使用が望ましい装着も、複ノズルヘッドの使用が望ましい装着も行うことができ、待機時期が生ぜず、電子部品の装着を効率良く行うことができる。
（３７）共通のヘッド保持部材に、(a)複数の吸着ノズルを互いに平行な姿勢で保持し、それら吸着ノズルの各々において電子部品を保持する１つ以上の複ノズルヘッドと、(b)１つの吸着ノズルを保持する１つ以上の一ノズルヘッドとを、負圧に基づく吸着により択一的に保持させ、それら複ノズルヘッドと一ノズルヘッドとに電子部品を保持させて、それら電子部品を１枚の回路基板に装着させる電子部品装着方法。
複ノズルヘッドとして、複数の吸着ノズルの配設ピッチを互いに異にする複数種類のものを使用することが望ましい。保持させるべき電子部品の大きさに適したものを選択的にヘッド保持部材に保持させて使用するのである。本項の方法によれば、例えば、(36)項に記載の作用，効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】請求可能発明の一実施形態である電子部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電子部品装着システムの一ノズルヘッドを備えた電子部品保持装置を示す正面図（一部断面）である。
【図３】上記電子部品装着システムのリボルバヘッドを備えた電子部品保持装置を示す正面図（一部断面）である。
【図４】上記リボルバヘッドのヘッド本体に設けられたスプール孔等を示す平面図である。
【図５】上記リボルバヘッドのヘッド本体に設けられた負圧供給用の個別通路を示す平面図である。
【図６】上記リボルバヘッドのヘッド本体に設けられた正圧供給用の個別通路を示す平面図である。
【図７】上記リボルバヘッドのヘッド本体に設けられた凹部を示す底面図である。
【図８】上記リボルバヘッドのレバー組立体を示す正面断面図である。
【図９】上記レバー組立体の支持部材を示す正面図である。
【図１０】上記レバー組立体の支持部材を示す側面図である。
【図１１】上記レバー組立体の支持部材を示す平面断面図である。
【図１２】前記リボルバヘッドのヘッド本体の第一バルブスプールの上部を示す正面断面図である。
【図１３】上記第一バルブスプールの第一被係合面を示す側面図である。
【図１４】前記リボルバヘッドのヘッド本体の第二バルブスプールの上部を示す正面断面図である。
【図１５】前記リボルバヘッドの減圧バルブを示す正面断面図である。
【図１６】前記電子部品保持装置のリセットリングを示す展開図である。
【図１７】前記電子部品保持装置がディスペンサヘッドを保持した状態を示す正面図（一部断面）である。
【図１８】ヘッド収納装置の一部を示す平面図である。
【図１９】上記ヘッド収納装置の一部を示す側面図である。
【図２０】前記電子部品装着システムを制御する制御装置を示すブロック図である。
【図２１】前記リボルバヘッドが上昇端位置から下降させられた状態を示す正面図（一部断面）である。
【図２２】電子部品の吸着時，装着時のバルブ装置の切換えを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、請求可能発明の実施形態を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１３】
本電子部品装着システムは、図１に示すように、電子部品保持装置１０，それぞれ部品供給装置の一種であるフィーダ型部品供給１２およびトレイ型部品供給装置１４，基板保持装置１６，電子部品保持装置移動装置１８，ヘッド収納装置２０，基板搬送装置２２および制御装置２４（図２０参照）を含む。
【００１４】
基板搬送装置２２は、システム本体としてのベッド３０上に設けられ、例えば、ベルトコンベヤを備え、回路基板３２を水平な一方向に搬送して基板保持装置１６に搬入し、基板保持装置１６から搬出する。基板搬送方向をＸ軸方向とし、回路基板３２に平行な面である水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。基板保持装置１６は位置を固定して設けられ、図示は省略するが、例えば、回路基板３２を下方から支持する基板支持装置と、回路基板３２をクランプするクランプ装置とを含み、基板搬送装置２２により搬入された回路基板３２を水平に保持する。フィーダ型部品供給装置１２およびトレイ型部品供給装置１４は、本実施形態では、図１に示すように、ベッド３０上の、基板搬送装置２２に対してＹ軸方向に隔たった両側にそれぞれ位置を固定して設けられている。
【００１５】
電子部品保持装置移動装置１８は、本実施形態では、Ｘ軸方向移動装置４０およびＹ軸方向移動装置４２を含み、相対移動装置を構成している。移動装置４０，４２はそれぞれ、電動モータの一種であるエンコーダ付サーボモータを駆動源とし、移動部材たるＸ軸スライド４４，Ｙ軸スライド４６がＸ軸，Ｙ軸方向に移動させられることにより、電子部品保持装置１０が水平面内の任意の位置へ移動させられる。Ｘ軸スライド４４には部品撮像システム４７が設けられ、Ｙ軸スライド４６にはマーク撮像装置４８が設けられている。
【００１６】
電子部品保持装置１０は、保持装置本体５０，ヘッド保持部材５２，複数の一ノズルヘッド５４，複数のリボルバヘッド５６，ディスペンサヘッド５８，ヘッド保持部材昇降装置６０およびヘッド回転装置６２等を含む。ヘッド保持部材５２は、図２に示すように、軸部６６と、軸部６６の一端部に同心に設けられたノズル保持部６８とを含む。軸部６６は、横断面形状が円形を成し、外周面にスプライン７０が設けられたスプライン軸部である。ノズル保持部６８は横断面形状が円形を成し、軸部６６より大きい直径を有する。
【００１７】
保持装置本体５０はＹ軸スライド４６と一体的に設けられ、回転部材としての回転体７４が鉛直軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に保持されている。回転体７４は円筒状を成し、内周面にスプライン７６が設けられ、保持装置本体５０から下方へ突出した突出端部にギヤ７８が着脱可能に固定されている。ギヤ７８は駆動源たるヘッド回転用モータ８０（図２０参照）により回転させられ、回転体７４が鉛直軸線まわりに回転させられる。前記ヘッド保持部材５２は、軸部６６のスプライン７０において回転体７４のスプライン７６に嵌合されており、回転体７４に対して軸方向に移動させられるとともに、その軸方向の位置を問わず、ヘッド回転装置６２により自身の鉛直な軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられる。本実施形態においてヘッド回転装置６２は、回転体７４，ギヤ７８およびヘッド回転用モータ８０を含む。
【００１８】
前記ヘッド保持部材昇降装置６０は、保持装置本体５０に昇降可能に設けられた昇降部材８４，駆動源としてのヘッド保持部材昇降用モータ８６（図２０参照），保持装置本体５０により軸方向に相対移動不能かつ鉛直軸線まわりに回転可能に設けられたねじ軸としてのボールねじ８８および昇降部材８４に固定のナット９０を含む。ヘッド保持部材５２の軸部６６の上部は、昇降部材８４により相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に保持されており、ボールねじ８８がヘッド保持部材昇降用モータ８６により回転させられ、昇降部材８４が昇降させられることによりヘッド保持部材５２が昇降させられる。
【００１９】
軸部６６内には、その軸線を中心とする円形断面の孔９６が設けられるとともに、円管状の通路形成部材９８が同心に嵌合されている。ヘッド保持部材５２内には、通路形成部材９８内の通路１００と、通路形成部材９８と孔９６の内周面との間の円環状通路１０２とが形成され、円環状通路１０２は、軸部６６に設けられた半径方向通路１０４，昇降部材８４に設けられた円環状通路１０６，通路１０８等により、負圧ポンプ等の負圧源１１０に接続されている。負圧源１１０から円環状通路１０２への負圧の供給は、開閉装置１１２により許容，遮断される。以後、円環状通路１０２を負圧供給通路１０２と称する。負圧供給通路１０２が大気に解放されるようにしてもよい。
