(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨剤の保持性能とクッション性に優れ、研磨液を用いた研磨加工に最適な研磨用布帛およびその製法を提供する。【解決手段】ポリアミドからなる第１ポリマー成分と、前記第１ポリマー成分と親和性のない第２ポリマー成分とからなる、分割型の複合繊維に由来する平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘ以下の繊維束を主成分とする繊維構造物からなり、目付１００〜５００ｇ／ｍ2、厚み０．３〜１．０ｍｍ、通気度０．０１〜５．０ｃｃ／ｃｍ2／秒、圧縮比５０〜８０％に設定された研磨用布帛である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分割型の複合繊維に由来する平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘ以下の繊維束を主成分とする繊維構造物からなり、目付１００〜５００ｇ／ｍ2 、厚み０．３〜１．０ｍｍ、通気度０．０１〜５．０ｃｃ／ｃｍ2 ／秒、圧縮比５０〜８０％であることを特徴とする研磨用布帛。
【請求項２】
上記分割型の複合繊維が、芳香族ポリアミドと脂肪族ポリアミドの混合物からなる第１のポリマー成分と、上記第１のポリマー成分と親和性のない繊維形成性ポリマーからなる第２のポリマー成分とを、長手方向に接合してなるものである請求項１記載の研磨用布帛。
【請求項３】
上記第１のポリマー成分が、ポリ（メタキシリレンアジパミド）と６ナイロンの混合物である請求項２記載の研磨用布帛。
【請求項４】
上記第１のポリマー成分におけるポリ（メタキシリレンアジパミド）（ａ）と６ナイロン（ｂ）の混合割合（ａ：ｂ）が、重量基準で３５：６５〜７０：３０である請求項３記載の研磨用布帛。
【請求項５】
上記第２のポリマー成分が、ポリエステル、ポリオレフィンおよびエラストマーの少なくとも一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の研磨用布帛。
【請求項６】
上記繊維構造物が、織物または編物である請求項１〜５のいずれか一項に記載の研磨用布帛。
【請求項７】
上記繊維構造物が、丸編もしくは両面編によって編成された編物である請求項６記載の研磨用布帛。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の研磨用布帛の製法であって、分割後の平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘ以下の繊維束となる分割型の複合繊維を主成分とする繊維構造物を作製する工程と、上記繊維構造物を液流処理装置に装填し、繊維構造物を処理液と接触させながら循環させることにより、複合繊維の分割を行う工程とを備えたことを特徴とする研磨用布帛の製法。
【請求項９】
上記処理液として、６０〜１３０℃の熱水、ｐＨ９〜１４のアルカリ溶液、溶剤のいずれかを用いるようにした請求項８記載の研磨用布帛の製法。
【請求項１０】
上記複合繊維の分割工程の後、１２０〜１５０℃×０．５〜１時間の湿熱処理もしくは１５０〜１９０℃×３０秒〜１分の乾熱処理を行うようにした請求項８または９記載の研磨用布帛の製法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータ等のハードディスクの研磨等に用いられる研磨用布帛およびその製法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、コンピュータ等のハードディスクの製造工程において、ディスクの記憶容量を高めるために、ディスク基板に、同心円状に微細な溝を形成すること（テクスチャリング）が行われている。上記テクスチャリングは、例えば図２に示すように、ディスク基板１を垂直に支受した状態で回転させ、その両面に、矢印Ａ、Ａ′方向に走行するテクスチャテープ２、２′を、押圧ロール３、３′によって矢印Ｂ方向に振動させながら圧接するとともに、この圧接部に、微細な研磨剤が含有された研磨液を供給し、研磨剤をテクスチャテープ２に保持させてディスク基板１に条痕をつけることによって行われる。なお、４、４′は、上記研磨液を供給するためのノズルである。
【０００３】
上記テクスチャテープ２としては、従来から、極細繊維からなる不織布や、不織布に短繊維を植毛した起毛布等が用いられている。また、最近は、さらなる研磨の高精度化への要求に応えるために、上記極細繊維を用いた不織布や織編地に特殊な物性を付与したものが、いくつか提案されている（特許文献１、２等を参照）。
