(57)【要約】【課題】可視光領域の広帯域にわたって波長依存性が無く、優れた偏光度と透過率を両立するワイヤグリッド偏光板を提供すること。【解決手段】本発明のワイヤグリッド偏光板は、特定方向に延在する格子状凸部１ａを有し、前記特定方向に垂直な断面における前記格子状凸部１ａ間の凹部１ｂの形状が略放物線形状である凹凸格子を持つ樹脂基材１と、前記格子状凸部１ａ上に被覆された誘電体層２と、前記誘電体層２上に設けられた金属ワイヤ３と、を具備し、前記金属ワイヤ３が前記誘電体層２で被覆された格子状凸部１ａの頂部より少なくとも上方に存在し、前記断面において前記金属ワイヤ３の頂部を通り、前記金属ワイヤ３の立設方向に沿う金属ワイヤ軸Ａと、前記断面において前記格子状凸部１ａの頂部を通り、前記格子状凸部１ａの立設方向に沿う格子状凸部軸Ｂとがずれていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定方向に延在する格子状凸部を有し、特定方向に垂直な断面における格子状凸部間の凹部の形状が略放物線形状である凹凸格子を持つ樹脂基材と、格子状凸部上に被覆された誘電体層と、誘電体層上に設けられた金属ワイヤと、を具備し、金属ワイヤが誘電体被覆格子状凸部の頂部より少なくとも上方に存在し、特定方向に垂直な断面において金属ワイヤの頂部を通り金属ワイヤの立設方向に沿う金属ワイヤ軸と、誘電体被覆格子状凸部の頂部を通り誘電体被覆格子状凸部の立設方向に沿う格子状凸部軸と、がずれていることを特徴とするワイヤグリッド偏光板。
【請求項２】
金属ワイヤが誘電体被覆格子状凸部の一方の側面上方にかけて形成されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項３】
金属ワイヤ軸と格子状凸部軸との間のずれ量ＤがワイヤピッチＰの０．３倍以下であることを特徴とする請求項１記載又は請求項２記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項４】
誘電体被覆格子状凸部の底部から３分の２の高さにおける幅ＷＨが、底部から３分の１の高さにおける誘電体被覆格子状凸部の幅ＷＬの０．３倍〜０．９倍であり、底部から２分の１の高さにおける幅ＷＭがワイヤピッチＰの０．１倍〜０．５倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２がワイヤピッチＰの０．５倍〜１．５倍であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項５】
誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅ｔがワイヤピッチＰの０．３倍〜０．７倍で、金属ワイヤの幅がほぼｔを最大値として底部と頂部の端部に向かって減少する形状あり、金属ワイヤの底部から頂部までの高さＨ３が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．８倍〜1倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．５倍〜０．９倍であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項６】
ワイヤピッチＰが８０ｎｍ〜３００ｎｍであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項７】
波長がワイヤピッチＰの３倍〜２０００ｎｍの光に対し、偏光度９５以上、透過率３５％以上の偏光性能を有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項８】
前記誘電体層を構成する誘電体が酸化ケイ素又は窒化ケイ素であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項９】
前記金属ワイヤが、アルミニウム又は銀もしくはそれらの合金で構成されていることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項１０】
横断面視において、金属ワイヤ面側への垂直方向から金属ワイヤが形成されていない側へ入射角を４５°ずらしたＰ波透過率Ｔｐが８０％以上であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【請求項１１】
Ｓ波透過率Ｔｓが０．５％以下であることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれかに記載のワイヤグリッド偏光板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤグリッド偏光板に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のフォトリソグラフィー技術の発達により、光の波長レベルのピッチを有する微細構造パターンを形成することができるようになってきた。このように非常に狭いピッチのパターンを有する部材や製品は、半導体分野だけでなく、光学分野において利用範囲が広く有用である。
【０００３】
例えば、基板上に金属などの導電体線が特定のピッチで格子状に配列したワイヤグリッドは、そのピッチが入射光（例えば、可視光の波長４００ｎｍから８００ｎｍ）に比べてかなり小さい場合（例えば、２分の１以下）であれば、導電体線に対して平行に振動する電場ベクトル成分をほとんど反射し、垂直な電場ベクトル成分をほとんど透過させるため、単一偏光を作り出すワイヤグリッド偏光板として使用できる。このようなワイヤグリッド偏光板は、透過しない光を反射して再利用することができるので、光の有効利用の観点からも望ましいものである。
【０００４】
