(57)【要約】【課題】装置構造が簡易且つ低コストで、液晶装置の基板に非接触で液晶を滴下することができる液晶装置の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】一方の室１４０と他方の室１４６とに区画されているチャンバーと、一方の室１４０と他方の室１４６との間に跨って設けられる液晶滴下部１５０と、液晶滴下部１５０の一方の室側に設けられる液晶Ｌの収容部１５５と、液晶滴下部１５０の他方の室１４６側に設けられ、他方の室１４６内に配置される一方の基板に液晶を滴下する滴下流路１５７と、一方の室１４０を加圧可能な加圧部とを備え、加圧部の加圧により、収容部１５５に収容された液晶Ｌを液晶セル２００の一方の基板に滴下する液晶装置の製造装置。【選択図】図４
2010185921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に液晶を封入する液晶装置の製造装置であって、
一方の室と他方の室に区画されているチャンバーと、
前記一方の室と前記他方の室との間に跨って設けられる液晶滴下部と、
前記液晶滴下部の前記一方の室側に設けられる液晶の収容部と、
前記液晶滴下部の前記他方の室側に設けられ、前記他方の室内に配置される一方の基板
に前記液晶を滴下する滴下流路と、
前記一方の室を加圧可能な加圧部とを備え、
前記加圧部により前記一方の室を加圧することにより、前記収容部に収容された前記液
晶を滴下することを特徴とする液晶装置の製造装置。
【請求項２】
前記液晶滴下部を複数設けることを特徴とする請求項１記載の液晶装置の製造装置。
【請求項３】
液晶滴下部の一方側に設けられる収容部に液晶を収容し、
前記液晶滴下部の他方側に設けられる滴下流路から前記液晶を滴下して、
一対の基板間に前記液晶を封入する液晶装置の製造方法であって、
前記収容部に前記液晶を収容する第１工程と、
前記収容部内を加圧することにより、前記収容部に収容された前記液晶を一方の基板に
滴下する第２工程とを備えることを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項４】
前記第２工程の前に、前記収容部内と、前記滴下流路の先端開口及び前記一方の基板が
配置される空間とを減圧する工程を備えることを特徴とする請求項３記載の液晶装置の製
造方法。
【請求項５】
前記減圧する工程で、前記空間の圧力を前記収容部内の圧力よりも高くすることを特徴
とする請求項４記載の液晶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板間に液晶を封入する液晶装置の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置は、素子基板と、素子基板に枠状のシール材を介して接合される対向基板を有
し、素子基板と対向基板との間に液晶が封入される。素子基板と対向基板との間に封入さ
れる液晶は、例えば素子基板と対向基板を接合しているシール材の一部に注入口を設け、
注入口近傍に真空雰囲気下で液晶を滴下し、その状態で真空雰囲気を解除することにより
、注入口から素子基板と対向基板との間に注入される。
【０００３】
液晶を滴下する装置としては、シリンダー状の液晶容器の底部に形成されているノズル
と、液晶容器内に上部から挿入されて液晶容器内を摺動するピストンと、ピストンを進退
する進退機構を有するものが知られている（特許文献１、２参照）。特許文献１、２の液
晶滴下装置は、液晶容器内に液晶を充填し、充填した液晶をピストンの駆動により押圧し
、押圧した液晶をノズルから滴下するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１６５３６５号公報
【特許文献２】特開２００６−５５８５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１、２の液晶滴下装置は、液晶装置の基板に非接触で液晶を滴下す
ることが可能であり、ノズルの接触で液晶装置内に異物が混入することを防止することが
可能である。しかしながら、液晶容器内を摺動するピストンや、ピストンを進退する進退
機構を設ける必要があるため、装置構造が複雑化し、高コストとなる。そのため、装置構
造が簡易、低コストで、液晶装置の基板に非接触で液晶を滴下することができる構成が求
