(57)【要約】【課題】別部品と摺動させる際に、摩擦力を低減することができるとともに、潤滑油を保持することができ、かつ、歩留まりを向上することができる機械部品、機械部品の製造方法および時計を提供する。【解決手段】電鋳により形成され、軸部を中心に回動し隣接する別部品と摺動可能に構成された機械部品１２６ｇにおいて、別部品と当接する摺動面１２６ｓに山部１２６ｍが形成され、山部が別部品に当接可能に構成されている。【選択図】図８
2010077528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電鋳により形成され、軸部を中心に回動し隣接する別部品と摺動可能に構成された機械部品において、
前記別部品と当接する摺動面に山部が形成され、
該山部が前記別部品に当接可能に構成されていることを特徴とする機械部品。
【請求項２】
前記山部は、曲面形状を有することを特徴とする請求項１に記載の機械部品。
【請求項３】
前記山部が、前記摺動面に周方向に沿うように形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機械部品。
【請求項４】
前記山部が、前記摺動面に軸方向に沿うように形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機械部品。
【請求項５】
前記山部が軸方向に沿って複数形成されており、
複数の前記山部のうちの少なくとも一つの山部は、該一つの山部の頂部と前記軸部の中心との距離が他の山部の頂部と前記軸部の中心との距離と異なる大きさで形成されていることを特徴とする請求項４に記載の機械部品。
【請求項６】
隣り合う前記山部同士の間に、油保持部が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の機械部品。
【請求項７】
前記機械部品が歯車であり、
前記山部が外周面の全周に亘って形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の機械部品。
【請求項８】
前記機械部品が歯車であり、
前記山部が前記別部品と当接する歯先部のみに形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の機械部品。
【請求項９】
複数層からなる基板を用いて、別部品と摺動可能な摺動面を有する機械部品を製造する方法であって、
前記基板の上層における前記機械部品の形成領域以外の領域に、前記摺動面に相当する位置を輪郭に含む第一マスク材を形成する工程と、
該第一マスク材を用いて前記上層を所定深さまで等方性エッチングするエッチング工程と、
前記等方性エッチングにより形成された凹部の底面および側面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記凹部の底面に形成された前記保護膜を除去する保護膜除去工程と、
前記エッチング工程、前記保護膜形成工程および前記保護膜除去工程を繰り返して、前記基板の下層を露出させる工程と、
該下層の表面に電鋳物を形成する電鋳物形成工程と、
前記摺動面に相当する位置に残存する前記上層を含めて前記基板を除去する工程と、を有していることを特徴とする機械部品の製造方法。
【請求項１０】
前記機械部品が歯車であり、前記摺動面は前記歯車の歯先部であり、
前記第一マスク材が、前記歯車の外周面における前記歯先部に相当する位置のみを輪郭に含むように形成され、
前記電鋳物形成工程の前に、前記機械部品の形成領域以外の領域に第二マスク材を形成する第二マスク材形成工程を有し、
前記電鋳物形成工程では、前記第一マスク材および前記第二マスク材を用いて前記機械部品の形成領域に前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項９に記載の機械部品の製造方法。
【請求項１１】
前記機械部品が軸部材を嵌合可能な貫通孔を有し、
前記第一マスク材を形成する工程において、前記貫通孔の形成領域にも第一マスク材を形成することを特徴とする請求項９または１０に記載の機械部品の製造方法。
【請求項１２】
前記基板は、前記下層に金属層を備え、
前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載の機械部品の製造方法。
【請求項１３】
前記基板は、前記下層に埋め込み酸化膜層を備えたＳＯＩ基板であり、
前記第二マスク材形成工程の前に、前記埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成する工程を有し、
前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項１０に記載の機械部品の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜８のいずれかに記載の機械部品が時計の組立部品に用いられていることを特徴とする時計。
【請求項１５】
前記組立部品が、番車、がんぎ車、角穴車および香箱歯車の少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項１４に記載の時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械部品、機械部品の製造方法および時計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、時計などの精密機械には番車やがんぎ車などの機械部品が多数使用されている。これらの機械部品は互いに摺動することによりてんぷを駆動して時計が正確に時を刻むように構成されている。機械部品同士が摺動する箇所には摩擦が生じるために、摩擦による摩耗を防止するため、また滑らかに摺動させるために摺動面には潤滑油を供給する必要がある。そこで、摺動箇所に潤滑油を保持する構造を有したがんぎ車が提案されている（たとえば、特許文献1参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００７−５０６０７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のがんぎ車のような構造では、別部品と摺動させる際に、がんぎ車と別部品とが面接触してしまうため、摩擦力が大きくなってしまうという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、別部品と摺動させる際に、摩擦力を低減することができる機械部品、機械部品の製造方法および時計を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係る機械部品は、電鋳により形成され、軸部を中心に回動し隣接する別部品と摺動可能に構成された機械部品において、前記別部品と当接する摺動面に山部が形成され、該山部が前記別部品に当接可能に構成されていることを特徴としている。
また、前記山部が、前記摺動面に周方向に沿うように形成されていることを特徴としている。
または、前記山部が、前記摺動面に軸方向に沿うように形成されていることを特徴としている。
【０００７】
このように構成することで、機械部品と別部品とを摺動させる際に、山部と別部材とが点接触しながら摺動させることができる。したがって、機械部品と別部品との接触面積を小さくすることができるため、摩擦力を低減することができる。
