(57)【要約】【課題】搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供する。【解決手段】分岐装置は、搬送容器１０の上面に配設された第一ガイド部Ｇ１，Ｇ２と、搬送容器１０の下面に配設された第二ガイド部と、第一搬送路Ｓと第二搬送路Ｂの交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて移送する複数の搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａ，Ｒ３Ａ，Ｒ４Ａと、交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて第二ガイド部に当接して案内するガイドレールＴＧ１と、第一ガイド部Ｇ２に当接して搬送容器１０を第一搬送路Ｓに沿って案内する第一切換ガイドレールＳＧ１及び第一ガイド部Ｇ１に当接して搬送容器１０を第二搬送路Ｂに沿って案内する第二切換ガイドレールＢＧ１を有すると共に交差部分の上方において水平移動可能に配設された切換ガイド２Ａと、を備える。【選択図】図１
2010126334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、
前記搬送容器の上面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第一ガイド部と、
前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第二ガイド部と、
前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、
前記搬送路のうち前記交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記第二ガイド部に当接して案内するガイドレールと、
前記第一ガイド部のうち前記第二搬送路側に配設されたものに当接して前記搬送容器を前記第一搬送路に沿って案内する第一切換ガイドレール及び前記第一ガイド部のうち前記第一搬送路側に配設されたものに当接して前記搬送容器を前記第二搬送路に沿って案内する第二切換ガイドレールを有すると共に前記交差部分の上方において水平移動可能に配設された切換ガイドと、
を備えることを特徴とする分岐装置。
【請求項２】
前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする請求項１に記載の分岐装置。
【請求項３】
前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする請求項１に記載の分岐装置。
【請求項４】
前記第一ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の分岐装置。
【請求項５】
前記第二ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の分岐装置。
【請求項６】
前記第二ガイド部は、フランジであることを特徴とする請求項２に記載の分岐装置。
【請求項７】
前記第一ガイド部は、前記搬送容器の側面部であることを特徴とする請求項２に記載の分岐装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分岐装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ローラコンベア等の搬送路に沿って移送される搬送物の移送方向を分岐搬送路側に切換える分岐装置として、ターンテーブルが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３７４９１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ターンテーブルは、搬送路上で移送される搬送容器を分岐搬送路側に切換える際に、ターンテーブル上に搬送物を載置した状態で、旋回させる必要がある。このため、ターンテーブルの旋回時は、後続する搬送物の進行（搬送）が停止され搬送路上で停滞するので、搬送効率が低下する問題を有している。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、搬送容器の流れを停滞させることなく円滑且つ確実に移送方向を変換することができる分岐装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る分岐装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明は、搬送物を収容する搬送容器を搬送する搬送路の分岐装置であって、前記搬送容器の上面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第一ガイド部と、前記搬送容器の下面の搬送方向と直交する幅方向両側に配設された第二ガイド部と、前記搬送路のうち第一搬送路と第二搬送路の交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記搬送容器の下面を支持して移送する複数の搬送ローラと、前記搬送路のうち前記交差部分を除く搬送方向の幅方向両側に沿って配設されて前記第二ガイド部に当接して案内するガイドレールと、前記第一ガイド部のうち前記第二搬送路側に配設されたものに当接して前記搬送容器を前記第一搬送路に沿って案内する第一切換ガイドレール及び前記第一ガイド部のうち前記第一搬送路側に配設されたものに当接して前記搬送容器を前記第二搬送路に沿って案内する第二切換ガイドレールを有すると共に前記交差部分の上方において水平移動可能に配設された切換ガイドと、を備えることを特徴とする。
【０００６】
