(57)【要約】【課題】サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シートから確実に分離できるチップ分離方法を提供する。【解決手段】チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を所定のテンション下で保持し、該粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面に４本の押圧ピン３２ａを押し当てて粘着シート３３のチップ群３４が存在する面に山状隆起ＵＨを形成すると共に、該山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ１に沿って移動させる。【選択図】図６
2010041006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シートに貼り付けられたプレートを切断することによって得たチップ群を個々のチップに分離するチップ分離方法において、
チップ群が貼り付けられた粘着シートを所定のテンション下で保持し、該粘着シートのチップ群が存在する面とは反対側の面に少なくとも１つの押圧ピンを押し当てて粘着シートのチップ群が存在する面に山状隆起を形成すると共に、該山状隆起がチップ群を構成するチップに接触するように押圧ピンを相対的に移動させる、
ことを特徴とするチップ分離方法。
【請求項２】
チップ群はＭ個のチップが所定方向に並び、且つ、Ｎ個のチップが所定方向と直行する方向に並ぶＭ×Ｎ配列で粘着シートに配置されており、
押圧ピンは所定方向と平行なラインまたは所定方向と直行する方向と平行なラインを含む行路に沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１に記載のチップ分離方法。
【請求項３】
チップ群はＭ個のチップが所定方向に並び、且つ、Ｎ個のチップが所定方向と直行する方向に並ぶＭ×Ｎ配列で粘着シートに配置されており、
押圧ピンは所定方向または所定方向と直行する方向と鋭角を成すラインを含む行路に沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１に記載のチップ分離方法。
【請求項４】
押圧ピンは、球状曲面をその先端に有する、
ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のチップ分離方法。
【請求項５】
押圧ピンは、回転自在な球体をその先端に有する、
ことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のチップ分離方法。
【請求項６】
押圧ピンは、押し込み可能なピン本体をその先端に有し、該ピン本体を外方に付勢するバネ材を有する、
ことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のチップ分離方法。
【請求項７】
押圧ピンはｍ本の押圧ピンが所定方向に並び、且つ、ｎ本の押圧ピンが所定方向と直行する方向に並ぶｍ×ｎ配列で押圧部材に配置されている、
ことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のチップ分離方法。
【請求項８】
粘着シートに貼り付けられたプレートを切断することによって得たチップ群を個々のチップに分離するチップ分離装置において、
チップ群が貼り付けられた粘着シートを所定のテンション下で保持する保持手段と、
少なくとも１つの押圧ピンを有する押圧手段と、
粘着シートのチップ群が存在する面とは反対側の面に押圧ピンを押し当てて粘着シートのチップ群が存在する面に山状隆起を形成すると共に、該山状隆起がチップ群を構成するチップ全てに接触するように押圧手段を相対的に移動させる移動手段とを備える、
ことを特徴とするチップ分離装置。
【請求項９】
押圧ピンは、球状曲面をその先端に有する、
ことを特徴とする請求項８に記載のチップ分離装置。
【請求項１０】
押圧ピンは、回転自在な球体をその先端に有する、
ことを特徴とする請求項８または９に記載のチップ分離装置。
【請求項１１】
押圧ピンは、押し込み可能なピン本体をその先端に有し、該ピン本体を外方に付勢するバネ材を有する、
ことを特徴とする請求項８または９に記載のチップ分離装置。
【請求項１２】
押圧ピンはｍ本の押圧ピンが所定方向に並び、且つ、Ｎ本の押圧ピンが所定方向と直行する方向に並ぶｍ×ｎ配列で押圧ホルダに配置されている、
ことを特徴とする請求項８〜１１の何れか１項に記載のチップ分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着シートに貼り付けられたプレートを切断することによって得たチップ群を個々のチップに分離するチップ分離方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造プロセスの多くは、粘着シートに貼り付けられたプレートを切断することによって得たチップ群を個々のチップに分離する工程を含んでいる。
【０００３】
例えば、積層セラミックコンデンサの製造プロセスは、未焼成セラミック層と未焼成内部導体層群とが交互に積層された積層プレートを得る工程と、粘着シートに貼り付けられた積層プレートを切断してチップ群（所定の長さ，幅及び高さを有する直方体形状のチップの群）を得る工程と、粘着シートに貼り付けられているチップ群を個々のチップに分離する工程とを少なくとも含んでいる。
【０００４】
図１はチップ群を個々のチップに分離する工程の一従来例を示すもので、図中の１１は分離部、１２は剥離部、１３は粘着シート、１４はチップ群、１５はチップである（特許文献１参照）。この従来例にあっては、粘着シート１３に貼り付けられたチップ群１４が分離部１１を通過するときに該粘着シート１３を湾曲させてチップ１５の一次分離を行い、続いて、チップ群１４が剥離部１２を通過するときに該粘着シート１３を湾曲させてチップ１５の二次分離を行うことで、所期の分離を行おうとしている。
【０００５】
図２はチップ群を個々のチップに分離する工程の他の従来例を示すもので、図中の２１はエアチャンバー、２１ａはＲ状凸部、２１ｂはＲ状凹部、２１ｃは空気吸引孔、２２は粘着シート、２３はチップ群、２４はチップである（特許文献２参照）。この従来例にあっては、粘着シート２２に貼り付けられたチップ群２３がＲ状凸部２１ａを通過するときに該粘着シート２２を湾曲させてチップ２４の一次分離を行い、続いて、チップ群２３がＲ状凹部２１ｂを通過するときに該粘着シート２２を湾曲させてチップ２４の二次分離を行うことで、所期の分離を行おうとしている。
【０００６】
図３は図１及び図２に示した従来例の分離作用を示すもので、図中のＳは粘着シート、Ｐは強制湾曲部、Ｃはチップである。図１及び図２に示した従来例にあっては、粘着シートＳが強制湾曲部Ｐを通過するときの湾曲を利用してチップＣの分離を行う。しかしながら、粘着シートＳの湾曲させても該湾曲部分と非湾曲部分の平行度は変化しないため、粘着シートＳが強制湾曲部Ｐを通過するときにチップＣの挙動は図中のＸＹ平面と平行な平面内での挙動（太線矢印参照）となる。また、この挙動によって粘着シートＳに対するチップＣの付着面積はある程度低減するが、該チップＣは粘着シートＳに対して該粘着シートＳの移動方向と直行する線状領域（実際は帯状領域）で付着したままである。
【０００７】
要するに、図１及び図２に示した従来例における分離作用は、チップＣに２次元的な挙動を得て、且つ、粘着シートＳに対するチップＣの付着面積を低減させることにあるが、このような分離作用では特にサイズが小さいチップＣや重量が軽いチップＣを粘着シートＳから分離することは極めて難しい。
【０００８】
尚、図２に示した従来例ではＲ状凹部２１ｂによって粘着シート２２を湾曲させているが、ここでの湾曲による分離作用は凹凸が逆転するのみで基本的には図３を用いて説明した分離作用と何ら変わらない。
【特許文献１】特開２００４−２３５４３６
【特許文献２】特開２００４−３５７９２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シートから確実に分離できるチップ分離方法と、該方法の実施に好適なチップ分離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため、本発明のチップ分離方法は、粘着シートに貼り付けられたプレートを切断することによって得たチップ群を個々のチップに分離するチップ分離方法において、チップ群が貼り付けられた粘着シートを所定のテンション下で保持し、該粘着シートのチップ群が存在する面とは反対側の面に少なくとも１つの押圧ピンを押し当てて粘着シートのチップ群が存在する面に山状隆起を形成すると共に、該山状隆起がチップ群を構成するチップに接触するように押圧ピンを相対的に移動させる、ことをその特徴とする。
【００１１】
