(57)【要約】【課題】  基板の搬送処理を良好に実行できる基板処理装置を提供する。【解決手段】  制御部２５、４５は、それぞれ基板搬送ユニット２０、４０により実行される搬送処理を制御する。制御部３０、５０は、それぞれ処理ユニットＣ００〜Ｃ０８、および処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５で実行される基板処理を制御する。制御部２５、４５は、基板の受け渡しと略同期して受け渡された基板情報データ６０の処理フローデータに基づいて、次に搬送すべき処理ユニットＣ００〜Ｃ１５を決定する。【選択図】図１
2010238682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置であって、
(a) 各々が、基板に対して処理を施す複数の処理ユニットと、
(b) 前記複数の処理ユニットのそれぞれとの間で、基板の受け渡しを行う基板搬送ユニットと、
(c) 前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも１つの処理ユニットで実行される基板処理を制御する第１制御部と、
(d) 前記基板搬送ユニットにより実行される搬送処理を制御する第２制御部と、
を備え、
前記複数の処理ユニットのうち、前記第１制御部により基板処理が制御される第１処理ユニットと、前記基板搬送ユニットと、の間で基板が受け渡される場合において、前記第１および第２制御部のうち受け渡し側のユニットに対応する制御部は、受け取り側のユニットに対応する制御部に、受け渡される基板に関する基板情報データを受け渡し、
前記基板情報データは、
各基板処理の条件に関するレシピ関連データと、
各基板の処理手順を特定するための処理フローデータと
を有しており、
前記処理フローデータは、
各々が、前記複数の処理ユニットと一対一に対応しており、対応する処理ユニットで実行される基板処理の順序を示す複数の順序データと、
各々が、前記複数の処理ユニットと一対一に対応しており、対応する処理ユニットにおける基板の処理状況を示す複数の処理状況データと、
を有しており、
前記第２制御部は、前記処理フローデータに含まれる前記複数の順序データおよび前記複数の処理状況データに基づいて、基板の搬送先となる処理ユニットを決定することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記第２制御部は、
i)  各順序データの大小関係に基づいて、各処理ユニットに基板が搬送される順序を決定するとともに、
ii) 着目する順序データが非処理定数と同一値となる場合、該順序データに対応する処理ユニットを基板の搬送先から除外し、
iii)  着目する２以上の順序データのそれぞれが非処理定数以外の値となり、かつ、該２以上の順序データが互いに同一となる場合、該２以上の順序データに対応する処理ユニットのうちのいずれか１つに、基板を搬送させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記第２制御部は、
i)  予め定められた処理ユニットの処理順序と、各順序データの値と、に基づいて、各処理ユニットに基板が搬送される順序を決定するとともに、
ii) 着目する順序データが非処理定数と同一値となる場合、該順序データに対応する処理ユニットを搬送先から除外し、
iii)  着目する順序データが単独処理定数と同一値となる場合、該順序データに対応する処理ユニットに基板を搬送し、
iv) 着目する２以上の順序データのそれぞれが非処理定数および前記単独処理定数以外の値となり、かつ、該２以上の順序データが互いに同一となる場合、該２以上の順序データに対応する処理ユニットのうちのいずれか１つに、基板を搬送させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記処理フローデータは、
前記複数の処理状況データを、前記複数の処理ユニットに基づいた順番に連続して配置する第１データ列と、
前記複数の順序データを、前記複数の処理ユニットに基づいた順番に連続して配置する第２データ列と、
を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記処理フローデータは、
対応する処理状況データおよび順序データを単位データとする場合、
各単位データを、前記複数の処理ユニットに基づいた順番に連続して配置したものであることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に処理を施す基板処理装置に関するもので、特に、基板の搬送処理の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送手順に関する情報を、（１）基本的なフロー情報と、（２）不使用予定の処理ユニットを示すオプション情報と、を組み合わせたデータ構造により表現するとともに、この基板搬送手順に関する情報に基づいて特定の処理ユニットを使用するか否かを決定する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
また、搬送順序を決定する情報に処理スキップ設定用の情報（フラグ）を付随させ、このフラグの値にしたがって対応する処理をスキップするか否かを判断する技術についても、従来より知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０９−３１２３２３号公報
【特許文献２】特開２００５−１２３２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、特許文献１および２の基板処理装置において、各処理ユニットによる基板の処理手順、および基板搬送ユニットによる基板の搬送手順は、レシピデータ（基板の処理手順および処理条件に関する情報）に基づいて決定される。以下では、洗浄処理に続いて加熱処理を実行する旨が規定されているレシピデータを例に説明する。
【０００６】
このレシピデータに基づいて、既に洗浄ユニットにて洗浄処理が開始されている場合、制御部は、この洗浄処理が完了したか否かの確認処理を実行する。この確認処理は、例えば、洗浄ユニットからの洗浄完了制御信号の有無を調べることにより実行される。
【０００７】
次に、洗浄処理が完了したことが確認されると、制御部は、基板搬送ユニットに対して、洗浄ユニットから基板を搬出させる。続いて、制御部は、基板搬送ユニットに対して、受け取った基板を加熱ユニットに搬入させる。そして、制御部は、加熱ユニットに対して、基板を加熱する処理を実行させる。
【０００８】
このように、同一の制御部により基板処理および搬送処理が実行される場合、制御部は、レシピデータに格納されている各基板の処理手順を確認することによって、基板の搬送手順を決定することができる。
【０００９】
しかしながら、同一の制御部により管理される処理ユニットの台数が増加すると、場合によっては、その台数が制御部の処理能力を超え、単一の制御部により基板処理および搬送処理を制御することが困難になるという問題が生ずる。特に、基板搬送ユニットの周囲に処理ユニットを積層配置する場合、この問題が顕著となる。
【００１０】
そこで、本発明では、基板の搬送処理を良好に実行できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置であって、各々が、基板に対して処理を施す複数の処理ユニットと、前記複数の処理ユニットのそれぞれとの間で、基板の受け渡しを行う基板搬送ユニットと、前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも１つの処理ユニットで実行される基板処理を制御する第１制御部と、前記基板搬送ユニットにより実行される搬送処理を制御する第２制御部とを備え、前記複数の処理ユニットのうち、前記第１制御部により基板処理が制御される第１処理ユニットと、前記基板搬送ユニットと、の間で基板が受け渡される場合において、前記第１および第２制御部のうち受け渡し側のユニットに対応する制御部は、受け取り側のユニットに対応する制御部に、受け渡される基板に関する基板情報データを受け渡し、前記基板情報データは、各基板処理の条件に関するレシピ関連データと、各基板の処理手順を特定するための処理フローデータとを有しており、前記処理フローデータは、各々が、前記複数の処理ユニットと一対一に対応しており、対応する処理ユニットで実行される基板処理の順序を示す複数の順序データと、各々が、前記複数の処理ユニットと一対一に対応しており、対応する処理ユニットにおける基板の処理状況を示す複数の処理状況データとを有しており、前記第２制御部は、前記処理フローデータに含まれる前記複数の順序データおよび前記複数の処理状況データに基づいて、基板の搬送先となる処理ユニットを決定することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記第２制御部は、各順序データの大小関係に基づいて、各処理ユニットに基板が搬送される順序を決定するとともに、着目する順序データが非処理定数と同一値となる場合、該順序データに対応する処理ユニットを基板の搬送先から除外し、着目する２以上の順序データのそれぞれが非処理定数以外の値となり、かつ、該２以上の順序データが互いに同一となる場合、該２以上の順序データに対応する処理ユニットのうちのいずれか１つに、基板を搬送させることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記第２制御部は、予め定められた処理ユニットの処理順序と、各順序データの値と、に基づいて、各処理ユニットに基板が搬送される順序を決定するとともに、着目する順序データが非処理定数と同一値となる場合、該順序データに対応する処理ユニットを搬送先から除外し、着目する順序データが単独処理定数と同一値となる場合、該順序データに対応する処理ユニットに基板を搬送し、着目する２以上の順序データのそれぞれが非処理定数および前記単独処理定数以外の値となり、かつ、該２以上の順序データが互いに同一となる場合、該２以上の順序データに対応する処理ユニットのうちのいずれか１つに、基板を搬送させることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理フローデータは、前記複数の処理状況データを、前記複数の処理ユニットに基づいた順番に連続して配置する第１データ列と、前記複数の順序データを、前記複数の処理ユニットに基づいた順番に連続して配置する第２データ列とを有することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項５の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理フローデータは、対応する処理状況データおよび順序データを単位データとする場合、各単位データを、前記複数の処理ユニットに基づいた順番に連続して配置したものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１ないし請求項５に記載の発明によれば、第２制御部は、基板とともに受け渡される基板情報データの処理フローデータを参照することによって、各処理ユニットで実行される基板処理の順序、および、各処理ユニットにおける基板の処理状況、を把握することができる。
