(57)【要約】【課題】基板フィルムの両面及び片面への蒸着を行なうことができ、装置の大型化及び複雑化を回避できる蒸着装置を提供する。【解決手段】基板フィルムに蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、搬送された基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部と、第１駆動部と第２駆動部との間で搬送される基板フィルムの搬送経路に設けられ、基板フィルムの一方の面を周面に支持する複数の成膜ローラと、基板フィルムの成膜ローラに支持された面の反対側の面に蒸着膜を成膜する複数の蒸着部と、第１の駆動部及び第２の駆動部の一方と切り換えられて駆動する第３の駆動部とを備え、第３の駆動部への切り換えの有無によって基板フィルムの両面又は片面に蒸着が行われるように搬送経路が変更される。【選択図】図１
2010236076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板フィルムに蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、
前記基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、
搬送された前記基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部と、
前記第１駆動部と前記第２駆動部との間で搬送される前記基板フィルムの搬送経路に設けられ、前記基板フィルムの一方の面を周面に支持する複数の成膜ローラと、
前記基板フィルムの前記成膜ローラに支持された面の反対側の面に前記蒸着膜を成膜する複数の蒸着部と、
前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部の一方と切り換えられて駆動する第３の駆動部とを備え、前記第３の駆動部への切り換えの有無によって前記基板フィルムの両面又は片面に蒸着が行われるように搬送経路が変更される蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸着装置であって、
前記複数の蒸着部が、第１の蒸着部と、前記第１の蒸着部で蒸着された前記基板フィルムの面又はその反対側の面に蒸着を行う第２の蒸着部とを備える蒸着装置。
【請求項３】
請求項２に記載の蒸着装置であって、
前記第２の蒸着部が前記第１の蒸着部に対して鉛直方向上方に設けられている蒸着装置。
【請求項４】
請求項３に記載の蒸着装置であって、
前記第２の蒸着部が前記基板フィルムの搬送経路上に複数の蒸着源と、前記複数の蒸着源同士の間に配置され、前記蒸着膜に紫外線又は電子線を照射することで硬化させる硬化部とを有する蒸着装置。
【請求項５】
請求項３に記載の蒸着装置であって、
前記第２の蒸着部が前記基板フィルムにスパッタ又はＣＶＤ成膜を行う蒸着装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１つに記載の蒸着装置であって、
前記蒸着膜が金属又は金属化合物を含む蒸着装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１つに記載の蒸着装置であって、
前記基板フィルムの一方の面に、金属又は金属化合物を含む膜と、有機材料を含む膜とがこの順に積層される蒸着装置。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか１つに記載の蒸着装置であって、
前記基板フィルムの一方の面に、重合性有機化合物が蒸着される蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の表面に成膜を行う蒸着装置が知られている。近年、磁気記録媒体用の支持体の製造では、高分子材料を含むプラスチック基板フィルムの表面に水蒸気バリア性及びヤング率が高い金属化合物を含む蒸着膜を成膜するため、蒸着装置が用いられている。
【０００３】
下記特許文献１には、真空容器中に２個のキャンが設けられ、キャン上の搬送されるフィルムにスパッタあるいは蒸着により、磁性膜を形成する装置が記載されている。
【０００４】
