(57)【要約】【課題】ロボットアームの操作性を向上させること。【解決手段】モータ制御装置１０は、ロボットアーム１のエンドエフェクタ３の移動速度Ｖを検出する速度検出部と、エンドエフェクタ３に生じるトルクＴを制限するためのトルク制限値τを設定する制限値設定部１２ａと、エンドエフェクタ３のトルクＴが制限値設定部１２ａにより設定されたトルク制限値τ以下となるように、ロボットアーム１の関節４を駆動するモータ５を制御するトルク制御部１２ｂと、を備えている。制限値設定部１２ａは、速度検出部により検出されたエンドエフェクタ３の移動速度Ｖに応じて、トルク制限値τを変更する。【選択図】図２
2010063306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットアームのエンドエフェクタの移動速度を検出する速度検出部と、
前記エンドエフェクタに生じるトルクを制限するためのトルク制限値を設定する制限値設定部と、
前記エンドエフェクタのトルクが前記制限値設定部により設定された前記トルク制限値以下となるように、前記ロボットアームの関節を駆動するモータを制御するトルク制御部と、を備えるモータ制御装置であって、
前記制限値設定部は、前記速度検出部により検出された前記エンドエフェクタの移動速度に応じて、前記トルク制限値を変更する、ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項２】
請求項１記載のモータ制御装置であって、
前記制限値設定部は、前記速度検出部により検出された前記移動速度が所定の規格に準拠した第１所定速度以上であると判断したとき、所定の規格に準拠した第１トルク制限値を設定する、ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項３】
請求項２記載のモータ制御装置であって、
前記制限値設定部は、
（ａ）前記速度検出部により検出された前記移動速度が安全マージン値を考慮した第２所定速度未満であると判断したとき、前記トルク制限値を設定しない、
（ｂ）前記速度検出部により検出された前記移動速度が前記第２所定速度以上かつ前記第１所定速度未満であると判断したとき、前記第１トルク制限値以上となる第２トルク制限値を設定する、ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項４】
請求項２記載のモータ制御装置であって、
前記制限値設定部は、前記エンドエフェクタの移動速度が増加するに従って前記第２トルク制限値を漸減させ、前記移動速度が前記第１所定速度になったとき前記第１トルク制限値と略同一となるように、前記第２トルク制限値を設定する、ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項５】
請求項１に記載のモータ制御装置であって、
前記制限値設定部は、前記エンドエフェクタの移動速度又はトルクがＩＳＯ１０２１８規格に準拠した範囲内となるように前記トルク制限値を設定する、ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項６】
請求項２乃至５のうちいずれか１項記載のモータ制御装置であって、
前記トルク制御部は、前記エンドエフェクタのトルクが前記第１トルク制限値から安全マージン値を減じた安全マージントルク値を超えたと判断したとき、前記モータの駆動を停止させる制御を行う、ことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項７】
ロボットアームのエンドエフェクタの移動速度を検出する速度検出工程と、
前記エンドエフェクタに生じるトルクを制限するためのトルク制限値を設定する制限値設定工程と、
前記エンドエフェクタのトルクが前記制限値設定工程で設定された前記トルク制限値以下となるように、前記ロボットアームの関節を駆動するモータを制御するトルク制御工程と、を備えるモータ制御方法であって、
