(57)【要約】【課題】基板に対してテープ状部材を能率よく貼着することができる貼着装置を提供することにある。【解決手段】第１の貼着部１４及び第２の貼着部１５と、一対の貼着部と並行に設けられたガイドレール２の一端側に設けられた基板の供給部３及び他端側に設けられた基板の排出部４と、ガイドレールに駆動可能に設けられ供給部から２枚の基板を取り出す第１の受け渡し体６と、第１の受け渡し体から一方の基板を受けて第１の貼着部に搬送位置決めする第１のテーブル１６及び第２の受け渡し体から他方の基板を受けて第２の貼着部に搬送位置決めする第２のテーブル１７と、ガイドレールに駆動可能に設けられ第１の貼着部でテープ状部材が貼着されて第１のテーブルによって搬送位置決めされた一方の基板と第２の貼着部でテープ状部材が貼着されて第２のテーブルによって搬送位置決めされた他方の基板を保持して排出部に受け渡す第２の受け渡し体７を具備する。【選択図】      図１
2010056151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にテープ状部材を貼着する貼着装置であって、
所定間隔で配置され上記基板に上記テープ状部材を貼着する第１の貼着部及び第２の貼着部と、
一対の貼着部の並設方向と並行に設けられたガイド手段と、
このガイド手段の一端側に設けられた上記基板の供給部及び他端側に設けられた上記基板の排出部と、
上記ガイド手段に駆動可能に設けられ上記供給部から２枚の基板を取り出す一対の第１の保持部を備えた第１の受け渡し手段と、
上記一対の貼着部と上記ガイド手段との間に水平方向に駆動可能に設けられ上記第１の受け渡し手段から一方の基板を受けて上記第１の貼着部に搬送位置決めする第１の搬送手段及び上記第１の受け渡し手段から他方の基板を受けて上記第２の貼着部に搬送位置決めする第２の搬送手段と、
上記ガイド手段に駆動可能に設けられ上記第１の貼着部でテープ状部材が貼着されて上記第１の搬送手段によって搬送位置決めされた一方の基板と上記第２の貼着部でテープ状部材が貼着されて上記第２の搬送手段によって搬送位置決めされた他方の基板を保持して上記排出部に受け渡す一対の第２の保持部を備えた第２の受け渡し手段と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の貼着装置。
【請求項２】
上記第１の受け渡し手段は、上記供給部側に位置する一方の第１の保持部が上記第１の貼着部と対向するよう位置決めされ、その位置で一方の第１の保持部に保持された基板を上記第１の搬送手段に受け渡し、他方の第１の保持部に保持された基板を上記第２の搬送手段に受け渡し、
上記第２の受け渡し手段は、上記排出部側に位置する一方の第２の保持部が上記第２の貼着部と対向するよう位置決めされ、その位置で上記第１の搬送手段によって上記第１の貼着部から搬送された一方の基板を他方の第２の保持部で受け取り、上記第２の搬送手段によって上記第２の貼着部から搬送された他方の基板を一方の保持部で受け取ることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の貼着装置。
【請求項３】
上記第１の搬送手段が上記第１の受け渡し手段の一方の保持部から受けた基板を上記第１の貼着部を経て上記第２の受け渡し手段の他方の保持部に受け渡す経路長と、上記第２の搬送手段が上記第１の受け渡し手段の他方の保持部から受けた基板を上記第２の貼着部を経て上記第２の受け渡し手段の一方の保持部に受け渡す経路長が同じに設定されていることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の貼着装置。
【請求項４】