【００２０】
通路形成部材９８の上端部は、昇降部材８４により相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に保持され、通路１００は、通路形成部材９８に設けられた半径方向通路１１６，昇降部材８４に設けられた円環状通路１１８，通路１２０等によりコンプレッサ等の正圧源１２２および前記負圧源１１０に接続されている。通路１００への正圧の供給と負圧の供給とは切換装置１２４により切り換えられ、正圧と負圧とが択一的に供給される。切換装置１２４は、通路１００に供給される正圧の大きさの調節も行う。以後、通路１００を正圧供給通路１００と称する。正圧供給通路１００が第二正圧供給系を構成している。
【００２１】
前記ヘッド保持部６８は、ヘッド保持部材５２の軸線に直角で下向きの一平面状の吸着面１３０を備えている。ヘッド保持部６８には、吸着面１３０に開口し、ヘッド保持部材５２の軸線を中心線とする円環状の負圧室用凹部１３２が形成され、通路１３４により負圧供給通路１０２に連通させられている。正圧供給通路１００の下端部は、吸着面１３０に開口させられている。ヘッド保持部６８にはまた、吸着面１３０と、ヘッド保持部６８の外周面とに開口する大気通路１４０が形成されている。さらに、ヘッド保持部６８の下端部には、半径方向外向きに突出する係合部としての係合突部１４２が複数、本実施形態では３つ、等角度間隔で設けられている。
【００２２】
前記一ノズルヘッド５４は、図２に示すようにヘッド本体１５０および被保持部１５２を含む。ヘッド本体１５０はノズル保持部（図示省略）を備え、負圧により電子部品１５４を吸着する吸着ノズル１５６を１つ、保持する。被保持部１５２は、本実施形態では、横断面形状が円形の円板状を成し、その軸線に直角で一平面状の被吸着面１５８を備えている。被保持部１５２にはまた、その直径方向に隔たった２箇所にそれぞれ、下面および外周面に開口する位置決め部たる凹部１６０が形成されている。一ノズルヘッド５４は、被吸着面１５８が吸着面１３０に密着させられ、負圧室用凹部１３２が塞がれてヘッド吸着用負圧室１６２が形成され、負圧供給通路１０２からヘッド吸着用負圧室１６２に供給される負圧により一ノズルヘッド５４がヘッド保持部材５２により吸着される。負圧供給通路１０２はヘッド用負圧供給通路である。正圧供給通路１００はヘッド本体１５０内に連通させられ、吸着ノズル１５６に負圧あるいは正圧が供給される状態となる。
【００２３】
前記リボルバヘッド５６を図３に基づいて説明する。
リボルバヘッド５６のヘッド本体１８０は、本実施形態では、積層構造部１８２を含む。積層構造部１８２は、複数枚、本実施形態では７枚のプレート１８４，１８６，１８８，１９０，１９２，１９４，１９６が互いに気密に積層されて成る。これらプレート１８４〜１９６はそれぞれ、横断面形状が円形を成し、直径が同じであり、プレート１８６〜１９６は、図示を省略する位置決め部材としての複数の位置決めピンがそれらにわたって軸線方向に平行に嵌合され、軸線と直交する方向において位置決めされた状態で接着剤により分離不能にかつ気密に固着されている。
【００２４】
プレート１８４は、プレート１８６との間に薄いシート状のシール部材１９７を挟んだ状態でボルト１９８等、適宜の結合部材によりプレート１８６に着脱可能に固定されている。リボルバヘッド５６においてはプレート１８４が被保持部を構成し、そのプレート１８６とは反対側の面が、ヘッド本体１８０の軸線に直角で一平面状の被保持面ないし被吸着面２００を構成している。プレート１８４には、被吸着面２００に開口し、ヘッド本体１８０の軸線を中心線とする円環状の負圧室用凹部２０２が形成され、リボルバヘッド５６がヘッド保持部材５２に保持される際、負圧室用凹部１３２と共同してヘッド吸着用負圧室２０４を形成する。負圧，正圧の漏れは、上記シール部材１９７，３つのシール部材としてのＯリング２０７，２０８，２０９により防止される。プレート１８４にはまた、その外周部に、複数、本実施形態では、３つの係合部たる係合突部２０６が等角度間隔で設けられている。これら係合突部２０６はそれぞれ、被吸着面２００から突出させられた後、半径方向内向きに曲げられてなる。
【００２５】
ヘッド本体１８０には、３つ以上、本実施形態では１２個のノズル保持部２１０が設けられ、それぞれ吸着ノズル２１２を保持している。リボルバヘッド５６において１２個のノズル保持部２１０は同様に構成され、それぞれ吸着ノズル２１２を保持する。これらノズル保持部２１０が保持する吸着ノズル２１２の種類は、全部同じでもよく、一部あるいは全部が異なっていてもよい。種類が異なる場合、例えば、吸着管の直径が異なり、複数種類の吸着ノズル２１２が１２個のノズル保持部２１０により任意の配置（順序）で保持される。ノズル保持部２１０は、プレート１８６〜１９６をヘッド本体１８０の軸線に平行な方向に貫通して形成されたホルダ孔２１４を含み、ノズルホルダ２１６が軸方向に相対移動可能に嵌合されるとともに、吸着ノズル２１２が軸方向に相対移動可能に嵌合されている。これらホルダ孔２１４は、ヘッド本体１８０の軸線を中心とする一円周上に設けられているが、それらのうちの２つは、３０度より大きい角度間隔で設けられ、残りは、３０度より小さい等角度間隔で設けられている。ヘッド本体１８０の吸着ノズル配置角度が大きい部分を干渉回避部２１７（図７参照）と称する。干渉回避部２１７においては、隣接する吸着ノズル２１２の一方について設けられた第一バルブ２７０と他方について設けられた第二バルブ２７２との間の隙間が他より大きい。１２個の吸着ノズル２１２は、上記一円周上の１２の位置に、その一円周の中心線に平行な姿勢で保持されている。吸着ノズル２１２が保持された一円周をノズル保持円周と称する。また、ノズルホルダ２１６の周壁には、外周面に開口し、軸方向に延びる円環溝２１８および円環溝２１８の上端部とノズルホルダ２１６内の空間とを連通させる半径方向通路２２０が形成されている。
【００２６】
１２個のノズルホルダ２１６の各上端部にはそれぞれ、回動レバー２２４が相対回動可能に係合させられている。これら回動レバー２２４はそれぞれ、長手形状の板状を成し、１対のアーム２２６，２２８を備え、プレート１８６に形成されたレバー収容部たる凹部２３０（図３，図４参照）に収容され、軸２３２により、多数の吸着ノズル２１２の各々の軸線と直角に立体交差する回動軸線のまわりに回動可能に保持されている。アーム２２６，２２８は、回動レバー２２４の回動軸線から互いに逆向きに延び出させられ、本実施形態では長さが同じにされている。一方のアーム２２６は、その先端部において、ノズルホルダ２１６の上端部に設けられた係合部２３６に相対回動可能に係合させられている。係合部２３６は、本実施形態では、ノズルホルダ２１６の上端部に設けられた１対の側壁部２３８（図３には一方の側壁部２３８のみ図示されている）により、回動レバー２２４の回動軸線と平行な姿勢で支持された円形断面のピンにより構成されている。また、他方のアーム２２８は、ヘッド本体１８０の外へ突出させられ、その突出端部に被係合部２４０が設けられている。被係合部２４０は、回動レバー２２４の回動軸線に平行な中心線を中心とする部分円筒面状の被係合面２４２を備えている。
【００２７】
回動レバー２２４は、アーム２２６とヘッド本体１８０との間に配設された付勢手段としてのスプリング２４４により、ノズルホルダ２１６を上昇させる向きに付勢されている。スプリング２４４の付勢による回動レバー２２４の回動限度であって、ノズルホルダ２１６ないし吸着ノズル２１２の上昇端位置は、ノズルホルダ２１６が、ホルダ孔２１４の上側開口を塞ぐ前記プレート１８４に当接することにより規定される。スプリング２４４の付勢による回動限度が規定された状態での回動レバー２２４の位置を原位置とする。
【００２８】
