(57)【要約】【課題】複数のユーザによって使用できる試験装置を提供する。【解決手段】複数の被試験デバイス１００のいずれかに接続され、接続された被試験デバイス１００に試験信号を供給する複数のテストモジュール１５０と、複数のテストモジュール１５０を制御し、複数の被試験デバイス１００のそれぞれを並行して試験する複数のサイト制御装置１３０と、テストモジュール１５０のそれぞれが複数のサイト制御装置１３０のいずれかに接続されるように、複数のサイト制御装置１３０と複数のテストモジュール１５０との接続形態を設定する接続設定装置１４０と、複数のサイト制御装置１３０のいずれかを制御する複数のシステム制御装置１１０とを備え、複数のシステム制御装置１３０のうちの所定のシステム制御装置は、他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を割り当てる、試験装置１０。【選択図】図１
2010085404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記複数の被試験デバイスのいずれかに接続され、接続された被試験デバイスに試験信号を供給する複数のテストモジュールと、
前記複数のテストモジュールを制御し、前記複数の被試験デバイスのそれぞれを並行して試験する複数のサイト制御装置と、
前記テストモジュールのそれぞれが前記複数のサイト制御装置のいずれかに接続されるように、前記複数のサイト制御装置と前記複数のテストモジュールとの接続形態を設定する接続設定装置と、
前記複数のサイト制御装置のいずれかを制御する複数のシステム制御装置と
を備え、
前記複数のシステム制御装置のうちの所定のシステム制御装置は、他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を割り当てる、試験装置。
【請求項２】
前記所定のシステム制御装置は、前記他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置に割り当てられたサイト制御装置とテストモジュールとの接続関係を示す接続データを生成し、
前記接続設定装置は、前記接続データに基づいて、前記複数のサイト制御装置と前記複数のテストモジュールとの前記接続形態を設定する、請求項１記載の試験装置。
【請求項３】
前記所定のシステム制御装置は、前記接続設定装置が前記接続形態を設定した後、前記他のシステム制御装置が割り当てられた前記サイト制御装置と通信することを許可する、請求項２記載の試験装置。
【請求項４】
前記所定のシステム制御装置は、すでに割り当てられているサイト制御装置及びテストモジュール以外のサイト制御装置及びテストモジュールを、前記他のシステム制御装置に割り当てる、請求項２記載の試験装置。
【請求項５】
前記所定のシステム制御装置は、前記他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を複数割り当てる、請求項１記載の試験装置。
【請求項６】
前記所定のシステム制御装置は、前記他のシステム制御装置からの要求に基づいて、前記接続設定装置が設定する前記接続形態を決定する、請求項１記載の試験装置。
【請求項７】
前記複数の被試験デバイスは複数種類のデバイスを含む、請求項１記載の試験装置。
【請求項８】
複数の機能ブロックを有する被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記複数の機能ブロックのいずれかに接続され、接続された機能ブロックに試験信号を供給する複数のテストモジュールと、
前記複数のテストモジュールを制御し、前記複数の機能ブロックのそれぞれを並行して試験する複数のサイト制御装置と、
前記テストモジュールのそれぞれが前記複数のサイト制御装置のいずれかに接続されるべく、前記複数のサイト制御装置と前記複数のテストモジュールとの接続形態を設定する接続設定装置と、
前記複数のサイト制御装置のいずれかを制御する、複数のシステム制御装置と
を備え、
前記複数のシステム制御装置のうちの所定のシステム制御装置は、他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を割り当てる、試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体デバイスなどの電子デバイスを試験する試験装置に関する。特に本発明は、複数のユーザが同時に利用できる試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の検査装置として、特開平３−１２８４７３号公報（特許文献１）に開示されたものがある。