(57)【要約】【課題】  検査用プローブの先端を検査基板の所定の部分まで案内し、また、折れ曲がる等の変形を防止し、さらに、自動的に先端からゴミ等を取り除く基板検査用の検査治具を提供する。【解決手段】  基板検査用の検査治具は、検査基板の配線パターンの所定の部分に接触させて検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブを保持するためのもので、複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔を有していて配線パターンの所定の部分に先端部を導くためのヘッド部とを備え、ヘッド部の一部又は全部がヘッド部の孔の軸線方向に移動することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査基板の配線パターンの所定の部分に接触させて該検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブを保持する基板検査用の検査治具であって、
前記複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、
前記複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔を有していて前記配線パターンの所定の部分に該先端部を導くためのヘッド部と、
前記ヘッド部の一部又は全部が前記ヘッド部の孔の軸線方向に移動可能な、基板検査用の検査治具。
【請求項２】
請求項１の基板検査用の検査治具において、前記ヘッド部の一部又は全部が、前記孔の軸線方向に沿って、前記ベースプレートから離れた待機位置と、前記ベースプレートに近い検査位置との間で移動可能な、基板検査用の検査治具。
【請求項３】
請求項２の基板検査用の検査治具において、前記ヘッド部の一部又は全部が前記待機位置にある場合には、前記複数の検査用プローブの先端部が、検査基板と接触する前記ヘッド部の前面から引っ込んでいて、前記ヘッド部の一部又は全部が前記検査位置にある場合には、前記複数の検査用プローブの先端部が、検査基板と接触する前記ヘッド部の前面から突出する、基板検査用の検査治具。
【請求項４】
請求項１の基板検査用の検査治具において、前記ヘッド部が、１又は２以上のプレートからなり、該ヘッド部を構成する複数のプレートより少ない１又は２以上のプレートが、前記ヘッド部の孔の軸線方向に沿って移動可能な、基板検査用の検査治具。
【請求項５】
請求項１の基板検査用の検査治具において、さらに、前記ヘッド部内又は該ヘッド部を保持する手段に付勢装置を備えていて、該付勢装置が、前記ヘッド部の一部又は全部を前記ベースプレートから離れる方向に付勢する、基板検査用の検査治具。
【請求項６】
請求項５の基板検査用の検査治具において、前記付勢装置はバネ手段を備えていて、それによって前記ヘッド部の一部又は全部を前記ベースプレートから離れる方向に付勢する、基板検査用の検査治具。
【請求項７】
請求項２の基板検査用の検査治具において、前記待機位置にある前記ヘッド部の一部又は全部は、検査対象の基板によって、前記検査位置まで動かされる、基板検査用の検査治具。
【請求項８】
請求項１の基板検査用の検査治具において、前記複数の検査用プローブが挿通される前記ヘッド部の前面の前記孔の周囲に凹部が形成されている、基板検査用の検査治具。
【請求項９】
請求項８の基板検査用の検査治具において、前記ヘッド部が前記検査位置にあるときに、前記凹部に前記検査用プローブの先端部が接触する部分が入る、基板検査用の検査治具。
【請求項１０】
検査基板の配線パターンの所定の部分に接触させて該検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブと、前記複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、前記複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔を有していて前記配線パターンの所定の部分に該先端部を導くためのヘッド部とを備え、前記ヘッド部の一部又は全部が前記ヘッド部の孔の軸線方向に移動可能な、基板検査用の検査治具と、
前記複数の検査用プローブの後端部に接続されていて、検査基板の検査のための信号を制御及び処理する装置とを備える基板検査装置。
【請求項１１】
請求項８の基板検査用の検査治具において、前記検査用プローブの先端部が、前記凹部の底面から僅かに突出している、基板検査用の検査治具。
【請求項１２】
