(57)【要約】【課題】弾性表面波周回路に何も付着させずに弾性表面波伝搬基体を支持体により支持させたり、新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る簡易な構成の球状弾性表面波装置を提供することである。【解決手段】この装置１０は：外表面の円環状の弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられている弾性表面波伝搬基体１２と；上記基体の外表面において上記周回路を除く領域が載置された座部１６ａを含む基体支持体１６と；曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体に載置された上記基体の外表面において基体支持体とは反対側で上記周回路を除いた位置に接触するとともに上記接触する位置の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において上記座部の両側で上記座部から離れた位置に固定された基体弾性保持体１８と；を備える。【選択図】    図１
2010056667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；
弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に設けられ弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；
弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域が載置された基体座部を含む基体支持体と；そして、
曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側で弾性表面波周回路を除いた部分に接触するとともに上記接触する部分の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において基体座部の両側で基体座部から離れた位置に固定された基体弾性保持体と；
を備えたことを特徴とする球状弾性表面波装置。
【請求項２】
基体支持体において基体座部の両側で基体座部から離れた位置には、基体弾性保持体の上記両側の端部が挿入され弾性抵抗に抗して基体弾性保持体の上記両側の端部を係合させる係合凹部が形成されていて、
基体支持体の基体座部に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側で基体弾性保持体が接触する第１の接点と基体弾性保持体の上記両側の端部の夫々が基体支持体の対応する係合凹所に対し最初に接する第２の接点とを結ぶ第１の直線と、第２の接点と基体支持体の基体座部において弾性表面波伝搬基体の外表面が第２の接点の側で接する第３の接点とを結ぶ第２の直線と、がなす角が、７０度以下である、ことを特徴とする請求項１に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項３】
弾性表面波・励起／検知手段は、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側で基体弾性保持体が接触する部分に配置された第１の外部接続端子と、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体の基体座部に載置された部分に配置された第２の外部接続端子と、を備えており、
基体弾性保持体は、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側の第１の外部接続端子と接触する部分と上記両側の端部の少なくとも一方において基体支持体の対応する係合凹所の内表面に接触する部分との間を延出した導電路を備えており、
基体支持体は、基体座部において弾性表面波伝搬基体の外表面の第２の外部接続端子と接触する第１の端子と、基体弾性保持体の上記両側の端部の上記少なくとも一方に対応する係合凹所において基体弾性保持体の導電路と接触する第２の端子と、を備えている、
ことを特徴とする請求項２に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項４】
基体弾性保持体は、導電性を有した材料により形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項５】
基体弾性保持体は、上記両側の端部間を直線状に延びる帯板形状を有しており、
基体弾性保持体において基体支持体の基体座部に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面に対し基体支持体とは反対側で接触する部分が、弾性表面波伝搬基体の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所として構成されている、
ことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項６】
弾性表面波・励起／検知手段は、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側で基体弾性保持体が接触する部分に配置された第１の外部接続端子と、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体の基体座部に載置された部分に配置された第２の外部接続端子と、を備えており、
基体支持体は、基体座部において弾性表面波伝搬基体の外表面の第２の外部接続端子と接触する第１の端子を備えており、
基体弾性保持体は、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側の第１の外部接続端子と接触する部分において弾性表面波伝搬基体の第１の外部接続端子に接触する第２の端子を備えている、
ことを特徴とする請求項１に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項７】
少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；
弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域が載置された基体座部を含む基体支持体と；
曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面に対し基体支持体とは反対側で弾性表面波周回路に接触するとともに上記接触する部分の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において基体座部の両側に基体座部から離れた位置に弾性抵抗に抗して固定された基体弾性保持体と；そして、
基体弾性保持体において上記接触する部分に設けられ、弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；
を備えたことを特徴とする球状弾性表面波装置。
【請求項８】
基体支持体において基体座部の両側で基体座部から離れた位置には、基体弾性保持体の上記両側の端部が挿入され弾性抵抗に抗して基体弾性保持体の上記両側の端部を係合させる係合凹部が形成されていて、
基体支持体の基体座部に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側で基体弾性保持体が接触する第１の接点と基体弾性保持体の上記両側の端部の夫々が基体支持体の対応する係合凹所に対し最初に接する第２の接点とを結ぶ第１の直線と、第２の接点と基体支持体の基体座部において弾性表面波伝搬基体の外表面が第２の接点の側で接する第３の接点とを結ぶ第２の直線と、がなす角が、７０度以下である、ことを特徴とする請求項７に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項９】
弾性表面波・励起／検知手段は、基体弾性保持体の上記両側の端部に向かい延出した第１及び第２の外部接続端子を備えており、
基体支持体は、基体弾性保持体の上記両側の端部に対応する係合凹所において基体弾性保持体の上記両側の端部で第１及び第２の外部接続端子と接触する第１及び第２の端子と、を備えている、
ことを特徴とする請求項８に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１０】
基体弾性保持体は、不導体により形成されている、ことを特徴とする請求項９に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１１】
基体弾性保持体は、上記両側の端部間を直線状に延びる帯板形状を有しており、
基体弾性保持体において基体支持体の基体座部に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面に対し基体支持体とは反対側で接触する部分が、弾性表面波伝搬基体の外表面の対応する部分を受け入れ面接触する凹所として構成されている、
ことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１２】
少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；
弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に設けられ弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；
支持体と；そして、
支持体の所定位置に固定された固定部と、固定部から支持体の一方の側に突出し弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路を除いた領域を弾性表面波伝搬基体の径方向の両側から挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持する１対の保持部と、を含む基体保持体と；
を備えたことを特徴とする球状弾性表面波装置。
【請求項１３】
支持体の上記所定位置には嵌合凹所が形成されていて、
基体保持体は、弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されていて、その中央部が支持体の嵌合凹所に嵌合される固定部を構成し、１対の両側部が固定部から支持体の一方の側に突出し弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路を除いた領域を弾性表面波伝搬基体の径方向の両側から弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持する１対の保持部を構成している、
ことを特徴とする請求項１２に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１４】
弾性表面波・励起／検知手段は、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体保持体の１対の保持部に保持される部分に配置された１対の外部接続端子を備えており、
基体保持体の１対の保持部は弾性表面波・励起／検知手段の１対の外部接続端子に接触する位置と固定部との間を延出した１対の導電路を備えており、
支持体は、基体保持体の固定部において１対の導電路に接触した１対の端子を備えている、
ことを特徴とする請求項１２又は１３に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１５】
基体保持体の１対の保持部において弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路を除いた領域を挟持する部分は、弾性表面波伝搬基体の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所として構成されている、
ことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１６】
少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；
弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に設けられ弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；
支持体と；そして、
弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されていて、１対の両側部が弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域を弾性表面波伝搬基体の径方向の両側から弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持するとともに１対の両側部の端部が弾性力に抗して支持体に固定されている基体弾性保持体と；
を備えたことを特徴とする球状弾性表面波装置。
【請求項１７】
支持体において基体弾性保持体の１対の両側部の端部が固定される位置には、上記１対の両側部の端部が挿入され係止される係止凹所が形成されている、
ことを特徴とする請求項１６に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１８】
弾性表面波・励起／検知手段は、弾性表面波伝搬基体の外表面において基体弾性保持体の１対の両側部に保持される部分に配置された１対の外部接続端子を備えており、
基体弾性保持体の１対の両側部は弾性表面波・励起／検知手段の１対の外部接続端子に接触する部分と端部との間を延出した１対の導電路を備えており、
支持体は、基体弾性保持体の１対の両側部の端部において１対の導電路に接触した１対の端子を備えている、
ことを特徴とする請求項１６又は１７に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項１９】
基体弾性保持体の１対の両側部において弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路を除いた領域を挟持する部分は、弾性表面波伝搬基体の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所として構成されている、
ことを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれか１項に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項２０】
少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；
支持体と；
弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されていて、１対の両側部の一方が弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路に接触し、１対の両側部の他方が弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除く領域を１対の両側部の一方とは弾性表面波伝搬基体の径方向の反対側から当接して１対の両側部の一方とともに弾性表面波伝搬基体を弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持するとともに１対の両側部の端部が弾性力に抗して支持体に固定されている基体弾性保持体と；
１対の両側部の一方に設けられ弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に接触して弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；
を備えたことを特徴とする球状弾性表面波装置。
【請求項２１】
支持体において基体弾性保持体の１対の両側部の端部が固定される位置には、上記１対の両側部の端部が挿入され係止される係止凹所が形成されている、
ことを特徴とする請求項２０に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項２２】
弾性表面波・励起／検知手段は、基体弾性保持体の１対の両側部の両端部に向かい延出した第１及び第２の外部接続端子を備えており、
基体支持体は、基体弾性保持体の１対の両側部の端部に対応する係合凹所において基体弾性保持体の１対の両側部の端部で第１及び第２の外部接続端子と接触する第１及び第２の端子と、を備えている、
ことを特徴とする請求項２０又は２１に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項２３】
基体弾性保持体は、不導体により形成されている、ことを特徴とする請求項２０乃至２２のいずれか１項に記載の球状弾性表面波装置。
【請求項２４】
基体弾性保持体は、１対の両側部の両端部間を直線状に延びる帯板形状を有しており、
基体弾性保持体の１対の両側部の一方において弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に接触する部分は、弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路の対応する部分を受け入れ面接触する凹所として構成されている、