また、前記ガイドレールは、前記搬送ローラよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする。
【０００７】
また、前記搬送ローラは、前記ガイドレールよりも、前記搬送路の搬送方向の幅方向外側に配設されることを特徴とする。
【０００８】
また、前記第一ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする。
【０００９】
また、前記第二ガイド部には、鉛直回転軸式のガイドローラを有することを特徴とする。
【００１０】
また、前記第一ガイド部は、フランジであることを特徴とする。
【００１１】
また、前記第二ガイド部は、前記搬送容器の側面部であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、切換ガイドの位置を移動させるだけで、搬送容器の搬送方向（直進と分岐）を簡単かつ確実に切り替えることができる。また、複数の搬送容器が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る分岐装置の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を示す斜視図である。
図２は、第一実施形態に係る分岐装置で使用する搬送容器の斜視図である。
【００１４】
搬送容器１０は、例えば複数の円板状半導体ウェハーＤ（搬送物）を複数段に整列収容して搬送する容器である。この搬送容器１０は、両側内部側壁に半導体ウェハーＤの両側を係止する複数段の係止溝を形成した収容ケース１２と、この収容ケース１２の開口部１３を密封閉塞する蓋体１４とから構成されている。
【００１５】
複数の半導体ウェハーＤを収容した搬送容器１０は、閉塞された開口部１３を横に向けて後述する主搬送路Ｓまたは分岐搬送路Ｂを矢印方向に移送されるようになっている。
搬送容器１０の上面Ｔには、支柱により一定高さに保持された幅方向に延びる矩形状のフランジ１５の両側にそれぞれ一対の第１ガイドローラＧ１，Ｇ２が搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。また、搬送容器１０の下面Ｅにも、搬送方向両側に一対の第２ガイドローラＧ３，Ｇ４が第１ガイドローラＧ１，Ｇ２と同じ位置に支持されており、搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている（図３，図４参照）。
【００１６】
もっとも、第１ガイドローラＧ１，Ｇ２がローラでなく、平板式のフランジ１５の側面であってもよい。また、第２ガイドローラＧ３，Ｇ４がローラでなく、搬送容器１０の側面部（蓋体１４の側面下方１４１若しくはガイドローラＧ４近傍となる収容ケース１２の背面下方１２１）であってもよい。なお、第１実施形態においては、ガイドローラＧ１，Ｇ２又はＧ３，Ｇ４がない場合は、同様に読みかえるものとする。
【００１７】
図３は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図４は、本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【００１８】
図３、図４において、分岐装置１Ａは、搬送容器１０を直進方向に搬送する主搬送路Ｓと、この主搬送路Ｓから搬送容器１０を分岐方向に搬送する分岐搬送路Ｂと交叉する部位に配設されている。
【００１９】
主搬送路Ｓ並びに分岐搬送路Ｂのフレーム１６の両内側面には、複数の搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａが搬送方向に向けて連続的に配設されている。搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａは、駆動ローラＤＲと自由回転可能なフリーローラＦＲとから構成されており、搬送容器１０の下面に配設される第２ガイドローラＧ３，Ｇ４の幅方向内側に当接するように配設されている。
【００２０】
また、主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂが交叉する分岐領域ＢＡ１（二点鎖線で囲まれる領域）以外の領域において、搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａの外側には搬送容器１０下面の第２ガイドローラＧ３，Ｇ４を移送方向に案内するガイドレールＴＧ１が移送方向に沿って設けられている。
【００２１】
分岐領域ＢＡ１において、主搬送路Ｓの分岐路側における片側の搬送ローラＲ２Ａは、分岐搬送路Ｂの両搬送ローラＲ３Ａ，Ｒ４Ａと交叉する範囲には存在しない。また、分岐搬送路Ｂの主搬送路Ｓ側における片側の搬送ローラＲ３Ａは、主搬送路Ｓの両搬送ローラＲ１Ａ，Ｒ２Ａと交叉する範囲には存在しない。
【００２２】
分岐装置１Ａは、不図示の駆動源にて主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂの間で横切る方向に進退移動（水平移動）する、上面視略三角形の切換ガイド２Ａを備えている。
切換ガイド２Ａは、搬送容器１０の第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち分岐路側に配設したガイドローラＧ２に当接して直進方向に沿って案内する直線状の第１切換ガイドレールＳＧ１と、第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち主搬送路Ｓ側に配設したガイドローラＧ１に当接して分岐方向に沿って案内する円弧状の第２切換ガイドレールＢＧ１と、を備えている。そして、第１切換ガイドレールＳＧ１と第２切換ガイドレールＢＧ１がそれぞれ切換ガイド２Ａの外側面となるように一体的に構成されている。
【００２３】
