(57)【要約】【課題】除霜中にも動作可能な温度サイクル装置を提供する。【解決手段】温度サイクル装置１は、相対的に高温の雰囲気にされる高温過程および相対的に低温の雰囲気にされる低温過程が交互に繰り返されるテストエリア２０を備えている。また、温度サイクル装置１は、高温過程においてヒータ１１によって加熱された空気をテストエリア２０に送り込む送風機１２と、低温過程において冷却部によって冷却された空気をテストエリア２０に送り込む送風機３３と、を有する。冷却部は蒸発器３２ａ，３２ｂを含み、温度サイクル装置１は、低温過程において、送風機３３が、蒸発器３２ａに冷却された空気をテストエリア２０に送り込んでいるときに、蒸発器３２ｂを相対的に高温にし、蒸発器３２ｂに冷却された空気をテストエリア２０に送り込んでいるときに、蒸発器３２ａを相対的に高温にすることにより除霜する除霜部をさらに有する。【選択図】図１
2010121904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に高温の雰囲気にされる高温過程および相対的に低温の雰囲気にされる低温過程が交互に繰り返されるテストエリアを備えた温度サイクル装置であって、空気を加熱する加熱部と、空気を冷却する冷却部と、前記高温過程において前記加熱部によって加熱された空気を前記テストエリアに送り込む第１の送風部と、前記低温過程において前記冷却部によって冷却された空気を前記テストエリアに送り込む第２の送風部と、を有する温度サイクル装置において、
前記冷却部は第１の冷却ユニットおよび第２の冷却ユニットを含み、
前記低温過程において、前記第２の送風部が、前記第１の冷却ユニットに冷却された空気を前記テストエリアに送り込んでいるときに、前記第２の冷却ユニットを相対的に高温にすることにより除霜し、前記第２の送風部が、前記第２の冷却ユニットに冷却された空気を前記テストエリアに送り込んでいるときに、前記第１の冷却ユニットを相対的に高温にすることにより除霜する除霜部をさらに有することを特徴とする温度サイクル装置。
【請求項２】
前記第１の冷却ユニットが配置された第１の冷却室と前記第２の送風部が配置された送風室とを連通させ、かつ、前記第２の冷却ユニットが配置された第２の冷却室を前記送風室から遮断する第１の形態と、前記第２の冷却室と前記送風室とを連通させ、かつ、前記第１の冷却室を前記送風室から遮断する第２の形態と、を切り換える切換部を有する、請求項１に記載の温度サイクル装置。
【請求項３】
前記除霜部は、前記第１の形態をとっているときに前記加熱部が配置された高温エリアと前記第２の冷却室とを連通させ、前記第２の形態をとっているときに前記高温エリアと前記第１の冷却室とを連通させる連通部を有する、請求項２に記載の温度サイクル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度サイクル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器等の製品には、出荷前に、耐久性を確認するための信頼性試験が行われる。製品の使用温度の観点から行われる信頼性試験として、温度サイクル試験などの熱衝撃試験がある。温度サイクル試験とは、製品の環境温度を繰り返し変化させることによる製品の性能の変化を調査する試験である。温度サイクル試験には温度サイクル装置が用いられる。
【０００３】
図５は、一般的な温度サイクル装置の概略構成図である。図６は、図５に示した温度サイクル装置のＣ−Ｃ´線に沿った面を上方から見た図である。温度サイクル装置１０１は、上段、中段および下段の３段に構成されており、上段は高温エリア１１０で、中段はテストエリア１２０で、下段が低温エリア１３０である。
【０００４】
温度サイクル装置１０１は、高温エリア１１０内にヒータ１１１を有し、ヒータ１１１によって、高温エリア１１０内の空気を加熱することができる。また、温度サイクル装置１０１は、低温エリア１３０内に蓄冷器１３１および蒸発器１３２を有し、蒸発器１３２によって、低温エリア１３０内の空気および蓄冷器１３１を冷却することができる。
【０００５】
