(57)【要約】【課題】例えばリニアモータによって駆動されるビークル等の搬送手段の走行を制御する走行制御システムにおいて、リニアモータの過剰な発熱を防止する。【解決手段】走行制御システム（１００）は、リニアモータによって駆動されると共に被搬送物を搬送可能な搬送手段（３）の走行を制御する。走行制御システムは、搬送手段を加速、減速又は一定速で走行させるべくリニアモータへの通電を切り替え可能な通電手段（４）と、リニアモータに係る所定時間前から現在までの発熱量を特定する発熱量特定手段（５）と、特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、加速での走行を抑制する側に通電を切り替えるように通電手段を制御する加速抑制手段（７）とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータによって駆動されると共に被搬送物を搬送可能な搬送手段の走行を制御する走行制御システムであって、
前記搬送手段を加速、減速又は一定速で走行させるべく前記リニアモータへの通電を切り替え可能な通電手段と、
前記リニアモータに係る所定時間前から現在までの発熱量を特定する発熱量特定手段と、
前記特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記加速での走行を抑制する側に前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御する加速抑制手段と
を備えることを特徴とする走行制御システム。
【請求項２】
前記加速抑制手段は、前記加速での走行中に、前記特定された発熱量が前記所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記搬送手段を前記一定速又は前記減速で走行させるべく前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の走行制御システム。
【請求項３】
前記通電手段は、
前記搬送手段を、前記加速として、複数種類の加速度のいずれか一つによる加速で前記搬送手段を走行させるべく前記通電を切り替え可能であり、
前記加速抑制手段は、前記加速での走行中に、前記特定された発熱量が前記所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記搬送手段を前記複数種類の加速度のうち現在の加速度よりも低い加速度による加速で走行させるべく前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の走行制御システム。
【請求項４】
前記通電手段は、
前記搬送手段を、前記加速として、複数の加速度のいずれか一つによる加速で前記搬送手段を走行させるべく前記通電を切り替え可能であり、
前記搬送手段を、前記減速として、単一の減速度による減速で、前記搬送手段を走行させるように前記通電を切り替え可能である
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の走行制御システム。
【請求項５】
前記加速抑制手段は、前記所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記一定速で走行させる時間を延長する側に前記通電を切り替える又は前記通電を維持するように前記通電手段を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の走行制御システム。
【請求項６】
前記加速抑制手段は、
前記所定の発熱量閾値を超えた状態が前記所定の時間閾値を超えても尚継続される場合に、前記減速で走行させる側に前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御する
ことを特徴とする請求項５に記載の走行制御システム。
【請求項７】
前記発熱量特定手段は、前記搬送手段の現在速度、該現在速度で走行される前記搬送手段の現行の加速度若しくは減速度、並びに該現在速度で走行される前記搬送手段が搬送している前記被搬送物の有無に基づいて、前記発熱量を特定する
