(57)【要約】【課題】被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たるようにし、被浮上体が撓まないようにして、被浮上体と流体噴出体30との接触防止を図る。【解決手段】浮上装置10は、複数の通常流体噴出体31（30）が所定の配列で配置されて構成される通常浮上領域40と、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって通常浮上領域40内の所定位置に配置される吸着体60と、回転軸72を中心に吸着体60を回転させる回転機構70とを備える。回転軸72を中心とし少なくとも一部が通常浮上領域40外を通過する領域外通過円50を設定する。通常浮上領域40外における領域外通過円50の円周上に、円周上流体噴出体32（30）を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分を、円周上流体噴出体32（30）から噴出させた流体により浮上させる。【選択図】図１
2010126357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体を備え、この流体噴出体から噴出させた流体により被浮上体を浮上させる浮上装置であって、
流体噴出体としての複数の通常流体噴出体が所定の配列で配置されて構成される通常浮上領域と、
浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって通常浮上領域内の所定位置に配置される吸着体と、
回転軸を中心に吸着体を回転させるためのものであって吸着体を回転させることにより浮上した状態の被浮上体を回転させるための回転機構とを備え、
回転軸を中心とし少なくとも一部が通常浮上領域外を通過する円である領域外通過円を設定し、
通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に、流体噴出体としての円周上流体噴出体を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域から外れた部分を、円周上流体噴出体から噴出させた流体により浮上させるように形成されていることを特徴とする浮上装置。
【請求項２】
通常流体噴出体および円周上流体噴出体は、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項１記載の浮上装置。
【請求項３】
通常浮上領域外における通常流体噴出体と円周上流体噴出体との間に相当する位置に、流体噴出体としての補助流体噴出体を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域から外れた部分を、補助流体噴出体から噴出させた流体により浮上させるように形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の浮上装置。
【請求項４】
通常流体噴出体、円周上流体噴出体および補助流体噴出体は、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項３記載の浮上装置。
【請求項５】
円周上流体噴出体は、平面視ほぼ矩形とされ、その長辺が領域外通過円の接線とほぼ平行になるように配置されていることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の浮上装置。
【請求項６】
被浮上体は、平面視ほぼ矩形とされ、被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡が、領域外通過円として設定されることを特徴とする請求項１、２、３、４または５記載の浮上装置。
【請求項７】
被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体を備え、この流体噴出体から噴出させた流体により被浮上体を浮上させる浮上装置に用いられる流体噴出体ユニットであって、
浮上装置は、流体噴出体としての複数の通常流体噴出体が所定の配列で配置されて構成される通常浮上領域と、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって通常浮上領域内の所定位置に配置される吸着体と、回転軸を中心に吸着体を回転させるためのものであって吸着体を回転させることにより浮上した状態の被浮上体を回転させるための回転機構とを備え、回転軸を中心とし少なくとも一部が通常浮上領域外を通過する円である領域外通過円を設定し、通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に、流体噴出体としての円周上流体噴出体を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域から外れた部分を、円周上流体噴出体から噴出させた流体により浮上させるように形成されるものであり、
流体噴出体ユニットは、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体と、通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体とがユニット化されたものであることを特徴とする流体噴出体ユニット。
【請求項８】
通常流体噴出体および円周上流体噴出体が、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項７記載の流体噴出体ユニット。
【請求項９】
浮上装置は、通常浮上領域外における通常流体噴出体と円周上流体噴出体との間に相当する位置に、流体噴出体としての補助流体噴出体を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域から外れた部分を、補助流体噴出体から噴出させた流体により浮上させるように形成されるものであり、
流体噴出体ユニットは、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体と、通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体と、通常浮上領域外における通常流体噴出体と円周上流体噴出体との間に位置するように配置された補助流体噴出体とがユニット化されたものであることを特徴とする請求項７または８記載の流体噴出体ユニット。
【請求項１０】
通常流体噴出体、円周上流体噴出体および補助流体噴出体が、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項９記載の流体噴出体ユニット。
【請求項１１】
円周上流体噴出体が、平面視ほぼ矩形とされ、その長辺が領域外通過円の接線とほぼ平行になるように配置されていることを特徴とする請求項７、８、９または１０記載の流体噴出体ユニット。
【請求項１２】
