(57)【要約】【課題】パターン膜におけるスジ状のムラを目立たなくする。【解決手段】基材上に複数のパターン膜を有するパターン膜形成部材であって、前記パターン膜は、複数種類の体積を有し、隣接する前記パターン膜の体積の差が不均一な分布に配置されている。【選択図】図１
2010097026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に複数のパターン膜を有するパターン膜形成部材であって、
前記パターン膜は、複数種類の体積を有し、
隣接する前記パターン膜の体積の差が不均一な分布に配置されていることを特徴とするパターン膜形成部材。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン膜形成部材において、
前記パターン膜は、基準の体積となる第１パターン膜と、前記第１パターン膜の体積よりも小さい体積を有する第２パターン膜と、前記第１パターン膜の体積よりも大きい体積を有する第３パターン膜と、が不均一に配置されていることを特徴とするパターン膜形成部材。
【請求項３】
請求項１または２に記載のパターン膜形成部材において、
前記パターン膜は、複数の色要素を含み、
前記色要素毎に、前記第１パターン膜と、前記第２パターン膜と、前記第３パターン膜と、が不均一に配置されていることを特徴とするパターン膜形成部材。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材において、
隣接する前記パターン膜の体積の差は、所定の範囲内で規制されることを特徴とするパターン膜形成部材。
【請求項５】
請求項３または４に記載のパターン膜形成部材において、
前記第１パターン膜の体積と前記第２パターン膜の体積との体積の差と、
前記第１パターン膜の体積と前記第３パターン膜の体積との体積の差と、が等しいことを特徴とするパターン膜形成部材。
【請求項６】
基材に複数のパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、
前記基板に設けられた複数のパターン膜領域のそれぞれに、前記パターン膜の材料となる液状体を塗布する塗布工程と、
塗布された前記液状体を固化する固化工程と、を含み、
前記塗布工程では、隣接する前記パターン膜領域に塗布される前記液状体の塗布量の差が不均一な分布となるように、前記液状体を塗布することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
前記パターン膜領域毎に、基準の塗布量とする第１塗布量と、前記第１塗布量よりも量が少ない第２塗布量と、前記第１塗布量よりも量が多い第３塗布量のうちから規定される塗布量で塗布することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、前記パターン膜の色要素毎に、前記第１塗布量と前記第２塗布量と前記第３塗布量のうちから規定される塗布量で塗布することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
規定された所定の塗布量の範囲内において前記液状体を塗布することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項６〜９のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
ノズルから前記液状体を液滴として吐出して前記液状体を塗布するものであり、
前記パターン膜領域毎に、基準の吐出量とする第１吐出量と、前記第１吐出量よりも量が少ない第２吐出量と、前記第１吐出量よりも量が多い第３吐出量のうちから規定される吐出量で吐出することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
前記第１吐出量と前記第２吐出量との吐出量の差と、
前記第１吐出量と前記第３吐出量との吐出量の差と、が等しくなるように前記液状体を液滴として吐出することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程では、
一の前記パターン膜領域に対して一の前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記パターン膜領域に前記液状体を塗布する場合には、
前記一のノズルの吐出タイミング毎に前記第１〜第３吐出量のうちから規定される前記吐出量を吐出することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１３】
請求項１０または１１に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
一の前記パターン膜領域に対して複数の前記ノズルから構成されるノズル群から前記液滴を吐出して、前記パターン膜領域に前記液状体を塗布する場合には、
前記ノズル群を構成する前記各ノズル毎に前記第１〜第３吐出量のうちから規定される前記吐出量を吐出することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
前記塗布工程の前に、前記第１吐出量と前記第２吐出量と前記第３吐出量とを算出する算出工程を有し、
前記算出工程は、
前記ノズル毎に基準となる吐出量を測定するステップと、
前記基準となる吐出量から規定量を減算することにより前記ノズル毎に下限値の吐出量を算出するステップと、
前記基準となる吐出量から前記規定量を加算することにより前記ノズル毎に上限値の吐出量を算出するステップと、
前記ノズル毎の基準となる吐出量を合算して前記第１吐出量を算出するステップと、
前記ノズル毎に前記下限値の吐出量と前記上限値の吐出量のうちいずれかを採用し、採用された前記吐出量を合算して前記第２吐出量を算出するステップと、
前記第２吐出量の算出するステップにおいて、前記ノズル毎において採用されなかった前記吐出量を合算して前記第３吐出量を算出するステップと、を有することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１５】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材または請求項６〜１４のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法によって製造されたパターン膜形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン膜形成部材、パターン膜形成部材の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法としては、例えば、基材に向けてノズルからパターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出し、基材に液状体を塗布し、その後、塗布した液状体を固化してパターン膜を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ノズルから吐出される液状体の吐出量は、わずかながらもノズル間で吐出量のバラツキが存在する。このため、隣接するパターン膜領域には、ほぼ一定の液状体の塗布量の差が生じてしまう。そうすると、当該塗布量の差に起因して、パターン膜間にスジ状のムラが発生してしまう、という課題があった。なお、このようなスジ状のムラは認識されやすく、カラーフィルタを介して表示される画質の低下につながってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるパターン膜形成部材は、基材上に複数のパターン膜を有するパターン膜形成部材であって、前記パターン膜は、複数種類の体積を有し、隣接する前記パターン膜の体積の差が不均一な分布に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、隣接するパターン膜間に生じる不均一な体積差により、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。
