(57)【要約】【課題】ノズル間の特性差が小さく、優れたインク吐出特性を実現できる液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、および液体吐出装置のバイアス電圧設定方法を提供すること。【解決手段】インクジェット式記録装置１は、インクジェット式記録ヘッドユニット２００と、駆動パルスを含む駆動信号をヘッドユニットの各圧電素子に供給する駆動信号供給回路７と、ヘッドユニットの各圧電素子にバイアス電圧を印加するバイアス電源回路６と、制御部５とを備える。制御部５は、ノズル間におけるインク吐出特性の特性差の大きさに応じて、バイアス電源回路６が印加するバイアス電圧の電圧値を設定する。【選択図】図１３
2010030182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を駆動することでノズル開口から液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
前記圧電素子を駆動させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドの各圧電素子に供給す
る駆動信号供給回路と、
前記液体吐出ヘッドの圧電素子にバイアス電圧を印加するバイアス電源回路と、
前記ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、前記バイアス電圧
の電圧値を設定する設定部とを備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置において、
前記設定部は、前記バイアス電圧の電圧値に応じて、前記駆動信号の電圧値を設定する
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液体吐出装置において、
前記圧電素子は、ヒステリシス特性を有し、
前記設定部は、前記駆動信号と前記バイアス電圧とにより前記圧電素子にかかる印加電
圧の変化範囲に、前記圧電素子のヒステリシス特性による抗電界を含まないように設定す
ることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液体吐出装置において、
前記設定部は、ノズル開口間に検出された液体吐出特性の特性差が大きい場合に特性差
が小さい場合よりも、各圧電素子に印加するバイアス電圧の電圧値を高く設定することを
特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
圧電素子を駆動することでノズル開口から液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
前記圧電素子を駆動させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドの各圧電素子に供給す
る駆動信号供給回路と、
前記液体吐出ヘッドの圧電素子にバイアス電圧を印加するバイアス電源回路とを備える
液体吐出装置のバイアス電圧設定方法であって、
前記ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、前記バイアス電圧
の電圧値を設定することを特徴とする液体吐出装置のバイアス電圧設定方法。
【請求項６】
圧電素子を駆動することでノズル開口から液体を吐出する液体吐出ヘッドと、
前記圧電素子を駆動させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドの各圧電素子に供給す
る駆動信号供給回路と、
前記液体吐出ヘッドの圧電素子にバイアス電圧を印加するバイアス電源回路とを備える
液体吐出装置の製造方法であって、
前記ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、前記バイアス電圧
の電圧値を設定することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の液体吐出装置、液体吐出装置のバイアス電圧設定方法
、および液体吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタなどの液体吐出装置には、圧力発生室に設けられた圧電
素子を駆動することにより、圧力発生室に連通するノズル開口からインクを吐出する方式
の液体吐出ヘッドが広く用いられている。このような液体吐出ヘッドでは、圧電素子の特
性や圧力発生室の大きさなどの製造ばらつきにより、インク吐出量などのインク吐出特性
に特性差が生じる。そして、このインク吐出特性の特性差により、印字時に色むらなどが
生じて印字画質が低下することがある。
【０００３】
そこで、特許文献１には、インク液滴の吐出量に応じて液体吐出ヘッドのランクを設定
し、液体吐出ヘッドに印加する駆動パルスの電圧値をランクに応じて設定することにより
、液体吐出ヘッド間のインク吐出量の特性差を抑制する技術が開示されている。
【０００４】
また、液体吐出ヘッドに備わる圧電素子には、印加されるバイアス電圧に応じて、変位
量が変化する特性（以下、「バイアス電圧特性」という）がある。特許文献２には、この
バイアス電圧特性を利用して、液体吐出ヘッドの圧電素子に印加するバイアス電圧を、変
位量が最も大きくなる値に設定することにより、液体吐出ヘッドのインク吐出特性を向上
させる技術が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１３２０３４号公報
【特許文献２】特開２００６−３２１２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、液体吐出ヘッド間だけではなく、１つの液体吐出ヘッドに備わるノズル
間にもインク吐出特性の特性差は発生する。特許文献１に記載の技術は、液体吐出ヘッド
間でインク吐出量の特性差を抑制するものであり、１つの液体吐出ヘッドにおけるノズル
間で、インク吐出量などのインク吐出特性の特性差を抑制することはできない。
【０００７】
また、特許文献２に記載の技術によって、液体吐出ヘッドに備わる各圧電アクチュエー
タの変位量が最大化されると、圧電アクチュエータごとの特性差がより顕著に現れるよう
になるため、ノズル間でインク吐出特性の特性差を抑制することができない。
【０００８】
このように、特許文献１，２に記載の技術では、１つの液体吐出ヘッドのノズル間でイ
ンク吐出特性の特性差を抑制することができずに、液体吐出ヘッドのノズル間でインク吐
出特性がばらついてしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、例えば
、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１０】