ことを特徴とする請求項２０乃至２３のいずれか１項に記載の球状弾性表面波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、球状弾性表面波装置に関係している。
【背景技術】
【０００２】
少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；そして、弾性表面波伝搬基体の弾性表面波周回路上に又は上記周回路に対向して配置され、弾性表面波周回路に弾性表面波を励起し励起された弾性表面波を上記円環の連続する方向に伝搬させて周回させるとともに、弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知し周回してきた弾性表面波に対応した受信信号を発する弾性表面波・励起／検知手段と、を備えた球状弾性表面波装置は例えば特開２００５−９４６０９号公報（特許文献１）の図１及び図７などにより既に良く知られている。
【０００３】
弾性表面波伝搬基体は、弾性表面波を励起させることが出来ない材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成された基材の上記外表面において少なくとも上記円環状の部分を弾性表面波が励起可能な材料により被覆することにより形成されるか、又は、弾性表面波が励起可能な材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成される。
【０００４】
ここで弾性表面波が励起可能な材料としては通常圧電材料が使用され、弾性表面波伝搬基体の全体を弾性表面波が励起可能な材料を使用して形成する場合には圧電材料として、例えば水晶，ニオブ酸リチウム（LiNbO3）,タンタル酸リチウム（LiTaO3），ランガサイト（La3Ga5SiO14）及びこれらのファミリーの如き圧電性結晶材料が使用される。この場合には、上記少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分は圧電性結晶材料によりそれぞれ定まる所定の結晶面が上記外表面と交差する線上にあり、上記円環状に連続している方向は上記線のほぼ延出方向である。
【０００５】
そして、圧電性結晶材料の弾性表面波伝搬基体は、製造コストや動作する際の周波数を考慮して、通常は略１０ｍｍ〜略１ｍｍの径の球形状にされている。
【０００６】
弾性表面波・励起／検知手段は種々の構成であることが出来、製造コスト、装置の大きさ、変換効率などを考慮して、通常はいわゆるすだれ状電極（櫛形電極とも言われる）が使用される。
【０００７】
すだれ状電極は、様々な形状のものが提案されているが、最も基本的なものは、１対の櫛形状端子部を夫々の複数の櫛歯状電極枝を交互に配置して組み合わせた形状をしていて、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分に例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により直接形成されるか、又は弾性表面波伝搬基体とは別体のすだれ状電極支持部材の表面に圧電性結晶材料の外表面の上記部分と相似形状に形作られた部分球形状凹所の内表面に例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により直接形成された後に弾性表面波伝搬基体の外表面の上記部分に対し所定の隙間（励起する弾性表面波の波長の１／４以下）を介して対向して配置される。
【０００８】
１対の櫛形状端子部の間に所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用することにより複数の櫛歯状電極枝の周期長に対応した波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体の外表面の上記部分に励起させることが出来、励起された弾性表面波の幅は相互に隣接した２つの櫛歯状電極枝において相互に対向している部分の長さに対応している。
【０００９】
また、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部の複数の櫛歯状電極枝が交互に配列された方向が上述した如く励起された弾性表面波の波面が圧電性結晶材料の外表面の上記部分において略進行する方向になる。従って、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記部分にすだれ状電極により弾性表面波を励起させ、この弾性表面波を上記部分において上記部分が円環状に連続する方向に伝搬させるには、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部の複数の櫛歯状電極枝が上記方向に配列されるようにしなければならない。
【００１０】
例えば国際公開ＷＯ  ０１／４５２５５  Ａ１号公報（特許文献２）により知られているように、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記部分の曲率や上記部分の連続する方向（即ち、励起された弾性表面波を伝搬させる方向）と直交する方向における励起する弾性表面波の幅（弾性表面波・励起／検知手段がすだれ状電極の場合にはすだれ状電極の複数の電極枝が相互に対向している部分の長さ）や上記部分に励起する弾性表面波の周波数（弾性表面波・励起／検知手段がすだれ状電極の場合にはすだれ状電極の複数の電極枝の配列周期）などの所定の項目を所定の条件に設定し、上記連続する方向に向かい弾性表面波を励起させることにより、上記励起された弾性表面波を上記外表面の上記部分に沿い上記部分の連続する方向に対し交差する方向に大きく拡散させることなく繰り返し周回させることができる。
【００１１】
球状弾性表面波装置は、弾性表面波伝搬基体の外表面の上記部分（即ち、弾性表面波周回路）に外部環境の変化に感応する感応膜を設け、上記感応膜が接する外部環境、例えばガス濃度、の変化に対応して上記周回路を周回する弾性表面波の伝搬速度や振動エネルギーの減衰率が変化し、ひいては弾性表面波・励起／検知手段からの出力で得られる上記周回路をバースト状の弾性表面波が１周するのに要する時間（位相）や１周する毎に弾性表面波の位相や強度が変化することを利用して、外部環境、例えばガス濃度、の変化を測定することに利用することが出来る。
【００１２】
例えば上記ガス濃度が濃くなれば、この濃度変化に対応した上記感応膜の変化の影響により上記周回路を周回する弾性表面波の周回速度が遅くなり、ひいては上記周回路を弾性表面波が１周するのに要する時間が多くなる。また、これと同じ場合に、１周する毎の弾性表面波に遅延（位相の遅れ）が生じ、そして強度に低下が生じる。
【００１３】
上述した如き環境の変化による、上記周回路を１周する間における弾性表面波の周回速度の変化や、上記周回路を弾性表面波が１周するのに要する時間の変化や、１周する毎の弾性表面波の位相の遅延や、そして強度の低下の夫々は微小であるが、上記周回路を弾性表面波が周回する回数が増加すればするほどこれらの変化は重畳され大きくなる。即ち、上記変化の測定精度が向上する。
【００１４】
従って、球状弾性表面波装置を使用して上述した如く外部環境の変化を測定する場合には、上記周回路を周回する弾性表面波の振動エネルギーの減衰率が上記外部環境の変化以外の要因で低下することは好ましくないことは明らかである。
【特許文献１】特開２００５−９４６０９号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ  ０１／４５２５５  Ａ１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
その為には、上記周回路に何も付着させることなく弾性表面波伝搬基体を支持体により支持させることが重要であり、さらに上述した如く感応膜を使用して外部環境の変化を測定した後には新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体と交換する必要がある。
【００１６】
この発明は上記事情の下で為され、この発明の目的は、弾性表面波周回路に何も付着させることなく弾性表面波伝搬基体を支持体により支持させたり、新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る簡易な構成の球状弾性表面波装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明の１つの概念に従った球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に設けられ弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域が載置された基体座部を含む基体支持体と；そして、曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面において基体支持体とは反対側で弾性表面波周回路を除いた領域に接触するとともに上記接触する部分の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において基体座部の両側で基体座部から離れた位置に固定された基体弾性保持体と；を備えたことを特徴としている。
【００１８】
この発明のもう１つの概念に従った球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域が載置された基体座部を含む基体支持体と；曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体に載置された弾性表面波伝搬基体の外表面に対し基体支持体とは反対側で弾性表面波周回路に接触するとともに上記接触する部分の両側が基体支持体に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部が基体支持体において基体座部の両側に基体座部から離れた位置に弾性抵抗に抗して固定された基体弾性保持体と；そして、基体弾性保持体において上記接触する部分に設けられ、弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；を備えたことを特徴としている。
【００１９】
この発明のさらにもう１つの概念に従った球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に設けられ弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；支持体と；そして、支持体の所定位置に固定された固定部と、固定部から支持体の一方の側に突出し弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路を除いた領域を弾性表面波伝搬基体の径方向の両側から挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持する１対の保持部と、を含む基体保持体と；を備えたことを特徴としている。
【００２０】
この発明のさらにもう１つの概念に従った球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に設けられ弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；支持体と；そして、弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されていて、１対の両側部が弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除いた領域を弾性表面波伝搬基体の径方向の両側から弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持するとともに１対の両側部の端部が弾性力に抗して支持体に固定されている基体弾性保持体と；を備えたことを特徴としている。
【００２１】
この発明のさらにもう１つの概念に従った球状弾性表面波装置は：少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路を外表面に含む弾性表面波伝搬基体と；支持体と；弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されていて、１対の両側部の一方が弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路に接触し、１対の両側部の他方が弾性表面波伝搬基体の外表面において弾性表面波周回路を除く領域を１対の両側部の一方とは弾性表面波伝搬基体の径方向の反対側から当接して１対の両側部の一方とともに弾性表面波伝搬基体を弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体を支持体の一方の側の外方に保持するとともに１対の両側部の端部が弾性力に抗して支持体に固定されている基体弾性保持体と；１対の両側部の一方に設けられ弾性表面波伝搬基体の外表面の弾性表面波周回路に接触して弾性表面波周回路に弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路を周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段と；を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２２】
いずれにしても、この発明の上述した種々の概念に従った球状弾性表面波装置は、弾性表面波伝搬基体を伴った基体弾性保持体の両側の端部を弾性抵抗に抗して基体支持体に固定したり、１対の保持部により弾性表面波伝搬基体を保持した基体保持体の固定部を支持体に固定したり、或いは１対の両側部により弾性表面波伝搬基体を弾性的に挟持した略Ｕ字形状の基体弾性保持体の端部を弾性力に抗して支持体に固定したり、するだけで、簡易な構成でありながら、弾性表面波周回路に何も付着させることなく弾性表面波伝搬基体を支持体により支持させたり、新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
［第１の実施の形態］
最初に、図１乃至図３を参照しながら、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０について説明する。
【００２４】
球状弾性表面波装置１０は、公知の弾性表面波伝搬基体１２を備えている。弾性表面波伝搬基体１２は、弾性表面波を励起させることが出来ない材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成された基材の上記外表面において少なくとも上記円環状の部分を弾性表面波が励起可能な材料により被覆することにより形成されるか、又は、弾性表面波が励起可能な材料を使用して少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分を外表面に含むよう形成される。
【００２５】
この実施の形態において弾性表面波伝搬基体１２は、弾性表面波が励起可能な材料により球形状に形成されていて、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む。
【００２６】
弾性表面波が励起可能な材料としては、例えば水晶，ニオブ酸リチウム（LiNbO3）,タンタル酸リチウム（LiTaO3），ランガサイト（La3Ga5SiO14）及びこれらのファミリーの如き圧電性結晶材料が使用される。この場合には、上記少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されている部分は圧電性結晶材料の結晶材料固有の結晶面が上記外表面と交差する線上にあり、上記円環状に連続している方向は上記線のほぼ延出方向である。例えば、上記材料において通常結晶学的にC軸と呼ばれる結晶面は弾性表面波が周回可能である。
【００２７】
そして、圧電性結晶材料の弾性表面波伝搬基体１２は、製造コストを考慮して、通常は略１０ｍｍ〜略１ｍｍの径の球形状にされるが、この実施の形態に従った弾性表面波伝搬基体１２の径は３．３ｍｍである。
【００２８】
この実施の形態では、弾性表面波伝搬基体１２は球形状の水晶により形成されている。水晶はその結晶軸Ｚ（水晶の場合はＣ軸）を地球の自転軸に見たてた時の赤道に該当する結晶軸Ｚ回りの最大外周線が水晶の結晶面が水晶の球形状の外表面と交差する線となっていて、弾性表面波伝搬経路１２ａは、上記最大外周線に沿い上記外表面を円環状に一周している。この経路を通常Z軸シリンダーと呼ぶ。
【００２９】
弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａには、弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路１２ａを周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられている。
【００３０】
この実施の形態において弾性表面波・励起／検知手段１４は、すだれ状電極により提供されている。すだれ状電極は、図１中に図示されている如く、１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂを夫々の複数の櫛歯状電極枝１４ｃを交互に配置して組み合わせた形状をしており、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂの複数の櫛歯状電極枝１４ｃが交互に配列された方向が弾性表面波周回路１２ａの円環状に延出する方向（この実施の形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝１４ｃの夫々の延出方向が弾性表面波周回路１２ａの円環状に延出する方向（この実施の形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に対し直交するように、弾性表面波周回路１２ａに形成されている。
