(57)【要約】【課題】照明光と集光系の位置及び焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現し、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献すること。【解決手段】光源からの照明光を受光した測定対象からの戻り光を一端で受光し、この戻り光を他端まで導く光ファイバを備えた光検知装置において、前記光ファイバは、一端が斜め研磨加工され、前記照明光を反射して前記測定対象に前記照明光を照射するための反射面が形成されていることを特徴とする。【選択図】                      図１
2010117146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの照明光を受光した測定対象からの戻り光を一端で受光し、この戻り光を他端まで導く光ファイバを備えた光検知装置において、
前記光ファイバは、一端が斜め研磨加工され、前記照明光を反射して前記測定対象に前記照明光を照射するための反射面が形成されていることを特徴とする光検知装置。
【請求項２】
測定対象を照らす照明光を照射する光源と、前記照明光を集光する第１のレンズと、前記第１のレンズで集光された前記照明光を反射する反射面が一端に形成される光ファイバと、前記光ファイバからの前記照明光を屈折させて前記測定対象に入射させる第２のレンズと、から構成され、前記光ファイバが前記測定対象からの戻り光を前記第２のレンズを介して一端で受光し他端まで前記戻り光を導く光検知装置であって、
前記反射面は、前記光ファイバの一端が斜め研磨されて形成されることを特徴とする光検知装置。
【請求項３】
前記照明光は、
前記反射面によって反射された前記照明光の光軸が、前記第２のレンズの光軸と重なる、または、その近傍に位置づけられることを特徴とする
請求項２に記載の光検知装置。
【請求項４】
前記照明光は、
次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射することを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の光検知装置。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ’＊Ｓｉｎα
（ｎ：前記光ファイバの構成物質の屈折率、θ：前記光ファイバの一端の斜め研磨角度、ｎ’：空気の屈折率、α：前記光ファイバの反射面に対する前記照明光の入射角度）
【請求項５】
前記光源は、
前記照明光を次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射させる位置に設置されることを特徴とする
請求項１〜４いずれかに記載の光検知装置。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ’＊Ｓｉｎα
（ｎ：前記光ファイバの構成物質の屈折率、θ：前記光ファイバの一端の斜め研磨角度、ｎ’：空気の屈折率、α：前記光ファイバの反射面に対する前記照明光の入射角度）
【請求項６】
前記光ファイバは、
前記αと前記θとの差分の角度だけ前記第２のレンズの光軸に対し傾けて設置されることを特徴とする
請求項４または５記載の光検知装置。
【請求項７】
前記光源と前記第１のレンズの位置を調整し、前記光ファイバの斜め研磨された反射面に入射する照明光のビームウェスト位置をずらして前記照明光の発散角または収束角を変えることにより、測定対象を比較的広く、または、比較的狭く照らすことを特徴とする
請求項２〜６いずれかに記載の光検知装置。
【請求項８】
前記光源と前記第１のレンズの位置を調整して照明光のＮＡ（Numerical Aperture）を比較的大きく、または、比較的小さくすることを特徴とする
請求項２〜７いずれかに記載の光検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光が照射された測定対象からの戻り光をスペクトラム解析する分光分析装置の光検出装置に関し、特に、簡素な構成で効率よい光学系を実現する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、分光分析装置で用いられる光検出装置では、測定対象からの戻り光を受光しスペクトラム解析部へと導くための小径ファイバを有するものがあった。
【０００３】
このような光検出装置に関連する先行技術文献として、下記の特許文献１、２がある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−０８３０１０号公報
【特許文献２】特願２００３−０７８６５６号公報
【０００５】
図６は従来の光検出装置の構成を示す構成図であり、図６において、光検出装置は、測定対象への照明光を照射するレーザー発光手段などの光源１と、光源１からの照明光を集光するレンズ２と、レンズ２からの照明光を反射させてレンズ４へ入射させるミラー３と、ミラー３からの照明光を屈折させて測定対象へ照射させるレンズ４と、レンズ４から入射される測定対象からの光（以下、戻り光という）を一端で受光し他端で接続されているスペクトラム解析部６へと導く光ファイバ５（以下、ファイバ５という）と、から構成される。
