(57)【要約】【課題】異常な振動音を発生させることなく、振動体の振動を効率良く移動体に伝達することができる振動波モータを提供する。【解決手段】振動波モータは、振動体１１に振動波を生じさせ、この振動体１１に加圧接触する移動体３１を摩擦力により相対移動させる。移動体３１は、振動体１１が接触する部分３１ａの剛性が、該振動体１１が接触しない部分の剛性より低く、かつ振動体１１が接触する部分３１ａが、振動体１１の加圧方向に弾性変形可能とされている。【選択図】図１
2010063230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体に振動波を生じさせ、この振動体に加圧接触する移動体を摩擦力により相対移動させる振動波モータであって、
前記移動体は、前記振動体が接触する部分の剛性が、該振動体が接触しない部分の剛性より低く、かつ前記振動体が接触する部分が、該振動体の加圧方向に弾性変形が可能である、
ことを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
前記移動体の前記振動体が接触する部分の周囲に、周方向に沿って複数の切欠きを形成した、
ことを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記移動体の前記振動体が接触する部分において、前記振動体が前記移動体を駆動させる駆動方向の剛性に対して前記駆動方向と直交する方向の剛性を低くした、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記移動体の前記振動体が接触する部分が、該振動体が接触しない部分に対して前記振動体の側に突出する凸形状を有する、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動波モータ。
【請求項５】
互いに駆動方向が異なる複数の前記振動体が、前記移動体に対して個別に加圧接触するように配置される、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記移動体において、前記複数の振動体が個別に接触する部分のうち、少なくとも１つの前記振動体が接触する部分が、他の前記振動体が接触する部分に対して加圧方向の剛性が異なる、
ことを特徴とする請求項第５に記載の振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体に振動波を生じさせ、この振動体に接触する移動体を摩擦力により相対移動させる振動波モータに関し、例えば、複数のリニア型振動波モータを用いる多自由度駆動機構に好適な振動波モータの構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、直動型の圧電振動体に振動波を発生させ、この振動体に接触する移動体を摩擦力により相対移動させる振動波モータが提案されている（特許文献１）。
【０００３】
図１３は、上記従来の振動波モータの一例を示す図である。
【０００４】
この振動波モータは、突起部１９を有する弾性体１８と圧電素子部１７とを接着剤等を介して一体化した振動体１１を備える。そして、圧電素子部１７に電圧を印加することにより、振動体１１に所定の振動モードが発生し、振動体１１の突起部１９に加圧接触する移動体２０が図の矢印方向に直線移動する。
【０００５】
図１４は、駆動方向が異なるように配置された３つの振動体６ａ〜６ｃを有する駆動装置を示す図である。
【０００６】
この駆動装置は、３つの振動体６ａ〜６ｃに駆動力を与えることで、ベクトル８ａ，８ｂ，８ｃを合成した方向に移動体１１を２次元平面上で移動させるようにしている（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００４−３２０８４６号公報
【特許文献２】特公平０７−０３４６６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記特許文献１では、移動体２０が棒形状であるため、突起部１９との接触部分に加圧方向の振動を受けたとき、移動体２０がその加振力の不要な振動を吸収して突起部１９との接触が不安定となる。
【０００８】
このため、振動体１１の振動が移動体２０に効率良く伝達されないという問題がある。また、移動体２０と突起部１９との接触が不安定になることから、該接触部分に異常な振動音が発生する問題もある。
【０００９】