［適用例１］圧電素子を駆動することでノズル開口から液体を吐出する液体吐出ヘッド
と、前記圧電素子を駆動させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドの各圧電素子に供給
する駆動信号供給回路と、前記液体吐出ヘッドの圧電素子にバイアス電圧を印加するバイ
アス電源回路と、前記ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、前
記バイアス電圧の電圧値を設定する設定部とを備えることを特徴とする液体吐出装置。
【００１１】
この構成によれば、ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、バ
イアス電圧の電圧値を設定することにより、ノズル開口間で液体吐出特性の特性差を小さ
くすることができるので、液体吐出ヘッドのノズル開口間における液体吐出特性の特性差
を抑制できる。
【００１２】
［適用例２］上記液体吐出装置において、前記設定部は、前記バイアス電圧の電圧値に
応じて、前記駆動信号の電圧値を設定することを特徴とする液体吐出装置。
【００１３】
この構成によれば、バイアス電圧の電圧値に応じて、駆動信号の電圧値を設定すること
により、ノズル間の液体吐出量の特性差を抑えるとともに、液体の吐出量が確保された好
適な液体吐出特性を得ることができる。
【００１４】
［適用例３］上記液体吐出装置において、前記圧電素子は、ヒステリシス特性を有し、
前記設定部は、前記駆動信号と前記バイアス電圧とにより前記圧電素子にかかる印加電圧
の変化範囲に、前記圧電素子のヒステリシス特性による抗電界を含まないように設定する
ことを特徴とする液体吐出装置。
【００１５】
この構成によれば、バイアス電圧の設定後の印加電圧の範囲に、抗電界が含まれないよ
うになるので、抗電界を挟んで圧電素子を駆動させることによって圧電素子の特性が経時
的に劣化してしまうことを防ぐことができる。
【００１６】
［適用例４］上記液体吐出装置において、前記設定部は、ノズル開口間に検出された液
体吐出特性の特性差が大きい場合に特性差が小さい場合よりも、各圧電素子に印加するバ
イアス電圧の電圧値を高く設定することを特徴とする液体吐出装置。
【００１７】
この構成によれば、液体吐出特性の特性差を抑制することができる。
【００１８】
［適用例５］圧電素子を駆動することでノズル開口から液体を吐出する液体吐出ヘッド
と、前記圧電素子を駆動させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドの各圧電素子に供給
する駆動信号供給回路と、前記液体吐出ヘッドの圧電素子にバイアス電圧を印加するバイ
アス電源回路とを備える液体吐出装置のバイアス電圧設定方法であって、前記ノズル開口
間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、前記バイアス電圧の電圧値を設定す
ることを特徴とする液体吐出装置のバイアス電圧設定方法。
【００１９】
このようにすれば、ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、バ
イアス電圧の電圧値を設定することにより、ノズル開口間で液体吐出特性の特性差を小さ
くすることができるので、液体吐出ヘッドのノズル開口間における液体吐出特性の特性差
を抑制できる。
【００２０】
［適用例６］圧電素子を駆動することでノズル開口から液体を吐出する液体吐出ヘッド
と、前記圧電素子を駆動させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドの各圧電素子に供給
する駆動信号供給回路と、前記液体吐出ヘッドの圧電素子にバイアス電圧を印加するバイ
アス電源回路とを備える液体吐出装置の製造方法であって、前記ノズル開口間における液
体吐出特性の特性差の大きさに応じて、前記バイアス電圧の電圧値を設定することを特徴
とする液体吐出装置の製造方法。
【００２１】
このようにすれば、ノズル開口間における液体吐出特性の特性差の大きさに応じて、バ
イアス電圧の電圧値を設定することにより、ノズル開口間で液体吐出特性の特性差を小さ
くすることができるので、液体吐出ヘッドのノズル開口間における液体吐出特性の特性差
を抑制できる。したがって、液体吐出ヘッドのノズル開口間の特性差が抑制された、優れ
た液体吐出特性をもつ液体吐出装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態の実施形態例について、図面を参照して説明する。
【００２３】
（第１の実施形態例）
図１は、第１の実施形態例に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図、
図２は、インクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視図、図３は、その要部断面図で
ある。以下、図１ないし図３に従ってインクジェット式記録ヘッドユニットの構成につい
て説明する。図１に示すように、液体吐出ヘッドユニットの一例であるインクジェット式
記録ヘッドユニット（以下、「ヘッドユニット」ともいう）２００を構成する保持部材で
あるカートリッジケース２１０は、液体供給手段であるインクカートリッジ（図示なし）
がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有する。例えば、インクカートリッジ
は、ブラックおよび３色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケー
ス２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。また、カートリッジケ
ース２１０の底面には、図３に示すように、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口し
、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路２１２が設けられている
。さらに、カートリッジ装着部２１１のインク連通路２１２の開口部分には、インクカー
トリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が、インク内の気泡や異物を除
去するためにインク連通路２１２に形成されたフィルタ（図示なし）を介して固定されて
いる。
【００２４】
また、このようなカートリッジケース２１０の底面側には、複数の圧電素子３００（図
４参照）を有するとともに、カートリッジケース２１０とは反対側の端面には、液体吐出
ヘッドの一例であり、圧電素子３００の駆動によってノズル開口２１（図４参照）からイ
