(57)【要約】      （修正有）【課題】全掃引点に対して測定が完了しなくても、短時間で特性の大まかな概形表示ができる特性測定方法および特性測定装置を提供する。【解決手段】特性測定において、特性測定の掃引を複数の掃引に分割するステップと、前記複数の掃引の各々について、掃引が終了するたびに、蓄積された特性データを基に、特性グラフの概形表示の更新を行うステップと、前記複数の掃引の全ての終了により、全掃引による全特性測定データを基にした、特性グラフの完全表示を提供するステップとを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特性測定の掃引を複数の掃引に分割し、  前記複数の掃引の各々について、掃引が終了するたびに、蓄積された特性データを基に、特性グラフの概形表示の更新を行い、  前記複数の掃引の全ての終了により、全掃引による全特性測定データを基にした、特性グラフの完全表示を提供する特性測定方法。  
【請求項２】
前記複数の掃引の各々における、掃引のステップ幅が、第1のステップ幅である請求項1に記載の特性測定方法。  
【請求項３】
前記複数の掃引のうち、第１の掃引における掃引および測定の点数は、第1の点数個であり、第２ないし第Ｍの掃引の掃引および測定点数は、それぞれ、（第１の点数−１）個である請求項1または２に記載の特性測定方法。  
【請求項４】
総掃引開始値Ｖ１と総掃引終了値Ｖ２を備え、  前記複数の掃引のうち、第２の掃引以降の第ｉの掃引の掃引開始値は、第１の掃引の第１番目の掃引値と第２番目の掃引値の間にあり、第１から第ｉ−１の掃引の掃引開始値のいずれとも異なる、請求項1ないし３のいずれかに記載の特性測定方法。  
【請求項５】
総ステップ幅を備え、  前記複数の掃引のうち、第２の掃引以降の第ｉの掃引の掃引開始値として、第１の掃引の第１番目の掃引値と第２番目の掃引値との間を前記総ステップ幅で刻んだ開始候補値のうち、第１から第ｉ−１の掃引の掃引開始値のうちでもっとも間隔の広い開始値どうしの中央値に近い前記開始候補値を選ぶ、請求項４に記載の特性測定方法。  
【請求項６】
電圧または電流の掃引手段と、  電圧または電流の測定手段と、  前記掃引手段と測定手段による特性の測定結果を特性グラフとして表示する表示手段を備え、  請求項１ないし５のいずれかに記載の特性測定方法を実行する、特性測定装置。  
【請求項７】
電圧または電流の掃引手段と、  電圧または電流の測定手段と、  前記掃引手段と測定手段による特性の測定結果を特性グラフとして表示する表示手段と、  入力手段とを備え、  前記入力手段により、前記掃引手段または前記測定手段の設定パラメータが変更されると、請求項１ないし５のいずれかに記載の特性測定方法を実行する、特性測定装置。  
【請求項８】
前記入力手段により、前記設定パラメータが変更される時に、前記表示手段が概形表示中であれば、変更前の前記設定パラメータに基づく前記表示手段への表示を中止し、変更された前記設定パラメータに基づいて請求項１ないし５のいずれかに記載の特性測定方法を開始する、請求項７記載の特性測定装置。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体及びその他の素子の特性測定方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体及びその他の素子の特性を簡単に測定する特性測定装置として、非特許文献１記載の半導体パラメータ・アナライザがある。この装置の「ノブ掃引測定」では、所定のキーを押すまでは掃引を繰り返して測定するモード（繰り返し掃引モード、あるいは、連続掃引モード）を備えており、連続掃引による測定結果を取得しては、表示装置上の表示を更新することができる。加えて、測定実行中であっても、測定条件の変更を行うことができる。すなわち、ロータリーノブを回して掃引の終了値を所望の値に増減すると、それに応じて掃引が繰り返され、測定結果の特性の表示が更新されるので、それを見ながら、最適なパラメータの条件を見つけ出すことができる。  
【０００３】
しかしながら、このノブ掃引測定では、次のような問題があった。それを、図５の（ａ）ないし（ｃ）を使って説明する。図５の（ａ）ないし（ｃ）には、特性測定装置による測定結果の例として、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）のＩｃ−Ｖｃｅ特性が示されている。図５（ａ）では、Ｖｃｅの掃引範囲が０ボルト（Ｖ）からＡボルト（Ｖ）の時の、４つのＶｇｅ設定について、Ｉｃ−Ｖｃｅ特性が上記装置上に表示された状態を示している。グラフ５０２は最も低いＶｇｅについての特性のグラフで、グラフ５０４は２番目に低いＶｇｅについての特性のグラフである。  