一方、上記特許文献２では、移動体１に対して複数の振動体６ａ〜６ｃから加振力が加えられるため、それぞれの振動が干渉して異常な振動音が発生する問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、異常な振動音を発生させることなく、振動体の振動を効率良く移動体に伝達することができる振動波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の振動波モータは、振動体に振動波を生じさせ、この振動体に加圧接触する移動体を摩擦力により相対移動させる振動波モータであって、前記移動体は、前記振動体が接触する部分の剛性が、該振動体が接触しない部分の剛性より低く、かつ前記振動体が接触する部分が、該振動体の加圧方向に弾性変形が可能である、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、異常な振動音を発生させることなく、振動体の振動を効率良く移動体に伝達して、移動体の安定した駆動を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００１４】
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態である振動波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動体を示す図、（ｂ）は移動体を示す図、（ｃ）は振動体と移動体とを加圧接触させた状態を示す図である。
【００１５】
本実施形態の振動波モータは、図１に示すように、突起部１９を有する弾性体１８と圧電素子部１７とを接着剤等を介して一体化した振動体１１を備える。振動体１１は、ベース板９に支持部９ａ，９ｂを介して支持されている。
【００１６】
移動体３１は、図１（ｂ）に示すように、円形状をなしており、その中央部には、振動体１１の突起部１９が加圧接触する円状の接触部３１ａが設けられている。接触部３１ａの周囲には、円弧状の複数（図では４箇所）の切欠き３１ｂが円周方向に等間隔で形成されている。
【００１７】
これにより、移動体３１において、接触部３１ａの加圧方向の剛性が、切欠き３１ｂの外周側の剛性より低くなり、かつ接触部３１ａが振動体１１の加圧方向に対して弾性変形可能とされている。
【００１８】
次に、図２及び図３を参照して、振動波モータの駆動原理について説明する。
【００１９】
図２は、弾性体１８の裏面に貼り付けられた圧電素子部１７の電極パターンを示す図であり、この電極パターンには、長手方向（Ｘ方向）で２等分された電極領域が形成されている。また、各電極領域における分極方向は、同一方向（「＋」）となっている。
【００２０】
圧電素子部１７の２つの電極領域のうち、図２の右側に位置する電極領域には交流電圧（Ｖ１）が印加され、左側に位置する電極領域には交流電圧（Ｖ２）が印加される。
【００２１】
図２において、Ｖ１およびＶ２を振動体１１の共振周波数近傍の周波数で、かつ位相が１８０°ずれた交流電圧とすると、ある瞬間には、圧電素子部１７の右側の電極領域が縮むとともに、左側の電極領域が伸びる。また、別の瞬間には逆の関係となる。この結果、振動体１１には、図３（ａ）に示すＡモードの振動が発生することになる。
【００２２】
また、Ｖ１およびＶ２を振動体１１の共振周波数近傍の周波数で、かつ同位相の交流電圧とすると、圧電素子部１７の全体（２つの電極領域）がある瞬間には伸び、また別の瞬間には縮むことになる。この結果、振動体１１には、図３（ｂ）に示すＢモードの振動が発生することになる。
【００２３】
このようなそれぞれの振動をある時間的位相関係で合成することにより、突起部１９の先端にはＸ方向とＺ方向を径とする楕円状の運動が発生する。
【００２４】
そして、この楕円運動を移動体３１が振動体１１の摩擦力として受けることで、図３（ａ）の矢印方向に駆動される。また、ＡモードとＢモードの発生比を圧電素子部１７の２等分された電極領域へ入力する電圧の位相差を変えることにより変化させることが可能であり、前記楕円運動の縦横比もこの発生比によって変化する。
【００２５】
本実施形態の振動体１１では、前記発生比を変えることにより突起部１９と移動体３１との接触部の駆動力を変えられるため移動体３１の速度をコントロールすることが可能となる。
【００２６】
図４は、振動波モータを駆動するドライバ部の回路構成を示す図である。
【００２７】
