(57)【要約】【課題】  簡易な構造にてスペーサを分離可能な積層体の分離装置を提供する【解決手段】積層体分離装置２１は積層体４が載置された積層体載置部２９が設けられており、さらに、第１アクチュエータ３７が設けられており、第１アクチュエータ３７には、積層体載置部２９と対向するようにしてチャック部３９が設けられている。  チャック部３９にはエアを吹きつけるエアブロー部４５が設けられている。エアブロー部４５は、吸着部４１と直交するように、スペーサ収容部４７側を向いており、吸着部４１がガラス基材１ａを吸着した状態で、ガラス基材１ａの下側の主表面にエアを吹きつけられるように構成されている。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基材と、複数の前記ガラス基材の主表面間に設けられたスペーサと、を有する積層体を載置する載置部と、
前記載置部に載置された前記積層体の最端部のガラス基板をチャックして前記積層体から分離する分離手段と、
前記分離手段に設けられ、吸着した前記ガラス基材の主表面にエアを吹きつけて前記スペーサを除去する除去手段と、
を有することを特徴とする積層体の分離装置。
【請求項２】
前記分離手段がチャックした前記ガラス基材をチャックして搬送する搬送手段をさらに有することを特徴とする請求項１記載の積層体の分離装置。
【請求項３】
前記搬送手段がチャックした前記ガラス基材が収納される収納部をさらに有することを特徴とする請求項２記載の積層体の分離装置。
【請求項４】
前記分離手段は、前記ガラス基板の一方の主表面を吸着してチャックする第１の吸着部を有し、
前記除去手段は、前記第１の吸着部に設けられたエアブロー部を有し、前記エアブロー部は、前記第１の吸着部に設けられたエア噴出口を有することを特徴とする請求項３に記載の積層体の分離装置。
【請求項５】
前記分離手段を前記載置部の軸方向に移動させる第１の移動手段をさらに有することを特徴とする請求項４記載の積層体の分離装置。
【請求項６】
前記搬送手段は、
前記分離手段がチャックした前記ガラス基材の他の主表面を吸着してチャックする第２の吸着部と、
前記第２の吸着部が吸着した前記ガラス基材を前記収納部に輸送する輸送手段と、
を有することを特徴とする請求項５に記載の積層体の分離装置。
【請求項７】
前記輸送手段は、
前記第２の吸着部を前記第１の吸着部と対向する向きに回転させる回転手段と、
前記第２の吸着部を前記収納部に向けて移動させる第２の移動手段と、
を有することを特徴とする請求項６記載の積層体の分離装置。
【請求項８】
前記第２の移動手段は、前記第２の吸着部を前記第１の移動手段の移動方向と平行な方向に移動させる手段であることを特徴とする請求項７記載の積層体の分離装置。
【請求項９】
前記収納部を前記搬送手段に対して相対的に移動させる第３の移動手段を有することを特徴とする請求項８記載の積層体の分離装置。
【請求項１０】
前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部に向けて移動させ、前記第１の吸着部を用いて前記ガラス基材をチャックするとともに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部に向けて移動させる制御手段（ａ）と、
前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部から離れる方向に向けて移動させるとともに、前記エア噴出口よりエアを噴出し、さらに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部から離れる方向に向けて移動させる制御手段（ｂ）と、
前記回転手段を用いて、前記第２の吸着部を前記第１の吸着部に接近する向きに回転させ、前記ガラス基材の他の主表面を前記第１の吸着部と接触させて吸着させる制御手段（ｃ）と、
前記第１の吸着部から前記ガラス基材をデチャックするとともに、前記回転手段を用いて、前記ガラス基材を吸着した状態で、前記第２の吸着部が前記第１の吸着部から離れる向きに所定の角度回転させる制御手段（ｄ）と、
前記制御手段（ａ）〜（ｄ）をこの順番で繰り返す制御手段（ｅ）と、
を有することを特徴とする請求項９記載の積層体の分離装置。
【請求項１１】
