(57)【要約】      （修正有）【課題】ＦＺ法（フローティングゾーン法、または浮遊帯域溶融法）における画像計測用カメラ位置の自動調整方法及び自動調整システムを提供する。【解決手段】ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラ２０の誘導加熱コイル１４との相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法であって、前記誘導加熱コイル１４の現在コイル位置を測定し、前記現在コイル位置と前記誘導加熱コイル１４の設計コイル位置との差分を算出し、前記現在コイル位置の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラ２０を平行移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラの誘導加熱コイルとの相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法であって、
前記誘導加熱コイルの現在コイル位置を測定し、
前記現在コイル位置と前記誘導加熱コイルの設計コイル位置との差分を算出し、
前記現在コイル位置の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラを平行移動させることを特徴とするＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法。
【請求項２】
ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラの誘導加熱コイルとの相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整システムであって、
変位センサと、スライドステージと、演算部とを有し、
前記変位センサは、
前記誘導加熱コイルの現在コイル位置を測定し、
前記演算部は、
前記現在コイル位置と前記誘導加熱コイルの設計コイル位置との差分を算出して得られる差分データを前記スライドステージに出力し、
前記スライドステージは、
前記画像計測用カメラを搭載し、前記差分データが入力され、前記現在コイル位置の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラを平行移動させることを特徴とするＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＦＺ法（フローティングゾーン法、または浮遊帯域溶融法）による半導体単結晶製造装置に用いられる画像計測用カメラの位置合わせの方法やシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＦＺ法において用いられる誘導加熱コイルは、成長させる半導体単結晶のサイズや品質に応じて設計されており、目的に合わせて設計の異なる（外形の異なる）誘導加熱コイルを交換して用いられる。よって交換の際に誘導加熱コイルの位置が変わり、それに応じて溶融帯の位置も変わることになるため、画像計測用カメラの位置を移動させる必要がある（特許文献１参照）。
【０００３】
従来の画像計測用カメラの位置合わせの手順を説明する。画像計測用カメラの計測対象である半導体原料棒が溶融して形成される溶融帯はかなりの強度で発光している。その為レンズには減光フィルターが装着され、絞りは絞った状態で、且つシャッタースピードは短く設定しているため装置停止中の炉内を映し出すことはできない。そこで、まず画像計測用カメラのレンズに装着している減光フィルターを取り外す。炉内を明るくするために照明を設置する。レンズの絞りを調整する。またカメラのシャッタースピードを変更する。
【０００４】
また、画像計測用カメラからの映像はモニタに映し出されている。また画像計測用カメラの中心（光軸）が例えばモニタ上に十字のラインで表示されている。一方画像計測用カメラはネジ止め式の冶具に固定されておりネジを緩めて微調整を行うことができる。そこで、画像計測用カメラからの映像をモニタに映しながら、画像計測用カメラの位置を調整し、モニタ上に表示される十字の中心と誘導加熱コイルの中心（または上面や下面）とが一致するようにネジを緩めて微調整を行う。そしてレンズの絞り、カメラのシャッタースピードを元の設定に戻して減光フィルターをレンズに装着し、照明を撤去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２５４１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように従来技術では、主に手動で画像計測用カメラの位置合わせを行うため、時間がかかるといった問題がある。また映像に合わせて調整を行うため繰り返し精度が悪く、作業者によっても差が生じる。溶融帯の上端及び下端に生ずる固液界面位置の算出は誘導加熱コイルからの高さ方向の距離で求めるため、画像計測用カメラの誘導加熱コイルに対する相対位置のずれはそのまま計測値のずれとなるため、このずれをできる限り小さくしたいという要請がある。さらにレンズやカメラの設定の戻し忘れや、フィルターの付け忘れなど作業者によるミスが起きやすい。
