(57)【要約】【課題】基板を撮像した画像上での領域の選択におけるオペレータの負担を軽減する。【解決手段】画像取得部１０１は基板を撮像した画像を取得し、指示部１０４は画像内の位置を指示し、代表色決定部１０５は指示された位置に基づいて代表色を決定する。パラメータ設定部１０８は、代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値を設定するための入力にしたがいパラメータの値を設定し、パラメータ記憶部１０９はパラメータの値を記憶する。選択領域決定部１１０は、画像内の画素の色が上記範囲に含まれるか否かに基づき、指定された位置を含む連結な領域を選択領域として決定し、表示部１０３は選択領域の形状を表示する。第１の位置に応じてパラメータの第１の値が記憶されているときに第２の位置が指示されると、パラメータ設定部１０８は、第１の値をデフォルト値として再利用する。【選択図】図１
2010097433.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を撮像した画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段が取得した前記画像内の位置を指示する指示手段と、
前記指示手段が指示した前記位置に基づいて代表色を決定する代表色決定手段と、
前記代表色決定手段が決定した前記代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値を設定するためのパラメータ設定手段と、
前記パラメータ設定手段により設定された前記パラメータの前記値を記憶するパラメータ記憶手段と、
前記画像内の個々の画素の色が、前記パラメータ設定手段により設定された前記パラメータの前記値により規定される前記範囲に含まれるか否かに基づいて、前記指示手段が指示した前記位置を含む連結な領域を選択領域として決定する選択領域決定手段と、
前記選択領域決定手段が決定した前記選択領域の形状を表示する表示手段を備え、
前記指示手段により指示された第１の位置に応じて前記パラメータ設定手段が設定した前記パラメータの第１の値が前記パラメータ記憶手段に記憶されているときに前記指示手段が第２の位置を指示すると、前記パラメータ設定手段は、前記第１の値を前記パラメータのデフォルト値として用いる、
ことを特徴とする領域選択装置。
【請求項２】
前記代表色決定手段は、前記指示手段が指示した前記位置の画素の色を前記代表色として決定することを特徴とする請求項１に記載の領域選択装置。
【請求項３】
前記代表色決定手段は、
前記画像内の前記位置を含む指定領域の形状を指定するための形状指定手段と、
前記形状指定手段により指定された前記指定領域に含まれる複数の画素の色の分布に基づいて、前記パラメータのデフォルト値および前記代表色を決定し、前記デフォルト値を前記パラメータ設定手段に出力する特徴量取得手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の領域選択装置。
【請求項４】
前記パラメータ設定手段が前記パラメータの前記値を変更するたびに、前記選択領域決定手段が前記選択領域を決定しなおし、前記表示手段が前記選択領域の前記形状を表示しなおすことを特徴とする請求項１に記載の領域選択装置。
【請求項５】
前記代表色は輝度により表され、前記パラメータは輝度値の許容範囲を示す閾値であることを特徴とする請求項１に記載の領域選択装置。
【請求項６】
前記パラメータは、複数のチャネルにより色を表す色空間における少なくとも１つのチャネルの値の許容範囲または前記色空間における前記代表色からの距離の許容範囲を示す閾値であることを特徴とする請求項１に記載の領域選択装置。
【請求項７】
前記指示手段により指示される複数の位置に対応して前記選択領域決定手段が決定する複数の選択領域を１つのレイヤに関連づけて管理するレイヤ管理手段をさらに備え、
前記表示手段は、前記１つのレイヤに関連づけられた前記複数の選択領域の形状を表示する、
ことを特徴とする請求項１に記載の領域選択装置。
【請求項８】
領域選択装置が、
基板を撮像した画像を取得し、
取得した前記画像内の第１の位置を指示する第１の指示を受け取り、
受け取った前記第１の指示により指示される前記第１の位置に基づいて第１の代表色を
決定し、
決定した前記第１の代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値を設定するための第２の指示を受け取り、
受け取った前記第２の指示にしたがって前記パラメータを第１の値に設定し、
設定された前記パラメータの前記第１の値を記憶し、
前記画像内の個々の画素の色が、前記第１の代表色を基準とした、前記パラメータの前記第１の値により規定される前記範囲に含まれるか否かに基づいて、前記第１の位置を含む連結な領域を第１の選択領域として決定し、
決定した前記第１の選択領域の形状を表示し、
前記画像内の第２の位置を指示する第３の指示を受け取り、
受け取った前記第３の指示により指示される前記第２の位置に基づいて第２の代表色を決定し、
記憶した前記第１の値を前記パラメータの値のデフォルト値として設定し、
前記画像内の個々の画素の色が、前記第２の代表色を基準とした、前記デフォルト値として設定された前記パラメータの前記第１の値により規定される前記範囲に含まれるか否かに基づいて、前記第２の位置を含む連結な領域を第２の選択領域として選択し、
選択した前記第２の選択領域の形状を表示する、
ことを特徴とする領域選択方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を撮像した画像内の領域を選択するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の基板の製造工程では、基板を撮像した画像を使って、検査装置により検査が行われる。
基板には、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ；Liquid Crystal Display）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、有機ＥＬ（ElectroLuminescence）ディスプレイ、ＳＥＤ（Surface-conduction Electron-emitter Display）などのＦＰＤ（Flat Panel Display）の基板や、半導体ウェハ、プリント回路基板などの種類がある。
【０００３】
また、検査の結果発見された欠陥を修正するための欠陥修正装置も知られている。一般的には、欠陥修正装置においても、修正対象の確認などのために基板の撮像が行われる。
一般的には、検査装置は、予め正常な基板を撮像して取得しておいた参照画像を用いて検査を行う。検査装置は、検査対象の基板を撮像した検査用画像を、参照画像と比較し、比較結果に基づいて欠陥の有無、欠陥の大きさ、および欠陥の種類などを判定する。例えば、基板上の同じ位置に対応する参照画像上の画素と検査用画像の画素の画素値の差に基づいて、検査装置は欠陥の位置および範囲を判定する。
【０００４】
欠陥には、接続すべきでない導体同士が接続されてしまう「ショート欠陥」や、配線が途中で切れている「オープン欠陥」などがある。ショート欠陥の一因は、接続すべきでない複数の導体にまたがって、基板の表面にパーティクルやレジストなどの異物が付着してしまうことである。したがって、検査装置は、ショート欠陥を判別するためには、基板を撮像した画像内のどの領域に基板のどの回路要素が写っているかを認識する必要がある。
【０００５】
そのため、例えば、オペレータが予め参照画像上で複数の領域を指定し、さらに、各領域について基板上のどの回路要素が写った領域なのかを指定する。検査装置は、オペレータが指定した情報を保持して参照することで、基板を撮像した画像内のどの領域に基板のどの回路要素が写っているかを認識する。
【０００６】
また、欠陥修正装置には様々な種類がある。例えば、基板の表面に付着した異物にレーザビームを照射して異物を除去することで欠陥を修正する、「レーザリペア（laser repair）装置」と呼ばれる装置が知られている。レーザリペア装置の中には、基板上の特定の種類の回路要素の領域に対して、レーザビームの照射を禁止する制御を行うものがある。
【０００７】
例えば、ＦＰＤ基板は、ガラス板の表面に金属、半導体、絶縁体などが積層されることで形成される。何も回路要素が形成されていないガラス板の表面に異物が付着していれば、レーザリペア装置は、レーザビームを異物に照射して異物を除去することができる。
【０００８】
しかし、異物がトランジスタ上に付着している場合、ある種のレーザリペア装置は、レーザビームの照射によりトランジスタが損傷されてしまうことを避けるために、トランジスタ上の領域へのレーザビームの照射を禁止する。この場合、レーザリペア装置は、基板を撮像した画像内のどの領域に基板のどの回路要素が写っているかを予め認識する必要がある。
【０００９】
そのため、レーザリペア装置に関しても上記検査装置と同様に、例えば、オペレータが予め参照画像上で複数の領域を指定するとともに、各領域について基板上のどの回路要素
が写った領域なのかを指定する作業が行われる。
【００１０】
また、基板は多くの工程を経て製造され、基板の検査および修正が複数の工程で行われることも珍しくない。そして、基板の種類（「品種」とも言われる）ごとに、かつ検査または修正が行われる工程ごとに、個別の参照画像が必要である。したがって、オペレータは、多くの参照画像に対して、基板上の各回路要素が写った領域を選択して指定する作業を行わなくてはならず、オペレータの負担が大きい。
【００１１】
さらに、近年では以下の理由からもオペレータの負担が増大している。
第１に、回路の複雑化にともない、基板を撮像した画像の複雑さも増している。例えば、画像センサが基板表面を撮像すると、走査配線、層間絶縁膜、信号配線、電位供給配線など様々な回路要素が画像に写るが、近年の基板ではこれらの様々な回路要素が複雑なパターンを形成していることが多い。