前記工程（ａ）は、前記第２の吸着部が前記ガラス基材を吸着している場合、
前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部に向けて移動させ、前記第１の吸着部を用いて前記ガラス基材をチャックするとともに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部に向けて移動させ、前記収納部に前記ガラス基材を収納して前記第２の吸着部から前記ガラス基材をデチャックする手段であり、
前記工程（ｂ）は、前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部から離れる方向に向けて移動させるとともに、前記エア噴出口よりエアを噴出し、さらに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部から離れる方向に向けて移動させ、さらに、前記第３の移動手段を用いて前記収納部を前記搬送手段に対して相対的に移動させる手段であることを特徴とする請求項１０記載の積層体の分離装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の分離装置を用いることを特徴とする積層体の分離方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の分離方法を工程に有することを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。
【請求項１５】
請求項１４記載のガラス基板と、
前記ガラス基板の主表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層と、
を有することを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は積層体の分離装置、積層体の分離方法、ガラス基板の製造方法、ガラス基板、および磁気記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報化技術の高度化に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術は著しく進歩している。
【０００３】
このような磁気記録技術のひとつであるＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等の磁気記録媒体用基板としては、かつてはアルミニウム基板が広く用いられてきた。
【０００４】
しかしながら、磁気ディスクの小型化、薄板化、および高密度記録化に伴い、近年は、アルミニウム基板に比べ基板表面の平坦性及び基板強度に優れたガラス基板の需要が高まっている。
【０００５】
ガラス基板は、従来、例えば、特許文献１の段落〔０００４〕に示すように、ガラスを円盤状に形成して面取りを行い、端面および主表面を研磨し、その後に耐衝撃性や耐振動性を向上させるための化学強化処理を施すことにより製造されていた（特許文献１）。
【０００６】
ここで、端面を研磨する方法としては、一枚ずつ研磨していると手間がかかるため、例えば特許文献２の図４のように、スペーサを介してガラス基板を複数枚積層させ、ブラシを用いて複数のガラス基板の端面を一度に自動研磨する方法がある（特許文献２）。
【０００７】
なお、スペーサ４は、端面の研磨残りを防止するため、ならびに、端面研磨時に積層体を固定するためにガラス基板を締め付けることにより発生する締め付け力によってガラス基板が破損するのを防止するために設けられている。
【０００８】
一方、特許文献２のように、ガラスをスペーサとの積層体にして研磨する方法では、研磨後にガラスとスペーサを分離しなければならない。
【０００９】
この分離方法は手作業では時間がかかるため、特許文献３のように、水中に研磨後の積層体を配置し、吸着パッドで最上端の一枚のガラス基板を吸着してからガラス基板に水圧を加えてスペーサを分離する方法がある（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−０７６６５２号公報
【特許文献２】特開２００８−２６９７６６号公報