【０００７】
そこで、本発明は上記問題点に着目し、短時間で正確に画像計測用カメラと誘導加熱コイルとの相対位置を調整可能なＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法、及び自動調整システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法は、ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラの誘導加熱コイルとの相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法であって、前記誘導加熱コイルの現在コイル位置を測定し、前記現在コイル位置と前記誘導加熱コイルの設計コイル位置との差分を算出し、前記現在コイル位置の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラを平行移動させることを特徴としている。
【０００９】
一方、本発明に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整システムは、ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラの誘導加熱コイルとの相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整システムであって、変位センサと、演算部と、スライドステージとを有し、前記変位センサは、前記誘導加熱コイルの現在コイル位置を測定し、前記演算部は、前記現在コイル位置と前記誘導加熱コイルの設計コイル位置との差分を算出して得られる差分データを前記スライドステージに出力し、前記スライドステージは、前記画像計測用カメラを搭載し、前記差分データが入力され、前記現在コイル位置の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラを平行移動させることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法及び自動調整システムによれば、画像計測用カメラの映像を用いることがないので画像計測用カメラの絞り、シャッタースピード、フィルター等の設定の変更を行う必要がなく、作業手順を簡略化するとともに人為的なミスを防止することができる。また画像計測用カメラの平行移動は、手動ではなくスライドステージによって行われるので、迅速かつ正確に画像計測用カメラを平行移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態にかかる自動調整システムの正面の模式図である。
【図２】本実施形態にかかる自動調整システムの断面の模式図である。
【図３】本実施形態にかかる変位センサの配置図である。
【図４】本実施形態にかかる自動調整システムの制御ブロック図である。
【図５】本実施形態にかかる自動調整システムのフロー図である。
【図６】本実施形態と従来技術の比較を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００１３】
本実施形態に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法は、ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラの誘導加熱コイルとの相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法であって、前記誘導加熱コイルの現在コイル位置を測定し、前記現在コイル位置と前記誘導加熱コイルの設計コイル位置との差分を算出し、前記現在コイル位置の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラを平行移動させるものである。
【００１４】