【００１７】
これにより、第２制御部は、複数の処理ユニットで実行される各基板処理の履歴を管理することなく、各処理ユニットに基板を搬送する順序（基板搬送手順）を決定することができる。そのため、基板搬送手順を決定するための演算を簡略化することができ、演算コストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１ないし第３の実施の形態における基板処理装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１ないし第３の実施の形態における基板情報データのデータ構造の一例を示す図である。
【図３】レシピテーブルのデータ構造の一例を示す図である。
【図４】第１の実施の形態における処理フローデータのデータ構造の一例を示す図である。
【図５】図４における各処理状況データおよび順序データの値を示す図である。
【図６】第１の実施の形態における処理フローデータのデータ構造の他の一例を示す図である。
【図７】図６における各処理状況データおよび順序データの値を示す図である。
【図８】第１の実施の形態における処理フローデータのデータ構造の一例を示す図である。
【図９】図８における各処理状況データおよび順序データの値を示す図である。
【図１０】第２の実施の形態における処理フローデータのデータ構造の一例を示す図である。
【図１１】図１０における各処理状況データおよび順序データの値を示す図である。
【図１２】第３の実施の形態における処理フローデータのデータ構造の一例を示す図である。
【図１３】図１２における各処理状況データおよび順序データの値を示す図である。
【図１４】第３の実施の形態における処理フローデータのデータ構造の一例を示す図である。
【図１５】図１４における各処理状況データおよび順序データの値を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２０】
＜１．第１の実施の形態＞
＜１．１．基板処理装置のハードウェア構成＞
図１は、本発明の第１の実施の形態における基板処理装置１のハードウェア構成の一例を示す斜視図である。基板処理装置１は、レジスト塗布処理、熱処理（加熱または冷却処理）、および現像処理等の基板処理を実行する装置である。図１に示すように、基板処理装置１は、主として、ローダ１０と、基板搬送ユニット２０、４０と、複数の制御部２５、３０、４５、５０と、アンローダ９０と、複数の処理ユニットＣ００〜Ｃ１５と、を備えている。
【００２１】
ここで、本実施の形態において基板処理部５とは、図１中の一点鎖線で示すように、複数の処理ユニットＣ００〜Ｃ１５と、基板搬送ユニット２０、４０と、から構成される処理ユニット群を指すものとする。
【００２２】
ローダ１０は、図１に示すように、基板処理部５（より具体的には、処理ユニットＣ００）と並設されている。ローダ１０は、カセット（不図示）から取り出された未処理の基板を１枚ずつ取り出すとともに、取り出された未処理基板を基板処理部５の処理ユニットＣ００に受け渡す。なお、未処理基板が収納されたカセットは、基板処理装置１外の搬送機構（例えば、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）：図示省略）によって、ローダ１０に搬入されてもよい。
【００２３】
基板搬送ユニット２０は、いわゆる搬送ロボットであり、不図示の搬送アームを、（１）上下方向（略Ｚ軸方向）に延びる旋回軸周りに回動させ、（２）上下方向に昇降させ、（３）水平面内（ＸＹ平面と略平行な面内）で伸縮させることができる。これにより、基板搬送ユニット２０は、搬送アームに保持された基板を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ０８に受け渡し、各処理ユニットＣ００〜Ｃ０８から受け取ることができる。
【００２４】
処理ユニットＣ００〜Ｃ０８は、露光前処理として種々の基板処理を実行する。図１に示すように、各処理ユニットＣ００〜Ｃ０８は、基板搬送ユニット２０の周囲（より具体的には、ローダ１０からアンローダ９０に向かって（以下、単に、「基板搬送の下流側に向かって」とも称する）、基板搬送ユニット２０の前後（略Ｙ軸方向）および左右（略Ｘ軸方向））に配置されている。
【００２５】
処理ユニットＣ００は、いわゆる洗浄ユニットであり、基板処理部５に投入された基板を薬液およびリンス液（純水）により洗浄する。図１に示すように、処理ユニットＣ００は、基板搬送の下流側に向かって、基板搬送ユニット２０の後方に配置されている。処理ユニットＣ００としては、受け渡された基板を１枚ずつ洗浄する洗浄ユニットが採用されてもよいし、受け渡された複数の基板をコンベア搬送しつつ同時に洗浄する洗浄ユニットが採用されてもよい。
【００２６】
処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のそれぞれは、基板を加熱する加熱ユニットであり、互いに同様なハードウェア構成を有している。処理ユニットＣ００で洗浄された基板が、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のいずれかに搬入され、かつ、加熱されると、基板に付着するリンス液は蒸発し、基板は加熱乾燥される。処理ユニットＣ０３は、基板を冷却する冷却ユニットである。例えば、処理ユニットＣ０３は、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２で昇温された基板を冷却する。図１に示すように、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３は、基板搬送の下流側に向かって基板搬送ユニット２０の左側に配置され、かつ、上からこの順番に積層されている。
【００２７】
処理ユニットＣ０４は、基板にレジストを供給することによって、基板上にレジスト膜を形成する塗布ユニットである。また、処理ユニットＣ０５は、いわゆる減圧乾燥ユニットであり、処理ユニットＣ０４で基板表面に形成されたレジスト膜を予備乾燥する。図１に示すように、処理ユニットＣ０４、Ｃ０５は、基板搬送の下流側に向かって基板搬送ユニット２０の右側に配置され、かつ、上からこの順番に積層されている。
【００２８】
処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のそれぞれは、基板を加熱する加熱ユニットであり、互いに同様なハードウェア構成を有している。レジスト塗布された基板が、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７に搬入され、露光前の焼き締め処理（プリベーク処理）が実行されると、基板上に形成されたレジスト膜は固化する。処理ユニットＣ０８は、基板を冷却する冷却ユニットである。例えば、処理ユニットＣ０８は、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７で加熱された基板を冷却する。図１に示すように、処理ユニットＣ０６〜Ｃ０８は、基板搬送の下流側に向かって基板搬送ユニット２０の前方に配置され、かつ、上からこの順番に積層されている。
【００２９】
制御部２５（第２制御部）は、基板搬送ユニット２０と電気的に接続されており、例えば、基板搬送ユニット２０により実行される搬送処理を制御する。図１に示すように、制御部２５は、主として、ＲＡＭ（Random Access Memory）２６と、ＲＯＭ（Read Only Memory）２７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２９と、を有している。
【００３０】
ＲＡＭ２６は、例えば揮発性の記憶部により構成されており、ＣＰＵ２９の演算処理で使用されるデータを記憶する。基板搬送ユニット２０と各処理ユニットＣ００〜Ｃ０８との間で基板が受け渡されるとき、ＲＡＭ２６には、基板の受け渡しと略同期し、制御部２５および制御部３０の間で受け渡される基板情報データ６０が、記憶される（図１参照）。また、基板搬送ユニット２０により複数の基板が保持されている場合、ＲＡＭ２６には、複数の基板情報データ６０が記憶されることになる。
【００３１】
ＲＯＭ２７は、いわゆる不揮発性の記憶部により構成されている。図１に示すように、ＲＯＭ２７には、例えばプログラム２７ａが記憶されている。なお、ＲＯＭ２７としては、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが採用されてもよい。
【００３２】
ＣＰＵ２９は、ＲＯＭ２７のプログラム２７ａに従った動作制御やデータ演算を、所定のタイミングで実行する。例えば、ＣＰＵ２９は、各基板に対応する基板情報データ６０に基づいて、各基板を次に搬送すべき処理ユニットを決定する。
【００３３】
制御部３０（第１制御部）は、各処理ユニットＣ００〜Ｃ０８と電気的に接続されており、例えば、各処理ユニットＣ００〜Ｃ０８で実行される基板処理を制御する。図１に示すように、制御部３０は、主として、ＲＡＭ３１と、ＲＯＭ３２と、ＣＰＵ３４と、を有している。
【００３４】
ＲＡＭ３１は、ＲＡＭ２６と同様なハードウェア構成を有しており、ＣＰＵ３４の演算処理で使用されるデータを記憶する。例えば、処理ユニットＣ００〜Ｃ０８と基板搬送ユニット２０との間で基板が受け渡されるとき、ＲＡＭ３１には、基板の受け渡しと略同期し、制御部３０および制御部２５の間で受け渡される基板情報データ６０が、記憶される（図１参照）。また、処理ユニットＣ００〜Ｃ０８に複数の基板が滞在している場合、ＲＡＭ３１には、複数の基板情報データ６０が記憶されることになる。
【００３５】
