(57)【要約】【課題】工場内のコンベアや搬送台車等の搬送手段が故障したとしても、製造プロセスの停止を招くことなく、製造効率の低下を抑制することができる搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム１００は、基板と基板間用紙とが順次積層された積層体Ｗ０を搬入する積層体搬送装置１０１と、積層体搬送装置１０１によって搬入され、所定位置に載置された積層体Ｗ０から基板間用紙を取り出す紙取出装置１０３と、積層体搬送装置１０１によって搬入され、所定位置に載置された積層体Ｗ０から基板を取り出す基板取出装置１０２と、基板取出装置１０２によって取り出された基板が載置されると共に、載置された基板を搬送する基板搬送装置１０４と、板取出装置１０２によって取り出された基板が載置されると共に、載置される基板を作業者が搬送する基板仮置き台１０５とを備え、基板搬送装置１０４は、基板搬送装置１０４と基板仮置き台１０５とに基板を選択的に載置可能とされる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と基板間用紙とが順次積層された積層体を搬入する積層体搬入装置と、
前記積層体搬入装置によって搬入され、所定位置に載置された前記積層体から前記基板間用紙を取り出す紙取出装置と、
前記積層体搬入装置によって搬入され、所定位置に載置された前記積層体から前記基板を取り出す基板取出装置と、
前記基板取出装置によって取り出された前記基板が載置されると共に、載置された前記基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板取出装置によって取り出された前記基板が載置されると共に、載置される前記基板を作業者が搬送可能な基板仮置き台と、
を備え、
前記基板取出装置は、前記基板搬送装置と前記基板仮置き台とに前記基板を選択的に載置可能とされた、搬送システム。
【請求項２】
前記基板取出装置の駆動を制御可能な制御部と、前記制御部に通常駆動信号と手動駆動信号とを送信可能な操作部とをさらに備え、
前記制御部は、前記通常駆動信号を受信すると、前記基板搬送装置上に前記基板を載置するように前記基板取出装置を駆動し、
前記制御部は、前記手動駆動信号を受信すると、基板仮置き台に前記基板を載置するように前記基板取出装置を駆動する、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記積層体搬入装置、前記紙取出装置、前記基板取出装置、前記基板搬送装置、および前記基板仮置き台が載置される領域を区画する区画部をさらに備え、
前記区画部には、前記基板仮置き台上に載置された前記基板が搬出される搬出部が設けられ、
前記基板仮置き台は、前記搬出部と隣り合うように配置された、請求項１または請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記基板仮置き台は、土台部と、前記土台部から上方に向けて延び、前記基板取出装置によって取り出された前記基板を上端部で支持する支持部と、前記支持部の前記上端部より下方に位置するように前記土台部に配置されたパレットとを含み、
前記パレットが上方に変位することで、前記支持部の上端部に支持された前記基板が前記パレット上に載置可能とされた、請求項１から請求項３のいずれかに記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と基板間用紙とが順次積層された積層体から基板を取出し、取り出した基板を搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から輸送用カセット内に載置されたガラス基板などの基板を取出し、プロセスラインの始点の処理部に搬入する搬送システムや搬送装置等について各種提案されている。
【０００３】
たとえば、特開平８−８３２２号公報に記載された搬送装置は、液晶用のガラス基板を発泡性樹脂製の輸送用カセットから取り出す吸着ハンドを備える。この吸着ハンドは、その先端にスライドストッパを備える。このスライドストッパは、ガラス基板が吸着ハンドの先端方向に移動するのを阻止する突起部を備える。
【０００４】
特開２０００−３５１４４９号公報に記載されたガラス基板搬送装置は、複数のガラス基板とガラス基板間に挟まれた合紙とを斜め積みする斜め積みパレットから合紙を取り去る合紙除去装置と、合紙除去装置の近傍に設けたハンドリング装置と、ガラス基板および合紙を取り出した後のパレットを搬出口に搬送するパレット搬送手段とを備えている。なお、ガラス基板と合紙とを斜めパレットに自動的に積み込む装置として、特開２０００−３５１４４８号公報には、ガラス基板積込装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−８３２２号公報
