(57)【要約】【課題】より簡単な機構で高精度に磁気ディスクとスピンドルモータとの中心合わせを行うことが可能な磁気ディスク固定装置、磁気ディスク固定方法、スピンドルモータ及び磁気ディスク検査装置を提供する。【解決手段】複数の種類の磁気ディスク４０から選択された一つを固定する磁気ディスク固定装置１００は、中心軸Ｃ１に沿った一定の範囲Ｊでエアを噴き出す第１放射孔１３ｂを有するセンターシャフト１０と、断面凸形状の段差部で磁気ディスク４０を支持すると共に第１放射孔１３ｂからのエアを噴き出し可能な第２放射孔２２ｂを有するスペーサーと、を有し、第１放射孔１３ｂから第２放射孔２２ｂを介して磁気ディスク４０の中央孔４１にエアを供給することによって磁気ディスク４０の中心軸Ｃ３とスペーサーの中心軸Ｃ２とを一致させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の種類の磁気ディスクから選択された一つの磁気ディスクを固定する磁気ディスク固定装置であって、
モータ部に固定され、中心軸に沿った一定の範囲で前記中心軸と垂直な径方向に気体を噴き出し可能な第１放射孔を有するセンターシャフトと、
当該センターシャフトが部分的に挿入される中央貫通孔を有する断面凸形状を有し、当該断面凸形状の段差部で前記磁気ディスクを支持すると共に前記断面凸形状の凸部は中心軸と垂直な径方向に前記第１放射孔からの気体を噴き出し可能な第２放射孔を有し、前記センターシャフトに固定されるスペーサーと、
を有し、
前記凸部は前記磁気ディスクの中央孔に隙間嵌めである嵌め合いを持って挿入され、
前記第２放射孔の前記中心軸に平行な方向の中央の位置は前記磁気ディスクの前記方向の中央の位置と一致するように、前記スペーサーは前記段差部と前記第２放射孔の前記中央の前記方向における距離が異なる複数の種類のスペーサーの中から前記一つの磁気ディスクに合わせて選択され、
前記一定の範囲は、前記複数の種類のスペーサーの各々の前記中心軸に沿った前記第２放射孔の範囲を含み、
前記第１放射孔から前記第２放射孔を介して前記磁気ディスクの前記中央孔に気体を供給することによって前記磁気ディスクの中心軸と前記スペーサーの前記中心軸とを一致させることを特徴とする磁気ディスク固定装置。
【請求項２】
前記第１放射孔は前記センターシャフトの前記中心軸に沿った異なる高さに複数形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク固定装置。
【請求項３】
前記センターシャフトと前記スペーサーの前記中央貫通孔との嵌め合いは隙間嵌めであり、
前記第１放射孔から前記第２放射孔に気体を供給することによって前記スペーサーの前記中心軸を前記センターシャフトの中心軸に一致させることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク固定装置。
【請求項４】
モータ部と、
請求項１〜３のうちいずれか一項に記載の磁気ディスク固定装置と、
前記気体を前記第１放射孔に供給する手段と、
を有することを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項５】
前記手段は前記気体を前記第１放射孔に供給すると共に前記第１放射孔から前記気体を排気することを特徴とする請求項４に記載のスピンドルモータ。
【請求項６】
磁気ディスクを回転する請求項４又は５に記載のスピンドルモータを有し、前記磁気ディスクを検査する磁気ディスク検査装置。
【請求項７】
中心軸と垂直な径方向に気体を噴き出し可能な第１放射孔を有するセンターシャフトに取り付けられたスペーサーに磁気ディスクを固定する磁気ディスク固定方法であって、
前記スペーサーは当該センターシャフトが部分的に挿入される中央貫通孔を有する断面凸形状を有し、当該断面凸形状の段差部で前記磁気ディスクを支持すると共に前記断面凸形状の凸部は中心軸と垂直な径方向に前記第１放射孔からの気体を噴き出し可能な第２放射孔を有し、前記第２放射孔の前記中心軸に平行な方向の中央の位置は前記磁気ディスクの前記方向の中央の位置と一致し、
