(57)【要約】【課題】複数のランプと集光鏡を備える光照射装置において、ランプとランプの間に隔壁を設ける場合、隔壁が隔壁の平面に対して直交する方向に膨らむ変形（座屈）を生じることのない光照射装置を提供すること。  【解決手段】隔壁を、長手方向を揃えて並べた複数の長方形状の板状部材と、板状部材を支持する支柱を備え、板状部材は、熱膨張による板状部材の長手方向への伸びを許容して支柱に支持する。板状部材は横長に配置してもよいし、縦長に配置してもよいが、長手方向を揃えて並べた板状部材は、隣り合う板状部材との間にわずかな隙間を設けておくことが望ましい。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のランプと、該複数のランプのそれぞれの周囲に設けられ各ランプからの光を反射する反射鏡と、該反射鏡と反射鏡の間に設けられた隔壁とを備えた光照射装置において、
上記隔壁は、長手方向を揃えて並べた複数の長方形状の板状部材と、該板状部材を支持する支柱とを備え、
上記板状部材は、熱膨張による長手方向への伸びを許容して上記支柱に支持されていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
上記板状部材は、隣り合う板状部材との間に隙間を形成して上記支柱に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
上記板状部材は横長に配置されるとともに、該板状部材には該板状部材の長手方向に沿った長孔が形成され、該板状部材は、上記長孔にねじまたはピンを挿入し、該挿入したねじまたはピンを上記支柱に固定することにより支持されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光照射装置。
【請求項４】
上記板状部材は横長に配置されるとともに、上記支柱には上記板状部材の長手方向に沿った長孔が形成され、上記板状部材は、上記長孔にねじまたはピンを挿入し、該挿入したねじまたはピンを上記板状部材に固定することにより支持されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光照射装置。
【請求項５】
上記板状部材は縦長に配置されるとともに、該板状部材は、その上端を支柱に固定することにより支持されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光照射装置。
【請求項６】
４個のランプと、該ランプのそれぞれの周囲に設けられ各ランプからの光を反射する反射鏡と、該反射鏡と反射鏡の間に設けられた隔壁とを備えた光照射装置において、
中央で交差させて十字型に配置した隔壁と、上記隔壁により形成された4つの象限に１個ずつランプと該ランプからの光を反射する反射鏡を設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項５に記載の光照射装置。
【請求項７】
上記反射鏡は９０°方向の２ヶ所を切り欠き、上記隔壁は上記切り欠きと切り欠きの間に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子やプリント基板、液晶基板などの製造用の露光装置に用いる光照射装置に関し、特に複数のランプを備えた光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子やプリント基板、液晶表示基板の露光装置に用いられる光源として、主に数ｋＷから数１０ｋＷの大型の超高圧水銀ランプが用いられてきた。これらの光源は、信頼性も高く以前から用いられている。
近年、液晶表示基板やプリント基板の大面積化が進み、それに伴って露光装置においても光照射領域の拡大が望まれており、露光用光源も大型化が要求されている。
【０００３】
大型の露光用光源を備えた光照射装置として、例えば特許文献１のように、複数のランプとそのランプから放射される光を反射する反射鏡（集光鏡）で光源を構成する光照射装置が提案されている。
図９に、特許文献１に記載された従来の光照射装置の構成を示す。
光源１０として例えば２個のランプ１ａ，１ｂ及び集光鏡２ａ，２ｂが使用される。２個の集光鏡２ａ，２ｂは、各々の第２焦点が一致するように配置される。