被浮上体が、平面視ほぼ矩形とされ、被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡が、領域外通過円として設定されることを特徴とする請求項７、８、９、１０または１１記載の流体噴出体ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浮上装置および流体噴出体ユニットに関し、更に詳しくは、被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体を備え、この流体噴出体から噴出させた流体により被浮上体を浮上させる浮上装置、およびこの浮上装置に用いられる流体噴出体ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板などの被浮上体を搬送するための搬送装置として、被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体を備え、この流体噴出体から噴出させた流体によって被浮上体を浮上させて搬送するものが提供されている（例えば、特許文献１ないし３参照）。
この種の搬送装置では、被浮上体の搬送方向に沿って、かつ、被浮上体の幅（搬送方向と直交する方向の幅）に合わせて、複数の流体噴出体が並べて配置されて、浮上領域が構成されるとともに、浮上した状態の被浮上体の一辺を保持しつつ移動することにより被浮上体を移動させる移動機構が、浮上領域に沿って設けられる。
【特許文献１】特開２００８−１９２７１８号公報
【特許文献２】特開２００７−２８１２８５号公報
【特許文献３】特開２００５−０８９１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、被浮上体の搬送ラインを、直線状に構築する場合が多いが、屈曲した形状に構築したい場合もあり、更には、屈曲した搬送ラインの屈曲点において、被浮上体の向きを所定の角度回転させたい場合もある。
ここで、浮上領域は、被浮上体の幅（搬送方向と直交する方向の幅）に合わせて、複数の流体噴出体を並べて配置して構築されるものであるところ、このような浮上領域上で被浮上体を回転させると、被浮上体の角部近辺が浮上領域から外れてしまう。これでは、角部近辺の下面に流体が当たらないことから、角部近辺の浮上高さが低くなり、これにより、被浮上体が撓んで流体噴出体と接触し、傷付いたり破損したりしてしまう。
【０００４】
（請求項１）
そこで、請求項１記載の発明は、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たるようにし、これにより、被浮上体が撓まないようにし、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止を図るようにした浮上装置の提供を目的とする。
（請求項２）
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整を容易にし、これにより、被浮上体の撓みをより確実に防止し、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止をより確実に図るようにした浮上装置の提供を目的とする。
【０００５】
（請求項３）
また、請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時に浮上領域から外れる部分の下面により多くの流体が当たるようにし、これにより、被浮上体の撓みをより確実に防止し、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止をより確実に図るようにした浮上装置の提供を目的とする。
（請求項４）
また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整を容易にし、これにより、被浮上体の撓みをより確実に防止し、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止をより確実に図るようにした浮上装置の提供を目的とする。
【０００６】
（請求項５）
また、請求項５記載の発明は、請求項１ないし４記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時にその角部近辺を浮上させるのに要する流体噴出体の数を極力少なくして、製造コストの削減を図るとともに、被浮上体の回転時にその角部近辺が通過することとなる、隣合う流体噴出体同士の間隙を極力少なくして、角部近辺の浮力の低下を極力防止するようにした浮上装置の提供を目的とする。
（請求項６）
また、請求項６記載の発明は、請求項１ないし５記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に確実に流体が当たるようにし、これにより、被浮上体の撓み防止をより確実にし、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止をより確実に図るようにした浮上装置の提供を目的とする。
【０００７】
（請求項７）
また、請求項７記載の発明は、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たるようにした浮上装置を、容易に構築可能にした流体噴出体ユニットの提供を目的とする。
（請求項８）
また、請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整が容易な浮上装置を、容易に構築可能とした流体噴出体ユニットの提供を目的とする。
（請求項９）
また、請求項９記載の発明は、請求項７または８記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時に浮上領域から外れる部分の下面により多くの流体が当たるようにした浮上装置を、容易に構築可能とした流体噴出体ユニットの提供を目的とする。
【０００８】
（請求項１０）
また、請求項１０記載の発明は、請求項９記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整が容易な浮上装置を、容易に構築可能とした流体噴出体ユニットの提供を目的とする。
（請求項１１）
また、請求項１１記載の発明は、請求項７ないし１０記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時にその角部近辺を浮上させるのに要する流体噴出体の数を極力少なくして、製造コストの削減を図るとともに、被浮上体の回転時にその角部近辺が通過することとなる、隣合う流体噴出体同士の間隙を極力少なくして、角部近辺の浮力の低下を極力防止するようにした浮上装置を、容易に構築可能とした流体噴出体ユニットの提供を目的とする。
【０００９】
（請求項１２）
