(57)【要約】【課題】搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供する。【解決手段】分岐装置は、搬送容器１０の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、搬送路Ｓ，Ｂの搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて搬送容器１０の下面を支持して移送する複数の搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａ，Ｒ３Ａ，Ｒ４Ａと、搬送路のうち第一搬送路Ｓと第二搬送路Ｂの交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されてガイド部に当接して案内するガイドレールＴＧ１と、交差部分に配置された複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により搬送容器１０の下面支持して移送させる切換機構と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、
前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、
前記搬送路の搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、
前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記ガイド部に当接して案内するガイドレールと、
前記交差部分に配置された前記複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、前記第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により前記搬送容器の下面支持して移送させる切換機構と、
を備えることを特徴とする分岐装置。
【請求項２】
前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする請求項１に記載の分岐装置。
【請求項３】
前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする請求項１に記載の分岐装置。
【請求項４】
前記ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の分岐装置。
【請求項５】
前記ガイド部は、フランジであることを特徴とする請求項２に記載の分岐装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分岐装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ローラコンベア等の搬送路に沿って移送される搬送物の移送方向を、分岐搬送路側に切換える分岐装置として、ターンテーブルが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３７４９１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ターンテーブルは、搬送路上で移送される搬送容器を分岐搬送路側に切換える際に、ターンテーブル上に搬送物を載置した状態で、旋回させる必要がある。このため、ターンテーブルの旋回時は、後続する搬送物の進行（搬送）が停止され搬送路上で停滞するので、搬送効率が低下する問題を有している。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、搬送路で移送される搬送容器を分岐・合流する際に、後続する搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る分岐装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明は、搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設されたガイド部と、前記搬送路の搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記ガイド部に当接して案内するガイドレールと、前記交差部分に配置された前記複数の搬送ローラのうち第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させて、前記第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラのいずれか一方により前記搬送容器の下面支持して移送させる切換機構と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
また、前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする。
【０００７】
また、前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする。
【０００８】
また、前記ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする。
【０００９】