ンク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」ともいう）２２０
が固定されるヘッドケース２３０を有する。ヘッドユニット２００には、インクカートリ
ッジの複数色のインクに対応して複数の記録ヘッド２２０が設けられ、さらに記録ヘッド
２２０ごとにヘッドケース２３０が設けられている。
【００２５】
次に、カートリッジケース２１０に搭載される記録ヘッド２２０およびヘッドケース２
３０の構成について、ヘッドユニット２００の分解斜視図である図４、および記録ヘッド
の断面図である図５に従って説明する。
【００２６】
記録ヘッド２２０を構成する流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、図４
および図５に示すように、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンから
なる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性
エッチングすることにより、幅方向に沿って２列に並設する圧力発生室１２が形成されて
いる。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けら
れるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００
を構成する連通部１３が形成されている。この連通部１３は、インク供給路１４と連通路
１５とを介して圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されており、圧力発生室
１２と同じ幅で形成されている。なお、インク供給路１４は、圧力発生室１２の幅方向を
絞ることで所定の流路抵抗を与えるようになっている。
【００２７】
流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２の連通路１５とは反対側で連通す
るノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等を介し
て固着されている。これにより、１つの記録ヘッド２２０にはノズル開口２１の並設され
たノズル列２１Ａが２列設けられている。なお、ノズルプレート２０は、ガラスセラミッ
クス、シリコン単結晶基板またはステンレス鋼等からなる。
【００２８】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、二酸化シリコンからなり厚さが例え
ば、約１．０μｍの弾性膜５０が形成されている。この弾性膜５０上には、例えば、酸化
ジルコニウム（ＺｒＯ2）等からなり厚さが例えば、０．３〜０．４μｍの絶縁体膜５５
が積層形成されている。また、絶縁体膜５５上には、例えば、白金、チタン、イリジウム
などの材料からなる下電極膜６０と、結晶がペロブスカイト構造の誘電材料からなり厚さ
が例えば、約１〜５μｍの圧電体層７０と、例えば、白金、チタン、イリジウムなどの材
料からなる上電極膜８０とが積層形成されている。そして、下電極膜６０、圧電体層７０
および上電極膜８０を含み電圧が印加されることで駆動する部分が圧電素子３００を構成
する。なお、圧電素子３００の各層は、成膜およびリソグラフィ法などによって形成する
ことができ、特に圧電体層７０は、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により
形成することができる。そして、本実施形態例では、圧電素子３００のいずれか一方の電
極を、複数の圧電素子３００に共通する共通電極とし、他方の電極および圧電体層７０を
圧力発生室１２ごとにパターニングすることにより複数の圧電素子３００を構成している
。なお、圧電体層７０をパターニングせずに電極のみパターニングをして、複数の圧電素
子を形成しても良いし、１つの圧力発生室に複数の圧電素子をもうけても良い。
【００２９】
なお、本実施形態例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５および下電極膜６０が振動板とし
て作用するが、弾性膜５０および絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみが振動板と
して作用する構成としてもよい。また、本実施形態例では、下電極膜６０を圧電素子３０
０の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や
配線の都合で、上電極膜８０を圧電素子３００の共通電極とし、下電極膜６０を圧電素子
３００の個別電極とする構成にしてもよい。
【００３０】
上述のようにして形成された圧電素子３００の各上電極膜８０には、インク供給路１４
とは反対側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５５上まで延設される、例えば、金（Ａ
ｕ）等からなるリード電極９０が接続され、このリード電極９０を介して各圧電素子３０
０に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００３１】
こうして圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、リザーバ１００の少な
くとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合さ
れる。リザーバ部３１は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に
亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力
発生室１２に共通の液体室となるリザーバ１００を構成している。なお、流路形成基板１
０の連通部１３を圧力発生室１２ごとに分割して、リザーバ部３１のみをリザーバとする
構成としてもよい。また、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路
形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５
等）にリザーバ１００と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設ける構成と
してもよい。
【００３２】
保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しな
い程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。なお、保護基板３０は、圧
