(57)【要約】【課題】            クリーニング機能付パネルを基板処理装置に通過させるクリーニング方法であって、異物の捕集性と前記クリーニング機能付パネルの良好な搬送性とを両立させた、クリーニング方法を提供することを課題とする。【解決手段】        基板処理装置のクリーニング方法であって、該基板処理装置に、  支持体と、  該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上であるクリーニング部材と、  該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、を有するクリーニング機能付パネルを、通過させることを特徴とするクリーニング方法。【選択図】図１
2010056357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置のクリーニング方法であって、
該基板処理装置に、
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを、
通過させることを特徴とするクリーニング方法。
【請求項２】
前記非粘着性ないし微粘着性部材の厚さが、前記クリーニング部材の厚さに対して、９０％〜１１０％であることを請求項１記載のクリーニング方法。
【請求項３】
前記クリーニング部材および前記非粘着性ないし微粘着性部材が、前記クリーニング機能付パネルが前記基板処理装置を通過する進行方向における、該クリーニング機能付パネルの前端から後端までにわたって前記支持体の表面上に貼付されている、請求項１記載のクリーニング方法。
【請求項４】
前記非粘着性ないし微粘着性部材の粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が、前記クリーニング部材の前記粘着力の１／２以下である、請求項１記載のクリーニング方法。
【請求項５】
前記クリーニング部材の通過経路の組み合わせが、クリーニングしようとする全域をカバーするように、前記基板処理装置に、複数枚の前記クリーニング機能付パネルを、通過させることを特徴とする請求項１記載のクリーニング方法。
【請求項６】
前記基板処理装置が基板吸着用ステージを備える、請求項１記載のクリーニング方法。
【請求項７】
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニング機能付パネルおよびそれを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する基板処理装置などにおいては、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになる。このため、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があり、これによる稼動率低下や多大な労力が必要となるという問題があった。これは、フラットパネルディスプレイなど、異物が付着すると、その品質に非常に大きな影響を与える製品において、特に大きな問題となる。
これらの問題を解決するため、基板処理装置内に、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物を除去する方法が提案されている（例えば、特開平１０−１５４６８６号公報）。
しかしながらクリーニング層に粘着性物質を使用した場合、その粘着性が高すぎると、粘着性物質と搬送系の接触部とが強く接着して剥離ができなくなり搬送不良が生じるという問題があった。これは特に基板吸着用ステージなどのように、基板との密着性が高い箇所で問題となる。また、この問題は、基板の面積が大きいほど、大きくなる。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１５４６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、前記した従来技術の問題点に鑑み、異物の捕集性と良好な搬送性を両立させたクリーニング機能付パネルおよびそれを用いた基板処理装置のクリーニング方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは前記の課題に対して鋭意検討した結果、所定の粘着力を有するクリーニング部材が表面上に部分的に貼付されたクリーニング機能付パネルの複数枚のセットを用いることにより、異物の捕集性と良好な搬送性を両立できることを見出した。
しかし、例えば、真空チャック方式の基板吸着ステージを備えた基板処理装置では、クリーニング部材のわずかな凹凸がチャッキングに影響を与え、異物の捕集および搬送のスムーズが不十分になる場合があることが明らかになった。
そこで、本発明者らは、更なる検討の結果、支持体のクリーニング部材が貼付されていない部分に非粘着性ないし微粘着性部材を貼付することにより、基板吸着ステージにおける良好なチャッキングを可能にし、本発明を完成するに至った。これにより、多種多様な基板処理装置における異物の捕集性と良好な搬送性の両立が実現される。
【０００６】
すなわち、本発明は、
基板処理装置のクリーニング方法であって、
該基板処理装置に、
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを、
通過させることを特徴とするクリーニング方法を提供するものである。
【０００７】
また、本発明は、別の態様として、
支持体と、
該支持体の少なくとも一方の表面上に部分的に貼付された、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上であるクリーニング部材と、
該クリーニング部材が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材と、
を有するクリーニング機能付パネルを提供するものである。
【０００８】
本発明の好ましい一態様では、前記非粘着性ないし微粘着性部材の厚さが、前記クリーニング部材の厚さに対して、９０％〜１１０％である。
【０００９】
本発明の好ましい一態様では、前記クリーニング部材および前記非粘着性ないし微粘着性部材が、前記クリーニング機能付パネルが前記基板処理装置を通過する進行方向における、該クリーニング機能付パネルの前端から後端までにわたって前記支持体の表面上に貼付されている。
【００１０】