また、請求項１２記載の発明は、請求項７ないし１１記載の発明の目的に加え、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に確実に流体が当たるようにし、これにより、被浮上体の撓み防止をより確実にし、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止をより確実に図るようにした浮上装置を、容易に構築可能とした流体噴出体ユニットの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（請求項１）
請求項１記載の発明は、被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体30を備え、この流体噴出体30から噴出させた流体により被浮上体を浮上させる浮上装置10に係るものであって、流体噴出体30としての複数の通常流体噴出体31（30）が所定の配列で配置されて構成される通常浮上領域40と、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって通常浮上領域40内の所定位置に配置される吸着体60と、回転軸72を中心に吸着体60を回転させるためのものであって吸着体60を回転させることにより浮上した状態の被浮上体を回転させるための回転機構70とを備え、回転軸72を中心とし少なくとも一部が通常浮上領域40外を通過する円である領域外通過円50を設定し、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に、流体噴出体30としての円周上流体噴出体32（30）を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分を、円周上流体噴出体32（30）から噴出させた流体により浮上させるように形成されていることを特徴とする。
【００１１】
ここで、「被浮上体」としては、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板があり、また、カラーフィルターなどもある。
また、「流体」としては、例えば、空気、窒素、アルゴン、ヘリウムなどの気体が用いられ、また、水などの液体も用いられる。
また、「流体噴出体30」は、被浮上体の下面へ向けて流体を噴出するためのものである。この流体噴出体30から噴出させた流体により、被浮上体を浮上させる。
また、流体噴出体30は、例えば、チャンバーと、チャンバーの上面に固定された多孔質板とを備える。また、チャンバーの内部には、気密空間が設けられ、また、チャンバーの上面には、溝部が設けられるとともに、溝部の底面を貫通して気密空間と連通する貫通孔が設けられる。また、チャンバーの気密空間には、加圧流体が供給される。また、多孔質板としては、例えば、多孔質カーボン、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂、板状体に所定径の孔を開けたものなどが用いられる。そして、チャンバーの気密空間に加圧流体を供給すると、チャンバーの上面に設けられた貫通孔から流体が噴出する。貫通孔から噴出した流体は、チャンバーの上面に設けられた溝部を伝って、多孔質板の下面に行き渡り、多孔質板の上面から上方へ向けて噴出する。そして、多孔質板の上面から上方へ向けて噴出した流体が、被浮上体を浮上させる。
【００１２】
また、「通常浮上領域40」は、流体噴出体30としての複数の通常流体噴出体31（30）が所定の配列で配置されて構成されるものである。
また、「通常流体噴出体31（30）」は、通常浮上領域40内に配置される流体噴出体30である。
また、通常浮上領域40は、例えば、その長さ（Ｘ軸方向の長さ）および幅（Ｙ軸方向の長さ）が、被浮上体の長さ（Ｘ軸方向の長さ）および幅（Ｙ軸方向の長さ）に合うように、複数の通常流体噴出体31（30）を配置して構成される。
また、「吸着体60」は、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって、通常浮上領域40内の所定位置に配置されるものである。
【００１３】
また、吸着体60としては、例えば、エアパッド61（60）を用いることができる。また、エアパッド61（60）の上面には、多数の通気孔が設けられ、また、エアパッド61（60）の被浮上体への吸着は、エアパッド61（60）の上面を被浮上体の下面に当接させ、この状態で、被浮上体とエアパッド61（60）との間の空気を、通気孔を介して吸引することによって行うことができる。
また、吸着体60は、例えば、通常浮上領域40の中心に配置することができる。
また、「回転機構70」は、回転軸72を中心に吸着体60を回転させるためのものであって、吸着体60を回転させることにより浮上した状態の被浮上体を回転させるためのものである。
【００１４】
また、回転機構70としては、例えば、サーボモーター71（70）を用いることができる。また、サーボモーター71（70）の回転軸72に、吸着体60を固定することにより、回転軸72を中心に、吸着体60を回転させることができ、ひいては被浮上体を回転させることができる。
また、例えば、回転軸72が通常浮上領域40の中心に位置するように、サーボモーター71（70）を設置するとともに、回転軸72に吸着体60を固定することにより、通常浮上領域40の中心に、吸着体60を配置することができる。
また、「領域外通過円50」は、回転軸72を中心とし、少なくとも一部が通常浮上領域40外を通過する円である。
【００１５】
つまり、領域外通過円50は、回転軸72を中心とする円であって、かつ、少なくとも一部が通常浮上領域40からはみ出す円である。したがって、回転軸72を中心とするものの、通常浮上領域40内に収まっている円、通常浮上領域40からはみ出さない円は、領域外通過円50ではない。
また、「円周上流体噴出体32（30）」は、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に配置される流体噴出体30である。
つまり、円周上流体噴出体32（30）は、通常浮上領域40外に配置されるものであり、かつ、領域外通過円50の円周上か、または領域外通過円50の同心円の円周上に配置されるものである。
【００１６】
そして、円周上流体噴出体32（30）は、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分の下面へ向けて、流体を噴出するものであり、これにより、被浮上体における、通常浮上領域40から外れた部分を浮上させるものである。
（請求項２）
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明を限定したものであって、通常流体噴出体31（30）および円周上流体噴出体32（30）は、同一平面上に配置されていることを特徴とする。
（請求項３）