ここで、「処理ユニットＣ００〜Ｃ０８に複数の基板が滞在している」とは、例えば、（１）処理ユニットＣ００〜Ｃ０８のうちの２つの処理ユニットのそれぞれに、１枚ずつ基板が滞在している場合であっても良いし、（２）処理ユニットＣ００〜Ｃ０８のうちの１つの処理ユニットに、２枚以上の基板が滞在している場合であっても良い。
【００３６】
また、図１に示すように、ＲＡＭ３１には、複数のレシピを格納したレシピテーブル６４ａが、記憶されている。ここで、レシピとは、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５で実行される各基板処理の条件（プロセスＩＤ）が格納されたデータであり、レシピテーブル６４ａ の各レコード（行）に対応する。なお、レシピテーブル６４ａは、例えば、制御部３０が起動する毎に、いわゆる大容量記憶部（例えば、ハードディスクドライブ：図示省略）からＲＡＭ３１に転送されても良い。
【００３７】
ＲＯＭ３２は、ＲＯＭ２７と同様に、いわゆる不揮発性の記憶部により構成されている。図１に示すように、ＲＯＭ３２には、例えばプログラム３２ａが記憶されている。なお、ＲＯＭ３２としては、ＲＯＭ２７と同様に、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが採用されてもよい。
【００３８】
ＣＰＵ３４は、ＲＯＭ３２のプログラム３２ａに従った動作制御やデータ演算を実行する。例えば、ＣＰＵ３４は、処理ユニットＣ０４のレジスト塗布処理において実行されるレジストの液温制御や吐出制御を、所定のタイミングで実行する。
【００３９】
基板搬送ユニット４０は、基板搬送ユニット２０と同様なハードウェア構成を有する搬送ロボットであり、不図示の搬送アームを、（１）上下方向に延びる旋回軸周りに回動させ、（２）上下方向に昇降させ、（３）水平面内で伸縮させることができる。これにより、基板搬送ユニット４０は、搬送アームに保持された基板を、複数の処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５のそれぞれとの間で、受け渡すことができる。
【００４０】
処理ユニットＣ０９は、露光前処理が完了した基板上のレジスト膜に対して、配線等の微細パターンを露光する露光ユニットである。図１に示すように、処理ユニットＣ０９は、処理ユニットＣ００〜Ｃ０８の後工程に位置する。また、図１に示すように、処理ユニットＣ０９は、基板搬送の下流側に向かって、処理ユニットＣ０８の前方、かつ、処理ユニットＣ１０の後方に、配置されている。ここで、処理ユニットＣ０８から処理ユニットＣ０９へ基板を受け渡す動作は、処理ユニットＣ０９の搬送ロボット（図示省略）により実行されてもよい。
【００４１】
処理ユニットＣ１０〜Ｃ１５は、露光後処理として種々の基板処理を実行する。図１に示すように、各処理ユニットＣ１０〜Ｃ１５は、基板搬送ユニット４０の周囲（より具体的には、基板搬送の下流側に向かって、基板搬送ユニット４０の前後および左右）に配置されている。
【００４２】
処理ユニットＣ１０は、露光処理が完了した基板上のレジスト膜に対し、現像液を供給することによって、露光されたパターンを現像する現像ユニットである。また、処理ユニットＣ１０は、基板にリンス液（純水）を供給することによって、基板に付着する現像液を洗い流す。図１に示すように、処理ユニットＣ１０は、基板搬送の下流側に向かって、基板搬送ユニット４０の後方に配置されている。
【００４３】
処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のそれぞれは、基板を加熱する加熱ユニットであり、互いに同様なハードウェア構成を有している。処理ユニットＣ１０で現像および洗浄された基板が、処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかに搬入され、加熱処理（ポストベーク処理）が実行されると、レジスト中の溶剤および水分が除去され、レジスト膜と基板との密着性が高められる。処理ユニットＣ１３は、基板を冷却する冷却ユニットであり、例えば、処理ユニットＣ１１、Ｃ１２で昇温された基板を冷却する。図１に示すように、処理ユニットＣ１１〜Ｃ１３は、基板搬送の下流側に向かって基板搬送ユニット４０の左側に配置され、かつ、上からこの順番に積層されている。
【００４４】
処理ユニットＣ１４は、基板表面に紫外線を照射することによって、基板に付着する有機物（例えば、現像処理後に基板に付着するレジスト残渣）を除去する除去ユニットである。図１に示すように、処理ユニットＣ１４は、基板搬送の下流側に向かって、基板搬送ユニット４０の左側に配置されている。
【００４５】
処理ユニットＣ１５は、処理ユニットＣ００〜Ｃ１４のうち、少なくとも１つの処理ユニットで実行された基板処理の良否を確認する検査ユニットである。図１に示すように、処理ユニットＣ１５は、基板搬送の下流側に向かって、基板搬送ユニット４０の前方に配置されている。
【００４６】
制御部４５（第２制御部）は、基板搬送ユニット４０と電気的に接続されており、例えば、基板搬送ユニット４０により実行される搬送処理を制御する。図１に示すように、制御部４５は、主として、ＲＡＭ４６と、ＲＯＭ４７と、ＣＰＵ４９と、を有している。
【００４７】
ＲＡＭ４６は、ＲＡＭ２６と同様なハードウェア構成を有しており、ＣＰＵ４９の演算処理で使用されるデータを記憶する。例えば、基板搬送ユニット４０と各処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５との間で基板が受け渡されるとき、ＲＡＭ４６には、基板の受け渡しと略同期し、制御部５０および制御部４５の間で受け渡される基板情報データ６０が、記憶される（図１参照）。また、基板搬送ユニット４０により複数の基板が保持されている場合、ＲＡＭ４６には、複数の基板情報データ６０が記憶されることになる。
【００４８】
ＲＯＭ４７は、ＲＯＭ２７と同様に、いわゆる不揮発性の記憶部により構成されている。図１に示すように、ＲＯＭ４７には、例えばプログラム４７ａが記憶されている。なお、ＲＯＭ４７としては、ＲＯＭ２７と同様に、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが採用されてもよい。
【００４９】
ＣＰＵ４９は、ＲＯＭ４７のプログラム４７ａに従った動作制御やデータ演算を所定のタイミングで実行する。例えば、ＣＰＵ４９は、各基板に対応する基板情報データ６０に基づいて、各基板を次に搬送すべき処理ユニットを決定する。
【００５０】
制御部５０（第１制御部）は、各処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５と電気的に接続されており、例えば、各処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５で実行される基板処理を制御する。図１に示すように、制御部５０は、主として、ＲＡＭ５１と、ＲＯＭ５２と、ＣＰＵ５４と、を有している。
【００５１】
ＲＡＭ５１は、ＲＡＭ２６と同様なハードウェア構成を有しており、ＣＰＵ５４の演算処理で使用されるデータを記憶する。例えば、各処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５と基板搬送ユニット４０との間で基板が受け渡されるとき、ＲＡＭ５１には、基板の受け渡しと略同期し、制御部５０および制御部４５の間で受け渡される基板情報データ６０が、記憶される（図１参照）。また、処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５に複数の基板が滞在している場合、ＲＡＭ５１には、複数の基板情報データ６０が記憶されることになる。
【００５２】
また、図１に示すように、ＲＡＭ５１には、ＲＡＭ３１と同様に、複数のレシピを格納したレシピテーブル６４ａが、記憶されている。なお、レシピテーブル６４ａは、例えば、制御部５０が起動する毎に、いわゆる大容量記憶部（例えば、ハードディスクドライブ：図示省略）からＲＡＭ５１に転送されても良い。
【００５３】
ＲＯＭ５２は、ＲＯＭ２７と同様に、いわゆる不揮発性の記憶部により構成されている。図１に示すように、ＲＯＭ５２には、例えばプログラム５２ａが記憶されている。なお、ＲＯＭ５２としては、ＲＯＭ２７と同様に、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが採用されてもよい。
【００５４】
ＣＰＵ５４は、ＲＯＭ５２のプログラム５２ａに従った動作制御やデータ演算を実行する。例えば、ＣＰＵ５４は、処理ユニットＣ１０の現像処理において実行される現像液の液温制御や吐出制御を、所定のタイミングで実行する。
【００５５】
アンローダ９０は、図１に示すように、基板処理部５（より具体的には、処理ユニットＣ１５）と並設されている。アンローダ９０は、基板処理部５で処理された処理済み基板を受け取る。そして、受け取られた基板は、カセット（不図示）内の対応するスロットに収納される。
【００５６】
＜１．２．基板情報データのデータ構造＞
図２は、本実施の形態における基板情報データ６０のデータ構造の一例を示す図である。図３は、レシピテーブル６４ａのデータ構造の一例を示す図である。ここでは、制御部２５、３０、４５、５０に記憶される基板情報データ６０と、制御部３０、５０に記憶されるレシピテーブル６４ａと、のデータ構造について説明する。
【００５７】
基板情報データ６０は、処理ユニットＣ００〜Ｃ１５と、基板搬送ユニット２０、４０と、の間で受け渡される基板に関する情報であり、各基板毎に生成される。また、基板情報データ６０は、基板の受け渡しと略同期し、基板の受け渡し側のユニットに対応する制御部から、受け取り側のユニットに対応する制御部に、受け渡される。
【００５８】
例えば、処理ユニットＣ００から基板搬送ユニット２０に基板が受け渡される場合、対応する基板情報データ６０は、受け渡し側の処理ユニットＣ００を制御する制御部３０から、受け取り側の基板搬送ユニット２０を制御する制御部２５に、受け渡される。
【００５９】
図２に示すように、基板情報データ６０は、複数の特性データ（例えば、「基板ＩＤ」、「カセットＮＯ」、「スロットＮＯ」、「レシピＩＤ」、および「処理フローデータ」等）を有している。また、図２に示すように、各特性データは、対応する格納部６１〜６５に格納されている。
【００６０】
