(57)【要約】【課題】  周波数の調節精度を向上させる高周波数の圧電振動子に適する圧電振動板と、高周波数の圧電振動子と、それらの製造方法を提供する。【解決手段】  本発明に係る圧電振動板（２０）は、励振部（２１）と、励振部の厚みより厚くて、励振部と一体に形成された補強部（２２）と、励振部の表裏面に形成された励振電極（２３、２６）と、励振電極から補強部の表裏面に渡って形成された引出電極（２４、２７）とを含むものであって、補強部の少なくとも一面で形成されて、引出電極の間で誘電体を挟んでなる負荷容量部（２９）を更に備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
励振部と、
前記励振部の厚みより厚くて、前記励振部と一体に形成された補強部と、
前記励振部の表裏面に形成された励振電極と、
前記励振電極から前記補強部の表裏面に渡って形成された引出電極と、を含む圧電振動板であって、
前記補強部の何れか一面で形成されて、前記引出電極の間で誘電体を挟んでなる負荷容量部を備えることを特徴とする圧電振動板。
【請求項２】
前記誘電体は、アルミナ又は空気であることを特徴とする請求項１記載の圧電振動板。
【請求項３】
前記負荷容量部は、前記引出電極の間で形成されたギャップである、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動板。
【請求項４】
前記誘電体はアルミナであって、
前記負荷容量部は、対向する前記引出電極の一部と、その間に挟まれた前記アルミナからなる誘電体層との積層体である、ことを特徴とする請求項１記載の圧電振動板。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の圧電振動板と、
前記圧電振動板を覆う蓋部と、
前記圧電振動板を支えるベースと、を備えることを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
水晶ウエハをエッチングして、励振部とこれより厚い補強部とを形成する外形形成工程と、
前記励振部の表裏面で励振電極を形成する励振電極形成工程と、
前記励振電極から前記補強部の表裏面で渡って引出電極を形成する引出電極形成工程と、
前記補強部の何れか一面で、前記引出電極の間で誘電体を挟んでなる負荷容量部を形成する負荷容量部形成工程と、
を備えることを特徴とする圧電振動板の製造方法。
【請求項７】
前記誘電体は、アルミナ、窒化シリコン又は空気である、ことを特徴とする請求項６記載の圧電振動板の製造方法。
【請求項８】
前記負荷容量部形成工程は、前記補強部の何れか一面で、前記引出電極をエッチングしてギャップを形成することにより前記負荷容量部を形成する、ことを特徴とする請求項６又は７記載の圧電振動板の製造方法。
【請求項９】
前記負荷容量部形成工程は、前記補強部の何れか一面で、前記引出電極の間で、アルミナからなる誘電体層を形成することにより前記負荷容量部を形成する、ことを特徴とする請求項６記載の圧電振動板の製造方法。
【請求項１０】
励振電極及び負荷容量部を有する請求項１ないし４の何れか一項に記載の圧電振動板をベースに搭載する工程と、
前記励振電極を構成する金属を増減することで周波数を調節する周波数の粗調節工程と、
前記負荷容量部をエッチングすることで周波数を調節する周波数の第一微調節工程と、
光透過性を有する蓋体を前記ベースに密着封止する工程と、
