(57)【要約】【課題】      針先が回路配線に対し前後方向に変位することを防止することにある。【解決手段】  接触子は、上端部において基板に取り付けられる取り付け部と、該取り付け部の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを備える。針先部は、アーム部の先端部から下方へ伸びる座部と、該座部の下端に前後方向に間隔をおいて一体的に設けられて座部から下方に突出する一対の突出部を有する。両突出部は、互いに対向された対向部であって、座部の側ほど接近された対向部を有する。【選択図】          図６
2010121974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端部において基板に取り付けられる取り付け部と、該取り付け部の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを備え、
前記針先部は、前記アーム部の先端部から下方へ伸びる座部と、該座部の下端に前後方向に間隔をおいて一体的に設けられて前記座部から下方に突出する一対の突出部を有し、
両突出部は、互いに対向された対向部であって、前記座部の側ほど接近された対向部を有する、接触子。
【請求項２】
両対向部は、前記前後方向に対し傾斜されている、請求項１に記載の接触子。
【請求項３】
両突出部は断面積が前記座部の側と反対の側ほど小さい角錐形の形状を有し、前記対向部は前記角錐形の稜線又は面を含む、請求項１及び２のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項４】
両突出部は、さらに、前記角錐形の面であって、相手の突出部の側と反対の側に位置された面を有する、請求項１から３のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項５】
両突出部は、断面積が前記座部の側と反対の側ほど小さい三角錐形又は四角錐形の形状を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項６】
両突出部は、前記角錐形の稜線又は面であって、互いに対向されて前記対向部として作用する稜線又は面を有すると共に、前記角錐形の面であって、互いに反対の側に位置された面を有する、請求項３から５のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項７】
前記針先部は、さらに、両突出部の間を前記左右方向へ伸びる突起であって、前記座部から一体的に盛り上がった突起を有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項８】
上面及び下面を有するリジッド基板と、
該リジッド基板に配置された板ばねと、
該板ばねを前記リジッド基板に組み付ける組み付け装置と、
下方に向けられた取り付け面を有するブロックであって少なくとも前記取り付け面が前記リジッド基板より下方に突出した状態に前記板ばねの下側に取り付けられたブロックと、
接触子領域と該接触子領域の周りの外側領域とを有する可撓性のフレキシブル基板であって少なくとも前記接触子領域が前記ブロックの前記取り付け面に対向された状態に前記外側領域の一部において前記リジッド基板の下面に取り付けられたフレキシブル基板と、
前記接触子領域に配置された複数の接触子とを含み、
各接触子は、上端部において前記フレキシブル基板に取り付けられる取り付け部と、該取り付け部の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ伸びる針先部とを備え、
前記針先部は、前記アーム部の先端部から下方へ伸びる座部と、該座部の下端に前後方向に間隔をおいて一体的に設けられて前記座部から下方に突出する一対の突出部を有し、
両突出部は、互いに対向された対向部であって、前記座部の側ほど接近された対向部を有する、電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの通電手段として用いられる可撓性の回路基板の配線とそのような回路基板を試験する電気回路とを電気的に接続するための接触子及びこれを用いた電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、駆動用の回路チップをＦＦＣ、ＦＰＣ、ＴＡＢテープのように可撓性フィルムの一方の面に配線パターンを設けた可撓性の回路基板に配置したＴＣＰを用いて駆動される。そのようなＴＰＣに用いられる回路基板は、液晶表示パネルに取り付けられる前に、回路配線又は回路チップが正常に動作するか否かの電気的試験をされる。