【０００６】
ミラー３は、ファイバ５のレンズ４からの戻り光を受光する側である一端の近傍に設置される。またミラー３の設置角度は、レンズ２からの照明光を反射させてレンズ４に入射させ、レンズ４を介し光軸に平行な光線となって測定対象に照射するような角度で設置される。
【０００７】
このような構成の光検出装置において、光源１は照明光を発光・照射し、レンズ２はこの照明光を集光し、ミラー３は集光された照明光を反射させてレンズ４に入射させる。レンズ４は、ミラー３からの照明光を屈折させて光軸に平行な光線とし、測定対象に照射する。
【０００８】
照明光は測定対象により反射して、その戻り光がレンズ４に入射する。レンズ４は測定対象からの戻り光を集光してファイバ５の一端に入射させ、ファイバ５は入射された戻り光をスペクトラム解析部６へと導き、スペクトラム解析部６は得られた戻り光に基づきスペクトラム解析して測定対象中の各成分を測定する。
【０００９】
このように、従来の光検出装置は、測定対象からの戻り光をレンズで集光してファイバの一端で受光してファイバの他端に接続されているスペクトラム解析部へ導くことができ、測定対象からの戻り光をスペクトラム解析による分光分析に貢献できる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の光検出装置は、照明光と集光系の位置および焦点にずれが生じるという問題点があった。図７は従来の光検出装置の問題点の説明図である。図７において、従来の構成では、照明光と集光系の位置および焦点にずれが生じてしまい、測定対象の所望の領域に照明光が照射することができなく、さらに測定対象の所望の領域からの戻り光もまたファイバの一端で受光できないという問題点があった。このため、このような光検出装置を用いたスペクトラム観測は、測定の精度が低くなってしまうという問題点があった。
【００１１】
また、照明光と集光系の位置のずれがあると、レンズ４と測定対象との間で入出射される照明光または戻り光の光軸に対する角度は同一とはならず、測定対象の所望の領域に照明光が照射することができなく、さらに測定対象の所望の領域からの戻り光もまたファイバの一端で受光できないという問題点があった。
【００１２】
また、従来の光検出装置では、測定対象がレンズ４から遠方に設置されるにつれて、照明光と集光系の位置および焦点のずれが大きくなって測定対象の所望の領域に照明光が照射することができず、測定対象の所望の領域からの戻り光もまたファイバの一端で受光できないという問題点が顕著になる傾向がある。
【００１３】
このように、従来の光検出装置は、照明光と集光系の位置および焦点にずれが生じてしまい、スペクトラム観測において測定の精度が低くなってしまうという問題点があった。
【００１４】
一方、上述の問題点を解決すべく従来から照明光と集光系の位置および焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現するには発光点と集光点の位置を近づける工夫がなされているが、図６等に示す従来の光検出装置の構成では近づけるのには限界があった。すなわち、図６のようにミラー３の位置をファイバ５の発光点に近づけようとしても、ミラー３をファイバ５近辺に設置するに留まり、このような方法で照明光と集光系の位置および焦点のずれを少なくすることには限界があった。
【００１５】
本発明は上述の問題点を解決するものであり、その目的は、照明光と集光系の位置及び焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現し、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
光源からの照明光を受光した測定対象からの戻り光を一端で受光し、この戻り光を他端まで導く光ファイバを備えた光検知装置において、
前記光ファイバは、一端が斜め研磨加工され、前記照明光を反射して前記測定対象に前記照明光を照射するための反射面が形成されていることを特徴とする光検知装置である。
【００１７】
請求項２記載の発明は、
測定対象を照らす照明光を照射する光源と、前記照明光を集光する第１のレンズと、前記第１のレンズで集光された前記照明光を反射する反射面が一端に形成される光ファイバと、前記光ファイバからの前記照明光を屈折させて前記測定対象に入射させる第２のレンズと、から構成され、前記光ファイバが前記測定対象からの戻り光を前記第２のレンズを介して一端で受光し他端まで前記戻り光を導く光検知装置であって、
前記反射面は、前記光ファイバの一端が斜め研磨されて形成されることを特徴とする光検知装置である。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の光検知装置において、
前記照明光は、
