(57)【要約】【課題】バージョンアップを短時間で効率的に行って、装置のダウンタイムを短くすることができる技術を提供する。【解決手段】レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、前記取得ステップで取得したエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、前記検索ステップで検索されたソフトウエアの情報を前記露光装置に提供する提供ステップと、を有することを特徴とするバージョンアップ方法を提供する。【選択図】図１
2010117866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、
前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得したエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、
前記検索ステップで検索されたソフトウエアの情報を前記露光装置に提供する提供ステップと、
を有することを特徴とするバージョンアップ方法。
【請求項２】
前記提供ステップは、前記検索ステップで検索されたソフトウエアを前記露光装置にインストールするインストールステップを含むことを特徴とする請求項１に記載のバージョンアップ方法。
【請求項３】
前記取得ステップでは、前記露光装置で発生したエラーのうち所定の回数以上発生しているエラーのエラーコードを取得することを特徴とする請求項１に記載のバージョンアップ方法。
【請求項４】
前記検索ステップでは、前記露光装置でエラーが発生しないように修正するための複数のソフトウエアから、前記取得ステップで取得したエラーコードのエラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索することを特徴とする請求項１に記載のバージョンアップ方法。
【請求項５】
前記エラーコードは、前記露光装置で発生したエラーの重要度を示す情報を含み、
前記検索ステップでは、前記重要度が設定値以上であるエラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索することを特徴とする請求項１に記載のバージョンアップ方法。
【請求項６】
前記露光装置の装置状態を取得して前記露光装置の稼働率を算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出された前記露光装置の稼働率が規定値以下であるか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記露光装置の稼働率が規定値以下であると判定された場合にのみ、前記検索ステップ及び前記提供ステップを実行することを特徴とする請求項１に記載のバージョンアップ方法。
【請求項７】
レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理する管理装置とを含むシステムにおける前記露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、
前記露光装置が、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、
前記露光装置が、前記取得ステップで取得したエラーコードを前記管理装置に送信する送信ステップと、
前記管理装置が、前記露光装置から送信されたエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、
前記管理装置が、前記検索ステップで検索されたソフトウエアを前記露光装置に提供する提供ステップと、
前記露光装置が、前記提供ステップで提供されたソフトウエアを前記露光装置にインストールするインストールステップと、
を有することを特徴とするバージョンアップ方法。
【請求項８】
レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理する管理装置とを含むシステムにおける前記露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、
前記露光装置が、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、
前記露光装置が、前記取得ステップで取得したエラーコードを前記管理装置に送信する送信ステップと、
前記管理装置が、前記露光装置から送信されたエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、
前記管理装置が、前記検索ステップで検索されたソフトウエアのリストを前記露光装置に送信する送信ステップと、
前記露光装置が、前記送信ステップで送信されたソフトウエアのリストに従って、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを前記露光装置にインストールするインストールステップと、
