(57)【要約】【課題】変形を抑制しつつ安定して平板状部材を搬送することのできる搬送装置を提供する。【解決手段】ガラス基板９０の搬送装置は、ガラス基板９０を吊下げるようにその上部を把持するチャック装置５０と、直線の搬送経路に沿って延びるように形成され、チャック装置５０によって吊下げるように把持されるガラス基板９０の下部を両面から非接触で支持する流体支持装置４０ａ，４０ｂと、ガラス基板９０の下部が流体支持装置４０ａ，４０ｂにより支持される状態で維持されるように搬送経路に沿ってチャック装置５０を移動させる電動スライダ３０とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状部材を吊下げるようにその上部を把持する把持手段と、
直線の搬送経路に沿って延びるように形成され、前記把持手段によって吊下げるように把持される前記平板状部材の下部を両面から非接触で支持する非接触支持手段と、
前記平板状部材の下部が前記非接触支持手段により支持される状態を維持するように前記搬送経路に沿って前記把持手段を移動させる移動手段と
を備えることを特徴とする平板状部材の搬送装置。
【請求項２】
前記搬送経路に交差するように延びる腕部を介して前記把持手段と前記移動手段とが連結されることを特徴とする請求項１に記載の平板状部材の搬送装置。
【請求項３】
前記非接触支持手段は、互いに対向して配置されるとともにそれぞれの表面から流体を噴出して静圧を発生させる静圧発生部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の平板状部材の搬送装置。
【請求項４】
前記非接触支持手段は、前記対向して配置された支持部の間隔を調整する調整機構を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の平板状部材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の平板状部材を搬送する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、垂直に立てた状態から若干傾斜させたガラス基板を搬送する装置がある（例えば、特許文献１参照）。図３に示すように、この特許文献１に記載の装置では、本体９２０に傾斜させた搬送台９２１が固定されている。搬送台９２１の下部に支持ローラ９３４が取付けられており、搬送台９２１に立て掛けられたガラス基板９９０の下端が支持ローラ９３４に支持される。また、搬送台９２１の上部に浮上ユニット９４１が取付けられている。浮上ユニット９４１は、立て掛けられたガラス基板９９０の裏面を表面から噴出する気体により非接触で支持する。そして、モータ９３１の駆動力が原動ローラ９３２及び従動ローラ９３３を介して支持ローラ９３４へと伝達され、支持ローラ９３４の回転によりガラス基板９９０が搬送台９２１に沿って搬送される。
【特許文献１】特開２００２−３０８４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、特許文献１に記載の装置では、ガラス基板９９０の裏面を浮上ユニット９４１により非接触で支持するものの、下端が支持ローラ９３４によって支持されたガラス基板９９０は、二点差線で示すように自重で撓むこととなる。このため、ガラス基板９９０やその表面に形成された回路等が損傷を受けたり、ガラス基板９９０の搬送が不安定になったりするおそれがある。また、ガラス基板９９０の下端を支持ローラ９３４によって受けるため、下端の割れや欠けが発生するおそれもある。特に、ガラス基板９９０等の平板状部材が大型化や薄型化するほど、こうした傾向は顕著なものとなる。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、変形を抑制しつつ安定して平板状部材を搬送することのできる搬送装置を提供することを主たる目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、第１の発明は、平板状部材を吊下げるようにその上部を把持する把持手段と、直線の搬送経路に沿って延びるように形成され、前記把持手段によって吊下げるように把持される前記平板状部材の下部を両面から非接触で支持する非接触支持手段と、前記平板状部材の下部が前記非接触支持手段により支持される状態を維持するように前記搬送経路に沿って前記把持手段を移動させる移動手段とを備えることを特徴とする。
【０００６】