電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されて
いても、密封されていなくてもよい。この保護基板３０は、流路形成基板１０の熱膨張率
と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態例では、流路形成基板１０と同一材
料のシリコン単結晶基板を用いて形成している。
【００３３】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられて
おり、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に
露出するように設けられている。そして、保護基板３０上には、並設された圧電素子３０
０を駆動するための駆動回路１１０が固定されている。駆動回路１１０としては、例えば
、回路基板や半導体集積回路等を用いることができる。駆動回路１１０とリード電極９０
とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１１１を介して電気的に接
続されている。この駆動回路１１０は、スイッチング回路、制御ロジック等を有しており
、供給される複数の駆動信号のうちから、圧電素子３００に出力する駆動信号を選択する
機能を有する。
【００３４】
さらに、保護基板３０上には、コンプライアンス基板４０が接合されている。コンプラ
イアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給
するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。コンプライア
ンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方
向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止
されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスが与えられて
いる。
【００３５】
このように、本実施形態例の記録ヘッド２２０は、ノズルプレート２０、流路形成基板
１０、保護基板３０およびコンプライアンス基板４０の４つの基板で構成されている。そ
して、記録ヘッド２２０のコンプライアンス基板４０上には、図４に示すように、インク
導入口４４に連通するとともにカートリッジケース２１０のインク連通路２１２に連通し
て、カートリッジケース２１０からのインクをインク導入口４４に供給するインク供給連
通路２３１が形成されたヘッドケース２３０が設けられる。
【００３６】
また、記録ヘッド２２０を構成する各部材およびヘッドケース２３０には、組立時に各
部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられ
ている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いな
がら部材同士を接合することで、記録ヘッド２２０およびヘッドケース２３０が一体的に
形成される。
【００３７】
なお、上述した記録ヘッド２２０は、１枚のシリコンウェハ上に多数のチップを同時に
形成し、ノズルプレート２０およびコンプライアンス基板４０を接着して一体化し、その
後、図４に示すような１つのチップサイズの流路形成基板１０ごとに分割することによっ
て得られる。
【００３８】
このような記録ヘッド２２０およびヘッドケース２３０は、上述したカートリッジケー
ス２１０にノズル列２１Ａの並び方向に所定の間隔で４つ固定される。すなわち、本実施
形態例のヘッドユニット２００には、ノズル列２１Ａが８列設けられている。
【００３９】
また、ヘッドケース２３０を介してカートリッジケース２１０に保持された４つの記録
ヘッド２２０は、図１および図２に示すように、カバーヘッド２４０によって相対的に位
置決めされて保持される。カバーヘッド２４０は、ノズル開口２１を露出する開口部２４
１と、開口部２４１を画成するとともに記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の少なくとも
ノズル列２１Ａの並設されたノズル開口２１の両端部側に接合される固定部２４２とを具
備する。
【００４０】
固定部２４２は、複数の記録ヘッド２２０に亘ってインク滴吐出面の外周に沿って設け
られた枠部２４３と、隣接する記録ヘッド２２０の間に延設されて開口部２４１を分割す
る梁部２４４とで構成されており、枠部２４３および梁部２４４が記録ヘッド２２０のイ
ンク滴吐出面に接合される。また、固定部２４２の枠部２４３は、記録ヘッド２２０の製
造時に各部材を位置決めするピン挿入孔２３４を塞ぐように形成されている。カバーヘッ
ド２４０には、記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の側面側に、インク滴吐出面の外周縁
部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００４１】
このように、カバーヘッド２４０は、固定部２４２を記録ヘッド２２０のインク滴吐出
面に接着するようにしたため、インク滴吐出面とカバーヘッド２４０との段差を減少させ
ることができ、インク滴吐出面のワイピングや吸引動作等を行っても、インク滴吐出面に
インクが残留することを防止することができる。また、梁部２４４によって隣接する記録
ヘッド２２０の間が塞がれているため、隣接する記録ヘッド２２０の間にインクが侵入す
ることがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０等のインクによる劣化および破壊を防止
することができる。また、記録ヘッド２２０のインク滴吐出面とカバーヘッド２４０との
間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防
止してカバーヘッド２４０の変形および紙ジャムを防止することができる。さらに、複数
の記録ヘッド２２０のインク滴吐出面をカバーヘッド２４０に接合することにより、各記
録ヘッド２２０のインク滴吐出面と記録用紙との距離をカバーヘッド２４０によって位置
合わせすることができる。これにより、複数の記録ヘッド２２０でインク滴の着弾位置等
のインク吐出特性を合わせることができる。
【００４２】
さらに、側壁部２４５が、複数の記録ヘッド２２０の外周縁部を覆うことで、記録ヘッ
ド２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッ
ド２４０に、記録ヘッド２２０のインク滴吐出面と接合される固定部２４２を設けるよう
にしたため、複数の記録ヘッド２２０の各ノズル列２１Ａをカバーヘッド２４０に対して