本発明の好ましい一態様では、前記非粘着性ないし微粘着性部材の粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が、前記クリーニング部材の前記粘着力の１／２以下である。
【００１１】
本発明の好ましい一態様では、前記クリーニング部材の通過経路の組み合わせが、クリーニングしようとする全域をカバーするように、前記基板処理装置に、複数枚の前記クリーニング機能付パネルを、通過させることを特徴とする。
【００１２】
本発明の好ましい一態様では、前記基板処理装置が基板吸着用ステージを備える。
【発明の効果】
【００１３】
前記のように、本発明のクリーニング方法によれば、異物の捕集性と良好な搬送性を両立させたクリーニング機能付パネルおよびそれを用いた基板処理装置のクリーニング方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、図を参照しつつ、本発明を詳細に説明する。各図は単に本発明の説明のために用いられるものであり、図面における各部材の寸法およびその比率は、必ずしも実際のものとは一致するものではなく、また本発明はこれに限定されるものではない。また、図に示された要素は、必ずしも、本発明にとって必須の要素ではない。
【００１５】
［用語］
本明細書中、「処理装置」なる語は、製造装置および検査装置を包含することを意図して用いられる。
本明細書中、「基板処理装置に通過させる」なる句は、基板処理装置の全体を通過させることのみではなく、基板処理装置の一部を通過させることをも意味することを意図して用いられる。
本明細書中、「粘着力」とは、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定された粘着力を意味する。
【００１６】
［クリーニング機能付パネルの全体の構成］
図１および図５を参照しつつ、クリーニング機能付パネルの全体の構成を説明する。図１は、本発明のクリーニング機能付パネルの好ましい一態様の概略を示す、断面図である。図５は、クリーニング機能付パネルの好ましい組み合わせの一態様および本発明のクリーニング方法の一態様の概略を示す図である。
【００１７】
クリーニング機能付パネル１００は、
支持体１と、
該支持体１の一方の表面上に部分的に貼付されたクリーニング部材２と、
該クリーニング部材２が貼付されている表面の残りの部分上に貼付された、非粘着性ないし微粘着性部材３と、
を有する。
クリーニング部材２の支持体１とは反対側の面、および非粘着性ないし微粘着性部材３の支持体１とは反対側の面には、全面にわたってカバーシート４が貼付されている。
【００１８】
図１では、支持体１の一方のみの表面上にクリーニング部材２および非粘着性ないし微粘着性部材３が貼付されているが、クリーニング部材２および非粘着性ないし微粘着性部材３は、支持体１の他方の表面上にも貼付されていてもよい。
前記クリーニング部材２の粘着力は、０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上である。クリーニング部材２の粘着力は、捕集しようとする異物のサイズが大きい場合には、異物の捕集性を担保するために、高く設定される。一方、クリーニング部材２の面積が広い場合は、良好な搬送性を担保するために、低く設定される。したがって、クリーニング部材２の粘着力は、両者のバランスによって設定される。前記クリーニング部材２の粘着力は、好ましくは、０．５０Ｎ／２０ｍｍ〜３Ｎ／２０ｍｍである。
【００１９】
前記クリーニング部材２および前記非粘着性ないし微粘着性部材３は、好ましくは、図５に示すように、前記クリーニング機能付パネル１００が前記基板処理装置を通過する進行方向における、該クリーニング機能付パネル１００の前端から後端までにわたって前記支持体１の表面上に貼付されている。
前記クリーニング部材２および前記非粘着性ないし微粘着性部材３の形態は、好ましくは、一定の厚さを有する長方形（テープ状）である。
【００２０】
本発明のクリーニング機能付パネル１００における、クリーニング部材２の面積と非粘着性ないし微粘着性部材３の面積の比は、クリーニング部材２の粘着力、クリーニングの対象となる基板処理装置の構造、クリーニングの対象となる部位に応じて、適宜、選択できる。例えば、離型処理済み搬送ローラーにように、粘着性物質への粘着性が低い部位を対象とする場合には、クリーニング部材２の面積：非粘着性ないし微粘着性部材３の面積の比を、約５０：５０〜約９９：１とすればよい。逆に、金属製搬送ローラー、および吸引機能付吸着ステージなどのように、粘着性物質への粘着性が高い部位を対象とする場合には、クリーニング部材２の面積：非粘着性ないし微粘着性部材３の面積の比を、約１：９９〜約５０：５０とすればよい。
【００２１】
クリーニング機能付パネル１００におけるクリーニング部材２の数、および非粘着性ないし微粘着性部材３の数は、特に限定されないが、通常、クリーニング機能付パネル主面の面積が大きいほど、これらの数も大きい事が好ましい。
なお、隣接するクリーニング部材２と非粘着性ないし微粘着性部材３との隙間の幅は、クリーニング機能付パネル１００の表面の凹凸を極力少なくするために、好ましくは１０ｍｍ以内、より好ましくは５ｍｍ以内）である。
隣接するクリーニング部材２と非粘着性ないし微粘着性部材３との隙間の幅が広いと、真空チャック方式の基板吸着ステージにおいて、クリーニング機能付パネル１００のチャッキングが不十分になる可能性がある。
【００２２】
クリーニング機能付パネル１００の表面の凹凸を極力少なくするため、前記非粘着性ないし微粘着性部材３の厚さは、前記クリーニング部材２の厚さに対して、好ましくは９０％〜１１０％、より好ましくは９５％〜１０５％である。
本明細書中、「クリーニング部材の厚さ」および「非粘着性ないし微粘着性部材の厚さ」とは、使用時における「厚さ」を意味する。したがって、換言すれば、後述の態様のようにクリーニング部材２および／または非粘着性ないし微粘着性部材３がセパレータを有している場合、これらの語はそれぞれ、セパレータを取り除いた後の厚さを意味する。
クリーニング部材の厚さおよび非粘着性ないし微粘着性部材の厚さは、それぞれ、通常、５００μｍ以下、好ましくは３〜３００μｍ程度、さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度である。
【００２３】
［支持体］