【００１２】
第２に、１つの工程で複数種類の検査が行われることがある。例えば、様々な種類の欠陥を検出するため、複数の異なる条件で基板に照明光を照射し、各条件で検査を行う検査装置がある。検査装置は、照明光の強度、照明光の照射角度、波長選択フィルタの有無、偏光フィルタの有無などに応じて様々に異なる条件で基板を検査する。この場合、条件ごとに参照画像が必要である。
【００１３】
第３に、照明光の照射条件、電極や配線等の素材などによっては、基板表面だけではなく、下層に形成された回路要素が透けて画像に写ることがある。例えば、ＩＴＯ（Indium
Tin Oxide）電極や、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）の絶縁層は透明なので、画像センサが基板表面を撮像すると、下層に形成された回路要素が透けて画像に写る。また、配線層の金属膜が薄い場合、下層が透けて画像に写ることもある。下層が透けて画像に写る場合、基板を撮像した画像は複雑化する。
【００１４】
具体的には、例えば、下層に形成された複数の回路要素の上にまたがって透明電極が形成されている場合、下層の回路要素の色の違いに影響されて、同じ１つの透明電極が、画像上では、まったく異なる複数の色の複数の領域に分断されたかのように写ってしまう。したがって、この場合、単純に画像上の色だけに基づいて、１つの透明電極に相当する画像上の領域をうまく選択することは、困難である。
【００１５】
以上例示したように、オペレータの負担が大きい理由には様々なものがある。よって、画像上の領域を自動的または半自動的に選択するための技術を用いて、オペレータの負担を軽減することが好ましい。画像上の領域を選択するための一般的な技術としては、例えば以下のような技術が開示されている。
【００１６】
ある画像抽出装置は、高速かつ高精度に被写体を抽出することを目的として、初期核設定装置と指示選択装置と特徴量抽出装置と代表色抽出装置と領域分割装置と領域成長縮退装置と形状表示データ生成装置を備える（例えば、特許文献１を参照。）。
【００１７】
初期核設定装置は、指示選択装置により指定された点または領域を領域成長の核として設定する。特徴量抽出装置は、入力画像の各画素の色成分値、濃度（明度）に関するエッジ強度値、明度に関するコントラスト成分またはテクスチャ特徴量などを抽出する。代表色抽出装置は初期核上の点から代表色の色成分特徴量を抽出する。
【００１８】
領域分割装置は、代表色のいずれかと色成分の差異が少ない画素を連続領域としてラベル付けして、個々の領域を特定する画像分割データを生成する。領域成長縮退装置は、ユーザからの指示により、設定された初期核領域または形状変更された領域の境界近傍領域
での各点を、画像特徴量または画像分割データに基づいて注目領域に併合または除外する。
【００１９】
形状表示データ生成装置は、領域成長の過程（またはその結果）で得られる領域の形状を示す表示用データを生成する。生成された表示用データに基づく画像が、入力画像に重ねて表示される。
【００２０】
また、ある画像処理装置は、画像中の物体抽出を簡単に精度よく行うことを目的として、代表点指定手段と色方向算出手段と色方向比較手段と代表点選択手段を備える（例えば、特許文献２を参照。）。
【００２１】
代表点指定手段は、画面上のカラー画像中の物体上の代表点と背景上の代表点とを、各１つ以上指定する。色方向算出手段は、画素の色空間における方向ベクトルを算出する。
色方向比較手段は、対象点の画素の色空間における方向ベクトルと、物体上の代表点、および背景上の代表点の画素の色空間における方向ベクトルとを比較し、最も近い代表点の属性を示す。代表点選択手段は、対象点と、物体上、および背景上の各代表点との画面上での画素間の距離を計算し、距離の近い順に一定数の代表点を選択する。
【特許文献１】特開２００１−４３３７６号公報
【特許文献２】特開平８−１６７７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
上記のように様々な理由から、基板を撮像した画像上での領域の選択におけるオペレータの負担は大きい。しかしながら、画像上の領域を選択するための上記のような一般的な技術は、基板を撮像した画像上での領域の選択に特有の状況を考慮したものではない。
【００２３】
例えば、基板を撮像した画像上では、同じ１つの回路要素が、上層の別の回路要素に遮られて画面上では複数の領域に分断されて写ったり、下層の複数の回路要素の影響で異なる色の複数の領域に分断されたかのように写ったりすることがある。しかし、一般的な画像処理技術ではこのように基板を撮像した画像に特有の状況が考慮される訳ではない。
【００２４】
そこで本発明は、基板を撮像した画像上での領域の選択におけるオペレータの負担を軽減する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の一態様によれば、画像取得手段、指示手段、代表色決定手段、パラメータ設定手段、パラメータ記憶手段、選択領域決定手段、および表示手段を備える領域選択装置が提供される。
【００２６】
前記画像取得手段は、基板を撮像した画像を取得する。前記指示手段は、前記画像取得手段が取得した前記画像内の位置を指示する。
前記代表色決定手段は、前記指示手段が指示した前記位置に基づいて代表色を決定する。パラメータ設定手段は、前記代表色決定手段が決定した前記代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値を設定するためのものである。前記パラメータ記憶手段は、前記パラメータ設定手段により設定された前記パラメータの前記値を記憶する。
【００２７】
前記選択領域決定手段は、前記画像内の個々の画素の色が、前記パラメータ設定手段により設定された前記パラメータの前記値により規定される前記範囲に含まれるか否かに基づいて、前記指示手段が指示した前記位置を含む連結な領域を選択領域として決定する。前記表示手段は、前記選択領域決定手段が決定した前記選択領域の形状を表示する。
【００２８】
また、前記指示手段により指示された第１の位置に応じて前記パラメータ設定手段が設定した前記パラメータの第１の値が前記パラメータ記憶手段に記憶されているときに前記指示手段が第２の位置を指示すると、前記パラメータ設定手段は、前記第１の値を前記パラメータのデフォルト値として用いる。
【００２９】
また、本発明の他の態様によれば、領域選択装置が実行する領域選択方法が提供される。
該領域選択方法によれば、前記領域選択装置は、基板を撮像した画像を取得し、取得した前記画像内の第１の位置を指示する第１の指示を受け取り、受け取った前記第１の指示により指示される前記第１の位置に基づいて第１の代表色を決定する。また、前記領域選択装置は、決定した前記第１の代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値を設定するための第２の指示を受け取り、受け取った前記第２の指示にしたがって前記パラメータを第１の値に設定し、設定された前記パラメータの前記第１の値を記憶する。そして、前記領域選択装置は、前記画像内の個々の画素の色が、前記第１の代表色を基準とした、前記パラメータの前記第１の値により規定される前記範囲に含まれるか否かに基づいて、前記第１の位置を含む連結な領域を第１の選択領域として決定する。前記領域選択装置は、決定した前記第１の選択領域の形状を表示する。
【００３０】
また、前記領域選択装置は、前記画像内の第２の位置を指示する第３の指示を受け取り、受け取った前記第３の指示により指示される前記第２の位置に基づいて第２の代表色を決定し、記憶した前記第１の値を前記パラメータの値のデフォルト値として設定する。そして、前記領域選択装置は、前記画像内の個々の画素の色が、前記第２の代表色を基準とした、前記デフォルト値として設定された前記パラメータの前記第１の値により規定される前記範囲に含まれるか否かに基づいて、前記第２の位置を含む連結な領域を第２の選択領域として選択する。前記領域選択装置は、選択した前記第２の選択領域の形状を表示する。
【発明の効果】
【００３１】
上記いずれの態様においても、先に記憶された第１の値が、第２の位置の指示に対応してデフォルト値として再利用される。したがって、例えば基板上の同じ回路要素が画像内で複数の領域に分断されて写っている場合などにおいて、パラメータの値の再利用により効率的に選択領域を決定することが可能となり、オペレータの負担を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、第１実施形態による領域選択装置１００の構成図である。
領域選択装置１００は、画像取得部１０１、画像記憶部１０２、表示部１０３、指示部１０４、および代表色決定部１０５を備え、代表色決定部１０５は特徴量取得部１０６と第１の形状指定部１０７を備える。領域選択装置１００はさらに、パラメータ設定部１０８、パラメータ記憶部１０９、選択領域決定部１１０、レイヤ管理部１１１、および第２の形状指定部１１２を備える。
【００３３】
領域選択装置１００は、ＰＣ（Personal Computer）やワークステーションなどの汎用的なコンピュータにより実現されてもよい。また、領域選択装置１００は、基板を検査する検査装置または基板の欠陥を修正するレーザリペア装置などの修正装置の一部であってもよい。検査装置または修正装置は、少なくとも、基板を保持するステージ、基板を撮像するための撮像装置および光学系、ならびにステージや撮像装置などの制御を行う制御装置を備えており、制御装置は汎用的なコンピュータであってもよい。
【００３４】
以下では、説明の簡単化のため、領域選択装置１００が、不図示のＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などの書き換え可能なメモリ、ＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリ、ハードディスク装置などの外部記憶装置を備えているものとする。詳しくは後述するが、例えば選択領域決定部１１０は、ＣＰＵがＲＡＭを用いながら所定のプログラムを実行することにより実現される。また、選択領域決定部１１０などの機能を実現するためのプログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に格納され、領域選択装置１００に提供されてもよい。