【特許文献３】特開２００８−３０２４４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら特許文献３では水中で水圧によってスペーサを分離するため、装置全体を水中に設けなければならない上に、水を循環ないし給排水するための装置が必要になり、装置が大型化、複雑化するという問題があった。
【００１２】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡易な構造にてスペーサを分離可能な積層体の分離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。
【００１４】
（構成１）複数のガラス基材と、複数の前記ガラス基材の主表面間に設けられたスペーサと、を有する積層体を載置する載置部と、前記載置部に載置された前記積層体の最端部のガラス基板をチャックして前記積層体から分離する分離手段と、前記分離手段に設けられ、吸着した前記ガラス基材の主表面にエアを吹きつけて前記スペーサを除去する除去手段と、を有することを特徴とする積層体の分離装置。
【００１５】
（構成２）前記分離手段がチャックした前記ガラス基材をチャックして搬送する搬送手段をさらに有することを特徴とする構成１記載の積層体の分離装置。
【００１６】
（構成３）前記搬送手段がチャックした前記ガラス基材が収納される収納部をさらに有することを特徴とする構成２記載の積層体の分離装置。
【００１７】
（構成４）前記分離手段は、前記ガラス基板の一方の主表面を吸着してチャックする第１の吸着部を有し、前記除去手段は、前記第１の吸着部に設けられたエアブロー部を有し、前記エアブロー部は、前記第１の吸着部に設けられたエア噴出口を有することを特徴とする構成３に記載の積層体の分離装置。
【００１８】
（構成５）前記分離手段を前記載置部の軸方向に移動させる第１の移動手段をさらに有することを特徴とする構成４記載の積層体の分離装置。
【００１９】
（構成６）前記搬送手段は、前記分離手段がチャックした前記ガラス基板の他の主表面を吸着してチャックする第２の吸着部と、前記第２の吸着部が吸着した前記ガラス基板を前記収納部に輸送する輸送手段と、を有することを特徴とする構成５に記載の積層体の分離装置。
【００２０】
（構成７）前記輸送手段は、前記第２の吸着部を前記第１の吸着部と対向する向きに回転させる回転手段と、前記第２の吸着部を前記収納部に向けて移動させる第２の移動手段と、を有することを特徴とする構成６記載の積層体の分離装置。
【００２１】
（構成８）前記第２の移動手段は、前記第２の吸着部を前記第１の移動手段の移動方向と平行な方向に移動させる手段であることを特徴とする構成７記載の積層体の分離装置。
【００２２】
（構成９）前記収納部を前記搬送手段に対して相対的に移動させる第３の移動手段を有することを特徴とする構成８記載の積層体の分離装置。
【００２３】
（構成１０）前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部に向けて移動させ、前記第１の吸着部を用いて前記ガラス基材をチャックするとともに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部に向けて移動させる制御手段（ａ）と、前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部から離れる方向に向けて移動させるとともに、前記エア噴出口よりエアを噴出し、さらに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部から離れる方向に向けて移動させる制御手段（ｂ）と、前記回転手段を用いて、前記第２の吸着部を前記第１の吸着部に接近する向きに回転させ、前記ガラス基材の他の主表面を前記第１の吸着部と接触させて吸着させる制御手段（ｃ）と、前記第１の吸着部から前記ガラス基材をデチャックするとともに、前記回転手段を用いて、前記ガラス基材を吸着した状態で、前記第２の吸着部が前記第１の吸着部から離れる向きに所定の角度回転させる制御手段（ｄ）と、前記制御手段（ａ）〜（ｄ）をこの順番で繰り返す制御手段（ｅ）と、を有することを特徴とする構成９記載の積層体の分離装置。
【００２４】
（構成１１）前記工程（ａ）は、前記第２の吸着部が前記ガラス基材を吸着している場合、
