(57)【要約】【課題】摺動部にインクが浸入することを抑制することができるキャップユニットを提供する。【解決手段】本発明のキャップユニット２０はインクを貯留することが可能なキャップホルダ２と、キャップホルダ２を重力方向に沿って上下方向へ摺動させるバネ部４を有すると共に、バネ部４を介してキャップホルダ２を保持するキャップベース３とを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットであって、キャップホルダ２に、キャップホルダ２とキャップベース３とのキャップクリアランス１１を覆う鍔部２ａが形成されている。【選択図】図１
2010063971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを貯留することが可能なキャップホルダと、
上記キャップホルダを重力方向に沿って上下方向へ摺動させる摺動部を有すると共に、上記摺動部を介してキャップホルダを保持するキャップベースとを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットにおいて、
上記キャップホルダに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙を覆う鍔部が形成されていることを特徴とするキャップユニット。
【請求項２】
上記キャップベースに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙に沿って、上記間隙へのインクの浸入を妨げる壁部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のキャップユニット。
【請求項３】
上記鍔部のキャップベース側において、溝部が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のキャップユニット。
【請求項４】
上記溝部が、上記キャップホルダを囲うように連続的に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のキャップユニット。
【請求項５】
上記溝部は、断面形状が円弧形状であることを特徴とする請求項３または４に記載のキャップユニット。
【請求項６】
上記溝部は、断面形状が多角形形状であることを特徴とする請求項３または４に記載のキャップユニット。
【請求項７】
上記摺動部は、摺動部を支持する支持体の周囲に設けられており、
上記支持体と上記キャップホルダとが連結されており、
上記キャップホルダが重力方向に沿って下方向へ摺動する際に、キャップホルダとキャップベースとが接触することによって、摺動が制限されることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のキャップユニット。
【請求項８】
上記キャップホルダ、キャップベースおよび支持体に、キャップホルダからインクを排出するための排出口が形成されていることを特徴とする請求項７に記載のキャップユニット。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか１項に記載のキャップユニットを備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象に対しインク滴を吐出する記録ヘッドを備えたインクジェット塗布装置に用いるキャップユニット、および、該キャップユニットを備えるインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置、液晶表示装置などの製造工程において、半導体ウェハ上、ガラス基板上などに機能性薄膜を形成する成膜プロセスがあり、そのプロセスを行う装置の一つとしてインクジェット塗布装置が用いられている。インクジェット塗布装置は、備えられたヘッドから機能性インクを吐出することによって塗布を行い、薄膜を形成するものである。
【０００３】
インクジェット塗布装置におけるヘッドは、使用頻度などの点から家庭用インクジェット装置と比較した場合に、着弾位置精度信頼性、吐出信頼性などの特性について非常に高いレベルが要求される。
【０００４】
上記のような要求を満たすため、例えば、特許文献１には、インクを供給する針に対し、針穴の目詰まりを防止するため、針の外周部にカバー用のスリーブ状シャッターが設けられた液体噴射ヘッドが開示されている。上記液体噴射ヘッドによれば、インクを供給する針にゴミが付着またはインクが固着することによる目詰まりを防止することができる。
【０００５】
上記の各種特性を高いレベルで満たすため、近年では、インクジェット塗布装置内にヘッドのメンテナンス部を設けることが必然となってきている。