を有することを特徴とするバージョンアップ方法。
【請求項９】
レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得したエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、
前記検索ステップで検索されたソフトウエアの情報を前記露光装置に提供する提供ステップと、
を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バージョンアップ方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィー技術を用いて半導体メモリや論理回路などの微細な半導体デバイスを製造する際に、露光装置が使用されている。近年では、露光装置に対して更なる精度の向上やスループットの向上が要求されており、かかる要求を満足するために露光装置を制御するソフトウエアが大規模化している。そのため、ソフトウエアのバージョンアップ（又はインストール）による装置のダウンタイムが長くなってきてきており、ソフトウエアのバージョンアップ（又はインストール）を効率よく実行する技術が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１では、ハードウエアリソースの残容量とソフトウエアのインストールに必要な容量とを比較して、バージョンアップが可能か否かを判定している。
【特許文献１】特開平１１−２９６３５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
露光装置へのソフトウエハのバージョンアップでは、一般に、記録媒体に格納された機能追加分及び不具合修正分のプログラム、新規のパラメータデータやツール等の全てを装置にインストールしている。しかしながら、記録媒体に格納された全てを装置にインストールすると、装置によっては不要なプログラムや使用しないツールもインストールされてしまうため、バージョンアップ作業が長くなり、装置のダウンタイムもより長くなってしまうという問題がある。
【０００４】
そこで、本発明は、このような従来技術の課題に鑑みて、バージョンアップを短時間で効率的に行って、装置のダウンタイムを短くすることができる技術を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の第１の側面としてのバージョンアップ方法は、レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、前記取得ステップで取得したエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、前記検索ステップで検索されたソフトウエアの情報を前記露光装置に提供する提供ステップと、を有することを特徴とする。
【０００６】
本発明の第２の側面としてのバージョンアップ方法は、レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理する管理装置とを含むシステムにおける前記露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、前記露光装置が、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、前記露光装置が、前記取得ステップで取得したエラーコードを前記管理装置に送信する送信ステップと、前記管理装置が、前記露光装置から送信されたエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、前記管理装置が、前記検索ステップで検索されたソフトウエアを前記露光装置に提供する提供ステップと、前記露光装置が、前記提供ステップで提供されたソフトウエアを前記露光装置にインストールするインストールステップと、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の第３の側面としてのバージョンアップ方法は、レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置と、前記露光装置を管理する管理装置とを含むシステムにおける前記露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法であって、前記露光装置が、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、前記露光装置が、前記取得ステップで取得したエラーコードを前記管理装置に送信する送信ステップと、前記管理装置が、前記露光装置から送信されたエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、前記管理装置が、前記検索ステップで検索されたソフトウエアのリストを前記露光装置に送信する送信ステップと、前記露光装置が、前記送信ステップで送信されたソフトウエアのリストに従って、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを前記露光装置にインストールするインストールステップと、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の第４の側面としてのプログラムは、レチクルのパターンを基板に投影して前記基板を露光する露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記露光装置で発生したエラーのエラーコードを取得する取得ステップと、前記取得ステップで取得したエラーコードに基づいて、前記エラーが前記露光装置で発生しないように修正するためのソフトウエアを検索する検索ステップと、前記検索ステップで検索されたソフトウエアの情報を前記露光装置に提供する提供ステップと、を前記コンピュータに実行させることを特徴とする。
【０００９】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、バージョンアップを短時間で効率的に行って、装置のダウンタイムを短くする技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１２】
図１は、本発明の実施形態にかかる露光装置１の外観を示す概略斜視図である。露光装置１は、レチクル（又はマスク）のパターンを基板（ウエハ等）に投影し、かかる基板を露光する投影露光装置である。
【００１３】
露光装置１は、図１に示すように、チャンバ１０１と、ワークステーション（ＷＳ）１０２と、第１の表示部１０３と、第２の表示部１０４と、操作部１０５と、入力部１０６とを備える。なお、露光装置１において、第１の表示部１０３、第２の表示部１０４、操作部１０５及び入力部１０６は、コンソールユニットを構成する。
【００１４】
チャンバ１０１は、露光装置本体を収納すると共に、温度制御された内部環境を維持する。
【００１５】
ＷＳ１０２は、露光装置本体を制御するための処理に特化したコンピュータで構成される。
【００１６】
第１の表示部１０３は、ワークステーション（ＷＳ）用の表示部であって、所定の情報を表示する。第１の表示部１０３は、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、プラズマ、液晶等の薄型フラットパネルで構成され、チャンバ１０１の前面に配置される。また、第１の表示部１０３は、通信ケーブルＣＣを介して、ＷＳ１０２に接続する。
【００１７】
第２の表示部１０４は、第１の表示部１０３と同様にチャンバ１０１の前面に配置され、露光装置本体において撮像部を介して得られる画像情報を表示する。
【００１８】
操作部１０５は、チャンバ１０１の前面に配置され、露光装置１に対して所定の操作（指示の入力など）を行うための操作パネル、ＯＮ−ＯＦＦスイッチや非常停止スイッチなどの各種スイッチなどを含む。
【００１９】
入力部１０６は、チャンバ１０１の全面に配置され、ワークステーション（ＷＳ）用のキーボードやマウスなどを含む。
【００２０】
図２は、露光装置１の内部構成を示す概略図である。図２に示すように、チャンバ１０１に収納される露光装置本体は、本実施形態では、ステップ・アンド・リピート方式でレチクル２０３のパターンをウエハ２０５に転写するが、ステップ・アンド・スキャン方式やその他の露光方式も適用することができる。
【００２１】
光源部２０１から射出した光束は、照明光学系２０２によってレチクル２０３を照明する。レチクル２０３を通過してパターンを反映する光束は、投影光学系２０４によってウエハ２０５に結像される。なお、レチクル２０３はレチクル２０３を移動可能に保持するレチクルステージ２０６に保持された状態で、ウエハ２０５はウエハチャック２０７に真空中着された状態で露光される。また、ウエハステージ２０８は、ウエハチャック２０７を各軸方向に移動可能に支持する。
【００２２】
レチクル検出系２０９は、レチクル２０３の上方に配置され、レチクル２０３の位置ずれを検出する。オフアクシス検出系２１０は、ウエハステージ２０８の上方に、且つ、投影光学系２０４に隣接して配置され、基準マークとウエハ２０５の上のアライメントマークとの相対位置を検出する。
【００２３】
また、レチクルライブラリ２１１やウエハキャリアエレベータ２１２が露光装置本体に隣接して配置され、必要なレチクル２０３やウエハ２０５がレチクル搬送系２１３及びウエハ搬送系２１４を介して露光装置本体に搬送される。
【００２４】
チャンバ１０１は、空気の温度を調整する空調室２２１と、微小な異物を除去（ろ過）して清浄な空気の均一な流れを形成するフィルタボックス２２２と、内部環境と外部とを遮断するブース２２３とで構成されている。
【００２５】
チャンバ１０１の内部では、空調室２２１に配置された冷却器２２４及びヒータ２２５で温度を調整された空気が、送風機２２６及びエアフィルタ２２７を介して、ブース２２３に供給される。ブース２２３に供給された空気は、リターン口２２８を介して、空調室２２１に取り込まれ、チャンバ１０１の内部を循環する。但し、チャンバ１０１は、厳密には、完全な循環系ではなく、ブース２２３の内部を常に陽圧に維持するために、空調室２２１に設けられた外気導入口２２９を介して、外部の空気（循環させる空気量の１割程度）を導入している。なお、リターン口２２８及び外気導入口２２９には、空気に含まれている化学物質を除去するための化学吸着フィルタ２３０が配置されている。