【特許文献２】特開２０００−３５１４４９号公報
【特許文献３】特開２０００−３５１４４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
工場内では、たとえば、上記特開平８−８３２２号公報に記載された搬送装置等によって、輸送用カセットから基板が取り出される。その後、取り出されたガラス基板は搬送台車やコンベア等によって、所定の処理室に搬送される。このため、搬送台車やコンベアに故障が生じると製造プロセスの全過程が停止することになる。
【０００７】
特開２０００−３５１４４９号公報に記載されたガラス基板搬送装置においても、同様に、工場内の搬送台車やコンベアに故障が生じると製造プロセスの全過程が停止し、製造効率の低下を招くことになる。
【０００８】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、たとえば、工場内のコンベアや搬送台車等の搬送手段が故障したとしても、製造プロセスの停止を招くことなく、製造効率の低下を抑制することができる搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る搬送システムは、基板と基板間用紙とが順次積層された積層体を搬入する積層体搬入装置と、積層体搬入装置によって搬入され、所定位置に載置された積層体から基板間用紙を取り出す紙取出装置と、積層体搬入装置によって搬入され、所定位置に載置された積層体から基板を取り出す基板取出装置と、基板取出装置によって取り出された基板が載置されると共に、載置された基板を搬送する基板搬送装置と、基板取出装置によって取り出された基板が載置されると共に、載置される基板を作業者が搬送可能な基板仮置き台とを備える。上記基板取出装置は、基板搬送装置と基板仮置き台とに基板を選択的に載置可能とされる。
【００１０】
好ましくは、上記基板取出装置の駆動を制御可能な制御部と、制御部に通常駆動信号と手動駆動信号とを送信可能な操作部とをさらに備える。上記制御部は、通常駆動信号を受信すると、基板搬送装置上に基板を載置するように基板取出装置を駆動する。上記制御部は、手動駆動信号を受信すると、基板仮置き台に基板を載置するように基板取出装置を駆動する。
【００１１】
好ましくは、上記積層体搬入装置、紙取出装置、基板取出装置、基板搬送装置、および基板仮置き台が載置される領域を区画する区画部をさらに備える。上記区画部には、基板仮置き台上に載置された基板が搬出される搬出部が設けられ、基板仮置き台は、搬出部と隣り合うように配置される。
【００１２】
好ましくは、上記基板仮置き台は、土台部と、土台部から上方に向けて延び、基板取出装置によって取り出された基板を上端部で支持する支持部と、支持部の上端部より下方に位置するように土台部に配置されたパレットとを含む。上記パレットが上方に変位することで、支持部の上端部に支持された基板がパレット上に載置可能とされる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る搬送システムによれば、工場内の搬送台車やコンベア等の搬送手段が故障したとしても、製造プロセスの停止を抑制することができると共に、製造効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る搬送システムを模式的に示す平面図である。
【図２】搬送システムに搬入されるときにおけるデンスパックの断面図である。
【図３】基板仮置き台の側面図である。
【図４】基板仮置き台の平面図である。
【図５】パレットの平面図である。
【図６】パレットの側断面図である。
【図７】基板取出装置が基板仮置き台にガラス基板を載置する際における基板仮置き台の側面図である。
【図８】基板取出装置が基板仮置き台にガラス基板を載置する際における基板仮置き台の平面図である。
【図９】基板仮置き台に載置されたガラス基板を作業者が搬送するときの様子を示す基板仮置き台の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１から図９を用いて、本発明に係る搬送システム１００について説明する。図１は、搬送システム１００を模式的に示す平面図である。本実施の形態に係る搬送システム１００は、デンスパック内に収容されたガラス基板を取り出して、工場内のクリーンルーム１０７にガラス基板を搬送するためのシステムである。クリーンルーム１０７内には、搬送システム１００から搬入されるガラス基板を所定の処理室に搬送する搬送コンベア１０６が設けられている。
【００１６】
