(57)【要約】【課題】ウエハレベルで作製される被駆動体を変位させることが可能な技術を提供する。【解決手段】駆動装置が、被駆動体を含む被駆動体層と、可動基準部と該可動基準部に設けられ且つ被駆動体に対して所定方向に力を与えることで該被駆動体を所定方向に沿って変位させる可動部とを有する駆動層とを備える。そして、この駆動装置が、変形基準部と該変形基準部に設けられ且つ所定方向への弾性変形に応じた該所定方向とは反対方向の弾性力を被駆動体に対して付与し続ける変形部と有する弾性力付与層とを備えるようにした。【選択図】図３
2010085798.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動体を含む被駆動体層と、
可動基準部と、該可動基準部に設けられ且つ前記被駆動体に対して所定方向に力を与えることで該被駆動体を前記所定方向に沿って変位させる可動部とを有する駆動層と、
変形基準部と、該変形基準部に設けられ且つ前記所定方向への弾性変形に応じた前記所定方向とは反対方向の弾性力を前記被駆動体に対して付与し続ける変形部と有する弾性力付与層と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置であって、
前記変形部のうちの前記被駆動体に対して力を付与する作用部が、前記変形基準部によって形成される層の部分から突出していることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の駆動装置であって、
前記被駆動体層の一主面側において、前記駆動層と前記被駆動体層との間に介挿され、且つ前記被駆動体層の法線方向に弾性変形可能な第１弾性部材、
をさらに備え、
前記弾性力付与層が、
前記被駆動体層の他主面側に配置され、且つ前記被駆動体層の法線方向に弾性変形可能な第２弾性部材を含み、
前記被駆動体が、
前記第１および第２弾性部材によって挟持されることを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れかに記載の駆動装置であって、
前記可動部のうちの前記被駆動体に対して力を付与する力付与部が、該力付与部の変位可能範囲のうちの前記反対方向の端部に存在している状態で、前記変形部による力の付与に応じた前記被駆動体の変位を係止する係止部、
をさらに備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動装置であって、
前記可動部が、
基板と、該基板上に形成される形状記憶合金の薄膜とを有して構成されることを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動装置であって、
前記可動部が、
基板と、該基板上に形成され且つ該基板とは熱膨張率が異なる薄膜とを有して構成されることを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動装置であって、
前記可動部が、
基板と、該基板上に形成される圧電体素子の薄膜とを有して構成されることを特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れかに記載の駆動装置であって、
前記被駆動体が、
光学レンズを含むことを特徴とする駆動装置。
【請求項９】
請求項１から請求項７の何れかに記載の駆動装置と、
撮像素子を含む撮像素子層と、
を備え、
前記被駆動体が、
被写体からの光を前記撮像素子に導く撮像レンズを含むことを特徴とする撮像装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項７の何れかに記載の駆動装置と、
被写体からの光を撮像素子に導く撮像レンズを有する撮像レンズ層と、
を備え、
前記被駆動体が、
前記撮像素子を含むことを特徴とする撮像装置。
【請求項１１】
被駆動体を含む被駆動体層と、
可動基準部と、該可動基準部に設けられ且つ前記被駆動体に対して所定方向に力を与えることで該被駆動体を前記所定方向に沿って変位させる可動部とを有する駆動層と、
変形基準部と、該変形基準部に設けられ且つ前記所定方向への弾性変形に応じた前記所定方向とは反対方向の弾性力を前記被駆動体に対して付与し続ける変形部と有する弾性力付与層と、
を備える駆動装置を製造する方法であって、
前記変形基準部を前記被駆動体に対して前記反対方向に相対的に変位させることで、前記変形部を前記所定方向に向けて弾性変形させることにより、前記変形部によって前記被駆動体に対して付与する前記反対方向への弾性力を増加させる弾性力増加工程と、
前記弾性力増加工程の後に、前記変形基準部を前記被駆動体に対して前記所定方向に相対的に変位させることで、前記変形部の前記所定方向に向けた弾性変形を緩和させることにより、前記変形部によって前記被駆動体に対して付与する前記反対方向への弾性力を減少させた状態で、前記変形基準部と前記可動基準部との位置関係を相対的に固定する弾性力設定工程と、
を備えることを特徴とする駆動装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の駆動装置の製造方法であって、
前記変形部のうちの前記被駆動体に対して力を付与するための作用部が、前記変形基準部によって形成される層の部分から突出するように、前記変形部を塑性変形させた状態とすることで、前記弾性力付与層をウエハレベルで製作するウエハ製作工程、
をさらに備え、
前記ウエハ製作工程の後に、前記弾性力増加工程および前記弾性力設定工程が順次に行われることを特徴とする駆動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被駆動体を移動させる駆動技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロカメラユニット（Micro Camera Unit：ＭＣＵ）を搭載することで撮影機能が付加された小型の電子機器（例えば携帯電話）が急速に普及している。これに伴い、ＭＣＵとして用いられるカメラモジュールに対しては、更なる小型化が望まれている。
【０００３】
従来のカメラモジュールにおいては、レンズを支持するレンズバレルおよびレンズホルダ、赤外線（ＩＲ）カットフィルタを支持するホルダ、基板、並びに撮像素子および光学素子からなる積層体を保持する筐体、このような積層体を封止する樹脂等が必要とされている。このため、上記多数の部品の小型化を図り、各部品を精度良く組み合わせてカメラモジュールを作製することが困難であった。
【０００４】
このような問題に対して、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けて積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１等）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、撮像素子を含む層、およびレンズを含む層等をウエハ状態で（ウエハレベルで）積層させてカメラモジュールが形成される。このため、カメラモジュールにおいてオートフォーカスまたはズーム等を実現するためのレンズを移動させる駆動機構を形成することが困難である。そして、このような問題は、被駆動体がレンズ以外の場合一般に共通する。
【０００７】
そこで、本発明は、ウエハレベルで作製される被駆動体を変位させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、駆動装置であって、被駆動体を含む被駆動体層と、可動基準部と、該可動基準部に設けられ且つ前記被駆動体に対して所定方向に力を与えることで該被駆動体を前記所定方向に沿って変位させる可動部とを有する駆動層と、変形基準部と、該変形基準部に設けられ且つ前記所定方向への弾性変形に応じた前記所定方向とは反対方向の弾性力を前記被駆動体に対して付与し続ける変形部と有する弾性力付与層とを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の駆動装置であって、前記変形部のうちの前記被駆動体に対して力を付与する作用部が、前記変形基準部によって形成される層の部分から突出していることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の駆動装置であって、前記被駆動体層の一主面側において、前記駆動層と前記被駆動体層との間に介挿され、且つ前記被駆動体層の法線方向に弾性変形可能な第１弾性部材をさらに備え、前記弾性力付与層が、前記被駆動体層の他主面側に配置され、且つ前記被駆動体層の法線方向に弾性変形可能な第２弾性部材を含み、前記被駆動体が、前記第１および第２弾性部材によって挟持されることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３の何れかに記載の駆動装置であって、前記可動部のうちの前記被駆動体に対して力を付与する力付与部が、該力付与部の変位可能範囲のうちの前記反対方向の端部に存在している状態で、前記変形部による力の付与に応じた前記被駆動体の変位を係止する係止部をさらに備えることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動装置であって、前記可動部が、基板と、該基板上に形成される形状記憶合金の薄膜とを有して構成されることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６の発明は、請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動装置であって、前記可動部が、基板と、該