【０００４】
図１０は図９に示した光源１０の構成を示す図である。同図に示すように、集光鏡２ａ，２ｂは、その一部を集光鏡２ａ，２ｂの光軸Ｌに対して斜めに切り取り、この切り取った切断面Ｓが互いに平行で集光鏡２ａ，２ｂの第２焦点ｆを共有するように配置している。
図９に戻り、光源１０からの光は、第１平面鏡３で折り返され、集光鏡２ａ，２ｂの第２焦点位置に置かれたインテグレータレンズ４に入射する。インテグレータレンズ４により被照射面８での照度分布が均一になるように調整された光は、シャッタ５を介し、第２平面鏡６で折り返され、コリメータレンズ７で中心光線が平行になって光照射面８に照射される。
【０００５】
複数のランプと集光鏡から構成される光源を備えた光照射装置において、図１０に示すように集光鏡の一部を切り欠いて配置する理由は、光照射面８に照射される光のコリメーション角（視角）θを大きくすることなく、光の利用効率を上げて、光照射面８における照度を高くすることができるからである。
【特許文献１】特開２００４−２４５９１２号公報
【特許文献２】特開２００８−８３５８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、図１０に示すように、集光鏡を切り欠いて並べると、隣り合うランプとランプの間には、お互いを遮るものがなくなる。
そのため、仮に、点灯中に１つのランプに割れといった不具合が生じた時、その割れたランプの破片が隣のランプにまで達し、場合によっては他のランプまで傷つけてしまうという二次的な不具合を引き起こすことも考えられる。
【０００７】
これを防ぐためには、並べて配置した集光鏡と集光鏡の間に隔壁を設け、たとえランプが割れたとしても、その破片が隣のランプにまで届かないようにすることが考えられる。
例えば、特許文献２に記載の露光用光源には、設置する目的は異なるが、集光鏡と集光鏡の間に隔壁を設けることが示されている。
【０００８】
しかし、隔壁として単に板状の部材を集光鏡の間に配置したのでは、以下のような問題が生じる。
図１１は、隔壁として用いた板状部材に加わる力を示す図である。
図１１（ａ）に示すように、集光鏡と集光鏡の間に一枚の板状の部材１００を配置すると、板状部材１００は、ランプ点灯中はランプ１から放射される光Ｂにより加熱され、ランプ１に近い中央部（図中丸囲みの斜線部）１０１は高温になり、その結果、中央部１０１は外側に向かって膨張しようとする力Ｆ１が生じる。
一方、ランプ１から遠い板状部材１００の周辺部１０２は、中央部１０１に比べて温度上昇が少なく、熱膨張の量も小さい。
【０００９】
そのため、図１１（ｂ）に示すように、中央部１０１に生じた膨張しようとする力Ｆ１は、あまり膨張しない周辺部１０２から押さえつけられ、中央部１０１は、周辺部１０２から反対に圧縮する力Ｆ２を受けることとなる。そのため、中央部１０１には、板状部材１００の平面に対して直交する方向の力Ｆ３が生じ、その結果、中央部１０１は板状部材１００の平面に対して直交する方向に膨らむ（反る）「座屈」と呼ばれる変形が生じる。
【００１０】
上記したように、光照射装置の光源において、隔壁としての板状部材は、集光鏡と集光鏡の間に配置することになる。しかし、この隔壁を配置する集光鏡と集光鏡の間隔は、ランプからの光の反射されない成分を少なくするために、できるだけ狭くしておくことが望ましい。
そのため、その狭い場所で、隔壁即ち板状部材に座屈による変形が生じると、変形した板状部材が集光鏡の縁を押し集光鏡を傷つけ、場合によっては破損してしまうことが考えられる。
【００１１】
本発明は、上記問題点を考慮してなされたものであって、本発明の目的は、
複数のランプと反射鏡を備える光照射装置において、反射鏡と反射鏡の間に隔壁を設ける場合、隔壁が隔壁の平面に対して直交する方向に膨らむ変形（座屈）を生じることのない光照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題解決するため、本発明においては、複数のランプと、該複数のランプのそれぞれの周囲に設けられ各ランプからの光を反射する反射鏡と、該反射鏡と反射鏡の間に設けられた隔壁とを備えた光照射装置において、隔壁を、長手方向を揃えて並べた複数の長方形状の板状部材と、この複数の板状部材を支持する支柱とを備えたものとし、板状部材は、支柱に対し、熱膨張による板状部材の長手方向に沿った伸縮（移動）を許容して取り付ける。
