(57)【要約】【課題】光学ミラーを固定するときに生じる反射面の歪みを防止し、レーザ光の集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止する光学ミラー装置および光学ミラーの固定方法を提供する。【解決手段】光学ミラー装置５０は、入射されたレーザを照射位置へ反射する反射面３１、３２を備えた光学ミラー３０と、反射面に連なって対をなす側面部３３に向かい合う保持部を有するとともに光学ミラーが載置される保持部材４０と、側面部と保持部との間に設けられるとともに対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ光学ミラーを保持部材に固定する接着剤と、保持部材に連結されるとともに回転駆動される駆動軸７１を備えるモータ７０と、を有している。【選択図】図３
2010066730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射されたレーザ光を照射位置へ反射する反射面を備えた光学ミラーと、
前記反射面に連なって対をなす側面部に向かい合う保持部を有するとともに前記光学ミラーが載置される保持部材と、
前記側面部と前記保持部との間に設けられるとともに前記対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ前記光学ミラーを前記保持部材に固定する固定手段と、
前記保持部材に連結されるとともに回転駆動される駆動軸を備える回転駆動手段と、を有する光学ミラー装置。
【請求項２】
前記保持部材は、前記側面部に沿って延びるとともに前記保持部が設けられたアーム部と、
前記アーム部が設けられた基部と、を有する請求項１に記載の光学ミラー装置。
【請求項３】
前記固定手段は、硬化するときに収縮することによって前記対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張る接着剤から構成されている請求項１または請求項２に記載の光学ミラー装置。
【請求項４】
前記保持部材は、前記側面部と前記保持部材との間に前記接着剤を塗布するための複数の貫通穴を有する請求項３に記載の光学ミラー装置。
【請求項５】
前記接着剤は、前記光学ミラーの固定位置を定める仮固定用の第１の接着剤と、前記第１の接着剤よりも大きな収縮力を有するとともに前記光学ミラーを前記保持部材に固定する第２の接着剤と、を有し、
前記保持部は、前記貫通穴を介して前記側面部と前記保持部材との間に前記第１の接着剤を塗布する第１の塗布部およびその他の前記貫通穴を介して前記側面部と前記保持部材との間に前記第２の接着剤を塗布する第２の塗布部を有する請求項４に記載の光学ミラー装置。
【請求項６】
前記反射面と前記保持部材との間に前記光学ミラーが前記反射面と直交する方向に移動することを防止する弾性部材を有する請求項１〜５に記載の光学ミラー装置。
【請求項７】
入射されたレーザ光を照射位置へ反射する反射面を備えた光学ミラーを保持部材に載置する工程と、
前記反射面に連なって対をなす側面部と前記側面部に向かい合う前記保持部材の保持部との間に設けられた固定手段によって前記側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ前記光学ミラーを前記保持部材に固定する固定工程と、
回転駆動手段により回転駆動される駆動軸を前記保持部材に連結する工程と、を有する光学ミラーの固定方法。
【請求項８】
前記固定手段は、硬化するときに収縮することによって前記対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張る接着剤から構成されており、
前記固定工程は、前記側面部と前記保持部材との間に前記接着剤を塗布する工程を有する請求項７に記載の光学ミラーの固定方法。
【請求項９】
前記接着剤は、前記光学ミラーの固定位置を定める仮固定用の第１の接着剤と、前記第１の接着剤よりも大きな収縮力を有するとともに前記光学ミラーを前記保持部材に固定する第２の接着剤と、を有し、
前記固定工程は、前記側面部と前記保持部材との間に前記第１の接着剤を塗布した状態で前記光学ミラーの固定位置を定めつつ仮固定を行う第１の工程と、
