(57)【要約】【課題】測定対象たる物体の厚さに関わらず、当該物体の内部性状を精度良く測定することができ、物体の内部欠陥を検査することができる内部性状検査装置を提供する。【解決手段】測定対象物たる製品８に対して超音波を放射する製品用超音波探触子３と、超音波探触子３により放射され製品８の内部を伝播した超音波を受信する製品用受信センサ５と、を備える内部性状検査装置１であって、製品用超音波探触子３から製品８に対して放射する超音波の入射角θ１と、製品用受信センサ５によって検出される製品８の内部を伝播する超音波の屈折角θ３と、に基づいて、製品８の内部性状（密度や剛性率）を検査する。【選択図】図１
2010185791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物たる物体に対して超音波を放射する超音波探触子と、
前記超音波探触子により放射され前記物体の内部を伝播した超音波を受信する受信センサと、
を備える内部性状検査装置であって、
前記超音波探触子から前記物体に対して放射される超音波の入射角と、
前記受信センサによって測定される前記物体の内部を伝播する超音波の屈折角と、
に基づいて、
前記物体の内部性状を検査する、
ことを特徴とする内部性状検査装置。
【請求項２】
測定対象物たる物体に対して超音波を放射する超音波探触子と、
前記超音波探触子により放射され前記物体の内部を伝播した超音波を受信する受信センサと、
を備える内部性状検査装置であって、
前記超音波探触子から前記物体に対して放射され前記物体の内部を伝播する超音波の計算上の前記物体からの放出位置と、
前記超音波探触子から前記物体に対して放射され前記物体の内部を伝播する超音波の前記受信センサによって測定される前記物体からの放出位置と、
に基づいて、
前記物体の内部性状を検査する、
ことを特徴とする内部性状検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部性状検査装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物体の内部性状（例えば、密度や剛性率等を指す）を測定・検査等するための装置としては、例えば、超音波探触子を用いて物体の密度を測定することができる測定装置が知られている。係る測定装置としては、超音波探触子から物体に向けて超音波を発射し、その物体の表面において反射される第一の反射波と、物体内部に入射した後に物体内の界面（端部）で反射される第二の反射波との干渉に基づいて、密度等を測定するものが知られている。
しかしながら、係る測定装置では、物体の厚さを正確に把握する必要があるため、別途厚さ計や膜厚計を備えて、測定の度に物体の厚さを測定しなければならないという不便さがあった。
【０００３】
そこで、物体の厚さを把握しなくても物体の密度や音速等を測定することができる測定装置が開発されており、以下に示す特許文献１にその技術が開示され公知となっている。係る特許文献１に示された従来技術は、超音波探触子を用いて、測定対象たる物体に入射音波を放射し、測定対象の表面で反射されて生じる反射音波に基づいて、測定対象たる物体の音響インピーダンスおよび音波の伝搬速度（以下、音速という）を測定することができるものである。そして、測定された音響インピーダンスおよび音速から測定対象たる物体の密度を導出するようにしている。
【０００４】
しかしながら、係る特許文献１に示された従来技術では、物体の平均的な密度を検出することができるにすぎず、例えば、物体内部の比較的深い部分に欠陥（例えば、密度が異なる部位）が存在するような場合に、その欠陥を検出する用途には使用することができなかった。
このため、厚さ計等を要しない簡易な構成で、物体の内部性状（密度、剛性率等）を精度良く測定することができ、内部欠陥の検査の用途に使用することができる検査装置の開発が望まれている状況であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２１１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、係る現状を鑑みてなされたものであり、測定対象たる物体の厚さに関わらず、当該物体の内部性状を精度良く測定することができ、物体の内部欠陥を検査することができる内部性状検査装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
即ち、請求項１においては、測定対象物たる物体に対して超音波を放射する超音波探触子と、前記超音波探触子により放射され前記物体の内部を伝播した超音波を受信する受信センサと、を備える内部性状検査装置であって、前記超音波探触子から前記物体に対して放射される超音波の入射角と、前記受信センサによって測定される前記物体の内部を伝播する超音波の屈折角と、に基づいて、前記物体の内部性状を検査するものである。
【０００９】