【０００３】
そのような電気的試験は、回路基板の回路配線とその試験用電気回路とをプローブカードのような電気的接続装置により電気的に接続した状態で、回路配線にその一端部から電気信号を供給し、その回路配線の他端部又は他の回路配線から電気信号を得ることにより、行われる。
【０００４】
そのような電気的試験に用いられる電気的接続装置の１つとして、例えば特許文献１に記載されたものがある。
【０００５】
この電気的接続装置は、上面及び下面を有するリジッド基板（支持基板）と、該リジッド基板に配置された板ばねと、該板ばねを前記リジッド基板に組み付ける組み付け装置と、下方に向けられた取り付け面を有するブロックであって少なくとも前記取り付け面が前記支持基板より下方に突出した状態に前記板ばねの下側に取り付けられたブロックと、接触子領域と該接触子領域の周りの外側領域とを有するフレキシブル基板であって少なくとも前記接触子領域が前記ブロックの前記取り付け面に対向された状態に前記外側領域の一部において前記支持基板の下面に取り付けられたフレキシブル基板と、前記接触子領域に配置された複数の接触子（プローブ）とを含む。
【０００６】
図１４（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、各接触子１２０は、上端部においてフレキシブル基板１２２に取り付けられた取り付け部１２４と、取り付け部１２４の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部１２６と、アーム部１２６の先端部から下方へ伸びる針先部１２８とを備えている。針先部１２８は、アーム部１２６の先端部から先端側及び下方側へ伸びる座部１３０と、座部１３０の下面から突出する一対の突出部１３２とを有している。
【０００７】
被検査体としての可撓性の回路基板１３４は、可撓性のフィルム又はシート１３６の一方の面に配線パターンを形成しており、また配線パターンの各一部を回路配線１３８としている。図示の例では、回路配線１３８は所定の幅寸法と平坦な上面とを有している。各接触子１２０は、突出部１３２の下端を回路基板１３４の回路配線１３８の上面に押圧される針先としている。
【０００８】
従来の電気的接続装置において、接触子１２０は、その針先、すなわち、突出部１３２の下端を、図１４（Ｂ）に示すように回路配線１３８の上面に接触させた状態で、さらに回路配線１３８に押圧される。これにより、接触子１２０は、アーム部１２６が弧状に弾性変形されることにより、その針先が回路配線１３８に確実に押圧されて、その針先において回路配線１３８に電気的に確実に接続される。
【０００９】
しかし、従来の接触子１２０は、その針先が平坦面とされているにすぎないから、針先が回路配線１３８の上面に正しい状態に接触していないと（すなわち、針先面が回路配線１３８の上面に対し、前後方向にすれていたり、傾斜していたりすると）、針先がさらに回路配線１３８に押圧されたことにより、図１４（Ｃ）に示すように、針先が回路配線１３８に対して前後方向（回路配線１３８の幅方向）に滑ることがある。
【００１０】
上記の結果、従来の接触子１２０は、図１４（Ｃ）に示すように、針先が回路配線１３８から外れ、したがって正確な試験をすることができない。また、従来の接触子１２０では、最悪の場合接触子自体が折損することがある。
【００１１】
本発明者らの実験により、回路配線１３８に対する針先の上記のような滑りは、そのような滑りに対しアーム部１２６又は針先部１２８において不規則に大きく変形することに起因するものであること、及び針先面が回路配線１３８の上面に平行な状態に接触していない場合のみならず、回路配線１３８が針先より硬質の材料で製作されている場合、針先が回路配線１３８に対しずれた状態で針先が回路配線１３８の上面に押圧される場合、それらの組合せ等によって生じることが判明した。
