(57)【要約】【課題】診断実行結果ログを格納した記録媒体或いは診断実行結果ログを印刷した紙を診断の対象となった基板に添付することなく、診断実行結果ログを診断の対象となった基板に添付する。【解決手段】ＩＣテスタは、被試験デバイスとの間で信号の送受信を行うテスタ部１１ａと、テスタ部１１ａを制御する制御部１２とを備える。テスタ部１１ａは、不揮発性メモリ２４ａ〜２６ａを有する基板２４〜２６を備える。制御部１２は、基板２４〜２６について故障の有無を診断する自己診断プログラムを実行し、少なくとも故障が有ると診断された場合に、自己診断プログラムを実行した結果として得られるデータ（診断実行結果ログ）を自己診断の対象とされた基板２４〜２６が備える不揮発性メモリ２４ａ〜２６ａに記憶する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの良否を判定するＩＣテスタであって、
前記ＩＣテスタは、被試験デバイスとの間で信号の送受信を行うテスタ部と、前記テスタ部を制御する制御部とを備え、前記テスタ部は、不揮発性メモリを有する基板を備え、前記制御部は、前記基板について故障の有無を診断する自己診断プログラムを実行し、少なくとも故障が有ると診断された場合に、前記自己診断プログラムを実行した結果として得られるデータを自己診断の対象とされた基板が備える不揮発性メモリに記憶することを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】
前記制御部は、故障が有ると診断された場合及び故障が無いと診断された場合に、前記自己診断プログラムを実行した結果として得られるデータを自己診断の対象とされた基板が備える不揮発性メモリに記憶することを特徴とする請求項１に記載のＩＣテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自己診断機能を備えるＩＣテスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＩＣテスタの装置各部の機能や精度が正常であるか否かを診断する自己診断機能を備えるＩＣテスタが知られている。ＩＣテスタの自己診断は、ＩＣテスタ内の制御部６２が自己診断プログラムを実行することにより開始され、例えば図７（ａ）に示す手順により遂行される。先ず、自己診断は複数の診断項目について行われるため、各診断項目について診断ループが開始される（Ｓ５１）。各診断項目について自己診断を実行し（Ｓ５３）、各診断項目の診断結果を制御部６２内の表示装置に表示する（Ｓ５５）。Ｓ５７において総ての診断項目について診断ループが終了しているか否かを判断する。終了している場合、Ｓ５９に進み、各診断項目の診断結果を纏めたログファイルを制御部６２が備えるハードディスク７１へ保存して、自己診断は終了する。
【特許文献１】特開２００２−１７４６６３号公報
【特許文献２】特開２００３−６６１０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
故障基板を修理するために自己診断の結果として得られるデータ（診断実行結果ログ）を故障基板に添付する場合がある。この場合、制御部内のハードディスクから診断実行結果ログを検索して印刷する作業が必要であり、この作業がユーザに負担となっていた。また、添付すべき診断実行結果ログを間違えるといったユーザの作業ミスが発生してしまうおそれもある。更に、情報管理上の制約から診断実行結果ログを格納した記録媒体或いは診断実行結果ログを印刷した紙を外部へ持ち出すことが困難な場合、診断実行結果ログを故障基板へ添付して外部へ持ち出すことができない。
【０００４】
本発明は上記問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、診断実行結果ログを格納した記録媒体或いは診断実行結果ログを印刷した紙を診断の対象となった基板に添付することなく、診断実行結果ログを診断の対象となった基板に添付することができるＩＣテスタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の特徴は、被試験デバイスの良否を判定するＩＣテスタであって、当該ＩＣテスタが、被試験デバイスとの間で信号の送受信を行うテスタ部と、テスタ部を制御する制御部とを備え、テスタ部が、不揮発性メモリを有する基板を備え、制御部が、基板について故障の有無を診断する自己診断プログラムを実行し、少なくとも故障が有ると診断された場合に、自己診断プログラムを実行した結果として得られるデータを自己診断の対象とされた基板が備える不揮発性メモリに記憶することである。
【０００６】
本発明の特徴によれば、ＩＣテスタ内の基板について故障の有無を自己診断し、診断実行結果ログを診断の対象とされた基板が備える不揮発性メモリに記憶するので、診断実行結果ログを、故障した基板が有する不揮発性メモリから読み出すことができる。
