(57)【要約】【課題】試料の測定面の曲率について対応範囲を広げて高精度に分析することができるグロー放電発光分光分析装置およびグロー放電発光分光分析方法を提供する。【解決手段】グロー放電発光分光分析装置は、陽極管３ｄと、陽極管３ｄを収納する内方空間Ｖを有する支持ブロック２と、支持ブロック２の内方空間Ｖを真空引きする減圧手段３ｂ、３ｃと、支持ブロック２に環状シール部材６を介して試料５を押し付ける試料ホルダ８と、陽極管３ｄと試料５との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段９とを備え、支持ブロック２が、環状シール部材６を保持する環状溝７と、その環状溝７の周方向外側に曲率を有して延在する凸部２ａとを有する。【選択図】図２
2010236979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極管と、
前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、
前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、
前記支持ブロックに環状シール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、
前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、
を備え、
前記支持ブロックが、前記環状シール部材を保持する環状溝と、その環状溝の周方向外側に曲率を有して延在する凸部とを有するグロー放電発光分光分析装置。
【請求項２】
請求項１において、前記凸部の表面が円柱側面状または球面状であるグロー放電発光分光分析装置。
【請求項３】
陽極管と、
前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、
前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、
前記支持ブロックに環状シール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、
前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、
を備え、
前記環状シール部材が、前記支持ブロックの内方空間の開口部内側に沿って設けられた環状溝によって保持されているグロー放電発光分光分析装置。
【請求項４】
陽極管と、
前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、
前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、
前記支持ブロックに環状のシール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、
前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、
を備え、
前記支持ブロックが、開放端部の周方向外側に突出した突出部により前記環状シール部材を保持する筒状保持部と、前記筒状保持部に保持された前記環状シール部材を収容する凹部とを有し、
前記環状シール部材の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面に当接する前記筒状保持部の開放端面よりも突出して前記凹部に収容されているグロー放電発光分光分析装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において、前記支持ブロックが交換可能に形成されているグロー放電発光分光分析装置。
【請求項６】
陽極管と、
前記陽極管を収納する内方空間を有し、開放端部の周方向外側に突出した突出部により前記環状シール部材を保持する筒状保持部と、前記筒状保持部に保持された前記環状シール部材を収容する凹部とを有する支持ブロックと、
前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、
前記支持ブロックに環状シール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、
前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、
を準備し、
