(57)【要約】【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】複数のノズルと、複数の駆動素子と、振動板と、を有する複数の液滴吐出ヘッド５と、シート部材１５を供給する供給リール１２と、巻取リール１３と、撮像装置１４と、機能液の吐出量の分布を求める解析手段３２と、分布から複数のノズルにおける吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段３１と、を有し、制御手段３１は、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルから第１の間隔で機能液を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルから第１の間隔で機能液を所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、駆動電圧を駆動素子に印加し、振動板を振動させて発熱させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板と、を有する複数の液滴吐出ヘッドと、
各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させるシート部材を供給する供給リールと、
前記供給リールから供給された前記シート部材を巻き取る巻取リールと、
前記供給リールと前記巻取リールとの間の前記シート部材に対して前記各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから吐出された前記機能液の画像を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置によって撮影された前記画像を画像処理して前記機能液の前記シート部材上の着弾面積を測定し、前記液滴吐出ヘッド毎に、前記各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求める解析手段と、
前記各液滴吐出ヘッドと前記シート部材との相対移動及び、前記各液滴吐出ヘッドの吐出動作を制御するとともに、前記分布から前記液滴吐出ヘッド毎に前記各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルにおける前記吐出量が所定の適正量に近づくように前記各液滴吐出ヘッドの前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから第１の間隔で前記機能液を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出した後の前記各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、前記液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を前記複数の液滴吐出ヘッドの前記駆動素子に印加し、前記振動板を振動させて発熱させ、その後、前記各液滴吐出ヘッドを前記シート部材に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、前記シート部材上に前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させ、その後、前記第１の間隔よりも広い第２の間隔で前記機能液を複数滴吐出させ、
前記解析手段は、前記第２の間隔で吐出された複数滴の前記機能液の画像を画像処理し、前記各ノズルにおける前記機能液の着弾面積を測定し、その平均の面積を前記各ノズルから吐出された前記機能液の着弾面積とし、その着弾面積に基づいて前記各ノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求めることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッド毎に、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを調整することにより、前記振動板の振幅を調節し、それにより、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッド毎に、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを前記各ノズルから前記機能液を吐出させない程度の微小な電圧に調整することにより前記振動板を微振動させて発熱させ、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板と、を有する複数の液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、
各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１の間隔で前記機能液を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータを測定する第１温度測定工程と、
前記第１温度測定工程の後に、前記温度上昇のデータに基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出した後の前記各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、前記液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を前記複数の液滴吐出ヘッドの前記駆動素子に印加し、前記振動板を振動させ、これにより前記液滴吐出ヘッドを加熱する第１振動工程と、
前記第１振動工程の後に、前記各液滴吐出ヘッドをシート部材に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、前記シート部材上に前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる第１吐出工程と、
前記第１吐出工程の後に、前記第１の間隔よりも広い第２の間隔で前記機能液を複数滴吐出させる第２吐出工程と、
前記第２吐出工程の後に、前記シート部材に前記第２の間隔で着弾された前記機能液の着弾面積を測定し、その平均の面積を前記各ノズルから吐出された前記機能液の着弾面積とし、その着弾面積に基づいて前記各ノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求める第１解析工程と、
前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出量が所定の適正量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する第１制御工程と、を有することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
前記第１振動工程では、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを調整することにより、前記振動板の振幅を調節し、それにより、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記第１振動工程では、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを前記各ノズルから前記機能液を吐出させない程度の微小な電圧に調整することにより前記振動板を微振動させて発熱させ、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整することを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記第１制御工程の後に、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから第３の間隔で前記機能液を複数滴吐出した場合の温度上昇のデータを測定する第２温度測定工程と、
前記第２温度測定工程の後に、前記温度上昇のデータに基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第３の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出した後の前記各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、前記液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を前記複数の液滴吐出ヘッドの前記駆動素子に印加し、前記振動板を振動させ、これにより前記液滴吐出ヘッドを加熱する第２振動工程と、
前記第２振動工程の後に、前記各液滴吐出ヘッドを前記シート部材に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、前記シート部材上に前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第３の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる第３吐出工程と、
前記第３吐出工程の後に、前記第３の間隔よりも広い第４の間隔で前記機能液を複数滴吐出させる第４吐出工程と、
前記第４吐出工程の後に、前記シート部材に前記第４の間隔で着弾された前記機能液の着弾面積を測定し、その平均の面積を前記各ノズルから吐出された前記機能液の着弾面積とし、その着弾面積に基づいて前記各ノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求める第２解析工程と、
前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出量が所定の適正量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する第２制御工程と、を少なくとも１回有することを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、携帯型コンピューターなどの電子機器の表示部に液晶装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）装置等の電気光学装置が用いられている。これらの電気光学装置は、一般にフルカラー表示が行われる。例えば、液晶装置によるフルカラー表示は、液晶層によって変調される光をカラーフィルターに通すことによって表示される。このようなカラーフィルターは、液滴吐出法を用いた成膜技術によって、基板表面にインクをドット状に吐出することで形成される。
【０００３】
ところで、液滴吐出法を用いた成膜技術においては、複数のノズルのインク吐出量に僅かながらばらつきが生じる。そして、インク吐出量にばらつきを有した状態で描画した場合には、カラーフィルターに筋状の濃淡ムラ（スジムラ）が発生する場合がある。このようなスジムラは視認されやすく、カラーフィルターを介して表示される画像の画質が低下してしまう惧れがある。
【０００４】
