(57)【要約】【課題】ガラス基板をエアコンベアで搬送する際に、エアによりガラス基板中央部が膨らむことを抑制して平面状に搬送する薄板状材料搬送方法及び装置を提供する。【解決手段】薄板状材料搬送装置１０は、ガラス基板１２を、エアコンベア１６によって浮上させ、且つ、その幅方向両端においてサイド吸引駆動ユニット２２により吸引しつつ直進駆動ローラ２０により送り方向に駆動し、ガラス基板１２の幅方向中央部を、中央吸引ユニット２８により吸引して、中央駆動ローラ２６及び前側フリーローラ２７Ａと後側フリーローラ２７Ｂに接触させて、下方から水平に維持しつつ搬送する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアコンベアにより薄板状材料を気体により浮上させつつ、該薄板状材料の搬送方向と直交する幅方向両側位置で、前記薄板状材料を、その幅方向両端近傍の裏面側から吸引して、直進駆動ローラに接触させ、前記搬送方向に搬送する方法であって、
前記薄板状材料を、前記幅方向中央位置で、裏面側から吸引して、該裏面を前記直進駆動ローラと同方向に回転可能な中央ローラに接触させつつ搬送することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項２】
薄板状材料を気体により浮上させる複数のエアテーブルユニットを、前記薄板状材料の搬送方向及びこれと直交する幅方向に並べ、フレームに取付けて構成されたエアコンベアと、
このエアコンベアの前記幅方向の両側に、前記薄板状材料の幅方向両端近傍を裏面側から吸引するサイド吸引装置、及び、吸引された前記薄板状材料の裏面に接触して、搬送方向の送り力を付与する直進駆動ローラを含むサイド吸引駆動ユニットと、
前記エアコンベアにおける幅方向中央位置に設けられ、搬送中の前記薄板状材料を、その幅方向中央位置で裏面側から吸引する中央吸引装置、及び、前記直進駆動ローラと同方向に回転可能で、吸引された前記薄板状材料の幅方向中央部の裏面に接触する中央ローラを含む中央吸引ユニットと、
を有してなる薄板状材料の搬送装置。
【請求項３】
請求項２において、
箱状の上部中空ケーシングと、この上部中空ケーシングの下側に接続された箱状の下部中空ケーシングとを設けてなり、
前記上部中空ケーシング内には、前記中央ローラが支持されてなり、
前記フレームは、前記搬送方向と直交する方向に長く、且つ、搬送方向に一定間隔で配置された複数の横方向部材を有し、
前記上部中空ケーシングは、前記下部中空ケーシングの上端面よりも前記搬送方向に長くされ、且つ、前記搬送方向両側に突出する前側突出部及び後側突出部を有し、これらの前側突出部及び後側突出部が、前記搬送方向に隣接する前記横方向部材上に取付けられた状態で、前記下部中空ケーシングが、前記隣接する一対の横方向部材間の間隙に配置されたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記下部中空ケーシングの上端面は、前記上部中空ケーシングよりも前記幅方向に長く、且つ、幅方向両側に突出する左側突出部及び右側突出部を有し、前記エアテーブルユニットのうち、前記上部中空ケーシングに対して、前記幅方向に隣接する一対のエアテーブルユニットは、前記左側突出部及び右側突出部の上方位置で、前記上部中空ケーシングを密着して挟んで配置されたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項５】
請求項３又は４において、
前記中央ローラは、前記吸引された薄板状材料に、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラを含んでなり、前記下部中空ケーシング内には、前記中央駆動ローラを駆動するためのモータが、モータベースを介して支持され、前記中央駆動ローラは、軸受を介して前記モータベースに支持されたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項６】
請求項３又は４において、
前記中央ローラは、前記吸引された薄板状材料に、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラと、前記中央駆動ローラの前記搬送方向における前後に配置された前側フリーローラと後側フリーローラとからなり、これらの少なくとも一方は、前記中央吸引装置により、前記薄板状材料が吸引されて前記中央駆動ローラに接触するときに、該薄板状材料の裏面に接触するように構成され、前記前側及び後側フリーローラは、前記軸受に固定された支持プレートに回転自在に支持されていることを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項７】
