(57)【要約】【課題】５次球面収差Ｃ５の補正を簡単かつ高精度に行う機能を備えた走査透過電子顕微鏡、及び収差補正方法を提供する。【解決手段】電子光学系と、前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、情報処理装置とを備え、前記情報処理装置は、前記調整レンズの焦点距離を変化させて前記試料のロンチグラムを検出し、該焦点距離の変化に伴い前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの変化を検出し、５次球面収差Ｃ５の補正条件を判定する。【選択図】図８
2010170940.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から放出される電子線を試料に照射する電子光学系と、
前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、
前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、
前記試料の像を観察あるいは記録するための画像観察・記録装置と、
前記試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、
前記電子光学系、前記画像観察・記録装置、及び前記ロンチグラム検出手段を制御する情報処理装置とを備え、
前記情報処理装置は、
前記調整レンズの焦点距離を変化させて前記試料のロンチグラムを検出し、該焦点距離の変化に伴い前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの変化を検出し、５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項２】
請求項１において、
前記情報処理装置は、
５次非点収差Ａ５を反映して前記ロンチグラムに現れる前記六角形状のパターンの凹凸が前記調整レンズの焦点距離を変える途上で凸部と凹部を反転させる転換点をもって、前記５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項３】
請求項１において、
前記情報処理装置は、
前記調整レンズの焦点距離fALを変化させて得られる前記ロンチグラムと予め記憶装置に保持されていた基準画像との相互相関を、前記調整レンズの焦点距離fALを少しずつ変化させて得られる前記ロンチグラムと前記基準画像とを逐次比較する逐次ステップ探索により行い、前記５次球面収差Ｃ５の最小条件を探す
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項４】
請求項１において、
前記情報処理装置は、
前記調整レンズの焦点距離fALを変化させて得られる前記ロンチグラムと予め記憶装置に保持されていた基準画像との相互相関を、予め大きく設定された前記調整レンズの焦点距離fALの挟み込み幅を徐々に狭める挟み込み探索により行い、前記５次球面収差Ｃ５の最小条件を探す
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項５】
請求項２において、
前記情報処理装置は、
記憶装置に、第１の６回対称標準パターンと、該第１の６回対称標準パターンを３０度回転した第２の６回対称標準パターンを保持しており、
前記二つの標準パターンと観察された前記ロンチグラムの間の相互相関の大小を比較し、前記ロンチグラムの六角形状パターンの凸部と凹部の転換点を判定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項６】
請求項２において、
前記情報処理装置は、
前記調整レンズの焦点距離fALを変化させたときに３次以下の収差補正条件が保たれるように、前記収差補正器の６極子レンズの励磁強度及び前記対物レンズの焦点距離を、予め記憶装置に保持された関係に基づき、前記調整レンズの焦点距離fALの変化に連動させて自動的に調整する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項７】
電子線を発生し加速する電子銃と、
前記電子線の収束を調整する一段以上の収束レンズ及び前記電子線を試料面上に収束させるための対物レンズと、
前記試料を保持する試料装置と、
前記試料から反射もしくは散乱される前記電子線の検出手段と、
前記試料面上に収束した前記電子線をプローブとして前記試料面上を走査するビーム走査手段と、
前記収束レンズと前記対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、
該球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置され両者のバランスを調整するための一枚以上の調整球面レンズと、
前記試料の下方に設けられロンチグラムを観察するロンチグラム検出器と、
前記球面収差補正器と前記対物レンズの球面収差補正条件を維持しつつ、前記調整球面レンズの焦点距離を変えて前記対物レンズと前記球面収差補正器間で５次球面収差を補償させる収差補正条件調整手段と、
該収差補正条件の調整に従って変わるロンチグラムパターンを前記ロンチグラム検出器で観察し、そのパターンの変化を用いて半定性的に前記５次球面収差の最小条件を決める最適収差補正条件判定手段とを備えた
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項８】
請求項７において、
前記５次球面収差の最小条件は、５次非点収差を反映して前記ロンチグラムに現れる六角形状のパターンが、前記調整球面レンズの焦点距離を変える途上で凸部と凹部を反転させる転換点をもって決定される
ことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
【請求項９】
請求項７において、
前記調整球面レンズの焦点距離とそれに連動させた対物前磁場レンズの焦点距離、及び６極子レンズの強度を変化させて前記５次球面収差を少しずつ変えた複数の前記ロンチグラムを取得し、
該複数の前記ロンチグラムの中から、その前後で前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換を検出し、前記５次球面収差の補正条件を判定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。