【００２６】
また、光源部２０１には、超高圧水銀ランプを冷却するためや異常時に発生する有毒ガスを排気するために、吸気口２３１及び排気口２３２が設けられている。従って、ブース２２３の内部の空気の一部は、光源部２０１を経由して、空調室２２１に設けられた排気ファンを介して外部（工場設備など）に強制的に排気される。
【００２７】
チャンバ１０１は、上述した構成によって、露光装置本体を収納する内部環境を一定に維持し、且つ、空気を清浄に維持することを可能としている。
【００２８】
図３は、露光装置１における制御関係を示す概略ブロック図である。図３において、３０１は、ＷＳ１０２に内蔵されたＣＰＵであって、マイクロコンピュータ又はミニコンピュータ等の中央演算装置で構成される。ＣＰＵ３０１は、ウエハステージ２０８を含むウエハステージ駆動系３０２、レチクル検出系２０９やオフアクシス検出系２１０を含むアライメント検出系３０３、レチクルステージ２０６を含むレチクルステージ駆動系３０４を制御する。また、ＣＰＵ３０１は、光源部２０１や照明光学系２０２を含む照明系３０５、シャッタ駆動系３０６、フォーカス検出系３０７、Ｚ駆動系３０８、レチクル搬送系２１３やウエハ搬送系２１４を含む搬送系３０９を制御する。
【００２９】
第１の表示部１０３、第２の表示部１０４、操作部１０５、入力部１０６、コンソールＣＰＵ３１１、外部メモリ３１２などを含むコンソールユニットは、ＣＰＵ３０１に露光装置１の動作に関する各種コマンドやパラメータを与えるためのものである。換言すれば、コンソールユニットは、ユーザとの間で情報の授受を行うためのものである。
【００３０】
コンソールＣＰＵ３１１は、マイクロコンピュータ又はミニコンピュータ等の中央演算装置で構成され、第１の表示部１０３、第２の表示部１０４、操作部１０５、入力部１０６、外部メモリ３１２を制御する。また、外部メモリ３１２は、例えば、ハードディスクであって、内部にデータベースが構築されており、各種パラメータ、管理データ及びユーザのグループなどを記録している。
【００３１】
図４は、露光装置１を制御するためのソフトウエア（プログラム）のバージョンアップ処理の一例を説明するためのフローチャートである。なお、バージョンアップ処理を実行するためのプログラムは、媒体インターフェース（不図示）に接続された記録媒体からインストールされ、コンソールＣＰＵ３１１を介して外部メモリ３１２に格納されているものとする。また、露光装置１の機能を追加するためのプログラム（「機能追加プログラム」とする）や露光装置１でエラーが発生しないように修正するためのプログラム（「修正プログラム」とする）を格納した記録媒体は、媒体インターフェースに接続されているものとする。
【００３２】
図４に示すバージョンアップ処理は、本実施形態では、コンソールＣＰＵ３１１が露光装置１の各部を統括的に制御することによって実行される。但し、図４に示すバージョンアップ処理は、ＷＳ１０２のＣＰＵ３０１が実行してもよいし、コンソールＣＰＵ３１１とＣＰＵ３０１とが共同して実行してもよい。
【００３３】
ステップＳ１００２では、コンソールＣＰＵ３１１は、現在の露光装置１の装置状態を取得する。
【００３４】
具体的には、図５に示すように、コンソールＣＰＵ３１１は、ステップＳ２００２において、露光装置１で発生したエラーのエラー履歴から、エラーコードを取得する。露光装置１でエラーが発生した場合には、図６に示すように、エラー履歴ファイルに、発生日時、エラー種別（Ｅｒｒｏｒ、Ｗａｒｎｉｎｇ、Ｍｅｓｓａｇｅ）、エラーコード、エラーの重要度を示す情報、エラーのタイトルが記録される。コンソールＣＰＵ３１１は、図６に示すようなエラー履歴ファイルを参照することで、露光装置１で発生したエラーのエラーコードを取得することができる。また、コンソールＣＰＵ３１１は、所定の期間（例えば、１ヶ月）に発生したエラーを抽出して同一のエラーコードをカウントすることで、エラーごと（即ち、エラーコード別）の発生頻度を取得することもできる。換言すれば、コンソールＣＰＵ３１１は、露光装置１で発生したエラーのうち所定の回数以上発生しているエラーのエラーコードを取得することができる。ここで、図５は、ステップＳ１００２の装置状態の取得の詳細なフローチャートである。また、図６は、露光装置１で発生したエラーを記録するエラー履歴ファイルの一例を示す図である。
【００３５】