【０００４】
図５（ｂ）は、ロータリーノブを回して、掃引範囲の終了値をＡＶからＢＶに広げ、約１秒経った時の表示である。上記装置は、まず、Ｖｇｅの最も低い設定値について、Ｖｃｅを０ＶからＢＶまで掃引して、測定し、その結果を表示し、それを、Ｖｇｅの低い方から高い方へ、Ｖｇｅの設定値毎に行っている。この時、０ＶからＢＶまで（Ｂ／１００）Ｖ刻みで１０１点の電圧に対して掃引をし、各点での掃引電圧印加と電流測定に１０ミリ秒かかるとする。図５（ｂ）では、オペレータがロータリーノブを操作した後、ようやく最も低いＶｇｅについての特性グラフが、グラフ５１０として、前の表示を消去して表示された状態を示している。  
【０００５】
図５（ｃ）は、さらに約３秒経った時点でのＩｃ−Ｖｃｅ特性の表示を示し、４つのＶｇｅすべてについて、修正された掃引範囲での測定を終えて、特性が表示されている。すなわち、掃引範囲の設定をロータリーノブで修正した後、１次掃引パラメータであるＶｃｅの掃引範囲と２次掃引パラメータであるＶｇｅの設定値毎に、掃引方向に従って順番に掃引と測定が行われる。この時、この例では、測定値の点数と各測定に必要な時間から、４つのＶｇｅにおける測定結果が表示されるまでに約４秒がかかる。そのため、オペレータは、全掃引が終了して、表示が更新されるまでの間、次の動作に移ることができなかった。  
【０００６】
また、掃引と測定に時間がかからないように、掃引と測定の条件を、間隔をあけた粗い設定とすることもできるが、その場合に、特性を詳しく見たくなると、掃引と測定の条件を詳細な観察ができる設定に変更する追加の操作の手間が必要となり、オペレータは煩雑な操作をする必要があった。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】アジレント・テクノロジー株式会社、「Agilent 4155C 半導体パラメータ・アナライザ Agilent 4156C プレシジョン半導体パラメータ・アナライザ  ユーザ・ガイド  測定と解析 第６版」、04156-97026、March 2008、「２−３」頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上のように、従来技術では、掃引または測定に関する設定パラメータを変更後、所定の掃引範囲の掃引と測定が終了するまでは表示が更新されないため、オペレータは表示が完了するまで待たなくてはならないので、作業に時間がかかるという課題があった。    
【０００９】
また、従来技術では、掃引と測定の時間を短縮するためには、オペレータが、掃引と測定の条件を、粗い設定と細かい設定との間を切り替えながら、測定する操作が必要となるので、操作が煩雑となるという課題があった。  
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の問題点に鑑み、本発明によれば、特性測定において、全掃引点に対して測定が完了しなくても、短時間で特性の大まかな概形表示ができる特性測定方法および特性測定装置を提供することができる。    
【００１１】
また、本発明によれば、オペレータは、煩雑な操作を必要とせずに、概形表示を得た後に、所定の時間の後、特性の詳細な表示（周密表示あるいは完全表示）を得ることができる特性測定方法および特性測定装置を提供することができる。    
【００１２】
上記の課題を解決するために、本発明による特性測定方法は、特性測定の掃引を複数の掃引に分割するステップと、複数の掃引の各々について、掃引が終了するたびに、蓄積された特性データを基に、特性グラフの概形表示の更新を行うステップと、前記複数の掃引の全ての終了により、全掃引による全特性測定データを基にした、特性グラフの完全表示を提供するステップとを備える。    
【００１３】
また、本発明による特性測定装置は、電圧または電流の掃引手段と、電圧または電流の測定手段と、該掃引手段と測定手段による特性の測定結果を特性グラフとして表示する表示手段と、入力手段とを備え、該入力手段により、掃引手段または測定手段の設定パラメータが変更されると、上記の特性測定方法を実行することを特徴とする。    