上記方法を具現化する本実施形態に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整システムの模式図を図１（正面の模式図）、図２（断面の模式図、スライドステージ２８を省略）、図３（変位センサの配置図）に示し、図４に自動調整システムの制御ブロックを示す。本実施形態に係る自動調整システム１０は、ＦＺ法に用いられる画像計測用カメラ２０のチャンバ１２内に保持された誘導加熱コイル１４との相対位置を調整するＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整システムであって、変位センサ１６と、スライドステージ２８と、演算部３６とを有し、前記変位センサ１６は、前記誘導加熱コイル１４の現在コイル位置４６を測定し、前記演算部３６は、前記現在コイル位置４６と前記誘導加熱コイル１４の設計コイル位置３８との差分を算出して得られる差分データ（第１差分データ４８、第２差分データ５０）を前記スライドステージ２８に出力し、前記スライドステージ２８は、前記画像計測用カメラ２０を搭載し、前記差分データが入力され、前記現在コイル位置４６の方向に前記差分だけ前記画像計測用カメラ２０を平行移動させる構成である。
【００１５】
チャンバ１２は、図１に示すように、誘導加熱コイル１４を内部で保持し、スライドステージ２８を外部で保持する筐体である。また図２に示すように、チャンバ１２の上部及び下部には貫通孔１２ａ、１２ｂが形成されている。さらに図３に示すように上部の貫通孔１２ａ、誘導加熱コイル１４の中心にある貫通孔１４ａ、下部の貫通孔１２ｂは真上から見て同心円状に連通して配置されている。なお上部の貫通孔１２ａは、誘導加熱コイル１４の貫通孔１４ａよりその外形が大きいものとする。
【００１６】
上部の貫通孔１２ａにはＦＺ法で用いるシリコン多結晶の原料棒（不図示）が挿通され、下部の貫通孔１２ｂにはシリコン単結晶の種結晶（不図示）または、ＦＺ法により形成された絞り部分（不図示）が挿通する。なおＦＺ法によるシリコン単結晶の製造中において、原料棒（不図示）はその上端で保持され一定の回転速度で回転し、種結晶（不図示）は下端で保持され一定の回転速度で回転しつつ一定の速度で下方に移動する。
【００１７】
誘導加熱コイル１４は、高周波発振器（不図示）に接続され、高周波電流が入力されることにより原料棒に渦電流を発生させて加熱・溶融するものである。誘導加熱コイル１４は製造するシリコン単結晶のサイズや品質によってそれぞれ異なる寸法（直径、厚み）のものが用いられる。よってサイズや品質の異なるシリコン単結晶を製造するたびに、それにあわせた誘導加熱コイル１４に交換する必要がある。また誘導加熱コイル１４は取り付け方により、鉛直方向に位置が変動する。よって本実施形態に係る自動調整システム１０においては、誘導加熱コイル１４の標準的な高さ位置（設計コイル位置３８）を設定し、その設計コイル位置３８と実際に取り付けられた誘導加熱コイル１４の現在コイル位置４６との差分を算出する。
【００１８】
図１、図２に示すように、上部の貫通孔１２ａ上には変位センサ１６が設けられている。変位センサ１６は、例えば図２に示すようにセンサヘッド１６ａからレーザ光１６ｂを照射し、その反射光がセンサヘッド１６ａに戻ってくるまでの時間を計測することにより対象物までの距離を測定し、現在コイル位置４６に変換して出力するものである。誘導加熱コイル１４の位置の鉛直方向の変化を確実に捉えるため、レーザ光１６ｂの進行方向は鉛直方向に向けられている。これにより、後述の設計コイル位置３８と現在コイル位置４６との差分、第１差分データ４８が示す差分、第２差分データ５０が示す差分は鉛直方向（高さ方向）の成分のみを有するベクトルと考えることができる。
【００１９】
変位センサ１６は、シリコン単結晶の製造中は取り外されているが、本実施形態に係る自動調整システム１０を用いる場合に取り付けられる。変位センサ１６はセンサヘッド１６ａを下向きにした状態でホルダ１８に固定され、ホルダ１８はチャンバ１２の貫通孔１２ａを覆うようにネジ止め等により固定される。図３に示すように変位センサ１６は本実施形態では３つ配置され、それぞれ変位センサ１６の真下にある誘導加熱コイル１２の上面に向けてレーザ光１６ｂを照射し、その反射光を検出して得られる現在コイル位置４６を後述の演算部３６に出力する構成を有しているが、変位センサ１６を１つだけ用いてもよいし、１つの変位センサ１６をホルダ１８上で貫通孔１２ａに対して同心円状に移動可能とし、同心円上の複数個所で測定してその平均値を用いる構成としてもよい。
【００２０】
また図１、図２に示すように、チャンバ１２側面の所定位置には窓１２ｃ、１２ｄが形成され、チャンバ１２外部の窓１２ｃ、１２ｄの近傍にスライドステージ２８が取り付けられ、スライドステージ２８には画像計測用カメラ２０が取り付けられている。本実施形態において画像計測用カメラ２０は誘導加熱コイル１４の上端１４ｂを水平方向から観察する第１画像計測用カメラ２２、誘導加熱コイル１４の下端１４ｃを水平方向から観察する第２画像計測用カメラ２４、誘導加熱コイル１４の貫通孔１４ａを斜め下から観察する第３画像計測用カメラ２６が用いられる。
