(57)【要約】【課題】静電気が複数回加わった場合においても保護を図ることができるだけでなく、静電気が加わった際に生じた電極くずの飛散が生じ難く、静電気による放電を誘発する電極構造を容易にかつ高精度に形成することが可能な弾性波装置を提供する。【解決手段】圧電基板２上において、入力端子電極３と出力端子電極４との間に、ＩＤＴ電極を含む弾性波素子部が構成されており、入力端子電極３及び出力端子電極４の内の少なくとも一方の端子電極と、グラウンド電極２５または２６との間に、放電誘導電極２２〜２４が接続されており、放電誘導電極２２が、第１の電極本体２８及び第２の電極本体２９の少なくとも一方から相手方に向って延びる放電誘導突出部２８ａ，２９ａを有し、それによって複数の放電誘導部が第１，第２の電極本体２８，２９間において形成されており、隣り合う放電誘導部間に浮き電極３０が設けられている、弾性波装置１。【選択図】図１
2010068345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された入力端子電極及び出力端子電極と、
前記圧電基板上に形成されており、かつグラウンド電位に接続されるグラウンド電極と、
前記圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極を有し、かつ前記入力端子電極及び前記出力端子電極間に接続されている弾性波素子部と、
前記圧電基板上に形成されており、前記入力端子電極及び出力端子電極の内の少なくとも一方の端子電極と、前記グラウンド電極との間に接続されており、放電を誘導するための放電誘導電極とを備え、該放電誘導電極が、前記入力端子電極または出力端子電極に接続された第１の電極本体と、前記グラウンド電極に電気的に接続された第２の電極本体とを有し、前記ＩＤＴ電極を含む前記弾性波素子部の電極パターン内に存在し、異なる電位に接続される部分間のギャップの内最も狭いギャップＧ２よりも狭いギャップＧ１を有する複数の放電誘導部を形成するように、前記第１の電極本体及び第２の電極本体の少なくとも一方から前記第２及び第１の電極本体に向って延びる複数の放電誘導突出部が設けられており、
隣り合う前記放電誘導部間に設けられた浮き電極をさらに備える、弾性波装置。
【請求項２】
隣り合う放電誘導部間に、複数の浮き電極が設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記放電誘導突出部と該放電誘導突出部に最も近い前記浮き電極との間隔及び隣り合う浮き電極間の間隔の内の少なくとも一方が、前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる周期をＰとしたときに、０．２Ｐ〜２Ｐの範囲にある、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記放電誘導突出部と該放電誘導突出部に最も近い前記浮き電極との間隔及び前記隣り合う浮き電極間の間隔の内の少なくとも一方が、前記ＩＤＴ電極の電極指間の間隔とほぼ同じとされている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記放電誘導突出部が矩形の平面形状を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記放電誘導突出部の幅が、前記ＩＤＴ電極の電極指の幅よりも小さい、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記放電誘導突出部が、三角形の平面形状を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記放電誘導突出部の膜厚が、前記浮き電極の膜厚よりも厚い、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記放電誘導部を覆うように設けられた保護膜をさらに備える、請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記複数の放電誘導突出部において、少なくとも１つのギャップＧ１の値が、残りのギャップＧ１と異なっている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波や弾性境界波などを利用した弾性波装置に関し、より詳細には、静電気などが加わった際に、電極破壊を防止するための放電誘導部が設けられている弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機のＲＦ段などにおいては、弾性表面波フィルタ装置が帯域フィルタに用いられている。特許文献１には、この種の弾性表面波フィルタ装置の一例が開示されている。