このような問題点を解決するための技術が検討されており、例えば特許文献1では、複数の異なるインク吐出密度で被着色媒体を着色し、この着色部分の色濃度を測定して、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度と、それに対応するインク吐出密度と、の関係を算出している。この関係に基づいて、所望の色濃度が得られるインク吐出密度になるように補正することにより、表示画像の画質の低下を抑えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２６０３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度を、被着色媒体の着色部の吸光度により表している。この吸光度の測定の際に誤差が生じると、精度の高い補正ができず、画質の低下を抑制することが困難な場合がある。
【０００７】
一方、複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法が、従来用いられている。しかしながら、インクの重量を測定することは、測定が容易ではなく膨大な工数を要するので、生産効率に劣るため量産面で好ましくない。
【０００８】
また、液滴吐出法を用いた成膜技術においては、複数のノズルから吐出されるインクを用いて描画する場合、描画の開始からしばらくの間はインクの吐出量が不安定である。そして、インク吐出量が不安定な状態で描画した場合には、カラーフィルターにスジムラが発生し、カラーフィルターを介して表示される画像の画質が低下してしまう。
【０００９】
このような問題を解決するため、表示領域の近傍に表示に寄与しないダミー領域を設け、このダミー領域にインク吐出量が安定な状態になるまでインクを捨て打ちする技術がある。インクの吐出条件を揃える面で、ダミー領域には表示領域におけるインクの着弾間隔にならって所定の間隔でインクを捨て打ちすることが望ましい。しかしながら、所定の間隔でインクを捨て打ちするとダミー領域が大きくなってしまい、被記録体を有効的に利用できないため好ましくない。
【００１０】
また、被記録体を有効的に利用するため、ダミー領域に所定の間隔を空けないで局所的インクを捨て打ちする技術もある。しかしながら、ダミー領域にインクを局所的に連続して吐出すると、表示領域にインクを所定の間隔を空けて吐出する場合に対し、液滴吐出ヘッドの発熱量が大きくなる。すると、表示領域への描画前後で液滴吐出ヘッドの発熱量に差異が生じ、液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出されるインクの温度が不安定になる。
【００１１】
さらに、複数の液滴吐出ヘッドを走査して行った場合は、各液滴吐出ヘッドの発熱量に差異が生じ、液滴吐出ヘッド毎に吐出されるインクの温度が不安定になる。これに起因して、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが顕著になり、そして、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出されたインクの着弾面積のばらつきが目立つようになる。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能であり、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するため、本発明の液滴吐出装置は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板と、を有する複数の液滴吐出ヘッドと、各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させるシート部材を供給する供給リールと、前記供給リールから供給された前記シート部材を巻き取る巻取リールと、前記供給リールと前記巻取リールとの間の前記シート部材に対して前記各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから吐出された前記機能液の画像を撮影する撮像装置と、前記撮像装置によって撮影された前記画像を画像処理して前記機能液の前記シート部材上の着弾面積を測定し、前記液滴吐出ヘッド毎に、前記各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求める解析手段と、前記各液滴吐出ヘッドと前記シート部材との相対移動及び、前記各液滴吐出ヘッドの吐出動作を制御するとともに、前記分布から前記液滴吐出ヘッド毎に前記各液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルにおける前記吐出量が所定の適正量に近づくように前記各液滴吐出ヘッドの前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから第１の間隔で前記機能液を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出した後の前記各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、前記液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を前記複数の液滴吐出ヘッドの前記駆動素子に印加し、前記振動板を振動させて発熱させ、その後、前記各液滴吐出ヘッドを前記シート部材に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、前記シート部材上に前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させ、その後、前記第１の間隔よりも広い第２の間隔で前記機能液を複数滴吐出させ、前記解析手段は、前記第２の間隔で吐出された複数滴の前記機能液の画像を画像処理し、前記各ノズルにおける前記機能液の着弾面積を測定し、その平均の面積を前記各ノズルから吐出された前記機能液の着弾面積とし、その着弾面積に基づいて前記各ノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求めることを特徴とする。
この構成によれば、制御手段は、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１捨て打ち間隔（第１の間隔）でインク（機能液）を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を複数の液滴吐出ヘッドの駆動素子に印加し、振動板を振動させて発熱させる機能を有している。また、制御手段は、各液滴吐出ヘッドをシート部材に対して複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しながら、シート部材上に各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出させ、その後、第１捨て打ち間隔よりも広い第１着弾間隔（第２の間隔）でインクを複数滴吐出させる機能をも有している。ここで、シート部材は、インクが第１着弾間隔で複数滴吐出される測定領域と、インクが第１捨て打ち間隔で所定の吐出数だけ吐出されるダミー領域と、に区画されているとする。すると、各液滴吐出ヘッドのインク吐出量が不安定な描画開始からしばらくの間は、ダミー領域にインクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちすることができる。このため、各液滴吐出ヘッドのインク吐出量が安定な状態で測定領域にインクを着弾することが可能となる。そして、撮像装置によりシート部材における測定領域に対して、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出されたインクの着弾した画像が撮影される。そして、解析手段により、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出されるインクの着弾面積に基づいて、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出されるインクの吐出量の分布が求められる。すると、制御手段により、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子への印加電圧が調整され、各液滴吐出ヘッドの温度（発熱量）が調整される。よって、本願発明を用いない場合に対して、表示領域への描画前後で各液滴吐出ヘッドの発熱量の差異を解消し、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出されるインクの温度を安定化することができる。つまり、制御手段により各液滴吐出ヘッドの各ノズルにおけるインク吐出量のばらつきが補正されることになる。このため、各液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出するとともに、全ノズルにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。また、制御手段によって各液滴吐出ヘッドの温度を調整し、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインクの着弾面積に基づいて、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出されるインクの吐出量の分布を求める方法は、従来の複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法に比べて、膨大な工数がかからないので生産効率に優れる。また、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出されたインクが着弾したシート部材が適宜搬送されるので、着弾面積の測定が効率よく行われる。
【００１４】
また、本発明の液滴吐出装置においては、前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッド毎に、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを調整することにより、前記振動板の振幅を調節し、それにより、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整してもよい。
この構成によれば、第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出させる前（描画前のヘッド待機状態）の各液滴吐出ヘッドの温度を効率良く調整することができる。例えば、インクの捨て打ち（インクを所定の吐出数だけ吐出させるとき）における温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドについては、描画前のヘッド待機状態で駆動素子の振幅を大きくすることで振動板の振幅を大きくして、予め液滴吐出ヘッドの温度を高く調整しておく。すると、インクの捨て打ち後（インクを所定の吐出数だけ吐出させた後）、言い換えると測定領域へのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなる。これにより、各液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッドの全ノズルにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
【００１５】
また、本発明の液滴吐出装置においては、前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッド毎に、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを前記各ノズルから前記機能液を吐出させない程度の微小な電圧に調整することにより前記振動板を微振動させて発熱させ、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整してもよい。