次に、第一実施形態に係る分岐装置１Ａの作用に付き、図３、図４を参照して説明する。
先ず、搬送容器１０を主搬送路Ｓ上で直進移送する際は、図３（ａ）に示すように、切換ガイド２Ａを主搬送路Ｓ側から分岐搬送路Ｂ側に移動させることで、搬送容器１０上面Ｔの第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち、分岐路側ガイドローラＧ２が第１切換ガイドレールＳＧ１に案内される。
【００２４】
すなわち、図３（ｂ）に示すように、搬送容器１０が分岐領域ＢＡ１において直進する場合は、搬送容器１０の上面Ｔの分岐路側ガイドローラＧ２が第１切換ガイドレールＳＧ１に案内されるので、搬送容器１０の分岐路側への傾倒が防止され、水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ１Ａの駆動力により進行方向に沿って円滑に移送することができる。
【００２５】
ここで、図１に示すように搬送容器１０の上面の第１ガイドローラＧ１とＧ１、Ｇ２とＧ２の芯間距離をともにＬとする。今、図３の交差部におけるガイドレールＴＧＩの間欠部の距離Ｓ１がＳ１＜Ｌであれば、搬送前後方向に２つのガイドローラＧ２、Ｇ２が存在する場合には、一方のＧ２が間欠部を通過する際にも、他の３つのガイドローラＧ３，Ｇ３，Ｇ２によって搬送容器１０はガイドレールＳＧ１に衝突することなく、円滑に移送される。
また、ガイドローラＧ２が１つの場合には、第１切替レールの端部ＳＧ１０を、間欠部Ｓ１の端部ＴＧ１０にほぼ一致するように切換ガイド２Ａの寸法を大きく設定すればよい。
【００２６】
また、図４（ａ）に示すように、搬送容器１０が主搬送路Ｓから分岐搬送路Ｂに分岐移送する場合は、切換ガイド２Ａを分岐搬送路Ｂ側から主搬送路Ｓ側に水平移動させることで、搬送容器１０上面の第１ガイドローラＧ１，Ｇ２のうち、主搬送路ガイドローラＧ１が第２切換ガイドレールＢＧ１によって案内される。
なお、図４における間欠部Ｂ１の距離がＢ１＜Ｌとなるようにすれば、又はＢＧ１を大きく設置すれば、前述と同様の機能を果たせることは明らかである。
【００２７】
すなわち、図４（ｂ）に示すように、搬送容器１０が分岐領域ＢＡ１において分岐搬送路Ｂ側に分岐する場合は、搬送容器１０の上面Ｔの主搬送路ガイドローラＧ１が第２切換ガイドレールＢＧ１に案内されるので、搬送容器１０の主搬送路側への傾倒が防止され、水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ４Ａ側の駆動ローラＤＲにより分岐搬送路Ｂの進行方向に沿って円滑に移送することができる。
【００２８】
このように、切換ガイド２Ａを水平移動させるだけで、搬送容器１０の直進と分岐を簡単かつ確実に切り替えることができる。したがって、複数の搬送容器１０が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器１０を一旦停止させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐させることができる。
【００２９】
次に、本発明の第二実施形態に係る分岐装置に付き、図５、図６を参照して説明する。なお、第一実施形態と同一構成部材については、同一符号を付して説明を省略する。
図５は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
図６は、本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【００３０】
図５、図６において、複数の半導体ウェハーＤを収容した搬送容器２０は、容器本体は第一実施形態と同一構成となっている。
搬送容器２０の上面Ｔには、一定高さに保持された矩形状フランジ１７の両側にそれぞれ一対の第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２が搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。また、搬送容器２０の下面Ｅにも、搬送方向両側に一対の第２ガイドローラＧ１３，Ｇ１４が第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２と同じ位置に支持されており、搬送方向前後に所定間隔で回転自在に支持されている。
なお、第２実施形態においては、ガイドローラＧ１，Ｇ２がない場合には、Ｇ１，Ｇ２をフランジ１５と読みかえる。第２実施形態については、以下、同様に読みかえるものとする。
【００３１】
一方、主搬送路Ｓ並びに分岐搬送路Ｂのフレーム１８の両内側面には、複数の搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂが搬送方向に向けて連続的に配設されており、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂは、駆動ローラＤＲと自由回転可能なフリーローラＦＲとから構成されており、搬送容器２０の下面に配設される第２ガイドローラＧ１３，Ｇ１４の幅方向外側に近接して配設されている。
【００３２】
また、主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂが交叉する分岐領域ＢＡ２（二点鎖線で囲まれる領域）以外の領域において、搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂの内側には搬送容器２０の下面の第２ガイドローラＧ１３，Ｇ１４を移送方向に案内するガイドレールＴＧ２が移送方向に沿って設けられている。
【００３３】
分岐領域ＢＡ２において、主搬送路Ｓの分岐路側における片側の搬送ローラＲ２Ｂは、分岐搬送路Ｂの両搬送ローラＲ３Ｂ，Ｒ４Ｂと交叉する範囲には存在しない。また、分岐搬送路Ｂの主搬送路Ｓ側における片側の搬送ローラＲ３Ｂは、主搬送路Ｓの両搬送ローラＲ１Ｂ，Ｒ２Ｂと交叉する範囲には存在しない。
