(57)【要約】【課題】電子機器の導電素子の作製に適した、液体加工処理可能な安定な銀含有ナノ粒子組成物を調製するための、低コストな方法を提供すること。【解決手段】有機アミン安定化銀ナノ粒子を製造するためのプロセスであって、有機溶媒および第１の量の有機アミンを含む加熱溶液を形成することと、銀塩粒子を前記溶液へ加えることと、第２の量の有機アミンを前記溶液へ加えることと、有機ヒドラジンを前記溶液へ加えることと、前記溶液を反応させて有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成することと、を含むプロセス。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機アミン安定化銀ナノ粒子を製造するためのプロセスであって、
有機溶媒および第１の量の有機アミンを含む加熱溶液を形成することと、
銀塩粒子を前記溶液へ加えることと、
第２の量の有機アミンを前記溶液へ加えることと、
有機ヒドラジンを前記溶液へ加えることと、
前記溶液を反応させて有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成することと、
を含むプロセス。
【請求項２】
前記第１の量の有機アミンと前記第２の量の有機アミンとの重量比は１：１である、請求項１に記載のプロセス。
【請求項３】
前記有機ヒドラジンは、式：Ｒ6Ｒ7Ｎ−ＮＲ8Ｒ9（式中、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8およびＲ9は、それぞれ独立して、水素、アルキル、およびアリールから選択され、Ｒ6、Ｒ7、Ｒ8およびＲ9のうちの少なくとも１つは水素ではない）の有機ヒドラジンである、請求項１に記載のプロセス。
【請求項４】
有機アミン安定化銀ナノ粒子を製造するためのプロセスであって、
有機溶媒および第１の量の有機アミンを含み、第１の温度を有する溶液を形成することと、
銀塩粒子を前記溶液へ加えることと、
第２の量の有機アミンを前記溶液へ加えることと、
前記溶液を第２の温度へ冷却することと、
有機ヒドラジンを前記溶液へ加えることと、
前記溶液を反応させて有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成することと、
前記溶液を第３の温度へ冷却することと、
イソプロパノールを前記溶液へ加えることと、
非溶媒を前記溶液へ加えて前記銀ナノ粒子を前記溶液から分離することと、
前記銀ナノ粒子を洗浄することと、
を含むプロセス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機アミン安定化銀ナノ粒子およびそれを製造するためのプロセスに関する。
【背景技術】
【０００２】
液相堆積（ｌｉｑｕｉｄ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）技術を使用する電子回路素子の作製には、有益性がある。金属の銀（Ａｇ）は、銀が価格において金（Ａｕ）よりはるかに安価であり、銅（Ｃｕ）よりはるかに優れた環境安定性を有しているために、電子機器のための導電素子として特に興味深い。
【０００３】
銀ナノ粒子を製造するための従前の実験室規模の方法は、複数の工程を使用し、多大な労力および時間を要した。それらの方法の結果には再現性がなく、大規模生産へ容易に拡大することができなかった。さらに、結果として生じた生成物は、典型的には、粘着性のペーストとして出現したので、取扱いに関する問題を引き起こした。また、最終生成物は保管寿命が短く低純度だった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７２７０６９４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このため、電子機器の導電素子の作製に適した、液体加工処理可能な安定な銀含有ナノ粒子組成物を調製するための、低コストな方法に対する大きな需要が存在し、この課題は本開示の実施形態によって解決される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ある実施形態においては、有機アミン安定化銀ナノ粒子を製造するためのプロセスであって、有機溶媒および第１の量の有機アミンを含む加熱溶液を形成することと、銀塩粒子を前記溶液へ加えることと、第２の量の有機アミンを前記溶液へ加えることと、有機ヒドラジンを前記溶液へ加えることと、有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成するために前記溶液を反応させることと、を含むプロセスが開示される。