上記特許文献１に開示された検査装置は、例えば８個までの独立な検査プログラムを実行するために、制御装置が８個までの分割に対応して備えられており、８個の独立な検査プログラム制御装置は装置構成管理装置に接続されている。即ち、上記従来の検査装置は、１台の構成管理装置によって８個の独立なプログラム制御装置が管理されていた（図３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−１２８４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の検査装置では、ユーザは常に複数の検査プログラム制御装置に共通に接続された装置構成管理装置を使用して集積回路を検査しなければならないため、１台の検査装置において複数のユーザがフレキシブルに複数の集積回路の試験を行うことが困難であった。
【０００５】
よって、本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の形態によれば、複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記複数の被試験デバイスのいずれかに接続され、接続された被試験デバイスに試験信号を供給する複数のテストモジュールと、前記複数のテストモジュールを制御し、前記複数の被試験デバイスのそれぞれを並行して試験する複数のサイト制御装置と、前記テストモジュールのそれぞれが前記複数のサイト制御装置のいずれかに接続されるように、前記複数のサイト制御装置と前記複数のテストモジュールとの接続形態を設定する接続設定装置と、前記複数のサイト制御装置のいずれかを制御する複数のシステム制御装置とを備え、前記複数のシステム制御装置のうちの所定のシステム制御装置は、他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を割り当てる、試験装置を提供する。
【０００７】
上記試験装置において、前記所定のシステム制御装置は、前記他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置に割り当てられたサイト制御装置とテストモジュールとの接続関係を示す接続データを生成し、前記接続設定装置は、前記接続データに基づいて、前記複数のサイト制御装置と前記複数のテストモジュールとの前記接続形態を設定することが好ましい。
【０００８】
上記試験装置において、前記所定のシステム制御装置は、前記接続設定装置が前記接続形態を設定した後、前記他のシステム制御装置が割り当てられた前記サイト制御装置と通信することを許可することが好ましい。
【０００９】
上記試験装置において、前記所定のシステム制御装置は、すでに割り当てられているサイト制御装置及びテストモジュール以外のサイト制御装置及びテストモジュールを、前記他のシステム制御装置に割り当てることが好ましい。
【００１０】
上記試験装置において、前記所定のシステム制御装置は、前記他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を複数割り当ててもよい。
【００１１】
上記試験装置において、前記所定のシステム制御装置は、前記他のシステム制御装置からの要求に基づいて、前記接続設定装置が設定する前記接続形態を決定することが好ましい。
【００１２】
上記試験装置において、前記複数のサイト制御装置のうちの所定のサイト制御装置は、前記所定のシステム制御装置のみによって制御されてもよい。
【００１３】
上記試験装置において、前記複数の被試験デバイスは複数種類のデバイスを含んでもよい。
【００１４】
本発明の第２の形態によれば、複数の機能ブロックを有する被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記複数の機能ブロックのいずれかに接続され、接続された機能ブロックに試験信号を供給する複数のテストモジュールと、前記複数のテストモジュールを制御し、前記複数の機能ブロックのそれぞれを並行して試験する複数のサイト制御装置と、前記テストモジュールのそれぞれが前記複数のサイト制御装置のいずれかに接続されるべく、前記複数のサイト制御装置と前記複数のテストモジュールとの接続形態を設定する接続設定装置と、前記複数のサイト制御装置のいずれかを制御する、複数のシステム制御装置とを備え、前記複数のシステム制御装置のうちの所定のシステム制御装置は、他のシステム制御装置からの要求に基づいて、当該他のシステム制御装置が制御すべきサイト制御装置を割り当てる、試験装置を提供する。
【００１５】
上記試験装置は、前記被試験デバイスを搬送するハンドラをさらに備え、当該ハンドラは、前記複数のシステム制御装置のうちの一のシステム制御装置が前記第１の機能ブロックを試験した被試験デバイスを、他のシステム制御装置に割り当てられたテストモジュールに当該被試験デバイスの第２のブロックを接続するように、当該被試験デバイスを搬送してもよい。
