(57)【要約】【課題】流体の流出口または流入口を開閉する弁部の、流出口または流入口に対する移動方向において、小型化を図ることが可能なバルブ機構を提供すること。【解決手段】バルブ機構４は、内部に弁室１０が形成されるとともに流入口と流出口とが形成される本体部１１と、弾性材料で形成されるとともに流出口を開閉するための弁体１４と、一端側が弁体１４の内部に配置されるとともに他端側が本体部１１の外部に配置されるレバー部材１５とを備えている。弁体１４は、本体部１１に固定されレバー部材１５の揺動動作の支点となる支点部１４ａと、支点部１４ａよりもレバー部材１５の一端側に配置されるとともに弁室１０の内部に配置され流出口を塞ぐ弁部１４ｂとを備えている。弁部１４ｂは、支点部１４ａを支点とするレバー部材１５の揺動動作によって流出口を開閉する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に弁室が形成されるとともに前記弁室に流入する流体が通過する流入口と前記弁室から流出する前記流体が通過する流出口とが形成される本体部と、弾性材料で形成されるとともに前記流入口または前記流出口を開閉するための弁体と、一端側が前記弁体の内部に配置されるとともに他端側が前記本体部の外部に配置されるレバー部材とを備え、
前記弁体は、前記本体部に固定され前記レバー部材の揺動動作の支点となる支点部と、前記支点部よりも前記レバー部材の一端側に配置されるとともに前記弁室の内部に配置され前記流入口または前記流出口を開閉する弁部とを備え、
前記弁部は、前記支点部を支点とする前記レバー部材の揺動動作によって前記流入口または前記流出口を開閉することを特徴とするバルブ機構。
【請求項２】
前記レバー部材には、前記レバー部材を揺動動作させるための力点が前記レバー部材の他端側に形成され、
前記レバー部材の力点から前記支点部までの距離は、前記弁部から前記支点部までの距離以上であることを特徴とする請求項１記載のバルブ機構。
【請求項３】
前記弁部が前記流入口または前記流出口を塞ぐ方向へ前記レバー部材の他端側を付勢するレバー付勢部材を備えることを特徴とする請求項１または２記載のバルブ機構。
【請求項４】
前記弁部は、前記流出口を開閉することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のバルブ機構。
【請求項５】
前記本体部は、分割可能な第１本体部と第２本体部とを備え、
前記第１本体部および前記第２本体部のそれぞれには、前記弁室を構成する凹部が形成され、
前記支点部は、前記第１本体部と前記第２本体部との合せ目からの前記流体の漏れを防止するシール機能を果たしていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のバルブ機構。
【請求項６】
前記第１本体部および／または前記第２本体部には、前記弁室内の圧力に起因する前記支点部の移動を防止するための移動防止部が形成され、
前記支点部は、前記弁室内の圧力に起因して前記レバー部材の揺動動作の支点が移動しないように、前記第１本体部と前記第２本体部とに保持されていることを特徴とする請求項５記載のバルブ機構。
【請求項７】
前記弁体には、前記第１本体部と前記第２本体部との合せ目からの前記流体の漏れを防止する略枠状のシール部が前記支点部に繋がるように形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のバルブ機構。
【請求項８】
弾性材料で形成されるとともに、前記流入口に繋がる流入孔と前記流出口に繋がる流出孔とが形成されるシール部材を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のバルブ機構。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載のバルブ機構と、前記レバー部材を揺動させて前記弁体の開閉動作を行うためのバルブ駆動機構とを備え、
前記バルブ駆動機構は、前記レバー部材に当接して前記弁部が前記流入口または前記流出口を開放する方向へ前記レバー部材を動作させるカム部を有し前記バルブ機構に対して往復直進動作を行う可動体と、一端面が前記可動体に固定される駆動用コイルと、前記駆動用コイルの他端面に対向配置される略平板状の駆動用磁石とを備えることを特徴とするバルブ装置。
【請求項１０】
前記駆動用磁石は、前記可動体の移動方向で多極に着磁され、
前記移動方向に直交する方向における前記駆動用コイルの一端から他端までの全幅は、前記移動方向における前記駆動用コイルの一端から他端までの全幅よりも広いことを特徴とする請求項９記載のバルブ装置。
【請求項１１】
前記バルブ駆動機構は、前記レバー部材から離れる方向へ前記可動体を付勢する可動体付勢部材を備えることを特徴とする請求項９または１０記載のバルブ装置。
【請求項１２】
前記駆動用コイルへの電流の供給が停止されると、前記レバー部材から前記カム部が離れて、前記弁部が前記流入口または前記流出口を塞ぐことを特徴とする請求項１１記載のバルブ装置。
【請求項１３】
前記レバー部材に前記カム部が当接した状態を保持するための磁気保持機構を備え、
前記磁気保持機構の保持力は、前記レバー部材に前記カム部が当接しているときの前記可動体付勢部材の付勢力よりも小さく設定されていることを特徴とする請求項１１または１２記載のバルブ装置。
【請求項１４】
前記駆動用磁石が固定されるケース部材と、磁性材料で形成されるとともに前記駆動用コイルの一端面側で前記可動体を覆うように配置され前記ケース部材に固定されるカバー部材と、前記可動体を直進動作させるために前記可動体に回転可能に保持されるボール部材とを備え、
前記カバー部材には、前記ボール部材に当接して前記可動体と前記カバー部材との接触を防止するボール部材当接部が形成されていることを特徴とする請求項９から１３のいずれかに記載のバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流れを制御するためのバルブ機構およびこのバルブ機構を備えるバルブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体の流れを制御するためのバルブ機構として、軸方向に往復移動して弁室から流体が流出する流出口の開閉を行う可動軸と、可動軸を駆動するためのコイルおよび永久磁石とを備えるバルブ機構が知られている（たとえば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載のバルブ機構では、円筒状に巻回されたコイルと、円筒状に形成された永久磁石とが可動軸の軸方向で重なるように配置されている。また、可動軸は、磁性体で形成されており、コイルおよび永久磁石の内周側に配置されている。