基板上に形成され且つ該基板とは熱膨張率が異なる薄膜とを有して構成されることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７の発明は、請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動装置であって、前記可動部が、基板と、該基板上に形成される圧電体素子の薄膜とを有して構成されることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８の発明は、請求項１から請求項７の何れかに記載の駆動装置であって、前記被駆動体が、光学レンズを含むことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９の発明は、請求項１から請求項７の何れかに記載の駆動装置と、撮像素子を含む撮像素子層とを備え、前記被駆動体が、被写体からの光を前記撮像素子に導く撮像レンズを含むことを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１０の発明は、請求項１から請求項７の何れかに記載の駆動装置と、被写体からの光を撮像素子に導く撮像レンズを有する撮像レンズ層とを備え、前記被駆動体が、前記撮像素子を含むことを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１１の発明は、被駆動体を含む被駆動体層と、可動基準部と、該可動基準部に設けられ且つ前記被駆動体に対して所定方向に力を与えることで該被駆動体を前記所定方向に沿って変位させる可動部とを有する駆動層と、変形基準部と、該変形基準部に設けられ且つ前記所定方向への弾性変形に応じた前記所定方向とは反対方向の弾性力を前記被駆動体に対して付与し続ける変形部と有する弾性力付与層とを備える駆動装置を製造する方法であって、前記変形基準部を前記被駆動体に対して前記反対方向に相対的に変位させることで、前記変形部を前記所定方向に向けて弾性変形させることにより、前記変形部によって前記被駆動体に対して付与する前記反対方向への弾性力を増加させる弾性力増加工程と、前記弾性力増加工程の後に、前記変形基準部を前記被駆動体に対して前記所定方向に相対的に変位させることで、前記変形部の前記所定方向に向けた弾性変形を緩和させることにより、前記変形部によって前記被駆動体に対して付与する前記反対方向への弾性力を減少させた状態で、前記変形基準部と前記可動基準部との位置関係を相対的に固定する弾性力設定工程とを備えることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１２の発明は、請求項１１に記載の駆動装置の製造方法であって、前記変形部のうちの前記被駆動体に対して力を付与するための作用部が、前記変形基準部によって形成される層の部分から突出するように、前記変形部を塑性変形させた状態とすることで、前記弾性力付与層をウエハレベルで製作するウエハ製作工程をさらに備え、前記ウエハ製作工程の後に、前記弾性力増加工程および前記弾性力設定工程が順次に行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１から請求項１０の何れに記載の発明によっても、弾性力付与層によって被駆動体に付与される弾性力に抗して、駆動層が被駆動体を所定方向に沿って変位させる構成を有するため、ウエハレベルで作製される被駆動体を変位させることができる。そして、例えば、弾性力付与層による弾性力によって被駆動体を所望の一箇所の位置に保持することができる。また、例えば、被駆動体の所定方向への変位が安易に生じる不具合を抑制することができる。さらに、例えば、弾性力付与層による弾性力によって所定方向とは反対方向への被駆動体の変位が補助されるため、被駆動体の反対方向への変位の応答性能を向上させることができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、比較的簡易な構成によって、被駆動体の姿勢を保持しつつ、該被駆動体を変位させることができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明によれば、弾性力付与層による弾性力によって被駆動体を所望の一箇所の位置に容易かつ確実に保持することができる。
【００２３】
請求項１１および請求項１２の何れに記載の発明によっても、弾性力付与層による被駆動体に対する反対方向への弾性力を適宜調整しつつ、被駆動体の所定方向に沿った変位可能範囲の確保を図ることができる。すなわち、ウエハレベルで作製される被駆動体を変位させることができる。
【００２４】
請求項１２に記載の発明によれば、被駆動体に対して所定方向とは反対方向に弾性力を付与するための構成を容易に製作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２６】
＜第１実施形態＞
＜携帯電話機の概略構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａを搭載した携帯電話機１００Ａの概略構成を示す模式図である。なお、図１および図１以降の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。
【００２７】
図１で示されるように、携帯電話機１００Ａは、折り畳み式の携帯電話機として構成され、第１の筐体２００Ａと、第２の筐体３００と、ヒンジ部４００とを有している。
【００２８】
第１の筐体２００Ａおよび第２の筐体３００は、それぞれ板状の直方体であり、各種電子部材を格納する筐体としての役割を有している。具体的には、第１の筐体２００Ａは、カメラモジュール５００Ａおよび表示ディスプレイ（不図示）を有し、第２の筐体３００は、携帯電話機１００Ａを電気的に制御する制御部とボタン等の操作部材（不図示）とを有している。
【００２９】
ヒンジ部４００は、第１の筐体２００Ａと第２の筐体３００とを回動可能に接続している。このため、携帯電話機１００Ａは、折り畳み可能となっている。
【００３０】
図２は、携帯電話機１００Ａのうち第１の筐体２００Ａに着目した断面模式図である。
【００３１】
図１および図２で示されるように、カメラモジュール５００Ａは、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が約３ｍｍ程度である小型の撮像装置、所謂マイクロカメラユニット（ＭＣＵ）となっている。
【００３２】
以下、カメラモジュール５００Ａの構成、およびその製造工程等について順次説明する。
【００３３】
＜カメラモジュールの構成＞
図３は、カメラモジュール５００Ａの断面模式図であり、矢印ＹＪ１の示す方向が＋Ｚ方向となっている。
【００３４】
図３で示されるように、カメラモジュール５００Ａは、撮影光学系としてのレンズ層１６を駆動する駆動機構（すなわち駆動装置）ＫＢと、被写体像に関する撮影画像を取得する撮像部ＰＢとを有している。
【００３５】
撮像部ＰＢは、例えば、ＣＯＭＳセンサまたはＣＣＤセンサ等の撮像素子１１１を有する撮像素子層１１と、撮像素子ホルダ層１２と、赤外（ＩＲ）カットフィルタ層１３とが＋Ｚ方向にこの順序で積層された構成を有している。
【００３６】
撮像部ＰＢとカバー２０とで覆われた空間には、いずれもウエハ状態で（ウエハレベルで）作製される、レンズ層１６と、レンズ層１６を保持する第１平行ばね（下層平行ばね）１５および第２平行ばね（上層平行ばね）１７と、駆動部として機能するアクチュエータ層１４と、レンズ層１６に対して弾性力を付与するバイアスばね１９とが格納されている。
【００３７】
具体的には、アクチュエータ層１４と、第１平行ばね１５と、レンズ層１６と、第２平行ばね１７と、バイアスばね１９とが＋Ｚ方向にこの順序で積層された構成を有している。そして、該空間に格納される各機能層は互いに協働してレンズ層１６を駆動させる駆動機構ＫＢを構成する。
【００３８】
そして、カメラモジュール５００Ａでは、カバー２０および撮像部ＰＢは、レンズ層１６に対する固定部となる。また、レンズ層１６は、固定部に結合された第１および第２平行ばね１５，１７ならびにバイアスばね１９によって支持される。
【００３９】
より詳細には、レンズ層１６の一主面側（−Ｚ側）におけるアクチュエータ層１４とレンズ層１６との間には、第１平行ばね１５が介挿される。また、レンズ層１６の他主面側（＋Ｚ側）におけるカバー２０とレンズ層１６との間には、バイアスばね１９と第２平行ばね１７とが介挿される。つまり、レンズ層１６は、第１平行ばね１５と、第２平行ばね１７およびバイアスばね１９とによって挟持される。
【００４０】
ここでは、第１および第２平行ばね１５，１７によってレンズ層１６が挟持されるため、レンズ層１６の移動に拘わらず、レンズ層１６の姿勢が保持され、レンズ層１６の光軸が略一定に保持される。
【００４１】
非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、バイアスばね１９による−Ｚ方向への弾性力に応じて、第２平行ばね１７が弾性変形する一方で、第１平行ばね１５は変形しておらず、レンズ層１６がＺ軸に沿って変位可能な範囲（変位可能範囲）の最も−Ｚ側において静止する。
【００４２】
アクチュエータ層１４は、レンズ層１６の一主面側から他主面側に向かう方向（＋Ｚ方向）に駆動変位を発生させる変位発生部を有し、レンズ層１６の一主面側に配置されている。変位発生部は、レンズ層１６の一主面側に突出した突起部１６１と接触し、変位発生部で生じる駆動変位は、突起部１６１を介してレンズ層１６に伝達される。
【００４３】