前記側面部と前記保持部材との間に前記第２の接着剤を塗布し、仮固定された前記光学ミラーを前記保持部材に固定する第２の工程と、をさらに有する請求項８に記載の光学ミラーの固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学ミラー装置、および光学ミラーの固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼板等の溶接を行うレーザ溶接装置が知られている。レーザ溶接装置は、入射されたレーザ光の照射位置を調整する反射面を備えた光学ミラーを有している。光学ミラーは、駆動軸が連結された保持部材に固定されており、駆動軸の回転駆動に伴って回転する。光学ミラーの回転角度を制御することによってレーザ光の反射方向および照射位置が調整される。
【特許文献１】特開２００２−６２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、光学ミラーと保持部材との固定を、保持部材を反射面と直交する方向から挟み込んで行う方法にあっては、反射面と直交する方向に付与される応力によって反射面に歪みが生じ得る。反射面の歪みによって面精度が低下し、レーザ光の集光性能の低下や、照射位置の位置ずれが発生する。
【０００４】
本発明の目的は、光学ミラーを固定するときに生じる反射面の歪みを防止し、レーザ光の集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止し得る光学ミラー装置、および光学ミラーの固定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、入射されたレーザ光を照射位置へ反射する反射面を備えた光学ミラーと、
前記反射面に連なって対をなす側面部に向かい合う保持部を有するとともに前記光学ミラーが載置される保持部材と、
前記側面部と前記保持部との間に設けられるとともに前記対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ前記光学ミラーを前記保持部材に固定する固定手段と、
前記保持部材に連結されるとともに回転駆動される駆動軸を備える回転駆動手段と、を有する光学ミラー装置である。
【０００６】
また、本発明は、入射されたレーザ光を照射位置へ反射する反射面を備えた光学ミラーを保持部材に載置する工程と、
前記反射面に連なって対をなす側面部と前記側面部に向かい合う前記保持部材の保持部との間に設けられた固定手段によって前記側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ前記光学ミラーを前記保持部材に固定する固定工程と、
回転駆動手段により回転駆動される駆動軸を前記保持部材に連結する工程と、を有する光学ミラーの固定方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、保持部材に載置された光学ミラーを、反射面と連なって対をなす側面部が互いに離れる方向に引っ張りつつ保持部材に固定させているため、光学ミラーを固定するときに生じる反射面の歪みを防止でき、レーザ光の集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図１〜図８を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係るレーザ溶接装置２００を簡略化して示す図である。図２は、レーザ溶接装置２００の加工ヘッド１１０を拡大して示す図である。図３は、光学ミラー装置５０を示す概略斜視図である。図４は、図３の４Ａ−４Ａ線に沿う光学ミラー装置５０の断面図である。図５〜８はそれぞれ、第１の実施形態に係る光学ミラー３０の固定方法を説明するための平面図である。
【００１０】
図１〜４を参照して、光学ミラー装置５０を概説すれば、入射されたレーザを照射位置へ反射する反射面３１、３２を備えた光学ミラー３０と、反射面３１、３２に連なって対をなす側面部３３（以下、単に「側面部」とも記す）に向かい合う保持部１５を有するとともに光学ミラー３０が載置される保持部材４０と、側面部３３と保持部１５との間に設けられるとともに対をなす側面部３３を互いに離れる方向に引っ張りつつ光学ミラー３０を保持部材４０に固定する接着剤９０（固定手段に相当する）と、保持部材４０に連結されるとともに回転駆動される駆動軸７１を備えるモータ７０（駆動手段に相当する）と、を有している。保持部材４０は、光学ミラー３０が載置される受け面１６を有する第１の保持部材１０および第１の保持部材１０と対で用いられるとともに蓋形状を有する第２の保持部材２０から構成されている。各保持部材１０、２０はそれぞれ、側面部３３に沿って設けられたアーム部１２、２２と、アーム部１２、２２が設けられた基部１１、２１と、を有している（図３および図４を参照）。
