(57)【要約】【課題】高顔料濃度であっても、形成された着色パターンの硬化性に優れ、現像ラチチュードが大きく、さらに現像時のパターン欠けが抑制された、カラーフィルタの着色パターン形成に有用な着色感光性組成物を得ることであり、色純度が高く、コントラストが高い色特性が良好なカラーフィルタを得ることであり、輝度の高い鮮明な画像の液晶表示装置を得ること。【解決手段】（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダー樹脂、および（Ｅ）光重合開始剤を含み、該（Ｃ）重合性化合物が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含み、且つ該(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量が、重合性化合物の総量に対して、１５質量％から４０質量％の範囲である着色感光性組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダー樹脂、および（Ｅ）光重合開始剤を含み、該（Ｃ）重合性化合物が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含み、且つ該(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物との総量に対して、１５質量％から４０質量％の範囲である着色感光性組成物。
【請求項２】
前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物、および前記(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物における重合性基が、（メタ）アクリロイル基、またはビニルエーテル基である請求項１に記載の着色感光性組成物。
【請求項３】
前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（１）で表される化合物である請求項１または請求項２に記載の着色感光性組成物。
【化１】
2010097172.tif 000042
一般式（１）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。ｐ、およびｑは１〜２０の整数であり、ｐ＋ｑは、２〜３０の整数である。
【請求項４】
前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（２）で表される化合物である請求項１または請求項２に記載の着色感光性組成物。
【化２】
2010097172.tif 000043
一般式（２）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ａは、下記に示す連結基を表す。ｐ、およびｑは１〜２０の整数であり、ｐ＋ｑは、２〜３０の整数である。
【化３】
2010097172.tif 000044
【請求項５】
前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（６）で表される化合物である請求項１または請求項２に記載の着色感光性組成物。
【化４】
2010097172.tif 000045
一般式（６）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｂは、下記に示す連結基を表す。ｍは１〜３の整数である。ｍが２または３のときは、含まれる複数のＢは互いに同じでも異なっていてもよい。
【化５】
2010097172.tif 000046
【請求項６】
前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（７）で表される化合物である請求項１または請求項２に記載の着色感光性組成物。
【化６】
2010097172.tif 000047
一般式（７）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。
【請求項７】
前記（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料が、下記一般式（ａ）で表される化合物である請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【化７】
2010097172.tif 000048
一般式（ａ）中、Ｘ２１〜Ｘ３６は、それぞれ独立に水素原子、塩素原子または臭素原子を表す。ただし、Ｘ２１〜Ｘ３６のうち８個以上は、塩素原子、または臭素原子である。
【請求項８】
前記（Ｂ）黄色顔料が、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、及び、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９から選択される１種以上の顔料を含む請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【請求項９】
前記（Ｅ）光重合開始剤が、下記一般式（Ｉ）で表される化合物を含む請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【化８】
2010097172.tif 000049
一般式（Ｉ）中、Ｒ１〜Ｒ１４は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、芳香族基、及び脂肪族基のいずれかである。但し前記芳香族基、及び脂肪族基は、分岐構造、及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、エーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を介していても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン原子、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。