以上のように、カメラモジュール５００Ａでは、被駆動体であるレンズ層１６が、該レンズ層１６を介して互いに対向する位置に配置された２つの弾性部材と結合され、該弾性部材がレンズ層１６に垂直な方向（レンズ層１６の法線方向）に互いに弾性変形しつつ、レンズ層１６の姿勢を保持する。そして、レンズ層１６は、アクチュエータ層１４の変位発生部から駆動力を受けて、その位置を＋Ｚ軸に沿って変位させる。
【００４４】
このように、カメラモジュール５００Ａに設けられた駆動機構ＫＢは、ウエハレベルで作製されたレンズ層１６を該レンズ層１６の光軸方向（＋Ｚ方向）に変位させることができ、カメラモジュール５００Ａをレンズ層１６を変位させる駆動装置として機能させる。
【００４５】
＜各機能層について＞
以下では、カメラモジュール５００Ａを構成する各機能層の詳細について説明する。なお、各機能層については、−Ｚ方向側の面を一主面と称し、＋Ｚ方向側の面を他主面と称する。
【００４６】
○撮像素子層１１：
図３で示されるように、撮像素子層１１は、撮影光学系を通過した被写体からの光を受光して被写体の像に関する画像信号を生成する撮像素子１１１、その周辺回路、および撮像素子１１１を囲む外周部を備える部材である。
【００４７】
なお、撮像素子層１１の一主面（−Ｚ側の面）には、リフロー方式によるはんだ付けを行うためのはんだボールＨＢが設けられている。また、ここでは図示を省略しているが、撮像素子層１１の一主面には、撮像素子１１１に対する信号の付与、および該撮像素子１１１からの信号の読み出しを行う配線を接続するための各種端子が設けられている。
【００４８】
○撮像素子ホルダ層１２：
撮像素子ホルダ層１２は、例えば、樹脂等の素材によって形成され、接着剤等によって接合される撮像素子層１１を保持する部材である。撮像素子ホルダ層１２の略中央には、開口が設けられている。
【００４９】
○赤外カットフィルタ層１３：
赤外カットフィルタ層１３は、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜を多層化して構成される。
【００５０】
具体的には、赤外カットフィルタ層１３は、例えば、ガラスまたは透明樹脂で構成される基板の上面に屈折率の異なる多数の透明薄膜をスパッタリング等で形成したもので、薄膜の厚みおよび屈折率の組合せにより、透過する光の波長帯が制御される。赤外カットフィルタ層１３としては、例えば、６００ｎｍ以上の波長帯の光を遮断するものが採用される。
【００５１】
○レンズ層１６：
レンズ層１６は、ガラス基板を基材としてウエハレベルで作製され、例えば、２枚以上のレンズを重ね合わせて成形される。本実施形態では、３枚の光学レンズを重ね合わせてレンズ層１６が構成される場合について例示する。なお、本実施形態では、レンズ層１６は、被写体からの光を撮像素子１１１に導く撮像レンズとして機能する。
【００５２】
図４は、レンズ層１６の断面模式図であり、矢印ＹＪ２の示す方向が＋Ｚ方向に対応する。図５は、レンズ層１６の下面外観図である。
【００５３】
図４で示されるように、レンズ層１６は、第１レンズＧ１を有するレンズ構成層ＬＹ１と、第２レンズＧ２を有するレンズ構成層ＬＹ２と、第３レンズＧ３を有するレンズ構成層ＬＹ３とを備え、各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３は、この順序でリブＲＢを介して結合されている。
【００５４】
また、図４および図５で示されるように、第１レンズＧ１を有するレンズ構成層ＬＹ１の一主面には、レンズとして機能しない非レンズ部において突起部１６１が設けられている。
【００５５】
各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３は、ガラス基板を基材としていずれも同様の手法にて作製される。図６は、第３レンズＧ３を有するレンズ構成層ＬＹ３の作製の様子を示す図である。
【００５６】
図６で示されるように、ガラス基板１６ＢＳの両面それぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線（ＵＶ）硬化樹脂が塗布される。そして、両面から各レンズ（図６では、第３レンズＧ３）の形状を有する透明のレンズ成型用型１６ＣＡが所定の圧力で押し当てられるとともに紫外線ＵＶ１が照射されて、ガラス基板１６ＢＳの各面にポリマーレンズＧＰ１，ＧＰ２がそれぞれ成形される。
【００５７】
このようにして作製された各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３には、２カ所以上の所定の位置に位置合わせのためのアライメントマークが形成されている。各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３は、リブＲＢを有するリブ層を各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３間に挟んで一体のレンズ層１６へと組み上げられる。
【００５８】
具体的には、各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３および各リブ層は、マスクアライナー等を用いてそれぞれのアライメントマークが確認されながら、基板形状のままアライメントされて接合される。接合方法としては、例えば、各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３と接合させるリブ層の表面にＵＶ硬化層を設け、紫外線を照射することで接合する手法、或いは、リブ層の表面に不活性ガスのプラズマを照射し、リブ層の表面を活性化したまま張り合わせて接合する手法（表面活性化接合法）が採用される。
【００５９】
なお、カメラモジュール５００Ａに絞りを形成する場合は、例えば、第２レンズＧ２を有する層にシャドウマスクを施した上で遮光材料薄膜を形成する手法、或いは別途黒色に色づけされた樹脂材料等で絞りレイヤーを構成する手法等が用いられる。
【００６０】
○第１平行ばね１５：
図７は、第１平行ばね１５の上面外観図である。図８は、レンズ層１６に装着された第１平行ばね１５を示す図である。
【００６１】
図７で示されるように、第１平行ばね１５は、固定枠体１５１と、弾性部１５２とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）となっている。
【００６２】
固定枠体１５１は、第１平行ばね１５の外周部を構成し、隣接するアクチュエータ層１４（詳細には、アクチュエータ層１４の枠体１４２（後述））と接合される。
【００６３】
弾性部１５２は、固定枠体１５１との接続部ＰＧ１と、レンズ層１６との接合部ＰＧ２とを有し、接続部ＰＧ１と接合部ＰＧ２とが板状部材ＥＢで繋がれている。
【００６４】
すなわち、第１平行ばね１５は、固定枠体１５１において隣接するアクチュエータ層１４と接合される。また、図８で示されるように、第１平行ばね１５は、弾性部１５２に設けられた接合部ＰＧ２においてレンズ層１６と接合される。
【００６５】
このため、レンズ層１６が＋Ｚ方向に移動され、アクチュエータ層１４に接合された固定枠体１５１とレンズ層１６とがＺ方向に離れると、接続部ＰＧ１と接合部ＰＧ２とのＺ方向の位置がずれることになり、板状部材ＥＢは曲げ変形（たわみ変形）を生じて湾曲する。つまり、第１平行ばね１５は、板状部材ＥＢの弾性変形によって、レンズ層１６の法線方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、ばね機構として機能する。
【００６６】
なお、第１平行ばね１５は、ＳＵＳ系の金属材料またはりん青銅等を用いて作製される。例えば、ＳＵＳ系の金属材料で第１平行ばね１５を作製する場合は、フォトリソグラフィで平行ばねの形状を金属材料上にパターンニングし、塩化鉄系のエッチング液に浸してウエットエッチングを行うことによって、平行ばねのパターンが形成される。
【００６７】
○アクチュエータ層１４：
アクチュエータ層１４は、金属またはシリコン（Ｓｉ）等の基板上に、駆動力を発生させる変位素子（「アクチュエータ素子」とも称する）を設けた薄板状の部材である。図９は、アクチュエータ層１４の上面図である。図１０は、アクチュエータ層１４の側面図である。
【００６８】
具体的には、図９で示されるように、アクチュエータ層１４は、外周部を構成する枠体１４２と、枠体１４２の内側の中空部分に対して該枠体１４２から突設される２枚の板状の可動部１４１とを備えている。そして、可動部１４１の他主面側には、薄膜状のアクチュエータ素子１４３が設けられている。
【００６９】
アクチュエータ素子１４３としては、例えば、形状記憶合金（ＳＭＡ）の薄膜が用いられる。この場合、基板上にシリカ等の絶縁層、金属のヒータ層、およびアクチュエータ素子層をスパッタリング法等を用いて形成した後に、記憶させたい形状の型に可動部１４１をセットし、所定温度（例えば、６００℃）程度で加熱する処理（形状記憶処理）が施される。
【００７０】
ＳＭＡは、加熱によって所定の相変態温度を超えて所定の温度に達すると、予め記憶されている所定の縮み形状（記憶形状）に復元する特性を有する。このため、ヒータ層の通電によってＳＭＡが加熱されると、該ＳＭＡは記憶形状となるように縮み変形を行い、可動部１４１の自由端ＦＴが＋Ｚ方向に移動する（図１０参照）。すなわち、可動部１４１の自由端ＦＴ側が、変位発生部として機能する。
【００７１】
なお、ヒータ層への通電は、撮像素子層１１に設けられた電極から行われるが、該電極からヒータ層への導電は、アクチュエータ層１４、赤外カットフィルタ層１３、および撮像素子ホルダ層１２の側面に貼り付けられた薄型の導電部材（不図示）を介して行えばよい。
【００７２】