上記第１の受け渡し手段は、上記一対の第１の保持部が上記供給部から取り出した基板を上記第１の搬送手段と第２の搬送手段に受け渡すと、上記基板が上記第１、第２の貼着部でテープ状部材が貼着されている間に、上記供給部からつぎの基板を取り出して上記第１、第２の搬送手段に受け渡す位置で待機していることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の貼着装置。
【請求項５】
一対の貼着部によって２枚の基板にそれぞれテープ状部材を貼着する貼着方法であって、
供給部から２枚の基板を一緒に取り出す工程と、
取り出された２枚の基板の一方を一方の貼着部に供給して上記テープ状部材を貼着する工程と、
取り出された２枚の基板の他方を他方の貼着部に供給して上記テープ状部材を貼着する工程と、
テープ状部材が貼着された一方の基板と他方の基板を受けて搬出部に受け渡す工程と
を具備し、
一方の基板が一方の貼着部に供給されてテープ状部材が貼着されてから上記搬出部に受け渡すために位置決めされるまでの経路長と、他方の基板が他方の貼着部に供給されてテープ状部材が貼着されてから上記搬出部に受け渡すために位置決めされるまでの経路長を同じにしたことを特徴とするテープ状部材の貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はガラス製の基板に電子部品を実装するための粘着性のテープ状部材を貼着するための貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、携帯電話などの液晶式の表示装置を形成するためのガラス製の基板にはＴＣＰなどの電子部品が実装される。基板に電子部品を実装する場合、その基板の側辺部に異方性導電部材からなる両面粘着性のテープ状部材を貼着し、そのテープ状部材が貼着された箇所に上記電子部品を仮圧着してから本圧着するということが行われる。
【０００３】
このようにして基板に電子部品を実装する場合、生産性の向上を図ることが要求される。そこで、従来は特許文献１に示されているように、基板にテープ状部材を貼着する貼着部、基板に貼着されたテープ状部材に電子部品を仮圧着する仮圧着部、さらには本圧着する本圧着部をそれぞれ複数ずつ設けるようにしている。
【０００４】
すなわち、複数の貼着部は一列に並設されていて、これら複数の貼着部の並設方向に沿って第１のロボットが往復駆動可能に設けられている。そして、第１のロボットによってローダ部から取り出した複数の基板を、複数の貼着部に供給したならば、それぞれの貼着部に供給された基板にテープ状部材を貼着する。
【０００５】
複数の貼着部でテープ状部材が貼着された基板は第２のロボットによって取り出され、複数の貼着部とともに一列に並設された複数の仮圧着部に供給される。ここで、電子部品が仮圧着された基板は、第３のロボットによって取り出されて複数の本圧着部にそれぞれ供給される。電子部品は本圧着部で基板に本圧着される。そして、電子部品が本圧着された基板は第４のロボットによって取り出されてアンローダ部に格納され、次工程に受け渡されるようになっている。
【特許文献１】特開２００７−２０１３７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
複数の貼着部でそれぞれ基板にテープ状部材を貼着する場合、第１のロボットはローダ部から基板を取り出して各貼着部に受け渡すだけである。そのため、各貼着部には基板を受けて位置決めする位置決め機構を設ける必要があるから、貼着部の構成が複雑化するということがある。
【０００７】
各貼着部でテープ状部材が貼着された基板は第２のロボットによって搬出される。つまり、貼着部に対する基板の搬入と搬出とを別々のロボットによって行うようにしている。そのため、そのことによっても構成が複雑化するということになる。
【０００８】