すなわち、基板ＩＤ格納部６１には、各基板を一意に識別するためのデータ（基板識別データ）として「基板ＩＤ」（数値や文字列等により構成）が格納されている。また、カセットＮＯ格納部６２には、対応する基板が収納されていたカセットを特定するためのデータとして、「カセットＮＯ」が格納されている。また、スロットＮＯ格納部６３には、カセット内における基板の収納場所（スロット）を特定するためのデータとして、「スロットＮＯ」が格納されている。
【００６１】
また、レシピＩＤ格納部６４には、各基板処理の条件（レシピ）に関するレシピ関連データとして、「レシピＩＤ」が格納されている。ここで、「レシピＩＤ」は、レシピテーブル６４ａに格納されている各レシピを識別するために使用される。なお、レシピテーブル６４ａのデータ構造については、後述する。
【００６２】
さらに、処理フロー格納部６５には、各基板の処理手順を特定するためのデータとして、「処理フローデータ」が格納されている。なお、「処理フローデータ」のデータ構造については、後述する。
【００６３】
＜１．３．レシピテーブルのデータ構造＞
図３は、レシピテーブル６４ａのデータ構造の一例を示す図である。レシピテーブル６４ａは、複数のレシピを格納するデータベースであり、レシピテーブル６４ａの各行（レコード）がレシピに対応する。図３に示すように、レシピテーブル６４ａは、主として、「レシピＩＤ」、「洗浄処理」、「塗布処理」、「プリベーク」、「露光処理」、「現像処理」、および「ポストベーク」の各フィールド（列）を有している。なお、図示の都合上、図３のレシピテーブル６４ａには、一部の処理ユニット（処理ユニットＣ００、Ｃ０４、Ｃ０６、Ｃ０７、Ｃ０９〜Ｃ１２）の基板処理の条件が記載されている。
【００６４】
「レシピＩＤ」フィールドには、レシピテーブル６４ａに含まれる各レコードを一意に識別するための値（数値や文字列等）が格納されている。基板情報データ６０のレシピＩＤ格納部６４には、各レコードの「レシピＩＤ」の値のうち、いずれかが格納されている。
【００６５】
「洗浄処理」フィールドには、処理ユニットＣ００で実行される洗浄処理の条件を特定するプロセスＩＤ（数値）が、格納されている。また、「塗布処理」フィールドには、処理ユニットＣ０４で実行されるレジスト塗布処理の条件を特定するプロセスＩＤが、格納されている。また、「プリベーク」フィールドには、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のいずれかで実行されるプリベーク処理（加熱処理）の条件を特定するプロセスＩＤが、格納されている。
【００６６】
また、「露光処理」フィールドには、処理ユニットＣ０９で実行される露光処理の条件を特定するプロセスＩＤが、格納されている。また、「現像処理」フィールドには、処理ユニットＣ１０で実行される現像処理の条件を特定するプロセスＩＤが、格納されている。さらに、「ポストベーク」フィールドには、処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかで実行されるポストベーク処理（加熱処理）の条件を特定するプロセスＩＤが、格納されている。
【００６７】
ここで、「洗浄処理」、「塗布処理」、「プリベーク」、「露光処理」、「現像処理」、および「ポストベーク」の各フィールドに格納されるプロセスＩＤとは、対応する基板処理の条件が格納されたデータ（プロセスデータ）を一意に識別するための値である。各プロセスＩＤおよび各プロセスデータは、一対一に対応付けられている。したがって、制御部３０、５０は、プロセスＩＤを用いた検索処理を実行することによって、対応するプロセスデータを抽出し、対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５に対して所望の処理を実行させることができる。
【００６８】
なお、本実施の形態では、同種の基板処理、および異なった基板処理に関わらず、処理条件毎に異なったプロセスＩＤが割り当てられている。したがって、あるフィールドのプロセスＩＤは、他のフィールドに格納されることがない。例えば、「洗浄処理」＝「１」となるプロセスＩＤが存在するため、他のフィールドには、プロセスＩＤが「１」となるものが存在しない。
【００６９】
ただし、同種の基板処理において各処理条件が識別できれば十分なため、異なったフィールドで同一のプロセスＩＤが使用されてもよい。例えば、各フィールド毎に、「１」〜「３０」までのいずれかのプロセスＩＤが格納されてもよい。
【００７０】
＜１．４．処理フローデータのデータ構造＞
図４は、本実施の形態における処理フローデータ６６ａのデータ構造の一例を示す図である。また、図５は、処理フローデータ６６ａに格納されている処理状況データおよび順序データの値を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に表形式（テーブル状）にまとめた図である。
【００７１】
ここで、処理フローデータ６６ａは、複数の処理状況データと、複数の順序データと、を有している。基板搬送ユニット２０、４０の搬送処理を制御する制御部２５、４５は、処理フローデータ６６ａに基づいて、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５の搬送順序を決定する。
【００７２】
また、図４に示すように、処理フローデータ６６ａは、複数のワードデータＷ００〜Ｗ０４から構成されている。本実施の形態において、各ワードデータＷ００〜Ｗ０４は、データ容量が１６ビットのデータ列として構成されている。したがって、処理フローデータ６６ａは、８０ビットのデータを格納することができる。
【００７３】
なお、各ワードデータＷ００〜Ｗ０４について、最下位のビット位置が符号Ｄ００に、最上位のビット位置が符号Ｄ１５に、それぞれ対応している。また、以降の説明では、処理フローデータ６６ａ、および後述する処理フローデータ６６ｂ、６６ｃ（図６ないし図９参照）を総称して、処理フローデータ６６とも呼ぶ。
【００７４】
ワードデータＷ００は、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５の処理状況データ（処理状況フラグ）を格納している。すなわち、ワードデータＷ００の各ビット位置Ｄ００〜Ｄ１５には、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５と一対一に対応しており、対応する処理ユニットにおける基板の処理状況（「処理済み」または「未処理」）を示す処理状況データ（１ビットデータ）が、格納されている。
【００７５】
ここで、処理状況データの値が「１」および「０」の場合、それぞれ対応する処理ユニットで実行される基板処理が「処理済み」および「未処理」であることを示す。したがって、ビット位置Ｄ００の値（＝「１」）は、処理ユニットＣ００で基板処理（洗浄処理）が「処理済み」であることを示す。一方、ビット位置Ｄ１３の値（＝「０」）は、処理ユニットＣ１３での基板処理（冷却処理）が「未処理」であることを示す。
【００７６】
なお、対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５での処理が完了すると、制御部３０、５０は、対応する処理状況データに「１」を格納する。例えば、図４および図５において、処理ユニットＣ１３での基板処理が完了すると、処理ユニットＣ１３に対応（すなわち、処理ユニットＣ１３を制御）する制御部３０は、ワードデータＷ００のビット位置Ｄ１３に「１」を格納する。
【００７７】
ワードデータＷ０１〜Ｗ０４は、複数（本実施の形態では、１６個）の順序データを格納している。ここで、複数の順序データのそれぞれは、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５と一対一に対応しており、対応する処理ユニットに搬送される順序（その結果、対応する処理ユニットで実行される基板処理の順序）を示す。
【００７８】
図４に示すように、ワードデータＷ０１において、（１）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（２）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（３）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（４）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータには、それぞれ処理ユニットＣ００〜Ｃ０３の順序データが格納されている。
【００７９】
また、ワードデータＷ０２において、（５）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（６）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（７）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（８）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータには、それぞれ処理ユニットＣ０４〜Ｃ０７の順序データが格納されている。
【００８０】
また、ワードデータＷ０３において、（９）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（１０）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（１１）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（１２）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータには、それぞれ処理ユニットＣ０８〜Ｃ１１の順序データが格納されている。
【００８１】
また、ワードデータＷ０４において、（１３）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（１４）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（１５）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（１６）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータには、それぞれ処理ユニットＣ１２〜Ｃ１５の順序データが格納されている。
【００８２】
