(57)【要約】【課題】試料の装着が容易であり、試料を傾斜させても、視野逃げを回避することができる断面観察用の試料ホルダを提供する。【解決手段】本発明の試料ホルダは、グリップと、該グリップから延びた本体と、該本体の端部に設けられた試料搭載部とを有する。試料搭載部は、荷電粒子線が照射される側と反対側に開口を有する孔を有する。この孔の一部分は、本体を貫通する貫通孔によって構成されている。試料を、この開口を介して孔に挿入すると、該試料は孔の底面に当接する。それによって、試料の観察位置となる縁は、ユーセントリック軸上に配置され、且つ、貫通孔より露出するように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリップと、該グリップから延びた本体と、該本体の端部に設けられた試料搭載部とを有する試料ホルダにおいて、
前記試料搭載部は、荷電粒子線が照射される側と反対側に開口を有する孔を有し、前記孔の一部分は、前記本体を貫通する貫通孔によって構成され、試料を前記開口を介して前記孔に挿入すると、該試料は前記孔の底面に当接し、前記試料の観察位置となる縁は、ユーセントリック軸上に配置され、且つ、荷電粒子線が照射される側に形成された前記貫通孔の開口より露出するように構成されていることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項２】
請求項１記載の試料ホルダにおいて、
前記試料搭載部は、前記孔に挿入された試料を固定するための固定機構を有し、該固定機構によって前記試料は、前記孔の内壁に押し付けられることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項３】
請求項２記載の試料ホルダにおいて、
前記孔の内壁のうち、前記固定機構によって試料が押し付けられた側の内壁に凹部が形成されていることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項４】
請求項２記載の試料ホルダにおいて、
前記固定機構は、隔壁板と該隔壁板を保持するねじを有し、該隔壁板によって前記試料は、前記孔の内壁に押し付けられることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項５】
請求項４記載の試料ホルダにおいて、
前記隔壁板は、前記孔に挿入された試料の厚さ方向に延びる第１の突起を有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項６】
請求項４記載の試料ホルダにおいて、
前記隔壁板は、前記孔に挿入された試料の厚さ方向と反対側に延びる第２の突起を有し、該第２の突起は、荷電粒子線が照射される側に形成された前記貫通孔の開口に係合するように構成されていることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項７】
請求項４記載の試料ホルダにおいて、
前記隔壁板は板ばねを有し、該板ばねの圧縮力によって前記試料は、前記孔の内壁に押し付けられることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項８】
請求項２記載の試料ホルダにおいて、
前記固定機構は、支点回りに枢動可能な蓋と、前記蓋に装着された板ばねと、前記蓋に係合可能なスライダと、前記スライダを移動させるための押しばねと、を有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項９】
荷電粒子源と、荷電粒子線を試料に照射させるレンズ機構と、試料ホルダを保持するサイドエントリー型試料ステージと、を有する荷電粒子線装置において、
前記試料ホルダは、グリップと、該グリップから延びた本体と、該本体の端部に設けられた試料搭載部とを有し、
前記試料搭載部は、荷電粒子線が照射される側と反対側に開口を有する孔を有し、前記孔の一部分は、前記本体を貫通する貫通孔によって構成され、前記孔の底面は、ユーセントリック軸を通りビームの光軸に垂直な第１の基準面上に配置され、前記孔の内壁は、ユーセントリック軸を通りビームの光軸を通る第２の基準面上に配置され、試料を前記開口を介して前記孔に挿入すると、該試料は前記孔の底面に当接し、前記試料の観察位置となる縁は、ユーセントリック軸上に配置され、且つ、荷電粒子線が照射される側に形成された前記貫通孔の開口より露出するように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項９記載の荷電粒子線装置において、