請求項２においては、測定対象物たる物体に対して超音波を放射する超音波探触子と、前記超音波探触子により放射され前記物体の内部を伝播した超音波を受信する受信センサと、を備える内部性状検査装置であって、前記超音波探触子から前記物体に対して放射され前記物体の内部を伝播する超音波の計算上の前記物体からの放出位置と、前記超音波探触子から前記物体に対して放射され前記物体の内部を伝播する超音波の前記受信センサによって測定される前記物体からの放出位置と、に基づいて、前記物体の内部性状を検査するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１１】
請求項１においては、物体の厚さを測定せずに、物体の内部性状を、容易に精度良く検査することができる。
【００１２】
請求項２においては、物体の内部性状（均一性や欠陥の有無）を、容易に精度良く検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置の全体構成を示す模式図。
【図２】本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置による検査工程を示すフロー図。
【図３】本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置の全体構成を示す模式図。
【図４】本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置による検査工程を示すフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置について、図１を用いて説明をする。図１は本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置の全体構成を示す模式図である。
【００１５】
図１に示す如く、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置１は、超音波探触子２・３、受信センサ４・５およびＰＣ６等により構成されている。内部性状検査装置１は、測定対象物たる物体の内部性状（例えば、密度や剛性率等）を測定するとともに、その測定結果から、その物体の内部性状が正常であるか否かを検査することができる装置である。
【００１６】
超音波探触子２・３は、検査しようとする内部性状の基準となる（即ち、内部性状が正常である）マスターワーク７に対する測定用であるマスター用超音波探触子２と、検査の対象となる物体たる製品８に対する測定用である製品用超音波探触子３からなり、いずれも収束型の超音波探触子を採用している。
【００１７】
各超音波探触子２・３は同じ仕様のものであり、各供試体（即ち、マスターワーク７および製品８）に対して所定の収束距離だけ離間した非接触の状態で配置され、各供試体の入射面７ａ・８ａ上の任意の点ｍ・ｎ（以後、入射点ｍ・ｎと呼ぶ）から所定の入射角θ１で超音波を放射することができるものである。
【００１８】
入射角θ１は各超音波探触子が備える音響レンズ２ａ・３ａの曲率・収束距離等によって各超音波探触子固有の特性として決定付けられる角度（値）であり、選定する超音波探触子の仕様に応じて適宜定まる値である。ここで入射角θ１は、超音波の各入射点ｍ・ｎにおける各入射面７ａ・８ａに対する垂線Ｌ１・Ｌ２と、超音波の入射方向が成す角度としている。
尚、超音波探触子としては、超音波を放射する機能と受信する機能の両方を有しているものがあるが、ここでは、専ら超音波を放射する機能のみを使用しており、受信する機能は、別途設ける受信センサによる構成としている。
【００１９】
受信センサ４・５は、マスターワーク７に対する測定用であるマスター用受信センサ４と、製品８に対する測定用である製品用受信センサ５からなり、いずれも複数の受信素子を備えるセンサ（所謂アレイセンサ）によって構成している。各受信センサ４・５は、それぞれに対応する各供試体７・８に対して密着して配設され、それぞれに対応する各超音波探触子２・３により放射され各供試体７・８内を伝播した後に各供試体７・８から放出される超音波を受信するためのセンサである。
【００２０】
そして、各受信センサ４・５の受信結果（即ち、複数の受信素子による受信結果）をＰＣ６に取り込んで、ＰＣ６によって複数の受信素子の受信結果を総合して解析処理を施すことにより、超音波の放出位置のみならず、超音波の発信元（即ち、入射点ｍ・ｎ）の方向を検出することができる（即ち、指向性を備えている）ものである。
【００２１】
係るマスター用受信センサ４および製品用受信センサ５を、図１に示すように、マスターワーク７および製品８を介して、各超音波探触子２・３に対向する面（即ち、入射面７ａ・８ａ）に対面する面（即ち、測定面７ｂ・８ｂ）に配置することにより、各受信センサ４・５により各測定面７ｂ・８ｂから放出される超音波を測定することができ、これにより、図１中に示す屈折角θ２・θ３を測定することができる。ここで、屈折角θ２とは、超音波の入射点ｍにおけるマスターワーク７の入射面７ａに対する垂線Ｌ１と、マスターワーク７中における超音波の伝播方向が成す角度であり、屈折角θ３とは、超音波の入射点ｎにおける製品８の入射面８ａに対する垂線Ｌ２と、製品８中における超音波の伝播方向が成す角度である。
