(57)【要約】【課題】チップによって規制されることなく、一対の静磁界発生手段を接近させて静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにしたプレーナ型電磁アクチュエータ。【解決手段】枠部１と、枠部１に対してトーションバー２，２により回動可能に軸支された可動板３と、可動板３に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイル４とを備えたチップ５と、このチップ５のトーションバー２，２と平行な駆動コイル部分に静磁界を与える一対の静磁界発生手段６，６とをベース基板７上に搭載するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、ベース基板７にザグリ部９を設けて、チップ５をザグリ部９内に収納させ、チップ５の上面とベース基板７の上面とがほぼ面一となるようにし、互いに対向する一対の静磁界発生手段６，６を、可動板３を挟んでベース基板７の上面とチップ５の上面とに跨って載置する構成とした。【選択図】図１
2010041873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠部と、該枠部に対してトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、該可動板に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、該チップを搭載するベース基板と、前記可動板の前記トーションバーと平行な駆動コイル部分に静磁界を与える互いに対向して配置した一対の静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記可動板を挟んで対向させて配置する前記一対の静磁界発生手段を、前記ベース基板側の上面と前記チップの上面とに跨って載置する構成としたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記ベース基板に、前記チップの固定領域にザグリ部を設けて、該ザグリ部内に前記チップの上面と該ベース基板の上面とがほぼ面一となるように前記チップを収納させて配置する構成としたことを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記一対の静磁界発生手段の対向側の下端部に、段付き状の切欠き部を設けて、該切欠き部の前記ベース基板上面と平行な面の少なくとも一部分を前記チップ上面に載置する構成としたことを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項４】
前記静磁界発生手段又は前記チップの高さ方向の位置を調整可能なスペーサを設ける構成としたことを特徴とする請求項２又は３に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項５】
前記ベース基板の少なくとも静磁界発生手段載置領域に前記チップ上面とほぼ面一となるような厚さのスペーサを設け、該スペーサの上面を前記ベース基板側の上面とする構成としたことを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項６】
前記チップの前記可動板を、前記枠部に外側トーションバーを介して回動可能に軸支される枠状の外側可動板と、該外側可動板に前記外側トーションバーと軸方向が直角な内側トーションバーを介して回動可能に軸支される内側可動板とで構成し、
前記駆動コイルを、前記外側可動板に敷設された外側駆動コイルと前記内側可動板に敷設された内側駆動コイルとで構成し、
前記静磁界発生手段を、前記外側可動板の前記外側トーションバーと平行な駆動コイル部分に静磁界を与える互いに対向して配置した一対の第１の静磁界発生手段と、前記内側駆動コイルの前記内側トーションバーと平行な駆動コイル部分に静磁界を与える互いに対向して配置した一対の第２の静磁界発生手段とからなる構成としたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項７】
前記静磁界発生手段を、前記枠部より内側に前記可動板に近接させて配置する構成としたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ローレンツ力を利用するアクチュエータチップをベース基板上に搭載したプレーナ型電磁アクチュエータに関し、特に、静磁界発生手段による静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにしたプレーナ型電磁アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のプレーナ型電磁アクチュエータとしては、例えば特許文献１に記載された様に、半導体基板を異方性エッチングして、枠部と、可動板と、枠部に可動板を回動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、可動板に駆動コイルを設け、トーションバーの軸方向と平行な可動板両端縁部の駆動コイル部分に静磁界を作用させる静磁界発生手段（例えば永久磁石）を、可動板を挟んで対向配置して設け、駆動コイルに電流を供給すると、駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段の静磁界との相互作用により発生する駆動力（ローレンツ力）が可動板に作用し、可動板をトーションバーの軸回りに回動させる構成のものがある。