この構成によれば、描画前のヘッド待機状態で、各液滴吐出ヘッドの各ノズルからインクを吐出させることなく、各液滴吐出ヘッドの各ノズルにおけるインク吐出量のばらつきを補正することができる。よって、各液滴吐出ヘッドのインク吐出量の調整時にインクが無駄に使用されてしまうことを防止することができる。したがって、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出されるインクの温度調整を効率的に行うことが可能となる。
【００１６】
本発明の液滴吐出方法は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板と、を有する複数の液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１の間隔で前記機能液を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータを測定する第１温度測定工程と、前記第１温度測定工程の後に、前記温度上昇のデータに基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出した後の前記各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、前記液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を前記複数の液滴吐出ヘッドの前記駆動素子に印加し、前記振動板を振動させ、これにより前記液滴吐出ヘッドを加熱する第１振動工程と、前記第１振動工程の後に、前記各液滴吐出ヘッドをシート部材に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、前記シート部材上に前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる第１吐出工程と、前記第１吐出工程の後に、前記第１の間隔よりも広い第２の間隔で前記機能液を複数滴吐出させる第２吐出工程と、前記第２吐出工程の後に、前記シート部材に前記第２の間隔で着弾された前記機能液の着弾面積を測定し、その平均の面積を前記各ノズルから吐出された前記機能液の着弾面積とし、その着弾面積に基づいて前記各ノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求める第１解析工程と、前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出量が所定の適正量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する第１制御工程と、を有することを特徴とする。
この製造方法によれば、第１温度測定工程によって、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータが測定される。そして、第１温度測定工程の後の第１振動工程において、前記温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧が複数の液滴吐出ヘッドの駆動素子に印加され、振動板が振動する。この振動板の振動により、液滴吐出ヘッドが加熱され、描画前の待機状態における液滴吐出ヘッドの温度（発熱量）が調整される。このとき、インクの捨て打ち（インクを所定の吐出数だけ吐出させるとき）における温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドについては、予め液滴吐出ヘッドの温度が高く調整される。そして、第１振動工程の後の第１捨て打ち工程（第１吐出工程）によってインク吐出量が安定になるまでダミー領域にインクが第１捨て打ち間隔で所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちされる。すると、インクの捨て打ち後（インクを所定の吐出数だけ吐出させた後）には、各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなる。そして、第１捨て打ち工程の後の第１着弾工程（第２吐出工程）において、測定領域にインク吐出量が安定な状態でインクが着弾される。そして、第１着弾工程の後の第１解析工程により各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインク吐出量の分布が求められる。そして、第１制御工程により各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように調整される。これにより、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが補正される。このため、各液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッドの全ノズルにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
【００１７】
また、上記液滴吐出方法においては、前記第１振動工程では、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを調整することにより、前記振動板の振幅を調節し、それにより、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整してもよい。
この製造方法によれば、第１捨て打ち工程でインクを所定の吐出数だけ吐出させる前（描画前のヘッド待機状態）の各液滴吐出ヘッドの温度を効率良く調整することができる。例えば、インクの捨て打ち（インクを所定の吐出数だけ吐出させるとき）における温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドについては、描画前のヘッド待機状態で駆動素子の振幅を大きくすることで振動板の振幅を大きくして、予め液滴吐出ヘッドの温度を高く調整しておく。すると、インクの捨て打ち後（インクを所定の吐出数だけ吐出させた後）、言い換えると第１着弾工程でのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなる。これにより、各液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッドの全ノズルにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
【００１８】
また、上記液滴吐出方法においては、前記第１振動工程では、前記駆動素子に印加する駆動電圧の大きさを前記各ノズルから前記機能液を吐出させない程度の微小な電圧に調整することにより前記振動板を微振動させて発熱させ、前記第１の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる前の前記各液滴吐出ヘッドの温度を調整してもよい。
この製造方法によれば、描画前のヘッド待機状態で、各液滴吐出ヘッドの各ノズルからインクを吐出させることなく、各液滴吐出ヘッドの各ノズルにおけるインク吐出量のばらつきを補正することができる。よって、各液滴吐出ヘッドのインク吐出量の調整時にインクが無駄に使用されてしまうことを防止することができる。したがって、各液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出されるインクの温度調整を効率的に行うことが可能となる。
【００１９】
また、上記液滴吐出方法においては、前記第１制御工程の後に、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから第３の間隔で前記機能液を複数滴吐出した場合の温度上昇のデータを測定する第２温度測定工程と、前記第２温度測定工程の後に、前記温度上昇のデータに基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第３の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出した後の前記各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように、前記液滴吐出ヘッド毎に調整された駆動電圧を前記複数の液滴吐出ヘッドの前記駆動素子に印加し、前記振動板を振動させ、これにより前記液滴吐出ヘッドを加熱する第２振動工程と、前記第２振動工程の後に、前記各液滴吐出ヘッドを前記シート部材に対して前記複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、前記シート部材上に前記各液滴吐出ヘッドの前記各ノズルから前記第３の間隔で前記機能液を前記所定の吐出数だけ吐出させる第３吐出工程と、前記第３吐出工程の後に、前記第３の間隔よりも広い第４の間隔で前記機能液を複数滴吐出させる第４吐出工程と、前記第４吐出工程の後に、前記シート部材に前記第４の間隔で着弾された前記機能液の着弾面積を測定し、その平均の面積を前記各ノズルから吐出された前記機能液の着弾面積とし、その着弾面積に基づいて前記各ノズルから吐出された前記機能液の吐出量の分布を求める第２解析工程と、前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出量が所定の適正量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する第２制御工程と、を少なくとも１回有することが望ましい。
この製造方法によれば、第１制御工程の後に、温度測定工程と振動工程と捨て打ち工程と着弾工程と解析工程と制御工程と、を複数回繰り返して行うことにより、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、各液滴吐出ヘッドの全ノズルから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。
【００２０】
本発明のカラーフィルターの製造方法は、上記の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成することを特徴とする。
この製造方法によれば、上述したように各液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるとともに、各液滴吐出ヘッドの全ノズルにおけるインクの着弾面積が均一化されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の液滴吐出装置の概略構成を示す模式図である。
【図２】各液滴吐出ヘッドの概略構成を示す模式図である。
【図３】カラーフィルター基板上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。
【図４】液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。
【図５】補正前後のインク吐出数とインクの着弾面積との関係を示す図である。
【図６】ダミー領域への描画前後の各液滴吐出ヘッドの温度特性を示す図である。
【図７】本発明のダミー領域と測定領域におけるインクの配置状態を示す図である。
【図８】インク吐出量のばらつき補正前後の各液滴吐出ヘッドの吐出特性図である。
【図９】他の例のダミー領域と測定領域におけるインクの配置状態を示す図である。
【図１０】他の例のダミー領域と測定領域におけるインクの配置状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００２３】