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−８２９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、針先が回路配線に対し前後方向に変位することを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る接触子は、上端部において基板に取り付けられる取り付け部と、該取り付け部の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを備える。前記針先部は、前記アーム部の先端部から下方へ伸びる座部と、該座部の下端に前後方向に間隔をおいて一体的に設けられて前記座部から下方に突出する一対の突出部を有する。両突出部は、互いに対向された対向部であって、前記座部の側ほど接近された対向部を有する。
【００１５】
両対向部は、前記前後方向に対し傾斜されていてもよいし、両突出部は断面積が前記座部の側と反対の側ほど小さい角錐形の形状を有していてもよい。前記対向部は前記角錐形の稜線又は面を含んでいてもよい。
【００１６】
両突出部は、さらに、前記角錐形の面であって、相手の突出部の側と反対の側に位置された面を有していてもよいし、断面積が前記座部の側と反対の側ほど小さい三角錐形又は四角錐形の形状を有していてもよい。
【００１７】
両突出部は、前記角錐形の稜線又は面であって、互いに対向されて前記対向部として作用する稜線又は面を有していると共に、前記角錐形の面であって、互いに反対の側に位置された面を有していてもよい。
【００１８】
前記針先部は、さらに、両突出部の間を前記左右方向へ伸びる突起であって、前記座部から一体的に盛り上がった突起を有していてもよい。
【００１９】
本発明に係る電気的接続装置は、上面及び下面を有するリジッド基板と、
該リジッド基板に配置された板ばねと、該板ばねを前記リジッド基板に組み付ける組み付け装置と、下方に向けられた取り付け面を有するブロックであって少なくとも前記取り付け面が前記リジッド基板より下方に突出した状態に前記板ばねの下側に取り付けられたブロックと、接触子領域と該接触子領域の周りの外側領域とを有する可撓性のフレキシブル基板であって少なくとも前記接触子領域が前記ブロックの前記取り付け面に対向された状態に前記外側領域の一部において前記リジッド基板の下面に取り付けられたフレキシブル基板と、前記接触子領域に配置された、上記のような複数の接触子とを含む。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る接触子は、フレキシブル基板に組み付けられ、そのフレキシブル基板がリジッド基板に組み付けられて、電気的接続装置に組み立てられる。その電気的接続装置は、アーム部の延在方向が被検査体としての回路基板の回路配線の延在方向となるように、すなわち両突出部の離間方向が回路配線の延在方向と交差する前後方向となるように、テスターに組み付けられる。
【００２１】
接触子は、電気的接続装置はテスターに組み付けられた状態において、針先部の下端が回路基板の回路配線に対向された状態で、針先部の先端の針先を回路配線に対して押圧される。
【００２２】
接触子は、両突出部の対向部が前後方向に間隔をおいているから、針先部の先端部が回路配線に押圧されるとき、回路配線を両突出部の間に受け入れる。このため、接触子は、針先が回路配線に対し前後方向に変位することを両突出部により防止されて、回路配線に確実に接触する。
【００２３】
また、接触子は、両対向部が座部の側ほど接近されているから、針先部の下端が回路配線に対し多少ずれていても、回路配線を両突出部の間に確実に受け入れて、針先が回路配線に対し前後方向に変位することを確実に防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
［用語の定義］
【００２５】
本発明においては、電気的接続装置においては、図３において、上下方向、左右方向及び紙背方向を、それぞれ、上下方向、左右方向及び前後方向という。同様に、各接触子においては、図７において、上下方向（取り付け部の延在方向、すなわちアーム部からの針先部の突出方向）を上下方向といい、左右方向（アーム部の延在方向）を左右方向といい、紙背方向（図７に示す実施例においては、接触子の厚さ方向）を前後方向という。
