(57)【要約】【課題】空気配管の数をできる限り少なくし、その取り回しを簡素化することができるエアシリンダを提供する。【解決手段】エアシリンダＡ１は、シリンダ本体１と、シリンダ本体１内において往復運動可能なピストン２と、ピストン２に一体化され、シリンダ本体１内から外部に突き出されたロッド３と、シリンダ本体１内においてピストン１により仕切られる第１気室Ｒ１および第２気室Ｒ２と、第１気室Ｒ１の空気を吸気するための吸気ポート４と、第２気室Ｒ２の空気を出し入れ可能とするための通気孔５と、通気孔５から外部への塵埃放出を防ぐための塵埃放出防止手段と、シリンダ本体１内に設けられ、ピストン２に弾性力を付与するバネ７とを備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ本体と、
上記シリンダ本体内において往復運動可能なピストンと、
上記ピストンに一体化され、上記シリンダ本体内から外部に突き出されたロッドと、
上記シリンダ本体内において上記ピストンにより仕切られる第１気室および第２気室と、
上記第１気室の空気を吸気するための吸気ポートと、
上記第２気室の空気を出し入れ可能とするための通気孔と、
上記通気孔から外部への塵埃放出を防ぐための塵埃放出防止手段と、
上記シリンダ本体内に設けられ、上記ピストンに弾性力を付与するバネと、
を備えていることを特徴とする、エアシリンダ。
【請求項２】
上記塵埃放出防止手段としては、ＨＥＰＡフィルタあるいはＵＬＰＡフィルタが上記通気孔に設けられている、請求項１に記載のエアシリンダ。
【請求項３】
上記塵埃放出防止手段としては、外部と遮断された可変容積室をもつベローズチャンバが上記通気孔を介して上記第２気室と連通するように設けられている、請求項１に記載のエアシリンダ。
【請求項４】
上記シリンダ本体内には、潤滑剤が含まれ、上記第２気室には、上記通気孔へと向かう上記潤滑剤の流出を阻止するための潤滑剤流出阻止手段が設けられている、請求項１ないし３のいずれかに記載のエアシリンダ。
【請求項５】
上記潤滑剤流出阻止手段は、油返し部である、請求項４に記載のエアシリンダ。
【請求項６】
上記潤滑剤流出阻止手段は、上記シリンダ本体の内周壁に形成された突出部である、請求項４に記載のエアシリンダ。
【請求項７】
上記第２気室と上記通気孔との間には、ラビリンス状の通気路が設けられている、請求項５または６に記載のエアシリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばウェハや液晶パネルの搬送装置に用いられるエアシリンダに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１に一例として示すように、搬送装置としては、複数のリンクアーム１００やベース部材２００を連結部Ｃで鉛直軸周りに回転させることにより、搬送物を保持するハンド３００を水平移動や回転させるように構成されたものがある。このような搬送装置のハンド３００には、図１２に示すように、たとえば円形の搬送物となるウェハＷの周部をその側方から押さえるためのエッジクランプ機構４００が設けられている。このようなエッジクランプ機構４００は、エアシリンダＸによって動作させられる。このエアシリンダＸは、搬送装置の設置場所となるクリーンルーム内において作動させられるため、塵埃を放出しないことが要求される。
【０００３】
この種の搬送装置に適用可能な従来のエアシリンダとしては、たとえば特許文献１に開示されたものがある。同文献のエアシリンダは、空気圧によって動作させるための２つの給排気ポートと、塵埃を集めて外部に廃棄するための廃塵ポートとを備えている。２つの給排気ポートには、交互に圧縮空気が供給され、これによりシリンダロッドが往復運動する。廃塵ポートによれば、空気の吸引流によって塵埃が外部へと送られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実用新案登録第３０３４２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のエアシリンダでは、図１１および図１２に示すような搬送装置のハンド３００に設ける場合、空気配管が少なくとも３系統必要になる。１つの空気配管については、搬送装置の連結部Ｃにたとえばロータリジョイントを介することで上部のハンド３００までの経路を確保することができる一方、他の空気配管については、連結部を迂回するような別の経路を導入しなければならない。これでは、連結部Ｃを迂回する空気配管の取り回しが複雑になり、リンクアーム１００やベース部材２００を大きく回転させることができず、ひいては搬送装置において必要とされる所要の搬送距離をかせぐことができないおそれがあった。