【請求項１０】
請求項７において、
前記ロンチグラム検出器で取得した前記ロンチグラムの対称性を判定する手段を有し、
前記調整球面レンズの焦点距離が所定の第１の状態でのロンチグラムを取得しパターンの凹凸を判定した後、球面収差補正器と対物レンズの球面収差補正条件を維持しつつ前記調整球面レンズの焦点距離を変更しながら第２、第３の状態でロンチグラムを取得し、前記パターン凹凸の転換を確認するまでこれを継続して転換点を決め、前記５次球面収差の最小条件を決定する
ことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
【請求項１１】
請求項７において、
前記ロンチグラム検出器で取得した前記ロンチグラムの対称性を判定する手段を有し、
前記調整球面レンズの焦点距離が十分に長い第１の状態及び前記焦点距離が十分に短い第２の状態でロンチグラムをそれぞれ取得・比較し、六角形状のパターンの凹部と凸部の反転を確認した後、前記調整球面レンズが前記第１の状態と前記第２の状態の中間焦点距離である第３の状態でロンチグラムを取得し前記第１及び第２の状態でのロンチグラムと比較し、六角形状のパターンの凹部と凸部の関係が前記第１の状態のロンチグラムに等しい場合は前記第３と第２の状態を、前記第２の状態に等しい場合は、前記第１と第３の状態を、各々新しい第１と第２の状態とみなして、前記過程を繰り返すことで漸近的に前記ロンチグラム六角形状パターンの凸部、凹部の転換条件を見出す
ことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
【請求項１２】
請求項７において、
画像表示手段を備え、
前記調整球面レンズの焦点距離を変える過程での前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹部、凸部の転換の状況を前記画像表示手段に表示する
ことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記調整球面レンズの焦点距離を変える前後で、前記ロンチグラムを取得して保存する記憶装置を備え、
前記調整球面レンズの焦点距離を変える前後の前記ロンチグラムを前記画像表示手段に並べて表示する
ことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
【請求項１４】
請求項７において、
前記取得されたロンチグラムと相互相関を求める２枚の６回対称標準パターンが、正の５次非点収差と正と負それぞれの５次球収差をもって計算される波面収差関数の位相分布で与えられる
ことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
【請求項１５】
走査透過電子顕微鏡の収差補正方法であって、
前記走査透過電子顕微鏡は、
光源から放出される電子線を試料に照射する電子光学系と、
前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、
前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、
前記試料の像を観察あるいは記録するための画像観察・記録装置と、
前記試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、
前記電子光学系、前記画像観察・記録装置、及び前記ロンチグラム検出手段を制御する情報処理装置とを備えており、
前記試料のロンチグラムを検出し、
前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換を検出し、５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡の収差補正方法。
【請求項１６】
請求項１５おいて、
前記収差補正器は、前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され該対物レンズの球面収差を補償するための、６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、当該球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された一枚以上の調整レンズとを備えており、
５次非点収差Ａ５を反映して前記ロンチグラムに現れる前記六角形状のパターンの凹凸が前記調整レンズの焦点距離を変える途上で凸部と凹部を反転させる転換点をもって、５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡の収差補正方法。
【請求項１７】
請求項１６において、
前記調整レンズの焦点距離fALを変化させて得られる前記ロンチグラムと予め記憶装置に保持されていた基準画像との相互相関を、前記調整レンズの焦点距離fALを少しずつ変化させて得られる前記ロンチグラムと前記基準画像とを逐次比較する逐次ステップ探索により行い、
前記５次球面収差Ｃ５の最小条件を探す
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡の収差補正方法。
【請求項１８】
請求項１６において、
前記調整レンズの焦点距離fALを変化させて得られる前記ロンチグラムと予め記憶装置に保持されていた基準画像との相互相関を、予め大きく設定された前記調整レンズの焦点距離fALの挟み込み幅を徐々に狭める挟み込み探索により得られる前記ロンチグラムと前記基準画像とを比較する挟み込み探索により行い、
前記５次球面収差Ｃ５の最小条件を探す
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡の収差補正方法。
【請求項１９】
請求項１６において、
前記調整レンズの焦点距離が所定の第１の状態でのロンチグラムを取得、記録した後、
前記球面収差補正器と前記対物レンズの球面収差の補正条件を維持しつつ前記調整レンズの焦点距離を変更しながら第２、第３の状態でロンチグラムを取得し、
各々の状態の前記ロンチグラムと事前に準備された二つの６回対称標準パターンの相互相関を求め、
当該二つの相互相関の大小が逆転する前記調整レンズの焦点距離を転換点として決め、前記５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定する