【０００８】
［適用例２］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材において、前記パターン膜は、基準の体積となる第１パターン膜と、前記第１パターン膜の体積よりも小さい体積を有する第２パターン膜と、前記第１パターン膜の体積よりも大きい体積を有する第３パターン膜と、が不均一に配置されていることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、第１パターン膜の体積を基準とした３種類の体積を有するパターン膜を不均一に配置することにより、パターン膜全体としての体積が平均化され、僅かな体積のバラツキによって、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。
【００１０】
［適用例３］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材において、前記パターン膜は、複数の色要素を含み、前記色要素毎に、前記第１パターン膜と、前記第２パターン膜と、前記第３パターン膜と、が不均一に配置されていることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、色要素間に生じる不均一な体積差により、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。従って、例えば、カラーフィルタ等における画質を向上させることができる。
【００１２】
［適用例４］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材において、隣接する前記パターン膜の体積の差は、所定の範囲内で規制されることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、一定の範囲内において、不均一な体積差が生じるため、スジ状のムラを視認しにくくするとともに、パターン膜のざらつき感を低減させることができる。
【００１４】
［適用例５］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材において、前記第１パターン膜の体積と前記第２パターン膜の体積との体積の差と、前記第１パターン膜の体積と前記第３パターン膜の体積との体積の差と、が等しいことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、全体としてのパターン膜の体積量はほぼ一定となるので、さらに、スジ状のムラを視認しにくくするとともに、パターン膜のざらつき感を低減させることができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材に複数のパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基板に設けられた複数のパターン膜領域のそれぞれに、前記パターン膜の材料となる液状体を塗布する塗布工程と、塗布された前記液状体を固化する固化工程と、を含み、前記塗布工程では、隣接する前記パターン膜領域に塗布される前記液状体の塗布量の差が不均一な分布となるように、前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、隣接するパターン膜領域において、塗布量の差が不均一となるように液状体が塗布される。従って、当該塗布量の差のバラツキにより、スジ状のムラを認識しにくくすることができる。
【００１８】
［適用例７］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、前記パターン膜領域毎に、基準の塗布量とする第１塗布量と、前記第１塗布量よりも量が少ない第２塗布量と、前記第１塗布量よりも量が多い第３塗布量のうちから規定される塗布量で塗布することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、３種類の塗布量を用いて不均一に配置することにより、パターン膜全体としての塗布量を平均化することができる。
【００２０】
［適用例８］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、前記パターン膜の色要素毎に、前記第１塗布量と前記第２塗布量と前記第３塗布量のうちから規定される塗布量で塗布することを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、色要素間に不均一な塗布量の差が生じるため、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。従って、例えば、カラーフィルタ等における画質を向上させることができる。
【００２２】
［適用例９］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、規定された所定の塗布量の範囲内において前記液状体を塗布することを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、一定の範囲内において、不均一な体積差が生じるため、スジ状のムラを視認しにくくするとともに、ざらつき感を低減させることができる。
【００２４】
［適用例１０］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、ノズルから前記液状体を液滴として吐出して前記液状体を塗布するものであり、前記パターン膜領域毎に、基準の吐出量とする第１吐出量と、前記第１吐出量よりも量が少ない第２吐出量と、前記第１吐出量よりも量が多い第３吐出量のうちから規定される吐出量で吐出することを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、ノズルから吐出される吐出量によって、所定の塗布量が規定される。従って、正確な塗布量を管理できるととにも、微細加工を行うことができる。
【００２６】
［適用例１１］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、前記第１吐出量と前記第２吐出量との吐出量の差と、前記第１吐出量と前記第３吐出量との吐出量の差と、が等しくなるように前記液状体を液滴として吐出することを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、各ノズルの特性に合わせて液滴の吐出量が規定され、全体としての吐出量はほぼ一定となるので、さらに、スジ状のムラを視認しにくくするとともに、ざらつき感を低減させることができる。