請求項２乃至４のいずれかにおいて、
前記中央ローラは、前記搬送方向における前後に離間して配置された前側フリーローラ及び後側フリーローラからなり、その少なくとも一方が、前記中央吸引装置により、前記薄板状材料が吸引されたときに、該薄板状材料の裏面に接触するように配置されたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項８】
請求項２乃至４のいずれかにおいて、
前記中央ローラは、前記吸引された薄板状材料に、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラを含んでなることを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項９】
請求項２乃至８のいずれかにおいて、
前記中央吸引装置は、上面が、裏側から負圧が印加される多数の吸引孔が形成された負圧テーブルとされ、この負圧テーブルは、前記中央ローラの少なくとも上端近傍部分が上方に突出できるように形成されたローラスリットを有してなることを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する際に、これを平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することができる薄板状材料の搬送方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤ、ＰＤＰ等のＦＰＤのガラス基板は、僅かな疵や埃でも品質に大きく影響するため、その搬送の際には、表面に疵が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。
【０００３】
このような搬送手段の１つとして、例えば特許文献１に記載されるように、エアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつ搬送するエアコンベアが知られている。
【０００４】
このようなエアコンベアでは、ガラス基板の搬送方向と直交する幅方向のほぼ両端位置で、ガラス基板の幅方向両端近傍を、負圧により裏面側から吸引して、直進駆動ローラに接触させて、搬送するものがある。
【０００５】
ところが、上記のように、ガラス基板の幅方向両端を吸引したとき、ガラス基板の中央部分はこれを押える手段がないので、エアコンベア上面から吹出す浮上用の空気によって膨らんでしまい、ガラス基板の中央部分の浮上量が幅方向両端よりも大きくなる。
【０００６】
このように、ガラス基板の中央部が膨らむと、先端及び後端は搬送面よりも下がってしまい、エアコンベアを構成するエアテーブルの角部に衝突してガラス基板が損傷してしまうという問題点を生じ易い。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−１３９１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明は、エアコンベアを用いてガラス基板等のような薄板状材料を搬送する際に、薄板状材料の中央部分が膨らまないようにして、搬送できるようにした薄板状材料の搬送方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下の各実施例により上記課題を解決することができる。
【００１０】
（１）エアコンベアにより薄板状材料を気体により浮上させつつ、該薄板状材料の搬送方向と直交する幅方向両側位置で、前記薄板状材料を、その幅方向両端近傍の裏面側から吸引して、直進駆動ローラに接触させ、前記搬送方向に搬送する方法であって、前記薄板状材料を、前記幅方向中央位置で、裏面側から吸引して、該裏面を前記直進駆動ローラと同方向に回転可能な中央ローラに接触させつつ搬送することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【００１１】