下記特許文献２には、蒸着部が１個備えられ、この蒸着部でフィルムを２回通すことで該フィルムの両面に成膜を行う成膜装置が記載されている。この構成では、両面に蒸着を行うためには巻取軸を移動する必要があり、装置の構成が複雑となることが避けられない。また、巻取軸が移動できるようにするために構成上の制約も多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２１５３７１号公報
【特許文献２】特開２００５−２１３５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、蒸着膜を形成する際に、基板フィルムの両面にそれぞれ蒸着膜を形成する場合と基板フィルムの一方の面に複数の成膜材料を積層する場合とがある。これらの場合を想定して一つの蒸着装置で行うには、複数の成膜ロールを備えた構成が必要となる。複数の成膜ロールを備えた構成とすると、基板フィルムを搬送するためのパス長が長くなることが避けられないため、装置の大型化及び複雑化のため、設備コストが増大する点で改善の余地があった。
【０００７】
本発明の目的は、基板フィルムの両面及び片面への蒸着を行なうことができ、装置の大型化及び複雑化を回避できる蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基板フィルムに蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、
前記基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、
搬送された前記基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部と、
前記第１駆動部と前記第２駆動部との間で搬送される前記基板フィルムの搬送経路に設けられ、前記基板フィルムの一方の面を周面に支持する複数の成膜ローラと、
前記基板フィルムの前記成膜ローラに支持された面の反対側の面に前記蒸着膜を成膜する複数の蒸着部と、
前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部の一方と切り換えられて駆動する第３の駆動部とを備え、前記第３の駆動部への切り換えの有無によって前記基板フィルムの両面又は片面に蒸着が行われるように搬送経路が変更される蒸着装置である。
【０００９】
この蒸着装置は、基板フィルムの蒸着される被蒸着面の向きに応じて、３つの駆動部のうち２つの駆動部（第３の駆動部を含む）を選択し、選択した２つの駆動部によって規定される搬送経路に応じて基板フィルムに蒸着を行う。ここで、第１の駆動部と第３の駆動部を切り換え制御可能な構成を想定する。この場合には、例えば、基板フィルムを第１の駆動部から送り出して第２の駆動部で巻き取るように搬送させて基板フィルムの片面のみに蒸着し、基板フィルムを第３の駆動部から送り出して第２の駆動部で巻き取るように搬送させて基板フィルムの両面に蒸着することができる。こうして、第１の駆動部から第３の駆動部への切り換えの有無によって、基板フィルムの両面又は片面に蒸着を行うように搬送経路が変更される。このように駆動部を切り換えることで、基板フィルムの両面又は片面から所望の面に蒸着を行うことができ、成膜ロールや蒸着部の配置を変更する必要がない。したがって、本発明によれば蒸着装置の大型化や複雑化を回避することができ、設備コストが増大することを防止できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基板フィルムの両面及び片面への蒸着を行なうことができ、装置の大型化及び複雑化を回避できる蒸着装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】蒸着装置の構成例を示す図である。
【図２】蒸着装置の他の構成例を示す図である。
【図３】蒸着装置の他の構成例を示す図である。
【図４】蒸着装置の制御系を説明する図である。
【図５】蒸着装置の制御系を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面に基づいて蒸着装置について説明する。
【００１３】
図１は、基板フィルムに蒸着膜を成膜する蒸着装置の構成例を示す。図１（ａ）は、基板フィルムの片面に異なる蒸着膜を積層する際の搬送状態を示し、図１（ｂ）は、基板フィルムの両面に蒸着膜をそれぞれ蒸着する際の搬送状態を示している。
【００１４】