【００１６】
上記試験装置において、前記ハンドラは、前記第１の機能ブロックの試験がパスした場合に、当該第１の機能ブロック有する前記被試験デバイスを搬送してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る試験装置１０の構成の一例を示す。
【図２】図１に示す試験装置１０において、一例として、システム制御装置１１０ｂとサイト制御装置１３０ｂとの間の通信を確立する動作のフローチャートである。
【図３】図１に示す試験装置１０において、一例として、システム制御装置１１０ｂがＤＵＴ１００ｂを試験する動作のフローチャートである。
【図４】試験装置１０の構成の他の例を示す図である。
【図５】試験装置１０の構成の他の例を示す図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る試験装置１０の構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせのすべてが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係る試験装置１０の構成の一例を示す。試験装置１０は、試験信号を生成してＤＵＴ１００（Ｄｅｖｉｃｅ ＵｎｄｅｒＴｅｓｔ：被試験デバイス）に供給し、ＤＵＴ１００が試験信号に基づいて動作した結果出力する結果信号が期待値と一致するか否かに基づいてＤＵＴ１００の良否を判断する。本実施形態に係る試験装置１０は、オープンアーキテクチャにより実現され、ＤＵＴ１００に試験信号を供給するテストモジュール１５０として、オープンアーキテクチャに基づくモジュールを用いることができる。
【００２０】
試験装置１０は、複数のシステム制御装置１１０を有しており、各システム制御装置１１０を使用するユーザが、ＤＵＴ１００のピンの数、機能ブロックの数等のＤＵＴ１００の形態や試験の内容に応じて、任意にサイト制御装置１３０及びテストモジュール１５０を組み合わせ、スライスを構成する。本実施形態では、複数のシステム制御装置１１０のうちシステム制御装置１１０ａがマスタとして機能しており、他のシステム制御装置１１０からの要求に応じて、当該システム制御装置１１０に対して、サイト制御装置１３０及びテストモジュール１５０を割り当てる。これにより、１台の試験装置１０において複数の試験スライスを構成することができ、複数のユーザによって試験装置１０を利用することができる。以下、図１を参照して、本実施形態に係る試験装置１０の具体的な構成及び各構成の機能・動作について説明する。本実施形態において、試験装置１０は、複数の同種のＤＵＴ１００ａ〜ｃを並行して試験する。
【００２１】
試験装置１０は、複数のシステム制御装置１１０ａ〜ｃ、通信ネットワーク１２０、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃ、接続設定装置１４０、複数のテストモジュール１５０ａ〜ｈ、及びロードボード１６０を備え、ＤＵＴ１００ａ〜ｃに接続される。なお、各実施形態において、システム制御装置１００等、同様の構成が複数個あるものについては、説明の便宜上、図示された構成のみに対して符号にアルファベットを付しているが（１１０ａ等）、付されたアルファベットは当該構成の数を限定するものではない。
【００２２】
システム制御装置１１０ａ〜ｃは、試験装置１０がＤＵＴ１００ａ〜ｃの試験に用いる試験制御プログラム、試験プログラム、及び試験データ等を格納する。また、システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ａ〜ｃを管理する管理プログラムを格納する。システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ａ上で管理プログラムを実行し、試験装置１０において各システム制御装置１１０ａ〜ｃが使用するサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈを管理する。
【００２３】