【００２１】
画像計測用カメラ２０は、誘導加熱コイル１４との相対位置が常に一定となるように誘導加熱コイル１４の高さ位置の変化に対応して平行移動させる必要がある。しかし、誘導加熱コイル１４の上端１４ｂと下端１４ｃとの位置関係は、誘導加熱コイル１４の厚みによって変化する。そのため、スライドステージ２８は、第１画像計測用カメラ２２を平行移動させる第１スライドステージ３０、第２画像計測用カメラ２４を平行移動させる第２スライドステージ３２、第３画像計測用カメラ２６を平行移動させる第３スライドステージ３４を必要とし、各スライドステージは独立に駆動させることができる。ただし第２スライドステージ３２と第３スライドステージ３４を平行移動させる長さは同じとなる。
【００２２】
図４に示すように、演算部３６は、例えばＰＣ（不図示）にインストールされたアプリケーションである。演算部３６はキー操作等により誘導加熱コイル１４の設計コイル位置３８、現在設置されている誘導加熱コイル１４の現在厚み４０、基準となる誘導加熱コイル１４の基準厚み４２が入力されると、ＰＣ（不図示）中の記憶媒体に記録する。そして演算部３６はキー操作をトリガとして、変位センサ１６を作動させる計測命令信号４４を出力し、設計コイル位置３８を読み出し、変位センサ１６から入力される３つの現在コイル位置４６の平均値と設計コイル位置３８との差分を演算して得られる第１差分データ４８を第１スライドステージ３０に出力し、さらに、現在設置されている誘導加熱コイル１４の現在厚み４０、基準となる誘導加熱コイル１４の基準厚み４２を読み出し、現在コイル位置４６の平均値と設計コイル位置３８との差分と、現在設置されている誘導加熱コイル１４の現在厚み４０と基準となる誘導加熱コイル１４の基準厚み４２との差分とを足し合わせた第２差分データ５０を第２スライドステージ３２及び第３スライドステージ３４に出力する。
【００２３】
図１に示すように、第１スライドステージ３０は、チャンバ１２に固定される第１固定台３０ａと、第１画像計測用カメラ２２を第１アーム３０ｂを介して固定し、第１固定台３０ａ上をスライドする第１スライダ３０ｃと、第１スライダ３０ｃをヘリコイド式にスライドさせる第１ステッピングモータ３０ｄと、演算部３６から入力される第１差分データ４８を第１駆動命令信号５２に変換して第１ステッピングモータ３０ｄの第１ドライバ３０ｅ（図４参照）に出力する第１モータコントローラ３０ｆを有する。
【００２４】
同様に第２スライドステージ３２（第３スライドステージ３４）は、チャンバ１２に固定される第２固定台３２ａ（第３固定台３４ａ）と、第２画像計測用カメラ２４（第３画像計測用カメラ２６）を第２アーム３２ｂ（第３アーム３４ｂ）を介して固定し、第２固定台３２ａ（第３固定台３４ａ）上をスライドする第２スライダ３２ｃ（第３スライダ３４ｃ）と、第２スライダ３２ｃ（第３スライダ３４ｃ）をヘリコイド式にスライドさせる第２ステッピングモータ３２ｄ（第３ステッピングモータ３４ｄ）と、演算部３６から入力される第２差分データ５０を第２駆動命令信号５４に変換して第２ステッピングモータ３２ｄ（第３ステッピングモータ３４ｄ）の第２ドライバ３２ｅ（第３ドライバ３４ｅ）（図４参照）に出力する第２モータコントローラ３２ｆ（第３モータコントローラ３４ｆ）を有する。
【００２５】
なお、各スライダ（第１スライダ３０ｃ、第２スライダ３２ｃ、第３スライダ３４ｃ）のスライドする方向は鉛直方向（図１中の矢印３０ｇ、３２ｇ、３４ｇ）であり、また上述の第１差分データ４８、第２差分データ５０の差分の方向（設計コイル位置３８から現在コイル位置４６の方向）も鉛直方向であり、レーザ光１６ｂの方向、及び誘導加熱コイル１４の位置が変化する方向と同じである。誘導加熱コイル１４の位置の変化の方向と各スライダの方向を同じにすることにより、誘導加熱コイル１４の高さ位置の変化に対応して１軸で画像計測用カメラ２０を平行移動させ、画像計測用カメラ２０の誘導加熱コイル１４に対する相対位置が一定となるように調整することができる。
【００２６】
各ステッピングモータ（第１ステッピングモータ３０ｄ、第２ステッピングモータ３２ｄ、第３ステッピングモータ３４ｄ）は、それぞれ各ドライバ（第１ドライバ３０ｅ、第２ドライバ３２ｅ、第３ドライバ３４ｅ）により１パルスに係る動力を受け所定の回転方向に所定の回転角で回転するものとする。また各ドライバは後述の第１駆動命令信号５２、第２駆動命令信号５４から回転方向及びパルス数（各ステッピングモータの回転回数）をデコードして、所定の回転方向に所定時間ごとに１パルス分に相当する回転角で各ステッピングモータを回転させるものとする。
【００２７】