められている。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みて提案するものであり、装置構造が簡易且つ低コストで、液晶
装置の基板に非接触で液晶を滴下することができる液晶装置の製造装置及び製造方法を提
供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液晶装置の製造装置は、一対の基板間に液晶を封入する液晶装置の製造装置で
あって、一方の室と他方の室に区画されているチャンバーと、前記一方の室と前記他方の
室との間に跨って設けられる液晶滴下部と、前記液晶滴下部の前記一方の室側に設けられ
る液晶の収容部と、前記液晶滴下部の前記他方の室側に設けられ、前記他方の室内に配置
される一方の基板に前記液晶を滴下する滴下流路と、前記一方の室を加圧可能な加圧部と
を備え、前記加圧部により前記一方の室を加圧することにより、前記収容部に収容された
前記液晶を滴下することを特徴とする。
本発明によれば、液晶滴下部やその支持部分の構造等を単純化し、製造装置の構造の簡
易化、低コスト化を図ることができる。また、液晶装置の基板に非接触で液晶を滴下する
ことが可能であるから、液晶装置内に異物が混入することも防止することができる。
【０００８】
本発明の液晶装置の製造装置は、前記液晶滴下部を複数設けることを特徴とする。
本発明によれば、複数箇所に液晶を同時に滴下することが可能となり、製造時に高密度
に並置された基板の目的位置に同時に液晶を滴下することができる。また、液晶滴下部を
移動して複数箇所に液晶を滴下する場合に必要となる移動機構を不要とすることができ、
製造装置の構造の簡易化を図ることができる。また、複数の液晶滴下部への液晶供給を１
ラインの液晶供給ラインとディスペンサーで行うことが可能となり、複数の液晶供給ライ
ンを設ける場合に比べて、設備の小型化を図れると共に、液晶供給ラインのイオン汚染や
異物混入の防止等の管理が容易になる。
【０００９】
本発明の液晶装置の製造方法は、液晶滴下部の一方側に設けられる収容部に液晶を収容
し、前記液晶滴下部の他方側に設けられる滴下流路から前記液晶を滴下して、一対の基板
間に前記液晶を封入する液晶装置の製造方法であって、前記収容部に前記液晶を収容する
第１工程と、前記収容部内を加圧することにより、前記収容部に収容された前記液晶を一
方の基板に滴下する第２工程とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、液晶滴下部やその支持部分の構造等を単純化し、製造装置の構造の簡
易化、低コスト化を図ることができる。また、液晶装置の基板に非接触で液晶を滴下する
ことが可能であるから、液晶装置内に異物が混入することを防止することができる。
【００１０】
本発明の液晶装置の製造方法は、前記第２工程の前に、前記収容部内と、前記滴下流路
の先端開口及び前記一方の基板が配置される空間とを減圧する工程を備えることを特徴と
する。
本発明によれば、減圧工程で、収容部内の液晶の脱泡処理や、一方の基板を有する液晶
セルの排気を行うことができる。また、液晶滴下時に滴下に要する圧力を低くし、加圧に
必要なエネルギーを抑制することができる。
【００１１】
本発明の液晶装置の製造方法は、前記減圧する工程で、前記空間の圧力を前記収容部内
の圧力よりも高くすることを特徴とする。
本発明によれば、液晶滴下前の減圧中に、液晶滴下部から液晶が漏れることを確実に防
止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明による液晶装置の構成例を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】実施形態の液晶装置の製造装置における液晶を滴下する前の状態を示す縦断正面図。
【図４】実施形態の液晶装置の製造装置における液晶の滴下時の状態を示す縦断正面図。
【図５】図４の液晶容器の周辺領域を示す拡大図。
【図６】大型の素子基板に複数の対向基板を貼り合わせて構成される複数の液晶セルの平面説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
〔液晶装置〕
先ず、実施形態の液晶装置の製造装置で製造される液晶装置の例について、図１及び図
２を参照して説明する。図１は液晶装置の構成例を示す平面図、図２は図１に於けるＡ−
Ａ断面図である。
【００１４】