本実施形態において、システム制御装置１１０ａは、図中に点線で図示するように、各システム制御装置１１０ａ〜ｃのそれぞれが試験しようとするＤＵＴ１００ａ〜ｃを試験できるように、試験装置１０において複数のスライス１〜３を構成する。即ち、システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ｂからの要求に応じて、ＤＵＴ１００ｂを試験できるように、システム制御装置１１０ｂに対して、サイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ｃ〜ｄを割り当てる。同様に、システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ｃからの要求に応じて、ＤＵＴ１００ｃを試験できるように、システム制御装置１１０ｃに対して、サイト制御装置１３０ｃ及びテストモジュール１５０ｇ〜ｈを割り当てる。また、ユーザがシステム制御装置１１０ａを使用してＤＵＴ１００ａを試験する場合、システム制御装置１１０ａは、自身に対してサイト制御装置１３０ａ及びテストモジュール１５０ａ〜ｂを割り当てる。
【００２４】
システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ａ〜ｃのそれぞれに割り当てられたサイト制御装置１３０ａ〜ｃとテストモジュール１５０ａ〜ｄ及びｇ〜ｈとが接続されるように、それらの接続関係を示す接続データを生成し、接続設定装置１４０に送信する。
【００２５】
システム制御装置１１０ａは、すでに割り当てられたサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈの情報を格納し、それらが重複して他のシステム制御装置１１０に割り当てられないように管理する。また、システム制御装置１１０ａは、例えば、所定の試験が終了した場合やシステム制御装置１１０ａ〜ｃから通知があった場合に、当該所定の試験やシステム制御装置１１０ａ〜ｃに割り当てられたサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈを、他のシステム制御装置１１０ａ〜ｃに割り当てられるように解放する。
【００２６】
管理プログラムは、システム制御装置１１０ａが各システム制御装置１１０ａ〜ｃに対するサイト制御装置１３０ａ〜ｃ等の割り当てを常に管理できるように、システム制御装置１１０ａ上で、常に動作しているのが望ましい。また、本実施形態において、システム制御装置１１０ａは、他のシステム制御装置１１０ｂ〜ｃと同様に、自らもＤＵＴ１００の試験を行うが、自らはＤＵＴ１００の試験を行わずに他のシステム制御装置１１０ｂ〜ｃ等を管理するための専用の装置であってもよい。
【００２７】
通信ネットワーク１２０は、システム制御装置１１０ａ〜ｃとサイト制御装置１３０ａ〜ｃとを接続し、これらの間の通信を中継する。また、通信ネットワーク１２０は、システム制御装置１１０ａとシステム制御装置１１０ｂ〜ｃとを接続し、これらの間の通信を中継する。システム制御装置１１０ｂ〜ｃは、通信ネットワーク１２０を介してシステム制御装置１１０ａにサイト制御装置１３０ａ〜ｃの割り当てを要求するが、サイト制御装置１３０ａ〜ｃが割り当てられた後は、通信ネットワーク１２０を介して、割り当てられたサイト制御装置１３０ａ〜ｃを通信し、サイト制御装置１３０ａ〜ｃを制御する。
【００２８】
サイト制御装置１３０ａ〜ｃは、複数のテストモジュールａ〜ｈを制御し、複数のＤＵＴ１００のそれぞれを並行して試験する。ここで、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｈは、それぞれ一のＤＵＴ１００の試験を制御する。例えば、サイト制御装置１３０ａは、ＤＵＴ１００ａに接続されたテストモジュール１５０ａ〜ｂに接続され、ＤＵＴ１００ａの試験を制御する。また、サイト制御装置１３０ｂは、ＤＵＴ１００ｂに接続されたテストモジュール１５０ｃ〜ｄに接続され、ＤＵＴ１００ｂの試験を制御する。なお、本実施形態では、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃのそれぞれが、１つのＤＵＴ１００の試験を制御するように構成されているが、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃが１つのＤＵＴ１００の試験を制御するように構成してもよい。
【００２９】
より具体的には、サイト制御装置１３０ａ〜ｃは、通信ネットワーク１２０を介してシステム制御装置１１０から試験制御プログラムを取得し実行する。次に、サイト制御装置１３０ａ〜ｃは、試験制御プログラムに基づいて、当該ＤＵＴ１００ａ〜ｃの試験に用いる試験プログラム及び試験データをシステム制御装置１１０から取得し、接続設定装置１４０を介して当該ＤＵＴ１００の試験に用いるテストモジュール１５０ａ〜ｆに格納する。次に、サイト制御装置１３０ａ〜ｃは、接続設定装置１４０を介して、試験プログラム及び試験データに基づく試験の開始をテストモジュール１５０ａ〜ｈに指示する。そして、サイト制御装置１３０ａ〜ｃは、試験が終了したことを示す割込み等を例えばテストモジュール１５０ａ〜ｈから受信し、試験結果に基づいて次の試験を各モジュールに行なわせる。即ち、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃのそれぞれは、複数のＤＵＴ１００のそれぞれの試験結果に応じて複数のテストモジュール１５０ａ〜ｈを制御し、複数のＤＵＴ１００に対して異なる試験シーケンスを並行して実行する。