前記環状シール部材の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面に当接する前記筒状保持部の開放端面よりも突出するように、試料の測定面の凸状の曲率に応じた前記環状シール部材を前記筒状保持部に保持させ前記凹部に収容させて分析するグロー放電発光分光分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料をスパッタリングしながら、発生した光を分析するグロー放電発光分光分析装置およびグロー放電発光分光分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体圧力が５００〜１３００Ｐａ程度のアルゴン（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流または高周波の高電圧を印加すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオンが生成される。生成したＡｒイオンは高電界で加速され、陰極表面に衝突し、そこに存在する物質をたたき出す。この現象をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされた粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起され、基底状態に戻る際にその元素に固有の波長の光を放出する。この発光を分光器で分光して試料中の元素を同定したり、発光の強度を測定し試料中の元素の量を定量したり、試料の深さ方向の元素分布を測定したりする分析法が、グロー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
【０００３】
従来から一般的に用いられているグロー放電発光分光分析装置のグロー放電管として図８に示されているものがある。このグロー放電管４０は、試料５の測定面５ａを、支持ブロック４２に埋設されたＯリング６で真空シールして支持ブロック４２に押し付けて、その試料５により、中空陽極管３ｄを収納する支持ブロック４２の内方空間Ｖの開口部４２ｃを密閉し、この内方空間Ｖを真空引きするようになっている。そのため、分析対象となる試料５はＯリング６の全周部に接合できる外形を有するとともに測定面５ａが平面となった形状のものに限られ、測定面５ａが平面でない球形や円柱状の試料は、支持ブロック４２にこれの内方空間Ｖを気密にするよう押し付けられないので、分析することができなかった。そのため、このような測定面５ａが曲率を有する試料を分析するときには、試料を押圧して平坦状にして測定したり、試料を小さく切断し、小試料用のアタッチメントを用いて測定したりしていたが、精度のよい分析を行うことができなかった。
【０００４】
そこで、特許文献１に示されているように測定面が曲率を有する試料をも分析することが可能なグロー放電発光分光分析装置におけるカソードプレートがある。このカソードプレートは、放電発光用の開口部の周辺に、曲率を有する凹部を設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２２９８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、このグロー放電発光分光分析装置のカソードプレートでは、試料とカソードプレートとを気密にシールするＯリングが曲率を有する凹部の外周部に設けられており、測定面が凸状の一定の範囲内の曲率を有する試料を分析することはできるが、測定面が凹状の曲率を有する試料や測定面が凸状の曲率を有する試料でも広範囲の曲率には対応できない。
【０００７】
そこで、本発明は試料の測定面の曲率について対応範囲を広げて高精度に分析することができるグロー放電発光分光分析装置およびグロー放電発光分光分析方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の第１構成に係るグロー放電発光分光分析装置は、陽極管と、前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、前記支持ブロックに環状シール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段とを備え、前記支持ブロックが、前記環状シール部材を保持する環状溝と、その環状溝の周方向外側に曲率を有して延在する凸部とを有する。
【０００９】
本発明の第１構成によれば、例えばパイプの内面のような凹状の曲率を有する試料の測定面が支持ブロックの凸部の表面の曲率に整合するので、試料とシール部材とによって陽極管を収納する内方空間の開口部が気密に密閉されるとともに、試料の測定面が陽極管の開放端に対して所望の放電ギャップの位置に配置されて正常なグロー放電が可能となり、試料の測定面の曲率について対応範囲を広げて高精度に分析することができる。
【００１０】
グロー放電発光分光分析装置の支持ブロックの凸部の表面が円柱側面状または球面状であるのが好ましい。この場合には、例えばパイプ等の円筒の内面や球面状に凹入した測定面を高精度に分析することができる。
【００１１】