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡の収差補正方法。
【請求項２０】
請求項１６において、
前記調整レンズの焦点距離が十分に長い第１の状態及び同焦点距離が十分に短い第２の状態で前記ロンチグラムをそれぞれ取得し、事前に準備された二つの６回対称標準パターンの相互相関を各々に求め、
さらに前記第１の状態と前記第２の状態の中間焦点距離である第３の状態で前記ロンチグラムを取得し、
前記二つの標準パターンとの相互相関を計算し、
前記二つのパターンに対する相互相関の大小が前記第１の状態での前記相互関係の大小に等しい場合は前記第３の状態と前記第２の状態を、前記第２の状態での前記相互関係の大小に等しい場合は、前記第１の状態と前記第３の状態を、各々新しい第１の状態と第２の状態とみなして、前記過程を繰り返すことで、漸近的に前記ロンチグラムの六角形状パターンの凸部、凹部の転換条件を見出す
ことを特徴とする走査透過電子顕微鏡の収差補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は収差補正器を具備した走査透過電子顕微鏡、及びその収差補正方法に関わり、特にロンチグラムを用いて収差補正を行うための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）においては、試料を走査する電子線（プローブ）の径が細いほど高い分解能が得られる。プローブ径は電子光学系の収差により制限されるが、近年ではこの収差を補正するために収差補正器を搭載した装置が実用化されている。
【０００３】
一般に、収差補正器は、複数の多極子レンズと複数の回転対称レンズにより構成される。収差補正器を動作させる際には、何らかの方法で収差を測定し、それらが減少するように各レンズにフィードバックをかける。収差の測定方法として、例えば特許文献１にはロンチグラムの微小領域の自己相関関数をフーリエ解析する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１８００１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
収差を測定する方法は特許文献１以外にも色々考案されているが、いずれも収差の大きさ（収差係数）そのものを測定する方式であるため、測定対象とする収差の次数が高くなるほど、その測定精度が落ちるという共通の問題がある。そして、誤差を含んだ値を最小化するように収差補正器を構成する複数のレンズにフィードバックをかけることになるため、高次収差の補正は低次収差ほどにはうまく行かないという問題がある。特に、多極子レンズとして６極子レンズを用いた収差補正器では、３次球面収差Ｃ３を補正した後に残る、５次球面収差Ｃ５と５次非点収差Ａ５の補正が課題となっている。
【０００６】
本発明の目的は、５次球面収差Ｃ５の補正を簡単かつ高精度に行う機能を備えた走査透過電子顕微鏡、及び収差補正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の代表的な構成を示すと次の通りである。本発明の走査透過電子顕微鏡は、光源から放出される電子線を試料に照射する電子光学系と、前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、前記試料の像を観察あるいは記録するための画像観察・記録装置と、前記試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、前記電子光学系、前記画像観察・記録装置、及び前記ロンチグラム検出手段を制御する情報処理装置とを備え、前記情報処理装置は、前記調整レンズの焦点距離を変化させて前記試料のロンチグラムを検出し、該焦点距離の変化に伴い前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの変化を検出し、５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、収差の大きさ（収差係数）そのものを測定する必要がないため、その測定精度に影響されずに５次球面収差Ｃ５を補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明が適用される走査透過電子顕微鏡装置の構成例を表す図。
【図２】本発明の第１の実施例における収差補正器及び情報処理装置内の関連する機能の構成例を表す図。
【図３】第１の実施例における、ロンチグラムを観測する場合の光学系を表す図。
【図４】第１の実施例における、５次球面収差補正時のユーザーインターフェースの例を示す図。
【図５】本発明の原理の説明として、波面収差関数をχとしたときのｅｘｐ（ｉ２πχ／λ）の実部を表す図。
【図６】本発明の原理の説明として、ロンチグラムのシミュレーション像を表す図。
【図７】本発明の原理の説明として、ロンチグラムと基準画像との相互相関を表すグラフ。
【図８】第１の実施例における、逐次ステップ探索による５次球面収差補正の例を表す図。
【図９】第１の実施例になる逐次ステップ探索による５次球面収差補正の流れを示すフローチャート。
【図１０】本発明の第２の実施例になる挟み込み探索による５次球面収差補正の例を表す図。
【図１１】第２の実施例になる挟み込み探索による５次球面収差補正の流れを示すフローチャート。
【図１２】本発明の第３の実施例として、Ｃ５を少しずつ変化させた場合のロンチグラムの一覧を表す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
前記課題を解決するために、本発明では、収差補正器を具備する走査透過電子顕微鏡において、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸が転換することを検出して、Ｃ５の補正条件を判定できるようにする。  