【００３０】
接続設定装置１４０は、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃのそれぞれが複数のＤＵＴ１００のそれぞれに接続されるべく、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃと複数のテストモジュール１５０ａ〜ｈとの接続形態を設定する。即ち、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｃのそれぞれを、サイト制御装置１３０ａ〜ｃがそれぞれ制御するテストモジュール１５０ａ〜ｈのいずれかに接続し、これらの間の通信を中継する。
【００３１】
接続設定装置１４０は、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｈによる複数のＤＵＴ１００の試験前に、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｈのうちの一のサイト制御装置１３０の指示に基づいて、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｈによる複数のＤＵＴ１００の試験中の、複数のサイト制御装置１３０ａ〜ｈと複数のテストモジュール１５０ａ〜ｆとの接続形態を設定する。例えば、図２においては、サイト制御装置１３０ａは、複数のテストモジュール１５０ａ〜ｂに接続するように設定され、これらを用いてＤＵＴ１００ｂの試験を行う。また、サイト制御装置１３０ｂは、複数のテストモジュール１５０ｃ〜ｄに接続するように設定され、これらを用いてＤＵＴ１００ｃの試験を行う。
【００３２】
ロードボード１６０には、複数のＤＵＴ１００が載置され、複数のテストモジュール１５０ａ〜ｈを、対応するＤＵＴ１００の端子に接続する。本実施形態において、ロードボード１６０は、全てのＤＵＴ１００ａ〜ｃを載置するように構成されているが、試験装置１０は、複数のロードボード１６０を備えるように構成されてもよい。
【００３３】
図２は、図１に示す試験装置１０において、一例として、システム制御装置１１０ｂとサイト制御装置１３０ｂとの間の通信を確立する動作のフローチャートである。以下、図１及び図２を参照して、当該動作を説明する。
【００３４】
まず、Ｓ２００において、システム制御装置１１０ａが管理プログラムを起動する。として、Ｓ２０２において、システム制御装置１１０ｂがシステム制御装置１１０ａにアクセスして、システム制御装置１１０ｂが利用できるサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈの情報を要求する。即ち、システム制御装置１１０ｂは、システム制御装置１１０ａに対して、他のシステム制御装置１１０に割り当てられていないサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈの情報を要求する。
【００３５】
次に、Ｓ２０４において、システム制御装置１１０ａが、当該要求に応じて、システム制御装置１１０ｂに対して、システム制御装置１１０ｂが利用できるサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈの情報を送信する。
【００３６】
次に、Ｓ２０６において、システム制御装置１１０ｂが、システム制御装置１１０ａから受信した情報に基づいて、利用可能なサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈを表示し、ユーザに対して、当該ユーザが利用したいサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈを入力するように促す。そして、ユーザは、システム制御装置１１０ｂにおいて、当該ユーザが利用するサイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ｃ〜ｄを指定する。
【００３７】
次に、Ｓ２０８において、システム制御装置１１０ｂが、システム制御装置１１０ｂに対してサイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈを割り当てるように、システム制御装置１１０ａに対して要求する。
【００３８】