さらに、ローダ部から複数の基板を受けた第１のロボットは、複数の貼着部に対してその基板を順次供給しなければならない。そのため、第１のロボットによって複数の貼着部に基板を供給するのに時間が掛かるから、そのことが生産性の低下を招く原因になるということがある。
【０００９】
さらに、複数の貼着部でテープ状部材が貼着された基板は、第２のロボットによって順次搬出して仮圧着部に供給するようにしている。そのため、第２のロボットによって複数の貼着部から基板を搬出するのにも時間が掛かるから、そのことも生産性の低下を招く原因になる。
【００１０】
この発明は、基板に対するテープ状部材の貼着を装置構成の複雑化を招くことなく能率よく行なうことができるようにした貼着装置及び貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、基板にテープ状部材を貼着する貼着装置であって、
所定間隔で配置され上記基板に上記テープ状部材を貼着する第１の貼着部及び第２の貼着部と、
一対の貼着部の並設方向と並行に設けられたガイド手段と、
このガイド手段の一端側に設けられた上記基板の供給部及び他端側に設けられた上記基板の排出部と、
上記ガイド手段に駆動可能に設けられ上記供給部から２枚の基板を取り出す一対の第１の保持部を備えた第１の受け渡し手段と、
上記一対の貼着部と上記ガイド手段との間に水平方向に駆動可能に設けられ上記第１の受け渡し手段から一方の基板を受けて上記第１の貼着部に搬送位置決めする第１の搬送手段及び上記第１の受け渡し手段から他方の基板を受けて上記第２の貼着部に搬送位置決めする第２の搬送手段と、
上記ガイド手段に駆動可能に設けられ上記第１の貼着部でテープ状部材が貼着されて上記第１の搬送手段によって搬送位置決めされた一方の基板と上記第２の貼着部でテープ状部材が貼着されて上記第２の搬送手段によって搬送位置決めされた他方の基板を保持して上記排出部に受け渡す一対の第２の保持部を備えた第２の受け渡し手段と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の貼着装置にある。
【００１２】
上記第１の受け渡し手段は、上記供給部側に位置する一方の第１の保持部が上記第１の貼着部と対向するよう位置決めされ、その位置で一方の第１の保持部に保持された基板を上記第１の搬送手段に受け渡し、他方の第１の保持部に保持された基板を上記第２の搬送手段に受け渡し、
上記第２の受け渡し手段は、上記排出部側に位置する一方の第２の保持部が上記第２の貼着部と対向するよう位置決めされ、その位置で上記第１の搬送手段によって上記第１の貼着部から搬送された一方の基板を他方の第２の保持部で受け取り、上記第２の搬送手段によって上記第２の貼着部から搬送された他方の基板を一方の保持部で受け取ることが好ましい。
【００１３】
上記第１の搬送手段が上記第１の受け渡し手段の一方の保持部から受けた基板を上記第１の貼着部を経て上記第２の受け渡し手段の他方の保持部に受け渡す経路長と、上記第２の搬送手段が上記第１の受け渡し手段の他方の保持部から受けた基板を上記第２の貼着部を経て上記第２の受け渡し手段の一方の保持部に受け渡す経路長が同じに設定されていることが好ましい。
【００１４】
上記第１の受け渡し手段は、上記一対の第１の保持部が上記供給部から取り出した基板を上記第１の搬送手段と第２の搬送手段に受け渡すと、上記基板が上記第１、第２の貼着部でテープ状部材が貼着されている間に、上記供給部からつぎの基板を取り出して上記第１、第２の搬送手段に受け渡す位置で待機していることが好ましい。
【００１５】
この発明は、一対の貼着部によって２枚の基板にそれぞれテープ状部材を貼着する貼着方法であって、
供給部から２枚の基板を一緒に取り出す工程と、
取り出された２枚の基板の一方を一方の貼着部に供給して上記テープ状部材を貼着する工程と、
取り出された２枚の基板の他方を他方の貼着部に供給して上記テープ状部材を貼着する工程と、