このチップ分離方法によれば、山状隆起がチップ群を構成するチップに接触するように押圧ピンを相対的に移動させることによって、（１）チップは山状隆起の頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップに対する山状隆起の頂点の付着位置が変化すること、（３）チップに３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として各チップが粘着シートから分離される。この分離作用はチップのサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シートから確実に分離することができる。
【００１２】
また、本発明のチップ分離装置は、粘着シートに貼り付けられたプレートを切断することによって得たチップ群を個々のチップに分離するチップ分離装置において、チップ群が貼り付けられた粘着シートを所定のテンション下で保持する保持手段と、少なくとも１つの押圧ピンを有する押圧手段と、粘着シートのチップ群が存在する面とは反対側の面に押圧ピンを押し当てて粘着シートのチップ群が存在する面に山状隆起を形成すると共に、該山状隆起がチップ群を構成するチップに接触するように押圧手段を相対的に移動させる移動手段とを備える、ことをその特徴とする。
【００１３】
このチップ分離装置によれば、前記チップ分離方法を的確に実施して、前記同様の作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シートから確実に分離できるチップ分離方法と、該方法の実施に好適なチップ分離装置を提供することができる。
【００１５】
本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
［第１実施形態］
図４〜図７は本発明の第１実施形態を示すもので、図４はチップ分離装置の側面図、図５は図４に示したチップ分離装置の下面図、図６及び図７はチップ分離方法の説明図である。図中の３１は１対の保持部材、３１ａは保持溝、３２は押圧部材、３２ａは４本の押圧ピン、３３は粘着シート、３４はチップ群、３５はチップである。また、図中のＸ，Ｙ，Ｚは方向を示す記号である。
【００１７】
粘着シート３３は、プラスチックシートと該プラスチックシートの一面に設けられた感温性粘着層とから構成されている。プラスチックシートはポリエチレンフタレート等から成り、適度な可撓性を有している。感温性粘着層はアクリル系粘着材から成り、粘着力が温度にほぼ比例して変化する特性を有している。
【００１８】
チップ群３４は、Ｍ個のチップ３５が所定方向に並び、且つ、Ｎ個のチップ３５が所定方向と直行する方向に並ぶＭ×Ｎ配列で粘着シート３３に配置されている（Ｍ，Ｎは２以上の整数）。チップ群３４を構成するチップ３４はその高さ方向の一面を粘着シート３３に貼り付けられている。
【００１９】
具体的には、図に示したチップ群３４は、１２個のチップ３５が所定方向（図５におけるＹ方向）に並び、且つ、２４個のチップ３５が所定方向と直行する方向（図５におけるＸ方向）に並ぶ１２×２４配列で粘着シート３３に配置されている。図に示した各チップ３５は、長さ＞幅＝高さの寸法関係を有する直方体形状を成しており、所定方向（図５におけるＹ方向）の１２個のチップ３５は長さ方向の端面が向き合うようにして並び、且つ、所定方向と直行する方向（図５におけるＸ方向）の２４個のチップ３５は幅方向の端面が向き合うようにして並んでいる。
【００２０】
このチップ群３４は、粘着シート３３の感温性粘着層側に貼り付けられた矩形状プレートを回転刃や押し切り刃等を用いた切断手法によって格子状に切断することによって得られたものである。矩形状プレートは電子部品の製造プロセスで使用されるプレート、例えば未焼成セラミック層と未焼成内部導体層群とが交互に積層された積層セラミックコンデンサ用の積層プレートである。
【００２１】
各保持部材３１は、粘着シート３３のＸ方向両縁をそれぞれ収容して挟持する保持溝３１ａを有している。図示を省略したが、各保持部材３１は各保持溝３１ａを開閉するための可動部品と、該可動部品を駆動するためのエアシリンダ等の駆動源を備えている。また、少なくとも一方の保持部材３１は、粘着シート３３に所定のテンションをかけることができるようにＸ方向の変位を可能としている。テンションをかけるための変位はバネ材に基づくものであっても良いし、エアシリンダ等の駆動源によるものであっても良いし、手動操作によるものであっても良い。この各保持部材３１は請求範囲で言うところの「保持手段」として機能する。
【００２２】
押圧ピン３２ａは、ｍ本の押圧ピン３２ａが所定方向に並び、且つ、ｎ本の押圧ピン３２ａが所定方向と直行する方向に並ぶｍ×ｎ配列で押圧部材３２に配置されている（ｍ，ｎは１以上の整数）。
【００２３】
具体的には、図に示した押圧ピン３２ａは計４本で、１本の押圧ピン３２ａが所定方向（図５におけるＹ方向）に並び、且つ、４本の押圧ピン３２ａが等間隔で所定方向と直行する方向（図５におけるＸ方向）に並ぶ１×４配列で押圧部材３２に配置されている。各押圧ピン３２ａは、所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有している。また、隣接する押圧ピン３２ａの中心間隔ＣＬは、所定方向と直行する方向（図５におけるＸ方向）に並ぶチップＣの６個分の寸法にほぼ一致している。
【００２４】
図示を省略したが、押圧部材３２には、該押圧部材３２をＸ方向，Ｙ方向及びＺ方向にそれぞれ移動させる３次元駆動機構の可動部が連結されている。この押圧部材３２は請求範囲で言うところの「押圧手段」として機能し、３次元駆動機構の可動部は請求範囲で言うところの「移動手段」として機能する。
【００２５】
以下に、図４〜図７を参照して、第１実施形態に依るチップ分離方法について説明する。
【００２６】
まず、図４及び図５に示すように、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を用意し、チップ群３５が存在する面が下を向くように該粘着シート３３のＸ方向両縁を各保持部材３１の保持溝３１ａに挿入して保持する。そして、少なくとも一方の保持部材３１をＸ方向に変位させて、粘着シート３３に所定のテンションをかける。このテンションは粘着シート３３に弛みや皺が生じない程度の張力を意味するものであって、チップ群３４を構成する各チップ３５間のＸ方向隙間を拡大させるような張力を意味するものではない。
【００２７】
続いて、図４及び図５に示すように、粘着シート３３の上面側にチップ群３４と向き合わないように押圧部材３２を配置する。図４から分かるように、初期位置に配置された押圧部材３２の各押圧ピン３２ａをＹ方向から見たとき、最も左の押圧ピン３２ａの中心は最も左のチップ３５の中心線上に位置し、左から２番目の押圧ピン３２ａの中心は左から７番目のチップ３５の中心線上に位置し、左から３番目の押圧ピン３２ａの中心は左から１３番目のチップ３５の中心線上に位置し、左から４番目の押圧ピン３２ａの中心は左から１９番目のチップ３５の中心線上に位置している。
【００２８】
続いて、図７（Ａ）に示すように、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当て、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨを形成する。
【００２９】
この山状隆起ＵＨの形成は、前記３次元駆動機構の可動部をＺ方向に所定距離移動させることによって行う。粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当てると、該押し当て部分が局部的に盛り上がり、該盛り上がりによって粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨが形成される。
【００３０】
押圧ピン３２ａは所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有していることから、該押圧ピン３２ａを押し当てによって形成される各山状隆起ＵＨは頂点に丸みを帯びた略円錐形状となる。また、山状隆起ＵＨの高さは押圧ピン３２ａの押し込み距離にほぼ比例したものとなり、該山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径は押圧ピン３２ａの直径にほぼ比例したものとなる。
【００３１】
続いて、図６に示すように、各山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ１に沿って移動させる。各押圧ピン３２ａの行路ＯＲ１は、所定方向（図６におけるＹ方向）に並ぶ１２個のチップ３５の幅方向中心を通る所定方向（図６におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインと、所定方向と直行する方向（図６におけるＸ方向）と平行な計５本の直線ラインとを含んでいる。各行路ＯＲ１における所定方向と直行する方向（図６におけるＸ方向）と平行な計５本の直線ラインは、所定方向（図６におけるＹ方向）と平行な直線ラインをチップ３５の幅に相当する距離だけ所定方向と直行する方向（図６におけるＸ方向）にずらす役目を果たす。