請求項１１の基板検査用の検査治具において、前記ベースプレートと前記ヘッド部とは支持棒によって保持されており、また、該支持棒にバネ部材が環装されていて、該バネ部材は前記ヘッド部を前記ベースプレートから離れる方向に付勢し、前記ヘッド部の全部が前記バネ部材の付勢力に抗して前記支持棒に沿って所定距離移動可能な、基板検査用の検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査のために用いられる基板検査用プローブを保持する、基板検査用の検査治具に関する。
【０００２】
尚、検査対象は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線であり、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
【背景技術】
【０００３】
従来から、回路基板上の配線パターンによってその回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンの所定の接触部分間の抵抗値を測定して、その電気的特性や良否の判定が行われている。
【０００４】
具体的には、その良否の判定は、各接触部分に、電流供給用端子及び／又は電圧測定用端子を当接させ、電流供給用端子から接触部分に測定用電流を供給するとともに接触部分に当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定し、供給される電流と測定された電圧とから所定の接触部分間における抵抗値を算出することによって行われている。
【０００５】
そのような検査を効率よくかつ正確に行うために基板検査装置が用いられており、その装置は、検査対象の基板の配線パターン上の所定の接触部分に当接して所定の検査を行うため複数の基板検査用プローブを保持する検査治具と、その検査治具を所定の検査位置まで移動する治具移動手段と、検査対象の基板を検査が実施される検査部まで搬送するための搬送機構とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３６９０８０１号  特許文献１には、ヘッド部を構成する複数のプレートが固定手段によって相互に固定されて一体化されていて、そのヘッド部から接触ピンの先端が突出した構成が開示されている。
【０００７】
基板検査装置では、検査を行う際には、治具移動手段を移動させて基板検査用治具の検査用のプローブ（接触ピン）を検査用基板の接触部分に当接させ、それにより所定の検査を行い、検査が終了すると、治具移動手段を移動させて検査治具を検査用基板から遠ざける、という制御が行われている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年になって検査対象の基板の複雑化や微細化が進み、基板に設定される検査点がより細かく又は小さく形成されることになるために、検査用プローブの径もより小さく形成されることになっている。このため、治具移動手段を移動させて基板検査用治具の検査用プローブを検査用基板の検査点に当接させる際に、その検査用プローブの先端がずれ動いたり、揺れ動いたり、振れ動いたりしてその先端が所定の検査点に正確に当接させることが困難な場合があった。そのため、本発明は、検査用プローブの先端が検査対象の基板の所定の検査点（所定の部分）まで正確に案内することにより、微細な径を有する検査用プローブの先端を正確にその所定の位置に当接させることを可能とする基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
【０００９】
また、本発明は、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させる際に、その検査用プローブの先端が折れ曲がる等変形することを防止する基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
【００１０】
さらに、本発明は、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させて検査を行った後に、その検査用プローブの先端に付着したゴミ等を取り除いたり、検査用プローブからはがれやすくしたりする基板検査用の検査治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、本発明に係る基板検査用の検査治具は、検査基板の配線パターンの所定の部分に接触させて該検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブを保持する基板検査用の検査治具であって、複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔を有していて配線パターンの所定の部分に先端部を導くためのヘッド部と、ヘッド部の一部又は全部がヘッド部の孔の軸線方向に移動可能であることを特徴とする。
