(57)【要約】      （修正有）【課題】切断ワイヤーに対するワーク基準面の平行度及び垂直度の調整誤差を少なくし、且つ切断ワイヤーに対するワークの位置決め作業時間を大幅に短縮する。【解決手段】位置決め角度検出治具の制御部は、Ｙ軸ステージ２４の移動量ｘ１と、Ｘ軸ステージ２３から切断ワイヤー１までの二つの長さｙ１，ｙ２の差とにより、角度θ１を算出し、Ｙ軸ステージ２４の移動量ｘ２と、Ｘ軸ステージ２３からワーク３までの二つの長さｙ３，ｙ４の差とにより、傾き角度θ２を算出した後、角度θ１，θ２から、切断ワイヤー１に対するワーク３の水平方向の傾き角度θ３を算出する。更に、制御部は、ワーク３の２点間の長さと、Ｘ軸ステージ２３からそれらの２点までの長さの差とから、切断ワイヤー１に対するワーク３の垂直方向の傾き角度θ４を算出する。そして、回転ステージ８とゴニオステージ７により、上記の傾き角度θ３，θ４だけ、ワーク３の姿勢を調整する。【選択図】図３
2010207978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを、二つの溝付きローラー間で経路が平行になるように複数回周回走行させている切断ワイヤー上に下降させ、ワークの端面に形成された基準面と平行に複数個に切断するに際し、概ね切断ワイヤーの走行方向と平行なＸ軸ステージ上を移動するＹ軸ステージと、第１センサーと第２センサーとを取り付けていてＹ軸ステージ上を移動するＹ軸可動部と、Ｘ，Ｙ軸ステージの動作制御と第１，第２センサーの検出結果による演算処理とを行う制御部と、を有する位置決め角度検出治具を用い、ワークを切断する前に、
Ｘ軸ステージ上において所定の間隔を有する２点で、第１センサーが、所定の走行経路上にある切断ワイヤーの２点までの各々の長さを計測し、該所定の間隔と該二つの長さの差とから、Ｘ軸ステージに対する切断ワイヤーの傾き角度θ１を算出するプロセスと、
Ｘ軸ステージ上において所定の間隔を有する２点で、第２センサーが、ワークの前記基準面の２点までの各々の長さを計測し、該所定の間隔と該二つの長さの差とから、Ｘ軸ステージに対するワークの傾き角度θ２を算出するプロセスと、
上記の二つの傾き角度θ１，θ２から、切断ワイヤーに対するワークの水平方向の傾き角度θ３を算出するプロセスと、
ワーク３と第２センサーを相対的に上下方向に移動させ、第２センサーが、Ｘ軸ステージから前記基準面の上下方向の２点までの各々の長さを計測し、該相対的な移動量と該二つの長さの差とから、ワークの垂直方向の傾き角度θ４を算出するプロセスと、
を経て、上記の傾き角度θ３，θ４だけワークの姿勢を調整するようにしたことを特徴とするワイヤーソーにおける切断ワイヤーとワークとの位置決め方法。
【請求項２】
一方のワイヤーボビンから送り出された切断ワイヤーが所定の二つの溝付きローラー間においては所定の間隔で平行になるようにして複数回周回走行させられたあと他方のワイヤーボビンへ巻き取られるように構成されていて該二つの溝付きローラー間でワークを同時に複数に切断するワイヤーソーが、該ワイヤーソーの本体フレームに、該ワークの被切断面を該ワークに形成されている基準面と平行にするために予め前記切断ワイヤーと前記ワークとの位置関係を調整するための位置決め角度検出治具を取り付けていて、該位置決め角度検出治具は、Ｘ軸アクチュエーターと、Ｙ軸アクチュエーターと、前記Ｙ軸アクチュエーターの可動部に取り付けられており所定の回数を周回しているところで前記二つの溝付きローラー間における前記切断ワイヤーの径方向の両端位置を検出するワイヤー検出センサーと、前記可動部に取り付けられていて前記ワークの前記基準面の位置検出を行うワーク基準面検出センサーと、前記ワイヤー検出センサーと前記ワーク基準面検出センサーとを移動させるのに要した前記ＸＹ２軸のアクチュエーターの移動量を取り込み前記切断ワイヤーと前記ワークとの調整角度を算出する制御部と、を備えていることを特徴とする位置決め角度検出治具付きワイヤーソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーソーによって、例えば、サファイア単結晶や磁性体材料などのワークを同時に複数に切断する場合において、切断前に、切断ワイヤーとワークとの位置決めを行う方法、及びその方法を用いるのに適した位置決め角度検出治具付きワイヤーソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤーソーによる１回の切断で、一つのワークから、同じ形状をした複数の部材を同時に製作する典型例としては、単結晶から半導体基板用のウエハーを製作する場合があるが、そのような加工を行う場合は、予め、切断ワイヤーとワークとの相対位置関係を正確に決めておく必要がある。