前記磁気ディスク固定方法は、
前記スペーサーに前記磁気ディスクを、前記凸部と前記磁気ディスクの中央孔とが隙間嵌めである嵌め合いを持って取り付けるステップと、
前記第１放射孔から前記第２放射孔を介して前記磁気ディスクの前記中央孔に気体を供給するステップと、
前記磁気ディスクの中心軸、前記スペーサーの前記中心軸、前記センターシャフトの前記中心軸が一致した状態で前記第２放射孔から前記第１放射孔を介して前記磁気ディスクの前記中央孔の気体を排気するステップと、
前記排気ステップ後に固定部によって前記スペーサーを前記センターシャフトに固定するステップと、
を有することを特徴とする磁気ディスク固定方法。
【請求項８】
請求項６に記載の磁気ディスク検査装置を使用して磁気ディスクを検査するステップと、
検査に合格した磁気ディスクを筺体に取り付けるステップと、
を有することを特徴とするハードディスク装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスク固定装置、磁気ディスク固定方法、スピンドルモータ及び磁気ディスク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置（ＨＤＤ）の製造においては、磁気ディスクの磁気特性を磁気ディスク検査装置によって検査して良品判定を行い、良品と判定された磁気ディスクをＨＤＤに搭載する。磁気ディスクの磁気特性を高精度に検査するためには、磁気ディスクを駆動するスピンドルモータの中心軸と磁気ディスクの中心軸を合わせる必要があり、磁気ディスクの記録密度が増加するにつれて位置合わせを高精度に行う需要が高まってきた。このため、特許文献１は、磁気ディスクの中央部に部分的に配置され、テーパー外周面で磁気ディスクの内周面と接触して固定するテーパースペーサーの内周面を、エアを利用して調芯する機構を開示している。
【特許文献１】特開２００３−１７３６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１では、テーパースペーサーにより装置が大型化し、テーパースペーサーと磁気ディスクを同時に動かすために空気圧も高くしなければならず、また、磁気ディスクはテーパー面で傾斜するおそれもある。更に、磁気ディスク検査装置は、複数の異なる構造の磁気ディスクを検査できることが好ましいが、複数の異なる構造の磁気ディスクは厚さも異なり、異なる厚さの磁気ディスクに対して角度の異なるテーパー面を高精度に作成する必要がある。
【０００４】
本発明は、より簡単な機構で高精度に磁気ディスクとスピンドルモータとの中心合わせを行うことが可能な磁気ディスク固定装置、磁気ディスク固定方法、スピンドルモータ及び磁気ディスク検査装置を提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一側面としての磁気ディスク固定装置は、複数の種類の磁気ディスクから選択された一つの磁気ディスクを固定する磁気ディスク固定装置であって、モータ部に固定され、中心軸に沿った一定の範囲で前記中心軸と垂直な径方向に気体を噴き出し可能な第１放射孔を有するセンターシャフトと、当該センターシャフトが部分的に挿入される中央貫通孔を有する断面凸形状を有し、当該断面凸形状の段差部で前記磁気ディスクを支持すると共に前記断面凸形状の凸部は中心軸と垂直な径方向に前記第１放射孔からの気体を噴き出し可能な第２放射孔を有し、前記センターシャフトに固定されるスペーサーと、を有し、前記凸部は前記磁気ディスクの中央孔に隙間嵌めである嵌め合いを持って挿入され、前記第２放射孔の前記中心軸に平行な方向の中央の位置は前記磁気ディスクの前記方向の中央の位置と一致するように、前記スペーサーは前記段差部と前記第２放射孔の前記中央の前記方向における距離が異なる複数の種類のスペーサーの中から前記一つの磁気ディスクに合わせて選択され、前記一定の範囲は、前記複数の種類のスペーサーの各々の前記中心軸に沿った前記第２放射孔の範囲を含み、前記第１放射孔から前記第２放射孔を介して前記磁気ディスクの前記中央孔に気体を供給することによって前記磁気ディスクの中心軸と前記スペーサーの前記中心軸とを一致させることを特徴とする。