このバルブ機構では、コイルへの通電方向を切り替えることで、可動軸の端部に形成される磁極が切り替わり、可動軸が軸方向に移動して流出口の開閉を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１６９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のバルブ機構では、可動軸が軸方向に移動して流出口の開閉を行う。すなわち、このバルブ機構では、流出口に対する可動軸の移動方向と可動軸の軸方向とが一致している。そのため、このバルブ機構では、流出口に対する可動軸の移動方向において、小型化を図ることが困難である。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、流体の流出口または流入口を開閉する弁部の、流出口または流入口に対する移動方向において、小型化を図ることが可能なバルブ機構およびこのバルブ機構を備えるバルブ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明のバルブ機構は、内部に弁室が形成されるとともに弁室に流入する流体が通過する流入口と弁室から流出する流体が通過する流出口とが形成される本体部と、弾性材料で形成されるとともに流入口または流出口を開閉するための弁体と、一端側が弁体の内部に配置されるとともに他端側が本体部の外部に配置されるレバー部材とを備え、弁体は、本体部に固定されレバー部材の揺動動作の支点となる支点部と、支点部よりもレバー部材の一端側に配置されるとともに弁室の内部に配置され流入口または流出口を開閉する弁部とを備え、弁部は、支点部を支点とするレバー部材の揺動動作によって流入口または流出口を開閉することを特徴とする。
【０００７】
本発明のバルブ機構では、一端側が弁体の内部に配置されるレバー部材の、支点部を支点とする揺動動作に伴って、弁室の内部に配置される弁部が移動して流入口または流出口を開閉する。そのため、このバルブ機構では、流出口または流入口に対する弁部の移動方向に、弁部を移動させるための構成を配置しなくても、弁部による流入口または流出口の適切な開閉動作を行うことが可能になる。したがって、本発明では、流出口または流入口に対する弁部の移動方向において、バルブ機構を小型化することが可能になる。
【０００８】
本発明において、レバー部材には、レバー部材を揺動動作させるための力点がレバー部材の他端側に形成され、レバー部材の力点から支点部までの距離は、弁部から支点部までの距離以上であることが好ましい。このように構成すると、レバー部材の力点に加える外力が小さくても、弁部を移動させて弁体の適切な開閉動作を行うことが可能になる。
【０００９】
本発明において、バルブ機構は、弁部が流入口または流出口を塞ぐ方向へレバー部材の他端側を付勢するレバー付勢部材を備えることが好ましい。このように構成すると、流入口または流出口を弁部によって確実に塞ぐことが可能になり、弁室からの流体の漏れを防止することが可能になる。
【００１０】
本発明において、弁部は、たとえば、流出口を開閉する。この場合には、弁室内の流体の圧力に起因する流出口を塞ぐ方向への弁部の押圧力を、流出口の面積分だけ、弁室内の流体の圧力に起因する流出口を開放する方向への弁部の押圧力よりも大きくすることが可能になる。したがって、この場合には、流体の流入側の圧力が大きくなっても、流出口からの流体の漏れを防止することが可能になる。
【００１１】
本発明において、本体部は、分割可能な第１本体部と第２本体部とを備え、第１本体部および第２本体部のそれぞれには、弁室を構成する凹部が形成され、支点部は、第１本体部と第２本体部との合せ目からの流体の漏れを防止するシール機能を果たしていることが好ましい。このように構成すると、支点部に別途、シール部材を配置する必要がなくなる。したがって、バルブ機構の構成を簡素化することが可能になる。
【００１２】
本発明において、第１本体部および／または第２本体部には、弁室内の圧力に起因する支点部の移動を防止するための移動防止部が形成され、支点部は、弁室内の圧力に起因してレバー部材の揺動動作の支点が移動しないように、第１本体部と第２本体部とに保持されていることが好ましい。このように構成すると、弁室内の圧力が大きくなっても、支点部を支点としたレバー部材の安定した動作が可能になる。
【００１３】
本発明において、弁体には、第１本体部と第２本体部との合せ目からの流体の漏れを防止する略枠状のシール部が支点部に繋がるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、シール部と弁体とが別体で形成されている場合と比較して、部品点数を削減できるとともに、組立時におけるシール部の取扱いが容易になる。
【００１４】
本発明において、バルブ機構は、弾性材料で形成されるとともに、流入口に繋がる流入孔と流出口に繋がる流出孔とが形成されるシール部材を備えることが好ましい。このように構成すると、１個のシール部材を用いた簡易な構成で、本体部に流入する流体の漏れ、および、本体部から流出する流体の漏れを防止することが可能になる。
【００１５】
本発明のバルブ機構は、レバー部材を揺動させて弁体の開閉動作を行うためのバルブ駆動機構を備えるバルブ装置に用いることができる。このバルブ装置では、たとえば、バルブ駆動機構は、レバー部材に当接して弁部が流入口または流出口を開放する方向へレバー部材を動作させるカム部を有しバルブ機構に対して往復直進動作を行う可動体と、一端面が可動体に固定される駆動用コイルと、駆動用コイルの他端面に対向配置される略平板状の駆動用磁石とを備えている。このバルブ装置では、流出口または流入口に対する弁部の移動方向において、バルブ機構を小型化することが可能になる。また、このバルブ装置では、駆動用コイルの厚み（一端面と他端面との距離）や駆動用磁石の厚みを薄くすることで、流出口または流入口に対する弁部の移動方向において、バルブ駆動機構を小型化することが可能になる。したがって、このバルブ装置では、流出口または流入口に対する弁部の移動方向において、装置を薄型化することが可能になる。
【００１６】
本発明において、駆動用磁石は、可動体の移動方向で多極に着磁され、移動方向に直交する方向における駆動用コイルの一端から他端までの全幅は、移動方向における駆動用コイルの一端から他端までの全幅よりも広いことが好ましい。このように構成すると、可動体を直進動作させるための駆動力に利用される駆動用コイルの有効部分が大きくなる。したがって、可動体を直進動作させるための駆動力を高めることができる。
【００１７】
本発明において、バルブ駆動機構は、レバー部材から離れる方向へ可動体を付勢する可動体付勢部材を備えることが好ましい。このように構成すると、レバー部材から離れる方向へ可動体を移動させる際には、駆動用コイルへの通電を止めれば良いため、省電力化を図ることが可能になる。また、この場合には、駆動用コイルへの電流の供給が停止されると、レバー部材からカム部が離れて、弁部が流入口または流出口を塞ぐことが好ましい。このように構成すると、駆動用コイルへの通電が停止されても、可動体付勢部材の付勢力で、カム部がレバー部材から離れ、たとえば、レバー付勢部材の付勢力で、レバー部材を動作して、弁部が流入口または流出口を塞ぐ。したがって、たとえば、停電等によって、駆動用コイルへ電流が供給されない場合であっても、弁室からの流体の漏れを防止することが可能になる。