【００１２】
その基板検査用の検査治具において、ヘッド部の一部又は全部が、孔の軸線方向に沿って、ベースプレートから離れた待機位置と、ベースプレートに近い検査位置との間で移動可能であることが望ましい。
【００１３】
ヘッド部の一部又は全部が待機位置にある場合には、複数の検査用プローブの先端部が、検査基板と接触するヘッド部の前面から引っ込んでいて、ヘッド部の一部又は全部が検査位置にある場合には、複数の検査用プローブの先端部が、検査基板と接触するヘッド部の前面から突出することができる。
【００１４】
ヘッド部が、１又は２以上のプレートからなり、ヘッド部を構成する複数のプレートより少ない１又は２以上のプレートが、ヘッド部の孔の軸線方向に沿って移動可能である。
【００１５】
さらに、ヘッド部内又はヘッド部を保持する手段に付勢装置を備えていて、付勢装置が、ヘッド部の一部又は全部をベースプレートから離れる方向に付勢することが望ましい。
【００１６】
付勢装置はバネ手段を備えていて、それによってヘッド部の一部又は全部をベースプレートから離れる方向に付勢することができる。
【００１７】
待機位置にあるヘッド部の一部又は全部は、検査対象の基板によって、検査位置まで動かすことができる。
【００１８】
複数の検査用プローブが挿通されるヘッド部の前面の孔の周囲に凹部が形成されていることが望ましい。
【００１９】
ヘッド部が検査位置にあるときに、凹部に検査用プローブの先端部が接触する部分が入ることができる。
【００２０】
また、本発明に係る基板検査装置は、検査基板の配線パターンの所定の部分に接触させて検査基板の配線パターンを検査するための先端部と、測定装置に接続される後端部とを有する複数の検査用プローブと、複数の検査用プローブの後端部を保持するためのベースプレートと、複数の検査用プローブの先端部が挿通される孔を有していて配線パターンの所定の部分に該先端部を導くためのヘッド部とを備え、ヘッド部の一部又は全部がヘッド
部の孔の軸線方向に移動可能な基板検査用の検査治具と、さらに、複数の検査用プローブの後端部に接続されていて、検査基板の検査のための信号を制御及び処理する装置とを備えることを特徴とする。
また、ヘッド部が検査位置にあるときに、凹部に検査用プローブの先端部が接触する部分が入ることができるような基板検査用の検査治具においては、検査用プローブの先端部が、凹部の底面から僅かに突出している。
さらに、その基板検査用の検査治具において、ベースプレートとヘッド部とは支持棒によって保持されており、また、支持棒にバネ部材が環装されていて、バネ部材はヘッド部をベースプレートから離れる方向に付勢し、ヘッド部の全部がバネ部材の付勢力に抗して支持棒に沿って所定距離移動することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、検査のために、治具移動手段を移動させて基板検査用治具の検査用プローブを検査用基板の部分に当接させる際に、検査用プローブの先端を案内することにより、その先端を所定の位置に正確に当接させることができる。
【００２２】
また、本発明によると、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させる際に、その検査用プローブの先端が折れ曲がったり湾曲したりする等の変形を防止することができる。
【００２３】
さらに、本発明によると、検査用プローブの先端を検査用基板の部分に当接させて検査を行った後に、その検査用プローブの先端に付着した酸化膜の破片やはんだ屑等のごみを容易に取り除いたり、検査用プローブから外れやすくしたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の一実施例に係る基板検査用の検査治具を示す側面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、図１の基板検査用の検査治具の一点鎖線２Ａで示す部分の拡大側面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図１の基板検査用の検査治具の一点鎖線２Ｂで示す部分の拡大側面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、図１の基板検査用の検査治具の一点鎖線２Ａで示す部分において一部の構成を移動した状態を説明するための拡大側面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図１の基板検査用の検査治具の一点鎖線２Ｂで示す部分において一部の構成を移動した状態を説明するための拡大側面図である。