また、前記ガイド部は、フランジであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、切換機構により第一搬送路用搬送ローラと第二搬送路用搬送ローラとを相対的に昇降させることで、搬送容器の搬送方向（直進と分岐）を簡単かつ確実に切り替えることができる。また、複数の搬送容器が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る分岐装置の第一実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を下面側から見た斜視図である。
図２は、本発明に係る分岐装置に用いる搬送容器を下面側から見た斜視図である。
【００１２】
搬送容器１０は、例えば複数の円板状半導体ウェハーＤ（搬送物）を複数段に整列収容して搬送する容器であって、この搬送容器１０は、両側内部側壁に半導体ウェハーＤの両側を係止する複数段の係止溝を形成した収容ケース１２と、この収容ケース１２の開口部１３を密封閉塞する蓋体１４とから構成されている。
【００１３】
複数の半導体ウェハーＤを収容した搬送容器１０は、閉塞された開口部１３を横に向けて後述する主搬送路Ｓまたは分岐搬送路Ｂを矢印方向に移送されるようになっており、搬送容器１０の天面Ｔは、平坦面で構成され、搬送容器１０の下面Ｅには、移送方向両側に一対のガイドローラＧ１，Ｇ２が移送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。
もっとも、ガイドローラＧ１，Ｇ２は、ローラ式を用いず、平板式のフランジ１５のままとしてもよい。
【００１４】
図３は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図４は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【００１５】
図３、図４において、分岐装置１Ａは、搬送容器１０を直進方向に搬送する主搬送路Ｓと、この主搬送路Ｓから搬送容器１０を分岐方向に搬送する分岐搬送路Ｂとが交叉する部位（分岐領域）に配設されている。
【００１６】
主搬送路Ｓ並びに分岐搬送路Ｂの両内側面には、複数の搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａが移送方向に向けて連続的に配設されており、搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａは、駆動ローラＤＲと自由回転可能なフリーローラＦＲとから構成されており、搬送容器１０の下面Ｅに配設されるガイドローラＧ１，Ｇ２の幅方向内側に近接して配設されている。
ガイドローラＧ１，Ｇ２を用いない場合には、フランジ１５の側面のいずれかの部位に当接することになる。
【００１７】
また、主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂが交叉する分岐領域以外の領域において、搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａの外側には、搬送容器１０の下面ＥのガイドローラＧ１，Ｇ２の外側を移送方向に案内するガイドレールＴＧ１が移送方向に沿って設けられている。
ガイドローラＧ１，Ｇ２を用いない場合には、フランジ１５の側面をガイドレールＴＧ１が案内することになる。
なお、図３（ｂ）、図４（ｂ）、図５（ｂ）、図６（ｂ）及び図７（ｂ）では、フランジ１５を搬送容器１０，２０と特に区別して図示していない。
【００１８】
分岐装置１Ａは、主搬送路Ｓから分岐する分岐搬送路Ｂの両側に、搬送容器１０の下面Ｅの内側を支持して駆動移送する複数の内側分岐ローラＣＲＩと、搬送容器１０の下面Ｅの外側を支持する複数の外側分岐ローラＣＲＯと、を備えている。
そして、内側分岐ローラＣＲＩ及び外側分岐ローラＣＲＯは、切換機構２Ａに支持されており、後述する駆動源により昇降移動するようになっている。
【００１９】
切換機構２Ａは、内側分岐ローラＣＲＩが主搬送路Ｓの搬送ローラＲ２Ａと分岐搬送路Ｂの搬送ローラＲ４Ａに連続する位置に配置される。また、外側分岐ローラＣＲＯが主搬送路Ｓの搬送ローラＲ２Ａと交叉し、且つ分岐搬送路Ｂの搬送ローラＲ３Ａに連続するように主搬送路Ｓの両搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａ間に配設される。
【００２０】
そして、搬送容器１０の移送方向を切換える際は、切換機構２Ａの昇降移動により、内側分岐ローラＣＲＩ及び外側分岐ローラＣＲＯを搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａに対し相対的に上下移動させて、搬送容器１０の下面Ｅを支持する支持面の高低差を形成するように昇降制御されている。
なお、切換機構２Ａの外側分岐ローラＣＲＯの側方には、ガイドレールＴＧ３が配置される。
【００２１】
図５は、切換機構２Ａの構成図である。
図５（ａ），（ｂ）に示すように、主搬送路Ｓには複数の搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａが回転自在に支持されており、分岐領域における主搬送路側の搬送ローラＲ１Ａは駆動ローラＤＲで構成され、分岐路側の搬送ローラＲ２ＡはフリーローラＦＲで構成されており、これらは基台Ｆ上に同一高さに立設保持されている。
【００２２】
切換機構２Ａは、搬送ローラＲ１Ａ、Ｒ２Ａに対し昇降移動するものであって、基台Ｆ上に設けた駆動源１６（例えばエアシリンダー）により昇降移動する昇降板ＤＰと、この昇降板ＤＰ上に所定間隔を持って保持される台形型の基板ＢＰとから構成されており、基板ＢＰ上には、複数の内側分岐ローラＣＲＩと複数の外側分岐ローラＣＲＯが配設されて一体的に構成されると共に、基板ＢＰには分岐路側の複数の搬送ローラＲ２Ａを上下に挿通することができる複数の挿通孔１８が形成されている。