【００１４】
さらに、本発明による特性測定装置は、該入力手段により、設定パラメータが変更される時に、表示手段が概形表示中であれば、変更前の設定パラメータに基づく表示手段への表示を中止し、変更された設定パラメータに基づいて上記の特性測定方法を開始する態様を含む。  
【発明の効果】
【００１５】
これにより、オペレータは、短時間のうちに提供される概形表示により、大まかな特性を見るだけで次の操作を行うことができる場合には、目的とする設定パラメータを追い込むことが短時間で出来るという、効果を奏し、きわめて便利である。この効果は、リアルタイムに測定結果を確認しながら操作をするアナライザ装置では非常に重要な利点である。    
【００１６】
また、上記の状態において、従来のように、オペレータは全掃引点に対する測定結果を見たい場合に追加の操作をする必要はなく、概形表示がされた状態で待っているだけで、表示が更新され、全掃引点に対する周密した測定結果（以降、周密表示あるいは完全表示と呼ぶ）を得ることができる。そのため、概形表示と周密表示の切り替えに特別な操作が必要なく、オペレータにとっては追加の手間をかけずに、従来と同じ周密表示を得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明による特性測定装置のブロック図である。
【図２】本発明による特性測定方法を示すフローチャートである。
【図３】図２のフローチャートに基づく、掃引数が５の時の掃引電圧の設定値の例を示す表である。
【図４】本発明による特性表示結果を時間経過とともに示す図である。
【図５】従来技術による特性表示結果を時間経過とともに示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図１に本発明による特性測定装置のブロック図を示す。  
【００１９】
特性測定装置１００は、制御部１０２と、測定回路１１０、表示画面を備えた表示装置１２０と、オペレータからの指示を受け取る入力装置１２２を備え、ＤＵＴ１３０の測定を行う。  
【００２０】
測定回路１１０は、可変電圧源、可変電流源、電圧測定回路、電流測定回路の全てまたはそのうちのいくつかの機能を備えたユニットを、1つまたは複数のチャンネルとして備えるよう構成されている。ここでは、それらの機能を、便宜上、掃引手段１２４および測定手段１２６としてまとめて示しているが、上記の説明に沿った形で１つまたは複数のチャンネルを提供し、そこに、掃引手段１２４あるいは測定手段１２６のいずれか、または、両方を備えるように構成することができる。  
【００２１】
入力装置１２２は、装置上あるいは装置に接続された各種キー、カーソルキー、タッチパネル、ロータリーノブ、キーボード、マウスなどが含まれる。なお、本発明においてキーあるいはボタンを押すという表現は、キーボード上の各種キーや、装置上に配置されたキーを押すこと、および、表示画面上に表示された各種ボタンやメニューをマウスあるいは手元のタッチパッドを操作して選択すること、または表示画面上に表示された各種ボタンやメニューを表示画面上に形成されたタッチパッドを直接押す、または触れることで選択することが含まれる。  
【００２２】
制御部１０２は、内部にメモリ１０６に接続されたプロセッサすなわち処理装置１０４を備えて各種の制御をおこなう。制御部１０２は、測定回路１１０を制御して信号の掃引および、信号の測定を行うほか、入力装置１２２の制御および表示装置１２０への表示制御等を行う。特性測定装置１００の制御プログラム、測定プログラム、測定結果のデータ等は、メモリ１０６に格納される。なお、メモリ１０６は、ＲＡＭやフラッシュメモリなどの書き換え可能なメモリだけでなく、各種のＲＯＭや、ＣＤ、ＨＤＤ等の大容量の記憶装置を含むこともできる。  
【００２３】
特性測定装置１００は、測定回路を制御して、ＤＵＴの所定の端子に、例えば、電圧または電流について所定の開始値から所定の終了値まで、所定のステップ幅で順次掃引を行い、測定回路から、その時の電流または電圧を測定することで、特性測定を行い、その結果をグラフとして表示装置１２０に表示する。  
【００２４】
