(57)【要約】【課題】対物レンズを備える顕微鏡本体を回転装置によって回転させた場合に顕微鏡本体が試料載置台や試料に干渉してしまう不具合を確実に回避する。【解決手段】回転装置による対物レンズの光軸の回転角度が所定角度を超える場合には回転装置３０に連動させてステージ１０が顕微鏡本体２０から離れる方向に移動するように移動装置４０を動作させる移動装置連動機構５０を備えることで、所定角度を超えるまでは観察角度を変えた試料Ｗの観察が可能であり、対物レンズを備える顕微鏡本体２０を回転装置３０によって所定角度を超えて回転させた場合でも顕微鏡本体２０がステージ１０や試料Ｗに干渉しないようにした。【選択図】        図６
2010085757.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が載置される載置面を有する試料載置台と、
光源からの照明光を前記試料載置台上の前記試料に集光照射する対物レンズと前記試料からの反射光を撮像デバイスに結像する結像レンズとを備える顕微鏡本体と、
前記顕微鏡本体に連結されて、前記対物レンズの光軸が前記試料に対して傾くように前記顕微鏡本体を回転させる回転装置と、
前記回転装置の回転軌跡面に平行で、かつ、前記載置面に平行な方向に前記試料載置台を移動させる移動装置と、
前記回転装置による前記対物レンズの光軸の回転角度が所定角度を超える場合に前記回転装置に連動させて前記試料載置台が前記顕微鏡本体から離れる方向に移動するように前記移動装置を動作させる移動装置連動手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記試料載置台を前記載置面に対して鉛直方向に移動させる焦準装置をさらに備え、
該焦準装置は、前記移動装置によって前記試料載置台とともに移動することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記移動装置連動手段は、前記対物レンズの光軸が前記回転装置により鉛直方向から９０°回転したときに、前記試料載置台の側面のうちで前記対物レンズに対向する対向側面が前記対物レンズの焦点位置となるように前記移動装置を動作させることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記回転装置を駆動する回転駆動源と、
前記回転装置の動作を指示するための操作部と、
前記操作部からの指示に基づいて前記回転駆動源を制御する制御装置と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項５】
前記回転装置を駆動する回転駆動源と、
前記移動装置を駆動する移動駆動源と、
前記回転装置の動作を指示するための操作部と、
前記操作部からの指示に基づいて前記回転駆動源を制御する制御装置と、
をさらに備え、
前記移動装置連動手段は、前記制御装置からなり、前記対物レンズの光軸の回転角度が所定角度を超える場合に前記回転駆動源による前記回転装置の駆動に連動させて前記移動装置を動作させるように前記移動駆動源を制御することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項６】
前記回転装置の回転角度を検出する検出装置と、
前記移動装置を駆動する移動駆動源と、
前記移動駆動源を制御する制御装置と、
をさらに備え、
前記移動装置連動手段は、前記制御装置からなり、前記検出装置により検出される前記回転装置の回転角度が所定角度を超える場合に前記回転装置に連動させて前記移動装置を動作させるように前記移動駆動源を制御することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料載置台に載置された試料に対して対物レンズの光軸の角度を変えることで、試料を異なる角度から観察可能な顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試料を異なる角度から観察するための技術として、対物レンズを含む光学系が、回転機構を有するスタンド装置に取り付けられた顕微鏡がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載の構成の顕微鏡によれば、スタンド装置が有する回転機構の回転に伴い対物レンズの光軸が試料に対して傾くことになる。これにより、異なる角度から試料を観察することができる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に示される技術では、回転機構の回転角度を大きくしていくと、対物レンズを備える顕微鏡本体が試料載置台または試料に干渉してしまう。