【００１８】
本発明において、バルブ装置は、レバー部材にカム部が当接した状態を保持するための磁気保持機構を備え、磁気保持機構の保持力は、レバー部材にカム部が当接しているときの可動体付勢部材の付勢力よりも小さく設定されていることが好ましい。このように構成すると、レバー部材にカム部が当接している状態を維持するのに必要な駆動用コイルへの通電量を低減することができ、省電力化を図ることが可能になる。また、レバー部材から離れる方向へ可動体を移動させる際には、駆動用コイルへの通電を止めれば良いため、いわゆるノーマルクローズのバルブ装置を実現することが可能になる。
【００１９】
本発明において、バルブ装置は、駆動用磁石が固定されるケース部材と、磁性材料で形成されるとともに駆動用コイルの一端面側で可動体を覆うように配置されケース部材に固定されるカバー部材と、可動体を直進動作させるために可動体に回転可能に保持されるボール部材とを備え、カバー部材には、ボール部材に当接して可動体とカバー部材との接触を防止するボール部材当接部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、駆動用磁石が発生させる磁束を有効に利用するため、および、バルブ装置の外部の磁界の影響を低減するためにカバー部材が磁性材料で形成される場合であっても、可動体を直進動作させるためのボール部材を用いて、可動体とカバー部材との接触を防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明では、流体の流出口または流入口に対する弁部の移動方向において、バルブ機構およびバルブ装置を小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態にかかるバルブ装置の斜視図である。
【図２】図１のバルブ装置の分解斜視図である。
【図３】図１のバルブ装置の他の方向からの分解斜視図である。
【図４】図２に示すバルブ機構の斜視図である。
【図５】図４に示すバルブ機構の断面図である。
【図６】図５のＥ部の拡大図である。
【図７】図４に示すバルブ機構の分解斜視図である。
【図８】図７に示す弁体およびレバー部材の他の方向からの斜視図である。
【図９】図２に示すケース部材の斜視図である。
【図１０】図１のＦ−Ｆ断面の断面図である。
【図１１】図２に示す駆動用磁石と図３に示す駆動用コイルとの配置関係を説明するための模式図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態にかかる駆動用磁石と駆動用コイルとの配置関係を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
（バルブ装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるバルブ装置１の斜視図である。図２は、図１のバルブ装置１の分解斜視図である。図３は、図１のバルブ装置１の他の方向からの分解斜視図である。
【００２４】
本形態のバルブ装置１は、図１に示すように、扁平な略直方体状に形成されている。このバルブ装置１は、非常に小さくかつ薄く形成されており、たとえば、その縦幅および横幅は１５ｍｍ程度であり、その厚さは２ｍｍ程度である。バルブ装置１は、図２、図３に示すように、流体の流入部２および流出部３を有するバルブ機構４と、バルブ機構４を構成する後述の弁体１４の開閉動作を行うためのバルブ駆動機構５とを備えている。また、バルブ装置１は、バルブ機構４の一部を構成するとともにバルブ装置１の筐体を構成する箱状のケース部材６と、ケース部材６の開口部側を覆うカバー部材７とを備えている。
【００２５】
なお、以下の説明では、図１に示すように、互いに直交する３方向のそれぞれをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向とする。また、図１のＸ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）」側、Ｚ１方向側を「上」側、Ｚ２方向側を「下」側とする。
【００２６】
（バルブ機構の構成）
図４は、図２に示すバルブ機構４の斜視図である。図５は、図４に示すバルブ機構４の断面図である。図６は、図５のＥ部の拡大図である。図７は、図４に示すバルブ機構４の分解斜視図である。図８は、図７に示す弁体１４およびレバー部材１５の他の方向からの斜視図である。図９は、図２に示すケース部材６の斜視図である。
【００２７】
バルブ機構４は、図５、図６に示すように、内部に弁室１０が形成される本体部１１を備えている。本体部１１には、弁室１０に流入する流体が通過する流入口１２と弁室１０から流出する流体が通過する流出口１３とが形成されている。また、バルブ機構４は、図５、図７に示すように、流出口１３を開閉するための弁体１４と、右端側が弁体１４の内部に配置されるとともに左端側が本体部１１の外部に配置されるレバー部材１５と、レバー部材１５の左端側を付勢するレバー付勢部材としての板バネ１６と、流入口１２に繋がる流入孔１７ａと流出口１３に繋がる流出孔１７ｂとが形成されるシール部材１７とを備えている。
【００２８】
本体部１１は、略直方体状に形成され、上下方向に分割可能な第１本体部１９と第２本体部２０とを備えている。本形態では、第１本体部１９が下側に配置され、第２本体部２０が上側に配置されており、第１本体部１９と第２本体部２０とは互いに固定されている。また、本形態では、図９に示すように、ケース部材６の右前端側の一部が第１本体部１９となっている。なお、図４〜図７では、便宜上、ケース部材６の、第１本体部１９を除いた部分（第１本体部１９以外の部分）の図示を省略している。
【００２９】
第１本体部１９は、樹脂で形成されている。また、第１本体部１９は、図７に示すように、上面側が開口する直方体の箱状に形成されている。すなわち、第１本体部１９には、図６に示すように、弁室１０を構成する凹部１９ａが第１本体部１９の上面から下側に向かって窪むように形成されている。また、第１本体部１９には、弁体１４を構成する後述の支点部１４ａが配置される支点配置凹部１９ｂと、弁体１４を構成する後述のシール部１４ｄが配置されるシール部配置凹部１９ｃとが第１本体部１９の上面から下側に向かって窪むように形成されている。
【００３０】