図２は、搬送システム１００に搬入されるときにおけるデンスパック１１５の断面図である。この図２に示すように、デンスパック１１５は、ボックス本体１１６と、蓋体１１７とを備え、搬送システム１００内に搬入する際には、蓋体１１７は取り外されている。ボックス本体１１６上には、積層体Ｗ０が載置されている。積層体Ｗ０は、ガラス基板Ｗ１とガラス基板間用紙Ｗ２とを順次積層することで構成されており、各ガラス基板Ｗ１間には、ガラス基板間用紙Ｗ２が挿入されている。なお、デンスパック１１５は、積層体Ｗ０を収容した状態で外部工場等からトラック等で輸送され、輸送の際には、蓋体１１７がボックス本体１１６に装着され、積層体Ｗ０がデンスパック１１５内に密封されている。
【００１７】
図１において、搬送システム１００は、デンスパック１１５のボックス本体１１６上に載置された積層体Ｗ０を搬入する積層体搬入装置１０１と、積層体搬入装置１０１によって搬入された積層体Ｗ０からガラス基板Ｗ１を取り出す基板取出装置１０２と、積層体Ｗ０からガラス基板間用紙Ｗ２を取り出す紙取出装置１０３とを備えている。
【００１８】
積層体搬入装置１０１は、新たな積層体Ｗ０を搬入する搬入コンベア１１１と、ガラス基板等が取り出された空のボックス本体１１６を搬出する搬出コンベア１１２と、空になったボックス本体１１６を搬入コンベア１１１から搬出コンベア１１２に渡す受渡コンベア１１３とを備えている。
【００１９】
積層体Ｗ０が載置されたボックス本体１１６は、搬入コンベア１１１上に載置され、搬入コンベア１１１は所定の位置まで搬送される。
【００２０】
紙取出装置１０３は、所定位置に載置された積層体Ｗ０の上面に位置するガラス基板間用紙Ｗ２を積層体Ｗ０から除去する。
【００２１】
基板取出装置１０２は、ガラス基板間用紙Ｗ２が除去されることで露出したガラス基板Ｗ１を取り出す。基板取出装置１０２は、多軸の旋回アーム１３１と、旋回アーム１３１の端部に設けられたフォーク１３０とを備えている。フォーク１３０の表面には、複数の吸着部が設けられており、フォーク１３０は、吸着部に基板を吸着させた状態でガラス基板Ｗ１を搬送する。
【００２２】
搬送システム１００は、基板取出装置１０２によって取り出されたガラス基板Ｗ１が載置される基板搬送装置１０４と、基板取出装置１０２によって取り出されたガラス基板Ｗ１が載置されると共に、載置されたガラス基板Ｗ１を作業者が搬送可能とされた基板仮置き台１０５と、基板搬送装置１０４などの駆動を制御する制御装置１０８と、制御装置１０８の制御を切り替える操作部１１０とを備えている。
【００２３】
搬送システム１００は、積層体搬入装置１０１、基板仮置き台１０５、基板取出装置１０２、基板搬送装置１０４が載置される領域を区画する区画部１２０を備える。区画部１２０は、壁部であってもよく、金網のようなものであってもよく、区画された領域内に人が入り込むことを抑制することができる部材であればよい。
【００２４】
なお、クリーンルーム１０７は、区画壁部１２１によって規定されており、クリーンルーム１０７外部の空気がクリーンルーム１０７内に入り込むことが抑制されている。
【００２５】
区画壁部１２１には、基板搬入部１０９が形成されており、基板搬入部１０９を通して、基板搬送装置１０４によって搬送された基板搬入部１０９をクリーンルーム１０７内に受け入れることができる。
【００２６】
基板搬送装置１０４の上面には、ベルトコンベア等が設けられており、基板搬送装置１０４は、基板取出装置１０２によってベルトコンベア上に載置されたガラス基板を基板搬入部１０９に向けて搬送する。
【００２７】
基板搬入部１０９を通して、クリーンルーム１０７内に搬入されたガラス基板は、搬送コンベア１０６に載置され、所定の処理室に搬送される。
【００２８】
正常に各装置が駆動している際には、操作部１１０から制御装置１０８に通常駆動信号が送信され、基板取出装置１０２は、搬入コンベア１１１上に載置されたガラス基板を基板搬送装置１０４上に載置する。基板搬送装置１０４上に載置されたガラス基板は、基板搬入部１０９からクリーンルーム１０７内に搬送され、その後、搬送コンベア１０６によって搬送される。
【００２９】
搬送コンベア１０６の駆動が故障等によって停止した際には、操作部１１０から制御装置１０８に手動駆動信号が送信される。制御装置１０８は、手動駆動信号を受信すると、基板取出装置１０２の駆動を切り替る。そして、制御装置１０８は、デンスパック１１５から取り出したガラス基板を基板仮置き台１０５上に載置するように基板取出装置１０２を制御する。
【００３０】
区画部１２０には、基板仮置き台１０５上に載置されたガラス基板を搬出する作業者が出入り可能な搬出部が形成されており、搬出部は、区画部１２０に形成された開口部と、この開口部を開閉するドア１２２とを備えている。
【００３１】
搬送コンベア１０６等に故障が生じた際には、基板仮置き台１０５に載置されたガラス基板を作業者が持ち出し、所定の処理室に搬送することで、ラインが完全にストップすることを防止することができる。