（２）薄板状材料を気体により浮上させる複数のエアテーブルユニットを、前記薄板状材料の搬送方向及びこれと直交する幅方向に並べ、フレームに取付けて構成されたエアコンベアと、このエアコンベアの前記幅方向の両側に、前記薄板状材料の幅方向両端近傍を裏面側から吸引するサイド吸引装置、及び、吸引された前記薄板状材料の裏面に接触して、搬送方向の送り力を付与する直進駆動ローラを含むサイド吸引駆動ユニットと、前記エアコンベアにおける幅方向中央位置に設けられ、搬送中の前記薄板状材料を、その幅方向中央位置で裏面側から吸引する中央吸引装置、及び、前記直進駆動ローラと同方向に回転可能で、吸引された前記薄板状材料の幅方向中央部の裏面に接触する中央ローラを含む中央吸引ユニットと、を有してなる薄板状材料の搬送装置。
【００１２】
（３）箱状の上部中空ケーシングと、この上部中空ケーシングの下側に接続された箱状の下部中空ケーシングとを設けてなり、前記上部中空ケーシング内には、前記中央ローラが支持されてなり、前記フレームは、前記搬送方向と直交する方向に長く、且つ、搬送方向に一定間隔で配置された複数の横方向部材を有し、前記上部中空ケーシングは、前記下部中空ケーシングの上端面よりも前記搬送方向に長くされ、且つ、前記搬送方向両側に突出する前側突出部及び後側突出部を有し、これらの前側突出部及び後側突出部が、前記搬送方向に隣接する前記横方向部材上に取付けられた状態で、前記下部中空ケーシングが、前記隣接する一対の横方向部材間の間隙に配置されたことを特徴とする（２）に記載の薄板状材料の搬送装置。
【００１３】
（４）前記下部中空ケーシングの上端面は、前記上部中空ケーシングよりも前記幅方向に長く、且つ、幅方向両側に突出する左側突出部及び右側突出部を有し、前記エアテーブルユニットのうち、前記上部中空ケーシングに対して、前記幅方向に隣接する一対のエアテーブルユニットは、前記左側突出部及び右側突出部の上方位置で、前記上部中空ケーシングを密着して挟んで配置されたことを特徴とする（３）に記載の薄板状材料の搬送装置。
【００１４】
（５）前記中央ローラは、前記吸引された薄板状材料に、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラを含んでなり、前記下部中空ケーシング内には、前記中央駆動ローラを駆動するためのモータが、モータベースを介して支持され、前記中央駆動ローラは、軸受を介して前記モータベースに支持されたことを特徴とする（３）又は（４）に記載の薄板状材料の搬送装置。
【００１５】
（６）前記中央ローラは、前記吸引された薄板状材料に、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラと、前記中央駆動ローラの前記搬送方向における前後に配置された前側フリーローラと後側フリーローラとからなり、これらの少なくとも一方は、前記中央吸引装置により、前記薄板状材料が吸引されて前記中央駆動ローラに接触するときに、該薄板状材料の裏面に接触するように構成され、前記前側及び後側フリーローラは、前記軸受に固定された支持プレートに回転自在に支持されていることを特徴とする（３）又は（４）に記載の薄板状材料の搬送装置。
【００１６】
（７）前記中央ローラは、前記搬送方向における前後に離間して配置された前側フリーローラ及び後側フリーローラからなり、その少なくとも一方が、前記中央吸引装置により、前記薄板状材料が吸引されたときに、該薄板状材料の裏面に接触するように配置されたことを特徴とする（２）乃至（４）のいずれかに記載の薄板状材料の搬送装置。
【００１７】
（８）前記中央ローラは、前記吸引された薄板状材料に、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラを含んでなることを特徴とする（２）乃至（４）のいずれかに記載の薄板状材料の搬送装置。
【００１８】
（９）前記中央吸引装置は、上面が、裏側から負圧が印加される多数の吸引孔が形成された負圧テーブルとされ、この負圧テーブルは、前記中央ローラの少なくとも上端近傍部分が上方に突出できるように形成されたローラスリットを有してなることを特徴とする（２）乃至（８）のいずれかに記載の薄板状材料の搬送装置。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、薄板状材料の中央部を吸引して平面に近い状態で搬送することができるので、薄板状材料がエアテーブルユニットの角部に接触して損傷することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明の実施例について図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１に示されるように、この実施例に係る薄板状材料搬送装置１０は、図１において右から左方向に、例えば大型のＬＣＤ用のガラス基板（薄板状材料）１２をエア浮上させつつ搬送するものである。