近年、小さなピッチの微細凹凸格子を有するワイヤグリッド偏光子が開発されている（特許文献１）。このワイヤグリッド偏光子は、図５に示すように、ガラス基板１０１の格子状凸部１０１ａ上に、誘電体膜１０２を介して導電素子１０３が形成された構成となっている。このワイヤグリッド偏光子は、ガラス基板１０１の基台部Ｘの屈折率よりも、格子状凸部１０１ａと誘電体膜１０２とを合わせた厚さの領域Ｙの屈折率が低く設定されている。このような構成にすることにより、光の透過、反射特性が急激に変化する共鳴現象の起きる共鳴ポイントを短波長側へシフトさせ、透過と反射の効率を高くすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２００３−５０２７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したワイヤグリッド偏光子は、ガラス基板１０１の格子状凸部１０１ａの頂部上に導電素子１０３が設けられており、このような構成においては、可視光領域において光の波長により透過率が変化する、すなわち透過率の波長依存性があるという問題がある。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、可視光領域の広帯域にわたって波長依存性が無く、優れた偏光度と透過率を両立するワイヤグリッド偏光板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のワイヤグリッド偏光板は、特定方向に延在する格子状凸部を有し、特定方向に垂直な断面における格子状凸部間の凹部の形状が略放物線形状である凹凸格子を持つ樹脂基材と、格子状凸部上に被覆された誘電体層と、誘電体層上に設けられた金属ワイヤと、を具備し、金属ワイヤが誘電体被覆格子状凸部の頂部より少なくとも上方に存在し、特定方向に垂直な断面において金属ワイヤの頂部を通り金属ワイヤの立設方向に沿う金属ワイヤ軸と、誘電体被覆格子状凸部の頂部を通り誘電体被覆格子状凸部の立設方向に沿う格子状凸部軸と、がずれていることを特徴とする。
【０００９】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、金属ワイヤが誘電体被覆格子状凸部の一方の側面上方にかけて形成されていることが好ましい。
【００１０】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、金属ワイヤ軸と格子状凸部軸との間のずれ量ＤがワイヤピッチＰの０．３倍以下であることが好ましい。
【００１１】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、誘電体被覆格子状凸部の底部から３分の２の高さにおける幅ＷＨが、底部から３分の１の高さにおける誘電体被覆格子状凸部の幅ＷＬの０．３倍〜０．９倍であり、底部から２分の１の高さにおける幅ＷＭがワイヤピッチＰの０．１倍〜０．５倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２がワイヤピッチＰの０．５倍〜１．５倍であることが好ましい。
【００１２】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅ｔがワイヤピッチＰの０．３倍〜０．７倍で、金属ワイヤの幅がほぼｔを最大値として底部と頂部の端部に向かって減少する形状あり、金属ワイヤの底部から頂部までの高さＨ３が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．８倍〜1倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．５倍〜０．９倍であることが好ましい。
【００１３】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、ワイヤピッチＰが８０ｎｍ〜３００ｎｍであることが好ましい。
【００１４】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、波長がワイヤピッチＰの３倍〜２０００ｎｍの光に対し、偏光度９５以上、透過率３５％以上の偏光性能を有することが好ましい。
【００１５】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、前記誘電体層を構成する誘電体が酸化ケイ素又は窒化ケイ素であることが好ましい。
【００１６】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、前記金属ワイヤが、アルミニウム又は銀もしくはそれらの合金で構成されていることが好ましい。
【００１７】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、横断面視において金属ワイヤ面側への垂直方向から金属ワイヤが形成されていない側へ入射角を４５°ずらしたＰ波透過率Ｔｐが、８０％以上であることが好ましい。
【００１８】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、Ｓ波透過率Ｔｓが、０．５％以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のワイヤグリッド偏光板によれば、特定方向に延在する格子状凸部を有し、特定方向に垂直な断面における格子状凸部間の凹部の形状が略放物線形状である凹凸格子を持つ樹脂基材と、格子状凸部上に被覆された誘電体層と、誘電体層上に設けられた金属ワイヤと、を具備し、金属ワイヤが誘電体被覆格子状凸部の頂部より少なくとも上方に存在し、誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅をほぼ最大値として底部と頂部の端部に向かって減少する形状であり、特定方向に垂直な断面において金属ワイヤの頂部を通り金属ワイヤの立設方向に沿う金属ワイヤ軸と、誘電体被覆格子状凸部の頂部を通り誘電体被覆格子状凸部の立設方向に沿う格子状凸部軸とがずれている構造を有することにより、可視光領域の広帯域にわたって波長依存性が無く、優れた偏光度及び透過率を両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光板の一部を示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光板を用いた液晶表示装置を示す図である。