【０００３】
このようなプレーナ型電磁アクチュエータの実用に際しては、例えば、図８に示すように、枠部１と一対のトーションバー２，２と可動板３と駆動コイル４を備えるチップ５の外方に一対の静磁界発生手段６，６を対向配置して、これらチップ５と一対の静磁界発生手段６，６をベース基板７上に搭載して、該チップ５と一対の静磁界発生手段６、６の固定領域周辺部にヨーク８を設けて使用している。
【特許文献１】特開２００２−１３１６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、実用においてこの種のプレーナ型電磁アクチュエータに対して、小型化や可動板の大振幅化（可動板の振れ角を大きくする）が求められている。
小型化するためには、特に、静磁界発生手段を小さくするとよいが、磁界強度が減少してしまい、従来の性能を維持できない。また、大振幅化するためには、特に、静磁界発生手段を大きくして磁界強度を増加させるとよいが、前述の小型化の要望に反する。一般に、磁界強度は磁極間距離の２乗に反比例することから、静磁界発生手段を小さくして小型化を図る時に、磁界強度を従来よりも減少させないようにして性能を維持するためには、一対の静磁界発生手段の対向する面の距離を従来よりも近づけるとよい。また、静磁界発生手段を従来よりも大きくさせないで、大振幅化させるには、前述と同様に、一対の静磁界発生手段の対向する面の距離を従来よりも近づけるとよい。
【０００５】
しかしながら、従来のこの種のプレーナ型電磁アクチュエータにおいては、ベース基板上に単にチップを載置しただけである。従って、図８中の一対の静磁界発生手段６、６の対向する面の距離Ｌがチップ５の大きさによって規制されてしまい、一対の静磁界発生手段６，６の対向する端部は、チップ５の外周部を越えて内側に近づけることができないという問題がある。
【０００６】
本発明は上記問題点に着目してなされたもので、チップによって規制されることなく、一対の静磁界発生手段を近接可能な構成とすることで、小型化と大振幅化が可能なプレーナ型電磁アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このため、本発明は、枠部と、該枠部に対してトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、該可動板に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、該チップを搭載するベース基板と、前記可動板の前記トーションバーと平行な駆動コイル部分に静磁界を与える互いに対向して配置した一対の静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、前記可動板を挟んで対向させて配置する前記一対の静磁界発生手段を、ベース基板側の上面と前記チップの上面とに跨って載置する構成としたことを特徴とする。かかる構成では、一対の静磁界発生手段の対向する端部は、チップの外周部を越えて近づけることができる。
【０００８】
具体的には、請求項２のように、前記ベース基板に、前記チップの固定領域にザグリ部を設けて、該ザグリ部内に前記チップの上面と該ベース基板の上面とがほぼ面一となるように前記チップを収納させて配置して構成するとよい。
【０００９】
また、請求項３のように、前記一対の静磁界発生手段の対向側の下端部に、段付き状の切欠き部を設けて、該切欠き部の前記ベース基板上面と平行な面の少なくとも一部分を前記チップ上面に載置する構成にしてもよい。
【００１０】
請求項２又は３においては、請求項４のように、前記一対の静磁界発生手段又は前記チップの高さ方向の位置を調整可能なスペーサを設ける構成にしてもよい。
【００１１】
また、請求項５のように、前記ベース基板の少なくとも静磁界発生手段載置領域に前記チップ上面とほぼ面一となるような厚さのスペーサを設け、該スペーサの上面を前記ベース基板側の上面とする構成にしてもよい。
【００１２】
また、請求項６のように、プレーナ型電磁アクチュエータは、前記チップの前記可動板を、前記枠部に外側トーションバーを介して回動可能に軸支される枠状の外側可動板と、該外側可動板に前記外側トーションバーと軸方向が直角な内側トーションバーを介して回動可能に軸支される内側可動板とで構成し、前記駆動コイルを、前記外側可動板に敷設された外側駆動コイルと前記内側可動板に敷設された内側駆動コイルとで構成し、前記静磁界発生手段を、前記外側可動板の前記外側トーションバーと平行な駆動コイル部分に静磁界を与える互いに対向して配置した一対の第１の静磁界発生手段と、前記内側駆動コイルの前記内側トーションバーと平行な駆動コイル部分に静磁界を与える互いに対向して配置した一対の第２の静磁界発生手段とからなる構成にしてもよい。
【００１３】