前記制限値設定工程において、前記速度検出工程で検出された前記エンドエフェクタの移動速度に応じて、前記トルク制限値を変更する、ことを特徴とするモータ制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ制御装置及びモータ制御方法に関するものであり、より詳細には、ロボットアームの関節を駆動するためのモータを制御するモータ制御装置及びモータ制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ロボットの安全に関する国際規格(ＩＳＯ１０２１８)において、例えば、ロボットアームを駆動するモータの出力トルクは動的に８０Ｗ以下に、ＴＣＰ（エンドエフェクタ）の静的トルクは１５０Ｎ以下に、または、ＴＣＰ速度は２５０ｍｍ／ｓ以下に、規定されている。
【０００３】
一方で、トルク検出器が制限値を超えたサーボモータのトルクを検出したときに、サーボモータの加速度を減少させる電気モータ制御方法が知られている（特許文献１参照）。当該電気モータ制御方法において、例えば、上記国際規格を満たすようにサーボモータが制御されている。
【特許文献１】特開昭６１−２０３８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記従来の電気モータ制御方法においては、例えば、トルク検出器の制限値がＴＣＰ速度にかかわらず一定値となっている。このため、ＴＣＰ速度が低いときは、この国際規格にしたがって１５０Ｎ以上の静的トルクを発生させることができる。しかしながら、静的トルクに対して、上記１５０Ｎ以下という保守的なトルク制限値を常時適用すると低速度域で十分なトルクを発生できない可能性がある。したがって、低速度域におけるサーボモータの応答性が低下し、ロボットアームの操作性も低下する虞がある。一方で、ＴＣＰ速度に対して、上記２５０ｍｍ／ｓ以下という保守的な速度制限値を常時適用すると、ＴＣＰによる高速動作が制限されるため、ロボットアームの操作性の低下に繋がる虞がある。
【０００５】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、ロボットアームの操作性を向上させたモータ制御装置及びモータ制御方法を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明の一態様は、ロボットアームのエンドエフェクタの移動速度を検出する速度検出部と、前記エンドエフェクタに生じるトルクを制限するためのトルク制限値を設定する制限値設定部と、前記エンドエフェクタのトルクが前記制限値設定部により設定された前記トルク制限値以下となるように、前記ロボットアームの関節を駆動するモータを制御するトルク制御部と、を備えるモータ制御装置であって、前記制限値設定部は、前記速度検出部により検出された前記エンドエフェクタの移動速度に応じて、前記トルク制限値を変更する、ことを特徴とするモータ制御装置である。この一態様によれば、ロボットアームの操作性を向上させることができる。
【０００７】
また、この一態様において、前記制限値設定部は、前記速度検出部により検出された前記移動速度が所定の規格に準拠した第１所定速度以上であると判断したとき、所定の規格に準拠した第１トルク制限値を設定してもよい。
【０００８】
さらに、この一態様において、前記制限値設定部は、（ａ）前記速度検出部により検出された前記移動速度が安全マージン値を考慮した第２所定速度未満であると判断したとき、前記トルク制限値を設定しない、（ｂ）前記速度検出部により検出された前記移動速度が前記第２所定速度以上かつ前記第１所定速度未満であると判断したとき、前記第１トルク制限値以上となる第２トルク制限値を設定してもよい。
【０００９】
なお、この一態様において、前記制限値設定部は、前記エンドエフェクタの移動速度が増加するに従って前記第２トルク制限値を漸減させ、前記移動速度が前記第１所定速度になったとき前記第１トルク制限値と略同一となるように、前記第２トルク制限値を設定してもよい。
【００１０】
この一態様において、前記制限値設定部は、前記エンドエフェクタの移動速度又はトルクがＩＳＯ１０２１８規格に準拠した範囲内となるように前記トルク制限値を設定してもよい。
【００１１】
この一態様において、前記トルク制御部は、前記エンドエフェクタのトルクが前記第１トルク制限値から安全マージン値を減じた安全マージントルク値を超えたと判断したとき、前記モータの駆動を停止させる制御を行ってもよい。
【００１２】