【００２６】
しかし、それらの方向は、多数の接触子が配置されたフレキシブル基板及びそれを取り付けたリジッド基板をテスターに取り付けた状態におけるそれら基板の姿勢に応じて異なる。
【００２７】
それゆえに、本発明に係る電気的接続装置は、これがテスターに取り付けられた状態において、本発明でいう上下方向が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれの方向となる状態で使用してもよい。
【実施例】
【００２８】
電気的接続装置１０は、ＦＦＣ、ＦＰＣ、ＴＡＢテープ、ＴＣＰ等、可撓性を有する回路基板１２を被検査体とし、その被検査体すなわち回路基板１２の電気的試験にプローブカードと同様に用いられる。
【００２９】
図７から図１０に示すように、回路基板１２は、それぞれが配線パターンの一部である複数の回路配線１４を可撓性フィルム１６の一方の面に形成している。それらの回路配線１４は、平坦な上面を有しており、また前後方向に間隔をおいて左右方向に伸びる帯状に形成されている。図示の例では、それらの回路配線１４は、左右方向に間隔をおいた２列に配列されている。
【００３０】
図１〜図１０を参照するに、電気的接続装置１０は、円板状のリジッド基板２０と、リジッド基板２０の上面に取り付けられた板状部材２２と、板状部材２２の下側に配置された板状のリング状部材２４と、リング状部材２４の下側に配置された板ばね２６と、板ばね２６の下面に装着された台すなわちブロック２８と、ブロック２８の下側に配置されたフィルム状のフレキシブル基板３０と、ブロック２８に取り付けられた複数の基準マーク部材３２と、板状部材２２をこれの厚さ方向に貫通してリング状部材２４に当接する複数の調整ねじ３４（図３参照）とを含む。
【００３１】
リジッド基板２０は、これの中央を厚さ方向（上下方向）に貫通する貫通穴３６を有しており、またテスターに接続される複数のテスターランド（図示せず）を上面の周縁部に有しており、さらに複数の接続ランド（図示せず）を貫通穴３６と外周縁との間の領域の下面に周方向に間隔をおいて有している。貫通穴３６は、円形の平面形状を有する。
【００３２】
リジッド基板２０は、また、それぞれが前記テスターランドと前記接続ランドとを一対一の形に接続する複数の内部配線すなわち導電路（図示せず）を内部に有している。そのようなリジッド基板２０は、ガラス入りエポキシ樹脂やセラミック材から製造された多層配線基板とすることができる。
【００３３】
板状部材２２は、貫通穴３６より大きい円板状の形状を有しており、また板状部材２２を貫通してリジッド基板２０に螺合された複数のねじ部材３８により、貫通穴３６を閉塞する状態に、すなわちリジッド基板２０と平行にリジッド基板２０の上面に取り付けられている。
【００３４】
板状部材２２は、リジッド基板２０の補強板として作用するように、ステンレスのような金属材料で製作されている。このため、板状部材２２は、完全な板である必要はなく、後に説明する板ばね２６のように、平坦な中央領域と、この中央領域から仮想円の周方向に間隔をおいてその仮想円の半径方向へ伸びる複数の延在領域と、これらの延在領域の先端に連結されて仮想円の周方向へ伸びる外周領域とにより板状の形状を有するものであってもよい。
【００３５】
リング状部材２４は、ステンレスのような金属材料、特に熱膨張率の小さい金属材料で貫通穴３６の直径寸法よりやや小さい外径寸法を有する板状リングの形に形成されており、またリジッド基板２０の貫通穴３６内に上下動可能に位置されている。
【００３６】
リング状部材２４は、板状部材２２をこれの厚さ方向に貫通してリング状部材２４に螺合された複数の取り付けねじ４０により、リジッド基板２０及び板状部材２２と平行に板状部材２２の下面に取り付けられている。
【００３７】
板ばね２６は、平坦な中央領域と、中央領域から仮想円の周方向に間隔をおいてその仮想円の半径方向へ伸びる複数の板状の延在領域と、延在領域の周りに一体的に続くリング状の周縁領域とを有している。
【００３８】
中央領域と延在領域とは、星印（＊）状の形状を有している。延在領域の数は、４つ、６つ、８つ等の適宜な値とすることができる。図示の例では、延在領域の数は４つであり、したがって中央領域と延在領域とは中央領域で交差する十字状の形状を有している。