【特許文献１】特開２０００−２３７９５１公報
【特許文献３】特開２００５−３４４２３３公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、上記特許文献１のものは、不織布の吸水特性を特定の範囲に限定したものであるが、その調整のために、不織布の加工条件や使用する加工剤等を充分に吟味して選択しなければならず、煩雑な手間を要するという問題がある。
【０００５】
また、上記特許文献２のものは、従来から合成繊維の艶消し剤として用いられていた酸化チタンを含まないようにして、酸化チタンによるディスクの汚染防止を図ったものであるが、繊維構造等については全く吟味していないため、研磨剤の保持力やディスクに対するクッション性等において、一層の改良が求められている。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、研磨剤の保持性能とクッション性に優れ、研磨液を用いた研磨加工に最適な研磨用布帛およびその製法の提供を、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明は、分割型の複合繊維に由来する平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘ以下の繊維束を主成分とする繊維構造物からなり、目付１００〜５００ｇ／ｍ2 、厚み０．３〜１．０ｍｍ、通気度０．０１〜５．０ｃｃ／ｃｍ2 ／秒、圧縮比５０〜８０％である研磨用布帛を第１の要旨とする。
【０００８】
また、本発明は、そのなかでも、特に、上記分割型の複合繊維が、芳香族ポリアミドと脂肪族ポリアミドの混合物からなる第１のポリマー成分と、上記第１のポリマー成分と親和性のない繊維形成性ポリマーからなる第２のポリマー成分とを、長手方向に接合してなるものである研磨用布帛を第２の要旨とし、上記第１のポリマー成分が、ポリ（メタキシリレンアジパミド）と６ナイロンの混合物である研磨用布帛を第３の要旨とし、上記第１のポリマー成分におけるポリ（メタキシリレンアジパミド）（ａ）と６ナイロン（ｂ）の混合割合（ａ：ｂ）が、重量基準で３５：６５〜７０：３０である研磨用布帛を第４の要旨とする。
【０００９】
さらに、本発明は、それらのなかでも、特に、上記第２のポリマー成分が、ポリエステル、ポリオレフィンおよびエラストマーの少なくとも一つである研磨用布帛を第５の要旨とし、上記繊維構造物が、織物または編物である研磨用布帛を第６の要旨し、上記繊維構造物が、丸編もしくは両面編によって編成された編物である研磨用布帛を第７の要旨とする。
【００１０】
そして、本発明は、上記第１〜第７のいずれかの要旨である研磨用布帛の製法であって、分割後の平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘ以下の繊維束となる分割型の複合繊維を主成分とする繊維構造物を作製する工程と、上記繊維構造物を液流処理装置に装填し、繊維構造物を処理液と接触させながら循環させることにより、複合繊維の分割を行う工程とを備えた研磨用布帛の製法を第８の要旨とする。
【００１１】
また、本発明は、そのなかでも、特に、上記処理液として、６０〜１３０℃の熱水、ｐＨ９〜１４のアルカリ溶液、溶剤のいずれかを用いるようにした研磨用布帛の製法を第９の要旨とし、上記複合繊維の分割工程の後、１２０〜１５０℃×０．５〜１時間の湿熱処理もしくは１５０〜１９０℃×３０秒〜１分の乾熱処理を行うようにした研磨用布帛の製法を第９の要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
すなわち、本発明の研磨用布帛は、分割型の複合繊維に由来する特殊な繊維構造物であって、特定の物性を付与したものであるため、布帛を構成する極細の繊維間に研磨剤が充分に保持されるようになっているとともに、優れたクッション性を備えている。したがって、研磨液を用いた研磨加工において、研磨対象に損傷を与えることなく、高精度で研磨処理を行うことができ、なかでも、ハードディスクのテクスチャリング工程に用いるのに、最適である。
【００１３】
なお、本発明の研磨用布帛のなかでも、特に、上記分割型の複合繊維が、芳香族ポリアミドと脂肪族ポリアミドの混合物からなる第１のポリマー成分と、上記第１のポリマー成分と親和性のない繊維形成性ポリマーからなる第２のポリマー成分とを、長手方向に接合してなるものであるものは、上記第１のポリマー成分の収縮性能によって、とりわけ優れたクッション性と研磨剤保持性能を備え、非常に高精度の研磨仕上がり性を得ることができる。