前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部に向けて移動させ、前記第１の吸着部を用いて前記ガラス基材をチャックするとともに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部に向けて移動させ、前記収納部に前記ガラス基材を収納して前記第２の吸着部から前記ガラス基材をデチャックする手段であり、前記工程（ｂ）は、前記第１の移動手段を用いて前記分離手段を前記載置部から離れる方向に向けて移動させるとともに、前記エア噴出口よりエアを噴出し、さらに、前記第２の移動手段を用いて前記第２の吸着部を前記収納部から離れる方向に向けて移動させ、さらに、前記第３の移動手段を用いて前記収納部を前記搬送手段に対して相対的に移動させる手段であることを特徴とする構成１０記載の積層体の分離装置。
【００２５】
（構成１２）構成１〜１１のいずれかに記載の分離装置を用いることを特徴とする積層体の分離方法。
【００２６】
（構成１３）構成１２記載の分離方法を工程に有することを特徴とするガラス基板の製造方法。
【００２７】
（構成１４）構成１３に記載のガラス基板の製造方法により製造されたことを特徴とするガラス基板。
【００２８】
（構成１５）構成１４記載のガラス基板と、前記ガラス基板の主表面に設けられた下地層、磁性層、保護層、潤滑層と、を有することを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、簡易な構造にてスペーサを分離可能な積層体の分離装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１（ａ）はガラス基板１の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は磁気記録媒体１００を示す断面図である。
【図２】ガラス基板１の製造方法の詳細を示すフローチャートである。
【図３】端面研磨装置１０１を示す断面図である。
【図４】図４（ａ）は積層体分離装置２１を示す側面図であって、図４（ｂ）は図４（ａ）における積層体載置部２９の平面図である。
【図５】積層体分離装置２１を示すブロック図である。
【図６】積層体分離装置２１を用いて積層体を形成する手順を示す図であって、支持棒３１は記載を省略している。
【図７】積層体分離装置２１を用いて積層体を形成する手順を示す図であって、支持棒３１は記載を省略している。
【図８】積層体分離装置２１を用いて積層体を形成する手順を示す図である。
【図９】積層体分離装置２１を用いて積層体を形成する手順を示す図である。
【図１０】積層体分離装置２１を用いて積層体を形成する手順を示す図であって、支持棒３１は記載を省略している。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面に基づき、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００３２】
まず、図１を参照して、本実施形態に係る積層体分離装置２１を用いたガラス基板の製造方法を用いて製造されるガラス基板１の構造について簡単に説明する。
【００３３】
図１（ａ）に示すように、ガラス基板１は、円板形状を有する本体３を有し、本体３の中心には内孔５が形成されている。
【００３４】
図１（ｂ）に示すように、本体３は、実質的に平滑な主表面７ａ、７ｂを有している。
【００３５】
主表面７ａ、７ｂは、情報を記録再生するための層が形成される面であり、例えば図１（ｃ）に示すように、主表面７ａ、７ｂの一方または両方に、下地層１８ａ、磁性層１８ｂ、保護層１８ｃ、潤滑層１８ｄを設けることにより、ガラス基板１は、磁気記録媒体１００となる。
【００３６】
また、図１（ｂ）に示すように、本体３は主表面７ａ、７ｂに対して直交している内周端面１１および外周端面９を有している。
【００３７】
内周端面１１および外周端面９は面取されており、それぞれ内周面取面１３および外周面取面１５が設けられている。
【００３８】
さらに、本体３は表面に化学強化層１７が形成されている。
【００３９】
化学強化層１７の詳細については後述するが、例えば、ガラス基板１の原料となるガラスのイオンの一部を、よりイオン半径の大きいイオンに置換し、圧縮応力層とした層である。