前記蓋体を介して前記負荷容量部に対してレーザを照射することにより周波数を調節する周波数の第二微調節工程と、を備える圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波数の圧電振動子に適する圧電振動板と、当該圧電振動板を有する圧電振動子と、当該圧電振動板及び圧電振動子の製造方法とに関する。特に、６００ＭＨｚのような高周波数の圧電振動子の周波数を精度高く調整することができる圧電振動板、圧電振動子及びそれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動子において、圧電振動子の外部に負荷容量素子を直列接続して、負荷容量によって圧電振動子の共振周波数を微調整することが通常である。共振周波数を調整する際に、指定された容量値に合った負荷容量素子を直列接続することが重要である。しかし、指定された値に正確に合った値を有する負荷容量素子は入手が困難である。
【０００３】
従って、特許文献１は、圧電振動板の一部により負荷容量を構成して、その負荷容量を構成する電極をトリミングすることで、指定された容量値に正確に合わせることが可能である圧電振動子を提供した。
【０００４】
図９は、特許文献１に係る圧電振動子１００の断面図である。図９に示したように、圧電振動子１００は、圧電振動板１１を容器１２に搭載した後、光透過性を有する蓋体１３を被せ、気密封止することによりなる。
【０００５】
圧電振動板１１は、圧電振動領域部１と、これより厚い補強部２とを含む。なお、圧電振動領域部１より厚い補強部２で凹部を形成することにより、引出電極３が補強部２の表裏に分断される。なお、凹部に対応する表裏面に容量用電極９が形成されている。これにより、表裏面の容量用電極9と誘電体になる補強部２の水晶とが負荷容量を形成する。
【０００６】
圧電振動板１１が容器１２に封止されて圧電振動子１００になった後、圧電振動子の周波数を調整するために、蓋体１１を介して、容量用電極９にレーザＬＡを照射することにより、容量用電極９の電極面積が変わる。これにより、負荷容量を変化することができる。
【特許文献１】特開２００６―７４２７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に係る圧電振動子は、基本波振動が約３５０ＭＨｚ以下で、圧電振動部１の厚みが５μｍである。圧電振動子１００の周波数は圧電振動部１の厚みに反比例するため、６００ＭＨｚのように高周波数の圧電振動子に適応する場合、圧電振動部１の厚みを薄くする必要がある。通常６００ＭＨｚ圧電振動子の振動部の厚みは２μｍで非常に薄く。高周波数を維持するために、この圧電振動部１の厚みを半分以上薄くすると、圧電振動子の物理特性に悪い影響を及ぼす。
【０００８】
図１０は、圧電振動板を用いて形成される圧電振動子の等価回路を示している。図１０において、Ｌ１は振動子の固有のインダクタンス、Ｒ１は固有の抵抗、Ｃ１は固有の容量、Ｃ０は誘電体としての圧電材料を電極で挟んだコンデンサとしての容量である。このような等価回路においては、圧電振動子１００の周波数ｆは、次の数式１を用いる。
ｆ＝１／２π・１／（Ｌ１・Ｃ１）−１／２…数式１
ここで、小型化された圧電振動片１の物理特性を維持すると同時に、高周波数に対応するためには、Ｌ１が振動板の質量に対応するので、Ｃ１を小さくしなければならない。
【０００９】
なお、負荷容量Ｃは、次の数式２を用いる。
Ｃ＝ε・ｓ／ｄ…数式２
ここで、εは電極間の誘電体の誘電率で、ｓは電極の面積で、ｄは電極間の距離である。従って、容量Ｃを小さくすることは、低い誘電率の材料を使ったり、電極の面積を減少したり、電極間の厚みを大きくすることにより達成することができる。
【００１０】
しかし、特許文献１に係る圧電振動子１００によれば、誘電体の材料は、誘電率が４．５である水晶であり、圧電振動板の一部で容量部を形成するため、異なる誘電率を有する誘電体を変更することができない。なお、水晶の誘電率が高いから、電極の面積を小さくし、又は電極間の厚みを大きくする必要があるが、圧電振動板の構造に限定されており、圧電振動子の周波数の調節精度にも限定がある。
【００１１】