【００１４】
また、そのなかでも、特に、上記第１のポリマー成分が、ポリ（メタキシリレンアジパミド）と６ナイロンの混合物であるもの、そして、なかでも、上記第１のポリマー成分におけるポリ（メタキシリレンアジパミド）（ａ）と６ナイロン（ｂ）の混合割合（ａ：ｂ）が、重量基準で３５：６５〜７０：３０であるものは、第１のポリマー成分における収縮性能が大きいため、さらに高精度の研磨仕上がり性を得ることができる。
【００１５】
さらに、特に、上記第２のポリマー成分が、ポリエステル、ポリオレフィンおよびエラストマーの少なくとも一つであるものは、上記第１ポリマー成分との組合せによって、収縮差の大きい優れた物性の分割繊維を得ることができ、高品質の研磨用布帛となる。
【００１６】
また、特に、上記繊維構造物が、織物または編物であるもの、そして、なかでも、上記繊維構造物が、丸編もしくは両面編によって編成された編物であるものは、分割型複合繊維の収縮特性によって、あたかも毛羽があるかのような凹凸が、布帛表面に規則的に形成されるため、とりわけ高品質のものとなる。
【００１７】
そして、本発明の研磨用布帛の製法によれば、上記高品質の研磨用布帛を、効率よく製造することができる。
【００１８】
また、特に、上記処理液として、６０〜１３０℃の熱水、ｐＨ９〜１４のアルカリ溶液、溶剤のいずれかを用いるようにした製法によれば、本発明に用いる分割型複合繊維の分割と収縮を効果的に行うことができ、好適である。
【００１９】
さらに、特に、上記複合繊維の分割工程の後、１２０〜１５０℃×０．５〜１時間の湿熱処理もしくは１５０〜１９０℃×３０秒〜１分の乾熱処理を行うようにした製法によれば、得られる研磨用布帛の高いクッション性を、熱セットによって効果的に固定することができ、好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
つぎに、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２１】
本発明の研磨用布帛は、まず、分割型の複合繊維に由来する平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘ以下の繊維束を主成分とする繊維構造物である。なお、「主成分とする」とは、繊維構造物の全てが、上記繊維束で構成されている場合も含む趣旨である。
【００２２】
上記分割型の複合繊維とは、一般に、２種類以上の繊維形成性ポリマーが、長手方向に接合された状態で、単繊維として紡出された繊維をいい、この複合繊維を分割（分割フィブリル化すること、一般に「割繊」ともいう）によって、極細の繊維束を得ることができる。本発明では、この繊維束の平均単糸繊度が、すでに述べたように、０．９ｄｔｅｘ以下でなければならない。すなわち、上記平均単糸繊度が０．９ｄｔｅｘを超えると、得られる繊維構造物の柔軟性、クッション性が悪くなり、また研磨剤の保持性能も低下するため、研磨用布帛として用いるのに不適である。なお、より柔軟性、緻密性を求める場合は、上記平均単糸繊度が０．５ｄｔｅｘ以下であることが好ましく、さらには、０．３ｄｔｅｘ以下である。
【００２３】
上記分割の方法としては、複合繊維を構成する片方の成分を、溶解や分解によって除去する方法や、溶剤であるベンジルアルコール等の乳化水溶液によって片方の成分を膨潤させたり収縮させるか、あるいは加熱によって変形、収縮を生起させることにより、互いに分割させる方法等があげられる。また、複数成分を、摩擦や打撃によって物理的に分割することもできる。なお、これらの分割は、通常、上記複合繊維を織成、編成する等して布帛にしたのち行われる。
【００２４】
このような分割に用いられる処理液としては、上記ベンジルアルコール等の他、例えば６０〜１３０℃の熱水、ｐＨ９〜１４の水酸化ナトリウム溶液等のアルカリ溶液等があげられ、なかでも、ベンジルアルコールを用いることが好適である。
【００２５】
なお、上記ベンジルアルコールを用いる場合の好適条件は、以下のとおりである。
〔浸漬法による場合〕
ベンジルアルコール濃度：１〜１０重量％、なかでも３〜８重量％が特に好適。
処理温度：４０〜１３０℃、なかでも８０〜１１０℃が特に好適。
処理時間：５〜６０分、なかでも５〜３０分が特に好適。
〔連続法による場合〕
ベンジルアルコール濃度：１０〜４０重量％、なかでも２０〜３５重量％が特に好適。
