(57)【要約】【課題】電気チャネル自己検査式半導体試験システムの提供。【解決手段】本電気チャネル自己検査式半導体試験システムは、試験ヘッド、複数のパラメータ検出ユニット、自己検査コントローラを包含し、該試験ヘッド内に複数の試験回路板が挿入され、それは複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具備する。自己検査コントローラが異なる検査信号を各電源チャネル、伝送チャネル、及び駆動チャネルにそれぞれ入力し、さらに複数のパラメータ検出ユニットにより各電源チャネル、伝送チャネル、及び駆動チャネルが上述の検査信号を受けて発生する応答信号を検出し並びに判断する。これにより本発明はウエハ試験の前に、各電気チャネルのオープンループ或いは短絡状態が正常であるか、或いは漏電が発生しているか否かを自己検査できる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、
試験ヘッドであって、複数の試験回路板が挿入され、該複数の試験回路板が複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具えている、上記試験ヘッドと、
複数のパラメータ検出ユニットであって、それぞれが該複数の試験回路板の該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルに接続された、上記複数のパラメータ検出ユニットと、
自己検査コントローラであって、該複数の試験回路板の該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルにそれぞれ電気的に接続され、該自己検査コントローラは異なる検査信号を各該電源チャネル、各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルにそれぞれ入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該電源チャネル、各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが上述の検査信号を受けて発生する応答信号を検出し並びにそれを出力する、上記自己検査コントローラと、
を包含したことを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
【請求項２】
請求項１記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該自己検査コントローラに電気的に接続されたメモリを具え、該メモリ内に一組の合格パラメータが保存され、該自己検査コントローラが該応答信号をキャプチャし並びに該メモリ内の該一組の合格パラメータと対比して符合しない時、対応するアラーム信号を出力することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
【請求項３】
請求項２記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該一組の合格パラメータは合格電流範囲、及び合格電圧範囲を包含し、該検査信号は検査電圧と検査電流を包含し、
該自己検査コントローラは該検査電圧を各該電源チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットはそれぞれ各電源チャネルが上述の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該合格電流範囲と対比し、該自己検査コントローラは該検査電流を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが該検査電流を受けて発生する応答電圧を検出し並びに該メモリ内に保存された該合格電圧範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
【請求項４】
請求項２記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該一組の合格パラメータは別の合格電流範囲を包含し、該検査信号は別の検査電圧を包含し、
該自己検査コントローラは該別の検査電圧を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが上述の別の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該別の合格電流範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