【００２８】
［適用例１２］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程では、一の前記パターン膜領域に対して一の前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記パターン膜領域に前記液状体を塗布する場合には、前記一のノズルの吐出タイミング毎に前記第１〜第３吐出量のうちから規定される前記吐出量を吐出することを特徴とする。
【００２９】
この構成によれば、一のノズルにおいてバラツキを持たせることができる。すなわち、一のノズルから吐出するにあたり、微妙に不均一な吐出量の分布を形成することができる。
【００３０】
［適用例１３］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、一の前記パターン膜領域に対して複数の前記ノズルから構成されるノズル群から液滴を吐出して、前記パターン膜領域に前記液状体を塗布する場合には、前記ノズル群を構成する前記各ノズル毎に前記第１〜第３吐出量のうちから規定される前記吐出量を吐出することを特徴とする。
【００３１】
この構成によれば、ノズル群においてバラツキを持たせることができる。すなわち、ノズル群から吐出するにあたり、微妙に不均一な吐出量の分布を形成することができる。
【００３２】
［適用例１４］上記の適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法において、前記塗布工程の前に、前記第１吐出量と前記第２吐出量と前記第３吐出量とを算出する算出工程を有し、前記算出工程は、前記ノズル毎に基準となる吐出量を測定するステップと、前記基準となる吐出量から規定量を減算することにより前記ノズル毎に下限値の吐出量を算出するステップと、前記基準となる吐出量から前記規定量を加算することにより前記ノズル毎に上限値の吐出量を算出するステップと、前記ノズル毎の基準となる吐出量を合算して前記第１吐出量を算出するステップと、前記ノズル毎に前記下限値の吐出量と前記上限値の吐出量のうちいずれかを採用し、採用された前記吐出量を合算して前記第２吐出量を算出するステップと、前記第２吐出量の算出するステップにおいて、前記ノズル毎において採用されなかった前記吐出量を合算して前記第３吐出量を算出するステップと、を有することを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、各ノズルが有する固有の吐出量のバラツキを分散させ、さらに、第１〜第３吐出量におけるバラツキを生じさせるので、誤差分散により僅かな吐出量のバラツキを形成することができ、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。
【００３４】
［適用例１５］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン膜形成部材または上記のパターン膜形成部材の製造方法によって製造されたパターン膜形成部材を備えたことを特徴とする。
【００３５】
このような電気光学装置によれば、色品質の良いパターン膜形成部材を備えることができる。この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００３６】
［適用例１６］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３７】
このような電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を搭載することができる。この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を用いて説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００３９】
＜パターン膜形成部材の構成＞
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの構成について説明する。図１は、カラーフィルタの構成を示し、図１（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、断面図である。
【００４０】
図１（ａ），（ｂ）において、カラーフィルタ１は、基材１０と、パターン膜領域としての色素膜領域１２を区画する区画部１１と、色素膜領域１２内に形成されたパターン膜としての色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）と、区画部１１と色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の上に形成された保護膜１９等で構成されている。本実施形態では、色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は、いわゆるストライプ型の色素膜配列構造を有しているが、この他の配列構造のもの、例えば、デルタ型構造やモザイク型構造であってもよい。さらに、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色要素を有する色素膜を含む構成であってもよい。
【００４１】
基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。
【００４２】
区画部１１は、基材１０の上に形成され、色素膜領域１２が矩形に区画されるように形成されている。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
【００４３】
色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は、色要素毎に複数種類の体積を有しており、隣接する色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の体積の差が不均一に配置されている。すなわち、それぞれ異なる体積を有する色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の配列が規則性を持たないように、ランダムに配置されている。従って、隣接する色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）間の体積の差は、領域毎に異り、全体として不均一な分布となっている。このように、各色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を配置することにより、体積の差に起因するスジ状のムラの発生を防止することができる。
【００４４】