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の走行制御システム。
【請求項８】
前記発熱量特定手段は、前記発熱量として、前記所定時間前から前記現在までの発熱量の平均値を特定する
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の走行制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばリニアモータによって駆動されるビークル等の搬送手段の走行を制御する走行制御システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の走行制御システムに関して、例えばサーボ制御装置により出力される制御信号に基づいて、モータの過負荷を検知することによって、コイル温度がコイルの温度上昇限度に近付く現象を精度よく検出する方法がある（特許文献１参照）。
【０００３】
また、例えばリニアモータの運転状態及び発熱量に基づいて、モータの温度上昇値を求め、求めた温度上昇値が許容温度上昇値を超える時に過負荷処理を実行する装置がある（特許文献２参照）。この装置によれば、過負荷処理として、モータの保護を行う過負荷保護がモード温度の元に実行される。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−３１６７８１号公報
【特許文献２】特開２００６−３３３６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１の方法、及び特許文献２の装置によれば、モータ（コイルを含む）の温度上昇又は過負荷を検知する一方、その温度上昇又は過負荷に抗する処理が具体的に開示されていない。
【０００６】
本願発明者の知るところによれば、例えばリニアモータは、通電の走行パターンにおいて過剰に発熱する場合がある。この場合に、リニアモータの温度がシステム上でエラーとして出力され、リニアモータによる駆動が緊急停止されてしまいかねないという技術的問題点がある。
【０００７】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、リニアモータの過剰な発熱を抑制可能な走行制御システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の走行制御システムは上記課題を解決するために、リニアモータによって駆動されると共に被搬送物を搬送可能な搬送手段の走行を制御する走行制御システムであって、前記搬送手段を加速、減速又は一定速で走行させるべく、前記リニアモータへの通電を切り替え可能な通電手段と、前記リニアモータに係る所定時間前から現在までの発熱量を特定する発熱量特定手段と、前記特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記加速での走行を抑制する側に前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御する加速抑制手段とを備える。
【０００９】
本発明の走行制御システムによれば、当該走行制御システムは、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の被搬送物を、例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、ビークル等の搬送手段によって搬送する搬送システムに適用される。本発明の搬送手段は、リニアモータによって駆動され、例えば半導体素子製造の工場内で、例えば天井又は床上に敷設されたレール等の軌道に沿って走行する。搬送手段の走行に係る制御について、通電手段によって、例えば基本となる走行パターンに従って、リニアモータへの通電が切り替えられる。すると、搬送手段が加速、減速又は一定速で走行する。
【００１０】