図４の回路構成において、スイッチング回路はスイッチング素子にＦＥＴ５１〜５８を用いている。
【００２８】
ここで、図４に示すように、Ａ相パルスがＨｉになるとＦＥＴ５１，５４がオンとなりＡ相から／Ａ相に向かって電流が流れる。逆に、／Ａ相パルスがＨｉになるとＦＥＴ５３，５２がオンとなり、／Ａ相からＡ相に向かって電流が流れる。
【００２９】
Ｂ相に対しても同様に、与えられたパルス信号に応じてＦＥＴ５５〜５８がオンして振動体１１に電圧を印加する構成となっている。なお、Ａ相と／Ａ相およびＢ相と／Ｂ相は、それぞれ１８０°位相がずれており、パルス幅は等しいパルス信号となっている。
【００３０】
インピーダンス素子４１，４２は、振動波モータとのインピーダンスを整合させる素子であり、本実施形態では、インダクタンス素子を用いている。なお、不図示ではあるが、インピーダンスを整合させるために容量素子を、振動体１１と並列に設ける場合もある。このようにインピーダンス素子４１，４２を配置することで、低電圧でかつ高効率で振動波モータを駆動することができる。
【００３１】
図５は、突起部１９における振動体１１の変位と、突起部１９との接触部３１ａにおける移動体３１のＺ方向の変位との理想的な関係を示すグラフ図である。
【００３２】
図５において、横軸は時間であり、振動体１１は、固有振動によりＺ方向にサインカーブ状に変位する。移動体３１側では、振動体１１の振動が効率良く伝達されるためには、図５に示すサインカーブ状の加振力に対して振動の山の領域で突起部１９との接触状態を維持し、谷の領域では突起部１９と非接触状態であるのが望ましい。
【００３３】
ここで、図１３に示す従来の移動体２０では、図５に示すサインカーブ状の加振力に対して振動の山の領域で突起部１９との接触状態を維持できず、駆動力が伝達される前に非接触になってしまう場合がある。
【００３４】
また、図１３に示す従来の移動体２０では、図５に示す理想的な振動伝達ができないため、移動体２０に不要な振動が発生し、この振動が振動体１１側に伝達されて異常な振動音を発生させてしまう。
【００３５】
これに対し、本実施形態では、振動体１１の突起部１９が加圧接触する移動体３１の接触部３１ａがＺ方向に弾性変形可能とされている。このため、図１（ｃ）に示すように、接触部３１ａが振動体１１の突起部１９と接触してないときは点線のように移動体３１は変形しない状態となる。
【００３６】
また、接触部３１ａが振動体１１の突起部１９と接触しているときには突起部１９の振動に追従して接触部３１ａがＺ方向（加圧方向）に弾性変形し、図５に示す理想的な接触状態が得られる。
【００３７】
これにより、振動体１１の駆動力が移動体３１に効率良く伝達され、また、移動体３１と突起部１９との接触が安定するため、該接触部分に異常な振動音が発生するのを回避することができ、移動体３１の安定した駆動を確保することができる。
【００３８】
また、移動体３１の中央部の接触部３１ａのみがバネ構造を持って変形するため、移動体３１の外周側を保持する保持部などの駆動伝達部には振動の影響が発生しないという効果も得られる。
【００３９】
なお、移動体３１や接触部３１ａの形状は特に限定されず、例えば、図６（ｂ）に示すように、移動体３１に対して切欠き３１ｂの位相を略４５°ずらして配置した移動体３２であってもよい。
【００４０】
（第２の実施形態）
次に、図７を参照して、本発明の第２の実施形態である振動波モータについて説明する。
【００４１】
図７において、（ａ）は移動体を示す図、（ｂ）は振動体の突起部が移動体の接触部に加圧接触している状態を示す図で（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は振動体の突起部が移動体の接触部に加圧接触している状態を示す図で、（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。なお、上記第１の実施形態に対して重複或いは相当する部分については、図に同一符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
本実施形態の振動波モータは、移動体３３の接触部３１ａの周囲に等間隔で形成した４ヶ所の円弧状の切欠き３１ｂについて、それぞれのＡ−Ａ線側の端部に一カ所の不連続部３３ａが設けられている。これにより、移動体３３の接触部３１ａのＡ−Ａ線方向（振動体１１の駆動方向（矢印））の剛性が、Ａ−Ａ線方向に直交するＢ−Ｂ線方向の剛性より高くなっている。