【０００３】
図６は、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置１００１を示す略図的回路図である。
【０００４】
弾性表面波フィルタ装置１００１では、圧電基板１００２上に、図６に略図的に示されている電極構造が形成されている。圧電基板１００２上において、入力端子１００３と出力端子１００４との間に延びる直列腕において、複数の直列腕共振子１００５〜１００７が互いに直列に接続されている。直列腕共振子１００５〜１００７は、いずれも、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の両側に設けられた第１，第２の反射器とを有する１ポート型の弾性表面波共振子である。
【０００５】
また、直列腕共振子１００５，１００６間の接続点とグラウンド電位との間に並列腕共振子１００８が接続されており、直列腕共振子１００６，１００７間の接続点とグラウンド電位との間に並列腕共振子１００９が接続されている。並列腕共振子１００８，１００９も、同様に、１ポート型弾性波共振子により形成されている。
【０００６】
弾性表面波フィルタ装置１００１では、静電気からの保護を図るために、入力端子１００３とグラウンド電位との間に放電誘発パターン１０１０が接続されている。同様に、出力端子１００４とグラウンド電位との間にも、放電誘導パターン１０１１が接続されている。
【０００７】
放電誘導パターン１０１０，１０１１は、それぞれ、ギャップＧ１を隔てて対向している複数の放電誘発部を有する。放電誘発パターン１０１０を例にとると、放電誘発パターン１０１０は、入力端子１００３に接続されている複数の三角形形状の突出部１０１２と、グラウンド電位に接続されている複数の三角形形状の突出部１０１３とを有する。突出部１０１２の先端と、突出部１０１３の先端とが、ギャップＧ１を隔てて対向されている。特許文献１では、上記放電誘発部におけるギャップＧ１は弾性表面波共振子のＩＤＴ電極における異なる電位に接続される電極指間のギャップＧ２よりも小さくされている。
【０００８】
突出部１０１２及び突出部１０１３からなる放電誘発部は複数組形成されている。従って、静電気が複数回加わった場合でも、複数の放電誘発部により静電気からの保護を図ることができるとされている。
【特許文献１】特開２００５−１９１７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
弾性表面波フィルタ装置１００１では、複数の放電誘発部を有する放電誘発パターン１０１０，１０１１を設けることにより、静電気からの保護が図られていた。
【００１０】
しかしながら、突出部１０１２，１０１３からなる１つの放電誘発部と、隣りに位置する放電誘発部との間の間隔Ｄ２は、ＩＤＴ電極における電極指間間隔Ｄ１の１０倍以上にする必要があった。しかしながら、ＩＤＴ電極を形成するための最適な加工条件で上記放電誘発パターン１０１０，１０１１を形成した場合、所望とする放電誘発パターンを形成することができないことがあった。例えば、フォトリソグラフィ−リフトオフ法により放電誘発パターン１０１０，１０１１を形成する場合、フォトレジストの幅が大きくなりすぎ、エッチングに適したオーバーハング形状を得ることができなかった。そのため、放電誘発パターン１０１０，１０１１を高精度に形成することができず、ギャップＧ１を高精度に設定することが困難であった。
【００１１】
また、放電誘発パターン１０１０，１０１１において、１または複数の放電誘発部が静電気の放電により破壊された場合、生じた電極くずが、隣接する放電誘発部のギャップＧ１やその周辺に付着し、それによって、所望でない短絡が起こることもあった。また、上記電極くずが、隣り合う弾性表面波共振子の電極構造に付着するおそれもあった。電極くすが、他の放電誘発部やＩＤＴ電極などに付着すると、弾性表面波フィルタ装置１００１の電気的特性が劣化する。