そこで、特許文献２に示されるような顕微鏡も提案されている。特許文献２に記載の顕微鏡の対物レンズを含む光学系（顕微鏡本体）も、回転機構を有するスタンド装置に取り付けられており、その回転機構にはピンが設けられた構成となっている。そして、顕微鏡本体が試料載置台または試料に干渉しないように、このピンがスタンド装置の回転角度を制限するものである。また、このピンは回転角度の制限を解除すれば、スタンド装置は制限された角度を超えて回転する。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−５９５９９号公報
【特許文献２】特開２００６−３３７４７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に示される技術では、試料載置台または試料の位置を確認せずにピンの制限の解除を行い、スタンド装置を回転させると、顕微鏡本体が試料載置台または試料に干渉してしまう可能性があり、万全なる対応策とはいえないものである。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、対物レンズを備える顕微鏡本体を回転装置によって回転させた場合に顕微鏡本体が試料載置台や試料に干渉してしまう不具合を確実に回避することができる顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる顕微鏡は、試料が載置される載置面を有する試料載置台と、光源からの照明光を前記試料載置台上の前記試料に集光照射する対物レンズと前記試料からの反射光を撮像デバイスに結像する結像レンズとを備える顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体に連結されて、前記対物レンズの光軸が前記試料に対して傾くように前記顕微鏡本体を回転させる回転装置と、前記回転装置の回転軌跡面に平行で、かつ、前記載置面に平行な方向に前記試料載置台を移動させる移動装置と、前記回転装置による前記対物レンズの光軸の回転角度が所定角度を超える場合に前記回転装置に連動させて前記試料載置台が前記顕微鏡本体から離れる方向に移動するように前記移動装置を動作させる移動装置連動手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記試料載置台を前記載置面に対して鉛直方向に移動させる焦準装置をさらに備え、該焦準装置は、前記移動装置によって前記試料載置台とともに移動することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記移動装置連動手段は、前記対物レンズの光軸が前記回転装置により鉛直方向から９０°回転したときに、前記試料載置台の側面のうちで前記対物レンズに対向する対向側面が前記対物レンズの焦点位置となるように前記移動装置を動作させることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記回転装置を駆動する回転駆動源と、前記回転装置の動作を指示するための操作部と、前記操作部からの指示に基づいて前記回転駆動源を制御する制御装置と、をさらに備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記回転装置を駆動する回転駆動源と、前記移動装置を駆動する移動駆動源と、前記回転装置の動作を指示するための操作部と、前記操作部からの指示に基づいて前記回転駆動源を制御する制御装置と、をさらに備え、前記移動装置連動手段は、前記制御装置からなり、前記対物レンズの光軸の回転角度が所定角度を超える場合に前記回転駆動源による前記回転装置の駆動に連動させて前記移動装置を動作させるように前記移動駆動源を制御することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記回転装置の回転角度を検出する検出装置と、前記移動装置を駆動する移動駆動源と、前記移動駆動源を制御する制御装置と、をさらに備え、前記移動装置連動手段は、前記制御装置からなり、前記検出装置により検出される前記回転装置の回転角度が所定角度を超える場合に前記回転装置に連動させて前記移動装置を動作させるように前記移動駆動源を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にかかる顕微鏡によれば、回転装置による対物レンズの光軸の回転角度が所定角度を超える場合には回転装置に連動させて試料載置台が顕微鏡本体から離れる方向に移動するように移動装置を動作させる移動装置連動手段を備えるので、所定角度を超えるまでは観察角度を変えた試料の観察が可能であり、対物レンズを備える顕微鏡本体を回転装置によって所定角度を超えて回転させた場合でも顕微鏡本体が試料載置台または試料に干渉してしまう不具合を確実に回避し、安全性に優れた顕微鏡を提供することができる。