(57)【要約】【課題】供給される金属性ワイヤ等のねじれを生じさせることなく、均一な溶射を行うことが可能な溶射ガンを提供する。【解決手段】円筒部５１の内径部５１ａに対して溶射被膜Ｌ１を形成する場合、円筒部５１の内周面側に溶射ガン１０の先端部分を差し込む。この状態で、サーボモータＭを駆動してガン本体部２０を中心にガス導管３４を回転させながら、ガン本体部２０において、電圧が印加された２本のワイヤＷ１，Ｗ２をアーク発生点Ｐ１において接触させてアークを発生させる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電界が印加された２本の金属性ワイヤを接触させてアーク発生点においてアークを発生させるガン本体部と、
前記アーク発生点に対して、前記金属性ワイヤの供給方向に交差する方向に、ガス供給経路を介して供給されるガスを噴射するガス吹付け部と、
前記アーク発生点を中心として前記ガス吹付け部を前記ガン本体部の周りで回転移動させる回転駆動部と、
を備えている溶射ガン。
【請求項２】
前記ガス吹付け部は、前記アーク発生点に対する複数のガスの噴射角度に対応する複数のガス供給経路を有している、
請求項１に記載の溶射ガン。
【請求項３】
前記ガス吹付け部は、前記金属性ワイヤの供給方向に略直交する方向に沿って前記アーク発生点に対してガスを噴射する第１経路と、前記金属性ワイヤの供給方向に対して下流側斜め方向に沿って前記アーク発生点に対してガスを噴射する第２経路と、を有している、
請求項２に記載の溶射ガン。
【請求項４】
前記回転駆動部は、モータと複数のギアとを有している、
請求項１から３のいずれか１項に記載の溶射ガン。
【請求項５】
前記ガス吹付け部から噴射されるガスは、窒素が含まれる、
請求項１から４のいずれか１項に記載の溶射ガン。
【請求項６】
前記ガス吹付け部は、略円筒形状の基材の内周面に向かって前記ガスを噴射する、
請求項１から５のいずれか１項に記載の溶射ガン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属製ワイヤを供給しながらアーク発生点において溶融させてアーク溶射を行う溶射ガンに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば、エンジンのシリンダブロックのボアのような円筒形状の基材の内周面にアークワイヤを溶射する溶射ガンが用いられている。
このような円筒形状の基材の内周面に対して溶射する場合には、基材を回転させる方法と溶射ガン自体を回転させる方法とがある。
まず、溶射ガンを固定し、基材を回転させて内周面を溶射する場合には、基材が小さい場合には問題はないが、エンジンのシリンダブロックのように基材が大きい場合には、基材を回転させるための大掛かりな回転装置が必要になってしまう。
【０００３】
これに対して、基材を固定して溶射ガンを移動・回転させながら基材の内周面を溶射する場合には、基材を回転させる大掛かりな装置等が不要となるというメリットがある。
例えば、特許文献１には、略円筒形状のシリンダボア内において溶射を行うために、溶射ガン自体を移動・回転させる機構を備えた溶射装置について開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の溶射装置では、以下に示すような問題点を有している。
すなわち、上記公報に開示された溶射装置では、固定配置された円筒形の基材の内周面に被膜を形成することはできるものの、溶射ガン全体を回転させた場合には、供給されるワイヤや溶射ガンに電力を供給する電気配線等がねじれてしまうおそれがある。そして、このようなワイヤ等のねじれを解消するためには、例えば、３６０度ずつ反転移動させて円筒形の基材の内周面に溶射を行う必要があり、反転時に一瞬回転が停止することになり、この部分の溶射被膜の組成や厚みが不均一となるおそれがある。
【０００５】