前記試料搭載部は、前記孔に挿入された試料を固定するための固定機構を有し、該固定機構によって前記試料は、前記孔の内壁に押し付けられることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の荷電粒子線装置において、
前記孔の内壁のうち、前記固定機構によって試料が押し付けられた側の内壁に凹部が形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１２】
請求項１０記載の荷電粒子線装置において、
前記固定機構は、隔壁板と該隔壁板を保持するねじを有し、該隔壁板によって前記試料は、前記孔の内壁に押し付けられるように保持されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の荷電粒子線装置において、
前記隔壁板は、前記孔に挿入された試料の厚さ方向に延びる第１の突起を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１４】
請求項１２記載の荷電粒子線装置において、
前記隔壁板は、前記孔に挿入された試料の厚さ方向と反対側に延びる第２の突起を有し、該第２の突起は、荷電粒子線が照射される側に形成された前記孔の開口に係合するように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１５】
請求項１２記載の荷電粒子線装置において、
前記隔壁板は、板ばねを有し、該板ばねの圧縮力によって前記試料は、前記孔の内壁に押し付けられることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１６】
請求項１０記載の荷電粒子線装置において、
前記固定機構は、支点回りに枢動可能な蓋と、前記蓋に装着された板ばねと、前記蓋に係合可能なスライダと、前記スライダを移動させるための押しばねと、を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１７】
請求項９記載の荷電粒子線装置において、
前記試料搭載部は、荷電粒子線が照射される側に凹部を有し、前記本体を貫通する貫通孔の両側の開口のうち荷電粒子線が照射される側の開口は前記凹部に設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１８】
グリップと、該グリップから延びた本体と、該本体の端部に設けられた試料搭載部とを有するサイドエントリー型試料ホルダにおいて、
ユーセントリック軸を通りビームの光軸に垂直な第１の基準面と、ユーセントリック軸を通りビームの光軸を通る第２の基準面とを有し、
前記試料搭載部は、試料を収納する孔と該孔に挿入された試料を固定するための固定機構を有し、
前記孔は、荷電粒子線が照射される側と反対側に設けられた試料を挿入するための開口と、前記第１の基準面上に沿って配置された底面と、前記第２の基準面上に沿って配置された内壁と、を有し、
前記固定機構は、前記孔に挿入された試料の端面を前記孔の底面に押し付け、前記孔に挿入された試料の面を前記孔の内壁に押し付けるように構成され、
前記試料の観察位置となる縁は、ユーセントリック軸上に配置され、且つ、前記孔の底面に形成された開口より露出するように構成されていることを特徴とするサイドエントリー型試料ホルダ。
【請求項１９】
請求項１８記載のサイドエントリー型試料ホルダにおいて、
前記固定機構は、隔壁板と該隔壁板を保持するねじを有し、該隔壁板によって前記試料は、前記孔の内壁に接触するように保持されることを特徴とするサイドエントリー型試料ホルダ。
【請求項２０】
請求項１９記載のサイドエントリー型試料ホルダにおいて、
前記孔の内壁のうち、前記固定機構によって試料が押し付けられた側の内壁に凹部が形成されていることを特徴とするサイドエントリー型試料ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷電粒子線装置用の試料ホルダに関し、特に、サイドエントリー型試料ステージを有する荷電粒子線装置に好適な断面観察用の試料ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
走査電子顕微鏡は、電子線を試料上で走査し、試料から放出される二次電子又は反射電子を検出して走査電子顕微鏡像を得る。試料の装着方法及び装着方向は、観察する試料に応じて変化する。特許第3702685号には、断面観察試料用の試料ホルダを装着するためのユーセントリックタイプの試料ステージが記載されている。
【０００３】