【請求項１０】
さらに、（Ｆ）エポキシ環を有する化合物を含む請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【請求項１１】
カラーフィルタ用である請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【請求項１２】
基材上に、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を用いてなる着色パターンを有するカラーフィルタ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のカラーフィルタを具備してなる液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は着色感光性組成物、それを用いて製造されたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを具備する液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは液晶ディスプレイには不可欠な構成部品である。液晶ディスプレイは、表示装置としてＣＲＴと比較すると、コンパクトであり、省電力化が図れ、且つ、技術進歩によって、性能面では同等以上になってきたことから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてＣＲＴに置き換わりつつある。
【０００３】
近年、液晶ディスプレイの開発は、画面が比較的小面積であるパソコン、モニターの用途から、画面が大型でしかも高度な画質が求められるＴＶ用途にも展開されている。
ＴＶ用途では、従来のモニター用途に比べて、より高度な画質、すなわち、コントラスト、及び色純度の向上が求められている。コントラスト向上のために、カラーフィルタの形成に用いる着色感光性組成物に使用する着色剤（有機顔料等）の粒子サイズが、より微小なものが求められている。また、色純度向上のため、該着色感光性組成物の固形分中に占める着色剤（有機顔料）の含有率としては、より高いものが求められている。
【０００４】
上記のような要求に対して、顔料の粒子径をより微細化した顔料を分散した顔料分散組成物に、更にアルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及びその他成分を含有して着色感光性組成物とし、これを用いてフォトリソ法などによりカラーフィルタを得ている。
【０００５】
顔料が微細化し、且つ顔料の含有率が高くなると、フォトリソ法で画像パターンを形成したとき、現像工程でパターンの欠けが生じたり、パターンサイズの安定性が損なわれたり、現像での残渣が生じたり、あるいは硬化性が劣るので、多大な露光量を必要としたりするなどの問題があった。ＴＶ用途では特に安価にカラーフィルタを提供することが求められているが、上記した現像工程を中心とした問題は、歩留まりを下げ、生産性を悪化させるので改良が求められていた。
【０００６】
上記の問題点を解決するため、カラーフィルタ用の着色感光性組成物に用いる光重合開始剤の改良により感度を向上させる試みが数多く提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。また光重合性モノマーの改良により感度を向上させる試みも提案されている（特許文献３参照）。さらに着色感光性組成物中のバインダー樹脂と重合性モノマーとを合計してなる有機化合物における平均二重結合当量を規定し、さらにバインダー樹脂の分子量を特定することで、焼成により順テーパ形状を形成する技術が開示されている（特許文献４参照）。
しかしながら、これらの技術では露光工程、現像工程での生産性が劣り、十分な生産性を確保できないものであった。
【０００７】
また一方、カラーフィルタの色特性向上のために、緑色画素用のグリーン顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６のようなハロゲン化銅フタロシアニンを用いる場合には、着色感光性組成物中の顔料濃度を高くする必要があり、着色感光性組成物を含む着色感光層を基板上に形成後、露光・現像して画素を形成する際に、現像時のラチチュードが狭く、現像後の画素形状が逆テーパになることがあった。
【０００８】
ハロゲン化銅フタロシアニン以外のグリーン顔料（銅以外の中心金属を有するフタロシアニン）を用いて、明度が高く、高透過率、高色純度のカラーフィルタが得られることが提示されているが（例えば、特許文献５参照。）、銅以外の中心金属を有するフタロシアニンは分散時、及び経時での安定性が悪いために、分散時に多量のバインダーを必要とし、着色感光性組成物の現像ラチチュードが狭く、表示装置にムラが生じることがあった。
なお、銅以外の中心金属を有するフタロシアニンの一種であるハロゲン化亜鉛フタロシアニンについては、非特許文献１に詳しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−２８９６１１号公報
【特許文献２】特開平９−８０２２５号公報
【特許文献３】特開２００４−１６３９１７号公報
【特許文献４】特開２００７−９３８１１号公報
【特許文献５】特開２００８−１２２４７８号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】ＤＩＣ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｒｅｖｉｅｗ，１０，４６（２００４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明の目的は、着色パターンを形成するに際して、高顔料濃度であっても、形成された着色パターンの硬化性に優れ、現像ラチチュードが大きく、さらに現像時のパターン欠けが抑制された、カラーフィルタの着色パターン形成に有用な着色感光性組成物を得ることである。