【図３】本発明のワイヤグリッド偏光板（実施例１）の断面のＳＴＥＭ像である。
【図４】ワイヤグリッド偏光板における透過率の波長依存性を示す特性図である。
【図５】従来のワイヤグリッド偏光板の一部を示す概略断面図である。
【図６】本発明のワイヤグリッド偏光板（実施例１）における、Ｐ波透過率（Ｔｐ）における角度依存性を示す図である。
【図７】本発明のワイヤグリッド偏光板（実施例１）における、Ｓ波透過率（Ｔｓ）における角度依存性を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光板の一部を示す概略断面図である。
【図９】本発明のワイヤグリッド偏光板（実施例２）の断面のＳＴＥＭ像である。
【図１０】本発明のワイヤグリッド偏光板（実施例２）における、Ｐ波透過率（Ｔｐ）における角度依存性を示す図である。
【図１１】本発明のワイヤグリッド偏光板（実施例２）における、Ｓ波透過率（Ｔｓ）における角度依存性を示す図である。
【図１２】本発明のワイヤグリッド偏光板（比較例）の断面の一部を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光板の一部を示す概略断面図である。図１に示すワイヤグリッド偏光板は、格子状凸部を有する樹脂基材１（以下、樹脂基材１ともいう）と、前記樹脂基材の格子状凸部１ａ（以下、凸部１ａともいう）及びその側面１ｃの少なくとも一部を覆うように設けられた誘電体層２と、前記誘電体層２上に設けられた金属ワイヤ３とから主に構成されている。可視光から近赤外光に対して高い偏光性能（偏光度、透過率）のワイヤグリッド偏光板を作るには、ワイヤピッチＰを一定（８０ｎｍ〜３００ｎｍ）とした場合、ワイヤ幅をワイヤピッチの０．３倍〜０．６倍程度として、ワイヤ高さを１２０ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲で比較的高くすることが好ましい。また、金属ワイヤの周囲の屈折率は、できるだけ低い方が好ましい。
【００２２】
このようなワイヤグリッド偏光板において、樹脂基材１は、格子状凸部１ａが延在する特定方向に垂直な断面における前記格子状凸部１ａ間の凹部１ｂの形状が略放物線形状である凹凸格子を持ち、誘電体層２で被覆された格子状凸部（誘電体被覆格子状凸部）１ａは上方に向かって先細り形状となっている。格子状凸部間の凹部の形状が略放物線形状であることにより、形状転写時の離型性が良好で、金型の表面が凹部を形成する略放物線形状となるために、金型としても接触によるパターンの変形に強いものとなる。
【００２３】
また、図８のように、格子状凸部間の凹部の形状が、凹部側にくびれた略放物線形状であってもよい。この形状であると、形状転写時の離型性が良好で、金型の表面が凹部を形成する略放物線形状となるために、金型としても接触によるパターンの変形に強いものとなるばかりでなく、金属ワイヤの幅ｔがＨ３の高さ方向に安定して確保できる。これにより、角度依存性が少ない等、光学特性に優れるワイヤグリッド偏光板を得ることができる。
【００２４】
また、金属ワイヤ３は、誘電体層２で被覆された格子状凸部１ａの頂部より少なくとも上方に存在している。これは、金属ワイヤ３の周囲の屈折率を低減して光学性能を向上させるためには、誘電体被覆凸部との結合部を除き、屈折率が１である周囲の空間とすることが好ましく、必要な誘電体被覆凸部との結合力を確保しながら、金属ワイヤ３を誘電体被覆凸部の頂部よりもできるだけ上方の空間に形成させることが好ましいからである。ここで、頂部とは、立設方向の最大高さ部分であり、最大高さの部分に平坦領域がある場合は平坦部分の中央部である。また、前記断面において金属ワイヤ３の頂部を通り、金属ワイヤ３の立設方向に沿う金属ワイヤ軸Ａと、前記断面において格子状凸部１ａの頂部を通り、格子状凸部１ａの立設方向に沿う格子状凸部軸Ｂとがずれている。このように金属ワイヤ３が、上方に向かって先細り形状の誘電体層２で被覆された格子状凸部１ａの一方の側面上方にかけて、金属ワイヤ軸と、格子状凸部軸とがずれて配設されていることにより、誘電体被覆凸部の一方の側面にできるだけ広い面積を使用して結合するので、比較的高さの高い金属ワイヤであっても基材に強固に固定することが可能となり、光学特性としても偏光度や透過率の波長依存性を小さくすることができる。
【００２５】
金属ワイヤ軸Ａと格子状凸部軸Ｂとの間のずれ量Ｄは、高さの高い金属ワイヤであっても基材に強固に固定することや適切な金属ワイヤの幅を考慮すると、ワイヤピッチＰの０．３倍以下であることが好ましい。金属ワイヤ軸Ａと格子状凸部軸Ｂとの間のずれ量Ｄは、金属ワイヤ３と格子状凸部１ａの幅と先端位置によって決まるが、金属ワイヤ３を誘電体被覆凸部の一方の側面に結合した場合、金属ワイヤ３を誘電体被覆凸部に十分な結合力で結合するためには、ずれ量Ｄは小さい方が好ましく、ワイヤピッチＰの０．３倍以下が現実的である。
【００２６】
本発明のワイヤピッチＰは、可視光〜赤外領域の広帯域にわたる偏光特性を考慮すると、８０ｎｍ〜３００ｎｍであり、使用する波長と必要な偏光特性にあわせて選択すれば良い。高い偏光性能を得るにはワイヤピッチＰは小さい方が好ましいが、一定の偏光度を維持するには金属ワイヤの高さＨ３には下限値が存在し、むやみにワイヤピッチＰを小さくすると、ワイヤの断面形状が高さに対し幅が非常に小さな形になり製作が難しくなる。通常、適用する光の最低波長の１／４〜１／３程度をワイヤピッチＰに設定することが好ましく、要求される偏光性能により適宜選定する。可視光に対しては８０ｎｍ〜１５０ｎｍのピッチで十分な偏光特性が得られる。また、主に、近赤外線以上の長波長光で用いる場合は、ピッチＰを３００ｎｍ程度まで大きくすることもできる。なお、本発明において、ワイヤピッチＰと、誘電体層２のピッチと、金属ワイヤ３のピッチとは、本発明のワイヤグリッドのピッチとほぼ等しい。