【００３２】
行路ＯＲ１に沿う各押圧ピン３２ａの移動は、前記３次元駆動機構の可動部をＹ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆）の順にそれぞれ所定距離移動させることによって行う。各押圧ピン３２ａは球状曲面をその先端に有しており、しかも、粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ１に沿って移動させると各山状隆起ＵＨも行路ＯＲ１に沿って移動する。つまり、各山状隆起ＵＨは、粘着シート３３と各チップ３５との界面を行路ＯＲ１に沿って移動することになる。因みに、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ１に沿って移動させる動作は、同一行路ＯＲ１を往復させる等して必要に応じて２回以上繰り返しても良い。
【００３３】
詳しくは、図７（Ｂ）に示すように、粘着シート３３とチップ３５との界面に山状隆起ＵＨが入り込むと、該チップ３５は山状隆起ＵＨに押されて粘着シート３３から離れるように変位し、該チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減する。また、山状隆起ＵＨの移動に伴って、チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すると共に、該チップ３５に太線矢印で示すようなランダムな挙動（３次元的な挙動）が生じる。
【００３４】
要するに、（１）チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すること、（３）チップ３５に３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として各チップ３５が粘着シート３３から分離される。この分離作用はチップ３５のサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シート３３から確実に分離することができる。
【００３５】
前記分離作用のうちの作用（３）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの高さを極力高くすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの高さを高くし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの高さ（押圧ピン３２ａの押し込み距離）を設定することが望ましい。また、前記分離作用の上の作用（１）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を極力小さくすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を小さくし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径（押圧ピン３２ａの直径）を設定することが望ましい。因みに、図に示したチップ群３４の場合に好適な山状隆起ＵＨの高さと頂点を除く部分の最小径の目安は、山状隆起ＵＨの高さ＜チップ３５の高さ、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径＜チップ３５の高さ方向の一面の面積、となる。
【００３６】
また、粘着シート３３は感温性粘着層を有するものであるので、各山状隆起ＵＨを行路ＯＲ１に沿って移動させるときに該粘着シート３３を常温下、好ましくは低温下におけば、感温性粘着層の粘着力を低減させることによって前記分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【００３７】
粘着シート３３から分離したチップ３５は自重によって落下するため、該粘着シート３３の下側に容器等を配置しておけば分離後のチップ３５の回収を簡単に行うことができる。
【００３８】
尚、第１実施形態に示した行路ＯＲ１は、図６に示した行路に制限されるものではない。つまり、山状隆起ＵＳがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触する行路であれば、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。例えば、所定方向（図６におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインをチップ３５の幅方向中心からずれた位置としても、また、所定方向（図６におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインをチップ３５の幅方向端縁に沿う位置としても、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【００３９】
［第２実施形態］
図８及び図９は本発明の第２実施形態を示すもので、図８はチップ分離装置の側面図、図９は図８に示したチップ分離装置の下面図である。
【００４０】
この第２実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、粘着シート３３に貼り付けられたチップ群３４の向きを粘着シート３３の下面側から見て９０度変更した点にある。図９から分かるように、図に示したチップ群３４は、２４個のチップ３５が所定方向（図９におけるＹ方向）に並び、且つ、１２個のチップ３５が所定方向と直行する方向（図９におけるＸ方向）に並ぶ２４×１２配列で粘着シート３３に配置されている。他の構成は第１実施形態と同じであるので、同一符号を用いてその説明を省略する。
【００４１】
以下に、図８及び図９を参照して、第２実施形態に依るチップ分離方法について説明する。
【００４２】
まず、図８及び図９に示すように、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を用意し、チップ群３５が存在する面が下を向くように該粘着シート３３のＸ方向両縁を各保持部材３１の保持溝３１ａに挿入して保持する。そして、少なくとも一方の保持部材３１をＸ方向に変位させて、粘着シート３３に所定のテンションをかける。このテンションは粘着シート３３に弛みや皺が生じない程度の張力を意味するものであって、チップ群３４を構成する各チップ３５間のＸ方向隙間を拡大させるような張力を意味するものではない。
【００４３】
続いて、図８及び図９に示すように、粘着シート３３の上面側にチップ群３４と向き合わないように押圧部材３２を配置する。図８から分かるように、初期位置に配置された押圧部材３２の各押圧ピン３２ａをＹ方向から見たとき、最も左の押圧ピン３２ａの中心は最も左のチップ３５の中心線上に位置し、左から２番目の押圧ピン３２ａの中心は左から４番目のチップ３５の中心線上に位置し、左から３番目の押圧ピン３２ａの中心は左から７番目のチップ３５の中心線上に位置し、左から４番目の押圧ピン３２ａの中心は左から１０番目のチップ３５の中心線上に位置している。
【００４４】
続いて、図７（Ａ）と同様に、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当て、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨを形成する。
【００４５】
この山状隆起ＵＨの形成は、前記３次元駆動機構の可動部をＺ方向に所定距離移動させることによって行う。粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当てると、該押し当て部分が局部的に盛り上がり、該盛り上がりによって粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨが形成される。
【００４６】
押圧ピン３２ａは所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有していることから、該押圧ピン３２ａを押し当てによって形成される各山状隆起ＵＨは頂点に丸みを帯びた略円錐形状となる。また、山状隆起ＵＨの高さは押圧ピン３２ａの押し込み距離にほぼ比例したものとなり、該山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径は押圧ピン３２ａの直径にほぼ比例したものとなる。
【００４７】
続いて、図９に示すように、各山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ２に沿って移動させる。各押圧ピン３２ａの行路ＯＲ２は、所定方向（図９におけるＹ方向）に並ぶ２４個のチップ３５の長さ方向中心を通る所定方向（図９におけるＹ方向）と平行な計３本の直線ラインと、所定方向と直行する方向（図９におけるＸ方向）と平行な計２本の直線ラインとを含んでいる。各行路ＯＲ２における所定方向と直行する方向（図９におけるＸ方向）と平行な計２本の直線ラインは、所定方向（図９におけるＹ方向）と平行な直線ラインをチップ３５の長さに相当する距離だけ所定方向と直行する方向（図９におけるＸ方向）にずらす役目を果たす。