【００４０】
次に、図２〜図６を参照して、ガラス基板１の製造方法について説明する。
【００４１】
なお、以下の説明では、製造工程中におけるガラスを「ガラス基材１ａ」と称し、完成品を「ガラス基板１」と称することにする。
【００４２】
まず、図２に示すように、原料となるガラスを円板状に成形してガラス基材１ａを製造する（ステップ１０１）。
【００４３】
次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの板厚調整のため、主表面７ａ、７ｂを研削（第１ラッピング）する（ステップ１０２）。
【００４４】
次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの中心に内孔５（図１参照）を形成する（ステップ１０３）。
【００４５】
次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの端面のクラックを除去するため、内周端面１１および外周端面９の面取を行う（ステップ１０４）。
【００４６】
なお、面取後に主表面７ａ、７ｂを研削（第２ラッピング）する工程を追加してもよい。これにより、内孔５の形成や面取によって生じた凹凸を研削でき、研磨の際の負担を軽減できる。
【００４７】
次に、図２に示すように、ガラス基材１ａの内周端面１１および外周端面９の研磨、即ち端面研磨を行う（ステップ１０５）。
【００４８】
ここで、ステップ１０５の詳細について説明する。
【００４９】
まず、ステップ１０５における端面研磨に用いられる装置および方法について詳細に説明する。
【００５０】
まず、端面を研磨するための端面研磨装置１０１の構造について、図３を参照して説明する。
【００５１】
図３に示すように、端面研磨装置１０１は、ガラス基材１ａの端面を、複数枚が積層された積層体４の状態で複数枚を同時に研磨する装置であり、積層体４を固定する固定部１２２と、積層体４を研磨する研磨体１２４と、研磨体１２４を駆動する研磨駆動部１１８と、研磨液を供給する研磨液供給部１４１を含んで構成されている。
【００５２】
積層体４は、ガラス基材１ａとスペーサ２とを交互に積層したものである。
【００５３】
固定部１２２は、積層体４を収納する基板ケース１３０と、基板ケース１３０に嵌合され、カラー１３６を介して積層体４を締め付けて固定する締め付けカバー１３２と、基板ケース１３０を固定保持し、回動する回転保持台１３４とを有している。
【００５４】
研磨体１２４は、積層体４のガラス基材１ａに直交し、ガラス基材１ａの内孔５の中心軸に一致し、当該研磨体１２４の回転中心となる回転軸を有し、研磨本体１４０と、研磨本体１４０側壁に設けられた複数の研磨布１２６とを有している。
【００５５】
端面研磨装置１０１を用いて端面を研磨する場合は、研磨体１２４（の研磨布１２６）を積層体４のガラス基材１ａの内周端面１１および内周面取面１３に接触させ、内周端面１１と研磨体１２４との間に研磨液供給部１４１を用いて研磨液を供給し、研磨体１２４を、回転軸を中心に方向に回転して、内周端面１１および内周面取面１３を研磨する。
【００５６】
なお、図３では内周端面１１および内周面取面１３を研磨する装置のみを開示しているが、外周端面９および外周面取面１５を研磨する装置も構成は基本的に同一である。
【００５７】
即ち、積層体４を固定する固定部と、研磨体と、研磨体を回転させる駆動部とを有しており、固定部で積層体４を固定した状態で研磨体を回転させて積層体中のガラス基材１ａの外周端面９および外周面取面１５を研磨する。
【００５８】
研磨が終わると積層体４からガラス基材１ａを分離する。
【００５９】
ここで、積層体４からガラス基材１ａを分離するための積層体分離装置２１の構造および分離方法について図４〜図１０を参照して説明する。
【００６０】
まず、積層体分離装置２１の構造について、図４および図５を参照して説明する。
【００６１】
図４（ａ）に示すように、積層体分離装置２１は台座２３を有し、台座２３の上面には、当該上面と直交する面を有する側壁２５が設けられている。
【００６２】
側壁２５には、側壁２５に直交し、かつ台座２３の上面の法線方向に平行な面を有する支持部３３が設けられており、支持部３３には、台座２３と平行になるように配置された板状の台座２７が設けられている。