このように、本実施形態では、枠体１４２が可動部１４１の変位の基準となる部分（可動基準部）として機能し、アクチュエータ層１４が駆動層として機能する。
【００７３】
アクチュエータ層１４の枠体１４２は、第１平行ばね１５の固定枠体１５１（図８参照）と接合される。該接合された状態では、各可動部１４１の自由端ＦＴ側が対応する突起部１６１とそれぞれ当接する。このため、各可動部１４１の自由端ＦＴにおいて発生する変位が、各突起部１６１を介してレンズ層１６に伝えられる。すなわち、各可動部１４１は、レンズ層１６に対して＋Ｚ方向に力を付与することで、該レンズ層１６を＋Ｚ方向に沿って変位させる。
【００７４】
なお、可動部１４１の自由端ＦＴ側で発生する変位量は、ＳＭＡの加熱温度に応じて異なり、ヒータ層への通電量を制御することによって変位量を調整することができる。
【００７５】
また、ＳＭＡの変形にともなってヒータ層も変形することになるが、該ヒータ層の変形に応じてヒータ層の電気抵抗も変化する。このため、ヒータ層の電流抵抗値をモニタリングして変位量を制御してもよい。
【００７６】
○第２平行ばね１７：
図７で示されるように、第２平行ばね１７は、第１平行ばね１５と同様の構成および機能を有する弾性部材であり、固定枠体１７１と弾性部１７２とを備えている。
【００７７】
第２平行ばね１７の固定枠体１７１は、隣接するバイアスばね１９（詳細には、バイアスばね１９の固定枠体１９１（後述））と接合される。また、弾性部１７２に設けられた接合部ＰＧ２は、レンズ層１６の他主面と接合される。
【００７８】
このため、レンズ層１６が−Ｚ方向に移動され、バイアスばね１９に接合された固定枠体１７１とレンズ層１６とがＺ方向に離れると、板状部材ＥＢにおいて弾性変形が発生し、第２平行ばね１７は、ばね機構として機能する。
【００７９】
○バイアスばね１９：
図１１は、バイアスばね１９の上面外観図である。図１２は、バイアスばね１９の側面図である。
【００８０】
図１１で示されるように、バイアスばね１９は、固定枠体１９１と、弾性部１９２とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）となっている。
【００８１】
固定枠体１９１は、バイアスばね１９の外周部を構成し、−Ｚ側において隣接する第２平行ばね１７（詳細には、第２平行ばね１７の固定枠体１７１）と接合される。また、固定枠体１９１は、＋Ｚ側においてカバー２０と接合される。このため、本実施形態では、固定枠体１９１が弾性部１９２の弾性変形の基準となる部分（変形基準部）として機能する。
【００８２】
弾性部１９２は、固定枠体１９１との接続部ＣＧ１と、レンズ層１６の他主面と当接して該レンズ層１６を押下する環状部ＰＰとを有し、接続部ＣＧ１と環状部ＰＰとが板状部材ＥＣで繋がれている。具体的には、固定枠体１９１の中空部分において、該固定枠体１９１に対して弾性部１９２が設けられている。
【００８３】
ここで、上述したように、バイアスばね１９は、固定枠体１９１において隣接する第２平行ばね１７およびカバー２０と接合されている。また、弾性部１９２は、環状部ＰＰが＋Ｚ方向に押し上げられることで、板状部材ＥＣが弾性変形する変形部として機能する。すなわち、弾性部１９２は、レンズ層１６の法線方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、バイアスばね１９は、ばね機構として機能する。
【００８４】
そして、図３で示されるように、弾性部１９２に設けられた環状部ＰＰにレンズ層１６の第３レンズＧ３が嵌め込まれており、環状部ＰＰが、レンズ層１６に対して−Ｚ方向に力を付与する作用部として機能する。このため、環状部ＰＰによってレンズ層１６が−Ｚ方向に押下された状態となっている。
【００８５】
また、図１２で示されるように、弾性部１９２では、環状部ＰＰが固定枠体１９１によって形成される層の部分から−Ｚ側に突出している。つまり、弾性部１９２は、側方から見た場合に、板状部材ＥＣによって−Ｚ方向に湾曲した形状を有する。
【００８６】
さらに、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、アクチュエータ層１４の枠体１４２と第１平行ばね１５の固定枠体１５１とによって、レンズ層１６の−Ｚ方向への変位が止められるように、環状部ＰＰによって押下されるレンズ層１６が係止される。
【００８７】
具体的には、環状部ＰＰが該環状部ＰＰがＺ軸に沿って変位可能な範囲のうちの最も−Ｚ方向の端部に存在している場合、アクチュエータ層１４の枠体１４２と第１平行ばね１５の固定枠体１５１とが、弾性部１９２によるレンズ層１６に対する−Ｚ方向への弾性力の付与に応じたレンズ層１６の変位を係止する部分（係止部）として機能する。
【００８８】
そして、レンズ層１６の抗力によって、環状部ＰＰが固定枠体１９１が成す層に近づく方向に、板状部材ＥＣが弾性変形する。したがって、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、図３で示されるように、板状部材ＥＣの弾性力によって、レンズ層１６が環状部ＰＰによって−Ｚ方向に押し付けられた状態となる。
【００８９】
このようなバイアスばね１９の存在により、アクチュエータ層１４の可動部１４１の変形によってレンズ層１６が＋Ｚ方向に押し上げられる際、可動部１４１によってレンズ層１６が＋Ｚ方向に押される力が、弾性部１９２の弾性力等によってレンズ層１６に付与されている−Ｚ方向への力を超えると、レンズ層１６の＋Ｚ方向への変位が開始する。
【００９０】
そして、弾性部１９２は、レンズ層１６が＋Ｚ方向に変位する程、より大きく弾性変形する。このため、本実施形態では、弾性部１９２は、レンズ層１６に対して該レンズ層１６が変位する＋Ｚ方向とは反対方向（−Ｚ方向）に弾性力を付与し続ける部分（弾性力付与部）として機能する。さらに、本実施形態では、バイアスばね１９は、固定枠体１９１と、弾性部１９２とを有する弾性力を付与する層（弾性力付与層）として機能する。
【００９１】
なお、バイアスばね１９は、第１および第２平行ばね１５，１７と同様に、ＳＵＳ系の金属材料またはりん青銅等を用いて作製される。例えば、ＳＵＳ系の金属材料でバイアスばね１９を作製する場合は、フォトリソグラフィでバイアスばねの形状を金属材料上にパターンニングし、塩化鉄系のエッチング液に浸してウエットエッチングを行うことによって、バイアスばねのパターンが形成される。その後、プレス成形等によって、固定枠体１９１が形成する層の部分よりも環状部ＰＰが突出するように、板状部材ＥＣが湾曲するように塑性変形された状態とされる。
【００９２】
○カバー２０
カバー２０は、樹脂材料を素材として、型を用いたプレス加工によって成形される。カバー２０は、駆動機構ＫＢを保護するとともに、被駆動体であるレンズ層１６に対する固定部となる。なお、樹脂材料に格子状に多数成形されたカバー２０は、一つ一つのカメラモジュール５００Ａ用にダイシングされる。
【００９３】
＜カメラモジュールの製造工程＞
ここで、カメラモジュール５００Ａの製造工程について詳述する。
【００９４】
図１３は、カメラモジュール５００Ａの製造工程を示すフローチャートである。図１３で示すように、（工程Ａ）シートの準備（ステップＳＰ１）、（工程Ｂ）シートの接合（ステップＳＰ２）、（工程Ｃ）ダイシング（ステップＳＰ３）、（工程Ｄ）カバー２０の取付（ステップＳＰ４）、および（工程Ｅ）駆動空間の確保（ステップＳＰ５）が順次に行われて、カメラモジュール５００Ａが製造される。以下、各工程について説明する。
【００９５】
○シートの準備（工程Ａ）：  
まず、ステップＳＰ１では、カメラモジュール５００Ａを形成する各機能層に係るシートが、層ごとに形成される。図１４は、準備するシートの構成例を示す平面図である。なお、ここでは、ウエハレベルの円盤状のシートが準備されるものとする。
【００９６】
機能層ごとのシートには、該機能層に係る部材に相当するチップがマトリクス状に所定配列で多数形成されている。
【００９７】
例えば、図１４で示されるように、撮像素子ホルダ層１２のシート（撮像素子ホルダシート）Ｕ１２には、撮像素子ホルダ層１２に相当するチップが所定配列で多数形成される。なお、ここでは、「所定配列」という表現を、多数のチップを所定の方向に所定の間隔で配列した状態を含む意味で用いている。
【００９８】
該撮像素子ホルダシートＵ１２は、例えば、樹脂材料を素材として、金属金型を用いたプレス加工によって作製される。
【００９９】
なお、バイアスばね１９のシート（バイアスばねシート）Ｕ１９には、バイアスばね１９に相当するチップが所定配列で多数形成される。このバイアスばねシートＵ１９については、環状部ＰＰが、固定枠体１９１によって形成される層の部分から突出するように、弾性部１９２（具体的には、板状部材ＥＣ）を塑性変形させた状態とすることで製作される。
【０１００】
ステップＳＰ１では、撮像素子ホルダシートＵ１２と同様に、撮像素子層１１、赤外カットフィルタ層１３、アクチュエータ層１４、第１平行ばね１５、レンズ層１６、第２平行ばね１７、およびバイアスばね１９の各機能層に係るチップを含む各シートＵ１１，Ｕ１３〜Ｕ１７，Ｕ１９がそれぞれ準備される。
【０１０１】
○シートの接合（工程Ｂ）：
ステップＳＰ２では、各シートＵ１１〜Ｕ１７，Ｕ１９が接合される。図１５は、準備されたシートＵ１１〜Ｕ１７，Ｕ１９を順次に積層させて接合する様子を模式的に示す図である。
【０１０２】