また、この結果、対物レンズの光軸の回転角度を拡大させることができ、試料の側面観察が可能になる等、観察できる角度範囲を広げることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の顕微鏡を実施するための最良の形態について説明する。本発明は、以下に例示する各実施の形態や変形例に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図であり、図２は、その一部を切り欠いて示す正面図であり、図３は、回転装置付近の構成を示す縦断側面図であり、図４は、図１中のＸ−Ｘ´線断面図である。本実施の形態１にかかる顕微鏡１Ａは、概略的には、固定台２と、ステージ１０と、顕微鏡本体２０と、回転装置３０と、移動装置４０とを備える。
【００１６】
固定台２は、顕微鏡１Ａを所望の場所に平らに設置するためのものである。ステージ１０は、試料Ｗが載置される載置面１０ａを有する試料載置台であり、左側面から見て略Γ形状に形成されて固定台２上に取り付けられている。なお、ステージ１０は、固定台２の一部に嵌合して水平面内において左右方向に移動するための摺動部１１を有する。
【００１７】
顕微鏡本体２０は、対物レンズ２１、結像レンズ２２、撮像デバイス２３、光源２４、ハーフミラー２５等の拡大撮像観察のための部品を搭載したもので、載置面１０ａの上方に配置される。結像レンズ２２、撮像デバイス２３およびハーフミラー２５は、対物レンズ２１の光軸Ｌ上に配置されている。この顕微鏡本体２０において、光源２４から出射された照明光は、ハーフミラー２５によって反射されることで、光軸Ｌの方向に向きを変える。そして、照明光は、対物レンズ２１を透過することで、試料Ｗに集光照射される。試料Ｗからの反射光は、再び対物レンズ２１およびハーフミラー２５を透過し、結像レンズ２２に入射し、この結像レンズ２２によって撮像デバイス２３に結像される。撮像デバイス２３は、ＣＣＤカメラ等からなる。これにより、撮像デバイス２３は、試料Ｗの拡大像を撮像し、ケーブル２６等を介して図示しない液晶モニタ等の表示デバイスに出力して表示させることで、試料Ｗの拡大観察を可能とする。
【００１８】
また、回転装置３０は、固定台２の後部上端部の中央に配置されたもので、図３に示すように、回転支柱３１の下端に一体化された回転軸３２を固定台２の一部に形成された支持穴３に対して円筒軸受３３を介して回転自在に嵌合させてなる。これにより、回転支柱３１は、前後方向の水平軸線Ｈ回りに回動可能に支持される。なお、回転軸３２に対しては、固定台２の支持穴３周りの雌ねじ部に締結される止めねじ３４ａ付きのツマミ３４の先端が圧接することで、回転動作が禁止され、ツマミ３４を緩めることで回転自在となるように構成されている。
【００１９】
ここで、回転支柱３１は、顕微鏡本体２０と同等の長さで上方に延在させて設けられている。この回転支柱３１の上端側には、本体取付部３５が取り付けられ、この本体取付部３５の先端側に顕微鏡本体２０が取り付けられることで、回転支柱３１と顕微鏡本体２０とが連結されている。本体取付部３５は、本体取付部３５の雌ねじ部に締結される止めねじ３６ａ付きのツマミ３６の先端が回転支柱３１の長手方向に形成されたスライダ３７に圧接することで位置固定され、ツマミ３６を緩めることでスライド自在な取付け構造とされ、回転支柱３１の任意位置に固定自在とされている。これにより、試料Ｗに対する対物レンズ２２の位置が可変設定自在とされている。このようにして、回転装置３０は、回転支柱３１部分を回動動作することで、対物レンズ２１の光軸Ｌが試料Ｗに対して傾くように顕微鏡本体２０を回転させることが可能に構成されている。
【００２０】
また、移動装置４０は、回転装置３０の回転軌跡面に平行で、かつ、載置面１０ａに平行な方向、すなわち、水平面内で摺動部１１にガイドされる左右方向にステージ１０を移動させるためのものである。この移動装置４０は、ステージ１０の一部に摺動部１１と平行に左右方向に設けられたラック４１と、回転軸３２と一体で回転するようにこの回転軸３２の手前側一端に固定して設けられてラック４１に噛み合い可能なピニオン４２とからなる。ここで、ピニオン４２は、図４に示すように、正面から見て略Ｄ字形状に形成されることで、一部にギアのない平坦面４２ａを有し、平坦面４２ａからピニオン４２の中心までの距離は、ピニオン４２のピッチ円の有効径よりも小さくなるように設定されている。また、図１に示すように、回転支柱３１が鉛直線Ｖと平行な状態では平坦面４２ａとラック４１とは非接触でラック４１に平行に離間した状態で左右対称となるように設定されている。