【００６３】
台座２７の上面には積層体４が載置された積層体載置部２９が載置部として設けられており、さらに、支持部３３には、積層体載置部２９と隣接するようにして、分離されたスペーサ２が収容される箱型のスペーサ収容部４７が設けられている。
【００６４】
積層体載置部２９には、積層体４を固定するための複数の支持棒３１が設けられ、積層体４は支持棒３１に囲まれるようにして積層体載置部２９に収容される。
【００６５】
なお、図４（ｂ）に示すように、支持棒３１のうち、スペーサ収容部４７と対向する２本の支持棒３１の間隔３１ａは、スペーサ２の直径３１ｂよりも大きく、かつガラス基材１ａの直径３１ｃよりも小さくなっている。
【００６６】
これは、後述するように、スペーサ２をガラス基材１ａから分離する際に、スペーサ２のみがスペーサ収容部４７に飛ばされるようにするためである。
【００６７】
一方、支持部３３には、台座２３の上面の法線方向（積層体載置部２９の軸方向）に平行になるように配置されたレール３５が設けられている。
【００６８】
レール３５には第１の移動手段としての第１アクチュエータ３７が設けられており、第１アクチュエータ３７には、積層体載置部２９と対向するようにしてチャック部３９が分離手段として設けられている。
【００６９】
チャック部３９には積層体載置部２９と対向するようにして吸着部４１が第１の吸着部として設けられている。
【００７０】
チャック部３９には支持部４３を介してエアを吹きつけるエアブロー部４５が除去手段として設けられている。エアブロー部４５は、エア噴出口が吸着部４１に向けられ、かつ、スペーサ収容部４７側に向けられており、吸着部４１がガラス基材１ａを吸着した状態で、ガラス基材１ａの下側の主表面にエアを吹きつけられるように構成されている。
【００７１】
第１アクチュエータ３７は、チャック部３９およびエアブロー部４５を図４（ａ）のＡ１、Ａ２の向きに移動可能に構成されている。
【００７２】
さらに、側壁２５には、支持部３３と対向するようにして、板状の支持部４９が設けられている、支持部４９には、レール３５と対向するようにして、台座２３の上面の法線方向と平行になるようにしてレール５１が設けられている。
【００７３】
レール５１には第２の移動手段としての第２アクチュエータ５３が設けられており、第２アクチュエータには支持部５５を介して回転手段としての第３アクチュエータ５７が設けられている。
【００７４】
第３アクチュエータには回転アーム５９が設けられており、回転アーム５９の端部にはガラス基材１ａを吸着する吸着部６１が第２の吸着部として設けられている。
【００７５】
回転アーム５９および吸着部６１は、第２アクチュエータ５３によって図４（ａ）のＡ１、Ａ２の向き（積層体載置部２９の軸方向）に移動可能である。
【００７６】
また、回転アーム５９および吸着部６１は、第３アクチュエータ５７によって図４（ａ）のＢ１、Ｂ２の向きに回転可能であり、後述するように、回転によって吸着部６１を吸着部４１と対向させることが可能である。
【００７７】
なお、回転アーム５９、吸着部６１、第２アクチュエータ５３、第３アクチュエータ５７とで搬送手段を構成しており、第２アクチュエータ５３と第３アクチュエータ５７とで輸送手段を構成している。
【００７８】
一方、台座２３には第３の移動手段としての第４アクチュエータ６７が設けられており、第４アクチュエータ６７にはガラス基材１ａを収容する基板収納容器６９が収納部として設けられている。基板収納容器６９の内部には複数の仕切り６２が設けられており、収容したガラス基材１ａ同士が接触しないようになっている。
【００７９】
基板収納容器６９は第４アクチュエータ６７によって図４のＣ１、Ｃ２の向きに移動可能である。
【００８０】
さらに、図５に示すように、積層体分離装置２１は第１アクチュエータ３７、チャック部３９（吸着部４１）、エアブロー部４５、第２アクチュエータ５３、第３アクチュエータ５７、吸着部６１、第４アクチュエータ６７の動作を制御する制御部６３が設けられており、制御部６３とこれらの装置が接続されている。
【００８１】
制御部６３には第１アクチュエータ３７、チャック部３９（吸着部４１）、エアブロー部４５、第２アクチュエータ５３、第３アクチュエータ５７、吸着部６１、第４アクチュエータ６７を動作させるためのプログラム（ａ）〜（ｅ）が制御手段（制御プログラム）として設けられている。これらのプログラムの役割は後述する。