処理温度：１０〜５０℃、なかでも２５〜３５℃が特に好適。
処理時間：２〜６０分、なかでも５〜２０分が特に好適。
【００２６】
そして、上記分割処理は、一般には、複合繊維からなる布帛を、上記処理液を貯留する処理槽内に浸漬する浸漬法か、繰り返しその液中を通過させるパディング法によって行われるが、浸漬法では、処理液と繊維との接触が不充分となって繊維の収縮・分割が不均一になりやすい。また、上記パディング方法は連続処理のため、経方向の収縮が不充分となりやすい。そこで、本発明では、繊維構造物を、経方向にも緯方向にも自由な状態で処理液と接触させて、繊維に大きな収縮を与えることができるように、液流処理装置を用いて分割を行うことが、好適である。この方法によれば、大きな収縮差のある複合繊維の分割であっても、繊維全体を均一かつ緻密に分割することができるのみならず、繊維の損傷や処理液の残留問題等が生じないという利点を有する。
【００２７】
なお、上記液流処理においてベンジルアルコールを用いる場合の好適条件は、以下のとおりである。
〔液流処理法による場合〕
ベンジルアルコール濃度：４〜８重量％。
処理温度：９０〜１００℃。
処理時間：５〜１０分。
【００２８】
上記分割前の複合繊維の断面形状は、第１のポリマー成分と、この第１のポリマー成分と親和性のない第２のポリマー成分とが、通常、円形断面となる単一繊維の横断面において、一方の形状が他方の形状を補完する形状になっている。具体的には、例えば図１（ａ）に示すような、サイドバイサイド型のものや、同図（ｂ）に示すような、サイドバイサイド繰り返し型、同図（ｃ）、（ｄ）に示すような、1 成分が他成分の中に放射状に配置されたもの、同図（ｅ）に示すような、中空で２成分が環状に交互に並んだもの等があげられる。
【００２９】
なかでも、図１（ｃ）、（ｄ）の放射状分割型複合繊維や、同図（ｅ）の中空環状放射状分割型の複合繊維が好適である。
【００３０】
このような複合繊維のポリマー成分としては、従来から用いられているどのようなものであってもよいが、一方のポリマー成分としてポリアミドを用い、他方のポリマー成分として、ポリエステル、ポリオレフィン、エラストマー等とを組み合わせることが、クッション性、通気度、研磨剤保持性能の点で、好適である。
【００３１】
上記ポリアミドとしては、脂肪族ポリアミドである、４ナイロン、６ナイロン、６６ナイロン、６１０ナイロン、１２ナイロン、６１２ナイロン、あるいはこれらを成分とする共重合ナイロン等や、ポリ（メタキシリレンアジパミド）（以下「ナイロンＭＸＤ６」という）、コポリパラフェニレン−３，４′−オキシジフェニレンテレフタラミド、ポリパラフェニレンテレフタラミド（ＰＰＴＡ）等の芳香族ポリアミドがあげられる。
【００３２】
なかでも、芳香族ポリアミドと脂肪族ポリアミドとを組み合わせて用いると、ポリアミド成分の収縮性を高めることができ、特に、ナイロンＭＸＤ６と６ナイロンとを組み合わせて用いると、繊維に大きな収縮性能を与えることができ、収縮しない方のポリマー成分からなる繊維が繊維構造物表面に毛羽のようにきめ細かく突出した構造になる。したがって、分割後の繊維構造物が緻密性、嵩高性に富むだけでなく、その表面が、あたかも毛羽を有しているかのような凹凸面となるため、優れたクッション性および研磨剤保持性能を得ることができ好適である。
【００３３】
上記ナイロンＭＸＤ６と６ナイロンとを組み合わせて用いる場合、ナイロンＭＸＤ６（ａ）と６ナイロン（ｂ）の混合割合（ａ：ｂ）を、重量基準で３５：６５〜７０：３０であることが好ましく、なかでも、４５：５５〜５５：４５であることが特に好ましい。上記の割合で混合されたポリマー成分からなる繊維は、とりわけ収縮性能が大きいため、分割処理後の繊維構造物が、さらに緻密性、嵩高性に富んだものとなる。
【００３４】
また、他方のポリマー成分として用いることのできるポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンオキシベンゾエート、ポリ１，４−ジメチルシクロヘキサンテレフタレート、あるいはこれらを主成分とするコポリエステル等があげられ、なかでも、ポリエチレンテレフタレートが、ポリアミドとの収縮差から分割しやすく、好適である。そして、ポリオレフィンとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、あるいはそれらを主成分とするコポリオレフィン等があげられる。さらに、エラストマーとしては、ポリウレタンエラストマー、ポリエステルエラストマー等があげられる。
【００３５】