具体的には、図１５で示されるように、撮像素子シートＵ１１、撮像素子ホルダシートＵ１２、赤外カットフィルタシートＵ１３、アクチュエータシートＵ１４、第１平行ばねシートＵ１５、レンズシートＵ１６、第２平行ばねシートＵ１７、およびバイアスばねシートＵ１９について、各シートＵ１１〜Ｕ１７，Ｕ１９に含まれる各チップが互いに積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。そして、各シートＵ１１〜Ｕ１７，Ｕ１９が接着剤等を用いて接合される。
【０１０３】
図１６は、アクチュエータシートＵ１４、第１平行ばねシートＵ１５、レンズシートＵ１６、第２平行ばねシートＵ１７、およびバイアスばねシートＵ１９がこの順番で接合された状態を示す図である。なお、図１６では、１つの駆動機構ＫＢに相当する部分が示されている。
【０１０４】
弾性部１９２は、図１２で示されたように、−Ｚ方向に湾曲した形状を有する。したがって、図１６で示されるように、バイアスばねシートＵ１９と第２平行ばねシートＵ１７とを接着剤等で接合する際には、外力ＰＲによってバイアスばねシートＵ１９を第２平行ばねシートＵ１７に押し付けることで、バイアスばね１９の固定枠体１９１と、第２平行ばね１７の固定枠体１７１とを接合する。
【０１０５】
図１７は、アクチュエータシートＵ１４、第１平行ばねシートＵ１５、レンズシートＵ１６、第２平行ばねシートＵ１７、およびバイアスばねシートＵ１９が接合された状態から、さらに、撮像素子シートＵ１１、撮像素子ホルダシートＵ１２、および赤外カットフィルタシートＵ１３が接合された状態を示す図である。なお、図１７では、駆動機構ＫＢの下面側に撮像部ＰＢが形成された状態が示されている。このとき、バイアスばね１９および第２平行ばね１７は、バイアスばね１９の弾性力によって浮き上がってしまう。
【０１０６】
○ダイシング（工程Ｃ）：
次のステップＳＰ３では、８つのシートＵ１１〜Ｕ１７，Ｕ１９を積層して形成された積層部材が、ダイシングテープ等で保護された後、ダイシング装置によってチップ毎に切り離される。
【０１０７】
但し、図１７で示されるように、バイアスばね１９および第２平行ばね１７が、バイアスばね１９の弾性力によって浮き上がってしまうと、ダイシングの精度が低下してしまう。このため、ダイシングの前に、バイアスばねシートＵ１９と第２平行ばねシートＵ１７とをレンズシートＵ１６に押し付けて、固定枠体１７１に相当する部分がレンズシートＵ１６に当接した状態で、８つのシートＵ１１〜Ｕ１７，Ｕ１９の位置関係が保持されるようにワックスやロウ等で固めておく。
【０１０８】
そして、ダイシングを行うことで、図１７で示されるような積層された８つの層１１〜１７，１９を有する光学系のユニット（光学ユニット）５０が多数生成される。なお、光学ユニット５０が多数生成された時点で、洗浄によってワックスやロウ等が除去される。
【０１０９】
○カバー２０の取付（工程Ｄ）：
ステップＳＰ４では、光学ユニット５０にカバー２０が取り付けられる。
【０１１０】
図１８および図１９は、光学ユニット５０にカバー２０が取り付けられる工程を示す図である。
【０１１１】
図１８で示されるように、組み立て治具ＪＧ１上に光学ユニット５０が設置される。このとき、バイアスばね１９の固定枠体１９１の上面ＢＰに接着剤等が塗布される。
【０１１２】
そして、図１９で示されるように、カバー取付け治具ＧＧ１に設けられた真空チャック部ＶＣによってカバー２０が保持された状態で、該カバー２０が光学ユニット５０に被せられる。このとき、カバー取付け治具ＧＧ１によってカバー２０に対して下向きの力ＰＲ２が付与され、バイアスばね１９が第２平行ばね１７に押し付けられた状態とされて、バイアスばね１９の固定枠体１９１とカバー２０とが接着剤等によって接合される。
【０１１３】
図１９で示される状態では、バイアスばね１９の弾性部１９２が元の形状に戻ろうとして、下向き（−ＹＪ１方向）に弾性力を発生させ、レンズ層１６が環状部ＰＰによって下向き（−ＹＪ１方向）に押された状態となる。
【０１１４】
換言すれば、固定枠体１９１が下向き（−ＹＪ１方向）に変位されることで、環状部ＰＰが固定枠体１９１によって形成される層の部分に近づけられるように、弾性部１９２が＋Ｚ方向に弾性変形される。このとき、弾性部１９２によるレンズ層１６に対する−Ｚ方向への弾性力が増加する。
【０１１５】
なお、組み立て治具ＪＧ１の設置面の傾きは、水平面に対して５分（１／１２度）以内であることが好ましい。
【０１１６】
○駆動空間の確保（工程Ｅ）：
ステップＳＰ５では、被駆動体（レンズ層１６）の駆動空間が確保される。図２０は、レンズ層１６の駆動空間を確保する工程を説明するための図である。
【０１１７】
図２０で示されるように、カバー取付け治具ＧＧ１が、ＡＣサーボモータとピエゾアクチュエータとの組合せによりサブミクロンの押し上げ精度を有しており、カバー２０が、この機構を用いて、＋Ｚ方向（図２０中の矢印ＹＪ３の示す方向）に引き上げられる。本実施形態では、カバー２０が、レンズ層１６の駆動による移動分（例えば２００μｍ）引き上げられる。
【０１１８】
そして、引き上げられたカバー２０の下部と光学ユニット５０との隙間ＫＧにＵＶ硬化樹脂ＫＪ１が挿入され（図３参照）、紫外線の照射によってＵＶ硬化樹脂ＫＪ１が硬化される。このＵＶ硬化樹脂ＫＪ１の硬化によって、カバー２０と撮像部ＰＢとは相対的に固定される。なお、カバー２０を固定する際には、カバー２０を引き上げた距離とカバー２０の傾きの変化とをモニタリングすることによってカバー２０の傾きが抑制される。
【０１１９】
このようなカバー２０の引き上げによってカバー２０と撮像部ＰＢとはレンズ層１６の垂直方向に引き離される。
【０１２０】
このとき、環状部ＰＰによってレンズ層１６が−Ｚ方向に押下された状態となっている。そして、上述したように、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、アクチュエータ層１４の枠体１４２と第１平行ばね１５の固定枠体１５１とによって、レンズ層１６の−Ｚ方向への変位が止められるように、環状部ＰＰによって押下されるレンズ層１６が係止されている。
【０１２１】
したがって、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、図３で示されるように、板状部材ＥＣの弾性力によって、レンズ層１６が環状部ＰＰによって−Ｚ方向に押し付けられた状態となる。このように、レンズ層１６が第１平行ばね１５に対して押し付けられた状態では、第１平行ばね１５の弾性部１５２は変形していない一方で、第２平行ばね１７の弾性部１７２の接合部ＰＧ２が−Ｚ方向に変位するように、板状部材ＥＣが引き伸ばされる。このため、レンズ層１６は＋Ｚ方向に移動可能な状態となる。
【０１２２】
このように、ステップＳＰ５では、取り付けられたカバー２０が＋Ｚ方向に引き上げられ、レンズ層１６の駆動空間が確保される。
【０１２３】
ここで、バイアスばね１９に着目すると、固定枠体１９１が＋Ｚ方向に変位し、弾性部１９２の＋Ｚ方向への弾性変形が緩和される。その結果、弾性部１９２の弾性力によってレンズ層１６に対して付与される−Ｚ方向への力が減少する。そして、この状態で、カバー２０の取り付け、およびＵＶ硬化樹脂ＫＪ１によるカバー２０の固定によって、バイアスばね１９の固定枠体１９１とアクチュエータ層１４の枠体１４２との位置関係が相対的に固定される。
【０１２４】
このようにして、バイアスばね１９の弾性力によってレンズ層１６に対して付与される−Ｚ方向への力を適宜調整しつつ、レンズ層１６のＺ方向に沿った変位可能範囲の確保を図ることができる。すなわち、ウエハレベルで作製されるレンズ層１６を変位させる駆動機構ＫＢを実現することができる。
【０１２５】
ＵＶ硬化樹脂ＫＪ１によってカバー２０が固定された状態（図３参照）では、可動部１４１は、突起部１６１と接して（当接して）、突起部１６１による−Ｚ方向への押し曲げによって若干の曲げ変形を有していることが好ましい。
【０１２６】
合焦動作等でレンズ層１６を駆動する際には、アクチュエータ層１４の可動部１４１が突起部１６１を＋Ｚ方向に押し上げることになるが、例えば、駆動前の静止状態において可動部１４１と突起部１６１とが離れていた場合は、駆動の際に可動部１４１が突起部１６１に接触するまで所定の時間を要する。すなわち、駆動に際して空振り区間が存在することになる。
【０１２７】
しかし、カバー２０が固定された状態、すなわち駆動前の静止状態において可動部１４１と突起部１６１とが予め接触している場合は、空振り区間が存在しないため、可動部１４１で発生した駆動変位を無駄なく突起部１６１に伝えることができる。したがって、突起部１６１は、可動部１４１で発生した駆動変位を被駆動体であるレンズ層１６に効率良く伝える役割を果たしている。
【０１２８】
図２１は、レンズ層１６の移動を説明するための図である。アクチュエータ層１４の可動部１４１において、ヒータ層への通電によってＳＭＡが加熱され、可動部１４１がレンズ層１６を＋Ｚ方向に押し上げる力が発生する。そして、可動部１４１によってレンズ層１６を＋Ｚ方向に押し上げる力が、バイアスばね１９によってレンズ層１６が−Ｚ方向に押し下げられていた力を超えると、図２１で示されるように、可動部１４１の自由端ＦＴが＋Ｚ方向に変位して、レンズ層１６が＋Ｚ方向に押し上げられる。
【０１２９】
以上のように、本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａを搭載した携帯電話機１００Ａでは、ウエハレベルで作製される被駆動体であるレンズ層１６を変位させることが可能となる。
【０１３０】
また、バイアスばね１９に相当する部分が第２平行ばね１７に押し付けられて、弾性部１９２が弾性変形された状態で、バイアスばねシートＵ１９が第２平行ばねシートＵ１７に接合される。このため、特別な工程を経ることなく、レンズ層１６を−Ｚ方向に押し付けるバイアスばね１９を設けることができる。