【００２２】
次に、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置による内部性状の検査工程について、図１および図２を用いて説明をする。図２は本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置による検査工程を示すフロー図である。
【００２３】
（準備工程）
図２に示す如く、内部性状検査装置１による検査工程では、測定に入る前にまず準備工程を行う。
準備工程では、内部性状（例えば、密度や剛性率）のうち、内部性状検査装置１によって検査しようとする性状（例えば、密度）について、予め水準を振ったテストピースを準備しておき、このテストピースから入射角θ１に対する屈折角θ２の判定基準を予め求めておく（ＳＴＥＰ−１−１）。ここで、入射角θ１および屈折角θ２と超音波探触子２・３が配置される部位の媒質（例えば、水）の音速Ｃ１および測定対象物たる物体（製品８）の音速Ｃ２の関係は、以下の数式１で表される。
【００２４】
【数１】
2010185791.tif 000003
【００２５】
例えば、剛性率を一定とする条件のもとで、許容できる最小の密度であるテストピースＡ（図示せず）と、許容できる最大の密度であるテストピースＢ（図示せず）を準備し、テストピースＡに対して入射角θ１で放射した超音波について屈折角を測定し、かつ、テストピースＢに対して入射角θ１で放射した超音波について屈折角を測定する。そしてこの測定結果から、マスターワーク７に対する屈折角θ２の許容範囲や、屈折角θ２と密度ρとの相関関係が求められる。音速Ｃと合成率μおよび密度ρの関係は、以下の数式２で表すことができる。
尚、本実施例では、剛性率の条件を一定として、密度について水準を振ったテストピースＡ・Ｂを用いて、密度の検査を行う場合を例示しているが、密度の条件を一定にして、剛性率について水準を振ったテストピースを用いて、剛性率の検査を行うことも同様にして可能である。
【００２６】
【数２】
2010185791.tif 000004
【００２７】
（センサ配置工程）
次に、各超音波探触子２・３と各供試体７・８との距離を各超音波探触子２・３の所定の収束距離に合わせるとともに、各超音波探触子２・３により放射する超音波の入射角がθ１となるように、各超音波探触子２・３を配置する。（ＳＴＥＰ−１−２）
ここで、本実施例では、槽９に貯溜された媒質（水）１０の中に各超音波探触子２・３および各供試体７・８を沈めた状態に配置する構成としている。
【００２８】
本実施例で媒質として採用している水の密度や音速等は既知であるため、各超音波探触子２・３および各供試体７・８を媒質１０に沈めた状態で測定することによって、測定後の演算を容易にすることができる。尚、本実施例では、媒質として水を用いた場合を例示しているが、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置１による検査において用いる媒質をこれに限定するものではなく、空気を媒質として槽等を使用せずに空気中で測定したり、あるいはその他の媒質を用いたりすることも可能である。
【００２９】
（超音波放射工程）
次に、ＰＣ６からマスター用超音波探触子２にパルス信号を与えて、マスター用超音波探触子２からマスターワーク７に対して超音波のパルス波を入射角θ１で放射する。
また、ＰＣ６から製品用超音波探触子３にもパルス信号を与えて、製品用超音波探触子３から製品８に対して超音波のパルス波を入射角θ１で放射する（ＳＴＥＰ−１−３）。
【００３０】
（超音波受信工程）
そして、マスター用超音波探触子２によって放射されたパルス波をマスター用受信センサ４によって受信し、この受信結果に基づきＰＣ６によって、マスターワーク７における屈折角θ２を検出する（ＳＴＥＰ−１−４）。
また、製品用超音波探触子３によって放射されたパルス波を製品用受信センサ５によって受信し、この受信結果に基づきＰＣ６によって、製品８における屈折角θ３を検出する（ＳＴＥＰ−１−５）。
尚、ここでは、マスターワーク７の屈折角θ２を測定した後に製品８の屈折角θ３を測定する場合を例示したが、製品８の屈折角θ３を測定した後にマスターワーク７の屈折角θ２を測定したり、あるいは、両測定を同時に行うことも可能であり、両測定は必ずしも同時刻に行わなくても構わない。
【００３１】
またこのように、マスターワーク７について、製品８と同時期に同条件で常時屈折角θ２を測定し、その測定結果と屈折角θ３とを比較する構成とすることにより、例えば、媒質（水）の温度変化等の外乱に起因する測定誤差を排除することができ、より精度良く製品８の内部性状を検査することが可能になる。