図４に示すように、各モータコントローラ（第１モータコントローラ３０ｆ、第２モータコントローラ３２ｆ、第３モータコントローラ３４ｆ）は、それぞれ各ステッピングモータの周期及び回転位置を１パルス単位で識別可能なアドレスデータを管理している。そして各モータコントローラは、演算部３６から第１差分データ４８（第２差分データ５０）が入力されると、各ステッピングモータの移動前のアドレスデータ５６（第１アドレスデータ５６ａ、第２アドレスデータ５６ｂ、第３アドレスデータ５６ｃ）を各モータコントローラに付属する記憶媒体（不図示）から読み出すとともに、移動前のアドレスデータ５６を演算部３６に出力する。そして移動前のアドレスデータ５６と第１差分データ４８（第２差分データ５０）との差分から得られる第１駆動命令信号５２（第２駆動命令信号５４）を各ステッピングモータの各ドライバ（第１ドライバ３０ｅ、第２ドライバ３２ｅ、第３ドライバ３４ｅ）に出力する。
【００２８】
第１駆動命令信号５２、第２駆動命令信号５４は、例えばシリアルで出力されるバイナリデータであって最上位ビットでステッピングモータの回転方向を識別し、下位ビットにおいてパルス数（各ステッピングモータの回転回数）を表現するものとする。
【００２９】
また、各モータコントローラ（第１モータコントローラ３０ｆ、第２モータコントローラ３２ｆ、第３モータコントローラ３４ｆ）は移動前のアドレスデータ５６と第１差分データ４８（第２差分データ５０）との差分から移動先のアドレスデータ６０（第１アドレスデータ６０ａ、第２アドレスデータ６０ｂ、第３アドレスデータ６０ｃ）を算出し、移動先のアドレスデータ６０を記憶媒体（不図示）に記録するとともに演算部３６に出力する。この記録された移動先のアドレスデータ６０は次回にスライドステージ２８を移動させる際（演算部３６から次の第１差分データ４８、第２差分データ５０が入力されると）に移動前のアドレスデータ５６として読み出される。
【００３０】
一方、各ドライバは、各ステッピングモータを１パルス分回転させるたびに、例えば各モータコントローラを１回回転させたことを示すビットを上位ビットとし第１駆動命令信号５２、第２駆動命令信号５４の最上位ビット（回転方向を判別）を下位ビットとするバイナリデータ６２（第１バイナリデータ６２ａ、第２バイナリデータ６２ｂ、第３バイナリデータ６２ｃ）を各モータコントローラにシリアルで出力するものとする。
【００３１】
そして各モータコントローラは各ドライバからバイナリデータ６２が入力されると、バイナリデータ６２の下位ビットをデコードして、各ドライバがそれぞれ駆動させた各ステッピングモータの回転方向を判別し、回転方向に対応させて移動前のアドレスデータ５６をインクリメント、もしくはデクリメントすることにより移動前のアドレスデータ５６を更新して移動中のアドレスデータ５８（第１アドレスデータ５８ａ、第２アドレスデータ５８ｂ、第３アドレスデータ５８ｃ）を生成し演算部３６に出力し、これをパルス数だけ繰り返す。そして、更新された移動中のアドレスデータ５８と移動先のアドレスデータ６０とが一致すると移動完了信号６４（第１移動完了信号６４ａ、第２移動完了信号６４ｂ、第３移動完了信号６４ｃ）を演算部３６に出力する。
【００３２】
よって演算部３６は、更新された移動中のアドレスデータ５８と移動先のアドレスデータ６０とを演算部３６に付属するディスプレイ（不図示）上で表示させ、全ての移動完了信号６４を受信した旨の表示させることにより、作業者にスライステージ２８の移動、すなわち画像計測用カメラ２０の移動が正確に行われたことを伝達することができる。
【００３３】
図５に本実施形態に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法、及び自動調整システム１０のフロー図を示す。
まず、変位センサ１６をチャンバ１２上部の貫通孔１２ａを覆うように設置し、演算部３６と接続する。そしてキー操作等により、誘導加熱コイル１４の設計コイル位置３８、現在設置されている誘導加熱コイル１４の現在厚み４０、基準となる誘導加熱コイル１４の基準厚み４２が入力される。そして演算部３６は変位センサ１６に計測命令信号４４を出力し、変位センサ１６は現在コイル位置４６を演算部３６に出力する。演算部３６は、現在コイル位置４６の平均値を算出して、前記平均値と設計コイル位置３８との差分から第１差分データ４８を算出して第１スライドステージ３０の第１モータコントローラ３０ｆに出力し、現在コイル位置４６と設計コイル位置３８との差分と現在厚み４０と基準厚み４２との差分とを足し合わせた第２差分データ５０を第２スライドステージ３２のモータコントローラ３２ｆ、及び第３スライドステージ３４の第３モータコントローラ３４ｆに出力する。
【００３４】
第１モータコントローラ３０ｆは第１スライドステージ３０のスライダ３０ｃが新たな設定位置に移動するように第１ステッピングモータ３０ｄの第１ドライバ３０ｅに第１駆動命令信号５２を出力する。