【０００６】
メンテナンス部を構成する一部として、ヘッドのノズル面を封止するとともに、吸引ポンプからの負圧を利用して前記ヘッドからインクを吸引排出するキャップ機構を設ける構成が一般的に採用されており、これによりヘッドの吐出信頼性が維持されている。
【０００７】
例えば、特許文献２には、上記キャップ機構（キャッピング手段）として、キャップゴムに対し、キャップゴム周囲の縁の部分が高く形成されているキャップ機構が開示されている。上記キャップ機構によれば、縁の頂点付近に滞留するインクを積極的にキャップ部材の周囲方向へ流し、滞留しようとするインクを重力方向の下側に流し込むことができる。
【特許文献１】特開２００４−２８４１９３号公報（平成１６年１０月１４日公開）
【特許文献２】特開２００１−８８３１３号公報（平成１３年４月３日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１，２に開示されたキャップ機構等には種々の改良がなされているものの、メンテナンス部は使用頻度が高いためインクが残存し易く、キャップ機構の摺動部の動作に不具合が生じるという問題が存在する。
【０００９】
なお、このキャップ機構に関する摺動部の不具合について、上記特許文献１，２では詳細に検討されていない。また、特許文献２においては、摺動部の位置について具体的な開示すらなされていない。
【００１０】
このため、定期的な人的クリーニング作業を通じてメンテナンス部の性能が維持されていることが現状である。本問題点について、図６を用いてより詳細に説明する。
【００１１】
図６は従来のキャップ機構１２０を示す断面図である。同図に示すように、キャップ機構１２０は、インクジェット塗布装置のヘッドに対しシールを行うキャップゴム１０１、キャップゴム１０１を保持するためのキャップホルダ１０２、上記ヘッドに対しある程度の位置決めを行うキャップベース１０３、キャップベース１０３に内蔵され、上記ヘッドとキャップゴム１０１とが接触する際の衝撃を緩和するバネ部１０４で構成される。これらの構造により、キャップ機構１２０の上方に存在することとなるヘッドに対し封止を行うことができる。なお、キャップゴム１０１にはインクを吸収するための吸収体１０７が配置されている。
【００１２】
また、キャップゴム１０１およびキャップホルダ１０２には流路が形成されており、この流路のキャップホルダ１０２外側には、継手１０５を介して配管１０６が備えられている。配管１０６は図示しない外部ポンプおよびバルブに接続されている。上記外部ポンプおよびバルブによって、配管１０６内および上記流路内に負圧を生じさせることができ、吸収体１０７からインクを吸引排出することができる。
【００１３】
キャップ機構１２０では、キャップホルダ１０２とキャップベース１０３との間において摺動がなされるが、キャップホルダ１０２とキャップベース１０３との間にインクが入り込むことによって、バネ部１０４にインクが付着し、摺動の上下動作に支障が生じ得る。支障が生じると、キャップ機構１２０の上下動作が正常になされないことに起因して、上記ヘッドをキャップゴム１０１によって封止することができなくなる。その結果、ヘッドのノズル面が乾燥し、ヘッドから吐出されるインクの着弾位置ずれや不吐出が発生するため、非常に大きな問題となっていた。
【００１４】
キャップホルダ１０２とキャップベース１０３との間にインクが入り込む原因としては、（i）不意にヘッドからインクが垂れた場合、（ii）キャップゴム上でインクの吐出が行われ、周囲に飛散したミストが混入した場合、（iii）定期的な人的クリーニング作業時に誤って混入した場合、などが挙げられる。
【００１５】
上記摺動部にインクが入り込んだ場合、キャップホルダとキャップベースとの間隔は、ヘッドに対しある程度の位置決めを行っている関係上間隔が狭く、入り込んだインクを完全に除去することは困難であり、従来は洗浄液を流し込むことによってクリーニングがなされていた。
【００１６】
しかしながら、上記摺動部に入り込んだインクを完全に除去することは難しく、残存したインクが固着し、キャップゴムの上下動に不具合が生じた。さらに、有色のインクの場合は定期的な人的クリーニング時などにキャップベースとキャップホルダの間にインクが入り込んだことが確認できるが、透明色のインクなどの場合、インクが入り込んだことを認識すること自体が困難であり、ヘッドの吐出状態が悪化した後に摺動部における不具合が発見されることもあった。