【００１１】
固定手段は、硬化するときに収縮することによって対をなす側面部３３を互いに離れる方向に引っ張る接着剤９０から構成されている。光学ミラー３０は、接着剤９０によって第１の保持部材１０に固定される（図４を参照）。
【００１２】
本明細書中における「対をなす側面部」とは、反射面の中心軸から相互に離れる方向に対称に位置する光学ミラーの側部を意味するものである。例えば、光学ミラーの外形形状が円形や楕円形状を有している場合であっても、上記の定義に基づいて側面部を定めることができる。
【００１３】
本実施形態にあっては、本発明を、鋼板１６０、１７０をレーザ溶接するレーザ溶接装置２００の光学ミラー装置５０に適用している。
【００１４】
図１を参照して、レーザ溶接装置２００は、光学ミラー装置５０（図２をも参照）を備えるとともに照射位置１８０にレーザＬを照射する加工ヘッド１１０と、加工ヘッド１１０を移動させるロボット１２０と、加工ヘッド１１０にレーザを供給するレーザ発振器１３０と、レーザ発振器１３０からレーザを加工ヘッド１１０に伝達する光ファイバケーブル１４０と、レーザ溶接装置２００の各部を制御する制御装置１５０と、を有している。
【００１５】
ロボット１２０は、溶接位置に応じて加工ヘッド１１０を様々な方向へ移動させる。レーザの種類は、ＹＡＧレーザや炭酸ガスレーザ等が用いられる。
【００１６】
図２を参照して、加工ヘッド１１０は、光ファイバケーブル１４０から入射されたレーザを透過するレンズ群１９０と、レーザＬを定められた照射位置１８０に振り分ける光学ミラー装置５０と、を有している。レンズ群１９０は、光ファイバケーブル１４０から伝達されたレーザの焦点位置を調整する。
【００１７】
モータ７０は、制御装置１５０からの信号Ｓに従って駆動軸７１を介して光学ミラー３０を回転させる。光学ミラー３０の回転角度を制御することによって、図中点線で示されるようにレーザＬを様々な照射位置へ振り分けることができる。モータの種類は特に限定されるもものではなく、例えば、光学ミラー装置に一般的に用いられるガルバノモータや、ガルバノモータと比較して出力トルクの低いサーボモータ等を用いることができる。
【００１８】
図３および図４を参照して、第１の保持部材１０が有する受け面１６は、光学ミラー３０の反射面３１の外周縁を支持するように基部１１およびアーム部１２に設けられている（図５をも参照）。
【００１９】
第１の保持部材１０および第２の保持部材２０は、例えば、ネジ部材による締締や接着剤によって相互に接合される。各保持部材１０、２０には、接合された状態において、光学ミラー３０との間に隙間部６１、６２を形成する枠体形状のものを用いることができる。各保持部材１０、２０の材質は、特に限定されるものではないが、硬質および軟質の樹脂を材料とする樹脂成型品等を用いることによって、光学ミラー装置５０の軽量化を図ることができる。
【００２０】
光学ミラー装置５０は、保持部材１０、２０に固定された状態にある光学ミラー３０が、回転動作によって抜け出ることを防止する抜け防止手段８０を備えていることが望ましい。図示例にあっては、光学ミラー３０および各基部１１、２１に設けられた抜け防止用の穴８２と、抜け防止用の穴８２に挿入されるピン８１とによって抜け防止手段８０を構成している。
【００２１】
第１の保持部材１０が有する基部１１は、モータ７０を連結するための連結手段１４（図中省略して示す）を有している。連結手段１４は、例えば、駆動軸７１の差込口および差込口と駆動軸７１との間の締め付けを行う調整ネジ等から構成される。駆動軸７１は、その中心点Ｏが反射面３１、３２のいずれかと同一平面上に配置される。
【００２２】
図４を参照して、第１の保持部材１０は、側面部３３と第１の保持部材１０との間に接着剤９０を塗布するための複数の貫通穴１３を有している。図示例にあっては、第１の保持部材１０のアーム部１２に貫通穴１３を設けている。塗布作業時に貫通穴１３を用いることによって、保持部１５と側面部３３との間に容易に接着剤９０を塗布することができ、固定作業の効率を高めることができる。貫通穴１３の形状や個数は特に限定されるものではない。
【００２３】
側面部３３と第１の保持部材１０との間に塗布された接着剤９０は、塗布後、硬化しつつ収縮する。収縮の際、接着剤９０は図中矢印ａによって示される方向に光学ミラー３０を引っ張りつつ、第１の保持部材１０に固定させる。光学ミラー３０の対をなす側面部３３には、互いに離れる方向に引っ張り力が付与される（以下、各図において矢印Ａで示す）。引っ張り力が付与された状態で光学ミラー３０は第１の保持部材１０に固定される。そのため、反射面３１、３２と直交する方向に応力を付与せずに、光学ミラー３０と第１の保持部材１０との固定を確実に行うことが可能となる。光学ミラー３０を固定するときに生じる反射面３１、３２の歪みを防止でき、反射面３１、３２の面精度が低下することを防止できる。