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明の第一の実施例になる走査透過電子顕微鏡装置（ＳＴＥＭ）の構成例を示す図である。ＳＴＥＭは、電子源すなわち電子線を発生し加速する電子銃や加速管などの電子ビーム発生手段１０１と、電子線の収束を調整する一段以上の収束レンズ１０２、１０３と、電子線を試料面上に収束させるための対物レンズ１０７と、試料１０８とこれを保持し位置等を調整する試料装置と、試料から反射もしくは散乱される電子線の検出手段１１１、１１２と、試料面上に収束した電子線をプローブとして試料面上を走査せしめるスキャンコイル１０６、検出系アライメントコイル１１０等のビーム走査手段を備えている。試料１０８に照射された電子は試料１０８内を透過・散乱して、明視野検出器１１２及び暗視野検出器１１１により検出される。検出された電子はプリアンプ及びＡ／Ｄコンバータ１１５によりデジタル信号に変換され、画像メモリ１１９と画像処理用の演算装置１１８を持つ情報処理装置１１７に転送され、画像データとして記録される。また、試料の像を観察あるいは記録するための画像観察装置としてカメラ等の検出器１１３を備えており、走査透過像の画像ファイルが情報処理装置１１７で処理され、記録される。装置の操作や結果表示は表示機能を備えたユーザーインターフェース１２０を通じて行われる。
【００１２】
ＳＴＥＭは、さらに、収束レンズと対物レンズの間に対物レンズの球面収差を補償するため，６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器１０５と，この球面収差補正器と対物レンズ１０７（対物前磁場レンズ１０７ａ，対物後磁場レンズ１０７ｂ）の間に両者のバランスを調整するための一枚以上の調整球面レンズを備えている。また、ＳＴＥＭは、試料の下方において検出器１１３によりロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段を備えている。情報処理装置１１７は、ＳＴＥＭの電子光学系、画像観察装置やその記録装置、及びロンチグラム検出手段を制御する。電子光学系の制御は情報処理装置１１７とは別の情報処理装置で行うようにしても良い。
【００１３】
次に、球面収差補正器１０５について、まず、その概要を説明する。電子線源１０１から出射された電子は、静電レンズ１０２（１段目静電レンズ１０２ａ，２段目静電レンズ１０２ｂ，３段目静電レンズ１０２ｃ）により所定の加速電圧まで加速される。所定の加速電圧まで加速された電子線は集束レンズ１０３（１段目集束レンズ１０３ａ，２段目集束レンズ１０３ｂ）により縮小される。集束レンズ１０３ｂの下部にある集束絞り１０４を通った電子線は、収差補正器１０５を通ることで、球面収差などの収差が補正される。この収差補正器１０５は、多段の多極子レンズ、回転対称レンズ、及び偏向コイルで構成されており、多極子レンズの各極子、及び回転対称レンズの励磁電流を制御することで収差の補正量を調整できる。
【００１４】
収差補正器１０５を通過した電子線は、対物前磁場レンズ１０７ａにより試料１０８上に集束され、プローブを形成する。このプローブを収差補正器の下部にあるスキャンコイル１０６（上段スキャンコイル１０６ａ，下段スキャンコイル１０６ｂ）により試料１０８上を走査させ、それに同期して暗視野像検出器１１１もしくは明視野像検出器１１２での信号を像強度に輝度変調して取得する。このとき、像強度はプリアンプ１１４で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ１１５の出力を基にデジタルの検出画像のファイルとして情報処理装置１１７の記憶装置１１９に保存される。明視野像検出器１１２は光軸上に設置してあるため、カメラ１１３を使用する際には光軸上から取り除くことができるような可動機構を備えている。
【００１５】
収差補正器１０５を含む電子光学系の制御、その他ＳＴＥＭ全般の制御は、情報処理装置内のメモリ空間上に展開されたソフトウェアをプロセッサが実行することにより実現される。メモリ上に展開されるソフトウェアは、通常は、情報処理装置の外部記憶装置の内部に格納される。一連の操作における全てのレンズ、コイル、検出器の制御は、情報処理装置１１７に組み込まれた演算装置１１８がＤ／Ａコンバータ１１６を介して行い、マウス、ディスプレイ、キーボード等のユーザーインターフェース１２０を通じて操作者が条件を設定することができる。
【００１６】
次に、図２を用いて、本実施例における収差補正器１０５及び情報処理装置１１７内の関連する機能の構成例と収差補正機能について説明する。
【００１７】
図２に示したように、収差補正器１０５は、２枚の６極子レンズ２０１ａ、２０１ｂ、２枚のトランスファーレンズ２０２ａ、２０２ｂ、及び１枚の調整レンズ２０３で構成される。情報処理装置１１７は、Ｃ５の収差補正に関連する機能として、ロンチグラム観察制御ユニット１１８０、画像処理ユニット１１８２、Ｃ５の収差補正条件調整ユニット１１８３、ロンチグラムパターンの検出・収差判定処理ユニット１１８４、及び収差補正制御ユニット１１８５を備えている。
【００１８】
収差補正器１０５において、６極子レンズ２０１ａ、２０１ｂは負の３次球面収差−Ｃ３と、２次非点収差Ａ２を発生する。このうち、非回転対称のＡ２については、上段６極子レンズ２０１ａの中心面を下段６極子レンズ２０１ｂの中心面に転写する２枚のトランスファーレンズ２０２ａ、２０２ｂの作用により消える。残った回転対称の−Ｃ３を、対物前磁場レンズ１０７ａが持つ正の球面収差＋Ｃ３と相殺させることで球面収差を補正する。
【００１９】
収差補正器１０５に電子線が平行入射していれば、収差補正器を通った電子線の４次以下の収差は補正される。多極子レンズとして６極子レンズを用いた収差補正器では、５次非点収差Ａ５と５次球面収差Ｃ５とが分解能を制限する残存収差となる。このうち、Ａ５は１２極子レンズを用いないと補正できないが、Ｃ５については調整レンズ２０３によって補正できる。但し、ここで問題にしているＣ５は、レンズ固有の収差ではなくて、距離の離れた２組以上のレンズの組み合わせで発生するコンビネーション収差に起因するＣ５である。このＣ５は、下段６極子レンズ２０１ｂと対物前磁場レンズ１０７ａの距離Ｌに比例する。従って、調整レンズの焦点距離fALを調整して、下段６極子レンズ２０１ｂの出射面を対物前磁場レンズ１０７ａの入射面に転写してLを仮想的にゼロに近づけることで、Ｃ５を補正することができる。
【００２０】