他方、上記目的を達成するための本発明の一態様は、ロボットアームのエンドエフェクタの移動速度を検出する速度検出工程と、前記エンドエフェクタに生じるトルクを制限するためのトルク制限値を設定する制限値設定工程と、前記エンドエフェクタのトルクが前記制限値設定工程で設定された前記トルク制限値以下となるように、前記ロボットアームの関節を駆動するモータを制御するトルク制御工程と、を備えるモータ制御方法であって、前記制限値設定工程において、前記速度検出工程で検出された前記エンドエフェクタの移動速度に応じて、前記トルク制限値を変更する、ことを特徴とするモータ制御方法であってもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ロボットアームの操作性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を参照しながら一実施形態を挙げて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るロボットアームの概略を示す図である。図２は、本発明の一実施形態に係るモータ制御装置のシステム構成の一例を示すブロック図である。
【００１５】
本実施形態に係るロボットアーム１は、例えば、３つのアーム部２と、アーム部２の先端に連結されたエンドエフェクタ（ＴＣＰ）３と、３つの関節４と、各関節４を駆動する３つのサーボモータ５と、を有している。本実施形態に係るモータ制御装置１０は、各関節４のサーボモータ５の駆動を制御し、エンドエフェクタ３の移動を制御することができる。
【００１６】
本実施形態に係るモータ制御装置１０は、各サーボモータ５の駆動軸の回転位置θを検出する回転位置センサ１１と、各サーボモータ５の駆動を制御する制御装置１２と、各サーボモータ５を駆動させるサーボドライバ回路１３と、を備えている。
【００１７】
各回転位置センサ１１は、各サーボモータ５の駆動軸の回転位置θを検出する。また、各回転位置センサ１１としては、例えば、ロータリエンコーダ、ポテンショメータ等が用いられている。
【００１８】
制御装置１２は、サーボドライバ回路１３を介して各サーボモータ５に対して制御信号を送信することで、各サーボモータ５の駆動軸の出力トルクを制御する。
【００１９】
なお、制御装置１２は、制御処理、演算処理等と行うＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＣＰＵによって実行される制御プログラム、演算プログラム等が記憶されたＲＯＭ（Read Only Memory）、処理データ等を一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）等からなるマイクロコンピュータを、中心にして構成されている。
【００２０】
制御装置１２は、各サーボモータ５の駆動によって、エンドエフェクタ３に生じるトルクＴ（以下、ＴＣＰトルクＴと称す）を制限するためのトルク制限値τを設定する制限値設定部１２ａと、各サーボモータ５の駆動軸の出力トルクを制御するトルク制御部１２ｂと、を有している。
【００２１】
制限値設定部１２ａは、各回転位置センサ１１により検出された各サーボモータ５の駆動軸の回転位置θに基づいて、ＴＣＰトルクＴを制限するためのトルク制限値τを算出し、設定する。また、トルク制御部１２ｂは、ＴＣＰトルクＴが制限値設定部１２ａにより設定されたトルク制限値τを超えないように、サーボドライバ回路１３を介して、各サーボモータ５の出力トルクを制御する。
【００２２】
次に、制限値設定部１２ａによるトルク制限値τの設定方法について、詳細に説明する。
【００２３】
制限値設定部１２ａは、まず、回転位置センサ１１により検出された各サーボモータ５の駆動軸の回転位置θに基づいて、各サーボモータ５の駆動軸の回転速度ω及びロボットアーム１のヤコビ行列Ｊ（θ）を算出する。なお、ヤコビ行列Ｊ（θ）の計算方法は、周知であるため詳細な説明は省略する。
【００２４】
そして、制限値設定部１２ａは、算出した回転速度ωとヤコビ行列Ｊ（θ）とに基づいて、下記（１）式を用いて、エンドエフェクタ３の移動速度Ｖ（以下、ＴＣＰ速度Ｖと称す）を算出する。
Ｖ  ＝  Ｊ（θ）ω        （１）式
【００２５】
