(57)【要約】【課題】室内空間の減容化において、減容体の表面にダストの付着又は堆積を削減できる室内空間の減容化装置を提供する。【解決手段】減容体２０１又は三角型減容体２１０を備え、減容体２０１又は三角型減容体２１０の表面粗さＲａが１μｍ未満で、内部の圧力を室内圧力より、１０ｈＰａ以上高い減容体をクリーンルーム内に装着する。【選択図】図１
2010121815.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面部の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１μｍ未満を満足する材料により形成されかつ配置される室内空間の圧力よりも内部空間の圧力が１０ｈＰa以上高いことを特徴とする減容体を備える室内空間の減容化装置。
【請求項２】
前記減容体を複数個備えるとともに、各減容体は、表面部に連結部を有して、前記複数の減容体が連結部同士で互いに連結されている請求項１に記載の室内空間の減容化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般環境、又は、クリーンルームなど室内に配置される生産設備、又は、精密測定機器、又は、作業机等に付着又は堆積するダスト総量の削減、および、室内空間の体積を減容化することができる室内空間の減容化装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の室内空間の体積を減容化する技術としては、膨張及び収縮可能な調整体を室内空間に配置し、調整体を室内で膨張又は収縮させることにより、室内空間の容積調整を可能としたものがあった（例えば、特許文献１参照）。図８は、前記特許文献1に記載された従来の室内空間の容積調整方法を示すものである。
【０００３】
図８において、室内２の空間容積を減容化するために、調整体６は、室外の設置された供給機構７により、室内２の天井部５に配設された調整体６に空気を送り込み、調整体６を膨張させることにより室内２の空間容積を減容化させていた。また、調整体６の収縮時には、同じく室外の設置にされた除去機構８により、調整体６の内部の空気を室外に排気させ、調整体６を収縮させて室内２の空間容積を増容化させていた。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２００４９５号公報（第１４頁、図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成では、調整体６の表面に付着及び堆積したダストが、調整体６の膨張又は収縮時に、調整体６の表面から脱落したり、又は、室内２を浮遊することで、室内２の環境を一気に劣化させるという課題を有していた。
【０００６】
本発明の目的は、前記従来の課題を解決するもので、室内環境を維持するために、室内空間の減容化において、減容体の表面にダストの付着又は堆積を削減できる室内空間の減容化装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１態様によれば、表面部の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１μｍ未満を満足する材料により形成されかつ配置される室内空間の圧力よりも内部空間の圧力が１０ｈＰa以上高いことを特徴とする減容体を備える室内空間の減容化装置を提供する。
本発明の第２態様によれば、前記減容体を複数個備えるとともに、各減容体は、表面部に連結部を有して、前記複数の減容体が連結部同士で互いに連結されている第１の態様に記載の室内空間の減容化装置を提供する。
本構成によって減容体の表面粗さはダスト付着および、堆積の促進が抑制することができる。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、本発明の室内空間の減容化装置によれば、減容体の表面にダストが付着しかかった場合、減容体の表面素状の状態により、減容体の表面にダストが滑る滑り作用が働くため、ダストの付着又は堆積を大幅に軽減することができ、常に室内の環境を悪化することなく、ダスト発生変動が小さいため、同等レベルの室内環境を継続的に維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明における第１実施形態を詳細に説明する。
