(57)【要約】【課題】  基台の揺動を抑制して制御ゲインの高ゲイン化を図ることができる小型のリニアモータ駆動送り装置を提供する。【解決手段】  リニアモータ駆動送り装置１は、基台７に対して移動可能に案内され可動ベース体１１１に対して相対移動可能な支持ベース体１２１と、支持ベース体と基台との間に支持ベース体の移動方向に作用するように取付けられたバネ要素およびダンパ要素２０とを備えている。これにより、バネ要素およびダンパ要素が小型の反動相殺振動系を構築しているので、装置を小型化することができる。そして、反動相殺振動系の振動周波数はリニアモータの駆動周波数よりも大幅に小さくなるので、基台へ伝達される反動力はリニアモータの推力の数十分の一と極めて小さくなるので、基台を揺動させる力を非常に小さく抑えることができ、高精度な送り制御が可能となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータの駆動により送り対象を送るリニアモータ駆動送り装置であって、
前記送り対象を送るために移動可能に案内され移動方向と平行なマグネット取付け面を形成した非磁性材料からなる可動ベース体と、
該可動ベース体のマグネット取付け面に取付けられたマグネット構成体と、
基台に対して移動可能に案内され前記可動ベース体に対して相対移動可能な支持ベース体と、
該支持ベース体のコイル取付け面に取付けられ前記マグネット構成体に前記可動ベース体の移動方向と直交する方向に対向するコイルと、
前記支持ベース体と前記基台との間に前記支持ベース体の移動方向に作用するように取付けられたバネ要素およびダンパ要素と、を備えたことを特徴とするリニアモータ駆動送り装置。
【請求項２】
請求項１において、前記マグネット構成体は、前記可動ベース体の移動方向に間隔を有して前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の主マグネットと、これら第１および第２の主マグネットの前記可動ベース体の移動方向の両側に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の補助マグネットと、前記第１および第２の主マグネットの間に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第３の補助マグネットとからなり、
前記第１の主マグネットは、前記可動ベース体の移動方向と直角な方向に着磁されて前記コイルに対向され、前記第２の主マグネットは、前記第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつ前記コイルに前記第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、
前記第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、前記第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、前記第１および第２の主マグネットの前記コイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置され、
前記コイルの束は、前記第１および第２の主マグネットの幅よりも大きな幅を有し、前記第１および第２の主マグネットに跨るループ状に形成されたロングコイルによって構成されていることを特徴とするリニアモータ駆動送り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータの駆動により送り対象を送るリニアモータ駆動送り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、リニアモータは、例えば、特許文献１に記載されているように、軌道台（１）上に軌道台の全長に亘って延在するように設けられた矩形板状のコイルヨーク（１５）と、このコイルヨーク上に一列に並べて配設された多数の電機子コイル（１６）とを有する一次側と、軌道台上をスライドするスライドユニット（３）の下面側に固定されたマグネットヨーク（２２）と、このマグネットヨークの下面側に固定され電機子コイルに各々対向する矩形板状の界磁マグネット（２３）とを有する二次側とによって構成されている。
【０００３】
かかる界磁マグネットは、スライドユニットのスライド方向に沿って、ＮおよびＳの磁極が複数、交互に並ぶように着磁されており、電機子コイルに所定の電流を供給することにより、一次側および二次側の両者間にフレミングの左手の法則による推力が生じ、スライドユニットが軌道台上をスライドされるようになっている。