【００１７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、摺動部にインクが浸入することを抑制することができるキャップユニット（キャップ機構）を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明のキャップユニットは、上記課題を解決するために、インクを貯留することが可能なキャップホルダと、上記キャップホルダを重力方向に沿って上下方向へ摺動させる摺動部を有すると共に、上記摺動部を介してキャップホルダを保持するキャップベースとを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットにおいて、上記キャップホルダに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙を覆う鍔部が形成されていることを特徴としている。
【００１９】
上記の発明によれば、キャップホルダに鍔部が形成されていることによって、キャップホルダ内から溢れたインク、または、キャップユニットをインクジェットヘッドに装着時における、インクジェットヘッドから垂れたインクが、上記間隙に直接入り込むことを効果的に抑制することができる。このため、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低いキャップユニットを提供することができる。
【００２０】
また、本発明のキャップユニットでは、上記キャップベースに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙に沿って、上記間隙へのインクの浸入を妨げる壁部が形成されていることが好ましい。
【００２１】
これにより、鍔部を伝ってキャップベース上にインクが滞留したとしても、上記間隙に浸入することを防止することができる。このため、インクが間隙に浸入することをさらに抑制することができるキャップユニットを提供することができる。
【００２２】
また、本発明のキャップユニットでは、上記鍔部のキャップベース側において、溝部が形成されていることが好ましい。
【００２３】
これにより、キャップゴム内部のインクがキャップホルダを伝って、キャップベース側の鍔部に回り込んだ場合であっても、上記溝部によってインクの流れを遮断することができる。これによって、上記間隙にインクが浸入することをより抑制することができるキャップユニットを提供することができる。
【００２４】
また、本発明のキャップユニットでは、上記溝部が、上記キャップホルダを囲うように連続的に形成されていることが好ましい。
【００２５】
これにより、インクがキャップベース側の鍔部に移動した場合であっても、上記間隙に浸入する前に必ず上記溝部に到達することとなる。したがって、インクの流れは上記溝部によって必ず遮断されるため、インクが上記間隙に浸入することをさらに効果的に抑制することができるキャップユニットを提供することができる。
【００２６】
また、本発明のキャップユニットでは、上記溝部は、断面形状が円弧形状であることが好ましい。
【００２７】
また、本発明のキャップユニットでは、上記溝部は、断面形状が多角形形状であることが好ましい。
【００２８】
これらの形状であれば、容易に上記溝部を形成することができるというメリットがある。
【００２９】
また、本発明のキャップユニットでは、上記摺動部は、摺動部を支持する支持体の周囲に設けられており、上記支持体と上記キャップホルダとが連結されており、上記キャップホルダが重力方向に沿って下方向へ摺動する際に、キャップホルダとキャップベースとが接触することによって、摺動が制限されることが好ましい。
【００３０】
これにより、簡易な構造、かつ、省スペースな構造にてキャップホルダの底面をストローク下端とする摺動構造を構成できる。
【００３１】
また、本発明のキャップユニットでは、上記キャップホルダ、キャップベースおよび支持体に、キャップホルダからインクを排出するための排出口が形成されていることが好ましい。
【００３２】
これにより、重力方向に沿って下方向へ排出口を形成することができ、容易にインクをキャップユニットの外部に排出することができるキャップユニットを提供することができる。
【００３３】
また、本発明のインクジェット塗布装置は、上記キャップユニットを備えるものである。
【００３４】