【００３５】
画像取得部１０１は、基板を撮像した画像を取得する。以下では基板を撮像した画像を「撮像画像」という。撮像画像は、実施形態に応じてカラー画像でもよく、輝度画像と呼ばれるモノクロームの画像でもよい。第１実施形態での撮像画像は、カラー画像である。
【００３６】
第１実施形態では、「基板」がＬＣＤの基板であると仮定して説明するが、その他のＦＰＤの基板、半導体ウェハ、プリント配線基板などについても、第１実施形態を適用することができる。
【００３７】
また、以下では、撮像画像が、検査装置または修正装置で参照画像として用いられる画像である場合、すなわち、撮像画像が、欠陥のない良品の基板を撮像して得られた画像である場合を例として説明する。
【００３８】
ＬＣＤの基板は、露光などの過程を経て、フォトリソグラフィ技術により、ガラス板の上に走査配線、層間絶縁膜、信号配線、電位供給配線などが積層されて形成されることで、製造される。また、例えば、配線部に粉塵やレジストなどの異物が巻き込まれると、ショート欠陥の原因となる。よって、ショート欠陥の検出のためには、参照画像として用いられる撮像画像上での配線の領域を検査装置または修正装置が認識する必要がある。そこで、参照画像上での配線の領域を選択して予め検査装置または修正装置に登録するために、第１実施形態による領域選択装置１００を利用することができる。
【００３９】
例えば、領域選択装置１００が検査装置または修正装置の一部である場合、画像取得部１０１は、検査装置または修正装置が備える、画像センサと画像キャプチャボードにより実現されてもよい。画像センサは、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）画像センサあるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）画像センサなどである。
【００４０】
また、領域選択装置１００が、ネットワークを介して検査装置または修正装置と接続されたコンピュータである場合、画像取得部１０１は、検査装置または修正装置から画像をダウンロードして取り込むネットワークインタフェイスにより実現されてもよい。
【００４１】
画像記憶部１０２は、画像取得部１０１が取得した画像を記憶する。画像記憶部１０２は、例えば、ＲＡＭにより実現される。
表示部１０３は、例えばモニタディスプレイにより実現され、画像記憶部１０２が記憶している画像など様々なものを表示する。
【００４２】
指示部１０４は、マウスやタッチパッドなどのポインティングデバイスおよびキーボードなどの入力装置により実現される。以下では説明の簡単化のため、指示部１０４がマウスとキーボードを含むものとする。
【００４３】
指示部１０４は、第１の形状指定部１０７、パラメータ設定部１０８、レイヤ管理部１１１、および第２の形状指定部１１２に指示を与える。具体的な指示の内容は後述する。
また、指示部１０４により指示される位置にしたがって、表示部１０３はカーソルを画面に表示する。
【００４４】
代表色決定部１０５は、指示部１０４が指示する画像内の位置に基づいて、領域を選択する際に用いる「代表色」を決定する。以下では、指示部１０４が指示する画像内の位置を「代表点」ともいう。詳しくは後述するとおり、第１実施形態における領域の選択は、画素の色に基づいて行われる。代表色は、選択の基準として用いられる色である。
【００４５】
第１実施形態では、具体的には、代表色決定部１０５に含まれる第１の形状指定部１０７と特徴量取得部１０６が次のように動作することにより、代表色が決定される。
第１の形状指定部１０７は、指示部１０４が指示する位置を含むある領域（以下、「指定領域」という）の形状を指定するための機能を提供する。そのため、第１の形状指定部１０７は、点、矩形、円形、自由形状などの複数の形状のうちの１つを選択する指示、指定領域の大きさなどを示す指示、および画像内の位置の指示を、指示部１０４から受け取る。そして、第１の形状指定部１０７は、指示された位置と選択された指定領域の形状を特徴量取得部１０６に指定する。
【００４６】
特徴量取得部１０６は、第１の形状指定部１０７により指定された指定領域に含まれる画素の色の分布に基づいて、領域の選択に用いられる１つ以上のパラメータのデフォルト値および代表色を決定する。
【００４７】
例えば、指定領域の形状が点の場合、指示部１０４が指示した位置にある１つの画素しか指定領域に含まれないので、特徴量取得部１０６は、その１つの画素の色を代表色として決定する。また、この場合、特徴量取得部１０６は、予め決められた定数をパラメータのデフォルト値として決定してもよく、後述するようにパラメータ記憶部１０９に記憶されている値をデフォルト値として再利用することを決定してもよい。
【００４８】
あるいは、指定領域が複数の画素を含む場合、特徴量取得部１０６は、複数の画素の色の分布を示す統計量を計算し、計算した統計量に基づいてパラメータのデフォルト値および代表色を決定してもよい。例えば、特徴量取得部１０６は、指定領域内の複数の画素の画素値から、算術平均または重み付け平均などの平均値、中央値（メジアン）、最大値、最小値、平均偏差、標準偏差などの統計量を計算し、利用してもよい。
【００４９】
例えば、特徴量取得部１０６は、指定領域内の複数の画素の画素値の算術平均を、代表色を示す値として計算し、最大値と算術平均値の差ｄ１と、算術平均値と最小値の差ｄ２のうち大きい方を、パラメータのデフォルト値として決定してもよい。あるいは、特徴量取得部１０６は、標準偏差と所定の定数の積をパラメータのデフォルト値として決定してもよい。
【００５０】
そして、特徴量取得部１０６は、決定したデフォルト値をパラメータ設定部１０８に出力するとともに、決定した代表色を選択領域決定部１１０に出力する。
ここで、上記１つ以上のパラメータのうち少なくとも１つは、代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータである。具体的には、第１実施形態では、代表色と類似する色の範囲を規定する３つのパラメータと、モルフォロジ演算のための１つのパラメータが用いられる。
【００５１】
なお、上記のように動作する代表色決定部１０５は、例えば不図示のＣＰＵがプログラムを実行することにより実現される。
パラメータ設定部１０８は、代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値を設定するための機能を提供する。パラメータ設定部１０８は、例えばスライダコントロール
などのＧＵＩ（Graphical User Interface）を提供して表示部１０３に表示させ、指示部１０４からの指示にしたがってパラメータの値を設定する。
【００５２】
上記のように第１実施形態では、代表色と類似する色の範囲を規定する３つのパラメータが用いられ、これら３つのパラメータのデフォルト値が特徴量取得部１０６から出力される。したがって、パラメータ設定部１０８は、出力された３つのデフォルト値に設定された状態のスライダコントロールを表示部１０３の画面に表示し、その後、パラメータの値を設定するための入力を、指示部１０４を介して受け付ける。
【００５３】
パラメータ記憶部１０９は、例えばＲＡＭにより実現され、パラメータ設定部１０８により設定されたパラメータの値を記憶する。
選択領域決定部１１０は、特徴量取得部１０６が決定した代表色を基準として、画像記憶部１０２が記憶している画像内の個々の画素の色が、パラメータ設定部１０８により設定されたパラメータの値により規定される範囲に含まれるか否かを判断する。そして、個々の画素についての上記判断に基づいて、選択領域決定部１１０は「選択領域」を決定する。
【００５４】
なお、選択領域は、指示部１０４が指示した位置（すなわちカーソルの位置）を含む連結な領域である。つまり、選択領域決定部１１０は、色の類似の判断のほかに連結性の判断も行いながら、代表点を含む連結な領域であって代表色と類似する色の領域を、１つの選択領域として統合する処理を行う。選択領域決定部１１０は、公知のアルゴリズムを用いて領域の連結性を判断することができる。
【００５５】
また、選択領域決定部１１０は選択領域を表示部１０３に通知する。表示部１０３は、通知にしたがって選択領域の形状を表示する。例えば、表示部１０３は、選択領域を特定の色で塗りつぶしたり、選択領域の輪郭を強調表示したりすることで、選択領域の形状を表示する。上記特定の色は、不透明でもよいし、半透明でもよい。
【００５６】
以上のようにして、指示部１０４により指示される複数の位置に対応して、選択領域決定部１１０は複数の選択領域を決定することができる。レイヤ管理部１１１は、複数の選択領域を１つのレイヤに関連づけて管理する。例えば、撮像画像上では離れている複数の選択領域が、実際には同じ１つの回路要素（あるいは同じ電気的な特徴を持つ複数の回路要素）に対応する場合、これら複数の選択領域を選択領域決定部１１０は１つのレイヤに関連づけて管理してもよい。また、表示部１０３は、１つのレイヤに関連づけられた複数の選択領域の形状を、例えば同じ色を用いて表示する。
【００５７】
例えば、ガラス基板の上にゲート配線が形成され、ゲート配線の上に透明な絶縁層が形成され、絶縁層の上に、ゲート配線と直交するようにＳＤ（ソースおよびドレイン）配線が形成されることがある。この場合、絶縁層を透かして下層のゲート配線が撮像画像に写るが、撮像画像上では、上層に形成されたＳＤ配線によってゲート配線は複数の領域に分断されて写っている。
【００５８】
しかし、基板の検査あるいは修正という目的からは、複数の領域が同じ１本のゲート配線に対応することを管理することが望ましい。そこで、レイヤ管理部１１１は、同じ回路要素に対応する撮像画像内の複数の選択領域を１つのレイヤに関連づけて管理する。