本発明の第２構成に係るグロー放電発光分光分析装置は、陽極管と、前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、前記支持ブロックに環状シール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段とを備え、前記環状シール部材が、前記支持ブロックの内方空間の開口部内側に沿って設けられた環状溝によって保持されている。
【００１２】
本発明の第２構成に係るグロー放電発光分光分析装置によれば、環状シール部材が、支持ブロックの内方空間の開口部内側に沿って設けられた環状溝によって保持されているので、測定面が凸状の小さい曲率を有する試料と窪んだ位置に配置されているシール部材とによって陽極管を収納する内方空間の開口部が気密に密閉され、第１構成のグロー放電発光分光分析装置と同様の作用・効果を奏することができる。
【００１３】
本発明の第３構成に係るグロー放電発光分光分析装置は、陽極管と、前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、前記支持ブロックに環状のシール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段とを備え、前記支持ブロックが、開放端部の周方向外側に突出した突出部により前記環状シール部材を保持する筒状保持部と、前記筒状保持部に保持された前記環状シール部材を収容する凹部とを有し、前記環状シール部材の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面に当接する前記筒状保持部の開放端面よりも突出して前記凹部に収容されている。
【００１４】
本発明の第３構成に係るグロー放電発光分光分析装置によれば、環状シール部材の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面に当接する前記筒状保持部の開放端面よりも突出して凹部に収容されているので、凸状の大小さまざまな曲率の測定面において試料を支持ブロックに気密に支持することができ、第１構成のグロー放電発光分光分析装置と同様の作用・効果を奏することができる。
【００１５】
第１〜第３構成のグロー放電発光分光分析装置において、支持ブロックが交換可能に形成されていることが好ましい。支持ブロックを交換することができれば、試料の測定面の曲率についてよりいっそう対応範囲を広げて高精度に分析することができる。
【００１６】
本発明のグロー放電発光分光分析方法は、陽極管と、前記陽極管を収納する内方空間を有し、開放端部の周方向外側に突出した突出部により前記環状シール部材を保持する筒状保持部と、前記筒状保持部に保持された前記環状シール部材を収容する凹部とを有する支持ブロックと、前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、前記支持ブロックに環状シール部材を介して試料を押し付ける試料ホルダと、前記陽極管と試料との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段とを準備し、前記環状シール部材の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面に当接する前記筒状保持部の開放端面よりも突出するように、試料の測定面の凸状の曲率に応じた前記環状シール部材を前記筒状保持部に保持させ前記凹部に収容させて分析する。
【００１７】
本発明のグロー放電発光分光分析方法によれば、環状シール部材の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面に当接する筒状保持部の開放端面よりも突出するように、試料の測定面の凸状の曲率に応じた前記環状シール部材を前記筒状保持部に保持させ凹部に収容させて分析するので、第３構成のグロー放電発光分光分析装置と同様の作用・効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置の概略構成図である。
【図２】同分析装置のグロー放電管の縦断面図である。
【図３】同グロー放電管の円柱側面状支持ブロックの斜視図である。
【図４】本発明の第２実施形態のグロー放電発光分光分析装置の支持ブロックの斜視図である。
【図５】同支持ブロックの部分縦断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態のグロー放電発光分光分析装置の支持ブロックの斜視図である。
【図７】同支持ブロックの部分縦断面図である。