【０００７】
また、ある実施形態においては、有機アミン安定化銀ナノ粒子を製造するためのプロセスであって、有機溶媒および第１の量の有機アミンを含み、第１の温度を有する溶液を形成することと、銀塩粒子を前記溶液へ加えることと、第２の量の有機アミンを前記溶液へ加えることと、前記溶液を第２の温度へ冷却することと、有機ヒドラジンを前記溶液へ加えることと、有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成するために前記溶液を反応させることと、前記溶液を第３の温度へ冷却することと、イソプロパノールを前記溶液へ加えることと、前記銀ナノ粒子を前記溶液から分離するために非溶媒を前記溶液へ加えることと、前記銀ナノ粒子を洗浄することと、を含むプロセスが開示される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本開示のナノ粒子を含有する薄膜トランジスタの第１実施形態を示した図である。
【図２】本開示のナノ粒子を含有する薄膜トランジスタの第２実施形態を示した図である。
【図３】本開示のナノ粒子を含有する薄膜トランジスタの第３実施形態を示した図である。
【図４】本開示のナノ粒子を含有する薄膜トランジスタの第４実施形態を示した図である。
【図５】先行技術の方法によって形成されたナノ粒子の粒径および分布を示すグラフである。
【図６】本開示の方法によって形成されたナノ粒子の粒径および分布を示す第１グラフである。
【図７】本開示の方法によって形成されたナノ粒子の粒径および分布を示す第２グラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
「銀含有ナノ粒子」において使用される用語「ナノ」は、約１，０００ｎｍ（ナノメートル）未満の粒径を示している。ある実施形態では、銀含有ナノ粒子は、約０．５ｎｍ〜約１，０００ｎｍ、約１ｎｍ〜約５００ｎｍ、約１ｎｍ〜約１００ｎｍ、および特別には約１ｎｍ〜約２０ｎｍの粒径を有する。粒径は、本明細書では、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）によって決定される銀含有粒子の平均径であると規定されている。
【００１０】
量と結び付けて使用される修飾語「約」は、表示値を含み、状況によって意味が決まる（例えば、それは少なくとも特定の量の測定と関連する誤差度を含む）。ある範囲の状況において使用される場合は、修飾語「約」はまた、２つの終点の絶対値によって規定された範囲を開示すると見なすべきである。例えば、「約２〜約４」の範囲はまた、「２〜４」の範囲も開示している。
【００１１】
本開示のプロセスは、有機アミン安定化銀ナノ粒子を製造する。前記プロセスは、（ａ）有機溶媒および第１の量の有機アミンを含む溶液を形成することと、（ｂ）銀塩粒子を前記溶液へ加えることと、（ｃ）第２の量の有機アミンを前記溶液へ加えることと、（ｄ）有機ヒドラジンを前記溶液へ加えることと、（ｅ）有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成するために前記溶液を反応させることと、を含んでいる。
【００１２】
有機溶媒は、トルエン、ヘプタン、ヘキサン、ベンゼン、シクロヘキサン、ペンタン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、およびその他の炭化水素類であってよい。典型的な有機溶媒には、名称ＩＳＯＰＡＲ（登録商標）の下で入手できる高純度イソパラフィン系溶媒が含まれる。望ましくは、第１の有機溶媒は、トルエンである。
【００１３】