液晶装置１は、一対の基板に相当する、ＴＦＴ基板等の素子基板１０と対向基板２０と
の間に液晶３０を封入して構成される。素子基板１０及び対向基板２０としてはガラス基
板や石英基板等が用いられる。素子基板１０上には画素を構成する画素電極１１が図示し
ないスイッチング素子と共にマトリクス状に配置されている。画素電極１１上にはポリイ
ミド系の高分子樹脂からなる配向膜１２が積層され、液晶分子に所定のプレティルト角を
付与するように所定方向にラビング処理されている。
【００１５】
対向基板２０には表示領域を区画する額縁としての遮光膜２１が設けられている。対向
基板２０の全面には対向電極２２としてＩＴＯ等の透明導電膜が形成され、更に、対向電
極２２の全面にはポリイミド系の配向膜２３が形成されている。配向膜２３は、液晶分子
に所定のプレティルト角を付与するように所定方向にラビング処理されている。
【００１６】
遮光膜２１の外側の領域には液晶３０を封入するシール材３１が、素子基板１０と対向
基板２０との間に形成されている。シール材３１は対向基板２０の輪郭形状に略一致する
ように配置され、素子基板１０と対向基板２０を相互に固着している。シール材３１は、
枠状に形成されており、シール材３１の枠内に液晶３０が封入されている。液晶装置１の
液晶の封入には、シール材３１の一部を欠落させて液晶３０を注入するための注入口３２
を形成し、注入口３２から液晶を注入可能な位置に液晶を滴下し、素子基板１０及び対向
基板２０相互の空間に液晶３０を注入し、注入口３２を封止材３３で閉塞する滴下注入法
が用いられる。尚、本発明は、いずれか一方の基板にシール材３１を塗布し、液晶３０を
滴下した後、素子基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる液晶滴下法（ＯＤＦ法）を用
いて製造される液晶装置の製造で用いてもよい。
【００１７】
シール材３１の外側の領域には、図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで
供給することによりデータ線を駆動するデータ線駆動回路４１、及び外部回路との接続の
ための外部接続端子４２が素子基板１０の一辺に沿って設けられている。この一辺に隣接
する二辺に沿って、図示しない走査線に走査信号を所定のタイミングで供給することによ
り走査線を駆動する走査線駆動回路４３が設けられており、走査線駆動回路４３は、シー
ル材３１の内側の遮光膜２１に対向する位置において素子基板１０上に形成される。また
、素子基板１０上には、データ線駆動回路４１、走査線駆動回路４３、外部接続端子４２
及び上下導通端子４４を接続する配線４５が設けられている。
【００１８】
上下導通端子４４は、シール材３１のコーナー部の４箇所の素子基板１０上に形成され
ている。素子基板１０と対向基板２０相互間には、下端が上下導通端子４４に接触し、上
端が対向電極２２に接触する上下導通材４６が設けられており、上下導通材４６によって
、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通がとられている。
【００１９】
各画素のスイッチング素子がオンになると、画像信号が各画素毎に画素電極１１に供給
される。この画素電極１１と対向基板２０に設けられた対向電極２２との間の電圧が液晶
３０に印加される。そして、画像信号が供給された画素電極１１と対向電極２２との電位
差に応じて液晶３０の分子集合の配向や秩序が変化して、光を変調し、階調表示を可能に
する。
【００２０】
尚、本発明を適用可能な液晶装置は適宜であり、例えばＴＦＴ（薄膜トランジスタ）や
ＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えるアクティブマトリクス型の液
晶装置、又はパッシブマトリクス型の液晶装置、或いはシリコン基板上に素子を形成する
反射型液晶装置（ＬＣＯＳ）等に適用することが可能である。
【００２１】
〔実施形態の液晶装置の製造装置〕
次に、実施形態の液晶装置の製造装置について、図３〜図６を参照して説明する。図３
は実施形態の液晶装置の製造装置における液晶を滴下する前の状態を示す縦断正面図、図
４は実施形態の液晶装置の製造装置における液晶の滴下時の状態を示す縦断正面図、図５
は図４の液晶容器の周辺領域を示す拡大図、図６は大型の素子基板に複数の対向基板を貼
り合わせて構成される複数の液晶セルの平面説明図である。