支持体１としては、特に限定されず、対象とする装置で通常搬送されている基板（例、ガラス基板、プラスチック基板，セラミック基板）などを用いればよい。
【００２４】
支持体１の大きさおよび形状は、対象とする処理装置（すなわち、該クリーニング機能付パネル１００を適用する基板処理装置）を通過できるものであれば特に限定されないが、好ましくは、本発明のクリーニング機能付パネル１００を適用する基板処理装置で処理される基板と同一の大きさおよび形状である。例えば、基板がフラットディスプレイパネルである場合、該形状は、長方形の平板である。
支持体１の厚みもまた、本発明のクリーニング機能付パネル１００を適用する基板処理装置で処理される基板とほぼ同一の厚み、ないし、その厚みからクリーニング部材２の厚みを差し引いた厚みが好ましい。支持体１の厚みは、本発明を適用する基板処理装置によって異なるが、通常、５０ｍｍ以下、好ましくは２〜４０ｍｍ程度、さらに好ましくは５〜２０ｍｍ程度である。
【００２５】
［クリーニング部材］
図２を参照しつつ、クリーニング部材２を説明する。図２は、クリーニング部材２の好ましい一態様の概略を示す、断面図である。
【００２６】
クリーニング部材２は、
クリーニング部材用支持基材２１と、
該クリーニング部材用支持基材２１の支持体１の反対側の表面上に設けられた、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上であるクリーニング層２２と、
該クリーニング部材用支持基材２１の支持体１側の表面上に設けられたクリーニング部材用接着層２３と、
を有する。
クリーニング部材２は、クリーニング部材用接着層２３によって、支持体１に接着されている。
また、クリーニング層２２のクリーニング部材用支持基材２１とは反対側の面には、クリーニング部材用セパレータ２４が貼付されている。クリーニング部材用セパレータ２４は、クリーニング層２２の粘着面を保護するためのものであり、クリーニング機能付パネル１００の使用時には取り除かれる。
【００２７】
前記クリーニング部材２は、クリーニング部材用支持基材２１を有さない“基材レス”のものであってもよいが、後述するクリーニング機能付パネル１００の再利用の容易さから、前記のように基材を有するものが好ましい。
【００２８】
クリーニング部材用支持基材２１としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、アセチルセルロースフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリプロピレンフィルム、またはポリアミドフィルムなどのプラスチックフィルムが挙げられるが、これに限定されるものではない。該クリーニング部材用支持基材２１は単層であっても多層体であってもよい。該クリーニング部材用支持基材２１の厚さは適宜選択できるが、通常、５００μｍ以下、好ましくは３〜３００μｍ程度、さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度である。該クリーニング部材用支持基材２１の表面は、隣接する層との密着性、および保持性などを高めるために、慣用の表面処理（例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理などの化学的または物理的処理）、および後述する粘着性物質等の下塗剤によるコーティング処理が施されていてもよい。
【００２９】
クリーニング層２２は、粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°の条件で測定される。）が０．１０Ｎ／２０ｍｍ以上に調整された粘着剤からなる。
このような粘着剤としては、例えば、ゴム系、アクリル系、ビニルアルキルエーテル系、シリコーン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ウレタン系、およびスチレン・ジエンブロック共重合体系の粘着剤、ならびに、その他の公知の粘着剤（例えば特開昭５６−６１４６８号公報、特開昭６１−１７４８５７号公報、特開昭６３−１７９８１号公報、または特開昭５６−１３０４０号公報などに記載の接着剤）の１種又は２種以上を用いることができる。なお、該粘着剤は、架橋剤、架橋促進剤、粘着付与剤、可塑剤、充点剤、および老化防止剤などの適当な添加剤を含有してもよい。
クリーニング層２２の粘着力（すなわち、クリーニング部材２の粘着力）は、前記の通り、捕集しようとする異物のサイズが大きい場合には、異物の捕集性を担保するために、高く設定される。一方、クリーニング層２２の面積が広い場合は、良好な搬送性を担保するために、低く設定される。したがって、クリーニング層２２の粘着力は、両者のバランスによって設定される。
クリーニング層２２の粘着力の調整は、粘着剤成分の種類および量の選択の他に、紫外線硬化性化合物及び紫外線重合開始剤を添加して紫外線照射処理すること、または熱膨張性微小球を添加して加熱処理することなどの適当な方法によって、実施することもできる。
【００３０】
前記粘着剤として、好ましくは、
天然ゴムや各種の合成ゴムをベースポリマーとするゴム系粘着剤；または
炭素数が２０以下のアルキル基（例、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２−エチルヘキシル基、イソオクチル基、イソデシル基、ドデシル基、ラウリル基、トリデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、およびエイコシル基）をそれぞれ有するアクリル酸およびメタクリル酸等のエステルであるアクリル酸系アルキルエステルの１種又は２種以上を用いたアクリル系共重合体をベースポリマーとするアクリル系粘着剤など
が用いられる。
【００３１】
なお、前記のアクリル系共重合体は必要に応じ、凝集力、耐熱性、および架橋性等の改質などを目的にして、例えば、
カルボキシル基含有モノマー（例、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシルエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イコタン酸、マレイン酸、フマール酸、クロトン酸）；
酸無水物モノマー（例、無水マレイン酸、無水イコタン酸）；