基板フィルムは、長尺の帯状の部材であるが、蒸着膜を形成することができるものであれば材質や形状は特に限定されない。以下の説明では、一例として磁気記録媒体用の支持体を製造するための高分子材料を含む基板フィルムを使用する。
【００１５】
磁気記録媒体は、近年、高記録密度化が進んでおり、安定な記録再生を維持するためには従来の磁気記録媒体よりもさらに高度な寸度安定性、機械的強度が要求されている。磁気記録媒体の高度な寸法安定性を得るためには、磁気記録媒体に使用される、基板フィルムの非磁性支持体の温湿度による変動やドライブ内テンションの変動による影響を抑えることが考えられる。該非磁性支持体の温湿度等による変動を抑えるためには、該支持体の両面に水蒸気バリア性が高い膜を設けることが考えられる。また、ドライブ内テンションの変動による影響を抑えるためには、ヤング率の高い膜を設けることが考えられる。そこで、磁気記録媒体用の支持体には、水蒸気バリア性及びヤング率が高い膜として、金属や金属の酸化物、窒化物等の金属化合物を含む蒸着膜が蒸着装置を用いて蒸着される。
【００１６】
蒸着装置１０は、基板フィルムに蒸着膜を成膜するための内部空間が設けられた筐体１１を有している。筐体１１の内部は、真空状態に設定される。
【００１７】
筐体１１内には、基板フィルムを巻回させた状態で保持可能で、成膜時には、回転駆動することで、基板フィルムを送り出す駆動部ＦＷ１，ＦＷ２が設けられている。また、筐体１１内には、搬送される基板フィルムを巻き取るように回転駆動する駆動部ＵＷとが設けられている。駆動部ＦＷ１，ＦＷ２及び駆動部ＵＷはそれぞれ、図示しないモータなどの動力源から動力が伝達されることで駆動される駆動軸を備えている。
【００１８】
蒸着装置１０は、駆動部ＦＷ１，ＦＷ２から送り出された基板フィルムが搬送経路に従って搬送され、駆動部ＵＷによって巻き取られる。搬送経路に沿って、搬送される基板フィルムを案内するため、複数のガイドローラが設けられている。複数のガイドローラは、いずれも回転駆動しないローラとすることができる。複数のガイドローラの一部が、搬送される基板フィルムの面を押し付ける圧力を調節可能に進退駆動する構成とすることで、基板フィルムのテンションを調整できるようにしてもよい。
【００１９】
また、蒸着装置１０には、２つの成膜ローラＲ１，Ｒ２が設けられている。成膜ローラＲ１，Ｒ２は、円柱形状を有し、その周面で搬送される基板フィルムの一方の面を支持する。
【００２０】
ここで、搬送経路に対して基板フィルムの送り出し側を上流とし、巻き取り側を下流としたとき、成膜ローラＲ１が成膜ローラＲ２に対して上流側に配置されている。
【００２１】
成膜ローラＲ１は、その一部が蒸着室Ｄ１の内部に位置している。蒸着室Ｄ１の内部には、蒸着部１２が設けられている。基板フィルムは、成膜ローラＲ１に支持されつつ搬送され、該蒸着室Ｄ１の内部で蒸着部１２によって該成膜ローラＲ１に支持された面と反対側の面に蒸着膜が成膜される。
【００２２】
成膜ローラＲ２は、その一部が蒸着室Ｄ２の内部に位置している。蒸着室Ｄ２の内部には、蒸着部１４が設けられている。基板フィルムは、成膜ローラＲ２に支持されつつ搬送され、該蒸着室Ｄ２の内部で蒸着部１４によって該成膜ローラＲ２に支持された面と反対側の面に蒸着膜が成膜される。
【００２３】
蒸着室Ｄ１，Ｄ２は、筐体１１内における基板フィルムを搬送させる空間との間に仕切壁等を設けることでそれぞれ隔離されている。
【００２４】
蒸着部１２，１４はそれぞれ、蒸着材料を収容し、蒸着時に蒸着材料を抵抗やヒータ等の加熱手段によって加熱し、該蒸着材料を気化もしくは昇華して搬送されている基板フィルムの表面に付着させることで薄膜を形成する。
【００２５】
本構成例では、基板フィルムを送り出す駆動部ＦＷ１，ＦＷ２が２つと、巻き取る駆動部ＵＷが１つ設けられている。駆動部ＦＷ１，ＦＷ２を切り換えて、いずれか一方から基板フィルムを送り出して搬送し、駆動部ＵＷによって巻き取ることができる。こうすれば、図１（ａ）に示すように駆動部ＦＷ１から基板フィルムを送り出して搬送し、駆動部ＵＷによって巻き取る搬送経路と、図１（ｂ）に示すように駆動部ＦＷ２から基板フィルムを送り出して搬送し、駆動部ＵＷによって巻き取る搬送経路との２つを設定することができる。
【００２６】
駆動部ＦＷ１，ＦＷ２はそれぞれ独立に駆動制御可能である。また、駆動時の回転方向もそれぞれ制御可能である。
【００２７】
