(57)【要約】      （修正有）【課題】筐体内の不純物を減らすことにより、記憶装置の信頼性を向上させ、記録密度の向上を図ることが可能な記憶装置を提供する。【解決手段】記憶装置は、回転するディスク媒体を搭載するベースと、前記ベースを被覆するカバーと、前記ディスク媒体の外周に沿って前記ベース上に設けられたシュラウド面と、前記ベース上に設けられ、前記シュラウド面から前記ディスク媒体の接線方向に延びる第１流路と、第１流路の終端に配置され、第１流路に流れ込んだ空気流が衝突し、空気流内の塵埃を捕集する衝突型不純物除去部材と、衝突型不純物除去部材が設けられた位置より空気流の流入側で第１流路に接続され、衝突型不純物除去部材から流入する空気流を誘導する第２流路とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するディスク媒体を搭載するベースと、
前記ベースを被覆するカバーと、
前記ディスク媒体の外周に沿って前記ベース上に設けられたシュラウド面と、
前記ベース上に設けられ、前記シュラウド面から前記ディスク媒体の接線方向に延びる第１側壁面と、
前記ベース上に設けられ、前記第１側壁面に対向する第２側壁面と、
前記ベースと、前記カバーと、前記第１側壁面と、前記第２側壁面と、前記第１側壁面と前記第２側壁面とを接続する終端面とで囲まれて形成され、前記ディスク媒体の回転により発生する空気流を誘導する第１流路と、
前記シュラウド面から延びたディスク媒体側の前記第２側壁面に接続された第３側壁面と、
前記終端面から延びた終端面側の前記第２側壁面に接続された第４側壁面と、
誘導された空気流を排出する出口部を有し、前記ベースと、前記カバーと、前記第３側壁面と、前記第４側壁面とで囲まれて形成され、前記第１流路から流入する前記空気流を誘導する第２流路と、
前記第２側壁面と第３側壁面とが接続される位置より前記終端面側に前記第１流路を横切るように配置され、前記空気流が衝突し前記空気流内の不純物を捕集する被衝突型不純物除去部材とを有することを特徴とする記憶装置。
【請求項２】
前記終端面側の前記第２側壁面と前記第４側壁面とが成す内角の角度が９０度以上である請求項１に記載の記憶装置。
【請求項３】
前記第２流路内に前記空気流が透過することにより塵埃を除去する透過型不純物除去部材が前記第２流路を横切るように設けられる請求項１または２に記載の記憶装置。
【請求項４】
前記出口部は前記ディスク媒体から離れる方向に誘導された前記空気流を排出する位置に備えられる請求項１乃至３いずれか１項に記載の記憶装置。
【請求項５】
前記第２流路内の一部に断面積が大きくなった拡張部を有する請求項１乃至４いずれか１項に記載の記憶装置。
【請求項６】
前記被衝突型不純物除去機構に永久帯電したフィルタを用いる請求項１乃至５いずれか１項に記載の記憶装置。
【請求項７】
前記被衝突型不純物除去機構に粘着剤を用いる請求項１乃至６いずれか１項に記載の記憶装置。
【請求項８】
前記第２流路が、第３側壁面と第４側壁面とをフッ素樹脂によってコーティングされる請求項１乃至７いずれか１項に記載の記憶装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、筐体内に不純物除去部材を有する記憶装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記憶装置はより一層の小型化、高記録密度化が望まれている。高記録密度化を実現するために、ヘッドスライダのディスク媒体に対する浮上量は現在数ｎｍ程度にまでなってきている。浮上量が低下するということは、ヘッドスライダとディスク媒体との隙間が狭くなることを意味する。そのため、ディスク媒体の回転により発生する空気流中に含まれる、今まで問題にならなかったような小さな塵埃によっても、ヘッドスライダとディスク媒体の間に挟み込まれることによりディスク媒体表面を傷つけることが起こる。
【０００３】
そこで、筐体内の空気流中に不純物除去部材を設け、空気を通過させることにより塵埃を捕集するという技術が考えられている。
【０００４】