【００１２】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、静電気が複数回にわたり加わった場合でも、確実に静電気からの保護を図ることができ、しかも静電気からの保護を図るための電極部分を容易にかつ高精度に形成することができ、静電気が加わったとしても、電極くずの付着等が生じ難い、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された入力端子電極及び出力端子電極と、前記圧電基板上に形成されており、かつグラウンド電位に接続されるグラウンド電極と、前記圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極を有し、かつ前記入力端子電極及び前記出力端子電極間に接続されている弾性波素子部と、前記圧電基板上に形成されており、前記入力端子電極及び出力端子電極の内の少なくとも一方の端子電極と、前記グラウンド電極との間に接続されており、放電を誘導するための放電誘導電極とを備え、該放電誘導電極が、前記入力端子電極または出力端子電極に接続された第１の電極本体と、前記グラウンド電極に電気的に接続された第２の電極本体とを有し、前記ＩＤＴ電極を含む前記弾性波素子部の電極パターン内に存在し、異なる電位に接続される部分間のギャップの内最も狭いギャップＧ２よりも狭いギャップＧ１を有する複数の放電誘導部を形成するように、前記第１の電極本体及び第２の電極本体の少なくとも一方から前記第２及び第１の電極本体に向って延びる複数の放電誘導突出部が設けられており、隣り合う前記放電誘導部間に設けられた浮き電極をさらに備える、弾性波装置が提供される。
【００１４】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、隣り合う放電誘導部間に複数の浮き電極が設けられており、その場合には、静電気からの保護を図るための電極部分、すなわちギャップＧ１を容易にかつ高精度に形成することができ、静電気が加わったとしても電極くずの付着等が生じ難い弾性波装置を提供することができる。
【００１５】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面によれば、記放電誘導突出部と該放電誘導突出部に最も近い前記浮き電極との間隔及び隣り合う浮き電極間の間隔の内の少なくとも一方が、前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる周期をＰとしたときに、０．２Ｐ〜２Ｐの範囲内とされる。この場合には、静電気からの保護を図るための電極部分、すなわちギャップＧ１を容易にかつ高精度に形成することができ、静電気が加わったとしても電極くずの付着等が生じ難い弾性波装置を提供することができる。
【００１６】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面によれば、前記放電誘導突出部と該放電誘導突出部に最も近い前記浮き電極との間隔及び前記隣り合う浮き電極間の間隔の内の少なくとも一方が、前記ＩＤＴ電極の電極指間の間隔とほぼ同じとされている。この場合には、静電気からの保護を図るための電極部分、すなわちギャップＧ１を容易にかつ高精度に形成することができ、静電気が加わったとしても電極くずの付着等が生じ難い弾性波装置を提供することができる。
【００１７】
本発明に係る弾性波装置において、放電誘導突出部の平面形状は特に限定されないが、矩形状であることが好ましい。その場合には、放電誘導突出部の形成が容易となる。また、放電誘導部間の間隔を容易に拡げることができ、静電気が加わった場合に、放電誘導部において、より一層確実に放電を生じさせることができる。
【００１８】
上記矩形形状の放電誘導突出部の場合、その幅は、ＩＤＴ電極の電極指の幅よりも細いことが望ましい。それによって、放電誘導部におけるギャップを挟んだ両側の部分間の浮遊容量を小さくすることができる。
【００１９】
なお、放電誘導突出部は、三角形の平面形状を有していてもよい。その場合には、先端が尖っているため、より一層確実に放電誘導突出部間において放電を誘発させることができる。