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明を限定したものであって、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に、流体噴出体30としての補助流体噴出体33（30）を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分を、補助流体噴出体33（30）から噴出させた流体により浮上させるように形成されていることを特徴とする。
【００１７】
ここで、「補助流体噴出体33（30）」は、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に配置される流体噴出体30である。
つまり、補助流体噴出体33（30）は、通常浮上領域40外に配置されるものであり、かつ、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に配置されるものである。
そして、補助流体噴出体33（30）は、円周上流体噴出体32（30）と同様に、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分の下面へ向けて、流体を噴出するものであり、これにより、被浮上体における、通常浮上領域40から外れた部分を浮上させるものである。
【００１８】
（請求項４）
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明を限定したものであって、通常流体噴出体31（30）、円周上流体噴出体32（30）および補助流体噴出体33（30）は、同一平面上に配置されていることを特徴とする。
（請求項５）
請求項５記載の発明は、請求項１ないし４記載の発明を限定したものであって、円周上流体噴出体32（30）は、平面視ほぼ矩形とされ、その長辺が領域外通過円50の接線とほぼ平行になるように配置されていることを特徴とする。
【００１９】
（請求項６）
請求項６記載の発明は、請求項１ないし５記載の発明を限定したものであって、被浮上体は、平面視ほぼ矩形とされ、被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡が、領域外通過円50として設定されることを特徴とする。
（請求項７）
請求項７記載の発明は、被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体30を備え、この流体噴出体30から噴出させた流体により被浮上体を浮上させる浮上装置10に用いられる流体噴出体30ユニットに係るものであって、浮上装置10は、流体噴出体30としての複数の通常流体噴出体31（30）が所定の配列で配置されて構成される通常浮上領域40と、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって通常浮上領域40内の所定位置に配置される吸着体60と、回転軸72を中心に吸着体60を回転させるためのものであって吸着体60を回転させることにより浮上した状態の被浮上体を回転させるための回転機構70とを備え、回転軸72を中心とし少なくとも一部が通常浮上領域40外を通過する円である領域外通過円50を設定し、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に、流体噴出体30としての円周上流体噴出体32（30）を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分を、円周上流体噴出体32（30）から噴出させた流体により浮上させるように形成されるものであり、流体噴出体30ユニットは、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体31（30）と、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体32（30）とがユニット化されたものであることを特徴とする。
【００２０】
（請求項８）
請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明を限定したものであって、通常流体噴出体31（30）および円周上流体噴出体32（30）が、同一平面上に配置されていることを特徴とする。
（請求項９）
請求項９記載の発明は、請求項７または８記載の発明を限定したものであって、浮上装置10は、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に、流体噴出体30としての補助流体噴出体33（30）を配置し、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分を、補助流体噴出体33（30）から噴出させた流体により浮上させるように形成されるものであり、流体噴出体30ユニットは、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体31（30）と、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体32（30）と、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に位置するように配置された補助流体噴出体33（30）とがユニット化されたものであることを特徴とする。
【００２１】
（請求項１０）
請求項１０記載の発明は、請求項９記載の発明を限定したものであって、通常流体噴出体31（30）、円周上流体噴出体32（30）および補助流体噴出体33（30）が、同一平面上に配置されていることを特徴とする。
（請求項１１）
請求項１１記載の発明は、請求項７ないし１０記載の発明を限定したものであって、円周上流体噴出体32（30）が、平面視ほぼ矩形とされ、その長辺が領域外通過円50の接線とほぼ平行になるように配置されていることを特徴とする。
【００２２】
（請求項１２）
請求項１２記載の発明は、請求項７ないし１１記載の発明を限定したものであって、被浮上体が、平面視ほぼ矩形とされ、被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡が、領域外通過円50として設定されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
（請求項１）
請求項１記載の発明によれば、通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に、流体噴出体としての円周上流体噴出体を配置したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たるようにすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止が図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止が図れる浮上装置を提供できる。
（請求項２）