以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ１６に対して平行な方向に設定され、Ｚ軸がワークステージ１６に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００２４】
（液滴吐出装置）
図１は本発明に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す模式図である。液滴吐出装置１は、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板（基材）Ｐの所定領域にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置である。また、液滴吐出装置１は、本発明の液滴吐出方法を行うものでもある。
【００２５】
液滴吐出装置１は、ワークステージ１６、複数の液滴吐出ヘッド５、チューブ４４、タンク３３、シート部材搬送台１１、供給リール１２、巻取リール１３、面積計測用カメラ（撮像装置）１４、制御ユニット（制御手段）３１、解析ユニット（解析手段）３２、第１配線４１、第２配線４２、第３配線４３を備えている。
【００２６】
ワークステージ１６は、ステージ移動装置（図示略）によってＸ軸方向に移動可能に設置されている。また、ワークステージ１６は、搬送装置（図示略）から搬送されるカラーフィルター基板Ｐを、真空吸着機構（図示略）によりＸＹ平面上に保持する。
【００２７】
各液滴吐出ヘッド５は、第１配線４１を介して制御ユニット３１に電気的に接続されている。各液滴吐出ヘッド５は、複数のノズルＮ（図２参照）を有し、制御ユニット３１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。また、各液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルター材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられている。また、各液滴吐出ヘッド５は、チューブ４４を介してタンク３３と連結されている。
【００２８】
各液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してポールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構（図示略）を備えている。そして、各液滴吐出ヘッド５は、制御ユニット３１から入力されるＹ座標及びＺ座標を示す位置制御信号に基づいて、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能になっている。
【００２９】
チューブ４４は、タンク３３と各液滴吐出ヘッド５とを連結するカラーフィルター材料の供給用チューブである。タンク３３は、Ｒ（赤）用のカラーフィルター材料、Ｇ（緑）用のカラーフィルター材料、Ｂ（青）用のカラーフィルター材料、の３色のカラーフィルター材料を貯蔵している。タンク３３は、３色のカラーフィルター材料を貯蔵するとともに、チューブ４４を介して３色に対応する各液滴吐出ヘッド５にカラーフィルター材料を供給する。
【００３０】
シート部材搬送台１１は、搬送台移動装置（図示略）によってＸ軸方向に移動可能になっている。シート部材搬送台１１は、供給リール１２から供給される帯状のシート部材１５を搬送するシート部材１５の搬送台である。供給リール１２から供給されたシート部材１５は、巻取リール１３によって巻き取られる。
【００３１】
シート部材１５は、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインク（機能液）のドット状の着弾面積が記録可能な記録媒体である。シート部材１５は、インクが所定の間隔で着弾される測定領域Ｔａと、測定領域Ｔａ外に設けられインクが所定の間隔で捨て打ちされるダミー領域Ｔｂと、に区画されている。ここで、測定領域Ｔａは、後述する画素ＰＸ毎のカラーフィルター層ＣＦに対応する領域であり、表示に寄与する領域である。また、ダミー領域Ｔｄは、測定領域Ｔａに隣接して設けられた表示に寄与しない領域である。このダミー領域Ｔｄは、インク吐出量が不安定な描画開始からインク吐出量が安定するまでのしばらくの間、インクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちするための領域でもある。
【００３２】
シート部材１５としては、例えばロール紙等の記録紙を用いることができる。なお、シート部材１５としては、ロール紙に代えて例えばガラス基板等の撥水性を有する基板を用いることもできる。
【００３３】
また、シート部材１５は、生産前、つまりカラーフィルター基板Ｐ上への描画前に、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの吐出状態（ノズル抜け、曲がり）を確認するために用いられるものでもある。
【００３４】
面積計測用カメラ１４は、シート部材搬送台１１上のシート部材１５の記録面（上面）に対向する位置に配置されている。面積計測用カメラ１４は、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮからシート部材１５に吐出されたインクの着弾面積を撮影するカメラである。面積計測用カメラ１４は、第２配線４２を介して解析ユニット３２に電気的に接続されている。面積計測用カメラ１４は、撮影したインクの着弾面積の画像データを解析ユニット３２に出力する。
【００３５】
解析ユニット３２は、面積計測用カメラ１４によって撮影されたインクの着弾面積の画像データを画像処置して着弾面積を測定し、得られた着弾面積の測定データに基づいて各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布を求める機能を有するものである。解析ユニット３２は、第３配線４３を介して制御ユニット３１に電気的に接続されている。解析ユニット３２は、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布の測定データを制御ユニット３１に出力する。
【００３６】
制御ユニット３１は、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから所定の間隔（後述する第１捨て打ち間隔）でインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド５毎に調整された駆動電圧を複数の液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺ（図２参照）に印加し、振動板２０（図２参照）を振動させて発熱させる機能を有している。
【００３７】
また、制御ユニット３１は、各液滴吐出ヘッド５とシート部材１５との相対移動及び、各液滴吐出ヘッド５の吐出動作を制御する。具体的には、制御ユニット３１は、各液滴吐出ヘッド５をシート部材１５に対して複数のノズルＮの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しながら、シート部材１５上に各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから所定の間隔でインクを吐出させる。
【００３８】
また、制御ユニット３１は、解析ユニット３２から入力される各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の測定データに基づいて、駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整し、各液滴吐出ヘッド５の温度（発熱量）を調整する。具体的には、制御ユニット３１は、第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出させる前（描画前のヘッド待機状態）で、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように、駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整する。これにより、従来に対して、表示領域への描画前後で各液滴吐出ヘッド５の発熱量の差異を解消し、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されるインクの温度を安定化することができる。そして、駆動素子ＰＺにより各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが調整される。つまり、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが補正される。
【００３９】
そして、駆動素子ＰＺにより各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量のばらつきが補正された後、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮからカラーフィルター基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴が吐出される。
【００４０】
図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成を示す模式図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ１６から見た平面図、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズルの部分断面図である。なお、本図は複数の液滴吐出ヘッド５のうちの一つの液滴吐出ヘッド５の構成例を示している。
【００４１】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ１〜Ｎ１８０を備えている。ノズルＮ１〜Ｎ１８０によってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示しているが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。
【００４２】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ４４と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数の収容室２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０が配置されている。駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０は、例えばピエゾ素子である。
【００４３】
液溜まり２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料が充填されるようになっている。収容室２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されている。また、収容室２４は、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１に対応して設けられている。また、各収容室２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、液溜まり２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