また、機械部品の山部の周りに潤滑油を塗布することにより、潤滑油を摺動面に確実に供給することができる。また、山部を複数形成すると、隣接する山部の間に潤滑油を保持することができるため、潤滑油の保持量を増加させることが可能となる。さらに、山部を周方向または軸方向に沿って複数形成すると、機械部品の摺動面（外周面）の表面積が増加するため、潤滑油の保持量をさらに増加させることができる。したがって、摺動面に確実に潤滑油を供給することができるとともに、潤滑油を長期間供給することができるため、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。
さらに、機械部品は電鋳により形成されるため、十分な強度を有するとともに、製品の精度を均一化することができる。したがって、歩留まりを向上することができる。
【０００８】
また、前記山部は、曲面形状を有することを特徴としている。
このように構成することで、機械部品と別部品とを摺動させる際に、曲面形状の山部と別部材とが点接触しながら摺動させることができる。したがって、機械部品と別部品との接触面積を確実に小さくすることができるため、摩擦力を低減することができる。
【０００９】
また、前記山部が軸方向に沿って複数形成されており、複数の前記山部のうちの少なくとも一つの山部は、該一つの山部の頂部と前記軸部の中心との距離が他の山部の頂部と前記軸部の中心との距離と異なる大きさで形成されていることを特徴としている。
このように構成することで、例えば、機械部品の軸方向の中央部が凸状になるように大きさの異なる山部を軸方向に沿って複数形成することにより、機械部品と別部材とが傾いて接触しても確実に接触させることができるとともに、潤滑油を確実に供給することができる。また、機械部品と別部材とが傾いて接触してもいずれかの角が当たって削れるのを防止することができる。また、例えば、機械部品の軸方向の中央部が凹状になるように大きさの異なる山部を軸方向に沿って複数形成することにより、潤滑油の保持量を多く確保することができる。
【００１０】
また、隣り合う前記山部同士の間に、油保持部が形成されていることを特徴としている。
このように構成することで、隣り合う山部の間に潤滑油をより多く保持することができるため、長期間に亘って潤滑油を供給することができる。したがって、メンテナンス頻度を少なくすることができる。
【００１１】
また、前記機械部品が歯車であり、前記山部が外周面の全周に亘って形成されていることを特徴としている。
このように構成することで、摺動面となる歯車の外周面に潤滑油を多く保持することができるため、摺動面の摩耗を抑制することができるとともに、滑らかに歯車を回動させることが可能となる。つまり、歯車をメンテナンスを行うことなく長期間に亘って精度良く回動させることが可能となる。
【００１２】
また、前記機械部品が歯車であり、前記山部が前記別部品と当接する歯先部のみに形成されていることを特徴としている。
このように構成することで、摺動面となる歯車の歯先部に潤滑油を多く保持することができるため、歯先部の摩耗を抑制することができるとともに、滑らかに歯車を回動させることが可能となる。つまり、歯車を精度良く回動させることが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係る機械部品の製造方法は、複数層からなる基板を用いて、別部品と摺動可能な摺動面を有する機械部品を製造する方法であって、前記基板の上層における前記機械部品の形成領域以外の領域に、前記摺動面に相当する位置を輪郭に含む第一マスク材を形成する工程と、該第一マスク材を用いて前記上層を所定深さまで等方性エッチングするエッチング工程と、前記等方性エッチングにより形成された凹部の底面および側面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記凹部の底面に形成された前記保護膜を除去する保護膜除去工程と、前記エッチング工程、前記保護膜形成工程および前記保護膜除去工程を繰り返して、前記基板の下層を露出させる工程と、該下層の表面に電鋳物を形成する電鋳物形成工程と、前記摺動面に相当する位置に残存する前記上層を含めて前記基板を除去する工程と、を有していることを特徴としている。
【００１４】
このように半導体プロセスを利用することにより、精密機械加工を用いることなく低コストで山部を形成することができる。また、複数層からなる基板を用いることにより、下層の露出時点で上層のエッチングを停止することが可能になり、機械部品を精度良く製造することができる。このようにして製造された機械部品と別部品とを摺動させる際に、機械部品の山部の周りに潤滑油を塗布することにより、潤滑油を摺動面に確実に供給することができる。また、山部を軸方向に沿って複数形成すると、隣接する山部の間に潤滑油を保持することができるため、潤滑油の保持量を増加させることが可能となる。したがって、摺動面に確実に潤滑油を供給することができるとともに、潤滑油を長期間供給することができるため、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。さらに、機械部品は電鋳により形成されるため、十分な強度を有するとともに、製品の精度を均一化することができる。したがって、歩留まりを向上することができる。
【００１５】
また、前記機械部品が歯車であり、前記摺動面は前記歯車の歯先部であり、前記第一マスク材が、前記歯車の外周面における前記歯先部に相当する位置のみを輪郭に含むように形成され、前記電鋳物形成工程の前に、前記機械部品の形成領域以外の領域に第二マスク材を形成する第二マスク材形成工程を有し、前記電鋳物形成工程では、前記第一マスク材および前記第二マスク材を用いて前記機械部品の形成領域に前記電鋳物を形成することを特徴としている。
このように構成することで、電鋳物形成工程の前に電極として基板上に金属層を形成する場合に、金属層を基板上に連続的に形成することが可能となる。つまり、電鋳物形成工程において、金属層の一箇所に電源を接続するだけで全ての電鋳物の形成領域に電源が供給され、電鋳物を形成することができる。
【００１６】
また、前記機械部品が軸部材を嵌合可能な貫通孔を有し、前記第一マスク材を形成する工程において、前記貫通孔の形成領域にも第一マスク材を形成することを特徴としている。
このように構成することで、機械部品の貫通孔にも山部を形成することができる。このようにして製造された機械部品に軸部材を嵌合すると、機械部品と軸部材とが点接触することとなり、頂部が変形して軸部材を保持するため応力が緩和される。すなわち、その応力は、機械部品の山部の部分で吸収されるため、機械部品全体には反りや割れなどの発生を抑制することができる。さらに、機械部品の貫通孔の形状は周方向に一様であるため、機械部品に軸部材を嵌合する際に、位置合わせの必要がなくなり、生産効率を向上することができる。
【００１７】
また、前記基板は、前記下層に金属層を備え、前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴としている。
このように構成することで、基板の下層に形成された金属層を電極として利用することができるため、電極（金属層）を形成する工程を省略することができる。したがって、生産効率を向上することができる。
【００１８】
また、前記基板は、前記下層に埋め込み酸化膜層を備えたＳＯＩ基板であり、前記第二マスク材形成工程の前に、前記埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成する工程を有し、前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴としている。
このように一般的に流通しているＳＯＩ基板を用いることにより、製造コストを低く抑えることが可能となる。また、埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成することにより、金属層の一箇所に電源を接続するだけで全ての電鋳物の形成領域に電源が供給され、電鋳物を形成することができる。
【００１９】
また、本発明に係る時計は、上述した機械部品が時計の組立部品に用いられていることを特徴としている。
また、前記組立部品が、番車、がんぎ車、角穴車および香箱歯車の少なくともいずれか一つであることを特徴としている。
このように構成することで、摺動面に形成された山部により、各機械部品と該機械部品の回転時に噛み合う別部品（例えば、番車とかな）とが点接触することとなり、耐摩耗性が向上する。また、機械部品の摺動面（外周面）の表面積が増加するため、潤滑油の保持量を増加させることができる。また、摺動面に山部を複数形成することにより、隣接する山部の間に潤滑油を保持することが可能となり、潤滑油の流出を防ぐことができる。
さらに、潤滑油が番車やがんぎ車など歯車における隣接する山部の間に保持されるため、摺動面に確実に潤滑油が供給される。したがって、歯車が噛み合う際のエネルギー損失が少なくなり、てんぷの振角が大きくなるため、正確に時を刻む高精度な時計を提供することができる。そして、潤滑油の保持量を増加させることができるため、時計のメンテナンス頻度を少なくすることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る機械部品によれば、機械部品と別部品とを摺動させる際に、曲面形状の山部と別部材とが点接触しながら摺動させることができる。したがって、機械部品と別部品との接触面積を小さくすることができるため、摩擦力を低減することができる。
また、機械部品の山部の周りに潤滑油を塗布することにより、潤滑油を摺動面に確実に供給することができる。また、山部を複数形成すると、隣接する山部の間に潤滑油を保持することができるため、潤滑油の保持量を増加させることが可能となる。さらに、山部を周方向または軸方向に沿って複数形成すると、機械部品の摺動面（外周面）の表面積が増加するため、潤滑油の保持量をさらに増加させることができる。したがって、摺動面に確実に潤滑油を供給することができるとともに、潤滑油を長期間供給することができるため、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。
さらに、機械部品は電鋳により形成されるため、十分な強度を有するとともに、製品の精度を均一化することができる。したがって、歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態における機械式時計のムーブメント表側の平面図である（一部の部品を省略し、受部材は仮想線で示している）。
【図２】本発明の実施形態における香箱からがんぎ車の部分を示す概略部分断面図である。
【図３】本発明の実施形態におけるがんぎ車からてんぷの部分を示す概略部分断面図である。
【図４】本発明の実施形態における三番車を示す上面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】本発明の実施形態における三番車を示す斜視図である。
【図７】図５のＢ部拡大図である。
【図８】図５のＢ部に相当する拡大斜視図である。
【図９】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（１）である。
【図１０】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（２）である。
【図１１】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（３）である。
【図１２】図１１の状態を示す平面図である。
【図１３】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（４）である。
【図１４】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（１）である。
【図１５】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（２）である。
【図１６】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（３）である。
【図１７】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（４）である。
【図１８】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（５）である。
【図１９】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（６）である。
【図２０】本発明の第一実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（７）である。
【図２１】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（５）である。
【図２２】図２１の状態を示す平面図である。
【図２３】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（６）である。
【図２４】図２３の状態を示す平面図である。
【図２５】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（７）である。
【図２６】図２５の状態を示す平面図である。
【図２７】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（８）である。
【図２８】図２７の状態を示す平面図である。
【図２９】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（９）である。
【図３０】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（１０）である。
【図３１】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図（１１）である。
【図３２】本発明の第一実施形態における電鋳工程を示す説明図（１）である。
【図３３】本発明の第一実施形態における電鋳工程を示す説明図（２）である。
【図３４】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造に用いる基板の別の態様を示す断面図である。
【図３５】本発明の第一実施形態における三番歯車の製造に用いる基板のさらに別の態様を示す断面図である。
【図３６】本発明の第一実施形態における三番歯車の別の態様を示す部分拡大斜視図である（図８に相当する位置を示す）。
【図３７】本発明の第一実施形態における三番歯車の別の製造方法を示す説明図である（電鋳工程直前の状態を示す）。
【図３８】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の部分拡大断面図（第一実施形態の図７に相当）である。
【図３９】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の部分拡大斜視図（第一実施形態の図８に相当）である。
【図４０】本発明の第二実施形態における三番歯車の製造方法を示す説明図である。