【０００７】
したがって、故障基板を修理するために診断実行結果ログを故障基板に添付する場合に、制御部内のハードディスクから自己診断の結果として得られるデータを検索して印刷する作業が不要となるので、ユーザ負担を軽減することができる。また、情報管理上の制約から診断実行結果ログを格納した記録媒体或いは診断実行結果ログを印刷した紙を外部へ
持ち出すことが困難な場合でも、故障基板に診断実行結果ログを添付して外部に持ち出すことができるようになる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のＩＣテスタによれば、診断実行結果ログを格納した記録媒体或いは診断実行結果ログを印刷した紙を診断の対象となった基板に添付することなく、自己診断の結果を示すデータを診断の対象となった基板に添付することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、図面の記載において同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００１０】
先ず、図１を参照して、本発明の実施の形態に係わるＩＣテスタの構成を説明する。本発明の実施の形態に係わるＩＣテスタは、ＤＵＴ５の良否を判定する装置であって、被試験デバイス５（ＤＵＴ）との間で信号の送受信を行って試験を実行するテスタ部１１と、テスタ部１１を制御する制御部１２とを備える。ＤＵＴ５は、ＩＣやＬＳＩなどの集積回路を含むデバイスである。テスタ部１１は、制御部１２に接続されたテスタ本体１１ａと、テスタ本体１１ａとＤＵＴ５の間に接続されたテストヘッド１１ｂとからなる。制御部１２は、例えば、演算処理機能及びハードディスク２１等の情報記憶機能を有するワークステーション或いはパーソナルコンピュータからなる。
【００１１】
テスタ本体１１ａ及びテストヘッド１１ｂは、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリを搭載した複数の基板をそれぞれ有している。テスタ本体１１ａは、例えば、制御部１２とテスタ本体１１ａとの間で信号の授受を行うためのインターフェースカード２４、パターンプログラムに記述されたアルゴリズムに従い、ＤＵＴ５に入力する試験信号、ＤＵＴ５から出力される信号の期待値を示す期待値信号を発生するためのアルゴリズミックパターン発生回路を搭載したパターン発生カード２５、ピンエレクトロニクスカード２９が判定したＤＵＴ５のフェイル情報を格納するためのフェイルメモリカード２６、及びフェイルメモリカード２６のフェイル情報からＤＵＴ５を救済するためのデータを演算するＤＵＴ救済カード２７等の基板を有している。
【００１２】
一方、テストヘッド１１ｂは、例えば、ＤＵＴ５へ電源電圧を供給するためのプログラマブル電源回路を備えたプログラマブル電源カード２８、ピンエレクトロニクスカード２９、試験信号及び期待値信号を選択してピンエレクトロニクスカード２９に分配する信号分配カード３０、及びテストヘッド１１ｂとテスタ本体１１ａとの間で信号の授受を行うためのインターフェースカード３１等の基板を有している。上記した基板（２８〜３１）のいずれにも不揮発性メモリが搭載されている。
【００１３】
不揮発性メモリには、ファームウェア（CPU program Data）、基板管理情報（Card ID/Revision等）、FPGA Configuration Data等が格納されている。不揮発性メモリのメモリ
領域のうち未使用領域は、図２を参照して説明する自己診断プログラムを実行した結果として得られるデータ（診断実行結果ログ）を格納する領域に割り当てられている。
【００１４】
制御部１２は、ＩＣテスタの装置各部の機能や精度が正常であるか否かを診断する自己診断試験を実行するための自己診断プログラムを例えばハードディスク２１内に記憶している。制御部１２は、自己診断プログラムをハードディスク２１から制御部１２の主記憶領域へロードして、自己診断プログラムの記述に従って各基板について故障の有無を診断する。
【００１５】
次に、図２（ａ）及び図２（ｂ）を参照して図１のＩＣテスタが行う自己診断の手順を
説明する。自己診断は、ＩＣテスタが備える基板（２４〜３１）を特定して基板ごとに行われる。
【００１６】
（イ）ＩＣテスタの自己診断は、ＩＣテスタ内の制御部６２が自己診断プログラムを実行することにより開始される。自己診断プログラムには、複数の診断項目が含まれている。したがって、先ず、Ｓ０１段階において、各基板について診断項目毎に診断ループが開始される。Ｓ０３段階に進み、制御部６２は、自己診断プログラムの記述に従い、各診断項目について自己診断を実行する。そして、Ｓ０５段階において、各診断項目の診断結果を制御部１２内の表示装置に表示する。