【図８】従来のグロー放電発光分光分析装置のグロー放電管の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置について説明する。このグロー放電発光分光分析装置は、図１に示すように、グロー放電を利用したスパッタリングにより試料５中に存在する元素に固有の波長の光Ｌを発生させるグロー放電管１０を備え、グロー放電管１０から放射されて、その窓板１３を透過した光Ｌが入射する分光器１５を備えている。分光器１５は、入射スリット１４、この入射スリット１４から入射した光Ｌを波長に応じて異なった回折角度で回折する回折格子１６、回折光を通過させる出射スリット１７および回折光の強度を測定する光電子増倍管１８を備えている。
【００２０】
本実施形態は測定面が凹状曲面となった試料５の分析を行う場合の構成を例示している。図２は図１のグロー放電発光分光分析装置におけるグロー放電管１０の一例を示す。図２において、このグロー放電管１０は、銅のような導電性材料からなる陽極ブロック３と、例えば樹脂からなる支持ブロック２とが接合されている。陽極ブロック３には陽極管３ｄが一体形成されており、この陽極管３ｄは、支持ブロック２の内方空間Ｖに収納されて試料５の測定面５ａに近接している。陽極ブロック３は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第２真空排気孔３ｂ，３ｃ（減圧手段）とを有しており、支持ブロック２の内方空間Ｖが減圧され管内Ｖがアルゴンの希ガス雰囲気とされている。さらに、グロー放電管１０は支持ブロック２に、環状溝７が保持する環状シール部材６を介して試料５を押し付ける試料ホルダと、陽極管３ｄと試料５との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段９とを備えている。
【００２１】
図３に示すように支持ブロック２は、陽極管３ｄが収納される内方空間Ｖの開口部２ｃの周囲に、環状シール部材６を保持する環状溝７を有し、環状溝７より周方向外側に曲率をもって延在して表面が蒲鉾型のような円柱側面状である凸部２ａを有する。環状シール部材６は天然ゴムや合成ゴムのような弾性体で形成されており、例えばＯリングである。
開口部２ｃの端部内側には、例えばステンレススチールで形成された内筒４が圧入されている。図２に示すように、例えば測定面５ａがパイプの内面のような凹状の曲率を有する試料５は、測定面５ａを囲むことのできる、環状シール部材６を介して、背面陰極を兼ねる試料ホルダ８により支持ブロック２の内筒４の開放端面４ａに気密状態で押し付けられている。なお、凸部２ａの表面はドーム状のような球面状であってもよい。凸部２ａの表面が球面状の場合には、球面状に凹入した試料の測定面が環状シール部材６を介して、背面陰極を兼ねる試料ホルダ８により支持ブロック２の内筒４の開放端面４ａに気密状態で押し付けられる。
【００２２】
このグロー放電管１０は、陽極管３ｄと一体である陽極ブロック３と、試料ホルダ８との間に例えば、直流電源または高周波電源である給電手段９により高電圧を印加してグロー放電を発生させて生成されるアルゴンの陽イオンを試料５の測定面５ａに衝突させて、試料５をスパッタリングする。
【００２３】
つぎに、第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置を用いる分析方法について説明する。試料５が、例えば内径６０ｍｍのパイプを軸方向に沿って切断したものであり、その凹状のパイプ内面を測定する場合、凸部２ａの表面が円柱側面状であり、その曲率半径が３０ｍｍである支持ブロック２をグロー放電管１０に取り付ける。次に、図２に示すようにパイプ内面の測定面５ａを環状シール部材６の環状内になるように配置し、試料ホルダ８により環状シール部材６を介して凸部２ａに気密状態で押し付ける。陽極管３ｄと試料５との間に給電手段９により高電圧が印加されると、放電ガスとして流されているアルゴンガスによりグロー放電を生じ、アルゴンガス供給孔３ａよりアルゴンの陽イオンが生成される。このグロー放電で生じたプラズマにより、試料５に負の自己バイアス電圧がかかる。その結果、生成されたＡｒイオンは、負電位にある試料５の測定面５ａに衝突して、この測定面５ａをスパッタリングする。それにより、試料５の測定面５ａからたたき出された原子は、Ａｒイオンまたは電子によって励起され、再び基底状態に戻る際に元素固有の光を放射する。
【００２４】
図１に示すように、この試料５からの光Ｌが窓板１３を透過し、入射スリット１４を通り、分光器１５の回析格子１６で分光され、出射スリット１７を通って、試料５から放射される元素固有の光を測定するように配置されたそれぞれの光電子増倍管１８に入射して光強度が測定される。各光電子増倍管１８によって測定された光強度に応じて特定元素の試料５の深さ方向の元素分布を測定する。または、各光電子増倍管１８によって測定された光強度に応じて試料５中の特定元素の含有量を定量する。
【００２５】