なお、回動レバー２２４は、図８ないし図１１に示すように、支持部材２４６に回動可能に組み付けられ、レバー組立体２４８とされた状態でヘッド本体１８０に組み付けられる。回動レバー２２４は、長穴２５０から支持部材２４６に挿入されるとともに、アーム２２６，２２８が支持部材２４６から突出させられた状態で軸２３２が軸孔２５２を通って回動レバー２２４に嵌合され、回動レバー２２４が支持部材２４６に回動可能に支持される。プレート１８６には、図３および図４に示すように、その軸線方向に貫通する円形断面の嵌合穴２５４が、凹部２３０と直交する状態で形成され、レバー組立体保持部が設けられている。レバー組立体２４８は、プレート１８４のプレート１８６への固定に先立って、支持部材２４６が嵌合穴２５４に嵌合されるとともに、アーム２２６，２２８の支持部材２４６からの各突出端部が凹部２３０に収容され、回動レバー２２４がヘッド本体１８０に回動可能に保持される。
【００２９】
リボルバヘッド５６はまた、図３に示すように、１２個の吸着ノズル２１２に負圧を供給する第一負圧供給系２６０と、正圧を供給する第一正圧供給系２６２と、１２個の吸着ノズル２１２の各々に対して設けられたバルブ装置２６４とを含む。これら１２個のバルブ装置２６４は同様に構成されており、１つを代表的に説明する。
【００３０】
バルブ装置２６４は、第一バルブ２７０，第二バルブ２７２およびスプール位置維持装置２７４を含む。第一バルブ２７０は第一バルブスプール２８０を備えている。図４に示すように、ヘッド本体１８０の周方向においては前記回動レバー２２４の一方の側であって、ヘッド本体１８０の半径方向においては吸着ノズル２１２より外周側に第一スプール孔２８２が設けられている。第一スプール孔２８２は、前記プレート１８６〜１９６をヘッド本体１８０の軸線に平行な方向に貫通して形成されるとともに、その上端部は、図１２に示すように、プレート１８６の上部の外周面に開口する開口部２８４とされている。
【００３１】
第一バルブスプール２８０は、図３に示すように、その外周面に開口する２個の円環溝２８６，２８８が長手方向に距離を隔てた位置にそれぞれ形成されるとともに、上端部から第一被係合部２９０が半径方向に延び出させられている。第一バルブスプール２８０は、第一スプール孔２８２に軸方向に移動可能に嵌合され、１２個の吸着ノズル２１２の各々と平行な方向に移動可能に保持されるとともに、第一被係合部２９０が開口部２８４に嵌合され、第一バルブスプール２８０のヘッド本体１８０に対する回転が阻止されるとともに、ヘッド本体１８０の外へ突出させられている。なお、図３は原則として、リボルバヘッド５６を回動レバー２２４において断面にして示す図であるが、第一，第二バルブ２７０，２７２において断面にして示す部分もある。
【００３２】
また、第一被係合部２９０が、開口部２８４の上向きの係合面ないしストッパ面２９２（図１２参照）に当接することにより第一バルブスプール２８０の自重による落下が防止され、原位置に位置決めされる。さらに、第一被係合部２９０には、図１２および図１３に示すように、下向きで、第一バルブスプール２８０の軸線に平行な方向の位置であって、高さが段階的に異なる複数の第一被係合面、本実施形態では高さが４段階に異なる４つの第一被係合面２９６，２９８，３００，３０２が形成されている。回動レバー２２４，第一バルブスプール２９０がそれぞれ原位置に位置する状態では、第一被係合面２９６〜３０２が被係合面２４２より上方に位置する。
【００３３】
前記第二バルブ２７２は第二バルブスプール３１０を備えている。図４に示すように、ヘッド本体１８０の周方向においては前記回動レバー２２４に対して前記第一スプール孔２８２とは反対側であって、ヘッド本体１８０の半径方向においては吸着ノズル２１２より外周側であって、第一スプール孔２８２と同一円周上に第二スプール孔３１２が設けられている。第二スプール孔３１２は、図３に示すように、第一スプール孔２８２と同様に、プレート１８６〜１９６をヘッド本体１８０の軸線に平行な方向に貫通して形成されるとともに、その上端部には、図１４に示すようにプレート１８６の外周面に開口する開口部３１４が設けられ、第二バルブスプール３１０が軸方向に移動可能に嵌合されている。
【００３４】
第二バルブスプール３１０には、外周面に開口する円環溝３１８（図３参照）が形成され、上端部から第二被係合部３２０が半径方向に延び出させられるとともに開口部３１４に嵌合され、第二バルブスプール３１０のヘッド本体１８０に対する相対回転が防止されている。第二被係合部３２０の先端部はヘッド本体１８０の外へ突出させられ、その突出端部の下面が第二被係合面３２２（図１４参照）を構成している。また、第二被係合部３２０が、開口部３１４の上向きの係合面ないしストッパ面３２４に係合することにより、第二バルブスプール３１０のヘッド本体１８０から落下が防止され、原位置に位置決めされる。回動レバー２２４，第二バルブスプール３２０がそれぞれ原位置に位置する状態では、第二被係合面３２２は前記第一被係合面２９６〜３０２より下方であって、回動レバー２２４の被係合面２４２よりやや上に位置する。また、回動レバー２２４，第一，第二バルブスプール２８０，３１０はノズル保持円周の周方向に並んで設けられ、被係合部２４０，２９０，３２０はノズル保持円周の中心線を中心とする一円周上に位置する。
【００３５】
第一負圧供給系２６０を説明する。第一負圧供給系２６０は、前記被吸着面２００に開口させられ、プレート１８４を貫通して形成された貫通路（図示省略），その貫通路に連通させられ、プレート１８６，１８８をそれぞれ貫通して形成された貫通路３４８（図４参照），プレート１９０に形成された円環溝３５０（図３参照）を含む。円環溝３５０は、プレート１９０の表面（プレート１８８に固着される側の面）に前記ノズル保持円周と同心の円周に沿って形成され、貫通路３４８によってプレート１８４に形成された上記貫通路に連通させられている。
【００３６】
プレート１９０にはまた、図３に示すように１２個のバルブ装置２６４の各々に対して貫通路３５２が円環溝３５０に連通する状態で形成されており、プレート１９２の表面には、これら貫通路３５２の各々と１２個の第二スプール孔３１２との間にそれぞれ、図５に１つを代表的に示すように、ノズル保持円周のほぼ半径方向に延びる半径方向溝部３５４が形成されている。プレート１９２の表面にはさらに、第二スプール孔３１２と第一スプール孔２８２との間に、ノズル保持円周の周方向に延びる周方向溝３５６が形成され、第一スプール孔２８２とホルダ孔２１４との間に半径方向溝部３５８が形成され、ノズルホルダ２１６の円環溝２１８に連通させられている。
【００３７】
図３に示すように、第一バルブスプール２８０が原位置に位置する状態では、円環溝２８６が半径方向溝部３５８および周方向溝部３５６に連通し、それらを連通させ、第二バルブスプール３１０が原位置に位置する状態では、円環溝３１８が周方向溝部３５６および半径方向溝部３５４から外れて下方に位置し、それらを遮断する。常には、第一バルブ２７０は負圧供給状態にあり、第二バルブ２７２は、第一バルブ２７０と第一負圧供給系２６０とを遮断する負圧不供給状態にある。第二バルブスプール３１０が原位置からヘッド本体１８０に対して上昇させられ、円環溝３１８が周方向溝部３５６および半径方向溝部３５４に連通させられれば、第二バルブ２７２は第一バルブ２７０を第一負圧供給系２６０に連通させ、負圧供給状態とされ、円環溝２８６，半径方向溝部３５８，円環溝２１８，半径方向通路２２０を経て吸着ノズル２１２に負圧が供給される。第二バルブスプール３１０のこの位置を負圧供給位置と称する。第一バルブスプール２８０の原位置は負圧供給位置でもある。本実施形態においては、ヘッド本体１８０の第一，第二スプール孔２８２，３１２が形成された部分がバルブ装置保持部を構成し、貫通路３５２，半径方向溝部３５４，周方向溝部３５６，半径方向溝部３５８が個別通路を構成し、その途中に第一，第二バルブ２７０，２７２が設けられている。
【００３８】
