(57)【要約】【課題】低圧力、少流量の洗浄用ガスでも逆洗浄効率を十分に高めることができる集塵装置におけるフィルタの洗浄方法を提供する。【解決手段】集塵工程時とは逆方向に洗浄用ガスを噴出させてフィルタの逆洗浄を行う集塵機を並列に複数基備えた集塵装置におけるフィルタの洗浄方法において、一つの前記集塵機で前記逆洗浄を行っているときに、該集塵機のフィルタの一次側に流出した洗浄用ガスを、集塵工程を行っている他の集塵機のフィルタの一次側に流入させる。【選択図】図１
2010207701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集塵工程時とは逆方向に洗浄用ガスを噴出させてフィルタの逆洗浄を行う集塵機を並列に複数基備えた集塵装置におけるフィルタの洗浄方法において、一つの前記集塵機で前記逆洗浄を行っているときに、該集塵機のフィルタの一次側に流出した洗浄用ガスを、集塵工程を行っている他の集塵機のフィルタの一次側に流入させることを特徴とする集塵装置におけるフィルタの洗浄方法。
【請求項２】
筐体内を流入室と流出室とに区画する区画壁と、該区画壁から流入室側に突設した有底筒状のバグフィルタと、前記流出室側から前記バグフィルタ内に洗浄用ガスを噴出する洗浄用ガス噴出部とを備えた集塵機を並列に複数基配置するとともに、含塵ガスを導入する主含塵ガス導入経路から分岐して各集塵機の前記流入室にそれぞれ接続した含塵ガス導入経路と、各含塵ガス導入経路にそれぞれ設けられた含塵ガス導入弁と、各集塵機の前記流出室から無塵ガスをそれぞれ導出する無塵ガス導出経路と、各無塵ガス導出経路にそれぞれ設けられた無塵ガス導出弁と、各無塵ガス導出経路が合流した主無塵ガス導出経路と、該主無塵ガス導出経路に設けられたガス吸引装置と集塵装置におけるフィルタの洗浄方法であって、一つの前記集塵機において、前記含塵ガス導入弁を開いたまま、前記無塵ガス導出弁を閉じ、前記洗浄用ガス噴出部から前記洗浄用ガスを前記バグフィルタ内に噴出して該バグフィルタの逆洗浄を行うとともに、該逆洗浄を行っている集塵機のバグフィルタを通過して該集塵機の前記流入室に流出した洗浄用ガスを、該集塵機の含塵ガス導入経路から、集塵工程を行っている他の集塵機の含塵ガス導入経路を通して集塵工程を行っている他の集塵機の流入室に流入させることを特徴とする集塵装置におけるフィルタの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集塵機を並列に複数基備えた集塵装置におけるフィルタの洗浄方法に関し、詳しくは、集塵工程時とは逆方向に洗浄用ガスを流してフィルタを逆洗浄する逆洗浄工程を有する集塵装置におけるフィルタの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルタによってガス中の塵を除去する集塵機では、洗浄用ガスを集塵工程時とは逆方向にフィルタ内に噴出することにより、フィルタ表面に付着した塵を払い落とす逆洗浄工程を行うことで集塵能力を回復させ、集塵処理を長時間連続的に行えるようにしている。複数の集塵機を並列に設けた集塵装置では、順番に逆洗浄工程を行うことで集塵処理を長時間連続して行えるようにしている。
【０００３】
一般的な逆洗浄工程では、集塵工程を行っているときに、所定の時間間隔でフィルタの二次側から高圧の洗浄用ガスを噴出させ、噴出した洗浄用ガスの圧力でフィルタが膨張変形する際にフィルタの表面に付着した塵を払い落とす変形効果と、洗浄用ガスがフィルタの二次側から一次側に通過する際のガス流れによってフィルタの表面に付着した塵を吹き飛ばす吹き飛ばし効果とを利用している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平６−１０６０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の逆洗浄工程は、フィルタの一次側から二次側に集塵処理の対象となるガス（被処理ガス）が流通している集塵工程を継続しながら行っており、被処理ガスの流れに逆らって洗浄用ガスが流れるため、洗浄用ガスの噴出部から離れた部分を含めたフィルタ全体に対して前述の洗浄用ガスによる変形効果及び吹き飛ばし効果を十分に得るためには、洗浄用ガスの圧力を高くし、流量も多くする必要があった。