第１の発明によれば、平板状部材を吊下げるようにその上部を把持する把持手段を備えるため、把持手段によって平板状部材の上部を把持して平板状部材を吊下げることができる。このように吊下げられる平板状部材は自重により鉛直に延びる形状に保持される。また、直線の搬送経路に沿って延びるように形成され、前記把持手段によって吊下げるように把持される前記平板状部材の下部を両面から非接触で支持する非接触支持手段を備えるため、吊下げられて鉛直に延びる形状に保持される平板状部材の下部が両面から非接触で支持される。このため、平板状部材の変形が抑制されるとともに、その状態で安定させることができる。そして、前記平板状部材の下部が前記非接触支持手段により支持される状態を維持するように前記搬送経路に沿って前記把持手段を移動させる移動手段を備えるため、吊下げるように把持されて下部が両面から非接触で支持される平板状部材を搬送経路に沿って把持手段と共に移動させることができる。その結果、変形を抑制しつつ安定して平板状部材を搬送することができる。さらに、非接触支持手段は平板状部材に作用する重力を受け止める必要がなく、平板状部材の下部が搬送経路からずれることを抑制するため、非接触支持手段による支持力を小さくすることができる。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明において、前記搬送経路に交差するように延びる腕部を介して前記把持手段と前記移動手段とが連結されるため、把持手段を移動させるための駆動機構部等を把持手段の上方を避けた位置に設けることができる。その結果、駆動機構部等から発生するパーティクルが落下して平板状部材に付着することを抑制することができる。さらに、平板状部材の下部をローラ等により支持する構成と比較して、平板状部材との摩擦部分をなくすことができるため、平板状部材へのパーティクルの付着をより効果的に抑制することができる。
【０００８】
第３の発明は、第１又は第２の発明において、前記非接触支持手段は、互いに対向して配置されるとともにそれぞれの表面から流体を噴出して静圧を発生させる静圧発生部を有するため、平板状部材の両面に静圧を印加して釣り合わせることが容易になるとともに、平板状部材に作用する力を互いに打ち消して平板状部材の変形を抑制することができる。
【０００９】
第４の発明は、第１〜第３のいずれかの発明において、前記非接触支持手段は、前記対向して配置された支持部の間隔を調整する調整機構を有するため、対向して配置される支持部の間隔を調整してそれらの間に平板状部材の下部を容易に挿入することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明を具現化した一実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、ガラス基板の検査工程や処理工程の間においてガラス基板を搬送する搬送装置として本発明を具現化している。図１は平板状部材の搬送装置の構成を示す正面図であり、図２はこの搬送装置の側面図である。
【００１１】
図１，２に示すように、この搬送装置の本体２０は、矩形平板状のテーブル２０ａとその四隅を支持する脚部２０ｂとを有している。本体２０は、その長手方向がガラス基板９０（平板状部材）の搬送経路に沿うように配置されている。テーブル２０ａの上面は水平に調整されている。
【００１２】
テーブル２０ａの上面において、短手方向の一端側にある２つの隅には支柱２１がそれぞれ垂直に設けられている。
【００１３】
２つの支柱２１の上部に掛け渡すように電動スライダ３０が設けられている。電動スライダ３０は、角柱状の駆動機構部３１と、この駆動機構部３１によって移動される２つの腕部３２ａ，３２ｂとを有している。駆動機構部３１は、その長手方向の両端部の下面が２つの支柱２１の上端によってそれぞれ支持されている。駆動機構部３１は、その長手方向がガラス基板９０の搬送経路と平行をなし且つ水平に配置されている。駆動機構部３１は、レール，モータ，ギア等を有して構成され、制御信号に応じて腕部３２ａと腕部３２ｂとを互いに等しい速度でレールに沿って長手方向に摺動させる。すなわち、腕部３２ａと腕部３２ｂとの間隔が一定に保たれてこれらの腕部３２ａ，３２ｂが移動される。
【００１４】