前記第一正圧供給系２６２を説明する。第一正圧供給系２６２は、図３および図１５に示すように、前記プレート１８４に、その軸線上を貫通して形成された貫通路３８０，プレート１８６，１８８に、その軸線上を貫通して形成された貫通路３８２，３８４，プレート１９０の軸線上に形成された有底路３８６，プレート１９０の表面に開口して形成され、ノズル保持円周のほぼ半径方向に延びる半径方向溝部３８８，貫通路３９０，プレート１９２に形成された貫通路３９２，プレート１９４の表面に形成された半径方向溝部３９４，円環溝３９５，減圧バルブ３９６，プレート１９６の表面に形成された半径方向溝部３９８および円環溝４００を含む。
【００３９】
減圧バルブ３９６は、本実施形態では、図１５に示すように、段付状の減圧ピストン４１０を備え、ヘッド本体１８０に、その軸線を中心として形成された段付状のシリンダボア４１２に液密にかつ軸方向に移動可能に嵌合されている。それにより、減圧ピストン４１０の上側に大気圧室４２４が形成され、プレート１９２に形成された半径方向溝部４２６，プレート１９０，１８８，１８６，１８４にそれぞれ形成された貫通路４２８，４３０，４３１，４３３（図３，図１５参照），プレート１８４に形成された円環溝４３２によって大気に解放される。また、シリンダボア４１２の肩面４３４と大径ピストン部４３６との間に減圧室４４０が形成され、前記半径方向溝部３９８に連通させられている。半径方向溝部３９８の減圧室４４０側の部分は円環溝とされている。なお、円環溝とすることは不可欠ではない。さらに、大径ピストン部４３６の下側に大気圧室４４２が形成され、大気に解放されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材としてのスプリング４４４が配設され、減圧ピストン４１０を減圧室４４０の容積が減少する向きに付勢している。
【００４０】
減圧ピストン４１０の小径ピストン部４４６には、図１５に示すように、その外周面に開口する円環溝４５０が形成されるとともに、内部に形成された通路４５２によって減圧室４４０に連通させられている。円環溝４５０が前記円環溝３９５に連通する状態では、減圧室４４０に正圧が供給され、減圧ピストン４１０には、正圧に基づく力と、スプリング４４４の付勢力とが互いに逆向きに作用し、それらが釣り合う状態になれば、円環溝３９５，４５０が遮断され、正圧がスプリング４４４のセット荷重によって決まる大きさに調整され、減圧される。ここでは、真空破壊に適した大きさに減圧される。減圧室４４０の圧力が減少すれば、減圧ピストン４１０がスプリング４４４の付勢により移動させられて円環溝３９５，４５０が連通させられる。このように減圧ピストン４１０が軸方向に移動して正圧を減圧する状態が作用状態である。
【００４１】
なお、ヘッド本体１８０には、減圧作用解除部材４６０が設けられている。減圧作用解除部材４６０は、本実施形態では、円形断面のピン状を成し、大気圧室４４２に減圧ピストン４１０と同心に軸方向に移動可能に設けられている。減圧作用解除部材４６０は、図１５に示すように減圧作用許容位置に位置する状態では、減圧ピストン４１０が、スプリング４４４の付勢力に抗して移動することを許容し、減圧バルブ３９６が正圧を減圧することができる。減圧作用解除部材４６０は減圧作用解除位置において、減圧ピストン４１０を大径ピストン部４３６が肩面４３４に当接した状態に保ち、円環溝３９５，４５０が連通状態に保たれ、正圧が減圧されない。減圧バルブ３９６が非作用状態とされるのである。この状態でも、減圧室４４０は半径方向溝３９８に連通した状態に保たれる。
【００４２】
プレート１９４には、図３および図６に一部を示すように、１２個のバルブ装置２６４の各々について、円環溝４００に連通させられた貫通路４６４が形成されるとともに、プレート１９４の表面には、それら貫通路４６４と１２個の第一スプール孔２８２との間にそれぞれ、半径方向溝部４６６が形成され、１２個ずつの第一スプール孔２８２とホルダ孔２１４との間にそれぞれ、半径方向溝部４６８が形成されている。前記第一バルブスプール２８０が原位置に位置する状態では、図３に示すように、円環溝２８８が半径方向溝部４６６，４６８から下方へ外れ、吸着ノズル２１２を第一正圧供給系２６２に連通させず、第一バルブスプール２８０がヘッド本体１８０に対して上昇させられ、円環溝２８８が半径方向溝部４６６，４６８に連通させられれば、吸着ノズル２１２を第一正圧供給系２６２に連通させることができ、第一バルブ２７０は正圧供給状態に切り換えられる。第一バルブスプール２８０のこの位置を正圧供給位置と称する。本実施形態においては、貫通路４６４および半径方向溝部４６６，４６８が正圧系の個別通路を構成し、第一バルブ２７０は、この個別通路の途中にも設けられている。なお、本リボルバヘッド５６においては、第一，第二バルブスプール２８０，３１０は、それぞれ正圧供給位置，負圧供給位置に位置する状態において、全体がヘッド本体１８０内に引っ込み、各下面がヘッド本体１８０の下面と同一平面内に位置し、第一，第二被係合部２９０，３２０の各上面が同じ高さになる。
【００４３】
正圧はまた、１２個ずつの第一，第二バルブスプール２８０，３１０に作用させられ、それらの軸方向の位置が維持される。図３に示すように、プレート１９４の表面には、プレート１９２の貫通路３９２に連通する半径方向溝部４８０，貫通路４８２が形成され、プレート１９６の表面に円環溝４８４が形成され、その円環溝４８４から、多数の第一，第二スプール孔２８２，３１２の各々と直交し、プレート１９６の外周面に開口する半径方向溝部４８６，４８８が形成されている。半径方向溝部４８６，４８８には正圧が減圧されることなく供給され、第一，第二バルブスプール２８０，３１０には、ヘッド本体１８０の軸線側から外周側に向かって正圧が作用し、第一，第二バルブスプール２８０，３１０が第一，第二スプール孔２８２，３１２の内周面に押し付けられ、摩擦力により軸方向の位置が維持される。本実施形態では、半径方向溝部４８６，４８８の第一，第二スプール孔２８２，３１２に対して円環溝４８４側の部分が非対称圧力室を構成し、スプール位置維持装置２７４の一部を構成している。
【００４４】
なお、ヘッド本体１８０には、図７に示すように、前記干渉回避部２１７に、被吸着面２００とは逆向きの面である下面および外周面に開口する凹部４９４が設けられ、位置決め部を構成している。
【００４５】
保持装置本体５０には、相対昇降装置としてのノズル昇降装置５００およびリセット部材としてのリセットリング５０４が設けられている。ノズル昇降装置５００は、図３に示すように、レバー駆動部材５１０を備え、ノズル昇降装置旋回装置５１２によりノズル保持円周の中心線まわりに任意の位置へ旋回させられる。ノズル昇降装置旋回装置５１２は、前記ギヤ７８と回転体７４に固定のリセットリング５０４とにより、軸方向に移動不能かつノズル保持円周の中心線まわりに回転可能に支持されたギヤ５１４を備え、そのギヤ５１４にレバー駆動部材５１０が着脱可能に固定されており、ギヤ５１４がレバー駆動部材旋回用モータ５１６（図２０参照）によって回転させられることにより、レバー駆動部材５１０が旋回させられ、リボルバヘッド５６に対して任意の位置へ旋回させられる。
【００４６】
レバー駆動部材５１０は長手形状を成し、ギヤ５１４の、半径方向においてリボルバヘッド５６から外れた部分から下方へ突出させられ、その突出端部にリボルバヘッド５６側へ突出する駆動部ないし係合部５２０が設けられている。係合部５２０は、吸着ノズル２１２の軸線に直角で上向きの係合面５２２を備え、ヘッド本体１８０の半径方向においては、ヘッド本体１８０の昇降経路の外側であって、回動レバー２２４のアーム２２８の被係合部２４０の昇降経路内に位置させられている。したがって、ヘッド保持部材５２が下降させられ、ヘッド保持部材５２により保持されたリボルバヘッド５６が下降させられるとき、係合面５２２が被係合部２４０に係合してその下降を阻止する。それにより、リボルバヘッド５６が更に下降させられるのに伴って、回動レバー２２４の回動軸線が被係合部２４０に対して下降させられるとともに回動レバー２２４が回動させられ、アーム２２６のノズルホルダ２１６に対する係合部が下降させられて吸着ノズル２１２が下降させられる。本実施形態では、アーム２２６，２２８の長さが同じにされているため、吸着ノズル２１２がリボルバヘッド５６の下降距離の２倍の距離下降させられる。