【０００６】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、空気配管の数をできる限り少なくし、その取り回しを簡素化することができるエアシリンダを提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を講じている。
【０００８】
本発明により提供されるエアシリンダは、シリンダ本体と、上記シリンダ本体内において往復運動可能なピストンと、上記ピストンに一体化され、上記シリンダ本体内から外部に突き出されたロッドと、上記シリンダ本体内において上記ピストンにより仕切られる第１気室および第２気室と、上記第１気室の空気を吸気するための吸気ポートと、上記第２気室の空気を出し入れ可能とするための通気孔と、上記通気孔から外部への塵埃放出を防ぐための塵埃放出防止手段と、上記シリンダ本体内に設けられ、上記ピストンに弾性力を付与するバネと、を備えていることを特徴としている。
【０００９】
好ましい実施の形態においては、上記塵埃放出防止手段としては、ＨＥＰＡフィルタあるいはＵＬＰＡフィルタが上記通気孔に設けられている。
【００１０】
好ましい実施の形態においては、上記塵埃放出防止手段としては、外部と遮断された可変容積室をもつベローズチャンバが上記通気孔を介して上記第２気室と連通するように設けられている。
【００１１】
好ましい実施の形態においては、上記シリンダ本体内には、潤滑剤が含まれ、上記第２気室には、上記通気孔へと向かう上記潤滑剤の流出を阻止するための潤滑剤流出阻止手段が設けられている。
【００１２】
好ましい実施の形態においては、上記潤滑剤流出阻止手段は、油返し部である。
【００１３】
好ましい実施の形態においては、上記潤滑剤流出阻止手段は、上記シリンダ本体の内周壁に形成された突出部である。
【００１４】
好ましい実施の形態においては、上記第２気室と上記通気孔との間には、ラビリンス状の通気路が設けられている。
【００１５】
このような構成によれば、１つの吸気ポートを利用するだけで空気の吸気とバネの弾性力によってピストンを動作させることができ、その動作時には、シリンダ本体と外部との間で通気孔により塵埃放出を防ぎつつ空気の出し入れを行うことができる。これにより、１つの吸気ポートに１つの空気配管を接続するだけでよいので、空気配管の数を最小限とし、その取り回しを簡素化することができる。
【００１６】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明が適用されたエアシリンダの一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示すエアシリンダの動作を説明するための断面図である。
【図３】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図７】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図８】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図９】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図１０】本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示す断面図である。
【図１１】搬送装置の斜視図である。
【図１２】図１１に示す搬送装置に適用されたハンドの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【００１９】
図１および図２は、本発明が適用されたエアシリンダの一実施形態を示している。本実施形態のエアシリンダＡ１は、たとえば図１１および図１２に示すような搬送装置のハンド３００に備えられるものであり、エッジクランプ機構４００を動作させるためのアクチュエータとして用いられる。エアシリンダＡ１は、シリンダ本体１、ピストン２、ロッド３、吸気ポート４、通気孔５、塵埃放出防止手段としてのエアフィルタ６、およびバネ７を備えている。シリンダ本体１内には、ピストン２により仕切られた第１気室Ｒ１および第２気室Ｒ２が存在する。
【００２０】