また、請求項７のように、前記静磁界発生手段を、前記枠部より内側に前記可動板に近接させて配置して構成するとよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のプレーナ型電磁アクチュエータによれば、ザグリ部やスペーサを設けてベース基板側上面とチップ上面をほぼ面一にしたり、静磁界発生手段に切欠き部を設けることにより、静磁界発生手段をベース基板側の上面とチップの上面とに跨って載置する構成としたので、チップに規制されることなく一対の静磁界発生手段の対向する面の距離をチップの外周部を越えて接近させることができる。従って、従来よりも小さな静磁界発生手段で従来と同等の静磁界を駆動コイルに作用させることができ、従来と同等の性能のアクチュエータの小型化が可能である。また、従来と同じ大きさの静磁界発生手段で、従来よりも大きな静磁界を駆動コイルに作用させることができるため大振幅化が可能であり、この場合、静磁界発生手段の対向する面の距離を従来よりも近づけているためプレーナ型電磁アクチュエータ全体の大きさは小さくなり、小型化と大振幅化を同時に実現することができる。
【００１５】
また、スペーサを利用してベース基板側の上面とチップの上面を面一にすることにより、ベース基板のザグリ部又は静磁界発生手段の切欠き部の加工を高精度に行うことなく、スペーサによってチップと静磁界発生手段の高さ方向の位置を調整できるため、スペーサを利用しない場合に比べて加工コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第１実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ‘矢視断面図である。尚、図８の従来例と同一の要素には同一の符号を付してある。
本第１実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータは、チップ５と一対の静磁界発生手段６，６とベース基板７とヨーク８とを備えている。
【００１７】
前記チップ５は、従来と同様に、半導体基板を異方性エッチングして、枠部１と、可動板３と、枠部１に可動板３を回動可能に軸支する一対のトーションバー２，２とを一体形成し、可動板３の周縁部に敷設された通電により磁界を発生する駆動コイル４（図の簡略化のために、図中１本線で示す）を備えて構成され、ベース基板７に例えば接着剤等によって固定されている。また、上記駆動コイル４の両端部は一対のトーションバー２、２の上面を経由して枠部１の上面に設けられた図示省略の電極端子に接続されて、同じく図示省略の外部の駆動回路とワイヤボンディング等の手段で電気的に接続されている。電極端子と駆動回路間の配線材は、例えば、後述するヨーク８の側面に設けられた開口部１１内を通して配線する。
【００１８】
前記ベース基板７には、チップ５の固定領域に（ｂ）図に示す様なザグリ部９を設けてある。ザグリ部９の深さはチップ５（枠部１）の厚さとほぼ同一に形成され、該ザグリ部９内にチップ５の上面とベース基板７の上面とがほぼ面一となるようにチップ５を収納させて、前述の様に接着剤等により固定させ配置している。ザグリ部９の底面には、可動板３の回動を許容する貫通孔１０が設けられている。尚、貫通孔ではなく溝であってもよい。
【００１９】
前記一対の静磁界発生手段６，６は、可動板３を挟んで対向して配置され、ベース基板７側の上面とチップ５の上面とに跨って載置され、ベース基板７とチップ５に例えば接着剤等で固定されている。一対の静磁界発生手段６，６は、互いに反対磁極が対向する様に着磁されて静磁界を発生させる一対の永久磁石でもよく、電磁石を用いることも可能である。
【００２０】
前記ヨーク８は、（ａ）図の左右側の側面下部に前述の開口部１１が形成され、チップ５及び一対の静磁界発生手段６、６の固定領域周辺部に配置されており、漏れ磁場を抑制する機能を有する。また、外部からの粉塵等がチップ５の上面に付着し難くする作用も有する。さらに、前記ヨーク８には、前述したように（ａ）図の左右側の側面下部に前述の開口部１１が形成され、電極端子と駆動回路間の配線材が配線できるようになっている。
【００２１】
本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータの動作を説明する。
可動板３の駆動原理は従来と同様であり、図示しない前述の外部駆動回路から、駆動コイル４に電流を供給すると磁界が発生する。この磁界と静磁界発生手段６，６による静磁界との相互作用によりトーションバー２，２の軸方向と平行な可動板３の両端縁部に互いに逆方向の駆動力（ローレンツ力）が発生し、トーションバー２、２を軸中心として可動板３が回動する。この回動動作に伴ってトーションバー２，２が捩られトーションバー２，２にばね力が発生し、このばね力と発生した駆動力とが釣合う位置まで可動板３は回動する。駆動コイル４に交流電流を供給することで、可動板３を揺動駆動できる。
【００２２】
上記第１実施形態によれば、ザグリ部９内にチップ５とベース基板７の上面とがほぼ面一となるようにチップ５を収納させることによって、一対の静磁界発生手段６，６を、ベース基板７側の上面とチップ５の上面とに跨って載置させているので、チップ５に規制されることなく、一対の静磁界発生手段６，６の対向面の距離Ｌをチップ５の外周部を越えて内側に接近させることができる。従って、一対の静磁界発生手段６，６の対向面の距離Ｌをチップ５の外周部を越えて接近できることに加えて、駆動コイルに作用させる磁界強度が従来と同等でよい場合は、静磁界発生手段を小さくでき、従来と同等の性能で小型化が可能である。また、従来と同じ大きさの静磁界発生手段を使用する場合は、駆動コイルに作用する磁界強度は従来よりも増加するため大振幅化が可能であり、この場合、静磁界発生手段の対向する面の距離を従来よりも近づけているためプレーナ型電磁アクチュエータ全体は小さくなり、小型化と大振幅化を同時に実現することができる。