上記キャップユニットは、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低い。したがって、インクジェットヘッドのノズルには不具合が生じ難く、同様にクリーニング頻度が低いインクジェット塗布装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明のキャップユニットは、以上のように、インクを貯留することが可能なキャップホルダと、上記キャップホルダを重力方向に沿って上下方向へ摺動させる摺動部を有すると共に、上記摺動部を介してキャップホルダを保持するキャップベースとを備え、インクジェット塗布装置が有するインクジェットヘッドに対し脱着可能なキャップユニットにおいて、上記キャップホルダに、上記キャップホルダと上記キャップベースとの間隙を覆う鍔部が形成されているものである。
【００３６】
それゆえ、キャップホルダに鍔部が形成されていることによって、キャップホルダ内から溢れたインク、または、キャップユニットをインクジェットヘッドに装着時における、インクジェットヘッドから垂れたインクが、上記間隙に直接入り込むことを効果的に抑制することができる。このため、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低いキャップユニットを提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
本発明の一実施形態について図１ないし図５に基づいて説明すれば、以下の通りである。図１は、本実施の形態に係るキャップユニット２０を示す断面図である。同図に示すように、キャップユニット２０は、インクジェット塗布装置のヘッドに対しシールを行うキャップゴム１、キャップゴム１を保持するためのキャップホルダ２、上記ヘッドに対しある程度の位置決めを行うキャップベース３、キャップベース３に内蔵され、上記ヘッドとキャップゴム１とが接触する際の衝撃を緩和するバネ部（摺動部）４で構成される。これらの構造により、キャップユニット２０の上方に存在することとなるヘッドに対し封止を行うことができる。なお、キャップゴム１にはインクを吸収するための吸収体７が配置されている。
【００３８】
キャップゴム１は、インクジェット塗布装置のインクジェットヘッドに脱着される部材である。上記インクジェットヘッドからインクが吐出される場合には、インクジェットヘッドから脱離され、インクジェットヘッドからインクが吐出されない場合には、インクジェットヘッドに装着され、インクジェットヘッドのノズルが封止される。このため、キャップゴム１はインクジェットヘッドを収容できる形状を有していればよく、その形状は特に限定されない。なお、キャップユニット２０において、キャップゴム１は凹部形状を有している。
【００３９】
また、キャップゴム１の凹部には吸収体７が備えられている。吸収体７はインクジェットヘッドに付着した不要なインク（廃液）を吸収し、キャップゴム１内の保湿状態を保つものである。このため、吸収体７はインクを吸収可能な材料、例えば、細孔を有するスポンジなどで形成されている。
【００４０】
キャップホルダ２は、キャップゴム１を保持するための部材である。キャップホルダ２は、上記キャップゴム１を有しているため、インクを貯留することが可能となっている。キャップホルダ２とキャップゴム１とは一体として構成されている。
【００４１】
キャップベース３は、バネ部４を介してキャップホルダ２を保持するものである。また、キャップホルダ２はバネ部４によって、重力方向に沿って上下方向に摺動することが可能な構成となっている。キャップホルダ２が摺動する際、キャップホルダ２はキャップベース３に沿って摺動するため、キャップベース３はキャップホルダ２をガイドする役目を果たす。
【００４２】
上記バネ部４は、バネ軸（支持体）８の周囲に設けられている。キャップユニット２０がインクジェットヘッドに装着される際、すなわち、キャップゴム１およびキャップホルダ２がインクジェットヘッドのノズルを封止（シール）する際に衝撃が生じるため、上記衝撃を吸収するために上下動（摺動）がなされる必要がある。この上下動がなされるために、バネ部４が備えられている。バネ部４およびバネ軸８の周辺構造について図２を用いて説明する。図２は、バネ部４およびバネ軸８の周辺構造を示す斜視分解図である。
【００４３】
同図に示すように、バネ軸８の周囲にバネ部４が設けられており、バネ部４は伸縮できるよう、バネ軸８に固定されていない。また、バネ軸８の下部は台状であり、バネ軸８よりも径が広く、段状部分となっている。この段状部分の上面をバネ軸段付面８ａとする。また、段状部分には、雌ネジ８ｂが形成されており、バネ軸８の上部には雄ネジ８ｃが形成されている。
【００４４】