【図４１】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（１）である。
【図４２】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（２）である。
【図４３】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（３）である。
【図４４】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（４）である。
【図４５】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（５）である。
【図４６】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（６）である。
【図４７】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（７）である。
【図４８】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の製造方法を示す説明図（８）である。
【図４９】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の別の態様（１）を示す部分拡大断面図（図３８に相当）である。
【図５０】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の別の態様（１）を示す部分拡大斜視図（図３９に相当）である。
【図５１】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の別の態様（２）を示す部分拡大断面図（図３８に相当）である。
【図５２】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の別の態様（２）を示す部分拡大側面図である。
【図５３】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の別の態様（３）を示す部分拡大断面図（図３８に相当）である。
【図５４】本発明の第二実施形態における三番歯車の歯先の別の態様（３）を示す部分拡大側面図である。
【図５５】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（１）を示す部分拡大正面図である。
【図５６】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（２）を示す部分拡大斜視図である。
【図５７】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（３）を示す部分拡大斜視図である。
【図５８】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（４）を示す部分拡大斜視図である。
【図５９】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（５）を示す部分拡大斜視図である。
【図６０】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（６）を示す部分拡大断面図である。
【図６１】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（７）を示す部分拡大断面図である。
【図６２】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（８）を示す部分拡大断面図である。
【図６３】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（９）を示す部分拡大断面図である。
【図６４】本発明の実施形態における三番歯車の歯先のさらに別の態様（１０）を示す部分拡大斜視図である。
【図６５】本発明の実施形態における三番歯車（電鋳物）の製造方法の別の態様を説明する断面図である。
【図６６】本発明の技術をがんぎ車に適用した状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第一実施形態）
次に、本発明に係る機械部品の第一実施形態を図１〜図３７に基づいて説明する。なお、本実施形態では、機械部品として機械式時計に用いられる歯車（番車）の場合について説明する。
（機械式時計）
図１〜図３に示すように、機械式時計のムーブメント１００は、ムーブメント１００の基板を構成する地板１０２を有している。地板１０２の巻真案内穴１０２ａには、巻真１１０が回転可能に組み込まれている。文字板１０４（図２参照）はムーブメント１００に取り付けられる。一般に、地板１０２の両側のうち、文字板１０４が配される側をムーブメント１００の裏側と称し、文字板１０４が配される側の反対側をムーブメント１００の表側と称する。ムーブメント１００の表側に組み込まれる輪列を表輪列と称し、ムーブメント１００の裏側に組み込まれる輪列を裏輪列と称する。
【００２３】
おしどり１９０、かんぬき１９２、かんぬきばね１９４、裏押さえ１９６を含む切換装置により、巻真１１０の軸線方向の位置が決められている。きち車１１２は巻真１１０の案内軸部に回転可能に設けられている。巻真１１０が、回転軸線方向に沿ってムーブメント１００の内側に一番近い方の第１の巻真位置（０段目）にある状態で巻真１１０を回転させると、つづみ車の回転を介してきち車１１２が回転する。丸穴車１１４は、きち車１１２の回転により回転する。また、角穴車１１６は、丸穴車１１４の回転により回転する。角穴車１１６が回転することにより、香箱車１２０に収容されたぜんまい１２２（図２参照）を巻き上げる。
【００２４】
二番車１２４は、香箱車１２０の回転により回転する。がんぎ車１３０は、四番車１２８、三番車１２６、二番車１２４の回転を介して回転する。香箱車１２０、二番車１２４、三番車１２６、四番車１２８は表輪列を構成する。
【００２５】
表輪列の回転を制御するための脱進・調速装置は、てんぷ１４０と、がんぎ車１３０と、アンクル１４２とを含む。てんぷ１４０は、てん真１４０ａと、ひげぜんまい１４０ｃとを含む。二番車１２４の回転に基づいて、筒かな１５０が同時に回転する。筒かな１５０に取り付けられた分針１５２が「分」を表示する。筒かな１５０には、二番車１２４に対するスリップ機構が設けられている。筒かな１５０の回転に基づいて、日の裏車の回転を介して、筒車１５４が回転する。筒車１５４に取り付けられた時針１５６が「時」を表示する。
【００２６】
ひげぜんまい１４０ｃは、複数の巻き数をもったうずまき状（螺旋状）の形態の薄板ばねである。ひげぜんまい１４０ｃの内端部は、てん真１４０ａに固定されたひげ玉１４０ｄに固定され、ひげぜんまい１４０ｃの外端部は、てんぷ受１６６に固定されたひげ持受１７０に取り付けたひげ持１７０ａを介してねじ締めにより固定されている。緩急針１６８は、てんぷ受１６６に回転可能に取り付けられている。また、てんぷ１４０は、地板１０２およびてんぷ受１６６に対して回転可能に支持されている。
【００２７】
香箱車１２０は、香箱歯車１２０ｄと、香箱真１２０ｆと、ぜんまい１２２とを備えている。香箱真１２０ｆは、上軸部１２０ａと、下軸部１２０ｂとを含む。香箱真１２０ｆは、炭素鋼などの金属で形成されている。香箱歯車１２０ｄは黄銅などの金属で形成されている。
【００２８】