図２に、本発明による特性測定装置１００での特性測定方法の主要部分４００についてのフローチャートを示す。なお図２では、図５と対比して説明するため、Ｉｃ−Ｖｃｅ特性の測定に適用できるように、掃引を電圧について行い、測定を電流について行う場合について説明している。しかしながら、掃引および測定において、図２の開始電圧を開始値に、終了電圧を終了値に、ステップ電圧をステップ幅にと読み替えることで、図２のフローチャートを、電圧掃引と電流測定だけでなく、電圧、電流、抵抗値、容量値、インダクタンス値等の、様々な物理量の掃引および測定についても、適用することができる。  
【００２５】
まず、ステップ４０２で、掃引測定全体について、総合的な開始電圧（総開始電圧）Ｖ１、同様に、総合的な終了電圧（総終了電圧）Ｖ２、総合的なステップ電圧幅（総ステップ電圧）Ｖｓｔｐ、掃引数Ｍのパラメータを得る。ここで、上記のパラメータは、オペレータが、入力装置１２２を介して具体的な値を入力することで得ても良いし、制御部が予め用意した値（初期値あるいは前回の設定から継承された値）を用いることとしてもよい。次にステップ４０４で、掃引をＭ回に分けて特性測定を行うために、各掃引におけるステップ電圧（副ステップ電圧）Ｖｓｔｐ２を計算し、第１回目の掃引（第１掃引、あるいは、
第１の掃引）での掃引点数Ｎを計算する。具体的には、    Ｖｓｔｐ２＝Ｖｓｔｐ ＊ Ｍ    Ｎ＝（（Ｖ２−Ｖ１）／Ｖｓｔｐ２）＋１但し、Ｎは整数、で求めることができる。  
【００２６】
次に、ステップ４０６で、第１の掃引として、開始電圧Ｖ１から終了電圧Ｖ２まで、ステップ電圧Ｖｓｔｐ２刻みで、Ｎ点の電圧印加をする掃引を行い、ＤＵＴ１３０の所定の端子に流れる電流を測定する。これらの電圧印加掃引と、電流測定は、測定回路１１０の機能を使ってまかなわれる。  
【００２７】
ここで、本発明における複数掃引の掃引電圧の決定方法を、図３に示す例を使って説明する。図３は、説明のための例として、総開始電圧Ｖ１＝０Ｖ、総終了電圧Ｖ２＝２０Ｖ、総ステップ電圧Ｖｓｔｐ＝０．２Ｖ、掃引数Ｍ＝５と設定した場合について、本発明における掃引電圧の例を示している。なお、この設定は、従来技術における図５の掃引範囲および測定点数と等しい設定となっている。この時、上記の式より、Ｖｓｔｐ２＝１Ｖ，Ｎ＝２１となる。図３の表は、一番左端の列に、Ｓ１〜Ｓ５として第１掃引から第５掃引を示すラベルを表示し、ｉ番目の掃引におけるｊ番目の掃引電圧値をＳ（ｉ，ｊ）で表示している。すなわち、第１掃引については、Ｓ１の行に示されるように、開始電圧が０Ｖ、終了電圧が２０ＶのＶｓｔｐ２＝１Ｖ刻みのＮ個の掃引電圧が設定される。ここで、任意のＳ（ｉ，ｊ）の掃引と測定に、図５と同様に１０ミリ秒かかるとすると、ｉ番目の掃引にかかる時間は、約０．８秒である。  
【００２８】
次に、図２のステップ４０７で、第１の掃引で得られた測定値を、掃引電圧のデータと共に、表示装置１２０にグラフ表示として概形表示する。なお、第１の掃引は、Ｖ１とＶ２で規定される掃引範囲において、当初入力されたステップ幅Ｖｓｔｐの１／Ｍの粗さとなっているので、表示された特性は概略の形、すなわち、概形表示となっていることに注意されたい。すなわち、５回の掃引が完全に行われれば、１０１個の測定がおこなわれるのに対し、第１掃引が終了した段階では、２１個の等間隔に散らばった測定結果が得られて表示されているにすぎない。また、第１の掃引と測定に必要な時間も、掃引範囲の全掃引点に対する掃引および測定時間の１／Ｍとなるために、オペレータにとって、短時間で、特性の概形の観測をもたらすことに注意されたい。  
【００２９】
次に、ステップ４０８に進み、オペレータが第１の掃引結果を見て、総開始電圧等の設定を変更する操作をしてないかをチェックする。ここで、設定の変更が検出された場合には、ステップ４０２に進み、新しい設定を得て、ステップ４０４以降を繰り返す。これにより、後述のように、オペレータが全掃引が終わる前に、新たな操作をした場合に、遅滞なく対応することができる。  
【００３０】
ステップ４０８で、設定の変更が検出されない場合には、ステップ４０９に進み、掃引番号を示す変数ｉに２をセットする。次に、ステップ４１０で、第ｉ番目の掃引（第ｉ掃引）の開始電圧を次のように選ぶ。すなわち、まず、第ｉ掃引の開始電圧をＶ１ａとし、その候補に、電圧Ｖ１＋Ｖｓｔｐから電圧Ｖ１＋Ｖｓｔｐ＊（Ｍ−１）の範囲のＶｓｔｐ刻みのＭ−１個の電圧を考える。この電圧候補のうち、第１掃引から第ｉ−１掃引までに使われた候補を電圧候補から除外し、残った候補の中で、既に掃引に使われた候補間の間隔のうちで、最も広い間隔の区間の中央に近い候補を選ぶ。  
【００３１】