すなわち、本発明では、５次球面収差Ｃ５の補正に、試料１０８のロンチグラムの観測結果を用いる。ロンチグラム観察制御ユニット１１８０は、ロンチグラムを観測する場合の光学系を制御する。画像処理ユニット１１８２は、検出器１１３により検出された画像を処理してロンチグラムを観察する機能を有する。Ｃ５収差補正条件調整ユニット１１８３は、球面収差補正器１０５と対物レンズの球面収差補正条件を維持しつつ，調整レンズ２０３の焦点距離を変えて対物レンズと球面収差補正器間で５次球面収差を補償させる機能を有する。ロンチグラムパターンの検出・収差判定処理ユニット１１８４は、５次非点収差Ａ５を反映してロンチグラムに現れる六角形状のパターンの凹凸が調整レンズ２０３の焦点距離を変える途上で凸部と凹部を反転させる転換点をもって、５次球面収差Ｃ５の最小条件を決定する機能を有する。この補正条件については、後で詳細に説明する。
【００２１】
収差補正制御ユニット１１８５は、装置の収差補正の全般を制御する機能を有する。すなわち、まず、調整レンズの焦点距離fALを変化させたときに３次以下の収差補正条件が保たれるように、収差補正器の６極子レンズの励磁強度及び前記対物レンズの焦点距離を、予め記憶装置に保持された関係に基づき、調整レンズの焦点距離fALの変化に連動させて自動的に調整する。そして、５次球面収差Ｃ５の補正処理を行い、得られた５次球面収差Ｃ５の最小条件を維持しつつ試料の測定を行うように、球面収差補正器１０５等を制御する。
【００２２】
Ｃ５収差補正条件調整ユニット１１８３により、調整レンズ２０３の焦点距離fALを変化させたときに３次以下の収差補正条件が保たれるようにするには、対物前磁場レンズ１０７ａの焦点距離foと６極子レンズ２０１ａ、２０１ｂの励磁強度k（＝３C／R、C：６極子場ポテンシャル強度、R：磁気剛性）を、以下の式（１）、式（２）に従って調整レンズ２０３の焦点距離fALの変化に連動させればよい。
【００２３】
【数１】
2010170940.tif 000003
【００２４】
【数２】
2010170940.tif 000004
ここで、ｂは対物前磁場レンズ１０７ａと試料１０８の距離、Uは調整レンズ２０３と対物前磁場レンズ１０７ａの距離、LHEXは６極子レンズ２０１ａ、２０１ｂの長さ、Csは対物前磁場レンズ１０７ａの球面収差係数である。
【００２５】
次に、ロンチグラムの観測条件について説明する。ロンチグラムを撮影する際には、スキャンコイル１０６ａ、１０６ｂによる走査を止め、電子線が光軸に沿った状態に保って行う。
【００２６】
図３に、ロンチグラム観察制御ユニット１１８０によりロンチグラムを検出、観測する場合の光学系を示す。集束角３０１をθｃ、ブラッグ角の２倍にあたる散乱角３０２を２θＢとすると、回折電子線３０３同士が干渉する条件はθｃ＞２θＢである。このとき、観測面３０４において回折スポット同士が重なった領域３０５でロンチグラムが観測される。集束角３０１は集束絞り１０４で制御できるため、回折スポット同士が重ならないときは集束絞り１０４を径の大きいものにするか、絞りを入れない条件にすればよい。ロンチグラムの倍率を決めるカメラ長３０６は、対物後磁場レンズ１０７ｂと投影レンズ１０９の条件で任意に設定することができる。ロンチグラムの撮影にはカメラ１１３を用い、走査透過像と同様の過程を経て画像ファイルとしてロンチグラムのデータが記憶装置１１９に保存され、このデータは、ロンチグラムパターンの検出・収差判定処理ユニット１１８４で使用される。
【００２７】
図４に、ユーザーインターフェース１２０として用いるＧＵＩ（Graphical User Interface）画面の構成例を示す。１１０１及び１１０２は、それぞれ操作者が調整レンズ焦点距離fALのステップ幅あるいは挟み込み幅を入力するためのテキストボックスである。操作者が逐次ステップ探索と挟み込み探索のどちらで補正するかをラジオボタン１１０３または１１０４を押して選択した後に、補正開始ボタン１１０５を押すことで、選択された情報に基づき情報処理装置において、焦点距離fALが自動的に補正される。もし、ステップ幅や挟み込み幅の指定が適切でなく補正ループの上限に達した場合には、メッセージウィンドウ１１０８にその旨が表示される。補正途中のロンチグラムはＧＵＩの下部に、状態（１）〜（３）として表示される。すなわち、調整球面レンズの焦点距離を変える過程でのロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹部、凸部の転換とこれによって決まる５次球面収差の最小条件を操作者がその場で確認するため、取得したロンチグラムを表示する。操作者は、画面に表示されたロンチグラムの形状変化を見て、ステップ幅または挟み込み幅が適切でないと判断したら、補正ループの上限を待たずに停止ボタン１１０６を押すことで補正を中止することができる。マニュアル操作で補正する場合には、スライダー１１０７で調整レンズ焦点距離fALを連続的に変化させて、ロンチグラムの形状変化を観察しながら補正を行う。
【００２８】
次に、収差とロンチグラムの関係について説明する。収差を持った電子光学系は、電子波に２πχ／λの位相差を与える。ここで、λは電子線波長、χは波面収差関数と呼ばれ、収差による光路差を表している。このような電子光学系を通過して試料上に収束された電子線の波動関数ｔは次式（３）
【００２９】
【数３】
2010170940.tif 000005
と表すことができる。ここでＦＴはフーリエ変換を表しており、Ａはアパーチャ関数で、アパーチャ内では１、外では０となる関数である。波動関数ｔが試料を通過すると、試料中のポテンシャル分布を反映した透過関数ｑによって変調され次式（４）
【００３０】
【数４】
2010170940.tif 000006
となる。ロンチグラムとは試料を通過した電子波動関数Ψが無限遠方（結像レンズを置いた場合は、その後焦点面）に作る回折像であるから、その強度分布は次式（５）
【００３１】
【数５】
2010170940.tif 000007
と表すことができる。式（３）、（４）、（５）より、ロンチグラムの強度分布に見られる空間対称性は波面収差関数χを位相とした波ｅｘｐ（ｉ２πχ／λ）の空間対称性を反映したものであることが分かる。
【００３２】
ここで、５次球面収差Ｃ５と、５次非点収差Ａ５が残存した波面収差関数の式（６）
【００３３】
【数６】
2010170940.tif 000008
について考える。Ｃ５とＡ５はそれぞれＣ５とＡ５の大きさを表す波面収差係数で、ωは出射面の角度座標、ω＊はその複素共役である。一般的に波面収差係数は複素数であるが、Ｃ５は偏角を持たないので実数となる。ωは出射面の座標（ｘ、ｙ）と、出射面と試料面との距離Ｒを使って式（７）