半導体製造産業では、割断したウエハ断面部のエッジを観察することで欠陥解析やプロセス解析を行う。この断面観察に使用するのが断面観察用の試料ホルダである。従来の断面観察用の試料ホルダでは、試料の落下を防止するため、割断したウエハを光軸方向から装着し、水平方向からウエハを押さえつける構造になっている。
【０００４】
特許第2776858号には、ウエハ試料を試料ホルダの裏側より装着する手段が記載されている。この特許第2776858号に記載された例では、試料を裏面から押すため、試料サイズが変動しても試料の観察面が常に一定になる。しかしながら、特許第2776858号に記載された試料ホルダは、バルク試料を観察するように構成されている。そのため、断面観察用に作成されたウエハ試料を観察するのには適していない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第3702685号
【特許文献２】特許第2776858号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
断面観察用に作成されたウエハ試料を観察する場合、試料の観察位置は、割断面とパターンが形成された面が交差するエッジである。断面観察用の試料は、観察位置のエッジがビームの入射方向を向くように、断面観察用の試料ホルダに装着される。
【０００７】
サイドエントリー型試料ステージでは、試料は、ユーセントリック軸回りに回転可能である。試料を傾斜させて観察する場合には、試料ホルダを、ユーセントリック軸回りに回転させる。それによって、試料はユーセントリック軸回りに回転する。このとき、試料の観察位置が、ユーセントリック軸上に無いと、試料の観察位置は、変位する。そのため、観察位置の視野逃げやフォーカス変動が発生する。これは、高倍率観察が可能な電子顕微鏡では、重大な問題となっている。
【０００８】
ウエハの断面観察では、パターンが形成されたシリコンウエハから、所望の部位を割断して、数ｍｍ×数ｍｍのサイズの観察試料を作成する。この割断作業は手作業で行われるため、試料のサイズ及び厚さは一定ではない。そのため、試料の観察位置をユーセントリック軸上に配置させることは困難である。
【０００９】
本発明の目的は、試料の装着が容易であり、試料を傾斜させても、視野逃げを回避することができる断面観察用の試料ホルダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の試料ホルダは、グリップと、該グリップから延びた本体と、該本体の端部に設けられた試料搭載部とを有する。試料搭載部は、荷電粒子線が照射される側と反対側に開口を有する孔を有する。この孔の一部分は、本体を貫通する貫通孔によって構成されている。試料を、この開口を介して孔に挿入すると、該試料は孔の底面に当接する。それによって、試料の観察位置となる縁は、ユーセントリック軸上に配置され、且つ、貫通孔より露出するように構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、試料の装着が容易であり、試料を傾斜させても、視野逃げを回避することができる断面観察用の試料ホルダを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明による断面観察用の試料ホルダの例の全体構成を示す図である。
【図２】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の例の分解斜視図である。
【図３Ａ】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の正面構成の例を示す図である。
【図３Ｂ】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の平面構成の例を示す図である。
【図３Ｃ】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の側面構成の例を示す図である。
【図４】断面観察用の試料ホルダの試料装着部において試料の観察位置を説明する図である。
【図５】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の例において、試料を装着する方法を説明する図である。
【図６Ａ】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の平面構成の他の例を示す図である。