【００２１】
よって、本実施の形態１では、ピニオン４２が回転軸３２上に設けられるとともに、ラック４１に対して非接触となる所定サイズの平坦面４２ａを有することで、回転装置３０による対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度に達するまではステージ１０を移動させないが、回転装置３０による対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度を超える場合には回転装置３０に連動させてステージ１０が顕微鏡本体２０から離れる方向に移動するように移動装置４０を動作させる移動装置連動手段となる機械的な移動装置連動機構５０が移動装置４０と一体で構成されている。
【００２２】
また、本実施の形態１においては、固定台２は、図４に示すように鉛直線Ｖの方向に沿って形成された摺動部４を有し、この摺動部４により上下方向に摺動可能な固定板６１がラック４１の背部側に設けられている。この固定板６１は、ステージ１０の後端側の左右両端に嵌合し得るように逆凹形状に形成されている。ここで、固定板６１の下面は、図１に示すように、固定台２に取り付けられた圧縮ばね６２に連結され、上方に付勢されている。また、回転軸３２上には、ピニオン４２の背部に位置させて、固定板６１の上面に接触するカム６３が固定されている。このカム６３は、平坦面４２ａに対応する方向が長軸方向となる略楕円形状に形成されている。これにより、図２に示すように回転支柱３１が鉛直線Ｖと平行な状態ではカム６３による固定板６１の押し下げ量が最大となり、固定板６１の下面側がステージ１０に面接触する状態に嵌合してステージ１０の移動を禁止する状態となる。
【００２３】
このような構成において、本実施の形態１の顕微鏡１Ａの使い方について説明する。まず、顕微鏡本体２０を、回転支柱３１に取り付けた本体取付部３５の先端に固定する。その後、ステージ１０の載置面１０ａ上に試料Ｗを載せるとともに、液晶モニタを観察しながら、ツマミ３６を操作することで対物レンズ２１を含む顕微鏡本体２０を下降または上昇させて、図１に示すように、試料Ｗの表面がピントとなる焦点距離Ｆの位置に一致させてツマミ３６を固定する。これより、試料Ｗの拡大観察が可能となる。
【００２４】
ここで、試料Ｗを斜め上方から観察したい場合には、ツマミ３４を緩めて、回転支柱３１を水平軸線Ｈの回りに回動させ、例えば、図４中に示すように、例えば回転支柱３１の傾斜角をＡに設定する。図５は、回転支柱３１をこのような傾斜角Ａに回動設定した場合の様子を示す正面図である。このような傾斜角Ａへの回動動作では、ピニオン４２も回転するが、平坦面４２ａの存在によってピニオン４２とラック４１は噛み合っておらず、かつ、固定板６１の下面側側面がステージ１０に嵌合接触しているのでステージ１０が移動することはない。よって、図５に示すように、試料Ｗの位置も移動しない。
【００２５】
次いで、図６は、回転支柱３１を傾斜角Ａよりも大きい傾斜角Ｂまで回動操作した場合の様子を示す正面図である。傾斜角Ａを超える回動動作により、カム６３が回転軸３２とともに回転して固定板６１に対する接触部分が短軸部分側に移行するが、固定板６１は圧縮ばね６２の付勢力により鉛直方向上方へ押し上げられるので、カム６３との接触を維持する。これにより、ステージ１０に対する固定板６１の嵌合接触状態が解除され、非接触状態となることで、ステージ１０は摺動部１１による移動が可能な状態となる。
【００２６】
一方、ピニオン４２にあっては、ラック４１に対向する部分が平坦面４２ａからギア部に移り変わり、ピニオン４２とラック４１とが噛み合い状態となるので、回転支柱３１（回転軸３２）の回転ととともに、ステージ１０を回動下降する顕微鏡本体２０の下端部から離れる方向に移動させる。
【００２７】
これにより、顕微鏡本体２０における対物レンズ２１の光軸Ｌが、ステージ１０の載置面１０ａに一致するように傾斜角が９０°になった際には、ステージ１０は顕微鏡本体２０の下端部と接触しない位置に退避しており、顕微鏡本体２０による干渉が防止される。図７は、回転支柱３１の傾斜角を９０°とした場合の様子を示す正面図である。ここで、図７に示すように傾斜角が９０°となった際には、ステージ１０の側面のうちで対物レンズ２１に対向する対向側面１０ｂが対物レンズ２１の焦点距離Ｆの位置となるようにピニオン４２によるラック４１の送り量が設定されている。