例えば、ワードデータＷ０４のビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７で示される値は、「１１」である（図４参照）。したがって、処理フローデータ６６ａからは、処理ユニットＣ１３の基板処理（冷却処理）の順序が第１１番目であるということが、把握される。
【００８３】
このように、本実施の形態の処理フローデータ６６は、図４に示すように、
（１）複数の処理状況データ（１ビットデータ）を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５に基づいた順番（例えば、各処理ユニットに付与された符号の順番）に連続して配置するワードデータＷ００（第１データ列）と、
（２）複数の順序データを、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５に基づいた順番に連続して配置するワードデータＷ０１〜Ｗ０４（第２データ列）と、
を有している。
【００８４】
＜１．５．処理フローデータによる基板の搬送手順＞
図６は、処理フローデータ６６ｂのデータ構造を示す図である。図７は、処理フローデータ６６ｂにおける処理状況データおよび順序データの値を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に表形式にまとめた図である。図８は、処理フローデータ６６ｃのデータ構造を示す図である。図９は、処理フローデータ６６ｃにおける処理状況データおよび順序データの値を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に表形式にまとめた図である。
【００８５】
ここで、本実施の形態において、基板搬送ユニット２０、４０の搬送処理を制御する制御部２５、４５は、受け渡された各基板の処理フローデータ６６（６６ａ〜６６ｃ）に、以下の規則Ａ１〜Ａ４を適用することによって、搬送先の処理ユニットＣ００〜Ｃ１５を決定する。そこで、以下では、これら規則Ａ１〜Ａ４を説明するとともに、制御部２５、４５により実行される基板の搬送手順を説明する。
【００８６】
なお、処理フローデータ６６ｂ、６６ｃは、規則Ａ１〜Ａ４の説明の便宜のために作成されたデータである。したがって、処理フローデータ６６ｂ、６６ｃにより実行される処理手順は、実際の基板に施される処理手順と相違する場合がある。
【００８７】
＜１．５．１．規則Ａ１＞
制御部２５、４５は、各順序データの大小関係に基づいて、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５に基板が搬送される順序を決定する。ここで、順序データの小さい順（昇順）に、基板が搬送される場合について検討する。基板は、順序データが最小値（＝「１」）となる処理ユニットＣ００に、最初に搬送される。また、処理フローデータ６６ａ（図４および図５参照）において、順序データの値が「５」となる処理ユニットＣ０５の搬送順序は、処理ユニットＣ０４（順序データ＝「４」）の次となる。
【００８８】
＜１．５．２．規則Ａ２＞
また、着目する順序データの値が「０」となる場合、制御部２５、４５は、この順序データに対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５が搬送除外ユニットであると判断し、この搬送除外ユニットは基板の搬送先から除外される。例えば、処理フローデータ６６ｂ（図６および図７参照）において、処理ユニットＣ０３の順序データには、「０」が格納されている。したがって、処理ユニットＣ０３には基板が搬送されず、基板に対して処理（冷却処理）が施されない。
【００８９】
＜１．５．３．規則Ａ３＞
また、着目する２以上の順序データの値が、「０」以外の値となり、かつ、この２以上の順序データの値が互いに同一となる場合、制御部２５、４５は、これら順序データに対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５のうちのいずれか１つに、基板を搬送させる。
【００９０】
例えば、処理フローデータ６６ａ（図４および図５参照）において、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２は、その順序データの値が互いに同一（いずれも「２」）である。したがって、制御部２５は、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のうち、受け入れ可能なユニットに、基板を搬送させる。このように、同種の基板処理を実行可能な処理ユニットＣ０１、Ｃ０２は、搬送先として、いずれか１つを選択することができ、これら処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のそれぞれは、択一的に選択可能な処理ユニット（以下、単に、「択一選択ユニット」とも呼ぶ）として使用される。
【００９１】
また、処理フローデータ６６ａに示すように、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のそれぞれ、および処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のそれぞれも、択一選択ユニットとして使用可能である。
【００９２】
なお、同種の基板処理を実行可能な複数の択一選択ユニットのうち、一部（１または２以上）の処理ユニットが、搬送先として明示的に設定される場合、対応する各順序データには、以下の値が設定される。すなわち、複数の択一選択ユニットのうち、搬送先から除外される（１または２以上の）処理ユニットの順序データには、「０」が格納される。一方、搬送先とされる（１または２以上の）処理ユニットの順序データには、「０」以外の同一値（すなわち、「１」〜「１５」のうちのいずれかの値）が格納される。これにより、複数の択一選択ユニットのうち、順序データに「０」以外の同一値が格納された処理ユニットのみが、搬送先とされる。
【００９３】
例えば、処理フローデータ６６ｂ（図６および図７参照）に示すように、同種のポストベーク処理を実行可能な処理ユニット（択一選択ユニット）Ｃ１１、Ｃ１２について、処理ユニットＣ１１の順序データには「０」が、処理ユニットＣ１２の順序データには「７」が、それぞれ格納されている。そのため、択一選択ユニットＣ１１、Ｃ１２のうちの処理ユニットＣ１２のみが、搬送先として選択される。
【００９４】
＜１．５．４．規則Ａ４＞
さらに、制御部２５、４５は、処理状況データの値が「０」以外となる処理ユニットＣ００〜Ｃ１５のうち、最も優先順位の高いものを、搬送先とする。例えば、処理フローデータ６６ｂに示すように、処理ユニットＣ１０での基板処理が完了し、制御部５０によりワードデータＷ００のビット位置Ｄ１０に「１」が格納されるとともに、制御部５０から制御部４５に対応する基板情報データ６０が受け渡されると、基板搬送ユニット４０の制御部４５は、処理ユニットＣ１２を次の搬送先に設定する。
【００９５】
また同様に、処理フローデータ６６ａの場合には処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかが、処理フローデータ６６ｃ（図８および図９参照）の場合には処理ユニットＣ１３が、次の搬送先に設定される。
【００９６】
＜１．５．５．規則Ａ１〜Ａ４による基板の搬送手順＞
上述の規則Ａ１〜Ａ４が、処理フローデータ６６ａに適用されると、制御部２５、４５は、基板搬送ユニット２０、４０に対して、次の搬送処理を実行させる。
【００９７】
すなわち、基板搬送ユニット２０による基板搬送に先立って、基板は、ローダ１０側から処理ユニットＣ００に搬入され、処理ユニットＣ００で洗浄処理が実行される。処理ユニットＣ００で洗浄処理が完了し、処理ユニットＣ００から基板搬送ユニット２０に基板が受け渡されると、基板搬送ユニット２０は、受け取った基板を、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０３、Ｃ０４、Ｃ０５の順に搬送する。続いて、基板搬送ユニット２０は、処理ユニットＣ０５から受け取った基板を、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０８に搬送する。
【００９８】
一方、基板搬送ユニット４０は、処理ユニットＣ０８〜Ｃ１０での基板処理が完了し、処理ユニットＣ１０から受け取った基板を、処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ１３に搬送する。そして、処理ユニットＣ１３での基板処理が完了すると、基板は、アンローダ９０側に搬出される。
【００９９】
また、上述の規則Ａ１〜Ａ４が、処理フローデータ６６ｂに適用されると、制御部２５、４５は、基板搬送ユニット２０、４０に対して、次の搬送処理を実行させる。
【０１００】
ここで、図６および図７に示すように、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３の順序データには、いずれも「０」が格納されており、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３は、基板の搬送先から除外されている。したがって、処理ユニットＣ００で洗浄処理が完了し、処理ユニットＣ００から基板搬送ユニット２０に基板が受け渡されると、基板搬送ユニット２０は、受け取った基板を処理ユニットＣ０４に搬送する。
【０１０１】
続いて、基板搬送ユニット２０は、処理ユニットＣ０４から受け取った基板を、処理ユニットＣ０５を経由させず、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０８に搬送する。
【０１０２】
ここで、処理フローデータ６６ｂにおいて、択一選択ユニットとして使用可能な処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のうちの処理ユニットＣ１１の「順序データ」のみが「０」とされている。すなわち、処理フローデータ６６ｂに基づいた処理手順では、択一選択ユニットＣ１１、Ｃ１２のうちの１つの処理ユニットＣ１２が常に選択され、処理ユニットＣ１１は基板の搬送先から除外されている。
【０１０３】
したがって、基板搬送ユニット４０は、処理ユニットＣ０８〜Ｃ１０での基板処理が完了し、処理ユニットＣ１０から受け取った基板を、処理ユニットＣ１２に搬送する。そして、処理ユニットＣ１２での基板処理が完了すると、基板は、アンローダ９０側に搬出される。
【０１０４】