テープ状部材が貼着された一方の基板と他方の基板を受けて搬出部に受け渡す工程と
を具備し、
一方の基板が一方の貼着部に供給されてテープ状部材が貼着されてから上記搬出部に受け渡すために位置決めされるまでの経路長と、他方の基板が他方の貼着部に供給されてテープ状部材が貼着されてから上記搬出部に受け渡すために位置決めされるまでの経路長を同じにしたことを特徴とするテープ状部材の貼着方法にある。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、第１の受け渡し手段によって供給部から取り出された２枚の基板を第１、第２の搬送手段に受け渡したならば、第１、第２の搬送手段は基板を貼着部に対して位置決めし、位置決めされた基板にテープ状部材を貼着する。テープ状部材が貼着された基板は、第１、第２の搬送手段から第２の受け渡し手段に受け渡され、排出部に搬送される。
【００１７】
そのため、貼着部に基板を保持して位置決めするための手段を設けずにすむから、構成の簡略化を図ることができる。しかも、貼着部に対する基板の供給と搬出を第１、第２の搬送手段によって行えるから、そのことによっても構成の簡略化を図ることができる。さらに、一対の貼着部に対する基板の搬入及び搬出を、第１の搬送手段と第２の搬送手段によって同時に行うことができるから、タクトタイムを短縮が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１は貼着装置の概略的構成を示す平面図であって、この貼着装置は矩形状のベース１を備えている。このベース１の前後方向（この方向をＹ方向とする）の前端側にはガイド手段としての断面矩形状のガイドレール２が所定の高さで上記ベース１の幅方向（この方向をＸ方向とする）に沿って設けられている。なお、上記Ｘ方向とＹ方向は図１に矢印で示す。
【００１９】
上記ガイドレール２の一端部側にはたとえば携帯電話などに用いられる液晶表示パネルを形成するための基板Ｗの供給部３が設けられ、他端側には後述するよう側辺部にテープ状部材２１が貼着された基板Ｗを格納する排出部４が設けられている。
【００２０】
上記供給部３には上下方向に駆動される第１のエレベータ３ａが設けられている。第１のエレベータ３ａには上記テープ状部材２１が貼着されていない基板ＷがＸ方向に沿って２列で積層されている。上記排出部４には上下方向に駆動される第２のエレベータ４ａが設けられている。第２のエレベータ４ａにはテープ状部材２１が貼着された基板ＷがＸ方向に沿って２列で積層されて格納される。
【００２１】
上記ガイドレール２には、第１の受け渡し手段としての第１の受け渡し体６と、この第１の受け渡し体６よりも＋Ｘ側に位置する第２の受け渡し手段としての第２の受け渡し体７が設けられている。各受け渡し体６，７は、上記ガイドレール２に移動可能に設けられた可動部材８を有し、可動部材８には矩形状の取付け板９が連結部材１０によって板面を水平にし、かつ長手方向をＸ方向に沿わせて設けられている。
【００２２】
詳細は図示しないが、上記可動部材８には電磁コイルが設けられ、上記ガイドレール２には上記電磁コイルとでリニアモータを構成する磁石が設けられている。したがって、電磁コイルに通電すれば、磁気力によって上記可動部材８を上記ガイドレール２に沿って駆動し、Ｘ方向の所定の位置で位置決めすることができるようになっている。
【００２３】
上記第１の受け渡し体６の取付け板９の下面には、長手方向の一端部と他端部、つまり−Ｘ方向と＋Ｘ方向に複数の第１の吸着パッド１２、この実施の形態ではそれぞれ矩形状に配置された４つの第１の吸着パッド１２が設けられている。各４つの第１の吸着パッド１２はそれぞれ第１の保持部１３ａ，１３ｂを構成し、これら第１の吸着パッド１２は吸引ポンプに開閉制御弁（ともに図示せず）を介して連通している。
【００２４】