本発明は、圧電振動板の構造に限定されるわけではなく、異なる誘電率を有する誘電体を簡単に変えることができ、周波数の調節精度も向上できる高周波数の圧電振動子に適する圧電振動板と、当該圧電振動板を有する高周波数の圧電振動子と、当該圧電振動板と圧電振動子の製造方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
第一観点に係る圧電振動板は、励振部と、励振部の厚みより厚くて、励振部と一体に形成された補強部と、励振部の表裏面に形成された励振電極と、励振電極から補強部の表裏面に渡って形成された引出電極とを含むものであって、補強部の何れか一面で形成されて、引出電極の間で誘電体を挟んでなる負荷容量部を更に備える。
【００１３】
第一観点によれば、必要に応じる誘電率を有する誘電体を挟んでなる負荷容量部により、高周波数の圧電振動子に適応する場合、周波数の調節精度を簡単に向上させる。なお、圧電振動板の物理特性にも悪い影響を及ばない。
【００１４】
第二観点に係る圧電振動板において、誘電体は、アルミナ又は空気である。アルミナの誘電率は９．０ぐらいで、空気の誘電率は１．０である。従って、負荷容量部の容量を自由に増加又は減少することができる。なお、本願において空気とは真空も含む概念である。
【００１５】
第三観点に係る圧電振動板において、負荷容量部は、引出電極の間又は引出電極と外部電極との間で形成されたギャップである。
第三観点によれば、ギャップの隙間を変更することで簡単に負荷容量部の電極間の厚みを変更することができる。なお、電極の間でギャップだけを形成することにより、その間に空気が挟んでなる負荷容量部を簡単に形成することができる。
【００１６】
第四観点に係る圧電振動板において、誘電体はアルミナであって、負荷容量部は、対向する引出電極の一部とその間に挟まれたアルミナからなる誘電体層との積層体である。
【００１７】
第五観点に係る圧電振動子は、第一観点ないし第四観点のいずれか一つの圧電振動板と、圧電振動板を覆う蓋部と、圧電振動板を支えるベースと、を備える。
第五観点に係る圧電振動子によれば、上記のような圧電振動板を有することにより、周波数の調節精度を向上させる。
【００１８】
第六観点に係る圧電振動板の製造方法は、水晶ウエハをエッチングして、励振部とこれより厚い補強部とを形成する外形形成工程と、励振部の表裏面で励振電極を形成する励振電極形成工程と、励振電極から補強部の表裏面で渡って引出電極を形成する引出電極形成工程と、補強部の何れか一面で、引出電極の間で誘電体を挟んでなる負荷容量部を形成する負荷容量部形成工程と、を備える。
【００１９】
第六観点によれば、簡単な負荷容量部形成工程を追加することにより、周波数の調節精度を向上させる圧電振動板を簡単に製造することができる。
【００２０】
第七観点に係る圧電振動板の製造方法において、誘電体は、アルミナ又は空気である。
第八観点に係る圧電振動板の製造方法において、負荷容量部形成工程は、補強部の何れか一面で引出電極をエッチングしてギャップを形成することにより負荷容量部を形成する。
【００２１】
第九観点に係る圧電振動板の製造方法において、負荷容量部形成工程は、補強部の何れか一面で、記引出電極の間で、アルミナからなる誘電体層を形成することにより負荷容量部を形成する。
【００２２】
第十観点に係る圧電振動子の製造方法は、励振電極及び負荷容量部を有する圧電振動板をベースに搭載する工程と、励振電極を構成する金属を増減することで周波数を調節する周波数の粗調節工程と、負荷容量部をエッチングすることで周波数を調節する周波数の第一微調節工程と、光透過性を有する蓋体を前記ベースに密着封止する工程と、蓋体を介して負荷容量部に対してレーザを照射することにより周波数を調節する周波数の第二微調節工程と、を備える。
【００２３】
第十観点によれば、周波数の粗調節工程により、負荷容量部での周波数調節量を減らすことができ、さらに第二微調節工程により圧電振動子の周波数の調節精度を向上させる。
【発明の効果】
【００２４】