【００２３】
図５（ｂ）に示すように、内側分岐ローラＣＲＩと外側分岐ローラＣＲＯの支持面は同一高さ位置にある。
そして、搬送容器１０を主搬送路Ｓに沿って直進させる場合には、内側分岐ローラＣＲＩと外側分岐ローラＣＲＯは、搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａの支持面に対して、若干低い位置ｈ２に位置する。この状態では、主搬送路Ｓ上で移送される搬送容器１０は、搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａにより支持されて、分岐領域をそのまま直進移送する。
【００２４】
次に、搬送容器１０を分岐搬送路Ｂに分岐させる場合には、駆動源１６を作動させて、基板ＢＰ上の内側分岐ローラＣＲＩおよび外側分岐ローラＣＲＯを全ストロークＨだけ上昇させる。これにより、内側分岐ローラＣＲＩおよび外側分岐ローラＣＲＯの支持面が搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａの支持面に対し若干高い位置ｈ１まで移動する。したがって、主搬送路Ｓ上を移送する搬送容器１０が分岐領域まで移送されると、搬送容器１０は、内側分岐ローラＣＲＩと外側分岐ローラＣＲＯにより支持されて、分岐搬送路Ｂに向けて搬送される。
【００２５】
更に、切換機構２Ａの外側分岐ローラＣＲＯの側方にガイドレールＴＧ３が配置されているので、搬送容器１０の方向変換時に搬送容器１０の下面Ｅに設けたガイドローラＧ１が案内されるので、分岐搬送路Ｂを外れることがない。
ガイドローラＧ１，Ｇ２を用いない場合には、フランジ１５の側面をガイドレールＴＧ３が案内することになる。
【００２６】
なお、２つの外側分岐ローラＣＲＯのうち、始端側（図５（ｂ）において左側）の支持面は、終端側（図５（ｂ）において右）に比べてやや低く（ｈ３だけ）設定されている。したがって、搬送容器１０は、搬送ローラＲ２Ａ（の支持面）をスムーズに乗り上げて、分岐搬送路Ｂに移送される。
【００２７】
このように、第一実施形態に係る分岐装置１Ａによれば、分岐ローラＣＲＩ，ＣＲＯを切換機構２Ａにより搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａに対し相対的に昇降移動することで、搬送容器１０の下面Ｅを支持する駆動ローラを選択することが可能となる。
したがって、搬送容器１０の移送方向を容易に切換えることができ、後続移送される搬送容器１０を停滞させずに円滑且つ確実に移送することができる。
【００２８】
次に、第一実施形態に係る分岐装置１Ｂに付き説明する。なお、本実施形態において、第一実施形態と同一部材は同一符号を付してその説明を省略する。
図６は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図７は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置の概略構成図であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【００２９】
図６、図７において、分岐装置１Ｂは、搬送容器２０を直進方向に搬送する主搬送路Ｓと、この主搬送路Ｓから搬送容器２０を分岐方向に搬送する分岐搬送路Ｂとが交叉する部位（分岐領域）に配設されている。
【００３０】
主搬送路Ｓ並びに分岐搬送路Ｂの両外側面には、複数の搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂが移送方向に向けて連続的に配設されており、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂは、駆動ローラＤＲと自由回転可能なフリーローラＦＲとから構成されており、搬送容器２０の下面Ｅに配設されるガイドローラＧ１１，Ｇ１２の幅方向外側に近接して配設されている。
【００３１】
また、主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂが交叉する分岐領域以外の領域において、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂの内側には、搬送容器２０の下面ＥのガイドローラＧ１１，Ｇ１２の外側を移送方向に案内するガイドレールＴＧ２が移送方向に沿って設けられている。
【００３２】
分岐装置１Ｂは、主搬送路Ｓから分岐する分岐搬送路Ｂの両側に、搬送容器２０の下面Ｅの内側を支持して駆動移送する複数の内側分岐ローラＣＲＩと、搬送容器２０の下面Ｅの外側を支持する複数の外側分岐ローラＣＲＯと、を備えている。
そして、内側分岐ローラＣＲＩ及び外側分岐ローラＣＲＯは、切換機構２Ｂに支持されており、後述する駆動源により昇降移動するようになっている。
【００３３】
切換機構２Ｂでは、内側分岐ローラＣＲＩが主搬送路Ｓの搬送ローラＲ２Ｂと分岐搬送路Ｂの搬送ローラＲ４Ｂに連続する位置に配置される。また、外側分岐ローラＣＲＯが主搬送路Ｓの搬送ローラＲ２Ｂと交叉し、且つ分岐搬送路Ｂの搬送ローラＲ３Ｂに連続するように主搬送路Ｓの両搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂ間に配設される。
そして、搬送容器２０の移送方向を切換える際は、切換機構２Ｂの昇降移動により、内側分岐ローラＣＲＩ及び外側分岐ローラＣＲＯを搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂに対し相対的に上下移動させて、搬送容器２０の下面Ｅを支持する支持面の高低差を形成するように昇降制御されている。