【００３２】
また、マスターワーク７について、製品８と同時期に同条件で常時屈折角θ２を測定するのではなく、マスターワーク７について予め屈折角θ２を測定しておいて、ＰＣ６にその屈折角θ２の測定結果を記憶させておく構成とすることも可能である。
【００３３】
（内部性状判定工程）
次に、ＰＣ６によって、マスターワーク７に対する測定結果（屈折角θ２）と、製品８に対する測定結果（屈折角θ３）の差異を求める。
そして、準備工程においてテストピースから求めておいた屈折角θ２と密度ρの相関関係や屈折角θ２の許容範囲の基準を用いて、求めた差異から、製品８の密度ρを算出するとともに、その密度ρが許容範囲内であるか否かを判定する（ＳＴＥＰ−１−６）。
そして、この判定結果を、ＰＣ６に記憶させる。
【００３４】
（製品変位工程）
次に、製品８を入射面８ａに対して平行に変位させて、入射点ｎの位置を変更する（ＳＴＥＰ−１−７）。
そして、この新たな入射点ｎの位置が、測定対象範囲であるか否かを判定し（ＳＴＥＰ−１−８）、測定対象範囲であれば、（ＳＴＥＰ−１−３）に戻って、測定を継続する。
一方、測定対象範囲でなければ、測定を終了する（ＳＴＥＰ−１−９）。
【００３５】
このようにして、測定対象範囲内で製品８の入射面８ａに対して網羅的に密度ρの測定を行い、密度ρについての全ての測定結果が正常範囲内であれば、製品８の内部性状（この場合は密度）が正常であると判定し、また、密度ρについての測定結果に異常値が検出された場合には、製品８の内部に欠陥があると判定する。このようにして、製品８について、内部欠陥の有無を検査する。
以上のようにして、内部性状検査装置１による一連の検査工程が完了する。
【００３６】
このような構成の内部性状検査装置１を用いることにより、例えば、焼結部品等の内部欠陥の有無を、厚さ計が不要である簡易な構成で、容易に精度良く検出することが可能になる。
【００３７】
即ち、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置１は、測定対象物たる製品８に対して超音波を放射する製品用超音波探触子３と、超音波探触子３により放射され製品８の内部を伝播した超音波を受信する製品用受信センサ５と、を備える内部性状検査装置１であって、製品用超音波探触子３から製品８に対して放射する超音波の入射角θ１と、製品用受信センサ５によって検出される製品８の内部を伝播する超音波の屈折角θ３と、に基づいて、製品８の内部性状（密度や剛性率）を検査するものである。
このような構成により、製品８の厚さを測定せずに、製品８の内部性状を、容易に精度良く検査することができる。
【００３８】
また、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置１による内部性状検査方法は、測定対象物たる製品８に対して超音波探触子３により超音波を放射する超音波放射工程と、超音波探触子３により放射され製品８の内部を伝播した超音波を受信センサ５により受信する超音波受信工程と、超音波探触子３から製品８に対して放射される超音波の入射角θ１と、受信センサ５によって測定される製品８の内部を伝播する超音波の屈折角θ２と、に基づいて製品８の内部性状を判定する内部性状判定工程と、を備えるものである。
このような構成により、製品８の厚さを測定せずに、製品８の内部性状を、容易に精度良く検査することができる。
【００３９】
また、本発明の第一実施例に係る内部性状検査装置１は、超音波探触子は、基準たるマスターワーク７に対して超音波を放射する第一の探触子たるマスター用超音波探触子２と、測定対象物たる製品８に対して超音波を放射する第二の探触子たる製品用超音波探触子３と、からなり、受信センサは、マスター用超音波探触子２により放射されマスターワーク７の内部を伝播する超音波を受信する第一の受信センサたるマスター用受信センサ４と、製品用超音波探触子３により放射され製品８の内部を伝播する超音波を受信する第二の受信センサたる製品用受信センサ５と、からなり、同時期に検出したマスター用受信センサ４による検出結果と製品用受信センサ５による検出結果と、によって、製品８の内部性状を検査するものである。
このような構成により、外乱に起因する測定誤差を排除して、精度良く製品８の内部性状を検査することができる。
【００４０】
次に、本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置について、図３を用いて説明をする。図３は本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置の全体構成を示す模式図である。
【００４１】