シリンダ本体１は、筒状ケース１０の開口をロッドカバー１１と底蓋１２で封止して構成されている。ロッドカバー１１には、軸シール１１Ａを介してロッド３を外部に突き出すための軸孔（符号省略）が形成されている。底蓋１２には、第２気室Ｒ２に通じる通気孔５が形成されている。特に図示しないが、シリンダ本体１内には、筒状ケース１０の内周壁とピストン２との摩擦を低減するための潤滑油が含まれる。
【００２１】
筒状ケース１０には、第１気室Ｒ１に通じる吸気ポート４が設けられている。筒状ケース１０の内周壁には、吸気ポート４の開口までピストン２が移動しないようにストッパ１０Ａが設けられている。第２気室Ｒ２には、底蓋１２の通気孔５に通じる空気出入り口１３が設けられている。この第２気室Ｒ２には、空気出入り口１３を囲うようにバネ７が配置される。空気出入り口１３の周部には、この空気出入り口１３に潤滑油ができる限り入り込まないように油返し部１４が設けられている。空気出入り口１３から通気孔５までの間には、ラビリンス状の通気路１５が設けられている。この通気路１５は、空気出入り口１３に偶然入ってしまった潤滑油の塊が通気孔５へと向かうことがないように空気の流れを規制する。このような空気出入り口１３、通気路１５、および通気孔５が設けられていることにより、第２気室Ｒ２は、外部との間で空気の出し入れが自由に行われる。すなわち、第２気室Ｒ２の空気圧は、たとえば大気圧といった外部の空気圧と等しくなる。一方、第１気室Ｒ１は、吸気ポート４を介して空気圧が変化させられる。具体的には、第１気室Ｒ１内の空気について吸気が行われることにより、第１気室Ｒ１の空気圧は、第２気室Ｒ２や外部の空気圧より低い負圧となる。
【００２２】
ピストン２は、筒状ケース１０の内周壁に密接した状態で往復運動可能となるようにシリンダ本体１内に配置されている。筒状ケース１０の内周壁とピストン２との隙間はほとんど無い。これにより、第１気室Ｒ１および第２気室Ｒ２は、ピストン２によって仕切られた互いに異なる空間として存在する。第１気室Ｒ１に面するピストン２の一方側には、この第１気室Ｒ１から外部へと突き出るようにロッド３が固定されており、第２気室Ｒ２に面するピストン２の他方側には、バネ７の一端が固定されている。このようなピストン２は、第１気室Ｒ１の空気圧が負圧になると、図２に示すようにバネ７の弾性収縮力に抗してロッドカバー１１に近づく方向に動く。第１気室Ｒ１の空気圧が第２気室Ｒ２の空気圧と同圧になると、ピストン２は、バネ７の弾性収縮力を復元力として底蓋１２の方へと引き戻され、図１に示すような元の位置に止まる。
【００２３】
ロッド３は、第１気室Ｒ１およびロッドカバー１１の軸孔を通って外部に突き出るようにピストン２に固定されている。このようなロッド３は、ピストン２と一体になって往復動作させられる。その際、ロッドカバー１１の軸孔においては、軸シール１１Ａを介してロッド３が摺動するため、この軸孔を通じて第１気室Ｒ１と外部との間で空気が出入りすることはなく、第１気室Ｒ１の気密性が保たれる。ロッド３の先端部３Ａは、常に外部に突き出ており、この先端部３Ａにエッジクランプ機構４００が接続される。これにより、エッジクランプ機構４００は、ロッド３の往復動作に伴って所定の動作を行う。
【００２４】
吸気ポート４は、第１気室Ｒ１の空気を吸気するために設けられている。吸気ポート４には、図示しない空気配管を介してたとえば真空ポンプが接続されている。吸気ポート４を介して第１気室Ｒ１の空気が吸気されると、第１気室Ｒ１の空気圧が第２気室Ｒ２や外部の空気圧に対して負圧になる。これにより、ピストン２およびロッド３は、先述したようにバネ７の弾性収縮力に抗してロッドカバー１１に近づく方向に動く（図２参照）。一方、吸気ポート４からの吸気が停止すると、吸気ポート４を通じて第１気室Ｒ１に空気が戻され、第１気室Ｒ１の空気圧が第２気室Ｒ２や外部の空気圧に対して等圧となる。これにより、ピストン２およびロッド３は、図１に示すような元の状態に戻る。このような第１気室Ｒ１の吸気とその停止を繰り返し行うことにより、エアシリンダＡ１は、アクチュエータとして動作する。
【００２５】
通気孔５には、エアフィルタ６が設けられている。エアフィルタ６としては、たとえばＨＥＰＡフィルタあるいはＵＬＰＡフィルタが用いられる。このようなエアフィルタ６によれば、シリンダ本体１内における第２気室Ｒ２の空気が通気孔５から出る際、油分を含む塵埃が外部に排出されることはなく、第２気室Ｒ２と外部との間においては、きれいな空気のみが出入りする。