【００１７】
（ロ）Ｓ０７段階において、総ての診断項目について診断ループが終了しているか否かを判断する。終了している場合、Ｓ０９段階に進み、自己診断プログラムを実行した結果として得られるデータ（診断実行結果ログ）を制御部６２が備えるハードディスク７１へ保存する。
【００１８】
（ハ）最後に、Ｓ１１段階において、少なくとも故障が有ると診断された基板（２４〜３１）について、診断実行結果ログを自己診断の対象とされた基板（２４〜３１）が備える不揮発性メモリ（２４ａ〜２６ａ）に記憶して、自己診断は終了する。
【００１９】
なお、図２（ｂ）には、一例として、テスタ本体１１ａ内のインターフェースカード２４、パターン発生カード２５、フェイルメモリカード２６、及びこれらの基板２４〜２６のそれぞれに搭載された不揮発性メモリ２４ａ〜２６ａを図示したが、自己診断の対象となる基板には、これだけに限らず、テスタ部１１内の他の基板（２７〜３１）も含まれる。また、基板（２４〜３１）にＣＰＵなどの演算処理部材が搭載されている場合、ＩＣテスタ内の制御部６２の代わりに診断対象となる基板（２４〜３１）のＣＰＵが自己診断プログラムを実行しても構わない。
【００２０】
図３（ａ）は診断実行結果ログの一例としてテストピンから出力される電流のアナログ的診断結果を示し、図３（ｂ）は診断実行結果ログの他の例として機能的診断結果のログデータを示す。
【００２１】
図３（ａ）に示すように、測定値（Meas Value）が下限値（Lo-limit）と上限値（Hi-limit）の範囲内であれば故障無し（Pass）と判断されるが、当該範囲から外れると、故障有り（Fail）と判断される。−６５７．５μＡ及び−５４０．２４９９８μＡは、共に下限値（＝−１．１３８ｍＡ）と上限値（＝−０．８６２ｍＡ）から外れているので、故障有り（Fail）と判断されている。「Contents」は診断結果の概要を示し、「Range」は測
定範囲を示し、「PIN」はDUT５に接続されるピンエレクトロニクスカード２９のピン番号を示し、「DUT」はＤＵＴ５の整理番号と対応するピン内部のチャンネル番号を示し、「Comment」は診断項目の概要を示し、「P No.」はピンが実装されたピンエレクトロニクス
カード２９の位置（スロット番号）を示し、「Serial No.」は基板の製造番号を示す。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように、予め定めた期待値（Exp data）に対して測定値（Meas data
）が一致していれば故障無し（Pass）と判断されるが、相違していると故障有り（Fail）と判断される。期待値（＝０）に対して測定値が１６であり、期待値（＝１６）に対して測定値が０であるため、いずれも故障有り（Fail）と判断されている。
【００２３】
図４を参照して、診断実行結果ログが記録される不揮発性メモリのメモリ領域のフォーマット例を説明する。診断実行結果ログが記録される不揮発性メモリのメモリ領域は、自己診断プログラムを単位として分割されている。各自己診断プログラムについて、例えば図６（ａ）に示すような自己診断プログラム１〜１１を特定するための診断プログラム名
コード３５が１ワードの領域に割り当てられ、診断実行結果ログのデータサイズ３６が１ワードの領域に割り当てられ、図３（ａ）或いは図３（ｂ）に示した複数のログデータ３７ａ、３７ｂ、・・・がそれぞれ２ワードの領域に割り当てられる。ログデータ３７ａ、３７ｂ、・・・は、診断実行の最小単位での診断結果の記録である。なお、１ワードは１６ビットである。
【００２４】
図５（ａ）は図４のログデータの１ワード目のデータフォーマット例を示す。ログデータの１ワード目の「TEST No.」には６ビットの領域が割り当てられ、診断項目を特定する診断項目番号のデータが格納される。「PIN/Channel No.」には残りの１０ビットの領域
が割り当てられ、診断対象のピン番号及びチャネル番号のデータ、例えば、図３（ａ）の「PIN」及び「DUT」に相当するデータが格納される。ピン番号及びチャネル番号は、１枚の基板内において特有の番号であって、診断対象となる基板及び診断項目に応じて定まる番号である。例えば、１枚の基板内のピン番号及びチャネル番号の最大数は３２０である場合、１０ビットのデータ領域にピン番号及びチャネル番号のデータを格納することができる。
【００２５】
図５（ｂ）は図４のログデータの２ワード目のデータフォーマット例を示す。ログデータの２ワード目の「P/F」には２ビットの領域が割り当てられ、図６（ｂ）に示すように