【００４８】
行路ＯＲ２に沿う各押圧ピン３２ａの移動は、前記３次元駆動機構の可動部をＹ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆）の順にそれぞれ所定距離移動させることによって行う。各押圧ピン３２ａは球状曲面をその先端に有しており、しかも、粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ２に沿って移動させると各山状隆起ＵＨも行路ＯＲ２に沿って移動する。つまり、各山状隆起ＵＨは、粘着シート３３と各チップ３５との界面を行路ＯＲ２に沿って移動することになる。因みに、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ２に沿って移動させる動作は、同一行路ＯＲ２を往復させる等して必要に応じて２回以上繰り返しても良い。
【００４９】
詳しくは、図７（Ｂ）と同様に、粘着シート３３とチップ３５との界面に山状隆起ＵＨが入り込むと、該チップ３５は山状隆起ＵＨに押されて粘着シート３３から離れるように変位し、該チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減する。また、山状隆起ＵＨの移動に伴って、チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すると共に、該チップ３５に太線矢印で示すようなランダムな挙動（３次元的な挙動）が生じる。
【００５０】
要するに、（１）チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すること、（３）チップ３５に３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として、粘着シート３３から各チップ３５が分離される。この分離作用はチップ３５のサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シート３３から確実に分離することができる。
【００５１】
前記分離作用のうちの作用（３）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの高さを極力高くすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの高さを高くし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの高さ（押圧ピン３２ａの押し込み距離）を設定することが望ましい。また、前記分離作用の上の作用（１）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を極力小さくすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を小さくし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径（押圧ピン３２ａの直径）を設定することが望ましい。因みに、図に示したチップ群３４の場合に好適な山状隆起ＵＨの高さと頂点を除く部分の最小径の目安は、山状隆起ＵＨの高さ＜チップ３５の高さ、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径＜チップ３５の高さ方向の一面の面積、となる。
【００５２】
また、粘着シート３３は感温性粘着層を有するものであるので、各山状隆起ＵＨを行路ＯＲ２に沿って移動させるときに該粘着シート３３を常温下、好ましくは低温下におけば、感温性粘着層の粘着力を低減させることによって前記の分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【００５３】
粘着シート３３から分離したチップ３５は自重によって落下するため、該粘着シート３３の下側に容器等を配置しておけば分離後のチップ３５の回収を簡単に行うことができる。
【００５４】
尚、第２実施形態に示した行路ＯＲ２は、図９に示した行路に制限されるものではない。つまり、山状隆起ＵＳがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触する行路であれば、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。例えば、所定方向（図９におけるＹ方向）と平行な計３本の直線ラインをチップ３５の長さ方向中心からずれた位置としても、また、所定方向（図９におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインをチップ３５の長さ方向端縁に沿う位置としても、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【００５５】
［第３実施形態］
図１０及び図１１は本発明の第３実施形態を示すもので、図１０はチップ分離装置の側面図、図１１は図１０に示したチップ分離装置の下面図である。
【００５６】
この第３実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、粘着シート３３に貼り付けられたチップ群３４の向きを粘着シート３３の下面側から見て４５度変更した点と、隣接する押圧ピン３２ａの中心間隔ＣＬをチップ群３４の向きに合わせて多少増加した押圧部材３２-1を用いた点にある。他の構成は第１実施形態と同じであるので、同一符号を用いてその説明を省略する。
【００５７】
以下に、図１０及び図１１を参照して、第３実施形態に依るチップ分離方法について説明する。
【００５８】
まず、図１０及び図１１に示すように、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を用意し、チップ群３５が存在する面が下を向くように該粘着シート３３のＸ方向両縁を各保持部材３１の保持溝３１ａに挿入して保持する。そして、少なくとも一方の保持部材３１をＸ方向に変位させて、粘着シート３３に所定のテンションをかける。このテンションは粘着シート３３に弛みや皺が生じない程度の張力を意味するものであって、チップ群３４を構成する各チップ３５間のＸ方向隙間を拡大させるような張力を意味するものではない。
【００５９】
続いて、図１０及び図１１に示すように、粘着シート３３の上面側にチップ群３４と向き合わないように押圧部材３２を配置する。
【００６０】
続いて、図７（Ａ）と同様に、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当て、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨを形成する。
【００６１】
この山状隆起ＵＨの形成は、前記３次元駆動機構の可動部をＺ方向に所定距離移動させることによって行う。粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当てると、該押し当て部分が局部的に盛り上がり、該盛り上がりによって粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨが形成される。
【００６２】
押圧ピン３２ａは所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有していることから、該押圧ピン３２ａを押し当てによって形成される各山状隆起ＵＨは頂点に丸みを帯びた略円錐形状となる。また、山状隆起ＵＨの高さは押圧ピン３２ａの押し込み距離にほぼ比例したものとなり、該山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径は押圧ピン３２ａの直径にほぼ比例したものとなる。
【００６３】
続いて、図１１に示すように、各山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ３に沿って移動させる。各押圧ピン３２ａの行路ＯＲ３は、図１１におけるＹ方向と平行な計５本の直線ライン（チップ群３４の１２個のチップ３５が並ぶ所定方向及び２４個のチップ３５が並ぶ所定方向と直行する方向と鋭角（４５度）を成す計５本の直線ライン）と、図１１におけるＸ方向と平行な計４本の直線ラインとを含んでいる。各行路ＯＲ３における図１１におけるＸ方向と平行な計４本の直線ラインは、所定方向及び所定方向と直行する方向と鋭角（４５度）を成す直線ラインを図１１におけるＸ方向に所定距離ずらず役目を果たす。
【００６４】