【請求項５】
請求項４記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該一組の合格パラメータはさらに別の合格電流範囲を包含し、該検査信号はさらに別の検査電圧を包含し、
該自己検査コントローラは該別の検査電圧を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが上述のさらに別の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存されたさらに別の合格電流範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
【請求項６】
請求項１記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、中央サーバーをさらに包含し、該中央サーバーはネットワークを通して該自己検査コントローラと電気的に接続され、該自己検査コントローラは該応答信号をキャプチャし並びに該ネットワークを通してそれを該中央サーバー内に保存することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気チャネル自己検査式半導体試験システムに係り、特に集積回路パッケージ試験設備に適用される検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体のパッケージ試験産業中、試験設備機器は絶対の重要な役割を果たす。そのうち、設備機器の故障或いは異常は往々にして相当に大きなコスト損失をもたらす。さらに、多くの状況で故障或いは異常が発生しても、機械設備自身は主動的に通報或いは告知できず、故障或いは異常の開始点をさかのぼることも難しく、常々厳重なリコール事件をもたらし、それはコストのみならず取り返しのつかない商業上の信用も失わせる。
【０００３】
試験設備機器の電気チャネルはポゴピンの電源、データ伝送及び駆動等の用途を請け負う。ポゴピンは直接チップ、或いはウエハー等と接触して試験し、ポゴピンにより試験パラメータを取得した後、さらに電気チャネルを通してそれを伝送する。電気チャネルの数量は数百から数千にも達し、且つ肉眼で明らかには見えないため、電気チャネルの検査は困難な点を有している。さらに、電気チャネルは相当に重要な役割を果たすため、そのうち一つの電気チャネルに損壊或いは異常が発生しても、予期せぬ開路、短絡或いは漏電等の状況が発生して全体の試験品質或いは結果に影響が生じ得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、世界の大きな半導体試験設備のメーカーは各自がその機械の自己検査の技術を有しているが、それはいずれも設備全体の検査を行うものであり、機械各部の部品、各サブシステム等を逐一検査するために、往々にして相当な時間と手間がかかる。既存の技術には、速やかで有効な検査を行えるものはなく、並びに全てのメーカーの生産した設備の電気チャネル検査を行えるシステム或いは方法は未だない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は一種の電気チャネル自己検査式半導体試験システムを提供し、それは、試験ヘッド、複数のパラメータ検出ユニット、自己検査コントローラを包含し、該試験ヘッド内に複数の試験回路板が挿入され、該複数の試験回路板は複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具備する。このほか、複数の該パラメータ検出ユニットはそれぞれ複数の該試験回路板の複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルに電気的に接続される。
【０００６】
そのうち、自己検査コントローラは、複数の該試験回路板の複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、複数の駆動チャネル、及び複数のパラメータ検出ユニットにそれぞれ電気的に接続される。また、自己検査コントローラは異なった検査信号を各電源チャネル、各伝送チャネル、及び各駆動チャネルにそれぞれ入力する。複数の該パラメータ検出ユニットは各電源チャネル、各伝送チャネル、及び各駆動チャネルが上述の検査信号を受け取った後に対応して発生する応答信号を検査する。これにより、本発明はウエハーを試験する作業の前に、まず各電気チャネルの開路、短絡状態が正常であるか、或いは漏電状態が発生していないかを自己検査する。
【０００７】