基板フィルムに複数の蒸着膜を形成する場合には、次の２つがある。一つは、基板フィルムの片面に異なる蒸着膜を積層する場合である。もう一つは、基板フィルムの両面にそれぞれ蒸着膜を成膜する場合である。同じ蒸着装置で、基板フィルムの両面及び片面に蒸着可能となるように構成するためには、複雑な搬送切り換え構成が必要となるだけでなく、成膜ローラや蒸着部の配置も変える必要があるため、装置の大型化や複雑化が避けられなかった。本構成例の蒸着装置によれば、３つの駆動部ＦＷ１，ＦＷ２，ＵＷのうち２つの駆動部ＦＷ１，ＦＷ２を切り換えることで、成膜ローラＲ１，Ｒ２や蒸着部１２，１４の配置を変更することなく、基板フィルムの所望の面に蒸着を行うことができる。
【００２８】
図１（ａ）は、基板フィルムの片面に２回蒸着を行うときの状態を示している。具体的には、駆動部ＦＷ１を回転駆動することで、基板フィルムを搬送経路に沿って送り出す。このとき、駆動部ＦＷ２は、回転駆動しないか、もしくは、搬送される基板フィルムに影響を与えない範囲で回転駆動している。基板フィルムは、一方の面が成膜ローラＲ１に支持され、支持された面とは反対側の面に蒸着室Ｄ１内で蒸着部１２によって蒸着膜が成膜される。
【００２９】
その後、基板フィルムは、成膜ローラＲ２によって、成膜ローラＲ１で支持された面が支持される。そして、成膜ローラＲ２によって支持された面とは反対側の面に、蒸着室Ｄ２内で蒸着部１４によって蒸着膜が成膜される。そして、基板フィルムは、駆動部ＵＷによって巻き取られる。
【００３０】
図１（ａ）のように搬送を行うことで、基板フィルムの片面に２回の蒸着を行うことができる。
【００３１】
例えば、蒸着部１２で基板フィルムの表面に金属又は金属化合物（酸化物や窒化物）を含む膜を蒸着し、蒸着部１４で有機材料を含む膜を蒸着することができる。こうすれば、成膜ローラと基板フィルムとの接触が十分になり、基板フィルムを比較的高速で搬送させても、プラスチック基板フィルムが、蒸着時の蒸発源からの輻射熱・蒸着時の凝縮熱などの熱負荷により熱ダメージを受けることなく、形成される蒸着膜も品質の良いものとなる。
【００３２】
図１（ｂ）は、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うときの状態を示している。具体的には、駆動部ＦＷ２を回転駆動することで、基板フィルムを搬送経路に沿って送り出す。このとき、駆動部ＦＷ１は、回転駆動しないか、もしくは、搬送される基板フィルムに影響を与えない範囲で回転駆動している。基板フィルムは、一方の面が成膜ローラＲ１に支持され、支持された面とは反対側の面が、被蒸着面として蒸着室Ｄ１内で蒸着部１２によって蒸着膜が成膜される。
【００３３】
その後、基板フィルムは、成膜ローラＲ２によって、成膜ローラＲ１で支持された面が、被蒸着面として蒸着室Ｄ２内で蒸着部１４によって蒸着膜が成膜される。そして、基板フィルムは、駆動部ＵＷによって巻き取られる。
【００３４】
図１（ｂ）のように搬送を行うことで、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うことができる。
【００３５】
例えば、蒸着部１２及び蒸着部１４で基板フィルムの両面のそれぞれに金属又は金属化合物（酸化物や窒化物）を含む膜を蒸着することができる。こうすれば、基板フィルムの水蒸気バリア性を向上させることができ、高ヤング率を確保することができる。
【００３６】
図２は、蒸着装置の他の構成例を示す図である。なお、以下に説明する構成例では、すでに説明した部材などと同等な構成・作用を有する部材等については、図中に同一符号又は相当符号を付すことにより、説明を簡略化或いは省略する。
【００３７】
本構成例の蒸着装置２０の筐体２１の内部には、基板フィルムを送り出すように回転駆動する１つの駆動部ＦＷと、基板フィルムを巻き取るように回転駆動する２つの駆動部ＵＷ１，ＵＷ２とが設けられている。
【００３８】
また、蒸着装置２０には、２つの成膜ローラＲ１，Ｒ２が設けられている。一方の成膜ローラＲ１は、その一部が蒸着室Ｄ１の内部に位置している。蒸着室Ｄ１の内部には、蒸着部２２が設けられている。基板フィルムは、成膜ローラＲ１に支持されつつ搬送され、該蒸着室Ｄ１の内部で蒸着部２２によって該成膜ローラＲ１に支持された面と反対側の面に蒸着膜が成膜される。
【００３９】