有機アミンは、第１級、第２級、または第３級アミンであってよい。典型的な有機アミン類には、プロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン、トリデシルアミン、テトラデシルアミン、ペンタデシルアミン、ヘキサデシルアミン、ヘプタデシルアミン、オクタデシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピルアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジペンチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジヘキシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジヘプチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジオクチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジノニルアミン、Ｎ，Ｎ−ジデシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジウンデシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジドデシルアミン、メチルプロピルアミン、エチルプロピルアミン、プロピルブチルアミン、エチルブチルアミン、エチルペンチルアミン、プロピルペンチルアミン、ブチルペンチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、１，２−エチレンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルエチレンジアミン、プロパン−１，３−ジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルプロパン−１，３−ジアミン、ブタン−１，４−ジアミン、およびＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルブタン−１，４−ジアミンなど、またはそれらの混合物が含まれる。特定の実施形態では、銀ナノ粒子は、ドデシルアミン、トリデシルアミン、テトラデシルアミン、ペンタデシルアミン、またはヘキサデシルアミンを用いて安定化される。
【００１４】
有機アミンは、２段階で加えられる。第１の量の有機アミンは、銀塩粒子が加えられる前に溶液中に存在しており、第２の量の有機アミンは、銀塩粒子が加えられた後に溶液に加えられる。有機溶媒と第１の量の有機アミンとの重量比は、約１：１であってよい。第１の量の有機アミンと第２の量の有機アミンとの重量比は、約１：１であってよい。
【００１５】
有機溶媒および第１の量の有機アミンを含む溶液は、第１の高温にある。この第１の高温は、約５０℃〜約８０℃であってよい。この溶液は、一般には大気圧で維持され、この溶液はさらにかき混ぜられて（すなわち、攪拌されて）よい。この溶液は、不活性雰囲気（例、窒素またはアルゴン）下に配置すべきである。
【００１６】
次に銀塩粒子が加熱溶液に加えられる。典型的な銀塩には、酢酸銀、硝酸銀、酸化銀、アセチルアセトン銀、安息香酸銀、臭素酸銀、臭化銀、炭酸銀、塩化銀、クエン酸銀、フッ化銀、ヨウ素酸銀、ヨウ化銀、乳酸銀、亜硝酸銀、過塩素酸銀、リン酸銀、硫酸銀、硫化銀、およびトリフルオロ酢酸銀が含まれる。銀塩粒子は、望ましくは、溶液中の均質な分散のために微細であり、これは効率的反応に役立つ。そのような銀塩粒子は、迅速に溶解するので、一般に迅速に加えることができる。
【００１７】
次に第２の量の有機アミンが溶液へ加えられる。加えられる総有機アミンに対する銀塩のモル比は、約１〜約１５であってよい。この溶液は、第２の量の有機アミンが加えられた後に冷却することができる。この溶液は、例えば約４５分間などの約３０分間以上にわたって冷却することができる。この溶液は、約４５℃〜約６０℃のより低い第２の温度へ冷却することができる。有機アミンを加えるこの２段階プロセスが、溶液内への銀塩粒子の確実に再現可能な溶解を生じさせ、高品質銀ナノ粒子の実現を可能にすることが見いだされた。
【００１８】
次に有機ヒドラジンが、この溶液に加えられる。有機ヒドラジンは式：
Ｒ1Ｒ2Ｎ−ＮＲ3Ｒ4
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、およびＲ4は、それぞれ独立して、水素、アルキル、およびアリールから選択され、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、およびＲ4のうちの少なくとも１つは水素ではない）を有する。更に特定の実施形態では、有機ヒドラジンは、式Ｒ1Ｒ2Ｎ−ＮＨ2の有機ヒドラジンである。典型的な有機ヒドラジンには、フェニルヒドラジンが含まれる。