【特許文献１】特開平５−２２７７２９号公報（段落００１７、００２１、図３、４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記リニアモータを利用したリニアモータ駆動送り装置が開発されている。このリニアモータ駆動送り装置は、静圧軸受に支持された基台上に同一構成の主搬送装置と反動相殺用搬送装置が並設された構成となっている。主搬送装置および反動相殺用搬送装置は、リニアモータ、可動シャフトおよび２つの静圧軸受を備えている。可動シャフトはリニアモータのスライドユニットに貫通固定され、可動シャフトの両端が２つの静圧軸受に支持され、リニアモータの軌道台および２つの静圧軸受が基台上に固定されている。これにより、可動シャフトはリニアモータの駆動により軸方向に摺動するが、その摺動方向は主搬送装置と反動相殺用搬送装置とでは逆方向となっている。よって、主搬送装置の加減速により基台に反動力が作用しようとするが反動相殺用搬送装置にも同じ加減速が逆方向に加わるので、基台に作用する反動力が減少し基台の揺動の影響を緩和することができる。このようなリニアモータ駆動送り装置は例えば加工装置に適用されており、送り対象として工作物を加工する工具が取付けられている。
【０００５】
ところが、基台上には略同一の大きさの主搬送装置と反動相殺用搬送装置が並設されているためリニアモータ駆動送り装置が大型化するので、かかる装置の適用が可能な加工装置が制限されることになる。また、工具に作用する切削力等の外乱は、主搬送装置側には電流を誘起するが反動相殺用搬送装置側には電流が誘起されないので、この差が基台を揺動することになり加工精度を悪化させることになる。また、主搬送装置の動作時の推力は反動相殺用搬送装置により相殺されるが、制御ゲイン調整時では全く寄与しないため制御ゲインを高くとることが困難となるおそれがある。
【０００６】
本発明は、基台の揺動を抑制して制御ゲインの高ゲイン化を図ることができる小型のリニアモータ駆動送り装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の構成上の特徴は、リニアモータの駆動により送り対象を送るリニアモータ駆動送り装置であって、前記送り対象を送るために移動可能に案内され移動方向と平行なマグネット取付け面を形成した非磁性材料からなる可動ベース体と、該可動ベース体のマグネット取付け面に取付けられたマグネット構成体と、基台に対して移動可能に案内され前記可動ベース体に対して相対移動可能な支持ベース体と、該支持ベース体のコイル取付け面に取付けられ前記マグネット構成体に前記可動ベース体の移動方向と直交する方向に対向するコイルと、前記支持ベース体と前記基台との間に前記支持ベース体の移動方向に作用するように取付けられたバネ要素およびダンパ要素と、を備えたことである。
【０００８】
請求項２に記載の発明の構成上の特徴は、請求項１において、前記マグネット構成体は、前記可動ベース体の移動方向に間隔を有して前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の主マグネットと、これら第１および第２の主マグネットの前記可動ベース体の移動方向の両側に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の補助マグネットと、前記第１および第２の主マグネットの間に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第３の補助マグネットとからなり、前記第１の主マグネットは、前記可動ベース体の移動方向と直角な方向に着磁されて前記コイルに対向され、前記第２の主マグネットは、前記第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつ前記コイルに前記第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、前記第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、前記第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、前記第１および第２の主マグネットの前記コイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置され、前記コイルの束は、前記第１および第２の主マグネットの幅よりも大きな幅を有し、前記第１および第２の主マグネットに跨るループ状に形成されたロングコイルによって構成されていることである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に係る発明によれば、支持ベース体と基台との間に支持ベース体の移動方向に作用するように取付けられたバネ要素およびダンパ要素が小型の反動相殺振動系を構築しているので、従来のような大型の反動相殺用搬送装置が不要となり、リニアモータ駆動送り装置を小型化することができる。