また、制限値設定部１２ａは、上記算出したヤコビ行列Ｊ（θ）と、各サーボモータ５の駆動軸の出力トルクと、に基づいて、ＴＣＰトルクＴを算出する。
【００２６】
ところで、ＩＳＯ１０２１８（ロボットの安全に関する国際規格）において、例えば、（Ｉ）サーボモータ５の動的な出力トルクＰは８０Ｗ以下に、（ＩＩ）静的なＴＣＰトルク（又はフランジのトルク）Ｔは１５０Ｎ以下に、または、（ＩＩＩ）ＴＣＰ速度Ｖは２５０ｍｍ／ｓ（第１所定速度）以下に、規定されている。
【００２７】
そこで、本実施形態に係るモータ制御装置１０の制限値設定部１２ａは、ＴＣＰトルクＴとＴＣＰ速度Ｖとの交点がＩＳＯ１０２１８規格に準拠した規定範囲（図３の斜線Ａ以外の部分）内に入るように、トルク制限値τを設定する。
【００２８】
さらに、制限値設定部１２ａは、より確実に、ＴＣＰトルクＴとＴＣＰ速度Ｖとの交点がＩＳＯ１０２１８規格に準拠した規定範囲内に入るように、後述の如く、この規格範囲に対して安全マージンを設けるのが好ましい。なお、図３において、縦軸はＴＣＰトルクＴ（Ｎ）を示しており、横軸はＴＣＰ速度Ｖ（ｍｍ／ｓ）を示している。
【００２９】
例えば、制限値設定部１２ａは、（ａ）上記算出したＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度（安全マージン速度）Ｖ１未満（Ｖ＜Ｖ１）であると判断したとき、トルク制限値τを設定しないのが好ましい。
【００３０】
ここで、安全マージン速度Ｖ１とは、例えば、上記ＩＳＯ１０２１８規格（ＩＩＩ）の２５０ｍｍ／ｓよりも小さい値であり、適切な安全マージン値αが考慮された値（２５０−α）である。このように、ＴＣＰ速度Ｖが安全マージン速度Ｖ１未満となるとき、トルク制限値τを設定しないのは、上記ＩＳＯ１０２１８規格（ＩＩＩ）ＴＣＰ速度Ｖ≦２５０ｍｍ／ｓを既に満足しているからである。
【００３１】
これにより、ＴＣＰ速度Ｖが低速度域のとき、トルク制限値τにより制限を受けることなく、十分なＴＣＰトルクＴを発生させることができる。したがって、例えば、エンドエフェクタ３を停止状態から加速させる際のその加速を速くすることができ、また、エンドエフェクタ３を減速停止させる際の減速時間を短縮することができる。すなわち、ロボットアーム１の応答性が良好となり、その操作性が向上すると共に、作業時間も短縮され、作業性も向上する。
【００３２】
また、制限値設定部１２ａは、（ｃ）上記算出したＴＣＰ速度Ｖが２５０ｍｍ／ｓ以上（Ｖ≧２５０）であると判断したとき、上記ＩＳＯ１０２１８規格（ＩＩ）の１５０Ｎを、第１トルク制限値τ１に設定するのが好ましい。
【００３３】
これにより、ＴＣＰ速度Ｖが２５０ｍｍ／ｓ以上となるときでも、第１トルク制限値τ１により、ＴＣＰトルクＴを１５０Ｎ以下に抑制することができ、上記ＩＳＯ１０２１８規格（ＩＩ）を満足することができる。したがって、ＴＣＰ速度Ｖが高速度域のときも、エンドエフェクタ３の動作が可能となり、ロボットアーム１の操作性及び作業性が向上する。なお、ＴＣＰ速度Ｖが高速度域において、第１トルク制限値τ１により、ＴＣＰトルクＴが低トルクに制限されるため、安全性も同時に向上する。
【００３４】
さらに、制限値設定部１２ａは、（ｂ）上記算出したＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１以上かつ２５０ｍｍ／ｓ未満（Ｖ１≦Ｖ＜２５０）であると判断したとき、下記（２）式により求めた、第２トルク制限値τ２を設定するのがより好ましい。
τ２  ＝  １５０＋係数β×（２５０−ＴＣＰ速度Ｖ）  （２）式
【００３５】
なお、上記（２）式において、係数βは、ＴＣＰ速度Ｖが増加するに従って、第２トルク制限値τ２が徐徐に厳しくなる（減少する）ような、最適値が設定される。この場合、ＴＣＰ速度Ｖが増加するに従って第２トルク制限値τ２が徐徐に減少し、ＴＣＰ速度Ｖが２５０ｍｍ／ｓとなったときに、第２トルク制限値τ２は１５０Ｎに設定される。
【００３６】
これにより、ＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１以上となったときから、ＴＣＰ速度Ｖが増加するに従って、第２トルク制限値τ２は徐徐に厳しく設定される。したがって、より確実に、ＴＣＰトルクＴを１５０Ｎ以下に抑えることができ、上記ＩＳＯ１０２１８規格（ＩＩ）をより確実に満足することができる。