【００２２】
薄板状材料搬送装置１０は、平面視で長方形のエアテーブルユニット１４を、搬送方向と直交する幅方向に間隔をおいて４列、且つ搬送方向には連続的に複数並べて構成されたエアコンベア１６と、このエアコンベア１６の幅方向の両側に、ガラス基板１２の幅方向両端近傍を裏面側から吸引するサイド吸引装置１８、吸引されたガラス基板１２の裏面に接触して、搬送方向の送り力を付与する直進駆動ローラ２０、及びガラス基板１２の裏面に接触して、その移動と共に回転可能な前側サイドフリーローラ２１Ａ、後側サイドフリーローラ２１Ｂ、を含むサイド吸引駆動ユニット２２と、エアコンベア１６における幅方向中央位置に設けられ、搬送中のガラス基板１２を、その幅方向中央位置で、裏面側から吸引する中央吸引装置２４及び直進駆動ローラ２０と同方向に回転し、吸引されたガラス基板の幅方向中央部の裏面に接触して、搬送方向の送り力を付与する中央駆動ローラ２６及びその前後に隣接する前側フリーローラ２７Ａと後側フリーローラ２７Ｂからなる中央ローラとを含む中央吸引ユニット２８と、を備えて構成されている。
【００２３】
エアテーブルユニット１４及び中央吸引ユニット２８は、図１において破線で示されるようなフレーム３０に取付けられている。このフレーム３０は幅方向に長く、且つ搬送方向に一定間隔で配置された複数の横方向部材３２を備えて構成されている。
【００２４】
各エアテーブルユニット１４は、その搬送方向の両端が隣接する横方向部材３２上に支持されるようにして、搬送方向に連続的に且つ幅方向には間欠的に、図１においては４列に配置されている。
【００２５】
中央吸引ユニット２８は、４列のエアテーブルユニット１４の中央の隙間１５（図１、図２参照）に、搬送方向に連続的に配置されていて、幅方向から見たとき、図２、図３に示されるように、箱状の上部中空ケーシング３４及びその下側に接続された箱状の下部中空ケーシング３６とを有している。
【００２６】
上部中空ケーシング３４は、中央駆動ローラ２６及びその前後に隣接する前側フリーローラ２７Ａと後側フリーローラ２７Ｂとを内包している。又、下部中空ケーシング３６内には、モータ３８、このモータ３８の出力軸に取り付けられた駆動プーリ３８Ａとが内包されている。中央駆動ローラ２６には被動プーリ３８Ｃが同軸的に設けられ、駆動プーリ３８Ａによりベルト３８Ｂを介して駆動されるようになっている。
【００２７】
図２、図３の符号４０は、モータ３８及び駆動プーリ３８Ａを下部中空ケーシング３６に支持するためのモータベースを示す。このモータベース４０に対して、モータ３８及び駆動プーリ３８Ａは、長孔３９Ａとボルト３９Ｂとの組合せによって、一定範囲で上下方向位置調節自在とされている。
【００２８】
中央駆動ローラ２６及び被動プーリ３８Ｃは、軸受４２によって支持され、この軸受４２は、モータベース４０の上端に取付固定されている。なお、直進駆動ローラ２０と中央駆動ローラ２６の直径は同一とされている。
【００２９】
軸受４２には、この軸受４２から前後に水平に延びる支持プレート４４が一体的に固定され、前側フリーローラ２７Ａ及び後側フリーローラ２７Ｂは、支持プレート４４に、中央駆動ローラ２６を間にして回転自在に支持されている（図３、図４、図５参照）。
【００３０】
図３の符号２５は、中央吸引装置２４における負圧を形成するためのブロワーを示す。
【００３１】
図４に示されるように、上部中空ケーシング３４の上面は、箱状体の蓋となる負圧テーブル４６が設けられている。この負圧テーブル４６は、例えばパンチングメタルからなり、裏側から負圧が印加されたとき空気を吸引する多数の吸引孔４７が形成されている。又、この負圧テーブル４６には、中央駆動ローラ２６及び前側フリーローラ２７Ａと後側フリーローラ２７Ｂの上端部近傍が負圧テーブル４６の上面から突出するように駆動ローラスリット４８及びフリーローラスリット４９Ａ、４９Ｂがそれぞれ形成されている。
【００３２】
サイド吸引駆動ユニット２２は、直進駆動ローラ２０、前側および後側サイドフリーローラ２１Ａ、２１Ｂの他に、中央吸引ユニット２８と同様の負圧テーブル２２Ａ、負圧テーブル２２Ａの下側の中空ケーシング（図示省略）、負圧形成のためのブロアー（図示省略）を備え、負圧テーブル２２Ａの上面からは、直進駆動ローラ２０、前側および後側サイドフリーローラ２１Ａ、２１Ｂの頂部が突出されている。
【００３３】