ヒドロキシル基含有モノマー（例、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）−メチルメタアクリレート）；
スルホン酸基含有モノマースチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸）；
（Ｎ−置換）アミド系モノマー（例、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド）；
（メタ）アクリル酸アルキリアミノ系モノマー（例、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチル）；
（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー（例、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル）；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、マレイミド系モノマー（例、Ｎ−フェニルマレイミド）；
イタコンイミド系モノマー（例、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミド）；
スクシンイミド系モノマー（例、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミド）；
ビニル系モノマー（例、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ブニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタム）；
シアノアクリレートモノマー（例、アクリロニトリル、メタクリロニトリル）；
エポキシ基含有アクリル系モノマー（例、（メタ）アクリル酸グリシジル）；
グリコール系アクリルエステルモノマー（例、（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコール）；
アクリル酸エステル系モノマー（例、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレート、２−メトキシエチルアクリレート）；
多官能モノマー（例、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート）；
オレフィン系モノマー（例、イソプレン、ブタジエン、イソブチレン）；および
ビニルエーテル等から選択される適当なモノマー成分の１種又は２種以上と共重合していてもよい。
【００３２】
前記架橋剤としては、特に限定されず、例えば、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤等が挙げられる。なかでも、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネートなどの芳香族イソシアネート、イソホロンジイソシアネートなどの脂環族イソシアネート、およびヘキサメチレンジイソシアネートなどの脂肪族イソシアネート等のイソシアネート系架橋剤などが好ましい。
【００３３】
前記架橋促進剤としては、特に限定されず、例えば、ジブチルスズオキサイド、ジブチルスズジステアレート等のスズ系触媒などが挙げられる。
【００３４】
前記紫外線硬化性化合物としては、紫外線により硬化可能なものであれば特に限定されず、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用できる。
紫外線硬化性化合物の具体的な例としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、およびポリエチレングリコールジアクリレートなどが挙げられる。
前記紫外線硬化性化合物としては紫外線硬化性樹脂を用いてもよく、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有するエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂、光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシンナマートなどのシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂、およびアクリルアミド型ポリマー等の感光性反応基含有ポリマーもしくはオリゴマーなどが挙げられる。
さらに、紫外線硬化性化合物としては、紫外線で反応するポリマー（例、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサンなど）も、使用できる。
【００３５】
前記紫外線重合開始剤としては、公知の重合開始剤を適宜選択できる。紫外線重合開始剤の量としては、紫外線硬化性化合物１００重量部に対して、０．１〜１０重量部程度、好ましくは１〜５重量部程度である。さらに、紫外線重合開始剤とともに紫外線重合促進剤を併用してもよい。該紫外線重合促進剤としては、特に限定されず、Ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミノエステル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステルなどの公知の紫外線重合促進剤を用いればよい。
また、紫外線硬化前後に適切な弾性率を得るために、熱重合開始剤などの適当な添加剤を用いてもよい。該熱重合開始剤としては、特に限定されず、ベンゾイルパーオキサイド，アゾビスイソブチロニトリルなどの公知の熱重合開始剤を用いればよい。
【００３６】
前記熱膨張性微小球として、例えばイソブタン、プロパン、およびペンタン等の容易にガス化して熱膨張性を示す適当な物質をコアセルベーション法または界面重合法等で殻形成物質内に内包させた熱膨張性微小球を用いることができる。用いる熱膨張性微小球は、熱膨張性微小球の体積膨張倍率は５倍以上、好ましくは１０倍以上のものが望ましい。
前記殻形成物質としては、熱溶融性物質または熱膨張で破壊される物質であれば特に限定されないが、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、およびポリスルホンなどが挙げられる。
【００３７】
クリーニング層２２の厚さ（乾燥後）は特に限定されないが、通常、５〜２００μｍ程度である。