そして、かかる反動相殺振動系の固有振動数はリニアモータの駆動周波数よりも大幅に小さくなるように設計してあるので、基台へ伝達される反動力はリニアモータの推力の数十分の一と極めて小さくなる。リニアモータはヨークレスであるため磁気吸引力による外乱は発生しないが、例え送り対象に外乱が作用してリニアモータに電流が誘起され、リニアモータに変動力が発生したとしても反動相殺振動系により大幅に減衰されるので、基台を揺動させる力を非常に小さく抑えることができ、高精度な送り制御が可能となる。また、制御ゲイン調整時に比較的帯域の広い電流がリニアモータに入力されたとしても、上記反動相殺振動系により比較的高い周波数はカットされるので、基台の揺動を抑えて位置検出手段の微振動を抑えることができ、高ゲイン化を図って高応答が可能となる。
【００１０】
請求項２に係る発明によれば、ロングコイルを備えたリニアモータであるため推力定数は一定になり、反動相殺振動系の作用により基台へ伝達される反動力はリニアモータの推力の数十分の一と極めて小さくなるため、高精度な送り制御が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１（Ａ），（Ｂ）に示す実施形態に係るリニアモータ駆動送り装置１は、リニアモータ１０、２組のバネ要素およびダンパ要素２０、一対のガイドレール３０、２本の可動シャフト２、４つの静圧軸受３、補強シャフト４、ホルダプレート５およびリニアスケール６を備えており、これらが基台７上に設置されている。リニアモータ１０の詳細は後述するが、ヨークレスであってロングコイルのボイスコイルモータである。このリニアモータ１０の支持ベース体１２１は、平行配置された２組のバネ要素およびダンパ要素２０を介して基台７に取付けられていると共に、一対のガイドレール３０上に移動自在に載置されている。
【００１２】
バネ要素およびダンパ要素２０は、スプリングおよび磁気ダンパもしくは油圧ダンパを備えており、各要素２０の作用方向がガイドレール３０上におけるリニアモータ１０の移動方向となるようにリニアモータ１０の支持ベース体１２１の右側端と基台７上に立設された基部７ａとの間に取付けられている。一対のガイドレール３０は、リニアモータ１０の支持ベース体１２１との摺動面が低静摩擦となるように形成されており、リニアモータ１０の移動方向と直交方向の支持ベース体１２１の幅より若干狭い間隔で基台７上に平行に配置固定されている。
【００１３】
２本の可動シャフト２は、シャフト軸方向がリニアモータ１０の移動方向を向くようにしてリニアモータ１０の可動ベース体１１１に平行に貫通固定されている。４つの静圧軸受３は、油静圧もしくは空気静圧の軸受であり、２本の可動シャフト２の各両端を支持可能なように基台７上に配置固定されている。補強シャフト４は、リニアモータ１０の可動ベース体１１１の左側端から延在する２本の可動シャフト２の中間において可動シャフト２と平行に配置され、補強シャフト４の一端が可動ベース体１１１の左側端に固定されている。ホルダプレート５は、２本の可動シャフト２および補強シャフト４の左端面に固定され、送り対象が取付けられる。可動シャフト２、静圧軸受３、補強シャフト４およびホルダプレート５は、高剛性および軽量化のためアルミニウム（アルミニウム合金）で形成されている。リニアスケール６は、可動ベース体１１１の右端面に設けられており、送り対象の基台７に対する相対的な移動位置を検出するようになっている。
【００１４】
図２および図３に示すように、リニアモータ１０は、低密度の非磁性体で中空の直方体状に形成された可動ベース体１１１および低密度の非磁性体で可動ベース体１１１を取り囲むように形成された支持ベース体１２１を有している。可動ベース体１１１は貫通固定された可動シャフト２によって図２の左右方向に移動可能となっており、支持ベース体１２１は可動ベース体１１１に対して図２の左右方向に相対移動可能となっている。なお、非磁性体としては、剛性が必要とされる場合には、アルミニウム（アルミニウム合金）等の金属が、また、剛性がそれほど必要とされない場合には、合成樹脂が好適である。
【００１５】