【００４３】
図７（ｂ）に示すように、振動体１１の駆動方向の力を受けても移動体１１は駆動方向にはほとんど変形しない。一方、図７（ｃ）に示すように、移動体３３の接触部３１ａにおける振動体１１の駆動方向（Ａ−Ａ線方向）と直交するＢ−Ｂ線方向には、外力などにより移動体３３を変形させる力が発生する。
【００４４】
従って、移動体３３の振動体１１との接触面には上記外力による摩擦力が伝わらないようにする必要があり、特に周波数の高い振動を減衰させる必要がある。このため、接触部３１ａにおける振動体１１の駆動方向と直交するＢ−Ｂ線方向は、該駆動方向の剛性より低い剛性のバネ性を有する構造になっている。
【００４５】
このように、本実施形態では、移動体３３の接触部３１ａにおける振動体１１の駆動方向（Ａ−Ａ線方向）の剛性を該駆動方向と直交するＢ−Ｂ線方向の剛性より高くしている。これにより、移動体３３の変形を防止しつつ駆動方向に振動体１１の駆動力を効率良く伝達することができる。その他の構成及び作用効果は、上記第１の実施形態と同様である。
【００４６】
なお、移動体３３や接触部３１ａの形状は特に限定されない。例えば、図７（ｄ）に示すように、接触部３１ａの周囲において、Ｂ−Ｂ線方向に対向する部位に一対の円弧状の切欠き３４ａを形成し、Ａ−Ａ線方向に対向する部位にそれぞれ複数の短円弧状の切欠き３４ｂを形成した移動体３４であってもよい。
【００４７】
（第３の実施形態）
次に、図８及び図９を参照して、本発明の第３の実施形態である振動波モータについて説明する。
【００４８】
本実施形態の振動波モータは、図８（ａ）に示すように、ベース板９に３つの振動体１１ａ〜１１ｃが不図示の支持部を介して支持されている。
【００４９】
３つの振動体１１ａ〜１１ｃは、移動体３５に対して個別に加圧接触して互いに異なる駆動方向Ｍ１〜Ｍ３に駆動力を持ち、その合成力によって移動体３５を駆動する。なお、振動体１１ａ〜１１ｃの構成は、上記第１の実施形態で説明した振動体１１と同一であるのでその説明を省略する。
【００５０】
移動体３５は、円形状をなしており、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示すように、振動体１１ａ〜１１ｃの各突起部１９がそれぞれ加圧接触する３箇所の円状の接触部３１ａが設けられている。接触部３１ａの周囲には、上記第２の実施形態（図７（ａ）参照）と同様の切欠き３１ｂが形成されている。
【００５１】
これにより、移動体３５において、接触部３１ａの剛性が、切欠き３１ｂの外周側の剛性より低くなり、かつ接触部３１ａが振動体１１ａ〜１１ｃの加圧方向に対して弾性変形可能とされている。
【００５２】
図８（ａ）に示すように、ベース板９のＸ方向に沿う一辺部には、移動体３５のＸ方向の位置を検出する位置センサ２１が配置され、ベース板９のＹ方向に沿う両辺部には、移動体３５のＹ方向の位置を検出する位置センサ２２，２３が配置されている。
【００５３】
また、図８（ｂ）に示すように、移動体３５には、位置センサ２１，２２，２３に対応する位置にそれぞれマーク（スリット）を有するスケール部２１′、２２′、２３′が配置されている。このスケール部２１′、２２′、２３′を介して得られる信号により位置センサ２１，２２，２３が位置情報を得る。
【００５４】
図９は、３つの振動体１１ａ〜１１ｃの駆動を制御する制御回路を示すブロック図である。
【００５５】
図９において、演算処理部４０はマイクロコンピュータなどからなり、位置センサ２１，２２，２３及び発振器６１が接続される。位相シフタ６２，６３，６４は、振動体１１ａ，１１ｂ，１１ｃに対応して設けられ、発振器６１に対しそれぞれ位相が異なる信号を出力する。スイッチング回路部６５，６６，６７は、図４の回路構成と同様であり、それぞれ振動体１１ａ，１１ｂ，１１ｃに接続される。
【００５６】
そして、スケール部２１′がＸ方向に移動することで、その移動量に応じた位置信号が位置センサ２１から出力され、スケール部２２′，２３′がＹ方向に移動することで、その移動量に応じた位置信号が位置センサ２２，２３から出力される。
【００５７】
演算処理部４０は、位置センサ２１〜２３から出力された位置信号を演算することで、移動体３５の移動位置を検出し、検出した移動位置が目標位置に達するように発振器６１の発振周波数を決定する。そして、位相シフタ６２〜６４を介してスイッチング回路部６５〜６７に図４と同様にしてＡ相パルス、／Ａ相パルス、Ｂ相パルス、／Ｂ相パルスが入力される。