、故障無し（Pass）／故障有り（Fail）のデータ、及び故障有り（Fail）の詳細内容、例えば、下限値を超えている（Low-Fail）／上限値を超えている（Hig-Fail）のデータが格納される。ログデータの２ワード目の「Data」には１４ビットの領域が割り当てられ、図３（ａ）の測定値（Meas Value）のデータが格納される。
【００２６】
次に、測定値のデータの記録形式について説明する。図３（ａ）に示したように、自己診断においてＩＣテスタへ入力される或いはＩＣテスタから出力される電圧又は電流を測定する場合、測定値は実数となるため、測定値を実数のまま図５（ｂ）の「Data」として記録するには不揮発メモリにおいて例えば６４ビットのデータ領域が必要となる。
【００２７】
そこで、データサイズを縮小するために、次のようにして測定値を１４ビットの領域に２の補数形式で格納する。即ち、最下位ビット（ＬＳＢ）を自己診断に使用している測定器の分解能とし、下限値（Lo-limit）と上限値（Hi-limit）の中間値を理想値として、測定値の理想値からズレを１４ビットの領域に２の補数形式で格納する。
【００２８】
図３（ａ）の例において、下限値（＝−１．１３８ｍＡ）と上限値（＝−０．８６２ｍＡ）の中間値は−１．０ｍＡであるので、測定値（−６５７．５μＡ）と理想値（−１．０ｍＡ）とのズレは、＋３４２．５μＡである。測定器の分解能を２５０ｎＡとすると、記録するデータは、１０進数表現で、＋３４２．５μＡ／２５０ｎＡ＝１３７０、２の補数形式では０ｘ５５Ａ（１１ビット）である。
【００２９】
一般的に、半導体メモリを試験するＩＣテスタにおいて、自己診断のリミット幅はＩＣテスタの測定分解能の約５００倍であるという傾向がある。上記例において、自己診断のリミット幅（＝１３８μＡ）は、測定器の分解能（２５０ｎＡ）の５５２倍である。１４ビットの領域において２の補数形式を用いて表現すると、−８１９２〜＋８１９１まで表現できる。よって、自己診断のリミット幅の１４．８（＝８１９２／５５２）倍までの範囲で測定値を表現することができるので、下限値或いは上限値を僅かに超えたために故障有りと判断されたのか、或いは下限値或いは上限値を大幅に超えたために故障有りと判断されたのかを、１４ビットの領域において十分に表現することができる。
【００３０】
次に、不揮発性メモリのメモリ領域のうち診断実行結果ログを格納するために必要なデータ領域について説明する。図５（ａ）に示したように、診断項目（TEST No.）には６ビ
ットを割り当てているので診断項目（TEST No.）の数の最大値は６３である。また、通常のＩＣテスタにおいて、最大のピン数は３２０である。よって、診断実行結果ログを格納するために必要なデータ領域は、最大で、診断プログラム名コード（１ワード）と、データサイズ（１ワード）と、ログデータ（２ワード）に診断項目数（６３）及びピン数（３２０）をそれぞれ乗算した４０,３２０ワードとを足し合わせた４０,３２２ワードである。但し、通常、１つの自己診断プログラムにおける診断項目（TEST No.）の数は２０以下であるので、診断実行結果ログを格納するために必要なデータ領域は、およそ、１３,０
００ワードとなる。
【００３１】
不揮発性メモリのメモリ領域のうち診断実行結果ログを格納するために用意されたデータ容量が３８４Ｋバイト（１２８Ｋ）である場合、およそ１０本の診断実行結果ログを格納することができる。各基板に対して実行される自己診断プログラムの数が最大で７本である場合、７本の診断実行結果ログが形成されるので、これら総ての診断実行結果ログを不揮発性メモリに格納をすることができる。
【００３２】
次に、不揮発性メモリに格納された診断実行結果ログを読み出す場合の手順について説明する。第１のステップにおいて、図４に示す診断プログラム名コード３５から自己診断プログラムを識別する。第２のステップにおいて、データサイズ３６から読み出すべきログデータ３７ａ、３７ｂ、・・・の数を決定する。第３のステップにおいて、ログデータの１ワード目の「TEST No.」に格納されたデータに基づいて、診断項目、診断内容、理想値（中間値）及び測定分解能を、別途作成されたテーブルデータを参照して取得する。また、「PIN/Channel No.」に格納されたデータに基づいて、診断対象のピン番号及びチャ
ネル番号を識別する。
【００３３】
第４のステップにおいて、ログデータの２ワード目の「P/F」に格納されたデータから
、故障無し（Pass）／故障有り（Fail）の情報、故障有り場合の詳細内容、測定値（Meas
Value）の情報を取得する。第５のステップにおいて、第３のステップで取得した理想値及び測定分解能、第４のステップで取得した測定値の情報に基づいて、次式に従って実数形式の測定値を求める。第６のステップにおいて、第２のステップで決定したログデータの数と同じ回数だけ、第３〜第５のステップを繰返し実行する。
【００３４】
実数形式の測定値＝理想値＋第４のステップで取得した測定値×測定分解能