本発明では、その走行中に、発熱量特定手段によって、所定時間前から現在までの発熱量が特定される。ここで「所定時間」は、例えば数十秒（ｓ）であって、「発熱量」は、例えば、所定時間内に発生される発熱量の平均値である平均発熱量でもよいし、その発熱量の累積値である累積発熱量でもよい。尚、平均発熱量であれば、平均発熱量に対応する発熱量閾値（即ち平均発熱量閾値）が設定され、累積発熱量であれば、累積発熱量に対応する発熱量閾値（即ち累積発熱量閾値）が設定される。すると、加速抑制手段によって、特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えたか否かが判定される。ここで「所定の発熱量閾値」は、通電を切り替えるか否かの判定の基準となる閾値である。「所定の発熱量閾値」は、発熱量と、それによるリニアモータの温度上昇及びリニアモータの耐熱等の性能との関係を、実験的、経験的に或いはシミュレーション等により求め、リニアモータが温度上昇する際に、該温度が上昇を遅延無く停止すべき発熱量の値として、予め設定される。この際、「所定の発熱量閾値」は、個々のリニアモータ或いは走行制御システムに固有の固定値であってもよいし、例えば、周辺温度、室温、現在速度、冷却状況などの使用環境をパラメータとして可変である値であってもよい。「所定の発熱量閾値」は、例えば数十ワット（Ｗ）であって、リニアモータの停止時の放熱量であってもよい。
【００１１】
このような発熱量閾値を用いた判定において、発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、加速抑制手段によって、通電手段が制御され、加速での走行を抑制する側に通電が切り替えられる。ここで「加速での走行」は、例えば加速で走行される時間、及び加速度の大小等によってはリニアモータを過剰に発熱させる場合がある。このような「加速での走行」を「抑制する側に通電を切り替える」とは、例えば、狭義には、加速で走行させることを止めて、一定速又は減速で走行させるように通電を切り替えることを意味する。広義には、加速で走行させることを止めることなく、加速度を低めるように通電を切り替えることも含む。本発明では、こうした制御により、リニアモータに発生する熱量が抑えられる。尚、「所定の発熱量閾値を超えた場合」とは、「所定の発熱量以上である場合」でもよいし、或いは、「所定の発熱量より大きい場合」でもよい。
【００１２】
以上のように、所定時間毎の発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、加速での走行を抑制する側に通電を切り替えることにより、リニアモータの過剰な発熱を抑制することが可能となる。
【００１３】
本発明の走行制御システムの一態様では、前記加速抑制手段は、前記加速での走行中に、前記特定された発熱量が前記所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記搬送手段を前記一定速又は前記減速で走行させるべく前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御する。
【００１４】
この態様では、加速での走行中に、特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、加速抑制手段によって、通電手段が制御され、搬送手段が一定速又は低速で走行する。すると、加速で走行される場合と比較して、リニアモータに発生する熱量が少なくなり、リニアモータの過剰な発熱を抑制することが可能となる。
【００１５】
本発明の走行制御システムの他の態様では、前記通電手段は、前記搬送手段を、前記加速として、複数種類の加速度のいずれか一つによる加速で前記搬送手段を走行させるべく前記通電を切り替え可能であり、前記加速抑制手段は、前記加速での走行中に、前記特定された発熱量が前記所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記搬送手段を前記複数種類の加速度のうち現在の加速度よりも低い加速度による加速で走行させるべく前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御する。
【００１６】
