(57)【要約】【課題】優れた振動防止および保護効果を有するレチクルポッドのキャリアケースを提供すること。【解決手段】トップカバーおよびボトムカバーがほぼ対応し、収納空間を形成する。ボトムカバーは、ボトムカバーの２つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込められる。収納空間を複数の収納空間に分割し、レチクルポッドを置くために用いる。挟持部と当接部とを有する固定部品をトップカバー内表面の最上面に設置する。トップカバーをボトムカバーにかぶせるときに、トップカバーの各固定部品がすべてキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。固定部品の当接部は、レチクルポッドを押さえる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１収納空間を有するトップカバーと、第２収納空間を有するボトムカバーとを含み、該トップカバーおよび該ボトムカバーを合わせた後に第３収納空間を形成し、該ボトムカバーの収納空間の２つの向かい合った内表面上に少なくとも１対のガイドレールを配置し、少なくとも１つの仕切り板を嵌め込み、収納空間を複数の収納空間に分割するために用い、さらにトップカバーの収納空間の内側頂面上に少なくとも１つの固定部品を配置するキャリアケースであって、
前記固定部品は最上部を有し該最上部の両側に外側に向けて傾斜し延伸した１対の翼部が配置してあり、
該翼部は適切な湾曲部で下向きに湾曲し、該翼部の自由端が挟持部を形成するようにし、
該翼部の湾曲部はさらに該翼部の自由端内側に傾斜し延伸して当接部を形成し、該当接部と該最上部との間は第１間隔を保つことを特徴とする、
レチクルポッドのキャリアケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレチクルポッドのキャリアケースに関し、特にレチクルポッドのキャリアケースの中に複数の固定部品を配置し、キャリアケースの中のレチクルポッドを固定するレチクルポッドのキャリアケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現代の半導体技術の発展は迅速であり、中でも光リソグラフィー技術（Optical Lithography）は重要な役割を果たしている。
パターン（pattern）の定義に関するものであれば、すべて光リソグラフィー技術に依存する必要がある。
光リソグラフィー技術を半導体において応用し、設計された回路を、特定の形状を有する透光性のフォトマスク（photo mask）にする。
露光の原理を利用することによって、フォトマスクを介して光源をシリコンウェハー（silicon wafer）に投影し、露光して特定の図案を表示することができる。
フォトマスク上に付着したパーティクル（例えば、微粒子、粉塵または有機物）は、投影描画の品質を劣化させる。
パターン生成に用いられるフォトマスクは、絶対的な清潔を保つ必要があるため、通常のウェハー工程において、クリーンルーム（clean room）の環境を提供し、空気中のパーティクルによる汚染を防止する必要がある。
しかし、現在のクリーンルームでも、絶対的な無塵状態を達成することはできない。
現代の半導体工程では、抗汚染のレチクルポッド（reticle pod）を利用してフォトマスクの保管と運搬を行い、フォトマスクを清潔に保っている。
【０００３】
現在、最も一般的なフォトマスク運搬方式は、通常、１つのフォトマスクを１つのレチクルポッドの中に置いてから、複数のレチクルポッドを１つのレチクルポッド運搬ケースに一緒に入れ、レチクルポッドの運搬ケース内を軟性物質（例えば、フォーム、スポンジなど）で充填し、レチクルポッドの運搬ケース内の隙間を減少するものである。
これによって各レチクルポッドを強化し、固定して、レチクルポッド運送中に発生するレチクルポッドの運搬ケースの振動によりレチクルポッドの中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止する。
しかし、フォトマスク供給業者の側では、出荷時にレチクルポッドをレチクルポッド運搬ケース内に固定して据え付ける必要があるだけでなく、人の手で軟性物質をレチクルポッド運搬ケースに充填し、ケース内に過多な隙間がないことを確実にする必要がある。
フォトマスクの買い手の側では、レチクルポッドを取り出すときにも、レチクルポッド運搬ケース内に充填された軟性物質を先ず人の手で取り出さなければ、レチクルポッドを取り出すことができず、またこれらの充填用の軟性物質を処分しなければならない。
