(57)【要約】      （修正有）【課題】真空成膜装置において、成膜後の清掃作業を短時間で行うことができ、清掃作業員が成膜材料カスまみれになることが無い真空成膜装置を提供する。【解決手段】真空成膜装置は、真空容器１内で成膜材料を被処理物表面上に成膜する真空成膜装置において、前記真空容器１の内壁面に配置される防着板３０と、磁石と前記磁石の一方を被覆しかつ磁性を有する金属カバーとからなり、かつ、前記防着板３０を前記真空容器１の内壁面に固定する防着板固定治具４０と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内で成膜材料を被処理物表面上に成膜する真空成膜装置において、
前記真空容器の内壁面に配置される防着板と、磁石と前記磁石の一方を被覆しかつ磁性を有する金属カバーとからなり、かつ、前記防着板を前記真空容器の内壁面に固定する防着板固定治具と、を備えることを特徴とする真空成膜装置。
【請求項２】
前記防着板または前記防着板固定治具に取手を具備することを特徴とする請求項１に記載の真空成膜装置。
【請求項３】
前記磁石はサマコバ磁石であることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空成膜装置。
【請求項４】
前記金属カバーの吸着面が接する取り付け面と前記磁石の吸着面とが、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下の隙間を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器内で成膜材料を基板（被処理物）上に成膜する真空成膜装置に関し、特に、改良された防着板が配置された真空成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空成膜装置には、スパッタリング装置、真空蒸着装置、プラズマＣＶＤ装置、あるいはイオンプレーティング装置等がある。
【０００３】
これらは基板上に成膜をする装置であるが、成膜は基板上だけでなく、その周囲も成膜し、その膜が厚くなると剥がれて周辺を汚染し、膜質にも影響を与える場合がある。
【０００４】
そのため、基板周囲に金網の付いた金属板、表面を荒らした金属板を防着板として設置し、付着した成膜材料の剥がれ落ちを防ぎ、成膜後は取り外して真空成膜装置外部で清掃できるように工夫してきた（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、防着板の固定にはボルトまたはそれに類する物が使われている為、取外しには時間がかかる上、作業中には振動による剥がれ落ちも加わり、防着板取外し中の作業員に成膜材料が降りかかる不具合が有った。そのため、作業員はゴーグルと防塵マスクを着用し、防着板取外し作業を行わなければならなかった。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−６０４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、防着板の着脱作業を短時間で行うことで、作業員に成膜材料が降りかかるのを防ぎ、さらに、生産性を向上させることが可能な真空成膜装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、真空容器内で成膜材料を被処理物表面上に成膜する真空成膜装置において、
前記真空容器の内壁面に配置される防着板と、磁石と前記磁石の一方を被覆しかつ磁性を有する金属カバーとからなり、かつ、前記防着板を前記真空容器の内壁面に固定する防着板固定治具と、を備えることを特徴とする真空成膜装置である。
これにより、防着板の取り外しが短時間で行うことができる。そのため、成膜材料の剥がれ落ちが減少し、防着ユニット取外し時の成膜材料の飛散を最小限に抑えることができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記防着板または前記防着板固定治具に取手を具備することを特徴とする請求項１に記載の真空成膜装置である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記磁石はサマコバ磁石であることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空成膜装置である。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、前記金属カバーの吸着面が接する取り付け面と前記磁石の吸着面とが、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下の隙間を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空成膜装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、防着板の着脱作業を短時間で行うことで、作業員に成膜材料が降りかかるのを防ぎ、さらに、生産性を向上させることが可能な真空成膜装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の真空成膜装置の最良の形態を、図面に沿って説明する。図１は、本発明の真空成膜装置の一例を示す概略断面図である。