この態様によれば、加速での走行中に、特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、加速抑制手段によって、通電手段が制御され、搬送手段が複数種類の加速度のうち現在の加速度よりも低い加速度による加速で走行する。ここで「複数種類の加速度」は、例えば、数段階で最高速度に達するように設定される数種類の加速度であってもよい。このような「複数種類の加速度」のうち「現在の加速度よりも低い加速度」で走行すると、現在の加速度で走行する場合と比較して、リニアモータに発生する熱量が少なくなり、リニアモータの過剰な発熱を抑制することが可能となる。
【００１７】
本発明の走行制御システムの他の態様では、前記通電手段は、前記搬送手段を、前記加速として、複数の加速度のいずれか一つによる加速で前記搬送手段を走行させるべく前記通電を切り替え可能であり、前記搬送手段を、前記減速として、単一の減速度による減速で、前記搬送手段を走行させるように前記通電を切り替え可能である。
【００１８】
この態様によれば、通電手段によって、搬送手段は、例えば基本の走行パターンに従って走行する。具体的には、搬送手段は、先ず複数の加速度のいずれか一つによる加速で走行する。ここで「複数の加速度」は、例えば数段階で最高速度に達するように設定される数種類の加速度であってもよい。続いて、搬送手段の現在速度が、例えば最高速度に達すると、搬送手段は、単一の減速度による減速で走行する。ここで「単一の減速度」は、例えばリニアモータの放熱性能を考慮して、予め設定される減速度であってもよい。いずれの場合にも、減速は単純且つ迅速に行われるので、リニアモータにおける発熱を遅延無く落とすことに繋がる。続いて、搬送手段の現在速度が、例えば所定の最低速度に達すると、搬送手段は、一定速で所定時間走行する。これにより、基本の走行パターンが一周する。
【００１９】
本発明の走行制御システムの他の態様では、前記加速抑制手段は、前記所定の発熱量閾値を超えた場合に、前記一定速で走行させる時間を延長する側に前記通電を切り替える又は前記通電を維持するように前記通電手段を制御する。
【００２０】
この態様によれば、加速での走行中に、特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、加速抑制手段によって、通電手段が制御され、一定速で走行させる時間を延長する側に、通電が切り替えられる又は通電が維持される。ここで「一定速で走行させる時間を延長する側」は、例えば、加速で走行させることを止めて、一定速で走行させることを意味する。或いは、例えば基本の走行パターンに従って加速で走行させる時間になっても、一定速度で走行させることを止めることなく、一定速で走行させることを意味してもよい。具体的には、例えば、減速で走行させる減速区間の終点から、加速で走行させる加速区間の始点までの間に、一定速度で走行させる一定速度区間が設定される。この場合に、一定速度区間を走行させる時間を、例えば基本の走行パターンに設定される時間の数倍に延長してもよい。これにより、一定速度区間を延長すると共に、加速区間を後退させ、リニアモータに発生する熱量を抑えることが可能となる。
【００２１】
この態様では、前記加速抑制手段は、前記所定の発熱量閾値を超えた状態が前記所定の時間閾値を超えても尚継続される場合に、前記減速で走行させる側に前記通電を切り替えるように前記通電手段を制御してもよい。
【００２２】
このように構成すれば、加速での走行中に、特定された発熱量が所定の発熱量閾値を超えた状態が所定の時間閾値を超えても尚継続される場合に、加速抑制手段によって、通電手段が制御され、減速で走行させる側に、通電が切り替えられる。ここで「減速で走行させる側」は、例えば、加速で走行させることを止めて、減速で走行させることを意味する。或いは、例えば基本の走行パターンに従って加速で走行させる時間になっても、減速で走行させることを止めることなく、減速で走行させることを意味してもよい。具体的には、例えば、基本の走行パターンで、加速区間として設定される区間のうちの少なくとも一部分が、減速区間に切り替わる。これにより、加速での走行を一部無効として、リニアモータに発生する熱量を抑えることが可能となる。
【００２３】
本発明の走行制御システムの他の態様では、前記搬送手段の現在速度、該現在速度で走行される前記搬送手段の現行の加速度若しくは減速度、並びに該現在速度で走行される前記搬送手段が搬送している前記被搬送物の有無に基づいて、前記発熱量を特定する。
【００２４】