【００３８】
クリーニング部材用接着層２３の材質としては、クリーニング部材用支持基材２１への十分な粘着を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘着剤（例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などの感圧接着剤）または、紫外線硬化性硬化型感圧接着剤または熱剥離型感圧接着剤を用いることができる。クリーニング部材用支持基材２１を再利用する観点からは、紫外線硬化性硬化型感圧接着剤または熱剥離型感圧接着剤が好ましい。
クリーニング部材用接着層２３の厚さ（乾燥後）は、通常、１０〜５０μｍである。
【００３９】
クリーニング部材用セパレータ２４としては、例えば、シリコーン系樹脂、長鎖アルキルアクリレート樹脂、フッ素系樹脂などで代表される離型剤により表面コートしたプラスチックフィルムや紙等からなる基材、あるいはポリエチレンやポリプロピレンなどの無極性ポリマーからなる粘着性の小さい基材などを使用できる。
また、クリーニング部材用セパレータ２４の厚さは、通常、１０〜３００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍである。
【００４０】
［非粘着性ないし微粘着性部材］
図３および図４を用いて、非粘着性ないし微粘着性部材３を説明する。図３は、本発明のクリーニング機能付パネルの非粘着性の部材を用いた一態様における、非粘着性部材３ａの一態様の概略を示す断面図であり、図４は、本発明のクリーニング機能付パネルの微接着性の部材を用いた一態様における、微粘着性部材３ｂの一態様の概略を示す断面図である。図３における非粘着性部材３ａおよび図４における微粘着性部材３ｂは、図１における、非粘着性ないし微粘着性部材３に包含される。
【００４１】
図３において、
非粘着性部材３ａは、
非粘着性部材用支持基材３ａ１と、
該非粘着性部材用支持基材３ａ１の支持体１側の表面上に設けられた、非粘着性部材用接着層３ａ３と、
を有する。
非粘着性部材３ａは非粘着性部材用接着層３ａ３によって、支持体１に接着されている。
【００４２】
前記非粘着性部材用支持基材３ａ１としては、前記クリーニング部材用支持基材２１について例示したものと同様のものが用いられるが、これに限定されるものではない。
前記非粘着性部材用支持基材３ａ１の厚みは、クリーニング部材２の厚みと非粘着性部材３ａの厚みとがほぼ同じになるように、決定されるが、通常、５００μｍ以下、好ましくは３〜３００μｍ程度、さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度である。
【００４３】
前記非粘着性部材用接着層３ａ３の材質としては、前記クリーニング部材用接着層２３について例示したものと同様のものが挙げられるが、これに限定されるものではない。
前記非粘着性部材用接着層３ａ３の厚さ（乾燥後）は、通常、前記クリーニング部材用接着層２３の厚みとほぼ同じであり、具体的には、通常、１０〜５０μｍである。
【００４４】
図４において、
微粘着性部材３ｂは、
微粘着性部材用支持基材３ｂ１と、
該微粘着性部材用支持基材３ｂ１の支持体１とは反対側の表面上に設けられた、粘着力（該粘着力は、試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じ、対シリコンミラーウエハ、剥離速度：３００ｍｍ／分、剥離角度：９０°の条件で測定される。）が、前記クリーニング部材２の前記粘着力の１／２以下である微粘着層３ｂ２と、
該微粘着性部材用支持基材３ｂ１の支持体１側の表面上に設けられた微粘着性部材用接着層３ｂ３と、
を有する。
微粘着性部材３ｂは微粘着性部材用接着層３ｂ３によって、支持体１に接着されている。
また、微粘着層３ｂ２の微粘着性部材用接着層３ｂ３とは反対側の面には、微粘着性部材用セパレータ３ｂ４が貼付されている。微粘着性部材用セパレータ３ｂ４は、微粘着層３ｂ２の微粘着面を保護するためのものであり、クリーニング機能付パネル１００の使用時には取り除かれる。
【００４５】
前記微粘着性部材３ｂは、微粘着性部材用支持基材３ｂ１を有さない“基材レス”のものであってもよいが、後述する、クリーニング機能付パネル１００の再利用の容易さから、好ましくは、前記のように基材を有するものが好ましい。
【００４６】
前記微粘着性部材用支持基材３ｂ１としては、前記クリーニング部材用支持基材２１について例示したものと同様のものが用いられるが、これに限定されるものではない。
前記微粘着性部材用支持基材３ｂ１の厚みは、クリーニング部材２の厚みと非粘着性部材３ａの厚みとがほぼ同じになるように決定されるが、通常、５００μｍ以下、好ましくは３〜３００μｍ程度、さらに好ましくは５〜２５０μｍ程度である。
【００４７】
前記微粘着層３ｂ２の材質としては、前記クリーニング層２２について例示したものと同様のものが挙げられるが、これに限定されるものではない。
前記微粘着層３ｂ２の粘着力は、前記クリーニング部材２の前記粘着力の１／２以下、好ましくは１／３以下である。本発明において、前記微粘着層３ｂ２の粘着力には下限はなく、粘着力が０Ｎ／２０ｍｍでも本発明の目的は達成しうる。前記微粘着層３ｂ２の粘着力は、クリーニング機能付パネル１００の全面のトータルの粘着力が好ましい強さになるように、設定される。
前記微粘着層３ｂ２の粘着力の調製は、前記クリーニング層２２の粘着力の調整と同様の方法で実施することができる。
前記微粘着層３ｂ２の厚さ（乾燥後）は特に限定されないが、通常、５〜２００μｍ程度である。
前記微粘着性部材用接着層３ｂ３の材質としては、前記クリーニング部材用接着層２３について例示したものと同様のものが挙げられるが、これに限定されるものではない。
前記微粘着性部材用接着層３ｂ３の厚さ（乾燥後）は、通常、前記クリーニング部材用接着層２３の厚みとほぼ同じであり、具体的には、通常、１０〜５０μｍである。
【００４８】
前記微粘着性部材用セパレータ３ｂ４としては、前記クリーニング部材用セパレータ２４について例示したものと同様のものが挙げられるが、これに限定されるものではない。
また、前記微粘着性部材用セパレータ３ｂ４は、通常、１０〜３００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍである。
【００４９】
［カバーシート］
