(57)【要約】【課題】圧電素子の固定板に対する傾きを抑えて高精度な圧電素子ユニットを低コストで製造することができる圧電素子ユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】固定板１４と、固定板１４に一端部側が自由端１１ａとなるように他端部１１ｂ側が固定される圧電素子１１と、を具備する圧電素子ユニット１０の製造方法であって、前記圧電素子１１の前記固定板１４に固定される固定端１１ｂと前記固定板１４とを加圧コマ１２０により加圧接合する工程において、前記加圧コマ１２０を押圧するプランジャー１１０が当該加圧コマ１２０の先端の中心Ａよりも前記圧電素子の前記自由端１１ａから前記固定端１１ｂ側に向かった方向にずらして押圧することにより、前記固定端１１ｂと前記固定板１４とを加圧接合する。【選択図】      図４
2010161242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定板と、固定板に一端部側が自由端なるように他端部側が固定される圧電素子と、を具備する圧電素子ユニットの製造方法であって、
前記圧電素子の前記固定板に固定される固定端と前記固定板とを加圧コマにより加圧接合する工程において、前記加圧コマを押圧するプランジャーが当該加圧コマの先端の中心よりも前記圧電素子の前記自由端から前記固定端側に向かった方向にずらして押圧することにより、前記固定端と前記固定板とを加圧接合することを特徴とする圧電素子ユニットの製造方法。
【請求項２】
前記プランジャーが前記加圧コマに点接触した状態で押圧することを特徴とする請求項１記載の圧電素子ユニットの製造方法。
【請求項３】
前記固定板を、プレス加工により形成することを特徴とする請求項１又は２記載の圧電素子ユニットの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の製造方法により製造した圧電素子ユニットを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜３の何れか一項に記載の製造方法により製造した圧電素子ユニットを具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項５記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子と圧電素子の固定端が固定される固定板とを具備する圧電素子ユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの一つとして、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものが知られている。
【０００３】
このような縦振動モードの圧電アクチュエータを用いたインクジェット式記録ヘッドとしては、２つの極をそれぞれ構成する内部電極が圧電材料層を挟んで交互に積層されると共に複数のスリットによって櫛歯状に分割された圧電素子の列を具備する圧電素子形成部材と圧電素子の一端側に接合されて当該圧電素子の他端側が自由端となるように保持する固定板とを具備する圧電素子ユニットと、圧電素子ユニットの固定板が固定されるヘッドケースと、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成され、圧力発生室の一方面に設けられて圧電素子の自由端が固定される振動板とを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−７４７４０号公報（第５〜７頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、圧電素子と固定板との固定は、例えば、圧電素子と固定板とを相対的に加圧接合することで行われるが、このとき、圧電素子が傾いた状態で固定板に固定されると、圧電素子の自由端と振動板との位置にずれが生じ、インク吐出特性にばらつきが生じ、安定したインクの吐出を行えないという問題がある。
【０００６】
また、固定板を高精度に形成することで、圧電素子の傾きを抑制することができるものの、固定板を高精度に形成するのは煩雑で、高コストになってしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに用いられる圧電素子ユニットの製造方法に限定されず、他の装置に搭載される圧電素子ユニットについても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、圧電素子の固定板に対する傾きを抑えて高精度な圧電素子ユニットを低コストで製造することができる圧電素子ユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、固定板と、固定板に一端部側が自由端となるように他端部側が固定される圧電素子と、を具備する圧電素子ユニットの製造方法であって、前記圧電素子の前記固定板に固定される固定端と前記固定板とを加圧コマにより加圧接合する工程において、前記加圧コマを押圧するプランジャーが当該加圧コマの先端の中心よりも前記圧電素子の前記自由端から前記固定端側に向かった方向にずらして押圧することにより、前記固定端と前記固定板とを加圧接合することを特徴とする圧電素子ユニットの製造方法にある。