【００２３】
尚、駆動コイル４は通常チップ５（枠部１）の上面より突出しているため、チップ５の上面とベース基板側の上面を跨って静磁界発生手段６、６を載置すると、駆動コイル４を直線的に横切る様に静磁場を作用させることができ効率がよい。
【００２４】
チップ５については、従来と同一のものを使用可能なため、チップの製造設備や工程の変更をする必要がなく、従来のチップと同一の設備及び工程で製造することができる。
【００２５】
図２は、第１実施形態における別の構成例を示す図で、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ‘断面を示す図である。これは、チップ５の高さ方向の位置を調整できる様にベース基板７とチップ５の間にスペーサ１２を入れた構成例である。ザグリ部９の深さを予めチップ５（枠部１）の厚みよりも深く形成し、スペーサ１２でチップ５の高さ方向の位置を調整する構成である。これによって、ザグリ部９の深さの寸法精度を高めることなく、スペーサ１２によって該チップ５の上面とベース基板７の上面とがほぼ面一となるように調整することができる。スペーサ１２は、例えば、可動板３の回動を許容する空間部を設けた枠状の形状であってもよいし、分離された板形状であってもよい。
【００２６】
また、別の構成例として、図示していないが、スペーサ１２をベース基板７と一対の静磁界発生手段６、６の間に入れた構成としてもよい。この場合は、上述の構成例とは逆にザグリ部９の深さを予めチップ５（枠部１）の厚みよりも浅く形成し、チップ５の上面とスペーサ１２の上面とがほぼ面一となるように調整する。この場合は、スペーサ１２は、例えば、チップ５の外方を周回する枠状の形状であってもよいし、分離された板形状であってもよい。
【００２７】
図３には、本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの第２実施形態に用いる一対の静磁界発生手段６，６の斜視図を示す。また、図４は、上記第２実施形態における図１（ｂ）と同じＡ−Ａ‘断面を示す図である。尚、図１の第１実施形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００２８】
このプレーナ型電磁アクチュエータにおいては、ベース基板７は従来と同じものを使用し、図３に示す様に一対の静磁界発生手段６，６の対向側の下端部に段付き形状の切欠き部１３を設けて、図４に示す様に該切欠き部１３のベース基板７の上面と平行な面をチップ５の上面に載置させて、一対の静磁界発生手段６，６をチップ５の上面とベース基板７の上面とに跨って載置させている。これによって、チップ５に規制されることなく一対の静磁界発生手段６，６の対向面の距離Ｌをチップ５の外周部を越えて接近させることができるため、第１実施形態と同様に、従来と同等の性能で小型化することができ、また、駆動コイルに作用する磁界強度を従来よりも増加させることができるため大振幅化が可能である。
尚、本実施形態においては、図４に示す様に、チップ５の側面と切欠き部１３の端面は接触して配置されているが、隙間を有して配置されてもよい。
【００２９】
第２実施形態の別の構成例として、図２に示す第１実施形態の別の構成例と同様に、図５に示す様に、切欠き部１３の高さを予めチップ５の厚みより高く形成し、スペーサ１２によりチップ５の高さ方向の位置を調整する構成としてもよい。
【００３０】
また、別の構成例として、図示していないが、スペーサ１２をベース基板７と一対の静磁界発生手段６、６の間に入れた構成としてもよい。この場合は、上記構成例とは逆に切欠き部１３の高さを予めチップ５（枠部１）の厚みよりも低く形成し、切欠き部１３のうちベース基板７の上面と平行な面と、チップ５の上面の高さ方向の位置をほぼ同一となるように調整する。この場合、スペーサ１２は、例えば、チップ５の外方を周回する枠状の形状であってもよいし、分離された板形状であってもよい。分離された板形状の場合は、スペーサ１２のそれぞれの高さ方向の寸法は同一であってもよいし、異なっていてもよい、異なった寸法にすることによって、一対の静磁界発生手段６，６のそれぞれの切欠き部１３の高さ方向の寸法が異なっていても個々に高さ方向の位置を調整可能となる。
【００３１】
図６は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第３実施形態を示す図で，(ａ)は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ‘矢視断面図である。ここでは、図１の第１実施形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００３２】
このプレーナ型電磁アクチュエータは、一対の静磁界発生手段６，６及びベース基板７は従来と同じものを使用し、ベース基板７の静磁界発生手段載置領域にチップ５の上面とほぼ面一となるような厚さのスペーサ１４を設けて、該スペーサ１４の上面を前記ベース基板７側の上面として、前記一対の静磁界発生手段６，６をスペーサ１４の上面と前記チップ５の上面とに跨って載置させる。これによって、チップ５に規制されることなく一対の静磁界発生手段６，６の対向面の距離Ｌをチップ５の外周部を越えて接近させることができるため、第１実施形態と同様に、従来と同等の性能で小型化することができ、また、駆動コイルに作用する磁界強度を従来よりも増加させることができるため大振幅化も同時に実現できる。