そのため、需給双方で費用、時間、労力を費やして軟性物質の包装と取り出しを行なわなければならないだけでなく、これらの使用済みの軟性物質をそのまま捨ててしまい、再利用しない場合、自己分解できない軟性物質は、環境汚染をもたらすことにもなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記の問題を解決するため、本発明の主な目的は、キャリアケースの中に固定するレチクルポッドに対して比較的優れた振動防止および保護効果を有する複数の固定部品を具備したレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。
【０００５】
本発明のもう１つの主な目的は、固定部品によってフォトマスクの摩擦または破損を比較的よく防止でき、パーティクルの発生を減少できるレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。
【０００６】
本発明のさらにもう１つの主な目的は、比較的よい弾性構造を有し、応力を有効に解放できる固定部品を具備したレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。
【０００７】
本発明のさらにもう１つの主な目的は、比較的簡単な取り付け方式によって、１つの固定部品の取り外し交換を簡単に行なうことができる固定部品を具備したレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。
【０００８】
本発明のさらにもう１つの目的は、気密リングを別途に有し、比較的優れた気密効果を提供可能なレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。
【０００９】
本発明のさらにもう１つの目的は、滑り止めパッドを別途に有し、レチクルポッドの滑動しフォトマスクが振動することを防止可能なレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的のため、本発明は、レチクルポッドのキャリアケースの中に配置した固定部品を提供する。
このレチクルポッドのキャリアケースは、トップカバーと、ボトムカバーと、複数の仕切り板と、複数の固定部品とを含む。
トップカバーおよびボトムカバーは、ほぼ対応し合い、収納空間を形成する。
ボトムカバーは、ボトムカバーの２つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。
仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込まれ、収納空間を複数の収納空間に分割し、数個のレチクルポッドを置けるようにする。
固定部品は、トップカバー内表面の最上面に設ける。
この固定部品は、最上部を有し、この最上部の両側に外側に向けて傾斜し延伸した１対の翼部がそれぞれ配置されている。
この翼部は、適切な湾曲部で下向きに湾曲し、この翼部の自由端は挟持部を形成する。
この翼部の湾曲部は、さらにこの翼部の自由端内側に向けて傾斜し延伸して当接部を形成する。当接部と最上部との間に第１間隔を保つ。
【発明の効果】
【００１１】
本発明はつぎの効果を有する。
キャリアケースのトップカバーをボトムカバーと合わせるときに、トップカバーの各固定部品はいずれもキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。
固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。
固定部品の当接部は、レチクルポッドを支え、レチクルポッド運送中に発生するキャリアケースの振動によりレチクルポッドの中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止するため、比較的優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は、レチクルポッドのキャリアケースを開示し、特にレチクルポッドのキャリアケースの中に複数の固定部品を配置し、これらの固定部品によってキャリアケースの中のレチクルポッドを固定することを開示する。
本発明で利用するフォトマスクまたはレチクルポッドの詳細な製造または処理プロセスは、既存の技術を利用して達成するため、以下の説明において、完全な描写を行なわない。
また、以降の本文における図面は、実際の寸法に基づき完全に描かれたものではなく、その作用は、本発明の特徴に関する概要図を表すだけである。
【００１３】
図１は、本発明のレチクルポッドのキャリアケースがぐびする固定部品の優れた実施例の概要図である。
この固定部品１は、最上部１０を有し、最上部１０の最上面上にロック穴１０４が配置されており、ロック部品（図には未表示）でこの固定部品１を固定する。
最上部１０の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した１対の翼部１２がそれぞれ配置されている。
この翼部１２は、適切な湾曲部１２２において下向きに湾曲し、この翼部１２の自由端に挟持部１４をそれぞれ形成する。
この翼部１２の湾曲部１２２において、さらにこの翼部１２の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部１６を形成する。