可動ベース体１１１には、移動方向に平行な４つのマグネット取付け面１１１ａ〜１１１ｄが形成され、各マグネット取付け面１１１ａ〜１１１ｄにマグネット構成体１３ａ〜１３ｄが取付けられている。可動ベース体１１１の周面に配設した各マグネット構成体１３ａ〜１３ｄに対向して、支持ベース体１２１の内面にはコイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄがそれぞれ形成され、各コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄにコイル２３ａ〜２３ｄが取付けられている。コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄに取付けられる各コイル２３ａ〜２３ｄは、相互の干渉を避けるために、熱を加えると軟化して容易に曲げることができる自己融着線にて作成され、図３に示すように、各コイル２３ａ〜２３ｄの周方向の両端部２３ａ１〜２３ｄ１が外方に折り曲げられた状態で、コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄに取付けられる。なお、コイル取付面１２１ａ〜１２１ｄの磁石からの磁束が鎖交する箇所は渦電流防止用の凹部１２１ａａ〜１２１ｄａが形成されている。また、凹部１２１ａａ〜１２１ｄａには、剛性アップのため高剛性の樹脂１２１ａｂ〜１２１ｄｂが充填されている。
【００１６】
各マグネット取付け面１１１ａ〜１１１ｄに取付けられたマグネット構成体１３ａ〜１３ｄおよび各コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄに取付けられたコイル２３ａ〜２３ｄは同一構成であるため、一のマグネット取付け面１１１ａに取付けられたマグネット構成体１３ａおよびコイル取付け面１２１ａに取付けられたコイル２３ａについて詳述する。図４および図５に示すように、マグネット構成体１３ａは、可動ベース体１１１の移動方向に間隔を有してマグネット取付け面１１１ａに貼付けられた第１および第２の主マグネット１５、１６と、これら第１および第２の主マグネット１５、１６の可動ベース体１１１の移動方向の両側に配設されてマグネット取付け面１１１ａに貼付けられた第１および第２の補助マグネット１７、１８と、第１および第２の主マグネット１５、１６の間に配設されてマグネット取付け面１１１ａに貼付けられた第３の補助マグネット１９とによって構成されている。
【００１７】
第１の主マグネット体１５は、可動ベース体１１１の移動方向と直角な方向に着磁され、Ｎ極側をマグネット取付け面１１１ａに貼付けられ、Ｓ極側を後述するコイル２３に対向されている。また、第２の主マグネット体１６は、可動ベース体１１１の移動方向と直角な方向に着磁され、Ｓ極側をマグネット取付け面１１１ａに貼付けられ、Ｎ極側を後述するコイル２３に対向されている。このように、互いに平行な方向に着磁された第１および第２の主マグネット体１５、１６が、磁極を反対にして可動ベース体１１１のマグネット取付け面１１１ａに取付けられている。
【００１８】
第１および第２の主マグネット体１５、１６の両側に配設された第１および第２の補助マグネット１７、１８は、可動ベース体１１１の移動方向にそれぞれ着磁され、その磁極は、第１および第２の主マグネット体１５、１６を通過する磁力と反発する関係に配設されている。すなわち、第１の主マグネット体１５に隣接して配設された第１の補助マグネット１７は、第１の主マグネット体１５に対向する側の磁極が、第１の主マグネット１５のコイル２３に対向する側の磁極（Ｓ極）と同じになるよう配置されている。同様に、第２の主マグネット体１６に隣接して配設された第２の補助マグネット１８は、第２の主マグネット体１６に対向する側の磁極が、第２の主マグネット１６のコイル２３に対向する側の磁極（Ｎ極）と同じになるよう配置されている。
【００１９】
第１および第２の主マグネット体１５、１６の間に配設された第３の補助マグネット１９は、可動ベース体１１１の移動方向にそれぞれ着磁され、第１の主マグネット体１５に対向する側がＳ極に、第２の主マグネット体１６に対向する側がＮ極に配置されている。上記した第１および第２の主マグネット１５、１６、第１、第２および第３の補助マグネット１７、１８、１９からなるマグネット構成体１３、ならびにマグネット構成体１３を取付けた可動ベース体１１１によって、リニアモータの固定側の一次側要素に対して相対移動可能な可動側の二次側要素を構成している。
【００２０】
コイル２３ａは、第１および第２の主マグネット１５、１６に対向してコイル取付け面１２１ａに固着されている。コイル２３ａは、図５の二点鎖線で示すように、第１および第２の主マグネット１５、１６に跨る矩形のループ形状に平角線あるいは丸線を積層状態で巻回したものである。可動ベース体１１１の移動方向におけるコイル２３ａの束の幅ＣＷは、図６に示すように、主マグネット１５（１６）の幅ＭＷより大きく構成され、可動ベース体１１１が所定の移動範囲移動しても、コイル２３ａの束の幅ＣＷ内より主マグネット１５（１６）が可動ベース体１１１の移動方向にはみ出さないように構成されている。すなわち、コイル２３ａは、いわゆるロングコイルで構成され、コイル２３ａの束の幅ＣＷから主マグネット１５（１６）の幅ＭＷを差し引いた量Ｗ１（Ｗ１／２＋Ｗ１／２）は、可動ベース体１１１の移動範囲よりも大きく設定されている。コイル２３ａおよびこれを取付けた支持ベース体１２１によって、リニアモータの固定側の一次側要素を構成している。