かかる態様では、加圧コマを移動することなく、プランジャーの押圧位置を固定端側に向かってずらすことで、圧電素子の固定端が固定板の平坦面に加圧されるため、圧電素子の傾斜を抑制した状態で圧電素子と固定板とを加圧接合することができる。したがって、固定板を高精度に加工する必要がなく、高コストになることがない。
【００１０】
ここで、前記プランジャーが前記加圧コマに点接触した状態で押圧することが好ましい。これによれば、プランジャーの押圧位置を容易に且つ高精度に規定して、高精度な圧電素子ユニットの再現性を維持できる。
【００１１】
また、前記固定板を、プレス加工により形成することが好ましい。これによれば、固定板を安価な製造方法によって製造することで、圧電素子ユニットを低コスト化できる。
【００１２】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の製造方法により製造した圧電素子ユニットを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。かかる態様では、高精度な圧電素子ユニットを振動板の所定の位置に固定することができ、液体の吐出特性を均一化して歩留まりを向上することができる。
【００１３】
また、本発明の他の態様は、上記態様の製造方法により製造した圧電素子ユニットを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、コストを低減し、且つ液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッドを実現できる。
【００１４】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、コストを低減し、且つ液体噴射特性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの平面図及び断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る加圧装置の断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す側面図である。
【図６】本発明の試験例の試験結果を示すグラフである。
【図７】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向の断面図であり、図１（ｂ）は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の要部断面図である。
【００１７】
図１に示すように、流路形成基板５０はシリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁５１によって画成された圧力発生室５２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、各圧力発生室５２の長手方向一端部側には、各圧力発生室５２に液体の一例であるインクを供給するためのリザーバ５３が液体供給路の一例であるインク供給路５４を介して連通されている。また、流路形成基板５０の圧力発生室５２の開口面側は振動板５５で封止され、他方面側にはノズル開口５６が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート５７が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。
【００１８】
流路形成基板５０上に形成された振動板５５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜５５ａと、この弾性膜５５ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板５５ｂとの複合板で形成されており、弾性膜５５ａ側が流路形成基板５０に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜５５ａは、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板５５ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板５５の各圧力発生室５２に対向する領域内には、圧電素子１１の先端部が当接するアイランド部５９が設けられている。すなわち、振動板５５の各圧力発生室５２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部６０が形成されて、この薄肉部６０の内側にそれぞれアイランド部５９が設けられている。また、本実施形態では、振動板５５のリザーバ５３に対向する領域に、薄肉部６０と同様に、支持板５５ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜５５ａのみで構成されるコンプライアンス部６１が設けられている。なお、このコンプライアンス部６１は、リザーバ５３内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部６１の弾性膜５５ａが変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバ５３内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００１９】