すなわち、図３の表を参照して考えると、第２掃引の開始電圧は、電圧候補が、０．２Ｖ、０．４Ｖ、０．６Ｖ、０．８Ｖの４点であり、この４点を含む０Ｖから１Ｖまでの区間が最も広い間隔の区間なので、その区間の中央値に近い候補として、この表では０．６Ｖが選ばれている（Ｓ（２，１）参照）。なお、別の案として、０．４Ｖを選ぶこともできる。  
【００３２】
次に図２に戻って、ステップ４１２で、第ｉ掃引を、開示電圧Ｖａ１から、ステップ電圧Ｖｓｔｐ２刻みで、Ｎ−１点掃引し、測定する。これを図３の表で参照すると、第２掃引Ｓ２は、０．６Ｖを開始電圧として、１Ｖ刻みでＮ−１個の電圧が設定され、終了電圧は１９．６Ｖである。  
【００３３】
さらに、図２のステップ４１４に進み、第１から第ｉ掃引までで得た全測定値を基に、グラフ表示を行う。すなわち、第２掃引終了時には、このステップでは、０Ｖから２０Ｖの範囲で、第１掃引と合わせて４１個の測定値が得られ、それを基に特性グラフの概形が表示される。ここで、ステップ４１０で第ｉ掃引の開始電圧として、既に測定済みの電圧候補同士の間隔において、最も広い間隔について、その間隔の中央に近い候補が選ばれていることに注意されたい。このような選択方法により、どの掃引後の特性表示においても、測定結果が掃引範囲中で偏ることなく、略一様に分布することになるので、特性の概形を偏りが少ないように観測する上で役立っている。  
【００３４】
次に、ステップ４１５で、オペレータがこれまでの掃引結果を見て、総開始電圧等の設定を変更する操作をしてないかチェックする。ここで、設定の変更が検出された場合には、ステップ４０２に進み、新しい設定を得て、ステップ４０４以降を繰り返す。これにより、後述のように、全掃引が終わる前に、新たな設定で掃引および測定が必要になった状況でも、遅滞なく対応することができる。  
【００３５】
ステップ４１５で設定の変更が検出されない場合には、ステップ４１６に進み、Ｍ番目までの全部の掃引を行ったかを変数ｉを検査して判定し、まだ残りの掃引がある場合には、ステップ４１８で、変数ｉを１だけインクリメントして、ステップ４１０以降を繰り返す。また、ステップ４１６で、全部の掃引が終了した場合には、この処理は終了となる（ステップ４２０）。  
【００３６】
図３の表を再び参照すると、第３掃引の開始電圧としては、０．２Ｖが選ばれ（この時、０．４Ｖを選ぶこともできる）、第４掃引および第５掃引の開始電圧として、残りの電圧候補の中から、０．８Ｖと０．４Ｖがそれぞれ選ばれる。第２掃引以降のどの掃引も、選択された開始電圧から、Ｖｓｔｐ２である１Ｖ刻みで、Ｎ−１個の電圧が掃引値として設定される。  
【００３７】
その結果、最後の第Ｍ掃引におけるステップ４１４では、Ｍ回の掃引全ての測定値がそろい、それに基づく表示がされる。言い換えると、この時、Ｖ１からＶ２までの掃引範囲において、総ステップ電圧Ｖｓｔｐの細かいステップ幅での測定結果に基づく特性、すなわち、特性の周密表示すなわち完全表示が行われる。  
【００３８】
従って、本発明による測定方法により、オペレータは、掃引または測定の設定パラメータを変更した後、短時間で特性の概形表示を得ることができるだけでなく、特別な装置の操作を必要とせずに、時間の経過とともに、だんだん詳細な概形表示を得ることができ、最終的には、装置上で特別な追加操作をすることなく、全掃引対象点に対する、特性の完全な測定結果の表示、言い換えると、周密表示を得ることができる。  
【００３９】
また、オペレータは、本発明による測定方法により、必ずしも周密表示されるまで掃引および測定の設定変更操作を待つ必要がなくなり、データ分布が略均一の概形表示を見て掃引および測定の設定変更操作をして、周密表示前に新たな設定に対する概形表示および周密表示を開始することができる。そのため、変更前の設定による周密表示までの表示待ちをキャンセルすることができる。従って、本発明によると、測定作業において過剰な部分に対する表示の待ち時間を削減することができるので、測定を効率的に行うことができる。  
【００４０】
以上の、本発明による測定方法による表示を、図４の（ａ）ないし（ｃ）を用いて、図５と対比させて説明する。なお、図４では、図２には含まれてない２次掃引パラメータＶｇｅのループ処理を加えた処理となっているが、当業者は以下の説明から、容易に図２のフローチャートを図４の処理が可能なように修正することができよう。  
【００４１】