なお、択一選択ユニットの台数が３以上となる場合において、少なくとも１つの処理ユニットの「順序データ」の値が「０」となるように処理フローデータ６６が設定されてもよい。この場合、択一選択ユニットのうちの一部（一または複数）の処理ユニットが、選択される。
【０１０５】
さらに、上述の規則Ａ１〜Ａ４が、処理フローデータ６６ｃに適用されると、制御部２５、４５は、基板搬送ユニット２０、４０に対して、次の搬送処理を実行させる。
【０１０６】
ここで、図８および図９に示すように、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２の順序データには「０」以外の同一値（＝「３」）が格納されている。また、処理ユニットＣ０３、Ｃ０４、Ｃ０５の順序データには、それぞれ「２」、「５」、「４」が格納されている。すなわち、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３において、各処理ユニットに基板が搬送される順番は、対応する符号の昇順（Ｃ０１またはＣ０２→Ｃ０３）でなく、降順（Ｃ０３→Ｃ０１またはＣ０２）となる。
【０１０７】
このように、本実施の形態の処理フローデータ６６が使用され、基板搬送が実行される場合、基板搬送ユニット２０、４０は、予め各処理ユニットに割り付けられた搬送順序に限定されず、ランダムな順序で各処理ユニットに基板を搬送することができる。
【０１０８】
したがって、処理ユニットＣ００で洗浄処理が完了し、処理ユニットＣ００から基板搬送ユニット２０に基板が受け渡されると、基板搬送ユニット２０は、受け取った基板を、処理ユニットＣ０３に搬送した後、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のいずれかに搬送する。また、基板搬送ユニット２０は、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のいずれかより受け取った基板を、処理ユニットＣ０５、Ｃ０４の順に搬送する。そして、基板搬送ユニット２０は、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０８に搬送する。
【０１０９】
一方、基板搬送ユニット４０は、処理フローデータ６６ａの場合と同様に、処理ユニットＣ０８〜Ｃ１０での基板処理が完了し、処理ユニットＣ１０から受け取った基板を、処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ１３に搬送する。そして、処理ユニットＣ１３での基板処理が完了すると、基板は、アンローダ９０側に搬出される。
【０１１０】
＜１．６．第１の実施の形態の基板処理装置の利点＞
以上のように、第１の実施の形態の制御部２５、４５（第２制御部）は、基板とともに受け渡される基板情報データ６０の処理フローデータ６６を参照することによって、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５で実行される基板処理の順序、および、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５における基板の処理状況（未処理または処理済み）、を把握することができる。
【０１１１】
すなわち、制御部２５、４５は、ワードデータＷ００に格納されている複数の処理状況データと、ワードデータＷ０１〜Ｗ０４に格納されている複数の順序データと、に基づいて、基板の搬送先となる処理ユニットＣ００〜Ｃ１５を決定することができる。
【０１１２】
これにより、制御部２５、４５は、複数の処理ユニットＣ００〜Ｃ１５で実行される各基板処理の履歴を管理することなく、処理フローデータ６６に基づいて、各処理ユニットに基板を搬送する手順を決定することができる。そのため、第１の実施の形態の基板処理装置１は、基板搬送手順を決定するための演算を簡略化することができ、演算コストを低減することができる。
【０１１３】
＜２．第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態の板処理装置１００は、第１の実施の形態の基板処理装置１と比較して、各制御部間で受け渡される基板情報データ（さらに言うと、処理フローデータ）のデータ構造が相違する点を除いては、第１の実施の形態と同様である。そこで、以下では、この相違点を中心に説明する。
【０１１４】
なお、以下の説明において、第１の実施の形態の基板処理装置１における構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
【０１１５】
＜２．１．処理フローデータのデータ構造＞
図１０は、本実施の形態における処理フローデータ１６６ａのデータ構造の一例を示す図である。処理フローデータ１６６（１６６ａ）は、処理フローデータ６６と同様に、各基板の処理手順を特定するデータである。図１０に示すように、処理フローデータ１６６ａは、複数のワードデータＷ１１〜Ｗ１４から構成されている。
【０１１６】
ここで、各ワードデータＷ１１〜Ｗ１４は、第１の実施の形態の各ワードデータＷ００〜Ｗ０４と同様に、データ容量が１６ビットのデータ列として構成されている。したがって、処理フローデータ１６６ａは、６４ビットのデータを格納することができる。
【０１１７】
また、各ワードデータＷ１１〜Ｗ１４は、第１の実施の形態の各ワードデータＷ００〜Ｗ０４と同様に、最下位のビット位置が符号Ｄ００に、最上位のビット位置が符号Ｄ１５に、それぞれ対応する。
【０１１８】
ワードデータＷ１１は、４つの単位データから構成されている。図１０に示すように、ワードデータＷ１１において、（１）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（２）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（３）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（４）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータが、それぞれ処理ユニットＣ００、Ｃ０１、Ｃ０２、Ｃ０３の単位データに対応する。
【０１１９】
また、ワードデータＷ１１において、処理ユニットＣ００〜Ｃ０３の各単位データは、１ビットの処理状況データと、３ビットの順序データと、から構成されている。例えば、処理ユニットＣ００の単位データは、ビット位置Ｄ００の処理状況データと、ビット位置Ｄ０１〜Ｄ０３の順序データと、から構成されている。このように、単位データを構成する処理状況データおよび順序データは、互いに同一の処理ユニットに対応している。
【０１２０】
また同様に、処理ユニットＣ０１の単位データはビット位置Ｄ０４の処理状況データとビット位置Ｄ０５〜Ｄ０７の順序データとから、処理ユニットＣ０２の単位データはビット位置Ｄ０８の処理状況データとビット位置Ｄ０９〜Ｄ１１の順序データとから、処理ユニットＣ０３の単位データはビット位置Ｄ１２の処理状況データとビット位置Ｄ１３〜Ｄ１５の順序データとから、それぞれ構成されている。
【０１２１】
また、ワードデータＷ１２は、ワードデータＷ１１と同様に、４つの単位データから構成されている。図１０に示すように、ワードデータＷ１２において、（１）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（２）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（３）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（４）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータが、それぞれ処理ユニットＣ０４、Ｃ０５、Ｃ０６、Ｃ０７の単位データに対応する。
【０１２２】
また、ワードデータＷ１２において、処理ユニットＣ０４の単位データはビット位置Ｄ００の処理状況データとビット位置Ｄ０１〜Ｄ０３の順序データとから、処理ユニットＣ０５の単位データはビット位置Ｄ０４の処理状況データとビット位置Ｄ０５〜Ｄ０７の順序データとから、処理ユニットＣ０６の単位データはビット位置Ｄ０８の処理状況データとビット位置Ｄ０９〜Ｄ１１の順序データとから、処理ユニットＣ０７の単位データはビット位置Ｄ１２の処理状況データとビット位置Ｄ１３〜Ｄ１５の順序データとから、それぞれ構成されている。
【０１２３】
また、ワードデータＷ１３は、ワードデータＷ１１、Ｗ１２と同様に、４つの単位データから構成されている。図１０に示すように、ワードデータＷ１３において、（１）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（２）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（３）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（４）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータが、それぞれ処理ユニットＣ０８、Ｃ０９、Ｃ１０、Ｃ１１の単位データに対応する。
【０１２４】
また、ワードデータＷ１３において、処理ユニットＣ０８の単位データはビット位置Ｄ００の処理状況データとビット位置Ｄ０１〜Ｄ０３の順序データとから、処理ユニットＣ０９の単位データはビット位置Ｄ０４の処理状況データとビット位置Ｄ０５〜Ｄ０７の順序データとから、処理ユニットＣ１０の単位データはビット位置Ｄ０８の処理状況データとビット位置Ｄ０９〜Ｄ１１の順序データとから、処理ユニットＣ１１の単位データはビット位置Ｄ１２の処理状況データとビット位置Ｄ１３〜Ｄ１５の順序データとから、それぞれ構成されている。
【０１２５】
さらに、ワードデータＷ１４は、ワードデータＷ１１、Ｗ１２、Ｗ１３と同様に、４つの単位データから構成されている。図１０に示すように、ワードデータＷ１４において、（１）ビット位置Ｄ００〜Ｄ０３、（２）ビット位置Ｄ０４〜Ｄ０７、（３）ビット位置Ｄ０８〜Ｄ１１、および（４）ビット位置Ｄ１２〜Ｄ１５で表される各４ビットデータが、それぞれ処理ユニットＣ１２、Ｃ１３、Ｃ１４、Ｃ１５の単位データに対応する。
【０１２６】
また、ワードデータＷ１４において、処理ユニットＣ０８の単位データはビット位置Ｄ００の処理状況データとビット位置Ｄ０１〜Ｄ０３の順序データとから、処理ユニットＣ０９の単位データはビット位置Ｄ０４の処理状況データとビット位置Ｄ０５〜Ｄ０７の順序データとから、処理ユニットＣ１０の単位データはビット位置Ｄ０８の処理状況データとビット位置Ｄ０９〜Ｄ１１の順序データとから、処理ユニットＣ１１の単位データはビット位置Ｄ１２の処理状況データとビット位置Ｄ１３〜Ｄ１５の順序データとから、それぞれ構成されている。