【００３７】
なお、本実施形態に係るモータ制御装置１０において、上述の如く、ＴＣＰ速度Ｖに応じてトルク制限値τを切り替えるだけの簡易な構成で、上記ＩＳＯ１０２１８規格が満たされるため、コストを低減しつつ信頼性の向上にも繋がる。
【００３８】
さらに、制限値設定部１２ａは、上述のようにして求めたＴＣＰトルクＴに対するトルク制限値τを、各サーボモータ５の駆動軸の出力トルクに対するトルク制限値τに、下記（３）式を用いて、変換する。
τ  ＝  ＪＴ（θ）Ｔ        （３）式
【００３９】
制限値設定部１２ａは、上記変換したトルク制限値τをトルク制御部１２ｂに対して出力する。トルク制御部１２ｂは、制限値設定部１２ａにより設定されたトルク制限値τに応じた電流制限値を、対応するサーボモータ５に対して、サーボドライバ回路１３を介して夫々出力する。
【００４０】
これにより、各サーボモータ５の駆動電流は、その電流制限値以下に制限され、出力トルクＰも設定値Ｐ０以下に制限される。なお、図３の実線Ｌ１は、上述の如くトルク制限値τを設定し、各サーボモータ５を制御したときの、ＴＣＰトルクＴとＴＣＰ速度Ｖとの関係の一例を示している。
【００４１】
次に、本実施形態に係るモータ制御装置１０の制御処理フローについて、詳細に説明する。図４は、本実施形態に係るモータ制御装置の制御処理フローの一例を示すフローチャートである。
【００４２】
図４に示すように、制限値設定部１２ａは、回転位置センサ１１により検出された各サーボモータ５の駆動軸の回転位置θに基づいて、各サーボモータ５の駆動軸の回転速度ω及びヤコビ行列Ｊ（θ）を算出し（ステップＳ１００）、ＴＣＰ速度Ｖを算出する（速度検出工程）（ステップＳ１０１）。
【００４３】
次に、制限値設定部１２ａは、算出したＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１未満（Ｖ＜Ｖ１）であるか否かを判断する（ステップＳ１０２）。制限値設定部１２ａは、（ａ）算出したＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１未満であると判断したとき（ステップＳ１０２のＹＥＳ）、トルク制限値τを設定せずに（制限値設定工程）（ステップＳ１０３）、後述の（ステップＳ１０７）に移行する。
【００４４】
一方、制限値設定部１２ａは、算出したＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１未満でないと判断したとき（ステップＳ１０２のＮＯ）、ＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１以上かつ２５０ｍｍ／ｓ未満（Ｖ１≦Ｖ＜２５０）であるか否かを判断する（ステップＳ１０４）。
【００４５】
制限値設定部１２ａは、（ｂ）算出したＴＣＰ速度Ｖが第１所定速度Ｖ１以上かつ２５０ｍｍ／ｓ未満であると判断したとき（ステップＳ１０４のＹＥＳ）、第２トルク制限値τ２を設定し（制限値設定工程）（ステップＳ１０５）、後述の（ステップＳ１０７）に移行する。
【００４６】
一方、制限値設定部１２ａは、（ｃ）算出したＴＣＰ速度Ｖが２５０ｍｍ／ｓ以上であると判断したとき（ステップＳ１０４のＮＯ）、１５０Ｎを第１トルク制限値τ１に設定し（制限値設定工程）（ステップＳ１０６）、後述の（ステップＳ１０７）に移行する。
【００４７】
トルク制御部１２ｂは、制限値設定部１２ａにより設定されたトルク制限値τ１、τ２に基づいて、サーボドライバ回路１３を介して各サーボモータ５を夫々制御する（トルク制御工程）（ステップＳ１０７）。
【００４８】
以上、本実施形態に係るモータ制御装置１０において、制限値設定部１２ａは、ＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１未満であると判断したとき、トルク制限値τを設定しない。また、制限値設定部１２ａは、ＴＣＰ速度Ｖが２５０ｍｍ／ｓ以上であると判断したとき、１５０Ｎを第１トルク制限値τ１に設定する。さらに、制限値設定部１２ａは、ＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１以上かつ２５０ｍｍ／ｓ未満であると判断したとき、第２トルク制限値τ２を設定する。
