(57)【要約】【課題】高圧運転下の推力が大きな場合においても、強度的に耐え得ると共に、回転体の安定性の確保が可能な増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造を提供する。【解決手段】増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、圧縮機ケーシング１に固定された静止側ドライガスシール本体３−１及びインペラ回転軸６ａに固定された回転側ドライガスシール本体３−２からなるドライガスシール部３と、前記圧縮機ケーシング１に固定されたバリアシール部４とが設けられ、このバリアシール部４が、前記静止側ドライガスシール本体３−１に一体的に連結される一方、前記圧縮機ケーシング１と静止側ドライガスシール本体３−１との間に、軸方向位置調整用の調整ライナー５が装着され、この調整ライナー５の厚さによって、前記静止側ドライガスシール本体３−１と回転側ドライガスシール本体３−２の軸方向の相対位置が調整可能とされてなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、
インペラ背面の圧縮機ケーシングに固定された静止側ドライガスシール本体及びインペラ回転軸に固定された回転側ドライガスシール本体からなるドライガスシール部と、
このドライガスシール部より増速機側にあって前記圧縮機ケーシングに固定されたバリアシール部とが設けられ、
このバリアシール部が、前記静止側ドライガスシール本体に一体的に連結される一方、
前記圧縮機ケーシングと静止側ドライガスシール本体との間に、軸方向位置調整用の調整ライナーが装着されてなることを特徴とする増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造。
【請求項２】
前記バリアシール部と静止側ドライガスシール本体とが一体的に連結される部位の近傍の前記圧縮機ケーシング内周側に、この内周に亘って突出した円周状突出部が設けられる一方、前記調整ライナーが、前記円周状突出部のインペラ背面側に形成された突出部円周面と、前記静止側ドライガスシール本体の増速機側に形成されたガスシール本体円周面との間に装着されてなることを特徴とする請求項１に記載の増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造。
【請求項３】
前記バリアシール部に、軸方向に離反して形成されたラビリンスシールと、これらラビリンスシール間にパージガスを導入するため形成されたパージガス導入流路とが設けられる一方、このバリアシール部と前記ドライガスシール部との間に形成された空間部にパージガス排出流路が設けられてなることを特徴とする請求項１または２に記載の増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造。
【請求項４】
前記調整ライナーが、その回転を防止するための止めピンにより固定されてなることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つの項に記載の増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造に関し、より詳しくは、高圧運転下の推力が大きな増速機内蔵型遠心圧縮機においても強度的に耐え得ると共に、回転体の安定性の確保が可能な増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
増速機内蔵型遠心圧縮機は、歯車式増側装置のピニオン軸の一端あるいは両端にオーバーハングしてインペラを取り付けて、原動機回転数よりも増速可能な構成としたものであり、各インペラ周囲のケーシングは増速機ケーシングに直接取り付けられた構造となっている。
【０００３】
増速機内蔵型遠心圧縮機は、前記増速機と中間冷却器、潤滑油装置等を一つにまとめたパッケージ型として構成することが可能なため、１本の回転軸に1枚または複数枚のインペラを取り付けた一軸型圧縮機に比べて非常にコンパクトで、据付工事を含めた圧縮機にかかわる総コストの低減を図ることが可能となる。そのため、この様な利点に着目し、これらを活かしつつ、空気や窒素以外のプロセスガスに適用可能な増速機内蔵型遠心圧縮機が従来より開発されて来ている。
【０００４】