二番車１２４は、上軸部１２４ａと、下軸部１２４ｂと、かな部１２４ｃと、歯車部１２４ｄと、そろばん玉部１２４ｈとを含む。二番車１２４のかな部１２４ｃは香箱歯車１２０ｄと噛み合うように構成されている。上軸部１２４ａと、下軸部１２４ｂと、そろばん玉部１２４ｈは、炭素鋼などの金属で形成されている。歯車部１２４ｄはニッケルなどの金属で形成されている。
【００２９】
三番車１２６は、上軸部１２６ａと、下軸部１２６ｂと、かな部１２６ｃと、歯車部１２６ｄとを含む。三番車１２６のかな部１２６ｃは歯車部１２４ｄと噛み合うように構成されている。
【００３０】
四番車１２８は、上軸部１２８ａと、下軸部１２８ｂと、かな部１２８ｃと、歯車部１２８ｄとを含む。四番車１２８のかな部１２８ｃは歯車部１２６ｄと噛み合うように構成されている。上軸部１２８ａと、下軸部１２８ｂは、炭素鋼などの金属で形成されている。歯車部１２８ｄはニッケルなどの金属で形成されている。
【００３１】
がんぎ車１３０は、上軸部１３０ａと、下軸部１３０ｂと、かな部１３０ｃと、歯車部１３０ｄとを含む。がんぎ車１３０のかな部１３０ｃは歯車部１２８ｄと噛み合うように構成されている。アンクル１４２は、アンクル体１４２ｄと、アンクル真１４２ｆとを備えている。アンクル真１４２ｆは、上軸部１４２ａと、下軸部１４２ｂとを含む。
【００３２】
香箱車１２０は、地板１０２および香箱受１６０に対して回転可能に支持されている。すなわち、香箱真１２０ｆの上軸部１２０ａは、香箱受１６０に対して回転可能に支持される。香箱真１２０ｆの下軸部１２０ｂは、地板１０２に対して、回転可能に支持される。二番車１２４、三番車１２６、四番車１２８、がんぎ車１３０は、地板１０２および輪列受１６２に対して回転可能に支持されている。すなわち、二番車１２４の上軸部１２４ａ、三番車１２６の上軸部１２６ａ、四番車１２８の上軸部１２８ａ、がんぎ車１３０の上軸部１３０ａは、輪列受１６２に対して回転可能に支持される。また、二番車１２４の下軸部１２４ｂ、三番車１２６の下軸部１２６ｂ、四番車１２８の下軸部１２８ｂ、がんぎ車１３０の下軸部１３０ｂは、地板１０２に対して、回転可能に支持される。
【００３３】
アンクル１４２は、地板１０２およびアンクル受１６４に対して回転可能に支持されている。すなわち、アンクル１４２の上軸部１４２ａは、アンクル受１６４に対して回転可能に支持される。アンクル１４２の下軸部１４２ｂは、地板１０２に対して、回転可能に支持される。
【００３４】
香箱真１２０ｆの上軸部１２０ａを回転可能に支持する香箱受１６０の軸受部と、二番車１２４の上軸部１２４ａを回転可能に支持する輪列受１６２の軸受部と、三番車１２６の上軸部１２６ａを回転可能に支持する輪列受１６２の軸受部と、四番車１２８の上軸部１２８ａを回転可能に支持する輪列受１６２の軸受部と、がんぎ車１３０の上軸部１３０ａを回転可能に支持する輪列受１６２の軸受部と、アンクル１４２の上軸部１４２ａを回転可能に支持するアンクル受１６４の軸受部には、潤滑油が注油される。また、香箱真１２０ｆの下軸部１２０ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、二番車１２４の下軸部１２４ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、三番車１２６の下軸部１２６ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、四番車１２８の下軸部１２８ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、がんぎ車１３０の下軸部１３０ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部と、アンクル１４２の下軸部１４２ｂを回転可能に支持する地板１０２の軸受部には、潤滑油が注油される。この潤滑油は、精密機械用油であるのが好ましく、いわゆる時計油であるのが特に好ましい。
【００３５】
地板１０２のそれぞれの軸受部、香箱受１６０の軸受部、輪列受１６２のそれぞれの軸受部には、潤滑油の保持性能を高めるために、円錐状、円筒状、または円錐台状の油溜め部を設けるのが好ましい。油溜め部を設けると、潤滑油の表面張力により油が拡散するのを効果的に阻止することができる。地板１０２、香箱受１６０、輪列受１６２、アンクル受１６４は、黄銅などの金属で形成してもよいし、ポリカーボネートなどの樹脂で形成してもよい。
【００３６】
（番車の構造）
次に、本実施形態の番車の構造について説明する。なお、番車の構造は略同一であるため、三番車１２６を用いて説明する。
図４〜図６に示すように、三番車１２６は、三番かな１２６ｆと、三番歯車１２６ｇとを備えている。三番歯車１２６ｇの厚さＴ０は、例えば、１０μｍ以上１０ｍｍ以下である。三番かな１２６ｆは、上軸部１２６ａと、下軸部１２６ｂと、かな部１２６ｃとを備えている。三番歯車１２６ｇは、中心支持部１２６ｈと、あみだ部１２６ｊ（本実施形態では、５本）と、歯車部１２６ｄとを備えている。三番かな１２６ｆは、炭素鋼などの金属で形成されている。三番歯車１２６ｇはニッケルなどの金属で形成されている。そして、三番車１２６は、三番歯車１２６ｇの中心に形成された貫通孔１２６ｋに三番かな１２６ｆを挿通して固定されている。
【００３７】
ここで、図７、図８に示すように、歯車部１２６ｄの歯先１２６ｓの摺動面（四番車１２８のかな部１２８ｃと噛み合う箇所）の形状は、三番かな１２６ｆの軸方向に沿って曲面形状の山部１２６ｍが複数形成され、山部１２６ｍがかな部１２８ｃに当接するように構成されている。また、一つの山部１２６ｍの軸方向の幅Ｔ１は、例えば、１μｍ以上１０ｍｍ以下である。山部１２６ｍの断面形状は、ほぼ円弧でその半径Ｒ１はＴ１のおよそ半分である。山部１２６ｍの数は１以上１００００以下である。
【００３８】
（番車の製造方法）
次に、本実施形態の番車（三番歯車１２６ｇ）の製造方法について説明する。
図９〜図３３は三番歯車１２６ｇの製造方法を説明する図である。
図９は、三番歯車１２６ｇを形成するための基板１０である。基板１０は、支持層１０ａと活性層１０ｂの間にＢＯＸ層１０ｃが挟まれたＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｅｒ）基板であり、支持層１０ａと活性層１０ｂはＳｉ、ＢＯＸ層１０ｃはＳｉＯ２で形成されている。支持層１０ａの厚さは、後の工程で破損あるいは変形が起こらないよう、１００μｍ以上１ｍｍ以下とする。活性層１０ｂの厚さは、製造する三番歯車１２６ｇの厚さＴ０以上とする。ＢＯＸ層１０ｃの厚さは、１μｍ以上１ｍｍ以下とする。なお、ＳＯＩ基板の他に、支持層１０ａのＳｉと活性層１０ｂのＳｉの間に金属材料を挟んだ基板（図３４参照）や、支持層１０ａに金属材料を用い、その上に活性層１０ｂのＳｉがある基板（図３５参照）でも三番歯車１２６ｇを製造することが可能である。この製造方法については後述する。
【００３９】
図１０は、フォトレジスト１１を塗布した図である。活性層１０ｂ上にフォトレジスト１１を堆積する。フォトレジスト１１は、ネガ型でもポジ型でもよいが、ネガ型の場合を用いて説明する。フォトレジスト１１の厚さは１μｍ以上１ｍｍ以下で形成する。
【００４０】
図１１は、フォトレジスト１１を露光・現像した図である。三番歯車１２６ｇの歯先１２６ｓのパターンが形成されたフォトマスク（不図示）を用いて、フォトレジスト１１に紫外線やＸ線等の露光光を照射し、三番歯車１２６ｇの歯先１２６ｓにあたる部分および三番歯車１２６ｇの径方向外側に相当する領域のフォトレジスト１１を硬化させる。そして、未硬化のフォトレジスト１１部分を除去し、エッチングパターンが完成する。図１２は、図１１の部分平面図である。図１１に示すように、隣接する歯先１２６ｓに対応したフォトレジスト１１はそれぞれ連結されずに独立して残されている。