例えばハードディスク駆動装置では、回転するディスクを囲む壁面（シュラウド）の一部から、回転ディスクによって発生した空気流の一部を回転ディスクの外側の流路へ導き、その流路に例えば長繊維フィルタを設け、不純物粒子を除去している。（特許文献１，２，非特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−１７５９８７号公報
【特許文献２】特開平３−２１９４８８号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】実開平１−１７０３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ハードディスク駆動装置内部では、塵埃等の不純物を０にすることは不可能であり、フィルタなどによって極力塵埃や、蒸発ガスなどを取り除く努力がなされている。その努力と並行して、磁気記録密度も向上しており、磁性粒子径の微細化と、スライダ浮上量の低下が進んでいる。そのため、塵埃がスライダと記憶媒体との間にかみこみ、記憶媒体を傷つけ記録情報を失ってしまう可能性が高まっている。
【０００８】
しかし、従来の塵埃除去部材は空気流を透過させることにより塵埃を除去する透過型の塵埃除去部材を用いており、塵埃を捕集するにつれて目詰まりを起こす。目詰まりしてしまうと、塵埃を捕集できなくなり、筐体内に塵埃が増えてしまうだけでなく、目詰まりによって、筐体内の空気流の流れに変化を及ぼし、ヘッドキャリッジ等に不要な振動を生じさせてしまうことが考えられる。
【０００９】
よって、本発明の目的は、本発明で開示する新たなフィルタで筐体内の不純物を減らすことにより、記憶装置の信頼性を向上させ、記録密度の向上を図ることが可能な記憶装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本件開示の記憶装置は、回転するディスク媒体を搭載するベースと、ベースを被覆するカバーと、ディスク媒体の外周に沿ってベース上に設けられたシュラウド面と、ベース上に設けられ、シュラウド面からディスク媒体の接線方向に延びる第１側壁面と、ベース上に設けられ、第１側壁面に対向する第２側壁面と、ベースと、カバーと、第１側壁面と、第２側壁面と、第１側壁面と第２側壁面とを接続する終端面とで囲まれて形成され、ディスク媒体の回転により発生する空気流を誘導する第１流路と、シュラウド面から延びたディスク媒体側の第２側壁面に接続された第３側壁面と、終端面から延びた終端面側の第２側壁面に接続された第４側壁面と、誘導された空気流を排出する出口部を有し、ベースと、カバーと、第３側壁面と、第４側壁面とで囲まれて形成され、第１流路から流入する空気流を誘導する第２流路と、第２側壁面と第３側壁面とが接続される位置より終端面側に第１流路を横切るように配置され、空気流が衝突し空気流内の不純物を捕集する衝突型不純物除去部材とを有する。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本件開示の記憶装置によれば、筐体内の不純物を減らすことができ、記憶装置の信頼性を向上させ、記録密度の向上を図ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ハードディスク駆動装置の内部構造概略図である。
【図２】ハードディスク駆動装置の内部構造概略図である。
【図３】不純物除去部材と導入流路と誘導流路の概略図である。
【図４】不純物除去部材と導入流路と誘導流路の概略図である。
【図５】不純物除去部材と導入流路と誘導流路の概略図である。
【図６】拡張部を有する流路を持つハードディスク駆動装置の概略図である。
【図７】不純物除去部材を導入流路の終端面側に設けた駆動装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。
【実施例】
【００１４】
図１に記録、再生が可能な記憶装置の一実施例であるハードディスク駆動装置の内部構造を概略的に示す。なお、すべての図において同一部分は同一符号で示す。このハードディスク駆動装置１は筐体すなわちハウジング２を有する。ハウジング２は箱形のベース３およびカバー１５）から構成される。ベース３は例えば平らな直方体の内部空間すなわち収容空間を形成する。ベース３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造若しくはプレス加工に基づき成形される。カバー１５はベース３の開口に結合される。カバー１５とベース３との間で収容空間は密閉される。カバー１５は例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形される。