ところが、ワイヤーソーに単結晶を取り付ける前に、結晶方位を合わせる方法と、そのために用いる専用の装置（治具）については、下記の特許文献１で知られているが、ワイヤーソーに単結晶を取り付けた後、単結晶の一方の端面を基準面とし、切断面がその基準面と平行になるようにするために、切断ワイヤーと単結晶との相対的な位置決めを行う方法については、いろいろと試行錯誤を重ねながら行っているのが実情であって、公には優れた方法が知られていない。
【０００３】
そこで、そのような従来の位置決め方法の一例を、図４〜図６を用いて説明する。先ず、図４を用いて、ワイヤーソーによる周知の切断方法を説明しておく。切断ワイヤー１は、図示していない一方のワイヤーボビンから送り出され、水平に配置されている二つの溝付きローラー２，２´間を複数回周回してから、図示していない他方のワイヤーボビンに巻き取られるようになっている。明示されていないが、溝付きローラー２，２´の外周には、各々、その軸方向に所定の間隔で複数の溝が形成されており、切断ワイヤー１は、それらの溝によって各々の溝付きローラー２，２´に対する位置規制が行われているので、二つの溝付きローラー２，２´間での走行経路は平行になっている。
【０００４】
他方、単結晶である円柱状のワーク３は、その端面をワーク基準面３ａとしていて、ワーク接着治具４に接着されており、そのワーク接着治具４は、ワーク３を接着してから、後述する昇降装置５に着脱可能に取り付けられている。そして、ワーク３の切断は、溝付きローラー２，２´を回転させて切断ワイヤー１を走行させておき、昇降装置５によりワーク３を下降させることによって行われる。尚、図４においては、ワーク３は、切断ワイヤー１によって、同時に複数のウエハーに切断されている途中の状態と、切断後、上方へ戻された状態との両方が示されている。
【０００５】
次に、図５を用いて、切断ワイヤー１とワーク３との相対的な位置決めを行うために、ワイヤーソー本体に取り付けられている従来の角度検出治具を、ワイヤーソー本体側の関連構成と併せて説明する。上記の昇降装置５は、ワーク接着治具４を着脱するためのワークホルダー６と、ゴニオステージ７と、回転ステージ８とを備えている。また、ワイヤーソーの本体フレーム９は、そのような昇降装置５や上記の溝付きローラー２，２´などを取り付けているほか、角度検出治具を設置するための台座１０を取り付けている。
【０００６】
角度検出治具は、台座１０の上に順に配置されているＺ軸ステージ１１，回転ステージ１２，Ｙ軸ステージ１３，Ｘ軸ステージ１４，拡大鏡１５からなっていて、拡大鏡１５の対物レンズ１５ａと接眼レンズ１５ｂの間の鏡筒には、取付け具を介してダイヤルゲージ１６を取り付けている。そして、対物レンズ１５ａは、溝付きローラー２，２´の間において、周回経路の内側から（ワーク３とは反対側から）切断ワイヤー１に対向させられ、図６（ａ）の各図において、一番手前の経路上にある切断ワイヤー１を観察できるようにしている。尚、図５の右上方には、接眼レンズ１５ｂによる切断ワイヤー１の観察状態が示されている。
【０００７】
次に、ワーク３を切断する前に行う、切断ワイヤー１とワーク３との相対的な位置決め方法を、図５及び図６を用いて説明する。先ず、図６の左列の一番上の図に示されているように、拡大鏡１５をＸ軸ステージ１４の右端に移動させておき、接眼レンズ１５ｂを覗きながらＸ軸ステージ１４をＹ軸ステージ１３上で移動させ、一番手前の（図６の各図における一番下の）経路上にある切断ワイヤー１が、対物レンズ１５ａの中央（即ち、接眼レンズ１５ｂの中央）を通るようになったところで停止させる。
【０００８】
その後、図６の左列の真中の図に示されているように、拡大鏡１５をＸ軸ステージ１４の左端に移動させておき、図６の左列の一番下の図に示されているように、接眼レンズ１５ｂを覗きながら回転ステージ１２によって、Ｙ軸ステージ１３とＸ軸ステージ１４とを一緒に回転させ、図においては一番下の経路上にある切断ワイヤー１が、対物レンズ１５ａの中央を通るようになったところで停止させる。それによって、Ｘ軸ステージ１４が、切断ワイヤー１と平行になる。