上記複合繊維の紡糸方法、延撚方法については、特に限定するものではなく、例えば、コンベンショナル方式での紡糸後に延撚や、紡糸直接延伸法等を適宜選択して用いることができる。また、延伸方法も、特に限定するものではなく、一段延伸や多段延伸等を適宜選択して用いることができる。
【００３６】
本発明の研磨用布帛に用いられる繊維構造物は、上記分割型の複合繊維を用いてなる布帛を、すでに述べたような方法によって分割して得られるもので、上記布帛としては、織物、編物、不織布のいずれであっても差し支えない。なかでも、丸編もしくは両面編によって編成された編物であることが、分割後の繊維束の嵩高さや布帛面の凹凸状態が研磨用布帛として優れたものとなり、好適である。また、織物である場合には、平織、朱子織、斜文織等の織組織とすることが、効果の上で好適である。
【００３７】
なお、上記繊維構造物を作製する場合、上記分割型の複合繊維（分割後の繊維束の平均単糸繊度０．９ｄｔｅｘ以下）を１００％用いてもよいし、他の繊維を混繊した糸や合撚糸を用いてもよい。また、他の繊維からなる糸を用いて交編したり交織したりすることもできる。ただし、上記分割型の複合繊維以外の繊維を用いる場合は、その繊維が、繊維構造物を構成する繊維全体の３０％以下となるようにすることが好ましい。すなわち、他の繊維の含有割合が３０％を超えると、上記分割型の複合繊維を用いることによる優れた効果が充分に発揮されないおそれがあり、好ましくない。
【００３８】
そして、上記繊維構造物の複合繊維を、前述のように分割し、洗浄、乾燥後、適宜の仕上げ処理を行うことにより、本発明の研磨用布帛を得ることができる。
【００３９】
なお、上記分割処理後、繊維構造物に対して熱処理を行うことが好ましい。上記熱処理によって繊維をさらに収縮させることにより、全体に均一な嵩高性、緻密性を付与し、より均一な厚みにすることができる。
【００４０】
上記熱処理の条件は、繊維の種類や繊維構造物の形態に応じて適宜に設定されるが、例えば、１２０〜１５０℃×０．５〜１時間程度の湿熱処理や、１５０〜１９０℃×３０秒〜１分程度の乾熱処理があげられる。ただし、上記熱処理は、分割後の繊維構造物に対し引き続き染色処理を行う場合、その染色処理と同時に行ってもよい。すなわち、染色のための熱処理によって、繊維を収縮させることができるからである。
【００４１】
このようにして得られる、本発明の研磨用布帛は、目付１００〜５００ｇ／ｍ2 、厚み０．３〜１．０ｍｍ、通気度０．０１〜５．０ｃｃ／ｃｍ2 ／秒、圧縮比５０〜８０％、という特定の物性を備えたものでなければならない。
【００４２】
なお、上記通気度は、フラジール試験装置を用い、ＪＩＳ  Ｌ  １０９６にしたがって測定される値で、値が大きければ大きいほど、通気性が高いことを示すものである。また、圧縮比は、下記の式（１）によって算出される値で、大きければ大きいほど、クッション性が高いことを示すものである。
〔圧縮比〕
【００４３】
【数１】
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【００４４】
すなわち、上記目付が１００ｇ／ｍ2 より小さい場合、あるいは厚みが０．３ｍｍより薄い場合は、布帛にボリュームがなさすぎて、研磨液および研磨剤を充分に保持することができず、研磨加工に時間がかかり効率が悪くなる。また、逆に、目付が５００ｇ／ｍ2 より大きい場合、あるいは厚みが１．０ｍｍを超える場合は、布帛にボリュームがありすぎて、過剰に研磨液および研磨剤を保持するため、効果はそれ以上上がらないにもかかわらず、コストが高くなる。
【００４５】
さらに、上記通気度が０．０１ｃｃ／ｃｍ2 ／秒未満の場合も、研磨剤保持量が不充分となり、研磨効率が低下する。また、上記通気度が５．０ｃｃ／ｃｍ2 ／秒を超えると、研磨剤保持量は多くなるものの、布帛内での研磨剤の流動性が高くなるため、研磨剤スラリーの接触圧が低下し、効率が低下する。
【００４６】
そして、上記圧縮比が上記範囲を外れると、クッション性が研磨加工に適正な範囲でなくなるため、やはり適正な研磨加工が困難になる。
【００４７】
また、本発明の研磨用布帛は、保水率が１００〜３５０％であることが好ましい。すなわち、保水率が１００％未満では、研磨剤スラリーの保持量が少なくなり、研磨効率が低下するおそれがあり、逆に、３５０％を超えると、研磨剤スラリーの保持量が多くなって研磨剤スラリーの流動性が高くなりすぎて、やはり研磨効率が低下するおそれがある。
【００４８】