【００２７】
また、金属ワイヤ３の高さ（金属ワイヤ３の立設方向における最長の距離）を１００％としたときの５％〜６０％が、誘電体凸部頂部よりも高い、言い換えると、金属ワイヤ３の高さの４０％〜９５％が凸部側面と接合していることが好ましい。また、金属ワイヤ３の頂部及び／又は底部の断面形状が先細り形状であることが好ましい。これにより、光学性能を保持しながら高さが高い金属ワイヤでも基材に強固に固定することができる。
【００２８】
格子状凸部１ａの断面形状に制限はない。例えば、これらの断面形状は、台形、矩形、方形、プリズム状や、半円状などの正弦波状であってもよい。ここで、正弦波状とは凹部と凸部の繰り返しからなる曲線部をもつことを意味する。なお、曲線部は湾曲した曲線であればよく、例えば、凸部にくびれがある形状も正弦波状に含める。前記樹脂基材１の格子状凸部１ａ及びその側面の少なくとも一部を誘電体層２が覆いやすくする観点から、前記形状の端部又は頂点、谷は緩やかな曲率をもって湾曲していることが好ましい。また、樹脂基材１と誘電体層２との間の密着強度を高くする観点から、前記断面形状は正弦波状であることがより好ましい。
【００２９】
また、樹脂基材１の凹凸格子において、金属ワイヤを誘電体被覆凸部に強固に結合し、金属ワイヤの周囲の屈折率を低減するには、誘電体被覆格子状凸部の断面形状は底部の幅が大きく、頂部の幅が小さい形状が好ましく、先細り程度を示す尺度としては、誘電体被覆格子状凸部の底部から３分の１の高さにおける誘電体被覆格子状凸部の幅ＷＬと、誘電体被覆格子状凸部の底部から３分の２の高さにおける誘電体被覆格子状凸部の幅ＷＨの比ＷＨ／ＷＬがあげられ、この値が０．３〜０．９であることが好ましく、０．３〜０．６がさらに好ましい。また、誘電体被覆凸部の適切な幅と高さは、誘電体被覆凸部自体の強度、金属ワイヤと誘電体被覆凸部の結合力、ワイヤグリッド偏光板の光学性能から決まり、誘電体被覆格子状凸部の底部から２分の１の高さにおける誘電体被覆格子状凸部の幅ＷＭはワイヤピッチＰの０．１倍〜０．５倍が好ましく、底部から頂部までの高さＨ２がワイヤピッチＰの０．５倍〜１．５倍が好ましい。この中で、必要な強度が維持される範囲で、ＷＭは小さい方がさらに好ましい。
【００３０】
ワイヤグリッド偏光板の高い光学性能を得るためには、適切な金属ワイヤ断面形状を作ることが重要である。前記誘電体被覆格子状凸部形状においては、凸部の頂部高さ付近で金属ワイヤの幅ｔがほぼ最大値となり、幅ｔはワイヤピッチＰの０．３倍〜０．７倍であることが好ましい。また、金属ワイヤの底部と頂部付近では基板面方向の各層の平均屈折率が、徐々に変わることが光学的に好ましく、金属ワイヤの幅は、ｔをほぼ最大値として底部と頂部の端部に向かって減少することが好ましい。すなわち、誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅ｔがワイヤピッチＰの０．３倍〜０．７倍で、金属ワイヤの幅がほぼｔを最大値として底部と頂部の端部に向かって減少する形状あり、金属ワイヤの底部から頂部までの高さＨ３が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．８倍〜１倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．５倍〜０．９倍であることが好ましい。
【００３１】
また、十分なワイヤ高さを得て、ワイヤグリッド偏光板の偏光度や透過率などの性能を高めることを考慮すると、凹凸格子の凸部山と凹部谷との間の高低差が１００ｎｍ〜３００ｎｍであることが好ましい。
【００３２】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、波長がワイヤピッチＰの３倍〜２０００ｎｍの光に対し、偏光度９５以上、透過率３５％以上の偏光性能を有することが好ましく、偏光度９５以上、透過率４０％以上の偏光性能を有することがさらに好ましい。これにより、比較的大きなワイヤピッチＰであっても、波長がワイヤピッチＰの３倍〜２０００ｎｍの光に対し、偏光度９５以上、透過率４０％以上の一定した偏光性能を得ることが可能である。
【００３３】
樹脂基材１に用いる樹脂は、可視光領域で実質的に透明な樹脂であればよい。例えば、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、シクロオレフィン樹脂（ＣＯＰ）、架橋ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、ポリサルフォン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂などの非晶性熱可塑性樹脂や、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、芳香族ポリエステル樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂などの結晶性熱可塑性樹脂や、アクリル系、エポキシ系、ウレタン系などの紫外線（ＵＶ）硬化性樹脂や熱硬化性樹脂が挙げられる。また、基材として樹脂基材１である紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂と、ガラスなどの無機基板、上記熱可塑性樹脂、トリアセテート樹脂とを組み合せた構成とすることもできる。
【００３４】