【００３４】
分岐装置１Ｂは、不図示の駆動源にて主搬送路Ｓと分岐搬送路Ｂの間で横切る方向に進退移動する切換ガイド２Ｂを備えている。
切換ガイド２Ｂは、搬送容器２０の上面Ｔの第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２のうち分岐路側に配設したガイドローラＧ１２に当接して直進方向に沿って案内する直線状の第１切換ガイドレールＳＧ２と、第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２のうち主搬送路Ｓ側に配設したガイドローラＧ１１に当接して分岐方向に沿って案内する円弧状の第２切換ガイドレールＢＧ２と、を備えている。そして、第１切換ガイドレールＳＧ２と第２切換ガイドレールＢＧ２がそれぞれ切換ガイド２Ｂの外側面となるように一体的に構成されている。
【００３５】
次に、第二実施形態に係る分岐装置１Ｂの作用に付き、図５、図６を参照して説明する。
先ず、搬送容器２０を主搬送路Ｓ上で直進移送する際は、図５（ａ）に示すように、切換ガイド２Ｂを主搬送路Ｓ側から分岐搬送路Ｂ側に移動させることで、搬送容器２０上面Ｔの第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２の内、分岐路側ガイドローラＧ１２が第１切換ガイドレールＳＧ２に案内される。
【００３６】
すなわち、図５（ｂ）に示すように、搬送容器２０が分岐領域ＢＡ２において直進する場合は、搬送容器２０の上面Ｔの分岐路側ガイドローラＧ１２が第１切換ガイドレールＳＧ２に案内されるので、搬送容器２０が分岐路側へ傾倒するのが防止され、水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ１Ｂの駆動力により進行方向に沿って円滑に移送することができる。
【００３７】
また、図６（ａ）に示すように、搬送容器２０が主搬送路Ｓから分岐搬送路Ｂに分岐移送する場合は、切換ガイド２Ｂを分岐搬送路Ｂ側から主搬送路Ｓ側に移動させることで、搬送容器１０の上面の第１ガイドローラＧ１１，Ｇ１２の内、主搬送路側ガイドローラＧ１１が第２切換ガイドレールＢＧ２によって案内される。
なお、交差部においては、直進用と分岐用のガイドレールＴＧ２，ＴＧ２は、図６（ｃ）に示すように交差する位置まで延長して敷設してもよい。
【００３８】
すなわち、図６（ｂ）に示すように、搬送容器２０が分岐領域ＢＡ２において分岐搬送路Ｂ側に分岐する場合は、搬送容器２０の上面Ｔの主搬送路側ガイドローラＧ１が第２切換ガイドレールＢＧ２に案内されるので、搬送容器１０の主搬送路側への傾倒が防止され、水平姿勢を維持した状態で搬送ローラＲ４Ｂ側の駆動ローラＤＲにより分岐搬送路Ｂの進行方向に沿って円滑に移送することができる。
【００３９】
このように、切換ガイド２Ｂを移動させるだけで、搬送容器２０の直進と分岐を簡単かつ確実に切り替えることができる。したがって、複数の搬送容器２０が連続的に搬送されてきた場合であっても、これら複数の搬送容器２０を一旦停止は勿論、減速させることなく、そのまま連続的に直進或いは分岐させることができる。
付随する効果としては、搬送容器を分岐カーブ内側に傾斜させるので、容器内の半導体ウエハ等の物品が遠心力による位置ずれを生じにくいことも挙げられる。
【００４０】
上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４１】
例えば、前述のように、搬送容器の上面ないし下面の搬送方向前後に配設される第１，第２ガイドローラは、同一位置でなくともよい。また、第１ガイドローラは、搬送方向の幅方向にそれぞれ少なくとも１つある仕様であってもよい。
【００４２】
また、上述した実施形態では、搬送容器の搬送方向を直進又は分岐する場合について説明したが、これに限らない。主搬送路と分岐搬送路が合流する部分に適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第一実施形態に係る分岐装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る分岐装置に使用する搬送容器の斜視図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を直進方向に切換えた状態を示す図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る分岐装置であって、搬送容器の移送方向を分岐方向に切換えた状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１Ａ，１Ｂ…分岐装置、  Ｓ…主搬送路（第一搬送路）、  Ｂ…分岐搬送路（第二搬送路）、  Ｒ１Ａ，Ｒ２Ａ，Ｒ１Ｂ，Ｒ２Ｂ，Ｒ３Ａ，Ｒ４Ａ，Ｒ３Ｂ，Ｒ４Ｂ…搬送ローラ、  ＴＧ１，ＴＧ２…ガイドレール、  Ｄ…搬送物、  １０，２０…搬送容器、  Ｔ…上面、  Ｅ…下面、  Ｇ１，Ｇ２，Ｇ１１，Ｇ１２…第１ガイドローラ（第一ガイド部）、  Ｇ３，Ｇ４，Ｇ１３，Ｇ１４…第２ガイドローラ（第二ガイド部）、  ２Ａ，２Ｂ…切換ガイド、  ＳＧ１，ＳＧ２…第１切換ガイドレール、  ＢＧ１，ＢＧ２…第２切換ガイドレール、  １５…フランジ（ガイド部）、  １４…蓋体、  １４１…蓋体の側面下方（ガイド部）、  １２…収容ケース、  １２１…収容ケースの背面下方
【図１】
2010126334.tif 000003
【図２】
2010126334.tif 000004
【図３】
2010126334.tif 000005
【図４】
2010126334.tif 000006
【図５】
2010126334.tif 000007
【図６】
2010126334.tif 000008