【図６Ｂ】本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の側面構成の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１を参照して本発明による断面観察用の試料ホルダの例を説明する。本発明による試料ホルダは、サイドエントリー型試料ステージを備えた荷電粒子線装置に用いられる。本例の試料ホルダは試料搭載部21、真空遮断するためのOリング22、荷電粒子線装置に装着する際のガイドとなるガイドピン24、及び、試料ホルダの持ち運び用のグリップ23を有する。試料搭載部21は棒状の本体20の端部に設けられている。
【００１４】
以下に、本発明による断面観察用の試料ホルダを、電子線源と、電子線を試料に照射させるレンズ機構と、試料ホルダを保持するサイドエントリー型試料ステージを有する電子顕微鏡に用いる場合を説明する。本発明は、サイドエントリー型試料ステージを有する電子顕微鏡ばかりでなく、荷電粒子源と、荷電粒子線を試料に照射させるレンズ機構と、試料ホルダを保持するサイドエントリー型試料ステージを有する荷電粒子線装置にも適用可能である。
【００１５】
図２は、本発明による断面観察用の試料ホルダの試料搭載部21の例を示す分解斜視図である。本発明による断面観察用の試料ホルダの試料搭載部21には、ビームが入射する側に、略正方形の凹部12が設けられている。凹部12は、視野範囲と略同一の寸法を有し、その四隅は湾曲している。この凹部12の略中央に、孔13が形成されている。この孔13に、試料15と隔壁板17は、ビームが入射する側と反対側より挿入され、ねじ16によって固定するように構成されている。
【００１６】
ここでは、半導体ウエハの断面観察の場合を説明する。試料15は、手作業によって半導体シリコンウエハから切り出された薄い板状である。シリコンウエハから、所望の部位を割断することにより、数ｍｍ×数ｍｍのサイズの試料を作成する。この割断作業は手作業で行われる。試料の観察位置は、割断面とパターンが形成された面が交差するエッジである。
【００１７】
隔壁板17は、試料15にねじ16が直接接触することを防止するために用いる。即ち、ねじ16の締め付け力は、隔壁板17を介して試料15に、全面的に加わる。隔壁板17を使用することによって、ねじ16の締め付け力が試料15の一部に局所的に集中することが防止される。こうして、隔壁板17を使用することによって、試料15が割れることが防止される。
【００１８】
隔壁板17は、非磁性金属からなり、突起17A、17B及び板ばね17Cを有する。第１の突起17Aは、ビームが入射する側の縁に、且つ、隔壁板17の略中央に設ける。第２の突起突起17Bは、ビームが入射する側と反対側の縁に、隔壁板17の中央より両側に設ける。板ばね17Cを突起17Aの下側に設ける。隔壁板17の突起17A、17B及び板ばね17Cの機能は後に説明する。
【００１９】
図３Ａは、本発明による断面観察用の試料ホルダの試料搭載部21の正面構成の例を示し、図３Ｂは、本発明による断面観察用の試料ホルダの試料搭載部21の平面構成の例を示し、図３Ｃは、本発明による断面観察用の試料ホルダの試料搭載部21の側面構成の例を示す。これらの図は、試料ホルダの試料搭載部21に、試料15と隔壁板17が挿入された状態を示す。
【００２０】
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、試料ホルダの本体20の試料搭載部21には、ビームが入射する側に、２つの平坦面11A、11Bが形成され、その間に、中央の平坦面11Cが形成されている。中央の平坦面11Cと両側の平坦面11A、11Bの接続部には傾斜面11D、11Eが、それぞれ形成されている。中央の平坦面11Cには、凹部12が形成されている。
【００２１】
図３Ａに示すように、孔13は、試料ホルダのビームが入射する側と反対側に開口を有する。孔13は、深さ方向に、即ち、試料ホルダのビームが入射する側に向かって延びている。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、孔13は、中央の平坦面11Cの領域では、貫通孔となっているが、両側の傾斜面11D、11E及び平坦面11A、11Bでは、貫通孔となっていない。即ち、傾斜面11D、11E及び平坦面11A、11Bは、孔13の底を形成している。
【００２２】
孔13の底面13ｂは、中央の平坦面11Cと同一面上にある。中央の平坦面11Cを通る平面を、光軸に垂直な基準面3と称することとする。孔13の底面13ｂは、光軸に垂直な基準面3上にある。試料ホルダの中心軸線とビームの光軸を通る平面を、光軸方向の基準面4と称することとする。図３Ｂ及び図３Ｃに示すように、孔13を形成する互いに平行な２つの内壁のうち、一方の内壁13cは、光軸方向の基準面4上にある。この内壁13cには凹部13aが形成されている。