第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置によれば、パイプの内面のような凹状の曲率を有する試料５の測定面５ａと支持ブロックの凸部２ａの表面の曲率とが整合するので、試料５と環状シール部材６とによって陽極管３ｄを収納する内方空間Ｖの開口部２ｃが気密に密閉されるとともに、試料の測定面５ａが陽極管３ｄの開放端面に対して所望の放電ギャップの位置に配置されて正常なグロー放電が可能となり、試料の測定面５ａの曲率について対応範囲を広げて高精度に分析することができる。なお、第１実施形態では、内径６０ｍｍのパイプの内面を測定するのに凸部２ａの表面が円柱側面状であり、その曲率半径が３０ｍｍである支持ブロック２を用いたが、試料５の測定面５ａの曲率と凸部２ａの表面の曲率は同一である必要はなく、凸部２ａの表面の曲率が試料５の測定面５ａの曲率の±２０％以内である支持ブロック２を用いることにより開口部２ｃが試料５と環状シール部材６とによって気密に保持され、試料の測定面５ａの曲率について対応範囲を広げて高精度に分析することができる。特に、表面分析において深さ方向の分解能のよいデータを得ることができる。
【００２６】
球面状に凹入した試料５の測定面５ａに対しては、凸部２ａの表面が球面状であり、その曲率が試料５の測定面５ａの曲率の±２０％以内である支持ブロック２をグロー放電管１０に取り付けて分析することにより、測定面５ａが円柱側面状の試料５の場合と同様の作用・効果を奏することができる。なお、第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置は、分析する試料５の凹状の測定面５ａの曲率に応じた凸部２ａを有する支持ブロック２を備えることができる。
【００２７】
次に、本発明の第２実施形態のグロー放電発光分光分析装置について説明する。このグロー放電発光分光分析装置は、第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置とグロー放電管の支持ブロックが異なるだけであるので、異なる構成について図４と図５を用いて以下に説明する。
【００２８】
図４に示すように支持ブロック２２は、陽極管３ｄが収納される内方空間Ｖの開口部２２ｃ内側沿って設けられた環状溝２７を有し、環状シール部材６がこの環状溝２７によって保持されている。環状シール部材６は、例えばＪＩＳ規格の呼び番号Ｓ−７のＯリングである。図５に示すように環状溝２７よりも奥まった位置に、例えばステンレススチールで形成された内筒２４が圧入されており、この内筒２４の開放端面２４ａに試料の測定面５ａ（図２参照）が当接する。開放端面２４ａと開口部２２ｃの端面２２ｄとの距離は、例えば１．３ｍｍである。例えばベアリングのような球状の試料５は、球面状の測定面５ａを囲むことのできる環状シール部材６を介して、試料ホルダ８により支持ブロック２の内筒２４の開放端面２４ａに気密状態で押し付けられる。
【００２９】
第２実施形態のグロー放電発光分光分析装置を用いる分析方法では、試料５として、例えば直径２０ｍｍのベアリングを、その測定面５ａが環状シール部材６の環状内になるように配置し、試料ホルダ８により環状シール部材６を介して支持ブロックの内筒２４の開放端面２４ａに気密状態で押し付けて、上記の第１実施形態の装置を用いる分析方法と同様に分析する。
【００３０】
第２実施形態のグロー放電発光分光分析装置によれば、第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置と同様の作用・効果を奏することができ、特に、５ｍｍ〜３０ｍｍの小さい曲率の測定面５ａを有する試料５の分析に適している。
【００３１】
次に、本発明の第３実施形態のグロー放電発光分光分析装置について説明する。このグロー放電発光分光分析装置は、第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置とグロー放電管の支持ブロックが異なるだけであるので、異なる構成について図６と図７を用いて以下に説明する。
【００３２】
図６に示すように支持ブロック３２は、第２実施形態の支持ブロック２２と外観形状は類似しているが、図７に示すように開放端部の周方向外側に突出した突出部３４ｂにより環状シール部材６を保持する筒状保持部である内筒３４と、内筒３４に保持された環状シール部材６を収容する凹部３７とを有している。陽極管３ｄが収納される支持ブロック３２の内方空間の開口部３２ｃに、例えばステンレススチールで形成された内筒３４が圧入されており、この内筒３４の開放端面３４ａに試料５の測定面５ａが当接する。そして、環状シール部材６の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満、好ましくは２５％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面５ａに当接する内筒３４の開放端面３４ａよりも突出し、この環状シール部材６の突出部よりも下の残部が内筒３４の突出部３４ｂにより保持されて凹部３７に収容されている。環状シール部材６として、例えばＪＩＳ規格の呼び番号Ｐ−７のＯリングを用いた場合、Ｏリングの軸方向厚さの２６％の部位が開放端面３４ａよりも突出するように凹部３７は形成されている。環状シール部材６は、試料５が押し付けられることによって従来のシール部材よりも大きく半径方向に延伸するが、凹部３７はこの大きな延伸部位を収容することができる十分な半径方向の寸法を有している。