本発明の課題は、供給される金属性ワイヤ等のねじれを生じさせることなく、均一な溶射を行うことが可能な溶射ガンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明に係る溶射ガンは、ガン本体部と、ガス吹付け部と、回転駆動部と、を備えている。ガン本体部は、電界が印加された２本の金属性ワイヤを接触させてアーク発生点においてアークを発生させる。ガス吹付け部は、アーク発生点に対して、金属性ワイヤの供給方向に交差する方向に、ガス供給経路を介して供給されるガスを噴射する。回転駆動部は、アーク発生点を中心としてガス吹付け部をガン本体部の周りで回転移動させる。
【０００７】
ここでは、電界が印加された２本の金属性ワイヤを接触させてアークを発生させるガン本体部を固定配置し、アーク発生点に対して側方から（金属性ワイヤの供給方向に交差する方向へ）ガスを吹き付けるようにガス吹付け部を配置するとともに、アーク発生点を中心としてガス吹付け部を回転移動させて３６０度方向に溶射する。
ここで、アーク発生点に対してガスが吹き付けられる方向としては、アーク発生点近傍における金属性ワイヤの供給方向を基準として、その供給方向に交差する方向、つまりアーク発生点において溶融したワイヤを側方に向かって吹き飛ばす方向を意味している。
【０００８】
これにより、金属性ワイヤや電気配線等が接続されたガン本体部を回転させることなく固定配置した構成であっても、アーク発生点から３６０度方向への均一な溶射が可能になる。この結果、例えば、円筒部材の基材の内周面に対して溶射を行う場合でも、金属製ワイヤ等のねじれを生じさせることなく、かつ基材の内周面に均一な溶射を実施することができる。
【０００９】
第２の発明に係る溶射ガンは、第１の発明に係る溶射ガンであって、ガス吹付け部は、アーク発生点に対する複数のガスの噴射角度に対応する複数のガス供給経路を有している。
ここでは、ガス吹付け部がガスの供給経路を複数設けており、ガス供給経路を切り換えることで、アーク発生点に対するガスの噴射角度を切り換える。
これにより、アーク発生点からアークワイヤが溶射される角度を容易に切り換えることができる。よって、様々な基材、用途に使用することが可能になる。
【００１０】
第３の発明に係る溶射ガンは、第２の発明に係る溶射ガンであって、ガス吹付け部は、金属性ワイヤの供給方向に略直交する方向に沿ってアーク発生点に対してガスを噴射する第１経路と、金属性ワイヤの供給方向に対して下流側斜め方向に沿ってアーク発生点に対してガスを噴射する第２経路と、を有している。
【００１１】
ここでは、複数のガス供給経路を有するガス吹付け部において、アーク発生点の真横付近に溶射する第１経路と、アーク発生点よりも前方にある基材の内周面等に溶射する第２経路とを切り換えて使用する。
これにより、例えば、円筒形状の先端部分が細くなっているような基材の内周面に溶射する場合でも、斜め前方に向かって溶射することができる。
【００１２】
第４の発明に係る溶射ガンは、第１から第３の発明のいずれか１つに係る溶射ガンであって、回転駆動部は、モータと複数のギアとを有している。
ここでは、アーク発生点を中心としてガス吹付け部を回転移動させる回転駆動部を、モータと複数のギアを組み合わせて構成する。
これにより、簡易な構成によってガス吹付け部を回転移動させることができる。また、上述したように、ガン本体部を回転させないため、モータの回転方向を反転させる必要がなく、常時一方向に回転させることができる。よって、モータの回転制御が簡素化される。
【００１３】
第５の発明に係る溶射ガンは、第１から第４の発明のいずれか１つに係る溶射ガンであって、ガス吹付け部から噴射されるガスは、窒素が含まれる。
ここでは、アーク発生点に対して噴射されるガスとして、窒素を用いている。
通常、このようなアーク溶射には、ドライエアや窒素、アルゴン等が用いられる。この中でも、特に、窒素を使用することで、アルゴンと比較して低コストで、かつドライエアと比較して溶射部分の酸化を防止することができる。
【００１４】
第６の発明に係る溶射ガンは、第１から第５の発明のいずれか１つに係る溶射ガンであって、ガス吹付け部は、略円筒形状の基材の内周面に向かってガスを噴射する。
ここでは、上述した溶射ガンを用いて、略円筒形状の基材の内周面を溶射する。