【０００６】
かかる磁気ディスク固定装置を有するスピンドルモータや磁気ディスク検査装置も本発明の別の側面を構成する。
【０００７】
本発明の別の側面としての磁気ディスク固定方法は、中心軸と垂直な径方向に気体を噴き出し可能な第１放射孔を有するセンターシャフトに取り付けられたスペーサーに磁気ディスクを固定する磁気ディスク固定方法であって、前記スペーサーは当該センターシャフトが部分的に挿入される中央貫通孔を有する断面凸形状を有し、当該断面凸形状の段差部で前記磁気ディスクを支持すると共に前記断面凸形状の凸部は中心軸と垂直な径方向に前記第１放射孔からの気体を噴き出し可能な第２放射孔を有し、前記第２放射孔の前記中心軸に平行な方向の中央の位置は前記磁気ディスクの前記方向の中央の位置と一致し、前記磁気ディスク固定方法は、前記スペーサーに前記磁気ディスクを、前記凸部と前記磁気ディスクの中央孔とが隙間嵌めである嵌め合いを持って取り付けるステップと、前記第１放射孔から前記第２放射孔を介して前記磁気ディスクの前記中央孔に気体を供給するステップと、前記磁気ディスクの中心軸、前記スペーサーの前記中心軸、前記センターシャフトの前記中心軸が一致した状態で前記第２放射孔から前記第１放射孔を介して前記磁気ディスクの前記中央孔の気体を排気するステップと、前記排気ステップ後に固定部によって前記スペーサーを前記センターシャフトに固定するステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、より簡単な機構で高精度に磁気ディスクとスピンドルモータとの中心合わせを行うことが可能な磁気ディスク固定装置、磁気ディスク固定方法、スピンドルモータ及び磁気ディスク検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本実施例の磁気ディスク固定装置１００の断面図であり、図２は、図１に示す磁気ディスク固定装置１００の分解断面図である。磁気ディスク固定装置１００は、複数の種類の磁気ディスク４０から選択された一つの磁気ディスク４０を固定し、図２に示すように、センターシャフト１０、スペーサー２０及びキャップ３０を有する。
【００１０】
センターシャフト１０は、基部１１と、第１円筒部１２と、第２円筒部１３と、を有する。基部１１と第１円筒部１２と第２円筒部１３はそれぞれの中心軸が中心軸Ｃ１に一致している。
【００１１】
基部１１は後述するスピンドルモータ１０１のモータ部に固定され、モータ部内のモータ軸と共に回転することができ、円筒形状を有する。基部１１は、中心軸Ｃ１に沿って延びる中央貫通孔１１ａを有する。
【００１２】
第１円筒部１２は、中心軸Ｃ１に沿って延びて中央貫通孔１１ａと同一形状の中央貫通孔１２ａを有する。第１円筒部１２は、第２円筒部１３の周りの上面１２ｂにおいてスペーサー２０（の後述する第３円筒部２１の底面）を支持する。
【００１３】
第２円筒部１３は、第１円筒部１２の中央から突出し、中央貫通孔１３ａと第１放射孔１３ｂを有する。中央貫通孔１３ａは、中央貫通孔１２ａに接続されて中心軸Ｃ１に沿って延びる。中央貫通孔１３ａは、途中で径が減少しているが、同一径を維持してもよい。第１放射孔１３ｂは、中央貫通孔１３ａに接続されて中心軸Ｃ１に沿った一定の範囲Ｊに設けられている。第１放射孔１３ｂは、中心軸Ｃ１と垂直な径方向ＲにエアＡを噴き出し可能である。第１放射孔１３ｂは、一定の径を有する円筒形状を有して中心軸Ｃ１の周りに一定の角度間隔（例えば、３０°間隔）で配置される。第１放射孔１３ｂは、センターシャフト１０の中心軸Ｃ１に沿ったＺ方向の異なる高さに複数形成されている。但し、図２に示すＺ方向に配置された複数の第１放射孔１３ｂの幾つかを結合してＺ方向における開口幅の広い第１放射孔を形成してもよい。
【００１４】
スペーサー２０は、キャップ３０によってセンターシャフト１０に固定される。スペーサー２０は、センターシャフト１０が部分的に挿入される中央貫通孔を有する断面凸形状を有する。より詳細には、スペーサー２０は、第３円筒部２１と第４円筒部２２を有する。第３円筒部２１と第４円筒部２１はそれぞれの中心軸が中心軸Ｃ２に一致している。