また、本発明のさらなる目的は、前記着色感光性組成物を用いることで、色純度が高く、コントラストが高い色特性が良好なカラーフィルタを得ることにあり、さらに、このカラーフィルタを用いて、輝度の高い鮮明な画像の液晶表示装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するための手段は以下の通りである。
＜１＞  （Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダー樹脂、および（Ｅ）光重合開始剤を含み、該（Ｃ）重合性化合物が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含み、且つ該(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物との総量に対して、１５質量％から４０質量％の範囲である着色感光性組成物。
【００１３】
＜２＞  前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物、および前記(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物の重合性基が、（メタ）アクリロイル基、またはビニルエーテル基である＜１＞に記載の着色感光性組成物。
【００１４】
＜３＞  前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（１）で表される化合物である＜１＞または＜２＞に記載の着色感光性組成物。
【００１５】
【化１】
2010097172.tif 000002
【００１６】
一般式（１）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。ｐ、およびｑは１〜２０の整数であり、ｐ＋ｑは、２〜３０の整数である。
【００１７】
＜４＞  前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（２）で表される化合物である＜１＞または＜２＞に記載の着色感光性組成物。
【００１８】
【化２】
2010097172.tif 000003
【００１９】
一般式（２）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ａは、下記に示す連結基を表す。ｒ、およびｓは１〜２０の整数であり、ｒ＋ｓは、２〜３０の整数である。
【００２０】
【化３】
2010097172.tif 000004
【００２１】
＜５＞  前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（６）で表される化合物である＜１＞または＜２＞に記載の着色感光性組成物。
【００２２】
【化４】
2010097172.tif 000005
【００２３】
一般式（６）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｂは、下記に示す連結基を表す。ｍは１〜３の整数である。ｍが２または３のときは、含まれる複数のＢは互いに同じでも異なっていてもよい。
【００２４】
【化５】
2010097172.tif 000006
【００２５】
＜６＞  前記(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物が、下記一般式（７）で表される化合物である＜１＞または＜２＞に記載の着色感光性組成物。
【００２６】
【化６】
2010097172.tif 000007
【００２７】
一般式（７）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。
【００２８】
＜７＞  前記（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料が、下記一般式（ａ）で表される化合物である＜１＞から＜６＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【００２９】
【化７】
2010097172.tif 000008
【００３０】
一般式（ａ）中、Ｘ２１〜Ｘ３６は、それぞれ独立に水素原子、塩素原子または臭素原子を表す。ただし、Ｘ２１〜Ｘ３６のうち８個以上は、塩素原子、または臭素原子である。
【００３１】
＜８＞  前記（Ｂ）黄色顔料が、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９のいずれかの顔料である＜１＞から＜７＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【００３２】
＜９＞  前記（Ｅ）光重合開始剤が、下記一般式（Ｉ）で表される化合物である＜１＞から＜８＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【００３３】
【化８】
2010097172.tif 000009
【００３４】
一般式（Ｉ）中、Ｒ１〜Ｒ１４は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、芳香族基、及び脂肪族基のいずれかである。但し前記芳香族基、及び脂肪族基は、分岐構造、及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、エーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を介していても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン原子、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。
【００３５】