これにより、例えば、エンジンのシリンダブロックのような大型の基材であっても、基材を回転等させることなく、内周面側を溶射することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る溶射ガンによれば、金属製ワイヤ等のねじれを生じさせることなく、かつ基材の内周面に均一な溶射を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る溶射ガンを含む溶射システムの構成を示す全体図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、図１の溶射システムに含まれる溶射ガンの構成を示す背面図、平面図、正面図。
【図３】図１の溶射システムに含まれる溶射ガンの構成を示す側面図。
【図４】本実施形態において内径溶射されるエンジンのシリンダブロックの構成を示す断面図。
【図５】図２および図３の溶射ガンを用いた内径溶射の方法を示す概念図。
【図６】図５のアーク発生点付近の構成を示す拡大概念図。
【図７】本発明の他の実施形態に係る溶射ガンの構成を示す側面図。
【図８】（ａ），（ｂ）は、図７の溶射ガンを用いて異なる方向へ溶射する際の例を示す概念図。
【図９】図７の溶射ガンを用いて、基材表面に向かって２方向に溶射する状態を示す概念図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の一実施形態に係る溶射ガン１０を含む溶射システム１００について、図１〜図６を用いて説明すれば以下の通りである。
［溶射システム１００の構成］
本実施形態に係る溶射システム１００は、２本のワイヤ（金属性ワイヤ）Ｗ１，Ｗ２を供給しながらアーク発生点Ｐ１（図２および図３等参照）において溶融させ、溶融したワイヤＷ１，Ｗ２をガスによって所望の方向へ吹き飛ばすことで、溶射被膜Ｌ１（図５参照）を形成するシステムである。そして、溶射システム１００は、図１に示すように、溶射ガン１０と、ドラム１１と、リール１２と、電源装置１３と、を備えている。
【００１８】
溶射ガン１０は、アーク発生点Ｐ１においてアーク熱によって溶融したワイヤＷ１，Ｗ２を、ガス噴射ノズル３５の噴射口３５ａから噴射されるガス（本実施形態では、窒素ガス）によって所望の方向へ吹きつけて、溶射を行う装置である（図２および図３等参照）。なお、この溶射ガン１０の構成については、後段にて詳述する。
ドラム１１は、２本のワイヤＷ１，Ｗ２が巻回されたワイヤ束をそれぞれ収容する２つの収容部分を有している。
【００１９】
リール１２は、図示しないワイヤ供給モータによってドラム１１に収容されているワイヤ束から、ワイヤＷ１，Ｗ２をそれぞれ引き出して、溶射ガン１０の後端部に対して供給する。
電源装置１３は、ワイヤＷ１，Ｗ２を介して、溶射ガン１０に対してアーク発生用の電力を供給する。
ここで、本実施形態では、アーク溶射を行う対象（基材）として、図４に示すように、建設機械等に搭載されるエンジンのシリンダブロック５０の円筒部５１，５２，５３を用いた場合について説明する。
【００２０】
（溶射ガン１０の構成）
本実施形態の溶射ガン１０は、図２（ａ）〜図２（ｃ）および図３に示すように、ガン本体部２０と、ガス導管３４と、ガス噴射ノズル（ガス吹付け部）３５と、回転駆動部３０と、を備えている。
【００２１】
ガン本体部２０は、ドラム１１からリール１２を介して供給されるワイヤＷ１，Ｗ２をアーク発生点Ｐ１の方向へ供給しながら、電源装置１３によって所望の電圧が印加された２本のワイヤＷ１，Ｗ２をアーク発生点Ｐ１において接触させてアークを発生させる。そして、ガン本体部２０は、２本のワイヤ導管２１ａ，２１ｂと、２本のチップ２２ａ．２２ｂと、固定部２３と、を有している。
【００２２】
ワイヤ導管２１ａ，２１ｂは、内部が中空のパイプ材であって、リール１２を介して供給されるワイヤＷ１，Ｗ２を、中空部分を介してアーク発生点Ｐ１まで送り込む。
チップ２２ａ，２２ｂは、ワイヤ導管２１ａ，２１ｂの先端部に設けられたコンタクトチップである。そして、チップ２２ａ，２２ｂは、電源装置１３から電力が供給されており、ワイヤ導管２１ａ，２１ｂを介して供給されるワイヤＷ１，Ｗ２を接触させて、ワイヤＷ１，Ｗ２の先端部分においてアークを発生させる。
【００２３】