【０１２７】
このように、本実施の形態の処理フローデータ１６６ａは、図１０に示すように、各単位データを、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５の符号の順（符号の昇順）に連続して配置したものである。
【０１２８】
ここで、本実施の形態の処理フローデータ１６６ａと、第１の実施の形態の処理フローデータ６６ｂと、を比較する。図１１は、処理フローデータ１６６ａにおける処理状況データおよび順序データの値を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に表形式（テーブル状）にまとめた図である。図６、図７、図１０、および図１１に示すように、処理フローデータ１６６ａのデータ構造は、処理フローデータ６６ｂのものと相違する。一方、両処理フローデータ６６ｂ、１６６ａに格納されている各処理状況データおよび順序データの値は同一である。したがって、両処理フローデータ６６ｂ、１６６ａに上述の規則Ａ１〜Ａ４が適用されると、両処理フローデータ６６ｂ、１６６ａからは、同一の基板搬送手順が実行される。
【０１２９】
また、処理フローデータ１６６ａ（総データ容量：６４ビット）のデータサイズは、処理フローデータ６６（総データ容量：８０ビット）のデータサイズより小さい。そのため、各制御部２５、３０、４５、５０間のデータ通信（送受信）量が低減され、各制御部２５、３０、４５、５０間で実行されるデータ通信の処理負荷が低減できる。
【０１３０】
なお、上述のように、処理フローデータ１６６ａにより実行される基板の搬送手順は、処理フローデータ６６ｂにより実行される基板の搬送手順と同様なものとなり、第１の実施の形態で説明済みであるため、ここでは、説明を省略する。
【０１３１】
＜２．２．第２の実施の形態の基板処理装置の利点＞
以上のように、第２の実施の形態の基板処理装置１００は、処理フローデータ１６６（１６６ａ）に基づいて、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５に基板を搬送する手順を決定することができる。そのため、第２の実施の形態の基板処理装置１００は、第１の実施の形態の基板処理装置１と同様に、基板搬送手順を決定するための演算を簡略化することができ、演算コストを低減することができる。
【０１３２】
また、第２の実施の形態で使用される処理フローデータ１６６のデータサイズは、第１の実施の形態で使用される処理フローデータ６６のデータサイズより小さい。そのため、各制御部２５、３０、４５、５０間で実行されるデータ通信の処理負荷が低減される。
【０１３３】
＜３．第３の実施の形態＞
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。第３の実施の形態の基板処理装置２００は、第２の実施の形態の基板処理装置１００と比較して、基板情報データ２６０の処理フローデータ２６６に格納される値と、搬送先の処理ユニットＣ００〜Ｃ１５を決定する規則と、が異なる点を除いては、第２の実施の形態と同様である。そこで、以下では、この相違点を中心に説明する。
【０１３４】
なお、以下の説明において、第１および第２の実施の形態の基板処理装置１、１００における構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１および第２の実施の形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
【０１３５】
＜３．１．処理フローデータによる基板の搬送手順＞
図１２は、本実施の形態における処理フローデータ２６６ａのデータ構造を示す図である。図１３は、処理フローデータ２６６ａにおける処理状況データおよび順序データの値を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に表形式にまとめた図である。
【０１３６】
また、図１４は、本実施の形態における処理フローデータ２６６ｂのデータ構造を示す図である。図１５は、処理フローデータ２６６ｂにおける処理状況データおよび順序データの値を、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に表形式にまとめた図である。
【０１３７】
ここで、本実施の形態において、基板搬送ユニット２０、４０の搬送処理を制御する制御部２５、４５は、受け渡された各基板の処理フローデータ２６６（２６６ａ、２６６ｂ）に、以下の規則Ｂ１〜Ｂ５を適用することによって、搬送先の処理ユニットＣ００〜Ｃ１５を決定する。そこで、以下では、これら規則Ｂ１〜Ｂ５を説明するとともに、制御部２５、４５により実行される基板の搬送手順を説明する。
【０１３８】
なお、図１２および図１４に示すように、処理フローデータ２６６は、第２の実施の形態の処理フローデータ１６６ａと同様に、複数のワードデータＷ１１〜Ｗ１４から構成されている。また、処理フローデータ２６６は、第２の実施の形態の処理フローデータ１６６ａと同様に、各単位データを各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５の符号の順（符号の昇順）に連続して配置したものである。
【０１３９】
＜３．１．１．規則Ｂ１＞
制御部２５、４５は、原則、予め定められた処理ユニットＣ００〜Ｃ１５の処理順序に基づいて、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５に基板を搬送させる。本実施の形態において、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５には、付与された符号Ｃ００〜Ｃ１５の順（例えば、符号の昇順）に、基板が搬送される。また、制御部２５、４５は、以下の規則Ｂ２〜Ｂ５に基づいて、予め定められた処理順序を修正し、各処理ユニットに基板が搬送される順序を決定する。
【０１４０】
＜３．１．２．規則Ｂ２＞
着目する順序データの値が「０」となる場合、制御部２５、４５は、この順序データに対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５が搬送除外ユニットであると判断し、この搬送除外ユニットは基板の搬送先から除外される。例えば、処理フローデータ２６６ｂ（図１４および図１５参照）において、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３の順序データには、いずれも「０」が格納されている。したがって、処理ユニットＣ００で基板処理された基板は、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３に搬送されず、処理ユニットＣ０４に搬送される。
【０１４１】
＜３．１．３．規則Ｂ３＞
また、着目する順序データの値が「１」となる場合、制御部２５、４５は、この順序データに対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５が常に基板の搬送対象となる必須処理ユニットであると判断し、この必須処理ユニットに基板を搬送させる。
【０１４２】
例えば、処理フローデータ２６６ａ（図１２および図１３参照）において、各処理ユニットＣ０３〜Ｃ０５の順序データには、いずれも「１」が格納されており、これら処理ユニットＣ０３〜Ｃ０５は、いずれも搬送対象となる。したがって、処理ユニットＣ０３、Ｃ０４、Ｃ０５の搬送順序は、対応する符号の昇順（Ｃ０３→Ｃ０４→Ｃ０５）となる。
【０１４３】
＜３．１．４．規則Ｂ４＞
また、着目する２以上の順序データの値が、「０」および「１」以外の値となり、かつ、この２以上の順序データの値が互いに同一となる場合、制御部２５、４５は、これら順序データに対応する択一選択ユニットのうちのいずれか１つに、基板を搬送させる。
【０１４４】
例えば、処理フローデータ２６６ａ（図１２および図１３参照）において、処理ユニット（択一選択ユニット）Ｃ０１、Ｃ０２は、その順序データの値が互いに同一（いずれも「２」）である。したがって、制御部２５は、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のうち受け入れ可能なユニットに、基板を搬送させる。
【０１４５】
また、処理フローデータ２６６ａに示すように、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のそれぞれ、および処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のそれぞれも、択一選択ユニットとして使用可能である。
【０１４６】
なお、複数の択一選択ユニットのうち、一部（１または２以上）の処理ユニットが、搬送先として明示的に設定される場合、対応する各順序データに、以下の値が設定される。すなわち、複数の択一選択ユニットのうち、搬送先から除外される（１または２以上の）処理ユニットの順序データには、「０」が格納される。一方、搬送先とされる（１または２以上の）処理ユニットの順序データには、「０」および「１」以外の同一値（すなわち、「２」〜「７」のうちのいずれかの値）が格納される。これにより、複数の択一選択ユニットのうち、順序データに「０」および「１」以外の同一値が格納された処理ユニットのみが、搬送先とされる。
【０１４７】
例えば、処理フローデータ２６６ｂ（図１４および図１５参照）に示すように、同一のポストベーク処理を実行可能な処理ユニット（択一選択ユニット）Ｃ１１、Ｃ１２について、処理ユニットＣ１１の順序データには「０」が、処理ユニットＣ１２の順序データには「３」が、それぞれ格納されている。そのため、択一選択ユニットＣ１１、Ｃ１２のうちの処理ユニットＣ１２のみが、搬送先として選択される。
【０１４８】
＜３．１．５．規則Ｂ５＞
さらに、制御部２５、４５は、処理状況データの値が「０」となる処理ユニットＣ００〜Ｃ１５のうち、最も優先順位の高いものを、搬送先とする。例えば、処理フローデータ２６６ｂに示すように、処理ユニットＣ１０での基板処理が完了し、制御部５０によりワードデータＷ１３のビット位置Ｄ０８に「１」が格納されるとともに、制御部５０から制御部４５に対応する基板情報データ６０が受け渡されると、基板搬送ユニット４０の制御部４５は、処理ユニットＣ１２を次の搬送先として設定する。