カバーシート４は、前記クリーニング部材２および微粘着性部材３ｂのセパレータ（クリーニング部材用セパレータ２４、微粘着性部材用セパレータ３ｂ４）を一括剥離するためのものであり、セパレータを剥離できるテープ（例、感圧粘着テープ）であれば、特に限定されるものではない。カバーシート４は、本発明のクリーニング機能付パネルの使用時には、セパレータとともに取り除かれる。
【００５０】
［クリーニング方法］
クリーニングしようとする基板処理装置に、本発明のクリーニング機能付パネル１００を、該基板処理装置の処理の対象となる基板と同様に通過させることにより、該基板処理装置のクリーニングを行うことができる。
基板処理装置内をクリーニング機能付パネル１００が搬送されて、被クリーニング部位に接触しながら移動させられることにより、前記装置内に付着する異物を、搬送トラブルを生じることなく簡便かつ確実にクリーニング除去できるものである。
本発明のクリーニング機能付パネルおよび本発明のクリーニング方法は、基板吸着用ステージ（例、真空キャスト方式の基板吸着用ステージ）を備える基板処理装置にも、好適に適用することができる。
好ましくは、クリーニング部材２の通過経路の組み合わせが、クリーニングしようとする全域をカバーするように、前記基板処理装置に、複数枚の前記クリーニング機能付パネル１００を、通過させる。
具体的には、図５に示すように、クリーニング部材２の位置が異なる複数枚の前記クリーニング機能付パネル１００のセット（１００ａ、１００ｂ、１００ｃ）を、クリーニング部材２の通過経路の組み合わせがクリーニングしようとする全域をカバーするように、順にクリーニング対象領域を、例えば、ａ、ｂ、ｃの順に、白（オープン）矢印の方向に移動させる。これにより、クリーニング対象全領域を漏れなくクリーニングすることができる。図５において、左端の図は、クリーニング機能付パネル１００の上面図であり、真ん中の図はクリーニング機能付パネル１００の側面図であり、右の図はクリーニング機能付パネル１００によって搬送ローラーをクリーニングする方法の概略を示す図である。
【００５１】
クリーニング機能付パネル１００の使用後は、各接着層の接着材が通常の感圧接着剤の場合は、クリーニング部材および非粘着性ないし微粘着性部材を物理的に引き剥がすことで、各接着層の接着材が紫外線硬化型感圧接着剤の場合は紫外線照射を行うことで、熱剥離型感圧接着剤である場合は加熱することでクリーニング部材および非粘着性ないし微粘着性部材を取り除き、支持体をクリーニング機能付パネル１００の生産に再利用することができる。
また、クリーニング部材および非粘着性ないし微粘着性部材が基材レスである場合は、これらを溶剤で溶解させて取り除き、支持体をクリーニング機能付パネル１００の生産に再利用することができる。
【実施例】
【００５２】
以下，本発明を実施例に基づいて説明するが，本発明はこれに限定されるものではない。尚、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
【００５３】
（実施例１）
アクリル酸−２−エチルヘキシル  ７０部，アクリル酸エチル  ３０部，及びヒドロキシエチルアクリレート  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量５０万）１００部に対して、イソシアネート系架橋剤（ジフェニルメタンジイソシアネート）３部，錫系架橋促進剤（ジ−ｎ−オクチルスズラウリン酸塩）０．０２部を含むトルエン溶液（以下、トルエン溶液Ａと称する）を乾燥後の厚さが１０μｍとなるよう厚さ５０μｍのポルエステルフィルムの片面に塗布し（クリーニング層）、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた。
続いて、アクリル酸−２−エチルヘキシル  ７０部，アクリル酸エチル  ３０部，及びヒドロキシエチルアクリレート  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量５０万）１００部に対して、イソシアネート系架橋剤（ジフェニルメタンジイソシアネート）２部，錫系架橋促進剤（ジ−ｎ−オクチルスズラウリン酸塩）０．０２部を含むトルエン溶液（以下、トルエン溶液Ｂと称する）を、ポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し（クリーニング部材用接着層）、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作成した。このクリーニング部材のクリーニング層粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる，対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°）を測定したところ、１．５０Ｎ／２０ｍｍであった。
続いて、前記トルエン溶液Ｂを、乾燥後の厚さが４０μｍとなるように厚さ５０μｍのポリエステルフィルムの片面に塗布し、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、非粘着部材を作成した。
次に、厚さ５ｍｍ，長さ３００ｍｍ，幅２００ｍｍのガラス板に、図５のように幅２０ｍｍのクリーニング部材および非粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように貼り合せた５枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、０．３μｍ以上の異物を測定したところ、３００ｍｍ×２００ｍｍのエリア内で一つは２２０００個であった。
次いで、前記で得た５枚のクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側のセパレータを剥がし、順に上記の２２０００個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で０．３μｍ以上の異物を測定したところ、エリア内で１１００個であり、クリーニング前に付着していた異物数の３／４以上を除去することができた。
【００５４】
（実施例２）