この態様では、加速での走行中に、発熱量特定手段によって、現在速度、加速度若しくは減速度、並びに被搬送物の有無に基づいて、発熱量が特定される。具体的には、例えば、発熱量は、加速又は減速での走行に伴う発熱量から、走行時の空気抵抗による放熱量を減算した熱量に、通電手段を制御する周期を乗算した値を、発熱量を特定する単位時間（即ち、本発明の「所定時間」）で割算した値であってもよい。ここで「放熱量」は、例えば現在速度に基づいて特定され、「発熱量」は、例えば加速度、及び被搬送物の有無に基づいて特定される。これにより、リニアモータの過剰な発熱を判定するために使用される「発熱量」を正確に特定することが可能となる。
【００２５】
尚、例えば、周辺温度、室温、冷却状況などの使用環境を、発熱量を特定する際のパラメータとして用いてもよい。即ち、発熱量とは、実際に発熱する熱量にだけ着目して、純粋な意味での発熱量を特定してもよいし、或いは、リニアモータから放熱される熱量も加味して、即ち発熱する熱量から放熱される熱量を差し引いたものを、広義の発熱量の一種として扱ってもよい。他方で、周辺温度、室温、冷却状況などの使用環境については、発熱量閾値を設定する際に加味するのでもよい。
【００２６】
本発明の走行制御システムの他の態様では、前記発熱量特定手段は、前記発熱量として、前記所定時間前から前記現在までの発熱量の平均値を特定する。
【００２７】
この態様では、発熱量閾値は、発熱量の平均値（即ち、平均発熱量）に対応する値（即ち、平均発熱量閾値）となる。他方、発熱量特定手段は、発熱量として、所定時間前から現在までの発熱量の累積値を特定してもよく、この場合、発熱量閾値は、発熱量の累積値（即ち、累積発熱量）に対応する値（即ち、累積発熱量閾値）となる。よって、平均発熱量を上記の如き判定を行う際の判定基準として用いることで、確実且つ的確に、リニアモータの過熱を未然防止できる。
【００２８】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。ここに図１は、実施形態に係る走行制御システムの構成を機能的に示す。図２は、その上側に、図１の通電手段の基本の走行パターンを示す速度グラフを示し、その下側に、走行パターンに対応する発熱量及び速度比例放熱量を示す熱量グラフを示す。
【００３０】
図１において、走行制御システム１００は、レール１、ビークル３、及び搬送指示部１０を備える。レール１は、ビークル３が方向Ｄ１へ走行するための軌道の役割を果たす。このようなレール１の両側には、不図示の永久磁石が配列されている。
【００３１】
ビークル３は、本発明に係る「搬送手段」の一例として、不図示のリニアモータを備えており、そのリニアモータと、レール１側の永久磁石との間における電磁気的な推進力により走行する。リニアモータには、後述する通電部１１からの電力が供給される。ビークル３は、走行に伴って、レール１に沿って設置された不図示のストッカ（或いは、スタッカ）、製造装置等にＦＯＵＰ（本発明に係る「被搬送物」の一例）を搬送及び移載する。本実施形態では、ビークル３は、通電部４、発熱量特定部５、及び制御部６を備える。
【００３２】
通電部４は、本発明に係る「通電手段」の一例として、後述する第１抑制モード又は第２抑制モードでない通常時に、基本の走行パターンに従って、リニアモータに供給する電力を切り替える。
【００３３】
図２上側のグラフに示すように、基本の走行パターンでは、ビークル３は、停止（即ち、速度「０」（ｍ／ｓ））又は一定速度で走行している状態から、段階的に、即ち、加速度が「Ａｎ１」（ｍ／ｓ２）、「Ａｎ２」（ｍ／ｓ２）、「Ａｎ３」（ｍ／ｓ２）の順に徐徐に上昇するように加速する。最高速度（即ち、「Ｖｍａｘ」（ｍ／ｓ））に到達したビークル３は、減速度「Ａｎ４」（ｍ／ｓ２）で減速して、再び停止又は一定速度で走行する状態となる。こうして、一連の走行パターンが終了される。本実施形態では、通電部４は、このような基本の走行パターンの合間に、ビークル３が一定速度で走行する区間（以下、「一定速度区間」と言う）を設定している。通電部４は、通常時に、一定速度区間を１秒間走行するように、リニアモータに電力を供給する。
【００３４】