【００２１】
次に、リニアモータ１０の動作について図７を参照して一のマグネット取付け面１１１ａに取付けられたマグネット構成体１３ａおよびコイル取付け面１２１ａに取付けられたコイル２３ａに着目して説明する。第１の主マグネット１５、第３の補助マグネット１９および第２の主マグネット１６を通る磁気回路ＭＣが形成され、コイル２３ａに所定の電流を供給すると、フレミングの左手の法則に従って、可動ベース体１１１に推力が発生され、可動ベース体１１１は電流の供給方向に応じて、図７の左右方向に移動される。
【００２２】
この際、第１および第２の主マグネット１５、１６の両側に配設された第１および第２の補助マグネット１７、１８は、主マグネット１５、１６を通る磁力に反発するように配置されているため、第１の主マグネット１５を通過した推力方向と直交する方向の磁力線は、第３の補助マグネット１９のＳ極に向かう推力方向に偏向され、第１の補助マグネット１７によって、第１の主マグネット１５から図７の右方へ漏洩する磁束を防止できる。さらに、第３の補助マグネット１９のＮ極より出た磁力線は、第２の主マグネット１６を通過して、コイル２３ａに向かう推力方向と直交する方向にほとんどが偏向され、第２の補助マグネット１８によって、第２の主マグネット１６から図７の左方へ漏洩する磁束を防止できる。
【００２３】
このため、コイルヨークおよびマグネットヨークをまったく用いずに磁気回路を構成することができ、コイルヨークおよびマグネットヨークに代えて、アルミニウム製あるいは合成樹脂製等の低密度の非磁性材料を用いることができるようになる。従って、可動側となる二次側要素の軽量化を達成でき、応答性を向上できるとともに、高速化を可能にでき、また、固定側となる一次側要素の軽量化も達成できるため、リニアモータ１０全体の軽量化を可能にできる。しかも、コイル２３ａをロングコイルにて構成したので、コイル２３ａに対してマグネット構成体１３ａが相対移動しても、コイル２３ａの主マグネット１５、１６と対向する左右の辺部を横切る磁束をほぼ一定値に維持することができ、コイル２３ａに印加した電流量に対して可動ベース体１１１に発生する推力を略一定に確保できるようになる。また、支持ベース体１２１をアルミニウム合金とし、水冷構成とすれば、冷却性能を向上することもできる。
【００２４】
特に図２および図３に示すように、可動ベース体１１１の周面に複数のマグネット構成体１３ａ〜１３ｄを配設したことにより、可動ベース体１１１の移動方向の長さを大きくすることなく、可動ベース体１１１に作用する推力を増大することができる。しかも、コイルヨークの廃止により、コイルヨークによる磁気吸引力の発生もなくなるため、マグネット構成体１３ａ〜１３ｄを可動ベース体１１１の周りに複数配設しても、可動ベース体１１１に磁気吸引力による悪影響を及ぼさないようにすることができ、可動ベース体１１１の位置精度を向上することができるとともに、コイル２３ａ〜２３ｄの厚みを大きくできることにより、導体抵抗を小さくでき、発熱を抑えることができるようになる。なお、支持ベース体１２１をアルミニウムもしくはアルミニウム合金にて構成する場合には、渦電流の発生を抑えるために、支持ベース体１２１のコイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄにスリット溝（凹部１２１ａａ〜１２１ｄａ）等を形成することが望ましい。
【００２５】
以上のような構成のリニアモータ駆動送り装置１によれば、バネ要素およびダンパ要素２０が小型の反動相殺振動系を構築しているので、従来のような大型の反動相殺用搬送装置が不要となり、リニアモータ駆動送り装置１を小型化することができる。
また、バネ要素およびダンパ要素２０でなる反動相殺振動系の振動周波数はリニアモータ１０の駆動周波数よりも大幅に小さくなるので、数１で表される基台７へ伝達される反動力Ｆはリニアモータ１０の推力Ａの数十分の一と極めて小さくなる。そして、リニアモータ１０は、ロングコイルを備えているため推力定数は一定になる。このため、例え送り対象に外乱が作用してリニアモータ１０に電流が誘起され、リニアモータ１０に変動力が発生したとしても大幅に減衰されるので、基台７を揺動させる力を非常に小さく抑えることができ、高精度な送り制御が可能となる。なお、リニアモータ１０は、ヨークレスであるため磁気吸引力による外乱は発生しない。