請求項２記載の発明によれば、通常流体噴出体と円周上流体噴出体とを同一平面上に配置したことから、被浮上体の回転時に通常浮上領域内に留まる部分と通常浮上領域から外れる部分との浮上量の調整を容易にすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる浮上装置を提供できる。
【００２４】
（請求項３）
請求項３記載の発明によれば、通常浮上領域外における通常流体噴出体と円周上流体噴出体との間に相当する位置に、流体噴出体としての補助流体噴出体を配置したことから、被浮上体の回転時に通常浮上領域から外れる部分の下面により多くの流体が当たるようにすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる浮上装置を提供できる。
（請求項４）
請求項４記載の発明によれば、通常流体噴出体、円周上流体噴出体および補助流体噴出体を同一平面上に配置したことから、被浮上体の回転時に通常浮上領域内に留まる部分と通常浮上領域から外れる部分との浮上量の調整を容易にすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる浮上装置を提供できる。
【００２５】
（請求項５）
請求項５記載の発明によれば、平面視ほぼ矩形の円周上流体噴出体を、その長辺が領域外通過円の接線とほぼ平行になるように配置したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺を浮上させるのに要する円周上流体噴出体の数を極力少なくすることができ、製造コストの削減が図れるとともに、被浮上体の回転時にその角部近辺が通過することとなる、隣合う円周上流体噴出体同士の間隙を極力少なくすることができ、角部近辺の浮力の低下防止が極力図れる浮上装置を提供できる。
（請求項６）
請求項６記載の発明によれば、平面視ほぼ矩形の被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡を、領域外通過円として設定したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に確実に流体が当たるようにすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる浮上装置を提供できる。
【００２６】
（請求項７）
請求項７記載の発明によれば、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体と、通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体とをユニット化したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たる浮上装置を容易に構築可能な流体噴出体ユニットを提供できる。
（請求項８）
請求項８記載の発明によれば、通常流体噴出体と円周上流体噴出体とを同一平面上に配置したことから、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整が容易な浮上装置を容易に構築可能な流体噴出体ユニットを提供できる。
【００２７】
（請求項９）
請求項９記載の発明によれば、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体と、通常浮上領域外における領域外通過円または領域外通過円の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体と、通常浮上領域外における通常流体噴出体と円周上流体噴出体との間に位置するように配置された補助流体噴出体とをユニット化したことから、被浮上体の回転時に浮上領域から外れる部分の下面により多くの流体が当たる浮上装置を容易に構築可能な流体噴出体ユニットを提供できる。
（請求項１０）
請求項１０記載の発明によれば、通常流体噴出体と円周上流体噴出体と補助流体噴出体とを同一平面上に配置したことから、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整が容易な浮上装置を容易に構築可能な流体噴出体ユニットを提供できる。
【００２８】
（請求項１１）
請求項１１記載の発明によれば、平面視ほぼ矩形の円周上流体噴出体を、その長辺が領域外通過円の接線とほぼ平行になるように配置したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺を浮上させるのに要する流体噴出体の数を極力少なくすることができ、製造コストの削減が図れるとともに、被浮上体の回転時にその角部近辺が通過することとなる、隣合う流体噴出体同士の間隙を極力少なくすることができ、角部近辺の浮力の低下防止が極力図れる浮上装置を容易に構築可能な流体噴出体ユニットを提供できる。
（請求項１２）
請求項１２記載の発明によれば、平面視ほぼ矩形の被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡を、領域外通過円として設定したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に確実に流体が当たり、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる浮上装置を容易に構築可能な流体噴出体ユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
（図面の説明）
図１ないし図４は、本発明の実施の形態を示すものである。
図１は、浮上装置10の平面図、図２は、浮上装置10の要部側面図、図３は、回転機構70の拡大側面図、図４は、エア供給ユニット80の拡大側面図をそれぞれ示すものである。
（浮上装置10）
本実施の形態に係る浮上装置10は、ガラス基板などの被浮上体の下面へ向けて流体を噴出する流体噴出体30を備え、この流体噴出体30から噴出させた流体によって、被浮上体を浮上させるものである。
【００３０】
また、本実施の形態に係る浮上装置10は、被浮上体の搬送ラインを、例えばＬ字形や「く」の字形など、所定の角度屈曲した形状に構築する場合に用いられるものであり、このように屈曲した搬送ラインの屈曲点に設置されて、被浮上体の向きを、搬送ラインの屈曲角度に合わせて回転させるためのものである。
また、本実施の形態では、図１の上方が、搬送ラインの上流側とされ、また、図１の右方が、搬送ラインの下流側とされている。つまり、本実施の形態では、搬送ラインが、Ｌ字形に屈曲した形状に構築されている。そして、本実施の形態に係る浮上装置10は、Ｌ字形に屈曲した搬送ラインの屈曲点に設置されて、上流側から搬送されてきた被浮上体の向きを、搬送ラインの屈曲角度に合わせて９０度回転させるものである。
【００３１】
