(57)【要約】【課題】  半導体試験システムを管理するホストコンピュータから、各半導体試験ユニットが備える冷却装置の情報を一元的に管理することを可能とした半導体試験システムを実現する。【解決手段】  夫々が半導体試験装置、試験管理プロセッサ、冷却装置を備える複数の半導体試験ユニットがホストコンピュータと通信すると共に、前記冷却装置がコントローラにより制御される熱交換器を備える半導体試験システムにおいて、  前記コントローラと前記ホストコンピュータ間に双方向通信手段を設ける。【選択図】                    図１
2010025647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
夫々が半導体試験装置、試験管理プロセッサ、冷却装置を備える複数の半導体試験ユニットがホストコンピュータと通信すると共に、前記冷却装置がコントローラにより制御される熱交換器を備える半導体試験システムにおいて、
前記コントローラと前記ホストコンピュータ間に双方向通信手段を設けたことを特徴とする半導体試験システム。
【請求項２】
前記ホストコンピュータは、前記双方向通信手段を介して各半導体試験ユニットにおける前記冷却装置の制御情報をモニタし、モニタ情報に基づいて前記冷却装置のメンテナンスを一元管理することを特徴とする請求項１に記載の半導体試験システム。
【請求項３】
前記ホストコンピュータは、前記双方向通信手段を介して各半導体試験ユニットにおける前記冷却装置のコントローラに対して制御パラメータの設定を実行することを特徴とする請求項１または２に記載の半導体試験システム。
【請求項４】
前記双方向通信手段は、前記コントローラと前記試験管理プロセッサ間に接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体試験システム。
【請求項５】
前記双方向通信手段は、前記コントローラと前記半導体試験装置のバスインターフェイス間に接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体試験システム。
【請求項６】
前記半導体試験装置は、前記冷却装置より故障のアラーム信号を取得すると共に、アラーム要因が除去された後に、前記冷却装置を初期化するリセット信号を発信することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の半導体試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、夫々が半導体試験装置、試験管理プロセッサ、冷却装置を備える複数の半導体試験ユニットがホストコンピュータと通信すると共に、前記冷却装置がコントローラにより制御される熱交換器を備える半導体試験システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置には、装置自身が発熱する熱量を冷却するために、空冷方式と水冷方式の２つのタイプの冷却方式が存在する。半導体を大量に使用して構築される半導体試験装置が発生する熱を効率的に排熱する水冷方式は、非常に有用な方式であり、現在多くの半導体試験装置に用いられている。
【０００３】
図３は、従来の半導体試験システムの構成例を示す機能ブロック図である。ホストコンピュータ１は、汎用通信バス２を介して複数の半導体試験ユニット３１，３２，３３，…と通信し、これら半導体試験ユニットを統合管理している。
【０００４】
各半導体試験ユニット内の機能構成を、半導体試験ユニット３１を代表として説明する。半導体試験ユニット３１は、半導体試験装置４と、汎用通信バス２を介してホストコンピュータ１と通信すると共にこの半導体試験装置４の試験シーケンスを管理する試験管理プロセッサ５と、半導体試験装置４よりの発熱を冷却する冷却装置６と、により構成されている。
【０００５】
冷却装置６は、半導体試験装置４に冷却循環水Ｃ１を供給し、半導体試験装置４から排出された排熱循環水Ｃ２を、工場側から供給されている外部冷却水Ｗ１にて熱交換を行うことで排熱する。
【０００６】
冷却装置６は、コントローラ７、その入出力部８、コントローラ７により制御される熱交換器９で構成されている。交換器９は、熱交換器本体１０と、循環水Ｃ１，Ｃ２を所定量貯蔵するタンク１１を備えている。
【０００７】
熱交換器本体１０の1次側では、工場側から供給されている外部冷却水Ｗ１を入力し、熱交換された外部冷却水Ｗ２を排出する。外部冷却水の流量はモータバルブＭＶで調整される。
【０００８】
半導体試験装置４から排出された排熱循環水Ｃ２は、流量センサＦＳを経由して熱交換器本体１０の２次側を流れて冷却され、温度センサＴＳ、循環水の劣化をモニタするための比抵抗センサＲＳを経由してタンク１１に導かれる。
【０００９】