以上で説明した本発明の圧電振動板、圧電振動子、及びそれらの製造方法によれば、高周波数の圧電振動子の周波数を精度高く調節することができ、圧電振動板の物理特性にも悪い影響を及ばない。なお、簡単な方法で上記のような優れる特性を有する圧電振動板と圧電振動子とを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明係る最良の形態を説明するが、これに限定されるわけではない。
【００２６】
＜第一圧電振動板２０の構成＞
図１は、第一圧電振動板２０の構造を示す斜視図である。図１に示したように、第一圧電振動板２０は、水晶ウエハをエッチングすることにより形成された矩形状の励振部２１と、当該励振部２１を囲むようにこれと一体に形成されて、これより厚い補強部２２とを有する。以下、矩形状の励振部２１が落ち込んで形成された面を圧電振動板２０の表面とし、矩形状の励振部２１が形成されていない平板構造を有する面を圧電振動板２０の裏面とする。なお、励振部２１は円形状でもよい。
【００２７】
図１に示したように、補強部２２は、矩形状の励振部２１の周りを囲む第一補強部２２１と、励振部２１の一辺に形成されて表面面積が大きい第二補強部２２２からなる。なお、励振部２１の略中央位置において、その表面に第一励振電極２３が形成され、その裏面に第二励振電極２６（点線で示している）が形成されている。
【００２８】
第一圧電振動板２０は、その表面で第一励振電極２３から補強部２２に渡って形成された第一引出電極２４を有する。その反面、第一圧電振動板２０の裏面で第二励振電極２６から補強部２２に渡って形成された第二引出電極２７を有する。
【００２９】
第一、第二励振電極２３、２６、及び第一、第二引出電極２４、２７は、ともに、１５０オングストローム〜７００オングストロームのクロム（Ｃｒ）層の上に２００オングストローム〜２０００オングストロームの金（Ａｕ）層が形成された構成である。クロム（Ｃｒ）層の代わりに、チタン（Ｔｉ）層を使用してもよく、また金（Ａｕ）層の代わりに、銀（Ａｇ）層を使用してもよい。このような二層構造の代わりに、良好な密着性、耐食性、電気伝導性、耐熱性等を得るように、銅を主成分としてアルミニウム等との合金を使用して電極を形成しても良い。
【００３０】
第一圧電振動板２０の表面に形成された第一引出電極２４の間で、第二補強部２２２に対応する位置で負荷容量部２９が形成されている。当該負荷容量部２９は、第一引出電極２４の間で形成されたギャップである。即ち、図１に示したように、第一引出電極２４は負荷容量部２９であるギャップにより二段部に切断されて、二つの対向する負荷容量用電極２９１が形成される。従って、当該二つの負荷容量用電極２９１と、それらの間で挟んだ空気により負荷容量部２９が形成される。ここで説明のために負荷容量用電極２９１としたが、実は第一引出電極２４の一部により当該負荷容量用電極２９１が形成される。
【００３１】
本実施例において、第一圧電振動板２０の表面で負荷容量部２９が形成されているが、その裏面に形成されている第二引出電極２７の間に形成されても良い。
【００３２】
＜第一圧電振動板２０の製造方法＞
図２は、第一圧電振動板２０の製造工程を示すフローチャートである。図２に示したように、第一圧電振動板２０の製造方法には下記のステップが含まれる。
【００３３】
ステップＳ２１：平板矩形状の水晶ウエハにおいて、エッチング、フォトリソグラフィ、又はブラストにより減肉加工して矩形状の励振部２１を形成することにより、薄い励振部２１と厚い補強部２２とを有する第一圧電振動板２０の外形を形成する。
ステップＳ２２：第一圧電振動板２０の表裏面で、金属膜を蒸着し、当該金属膜にレジスト膜を塗布し、電極形成用マスクを用いて露光し、現像後のレジスト膜及び金属膜を除去して、その表裏面で励振電極と引出電極とを形成する。
【００３４】