【００１５】
収容空間には、記憶媒体としての１枚以上のディスク媒体４が収容される。ディスク媒体４はスピンドルモータ５の回転軸に装着される。スピンドルモータ５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度でディスク媒体４を回転させることができる。
【００１６】
収容空間にはキャリッジアーム６がさらに収容される。キャリッジアーム６はキャリッジ軸受け部７を備える。キャリッジ軸受け部７は、垂直方向に延びる支軸８に回転自在に連結される。キャリッジ軸受け部７には、支軸８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム６が設けられる。キャリッジ軸受け部７は例えば押し出し成型に基づきアルミニウムから成型される。
【００１７】
個々のキャリッジアーム６の先端にはヘッドサスペンション９が取り付けられる。ヘッドサスペンション９はキャリッジアーム６の先端から前方に延びる。ヘッドサスペンション９の先端にはいわゆるジンバルばね（図示せず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ１０は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ１０はヘッドサスペンション９に対する姿勢変動を許容することができる。後述されるように、浮上ヘッドスライダ１０には磁気ヘッドすなわち電磁変換素子が搭載される。
【００１８】
ディスク媒体４の回転に基づきディスク媒体４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ１０には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション９の押し付け力とが釣り合うことでディスク媒体４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ１０は浮上し続けることができる。
【００１９】
こういった浮上ヘッドスライダ１０の浮上中にキャリッジ６が支軸８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ１０はディスク媒体４の半径方向に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ１０上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ１０上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。
【００２０】
キャリッジ軸受け部７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１１といった動力源が接続される。このＶＣＭ１１の働きでキャリッジ軸受け部７は支軸８回りで回転することができる。こうしたキャリッジ軸受け部７の回転に基づきキャリッジアーム６およびヘッドサスペンション９の回転駆動は実現される。
【００２１】
キャリッジ軸受け部７上には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）ユニットが配置される。ＦＰＣユニットは、ＦＰＣに実装されるヘッドＩＣ（集積回路）すなわちプリアンプＩＣを備える。磁気情報の読み出し時には、このプリンアンプＩＣから電磁変換素子の読み出しヘッド素子に向けてセンス電流が供給される。同様に、磁気情報の書き込み時には、プリアンプＩＣから電磁変換素子の書き込みヘッド素子に向けて書き込み電流が供給される。ＦＰＣ基板ユニットのプリアンプＩＣには、収容空間内に配置される小型の回路基板１２や、ベース３の底板の裏側に取り付けられるプリント配線基板（図示せず）からセンス電流や書き込み電流が供給される。
【００２２】