＜１０＞  さらに、（Ｆ）エポキシ環を有する化合物を含む＜１＞から＜９＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
＜１１＞  カラーフィルタ用である＜１＞から＜１０＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【００３６】
＜１２＞  基材上に、＜１＞から＜１１＞のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を用いてなる着色パターンを有するカラーフィルタ。
＜１３＞  ＜１２＞に記載のカラーフィルタを具備してなる液晶表示装置。
【００３７】
本発明においては、（Ｃ）重合性化合物として、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含み、且つ該(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物との合計の含有量に対し、１５質量％から４０質量％の範囲とすることによって、５〜６個の重合性基を有する重合性化合物中に適度に２官能化合物が存在することになり、紫外線等の照射によって硬化膜を形成した場合、この硬化膜は、適度に柔軟性を有し、基板との密着性に優れているので、現像工程において、着色感光性組成物自体のアルカリ現像性を維持しながら、露光部における硬化膜のみが剥離しにくくなり、広い現像ラチチュードを発現したものと推測される。
特に、本発明の好ましい態様においては、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物として、前記一般式（１）、（２）、（６）、および（７）で表される化合物を用いることによって、露光部では架橋したビスフェノール骨格等によって現像液の浸透性が抑止されるために、前記基板との密着性とあいまって、その効果が著しいものと推測される。
但し、本発明の広い現像ラチチュードを発現する効果はハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料のときに見られ、ピグメントグリーン３６では見られないが、この理由は定かではない。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、着色パターンを形成するに際して、高顔料濃度であっても、形成された着色パターンの硬化性に優れ、現像ラチチュードが大きく、さらに現像時のパターン欠けが抑制された、カラーフィルタの着色パターン形成に有用な着色感光性組成物を得ることができる。
また、前記着色感光性組成物を用いることで、色純度が高く、コントラストが高い色特性が良好なカラーフィルタを得るができ、さらに、このカラーフィルタを用いて、輝度の高い鮮明な画像の液晶表示装置を得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明の着色感光性組成物、該着色感光性組成物を用いたカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを用いた液晶表示装置について詳細に説明する。
【００４０】
＜着色感光性組成物＞
本発明の着色感光性組成物、少なくとも、（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダー樹脂、および（Ｅ）光重合開始剤を含み、該（Ｃ）重合性化合物が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含み、且つ該(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物との合計の含有量に対して、１５質量％から４０質量％の範囲である着色感光性組成物である。
以下、本発明の着色感光性組成物を構成する各成分について詳述する。
【００４１】
＜（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料＞
一般にハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料は、フタロシアニン環中に１６個の水素原子を有しているため、これらの水素原子を、最大１６個まで臭素原子及び／又は塩素原子で置換することができる。これらハロゲン原子は、全て同一であっても、それぞれ異なっていてもよい。置換基数を一定とした場合には、臭素原子＞塩素原子の順に緑色が濃くなる。これら水素原子を、臭素原子と、例えば塩素原子とで置換すると、臭素原子数が０〜１６個、塩素原子数が０〜１６個、水素原子数が０〜１６個の範囲で、理論上では合計１３６種類の置換体を製造できる。ただし、このとき、１６個のうち少なくとも１つはハロゲン原子である。ハロゲン原子の置換数としては、輝度が高いグリーンの色を得る観点から８以上１６以下であることが好ましく、より好ましくは、１２以上１６以下の範囲である。
【００４２】
本発明で（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料とは、下記一般式（ａ）で表されるハロゲン化亜鉛フタロシニンを総称し、Ｘ２１〜Ｘ３６が、それぞれ独立に水素原子、塩素原子、または臭素原子であり、これらの少なくとも１つは塩素原子、又は臭素原子である顔料のことを示す。
本発明では、一般式（ａ）のＸ２１〜Ｘ３６のうち少なくとも８個以上が、塩素原子、または臭素原子であるハロゲン化亜鉛フタロシアニンが好ましい。
【００４３】
【化９】
2010097172.tif 000010
【００４４】
上記一般式（ａ）中、Ｘ２１〜Ｘ３６は、それぞれ独立に水素原子、塩素原子、または臭素原子を表し、これらの少なくとも１つは塩素原子、又は臭素原子である。
【００４５】
上記したハロゲン化亜鉛フタロシアニンにおいて、Ｘ２１〜Ｘ３６の８個以上が臭素原子で置換されることによって、黄味を帯びた明度の高い緑色を呈し、カラーフィルタの緑色画素部パターンへの使用に最適である。本発明では、臭素原子を８個以上置換した亜鉛フタロシアニンが最も好適である。臭素原子の置換数としては、１０〜１４個であることがより好ましい。