【００１３】
板状部材を支柱に支持する具体的な方法は、以下の通りである。
板状部材を横長に配置する場合は、板状部材にその長手方向に沿った長孔を形成する。そしてこの長孔にねじまたはピンを挿入し、挿入したねじまたはピンを支柱に固定することにより、板状部材を支柱に支持する。
または、支柱に板状部材の長手方向に沿った長孔を形成する。そしてこの長孔にねじまたはピンを挿入し、挿入したねじまたはピンを板状部材に固定することにより、板状部材を支柱に支持する。
【００１４】
このように支持することで、板状部材は、板状部材または支柱に形成した長孔分、その長手方向に関して支柱に対して熱膨張による移動が可能となる。
また、板状部材を縦長に配置する場合は、その上端を支柱に取り付け、下端は固定しない。板状部材は、その長手方向である重力方向に熱膨張による移動が可能となる。
なお、長手方向を揃えて並べた板状部材は、横長に配置する場合でも、縦長に配置する場合でも、隣り合う板状部材との間に隙間を形成して支柱に支持することが望ましい。
【００１５】
また、上記の光照射装置において、光源として４個のランプと反射鏡を使用する場合は、隔壁を中央で交差させて十字型に配置し、この隔壁により形成された４つの象限に、各ランプとそのランプからの光を反射する反射鏡を設ける。
さらに、上記の光源において、各反射鏡は９０°方向の２ヶ所を切り欠き、切り欠いた部分同士を向かい合わせて配置し、隔壁はその切り欠きと切り欠きの間に配置する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の光照射装置においては、ランプからの光を反射する反射鏡と反射鏡の間に設ける隔壁の、壁面を形成する板状部材を、長手方向を揃えて並べた複数の長方形状の板状部材から構成することにより、一枚一枚の板状部材の幅を狭くして、各板状部材における幅方向の温度差を少なくした。このことにより板状部材が熱膨張により大きく伸びる方向を、板の長手方向に限定することができた。
【００１７】
そして、各板状部材を、それぞれ板状部材を支持する支柱に対して、熱膨張による長手方向への伸びを許容するように取り付けたので、ランプ点灯中に、板状部材は自身の平面に対して直交する方向に膨らむ変形（座屈）が生じることがない。
したがって、隔壁を反射鏡と反射鏡の間の間隔の狭い部分に設けても、反射鏡を傷つけることがない。
【００１８】
また、板状部材を、隣り合う板状部材との間に隙間を形成して支柱に取り付けることにより、各板状部材が熱膨張した時、隣り合う板状部材において熱膨張の量（伸縮の長さ）が異なるが、互いにこすれ合うことがなく、ごみの発生を防ぐことができる。さらに、板状部材の幅方向への膨張に対する余地としても働く。
【００１９】
なお、４個のランプと集光鏡を使用する光照射装置においては、隔壁を交差させて十字型に配置することにより、隔壁を形成する長方形状の板状部材を横長にして配置する場合は特に、板状部材の一端側（隔壁が交差する側とは反対側）に、板状部材が熱膨張によって伸びることができる自由な空間を作りやすくなる。
【００２０】
また、上記の光照射装置の場合、反射鏡は９０°方向の２ヶ所を切り欠き、切り欠き同士を向かい合わせて配置するようにすれば、４個の反射鏡は同じ形となり共通化できる。これにより装置全体のコストダウンを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の光照射装置の概略構成を示す図である。なお、図９と同じものについては同じ符号を付している。
図９とは、複数のランプで構成した光源の集光鏡と集光鏡の間に隔壁２０を設けている点で異なり、その他の構成は基本的に同じである。
【００２２】
図２は、図１に示した隔壁の第１の実施例の構成を示す図である。
同図に示すように、隔壁２０は、複数（図中では８枚）の細長い長方形状の板（以下短冊板と呼ぶ）２１と、この複数の短冊板２１を両端で支持する２本の支柱２２，２３とから構成される。
ランプが割れた時の破片が隣のランプに届くのを防ぐための壁面の部分は、この短冊板を、長手方向を横にしてそろえ上下方向に複数並べることにより構成する。なお、同図においては、壁面の下部に、支柱を固定するフレームも示している。