また、温度サイクル装置１０１は、テストエリア１２０の上壁の両端部に開閉可能なダンパ１０２を有し、高温エリア１１０内に送風機１１２を有している。各ダンパ１０２は閉じているときにテストエリア１２０と高温エリア１１０とを連通させる開口を塞いでおり、温度サイクル装置１０１では、ダンパ１０２を開くことによりテストエリア１２０と高温エリア１１０とを連通させることができる。
【０００６】
温度サイクル装置１０１では、ダンパ１０２が開いているときに、高温エリア１１０内のヒータ１１１に加熱された空気が、送風機１１２の作用によってテストエリア１２０内に送り込まれる。
【０００７】
また、温度サイクル装置１０１は、テストエリア１２０の下壁の両端部に開閉可能なダンパ１０３を有し、低温エリア１３０内に送風機１３３を有している。各ダンパ１０３は閉じているときにテストエリア１２０と低温エリア１３０とを連通させる開口を塞いでおり、温度サイクル装置１０１では、ダンパ１０３を開くことによりテストエリア１２０と低温エリア１３０とを連通させることができる。
【０００８】
温度サイクル装置１０１では、ダンパ１０３が開いているときに、低温エリア１３０内の蒸発器１３２および蓄冷器１３１に冷却された空気が、送風機１３３の作用によってテストエリア１２０内に送り込まれる。
【０００９】
ダンパ１０２を閉じ、ダンパ１０３を開くと、低温エリア１３０内の送風機１３３の作用によって、テストエリア１２０および低温エリア１３０内を図５中の矢印方向に空気が循環する。したがって、低温エリア１３０内の蒸発器１３２および蓄冷器１３１によって冷却された空気がテストエリア１２０内に連続的に送り込まれる。これにより、温度サイクル装置１０１では、テストエリア１２０内を相対的に低温の雰囲気にすることができる。
【００１０】
一方、ダンパ１０２を開き、ダンパ１０３を閉じると、高温エリア１１０内の送風機１１３の作用によって、テストエリア１２０および高温エリア１１０内を空気が循環する。したがって、高温エリア１１０内のヒータ１１１によって加熱された空気がテストエリア１２０内に連続的に送り込まれる。これにより、温度サイクル装置１０１では、テストエリア１２０内を相対的に高温の雰囲気にすることができる。
【００１１】
上記のように構成されているため、温度サイクル装置１０１では、ダンパ１０２およびダンパ１０３の開閉を交互に行うことにより、テストエリア１２０内を相対的に高温の雰囲気にする高温過程とテストエリア１２０内を相対的に低温の雰囲気にする低温過程とを繰り返し行うことができる。したがって、温度サイクル装置１０１を用いることにより、テストエリア１２０内にセットした製品の環境温度を繰り返し変更することができる。このように、温度サイクル装置１０１によって製品の温度サイクル試験を行うことができる。
【００１２】
ところが、温度サイクル装置１０１では、低温エリア１３０内を蒸発器１３２によって冷却するため、低温エリア１３０内には、低温エリア１３０内の水蒸気が凝結することにより霜が発生する。この霜は、特に蒸発器１３２および蓄冷器１３１の表面に多く発生する。
【００１３】
蒸発器１３２および蓄冷器１３１の表面に霜が多く発生すると、霜の層が断熱材の働きをすることにより、蒸発器１３２および蓄冷器１３１と空気との熱交換が十分に行われなくなり、低温エリア１３０における空気の冷却効率が低下する。これにより、テストエリア１２０の温度制御の精度の低下や、蒸発器１３２の消費電力の増大を招く。
【００１４】
また、低温エリア１３０内に霜が多く発生すると、低温エリア１３０内における空気が通過できる空間が減少するため、低温エリア１３０内での空気の流動抵抗が増大する。これにより、同じ量の空気を循環させるための送風機１３３の消費電力が増大する。
【００１５】
したがって、温度サイクル装置１０１では、定期的に低温エリア１３０内の霜を取り除く必要がある。そのため、温度サイクル装置１０１は、低温エリア１３０内にヒータ１３４を有し、定期的に低温エリア１３０内をヒータ１３４で加熱することにより低温エリア１３０内を相対的に高温の雰囲気にすることで除霜を行う。
【００１６】