前記反射面で反射され、前記第２のレンズの水平軸に沿って前記第２のレンズに入射することを特徴とする。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３いずれか記載の光検知装置において、
前記照明光は、
次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射することを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の光検知装置。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ’＊Ｓｉｎα（ｎ：前記光ファイバの構成物質の屈折率、θ：前記光ファイバの一端の斜め研磨角度、ｎ’：空気の屈折率、α：前記光ファイバの反射面に対する前記照明光の入射角度）
【００２０】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４いずれか記載の光検知装置において、
前記光源は、
前記照明光を次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射させる位置に設置されることを特徴とする
請求項１〜４いずれかに記載の光検知装置。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ’＊Ｓｉｎα（ｎ：前記光ファイバの構成物質の屈折率、θ：前記光ファイバの一端の斜め研磨角度、ｎ’：空気の屈折率、α：前記光ファイバの反射面に対する前記照明光の入射角度）
【００２１】
請求項６記載の発明は、請求項４または５記載の光検知装置において、
前記光ファイバは、
前記αと前記θとの差分の角度だけ前記第２のレンズの光軸に対し傾けて設置されることを特徴とする。
【００２２】
請求項７記載の発明は、請求項２〜６いずれか記載の光検知装置において、
前記光源と前記第１のレンズの位置を調整し、前記光ファイバの斜め研磨された反射面に入射する照明光のビームウェスト位置をずらして前記照明光の発散角または収束角を変えることにより、測定対象を比較的広く、または、比較的狭く照らすことを特徴とする。
【００２３】
請求項８記載の発明は、請求項２〜７いずれか記載の光検知装置において、
前記光源と前記第１のレンズの位置を調整して照明光のＮＡ（Numerical Aperture）を比較的大きく、または、比較的小さくすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
このように、本発明に係る光検出装置は、ファイバ１０の一端が斜め研磨されて反射面が形成され、光源１がレンズ４の光軸に対して次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射させる位置に設置され、ファイバ１０が次式中のαとθとの差分の角度だけレンズ４の光軸に対し傾けて設置されることにより、照明光と集光系の光線を近づける（重ねる）ことができ、照明光と集光系の位置及び焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現し、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ'＊Ｓｉｎα
（ｎ：光ファイバの構成物質の屈折率、θ：光ファイバの一端の斜め研磨角度、ｎ'：空気の屈折率、α：光ファイバ１０の反射面に対する照明光の入射角度）
【００２５】
また本発明に係る光検出装置は、測定対象を遠方に設置しても照明光と集光系の光線の位置がずれずに、照明光中心と集光系の中心を揃えることができ、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００２６】
また本発明に係る光検出装置は、ファイバ５の反射面に入射する照明光のビームウェスト位置をずらして、照明光の発散(収束)角を変えることにより、測定対象を広く照らすあるいは狭く照らすことができスペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００２７】
また本発明に係る光検出装置は、レンズ２の位置を調整して照明光のＮＡを大きくあるいは小さくすることにより、測定対象を広く照らすあるいは狭く照らすことができスペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図１は本発明に係る光検出装置の一実施例を示す構成図であり、図６などと共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。図１と図６との相違点は、図１では光ファイバ１０（以下、ファイバ１０という）が、レンズ４からの戻り光を受光する側である一端が斜め研磨加工されて反射面が形成されていること、このファイバ１０の一端に形成された反射面でレンズ２からの照明光を反射させてレンズ４へ入射させること、光源１およびファイバ１０は照明光と集光系の光線を重ねるまたは重なるように近づけるために水平軸（光軸）に対して以下の式（１）を満たすような位置に設置されること、照明光は、式（１）の関係を満たしているαの角度で反射面に対して入射すること、ファイバ１０は、式（１）の関係を満たしているαとθとの差分の角度だけレンズ４の光軸に対し傾けて設置されることなどである。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ'＊Ｓｉｎα・・・（１）