【００２０】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記放電誘導突出部の膜厚が、前記浮き電極の膜厚よりも厚くされている。この場合には、静電気による放電が誘発されたとしても、放電誘導突出部における電極の強度が高められているため、電極くずが生じ難い。
【００２１】
また、本発明に係る弾性波装置のさらに別の局面では、前記放電誘導部を覆うように設けられた保護膜がさらに備えられる。この場合には、静電気による放電が誘発されたとしても、保護膜により、放電誘導部が覆われているので、電極くずが飛散し難い。
【００２２】
また、本発明に係る弾性波装置のさらに別の局面では、前記複数の放電誘導突出部において、少なくとも１つのギャップＧ１の値が、残りのギャップＧ１と異なっている。この場合には、複数回の静電気が加わったとしても、静電気放電をギャップの小さい側から順に誘発することができる。この結果、一度の静電気放電で複数のギャップが同時に破壊されることを防止でき、静電気対策の信頼性をより一層高めることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る弾性波装置では、隣り合う放電誘導部間に浮き電極が設けられているので、放電誘導突出部が放電により破壊されたとしても、浮き電極が壁となり、電極くずが隣りの放電誘導部側に付着し難い。また、浮き電極が隣り合う放電誘導部間に設けられているので、放電誘導突出部と浮き電極との間隔が狭められることにより、ＩＤＴ電極の電極指間ピッチに近づけられる。それによって、ＩＤＴ電極の形成に適切な加工精度で上記放電誘導部を形成した場合、放電誘導部を高精度に形成することが可能となる。
【００２４】
よって、本発明によれば、静電気が複数回加わった場合であっても、複数の放電誘導部により確実に静電気からの保護を図ることができるだけでなく、該放電誘導部を容易にかつ高精度に形成することができ、さらに放電により生じた電極くずの他の電極部分への付着が生じ難い、信頼性に優れた弾性波装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２６】
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る弾性波装置の略図的回路図及びその要部を示す模式的平面図であり、図２は、本実施形態の弾性波装置の略図的平面図である。
【００２７】
図２に示すように、弾性波装置１は、圧電基板２上に、図示の電極構造を形成することにより構成されている。
【００２８】
圧電基板２は、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３または水晶などの圧電単結晶、あるいは圧電セラミックスからなる。また、圧電基板２は、絶縁基板上に圧電膜を形成した構造を有してもいてもよい。
【００２９】
上記圧電基板２上に形成されている電極構造による回路構成が、図１（ａ）に示されている。
【００３０】
本実施形態では、入力端子電極３と、第１，第２の出力端子電極４，５とを有し、平衡−不平衡変換機能を有する弾性波フィルタ装置が構成されている。入力端子電極３に１ポート型弾性波共振子６，７を介して３ＩＤＴ型の第１，第２の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部１２，１３が接続されている。また、第１の弾性波フィルタ部１２と第１の出力端子４との間に１ポート型弾性波共振子８，９が接続されている。同様に、第２の弾性波フィルタ部１３と、第２の出力端子５との間に、１ポート型弾性波共振子１０，１１が接続されている。
【００３１】
図４（ａ）に示すように、１ポート型弾性波共振子６は、ＩＤＴ電極１４と、ＩＤＴ電極の両側に設けられた一対の反射器１５，１６とを有する。他の弾性波共振子７〜１１も同様の構造を有する。なお、本実施形態では、弾性波として、弾性表面波が用いられている。従って、弾性波共振子６〜１１は、弾性表面波共振子である。
【００３２】
図２では、弾性波共振子６〜１１の電極構造の図示を容易とするために、ＩＤＴ電極及び一対の反射器を有する部分が一点鎖線で示されたブロックで略図的に示されている。実際には、前述した通り、各弾性波共振子６〜１１は、ＩＤＴ電極１４と、ＩＤＴ電極の両側に配置された反射器１５，１６とを有する。