また、本実施の形態では、浮上装置10は、枠状のフレーム20を備えている。そして、このフレーム20の上部に、複数の流体噴出体30が所定の配列で配置されて、被浮上体を浮上させるための浮上領域が構成されている。また、このフレーム20の上部には、被浮上体を回転させるための吸着体60および回転機構70が設けられ、更に、このフレーム20の内部には、各流体噴出体30へ流体としての加圧空気を供給するためのエア供給ユニット80が設けられている。
以下更に、本実施の形態に係る浮上装置10が備える各構成について詳しく説明する。
（流体噴出体30）
流体噴出体30は、被浮上体の下面へ向けて流体を噴出するためのものである。この流体噴出体30から噴出させた流体により、被浮上体を浮上させる。
【００３２】
図示しないが、本実施の形態では、流体噴出体30は、チャンバーと、チャンバーの上面に固定された多孔質板とを備えている。また、チャンバーの内部には、気密空間が設けられ、また、チャンバーの上面には、溝部が設けられるとともに、溝部の底面を貫通して気密空間と連通する貫通孔が設けられている。また、チャンバーの気密空間には、エア供給ユニット80から耐圧チューブを介して、加圧流体としての加圧空気が供給されるようになっている。また、多孔質板としては、多孔質カーボンが用いられている。
チャンバーの気密空間に加圧空気が供給されると、チャンバーの上面に設けられた貫通孔から空気が噴出する。また、貫通孔から噴出した空気は、チャンバーの上面に設けられた溝部を伝って、多孔質板の下面に行き渡り、多孔質板の空隙を通って、孔質板の上面から上方へ向けて噴出する。そして、多孔質板の上面から上方へ向けて噴出した空気が、被浮上体を浮上させる。
【００３３】
（通常浮上領域40・通常流体噴出体31（30））
通常浮上領域40は、流体噴出体30としての複数の通常流体噴出体31（30）が所定の配列で配置されて構成されるものである。
また、通常流体噴出体31（30）は、通常浮上領域40内に配置される流体噴出体30である。
また、通常浮上領域40は、その長さ（Ｘ軸方向の長さ）および幅（Ｙ軸方向の長さ）が、被浮上体の長さ（Ｘ軸方向の長さ）および幅（Ｙ軸方向の長さ）に合うように、複数の通常流体噴出体31（30）を配置して構成される。
【００３４】
図１に示すように、本実施の形態では、通常浮上領域40内には、２６個の通常流体噴出体31（30）が配置されている。具体的には、通常浮上領域40内における、中央のラインよりも左側には、Ｘ軸方向に３個、Ｙ軸方向に４個という配列で、合計１２個の通常流体噴出体31（30）が配置されている。同様に、通常浮上領域40内における、中央のラインよりも右側にも、Ｘ軸方向に３個、Ｙ軸方向に４個という配列で、合計１２個の通常流体噴出体31（30）が配置されている。更に、通常浮上領域40内における、中央のライン上には、２個の通常流体噴出体31（30）がＸ軸方向に並べて配置されている。このような配列で、通常浮上領域40内には、２６個の通常流体噴出体31（30）が配置されている。逆に言えば、２６個の通常流体噴出体31（30）が、上述したような配列で配置されて、通常浮上領域40が構成されている。
【００３５】
また、図１に示すように、本実施の形態では、各通常流体噴出体31（30）は、平面視ほぼ矩形とされている。
更に、本実施の形態では、２６個の通常流体噴出体31（30）は、同一平面上に配置されている。
（吸着体60・回転機構70）
吸着体60は、浮上した状態の被浮上体の下面に吸着されるものであって、通常浮上領域40内の所定位置に配置されるものである。
本実施の形態では、吸着体60として、エアパッド61（60）を用いている。また、エアパッド61（60）の上面には、多数の通気孔が設けられており、また、エアパッド61（60）の被浮上体への吸着は、エアパッド61（60）の上面を被浮上体の下面に当接させ、この状態で、被浮上体とエアパッド61（60）との間の空気を、通気孔を介して吸引することによって行うようにしている。
【００３６】
また、回転機構70は、回転軸72を中心に吸着体60を回転させるためのものであって、吸着体60を回転させることにより、浮上した状態の被浮上体を回転させるためのものである。
本実施の形態では、回転機構70として、サーボモーター71（70）を用いている。また、図３に示すように、本実施の形態では、サーボモーター71（70）の回転軸72の上端に、吸着体60を固定しており、これにより、回転軸72を中心に、吸着体60を回転させ、ひいては被浮上体を回転させるようにしている。
また、図１に示すように、本実施の形態では、回転軸72が通常浮上領域40の中心に位置するように、サーボモーター71（70）を設置するとともに、回転軸72の上端に、吸着体60を固定することにより、通常浮上領域40の中心に、吸着体60を配置するようにしている。
【００３７】
また、本実施の形態では、被浮上体は、通常浮上領域40内で、水平に浮上するようにしてあり、また、サーボモーター71（70）は、回転軸72が鉛直方向に延びるように、フレーム20に取り付けられている。このため、回転軸72は、被浮上体の下面に直交するようになっている。
更に、本実施の形態では、被浮上体の重心が、通常浮上領域40の中心、つまり、吸着体60の配置位置と一致したときに、被浮上体の下面に吸着体60を吸着させ、この状態で、サーボモーター71（70）を駆動させ、回転軸72を回転させて、被浮上体を回転させるようにしている。このため、吸着体60は、被浮上体の重心に吸着されるようになっており、また、被浮上体は、その重心を中心に回転するようになっている。
【００３８】
（領域外通過円50・円周上流体噴出体32（30））
領域外通過円50は、回転軸72を中心とし、少なくとも一部が通常浮上領域40外を通過する円である。
図１に示すように、本実施の形態では、回転軸72を中心とし、Ｙ軸方向の両側が通常浮上領域40外を通過する円を、領域外通過円50として設定している。この領域外通過円50は、設計上設定される円である。
また、本実施の形態では、被搬送体は、平面視ほぼ矩形とされ、被浮上体が回転軸72を中心に回転した際のその頂点の軌跡を、領域外通過円50として設定している。
【００３９】
また、円周上流体噴出体32（30）は、通常浮上領域40外における、領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に配置される流体噴出体30である。
つまり、円周上流体噴出体32（30）は、通常浮上領域40外に配置されるものであり、かつ、領域外通過円50の円周上か、または領域外通過円50の同心円の円周上に配置されるものである。
そして、円周上流体噴出体32（30）は、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分の下面へ向けて、流体を噴出するものであり、これにより、被浮上体における、通常浮上領域40から外れた部分を浮上させるものである。
【００４０】