成膜ローラＲ２は、成膜ローラＲ１に対して鉛直方向上方に配置されている。つまり、蒸着装置２０は、２つの成膜ローラＲ１，Ｒ２を鉛直方向に上下に配置した、所謂、縦型の構成である。成膜ローラＲ２は、その一部が蒸着室Ｄ２の内部に位置している。蒸着室Ｄ２の内部には、蒸着部２４が設けられている。蒸着部２４は、スパッタやＣＶＤ成膜  基板フィルムは、成膜ローラＲ２に支持されつつ搬送され、該蒸着室Ｄ２の内部で蒸着部２４によって該成膜ローラＲ２に支持された基板フィルムの表面に蒸着膜が成膜される。
【００４０】
図２（ａ）は、基板フィルムの片面に２回蒸着を行うときの状態を示している。具体的には、駆動部ＦＷを回転駆動することで、基板フィルムを搬送経路に沿って送り出す。そして、基板フィルムを駆動部ＵＷ１で巻き取る。このとき、駆動部ＵＷ２は、回転駆動しないか、もしくは、搬送される基板フィルムに影響を与えない範囲で回転駆動している。基板フィルムは、一方の面が成膜ローラＲ１に支持され、支持された面とは反対側の面に、蒸着室Ｄ１内で蒸着部２２によって蒸着膜が成膜される。
【００４１】
その後、基板フィルムは、成膜ローラＲ２によって、成膜ローラＲ１で支持された面が支持され、支持された面とは反対側の面が、被蒸着面として蒸着室Ｄ２内で蒸着部２４によって蒸着膜が成膜される。そして、基板フィルムは、駆動部ＵＷ１によって巻き取られる。
【００４２】
本構成例の蒸着装置２０は、駆動部ＵＷ１，ＵＷ２を切り換えることで、基板フィルムの両面又は片面のみに蒸着が行われるように制御することができる。
【００４３】
図２（ａ）のように搬送を行うことで、基板フィルムの片面に２回の蒸着を行うことができる。
【００４４】
例えば、蒸着部２２で基板フィルムの表面に金属又は金属化合物（酸化物や窒化物）を含む膜を蒸着し、蒸着部２４で有機材料を含む膜を蒸着することができる。
【００４５】
図２（ｂ）は、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うときの状態を示している。具体的には、駆動部ＦＷを回転駆動することで、基板フィルムを搬送経路に沿って送り出す。そして、基板フィルムを駆動部ＵＷ２で巻き取る。このとき、駆動部ＵＷ１は、回転駆動しないか、もしくは、搬送される基板フィルムに影響を与えない範囲で回転駆動している。基板フィルムは、一方の面が成膜ローラＲ１に支持され、支持された面とは反対側の面に、蒸着室Ｄ１内で蒸着部２２によって蒸着膜が成膜される。
【００４６】
その後、基板フィルムは、成膜ローラＲ２によって、成膜ローラＲ１で支持された面が、被蒸着面として蒸着室Ｄ２内で蒸着部２４によって蒸着膜が成膜される。そして、基板フィルムは、駆動部ＵＷ２によって巻き取られる。
【００４７】
図２（ｂ）のように搬送を行うことで、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うことができる。
【００４８】
例えば、蒸着部２２及び蒸着部２４で基板フィルムの両面のそれぞれに金属又は金属化合物（酸化物や窒化物）を含む膜を蒸着することができる。
【００４９】
図３は、蒸着装置の他の構成例を示す図である。
本構成例の蒸着装置３０の筐体３１の内部には、基板フィルムを送り出すように回転駆動する１つの駆動部ＦＷと、基板フィルムを巻き取るように回転駆動する２つの駆動部ＵＷ１，ＵＷ２とが設けられている。
【００５０】
また、蒸着装置３０には、２つの成膜ローラＲ１，Ｒ２が設けられている。一方の成膜ローラＲ１は、その一部が蒸着室Ｄ１の内部に位置している。蒸着室Ｄ１の内部には、蒸着部２２が設けられている。基板フィルムは、成膜ローラＲ１に支持されつつ搬送され、該蒸着室Ｄ１の内部で蒸着部２２によって該成膜ローラＲ１に支持された面と反対側の面に蒸着膜が成膜される。
【００５１】
成膜ローラＲ２は、成膜ローラＲ１に対して鉛直方向上方に配置されている。成膜ローラＲ２は、その一部が蒸着室Ｄ２の内部に位置している。蒸着室Ｄ２の内部には、搬送経路に沿って並設された２つの蒸着部３４ａ，３４ｂと、搬送経路においてこれら２つの蒸着部３４ａ，３４ｂの間に位置する硬化部３６が設けられている。
【００５２】
蒸着部３４ａ，３４ｂは、重合性有機化合物（モノマー）を気化又は昇華させることで、基板フィルムの表面に膜を蒸着する。
【００５３】
硬化部３６は、基板フィルムの表面に蒸着された重合性有機化合物を硬化させるため、硬化用の紫外線あるいは電子線を照射する。硬化部としては例えばＥＢガンを用いることができる。
【００５４】