【００３３】
上述の各実施形態は１次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータの例を示したが、本発明は２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータにも適用できることは言うまでもない。
【００３４】
図７は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第４実施形態を示す図で、２次元駆動型の実施形態であり、(ａ)は上面図、（ｂ）はＢ−Ｂ‘矢視断面図である。ここでは、図１の第１実施形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
本第４実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータは、チップ５と一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ，６ａ及び６ｂ、６ｂとベース基板７とヨーク８とを備えている。
【００３５】
ここで、前記チップ５は、従来と同様に、枠部１と、枠部１に一対の外側トーションバー２ａ、２ａを介して回動可能に軸支される枠状の外側可動板３ａと、該外側可動板３ａに外側トーションバー２ａ、２ａと軸方向が直角な一対の内側トーションバー２ｂ、２ｂを介して回動可能に軸支される内側可動板３ｂと、外側可動板３ａの周縁部に沿って敷設される外側駆動コイル４ａと、上記内側可動板３ｂの周縁部に沿って敷設されている内側駆動コイル４ｂとを備えて構成されている。
【００３６】
前記ベース基板７には、（ｂ）図に示す様に第１実施形態と同様にザグリ部９及び貫通孔１０が設けてあり、ザグリ部９の深さはチップ５（枠部１）の厚さとほぼ同一に形成され、該ザグリ部９内にチップ５の上面とベース基板７の上面とがほぼ面一のなるようにチップ５を収納させて、例えば接着剤等により固定させ配置している。
【００３７】
前記一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ，６ａ及び６ｂ、６ｂは、外側可動板３ａをそれぞれ挟んで対向して配置され、ベース基板７側の上面とチップ５の上面とに跨って載置され、ベース基板７とチップ５に例えば接着剤等で固定されている。また一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ、６ａ及び６ｂ、６ｂは、それぞれ互いに反対磁極が対向する様に着磁されて静磁界を発生させるそれぞれ一対の永久磁石でもよいし、電磁石を用いることも可能である。
【００３８】
この２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータにおいては、一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ，６ａ及び６ｂ、６ｂを、ベース基板７側の上面とチップ５の上面とに跨って載置させている。これによって、チップ５に規制されることなく一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ，６ａ及び６ｂ、６ｂのそれぞれの対向する面の距離Ｌ１及びＬ２をチップ５の外周部を越えて接近させることができるため、第１実施形態と同様に、従来と同等の性能で小型化することができる。また、従来と同じ大きさの静磁界発生手段を使用する場合は、駆動コイルに作用する磁界強度を従来よりも増加させることができるため大振幅化が可能であり、この場合、前述の静磁界発生手段の対向面の距離Ｌ１及びＬ２を従来よりも近づけているためプレーナ型電磁アクチュエータ全体は小さくなり、小型化と大振幅化を同時に実現できる。
【００３９】
尚、本第４実施形態の別の構成例として、図２に示した様に、スペーサ１２をベース基板７とチップ５の間に入れてチップ５の高さ方向の位置を調整できる構成としてもよいし、また、図示していないが、スペーサ１２をベース基板７と一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ、６ａ及び６ｂ、６ｂの間に入れて、チップ５の上面とスペーサ１２の上面とがほぼ面一になる様に調整できる構成としてもよい。
【００４０】
上記第４実施形態は、ベース基板にザグリ部を形成して一対の静磁界発生手段をベース基板側とチップ側に跨って載置する構成例を示したが、２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータの場合も、１次元駆動型の第２及び第３実施形態の様に、一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ、６ａ及び６ｂ、６ｂに切欠き部１３を形成したり、ベース基板７側にスペーサ１４を設けたりすることによって、一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ、６ａ及び６ｂ、６ｂをベース基板７側とチップ５側に跨って載置する構成とすることもできる。一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ、６ａ及び６ｂ、６ｂに切欠き部１３を形成する構成の場合、第２実施形態の別の構成例として説明した、スペーサ１２によって高さを調整する構成も適用できる。