高精度に位置決めして接合することができる。
【００４３】
このようなカバーヘッド２４０の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属材料が
挙げられ、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる
。なお、カバーヘッド２４０とノズルプレート２０との接合は、特に限定されず、例えば
、熱硬化性のエポキシ系接着剤による接着が挙げられる。
【００４４】
また、固定部２４２には、カバーヘッド２４０を他部材に位置決め固定するための固定
孔２４７を有するフランジ部２４６が設けられている。このフランジ部２４６は、側壁部
２４５からインク滴吐出面の面方向と同一方向に突出するように屈曲して形成されている
。カバーヘッド２４０は、図２および図３に示すように、記録ヘッド２２０およびヘッド
ケース２３０を保持した保持部材であるカートリッジケース２１０に固定される。詳しく
は、図２および図３に示すように、カートリッジケース２１０には、インク滴吐出面側に
突出して、カバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入される突起部２１５が設けられてい
る。そして、この突起部２１５をカバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入するとともに
、突起部２１５の先端部を加熱してかしめることで、カバーヘッド２４０をインク滴吐出
面の面方向に位置決めしてカートリッジケース２１０に固定される。
【００４５】
このようなカバーヘッド２４０と各記録ヘッド２２０とは、カバーヘッド２４０の固定
孔２４７と複数のノズル列２１Ａとの位置決めにより固定される。ここで、カバーヘッド
２４０の固定孔２４７と各記録ヘッド２２０のノズル列２１Ａとの位置決めは、カバーヘ
ッド２４０が記録ヘッド２２０のインク滴吐出面に接合されるため、例えば、ガラス等の
透過性を有する板状部材からなる位置決め治具を用いて行うことができる。
【００４６】
なお、カバーヘッド２４０と複数の記録ヘッド２２０とを位置決め接合した後、記録ヘ
ッド２２０のインク導入口４４側に接合されたヘッドケース２３０をカートリッジケース
２１０に接合するとともに、カバーヘッド２４０の固定孔２４７がカートリッジケース２
１０の突起部２１５に固定されている。
【００４７】
ここで、記録ヘッド２２０に備わる圧電素子３００の圧電体層７０は、薄膜によって形
成され且つ分極処理が施されている。このため、図６に示すように、圧電体層７０に印加
する電界を変化させると、抗電界Ｅｃ１を境として分極の正負が反転するヒステリシス特
性を有する。この抗電界Ｅｃ１は、圧電素子３００に印加する電圧を変化させて圧電素子
３００の変位量を測定し、圧電素子３００の変位方向が反転する分極点を測定することで
取得することができる。したがって、図７に例として示すように、圧電素子３００の電圧
−変位特性は、圧電素子３００に印加する電圧を変化させると、分極点Ｖａにおいて変位
方向が反転するバタフライ曲線の特性を示し、この分極点Ｖａの電圧を測定することで、
抗電界Ｅｃ１が取得される。
【００４８】
また、圧電体層７０の抗電界Ｅｃ１は、圧電素子３００の製造条件等によってばらつき
が生じる。すなわち、図７に示す電圧変位曲線において、ある圧電素子Ａの電圧変位曲線
の分極点Ｖａと、他の圧電素子Ｂの分極点Ｖｂとが異なる値になるように、圧電素子３０
０ごとに分極点がばらつく。
【００４９】
なお、図７に示すように、圧電体層７０の電圧変位曲線は、分極点より高電位側の範囲
において略Ｓ字状の非線形な特性を有している。このため、その範囲の中央付近は傾きが
大きく、印加電圧に対する変位の感度がよい領域（以下、「高感度の領域」という）とな
る。例えば、図７の例では、印加電圧ＶＨ−ＶＢＳ〜ＶＬ−ＶＢＳに対応する範囲は、電
圧変位曲線の傾きが大きく、高感度の領域といえる。これに対して、高感度の領域外は、
高感度の領域より傾きが小さく、印加電圧に対する変位の感度が鈍い領域（以下、「低感
度の領域」という）となる。例えば、図７の例では、印加電圧がＶＨ−ＶＢＳより大きい
範囲や分極点付近の範囲が低感度の領域といえる。
【００５０】
上述のように構成されたヘッドユニット２００の記録ヘッド２２０は、図示しない外部
インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至る内部が
インクで満たされる。その後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、駆動パルスを含む
駆動信号が上電極膜８０に印加されるとともに、下電極膜６０にはバイアス電圧が印加さ
れ、上電極膜８０、下電極膜６０間にかかる印加電圧を受けて圧電素子３００が駆動する
ことによって、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０および圧電体層７０がたわみ変
形する。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まって、ノズル開口２１からインク滴
が吐出される。
【００５１】
次に、上電極膜８０に印加される駆動信号、下電極膜６０に印加されるバイアス電圧に
ついて説明する。図８（ａ）は駆動信号、図８（ｂ）はバイアス電圧、図８（ｃ）は圧電
体層７０にかかる印加電圧の一例を示した図である。図８（ａ）に示すように、駆動信号
には、ＶＬ〜ＶＨの範囲で変化する駆動パルスＤＰが所定の時間間隔で繰り返し含まれる
。一方、図８（ｂ）に示すように、バイアス電圧は、一定の電圧値ＶＢＳ（Ｖ）をとる。
【００５２】
この場合、図８（ｃ）に示すように、圧電素子３００の圧電体層７０にかかる印加電圧
の範囲はＶＬ−ＶＢＳ〜ＶＨ−ＶＢＳとなる。したがって、図７に示す圧電素子Ａの例で
は、ＶＬ−ＶＢＳ〜ＶＨ−ＶＢＳの印加電圧に対して、ＸＬａ〜ＸＨａの範囲で変位する
ことになる。なお、下限値ＸＬａは印加電圧ＶＬ−ＶＢＳに対応する圧電素子Ａの変位、
上限値ＸＨａは印加電圧ＶＨ−ＶＢＳに対応する圧電素子Ａの変位である。
【００５３】
一方、圧電素子Ｂの場合であれば、同じ印加電圧の範囲ＶＬ−ＶＢＳ〜ＶＨ−ＶＢＳに
対して、ＸＬｂ〜ＸＨｂの範囲で変位する。なお、下限値ＸＬｂは印加電圧ＶＬ−ＶＢＳ
に対応する圧電素子Ｂの変位、上限値ＸＨｂは印加電圧ＶＨ−ＶＢＳに対応する圧電素子
Ｂの変位である。
【００５４】
このように、同じ駆動信号およびバイアス電圧が加えられた場合であっても、分極点な
どの電圧変位曲線の特性が圧電素子３００ごとにばらつくため、その変位量も圧電素子３
００ごとにばらつく。さらに、弾性膜５０の厚さ、圧力発生室の形状、ノズル開口の大き