以下、本発明の実施の形態にかかる室内空間の減容化装置を、図面に基づいて詳細に説明する。図１において、図２と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００１０】
ここでは、室内空間の一例として、クリーンルーム２１０の室内空間２０８について説明する。図１のクリーンルーム２１０の室内空間２０８は、床面２１２から天井面２０４の高さは例えば５ｍで、横方向と奥行き方向とが共に例えば１５ｍの面積を有する。本発明の前記実施形態にかかる室内空間の減容化装置を実施するクリーンルーム２１０は主に精密測定室として使用され、精密測定器２１７の膨張又は収縮の抑制、又は、被測定物のアニールの必要性などから、クリーンルーム２１０内の管理温度は例えば２２±０．５℃、管理湿度は例えば５０％で、天井面２０４に配置されたファンフィルターユニット２０３を通過する空気の流れ２１３の流速は例えば０．１〜０．３ｍ／ｓに管理されている。このクリーンルーム２１０での主な被測定物としては、パターニーングされたＦＰＤ（Ｆｌａｔ  ＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）部材、半導体ウエハ、又は、精密加工された各種レンズなどが主であり、これらの部材にダストの付着を最小限に抑制するため、管理清浄度を例えばクラス１００００以下に設定されている。
【００１１】
このような管理下でのクリーンルーム２１０におけるダストの発生量を光散乱方式のダストカウンター（山武社製、P-３型）で計測を実際に行った結果、０．５μｍの大きさのダストが１時間あたり平均で約９０個が発生するという計測結果が得られた。このように多数発生するダストが、パターニーングされたＦＰＤ部材、又は、半導体ウエハなどのデバイス部品に付着すると、ＦＰＤの場合では画像欠陥を引き起こしたり、半導体ウエハではウエハ上にダストが落下すると、塵埃や化学物質等の汚染物質を介してウエハが短絡し、異常発熱又は焼損の要因となる。このため、クリーンルーム２１０内のダスト発生量を抑制する必要がある。
【００１２】
次に、第１減容体２０１のクリーンルーム２１０への装着固定について説明する。
【００１３】
まず、第１減容体２０１は、予め、真空パック（図示せず）内に封入されている。第１減容体２０１は、例えば、膨張した状態で、中央に上下に貫通する開口を有する中空リング形状となっている。
【００１４】
そして、第１減容体２０１をクリーンルーム２１０内に搬入する前のクリーンルーム２１０の前室にて、第１減容体２０１が封入された真空パックの表面に付着したダストを、アルコールなどの有機溶剤で、拭き取る。
【００１５】
その後、クリーンルーム２１０内に真空パックを搬入後、真空パックから第１減容体２０１を取り出す。
【００１６】
さらに、この第１減容体２０１に取り付けられた空気給気口（図示せず）を開栓し、この給気口から第１減容体２０１を膨張させるための、クリーンルーム２１０外に配置されたＨｅガス供給装置（図示せず）又はクリーンルーム２１０内のＨｅガスボンベ（図示せず）から第１減容体２０１内にＨｅガスを導入する。このようにすることにより、第１減容体２０１は、クリーンルーム２１０内で、徐々に膨張を始め、所望の体積を有する第１減容体２０１を形成することができる。第１減容体２０１にＨｅガスを満たすことにより、第１減容体２０１自体に浮力を持たせることになる。よって、何も係止しなければ、第１減容体２０１はクリーンルーム２１０内で浮遊する状態となるので、ここでは、作業者が手で持つなどして一時的に係止しておく。なお、Ｈｅガスの代わりに空気を第１減容体２０１に入れた場合には、第１減容体２０１は特に浮遊はしない。
【００１７】
その後、第１減容体２０１を固定するための、マグネット２０２を第１減容体２０１の表面の任意の箇所に貼り付ける。また、第１減容体２０１を固定するため、クリーンルーム２１０内の天井面２０４には、予め、薄板磁性体２１８が配設されているとともに、クリーンルーム２１０の側壁２０９などを磁性体パーテーションで構成しておく。