【００３４】
【数７】
2010170940.tif 000009
と表すことができる。ここで式（６）に式（７）を代入し、出射面の角度座標を式（８）
【００３５】
【数８】
2010170940.tif 000010
と極座標表示すると、式（９）
【００３６】
【数９】
2010170940.tif 000011
となる。式（９）より、Ｃ５とＡ５が残存した波面収差関数は、出射面上の方位角座標θについて回転対称性を持つ項と６回対称を持つ項の和で書けることが分かる。
【００３７】
上に述べたように、ロンチグラムの空間対称性はｅｘｐ（ｉ２πχ／λ）の空間対称性で決まる。
【００３８】
図５は、波面収差係数が、（a）Ｃ５＜０、（b）Ｃ５＝０、（c）Ｃ５＞０の各場合について、ｅｘｐ（ｉ２πχ／λ）の実部を等高線表示したものである。但し、λ＝２．５ｐｍ、｜Ａ５｜＝１ｍｍ（偏角は０度）、Ｃ５＝±１ｍｍ、αの最大値は７０ｍｒａｄとした。中央から拡がる白い部分は、χによる位相差がほぼゼロ、すなわち電子波の位相が揃った領域である。この領域の外縁が成す六角形状パターンは、（b）のＣ５＝０を挟んで（a）と（c）でその凹凸の位相関係が転換することが分かる。
【００３９】
図６に、波面収差係数が、（a）Ｃ５＜０、（b）Ｃ５＝０、（c）Ｃ５＞０の各場合について、シミュレーションによって得られたロンチグラム図形を示す。このように、図５に見られる電子波の位相が揃った領域の外縁が成す図形は、ロンチグラム像にそのまま反映される。従って、Ｃ５が補正された最適条件の前後で、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸が転換する。
【００４０】
ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換は、例えば図５に示したＣ５＜０とＣ５＞０のときのｅｘｐ（ｉ２πχ／λ）の実部を等高線表示した画像を基準画像として用い、これら基準画像Ａ６０１及び基準画像Ｂ６０２とロンチグラムとの相互相関を計算することで検出できる。
【００４１】
図７に、５つのロンチグラム（Ｒ１〜Ｒ５）について、基準画像Ａ６０１との相互相関を計算したグラフ６０３、及び基準画像Ｂ６０２との相互相関を計算したグラフ６０４を示す。最適条件Ｒ３を挟んで２枚の基準画像に対する相互相関の大小が逆転する（グラフが交差する）ことを利用すれば、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換は、機械的な判定が可能となる。
【００４２】
図８に、収差補正器１０５によるＣ５補正の一例を示す。シーケンス１の状態（１）（調整レンズ焦点距離fAL＝fAL1）から調整レンズ焦点距離をあるステップ幅ΔfAL１（一例として、fAL1＝６０ｍｍに対してΔfAL１＝1mm前後）だけ変化させて状態（２）、（fAL＝fAL２）、とする。このとき３次以下の収差補正条件が保たれるように、式（１）、式（２）に従って、数対物前磁場レンズ１０７ａの焦点距離foと６極子レンズ２０１ａ、２０１ｂの励磁強度kをfALの変化に連動させる。以下では、調整レンズ焦点距離fALを変化させるときには常にこの連動が行われるものとする。
【００４３】
シーケンス１の状態（１）と状態（２）のロンチグラムに現れる六角形状パターンを比較すると、凹凸の転換は検出されない。そこで、シーケンス１の状態（２）をシーケンス２の状態（１）として、再びあるステップ幅ΔfAL１だけfALを変化させて、シーケンス２の状態（２）、（fAL＝fAL３）、のロンチグラムを得る。シーケンス２における状態（１）と状態（２）のロンチグラムに現れる六角形状パターンを比較しても、凹凸の転換は検出されない。
【００４４】
そこで、シーケンス２の状態（２）をシーケンス３の状態（１）として、再びあるステップ幅ΔfAL１だけfALを変化させて、シーケンス３の状態（２）、（fAL＝fAL４）、のロンチグラムを得る。シーケンス３の状態（１）と状態（２）のロンチグラムに現れる六角形状パターンは凹凸が転換しているので、この中間にＣ５＝０の最適条件があることになる。
【００４５】
従って、シーケンス４として、fALをシーケンス３の状態（１）と状態（２）の中間値（fAL３＋fAL４）／２に設定することで、最適条件に近い補正状態を得ることができる。
【００４６】
図８に示した補正手順は、調整レンズ焦点距離fALを少しずつ（ΔfAL１）変化させながら最適条件を探すので、「逐次ステップ探索」と呼ぶことにする。逐次ステップ探索における最終的な補正状態と最適条件との差、及び補正が完了するまでに要する時間は、fALを変化させるステップ幅ΔfAL１で決まる。ステップ幅を小さくするほど最終的な補正状態が最適条件により近くなるが、最適条件から大きく外れた初期状態から補正を始めた場合には最適条件に辿り着くまでに多くの手順を要することになり、補正を完了するまでの時間が長くなる。また、fALを増減させる方向（ステップ幅の符合）が間違っていると、最適条件から外れる方に行ってしまう。このようにステップ幅の設定が適切でないと、最適条件への収束に長い時間を要したり、余計に悪い条件になったりしてしまう。従って、逐次ステップ探索を機械的に実行させる場合には、fALを変化させる回数に上限を設けて、上限に達しても最適条件に辿り着けないようならばステップ幅を設定し直す必要がある。
【００４７】
図９に、情報処理装置１１７及び収差補正器１０５により、図８に示した逐次ステップ探索でＣ５を補正する手順のフローチャートの一例を示す。ロンチグラムに六角形状パターンが見える程度に低次収差が補正された初期設定から始める。調整レンズ焦点距離fALのステップ幅ΔfAL１は操作者によって設定される。カメラ１１３でロンチグラムを撮影し、このロンチグラムをそのときの調整レンズ２０３の焦点距離fALと共に記憶装置１１９に状態１、fAL＝fAL(N)、として記録し、さらに状態１をユーザーインターフェース１２０に表示する（Ｓ１１）。次に、fALを指定したステップ幅ΔfAL１だけ変化させ（Ｓ１２）、式（１）、式（２）に従いfALの変化に連動させて対物前磁場レンズ１０７ａの焦点距離foと６極子レンズ２０１ａ、２０１ｂの励磁強度kを変化させる（Ｓ１３）。そしてカメラ１１３でロンチグラムを撮影し、このロンチグラムをそのときのfALと共に記憶装置１１９に状態２、fAL＝fAL(Ｎ＋１)、として記録し、さらに状態２もユーザーインターフェース１２０に表示する（Ｓ１４）。