行路ＯＲ３に沿う各押圧ピン３２ａの移動は、前記３次元駆動機構の可動部をＹ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向の順にそれぞれ所定距離移動させることによって行う。各押圧ピン３２ａは球状曲面をその先端に有しており、しかも、粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ３に沿って移動させると各山状隆起ＵＨも行路ＯＲ３に沿って移動する。つまり、各山状隆起ＵＨは、粘着シート３３と各チップ３５との界面を行路ＯＲ３に沿って移動することになる。因みに、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ３に沿って移動させる動作は、同一行路ＯＲ３を往復させる等して必要に応じて２回以上繰り返しても良い。
【００６５】
詳しくは、図７（Ｂ）と同様に、粘着シート３３とチップ３５との界面に山状隆起ＵＨが入り込むと、該チップ３５は山状隆起ＵＨに押されて粘着シート３３から離れるように変位し、該チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減する。また、山状隆起ＵＨの移動に伴って、チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すると共に、該チップ３５に太線矢印で示すようなランダムな挙動（３次元的な挙動）が生じる。
【００６６】
要するに、（１）チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すること、（３）チップ３５に３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として、粘着シート３３から各チップ３５が分離される。この分離作用はチップ３５のサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シート３３から確実に分離することができる。
【００６７】
前記分離作用のうちの作用（３）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの高さを極力高くすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの高さを高くし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの高さ（押圧ピン３２ａの押し込み距離）を設定することが望ましい。また、前記分離作用の上の作用（１）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を極力小さくすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を小さくし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径（押圧ピン３２ａの直径）を設定することが望ましい。因みに、図に示したチップ群３４の場合に好適な山状隆起ＵＨの高さと頂点を除く部分の最小径の目安は、山状隆起ＵＨの高さ＜チップ３５の高さ、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径＜チップ３５の高さ方向の一面の面積、となる。
【００６８】
また、粘着シート３３は感温性粘着層を有するものであるので、各山状隆起ＵＨを行路ＯＲ３に沿って移動させるときに該粘着シート３３を常温下、好ましくは低温下におけば、感温性粘着層の粘着力を低減させることによって前記の分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【００６９】
粘着シート３３から分離したチップ３５は自重によって落下するため、該粘着シート３３の下側に容器等を配置しておけば分離後のチップ３５の回収を簡単に行うことができる。
【００７０】
尚、第３実施形態に示した行路ＯＲ３は、図１１に示した行路に制限されるものではない。つまり、山状隆起ＵＳがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触する行路であれば、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【００７１】
［第４実施形態］
図１２は本発明の第４実施形態を示すもので、図１２はチップ分離装置の下面図である。
【００７２】
この第４実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、１本の押圧ピン３２ａが１×１配列で配置された押圧部材３２-2を用いた点にある。他の構成は第１実施形態と同じであるので、同一符号を用いてその説明を省略する。
【００７３】
以下に、図１２を参照して、第４実施形態に依るチップ分離方法について説明する。
【００７４】
まず、図１２に示すように、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を用意し、チップ群３５が存在する面が下を向くように該粘着シート３３のＸ方向両縁を各保持部材３１の保持溝３１ａに挿入して保持する。そして、少なくとも一方の保持部材３１をＸ方向に変位させて、粘着シート３３に所定のテンションをかける。このテンションは粘着シート３３に弛みや皺が生じない程度の張力を意味するものであって、チップ群３４を構成する各チップ３５間のＸ方向隙間を拡大させるような張力を意味するものではない。
【００７５】
続いて、図１２に示すように、粘着シート３３の上面側にチップ群３４と向き合わないように押圧部材３２を配置する。図１２から分かるように、初期位置に配置された押圧部材３２の押圧ピン３２ａをＹ方向から見たとき、該押圧ピン３２ａの中心は最も左のチップ３５の中心線上に位置している。
【００７６】
続いて、図７（Ａ）と同様に、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に押圧ピン３２ａを押し当て、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨを形成する。
【００７７】
この山状隆起ＵＨの形成は、前記３次元駆動機構の可動部をＺ方向に所定距離移動させることによって行う。粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に押圧ピン３２ａを押し当てると、該押し当て部分が局部的に盛り上がり、該盛り上がりによって粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨが形成される。
【００７８】
押圧ピン３２ａは所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有していることから、該押圧ピン３２ａを押し当てによって形成される各山状隆起ＵＨは頂点に丸みを帯びた略円錐形状となる。また、山状隆起ＵＨの高さは押圧ピン３２ａの押し込み距離にほぼ比例したものとなり、該山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径は押圧ピン３２ａの直径にほぼ比例したものとなる。
【００７９】
続いて、図１２に示すように、山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように、押圧ピン３２ａを行路ＯＲ４に沿って移動させる。押圧ピン３２ａの行路ＯＲ４は、所定方向（図５におけるＹ方向）に並ぶ１２個のチップ３５の幅方向中心を通る所定方向（図６におけるＹ方向）と平行な計２４本の直線ラインと、所定方向と直行する方向（図６におけるＸ方向）と平行な計１１本の直線ラインとを含んでいる。行路ＯＲ４における所定方向と直行する方向（図６におけるＸ方向）と平行な計１１本の直線ラインは、所定方向（図６におけるＹ方向）と平行な直線ラインをチップ３５の幅に相当する距離だけ所定方向と直行する方向（図６におけるＸ方向）にずらす役目を果たす。
【００８０】
行路ＯＲ４に沿う押圧ピン３２ａの移動は、前記３次元駆動機構の可動部をＹ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，…Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆）の順にそれぞれ所定距離移動させることによって行う。押圧ピン３２ａは球状曲面をその先端に有しており、しかも、粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、押圧ピン３２ａを行路ＯＲ４に沿って移動させると山状隆起ＵＨも行路ＯＲ４に沿って移動する。つまり、各山状隆起ＵＨは、粘着シート３３と各チップ３５との界面を行路ＯＲ４に沿って移動することになる。因みに、押圧ピン３２ａを行路ＯＲ４に沿って移動させる動作は、同一行路ＯＲ４を往復させる等して必要に応じて２回以上繰り返しても良い。
【００８１】