また、コンソールＣＰＵ３１１は、ステップＳ２００４において、露光装置１の稼働率を算出する。露光装置は、Ｉｎｉｔ（初期化中）、Ｉｄｌｅ（待機中）、Ｒｕｎ（露光中）、ＭＡ（マニュアルアシスト待ち）の４つの装置ステータスを有する。かかる装置ステータスが変化した際には、図７に示すように、装置ステータスが変化した時刻と装置ステータスとがステータスファイルに記録される。従って、コンソールＣＰＵ３１１は、図７に示すようなステータスファイルから装置ステータスが変化した時刻と装置ステータスとを読み出し、装置ステータスがＲｕｎになっている間の時間を集計することで露光装置１の稼働率を算出することができる。但し、露光装置１の稼働率の算出処理（ステップＳ２００４）は、必ずしも必要な処理ではなく、後述するように、露光装置１の稼働率に応じて、修正プログラムをインストールする処理を実行するか否かを判定する際に必要となる処理である。ここで、図７は、露光装置１の装置ステータスの変化を記録するステータスファイルの一例を示す図である。
【００３６】
図４に戻って、ステップＳ１００４では、コンソールＣＰＵ３１１は、媒体インターフェース（不図示）に接続された記録媒体から機能追加プログラム（ソフトウエア）を露光装置１にインストールする。換言すれば、ステップＳ１００４では、機能追加プログラム（ソフトウエア）の情報が露光装置１に提供される。
【００３７】
ステップＳ１００６では、コンソールＣＰＵ３１１は、媒体インターフェース（不図示）に接続された記録媒体から修正プログラム（ソフトウエア）を露光装置１にインストールする。
【００３８】
図８は、ステップＳ１００６の修正プログラムのインストールの詳細なフローチャートである。コンソールＣＰＵ３１１は、ステップＳ３００２において、ステップＳ１００２（ステップＳ２００２）で取得したエラーコードのうち１つのエラーコードを選択する。この際、ステップＳ１００２（ステップＳ２００２）で取得した全てのエラーコードを選択対象とするのではなく、例えば、発生頻度が高い（即ち、所定の回数以上発生している）エラーのエラーコードのみを選択対象としてもよい。また、露光装置１で発生したエラーの重要度を示す情報が設定値以上であるエラーコードのみを選択対象としてもよい。
【００３９】
ステップＳ３００４において、コンソールＣＰＵ３１１は、記録媒体から、ステップＳ３００２で選択されたエラーコードに基づいて、かかるエラーコードのエラーが発生しないように修正する修正プログラムを検索する。換言すれば、記録媒体などに格納された複数のプラグラム（ソフトウエア）から、ステップＳ１００２（ステップＳ２００２）で取得したエラーコードのエラーが露光装置１で発生しないように修正するための修正プログラムを検索する。
【００４０】
ステップＳ３００６において、コンソールＣＰＵ３１１は、ステップＳ３００４で修正プログラムが検索されたか否かを判定する。
【００４１】
修正プログラムが検索されたと判定された場合には、ステップＳ３００８において、コンソールＣＰＵ３１１は、ステップＳ３００４で検索された修正プログラムを露光装置１にインストールする。換言すれば、ステップＳ３００８では、修正プログラム（ソフトウエア）の情報が露光装置１に提供される。
【００４２】
一方、修正プログラムが検索されなかったと判定された場合には、ステップＳ３０１０に進む。
【００４３】
ステップＳ３０１０において、コンソールＣＰＵ３１１は、ステップＳ３００２において、ステップＳ１００２（ステップＳ２００２）で取得した全てのエラーコードを選択したか否かを判定する。なお、発生頻度が高いエラーコードのみを選択対象としている場合には、発生頻度が高いエラーコードの全てを選択したか否かを判定すればよい。また、また、露光装置１で発生したエラーの重要度を示す情報が設定値以上であるエラーコードのみを選択対象としている場合には、エラーの重要度を示す情報が設定値以上であるエラーコードの全てを選択したか否かを判定すればよい。
【００４４】
ステップＳ１００２（ステップＳ２００２）で取得した全てのエラーコードを選択していないと判定された場合には、ステップＳ３００２に戻って、ステップＳ３００２以降の処理を繰り返す。
【００４５】
一方、ステップＳ１００２（ステップＳ２００２）で取得した全てのエラーコードを選択したと判定された場合には、処理を終了する。
【００４６】
本実施形態では、露光装置１で発生したエラー（又は発生頻度の高いエラーや重要度が設定値以上のエラー）のエラーコードに基づいて、かかるエラーが発生しないように修正する修正プログラムのみを露光装置１にインストールすることができる。換言すれば、記録媒体に格納された全ての修正プログラムをインストールするのではなく、露光装置１の装置状態に応じて、必要なソフトウエアのみを露光装置１にインストールすることができる。従って、本実施形態では、バージョンアップを短時間で効率的に行って、装置のダウンタイムを短くすることができる。
【００４７】
また、図９に示すように、露光装置１の稼働率に応じて、修正プログラムをインストールする処理を実行するか否かを判定することもできる。具体的には、コンソールＣＰＵ３１１は、機能追加プログラムを露光装置１にインストールした後（ステップＳ１００４）、ステップＳ１００５において、ステップＳ２００４で算出した露光装置１の稼働率が規定値以下であるか否かを判定する。露光装置１の稼働率が規定値以下でないと判定された場合には、修正プログラムを露光装置１にインストールすることなく、処理を終了する。一方、露光装置１の稼働率が規定値以下であると判定された場合には、コンソールＣＰＵ３１１は、修正プログラムを露光装置１にインストールする（ステップＳ１００６）。この場合、露光装置１の稼働率が規定値以下である場合にのみ、必要なソフトウエア（修正プログラム）をインストールすることができるため、装置のダウンタイムをより短くすることができる。ここで、図９は、露光装置１を制御するためのソフトウエア（プログラム）のバージョンアップ処理の一例を説明するためのフローチャートである。