【００４７】
回動レバー２２４の被係合部２４０と第一，第二バルブスプール２８０，３１０の被係合部２９０，３２０とは同一円周上に位置し、レバー駆動部材５１０を第一，第二被係合部２９０，３２０にも係合させることができる。係合面５２２は、レバー駆動部材５１０の旋回方向において、被係合部２４０と第一被係合部２９０との両方に係合し、あるいは被係合部２４０と第二被係合部３２０との両方に係合する幅を有し、レバー駆動部材５１０が、互いに対応する吸着ノズル２１２，バルブ装置２６４に対して、旋回方向において、係合部５２０が被係合部２４０，第一被係合部２９０に係合することができる第一切換位置に位置する状態では、ヘッド保持部材５２の下降に伴って第一被係合部２９０にも係合して第一バルブスプール２８０の下降を阻止し、ヘッド本体１８０に対して相対的に上昇させて原位置から正圧供給位置へ移動させる。また、レバー駆動部材５１０が、旋回方向において、係合部５２０が被係合部２４０，第二被係合部３２０に係合することができる第二切換位置に位置する状態では、ヘッド保持部材５２の下降に伴って被係合部３２０にも係合して第二バルブスプール３１０の下降を阻止し、ヘッド本体１８０に対して相対的に上昇させ、原位置から負圧供給位置へ移動させる。本実施形態では、レバー駆動部材５１０が通常バルブ切換部材を兼ね、ノズル昇降装置５００が通常バルブ切換装置を兼ね、ノズル昇降装置旋回装置５１２が通常バルブ切換装置旋回装置を兼ねている。
【００４８】
前記リセットリング５０４は、本実施形態では、横断面形状が円形の筒状を成し、前記回転体７４に同心にかつ着脱可能に固定され、リボルバヘッド５６と一体的に回転させられる。リセットリング５０４は、図３に示すように、レバー駆動部材５１０の旋回経路の内側に設けられ、ヘッド本体１８０とは干渉しないが、回動レバー２２４，第一，第二バルブスプール２８０，３１０の被係合部２４０，２９０，３２０の昇降経路内に位置する直径を備え、その下端部には、１２個のバルブ装置２６４の各々に対して第一通常リセット部５４０および第二通常リセット部５４２が設けられている。第一通常リセット部５４０と第二通常リセット部５４２とは、図１６に展開して示すように、第一，第二バルブスプール２８０，３１０の軸線に平行な方向における位置であって、高さを互いに異にする。この高さの差は、原位置に位置する状態での第一，第二バルブスプール２８０，３１０の第一，第二被係合部２９０，３２０の上面の高さの差と同じにされている。したがって、第一，第二バルブスプール２８０，３１０がそれぞれ、正圧供給位置，負圧供給位置に位置する状態でヘッド保持部材５２が上昇させられ、リボルバヘッド５６が上昇させられるとき、第一，第二通常リセット部５４０，５４２は第一，第二被係合部２９０，３２０に係合し、それらの上昇を阻止することにより、第一，第二バルブスプール２８０，３１０をヘッド本体１８０に対して相対的に下降させ、原位置に戻す。第一，第二通常リセット部５４０，５４２は、ヘッド保持部材５２が上昇端位置に位置させられた状態で、第一，第二バルブスプール２８０，３１０を原位置に戻す。ヘッド保持部材５２の上昇端位置が通常リセット位置であり、ヘッド保持部材昇降用モータ８６の制御により得られる。第二通常リセット部５４２は、回動レバー２２４のアーム２２８の被係合部２４０にも係合して、回動レバー２２４を原位置にリセットする。回動レバー２２４はスプリング２４４の付勢により原位置へ戻されるが、万一戻りが不足することがあっても、確実に戻されるのである。
【００４９】
なお、リセットリング５０４により得られる原位置は、回動レバー２２４，第一，第二バルブスプール２８０，３１０の前述の原位置より僅かに手前の位置に設定され、アーム２２６，第一，第二被係合部２９０，３２０とプレート１８４，ストッパ面２９２，３２４（図１２，１４参照）との間に僅かに隙間が残され、それらの破損が回避されるようにされている。リセットリング５０４により得られる原位置も、プレート１８４，ストッパ面２９２，３２４により得られる原位置も実質的に変わりはない。
【００５０】
レバー駆動部材５１０には、図３に示すように、第一特別リセット部５５０および第二特別リセット部５５２が設けられている。これら特別リセット部５５０，５５２は、ヘッド保持部材５２の半径方向においては、通常リセット部５４０，５４２と同じ位置に位置し、それらと同様の高さの差を備え、第一特別リセット部５５０は第一バルブスプール２８０の第一被係合部２９０に係合し、第二特別リセット部５５２は第二バルブスプール３１０の第二被係合部３２０，回動レバー２２４の被係合部２４０に係合してそれらを原位置に戻すように設けられている。第一，第二特別リセット部５５０，５５２は、レバー駆動部材５１０の上下方向においては、回動レバー２２４，第一，第二バルブスプール２８０，３１０に係合して原位置に戻す際、それらのヘッド本体１８０に対する相対移動を、負圧供給位置に位置する他の第二バルブスプール３１０を第二通常リセット部５４２に当接させることなく生じさせる位置に設けられている。第一，第二バルブスプール２８０，３１０が第一，第二特別リセット部５５０，５５２によって原位置に復帰させられる際のヘッド保持部材５２の上昇位置を特別リセット位置と称する。特別リセット位置は通常リセット位置より低い。本実施形態においては、特別リセット部材がレバー駆動部材５１０と一体的に設けられ、ノズル昇降装置旋回装置５１２が特別リセット部材旋回装置も兼ねている。
【００５１】
前記ディスペンサヘッド５８を説明する。ディスペンサヘッド５８は、図１７に示すように、被保持部５６０，高粘性流体の一種である接着剤５６１を収容する接着剤収容部５６２および吐出ノズル５６４を備えている。被保持部５６０は、円板状を成し、その軸線に直角な一平面が被保持面ないし被吸着面５６６を構成し、直径方向に隔たった２箇所にそれぞれ、下面に開口する２個の凹部５６８が形成されている。接着剤収容部５６２は、接着剤収容室５７０に接着剤５６１が収容されるとともに、接着剤押出部材としてのフロート５７２が気密にかつ軸方向に移動可能に嵌合されている。ディスペンサヘッド５８がヘッド保持部材５２により保持された状態では、接着剤収容室５７０は、被保持部５６０に形成された貫通穴５７４により正圧供給通路１００に連通させられ、正圧の供給により吐出ノズル５６４から接着剤５６１が所定量ずつ吐出される。
【００５２】
前記ヘッド収納装置２０を説明する。ヘッド収納装置２０は、本実施形態では、図１に概略的に示すように、基板搬送装置２２の上方であって、電子部品保持装置１０の移動領域内に設けられている。ヘッド収納装置２０は、図１８および図１９に示すように、収納装置本体６００と、収納装置本体６００にそれぞれ設けられた複数の一ノズルヘッド収納部６０２，複数のリボルバヘッド収納部６０４およびディスペンサヘッド収納部（図示省略）を含む。一ノズルヘッド収納部６０２は、収納装置本体６００を上下方向に貫通して形成された収納穴６１０と、収納穴６１０の周縁部に形成された支持面６１２とを備えている。収納穴６１０は一部が切り欠かれて開口６１４が形成され、支持面６１２にはピン６１６が突設されて位置決め部が設けられている。一ノズルヘッド５４は、被保持部１５２が支持面６１２上に載置されるとともに、２個の凹部１６０の一方にピン６１６が嵌入し、位相を決められて収納される。ディスペンサヘッド収納部は、一ノズルヘッド収納部６０２と同様に構成され、ディスペンサヘッド５８は被保持部５６０において支持面により支持されるが、支持面は、被吸着面５６６の高さが、一ノズルヘッド収納部６０２に収納された一ノズルヘッド５４の被吸着面１５８と同じ高さになるように設けられている。