当接部１６と最上部１０との間は、第１間隔Ｃ１を保ち、最上部１０において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
【００１４】
前記のとおり、当接部１６の形状はＶ字形構造に近く、かつ全体的な構造の中で、両端の厚さは中央部に比べて薄い。
最上部１０と翼部１２側で傾斜し延伸して形成された第１夾角Ａ１は鈍角であり、その角度は約１００度〜１７０度で、比較的優れた設計は約１２０度〜１６０度である。
また、翼部１２の湾曲部１２２で傾斜し延伸して形成された当接部１６の第２夾角Ａ２は鋭角であり、その角度は約１０度〜７５度で、比較的優れた設計は約２０度〜６０度である。
また、各湾曲部１２２と自由端との間に第１円弧溝１２４が形成されているため、この固定部品１は比較的優れた弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる。
固定部品１の最上部１０と、翼部１２と、湾曲部１２２と、挟持部１４と、当接部１６とは、一体成形の構造であり、弾性材質製で、製造する材料は、高分子材料、プラスチック材料、ポリエチレン（ＰＥ）材料またはポリプロピレン（ＰＰ）材料の中から選ぶことができ、ポリエチレン（ＰＥ）は耐摩耗性材質である。
【００１５】
図２は、本発明の固定部品のもう１つの比較的優れた実施例の概要図である。
この固定部品１は、最上部１０を有し、最上部１０の最上面上にロック穴１０４が配置されており、ロック部品（図には未表示）でこの固定部品１を固定する。
最上部１０には円柱頂体１０２が別途配置されている。
この円柱頂体１０２は、中空頂体である。
最上部１０の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した１対の翼部１２がそれぞれ配置されている。
この翼部１２は、適切な湾曲部１２２において下向きに湾曲し、この翼部１２の自由端に挟持部１４をそれぞれ形成する。
この翼部１２の湾曲部１２２において、さらにこの翼部１２の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部１６を形成する。
当接部１６と円柱頂体１０２との間は、第２間隔Ｃ２を保ち、最上部１０において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
かつ、円柱頂体１０２の長さは、最上部１０と当接部１６の最も低い箇所との間の距離の１／４〜３／４とすることができ、最上部１０と当接部１６の最も低い箇所との間の距離の半分とすることもできる。
【００１６】
前記のとおり、当接部１６の形状はＶ字形構造に近く、かつ全体的な構造の中で、両端の厚さは中央部に比べて薄い。
最上部１０と翼部１２側で傾斜し延伸して形成された第１夾角Ａ１は鈍角であり、その角度は約１００度〜１７０度で、比較的優れた設計は約１２０度〜１６０度である。
また、翼部１２の湾曲部１２２で傾斜し延伸して形成された当接部１６の第２夾角Ａ２は鋭角であり、その角度は約１０度〜７５度で、比較的優れた設計は約２０度〜６０度である。
また、各湾曲部１２２と自由端との間に第１円弧溝１２４が形成されているため、この固定部品１は比較的優れた弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる。
最上部１０と、翼部１２と、湾曲部１２２と、挟持部１４と、当接部１６とは、一体成形の構造であり、弾性材質製で、製造する材料は、高分子材料、プラスチック材料、ポリエチレン（ＰＥ）材料またはポリプロピレン（ＰＰ）材料の中から選ぶことができ、ポリエチレン（ＰＥ）は耐摩耗性材質である。
前記の固定部品１は比較的簡単な構造を有しているため、一般の射出成形方式を使用して一体成形することができるため、その製造コストは非常に低い。
【００１７】
図３は、本発明の固定部品のもう１つの比較的優れた実施例の概要図である。
この固定部品１は、最上部１０を有し、最上部１０の最上面上にロック穴１０４が配置されており、ロック部品（図には未表示）でこの固定部品１を固定する。
最上部１０には円柱頂体１０２が別途配置されている。
この円柱頂体１０２は、中空頂体である。
最上部１０の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した１対の翼部１２がそれぞれ配置されている。
この翼部１２は、適切な湾曲部１２２において下向きに湾曲し、この翼部１２の自由端に挟持部１４をそれぞれ形成する。
この翼部１２の湾曲部１２２において、さらにこの翼部１２の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部１６を形成する。
挟持部１４と当接部１６との間には、少なくとも１つの支持部１８が設けてある。