【００２３】
短冊板２１は、ランプからの光による加熱（推定の到達温度は４００℃〜６００℃）に耐えられ、かつ比較的安価な素材であることからステンレス板を採用した。
また、短冊板２１に加工による内部ひずみが残っていると、座屈（反り）が発生しやすく、またその変形量も大きくなるため、短冊板として使用するステンレス板は焼鈍（焼きなまし、アニーリング）を行ってひずみを取り除いている。
なお、本実施例における短冊板２１の１枚の大きさは、長さ６００ｍｍ、幅３０ｍｍ、厚さ６ｍｍである。
【００２４】
ここで、短冊板２１の長さは、集光鏡に形成した切り欠きの長さに対応し、切り欠きの長さ以上になるように設計している。
また、厚さは、割れたランプの破片が短冊板にぶつかった時、その破片が短冊板を突き抜けないような厚さを計算して設計している。
そして、幅は、短冊板の厚さが上記の厚さにおいて、幅方向に座屈を生じさせるような温度分布が生じないような距離を計算して設計している。
【００２５】
図３は、短冊板２１を支柱２２，２３に支持する部分の拡大図である。
同図に示すように、短冊板２１の長手方向の端部に、その長手方向に沿った長孔の貫通孔３０を形成し、この貫通孔３０にねじ４０またはピン５０を挿入する。そして、挿入したねじ４０またはピン５０を支柱２２，２３に固定する。これにより短冊板２１は２２，２３支柱に支持される。
なお、後述するように、短冊板２１の両端に貫通孔３０を形成する場合、両方とも長孔にする必要はなく、いずれか一方の端に形成した貫通孔のみを長孔とすればよい。
【００２６】
図３（ａ）と図３（ｂ）は、短冊板２１をねじ４０により支柱２３に取り付ける例を示す図である。図３（ａ）はその斜視図、図３（ｂ）はその断面図である。
支柱２３に、短冊板２１を支持するねじ４０のねじ孔６０を形成し、また短冊板２１には貫通孔３０を形成する。短冊板２１は長手方向に熱膨張するので、貫通孔３０はその熱膨張の量を考慮し、短冊板２１の長手方向に数ミリ長い長孔にする。
【００２７】
続いて、ねじ４０の軸４１に、スプリングワッシャ４２と平ワッシャ４３を入れた後、カラー４４と呼ばれる筒状の部材を通し、このカラー４４とともにねじ４０を貫通孔３０に挿入して、支柱２３にねじ止めする。カラー４４は短冊板２１の板厚（６ｍｍ）よりも高く、また、貫通孔３０の径はカラー４４の外径よりも大きくする。
【００２８】
ねじ４０はワッシャ４２，４３がカラー４４にあたるところまで締まる。上記のようにカラー４４は短冊板２１の板厚よりも高いので、短冊板２１は支柱２３に対して完全に固定されるわけではない。短冊板２１は、形成した貫通孔３０の長孔分、支柱２３に対して熱膨張による伸び縮みの移動が許されて支持される。
【００２９】
図３（ｃ）は、短冊板２１をピン５０により支柱２２に取り付ける例を示す図である。
この例においては、支柱２２はコの字（Ｕ字）型で、両側にピン５０を通して固定するピン孔７０を形成する。短冊板２１には貫通孔３０を形成するが、この貫通孔３０は、上記と同様に、短冊板２１の熱膨張による伸縮を考慮し、短冊板２１の長手方向に数ミリ長い長孔にする。
【００３０】
短冊板２１を支柱２２のコの字（Ｕ字）の凹部７１に挿入し、支柱２２の一方のピン孔７０→短冊板２１の貫通孔３０→支柱２２の他方のピン孔７０の順でピン５０を通す。
なお、支柱２２のコの字（Ｕ字）の凹部７１の幅は、短冊板２１の厚さよりもやや広くしておく。また、短冊板２１の長手方向の側面が、支柱２２のコの字（Ｕ字）の底面にぶつからないように、コの字（Ｕ字）は深く形成しておく。
【００３１】
このようにすれば、上記ねじを使った例と同様に、短冊板２１は支柱２２に対して完全には固定されず、短冊板２１は、形成した貫通孔３０の長孔分、支柱２２に対して熱膨張による伸び縮みが許されて支持される。
なお、短冊板２１の両端を支柱２２，２３に支持する方法として、両端ともねじ、または両端ともピンを使用するようにしても良いし、一方はねじを使用し他方はピンを使用するようにしてもよい。
【００３２】