図１に示すように、本実施の形態では、通常浮上領域40よりも左側における、領域外通過円50の円周上に、３個の円周上流体噴出体32（30）が配置されており、また、通常浮上領域40よりも右側における、領域外通過円50の円周上にも、３個の円周上流体噴出体32（30）が配置されている。これにより、本実施の形態では、合計６個の円周上流体噴出体32（30）が配置されている。
また、本実施の形態では、６個の円周上流体噴出体32（30）は、２６個の通常流体噴出体31（30）と同一平面上に配置されている。
また、図１に示すように、本実施の形態では、６個の各円周上流体噴出体32（30）は、平面視ほぼ矩形とされ、その長辺が領域外通過円50の接線とほぼ平行になるように配置されている。
【００４１】
（補助流体噴出体33（30））
補助流体噴出体33（30）は、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に配置される流体噴出体30である。
つまり、補助流体噴出体33（30）は、通常浮上領域40外に配置されるものであり、かつ、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に配置されるものである。
そして、補助流体噴出体33（30）は、円周上流体噴出体32（30）と同様に、被浮上体における、回転に伴って通常浮上領域40から外れた部分の下面へ向けて、流体を噴出するものであり、これにより、被浮上体における、通常浮上領域40から外れた部分を浮上させるものである。
【００４２】
図１に示すように、本実施の形態では、通常浮上領域40よりも左側における、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に、１個の補助流体噴出体33（30）が配置されており、また、通常浮上領域40よりも右側における、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置にも、１個の補助流体噴出体33（30）が配置されている。
また、本実施の形態では、２個の補助流体噴出体33（30）は、２６個の通常流体噴出体31（30）および６個の円周上流体噴出体32（30）と同一平面上に配置されている。
（エア供給ユニット80）
エア供給ユニット80は、各流体噴出体30へ、流体としての加圧空気を供給するためのものである。
【００４３】
本実施の形態では、エア供給ユニット80は、各流体噴出体30、具体的には、２６個の各通常流体噴出体31（30）、６個の各円周上流体噴出体32（30）、および２個の各補助流体噴出体33（30）と、耐圧チューブで接続されており、この耐圧チューブを介して、各流体噴出体30のチャンバーの気密空間に、加圧流体としての加圧空気を供給するように形成されている。
また、図４に示すように、本実施の形態では、エア供給ユニット80は、加圧空気を送り出すための送風機81と、送風機81から送り出された加圧空気を濾過するためのヘパフィルター82とを備えている。そして、ヘパフィルター82で濾過された加圧空気を、耐圧チューブを介して、各流体噴出体30のチャンバーの気密空間へ供給するようにしている。
【００４４】
更に、従来の浮上装置10であれば、通常、５〜４００ＫＰａ（キロパスカル）の加圧空気が、流体噴出体30のチャンバーの気密空間へ供給されるところ、本実施の形態では、２．１ＫＰａ（キロパスカル）以下という比較的低圧の加圧空気を、各流体噴出体30のチャンバーの気密空間へ供給するようにしている。
（浮上装置10の動作）
本実施の形態では、まず、搬送ラインの上流側から、搬送ラインの屈曲点へ、つまり、本実施の形態に係る浮上装置10上へ、被浮上体が浮上した状態で、図示しないＸ軸方向の搬送機構により搬送されてくる。
【００４５】
次に、被浮上体の重心が、通常浮上領域40の中心、つまり、吸着体60の配置位置と一致したときに、被浮上体の下面に吸着体60を吸着させ、この状態で、サーボモーター71（70）を駆動させ、回転軸72を時計回りまたは反時計回りに９０度回転させて、被浮上体を時計回りまたは反時計回りに９０度回転させる。
そして、被浮上体を時計回りまたは反時計回りに９０度回転させたら、吸着体60の被浮上体下面への吸着が解かれ、その後、図示しないＹ軸方向の搬送機構により搬送される。
（作用・効果）
以上説明したように、本実施の形態では、通常浮上領域40外における領域外通過円50の円周上に、流体噴出体30としての円周上流体噴出体32（30）を配置したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たるようにすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止が図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体30との接触防止および被浮上体の破損防止が図れる。
【００４６】
また、本実施の形態では、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）とを同一平面上に配置し、更には、補助流体噴出体33（30）についても、通常流体噴出体31（30）および円周上流体噴出体32（30）と同一平面上に配置したことから、被浮上体の回転時に通常浮上領域40内に留まる部分と通常浮上領域40から外れる部分との浮上量の調整を容易にすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体30との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる。
また、本実施の形態では、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に相当する位置に、流体噴出体30としての補助流体噴出体33（30）を配置したことから、被浮上体の回転時に通常浮上領域40から外れる部分の下面により多くの流体が当たるようにすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体30との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる。
【００４７】
また、本実施の形態では、平面視ほぼ矩形の円周上流体噴出体32（30）を、その長辺が領域外通過円50の接線とほぼ平行になるように配置したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺を浮上させるのに要する円周上流体噴出体32（30）の数を極力少なくすることができ、製造コストの削減が図れるとともに、被浮上体の回転時にその角部近辺が通過することとなる、隣合う円周上流体噴出体32（30）同士の間隙を極力少なくすることができ、角部近辺の浮力の低下防止が極力図れる。