【００３１】
すだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面に例えば金や銅やアルミニウムのような導電性の高い金属薄膜を直接形成した後に例えばフォトリソグラフィー（写真製版）により成形することにより形成することが出来る。
【００３２】
弾性表面波・励起／検知手段１４は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側に配置された第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅを備えている。この実施の形態では第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅは、前述した如く弾性表面波伝搬基体１２を地球と見立てたときの赤道に該当する弾性表面波周回路１２ａ上のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂから、北極及び南極に対応する弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の位置まで弾性表面波伝搬基体１２の外表面上を延出している。第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅは、すだれ状電極と一体に上述した如く形成されている。
【００３３】
すだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域が支持されている間（即ち、弾性表面波周回路１２ａに何も接触していない間）に、１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂに第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅを介して、弾性表面波・励起／検知手段１４の動作を制御するための公知の動作制御手段に電気的に接続され、上記公知の動作制御手段により１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂの間に所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用されることにより、所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに励起させることが出来る。ここにおいて上記所定の周波数の波長や上記所定の波長は複数の櫛歯状電極枝１４ｃの配列周期に対応している。
【００３４】
すだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに励起させる弾性表面波の幅はすだれ状電極の１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂの複数の櫛歯状電極枝１４ｃが相互に対面する距離（電極幅）である。
【００３５】
弾性表面波周回路１２ａの半径に対し、所定の範囲の幅と所定の波長を有した弾性表面波を励起させれば、弾性表面波周回路１２ａに沿いその延長方向と交差する方向に拡散することなく繰り返し弾性表面波を周回させることが出来ることは前述した特許文献２などにより公知である。
【００３６】
上記公知の動作制御手段は、弾性表面波周回路１２ａを周回する弾性表面波を、弾性表面波周回路１２ａに設けられている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極により検知することができる。
【００３７】
この実施の形態において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに前述した如く形成されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極は、弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させ弾性表面波の周回数を減少させる要因になる。しかしながら、弾性表面波周回路１２ａの延出方向におけるすだれ状電極の全体の長さは弾性表面波周回路１２ａの長さ（赤道長に略等しい）に比べれば遥かに短く、また弾性表面波周回路１２ａの面積に比べるとすだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに対し接触している面積は非常に少ない。従って、弾性表面波周回路１２ａに沿い周回する弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる割り合いは小さく、弾性表面波は所望の測定の為に有意な多重周回を行なうことができる。
【００３８】
球状弾性表面波装置１０はまた、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域が載置された基体座部１６ａを含む基体支持体１６を備えている。この実施の形態において基体支持体１６は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材などにより形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いてもよい。基体座部１６ａは基体支持体１６の一表面に形成された凹所であり、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第２の外部接続端子１４ｅが配置されている南極相当部分と実質的に同じ形状寸法を有している。
【００３９】
なお実質的に同じ寸法形状でない場合は、上記凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の南極相当部分に局所的に接触することで、局所的に強い圧力が上記南極相当部分にある第２の外部接続端子１４ｅに掛かり、その部分の第２の外部接続端子１４ｅが断線する可能性がある。
【００４０】
基体座部１６ａには第１の端子１６ｂが配置されており、第１の端子１６ｂは弾性表面波・励起／検知手段１４の動作を制御するための前述した公知の動作制御手段２０に接続されている。従って、基体支持体１６の基体座部１６ａに弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記南極相当部分が着座された時には、弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第２の外部接続端子１４ｅが基体座部１６ａの第１の端子１６ｂを介して公知の動作制御手段２０に接続されることになる。
【００４１】
球状弾性表面波装置１０はさらに、基体支持体１６の基体座部１６ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２を弾性表面波周回路１２ａに触れることなく基体支持体１６に容易に着脱可能に固定する基体弾性保持体１８を備えている。
【００４２】
基体弾性保持体１８は、曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体１６の基体座部１６ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面において基体支持体１６とは反対側で弾性表面波周回路１２ａを除いた領域に接触するとともに上記接触する部分１８ａの両側が基体支持体１６に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部１８ｂが基体支持体１６において基体座部１６ａの両側で基体座部１６ａから離れた部分に容易に着脱可能に固定されている。
【００４３】
この実施の形態においては、基体支持体１６の基体座部１６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域に対し基体支持体１６とは反対側で基体弾性保持体１８が接触する部分は、弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄが配置されている北極相当部分である。
【００４４】
基体弾性保持体１８において、基体支持体１６の基体座部１６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に接触する部分１８ａは、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の対応する部分である北極相当部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所として構成されている。凹所は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の対応する部分である北極相当部分と実質的に同じ形状寸法を有していて北極相当部分と実質的に面接触することが好ましい。
【００４５】
基体弾性保持体１８は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において基体支持体１６とは反対側の第１の外部接続端子１４ｄと接触する部分１８ａと上記両側の端部１８ｂの少なくとも一方において基体支持体１６に着脱可能に固定される部分との間を延出した導電路１８ｃを備えている。導電路１８ｃは基体弾性保持体１８を導電性の材料により形成することにより提供されることができるし、基体弾性保持体１８を不導電性の材料により形成した場合には不導電性の材料の基体弾性保持体１８の外表面上に上述した如く延出するよう例えば公知の導電性材料を付着させることにより提供することも出来る。
【００４６】
基体支持体１６の前記一表面において、基体座部１６ａの両側で基体座部１６ａから離れて基体弾性保持体１８上記両側の端部１８ｂが着脱可能に固定される部分には、基体弾性保持体１８の上記両側の端部１８ｂの上記少なくとも一方で導電路１８ｃと接触する第２の端子１６ｃが配置されており、第２の端子１６ｃは弾性表面波・励起／検知手段１４の動作を制御するための前述した公知の動作制御手段２０に接続されている。
【００４７】
なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多く、本発明においてもすだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが接続される基体支持体１６の第１及び第２の端子１６ｂ，１６ｃの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【００４８】
従って、基体支持体１６の基体座部１６ａに着座されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記北極相当部分に上記接触する部分１８ａを接触させた基体弾性保持体１８の上記両側の端部１８ｂが基体支持体１６の前記一表面において基体座部１６ａの両側で基体座部１６ａから離れた位置に着脱可能に固定されることにより、弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄが基体弾性保持体１８の導電路１８ｃ及び基体支持体１６の第２の端子１６ｃを介して公知の動作制御手段２０に接続されることになる。
【００４９】
この実施の形態では、基体支持体１６の基体座部１６ａに着座されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記北極相当部分に上記接触する部分１８ａを接触させた基体弾性保持体１８の上記両側の端部１８ｂが着脱可能に固定される、基体支持体１６の前記一表面における基体座部１６ａの両側で基体座部１６ａから離れた位置には、基体弾性保持体１８の上記両側の端部１８ｂが挿入され弾性抵抗に抗して基体弾性保持体１８の上記両側の端部１８ｂを係合させる係合凹部１６ｄが形成されている。この実施の形態では係合凹部１６ｄは、その製造の容易性とそれに対する基体弾性保持体１８の上記両側の端部１８ｂの係合の為の挿入の容易性のために、貫通孔として形成されている。そして、係合凹部１６ｄの貫通孔の内周面において基体弾性保持体１８の上記両側の対応する端部１８ｂが接触して摩擦係合する部分に第２の端子１６ｃが配置されている。
【００５０】
この実施の形態において、基体弾性保持体１８は、図２の（Ａ）及び（Ｂ）中に図示されている如く、導電性を有した材料の一種である厚さ３０ミクロンのステンレス製の板により上述した両側の端部１８ｂ間を直線状に延びる帯板形状を有するよう構成されている。
【００５１】
図２の（Ｂ）は、上述した両側の端部１８ｂを弾性抵抗に抗して押圧される前の基体弾性保持体１８の側面を図示しており、ここにおいては、基体支持体１６の基体座部１６ａに載置されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に接触する部分１８ａである帯板形状の弾性保持体１８の中央部が、前述した如くそこに接触する弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記北極相当部分と実質的に同じ寸法形状を有した凹所として構成されていることも示している。なお実質的に同じ寸法形状でない場合は、上記凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に局所的に接触することで、局所的に強い圧力が上記北極相当部分にある第１の外部接続端子１４ｄに掛かり、その部分の第１の外部接続端子１４ｄが断線する可能性がある。
【００５２】
このような帯板形状の基体弾性保持体１８は、図２の（Ｃ）中に白抜き矢印Ａにより示されている如く、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の南極相当部分を基体支持体１６の基体座部１６ａに着座させ、南極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第２の外部接続端子１４ｅを基体座部１６ａの第１の端子１６ｂに接続させた後に、弾性表面波伝搬基体１２を基体座部１６ａに以下のようにして容易に着脱可能に固定する。
【００５３】
図２の（Ａ）及び（Ｂ）中に図示されている如き帯板形状の基体弾性保持体１８は、基体支持体１６の基体座部１６ａに上述した如く着座されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄの上方で、図２の（Ｃ）中に図示されている如く中央部を中央部支持体ＣＳに支持されている間に両方の端部１８ｂを基体支持体１６に向け１対の押圧部材ＰＭにより弾性抵抗に抗して押圧し略逆Ｕ字形状にされる。
【００５４】
次にそのままの状態で、中央部支持体ＣＳとともに１対の押圧部材ＰＭを下降させ、基体弾性保持体１８の両側の端部１８ｂを、図２の（Ｃ）中に矢印Ｂにより示されている如く、基体支持体１６の基体座部１６ａの両側の係合凹部１６ｄに挿入させる。
【００５５】
次に、基体弾性保持体１８の中央部の接触する部分１８ａの凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄに被せられる直前に中央部支持体ＣＳが上記中央部から離脱され、さらに、基体弾性保持体１８の中央部の接触する部分１８ａの凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄに被せられ線接触又は面接触した後に１対の押圧部材ＰＭが図２の（Ｄ）中に白抜き矢印Ｃにより示されている如く基体弾性保持体１８の両側の端部１８ｂから離間される。その結果として、基体弾性保持体１８の両側の端部１８ｂはその弾性力により図２の（Ｄ）中に矢印Ｄにより示されている如く相互に離間するよう展開し、基体支持体１６の基体座部１６ａの両側の係合凹部１６ｄの内周面に当接し摩擦係合する。この時に、基体弾性保持体１８の両側の端部１８ｂにおいて導電路１８ｃが係合凹部１６ｄの内周面の第２の端子１６ｃに接続される。
【００５６】
上述した如く両側の端部１８ｂを基体支持体１６の基体座部１６ａの両側の係合凹部１６ｄの内周面に当接し摩擦係合させた基体弾性保持体１８は、その弾性力により中央部の接触する部分１８ａの凹所を介して弾性表面波伝搬基体１２の外表面の北極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄを基体支持体１６に向け押圧し、ひいては弾性表面波伝搬基体１２の外表面の南極相当部分に配置されている弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第２の外部接続端子１４ｅを基体支持体１６の基体座部１６ａの第１の端子１６ｂ上に押圧させる。
【００５７】
この結果、基体弾性保持体１８は基体支持体１６の基体座部１６ａ上に弾性表面波伝搬基体１２を容易に着脱可能に固定する。そして、基体弾性保持体１８は簡易な構成でありながら、弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａに何も付着させずに弾性表面波伝搬基体１２を基体支持体１６の基体座部１６ａ上に支持させたり、弾性表面波周回路１２ａに新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体１２と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る。