詳しくは、図７（Ｂ）と同様に、粘着シート３３とチップ３５との界面に山状隆起ＵＨが入り込むと、該チップ３５は山状隆起ＵＨに押されて粘着シート３３から離れるように変位し、該チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減する。また、山状隆起ＵＨの移動に伴って、チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すると共に、該チップ３５に太線矢印で示すようなランダムな挙動（３次元的な挙動）が生じる。
【００８２】
要するに、（１）チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すること、（３）チップ３５に３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として、粘着シート３３から各チップ３５が分離される。この分離作用はチップ３５のサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シート３３から確実に分離することができる。
【００８３】
前記分離作用のうちの作用（３）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの高さを極力高くすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの高さを高くし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの高さ（押圧ピン３２ａの押し込み距離）を設定することが望ましい。また、前記分離作用の上の作用（１）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を極力小さくすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を小さくし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径（押圧ピン３２ａの直径）を設定することが望ましい。因みに、図に示したチップ群３４の場合に好適な山状隆起ＵＨの高さと頂点を除く部分の最小径の目安は、山状隆起ＵＨの高さ＜チップ３５の高さ、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径＜チップ３５の高さ方向の一面の面積、となる。
【００８４】
また、粘着シート３３は感温性粘着層を有するものであるので、各山状隆起ＵＨを行路ＯＲ４に沿って移動させるときに該粘着シート３３を常温下、好ましくは低温下におけば、感温性粘着層の粘着力を低減させることによって前記の分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【００８５】
粘着シート３３から分離したチップ３５は自重によって落下するため、該粘着シート３３の下側に容器等を配置しておけば分離後のチップ３５の回収を簡単に行うことができる。
【００８６】
尚、第４実施形態に示した行路ＯＲ４は、図６に示した行路に制限されるものではない。つまり、山状隆起ＵＳがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触する行路であれば、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【００８７】
また、第４実施形態に示した１×１配列の押圧ピン３２ａを有する押圧部材３２-2は、前記第２，第３実施形態で説明したチップ分離方法にも行路修正を行うだけで適用することができる。
【００８８】
［第５実施形態］
図１３は本発明の第５実施形態を示すもので、図１３はチップ分離装置の下面図である。
【００８９】
この第５実施形態が前記第２実施形態と異なるところは、１本の押圧ピン３２ａが所定方向（図１３におけるＹ方向）に並び、且つ、１２本の押圧ピン３２ａが等間隔で所定方向と直行する方向（図１３におけるＸ方向）に並ぶ１×１２配列で配置された押圧部材３２-3を用いた点にある。所定方向と直行する方向（図１３におけるＸ方向）に並ぶ１２本の押圧ピン３２ａは、所定方向と直行する方向（図１３におけるＸ方向）に１２個のチップ３５に対応している。他の構成は第２実施形態と同じであるので、同一符号を用いてその説明を省略する。
【００９０】
以下に、図１３を参照して、第５実施形態に依るチップ分離方法について説明する。
【００９１】
まず、図１３に示すように、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を用意し、チップ群３５が存在する面が下を向くように該粘着シート３３のＸ方向両縁を各保持部材３１の保持溝３１ａに挿入して保持する。そして、少なくとも一方の保持部材３１をＸ方向に変位させて、粘着シート３３に所定のテンションをかける。このテンションは粘着シート３３に弛みや皺が生じない程度の張力を意味するものであって、チップ群３４を構成する各チップ３５間のＸ方向隙間を拡大させるような張力を意味するものではない。
【００９２】
続いて、図１３に示すように、粘着シート３３の上面側にチップ群３４と向き合わないように押圧部材３２を配置する。図１３から分かるように、初期位置に配置された押圧部材３２の各押圧ピン３２ａをＹ方向から見たとき、各押圧ピン３２ａの中心は各チップ３５の中心線上に位置している。
【００９３】
続いて、図７（Ａ）と同様に、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当て、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨを形成する。
【００９４】
この山状隆起ＵＨの形成は、前記３次元駆動機構の可動部をＺ方向に所定距離移動させることによって行う。粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当てると、該押し当て部分が局部的に盛り上がり、該盛り上がりによって粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨが形成される。
【００９５】
押圧ピン３２ａは所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有していることから、該押圧ピン３２ａを押し当てによって形成される各山状隆起ＵＨは頂点に丸みを帯びた略円錐形状となる。また、山状隆起ＵＨの高さは押圧ピン３２ａの押し込み距離にほぼ比例したものとなり、該山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径は押圧ピン３２ａの直径にほぼ比例したものとなる。
【００９６】
続いて、図１３に示すように、各山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ５に沿って移動させる。各押圧ピン３２ａの行路ＯＲ５は、所定方向（図９におけるＹ方向）に並ぶ２４個のチップ３５の長さ方向中心を通る所定方向（図９におけるＹ方向）と平行な１本の直線ラインを含んでいる。
【００９７】
行路ＯＲ５に沿う各押圧ピン３２ａの移動は、前記３次元駆動機構の可動部をＹ方向に所定距離移動させることによって行う。各押圧ピン３２ａは球状曲面をその先端に有しており、しかも、粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ５に沿って移動させると各山状隆起ＵＨも行路ＯＲ５に沿って移動する。つまり、各山状隆起ＵＨは、粘着シート３３と各チップ３５との界面を行路ＯＲ５に沿って移動することになる。因みに、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ５に沿って移動させる動作は、同一行路ＯＲ５を往復させる等して必要に応じて２回以上繰り返しても良い。
【００９８】
詳しくは、図７（Ｂ）と同様に、粘着シート３３とチップ３５との界面に山状隆起ＵＨが入り込むと、該チップ３５は山状隆起ＵＨに押されて粘着シート３３から離れるように変位し、該チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減する。また、山状隆起ＵＨの移動に伴って、チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すると共に、該チップ３５に太線矢印で示すようなランダムな挙動（３次元的な挙動）が生じる。
【００９９】
要するに、（１）チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すること、（３）チップ３５に３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として、粘着シート３３から各チップ３５が分離される。この分離作用はチップ３５のサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シート３３から確実に分離することができる。