上述のセンス電流や書き込み電流の供給にあたってフレキシブルプリント基板が用いられる。フレキシブルプリント基板は個々の浮上ヘッドスライダ１０ごとに配置される。フレキシブルプリント基板は、例えばステンレス鋼といった金属薄板と、金属薄板上に順番に積層される絶縁層、導電層および保護層とを備える。導電層は、フレキシブルプリント基板上で延びる配線パターン（図示せず）を構成する。導電層には例えば銅といった導電材料を用いる。絶縁層および保護層には例えばポリイミド樹脂といった樹脂材料が用いる。
【００２３】
フレキシブルプリント基板上の配線パターンは浮上ヘッドスライダ１０に接続される。フレキシブルプリント基板はヘッドサスペンション９上に接着剤等で貼り付けられればよい。フレキシブルプリント基板はヘッドサスペンション９からキャリッジアーム６に沿って後方に延びる。フレキシブルプリント基板は他端でＦＰＣユニットに連結される。配線パターンはＦＰＣユニット上の配線パターン（図示せず）に接続される。こうして浮上ヘッドスライダ１０はＦＰＣ基板ユニットに電気的に接続される。
【００２４】
さらに、本実施例では、スピンドルモータ５により回転するディスク媒体４の接線１００方向に延びる導入流路１０２を持つ。ディスク媒体４は図１に示した回転方向１４に回転する。回転するディスク媒体４を囲む壁面であるシュラウド１３の一部から、回転するディスク媒体４によって発生した空気流の一部を回転ディスクの外側の導入流路１０２へ導く。ディスク媒体４の回転によって生じる空気流の流速は、３．５インチの媒体で１万回転する機種の場合、約２８０ｍ／ｓとなる。導入流路１０２は誘導流路１０３と終端面側へ分岐している。分岐によって空気流が終端面側の導入流路１０２と誘導流路１０３へ誘導される。特に、導入流路を接線方向に直進してきた質量の大きな粒子は慣性力により終端面側に設けられた不純物除去部材に衝突し、捕集される。不純物除去部材には、例えば粘着テープや大きな粒子に対応したプラスに帯電した長繊維フィルタ（インパクタ）などを用いる。不純物除去部材は、筐体に接着されたり、取り外しができるようにしてもよい。
【００２５】
そのため、導入流路１０２から誘導流路１０３に曲がり通過する粒子は小さな粒子に限られる。捕集されずに通過した小さな粒子は、誘導流路１０３の終端である出口１０４付近に配置された透過型不純物除去部材１０５で捕集される。透過型不純物除去部材１０５は、空気流を通過させることにより、空気流中の塵埃を捕集する。
【００２６】
大きい粒子を不純物除去部材１０１で捕集し、空気流を透過させないことにより、透過型不純物除去部材１０５が大きい粒子で目詰まりを起こさなくなり、効率よく集塵を捕集できる。また、長期間使用し、不純物除去部材１０１が目詰まりを起こしても空気流の流れは変わらないので、キャリッジアームやヘッドスライダに影響を及ぼさない。
【００２７】
磁性粒子径の微細化により、ひとたびスライダ−媒体間に従来捕集できなかった粒子がかみ込んだ場合、失われる情報量はより多くダメージが大きい。従来のハードディスク駆動装置では、流路の入り口に１つフィルタを設け、不純物を除去していたが、１種類のフィルタであると、広範囲の粒子径に対応させなければならず、目づまりの可能性が否定できないが、二種類のフィルタを効率良くしようすることにより、より微細な塵埃も捕集できるように、広範囲の粒子径の不純物を捕集できる。
【００２８】
図１は、ディスク媒体４の接線１００方向に抜ける導入流路１０２を持ちその終端に衝突型不純物除去部材１０１を示す。不純物除去部材１０１に衝突した空気流は、不純物除去部材１０１に捕集されなかった小さな粒子径の不純物とともに誘導流路１０３によって、ディスク媒体回転領域に還流させる。空気流を媒体回転領域に還流させる前に、例えば１００ｎｍ程度の粒子径の不純物を捕集できるような不純物除去部材１０５を誘導流路１０３に入れる。１００ｎｍ程度の小さな粒子はプラスに帯電しているので、フィルタ５０４はマイナスに帯電した長繊維フィルタを用いる。ディスク媒体領域に空気流を還流させる流路１０３の壁面にフッ素コーティング等してマイナスに帯電させておくと、小さな粒子を壁面でも捕集できるので、より望ましい。
【００２９】