【００３４】
なお、切換機構２Ｂには、内側分岐ローラＣＲＩ及び外側分岐ローラＣＲＯと共に、外側分岐ローラＣＲＯの側方にガイドレールＴＧ４が配置され、これらが一体となって昇降移動するようになっている。
【００３５】
図８は、切換機構２Ｂの構成図である。
図８（ａ），（ｂ）に示すように、主搬送路Ｓには複数の搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂが回転自在に支持されており、分岐領域における主搬送路側の搬送ローラＲ１Ｂは駆動ローラＤＲで構成され、分岐路側の搬送ローラＲ２ＢはフリーローラＦＲで構成されており、これらは基台Ｆ上に同一高さに立設保持されている。
【００３６】
切換機構２Ｂは、搬送ローラＲ１Ｂ、Ｒ２Ｂに対し昇降移動するものであって、基台Ｆ上に設けた駆動源１６（例えばエアシリンダー）により昇降移動する昇降板ＤＰと、この昇降板ＤＰ上に所定間隔を持って保持される台形型の基板ＢＰとから構成されており、基板ＢＰ上には、複数の内側分岐ローラＣＲＩと複数の外側分岐ローラＣＲＯが配置されて一体的に構成されると共に、基板ＢＰには分岐路側の複数の搬送ローラＲ２Ｂを上下に挿通することができる複数の挿通孔１８が形成されている。
【００３７】
図７（ｂ）に示すように、内側分岐ローラＣＲＩと外側分岐ローラＣＲＯの支持面は同一高さ位置にある。
そして、搬送容器２０を主搬送路Ｓに沿って直進させる場合には、内側分岐ローラＣＲＩと外側分岐ローラＣＲＯは、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂの支持面に対して若干低い位置ｈ２に位置する。この状態では、主搬送路Ｓ上で移送される搬送容器２０は、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂにより支持されて、分岐領域をそのまま直進移送する。
【００３８】
次に、搬送容器２０を分岐搬送路Ｂに分岐させる場合には、駆動源１６を作動させて、基板ＢＰ上の内側分岐ローラＣＲＩおよび外側分岐ローラＣＲＯを全ストロークＨまで上昇させる。これにより、内側分岐ローラＣＲＩ及び外側分岐ローラＣＲＯの支持面が搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂの支持面より若干高い位置ｈ１まで移動する。したがって、主搬送路Ｓ上を移送する搬送容器２０が分岐領域まで移送されると、搬送容器２０は、内側分岐ローラＣＲＩと外側分岐ローラＣＲＯにより支持されて、分岐搬送路Ｂに向けて搬送される。
【００３９】
更に、切換機構２Ｂの外側分岐ローラＣＲＯの側方にガイドレールＴＧ４が配置されているので、搬送容器２０の方向変換時に搬送容器２０の下面Ｅに設けたガイドローラＧ１１が案内されるので、分岐搬送路Ｂを外れることがない。
ガイドローラＧ１がない場合は、フランジ１５の側面が同様に案内される。
【００４０】
なお、複数の外側分岐ローラＣＲＯのうち、始端側（図７（ｂ）において左側）の支持面は、終端側（図７（ｂ）において右）に比べて徐々に低く（ｈ３だけ）設定されている。したがって、搬送容器２０は、搬送ローラＲ２Ａ（の支持面）をスムーズに乗り上げて、分岐搬送路Ｂに移送される。
【００４１】
このように、第二実施形態に係る分岐装置１Ｂによれば、第一実施形態に係る分岐装置１Ａと同一の効果を得ることができる。
【００４２】
上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４３】
例えば、上述した実施形態では、搬送容器の搬送方向を直進又は分岐する場合について説明したが、これに限らない。主搬送路と分岐搬送路が合流する部分に適用することもできる。
【００４４】
また、上述した実施形態では、分岐搬送路用の搬送ローラ（分岐ローラＣＲＩ、ＣＲＯ）を昇降させる場合について説明したが、これに限らない。
分岐ローラＣＲＩ、ＣＲＯを固定して、その周辺に配置された主搬送路用の搬送ローラを昇降させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る分岐装置に使用する搬送容器を下面側から見た斜視図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【図５】切換機構の構成を示す図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
【図７】本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【図８】切換機構の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１Ａ，１Ｂ…分岐装置、  Ｓ…主搬送路（第一搬送路）、  Ｂ…分岐搬送路（第二搬送路）、  Ｒ１Ａ，Ｒ２Ａ，Ｒ１Ｂ，Ｒ２Ｂ，Ｒ３Ａ，Ｒ４Ａ，Ｒ３Ｂ，Ｒ４Ｂ…搬送ローラ、  ＴＧ１−ＴＧ４…ガイドレール、  Ｄ…搬送物、  １０，２０…搬送容器、  １５…フランジ（ガイド部）、  Ｅ…下面、  Ｇ１，Ｇ２，Ｇ１１，Ｇ１２…ガイドローラ（ガイド部）、  ２Ａ，２Ｂ…切換機構、  ＣＲＩ、ＣＲＯ…分岐ローラ（第二搬送路用搬送ローラ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010126333.tif 000009
【図８】
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