【００２８】
なお、上述した動作は、回転支柱３１を正面から見て右側に回動させる場合の例で説明したが、回転支柱３１が鉛直線Ｖと平行な状態を基準に左右対称に構成されており、回転支柱３１を正面から見て左側に回動させる場合にも、同様の動作となる（以降の実施の形態でも同様である）。
【００２９】
このように、本実施の形態１によれば、回転支柱３１の傾斜角（したがって、対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角）がＡ以下で小さい場合には、回転支柱３１が回動してもステージ１０が移動することはなく試料Ｗに対して対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角を変えて観察することができる。これにより、異なる角度から試料Ｗを観察できる顕微鏡１Ａとなる。一方、回転支柱３１の傾斜角（したがって、対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角）がＡを超えて大きくなった場合には、ピニオン４２がラック４１に噛み合い始めることで回転支柱３１の回動動作に連動してステージ１０が顕微鏡本体２０から離れる方向に移動することにより、顕微鏡本体２０とステージ１０との干渉や顕微鏡本体２０による試料Ｗの破損を確実に防止することができる。これにより、安全性に優れた顕微鏡１Ａを提供することができる。
【００３０】
さらには、回転支柱３１の傾斜角が９０°となり、対物レンズ２１の光軸Ｌが水平となった際にステージ１０の対向側面１０ｂが対物レンズ２１の焦点距離Ｆの位置に一致するようにステージ１０が移動するので、試料Ｗの観察したい側面をステージ１０の対向側面１０ｂの位置に合わせることで、容易に位置合わせして、側面観察を行うことも可能となる。すなわち、対物レンズ２１の光軸Ｌの利用可能な回転角度を拡大させることができ、試料Ｗの側面観察が可能になる等、観察できる角度範囲を広げることもできる。
【００３１】
（変形例１）
図８は、実施の形態１の変形例にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図であり、図９は、焦準装置付近の構成を示す縦断側面図である。本変形例は、ステージ１０と固定台２との間に、ステージ１０を載置面１０ａに対して鉛直方向に移動させる焦準装置７０を備える。この焦準装置７０は、ステージ固定部７１と焦準ラック７２と焦準ピニオン７３とハンドル７４と焦準保持部７５とからなる。
【００３２】
ステージ固定部７１は、左側面から見て略Γ形状に形成されてステージ１０の下面に図示しないビスなどで固定される。焦準ラック７２は、ステージ固定部７１の背面側の鉛直面の上下方向に設置されたもので、焦準ピニオン７３と噛み合うように構成されている。焦準ピニオン７３は、両端が雌ねじ構造に形成され、焦準保持部７５内の左右両側の図示しない穴を通して外部のハンドル７４に連結されている。焦準保持部７５は、ステージ固定部７１を上下方向に移動自在に保持するもので、摺動部１１に相当する摺動部７６を有し、固定台２に水平面内で左右方向に移動可能に連結されている。これにより、ハンドル７４にて焦準ピニオン７３を回転操作すると、焦準ピニオン７３に噛み合っている焦準ラック７２が鉛直方向に移動することで、ステージ１０が鉛直方向に移動する構成とされている。
【００３３】
なお、本変形例では、焦準保持部７５の一部にラック４１が配設されている。これにより、焦準装置７０は、移動装置４０を動作させた場合、ステージ１０と一体で左右方向に移動するように構成されている。
【００３４】
本変形例によれば、ハンドル７４にて焦準ピニオン７３を回転操作すると、焦準ピニオン７３に噛み合っている焦準ラック７２が鉛直方向に移動し、ステージ１０が鉛直方向に移動することとなる。よって、試料Ｗに対する対物レンズ２１の焦点合わせが可能となる。すなわち、ツマミ３６を操作しなくても、焦準装置７０でステージ１０を鉛直方向に移動させることで試料Ｗに対する焦点合わせを行うことができる。この結果、試料Ｗの厚さが変わっても、試料Ｗの観察面の高さを回転支柱３１の回転中心となる回転軸３２の水平軸線Ｈの位置に合わせることができる。よって、顕微鏡本体２０の回転角度を変えて試料Ｗの観察を行う際に試料Ｗの観察位置が変動することがなく、安定した斜め観察が可能となる。さらには、回転支柱３１を９０°回転させた試料Ｗの側面観察においても、ハンドル７４の回転操作によりステージ１０を上下動させることで、試料Ｗの観察側面の高さ位置を変えることもできる。