【００２６】
バネ７は、第１気室Ｒ１の空気が吸気されると自然状態から伸びた状態になり、ピストン２に対して弾性収縮力を作用させる。第１気室Ｒ１における吸気が停止すると、この第１気室Ｒ１に空気が戻されることでその空気圧が第２気室Ｒ２や外部の空気圧と等しいレベルに徐々に戻り、それに伴いバネ７は、弾性収縮力によってピストン２を引き戻す。
【００２７】
次に、エアシリンダＡ１の動作について説明する。
【００２８】
まず、第１気室Ｒ１の吸気を行うと、この第１気室Ｒ１の負圧による力がバネ７の弾性収縮力よりもピストン２に対して大きく作用する。これにより、ロッド３は、図２に示すように外部へと向かう方向に動く。
【００２９】
このとき、ピストン２の移動に伴って第２気室Ｒ２の容積が大きくなる。そのため、第２気室Ｒ２には、通気孔５を介して外部の空気が引き込まれる。
【００３０】
一方、第１気室Ｒ１の吸気を停止し、この第１気室Ｒ１の空気圧を元に戻すと、ピストン２は、バネ７の弾性収縮力によって図１に示す元の自然状態の位置に戻され、ロッド３は、シリンダ本体１内へと向かう方向に動く。これにより、エアシリンダＡ１は、吸気ポート４を介した第１気室Ｒ１の吸気とその停止を行うだけでロッド３を往復移動させ、アクチュエータとしての動作を実行する。そのため、エアシリンダＡ１においては、吸気ポート４に１つの空気配管を接続しておくだけでよい。
【００３１】
このようなエアシリンダＡ１において第１気室Ｒ１の吸気を停止させたとき、第２気室Ｒ２においては、その容積が小さくなるのに伴って空気出入り口１３から余分な空気が押し出される。空気出入り口１３に進入した空気は、通気路１５および通気孔５を通って外部に排出される。
【００３２】
その際、第２気室Ｒ２においては、空気中に含まれる塵埃だけでなく、筒状ケース１０の内周壁やピストン２に付着した潤滑油も、空気出入り口１３の方向に空気とともに流動する。そのうちの潤滑油は、油返し部１４によってほとんど跳ね返される。そのため、潤滑油が空気出入り口１３に入りにくい。仮に、潤滑油の塊が空気出入り口１３に偶然入ったとしても、ラビリンス状の通気路１５を大きな塵埃が通り抜けにくいため、その塊が通気孔５に直接達することはない。第２気室Ｒ２にあった塵埃を含む空気は、空気出入り口１３および通気路１５を通って通気孔５に達する。通気孔５においては、空気中に含まれる塵埃がエアフィルタ６によって十分に除去される。これにより、エアシリンダＡ１の動作時には、シリンダ本体１内の潤滑油や塵埃を含む汚れた空気が外部に排出されることはない。
【００３３】
したがって、本実施形態のエアシリンダＡ１によれば、１つの吸気ポート４を利用するだけでピストン２およびロッド３を往復運動させることができ、吸気ポート４に接続する空気配管を１つだけとしてその取り回しを簡素化することができる。
【００３４】
エアシリンダＡ１の動作時においては、シリンダ本体１内と外部との間で通気孔５のエアフィルタ６によって塵埃放出を防ぎながら空気の出し入れを行うことができる。シリンダ本体１内の潤滑油は、油返し部１４や通気路１５によって通気孔５の方へと流出しにくく、通気孔５に潤滑油が達しても、油分として塵埃とともにエアフィルタ６によって完全に除去される。これにより、極めて高度な空気洗浄度とされるクリーンルームにエアシリンダＡ１を対応させることができ、搬送装置のエッジクランプ機構４００を動作させるアクチュエータとしてエアシリンダＡ１を適用することができる。
【００３５】
油返し部１４やラビリンス状の通気路１５は、エアフィルタ６に対して潤滑油をできる限り付着させにくい構造であるため、エアフィルタ６の長寿命化を図ることができ、ひいてはエアフィルタ６の交換などといったメンテナンス作業を軽減することができる。また、エアフィルタ６は、底蓋１２に形成された通気孔５に取り付けられるため、交換し易いものとなっている。
【００３６】
図３〜１０は、本発明が適用されたエアシリンダの他の実施形態を示している。なお、先述した実施形態によるものと同一または類似の構成要素については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００３７】