（ｎ：光ファイバ１０の構成物質の屈折率、θ：光ファイバ１０の一端の斜め研磨角度、ｎ'：空気の屈折率、α：光ファイバ１０の反射面に対する照明光の入射角度）
【００２９】
図１において、光検出装置は、測定対象への照明光を照射するレーザー発光手段などの光源１と、光源１からの照明光を集光するレンズ２と、レンズ２からの照明光を反射させてレンズ４へ入射させ、レンズ４から入射される測定対象からの光（以下、戻り光という）を一端で受光し他端で接続されているスペクトラム解析部６へと導くファイバ１０とミラー３からの照明光を屈折させて測定対象へ照射させるレンズ４と、から構成される。
【００３０】
ファイバ１０は、レンズ４からの戻り光を受光する側である一端が斜め研磨加工され、レンズ２で集光された照明光を反射して測定対象に照明光を照射するための反射面が形成されている。なお、ファイバ１０の一端の端面には、照射光を反射するための反射面と測定対照からの戻り光を受光するための受光面が形成されている。
【００３１】
光源１、レンズ４、ファイバ１０は、ファイバ１０の一端がレンズ２からの照明光を反射してレンズ４に入射させ、この照明光がレンズ４を介しレンズ４の水平軸（光軸）に平行な光線として測定対象に照射されるように設置される。
【００３２】
また光源１は、照明光が上述の式（１）の関係を満たしているαの角度で反射面に対して入射するような位置に設置される。なお、本発明の光検査装置では、照明光が式（１）の関係を満たしているαの角度で反射面に対して入射すればよく、光源１と反射面との間にレンズ、ミラーなどの各要素が設置されるものであってもよい。
【００３３】
ファイバ１０は、照明光の光ファイバの反射面に対する入射角度αと光ファイバの一端の斜め研磨角度θとの差分だけレンズ４の光軸に対して傾けて設置される。これにより、照明光は反射面で反射され、レンズ４の水平軸に沿ってレンズ４に入射することになる。なお、本発明の光検査装置では、照明光が反射面で反射されてレンズ４の水平軸に沿ってレンズ４に入射すればよく、反射面とレンズ４との間にレンズ、ミラーなどの各要素が設置されるものであってもよい。
【００３４】
図２は図１の光検査装置の設置関係の説明図であり、式（１）の関係を考慮して各構成要素が設置されている。たとえば、図２のように、石英などで構成されるファイバ１０の屈折率ｎが１．５、ファイバ１０の一端の斜め研磨角度θが１０°である場合は、照明光が反射面に対して約１５．１°の角度（α）で入射する、いいかえればレンズ４の光軸に対してαの２倍の角度である約３０．２°でファイバ１０の反射面に入射するように光源１を設置するとともに、ファイバ１０をファイバの軸がレンズ４の光軸に対してα（約１５．１°）とθ（約１０°）の差分の角度である約５．１°だけ傾くように設置する。
【００３５】
このため、ファイバ１０の軸がレンズ４の光軸に対してαとθの差分だけ傾くようにファイバ１０を設置することにより、ファイバ１０の一端に形成される反射面で反射される照明光をレンズ４の光軸に沿ってレンズ４に入射させることができ、レンズ４を介してレンズ４の光軸に平行な光線となって測定対象に照射することができる。
【００３６】
このような構成の光検出装置において、光源１は照明光を発光・照射し、レンズ２はこの照明光を集光してファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面に入射させる。ファイバ１０の一端に形成された斜め研磨型の反射面は、集光された照明光を反射してレンズ４に入射させる。レンズ４は、ファイバ１０からの照明光を屈折させて光軸に平行な光線とし、測定対象に照射する。
【００３７】
照明光は測定対象により反射して、その戻り光がレンズ４に入射する。レンズ４は測定対象からの戻り光を集光してファイバ１０の一端に入射させ、ファイバ１０は入射された戻り光をスペクトラム解析部６へと導く。スペクトラム解析部６は得られた戻り光に基づきスペクトラム解析して測定対象中の各成分を測定する。
【００３８】
このように、本発明の光検出装置は、ファイバ１０の一端が斜め研磨されて反射面が形成され、光源１がレンズ４の光軸に対して次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射させる位置に設置され、ファイバ１０が次式中のαとθとの差分の角度だけレンズ４の光軸に対し傾けて設置されることにより、照明光と集光系の光線を近づける（重ねる）ことができ、照明光と集光系の位置及び焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現し、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ'＊Ｓｉｎα