ステップＳ２３：第一圧電振動板２０の表面において、補強部２２２における第一引出電極２４に対して、Ａｒエッチングもしくはレーザ照射してギャップを形成する。当該ギャップが負荷容量部２９になる。当該ギャップの厚みは、最終希望する圧電振動子の周波数に応じて設定することができる。
【００３５】
以上で、本発明に係る第一圧電振動板２０を簡単に製造することができる。なお、ここでの製造方法において、Ａｒエッチングもしくはレーザ照射により負荷容量部２９になるギャップを形成したが、ウェットエッチングにより形成することもできる。エッチングする手段の他に、引出電極を形成する前に、予めにギャップを形成しようとする位置に保護膜を形成して、ギャップ形成位置を除いて、他の部分に引出電極を形成した後、当該保護膜を除去することにより、形成することもできる。
【００３６】
＜第一圧電振動子２００の構成＞
図３（ａ）は、発明に係る第一圧電振動板２０を有する第一圧電振動子２００の構造を示す断面図で、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ部拡大図ある。図３（ａ）に示したように、第一圧電振動子２００は、負荷容量部２９が蓋体１３を向かうように第一圧電振動板２０が、絶縁性の容器１２に搭載されている。
【００３７】
第一圧電振動板２０は、容器１２の外部パターン８０を介して外部静電容量と接続されている。なお、容器１２の上に光透過性を有する蓋体１３が被せられ、容器１２と蓋体１３とが密着させることで、容器１２内部に搭載されている第一圧電振動板２０が気密封止される。ここで蓋体１３として、光透過性を有するガラスを用いたが、希望する光通過性有し且つ蓋体としての機能を有するものであれば、他の素子で蓋体を形成しても良い。
【００３８】
ここで、負荷容量部２９の容量について詳しく説明する。負荷容量部２９の容量Ｃは数式２により計算される。
Ｃ＝ε・ｓ／ｄ…数式２
ここで、εは負荷容量用電極２９１の間で挟んだ誘電体である空気の誘電率である。実際に第一圧電振動板２０が第一圧電振動子２００に封止された後は真空状態になるので、圧電振動子として実際に利用される時、誘電体は真空になるが、真空と空気の誘電率がほぼ同じであるので、説明の上で統一するように空気と記載する。ｄは負荷容量部２９の負荷容量用電極２９１間の距離である、即ち図３（ｂ）に示したようにギャップの厚みである。ｓは負荷容量部２９の負荷容量用電極２９１の面積である。
【００３９】
負荷容量部２９の負荷容量用電極２９１の面積ｓは、電極のＸ方向における長さＬ１と高さｈ１とを掛け算して得られた値である。従って、負荷容量部２９の電極間の距離ｄと電極のＸ方向における長さＬ１とが決まっている状態で、負荷容量用電極２９１の高さｈ１を変化することにより容量を調節することができる。即ち、図３（ｂ）に示したように、負荷容量用電極２９１を点線ｘ１までＡｒエッチングもしくはレーザ照射することにより、その高さｈ１は高さｈ２まで減少され、その容量Ｃも減少される。Ａｒエッチングもしくはレーザ照射の量は、減少しようとする容量Ｃに応じて設定することができる。
【００４０】
負荷容量用電極２９１の高さを変更することだけではなく、その間のギャップを更に広くすることにより、距離ｄが大きくなり、負荷容量が小さくなることもできる。
【００４１】
＜第一圧電振動子２００の製造方法及び周波数の調節方法＞
以下、第一圧電振動子２００の製造方法とその周波数の調節方法について詳しく説明する。図４は、第一圧電振動子２００の製造工程及びその周波数の調節工程を示すフローチャートである。図４に示したように下記のステップが含まれる。
【００４２】
ステップ２１０：負荷容量部２９が蓋体１３を向かうように第一圧電振動板２０を容器１２に搭載する。その時、第一圧電振動板２０の第一外部電極が容器１２の外部パターン８０と接続される。これにより第一圧電振動板２０は、容器１２の外部パターン８０を介して外部静電容量と接続される。