【００５３】
リボルバヘッド収納部６０４は、円形断面の収納穴６２４と、収納穴６２４の周縁部に形成された支持面６２６とを備え、支持面６２６にピン６２８が突設され、位置決め部が設けられている。リボルバヘッド５８は、ヘッド本体１８０の外周部において支持面６２６上に載置され、ピン６２８が前記凹部４９４に嵌入させられ、位相が決められた状態で収納される。支持面６２６は、一ノズルヘッド収納部６０２の支持面６１２より下方に設けられ、リボルバヘッド収納部６０４に収納されたリボルバヘッド５６の被吸着面２００の高さが被吸着面１５８，５６６と同じになるようにされている。ヘッド収納装置２０に収納された複数種類のリボルバヘッド５６はそれぞれ、例えば、保持する吸着ノズル２１２の数，種類（例えば、吸着管の直径）を異にし、複数種類の一ノズルヘッド５４はそれぞれ、保持する吸着ノズル２１２の種類を異にする。
【００５４】
前記制御装置２４は、図２０に示すように、コンピュータ６５０を主体として構成されており、駆動回路６５２を介してＸ軸方向移動装置４０等を駆動する。
【００５５】
以上のように構成された電子部品装着システムにおいては、スクリーン印刷システムにおいて部品装着個所にクリーム状はんだが塗布された回路基板３２が搬入され、一ノズルヘッド５４，リボルバヘッド５６により電子部品１５４の装着が行われる。回路基板３２に装着される電子部品１５４の種類，数に応じて、最も能率良く装着を行うことができるノズルヘッドがヘッド保持部材５２に保持されて装着に使用される。
【００５６】
一ノズルヘッド５４による電子部品１５４の回路基板３２への装着を説明する。図２に示すように、ヘッド保持部材５２により吸着された一ノズルヘッド５４は、電子部品保持装置１０の移動により部品供給装置１２あるいは１４へ移動させられ、電子部品１５４上において停止させられるとともに下降させられ、電子部品１５４を吸着する。部品吸着時には、正圧供給通路１００に負圧が供給される。吸着後、一ノズルヘッド５４が上昇させられるとともに回路基板３２へ移動させられる。この移動の途中で電子部品１５４が部品撮像システム４７により撮像され、吸着ノズル１５６による電子部品１５４の保持位置誤差が検出される。Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置誤差は、回路基板３２の部品装着個所のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差と合わせて電子部品保持装置１０の移動位置の修正により修正され、回転位置誤差は一ノズルヘッド５４の回転により修正される。そして、一ノズルヘッド５４が部品装着個所上において下降させられ、電子部品１５４を装着する。この際、正圧供給通路１００への負圧の供給が遮断されるとともに、正圧が供給され、吸着ノズル１５６は電子部品１５４を積極的に解放する。吸着ノズル１５６の清掃時には、正圧供給通路１００に部品解放時より高い正圧が供給される。
【００５７】
リボルバヘッド５６が一ノズルヘッド５４に替わって電子部品１５４の装着を行うのであれば、電子部品保持装置１０がヘッド収納装置２０へ移動させられ、ノズルヘッド５４，５６を交換する。電子部品保持装置１０は、空の一ノズルヘッド収納部６０２へ移動させられ、被保持部１５２が一ノズルヘッド収納部６０２の上面より上に位置する状態でヘッド本体１５０が開口６１４を通って収納穴６１０内に進入させられる。そして、ヘッド保持部材５２が、その軸線が、収納穴６１０の中心線と一致するとともに、２個の凹部１６０の一方とピン６１６との位相が一致する状態で下降させられ、被保持部１５２がピン６１６により位置決めされた状態で支持面６１２上に載置される。レバー駆動部材５１０は、ちょうど開口６１４に対応する旋回位置に位置させられて収納装置本体６００との干渉が回避される。載置後、負圧供給通路１０２への負圧の供給が遮断され、一ノズルヘッド５４が解放される。
【００５８】
解放後、ヘッド保持部材５２が上昇させられるとともに、リボルバヘッド収納部６０４上へ移動させられる。ヘッド保持部材５２は、その軸線がリボルバヘッド５６の軸線と一致するとともに、３個の係合突部１４２が、プレート１８４の３個の係合突部２０６の間に位置する位相で下降させられる。また、レバー駆動部材５１０は、干渉回避位置に位置させられ、収納装置本体６００等との干渉が回避される。干渉回避位置は、ヘッド本体１８０の干渉回避部２１７に対応する旋回位置である。ヘッド保持部材５２は吸着面１３０が被吸着面２００に当接した状態で回転させられ、係合突部１４２が係合突部２０６と被吸着面２００との隙間に進入させられ、係合突部１４２，２０６の位相が一致させられて、ヘッド保持部材５２とリボルバヘッド５６とが半径方向，軸線方向において離脱不能とされる。そのため、リボルバヘッド５６にヘッド保持部材５２から外れる向きの力が作用しても、リボルバヘッド５６が落下することはない。係合突部１４２，２０６がノズルヘッド落下防止装置を構成している。吸着面１３０の被吸着面２００への接触によりヘッド吸着用負圧室２０４が形成され、その後、負圧源１１０から負圧供給通路１０２を経てヘッド吸着用負圧室２０４に負圧が供給される。それにより、リボルバヘッド５６がヘッド保持部材５２に吸着され、同心にかつ鉛直な姿勢で保持されてヘッド保持部材５２の昇降，回転により昇降，回転させられる。また、第一正圧供給系２６２が正圧供給通路１００に連通させられて正圧が供給される。正圧源１２２からは高い正圧が供給され、スプール２８０，３１０の位置が維持される。さらに、プレート１８４に形成された図示しない貫通路が負圧室用凹部１３２に連通させられ、第一負圧供給系２６０が負圧室用凹部１３２を介して負圧供給通路１０２に連通させられて負圧が供給される。負圧供給通路１０２が第二負圧供給系を構成し、ヘッド用負圧供給通路が第二負圧供給系の負圧供給通路を兼ねている。なお、プレート１８４に形成されて貫通路３４８を負圧供給通路１０２に連通させる貫通路は、負圧室用凹部２０２に開口させてもよい。また、負圧室用凹部２０２は省略してもよい。
【００５９】
吸着後、ヘッド保持部材５２が上昇させられ、吸着ノズル２１２が収納穴６２４から抜け出させられてリボルバヘッド５６が収納穴６２４から抜け出させられるとともに、部品供給装置１２あるいは１４へ移動させられて電子部品１５４を取り出す。１２個の吸着ノズル２１２は、リボルバヘッド５６の回転により順次部品吸着位置へ旋回させられて電子部品１５４を吸着する。本実施形態では、吸着ノズル２１２の旋回位置のうち、Ｙ軸方向においてフィーダ型部品供給位置１２に最も近い位置が部品吸着位置とされている。
【００６０】
リボルバヘッド５６は、ノズル収納装置２０に収納される際には、ヘッド本体１８０の外周部が支持面６２６により支持されるため、第一，第二バルブスプール２８０，３１０が負圧供給位置，正圧供給位置に位置させられている。そのため、電子部品１５４の吸着開始に先立ってヘッド保持部材５２が上昇端位置へ移動させられ、第一，第二バルブスプール２８０，３１０が原位置にリセットされる。ヘッド保持部材５２が上昇端位置へ上昇させられるまでの間に、全部の第一，第二通常リセット部５４０，５４２がそれぞれ、第一，第二バルブスプール２８０，３１０の第一，第二被係合部２９０，３２０に係合し、ヘッド本体１８０に対して一斉に下降させ、原位置へ復帰させる。この際、正圧供給通路１００への正圧の供給が遮断され、第一，第二バルブスプール２８０，３１０は正圧による位置の維持が為されず、軽快に移動させられる。また、原位置に戻される回動レバー２２４があることもある。リセット後、正圧供給通路１００に正圧が供給され、第一，第二バルブスプール２８０，３１０の軸方向の位置が維持されるようにされる。なお、このリセットの間、レバー駆動部材５１０は干渉回避位置に位置させられており、第一，第二特別リセット部５５０，５５２と回動レバー２２４，第一，第二バルブスプール２８０，３１０との干渉が回避される。リセット後、リボルバヘッド５６が下降させられて電子部品１５４の吸着，装着を行う状態とされるときも同様である。