【００２６】
（数１）
Ｆ＝√（１＋（２ζω／ωｎ）＾２）／（（１−（ω／ωｎ）＾２）＾２
＋（２ζω／ωｎ）＾２）Ａ
【００２７】
ここで、ζはバネ要素およびダンパ要素２０でなる反動相殺振動系の減衰比、ωはリニアモータ１０の駆動周波数、ωｎ＾２はバネ要素の係数ｋとリニアモータ１０の質量ｍの比（ｋ／ｍ）、２ζωｎはダンパ要素の係数ｃとリニアモータ１０の質量ｍの比（ｃ／ｍ）、Ａはリニアモータ１０の推力である。
【００２８】
また、制御ゲイン調整時に比較的帯域の広い電流がリニアモータ１０に入力されたとしても、バネ要素およびダンパ要素２０でなる反動相殺振動系により比較的高い周波数はカットされるので、基台７の揺動を抑えてリニアスケール６の微振動を抑えることができ、高ゲイン化を図って高応答が可能となる。
【００２９】
このようなリニアモータ駆動送り装置１は図８に示す加工装置に適用することができる。この加工装置４０のベッド４１上には、テーブル４２が水平なＸ軸方向に例えば、油静圧を介して移動可能に案内支持され、テーブル４２上には、リニアモータ駆動送り装置１が固定されている。また、ベッド４１上には、テーブル４２と対向してＺ軸方向に移動自由な主軸送り軸を介して主軸台４４が配置されている。主軸台４４には、工作物Ｗの一端を把持するチャック４５がリニアモータ駆動送り装置１と対向するように設けられている。工作物Ｗは、チャック４５によってＺ軸方向と平行なＣ軸周りに回転駆動されるようになっている。そして、図１に示すリニアモータ駆動送り装置１のホルダプレート５の外側面中央、すなわち補強シャフト４が固定されている面とは反対側の面であって補強シャフト４と対向する位置には、図８に示す切削工具（バイト）４６が工作物Ｗ側にＺ軸と平行なＷ軸方向に突出するように取付けられている。
【００３０】
ここで、図８の平面拡大図に示すように、リニアモータ駆動送り装置１は、２本の可動シャフト２の中心２ａが工作物Ｗの回転中心ＯからＸ軸方向（図示左右方向）に延びる線Ｌ上に位置するように工具台４３に固定されている。これにより、切削工具４６を両側と中央部で支持できるので、動剛性を高めて加工を高精度に行うことができる。
【００３１】
なお、切削工具４６の先端位置は工作物Ｗの回転中心ＯからＸ軸方向（図示左右方向）に延びる線Ｌ上に位置させたままで、２本の可動シャフト２をその中心２ａが線Ｌと直交し、かつ切削工具４６の先端位置を通る垂直線上に位置するように配置しても切削工具４６を上下で支持できるので、切削方向の剛性を高めて加工を高精度に行うこともできる。また、切削工具４６の先端位置は工作物Ｗの回転中心ＯからＸ軸方向（図示右方向）に延びる線Ｌ上に位置させたままで、３本の可動シャフト２の中心２ａが切削工具４６の先端位置を重心位置とした正三角形の頂点に位置するように配置すれば、切削工具４６の切削方向の剛性をさらに高めて加工をさらに高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】（Ａ）および（Ｂ）は本発明の実施形態に係るリニアモータ駆動送り装置の全体を示す上面図および側面図である。
【図２】図１のリニアモータを示す概要図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿って切断した断面図である。
【図４】図２のリニアモータの一部を示す概要図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線に沿って矢視した図である。
【図６】図４のリニアモータのコイルの束の幅を示す図である。
【図７】図４のリニアモータの磁気回路を示す図である。
【図８】図１のリニアモータ駆動送り装置を適用した加工装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…リニアモータ駆動送り装置、２…可動シャフト、３…静圧軸受、４…補強シャフト、５…ホルダプレート、６…リニアスケール、７…基台、１０…リニアアクチュエータ、２０…ダンパ要素、３０…ガイドレール、４０…加工装置、１１１…可動ベース体、１１１ａ〜１１１ｄ…マグネット取付け面、１３ａ〜１３ｄ…マグネット構成体、１５、１６…主マグネット体、１７、１８、１９…補助マグネット、１２１…支持ベース体、１２１ａ〜１２１ｄ…コイル取付け面、２３、２３ａ〜２３ｄ…コイル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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