【００３５】
第２モータコントローラ３２ｆ（第３モータコントローラ３４ｆ）は第２スライドステージ３２（第３スライドステージ３４）の第２スライダ３２ｃ（第３スライダ３４ｃ）が新たな設定位置に移動するように第２ステッピングモータ３２ｄ（第３ステッピングモータ３４ｄ）の第２ドライバ３２ｅ（第３ドライバ３４ｅ）に第２駆動命令信号５４を出力する。
【００３６】
そして演算部３６に各モータコントローラから移動終了信号６４が入力されると、演算部３６は、演算部３６に付属するディスプレイ（不図示）上に移動終了を示す表示をするととともに、作業者がスライドステージ２８、すなわち画像計測用カメラ２０が正確に新たな設定位置に移動したことを確認し、キー操作等により演算部３６の処理を終了させ、変位センサ１６を取り外すことにより全ての作業が終了する。
【００３７】
本願発明者は、従来技術と本実施形態との作業時間を比較し、図６に示すようになった。従来技術においては作業項目が多いだけでなく特に画像計測用カメラの位置の調整には相当な時間を要する。一方、本実施形態においては作業項目が少なくなったのみならず、特に画像計測用カメラの位置調整に掛かる時間が大幅に削減できたことがわかる。
【００３８】
以上述べたように、本実施形態に係るＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法及び自動調整システム１０によれば、画像計測用カメラ２０の映像を用いることがないので画像計測用カメラ２０の絞りシャッター、フィルター等の設定の変更を行う必要がなく、作業手順を簡略化するとともに人為的なミスを防止することができる。また画像計測用カメラ２０の平行移動は、手動ではなくスライドステージ２８によって行われるので、迅速かつ正確に画像計測用カメラを平行移動させることができる。
【００３９】
なお、本実施形態はスライドステージ２８を上下に動かすことを前提としているが、誘導加熱コイル１４の側面に対して水平方向から変位センサ１６のレーザ光１６ｂを照射し、画像計測用カメラ２０を搭載したスライドステージ２８を水平方向（レーザ光１６ｂと平行な方向）にスライド可能として、変位センサ１６により水平方向の基準位置からの差分に相当する長さ分だけスライドステージ２８を移動させる構成も可能であり、さらに本実施形態と組み合わせることにより画像計測用カメラ２０を上下左右の二軸で調整する構成とすることも可能である。
【００４０】
さらに第３画像計測用カメラ２６の最適な仰角は、誘導加熱コイル１４の下面１４ｃの形状や結晶界面の位置によって決定されるので生産品種ごとに調整すべきものである。そこで第３画像計測用カメラ２６とアーム３４ｂとの間にロータリータイプのシリンダ（不図示）を介装して、第３画像計測用カメラ２６の仰角をシリンダ（不図示）の駆動により調整可能とするとともに、演算部３６は、設計仰角をキー操作等により入力されると設計仰角に対応してシリンダ（不図示）を駆動させる信号をシリンダ（不図示）に出力して、シリンダ（不図示）は前記信号が入力されると第３画像計測用カメラ２６を設計仰角に向けて駆動させる構成を付加してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
簡易な構成で迅速かつ正確に画像計測用カメラの位置合わせが可能なＦＺ法における画像計測用カメラ位置の自動調整方法及び自動調整システムとして利用できる。
【符号の説明】
【００４２】
１０………自動調整システム、１２………チャンバ、１４………誘導加熱コイル、１６………変位センサ、１８………ホルダ、２０………画像計測用カメラ、２２………第１画像計測用カメラ、２４………第２画像計測用カメラ、２６………第３画像計測用カメラ、２８………スライドステージ、３０………第１スライドステージ、３２………第２スライドステージ、３４………第３スライドステージ、３６………演算部、３８………設計コイル位置、４０………現在厚み、４２………基準厚み、４６………現在コイル位置、４８………第１差分データ、５０………第２差分データ、５２………第１駆動命令信号、５４………第２駆動命令信号、５６………移動前のアドレスデータ、５８………移動中のアドレスデータ、６０………移動先のアドレスデータ、６２………バイナリデータ、６４………移動終了信号、１１０………半導体原料棒、１１２………コーン部、１１３………絞り部分、１１４………誘導加熱コイル、１１６………種結晶、１２７………単結晶。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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