【００８２】
次に、積層体分離装置２１を用いた積層体４の分離方法について、図４〜図１０を参照して説明する。
【００８３】
なお、以下の説明では、図４に示すように、積層体４の最上面にガラス基材１ａが載置され、吸着部４１はガラス基材１ａを吸着しておらず、回転アーム５９はレール５１と平行な配置となっている状態（図４の状態）からの各部材の動作について説明する。
【００８４】
まず、図４および図６に示すように、制御部６３は図５のプログラム（ａ）を用いて第１アクチュエータ３７を図６のＡ１の向きに移動させ（即ち、チャック部３９を積層体載置部２９に向かって移動させ）、チャック部３９の吸着部４１をガラス基材１ａに接触させ、吸着部４１を用いて積層体４の最上面にあるガラス基材１ａを吸着する。
【００８５】
なお、この際、同時に第２アクチュエータ５３を用いて、回転アーム５９を、吸着部６１が基板収納容器６９内に配置されるようにＡ１の向きに移動させる。
【００８６】
次に、図７に示すように、制御部６３はプログラム（ｂ）を用いて第１アクチュエータ３７を図７のＡ２の向きに移動させ、チャック部３９を積層体載置部２９から離れるように移動させつつ、エアブロー部４５からエアをガラス基材１ａの下側主表面に向かって吹きつけ、スペーサ４をスペーサ収容部４７へ吹き飛ばして分離する（図４（ｂ）および図７の矢印Ｄ参照）。なお、前述のように、支持棒３１のうち、スペーサ収容部４７と対向する２本の支持棒３１の間隔３１ａは、スペーサ２の直径３１ｂよりも大きく、かつガラス基材１ａの直径３１ｃよりも小さくなっている。
【００８７】
そのため、スペーサ２のみがスペーサ収容部４７に飛ばされる。
【００８８】
吹き飛ばされたスペーサ４はスペーサ収容部４７内に収容される。
【００８９】
なお、この際、同時に第２アクチュエータ５３を用いて、回転アーム５９もＡ２の向きに移動させる。
【００９０】
次に、図８に示すように、制御部６３はプログラム（ｃ）を用いて第３アクチュエータ５７によって回転アーム５９を図８のＢ１の向き（チャック部３９の吸着部４１に接近する向き）に回転させ、吸着部６１をガラス基材１ａの下側主表面と接触させてガラス基材１ａを吸着する。
【００９１】
次に、図９に示すように、制御部６３はプログラム（ｄ）を用いて吸着部４１の吸着を解除（デチャック）し、第３アクチュエータ５７によって回転アーム５９を図９のＢ２の向き（吸着部４１から離れる向き）に回転させ、回転アーム５９をレール５１と平行になるように配置する。
【００９２】
以後は、プログラム（ｅ）を用いて、プログラム（ａ）〜（ｄ）を繰り返し実行し、ガラス基材１ａが全て分離されるまで上記した動作を繰り返す。
【００９３】
即ち、図１０に示すように、制御部６３は図５のプログラム（ａ）を用いて第１アクチュエータ３７を図１０のＡ１の向きに移動させ（即ち、チャック部３９を積層体載置部２９に向かって移動させ）、吸着部４１をガラス基材１ａに接触させ、吸着部４１を用いて積層体４の最上面にあるガラス基材１ａを吸着する。
【００９４】
なお、この際、同時に第２アクチュエータ５３を用いて、回転アーム５９を、吸着部６１が基板収納容器６９内に配置されるようにＡ１の向きに移動させ、吸着部６１の吸着を解除（デチャック）してガラス基材１ａを基板収納容器６９内に収納する。
【００９５】
次に、制御部６３はプログラム（ｂ）を用いて第１アクチュエータ３７を制御し、チャック部３９を図１０のＡ２の向きに移動させ、チャック部３９を積層体載置部２９から離れるように移動させつつ、エアブロー部４５からエアをガラス基材１ａの下側主表面に向かって吹きつけ、スペーサ４をスペーサ収容部４７へ吹き飛ばして分離する。この際、第４アクチュエータ６７を用いて基板収納容器６９を図１０のＣ１の向きに移動（回転アーム５９に対して相対移動）させ、次のガラス基材１ａを収納できるようにする。以下の動作は記載が重複するため省略する。
【００９６】
このように、積層体分離装置２１は吸着部４１で積層体４上のガラス基材１ａを吸着し、分離する際に、エアブロー部４５を用いてエアを吹きつけることによりスペーサ２を分離している。
【００９７】