図３に示すエアシリンダＡ２では、第１気室Ｒ１にバネ７を配置している。ストッパ１０Ａは、ピストン２が吸気ポート４の開口まで移動しないようにするためのものであり、このストッパ１０Ａにバネ７が係止されている。このバネ７は、第１気室Ｒ１の吸気によってピストン２がロッドカバー１１の方向に動くと、自然状態から収縮した状態になり、ピストン２に対して弾性付勢力を作用させる。第１気室Ｒ１における吸気が停止してその空気圧が外部の空気圧と等しいレベルになると、それに伴いバネ７は、弾性付勢力によってピストン２を元の位置に押し戻す。このようなエアシリンダＡ２も、先述した実施形態によるものと同様にアクチュエータとしての動作が可能であり、第２気室Ｒ２と外部との間では、塵埃や油分の外部放出を防ぎながら空気の出し入れが行われる。そのため、エアシリンダＡ２によっても、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。
【００３８】
図４に示すエアシリンダＡ３では、空気出入り口１３と通気孔５との間にラビリンス状の通気路が設けられていない。このようなエアシリンダＡ３では、空気出入り口１３を通って通気孔５へと直接向かう潤滑油の流出がある程度生じるものの、そのような潤滑油もエアフィルタ６によって空気から除去される。そのため、エアシリンダＡ３によっても、第２気室Ｒ２と外部との間で塵埃や油分の外部放出を防ぎながら空気の出し入れを行うことができ、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。さらには、通気路を設けない分だけエアシリンダＡ３の構造を簡素化することができるとともに、小型化することができる。
【００３９】
図５に示すエアシリンダＡ４では、空気出入り口１３の周部に油返し部が設けられていない代わりに、筒状ケース１０の内周壁（シリンダ本体１の内周壁）に突出部１０Ｂが設けられている。そして、この突出部１０Ｂにバネ７が係止されている。この突出部１０Ｂは、油返し部と形状は異なるが、空気出入り口１３に対して潤滑油を入り難くする効果がある。また、突出部１０Ｂは、ストッパ１０Ａと同様に内部に突出するだけの形状であるため、油返し部よりも構造が簡素であり、安価に製作することができる。このようなエアシリンダＡ４では、油返し部を設けた場合よりも、空気出入り口１３に対して潤滑油が入りやすいと考えられるため、潤滑油が多い場合には適さない可能性が高いが、潤滑油が少ない場合には、油返し部の代わりに用いることができる。そして、エアシリンダＡ４の場合においても、ラビリンス状の通気路１５によって通気孔５まで達しにくく、仮に達してもエアフィルタ６によって空気から除去される。そのため、エアシリンダＡ４によっても、第２気室Ｒ２と外部との間で塵埃や油分の外部放出を防ぎながら空気の出し入れを行うことができ、油返し部を設けないことで構造を簡素化しつつも、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。
【００４０】
図６に示すエアシリンダＡ５では、底蓋１２とピストン２で囲まれた空間が第１気室Ｒ１であり、ロッドカバー１１とピストン２で囲まれた空間が第２気室Ｒ２になっている。第２気室Ｒ２には、油返し部１４を取り付けるための突出部１０Ｂが筒状ケース１０の内周壁に形成されており、この突出部１０Ｂよりもロッドカバー１１に近い部分に副室Ｒ２’が形成されている。この副室Ｒ２’を形成するシリンダ本体１の適部には、エアフィルタ６とともに通気孔５が設けられている。このようなエアシリンダＡ５では、第１気室Ｒ１の吸気が行われると、ピストン２が底蓋１２の方向に動く。その際、バネ７は、自然状態から伸びた状態になり、ピストン２に対して弾性収縮力を作用させる。第１気室Ｒ１における吸気が停止してその空気圧が外部の空気圧と等しいレベルになると、それに伴いバネ７は、弾性収縮力によってピストン２を元の位置に引き戻す。このとき、副室Ｒ２’を含む第２気室Ｒ２の空気は、エアフィルタ６を通って通気孔５から排出される。このようなエアシリンダＡ５も、先述した実施形態によるものと同様にアクチュエータとしての動作が可能であり、第２気室Ｒ２と外部との間では、通気孔５のエアフィルタ６を介して塵埃や油分の外部放出を防ぎながら空気の出し入れが行われる。そのため、エアシリンダＡ５によっても、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。
【００４１】
図７に示すエアシリンダＡ６は、先述の図６に示すエアシリンダＡ５に対して油返し部が設けられていない点が異なるだけである。このエアシリンダＡ６では、油返し部が設けられていないが、筒状ケース１０の内周壁（シリンダ本体１の内周壁）に突出部１０Ｂが形成されている。バネ７は、突出部１０Ｂに係止されている。この突出部１０Ｂは、図５に示すエアシリンダＡ４と同様に、空気出入り口１３に対して潤滑油を入り難くする効果がある。このようなエアシリンダＡ６によれば、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができるほか、構造を簡素化することができる。