【００４１】
図１３は、活性層１０ｂをエッチングした図である。フォトレジスト１１の部分を残して、活性層１０ｂのＳｉをＢＯＸ層１０ｃの表面までエッチングする。ここで、本実施形態では、活性層１０ｂに歯先１２６ｓの軸方向に沿って形成される断面略半円形状の山部１２６ｍに相当する谷部１５が複数連なるように形成されている。
【００４２】
ここで、活性層１０ｂに谷部１５を連続形成しながらエッチングする方法を図１４〜図２０を用いて説明する。
図１４は、図１１の状態を示す部分拡大図である。図１４では歯先１２６ｓに対応した位置のフォトレジスト１１を２箇所表示している。
【００４３】
図１５は、一回目のＳｉエッチング工程を説明する図である。一回のＳｉエッチング工程で削るＳｉの厚みはＴ１とする。ここで、隣接するフォトレジスト１１間には凹部１４が形成される。フォトレジスト１１の無い、Ｓｉ面の露出している部分がエッチングされるが、等方性エッチングを行うことで、フォトレジスト１１の下にある活性層１０ｂの側面１７も部分的にエッチングされ、谷部１５が形成される。エッチングする厚みＴ１を制御することで、三番歯車１２６ｇの歯先１２６ｓに対応する側面１７の谷部１５の半径Ｒ１を任意の大きさにできる。一回のエッチングにより一つの山部１２６ｍに相当する一つの谷部１５が形成される。
【００４４】
図１６は、保護膜を形成した図である。二回目のエッチングでフォトレジスト１１の下にある活性層１０ｂが図１５の状態以上に削られないよう、一回目のエッチング面（凹部１４）に保護膜１９を形成する。保護膜１９は、例えばフッ化炭素などで形成されている。保護膜１９は、Ｃ４Ｆ８ガスなどを用いてＣＶＤ法によりＳｉの表面に膜を形成する。
【００４５】
図１７は、凹部１４の底面２１の保護膜１９のみを除去した図である。凹部１４の側面（側面１７）の保護膜１９を残し、底面２１の保護膜１９のみを除去して活性層１０ｂ（Ｓｉ面）を露出させる。このように底面２１の保護膜１９のみを除去するには、例えばＳＦ６ガスを用いてエッチングを行うと、イオンが底面２１の保護膜１９に対して鉛直方向から衝突し、そのイオン衝撃により底面２１の保護膜１９のみが除去される。
【００４６】
図１８は、二回目のＳｉエッチング工程を説明する図である。図１５と同様に、Ｓｉの等方性エッチングを行う。すると、保護膜１９が形成されていない底面２１のＳｉが等方エッチングされる。この後、図１６〜図１８の工程を所定回数行う。
【００４７】
図１９は、Ｓｉエッチング、保護膜形成、底面の保護膜除去をＢＯＸ層（ＳｉＯ２面）１０ｃの表面に到達するまで繰り返し行った図である。図１５のＳｉエッチング工程、図１６の保護膜形成工程、図１７の保護膜除去工程を、基板１０のＢＯＸ層１０ｃに達するまで繰り返し行う（本実施形態では、６回繰り返している）。すると、活性層１０ｂの側面１７には谷部１５が複数（６個）形成される。
【００４８】
図２０は、保護膜１９を全て除去した図である。保護膜１９は、酸素プラズマアッシングによって除去する。活性層１０ｂの側面１７に形成された保護膜１９を除去する。図２０は、図１３と同じ状態である。
【００４９】
図２１は、フォトレジスト１１を除去した図である。エッチングあるいは物理的な力等によってフォトレジスト１１を除去する。この工程は、後の工程に差し支えなければ省略してもよい。図２２は、図２１の平面図である。
【００５０】
図２３は、電極を形成した図である。基板１０（ＢＯＸ層１０ｃ）上に電極２３を蒸着等によって形成する。電極２３は、Ｃｒ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｔｉ等で形成される。電極２３の厚さは、１０ｎｍ以上１０μｍ以下とする。図２４は、図２３の平面図である。図２４に示すように、電極２３は一体的に連接するように形成されている。
【００５１】
図２５は、フォトレジスト２５を塗布した図である。電極２３の上にフォトレジスト２５を堆積する。フォトレジスト２５は、ネガ型でもポジ型でもよいが、ネガ型の場合を用いて説明する。フォトレジスト２５の厚みは、三番歯車１２６ｇの厚みＴ０より厚く形成する。図２６は、図２５の平面図である。
【００５２】
図２７は、フォトレジスト２５を露光・現像した図である。三番歯車１２６ｇ全体のパターンが形成されたフォトマスク（不図示）を用いて、フォトレジスト２５に紫外線やＸ線等の露光光を照射し、三番歯車１２６ｇの電鋳に使用する部分以外のフォトレジスト２５を硬化させる。未硬化のフォトレジスト２７部分を除去し、電鋳型３１が完成する。図２８は、図２７の平面図である。なお、三番歯車１２６ｇの貫通孔１２６ｋに対応する位置のフォトレジスト２５は残している。
【００５３】
図２９は、電鋳工程を説明する図である。電極２３上に電鋳物３３を厚みがＴ０以上になるよう堆積させる。電鋳する材料は、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ａｕ等の金属や、Ｎｉ−Ｗ、Ｎｉ−Ｂ等の合金、あるいはＮｉ−Ａｌ２Ｏ３、Ｎｉ−ＳｉＣ等の複合物であればよい。なお、電鋳工程は図３２、図３３に示すように、電鋳液４１の中に電極２３が形成された電鋳型３１を冶具４２に取り付けた状態で浸し、陽極４３と電極２３との間に電源４４を配し、電圧を印加することにより電極２３の表面に金属（電鋳物３３）が析出する。
【００５４】
図３０は、研削・研磨工程を説明する図である。研削によって電鋳物３３の高さが三番歯車１２６ｇの厚みＴ０になるように電鋳物３３及びフォトレジスト２５を削る。さらに研磨を行い、電鋳物３３の表面を鏡面に仕上げる。
【００５５】
図３１は、電鋳物３３（三番歯車１２６ｇ）を取出した図である。基板１０、フォトレジスト２５、電極２３をエッチングあるいは物理的な力等によって除去し、電鋳物３３（三番歯車１２６ｇ）を取り出す。なお、支持層１０ａおよび活性層１０ｂのＳｉは、エッチング液に浸して溶かして除去してもよい。
【００５６】
このようにして製造された三番歯車１２６ｇは、歯車の歯先１２６ｓに軸方向に沿って曲面形状の山部１２６ｍを複数有している。
このように構成することで、三番歯車１２６ｇの歯先１２６ｓとかな部１２８ｃとを噛み合わせると、山部１２６ｍと四番車１２８のかな部１２８ｃとが点接触することとなり、山部１２６ｍとかな部１２８ｃとの接触面積を小さくすることができるため、摩擦力を低減することができ、耐摩耗性が向上する。また、歯先１２６ｓの表面積が増加するため、潤滑油の保持量を増加させることができる。また、歯先１２６ｓに山部１２６ｍを複数形成することにより、隣接する山部１２６ｍの間に潤滑油を保持することが可能となり、潤滑油の流出を防ぐことができる。
【００５７】
さらに、潤滑油が隣接する山部１２６ｍの間に保持されるため、かな部１２８ｃとの摺動面に確実に潤滑油が供給される。したがって、三番歯車１２６ｇとかな部１２８ｃとが噛み合う際のエネルギー損失が少なくなり、てんぷ１４０の振角が大きくなるため、正確に時を刻む高精度な時計を提供することができる。そして、潤滑油の保持量を増加させることができるため、時計のメンテナンス頻度を少なくすることができる。なお、三番歯車１２６ｇは電鋳により形成されるため、十分な強度を有している。
【００５８】
また、上述した製造方法により三番歯車１２６ｇを製造することにより、歯先１２６ｓに複数の山部１２６ｍを有する三番歯車１２６ｇを電鋳により容易に形成することができる。
【００５９】
次に、番車（三番歯車１２６ｇ）の別の製造方法について説明する。