【図４】図４は、本発明の一実施例に係る基板検査用の検査治具の一部の拡大側面図である。
【図５】図５は、本発明の他の実施例に係る基板検査用の検査治具を示す側面図である。
【図６】図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、図５の基板検査用の検査治具の一点鎖線６で囲む部分の動きを説明するための拡大側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
［検査治具の概要］
図１は、本発明の一実施形態に係る検査治具１０の一部断面を示す側面概略図である。なお、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔等は、理解の容易のために、拡大・縮小・変形・簡略化等をしていることを理解願いたい。
【００２６】
検査治具１０は、ヘッド部１１、ガイドプレート１２、ベースプレート１４、基台１５及び支持棒１６を備える。ヘッド部１１、ガイドプレート１２、ベースプレート１４及び基台１５は、樹脂材料等の絶縁材料からなる板状の部材である。支持棒１６は、ガイドプレート１２及びベースプレート１４を貫通してそれらをヘッド部１１と基台１５との間に保持する。
【００２７】
ヘッド部１１は、後述するプローブ１７の先端を検査点（所定の部位）へ案内する。このヘッド部１１は、例えば、３枚のプレート１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃから構成されている。プレート１１Ａは、支持棒１６の長手方向に沿って移動可能であり、プレート１１Ｂ及び１１Ｃは、支持棒１６に固定されている。この実施例では、プレート１１Ａがプレート１１Ｂと離間距離が変更するように可動（移動）可能であり、このプレート１１Ａが可動する機構の構成は後述する。
【００２８】
また、それらのプレートには、複数の貫通孔１１ｈが形成されており、それらの貫通孔は、検査基板（図示せず）の配線パターン上の被検査点に、検査プローブが案内され、この検査点に導通接触する位置にある。ガイドプレート１２、ベースプレート１４及び基台１５のプレート１１Ａの貫通孔１１ｈに対応する位置にも、それぞれ、貫通孔１２ｈ，１４ｈ，１５ｈが形成されていて、プローブ１７がそれらを貫通している。
【００２９】
各貫通孔１１ｈ，１２ｈ，１４ｈには、１本のプローブ１７が挿通されていて、図１に示すように、プレート１１Ａがプレート１１Ｂから離れた位置に移動しているときには、その先端部１７ａはプレート１１Ａの表面から引っ込んでいる。
【００３０】
プローブ１７の直径は約４０から６０μｍであり、プローブ１７としては、例えば、ステンレス鋼からなる弾性を有するピアノ線やタングステン（Ｗ）等を用いることができ、先端部及び後端部を除いて周面を絶縁被覆することが望ましい。
【００３１】
ガイドプレート１２は、貫通孔１２ａに挿通したプローブ１７を保持するとともに、図１において横方向にスライドして、検査の際、複数のプローブを同一方向にたわませる。それにより、プローブ１７が貫通孔１２ｈ，１４ｈ内であそんだり、動いたり、振れたりするのを防ぐ。このガイドプレート１２は、プローブ１７が可撓性を有する導電性のプローブから形成される場合には、複数のプローブ１７を固定保持するために上記の如きスライドさせ、プローブを湾曲させるために利用される。なお、プローブ１７が、スプリングのような伸縮部を有する垂直伸縮式のプローブ（湾曲に変形しないプローブ）である場合には、貫通孔１１ｈと貫通孔１４ｈとにプローブを貫通通過させるための中間ガイドとしてガイドプレート１２の貫通孔１２ｈが利用される。
【００３２】
基台１５の貫通孔１５ｈには電極１５ｂが埋め込まれている。その電極１５ｂにはプローブ１７の後端部１７ｂが導通接触される。その電極１５ｂにはライン１８が接続されており、そのライン１８は、基台１５の中を通って配線されて電極部１９ａに電気的に接続される。検査の際には、電極部１９ａにスキャナ１９が接続されて、検査基板の所定の箇所の電気的特性等の検査が行われる。
【００３３】
スキャナ１９は、被測定基板の配線パターン上の検査点に検査用の信号を順次選択的に供給するとともに、検査対象の検査点から検査用の信号を受信し、必要に応じて、その受信信号に基づいて、検査点間の抵抗値を算出したり、導通の有無を判断したりする。
【００３４】