【００３５】
（実施の形態２）
図１０は、本実施の形態２にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。実施の形態１で説明した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する。本実施の形態２の顕微鏡１Ｂは、回転装置３０の回転軸３２を回転駆動する回転駆動源としての正逆転自在なモータ８０を備える。このモータ８０は、固定台２の一部に固定され、その駆動軸上に嵌合固定されたモータギア８１を回転軸３２上に嵌合固定して設けた回転軸ギア８２に噛み合せてなる。また、観察者が回転装置３０に対する回転や停止などの動作を指示するためのスイッチ等を有する操作部８３が設けられている。さらに、この操作部８３からの指示に基づいてモータ８０の動作を制御する制御装置８４が設けられている。
【００３６】
このような構成において、斜め観察等を行う場合には、観察者は、操作部８３のスイッチ等の操作により回転装置３０に対する回転や停止などの動作を指示する。制御装置８４は、入力操作を受けた操作部８３からの指示に基づいてモータ８０の回転や停止を制御する。これにより、回転軸３２は、モータ８０、モータギア８１、回転軸ギア８２を介して電動駆動され、回転支柱３１が所望の傾斜角の位置となるように回転駆動される。これにより、斜め観察等が可能となる。なお、元の位置に戻す指示を行えば、制御装置８４は、モータ８０を逆転駆動して回転支柱３１を元の位置に回転復帰させる。
【００３７】
よって、本実施の形態２によれば、実施の形態１の作用効果に加えて、手元で操作部８３を操作することで回転支柱３１が回動するので、観察者は、回転支柱３１に手を触れることなく（回転支柱３１で回転操作を行うことなく）、容易に試料Ｗに対する斜め観察を行うことができる。特に、モータ８０を用いた電動駆動とすることにより、手動操作に比べて回転支柱３１（顕微鏡本体２０）の回転角を所望の角度に精度よく位置決めすることができる。
【００３８】
（実施の形態３）
図１１は、本実施の形態３にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。実施の形態１，２で説明した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する。本実施の形態３の顕微鏡１Ｃは、平坦面４２ａを有する顕微鏡１Ａのピニオン４２に代えて、全周にギアを有して常時ラック４１に噛み合うピニオン４６を設けた移動装置４７を備える。また、移動装置４７のピニオン４６を回転駆動する移動駆動源としての正逆転自在なモータ８５を備える。このモータ８５は、固定台２の一部に固定されている。
【００３９】
また、実施の形態２の場合と同様に、観察者が回転装置３０に対する回転や停止などの動作を指示するためのスイッチ等を有する操作部８６が設けられている。さらに、この操作部８６からの指示に基づいてモータ８０の動作を制御する制御装置８７が設けられている。この制御装置８７は、モータ８５にも接続されている。ここで、本実施の形態３では、この制御装置８７を、電動制御による移動装置連動手段とするものであり、対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度を超えない場合にはモータ８５を駆動させないが、対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度を超える場合にはモータ８０による回転装置３０の駆動に連動させて移動装置４７を動作させるようにモータ８５を制御する。
【００４０】
このような構成において、斜め観察等を行う場合には、観察者は、操作部８６のスイッチ等の操作により回転装置３０に対する回転や停止などの動作を指示する。制御装置８７は、入力操作を受けた操作部８６からの指示に基づいてモータ８０の回転や停止を制御する。これにより、回転軸３２は、モータ８０、モータギア８１、回転軸ギア８２を介して電動駆動され、回転支柱３１が所望の傾斜角の位置となるように回転駆動される。回転支柱３１（対物レンズ２１の光軸Ｌ）の回転角度が所定角度を超えない場合には、制御装置８７は、モータ８５を駆動させないため、ピニオン４６は回転せず、ステージ１０は移動しない。これにより、斜め観察等が可能となる。なお、元の位置に戻す指示を行えば、制御装置８７は、モータ８０を逆転駆動して回転支柱３１を元の位置に回転復帰させる。