図３に示す如く、本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置２１は、超音波探触子２３、受信センサ２５およびＰＣ２６等により構成されている。内部性状検査装置２１は、物品の内部性状の均一性や欠陥の有無を検査することができる装置であり、測定対象物の内部性状が正常であるか否かを検査することができる装置である。
【００４２】
超音波探触子２３は、製品２８に対する測定用の超音波探触子であり、収束型の超音波探触子を採用している。
また超音波探触子２３は、供試体（製品２８）に対して所定の収束距離だけ離間した非接触の状態で配置され、製品２８の入射面２８ａ上の任意の点ｎ（以後、入射点ｎと呼ぶ）から所定の入射角θ１で超音波を放射することができるものである。
【００４３】
入射角θ１は超音波探触子２３が備える音響レンズ２３ａの曲率・集束距離等によって各超音波探触子固有の特性として決定付けられる角度（値）であり、選定する超音波探触子の仕様に応じて適宜定まる値である。ここで、入射角θ１は、超音波の各入射点ｎにおける各入射面２８ａに対する垂線Ｌ３と、超音波の入射方向が成す角度としている。
【００４４】
受信センサ２５は、製品２８に対する測定用の受信センサであり、複数の受信素子を備えるセンサ（所謂アレイセンサ）によって構成している。受信センサ２５は、製品２８に対して密着して配設され、超音波探触子２３により放射され製品２８内を伝播した後に製品２８から放出される超音波を受信するためのセンサである。
【００４５】
そして、受信センサ２５の受信結果（即ち、複数の受信素子による受信結果）をＰＣ２６に取り込んで、ＰＣ２６によって複数の受信素子の受信結果を総合して解析処理を施すことにより、超音波の放出位置のみならず、超音波の発信元（即ち、入射点ｎ）の方向を検出することができる（即ち、指向性を備えている）ものである。
【００４６】
係る受信センサ２５を、図３に示すように、製品２８を介して、超音波探触子２３が対向する面（入射面２８ａ）に対して垂直な面（測定面２８ｂ）に配置することにより、図３中に示す超音波の放出位置Ｑを測定することができる。
尚、屈折角θ２は、超音波の入射点ｎにおける製品２８の入射面２８ａに対する垂線Ｌ３と、製品２８中における超音波の伝播方向が成す計算上の角度である。
【００４７】
次に、本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置による内部性状の検査工程について、図３および図４を用いて説明をする。図４は本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置による検査工程を示すフロー図である。ここで、本実施例では、槽２９に貯溜された媒質（水）３０の中に超音波探触子２３および製品２８を沈めた状態に配置する構成としている。
【００４８】
本実施例で媒質として採用している水の密度や音速等は既知であるため、超音波探触子２３および製品２８を媒質３０に沈めた状態で測定することによって、測定後の演算を容易にすることができる。尚、本実施例では、媒質として水を用いた場合を例示しているが、本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置２１による検査において用いる媒質をこれに限定するものではなく、空気を媒質として槽等を使用せずに空気中で測定したり、あるいはその他の媒質を用いたりすることも可能である。
【００４９】
（超音波放射工程）
図３に示す如く、ＰＣ２６から超音波探触子２３に対して信号を与える（ＳＴＥＰ−２−１）。そして、超音波探触子２３から製品２８に対して超音波が入射角θ１で放射される（ＳＴＥＰ−２−２）。
【００５０】
（平均密度算出工程）
そして、製品２８に入射された超音波の反射波（垂直方向の縦波と横波）を超音波探触子２３によって受信し、音速（縦波と横波）や音圧反射率を測定する（ＳＴＥＰ−２−３）。そして、この測定結果に基づいて、製品２８の計算上の密度（平均密度ρａ）を算出する（ＳＴＥＰ−２−４）。ここで、製品２８の平均密度ρａ（＝ρ２）は、以下に示す数式３および数式４を用いて求めることができる。ここで、ｒは音圧反射率、Ｚは音響インピーダンス（例えば、Ｚ１と表せば、超音波探触子２３が配置される部位の媒質（水）の音響インピーダンスを表し、Ｚ２と表せば、測定対象たる物体（製品２８）の音響インピーダンスを表す）であり、ρは密度（例えば、ρ１と表せば、超音波探触子２３が配置される部位の媒質（水）の密度を表し、ρ２と表せば、測定対象たる物体（製品２８）の密度を表す）、Ｃは音速（例えば、Ｃ１と表せば、超音波探触子２３が配置される部位の媒質（水）の音速を表し、Ｃ２と表せば、測定対象たる物体（製品２８）の音速を表す）を示している。尚、媒質（水）の密度ρ１および音速Ｃ１は既知である。
【００５１】
【数３】
2010185791.tif 000005
【００５２】
【数４】
2010185791.tif 000006
【００５３】