【００１５】
第３円筒部２１は、中心軸Ｃ２に沿って延びる中央貫通孔２１ａを有する。第３円筒部２１は、第４円筒部２２の周りの上面２１ｂにおいて磁気ディスク４０を支持する。上面２１ｂは、断面凸形状の段差部に対応する。
【００１６】
第４円筒部２２は、第３円筒部２１の中央から突出する断面凸形状の凸部であり、磁気ディスク４０の中央孔４１に挿入される。第４円筒部２２は、中央貫通孔２２ａと第２放射孔２２ｂを有する。中央貫通孔２２ａは、中央貫通孔２１ａに接続されて中央貫通孔２１ａと同一形状で中心軸Ｃ２に沿って延びる。第２放射孔２２ｂは、中央貫通孔２２ａに接続されて中心軸Ｃ２と垂直な径方向Ｒに第１放射孔１３ｂからのエアを噴き出し可能である。第２放射孔２２ｂは、一定の径を有する円筒形状を有して中心軸Ｃ２の周りに一定の角度間隔（例えば、３０°間隔）で配置される。第２円筒部１３は、第３円筒部２１の中央貫通孔２１ａ及び第４円筒部２２の中央貫通孔２２ａに挿入される。
【００１７】
スペーサー２０は、複数の種類のスペーサー２０の中から、複数の種類の磁気ディスク４０の中で選択された一つの磁気ディスクに合わせて選択される。複数の種類のスペーサーは、以下に説明するように、上面２１ｂ（段差部）と第２放射孔２２ｂの中央２２ｂ１のＺ方向の距離が異なる。
【００１８】
スペーサー２０は、凸部である第４円筒部２２は磁気ディスク４０の中央孔４１に隙間嵌めである嵌め合いを持って挿入される。即ち、第４円筒部２２の外径が磁気ディスク４０の内径よりも若干小さい。複数の磁気ディスク４０の内径が異なれば、この条件もスペーサー２０の選択条件となる。「隙間嵌め」は、穴と軸を組み立てたときに隙間ができる嵌め合いである。このため、磁気ディスク４０は第４円筒部２２の周りで中心軸Ｃ２に垂直な面内で微小移動することができるが、本実施例は、磁気ディスク４０の中心軸Ｃ３をスペーサー２０の中心軸Ｃ２に一致させるのにエアを用いている。
【００１９】
また、スペーサー２０の選択に際しては、図３に示すように、第２放射孔２２ｂの中心軸Ｃ２に平行なＺ方向の中央２２ｂ１の位置（高さ）Ｚ１は磁気ディスク４０のＺ方向の中央４２の位置（高さ）Ｚ２と一致するようにする。ここで、図３は、図２に示すＢ部の部分拡大断面図である。
【００２０】
図４は、磁気ディスク固定装置１００が異なる種類（厚さ）の磁気ディスク４０Ａ、４０Ｂを固定する状態を示す部分拡大断面図である。図４（ａ）は、磁気ディスク固定装置１００がスペーサー２０Ａを使用してＺ方向の厚さの薄い磁気ディスク４０Ａを固定する状態を示している。図４（ｂ）は、磁気ディスク固定装置１００がスペーサー２０Ｂを使用してＺ方向の厚さが厚い磁気ディスク４０Ｂを固定する状態を示している。なお、図４（ａ）及び図４（ｂ）において、キャップ３０は省略されている。磁気ディスクの厚さが図４（ａ）から図４（ｂ）に示すように増加すると、それに合わせて、スペーサーはスペーサー２０Ａからスペーサー２０Ｂに変更される。スペーサー２０Ａは上面２１ｂと第２放射孔２２ｂの中央２２ｂ１のＺ方向の距離がＤ１であり、スペーサー２０Ｂは上面２１ｂと第２放射孔２２ｂの中央２２ｂ１のＺ方向の距離がＤ２であり、Ｄ２＞Ｄ１である。スペーサー２０Ａは、第２放射孔２２ｂのＺ方向の中央２２ｂ１の位置（高さ）を磁気ディスク４０ＡのＺ方向の中央４２の位置（高さ）と一致させている。スペーサー２０Ｂは、第２放射孔２２ｂのＺ方向の中央２２ｂ１の位置（高さ）を磁気ディスク４０ＢのＺ方向の中央４２の位置（高さ）と一致させている。
【００２１】
第２円筒部１３の第１放射孔１３ｂが設けられる一定の範囲Ｊは、複数の種類のスペーサー２０の各々の中心軸Ｃ２に沿った第２放射孔２２ｂの範囲を含む。この結果、どのスペーサー２０が選択されても第２放射孔２２ｂは第１放射孔１３ｂからエアを供給されることができる。
【００２２】
第１放射孔１３ｂから第２放射孔２２ｂを介して磁気ディスク４０の中央孔４１にエアを供給することによって磁気ディスク４０の中心軸Ｃ３とスペーサー２０の中心軸Ｃ２とを一致させることができる。