【００５８】
また、スイッチング回路部６５から振動体１１ａには、Ｍ１＿Ａ相、Ｍ１＿／Ａ相、Ｍ１＿Ｂ相、Ｍ１＿／Ｂ相が出力され、スイッチング回路部６６から振動体１１ｂには、Ｍ２＿Ａ相、Ｍ２＿／Ａ相、Ｍ２＿Ｂ相、Ｍ２＿／Ｂ相が出力される。スイッチング回路部６７から振動体１１ｃには、Ｍ３＿Ａ相、Ｍ３＿／Ａ相、Ｍ３＿Ｂ相、Ｍ３＿／Ｂ相が出力される。
【００５９】
ここで、移動体３５の移動速度を変化させるパラメータとしては、それぞれの振動体１１ａ〜１１ｃに加える駆動周波数、駆動電圧、Ａ相Ｂ相パルスの位相差、Ａ相Ｂ相パルスのパルス幅などが選択できる。
【００６０】
このように、本実施形態では、３つの振動体１１ａ〜１１ｃの各突起部１９が移動体３５に設けられた３箇所の接触部３１ａにそれぞれ加圧接触し、それぞれの接触部３１ａが加圧方向に弾性変形可能とされている。
【００６１】
これにより、移動体３５が３つの振動体１１〜１１ｃの振動に追従して加圧方向に変形して、振動体１１ａ〜１１ｃの駆動力が移動体３５に効率良く伝達される。
【００６２】
また、移動体３５と突起部１９との接触が安定し、しかも３つの振動体１１〜１１ｃの振動が干渉することもないため、異常な振動音が発生するのを回避することができる。
【００６３】
更に、本実施形態においても、上記第２の実施形態と同様に、移動体３５の各接触部３１ａにおいて、振動体１１ａ〜１１ｃの駆動方向（Ｍ１〜Ｍ３）の剛性を該駆動方向と直交する方向の剛性より高くするための切欠き３１ｂを形成している。
【００６４】
これにより、移動体３５の駆動方向に振動体１１ａ〜１１ｃの駆動力を移動体３５に効率良く伝達することができる。
【００６５】
（第４の実施形態）
次に、図１０を参照して、本発明の第４の実施形態である振動波モータについて説明する。なお、上記第３の実施形態に対して重複又は相当する部分については図に同一符号を付してその説明を省略する。
【００６６】
本実施形態の振動波モータは、図１０に示すように、移動体３６の３つの接触部３１ａが振動体１１ａ〜１１ｃ側に向けて突出する凸形状となっている。この凸形状は、例えばプレス加工等により容易に形成することができる。
【００６７】
通常、振動波モータにおいて、振動体１１ａ〜１１ｃの突起部１９が加圧接触する移動体３６の接触部３１ａは、面荒れしていると摩耗粉などが発生しやすく、また、摩耗粉により摩耗が促進され、性能劣化の原因になる。
【００６８】
そのため、接触部３１ａの表面粗さを小さくする必要があるが、接触部３１ａが他の面と同一面にあると、移動体３６の全面を研磨加工する必要があり、精度を出すのも困難でかつ製作に時間を要する。
【００６９】
本実施形態では、３つの接触部３１ａのみが振動体１１ａ〜１１ｃ側に向けて突出する凸形状になっているため、容易に接触部３１ａを研磨加工して表面粗さを小さくすることが可能となる。
【００７０】
また、凸形状が３ヶ所あるので、接触部３１ａの平面形状の精度が出しやすく、更には、凸形状の高さを調整することで、加圧方向のバネ剛性を変えることができる。
【００７１】
なお、本実施形態では、複数（例えば３つ）の接触部３１ａを例示したが、接触部３１ａが１つの場合にも適用できるのは勿論である。その他の構成及び作用効果は、上記第１または２の実施形態と同様である。
【００７２】
（第５の実施形態）
次に、図１１及び図１２を参照して、本発明の第４の実施形態である振動波モータについて説明する。なお、上記第３の実施形態に対して重複又は相当する部分については図に同一符号を付してその説明を省略する。
【００７３】
本実施形態の振動波モータは、図１１（ａ）に示すように、３つの振動体１１ａ〜１１ｃのうち、２つの振動体１１ｂ，１１ｃが振動体１１ａに比べて高出力が出せるように大型化されている。
【００７４】
振動波モータにおいて、移動体３７が例えばカメラの撮像素子に取り付けられている場合がある。このような場合、振動波モータは、縦置きとされ、図１１に示すように、矢印方向に重力が作用する。そこで、２つの振動体１１ｂ，１１ｃを振動体１１ａに比べて高出力が出せるように大型化して、重力に対して十分な力を持たせている。
【００７５】
また、図１１（ｂ）に示すように、移動体３７において、振動体１１ｂ，１１ｃに対応する接触部３１ａ'，３１ａ'の面積は、振動体１１ａに対応する接触部３１ａの面積より大きく形成されている。
【００７６】