【００５９】
具体的には、指示部１０４を介して選択領域が属すべきレイヤをオペレータが入力し、指示部１０４がオペレータからの入力内容をレイヤ管理部１１１に指示し、レイヤ管理部１１１は指示にしたがって選択領域をレイヤに関連づける。また、詳しくは図７とともに後述するが、パラメータ記憶部１０９は、上記パラメータだけではなく、レイヤと選択領
域を関連づけたデータを記憶している。
【００６０】
また、複数の選択領域を順次決定する際のオペレータの負担を軽減するため、領域選択装置１００は以下のように動作する。すなわち、指示部１０４により指示された第１の位置に応じてパラメータ設定部１０８が設定した第１の値がパラメータ記憶部１０９に記憶されているときに、指示部１０４が第２の位置を指示すると、パラメータ設定部１０８は、第１の値をパラメータのデフォルト値として用いる。この動作は、具体的には、例えば以下のようにして実現される。
【００６１】
例えば、第１の位置の指示（および第１の位置の指示に伴う指定領域の形状やパラメータの指定）の直後に、第２の位置を指示部１０４が指示することにより、第２の位置のためのデフォルト値として第１の値を用いるべきことが暗黙に指示される。または、第２の位置のためのデフォルト値として第１の値を用いるべきであるというオペレータからの明示的な指示を指示部１０４が受け取ってもよい。
【００６２】
いずれにしろ第２の位置のためのデフォルト値として第１の値を用いるべきことが指示されているとする。このとき、第２の位置の指示に対応して、指示部１０４が第１の形状指定部１０７に指定領域の形状として点を指定したとする。すると、特徴量取得部１０６は、パラメータ記憶部１０９に記憶されている第１の値を、第２の位置に対応するパラメータのデフォルト値として再利用するよう、パラメータ設定部１０８に命令する。
【００６３】
例えば、第１の位置の指定の直後に第２の位置が指定された場合は、現在パラメータには第１の値が設定された状態なので、パラメータ設定部１０８は第１の値をそのまま用いるだけでよい。あるいは、パラメータ設定部１０８は、特徴量取得部１０６からの命令にしたがって、デフォルト値として、第１の値を明示的にパラメータ記憶部１０９から読み出してもよい。
【００６４】
以上のようにして第１の値がパラメータのデフォルト値として用いられると、第２の位置に応じてオペレータが改めて指示部１０４を介してパラメータの値を設定しなおす手間が省ける。
【００６５】
例えば、上記のように同じ１本のゲート配線が撮像画像上では２つの領域に分断されて写っていることがあり、第１の位置と第２の位置は分断された２つの領域それぞれの内部に位置する。この場合、同じ１本のゲート配線内での色のばらつきは、２つの領域でほぼ同じである。また、代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータは、換言すれば、色のばらつきの許容範囲を示している。
【００６６】
よって、上記のように第２の位置に応じてパラメータのデフォルト値として第１の値が用いられると、パラメータ設定部１０８がデフォルト値をそのままパラメータに設定するだけで、選択領域決定部１１０により適切に第２の位置に応じた選択領域が決定される。
【００６７】
あるいは、２つの領域でゲート配線内での色のばらつきに多少の差があるとしても、デフォルト値が設定されているので、パラメータの粗調整は済んでいる状態である。よって、オペレータはパラメータの微調整を行うだけでよい。つまり、例えば１本のゲート配線が撮像画像上では複数の領域に分断されて写っているとしても、複数の領域のそれぞれに対してオペレータがパラメータの粗調整からやり直す必要はない。このように、領域選択装置１００によれば、オペレータの負担は従来よりも軽減される。
【００６８】
また、例えば撮像画像上のノイズの影響など何らかの原因で、色に基づく選択だけではオペレータが意図する領域を領域選択装置１００がうまく選択することができない場合も
ありうる。そこで、領域選択装置１００は、オペレータが手作業で選択領域を指定することを可能とする第２の形状指定部１１２を備えている。
【００６９】
第２の形状指定部１１２は、指定領域の形状を指定するための機能を提供する点で第１の形状指定部１０７と類似しているが、指定領域の形状を指定する目的が第１の形状指定部１０７とは異なる。
【００７０】
第２の形状指定部１１２は、例えば、矩形、円形、自由形状などの複数の形状のうちの１つを選択する指示、指定領域の大きさなどを示す指示、および画像内の位置の指示を、指示部１０４から受け取る。そして、第２の形状指定部１１２は、指示部１０４により指示された位置に選択された形状を配置し、配置した形状を選択領域として選択領域決定部１１０に通知する。
【００７１】
選択領域決定部１１０は、第２の形状指定部１１２から通知された選択領域を認識し、表示部１０３に通知する。その結果、第２の形状指定部１１２を介して決定された選択領域の形状も、表示部１０３に表示される。
【００７２】
以上説明したように構成される領域選択装置１００によれば、オペレータの負担を軽減しつつ、効率的に撮像画像内の複数の選択領域を決定することができ、また、同じ回路要素に対応する複数の選択領域を１つのレイヤに関連づけることもできる。したがって、領域選択装置１００は、基板の欠陥を検査する検査装置または基板の欠陥を修正する修正装置における参照画像として用いられる撮像画像における領域の選択に好適である。
【００７３】
続いて、図２を参照して複雑な撮像画像の例を説明する。図２は、電極パターンの例を示す図である。
図２の（ａ）に示した電極パターン２００は、ＡＳ−ＩＰＳ（Advanced Super In-Plane-Switching）と呼ばれる駆動方式のＬＣＤ基板で用いられるＩＴＯ電極のパターンの一例である。また、図２の（ｂ）に示した電極パターン２１０は、ＩＰＳ−Ｐｒｏ（In-Plane-Switching Provectus）と呼ばれる駆動方式のＬＣＤ基板で用いられるＩＴＯ電極のパターンの一例である。
【００７４】
ＡＳ−ＩＰＳ方式およびＩＰＳ−Ｐｒｏ方式は、ＩＰＳ方式と呼ばれる、ガラス基板の表面に対して平行に電界をかける方式の一例である。そのため、ＴＮ（Twisted Nematic）方式やＶＡ（Vertical Alignment）方式のようにガラス基板の表面に対して垂直に電界をかける方式と比べて、電極パターン２００や２１０のような複雑な電極パターンが用いられる。
【００７５】
例えば、電極パターン２００を形成する、異なる電位の電極２０１と２０２にまたがって異物が付着すると、電極２０１と２０２の間での短絡が引き起こされる。このようなショート欠陥を検出するため、検査装置は電極２０１の領域と電極２０２の領域をそれぞれ認識する必要がある。
【００７６】
そのため、従来は、オペレータが手間をかけて参照画像上で電極２０１の領域と電極２０２の領域をそれぞれ選択していた。電極パターン２１０に関しても同様に、従来は、オペレータが手間をかけて参照画像上で電極２１１の領域と電極２１２の領域をそれぞれ選択していた。従来のオペレータの手作業による選択は、非常に困難な作業である。
【００７７】
なお、図２に示した電極パターン２００や２１０は回路要素の形状の複雑化の一例である。例えばＣＳ（storage capacitor）バスラインの採用その他の理由によっても、撮像画像内の各領域の形状は複雑化している。
【００７８】
続いて、図３〜図９を参照して、領域選択装置１００の動作の具体例について説明する。
図３は、撮像画像３００を表示する画面の例を示す図である。図３の例では、２つのウィンドウがあり、左のウィンドウには撮像画像３００が表示されており、右のウィンドウ３１０には指示部１０４からの指示を受け付けるための各種ＧＵＩが表示されている。
【００７９】
撮像画像３００には、トランジスタ３０１ａおよび３０１ｂ、ゲート配線３０２ａおよび３０２ｂ、ＳＤ配線３０３ａおよび３０３ｂ、ＩＴＯ電極３０４ａおよび３０４ｂ、ならびに下地３０５（具体的には下層の絶縁層など）が写っている。撮像画像３００の左端と右端のゲート配線３０２ａと３０２ｂは、上層に形成された透明な絶縁層を挟んでさらに上層に形成されたトランジスタ３０１ａおよび３０１ｂにより、複数の領域に分断されて写っている。また、ＩＴＯ電極３０４ａおよび３０４ｂ、ならびに下地３０５は複雑な形状である。
【００８０】
このような撮像画像３００における領域の選択は、従来、オペレータに多大な負担をかけていた。
以下では、撮像画像３００に写っている上記種々の回路要素を、電気的な性質に基づいて以下の６つのレイヤに分類して管理する場合を例にして説明する。
【００８１】
・トランジスタ３０１ａと３０１ｂのレイヤ（以下、「トランジスタレイヤ」という）
・ゲート配線３０２ａと３０２ｂのレイヤ（以下、「ゲートレイヤ」という）
・ＳＤ配線３０３ａと３０３ｂのレイヤ（以下、「ＳＤレイヤ」という）
・ＩＴＯ電極３０４ａのレイヤ（以下、「ＩＴＯ１レイヤ」という）
・ＩＴＯ電極３０４ｂのレイヤ（以下、「ＩＴＯ２レイヤ」という）
・下地３０５のレイヤ（以下、「下地レイヤ」という）
領域選択装置１００によれば、撮像画像３００内の領域を上記６つのレイヤに分類する作業におけるオペレータの負担が軽減される。いかにして負担が軽減されるかについて、続いて説明する。
【００８２】
ウィンドウ３１０は、パラメータ設定部１０８が提供するＧＵＩの具体例であるスライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍと、各スライダが示す数値を示すテキストボックスを含む。すなわち、第１実施形態では、パラメータ設定部１０８が設定するパラメータは４つである。図３は初期状態を示すので、４つのパラメータはいずれも初期値「１」に設定されている。
【００８３】
また、ウィンドウ３１０は、レイヤ管理部１１１が提供するＧＵＩの具体例であるレイヤメニュー３１２、テキストボックス３１３、および追加ボタン３１４も含む。