【００４１】
ここで、操作部８６からの回転支柱３１を回転させる指示が、対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度を超える場合には、制御装置８７は、モータ８０による回転装置３０の駆動に連動させて移動装置４７を動作させるようにモータ８５を制御する。これにより、ピニオン４６が回転駆動され、ラック４１が移動することにより、ステージ１０が回動下降する顕微鏡本体２０から離れる方向に移動する。そして、例えば回転支柱３１の傾斜角が９０°となるように指示すれば、回転支柱３１の傾斜角が９０°となる位置でモータ８０の駆動が停止されるとともに、モータ８５の駆動も停止されてステージ１０の退避移動は停止する。
【００４２】
このような状態から、操作部８６を通じて元の位置に戻す指示を行えば、制御装置８７は、モータ８０を逆転駆動して回転支柱３１を元の位置に回転復帰させる。同時に、制御装置８７は、モータ８０による回転装置３０の逆転駆動に連動させて移動装置４７を逆方向に動作させるようにモータ８５を逆転駆動させ、回転支柱３１の傾斜角が所定の角度Ａの範囲内になったら、モータ８５の逆転駆動を停止させてステージ１０の復帰移動を停止させる。
【００４３】
よって、本実施の形態３によれば、実施の形態１，２の作用効果を電動制御によって簡単に実現することができる。
【００４４】
なお、本実施の形態３では、モータ８５側は、モータ８０側の駆動に従い連動制御されるようにしたが、上記のような連動制御に加えて、制御装置８７による制御として、モータ８０，８５の独立制御を付加してもよい。これによれば、例えばステージ１０の対向側面１０ｂが焦点位置となる際の回転支柱３１の傾斜角を９０°以外とすることで、試料Ｗの側面の角度に合わせることも可能となる。また、回転支柱３１の回転角に制限をかけて停止させることができ、この制限をかける回転角は制御装置８７において容易に変更可能であり、目的や状況に応じた自由な設定が可能となる。
【００４５】
（実施の形態４）
図１２は、本実施の形態４にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図であり、図１３は、回転支柱を傾斜角Ｂだけ回転させた場合の顕微鏡の正面図である。実施の形態１〜３で説明した部分と同一部分は同一符号を用いて示し、説明も省略する。本実施の形態４の顕微鏡１Ｄは、ステージ１０に代えて、移動装置９４を一体に有する電動ステージ９０を備える。この電動ステージ９０は、移動部９１と固定部９２と移動装置９４と移動装置９４を駆動する移動駆動源である正逆転自在なモータ９７とからなる。
【００４６】
固定部９２は、図示しないビス等により固定台２上に固定され、移動部９１に形成された摺動部９３が嵌合することで移動部９１を左右方向に移動自在に支持する。移動部９１は、上面が試料Ｗの載置される載置面９１ａとされている。また、移動装置９４は、移動部９１の下面部において左右方向に配設されたボールねじ９５と、移動部９１の下面に固定されてボールねじ９５に噛み合う雌ねじ部が形成されたボールねじ受け９６とからなる。ボールねじ９５の一端は、固定台２上に固定されたモータ９７に連結されている。これにより、モータ９７を駆動させてボールねじ９５を回転させると、その回転方向に従い、ボールねじ受け９６が左方向または右方向に移動することとなる。
【００４７】
また、回転軸３２の一端は、回転装置３０の回転角度を検出するための検出装置としてエンコーダ９８が取り付けられている。さらに、モータ９７とエンコーダ９８には、制御装置９９が接続されている。ここで、本実施の形態４では、この制御装置９９を、電動制御による移動装置連動手段とするものであり、エンコーダ９８により検出される対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度を超えない場合にはモータ９７を駆動させないが、エンコーダ９８により検出される対物レンズ２１の光軸Ｌの回転角度が所定角度を超える場合には回転装置３０に連動させて移動装置９４を動作させるようにモータ９７を制御する。
【００４８】
このような構成において、試料Ｗを斜め上方から観察したい場合には、ツマミ３４を緩めて、回転支柱３１を水平軸線Ｈの回りに回動させる。このときの回転支柱３１の回転角度はエンコーダ９８により検出され、回転角度の情報は制御装置９９に伝達される。そこで、制御装置９９は、エンコーダ９８により検出される回転角度が所定角度を超えない場合にはモータ９７を駆動させないため、電動ステージ９０の移動部９１は移動せず、試料Ｗの位置は変わらない。