これにより、振動体１１ｂ，１１ｃに対応する接触部３１ａ'，３１ａ'の剛性を振動体１１ａに対応する接触部３１ａの剛性より低くしている。この結果、振動体１１ｂ，１１ｃに対応する接触部３１ａ'，３１ａ'は、振動体１１ａに対応する接触部３１ａに比べて加圧方向に弾性変形しやすくなっている。
【００７７】
図１２は、振動体の振幅小の場合と振幅大の場合において、振動体と移動体との接触状態を示すグラフ図である。
【００７８】
図１２において、横軸が時間、縦軸が変位であり、振動体が高出力になると振動変位が増え、移動体との接触領域が小さくなってしまい、振動体の振動を効率良く駆動力に使うことができず、駆動効率が落ちてしまう。
【００７９】
そこで、振動体１１ｂ，１１ｃに対応する接触部３１ａ'，３１ａ'を、振動体１１ａに対応する接触部３１ａに比べて加圧方向に弾性変形しやすくして、振動体１１ｂ，１１ｃの各突起部１９と接触部３１ａ'，３１ａ'との最適は接触状態を確保している。
【００８０】
なお、本実施形態では、接触部３１ａの面積さを変えてバネ剛性を変えたが、接触部３１ａの形状を変えることなどによってもバネ剛性を変えることは可能である。その他の構成及び作用効果は、上記第３の実施形態と同様である。
【００８１】
なお、本発明は上記各実施形態に例示したものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の第１の実施形態である振動波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動体の平面図、（ｂ）は移動体の平面図、（ｃ）は移動体に振動体が加圧接触している状態を示す断面図である。
【図２】振動体の圧電素子部の電極パターンを示す図である。
【図３】振動体の振動モードを説明するための説明図であり、（ａ）はＡモードを示す図、（ｂ）はＢモードを示す図である。
【図４】振動波モータを駆動するドライバ部の回路構成を示す図である。
【図５】移動体の突起部との接触部における振動体の変位と、移動体のＺ方向の変位との理想的な関係を示すグラフ図である。
【図６】本発明の第１の実施形態である振動波モータの変形例を説明するための図であり、（ａ）は振動体の平面図、（ｂ）は移動体の平面図、（ｃ）は移動体に振動体が加圧接触している状態を示す断面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態である振動波モータを説明するための図であり、（ａ）は移動体の平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、（ｄ）は移動体の他の例を示す平面図である。
【図８】本発明の第３の実施形態である振動波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動体の平面図、（ｂ）は移動体の平面図、（ｃ）は移動体に振動体が加圧接触している状態を示す断面図である。
【図９】３つの振動体の駆動を制御する制御回路を示すブロック図である。
【図１０】本発明の第４の実施形態である振動波モータを説明するための図であり、（ａ）は移動体の平面図、（ｂ）は移動体に振動体が加圧接触している状態を示す断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態である振動波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動体の平面図、（ｂ）は移動体の平面図である。
【図１２】振動体の振幅小の場合と振幅大の場合において、振動体と移動体との接触状態を示すグラフ図である。
【図１３】従来例の振動波モータを説明するための斜視図である。
【図１４】従来の多自由度の駆動装置を説明するための一部を破断した斜視図である。
【符号の説明】
【００８３】
１１  振動体
１７  圧電素子部
１８  弾性体
１９  突起部
２１  Ｘ位置センサ
２２，２３  Ｙ位置センサ
２１′，２２′，２３′  スケール部
３１ａ  接触部
３１ｂ  切欠き
３１〜３７  移動体
４０  演算処理部
４１，４２  インピーダンス素子
５１〜５８  ＦＥＴ
６１  発振器
６２〜６４  位相シフタ
６５〜６７  スイッチング回路部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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