図１で示される実施例では、プローブ１７が湾曲することにより、電極１５ｂと検査点に押圧されることになるため、ヘッド部、ガイドプレート１２とベースプレート１４は所定間隔を有して、中空状に各プレート（板状部材）が配置されている。
【００３５】
図２Ａは、図１において一点鎖線２Ａで囲む部分を拡大した図である。ガイドプレート１２によってプローブ１７が撓んでいる場合等には、実際には、撓んだプローブが貫通孔１１ｈ，１２ｈ，１４ｈの壁面の一部と接触するが、図２Ａ及び図３Ａにおいては、図面の見易さのために、プローブ１７は、直線状に描いている。
【００３６】
図２Ａに示すように、プレート１１Ａは、プレート１１ＢからＬ１の距離だけ離れた位置（待機位置）に保持されている。Ｌ１は特に限定されないが、例えば２００〜４００μｍに形成される。この状態は、基板を検査するために、検査基板をプレート１１Ａの表面に接触させるまで維持される。一方、プレート１１Ｂ，１１Ｃは、支持棒１６に固定されている。
【００３７】
また、図２Ａに示すように、プレート１１Ａ，１１Ｂ，１1Ｃには、小径の保持孔２１と大径の予備孔２２とが形成されている。保持孔２１の直径は約４０〜１００μｍである。大径の予備孔２２を形成するのは、小径の保持孔２１を容易に形成できるようにして、プレートに厚みを持たせて一定の強度を確保するためである。
【００３８】
プレート１１Ａの保持孔２１の開孔されている前面には、凹部２０が形成されている。その凹部２０の深さＤ１は、５０〜１５０μｍであり、後述するように、その凹部２０には、検査基板のバンプが入り込むことができる。また、その凹部２０の底面からプローブ１７の先端部１７ａの先端面までの距離Ｄ２は、１００〜２００μｍである。
【００３９】
図２Ｂは、図１において一点鎖線２Ｂで囲む位置を拡大した図である。図２Ｂに示すように、プレート１１Ａは、図２Ａと同様に、プレート１１ＢからＬ１の距離だけ離れた位置に保持されている。この状態は、基板を検査するために、検査基板をプレート１１Ａの表面に接触させるまで保持される。一方、プレート１１Ｂ，１１Ｃは、支持棒１６に固定されている。
【００４０】
プレート１１Ａには、支持棒１６の先端部１６ｇが挿通されていて、それに沿ってプレート１１Ａは、図２Ｂにおいて上下方向（支持棒の長手方向）に往復動することができる。
【００４１】
ただし、プレート１１Ａを支持する支持棒は、棒状のものでなくとも、ヘッド部のプローブが挿通されている孔の軸線方向に沿って移動できるのであれば、そのような部材であってもよい。
【００４２】
また、プレート１１Ａ及び１１Ｂには、それぞれ、孔１１Ａｈ，１１Ｂｈが形成されていて、そこに、プレート１１Ａをプレート１１Ｂから離れる方向に付勢する付勢装置３０が配置されている。
【００４３】
付勢装置３０は、プレート１１Ａに固定されている固定部３１と、固定部を図２Ｂにおいて上方に向けて付勢するスプリング３２とを備える。
【００４４】
固定部３１は、孔１１Ａｈの内径に近い外形寸法に形成された大径部３１ａと、孔１１Ｂｈの内径より小さな外形の小径部３１ｂと、下端部に接続された係止部３１ｓとからなる。
【００４５】
大径部３１ａは、例えば、プレート１１Ａの外側からねじ３３で止められていて、小径部３１ｂにはスプリング３２が環装されている。係止部３１ｓは、孔１１Ｂｈ内の突起部３４と係止することによって、プレート１１Ａがプレート１１Ｂから離れて移動できる距離Ｌ１を定める。
【００４６】
付勢装置３０は、通常、スプリング３２が、大径部３１ａを、図２Ｂにおいて、上側に向けて付勢する。その付勢力によって、小径部３１ｂと係止部３１ｓとが、大径部３１ａとともに上方に移動する。その際、係止部３１ｓがプレート１１Ｂの孔１１Ｂｈ内の突起部３４と係合して、大径部３１ａをその位置に留める。それにより、プレート１１Ａを、プレート１１Ｂから距離Ｌ１だけ離れた位置に保持することができる。
【００４７】
図３Ａは、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに接した検査位置にある状態を示す。つまり、プレート１１Ａとプレート１１Ｂとの間の距離Ｌ２がゼロの状態である。この状態では、プローブ１７の先端部１７ａが、プレート１１Ａの前面から突出している。その突出した距離Ｌ２は５０〜１００μｍである。また、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに向かって、図２Ｂに示す距離Ｌ１だけ移動したことによって、プローブ１７の先端部１７ａが、プレート１１Ａの前面から突出することになったため、プローブ１７の先端部１７ａは、図３Ａにおいて、二点鎖線で示す位置から実線で示す位置までの距離、すなわち、Ｌ２とＤ１とＤ２との合計の距離に相当する２００〜４５０μｍだけ移動する。