【００３９】
板ばね２６は、熱膨張率がステンレスのそれより小さい、タングステン、モリブデン、それらの合金及びセラミック材料を含むグループから選択された材料で製作されている。
【００４０】
板ばね２６は、ばね押え４２と、板ばね２６及びばね押え４２を下方から貫通してリング状部材２４に螺合された複数のねじ部材４４とにより、周縁領域においてリング状部材２４の下面に組み付けられている。
【００４１】
これにより、板ばね２６は、リング状部材２４及びばね押え４２に挟まれた状態で、リジッド基板２０の貫通穴３６を閉塞するように、板状部材２２を介してリジッド基板２０に安定した状態に支持される。
【００４２】
図示の例では、ばね押え４２は、リング状に互いに組み合わされた弧状の複数の押え片４６からなる。それらの押え片４６は、板ばね２６の周縁領域に押圧された状態にリング状部材２４にねじ止めされた環状部と、この環状部の下端部から環状部の中心側に伸びる矩形（又は、円形）の内向きのフランジ部とを共同して形成するように、互いに組み合わされている。
【００４３】
このため、図３に示すように、各押え片４６は、他の押え片４６と共同して、上記環状部を形成する弧状部４６ａと、上記フランジ部を形成する延長部４６ｂとを有する。しかし、ばね押え４２を、上記環状部及び上記フランジ部を有するリング状の単一の部材又は２つ割の部材等で形成してもよい。
【００４４】
少なくとも、板状部材２２、リング状部材２４及びばね押え４２は、板ばね２６をリジッド基板２０に組み付ける組み付け装置として作用する。
【００４５】
図４に示すように、ブロック２８は、フレキシブル基板３０を取り付ける取り付け面（下面）５０、取り付け面５０の周りに続く中間面５２、及び中間面５２の周りに続く複数の斜面５４により形成された截頭多角錐形の下向き面を有する下部ブロック部５６と、上端面を板ばね２６への被取り付け面（上面）５８とする角柱状の上部ブロック部６０と、上部ブロック部６０から半径方向外方へ伸びる外向きのフランジ部６２とを備える。
【００４６】
図示の例では、上部ブロック６０の形状は四角柱であり、被取り付け面５８の形状は四角形である。また、取り付け面５０、中間面５２及び被取り付け面５８は平行の面であり、下部ブロック部５６の下向き面は截頭八角錐形の形状を有している。フランジ部６２は、図示の例では、ばね押え４２の延長部４６ｂにより形成される内向きのフランジ部に対向される矩形（又は、円形）の形状を有している。
【００４７】
ブロック２８は、図１及び図３に示すように、板ばね２６の中央領域を矩形の組み付け板６４と上部ブロック部６０の上端面とによりサンドイッチ状に挟み、かつ少なくとも取り付け面（下面）５０がリジッド基板２０の下方へ突出した状態に、上部ブロック部６０において複数のねじ部材６６により板ばね２６の中央領域の下面に組み付けられている。
【００４８】
上記のように、ブロック２８は、板ばね２６に取り付けられた状態に、維持される。下部ブロック部５６の下端部は、取り付け面５０がこれの周りの中間面５２よりわずかに下方に突出している。
【００４９】
フレキシブル基板３０は、ポリイミドのような電気絶縁性のシートの内部に帯状をした複数の配線すなわち導電路（図示せず）を形成した多層配線基板であり、各導電路に接触子７０を装着している。
【００５０】
フレキシブル基板３０は、図２に示すように、接触子７０が配置された矩形の接触子領域７２と、接触子領域７２の周りの外側領域７４とを有する。外側領域７４は、接触子領域７２の周りに一体的に続く中間領域７６と、中間領域７６の周りに間隔をおいて中間領域７６から接触子領域７２を中心とする仮想円の半径方向へ伸びる複数の延在部７８とを備える。
【００５１】
各導電路は、接触子７０が配置された接触子領域７２内から外側領域７４を上記仮想円の半径方向外方へ伸びて、その外側端部においてリジッド基板２０の配線に電気的に接続されている。
【００５２】
図６から図１０に示すように、各接触子７０は、フレキシブル基板３０の前記した導電路に接合により取り付けられた取り付け部８０と、取り付け部８０の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部８２と、アーム部８２の先端部から下方へ突出する針先部８４とを備えている。