支点配置凹部１９ｂは、凹部１９ａの左端に繋がるように形成されている。シール部配置凹部１９ｃは、凹部１９ａの前後両端の縁および右端の縁に沿って略枠状に形成されている。また、第１本体部１９には、レバー部材１５の一部が配置される配置溝１９ｄが第１本体部１９の左側面から支点配置凹部１９ｂに通じるように形成されている。この配置溝１９ｄの深さ（上下方向の深さ）は、レバー部材１５の揺動動作が可能となる深さになっている。
【００３１】
凹部１９ａの、支点配置凹部１９ｂとの境界部分、および、配置溝１９ｄの、支点配置凹部１９ｂとの境界部分には、弁体１４を構成する後述の支点部１４ａの、弁室１０内の圧力に起因する移動を防止するための移動防止部１９ｅが形成されている。具体的には、図７に示すように、前後方向の内側および上側に突出する枠状に、移動防止部１９ｅが形成されている。この移動防止部１９ｅには、たとえば、支点配置凹部１９ｂに向かうにしたがって、前後方向の内側あるいは上側に向かって傾斜する傾斜面１９ｆが形成されており、前後方向に直交する方向における移動防止部１９ｅの断面は、図５に示すように、略直角三角形状となっている。
【００３２】
なお、移動防止部１９ｅは、凹部１９ａの、支点配置凹部１９ｂとの境界部分の下端側、および、配置溝１９ｄの、支点配置凹部１９ｂとの境界部分の下端側から上側のみに突出するように形成されても良い。また、レバー部材１５の揺動動作を妨げることがないのであれば、揺動動作を行っているときのレバー部材１５が移動防止部１９ｅの一部に接触するように、移動防止部１９ｅが形成されても良い。さらに、弁室１０内の圧力が高い場合には、移動防止部１９ｅは、配置溝１９ｄの、支点配置凹部１９ｂとの境界部分のみに形成されても良い。
【００３３】
凹部１９ａの底面側には、フッ素系樹脂等の潤滑性に優れた樹脂で形成された矩形の板状部材２１が固着されている。板状部材２１には、上下方向に貫通するとともに左右方向で隣接する２個の貫通孔２１ａ、２１ｂが形成されている。本形態では、右側に形成される貫通孔２１ａの上端が流入口１２となっており、左側に配置される貫通孔２１ｂの上端が流出口１３となっている。貫通孔２１ｂの上端の縁には、弁体１４を構成する後述の弁部１４ｂが当接する円環状の弁座２１ｃが上側に向かってわずかに突出するように形成されている。弁座２１ｃは、弁部１４ｂと板状部材２１との接触面積を限定して、弁部１４ｂと板状部材２１との接触面積が時間の経過とともに増加するのを防止する機能を果たしている。なお、第１本体部１９には、図６に示すように、貫通孔２１ａ、２１ｂに繋がる貫通孔１９ｅ、１９ｆが凹部１９ａの底面から第１本体部１９の下面まで貫通するように形成されている。
【００３４】
第２本体部２０は、樹脂で形成されている。また、第２本体部２０は、第１本体部１９の上面側を覆う矩形の板状に形成されている。第２本体部２０には、図６に示すように、弁室１０を構成する凹部２０ａが第２本体部２０の下面から上側に向かって窪むように形成されている。また、第２本体部２０には、弁体１４を構成する後述の支点部１４ａが配置される支点配置凹部２０ｂが第２本体部２０の下面から上側に向かって窪むように形成されている。この支点配置凹部２０ｂは、凹部２０ａの左端に繋がるように形成されている。また、第２本体部２０には、第１本体部１９の配置溝１９ｄに対応するように、配置溝２０ｄが形成されている。すなわち、第２本体部２０の左側面から支点配置凹部２０ｂに通じるように配置溝２０ｄが形成されている。
【００３５】
凹部２０ａの、支点配置凹部２０ｂとの境界部分、および、配置溝２０ｄの、支点配置凹部２０ｂとの境界部分には、弁体１４を構成する後述の支点部１４ａの、弁室１０内の圧力に起因する移動を防止するための移動防止部２０ｅが形成されている。具体的には、図５に示すように、第２本体部２０の下面側に突出するように、移動防止部２０ｅが形成されている。この移動防止部２０ｅには、たとえば、支点配置凹部２０ｂに向かうにしたがって、下側に向かって傾斜する傾斜面２０ｆが形成されており、前後方向に直交する方向における移動防止部２０ｅの断面は、図５に示すように、略直角三角形状となっている。なお、弁室１０内の圧力が高い場合には、移動防止部２０ｅは、配置溝２０ｄの、支点配置凹部２０ｂとの境界部分のみに形成されても良い。
【００３６】
弁体１４は、弾性材料で形成されている。具体的には、本形態の弁部１４は、ゴムで形成されている。この弁体１４は、本体部１１に固定されレバー部材１５の揺動動作の支点となる支点部１４ａと、弁座２１ｃに当接して流出口１３を塞ぐ弁部１４ｂが形成される弁部形成部１４ｃと、第１本体部１９と第２本体部２０との合せ目からの流体の漏れを防止するシール部１４ｄとを備えている。なお、弁部１４は、ゴム性を有する樹脂材料で形成されても良い。
【００３７】
支点部１４ａは、略直方体状に形成されている。支点部１４ａの左右方向の略中心には、前後方向および上下方向にわずかに突出する環状の突起部１４ｅが形成されている。弁部形成部１４ｃは、前後方向の幅および上下方向の幅が支点部１４ａよりも小さな略直方体状に形成され、支点部１４ａから右側に向かって突出するように形成されている。弁部１４ｂは、弁部形成部１４ｃの下面に形成されている。具体的には、弁部形成部１４ｃの下面の右端側に円環状の弁部１４ｂが形成されている。また、弁部１４ｂは、弁部形成部１４ｃの下面から下側に向かってわずかに突出するように形成されている。シール部１４ｄは、支点部１４ａから右側に向かって突出するように（すなわち、支点部１４ａに繋がるように）形成されるとともに、弁部形成部１４ｃの前後両側面および右側面の周囲を囲む略枠状に形成されている。
【００３８】
支点部１４ａは、その上下両側面、前後両側面および左右両側面が支点配置凹部１９ｂ、２０ｂの側面に当接した状態で支点配置凹部１９ｂ、２０ｂの中に配置されており、本体部１１に固定されている。また、弁部形成部１４ｃは、弁室１０の内部に配置されている。
【００３９】
支点配置凹部１９ｂ、２０ｂの中に支点部１４ａが配置された状態では、突起部１４ｅによって、本体部１１の左側面における第１本体部１９と第２本体部２０との合せ目からの流体の漏れが防止されている。すなわち、支点部１４ａは、本体部１１の左側面における第１本体部１９と第２本体部２０との合せ目からの流体の漏れを防止するシール機能を果たしている。また、支点配置凹部１９ｂ、２０ｂの中に支点部１４ａが配置された状態では、支点部１４ａの左右両側面は、移動防止部１９ｅ、２０ｅに当接しており、支点部１４ａは、弁室１０内の圧力に起因してレバー部材１５の揺動動作の支点が移動することがないように、第１本体部１９と第２本体部２０とに保持されている。
【００４０】
シール部１４ｄは、シール部配置凹部１９ｃの側面および第２本体部２０の下面に当接した状態でシール部配置凹部１９ｃの中に配置されており、本体部１１の前後両側面および右側面における第１本体部１９と第２本体部２０との合せ目からの流体の漏れを防止している。
【００４１】