【００１８】
次いで、作業者が手を離すなどして第１減容体２０１の係止を解除して、Ｈｅガスで満たされた第１減容体２０１を浮上させ、薄板磁性体２１８及び側壁２０９に接近するように移動させながら、第１減容体２０１の表面に貼り付けられたマグネット２０２と、クリーンルーム２１０内の天井面２０４の薄板磁性体２１８、又は、薄板磁性体２１８及び磁性体パーテーションの側壁２０９とを接近させて、両部材の着磁作用により、第１減容体２０１を装着固定させることができる。すなわち、例えば、第１減容体２０１の上面に貼り付けられた複数のマグネット２０２と天井面２０４の薄板磁性体２１８との着磁作用により、第１減容体２０１を天井面２０４に装着固定させる。具体的には、図１の例では、第１減容体２０１は、その上面に貼り付けられた複数のマグネット２０２と天井面２０４の薄板磁性体２１８との着磁作用、及び、側面に貼り付けられた複数のマグネット２０２と磁性体パーテーションの側壁２０９との着磁作用により、第１減容体２０１を天井面２０４と側壁２０９とにそれぞれ装着固定させる。
【００１９】
第１減容体２０１をクリーンルーム２１０内の天井面２０４側に装着することにより、クリーンルーム２１０内の温度バランス、又は、ファンフィルターユニット２０３から供給される空気の流れ２１３が変化しないように、例えば、第１減容体２０１の中央部には開口部２１４を設けてある。
【００２０】
次に、三角型減容体（以下、単に「第２減容体」とも称する。）２０７の装着に関して説明する。三角型減容体２０７は、前述した第１減容体２０１と同様の手順でクリーンルーム２１０内で膨張させ、第２減容体２０７の表面の任意の箇所にマグネット２０２を取り付けた後、天井面２０４に配設された薄板磁性体２１８及び磁性体パーテーションの側壁２０９の２面にマグネット２０２を介して装着固定される。
【００２１】
すなわち、まず、第２減容体２０７は、予め、真空パック（図示せず）内に封入されている。第２減容体２０７は、例えば、膨張した状態で三角形状となっている。
【００２２】
そして、第２減容体２０７をクリーンルーム２１０内に搬入する前のクリーンルーム２１０の前室にて、第２減容体２０７が封入された真空パックの表面に付着したダストを、アルコールなどの有機溶剤で、拭き取る。
【００２３】
その後、クリーンルーム２１０内に真空パックを搬入後、真空パックから第２減容体２０７を取り出す。
【００２４】
さらに、この第２減容体２０７に取り付けられた空気給気口（図示せず）を開栓し、この給気口から第２減容体２０７を膨張させるための、クリーンルーム２１０外に配置されたＨｅガス供給装置（図示せず）又はクリーンルーム２１０内のＨｅガスボンベ（図示せず）から第２減容体２０７内にＨｅガスを導入する。このようにすることにより、第２減容体２０７は、クリーンルーム２１０内で、徐々に膨張を始め、所望の体積を有する第２減容体２０７を形成することができる。第２減容体２０７にＨｅガスを満たすことにより、第２減容体２０７自体に浮力を持たせることになる。よって、何も係止しなければ、第２減容体２０７はクリーンルーム２１０内で浮遊する状態となるので、ここでは、作業者が手で持つなどして一時的に係止しておく。なお、Ｈｅガスの代わりに空気を第２減容体２０７に入れた場合には、第２減容体２０７は特に浮遊はしない。
【００２５】
その後、第２減容体２０７を固定するための、マグネット２０２を第２減容体２０７の表面の任意の箇所に貼り付ける。また、第２減容体２０７を固定するため、クリーンルーム２１０内の天井面２０４には、予め、薄板磁性体２１８が配設されているとともに、クリーンルーム２１０の側壁２０９などを磁性体パーテーションで構成しておく。
【００２６】