上記第１の受け渡し体６の可動部材８が駆動されてその取付け板９が上記供給部３の上方に位置決めされると、上記第１のエレベータ３ａが上昇方向に駆動され、この第１のエレベータ３ａ上に２列に積層されて配置された最上段の一対の基板Ｗの上面が上記取付け板９の一端部と他端部に設けられた一対の第１の保持部１３ａ，１３ｂの第１の吸着パッド１２に当接する。その時点で、第１の吸着パッド１２に吸引力を発生させれば、図２に鎖線で示すように第１のエレベータ３ａに２列に積層された最上段の２枚の基板Ｗが吸着保持される。
【００２５】
上記ベース１のＹ方向の後端側には第１の貼着部１４と第２の貼着部１５がＸ方向に所定の間隔で離間して配置されている。図４に示すように、第１、第２の貼着部１４、１５の内部前方にはそれぞれバックアップツール１４ａ，１５ａが立設されている。各バックアップツール１４ａ，１５ａの上方には加圧ツール１８が駆動源１９によって上下方向に駆動可能に設けられている。
【００２６】
上記ベース１上の上記第１、第２の貼着部１４、１５と上記ガイドレール２との間には第１の搬送手段としての第１のテーブル１６と、第２の搬送手段としての第２のテーブル１７が設けられている。第１、第２のテーブル１６、１７はＸ、Ｙ方向に駆動されるようになっている。第１、第２のテーブル１６、１７上にはＺ方向とθ方向に駆動可能なステージ１６ａ，１７ａが設けられている。
【００２７】
図２と図３に示すように、上記第１の受け渡し体６の一対の第１の保持部１３ａ，１３ｂに吸着保持された基板Ｗは上記第１の受け渡し体６と第２の受け渡し体７のステージ１６ａ，１７ａに供給されて吸着保持される。
【００２８】
すなわち、上記第１の受け渡し体６が供給部３上に移動してその一対の第１の保持部１３ａ，１３ｂが上記供給部３から基板Ｗを取り出すと、この第１の受け渡し体６は−Ｘ方向に位置する一方の第１の保持部１３ａのＸ方向の中心が第１の貼着部１４のＸ方向の中心と一致するようＸ方向に対して位置決めされる。このときの第１の貼着部１４のＸ方向の中心と第１の貼着部１４のＸ方向の中心を通るＸ方向の位置を図１に示すようにＸ１とし、他方の第１の保持部１３ｂのＸ方向の中心を通るＸ方向の位置をＸ２とする。
【００２９】
ついで、上記第１のテーブル１６がＸ方向の中心を上記Ｘ１に一致するよう位置決めされ、上記第２のテーブル１７がＸ方向の中心を上記Ｘ２に一致するよう位置決めされる。なお、実際には第１、第２のテーブル１６，１７は予めＸ１とＸ２の位置（この位置を初期位置とする）で待機している。
【００３０】
上記Ｘ１に位置決めされた第１のテーブル１６は−Ｙ方向に駆動され、そのステージ１６ａが−Ｘ方向に位置する一方の第１の保持部１３ａの下方に位置決めされる。このときの第１のテーブル１６の移動を図１にＡ１で示す。位置決めされたステージ１６ａはＺ方向上方に駆動され、一方の第１の保持部１３ａに吸着保持された基板Ｗを受け取る。
【００３１】
基板Ｗを受けた第１のテーブル１６は＋Ｙ方向に直線的に最短距離で駆動され、そのステージ１６ａに保持された基板Ｗの一側部が図４に示すように第１の貼着部１４のバックアップツール１４ａ上に位置決めされる。このときの第１のテーブル１６の移動をＡ２で示す。なお、基板Ｗはその一側部がバックアップツール１４ａの上端面に位置決めできるようステージ１６ａの一側から外方に突出して保持されている。
【００３２】
上記Ｘ２に位置決めされた第２のテーブル１７は−Ｙ方向に駆動され、そのステージ１７ａが＋Ｘ方向に位置する他方の第１の保持部１３ｂの下方に位置決めされる。このときの第２のテーブル１７の移動を図１にＢ１で示す。位置決めされたステージ１７ａはＺ方向上方に駆動され、他方の第１の保持部１３ｂに吸着保持された基板Ｗを受け取る。
【００３３】