本発明に用いる格子状凸部を有する樹脂基材を得る方法は特に限定されない。例えば、本出願人の特開２００６−２２４６５９号公報に記載の方法を挙げることができる。特開２００６−２２４６５９号公報によれば、干渉露光法を用いて作製したピッチ２３０ｎｍから２５０ｎｍの格子状凸部がつくる凹凸格子を有する金属スタンパを用いて、凹凸格子を熱可塑性樹脂に熱転写し、凹凸格子を付与した熱可塑性樹脂を格子の長手方向と平行な方向に、延伸倍率が４から６倍の自由端一軸延伸加工を施す。その結果、前記熱可塑性樹脂に転写された凹凸格子のピッチが縮小され、ピッチが１２０ｎｍ以下の微細凹凸格子を有する樹脂基材（延伸済み）が得られる。続いて、得られた微細凹凸格子を有する樹脂基材（延伸済み）から、電解メッキ法などを用いて微細凹凸格子を有する金属スタンパを作製する。この金属スタンパを用いて、樹脂基材の表面にその微細凹凸格子を転写、形成することで、ピッチが１２０ｎｍ以下の格子状凸部を有する樹脂基材を得ることが可能となる。
【００３５】
本発明において誘電体層２を構成する誘電体は、可視光領域で実質的に透明であれば良い。樹脂基材１を構成する材料及び金属ワイヤ３を構成する金属との間の密着性が高い誘電体材料を好適に用いることができる。例えば、珪素（Ｓｉ）の酸化物（酸化ケイ素）、窒化物（窒化ケイ素）、ハロゲン化物、炭化物の単体又はその複合物（誘電体単体に他の元素、単体又は化合物が混ざった誘電体）や、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニア（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、バリウム（Ｂａ）、インジウム（Ｉｎ）、錫（Ｓｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、セリウム（Ｃｅ）、銅（Ｃｕ）などの金属の酸化物、窒化物、ハロゲン化物、炭化物の単体又はそれらの複合物を用いることができる。
【００３６】
樹脂基材１の格子状凸部１ａ及びその側面の少なくとも一部に誘電体を被覆させる方法としては、誘電体層２を構成する材料により適宜選択する。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法などの物理的蒸着法を好適に用いることができる。密着強度の観点からスパッタリング法が好ましい。
【００３７】
本発明において、金属ワイヤ３を構成する金属は、可視光領域で光の反射率が高く、誘電体層２を構成する材料との間の密着性の高いものであることが好ましい。例えば、アルミニウム、銀又はそれらの合金で構成されていることが好ましい。コストの観点から、アルミニウム又はその合金で構成されていることがさらに好ましい。
【００３８】
本発明のワイヤグリッド偏光板においては、横断面視においてワイヤグリッド偏光板の金属ワイヤ面側への垂直方向から金属ワイヤが形成されていない面側へ入射角を４５°ずらした場合に、透過すべき光（Ｐ波）の透過率（Ｔｐ）が、８０％以上であることが好ましい。本実施の形態で示すワイヤグリッド偏光板の構造上、金属ワイヤは非対称形状で形成されるが、ワイヤグリッド偏光板の金属ワイヤ面側への垂直方向から金属ワイヤが形成されていない面側へ入射角を４５°ずらした側からのＰ波は、金属ワイヤが形成されていない面側への垂直方向から金属ワイヤが形成されている面側へ入射角を４５°ずらした側からのＰ波に比べ、実質的にワイヤグリッドの透過光路によりＡｌの断面体積比が変化するため（透過光路により見かけのＡｌの形状が変化するため）、透過率が向上する。ここで、横断面視とは、凹凸格子部が延在する特定方向に垂直な面での断面視とし、入射角とは、図１及び図８に図示するように、横断面視（格子状基材凸部の延在方向に垂直な断面）で、基材凸部立設方向で凸部上方への角度を０°としたとき、金属ワイヤ形成面側への角度θを正とし、反対側（金属ワイヤが形成されていない面側）の角度θを負と定義する。  
【００３９】
さらに、本発明のワイヤグリッド偏光板においては、遮光すべき光（Ｓ波）の透過率（Ｔｓ）が、０．５％以下であることが好ましい。このように、入射角を４５°としたときにＴｓ、Ｔｐ等の偏光特性に優れると、ビームスプリッターなどの光学機器（光学システム）の構成上、ワイヤグリッド偏光板が光学機器に組み込まれる際に、優れた光学特性を発揮し、設計の自由度が増すため、好ましい。
【００４０】
さらに、本発明のワイヤグリッド偏光板においては、金属ワイヤの蒸着源から被蒸着部までの距離を調整することで基材凹部底部に金属ワイヤの堆積を妨げることができ、波長依存性を低減することができる。特に、可視光域において、優れた光学特性を発揮する。
【００４１】
金属ワイヤ３を形成するために金属を誘電体層２に積層する方法としては、誘電体層２を構成する材料と金属ワイヤ３を構成する金属との間に十分な密着性が得られる方法であれば、特に限定されない。例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの物理的蒸着法を好適に用いることができる。中でも、金属を誘電体層２の凸部に選択的に、又は誘電体層２の凸部の一方の側面に偏って選択的に積層できるような方法が好ましい。そのような方法として、例えば、蒸着ボート（蒸着源）を用いた真空蒸着法が挙げられる。
【００４２】
なお、光学特性の観点から、微細凹凸格子の凹部の底部及びその付近に積層する金属の量は少ないほど良い。したがって、これらの部分に金属が堆積するのを避けるため、さらには、堆積した場合に、後述するエッチング（による洗浄）を容易にすることを考慮すると、斜め積層法を用いて金属を積層することが好ましい。本発明でいう斜め積層法とは、微細凹凸格子の格子長手方向と垂直に交わる平面内で、樹脂基材面の法線と蒸着源とのなす角度（入射角度）θが４５°から５°の範囲で、好ましくは３５°から１０°の範囲で金属を積層する方法である。
【００４３】
上記のような斜め積層法を用いることにより、金属ワイヤ３が格子状凸部１ａの一方の側面上方にかけて形成される。これにより、金属ワイヤ３が誘電体層２で被覆された格子状凸部１ａの頂部より少なくとも上方に存在し、金属ワイヤ軸Ａと、格子状凸部軸Ｂとがずれる構成とすることができ、これにより、可視光領域の広帯域にわたって波長依存性が無く、優れた偏光度及び透過率を両立できるワイヤグリッド偏光板を得ることができる。この場合において、金属ワイヤ３の頂部、すなわち、金属ワイヤ３の高さを１００％としたときの５％〜６０％が、誘電体層２の凸部頂部よりも高い、すなわち、金属ワイヤ３の高さの４０％〜９５％が誘電体層２の凸部側面と接合することが好ましい。