次いで、作業者が手を離すなどして第２減容体２０７の係止を解除して、Ｈｅガスで満たされた第２減容体２０７を浮上させ、薄板磁性体２１８及び側壁２０９に接近するように移動させながら、第２減容体２０７の表面に貼り付けられたマグネット２０２と、クリーンルーム２１０内の天井面２０４の薄板磁性体２１８、及び、薄板磁性体２１８及び磁性体パーテーションの側壁２０９とを接近させて、両部材の着磁作用により、第２減容体２０７を装着固定させることができる。すなわち、例えば、第２減容体２０７は、その上面に貼り付けられた複数のマグネット２０２と天井面２０４の薄板磁性体２１８との着磁作用、及び、側面に貼り付けられた複数のマグネット２０２と磁性体パーテーションの側壁２０９との着磁作用により、第２減容体２０７を天井面２０４と側壁２０９とにそれぞれ装着固定させる。
【００２７】
第１減容体２０１と第２減容体２０７のそれぞれの固定位置は、クリーンルーム２１０内の天井面２０４に配設された照明２０５から発する照明光２０６が、クリーンルーム２１０内で作業するオペレータ２１６、又は、測定台２１５に載置された精密測定器２１７のなどに届くように配慮された形状に設計されている。クリーンルーム２１０内の測定台２１５の配置、及び、その他の計測機器のレイアウトに合わせた形状及び大きさの第１及び第２減容体２０１，２０７を準備して装着固定すれば、如何なる室内空間の減容化も可能となる。
【００２８】
本実施形態の１つの実例としては、第１減容体２０１及び三角型減容体２０７の材質はポリ塩化ビニルをそれぞれ採用し、クリーンルーム２１０の室内空間２０８の減容化を図っている。このとき、第１減容体２０１及び三角型減容体２０７装着固定前のクリーンルーム２１０の室内の照度は、測定台２１５上で、約８００ｌｕｘであったが、図１のように第１減容体２０１及び三角型減容体２０７の装着固定後における同一場所での照度は約７７０ｌｕｘで、やや照度は低下したが、精密測定室としての運用上、全く問題はない範囲であった。
【００２９】
一例として、このようにクリーンルーム２１０内に設置された第１減容体２０１の体積は１個当たり約２０ｍ３で、クリーンルーム２１０内に１０個を装着した。一方、一例として、体積が１個当たり５ｍ３の三角型減容体２０７は、適正な位置に１０個を装着したことで、クリーンルーム２１０内の空間体積１１２５ｍ３のうち、約２２％の２５０ｍ３を減容化することができた。ここで、適正な位置とは、図１に複数の減容体が配置されている位置のように、クリーンルーム２１０の天井面２０４のコーナー部（場合によっては、床面２１２のコーナー部も含む）及び天井面２０４を意味している。ここで、丸い大きなバルーン状の第１減容体２０１をクリーンルーム２１０内のコーナー部に配置した場合は、第１減容体２０１の曲率が大きいため、第１減容体２０１と天井面２０４及び側壁２０９との間でコーナー部の隙間が大きくなってしまう。そこで、コーナー部の隙間を少なくするために、三角型の第２減容体２０７を配置すればよい。この場合、第２減容体２０７としては、直角三角形のバルーン形状であれば最適である。
【００３０】
次に、第１減容体２０１に用いられる材料で、表面粗さとダスト付着率に関して説明する。
【００３１】
図３は、第１減容体２０１の材料に使用されるポリ塩化ビニルの表面の中心線平均粗さ（以降、「Ｒａ」と表記）と０．５μｍのダスト付着量との相関関係を示したものである。図５の（ａ），（ｂ）は、第１減容体２０１の材料と同じポリ塩化ビニルのテストピース３００の表面状態の断面図であり、図６は６個のテストピース３００を保持具３０３に挿入した状態を示す。
【実施例１】
【００３２】
ポリ塩化ビニルで構成され、かつその大きさが５０ｍｍ×４０ｍｍで、その厚みが５ｍｍの６個のテストピース３００の表面に、Ｒａが０．１μｍ、０．５μｍ、１．０μｍ、２．０μｍ、３．０μｍ、４．０μｍをそれぞれ形成するために、Ｒａが０．１μｍ（図６（ａ））と０．５μｍ（図６（ｂ））のテストピース３００の製作は、湿式のラッピング加工機で表面仕上げを行って、テストピース３００の表面がそれぞれ所望のＲａになるまで加工を施す。また、Ｒａが１．０μｍ（図６（ｃ））と２．０μｍ（図６（ｄ））のテストピース３００の加工は平面研削盤で表面仕上げを行って、テストピース３００の表面がそれぞれ所望のＲａになるまで加工を施す。さらに、Ｒａが３．０μｍ（図６（ｅ））と４．０μｍ（図６（ｆ））のテストピース３００はミーリング加工機で表面仕上げを行っている。テストピース３００の表面がそれぞれ所望のＲａになるまで加工を施す。
【００３３】