【００４６】
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の平均組成は、マススペクトロスコピーに基づく質量分析と、フラスコ燃焼イオンクロマトグラフによるハロゲン含有量分析から容易に求められる。
【００４７】
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料は、例えば、クロルスルホン酸法、ハロゲン化フタロニトリル法、溶融法等の様な公知の製造方法で製造できる。より具体的な製造方法については、特開２００８−１９３８３号公報、特開２００７−３２０９８６号公報、特開２００４−７０３４２号公報等に詳細に記載されている。
これらの中で、プロセスが簡単な特開２００４−７０３４２号公報に開示のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料が、コストの観点で好ましい。また、安定性の点では、他の添加剤や、後工程の組み方にもよるが、特開２００８−１９３８３号公報に開示の結晶変換したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料が好ましい。また特に、分散性を向上には、特開２００７−３２０９８６号公報に開示の樹脂被覆したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料が好ましい態様である。
【００４８】
本発明のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料としては、平均一次粒子径が１０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲のものが好ましい。この範囲の平均一次粒子径の亜鉛フタロシアニン系顔料を用いることにより、分散性安定性や着色力に優れ、かつ、輝度が高く、コントラストの高いカラーフィルタ用着色感光性組成物を得ることができる。
【００４９】
なお、本発明における平均一次粒子径とは、透過型電子顕微鏡で視野内の粒子を撮影し、二次元画像上の、凝集体を構成するハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の一次粒子の１００個につき、その長い方の径（長径）と短い方の径（短径）の加重算術平均値を各々求め、それを平均した値である。
【００５０】
平均一次粒子径が１０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を得るにあたっては、いずれの方法で微粒子化されたものでも良いが、容易に結晶成長を抑制でき、かつ平均一次粒子径の比較的小さい顔料粒子が得られる点で、ソルベントソルトミリング処理を採用するのが好ましい。
【００５１】
このソルベントソルトミリングとは、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料と、無機塩と、有機溶剤とを混練摩砕することを意味する。粒子径の大きい亜鉛フタロシアニン系顔料は乾式摩砕してからソルベントソルトミリングを行っても良い。具体的には、亜鉛フタロシアニン系顔料と、無機塩と、それを溶解しない有機溶剤とを混練機に仕込み、その中で混練摩砕を行う。この際の混練機としては、例えばニーダーやミックスマーラー等が使用できる。
【００５２】
上記無機塩としては、水溶性無機塩が好適に使用でき、例えば塩化ナトリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等の無機塩を用いることが好ましい。また、平均粒子径０．５〜５０μｍの無機塩を用いることがより好ましい。この様な無機塩は、通常の無機塩を微粉砕することにより容易に得られる。
【００５３】
平均一次粒子径が１０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を得るに当たっては、ソルベントソルトミリングにおけるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の使用量に対する無機塩使用量の比率を高くするのが好ましい。即ち当該無機塩の使用量は、質量換算でハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料１部に対して５〜２０部とするのが好ましく、７〜１５部とするのがより好ましい。
【００５４】
有機溶剤としては、結晶成長を抑制し得る有機溶剤を使用することが好ましく、このような有機溶剤としては水溶性有機溶剤が好適に使用でき、例えばジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコール、プロピレングリコール、液体ポリエチレングルコール、液体ポリプロピレングリコール、２−（メトキシメトキシ）エタノール、２−ブトキシエタノール、２ー（イソペンチルオキシ）エタノール、２−（ヘキシルオキシ）エタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングルコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノール、１−エトキシ−２−プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコール等を用いることができる。
【００５５】
この際の水溶性有機溶剤の使用量は、特に限定されるものではないが、質量換算でハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料１部に対して０．０１〜５部、０．８〜２部が好ましい。
【００５６】
ソルベントソルトミリング時の温度は、３０〜１５０℃が好ましく、８０〜１００℃がより好ましい。ソルベントソルトミリングの時間は、５〜２０時間が好ましく、８〜１８時間がより好ましい。