さらに、本発明はさらにメモリを包含してもよく、該メモリは自己検査コントローラに電気的に接続され、該メモリ内に一組の合格パラメータが保存される。自己検査コントローラは応答信号をキャプチャし並びに該メモリ内の合格パラメータと対比し、符合しない時、対応するアラーム信号を出力する。当然、もし対比結果が符合する状況では、正常信号を出力できる。アラーム信号は音、光電アラーム信号とされ得るほか、対比結果フラグとされ得る。同様に、本発明の自己検査コントローラも応答信号をキャプチャし並びにディスプレイにより応答信号を表示することが可能で、これにより判断を行わずに直接応答信号を表示できる。
【０００８】
しかし、本発明は自己検査コントローラに接続されたアラームをさらに包含し得て、自己検査コントローラは該アラームを通して対応するアラーム信号を出力する。アラームはディスプレイ、ブザー、バイブレーター、或いはその他の任意の音、光電のアラーム装置とされ得る。ゆえに本発明は自己検査と通報出力の機能を提供し得る。
【０００９】
このほか、本発明の合格パラメータは合格電流範囲及び合格電圧範囲を包含し得る。検査信号は検査電圧及び検査電流を包含し得る。そのうち、自己検査コントローラは検査電圧を検査電圧を各電源チャネルに入力し、複数のパラメータ検出ユニットは各電源チャネルが上述の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びにメモリの合格電流範囲と対比する。これにより、各電源チャネルが開路状態或いは短絡状態にあるかを検査する。
【００１０】
このほか、本発明の自己検査コントローラは検査電流を各伝送チャネル及び各駆動チャネルに入力し、複数のパラメータ検出ユニットは各伝送チャネル及び各駆動チャネルが上述の検査電流を受けて発生する応答電圧を検出し並びにメモリに記録されている合格電圧範囲と対比する。そのうち、入力検査電流は検査電圧と区別するのに便利であり、並びに入力検査電流に限定されるわけではなく、検査電圧を入力して電流を検出することも可能である。各伝送チャネル、及び各駆動チャネルの検査は開路、短絡状態を検査するものである。
【００１１】
さらに、本発明の合格パラメータ範囲は別の合格電流範囲を包含し得て、検査信号は別の検査電圧を包含し得る。そのうち、自己検査コントローラは別の検査電圧を各伝送チャネル、及び各駆動チャネルに入力し、複数のパラメータ検出ユニットは各伝送チャネル及び各駆動チャネルが上述の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びにメモリに記憶された別の合格電流範囲と対比する。これにより、本発明は各伝送チャネル、及び各駆動チャネルに漏電状況が発生しているかを検査するのに用いられる。
【００１２】
好ましくは、本発明の合格パラメータ範囲はさらに別の合格電流範囲を包含し得て、検査信号はさらに別の検査電圧を包含し得る。そのうち、自己検査コントローラはさらに別の検査電圧を各伝送チャネル、及び各駆動チャネルに入力し、複数のパラメータ検出ユニットが各伝送チャネル及び各駆動チャネルが上述の検査電圧を受けて発生した応答電流を検出し並びにメモリに記憶されたさらに別の合格電流範囲と対比する。これにより、自己検査コントローラはさらに別の検査電圧を入力して漏電の状況の検査に用いる。
【００１３】
また、本発明は自己検査コントローラに電気的に接続されたさらにメモリを包含し得て、自己検査コントローラはさらに応答信号をキャプチャして該メモリ内に保存し、検査結果を記録する。このほか、本発明はさらに中央サーバーを包含し得て、それは、ネットワークを通して自己検査コントローラと電気的に接続される。自己検査コントローラは応答信号をキャプチャし並びにネットワークを通して該中央サーバー内に保存可能で、中央サーバーは主に記録及び管理に用いられる。これにより、本発明は拡充可能で、中央サーバーにより複数台の試験機の管理及び記録を行える。
【発明の効果】
【００１４】
本電気チャネル自己検査式半導体試験システムは、試験ヘッド、複数のパラメータ検出ユニット、自己検査コントローラを包含し、該試験ヘッド内に複数の試験回路板が挿入され、それは複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具備する。自己検査コントローラが異なる検査信号を各電源チャネル、伝送チャネル、及び駆動チャネルにそれぞれ入力し、さらに複数のパラメータ検出ユニットにより各電源チャネル、伝送チャネル、及び駆動チャネルが上述の検査信号を受けて発生する応答信号を検出し並びに判断する。これにより本発明はウエハ試験の前に、各電気チャネルのオープンループ或いは短絡状態が正常であるか、或いは漏電が発生しているか否かを自己検査できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例の半導体試験設備の全体表示図である。