【００４１】
２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータでは、図７（ａ）に示す様に、一対の第１及び第２の静磁界発生手段６ａ、６ａ及び６ｂ、６ｂのそれぞれ対向する端部が外側可動板３ａに近接して配置する場合、一対の第２の静磁界発生手段６ｂ、６ｂが外側トーションバー２ａ、２ａ上に位置する。この場合、アクチュエータ駆動時に外側トーションバー２ａ、２ａが回動したり垂直方向に変形運動すると、一対の第２の静磁界発生手段６ｂ、６ｂの下面が外側トーションバー２ａ、２ａに接触する虞れがある。この様な場合に、前述の様にスペーサ１２によってチップ５の上面の高さ方向の位置を調整可能な構成とすれば、アクチュエータの駆動時に外側トーションバー２ａ、２ａが回動したり垂直方向に変形運動をしても第２の静磁界発生手段６ｂ、６ｂの下面との接触を防ぐことができる。また、外側トーションバー２ａ、２ａが回動したり垂直方向に変形運動をしても非接触を保てるように、静磁界発生手段６ｂ、６ｂ自体を構成しても良い。この場合、例えば、静磁界発生手段６ｂ、６ｂの当該部分に溝や切欠き、貫通孔等を形成することが考えられる。
【００４２】
また、前述の様にスペーサ１２、１４をベース基板７と第１及び第２の静磁界発生手段の間に入れる場合、スペーサ１２、１４は、例えば、チップ５の外方を周回する枠状の形状であってもよいし、分離された板形状であってもよい。分離された板形状の場合は、第１の静磁界発生手段６ａ、６ａと第２の静磁界発生手段６ｂ、６ｂ用のスペーサ１２、１４はそれぞれの高さ方向の寸法が同一であってもよいし、異なっていてもよい、異なった寸法にすることによって、前述のように、外側トーションバー２ａ、２ａと第２の静磁界発生手段６ｂ、６ｂとの接触を防ぎ、かつ第１の静磁界発生手段６ａ、６ａを載置するスペーサ１２、１４の上面とチップ５上面とをほぼ面一に保つことができる。
【００４３】
尚、上記各実施形態では、静磁界発生手段を枠部を越えて内側の可動板に近接させた配置構成を示したが、静磁界発生手段の対向側の端面が枠部上に位置する配置構成でもよく、本発明は静磁界発生手段がベース基板とチップに跨った構成であればよい。
【００４４】
また、本発明のプレーナ型電磁アクチュエータは、可動板３に光を反射する反射ミラーを設ければ、光走査用のプレーナ型電磁アクチュエータとして使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの第１実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ‘矢視断面図である。
【図２】上記第１実施形態における別の構成例を示す図で、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ‘断面を示す図である。
【図３】本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの第２実施形態に用いる一対の静磁界発生手段６，６の斜視図を示す。
【図４】上記第２実施形態における図１（ｂ）と同じＡ−Ａ‘断面を示す図である。
【図５】上記第２実施形態における別の構成例を示す図で、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ‘断面を示す図である。
【図６】本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの第３実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ‘矢視断面図である。
【図７】本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの第４実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＢ−Ｂ‘矢視断面図である。
【図８】従来のプレーナ型電磁アクチュエータの構成を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ‘矢視断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…枠部
２…トーションバー
２ａ…外側トーションバー
２ｂ…内側トーションバー
３…可動板
３ａ…外側可動板
３ｂ…内側可動板
４…駆動コイル
４ａ…外側駆動コイル
４ｂ…内側駆動コイル
５…チップ
６…静磁界発生手段
６ａ…第１の静磁界発生手段
６ｂ…第２の静磁界発生手段
７…ベース基板
９…ザグリ部
１２、１４…スペーサ
１３…切欠き部
【図１】
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【図２】
2010041873.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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