図３（ａ）は、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うときの状態を示している。具体的には、駆動部ＦＷを回転駆動することで、基板フィルムを搬送経路に沿って送り出す。そして、基板フィルムを駆動部ＵＷ２で巻き取る。このとき、駆動部ＵＷ１は、回転駆動しないか、もしくは、搬送される基板フィルムに影響を与えない範囲で回転駆動している。基板フィルムは、一方の面が成膜ローラＲ１に支持され、支持された面とは反対側の面が、被蒸着面として蒸着室Ｄ１内で蒸着部３２によって蒸着膜が成膜される。
【００５５】
その後、基板フィルムは、成膜ローラＲ２によって支持され、成膜ローラＲ１で支持された面と同じ面を被蒸着面として、該被蒸着面に蒸着室Ｄ２内で蒸着部２４によって蒸着膜が成膜される。そして、基板フィルムは、駆動部ＵＷ２によって巻き取られる。このとき、２つの蒸着部３４ａ，３４ｂのうち搬送経路の上流に配置された蒸着部３４ｂによって蒸着した後、下流の硬化部３６で硬化処理が施される。蒸着部３４ａで蒸着を行なわず、該蒸着部３４ａの駆動を停止していてもよい。
【００５６】
図３（ａ）のように搬送を行うことで、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うことができる。
【００５７】
例えば、蒸着部３２及び蒸着部３４ｂで基板フィルムの両面のそれぞれに金属又は金属化合物（酸化物や窒化物）を含む膜を蒸着することができる。
【００５８】
図３（ｂ）は、基板フィルムの片面のみに蒸着を行うときの状態を示している。具体的には、駆動部ＦＷを回転駆動することで、基板フィルムを搬送経路に沿って送り出す。そして、基板フィルムを駆動部ＵＷ１で巻き取る。このとき、駆動部ＵＷ２は、回転駆動しないか、もしくは、搬送される基板フィルムに影響を与えない範囲で回転駆動している。基板フィルムは、一方の面が成膜ローラＲ１に支持され、支持された面とは反対側の面が、被蒸着面として蒸着室Ｄ１内で蒸着部３２によって蒸着膜が成膜される。
【００５９】
その後、基板フィルムは、成膜ローラＲ２によって支持され、成膜ローラＲ１で支持された面と同じ面を被蒸着面として、該被蒸着面に蒸着室Ｄ２内で蒸着部３４ａによって蒸着膜が成膜される。そして、基板フィルムは、駆動部ＵＷ１によって巻き取られる。このとき、２つの蒸着部３４ａ，３４ｂのうち搬送経路の上流に配置された蒸着部３４ａによって蒸着した後、下流の硬化部３６で硬化処理が施される。蒸着部３４ｂで蒸着を行なわず、該蒸着部３４ｂの駆動を停止していてもよい。
【００６０】
図３（ｂ）のように搬送を行うことで、基板フィルムの両面のそれぞれに蒸着を行うことができる。
【００６１】
例えば、蒸着部３２及び蒸着部３４ａで基板フィルムの片面に金属又は金属化合物（酸化物や窒化物）を含む膜を積層することができる。
【００６２】
次に、蒸着装置の制御系を説明する。
図４に示す蒸着装置の制御系は、図１に示す構成例に対応する。基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部とを有する。図１に示す蒸着装置においては、第１の駆動部は、駆動部ＦＷ１に相当し、第２の駆動部は、駆動部ＵＷに相当する。また、蒸着装置は、第１の駆動部と切り換えることで駆動制御可能な第３の駆動部を備えている。図１に示す蒸着装置においては、第３の駆動部は駆動部ＦＷ２に相当する。第１，第２及び第３の駆動部は、それぞれ制御部５０によって独立に駆動制御可能である。また、制御部５０は、蒸着時に蒸着部も制御する。
制御部５０は、第１の駆動部及び第３の駆動部のうち一方を送り出し側として駆動することで、基板フィルムの両面及び片面に蒸着を行うことができる。
【００６３】
図５に示す蒸着装置の制御系は、図２及び３に示す構成例に対応する。基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部とを有する。図２及び３に示す蒸着装置においては、第１の駆動部は、駆動部ＦＷに相当し、第２の駆動部は、駆動部ＵＷ１に相当する。また、蒸着装置は、第２の駆動部と切り換えることで駆動制御可能な第３の駆動部を備えている。図２及び３に示す蒸着装置においては、第３の駆動部は駆動部ＵＷ２に相当する。第１，第２及び第３の駆動部は、それぞれ制御部５０によって独立に駆動制御可能である。また、制御部５０は、蒸着時に蒸着部も制御する。
制御部５０は、第２の駆動部及び第３の駆動部のうち一方を巻き取り側として駆動することで、基板フィルムの両面及び片面に蒸着を行うことができる。