（ｎ：ファイバ１０の構成物質の屈折率、θ：ファイバ１０の一端の斜め研磨角度、ｎ'：空気の屈折率、α：ファイバ１０の反射面に対する照明光の入射角度）
【００３９】
また本発明の光検出装置は、測定対象を遠方に設置しても照明光と集光系の光線の位置がずれずに、照明光中心と集光系の中心を揃えることができ、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００４０】
なお、本発明に係る光検出装置は、光源１とレンズ２の位置を調整等を行い照明光のビームウェスト位置をずらして、照明光の発散(収束)角を変えることができるものであってもよい。図３はこのような光検出装置の他の実施例の説明図である。
【００４１】
図３において、レンズ２は、光源１から照射される照明光をレンズ２の延長線上であってファイバ１０の斜め研磨された反射面を越えた位置（たとえば、図３の集光点Ｐ１００）で集光するように、設置される。
【００４２】
このような光検出装置では、たとえば、光源１からの照明光は、レンズ２を介してファイバ１０に入射する手前で集光せずにファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面に入射する。ファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面に入射した照明光は、反射してレンズ４に入射する。
【００４３】
このため、光源１からの照明光は、ファイバ１０の斜め研磨された反射面を超えた位置で集光されるようにレンズ２により集光されることにより、照明光のビームウェスト位置がずれ、照明光のビームウェスト位置がずれて照明光の発散（収束）角が大きくなって測定対象を広く照らすことができる。
【００４４】
一方、レンズ２を、光源１から照射される照明光をレンズ２との間で集光することのできる位置に、設置すれば、照明光のビームウェスト位置がずれて照明光の発散（収束）角が小さくなって測定対象を狭く照らすことができる。
【００４５】
この結果、本発明に係る光検出装置は、光源１とレンズ２の位置を調整し、ファイバ１０の反射面に入射する照明光のビームウェスト位置をずらして照明光の発散(収束)角を変えることにより、測定対象を比較的広く、あるいは、狭く照らすことができスペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００４６】
また、本発明に係る光検出装置は、レンズ２などの位置を調整することにより、照明光のＮＡ（Numerical Aperture）を比較的大きくする、あるいは、小さくすることができるものでもよい。図４はこのような光検出装置のその他の実施例の説明図である。
【００４７】
図４は、照明光のＮＡを小さくする場合の説明図であり、図４において、レンズ２は、光源１から照射される照明光をファイバ１０の斜め研磨された反射面の手前で集光できる位置に、設置される。
【００４８】
このような光検出装置において、光源１からの照明光はレンズ２を介してファイバ１０に入射する手前で集光され、ファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面に入射する。ファイバ１０の一端の反射面に入射した照明光は、反射してレンズ４に入射する。
【００４９】
このため、ファイバ１０の手前で集光された照明光は、図４のようにファイバ１０の反射面で反射してレンズ４に入射するので、照明光のＮＡを小さくすることができ、測定対象を所望の範囲で狭く照らすことができる。
【００５０】
またレンズ２を、光源１からの照明光の集光位置に基づき調整して設置すれば、照明光のＮＡをより大きくすることもでき、測定対象を所望の範囲で狭く照らすことができる。
【００５１】
この結果、本発明に係る光検出装置は、光源１およびレンズ２の位置を調整して照明光のＮＡを大きくあるいは小さくすることにより、測定対象を比較的広く、あるいは、狭く照らすことができスペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００５２】
また、本発明に係る光検出装置は、図４の実施例の構成を利用した測定対象を狭く照らす形態にて、照明光線の角度(ファイバの反射面に当てる角度)を変えて測定対象物上の照明位置を変えることができるものであってもよい。このようにすることで、測定対象の位置毎の解析が可能となりスペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００５３】
また本発明に係る光検出装置は、図１〜図４の各実施例のファイバ１０のレンズ４からの戻り光を受光する側である一端の一部または全面に、反射率を高めるための増反射膜を設けるものでもよい。このようにすることで、光源１からの照明光を反射し確実にレンズ４を介して測定対象に照射することができスペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００５４】