【０００９】
次に、予め、昇降装置５やＺ軸ステージ１１を用いて、図５の上下方向におけるワーク３とダイヤルゲージ１６との位置合わせをしておいた状態で、図６の右列の上二つの図に示されているように、一方では、Ｙ軸ステージ１３上でのＸ軸ステージ１４の移動と、Ｘ軸ステージ１４上での拡大鏡１５の移動とを行わせ、他方では、昇降装置５の回転ステージ８を回転させることによって、ワーク基準面３ａに接触したダイヤルゲージ１６の計測値が、ワーク基準面３ａの水平方向の略両端位置で差がなくなるまで、ワーク３の水平方向の角度調整を行う。図６の右列の一番下の図は、そのようにして、ワーク３の水平方向の角度調整が終了した状態を示している。
【００１０】
また、ワーク基準面３ａの垂直方向の傾きを調整する場合、即ちワーク３の垂直方向の角度調整をする場合には、図５において、ダイヤルゲージ１６をワーク基準面３ａに接触させておき、ゴニオステージ７で傾き調整をしながら昇降装置５によってワーク３の上下動を繰り返させ、ワーク基準面３ａの上下方向の略両端位置におけるダイヤルゲージ１６の計測値に差がなくなったところで停止させる。それによって、全ての調整作業は終了する。
【００１１】
尚、図６の左列の各図では、ダイヤルゲージ１６の図示が省略され、図６の右列の各図では、拡大鏡１５の図示が省略されている。それによって、図６の右列の各図においては、ダイヤルゲージ１６がＸ軸ステージ１４上を移動する可動部に直接取り付けられているかのようにして示されているが、これは、あくまでも図面を見易くするために、便宜的に示したものに過ぎない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平７−３０８９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、上記のような従来の方法では、接眼レンズ１５ｂの覗きかたによって、切断ワイヤー１に対してＸ軸ステージ１４が平行にならず、実際には、４〜６分の角度誤差が生じてしまうという問題があるほか、接眼レンズ１５ｂを覗いた状態で回転ステージ１２を回転させる必要があることから、Ｘ軸ステージ１４の位置決めのために１５〜２０分の時間を要してしまうという問題があった。また、ワーク３の水平方向の調整では、回転ステージ８によるワーク３の動作とＸ軸ステージ１４上でのダイヤルゲージ１６の動作とを、ダイヤルゲージ１６の計測値を確認しながら行わなければならないし、垂直方向の調整も、ダイヤルゲージ１６の計測値を確認しながら、昇降装置５によってワーク３を上下させたりゴニオステージ７を動作させたりしなければならないため、切断前の準備作業に大きな時間を要してしまうという問題があった。
【００１４】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、切断前における、切断ワイヤーに対するワーク基準面の平行度及び垂直度の調整誤差を少なくし、且つ切断ワイヤーに対するワークの位置決め作業時間を大幅に短縮することを可能にした方法、及びその方法を用いるのに適した位置決め角度検出治具付きワイヤーソーを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の目的を達成するために、本発明の、ワイヤーソーにおける切断ワイヤーとワークとの位置決め方法は、ワークを、二つの溝付きローラー間で経路が平行になるように複数回周回走行させている切断ワイヤー上に下降させ、ワークの端面に形成された基準面と平行に複数個に切断するに際し、概ね切断ワイヤーの走行方向と平行なＸ軸ステージ上を移動するＹ軸ステージと、第１センサーと第２センサーとを取り付けていてＹ軸ステージ上を移動するＹ軸可動部と、Ｘ，Ｙ軸ステージの動作制御と第１，第２センサーの検出結果による演算処理とを行う制御部と、を有する位置決め角度検出治具を用い、ワークを切断する前に、Ｘ軸ステージ上において所定の間隔を有する２点で、第１センサーが、所定の走行経路上にある切断ワイヤーの２点までの各々の長さを計測し、該所定の間隔と該二つの長さの差とから、Ｘ軸ステージに対する切断ワイヤーの傾き角度θ１を算出するプロセスと、Ｘ軸ステージ上において所定の間隔を有する２点で、第２センサーが、ワークの前記基準面の２点までの各々の長さを計測し、該所定の間隔と該二つの長さの差とから、Ｘ軸ステージに対するワークの傾き角度θ２を算出するプロセスと、上記の二つの傾き角度θ１，θ２から、切断ワイヤーに対するワークの水平方向の傾き角度θ３を算出するプロセスと、ワーク３と第２センサーを相対的に上下方向に移動させ、第２センサーが、Ｘ軸ステージから前記基準面の上下方向の２点までの各々の長さを計測し、該相対的な移動量と該二つの長さの差とから、ワークの垂直方向の傾き角度θ４を算出するプロセスと、を経て、上記の傾き角度θ３，θ４だけワークの姿勢を調整するようにする。
【００１６】
また、上記の目的を達成するために、前記の方法を用いるのに適した本発明の位置決め角度検出治具付きワイヤーソーは、一方のワイヤーボビンから送り出された切断ワイヤーが所定の二つの溝付きローラー間においては所定の間隔で平行になるようにして複数回周回走行させられたあと他方のワイヤーボビンへ巻き取られるように構成されていて該二つの溝付きローラー間でワークを同時に複数に切断するワイヤーソーが、該ワイヤーソーの本体フレームに、該ワークの被切断面を該ワークに形成されている基準面と平行にするために予め前記切断ワイヤーと前記ワークとの位置関係を調整するための位置決め角度検出治具を取り付けていて、該位置決め角度検出治具は、Ｘ軸アクチュエーターと、Ｙ軸アクチュエーターと、前記Ｙ軸アクチュエーターの可動部に取り付けられており所定の回数を周回しているところで前記二つの溝付きローラー間における前記切断ワイヤーの径方向の両端位置を検出するワイヤー検出センサーと、前記可動部に取り付けられていて前記ワークの前記基準面の位置検出を行うワーク基準面検出センサーと、前記ワイヤー検出センサーと前記ワーク基準面検出センサーとを移動させるのに要した前記ＸＹ２軸のアクチュエーターの移動量を取り込み前記切断ワイヤーと前記ワークとの調整角度を算出する制御部と、を備えているようにする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の、ワイヤーソーにおける切断ワイヤーとワークとの位置決め方法、及びその方法を用いた位置決め角度検出治具付きワイヤーソーによれば、切断前における、切断ワイヤーに対するワークの基準面の平行度及び垂直度の調整誤差が極めて小さくなり、しかも、切断ワイヤーに対するワークの位置決め作業時間が大幅に短縮できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例の位置決め角度検出治具付きワイヤーソーの正面図である。
【図２】一部を断面で示した図１の左側面図である。
【図３】実施例の位置決め角度検出治具による位置決め方法を説明するための図であって、図３（ａ）は、ワークの平行角度調整を行う方法を説明するための図であり、図３（ｂ）は、ワークの垂直角度調整を行う方法を説明するための図である。
【図４】ワイヤーソーによる切断方法を説明するための斜視図である。
【図５】従来の位置決め角度検出治具付きワイヤーソーを図２と同様にして示した図である。
【図６】従来の位置決め角度検出治具によって、ワークの平行角度調整を行う方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態を、図示した実施例によって説明する。尚、実施例は、上記した従来例と同様に、被切断物であるワークが、サファイア単結晶やシリコン単結晶などの円柱形をした単結晶の場合で説明するが、本発明によって切断されるワークは、それらのような単結晶に限定されず、磁性体材料など各種の材料であっても構わない。また、ワークの形状も、一端に基準面が形成されてさえいれば円柱形に限定されるものではない。
【実施例】
【００２０】
先ず、図１及び図２を用いて、本実施例の位置決め角度検出治具付きワイヤーソーの構成を説明するが、本実施例の場合には、ワイヤーソー本体側の構成は、上記の従来例の構成と実質的に同じである。そのため、その各構成部とワークには、上記の従来例の場合と同じ符号を付けておき、具体的な説明を省略する。
【００２１】