腕部３２ａ，３２ｂは、駆動機構部３１にそれぞれ連結されており、駆動機構部３１の駆動によって移動される。腕部３２ａ，３２ｂは、互いに等しい形状で形成されており、上記テーブル２０ａの短手方向において上記支柱２１が設けられた一端側から他端側へ水平方向に延びるように配置される水平部と、この水平部の先端から鉛直下方に延びるように配置される鉛直部とを有している。換言すれば、腕部３２ａ，３２ｂは、駆動機構部３１の長手方向に対して垂直に水平へ延びた後に鉛直下方へ延びている。こうした腕部３２ａ，３２ｂの構成により、駆動機構部３１と腕部３２ａ，３２ｂの先端とが平面視でオフセットした状態とされている。
【００１５】
腕部３２ａ，３２ｂの先端、具体的には腕部３２ａ，３２ｂの鉛直部の先端には、チャック装置５０がそれぞれ設けられている。したがって、腕部３２ａ，３２ｂを介してチャック装置５０と駆動機構部３１とが連結されている。ガラス基板９０の搬送経路に交差するように腕部３２ａ，３２ｂが延びているため、駆動機構部３１をチャック装置５０の上方を避けた位置に設けることができる。チャック装置５０は、互いに対向するハンドを有しており、これらのハンドの間に挿入されるガラス基板９０の上端部を挟むように把持して吊下げることができる。
【００１６】
そして、駆動機構部３１によって腕部３２ａ，３２ｂを移動させることにより、腕部３２ａ，３２ｂに連結されたチャック装置５０、ひいてはチャック装置５０のハンドによって把持されるガラス基板９０を移動させることができる。なお、チャック装置５０は平板状部材を吊下げるようにその上部を把持する把持手段を構成し、電動スライダ３０は把持手段を移動させる移動手段を構成する。
【００１７】
チャック装置５０が移動する経路の下方には、本体２０のテーブル２０ａの上面において流体支持装置４０ａ，４０ｂが設けられている。流体支持装置４０ａは給気配管を内部に有する支持部４１ａ、静圧発生部４２ａ及び支持部４３ａを有し、流体支持装置４０ｂは給気配管を内部に有する支持部４１ｂ、静圧発生部４２ｂ及び支持部４３ｂを有している。支持部４１ａ，４３ａは、ガラス基板９０の縦方向の長さに応じてガラス基板９０の下部に静圧発生部４２ａが位置するように静圧発生部４２ａを支持し、支持部４１ｂ，４３ｂは、ガラス基板９０の縦方向の長さに応じてガラス基板９０の下部に静圧発生部４２ｂが位置するように静圧発生部４２ｂを支持している。静圧発生部４２ａ，４２ｂは一方の面が開放された中空の直方体状に形成され、その開放面に矩形状の多孔質板４２ｃが嵌め込まれている。そして、支持部４１ａ，４１ｂを通じて静圧発生部４２ａ，４２ｂにエアがそれぞれ供給されて、多孔質板４２ｃの表面からエアがそれぞれ噴出して静圧が発生される。静圧発生部４２ａ及び静圧発生部４２ｂは、互いに対向して配置されており、チャック装置５０によって吊下げるように把持されて静圧発生部４２ａと静圧発生部４２ｂとの間に挿入されるガラス基板９０の下部を両面から非接触で支持する。静圧発生部４２ａ，４２ｂは、ガラス基板９０の直線の搬送経路に沿って延びるようにそれぞれ形成されるとともに、この搬送経路に沿って並ぶように配置されている。静圧発生部４２ａ及び静圧発生部４２ｂは、ガラス基板９０の搬送経路の両側に一対配置される。そして、上記電動スライダ３０は、流体支持装置４０ａ，４０ｂの上方においてガラス基板９０の直線の搬送経路に沿って上記チャック装置５０を移動させる。
【００１８】
また、流体支持装置４０ａ，４０ｂは、静圧発生部４２ａと静圧発生部４２ｂとの間隔を調整するシフト装置４５ａ，４５ｂ（調整機構）をそれぞれ有している。シフト装置４５ａ，４５ｂは、モータやギア等により構成され、ガラス基板９０の搬送経路と垂直に水平方向へ静圧発生部４２ａ，４２ｂをそれぞれシフトさせる。
【００１９】
本体２０のテーブル２０ａの上面において、短手方向に関して支柱２１側寄りで長手方向の中央の位置に検出機６１が設けられている。検出機６１は、ガラス基板９０との距離を検出するレーザ変位計６２ａ，６２ｂ，６２ｃを有している。これらの変位計６２ａ，６２ｂ，６２ｃは、チャック装置５０によって把持されたガラス基板９０の上部，中央部，下部にそれぞれ対応した高さに設置されている。そして、変位計６２ａ，６２ｂ，６２ｃはガラス基板９０との距離をそれぞれ検出する。なお、変位計６２ｃは、ガラス基板９０の搬送経路に沿って並んで配置された流体支持装置４０ｂ，４０ｂの間からガラス基板９０との距離を検出する。これらの変位計６２ａ，６２ｂ，６２ｃの検出結果によって、ガラス基板９０の搬送時の安定性やガラス基板９０の異常等を評価することができる。また、こうした変位計６２ａ，６２ｂ，６２ｃをカメラに変更してガラス基板９０の外観を検査することもできる。この場合は、ガラス基板に対して垂直にカメラを配置することができるため、異常の検出精度を上げることができる。