レバー部材１５は、ステンレス鋼板等の金属製の薄板で形成されている。上述のように、レバー部材１５の右端側は、弁体１４の内部に配置されている。具体的には、レバー部材１５の右端側は、支点部１４ａおよび弁部形成部１４ｃの内部に固定されている。また、レバー部材１５の右端部が弁部１４ｂの上方に配置されるように、レバー部材１５は、支点部１４ａの左側面から弁部形成部１４ｃの右端側まで挿入されている。なお、レバー部材１５と弁体１４とは、たとえば、インサート成型で形成されている。そのため、レバー部材１５は、弁部形成部１４ｃに覆われており、弁室１０内の流体と接触しないようになっている。
【００４２】
レバー部材１５の左端部１５ａは、上方向に向かって折れ曲がっている。このレバー部材１５の左端部１５ａの上端側には、バルブ駆動機構５を構成する後述のカム部３３が当接する。本形態では、左端部１５ａは、レバー部材１５を揺動動作させるためのレバー部材１５の力点となっている。また、本形態では、図５に示すように、左右方向において、レバー部材１５の左端部１５ａから支点部１４ａの中心位置までの距離Ｌ１は、弁部１４ｂの中心位置から支点部１４ａの中心位置までの距離Ｌ２よりも長くなっている。たとえば、距離Ｌ１は、距離Ｌ２の約３倍となっている。
【００４３】
板バネ１６は、その右端側が第１本体部１９に固定されている。すなわち、板バネ１６の右端側は、ケース部材６に固定されている。本形態では、Ｘ方向とＹ方向とから形成されるＸＹ平面に略平行な平板部１６ｂの右端側がケース部材６に固定されている。また、板バネ１６は、平板部１６ｂから曲げ起こされるように形成されたバネ部１６ａを備えている。バネ部１６ａは、平板部１６ｂの右端側から左斜め上側に向かって曲げ起こされるように形成されるとともに、平板部１６ｂに対して緩やかに傾斜する略平面状に形成されており、平板部１６ｂの右端側を支点にして撓む。バネ部１６ａの先端（左端）は、ＸＹ平面と略平行な平面部１６ｃとなっている。本形態では、平面部１６ｃがレバー部材１５の左端側の下面に当接している。すなわち、図５に示すように、左端部１５ａの下側部分に平面部１６ｃが当接している。また、本形態では、板バネ１６は、支点部１４ａを中心とする図５の時計方向にレバー部材１５を付勢している。すなわち、板バネ１６は、弁部１４ｂが流出口１３を塞ぐ方向へレバー部材１５を付勢している。
【００４４】
なお、本形態では、バネ部１６ａは、平板部１６ｂの右端側から曲げ起こされ、かつ、バネ部１６ａの左端に形成される平面部１６ｃがレバー部材１５に当接しており、板バネ１６のバネ定数は比較的、小さくなっている。そのため、本形態では、後述のようにレバー部材１５を揺動させるバルブ駆動機構５の駆動力を低減することが可能になる。
【００４５】
シール部材１７は、弾性材料で形成されている。具体的には、本形態のシール部材１７は、ゴムで形成されている。このシール部材１７は、第１本体部１９の下面に当接するように配置されている。具体的には、第１本体部１９に形成される貫通孔１９ｅに流入孔１７ａが繋がり、貫通孔１９ｆに流出孔１７ｂが繋がるように、シール部材１７は第１本体部１９の下面に当接している。本形態では、流入孔１７ａの下端が流入部２となり、流出孔１７ｂの下端が流出部３となっている。なお、シール部材１７は、ゴム性を有する樹脂材料で形成されても良い。
【００４６】
ここで、本形態では、貫通孔１９ｅの下端側の縁部および貫通孔１９ｆの下端側の縁部は、本体部１１の下面より下側にわずかに突出している。そのため、バルブ装置１が搭載される上位装置に、バルブ装置１が搭載されると、貫通孔１９ｅの下端側の縁部および貫通孔１９ｆの下端側の縁部と上位装置とにシール部材１７が挟まれる。本形態では、貫通孔１９ｅの下端側の縁部および貫通孔１９ｆの下端側の縁部は、上位装置との間に挟まれるシール部材１７を変形させて、シール部材１７のシール機能を高めている。
【００４７】
（バルブ駆動機構、ケース部材およびカバー部材の構成）
図１０は、図１のＦ−Ｆ断面の断面図である。図１１は、図２に示す駆動用磁石２７と図３に示す駆動用コイル２６との配置関係を説明するための模式図である。
【００４８】
バルブ駆動機構５は、図２、図３に示すように、ケース部材６およびカバー部材７に対して前後方向に直線状に相対移動する可動体２５と、可動体２５に固定される２個の駆動用コイル２６と、ケース部材６に固定され駆動用コイル２６に対向配置される駆動用磁石２７と、可動体２５を後方（Ｙ２方向側）に向かって付勢する可動体付勢部材としての２個の圧縮コイルバネ２８とを備えている。
【００４９】
可動体２５は、図３に示すように、平板状に形成されるベース部３０と、ケース部材６およびカバー部材７に対する接触抵抗を軽減して、可動体２５を前後方向に円滑に移動させるための４個のボール部材３１と、ボール部材３１をそれぞれ保持する４個のボール保持部３２と、レバー部材１５の左端部１５ａに当接してレバー部材１５を動作させるカム部３３と、バルブ装置１の前端側に移動した可動体２５をバルブ装置１の前端側で保持するための保持用磁石３４とを備えている。本形態の可動体２５は、バルブ機構４に対して往復直進動作を行う。
【００５０】
ベース部３０は、非磁性材料で形成されている。たとえば、ベース部３０は、黄銅やリン青銅等の非磁性の金属材料で形成されている。また、ベース部３０は、略矩形の薄板状に形成されている。ベース部３０の右端側の前端には、第２本体部２０等との干渉を防止するための切欠部３０ａが形成されている。
【００５１】
ボール保持部３２は、樹脂で形成されている。４個のボール保持部３２は、ベース部３０の四隅のそれぞれに配置されている。すなわち、ベース部３０の四隅のそれぞれにボール部材３１が配置されている。ボール部材３１は、球状に形成され、ボール保持部３２に回転可能に保持されている。また、図１０に示すように、ボール部材３１は、ケース部材６に形成される後述の案内溝６ｂの底面と、カバー部材７に形成される後述のボール部材当接部７ｂに当接可能となるように、ボール保持部３２に保持されている。具体的には、ボール部材３１の下端側がボール保持部３２の下端よりも下側に突出し、ボール部材３１の左右方向の両端側がボール保持部３２の左右両端よりも外側に突出するように、ボール部材３１がボール保持部３２に保持されている。
【００５２】
カム部３３は、板状に形成され、ベース部３０の左前端側の下面に固定されている。カム部３３には、レバー部１５の左端部１５ａの上端側に当接するカム面３３ａが形成されている。具体的には、前側に向かうにしたがって上側に傾斜する斜面状にカム面３３ａが形成されている。保持用磁石３４は、矩形の板状に形成され、カム部３３の右側に隣接するようにベース部３０の前端側の下面に固定されている。
【００５３】