【００５３】
各接触子７０は、ニッケルのような導電性を有する材料で、前後方向を厚さ方向とする板状に形成されており。針先部８４の先端を回路配線１４に押圧される針先としている。
【００５４】
各針先部８４は、アーム部８２の先端部から先方及び下方へ伸びる座部８６と、座部８６の下端に前後方向に離間して一体的に設けられて座部８６から下方に突出する一対の突出部８８とを有する。図示の例では、両突出部８８は、断面積が下方側（回路配線１４の側）ほど小さい三角錐形の形状を有している。
【００５５】
図示の例では、両突出部８８は、三角錐形の１つの面を相手の突出部８８の側と反対の側に位置させており、また三角錐形の１つの稜線を相手の突出部８８の側むけて互いに対向されて前後方向に離間された対向部９０としている。このため、対向部９０は、座部８６の側ほど接近されている。すなわち、対向部９０は、座部８６の側路反対の側（下方側）ほど互いに離間するように前記前後方向に対して傾斜されている。
【００５６】
両対向部９０は、回路配線１４に向けて開いた、角度θ１（図１０（Ａ）参照）の誘い角を形成している。また、両突出部８８は、接触子７０、特にアーム部８２の長手方向に向けて開いた、角度θ２（図１０（Ｂ）参照）の誘い角を形成している。
【００５７】
上記のような接触子７０は、例えば、フォトリソグラフィー技術、電気メッキ技術、電気鋳造技術等を利用して、取り付け部８０、アーム部８２及び針先部８４を、その順番で又は逆の順番で順次形成することにより、製作することができる。
【００５８】
上記のように製作された接触子７０は、導電性接着剤により取り付け部８０の上端面においてフレキシブル基板３０の対応する導電路に接合される。これにより、各接触子７０は、少なくともアーム部８２及び針先部８４がフレキシブル基板３０から下方へ離間した状態に、フレキシブル基板３０に片持ち梁状に支持される。
【００５９】
しかし、フレキシブル基板３０及び接触子７０を、フォトリソグラフィー技術、電気メッキ技術、樹脂の塗布技術、電気鋳造技術等を利用して、一貫して一体的に製作してもよい。これによっても、各接触子７０はフレキシブル基板３０に片持ち梁状に支持される。この場合、針先部８４、アーム部８２、取り付け部８０及びフレキシブル基板３０の順に製作することができるし、その逆の順に製作することもできる。
【００６０】
接触子７０は、回路基板１２の回路配線１４と同様に、針先が左右方向に間隔をおいた２列となると共に、列毎の前後方向に間隔をおくように、フレキシブル基板３０に配置されている。この状態において、各接触子７０の両突出部８８が三角錐形の１つの面を相手の突出部８８の側と反対の側に位置させているから、それらの接触子７０の配置間隔は、前後方向に隣り合う接触子７０が互いに接触しない間隔に維持される。
【００６１】
フレキシブル基板３０は、接触子領域７２及び中間領域７６がブロック２８の取り付け面５０に対向され、延在部７８の一部が斜面５４に対向された状態に、少なくとも接触子領域７２において接着剤により取り付け面５０に接着されている。接触子領域７２及びその周囲の中間領域７６は、それぞれ、ブロック２８への接着時に取り付け面５０及びその周りの中間面５２に押圧される。
【００６２】
フレキシブル基板３０は、延在部７８の先端において、シリコーンゴムのように弾性を有する板状のゴムリング９２と、ステンレスのようにある程度の剛性を有する板状の押えリング９４と、複数のねじ部材９６とにより、リジッド基板２０の下面に取り付けられている。これにより、フレキシブル基板３０の導電路は、上記したように、その外側端部においてリジッド基板２０の配線に電気的に接続された状態に維持される。
【００６３】
リジッド基板２０に対するフレキシブル基板３０の位置決めは、リジッド基板２０から下方に伸びて、フレキシブル基板３０の延在部７８、ゴムリング９２及び押えリング９４を貫通して下方に突出する複数の位置決めピン９８により行われる。各位置決めピン９８は、リジッド基板２０に安定に支持されている。
【００６４】
フレキシブル基板３０が上記のようにブロック２８及びリジッド基板２０に装着された状態において、各接触子７０は、その針先部８４が回路基板１２の対応する回路配線１４と対向するように整列されており、またフレキシブル基板３０の導電路、リジッド基板２０の配線等を介してリジッド基板２０のテスターランドに電気的に接続されている。