温度サイクル装置１０１と同様に構成された温度サイクル装置が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】実開平５−５７６５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、図５および図６に示した温度サイクル装置１０１では、除霜中には、低温エリア１３０内を相対的に高温の雰囲気にするため、低温エリア１３０内の空気を冷却することができない。したがって、温度サイクル装置１０１では、除霜中にテストエリア１２０内を相対的に低温の雰囲気にすることができないため、除霜時に一時的に温度サイクル試験を停止する必要がある。これにより、温度サイクル試験の精度が低下し、温度サイクル試験にかかる時間が長くなる。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するため、本発明の温度サイクル装置は、相対的に高温の雰囲気にされる高温過程および相対的に低温の雰囲気にされる低温過程が交互に繰り返されるテストエリアを備えた温度サイクル装置であって、空気を加熱する加熱部と、空気を冷却する冷却部と、前記高温過程において前記加熱部によって加熱された空気を前記テストエリアに送り込む第１の送風部と、前記低温過程において前記冷却部によって冷却された空気を前記テストエリアに送り込む第２の送風部と、を有する温度サイクル装置において、前記冷却部は第１の冷却ユニットおよび第２の冷却ユニットを含み、前記低温過程において、前記第２の送風部が、前記第１の冷却ユニットに冷却された空気を前記テストエリアに送り込んでいるときに、前記第２の冷却ユニットを相対的に高温にすることにより除霜し、前記第２の送風部が、前記第２の冷却ユニットに冷却された空気を前記テストエリアに送り込んでいるときに、前記第１の冷却ユニットを相対的に高温にすることにより除霜する除霜部をさらに有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、除霜中にも動作可能な温度サイクル装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に係る温度サイクル装置の概略構成図である。温度サイクル装置１には、高温エリア１０、テストエリア２０および低温エリア３０の三つのエリアが設けられている。テストエリア２０内には、温度サイクル試験の対象である製品を設置する試料室２１が設けられている。
【００２２】
温度サイクル装置１は、高温エリア１０内に、高温エリア１０内の空気を加熱するヒータ１１と、ヒータ１１に加熱された空気をテストエリア２０内に送り込む送風機１２と、を有している。また、温度サイクル装置１は、低温エリア３０内に、熱エネルギーを蓄積する蓄冷器３１ａ，３１ｂと、低温エリア３０内の空気および蓄冷器３１ａ，３１ｂを冷却する蒸発器３２ａ，３２ｂと、蒸発器３２ａ，３２ｂおよび蓄冷器３１ａ，３１ｂに冷却された空気をテストエリア２０内に送り込む送風機３３と、を有している。蒸発器３２ａおよび蓄冷器３１ａは第１の冷却ユニットを構成し、蒸発器３２ｂおよび蓄冷器３１ｂは第２の冷却ユニットを構成している。
【００２３】
また、温度サイクル装置１は、テストエリア２０の上壁の両端部に開閉可能なダンパ２ａ，２ｂを有している。各ダンパ２ａ，２ｂは閉じているときにテストエリア２０と高温エリア１０とを連通させる開口７ａ，７ｂをそれぞれ塞いでおり、温度サイクル装置１では、ダンパ２ａ，２ｂを開くことによりテストエリア２０と高温エリア１０とを連通させることができる。
【００２４】
また、温度サイクル装置１は、テストエリア２０の下壁の両端部に開閉可能なダンパ３ａ，３ｂ，３ｃを有している。各ダンパ３ａ，３ｂ，３ｃは閉じているときにテストエリア２０と低温エリア３０とを連通させる開口８ａ，８ｂ，８ｃをそれぞれ塞いでおり、温度サイクル装置１では、ダンパ３ａ，３ｂ，３ｃを開くことによりテストエリア２０と低温エリア３０とを連通させることができる。
【００２５】
温度サイクル装置１は、テストエリア２０内を相対的に高温の雰囲気にする高温過程と、テストエリア２０内を相対的に低温の雰囲気にする低温過程と、を交互に繰り返すことにより、試料室２１に設置された製品の環境温度を変化させる。これにより、試料室２１に設置された製品の温度サイクル試験を行うことが可能となる。
【００２６】
まず、温度サイクル装置１の低温過程について説明する。図１は、温度サイクル装置１の低温過程における状態を示している。低温過程における温度サイクル装置１では、図１に示すように、ダンパ２ａ，２ｂは閉じている。