テストピース３００の表面のＲａ測定は、接触式表面粗さ計（ランク・テーラー・ホブソン社製）を用いて測定を実施した。計測後のテストピース３００は、保持具３０３に６枚を挿入したのち、クリーンルーム２１０内の任意の場所に設置した。なお、テストピース３００の保持具３０３への載置方向は、表面粗さのＲａが１．０μｍ以上のテストピース３００は、研削加工方向目又はミーリング加工時の切削方向目が水平になるように、長辺側を下にした方向に挿入する。また、加工方向目が殆ど残らないＲａが０．１μｍと０．５μｍにラッピングで加工されたテストピース３００も、５０ｍｍの長辺側を下にした方向で保持ラック３０３に挿入する。また、ダスト３０１の付着実験では、ポリ塩化ビニルが帯電していた場合、ダス３０１の付着の要因となるため、ポリ塩化ビニルの除電処理を行った後、静電電位測定器（シンド静電気社製  スタンチロン−ＤＺ３型）で帯電がないこと確認した上で、保持具３０３をクリーンルーム２１０内の任意の場所に放置し、１時間後に保持具３０３内に挿入された６枚のテストピース３００の表面に付着したダスト３０１の量の計測を実施した。
【００３４】
なお、ダスト３０１の量の計測は光散乱方式のダストカウンター（山武社製）を使用し、計測結果を図７に示す。今回の実験の計測結果より、Ｒａが０．１μｍと０．５μｍの範囲では、０．５μｍの大きさのダスト３０１の付着量が２個〜７個の範囲で極めて少なく、Ｒａが１．０μｍを越えると一気にダスト３０１の付着量が６３個以上に急激に増加するが、さらにＲａが粗くなっても、ダスト３０１の付着量の付着は飽和する傾向を示す結果が得られた。よって、この結果より、第１及び第２減容体２０１，２０７としては、その表面部の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１μｍ未満を満足する材料が好ましいことがわかる。
【００３５】
図５の（ｂ）に示すように、テストピース３００の表面のＲａが、０．５μｍ以下の場合は、表面素性が極めて滑らかなため、０．５μｍ大のダスト３０１がテストピース３００の表面を矢印３０２のように滑落するものと判断できる。滑落後のダスト３０１は、クリーンルーム２１０内の陽圧作用と循環風作用により、０．５μｍ大のダスト３０１はクリーンルーム２１０外に排出される。一方、Ｒａが２μｍのテストピース３００は図５の（ａ）に示すように、表面の凹凸状態がはっきりし、この凸箇所３００ａの先端部にダスト３０１が付着又は堆積するものと判断され、ダスト３０１は凹部３００ｂに溜まる作用が働き、滑落し難くなることが言える。
【００３６】
従って、クリーンルーム２１０内に装着される第１減容体２０１及び三角型減容体２０７の表面のＲａは、０．５μｍ以下を確保することにより、クリーンルーム２１０内で付着又は堆積するダストを大幅に削減できる効果を得ることができた。また、Ｒａが１．０μｍ以上のダスト３０１の付着量に対して、Ｒａを０．５μｍ以下にすることにより、ダスト３０１の個数を８９％削減できる結果が得られた。
【実施例２】
【００３７】
前記実施例１により得られた知見から、クリーンルーム２１０内に装着される減容体２０１の表面のＲａ０．５μｍ以下を確保するために、第１減容体２０１の内部圧力の最適値を求める実験を実施した結果を説明する。
【００３８】
ポリ塩化ビニルの減容体の内部と外部の圧力差と、表面粗さの相関関係を得るために、ポリ塩化ビニル材料を用い、小型の三角型減容体２０７を５個製作した。三角型減容体２０７の表面をアルコールで脱脂して洗浄した後、三角型減容体２０７の表面に配設された給気口からＨｅガスを導入させ、５個の三角型減容体２０７の内部圧力を、それぞれ、５ｈＰａから２５ｈＰａまで、５ｈＰａおきに膨張させて給気口を封栓する。その後、内部圧力が異なる５種類の小型の三角型減容体２０７の表面のＲａを計測した。計測方法としては、小型の三角型減容体２０７の表面を接触式の表面粗さ計での測定は困難なため、小型の三角型減容体２０７の表面に表面粗さ計測用のレプリカを、内部圧力が異なる５個の三角型減容体２０７の表面に塗布する。一定の時間を経過後、固着したレプリカを三角型減容体２０７の表面からピンセットで取り剥がし、平面精度が保たれたガラス試験片に、剥がした５種類のレプリカを固定する。