ガス用途の圧縮機では、特にハイドロカーボン等の可燃性・爆発性ガスや有毒ガス、腐食性ガス等に対してのシール技術が重要となってくる。増速機内蔵型遠心圧縮機における従来例に係るこの様なシール技術につき、以下添付図４，５を参照しながら説明する。図４は従来例１のシール技術に係り、増速機内蔵型遠心圧縮機の実施例の主要部を示す断面図、図５は従来例３のシール技術に係り、増速機内蔵型遠心圧縮機の要部を示す断面図である。
【０００５】
先ず、従来例１に係るシール技術は、図４において、インペラ２８とこのインペラ２８側の軸受との間に、シールハウジング２６と軸シールラビリンス２７とからなる軸シール装置２５が介装されてなる増速機内蔵型遠心圧縮機において、ロータ２３には軸スリーブ２４が外嵌されると共に、インペラ２８の背面に前記ロータ２３が貫通され、先端が軸シール装置２５の内側の腐食性ガスが存在し得ない位置まで延びる円筒体２８ａの一端を気密可能に固着して構成されている。
【０００６】
そして、圧縮された腐食性ガスは、インペラ２８側から円筒体２８ａと軸シールラビリンス２７の間に侵入しようとするが、前記円筒体２８ａ及び軸スリーブ２４と軸シールラビリンス２７との間に、軸シール装置２５に設けられたインペラ側の蒸気吹込みポートＰｂからは蒸気が、また反蒸気吹込みポート側の空気吹込みポートＰａからは空気が夫々吹込まれる。そのため、これらの間に形成される環状空気並びに隙間ｔの間は蒸気と空気で満たされ、これらの間への腐食性ガスの侵入が阻止される。そのため、ロータ２３の外周面が従来の様に腐食される恐れがなくなる（特許文献１参照）。
【０００７】
しかしながら、この従来例１に係るシール技術は軸シールラビリンス２７を用いているため、対向する軸スリーブ２４との間の隙間は少なくとも０．１〜０．５ｍｍ程度である必要があり、理論上の漏れガス量は前記隙間の３乗に比例するため、漏れガス量を極少量化するのは非常に困難である。
【０００８】
次に、従来例２に係るシール技術について、以下図示省略して説明する。この従来例２に係るシール技術は、圧縮機の吐出ガス温度が高温になると、ガスシールの座金やＯリング及び非常に重要な部品が破壊されるため、有害ガスが流出してしまう。従って、ガスシールの温度をプロセスガス温度に到達させない様、ガスシールの周囲に流体熱交換器を配置してガスシールの温度を低下させるものである（特許文献２参照）。
【０００９】
前記従来例２に係るガスシールは、次に述べる従来例３に係るシール技術と同様、図５に示された顎部３３−１ａに該当する部位によって圧縮機ケーシングへ取り付けられるが、プロセスガスが高圧になる場合ガスシールに作用する推力が高くなり、温度が上昇しなくともガスシール本体部が引張力により破壊され、その結果有害ガスが流出する恐れがある。
【００１０】
従来例３に係るシール技術は、図５に示す如く、圧縮したプロセスガスの機外への漏れを防止するための一次ドライガスシール部３３ａ及び二次ドライガスシール部３３ｂからなるドライガスシール部３３と、ドライガスシール部３３の保護のためのバリアシール部３４と、増速機ケーシング３２からの油漏れ防止を目的としたオイルシール部３８とが、個別に設けられたガスシール構造からなる。
【００１１】
通常、前記ドライガスシール部３３の静止側本体３３−１は、その顎部３３−１ａを圧縮機ケーシング３１にボルト３９で固定されると共に、ドライガスシール部３３の回転側本体３３−２は、回転軸３６ａに嵌挿して固定されている。また、バリアシール部３４は、ドライガスシール部３３と同様、圧縮機ケーシング３１にボルト４１で固定される一方、オイルシール部３８は、増速機ケーシング３２に固定されている。
【００１２】
そして、ドライガスシール部３３の一次ドライガスシール部３３ａ及び二次ドライガスシール部３３ｂには、対向するシール面４０ａ，４０ｂが夫々形成され、バリアシール部３４には回転軸３６ａ外周に対向するラビリンス３４ａ，３４ｂが形成されると共に、オイルシール部３８には回転軸３６ａ外周に対向して、オイルシール３８ａが取り付けられて、夫々シール構造が形成されている。
【００１３】
しかしながら、圧縮対象とするプロセスガスの圧力が高くなってくると、回転側ドライガスシール本体３３−２を介して静止側ドライガスシール本体３３−１に負荷される推力が大きくなり、２個の部材からなる静止側ドライガスシール本体３３−１を連結したボルト３７の引張強度が不足し破壊する恐れがあるため、許容される推力以上になると推定される場合は、ドライガスシール本体３３−１，３３−２を機外側にて直接支持する構造にする必要がある。
【００１４】
一方、増速機内蔵型遠心圧縮機では回転体の安定性を確保するため、当該シール構造の軸方向長さを極力短くする必要があり、特に、高圧用途の圧縮機ではその流体挙動のため一般的により不安定性が増大する傾向にあり、安定性の確保がより重要になってくる。