【００４８】
また、上述したバージョンアップ処理は、図１０に示すように、露光装置１と、管理装置２とを含むシステム（リモートサポートサービスシステム）にも適用することが可能である。管理装置２は、ネットワークＮＷを介して露光装置１と接続し、露光装置１をリモートで管理する（露光装置１にサービスを提供する）管理装置である。管理装置２は、サーバー（ｓｅｒｖｅｒ）としてのコンピュータを含む構成としうる。また、管理装置２には、図１１に示す修正プログラム管理データベースを含む種々のデータベースが構築されている。図１１に示す修正プログラム管理データベースは、露光装置１でエラーが発生しないように修正するための修正プログラムごとに、対応機種、プログラム名、リリース日、概要、対応エラーコード等の情報が管理されている。なお、本実施形態では、セキュリティを考慮して、露光装置１と管理装置２との間で情報の授受を直接行うのではなく、オフツールサーバ９０１を介して、露光装置１と管理装置２との間で情報の授受を行う。ここで、図１０は、本発明の実施形態にかかるシステムの構成を示す概略図である。また、図１１は、管理装置２に構築される修正プログラム管理データベースの一例を示す図である。
【００４９】
図１２は、図１０に示すシステムにおけるバージョンアップ処理の一例を説明するためのフローチャートである。
【００５０】
ステップＳ４００２では、露光装置１は、ステップＳ２００２と同様に、露光装置１で発生したエラーのエラーコードを取得する。
【００５１】
ステップＳ４００４では、露光装置１は、オフツールサーバ９０１及びネットワークＮＷを介して、ステップＳ３００２で取得したエラーコードを管理装置２に送信する。
【００５２】
ステップＳ４００６では、管理装置２は、ネットワークＮＷを介して、露光装置１から送信されたエラーコードを受信する。
【００５３】
ステップＳ４００８では、管理装置２は、図１１に示す修正プログラム管理データベースを参照し、露光装置１から受信したエラーコードに基づいて、露光装置１でエラーが発生しないように修正するための修正プログラムを検索する。
【００５４】
ステップＳ４０１０では、管理装置２は、ステップＳ４００８で修正プログラムが検索されたか否かを判定する。
【００５５】
修正プログラムが検索されなかったと判定された場合には、ステップＳ４０１２において、管理装置２は、修正プログラムがない（即ち、露光装置１から受信したエラーコードのエラーを修正するための修正プログラムがリリースされていない）旨を通知する。
【００５６】
一方、修正プログラムが検索されたと判定された場合には、ステップＳ４０１４において、管理装置２は、ステップＳ４００８で検索された修正プログラムのリストを生成する。
【００５７】
ステップＳ４０１６では、管理装置２は、ネットワークＮＷを介して、ステップＳ４０１４で生成した修正プログラムのリストを露光装置１に送信する。
【００５８】
ステップＳ４０１８では、露光装置１は、ネットワークＮＷ及びオフツールサーバ９０１を介して、管理装置２から送信された修正プログラムのリストを受信する。
【００５９】
ステップＳ４０２０では、露光装置１は、ステップＳ４０１８で受信した修正プログラムのリストに従って、ステップＳ１００６と同様に、媒体インターフェース（不図示）に接続された記録媒体から修正プログラムをインストールする。なお、管理装置２から受信した修正プログラムのリストに示された修正プログラムが記録媒体に格納されていない場合には、かかる修正プログラムを提供するように管理装置２に要求することも可能である。
【００６０】
このように、図１０に示すようなシステムにおいても、必要なソフトウエア（修正プログラム）を露光装置１にインストールすることができるため、バージョンアップを短時間で効率的に行って、装置のダウンタイムを短くすることができる。
【００６１】
また、管理装置２は、ステップＳ４０１４及びＳ４０１６で修正プログラムのリストを生成して露光装置１に送信するのではなく、ステップＳ４００８で検索された修正プログラムそのものを露光装置１に送信（提供）することも可能である。この場合、露光装置１は、管理装置２から提供された修正プログラムをインストールすればよい。
【００６２】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施形態にかかる露光装置の外観を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示す露光装置の内部構成を示す概略図である。