中央吸引ユニット２８における、上部中空ケーシング３４は、図３、図４に示されるように、下部中空ケーシング３６の上端面よりも搬送方向に長くされ、且つ、搬送方向両側に突出する前側突出部３４Ａ及び後側突出部３４Ｂを有し、これらの前側突出部３４Ａ及び後側突出部３４Ｂが、搬送方向に隣接する横方向部材３２上に取付けられている。
【００３４】
下部中空ケーシング３６は、前記隣接する一対の横方向部材３２の間の間隙３３に配置されている。又、下部中空ケーシング３６の上端面は、図２、図４に示されるように、上部中空ケーシング３４よりも搬送方向と直交する幅方向に長く、且つ、幅方向両側に突出する左側突出部３６Ａ及び右側突出部３６Ｂを有している。
【００３５】
エアテーブルユニット１４のうち、図２に示されるように、上部中空ケーシング３４に対して、搬送方向と直交する方向に隣接する一対のエアテーブルユニット１４は、左側突出部３６Ａ及び右側突出部３６Ｂの上方位置で、上部中空ケーシング３４を密着して挟んで配置されている。又、横方向部材３２の上面に対して、上部中空ケーシング３４及びエアテーブルユニット１４の高さは同一とされている。図２の符号１４Ａはエアテーブルユニット１４の負圧を形成するためのブロワーを示す。
【００３６】
この実施例においては、搬送されるガラス基板１２の幅方向両端をサイド吸引駆動ユニット２２によって吸引しつつ駆動して搬送方向への送り力を付与し、且つ、ガラス基板１２の幅方向中央部を、中央吸引ユニット２８によって吸引しつつ駆動して、搬送方向の送り力を付与しているので、ガラス基板１２をほぼ平面状に維持して安定して搬送することができる。
【００３７】
従って、搬送中にガラス基板１２の中央部が膨らんで、その搬送方向先端がエアテーブルユニット１４の角部等に衝突して損傷することを防止できる。
【００３８】
又、この実施例では、中央吸引ユニット２８を、エアテーブルユニット１４間の隙間１５を埋めるようにして配置しているので、ガラス基板１２を浮上させるための空気噴出面積を低減させることがない。
【００３９】
上記実施例において、中央吸引ユニット２８の一部を構成する中央ローラは、中央駆動ローラ２６と、その前後に配置された前側フリーローラ２７Ａ及び後側フリーローラ２７Ｂを備えて構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、中央ローラは、吸引されたガラス基板１２の中央部に接触して、下側から支持するものであればよく、前側及び後側フリーローラ２７Ａ、２７Ｂの一方又は両方のみ、あるいは中央駆動ローラ２６のみでもよく、中央駆動ローラのみの場合、これを駆動力が付与されないフリーローラとしてもよい。
【００４０】
また、サイド吸引駆動ユニット２２のローラは、ガラス基板１２の幅方向両端が浮上することなく、直進駆動ローラ２０への充分な接触荷動があり、且つ、両端の垂れ下がりが少なければ、前側及び後側サイドフリーローラ２１Ａ、２１Ｂを設けなくてもよい。
【００４１】
更に、上記中央ローラを、中央駆動ローラとする場合は、モータ３８により、駆動プーリ３８Ａ、ベルト３８Ｂ及び被動プーリ３８Ｃを介して回転駆動される他に+、歯車列によって駆動されたり、あるいはチェーンや、非接触の磁石ローラによるものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施例に係る薄板状材料搬送装置を模式的に示す平面図
【図２】図１のII−II線に沿う拡大断面図
【図３】図１のIII−III線に沿う拡大断面図
【図４】同実施例における中央吸引ユニットを拡大して示す平面図
【図５】図４において上部中空ケーシングを除去した状態を示す平面図
【符号の説明】
【００４３】
１０…薄板状材料搬送装置
１２…ガラス基板（薄板状材料）
１４…エアテーブルユニット
１５、３３…間隙
１６…エアコンベア
１８…サイド吸引ユニット
２０…直進駆動ローラ
２２…サイド吸引駆動ユニット
２４…中央吸引装置
２５…ブロワー
２６…中央駆動ローラ
２７Ａ…前側フリーローラ
２７Ｂ…後側フリーローラ
２８…中央吸引ユニット
３０…フレーム
３２…横方向部材
３４…上部中空ケーシング
３４Ａ…前側突出部
３４Ｂ…後側突出部
３６…下部中空ケーシング
３６Ａ…左側突出部
３６Ｂ…右側突出部
３８…モータ
４０…モータベース
４２…軸受
４６…負圧テーブル
４７…吸引孔
４８…駆動ローラスリット
４９Ａ、４９Ｂ…フリーローラスリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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