雌ねじ８ｂは継手５と連結されている。継手５は配管６と連結されており、図示しない外部ポンプおよびバルブに接続されており、上記外部ポンプおよびバルブによってバネ軸８の内部を減圧し、負圧を生じさせることができる構成となっている。さらに、雄ネジ８ｃはシールワッシャ９を介し、キャップホルダ２と固定されている。雄ネジ８ｃの中心部には開口である排出口（流路）が形成されている。さらに排出口はキャップホルダ２およびキャップゴム１にまで連通しているので、バネ軸８の内部に負圧が生じると、負圧が吸収体７にまで及ぶこととなる。上記の構成によれば、重力方向に沿って下方向へ排出口を形成することができ、配管６を通じ、容易にインクをキャップユニット２０の外部に排出することができる。
【００４５】
また、図１に示すキャップユニット２０は、インクジェットヘッドに装着されていない状態である。キャップユニット２０がインクジェットヘッドに装着されると、インクジェットヘッドからの応力によって、キャップホルダ２がキャップベース３側に押し込められる。この際、バネ部４が収縮し応力は緩和される。さらに、バネ軸８は、重力方向に沿って下側に移動する。重力方向の下側への摺動は、キャップベース３側のキャップホルダ２の底部が接触することによって制限されることとなる。すなわち、キャップホルダ２の底部は摺動のストローク下端として機能する。
【００４６】
一方、バネ軸８の段状部分はキャップベース３の外部に位置しており、キャップベース３の重力方向の下方向における開口部の径はバネ軸８の径と略同一である。このため、キャップホルダ２からインクジェットヘッドが外れた場合、インクジェットヘッドからの応力が解消され、バネ軸８およびキャップホルダ２は重力方向に沿って上側に移動する。重力方向に沿って上側への摺動は、キャップベース３の底部とバネ軸段付面８ａとが接触することによって制限されることとなる。すなわち、バネ軸段付面８ａは摺動のストローク上端として機能する。バネ部４は、キャップユニット２０がインクジェットヘッドに装着されていない場合には、バネ軸段付面８ａがキャップベース３の底面に接するよう調整されている。
【００４７】
上記の構成により、インクジェットヘッドにキャップユニット２０が装着されていない場合に、キャップゴム１およびキャップホルダ２はバネ軸段付面８ａをストローク上端とする位置にあり、インクジェットヘッドにキャップユニット２０が装着された場合、キャップゴム１およびキャップホルダ２は重力方向に沿った下方向に移動する上下摺動機能を備えている。
【００４８】
上記の構成によれば、簡易な構造、かつ、省スペースな構造にてキャップホルダ２の底面をストローク下端とするバネ部４およびバネ軸８による摺動構造を構成できる。
【００４９】
次に、キャップホルダ２およびキャップベース３間のキャップクリアランス（間隙）１１について説明する。図３は、キャップホルダ２およびキャップベース３の詳細を示す断面図である。同図に示すように、キャップホルダ２とキャップベース３との間には、キャップクリアランス１１が設けられており、キャップクリアランス１１の幅は間隔ｃとして設定されている。間隔ｃはキャップホルダ２およびキャップベース３の位置決めを行う関係上、数ｍｍ以下の値に設定されている。
【００５０】
このように間隔ｃは非常に狭く、インクが浸入した場合、インクが浸入した事実は把握され難い。また、インクの色には多様な種類が用いられており、特に透明色のインクが用いられた場合、上記間隔ｃに浸入したインクが発見されることは非常に困難となる。仮に発見できたとしても、間隔ｃは非常に狭く、キャップクリアランス１１に洗浄液を流し込むこと等によってインクの洗浄を行う必要があり、人的クリーニングは長時間に及んでいた。
【００５１】
これに対し、本実施の形態に係るキャップユニット２０では、キャップホルダ２に、キャップクリアランス１１を覆う鍔部２ａが形成されている。鍔部２ａは、端部に向かい傾斜を有する傘形状となっているが、キャップクリアランス１１を覆う形状であれば特に限定されるものではない。
【００５２】
このように鍔部２ａが形成されていることによって、キャップホルダ２内から溢れたインクや、インクジェットヘッドから垂れたインクは、キャップクリアランス１１に直接入り込むことを効果的に抑制することができる。
【００５３】
また、キャップベース３には、キャップクリアランス１１に沿ってキャップベース壁部（壁部）３ａが形成されている。換言すれば、キャップベース壁部３ａは縁部分として形成されているともいえる。キャップベース壁部３ａによれば、鍔部２ａを伝ってキャップベース３に滞留したインクが、キャップクリアランス１１に浸入することを防止することができる。このため、インクがキャップクリアランス１１に浸入することをさらに抑制することができる。
【００５４】
キャップベース３に滞留したインクは、キャップクリアランス１１に浸入したインクとは異なり、定期的な人的クリーニング時に容易に拭き取ることができる。このため、人的クリーニングに必要な時間を短縮することも可能である。
【００５５】