【００３９】
三角型減容体２０７の表面粗さ成分が転写されたレプリカの測定は、接触式表面粗さ計（ランク・テーラ・ホブソン社製）を用い、レプリカの表面粗さＲａを計測した結果を図４に示す。
【００４０】
図４によれば、三角型減容体２０７の内外の圧力差が１０ｈＰａ未満の時は、三角型減容体２０７のＲａが４μｍ以上の粗い領域であるが、三角型減容体２０７の膨張が始まる、圧力差が１５ｈＰａを越える領域になると、三角型減容体２０７のＲａは一気に１μｍ以下となる。更に、圧力差が２０ｈＰａではＲａが０．５μｍ以下となり、最大の圧力差の２５ｈＰａでは飽和状態を示す結果が得られた。
【００４１】
この結果より、クリーンルーム２１０内に装着される減容体２１０又は三角型減容体２０７の内部圧力差を１５ｈＰａ以上を保持することで、表面のＲａを０．５μｍ以下を維持でき、ダスト３０１が、第１減容体２０１又は三角型減容体２０７の表面に付着又は堆積せずに滑落し、クリーンルーム２１０内の陽圧作用と循環風作用により、０．５μｍ大のダスト３０１はクリーンルーム２１０外に排出され、クリーンルーム２１０の室内に堆積するダスト３０１の量を大幅に削減することができた。なお、圧力差が１０００ｈＰａ以上で実施した場合、三角型減容体２０７は破裂したため、圧力差は１０００ｈＰａ以下であることが望ましい。
【実施例３】
【００４２】
実施例１及び実施例２から導き出した結果より、クリーンルーム２１０内に装着される減容体２１０又は三角型減容体２０７は表面がＲａ０．５μｍ以下で、内部と外部の圧力差が１５ｈＰａ以上を確保することで、減容体２１０や三角型減容体２０７の表面の滑り作用により、ダスト３０１の付着や堆積を大幅に削減することが分かった。
【００４３】
ここで、減容体の表面のＲａが０．５μｍ以下で、内部と外部の圧力差が１５ｈＰａ以上を確保するのが最も好ましいが、図３及び図４を参照して、減容体の表面のＲａが１μｍ未満で、内部と外部の圧力差が１０ｈＰａ以上を最低確保できれば、ある程度の効果は奏することができると考えられる。
【００４４】
これらの知見により、クリーンルーム２１０内でポリ塩化ビニル製の第１減容体２０１と三角型減容体２０７の内部と外部の圧力差を２０ｈＰａに設定し、クリーンルーム２１０内の任意の箇所に第１減容体２０１及び三角型減容体２０７を各々１０個を装着した。第１減容体２０１の体積は１個当たり約２０ｍ３で、三角型減容体２０７の体積は約は５ｍ３で、双方の合わせた体積は約２５０ｍ３となり、クリーンルーム２１０内の空間体積１１２５ｍ３のうち、約２２％の２５０ｍ３を減容化した。このようにクリーンルーム２１０内の空間体積を減容した状態で、クリーンルーム２１０におけるダスト３０１の発生量を光散乱方式のダストカウンター（山武社製、P-３型）で計測を行った結果、第１減容体２０１及び三角型減容体２０７を装着しなかったときの０．５μｍの大きさのダスト３０１は、１時間あたり平均で約９０個が発生していたが、第１減容体２０１及び三角型減容体２０７で、クリーンルーム２１０の空間体積を２２％減容の効果と、第１減容体２０１及び三角型減容体２０７の表面のＲａを最適化したことにより、ダスト３０１の大きさが０．５μｍの発生数は１８個に減少するという計測結果が得られた。このように、クリーンルーム２１０内の空間体積を減容化することで、ダスト３０１の発生個数を大幅に削減することが可能となる。
【００４５】
以上のように、本発明の第１実施形態にかかる室内空間の減容化装置によれば、減容体２０１，２０７の表面にダストが付着しかかった場合、減容体２０１，２０７の表面素状の状態により、減容体２０１，２０７の表面でダストが滑る滑り作用が働くため、ダストの付着又は堆積を大幅に軽減することができ、常に室内２０８の環境を悪化することなく、ダスト発生変動が小さいため、同等レベルの室内環境を継続的に維持することができる。すなわち、減容体２０１，２０７の表面部の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１μｍ未満を満足する材料により形成されかつ配置される室内空間２０８の圧力よりも減容体２０１，２０７の内部空間の圧力が１０ｈＰa以上高く維持することにより、減容体２０１，２０７の表面でダストが滑る滑り作用が働くようになる。