具体的には、図１（ａ）に示すように、色素膜１５Ｒ（赤）は、３種類のそれぞれ異なる体積を有する色素膜１５Ｒ１〜１５Ｒ３（赤）を備え、色素膜１５Ｇ（緑）は、３種類のそれぞれ異なる体積を有する色素膜１５Ｇ１〜１５Ｇ３（緑）を備え、色素膜１５Ｂ（青）は、３種類のそれぞれ異なる体積を有する色素膜１５Ｂ１〜１５Ｂ３（青）を備えている。そして、本実施形態では、色素膜１５Ｒについては、基準となる体積を有する第１パターン膜としての第１色素膜１５Ｒ１と、第１色素膜１５Ｒ１の体積よりも小さい第２パターン膜としての第２色素膜１５Ｒ２と、第１色素膜１５Ｒ１の体積よりも大きい第３パターン膜としての第３色素膜１５Ｒ３のいずれかによって形成されている。また、色素膜１５Ｒ１〜１５Ｒ３における体積差は、所定の範囲内に納まるように設定され、例えば、各色素膜１５Ｒ１〜１５Ｒ３の体積差が０．５％以内に設定されている。さらには、０．３％以内に設定することが好ましい。体積差が所定の範囲内を超えるとカラーフィルタ１全体としてのざらつき感が目立ちやすくなるからである。他の色素膜１５Ｇ，１５Ｂについても同様である。さらに、各色素膜１５（１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ）間の体積の差も０．５％以内、好ましくは０．３％以内に規制される。
【００４５】
さらに、第１色素膜１５Ｒ１と第２色素膜１５Ｒ２の体積差と、第１色素膜１５Ｒ１と第３色素膜１５Ｒ３の体積差とが等しくなるように、所定の範囲内に納められている。このように設定することにより、例えば、全体のカラーフィルタ１における色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の体積をほぼ同一にすることにより、全体としての画素品質を高めることができる。
【００４６】
以下、上記に説明したカラーフィルタ１を製造するための製造装置および製造方法等について順に説明する。
【００４７】
＜液滴吐出装置の構成＞
次に、カラーフィルタ１の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。本実施形態では、カラーフィルタ１の色素膜領域１２に色素膜１５の材料となる液状体を塗布する方法として、当該液状体を液滴として吐出する液滴吐出方法を採用し、当該液滴吐出を可能とする液滴吐出装置を例に説明する。図２は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００４８】
図２において、液滴吐出装置２０の基台２２の上面２２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール２３ａ，２３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２２の上側には、一対の案内レール２３ａ，２３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ２４が取付けられている。そのステージ２４の直動機構は、例えば案内レール２３ａ，２３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ２４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００４９】
さらに、基台２２の上面２２ａには、案内レール２３ａ，２３ｂに平行して主走査位置検出装置２５が配置され、ステージ２４の位置が計測できるようになっている。
【００５０】
ステージ２４の上面には、載置面２６が形成され、その載置面２６には図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面２６に基材１０を載置すると、基材チャック機構によって、その基材１０が載置面２６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００５１】
基台２２のＸ方向両側には一対の支持台２８ａ，２８ｂが立設され、その一対の支持台２８ａ，２８ｂにはＸ方向に延びる案内部材２９が架設されている。案内部材２９のＸ方向の幅はステージ２４のＸ方向よりも長く形成され、案内部材２９の一端が支持台２８ａ側に張り出すように配置されている。
【００５２】
案内部材２９の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク３０が配設されている。一方、その案内部材２９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール３１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００５３】
案内レール３１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ３２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ３２の直動機構は、例えば、ステージ２４が備える直動機構と同様の機構である。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をキャリッジ３２が備えるＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ３２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。このキャリッジ３２の下面（ステージ２４側の面）には、吐出ヘッド４１を備えたヘッドユニット４０が凸設されている。
【００５４】
また、基台２２の側方には、液滴重量測定装置３８が配置されている。当該液滴重量測定装置３８は、吐出ヘッド４１のノズルＮから吐出される液滴重量（吐出量）を測定する装置である。液滴重量測定装置３８には、電子天秤が設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、吐出ヘッド４１から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。
【００５５】
そして、キャリッジ３２が、案内レール３１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、吐出ヘッド４１は、液滴重量測定装置３８と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。
【００５６】
（吐出ヘッドの構成）
次に、吐出ヘッド４１の構造について説明する。図３は、吐出ヘッドの構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００５７】
図３（ａ）において、吐出ヘッド４１は、振動板４２と、ノズルプレート４３を備えている。振動板４２とノズルプレート４３との間には、液溜まり４４が配置され、孔４５を介して供給される液状体が常に充填されるようになっている。また、振動板４２と、ノズルプレート４３との間には、複数の隔壁４６が設けられている。そして、振動板４２と、ノズルプレート４３と、一対の隔壁４６とによって囲まれた部分がキャビティ４７である。キャビティ４７には、一対の隔壁４６間に位置する供給口４９を介して、液溜まり４４から液状体が供給される。
【００５８】