振動板５５上には、図示しない複数の液体貯留体の一例であるインクカートリッジに接続される液体供給路の一例であるインク供給路を有するヘッドケース５８が固定されており、且つこのヘッドケース５８には、圧電素子ユニット１０が高精度に位置決めされて固定されている。すなわち、ヘッドケース５８は、貫通した収容部５８ａが設けられており、この収容部５８ａの一方の内面に圧電素子ユニット１０が、各圧電素子１１の先端が振動板５５上の各圧力発生室５２に対応する領域に設けられた各アイランド部５９に当接されて固定されている。
【００２０】
ここで、圧電素子ユニット１０について詳細に説明する。図２は、本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの斜視図であり、図３は、図２の平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。
【００２１】
図２及び図３に示すように、本実施形態に係る圧電素子ユニット１０は、複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された列１２を有する圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端１１ａとなるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板１４とを有する。
【００２２】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電素子１１の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極１６と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００２３】
この圧電素子形成部材１３には、例えば、ワイヤソー等によって複数のスリット１８が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列１２が形成されている。なお、圧電素子１１の列１２の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子ユニット１０をインクジェット式記録ヘッドＩに組み込む際に、圧電素子ユニット１０を高精度に位置決めするために設けられている。
【００２４】
ここで、各圧電素子１１の個別電極となる個別内部電極１６は、基本的には圧電素子形成部材１３の略全面に亘って設けられているが、固定板１４の端面近傍に対向する領域で先端部側と基端部側とに分離して設けられている。一方、共通電極となる共通内部電極１７も基本的に圧電素子形成部材１３の略全面に亘って設けられているが、個別内部電極１６と同様に、圧電素子１１の先端部近傍で分離されている。すなわち、圧電素子１１の固定板１４に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子１１を構成する個別内部電極１６及び共通内部電極１７間に電圧を印加すると、固定板１４に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。本実施形態では、上述したように圧電素子１１の固定板１４に固定された基端を固定端１１ｂと言い、圧電素子１１の振動する先端を自由端１１ａと言っている。
【００２５】
また、圧電素子形成部材１３の外表面には、個別内部電極１６及び共通内部電極１７と接続される外部電極２０が形成されている。また、圧電素子形成部材１３の少なくとも圧電素子１１の列１２に対応する領域の基端部側には、外部電極２０が存在しない電極非形成部２１が存在する。
【００２６】
そして、複数のスリット１８は、この電極非形成部２１に対向する領域に達する長さで形成され、外部電極２０が、このスリット１８及び電極非形成部２１によって分離され、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別外部電極２２と、隣接する圧電素子と電気的に共通する共通外部電極２３とを構成する。
【００２７】
具体的には、外部電極２０は、本実施形態では、各圧電素子１１に対向する部分と位置決め部１９に対向する部分とに分離され、各圧電素子１１に対向する領域の外部電極２０が、圧電素子形成部材１３の先端部で圧電素子１１の個別電極を構成する個別内部電極１６と電気的に接続される個別外部電極２２を構成している。一方、圧電素子１１の列１２の両側に設けられた位置決め部１９上の外部電極２０が、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面で各圧電素子１１の共通電極を構成する共通内部電極１７と接続される共通外部電極２３を構成している。
【００２８】
すなわち、本実施形態の圧電素子ユニット１０では、圧電素子形成部材１３の固定板１４に接合された部分の反対側の面に、個別外部電極２２が並設されると共に、個別外部電極２２の並設方向両側で位置決め部１９に対向する領域に共通外部電極２３が存在する。これにより、圧電素子ユニット１０と後述する回路基板３０とを比較的容易に接続することができ、且つ圧電素子ユニット１０の小型化を図ることができる。
【００２９】
このような圧電素子ユニット１０は、図１に示すように、固定板１４が、圧電素子形成部材１３が固定された面とは反対側の面がヘッドケース５８の収容部５８ａに固定される。
【００３０】