アクリル酸−２−エチルヘキシル  ７５部，アクリル酸メチル  ２０部，及びアクリル酸  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ウレタンアクリレート  ５０部、ベンジルメチルケタール  ３部，及びジフェニルメタンジイソシアネート３部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液Ｃとした。この紫外線硬化型の粘着剤溶液Ｃを、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布・乾燥・紫外線照射(１０００ｍＪ／ｃｍ２)を行い、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた（クリーニング層）。その後、ポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが２０μｍとなるように実施例１記載のトルエン溶液Ｂを塗布し（クリーニング部材用接着剤）、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作成した。このクリーニング部材の粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる，対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°）を測定したところ、０．６５Ｎ／２０ｍｍであった。
続いて、実施例１記載のトルエン溶液Ｂを、乾燥後の厚さが５０μｍとなるように厚さ７５μｍのポリエステルフィルムの片面に塗布し、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、非粘着部材を作成した。
次に、厚さ５ｍｍ，長さ３００ｍｍ，幅２００ｍｍのガラス板に、幅５０ｍｍのクリーニング部材および非粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように実施例１に準じて貼り合せた、２枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、０．３μｍ以上の異物を測定したところ、３００ｍｍ×２００ｍｍのエリア内で一つは２９０００個であった。
次いで、前記で得た２枚のクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側のセパレータを剥がし、順に上記の２９０００個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で０．３μｍ以上の異物を測定したところ、エリア内で２２００個であり、クリーニング前に付着していた異物数の３／４以上を除去することができた。
【００５５】
（実施例３）
アクリル酸−２−エチルヘキシル  ７０部，アクリル酸エチル  ３０部，及びヒドロキシエチルアクリレート  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量５０万）１００部に対して、イソシアネート系架橋剤（ジフェニルメタンジイソシアネート）３部，錫系架橋促進剤（ジ−ｎ−オクチルスズラウリン酸塩）０．０２部を含む実施例１記載のトルエン溶液Ａを乾燥後の厚さが１０μｍとなるよう厚さ５０μｍのポルエステルフィルムの片面に塗布してクリーニング層を形成させ、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた。その後、実施例１記載のトルエン溶液Ｂをポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布し、（クリーニング部材用接着剤）、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作成した。このクリーニング部材のクリーニング層粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる，対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°）を測定したところ、１．５０Ｎ／２０ｍｍであった。
続いて、トルエン溶液Ｂを厚さ２５μｍのポリエステルフィルムの片面に、乾燥後の厚さが１０μｍとなるように塗布し（微粘着部材用接着剤）、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた。その後、そのポリエステルフィルムの反対面に、アクリル酸−２−エチルヘキシル  ５０部，アクリル酸エチル  ５０部，及びヒドロキシエチルアクリレート  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量４５万）１００部に対して、熱膨張性微微小球（マツモトマイクロスフェア  Ｆ５０Ｄ）３０部，イソシアネート系架橋剤（ジフェニルメタンジイソシアネート）３部，錫系架橋促進剤（ジ−ｎ−オクチルスズラウリン酸塩）０．０２部を含むトルエン溶液Ｄを膨張加熱処理後の厚さが５５μｍになるように塗布・乾燥し（微粘着層（未膨張処理））、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた。さらに、微粘着層を膨張させるための加熱処理（１２０℃×５分）を行い、微粘着部材を作製した。この微粘着部材の微粘着層粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる，対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°）を測定したところ、０．０２Ｎ／２０ｍｍであった。
次に、厚さ５ｍｍ，長さ３００ｍｍ，幅２００ｍｍのガラス板に、図５のように幅２０ｍｍのクリーニング部材および微粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように貼り合せた５枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、０．３μｍ以上の異物を測定したところ、３００ｍｍ×２００ｍｍのエリア内で一つは２８０００個であった。
次いで、前記で得た５枚のクリーニング機能付搬送部材のクリーニング層側のセパレータを剥がし、順に上記の２２０００個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で０．３μｍ以上の異物を測定したところ、エリア内で１５００個であり、クリーニング前に付着していた異物数の３／４以上を除去することができた。