このため、ダストの付着又は堆積を大幅に軽減することができるのではある。より好ましくは、減容体２０１，２０７の表面部の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．５μｍ未満を満足する材料により形成されかつ配置される室内空間２０８の圧力よりも減容体２０１，２０７の内部空間の圧力が１５ｈＰa以上高く維持することにより、減容体２０１，２０７の表面でダストが滑る滑り作用がより確実に働くようになる。また、減容体２０１，２０７により、室内空間２０８の減容化を達成することができて、室内空間２０８の空調用の空気流の流量を減少させることができて、省エネルギーにも寄与することができる。
【００４６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
【００４７】
例えば、図２に示すように、減容体２０１の下方にマグネット２０２で互いに連結して配置された連結減容体２１１を用いることもできる。すなわち、減容体２０１の下面のマグネット２０２と連結減容体２１１の上面のマグネット２０２とを互いに着磁させて固定するとともに、連結減容体２１１の側面のマグネット２０２と磁性体パーテーションの側壁２０９とを互いに着磁させて、連結減容体２１１を減容体２０１の下方に固定している。このようにすることで、さらにクリーンルーム２１０内の空間容積部分を減容化したり、減容化した空間容積部分が作業領域になった場合は、連結減容体２１１を減容体２０１から取り外したりすることができて、クリーンルーム２１０の室内の運用に合わせた形での減容体２１１を装着することができる。
【００４８】
また、減容体の装着固定方法としては、磁石を利用しているが、これに限られるものではなく、網状部材を使用して、天井面などの所定箇所に減容体を保持するようにしてもよい。
【００４９】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明の室内空間の減容化装置によれば、減容体の表面粗さと内部圧力の最適化により、減容体の表面にダストを堆積させずに室内空間を減容化しつつ、各種室内空間のダスト堆積量の抑制を実現し、ＦＰＤ部材、半導体ウエハ、又は、精密加工された各種レンズなどの品質及び生産性の向上に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１実施形態における室内空間の減容化装置を適用したクリーンルームの断面図
【図２】本発明の第１実施形態の変形例における室内空間の減容化装置を適用したクリーンルームの断面図
【図３】Ｒａ（中心線平均粗さ）とダスト量の相関関係を示す図
【図４】圧力差とＲａ（中心線平均粗さ）の相関関係を示す図
【図５】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれダストの堆積および滑落の模式図
【図６】テストピースの概略設置図
【図７】テストピース毎のダスト付着個数を表形式で示す図
【図８】従来の室内空間の空間容積調整方法及びその装置の断面図
【符号の説明】
【００５２】
２０１    減容体
２０２    マグネット
２０３    ファンフィルターユニット
２０４    天井面
２０５    照明
２０６    照明光
２０７    三角型減容体
２０８    室内空間
２０９    側壁
２１０    クリーンルーム
２１１    連結減容体
２１２    床面
２１３    空気の流れ
２１４    開口部
２１５    測定台
２１６    オペレータ
２１７    精密測定器
３００    テストピース
３０１    ダスト
３０２    滑落
３０３    保持具
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図３】
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【図４】
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