そのため、積層体分離装置２１は、水中で水圧によりスペーサ２を分離する装置と異なり、水槽や水の循環、給排水の設備は不要であり、水中で水圧によりスペーサ２を分離する装置よりも簡易な構造である。
【００９８】
また、積層体分離装置２１は第１〜第４アクチュエータを用いて、吸着したガラス基材１ａを自動で基板収納容器６９内に収容する。
【００９９】
そのため、分離工程を完全に自動化できる。
【０１００】
以上がステップ１０５の詳細である。
【０１０１】
次に、図２に示すように、ガラス基材１ａに化学強化を行い、化学強化層１７を形成する（ステップ１０６）。
【０１０２】
具体的には、化学強化液にガラス基材１ａを浸漬し、化学強化液に含まれているイオンと、ガラス基材１ａに含まれているイオンとをイオン交換する。
【０１０３】
この際、ガラス基材１ａに含まれているイオンよりもイオン半径が大きいイオンとイオン交換が生じることにより、化学強化層１７は圧縮応力層となり、ガラス基材１ａの表面の強度が上昇する。
【０１０４】
次に、化学強化が終わると、ガラス基材１ａを洗浄して表面の化学強化液を除去した後、図２に示すように、ガラス基材１ａの主表面７ａ、７ｂの平坦度と表面粗さを調整する（実質的に平滑にする）ため、主表面７ａ、７ｂを研磨する（ステップ１０７）。
【０１０５】
また、研磨は２段階に分けて行っても良い。
【０１０６】
具体的には、例えば、研磨液に含まれる砥粒として、粒径が異なる２種類の砥粒を用い、まず粒径が相対的に大きい砥粒を用いて第１研磨を行い、次に粒径が相対的に小さい砥粒を用いて第２研磨を行う。
【０１０７】
研磨が終了すると、ガラス基材１ａを洗浄し、製造中に表面に付着した研磨剤や不純物を除去する（ステップ１０８）。
【０１０８】
具体的にはスクラブ洗浄、超音波洗浄等の物理的な洗浄や、フッ化物、有機酸、過酸化水素、界面活性剤等を用いた薬液洗浄が挙げられる。
【０１０９】
最後に、製品検査（例えば主表面７ａ、７ｂの表面粗さやパーティクルの量の検査）を行う（ステップ１０９）。
【０１１０】
具体的には、例えばＯＤＴ（Optical Defect Tester）やＯＳＡ（Optical Surface Analyzer）を用いて欠陥検査を行う。
【０１１１】
以上の工程により、ガラス基板１が完成する。
【０１１２】
このように、本実施形態によれば、積層体分離装置２１は、積層体載置部２９、吸着部４１、エアブロー部４５を有し、吸着部４１で積層体４上のガラス基材１ａを吸着し、分離する際に、エアブロー部４５を用いてエアを吹きつけることによりスペーサ２を分離している。
【０１１３】
そのため、水中で水圧によりスペーサ２を分離する装置と異なり、水槽や水の循環、給排水の設備は不要であり、水中で水圧によりスペーサ２を分離する装置よりも簡易な構造である。
【０１１４】
また、積層体分離装置２１は第１〜第４アクチュエータを用いて、吸着したガラス基材１ａを自動で基板収納容器６９内に収容する。
【０１１５】
そのため、分離工程を完全に自動化できる。
【産業上の利用可能性】
【０１１６】
上述した実施形態では、本発明を磁気記録媒体用のガラス基板１の積層体を分離する製造方法に適用した場合について説明したが、本発明は何らこれに限定されることなく、基板とスペーサとを積層した積層体から基板を分離する必要がある全ての装置に適用できる。
【符号の説明】
【０１１７】
１……………ガラス基板
１ａ…………ガラス基材
３……………本体
５……………内孔
７ａ…………主表面
１７…………化学強化層
１８ｂ………磁性層
２１…………積層体分離装置
２３…………台座
２５…………側壁
３３…………支持部
２７…………台座
２９…………積層体載置部
３１…………支持棒
３５…………レール
３７…………第１アクチュエータ
４１…………吸着部
４５…………エアブロー部
４９…………支持部
５１…………レール
５３…………第２アクチュエータ
５７…………第３アクチュエータ
５９…………回転アーム
６１…………吸着部
６３…………制御部
６７…………第４アクチュエータ
６９…………基板収納容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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