図３（ｂ）に示すように、振動板４２上には、それぞれのキャビティ４７に対応して振動子５０が取り付けられている。振動子５０は、ピエゾ素子５０ｃと、ピエゾ素子５０ｃを挟む一対の電極５０ａ、５０ｂを有する。この一対の電極５０ａ、５０ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズルＮから液状体が液滴Ｄとなって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子５０の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴Ｄとして吐出することができる。
【００５９】
ここで、ノズルＮ間における吐出量のバラツキの発生と各ノズルＮにおける吐出量の調整方法について説明する。図４は、各ノズルＮにおける液滴Ｄの吐出量を例示した説明図である。
【００６０】
図４では、各色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成するために使用される各ノズルＮから吐出される液滴Ｄの吐出量を示している。本実施形態では、各色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は、４つのノズルＮ（ノズル群Ｆ）を使用することにより形成される。例えば、色素膜１５Ｒに対しては、ノズル群Ｆ１が使用される。そして、ノズル群Ｆ１は、４つのノズルＮ１〜Ｎ４から構成される。すなわち、本実施形態では、ノズルＮ１〜Ｎ４（ノズル群Ｆ１）のそれぞれのノズルＮから液滴Ｄを吐出して、一の色素膜１５Ｒを形成する。同様にして、色素膜１５Ｇは、ノズルＮ５〜Ｎ８（ノズル群Ｆ２）が使用され、色素膜１５Ｂは、ノズルＮ９〜Ｎ１２（ノズル群Ｆ３）が使用される。
【００６１】
色素膜１５を形成するに際しては、カラーフィルタ１の画質品質の観点から、各ノズルＮから同量の吐出量の液滴Ｄが吐出されることが好ましい。そのため、ノズルＮ毎に印加する駆動電圧等を調整し、各ノズルＮの吐出量を調整することができる。しかしながら、実際には、僅かながらもノズルＮ間に吐出量のバラツキが発生してしまう。
【００６２】
例えば、ノズルＮ１〜Ｎ４については、各ノズルＮ１〜Ｎ４に対応する基準の駆動電圧を印加させた場合の吐出量（基準となる吐出量ＳＲ）は、ノズルＮ１から順に、２１．０４，２１．１０，２０．９２，２１．００（ｎｇ）と言うように、僅かにバラツキが発生する。そして、ノズル群Ｆ１としての吐出量（第１吐出量ＴＳＱに相当する）は、各ノズルＮ１〜Ｎ４における基準となる吐出量ＳＲを合計した８４．０６ｎｇとなり、一の色素膜１５Ｒは、８４．０６ｎｇ（第１吐出量ＴＳＲ１）の吐出量に基づいて形成されることになる。
【００６３】
同様にして、一の色素膜１５Ｇは、８４．２８ｎｇ（第１吐出量ＴＳＧ１）の吐出量に基づいて形成され、一の色素膜１５Ｂは、８３．８６ｎｇ（第１吐出量ＴＳＢ１）の吐出量に基づいて形成されることになる。
【００６４】
ここで、上記第１吐出量（ＴＳＲ１，ＴＳＧ１，ＴＳＢ１）に基づいて、色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成することとなると、色素膜領域１２間には、一定（均一）の吐出量の差が生じ、当該一定の吐出量の差により、色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）間に均一な体積の差が生じることとなる。この均一な体積の差がスジ状のムラとなって画像品質の低下を招くおそれがある。
【００６５】
そこで、本実施形態では、ノズル群Ｆ毎に複数種類の吐出量を用意し、当該用意された複数種類の吐出量を色素膜１５毎に対応する色素膜領域１２に向けてランダムに吐出することにより不均一な吐出量の分布を形成する。このため、まず、各ノズルＮの基準となる吐出量（ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ）に基づいて、基準となる吐出量（ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ）よりも吐出量が少ない下限値の吐出量（ＳＲｍｉｎ，ＳＧｍｉｎ，ＳＢｍｉｎ）と、基準となる吐出量（ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ）よりも吐出量が多い上限値の吐出量（ＳＲｍａｘ，ＳＧｍａｘ，ＳＢｍａｘ）と、を算出する。そして、さらに、各ノズル群Ｆ１〜Ｆ３において、各ノズルＮの下限値の吐出量と上限値の吐出量とを組み合わせた第２吐出量（ＴＳＲ２，ＴＳＧ２，ＴＳＢ２）と第３吐出量（ＴＳＲ３，ＴＳＧ３，ＴＳＢ３）を算出する。
【００６６】
例えば、ノズルＮ１〜Ｎ４については、各ノズルＮ１〜Ｎ４の基準となる吐出量ＳＲに対して、規定量を減算／加算することによって、ノズルＮ１〜Ｎ４毎に下限値の吐出量ＳＲｍｉｎ及び上限値の吐出量ＳＲｍａｘを算出する。なお、本実施形態における規定量は、各ノズルＮ１〜Ｎ４の基準となる吐出量ＳＲを吐出するために印加された各駆動電圧を基にして、電圧１Ｖあたりの吐出量を算出することにより得られた値である。そして、ノズルＮ１〜Ｎ４の例では、下限値の吐出量ＳＲｍｉｎは、基準となる吐出量ＳＲから規定量を減算することにより、ノズルＮ１から順に、２０．０４，２０．０６，１９．９６，１９．９８（ｎｇ）と算出される。また、上限値の吐出量ＳＲｍａｘは、基準となる吐出量ＳＲに規定量を加算することにより、ノズルＮ１から順に、２２．０４，２２．１４，２１．８８，２２．０２（ｎｇ）と算出される。
【００６７】
そして、本実施形態では、まず、奇数ノズル（Ｎ１，Ｎ３）では上限値の吐出量ＳＲｍａｘを採用し、偶数ノズル（Ｎ２，Ｎ４）では下限値の吐出量ＳＲｍｉｎを採用して、それぞれ採用された吐出量を合算することにより第２吐出量ＴＳＲ２（８３．９６ｎｇ）を算出する。さらに、奇数ノズル（Ｎ１，Ｎ３）では下限値の吐出量ＳＲｍｉｎを採用し、偶数ノズル（Ｎ２，Ｎ４）では上限値の吐出量ＳＲｍａｘを採用して、それぞれ採用された吐出量を合算することにより第３吐出量ＴＳＲ３（８４．１６ｎｇ）を算出する。
【００６８】
このようにして、ノズルＮ１〜Ｎ４を含むノズル群Ｆ１は、一の色素膜１５を形成するための液滴Ｄの吐出量として、第１吐出量ＴＳＲ１と、第２吐出量ＴＳＲ２と、第３吐出量ＴＳＲ３の３種類の吐出量を備えることとなる。同様にして、ノズルＮ５〜Ｎ８を含むノズル群Ｆ２は、第１吐出量ＴＳＧ１と、第２吐出量ＴＳＧ２と、第３吐出量ＴＳＧ３の３種類の吐出量を備え、ノズルＮ９〜Ｎ１２を含むノズル群Ｆ３は、第１吐出量ＴＳＢ１と、第２吐出量ＴＳＢ２と、第３吐出量ＴＳＢ３の３種類の吐出量を備えることになる。
【００６９】
ところで、例えば、第２吐出量ＴＳＲ２に注目した場合、偶数ノズル（Ｎ２，Ｎ４）に対しては、基準の駆動電圧に対して−１Ｖの駆動電圧を印加させ、奇数ノズル（Ｎ１，Ｎ３）に対しては、基準の駆動電圧に対して＋１Ｖの駆動電圧を印加させている。従って、第２吐出量ＴＳＲ２においては、トータルした駆動電圧は±０であるので、見かけ上、一の色素膜１５Ｒ内の吐出量は変化しない。しかしながら、図４に示すように、ノズルＮ毎に吐出量がばらついているので、わずかな誤差を生じることになる。本願発明は、ノズルＮ間に生じた誤差を利用して、所定の規定量を用いて分散させる、誤差分散を利用した液滴吐出方法である。
【００７０】