タンク１１内の冷却水は、ポンプＰＭにより半導体試験装置４に冷却循環水Ｃ１として排出される。タンク内の冷却水は、レベルセンサＬＳ１(水位低下)，ＬＳ２（水位適量），ＬＳ３（水位増加）によりレベルが監視されると共に、水の劣化を防止するＵＶランプにより滅菌処理されている。
【００１０】
コントローラ７は、ＰＬＣ（Programmable Logic Control）等で構成され、上述した各種センサの測定値と、入出力部８で設定される冷却水温度、タンクレベルの設定値及び各種のパラメータ設定値に基づいて、半導体試験ユニット毎に熱交換器９をローカルに制御し、半導体試験装置４への冷却循環水の温度を一定に保つ。
【００１１】
外部冷却水Ｗ２の出口に付いているモーターバブルＭＶは、設定した温度になるようにコントローラ７によって、冷却循環水の温度をモニタする温度センサＴＳの測定値に連動し制御される。
【００１２】
タンク１１の出口に付いている冷却循環水Ｃ１のポンプＰＭは、設定した流量になるように、コントローラ７によって、循環する冷却循環水の流量をモニタする流量センサＦＳの測定値に連動し制御される。
【００１３】
半導体試験装置４と冷却装置６間には、冷却装置６内で発生したアラームＡＬを半導体試験装置４側に知らせるアラーム信号専用線と、半導体試験装置４側から冷却装置６を初期化するためのリセット信号ＲＳを渡すリセット信号線が接続されている。
【００１４】
アラーム信号ＡＬは、冷却装置６が正常に動作できない状態となったときに発行され、その信号を受け付けた半導体試験装置４側は、システム全体を安全な状態へと導くために、熱発生源である半導体試験装置４に給電する電力を遮断する。リセット信号ＲＳは、冷却装置６内で発生したアラーム要因が除去されたあとに、冷却装置６を初期するために半導体試験装置４側から発行される。
【００１５】
【特許文献１】特開２００８−８２９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
従来の技術では、半導体試験ユニット毎に、冷却装置と半導体試験装置間では、安全に係わる最低限の信号のやり取りしか行っておらず、冷却装置６内の各種パラメータの設定や各種センサの詳細な状態をモニタする場合、冷却装置６内部の入出力部８でローカルに操作を行う必要があり、上位のホストコンピュータ１側から操作を行うことができない。
【００１７】
そのため、冷却装置内の各種パラメータ設定を変更する場合、工場内に複数ある半導体試験ユニット１台１台が設置されている場所に人が移動し、また、人の手でその操作を行う必要があり、非常に時間と工数がかかっている。
【００１８】
また、冷却装置を構成する各部品には、定期的な交換メンテナンスが必要なものが存在し、これらの交換必要部品がマニュアル等で規定された期間内に交換されずに放置されて使用し続けると、冷却装置の正常稼動に重大な支障をきたす問題が発生する。
【００１９】
このような冷却動作に係わる問題が発生した場合は、冷却装置６側からアラーム信号ＡＬが発行され、そのアラーム内容は、ホストコンピュータ１からモニタすることはできるが、半導体試験ユニットを復旧するのに非常に時間のかかる重大な問題を引き起こす場合があり、半導体試験システム全体の稼働率を低下させる要因となっている。
【００２０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、半導体試験システムを管理するホストコンピュータから、各半導体試験ユニットが備える冷却装置の情報を一元的に管理することを可能とした半導体試験システムの実現を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
（１）夫々が半導体試験装置、試験管理プロセッサ、冷却装置を備える複数の半導体試験ユニットがホストコンピュータと通信すると共に、前記冷却装置がコントローラにより制御される熱交換器を備える半導体試験システムにおいて、
前記コントローラと前記ホストコンピュータ間に双方向通信手段を設けたことを特徴とする半導体試験システム。
【００２２】
（２）前記ホストコンピュータは、前記双方向通信手段を介して各半導体試験ユニットにおける前記冷却装置の制御情報をモニタし、モニタ情報に基づいて前記冷却装置のメンテナンスを一元管理することを特徴とする（１）に記載の半導体試験システム。
【００２３】
（３）前記ホストコンピュータは、前記双方向通信手段を介して各半導体試験ユニットにおける前記冷却装置のコントローラに対して制御パラメータの設定を実行することを特徴とする（１）または（２）に記載の半導体試験システム。
【００２４】
（４）前記双方向通信手段は、前記コントローラと前記試験管理プロセッサ間に接続されていることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の半導体試験システム。
【００２５】