【００４４】
金属ワイヤ３において、頂部及び／又は底部の断面形状は、光学性能を保持しながら高さの高いワイヤでも強固に基材に固定できることを考慮して、先細り形状であることが好ましい。
【００４５】
次に、本発明に係るワイヤグリッド偏光板を液晶表示装置に用いた場合について説明する。図２に、本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光板を用いた液晶表示装置の一形態を示す。
【００４６】
図２に示す液晶表示装置は、光を発光するバックライトのような照明装置２１と、この照明装置２１上に配置されたワイヤグリッド偏光板２２と、ワイヤグリッド偏光板２２上に配置された液晶パネル２３及び偏光板２４とから主に構成される。すなわち、本発明に係るワイヤグリッド偏光板２２は、液晶パネル２３と照明装置２１との間に配置される。
【００４７】
液晶パネル２３は、例えば、透過型液晶パネルであり、ガラスや透明樹脂基板間に液晶材料などを挟持して構成されている。なお、図２の液晶表示装置中において、通常使用されている偏光板保護フィルム、位相差フィルム、拡散板、配向膜、透明電極、カラーフィルタなどの各種光学素子については説明を省略する。
【００４８】
このような構成の液晶表示装置においては、照明装置２１から出射された光がワイヤグリッド偏光板２２の樹脂基材１の基部側から入射し、ワイヤ側から液晶パネル２３を通過して外界に出射される（図中の矢印方向）。この場合において、ワイヤグリッド偏光板２２が可視光領域において優れた偏光度を発揮するので、コントラストの高い表示を得ることが可能となる。また、さらに高いコントラストが要求される場合には、偏光板２４の外側、すなわち照明装置２１と反対の方向から入射する（外）光が、液晶パネル２３を透過してワイヤグリッド偏光板２２により反射され、再び液晶パネル２３の外側に戻るのを防止するために、ワイヤグリッド偏光板２２と液晶パネル２３との間に、ヨウ素などの二色性色素を用いた吸収型の偏光板を、ワイヤグリッド偏光板２２と偏光軸を合わせて挿入することが好ましい。この場合、吸収型の偏光板は透過率が高いものが好ましく、偏光度は低いものであっても良い。
【００４９】
また、本発明のワイヤグリッド偏光板を投射型液晶表示装置の偏光板に用いても良い。投射型液晶表示装置は、光源と、その光源からの光を偏光分離するワイヤグリッド偏光板と、そのワイヤグリッド偏光板により偏光された光を透過又は反射する液晶表示素子と、その液晶表示素子を透過又は反射した光をスクリーンに投射する投射光学系とから主に構成される。すなわち、本発明に係るワイヤグリッド偏光板は、光源と液晶表示素子との間に配置される。
【００５０】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
（格子状凸部を有する樹脂基材の作製）
・凹凸格子形状が転写されたＣＯＰ板の作製
ピッチが２３０ｎｍで、凹凸格子の高さが２３０ｎｍである凹凸格子を表面に有するニッケルスタンパを準備した。この凹凸格子は、レーザ干渉露光法を用いたパターニングにより作製されたものであり、その断面形状は正弦波状で、上面からの形状は縞状格子形状であった。また、その平面寸法は縦横ともに５００ｍｍであった。このニッケルスタンパを用いて、熱プレス法により厚さ０．５ｍｍ、縦横がそれぞれ５２０ｍｍのシクロオレフィン樹脂（以下、ＣＯＰ板と略す）の表面に凹凸格子形状を転写し、凹凸格子形状が転写されたＣＯＰ板を作製した。このＣＯＰのガラス転移温度（Ｔｇ）は１０５℃であった。
【００５１】
具体的に、熱プレスは次のように行った。まず、プレス機の系内を真空排気し、ニッケルスタンパ及びＣＯＰ板を１９０℃まで加熱した。ニッケルスタンパ及びＣＯＰ板が１９０℃に達した後、プレス圧２ＭＰａ、プレス時間４分でニッケルスタンパの凹凸格子をＣＯＰ板に転写した。さらに、プレス圧を２ＭＰａに保持したままニッケルスタンパ及びＣＯＰ板を４０℃まで冷却した後、真空開放し、続けてプレス圧を開放した。プレス圧を開放したとき、ニッケルスタンパ及びＣＯＰ板は容易に離型した。電界放出型走査型電子顕微鏡（以下、ＦＥ−ＳＥＭと略す）で、凹凸格子形状が転写されたＣＯＰ板の表面形状を観察したところ、ニッケルスタンパの凹凸格子形状が忠実に転写されたことが確認された。
【００５２】
・延伸によるピッチ縮小
次いで、この凹凸格子形状が転写されたＣＯＰ板を５２０ｍｍ×４６０ｍｍの長方形に切り出し、被延伸部材としての延伸用ＣＯＰ板とした。このとき、５２０ｍｍ×４６０ｍｍの長手方向（５２０ｍｍ）と凹凸格子の長手方向とが互いに略平行になるように切り出した。
【００５３】
次いで、この延伸用ＣＯＰ板の表面に、スプレーによりシリコーンオイルを塗布し、約８０℃の循環式空気オーブン中に３０分放置した。次いで、延伸用ＣＯＰ板の長手方向の両端１０ｍｍを延伸機のチャックで固定し、その状態で１１３±１℃に温度調節された循環式空気オーブン中に延伸用ＣＯＰ板を１０分間放置した。その後、２５０ｍｍ／分の速度でチャック間の距離が５倍延伸したところで延伸を終え、２０秒後に延伸したＣＯＰ板（延伸済みＣＯＰ板）を室温雰囲気下に取り出し、チャック間の距離を維持したまま冷却した。この延伸済みＣＯＰ板の中央部分約４０％は、ほぼ均一にくびれており、最も幅が縮小されている部分は２００ｍｍになっていた。同様にして、チャック間の距離のみを３．５倍、２．５倍に変えて延伸したところ、延伸済みＣＯＰ板中央部の最小幅は、それぞれ、２４０ｍｍ、２８０ｍｍになっていた。
【００５４】