【０００５】
また、被処理ガスが常に一次側から二次側に流れているため、逆洗浄によってフィルタから離脱した塵が被処理ガスに同伴されてフィルタの表面に再付着することもあり、高圧力、大流量の洗浄用ガスを使用しても逆洗浄効率を十分に高めることができなかった。
【０００６】
そこで本発明は、低圧力、少流量の洗浄用ガスでも逆洗浄効率を十分に高めることができる集塵装置におけるフィルタの洗浄方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の集塵装置におけるフィルタの洗浄方法は、集塵工程時とは逆方向に洗浄用ガスを噴出させてフィルタの逆洗浄を行う集塵機を並列に複数基備えた集塵装置におけるフィルタの洗浄方法において、一つの前記集塵機で前記逆洗浄を行っているときに、該集塵機のフィルタの一次側に流出した洗浄用ガスを、集塵工程を行っている他の集塵機のフィルタの一次側に流入させることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の集塵装置におけるフィルタの洗浄方法は、筐体内を流入室と流出室とに区画する区画壁と、該区画壁から流入室側に突設した有底筒状のバグフィルタと、前記流出室側から前記バグフィルタ内に洗浄用ガスを噴出する洗浄用ガス噴出部とを備えた集塵機を並列に複数基配置するとともに、含塵ガスを導入する主含塵ガス導入経路から分岐して各集塵機の前記流入室にそれぞれ接続した含塵ガス導入経路と、各含塵ガス導入経路にそれぞれ設けられた含塵ガス導入弁と、各集塵機の前記流出室から無塵ガスをそれぞれ導出する無塵ガス導出経路と、各無塵ガス導出経路にそれぞれ設けられた無塵ガス導出弁と、各無塵ガス導出経路が合流した主無塵ガス導出経路と、該主無塵ガス導出経路に設けられたガス吸引装置と集塵装置におけるフィルタの洗浄方法であって、一つの前記集塵機において、前記含塵ガス導入弁を開いたまま、前記無塵ガス導出弁を閉じ、前記洗浄用ガス噴出部から前記洗浄用ガスを前記バグフィルタ内に噴出して該バグフィルタの逆洗浄を行うとともに、該逆洗浄を行っている集塵機のバグフィルタを通過して該集塵機の前記流入室に流出した洗浄用ガスを、該集塵機の含塵ガス導入経路から、集塵工程を行っている他の集塵機の含塵ガス導入経路を通して集塵工程を行っている他の集塵機の流入室に流入させることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の集塵装置におけるフィルタの洗浄方法によれば、逆洗浄工程でのフィルタにおけるガスの流れを二次側（流出室側）から一次側（流入室側）に向かう方向のみとすることができるので、低圧力、少流量の洗浄用ガスを使用しても十分な洗浄効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１乃至図４は、本発明の集塵装置におけるフィルタの洗浄方法を適用した集塵装置の一形態例を示すもので、図１は集塵工程を行っているときの集塵機の状態を示す説明図、図２は集塵工程中のバグフィルタの状態を示す説明図、図３は逆洗浄工程を行っているときの集塵機の状態を示す説明図、図４は逆洗浄操作工程中に膨張したバグフィルタの状態を示す説明図である。なお、図１及び図３において、白抜きの弁は開状態を、黒塗りの弁は閉状態を表している。
【００１１】
この集塵装置は、同一構成の２基の集塵機Ａ，Ｂを並列に備えたものであって、各集塵機Ａ，Ｂは、筐体１１ａ，１１ｂ内を区画壁１２ａ，１２ｂによって流入室１３ａ，１３ｂと流出室１４ａ，１４ｂとに区画し、前記区画壁１２ａ，１２ｂから流入室１３ａ，１３ｂ側に向けて有底筒状のバグフィルタ１５ａ，１５ｂを複数突設している。流入室１３ａ，１３ｂには、燃焼除害装置のような燃焼器１６などで発生した含塵ガスを導入する主含塵ガス導入経路１７から分岐した含塵ガス導入経路１７ａ，１７ｂがそれぞれ接続され、流入室１３ａ，１３ｂの底部には、逆洗浄によってバグフィルタ１５ａ，１５ｂから剥離して落下した塵を回収する回収容器１８ａ，１８ｂが着脱可能に設けられている。
【００１２】
また、流出室１４ａ，１４ｂには、バグフィルタ１５ａ，１５ｂにて除塵された無塵ガスを導出する主無塵ガス導出経路１９に合流する無塵ガス導出経路１９ａ，１９ｂがそれぞれ接続されるとともに、バグフィルタ１５ａ，１５ｂの開口からバグフィルタ１５ａ，１５ｂの内部に洗浄用ガスを噴出する洗浄用ガス噴出部２０ａ，２０ｂが設けられている。
【００１３】
前記主含塵ガス導入経路１７と前記主無塵ガス導出経路１９とはバイパス弁２１を有するバイパス経路２２によって接続されており、前記各含塵ガス導入経路１７ａ，１７ｂには含塵ガス導入弁２３ａ，２３ｂが、無塵ガス導出経路１９ａ，１９ｂには無塵ガス導出弁２４ａ，２４ｂがそれぞれ設けられている。さらに、主含塵ガス導入経路１７には、両集塵機Ａ，Ｂのバグフィルタ１５ａ，１５ｂの状態を監視するための圧力計２５が設けられ、主無塵ガス導出経路１９には前記流出室１４ａ，１４ｂから無塵ガス導出経路１９ａ，１９ｂを介して無塵ガスを吸引して導出するためのガス吸引装置２６が設けられるとともに、主含塵ガス導入経路１７を外気に開放するための開放弁２７を有する開放経路２８が設けられている。
【００１４】
この集塵装置は、図１に示す両集塵機が集塵工程を行っている段階と、図３に示す一方の集塵機が逆洗浄工程を行っている段階とを繰り返すことにより、連続して集塵処理を行う。まず、図１及び図２に示す集塵工程では、含塵ガス導入弁２３ａ，２３ｂ及び無塵ガス導出弁２４ａ，２４ｂが開、バイパス弁２１及び開放弁２７が閉、ガス吸引装置２６が作動中、洗浄用ガス噴出部２０ａ，２０ｂは停止中となっている。
【００１５】
したがって、ガス吸引装置２６によって両集塵機Ａ，Ｂの各流出室１４ａ，１４ｂ内の無塵ガスが無塵ガス導出弁２４ａ，２４ｂ、無塵ガス導出経路１９ａ，１９ｂ、主無塵ガス導出経路１９を介して吸引され、流出室１４ａ，１４ｂに比べて相対的に圧力が高くなる流入室１３ａ，１３ｂ内の含塵ガスがバグフィルタ１５ａ，１５ｂを通って流出室１４ａ，１４ｂに流れることにより、含塵ガスに含まれる塵（固形物）がバグフィルタ１５ａ，１５ｂの外周面に捕捉されてガス中から除去される。この集塵工程では、バグフィルタ１５ａ，１５ｂの一次側から二次側へのガスの流れによって支持部材１５ｃにフィルタ膜１５ｄが張り付いた収縮状態になっている。
【００１６】
この集塵工程は、主含塵ガス導入経路１７から各含塵ガス導入経路１７ａ，１７ｂを通って流入室１３ａ，１３ｂに吸引される含塵ガスの圧力が圧力計２５により測定され、あらかじめ設定された圧力に達したとき、すなわち、フィルタ前後の差圧が一定の値に達したとき、あるいは、あらかじめ設定された時間が経過したときに、一部が集塵工程を継続したままの状態で、一つの集塵機、例えば集塵機Ｂが逆洗浄工程を開始する。
【００１７】
一方の集塵機Ｂの逆洗浄工程では、集塵工程を継続している他方の集塵機Ａに付随する含塵ガス導入弁２３ａ及び無塵ガス導出弁２４ａが開状態を維持し、逆洗浄工程を行う集塵機Ｂに付随する含塵ガス導入弁２３ｂは開状態を維持したままで、無塵ガス導出弁２４ｂが閉状態に切り換えられるとともに、集塵機Ｂの洗浄用ガス噴出部２０ｂが作動を開始する。
【００１８】
洗浄用ガス噴出部２０ｂは、洗浄用ガス導入経路２０ｃから導入される洗浄用ガスを、複数のバグフィルタ１５の開口に対して噴出ノズル２０ｄを順次移動させながら連続して噴出することにより、各バグフィルタ１５ｂの内部に順番に洗浄用ガスを噴出する。これにより、各バグフィルタ１５ｂにおいては、間欠的に洗浄用ガスが導入される状態となり、洗浄用ガス導入時には、図４に示すように、噴出ノズル２０ｄから噴射した逆洗浄用ガスＧＡの流入によって内周の支持部材１５ｃからフィルタ膜１５ｄが離れて膨張し、フィルタ膜１５ｂの表面（外周面）に付着した塵Ｄを、フィルタ膜１５ｂを通過する逆洗浄用ガスの流れによる吹き飛ばし効果と、洗浄用ガスの圧力でフィルタが膨張変形する変形効果とによって払い落とす。
【００１９】