駆動用コイル２６は、略長方形状に巻回された空芯コイルである。この駆動用コイル２６の厚み（上下方向の厚み）は、非常に薄くなっている。すなわち、駆動用コイル２６は、扁平コイルである。本形態では、２個の駆動用コイル２６が前後方向で隣接するように、ベース部３０の下面に固定されている。すなわち、２個の駆動用コイル２６の上端面がベース部３０に固定されている。図１１に示すように、左右方向における駆動用コイル２６の一端から他端までの全幅Ｈ１は、前後方向における駆動用コイル２６の一端から他端までの全幅Ｈ２よりも広くなっている。たとえば、左右方向における駆動用コイル２６の全幅Ｈ１は、前後方向における駆動用コイル２６の全幅Ｈ２の約２倍となっている。
【００５４】
２個の駆動用コイル２６の一方を形成する導線の一端部と、２個の駆動用コイル２６の他方を構成する導線の一端部とは、図１１に示すように、接続部Ｃで接続されており、２個の駆動用コイル２６は、直列に接続されている。また、２個の駆動用コイル２６の一方を形成する導線の他端側は、ケース部材６の後端の左右両端側に固定された２個の端子３５の一方に巻回されて固定され、２個の駆動用コイル２６の他方を構成する導線の他端側は、２個の端子３５の他方に巻回されて固定されている。本形態では、図１１に示すように、２個の駆動用コイル２６の巻回方向が異なっている。すなわち、一方の駆動用コイル２６は、図３の時計方向に巻回され、他方の駆動用コイル２６は、図３の反時計方向に巻回されている。なお、２個の駆動用コイル２６は、１本の導線が順次、巻回されることで形成されても良い。
【００５５】
駆動用磁石２７は、略矩形の平板状に形成されている。この駆動用磁石２７は、箱状に形成されたケース部材６の底面に形成される磁石配置凹部６ａ（図９参照）の中に固定されており、図１０に示すように、駆動用磁石２７の上面と駆動用コイル２６の下面とは、上下方向にわずかな隙間をあけた状態で対向している。図２に示すように、駆動用磁石２７は、前後方向で多極に着磁されている。本形態では、駆動用磁石２７は、バルブ装置１の前端側から後端側に向かって、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極の３極に着磁されている。また、本形態では、中央に配置されるＳ極の前後方向の幅は、Ｓ極の両側に配置されるＮ極の前後方向の幅よりも広くなっている。たとえば、Ｓ極の前後方向の幅は、Ｎ極の前後方向の幅の約２倍となっている。
【００５６】
駆動用磁石２７のＳ極は、図１１に示すように、駆動用コイル２６の左右方向に平行な長辺部２６ａ、２６ｂのうちの、前後方向の内側に配置される長辺部２６ａの下面と対向している。また、駆動用磁石２７のＮ極は、図１１に示すように、前後方向の外側に配置される長辺部２６ｂの下面と対向している。
【００５７】
ケース部材６は、非磁性の樹脂で形成されている。ケース部材６の左右方向の両端側には、可動体２５を前後方向に案内するための案内溝６ｂが形成されている。前後方向における案内溝６ｂの中間位置には、圧縮コイルバネ２８の前端が当接するバネ当接部６ｃが形成されており、案内溝６ｂは、バネ当接部６ｃによって前後方向に二分割されている。案内溝６ｂの中には、ボール部材３１およびボール保持部３２が配置されている。具体的には、ベース部３０の前端側に配置されるボール部材３１およびボール保持部３２がバネ当接部６ｃよりも前側の案内溝６ｂの中に配置され、ベース部３０の後端側に配置されるボール部材３１およびボール保持部３２がバネ当接部６ｃよりも後ろ側の案内溝６ｂの中に配置されている。
【００５８】
圧縮コイルバネ２８は、その前端がバネ当接部６ｃの後面に当接した状態で案内溝６ｂの中に配置されている。圧縮コイルバネ２８の後端は、バネ当接部６ｃよりも後ろ側の案内溝６ｂの中に配置されるボール保持部３２の前面に当接しており、圧縮コイルバネ２８は、上述のように、可動体２５を後方に向かって付勢している。
【００５９】
ケース部材６の下面には、磁性材料で形成された磁性板３６が固定されている。この磁性板３６は、略平板状に形成されており、駆動用磁石２７が発生させる磁束を集中させるため、また、磁束の漏れを低減するためのヨークの機能を果たしている。磁性板３６の前端には、上側に向かって立ち上がる起立部３６ａが形成されている。起立部３６ａは、ケース部材６の前面に形成された配置凹部６ｄの中に配置されている。同様に、磁性板３６の後端には、上側に向かって立ち上がる起立部３６ｂが形成されており、起立部３６ｂは、ケース部材６の後面に形成された配置凹部６ｅの中に配置されている。なお、磁性板３６の前端には、シール部材１７を配置するための切欠部３６ｃが形成されている。
【００６０】
起立部３６ａの左右方向の幅は、保持用磁石３４の左右方向の幅と略同じになっており、起立部３６ａは、左右方向において、保持用磁石３４と略同位置に配置されている。そのため、可動体２５が前端側に移動すると、保持用磁石３４と起立部３６ａとの間に所定の吸引力が発生する。本形態では、保持用磁石３４と起立部３６ａとによって、前端側に移動した可動体２５を前端側で保持するための磁気保持機構が構成されている。この磁気保持機構の保持力（すなわち、保持用磁石３４と起立部３６ａとの間の所定の吸引力）は、可動体２５が前端側に移動したときの圧縮コイルバネ２８の付勢力よりも小さく設定されている。
【００６１】
カバー部材７は、磁性材料で形成されている。このカバー部材７は、図１０に示すように、可動体２５の上面を覆うように配置されている。カバー部材７の左右両端には、下側に向かって折れ曲がる固定部７ａが形成されており、固定部７ａの下端がケース部材６に固定されている。固定部７ａには、図１０に示すように、ボール保持部３２に保持されるボール部材３１の左右方向の外側の上端部分が当接するボール部材当接部７ｂが形成されている。ボール部材当接部７ｂは、カバー部材７と可動体２５との接触（具体的には、カバー部材７とベース部３０との接触）を防止する機能を果たしており、左右方向の外側に向かうにしたがって下側へ傾斜する斜面状に形成されている。
【００６２】
（バルブ装置の概略動作）
以上のように構成されたバルブ装置１の概略動作を説明する。
【００６３】
駆動用コイル２６に電流が供給されていないときには、圧縮コイルバネ２８の付勢力で可動体２５は後方に付勢されており、可動体２５は、バルブ装置１の後端側で待機している。この状態では、カム部３３のカム面３３ａは、レバー部材１５の左端部１５ａに当接していない。そのため、レバー部材１５は、板バネ１６によって、弁部１４ｂが流出口１３を塞ぐ方向に付勢されており、弁部１４ｂは、流出口１３を塞いでいる。すなわち、駆動用コイル２６に電流が供給されていない状態では、弁体１４によって流出口１３が閉鎖されており、流入部２から流出部３に向かって流体は流れない。
【００６４】
駆動用コイル２６に電流が供給されると、可動体２５がバルブ装置１の前端側に移動して、カム部３３のカム面３３ａがレバー部材１５の左端部１５ａの上端側に当接する。カム面３３ａがレバー部材１５の左端部１５ａの上端側に当接すると、レバー部材１５は支点部１４ａを中心にして図５の反時計方向に回動する。レバー部材１５が図５の反時計方向に回動すると、流出口１３に対して弁部１４ｂが上昇して、流出口１３が開放される。流出口１３が開放されると、流入部２から流出部３に向かって流体が流れる。なお、可動体２５が前端側に移動すると、保持用磁石３４と起立部３６ａとの間に所定の吸引力が発生する。