【００４８】
ただし、後述のとおり、プレート１１Ａが移動するのは、プレート１１Ａの前面の一部が基板の一部の面に当接して、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに向かって押されるからであり、その際に、プローブ１７の先端部１７ａの先端が検査基板の検査点の例えばバンプに衝突するため、基板検査の際には、図３Ａのように、プローブ１７の先端部１７ａは、プレート１１Ａの前面から突出しない。
【００４９】
図３Ｂでは、図３Ａと同様に、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに接した検査位置にある。すなわち、距離Ｌ３がゼロである。その位置では、付勢装置３０のスプリング３２が収縮している。これは、プレート１１Ａがベースプレート１４に向かって支持棒１６の先端部１６ｇに沿って移動する際に、そのプレート１１Ａとともに大径部３１ａがプレート
１１Ｂに向かって移動したため、大径部３１ａによってスプリング３２が突起部３４に向かって押し付けられたからである。この時、係止部３１ｓは、プレート１１Ｃに衝突して止まっている。
【００５０】
図４は、検査基板４０を検査するために、その検査基板４０上の配線パターンのバンプ４２に、検査プローブ１７の先端部１７ａを当接した状態を示す。その状態では、検査基板４０の表面が、プレート１１Ａの前面（図４において上方の面）の一部と接触しており、それとともに、バンプ４２がプレート１１Ａの凹部２０内に入り込んでいる。そのため、プローブ１７が小径の保持孔２１内に向かって押し込められている。それに伴い、図示していないが、プローブ１７は、図１においてガイドプレート１２とベースプレート１４との間の空間内で湾曲することによって、その押し込められて突出できなかった距離に相当する長さの分の変化を吸収している。
【００５１】
そのように、検査基板４０はプレート１１Ａの前面に接触しているが、バンプ４２が凹部２０内に収容され、また、プローブの突出できる長さの変化がそのプローブの湾曲によって吸収できるため、バンプの高さの変化の影響を受けることなく、ヘッド部１１を検査基板４０に適切に当接させることができる。
【００５２】
図４に示す状態で、図１に示すスキャナ１９から複数のプローブ１７を経由して複数のバンプ４２に検査用の信号を順次選択的に供給するとともに、それらのバンプ４２から検査用の信号を受信することにより、複数のバンプ４２の間の配線抵抗値を算出したり導通の有無を判断したりすることによって配線の電気的特性を判断することができる。
【００５３】
また、図３の実施例では、プローブ１７は、貫通孔１１に対して略平行となるように描かれているが配置されているが、上記のように、湾曲して配置されているため、貫通孔１１に対して一方に傾斜して（貫通孔１１の内壁に接触して）配置される。このため、貫通孔１１とプローブ１７の先端１７ａが摺動することになり、プローブ１７の先端１７ａのごみを取り除くことが可能となる。
【００５４】
［検査治具の取付け及び取り外しの概要］
まず、図２Ａに示すように、ヘッド部１１のプレート１１Ａをプレート１１Ｂから離れた待機位置に配置する。これは、上記のとおり、付勢装置３０においてスプリング３２が大径部３１ａをプレート１１Ｂから離れる方向に付勢することによって達成される。
【００５５】
その待機位置においては、プローブ１７の先端部１７ａの先端面が、プレート１１Ａの前面に形成されている凹部２０の底面からＤ２の距離、例えば、１５０μｍ引っ込むように、プローブ１７を小径の保持孔２１内に配置する。それにより、プローブ１７の先端部１７ａが基板検査前に他のものに接触したりすることによって折れ曲がることを防止することができる。
【００５６】
次に、検査対象の基板に、ヘッド部１１の前面を接触させる。つまり、図２Ａの状態にヘッド部を維持したまま、検査治具１０全体を移動して、ヘッド部１１のプレート１１Ａの前面を基板の対向面に当接させる。その際、プレート１１Ａ及び基板の面には高低の差があるため、それぞれの高い部分が当接する。また、プレート１１Ａの前面が基板の対向面に当接したときに、基板のバンプ４２がプレート１１Ａの凹部２０内に入り込む。
【００５７】
その当接後に、検査治具１０全体をさらに基板に向けて移動させると、プレート１１Ａが基板から押されることになるため、付勢装置３２の大径部３１ａがスプリング３２の付勢力に抗してプレート１１Ｂ内に押し込まれる。それにより、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに接近するように、ベースプレート１４に向かって移動する。