（５）前記双方向通信手段は、前記コントローラと前記半導体試験装置のバスインターフェイス間に接続されていることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の半導体試験システム。
【００２６】
（６）前記半導体試験装置は、前記冷却装置より故障のアラーム信号を取得すると共に、アラーム要因が除去された後に、前記冷却装置を初期化するリセット信号を発信することを特徴とする（１）乃至（５）のいずれかに記載の半導体試験システム。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の構成によれば、次のような効果を期待することができる。
（１）ホストコンピュータから、各半導体試験ユニットが備える冷却装置内のパラメータ設定値である循環水の設定温度や循環水の流量をリモートで一元的に設定可能となり、今まで手動操作で時間のかかっていた作業の効率化を図ることができる。
【００２８】
（２）従来は各半導体試験ユニットが備える冷却装置内の入出力部でしかローカルに確認できなかった詳細情報を、ホストコンピュータでリモートモニタ可能となる。これにより、各半導体試験ユニットの冷却装置内で使用される消耗部品の交換メンテナンスの必要性を集中的にモニタすることができ、半導体試験システムのホストコンピュータによる一元的なメンテナンス管理が可能となる。
【００２９】
具体的なモニタ項目は、
＊循環水の水位低下（自然蒸発した水の補給）
＊循環水を殺菌するUVランプ切れ（UVランプ交換）
＊循環水の水質低下（循環水の交換）
等である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は、本発明を適用した半導体試験システムの一実施形態を示す機能ブロック図である。図３で説明した従来システムの構成と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００３１】
図３の従来構成に追加される本発明の特徴部は、コントローラ７とホストコンピュータ１間に、双方向通信手段１００を設けた構成にある。この実施形態では、双方向通信手段１００は、コントローラ７と試験管理プロセッサ５間に接続され、コントローラ７は試験管理プロセッサ５を介してホストコンピュータ１と通信する。
【００３２】
半導体試験装置４を制御する試験管理プロセッサ（ＴＭＰ:Tester Management Processor）５には、ＥＷＳ（Engineering Work Station）やＰＣ（Personal Computer）等のコンピュータが用いられているので、ＲＳ２３２Ｃ、ＧＰＩＢ、ＵＳＢ等の既存の通信規格を用いることで、コントローラ７との通信が可能である。
【００３３】
このような構成により、ホストコンピュータ１は、試験管理プロセッサ４を介してコントローラ７と通信し、冷却装置６内の各種パラメータの設定値や各種センサの状態を一元的にモニタすることが可能となる。従って、ホストコンピュータ１は、冷却装置６内の各種パラメータ設定のリモート操作が可能なる。また、各種センサの詳細情報をリモートで収集することが可能となる。
【００３４】
ホストコンピュータ１は、これらパラメータ及びセンサの収集情報に基づいて所定の診断プログラムを稼動させ、冷却装置６内で使用される消耗部品の交換メンテナンス情報を演算することが可能となる。
【００３５】
このように、本発明によれば、双方向通信手段１００を設けた構成により、ホストコンピュータ１は、システムに接続されている全ての半導体試験ユニットに対するメンテナンスを、一元的に集中管理することができる。
【００３６】
図２は、本発明の他の実施形態を示す機能ブロック図である。図１の実施形態との差は、コントローラ７とホストコンピュータ１間の通信を行う双方向通信手段１００が、半導体試験装置４内のバスインターフェイス５１に接続された構成にある。
【００３７】
ここで使用される通信方式は、半導体試験装置４の固有ＢＵＳ形式や既存のＲＳ２３２Ｃ、ＧＰＩＢ、ＵＳＢ等でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明を適用した半導体試験システムの一実施形態を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示す機能ブロック図である。
【図３】従来の半導体試験システムの構成例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  ホストコンピュータ
２  汎用通信バス
３１，３２，３３，…  半導体試験ユニット
４  半導体試験装置
５  試験管理プロセッサ
６  冷却装置
７  コントローラ
８  入出力部
９  熱交換器
１０  熱交換器本体
１１  タンク
【図１】
2010025647.tif 000003
【図２】
2010025647.tif 000004
【図３】
2010025647.tif 000005