【００１９】
銀塩粒子、有機アミン、および有機ヒドラジンを含有する溶液は、次に有機アミン安定化銀ナノ粒子を形成するために反応させられる。この反応は、約５分間〜約２時間の範囲内の時間にわたって行うことができる。この溶液は、この反応中に混合または攪拌することができる。一般に、この溶液は、反応中に第２の温度で維持される。
【００２０】
結果として生じるナノ粒子は、１０ｎｍ以下の平均径を有する。更に特定の実施形態では、ナノ粒子は、約２ｎｍ〜約８ｎｍを含む、約１ｎｍ〜約１０ｎｍの平均径を有する。他の実施形態では、ナノ粒子は、さらに約１０ｎｍの狭い粒径分布（すなわち、最大ナノ粒子の粒径と最小ナノ粒子の粒径との差）を有していてよい。
【００２１】
このナノ粒子は、８０％〜約９０％を含む、８０％以上の銀含量を有していてよい。この含量は、従来型プロセスによって製造される含量より高い。
【００２２】
有機アミン安定化銀ナノ粒子は、次に溶液から分離することができる。この溶液は、約３５℃〜約５０℃などの、第３のより低い温度へ冷却することができる。ナノ粒子は、ナノ粒子を沈降させることによって分離される。銀ナノ粒子は、次に洗浄できる。この溶液にイソプロパノール、次に第２の非溶媒（すなわちナノ粒子がそれに非溶解性である液体）を加えることにより、有機アミン安定化銀ナノ粒子の保管寿命および純度を改善することが見いだされた。典型的な第２の非溶媒には、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、メチルエチルケトン、アセトニトリル、イソブチルアルコール、その他のケトン類およびアルコール類、ならびにそれらの組み合わせが含まれる。好ましい非溶媒は、メタノールである。望ましくは、非溶媒に対するイソプロパノールの容量比は、約０．４である。
【００２３】
本開示のプロセスは、有機アミン安定化銀ナノ粒子を提供する。結果として生じるナノ粒子はまた、純粋で、粉末状であり、易分散性であり、改良された保管寿命および安定性を有する。ナノ粒子はペースト状ではないので、それらは粘着性ではなく、取り扱いがより容易であり、より均質に分散する。前記プロセスはまた、再現可能であり、従来のプロセスよりも確実にスケールアップされる。
【００２４】
ある実施形態では、銀含有ナノ粒子は元素の銀または銀複合材から構成される。銀の他に、銀複合材は、（ｉ）１つ以上の他の金属、および（ｉｉ）１つ以上の非金属のいずれかまたは両方を含むことができる。適切な他の金属には、例えば、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｉｎ、およびＮｉ、特別には遷移金属、例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、およびそれらの混合物が含まれる。典型的な金属複合材は、Ａｕ−Ａｇ、Ａｇ−Ｃｕ、Ａｕ−Ａｇ−Ｃｕ、およびＡｕ−Ａｇ−Ｐｄである。金属複合材中の適切な非金属には、例えば、Ｓｉ、Ｃ、およびＧｅが含まれる。銀複合材の様々な成分は、約０．０１重量％〜約９９．９重量％、特別には約１０重量％〜約９０重量の範囲内の量で存在してよい。ある実施形態では、銀複合材は、銀および１つ、２つ、またはそれ以上の他の金属から構成される金属合金であり、銀は、例えば少なくともナノ粒子の約２０重量％であり、特別にはナノ粒子の約５０重量％を超える。
【００２５】
ある実施形態では、例えば銀ナノ粒子を（例えば、電子機器を作製するために）液相堆積技術と適合させるなどの、（その表面上にカルボン酸を用いた）銀ナノ粒子のさらなる加工処理が行われてよい。そのような組成物のさらなる加工処理は、例えば、適切な液体中に銀含有ナノ粒子を溶解または分散させることであってよい。
【００２６】
銀ナノ粒子からの導電素子の作製は、ある実施形態において、ｉ）スクリーン／ステンシル印刷法、スタンピング法、ミクロ接触印刷法、インクジェット印刷法などの印刷法、およびｉｉ）スピンコーティング法、浸漬コーティング法、ブレードコーティング法、キャスティング法、浸漬法などのコーティング法を含む任意の適切な液相堆積技術を用いて実施できる。堆積した銀ナノ粒子は、この段階では、導電性を示す場合も示さない場合もある。