基板Ｗを受けた第２のテーブル１７は第２の貼着部１５に向かう斜め方向、つまり＋Ｘ方向と＋Ｙ方向との合成方向に駆動され、図４に示すようにそのステージ１７ａに保持された基板Ｗの一側部が第２の貼着部１５のバックアップツール１５ａ上に位置決めされる。このときの第２のテーブル１７の移動をＢ２で示し、Ｂ２＞Ａ２となる。なお、基板Ｗの一側部はバックアップツール１５ａ上に位置決め可能なようにステージ１７ａの一側から外方に突出して保持されている。
【００３４】
このようにして、第１、第２のテーブル１６、１７に吸着保持された基板Ｗの一側部がそれぞれ第１の貼着部１４と第２の貼着部１５のバックアップツール１４ａ，１５ａ上に位置決めされると、各基板Ｗの一側部上面に図示しないテープ供給手段によって図５に示すように一側面に剥離テープ２０が貼着された異方性導電部材からなる両面粘着性のテープ状部材２１が他側面を下に向けて図示しない供給リールから供給され、同じく図示しない巻き取りリールに巻き取られる。
【００３５】
そのため、第１、第２の貼着部１４、１５のＸ方向の幅寸法はステージ１６ａ，１７ａの幅寸法よりも大きくなっている。なお、テープ状部材２１の供給方向は図５に矢印で示す方向であり、またテープ状部材２１は基板Ｗに貼着される長さに応じて予め切断されている。
【００３６】
基板Ｗの一側部上面にテープ状部材２１が供給されると、各貼着部１４、１５の加圧ツール１８が下降方向に駆動され、上記剥離テープ２０を介してテープ状部材２１を基板Ｗの一側面に加圧貼着する。この状態を図５に示す。
【００３７】
ついで、基板Ｗに貼着されたテープ状部材２１から剥離テープ２０が図示しない剥離ローラによって剥離される。このようにして、第１の貼着部１４と第２の貼着部１５とで一側部の上面にテープ状部材２１が貼着された基板Ｗは後述するように上記第２の受け渡し体７に受け渡される。
【００３８】
上記第２の受け渡し体７の取付け板９の下面には、長手方向の一端部と他端部、つまり＋Ｘ方向と−Ｘ方向に複数の第２の吸着パッド２２、この実施の形態ではそれぞれ矩形状に配置された４つの第２の吸着パッド２２が設けられている。各４つの第２の吸着パッド２２はそれぞれ第２の保持部２２ａ，２２ｂを構成し、これら第２の吸着パッド２２は、上記第１の吸着パッド１２と同様、吸引ポンプに開閉制御弁（ともに図示せず）を介して連通している。
【００３９】
したがって、第２の吸着パッド２２に吸引力を発生させれば、後述するように一側部にテープ状部材２１が貼着された基板Ｗを第１、第２のテーブル１６、１７から受け取ることができるようになっている。一対の第２の保持部２２ａ，２２ｂのうち、＋Ｘ方向側の保持部を一方の第２の保持部２２ａとし、−Ｘ方向側の保持部を他方の第２の保持部２２ｂとする。
【００４０】
なお、第２の受け渡し体７の一対の第２の保持部２２ａ，２２ｂのＸ方向の間隔は、上記第１の受け渡し体６の一対の第１の保持部１３ａ，１３ｂのＸ方向の間隔と同じに設定されている。
【００４１】
上記第２の受け渡し体７は、＋Ｘ方向側に位置する一方の第２の保持部２２ａのＸ方向の中心を、上記第２の貼着部１５のＸ方向の中心に一致させて位置決めされて待機している。このとき、第２の貼着部１５のＸ方向の中心と、第２の受け渡し体７の一方の第２の保持部２２ａのＸ方向の中心を通るＸ方向の位置をＸ３とし、他方の第２の保持部２２ｂのＸ方向の中心を通るＸ方向の位置をＸ４とする。
【００４２】
なお、Ｘ方向の位置Ｘ２とＸ４は、一対の貼着部１４、１５のＸ方向の位置Ｘ１とＸ３の中心位置Ｘ０に対してＸ方向に同じ距離となっている。また、第１の貼着部１４と第２の貼着部１５は上記Ｘ０を中心してＸ方向に対して対称に配置されている。
【００４３】
上記第１の貼着部１４で第１のテーブル１６の第１のステージ１６ａに保持された基板Ｗの一側部上面にテープ状部材２１が貼着されると、第１のテーブル１６は＋Ｘ方向と−Ｙ方向との合成方向である、斜め下方に駆動され、上記第１のステージ１６ａに保持された基板Ｗが上記第２の受け渡し体７の他方の第２の保持部２２ｂの下方に位置決めされる。このときの第１のテーブル１６の移動をＡ３で示す。