図２に第２の実施例であるハードディスク駆動装置の内部構造を概略的に示す。ハードディスク駆動装置内部の空気を接線方向にディスク媒体の回転領域からハードディスク駆動装置内の流路に誘導する導入流路１０２を持ち、その終端にインパクタを配置した実施例である。
【００３０】
導入流路１０２に接続された誘導流路１０３に、ボイスコイルモータ近傍まで延びた流路１０６が接続され、空気流が流れる。流路１０６は、回転するディスク媒体を収容する空間とハウジングの外壁との間に設けられ、壁面をフッ素樹脂などでコーティングしてマイナスに帯電する。誘導流路１０３を通過した小さな粒子は、壁面をフッ素樹脂などでコーティングしてマイナスに帯電した流路１０６を通過する。その際、小さな粒子はマイナスに帯電しているため、流路１０６の壁面で捕集される。出口１０４が筐体内のボイスコイルモータ１１などを収容する収容空間へ空気流を放出するよう設けられることにより、ディスク媒体上の塵埃を低減させることができる。
【００３１】
また、不純物除去部材１０１と、透過型不純物除去部材１０５として、永久帯電したフィルタを使用することにより、一度捕集した塵埃などの不純物を保持し続けることができる。
【００３２】
図３に不純物除去部材と導入流路と誘導流路の概略図を示す。スピンドルモータ５により回転するディスク媒体４の接線１００方向に延びる導入流路１０２は、ディスク媒体４を囲むシュラウド面１３からディスク媒体４の接線１００方向に延び、ベースに対して略垂直な第１側壁面１１１と、第１側壁面１１１よりディスク媒体の回転方向の下流側に設けられ、ディスク媒体の接線１００方向に延び、ベースに対して略垂直な第２側壁面１１２と、ベースと、カバー１５と、ベースに対して略垂直な終端面１０７ととで囲まれて形成される空間である。
【００３３】
回転するディスク媒体４を囲む壁面であるシュラウド面１３の一部から、回転するディスク媒体４によって発生した空気流の一部を回転ディスク媒体の外側へ導く。導入流路の突き当たりである終端面１０７側に衝突型不純物除去部材１０１が設けられる。導入流路に導かれた空気流中の塵埃が、不純物除去部材１０１に衝突し、捕集される。不純物除去部材１０１には、粘着テープや大きな粒子に対応したプラスに帯電した長繊維フィルタなどを用いる。
【００３４】
導入流路１０２に誘導流路１０３が接続される。誘導流路１０３は、シュラウド面から延びた第２側壁面に接続箇所１１５で接続され、ベースに対して略垂直である第３側壁面１１３と、終端面から延びた第２側壁面が曲げられ、カバー１５と、ベースに対して略垂直である第４側壁面１１４と、ベースと、カバー１５とにより囲まれて形成され、誘導された空気流を排出する出口部を有し、衝突型不純物除去部材から流入する空気流を誘導する。図４に示すように、第２側壁面は接続された誘導流路１０３によって、ディスク媒体側の第２側壁面１１２ａと終端面側の第２側壁面１１２ｂとに分けられる。終端面側の第２側壁面１１２ｂと第４側壁面とが成す内角の角度を９０度以下にすると、第1側壁面側の衝突型不純物除去部材前面に空気の渦が発生する等の現象が起こり、淀み点が形成され、流入した空気流内の不純物が衝突型不純物除去部材に衝突しにくくなる。流入した空気流内の不純物が衝突型不純物除去部材に衝突し易くなるように、終端面側の第２側壁面と第４側壁面とが成す内角の角度は９０度以上であるとよい。急激に流路を曲げることにより、空気流内の不純物、特に質量の重い不純物が振り切られ、慣性力によって衝突する。
【００３５】
図５に示すように、第２側壁面と第３側壁面とが接続される位置より、終端面側に不純物除去部材を設け空気流の通る空間を確保する。
【００３６】
図６に拡張部を有する流路を持つハードディスク駆動装置の実施例を示す。ハードディスク駆動装置は、誘導流路１０３の一部に断面積が大きくなっている拡張部１０９を有する。空気流は、誘導流路１０３により方向を曲げられ、接線１００方向に直進していた塵埃は不純物除去部材１０１に衝突し、捕集される。方向を曲げられ、誘導流路１０３に流れてきた空気流は、誘導流路内に設けられた拡張部１０９に流れてくる。流路幅を広げた拡張部１０９により、急激に流路幅が広がるため、圧力が低下し、流れは一時停滞する。拡張部１０９壁面や誘導流路１０３壁面、流路１０６壁面には、小さな粒子を吸着できるような部材、例えば粘着テープや、マイナスに帯電したフッ素樹脂などを取り付ける。拡張部１０９で小さな粒子はこの壁面でも捕集されるので、捕集効率の点からより望ましい。