【００１４】
図１に示す真空成膜装置は、真空容器１内で成膜材料を被処理物表面上に成膜する真空蒸着成膜装置である。基板となるフィルムは巻き出しロール１１から繰り出され、ガイドロール１３を通り、成膜ロール１４へ移動する。成膜室でフィルムに成膜された後、ガイドロール１３を通り、巻取りロール１２で巻き取られる。巻き出し巻取り側と蒸着室とは冷却板１５で区切られている。冷却板１５には、図示していないが冷却管が付いている。蒸着室には電子銃２０、坩堝２２、防着板３０、防着板固定治具４０があり、電子銃２０から放射された電子ビーム２１により、坩堝２２内の成膜材料が蒸発又は昇華し、フィルム及び防着板３０に付着する。
【００１５】
なお、図１の真空成膜装置は一実施形態を示すものであり、本発明では、スパッタリング装置、プラズマＣＶＤ装置、あるいはイオンプレーティング装置等にも適応可能である。
また、図１では、巻き出し巻取り側と蒸着室とを区切る内壁面に防着板３０及び防着板固定治具４０を設置しているが、内壁面の一部のみに限定するものではなく、内壁面全面に設置してもよい。
【００１６】
図２は、図１に示す真空成膜装置の防着板３０及び防着板固定治具４０の概略断面図である。
防着板３０を防着板固定治具４０で冷却板１５に密着させて保持しているところを示すものである。防着板３０は、冷却板１５と密着しているため、防着板３０は冷却され、付着した成膜材料も冷却され、防着板３０に張り付いた状態で固まる。そのため、成膜中の成膜材料の剥がれ落ちが減少する。
【００１７】
図３（ａ）は、防着板３０側に磁石４１が有る場合の防着板固定治具４０の概略断面図である。
冷却板１５に、磁石４１を囲う金属カバー４２の金属カバー吸着面４２−１が接して吸着し、冷却板１５と磁石４１の磁石吸着面４１−１とが引き合うことで、防着板３０が固定されている。磁石４１と金属カバー４２と押え板４３とは１体になっているため、防着板３０は押え板４３により冷却板１５に押し付けられる。
【００１８】
図３（ｂ）は、冷却板１５側に磁石４１が有る場合の防着板固定治具４０の概略断面図である。
冷却板１５の取り付け面と金属カバー吸着面４２−１は同一面上にある。取り付け板４５と防着板３０取り付け面も同一面上にある。その為、金属カバー吸着面４２−１は取り付け板４５と、また冷却板１５と防着板３０は密着した状態になっている。そして、取り付け板４５と磁石４１の磁石吸着面４１−１とが引き合うことで、防着板３０が固定されている。
【００１９】
次に、防着板の固定に用いる磁石について説明する。
【００２０】
通常、磁力の強い磁石を成膜室で使用すると、電子ビームあるいはプラズマが磁場の影響でコントロールできなくなったり、また、磁力の弱い磁石を使うと、熱の影響で磁力がさらに弱まり、防着板が落下してしまう等の不具合が生じる。
【００２１】
しかしながら、本発明の防着板固定治具４０では、磁石の一方を磁性を有する金属カバーで被覆しているため、磁力を一方向に制御し、磁力による悪影響を押えることができる。
つまり、図３（ａ）に示す磁石４１では、磁石吸着面４１−１方向に対しては、強い磁力を発生させ、金属カバー４２と接する方向に対しては、電子ビームやプラズマに影響を及ぼさない程度に弱めることができる。さらに、非磁性の押え板４３、あるいは、防着板３０により反吸着方向の磁力をさらに弱めることができる。
図３（ｂ）に示す磁石４１もまた同様の効果が得られる。
【００２２】
本発明における防着板３０を固定する為の磁石４１としては、磁力が強く熱に強いサマリウムとコバルトを主成分としたサマコバ磁石が好適に使用される。しかし、これに限定されるものではない。
【００２３】
本発明における磁石４１の一方を被覆する金属カバー４２は、片面の磁力を金属カバー端面に集中させることと、磁石の保護のために用いるものであり、素材としては磁性、耐熱性、防食性を有するＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４０３等が好適に使用される。しかし、これらに限定されるものではない。
【００２４】
本発明における防着板３０としては、耐熱性、防食性、低コストの点で優れたステンレス、銅、アルミニウム等の金属が好適に使用される。ただし、磁力を弱めるため非磁性の必要があるため、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６Ｌ等が好適に使用される。もちろん、セラミック等の非金属であってもかまわない。