【００３３】
他方、第１，第２の弾性波フィルタ部１２，１３は、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタである。従って、図４（ｂ）に模式的に示すように、弾性表面波伝搬方向に配置された第１〜第３のＩＤＴ１７ａ〜１７ｃと、ＩＤＴ１７ａ〜１７ｃが設けられている領域の表面波伝搬方向両側に配置された反射器１８ａ，１８ｂとを有する。
【００３４】
図２では、第１，第２の弾性波フィルタ部１２，１３における各ＩＤＴが設けられている部分及び各反射器が設けられている部分をそれぞれ一点鎖線で示すブロックに分けて略図的に図示している。また、図１（ａ）では、３個のＩＤＴのみを矩形のブロックで略図的に示し、両側の反射器については図示を省略している。
【００３５】
図１（ａ）及び図２から明らかなように、第１の弾性波フィルタ部１２では、中央の第２のＩＤＴの一端が弾性波共振子７に接続されており、他端がグラウンド電位に接続されている。また、第１，第３のＩＤＴの各一端が弾性波共振子８に接続され、各他端が共通接続され、グラウンド電位に接続されている。同様に、第２の弾性波フィルタ部１３においても、中央の第２のＩＤＴの一端が弾性波共振子７に接続されており、他端がグラウンド電位に接続されている。両側の第１，第３のＩＤＴの各一端が弾性波共振子１０に接続され、各他端が共通接続され、グラウンド電位に接続されている。
【００３６】
図２に示すように、入力端子電極３及び第１，第２の出力端子電極４，５は、略矩形の平面形状を有する。そして、この入力端子電極３及び第１，第２の出力端子電極４，５が、図示の配線パターン２１により、上記弾性波共振子６〜１１及び縦結合共振子型の弾性波フィルタ部１２，１３に電気的に接続されている。
【００３７】
弾性波装置１では、静電気からの保護を図るため、第１〜第３の放電誘導電極２２〜２４が形成されている。第１の放電誘導電極２２は、一端が入力端子電極３に、他端がグラウンド電位に接続されている。また、第２，第３の放電誘導電極２３，２４の一端が、それぞれ、第１，第２の出力端子電極４，５に接続されており、各他端がグラウンド電位に接続されている。より具体的には、図２に示すように、圧電基板２上には、グラウンド電極２５，２６が形成されており、放電誘導電極２２〜２４は、グラウンド電極２５またはグラウンド電極２６に電気的に接続されている。
【００３８】
上記第１〜第３の放電誘導電極２２〜２４の構造を、放電誘導電極２２を代表して説明する。
【００３９】
図１（ｂ）は、放電誘導電極２２を拡大して示す模式的平面図である。図１（ｂ）に示すように、放電誘導電極２２は、第１の電極本体２８と、第２の電極本体２９とを有する。第１の電極本体２８が、入力端子電極３に接続され、第２の電極本体２９がグラウンド電極２５に電気的に接続される。第１，第２の電極本体２８，２９は、対向されており、対向部分において、第１の電極本体２８から第２の電極本体２９側に向って延びる複数の放電誘導突出部２８ａが形成されている。同様に、第２の電極本体２９から第１の電極本体２８側に向って突出するように、複数の第２の放電誘導突出部２９ａが形成されている。本実施形態では、放電誘導突出部２８ａ，２９ａの平面形状は、いずれも三角形である。
【００４０】
放電誘導突出部２８ａの先端と、放電誘導突出部２９ａの先端とがギャップＧ１を介して対向している。このギャップＧ１は、圧電基板上に形成されている弾性波素子部の電極パターン内に存在しており、かつ異なる電位に接続される部分間のギャップの内最も狭いギャップＧ２よりも小さくされている。このギャップＧ２とは、例えば、図４（ａ）に示す弾性波共振子のＩＤＴ電極１４における異なる電位に接続される電極指間のギャップＧ２であってもよく、図４（ｂ）に示す３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性波フィルタのＩＤＴ電極１７ａ〜１７ｃにおける隣り合う電極指間のギャップであってもよい。すなわち、弾性波素子部は、弾性波共振子だけでなく、弾性波フィルタをも含む。また、圧電基板上に形成される弾性波共振子や弾性波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極の電極指間のギャップに限らず、異なる電位に接続される部分間のギャップの内最も狭いギャップが、ギャップＧ２となる。すなわち、ギャップＧ２は、隣り合う電極指間のギャップに限定されるものではない。