図４（ａ）には、掃引範囲が０ＶないしＡＶの時の４つのＶｇｅに対するＩＣＢＴのＩｃ−Ｖｃｅ特性が、定常状態として、特性測定装置１００の表示装置１２０上に表示された例として示されている。すなわち、このグラフは、図５（ａ）と同じ掃引範囲のパラメータ設定で、同じ特性が表示されている状態を示している。  
【００４２】
次に、図４（ｂ）は、図４（ａ）の状態からロータリーノブを使って掃引終了電圧をＢＶに変更して約０．８秒経って表示されているＩｃ−Ｖｃｅ特性の概要を示した図である。この表示は、ちょうど、全てのＶｇｅに対して第１掃引が終了した状態を示している。すなわち、図５（ｂ）では、同じ時間で最も低いＶｇｅについてしかグラフが更新されなかったのと比べると、掃引および測定の点数が少ないために、４つのＶｇｅに対するグラフが表示されている。しかしながら、例えば、Ｖｇｅの最も低い時のグラフ４６０の左肩部分を見ればわかるように、データ間隔が粗い表示となっている。従って、特性の概形が分かる程度にしか使えない。しかしながら、オペレータによってはこの程度の情報量で充分で、この状態から、掃引範囲をさらに広げるなど、次のアクションを行う場合も考えられる。そのような場合には、そのアクションによって変更された設定について、最初から掃引をやり直して表示が更新されるので、オペレータの作業時間の削減に役立つであろう。  
【００４３】
図４（ｃ）は、図４（ｂ）からさらに約３．２秒経った時に表示されているＩｃ−Ｖｃｅ特性である。図４（ｂ）の表示の後、全てのＶｇｅに対して第２掃引が行われて少し詳しい概形表示が表示され、次に第３掃引が全てのＶｇｅに対して行われ・・・、というようにして、最後の第Ｍ掃引までが全てのＶｇｅに対して行われて、周密表示が行われた状態を示している。  
【００４４】
このように、オペレータは、図４（ｂ）の表示では情報量が足りない場合、さらに測定が進むのを待ち、概形表示がさらに詳細となって、次のアクションを行うのに十分になるか、全掃引対象点に対する測定が終わって周密表示になるまで待つことができる。この時、概形表示が次第に詳細な表示になる過程では、オペレータは、装置を追加操作する必要がないことに注意されたい。また、周密表示後だけでなく、概形表示が詳細な表示に変わっていく過程においても、オペレータは必要に応じて設定を変更することができ、全掃引の終了を待つことなく、新たな設定に応じた測定の概形表示を得ることができる。  
【００４５】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明の思想に基づき、さまざまな変形・変更を施すことが可能である。  
【００４６】
例えば、以上の説明において、連続掃引および測定中に、掃引あるいは測定の設定パラメータを変更する操作の例として、ロータリーノブで、掃引終了電圧を変更する場合を基に示してきたが、ロータリーノブで変更される対象は、掃引終了電圧に限らず、様々な設定とすることができる。例えば、掃引開始電圧、ステップ電圧幅、または、２次掃引の対象（図４（ａ）のＶｇｅ）についての開始値、終了値、ステップ値、あるいはその他の測定パラメータなどの各種の設定パラメータに応用することもできる。さらに、連続掃引および測定中に設定パラメータを変更する手段は、ロータリーノブに限られない。例えば、様々な方向に対応したカーソルキーによる値の増減、数字キーによる値の直接入力、「＋５Ｖ」などの特定のオフセット量を割り当てたファンクションキーによる値の増減、または、マウスポインタの画面上の位置に従い、値の増減の指示として動作させるなど、様々な入力手段を用いて行うように変形することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、電圧、電流、抵抗値、容量値、インダクタンス値等に限らず、様々な物理量を所定範囲内で可変して与え、その結果を測定し、グラフ表示する、各種の特性測定装置に適応することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１００  特性測定装置  １０２  制御部  １０４  プロセッサ  １０６  メモリ  １１０  測定回路  １２０  表示装置  １２２  入力装置  １２４  掃引手段  １２６  測定手
段  １３０  ＤＵＴ  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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