【００２０】
上記の電動スライダ３０、流体支持装置４０ａ，４０ｂに供給するエアを調節する調節部、シフト装置４５ａ，４５ｂ、チャック装置５０、及び検出機６１は、制御部７０によって統括して制御される。制御部７０は、ＣＰＵや各種メモリ等からなるマイクロコンピュータを主体として構成される電子制御装置である。制御部７０は、シフト装置４５ａ，４５ｂを制御して静圧発生部４２ａと静圧発生部４２ｂとの間隔を調整し、これらの間にガラス基板９０の下部を挿入することを可能にする。また、制御部７０は、シフト装置４５ａ，４５ｂを制御して、ガラス基板９０と静圧発生部４２ａ，４２ｂとの間隔をそれぞれ適切に調整する。そして、制御部７０は、電動スライダ３０を制御して、ガラス基板９０の下部が流体支持装置４０ａ，４０ｂにより支持される状態を維持するようにチャック装置５０を移動させることによりガラス基板９０を搬送経路に沿って搬送する。
【００２１】
以上詳述した本実施形態によれば、以下の優れた効果が得られる。
【００２２】
ガラス基板９０を吊下げるようにその上部を把持するチャック装置５０を備えるため、チャック装置５０によってガラス基板９０の上部を把持してガラス基板９０を吊下げることができる。このように吊下げられるガラス基板９０は自重により鉛直に延びる形状に保持される。また、直線の搬送経路に沿って延びるように形成され、チャック装置５０によって吊下げるように把持されるガラス基板９０の下部を両面から非接触で支持する流体支持装置４０ａ，４０ｂを備えるため、吊下げられて鉛直に延びる形状に保持されるガラス基板９０の下部が両面から非接触で支持される。すなわち、ガラス基板９０を自重により鉛直に延びる形状に保持し、ガラス基板９０の揺れを流体支持装置４０ａ，４０ｂにより抑制することができる。このため、ガラス基板９０の変形が抑制されるとともに、その状態で安定させることができる。そして、ガラス基板９０の下部が流体支持装置４０ａ，４０ｂにより支持される状態を維持するようにチャック装置５０を搬送経路に沿って移動させる電動スライダ３０を備えるため、吊下げるように把持されて下部が両面から非接触で支持されるガラス基板９０を搬送経路に沿ってチャック装置５０と共に移動させることができる。その結果、変形を抑制しつつ安定してガラス基板９０を搬送することができる。さらに、流体支持装置４０ａ，４０ｂはガラス基板９０に作用する重力を受け止める必要がなく、ガラス基板９０の下部が搬送経路からずれることを抑制するため、流体支持装置４０ａ，４０ｂによる支持力を小さくすることができる。
【００２３】
ガラス基板９０の搬送経路に交差するように延びる腕部３２ａ，３２ｂを介してチャック装置５０と電動スライダ３０とが連結されるため、チャック装置５０を移動させるための駆動機構部３１をチャック装置５０の上方を避けた位置に設けることができる。その結果、駆動機構部３１から発生するパーティクルが落下してガラス基板９０に付着することを抑制することができる。さらに、ガラス基板の下部をローラ等により支持する構成と比較して、ガラス基板９０との摩擦部分をなくすことができるため、ガラス基板９０へのパーティクルの付着をより効果的に抑制することができる。また、ガラス基板の下部を支持ローラにより支持して支持ローラの回転によりガラス基板を搬送する構成では、ガラス基板の下端部に発生する摩擦力によってガラス基板を搬送するため、ガラス基板の搬送速度を上げるには限度がある。これに対して、本実施形態では、チャック装置５０によりガラス基板９０を把持して搬送するため、ガラス基板９０の搬送速度を上げることができる。
【００２４】
流体支持装置４０ａ，４０ｂは、互いに対向して配置されるとともにそれぞれの表面からエアを噴出して静圧を発生させる静圧発生部４２ａ，４２ｂを有するため、ガラス基板９０の両面に静圧を印加して釣り合わせることが容易になるとともに、ガラス基板９０に作用する力を互いに打ち消してガラス基板９０の変形を抑制することができる。
【００２５】
流体支持装置４０ａ，４０ｂは、対向して配置された静圧発生部４２ａ，４２ｂの間隔を調整するシフト装置４５ａ，４５ｂを有するため、対向して配置される静圧発生部４２ａ，４２ｂの間隔を調整してそれらの間にガラス基板９０の下部を容易に挿入することができる。さらに、シフト装置４５ａ，４５ｂによって、搬送時におけるガラス基板９０と静圧発生部４２ａ，４２ｂとの間隔を調整することができる。