この逆洗浄工程において、集塵機Ｂの無塵ガス導出弁２４ｂが閉状態で、含塵ガス導入弁２３ｂは開状態であるから、洗浄用ガス噴出部２０ｂから噴出した逆洗浄用ガスは、フィルタ膜１５ｂを通過して流入室１３ｂに流れ、流入室１３ｂから含塵ガス導入経路１７ｂを通り、主含塵ガス導入経路１７から導入される含塵ガスと合流し、含塵ガス導入経路１７ａを通って集塵工程を行っている集塵機Ａの流入室１３ａに流入する。
【００２０】
したがって、バグフィルタ１５ｂの逆洗浄は、洗浄用ガス噴出部２０ｂからの逆洗浄用ガスの噴出力だけでなく、集塵機Ａを介してガス吸引装置２６の吸引力も利用することができるとともに、従来のような逆方向のガス流れはまったく発生しないので、洗浄用ガス噴出部２０ｂから噴出した逆洗浄用ガスの全量を逆洗浄に効果的に利用することができ、洗浄用ガスを従来より低圧力、少流量に設定しても逆洗浄効率を十分に高めることができる。これにより、集塵装置における集塵効率を向上できるだけでなく、洗浄用ガスを得るための動力費の削減も図ることができる。
【００２１】
なお、集塵機Ａの逆洗浄工程も、両者の状態が入れ替わるだけで同様にして行うことができる。また、集塵機の設置数は任意であり、３基以上の集塵機を並列に設けた場合には、集塵機の一つずつ順番に逆洗浄工程を行うようにすればよい。
【実施例１】
【００２２】
太陽電池製造装置から排出された排ガスを燃焼式排ガス処理装置で燃焼させて除害処理し、その際に発生したＳｉＯ２などの塵（固形分）を含むガスを、前記形態例に示した構成の集塵装置を使用して捕捉する実験を行った。前記排ガスの組成は、有害成分である微量のＳｉＨ４，Ｂ２Ｈ６，ＰＨ３，ＧｅＨ４と、少量のＨ２とを含み、残部がＮ２である。集塵装置における処理条件は、集塵工程におけるろ過速度を０．４ｍ／ｍｉｎ、逆洗浄工程における洗浄用ガスの圧力を０．６ＭＰａ、各バグフィルタ毎の逆洗浄操作の周期を１２秒とし、両集塵機について、集塵工程と逆洗浄工程全体とを６０分毎に切り換えるように設定した。
【００２３】
この条件で集塵工程と逆洗浄工程とを繰り返して連続運転を行った。そして、一方の集塵機の逆洗浄工程における洗浄用ガスを他方の集塵機に流入させない従来の方法で逆洗浄工程を行ったとき（従来例）と、一方の集塵機の逆洗浄工程における洗浄用ガスを他方の集塵機に流入させる本発明の方法で逆洗浄工程を行ったとき（本発明の実施例）とにおいて、集塵工程から逆洗浄工程に切り替える直前に圧力計で測定した圧力（Ｐ１）と、逆洗浄工程から集塵工程に切り替えた直後に圧力計で測定した圧力（Ｐ２）とから逆洗浄工程前後の圧力の差（ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２）をそれぞれ算出した。その結果、従来例では圧力の差（ΔＰ）が１．２ｋＰａであったのに対し、実施例では圧力差（ΔＰ）が２．０ｋＰａとなり、実施例の方が集塵能力の回復力が大きいことがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】集塵工程を行っているときの集塵装置の状態を示す説明図である。
【図２】集塵工程中のバグフィルタの状態を示す説明図である。
【図３】逆洗浄工程を行っているときの集塵機の状態を示す説明図である。
【図４】逆洗浄操作工程中に膨張したバグフィルタの状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１１ａ，１１ｂ…筐体、１２ａ，１２ｂ…区画壁、１３ａ，１３ｂ…流入室、１４ａ，１４ｂ…流出室、１５ａ，１５ｂ…バグフィルタ、１５ｃ…支持部材、１５ｄ…フィルタ膜、１６…燃焼器、１７…主含塵ガス導入経路、１７ａ，１７ｂ…含塵ガス導入経路、１８ａ，１８ｂ…回収容器、１９…主無塵ガス導出経路、１９ａ，１９ｂ…無塵ガス導出経路、２０ａ，２０ｂ…洗浄用ガス噴出部、２０ｃ…洗浄用ガス導入経路、２０ｄ…噴出ノズル、２１…バイパス弁、２２…バイパス経路、２３ａ，２３ｂ…含塵ガス導入弁、２４ａ，２４ｂ…無塵ガス導出弁、２５…圧力計、２６…ガス吸引装置、２７…開放弁、２８…開放経路、Ａ，Ｂ…集塵機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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