以下、液滴Ｄの吐出にかかる制御構成について説明する。
【００７１】
（液滴吐出装置の電気的構成）
次に、液滴吐出装置の電気的構成について説明する。図５は、液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図である。
【００７２】
図５において、液滴吐出装置２０は、装置全体の統括制御を行うコンピュータＣＰと、ヘッドユニット４０の駆動制御を行うための制御回路部１００を備えている。制御回路部１００は、フレキシブルケーブル１０６等を介してヘッドユニット４０と電気的に接続されている。ヘッドユニット４０は、吐出ヘッド４１とヘッド制御部５１とを有し、ヘッド制御部５１は、吐出ヘッド４１における液滴Ｄの吐出動作を制御する。
【００７３】
（ヘッド制御部）
ヘッド制御部５１は、基材１０に対して液滴Ｄを吐出して、液状体を塗布する動作時において、コンピュータＣＰからの塗布データに含まれるドットパターンデータ（ＳＩ）に基づき、駆動信号ＣＯＭの必要な部分を選択し、振動子５０に印加させる。これにより、ノズルＮ毎に液滴Ｄの吐出動作が制御される。ドットパターンデータ（ＳＩ）は、基材１０に対して吐出される液滴Ｄに関するデータであり、液状体の色や吐出量等のデータである。本実施形態におけるドットパターンデータ（ＳＩ）は、２ビットのデータによって構成されている。このドットパターンデータ（ＳＩ）に基づき、ドットなし（データ［００］）と、基準となる吐出量での吐出（データ［０１］）と、下限値の吐出量での吐出（データ［１０］）と、上限値の吐出量の吐出（データ［１１］）と、からなる４種類の内容をノズルＮ毎に表すことができる。
【００７４】
図５に示すように、ヘッド制御部５１は、シフトレジスタ１０１と、ラッチ回路１０２と、制御ロジック１０３と、デコーダ１０４と、スイッチ回路１０５とを有する。これらのうち、制御ロジック１０３を除いた各部は、各ノズルＮに対応する振動子５０毎に設けられている。
【００７５】
液滴吐出動作において、シフトレジスタ１０１には、クロック信号（ＣＬＫ）に同期してドットパターンデータ（ＳＩ）がセットされる。セットされたドットパターンデータ（ＳＩ）は、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路１０２に入力されるタイミングでラッチされ、デコーダ１０４へ出力される。
【００７６】
制御ロジック１０３は、スイッチ回路１０５の制御に用いられるスイッチ制御情報ｑ０〜ｑ３を記憶し、出力する。このスイッチ制御情報ｑ０〜ｑ３は、各ノズルＮにおける吐出量毎に定められており、スイッチ回路１０５を動作させる際に用いられる。
【００７７】
デコーダ１０４は、制御ロジック１０３から出力されるスイッチ制御情報ｑ０〜ｑ３の中から、必要なスイッチ制御情報をドットパターンデータ（ＳＩ）に応じて選択し、スイッチ回路１０５へ出力する。例えば、デコーダ１０４は、ドットなし（吐出なし）に対応するドットパターンデータＳＩ［００］に対応して、スイッチ制御情報ｑ０を選択する。そして、スイッチ回路１０５へ出力する。また、デコーダ１０４は、基準となる吐出量によるドットの形成に対応するドットパターンデータＳＩ［０１］に対応して、スイッチ制御情報ｑ１を選択してスイッチ回路１０５へ出力する。同様にして、デコーダ１０４は、下限値の吐出量によるドットの形成に対応するドットパターンデータＳＩ［１０］に対応して、スイッチ制御情報ｑ２を選択してスイッチ回路１０５へ出力し、上限値の吐出量によるドットの形成に対応するドットパターンデータＳＩ［１１］に対応して、スイッチ制御情報ｑ３を選択してスイッチ回路１０５へ出力する。
【００７８】
スイッチ回路１０５は、駆動信号ＣＯＭの振動子５０への印加を制御する。本実施形態では、スイッチ回路１０５は、アナログスイッチによって構成されており、入力されたスイッチ制御情報（デコーダ１０４で選択された後のスイッチ制御情報）がＨレベルの場合にオン状態となり、入力されたスイッチ制御情報がＬレベルの場合にオフ状態となる。そして、スイッチ回路１０５は、オン状態の期間に渡って、対応する駆動信号を振動子５０に印加する。また、オフ状態の期間に渡って、対応する駆動信号を遮断する。
【００７９】
（駆動信号ＣＯＭについて）
次に、生成される駆動信号ＣＯＭについて説明する。図６（ａ）に示すように、駆動信号ＣＯＭは、繰り返し単位でもある吐出期間Ｔ毎に繰り返し生成される。この吐出期間Ｔは、液滴Ｄを吐出可能となる期間でもある。本実施形態において、駆動信号ＣＯＭは３つの駆動パルスを含んで構成されている。ここで、駆動パルスとは、ヘッドユニット４０が有する振動子５０に所定の動作をさせるための電圧変化パターンである。この駆動パルスには、ノズルＮから液滴Ｄを吐出させるための吐出パルスが含まれる。
【００８０】
駆動信号ＣＯＭは、期間Ｔ１内に生成される第１吐出パルスＰＳ１と、期間Ｔ２内に生成される第２吐出パルスＰＳ２と、期間Ｔ３内に生成される第３吐出パルスＰＳ３とを含んで構成されている。これらの吐出パルスＰＳ１〜ＰＳ３はいずれも、所定の吐出量の液滴を吐出させるための動作を振動子５０に行わせる。例えば、第１吐出パルスＰＳ１が印加されると、振動子５０は、基準となる吐出量に対応する液滴吐出量を吐出するための動作を行う。第２吐出パルスＰＳ２が印加されると、振動子５０は、下限値の吐出量に対応する液滴吐出量を吐出するための動作を行う。また、第３吐出パルスＰＳ３が印加されると、振動子５０は、上限値の吐出量に対応する液滴吐出量を吐出するための動作を行う。
【００８１】
なお、第２吐出パルスＰＳ２の印加によって吐出される液滴Ｄの吐出量は、第１吐出パルスＰＳ１の印加によって吐出される液滴吐出量よりも少なく、第３吐出パルスＰＳ３の印加によって吐出される液滴Ｄの吐出量は、第１吐出パルスＰＳ１の印加によって吐出される液滴吐出量よりも多い。このことは、印加される駆動電圧の大きさによって液滴の吐出量の量が決まってくる。
【００８２】
本実施形態では、液滴Ｄが最適な重量となる基準となる駆動電圧の第１吐出パルスＰＳ１に対して、第２吐出パルスＰＳ２は、基準となる駆動電圧に対して−１Ｖの駆動電圧に設定されており、第３吐出パルスＰＳ３は、基準となる駆動電圧に対して＋１Ｖの駆動電圧に設定されている。
【００８３】
従って、第２吐出パルスＰＳ２によって吐出される液滴Ｄの吐出量は、第１吐出パルスＰＳ１によって吐出される液滴Ｄの吐出量よりも吐出量が少なく、また、第３吐出パルスＰＳ３によって吐出される液滴Ｄの吐出量は、第１吐出パルスＰＳ１によって吐出される液滴Ｄの吐出量よりも吐出量を多くすることができる。
【００８４】
（液滴吐出動作について）
次に、液滴吐出動作について説明する。前述したように、スイッチ回路１０５の制御はスイッチ制御情報ｑ０〜ｑ３によってなされる。これらのスイッチ制御情報ｑ０〜ｑ３のうち、スイッチ制御情報ｑ０は、ドットなし（吐出なし）の指令（ドットパターンデータＳＩ［００］）に対応するスイッチ回路１０５の制御パターンを示し、スイッチ制御情報ｑ１は、基準となる吐出量の吐出指令に対応するスイッチ回路１０５の制御パターンを示す。同様に、スイッチ制御情報ｑ２は、下限値の吐出量の吐出指令に対応するスイッチ回路１０５の制御パターンを示し、スイッチ制御情報ｑ３は、上限値の吐出量の吐出指令に対応するスイッチ回路１０５の制御パターンを示す。