また本発明に係る光検出装置は、図１〜図４の各実施例の構成において、集光系と照明系を逆にするものであってもよい。図５は図１等の光検出装置の集光系と照明系を逆にした場合の説明図である。図５と図１との相違点は、図５では光源１の設置位置が図１で説明した測定対象の位置に設置され、測定対象の設置位置が図１で説明した光源１の位置に設置される点である。
【００５５】
図５において、光源１からの照明光は、レンズ４を介して集光されファイバ１０の反射面に入射する。光源１から照射される照明光は、ファイバ１０の斜め研磨された反射面により反射して測定対象に照射される。の手前で集光できる位置に、設置される。
【００５６】
このような光検出装置において、光源１からの照明光はレンズ２を介してファイバ１０に入射する手前で集光され、ファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面に入射する。ファイバ１０の反射面に入射した照明光は、反射面で反射してレンズ４に入射する。
【００５７】
このため、ファイバ１０の手前で集光された照明光は、図４のようにファイバ１０の反射面で反射してレンズ４に入射するので、照明光のＮＡを小さくすることができ、測定対象を所望の範囲で狭く照らすことができる。
【００５８】
このような構成の光検出装置において、光源１は照明光を発光・照射し、レンズ４はこの照明光を集光してファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面に入射させる。ファイバ１０の一端の斜め研磨型の反射面は集光された照明光を反射してレンズ２に入射させる。レンズ２は、ファイバ１０からの照明光を屈折させて光軸に平行な光線とし、測定対象に照射する。
【００５９】
照明光は測定対象により反射して、その戻り光がレンズ２に入射する。レンズ２は測定対象からの戻り光を集光してファイバ１０の一端に入射させ、ファイバ１０は入射された戻り光をスペクトラム解析部６へと導く。
【００６０】
スペクトラム解析部６は得られた戻り光に基づきスペクトラム解析して測定対象中の各成分を測定する。
【００６１】
この結果、本発明の光検出装置は、図１等で表した集光系と照明系を逆にする場合であっても、照明光と集光系の光線を近づける（重ねる）ことができ、照明光と集光系の位置及び焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現し、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献できる。
【００６２】
また本発明に係る光検出装置は、図１〜図４の各実施例の構成に加えて光ファイバの他端に第２の光源を設置し、この第２の光源から発光された照明光が光ファイバ１０を介してレンズ４に入射して、光源１からの照明光と第２の光源の照明光とが混合することを可能とする構成であってもよい。
【００６３】
以上説明したように、本発明に係る光検出装置は、ファイバ１０の一端が斜め研磨されて反射面が形成され、光源１がレンズ４の光軸に対して次式の関係を満たしている次式中のαの角度で前記反射面に対して入射させる位置に設置され、ファイバ１０が次式中のαとθとの差分の角度だけレンズ４の光軸に対し傾けて設置されることにより、照明光と集光系の光線を近づける（重ねる）ことができ、照明光と集光系の位置及び焦点のずれが少ない光学系を簡素な構成で実現し、スペクトラム解析による分光分析の精度向上に貢献することができる。
ｎ＊Ｓｉｎθ＝ｎ'＊Ｓｉｎα
（ｎ：光ファイバの構成物質の屈折率、θ：光ファイバの一端の斜め研磨角度、ｎ'：空気の屈折率、α：光ファイバ１０の反射面に対する照明光の入射角度）
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明に係る光検出装置の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１の光検査装置の設置関係の説明図である。
【図３】このような光検出装置の他の実施例の説明図である。
【図４】このような光検出装置のその他の実施例の説明図である。
【図５】図１等の光検出装置の集光系と照明系を逆にした場合の説明図である。
【図６】従来の光検出装置の構成を示す構成図である。
【図７】従来の光検出装置の問題点の説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  光源
２、４  レンズ
３  ミラー
５、１０  光ファイバ
６  スペクトラム観測装置
【図１】
2010117146.tif 000003
【図２】
2010117146.tif 000004
【図３】
2010117146.tif 000005
【図４】
2010117146.tif 000006
【図５】
2010117146.tif 000007
【図６】
2010117146.tif 000008
【図７】
2010117146.tif 000009