第１実施形態では、撮像画像のデータはＲＧＢ表色系によって表されている。そのため第１実施形態において特徴量取得部１０６が取得する画素の特徴量は、赤、緑、青の成分をそれぞれ示す３つの画素値である。
【００８４】
以下では着目する画素の赤、緑、青をそれぞれ示す３つの画素値を、それぞれ「Ｒ」、「Ｇ」、「Ｂ」と表す。また、特徴量取得部１０６により定義される代表色の赤、緑、青それぞれの画素値を、以下ではそれぞれ「Ｒｔａｒｇｅｔ」、「Ｇｔａｒｇｅｔ」、「Ｂｔａｒｇｅｔ」と表す。
【００８５】
スライダ３１１ｒを介して設定されるパラメータは、代表色と類似する色の許容範囲を赤のチャネルについて規定する閾値であり、以下では「Ｒｔｈｒｅｓｈ」と表す。また、スライダ３１１ｇを介して設定されるパラメータは、代表色と類似する色の許容範囲を緑
のチャネルについて規定する閾値であり、以下では「Ｇｔｈｒｅｓｈ」と表す。同様に、スライダ３１１ｂを介して設定されるパラメータは、代表色と類似する色の許容範囲を青のチャネルについて規定する閾値であり、以下では「Ｂｔｈｒｅｓｈ」と表す。
【００８６】
具体的には、第１実施形態では、画素値Ｒ、Ｇ、およびＢで表される画素の色が代表色と類似するか否かは、以下の式（１）〜（３）に基づいて選択領域決定部１１０により判断される。なお、ＡＢＳ（ｘ）は引数ｘの絶対値を返す関数である。
【００８７】
ＡＢＳ（Ｒｔａｒｇｅｔ−Ｒ）＜Ｒｔｈｒｅｓｈ        （１）
ＡＢＳ（Ｇｔａｒｇｅｔ−Ｇ）＜Ｇｔｈｒｅｓｈ        （２）
ＡＢＳ（Ｂｔａｒｇｅｔ−Ｂ）＜Ｂｔｈｒｅｓｈ        （３）
式（１）〜（３）のすべてが満たされるとき、選択領域決定部１１０は、「画素値Ｒ、Ｇ、およびＢで表される色は代表色と類似している」と判断する。選択領域決定部１１０は、代表点を含む連結な領域であるという条件のもとで、代表色と類似すると判断した色の画素を選択領域に統合する。
【００８８】
また、スライダ３１１ｍを介して設定されるパラメータは、モルフォロジ演算のためのパラメータである。
例えば、撮像画像３００がレーザリペア装置での参照画像として用いられる場合、領域を選択する目的の１つは、レーザビームの照射による損傷の受けやすさに応じて特定の回路要素上へのレーザビームの照射を禁止するか、または照射強度を調節することである。例えば、トランジスタ上へのレーザビームの照射を禁止すべき場合、上記トランジスタレイヤの範囲が、レーザビームの照射禁止領域としてレーザリペア装置に指定される。
【００８９】
この場合、トランジスタレイヤの範囲がトランジスタの範囲と正確に一致していると、トランジスタの一部（特に、外縁に近い部分）にレーザビームが照射されてしまうおそれがある。なぜなら、レーザリペア装置または基板のわずかな歪みが補正しきれない場合や、実際の修正対象の基板を撮像した画像と参照画像との間にずれがある場合があるためである。そこで、トランジスタへのレーザビームの照射を確実に防ぐには、実際のトランジスタの範囲よりもやや広い範囲をレーザビームの照射禁止領域として設定することが有効である。
【００９０】
逆に、撮像画像３００の用途および選択領域が表す回路要素の性質によっては、上記式（１）〜（３）を用いて色に基づいて選択された領域を収縮させることが好ましい場合もある。
【００９１】
そこで、選択領域決定部１１０は、上記式（１）〜（３）を用いて色に基づいて選択した領域に対して膨張（dilation）または収縮（erosion）などのモルフォロジ演算を行う。選択領域決定部１１０は、モルフォロジ演算の結果、形状が変化した領域を選択領域として決定する。
【００９２】
第１実施形態においてスライダ３１１ｍを介して設定されるパラメータは、膨張の度合いを示すパラメータである。実施形態に応じて、パラメータ設定部１０８は、収縮の度合いを示すパラメータや、その他の種類のモルフォロジ演算用のパラメータの指定を、指示部１０４から受け取ってそれらのパラメータの値を設定してもよい。
【００９３】
オペレータは、マウスを用いてインジケータの位置をドラッグすることにより、あるいはキーボードを用いてテキストボックスに数値を入力することにより、各スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、３１１ｍが表すパラメータの値を入力する。そして、マウスとキーボードにより実現される指示部１０４は、オペレータから入力された各パラメータの
値をパラメータ設定部１０８に指示し、パラメータ設定部１０８は指示にしたがって各パラメータの値を設定する。
【００９４】
続いてウィンドウ３１０内の他のＧＵＩについても説明する。レイヤメニュー３１２は、選択領域決定部１１０により決定される選択領域が属すべきレイヤを、指示部１０４がレイヤ管理部１１１に指定するためのＧＵＩである。図３ではまだレイヤが定義されていないのでレイヤメニュー３１２は空欄であるが、レイヤメニュー３１２は、指定可能なレイヤを選択肢として表示する。
【００９５】
テキストボックス３１３と追加ボタン３１４は新たなレイヤを定義するためのＧＵＩである。オペレータがテキストボックス３１３にレイヤ名を入力して追加ボタン３１４をクリックすると、入力内容が指示部１０４を介してレイヤ管理部１１１に指示される。そして、レイヤ管理部１１１は、入力されたレイヤ名の新たなレイヤを作成し、レイヤメニュー３１２に選択肢として新たなレイヤ名を追加する。
【００９６】
以上、撮像画像３００とともに表示されるＧＵＩについて説明した。続いて、複数の選択領域を順次決定していく動作の例について説明する。
図４は、トランジスタレイヤ、ゲートレイヤ、およびＳＤレイヤの設定が完了し、続いてＩＴＯ１レイヤの設定が行われようとする時点の画面の例を示す図である。
【００９７】
図４において、表示部１０３は、設定済みの各レイヤを強調表示している。例えば、表示部１０３は、各レイヤに属する領域の上に、各レイヤを表す半透明の色を重ねて表示することで、各レイヤの形状を表示している。
【００９８】
具体的には、トランジスタが写っており、トランジスタレイヤに属する領域として選択された、互いに離れた２つのトランジスタ領域４０１ａと４０１ｂに、表示部１０３はトランジスタレイヤを表す第１の色を重ねて表示している。また、ゲート配線が写っており、ゲートレイヤに属する領域として選択された、互いに離れた４つのゲート配線領域４０２ａ〜４０２ｄに、表示部１０３は、ゲートレイヤを表す第２の色を重ねて表示している。同様に、ＳＤ配線が写っており、ＳＤレイヤに属する領域として選択された、互いに離れた２つのＳＤ配線領域４０３ａと４０３ｂに、表示部１０３は、ＳＤレイヤを表す第３の色を重ねて表示している。
【００９９】
このように、図４の撮像画像４００は、図３の撮像画像３００に強調表示のための色が重ねられた画像である。なお、上記第１〜第３の色が重ねられた領域は、図４において、図３とは異なる網掛けまたはハッチングで表されている。
【０１００】
以下、図４が示す時点より前において最後に設定されたのはＳＤレイヤに属すＳＤ配線領域４０３ｂであるとして説明する。
スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍは、それぞれ、ＳＤ配線領域４０３ｂが設定されたときの値である２０、４０、１５、および２を示している。パラメータ記憶部１０９は、これらの２０、４０、１５、および２なる値を、ＳＤ配線領域４０３ｂと関連づけて記憶している。なお、後述するように、パラメータ記憶部１０９は、他の設定済みの領域に関しても各パラメータの値を記憶している。
【０１０１】
また、レイヤメニュー３１２は、既に設定済みのトランジスタレイヤ、ゲートレイヤ、およびＳＤレイヤを選択肢として表示する。レイヤメニュー３１２はさらに、図４が示す時点の直前にテキストボックス３１３と追加ボタン３１４を用いて新たに追加されたＩＴＯ１レイヤも選択肢として表示している。
【０１０２】
続いて、１つの連結な領域として写っているＩＴＯ電極３０４ａを選択領域として決定し、ＩＴＯ１レイヤに追加するときの領域選択装置１００の動作について説明する。
図１に関して説明したように、選択領域は、代表点と代表色と各パラメータに基づいて設定される場合と、第２の形状指定部１１２により指定される場合があるが、以下ではＩＴＯ１レイヤが代表点と代表色と各パラメータに基づいて設定されるものとする。すなわち、ＩＴＯ電極３０４ａが写った領域を選択領域として決定するために、指示部１０４による代表点の指定と、第１の形状指定部１０７による指定領域の形状の指定が行われる。
【０１０３】
図５は、第１の形状指定部１０７が提供する代表点の指定用の形状指定メニュー３１５と、第２の形状指定部１１２が提供する手作業用の形状指定メニュー３１６の例を示す図である。
【０１０４】
形状指定メニュー３１５は、矩形、角の丸い矩形、円および楕円、任意の多角形、複数の点により規定される閉曲線で表される自由形状、ならびに点を、指定領域の形状の選択肢として表示する。また、形状指定メニュー３１６は、矩形、角の丸い矩形、円および楕円、任意の多角形、ならびに複数の点により規定される閉曲線で表される自由形状を、指定領域の形状の選択肢として表示する。形状指定メニュー３１５および３１６が選択肢として具体的にどのような形状を表示するかは実施形態により任意である。
【０１０５】
第１の形状指定部１０７は、形状指定メニュー３１５を表示部１０３に表示し、指示部１０４からの指示を受け取ることで、指示にしたがって指定領域の形状を決定する。同様に、第２の形状指定部１１２は、形状指定メニュー３１６を表示部１０３に表示し、指示部１０４からの指示を受け取ることで、指示にしたがって指定領域の形状を決定する。
【０１０６】
以下では、ＩＴＯ電極３０４ａが写った領域を選択領域として決定するために、図５の形状指定メニュー３１５から点を選択する入力を、指示部１０４がオペレータから受け取ったとする。
【０１０７】
図６は、ある設定にしたがって決定された選択領域の例を示す図である。すなわち、図６は、スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍが示すように、４つのパラメータの値がいずれも１に設定された場合に選択領域としてＩＴＯ電極領域４０４ａが決定される例を示している。より詳しくは、下記のとおりである。