【００４１】
本実施形態では、ギャップＧ１が、上記ギャップＧ２よりも小さくされているため、静電気が加わった場合、相対的に狭いギャップであるギャップＧ１において、放電が生じる。
【００４２】
また、放電誘導電極２２では、１つの放電誘導突出部２８ａと、１つの放電誘導突出部２９ａとが対向していることにより形成されている放電誘導部が複数設けられている。よって、静電気が加わり、１つまたは幾つかの放電誘導部において放電が生じ、放電誘導突出部２８ａまたは放電誘導突出部２９ａが破壊したとしても、残りの放電誘導部において、次回加わる静電気に対する保護を図ることができる。従って、静電気が複数回加わったとしても、弾性波装置１を静電気から確実に保護することができる。
【００４３】
さらに、隣り合う放電誘導部間に、浮き電極３０が設けられている。浮き電極３０は、本実施形態では、細長い矩形、すなわちストリップ状の形状を有し、その長さ方向が放電誘導突出部２８ａ，２９ａを結ぶ方向とされている。従って、放電誘導突出部２８ａまたは放電誘導突出部２９ａが放電により破壊し、電極くずが発生したとしても、浮き電極３０が壁となり、電極くずの周囲への飛散を抑制する。従って、隣接する放電誘導部に電極くずが付着することを抑制することができる。
【００４４】
上記浮き電極３０は、電極くずの周囲への飛散を抑制するために設けられているものであるため、浮き電極３０の大きさの如何にかかわらず、浮き電極３０を設けない場合に比べ、上記電極くずの飛散を抑制することができる。従って、浮き電極３０の寸法は特に限定されるものではない。
【００４５】
もっとも、好ましくは、最も近い浮き電極３０と、放電誘導突出部２８ａ，２９ａとの間の間隔Ａ及び隣り合う浮き電極３０，３０間の間隔Ｂの内少なくとも一方の間隔が、複数ある弾性波フィルタ部及び弾性波共振子の電極指間の間隔と略同等であることが望ましい。その場合には、ＩＤＴ電極の形成に適した加工精度でフォトリソグラフィー法によりＩＤＴ電極等を形成した場合、上記放電誘導電極２２も高精度に形成することができる。
【００４６】
上記のように、間隔Ａ及び間隔Ｂの少なくとも一方がＩＤＴ電極の電極指間の間隔とほぼ等しいことが望ましいが、ＩＤＴ電極の電極指の周期をＰとしたときに、０．２Ｐ〜２Ｐ程度であれば、放電誘導電極２２を高精度に形成することができる。
【００４７】
また、上記実施形態では、１つの放電誘導突出部２８ａと、１つの放電誘導突出部２９ａとが対向していることにより形成されている放電誘導部が複数設けられており、この複数の放電誘導部において、ギャップＧ１が全て等しくされていた。しかしながら、図１（ｂ）に破線膳Ｚ１，Ｚ２で示すように少なくとも１つの放電誘導部におけるギャップＧ１を、残りの放電誘導部のギャップＧ１と異ならせてもよい。その場合には、静電気が加わった際の放電を、狭いギャップＧ１から順に誘発させることができる。それによって、１度の静電気の放電により２つのギャップが同時に破壊されることを防止することができる。
【００４８】
上記ＩＤＴ電極、配線パターン及び放電誘導部を形成する電極材料については特に限定されず、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、Ａｕなどの様々な金属あるいはこれらの金属を主体とする合金を用いることができる。また、ＩＤＴ電極、配線パターン及び前記放電誘導部等は、複数の金属膜を積層した積層金属膜により形成されていてもよい。
【００４９】
好ましくは、上記放電誘導突出部２８ａ，２９ａの膜厚は、浮き電極３０の膜厚よりも厚くされ、それによって、静電気が加わった際の電極くずの発生を抑制することができる。
【００５０】
本実施形態では、圧電基板２上に、図２に示す電極構造が形成されているが、これらの電極構造を覆うように、図３に示すように、保護膜２０が積層されている。すなわち、上記放電誘導電極２２〜２４を覆うように、保護膜２０が形成されている。この保護膜２０が形成されているため、静電気が加わり、電極くずが発生したとしても、電極くずの周囲への飛散を防止することができる。