さなどのばらつきの影響も受けて、ノズルごとのインク吐出特性としては、１つの記録ヘ
ッド２２０であってもノズル間でさらにばらつくことになる。
【００５５】
また、図８（ｃ）において説明したように、圧電体層７０にかかる印加電圧の範囲ＶＬ
−ＶＢＳ〜ＶＨ−ＶＢＳは、バイアス電圧の電圧値ＶＢＳの値により変化するので、図９
に例として示すように、駆動信号が一定ならば、バイアス電圧に応じてインク吐出特性が
変化するバイアス電圧特性が得られる。これは、圧電体層７０にかかる印加電圧の範囲の
うち、高感度の領域が占める割合が大きくなると、圧電素子３００の変位量が大きくなっ
てインク滴速度が速くなる一方、低感度の領域が占める割合が大きくなると、圧電素子３
００の変位量が小さくなってインク滴速度が遅くなるためと考えることができる。なお、
図９には、バイアス電圧が変化したときのインク滴速度の測定結果をインク吐出特性とし
て示したが、インク吐出量の特性についてもバイアス電圧に応じて同様に変化する。すな
わち、インク滴速度やインク吐出量のインク吐出特性は、バイアス電圧に応じて変化する
という性質がある。
【００５６】
しかしながら、例えば特許文献２に記載のように、高感度の領域を多く用いて略最大の
吐出量となるようバイアス電圧の電圧値ＶＢＳを設定して圧電素子３００を駆動させた場
合、各ノズル開口のインク吐出量やインク滴速度の特性は向上するが、ノズル間の特性差
も大きくなる。このため、色むらなどの印字画質の劣化がより顕著に現れてしまうことが
ある。
【００５７】
そこで、本実施形態例では、ノズル間のインク吐出特性の特性差の大きさに応じて、圧
電素子３００の変位量を小さくするよう、バイアス電圧の電圧値をシフトさせるバイアス
電圧のシフト補正を行うことによって、ノズル間におけるインク吐出特性の特性差を抑制
する。
【００５８】
また、バイアス電圧のシフト補正によればインク吐出量やインク滴速度の特性が低下す
ることになる。本実施形態例では、詳細は後述するが、この低下分を補うよう、駆動信号
に含まれる駆動パルスのパルス形状を変化させる駆動電圧の補正を行う。
【００５９】
図１０は、インクジェット式記録装置のインク吐出特性の設定手順を示したフローチャ
ートである。以下、図１０のフローチャートに従ってインク吐出特性の設定方法について
説明する。
【００６０】
インクジェット式記録装置の製造工程において記録ヘッド２２０が組み立てられると、
記録ヘッド２２０に備わる圧電素子３００の特性を測定することにより、抗電界Ｅｃ１が
取得される（ステップＳ１０）。そして、バイアス電圧の初期値が設定される（ステップ
Ｓ２０）。なお、バイアス電圧の初期値としては、ステップＳ１０において圧電素子３０
０の電圧変位特性を取得しておき、特許文献２に記載のように、変位量が略最大となるよ
うに適宜初期値を設定するようにしてもよいし、予め決められた所定値を初期値としても
よい。
【００６１】
次に、ステップＳ３０にて設定された初期値のバイアス電圧を適用したときの記録ヘッ
ド２２０のインク吐出特性が測定される（ステップＳ３０）。なお、このときの測定にお
いては、インク滴速度をインク吐出特性として測定してもよいし、インク吐出量をインク
吐出特性として測定するようにしてもよい。
【００６２】
次に、ノズル間のインク吐出量のばらつきに応じて、圧電素子３００の変位量を低減す
るよう、バイアス電圧のシフト量ΔＶＢＳ（図９参照）が決定される（ステップＳ４０）
。
【００６３】
ここで、バイアス電圧のシフト方向は、シフト補正後の印加電圧の範囲ＶＬ−ＶＢＳ’
〜ＶＨ−ＶＢＳ’に分極点が含まれないよう、シフト補正前の下限値ＶＬ−ＶＢＳから、
抗電界Ｅｃ１の電位に対して反対側のプラス方向に向けてシフトさせることが望ましい。
すなわち、シフト補正後のバイアス電圧ＶＢＳ’を、シフト補正前のバイアス電圧ＶＢＳ
より小さくする。これは、例えば、印加電圧の下限値ＶＬ−ＶＢＳが抗電界Ｅｃ１より大
きい場合に、シフト補正後の印加電圧の下限値ＶＬ−ＶＢＳ’が分極点より小さくなると
、抗電界Ｅｃ１を跨いで圧電素子３００が動作することになり、圧電素子３００の経時劣
化の進行を速めてしまう可能性があるからである。
【００６４】
なお、シフト量ΔＶＢＳの絶対値については、例えば、インク吐出量の特性差（標準偏
差など）と、シフト量の値とを予め対応付けた所定のテーブルを参照することにより決定
するとよい。もっとも、いったん決定したシフト量に基づくシフト補正を適用した状態で
のインク吐出特性を再測定し、ノズル間の特性差が所定の基準値より大きい場合に、バイ
アス電圧をさらにシフト補正するようにして、ノズル間の特性差が所定の基準値未満また
は最小となるまでバイアス電圧を徐々に補正するようにしてもよい。
【００６５】
上述したステップＳ４０の処理によって、図１１に示すように、圧電体層７０にかかる
印加電圧の電圧範囲ＶＬ−ＶＢＳ〜ＶＨ−ＶＢＳが、低感度の領域を一部に含む電圧範囲
ＶＬ−ＶＢＳ’〜ＶＨ−ＶＢＳ’にシフトされるよう、バイアス電圧のシフト補正におけ
るシフト量ΔＶＢＳが決定される。
【００６６】
次に、バイアス電圧のシフト補正によるインク吐出量の減少分を補うよう、駆動電圧の
補正値を決定する（ステップＳ５０）。ここでは、駆動信号に含まれる駆動パルスの電位
差がより大きくなるよう、図１２に示すように、電圧ＶＬ〜ＶＨで変化する駆動パルスＤ
Ｐを電圧ＶＬ’（＜ＶＬ）〜ＶＨ’（＞ＶＨ）で変化する駆動パルスＤＰ’に補正するた
め、駆動パルスＤＰ’を規定する条件を駆動電圧の補正値として決定する。具体的には、
例えば、バイアス電圧のシフト量の値またはノズル間の特性差と、駆動電圧の補正値とを
予め対応付けた所定のテーブルを参照して、ＶＬ’，ＶＨ’の電位やＶＬ’〜ＶＨ’の変
動幅の値ΔＶを駆動電圧の補正値として決定する。
【００６７】
これにより、図１１に示すように、シフト補正後に圧電体層７０にかかる印加電圧の電
圧範囲ＶＬ−ＶＢＳ’〜ＶＨ−ＶＢＳ’が、電圧範囲ＶＬ’−ＶＢＳ’〜ＶＨ’−ＶＢＳ
’に拡大されるよう、駆動電圧の補正値が決定される。
【００６８】
その後、記録ヘッド２２０はインクジェット式記録装置に搭載される。そして、後述す
るインクジェット式記録装置のＲＯＭに、バイアス電圧のシフト量および駆動電圧の補正
値を示す情報が書き込まれることにより、バイアス電圧のシフト補正および駆動電圧の補
正が適用される（ステップＳ６０）。
【００６９】
なお、ステップＳ３０の工程が検出工程、ステップＳ４０およびＳ６０の工程が設定工
程に相当する。
【００７０】
図１３は、上述した製造方法によってインク吐出特性が調整されたインクジェット式記
録装置の構成を示すブロック図である。図１３に示すように、液体吐出装置の一例である
インクジェット式記録装置１は、記録ヘッド２２０を搭載したヘッドユニット２００と、