【００２７】
堆積したナノ粒子を約３００℃未満、好ましくは約２５０℃以下の温度で加熱すると、それらは融合して、電子機器における導電素子として使用するために適した導電層が形成される。加熱は、例えば、約１分間〜約１０時間、特別には約５分間〜約１時間の範囲内の時間にわたって実施される。加熱は、約１００℃〜約３００℃の温度で実施することができる。更に特定の実施形態では、加熱は、約１２０℃〜約２００℃、または約１７０℃〜約１９０℃の温度で実施される。
【００２８】
堆積した銀ナノ粒子を加熱することによって作製される銀含有素子の導電性は、例えば、少なくとも１，０００Ｓ／ｃｍである。他の実施形態では、導電性は、四探針法によって測定した場合に少なくとも１０，０００Ｓ／ｃｍである。
【００２９】
結果として生じる導電素子は、薄膜トランジスタ、有機発光ダイオード、ＲＦＩＤ（高周波識別）タグ、光電池などの電子機器、および導電素子もしくは成分を必要とする他の電子機器における導電性電極、導電性パッド、導電線、導電性トラックなどとして使用できる。
【００３０】
図１には、基板およびゲート電極の両方として機能する高濃度でｎ型ドープされたシリコンウエハ１８と、２つの金属接点であるソース電極２０およびドレイン電極２２がその上に堆積されている熱成長酸化ケイ素絶縁誘電体層１４と、から構成される薄膜トランジスタ（「ＴＦＴ］）の構造１０が略図で示されている。金属接点２０および２２の上方および中間には、そこに例示されるように半導体層１２が存在する。
【００３１】
図２は、基板３６、ゲート電極３８、ソース電極４０およびドレイン電極４２、絶縁誘電体層３４、および半導体層３２から構成される、別のＴＦＴの構造３０を略図で示している。
【００３２】
図３は、基板およびゲート電極の両方として機能する高濃度でｎ型ドープされたシリコンウエハ５６と、熱成長酸化ケイ素絶縁誘電体層５４と、ソース電極６０およびドレイン電極６２がその上に堆積されている半導体層５２と、から構成される別のＴＦＴの構造５０を略図で示している。
【００３３】
図４は、基板７６、ゲート電極７８、ソース電極８０、ドレイン電極８２、半導体層７２、および絶縁誘電体層７４から構成される更なるＴＦＴの構造７０を略図で示している。
【００３４】
絶縁誘電体層、ゲート電極、半導体層、ソース電極、およびドレイン電極は、任意の順序で形成され、特に、ある実施形態ではゲート電極および半導体層はどちらも絶縁層に接触しており、ソース電極およびドレイン電極はどちらも半導体層と接触している。語句「任意の順序で」には、連続的および同時形成が含まれる。例えば、ソース電極およびドレイン電極は、同時または連続的に形成できる。薄膜トランジスタの組成、作成および操作は、Ｂａｏらの米国特許第６，１０７，１１７号明細書に記載されている。銀ナノ粒子は、例えば基板、誘電体層、または半導体層などの任意の適切な表面上の層として堆積させることができる。
【実施例】
【００３５】
［比較例１］
４８．３ｇの１−ヘキサデシルアミン（２００ミリモル）、３．３４ｇの酢酸銀（２０ミリモル）、および５ｍＬのトルエンの溶液を６５℃で加熱すると、透明な液体になった。次に、強力に攪拌しながら、この溶液へ、トルエン中に希釈したフェニルヒドラジンを滴下した。この溶液を６５℃でさらに１５分間攪拌し、次にメタノールを滴下すると、黒色沈降物が形成された。この溶液を６５℃でさらに１０分間にわたり攪拌し、次に４０〜５０℃へ冷却した。沈降物を濾過して分離し、メタノールを用いてすすぎ洗いし、数時間にわたり真空オーブンで乾燥させた。青色固体が、９５％を超える典型的な銀収率で得られた。
【００３６】
［実施例１］１Ｌスケールでのヘキサデシルアミン安定化銀ナノ粒子の合成
【００３７】
ヘキサデシルアミンを５０〜６０℃へ予備加熱し、最初に入れられていたボトル内で融解させた。１４４．６ｇの１−ヘキサデシルアミン（６００ミリモル、Ａｌｄｒｉｃｈ社、９０％）および１６０ｍＬのトルエンは、窒素雰囲気下１Ｌのジャケット付き反応器内で攪拌しながら約６５℃へ加熱した。２０ｇの酢酸銀（１２０ミリモル、Ａｌｆａ  Ａｅｓａｒ社、９９％）を次に２分間かけてこの反応器へ加えた。酢酸銀は急速に溶解した。ヘキサデシルアミンの第２の部分（１４４．６ｇ）を反応器内へ注入し、この溶液を４５分間かけて５５℃へ冷却した。１０ｍＬのトルエン中に希釈した７．