【００２４】
固定手段に接着剤９０を用いているため、金属等の締結部材を用いた場合と比較して固定に必要な部品点数を減らすことができ、光学ミラー装置５０を軽量化することができ、さらに固定作業を容易にして作業効率を高めることができる。
【００２５】
接着剤９０には、例えば、硬質樹脂と光学ミラーとの接合に用いられるエポキシ系の接着剤を利用することができる。
【００２６】
各保持部材１０、２０に固定された光学ミラー３０は、基部１１、２１および側面部３３に沿って延びるアーム部１２、２２によって厚肉化した状態で保持される。基部１１、２１およびアーム部１２、２２によって保持された光学ミラー３０は、光学ミラー自体を厚肉化した場合と同様に、駆動回転によって反射面３１、３２に歪が生じることを防止できる。光学ミラー自体を厚肉化して反射面の歪みを防止する方法にあっては、光学ミラーの重量化が生じ得る。
【００２７】
一方、保持部材１０、２０を用いた場合、光学ミラー３０および光学ミラー装置５０の重量増加を抑制することができる。そのため、モータ７０には、ガルバノモータ等と比較して出力トルクの低いサーボモータを用いることが可能となっている。
【００２８】
光学ミラー３０が各保持部材１０、２０に固定された状態において、光学ミラー３０と第１の保持部材１０および第２の保持部材２０との間には、隙間部６１、６２が形成される。隙間部６１、６２は、第１の保持部材１０と第２の保持部材２０との接合によって、反射面３１、３２に直交する方向に応力が付与されることを防止する。
【００２９】
反射面３１と第１の保持部材１０との間に形成された隙間部６１には、光学ミラー３０の位置決めを行う位置決め部材６３が設けられている。位置決め部材６３を設けることによって、光学ミラー３０を載置する位置を容易に定めることができる。位置決め部材６３の材質は特に限定されるものではないが、撓みによって光学ミラー３０に位置ずれが発生することを防止できる材質のものを用いることが望ましい。
【００３０】
反射面３２と第２の保持部材２０との間に形成された隙間部６２には、光学ミラー３０が反射面３１、３２と直交する方向に移動することを防止する弾性部材６４が設けられている。弾性部材６４は、光学ミラー３０の移動によって反射面３１、３２が損傷することを防止するとともに、反射面３１と第２の保持部材２０との間において緩衝材として機能する。そのため、光学ミラー３０に対して反射面３１、３２と直交する方向に応力が付与されることをより防止することができる。弾性部材６４の材質や形状は、特に限定されるものではなく、隙間部６２において緩衝材として良好に機能する材質、および形状であれば良い。
【００３１】
次に、光学ミラー３０の固定方法について説明する。
【００３２】
図５を参照して、第１の保持部材１０が有する受け面１６上に位置決め部材６３を配置する。位置決め部材６３を基準として、第１の保持部材１０上に光学ミラー３０を載置する（図４をも参照）。位置決め部材６３によって光学ミラー３０を載置する位置を容易に定めることができる。光学ミラー３０を載置する際、保持部１５は固定部位としての側面部３３に向かい合わせられる。
【００３３】
次に図６を参照して、光学ミラー３０の反射面３２上に弾性部材６４を配置する（図４をも参照）。弾性部材６４は、光学ミラー３０が反射面３１、３２と直交する方向に移動することを防止し、反射面３１、３２が損傷することを防止する。
【００３４】
次に、第２の保持部材２０を光学ミラー３０上に配置する。光学ミラー３０が各保持部材１０、２０間に配置された状態で固定位置を調整する。例えば、光学測定機器等を用いることによって、光学ミラー３０の固定位置をより高精度に定めることができる。
【００３５】
図７を参照して、貫通穴１３を介して接着剤９０を側面部３３と保持部１５との間に塗布する。図中の矢印は、貫通穴１３を介した接着剤９０の挿入を示す。貫通穴１３を介して接着剤９０を塗布するため、保持部１５と側面部３３との間に容易に接着剤９０を塗布することができ、固定作業の効率を高めることができる。全ての貫通穴１３から接着剤９０を塗布する必要はなく、固定に必要な量を適宜塗布する。接着剤９０の挿入は、ノズル等を備えた簡易な器具を用いて行うことができる。
【００３６】