【００２７】
温度サイクル装置１は低温過程において、第１の形態および第２の形態の二つの形態をとることができる。図１は、温度サイクル装置１が第１の形態をとっている状態を示している。
【００２８】
図２Ａは、図１に示した温度サイクル装置のＡ−Ａ´線に沿った面を上方から見た図である。すなわち図２Ａは温度サイクル装置１の低温エリア３０の内部を示している。
【００２９】
温度サイクル装置１は、低温エリア３０の高さ方向の全体にわたって設けられた壁部材３６ａ，３６ｂ，３６ｃおよびダンパ３５ａ，３５ｂを有している。ダンパ３５ａ，３５ｂは、一方の端部が、壁部材３７ａ，３７ｂの壁部材３７ｃ側の端部にそれぞれ取り付けられている。ダンパ３５ａ，３５ｂは、壁部材３７ａ，３７ｂの壁部材３７ｃ側の端部に沿って延びた軸を中心に回動可能である。
【００３０】
また、温度サイクル装置１は、低温エリア３０に、それぞれ図２Ａ中に一点鎖線で囲んで示している第１の冷却室３６ａ，第２の冷却室３６ｂおよび送風室３６ｃの三つの部屋を有している。第１の冷却室３６ａ内には第１の冷却ユニットである蒸発器３２ａおよび蓄冷器３１ａが配置され、第２の冷却室３６ｂ内には第２の冷却ユニットである蒸発器３２ｂおよび蓄冷器３１ｂが配置されている。また、送風室３６ｃ内には送風機３３が配置されている。
【００３１】
温度サイクル装置１の第１の形態では、ダンパ３５ｂの他方の端部が壁部材３７ｃに接続され、ダンパ３５ａの他方の端部が第１の冷却室３６ａ側の温度サイクル装置１の側壁の内面に接続されている。これにより、第１の冷却室３６ａは送風室３６ｃに連通された連通状態となり、第２の冷却室３６ｂはダンパ３５ｂによって送風室３６ｃから遮断された遮断状態となっている。
【００３２】
図２Ｂは、図１に示した温度サイクル装置のＢ−Ｂ´線に沿った面を上方から見た図である。すなわち図２Ｂは温度サイクル装置１のテストエリア２０の内部を示している。なお、説明の便宜のため、図２Ｂには、低温エリア３０の一部を透視して示している。
【００３３】
ダンパ３ｃは低温エリア３０の送風室３６ｃ上に配置されており、ダンパ３ａおよびダンパ３ｂは、それぞれ低温エリア３０の第１の冷却室３６ａおよび第２の冷却室３６ｂ上に配置されている。ダンパ３ａ，３ｂは、ダンパ３ｃから離れる方向に寄せて配置されている。
【００３４】
温度サイクル装置１の第１の形態においては、テストエリア２０は図２Ｂに示す状態になっている。すなわち、ダンパ３ａ，３ｃは開き、ダンパ３ｂは閉じている。
【００３５】
このとき、第１の冷却室３６ａの蒸発器３２ａおよび蓄冷器３１ａに冷却された空気は、送風機３３の作用によって、送風室３６ｃに流され、開口８ｃからテストエリア２０内に送り込まれる。テストエリア２０内に送り込まれた空気は、テストエリア２０内を開口８ｃから開口８ａに向かって流され、開口８ａから低温エリア３０内の第１の冷却室３６ａに戻され、再び蒸発器３２ａおよび蓄冷器３１ａによって冷却される。
【００３６】
この動作が繰り返されることにより、低温エリア３０およびテストエリア２０内を空気が循環し、テストエリア２０内には低温エリア３０から冷却された空気が連続的に送り込まれる。これにより、第１の形態をとっている温度サイクル装置１は、テストエリア２０内を低温に保つことができる。
【００３７】
図１に示した温度サイクル装置１の第１の形態では、ダンパ３ａが開き、ダンパ３ｂが閉じているが、温度サイクル装置１では、第１の形態から、ダンパ３ａが閉じ、ダンパ３ｂが開いた第２の形態に切り換えることができる。第２の形態をとっている温度サイクル装置１を図３Ａおよび図３Ｂに示す。
【００３８】
図３Ａは、第２の形態に切り換えられた図１に示した温度サイクル装置のＡ−Ａ´線に沿った面を上方から見た図である。温度サイクル装置１の第２の形態では、ダンパ３５ａの他方の端部が壁部材３７ｃに接続され、ダンパ３５ｂの他方の端部が第２の冷却室３６ｂ側の温度サイクル装置１の側壁の内面に接続されている。これにより、第２の冷却室３６ｂは送風室３６ｃに連通された連通状態となり、第１の冷却室３６ａはダンパ３５ａによって送風室３６ｃから遮断された遮断状態となっている。
【００３９】