【００４２】
図８に示すエアシリンダＡ７では、第２気室Ｒ２において空気出入り口１３や油返し部１４、バネ７が配置された空間と副室Ｒ２’との間にラビリンス状の通気路１５が設けられている。このようなエアシリンダＡ８によっても、通気路１５やエアフィルタ６によって塵埃や油分の外部放出を効果的に防ぎながら先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。
【００４３】
図９に示すエアシリンダＡ８は、図９に示すエアシリンダＡ８は、先述の図８に示すエアシリンダＡ７に対し、油返し部を設けない代わりに筒状ケース１０の内周壁（シリンダ本体１の内周壁）に突出部１０Ｂを形成した点が異なるだけである。この突出部１０Ｂは、図５に示すエアシリンダＡ４と同様に、空気出入り口１３に対して潤滑油を入り難くする効果がある。このようなエアシリンダＡ８によっても、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。
【００４４】
図１０に示すエアシリンダＡ９は、先述の図１および図２に示すエアシリンダＡ１に対してラビリンス状の通気路とエアフィルタが設けられておらず、通気孔５の外側には、可変容積室８０をもつベローズチャンバ８が設けられている。ベローズチャンバ８の可変容積室８０は、通気孔５を介して第２気室Ｒ２に連通しており、外部とは完全に遮断された空間である。このようなベローズチャンバ８は、第１気室Ｒ１の吸気に伴って第２気室Ｒ２の容積が大きくなると、通気孔５から第２気室Ｒ２へと空気を送り込むように可変容積室８０が小さくなる。一方、第２気室Ｒ２の容積が小さくなると、通気孔５から押し出された空気が可変容積室８０に流れ込み、この可変容積室８０が大きくなる。つまり、エアシリンダＡ９の動作時には、ベローズチャンバ８の可変容積室８０と第２気室Ｒ２との間で通気孔５を介して空気の出し入れが行われ、その空気に含まれる塵埃や油分は、ベローズチャンバ８の可変容積室８０内に溜まるだけで外部に放出されることはない。そのため、エアシリンダＡ９によれば、通気孔５にエアフィルタを設けなくても、塵埃や油分の外部放出を防ぎつつ第２気室Ｒ２の空気の出し入れを行いながらアクチュエータとしての動作を行うことができ、先述した実施形態によるものと同様の効果を得ることができる。
【００４５】
なお、ベローズチャンバ８を用いたエアシリンダＡ９においても、ラビリンス状の通気路を設けたり、油返し部１４の代わりに筒状ケース１０の内周壁（シリンダ本体１の内周壁）に突出部を形成することができる。また、図３に示したエアシリンダＡ２のように、バネ７を第１気室Ｒ１側に配置することも可能である。
【００４６】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
【００４７】
上記実施形態で示した構成は、あくまでも一例にすぎず、仕様に応じて適宜設計変更することが可能である。
【符号の説明】
【００４８】
Ａ１〜Ａ９  エアシリンダ
Ｒ１        第１気室
Ｒ２        第２気室
１          シリンダ本体
１０Ｂ      突出部（潤滑剤流出阻止手段）
１４        油返し部（潤滑剤流出阻止手段）
１５        通気路
２          ピストン
３          ロッド
４          吸気ポート
５          通気孔
６          エアフィルタ（塵埃放出防止手段）
７          バネ
８          ベローズチャンバ（塵埃放出防止手段）
８０        可変容積室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2010236623.tif 000008
【図７】
2010236623.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010236623.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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