固定部２３は、略円筒形状のブッシュであって、２本のワイヤ導管２１ａ，２１ｂを内周面側に内包している。また、固定部２３は、外周面側に後述するガス供給経路Ｒの一部を担う円環状の溝を有している。
ガス導管３４は、内部が中空のパイプ材であって、図示しないガス供給部から供給される窒素ガスを中空部分に形成されたガス供給経路Ｒを介して、先端に取り付けられたガス噴射ノズル３５へ供給する。そして、ガス導管３４は、後述する回転駆動部３０の回転駆動力によってガン本体部２０の周りを回転する。
【００２４】
ガス噴射ノズル３５は、アーク発生点Ｐ１の側方に近接するようにガス導管３４の先端部分に取り付けられており、アーク発生点Ｐ１の側方において回転しながら所望の方向へ窒素ガスを噴射する。
回転駆動部３０は、上述したガス導管３４およびガス噴射ノズル３５を、ガン本体部２０を中心として回転させる機構である。そして、回転駆動部３０は、図２（ａ）〜図２（ｃ）および図３に示すように、３つの回転体（第１・第２・第３回転体３１ａ〜３１ｃ）と、ベアリング３２と、第１・第２ギア（ギア）３３ａ，３３ｂと、サーボモータＭと、を有している。
【００２５】
第１〜第３回転体３１ａ〜３１ｃは、ガス本体部２０に対して後端側に配置されており、サーボモータＭから供給される回転駆動力を伝達して、ガン本体部２０の周りにおいてガス導管３４を回転させる。
第１回転体３１ａは、３つの回転体の中で最も後端寄りに配置されており、後述する第１・第２ギア３３ａ，３３ｂを介してサーボモータＭから伝達される回転駆動力を受けてガン本体部２０を中心として回転する。
【００２６】
第２回転体３１ｂは、第１回転体３１ａの先端側の面にボルトによって固定されており、第１回転体３１ａと一体化して回転する。また、第２回転体３１ｂは、ベアリング３２を介して固定部２３に対して回転し、内部に窒素ガスが通過するガス供給経路Ｒが形成されている。
第３回転体３１ｃは、第２回転体３１ｂの先端側の面にボルトによって固定されており、第１・第２回転体３１ａ，３１ｂと一体化して回転する。また、第３回転体３１ｃは、先端側の面にガス導管３４が差し込まれた状態で固定されている。そして、第３回転体３１ｃは、第２回転体３１ｂ内に形成されたガス供給経路Ｒにつながるガス供給経路Ｒを内部に有している。これにより、第２・第３回転体３１ｂ，３１ｃ内に形成されたガス供給経路Ｒを介して、ガス導管３４へ窒素ガスを供給する。
【００２７】
ベアリング３２は、ガン本体部２０に含まれる固定部２３の外周面と第２回転体３１ｂの内周面との間に設置されており、ガス本体部２０を中心として第１〜第３回転体３１ａ〜３１ｃを回転させる。
第１ギア３３ａは、第１回転体３１ａの外周面に被せるように設けられており、第２ギア３３ｂを介して、第１回転体３１ａに対して回転駆動力を伝達する。
【００２８】
第２ギア３３ｂは、サーボモータＭの回転軸に対して固定されており、第１ギア３３ａと噛み合っている。よって、サーボモータＭの回転駆動力を、第１回転体３１ａと噛み合った第１ギア３３ａに対して伝達する。
サーボモータＭは、図示しない電源装置から電力が供給されており、ガン本体部２０を中心としてガス導管３４を回転させる回転駆動力を供給する回転駆動源であって、溶射ガン１０における後端部側に設けられている。
【００２９】
ガス供給経路Ｒは、図示しないガス供給源からガス噴射ノズル３５まで窒素ガスを導く経路であって、ガン本体部２０の固定部２３における後端部から長手方向に延伸し円環状の溝部分Ｒａを介して第２回転体３１ｂ、第３回転体３１ｃの内部を介してガス導管３４まで形成される。これにより、ガン本体部２０を固定した状態でガン本体部２０を中心としてガス導管３４、ガス噴射ノズル３５を回転させた場合でも、第２回転体３１ｂ内のガス供給経路Ｒの部分が固定部２３の円環状の溝部分Ｒａに常時接続された状態となって、ガス噴射ノズル３５まで常に窒素ガスを供給することができる。
【００３０】
また、円環状の溝部分Ｒａを挟み込むようにして軸方向両側にＯリング３７が配置されている。これにより、溶射ガン１０内においてガスを密封することができる。
＜溶射ガン１０を用いた内径部へのアーク溶射方法＞