【００２２】
第１実施形態の液晶装置の製造装置１００は、図３及び図４に示すように、チャンバー
本体１１０と上蓋１２０とから構成されるチャンバーを有する。チャンバー本体１１０は
底部１１１と側壁１１２とから構成される上面開放の箱形であり、その両側壁１１２・１
１２の上部に支持ステー１１３・１１３が内側に突出して形成されている。チャンバー本
体１１０内の下部には、液晶セル２００が載置されるステージ１１４が設けられている。
上蓋１２０は、チャンバー本体１１０の上面開放箇所に設置される。
【００２３】
チャンバー本体１１０内には断面視逆Ω字形の取付板１３０が設けられている。取付板
１３０には、その両側壁１３１・１３１の上端に外側突出部１３２・１３２が形成されて
おり、取付板１３０は、両側壁１３１・１３１を支持ステー１１３・１１３の先端間に挿
入し、外側突出部１３２・１３２を支持ステー１１３・１１３の上側に載置するようにし
て、支持ステー１１３・１１３で支持されている。取付板１３０の底部１３３には、複数
の液晶滴下部１５０を取り付けるための取付穴１３４が複数形成されており、各取付穴１
３４には後述する各液晶滴下部１５０が取り付けられている。
【００２４】
チャンバーは、支持ステー１１３、取付板１３０、取付板１３０に取り付けられる液晶
滴下部１５０により、図３及び図４の上側に位置する一方の室１４０と、下側に位置する
他方の室１４６とに区画されている。一方の室１４０には、その側壁１１２に加圧管１４
１と排気管１４４が貫通して設けられている。加圧管１４１は、加圧制御バルブ１４３を
介して外部の加圧ポンプ１４２に接続されており、本実施形態における加圧管１４１、加
圧制御バルブ１４３、加圧ポンプ１４２は、一方の室１４０を加圧可能な加圧部を構成し
ている。排気管１４４は、排気制御バルブ１４５を介して図示省略する外部の減圧ポンプ
に接続されている。また、他方の室１４６には、その側壁１１２に排気管１４７が貫通し
て設けられており、排気管１４７は、排気制御バルブ１４８を介して図示省略する外部の
減圧ポンプに接続されている。
【００２５】
液晶滴下部１５０は、図３〜図５に示すように、上下貫通する液晶容器で、一方の室１
４０側である上部に位置する大径部１５１と、他方の室１４６側である下部に位置する小
径部１５２と、大径部１５１の下端に設けられているフランジ１５３とを有する。液晶滴
下部１５０は、小径部１５２を取付穴１３４に挿入し、大径部１５１の下端及びフランジ
１５３が取付板１３０の上面で支持されるようにして、取付板１３０に取り付けられ、一
方の室１４０と他方の室１４６との間に跨って設けられる。大径部１５１の下端と、或い
はこの下端及びフランジ１５３と取付板１３０の上面との間には、一方の室１４０と他方
の室１４６の密閉を確保するためのシール部１５４が設けられている。
【００２６】
液晶滴下部１５０は、一方の室１４０側である上部の内側に液晶Ｌの収容部１５５、他
方の室１４６側である下部の内側に滴下流路１５７とを有する。収容部１５５は、下部に
向かって先窄まりとなるテーパ状の傾斜面の底部１５６を有し、底部１５６の下端から滴
下流路１５７が連続して形成されている。滴下流路１５７は、その下端に先端開口に相当
する滴下口１５８を有し、収容部１５５に収容される液晶Ｌを流して滴下口１５８から滴
下可能である。また、液晶滴下部１５０において、一方の室１４０内の圧力で収容部１５
５に負荷される圧力と、他方の室１４６内の圧力で滴下口１５８及び滴下流路１５７に負
荷される圧力がほぼ同一である場合には、滴下流路１５７の流路抵抗により、収容部１５
５に収容されている液晶Ｌが滴下流路１５７から流れ出さずに留まるようになっている。
滴下流路１５７の直径は例えば２〜３ｍｍ、滴下流路１５７の長さは例えば１．５〜２．
５ｍｍとする。
【００２７】
尚、収容部１５５からの液晶Ｌの漏れを防止すべく滴下流路１５７の流路抵抗を高める
構成としては、例えば液晶滴下部１５０の材質、或いは滴下流路１５７の周囲部分の材質
を抵抗の高いものとする構成、又は滴下流路１５７の周面の表面に抵抗の高い材質のもの
をコーティングする構成があり、これらの材質としては、例えばポリテトラフルオロエチ
レン、ポリエーテルエーテルケトン等の樹脂材料が挙げられるが、好ましくはポリエーテ
ルエーテルケトンがよい。また、他の流路抵抗を高める構成として、滴下流路１５７の長
さを例えば３ｍｍ以上等で長くする構成としてもよい。