【００６４】
このように、蒸着装置は、制御部５０の制御によって、基板フィルムの蒸着される被蒸着面の向きに応じて、３つの駆動部のうち２つの駆動部（第３の駆動部を含む）を選択し、選択した２つの駆動部によって規定される搬送経路に応じて基板フィルムに蒸着を行う。
【００６５】
第１の駆動部と第３の駆動部を切り換え制御可能な構成の場合には、基板フィルムを第１の駆動部から送り出して第２の駆動部で巻き取るように搬送させて基板フィルムの片面のみに蒸着し、基板フィルムを第３の駆動部から送り出して第２の駆動部で巻き取るように搬送させて基板フィルムの両面に蒸着することができる。こうして、第１の駆動部から第３の駆動部への切り換えの有無によって、基板フィルムの両面又は片面に蒸着を行うように搬送経路が変更される。このように駆動部を切り換えることで、基板フィルムの両面又は片面から所望の面に蒸着を行うことができ、成膜ロールや蒸着部の配置を変更する必要がない。したがって、本発明によれば蒸着装置の大型化や複雑化を回避することができ、設備コストが増大することを防止できる。
【００６６】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜な変形、改良などが可能である。
例えば、上記の構成例では、２個の成膜ローラと２個の蒸着部とを備えた構成としたが、成膜ローラ及び蒸着部はそれぞれ３個以上設けられていてもよい。
【００６７】
本明細書は次の事項を開示するものである。
【００６８】
（１）基板フィルムに蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、
前記基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、
搬送された前記基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部と、
前記第１駆動部と前記第２駆動部との間で搬送される前記基板フィルムの搬送経路に設けられ、前記基板フィルムの一方の面を周面に支持する複数の成膜ローラと、
前記基板フィルムの前記成膜ローラに支持された面の反対側の面に前記蒸着膜を成膜する複数の蒸着部と、
前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部の一方と切り換えられて駆動する第３の駆動部とを備え、前記第３の駆動部への切り換えの有無によって前記基板フィルムの両面又は片面に蒸着が行われるように搬送経路が変更される蒸着装置。
（２）上記（１）に記載の蒸着装置であって、
前記複数の蒸着部が、第１の蒸着部と、前記第１の蒸着部で蒸着された前記基板フィルムの面又はその反対側の面に蒸着を行う第２の蒸着部とを備える蒸着装置。
（３）上記の（２）に記載の蒸着装置であって、
前記第２の蒸着部が前記第１の蒸着部に対して鉛直方向上方に設けられている蒸着装置。
（４）上記の（３）に記載の蒸着装置であって、
前記第２の蒸着部が前記基板フィルムの搬送経路上に複数の蒸着源と、前記複数の蒸着源同士の間に配置され、前記蒸着膜に紫外線又は電子線を照射することで硬化させる硬化部とを有する蒸着装置。
（５）上記の（３）に記載の蒸着装置であって、
前記第２の蒸着部が前記基板フィルムにスパッタ又はＣＶＤ成膜を行う蒸着装置。
（６）上記の（１）から（５）のいずれか１つに記載の蒸着装置であって、
前記蒸着膜が金属又は金属化合物を含む蒸着装置。
（７）上記の（１）から（６）のいずれか１つに記載の蒸着装置であって、
前記基板フィルムの一方の面に、金属又は金属化合物を含む膜と、有機材料を含む膜とがこの順に積層される蒸着装置。
（８）上記の（１）から（６）のいずれか１つに記載の蒸着装置であって、
前記基板フィルムの一方の面に、重合性有機化合物が蒸着される蒸着装置。
【符号の説明】
【００６９】
１０，２０，３０    蒸着装置
１２，２２，３２    蒸着部
１４，２４      蒸着部
３４ａ，３４ｂ    蒸着部
３６    硬化部
Ｒ１，Ｒ２    成膜ローラ
ＦＷ，ＦＷ１，ＦＷ２    （送り出し側の）駆動部
ＵＷ，ＵＷ１，ＵＷ２    （巻き取り側の）駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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