【００６５】
各基準マーク部材３２は、下部ブロック５６の斜面５４から下方に突出するピン部材であり、また上部において下部ブロック５６に安定に支持されている。図示の例では、三組の基準マーク部材３２が設けられている。各組の基準マーク部材３２は、接触子領域７２及び中間領域７６を間にして対向されている。
【００６６】
各基準マーク部材３２の下端面は取り付け面５０と平行の面であり、また各基準マーク部材３２の下端面の高さ位置は接触子７０の高さ位置より上方に後退されている。
【００６７】
各基準マーク部材３２の下部は、フレキシブル基板３０の延在部７８において、隣り合う導電路の間を貫通して、フレキシブル基板３０の下方に突出されている。これにより、延在部７８における隣り合う導電路の間隔が中間領域７６のそれより広いから、基準マーク部材３２が導電路の形成位置に影響を及ぼさない。
【００６８】
各基準マーク部材３２の下端面には、回路基板１２に対する電気的接続装置１０の位置、特に回路配線１４に対する接触子７０の針先の位置を調整する際に用いる基準マーク（図示せず）が形成されている。
【００６９】
各基準マークは、接触子領域７２を間にして対向する基準マーク部材３２の基準マークと共同して、電気的接続装置１０における両基準マークの間に位置する針先部８４の先端すなわち針先の位置を表す。各基準マークは、丸印の中心、ドット、十字状の交差部等、光学的特性が周囲と異なる印とすることができる。
【００７０】
ブロック２８、基準マーク部材３２、ばね押え４２、組み付け板６４、位置決めピン９８は、適宜な材料、好ましくは電気絶縁性の材料で製作される。
【００７１】
ばね押え４２の弧状部４６ａにより形成される環状部の上端から延長部４６ｂにより形成される内向きフランジ部の上端までの距離寸法は、上部ブロック部５６の上端から外向きフランジ部６２の下端までの距離寸法より小さい。また、ブロック２８が板ばね２６に取り付けられた状態において、フランジ部６２はばね押え４２の内向きフランジ部の上側に位置されている。
【００７２】
上記の結果、板ばね２６は、少なくとも中央領域３８がリジッド基板２０の上方に向けて付勢された状態に初期荷重を加えられて、予圧により弾性変形されている。
【００７３】
上記のように電気的接続装置１０に組み立てられた状態において、リジッド基板２０に対する接触子領域７２の平行度が調整される。
【００７４】
この平行度調整は、リング状部材２４への取り付けねじ４０のねじ込み量を少なくした状態で、接触子領域７２がリジッド基板２０と平行になるように板状部材２２への調整ねじ３４のねじ込み量を調整し、その後、調整ねじ３４がリング状部材２４の上面に当接した状態に、取り付けねじ４０をリング状部材２４にねじ込むことにより、行うことができる。このため、リジッド基板２０に対する接触子領域７２の平行度を容易に調整することができる。
【００７５】
接触子領域７２は、これがブロック２８の取り付け面５０に接着されているから、上記の平行度調整時に、リジッド基板２０に対しブロック２８と共に確実に変位する。
【００７６】
電気的接続装置１０は、接触子領域７２が回路基板１２の配置領域の上方となり、かつ各接触子７０の針先が回路基板１２の回路配線１４と対向する状態に、テスターに組み付けられ、リジッド基板２０のテスターランドを通電試験用の電気回路に接続される。これにより、各接触子７０は通電試験用の電気回路に電気的に接続される。
【００７７】
電気的接続装置１０は、これがテスターに装着された状態において、テスターに対する接触子７０の針先の位置決めのために基準マークを測定される。
【００７８】
通電試験時、電気的接続装置１０と回路基板１２とが相寄る方向に相対的に移動される。これにより、各接触子７０がその針先を回路基板１２の対応する回路配線に押圧されて、オーバードライブが接触子７０に作用する。
【００７９】
各接触子７０の針先が回路基板１２の回路配線１４に押圧されると、オーバードライブにより、片持ち梁状の接触子７０がアーム部８２においてわずかに弧状に弾性変形すると共に、板ばね２６が弾性変形する。
【００８０】