【特許文献１】実開平５−７８９９８号公報
【特許文献２】特表２００７−５０６０２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
従って、本発明の目的は、高圧運転下の推力が大きな場合においても、強度的に耐え得ると共に、回転体の安定性の確保が可能な増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造が採用した手段は、増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、インペラ背面の圧縮機ケーシングに固定された静止側ドライガスシール本体及びインペラ回転軸に固定された回転側ドライガスシール本体からなるドライガスシール部と、このドライガスシール部より増速機側にあって前記圧縮機ケーシングに固定されたバリアシール部とが設けられ、このバリアシール部が、前記静止側ドライガスシール本体に一体的に連結される一方、前記圧縮機ケーシングと静止側ドライガスシール本体との間に、軸方向位置調整用の調整ライナーが装着されてなることを特徴とするものである。
【００１７】
本発明の請求項２に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造が採用した手段は、請求項１に記載の増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、前記バリアシール部と静止側ドライガスシール本体とが一体的に連結される部位の近傍の前記圧縮機ケーシング内周側に、この内周に亘って突出した円周状突出部が設けられる一方、前記調整ライナーが、前記円周状突出部のインペラ背面側に形成された突出部円周面と、前記静止側ドライガスシール本体の増速機側に形成されたガスシール本体円周面との間に装着されてなることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明の請求項３に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造が採用した手段は、請求項１または２に記載の増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、前記バリアシール部に、軸方向に離反して形成されたラビリンスシールと、これらラビリンスシール間にパージガスを導入するため形成されたパージガス導入流路とが設けられる一方、このバリアシール部と前記ドライガスシール部との間に形成された空間部にパージガス排出流路が設けられてなることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明の請求項４に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造が採用した手段は、請求項１乃至３の何れか一つの項に記載の増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、前記調整ライナーが、その回転を防止するための止めピンにより固定されてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の請求項１に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造によれば、増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造において、インペラ背面の圧縮機ケーシングに固定された静止側ドライガスシール本体及びインペラ回転軸に固定された回転側ドライガスシール本体からなるドライガスシール部と、このドライガスシール部より増速機側にあって前記圧縮機ケーシングに固定されたバリアシール部とが設けられ、このバリアシール部が、前記静止側ドライガスシール本体に一体的に連結されている。
【００２１】
そして同時に、前記圧縮機ケーシングと静止側ドライガスシール本体との間に、軸方向位置調整用の調整ライナーが装着されてなるので、前記従来例３に係るシール技術において説明したオイルシール部は、バリアシール部に一体的に連結して構成されたので、ガスシール構造の軸方向全長を前記従来例３に係るガスシール構造よりも短縮可能となり、回転体の安定性を確保することができる。また、これらガスシール構造を一体化することによって、組立作業の効率化も図ることができる。また、この調整ライナーの厚さによって、前記静止側ドライガスシール本体と回転側ドライガスシール本体の軸方向の相対位置が調整可能となる。