尚、図２は、図１の左側面図であって、上記の従来例を示した図５と同様に、一部を断面で示したものであるが、この図２の場合には、溝付きローラー２´に対する切断ワイヤー１の巻回状態が、左下方に拡大して示してあり、溝付きローラー２´の外周面に等間隔に形成されている複数の溝部２´ａと、そこに巻回されている切断ワイヤー１の関係を理解できるようにしている。
【００２２】
このような構成のワイヤーソーにおいては、溝付きローラー２，２´を、ワークの加工（切断）仕様や切断ワイヤー１の種類などによって異なる仕様の溝付きローラーに交換することがあるし、磨耗などによって同じ仕様の新しい溝付きローラーに交換することもある。ところが、同じ仕様の溝付きローラーと交換する場合でも、フレーム本体９への取付け状態に差の生じることがある。また、異なる種類のワークを切断する場合はもちろんであるが、同じ種類の複数のワークを同じように切断する場合であっても、ワーク接着治具４に対するワーク３の接着状態や、ワークホルダー６に対するワーク接着治具４の取付け状態を均一に得ることは難しい。そのため、切断する前には、ワーク３ごとに、切断ワイヤー１との位置合わせを行うことが必要になる。
【００２３】
そこで次に、そのような位置合わせを行うために、ワイヤーソーの本体フレーム９に取り付けられている位置決め角度検出治具の構成を説明する。本実施例の位置決め角度検出治具は、ワイヤーソーの本体フレーム９に取り付けられた台座２１に設置されており、その台座２１から上方へ順に配置されているベース板２２，Ｘ軸ステージ２３，Ｙ軸ステージ２４，Ｙ軸可動部２５，センサーホルダー２６，センサーホルダー２７からなっている。そして、Ｙ軸ステージ２４は、Ｘ軸ステージ２３に設けられた電磁アクチュエーターによってＸ軸ステージ２３上を移動可能であり、また、Ｙ軸可動部２５は、Ｙ軸ステージ２４に設けられた電磁アクチュエーターの可動部であって、Ｙ軸ステージ２３上を移動可能になっている。
【００２４】
また、センサーホルダー２６，２７は、Ｙ軸可動部２５に固定されており、一方のセンサーホルダー２６の先端には、ワイヤー検出センサー２８が取り付けられ、他方のセンサーホルダー２７の先端には、ワーク基準面検出センサー２９が取り付けられている。そして、本実施例の場合、ワイヤー検出センサー２８は、発光部と受光部が切断ワイヤー１の上下に配置されるようにした、フォトインターラプターなどといわれている非接触の光電センサーであり、ワーク基準面検出センサー２９は、接触式のリニアセンサーである。
【００２５】
次に、切断ワイヤー１とワーク３との相対的な位置決め方法を説明するが、先ず、切断ワイヤー１に対するワーク３の水平方向の傾き調整方法を、主に図３（ａ）を用いて説明する。図示していない制御部のボタンを押すと、Ｘ軸ステージ２３の電磁アクチュエーターが動作し、図３（ａ）の一番上の図に示されているように、Ｙ軸ステージ２４がＸ軸ステージ２３の右端に移動した後、Ｙ軸ステージ２４の電磁アクチュエーターが動作することによって、Ｙ軸可動部２５が原位置から図の上方へ移動させられる。それにより、センサーホルダー２６の先端に取り付けられたワイヤー検出センサー２８が、図の一番下（治具から見て一番手前）の走行経路上にある切断ワイヤー１の下側の位置と上側の位置とを検出するので、それらのときのＯＦＦ，ＯＮの検出信号から、図示していない制御部が、切断ワイヤー１の中心位置までのＹ軸可動部２５の移動量ｙ１を算出し記憶する。
【００２６】
次に、Ｙ軸可動部２５がＹ軸ステージ２４上で原位置に復帰させられた後、図３（ａ）の上から二番目の図に示されているように、Ｘ軸ステージ２３の電磁アクチュエーターによって、Ｙ軸ステージ２４がＸ軸ステージ２３の左端に移動させられ、その後、上記の場合と同様にして、Ｙ軸可動部２５を移動させることによって、ワイヤー検出センサー２８が、図の一番下の走行経路上にある切断ワイヤー１を検出し、ＯＦＦ，ＯＮ信号を発する。それにより、図示していない制御部が、切断ワイヤー１の中心位置までのＹ軸可動部２５の移動量ｙ２を算出し記憶する。
【００２７】