温度サイクル装置１の第１の形態から第２の形態への切り換えの際には、切換部であるダンパ３５ａ，３５ｂを回動させて、ダンパ３５ａ，３５ｂの他方の端部の位置をそれぞれ変更させる。また、第２の形態から第１の形態への切り換えの際には、ダンパ３５ａ，３５ｂを逆方向に回動させて、ダンパ３５ａ，３５ｂの他方の端部の位置をそれぞれ変更させる。
【００４０】
図３Ｂは、第２の形態に切り換えられた図１に示した温度サイクル装置のＢ−Ｂ´線に沿った面を上方から見た図である。温度サイクル装置１の第２の形態においては、ダンパ３ｂ，３ｃは開き、ダンパ３ａは閉じている。
【００４１】
このとき、第２の冷却室３６ｂの蒸発器３２ｂおよび蓄冷器３１ｂに冷却された空気は、送風機３３の作用によって、送風室３６に流され、開口８ｃからテストエリア２０内に送り込まれる。テストエリア２０内に送り込まれた空気は、テストエリア２０内を開口８ｃから開口８ｂに向かって流され、開口８ｂから低温エリア３０内の第２の冷却室３６ｂに戻され、再び蒸発器３２ｂおよび蓄冷器３１ｂによって冷却される。
【００４２】
この動作が繰り返されることにより、低温エリア３０およびテストエリア２０内を空気が循環し、テストエリア２０内には低温エリア３０から冷却された空気が連続的に送り込まれる。これにより、第２の形態をとっている温度サイクル装置１はテストエリア２０内を低温に保つことができる。
【００４３】
以上述べたように、本実施形態に係る温度サイクル装置１では、切換部であるダンパ３５ａおよびダンパ３５ｂを回動させることにより、第１の冷却室３６ａが連通状態で、第２の冷却室３６ｂが遮断状態である第１の形態と、第２の冷却室３６ｂが連通状態で、第１の冷却室３６ａが遮断状態である第２の形態と、を切り換えることができる。これにより、第１の冷却室３６ａと第２の冷却室３６ｂとのいずれか一方において冷却された空気によって、テストエリア２０内を低温にすることができる。
【００４４】
したがって、第１の冷却室３６ａと第２の冷却室３６ｂとの一方の除霜を行っている間には、その一方の冷却室を遮断状態にし、他方の冷却室を連通状態にすることによって、他方の冷却室に配置された蒸発器および蓄冷器によって冷却された空気をテストエリア２０内に送り込むことができる。これにより、温度サイクル装置１では、第１の冷却室３６ａと第２の冷却室３６ｂとの一方が除霜中である場合にも、テストエリア２０内を低温に保つことができるため、温度サイクル試験を停止させる必要がない。
【００４５】
次に温度サイクル装置１の低温エリア３０における除霜動作について説明する。図１に示すように、温度サイクル装置１は、除霜部として、高温エリア１０と低温エリア３０とを連通させる二つの連通管４ａ，４ｂを有している。
【００４６】
また、図２Ａおよび図３Ａに示すように、連通管４ａおよび連通管４ｂはそれぞれ低温エリア３０の第１の冷却室３６ａおよび第２の冷却室３６ｂに接続されている。連通管４ａ，４ｂは、連通管４ａ，４ｂを塞ぐことにより第１の冷却室３６ａおよび第２の冷却室３６ｂを高温エリア１０からそれぞれ遮断するシャッタ６ａ，６ｂを備えている。
【００４７】
図２Ａに示す第１の形態をとっている温度サイクル装置１では、送風室３６ｃに連通している連通状態の第１の冷却室３６ａに接続された連通管４ａのシャッタ６ａは閉じており、送風室３６ｃから遮断されている遮断状態の第２の冷却室３６ｂに接続された連通管４ｂのシャッタ６ｂは開いている。したがって、高温エリア１０のヒータ１１によって加熱された空気は、連通管４ｂを介して第２の冷却室３６ｂに送り込まれるが、連通管４ａはシャッタ６ａに塞がれているため第１の冷却室３６ａには送り込まれない。
【００４８】
そのため、第２の冷却室３６ｂは相対的に高温の雰囲気になり、これにより第２の冷却室３６ｂ内の霜が溶けるため、第２の冷却室３６ｂ内が除霜される。その際、第１の冷却室３６ａには高温エリア１０の空気が送り込まれず、第１の冷却室３６ａからテストエリア２０に冷却された空気を送り続けることができるためテストエリア２０の温度制御の精度は低下しない。
【００４９】
また、図３Ａに示す第２の形態をとっている温度サイクル装置１では、送風室３６ｃに連通している連通状態の第２の冷却室３６ｂに接続された連通管４ｂのシャッタ６ｂは閉じており、送風室３６ｃから遮断されている遮断状態の第１の冷却室３６ａに接続された連通管４ａのシャッタ６ａは開いている。したがって、高温エリア１０のヒータ１１によって加熱された空気は、連通管４ａを介して第１の冷却室３６ａに送り込まれるが、連通管４ｂはシャッタ６ｂに塞がれているため第２の冷却室３６ｂには送り込まれない。