この延伸済みＣＯＰ板３種の表面と断面を、ＦＥ−ＳＥＭにて観察したところ、微細凹凸格子のピッチと高さはそれぞれ、１００ｎｍ／９５ｎｍ（ピッチ／高さ）、１２０ｎｍ／１１３ｎｍ、１４０ｎｍ／１３３ｎｍであり、その断面形状は正弦波状で、上面からの形状は縞状格子状となっており、実質的に延伸前の凹凸格子形状と相似で縮小されていたことが分かった。
【００５５】
・ニッケルスタンパ作製
得られた、１００ｎｍピッチ、１２０ｎｍピッチ、及び１４０ｎｍピッチの延伸済みＣＯＰ板表面に、それぞれ導電化処理として金をスパッタリングにより３０ｎｍ被覆した後、それぞれニッケルを電気メッキし、厚さ０．３ｍｍ、格子の長手方向（以下、縦という）３００ｍｍ、格子の長手方向と垂直な方向（以下、横という）１８０ｍｍのニッケルスタンパを作製した。
【００５６】
・紫外線硬化樹脂を用いた格子状凸部転写フィルムの作製
厚み０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート樹脂（以下、ＰＥＴと略す）フィルムに紫外線硬化樹脂（東亜合成Ｍ３５０：１００部  日本チバ・ガイギー社イルガキュア９０７：３部）を約０．０１ｍｍ塗布し、塗布面を下にして上記１００ｎｍピッチ、１２０ｎｍピッチ、及び１４０ｎｍピッチの微細凹凸格子を有するニッケルスタンパ上に、それぞれ端部からニッケルスタンパとフィルム間に空気が入らないように載せ、ＰＥＴフィルム側から中心波長３６５ｎｍの紫外線ランプを用いて紫外線を１０００ｍＪ／ｃｍ２照射し、ニッケルスタンパの微細凹凸格子を転写、硬化した。得られた格子状凸部転写フィルムを、格子状凸部を有する樹脂基材として用いる。
【００５７】
（ワイヤグリッド偏光板の作製：実施例１）
・スパッタリング法を用いた誘電体層の形成
上記の方法で作製した３種類のピッチを持つ格子状凸部転写フィルムに、スパッタリング法を用い誘電体層を形成した。本実施例では、誘電体として窒化珪素を用いた場合について説明する。Ａｒガス圧力０．６７Ｐａ、スパッタリングパワー４Ｗ／ｃｍ２、被覆速度０．２２ｎｍ／ｓにて誘電体の被覆を行った。層厚み比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を格子状凸部転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑ガラス基板への誘電体積層厚みが３ｎｍとなるように成膜を行った。誘電体を被覆した格子状凸部転写フィルムの断面を、ＦＥ−ＳＥＭで観察し、幅比ＷＨ／ＷＬ（格子状凸部の底部から３分の１の高さにおける格子状凸部の幅ＷＬと、格子状凸部の底部から３分の２の高さにおける前記格子状凸部の幅ＷＨとの間の比）を求めた。その結果、ＷＨがＷＬの０．６倍であり、ＷＭがワイヤピッチＰの０．３倍であり、Ｈ２がワイヤピッチＰの１．０５倍であることを確認した。さらに、ずれ量ＤがワイヤピッチＰの０．２５倍であることを確認した。また、格子状凸部間の凹部の形状が略放物線形状であることも確認した。
【００５８】
・真空蒸着法を用いた金属の蒸着
３種類のピッチを持つ格子状凸部転写フィルムに誘電体層を形成した後、抵抗加熱蒸着を用いて金属ワイヤを形成した。実施例１では、金属としてアルミニウム（Ａｌ）を用いた場合について説明する。真空度２．５×１０-３Ｐａ、蒸着速度４ｎｍ／ｓ、蒸着ボートからの距離２００ｍｍ、常温下においてＡｌの蒸着を行った。層厚み比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を誘電体積層格子状凸部転写フィルムと同時に装置に挿入し、平滑基板へのＡｌ蒸着厚みが１１０ｎｍとなるように蒸着を行った。実施例１では、格子の長手方向と垂直に交わる平面内において基材面の法線と蒸着源とのなす角度θを２０°とした。
【００５９】
・エッチングによる不要金属の除去
３種類のピッチを持つ格子状凸部転写フィルムに誘電体及びＡｌを積層した後、フィルムを室温下の０．２重量％水酸化ナトリウム水溶液中で、処理時間を３０〜９０秒の間で１０秒間隔で変えながら洗浄（エッチング）し、すぐに水洗してエッチングを停止させた。
【００６０】
金属を形成した格子状凸部転写フィルムの断面を、ＦＥ−ＳＥＭのＳＴＥＭモードで観察し、ワイヤピッチＰを求めた。このとき（ピッチ１４０ｎｍで作製したワイヤグリッド偏光板）のＳＴＥＭ像を図３に示す。そして、このＳＴＥＭ像において、誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅ｔがワイヤピッチＰの０．５倍であることを確認した。また、金属ワイヤの底部から頂部までの高さＨ３が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の１倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．７倍であることを確認した。さらに、このＳＴＥＭ像において、金属ワイヤが誘電体層で被覆された格子状凸部の頂部より少なくとも上方に存在し、金属ワイヤ軸と、格子状凸部軸とがずれていることを確認した。
【００６１】
（ワイヤグリッド偏光板の作製：実施例２）
蒸着ボートからの距離２００ｍｍを、５００ｍｍに換え、平滑基板へのＡｌ蒸着厚みが６０ｎｍとなるように蒸着をし、エッチングを省略した以外は、実施例１と同様の作業によりワイヤグリッド偏光板を作製した。
【００６２】
金属を形成した格子状凸部転写フィルムの断面を、ＦＥ−ＳＥＭのＳＴＥＭモードで観察し、ワイヤピッチＰを求めた。このとき（ピッチ１４０ｎｍで作製したワイヤグリッド偏光板）のＳＴＥＭ像を図９に示す。そして、このＳＴＥＭ像において、誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅ｔがワイヤピッチＰの０．５倍であることを確認した。また、金属ワイヤの底部から頂部までの高さＨ３が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の１倍であり、誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さＨ２が誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さＨ１の０．７倍であることを確認した。さらに、このＳＴＥＭ像において、金属ワイヤが誘電体層で被覆された格子状凸部の頂部より少なくとも上方に存在し、金属ワイヤ軸と、格子状凸部軸とがずれていることを確認した。また、格子状凹部底部において、ほとんど金属ワイヤの堆積が見られないことを確認した。