図２下側のグラフに示すように、リニアモータは、基本の走行パターンに対応して発熱する。具体的には、加速度「Ａｎ１」（ｍ／ｓ２）での加速中に、発熱量「Ｗｉｎ１」（Ｗ）が発生し、加速度「Ａｎ２」（ｍ／ｓ２）での加速中に、発熱量「Ｗｉｎ２」（Ｗ）が発生し、加速度「Ａｎ３」（ｍ／ｓ２）での加速中に、発熱量「Ｗｉｎ３」（Ｗ）が発生する。その後、リニアモータは、回生抵抗により、減速度「Ａｎ４」（ｍ／ｓ２）での減速中に、発熱量「Ｗｉｎ４」（Ｗ）が発生する。それら加速度又は減速度「Ａｎ１」〜「Ａｎ４」（ｍ／ｓ２）の絶対値、及び発熱量「Ｗｉｎ１」〜「Ｗｉｎ４」（Ｗ）について、式（１１）の関係を満たす場合に、式（１２）の関係がある。即ち、加速度又は減速度の傾きが大きい程、発熱量は大きくなり、その傾きが小さい程、発熱量は小さくなる。
【００３５】
｜Ａｎ４｜＞｜Ａｎ１｜＞｜Ａｎ２｜＞｜Ａｎ３｜          （１１）
Ｗｉｎ４＞Ｗｉｎ１＞Ｗｉｎ２＞Ｗｉｎ３          （１２）
【００３６】
リニアモータは、基本の走行パターンに対応して発熱する一方、走行中に受ける空気抵抗により放熱する。具体的には、加速度「Ａｎ１」（ｍ／ｓ２）、「Ａｎ２」（ｍ／ｓ２）、「Ａｎ３」（ｍ／ｓ２）の順に加速する間、放熱量は徐徐に大きくなり、減速度「Ａｎ４」（ｍ／ｓ２）で減速する間、放熱量は徐徐に小さくなる。即ち、放熱量は、走行速度に比例して大きく又は小さくなる。本実施形態では、このような放熱量を、速度比例放熱量と言う。尚、発熱量及び速度比例放熱量は、後述する式（１）及び式（２）により特定される。
【００３７】
発熱量特定部５は、本発明に係る「発熱量特定手段」の一例として、リニアモータから発生する熱量の平均値を、平均発熱量Ｗａｖｇ（即ち、本発明に係る「発熱量」の一例）として特定する。本実施形態では、発熱量特定部５は、その特定時に、リニアモータに取り付けられた不図示のエンコーダが示すエンコーダ値に基づいて、現在速度Ｖ１を検知すると共に、通電部４により供給される電力に基づいて、現在の加速度又は減速度Ａｎｘ（以下、単に「加減速度Ａｎｘ」と言う）を検知する。更に、ビークル３の本体がＦＯＵＰを積載しているか否かを検知する。
【００３８】
次に、平均発熱量Ｗａｖｇの特定方法について詳細に説明する。発熱量特定部４は、平均発熱量Ｗａｖｇの特定に先立って、発熱量Ｗｉｎ、及び速度比例放熱量Ｗｏｕｔを特定する。
【００３９】
発熱量Ｗｉｎ（Ｗ）は、現在の加減速度Ａｎｘ（ｍ／ｓ２）、ビークル３に積載されるＦＯＵＰの有無に基づく電流変換定数β０（Ａ／（ｍ／ｓ２））、及びリニアモータの巻線抵抗値ｒ０（Ω）に基づいて、式（１）で特定される。
【００４０】
Ｗｉｎ  ＝  （β０  ＊  Ａｎｘ）２  ＊  ｒ０        （１）
【００４１】
速度比例放熱量Ｗｏｕｔ（Ｗ）は、現在速度Ｖ１（ｍ／ｓ）、及び停止時のリニアモータ温度に基づく変換定数α０（Ｗ／（ｍ／ｓ））に基づいて、式（２）で特定される。
【００４２】
Ｗｏｕｔ  ＝  α０  ＊  Ｖ１          （２）
【００４３】
平均発熱量Ｗａｖｇ（Ｗ）は、特定された発熱量Ｗｉｎ（Ｗ）及び速度比例放熱量Ｗｏｕｔ（Ｗ）、制御周期Ｙ０（ｓ）、並びに特定単位時間Ｘ０（ｓ）に基づいて、式（３）で特定される。制御周期Ｙ０は、搬送指示部１０により半導体素子製造に係る搬送が指示される間に、後述する加速抑制処理が実行される単位時間である。特定単位時間Ｘ０は、平均発熱量Ｗａｖｇが特定される基準の時間を示し、本実施形態では３０秒とする。
【００４４】
Ｗａｖｇ  ＝  Σｘ｛（Ｗｉｎ  −  Ｗｏｕｔ）＊Ｙ０｝  ／  Ｘ０          （３）
【００４５】
発熱量特定部５は、特定された平均発熱量Ｗａｖｇを示す信号を、後述する加速抑制部７に送信する。
【００４６】
制御部６は、プロセッサ、メモリ等を含んで構成され、搬送指示部１０からの指示に基づいて、ビークル３の各部を制御する。制御部６は、加速抑制部７を備える。
【００４７】
加速抑制部７は、本発明に係る「加速抑制手段」の一例として、発熱量特定部５からの平均発熱量Ｗａｖｇに応じて、通電部４を制御する加圧抑制処理を行う。具体的には、加速抑制部７は、平均発熱量Ｗａｖｇと、予め設定された発熱量閾値Ｗｏｎ（Ｗ）とを比較して、式（４）を満たす（即ち、平均発熱量Ｗａｖｇが発熱量閾値Ｗｏｎ以上である）場合に、第１抑制モードにより通電部４を制御する。本実施形態では、発熱量閾値Ｗｏｎ（図２に示される）は、ビークル３が停止の状態にある時の放熱量とする。