本実施形態では、上述した構成を備えた溶射ガン１０を用いて、図４に示すシリンダブロック５０における各円筒部５１〜５３の内径部５１ａ〜５３ａに対して、溶射被膜Ｌ１（図５参照）を形成する。
【００３１】
ここで、本実施形態の溶射条件としては、円筒部５１〜５３の内径：１４０ｍｍ、溶射距離（アーク発生点から溶射される内壁までの距離）：７０ｍｍ、アーク電流：２００Ａ、アーク電圧：２６Ｖ、ガス噴射ノズル３５の回転数：４０ｒｐｍ、溶射ピッチ５ｍｍ／１回転上昇、噴射圧：３ｂａｒとする。また、ワイヤ径：１．６ｍｍ、ボンドコート：Ｎｉ−５Ａｌ、トップコート：Ｆｅ−１２．８Ｃｒ−０．３７Ｃ−０．５２Ｍｎ−０．４ＳｉのワイヤＷ１，Ｗ２を用いた。
【００３２】
例えば、図５に示すように、円筒部５１の内径部５１ａに対して溶射被膜Ｌ１を形成する場合には、円筒部５１の内周面側に溶射ガン１０の先端部分を差し込む。そして、この状態で、サーボモータＭを駆動してガン本体部２０を中心にガス導管３４を回転させながら、図６に示すように、ガン本体部２０において、電圧が印加された２本のワイヤＷ１，Ｗ２をアーク発生点Ｐ１において接触させてアークを発生させる。
【００３３】
このとき、回転しているガス導管３４の先端に取り付けられたガス噴射ノズル３５（噴射口３５ａ）から窒素ガスを噴射して、アーク熱によって溶融したワイヤＷ１，Ｗ２の溶融粒子を、ワイヤＷ１，Ｗ２の供給方向に対する垂直方向へ吹き付ける。
これにより、シリンダブロック５０における円筒部５１の内径部５１ａの表面には、３６０度方向に亘って溶射被膜Ｌ１がほぼ同じ組成、厚みで形成される。そして、３６０度方向への溶射中には、ガス導管３４やガス噴射ノズル３５等が回転するだけであってガン本体部２０は回転しないため、溶射中に溶射ガン１０を反転させたり、ワイヤＷ１，Ｗ２や電気配線等がねじれたりすることはない。この結果、溶射中にワイヤＷ１，Ｗ２等のねじれを生じさせることなく、かつ基材の内周面に均一な溶射を実施することができる。
【００３４】
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
（Ａ）
上記実施形態では、アーク発生点Ｐ１の真横からガスを噴き付けて一方向に溶射を行う例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３５】
例えば、図７に示すように、内部に複数のガス供給経路Ｒ１，Ｒ２を有する溶射ガン１１０を用いてもよい。この溶射ガン１１０は、円筒状の固定部１２３内に２つのガス供給経路Ｒ１，Ｒ２を設け、各ガス供給経路Ｒ１，Ｒ２に対応するガス噴射ノズル（ガス吹付け部）３５，３６を備えている。ガス噴射ノズル３６は、ガス噴射ノズル３５に対して円周上に９０度位相をずらした状態で配置されている。
【００３６】
これにより、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、基材に対する溶射部分を増やしたい場合等にはガスの供給経路を複数設けることで、異なる２方向に向かって同時に溶射を行うことができる。
また、基材に対する溶射部分を変える場合等にはガスの供給経路を切り換えることで、窒素ガスを噴射するガス噴射ノズル３５，３６を切り換えて、容易に溶射方向を切り換えることもできる。
【００３７】
この結果、基材の形状や溶射部分等に応じて、通常時には、図８（ａ）に示すように、アーク発生点Ｐ１の真横方向に対して溶射を行うとともに、溶射ガンの先端部分が挿入できない細い円筒状の基材の内周面等に対して溶射する場合には、図８（ｂ）に示すように、斜め方向に溶射することができる。よって、図９に示すように、基材１５１における垂直面と傾斜面とにそれぞれガス噴射ノズル３５，３６からガスを同時に噴射することができる。
【００３８】
（Ｂ）
上記実施形態では、アーク発生点Ｐ１の真横からガスを噴き付けて、ワイヤＷの供給方向に対する略垂直な一方向に溶射を行う例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、ガス噴射ノズルから噴射されるガスの方向が一方向である場合でも、上述した図８（ｂ）に示すように、溶射ガン１０の先端側斜め方向に向かって溶射を行う溶射ガンであってもよい。