【００４９】
一方、制御装置９９は、エンコーダ９８により検出される回転角度が所定角度を超える場合には、モータ９７に対して駆動指示を出力し、回転装置３０に連動させて移動装置９４を動作させることで、電動ステージ９０の移動部９１を顕微鏡本体２０の下端部側が干渉しない位置まで退避移動させる。
【００５０】
このような状態から、回転支柱３１を元に戻す回転装置を行うと、制御装置９９は、回転装置３０の逆転動作に連動させて移動装置９４を逆方向に動作させるようにモータ９７を逆転駆動させ、回転支柱３１の傾斜角が所定の角度Ａの範囲内になったら、モータ９７の逆転駆動を停止させて電動ステージ９０における移動部９１の復帰移動を停止させる。
【００５１】
本実施の形態４によれば、手動操作する回転支柱３１が、電動ステージ９０側と機械的に連結されていないため、斜め観察等に際しての回転支柱３１の回転操作が軽くなり、操作しやすいものとなる。なお、電動ステージ９０は、本発明に対応させるように特殊な構成とする必要はなく、既存の電動ステージをそのままアドオン可能である。
【００５２】
なお、本実施の形態４の構成において、スイッチ操作等により電動ステージ９０の駆動指示を行うための操作部１００を設け、この操作部１００からの指示により制御装置９９がモータ９７の駆動、停止等を制御させるようにしてもよい。
【００５３】
（変形例２）
図１４は、変形例２の顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。本変形例２は、実施の形態３の構成において、ステージ１０側を実施の形態４に示した電動ステージ９０に代え、制御装置８７による制御対象をモータ８５に代えてモータ９７としたものである。この変形例２によれば、実施の形態３の場合と同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。
【図２】図１の一部を切り欠いて示す正面図である。
【図３】回転装置付近の構成を示す縦断側面図である。
【図４】図１中のＸ−Ｘ´線断面図である。
【図５】回転支柱を傾斜角Ａに回動設定した場合の様子を示す正面図である。
【図６】回転支柱を傾斜角Ａよりも大きい傾斜角Ｂまで回動操作した場合の様子を示す正面図である。
【図７】回転支柱の傾斜角を９０°とした場合の様子を示す正面図である。
【図８】実施の形態１の変形例にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。
【図９】焦準装置付近の構成を示す縦断側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である
【図１２】本発明の実施の形態４にかかる顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。
【図１３】回転支柱を傾斜角Ｂだけ回転させた場合の顕微鏡の正面図である。
【図１４】変形例２の顕微鏡の構成を一部切り欠いて示す側面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１Ａ〜１Ｄ  顕微鏡
１０  ステージ
１０ａ  載置面
１０ｂ  対向側面
２０  顕微鏡本体
２１  対物レンズ
２２  結像レンズ
２３  撮像デバイス
２４  光源
３０  回転装置
４０，４７  移動装置
５０  移動装置連動機構
７０  焦準装置
８０  モータ
８３  操作部
８４  制御装置
８５  モータ
８６  操作部
８７  制御装置
９０  電動ステージ
９１ａ  載置面
９４  移動装置
９７  モータ
９８  エンコーダ
９９  制御装置
Ｗ  試料
Ｌ  光軸
【図１】
2010085757.tif 000003
【図２】
2010085757.tif 000004
【図３】
2010085757.tif 000005
【図４】
2010085757.tif 000006
【図５】
2010085757.tif 000007
【図６】
2010085757.tif 000008
【図７】
2010085757.tif 000009
【図８】
2010085757.tif 000010
【図９】
2010085757.tif 000011
【図１０】
2010085757.tif 000012
【図１１】
2010085757.tif 000013
【図１２】
2010085757.tif 000014
【図１３】
2010085757.tif 000015
【図１４】
2010085757.tif 000016