１３ｇのフェニルヒドラジン（６６ミリモル、Ａｌｄｒｉｃｈ社、９７％）を１０分間かけて反応器へ加えた。この溶液は暗赤色になり、これは銀粒子の還元および銀ナノ粒子の形成を示した。還元反応の完了を保証するために、この溶液を１５分間以上混合した。反応器を次に５０℃未満へ冷却し、反応器へ２４０ｍＬのイソプロパノール、次に５６０ｍＬのメタノールを加えることによって生成物を析出させた。この溶液は、濃い紫青色へ変化した。この溶液を５分間混合させ、次に排出させ、０．５μｍのＧｏｒｔｅｘ膜を装備した３インチ径フィルターを備える真空濾過装置へ移した。メタリックブルーのケーキを２００ｍＬのイソプロパノール中に分散させ、３０分間にわたり洗浄し、残留アミン類および副生成物を反応物から除去した。この混合液は、前記濾材を用いて濾過した。次に、粒子の表面からイソプロパノールを除去することを助けるために、５０ｍＬのメタノールを用いて３回すすぎ洗いした。次に粒子を真空オーブン内で一晩かけて３０〜４０℃で乾燥させた。生成物の最終収率は１５．２１ｇ（理論値：９４．４％）であり、８１％の銀を含有していた（ＴＧＡ分析から推定された）。
【００３８】
［実施例２］６Ｌスケールでのヘキサデシルアミン安定化銀ナノ粒子の合成
【００３９】
ヘキサデシルアミンを従来型オーブン内で５０〜６０℃へ予備加熱し融解させた。７２３ｇの１−ヘキサデシルアミン（３モル、Ａｌｄｒｉｃｈ社、９０％）および７００ｍＬのトルエンは、窒素雰囲気下６Ｌのジャケット付き反応器内で攪拌しながらで約６５℃へ加熱した。１００ｇの酢酸銀（０．６モル、Ａｌｆａ  Ａｅｓｃａｒ社、９９％）を４分間かけてこの反応器へ加え、さらに１００ｍＬのトルエンを加えた。ヘキサデシルアミンの第２の部分（７２３ｇ）を反応器内へ注入し、この溶液を還元前に４５分間かけて５５℃へ冷却した。６０ｍＬのトルエン中に希釈した３５．６３ｇのフェニルヒドラジン（０．３３モル、Ａｌｄｒｉｃｈ社、９７％）を２０分間かけて反応器へ加えた。この溶液は暗赤色になり、これは銀粒子の還元を示した。還元反応の完了を保証するために、この溶液を更に１５分間混合した。反応器を次に５０℃未満へ冷却し、１，２００ｍＬのイソプロパノール、次に２，８００ｍＬのメタノールを加えることによって生成物を析出させた。この溶液は、濃い紫青色へ変化した。この溶液を１５分間混合させ、次に排出させ、０．５μｍのＧｏｒｔｅｘ膜を装備した８インチ径フィルターを備える真空濾過装置へ移した。メタリックブルーのケーキを１，５００ｍＬのイソプロパノール中に分散させ、１時間にわたり混合し、次に一晩かけてイソプロパノール中に放置して、残留アミン類および副生成物を反応物から除去した。この溶液は、前記濾材を用いて翌朝に濾過した。このケーキをもう一度イソプロパノール中に分散させ、３０分間にわたり洗浄し、前記濾過装置を用いて濾過した。次に、生成物からイソプロパノールを除去するのを助けるために、メタノールを用いて３回すすぎ洗いした（計７５０ｍＬのメタノール）。残留している生成物は、真空オーブン内で一晩かけて３０〜４０℃で乾燥させた。生成物の最終収率は６５ｇ（理論値：８４％）であり、８４％の銀を含有していた（ＴＧＡ分析から推定された）。
【００４０】
試験および結果
比較例１、実施例１、および実施例２の銀ナノ粒子の平均粒径および銀含量について試験した。１４０℃で１０分間にわたる堆積およびアニーリングによって、これらのナノ粒子から膜も作製した。膜の導電性を測定した。銀ナノ粒子の安定性についても評価した。結果は表１に示した。
【表１】
2010185140.tif 000002
【００４１】
図５は、比較例１において形成されたナノ粒子の粒径分布を示している。図６は、実施例１において形成されたナノ粒子の粒径分布を示している。図７は、実施例２において形成されたナノ粒子の粒径分布を示している。
【００４２】
これらの結果は、実施例１および２の方法が、類似の導電性を有するが、より高い銀含量およびより高い安定性（すなわち、より優れた純度および保管寿命）を有するナノ粒子を製造することを示した。２段階での有機アミンの添加ならびにイソプロパノールおよび非溶媒（ＭｅＯＨ）の両方を用いる２段階析出法の使用がこの結果に寄与した。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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