なお、上記したように、本実施例のように、短冊板２１を横長にして並べ、その両端を支柱２２，２３により支持する場合は、短冊板２１の両端に形成するねじ４０またはピン５０が通過する貫通孔３０を、両方とも長孔にする必要はない。少なくとも一方の端の貫通孔３０が、短冊板２１の熱膨張による伸縮に相当する長さの長孔であればよい。
【００３３】
上記のようにして、複数の短冊板２１をそれぞれ独立して、支柱２２，２３に複数長手方向を揃えて上下方向に並べて取り付ける。これにより、各短冊板２１は、隣り合う上下の短冊板とは独立して熱膨張による伸び縮みが可能であり、また、一枚ずつの取り付け取り外しも可能である。
そして、短冊板２１を、集光鏡を切り欠かない場合の周縁の高さまで上に並べる。
本実施例においては、図２に示すように、短冊板を８枚並べて（積み上げて）いる。これより、仮に１個のランプが割れたとしても、その破片は隔壁に遮られ、隣のランプに届くということはない。
【００３４】
図４は、このようにして構成した隔壁２０を、４灯式の光源（４本のランプ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと各ランプからの光を反射して集光する集光鏡２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを備えた光源）の光照射装置に適用した図である。
また図５は、４灯式の光源に取り付ける隔壁を示す図であり、図４からランプと集光鏡を除いた図である。
【００３５】
図５に示すように、４灯式の光源においては、４枚の隔壁を中央で交差させて十字型に配置する。そして、図４に示すように、十字型に交差して配置した隔壁により生じる９０°に分割された４つの象限に、１個ずつランプ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄとそのランプから放射される光を反射して集光する反射鏡（集光鏡）２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを配置する。
【００３６】
各集光鏡２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは９０°方向の２ヶ所を切り欠き、切り欠いた部分同士を向かい合わせて配置する。これにより、集光鏡を切り欠かない場合に比べてランプ同士が接近し、４本のランプと集光鏡を一つの光源とみなした時の輝度が高くなり、上記したように、コリメーション角（視角）θを大きくすることなく、光の利用効率を高めることができる。
【００３７】
また、ランプと集光鏡を上記のように配置することにより、４つの集光鏡２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、いずれも切り欠きが同じ方向で同じ形となり、部品として共通化する。これにより装置全体のコストダウンを図ることができる。
そして、隔壁２０は、これらの集光鏡２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの切り欠きと切り欠きの間に配置する。集光鏡同士の間隔は、広いとその分ランプからの光のうち反射されない成分が多くなるので、できるだけ狭くしておくことが望ましく、本実施例においては約１４ｍｍである。
【００３８】
本実施例においては、図５に示すように、隔壁２０の短冊板２１を支持する支柱２２，２３は、中央に１本と周辺部に４本設けている。中央の支柱２２には、４方向に向かって伸びるように短冊板２１の一端を取り付け、短冊板２１の他端は周辺部に設けた支柱２３に取り付ける。これにより十字型に交差した隔壁が構成される。
なお、このように４枚の隔壁２０を十字型に交差して配置することにより、各隔壁２０の短冊板２１は、熱膨張により伸びる際、４枚の隔壁２０が接する内側（中央の支柱２２の方向）には伸びることができないが、外側方向（周辺部の支柱２３の方向）に伸びることができる自由な空間を作りやすい。
【００３９】
したがって、短冊板２１を支柱２２，２３に固定するために形成する貫通孔３０のうち、中央の支柱２２側の貫通孔は長孔にせず、周辺部の支柱２３側の貫通孔のみ長孔にして、短冊板２１は熱膨張の際外側に伸びるようにする。なお、長孔の形状は、短冊板２１の熱膨張の伸縮を考慮して形成する。
【００４０】