ステップ２２０：第一圧電振動板２０の第一、第二励振電極２３、２６を構成する金属を増減することにより励振部２１の共振周波数を粗調節する。これにより負荷容量部での微調節の量を減らすことができる。
【００４３】
ステップ２３０：負荷容量部２９の負荷容量用電極２９１に対してＹ方向に従ってＡｒエッチングして、負荷容量用電極２９１の高さを変化することにより、希望する容量になるように負荷容量部２９の容量を微調節する。これにより、励振部２１の共振周波数を微調節することができる。なお、ここでは負荷容量用電極２９１をエッチングして、その高さを変化することにより、電極の面積が小さくなり、負荷容量部２９の容量が小さくなる。その代りに、負荷容量用電極２９１をＺ方向に従ってＡｒエッチングして、ギャップを広くすることもできる。ギャップが広くされることによって、負荷容量部２９の電極間の距離ｄが大きくなり、負荷容量部２９の容量が小さくなる。
【００４４】
ステップ２４０：光透過性の蓋体１３を容器１２の上に被せた後、蓋体１３と容器１２とを気密封止する。
ステップ２５０：蓋体１３を介して、負荷容量部２９の負荷容量用電極２９１に対してレーザＬＡを照射することにより、負荷容量用電極２９１の高さを減少し、又は電極間の距離を増加することにより、希望する容量になるように負荷容量部２９の容量を微調節する。これにより、励振部２１の共振周波数を更に微調節する。この場合、気密封止することにより生じた周波数のバラツキを補正することができる。
【００４５】
以上で、第一圧電振動板２０と第一圧電振動子２００との構成及び製造方法について説明したが、これに限定されるわけではない。以下、本発明の他の実施例である第二圧電振動板３０と第二圧電振動子３００について説明する。以下で、第一圧電振動板２０と第一圧電振動子２００と同じものは、同じ標記を付けその説明を省略し、異なる部分だけを説明する。なお、異なる部分を突出して説明するために、同じ一部分の構造を省略した。
【００４６】
＜第二圧電振動板３０＞
図５は、第二圧電振動板３０の構造を示す斜視図である。第二圧電振動板３０は、負荷容量部３９の他に、第一圧電振動板２０の構造と同じである。ここで負荷容量部３９について詳しく説明し、その他の部分についてその説明を省略する。
【００４７】
第二圧電振動板３０において、負荷容量部３９は、負荷容量部２９と同じように第一引出電極２４の間で形成されている。ギャップの間に挟んでいる誘電体として、空気の代わりにアルミナが形成されている。即ち、負荷容量部３９は、負荷容量用電極３９１の間でアルミナ層３９２を挟んでなる。アルミナの誘電率は９．０ぐらいである。このように異なる誘電率を有する誘電体を挟むことにより、希望する容量に調節することができる負荷容量部を簡単に形成することができる。
【００４８】
以下、負荷容量部３９を形成する方法を説明する。まず、第一圧電振動板２０と同じように、ステップ２１からステップ２３までの工程を実行して、ギャップを形成する。
【００４９】
ギャップを形成した後、図６（ａ）に示したように、ギャップに蒸着法によりアルミナ層３９２を形成する。これにより負荷容量用電極３９１の間でアルミナ層３９２を挟んでなる負荷容量部３９を形成することができる。
【００５０】
このような負荷容量部３９を有する第二圧電振動板３０を容器１２に搭載することにより圧電振動子を形成することができる。このような圧電振動子の周波数を調節する時、図６（ｂ）に示したように、点線ｘ１まで負荷容量用電極３９１とアルミナ層３９２とを共にＡｒエッチングして除去する。これにより、負荷容量用電極３９１の高さがｈ１からｈ２まで減少される。当該第二圧電振動板２０を封止した後、負荷容量用電極３９１とアルミナ層３９２に対してレーザＬＡを照射して、更にその高さを減少することができる。これにより、電極間の面積を更に減少して、異なる容量を形成して、周波数を微調節することができる。
【００５１】