【００２２】
また、本発明の請求項２に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造によれば、前記バリアシール部と静止側ドライガスシール本体とが一体的に連結される部位の近傍の前記圧縮機ケーシング内周側に、この内周に亘って突出した円周状突出部が設けられる一方、前記調整ライナーが、前記円周状突出部のインペラ背面側に形成された突出部円周面と、前記静止側ドライガスシール本体の増速機側に形成されたガスシール本体円周面との間に装着されてなるので、前記調整ライナーが、前記ドライガスシール部を介して圧縮機ケーシングに負荷される推力を受け、軸方向全長を従来例より短縮しても、高圧用途で推力が大きな場合にも強度的に耐え得る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造を達成できる。
【００２３】
更に、本発明の請求項３に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造によれば、前記バリアシール部に、軸方向に離反して形成されたラビリンスシールと、これらラビリンスシール間にパージガスを導入するため形成されたパージガス導入流路とが設けられる一方、このバリアシール部と前記ドライガスシール部との間に形成された空間部にパージガス排出流路が設けられてなるので、増速機ケーシング側からの油分の侵入を防ぎつつ、ドライガスシール部側からプロセスガスが漏れ出たり、万が一増速機ケーシング側から油が漏れ出た場合には、そのプロセスガスや油を機外に排出して、ドライガスシール部への影響を排除可能である。
【００２４】
また更に、本発明の請求項４に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造によれば、前記調整ライナーが、その回転を防止するための止めピンにより固定されてなるので、前記調整ライナーが回転方向に拘束され、組立時の調整ライナーを挟み込むことにより、脱落防止に加え回転を防止することが可能となり作業の効率化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
先ず、本発明の実施の形態に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造について、添付図１〜図３を参照しながら以下説明する。図１は本発明の実施の形態に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造の要部を回転軸に軸対称な半断面として示した図、図２は図１のドライガスシール部を拡大して示した部分詳細図、図３は図１の回転環の矢視Ａ−Ａシール面を示す図である。
【００２６】
本発明の実施の形態に係るガスシール構造は、図１に示す如く、ドライガスシール部３とバリアシール部４とを備えている。前記ドライガスシール部３と前記バリアシール部４は、インペラ回転軸（以下、単に回転軸とも言う）６ａの軸方向にはインペラ６背面と増速機ケーシング２との間に、半径方向には前記インペラ回転軸６ａの外周から圧縮機ケーシング１との間に配設されている。そして、前記ドライガスシール部３は、軸方向には一次ドライガスシール部３ａと二次ドライガスシール部３ｂとで構成されると共に、半径方向には、圧縮機ケーシング１に固定された静止側ドライガスシール本体３−１と、インペラ回転軸６ａに固定されこの回転軸６ａと共回転する回転側ドライガスシール本体３−２とで構成されている。
【００２７】
また、前記一次ドライガスシール部３ａと二次ドライガスシール部３ｂには、夫々静止側ドライガスシール本体３−１に固定された静止環（プライマリーリング）７ａ，７ｂと、回転側ドライガスシール本体３−２に固定された回転環（メイティングリング）８ａ，８ｂとが軸方向に対向して配置されている。前記静止環７ａ，７ｂは、夫々バネ９ａ，９ｂによって軸方向インペラ側に押付けられて、回転環８ａ，８ｂとの間にシール面１０ａ，１０ｂが形成されている。
【００２８】
そして、前記一次ドライガスシール部３ａとインペラ６背面との間には、静止側ドライガスシール本体３−１とは別の部材で形成されたラビリンス１６が、ボルト１６ａによって圧縮機ケーシング１に固定される。このラビリンス１６により、インペラ６の背面からの異物の混入を防止する様構成されている。
【００２９】