さらに、キャップベース３側の鍔部２ａには、溝部１０ａが形成されている。溝部１０ａは、キャップクリアランス１１よりも鍔部２ａの端部側に形成されている。すなわち、キャップベース３の内周よりも外側に溝部１０ａが形成されている。具体的には、溝部１０ａはキャップベース壁部３ａから所定の間隔ｄだけ外側に形成されている。溝部１０ａがキャップベース壁部３ａの上部に形成されていると、溝部１０ａに貯留したインクがキャップベース壁部３ａへ落ち、その後、キャップクリアランス１１にインクが浸入する虞があるからである。上記間隔ｄは、０．１ｍｍ以上、５ｍｍ以下、好ましくは、０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下に設定することができる。
【００５６】
溝部１０ａは、円弧状をしているが、球状または楕円状であってもよい。また、溝部の他の構成を図４に示す。図４は、キャップホルダ２の他の形態を示す断面図である。同図に示すように、溝部１０ｂは三角形形状をしている。しかしながら、溝部は上記の形状に限定されるものではなく多角形形状であってもよい。これらの形状であれば、容易に上記溝部を形成することができる。
【００５７】
上記の溝部がキャップホルダ２に形成されていることによって、キャップゴム１内部のインクがキャップホルダ２を伝って、キャップベース３側の鍔部２ａに回り込んだ場合であっても、溝部によってインクの流れを遮断することができる。これによって、キャップクリアランス１１にインクが浸入することをより抑制することができるので効果的である。
【００５８】
また、上記溝部は、点状または線状に形成されていてもよく、キャップホルダ２を囲うように連続的に形成されていてもよい。すなわち、周状であってもよい。図５は連続的に形成された溝部１０ａを有するキャップホルダ２を示す斜視図である。同図では、溝部１０ａはキャップホルダ２の各辺に沿って、キャップホルダ２を長方形形状に取り囲んでいる。溝部１０ａは円状または楕円状にキャップホルダ２を取り囲んでいる構成であってもよい。
【００５９】
上記のように、キャップホルダ２を取り囲む構成であれば、インクがキャップベース３側の鍔部２ａに移動した場合であっても、キャップクリアランス１１に浸入する前に必ず溝部１０ａに到達することとなる。上記構成によれば、インクがキャップクリアランス１１に浸入することをさらに効果的に抑制することができるので、非常に効果的である。
【００６０】
また、本発明に係るインクジェット塗布装置は、上記キャップユニットを備えている。インクジェット塗布装置としては、公知のインクジェット塗布装置を用いることができ、好ましくは、半導体装置、液晶表示装置などの製造工程において用いられるインクジェット塗布装置を用いることができる。
【００６１】
本発明のキャップユニットは、キャップゴムの上下動に不具合が生じ難く、クリーニング頻度が低い。したがって、これを備えるインクジェットヘッドのノズルには不具合が生じ難く、同様にクリーニング頻度が低いインクジェット塗布装置を提供することができる。
【００６２】
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【実施例】
【００６３】
〔実施例１〕
図１に示すキャップユニット２０と同様の構成であるが、溝部１０ａが形成されていないキャップユニット（本発明（溝部無し））をインクジェット塗布装置に対して１年間用いた。１年間にデータ採取したキャップユニット上下動トラブル平均回数、インクジェットノズルの吐出不安定平均回数、人的クリーニングの平均時間を表１に示す。表１の各データは１週間単位で平均した値である。
【００６４】
なお、キャップユニット上下動トラブル平均回数とは、具体的には、インクジェットヘッドに対し、キャップユニットが正常に脱着できなかった回数であり、インクジェットノズルの吐出不安定平均回数は、インクジェットノズルからインクが吐出されなかった回数であり、人的クリーニングの平均時間は人的クリーニングに要された時間を示す。人的クリーニングは全てのデータ取得に際し同様の手法で行った。
【００６５】
〔実施例２〕
実施例１において、キャップユニット（本発明（溝部無し））を、溝部１０ａを有するキャップユニット２０（本発明（溝部有り））に変更した以外は実施例１と同様にインクジェット塗布装置に対して１年間用いた。得られたデータを表１に示す。
【００６６】
〔比較例１〕
実施例１において、キャップユニット（本発明（溝部無し））を、図６に示すキャップ機構１２０（従来構成）に変更した以外は、実施例１と同様にインクジェット塗布装置に対して１年間用いた。得られたデータを表１に示す。
【００６７】
【表１】