図３４は、三番歯車１２６ｇを製造する際に用いる基板の断面図である。図３４に示すように、基板５０は、支持層５０ａのＳｉと活性層５０ｂのＳｉの間に金属層５０ｃが形成された基板である。金属層５０ｃは、Ｃｒ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｔｉ等で構成されている。支持層５０ａのＳｉの厚みは、上述の場合と同様、１００μｍ以上１ｍｍ以下とする。活性層５０ｂのＳｉの厚みは、製造する三番歯車１２６ｇの厚みＴ０以上とする。金属層５０ｃの厚みは、１μｍ以上１ｍｍ以下とする。
【００６０】
このような基板５０を用いることにより、上述の図１３の工程を終了した時点で、金属層５０ｃが露出するため、後の電鋳工程の際に電極として利用することができる。また、上述の図２３の電極形成工程が不要となるため、生産効率を向上することができる。
【００６１】
なお、図３５に示すように、支持層５５ａに金属材料を用い、その上に活性層５５ｂのＳｉがある基板５５でも同様の工程で三番歯車１２６ｇの製造が可能である。金属材料は、Ｃｒ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｔｉ等で構成されている。支持層５５ａの厚みは、１００μｍ以上１ｍｍ以下とし、活性層５５ｂのＳｉの厚みは、製造する三番歯車１２６ｇの厚みＴ０以上とする。このような基板５５を用いても上述と同様、生産効率を向上することができる。
【００６２】
ここで、上述した基板５０または基板５５を用いて三番歯車１２６ｇを製造する場合には、図３６に示すように歯先１２６ｓだけでなく外周面１２６ｐの全周に亘って山部１２６ｍを形成することができる。これは、外周面１２６ｐの全周に山部を形成する際には、三番歯車１２６ｇに相当する位置のフォトレジスト２５のみを除去し、その他の領域のフォトレジスト２５は残すこととなるため、基板１０を用いると電極２３が孤立してしまい、電極２３に対して導通をとることができず、電鋳できない。しかしながら、基板５０または基板５５を用いると、図３７に示すように、三番歯車１２６ｇに相当する位置のフォトレジスト２５のみを除去した際に、電極２３の機能を果たす金属層５０ｃまたは５５ｃが露出し、この金属層５０ｃ，５５ｃは基板５０，５５に一体的に形成されているため、導通をとることができ、電鋳により三番歯車１２６ｇを製造することができる。
【００６３】
このように山部１２６ｍを外周面１２６ｐの全周に亘って形成することで、潤滑油の保持量をさらに増加させることができるため、より確実に、かつ、長期間に亘って摺動面に潤滑油を供給することができる。
【００６４】
また、基板５０または基板５５を用いることにより、金属層５０ｃ，５５ｃを電極として利用することができるとともに、活性層５０ｂ、５５ｂをエッチングした後に電極を形成する工程を省略することができる。したがって、生産効率を向上することができる。
【００６５】
また、本実施形態では三番歯車１２６ｇを一枚のフォトマスクで作製したため、マスク合わせの誤差がなくなり、寸法精度を向上させることができる。
【００６６】
そして、上述した製造方法を用いて時計の組立部品である二番車１２４、四番車１２８、がんぎ車１３０、角穴車１１６および香箱歯車１２０ｄを製造し、歯先または外周面に山部を形成することにより、各機械部品と該機械部品の回転時に噛み合う別部品（例えば、番車とかな）とが点接触することとなり、耐摩耗性が向上する。また、各組立部品の摺動面（外周面）の表面積が増加するため、潤滑油の保持量を増加させることができる。また、摺動面に山部を複数形成することにより、隣接する山部の間に潤滑油を保持することが可能となり、潤滑油の流出を防ぐことができる。
さらに、潤滑油が番車１２４，１２６，１２８、がんぎ車１３０、角穴車１１６および香箱歯車１２０ｄの軸方向に隣接する山部の間に保持されるため、摺動面に確実に潤滑油が供給される。したがって、歯車が噛み合う際のエネルギー損失が少なくなり、てんぷ１４０の振角が大きくなるため、正確に時を刻む高精度な時計を提供することができる。そして、潤滑油の保持量を増加させることができるため、時計のメンテナンス頻度を少なくすることができる。
【００６７】
（第二実施形態）
次に、本発明に係る機械部品の第二実施形態を図３８〜図５４に基づいて説明する。なお、本実施形態は、第一実施形態と歯車（三番歯車）の貫通孔の形状が異なるのみであり、その他の部分については第一実施形態と略同一であるため、同一箇所には同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、本実施形態における三番歯車の符号を２２６ｇとし、三番かなの符号を２２６ｆとする。
【００６８】
図３８、図３９に示すように、歯車部２２６ｄの歯先２２６ｓの摺動面（四番車１２８のかな部１２８ｃと噛み合う箇所）の形状は、三番かな２２６ｆの軸方向に沿って曲面形状の山部２２６ｍが複数形成され、山部２２６ｍがかな部１２８ｃに当接するように構成されている。また、一つの山部２２６ｍの軸方向の幅Ｔ１は、例えば、１μｍ以上１０ｍｍ以下であり、軸方向中心部に向かうほど幅Ｔ１が大きくなるように幅の異なる山部２２６ｍが複数形成されている。山部２２６ｍの断面形状は、ほぼ円弧でその半径Ｒ１はＴ１のおよそ半分である。山部１２６ｍの数は１以上１００００以下である。
【００６９】
（番車の製造方法）
次に、本実施形態の番車（三番歯車２２６ｇ）の製造方法について説明する。なお、本実施形態では第一実施形態と異なる工程を中心に説明する。
まず、三番歯車２２６ｇを形成するための基板１０は図９と略同一の基板を用いる。そして、基板１０の活性層１０ｂ上にフォトレジスト１１を塗布する。続いて、フォトレジスト１１を露光・現像し、三番歯車２２６ｇの歯先２２６ｓにあたる部分および三番歯車１２６ｇの径方向外側に相当する領域のフォトレジスト１１を硬化させる。続いて、未硬化のフォトレジスト１１部分を除去し、図１２に示すようなエッチングパターンが完成する。
【００７０】
図４０は、活性層１０ｂをエッチングした図である。フォトレジスト１１の部分を残して、活性層１０ｂのＳｉをＢＯＸ層１０ｃの表面までエッチングする。ここで、本実施形態では、活性層１０ｂに歯先２２６ｓの軸方向に沿って形成される断面略半円形状の山部２２６ｍに相当する谷部１１５が複数連なるように形成されている。
【００７１】
ここで、活性層１０ｂに谷部１１５を連続形成しながらエッチングする方法を図４１〜図４７を用いて説明する。
図４１では、歯先２２６ｓに対応した位置のフォトレジスト１１を２箇所表示している。
【００７２】
図４２は、一回目のＳｉエッチング工程を説明する図である。一回のＳｉエッチング工程で削るＳｉの厚みはＴ１とする。ここで、隣接するフォトレジスト１１間には凹部１１４が形成される。フォトレジスト１１の無い、Ｓｉ面の露出している部分がエッチングされるが、等方性エッチングを行うことで、フォトレジスト１１の下にある活性層１０ｂの側面１７も部分的にエッチングされ、谷部１１５が形成される。エッチングする厚みＴ１を制御することで、三番歯車２２６ｇの歯先２２６ｓに対応する側面１７の谷部１１５の半径Ｒ１を任意の大きさにできる。一回のエッチングにより一つの山部２２６ｍに相当する一つの谷部１１５が形成される。なお、厚みＴ１を制御するには、エッチング時間を調整することにより行えばよい。
【００７３】
図４３は、保護膜を形成した図である。二回目のエッチングでフォトレジスト１１の下にある活性層１０ｂが図４２の状態以上に削られないよう、一回目のエッチング面（凹部１１４）に保護膜１９を形成する。保護膜１９は、例えばフッ化炭素などで形成されている。保護膜１９は、Ｃ４Ｆ８ガスなどを用いてＣＶＤ法によりＳｉの表面に膜を形成する。