【００２６】
流体支持装置４０ａ，４０ｂは、ガラス基板９０の下部を支持するため、チャック装置５０を支点としたガラス基板９０に垂直な方向の揺れを効果的に抑制することができる。その結果、チャック装置５０に把持されるガラス基板９０の上部に変形による応力が発生することを抑制することができる。
【００２７】
ガラス基板９０を吊下げるようにその上部を把持してガラス基板９０を吊下げて搬送する構成であるため、ガラス基板を斜めに立て掛けて搬送する構成と比較して、装置の設置面積を小さくすることができる。また、ガラス基板の下部を支持ローラで支持してガラス基板を垂直に立てて搬送することも可能であるが、その場合にはガラス基板の自重による撓みを抑制するために、ガラス基板の両側に多くの非接触支持装置を設置することが必要になる。そのようにガラス基板を多くの非接触支持装置で支持する場合には、それらの非接触支持装置から排出されるパーティクルがガラス基板に付着することも問題となる。これに対して、本誌実施形態によれば、ガラス基板９０を自重により鉛直に延びる形状に保持することができるとともに、ガラス基板９０の下部のみを流体支持装置４０ａ，４０ｂで支持することができる。このため、流体支持装置４０ａ，４０ｂを最小限の数にすることができるとともに、ガラス基板９０において回路等が形成される中央付近に流体支持装置４０ａ，４０ｂから排出されるパーティクルが付着することを抑制することができる。さらに、本実施形態では、ガラス基板９０の下端を支持ローラ等によって受けないため、下端の割れや欠けを抑制することができる。
【００２８】
本発明は上記実施形態に限定されず、例えば次のように実施されてもよい。
【００２９】
上記実施形態では、流体支持装置４０ａ，４０ｂがガラス基板９０を非接触で支持する際に使用する気体としてエアを用いたが、窒素等のその他の気体を用いることもできる。
【００３０】
上記実施形態では、流体支持装置４０ａ，４０ｂは、対向して配置された静圧発生部４２ａ，４２ｂの間隔を調整するシフト装置４５ａ，４５ｂを有するようにしたが、シフト装置４５ａ，４５ｂを省略することもできる。この場合には、静圧発生部４２ａ，４２ｂの間隔を拡大するとともに、静圧発生部４２ａ，４２ｂから噴出される流体の量を増加させるようにすればよい。また、ガラス基板９０が最初に挿入される入口の部分の静圧発生部４２ａ，４２ｂの間隔のみを拡大することもできる。
【００３１】
上記実施形態では、駆動機構部３１とチャック装置５０とを連結する腕部３２ａ，３２ｂは、水平部と鉛直部とを有してガラス基板９０の搬送経路に交差するように延びるようにしたが、これに限らず緩やかに曲がる形状等の他の形状を有する腕部を採用することもできる。腕部３２ａ，３２ｂがガラス基板９０の搬送経路に交差する角度も垂直に限らず斜めに交差するようにしてもよい。また、このような腕部を採用せず、チャック装置５０の上方に駆動機構部３１を設けることもできる。
【００３２】
上記実施形態では、静圧発生部４２ａ，４２ｂは、多孔質板とその裏面にエアを流通させる通路を有しており、この通路に高圧のエアを流通させることにより多孔質板の表面からエアを噴出するようにしたが、このような多孔質板に代えて複数の流体噴出孔を有する流体噴出部を採用することもできる。
【００３３】
上記実施形態では、チャック装置５０は、互いに対向するハンドを有しており、これらのハンドの間に挿入されるガラス基板９０の上部を把持して吊下げるようにしたが、真空吸着によりガラス基板の上部を把持するチャック装置を採用することもできる。
【００３４】
上記実施形態では、駆動機構部３１はその長手方向がガラス基板９０の搬送経路に沿うとともに水平に配置されるようにしたが、駆動機構部３１はその長手方向がガラス基板９０の搬送経路に沿うとともに水平から若干傾斜するように配置されるようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】平板状部材の搬送装置を示す正面図。
【図２】図１の搬送装置を示す側面図。
【図３】従来の平板状部材の搬送装置を示す側面図。
【符号の説明】
【００３６】
３０…移動手段としての電動スライダ、４０ａ，４０ｂ…非接触支持手段としての流体支持装置、５０…把持手段としてのチャック装置、９０…平板状部材としてのガラス基板。
【図１】
2010126319.tif 000003
【図２】
2010126319.tif 000004
【図３】
2010126319.tif 000005