次に、Ｓ２１０において、システム制御装置１１０ａは、受信した要求に応じて、サイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ｃ〜ｄがまだ割り当て可能であるかどうかを確認する。そして、割り当て可能であれば、システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ｂに対してサイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈを割り当てる。システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ａ〜ｃとサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈとの接続関係を示すテーブルを格納するのが好ましく、新たにサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｈが割り当てられた場合に、当該テーブルを更新する。
【００３９】
次に、Ｓ２１２において、システム制御装置１１０ａが接続設定装置１４０に対して、サイト制御装置１３０ｂとテストモジュール１５０ａ〜ｈとを接続するように要求する。具体的には、システム制御装置１１０ａは、サイト制御装置１３０ｂとテストモジュール１５０ｃ〜ｄとの接続関係を示す接続データを送信する。また、システム制御装置１１０ａは、接続設定装置１４０に対して、当該接続データとして、全てのサイト制御装置１３０ａ〜ｃとテストモジュール１５０ａ〜ｈとの接続関係を示すデータを送信してもよい。また、システム制御装置１１０ａは、接続設定装置１４０に対して、システム制御装置１１０ａに格納された、サイト制御装置１３０ａ〜ｃとテストモジュール１５０ａ〜ｈとの接続関係を示すテーブルを参照するように促してもよい。
【００４０】
次に、Ｓ２１４において、接続設定装置１４０が、サイト制御装置１３０ｂとテストモジュール１５０ｃ〜ｄとを接続する。そして、Ｓ２１６サイト制御装置１３０ｂとテストモジュール１５０ｃ〜ｄとが接続された後、システム制御装置１１０ａは、システム制御装置１１０ｂとサイト制御装置１３０ｂとの通信を許可する。これにより、システム制御装置１１０ｂ、サイト制御装置１３０ｂ、テストモジュール１５０ｃ〜ｄ、及びＤＵＴ１００ｂが電気的に接続されて、スライスｂが構成される。これにより、試験装置１０は、ＤＵＴ１００ｂを試験可能な状態となる。
【００４１】
図３は、図１に示す試験装置１０において、一例として、システム制御装置１１０ｂがＤＵＴ１００ｂを試験する動作のフローチャートである。以下、図１及び図３を参照して、当該動作を説明する。
【００４２】
試験装置１０においてスライスｂが構成された後（図２参照）、Ｓ３００において、システム制御装置１１０ｂがサイト制御装置１３０ｂに、ＤＵＴ１００ｂを試験するための試験制御プログラムを送信する。サイト制御装置１３０ｂは、当該試験制御プログラムに基づいて、システム制御装置１１０ｂから、ＤＵＴ１００ｂの試験に用いる試験プログラム及び試験データを取得する。
【００４３】
次に、Ｓ３０２において、サイト制御装置１３０ｂが、テストモジュール１５０ｃ〜ｄに試験プログラム及び試験データを送信する。テストモジュール１５０ｃ〜ｄは、受信した試験プログラム及び試験データを格納し、これらに基づいてＤＵＴ１００ｂの試験を開始する。
【００４４】
次に、Ｓ３０４においてＤＵＴ１００ｂの試験が終了すると、Ｓ３０６において、システム制御装置１１０ｂが、システム制御装置１１０ａに対して試験の終了を通知する。そして、Ｓ３０８において、システム制御装置１１０ａが、サイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ｃ〜ｄの割り当てを解放する。
【００４５】
次に、Ｓ３１０において、システム制御装置１１０ａは、サイト制御装置１３０ｂとテストモジュール１５０ｃ〜ｄとの接続関係を示す接続データを更新又は新たに生成し、接続設定装置１４０に送信する。また、システム制御装置１１０ａは、接続設定装置１４０に対して、当該接続データとして、全てのサイト制御装置１３０ａ〜ｃとテストモジュール１５０ａ〜ｈとの接続関係を示すデータを送信してもよい。また、システム制御装置１１０ａは、接続設定装置１４０に対して、システム制御装置１１０ａに格納された、サイト制御装置１３０ａ〜ｃとテストモジュール１５０ａ〜ｈとの接続関係を示すテーブルを参照するように促してもよい。
【００４６】
次に、Ｓ３１２において、接続設定装置１４０が、サイト制御装置１３０ｂとテストモジュール１５０ｃ〜ｄとの電気的な接続を切断する。これにより、スライスｂは解放され、サイト制御装置１３０ｂ及びテストモジュール１５０ｃ〜ｄは、システム制御装置１１０ａ〜ｃに対して新たに割り当て可能となる。