【０１０８】
図６では、第１の形状指定部１０７が指定領域の形状として点を指定し、カーソル４１１により示される点を代表点として指定する入力（例えばマウスクリック操作）を指示部１０４がオペレータから受け取っているものとする。
【０１０９】
よって、特徴量取得部１０６は、画像記憶部１０２から加工前の図３の撮像画像３００のデータを読み出すことで、カーソル４１１が示す点に位置する画素の色を示す３つの画素値Ｒｔａｒｇｅｔ、Ｇｔａｒｇｅｔ、およびＢｔａｒｇｅｔを特徴量として取得する。そして、特徴量取得部１０６は、取得した特徴量の値を選択領域決定部１１０に出力する。
【０１１０】
また、指示部１０４を介してオペレータからの指定（例えばスライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍのインジケータのドラッグ操作）を受け取ることで、パラメータ設定部１０８は、４つのパラメータの値をいずれも１に設定している。したがって、パラメータ記憶部１０９は４つのパラメータの値を記憶している。具体的には、第１実施形態では、パラメータ記憶部１０９は図７に示す形式で各パラメータの値を記憶している。
【０１１１】
図７は、パラメータ記憶部１０９が記憶するデータ構造の例を示す図である。
パラメータ記憶部１０９は、１枚の撮像画像に対応して１つのレイヤマネージャオブジェクトを記憶している。レイヤマネージャオブジェクトは、階層構造を有するデータオブジェクトである。図９ではデータの階層構造をツリー形式で表示している。
【０１１２】
レイヤマネージャオブジェクトは、１つ以上のレイヤオブジェクトを有する。図１１には、例としてレイヤオブジェクトＬ１〜Ｌ３が図示してある。例えば、レイヤオブジェクトＬ１は、トランジスタレイヤを表す。
【０１１３】
各レイヤオブジェクトは、１つ以上の領域オブジェクトを有する。例えば、レイヤオブジェクトＬ１は、領域オブジェクトＡ１１〜Ａ１２を有する。例えば、レイヤオブジェクトＬ１がトランジスタレイヤを表すとき、領域オブジェクトＡ１１とＡ１２はそれぞれトランジスタ領域４０１ａと４０１ｂを表す。他のレイヤオブジェクトＬ２とＬ３が有する領域オブジェクトの図示は省略した。
【０１１４】
各領域オブジェクトは、代表点の座標と、赤（Ｒ）のチャネルに関する許容範囲を示すＲｔｈｒｅｓｈの値と、緑（Ｇ）のチャネルに関する許容範囲を示すＧｔｈｒｅｓｈの値と、青（Ｂ）のチャネルに関する許容範囲を示すＢｔｈｒｅｓｈの値を有する。さらに、各領域オブジェクトは、当該領域に対して行われた膨張のためのモルフォロジ演算のパラメータの値である膨張度と、当該領域の形状を示す形状データを有する。図７では、領域オブジェクトＡ１２が有するこれらのデータについては図示を省略した。
【０１１５】
例えば、領域オブジェクトＡ１１がトランジスタ領域４０１ａを表すとき、領域オブジェクトＡ１１の形状データは、トランジスタ領域４０１ａとそれ以外の部分を白と黒で区別する２値画像の形式で表されてもよい。
【０１１６】
ここで図６の説明に戻ると、図６の場合、レイヤ管理部１１１によって、ＩＴＯ１レイヤを示す不図示のレイヤオブジェクトが作成され、パラメータ記憶部１０９に記憶される。また、ＩＴＯ１レイヤを示すレイヤオブジェクトの子オブジェクトにあたる不図示の領域オブジェクトが、これから決定しようとする選択領域に対応して、レイヤ管理部１１１によって新たに作成される。
【０１１７】
作成された新たな領域オブジェクトは、図７と同様に、代表点の座標と４つのパラメータと形状データを子オブジェクトとして有するが、これら子オブジェクトの値は、代表点の指定、パラメータの設定、および選択領域の決定に応じて設定される。したがって、上記のようにカーソル４１１で示される代表点の位置が指定され、４つのパラメータの値がそれぞれ１に設定されると、パラメータ記憶部１０９上に作成された新たな領域オブジェクト内にそれぞれの値が記憶される。
【０１１８】
その結果、選択領域決定部１１０は、設定された４つのパラメータの値をパラメータ記憶部１０９から読み出すことで、設定された４つのパラメータと代表色により規定される選択流域の範囲を計算し、決定する。そして、表示部１０３は、決定された選択領域であるＩＴＯ電極領域４０４ａの形状を、例えば第４の色を撮像画像の上に重ねるオーバーレイ表示により、表示する。また、選択領域決定部１１０は、決定したＩＴＯ電極領域４０４ａの形状を、作成された領域オブジェクト内の形状データとして、パラメータ記憶部１０９に記憶させる。
【０１１９】
図６に示すように、すべてのパラメータの値が１に設定されていると、代表点の近傍の小さなＩＴＯ電極領域４０４ａのみが選択領域として決定される。オペレータは、表示部１０３により表示されたＩＴＯ電極領域４０４ａの形状を見て、パラメータの値をより大
きく設定すべきことを認識し、指示部１０４を介して各パラメータの値を設定しなおす。
【０１２０】
すなわち、オペレータがスライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、または３１１ｍのインジケータをマウスでドラッグすると、指示部１０４がドラッグ操作によって示される新たなパラメータの値をパラメータ設定部１０８に指定する。すると、パラメータ設定部１０８は、新たな値をパラメータ記憶部１０９に上書きする。
【０１２１】
そして、選択領域決定部１１０は、パラメータの値が更新されるたびに、選択領域を決定しなおし、領域オブジェクト内の形状データを更新する。表示部１０３は、選択領域決定部１１０が選択領域を決定しなおすたびに、選択領域の形状を表示しなおす。
【０１２２】
なお、パラメータ設定部１０８によるパラメータの再設定のたびに行われる、選択領域決定部１１０による選択領域の再決定と表示部１０３による選択領域の再表示は、自動的に行われる。したがって、オペレータにとっては、パラメータの値を増減させて再設定するための入力が、表示部１０３の画面に表示される選択領域の形状に、リアルタイムに反映するように見える。よって、オペレータはリアルタイムに変化する表示部１０３を見ながらパラメータの値を調整することで、容易にパラメータを適切な値に設定することができる。
【０１２３】
以上のようにして試行錯誤が繰り返され、最終的には適切なパラメータの値が定まる。図８は、最終的に適切に設定されたパラメータにしたがって決定された選択領域の例を示す図である。図８と図６は、各パラメータの値の設定が異なり、その設定の違いに応じて選択領域の形状が異なる。
【０１２４】
すなわち、図８において、各スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍが示すパラメータの値は、図６とは異なり、それぞれ３０、２５、１０、および３である。そして、図８には、これらのパラメータの値と、図６と同じくカーソル４１１により示される代表点とに基づいて選択領域決定部１１０が決定したＩＴＯ電極領域４０４ｂの形状が図示されている。図３や図４のＩＴＯ電極３０４ａの形状が、図８においては適切にＩＴＯ電極領域４０４ｂとして選択されている。
【０１２５】
続いて、図３のＩＴＯ電極３０４ｂが写った領域からなるＩＴＯ２レイヤが、ＩＴＯ１レイヤと同様に設定される。
図９は、ＩＴＯ２レイヤが適切に設定された後の図である。図８から図９に至る経過は以下のとおりである。
【０１２６】
図８のようにＩＴＯ電極３０４ａが写った領域からなるＩＴＯ１レイヤが設定された後、指示部１０４を介してレイヤ管理部１１１が新たなＩＴＯ２レイヤを定義する。新たなレイヤの定義は、具体的には上述のようにテキストボックス３１３と追加ボタン３１４を介して行われ、レイヤ管理部１１１はＩＴＯ２レイヤを選択肢としてレイヤメニュー３１２に追加する。
【０１２７】
ＩＴＯ１レイヤとＩＴＯ２レイヤは、異なる電位のＩＴＯ電極３０４ａと３０４ｂにそれぞれ対応するが、ＩＴＯ電極３０４ａと３０４ｂの材質は同じである。したがって、図３の撮像画像３００に写ったＩＴＯ電極３０４ａと３０４ｂ内はほぼ同じ色をしている。よって、図９のカーソル４３１により示される代表点を指定する入力をオペレータから指示部１０４が受け取ると、それに応じて図９のように適切に、ＩＴＯ電極３０４ｂの形状に一致するＩＴＯ電極領域４０４ｃが選択領域として決定され、表示される。より詳細に説明すれば下記のとおりである。
【０１２８】
第１実施形態においては、第１の形状指定部１０７は、明示的な指定がない場合は、直近に指定された形状が再度指定されたものとして動作する。つまり、第１の形状指定部１０７は、ＩＴＯ電極領域４０４ｂの選択のために指定された指定領域の形状である「点」を指定する。
【０１２９】
よって、特徴量取得部１０６は、カーソル４３１により示される代表点に位置する画素の画素値Ｒｔａｒｇｅｔ、Ｇｔａｒｇｅｔ、およびＢｔａｒｇｅｔを特徴量として取得する。また、特徴量取得部１０６は、第１の形状指定部１０７から指定された指定領域の形状が点なので、パラメータ設定部１０８に、現在のパラメータの値をそのまま再利用するよう命令する。すなわち、図８で設定された３０、２５、１０、および３という値が、ＩＴＯ２レイヤに属すべき新たな選択領域の決定のために再利用される。
【０１３０】
図９の例では、再利用された上記４つの値によって、適切な形状のＩＴＯ電極領域４０４ｃが、選択領域として選択領域決定部１１０により決定されている。場合によっては、パラメータの微調整が必要となることもあるが、オペレータが粗調整からしなおす必要がないので、第１実施形態によればオペレータの負担は軽減されている。
【０１３１】
以上、図３〜図９を参照して、領域選択装置１００の動作の具体例を説明した。続いて、上記の具体例を一般化して、図１０のフローチャートとともに領域選択装置１００の動作について説明する。
【０１３２】
図１０は、領域選択装置１００の動作を示すフローチャートである。
ステップＳ１０１で撮像画像が領域選択装置１００に入力される。すなわち、画像取得部１０１が撮像画像を取得し、画像記憶部１０２が撮像画像を記憶する。