装置本体１’とを有する。そして、装置本体１’は、外部装置から印字データなどを受信
する外部Ｉ／Ｆ２と、印字データなどの各種データを記憶するＲＡＭ３と、シフト量およ
び駆動電圧の補正値の情報が書き込まれるＲＯＭ４と、ＣＰＵなどからなる制御部（設定
部）５と、バイアス電圧を供給するバイアス電源回路６と、駆動信号を供給する駆動信号
供給回路７と、ヘッドユニット２００に接続する内部Ｉ／Ｆ８とを備える。
【００７１】
印字を行う際、制御部５は、ＲＯＭ４に書き込まれた情報を参照して、駆動パルスＤＰ
’を含む駆動信号（図１２参照）を、内部Ｉ／Ｆ８を介してヘッドユニット２００に供給
するよう、駆動信号供給回路７を制御することにより、駆動電圧の補正が実行される。そ
して、シフト補正後のバイアス電圧ＶＢＳ’（図９，１１参照）を内部Ｉ／Ｆ８を介して
ヘッドユニット２００に印加するよう、バイアス電源回路６を制御することによりバイア
ス電圧のシフト補正が実行される。こうして、制御部５によって、バイアス電圧のシフト
補正および駆動電圧の補正が実行されて、記録ヘッド２２０のインク吐出特性が調整され
る。さらに、制御部５は、ＲＡＭ３に記憶された印字データを内部Ｉ／Ｆ８を介してヘッ
ドユニット２００の駆動回路１１０に供給する。そして、駆動回路１１０が、印字データ
に従って駆動信号の駆動パルスＤＰ’を圧電素子３００の上電極膜８０に選択的に印加す
るとともに、圧電素子３００の下電極膜６０にバイアス電圧ＶＢＳ’を印加することによ
り、印字データに従う印字が実行される。
【００７２】
ここで、バイアス電圧のシフト補正および駆動電圧の補正の効果について説明する。図
１４は、ある記録ヘッド２２０のノズル列に含まれる各ノズルについてインク吐出特性を
実際に測定した測定結果を示すグラフである。図１４（ａ）は初期のインク吐出特性、図
１４（ｂ）はバイアス電圧のシフト補正後のインク吐出特性、図１４（ｃ）はバイアス電
圧のシフト補正および駆動電圧の補正後のインク吐出特性の測定結果を示している。なお
、グラフの横軸は、１つのノズル列について一端のノズルから他端のノズルへと順番に番
号付けたノズル番号を示す。縦軸は、初期においてノズル間で最大となったインク滴速度
に対するインク滴速度の比率（％）を示す。
【００７３】
図１４（ａ）に示すように、バイアス電圧のシフト補正および駆動電圧の補正が施され
ていない初期の状態では、ノズル列の端に位置するノズルから中央のノズルに向って、イ
ンク滴速度が徐々に遅くなる。すなわち、ノズル間でインク吐出特性に特性差が生じてい
る。
【００７４】
しかしながら、図１４（ｂ）に示すように、バイアス電圧のシフト補正を施した後では
、ノズル列全体に渡ってインク滴速度が小さくなるとともに、ノズル間のインク滴速度の
特性差（図中の矢印参照）が初期特性より小さくなっている。すなわち、ノズル間のイン
ク吐出特性の特性差が初期特性より小さい。
【００７５】
このように、インクジェット式記録装置１では、バイアス電圧のシフト補正が適用され
ることによって、記録ヘッド２２０のノズル間におけるインク滴速度、すなわちインク吐
出特性のばらつきが小さくなるよう調整されている。したがって、ノズル間におけるイン
ク吐出特性の特性差が抑制された好適なインク吐出特性を得ることができ、優れた印字画
質を実現できる。
【００７６】
なお、バイアス電圧のシフト補正前では、ノズル間のインク滴速度やインク吐出量のノ
ズル間ばらつきが不良品レベルの記録ヘッド２２０であっても、バイアス電圧のシフト補
正を行うことにより良品として扱うことができるようになる。このため、記録ヘッド２２
０の製造歩留まりを高めることができる。さらに、本実施形態例では、バイアス電圧の電
圧値を変更することによって、ノズル間の特性差を抑制するようにしており、記録ヘッド
２２０自体のハードウェア上の変更を伴わないので、優れた印字画質を低廉なコストで実
現することができる。
【００７７】
また、バイアス電圧のシフト補正では、圧電体層７０にかかる印加電圧の下限値ＶＬ−
ＶＢＳが、抗電界Ｅｃ１の電位に対して反対となるプラスの電位方向にシフトするように
したので、分極点は、シフト補正後の印加電圧の範囲ＶＨ−ＶＢＳ’〜ＶＬ−ＶＢＳ’に
含まれない。このため、抗電界Ｅｃｌを挟んで圧電素子３００を駆動させることによって
圧電素子３００の経時劣化の進行を速めてしまうことがなく、経時劣化のばらつきによっ
て、インク吐出特性の特性差が拡大してしまうことを防ぐことができる。
【００７８】
さらに、図１４（ｃ）に示すように、駆動電圧の補正を行うことによって、バイアス電
圧のシフト補正によるインク滴速度の低減分が、駆動電圧の補正によってほぼ補われると
ともに、初期特性に比べてノズル間の特性差が小さくなっている。
【００７９】
なお、図１１に示すように、駆動電圧の補正後に圧電体層７０にかかる印加電圧の範囲
は、シフト補正後の範囲に比べると、高感度の領域が占める割合が大きくなるので、駆動
電圧の補正を行うことによって、シフト補正後の状態よりノズル間のインク吐出特性のば
らつきは大きくなる。しかしながら、初期特性において圧電体層７０にかかる印加電圧の
範囲に比べると、高感度の領域が占める割合は小さいため、初期特性よりインク吐出特性
のばらつきは小さくなる。
【００８０】
したがって、バイアス電圧のシフト補正および駆動電圧の補正を行うことによって、ノ
ズル間の特性差が小さく、且つバイアス電圧のシフト補正前の初期特性に近い充分なイン
ク吐出量を併せもつ好適なインク吐出特性を得ることができる。これにより、インクジェ
ット式記録装置１としては、優れた印字画質を実現することができる。
【００８１】
（第２の実施形態例）
次に、第２の実施形態例について説明する。図１５に、第２の実施形態例に係るインク
ジェット式記録装置の構成を示す。図１５に示すように、第２の実施形態例のインクジェ
ット式記録装置は、第１の実施形態例のインクジェット式記録装置と同様の構成に加えて
、インク吐出特性を検出する検出部９をさらに備えている。なお、以下では、第１の実施
形態例と同様の構成については同じ符号を付与することとして、詳細な説明は省略する。
【００８２】
本実施形態例のインクジェット式記録装置１は、例えば、装置本体１’に備わる操作パ
ネルやホストコンピュータ（図示なし）などから、インク吐出特性の調整を行う旨のユー
ザー指示を受けたときや、前回の調整から所定時間が経過したタイミングなどで、バイア
ス電圧のシフト補正および駆動電圧の補正を含むインク吐出特性の調整が実行される。こ
のとき、制御部５は、予め設定されたバイアス電圧を用いて、記録ヘッド２２０にインク
を吐出させるととともに、検出部９に、ノズルごとのインク滴速度またはインク吐出量を
検出させることにより、各ノズルのインク吐出特性を取得する。以後、図１０のステップ