【００４８】
Ｗａｖｇ  ≧  Ｗｏｎ          （４）
【００４９】
第１抑制モードでは、一定速度区間の走行時間が、通常時の１秒から、３秒に延長される。このような第１抑制モードにより、加速の開始を遅らせ、加速での走行を抑制することで、通常時と比較して、平均発熱量Ｗａｖｇが下がる。
【００５０】
また、加速抑制部７は、式（４）が満たされた後に、式（５）を満たす（即ち、平均発熱量Ｗａｖｇが発熱量閾値Ｗｏｎ以上である時間Ｘ１（ｓ）が、特定単位時間Ｘ０以上である）場合に、第２抑制モードにより通電部４を制御する。
【００５１】
Ｘ１  ≧  Ｘ０          （５）
【００５２】
第２抑制モードでは、現在の加減速度Ａｎｘでビークル３が加速している場合には、直ちに加速での走行を停止して、減速での走行に切り替える。具体的には、加速抑制部７は、現在速度Ｖ１で走行するための電力を供給するように、通電部４を制御する。すると、その電力の供給により、ビークル３は、減速での走行を行う。このような第２抑制モードにより、加速での走行を一部無効にして、加速での走行を抑制することで、第１抑制モードの場合と比較して、更に平均発熱量Ｗａｖｇが下がる。尚、本実施形態では、第２抑制モードによる制御は、現在速度Ｖ１が所定の速度（例えば、１ｍ／ｓ）以上である場合に有効とする。
【００５３】
加速抑制部７は、第１及び第２抑制モードの実行により下げられた平均発熱量Ｗａｖｇに応じて、第１及び第２抑制モードを解除する。具体的には、加速抑制部７は、平均発熱量Ｗａｖｇと、上述した発熱量閾値Ｗｏｎ（即ち、第１抑制モード実行のための閾値）より少ない、予め設定された解除用発熱量閾値Ｗｏｆｆ（Ｗ）とを比較して、式（６）を満たす（即ち、平均発熱量Ｗａｖｇが解除用発熱量閾値Ｗｏｆｆ以下である）場合に、第１及び第２抑制モードを解除する。
【００５４】
Ｗａｖｇ  ≦  Ｗｏｆｆ          （６）
【００５５】
搬送指示部１０は、プロセッサ、メモリ等を含んで構成され、走行制御システム１００の各部と有線又は無線により接続されており、走行制御システム１００の各部を総括的に制御する。搬送指示部１０は、半導体素子製造工程に従って、ＦＯＵＰの搬送（具体的には、搬送すべきＦＯＵＰの識別番号、並びに搬送元及び搬送先）をビークル３に指示する。
【００５６】
（加速抑制処理）
次に、本実施形態に係る走行制御システム１００の加速抑制処理について図３を参照して説明する。ここに図３は、本実施形態に係る加速抑制処理を示すフローチャートである。本実施形態の加速抑制処理は、半導体素子製造工程に係る搬送が指示される間に、例えば数ｍ秒或いはコンマ数秒などの短時間である、制御周期Ｙ０に一回行われる。
【００５７】
図３において、先ず、ビークル３が走行中又は停止中である走行制御システム１００（図１参照）の動作中に、発熱量特定部５によって、現在速度Ｖ１、現在の加減速度Ａｎｘ、及びＦＯＵＰ積載の有無が検知され、式（１）〜（３）を用いて平均発熱量Ｗａｖｇが特定される（ステップＳ５０）。すると、加速抑制部７によって、式（４）の条件、即ち、平均発熱量Ｗａｖｇが発熱量閾値Ｗｏｎ以上であるか否かが判定される（ステップＳ５１）。この判定の結果、発熱量閾値Ｗｏｎより少ない場合に（ステップＳ５１：ＮＯ）、ステップＳ５５の処理を行う。
【００５８】
一方、ステップＳ５１の判定の結果、平均発熱量Ｗａｖｇが発熱量閾値Ｗｏｎ以上である場合に（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、加速抑制部７によって、通電部４に対して第１抑制モードが指示され、通電部４によって、一定速度区間が延長される。また、その際、時間Ｘ１の計時が開始される（ステップＳ５２）。続いて、時間Ｘ１が特定単位時間Ｘ０に達したか否かが判定される（ステップＳ５３）。この判定の結果、特定単位時間Ｘ０に未だ達しない場合に（ステップＳ５３：ＮＯ）、特定単位時間Ｘ０に達するまで待機状態となる。
【００５９】