【００４４】
図２（ｃ）に示すように、駆動素子ＰＺ１は、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものである。この駆動素子ＰＺ１は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような駆動素子ＰＺ１が配置されている振動板２０は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると駆動素子ＰＺ１と一体になって同時に外側（収容室２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによって収容室２４の容積が増大するようになっている。
【００４５】
したがって、収容室２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺ１への駆動信号の印加を停止すると、駆動素子ＰＺ１と振動板２０はともに元の形状に戻り、収容室２４も元の容積に戻る。これにより、収容室２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮ１からカラーフィルター基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。また、駆動素子ＰＺ１を用いることにより、収容室２４内に微振動を生じさせてインク吐出量を精度よく調整することができる。
【００４６】
本実施形態では、制御ユニット３１によって、液滴吐出ヘッド５毎に、駆動素子ＰＺ１に印加する電圧の大きさを調整することにより、描画前のヘッド待機状態の各液滴吐出ヘッド５の温度を調整している。これにより、描画前のヘッド待機状態の各液滴吐出ヘッド５の温度を効率良く調整することができる。例えば、インクの捨て打ち（インクを所定の吐出数だけ吐出させるとき）における温度上昇が小さい液滴吐出ヘッド５については、描画前のヘッド待機状態で駆動素子ＰＺ１の振幅を大きくすることで振動板２０の振幅を大きくして、予め液滴吐出ヘッド５の温度を高く調整しておく。すると、インクの捨て打ち後（インクを所定の吐出数だけ吐出させた後）、言い換えると測定領域Ｔａへのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなる。
【００４７】
また、制御ユニット３１によって、液滴吐出ヘッド５毎に、駆動素子ＰＺ１に印加する電圧の大きさを各ノズルＮからインクを吐出させない程度の微小な電圧に調整することにより、振動板２０を微振動させて発熱させ、描画前のヘッド待機状態の各液滴吐出ヘッド５の温度を調整することもできる。これにより、描画前のヘッド待機状態で、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを吐出させることなく、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきを補正することができる。よって、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量の調整時にインクが無駄に使用されてしまうことを防止することができる。
【００４８】
図３は、複数の液滴吐出ヘッド５を用いてカラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルター層（カラーフィルター）ＣＦを形成する方法の説明図である。図３（ａ）は、インクの吐出対象物であるカラーフィルター基板Ｐの概略平面図である。図３（ｂ）は、カラーフィルター基板Ｐの部分拡大平面図である。なお、本図では便宜上複数の液滴吐出ヘッド５のうちの一つの液滴吐出ヘッド５を図示している。
【００４９】
図３（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図３（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルター層（着色層）ＣＦが形成される。
【００５０】
図３（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、各液滴吐出ヘッド５をカラーフィルター基板Ｐ上に配置する。そして、カラーフィルター基板Ｐを各液滴吐出ヘッド５に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから着色材料を含むインク（カラーフィルター材料）を吐出させ、カラーフィルター基板Ｐ上の各画素ＰＸにカラーフィルター層ＣＦを形成する。
【００５１】
各液滴吐出ヘッド５の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に各液滴吐出ヘッド５を走査した後、副走査方向に各液滴吐出ヘッド５を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルター層ＣＦを形成する。
【００５２】
なお、図３（ｂ）において各液滴吐出ヘッド５が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、各液滴吐出ヘッド５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド５を斜めに傾ける必要はない。
【００５３】
カラーフィルター層ＣＦは、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図３（ｂ）に示すインクの吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター材料を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド５を順次に用いて１つのカラーフィルター基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルター層ＣＦの配列を形成する。
【００５４】
ところで、一般的に液滴吐出ヘッドにおいては、描画の開始からしばらくの間（所定の描画数まで）複数のノズルＮにおいてインクの吐出特性（吐出量）が不安定である。描画の開始からしばらくの間、複数のノズルＮでインク吐出量が不安定でばらついていると、吐出されたインクの着弾面積もばらつきが生じることになる（図５参照）。複数のノズルＮでインク吐出量が不安定であると、これに起因してカラーフィルター基板Ｐ上へのインクの配置量（着弾面積）がばらついてしまい、カラーフィルターにスジムラを発生させる原因となってしまう。
【００５５】
さらに、複数の液滴吐出ヘッドを走査して行った場合は、各液滴吐出ヘッドの発熱量に差異が生じ、液滴吐出ヘッド毎に吐出されるインクの温度が不安定になる。これに起因して、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが顕著になり、そして、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾面積のばらつきが目立つようになる。
【００５６】
図５は、複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積のばらつきの補正前後のインク吐出数とインクの着弾面積との関係を示す図である。図５において、横軸は複数のノズルＮにおけるインク吐出数、縦軸はインク吐出数に対応するインクの着弾面積を示している。図５に示すように、描画の開始直後は、インク吐出量が不安定でばらついていることにより、着弾面積が小さくなっていることがわかる（補正前）。そして、描画の開始から所定の描画数までは、インク吐出量が次第に安定化していき、着弾面積が大きくなる傾向がある。そして、所定の描画数を超えると、インク吐出量が安定化し、着弾面積の大きさが一定になる傾向があることがわかる（補正後）。
【００５７】
そこで、本発明の液滴吐出方法では、補正前（生産前）となるカラーフィルター基板Ｐ上への描画前に、各液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整して各液滴吐出ヘッド５の温度を調整し、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインクの吐出特性を調整する工程を設けるとともに、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量が安定になるまでダミー領域Ｔｂにインクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちし、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積を調整する工程を設けている。以下、本発明の液滴吐出方法について一例を挙げて説明する。
【００５８】
（液滴吐出方法）
図４は、本発明の液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。本発明の液滴吐出方法は、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う「装置の位置合わせ工程」（ステップＳ１）と、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータを測定する「第１温度測定工程」（ステップＳ２）と、第１温度測定工程の後に、前記温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド５毎に調整された駆動電圧を複数の液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加し、振動板２０を振動させて発熱させる「第１振動工程」（ステップＳ３）と、第１振動工程の後に、シート部材１５のダミー領域Ｔｂに第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちする「第１捨て打ち工程（第１吐出工程）」（ステップＳ４）と、第１捨て打ち工程の後に、シート部材１５の測定領域Ｔａに第１捨て打ち間隔よりも広い第１着弾間隔でインクを複数滴吐出して着弾する「第１着弾工程（第２吐出工程）」（ステップＳ５）と、第１着弾工程の後に、シート部材１５に着弾された第１着弾面積を測定し、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布を求める「第１解析工程」（ステップＳ６）と、シート部材１５を巻き取る「シート部材巻取工程」（ステップＳ７）と、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整する「第１制御工程」（ステップＳ８）と、を有する。
【００５９】
先ず、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う（図４のステップＳ１）。具体的には、シート部材搬送台１１をワークステージ１６に向かってＸ軸方向に移動させ、各液滴吐出ヘッド５の直下に配置する。これにより、シート部材搬送台１１上のシート部材１５が各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮに対向するように配置される。
【００６０】
次に、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを複数滴吐出させる前（描画前のヘッド待機状態）において、各液滴吐出ヘッド５の温度を、測定領域へのインク吐出前には各液滴吐出ヘッドの温度が全て等しくなるように調整する。本実施形態では、本願発明を用いない場合に対して、描画前のヘッド待機状態において、各液滴吐出ヘッド５の温度を、測定領域Ｔａへのインク吐出前には各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように調整する工程を設けている。ここで、本願発明を用いない場合について説明する。