【０１３３】
次にステップＳ１０２で、表示部１０３が画像記憶部１０２から撮像画像を読み出して表示する。例えば、図３の撮像画像３００がステップＳ１０２で表示される。
続くステップＳ１０３〜Ｓ１１１は各選択領域に対応して繰り返される。
【０１３４】
ステップＳ１０３では、レイヤ管理部１１１が、必要に応じてオペレータがテキストボックス３１３と加ボタン３１４を用いて行う指示を指示部１０４から受け取り、指示にしたがって新たなレイヤを追加する。また、レイヤ管理部１１１は、これから選択領域として決定しようとする領域が属すべきレイヤの指定を、レイヤメニュー３１２を介して指示部１０４から受け取る。レイヤ管理部１１１は、レイヤの追加が指示された場合はレイヤオブジェクトを新たに作成し、さらに、新たな領域オブジェクトを生成して指示されたレイヤに追加する。
【０１３５】
そして、ステップＳ１０４では、第１の形状指定部１０７が表示部１０３に表示している、図５に示した代表点の指定用の形状指定メニュー３１５を介して、指示部１０４はオペレータから指定領域の形状を選択する入力を受け取る。指示部１０４は、入力された内容を第１の形状指定部１０７に指示する。
【０１３６】
また、ステップＳ１０５で指示部１０４は、代表点を指定する入力（例えば、撮像画像上でのマウスのクリック操作による入力）をオペレータから受け取り、受け取った代表点の座標を第１の形状指定部１０７に指示する。第１の形状指定部１０７は、ステップＳ１０５で指示された代表点の位置に、ステップＳ１０４で指示された形状を配置して表示部１０３に表示する。
【０１３７】
また、ステップＳ１０５において特徴量取得部１０６は、式（１）〜（３）に示した３つの画素値Ｒｔａｒｇｅｔ、Ｇｔａｒｇｅｔ、およびＢｔａｒｇｅｔを、代表色を表す特
徴量として取得し、選択領域決定部１１０に通知する。さらに、特徴量取得部１０６は、３つのパラメータＲｔｈｒｅｓｈ、Ｇｔｈｒｅｓｈ、およびＢｔｈｒｅｓｈのデフォルト値を決定してパラメータ設定部１０８に通知する。
【０１３８】
ステップＳ１０４で指定された形状が点の場合は、特徴量取得部１０６は、単にステップＳ１０５で指定された代表点にある１つの画素の画素値を画素値Ｒｔａｒｇｅｔ、Ｇｔａｒｇｅｔ、およびＢｔａｒｇｅｔとして取得する。また、ステップＳ１０５が１回目に実行されるときには、特徴量取得部１０６は、３つのパラメータのデフォルト値として、所定の定数を特徴量取得部１０６に通知する。ステップＳ１０５の２回目以降の実行においては、特徴量取得部１０６は、直近に設定されたパラメータの値をデフォルト値として用いるべきことを決定してパラメータ設定部１０８に通知する。
【０１３９】
あるいは、ステップＳ１０４で点以外の形状が指定された場合、特徴量取得部１０６は、代表点に位置する指定領域の範囲内に含まれる複数の画素の色の分布に基づき、代表色を表す３つの画素値Ｒｔａｒｇｅｔ、Ｇｔａｒｇｅｔ、およびＢｔａｒｇｅｔを計算する。また、この場合、特徴量取得部１０６はさらに、代表点に位置する指定領域の範囲内に含まれる複数の画素の色の分布に基づき、代表色と類似する色の範囲を規定する３つのパラメータＲｔｈｒｅｓｈ、Ｇｔｈｒｅｓｈ、およびＢｔｈｒｅｓｈの値を計算する。
【０１４０】
続くステップＳ１０６〜Ｓ１１０は、選択領域の形状を修正する必要がなくなるまで繰り返される。すなわち、選択領域の形状は、ステップＳ１０６〜Ｓ１１０の繰り返しのたびに修正され、修正のたびに表示部１０３に表示しなおされる。
【０１４１】
ステップＳ１０６で、指示部１０４は、各スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍのインジケータに対するオペレータのドラッグ操作に応じて、４つのパラメータに設定すべき値をパラメータ設定部１０８に指示する。
【０１４２】
すると、ステップＳ１０７でパラメータ設定部１０８は、指示部１０４からの指示に応じて各パラメータの値を設定する。すなわち、パラメータ設定部１０８は、パラメータ記憶部１０９内に図７のようなデータ構造で記憶された各パラメータの値を上書きする。
【０１４３】
すると、設定されたパラメータの値に応じて、ステップＳ１０８において選択領域決定部１１０は、ステップＳ１０３で選択されたレイヤに追加すべき選択領域の形状を、式（１）〜（３）に基づいて決定する。また、選択領域決定部１１０は、ステップＳ１０８の決定にしたがって、パラメータ記憶部１０９に記憶されている領域オブジェクト内の形状データを上書きする。
【０１４４】
そして、ステップＳ１０９において表示部１０３は、ステップＳ１０８で決定された選択領域の形状を表示する。例えば、ステップＳ１０３で選択したレイヤに対応する色による塗りつぶしもしくはオーバーレイ表示、または輪郭の強調表示などがステップＳ１０９において行われる。
【０１４５】
続いて、ステップＳ１１０では、指示部１０４がオペレータから受け取る入力内容に応じて、領域選択装置１００は、選択領域の形状を修正する必要の有無を判断する。
すなわち、スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、または３１１ｍのインジケータに対するドラッグ操作を指示部１０４が検出した場合、検出された操作は選択領域の形状を修正するための操作であるから、処理がステップＳ１０６に戻る。
【０１４６】
また、例えば不図示の終了メニューの指定など、図１０の処理の終了を命じる入力を指示部１０４が検出した場合、検出された操作は選択領域の形状を修正する必要がないこと
を示すので、処理はステップＳ１１１に進む。あるいは、レイヤメニュー３１２内の選択肢の選択もしくは、テキストボックス３１３と追加ボタン３１４を用いた新規レイヤの定義のための入力を指示部１０４が検出した場合も、処理はステップＳ１１１に進む。
【０１４７】
ステップＳ１１１では、指示部１０４がオペレータからの終了指示を受け取っていれば図１０の処理を終了する。指示部１０４がオペレータからの終了指示を受け取っていなければ、処理はステップＳ１０３に戻る。
【０１４８】
続いて、複雑なパターンを含む撮像画像の場合にも、第１実施形態によればオペレータの負荷を軽減することができることを、図１１を参照して説明する。
図１１は、異なる色の下層に影響されて、透明電極が撮像画像において異なる色に写る例を示す図である。
【０１４９】
図１１の電極パターン２２０は、図２の（ｂ）に示した電極パターン２１０と同じ複雑な形状をしている。また、電極パターン２２０を形成する電極２２１と２２２は、いずれも透明電極である。
【０１５０】
さらに、明色部２２３と暗色部２２４として図示したように、電極パターン２２０が形成される層の下層には互いに異なる色の複数の回路要素が存在しており、透明な電極２２１と２２２を透かして下層の色が透けて撮像画像に写っている。電極２２１は、明色部２２３と暗色部２２４にまたがって存在しており、電極２２２も同様である。
【０１５１】
したがって、例えば電極２２１と２２２にまたがって存在する異物に起因するショート欠陥を検査装置が検出するためには、明色部２２３および暗色部２２４とそれぞれ重なった異なる色の部分を、１つの電極２２１のレイヤとして設定することが求められる。電極２２２に関しても同様である。
【０１５２】
第１実施形態によれば、オペレータは例えば以下の操作を行うだけでよい。
・電極２２１用のレイヤを新しく定義する。
・電極２２１の明色部２２３と重なった領域に含まれる点Ｐ１を代表点として指示する。
【０１５３】
・電極２２１の明色部２２３と重なった領域用のパラメータを、スライダ３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、および３１１ｍを用いて指示する。
・電極２２１の暗色部２２４と重なった領域に含まれる点Ｐ２を代表点として指示する。
【０１５４】
・電極２２１の暗色部２２４と重なった領域であって、点Ｐ２が含まれる領域とは非連結な領域に含まれる点Ｐ３を代表点として指示する。
・電極２２２用のレイヤを新しく定義する。
【０１５５】
・電極２２２の明色部２２３と重なった領域に含まれる点Ｐ４を代表点として指示する。
・電極２２２の明色部２２３と重なった領域であって、点Ｐ４が含まれる領域とは非連結な領域に含まれる点Ｐ５を代表点として指示する。
【０１５６】
・電極２２２の暗色部２２４と重なった領域に含まれる点Ｐ６を代表点として指示する。
すなわち、明色部２２３と暗色部２２４のいずれと重なっていても、電極２２１内部の色のばらつきはほぼ一定であり、同じＩＴＯで作られた電極２２１と２２２の色のばらつ
きもほぼ同じである。したがって、オペレータは、上記のように、パラメータの明示的な設定は点Ｐ１のみに対応して行えばよく、あとは代表点Ｐ２〜Ｐ６を連続的に指定するだけでよい。なぜなら、点Ｐ２〜Ｐ６に対応するパラメータは、点Ｐ１に対応してパラメータ記憶部１０９が記憶している設定済みの値がデフォルト値として用いられるので、再設定が不要なためである。
【０１５７】
仮に、色のばらつきにわずかな差があり、デフォルト値をそのまま用いると所望の領域が選択領域として選択されないとしても、オペレータはパラメータの微調整を行うだけでよく、粗調整からやり直す必要がない。このように、本実施形態によれば、複雑な形状のパターンが撮像画像に写っている場合でも、簡易かつ容易に領域の選択が可能である。したがって、従来と比較して本実施形態は、オペレータの労力削減に効果がある。
【０１５８】
以上、図１〜図１１を参照して第１実施形態について説明した。
第１実施形態によれば、代表色と類似する色の範囲を規定するパラメータの値が再利用されるので、たとえ撮像画像が複雑かつカラフルであり下層の色が上層に影響していても、適切な領域を選択するためのオペレータの負担が従来よりも削減される。また、第１実施形態によれば、選択領域を決定するためにオペレータが指定すべき代表点の個数は１つのみであり、領域内の複数の代表点と領域外の複数の代表点をオペレータが選択する必要はない。したがって、第１実施形態によれば、複雑化した撮像画像に対しても容易かつ良好に選択領域が決定される。