【００５８】
基体弾性保持体１８の両側の端部１８ｂを基体支持体１６の基体座部１６ａの両側の係合凹部１６ｄの内周面に当接し摩擦係合させておく（即ち、基体弾性保持体１８により基体支持体１６の基体座部１６ａ上に弾性表面波伝搬基体１２を固定させておく）には、図３中に図示されている如く、基体支持体１６の基体座部１６ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面において基体支持体１６とは反対側で基体弾性保持体１８が接触する第１の接点ＦＰと基体弾性保持体１２の両側の端部１８ｂの夫々が基体支持体１６の対応する係合凹所１６ｄに対し最初に接する第２の接点ＳＰとを結ぶ第１の直線ＦＬと、第２の接点ＳＰと基体支持体１６の基体座部１６ａにおいて弾性表面波伝搬基体１２の外表面が第２の接点ＳＰの側で接する第３の接点ＴＰとを結ぶ第２の直線ＳＬと、がなす角αが、９０度以下であればよい。９０度を超えると、力学的観点から、基体支持体１６に気体弾性保持体１８を安定して固定する事が困難となる。しかしながら、上述した摩擦係合による上述した固定を基体弾性保持体１８の両側の端部１８ｂの弾性力を利用して上下方向の振動に対しより確実にするには上記の角αを７０度以下とすることが好ましい。
【００５９】
［第１の実施の形態の変形例］
次に、図４の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０の変形例について説明する。
【００６０】
この変形例に従った球状弾性表面波装置１０´が図１乃至図３を参照しながら前述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０と異なっているのは、基体支持体１６´及び基体弾性保持体１８´の構成と、弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄの為の第２の端子１６´ｃが基体支持体１６´ではなく基体弾性保持体１８´に設けられていることである。
【００６１】
変形例に従った球状弾性表面波装置１０´において第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０の構成部材と同じ構成部材には第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０の対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６２】
変形例に従った球状弾性表面波装置１０´においては、図４の（Ａ）中に図示されている如く、基体支持体１６´が角張ったＵ字形状をしていて、しかもその１対の側壁１６´ｅの延出端部１６´ｆが１対の側壁１６´ｅの延出方向に対し交差する方向に相互に遠ざかるよう折り曲げられている。角張ったＵ字形状の基体支持体１６´の中央部の壁１６´ｇには、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域である弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第２の外部接続端子１４ｅが配置されている部分が載置される基体座部１６ａが設けられている。この変形例でも基体座部１６ａは、そこに載置される弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域である弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第２の外部接続端子１４ｅが配置されている部分と実質的に同じ寸法形状を有した凹所により構成されている。そして、基体座部１６ａには、図１中に図示されている動作制御手段２０に接続される第１の端子１６ｂが配置されている。基体支持体１６´は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材や一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板、により形成されているか又は例えばステンレス材料の如き金属を含む導体を例えばプラスチックの如き不導体により被覆することにより構成されていて、第１の端子１６ｂはそのような基体支持体１６´の表面に公知の端子形成手段により形成されている。
【００６３】
基体支持体１６´の１対の側壁１６´ｅの間の幅は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａの径よりも大きい。従って１対の側壁１６´ｅが基体支持体１６´の中央部の壁１６´ｇの基体座部１６ａに前述した如く載置されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに接することはない。
【００６４】
中央部の壁１６´ｇから延出端部１６´ｆまでの１対の側壁１６´ｅの延出長さは、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の径よりは短い。
【００６５】
基体支持体１６´の中央部の壁１６´ｇの基体座部１６ａの両側に位置する１対の側壁１６´ｅにおいて基体座部１６ａから離れた位置にある延出端部１６´ｆには、曲げに対し弾性抵抗を発揮する板状の基体弾性保持体１８´の両端部が着脱可能に固定されている。この変形例では、延出端部１６´ｆに形成されているスナップ係合爪１６´ｈにより板状の基体弾性保持体１８´の両端部が着脱可能に係合されて挟持されている。このように挟持された基体弾性保持体１８´は基体支持体１６´の１対の側壁１６´ｅの延出端部１６´ｆの間の開口を閉塞している。そしてこの間に、板状の基体弾性保持体１８´の中央部が、基体支持体１６´の基体座部１６ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面において基体支持体１６´の基体座部１６ａとは反対側で弾性表面波周回路１２ａを除いた部分に接触する。また、板状の基体弾性保持体１８´の両端部が基体支持体１６´の１対の側壁１６´ｅの延出端部１６´ｆのスナップ係合爪１６´ｈに係合されているので、基体弾性保持体１８´は上記接触する部分１８ａの両側が基体支持体１６´の基体座部１６ａに向け弾性抵抗に抗して押圧されることになる。この押圧により発生した弾性力により板状の基体弾性保持体１８´の中央部は弾性表面波伝搬基体１２を基体支持体１６´の基体座部１６ａに向け押圧し、弾性表面波伝搬基体１２を基体座部１６ａとの間で弾性的に挟持する。
【００６６】
図４の（Ｂ）中に図示されている如く、基体弾性保持体１８´の中央部において上記接触する部分１８ａは、ここに接触する弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域中で基体支持体１６´の基体座部１６ａとは反対側の部分と実質的に同じ寸法形状を有した凹所により構成されている。
【００６７】
基体弾性保持体１８´の上記接触する部分１８ａに接触する弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記部分には弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１の外部接続端子１４ｄが配置されていて、基体弾性保持体１８´の上記接触する部分１８ａには、図１中に図示されている動作制御手段２０に接続される第２の端子１６´ｃが配置されている。
【００６８】
基体弾性保持体１８´は曲げに対し弾性抵抗を発揮する例えばプラスチックやガラスエポキシ材や一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板の如き不導体により形成されているか又は例えばステンレス材料の如き金属を含む導体を例えばプラスチックの如き不導体により被覆することにより構成されていて、第２の端子１６´ｃはそのような基体弾性保持体１８´の表面に公知の端子形成手段により形成されている。
【００６９】
基体支持体１６´の第１の端子１６ｂ及び基体弾性保持体１８´の第２の端子１６´ｃは、弾性表面波・励起／検知手段１４の動作を制御するための図１を参照しながら前述した公知の動作制御手段２０に接続されている。
【００７０】
なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多く、本発明においてもすだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが接続される基体支持体１６´の第１の端子１６ｂ及び基体弾性保持体１８´の第２の端子１６´ｃの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【００７１】
［第２の実施の形態］
次に、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０について図５の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら説明する。
【００７２】
第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０は、図１乃至図３を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２と同じ弾性表面波伝搬基体１２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体１２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む。とはいうものの、第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０で使用する弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａには、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２では弾性表面波周回路１２ａに設けられていた弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられていない。
【００７３】
第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域が載置された基体座部３２ａを含む基体支持体３２を備えている。基体支持体３２は、不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材などにより形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いてもよい。
【００７４】
基体座部３２ａは弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域が着座される凹所により構成されている。この凹所は、そこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と実質的に同じ寸法形状を有していて、そこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と線接触又は面接触される。
【００７５】
基体座部３２ａの凹所では、そこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の領域に含まれている弾性表面波周回路１２ａに対応する部分３２ｂが削除されている。その結果として基体座部３２ａの凹所には、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域の中の弾性表面波周回路１２ａの両側の部分（即ち、上記外表面において弾性表面波周回路１２ａを含まない領域）が載置されている。
【００７６】
このように基体支持体３２の基体座部３２ａの凹所に載置された弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａは、基体支持体３２において基体座部３２ａの凹所が形成されている一表面に対し直交する方向に向けられ、また上記一表面上で基体座部３２ａを中心とした所定の周方向位置に向けられている。
【００７７】
第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０はさらに、基体支持体３２の基体座部３２ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２を基体支持体３２に対し容易に着脱可能に保持する為の基体弾性保持体３４を備えている。基体弾性保持体３４は、曲げに対し弾性抵抗を発揮し、基体支持体３２の基体座部３２ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対し基体支持体３２とは反対側で弾性表面波周回路１２ａに接触するとともに上記接触する部分３４ａの両側が基体支持体３２に向け弾性抵抗に抗して押圧され、上記両側の端部３４ｂが基体支持体３２において基体座部３２ａの両側に基体座部３２ａから離れた位置に弾性抵抗に抗して着脱可能に固定されている。
【００７８】
基体弾性保持体３４において上記接触する部分３４ａには、弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路１２ａを周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段３６が設けられている。
【００７９】
弾性表面波・励起／検知手段３６は、基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂに向かい延出した第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂを備えている。
【００８０】
基体支持体３２は、基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂが着脱可能に固定される位置に、基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂで第１及び第２の外部接続端子３６ａ、３６ｂと接触する第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄを備えている。第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄは、弾性表面波・励起／検知手段３６の動作を制御する為の公知の動作制御手段２０に接続されている。この公知の動作制御手段２０は、図１乃至図３を参照して上述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４の為に使用されていた公知の動作制御手段２０と同じである。従って、上述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０の場合と同様に、すだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂが接続される基体支持体３２の第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【００８１】
この実施形態において基体弾性保持体３４は弾性を有した不導体、例えば厚さ１００ミクロンのプラスチック、であって図５の（Ａ）中に良く示されている如く上記両側の端部３４ｂ間を直線状に延びる帯板形状に構成されている。そして、この実施の形態では、基体弾性保持体３４の外表面に付着された例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより、弾性表面波・励起／検知手段３６及び第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂを成形している。
【００８２】
基体弾性保持体３４において基体支持体３２の基体座部３２ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対し基体支持体３２の基体座部３２ａとは反対側で接触する部分３４ａが、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の対応する部分を受け入れる凹所として構成されている。この凹所は、そこに接触される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と実質的に同じ寸法形状を有していて、上記領域と面接触する。
【００８３】
基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａがそこに接触される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と面接触されることにより、上記接触する部分３４ａに設けられている弾性表面波・励起／検知手段３６は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域の弾性表面波周回路１２ａに面接触する。
【００８４】