【００６１】
図９及び図１０は、本願発明を用いない場合におけるダミー領域と測定領域におけるインクの配置状態を示す図である。図９は、測定領域Ｔａ’に隣り合うダミー領域Ｔｂ’に各液滴吐出ヘッド５’の各ノズルＮからインクを所定の間隔で所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちした場合の図である。図９の図示左右方向（矢印Ｂ１’，Ｂ２’，ＢＮ’で示す方向）を各液滴吐出ヘッド５’の主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示上下方向）を副走査方向とする。
【００６２】
図９において、符号Ｗａ’はインクの着弾間隔、符号Ｗｂ’はインクの捨て打ち間隔である。また、符号Ｖａ’は測定領域Ｔａ’におけるインクの着弾経路、符号Ｖｂ’はダミー領域Ｔｂ’におけるインクの捨て打ち経路である。なお、インクの着弾間隔Ｗａ’及び捨て打ち間隔Ｗｂ’は、隣り合うインクの中心間の距離である。
【００６３】
図９に示すように、測定領域Ｔａ’に隣り合うダミー領域Ｔｂ’には、インクが捨て打ち間隔Ｗｂ’を空けて所定の吐出数だけ吐出され捨て打ちされている。このダミー領域Ｔｂ’における捨て打ち間隔Ｗｂ’は、インクの吐出条件と揃える面で、測定領域Ｔａ’における着弾間隔Ｗａ’と同じ間隔になっている（Ｗｂ’＝Ｗａ’）。しかしながら、ダミー領域Ｔｂ’にインクを捨て打ち間隔Ｗｂ’を空けて吐出すると、これに伴ってダミー領域Ｔｂ’におけるインクの捨て打ち経路Ｖｂ’が長くなり、ダミー領域Ｔｂ’が大きくなってしまう。ダミー領域Ｔｂ’が大きくなると、被記録体（シート部材）を有効的に利用できない場合がある。
【００６４】
図１０は、測定領域Ｔａ’’に隣り合うダミー領域Ｔｂ’’に各液滴吐出ヘッド５’’の各ノズルＮからインクを重なるように連続して所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちした場合の図である。図１０の図示左右方向（矢印Ｂ１’’，Ｂ２’’，ＢＮ’’で示す方向）を各液滴吐出ヘッド５’’の主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示上下方向）を副走査方向とする。
【００６５】
図１０において、符号Ｗａ’’はインクの着弾間隔、符号 Ｗｂ’’はインクの捨て打ち間隔である。また、符号Ｖａ’’は測定領域Ｔａ’’におけるインクの着弾経路、符号Ｖｂ’’はダミー領域Ｔｂ’’におけるインクの捨て打ち経路である。なお、インクの着弾間隔Ｗａ’’及び捨て打ち間隔Ｗｂ’’は、隣り合うインクの中心間の距離である。
【００６６】
図１０に示すように、測定領域Ｔａ’’に隣り合うダミー領域Ｔｂ’’には、インクが捨て打ち間隔Ｗｂ’’を空けて所定の吐出数だけ捨て打ちされている。この捨て打ち間隔Ｗｂ’’は、上述の捨て打ち間隔Ｗｂ’よりも狭くなっている。つまり、ダミー領域Ｔｂ’’には、インクが重なるように連続して捨て打ちされている。このように、インクが複数滴重なるように連続して捨て打ちされると、上述のダミー領域Ｔｂ’ におけるインクの捨て打ち経路Ｖｂ’に対して、ダミー領域Ｔｂ’’におけるインクの捨て打ち経路Ｖｂ’’を短くし、ダミー領域Ｔｂ’’を小さくすることができる。しかしながら、ダミー領域Ｔｂ’’にインクを重なるように連続して所定の吐出数だけ吐出すると、測定領域Ｔａ’’にインクを所定の間隔を空けて吐出する場合に対し、液滴吐出ヘッド５’’の発熱量が大きくなる。すると、測定領域Ｔａ’’への描画前後で液滴吐出ヘッド５’’の発熱量に差異が生じ、液滴吐出ヘッド５’’の各ノズルＮから吐出されるインクの温度が不安定になる。
【００６７】
さらに、複数の液滴吐出ヘッドを走査して行った場合は、各液滴吐出ヘッドの発熱量に差異が生じ、液滴吐出ヘッド毎に吐出されるインクの温度が不安定になる。これに起因して、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが顕著になり、そして、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾面積のばらつきが目立つようになる。
【００６８】
図９に示すように、複数の液滴吐出ヘッド５’を走査して行った場合は、主走査方向Ｂ１’，Ｂ２’，ＢＮ’において、各液滴吐出ヘッド５’の複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾面積のばらつきが生じる（例えば、主走査方向Ｂ２’におけるインクの着弾面積＜主走査方向Ｂ１’におけるインクの着弾面積＜主走査方向ＢＮ’におけるインクの着弾面積）。
【００６９】
図１０に示すように、複数の液滴吐出ヘッド５’’を走査して行った場合についても複数の液滴吐出ヘッド５’を走査して行った場合と同様に、主走査方向Ｂ１’’，Ｂ２’’，ＢＮ’’において、各液滴吐出ヘッド５’’の複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾面積のばらつきが生じる（例えば、主走査方向Ｂ２’’におけるインクの着弾面積＜主走査方向Ｂ１’’におけるインクの着弾面積＜主走査方向ＢＮ’’におけるインクの着弾面積）。
【００７０】
そこで、本発明の液滴吐出方法では、描画前のヘッド待機状態において、各液滴吐出ヘッド５の温度を、測定領域Ｔａへのインク吐出前には各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように調整する工程を設けている。
【００７１】
具体的には、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータを測定する（図４のステップＳ２）。つまり、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮのインクの捨て打ち（インクを所定の吐出数だけ吐出させるとき）における温度上昇の変化率を求める。そして、インクの捨て打ちにおける温度上昇が大きい液滴吐出ヘッドと、インクの捨て打ちにおける温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドと、を求める。
【００７２】
次に、前記温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド５毎に調整された駆動電圧を複数の液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加し、振動板２０を振動させて発熱させる（図４のステップＳ３）。
【００７３】
図６は、測定領域Ｔａへのインク吐出前のダミー領域Ｔｂへの描画前後の各液滴吐出ヘッド５の温度特性を示す図である。図６において、符号Ｈ１はインクの捨て打ちにおける温度上昇が大きい液滴吐出ヘッド、符号Ｈ２はインクの捨て打ちにおける温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドである。また、符号Ｔｍ１は描画前のヘッド待機状態（ダミー領域Ｔｂへの描画前）の液滴吐出ヘッドの温度（ヘッド温度）、符号Ｔｍ２は第１捨て打ち間隔でインクを複数滴吐出した後（ダミー領域Ｔｂへの描画後）のヘッド温度である。
【００７４】
図６に示すように、インクの捨て打ちにおける温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドＨ２については、描画前のヘッド待機状態で駆動素子ＰＺの振幅を大きくすることで振動板２０の振幅を大きくして、予め液滴吐出ヘッドＨ２の温度Ｔｍ１を高く調整しておく。すると、インクの捨て打ちにおける温度上昇が大きい液滴吐出ヘッドＨ１と、インクの捨て打ちにおける温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドＨ２と、の第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後のヘッド温度Ｔｍ２が等しくなる。これにより、第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後、言い換えると測定領域へのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなる。
【００７５】
また、第１振動工程では、駆動素子ＰＺに印加する電圧の大きさを各ノズルＮからインクを吐出させない程度の微小な電圧に調整することにより、振動板２０を微振動させて発熱させ、描画前のヘッド待機状態の各液滴吐出ヘッド５の温度を調整することもできる。これにより、描画前のヘッド待機状態で、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを吐出させることなく、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきを補正することができる。よって、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量の調整時にインクが無駄に使用されてしまうことを防止することができる。
【００７６】
次に、各液滴吐出ヘッド５をシート部材１５に対して複数のノズルＮの配列方向（Ｙ軸方向）と交差する主走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動しながら、駆動素子ＰＺに印加する電圧を一定にして、シート部材１５のダミー領域Ｔｂに各液滴吐出ヘッド５の各ノズルから第１捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちする（図４のステップＳ４）。
【００７７】
これにより、インク吐出量が不安定な描画開始からインク吐出量が安定化する所定の描画数（例えば、捨て打ち数４０ドット）までダミー領域Ｔｂにインクを吐出して捨て打ちできる。また、ダミー領域Ｔｂへのインクの捨て打ちは、実際の使用状況（測定領域Ｔａへのインクの着弾）にならって各液滴吐出ヘッド５を移動（走査）しながら行われるため、測定領域Ｔａへインクを着弾する場合と同じ条件で行うことができる。なお、ダミー領域Ｔｂへのインクの捨て打ちは、シート部材１５を効率的に利用する点から、液滴吐出ヘッド５を停止した状態で、インクが重なるように連続して所定の吐出数だけ吐出して行ってもよい。
【００７８】
次に、上述の第１捨て打ち工程と同様に、駆動素子ＰＺに印加する電圧を一定にして、インクをシート部材１５の測定領域Ｔａに第１着弾間隔Ｗａで着弾させる（図４のステップＳ５）。具体的には、各液滴吐出ヘッド５をシート部材搬送台１１に沿ってＹ軸方向に移動させる。これにより、シート部材１５の測定領域Ｔａが、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮに対向するように配置される。そして、上述の第１捨て打ち工程によって、インク吐出量が不安定な状態から安定化されているので、第１着弾工程ではインク吐出量が安定な状態になっている。よって、インク吐出量が安定な状態で、シート部材１５の測定領域Ｔａに各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１着弾間隔Ｗａでインクを複数滴吐出して着弾される。
【００７９】