【００５７】
こうして、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、無機塩、および有機溶剤を主成分として含む混合物が得られるが、この混合物から有機溶剤と無機塩を除去し、必要に応じてハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を主体とする固形物を洗浄、濾過、乾燥、粉砕等をすることにより、微細なハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の粉体を得ることが出来る。
【００５８】
洗浄としては、水洗、湯洗のいずれも採用できる。洗浄回数は、１〜５回の範囲で繰り返すことも出来る。水溶性無機塩及び水溶性有機溶剤を用いた前記混合物の場合は、水洗することで容易に有機溶剤と無機塩を除去することが出来る。
【００５９】
上記した濾別、洗浄後の乾燥としては、例えば、乾燥機に設置した加熱源による８０〜１２０℃の加熱等により、顔料の脱水及び／又は脱溶剤をする回分式あるいは連続式の乾燥等が挙げられ、乾燥機としては一般に箱型乾燥機、バンド乾燥機、スプレードライアー等がある。また、乾燥後の粉砕は、比表面積を大きくしたり、一次粒子の平均粒子径を小さくしたりするための操作ではなく、例えば箱型乾燥機、バンド乾燥機を用いた乾燥の場合の様に顔料がランプ形状等のものとなった際に顔料を解して粉体化するために行うものであり、例えば、乳鉢、ハンマーミル、ディスクミル、ピンミル、ジェットミル等による粉砕等が挙げられる。
【００６０】
こうして、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の粉体が得られる。本発明で用いる（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料は、従来のハロゲン化銅フタロシアニン顔料に比べて一次粒子の凝集力が弱く、より解れやすい性質を持つ。そのため、本発明の着色感光性組成物は高コントラストとなる。
【００６１】
本発明のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の一次粒子は、更に縦横のアスペクト比が１〜３の範囲であると、各用途分野において粘度特性が向上し、流動性がより高くなる。アスペクト比を求めるには、前記した様な、一次粒子の平均粒子径を求める場合と同様に、透過型電子顕微鏡または走査型電子顕微鏡で視野内の粒子を撮影する。そして、二次元画像上の、凝集体を構成する一次粒子の１００個につき長い方の径（長径）と、短い方の径（短径）の平均値を求め、これらの値を用いて算出する。
【００６２】
平均一次粒子径が１０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲である本発明のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料は、例えば上述の方法によって得ることができるが、ＤＩＣ（株）より購入することも可能である。
【００６３】
＜（Ｂ）黄色顔料＞
【００６４】
本発明の着色感光性組成物においては、（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料に、（Ｂ）黄色顔料を用いて、着色感光性組成物の色相を調整し、透過率を大きくする。このような黄色顔料としては従来公知の黄色顔料を用いることができる。
黄色顔料の例としては、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、ベンズイミダゾロン系黄色顔料、ニッケルアゾ系黄色顔料などの黄色顔料の他に、ジケトピロロピロール系橙色顔料、ぺリノン系橙色顔料などの橙色顔料も必要によって使用可能である。
【００６５】
具体例を挙げると、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２０、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、２１３、２１４、および
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２、５、１３、１６、１７：１、３１、３４、３６、３８、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６２、６４、７１、７３、などである。
【００６６】
これらのうち好ましくは、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１８０、１８５などであり、さらに好ましくは、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９である。
特にＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を用いると、透過率が高く、コントラストが高いので好ましい。
【００６７】
これらの顔料の平均一次粒子径は、１０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲であることが、透過率が高く、コントラストが高いので好ましい。より好ましくは１０ｎｍ〜３０ｎｍの範囲である。平均一次粒子径を小さく、微細にするためにはハロゲン化亜鉛フタロシアニンと同様にソルトミリング法が有効であり、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料と一緒にソルトミリングしても良いし、別個にソルトミリングしてもよい。
平均一次粒子径は、ＳＥＭあるいはＴＥＭで観察し、粒子が凝集していない部分で粒子サイズを１００個計測し、加重算術平均値を算出することによって求める。
【００６８】