【００４７】
以上、本実施形態を図１〜３を参照して説明したが、同様の動作が、スライスａ及びｃ並びに図示しない他のスライスに対しても行われる。これにより、１台の試験装置１０を複数のユーザが同時に使用することができる。
【００４８】
また、図４に示すように、試験装置１０は、異なる種類の複数のＤＵＴ１００ａ〜ｃを並行して試験してもよい。この場合において、サイト制御装置１３０ａ〜ｃのそれぞれに対して接続されるテストモジュール１５０ａ〜ｉの数が異なるものの、図１〜３で説明した動作と同様の動作により、ＤＵＴ１００ａ〜ｃを試験できる。また、図１に示した試験装置１０においても、各サイト制御装置１３０ａ〜ｃに対してそれぞれ異なる数のテストモジュール１５０ａ〜ｈを接続して、同種のＤＵＴ１００ａ〜ｃを試験してもよい。
【００４９】
また、図５に示すように、試験装置１０は、複数の機能ブロック１０２ａ〜ｃを有するＤＵＴ１００を試験してもよい。この場合において、システム制御装置１１０ａ〜ｃがそれぞれ機能ブロックａ〜ｃを試験するように、スライスａ〜ｃが構成される。各機能ブロックａ〜ｃを試験するサイト制御装置１３０ａ〜ｃ及びテストモジュール１５０ａ〜ｉの数は、各機能ブロック１０２ａ〜ｃのピン数等に応じて設定される。これにより、複数のユーザが同時に１台の試験装置１０を使用して、複数の機能ブロック１０２ａ〜ｃを並行して試験することができる。また、各機能ブロック１０２ａ〜ｃを試験する試験プログラムを、比較的簡易なものとすることができる。また、各機能ブロックａ〜ｃを、異なるシステム制御装置１１０ａ〜ｃを用いて試験することができるので、各システム制御装置１１０ａ〜ｃの負荷を低減させることができる。
【００５０】
図６は、本発明の他の実施形態に係る試験装置１０の構成の一例を示す図である。本実施形態の試験装置１０は、図１に係る実施形態の試験装置１０に加えて、ハンドラ１７０をさらに備える。以下、図１に係る実施形態の試験装置１０との相違点を中心に、本実施形態の試験装置１０の構成及び動作について説明する。
【００５１】
本実施形態において、ＤＵＴ１００ａ〜ｄはそれぞれ機能ブロックａ〜ｂを有する。そして、試験装置１０に構成されたスライスａにおいて、複数のＤＵＴ１００ａ〜ｂの機能ブロック１０２ａが試験され、スライスｂにおいて、複数のＤＵＴ１００ｃ〜ｄの機能ブロック１０２ｂが試験される。即ち、各スライスａ〜ｂにおいて、複数のＤＵＴ１００ａ〜ｄの機能ブロック１０２ａ〜ｂが、並行して試験される。
【００５２】
試験装置１０は、ＤＵＴ１００ａ〜ｄを搬送して、ロードボード１６０に装着するハンドラ１７０をさらに備える。ハンドラ１７０は、システム制御装置１１０ａにより制御される。ハンドラ１７０は、ＤＵＴ１００ａ〜ｄを、まず、ロードボード１６０においてスライスａに割り当てられた領域に載置する。ハンドラ１７０は、ＤＵＴ１００ａ〜ｄの試験結果に基づいて、当該ＤＵＴ１００ａ〜ｄの搬送を行う。具体的には、ハンドラ１７０は、ＤＵＴ１００ａ〜ｄがスライスａにおいて機能ブロック１０２ａの試験を終了したときに、当該試験をパスしたＤＵＴ１００ａ〜ｄのみを、スライスｂにおいて試験するように、ＤＵＴ１００ａ〜ｄを搬送する。また、ハンドラ１７０は、ＤＵＴ１００ａ〜ｄの載置が終了したときに、各システム制御装置１１０ａ〜ｂに当該終了を通知し、各システム制御装置１１０ａ〜ｂは、当該通知に基づいて、各スライスａ〜ｂにおいて、試験を開始するのが好ましい。
【００５３】
本実施形態によれば、各機能ブロック１０２ａ〜ｃを試験する試験プログラムを、比較的簡易なものとすることができる。また、各機能ブロックａ〜ｃを、異なるシステム制御装置１１０ａ〜ｃを用いて試験することができるので、各システム制御装置１１０ａ〜ｃの負荷を低減させることができる。また、特定の機能ブロックにおける試験をパスしたＤＵＴ１００ａ〜ｄについて、他の機能ブロックにおいても試験を行うので、効率よくＤＵＴ１００ａ〜ｄを試験することができる。
【００５４】
上記発明の実施形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００５５】
１０・・・試験装置、１００・・・被試験デバイス（ＤＵＴ）、１１０・・・システム制御装置、１２０・・・通信ネットワーク、１３０・・・サイト制御装置、１４０・・・接続管理装置、１５０・・・テストモジュール、１６０・・・ロードボード、１７０・・・ハンドラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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