【００６１】
電子部品１５４の吸着時には、レバー駆動部材５１０は、部品吸着位置へ移動させられた吸着ノズル２１２と連携させられた回動レバー２２４およびその吸着ノズル２１２に対応するバルブ装置２６４に対して第二切換位置に位置するようにされている。そのため、ヘッド保持部材５２が下降させられるとき、図２１および図２２(a)に示すように、まず、回動レバー２２４の被係合部２４０がレバー駆動部材５１０の係合面５２２に係合し、次いで第二バルブスプール３１０の第二被係合部３２０が係合面５２２に係合する。ヘッド保持部材５２は、その状態から更に下降させられ、図２２(b)，(c)に示すように、回動レバー２２４が回動させられて吸着ノズル２１２が下降させられるとともに、第二バルブスプール３１０がヘッド本体１８０に対して上昇させられ、負圧供給位置へ移動させられる。第一バルブスプール２８０の第一被係合部は係合面５２２に係合せず、第一バルブスプール２８０は原位置に位置する状態に保たれ、吸着ノズル２１２に負圧が供給され、電子部品１５４が吸着される。
【００６２】
部品供給装置１２，１４において電子部品１５４は、厚さが異なっても上面の高さが同じになるように保持されており、電子部品１５４の吸着時には、ヘッド保持部材５２は一定距離下降させられる。吸着後、ヘッド保持部材５２が上昇させられる。この際、第二バルブスプール３１０はスプール位置維持装置２７４により負圧供給位置に保たれるが、回動レバー２２４はスプリング２４４の付勢により原位置へ回動させられ、吸着ノズル２１２が上昇させられて電子部品１５４が取り出される。ノズルホルダ２１６の円環溝２１８は軸方向に長く、吸着ノズル２１２が昇降させられても負圧供給状態に保たれる。電子部品１５４の吸着，装着時には、ヘッド保持部材５２は上昇端位置まで上昇させられず、原位置に位置する回動レバー２２４の被係合部２４０の被係合面２４２がレバー駆動部材５１０の係合面５２２よりやや上側に位置する位置まで上昇させられる。それにより、係合面５２２と被係合面２４２とが接触した状態で、リボルバヘッド５６とレバー駆動部材５１０とが相対回転させられることが回避される。このヘッド保持部材５２の位置は特別リセット位置より低く、吸着・装着時上昇端位置と称する。
【００６３】
リボルバヘッド５６の回転により、１２個の吸着ノズル２１２が順次部品吸着位置へ移動させられて電子部品１５４を吸着する。全部の吸着ノズル２１２が電子部品１５４を吸着したならば、電子部品保持装置１０は回路基板３２上方へ移動させられて電子部品１５４を装着する。移動の途中で１２個の吸着ノズル２１２の各電子部品１５４が一括して部品撮像システム４７により撮像され、電子部品１５４の保持位置誤差が検出される。
【００６４】
１２個の吸着ノズル２１２は、電子部品保持装置１０の移動により、順次、回路基板３２の予め設定された部品装着個所上へ移動させられるが、電子部品１５４の回転位置誤差は、リボルバヘッド５６が回転させられることにより修正される。レバー駆動部材５１０は次に電子部品１５４を装着する吸着ノズル２１２に対応する位置へ旋回させられ、その吸着ノズル２１２およびバルブ装置２６４に対して第一切換位置に位置させられる。吸着ノズル２１２による電子部品１５４のＸ軸，Ｙ軸方向の保持位置誤差，回転位置誤差の修正によるＸ軸，Ｙ軸方向のずれ，部品装着個所の位置誤差は、電子部品保持装置１０の移動位置の修正により修正される。吸着ノズル２１２が部品装着個所上へ移動させられた後、ヘッド保持部材５２が下降させられるが、その途中で図２２(d)に示すようにレバー駆動部材５１０の係合面５２２にまず、回動レバー２２４の被係合部２４０が係合し、回動レバー２２４が回動させられて吸着ノズル２１２が下降させられ、図２２(e)に示すように円環溝２１８が半径方向溝部４６８に連通させられて正圧が供給されるようにされる。
【００６５】
その後、係合面５２２は、第一バルブスプール２８０の第一被係合面２９６〜３０２のいずれかに係合し、第一バルブスプール２８０をヘッド本体１８０に対して上昇させる。図１３に係合面５２２が第一被係合面２９６に係合した例を二点鎖線で示す。第一バルブスプール２８０のヘッド本体１８０に対する上昇により、図２２(e)に示すように、円環溝２８６が溝部３５６，３５８から外れ、吸着ノズル２１２への負圧の供給が断たれ、更にヘッド保持部材５２が下降させられることにより、図２２(f)に示すように、円環溝２８８が溝部４６６，４６８に連通させられ、吸着ノズル２１２に正圧が供給される。この正圧は減圧バルブ３９６により減圧された正圧であり、回路基板３２上に載置された電子部品１５４が吸着ノズル２１２から積極的に解放される。その後、ヘッド保持部材５２が上昇させられるが、第一バルブスプール２８０はスプール位置維持装置２７４により正圧供給位置に保たれるのに対し、スプリング２４４の付勢による回動レバー２２４の回動により吸着ノズル２１２が上昇させられ、円環溝２１８が半径方向溝部４６８から外れて正圧の供給が断たれる。第一バルブスプール２８０は吸着ノズル２１２への負圧の供給を遮断しており、電子部品１５４を装着した吸着ノズル２１２から負圧が漏れることはない。
【００６６】
このようにリボルバヘッド５６が下降させられて電子部品１５４が装着されるとき、回路基板３２に装着される電子部品１５４を保持する吸着ノズル２１２以外の吸着ノズル２１２および第一バルブスプール２８０は、図２２(g)，(h)，(i)に示すように、リボルバヘッド５６と共に下降させられるが、レバー駆動部材５１０がいないため、回動レバー２２４は回動させられず、第一バルブスプール２８０は正圧供給位置へ移動させられず、吸着ノズル２１２は電子部品１５４を装着せず、吸着した状態に保たれる。
【００６７】
第一被係合面２９６〜３０２のうち、レバー駆動部材５１０が係合する第一被係合面は、電子部品１５４の厚さ（高さ）に応じて選択され、電子部品１５４が厚いほど、低い第一被係合面に係合面５２２が係合するようにレバー駆動部材５１０の旋回位置が設定される。いずれの旋回位置も第一切換位置であり、本実施形態では、１つの第一バルブスプール２８０について第一切換位置が複数、本実施形態では４つ設定される。レバー駆動部材５１０の旋回位置の設定により、電子部品１５４の厚さに応じて、ヘッド保持部材５２の下降時における係合面５２２の第一被係合面に対する係合時期が変えられ、第一バルブスプール２８０の切換え時期が変えられて、電子部品１５４の厚さに関係なく、電子部品１５４が回路基板３２に当接する前に負圧の供給が遮断されるとともに、当接に前後して正圧が供給される。部品装着時におけるリボルバヘッド５６の下降端位置は電子部品１５４の厚さに応じて変えられる。第一バルブスプール２８０のヘッド本体１８０に対する相対移動距離は、電子部品１５４の厚さが異なっても一定であり、第一被係合面が係合面５２２により係合される時期が早いほど、第一バルブスプール２８０が早く正圧供給位置に至るため、第一バルブスプール２８０が正圧供給位置に至った状態でリボルバヘッド５６の下降が停止するように、下降端位置が設定されているのである。回動レバー２２４のアーム２２６，２２８のレバー比により、吸着ノズル２１２の下降距離はヘッド保持部材５２の下降距離の２倍であり、第一被係合面２９６〜３０２の高さの差は、電子部品１５４の厚さの差の半分に設定され、係合面５２２がいずれの第一被係合面に係合して第一バルブスプール２８０を正圧供給位置に切り換える場合でも、吸着ノズル２１２に保持された電子部品１５４の回路基板３２への当接に対して同じタイミングで切換えが行われる。
【００６８】