【００８５】
図６（ｂ）に示すように、これらのスイッチ制御情報ｑ０〜ｑ３は、いずれも３ビットのデジタルデータで構成されている。３ビットのうちの最上位ビットは、期間Ｔ１におけるスイッチ回路１０５のオン／オフ状態を示し、中間のビットは、期間Ｔ２におけるスイッチ回路１０５のオン／オフ状態を示す。同様に、最下位ビットは、期間Ｔ３におけるスイッチ回路１０５のオン／オフ状態を示す。そして、各ビットには、オン状態を示すデータ［１］（Ｈレベル）か、或いは、オフ状態を示すデータ［０］（Ｌレベル）が与えられる。
【００８６】
ドットなし（吐出なし）の指令の場合、第１吐出パルスＰＳ１から第３吐出パルスＰＳ３の何れも振動子５０へは印加されない。このため、対応するスイッチ制御情報ｑ０はデータ［０００］とされる。この場合、何れの期間Ｔ１〜Ｔ３においても、スイッチ回路１０５はオフ状態となる。基準となる吐出量の吐出指令の場合、第１吐出パルスＰＳ１が振動子５０へ印加される。このため、対応するスイッチ制御情報ｑ１はデータ［１００］とされる。これにより、期間Ｔ１にてスイッチ回路１０５がオン状態となり、駆動信号ＣＯＭが振動子５０へ印加される。下限値の吐出量の吐出指令の場合は、第２吐出パルスＰＳ２が振動子５０へ印加される。このため、対応するスイッチ制御情報ｑ２はデータ［０１０］とされる。これにより、駆動信号ＣＯＭは、期間Ｔ２に渡って振動子５０へ印加される。上限値の吐出量の吐出指令の場合、第３吐出パルスＰＳ３が振動子５０へ印加される。このため、対応するスイッチ制御情報ｑ３はデータ［００１］とされる。これにより、駆動信号ＣＯＭは、期間Ｔ３に渡って振動子５０へ印加される。
【００８７】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン膜形成部材の製造方法について説明する。本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。なお、本実施形態では、説明を容易にするため、一の色素膜領域１２に対して、４つのノズルＮから液滴Ｄを吐出して、一の色素膜１５を形成する場合について説明する。図７は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示すフローチャートである。
【００８８】
ステップＳ１では、吐出ヘッド４１の各ノズルＮから吐出される液滴Ｄの重量（各ノズルＮの基準となる吐出量ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ）を測定する。ここでは、各ノズルＮに対して基準となる駆動電圧を印加させ、液滴Ｄを吐出させる。そして、吐出された液滴Ｄを液滴重量測定装置３８によって吐出重量（吐出量）を測定する。
【００８９】
次に、ステップＳ２では、基準となる吐出量ＳＲ，ＳＧ，ＳＢに基づいて、各ノズルＮにおける下限値の吐出量（ＳＲｍｉｎ，ＳＧｍｉｎ，ＳＢｍｉｎ）と上限値の吐出量（ＳＲｍａｘ，ＳＧｍａｘ，ＳＢｍａｘ）を算出する。具体的には、ノズル群Ｆ１の例では、各ノズルＮ１〜Ｎ４の基準となる吐出量ＳＲを各ノズルＮに対応する基準となる駆動電圧で除して求められた液滴重量（ＳＲ／Ｖ）を規定量として算出する。そして、基準となる吐出量ＳＲから規定量を減ずることにより下限値の吐出量ＳＲｍｉｎを算出する。また、基準となる吐出量ＳＲから規定量を加えることにより上限値の吐出量ＳＲｍａｘを算出する。なお、本実施形態では、駆動電圧あたりの吐出量を規定量として、下限値の吐出量及び上限値の吐出量を算出したが、駆動電圧あたりの吐出量を基礎として任意に規定量を定めてもよい。
【００９０】
次に、ステップＳ３では、ノズル群Ｆ１〜Ｆ３毎に第１吐出量と第２吐出量と第３吐出量とを算出する（図４を参照）。これにより、各ノズル群Ｆ１〜Ｆ３において、それぞれ第１〜第３吐出量の３種類の吐出量が用意されることになる。
【００９１】
また、各ノズル群Ｆ１〜Ｆ３において、第１吐出量と第２吐出量の差と、第１吐出量と第３吐出量の差と、が等しくなるように設定される。また、各吐出量の差が、およそ０．５％以内、好ましくは０．３％以内になるように設定される。
【００９２】
次に、ステップＳ４では、吐出量分布マップを作成する。図８は、吐出量分布マップを示す説明図である。吐出量分布マップ１２０は、先の第１〜第３吐出量の算出結果を受けて、各色素膜１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する色素膜領域１２に対して、第１〜第３吐出量のうち、いずれの吐出量を用いて塗布するか、その吐出量の分布がマップ上に作成されている。例えば、吐出量分布マップ１２０に表示されるｔｓｒ１は、第１吐出量ＴＳＲ１に対応し、ｔｓｂ３は、第３吐出量ＴＳＢ３に対応する。吐出量の分布は、第１〜第３吐出量の分布が規則性を持たないように、すなわち、不均一となるように作成する。このため、例えば、乱数表示によって作成してもよい。当該吐出量分布マップ１２０は、塗布データに含まれ、コンピュータＣＰから制御回路部１００に入力される。
【００９３】
次に、ステップＳ５では、基材１０に液状体を塗布する。図９は、カラーフィルタ１の製造方法の一部を示す工程図である。図９（ａ）に示すように、基材１０をステージ２４の載置面２６に載置する。基材１０には、色素膜領域１２を区画するための区画部１１が形成されている。区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法によって形成することができる。
【００９４】
そして、色素膜領域１２に色素膜１５の材料となる液状体を塗布する。本実施形態では、液滴吐出装置２０を用いて、吐出ヘッド４１から色素膜１５の材料となる液状体を液滴Ｄとして吐出する。これにより、基材１０に液状体１５’が塗布される。液滴吐出は、上記の吐出量分布マップ１２０に従って、所定の吐出量の液滴Ｄを吐出する。具体的には、例えば、吐出量分布マップ１２０における領域ｔｓｒ２に従って液滴Ｄを吐出する場合では、ノズル群Ｆ１を用いて第２吐出量ＴＳＲ２を吐出する。この場合、ノズルＮ１，Ｎ３は下限値の吐出量ＳＲｍｉｎで吐出し、ノズルＮ２，Ｎ４は上限値の吐出量ＳＲｍａｘで吐出する。かくして、基材１０には、第２吐出量ＴＳＲ２の吐出量の液状体１５Ｒ’が塗布される。他の領域においても同様にして液状体１５’が塗布される。
【００９５】
その後、ステップＳ６では、塗布された液状体１５’を固化する。例えば、熱乾燥処理を施すことにより、液状体１５’を固化する。そして、熱乾燥によって色素膜１５が形成される。その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１５の上に保護膜を形成する。保護膜の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００９６】
上記の工程を経ることより、カラーフィルタ１が形成される。
【００９７】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図１０は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００９８】