【００６５】
また、流入部２から流出部３に向かって流体が流れている状態で、駆動用コイル２６への電流の供給が停止されると、可動体２５が前端側に移動したときの圧縮コイルバネ２８の付勢力よりも保持用磁石３４と起立部３６ａとの間の吸引力が小さいため、圧縮コイルバネ２８の付勢力で可動体２５は、バルブ装置１の後端側へ移動する。
【００６６】
可動体２５が後端側へ移動すると、カム面３３ａがレバー部材１５の左端部１５ａから離れ、レバー部材１５は、板バネ１６の付勢力で支点部１４ａを中心にして図５の時計方向に回動する。レバー部材１５が図５の時計方向に回動すると、流出口１３に対して弁部１４ｂが下降して、流出口１３が閉鎖される。流出口１３が閉鎖されると、流入部２から流出部３への流体の流れが止まる。
【００６７】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、レバー部材１５の、支点部１４ａを支点とする揺動動作に伴って、流出口１３に対して弁部１４ｂが上下動して流出口１３を開閉する。そのため、流出口１３に対する弁部１４ｂの移動方向となる上下方向に、弁部１４ｂを上下動させるための構成を配置しなくても、弁部１４ｂによる流出口１３の適切な開閉動作を行うことができる。したがって、本形態では、上下方向において、バルブ機構４を小型化することが可能になる。すなわち、バルブ機構４を薄型化することが可能になる。
【００６８】
本形態では、レバー部材１５の左端部１５ａから支点部１４ａの中心位置までの距離Ｌ１は、弁部１４ｂの中心位置から支点部１４ａの中心位置までの距離Ｌ２よりも長くなっている。そのため、レバー部材１５の左端部１５ａに加える外力が小さくても、支点部１４ａを変形させ、流出口１３に対して弁部１４ｂを上下動させて弁体１４の適切な開閉動作を行うことができる。したがって、バルブ駆動機構５の駆動力を低減することが可能になり、バルブ駆動機構５を小型化することが可能になる。
【００６９】
本形態では、板バネ１６によって、弁部１４ｂが流出口１３を塞ぐ方向へレバー部材１５が付勢されている。そのため、駆動用コイル２６に電流が供給されていなくても、流出口１３を弁部１４ｂによって確実に塞ぐことが可能になり、弁室１０からの流体の漏れを防止することが可能になる。
【００７０】
本形態では、弁部形成部１４ｃは、略直方体状に形成されている。また、弁部１４ｂによって流出口１３が塞がれている。そのため、弁室１０内の流体の圧力に起因する流出口１３を塞ぐ方向への弁部１４ｂの押圧力を、流出口１３の面積分だけ、弁室１０内の流体の圧力に起因する流出口１３を開放する方向への弁部１４ｂの押圧力よりも大きくすることができる。したがって、本形態では、流体の流入側の圧力が大きくなっても、流出口１３からの流体の漏れを防止することが可能になる。
【００７１】
本形態では、支点部１４ａは、本体部１１の左側面における第１本体部１９と第２本体部２０との合せ目からの流体の漏れを防止するシール機能を果たしている。そのため、本体部１１の左側面側に別途、シール部材を配置する必要がなくなる。したがって、バルブ機構４の構成を簡素化することができる。
【００７２】
本形態では、第１本体部１９および第２本体部２０に、弁室１０内の圧力に起因する支点部１４ａの移動を防止するための移動防止部１９ｅ、２０ｅが形成され、支点部１４ａは、弁室１０内の圧力に起因してレバー部材１５の揺動動作の支点が移動しないように、第１本体部１９と第２本体部２０とに保持されている。そのため、弁室１０内の圧力が大きくなっても、支点部１４ａを支点としたレバー部材１５の安定した動作が可能になる。
【００７３】
本形態では、弁体１４にシール部１４ｄが一体で形成されている。そのため、弁体１４と別体でシール部１４ｄが形成されている場合と比較して、バルブ駆動機構４の部品点数を削減することできるとともに、組立時におけるシール部１４ｄの取扱いが容易になる。
【００７４】
本形態では、第１本体部１９に形成される貫通孔１９ｅに流入孔１７ａが繋がり、貫通孔１９ｆに流出孔１７ｂが繋がるように、シール部材１７が第１本体部１９（すなわち、ケース部材６）の下面に当接している。そのため、１個のシール部材１７を用いた簡易な構成で、本体部１１に流入する流体の漏れ、および、本体部１１から流出する流体の漏れを防止することが可能になる。
【００７５】
本形態では、バルブ駆動機構５は、前後方向に往復直進動作を行う可動体２５と、上端面が可動体２５に固定される駆動用コイル２６と、駆動用コイル２６の下端面に対向配置される駆動用磁石２７とを備えている。また、駆動用コイル２６の厚みが薄く、かつ、駆動用磁石２７は平板状に形成されている。そのため、上下方向において、バルブ駆動機構５を小型化することが可能になる。したがって、本形態では、上下方向において、バルブ装置１を小型化することが可能になる。すなわち、バルブ装置１を薄型化することが可能になる。
【００７６】
本形態では、駆動用磁石２７が前後方向で多極に着磁され、左右方向における駆動用コイル２６の一端から他端までの全幅Ｈ１は、前後方向における駆動用コイル２６の一端から他端までの全幅Ｈ２よりも広くなっている。そのため、可動体２５を直進動作させるための駆動力に利用される駆動用コイル２６の有効部分Ｖ（図１１参照）が大きくなる、したがって、本形態では、可動体２５を直進動作させるための駆動力を高めることができる。
【００７７】
本形態では、可動体２５は、圧縮コイルバネ２８によって後方へ付勢されている。そのため、レバー部材１５の左端部１５ａからカム面３３ａが離れる方向へ可動体２５を移動させる際には、駆動用コイル２６への通電を止めれば良い。したがって、省電力化を図ることが可能になる。また、駆動用コイル２６への通電が停止されたときには、板バネ１６によって、弁部１４ａが流出口１３を塞ぐ方向へレバー部材１５を動作させることができる。したがって、たとえば、停電等によって、駆動用コイル２６へ電流が供給されない場合であっても、弁室１０からの流体の漏れを防止することが可能になる。
【００７８】
本形態では、可動体２５が前端側に移動すると、保持用磁石３４と起立部３６ａとの間に所定の吸引力が発生する。そのため、可動体２５を前端側で保持するための駆動用コイル２６への通電量を低減して、省電力化を図ることが可能になる。また、本形態では、保持用磁石３４と起立部３６ａとの間の吸引力（すなわち、磁気保持機構の保持力）は、レバー部材１５にカム部３３が当接しているときの圧縮コイルバネ２８の付勢力よりも小さく設定されている。したがって、可動体２５を後方へ移動させる際には、駆動用コイル２６への通電を止めれば良いため、省電力化を図ることが可能になる。
【００７９】