【００５１】
保護膜２０を構成する材料については、特に限定されず、合成樹脂や無機絶縁材料などの適宜の絶縁性材料を挙げることができる。合成樹脂としては、例えば、ポリイミドやシリコーン樹脂またはエポキシ樹脂などを挙げることができ、無機絶縁材料しては、ＳｉＯ２、ＳｉＮなどを例示することができる。
【００５２】
本実施形態では、放電誘導突出部２８ａ，２９ａは、三角形の平面形状を有するため、先端が尖っている。そのため、静電気が加わった場合、放電誘導突出部の先端に静電気が集中しやすいため、放電誘導突出部２８ａ，２９ａ間において、静電気を確実に放電させることができる。
【００５３】
もっとも、本発明において、上記放電誘導突出部の平面形状は三角形に限らず、図５に示す変形例のように、矩形形状であってもよい。図５に示す変形例では、第１の放電誘導電極２２の変形例が示されており、ここでは、第１の電極本体２８及び第２の電極本体２９が対向している部分において、矩形のストリップ状の第１，第２の放電誘導突出部２８ｂ，２９ｂが形成されている。放電誘導突出部２８ｂ，２９ｂの平面形状が矩形であるため、フォトリソグラフィー法などにより容易にかつ高精度に形成することができる。また、隣り合う放電誘導部間の間隔を拡げることができるので、隣り合う放電誘導部間の浮遊容量を小さくすることができる。
【００５４】
好ましくは、ストリップ状の放電誘導突出部２８ｂ，２９ｂの幅は、ＩＤＴ電極の電極指の幅よりも細くされ、それによって、隣り合う放電誘導突出部２８ｂ，２９ｂ間の浮遊容量を小さくすることができる。
【００５５】
上記本実施形態では、第１の電極本体２８側に、複数の第１の放電誘導突出部２８ａが設けられており、第２の電極本体２９側に、複数の放電誘導突出部２９ａが設けられていたが、いずれか一方にのみ放電誘導突出部が設けられていてもよい。例えば、第１の電極本体２８側にのみ、放電誘導突出部２８ａが設けられていてもよく、第２の電極本体２９側にのみ、放電誘導突出部２９ａが設けられていてもよい。もっとも、好ましくは、本実施形態のように、第１，第２の電極本体２８，２９の双方が、相手方に向って延びる放電誘導突出部２８ａ，２９ａを有することが望ましい。それによって、第１，第２の放電誘導突出部２８ａ，２９ａ間において、静電気が加わった際の放電をより確実に誘発することができる。
【００５６】
なお、上述した実施形態では、弾性表面波を利用した弾性表面波装置につき説明したが、本発明は、弾性境界波を利用した弾性境界波装置にも適用することができる。
【００５７】
また、圧電基板上に形成される電極構造についても、図１（ａ）及び図２に示した構造に限定されず、様々なフィルタ装置や共振装置に本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る弾性波装置の回路構成を示す回路図及び本実施形態で構成されている第１の放電誘導電極を説明するための模式的部分拡大平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る弾性波装置の要部を示す部分切欠正面断面図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態で圧電基板上に構成されている１ポート型弾性波共振子及び弾性波フィルタ部の電極構造をそれぞれ模式的に示す平面図である。
【図５】放電誘導電極の変形例を説明するための模式的平面図である。
【図６】従来の弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…弾性波装置
２…圧電基板
３…入力端子電極
４，５…出力端子電極
６〜１１…弾性波共振子
１２，１３…弾性波フィルタ部
１４…ＩＤＴ電極
１５，１６…反射器
１７ａ〜１７ｃ…ＩＤＴ
１８ａ，１８ｂ…反射器
２０…保護膜
２１…配線パターン
２２〜２４…放電誘導電極
２５，２６…グラウンド電極
２８，２９…電極本体
２８ａ，２８ｂ，２９ａ，２９ｂ…放電誘導突出部
３０…電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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