2010063971.tif 000003
【００６８】
表１に示すように、実施例１の本発明（溝部無し）の場合、１週間単位でのキャップ上下動トラブル平均回数は０．５回であり、吐出不安定平均回数は１回であった。当該キャップユニットによれば、鍔部２ａによってインクがキャップクリアランス１１に浸入することを抑制でき、キャップホルダ２の底面にインクが付着し難くなる。このため、キャップホルダ２が重力方向の下方向へ摺動した場合、キャップホルダ２の底面が浸入したインクによってキャップベース３に固着される回数が低い頻度に留められたと考えられる。
【００６９】
また、キャップホルダ２が重力方向に沿った下方向の下端にて固着する頻度が少ないため、インクジェットノズル面がキャップユニットに正確に装着されず、大気に長時間曝露される状況が生じ難い。このため、インクノズル面にてインクが乾燥し難く、結果として吐出不安定回数は１回と低い頻度に留められた。
【００７０】
また、人的クリーニング時間に関しては、インクジェットヘッドから垂れるなどしたインクはキャップホルダ２の鍔部２ａまたはキャップベース３上に付着するため容易に視認することができる。また、鍔部２ａまたはキャップベース３は、キャップクリアランス１１とは異なり、拭き取ることが可能な場所であることから、鍔部２ａを有する本構成はメンテナンス作業の短時間化に貢献したといえる。
【００７１】
実施例２の本発明（溝部有り）では、溝部１０ａが備えられており、鍔部２ａの裏側（キャップベース３側）に伝わったインクを溝部１０ａにおいてインクの流れを遮断することができる。本構成によって、キャップ上下動トラブル平均回数および吐出不安定平均回数は共に１週間単位で０回であった。また、人的クリーニング平均時間も３時間であり、実施例１のキャップユニットの構成よりも、さらに優れた結果を得ることができた。
【００７２】
比較例１の従来構成に係るキャップ機構１２０では、本発明と異なり鍔部２ａが形成されていない。このため、キャップ上下動トラブル平均回数および吐出不安定平均回数共に本発明に係るキャップユニットよりも多い平均回数を示した。特に、人的クリーニング回数は１０時間と本発明のキャップユニットに比して２倍以上の時間が必要であった。この理由としては、従来構成に係るキャップ機構１２０では、キャップホルダ１０２およびキャップベース１０３との間にインクが浸入するため、洗浄液を用いる必要があるからである。
【００７３】
このように、本発明の構成によれば、キャップユニットの上下動の信頼性が大幅に向上することにより、確実にヘッドに対しキャッピングを行うことができ、結果としてヘッドの吐出信頼性の向上に貢献することができるキャップユニットを提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明によれば、摺動部にインクが浸入し難いキャップユニットを提供できるため、メンテナンス頻度の低いキャップユニットを提供することができる。上記キャップユニットはインクジェット塗布装置に用いられるため、インクジェット塗布装置を用いる半導体装置、液晶表示装置などの分野において、本発明を利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本実施の形態に係るキャップユニットを示す断面図である。
【図２】本実施の形態に係るキャップユニットのバネ部およびバネ軸の周辺構造を示す斜視分解図である。
【図３】本実施の形態に係るキャプユニットのキャップホルダおよびキャップベースの詳細を示す断面図である。
【図４】本実施の形態に係るキャップホルダの他の形態を示す断面図である。
【図５】本実施の形態に係る連続的に形成された溝部１０ａを有するキャップホルダ２を示す斜視図である。
【図６】従来のキャップ機構を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１    キャップゴム
２    キャップホルダ
３    キャップベース
３ａ  キャップベース壁部
４    バネ部（摺動部）
５    継手
６    配管
７    吸収体
８    バネ軸（摺動部）
８ａ  バネ軸段付面
８ｂ  雌ネジ
８ｃ  雄ネジ
９    シールワッシャ
１０・１０ａ・１０ｂ  鍔部
１１  キャップクリアランス（間隙）
２０  キャップユニット
【図１】
2010063971.tif 000004
【図２】
2010063971.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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