支持部１８と当接部１６との接続箇所の厚さは、支持部１８のその他の部分よりも薄く、かつ支持部１８と当接部１６との接続箇所には第２円弧溝１８２がある。
当接部１６と円柱頂体１０２との間は、第２間隔Ｃ２を保ち、最上部１０において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
かつ、円柱頂体１０２の長さは、最上部１０と当接部１６の最も低い箇所との間の距離の１／４〜３／４とすることができ、最上部１０と当接部１６の最も低い箇所との間の距離の半分とすることもできる。
そのため、この固定部品１は、比較的堅固で、かつ比較的優れた弾性構造を有する。
【００１８】
前記のとおり、当接部１６の形状はＶ字形構造に近く、かつ全体的な構造の中で、両端の厚さは中央部に比べて薄い。最上部１０と翼部１２側で傾斜し延伸して形成された第１夾角Ａ１は鈍角であり、その角度は約１００度〜１７０度で、比較的優れた設計為は１２０度〜１６０度である。
また、翼部１２の湾曲部１２２で傾斜し延伸して形成された当接部１６の第２夾角Ａ２は鋭角であり、その角度は約１０度〜７５度で、比較的優れた設計は約２０度〜６０度である。
また、各湾曲部１２２と自由端との間に第１円弧溝１２４が形成されているため、この固定部品１は比較的優れた弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる。
最上部１０と、翼部１２と、湾曲部１２２と、挟持部１４と、当接部１６と、支持部１８とは、一体成形の構造であり、弾性材質製で、製成する材料は、高分子材料、プラスチック材料、ポリエチレン（ＰＥ）材料またはポリプロピレン（ＰＰ）材料の中から選ぶことができ、ポリエチレン（ＰＥ）は耐摩耗性材質である。
【００１９】
図４および図５は、本発明のキャリアケースの比較的優れた実施例の概要図である。
このキャリアケース２は、収納空間を有するトップカバー２０と、収納空間を有するボトムカバー２２とを含むため、トップカバー２０およびボトムカバー２２をほぼ対応させ、物（例えばレチクルポッド）を収納可能な収納空間を形成することができる。
また、ボトムカバー２２の収納空間の中に、少なくとも１つの仕切り板２４が配置され、かつ少なくとも１対のガイドレール２２０がボトムカバー２２の収納空間の中の２つの向かい合った内表面側面上に配置され、仕切り板２４を嵌め込むことができるようになっており、キャリアケース２の収納空間を複数のレチクルポッド収納空間２８に分割するために用いられる。
【００２０】
また、キャリアケース２は、数個の嵌合素子２６ａと数個の嵌合辺部２６ｂとを有する。
嵌合素子２６ａは、ボトムカバー２２の外側の側部上に設けてあり、嵌合辺部２６ｂはトップカバー２０の外側の側部上に設けてある。
嵌合素子２６ａおよび嵌合辺部２６ｂは、相互に対応した異なるカバー上に設置してある。
また、トップカバー２０およびボトムカバー２２の片側は、ヒンジ３０方式で相互に接合する。
気密リング３２がボトムカバーの開口部に設けてあり、キャリアケース２に比較的優れた気密効果を提供している。
滑り止めパッド３４がボトムカバー内の底面に別途敷いてあり、キャリアケース２の中に置いたレチクルポッドの滑動により、フォトマスクが振動することを防止することができる。
【００２１】
図６は、本発明のキャリアケースの比較的優れた実施例の概要図である。
このキャリアケース２は、収納空間を有するトップカバー２０と、収納空間を有するボトムカバー２２とを含むため、トップカバー２０およびボトムカバー２２をほぼ対応させ、レチクルポッドを収納可能な収納空間を形成することができる。
また、ボトムカバー２２の収納空間の中に、少なくとも１つの仕切り板２４が配置され、さらにトップカバー２０の収納空間の内側最上面上に少なくとも１つの固定部品１が配置されている。
また、ボトムカバー２２の収納空間に、少なくとも１対のガイドレール２２０がボトムカバー２２の収納空間の中の２つの向かい合った内表面側面上に配置され、仕切り板２４を嵌め込むことができるようになっており、収納空間を複数の収納空間２８に分割するために用いられる。
【００２２】
前記のとおり、本発明の固定部品１は、トップカバー２０の収納空間の内側最上面上に設置されている。
固定部品１は最上部１０を有し、最上部１０の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した１対の翼部１２がそれぞれ配置されている。
この翼部１２は、適切な湾曲部１２２において下向きに湾曲し、この翼部１２の自由端に挟持部１４をそれぞれ形成する。
この翼部１２の湾曲部１２２において、さらにこの翼部１２の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部１６を形成する。
当接部１６と最上部１０との間は、第１間隔Ｃ１を保ち、最上部１０において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
【００２３】