【図２】本発明の好ましい実施例の試験ヘッドのａ位置の時の分解図である。
【図３】本発明の好ましい実施例の試験ヘッドのｂ位置の時のベースとの立体図である。
【図４】本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例のシステム構造図である。
【図５】本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例のフローチャートである。
【図６】本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例の開路、短絡の検査フローチャートである。
【図７】本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例の漏電検査のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１、図２、及び図３は、本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例の半導体試験設備の全体表示図、本発明の好ましい実施例の試験ヘッドのａ位置の時の分解図、及び本発明の好ましい実施例の試験ヘッドのｂ位置の時のベースとの立体図である。これらの図には試験機１が示され、試験機１の上方に試験ヘッド（ｔｅｓｔｅｒ  ｈｅａｄ）３があり、試験ヘッド３内に複数の試験回路板（Ｐｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ  Ｃａｒｄ：ＰＥ  Ｃａｒｄ）２が挿入される。試験ヘッド３の下表面にロードボード（Ｌｏａｄ  ｂｏａｒｄ）３１が組み付けられている。ポゴタワー（Ｐｏｇｏ
Ｔｏｗｅｒ）３２がロードボード３１に組み付けられ、ポゴタワー３２に複数のポゴピン３２１が取付けられている。
【００１７】
図４は本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例のシステム構造図である。そのうち、複数の試験回路板２は複数の電源チャネル（Ｐｏｗｅｒ  ｃｈａｎｎｅｌ）２１、複数の伝送チャネル（Ｉ／Ｏ  Ｃｈａｎｎｅｌ）２２、及び複数の駆動チャネル（Ｄｒｉｖｅ  Ｃｈａｎｎｅｌ）２３を具えている。そのうち、複数の試験回路板２の各電源チャネル２１、各伝送チャネル２２、及び各駆動チャネル２３はロードボード３１を通してポゴタワー３２のポゴピン３２１に電気的に接続され、それぞれポゴピン３２１を通して試験に必要な電源、データ伝送、及び特定信号入力を行ない、試験ウエハーを駆動する。
【００１８】
図３にはベース８が示され、該ベース８上に載置台８１が設けられ、載置台８１に収容溝８２が凹設され、収容溝８２内に試験されるウエハー９が置かれる。試験機が正常に動作している時、試験ヘッド３は下向きに閉じ合わさり、ポゴタワー３２上の複数のポゴピン３２１はウエハー９に接触し試験を行う。載置台８１は３軸移動可能で、これによりその上方に載置されたウエハー９を連帯移動させて異なる試験接点の詳細な試験を行える。
【００１９】
さらに、本実施例は中央サーバー（図示せず）を包含し、該中央サーバーはネットワークを通して複数の異なる規格の試験機（図示せず）と電気的に接続される。そのうち、中央サーバー内には異なる規格の複数の試験機に対応する試験プログラムが保存され、並びに試験結果を管理記録する。試験機１が電気チャネル自己検査を実行する時は、試験機１は任意の目録或いは特定の目録の下で命令（例えばａｄｖａｎ＿ｃｏｎｔａｃｔ＿ｄｉａｇ）を入力するだけで、試験機１は自動的に中央サーバーより検査プログラムを試験機１内の特定目録（例えば／ｅｘｐｏｒｔ／ｈｏｍｅ／ａｓｘ／ｄｉａｇ／ｔｄ＿ｃｏｎｔａｃｔ＿ｃｈｅｃｋ）にダウンロードし、並びにそれを自動実行し、且つ実行結果を試験機内部と中央サーバー内に共に保存して管理に便利とする。
【００２０】
図４に示されるように、複数の試験回路板２は複数のパラメータ検出ユニット２４を具え、各パラメータ検出ユニット２４は複数の試験回路板２の複数の電源チャネル２１、複数の伝送チャネル２２、及び複数の駆動チャネル２３にそれぞれ電気的に接続されている。本実施例では、複数のパラメータ検出ユニット２４は複数の電圧検出ユニット、及び複数の電流検出ユニットを指し、それは電圧、及び電流の検出に用いられる。
【００２１】