図７は、図６の構成のハードディスク駆動装置であるが、不純物除去部材１０１を配置する位置を、誘導流路１０３に対して、より導入流路１０２の終端側へ配置した実施例である。この実施例の場合、捕集効率はやや劣るが、粒子径の大きな不純物は慣性によって不純物除去部材１０１に衝突し捕集される。不純物除去部材１０１前面に空間１１０ができ、ディスク媒体側から流れてくる空気流により、空間１１０内の圧力が高く、空気の淀み点になるので、不純物除去部材１０１に付着した粒子が再度空気流に乗ってハードディスク駆動装置内部に還流する確率は低くなる
（付記１）回転するディスク媒体を搭載するベースと、前記ベースを被覆するカバーと、前記ディスク媒体の外周に沿って前記ベース上に設けられたシュラウド面と、前記ベース上に設けられ、前記シュラウド面から前記ディスク媒体の接線方向に延びる第１側壁面と、前記ベース上に設けられ、前記第１側壁面に対向する第２側壁面と、前記ベースと、前記カバーと、前記第１側壁面と、前記第２側壁面と、前記第１側壁面と前記第２側壁面とを接続する終端面とで囲まれて形成され、前記ディスク媒体の回転により発生する空気流を誘導する第１流路と、前記シュラウド面から延びたディスク媒体側の前記第２側壁面に接続された第３側壁面と、前記終端面から延びた終端面側の前記第２側壁面に接続された第４側壁面と、誘導された空気流を排出する出口部を有し、前記ベースと、前記カバーと、前記第３側壁面と、前記第４側壁面とで囲まれて形成され、前記第１流路から流入する前記空気流を誘導する第２流路と、前記第２側壁面と第３側壁面とが接続される位置より前記終端面側に前記第１流路を横切るように配置され、前記空気流が衝突し前記空気流内の不純物を捕集する衝突型不純物除去部材とを有することを特徴とする記憶装置。
【００３７】
（付記２）前記終端面側の前記第２側壁面と前記第４側壁面とが成す内角の角度が９０度以上である付記１に記載の記憶装置。
【００３８】
（付記３）前記第２流路内に前記空気流が透過することにより塵埃を除去する透過型不純物除去部材が前記第２流路を横切るように設けられる付記１または２に記載の記憶装置。
【００３９】
（付記４）前記出口部は前記ディスク媒体から離れる方向に誘導された前記空気流を排出する位置に備えられる付記１乃至３いずれか１項に記載の記憶装置。
【００４０】
（付記５）前記第２流路内の一部に断面積が大きくなった拡張部を有する付記１乃至４いずれか１項に記載の記憶装置。
【００４１】
（付記６）前記衝突型不純物除去機構に永久帯電したフィルタを用いる付記１乃至５いずれか１項に記載の記憶装置。
【００４２】
（付記７）前記衝突型不純物除去機構に粘着剤を用いる付記１乃至６いずれか１項に記載の記憶装置。
【００４３】
（付記８）前記透過型不純物除去機構に永久帯電したフィルタを用いる付記１乃至７いずれか１項に記載の記憶装置。
【００４４】
（付記９）前記第２流路が、第３側壁面と第４側壁面とをフッ素樹脂によってコーティングされる付記１乃至８いずれか１項に記載の記憶装置。
【符号の説明】
【００４５】
１．ハードディスク駆動装置
２．ハウジング
３．ベース
４．ディスク媒体
５．スピンドルモータ
１１．ボイスコイルモータ
１３．シュラウド
１４．ディスク媒体回転方向
１５．カバー
１００．接線
１０１．不純物除去部材
１０２．導入流路
１０３．誘導流路
１０４．出口
１０５．透過型不純物除去部材
１０６．流路
１０７．終端
１０８．角度
１０９．拡張部
１１０．空間
１１１．第１側壁面
１１２．第２側壁面
１１３．第３側壁面
１１４．第４側壁面
１１５．第２側壁面と第３側壁面の接続位置
【図１】
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【図２】
2010238309.tif 000004
【図３】
2010238309.tif 000005
【図４】
2010238309.tif 000006
【図５】
2010238309.tif 000007
【図６】
2010238309.tif 000008
【図７】
2010238309.tif 000009