また、本発明は、固定部品１をトップカバー２０内表面の最上面上に固定する数種の方式を提供する。
固定部品１は、ロック部品（図には未表示）を利用してキャリアケース２上に固定することができるため、固定部品１にはロック穴１０４が最上部１０の最上面上に配置されている。
ロック部品はネジ素子とすることもできる。
または、固定部品１は、粘着接合方式を利用してキャリアケース２上に固定することもできる。
または、固定部品１は、キャリアケース２と一体成型して製造することもできる。そのため、この固定部品１は、比較的簡単な装着方法を有し、１つの固定部品の取り外しと交換が簡単である。
【００２４】
図７は、本発明のキャリアケースのレチクルポッドを入れた比較的優れた実施例の概要図である。
このレチクルポッド３のキャリアケース２は、収納空間を有するトップカバー２０と、収納空間を有するボトムカバー２２とを含むため、トップカバー２０およびボトムカバー２２をほぼ対応させ、レチクルポッドを収納可能な収納空間を形成することができる。
また、ボトムカバー２２の収納空間の中に、少なくとも１つの仕切り板２４が配置され、さらにトップカバー２０の収納空間の内側最上面上に少なくとも１つの固定部品１が配置されている。
また、ボトムカバー２２の収納空間の中に、少なくとも１対のガイドレール２２０がボトムカバー２２の収納空間の中の２つの向かい合った内表面側面上に配置され、仕切り板２４を嵌め込むことができるようになっており、収納空間を複数の収納空間２８に分割するために用いられる。
【００２５】
複数のレチクルポッド３をキャリアケース２の収納空間２８に順番に置いた後、トップカバー２０をボトムカバー２２にかぶせるときに、トップカバー２０の各固定部品１がすべてキャリアケース２の中に置かれた各レチクルポッド３に対応する。
そのため、固定部品１の挟持部１４は、レチクルポッド３を挟持することができ、さらに固定部品１の当接部１６でレチクルポッド３を押さえ、キャリアケース２でレチクルポッド３の運送中に発生する振動によりレチクルポッド３の中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止する。
そのため、比較的優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させることができる。
【００２６】
前記の本発明の比較的優れた実施例は、本発明の権利範囲を限定するためのものではない。
また、以上の説明は、本技術分野の当業者が理解し、実施できるものであるため、本発明で開示された主旨を逸脱せずに完成したその他の同等の変更または修飾は、特許請求の範囲に含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】固定部品の比較的優れた実施例の概要図である。
【図２】固定部品のもう１つの比較的優れた実施例の概要図である。
【図３】固定部品のさらにもう１つの比較的優れた実施例の概要図である。
【図４】レチクルポッドのキャリアケースの側面図である。
【図５】レチクルポッドのキャリアケースの上面図である。
【図６】キャリアケースの側面図である。
【図７】レチクルポッドのキャリアケースの透視図である。
【符号の説明】
【００２８】
１              固定部品
１０            最上部
１０２          円柱頂体
１０４          ロック穴
１２            翼部
１２２          湾曲部
１２４          第１円弧溝
１４            挟持部
１６            当接部
１８            支持部
１８２          第２円弧溝
２              キャリアケース
２０            トップカバー
２２            ボトムカバー
２２０          ガイドレール
２４            仕切り板
２６ａ          嵌合素子
２６ｂ          嵌合辺部
２８            レチクルポッド収納空間
３              レチクルポッド
３０            ヒンジ
３２            気密リング
３４            滑り止めパッド
Ａ１            第１夾角
Ａ２            第２夾角
Ｃ１            第１間隔
Ｃ２            第２間隔
Ｃ３            挟持部と挟持部との間の距離
Ｃ４            ケースの幅
【図１】
2010041018.tif 000003
【図２】
2010041018.tif 000004
【図３】
2010041018.tif 000005
【図４】
2010041018.tif 000006
【図５】
2010041018.tif 000007
【図６】
2010041018.tif 000008
【図７】
2010041018.tif 000009