また、本実施の形態では、平面視ほぼ矩形の被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡を、領域外通過円50として設定したことから、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に確実に流体が当たるようにすることができ、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体30との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる。
【００４８】
（変形例・その他）
なお、上記実施の形態では、搬送ラインを、Ｌ字形に屈曲した形状とし、浮上装置10は、被浮上体の向きを、搬送ラインの屈曲角度に合わせて９０度回転させるとしたが、搬送ラインの屈曲形状は、Ｌ字形に限られるものではなく、適宜設定できるものであり、また、浮上装置10も、被浮上体の向きを、搬送ラインの屈曲角度に合わせて適宜回転させることができるものである。
また、上記実施の形態では、流体として空気を用いたが、流体は空気に限られるものではなく、流体として、例えば、窒素、アルゴン、ヘリウムなどの気体を用いることもでき、また、水などの液体を用いることもできる。
【００４９】
また、上記実施の形態では、流体噴出体30が備える多孔質板として、多孔質カーボンを用いたが、多孔質板は多孔質カーボンに限られるものではなく、多孔質板として、例えば、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂、板状体に所定径の孔を開けたものなどを用いることもできる。
また、通常流体噴出体31（30）、円周上流体噴出体32（30）、補助流体噴出体33（30）の配置は、上記実施の形態で示した配置に限られるものではなく、被浮上体の形状や大きさなどに合わせて適宜設定できるものである。
また、上記実施の形態では、円周上流体噴出体32（30）は、領域外通過円50の円周上に配置したが、領域外通過円50の同心円の円周上に配置することもできる。具体的には、例えば、領域外通過円50の円周上に、円周上流体噴出体32（30）を配置するとともに、領域外通過円50の同心円であって領域外通過円50よりも半径が大きいものの円周上にも、円周上流体噴出体32（30）を配置することができる。そうすると、被浮上体の大きさの変更に対応できる。
【００５０】
また、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体31（30）と、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体32（30）とをユニット化して、流体噴出体30ユニットとすると、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に流体が当たる浮上装置10を容易に構築可能とすることができる。
また、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）とをユニット化した流体噴出体30ユニットにおいて、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）とを同一平面上に配置すると、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整が容易な浮上装置10を容易に構築可能とすることができる。
【００５１】
また、所定の配列で配置された複数の通常流体噴出体31（30）と、通常浮上領域40外における領域外通過円50または領域外通過円50の同心円の円周上に位置するように配置された円周上流体噴出体32（30）と、通常浮上領域40外における通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）との間に位置するように配置された補助流体噴出体33（30）とをユニット化して、流体噴出体30ユニットとすると、被浮上体の回転時に浮上領域から外れる部分の下面により多くの流体が当たる浮上装置10を容易に構築可能とすることができる。
また、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）と補助流体噴出体33（30）とをユニット化した流体噴出体30ユニットにおいて、通常流体噴出体31（30）と円周上流体噴出体32（30）と補助流体噴出体33（30）とを同一平面上に配置すると、被浮上体の回転時に浮上領域内に留まる部分と浮上領域から外れる部分との浮上量の調整が容易な浮上装置10を容易に構築可能とすることができる。
【００５２】
また、上記各流体噴出体30ユニットにおいて、平面視ほぼ矩形の円周上流体噴出体32（30）を、その長辺が領域外通過円50の接線とほぼ平行になるように配置すると、被浮上体の回転時にその角部近辺を浮上させるのに要する流体噴出体30の数を極力少なくすることができ、製造コストの削減が図れるとともに、被浮上体の回転時にその角部近辺が通過することとなる、隣合う流体噴出体30同士の間隙を極力少なくすることができ、角部近辺の浮力の低下防止が極力図れる浮上装置10を容易に構築可能とすることができる。
また、上記各流体噴出体30ユニットにおいて、平面視ほぼ矩形の被浮上体が回転した際のその頂点の軌跡を、領域外通過円50として設定すると、被浮上体の回転時にその角部近辺の下面に確実に流体が当たり、これにより、被浮上体の撓み防止がより確実に図れ、ひいては被浮上体と流体噴出体30との接触防止および被浮上体の破損防止がより確実に図れる浮上装置10を容易に構築可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態に係る浮上装置の平面図。
【図２】本発明の実施の形態に係る浮上装置の要部側面図。
【図３】本発明の実施の形態に係る浮上装置の回転機構の拡大側面図。
【図４】本発明の実施の形態に係る浮上装置のエア供給ユニットの拡大側面図。
【符号の説明】
【００５４】
10  浮上装置                              20  フレーム
30  流体噴出体                            31  通常流体噴出体
32  円周上流体噴出体                      33  補助流体噴出体
40  通常浮上領域                          50  領域外通過円
60  吸着体                                61  エアパッド
70  回転機構                              71  サーボモーター
72  回転軸                                80  エア供給ユニット
81  送風機                                82  ヘパフィルター
【図１】
2010126357.tif 000003
【図２】
2010126357.tif 000004
【図３】
2010126357.tif 000005
【図４】
2010126357.tif 000006