本形態では、カバー部材７に、ボール部材３１に当接して可動体２５とカバー部材７との接触を防止するボール部材当接部７ｂが形成されている。したがって、駆動用磁石２７が発生させる磁束を有効に利用するため、および、バルブ装置１の外部の磁界の影響を低減するためにカバー部材７が磁性材料で形成される場合であっても、可動体２５を円滑に直進動作させるためのボール部材３１を用いて、可動体２５とカバー部材７との接触を防止することができる。
【００８０】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００８１】
上述した形態では、弁部１４ｂによって流出口１３が塞がれるように、バルブ機構４が構成されている。この他にもたとえば、弁部１４ｂによって流入口１２が塞がれるように、バルブ機構４が構成されても良い。
【００８２】
上述した形態では、レバー部材１５は、ステンレス鋼板等の薄板によって板状に形成されているが、レバー部材１５は、円柱状や角柱状に形成されても良い。また、上述した形態では、レバー部材１５は、金属によって形成されているが、レバー部材１５は樹脂で形成されても良い。
【００８３】
上述した形態では、弁体１４にシール部１４ｄが一体で形成されている。この他にもたとえば、本体部１１の前後両側面および右側面における第１本体部１９と第２本体部２０との合せ目からの流体の漏れを防止するためのシール部材が弁体１４と別体で形成されても良い。
【００８４】
上述した形態では、シール部材１７が、第１本体部１９の下面に当接するように配置されている。この他にもたとえば、シール部材１７に代えて、Ｏリングが、貫通孔１９ｅ、１９ｆの下端に当接するように配置されても良い。
【００８５】
上述した形態では、可動体２５には、２個の駆動用コイル２６が固定されている。この他にもたとえば、可動体２５に固定される駆動用コイル２６の数は１個でも良いし、３個以上でも良い。この場合には、可動体２５に固定される駆動用コイル２６の数に応じて、駆動用磁石２７は、前後方向で多極に着磁される。
【００８６】
たとえば、図１２に示すように、可動体２５に、３個の駆動用コイル２６が固定され、駆動用磁石２７が前後方向で４極に着磁されても良い。この場合には、前後方向の外側の一方（たとえば、図１２の左側）に配置される駆動用コイル２６の巻回方向と、前後方向の中央に配置される駆動用コイル２６の巻回方向とが同じで、かつ、前後方向の外側の他方（たとえば、図１２の右側）に配置される駆動用コイル２６の巻回方向と、前後方向の中央に配置される駆動用コイル２６の巻回方向とが異なっている。
【００８７】
また、この場合には、駆動用磁石２７は、前後方向におけるバルブ装置１の一端側（たとえば、図１２に左側）から他端側（たとえば、図１２の右側）に向かって、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極の４極に着磁されている。また、前後方向の両端側に配置されるＮ極、Ｓ極の前後方向の幅は、前後方向の中央に配置されるＳ極、Ｎ極の前後方向の幅よりも狭くなっている。たとえば、前後方向の両端に配置されるＮ極、Ｓ極の前後方向の幅は、前後方向の中央に配置されるＳ極、Ｎ極の前後方向の幅の約半分となっている。
【００８８】
さらに、この場合には、前後方向の両端側に配置されるＮ極、Ｓ極は、図１２に示すように、前後方向の両外側に配置される駆動用コイル２６の左右方向に平行な長辺部２６ａ、２６ｂのうちの、前後方向の外側に配置される長辺部２６ｂの下面と対向している。また、前後方向の中央に配置されるＳ極、Ｎ極の、前後方向の外側の略半分の領域は、前後方向の両外側に配置される駆動用コイル２６の左右方向に平行な長辺部２６ａ、２６ｂのうちの、前後方向の内側に配置される長辺部２６ａの下面と対向している。また、前後方向の中央に配置されるＳ極、Ｎ極の、前後方向の内側の略半分の領域は、前後方向の中央に配置される駆動用コイル２６の長辺部２６ｃ、２６ｄの下面と対向している。
【００８９】
上述した形態では、可動体２５のベース部３０は非磁性材料で形成されている。この他にもたとえば、ベース部３０は磁性材料で形成されても良い。この場合には、可動体２５と駆動用磁石２７との間に吸引力が発生する。この吸引力は、レバー部材１５からの反力等の可動体２５を上方向へ移動させる力に耐えることができるように、設定されることが好ましい。なお、可動体２５と駆動用磁石２７との間の吸引力は、ベース部３０の面積や駆動用磁石２７の磁力等によって調整される。
【００９０】
上述した形態では、レバー部材１５の左端部１５ａから支点部１４ａの中心位置までの距離Ｌ１は、弁部１４ｂの中心位置から支点部１４ａの中心位置までの距離Ｌ２よりも長くなっている。この他にもたとえば、距離Ｌ１と距離Ｌ２とが等しくても良い。また、距離Ｌ１が距離Ｌ２よりも短くなっていても良い。
【００９１】
上述した形態では、第１本体部１９および第２本体部２０に、弁室１０内の圧力に起因する支点部１４ａの移動を防止するための移動防止部１９ｅ、２０ｅが形成されている。この他にもたとえば、第１本体部１９または第２本体部２０の一方のみに、移動防止部１９ｅまたは移動防止部２０ｅが形成されても良い。また、第１本体部１９および第２本体部２０に、移動防止部１９ｅ、２０ｅが形成されていなくても良い。
【００９２】
上述した形態では、第１本体部１９の凹部１９ａの底面側には、フッ素系樹脂等の潤滑性に優れた樹脂で形成された矩形の板状部材２１が固着されている。この他にもたとえば、板状部材２１に代えて、凹部１９ａの底面に弁部１４ｂの粘着を防止するためのフッ素コーティングを施しても良い。
【符号の説明】
【００９３】
１  バルブ装置
４  バルブ機構
５  バルブ駆動機構
６  ケース部材
７  カバー部材
７ｂ  ボール部材当接部
１０  弁室
１１  本体部
１２  流入口
１３  流出口
１４  弁体
１４ａ  支点部
１４ｂ  弁部
１４ｄ  シール部
１５  レバー部材
１５ａ  左端部（力点）
１６  板バネ（レバー付勢部材）
１７  シール部材
１７ａ  流入孔
１７ｂ  流出孔
１９  第１本体部
１９ａ  凹部
１９ｅ  移動防止部
２０  第２本体部
２０ａ  凹部
２０ｅ  移動防止部
２５  可動体
２６  駆動用コイル
２７  駆動用磁石
２８  圧縮コイルバネ（可動体付勢部材）
３１  ボール部材
３３  カム部
３４  保持用磁石（磁気保持機構の一部）
３６  磁性板
３６ａ  起立部（磁気保持機構の一部）
Ｈ１  移動方向に直交する方向における駆動用コイルの全幅
Ｈ２  移動方向における駆動用コイルの全幅
Ｌ１  レバー部材の力点から支点部までの距離
Ｌ２  弁部から支点部までの距離
Ｘ  前後方向（可動体の移動方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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