図７は、本実施形態におけるダミー領域Ｔｂと測定領域Ｔａにおけるインクの配置状態を示す図である。図７は、測定領域Ｔａに隣り合うダミー領域Ｔｂに各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを重なるように連続して所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちした場合の図である。図７の図示左右方向（矢印Ｂ１，Ｂ２，ＢＮで示す方向）を各液滴吐出ヘッド５の主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示上下方向）を副走査方向とする。
【００８０】
図７において、符号Ｗａはインクの第１着弾間隔、符号Ｗｂはインクの第１捨て打ち間隔である。また、符号Ｖａは測定領域Ｔａにおけるインクの着弾経路、符号Ｖｂはダミー領域Ｔｂにおけるインクの捨て打ち経路である。なお、インクの第１着弾間隔Ｗａ及び第１捨て打ち間隔Ｗｂは、隣り合うインクの中心間の距離である。
【００８１】
図７に示すように、測定領域Ｔａに隣り合うダミー領域Ｔｂに、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルから第１捨て打ち間隔Ｗｂを空けてインクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちする。本実施形態では、第１捨て打ち間隔Ｗｂ１を各ノズルから吐出されたインクが重なり合うように狭くしている。例えば、各ノズルからのインク吐出数（ショット数）を局所的に多く吐出して捨て打ちする。すると、上述した従来のダミー領域Ｔｂ’’ におけるインクの捨て打ち経路Ｖｂ’’と同様に、ダミー領域Ｔｂにおけるインクの捨て打ち経路Ｖｂを短くし、ダミー領域Ｔｂを小さくすることができる。次に、測定領域Ｔａに第１着弾間隔Ｗａでインクを吐出して着弾する。これにより、測定領域Ｔａにおいて、インク吐出量が安定な状態でインクを着弾できるようになる。
【００８２】
本実施形態では、上述の第１振動工程において、第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出した後、言い換えると測定領域Ｔａへのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、予め各液滴吐出ヘッド５の温度が調整されている。このため、本願発明を用いない場合のように、ダミー領域にインクを重なるように連続して所定の吐出数だけ吐出すると、測定領域にインクを所定の間隔を空けて複数滴吐出する場合に対して液滴吐出ヘッドの発熱量が大きくなることがない。つまり、測定領域Ｔａへの描画前後で液滴吐出ヘッド５の発熱量に差異が生じることなく、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されるインクの温度が安定になる。
【００８３】
さらに、複数の液滴吐出ヘッド５を走査して行った場合についても、各液滴吐出ヘッド５の発熱量に差異が生じることなく、液滴吐出ヘッド毎に吐出されるインクの温度が安定になる。これにより、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。
【００８４】
図７に示すように、複数の液滴吐出ヘッド５を走査して行った場合は、主走査方向Ｂ１，Ｂ２，ＢＮにおいて、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾面積が均一になっている（例えば、主走査方向Ｂ１におけるインクの着弾面積＝主走査方向Ｂ２におけるインクの着弾面積＝主走査方向ＢＮにおけるインクの着弾面積）。
【００８５】
また、インクは、カラーフィルター層ＣＦにならって、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおける補正前（シート部材１５への吐出時）のインクの吐出状態と、補正後（カラーフィルター基板Ｐへの吐出時）のインクの吐出状態と、が確実に整合するようになる。
【００８６】
また、インクをシート部材１５に着弾させる際は、複数回に分けて着弾させるのがよい。具体的には、先ず、第１のインクをシート部材１５上の所定の領域に着弾させる。次に、第２のインクを第１のインクの着弾されていない領域に着弾させる。これにより、インクをシート部材１５へ複数回繰り返して着弾できるので、シート部材１５を無駄なく有効に利用することができる。
【００８７】
次に、シート部材１５の測定領域Ｔａに第１着弾間隔Ｗａで着弾されたインクの着弾面積を測定し、その平均の面積を各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されたインクの着弾面積とし、得られた着弾面積の測定データに基づいて各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布を求める（図４のステップＳ６）。具体的には、シート部材１５の測定領域Ｔａの上面に対向する位置に配置された面積計測用カメラ１４により、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮからシート部材１５の測定領域Ｔａに吐出されたインクの着弾面積を撮影する。このとき、面積計測用カメラ１４のレンズの倍率は、測定精度と測定時間の点から、例えば４〜１０倍に設定するのがよい。また、インクの着弾面積を測定する際のＮ数は、測定精度の点から、例えばＮ＝２０〜３０に設定するのがよい。
【００８８】
面積計測用カメラ１４によって撮影されたインクの着弾面積の画像データは、解析ユニット３２に出力される。そして、解析ユニット３２よって各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積が測定されるとともに、着弾面積の測定データに基づいて各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布が求められる。各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布データは制御ユニット３１に出力される。
【００８９】
次に、シート部材１５を巻き取る（図４のステップＳ７）。具体的には、巻取リール１３によって各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインクが着弾されたシート部材１５が巻き取られる。つまり、供給リール１２からインクが着弾されていない新たなシート部材１５が供給される。
【００９０】
次に、駆動素子ＰＺに印加する電圧が調整される（図４のステップＳ８）。具体的には、複数のノズルＮにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように制御ユニット３１によって複数のノズルＮ毎に備えられた駆動素子ＰＺに印加する電圧が調整される。
【００９１】
図８は、インク吐出量のばらつきの補正前後の各液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。図８において、横軸はノズル列ＮＡのノズル番号１〜１８０、縦軸は各ノズル番号に対応するノズルの吐出量を示している。図８に示すように、インク吐出量のばらつきの補正前の実線を見ると、両端部と中央部のノズルにおけるインク吐出量が相対的に多くなる傾向があることがわかる。
【００９２】
例えば、初期状態（図８中の補正前の実線参照）におけるインク吐出量が相対的に少ない領域のノズルに対応する駆動素子ＰＺに対して所定の電圧を印加する。一方、初期状態におけるインク吐出量が相対的に多い領域のノズルに対応する駆動素子ＰＺに対しては電圧を印加しない。
【００９３】
このようにして、駆動素子ＰＺによって複数のノズルＮ間で生じている吐出量のばらつきが調整される。これにより、複数のノズルＮにおけるインクの吐出量のばらつきが補正される。つまり、初期状態（補正前の実線）において複数のノズルＮ間で生じていたインク吐出量のばらつきを、補正後の実線に示すように略平均化することができる。
【００９４】
本実施形態の液滴吐出装置１によれば、制御ユニット３１は、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド５毎に調整された駆動電圧を複数の液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加し、振動板２０を振動させて発熱させる機能を有している。また、制御ユニット３１は、各液滴吐出ヘッド５をシート部材１５に対して複数のノズルＮの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しながら、シート部材１５上に各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出させ、その後、第１捨て打ち間隔Ｗｂよりも広い第１着弾間隔Ｗａでインクを複数滴吐出させる機能をも有している。ここで、シート部材１５は、インクが第１着弾間隔Ｗａで複数滴吐出される測定領域Ｔａと、インクが第１捨て打ち間隔Ｗｂで所定の吐出数だけ吐出されるダミー領域Ｔｂと、に区画されているとする。すると、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量が不安定な描画開始からしばらくの間は、ダミー領域Ｔｂにインクを所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちすることができる。このため、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量が安定な状態で測定領域Ｔａにインクを着弾することが可能となる。そして、面積計測用カメラ１４によりシート部材１５における測定領域Ｔａに対して、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾した画像が撮影される。そして、解析ユニット３２により、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されるインクの着弾面積に基づいて、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されるインクの吐出量の分布が求められる。すると、制御ユニット３１により、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子ＰＺへの印加電圧が調整され、各液滴吐出ヘッド５の温度（発熱量）が調整される。よって、本願発明を用いない場合に対して、表示領域への描画前後で各液滴吐出ヘッド５の発熱量の差異を解消し、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されるインクの温度を安定化することができる。つまり、制御ユニット３１により各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが補正されることになる。このため、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから均一な量のインクを吐出するとともに、全ノズルＮにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。また、制御ユニット３１によって各液滴吐出ヘッド５の温度を調整し、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積に基づいて、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されるインクの吐出量の分布を求める方法は、従来の複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法に比べて、膨大な工数がかからないので生産効率に優れる。また、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインクが着弾したシート部材１５が適宜搬送されるので、着弾面積の測定が効率よく行われる。