この実施の形態において弾性表面波・励起／検知手段３６は、図１乃至図３を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態の球状弾性表面波装置１０において弾性表面波・励起／検知手段１４を構成していたのと同じすだれ状電極により構成されている。
【００８５】
即ち、１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄを夫々の複数の櫛歯状電極枝３６ｅを交互に配置して組み合わせた形状をしている。
【００８６】
弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極は、基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａが、図５の（Ｂ）中に図示されている如く、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに対し基体支持体３２の基体座部３２ａとは反対側で面接触し基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂが基体支持体３２の基体座部３２ａの両側に固定されたときに、弾性表面波周回路１２ａに対し以下のように配置されるよう基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａに配置されている。
【００８７】
即ち、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄの複数の櫛歯状電極枝３６ｅが交互に配列された方向が弾性表面波周回路１２ａの円環状に延出する方向（この実施の形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝３６ｅの夫々の延出方向が弾性表面波周回路１２ａの円環状に延出する方向（この実施の形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に対し直交することである。
【００８８】
すだれ状電極は、１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄに第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂ、そして基体支持体３２の第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄを介して、弾性表面波・励起／検知手段１４の動作を制御するための公知の動作制御手段２０に電気的に接続され、上記公知の動作制御手段２０により１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄの間に所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用されることにより、所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに励起させることが出来る。ここにおいて上記所定の周波数の波長や上記所定の波長は複数の櫛歯状電極枝３６ｅの配列周期に対応している。
【００８９】
すだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに励起させる弾性表面波の幅はすだれ状電極の１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄの複数の櫛歯状電極枝３６ｅが相互に対面する距離（電極幅）である。
【００９０】
弾性表面波周回路１２ａの半径に対し、所定の範囲の幅と所定の波長を有した弾性表面波を励起させれば、弾性表面波周回路１２ａに沿いその延長方向と交差する方向に拡散することなく繰り返し弾性表面波を周回させることが出来ることは前述した特許文献２などにより公知である。
【００９１】
公知の動作制御手段２０は、弾性表面波周回路１２ａを周回する弾性表面波を、弾性表面波周回路１２ａに接触している弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極により検知することができる。
【００９２】
この実施の形態において、基体弾性保持体３４の中央部の上記接触する部分３４ａの弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに前述した如く面接触するために、弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させ弾性表面波の周回数を減少させる要因になる。しかしながら、弾性表面波周回路１２ａの延出方向におけるすだれ状電極の全体の長さは弾性表面波周回路１２ａの長さ（赤道長に略等しい）に比べれば遥かに短く、また弾性表面波周回路１２ａの面積に比べるとすだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに対し接触している面積は非常に少ない。従って、弾性表面波周回路１２ａに沿い周回する弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる割り合いは小さく、弾性表面波は所望の測定の為に有意な多重周回を行なうことができる。
【００９３】
なお、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が形成されている基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａにおいて、弾性表面波周回路１２ａにはすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝３６ｅ以外の部位が接触しないよう上記部位を複数の櫛歯状電極枝３６ｅよりも窪ませることで弾性表面波周回路１２ａにおける弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる要因をさらに低くすることができる。
【００９４】
この実施の形態において基体弾性保持体３４には不導体を採用していたがその理由は以下の通りである。即ち、基体弾性保持体３４を、表面を不導体膜で被覆した導体で作ると、基体弾性保持体３４の表面に形成された弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極に弾性表面波の励起の為に高周波信号が負荷された時に、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄが、不導体膜で被覆されているとはいうものの薄い不導体膜で被覆されている導体を介し短絡する可能性が大きいからである。
【００９５】
逆にいうと、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄにおける上述した短絡を防止できるのであれば、基体弾性保持体３４を不導体により被覆した弾性を有した例えばステンレスの如き金属により形成することが可能になる。例えば、基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａ（この実施例においては弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が配置される凹所）のみ、またはその近傍まで、上述した短絡を防止できるよう構成された材料により覆う。
【００９６】
基体弾性保持体３４はさらに、曲げに対し必要な弾性抵抗を発揮する限り、より柔軟なプラスチックによって構成されているほうが弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体１２の外表面をより安定して保持することができる。或いは、基体弾性保持体３４の中央部の上記接触する部分３４ａ（即ち、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が配置される凹所）のみに基体弾性保持体３４を構成しているプラスチックよりも柔軟な不導体の膜を形成することによっても弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体１２の外表面をより安定して保持することができる。
【００９７】
この実施の形態では、基体支持体３２の基体座部３２ａに着座されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに対し基体座部３２ａとは反対側に上記接触する部分３４ａを接触させた基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂが着脱可能に固定される、基体支持体３２の前記一表面における基体座部３２ａの両側で基体座部３２ａから離れた位置には、基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂが挿入され弾性抵抗に抗して基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂを係合させる係合凹部３２ｅが形成されている。この実施の形態では係合凹部３２ｅは、その製造の容易性とそれに対する基体弾性保持体３４の上記両側の端部３４ｂの係合の為の挿入の容易性のために、貫通孔として形成されている。そして、係合凹部３２ｅの貫通孔の内周面において基体弾性保持体３４の上記両側の対応する端部３４ｂが接触して摩擦係合する部分に第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄが配置されている。
【００９８】
図５の（Ａ）に示されている如く、上記両側の端部３４ｂを弾性抵抗に抗して押圧される前の直線状に延びている帯板形状の基体弾性保持体３４は、図２の（Ａ）乃至（Ｄ）中に図示されていた第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０の帯板形状の基体弾性保持体１８の両端部１８ｂが基体支持体１６の係合凹部１６ｄに着脱可能に固定されたのと同様にして、基体支持体３２の係合凹部３２ｅに着脱可能に固定される。
【００９９】
即ち、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａを含む領域の弾性表面波周回路１２ａを含まない部分（即ち、弾性表面波周回路１２ａの両側の弾性表面波周回路１２ａを含まない部分）を基体支持体３２の基体座部３２ａに前述した如く着座させた後に、弾性表面波伝搬基体１２を基体座部３２ａに以下のようにして容易に着脱可能に固定する。
【０１００】
図５の（Ａ）中に図示されている如き帯板形状の直線状の基体弾性保持体３４は、基体支持体３２の基体座部３２ａに上述した如く着座されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａにおいて基体座部３２ａとは反対側の部分の上方で、図２の（Ｃ）中に図示されている如く、中央部を中央部支持体ＣＳに支持されている間に両方の端部３４ｂを基体支持体３２に向け１対の押圧部材ＰＭにより弾性抵抗に抗して押圧し略逆Ｕ字形状にされる。
【０１０１】
次にそのままの状態で、中央部支持体ＣＳとともに１対の押圧部材ＰＭを下降させ、基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂを、図２の（Ｃ）中に矢印Ｂにより示されている如く、基体支持体３２の基体座部３２ａの両側の係合凹部３２ｅに挿入させる。
【０１０２】
次に、基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａの凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａにおいて基体座部３２ａとは反対側の部分に被せられる直前に中央部支持体ＣＳが上記中央部から離脱され、さらに、基体弾性保持体３４の中央部の接触する部分３４ａの凹所が弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａにおいて基体座部３２ａとは反対側の部分に被せられ面接触した後に１対の押圧部材ＰＭが図２の（Ｄ）中に白抜き矢印Ｃにより示されている如く基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂから離間される。その結果として、基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂはその弾性力により図２の（Ｄ）中に矢印Ｄにより示されている如く相互に離間するよう展開し、図５の（Ｂ）中に図示されている如く基体支持体３２の基体座部３２ａの両側の係合凹部３２ｅの内周面に当接し摩擦係合する。この時に、基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂで弾性表面波・励起／検知手段１４のすだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂが係合凹部３２ｅの内周面の第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄに接続される。
【０１０３】
上述した如く両側の端部３４ｂを基体支持体３２の基体座部３２ａの両側の係合凹部３２ｅの内周面に当接し摩擦係合させた基体弾性保持体３４は、その弾性力により中央部の接触する部分３４ａの凹所に配置されている弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａにおいて基体座部３２ａとは反対側の部分に押圧して面接触させ、ひいては弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域の弾性表面波周回路１２ａを含まない部分（即ち、弾性表面波周回路１２ａの両側の弾性表面波周回路１２ａを含まない部分）を、基体支持体３２の基体座部３２ａ上に押圧させる。
【０１０４】
この結果、基体弾性保持体３４は基体支持体３２の基体座部３２ａ上に弾性表面波伝搬基体１２を容易に着脱可能に固定する。そして、基体弾性保持体３４は簡易な構成でありながら、弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａに何も付着させずに弾性表面波伝搬基体１２を基体支持体３２の基体座部３２ａ上に支持させたり、弾性表面波周回路１２ａに新たな感応膜を有した弾性表面波伝搬基体１２と交換することを、確実に容易に素早く行うことが出来る。
【０１０５】
基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂを基体支持体３２の基体座部３２ａの両側の係合凹部３２ｅの内周面に当接し摩擦係合させておく（即ち、基体弾性保持体３４により基体支持体３２の基体座部３２ａ上に弾性表面波伝搬基体１２を固定させておく）には、図５の（Ｂ）中に図示されている如く、基体支持体３２の基体座部３２ａに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面において基体支持体３２とは反対側で基体弾性保持体３４の中央部が接触する第１の接点ＦＰと基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂの夫々が基体支持体３２の対応する係合凹所３２ｅに対し最初に接する第２の接点ＳＰとを結ぶ第１の直線ＦＬと、第２の接点ＳＰと基体支持体３２の基体座部３２ａにおいて弾性表面波伝搬基体１２の外表面が第２の接点ＳＰの側で接する第３の接点ＴＰとを結ぶ第２の直線ＳＬと、がなす角αが、９０度以下であればよい。９０度を超えると、力学的観点から、基体支持体３２に基体弾性保持体３４を安定して固定する事が困難となる。しかしながら、上述した摩擦係合による上述した固定を基体弾性保持体３４の両側の端部３４ｂの弾性力を利用して上下方向の振動に対しより確実にするには上記の角αを７０度以下とすることが好ましい。
【０１０６】
［第２の実施の形態の変形例］
次に、図６の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０の変形例について説明する。
【０１０７】
この変形例に従った球状弾性表面波装置３０´が図５の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら前述した第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０と異なっているのは、基体支持体３２´及び基体弾性保持体３４´の構成と、基体弾性保持体３４´に設けられている弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子３６ａの為の第１及び第２の端子３２ｃ，３２ｄが基体支持体３２´に設けられておらず使用されていないことである。
【０１０８】
変形例に従った球状弾性表面波装置３０´において第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０の構成部材と同じ構成部材には第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０の対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１０９】