一方、ステップＳ５３の判定の結果、時間Ｘ１が特定単位時間Ｘ０に達した場合に（ステップＳ５３：ＹＥＳ）、再度、発熱量特定部５によって、平均発熱量Ｗａｖｇが特定され（ステップＳ５０）、加速抑制部７によって、平均発熱量Ｗａｖｇが発熱量閾値Ｗｏｎ以上であるか否かが判定される（ステップＳ５１）。この判定の結果、発熱量閾値Ｗｏｎより少ない場合に（ステップＳ５１：ＮＯ）、ステップＳ５５の処理を行う。
【００６０】
一方、ステップＳ５１の判定の結果、平均発熱量Ｗａｖｇが未だ発熱量閾値Ｗｏｎ以上である場合に（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、加速抑制部７によって、通電部４に対して第２抑制モードが指示され、通電部４によって、加速での走行が減速での走行に切り替えられる（ステップＳ５４）。すると、平均発熱量Ｗａｖｇ及び時間Ｘ１が零に戻され（ステップＳ５５）、一連の加速抑制処理が終了される。
【００６１】
このように、本実施形態の加速抑制処理によれば、特定単位時間毎の平均発熱量が所定の発熱量閾値を超えた場合に、第１抑制モードを実行して、加速での走行を抑制する。これにより、システムエラーをもたらす、リニアモータの発熱を抑制することが可能となる。また、所定の発熱量閾値を超えた時間が所定の時間閾値を超えても尚継続される場合に、第２抑制モードを実行して、加速での走行を一部無効とする。これにより、その発熱を更に抑制することが可能となる。
【００６２】
（加速抑制解除処理）
次に、本実施形態の第１及び第２制御を解除する処理（即ち、加速抑制解除処理）について図４を参照して説明する。ここに図４は、本実施形態に係る加速抑制解除処理を示すフローチャートである。
【００６３】
図４において、図３のステップＳ５０〜Ｓ５５の処理が実行された後、先ず加速抑制部７によって、第１又は第２抑制モードを実行中であるか否かが判定される（ステップＳ６１）。この判定の結果、第１抑制モードも第２抑制モードも実行中でない場合に（ステップＳ６１:ＯＦＦ）、ステップＳ６４の処理が実行される。
【００６４】
一方、ステップＳ６１の判定の結果、第１抑制モードを実行中である場合に（ステップＳ６１：ＯＮ）、図３のステップＳ５０と同様にして、発熱量特定部５によって、平均発熱量Ｗａｖｇが特定され（ステップＳ５０）、加速抑制部７によって、式（６）の条件、即ち、平均発熱量Ｗａｖｇが解除用発熱量閾値Ｗｏｆｆ以下であるか否かが判定される（ステップＳ６２）。この判定の結果、発熱量閾値Ｗｏｆｆより多い場合に（ステップＳ６２：ＮＯ）、第１及び第２抑制モードが解除されることなく、ステップＳ６４の処理を行う。
【００６５】
一方、ステップＳ６２の判定の結果、平均発熱量Ｗａｖｇが発熱量閾値Ｗｏｆｆ以下である場合に（ステップＳ６２：ＹＥＳ）、加速抑制部７によって、実行中の第１抑制モードが解除（即ち、オフ）され、通電部４によって、延長されていた一定速度区間が短縮される（ステップＳ６３）。すると、平均発熱量Ｗａｖｇが零に戻され（ステップＳ６４）、一連の加速抑制解除処理が終了される。
【００６６】
このように、本実施形態の加速抑制解除処理によれば、平均発熱量が解除用発熱量閾値を下回った場合に、第１及び第２抑制モードを解除して、基本の走行パターンを復帰させる。これにより、抑制されていた加速での走行を再開して、ビークル３の搬送効率を早急に回復させる。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】実施形態に係る走行制御システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１の通信手段の基本の通電パターン及び熱量を示すグラフである。
【図３】実施形態に係る加速抑制処理を示すフローチャートである。
【図４】実施形態に係る第１及び第２制御を解除する加速抑制解除処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６９】
３…ビークル、４…通電部、５…発熱量特定手段、７…加速抑制部、１００…走行制御システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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