このとき、各接触子７０は、両突出部８８の対向部９０が前後方向に間隔をおいているから、針先が回路配線１４に押圧されるとき、図９に示すように、回路配線１４を対向部９０の間に受け入れて、対向部９０（又は、座部８６の下端面）を回路配線１４に押圧される。このため、接触子７０は、針先が回路配線１４に対し前後方向に変位することを両突出部８８により防止されて、回路配線１４に確実に接触する。
【００８１】
また、接触子７０は、両対向部９０が座部８６の側ほど接近されているから、すなわち誘い角θ１を有するから、針先部８４の下端が回路配線１４に対し多少のずれていても、アーム部８２又は針先部８４において弾性変形して、図９に示すように回路配線１４を両突出部８８の間に確実に受け入れ、針先が回路配線１４に対し前後方向に変位することを確実に防止される。
【００８２】
図１１を参照するに、接触子１００は、三角錐形の突出部８８を用いる代わりに、断面積が下方側（回路配線１４の側）ほど小さい四角錐形の突出部１０２を用いている。
【００８３】
接触子１００は、四角形の１つの面を対向部１０４とし、他の１つの面を相手の突出部８８の側と反対の側に位置させている。接触子１００においても、両対向部９０は角度θ１の誘い角を形成している。
【００８４】
接触子１００は、回路配線１４を対向部１０４の間に受け入れて、対向部１０４（又は、座部８６の下面）を回路配線１４に押圧される。このため、接触子１００も、上記した接触子７０と同様に作用し、同様の効果を奏する。
【００８５】
図１２を参照するに、接触子１１０は、両突出部８８の間を前記左右方向へ伸びて、座部８６から一体的に盛り上がった突起１１２を三角錐形の突出部８８の間に有する。
【００８６】
接触子１１０は、図１３に示すように、回路配線１４を対向部９０の間に受け入れて、突起１１２を回路配線１４に押圧される。このため、接触子１１０も、上記した接触子７０及び１００と同様に作用し、同様の効果を奏する。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明は、可撓性を有する回路基板の試験のみならず、可撓性を有さない回路基板の試験にも用いることができる。
【００８８】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す電気的接続装置の底面図である。
【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】ブロックの一実施例を示す斜視図である。
【図５】フレキシブル基板をブロックに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図６】接触子の一実施例を示す斜視図である。
【図７】接触子と回路配線との関係を示す図である。
【図８】図７の左側面図である。
【図９】接触子が回路配線に押圧された状態を示す図である。
【図１０】（Ａ）は誘い角θ１を説明するために針先部を針先の側から見た図であり、（Ｂ）は誘い角θ２を説明するために針先部を回路配線の側から見た図である。
【図１１】接触子の他の実施例を示す斜視図である。
【図１２】接触子のさらに他の実施例を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示す接触子が回路配線に押圧された状態を示す図である。
【図１４】従来の接触子の一実施例を示す図であって、（Ａ）は接触子と回路配線との関係を示す図，（Ｂ）は（Ａ）の左側面図、（Ｃ）は針先を電極に押圧した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００９０】
１０  電気的接続装置
１２  回路基板
１４  回路配線
２０  リジッド基板
２２  板状部材
２４  リング状部材
２６  板ばね
２８  ブロック
３０  フレキシブル基板
３２  基準マーク部材
３４  調整ねじ
４２  ばね押え
４４  ねじ部材
６４  組み付け板
７０，１００，１１０  接触子
８０  接触子の取り付け部
８２  接触子のアーム領域
８４  接触子の針先部
８６  座部
８８，１０２  突出部
９０，１０４  対向部
１１２  突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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