このほか、図中には自己検査コントローラ４が示され、それは複数の試験回路板２の複数の電源チャネル２１、複数の伝送チャネル２２、複数の駆動チャネル２３、及びメモリ５、アラーム６、電源供給モジュール７にそれぞれ電気的に接続されている。そのうち、自己検査コントローラ４は異なった検査信号Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３を各電源チャネル２１、各伝送チャネル２２、及び各駆動チャネル２３にそれぞれ入力する。自己検査コントローラ４はまた、複数のパラメータ検出ユニット２４を制御して各電源チャネル２１、各伝送チャネル２２、及び各駆動チャネル２３が上述の検査信号Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３を受けて対応して発生する応答信号Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を検出させ並びにそれを出力させる。
【００２２】
このほか、メモリ５内には一組の合格パラメータ５０が保存され、自己検査コントローラ４は応答信号Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３をキャプチャし並びにメモリ５内の該合格パラメータ５０と対比する。対比結果が符合しない時、対応するアラーム信号を出力し、アラーム６は本実施例ではディスプレイとされるので、ディスプレイ中に、対比結果が符合しない電気チャネルであることを示す「ＦＡＩＬ」を表示する。もし対比結果が符合したなら、ディスプレイ中に、対比結果が符合する電気チャネルであることを示す「ＰＡＳＳ」を表示する。当然、アラーム信号は音光電のアラーム信号とされ得て、例えば、音声、ランプ信号、或いは振動とされ得るほか、対比結果フラグとされ得る。
【００２３】
図５は本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例のフローチャートである。本実施例の動作フローは以下のとおりである。まず、自己検査コントローラ４が中央サーバーより検査プログラムをダウンロードし（ステップＡ）、続いて自己検査コントローラ４は検査プログラムを自動実行する（ステップＢ）。実行後、自己検査コントローラ４は異なる検査信号Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３を各電源チャネル２１、各伝送チャネル２２、及び各駆動チャネル２３にそれぞれ入力する（ステップＣ）。このとき、パラメータ検出ユニット２４が各電源チャネル２１、各伝送チャネル２２、各駆動チャネル２３が検査信号Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３を受けてそれに対応して発生する応答信号Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を検出する（ステップＤ）。その後、自己検査コントローラ４が応答信号Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３をキャプチャし並びにメモリ５内の合格パラメータ５０と対比する（ステップＥ）。対比して符合しなければアラーム信号（ＦＡＩＬ）をディスプレイに出力し、並びに不合格フラグを保存する（ステップＦ）。対比結果が符合すれば、アラーム信号（ＰＡＳＳ）をディスプレイに出力し、並びに合格フラグを保存する（ステップＧ）。最後に、自己検査コントローラ４が全ての電気チャネルがいずれも検査されたかを判断し（ステップＨ）、未完成であればステップＣを重複して行ない、完成していれば検査プログラムを終了する。
【００２４】
図４、図６を共に参照されたい。図６は本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例の開路、短絡の検査フローチャートである。そのうち、図示される合格パラメータ５０はまた合格電流範囲５１、及び合格電圧範囲５２を包含し、検査信号Ｅ１は検査電圧Ｅ１１、及び検査電流Ｅ１２を指す。これにより、本実施例において電気チャネル（電源チャネル２１、伝送チャネル２２、及び駆動チャネル２３）の開路或いは短絡の検査ステップは以下のとおりである。まず、自己検査コントローラ４が検査電圧Ｅ１１を各電源チャネル２１にそれぞれ入力し、検査電流Ｅ１２を各伝送チャネル２２、及び各駆動チャネル２３にそれぞれ入力する（ステップＣ１）。続いて、自己検査コントローラ４はまた複数のパラメータ検出ユニット２４を制御して、各電源チャネル２１が上述の検査電圧Ｅ１１を受けて発生する応答電流Ｒ１１を検出し、及び、複数のパラメータ検出ユニット２４を制御して各伝送チャネル２２、及び各駆動チャネル２３が上述の検査電流Ｅ１２を受けて発生する応答電圧Ｒ１２を検出する（ステップＤ１）。最後に、自己検査コントローラ４は応答信号Ｒ１すなわち応答電流Ｒ１１及び応答電圧Ｒ１２を測定してメモリ５の合格電流範囲５１及び合格電圧範囲５２と対比する（ステップＥ１）。当然、対比後に同様にディスプレイに異常な電気チャネル及び正常な電気チャネルを表示でき、並びにそれを記録保存できる。