変形例に従った球状弾性表面波装置３０´においては、図６の（Ａ）中に図示されている如く、基体支持体３２´が角張ったＵ字形状をしていて、しかもその１対の側壁３２´ｆの延出端部３２´ｇが１対の側壁３２´ｆの延出方向に対し交差する方向に相互に遠ざかるよう折り曲げられている。角張ったＵ字形状の基体支持体３２´の中央部の壁３２´ｈには、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含まない領域が載置される基体座部３２´ｉが設けられている。
【０１１０】
基体支持体３２´は、不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成されている。又は、例えばプラスチックの如き不導体で被覆した例えば金属の如き導体により形成することができる。
【０１１１】
基体座部３２´ｉは弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域が着座される凹所により構成されている。この凹所は、そこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と実質的に同じ寸法形状を有していて、そこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と線接触又は面接触される。
【０１１２】
基体座部３２´ｉの凹所にはそこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の領域に含まれている弾性表面波周回路１２ａに対応する部分３２´ｊがさらに凹まされている。その結果として基体座部３２´ｉの凹所には、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域の中の弾性表面波周回路１２ａの両側の部分（即ち、上記外表面において弾性表面波周回路１２ａを含まない領域）が載置されている。
【０１１３】
このように基体支持体３２´の基体座部３２ａの凹所に載置された弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａは、基体支持体３２´の中央部の壁３２´ｈにおいて基体座部３２´ｉの凹所が形成されている一表面に対し直交する方向に向けられ、また上記一表面上で基体座部３２´ｉを中心とした所定の周方向位置に向けられている。
【０１１４】
基体支持体３２´の１対の側壁３２´ｆの間の幅は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の径よりも大きい。従って１対の側壁３２´ｆが基体支持体３２´の中央部の壁３２´ｈの基体座部３２´ｉに前述した如く載置されている弾性表面波伝搬基体１２の外表面に接することはない。
【０１１５】
中央部の壁３２´ｈから延出端部３２´ｇまでの１対の側壁３２´ｆの延出長さは、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の径よりは短い。
【０１１６】
基体支持体３２´の中央部の壁３２´ｈの基体座部３２´ｉの両側に位置する１対の側壁３２´ｆにおいて基体座部３２´ｉから離れた位置にある延出端部３２´ｇには、曲げに対し弾性抵抗を発揮する板状の基体弾性保持体３４´の両端部が着脱可能に固定されている。この変形例では、延出端部３２´ｇに対し板状の基体弾性保持体３４´の両端部が例えば固定螺子や固定ピンを含む公知の容易に着脱可能な固定手段３２´ｋにより着脱可能に固定されている。このように固定された基体弾性保持体３４´は基体支持体３２´の１対の側壁３２´ｆの延出端部３２´ｇの間の開口を閉塞している。そしてこの間に、板状の基体弾性保持体３４´の中央部が、基体支持体３２´の中央部の壁３２´ｈの基体座部３２´ｉに載置された弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａにおいて基体支持体３２´の基体座部３２´ｉとは反対側に接触する。また、板状の基体弾性保持体３４´の両端部が基体支持体３２´の１対の側壁３２´ｆの延出端部３２´ｇに公知の固定手段３２´ｋにより容易に着脱可能に固定されているので、基体弾性保持体３４´は上記接触する部分３４ａの両側が基体支持体３２´の基体座部３２´ｉに向け弾性抵抗に抗して押圧されることになる。
【０１１７】
この押圧により発生した弾性力により板状の基体弾性保持体３４´の中央部は弾性表面波伝搬基体１２を基体支持体３２´の基体座部３２´ｉに向け押圧し、弾性表面波伝搬基体１２を基体座部３２´ｉとの間で弾性的に挟持する。
【０１１８】
図６の（Ｂ）中に図示されている如く、基体弾性保持体３４´の中央部において上記接触する部分３４ａは、ここに接触する弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａにおいて基体支持体３２´の基体座部３２´ｉとは反対側の部分と実質的に同じ寸法形状を有した凹所により構成されている。
【０１１９】
基体弾性保持体３４´の上記接触する部分３４ａには、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が配置されている。基体弾性保持体３４´は曲げに対し弾性抵抗を発揮する例えばプラスチックの如き不導体により構成されていて、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極はそのような基体弾性保持体３４´の表面に公知の端子形成手段により形成されている。基体弾性保持体３４´の表面には、すだれ状電極とともにすだれ状電極の為の第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂが形成されている。この変形例では、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極は、第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂが直接、図５の（Ｂ）中に図示されている動作制御手段２０に接続される。従って、上述した第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置３０の場合と同様に、すだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【０１２０】
なおこの変形例の基体弾性保持体３４´は、図５の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら前述した第２の実施の形態の基体弾性保持体３４に比べ弾性力に抗して押圧され撓む量が小さい。従って、基体弾性保持体３４´を例えばプラスチックの如き不導体で被覆した例えば金属の如き導体により形成し、上記不導体の被覆の上に弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極及び第１及び第２の外部接続端子３６ａ，３６ｂを形成することも出来る。とはいうものの、この場合には、上記不導体の被覆の厚さは、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極に弾性表面波の励起の為に高周波信号が負荷された時に、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄが、不導体膜で被覆されている導体を介し短絡しないだけの十分な厚さを有していなければならない。或いは、基体弾性保持体３４´において１対の櫛形状端子部３６ｃ，３６ｄが配置される部分（この変形例においては弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が配置される凹所３４ａ）のみ、またはその近傍まで、上述した短絡を防止できるよう構成された材料により覆う。
【０１２１】
基体弾性保持体３４´はさらに、曲げに対し必要な弾性抵抗を発揮する限り、より柔軟なプラスチックによって構成されているほうが弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体１２の外表面をより安定して保持することができる。或いは、基体弾性保持体３４´の中央部の上記接触する部分３４ａ（即ち、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が配置される凹所）のみに基体弾性保持体３４´を構成しているプラスチックよりも柔軟な不導体の膜を形成することによっても弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体１２の外表面をより安定して保持することができる。
【０１２２】
さらに、図５の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら前述した第２の実施の形態の場合と同様に、弾性表面波・励起／検知手段３６のすだれ状電極が形成されている基体弾性保持体３４´の中央部の接触する部分３４ａにおいて弾性表面波周回路１２ａにはすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝３６ｅ以外の部位が接触しないよう上記部位を複数の櫛歯状電極枝３６ｅよりも窪ませることで弾性表面波周回路１２ａにおける弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる要因をさらに低くすることができる。
【０１２３】
［第３の実施の形態］
次に、この発明の第３の実施の形態に従った球状弾性表面波装置４０について図７の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら説明する。
【０１２４】
第３の実施の形態に従った球状弾性表面波装置４０は、図１乃至図３を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２と同じ弾性表面波伝搬基体１２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体１２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む。そして、第３の実施の形態に従った球状弾性表面波装置４０で使用する弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａには、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２と同様に弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられている。
【０１２５】
第３の実施の形態に従った球状弾性表面波装置４０は、支持体４２と、弾性表面波伝搬基体１２を支持体４２の一方の側に保持する基体保持体４４と、をさらに備えている。
【０１２６】
この実施の形態において支持体４２は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いてもよい。
【０１２７】
また、この実施の形態において基体保持体４４は、支持体４２の所定位置に固定された固定部４４ａと、固定部４４ａから支持体４２の一方の側に突出し弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を弾性表面波伝搬基体１２の径方向の両側から挟持して弾性表面波伝搬基体１２を支持体４２の一方の側の外方に保持する１対の保持部４４ｂと、を含む。
【０１２８】
この実施の形態において基体保持体４４は、弾性を有した材料、例えばプラスチックなど、により略Ｕ字形状に構成されていて、その中央部が支持体４２の所定位置に固定される固定部４４ａを構成し、１対の両側部が固定部４４ａから支持体４２の一方の側に突出し弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を弾性表面波伝搬基体１２の径方向の両側から弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体１２を支持体４２の一方の側の外方に保持する１対の保持部４４ｂを構成している。
【０１２９】
この実施の形態において基体保持体４４の１対の保持部４４ｂは、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分を上記径方向の両側から弾性的に挟持しており、上記正反対の部分には弾性表面波・励起／検知手段１４の１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂの１対の第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが配置されている。
【０１３０】
基体保持体４４の１対の保持部４４ｂは、弾性表面波・励起／検知手段１４の第１及び第２の外部接続端子１４ａ，１４ｂに接触する位置と固定部４４ａとの間を延出した１対の導電路４４ｃ，４４ｄを備えている。
【０１３１】
基体保持体４４が例えばプラスチックの如き不導体により構成されている場合には、１対の導電路４４ｃ，４４ｄは例えば金や銅やアルミニウムの如き導体を基体保持体４４の表面に付着させることにより構成される。
【０１３２】
支持体４２は、基体保持体４４の固定部４４ａにおいて１対の導電路４４ｃ，４４ｄに接触した１対の端子４２ａ，４２ｂを備えている。１対の端子４２ａ，４２ｂは、図１乃至図３を参照して上述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４の為に使用されていた公知の動作制御手段２０と同じ公知の動作制御手段２０に接続されている。
【０１３３】
なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多く、本発明においてもすだれ状電極の１対の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが接続される基体支持体４２の第１及び第２の端子４２ａ，４２ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【０１３４】
基体保持体４４の１対の保持部４４ｂにおいて弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を挟持する部分は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所４４ｅとして構成されている。
【０１３５】
この実施の形態において、基体保持体４４の固定部４４ａが固定される支持体４２の所定位置には嵌合凹所４２ｃが形成されていて、弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されている基体保持体４４の中央部の固定部４４ａが支持体４２の所定位置の嵌合凹所４２ｃに嵌合されることにより容易に着脱可能に固定されている。
【０１３６】
支持体４２の１対の端子４２ａ，４２ｂは嵌合凹所４２ｃの内周面に配置されていて、基体保持体４４の中央部の固定部４４ａが嵌合凹所４２ｃに嵌合されることにより基体保持体４４の固定部４４ａで基体保持体４４の１対の導電路４４ｃ，４４ｄに接触する。
【０１３７】
この実施の形態では、基体保持体４４の１対の保持部４４ｂを弾性に抗して相互に離間させることにより１対の保持部４４ｂの間に弾性表面波伝搬基体１２を容易に挿脱させることが出来、基体保持体４４の相互に離間された１対の保持部４４ｂの間に弾性表面波伝搬基体１２を挿入している間に１対の保持部４４ｂを弾性により相互に接近させることにより、図７の（Ｂ）中に図示されている如く、支持体４２の一方の側の外方に１対の保持部４４ｂにより弾性表面波伝搬基体１２を容易に保持することができる。
【０１３８】
この時には、基体保持体４４の１対の保持部４４ｂの凹所４４ｅが、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側に位置する弾性表面波・励起／検知手段１４の１対の外部接続端子１４ａ，１４ｂを受け入れ線接触又は面接触する。この結果、弾性表面波・励起／検知手段１４の１対の外部接続端子１４ｄ，１４ｅは、凹所４４ｅに配置されている導電路４４ｃ，４４ｄ及び導電路４４ｃ，４４ｄと支持体４２において接続されている第１及び第２の端子４２ａ，４２ｂを介して動作制御手段２０に接続される。また、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａは、なにものにも接触しない。
【０１３９】
なお基体保持体４４の１対の保持部４４ｂの凹所４４ｅが、そこに受け入れる弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分と実質的に同じ寸法形状であることが好ましい。その理由は、１対の保持部４４ｂの凹所４４ｅが、そこに受け入れる弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分と実質的に同じ寸法形状でない場合には、上記正反対の部分に局所的に接触することで、局所的に強い圧力が上記正反対の部分にある弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４の１対の外部接続端子１４ｄ，１４ｅに掛かり、その部分の１対の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが断線する可能性があるからである。
【０１４０】
［第４の実施の形態］
次に、この発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波装置５０について図８の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら説明する。