【００２８】
また、製造装置１００の液晶滴下部１５０で液晶Ｌを滴下して封入される液晶セル２０
０は、例えば図６に示すように、マザー基板である大型素子基板２０１と、大型素子基板
２０１上に所定間隔を開けて高密度に複数配置された対抗基板２０２とをシール材で貼り
合わせて構成される各液晶セル２００であり、各液晶セル２００にはシール材の一部を欠
落して注入口２０３が形成されている。
【００２９】
次に、実施形態の液晶装置の製造装置１００で液晶セル２００に液晶を封入する場合に
ついて説明する。先ず、図３に示すように、液晶滴下部１５０の収容部１５５に、図示省
略する液晶供給ライン及びディスペンサーで液晶Ｌを供給して、収容部１５５に液晶Ｌを
収容する。尚、各液晶滴下部１５０に対する液晶Ｌの供給は、１ラインの液晶供給ライン
と各液晶滴下部１５５に対応するディスペンサー、或いは２〜３ラインなど少数の液晶供
給ラインと複数のディスペンサーで行うことが可能である。また、複数種類の液晶を必要
に応じて滴下する場合には、例えば２ラインの液晶供給ラインとディスペンサーなど、少
数の液晶供給ラインとディスペンサーを用いて切り替えることにより対応することが可能
である。
【００３０】
また、対向基板２０２が配置された大型素子基板２０１をステージ１１４上に設置し、
各液晶滴下部１５０の滴下口１５８が液晶Ｌを滴下する位置に配置されるようにして、基
板２０１、２０２を配置する。本実施形態では、大型素子基板２０１上の対向基板２０２
相互間に溝（図示省略）を形成し、その溝の交点を液晶滴下箇所αとして滴下口１５８を
対応配置し、滴下口１５８と大型素子基板２０１とが離間した状態で、大型素子基板２０
１上の液晶滴下箇所αに液晶Ｌを滴下して、滴下した液晶Ｌを液晶セル２００の注入口２
０３に溝に沿って周り込ませて導いていく構成とするが、各液晶セル２００の注入口２０
３の近傍の液晶滴下箇所βに滴下口１５８を配置し、液晶Ｌを滴下する構成としてもよい
（図６参照）。
【００３１】
その後、排気制御バルブ１４５、１４８を開放して減圧ポンプにより、収容部１５５が
配置されている一方の室１４０内の圧力と、滴下流路１５７の滴下口１５８及び液晶セル
２００が配置されている他方の室１４６内の圧力を減圧する。この減圧により、液晶セル
２００の排気処理と収容部１５５内の液晶Ｌの脱泡処理を行うことが可能である。また、
本例では、減圧時における他方の室１４６内の圧力が一方の室１４０の圧力よりも僅かに
高くなるように設定されており、例えば一方の室１４０内の圧力を５〜６Ｐａ、他方の室
１４６の圧力を一方の室１４０の圧力に対して＋３〜１０Ｐａとする。
【００３２】
減圧完了後は排気制御バルブ１４５、１４６を閉じ、図４及び図５に示すように、加圧
制御バルブ１４３を開放して加圧ポンプ１４２で加圧し、一方の室１４０内の圧力を加圧
して収容部１５５内の圧力を加圧し、収容部１５５の圧力を滴下流路１５７の滴下口１５
８側よりも陽圧にする。これにより、収容部１５５に収容されている液晶Ｌが加圧された
圧力Ｐで押圧されて大型素子基板２０１上に滴下される。加圧滴下時における一方の室内
１４０内の圧力Ｐは、例えば５０Ｐａ程度で、４０〜６０Ｐａとすると良好である。液晶
Ｌは、収容部１５５から液晶滴下箇所αに滴下され、対向基板２０２間の溝に沿って液晶
セル２００の注入口２０３に至る。
【００３３】
所要量の液晶Ｌを滴下した後には、一方の室１４０と他方の室１４６を大気開放し、液
晶セル２００が、気圧差によって、注入口２０３近傍の液晶Ｌを基板２０１、２０２間の
空間に吸い込むことにより、液晶Ｌが注入され、注入口２０３を封止材で封止して液晶Ｌ
を封入する。その後は、大型素子基板２０１と対向基板２０２・２０２間の位置で切断す
ること等により、液晶装置１が製造される。
【００３４】
本実施形態の液晶装置の製造装置１００は、一方の室１４０と他方の室１４６の差圧で
液晶Ｌを滴下するもので、液晶滴下部１５０やその支持部分の構造等を単純化することが
可能であるから、製造装置１００の構造の簡易化、低コスト化を図ることができる。同時
に、基板２０１に非接触で液晶を滴下することが可能であるから、液晶装置１内に異物が
混入することを防止できる。また、複数の液晶滴下部１５を有して複数箇所に液晶Ｌを同
時に滴下することが可能であるから、製造時に高密度に並置された基板２０１、２０２の