図１０において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１と、カラーフィルタ１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００９９】
カラーフィルタ１の保護膜１９の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０の色素膜１５が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【０１００】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【０１０１】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図１１は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図１１において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【０１０２】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【０１０３】
（１）カラーフィルタ１は、色要素毎に、それぞれ体積が異なる色素膜１５Ｒ１〜１５Ｒ３、色素膜１５Ｇ１〜１５Ｇ３、色素膜１５Ｂ１〜１５Ｂ３を備え、隣接する色素膜１５間の体積差が領域によって異なるように、すなわち、不均一になるように配置される。従って、隣接する色素膜１５間の体積差のバラツキにより、スジ状のムラの発生を低減させることができる。
【０１０４】
（２）ノズル群Ｆ１〜Ｆ３ごとに、第１吐出量（ＴＳＲ１，ＴＳＧ１，ＴＳＢ１）と、第２吐出量（ＴＳＲ２，ＴＳＧ２，ＴＳＢ２）と、第３吐出量（ＴＳＲ３，ＴＳＧ３，ＴＳＢ３）とを算出する。この場合において、第１吐出量（ＴＳＲ１，ＴＳＧ１，ＴＳＢ１）は、各ノズルＮの基準となる吐出量（ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ）の合算値である。すなわち、当初の段階において各ノズルＮから吐出される吐出量を合算した値であり、ノズルＮ間の吐出量に僅かながらのバラツキを有している。第２吐出量（ＴＳＲ２，ＴＳＧ２，ＴＳＢ２）と第３吐出量（ＴＳＲ３，ＴＳＧ３，ＴＳＢ３）は、各ノズルＮの基準となる吐出量（ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ）に規定量を減算／加算させ、そこで得られた値を組み合わせることにより算出した値である。すなわち、当初の吐出量のばらつきを利用して、誤差分散を利用した値である。このように算出された第１吐出量と第２吐出量と第３吐出量を用いて、基材１０の色素膜領域１２に不均一な分布で吐出することにより、隣接する色素膜領域１２間には、わずかな塗布量の差が生じるので、スジ状のムラを認識しにくくすることができる。
【０１０５】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【０１０６】
（変形例１）上記実施形態では、ノズル群Ｆ毎に３種類の吐出量（第１吐出量，第２吐出量，第３吐出量）を用意したが、これに限定されない。例えば、２種類或いは４種類以上の吐出量を用意してもよい。このようにしても、隣接する色素膜領域１２間における塗布量の差を不均一にすることができる。
【０１０７】
（変形例２）上記実施形態では、４つのノズルＮで構成されたノズル群Ｆを用いたが、これに限定されず、複数のノズルＮで構成されるノズル群Ｆであればよい。この場合でも、上記同様の効果を得ることができる。
【０１０８】
（変形例３）上記実施形態では、複数のノズルＮで構成されたノズル群Ｆを用いて、一の色素膜１５を形成したが、これに限定されない。例えば、一のノズルＮを用いて、一の色素膜１５を形成する構成としてもよい。この場合において、一のノズルＮの吐出タイミング毎に、例えば、第１〜第３吐出量を規定すればよい。このようにしても、不均一な吐出量分布を形成することができる。
【０１０９】
（変形例４）上記実施形態では、液滴Ｄの吐出駆動手段としてピエゾ素子５０ｃを用いたが、これに限定されない。例えば、ヒータ駆動方式（バブル噴射方式）であってもよい。また、駆動電圧を印加することによって液滴Ｄの吐出量の制御を行ったが、他の方法、例えば、ヒータ温度制御等であってもよい。このようにしても、液滴Ｄの吐出量を制御することができる。
【０１１０】
（変形例５）上記実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルタ１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】カラーフィルタの構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図２】液滴吐出装置の構成示す斜視図。
【図３】吐出ヘッドの構造を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。
【図４】ノズルにおける吐出量を例示した説明図。
【図５】液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図。
【図６】吐出動作を示す説明図であり、（ａ）は駆動信号の動作図、（ｂ）はスイッチ制御情報図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図８】吐出量分布を示す説明図。
【図９】カラーフィルタの製造方法の一部を示す工程図。
【図１０】液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図１１】テレビ受像機の斜視図。
【符号の説明】
【０１１２】
１…パターン膜形成部材としてのカラーフィルタ、１０…基材、１１…区画部、１２…パターン膜領域としての色素膜領域、１５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）…パターン膜としての色素膜、１５Ｒ１，１５Ｇ１，１５Ｂ１…第１パターン膜としての第１色素膜、１５Ｒ２，１５Ｇ２，１５Ｂ２…第２パターン膜としての第２色素膜、１５Ｒ３，１５Ｇ３，１５Ｂ３…第３パターン膜としての第３色素膜、１５’…液状体、２０…液滴吐出装置、３２…キャリッジ、３８…液滴重量測定装置、４０…ヘッドユニット、４１…吐出ヘッド、５０…振動子、５１…ヘッド制御部、１００…制御回路部、１２０…吐出量分布マップ、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機、ＣＰ…コンピュータ、Ｎ…ノズル、Ｆ１〜Ｆ３…ノズル群、ＳＲ，ＳＧ，ＳＢ…基準となる吐出量、ＳＲｍｉｎ，ＳＧｍｉｎ，ＳＢｍｉｎ…下限値の吐出量、ＳＲｍａｘ，ＳＧｍａｘ，ＳＢｍａｘ…上限値の吐出量、ＴＳＲ１，ＴＳＧ１，ＴＳＢ１…第１吐出量、ＴＳＲ２，ＴＳＧ２，ＴＳＢ２…第２吐出量、ＴＳＲ３，ＴＳＧ３，ＴＳＢ３…第３吐出量。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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