上記物性を実現するために、本発明では、前記繊維構造物を得る際、その複合繊維のポリマー材料、繊度、繊維の分割条件、布帛にする際の編成条件や製織条件等を、きめ細かく調整する必要がある。
【００４９】
また、本発明の研磨用布帛に用いられる繊維構造物には、湿式ウレタン含浸処理あるいは乾式ウレタン含浸処理を施すことができる。そして、必要に応じて、起毛あるいはサンディング加工を施してもよい。さらに、必要に応じて、ウレタン含浸と起毛、サンディング加工とを組み合わせて施してもよい。
【００５０】
このようにして得られる本発明の研磨用布帛は、分割型の複合繊維に由来する特殊な繊維構造物であって、上記のような、特定の物性を付与したものであるため、布帛を構成する極細の繊維間に研磨剤が充分に保持されるようになっているとともに、優れたクッション性を備えている。したがって、研磨液を用いた研磨加工において、研磨対象に損傷を与えることなく、高精度で研磨処理を行うことができ、なかでも、メモリーハードディスクのテクスチャリング等に用いるのに、最適である。
【００５１】
なお、本発明の研磨用布帛を、ハードディスクのテクスチャリング工程等に用いるテクスチャテープとする場合は、上記研磨用布帛を、通常３〜１００ｍｍ幅に切断して長尺テープとすることによって、得ることができる。得られたテクスチャテープを用い、例えば平均粒度０．１〜０．５μｍの研磨剤を含有する研磨液を供給しながら研磨を行うことにより、ガラス製ディスクに対してもアルミニウム製ディスクに対しても、高精度で微細な溝加工を行うことができる。
【００５２】
上記テクスチャリング工程において、用いる研磨剤は、ダイアモンド、アルミナ、炭化珪素、ジルコニア、酸化チタン等が好適に用いられる。そして、その平均粒径は、０．０５〜０．３μｍ程度のものが好適に用いられる。平均粒径が上記の範囲を外れると、本発明の研磨用布帛と組み合わせて用いても、優れた効果を得ることができないおそれがあるからである。
【００５３】
また、本発明の研磨用布帛を切断してテクスチャテープを得る場合、その切断は、レーザ照射装置や高周波ウェルダ等を用いて行うことが、繊維の切断部のほつれを生じず、好適である。
【００５４】
そして、本発明の研磨用布帛を、上記のように切断して長尺状のテクスチャテープとして用いる場合、布帛の伸縮性が大きいと切断しにくくなるため、布帛の引張伸度（ＪＩＳ  Ｌ  １０９６Ａ法による）が５０〜３５０％となるように設定することが好適である。
【００５５】
また、本発明の研磨用布帛は、上記テクスチャテープ以外に、各種半導体部品や電気電子部品、金型、精密機械部品等の研磨加工に用いることができる。さらに、研磨加工に限らず、洗浄液をかけながら洗浄を行う自動車の洗浄等にも応用することができる。
【実施例】
【００５６】
つぎに、本発明の実施例と比較例について説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００５７】
〔実施例１〕
二酸化チタン等の無機粒子（白色顔料）を含まない、相対粘度２．７のナイロンＭＸＤ６（三菱ガス化学社製、ポリアミドナイロンＭＸＤ６）と相対粘度２．６の６ナイロンを、重量比５０：５０で混合したポリアミド樹脂組成物をＡ成分とした。また、極限粘度０．６１のポリエチレンテレフタレートをＢ成分とした。そして、Ａ成分：Ｂ成分の容積比率が（Ａ：Ｂ）を１：２の割合として、紡糸温度２９５℃、紡糸速度１０５０ｍ／分で、断面が略図１（ｄ）に示す形状（Ａ成分が放射状部を構成）の複合繊維を溶融複合紡糸した。そして、得られた未延伸糸を、ローラヒータ８５℃、プレートヒータ１５０℃、延伸倍率３．０倍で延伸し、５６ｄｔｅｘ／２４ｆの分割型複合繊維を得た。
【００５８】
上記分割型複合繊維を用いて、丸編機を用いて４０ゲージで丸編し、筒状の編地を得た。これを、浴比１：２０でベンジルアルコールを投入した液流染色装置を用いて、９５℃で３０分間液流処理することにより、分割、収縮処理を行った。そして、１９０℃×１分の熱セットを行うことにより、目的とする研磨用布帛を得た。
【００５９】
〔比較例１〕
相対粘度２．６の６ナイロンを樹脂組成物のＡ成分とし、極限粘度０．６１のポリエチレンテレフタレートをＢ成分とした。そして、Ａ成分とＢ成分の容積比率（Ａ：Ｂ）が１：２となるようにして、紡糸温度２９５℃、紡糸速度１０５０ｍ／分で、断面が略図１（ｄ）に示す形状（Ａ成分が放射状部を構成）の複合繊維を溶融紡糸した。
【００６０】
そして、得られた未延伸糸を、ローラヒータ８５℃、プレートヒータ１５０℃、延伸倍率３．０倍で延伸し、５６ｄｔｅｘ／２４ｆの分割型複合繊維を得た。                      