【００５６】
（実施例４）
アクリル酸−２−エチルヘキシル  ７５部，アクリル酸メチル  ２０部，及びアクリル酸  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ウレタンアクリレート  ３０部、ベンジルメチルケタール  ３部，及びジフェニルメタンジイソシアネート３部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液Ｅとした。この紫外線硬化型の粘着剤溶液Ｅを、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布・乾燥・紫外線照射(１０００ｍＪ／ｃｍ２)を行い、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた（クリーニング層）。その後、ポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが２０μｍとなるように実施例１記載のトルエン溶液Ｂを塗布し（クリーニング部材用接着剤）、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、クリーニング部材を作製した。このクリーニング部材のクリーニング層粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる，対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°）を測定したところ、０．９０Ｎ／２０ｍｍであった。
続いて、アクリル酸−２−エチルヘキシル  ７５部，アクリル酸メチル  ２０部，及びアクリル酸  ５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ウレタンアクリレート  ２００部、ベンジルメチルケタール  ３部，及びジフェニルメタンジイソシアネート３部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液Ｆとした。この紫外線硬化型の粘着剤溶液Ｆを、厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の厚さが３５μｍとなるように塗布・乾燥・紫外線照射を行い、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せた（微粘着層）。その後、そのポリエステルフィルムの反対面に乾燥後の厚さが４０μｍとなるように実施例１記載のトルエン溶液Ｂを塗布し（微粘着部材用接着剤）、その表面に厚さ５０μｍのポリエステル系セパレータを貼り合せて、微粘着部材を作成した。この微粘着部材の微粘着層粘着力（試験法ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる，対シリコンミラーウエハ，剥離速度：３００ｍｍ／分，剥離角度：９０°）を測定したところ、０．０６Ｎ／２０ｍｍであった。
次に、厚さ５ｍｍ，長さ３００ｍｍ，幅２００ｍｍのガラス板に、幅５０ｍｍのクリーニング部材および微粘着部材をクリーニング部材の位置が重複しないように実施例１に準じて貼り合せた、２枚のクリーニング機能付搬送部材を作製した。
一方、ガラス基板処理装置の吸着ステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で、０．３μｍ以上の異物を測定したところ、３００ｍｍ×２００ｍｍのエリア内で一つは２７０００個であった。
次いで、前記で得た２枚のクリーニング機能付搬送部材のセパレータを剥がし、順に上記の２７０００個の異物が付着していたステージを持つ基板処理装置内を搬送させたところ、支障なく搬送できた。その後、ウェハステージを取り外し、レーザー式異物測定装置で０．３μｍ以上の異物を測定したところ、エリア内で２１００個であり、クリーニング前に付着していた異物数の３／４以上を除去することができた。
【００５７】
（比較例１）
ガラス板全面に実施例１記載のクリーニング部材を貼り合せクリーニング層付搬送部材を作製した。次いで、前記吸着ステージを持つ基板処理装置内を搬送したところ、ウェハステージに固着し、搬送できなくなった。
【００５８】
（比較例２）
ガラス板全面に実施例２記載のクリーニング部材を貼り合せクリーニング層付搬送部材を作製した。次いで、前記吸着ステージを持つ基板処理装置内を搬送したところ、ウェハステージに固着し、搬送できなくなった。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、基板処理装置のクリーニングに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明のクリーニング機能付パネルの好ましい一態様の概略を示す、断面図である。
【図２】クリーニング部材の好ましい一態様の概略を示す、断面図である。
【図３】本発明のクリーニング機能付パネルの非粘着性部材の一態様の概略を示す、断面図である。
【図４】本発明のクリーニング機能付パネルの微接着性部材の一態様の概略を示す、断面図である。
【図５】クリーニング機能付パネルの好ましい組み合わせの一態様および本発明のクリーニング方法の一態様の概略を示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１      支持体
２      クリーニング部材
３      非粘着性ないし微粘着性部材
３ａ    非粘着性部材
３ｂ    微粘着性部材
４      カバーシート
２１    クリーニング部材用支持基材
２２    クリーニング層
２３    クリーニング部材用接着層
２４    クリーニング部材用セパレータ
３ａ１  非粘着性部材用支持基材
３ａ３  非粘着性部材用接着層
３ｂ１  微粘着性部材用支持基材
３ｂ２  微粘着層
３ｂ３  微粘着性部材用接着層
３ｂ４  微粘着性部材用セパレータ
５      搬送ローラー
１００  クリーニング機能付パネル
【図１】
2010056357.tif 000003
【図２】
2010056357.tif 000004
【図３】
2010056357.tif 000005
【図４】
2010056357.tif 000006
【図５】
2010056357.tif 000007