【００２３】
図３Ｂに示すように、孔13は、細長い長方形の断面を有し、試料ホルダの中心軸線に沿って延びている。孔13の長方形の断面の長手方向の寸法は、凹部12の平面寸法より長い。
【００２４】
この孔13に、試料15と隔壁板17が挿入されている。図３Ｃに示すように、試料15の上端は、孔13の底面13ｂに当接しており、試料15のパターンが形成された面は、孔13の内壁13cに接触している。図３Ｃに示すように、試料15は、凹部13aが形成されている領域では、孔13の内壁13cに接触していない。こうして本発明によると、試料15の割断面は光軸に垂直な基準面3上に配置され、試料15のパターンが形成された面は光軸方向の基準面4上に配置されている。
【００２５】
孔13内に挿入された試料15及び隔壁板17は、ビームが入射する側では、中央の平坦面11Cの領域にて、凹部12によって露出されているが、傾斜面11D、11E及び平坦面11A、11Bの領域では、露出されていない。
【００２６】
図３Ｂ及び図３Ｃに示すように、ねじ16の締め付け力によって、隔壁板17は試料15に押し付けられている。図３Ｃに示すように、隔壁板17の第１の突起17Aは、凹部12の底面に係合している。しかしながら、隔壁板17の第２の突起17Bは、試料15の下端に当接していない。
【００２７】
断面観察用の試料ホルダの回転軸はユーセントリック軸2と称される。図３Ｃに示すように、ユーセントリック軸2は、光軸に垂直な基準面3と光軸方向の基準面4の交差線である。試料15の観察位置は、割断面とパターンが形成された面が交差するエッジである。試料15の観察位置は、図３Ｃに示す例では、試料15の上端の角部である。試料15の観察位置は、凹部12によって露出されている。
【００２８】
試料を傾斜させて観察する場合には、試料ホルダを、ユーセントリック軸回りに回転させる。本例では、試料15の観察位置は、ユーセントリック軸2上に配置されている。図３Ｂに示すように、試料15の観察位置は、試料ホルダがユーセントリック軸2回りに回転しても、変化しない。試料ホルダがユーセントリック軸2回りに回転しても、試料15の観察位置は変化しない。従って、試料ホルダがユーセントリック軸2回りに回転しても、焦点位置等を変化させる必要がない。
【００２９】
図４は、試料15の観察位置51がユーセントリック軸2上に配置されていない場合を示す。この場合、試料ホルダをユーセントリック軸2回りに回転させると、試料15の観察位置51は、変化する。試料15の観察位置は、参照符号51の位置から参照符号51’へ移動する。それによって、観察位置の視野逃げやフォーカス変動が発生する。これは、高倍率観察が可能な電子顕微鏡では、重大な問題となっている。
【００３０】
試料15の観察位置51がビームの光軸52上に配置されている場合には、試料ホルダをユーセントリック軸2回りに回転させたとき、観察位置の変位量は少なくなる。しかしながら、試料15の観察位置51がユーセントリック軸2上に配置されていない限り、観察位置は変位する。
【００３１】
一方、本発明では、図３Ｃにて示したように、試料15の観察位置がユーセントリック軸2上に配置されている。そのため、試料を傾斜させて観察する場合には、試料ホルダを、ユーセントリック軸回りに回転させても、試料15の観察位置は、変化しない。
【００３２】
図５を参照して本発明による断面観察用の試料ホルダの試料搭載部21に試料15を装着する方法を説明する。図示のように、試料ホルダをユーセントリック軸2回りに回転させ、ビームが入射する側、即ち、平坦面11A、11B、11Cを下側に配置する。上側には、ビームが入射する側と反対側、即ち、孔13の開口が配置される。そこで、ねじ16を緩める。即ち、ねじ16を外方に移動させる。それによって、圧縮されていた隔壁板17の板ばね17Cが伸びる。隔壁板17を移動させることができる。隔壁板17に沿って、隙間ができる。そこに試料15を挿入する。試料15のパターンが形成された面が、孔13の内壁13cに面するように、試料を挿入する。孔13には、凹部13aが形成されているため、試料15を孔13に挿入するとき、観察位置が孔13に接触して損傷することはない。
【００３３】