【００２３】
本実施例では、センターシャフト１０の第２円筒部１３の外径はスペーサー２０の中央貫通孔２１ａ及び中央貫通孔２２ａの内径よりも若干小さく、嵌め合いは隙間嵌めである。このため、第１放射孔１３ｂから第２放射孔２２ｂにエアを供給することによってスペーサー２０の中心軸Ｃ２をセンターシャフト１０の中心軸Ｃ１に一致させることができる。即ち、エアの供給によって磁気ディスク４０、スペーサー２０、センターシャフト１０の位置合わせができる。
【００２４】
なお、センターシャフト１０の第２円筒部１３の外径を第３円筒部２１の中央貫通孔２１ａの内径に高精度に一致させ、両者の係合によってスペーサー２０の中心軸Ｃ２をセンターシャフト１０の中心軸Ｃ１に一致させてもよい。
【００２５】
キャップ３０は、スペーサー２０と協働して磁気ディスク４０を固定すると共にスペーサー２０をセンターシャフト１０に固定する固定部である。キャップ３０は、基部３１と、基部３１に設けられた中空円筒部３２と、基部３１の中空円筒部３２とは反対側に取り付けられる固定部材（ネジ）３３と、を有する。スペーサー２０の第４円筒部２２は、中空円筒部３２に収納される。基部３１の中空円筒部３２の周囲の円環部の底面３１ａと第３円筒部２１の上面２１ｂにおいて磁気ディスク４０を挟み込む。また、固定部材３３が第２円筒部１３の上面１３ｃに設けられた不図示のネジ穴に挿入されることによってスペーサー２０とキャップ３０がセンターシャフト１０に固定され、磁気ディスク４０が固定される。
【００２６】
図５は、磁気ディスク４０を高速且つ高精度に回転するスピンドルモータ１０１の側面図である。スピンドルモータ１０１は、上述の磁気ディスク固定装置１００と、エア供給／排気手段５０、モータ部６０、モータ部６０の回転量を検出するためのエンコーダ７０を有する。エア供給／排気手段５０は、中央貫通孔１１ａに接続されてエアを同一の経路を通じて供給及び回収（排気）する。なお、後述するように、別の実施例では、エアの代わりに他の気体（窒素など）を使用する。モータ部６０はセンターシャフト１０に固定されてこれを回転及び回転停止する。磁気ディスク４０は、センターシャフト１０に結合されているから、センターシャフト１０と共に回転する。エンコーダ７０は磁気ディスク４０の回転量を検出する。
【００２７】
図６は、磁気ディスク検査装置１０２の断面図である。磁気ディスク検査装置１０２は、上述のスピンドルモータ１０１と、磁気ディスク４０に情報を記録し、磁気ディスク４０から情報を再生する磁気ヘッドを磁気ディスク４０の目標トラックに位置決めする位置決め装置８０である。９０はタイマーを内蔵している制御部、９２は設定時間を格納しているメモリである。
【００２８】
以下、図７は、磁気ディスク検査装置１０２の動作を説明するためのフローチャートである。図７において、「Ｓ」はステップの略である。
【００２９】
まず、前提として被検体である磁気ディスク４０に適合するスペーサー２０を選択する（Ｓ２０２）。上述したように、磁気ディスク４０は複数の種類の磁気ディスク４０の中の一つであり、選択されるスペーサー２０は、第２放射孔２２ｂのＺ方向の中央２２ｂ１の位置（高さ）を磁気ディスク４０のＺ方向の中央４２の位置（高さ）と一致させている。
【００３０】
次に、エア給気／排気手段５０がオフであることを確認する（Ｓ２０４）。
【００３１】
次に、センターシャフト１０にスペーサー２０を取り付けて磁気ディスク４０をスペーサー２０に取り付ける（Ｓ２０６）。ここでは、上述したように、センターシャフト１０とスペーサー２０との間の嵌め合いは隙間嵌めであり、磁気ディスク４０とスペーサー２０との間の嵌め合いも隙間嵌めである。
【００３２】
次に、制御部９０はエア給気／排気手段５０を給気オンの状態にする。これにより、エアが中央貫通孔１１ａに供給され、中央貫通孔１２ａ及び１３ａから第１放射孔１３ｂを経て中央貫通孔２１ａ及び２２ａに排出され、スペーサー２０の中心軸Ｃ２をセンターシャフト１０の中心軸Ｃ１に一致させる。また、エアは中央貫通孔２１ａ及び２２ａから第２放射孔２２ｂを経て磁気ディスク４０の中央孔４１に排出され、磁気ディスク４０の中心軸Ｃ３をスペーサー２０の中心軸Ｃ２に一致させる。この結果、全ての中心軸Ｃ１、Ｃ２及びＣ３が一致する。また、エアの供給により、スペーサー２０、磁気ディスク４０の表面のごみや金属粉等を洗浄する効果も期待することができる。なお、本実施例は高圧エア（クリーンエア）を使用するが、その他の気体（窒素など）を使用してもよい。