【０１４１】
第４の実施の形態に従った球状弾性表面波装置５０は、図１乃至図３を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２と同じ弾性表面波伝搬基体１２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体１２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む。そして、第４の実施の形態に従った球状弾性表面波装置５０で使用する弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａには、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２と同様に弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられている。
【０１４２】
第４の実施の形態に従った球状弾性表面波装置５０は、支持体５２と、弾性表面波伝搬基体１２を支持体５２の一方の側に保持する基体保持体５４と、をさらに備えている。
【０１４３】
この実施の形態において支持体５２は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いてもよい。
【０１４４】
この実施の形態において基体弾性保持体５４は、弾性を有した材料、例えばプラスチックなどにより略Ｕ字形状の帯板として構成されていて、１対の両側部５４ａが弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を弾性表面波伝搬基体１２の径方向の両側から弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体１２を支持体５２の一方の側の外方に保持するとともに１対の両側部５４ａの端部５４ｂが弾性力に抗して支持体５２に容易に着脱可能に固定されている。
【０１４５】
この実施の形態において基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａは、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分を上記径方向の両側から弾性的に挟持しており、上記正反対の部分には弾性表面波・励起／検知手段１４の１対の櫛形状端子部１４ａ，１４ｂの１対の第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが配置されている。
【０１４６】
基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａは、弾性表面波・励起／検知手段１４の第１及び第２の外部接続端子１４ａ，１４ｂに接触する位置と端部５４ｂとの間を延出した１対の導電路５４ｃ，５４ｄを備えている。
【０１４７】
基体弾性保持体５４が例えばプラスチックの如き不導体により構成されている場合には、１対の導電路５４ｃ，５４ｄは、例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより、基体保持体５４の表面に成形される。
【０１４８】
支持体５２は、基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの端部５４ｂが容易に着脱可能に固定される位置に、１対の両側部５４ａの１対の導電路５４ｃ，５４ｄに接触した１対の端子５２ａ，５２ｂを備えている。１対の端子５２ａ，５２ｂは、図１乃至図３を参照して上述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４の為に使用されていた公知の動作制御手段２０と同じ公知の動作制御手段２０に接続されている。
【０１４９】
なお、通常の電子回路では１対の電極の一方はグランド側電極とされる事が多く、本発明においてもすだれ状電極の１対の外部接続端子１４ｄ，１４ｅが接続される支持体５２の１対の端子５２ａ，５２ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【０１５０】
基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａにおいて弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａを除いた領域を挟持する部分は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の対応する部分を受け入れ線接触又は面接触する凹所５４ｅとして構成されている。
【０１５１】
なお基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの凹所５４ｅが、そこに受け入れる弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域（この実施の形態では、弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分）と実質的に同じ寸法形状であることが好ましい。その理由は、１対の両側部５４ａの凹所４４ｅが、そこに受け入れる弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域（この実施の形態では、弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分）と実質的に同じ寸法形状でない場合には、１対の両側部５４ａの凹所４４ｅに受け入れられる弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域（この実施の形態では、弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波伝搬基体１２の径方向の正反対の部分）に局所的に接触することで、局所的に強い圧力が上記領域（この実施の形態では上記正反対の部分）にある弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４の第１及び第２の外部接続端子１４ｄ，１４ｅに掛かり、その部分の第１及び第２外部接続端子１４ｄ，１４ｅが断線する可能性があるからである。
【０１５２】
この実施の形態において、基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの端部５４ｂが固定される支持体５２の所定位置には係止凹所５２ｃが形成されていて、弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されている基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの端部５４ｂが支持体５２の所定位置の係止凹所５２ｃに弾性力に抗して係止されることにより容易に着脱可能に固定されている。
【０１５３】
支持体５２の１対の端子５２ａ，５２ｂは係止凹所５２ｃの内周面に配置されていて、基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの端部５４ｂが係止凹所５２ｃに弾性力に抗して係止されることにより基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの端部５４ｂで基体弾性保持体５４の１対の導電路５４ｃ，５４ｄに接触する。
【０１５４】
この実施の形態では、基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの端部５４ｂを弾性に抗して相互に接近させることにより１対の両側部５４ａの端部５４ｂを支持体５２の所定位置の係止凹所５２ｃから引き抜くことが出来、その後に１対の両側部５４ａの端部５４ｂを弾性により相互に遠ざけることにより１対の両側部５４ａの間に弾性表面波伝搬基体１２を容易に挿脱させることが出来る。基体弾性保持体５４の相互に離間された１対の両側部５４ａの凹所５４ｅの間に弾性表面波伝搬基体１２を挿入している間に１対の両側部５４ａの端部５４ｂを弾性に抗して相互に接近させ、この状態で１対の両側部５４ａの端部５４ｂを支持体５２の所定位置の係止凹所５２ｃに挿入し、さらに１対の両側部５４ａの端部５４ｂを弾性により相互に遠ざけて１対の両側部５４ａの端部５４ｂを支持体５２の所定位置の係止凹所５２ｃに係止させることにより、図８の（Ｂ）中に図示されている如く、支持体５２の一方の側の外方に基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの凹所５４ｅにより弾性表面波伝搬基体１２を容易に保持することができる。
【０１５５】
この時には、基体弾性保持体５４の１対の両側部５４ａの凹所５４ｅが、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａの両側に位置する弾性表面波・励起／検知手段１４の第１及び第２の外部接続端子１４ａ，１４ｂを受け入れ線接触又は面接触する。この結果、弾性表面波・励起／検知手段１４の第１及び第２の外部接続端子１４ａ，１４ｂは、凹所５４ｅに配置されている導電路５４ｃ，５４ｄ及び導電路５４ｃ，５４ｄと支持体５２において接続されている１対の端子５２ａ，５２ｂを介して動作制御手段２０に接続される。また、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａは、なにものにも接触しない。
【０１５６】
［第５の実施の形態］
次に、この発明の第５の実施の形態に従った球状弾性表面波装置６０について図９の（Ａ）及び（Ｂ）を参照しながら説明する。
【０１５７】
第５の実施の形態に従った球状弾性表面波装置６０は、図１乃至図３を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２と同じ弾性表面波伝搬基体１２を使用している。即ち、弾性表面波伝搬基体１２は、少なくとも球形状の一部により円環状に連続して構成されており弾性表面波が励起可能で励起された弾性表面波が上記円環の連続する方向に伝搬し周回可能な弾性表面波周回路１２ａを外表面に含む。とはいうものの、第５の実施の形態に従った球状弾性表面波装置６０で使用する弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａには、第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において使用されていた弾性表面波伝搬基体１２では弾性表面波周回路１２ａに設けられていた弾性表面波・励起／検知手段１４が設けられていない。
【０１５８】
第５の実施の形態に従った球状弾性表面波装置６０は、支持体６２と、弾性表面波伝搬基体１２を支持体６２の一方の側に保持する基体弾性保持体６４と、をさらに備えている。
【０１５９】
この実施の形態において支持体６２は不導体、例えばプラスチックやガラスエポキシ材など、により形成され、一般にプリント配線板と呼ばれている配線基板を用いてもよい。
【０１６０】
この実施の形態において基体弾性保持体６４は、例えばプラスチックなどの弾性を有した不導体により略Ｕ字形状の帯板として構成されていて、１対の両側部６４ａの一方が弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａに接触し、１対の両側部６４ａの他方が弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除く領域を１対の両側部６４ａの一方とは弾性表面波伝搬基体１２の径方向の反対側から当接して１対の両側部６４ａの一方とともに弾性表面波伝搬基体１２を弾性的に挟持して弾性表面波伝搬基体１２を支持体６２の一方の側の外方に保持するとともに１対の両側部６４ａの端部６４ｂが弾性力に抗して支持体６２に容易に着脱可能に固定されている。
【０１６１】
１対の両側部６４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域が接触される部分は、そこに着座される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と実質的に同じ寸法形状を有している凹所６４ｃとして構成されていて、そこに接触される弾性表面波伝搬基体１２の外表面の上記領域と面接触される。
【０１６２】
１対の両側部６４ａの他方において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除く領域に接触される部分は、弾性表面波周回路１２ａの両側で弾性表面波周回路１２ａから離れた位置（即ち、上記外表面において弾性表面波周回路１２ａを含まない領域）に接触し弾性表面波周回路１２ａを跨ぐ橋状部６４ｄとして構成されている。
【０１６３】
基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域が接触される部分（この実施の形態では、上記領域が面接触される凹所６４ｃの内表面）には、弾性表面波周回路１２ａに弾性表面波を励起させ周回させるとともに弾性表面波周回路１２ａを周回してきた弾性表面波を検知する弾性表面波・励起／検知手段６６が設けられている。
【０１６４】
弾性表面波・励起／検知手段６６は、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂに向かい延出した第１及び第２の外部接続端子６６ａ，６６ｂを備えている。
【０１６５】
基体弾性保持体６４が例えばプラスチックの如き不導体により構成されている場合には、弾性表面波・励起／検知手段６６及び第１及び第２の外部接続端子６６ａ，６６ｂは、例えば金や銅やアルミニウムの如き良導電性の金属薄膜を例えばフォトリソグラフィー（写真製版）することにより、基体弾性保持体６４の表面に成形される。
【０１６６】
基体支持体６２は、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂが着脱可能に固定される位置に、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂで第１及び第２の外部接続端子６６ａ、６６ｂと接触する第１及び第２の端子６２ａ，６２ｂを備えている。第１及び第２の端子６２ａ，６２ｂは、弾性表面波・励起／検知手段６６の動作を制御する為の公知の動作制御手段２０に接続されている。この公知の動作制御手段２０は、図１乃至図３を参照して上述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０において弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波・励起／検知手段１４の為に使用されていた公知の動作制御手段２０と同じである。
【０１６７】
従って、上述した第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置１０の場合と同様に、すだれ状電極の第１及び第２の外部接続端子６６ａ，６６ｂが接続される基体支持体６２の第１及び第２の端子６２ａ，６２ｂの一方がグランド接続されていても全く問題がなく、かえって雑音防止のために好ましい。
【０１６８】
この実施の形態において弾性表面波・励起／検知手段６６は、図１乃至図３を参照しながら前述したこの発明の第１の実施の形態の球状弾性表面波装置１０において弾性表面波・励起／検知手段１４を構成していたのと同じすだれ状電極により構成されている。
【０１６９】
即ち、１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄを夫々の複数の櫛歯状電極枝６６ｅを交互に配置して組み合わせた形状をしている。
【０１７０】
弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極は、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域に接触される部分（この実施の形態では、上記領域が面接触される凹所６４ｃ）が、図９の（Ｂ）中に図示されている如く、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに対し面接触されるとともに基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの他方の橋状部６４ｄが弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除く領域に接触され、さらに、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂが基体支持体６２に着脱可能に固定されたときに、弾性表面波周回路１２ａに対し以下のように配置されるよう基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域に接触される部分（この実施の形態では、上記領域が面接触される凹所６４ｃ）に配置されている。
【０１７１】