試料15の挿入方向と、隔壁板17の板ばね17Cの傾斜が増加する方向が同一となっている。従って、隔壁板17の板ばね17Cは、試料15の挿入を妨げない。試料15は孔13の奥まで挿入され、孔13の底に当接する。上述のように、孔13の底は、傾斜面11D、11E及び平坦面11A、11Bによって形成されている。こうして、試料15が孔13の底に当接するまで、挿入されると、最後に、ねじ16が締結される。ねじ16が締め付けられると、試料15は、隔壁板17によって、凹部13aが形成された孔13の内壁に押し付けられる。それによって、隔壁板17の板ばね17Cは圧縮される。ねじ16が十分締め付けられると、試料15の装着は完了する。そこで試料ホルダがユーセントリック軸2回りに回転させ、図３Ｃに示すように、ビームが入射する側、即ち、平坦面11A、11B、11Cを上側に配置する。
【００３４】
図３Ｃに示す状態で、ねじ16が緩んでも、試料15の下端は、隔壁板17の第２の突起突起17Bに当接する。従って、試料15が落下することはない。同様に、隔壁板17の第１の突起突起17Aは、凹部12の底に係合している。従って、隔壁板17が落下することはない。
【００３５】
試料15を取り外す場合には、ねじ16を緩める。このとき、隔壁板17の板ばね17Cの圧縮力が、試料15を側面から押す。そのため、隔壁板17に対して試料15が移動し、隔壁板17と試料15の間に隙間が生成される。この隙間に、ピンセットが挿入することにより、試料15の取り外しが容易になる。
【００３６】
図６Ａ及び図６Ｂを参照して、本発明による断面観察用の試料ホルダの試料装着部の他の例の構成を説明する。本例の断面観察用の試料ホルダを、図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃに示した例と比較すると、試料の固定機構が異なる。本例の断面観察用の試料ホルダの試料の固定機構は、支点42回りに枢動可能な蓋43と、この蓋43に装着された弓状の板ばね41と、蓋43に係合可能なスライダ44と、スライダ44を移動させるための押しばね45を有する。
【００３７】
スライダ44と蓋43の端部は、ラッチが形成され、蓋43を押すだけで蓋43をスライダ44にロックさせることができるように構成されている。即ち、蓋43の端部は斜面43aを有する。スライダ44の端部は斜面44aを有する。蓋43の斜面43aとスライダ44の斜面44aは、対抗するように配置されている。押しばね45によって、スライダ44の端部は、蓋43の端部に近づく方向に押し付けられている。蓋43を押し、支点42回りに枢動させ、蓋43の端部をスライダ44の端部に係合させる。蓋43の端部の斜面43aは、スライダ44の斜面44aに係合し、スライダ44は押し戻される。それによって、蓋43の端部の斜面43aは、スライダ44の端部の斜面44aを超えて移動する。スライダ44は元の位置に戻り、両者はロックされる。
【００３８】
ここでは、試料の固定機構として、スライダ44と蓋43の端部のラッチ機構を用いる例を説明した。しかしながら、試料の固定機構としては、ねじやばね以外に様々な機構が考えられる。本発明によると、試料の固定機構はこれらの例に限定されることはない。
【００３９】
上述の例では、試料15としてウエハの切片を説明した。しかしながら、試料はウエハの切片に限定されるものではない。
【００４０】
発明によると、試料装着冶具を使用することなく、断面観察用の試料の観察位置をユーセントリック軸上に配置することができる。従って、観察中に試料を傾斜させても、視野逃げが起きることは無い。そのため、観察位置を探し直す必要が無くなる。更にフォーカス位置の変動が無い。そのため、フォーカス条件を変更する必要が無くなる。
【００４１】
従って、本発明によると、ウエハ試料の装着から観察完了までの時間は約半分程度に短縮され、観察スループットが大幅に向上する。また、試料着脱時にピンセットが挿入し易くなり、試料着脱の作業性も向上する。
【００４２】
以上本発明の例を説明したが、本発明は上述の例に限定されるものではなく特許請求の範囲に記載された発明の範囲にて様々な変更が可能であることは当業者によって容易に理解されよう。
【符号の説明】
【００４３】
1…ビーム、2…ユーセントリック軸、3,4…基準面、11A…平坦面、11B…平坦面、11C…中央の平坦面、11D…傾斜面、11E…傾斜軸、12…凹部、13…孔、13a…凹部、13ｂ…底面、13c…内壁、15…試料、15’…試料、16…ねじ、17…隔壁板、17A…突起、17B…突起、17C…板ばね、20…本体、21…試料搭載部、22…Oリング、23…グリップ、24…ガイドピン、41…板ばね、42…支点、43…蓋、44…スライダ、45…押しばね、51…観察位置、51’… 観察位置、52… 光軸
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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