【００４４】
それと同時に、第２の貼着部１５で第２のテーブル１７の第１のステージ１７ａに保持された基板Ｗの一側部上面にテープ状部材２１が貼着されると、第２のテーブル１７は−Ｙ方向に直線的に最短距離で駆動され、上記第２のステージ１７ａに保持された基板Ｗが上記第２の受け渡し体７の一方の第２の保持部２２ａの下方に位置決めされる。このときの第２のテーブル１７の移動をＢ３で示し、Ｂ３＜Ａ３となる。
【００４５】
ついで、上記第１のテーブル１６と第２のテーブル１７のステージ１６ａ，１７ａが上昇方向に駆動される。それによって、上記第１のステージ１６ａに保持された基板Ｗが他方の第２の保持部２２ｂに受け渡され、上記第２のステージ１７ａに保持された基板Ｗが一方の第２の保持部２２ａに受け渡される。この状態を図２に示す。
【００４６】
上記第２の受け渡し体７の一対の第２の保持部２２ａ，２２ｂが第１、第２のテーブル１６、１７からテープ状部材２１が貼着された基板Ｗを受け取ると、第２の受け渡し体７はガイドレール２に沿って＋Ｘ方向に駆動され、一対の第２の保持部２２ａ，２２ｂが上記排出部４の第２のエレベータ４ａの上方に位置決めされる。
【００４７】
ついで、上記第２のエレベータ４ａが上昇方向に駆動され、その上面が一対の第２の保持部２２ａ，２２ｂに保持された基板Ｗに接近すると、第２の保持部２２ａ，２２ｂによる基板Ｗの保持状態が解除される。それによって、テープ状部材２１が貼着された一対の基板Ｗが第２のエレベータ４ａの上面に受け渡されて格納される。
【００４８】
一方、第１、第２のテーブル１６、１７は、テープ状部材２１が貼着された基板Ｗを第２の受け渡し体７に受け渡すと、−Ｘ方向に水平に移動し、Ｘ方向のＸ１とＸ２の位置に戻り、各ステージ１６ａ，１７ａは第１の受け渡し体６の第１の保持部１３ａ、１３ｂの下方に位置決めされる。このときの第１、第２のテーブル１６、１７の移動距離を図１に矢印Ａ４，Ｂ４で示し、これらの移動距離Ａ４とＢ４は同じになる。
【００４９】
ついで、その時点で供給部３から基板Ｗを取り出して待機している第１の受け渡し体６の一方の第１の保持部１３ａと他方の第１の保持部１３ｂの下方に位置決めされて基板Ｗを受け取り、これら基板Ｗに上述したように第１、第２の貼着部１４，１５でテープ状部材２１を貼着して第２の受け渡し体７に受け渡すということを繰り返して行う。
【００５０】
このように上記構成の貼着装置によれば、一対の貼着部１４、１５によって２枚の基板Ｗに対するテープ状部材２１の貼着を同時に行なうことができるから、１つの貼着部で行う場合に比べて生産性を向上させることができる。
【００５１】
上記第１のテーブル１６と第２のテーブル１７は、第１の受け渡し体６から受けた基板Ｗを第１、第２の貼着部１４、１５に対して位置決めし、その状態で基板Ｗにテープ状部材２１を貼着したならば、その基板Ｗを第１、第２の貼着部１４、１５から搬出して第２の受け渡し体７に受け渡すようにしている。
【００５２】
そのため、第１、第２のテーブル１６，１７は、第１、第２の貼着部１４、１５に対する基板Ｗの搬入と搬出を行なうことができ、しかもテープ状部材２１を貼着するときの基板Ｗの位置決め機構を兼ねるから、第１、第２の貼着部１４、１５の構成を簡略化することができるばかりか、装置全体の構成も簡略化することができる。
【００５３】
第１の受け渡し体６は、供給部３から基板Ｗを取り出した後、その一方の第１の保持部１３ａが第１の貼着部１４に対向する位置である、Ｘ方向のＸ１上に位置決めさる。第２の受け渡し体７は、その一方の第２の保持部２２ａが第２の貼着部１５に対向する位置である、Ｘ方向のＸ３上に位置決めされる。
【００５４】