【００３２】
基板仮置き台１０５は、ドア１２２と隣り合うように設けられており、作業者は基板仮置き台１０５に載置されたガラス基板Ｗ１を短時間で区画部１２０の外部に持ち出すことができ、ガラス基板Ｗ１を搬出するサイクル時間を短くすることができる。
【００３３】
ガラス基板を搬出する作業者は、区画部１２０の外側に待機し、基板仮置き台１０５にガラス基板が載置され、基板取出装置１０２の旋回アーム１３１およびフォーク１３０が基板仮置き台１０５から退避した後、ドア１２２をあけて区画部１２０内に入る。
【００３４】
その後、作業者が基板仮置き台１０５から区画部１２０の外部にガラス基板を搬出する。ガラス基板を搬出した作業者がドア１２２を閉めると、操作部１１０を操作する作業者が操作部１１０を操作することで、紙取出装置１０３が駆動し、紙取出装置１０３がガラス基板間用紙を除去する。さらに、作業者が操作部１１０を操作することで基板取出装置１０２が駆動され、基板取出装置１０２が新たな一枚のガラス基板を基板仮置き台１０５上に載置する。
【００３５】
この図１に示す例においては、操作部１１０を操作することで、ガラス基板を１枚づつ基板仮置き台１０５上に載置する例について説明したが、制御装置１０８に予めプログラム等を組み込み、制御装置１０８に組み込まれたプログラム等にしたがって、基板取出装置１０２を駆動させて、基板仮置き台１０５に１枚づつガラス基板を載置するようにしてもよい。
【００３６】
この場合、基板仮置き台１０５に質量センサを設けると共に、ドア１２２に開閉センサを設ける。制御装置１０８は、基板仮置き台１０５の質量センサによって、ガラス基板が載置されていない判断し、かつ、ドア１２２の開閉センサによってドア１２２が閉められていると判断したときに、制御装置１０８は紙取出装置１０３および基板取出装置１０２を駆動する。そして、基板仮置き台１０５にガラス基板Ｗ１を載置する。なお、ガラス基板の搬送中にドア１２２が開けられた場合には、制御装置１０８は基板取出装置１０２および紙取出装置１０３の駆動を停止させる。さらに、ドア１２２近傍等に非常停止ボタンを配置し、非常停止ボタンが押されたときには、制御装置１０８は、基板取出装置１０２および紙取出装置１０３の駆動を停止させる。
【００３７】
図３は、基板仮置き台１０５の側面図であり、図４は、基板仮置き台１０５の平面図である。この図３および図４に示すように、基板仮置き台１０５は、土台１４０と、土台１４０から上方に向けて延びる支持部１４３と、支持部１４３の上端部よりも下方に配置されたパレット１４６とを備えている。
【００３８】
支持部１４３の上端部にガラス基板Ｗ１が載置され、ガラス基板Ｗ１は、支持部１４３の上端部によって支持される。支持部１４３は、複数設けられている。支持部１４３の上端部は湾曲面状に形成されており、載置されるガラス基板Ｗ１の損傷が抑制されている。なお、支持部１４３は、可撓性材料から構成してもよい。
【００３９】
土台１４０は、立設する複数の柱部１４１と、柱部１４１間に架設された梁部１４２とを備え、支持部１４３は、梁部１４２の上面上に間隔をあけて設けられている。なお、梁部１４２の上面には、各梁部１４２の幅方向中央部を通る中央載置部１４９が配置されている。柱部１４１は、環状に配列しており、柱部１４１の上端部には枠体状の載置部１４４が設けられている。この載置部１４４および上記中央載置部１４９上にパレット１４６が配置されている。載置部１４４の外周縁部には、間隔をあけてガイド部１４５が設けられている。ガイド部１４５の上端部の高さと、パレット１４６の上端部の高さとは一致している。
【００４０】
パレット１４６は、支持部１４３の上端部よりも下方に配置されており、パレット１４６には、支持部１４３が挿通する穴部が形成されている。
【００４１】
そして、載置部１４４およびパレット１４６上に配置されたパレット１４６を上方に変位させることで、支持部１４３によって支持されたガラス基板Ｗ１をパレット１４６上に載せることができる。なお、この図３および図４に示す例においては、パレット１４６は、作業者によって上方に変位可能とされているが、油圧機器やモータ等の駆動源を用いて、パレット１４６を変位させるようにしてもよい。
【００４２】
図５は、パレット１４６の平面図であり、図６は、パレット１４６の側断面図である。これら図５および図６に示すように、パレット１４６の外周縁部には、環状に延びる枠部１４７が形成されている。枠部１４７は階段状に形成されており、枠部１４７には、ガラス基板Ｗ１の外周縁部が載置される載置面１５３が形成されている。パレット１４６には、図３および図４に示す支持部１４３が挿通する穴部１４８が複数形成されている。
【００４３】