【００６１】
上記分割型複合繊維を用いて、丸編機を用いて４０ゲージで丸編し、筒状の編地を得た。これにベンジルアルコールの２５％乳化液を付与し、６分間エアエングの後、洗浄剤溶液で９０℃にて３分間洗浄後、さらに湯洗いを９０℃にて１分間行い、乾燥することにより、分割、収縮処理を行った。そして、１９０℃×１分間の熱セットを行うことにより、研磨用布帛を得た。
【００６２】
得られた布帛を、クリーンルーム内にて、超純水を用いて洗浄し、乾燥した後、所望の大きさに切断し、超純水にて２回洗浄して乾燥し、クリーンルーム用のワイピングクロスを得た。
【００６３】
〔比較例２〕
相対粘度２．６の６ナイロンを樹脂組成物のＡ成分とし、極限粘度０．６１のポリエチレンテレフタレートをＢ成分とした。そして、Ａ成分とＢ成分の容積比率（Ａ：Ｂ）が１：２となるようにして、紡糸温度２９５℃、紡糸速度１０５０ｍ／分で、断面が略図１（ｄ）に示す形状（Ａ成分が放射状部を構成）の複合繊維を溶融紡糸した。
【００６４】
そして、得られた未延伸糸を、ローラヒータ８５℃、プレートヒータ１５０℃、延伸倍率３．０倍で延伸し、４４ｄｔｅｘ／２４ｆの分割型複合繊維を得た。
【００６５】
上記分割型複合繊維を用いて、丸編機を用いて４０ゲージで丸編し、筒状の編地を得た。これを、浴比１：２０でベンジルアルコールを投入した液流染色装置を用いて、９５℃で３０分間液流処理することにより、分割、収縮処理を行った。そして、１９０℃×１分の熱セットを行うことにより、研磨用布帛を得た。
【００６６】
得られた布帛を、クリーンルーム内にて、超純水を用いて洗浄し、乾燥した後、所望の大きさに切断し、超純水にて２回洗浄して乾燥し、クリーンルーム用のワイピングクロスを得た。
【００６７】
〔実施例２〜７、比較例３〜８〕
後記の表２〜表４に示すように、布帛の目付，厚み、通気度、圧縮特性が変化するよう、編立条件を変えた。それ以外は、前記実施例１と同様にして、目的とする研磨用布帛を得た。
【００６８】
〔実施例８〕
実施例１の複合繊維において、Ｂ成分として、相対粘度１．５５のポリプロピレンを用いた。それ以外は、実施例１と同様にして、目的とする研磨用布帛を得た。
【００６９】
〔実施例９〕
実施例１と同様にして、Ｂ成分としてポリウレタンエラストマーを用いた。それ以外は、実施例１と同様にして、目的とする研磨用布帛を得た。
【００７０】
〔実施例１０〕
二酸化チタン等の無機粒子（白色顔料）を含まない、相対粘度２．７のナイロンＭＸＤ６（三菱ガス化学社製、ポリアミドナイロンＭＸＤ６）と相対粘度２．６の６ナイロンを、重量比５０：５０で混合したポリアミド樹脂組成物をＡ成分とした。また、極限粘度０．６１のポリエチレンテレフタレートをＢ成分とした。そして、Ａ成分：Ｂ成分の容積比率が（Ａ：Ｂ）を１：２の割合として、紡糸温度２９５℃、紡糸速度１０５０ｍ／分で、断面が略図１（ｄ）に示す形状（Ａ成分が放射状部を構成）の複合繊維を溶融複合紡糸した。そして、得られた未延伸糸を、ローラヒータ８５℃、プレートヒータ１５０℃、延伸倍率３．０倍で延伸し、５６ｄｔｅｘ／２４ｆの分割型複合繊維を得た。
【００７１】
経糸にレギュラーポリエステル８０ｄｔｅｘ／３６ｄｔｅｘ、密度１４３本／２．５４ｃｍ、緯糸に上記分割型複合繊維、密度１４０本／２．５４ｃｍを用い、一般的な織機により平織物を得た。これに、１９０℃×１分の熱セットを行った後、連続精練機により、水酸化ナトリウムと精練助剤とを用いて精練・減量（減量率：４．３重量％）を行った。そして、浴比１：２０でベンジルアルコールを投入した液流染色装置を用いて、９５℃で１０分間液流処理することにより、分割・収縮処理を行った。これに、１９０℃×１分の熱セットを行った後、目的とする研磨用布帛を得た。
【００７２】
これらの実施例品、比較例品について、後記の表１〜表５に示す諸項目について測定もしくは評価を行い、その結果を、表１〜表５にまとめて示した。なお、上記諸項目のうち、吸水性、保水性、引張強度、引張伸度、表面特性、圧縮特性、圧縮比、拭き取り率、研磨剤保持性能の各項目については、下記の方法にしたがって測定もしくは評価した。
【００７３】
〔吸水性〕
ＪＩＳ−Ｌ１９０７−２００４  ａ）滴下法に準じて測定した。すなわち、まず、研磨用布帛から大きさ約２００ｍｍ×２００ｍｍの試験片を５枚採取し、試験片を試験片保持枠に取り付け、試験片の表面からビュレットの先端までが１０ｍｍの高さになるよう調整した。そして、ビュレットから水滴を１滴滴下し、その水滴が試験片の表面に達したときからその水滴が（試験片に吸収されて）特別な反射をしなくなるまでの時間を、ストップウォッチを用いて０．５秒まで測定した。試験結果は、その５回の平均値で示す。