【０１３１】
そして、このバイアスばね１９が設けられたことで、カメラモジュール５００Ａを搭載した携帯電話機１００Ａでは、以下の種々の効果が得られる。
【０１３２】
＜バイアスばねによる効果＞
本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａでは、バイアスばね１９の弾性力によってレンズ層１６に付与される力に抗して、アクチュエータ層１４がレンズ層１６を＋Ｚ方向に沿って変位させる構成を有する。
【０１３３】
このため、例えば、バイアスばね１９の弾性力によってレンズ層１６を所望の一箇所の位置に容易かつ確実に保持することができる。
【０１３４】
具体的には、アクチュエータ層１４の可動部１４１のヒータ層への通電が行われていない場合、すなわち非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、バイアスばね１９による−Ｚ方向への弾性力によって、レンズ層１６がＺ軸に沿って変位可能な範囲（変位可能範囲）の最も−Ｚ側の所定位置において静止する。このため、レンズ層１６を該所定位置において容易に保持することができる。
【０１３５】
そして、例えば、カメラモジュール５００Ａでは、非駆動状態において、該カメラモジュール５００Ａからピントが合う被写体までの距離が無限遠となる使用頻度が高い条件となるように設定されることが好ましい。
【０１３６】
また、バイアスばね１９によってレンズ層１６が−Ｚ方向に常に押し付けられている。このため、レンズ層１６の＋Ｚ方向への変位が安易に生じる不具合を抑制することができる。
【０１３７】
仮に、カメラモジュール５００Ａが使用される環境の温度（使用環境温度）の上限が、アクチュエータ層１４を構成するＳＭＡの所定の相変態温度よりも高い場合を想定する。このとき、使用環境温度が相変態温度を超えると、アクチュエータ層１４の可動部１４１が変形し、レンズ層１６において意図しない＋Ｚ方向への変位が生じる虞がある。
【０１３８】
しかしながら、本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａでは、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）において、バイアスばね１９によってレンズ層１６が−Ｚ方向に押し付けられている。このため、可動部１４１によってレンズ層１６が＋Ｚ方向に押される力が、バイアスばね１９によってレンズ層１６に付与されている−Ｚ方向への力を超えなければ、レンズ層１６は＋Ｚ方向へ変位しない。
【０１３９】
したがって、例えば、非駆動状態においてバイアスばね１９等によってレンズ層１６を−Ｚ方向に押し付ける力を、想定される使用環境温度の上限で可動部１４１がレンズ層１６に及ぼす力よりも大きくしておけばよい。なお、ＳＭＡの温度が、所定の相変態温度を超えて、該温度が高くなればなる程、可動部１４１はより大きく変形して、自由端ＦＴおよびレンズ層１６が＋Ｚ方向により大きく変位する傾向にある。
【０１４０】
また、例えば、バイアスばね１９の弾性力によって−Ｚ方向へのレンズ層１６の変位が補助される。このため、レンズ層１６の−Ｚ方向への変位の応答性能を向上させることができる。
【０１４１】
具体的には、アクチュエータ素子１４３として、ＳＭＡ等といった加熱に応じて可動部１４１を変形させる素子（熱型アクチュエータ素子）を用いる場合には、アクチュエータ素子１４３の急激な加熱は可能であるが、急激に冷却することは難しい。
【０１４２】
しかしながら、本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａでは、バイアスばね１９によって、レンズ層１６の−Ｚ方向への変位が補助される。したがって、レンズ層１６の＋Ｚ方向への変位は勿論のこと、−Ｚ方向への変位も比較的短時間で可能となる。すなわち、レンズ層１６の変位については、変位を指示する信号の付与から実際に所望の変位が生じるまでに要する時間が短く、応答性能が高いものとなる。
【０１４３】
さらに、仮にバイアスばね１９が設けられていない場合を想定すると、カバー２０の引き上げ時に、カバー２０と撮像部ＰＢとがレンズ層１６の垂直方向に引き離され、第１平行ばね１５と第２平行ばね１７とが相互に釣り合うように弾性変形する。具体的には、第１平行ばね１５の弾性部１５２が＋Ｚ方向に弾性変形し、第２平行ばね１７の弾性部１７２が−Ｚ方向に弾性変形する。
【０１４４】
このため、レンズ層１６を＋Ｚ方向に変位させるための空間を確保すると同時に、レンズ層１６と第１平行ばね１５の固定枠体１５１との間には、レンズ層１６の＋Ｚ方向への変位には不必要な空間が生じてしまう。その結果、カメラモジュールのＺ方向に沿った厚みの増大を招いてしまう。
【０１４５】
しかしながら、本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａでは、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）において、バイアスばね１９によってレンズ層１６が−Ｚ方向に押し付けられる。このため、レンズ層１６と第１平行ばね１５の固定枠体１５１との間に、レンズ層１６の＋Ｚ方向への変位に不必要な空間が生じにくい。
【０１４６】
したがって、本発明の第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａでは、バイアスばね１９の存在により、カメラモジュール５００ＡのＺ方向に沿った厚みを低減することができる。
【０１４７】
なお、上述したように、バイアスばねシートＵ１９の状態で、環状部ＰＰが、固定枠体１９１によって形成される層の部分から突出するように、弾性部１９２が塑性変形されて製作される。
【０１４８】
このため、カバー２０をバイアスばね１９に接合する際に、バイアスばね１９を−Ｚ方向に押し付けるだけで、レンズ層１６に対して−Ｚ方向に弾性力を付与する構成を製作することができる。すなわち、レンズ層１６に対して＋Ｚ方向とは反対方向に弾性力を付与するための構成を容易に製作することができる。
【０１４９】
＜第２実施形態＞
第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａを搭載した携帯電話機１００Ａでは、第２平行ばね１７とは別に、バイアスばね１９が設けられた。
【０１５０】
これに対して、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ｂを搭載した携帯電話機１００Ｂでは、第１実施形態に係る携帯電話機１００Ａと比較して、バイアスばね１９が省略され、第２平行ばね１７がバイアスばね１９の機能を有する平行バイアスばね１７Ｂに変更されている。
【０１５１】
そして、該変更に伴って、駆動機構ＫＢが、駆動機構ＫＢＢに変更され、カメラモジュール５００Ａを搭載する第１の筐体２００Ａが、カメラモジュール５００Ｂを搭載する第１の筐体２００Ｂに変更されている。その他の構成は、同様な構成を有する。以下、異なる部分について説明する。
【０１５２】
図２２は、本発明の第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ｂの断面模式図である。図２２では、第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと同様な構成については、同じ符号が付されており、ここでは重複説明を省略する。
【０１５３】
図２２で示されるように、平行バイアスばね１７Ｂは、第１実施形態の第２平行ばね１７と同様のパターンを有する。そして、第１実施形態のバイアスばねシートＵ１９と同様に、多数の平行バイアスばね１７Ｂのパターンが形成されたシート（平行バイアスばねシート）の状態で、プレス成形等による板状部材ＥＢの塑性変形により、レンズ層１６に接合される接合部ＰＧ２が、固定枠体１７１が形成する層の部分よりも−Ｚ側に突出した状態とされる。
【０１５４】
また、固定枠体１７１は、＋Ｚ側においてカバー２０と接合される。さらに、弾性部１７２は、レンズ層１６の法線方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、平行バイアスばね１７Ｂは、ばね機構として機能する。そして、弾性部１７２の接合部ＰＧ２が、レンズ層１６に対して−Ｚ方向に力を付与する作用部として機能する。
【０１５５】
以上のように、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ｂを搭載した携帯電話機１００Ｂでは、平行ばねの一方にバイアスばねの機能を合わせ持たせることで、第１実施形態よりも部材数の低減を図ることができる。したがって、比較的簡易な構成によって、レンズ層１６の姿勢を保持しつつ、該レンズ層１６を変位させることができる。
【０１５６】
＜第３実施形態＞
第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａを製造する工程では、バイアスばねシートＵ１９の状態で、プレス成形等による板状部材ＥＣの塑性変形により、環状部ＰＰが固定枠体１９１が形成する層の部分よりも突出した状態とされた。また、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ｂを製造する工程では、平行バイアスばねシートの状態で、プレス成形等による板状部材ＥＢの塑性変形により、接合部ＰＧ２が固定枠体１７１が形成する層の部分よりも突出した状態とされた。
【０１５７】
これに対して、第３実施形態に係るカメラモジュール５００Ｃを製造する工程では、バイアスばねシートの状態では、各バイアスばねが略平板状の形状のまま、複数のシートの接合が行われる。