【００５８】
図３Ｂに示すように、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに当接するとその移動が止まる。
【００５９】
そのように、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに当接する前に、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに近づくにつれて、プローブ１７の先端部１７ａが、小径の保持孔２１内から凹部２０に向かって突出する。その際、上記のとおり、凹部２０内にはバンプ４２が入り込んでいるため、図４に示すように、プローブ１７の先端部１７ａがそのバンプ４２と当接することになる。そのように、プローブ１７は径の保持孔２１から出るとすぐに検査対象のバンプと接触することができるため、プローブ１７を接触させるための位置の制御を正確に行うことができる。
【００６０】
プローブ１７の先端部１７ａが凹部２０内でバンプ４２と当接した時点では、まだ、プレート１１Ａがプレート１１Ｂに当接していないため、プローブ１７の先端部１７ａが凹部２０内に入り込むが、直ぐに、バンプ４２によってその先端部の移動が止められる。
【００６１】
その止められた移動の長さは、バンプ４２が存在しない状態でプローブ１７の先端部１７ａが、突出することのできる位置（図３Ａに示す状態での位置）とバンプ４２に当接して止められた位置（図４に示す状態での位置）との差に相当する。
【００６２】
その突出できなかった差の分だけ、プローブ１７がガイドプレート１２とベースプレート１４との間の空間内で湾曲することになる。プローブ１７は弾性を有しているので、その湾曲した部分が直線に戻ろうとする力によって、プローブ１７の先端部１７ａがバンプ４２に適切に接触することができるようになる。
【００６３】
プレート１１Ａがプレート１１Ｂに当接する位置は検査位置であり、この後は、所定の配線の検査が行われる。
【００６４】
検査が終了すると、上記取り付けの手順と逆の流れの手順で作業が行われて検査治具が取り外される。
【００６５】
つまり、検査治具１０自体を基板から離れるように移動すると、プレート１１Ａは付勢装置３０のスプリング３２の付勢力によって基板に押し付けられているため、すぐには基板から離れない。その時、プレート１１Ｂ、プレート１１Ｃ、ベースプレート１４が基板から離れる方向に移動するのに伴い、プローブ１７も基板から離れる方向に後退する。
【００６６】
そのため、プローブ１７の先端部１７ａは、プレート１１Ａ内の凹部２０から小径の保持孔２１内に引っ込んで図２Ａに示す待機位置に戻ることになる。その際、プローブ１７の先端部１７ａに半田くずや酸化膜の破片等のゴミが付着していたとしても、それらは、その先端部１７ａが凹部２０から小径の保持孔２１内に入り込む際にはがれたりするため、クリーニング効果が発揮される。
【００６７】
［他の実施形態］
上記の実施例では、ヘッド部１１においてプレート１１Ａのみを移動可能とする構成を示した。他に、プレート１１Ａ及び１１Ｂをプレート１１Ｃに対して移動自在にしたり、ヘッド部１１の全体を支持棒１６に対し移動自在にしたりするように構成してもよい。ヘッド部１１の全体を移動にする場合には、例えば、プレート１１Ｃ内に付勢装置３０の大径部３１ａを固定し、支持棒１６内に、付勢装置３０の小径部３１ｂにスプリング３２を環装させたものを配置して、スプリング３２の付勢力によって、大径部３１ａを支持棒１６から離れるようにして、ヘッド部１１がベースプレート１４から遠ざかるように移動できるようにしてもよい。
【００６８】
また、上記の実施例では、プローブが挿通されている孔はプレート１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ等の面方向に対して垂直方向に形成されているため、ヘッド部又はその一部のプレートは、他の部分に対し垂直方向に移動している。そのような構成は望ましいが、それらの孔を、それらのプレートの面方向に関して、垂直ではなく、斜め方向に整列するように形成してもよい。そのような場合には、ヘッド部１１やプレートは、その孔の軸線方向に沿って、基板に対し斜め方向に接近するように移動することになる。
【００６９】
また、図５は、本発明の他の実施形態に係る検査治具５０の一部断面を示す側面概略図である。なお、上記の実施例と同じ要素には同じ符号を用いている。また、他の図と同様に、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔等は、理解の容易のために、拡大・縮小・変形・簡略化等をしていることを理解願いたい。