【００７４】
〔保水性〕
ＪＩＳ−Ｌ１９０６−２に準じて測定した。すなわち、まず、研磨用布帛から大きさ約１００ｍｍ×１００ｍｍの試験片を３枚採取し、その質量を１ｍｇまで測定した。そして、室温：２０℃、湿度：６５％の条件下で、蒸留水を入れた容器に試験片を３０分間浸漬した。浸漬後、試験片を水中から取り出し、２分間水を滴り落とし、質量を１ｍｇまで測定した。そして、以下の式（２）により、保水率（％）を算出し、その３回の平均値で示す。
【００７５】
【数２】
2010077547.tif 000004
【００７６】
〔引張強度、引張伸度〕
ＪＩＳ  Ｌ  １０９６Ａ法にしたがって測定した。ただし、引張強度は、５０ｍｍ当たりの値である。
【００７７】
〔表面特性〕
カトーテック社製の風合試験装置（ＫＥＦ−Ｆ）を用いて、下記の値を測定した。
（１）平均摩擦係数（ＭＩＵ）：値が大きいほど滑りにくい。
（２）摩擦係数の変動（ＭＭＤ）：値が大きいほど滑らかさの度合いが低い。
（３）表面凹凸の変動（ＳＭＤ）：値が大きいほど表面の凹凸が大きい。
【００７８】
〔圧縮特性〕
カトーテック社製の風合試験装置（ＫＥＦ−Ｆ）を用いて、下記の値を測定した。
（１）圧縮特性の直線性（ＬＣ）：値が１に近いほど圧縮剛い。
（２）圧縮仕事量（ＷＣ）：値が大きいほど圧縮されやすい。
（３）圧縮レジリエンス（ＲＣ）：値が１００に近いほど回復性が良い。
（４）Ｔｏ：圧力４９ｋＰａ（＝０．５ｋｇｆ／ｃｍ2 ）をかけたときの布帛の厚みを測定した。
（５）Ｔｍ：最大圧力４９×１０2 ｋＰａ（＝５０ｋｇｆ／ｃｍ2 ）をかけたときの布帛の厚みを測定した。
【００７９】
〔拭き取り率〕
７ｃｍ×１０ｃｍの長方形状のガラス板に、その中央に開口が形成された型紙を利用して、２ｃｍ×４ｃｍの長方形状に口紅を塗布した。また、断面が円弧状に突出した弾性ゴムヘッドに研磨用布帛を沿わせて取り付け、その取り付け先端部を、上記ガラス板表面の一端側から他端側に向かって１回だけ滑らせて、塗布された口紅を拭き取った。なお、この拭き取り動作は、所定の治具を用いて行い、ガラス板表面にかかる力および拭き取り面積が必ず同一になるようにした。
【００８０】
そして、ガラス板に塗布された口紅の塗布量（ＬＳｏ）と、上記拭き取り動作後、ガラス板上に残った口紅の残存量（ＬＳｍ）を測定し、下記の式（３）にもとづいて、拭き取り率（％）を算出した。
【００８１】
【数３】
2010077547.tif 000005
【００８２】
〔研磨剤保持性能〕
（１）理論保持質量
前記圧縮特性を調べたときの測定値ＴｏとＴｍを用い、この厚みの差分が、研磨剤スラリーを吸収可能な理論保持質量（ｍｇ）であるとして、下記の式（４）によって算出した。
【００８３】
【数４】
2010077547.tif 000006
【００８４】
（２）実測保持質量
まず、研磨用布帛から大きさ約１００ｍｍ×１００ｍｍの試験片を３枚採取し、その質量を１ｍｇまで測定した。そして、ダイアモンドスラリー（粒子径：０．２５μｍ、サイズ：０〜０．５μｍ）中に２秒間浸漬後、２９．４ｋＰａ（＝３ｋｇｆ／ｃｍ2 ）の圧力にてニップ後、直ちにその質量を１ｍｇまで測定した。測定値から、下記の式（５）にもとづいて、研磨剤の実測保持質量（ｍｇ）を算出し、その３回の平均値で示す。
【００８５】
【数５】
2010077547.tif 000007
【００８６】
【表１】
2010077547.tif 000008
【００８７】
【表２】
2010077547.tif 000009
【００８８】
【表３】
2010077547.tif 000010
【００８９】
【表４】
2010077547.tif 000011
【００９０】
【表５】
2010077547.tif 000012
【００９１】
上記の結果から、本発明の実施例品は、比較例品に比べて、優れた拭き取り性能と研磨剤保持性能を備えていることがわかる。また、収縮比で表される布帛のクッション性も高いことがわかる。これに対し、比較例品は、いずれも、これらの性能が劣っていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】（ａ）〜（ｅ）は、いずれも本発明に用いることのできる分割型複合繊維の断面形状の例を示している。
【図２】研磨用布帛を用いたテクスチャリングの説明図である。
【図１】
2010077547.tif 000013
【図２】
2010077547.tif 000014