【００９５】
また、この構成によれば、第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出させる前（描画前のヘッド待機状態）の各液滴吐出ヘッド５の温度を効率良く調整することができる。例えば、インクの捨て打ち（インクを所定の吐出数だけ吐出させるとき）における温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドＨ２については、描画前のヘッド待機状態で駆動素子ＰＺの振幅を大きくすることで振動板２０の振幅を大きくして、予め液滴吐出ヘッドＨ２の温度を高く調整しておく。すると、インクの捨て打ち後（インクを所定の吐出数だけ吐出させた後）、言い換えると測定領域Ｔａへのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなる。これにより、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
【００９６】
また、この構成によれば、描画前のヘッド待機状態で、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを吐出させることなく、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきを補正することができる。よって、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量の調整時にインクが無駄に使用されてしまうことを防止することができる。したがって、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されるインクの温度調整を効率的に行うことが可能となる。
【００９７】
本実施形態の液滴吐出方法によれば、第１温度測定工程によって、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータが測定される。そして、第１温度測定工程の後の第１振動工程において、前記温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第１捨て打ち間隔Ｗｂでインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド５毎に調整された駆動電圧が複数の液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加され、振動板２０が振動する。この振動板２０の振動により、液滴吐出ヘッド５が加熱され、描画前の待機状態における液滴吐出ヘッド５の温度（発熱量）が調整される。このとき、インクの捨て打ちにおける温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドＨ２については、予め液滴吐出ヘッドＨ２の温度が高く調整される。そして、第１振動工程の後の第１捨て打ち工程によってインク吐出量が安定になるまでダミー領域Ｔｂにインクが第１捨て打ち間隔Ｗｂで所定の吐出数だけ吐出して捨て打ちされる。すると、インクの捨て打ち後には、各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなる。そして、第１捨て打ち工程の後の第１着弾工程において、測定領域Ｔａにインク吐出量が安定な状態でインクが着弾される。そして、第１着弾工程の後の第１解析工程により各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量の分布が求められる。そして、第１制御工程により各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように調整される。これにより、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが補正される。このため、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
【００９８】
また、この製造方法によれば、第１捨て打ち工程で描画前のヘッド待機状態の各液滴吐出ヘッド５の温度を効率良く調整することができる。例えば、インクの捨て打ちにおける温度上昇が小さい液滴吐出ヘッドＨ２については、描画前のヘッド待機状態で駆動素子ＰＺの振幅を大きくすることで振動板２０の振幅を大きくして、予め液滴吐出ヘッド５の温度を高く調整しておく。すると、インクの捨て打ち後、言い換えると第１着弾工程でのインク吐出前には、各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなる。これにより、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから均一な量のインクを吐出するとともに、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮにおけるインクの着弾面積を均一化することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
【００９９】
また、この製造方法によれば、描画前のヘッド待機状態で、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを吐出させることなく、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきを補正することができる。よって、各液滴吐出ヘッド５のインク吐出量の調整時にインクが無駄に使用されてしまうことを防止することができる。したがって、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されるインクの温度調整を効率的に行うことが可能となる。
【０１００】
なお、上記液滴吐出方法においては、第１制御工程の後に、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第２捨て打ち間隔（第３の間隔）でインクを所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータを測定する第２温度測定工程と、第２温度測定工程の後に、前記温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第２捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、液滴吐出ヘッド５毎に調整された駆動電圧を複数の液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加し、振動板２０を振動させ、これにより液滴吐出ヘッド５を加熱する第２振動工程と、第２振動工程の後に、各液滴吐出ヘッド５をシート部材１５に対して複数のノズルＮの配列方向と交差する主走査方向に相対移動しつつ、シート部材１５上に各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから第２捨て打ち間隔でインクを所定の吐出数だけ吐出させる第２捨て打ち工程（第３吐出工程）と、第２捨て打ち工程の後に、第２捨て打ち間隔よりも広い第２着弾間隔（第４の間隔）でインクを複数滴吐出させる第２着弾工程（第４吐出工程）と、第２着弾工程の後に、シート部材１５に第２着弾間隔で着弾されたインクの着弾面積を測定し、その平均の面積を各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されたインクの着弾面積とし、その着弾面積に基づいて各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから吐出されたインクの吐出量の分布を求める第２解析工程と、前記分布から各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量が所定の適正量に近づくように各液滴吐出ヘッド５の複数の駆動素子に印加する電圧を調整する第２制御工程と、を少なくとも１回有していてもよい。
【０１０１】
この製造方法によれば、第１制御工程の後に、温度測定工程と振動工程と捨て打ち工程と着弾工程と解析工程と制御工程と、を複数回繰り返して行うことにより、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、各液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。
【０１０２】
なお、上記液滴吐出方法においては、第１振動工程において、駆動素子ＰＺに印加する駆動電圧の大きさを調整することにより、第１捨て打ち工程でインクを所定の吐出数だけ吐出させる前（描画前のヘッド待機状態）の各液滴吐出ヘッド５の温度を調整する例を示したが、これに限らない。例えば、一方の液滴吐出ヘッド５を連続吐出（連続ショット）とし、他方の液滴吐出ヘッド５を所定の間隔で吐出する等、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからインクを吐出する周期を変えることによって、描画前のヘッド待機状態の各液滴吐出ヘッド５の温度を調整してもよい。
【０１０３】
なお、上記液滴吐出方法においては、第２着弾工程で着弾するインクについても、カラーフィルター層ＣＦにならって、上述の第１着弾工程（図４のステップＳ５）と同様に適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、各液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの補正前の吐出状態と、補正後の吐出状態と、が確実に整合するようになる。
【０１０４】
また、本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、上述したように各液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるとともに、全ノズルにおけるインクの着弾面積が均一化されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することが効率良くできる。
【０１０５】
なお、上記実施形態では、ノズル間のインク吐出量のばらつきが調整された液滴吐出装置１を用いてカラーフィルターを製造する場合について説明したが、これに限らない。例えば、本発明の液滴吐出装置１はカラーフィルターの製造だけでなく、均一な膜厚を必要とされ、スジムラの形成が問題となる成膜工程においても適用可能である。
【符号の説明】
【０１０６】
１…液滴吐出装置、５…液滴吐出ヘッド、１２…供給リール、１３…巻取リール、１４…面積計測用カメラ（撮像装置）、２０…振動板、３１…制御ユニット（制御手段）、３２…解析ユニット（解析手段）、ＣＦ…カラーフィルター層（カラーフィルター）、Ｎ…ノズル、Ｐ…カラーフィルター基板（基材）、ＰＺ…駆動素子、Ｗａ…第１着弾間隔（第２の間隔）、Ｗｂ…第１捨て打ち間隔（第１の間隔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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