図８を参照して、接着剤９０は、塗布後、側面部３３と保持部１５との間において硬化しつつ収縮する。接着剤９０の収縮によって光学ミラー３０には、図中矢印で示されるように対をなす側面部３３が互いに離れる方向に引っ張り力が付与される。引っ張り力が付与された状態で光学ミラー３０は第１の保持部材１０に固定される。反射面３１、３２と直交する方向に応力を付与せずに、光学ミラー３０と第１の保持部材１０との固定を確実に行うことができ、反射面３１、３２に歪みが生じることを防止できる。そのため、反射面３１、３２の面精度の低下によってレーザの集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止できる。
【００３７】
固定手段に接着剤９０を用いているため、金属等の締結部材を用いた場合と比較して部品点数を減らすことができ、光学ミラー装置５０を軽量化することができ、さらに固定作業を容易にして作業効率を高めることができる。
【００３８】
各保持部材１０、２０同士の接合を、接着剤やネジ部材等によって適宜行う。光学ミラー３０を各保持部材１０、２０に固定した後、抜け防止用の穴８２にピン８１を差込む（図４を参照）。
【００３９】
第１の保持部材１０の基部１１に設けられた連結手段１４によって第１の保持部材１０とモータ７０とを連結させて、光学ミラー３０の固定作業が終了する。
【００４０】
各保持部材１０、２０に固定された光学ミラー３０は、基部１１、２１およびアーム部１２、２２によって厚肉化した状態で保持される。基部１１、２１およびアーム部１２、２２によって保持された光学ミラー３０は、光学ミラー自体を厚肉化した場合と同様に、駆動回転によって反射面３１、３２に歪が生じることを防止できる。さらに、光学ミラー自体を厚肉化して反射面の歪みを防止する方法と比較して光学ミラー装置５０を軽量化することができる。
【００４１】
上述したように、本実施形態の光学ミラー装置５０は、入射されたレーザを照射位置へ反射する反射面３１、３２を備えた光学ミラー３０と、反射面３１、３２に連なって対をなす側面部３３に向かい合う保持部１５を有するとともに光学ミラー３０が載置される第１の保持部材１０と、側面部３３と保持部１５との間に設けられるとともに対をなす側面部３３を互いに離れる方向に引っ張りつつ光学ミラー３０を第１の保持部材１０に固定する接着剤９０と、第１の保持部材１０に連結されるとともに回転駆動される駆動軸７１を備えるモータ７０と、を有しており、光学ミラー３０の対をなす側面部３３が互いに離れる方向に引っ張り力が付与された状態で光学ミラー３０を第１の保持部材１０に固定している。反射面３１、３２と直交する方向に応力を付与せずに、光学ミラー３０と第１の保持部材１０との固定を確実に行うことができ、反射面３１、３２に歪みが生じることを防止できる。そのため、反射面３１、３２の面精度の低下によって、レーザの集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止できる。
【００４２】
各保持部材１０、２０に設けられた基部１１、２１およびアーム部１２、２２によって厚肉化した状態で光学ミラー３０を保持することができる。そのため、光学ミラー自体を厚肉化した場合と同様に、駆動回転によって反射面３１、３２に歪が生じることを防止できる。
【００４３】
硬化するときに収縮することによって対をなす側面部３３を互いに離れる方向に引っ張る接着剤９０を固定手段に用いているため、金属等の締結部材を用いた場合と比較して部品点数を減らすことができ、光学ミラー装置５０を軽量化することができ、さらに固定作業を容易にして作業効率を高めることができる。
【００４４】
第１の保持部材１０に設けられた複数の貫通穴１３を介して接着剤９０を塗布するため、保持部１５と側面部３３との間に容易に接着剤９０を塗布することができ、固定作業の効率を高めることができる。
【００４５】
反射面３２と第２の保持部材２０との間に設けた弾性部材６４は、光学ミラー３０が反射面３１、３２と直交する方向に移動することによって反射面３１、３２が損傷することを防止し、さらに反射面３１と第２の保持部材２０との間における緩衝材として機能する。そのため、保持部材１０、２０同士の締結によって、光学ミラー３０に対して反射面３１、３２と直交する方向に応力が付与されることをより防止することができる。
【００４６】
（変形例）
図９および図１０は、第１の実施形態の変形例に係る光学ミラー３０の固定方法を説明するための平面図である。図１〜８に示した部材と共通する部材には、同一の符号を付し、その説明は一部省略する。
【００４７】