【００３３】
第３実施形態のグロー放電発光分光分析装置を用いる分析方法では、試料５が例えば直径２００ｍｍのシャフトであってその側面を測定する場合、環状シール部材６としてＪＩＳ規格のＳ番のＯリングを支持ブロック３２の内筒の突出部３４ｂに保持させて凹部３７に収容する。次に、試料の測定面５ａを環状シール部材６の環状内になるように配置し、試料ホルダ８により環状シール部材６を介して支持ブロックの内筒３４の開放端面３４ａに気密状態で押し付けて、上記の第１実施形態の分析方法と同様に分析する。
【００３４】
この支持ブロック３２では、環状シール部材６の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が試料の測定面５ａに当接する内筒３４の開放端面３４ａよりも突出しているので、環状シール部材６を介して、測定面５ａが凸状の曲率を有する試料５を試料ホルダ８により支持ブロック２の内筒３４の開放端面３４ａに気密状態で押し付けることができる。測定面５ａが大きな曲率を有する試料５では突出量が少ない環状シール部材６を用い、測定面５ａが小さな曲率を有する試料５では突出量が大きい環状シール部材６を用いることによって、試料の測定面５ａを気密状態で押し付けることができる。
【００３５】
上記のように試料５が例えば直径２００ｍｍのパイプであってその外面を測定する場合、環状シール部材６としてＪＩＳ規格のＳ番のＯリングを用い、試料５が例えば直径１００ｍｍのパイプであってその外面を測定する場合、ＪＩＳ規格のＰ番のＯリングを用いて分析する。Ｐ番のＯリングはＳ番のＯリングよりも線径が大きいので、測定面５ａの曲率が小さい試料の分析に適している。このように試料５の測定面５ａの曲率に応じてＯリングのような環状シール部材６を適切に選択することによって測定面５ａが３０ｍｍ以上の凸状の曲率を有する試料を分析することができる。
【００３６】
図８に示されている従来のグロー放電発光分光分析装置のグロー放電管４０においては、支持ブロック４２の試料５が当接する当接面からのシール部材６の突出量が２０％以下であるため、測定面５ａが曲率を有する試料５を分析することができなかった。また、特許文献１に記載のグロー放電管のカソードプレート（支持ブロック）においては、シール部材であるＯリングが曲率を有する凹部の外周部に設けられており、測定面の曲率がカソードプレートの凹部の曲率の±２０％以内である試料を分析することはできるが、測定面がそれ以上の曲率を有する試料を分析することができない。
【００３７】
第３実施形態のグロー放電発光分光分析装置およびそれを用いる分析方法によれば、環状シール部材６の軸方向厚さの２０％よりも大きく５０％未満の部位が、試料の測定面５ａに当接する内筒３４の開放端面３４ａよりも突出するように、試料の測定面５ａの凸状の曲率に応じた環状シール部材６を内筒の突出部３４ｂに保持させ凹部３７に収容させて分析するので、凸状の大小さまざまな曲率の測定面において試料を支持ブロックに気密に支持することができ、第１実施形態のグロー放電発光分光分析装置と同様の作用・効果を奏することができる。特に測定面５ａが３０ｍｍ以上の曲率を有する試料の分析に適している。
【００３８】
第１〜第３実施形態の支持ブロック２、２２、３２は試料５の測定面５ａの凹凸形状や曲率に応じて、取り付け寸法などが交換可能に構成されている。特に、試料の測定面５ａと陽極管３ｄとの端面の放電ギャップがどの支持ブロック２、２２、３２を用いても一定になるように構成されている。
【符号の説明】
【００３９】
２  ２２  ３２  支持ブロック
２ａ  凸部
３ｄ  陽極管
５    試料
６    環状シール部材
７  ２７  ３７  環状溝
８    試料ホルダ
９    給電手段
１０  グロー放電管
３４    筒状保持部
３４ｂ  突出部
３７    凹部
【図１】
2010236979.tif 000003
【図２】
2010236979.tif 000004
【図３】
2010236979.tif 000005
【図４】
2010236979.tif 000006
【図５】
2010236979.tif 000007
【図６】
2010236979.tif 000008
【図７】
2010236979.tif 000009
【図８】
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