Ｓ４０〜Ｓ６０と同様の処理を行うことにより、バイアス電圧のシフト補正、および駆動
電圧の補正を行う。
【００８３】
上述したように、第２の実施形態例のインクジェット式記録装置１には、インク吐出特
性を検出する機能が備わっている。したがって、インクジェット式記録装置１の製造後、
圧電素子３００の特性に経時変化が生じた場合であっても、インク吐出特性の測定、バイ
アス電圧のシフト補正および駆動電圧の補正を適宜実行することによって、経時変化によ
るインク吐出特性のノズル間のばらつきを抑制することができる。これにより、インクジ
ェット式記録装置１としては、好適なインク吐出特性による印字画質に優れた状態を維持
することができる。
【００８４】
以上、第１の実施形態例および第２の実施形態例について説明したが、これに限られる
ことなく、その趣旨に逸脱しない様々な形態としてもよい。以下、変形例について説明す
る。
【００８５】
（変形例１）上記第１の実施形態例および第２の実施形態例では、ノズル列の各ノズル
に共通するバイアス電圧をシフトさせることにより、バイアス電圧のシフト補正を行うよ
うにしたが、ノズルごとにバイアス電圧を設定するようにしてもよい。すなわち、下電極
膜６０を圧電素子３００の個別電極として、下電極膜６０に印加するバイアス電圧を個別
に設定可能にバイアス電源回路６を構成し、インク吐出特性の特性差の大きさに応じて、
バイアス電圧をノズル個別に設定するようにしてもよい。このようにすれば、インク吐出
特性の特性差をノズルごとに補正することができるので、ノズル列のノズル間の特性差を
より小さくし、より好適なインク吐出特性を得ることができる。
【００８６】
（変形例２）上記第１の実施形態例および第２の実施形態例では、１つのノズル列に含
まれるノズル間の特性差を低減させるようにバイアス電圧のシフト補正を行うようにした
が、さらに、１つの記録ヘッド２２０に含まれるノズル列間のインク吐出特性の特性差を
考慮して、シフト量を設定するようにしてもよい。このようにすれば、記録ヘッド２２０
のノズル列間におけるインク吐出特性の特性差を抑制できる。
【００８７】
（変形例３）上記第１の実施形態例および第２の実施形態例では、バイアス電圧のシフ
ト補正に加えて、さらに駆動電圧を補正するようにしたが、駆動電圧の補正は必須の処理
ではない。すなわち、バイアス電圧のシフト補正のみを行う構成とし、シフト補正による
インク吐出量の低下は許容するようにしてもよい。
【００８８】
（変形例４）上記第１の実施形態例および第２の実施形態例では、インクを吐出するイ
ンクジェット式記録ヘッドを備えたインクジェット式記録装置１を一例に挙げたが、その
他の構造の圧電素子を用いたインクジェット式記録装置であっても良く、さらには広く液
体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置全般を対象とすることができる。液体吐出ヘッドとし
ては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等
のカラーフィルタの製造に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（
面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料吐出ヘッド、バイオチップ製造
に用いられる生体有機物吐出ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】インクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図。
【図２】ヘッドユニットの組立斜視図。
【図３】ヘッドユニットの要部断面図。
【図４】ヘッドユニットの要部の分解斜視図。
【図５】記録ヘッドの断面図。
【図６】圧電体層のヒステリシス特性および分極点を示す図。
【図７】圧電体層の電圧−変位特性を示す図。
【図８】各種の信号を説明するための図であり、（ａ）は駆動信号、（ｂ）はバイアス電圧、（ｃ）は圧電体層にかかる印加電圧を示す図。
【図９】バイアス電圧特性の一例を示す図。
【図１０】インク吐出特性の設定手順を示したフローチャート。
【図１１】バイアス電圧のシフト補正および駆動電圧の補正による印加電圧の電圧範囲が変化する様子を示す図。
【図１２】駆動信号の電圧補正後の波形を示す図。
【図１３】第１の実施形態例のインクジェット式記録装置の構成を示す図。
【図１４】インク吐出特性の測定結果を示すグラフ。
【図１５】第２の実施形態例のインクジェット式記録装置の構成を示す図。
【符号の説明】
【００９０】
１…液体吐出装置としてのインクジェット式記録装置、１’…装置本体、２…外部Ｉ／
Ｆ、３…ＲＡＭ、４…ＲＯＭ、５…設定部としての制御部、６…バイアス電源回路、７…
駆動信号供給回路、８…内部Ｉ／Ｆ、９…検出部、１０…流路形成基板、１２…圧力発生
室、１３…連通部、１４…インク供給路、１５…連通路、２０…ノズルプレート、２１…
ノズル開口、３０…保護基板、３１…リザーバ部、３２…圧電素子保持部、３３…貫通孔
、３５…接着剤、４０…コンプライアンス基板、４３…可撓部、４４…インク導入口、５
０…弾性膜、５５…絶縁体膜、６０…下電極膜、７０…圧電体層、８０…上電極膜、９０
…リード電極、１００…リザーバ、１１０…駆動回路、１１１…接続配線、２００…ヘッ
ドユニット、２１０…カートリッジケース、２１１…カートリッジ装着部、２１２…イン
ク連通路、２１３…インク供給針、２１５…突起部、２２０…液体吐出ヘッドとしての記
録ヘッド、２３０…ヘッドケース、２３１…インク供給連通路、２３４…ピン挿入孔、２
４０…カバーヘッド、２４１…開口部、２４２…固定部、２４３…枠部、２４４…梁部、
２４５…側壁部、２４６…フランジ部、２４７…固定孔、３００…圧電素子。
【図１】
2010030182.tif 000003
【図２】
2010030182.tif 000004
【図３】
2010030182.tif 000005
【図４】
2010030182.tif 000006
【図５】
2010030182.tif 000007
【図６】
2010030182.tif 000008
【図７】
2010030182.tif 000009
【図８】
2010030182.tif 000010
【図９】
2010030182.tif 000011
【図１０】
2010030182.tif 000012
【図１１】
2010030182.tif 000013
【図１２】
2010030182.tif 000014
【図１３】
2010030182.tif 000015
【図１４】
2010030182.tif 000016
【図１５】
2010030182.tif 000017