ここで、圧電素子ユニット１０の製造方法について詳細に説明する。なお、図４は、加圧装置を示す断面図であり、図５は、圧電素子ユニットの製造方法を示す側面図である。
【００３１】
まず、圧電素子ユニット１０を製造するのに使用する加圧装置について説明する。図４に示すように、加圧装置１００は、固定板１４及び圧電素子１１（圧電素子形成部材１３）が載置される平板状の基台１０１と、基台１０１上に載置された固定板１４に向かって圧電素子１１を押圧するプランジャー１１０と、プランジャー１１０と圧電素子１１との間に設けられてプランジャー１１０の押圧力を圧電素子１１に伝える加圧コマ１２０と、を具備する。
【００３２】
基台１０１は、平板状を有し、その上面に固定板１４が載置される。そして、基台１０１上に載置された固定板１４上に一端部側の基台１０１とは反対側に圧電素子１１の固定端１１ｂ側が載置される。
【００３３】
加圧コマ１２０は、基端部１２１側から先端部１２２側に向かって面積が段階的に漸小した形状を有し、その先端が、圧電素子１１の固定端１１ｂと固定板１４の一端部との接合領域に臨むように設けられている。また、加圧コマ１２０は、先端部１２２がガイド孔１２３の設けられたガイド板１２４に挿通されることで、ガイド板１２４に対して中心軸Ａの軸方向に移動自在に保持されている。ここで言う加圧コマ１２０の中心軸Ａとは、加圧コマ１２０の基端部１２１から先端部１２２に向かう中心線であって、先端部１２２の先端面（押圧面）の中心のことである。本実施形態では、加圧コマ１２０は、中心軸Ａを中心とした線対称となる形状で形成されており、中心軸Ａは、加圧コマ１２０の基端面の中心にもなっている。
【００３４】
また、ガイド板１２４に設けられたガイド孔１２３は、加圧コマ１２０の先端部１２２の外径よりも若干大きな内径を有する。本実施形態では、加圧コマ１２０の先端部１２２とガイド孔１２３とのクリアランスは、２０〜３０μｍ程度となっている。
【００３５】
プランジャー１１０は、球面で形成された先端面１１１を有する棒状部材からなり、基端部側がプランジャー固定板１１２によって保持されている。プランジャー固定板１１２は、加圧コマ１２０の中心軸Ａの軸方向と同一方向に移動自在に設けられており、プランジャー１１０によって加圧コマ１２０を圧電素子１１側に押圧可能に設けられている。
【００３６】
また、プランジャー１１０は、先端面１１１が球面となっているため、先端面１１１は加圧コマ１２０に点接触する。そして、プランジャー１１０の先端面１１１は、加圧コマ１２０の基端面への当接する位置が、加圧コマ１２０の中心軸Ａよりも固定板１４側にずれた位置となっている。すなわち、プランジャー１１０の中心軸Ｂ（加圧コマ１２０に点接触する中心を通る軸）は、加圧コマ１２０の中心軸Ａ、すなわち、加圧コマ１２０の先端面（押圧面）の中心よりも圧電素子１１の自由端１１ａ側から固定端１１ｂ側に向かってずらした位置となっている。これにより、プランジャー１１０は、加圧コマ１２０を当該加圧コマ１２０の先端面（押圧面）の中心から圧電素子１１の固定端１１ｂ側にずらして押圧する。
【００３７】
このような加圧装置１００によって圧電素子ユニット１０を形成するには、まず、基台１０１上に固定板１４を載置し、固定板１４上の一端部側に圧電素子１１の固定端１１ｂを載置する。このとき、圧電素子１１と固定板１４との間には、接着剤を塗布しておく。この状態で、プランジャー１１０によって加圧コマ１２０を圧電素子１１側に押圧することで、圧電素子１１を固定板１４に向かって加圧する。このとき、プランジャー１１０は、加圧コマ１２０の基端面において、加圧コマ１２０の中心軸Ａ（加圧コマ１２０の先端の押圧面の中心）よりも圧電素子１１の自由端１１ａから固定端１１ｂに向かってずらした位置を押圧する。これにより、図５に示すように、圧電素子１１の固定端１１ｂを、固定板１４の平坦面１４ａに押し付けることができ、圧電素子１１の傾きを抑えることができる。すなわち、プランジャー１１０（プランジャー１１０の中心軸Ｂ）が、加圧コマ１２０の中心軸Ａを押圧すると、圧電素子１１の固定端１１ｂは、固定板１４のエッジ（角部）側の傾斜面１４ｂに押し付けられることになり、圧電素子１１が傾いた状態（図５の点線Ｃで示す状態）で固定板１４に固定されてしまう。ちなみに、固定板１４の端部のエッジ側が平坦面１４ａではなく傾斜面１４ｂとなる要因の一つとして、固定板１４をプレス加工により製造した際のせん断応力による変形（ダレ）が挙げられるが、固定板１４にダレが生じないように高精度に製造するには製造コストが高騰してしまう。もちろん、他の方法であっても、エッジにダレが生じてしまう可能性もあり、固定板を高精度に形成するのは煩雑であり、高コストになってしまう。本発明では、プランジャー１１０の押圧位置を規定することにより、コストを高騰させることなく、圧電素子１１の傾きを抑制した高精度な圧電素子ユニット１０を製造することができる。なお、本実施形態で、圧電素子１１が傾くとは、固定板１４の圧電素子１１が固定される面の平坦面１４ａ（エッジの傾斜面１４ｂを除く）の面方向に対して、圧電素子１１の固定板１４に固定される側の面の面方向が傾斜していることを言う。逆に、圧電素子１１が傾いていないとは、固定板１４の圧電素子１１が固定される面の平坦面１４ａと、圧電素子１１の固定板１４に固定される側の面の面方向とが同じ方向のことを言う。
【００３８】