【０１００】
前記分離作用のうちの作用（３）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの高さを極力高くすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの高さを高くし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの高さ（押圧ピン３２ａの押し込み距離）を設定することが望ましい。また、前記分離作用の上の作用（１）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を極力小さくすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を小さくし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径（押圧ピン３２ａの直径）を設定することが望ましい。因みに、図に示したチップ群３４の場合に好適な山状隆起ＵＨの高さと頂点を除く部分の最小径の目安は、山状隆起ＵＨの高さ＜チップ３５の高さ、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径＜チップ３５の高さ方向の一面の面積、となる。
【０１０１】
また、粘着シート３３は感温性粘着層を有するものであるので、各山状隆起ＵＨを行路ＯＲ５に沿って移動させるときに該粘着シート３３を常温下、好ましくは低温下におけば、感温性粘着層の粘着力を低減させることによって前記の分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【０１０２】
粘着シート３３から分離したチップ３５は自重によって落下するため、該粘着シート３３の下側に容器等を配置しておけば分離後のチップ３５の回収を簡単に行うことができる。
【０１０３】
尚、第５実施形態に示した行路ＯＲ５は、図１３に示した行路に制限されるものではない。つまり、山状隆起ＵＳがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触する行路であれば、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【０１０４】
また、第５実施形態に示した１×１２配列の押圧ピン３２ａを有する押圧部材３２-3は、前記第１，第３実施形態で説明したチップ分離方法にも行路修正及び押圧ピン３２ａの位置修正を行うだけで適用することができる。
【０１０５】
［第６実施形態］
図１４は本発明の第６実施形態を示すもので、図１４はチップ分離装置の下面図である。
【０１０６】
この第６実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、２本の押圧ピン３２ａが所定方向（図１４におけるＹ方向）に並び、且つ、４本の押圧ピン３２ａが等間隔で所定方向と直行する方向（図１４におけるＸ方向）に並ぶ２×４配列で配置された押圧部材３２-4を用いた点にある。他の構成は第１実施形態と同じであるので、同一符号を用いてその説明を省略する。
【０１０７】
以下に、図１４を参照して、第６実施形態に依るチップ分離方法について説明する。
【０１０８】
まず、図１４に示すように、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３を用意し、チップ群３５が存在する面が下を向くように該粘着シート３３のＸ方向両縁を各保持部材３１の保持溝３１ａに挿入して保持する。そして、少なくとも一方の保持部材３１をＸ方向に変位させて、粘着シート３３に所定のテンションをかける。このテンションは粘着シート３３に弛みや皺が生じない程度の張力を意味するものであって、チップ群３４を構成する各チップ３５間のＸ方向隙間を拡大させるような張力を意味するものではない。
【０１０９】
続いて、図１４に示すように、粘着シート３３の上面側にチップ群３４と向き合わないように押圧部材３２を配置する。図１４から分かるように、初期位置に配置された押圧部材３２の各押圧ピン３２ａをＹ方向から見たとき、最も左の押圧ピン３２ａの中心は最も左のチップ３５の中心線上に位置し、左から２番目の押圧ピン３２ａの中心は左から７番目のチップ３５の中心線上に位置し、左から３番目の押圧ピン３２ａの中心は左から１３番目のチップ３５の中心線上に位置し、左から４番目の押圧ピン３２ａの中心は左から１９番目のチップ３５の中心線上に位置している。
【０１１０】
続いて、図７（Ａ）と同様に、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当て、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨを形成する。
【０１１１】
この山状隆起ＵＨの形成は、前記３次元駆動機構の可動部をＺ方向に所定距離移動させることによって行う。粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、粘着シート３３のチップ群３４が存在する面とは反対側の面（粘着シート３３の上面）に各押圧ピン３２ａを押し当てると、該押し当て部分が局部的に盛り上がり、該盛り上がりによって粘着シート３３のチップ群３４が存在する面（粘着シート３３の下面）に山状隆起ＵＨが形成される。
【０１１２】
押圧ピン３２ａは所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有していることから、該押圧ピン３２ａを押し当てによって形成される各山状隆起ＵＨは頂点に丸みを帯びた略円錐形状となる。また、山状隆起ＵＨの高さは押圧ピン３２ａの押し込み距離にほぼ比例したものとなり、該山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径は押圧ピン３２ａの直径にほぼ比例したものとなる。
【０１１３】
続いて、図１４に示すように、各山状隆起ＵＨがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触するように、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ６に沿って移動させる。各押圧ピン３２ａの行路ＯＲ６は、所定方向（図１４におけるＹ方向）に並ぶ１２個のチップ３５の幅方向中心を通る所定方向（図１４におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインと、所定方向と直行する方向（図１４におけるＸ方向）と平行な計５本の直線ラインとを含んでいる。各行路ＯＲ６における所定方向と直行する方向（図１４におけるＸ方向）と平行な計５本の直線ラインは、所定方向（図１４におけるＹ方向）と平行な直線ラインをチップ３５の幅に相当する距離だけ所定方向と直行する方向（図１４におけるＸ方向）にずらす役目を果たす。
【０１１４】
行路ＯＲ６に沿う各押圧ピン３２ａの移動は、前記３次元駆動機構の可動部をＹ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆），Ｘ方向，Ｙ方向，Ｘ方向，Ｙ方向（１つ前のＹ方向とは向きが逆）の順にそれぞれ所定距離移動させることによって行う。各押圧ピン３２ａは球状曲面をその先端に有しており、しかも、粘着シート３３は可撓性を有するものであるため、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ６に沿って移動させると各山状隆起ＵＨも行路ＯＲ６に沿って移動する。つまり、各山状隆起ＵＨは、粘着シート３３と各チップ３５との界面を行路ＯＲ６に沿って移動することになる。因みに、各押圧ピン３２ａを行路ＯＲ６に沿って移動させる動作は、同一行路ＯＲ６を往復させる等して必要に応じて２回以上繰り返しても良い。
【０１１５】
詳しくは、図７（Ｂ）と同様に、粘着シート３３とチップ３５との界面に山状隆起ＵＨが入り込むと、該チップ３５は山状隆起ＵＨに押されて粘着シート３３から離れるように変位し、該チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減する。また、山状隆起ＵＨの移動に伴って、チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すると共に、該チップ３５に太線矢印で示すようなランダムな挙動（３次元的な挙動）が生じる。
【０１１６】
要するに、（１）チップ３５は山状隆起ＵＨの頂点のみに付着した点接触に近い状態となって付着面積が低減すること、（２）チップ３５に対する山状隆起ＵＨの頂点の付着位置が変化すること、（３）チップ３５に３次元的な挙動が生じること、を主たる分離作用として各チップ３５が粘着シート３３から分離される。この分離作用はチップ３５のサイズや重量に拘わらず同様に生じるものであるため、サイズが小さいチップや重量が軽いチップであってもこれらを粘着シート３３から確実に分離することができる。