目的位置に同時に液晶を滴下することができる。また、液晶滴下部１５０を移動して複数
箇所に液晶を滴下する場合に必要となる移動機構を不要とすることが可能であり、かかる
点からも製造装置１００の構造の簡易化を図ることができる。また、複数の液晶滴下部１
５０への液晶供給を１ラインの液晶供給ラインとディスペンサーで行うことも可能であり
、複数の液晶供給ラインを設ける場合に比べて、設備の小型化を図れると共に、液晶供給
ラインのイオン汚染や異物混入の防止等の管理が容易になる。
【００３５】
また、加圧前の減圧工程により、収容部１５５内の液晶Ｌの脱泡処理や、液晶セル２０
０の排気を行うことができる。また、液晶滴下時に滴下に要する圧力を低くし、加圧時に
必要なエネルギーを抑制することができる。また、減圧時における他方の室１４６内の圧
力が一方の室１４０の圧力よりも高くなるように設定することにより、差圧で収容部１５
５の液晶Ｌの漏れを確実に防止することができる。
【００３６】
〔実施形態の変形例等〕
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲内で
変形、改良等したものも本発明に含まれる。
【００３７】
例えば、液晶滴下部１５０は複数設けると好適であるが、単数の液晶滴下部１５０を設
ける構成とすることも可能である。また、一方の室１４０と他方の室１４６の減圧時にお
ける、収容部１５５内の圧力に対応する一方の室１４０の圧力は、滴下流路１５７の滴下
口１５８及び液晶セル２００が配置される他方の室１４６の圧力よりも、低く設定すると
好適であるが、滴下流路１５７の流路抵抗で収容部１５５内の液晶Ｌの漏れを防止可能な
場合には、これらの双方の圧力を同一とすることも可能であり、この場合には一方の室１
４０と他方の室１４６に対する排気管１４４、１４７を接続して減圧ポンプを共用するこ
とが好ましい。
【００３８】
また、滴下流路１５７の流路抵抗は上記例に限定されず、例えば収容部１５５に設置す
る支持部材で支持する等により、滴下流路１５７の中心に芯となる円柱等の柱部材を設置
し、滴下流路１５７の周面と柱部材の外周面の双方に液晶Ｌが接触しながら流れる構成、
換言すれば接触面積が増大された円筒状の流路を液晶Ｌが流れる構成等としてもよい。ま
た、収容部１５５内の圧力に相当する一方の室１４０を加圧する前には、一方の室１４０
と他方の室１４６とを減圧すると好適であるが、この減圧工程を経ずに一方の室１４０を
加圧する工程とすることも可能である。
【００３９】
また、本発明における一対の基板のうちの一方の基板と他方の基板は、素子基板と対向
基板の何れとしてもよい。また、本発明の液晶装置の製造装置或いは製造方法は、いずれ
か一方の基板にシール材を塗布し、液晶を滴下した後、素子基板と対向基板を貼り合わせ
る液晶滴下法（ＯＤＦ法）を用いて製造される液晶装置の製造で用いてもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１…液晶装置  １０…素子基板  １１…画素電極  １２…配向膜  ２０…対向基板  ２１
…遮光膜  ２２…対向電極  ２３…配向膜  ３０…液晶  ３１…シール材  ３２…注入口
３３…封止材  ４１…データ線駆動回路  ４２…外部接続端子  ４３…走査線駆動回路
４４…上下導通端子  ４５…配線  ４６…上下導通材  １００…液晶装置の製造装置  
１１０…チャンバー本体  １１１…底部  １１２…側壁  １１３…支持ステー  １１４…
ステージ  １２０…上蓋  １３０…取付板  １３１…側壁  １３２…外側突出部  １３３
…底部  １３４…取付穴  １４０…一方の室  １４１…加圧管  １４２…加圧ポンプ  １
４３…加圧制御バルブ  １４４…排気管  １４５…排気制御バルブ  １４６…他方の室  
１４７…排気管  １４８…排気制御バルブ  １５０…液晶滴下部  １５１…大径部  １５
２…小径部  １５３…フランジ  １５４…シール部  １５５…収容部  １５６…底部  １
５７…滴下流路  １５８…滴下口  ２００…液晶セル  ２０１…大型素子基板  ２０２…
対向基板  ２０３…注入口  α、β…液晶滴下領域  Ｌ…液晶  Ｐ…加圧時の圧力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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