【０１５９】
続いて、第２実施形態と第３実施形態について、第１実施形態との違いを中心に説明する。
第２実施形態は輝度情報を用いる実施形態である。具体的には、画素の特徴量として第１実施形態では赤、緑、青の３つの画素値が用いられるが、第２実施形態では輝度値が用いられる。
【０１６０】
すなわち、撮像画像がカラー画像である場合、特徴量取得部１０６は式（４）にしたがって代表色を表す特徴量として輝度値Ｌｔａｒｇｅｔを計算して取得する。同様に、選択領域決定部１１０は式（５）にしたがって画像内の各画素の輝度値Ｌを計算する。
【０１６１】
Ｌｔａｒｇｅｔ
＝０．３１Ｒｔａｒｇｅｔ＋０．５９Ｇｔａｒｇｅｔ＋０．１１Ｂｔａｒｇｅｔ
（４）
Ｌ＝０．３１Ｒ＋０．５９Ｇ＋０．１１Ｂ                            （５）
あるいは、画像取得部１０１が取得する撮像画像が輝度画像でもよい。その場合、式（４）と（５）による計算は、単に撮像画像からの輝度値の読み込みに置き換えられる。
【０１６２】
撮像画像がカラー画像と輝度画像のいずれであっても、選択領域決定部１１０は、式（６）を満たす画素の色を「代表色と類似している」と判断する。
ＡＢＳ（Ｌｔａｒｇｅｔ−Ｌ）＜Ｌｔｈｒｅｓｈ                      （６）
なお、式（６）におけるＬＴｈｒｅｓｈは、パラメータ設定部１０８により設定されるべきパラメータである。第１実施形態における３つの閾値Ｒｔｈｒｅｓｈ、Ｇｔｈｒｅｓｈ、およびＢｔｈｒｅｓｈの代わりに、上記式（６）のように第２実施形態では１つの閾値Ｌｔｈｒｅｓｈが用いられる。
【０１６３】
利用されるパラメータの個数の違いに応じて、第２実施形態では、パラメータ設定部１０８が提供するＧＵＩ（具体的にはスライダの数）およびパラメータ記憶部１０９が記憶するデータ構造が第１実施形態とは異なる。
【０１６４】
第２実施形態によれば、オペレータが指示部１０４を介して指定すべきパラメータの個数が少ないのでオペレータの負担が第１実施形態よりもさらに軽減される。また、選択領域決定部１１０は、３つの式（１）〜（３）のすべてが満たされるか否かを判断する代わりに、１つの式（６）にしたがって判断すればよいので、計算が簡略化される。特に、撮像画像が輝度画像である場合、選択領域決定部１１０の処理負荷は軽減される。
【０１６５】
なお、第２実施形態は、基板上の異なる色が異なる輝度を持つ場合に好適である。逆に言えば、彩度または色相が異なるが輝度が似ている色の部分が基板上に複数存在する場合は、第２実施形態よりも第１実施形態の方が好適である。
【０１６６】
続いて、第３実施形態について説明する。第３実施形態は、均等色空間にしたがった特徴量が用いられ、均等色空間内での代表色からの距離に基づいて代表色と類似の色がクラスタリングされる。具体的には、画素の特徴量として第１実施形態ではＲＧＢ表色系による赤、緑、青の３つの画素値が用いられるが、第３実施形態では、均等色空間であるＬ＊ａ＊ｂ＊表色系やＨＩＳ（Hue-Intensity-Saturation）表色系など、他の表色系による特徴量が用いられる。なお、ＲＧＢ表色系と他の表色系との間で色を表す値を変換する公式は公知なので、表色系間での変換についての詳しい説明は省略する。
【０１６７】
例えば、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系が用いられる場合、特徴量取得部１０６は代表色をＬ＊ａ＊ｂ＊表色系に変換し、選択領域決定部１１０は、撮像画像内の各画素のＲＧＢ表色系による色をＬ＊ａ＊ｂ＊表色系に変換する。また、パラメータ設定部１０８は、代表色と類似する色の許容範囲を示す１つのパラメータ（つまり閾値）Ｄを設定する。
【０１６８】
選択領域決定部１１０は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系の色空間において、代表色との距離がＤ未満である色を「代表色と類似している」と判断し、その判断にしたがって選択領域を決定する。
【０１６９】
また、利用されるパラメータの個数の違いに応じて、第３実施形態では、パラメータ設定部１０８が提供するＧＵＩ（具体的にはスライダの数）およびパラメータ記憶部１０９が記憶するデータ構造が第１実施形態とは異なる。
【０１７０】
第３実施形態によれば、オペレータが指示部１０４を介して指定すべきパラメータの個数が少ないのでオペレータの負担が第１実施形態よりもさらに軽減される。
また、均等色空間は、色空間上の距離が心理的に知覚される色の距離に近くなるよう設計されている。よって、オペレータは、指示部１０４を介してパラメータ設定部１０８に指示を与えるに際して、表示部１０３に表示された撮像画像を見て心理的に知覚される色のばらつきに応じて、直感的にパラメータの値の大きさを決めることができる。したがって、第３実施形態によれば、良好な選択結果を容易に得ることが可能である。
【０１７１】
なお、本発明は上記の実施形態に限られるものではなく、様々に変形可能である。以下にその例をいくつか述べる。
第１実施形態では、代表色と類似する色か否かを判断するのに、式（１）〜（３）が利用されている。しかし、実際の基板に存在する色によっては、選択領域決定部１１０は、例えば式（１）のみを用いてもよい。すなわち、選択領域決定部１１０は、「式（１）を満たす色は代表色と類似する」と判断してもよい。
【０１７２】
あるいは、選択領域決定部１１０は、パラメータ設定部１０８により設定される閾値Ｔｈを用いて「式（７）を満たす色は代表色と類似する」と判断してもよいし、その他の式に基づいて代表色と類似する色の範囲を判断してもよい。
【０１７３】
ＡＢＳ（Ｒｔａｒｇｅｔ−Ｒ）＋ＡＢＳ（Ｇｔａｒｇｅｔ−Ｇ）＋
ＡＢＳ（Ｂｔａｒｇｅｔ−Ｂ）＜Ｔｈ                            （７）
このように選択領域決定部１１０が、代表色と類似する色の範囲を１つの閾値だけに基づいて判断する実施形態においては、パラメータ設定部１０８により設定されるべきパラメータの個数が少ないので、オペレータの負担軽減の効果が大きい。
【０１７４】
また、選択領域決定部１１０は、ノイズ除去のための処理をさらに行うことができる。例えば、選択領域決定部１１０は、スライダ３１１ｍを介して設定されたパラメータにしたがってモルフォロジ演算を行った後に、選択領域の内部に島状に孤立した微小な非選択領域を、ノイズと見なして、選択領域に加えてもよい。この場合、パラメータ設定部１０８は、ノイズ除去の処理に用いられるパラメータを設定するためのＧＵＩをさらに提供し、ノイズ除去のためのパラメータの値を設定してもよい。
【０１７５】
また、設定済みの領域内でのクリック操作に応じてパラメータ記憶部１０９からパラメータの値をデフォルト値として読み出す機能を、パラメータ設定部１０８がさらに備えてもよい。それにより、例えば、ゲートレイヤのゲート配線領域４０２ａで設定されたパラメータの値を、ＳＤレイヤに属するＳＤ配線領域でのデフォルト値として用いることができるようになる。例えばゲート配線とＳＤ配線の素材が同じ金属の場合、ＳＤ配線領域用のパラメータの粗調整のためにゲート配線領域４０２ａで設定されたパラメータの値をデフォルト値として読み出すことは、ＳＤ配線領域の効率的な選択に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【０１７６】
【図１】第１実施形態による領域選択装置の構成図である。
【図２】電極パターンの例を示す図である。
【図３】撮像画像を表示する画面の例を示す図である。
【図４】トランジスタレイヤ、ゲートレイヤ、およびＳＤレイヤの設定が完了し、続いてＩＴＯ１レイヤの設定が行われようとする時点の画面の例を示す図である。
【図５】第１の形状指定部が提供する代表点の指定用の形状指定メニューと、第２の形状指定部が提供する手作業用の形状指定メニューの例を示す図である。
【図６】ある設定にしたがって決定された選択領域の例を示す図である。
【図７】パラメータ記憶部が記憶するデータ構造の例を示す図である。
【図８】最終的に適切に設定されたパラメータにしたがって決定された選択領域の例を示す図である。
【図９】ＩＴＯ２レイヤが適切に設定された後の図である。
【図１０】領域選択装置の動作を示すフローチャートである。
【図１１】異なる色の下層に影響されて、透明電極が撮像画像において異なる色に写る例を示す図である。
【符号の説明】
【０１７７】
１００  領域選択装置
１０１  画像取得部
１０２  画像記憶部
１０３  表示部
１０４  指示部
１０５  代表色決定部
１０６  特徴量取得部
１０７  第１の形状指定部
１０８  パラメータ設定部
１０９  パラメータ記憶部
１１０  選択領域決定部
１１１  レイヤ管理部
１１２  第２の形状指定部
２００、２１０、２２０  電極パターン
２０１、２０２、２１１、２１２、２２１、２２２  電極
２２３  明色部
２２４  暗色部
３００、４００、４１０、４２０、４３０  撮像画像
３０１ａ、３０１ｂ  トランジスタ
３０２ａ、３０２ｂ  ゲート配線
３０３ａ、３０３ｂ  ＳＤ配線
３０４ａ、３０４ｂ  ＩＴＯ電極
３０５  下地
３１０  ウィンドウ
３１１ｒ、３１１ｇ、３１１ｂ、３１１ｍ  スライダ
３１２  レイヤメニュー
３１３  テキストボックス
３１４  追加ボタン
３１５、３１６  形状指定メニュー
４０１ａ、４０１ｂ  トランジスタ領域
４０２ａ〜４０２ｄ  ゲート配線領域
４０３ａ、４０３ｂ  ＳＤ配線領域
４０４ａ〜４０４ｃ  ＩＴＯ電極領域
４１１、４３１  カーソル
【図１】
2010097433.tif 000003
【図２】
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【図５】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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