【００３３】
次に、制御部９０は、内蔵されたタイマーを参照してメモリ９２に格納された設定時間が経過したかどうかを判断する（Ｓ２１０）。設定時間は、通常、数秒である。制御部９０は設定時間が経過するまで待機する（Ｓ２１０のＮｏ）。
【００３４】
次に、制御部９０は、設定時間が経過したと判断すると（Ｓ２１０のＹｅｓ）、エア給気／排気手段５０を給気オフの状態にする（Ｓ２１２）。この結果、全ての中心軸Ｃ１、Ｃ２及びＣ３が一致した状態で吸引作用により、磁気ディスク４０、スペーサー２０、センターシャフト１０は粗く固定される。
【００３５】
次に、排気ステップ後にキャップ３０により磁気ディスク４０、スペーサー２０、センターシャフト１０を強固に固定する（Ｓ２１２）。Ｓ２１２において磁気ディスク４０、スペーサー２０、センターシャフト１０は粗く固定されているのでキャップ３０の固定部材（ネジ）３３による固定中に三者間の位置ズレの発生を防止することができる。
【００３６】
次に、キャップ３０による固定が完了すると、制御部９０は、エア給気／排気手段５０を排気オフの状態にする（Ｓ２１８）。これにより、ごみなどが磁気ディスク４０に最付着することを防止することができる。
【００３７】
次に、制御部９０は、不図示の磁気ヘッドを位置決め装置８０で位置決めして情報の記録再生及び情報の消去などの磁気特性の検査を行う（Ｓ２２０）。次に、制御部９０は、メモリ９２に格納されている情報と磁気ディスク４０の磁気特性を比較して良品判定を行う（Ｓ２２２）。良品であれば検査合格とし（Ｓ２２４）、不良品であれば検査不合格とする（Ｓ２２６）。
【００３８】
ハードディスク装置（ＨＤＤ）の製造方法は、磁気ディスク検査装置１０２を使用して磁気ディスク４０を検査する工程と、検査に合格した磁気ディスクを筺体に取り付ける工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施例の磁気ディスク固定装置の断面図である。
【図２】図１に示す磁気ディスク固定装置の分解断面図である。
【図３】図２のＢ部の部分拡大断面図である。
【図４】図１に示す磁気ディスク固定装置が異なる種類（厚さ）の磁気ディスクを固定する状態を示す部分拡大断面図である。
【図５】本実施例のスピンドルモータの側面図である。
【図６】本実施例の磁気ディスク検査装置の断面図である。
【図７】図６に示す磁気ディスク検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００４０】
１０                              センターシャフト
２０、２０Ａ、２０Ｂ              スペーサー
３０                              キャップ
４０、４０Ａ、４０Ｂ              磁気ディスク
１００                            磁気ディスク固定装置
１０１                            スピンドルモータ
１０２                            磁気ディスク検査装置
【図１】
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【図２】
2010097654.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2010097654.tif 000007
【図６】
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【図７】
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