変形例における固定手段としての接着剤９０は、光学ミラー３０の固定位置を定める仮固定用の第１の接着剤９１と、第１の接着剤９１よりも大きな収縮力を有するとともに光学ミラー３０を第１の保持部材１０に固定する第２の接着剤９２とを有している。第１の接着剤９０には、例えば、第２の接着剤９２に比べて、低強度であり、収縮力が小さく、かつ、硬化するまでに比較的長い時間を要するシリコン系の接着剤が用いられる。第２の接着剤９２には、例えば、第１の接着剤９１よりも高強度であり、収縮力の強いエポキシ系の接着剤が用いられる。
【００４８】
保持部１５は、貫通穴１３を介して側面部３３と第１の保持部材１０との間に第１の接着剤９１を塗布する第１の塗布部１７と、その他の貫通穴１３を介して側面部３３と第１の保持部材１０との間に第２の接着剤９２を塗布する第２の塗布部１８とを有している。各塗布部１７、１８は、貫通穴１３を介して第１の接着剤９１および第２の接着剤９２が塗布される部位である。作業の開始時に、それぞれ任意に定めることができる。
【００４９】
図９を参照して、各保持部材１０、２０間に光学ミラー３０が配置された状態で貫通穴１３から第１の接着剤９１を挿入する。図中矢印は、貫通穴１３による第１の接着剤９１の挿入を示す。第１の接着剤９１は、第１の塗布部１７を介して側面部３３と第１の保持部材１０との間に塗布される。
【００５０】
第１の接着剤９１が塗布された状態で光学ミラー３０の固定位置を調節する。第１の接着剤９１が硬化するまでの間に、光学ミラー３０の固定位置を定める。固定位置を定める方法は、例えば、光学測定機器等を用いて高精度に行なわれる。第１の接着剤９１は、固定位置を定めるために十分な時間をかけて次第に硬化しつつ収縮する。光学ミラー３０には、対をなす側面部３３が互いに離れる方向に引っ張り力が付与される。
【００５１】
第１の接着剤９１には、収縮力が比較的小さいシリコン系の接着剤が用いている。第１の接着剤９１が収縮することによって、光学ミラー３０が位置ずれすることを防止できる。そのため、固定位置の精度を維持しつつ、光学ミラー３０を第１の保持部材１０に仮固定することができる。
【００５２】
図１０を参照して、次に、第１の接着剤９１を挿入した貫通穴１３以外の貫通穴１３から、第２の接着剤９２を挿入する。図中矢印は、貫通穴１３による第２の接着剤９２の挿入を示す。第２の接着剤９２は、第２の塗布部１８を介して側面部３３と第１の保持部材１０との間に塗布される。塗布された第２の接着剤９２は硬化しつつ収縮する。光学ミラー３０には、対をなす側面部３３が互いに離れる方向に引っ張り力が付与される。
【００５３】
光学ミラー３０を仮固定しているため、第２の接着剤９２の収縮によって、光学ミラー３０が位置ずれすることを防止できる。そのため、光学ミラー３０を固定するときに生じる反射面３１、３２の歪みを防止することができ、さらに固定位置の精度を維持しつつ光学ミラー３０を第１の保持部材１０に固定することができる。
【００５４】
例示された接着剤以外の接着剤を固定手段として利用することも可能である。
【００５５】
（第２の実施形態）
図１１は、本発明の第２の実施形態に係る光学ミラー３０の固定方法を説明するための平面図である。第２の実施形態にあっては、接着剤９０の代わりに、機械的な構成によって対をなす側面部３３に互いに離れる方向に引っ張り力を付与する固定手段を採用している。図１〜１０に示した部材と共通する部材には、同一の符号を付し、その説明は一部省略する。
【００５６】
図１１を参照して、固定手段としてのネジ部材６５は、第１の保持部材１０側からのねじ込みによって光学ミラー３０を第１の保持部材１０に固定させている。アーム部１２および光学ミラー３０には、予めネジ穴６６が設けられている。  光学ミラー３０と第１の保持部材１０との間には、樹脂製ワッシャ６７を配置している。樹脂製ワッシャ６７はネジ部材６５の緩みおよび脱落を防止するとともに、第１の保持部材１０と側面部３３との間において緩衝材として機能する。樹脂製ワッシャ６７は、例えば、軟質および硬質のゴム材料から形成される。
【００５７】
各保持部材１０、２０には、例えば、ネジ部材６５の締結によって撓み等の変形が生じることを防止するために、硬質の樹脂材料からなる樹脂成形品等を用いることが望ましい。
【００５８】