即ち、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの複数の櫛歯状電極枝６６ｅが交互に配列された方向が弾性表面波周回路１２ａの円環状に延出する方向（この実施の形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に一致し、好ましくは複数の櫛歯状電極枝６６ｅの夫々の延出方向が弾性表面波周回路１２ａの円環状に延出する方向（この実施の形態では、水晶による弾性表面波伝搬基体１２の外表面において水晶の結晶軸Ｚ回りの結晶面が上記外表面と交差する円環状の線に沿った方向）に対し直交することである。
【０１７２】
すだれ状電極は、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方において、弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを含む領域に接触される部分（この実施の形態では、上記領域が面接触される凹所６４ｃ）が、図９の（Ｂ）中に図示されている如く、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに対し面接触されるとともに基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの他方の橋状部６４ｄが弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除く領域に接触され、さらに、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂが基体支持体６２に着脱可能に固定されている間（即ち、弾性表面波周回路１２ａに何も接触していない間）に、１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄに第１及び第２の外部接続端子６６ａ，６６ｂ、そして基体支持体６２の第１及び第２の端子６２ａ，６２ｂを介して、弾性表面波・励起／検知手段６６の動作を制御するための公知の動作制御手段２０に電気的に接続され、上記公知の動作制御手段２０により１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの間に所定の周波数の高周波信号をバースト状に適用されることにより、所定の波長の弾性表面波を弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに励起させることが出来る。ここにおいて上記所定の周波数の波長や上記所定の波長は複数の櫛歯状電極枝６６ｅの配列周期に対応している。
【０１７３】
すだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに励起させる弾性表面波の幅はすだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄの複数の櫛歯状電極枝６６ｅが相互に対面する距離（電極幅）である。
【０１７４】
弾性表面波周回路１２ａの半径に対し、所定の範囲の幅と所定の波長を有した弾性表面波を励起させれば、弾性表面波周回路１２ａに沿いその延長方向と交差する方向に拡散することなく繰り返し弾性表面波を周回させることが出来ることは前述した特許文献２などにより公知である。
【０１７５】
公知の動作制御手段２０は、弾性表面波周回路１２ａを周回する弾性表面波を、弾性表面波周回路１２ａに接触している弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極により検知することができる。
【０１７６】
この実施の形態において、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方の凹所６４ｃの弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極は、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに前述した如く面接触するために、弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させ弾性表面波の周回数を減少させる要因になる。しかしながら、弾性表面波周回路１２ａの延出方向におけるすだれ状電極の全体の長さは弾性表面波周回路１２ａの長さ（赤道長に略等しい）に比べれば遥かに短く、また弾性表面波周回路１２ａの面積に比べるとすだれ状電極が弾性表面波周回路１２ａに対し接触している面積は非常に少ない。従って、弾性表面波周回路１２ａに沿い周回する弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる割り合いは小さく、弾性表面波は所望の測定の為に有意な多重周回を行なうことができる。
【０１７７】
なお、弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極が形成されている基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方の凹所６４ｃにおいて、弾性表面波周回路１２ａにはすだれ状電極の複数の櫛歯状電極枝６６ｅ以外の部位が接触しないよう上記部位を複数の櫛歯状電極枝６６ｅよりも窪ませることで弾性表面波周回路１２ａにおける弾性表面波の伝搬エネルギーを減衰させる要因をさらに低くすることができる。
【０１７８】
この実施の形態において基体弾性保持体６４には不導体を採用していたがその理由は以下の通りである。即ち、基体弾性保持体６４を、表面を不導体膜で被覆した導体で作ると、基体弾性保持体６４の表面に形成された弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極に弾性表面波の励起の為に高周波信号が負荷された時に、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄが、不導体膜で被覆されているとはいうものの薄い不導体膜で被覆されている導体を介し短絡する可能性が大きいからである。
【０１７９】
逆にいうと、すだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄにおける上述した短絡を防止できるのであれば、基体弾性保持体６４を不導体により被覆した弾性を有した例えばステンレスの如き金属により形成することが可能になる。例えば、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方において弾性表面波・励起／検知手段６６が形成される部分、この実施例においては凹所６４ｃ、のみ、またはその近傍まで、上述した短絡を防止できるよう構成された材料により覆う。
【０１８０】
基体弾性保持体６４はさらに、曲げに対し必要な弾性抵抗を発揮する限り、より柔軟なプラスチックによって構成されているほうが弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体１２の外表面をより安定して保持することができる。或いは、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方において弾性表面波伝搬基体１２の弾性表面波周回路１２ａに接触する部分（即ち、弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極が配置される凹所６４ｃ）のみに基体弾性保持体６４を構成しているプラスチックよりも柔軟な不導体の膜を形成することによっても弾性表面波伝搬基体１２の外表面に対する密着度が増し弾性表面波伝搬基体１２の外表面をより安定して保持することができる。
【０１８１】
この実施の形態において、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂが着脱可能に固定される支持体６２の所定位置には係止凹所６２ｃが形成されていて、弾性を有した材料により略Ｕ字形状に構成されている基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂが支持体６２の所定位置の係止凹所６２ｃに弾性力に抗して係止されることにより容易に着脱可能に固定されている。
【０１８２】
支持体６２の１対の端子６２ａ，６２ｂは係止凹所６２ｃの内周面に配置されていて、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂが係止凹所６２ｃに弾性力に抗して係止されることにより基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂで基体弾性保持体６４の第１及び第２の外部接続端子６６ａ，６６ｂに接触する。
【０１８３】
この実施の形態では、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの端部６４ｂを弾性に抗して相互に接近させることにより１対の両側部６４ａの端部６４ｂを支持体６２の所定位置の係止凹所６２ｃから引き抜くことが出来、その後に１対の両側部６４ａの端部６４ｂを弾性により相互に遠ざけることにより１対の両側部６４ａの間に弾性表面波伝搬基体１２を容易に挿脱させることが出来る。基体弾性保持体６４の相互に離間された１対の両側部６４ａの一方の凹所６４ｃと他方の橋状部６４ｄとの間に弾性表面波伝搬基体１２を挿入している間に１対の両側部６４ａの端部６４ｂを弾性に抗して相互に接近させ、この状態で１対の両側部６４ａの端部６４ｂを支持体６２の所定位置の係止凹所６２ｃに挿入し、さらに１対の両側部６４ａの端部６４ｂを弾性により相互に遠ざけて１対の両側部６４ａの端部６４ｂを支持体６２の所定位置の係止凹所６２ｃに係止させることにより、図９の（Ｂ）中に図示されている如く、支持体６２の一方の側の外方に基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａにより弾性表面波伝搬基体１２を容易に保持することができる。
【０１８４】
この時には、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａの一方の凹所６４ｅに設けられている弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄが、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａに面接触し、１対の両側部６４ａの他方の橋状部６４ｄが弾性表面波伝搬基体１２の外表面において弾性表面波周回路１２ａを除いた領域である弾性表面波周回路１２ａの両側に接触する。この結果、弾性表面波・励起／検知手段６６のすだれ状電極の１対の櫛形状端子部６６ｃ，６６ｄは、基体弾性保持体６４の１対の両側部６４ａに設けられている第１及び第２の外部接続端子６６ａ，６６ｂが支持体６２において接続されている第１及び第２の端子６２ａ，６２ｂを介して動作制御手段２０に接続される。また、弾性表面波伝搬基体１２の外表面の弾性表面波周回路１２ａは、なにものにも接触しない。
【図面の簡単な説明】
【０１８５】
【図１】図１は、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置の概略的な縦断面図である。
【図２】図２の（Ａ）は、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な斜視図であり；  図２の（Ｂ）は、図２の（Ａ）の基体弾性保持体及びそれにより基体支持体に支持される弾性表面波伝搬基体を示す概略的な側面図であり；  図２の（Ｃ）は、図２の（Ｂ）の基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部が基体支持体に固定される途中の様子を示す概略的な縦断面図であり；そして、  図２の（Ｄ）は、図２の（Ｂ）の基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部が基体支持体に固定される直前の様子を示す概略的な縦断面図である。
【図３】図３は、図２の（Ｂ）の基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部が基体支持体に固定された後の、基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体の外表面と接する第１の接点と基体弾性保持体の両側の端部の夫々が基体支持体の係止凹所に最初に接する第２の接点とを結ぶ第１の直線と、第２の接点と基体支持体の基体座部に弾性表面波伝搬基体の外表面が第２の接点の側で接する第３の接点とを結ぶ第２の直線と、が成す角を概略的に示す縦断面図である。
【図４】図４の（Ａ）は、この発明の第１の実施の形態に従った球状弾性表面波装置の変形例の概略的な斜視図であり；そして、  図４の（Ｂ）は、図４の（Ａ）の変形例の基体弾性保持体の概略的な正面図である。
【図５】図５の（Ａ）は、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な裏面図であり；そして、  図５の（Ｂ）は、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において図５の（Ａ）の基体弾性保持体が弾性表面波伝搬基体を伴って弾性表面波伝搬基体の両側に位置している端部が基体支持体に固定された様子を概略的に示す縦断面図である。
【図６】図６の（Ａ）は、この発明の第２の実施の形態に従った球状弾性表面波装置の変形例の概略的な斜視図であり；そして、  図６の（Ｂ）は、図６の（Ａ）の変形例の基体弾性保持体の概略的な正面図である。
【図７】図７の（Ａ）は、この発明の第３の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体保持体の概略的な裏面図であり；そして、  図７の（Ｂ）は、この発明の第３の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において図７の（Ａ）の基体保持体が略Ｕ字形状に湾曲された後に１対の両側部で弾性表面波伝搬基体を挟持している間に１対の両側部の間の固定部が支持体に固定されている様子を概略的に示す縦断面図である。
【図８】図８の（Ａ）は、この発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な裏面図であり；そして、  図８の（Ｂ）は、この発明の第４の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において図８の（Ａ）の基体弾性保持体が略Ｕ字形状に湾曲された後に１対の両側部が弾性表面波伝搬基体を挟持している間に１対の両側部の端部が支持体に固定された様子を概略的に示す縦断面図である。
【図９】図９の（Ａ）は、この発明の第５の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において使用される帯板形状の基体弾性保持体の概略的な裏面図であり；そして、  図９の（Ｂ）は、この発明の第５の実施の形態に従った球状弾性表面波装置において図９の（Ａ）の基体弾性保持体が略Ｕ字形状に湾曲された後に１対の両側部が弾性表面波伝搬基体を挟持している間に１対の両側部の端部が支持体に固定された様子を概略的に示す縦断面図である。
【符号の説明】
【０１８６】
１０…球状弾性表面波装置、１２…弾性表面波伝搬基体、１２ａ…弾性表面波周回路、１４…弾性表面波・励起／検知手段、１４ａ，１４ｂ…櫛形状端子部、１４ｃ…櫛歯状電極枝、１４ｄ…第１の外部接続端子、１４ｅ…第２の外部接続端子、１６…基体支持体、１６ａ…基体座部、１６ｂ…第１の端子、１６ｃ…第２の端子、１６ｄ…係合凹部、１８…基体弾性保持体、１８ａ…接触する部分、１８ｂ…両側の端部、１８ｃ…導電路、２０…動作制御手段、ＣＳ…中央部支持体、ＰＭ…押圧部材、ＦＰ…第１の接点、ＳＰ…第２の接点、ＦＬ…第１の直線、ＴＰ…第３の接点、ＳＬ…第２の直線、
１０´…球状弾性表面波装置、１６´…基体支持体、１６´ｃ…第２の端子、１６´ｅ…側壁、１６´ｆ…延出端部、１６´ｇ…中央部の壁、１６´ｈ…スナップ係合爪、１８´…基体弾性保持体、
３０…球状弾性表面波装置、３２…基体支持体、３２ａ…基体座部、３２ｂ…対応する部分、３２ｃ…第１の端子、３２ｄ…第２の端子、３２ｅ…係合凹部、３４…基体弾性保持体、３４ａ…接触する部分、３４ｂ…両側の端部、３６…弾性表面波・励起／検知手段、３６ａ…第１の外部接続端子、３６ｂ…第２の外部接続端子、３６ｃ，３６ｄ…櫛形状端子部、３６ｅ…櫛歯状電極枝、
３０´…球状弾性表面波装置、３２´…基体支持体、３２´ｆ…側壁、３２´ｇ…延出端部、３２´ｈ…中央部の壁、３２´ｉ…基体座部、３２´ｊ…対応する部分、３２´ｋ…固定手段、３４´…基体弾性保持体、
４０…球状弾性表面波装置、４２…支持体、４２ａ，４２ｂ…端子、４２ｃ…嵌合凹所、４４…基体保持体、４４ａ…固定部、４４ｂ…保持部、４４ｃ，４４ｄ…導電路、４４ｅ…凹所、
５０…球状弾性表面波装置、５２…支持体、５２ａ，５２ｂ…端子、５２ｃ…係止凹所、５４…基体弾性保持体、５４ａ…両側部、５４ｂ…端部、５４ｃ，５４ｄ…導電路、５４ｅ…凹所、
６０…球状弾性表面波装置、６２…支持体、６２ａ…第２の端子、６２ｂ…第２の端子、６２ｃ…係止凹所、６４…基体弾性保持体、６４ａ…両側部、６４ｂ…端部、６４ｃ…凹所、６４ｄ…橋状部、６６…弾性表面波・励起／検知手段、６６ａ…第１の外部接続端子、６６ｂ…第２の外部接続端子、６６ｃ，６６ｄ…櫛形状端子部、６６ｅ…櫛歯状電極枝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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