そして、上記のようなＸ軸ステージ２３の両端におけるＹ軸可動部２５の両方の移動量ｙ１，ｙ２の差と、Ｘ軸ステージ２３上におけるＹ軸ステージ２４の移動量ｘ１とから、制御部によって、Ｘ軸ステージ２３と切断ワイヤー１との水平方向の傾き角度θ１が算出される。尚、本実施例では、上記のように、ワイヤー検出センサー２８からのＯＦＦ，ＯＮ信号によって、制御部が、切断ワイヤー１の中心位置までのＹ軸可動部２５の移動量ｙ１，ｙ２を算出しているが、例えば、ワイヤー検出センサー２８からのＯＦＦ信号だけにより、そこまでのＹ軸可動部２５の移動量を算出するようにして、上記の傾き角度θ１を算出するようにしてもよい。
【００２８】
次に、上記に準じた方法によって、Ｘ軸ステージ２３とワーク３との水平方向の傾き角度θ２を算出する。即ち、図３（ａ）の上から三番目と四番目の図に示されているように、センサーホルダー２７に取り付けられているワーク基準面検出センサー２９によって検出し算出された、ワーク基準面３ａの両端までのＹ軸可動部２５の各移動量ｙ３，ｙ４の差と、Ｘ軸ステージ２３上におけるＹ軸ステージ２４の移動量ｘ２とから、制御部によって、Ｘ軸ステージ２３とワーク基準端面３ａとの水平方向の傾き角度θ２が算出される。そして、この角度θ２と上記の角度θ１との差から、制御部によって、切断ワイヤー１に対するワーク基準面３ａの水平方向の傾斜角度θ３が求められる。
【００２９】
尚、図３（ａ）の上からの二つの図においては、センサーホルダー２７とワーク基準面検出センサー２９の図示が省略され、図３（ａ）の上から三番目と四番目の図においては、センサーホルダー２６とワイヤー検出センサー２８の図示が省略されているが、これは、あくまでも図面を見易くし、且つ本実施例の方法を理解し易くするために、便宜的に省略したものである。
【００３０】
次に、切断ワイヤー１に対するワーク３の垂直方向の傾き調整方法を、主に図３（ｂ）を用いて説明する。先ず、Ｙ軸ステージ２４をＸ軸ステージ２３の中央に戻しておいてから、Ｙ軸可動部２５を移動させ、図３（ｂ）の一番上の図に示されているように、ワーク基準面検出センサー２９によって、ワーク基準面３ａの下端までの移動量を算出する。次に、昇降装置５によってワーク３を下降させ、図３（ｂ）の真中の図に示されているように、ワーク基準面検出センサー２９によって、ワーク基準面３ａの上端までのＹ軸可動部２５の移動量を算出する。そして、下端までの移動量と上端までの移動量との差と、ワークホルダー６の移動量とから、ワーク３の垂直方向の傾き角度θ４が求められる。
【００３１】
尚、本実施例では、この工程で、ワーク３の方を移動させているが、角度検出治具の方にＺ軸ステージを設けておき、ワーク基準面検出センサー２９の方を上下動可能にしても構わない。
【００３２】
そして最後に、上記のようにして算出された、切断ワイヤー１に対するワーク３の水平方向の傾き角度θ３に基づいて回転ステージ８を操作し、また、垂直方向の傾き角度θ４に基づいてゴニオステージ７を操作して、切断ワイヤー１とワーク３との位置決めが終了する。図３（ａ）の一番下の図と図３（ｂ）の一番下の図は、そのようにして、切断ワイヤー１に対するワーク３の傾き調整、即ち切断ワイヤー１とワーク３との位置決めが終了した状態を示したものである。
【符号の説明】
【００３３】
１            切断ワイヤー
２，２´      溝付きローラー
３            ワーク
３ａ          ワーク基準面
４            ワーク接着治具
５            昇降装置
６            ワークホルダー
７            ゴニオステージ
８，１２      回転ステージ
９            本体フレーム
１０，２１    台座
１１          Ｚ軸ステージ
１３，２４    Ｙ軸ステージ
１４，２３    Ｘ軸ステージ
１５          拡大鏡
１５ａ        対物レンズ
１５ｂ        接眼レンズ
１６          ダイヤルゲージ
２２          ベース板
２５          Ｙ軸可動部
２６，２７    センサーホルダー
２８          ワイヤー検出センサー
２９          ワーク基準面検出センサー
【図１】
2010207978.tif 000003
【図２】
2010207978.tif 000004
【図３】
2010207978.tif 000005
【図４】
2010207978.tif 000006
【図５】
2010207978.tif 000007
【図６】
2010207978.tif 000008