この場合には、溶射ガンの先端部分が挿入できないような細い円筒状の基材の内周面に対しても容易に溶射を実施することができる。
【００３９】
（Ｃ）
上記実施形態では、ガス噴射ノズル３５の噴射口３５ａからアーク発生点Ｐ１に対して噴射されるガスとして、窒素ガスを用いた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４０】
例えば、窒素ガス以外にも、乾燥させた空気（ドライエア）やアルゴンガス等の不燃性のガスを用いてもよい。
ただし、空気を用いた場合には空気中の水分を除去するために乾燥させる必要があり、また、アルゴンガスを用いた場合には窒素ガスよりもコストアップにつながるという観点等から、窒素ガスを用いることが望ましい。
【００４１】
（Ｄ）
上記実施形態では、サーボモータＭの回転駆動力を第１・第２ギア３３ａ，３３ｂを介して第１回転体３１ａに伝達する構成を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、ギアの代わりに、ベルトを介して回転駆動力を伝達するような構成を採用してもよい。
【００４２】
（Ｅ）
上記実施形態では、溶射ガン１０によって溶射を行う基材として、円筒状の部材であるエンジンのシリンダブロックを用いた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、円筒状の基材に限らず、内周部や外周部の一部に円弧状の部分を含む基材や、方形の内周部を含む基材等、各種形状、素材の基材に対して、本発明の溶射ガンを使用して溶射することができる。
【００４３】
また、上記実施形態において説明した溶射条件についても、溶射対象となる基材の種類や使用するワイヤの種類等の各種条件に応じて、アーク電流、電圧、ガス噴射ノズル等の回転方向、回転速度等の各条件を適宜変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の溶射ガンは、金属製ワイヤ等のねじれを生じさせることなく、かつ基材の内周面に均一な溶射を実施することができるという効果を奏することから、各種素材からなる基材への溶射に対して広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１０      溶射ガン
１１      ドラム
１２      リール
１３      電源装置
２０      ガン本体部
２１ａ，２１ｂ  ワイヤ導管
２２ａ，２２ｂ  チップ
２３      固定部
３０      回転駆動部
３１ａ    第１回転体
３１ｂ    第２回転体
３１ｃ    第３回転体
３２      ベアリング
３３ａ    第１ギア（ギア）
３３ｂ    第２ギア（ギア）
３４      ガス導管
３５      ガス噴射ノズル（ガス吹付け部）
３５ａ    噴射口
３６      ガス噴射ノズル（ガス吹付け部）
３７      Ｏリング
５０      シリンダブロック
５１，５２，５３  円筒部
５１ａ，５２ａ，５３ａ  内径部
１００      溶射システム
１１０      溶射ガン
１２３      固定部
１５１      基材
Ｌ１    溶射被膜
Ｍ      サーボモータ
Ｐ１    アーク発生点
Ｒ      ガス供給経路
Ｒａ    溝部分
Ｒ１    ガス供給経路（第１経路）
Ｒ２    ガス供給経路（第２経路）
Ｗ，Ｗ１，Ｗ２  ワイヤ（金属性ワイヤ）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４６】
【特許文献１】特開２００８−２４００２０号公報（平成２０年１０月９日公開）
【図１】
2010235961.tif 000003
【図２】
2010235961.tif 000004
【図３】
2010235961.tif 000005
【図４】
2010235961.tif 000006
【図５】
2010235961.tif 000007
【図６】
2010235961.tif 000008
【図７】
2010235961.tif 000009
【図８】
2010235961.tif 000010
【図９】
2010235961.tif 000011