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。
【００３５】
本発明の実施の形態によれば、ＩＣテスタ内の基板（２４〜３１）について故障の有無を自己診断し、診断実行結果ログを診断の対象とされた基板（２４〜３１）が備える不揮発性メモリに記憶するので、診断実行結果ログを、故障した基板が有する不揮発性メモリから読み出すことができる。
【００３６】
したがって、故障基板を修理するために診断実行結果ログを故障基板に添付する場合に、制御部１２内のハードディスク２１から自己診断の結果として得られるデータを検索して印刷する作業が不要となるので、ユーザ負担を軽減することができる。また、情報管理上の制約から診断実行結果ログを格納した記録媒体或いは診断実行結果ログを印刷した紙を外部へ持ち出すことが困難な場合でも、故障基板に診断実行結果ログを添付して外部に持ち出すことができる。
【００３７】
故障が有ると診断された基板の診断実行結果ログだけでなく、故障が無いと診断された基板の診断実行結果ログも、故障基板の修理に役立つ場合があるため、これらの診断実行結果ログを不揮発性メモリに記憶することにより、修理の利便性が向上する。
【００３８】
同様に、同一基板に対して、複数の自己診断プログラムを実行した場合において、故障が有ると診断された自己診断プログラムの診断実行結果ログだけでなく、故障が無いと診断された自己診断プログラムの診断実行結果ログも、故障基板の修理に役立つ場合があるので、これらの診断実行結果ログを不揮発性メモリに記憶することにより、修理の利便性が向上する。
【００３９】
更に、１つの自己診断プログラムにおいて複数の診断項目の診断を実施して複数のログデータ３７ａ、３７ｂ、・・・が形成されている場合、故障が有ると診断されたログデータだけでなく、故障が無いと診断されたログデータも、故障基板の修理に役立つ場合があるため、これらのログデータを不揮発性メモリに記憶することにより、修理の利便性が向上する。
【００４０】
上記のように、本発明は、１つの実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。すなわち、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ限定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態に係わるＩＣテスタの構成を示すブロック図である。
【図２】図２（ａ）は図１のＩＣテスタが行う自己診断の手順を示すフローチャートであり、図２（ｂ）は制御部１２及びテスタ本体１１ａを示す模式図である。
【図３】診断実行結果ログの一例を示す図であり、図３（ａ）はアナログ的診断結果の一例であり、図３（ｂ）は機能的診断結果の一例である。
【図４】診断実行結果ログが記録される不揮発性メモリのメモリ領域のフォーマット例を示す図である。
【図５】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、図４のログデータの１ワード毎のデータフォーマット例を示す図である。
【図６】図６（ａ）は診断プログラム名コードのコード対応表の一例を示す図であり、図６（ｂ）は図５（ｂ）の「P/F」の２ビットの領域に格納されるデータとその意味について示す図である。
【図７】図７（ａ）は従来のＩＣテスタが行う自己診断の手順を示すフローチャートであり、図７（ｂ）は従来のＩＣテスタが備える制御部６２を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４２】
５      被試験デバイス（ＤＵＴ）
１１    テスタ部
１１ａ  テスタ本体
１１ｂ  テストヘッド
１２、６２    制御部
２１、７１    ハードディスク
２４、３１    インターフェースカード
２４ａ〜２６ａ  不揮発性メモリ
２５    パターン発生カード
２６    フェイルメモリカード
２７    ＤＵＴ救済カード
２８    プログラマブル電源カード
２９    ピンエレクトロニクスカード
３０    信号分配カード
３５    診断プログラム名コード
３６    データサイズ
３７ａ、３７ｂ、・・・  ログデータ
【図１】
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【図２】
2010117136.tif 000004
【図３】
2010117136.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010117136.tif 000007
【図６】
2010117136.tif 000008
【図７】
2010117136.tif 000009