あるいは、製品２８を構成する素材の平均密度ρａや音速Ｃ２等の物性値が既知であるような場合には、前述したような計測によって平均密度ρａや音速Ｃ２を求めるのではなく、既知の平均密度ρａや音速Ｃ２をそのまま使用することも可能である。
【００５４】
（理論放出位置算出工程）
次に、求めた（あるいは既知である）平均密度ρａおよび音速Ｃ２に基づいて、前記数式１によって、屈折角θ２を求める（ＳＴＥＰ−２−５）。そしてさらに、屈折角θ２であり、かつ、製品２８が一定の平均密度ρａであった場合における超音波の計算上の放出位置Ｐを算出する（ＳＴＥＰ−２−６）。
【００５５】
（超音波受信工程および放出位置測定工程）
次に、受信センサ２５によって、超音波探触子２３によって入射角θ１で放射され製品２８内を伝播した超音波を受信することにより、実際の放出位置Ｑを測定する（ＳＴＥＰ−２−７）。
【００５６】
そして、計算上の放出位置Ｐと実際の放出位置Ｑの差異Ｘを求めて、この差異Ｘに基づいて、ＰＣ２６により、製品２８の内部の密度分布の偏差を求める（ＳＴＥＰ−２−８）。
【００５７】
超音波は、音速が異なる材質を通過する場合、その界面に対して斜めに入射すると、その界面で屈折する（伝播方向が変わる）性質を有しており、その屈折量は、入射角θ１と音速Ｃ１によって決まることが知られている（数式１参照）。また、音速は密度と相関関係があるため（数式２参照）、屈折量（即ち、屈折角θ２）を求めることによって、測定対象物の密度の変化量（偏差）を推定することができる。
【００５８】
（内部性状判定工程）
そして、求めた差異Ｘに基づいて、差異Ｘが予め定めた基準範囲内であれば、製品２８の内部性状（特に密度分布）が正常であると判定する。一方、差異Ｘが予め定めた基準範囲を越えてしまう場合には、例えば、製品２８の密度分布が異常（ばらつきが大きい）であったり、あるいは、内部に欠陥があったりすると判断し、製品２８の内部性状が異常であると判定する（ＳＴＥＰ−２−９）。このようにして、製品２８について、内部欠陥の有無を検査する。
以上のようにして、内部性状検査装置２１による一連の検査工程が完了する。
【００５９】
このような構成の内部性状検査装置２１を用いることにより、例えば、焼結部品等の内部欠陥の有無を生産ライン上で容易に検出することが可能になり、次工程に不良品が流出することが確実に防止されるとともに、内部欠陥の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
【００６０】
即ち、本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置２１は、測定対象物たる製品２８に対して超音波を放射する超音波探触子２３と、超音波探触子２３により放射され製品２８の内部を伝播した超音波を受信する受信センサ２５と、を備える内部性状検査装置２１であって、超音波探触子２３から製品２８に対して放射され製品２８の内部を伝播する超音波の計算上の製品２８からの放出位置Ｐと、超音波探触子２３から製品２８に対して放射され製品２８の内部を伝播する超音波の受信センサ２５によって測定される製品２８からの放出位置Ｑと、に基づいて、製品２８の内部性状を検査するものである。
このような構成により、製品２８の内部性状（均一性や欠陥の有無）を、容易に精度良く検査することができる。
【００６１】
また、本発明の第二実施例に係る内部性状検査装置２１による内部性状検査方法は、測定対象物たる製品２８に対して超音波探触子２３により超音波を放射する超音波放射工程と、超音波探触子２３により放射され製品２８の内部を伝播した超音波を受信センサ２５により受信する超音波受信工程と、超音波探触子２３から製品２８に対して放射され製品２８の内部を伝播する超音波の製品２８からの計算上の放出位置Ｐを算出する理論放出位置算出工程と、超音波探触子２３から製品２８に対して放射され製品２８の内部を伝播する超音波の製品２８からの放出位置Ｑを受信センサ２５によって測定する放出位置測定工程と、計算上の放出位置Ｐと測定された放出位置Ｑとの差異Ｘに基づいて製品２８の内部性状の合否を判定する内部性状判定工程と、を備えるものである。
このような構成により、製品２８の内部性状（均一性や欠陥の有無）を、容易に精度良く検査することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１    内部性状検査装置
２    マスター用超音波探触子
３    製品用超音波探触子
４    マスター用受信センサ
５    製品用受信センサ
６    ＰＣ
７    マスターワーク
８    製品
２１  内部性状検査装置
２３  超音波探触子
２５  受信センサ
２６  ＰＣ
２８  製品
【図１】
2010185791.tif 000007
【図２】
2010185791.tif 000008
【図３】
2010185791.tif 000009
【図４】
2010185791.tif 000010