図６は、ランプ点灯時の隔壁の状態を模式的に示す図であり、同図を用いてランプ点灯時の短冊板で構成した隔壁の状態を説明する。同図において、隔壁の壁面はＡからＥで示す５枚の短冊板により構成されているものとし、また支柱は省略して示している。
ランプが点灯すると、短冊板Ａ〜Ｅの中央部（ランプに近い部分）は約４００℃から６００℃に上昇する。同図において、各短冊板の温度が高くなる部分を斜線で示す。ランプの発光点に近い中央の短冊板Ｃは、温度の高くなる領域は広く、その上下の短冊板は、ランプの発光点から遠ざかるにつれて、温度の高くなる領域が狭くなる。
【００４１】
このとき、短冊板Ａ〜Ｅに生じる力を、上下方向に生じる力と、左右方向に生じる力の２つに分けて考える。
まず、短冊板の上下方向については、上記したように、短冊板は、上下方向の温度差ができるだけ生じないように幅を狭くしている。そのため、１枚の短冊板においては上下方向の温度差が少なく、上下方向については、熱い部分（熱膨張の大きい部分）と冷たい部分（熱膨張の少ない部分）が生じにくい。したがって、温度が高い部分に対して上下方向から圧縮する力は生じない。
【００４２】
また、短冊板の幅は狭いので、温度が高い部分が幅方向に熱膨張したとしても、その量は少なく１ｍｍ以下であり、各短冊板に形成しているねじやピンを通す貫通孔の径の遊び分で吸収が可能である。
一方、短冊板の左右方向ついては、短冊板を横長に配置しているので、上下方向とは異なり、左右方向（短冊板の長手方向）には、熱い部分（熱膨張の大きい部分）と冷たい部分（熱膨張の少ない部分）が生じる。熱い部分が熱膨張することにより、短冊板は数ミリ程度左右方向に伸びるが、その伸びは、上記したように短冊板に形成した長孔により吸収される。
【００４３】
即ち、長方形状の短冊板であるため、板状部材（短冊板）は、熱膨張の方向がその長手方向に限定されるので、長孔によって板の熱膨張と伸縮を吸収することができる。
【００４４】
短冊板は、ランプに近い短冊板（例えば短冊板Ｃ）と、ランプから遠い短冊板（例えば短冊板Ａや短冊板Ｅ）、またはその中間にある短冊板（たとえば短冊板Ｂや短冊板Ｄ）とでは、高温になる領域（図中斜線の領域）の広さが異なり、したがって熱膨張による伸びの量ＦＬがそれぞれ異なる。即ち、短冊板Ｃは長く伸びるが、短冊板Ａや短冊板Ｅの伸び量は短く、短冊板Ｂと短冊板Ｃはその中間である。
【００４５】
これに対して、各短冊板は、上記したように、支柱に対して独立して熱膨張の伸縮を許容して取り付けられている。そのため、ＡからＥの各短冊板は、それぞれの熱膨張に応じて伸びたり、また縮んだりの移動をすることができる。したがって、左右方向についても、温度が高い部分に対して圧縮する力は生じない。
以上のように、短冊板は、その上下方向については温度差が生じないように幅が狭く作られ、また左右方向には温度差は生じるが、熱膨張による伸縮（移動）を許容して支柱に取り付けられているので、上下方向においても左右方向においても、温度が高い部分に対して圧縮する力は生じない。
【００４６】
したがって、各短冊板Ａ〜Ｅには自身の板面に対して直交する方向への力が生じず、短冊板を複数並べた隔壁には、隔壁の平面に対して直交する方向に膨らむ変形（座屈）が生じない。
なお、各短冊板を並べて配置するとき、隣り合う短冊板の間に１ｍｍかそれ以下の隙間を空けて取り付けることができるように、支柱に形成する固定用のねじ孔やピン孔を設けることが望ましい。
【００４７】
なぜなら、図６おいて示したように、短冊板はその長手方向に熱膨張するが、その伸び量ＦＬは各短冊板において異なる。そのため、隣り合う短冊板との間に隙間があれば、各短冊板がそれぞれに応じた熱膨張伸縮をする時に、隣り合う短冊板同士の間でこすれ合うことがない。
その結果、各短冊板はスムーズな伸び縮みができ、またこすれ合うことによるごみの発生も防止できる。また、上下方向（短冊板の幅方向）の膨張も吸収することができる。なお、１ｍｍかそれ以下の隙間であれば、仮にランプが割れてその隙間を破片が通過しても、隣のランプを傷つけるほどにはならない。
【００４８】
なお、上記第１の実施例においては、短冊板に長孔を形成し、支柱にねじを固定するねじ孔、またはピンを固定するピン孔を形成した。しかし、短冊板にねじまたはピンを固定する孔を形成し、長孔を支柱側に形成してもよい。