【０１５８】
そして、第３実施形態に係るカメラモジュール５００Ｃは、第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと比較して、バイアスばね１９およびレンズ層１６が、異なる構成を有するバイアスばね１９Ｃおよびレンズ層１６Ｃに変更され、該変更に伴って第１の筐体２００Ａが第１の筐体２００Ｃに変更されたものである。その他の構成については同様である。
【０１５９】
以下、第３実施形態に係るカメラモジュール５００Ｃの構成、およびその製造工程について、第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの構成、およびその製造工程と異なる点を順次説明する。
【０１６０】
図２３は、本発明の第３実施形態に係るカメラモジュール５００Ｃの断面模式図である。図２３では、第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと同様な構成については、同じ符号が付されており、ここでは重複説明を省略する。
【０１６１】
図２３で示されるように、レンズ層１６Ｃは、第１実施形態に係るレンズ層１６に該レンズ層１６の他主面（＋Ｚ側の面）に突出した突起部１６２が設けられたものである。そして、該突起部１６２とバイアスばね１９Ｃとが当接している。
【０１６２】
図２４は、本発明の第３実施形態に係るバイアスばね１９Ｃの上面外観図である。図２５は、本発明の第３実施形態に係るバイアスばね１９Ｃの側面図である。なお、図２５では、外部から力が付与されていない状態におけるバイアスばね１９Ｃの形態が示されている。
【０１６３】
図２４で示されるように、バイアスばね１９Ｃは、図９で示されたアクチュエータ層１４と同様な形状を有している。
【０１６４】
具体的には、図２４で示されるように、バイアスばね１９Ｃは、外周部を構成する環状の固定枠体１９２Ｃと、該固定枠体１９２Ｃの内側の中空部分に対して該固定枠体１９２Ｃから突設される２枚の板状の弾性部１９１Ｃとを備えている。なお、本実施形態では、固定枠体１９２Ｃが弾性部１９１Ｃの弾性変形の基準となる部分（変形基準部）として機能する。
【０１６５】
弾性部１９１Ｃは、レンズ層１６Ｃの法線方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能である。つまり、本実施形態では、弾性部１９１Ｃは、弾性変形する変形部として機能する。
【０１６６】
また、バイアスばね１９Ｃは、固定枠体１９２Ｃにおいて隣接する第２平行ばね１７およびカバー２０と接合されている。ここで、図２５で示されるように、バイアスばね１９Ｃは、外部から力が付与されていなければ、略平板状の形態を有する。
【０１６７】
しかしながら、図２３で示されるように、弾性部１９１Ｃの自由端Ｆ１９は、レンズ層１６Ｃの他主面側に突出した突起部１６２と接触し、＋Ｚ方向に押し上げられ、弾性部１９１Ｃは弾性変形した状態となっている。そして、弾性部１９１Ｃの弾性力によって、自由端Ｆ１９が、突起部１６２を介して、レンズ層１６に対して−Ｚ方向に力を付与する作用部として機能し、バイアスばね１９Ｃは、ばね機構として機能する。
【０１６８】
また、自由端Ｆ１９が該自由端Ｆ１９がＺ軸に沿って変位可能な範囲のうちの最も−Ｚ方向の端部に存在している場合、アクチュエータ層１４の枠体１４２と第１平行ばね１５の固定枠体１５１とが、弾性部１９１Ｃの弾性力によってレンズ層１６Ｃに対して付与される−Ｚ方向への力に応じたレンズ層１６Ｃの変位を係止する部分（係止部）として機能する。
【０１６９】
そして、レンズ層１６Ｃの抗力によって、自由端Ｆ１９が固定枠体１９２Ｃが成す層に近づく方向に、弾性部１９１Ｃが弾性変形する。したがって、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）では、図２３で示されるように、弾性部１９１Ｃの弾性力によって、レンズ層１６Ｃが自由端Ｆ１９によって−Ｚ方向に押し付けられた状態となる。
【０１７０】
このようなバイアスばね１９Ｃの存在により、アクチュエータ層１４の可動部１４１の変形によってレンズ層１６Ｃが＋Ｚ方向に押し上げられる際に、可動部１４１によってレンズ層１６が＋Ｚ方向に押される力が、弾性部１９１Ｃの−Ｚ方向への弾性力等によってレンズ層１６Ｃに付与されている−Ｚ方向への力を超えると、レンズ層１６Ｃの＋Ｚ方向への変位が開始する。
【０１７１】
そして、弾性部１９１Ｃは、レンズ層１６Ｃが＋Ｚ方向に変位する程、より大きく弾性変形する。このため、本実施形態では、弾性部１９１Ｃは、レンズ層１６Ｃに対して該レンズ層１６Ｃが変位する＋Ｚ方向とは反対方向（−Ｚ方向）に弾性力を付与し続ける部分（弾性力付与部）として機能する。さらに、本実施形態では、バイアスばね１９Ｃは、固定枠体１９２Ｃと、弾性部１９１Ｃとを有する弾性力を付与する層（弾性力付与層）として機能する。
【０１７２】
なお、バイアスばね１９Ｃは、第１実施形態に係るバイアスばね１９と同様な素材および手法によって作製される。
【０１７３】
図２６および図２７は、第３実施形態に係るカメラモジュール５００Ｃの製造工程において、複数のシートの接合によって駆動機構ＫＢＣを形成する工程を示す図である。
【０１７４】
図２６および図２７では、アクチュエータシートＵ１４、第１平行ばねシートＵ１５、レンズシートＵ１６、および第２平行ばねシートＨＵ７が、この順番で接合された上に、バイアスばねシートＵ１９Ｃが接合される工程が示されている。なお、図２６および図２７では、１つの駆動機構ＫＢＣに相当する部分の形成に着目しており、ここでは、１つの駆動機構ＫＢＣの形成に着目して説明する。
【０１７５】
まず、図２５で示されたように、固定枠体１９２Ｃと弾性部１９１Ｃとが略平板状の形状を有するバイアスばね１９Ｃに相当するチップが所定配列で多数形成されたシート（バイアスばねシート）Ｕ１９Ｃが準備される。
【０１７６】
次に、図２６で示されるように、バイアスばねシートＵ１９Ｃと第２平行ばねシートＵ１７とを接着剤等で接合する際に、固定枠体１９２Ｃの部分に対して矢印ＹＪ４で示される−Ｚ方向の力が加えられる。このとき、図２６から図２７で示されるように、固定枠体１９２Ｃの部分が−Ｚ方向に押し下げられるにしたがって、矢印ＹＪ５で示されるように、突起部１６２によって弾性部１９１Ｃの自由端Ｆ１９が＋Ｚ方向に押し上げられ、弾性部１９１Ｃが弾性変形して湾曲した形状となる。
【０１７７】
その後、アクチュエータシートＵ１４、第１平行ばねシートＵ１５、レンズシートＵ１６、第２平行ばねシートＵ１７、およびバイアスばねシートＵ１９Ｃが接合された状態から、さらに、撮像素子シートＵ１１、撮像素子ホルダシートＵ１２、および赤外カットフィルタシートＵ１３が接合され、ダイシング装置によってチップ毎に切り離される。
【０１７８】
そして、カバー２０がバイアスばね１９Ｃに接合された後に、レンズ層１６Ｃの駆動空間を確保する工程において、固定枠体１９２Ｃの＋Ｚ方向への変位によって、バイアスばね１９Ｃの弾性部１９１Ｃの＋Ｚ方向への弾性変形が緩和される。その結果、弾性部１９１Ｃの弾性力によってレンズ層１６Ｃに付与される−Ｚ方向への力が減少する。さらに、この状態で、カバー２０の取り付け、およびＵＶ硬化樹脂ＫＪ１によるカバー２０の固定によって、バイアスばね１９Ｃの固定枠体１９２Ｃとアクチュエータ層１４の枠体１４２との位置関係が相対的に固定される。
【０１７９】
このようにして、バイアスばね１９Ｃの弾性力によってレンズ層１６Ｃに対して付与される−Ｚ方向への力を適宜調整しつつ、レンズ層１６ＣのＺ方向に沿った変位可能範囲の確保を図ることができる。すなわち、ウエハレベルで作製されるレンズ層１６Ｃを変位させる駆動機構ＫＢＣを実現することができる。
【０１８０】
そして、本発明の第３実施形態に係るカメラモジュール５００Ｃを搭載した携帯電話機１００Ｃでは、第１実施形態と同様に、ウエハレベルで作製される被駆動体であるレンズ層１６Ｃを変位させることが可能となる。
【０１８１】
また、略平板状の形態を有するバイアスばね１９Ｃの固定枠体１９２Ｃに相当する部分が第２平行ばね１７に押し付けられて、弾性部１９１Ｃが弾性変形された状態で、バイアスばねシートＵ１９Ｃが第２平行ばねシートＵ１７に接合される。このため、事前にバイアスばねをプレス成形等によって塑性変形させることなく、レンズ層１６Ｃを−Ｚ方向に押し付けるバイアスばね１９Ｃを設けることができる。
【０１８２】
そして、このバイアスばね１９Ｃが設けられたことで、カメラモジュール５００Ｃを搭載した携帯電話機１００Ｃでは、上述した第１実施形態に係るカメラモジュール５００Ａを搭載した携帯電話機１００Ａと同様な効果を得ることができる。
【０１８３】
＜変形例＞
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【０１８４】
◎例えば、上記第１〜３実施形態では、非駆動状態（例えば駆動前の静止状態）において、アクチュエータ層１４の枠体１４２と第１平行ばね１５の固定枠体１５１とによって、レンズ層１６，１６Ｃの−Ｚ方向への変位が係止されていたが、これに限られない。例えば、可動部１４１の弾性力とバイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）の弾性力とが釣り合う特定の位置で、レンズ層１６，１６Ｃが静止するような構成であってもよい。
【０１８５】