【００４９】
このように、ＴＣＰ速度Ｖに応じて、トルク制限値τを柔軟に変更することで、ＩＳＯ１０２１８規格を満足しつつ、ＴＣＰ速度Ｖが低速度域のときは、十分なＴＣＰトルクＴを発生させることができ、さらに、ＴＣＰ速度Ｖが高速度域のときは、ＴＣＰトルクＴを低トルクで安全に制限して、エンドエフェクタ３の動作が可能となる。すなわち、ロボットアーム１の操作性及び作業性を向上させることができる。
【００５０】
なお、本発明を実施するための最良の形態について一実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした一実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、上述した一実施形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００５１】
例えば、上記一実施形態において、トルク制御部１２ｂは、ＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１以上でかつＴＣＰトルクＴが安全マージントルクＴ１を超えたと判断したとき、サーボドライバ回路１３を介して、各サーボモータ５の駆動を停止させる制御を行ってもよい。ここで、安全マージントルクＴ１とは、例えば、第１トルク制限値τ１（１５０Ｎ）に対して安全マージンを考慮した値であり、第１トルク制限値τ１から安全マージン値を減じた値である。これにより、ＴＣＰトルクＴが安全マージントルクＴ１を超えて、オーバートルクになるのをより確実に防止することができる。
【００５２】
なお、トルク制御部１２ｂは、ＴＣＰトルクＴが制限値設定部１２ａにより設定されたトルク制限値τを超えたと判断したとき、サーボドライバ回路１３を介して、各サーボモータ５の駆動を停止させる制御を行ってもよい。
【００５３】
また、上記一実施形態において、３つのアーム部２、関節４、及びサーボモータ５を有するロボットアーム１に適用されているが、これに限らず、任意の数のアーム部２、関節４、及びサーボモータ５を有するロボットアーム１に適用可能である。
【００５４】
例えば、ロボットアーム１は、単一の関節４及びサーボモータ５で構成されてもよく、この場合、図３の点線Ｌ２に示すような、トルク制限値τの上記安全マージンが設定される。
【００５５】
さらに、上記一実施形態において、制限値設定部１２ａは、ＴＣＰ速度Ｖが第２所定速度Ｖ１未満であると判断したとき、トルク制限値τを設定していないが、これに限らず、例えば、ＴＣＰ速度Ｖが低速度域のとき、十分なＴＣＰトルクＴが発生させられれば、任意のトルク制限値τを設定してもよい。
【００５６】
なお、上記一実施形態において、回転位置センサ１１及び制限値設定部１２ａが特許請求の範囲記載の速度検出部に相当する。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットアームの概略を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るモータ制御装置のシステム構成の一例を示すブロック図である。
【図３】ＴＣＰ速度とＴＣＰトルクとの関係の一例を示す図であり、トルク制限値の一例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るモータ制御装置の制御処理フローの一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５８】
１    ロボットアーム
２    アーム部
３    エンドエフェクタ（ＴＣＰ）
４    関節
５    サーボモータ
１０    モータ制御装置
１１    回転位置センサ
１２    制御装置
１２ａ  制限値設定部
１２ｂ  トルク制御部
１３    サーボドライバ回路
【図１】
2010063306.tif 000003
【図２】
2010063306.tif 000004
【図３】
2010063306.tif 000005
【図４】
2010063306.tif 000006