更に、前記バリアシール部４が、前記静止側ドライガスシール本体３−１に、ボルト１７によって一体的に連結される一方、前記圧縮機ケーシング１と静止側ドライガスシール本体３−１との間に、軸方向位置調整用の調整ライナー５が装着され、この調整ライナー５の厚さによって、前記静止側ドライガスシール本体３−１に取り付けられた静止環７ａ，７ｂと、回転側ドライガスシール本体３−２に取り付けられた回転環８ａ，８ｂとからなる夫々のシール面１０ａ，１０ｂの軸方向の相対位置、ひいては静止側ドライガスシール本体３−１と回転側ドライガスシール本体３−２の軸方向の相対位置が調整可能に構成されている。
【００３０】
前記静止側ドライガスシール本体３−１は、軸方向に分割された部材をボルト１８によって連結して構成されている。この静止側ドライガスシール本体３−１に負荷される推力は、調整ライナー５を介して圧縮機ケーシング１の円周状突出部１ａにて受ける様に構成されている。
【００３１】
そして、回転環８ａ，８ｂのシール面１０ａ，１０ｂには、図３に示す如く夫々螺旋溝１２が形成され、回転環８ａ，８ｂが矢印方向（反時計回転方向）に回転すると、夫々の螺旋溝１２に周囲のガスが引き込まれ、静止環７ａ，７ｂとの間にガス膜が形成される。ここで、前記螺旋溝１２は、回転環８ａ，８ｂの外周から内周に連続して形成するのではなく、図３に示す如く、内周に至る途中までで中断することが肝要である。
【００３２】
前記螺旋溝１２を、回転環８ａ，８ｂの外周から内周に至る途中までに形成すると、これらの回転環８ａ，８ｂの回転に伴って周囲のガスを回転軸９ａ側に引き込み、前記螺旋溝１２の形成されていない部位、即ち図３に示すシーリングダム１２ａが、ガスの流れの抵抗となって圧力を上昇させ、静止環７ａと回転環８ａ、静止環７ｂと回転環８ｂとの間に隙間を生じさせ、その隙間にいわば「流体膜」を形成することになるからである。
【００３３】
そして、前記バリアシール部４と静止側ドライガスシール本体３−１とが一体的に連結される部位の近傍の前記圧縮機ケーシング１内周側に、この内周に亘って突出した円周状突出部１ａが設けられる一方、前記調整ライナー５が、前記円周状突出部１ａのインペラ背面側に形成された突出部円周面１ｂと、前記静止側ドライガスシール本体３−１の増速機側に形成されたガスシール本体円周面３−１ａとの間に装着され、前記調整ライナー５が、前記ドライガスシール部３を介して前記圧縮機ケーシング１に負荷される推力を受ける構造をなしている。この様なドライガスシール構造によって、軸方向全長を従来例より短縮し、高圧用途で推力が大きな場合でも強度的に耐え得る構造としている。
【００３４】
ここで、前記調整ライナー５は、その回転を防止するための止めピン１３により固定されるのが好ましい。即ち、前記ガスシール本体円周面３−１ａにピン穴が形成され、このピン穴に、ピン穴の深さと前記調整ライナー５の厚さとの和以下の長さを有する止めピン１３が差し込まれると共に、調整ライナー５の円周上の前記ピン穴同位置にも開孔５ａが形成され、前記止めピン１３がこれらの開孔５ａに嵌め込まれる構造をなしている。そのため、調整ライナー５が回転方向に拘束され、組立時の調整ライナー５の回転を防止可能となり作業の効率化を図ることができる。
【００３５】
また、前記バリアシール部４には、軸方向に離反して形成されたラビリンス４ａ，４ｂと、これらラビリンス４ａ，４ｂ間にパージガスを導入するため形成されたパージガス導入流路１４とが設けられる一方、このバリアシール部４と前記ドライガスシール部３との間に形成された空間部１５ａに連通するパージガス排出流路１５が設けられている。前記パージガスとしては空気や窒素等が用いられ、このパージガスの導入によって、増速機側からドライガスシール部３側へ向かおうとする油等の異物を堰き止め、ドライガスシール部３の損傷等の不具合を防止する。
【００３６】
同時に、前記パージガス排出流路１５によって、ドライガスシール部３側から漏れ出たプロセスガスや侵入した異物をベント配管等より機外に排出して、ドライガスシール部３への影響を排除可能な構造としている。
【００３７】
次に、この様なガスシール構造におけるシール機構とその作用について説明する。インペラ回転軸６ａが停止している場合は、そのシール面１０ａはバネ９ａのバネ力によって、静止環７ａと回転環８ａとは接触状態にあるため、ガス漏れは殆どない。
【００３８】