そして、第１の受け渡し体６から第１、第２のテーブル１６、１７へ基板Ｗの受け渡し、これら基板Ｗに第１、第２の貼着部１４，１５でテープ状部材２１を貼着した後、その基板Ｗを第１、第２のテーブル１６、１７によって第２の受け渡し体７へ受け渡して排出部４に格納するようにした。
【００５５】
そのため、第１のテーブル１６が第１の受け渡し体６の一方の第１の保持部１３ａから基板Ｗを受けて第１の貼着部１４でその基板Ｗにテープ状部材２１を貼着した後、第２の受け渡し体７の他方の第２の保持部２２ｂに基板Ｗを受け渡すまでの経路長Ａ１〜Ａ３と、第２のテーブル１７が第２の受け渡し体７の他方の第１の保持部１３ｂから基板Ｗを受けて第２の貼着部１５でその基板Ｗにテープ状部材２１を貼着した後、第２の受け渡し体７の一方の第２の保持部２２ａに基板Ｗを受け渡すまでの経路長Ｂ１〜Ｂ３が同じである。
【００５６】
また、基板Ｗに繰り返してテープ状部材２１を貼着する場合は、第２の受け渡し体７で基板Ｗを受け渡した第１、第２のテーブル１６，１７は、−Ｘ方向に直線的に駆動されて第１の受け渡し体６の下方に位置決めされて第１の保持部１３ａ，１３ｂから基板Ｗを受けて上述した動作を繰り返すことになるから、その場合は第１の受け渡し体の経路長Ａ１〜Ａ４と第２受け渡し体７の経路長Ｂ１〜Ｂ４が同じとなる。
【００５７】
したがって、第１、第２の貼着部１４、１５で基板Ｗにテープ状部材２１を貼着する時間がほぼ同じであれば、第１のテーブル１６と第２のテーブル１７が第１の受け渡し体６の一対の第１の保持部１３ａ，１３ｂから基板Ｗを受けてから、第２の受け渡し体７の一対の第２の保持部２２ａ，２２ｂに受け渡すまでの時間がほぼ同じになる。
【００５８】
つまり、第１、第２のテーブル１６、１７のどちらか一方に待ち時間が発生することがないから、そのことによっても生産性の向上を図ることができる。
【００５９】
第１の受け渡し体６は、供給部３から取り出した基板Ｗを第１、第２のテーブル１６、１７に受け渡した後、第１、第２のテーブル１６、１７が基板Ｗを第２の受け渡し体７に受け渡すまでの間に、つぎの基板Ｗを供給部３から取り出して供給位置で待機させることができる。
【００６０】
同様に、第２の受け渡し体７は、第１、第２のテーブル１６、１７からテープ状部材２１が貼着された基板Ｗを受けて排出部４に格納した後、上記第１、第２のテーブル１６、１７がつぎにテープ状部材２１が貼着された基板Ｗを搬送してくるまでに受け取り位置で待機させることができる。
【００６１】
そのため、第１、第２のテーブル１６，１７に待ち時間を発生させることなく、第１の受け渡し体６による基板Ｗの供給や第２の受け渡し体７による基板Ｗの受け取りを行なうことができるから、そのことによっても生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】この発明の一実施の形態の貼着装置の概略的構成を示す平面図。
【図２】第１、第２の受け渡し体を示す正面図。
【図３】第１、第２の受け渡し体を示す側面図。
【図４】第１、第２の貼着部に設けられたバックアップツールと加圧ツールを示す側面図。
【図５】バックアップツールに支持された基板の一側部の上面にテープ状部材を貼着する状態を示す正面図。
【符号の説明】
【００６３】
２…ガイドレール（ガイド手段）、３…供給部、４…排出部、６…第１の受け渡し体（第１の受け渡し手段）、７…第２の受け渡し体（第２の受け渡し手段）、１３ａ，１３ｂ…第１の保持部、１４…第１の貼着部、１５…第２の貼着部、１６…第１のテーブル（第１の搬送手段）、１７…第２のテーブル（第２の搬送手段）、２１…テープ状部材、２２ａ，２２ｂ…第２の保持部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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