【００７４】
図４４は、凹部１１４の底面２１の保護膜１９のみを除去した図である。凹部１１４の側面（側面１７）の保護膜１９を残し、底面２１の保護膜１９のみを除去して活性層１０ｂ（Ｓｉ面）を露出させる。このように底面２１の保護膜１９のみを除去するには、例えばＳＦ６ガスを用いてエッチングを行うと、イオンが底面２１の保護膜１９に対して鉛直方向から衝突し、そのイオン衝撃により底面２１の保護膜１９のみが除去される。
【００７５】
図４５は、二回目のＳｉエッチング工程を説明する図である。図４２と同様に、Ｓｉの等方性エッチングを行う。すると、保護膜１９が形成されていない底面２１のＳｉが等方エッチングされる。この後、図４３〜図４５の工程を所定回数行う。ここで、本実施形態では、谷部１１５の厚みＴ１が軸方向中心部に向かうほど幅Ｔ１が大きくなるように、エッチング時間を調整しながら谷部１１５を形成する。
【００７６】
図４６は、Ｓｉエッチング、保護膜形成、底面の保護膜除去をＢＯＸ層（ＳｉＯ２面）１０ｃの表面に到達するまで繰り返し行った図である。図４２のＳｉエッチング工程、図４３の保護膜形成工程、図４４の保護膜除去工程を、基板１０のＢＯＸ層１０ｃに達するまで繰り返し行う（本実施形態では、９回繰り返している）。すると、活性層１０ｂの側面１７には谷部１１５が複数（９個）形成される。
【００７７】
図４７は、保護膜１９を全て除去した図である。保護膜１９は、酸素プラズマアッシングによって除去する。活性層１０ｂの側面１７に形成された保護膜１９を除去する。
【００７８】
このようにして厚みＴ１の異なる谷部１１５を複数形成した後は、第一実施形態の図２１〜図３０に示す方法と同一の方法により、図４８に示す電鋳物１３３（三番歯車２２６ｇ）を取り出す。
【００７９】
このようにして製造された三番歯車２２６ｇは、歯車の歯先１２６ｓに軸方向に沿って曲面形状の山部２２６ｍを複数有している。また、本実施形態の山部２２６ｍは、山部２２６ｍの幅Ｔ１が軸方向中央部に向かうほど大きくなっている。つまり、軸方向中央部が凸状になるように大きさの異なる山部２２６ｍを複数形成した。
【００８０】
このように構成することで、第一実施形態と略同一の作用効果を得ることができるとともに、三番歯車２２６ｇと四番車１２８のかな部１２８ｃとが傾いて接触しても確実に接触させることができ、潤滑油を確実に供給することができる。また、三番歯車２２６ｇと四番車１２８のかな部１２８ｃとが傾いて接触してもいずれかの角が当たって削れるのを防止することができる。
【００８１】
なお、図４９、図５０に示すように、山部２２６ｍの幅Ｔ１が軸方向中央部に向かうほど小さくなるように形成してもよい。つまり、軸方向中央部が凹状になるように大きさの異なる山部２２６ｍを複数形成してもよい。このように構成することで、潤滑油の保持量をより多く確保することができる。
【００８２】
また、上述した第二実施形態では、山部２２６ｍの頂部の位置が漸次変化して、頂部を結ぶと略円弧状になるように山部２２６ｍが形成されているが、図５１、図５２に示すように、軸方向中央部の山部３２６ｍのみを他の山部から突出するように形成したり、図５３、図５４に示すように、軸方向両側部の山部３２６ｍのみを他の山部から突出するように形成したりしてもよい。このように構成することで、三番歯車３２６ｇと四番車１２８のかな部１２８ｃとの接触面積を最小限にすることができるため、摺動時の摩擦によるエネルギー損失を低減することができる。
【００８３】
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な形状や構成等は一例にすぎず、適宜変更が可能である。
【００８４】
例えば、図５５に示すように、歯車の歯先４２６ｓに形成する山部４２６ｍを螺旋状に形成したり、図５６〜図５８に示すように、歯車の歯先５２６ｓの周面に斜めに延びるような山部５２６ｍを形成したりしてもよい。また、図５９に示すように、山部６２６ｍを軸方向に沿って略同一の幅で複数形成し、かつ、山部６２６ｍの頂部を結ぶと略円弧状になるように形成してもよい。
【００８５】
また、図６０〜図６３に示すように、隣り合う山部７２６ｍ，７２６ｍの間に径方向に奥行を持った油保持部７２６ｑを形成してもよい。このように油保持部７２６ｑを形成することで、より多くの潤滑油を保持することができ、メンテナンス頻度を少なくすることができる。
【００８６】
また、図６４に示すように、歯車の歯先８２６ｓの形状を突起８２６ｐが周方向に略等間隔に複数形成されたような形状にし、軸方向に山部８２６ｍを複数形成するような構成にしてもよい。このように構成すると、歯車８２６ｇと四番車１２８のかな部１２８ｃとが点接触するようになり、潤滑性能をさらに向上することができる。
【００８７】
また、本実施形態では、歯車の歯先や外周面のみに山部を形成した場合の説明をしたが、歯車部に形成されたかな部が挿通（嵌合）される貫通孔の内周面にも同様の山部を形成してもよい。歯車部の貫通孔の内周面に山部を形成することにより、かな部を嵌合する際に応力を緩和することができる。
【００８８】
また、本実施形態では、歯車の摺動面に周方向に沿うように山部を形成した場合の説明をしたが、上記実施形態で説明した手法を用いれば、軸方向に延びる山部を製造することができるのは勿論のことである。
【００８９】
さらに、例えば、上記実施形態で電鋳物３３（１３３）が形成された後に、図６５に示すように、コーティング膜９９でめっきをしてもよい。コーティング膜９９の材料としては、Ｎｉ，Ｃｒ，Ｒｈ，Ａｕなどの金属や、Ｎｉ−Ｗ，Ｎｉ−Ｃｏなどの合金、あるいはＮｉ−Ａｌ２Ｏ３，Ｎｉ−ＰＴＦＥなどの複合物を採用することができる。コーティング膜９９の厚みは、１００ｎｍ〜１００μｍ程度とする。特に、摺動性能を向上させたい場合は、Ｃｒ，Ｎｉ−Ｗ，Ｎｉ−ＳｉＣなどの耐摩耗性めっきや、Ａｕ，Ｎｉ−ＰＴＦＥなどの潤滑性めっきを行うとよい。また、めっきは無電解・電解のどちらでもよく、イオンプレーティングやスパッタなどの手法で金属膜やセラミックス膜などを形成してもよい。このように電鋳物３３にコーティング膜９９をめっきすることにより、電鋳物３３（歯車）の耐食性、耐摩耗性、装飾性などの機能を向上させることができる。
【００９０】
そして、本実施形態では、三番歯車の場合について説明したが、図６６に示すように、がんぎ車１３０の歯車部１３０ｄの周面に山部１３０ｍを形成してもよい。なお、上記実施形態のように山部１３０ｍを歯車部１３０ｄの先端部のみに形成してもよい。また、山部の形状は上記した実施形態のいずれかの形状にすればよい。
【符号の説明】
【００９１】
１０…基板  １１…フォトレジスト（第一マスク材）  １４…凹部  １７…側面    １９…保護膜  ２１…底面  ２３…電極  ２５…フォトレジスト（第二マスク材）  ３３…電鋳物  ５０…基板  ５０ｃ…金属層  ５５…基板  ５５ｃ…金属層  １１６…角穴車  １２０ｄ…香箱歯車  １２４…二番車（番車）  １２６…三番車（歯車、番車）  １２６ｆ…三番かな（軸部）  １２６ｇ…三番歯車（機械部品）  １２６ｍ…山部  １２６ｐ…外周面  １２６ｓ…歯先（摺動面、歯先部）  １２８…四番車（番車）  １２８ｃ…かな部（別部品）  １３０…がんぎ車  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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