【００２５】
そのうち、本実施例中、電源チャネル２１に入力される検査電圧Ｅ１１は５Ｖとされ、合格電流範囲５１は０Ａから９００ｎＡとされる。各電源チャネル２１は短絡（ｓｈｏｒｔ）に設定されているため、検出された応答電流Ｒ１１の正常値は０Ａから数百ｎＡとされ、異常がある時は数十から数百ｕＡ（マイクロアンペア）が検出される。このほか、本実施例では、伝送チャネル２２及び駆動チャネル２３に入力される検査電流Ｅ１２は１００ｕＡとされ、合格電圧範囲５２は３Ｖに設定される（ｃｌａｍｐ  ｖａｌｕｅ）。各伝送チャネル２２及び各駆動チャネル２３は開路（ｏｐｅｎ）に設定されているため、正常状況で検出される応答電圧Ｒ１２は合格電圧範囲５２内とされ、その範囲を超過すると異常とされる。
【００２６】
図４、図７を共に参照されたい。図７は本発明の電気チャネル自己検査式半導体試験システムの好ましい実施例の漏電検査のフローチャートである。本実施例はまた漏電検出機能を有し、メモリ５内の合格パラメータ５０は別の合格電流範囲５３、及び別の合格電流範囲５４を包含し、検査信号Ｅ２、Ｅ３はそれぞれ別の検査電圧Ｅ２、及びさらに別の検査電圧Ｅ３を指す。本実施例の電気チャネル（電源チャネル２１、伝送チャネル２２及び駆動チャネル２３）の漏電の有無の検査ステップは以下のとおりである。まず、自己検査コントローラ４が別の検査電圧Ｅ２を各伝送チャネル２２及び各駆動チャネル２３に入力する（ステップＣ２）。続いて、自己検査コントローラ４は複数のパラメータ検出ユニット２４を制御し、各伝送チャネル２２及び各駆動チャネル２３が上述の検査電圧Ｅ２を受けて発生する応答電流Ｒ２を検出する（ステップＤ２）。さらに、自己検査コントローラ４は検出した応答電流Ｒ２をメモリ５の別の合格電流範囲５３と対比する。
【００２７】
その後、本実施例ではさらに第２次の漏電検査を行って検証を実行する。そのうち、自己検査コントローラ４は同様にさらに別の検査電圧Ｅ３を各伝送チャネル２２及び各駆動チャネル２３に入力する（ステップＣ３）。その後、複数のパラメータ検出ユニット２４はそれぞれ各伝送チャネル２２及び各駆動チャネル２３が上述のさらに別の検査電圧Ｅ３を受けて発生する応答電流Ｒ３を検出する（ステップＤ３）。続いて、自己検査コントローラ４は応答電流Ｒ３とメモリ５に保存されたさらに別の合格電流範囲５４とを対比する（ステップＥ３）。最後に、上述の応答信号Ｒ２、Ｒ３すなわち応答電流Ｒ２、Ｒ３を対比検証し、正確に漏電の状況の有無を知る。
【００２８】
そのうち、本実施例の漏電検査において、入力する検査電圧Ｅ２、Ｅ３はそれぞれ０Ｖ、５Ｖとされ、合格電流範囲５３、５４は０Ａから９００ｎＡとされる。正常な状況では、漏電の状況は発生せず、ゆえに検出される応答電流Ｒ２、Ｒ３の正常値は数百ｎＡとされ、異常が出現した場合は、数十から数百ｕＡ（マイクロアンペア）が検出される。
【００２９】
上述の実施例は説明のために例示されたものに過ぎず、本発明の主張する権利範囲は特許請求の範囲の記載に準じ、上述の実施例に限定されない。
【符号の説明】
【００３０】
１  試験機            ２  試験回路板          ２１  電源チャネル
２２  伝送チャネル    ２３  駆動チャネル      ２４  パラメータ検出ユニット
３  試験ヘッド        ３１  ロードボード      ３２  ポゴタワー
３２１  ポゴピン      ４  自己検査コントローラ  ５  メモリ
５０  合格パラメータ  ５１、５３、５４  合格電流範囲
５２  合格電圧範囲    ６  アラーム              ７  電源供給モジュール
８  ベース            ９  ウエハー              ａ、ｂ、ｃ  位置
Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３  検査信号        Ｅ１１  検査電圧        Ｅ１２  検査電流
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３  応答信号        Ｒ１１  応答電流        Ｒ１２  応答電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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