吸着ノズル２１２による電子部品１５４の吸着にミスが生じた場合、その電子部品１５４は、回路基板３２への電子部品１５４の装着開始に先立って廃棄される。電子部品保持装置１０は部品廃棄箱（図示省略）上へ移動させられ、レバー駆動部材５１０が、廃棄される電子部品１５４を保持した吸着ノズル２１２，バルブ装置２６４に対して第一切換位置へ移動させられた状態でヘッド保持部材５２が下降させられ、係合面５２２との係合により、吸着ノズル２１２が下降させられるとともに、第一バルブスプール２８０が正圧供給位置へ移動させられて吸着ノズル２１２に正圧が供給される。レバー駆動部材５１０は、本実施形態では、係合面５２２が、第一被係合面２９６〜３０２のうち、廃棄される電子部品１５４の回路基板３２への装着時に係合することが設定されていた面に係合する位置に位置させられ、ヘッド保持部材５２はその電子部品１５４の装着時と同じ位置まで下降させられる。この位置が特別切換位置である。また、減圧作用解除部材４６０が駆動部材（図示省略）により減圧作用解除位置へ移動させられ、減圧バルブ３９６を非作用状態とする。それにより、吸着ノズル２１２に正圧が減圧されることなく供給され、電子部品１５４が確実に吸着ノズル２１２から離間させられ、部品廃棄箱に収容される。廃棄後、駆動部材による減圧作用解除部材４６０の駆動が解除され、減圧作用解除部材４６０が減圧作用許容位置へ移動させられ、減圧バルブ３９６が作用状態となるようにされる。本実施形態では、レバー駆動部材５１０が特別バルブ切換部材も兼ね、通常バルブ切換部材が特別バルブ切換部材を兼ねており、レバー駆動部材５１０と一体的に設けられた特別リセット部材が特別バルブ切換部材と一体的に構成されている。また、ノズル昇降装置５００が特別バルブ切換装置も兼ね、ノズル昇降装置旋回装置５１２が特別バルブ切換装置旋回装置も兼ねている。なお、係合面５２２に係合させる第一被係合面は、装着時に係合することが設定された第一被係合面に限らず、例えば、第一被係合面２９６〜３０２のうちの予め設定された１つであって、電子部品１５４の種類に関係なく同じ第一被係合面を係合させるようにしてもよい。ヘッド保持部材５２の下降位置は、係合面５２２に係合する第一被係合面に応じて設定される。
【００６９】
電子部品１５４を捨てた吸着ノズル２１２は、再び電子部品１５４を吸着する。そのため、この吸着ノズル２１２に対する第一，第二バルブスプール２８０，３１０が原位置へ戻される。レバー駆動部材５１０は、電子部品１５４を廃棄した吸着ノズル２１２およびバルブ装置２６４に対応する位置へ旋回させられ、ヘッド保持部材５２が特別リセット位置へ上昇させられる。それにより、特別リセット部５５０，５５２が、それに対応する第一，第二バルブスプール２８０，３１０，回動レバー２２４のみに係合して原位置に戻す。ヘッド保持部材５２は通常リセット位置に至る途中の特別リセット位置まで上昇させられるのみであり、他の正常に電子部品１５４を保持する吸着ノズル２１２に対応する第二バルブスプール３１０はリセットされず、電子部品１５４を保持する状態に保たれる。
【００７０】
吸着ノズル２１２の清掃時にも、減圧作用解除部材４６０が駆動部材あるいは作業者により減圧作用解除位置に位置させられ、吸着ノズル２１２が下降させられて第一正圧供給系２６２に連通させられるようにされるとともに、第一バルブスプール２８０が正圧供給位置へ移動させられ、減圧されない高い正圧が吸着ノズル２１２に供給され、吸着ノズル２１２内部の塵埃等が吹き出される。
【００７１】
回路基板３２に接着剤を塗布して電子部品１５４を装着する場合、ディスペンサヘッド５８がヘッド保持部材５２により吸着されて保持され、ヘッド収納装置２０から取り出されるとともに、所定の塗布位置へ移動させられて接着剤を塗布する。塗布後、ヘッド保持部材５２はディスペンサヘッド５８をノズル収納装置２０に戻すとともに、一ノズルヘッド５４あるいはリボルバヘッド５６を保持し、電子部品１５４の装着を行う。ヘッド保持部材５２によるディスペンサヘッド５８の保持，収納は、一ノズルヘッド５４と同様に行われる。
【００７２】
リボルバヘッド５６が保持した全部の電子部品１５４を回路基板３２に装着した後、更に電子部品１５４の装着を行うのであれば、ヘッド保持部材５２が上昇端位置へ移動させられて第一，第二バルブスプール２８０，３１０，回動レバー２２４が原位置にリセットされる。装着が終了し、リボルバヘッド５６をヘッド収納装置２０に戻す場合には、第一，第二バルブスプール２８０，３１０がリセットされることなくヘッド保持部材５２がヘッド収納装置２０へ移動させられ、その軸線と収納穴６２４の中心線とが一致させられるとともに、凹部４９４とピン６２８との位相が合わされた状態で下降させられ、リボルバヘッド５６が支持面６２６上に載置され、凹部４９４にピン６２８を嵌入させられる。そして、負圧供給通路１０２への負圧の供給が断たれた状態でヘッド保持部材５２が回転させられ、係合突部１４２，２０６の位相がずらされ、係合突部１４２が係合突部２０４から外れた状態でヘッド保持部材５２が上昇させられる。この際、レバー駆動部材５１０は干渉回避位置に位置させられる。このようにリボルバヘッド５６は、凹部４９４とピン６２８との嵌合により回転位置を位置決めされた状態でヘッド収納装置２０に収納され、その状態でヘッド保持部材５２により保持されるため、例えば、ヘッド保持部材５２により保持される際、ヘッド保持部材５２に対するリボルバヘッド５６の位相がわかり、例えば、複数の吸着ノズル２１２による電子部品１５４の吸着，装着順序の制御が容易である。
【００７３】
ヘッド保持部材５２が一ノズルヘッド５４を保持する場合には、ヘッド保持部材５２の軸線と被保持部１５２の軸線とが一致させられた状態でヘッド保持部材５２が下降させられ、吸着面１３０が被吸着面１５８に密着させられ、それにより形成されるヘッド吸着用負圧室１６２への負圧の供給により一ノズルへ５４が保持される。その後は、ヘッド保持部材５２が収納時とは逆の手順で上昇，移動させられ、一ノズルヘッド５４を保持して取り出す。ヘッド５４，５６，５８が自動で交換され、本実施形態では、電子部品保持装置移動装置１８，ヘッド保持部材昇降装置６０，ヘッド回転装置６２，制御装置２４のそれら電子部品保持装置移動装置１８等を制御してヘッドの交換を行わせるヘッド自動交換制御部がヘッド自動交換装置を構成している。
【００７４】
なお、一ノズルヘッドにおいてもバルブ装置を設け、第二負圧供給系から供給される負圧と第二正圧供給系から供給される正圧との吸着ノズルへの供給の切換えが機械的に行われるようにしてもよい。
【００７５】
また、第二バルブスプールについても第二被係合部の第二被係合面のバルブスプールの軸線に平行な方向の位置を段階的に異ならせ、電子部品吸着時における吸着ノズルへの負圧の供給タイミングが、例えば、電子部品の厚さに応じて変えられるようにしてもよい。
【００７６】
さらに、リセット部材は、第一，第二通常リセット部の高さが同じものとしてもよい。第一，第二バルブスプールのそれぞれ正圧供給位置，負圧供給位置に位置する状態での第一，第二被係合部の高さの設定によっては、同じ高さの第一，第二通常リセット部によっても第一，第二バルブスプールを原位置にリセットすることができる。第一，第二特別リセット部についても同様である。
【００７７】
また、バルブ装置の切換え，吸着ノズルとヘッド本体との相対昇降は、ヘッド保持部材の昇降に連動させることなく行うようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７８】
１０：電子部品保持装置    ５２：ヘッド保持部材    ５４：一ノズルヘッド    ５６：リボルバヘッド    １３２，２０２：負圧室用凹部    ２０４：ヘッド吸着用負圧室    ２１２：吸着ノズル    ２６０：第一負圧供給系    ２６２：第一正圧供給系    ２６４：バルブ装置    ２８０：第一バルブスプール    ３１０：第二バルブスプール    ５００：ノズル昇降装置    ５０４：リセットリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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