【００５０】
そのため、第１の冷却室３６ａは相対的に高温の雰囲気になり、これにより第１の冷却室３６ａ内の霜が溶けるため、第１の冷却室３６ａ内が除霜される。その際、第２の冷却室３６ｂには高温エリア１０の空気が送り込まれず、第２の冷却室３６ｂからテストエリア２０に冷却された空気を送り続けることができるためテストエリア２０内の温度制御の精度は低下しない。
【００５１】
このように、温度サイクル装置１では、低温過程において、第１の形態および第２の形態のいずれの形態の場合にも、テストエリア２０内を相対的に低温の雰囲気に保つことができる。また、温度サイクル装置１では、高温エリア１０と低温エリア３０とを連通させる連通管４ａ，４ｂを設けることにより、低温エリア３０内に新たなヒータを設けることなく、低温エリア３０内を除霜することができる。
【００５２】
なお、温度サイクル装置１は、除霜部として、連通管４ａ，４ｂを備えているが、除霜部は、第１の冷却ユニットが配置された冷却室３６ａおよび第２の冷却ユニットが配置された冷却室３６ｂを相対的に高温の雰囲気にすることができればよい。たとえば、温度サイクル装置は、除霜部として、冷却室３６ａおよび冷却室３６ｂ内にそれぞれヒータを備えていてもよい。
【００５３】
次に、温度サイクル装置１の高温過程について説明する。
【００５４】
図４は、図１に示した温度サイクル装置の高温過程における概略構成図である。温度サイクル装置１における高温過程では、図１に示すように、ダンパ２ａ，２ｂは開いており、ダンパ３ａ，３ｂ，３ｃは閉じている。
【００５５】
温度サイクル装置１における高温過程では、高温エリア１０内のヒータ１１によって加熱された空気は、送風機１２の作用によって、開口７ａからテストエリア２０内に送り込まれる。テストエリア２０内に送り込まれた空気は、テストエリア２０内を開口８ｃから開口８ｂに向かって流され、開口７ｂから高温エリア１０内に戻され、再びヒータ１１によって加熱される。
【００５６】
この動作が繰り返されることにより、高温エリア１０およびテストエリア２０内を空気が循環し、テストエリア２０内には高温エリア１０から加熱された空気が連続的に送り込まれる。これにより、温度サイクル装置１は、高温過程において、テストエリア２０内を相対的に高温の雰囲気に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係る温度サイクル装置の概略構成図である。
【図２Ａ】図１に示した温度サイクル装置のＡ−Ａ´線に沿った面を上方から見た図である。
【図２Ｂ】図１に示した温度サイクル装置のＢ−Ｂ´線に沿った面を上方から見た図である。
【図３Ａ】図１に示した温度サイクル装置のＡ−Ａ´線に沿った面を上方から見た図である。
【図３Ｂ】図１に示した温度サイクル装置のＢ−Ｂ´線に沿った面を上方から見た図である。
【図４】図１に示した温度サイクル装置の概略構成図である。
【図５】一般的な温度サイクル装置の概略構成図である。
【図６】図５に示した温度サイクル装置のＣ−Ｃ´線に沿った面を上方から見た図である。
【符号の説明】
【００５８】
１      温度サイクル装置
２ａ，２ｂ      ダンパ
３ａ，３ｂ，３ｃ        ダンパ
４ａ，４ｂ      連通管
６ａ，６ｂ      シャッタ
１０    高温エリア
１１    ヒータ
１２    送風機
２０    テストエリア
３０    低温エリア
３１ａ，３１ｂ  蓄冷器
３２ａ，３２ｂ  蒸発器
３３    送風機
３５ａ，３５ｂ  ダンパ
３６ａ，３６ｂ  冷却室
３６ｃ  送風室
【図１】
2010121904.tif 000003
【図２Ａ】
2010121904.tif 000004
【図２Ｂ】
2010121904.tif 000005
【図３Ａ】
2010121904.tif 000006
【図３Ｂ】
2010121904.tif 000007
【図４】
2010121904.tif 000008
【図５】
2010121904.tif 000009
【図６】
2010121904.tif 000010