【００４８】
ここで、情報処理装置１１７は状態１と状態２のロンチグラムと、あらかじめ記憶装置１１９に用意しておいた基準画像Ａ６０１及び基準画像Ｂ６０２との相互相関を計算する。そして、状態１と状態２で相互相関の大小が逆転しているかどうかを判定することで、状態１と状態２のロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸が転換しているかどうかを検出する（Ｓ１５）。凹凸の転換が検出されなければ、ループカウントを１だけ増加させ（Ｓ１６）、ループ回数が上限に達したかどうかを判定する（Ｓ１７）。上限に達していない場合には、状態１を状態２に置き換えて（Ｎ＝Ｎ＋１）、記憶装置に記録し（Ｓ１８）、手順Ｓ１２まで戻る。Ｓ１５で凹凸の転換が検出された場合は、fALを状態１と状態２の中間値、fAL＝（fAL(Ｎ)＋fAL(Ｎ＋１)）／２、に設定し（Ｓ１９）、foとkをfALの変化に連動させた後に（Ｓ２０）、最終的なロンチグラムをユーザーインターフェース１２０に状態３として表示して（Ｓ２１）、Ｃ５補正が完了する。Ｓ１７の判定でループ回数が上限に達していた場合には、ステップ幅ΔfAL１及びその符合の変更を促すメッセージをユーザーインターフェース１２０に表示して（Ｓ２２）、初期設定から補正をやり直す。
【００４９】
本実施例によれば、収差係数を測定することなくパターンに基き５次球面収差が最小となる条件を取得し、収差補正をすることができる。すなわち、収差係数の測定精度に左右されない補正が可能となる。また、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換という直感的な判断基準を採用しているため、操作者が容易にＣ５補正の条件を探すことができる。
【実施例２】
【００５０】
次に、本発明の第二の実施例として、逐次ステップ探索とは異なるＣ５補正の例を示す。この実施例も図２に示した収差補正器１０５及び情報処理装置１１７を用いるものとし、以下、第一の実施例と異なる部分についてのみ説明する。
【００５１】
図１０において、シーケンス１の初期状態（１）（調整レンズ焦点距離fAL＝fAL1）からfALを変化させて、状態（２）（fAL＝fAL２）のロンチグラムを得る。このとき、fALの変化幅ΔfAL２が十分大きければ（一例として、fAL1＝６０ｍｍに対してΔfAL２が10mm前後）、状態（１）と比べて状態（２）のロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸が転換する。すなわち、Ｃ５＝０の最適条件は状態（１）と状態（２）の間にあるので、fALを状態（１）と状態（２）の中間値に設定し、シーケンス２の状態（３）とする。ここで、状態（３）と基準画像Ａ６０１及び基準画像Ｂ６０２との相互相関を計算し、それぞれＣＣ１及びＣＣ２とする。するとＣＣ２＞ＣＣ１、すなわちシーケンス２の状態（３）は最適条件と比べて基準画像Ｂに近い方に偏っているので、最適条件はシーケンス１の状態（１）とシーケンス２の状態（３）の中間にある。その状態をシーケンス３の状態（３）とし、再び基準画像Ａ及び基準画像Ｂとの相互相関ＣＣ１及びＣＣ２を計算すると、今度はＣＣ１＞ＣＣ２となる。
【００５２】
すなわち、シーケンス３の状態（３）は最適条件と比べて基準画像Ａに近い方に偏っているので、最適条件はシーケンス２の状態（３）とシーケンス３の状態（３）の中間にある。その状態をシーケンス４の状態（３）として、再び基準画像Ａ及び基準画像Ｂとの相互相関ＣＣ１及びＣＣ２を計算する。すると、ＣＣ１≒ＣＣ２となり、シーケンス４の状態（３）は基準画像Ａ６０１と基準画像Ｂ６０２の中間状態、すなわち最適条件に十分近づいたと判断できる。
【００５３】
図１０に示した手順は、最初に調整レンズ焦点距離fALをΔfAL２だけ大きく変化させて、最適条件が存在する範囲を徐々に狭めていくので、「挟み込み探索」と呼ぶことにする。挟み込み探索では、最初に変化させるfALの量（挟み込み幅）を十分大きく取って、状態（１）と状態（２）の間に最適条件を捉える必要がある。挟み込み探索を機械的に実行させる場合、挟み込み幅が小さいと最適条件に収束しないので、逐次ステップ探索と同様にfALを変化させる回数に上限を設けて、上限に達しても最適条件に辿り着けないようならば挟み込み幅を設定し直す必要がある。
【００５４】
図１１に、図１０に示した挟み込み探索でＣ５を補正する手順のフローチャートを示す。Ｓ２１までは逐次ステップ探索のＳ１１までと同様であり、状態１、fAL＝fAL(N)とする。次に調整レンズ焦点距離fALを指定した挟み込み幅ΔfAL２だけ変化させ（Ｓ２２）、foとkをfALの変化に連動させて（Ｓ２３）、そのときのロンチグラムとfALを状態２、fAL＝fAL(Ｍ)、として記録し、状態１、状態２をユーザーインターフェース１２０に表示する（Ｓ２４）。続いて、fALを状態１と状態２の中間値、fAL＝（fAL(N)＋fAL(Ｍ)）／２、に設定して（Ｓ２５）、foとkをfALの変化に連動させて（Ｓ２６）、そのときのロンチグラムとfALを状態３として記録し、状態３をユーザーインターフェース１２０に表示する（Ｓ２７）。ここで、情報処理装置１１７は状態３と基準画像Ａ６０１の相互相関ＣＣ１、及び状態３と基準画像Ｂ６０２の相互相関ＣＣ２を計算し（Ｓ２８）、｜ＣＣ１−ＣＣ２｜がある基準量以下になっているかどうかを判定する（Ｓ２９）。もしＳ２９の判定がyesであれば、状態３は基準画像Ａ６０１と基準画像Ｂ６０２の中間状態、すなわちＣ５＝０の最適条件に十分近づいたと判断できるので、そのときのロンチグラムを最終的なロンチグラムとしてユーザーインターフェース１２０に表示して（Ｓ３８）、Ｃ５補正が完了する。
【００５５】