【０１１７】
前記分離作用のうちの作用（３）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの高さを極力高くすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの高さを高くし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの高さ（押圧ピン３２ａの押し込み距離）を設定することが望ましい。また、前記分離作用の上の作用（１）を効果的に得るには山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を極力小さくすることが好ましいが、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径を小さくし過ぎると押圧ピン３２ａによって粘着シート３３に損傷を与えたり、また、押圧ピン３２ａの移動が滑らかに行えなくなる可能性があるため、これらを考慮の上で山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径（押圧ピン３２ａの直径）を設定することが望ましい。因みに、図に示したチップ群３４の場合に好適な山状隆起ＵＨの高さと頂点を除く部分の最小径の目安は、山状隆起ＵＨの高さ＜チップ３５の高さ、山状隆起ＵＨの頂点を除く部分の最小径＜チップ３５の高さ方向の一面の面積、となる。
【０１１８】
また、計８本の押圧ピン３２ａが、２本の押圧ピンが所定方向（図１４におけるＹ方向）に並び、且つ、４本の押圧ピン３２ａが等間隔で所定方向と直行する方向（図１４におけるＸ方向）に並ぶ２×４配列で押圧部材３２-4に配置されているため、行路ＯＲ６中のＹ方向と平行な計６本の直線ラインにおいては所定間隔の２つの山状隆起ＵＨが該直線ラインに沿って移動することになる。つまり、行路ＯＲ６中のＹ方向と平行な計６本の直線ラインにおいては、２つの山状隆起ＵＨによって前記分離作用が２度繰り返されることになるため、前記分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【０１１９】
さらに、粘着シート３３は感温性粘着層を有するものであるので、各山状隆起ＵＨを行路ＯＲ６に沿って移動させるときに該粘着シート３３を常温下、好ましくは低温下におけば、感温性粘着層の粘着力を低減させることによって前記分離作用を効果的に発揮させて、粘着シート３３からのチップ３５の分離効率を高めることができる。
【０１２０】
粘着シート３３から分離したチップ３５は自重によって落下するため、該粘着シート３３の下側に容器等を配置しておけば分離後のチップ３５の回収を簡単に行うことができる。
【０１２１】
尚、第６実施形態に示した行路ＯＲ６は、図１４に示した行路に制限されるものではない。つまり、山状隆起ＵＳがチップ群３４を構成するチップ３５全てに接触する行路であれば、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。例えば、所定方向（図１４におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインをチップ３５の幅方向中心からずれた位置としても、また、所定方向（図１４におけるＹ方向）と平行な計６本の直線ラインをチップ３５の幅方向端縁に沿う位置としても、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【０１２２】
また、第５実施形態に示した２×４配列の押圧ピン３２ａを有する押圧部材３２-4は、前記第２，第３実施形態で説明したチップ分離方法にも行路修正及び押圧ピン３２ａの位置修正を行うだけで適用することができる。
【０１２３】
［他の実施形態］
（１）前記第１〜第６実施形態では押圧ピン３２ａとして所定直径及び所定長さを有する棒状部材から成り、且つ、球状曲面をその先端に有するものを示したが、図１５（Ａ）に示す押圧ピン３２ｂ、或いは、図１５（Ｂ）に示す押圧ピン３２ｃをその代わりに用いても良い。
【０１２４】
図１５（Ａ）に示した押圧ピン３２ｂは、ピン本体３２ｂ１の先端部に設けられた空洞３２ｂ２にバネ材３２ｂ３が配置され、ピン本体３２ｂ１の先端に回転自在な球体３２ｂ４が配置され、該球体３２ｂ４がバネ材３２ｂ３によって外方に付勢された構造を備えている。この押圧ピン３２ｂは回転自在な球体３２ｂ４をその先端に有するため、押圧ピン３２ｂを行路に沿って移動させるときの抵抗を回転自在な球体３２ｂ４によって低減して行路に沿った移動を滑らかに行うことができる。
【０１２５】
図１５（Ｂ）に示した押圧ピン３２ｃは、ホルダ３２ｃ１の先端部にスリーブ３２ｃ２が配置され、該スリーブ３２ｃ２内にバネ材３２ｃ３が配置され、スリーブ３２ｃ２の先端に押し込み可能なピン本体３２ｃ４が配置され、該ピン本体３２ｃ４がバネ材３２ｃ３によって外方に付勢された構造を備えている。この押圧ピン３２ｃ４は押し込み可能なピン本体３２ｃ４をその先端に有し、該ピン本体３２ｃ４を外方に付勢するはバネ材３２ｃ３を有するため、粘着シート３３に対するピン本体３２ｃ４の押し当て位置に拘わらず、常に一定の押し当て力にて山状隆起ＵＨを形成することができる。
【０１２６】
（２）前記第１〜第３実施形態では４本の押圧ピン３２ａが１×４配列では配置された押圧部材３２，３２-1を示し、前記第４実施形態では１本の押圧ピン３２ａが１×１配列で配置された押圧部材３２-2を示し、前記第５実施形態では１２本の押圧ピン３２ａが１×１２配列で配置された押圧部材３２-3を示し、前記第６実施形態では８本の押圧ピン３２ａが２×４配列で配置された押圧部材３２-4を示したが、押圧ピン３２ａの数及びその配列は任意に変更しても良い。
【０１２７】
（３）前記第１〜第６実施形態では、チップ群３５が存在する面が下を向くように粘着シート３３を配置して、該粘着シート３３から分離したチップ３５を自重によって落下させるものを示したが、チップ群３５が存在する面が横を向くように粘着シート３３を配置しても前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。この場合には、上から下に向かってエアが流れる通風ダクト内に装置全体を配置して、エアの流れを利用して粘着シート３３から分離したチップ３５の落下及び回収を促進するようにしても良い。
【０１２８】
（４）前記第１〜第６実施形態では、チップ群３４が貼り付けられた粘着シート３３に対して押圧ピン３２ａを移動させるものを示したが、押圧ピン３２ａを移動させずに粘着シート３３を移動させたり、または、両方を移動させることによって、相対的な移動が押圧ピン３２ａに得られるようにしても良い。
【０１２９】
（５）前記第１〜第６実施形態では、チップ群３４を構成する各チップ３５として長さ＞幅＝高さの寸法関係を有する直方体形状のものを示したが、各チップ３５が長さ＞幅＞高さの寸法関係を有する直方体形状のものである場合でも、また、各チップ３５が直方体形状以外の形状を有するものである場合でも、前記同様の分離作用を生じさせて前記同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】チップ群を個々のチップに分離する工程の一従来例を示す図である。
【図２】チップ群を個々のチップに分離する工程の他の従来例を示す図である。
【図３】図１及び図２に示した従来例の分離作用を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態を示す、チップ分離装置の側面図である。
【図５】図４に示したチップ分離装置の下面図である。
【図６】チップ分離方法の説明図である。
【図７】チップ分離方法の説明図である。
【図８】本発明の第２実施形態を示す、チップ分離装置の側面図である。
【図９】図８に示したチップ分離装置の下面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態を示す、チップ分離装置の側面図である。
【図１１】図１０に示したチップ分離装置の下面図である。
【図１２】図１２は本発明の第４実施形態を示す、チップ分離装置の下面図である。
【図１３】本発明の第５実施形態を示す、チップ分離装置の下面図である。
【図１４】本発明の第６実施形態を示す、チップ分離装置の下面図である。
【図１５】押圧ピンの他の実施形態を示す部分縦断面図である。
【符号の説明】
【０１３１】
３１…保持部材、３２，３２-1，３２-2，３２-3，３２-4…押圧部材、３２ａ，３２ｂ，３２ｃ…押圧ピン、３３…粘着シート、３４…チップ群、３５…チップ、ＯＲ１〜ＯＲ６…行路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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