【００７０】
検査治具５０は、ヘッド部５１、ベースプレート１４、基台１５及び支持棒５６を備える。ヘッド部５１、ベースプレート１４及び基台１５は、樹脂材料等の絶縁材料からなる板状の部材である。
【００７１】
ヘッド部５１は、プレート５１Ａ、５１Ｂ及び５１Ｃからなり、それらは互いに固定されている。各プレートには、図１の実施例に係るプレート１１Ａ、１１Ｂ及び１１Ｃと同様に、小径の保持孔２１と大径の予備孔２２とが形成されている（図６）。
【００７２】
各支持棒５６の一方の端部はベースプレート１４に固定されているが、他方の端部は、ヘッド部５１に形成された孔（図示せず）に挿通されていて、ヘッド部５１は所定距離だけその支持棒５６の他方の端部に沿って移動することができる。支持棒５６にはバネ部材５４が環装されており、図５において、バネ部材５４は、通常、ヘッド部５１を上方に向けて、すなわち、ヘッド部５１をベースプレート１４から遠ざける方向に、付勢している。ヘッド部５１は、そのバネ部材５４の付勢力に抗して押されると、所定距離だけ下方に移動することができる。
【００７３】
プローブ１７の端部１７ｂは、ベースプレート１４の貫通孔１４ｈを経由して基台１５の貫通孔１５ｈに埋め込まれている電極１５ｂに接続されている。
【００７４】
図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、ヘッド部５１とバネ部材５４との機能を説明するための一部拡大断面図である。
【００７５】
図６（Ａ）は、検査基板４０がヘッド部５１のプレート５１Ａに接近しているが、まだ、それに接していない状態を示す。すなわち、検査治具５０の検査開始待ちの通常の状態である。また、その図に示すように、プレート５１Ａの上面には凹部２０が形成されており、通常の状態では、プローブ１７の先端部１７ａは、プレート５１Ａの上面から突出することなく、その上面より低い位置であって凹部２０の底面から僅に上方の位置に位置している。
【００７６】
図６（Ｂ）では、検査基板４０上の配線パターンのバンプ４２に、検査プローブ１７の先端部１７ａが当接している。一方、検査基板４０の下面がプレート５１Ａの上面に当接して、プレート５１Ａに押圧力を加えるため、ヘッド部５１は、バネ部材５４の付勢力に抗して、図６（Ｂ）のＳで示す距離だけ、支持棒５６に沿って押し下げられている。この場合、ヘッド部５１が検査基板４０に押されてそれとともに下方に移動することになるため、検査プローブの先端部１７ａがヘッド部５１の凹部２０の底面から突出する量に変化は生じない。
【００７７】
また、図６（Ｂ）の状態では、ヘッド部５１とともに、検査プローブ１７の先端部１７ａも元の位置から押し下げられている。その際には、検査プローブ１７は、湾曲することによってその移動距離Ｓの変位分を吸収している。
【００７８】
この実施例によると、検査プローブとヘッド部とが同時に移動するため、検査プローブと、それが挿通されているヘッド部の小孔の壁面との間で摺動が発生しないため、その小孔の壁面の摩耗を防ぐことができる。
【００７９】
この実施例では、支持棒５６の全長にわたってバネ部材５４を環装させたが、支持棒５６の一部に弾性部を設けて軸方向に沿って伸縮できるようにしてもよい。
【００８０】
また、上記の実施例では、凹部２０に１つのバンプ４２が収容された構成を示したが、凹部２０の大きさはそれに限定されるものではなく、いくつものバンプを収容できる大きさをもつことができる。
【００８１】
以上、本発明に係る基板検査用の検査治具のいくつかの実施形態について説明したが、本発明はそれらの実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。
【符号の説明】
【００８２】
１０，５０・・・基板検査用の検査治具
１１，５１・・・ヘッド部
１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ・・・プレート
１４・・・ベースプレート
１６，５６・・・支持棒
１７・・・プローブ
２０・・・凹部
２１・・・小径の保持孔
３０・・・付勢装置
３１・・・固定部
３１ａ・・・大径部
３１ｂ・・・小径部
３１ｓ・・・係止部
３２・・・スプリング
３３・・・ねじ
３４・・・突起部
４０・・・検査基板
４２・・・バンプ
５４・・・バネ部材
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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