Ｓ２９の判定がnoの場合には、まずループカウントを１だけ増加させて（Ｓ３０）、ループ回数が上限に達したかどうかを判定する（Ｓ３１）。ループ回数が上限に達していなければ、ＣＣ１＜ＣＣ２が成り立つかどうかを判定する（Ｓ３２）。Ｓ３２の判定がyesの場合は、状態３は基準画像Ｂ６０２に近いので、最適条件は状態１と状態３の中間に存在することが分かる。そこでfALを状態１と状態３の中間値、fAL＝（fAL(Ｎ)＋（fAL(Ｎ)＋fAL(Ｍ)）／２）／２、に設定し（Ｓ３５）、最適条件を探索する幅を狭めるために状態２を状態３に置き換えてこのfALを記録する（Ｓ３６）。そして、foとkをfALの変化に連動させて（S３７）、S２７に戻る。Ｓ３２の判定がnoの場合は、状態３は基準画像Ａ６０１に近いので、最適条件は状態２と状態３の中間に存在することが分かる。そこでfALを状態２と状態３の中間値、fAL＝（fAL(Ｍ)＋（fAL(N)＋fAL(Ｍ)）／２）／２、に設定し（Ｓ３３）、最適条件を探索する幅を狭めるために状態１を状態３に置き換えてこのfALを記録する（Ｓ３４）。そして、foとkをfALの変化に連動させて（S３７）、S２７に戻る。
【００５６】
Ｓ３１の判定でループ回数が上限に達していた場合には、挟み込み幅ΔfAL２及びその符合の変更を促すメッセージをユーザーインターフェース１２０に表示して（Ｓ３９）、初期設定から補正をやり直す。
【００５７】
以上、逐次ステップ探索と挟み込み探索によるＣ５補正手段について説明したが、初期状態によっては適切なステップ幅や挟み込み幅を指定することが難しい。その場合には、カメラ１１３で撮影されたロンチグラムをユーザーインターフェース１２０に表示し、操作者が調整レンズ焦点距離をマニュアル操作で変化させてロンチグラムの変化を観察しながら補正を行うことも可能である。
【００５８】
本実施例によれば、収差係数を測定することなく５次球面収差を補正することができる。すなわち、収差係数の測定精度に左右されない補正が可能となる。また、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換という直感的な判断基準を採用しているため、操作者が容易にＣ５補正条件を探すことができる。
【実施例３】
【００５９】
次に、本発明の第３の実施例になるＣ５補正方法を説明する。  
第１乃至第２の実施例で述べたＣ５の補正方法は、ロンチグラムの形状変化を時系列で観察するものだが、これに代えて、図１２に示すように、調整レンズ焦点距離（例えばfALをΔfAL１単位で連続的に変化させ）を変化させ、それに連動させて対物前磁場レンズ焦点距離、及び６極子レンズ強度も変化させて、Ｃ５を少しずつ変えたロンチグラムの一覧を取得し、情報処理装置で画像処理を行い自動的に判定する、あるいは操作者がＧＵＩ画面その中から最適な条件（その前後でロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸が転換する）を判断することも可能である。
本実施例によれば、収差係数を測定することなく５次球面収差を補正することができる。すなわち、収差係数の測定精度に左右されない補正が可能となる。また、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換という直感的な判断基準を採用しているため、操作者が容易にＣ５補正条件を探すことができる。
【実施例４】
【００６０】
以上述べた各実施例におけるＣ５の補正方法は、６極子レンズを用いた収差補正器で残存するＡ５を利用したものだが、本発明は、１２極子レンズを用いた収差補正器であっても、Ａ５を補正する前に本発明を適用することで、Ｃ５の補正が可能である。すなわち、１２極子レンズを用いた収差補正器を備えた走査透過電子顕微鏡において、残存するＡ５を利用してまず実施例１乃至３に述べたようなＣ５の補正を行ない、その後に、Ａ５の補正を行なうようにすれば良い。
【００６１】
本発明によれば、収差係数を測定することなく５次球面収差を補正することができる。すなわち、収差係数の測定精度に左右されない補正が可能となる。また、ロンチグラムに現れる六角形状パターンの凹凸の転換という直感的な判断基準を採用しているため、操作者が容易にＣ５補正条件を探すことができる。
【符号の説明】
【００６２】
１０１…電子線源
１０２ａ…１段目静電レンズ
１０２ｂ…２段目静電レンズ
１０２ｃ…３段目静電レンズ
１０３ａ…１段目集束レンズ
１０３ｂ…２段目集束レンズ
１０４…集束絞り
１０５…収差補正器
１０６ａ…上段スキャンコイル
１０６ｂ…下段スキャンコイル
１０７ａ…対物前磁場レンズ
１０７ｂ…対物後磁場レンズ
１０８…試料
１０９…投影レンズ
１１０…検出系アライメントコイル
１１１…暗視野像検出器
１１２…明視野像検出器
１１３…カメラ
１１４…プリアンプ
１１５…Ａ／Ｄコンバータ
１１６…Ｄ／Ａコンバータ
１１７…情報処理装置
１１８…演算装置
１１９…記憶装置
１２０…ユーザーインターフェース
２０１ａ…上段６極子レンズ
２０１ｂ…下段６極子レンズ
２０２ａ…上段トランスファーレンズ
２０２ｂ…下段トランスファーレンズ
２０３…調整レンズ
３０１…集束角
３０２…散乱角
３０３…回折電子線
３０４…観察面
３０５…回折スポットの重なり領域
３０６…カメラ長
６０１…基準画像Ａ
６０２…基準画像Ｂ
６０３…基準画像Ａとロンチグラムの相互相関
６０４…基準画像Ｂとロンチグラムの相互相関
１１０１…ステップ幅を入力するためのテキストボックス
１１０２…挟み込み幅を入力するためのテキストボックス
１１０３…逐次ステップ探索を選択するためのラジオボタン
１１０４…挟み込み探索を選択するためのラジオボタン
１１０５…補正開始ボタン
１１０６…補正停止ボタン
１１０７…調整レンズ焦点距離を変化させるためのスライダー
１１０８…メッセージウィンドウ
１１８０…ロンチグラム観察制御ユニット
１１８２…画像処理ユニット
１１８３…Ｃ５の収差補正条件調整ユニット
１１８４…ロンチグラムパターンの検出・収差判定処理ユニット
１１８５…及び収差補正制御ユニット。
【図１】
2010170940.tif 000012
【図２】
2010170940.tif 000013
【図３】
2010170940.tif 000014
【図４】
2010170940.tif 000015
【図５】
2010170940.tif 000016
【図６】
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【図７】
2010170940.tif 000018
【図８】
2010170940.tif 000019
【図９】
2010170940.tif 000020
【図１０】
2010170940.tif 000021
【図１１】
2010170940.tif 000022
【図１２】
2010170940.tif 000023