◎また、上記第１〜３実施形態では、バイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）の弾性力が直接的にレンズ層１６，１６Ｃに対して付与されたが、これに限られない。例えば、バイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）の弾性力が、その他の部材を介して間接的にレンズ層１６，１６Ｃに対して付与されてもよい。
【０１８６】
◎また、上記第１〜３実施形態では、アクチュエータ層１４がレンズ層１６，１６Ｃに対して＋Ｚ方向に力を付与し、バイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）がレンズ層１６，１６Ｃに対して−Ｚ方向に力を付与したが、これに限られない。
【０１８７】
例えば、アクチュエータ層１４がレンズ層１６，１６Ｃの＋Ｚ側に設けられ、バイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）がレンズ層１６，１６Ｃの−Ｚ側に設けられて、アクチュエータ層１４がレンズ層１６，１６Ｃに対して−Ｚ方向に力を付与し、バイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）がレンズ層１６，１６Ｃに対して＋Ｚ方向に力を付与するようにしてもよい。
【０１８８】
また、例えば、アクチュエータ層１４がレンズ層１６，１６Ｃを引っ張るような形態であってもよいし、バイアスばね１９，１９Ｃ（または平行バイアスばね１７Ｂ）がレンズ層１６，１６Ｃを引っ張るような形態であってもよい。
【０１８９】
すなわち、アクチュエータ層によってレンズ層に対して力を付与する方向とは反対方向に、バイアスばねの弾性変形に起因して発生する弾性力によって、該レンズ層に対して力が付与され続けるような構成であればよい。
【０１９０】
◎また、上記第１〜３実施形態では、レンズ層１６，１６ＣがＺ軸に沿って変位する被駆動体であったが、これに限られない。例えば、レンズ層の位置が固定され、撮像素子が被駆動体となり、可動部１４１によって、Ｚ軸方向に沿ったレンズ層と撮像素子との距離が調整されるような構成であってもよい。
【０１９１】
この場合では、撮像素子を含む撮像素子層と、可動部を含むアクチュエータ層と、バイアスばねとを含む駆動機構が形成され、駆動機構とは別にレンズ層が設けられる。そして、アクチュエータ層によって撮像素子に対して力を付与する方向とは反対方向に、バイアスばねの弾性変形に起因して発生する弾性力によって、該撮像素子に対して力が付与され続ける。
【０１９２】
◎また、上記第１〜３実施形態では、合焦制御を行うために被駆動体を変位させる構成を例示して説明したが、これに限られない。
【０１９３】
例えば、被駆動体は、手振れ補正機構を構成する光学レンズや光ピックアップ装置を構成する光学レンズなど、その他の光学レンズであってもよいし、更に、光学レンズ以外の種々の小型の被駆動体であってもよい。
【０１９４】
つまり、本発明は、撮像装置内の駆動機構だけでなく、被駆動体を変位させる駆動装置一般に適用することができる。なお、手振れ補正機構としては、例えば、２枚の可動部１４１の動きにより、被駆動体である光学レンズが上下左右に２次元的に駆動するような構成が考えられる。
【０１９５】
すなわち、被駆動体を含む層（被駆動体層）が設けられ、アクチュエータ層によって被駆動体に対して力を付与する方向とは反対方向に、バイアスばねの弾性変形に起因して発生する弾性力によって、該被駆動体に対して力が付与され続けるような構成であればよい。
【０１９６】
◎また、上記第１〜３実施形態では、アクチュエータ素子１４３として、ＳＭＡが用いられたが、これに限られず、例えば、いわゆるバイメタル（Bi-metallic strip）を用いてもよい。アクチュエータ素子にバイメタルを採用した場合には、ＳＭＡの代わりに、基板とは熱膨張率が異なる素材の膜を形成すればよい。つまり、可動部が、基板と、該基板上に形成され且つ該基板とは熱膨張率が異なる薄膜とを有して構成されてもよい。
【０１９７】
具体例としては、Ｓｉ製の可動部の基板の一主面側に、アルミニウムやニッケル等の金属素材の層（金属層）が形成されるような構成が挙げられる。このような構成では、ヒータ層への通電により、基板と金属層とが加熱されると、熱膨張率の差によって、可動部が変形し、該可動部の自由端が＋Ｚ方向に変位する。
【０１９８】
そして、アクチュエータ素子にバイメタルを用いた場合にも、上記実施形態と同様な効果が得られる。なお、温度の変化に比例して可動部の自由端が変位しようとするが、例えば、非駆動状態においてバイアスばねによってレンズ層が−Ｚ方向に押し付けられる力を、想定される使用環境温度の上限で可動部１４１がレンズ層に及ぼす力よりも大きくしておけばよい。
【０１９９】
また、アクチュエータ素子として、例えば、無機圧電体（ＰＺＴ）または有機圧電体（ＰＶＤＦ）等の圧電体素子の薄膜（圧電体薄膜）を用いてもよい。つまり、可動部が、基板と、該基板上に形成される圧電体素子の薄膜とを有して構成されても良い。なお、アクチュエータ素子として圧電体薄膜を用いる場合は、Ｓｉ基板上に電極、圧電体薄膜、および電極がこの順序でスパッタリング法等を用いて形成され、高電界をかけたポーリングが行われる。
【０２００】
◎また、上記第１〜３実施形態では、撮像素子層１１に設けられた電極からヒータ層への導電を、アクチュエータ層１４、赤外カットフィルタ層１３、および撮像素子ホルダ層１２の側面に設けられた薄型の導電部材（不図示）を介して行っていたが、これに限定されない。
【０２０１】
例えば、カバー２０と光学ユニット５０との隙間ＫＧを埋める硬化樹脂ＫＪ１を導電性を有する導電接着剤とし、該導電接着剤をアクチュエータ層１４、赤外カットフィルタ層１３、および撮像素子ホルダ層１２の側面に渡って設けるようにしてもよい。このような構成を採用すれば、撮像素子層１１の電極からヒータ層への導電を、導電接着剤を介して行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０２０２】
【図１】本発明の第１〜３実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を示す模式図である。
【図２】本発明の第１〜３実施形態に係る第１の筐体に着目した断面模式図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るカメラモジュールの断面模式図である。
【図４】レンズ層の断面模式図である。
【図５】レンズ層の下面外観図である。
【図６】レンズ構成層の作製の様子を示す図である。
【図７】第１および第２平行ばねの上面外観図である。
【図８】レンズ層に装着された第１平行ばねを示す図である。
【図９】アクチュエータ層の上面図である。
【図１０】アクチュエータ層の側面図である。
【図１１】本発明の第１実施形態に係るバイアスばねの上面外観図である。
【図１２】本発明の第１実施形態に係るバイアスばねの側面図である。
【図１３】カメラモジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【図１４】準備するシートの構成例を示す平面図である。
【図１５】準備されたシートを積層させて接合する様子を模式的に示す図である。
【図１６】複数のシートの接合によって駆動機構が形成される状態を示す図である。
【図１７】複数のシートの接合によって光学ユニットが形成される状態を示す図である。
【図１８】光学ユニットにカバーが取り付けられる工程を示す図である。
【図１９】光学ユニットにカバーが取り付けられる工程を示す図である。
【図２０】レンズ層の駆動空間を確保する工程を説明するための図である。
【図２１】レンズ層の移動を説明するための図である。
【図２２】本発明の第２実施形態に係るカメラモジュールの断面模式図である。
【図２３】本発明の第３実施形態に係るカメラモジュールの断面模式図である。
【図２４】本発明の第３実施形態に係るバイアスばねの上面外観図である。
【図２５】本発明の第３実施形態に係るバイアスばねの側面図である。
【図２６】複数のシートの接合によって駆動機構を形成する工程を示す図である。
【図２７】複数のシートの接合によって駆動機構を形成する工程を示す図である。
【符号の説明】
【０２０３】
１１  撮像素子層
１４  アクチュエータ層
１５  第１平行ばね
１６，１６Ｃ  レンズ層
１７  第２平行ばね
１７Ｂ  平行バイアスばね
１９，１９Ｃ  バイアスばね
１００Ａ〜１００Ｃ  携帯電話機
１１１  撮像素子
１４１  可動部
１４２  枠体
１４３  アクチュエータ素子
１５１  固定枠体
１５２  弾性部
１７１  固定枠体
１７２  弾性部
１９１，１９２Ｃ  固定枠体
１９１Ｃ，１９２  弾性部
５００Ａ〜５００Ｃ  カメラモジュール
ＥＢ，ＥＣ  板状部材
Ｆ１９，ＦＴ  自由端
ＰＧ２  接合部
ＰＰ  環状部
Ｕ１９，Ｕ１９Ｃ  バイアスばねシート
【図１】
2010085798.tif 000003
【図２】
2010085798.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2010085798.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2010085798.tif 000018
【図１７】
2010085798.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2010085798.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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