ネジ部材６５を図中矢印ｃ方向に沿って締め付けることによって、対をなす各側面部３３に対して、互いに離れる方向に引っ張り力を生じさせる（図中矢印Ａで示す）。光学ミラー３０は、前述した引っ張り力が付与された状態で第１の保持部材１０に固定される。ネジ部材６５を用いているため、光学ミラー３０に付与される引っ張り力の微調整を行うことが可能になる。そのため、例えば、光学ミラー３０の外形形状が、円形や楕円形状を有している場合であっても、ネジ部材６５の締め付け量を調整することによって側面部３３に均等な引っ張り力を付与することができる。
【００５９】
樹脂製ワッシャ６７の代わりに、例えば、側面部３３に沿って配置される平板状の緩衝部材を設けることも可能である。樹脂製ワッシャ６７を用いた場合と比較して、ネジ部材６５の締め付けによる影響をより低減することが可能になる。緩衝部材には、例えば、金属製のプレートや樹脂製のプレートを用いることができる。
【００６０】
ネジ部材６５を用いた固定は、上述した形態のみに限定されるものではなく、ネジ部材６５によって対をなす側面部３３を互いに離れる方向に引っ張りつつ、光学ミラー３０と各保持部材１０、２０とを固定させることが可能な形態であればよい。
【００６１】
各実施形態において、光学ミラー３０上に第２の保持部材２０を配置した後、光学ミラー３０と第１の保持部材１０との固定工程を実施しているが、第２の保持部材２０を配置する前に固定工程を実施することも可能である。
【００６２】
弾性部材６４を設ける位置は、反射面３２と第２の保持部材２０との間に形成された隙間部６２のみに限定されるものではない。例えば、第１の保持部材１０と反射面３１との間に形成された隙間部６１にさらに弾性部材６４を設けることも可能である。
【００６３】
本発明が適用される光学ミラーは、実施形態において説明した外形形状を有するものに限定されるものではない。例えば、円形や楕円形状の外形を有する光学ミラーに適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明に係るレーザ溶接装置を簡略化して示す図である。
【図２】レーザ溶接装置の加工ヘッドを拡大して示す図である。
【図３】光学ミラー装置を示す概略斜視図である。
【図４】図３の４Ａ−４Ａ線に沿う光学ミラー装置の断面図である。
【図５】第１の実施形態に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【図６】第１の実施形態に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【図７】第１の実施形態に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【図８】第１の実施形態に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【図９】第１の実施形態の変形例に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【図１０】第１の実施形態の変形例に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【図１１】第２の実施形態に係る光学ミラーの固定方法を説明するための平面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０  第１の保持部材（保持部材）、
１１、２１  基部、
１２、２２  アーム部、
１３  貫通穴（複数の貫通穴）、
１４  連結手段、
１５  保持部、
１６  受け面、
１７  第１の塗布部、
１８  第２の塗布部、
２０  第２の保持部材（保持部材）、
３０  光学ミラー、
３１、３２  反射面、
３３  側面部（対をなす側面部）、
４０  保持部材、
５０  光学ミラー装置、
６１、６２  隙間部、
６３  位置決め部材、
６４  弾性部材、
６５  ネジ部材（固定手段）、
６６  ネジ穴、
６７  樹脂製ワッシャ、
７０  モータ（駆動手段）、
７１  駆動軸、
８０  抜け防止手段、
８１  ピン、
８２  抜け防止用の穴、
９０  接着剤（固定手段）、
９１  第１の接着剤（固定手段）、
９２  第２の接着剤（固定手段）、
１１０  加工ヘッド、
１２０  ロボット、
１３０  レーザ発振器、
１４０  光ファイバケーブル、
１５０  制御装置、
１６０、１７０  鋼板、
１８０  照射位置、
１９０、  レンズ群、
２００  レーザ溶接装置、
Ｏ  駆動軸の中心点、
Ｓ  制御信号、
Ｌ  レーザ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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