なお、本実施形態では、図５に示すように、加圧コマ１２０は、圧電素子１１と固定板１４との接合領域の中心を押圧するようになっている。すなわち、加圧コマ１２０は、その中心軸Ａが、圧電素子１１と固定板１４との接合領域の中心となるように配置されている。これにより、加圧コマ１２０が圧電素子１１と固定板１４との接合領域を全体に亘って加圧することができ、圧電素子と固定板との接合位置のずれや圧電素子の逆方向への傾きなどが生じるのを抑制することができる。
【００３９】
また、上述したようにプランジャー１１０が加圧コマ１２０の基端面を中心軸Ａからずれた位置で押圧したとしても、上述のように加圧コマ１２０とガイド板１２４とのクリアランスは２０〜３０μｍ程度しかなく、加圧コマ１２０はほとんど傾斜していないと考えられる。逆に、加圧コマ１２０を傾斜させて加圧すると、加圧コマ１２０の傾斜によって、圧電素子１１と固定板１４との接合位置のずれが生じることや、圧電素子１１の逆方向への傾きなどの接合不良が発生する可能性がある。本発明では、プランジャー１１０が加圧コマ１２０を押圧する位置を、加圧コマ１２０が傾かない程度にずらすことで、加圧コマ１２０の先端面の面内において、押圧する圧力を固定板１４の傾斜面１４ｂ側に比べて平坦面１４ａ側を大きくして、実質的に圧電素子１１が固定板１４の平坦面１４ａに平行な状態で、平坦面１４ａに押圧されるようにしている。したがって、圧電素子１１と固定板１４との位置ずれや、圧電素子１１の反対側への傾斜及び接合不良などが生じるのを抑制して、高精度な圧電素子ユニット１０を製造することができる。
【００４０】
（実施例１）
プランジャー１１０の加圧コマ１２０を押圧する位置（加圧位置）を、上述した実施形態１と同様に、固定端１１ｂ側（プラス方向）にずらして複数の圧電素子ユニット１０を製造した。
【００４１】
（比較例１及び２）
プランジャー１１０の加圧コマ１２０を押圧する位置（加圧位置）を、中心軸Ａと同じ位置とした。すなわち、プランジャー１１０の中心軸Ｂを中心軸Ａと同じ位置として比較例１の複数の圧電素子ユニットを製造した。
【００４２】
また、プランジャー１１０の加圧コマ１２０を押圧する位置（加圧位置）を、自由端１１ａ側（マイナス側）にずらして比較例２の複数の圧電素子ユニットを製造した。
【００４３】
（試験例）
これら実施例１、比較例１及び２の圧電素子ユニットについて、固定板１４の圧電素子１１が固定される平坦面１４ａに対する圧電素子１１の自由端の垂直方向（図４の上下方向）の位置を測定した。なお、圧電素子１１の自由端１１ａが固定板１４側をマイナス、固定板１４とは反対側をプラスとした。この結果を図６に示す。
【００４４】
図６に示すように、比較例１及び２の圧電素子ユニットでは、圧電素子１１の先端が、固定板１４側（マイナス側）に倒れてしまったのに対して、実施例１の圧電素子ユニット１０では、圧電素子１１の先端が、固定板１４の平坦面１４ａとほぼ同じ位置（ゼロ）となった。
【００４５】
この結果から、プランジャー１１０は、加圧コマ１２０の基端面において、加圧コマ１２０の中心軸Ａ（加圧コマ１２０の先端の押圧面の中心）よりも圧電素子１１の自由端１１ａから固定端１１ｂに向かってずらした位置を押圧することにより、圧電素子１１の固定端１１ｂを、固定板１４の平坦面１４ａに押し付けることができ、圧電素子１１の傾きを抑えることができる。
【００４６】
このように製造された圧電素子ユニット１０は、上述のように、固定板１４の圧電素子１１が固定された面とは反対側の面がヘッドケース５８の収容部５８ａに固定される。具体的には、インクジェット式記録ヘッドＩは、流路形成基板５０及び振動板５５等が一体化された流路ユニットに、ヘッドケース５８を接合した後、ヘッドケース５８の収容部５８ａ内に圧電素子ユニット１０を挿入することで位置決め接合することで形成される。このため、圧電素子１１とアイランド部５９との接合状態（圧電素子１１の傾斜状態）や相対位置は、目視により確認するのは困難であり、ヘッドケース５８と固定板１４との位置決めによって圧電素子１１とアイランド部５９との相対位置を位置決めしている。
【００４７】
このため、固定板１４に対する圧電素子１１の取り付け位置精度によって、アイランド部５９への固定位置が変化してしまう。本実施形態では、圧電素子１１を固定板１４に対して傾くことなく高精度に位置決めしているため、アイランド部５９の最適な位置に圧電素子１１の先端面を固定することができ、所望のインク吐出特性を得ることができる。これに対して、圧電素子１１が固定板１４に対して傾いてしまう場合、圧電素子ユニット１０の製造条件による圧電素子１１の傾き量を把握するのは困難であり、アイランド部５９の所望の位置に圧電素子１１の先端を固定することができなくなり、所望のインク吐出特性を得ることができなくなってしまう。
【００４８】
さらに、ヘッドケース５８上には、回路基板３０の各配線３１がそれぞれ接続される複数の導電パッド３２が設けられた配線基板３３が固定されており、ヘッドケース５８の収容部５８ａは、この配線基板３３によって実質的に塞がれている。配線基板３３には、ヘッドケース５８の収容部５８ａに対向する領域にスリット状の開口部３４が形成されており、回路基板３０はこの配線基板３３の開口部３４から収容部５８ａの外側に折り曲げられて引き出されている。
【００４９】