第一圧電振動板２０で誘電体として空気を、第二圧電振動板３０で誘電体としてアルミナを用いたが、これに限定されるわけではなく、誘電体として、公知の誘電率が２．５〜６．６にあるマイカ（雲母）、誘電率が３．５〜９．９にあるガラスなどの公知の誘電体を用いても良い。
【００５２】
本実施例において、誘電体としてのアルミナ層は、ギャップを形成した後で、電極とギャップとにアルミナ層を形成した。しかし、これに限定されるわけではなく、アルミナ膜を蒸着して電極の間でアルミナ層を形成しても良い。
【００５３】
＜第三圧電振動板４０＞
以上で説明した圧電振動板は、負荷容量部の厚み方向で高さを変化することによりその容量を調節した。以下で、負荷容量用電極の長さを変化することによりその容量を調節する実施例について説明する。図７（ａ）は、第三圧電振動板４０の構造を示す側面図で、図７（ｂ）は図７（ａ）の負荷容量部の拡大図ある。
【００５４】
図７（ａ）に示したように、第三圧電振動板４０は、負荷容量部４９の他に、第一圧電振動板２０の構造と同じである。以下負荷容量部４９について説明して、他の同じ部分を省略する。
【００５５】
第三圧電振動板４０の負荷容量部４９は、補強部２２における第一引出電極２４の間で形成されて、負荷容量用電極４９１と、アルミナ層４９２と、負荷容量用電極４９１とが厚み方向で積層された積層体である。図７（ｂ）の拡大図に示したように、アルミナ層４９２と隣接している対向する一部の第一引出電極２４により負荷容量用電極４９１を形成する。
【００５６】
以下、負荷容量部４９の形成と容量の調節について説明する。補強部２２の第二補強部２２２の途中まで第一引出電極２４を形成した後、厚み方向であるＺ方向とＸ方向に従って第一引出電極２４の上にアルミナ層４９２を積層する。その後、Ｚ方向とＸ方向に従って、アルミナ層４９２の上に第一引出電極２４を更に形成する。
【００５７】
このような積層体である負荷容量部４９の容量は、負荷容量用電極４９１間の距離ｄと負荷容量用電極４９１の面積により決まれる。従って、周波数を微調節する時、図７（ｂ）に示したように、Ｚ方向に従って負荷容量用電極４９１とアルミナ層４９２とを同時に点線までＡｒエッチングして除去することにより、負荷容量用電極４９１の長さＬ１は、長さＬ２まで減少される。これにより、負荷容量用電極４９１の面積が減少されて、その容量が調節される。なお、この第三圧電振動板４０を容器に封止した後、蓋体を通じて負荷容量用電極４９１とアルミナ層４９２に対してレーザＬＡを照射することにより更に周波数を調節することができる。
【００５８】
＜圧電振動板の変形例＞
図８（ａ）は、圧電振動板の第一変形例であるの第四圧電振動板５０の構造を示す図面で、（ｂ）は第二変形例である第五圧電振動板６０の構造を示す図面で、（ｃ）は第三変形例である第六圧電振動板７０の構造を示す図面で、（ｄ）は第四変形例である第七圧電振動板８０の構造を示す図面である。
【００５９】
図８（ａ）に示したように、第四圧電振動板５０において、第一引出電極２４の間で、アルミナ層５９２が形成されている。なお、第一引出電極２４は、Ｘ方向において、その長さが長くなるように形成されて、Ｘ方向における長さがＬ１になる。Ｙ方向に従って、当該対向する一対の第一引出電極２４及びアルミナ層５９２を同時にＡｒエッチングすることにより、Ｘ方向における長さがＬ１からＬ２まで減少される。これにより、対向する一対の第一引出電極２４及びアルミナ層５９２により形成された負荷容量部の容量が調節される。なお、この第四圧電振動板５０を容器に封止した後、蓋体を通じて当該対向する一対の第一引出電極２４及びアルミナ層５９２に対してレーザＬＡを照射することにより更に周波数を調節することができる。なお、本変形例でも、アルミナの代わりに、窒化シリコン、ガラスなどの誘電体を使用することもできる。
【００６０】