図７は、基板取出装置１０２が基板仮置き台１０５にガラス基板Ｗ１を載置する際における基板仮置き台１０５の側面図であり、図８は、基板取出装置１０２が基板仮置き台１０５にガラス基板Ｗ１を載置する際における基板仮置き台１０５の平面図である。
【００４４】
この図７および図８に示すように、基板取出装置１０２のフォーク１３０は、旋回アーム１３１が接続された付根部１５２と、付根部１５２の長手方向に間隔をあけて設けられた枝部１５０と、枝部１５０の延在方向に間隔をあけて設けられた吸着部１５１とを備えている。
【００４５】
図２において、各ガラス基板Ｗ１の上面に吸着面が位置するように各ガラス基板Ｗ１が積層されており、フォーク１３０は、積層体Ｗ０の上面に位置するガラス基板Ｗ１を吸着する。
【００４６】
ガラス基板Ｗ１の搬送途中にフォーク１３０は反転して、フォーク１３０上にガラス基板Ｗ１を載せる。そして、図７および図８に示すように、各枝部１５０が支持部１４３間およびガイド部１４５間に位置するようにフォーク１３０が位置決めされ、ガラス基板Ｗ１が支持部１４３の上端部に載置される。支持部１４３間の間隔は、枝部１５０の幅よりも遥かに大きく、枝部１５０を支持部１４３間に容易に配置させることができる。そして、ガラス基板Ｗ１が支持部１４３の上端部で支持されると、吸着部１５１の駆動が停止し、フォーク１３０が基板仮置き台１０５から退避する。このように、基板仮置き台１０５上にガラス基板Ｗ１を容易に載置することができる。
【００４７】
図９は、基板仮置き台１０５に載置されたガラス基板Ｗ１を作業者が搬送するときの様子を示す基板仮置き台１０５の側面図である。
【００４８】
この図９に示すように、作業者は載置部１４４上に配置されているパレット１４６を持ち上げる。そして、パレット１４６上にガラス基板Ｗ１を載置する。作業者は、パレット１４６上に載置部１４４を載置した後、パレット１４６を基板仮置き台１０５から取り外し、パレット１４６およびガラス基板Ｗ１を搬出する。
【００４９】
載置部１４４の外周には、ガイド部１４５が間隔をあけて複数設けられており、パレット１４６は、ガイド部１４５によって案内される。このため、図６に示される枠部１４７に形成された載置面１５３とガラス基板Ｗ１の外周部とを正確に位置決めすることができ、載置面１５３上にガラス基板Ｗ１の外周部を載せることができる。このように、質量の重いガラス基板Ｗ１を予め上方に配置することで、作業者がガラス基板Ｗ１を持ち上げる距離が低減されており、作業者の負担の低減が図られている。
【００５０】
図３において、支持部１４３の上端部の高さＬ１は、たとえば、１ｍ程度とされており、成人が質量のあるガラス基板Ｗ１を運ぶ際に、ガラス基板Ｗ１およびパレット１４６を持ち運びし易い高さとされている。
【００５１】
パレット１４６が配置されている高さＬ２は、たとえば、５０ｃｍ〜６０ｃｍ程度とされている。なお、図４、図７、図９等に示される例においては、１枚のパレット１４６が載置部１４４上に配置されているが、複数のパレット１４６を積層するのが好ましい。複数のパレット１４６を予め載置部１４４上に用意することで、ガラス基板Ｗ１の搬出サイクル時間の低減を図ることができる。
【００５２】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での０および範囲にかぎられない。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、ガラス基板等の基板と基板間用紙とが順次積層された積層体から基板を取出し、取り出した基板を搬送する搬送システムに適用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１００  搬送システム、１０１  積層体搬送装置、１０２  基板取出装置、１０３  紙取出装置、１０４  基板搬送装置、１０５  基板仮置き台、１０６  搬送コンベア、１０７  クリーンルーム、１０８  制御装置、１０９  基板搬入部、１１０  操作部、１１１  搬入コンベア、１１２  受渡コンベア、１１５  デンスパック、１１６  ボックス本体、１１７  蓋体、１２０  区画部、１２１  区画壁部、１２２  ドア、１３０  フォーク、１３１  旋回アーム、１４０  土台、１４１  柱部、１４２  梁部、１４３  支持部、１４４  載置部、１４５  ガイド部、１４６  パレット、１４７  枠部、１４８  穴部、１４９  中央載置部、１５０  枝部、１５１  吸着部、１５２  付根部、Ｗ０  積層体、Ｗ１  ガラス基板、Ｗ２  ガラス基板間用紙。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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