【図３】図１に示す露光装置における制御関係を示す概略ブロック図である。
【図４】図１に示す露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ処理の一例を説明するためのフローチャートである。
【図５】図４に示すステップＳ１００２の装置状態の取得の詳細なフローチャートである。
【図６】図１に示す露光装置で発生したエラーを記録するエラー履歴ファイルの一例を示す図である。
【図７】図１に示す露光装置の装置ステータスの変化を記録するステータスファイルの一例を示す図である。
【図８】図７に示すステップＳ１００６の修正プログラムのインストールの詳細なフローチャートである。
【図９】図１に示す露光装置を制御するためのソフトウエアのバージョンアップ処理の一例を説明するためのフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態にかかるシステムの構成を示す概略図である。
【図１１】図１０に示す管理装置に構築される修正プログラム管理データベースの一例を示す図である。
【図１２】図１０に示すシステムにおけるバージョンアップ処理の一例を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６４】
１                            露光装置
１０１                        チャンバ
１０２                        ワークステーション
１０３                        第１の表示部
１０４                        第２の表示部
１０５                        操作部
１０６                        入力部
２０１                        光源部
２０２                        照明光学系
２０３                        レチクル
２０４                        投影光学系
２０５                        ウエハ
２０６                        レチクルステージ
２０７                        ウエハチャック
２０８                        ウエハステージ
２０９                        レチクル検出系
２１０                        オフアクシス検出系
２１１                        レチクルライブラリ
２１２                        ウエハキャリアエレベータ
２１３                        レチクル搬送系
２１４                        ウエハ搬送系
２２１                        空調室
２２２                        フィルタボックス
２２３                        ブース
２２４                        冷却器
２２５                        ヒータ
２２６                        送風機
２２７                        エアフィルタ
２２８                        リターン口
２２９                        外気導入口
２３０                        化学吸着フィルタ
２３１                        吸気口
２３２                        排気口
３０１                        ＣＰＵ
３０２                        ウエハステージ駆動系
３０３                        アライメント検出系
３０４                        レチクルステージ駆動系
３０５                        照明系
３０６                        シャッタ駆動系
３０７                        フォーカス検出系
３０８                        Ｚ駆動系
３０９                        搬送系
３１１                        コンソールＣＰＵ
３１２                        外部メモリ
２                            管理装置
９０１                        オフツールサーバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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