【００２５】
本発明では、防着板３０または防着板固定治具４０に取手４４を具備することが好ましい。着脱作業を容易に行うことができるためである。
本発明における取手４４としては、非磁性、耐熱性、防食性を有するＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６Ｌが好適に使用される。
【００２６】
なお、本発明における取手４４は、図３（ａ）に示すように、防着板３０に設置されずに押え板４３に設置されていても、図３（ｂ）に示すように、防着板３０に直接設置されていてもよい。
【００２７】
また、図３（ａ）に示す押え板４３及び図３（ｂ）に示す冷却板１５−２も同様に、非磁性、耐熱性、防食性を有するＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６Ｌ等が好適に使用される。
【００２８】
さらに、磁石４１が吸着する冷却板１５−１（図３（ａ））及び取り付け板４５（図３（ｂ））としては、磁性、耐熱性、防食性を有するＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４０３等が好適に使用される。もちろん、磁石が付く部分のみにＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４０３等を用いても良い。
【００２９】
また、本発明では、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、金属カバー吸着面４２−１が接する取り付け面と磁石吸着面４１−１とが０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下の隙間を有している。
このように、隙間を設けることにより、磁石吸着面４１−１と取り付け面とが直接接することがなく、磁石４１は直接衝撃を受けずに済む。
この隙間は、０．１ｍｍより小さいと、磁石吸着面４１−１と取り付け面とが直接接する可能性があり、それにより吸着力が弱まるため、また、磁石が接触することにより破損する可能性があるため、好ましくない。また、１ｍｍより大きいと、吸着力が弱まるため、好ましくない。
【００３０】
本発明における防着板固定治具４０の取外し方法としては、単に作業員が手で外す方法、フックを取手４４に引っ掛けて取る方法、複数個のフックを同時に取手４４に引っ掛けて取る方法、あらかじめ取手４４にワイヤー等を通しておき、そのワイヤー等を引いて一気に外す方法等が挙げられる。そして、外した防着板は外段取りで清掃し、すでに外段取りで清掃された防着板を取り付けることにより、作業時間を大幅に短縮することができる。
【００３１】
図４は、図３（ａ）に示す防着板固定治具４０の防着板３０を冷却板１５から外した場合の概略断面図であり、図５は、図３（ｂ）に示す防着板固定治具４０の防着板３０を冷却板１５から外した場合の概略断面図である。
【００３２】
また、図６は、従来の固定方法による防着板３０、冷却板１５の概略断面図である。図６において防着板３０ボルト５０により固定されている。このボルト５０を外す作業の間、作業員は剥がれ落ちてくる成膜材料をかぶるため、ゴーグルと防塵マスクを装着しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の真空成膜装置の一例を示す概略断面図である。
【図２】図１に示す装置の防着板３０及び防着板固定治具４０の概略断面図である。
【図３】（ａ）防着板３０側に磁石４１が有る場合の防着板固定治具４０の概略断面図である。        （ｂ）冷却板１５側に磁石４１が有る場合の防着板固定治具４０の概略断面図である。
【図４】図３（ａ）に示す防着板固定治具４０の防着板３０を冷却板１５から外した場合の概略断面図である。
【図５】図３（ｂ）に示す防着板固定治具４０の防着板３０を冷却板１５から外した場合の概略断面図である。
【図６】従来の固定方法による防着板３０、冷却板１５の概略断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  真空容器、１１  巻き出しロール、１２  巻取りロール、１３  ガイドロール、１４  成膜ロール、１５  冷却板、２０  電子銃、２１  電子ビーム、２２  坩堝、３０  防着板、４０  防着板固定治具、４１  磁石、４１−１  磁石吸着面、４２  金属カバー、４２−１  金属カバー吸着面、４３  押え板、４４  取手、４５  取り付け板、５０  ボルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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