図７に、上記第１の実施例で示した隔壁の変形例を示す。同図は、図３と同様、短冊板を支柱に支持する部分の拡大図である。
【００４９】
同図は、短冊板２１をねじ４０により支柱２４に取り付ける場合の例である。短冊板２１にねじ４０を固定するねじ孔６０を形成し、支柱２４に短冊板２１の長手方向に沿った長孔の貫通孔３０を形成する。長孔の長さは、短冊板２１の熱膨張による伸縮を考慮して形成する。
【００５０】
この長孔３０にねじ４０を挿入し短冊板２１を支柱に取り付ける。なお、ねじ４０の軸には、上記第１の実施例に示したようにワッシャとカラーが通されており、ねじ４０を締め付けても、短冊板２１は、支柱２４に形成した長孔分、熱膨張による伸び縮みが許される。
【００５１】
上記の第１の実施例においては、短冊板を横長に配置し、上下方向に複数並べて壁面とした。しかし短冊板を縦長に配置し、左右方向に複数並べて壁面としてもよい。
図８に、本発明の光照射装置に設ける隔壁の第２の実施例の構成を示す。
同図においては、ＡからＥの５枚の短冊板を縦長に配置し、各短冊板Ａ〜Ｅの上端側を支柱２５によって支持するとともに、各短冊板を左右方向に並べて隔壁を構成した例を示している。
【００５２】
同図に示すように、短冊板を縦長に配置する場合は、短冊板Ａ〜Ｅを支持する支柱２５は横方向（左右方向）に設けられる。各短冊板Ａ〜Ｅは、この横方向に設けた支柱２５に、上方の端がねじ４０によりねじ止めされ、吊り下げるようにして取り付けられる。このようにして取り付けた短冊板を、複数長手方向を揃えて左右に並べ壁面とする。
【００５３】
このように、短冊板を縦長に配置する場合、支柱２５は、各短冊板Ａ〜Ｅの上部を支持する１本だけでよく、短冊板Ａ〜Ｅの下部は支持する必要はない。即ち、短冊板はいわゆる「片持ち」で支柱２５に支持される。各短冊板Ａ〜Ｅは下方の端が自由であり、熱膨張する時、各短冊板はそれぞれの伸び量ＦＬに応じて、短冊板の長手方向である重力方向下方に自由に伸びることができる。
【００５４】
したがって、このように短冊板を片持ちで支持する場合は、短冊板または支柱に、上記第１の実施例において示したような長孔の貫通孔を形成する必要がない。
なお、第１の実施例において示したように、隣り合う短冊板の間に隙間を設け、熱膨張時に短冊板同士がこすれ合わないようにすることが望ましい。
【００５５】
なお、上記第１と第２の実施例においては、短冊板を板状の部材として示したが、網目状の部材、例えば金網で構成してもよい。ただし、網の目の大きさは、ランプが割れた時、隣のランプに傷を与えるほど大きな破片が通過しないように、小さくしておく必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の光照射装置の概略構成を示す図である。
【図２】隔壁の第１の実施例の構成を示す図である。
【図３】短冊板を支柱に支持する部分を拡大して示した図である。
【図４】隔壁を４灯式の光源の光照射装置に適用した図である。
【図５】４灯式の光源に取り付ける隔壁を示す図である。
【図６】ランプ点灯時の隔壁の状態を模式的に示す図である。
【図７】第１の実施例で示した隔壁の変形例を示す図である。
【図８】隔壁の第２の実施例を示す図である。
【図９】従来の光照射装置の構成を示す図である。
【図１０】図９に示した光源の構成を示す図である。
【図１１】隔壁の板状部材に加わる力を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ      ランプ
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ      集光鏡（反射鏡）
２０                        隔壁
２１                        短冊板（長方形状の板状部材）
２２，２３，２４，２５      支柱
３０                        貫通孔
４０                        ねじ
５０                        ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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