【００６３】
比較例として、斜め積層法を用いずに、格子状凸部の直上方向から金属を積層すること以外は上記の実施例１と同様にしてワイヤグリッド偏光板を作製した。このワイヤグリッド偏光板の断面をＦＥ−ＳＥＭのＳＴＥＭモードで観察したところ、図１２に示すような断面形状、すなわち、金属ワイヤ軸と、格子状凸部軸とがずれていない形状を有していた。
【００６４】
（分光光度計による偏光性能評価）
得られた実施例及び比較例のワイヤグリッド偏光板について、分光光度計（日本分光社製  型番Ｖ７１００＋ＶＡＰ７０７０）を用い偏光度及び透過率を測定した。ここでは、直線偏光に対する平行ニコル、直交ニコル状態での光線の透過率を測定し、偏光度、透過率は下記式より算出した。また、測定波長域は可視光の領域を含む４００ｎｍ〜２０００ｎｍとした。図４には、４００ｎｍ〜２０００ｎｍにわたる透過率の変化を示した。
偏光度＝[（Ｉmax−Ｉmin）／（Ｉmax＋Ｉmin）]×１００  
透過率＝[（Ｉmax＋Ｉmin）／２]  ×１００  ％
ここで、Ｉmaxは平行ニコル時の透過率であり、Ｉminは直交ニコル時の透過率である。また、Ｉmax×１００（％）は、透過すべき光Ｐ波の透過率（Ｔｐ）を示し、Ｉmin×１００（％）は、反射すべき光Ｓ波の透過率（Ｔｓ）を示す。
【００６５】
図４は、ワイヤグリッド偏光板の入射角を−４５°ずらして光を照射した場合の透過率を示している。図４から分かるように、本発明に係るワイヤグリッド偏光板（実施例１）は、可視光領域のほぼ全領域にわたってほぼ均一の透過率を示した。すなわち、本発明に係るワイヤグリッド偏光板は、透過率の波長依存性がなかった。また、本発明に係るワイヤグリッド偏光板は、入射角−４５°、波長５００〜８００ｎｍにて、９９．８以上の高い偏光度を示した。
【００６６】
また、図６から分かるように、本発明に係るワイヤグリッド偏光板（実施例１）は、ワイヤグリッド偏光板の入射角を−４５°ずらしたＴｐが、８０％以上であった。また、図７から分かるように、本発明に係るワイヤグリッド偏光板（実施例１）は、入射角−６０°から６０°の領域において、４６０ｎｍ、５２５ｎｍ、及び６３０ｎｍそれぞれのＳ波に対して、Ｔｓは０．５％以下であった。
【００６７】
本発明に係るワイヤグリッド偏光板（実施例２）は、実施例１と同様に、可視光領域のほぼ全領域にわたってほぼ均一の透過率を示した。さらに、実施例２においては、図１０から分かるように、角度依存性が少なくなった。これは、樹脂基材凹部底部への金属ワイヤの堆積が無くなったことによる効果である。また、図１１から分かるように、入射角−６０°から６０°の領域において、４６０ｎｍ、５２５ｎｍ、及び６３０ｎｍそれぞれのＳ波に対して、Ｔｓは０．２５％以下であった。これも、樹脂基材凹部底部への金属ワイヤの堆積が無くなったことによる効果である。
【００６８】
一方、比較例のワイヤグリッド偏光板は、図４に示すように、入射角４５°において、可視光領域の短波長側及び長波長側で透過率が低く、波長５００ｎｍ付近でピークを持っていた。すなわち、比較例のワイヤグリッド偏光板は、透過率の波長依存性を有していた。これは、金属ワイヤ軸と、格子状凸部軸とがずれていない形状を有していたためであると考えられる。
【００６９】
このように、本発明に係るワイヤグリッド偏光板は、金属ワイヤ軸と、格子状凸部軸とがずれている形状を有しているので、可視光領域の広帯域にわたって優れた偏光度と透過率を両立することができる。
【００７０】
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態における寸法、材質などは例示的なものであり、適宜変更して実施することが可能である。また、上記実施の形態における偏光板については、板状の部材である必要はなく、必要に応じてシート状、フィルム状であっても良い。上記実施の形態においては、ワイヤグリッド偏光板を液晶表示装置に適用した場合について説明しているが、本発明は偏光が必要とされる液晶表示装置以外のデバイスなどに同様に適用することができる。その他、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１  樹脂基材
１ａ  格子状凸部
１ｂ  凹部
１ｃ  側面
２  誘電体層
３  金属ワイヤ
Ｈ１  誘電体被覆格子状凸部の底部から金属ワイヤ頂部までの高さ
Ｈ２  誘電体被覆格子状凸部の底部から頂部までの高さ
Ｈ３  金属ワイヤの底部から頂部までの高さ
Ａ  金属ワイヤ軸
Ｂ  格子状凸部１ａの頂部を通り、格子状凸部１ａの立設方向に沿う格子状凸部軸
Ｄ  金属ワイヤ軸と格子状凸部軸との間のずれ量
ｔ  誘電体被覆格子状凸部の頂部高さにおける金属ワイヤの幅
ＷＨ  誘電体被覆格子状凸部の底部から３分の２の高さにおける幅
ＷＭ  誘電体被覆格子状凸部の底部から２分の１の高さにおける幅
ＷＬ  誘電体被覆格子状凸部の底部から３分の１の高さにおける誘電体被覆格子状凸部
の幅
２１  照明装置
２２  ワイヤグリッド偏光板
２３  液晶パネル
２４  偏光板
θ    入射角
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図３】
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【図９】
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