ここで、圧電素子ユニット１０を構成する回路基板３０は、例えば、本実施形態では、圧電素子１１を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、回路基板３０の各配線３１は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１１を構成する電極形成材料１６，１７に外部電極２０（個別外部電極２２及び共通外部電極２３）を介して接続されている。一方、先端部側では、各配線３１は配線基板３３の各導電パッド３２に接合されている。具体的には、配線基板３３の開口部３４から収容部５８ａの外側に引き出された回路基板３０の先端部が配線基板３３の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３１は配線基板３３の各導電パッド３２に接合されている。
【００５０】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、インク滴を吐出する際に、圧電素子１１及び振動板５５の変形によって各圧力発生室５２の容積を変化させて所定のノズル開口５６からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバ５３にインクが供給されると、インク供給路５４を介して各圧力発生室５２にインクが分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板５５が圧電素子１１と共に変形されて圧力発生室５２の容積が広げられ、圧力発生室５２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口５６に至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３３を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１１の電極形成材料１６，１７に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板５５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室５２の容積が収縮して圧力発生室５２内の圧力が高まりノズル開口５６からインク滴が吐出される。
【００５１】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、圧電素子１１を固定板１４に向かって押圧するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、圧電素子１１を固定して、固定板１４を圧電素子１１に向かって押圧するようにしても、上述した実施形態１と同様の効果を奏することができる。
【００５２】
また、上述した実施形態１では、圧電材料層１５と電極形成材料（個別内部電極１６，共通内部電極１７）とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子１１について説明したが、圧電材料層１５と電極形成材料とを交互に積層させて積層方向の一端部をアイランド部５９に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。
【００５３】
なお、上述した実施形態１のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５４】
図７に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩは、インクジェット式記録ヘッドＩを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５５】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５６】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００５７】
また、本発明は、液体噴射ヘッドに搭載される圧電素子ユニットの製造方法に限定されるものではなく、他の装置に搭載される圧電素子ユニットの製造方法にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５８】
Ａ  加圧コマの中心軸、  Ｂ  プランジャーの中心軸、  Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  II  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  圧電素子ユニット、  １１  圧電素子、  １１ａ  自由端、  １１ｂ  固定端、  １３  圧電素子形成部材、  １４  固定板、  １６  個別内部電極、  １７  共通内部電極、  １８  スリット、  １９  位置決め部、  ２２  個別外部電極、  ２３  共通外部電極、  ３０  回路基板、  ３１  配線、  ３２  導電パッド、  ３３  配線基板、  ５０  流路形成基板、  ５２  圧力発生室、  ５５  振動板、  ５６  ノズル開口、  ５８  ヘッドケース、  ５９  アイランド部、  ６０  薄肉部、  ６１  コンプライアンス部、  １００  加圧装置、  １１０  プランジャー、  １２０  加圧コマ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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