一方、前記回転軸６ａが回転している場合は、そのシール面１０ａには、回転環８ａに形成された螺旋溝１２によって周囲のガスが引き込まれ、静止環７ａとの間に３μｍ程度のガス膜（上述の「流体膜」）が形成されて非接触な平衡状態となって、シール面１０ａの摺動摩擦を生ずることなくガス漏れを極小量化することができる。前記シール面１０ａは、回転軸６ａに対して垂直であるため、回転軸６ａの半径方向振動の影響を殆ど受けない。そのため、このシール面１０ａに形成される隙間を数μｍの単位まで小さく設定できる。
【００３９】
そして、前記ガス膜厚さを小さくする様な外乱が与えられた場合は、周囲から引き込まれるガス量に対してガス膜空間容積が低減するため、旋回溝１２に発生するガス圧は直ちに急上昇してガス膜厚さが厚くなる一方、前記ガス膜厚さを厚くする様な外乱が与えられた場合は、周囲から引き込まれるガス量に対してガス膜空間容積が増加するため、旋回溝１２に発生するガス圧は直ちに急降下してガス膜厚さが小さくなる様作用して自己平衡状態が保持される。
【００４０】
それにも拘わらず、一次ドライガスシール部３ａを漏れ出したガスは、二次ドライガスシール部３ｂに至り、上述した一次ドライガスシール部３ａと同様なシール作用によって、この二次ドライガスシール部３ｂから漏れ出すことを妨げられる。
【００４１】
それにも拘わらず更に漏れ出したガスは、前記ドライガスシール部３とバリアシール部４との間に形成された空間部１５ａに至り、バリアシール部４に形成されたパージガス導入流路１４からパージガスが導入されると共に、前記空間部１５ａからパージガス排出流路１５を経て機外に排出される。
【００４２】
以上説明した通り、本発明に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造によれば、インペラ背面の圧縮機ケーシングに固定された静止側ドライガスシール本体及びインペラ回転軸に固定された回転側ドライガスシール本体からなるドライガスシール部と、このドライガスシール部より増速機側にあって前記圧縮機ケーシングに固定されたバリアシール部とが設けられ、このバリアシール部が、前記静止側ドライガスシール本体に一体的に連結されている。
【００４３】
そして同時に、前記圧縮機ケーシングと静止側ドライガスシール本体との間に、軸方向位置調整用の調整ライナーが装着されてなるので、従来例に係るオイルシール部はバリアシール部に機能一体化され、ガスシール部の軸方向全長を従来よりも短縮可能となり、回転体の安定性を確保することができる。また、このガスシール部を一体化することによって、組立作業の効率化も図ることができる。更に、この調整ライナーの厚さによって、前記静止側ドライガスシール本体と回転側ドライガスシール本体との軸方向の相対位置が調整可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態に係る増速機内蔵型遠心圧縮機のガスシール構造の要部を、回転軸に軸対称な半断面として示した図である。
【図２】図１のドライガスシール部を拡大して示した部分詳細図である。
【図３】図１の回転環の矢視Ａ−Ａシール面を示す図である。
【図４】従来例１のシール技術に係り、増速機内蔵型遠心圧縮機の実施例の主要部を示す断面図である。
【図５】従来例３のシール技術に係り、増速機内蔵型遠心圧縮機の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１：圧縮機ケーシング，      １ａ：円周状突出部，        １ｂ：突出部円周面，
２：増速機ケーシング，
３：ドライガスシール部，
３ａ：一次ドライガスシール部，        ３ｂ：二次ドライガスシール部，
３−１：静止側ドライガスシール部，    ３−１ａ：ガスシール本体円周面，
３−２：回転側ドライガスシール部，
４：バリアシール部，                  ４ａ，４ｂ：ラビリンス，
５：調整ライナー，          ５ａ：開孔，
６：インペラ，              ６ａ：（インペラ）回転軸，
７ａ，７ｂ：静止環，        ８ａ，８ｂ：回転環，
９ａ，９ｂ：バネ，          １０ａ，１０ｂ：シール面，
１１ａ，１１ｂ：シールリング，
１２：螺旋溝，                １２ａ：シーリングダム，
１３：止めピン，              １４：パージガス導入流路，
１５：パージガス排出流路，    １５ａ：空間部，
１６：ラビリンス，            １６ａ：ボルト，
１７，１８：ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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