【０１４９】
また同様に、処理フローデータ２６６ａの場合には処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかが、次の搬送先として設定される。
【０１５０】
＜３．１．６．規則Ｂ１〜Ｂ５による基板の搬送手順＞
上述の規則Ｂ１〜Ｂ５が、処理フローデータ２６６ａに適用されると、制御部２５、４５は、基板搬送ユニット２０、４０に対して、次の搬送処理を実行させる。
【０１５１】
すなわち、基板搬送ユニット２０による基板搬送に先立って、基板は、ローダ１０側から処理ユニットＣ００に搬入され、処理ユニットＣ００で洗浄処理が実行される。処理ユニットＣ００で洗浄処理が完了し、処理ユニットＣ００から基板搬送ユニット２０に基板が受け渡されると、基板搬送ユニット２０は、受け取った基板を、処理ユニットＣ０１、Ｃ０２のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０３、Ｃ０４、Ｃ０５の順に搬送する。続いて、基板搬送ユニット２０は、処理ユニットＣ０５から受け取った基板を、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０８に搬送する。
【０１５２】
一方、基板搬送ユニット４０は、処理ユニットＣ０８〜Ｃ１０での基板処理が完了し、処理ユニットＣ１０から受け取った基板を、処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ１３に搬送する。そして、処理ユニットＣ１３での基板処理が完了すると、基板は、アンローダ９０側に搬出される。
【０１５３】
このように、処理フローデータ２６６ａに上述の規則Ｂ１〜Ｂ５が適用されて実行される基板搬送手順と、第１の実施の形態の処理フローデータ６６ａに上述の規則Ａ１〜Ａ４が適用されて実行される基板搬送手順と、は、同一のものとなる。
【０１５４】
また、上述の規則Ｂ１〜Ｂ５が、処理フローデータ２６６ｂに適用されると、制御部２５、４５は、基板搬送ユニット２０、４０に対して、次の搬送処理を実行させる。
【０１５５】
ここで、図１４および図１５に示すように、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３の順序データには、いずれも「０」が格納されており、処理ユニットＣ０１〜Ｃ０３は、基板の搬送先から除外されている。したがって、処理ユニットＣ００で洗浄処理が完了し、処理ユニットＣ００から基板搬送ユニット２０に基板が受け渡されると、基板搬送ユニット２０は、受け取った基板を処理ユニットＣ０４に搬送する。
【０１５６】
続いて、基板搬送ユニット２０は、処理ユニットＣ０４から受け取った基板を、処理ユニットＣ０５を経由させず、処理ユニットＣ０６、Ｃ０７のいずれかに搬送した後、処理ユニットＣ０８に搬送する。
【０１５７】
このように、処理フローデータ２６６ｂに上述の規則Ｂ１〜Ｂ５が適用されて実行される基板搬送手順と、第１の実施の形態の処理フローデータ６６ｂに上述の規則Ａ１〜Ａ４が適用されて実行される基板搬送手順と、は、同一のものとなる。
【０１５８】
ここで、処理フローデータ２６６ｂにおいて、択一選択ユニットとして使用可能な処理ユニットＣ１１、Ｃ１２のうちの処理ユニットＣ１１の「順序データ」のみが「０」とされている。すなわち、処理フローデータ２６６ｂに基づいた処理手順では、択一選択ユニットＣ１１、Ｃ１２のうち処理ユニットＣ１２が常に選択され、処理ユニットＣ１１は基板の搬送先から除外されている。
【０１５９】
したがって、基板搬送ユニット４０は、処理ユニットＣ０８〜Ｃ１０での基板処理が完了し、処理ユニットＣ１０から受け取った基板を、処理ユニットＣ１２に搬送する。そして、処理ユニットＣ１２での基板処理が完了すると、基板は、アンローダ９０側に搬出される。
【０１６０】
なお、択一選択ユニットの台数が３以上となる場合において、少なくとも１つの処理ユニットの「順序データ」の値が「０」となるように処理フローデータ２６６が設定されてもよい。この場合、択一選択ユニットのうちの一部（一または複数）の処理ユニットが、選択される。
【０１６１】
＜３．２．第３の実施の形態の基板処理装置の利点＞
以上のように、第３の実施の形態の基板処理装置２００は、処理フローデータ２６６（２６６ａ、２６６ｂ）に基づいて、各処理ユニットＣ０１〜Ｃ１５に基板を搬送する手順を決定することができる。そのため、第３の実施の形態の基板処理装置２００は、第１および第２の実施の形態の基板処理装置１、１００と同様に、基板搬送手順を決定するための演算を簡略化することができ、演算コストを低減することができる。
【０１６２】
また、第３の実施の形態で使用される処理フローデータ２６６のデータサイズ（６４ビット）は、第１の実施の形態で使用される処理フローデータ６６のデータサイズ（８０ビット）より小さい。そのため、各制御部２５、３０、４５、５０間で実行されるデータ通信の処理負荷が低減される。
【０１６３】
＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１６４】
（１）本実施の形態において、処理ユニットＣ００〜Ｃ０８は制御部３０により、処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５は制御部５０により、それぞれ制御されるものとして説明したがこれに限定されるものでない。例えば、処理ユニットＣ００〜Ｃ０８が２以上の制御部３０により制御されてもよいし、処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５が２以上の制御部５０により制御されてもよい。また、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５毎に、専用の制御部３０、５０が設けられても良い。この場合、制御部３０、５０の総数は１６台となる。
【０１６５】
このように、２以上の制御部３０が使用される場合、各制御部３０は処理ユニットＣ００〜Ｃ０８のうちの少なくとも１つの処理ユニットで実行される基板処理を、各制御部５０は処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５のうちの少なくとも１つの処理ユニットを、それぞれ制御できればよい。
【０１６６】
（２）また、第１ないし第３の実施の形態において、搬送除外ユニットの順序データは「０」であるものとして説明したが、搬送先除外を示す順序データの値は、これに限定されるものでない。
【０１６７】
例えば、順序データとして表すことができる値の範囲（第１の実施の形態の場合は「０」〜「１５」の範囲、第２および第３の実施の形態の場合は「０」〜「７」の範囲（但し、順序データが符号なし変数であるものとする））のうち所定の値を非処理定数として予め定義する。そして、着目する順序データが非処理定数と同一値となる場合、この順序データに対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５が搬送先から除外されるようにしてもよい。すなわち、非処理定数の値は、「０」に限定されない。
【０１６８】
（３）また、第３の実施の形態において、必須処理ユニットの順序データは「１」であるものとして説明したが、必ず搬送対象となることを示す順序データの値は、これに限定されるものでない。
【０１６９】
例えば、順序データとして表すことができる値の範囲のうち、非処理定数以外の所定の値を単独処理定数として予め定義する。そして、着目する順序データが単独処理定数と同一値となる場合、この順序データに対応する処理ユニットＣ００〜Ｃ１５が必ず基板の搬送対象とされるようにしてもよい。すなわち、単独処理定数の値は、「１」に限定されない。
【０１７０】
（４）また、第１および第２の実施の形態では、基板搬送ユニット２０側の処理ユニットＣ００〜Ｃ０８から、基板搬送ユニット４０側の処理ユニットＣ０９〜Ｃ１５に、搬送された基板は、再度、基板搬送ユニット２０側に搬送されないものとして説明したが、これに限定されるものでない。基板搬送ユニット４０側に搬送された基板が再度、基板搬送ユニット２０側に搬送されるように、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５が構成され、かつ、このような基板搬送手順を実行できるように、処理フローデータ６６、１６６の各順序データが設定されてもよい。
【０１７１】
この場合、基板搬送ユニット２０は、例えば、基板搬送ユニット４０側の処理ユニットＣ１１で処理された基板を、基板搬送ユニット２０側の処理ユニットＣ０３に搬送することができる。すなわち、基板搬送ユニット２０、４０は、各処理ユニットＣ００〜Ｃ１５の配置によらず、ランダムの順序で基板を搬送することができる。
【０１７２】
（５）さらに、第１、第２、および第３の実施の形態における順序データのデータサイズは、それぞれ４ビット、３ビット、および３ビットであるものとして説明したが、順序データのデータサイズは、これに限定されるものでなく、総処理ユニット数や択一選択ユニットの個数に応じて定められてもよい。
【符号の説明】
【０１７３】
１、１００、２００  基板処理装置
２０、４０  基板搬送ユニット
２５、４５  制御部（第２制御部）
３０、５０  制御部（第１制御部）
６０、１６０、２６０  基板情報データ
６６（６６ａ〜６６ｃ）、１６６ａ、２６６（２６６ａ、２６６ｂ）  処理フローデータ
Ｃ００〜Ｃ１５  処理ユニット
Ｗ００〜Ｗ０４、Ｗ１１〜Ｗ１４  ワードデータ
【図１】
2010238682.tif 000003
【図２】
2010238682.tif 000004
【図３】
2010238682.tif 000005
【図４】
2010238682.tif 000006
【図５】
2010238682.tif 000007
【図６】
2010238682.tif 000008
【図７】
2010238682.tif 000009
【図８】
2010238682.tif 000010
【図９】
2010238682.tif 000011
【図１０】
2010238682.tif 000012
【図１１】
2010238682.tif 000013
【図１２】
2010238682.tif 000014
【図１３】
2010238682.tif 000015
【図１４】
2010238682.tif 000016
【図１５】
2010238682.tif 000017