図８（ｂ）に示したように、第五圧電振動板６０において、第一引出電極２４の間で、アルミナ層６９２が形成されている。第三圧電振動板４０は、厚み方向で電極とアルミナ層の積層体を形成することにより負荷容量部を形成したが、本変形例では、Ｘ方向に従って積層するように負荷容量部が形成されている。従って、Ｘ方向に従って当該アルミナ層６９２及び第一引出電極２４を同時にＡｒエッチングすることにより、Ｙ方向における電極の長さはＬ１からＬ２まで減少される。これにより、負荷容量部の容量が調節される。なお、この第五圧電振動板６０を容器に封止した後、蓋体を通じて当該アルミナ層６９２及び第一引出電極２４に対してレーザＬＡを照射することにより更に周波数を調節することができる。本変形例でも、アルミナとの代わりに窒化シリコン、ガラスなどの誘電体を使用することができる。
【００６１】
図８（ｃ）に示したように、第六圧電振動板７０において、負荷容量を増やすために第一引出電極２４で凹凸部を形成して相互に組み合わせたインターディジタル構造になる。このような構造は前の製造方法と同じように、Ａｒエッチングもしくはレーザ照射してパターン上で形成することができる。この変更例において、誘電体が空気であるが、前と同じようにアルミナ、窒化シリコン、ガラス等の誘電体を挟んでもよい。
【００６２】
図８（ｄ）に示したように、第七圧電振動板８０において、負荷容量を増やすために、第一引出電極２４で第六圧電振動板７０と異なる凹凸部を形成して、異なる形状のインターディジタル構造になる。このような構造も同じプロセスによりパターン上で形成することができる。この変更例において、誘電体が空気であるが、前と同じようにアルミナ、窒化シリコン、ガラス等の誘電体を挟んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係る第一圧電振動板２０の構造を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る第一圧電振動板２０の製造工程を示すフローチャートである。
【図３】（ａ）は、本発明に係る第一圧電振動板２０を有する第一圧電振動子２００の構造を示す断面図で、（ｂ）は（ａ）のＢ部拡大図ある。
【図４】本発明に係る第一圧電振動子２００の製造工程及びその周波数の調節工程を示すフローチャートである。
【図５】本発明に係る第二圧電振動板３０の構造を示す斜視図である。
【図６】（ａ）は、本発明に係る第二圧電振動板３０の負荷容量部３９を示す図面で、（ｂ）は負荷容量部３９の容量調節を示す図ある。
【図７】（ａ）は、第三圧電振動板４０の構造を示す側面図で、（ｂ）は（ａ）の負荷容量部の拡大図ある。
【図８】（ａ）は、圧電振動板の第一変形例の構造を示す図面で、（ｂ）は第二変形例の構造を示す図面で、（ｃ）は第三変形例である第六圧電振動板７０の構造を示す図面で、（ｄ）は第四変形例である第七圧電振動板８０の構造を示す図面である。
【図９】特許文献１に係る圧電振動子１００の断面図である。
【図１０】圧電振動板を用いて形成される圧電振動子の等価回路を示す図面である。
【符号の説明】
【００６４】
２０  …  第一圧電振動板
２１  …  励振部
２２  …  補強部
２２１  …  第一補強部
２２２  …  第二補強部
２３  …  第一励振電極
２４  …  第一引出電極
２６  …  第二励振電極
２７  …  第二引出電極
２９  …  負荷容量部
３０  …  第二圧電振動板
４０  …  第三圧電振動板
５０  …  第四圧電振動板
６０  …  第五圧電振動板
２００  …  第一圧電振動子
１００  …  従来技術係る圧電振動子
１１  …  従来技術に係る圧電振動板
１２  …  容器
１３  …  蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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