（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料と（Ｂ）黄色顔料との使用比率は、質量換算で、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料１００部に対し、黄色顔料が１０〜２００部とすることが好ましい。さらに好ましくは２０〜１００部である。
上記質量比がこの範囲であれば、光透過率が大きく、また色純度を高くすることができる。
【００６９】
本発明の着色感光性組成物において、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含む顔料の総量は、本発明の着色感光性組成物中の溶剤を除いた総量に対して質量換算で５〜６０％であることが好ましく、１０〜５０％であることがより好ましく、最適には１５〜４５％である。添加量をこの範囲で用いることにより、色特性に優れ、コントラストが高く、輝度の高いカラーフィルタを得ることができる。
【００７０】
＜顔料分散組成物＞
本発明の着色感光性組成物の調整に当たっては、予め（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、を一緒にあるいは別個に分散して、顔料分散組成物としておくことが好ましい態様である。
顔料分散組成物は、前記顔料と溶剤とを分散するが、この際必要によって分散剤、樹脂等を添加して用いる。さらに顔料誘導体など、必要に応じて更に他の成分を用いて構成することができる。
【００７１】
−顔料分散組成物の調製−
本発明の顔料分散組成物の調製態様は、特に制限されないが、例えば、顔料と顔料分散剤と溶剤とを、縦型もしくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を用いて、０．０１〜１ｍｍの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理を行なうことにより得ることができる。
【００７２】
ビーズ分散を行なう前に、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸もしくは２軸の押出機等を用いて、強い剪断力を与えながら混練分散処理を行なうことも可能である。
【００７３】
なお、混練、分散についての詳細は、Ｔ．Ｃ．Ｐａｔｔｏｎ著”Ｐａｉｎｔ  Ｆｌｏｗ  ａｎｄ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ”（１９６４年  Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ａｎｄ  Ｓｏｎｓ社刊）等に記載されている。
【００７４】
−顔料濃度−
顔料の顔料分散組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、１０〜６０質量％が好ましく、１５〜５０質量％がより好ましい。顔料の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００７５】
−分散剤−
顔料分散組成物は、分散剤の少なくとも１種を含有する。この分散剤の含有により、顔料の分散性を向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
【００７６】
具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮo.７５、Ｎo.９０、Ｎo.９５（共栄社化学工業（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（いずれもサンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（日本ルーブリゾール（株）社製）；アデカプルロニックＬ３１、Ｆ３８、Ｌ４２、Ｌ４４、Ｌ６１、Ｌ６４、Ｆ６８、Ｌ７２、Ｐ９５、Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４、Ｌ１０１、Ｐ１０３、Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １０１、１０３、１０６、１０８、１０９、１１１、１１２、１１６、１３０、１４０、１４２、１６２、１６３、１６４、１６６、１６７、１７０、１７１、１７４、１７６、１８０、１８２、２０００、２００１、２０５０、２１５０（ビックケミー（株）社製）が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。
【００７７】
分散剤の顔料分散組成物中における含有量としては、顔料の合計質量に対して、１〜１００質量％が好ましく、３〜７０質量％がより好ましい。
【００７８】
−顔料誘導体−
顔料分散組成物は、必要に応じて、顔料誘導体が添加される。分散剤と親和性のある部分、あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として着色感光性組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。
【００７９】
顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開平１１−４９９７４号公報、特開平１１−１８９７３２号公報、特開平１０−２４５５０１号公報、特開２００６−２６５５２８号公報、特開平８−２９５８１０号公報、特開平１１−１９９７９６号公報、特開２００５−２３４４７８号公報、特開２００３−２４０９３８号公報、特開２００１−３５６２１０号公報等に記載されているものを使用できる。
【００８０】
顔料誘導体の顔料分散組成物中における含有量としては、顔料の質量に対して、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。
【００８１】
また、更に、顔料分散組成物には後述するアルカリ可溶性樹脂等の高分子化合物等を添加することも可能である。アルカリ可溶性樹脂に含まれる酸基等の極性基は顔料の分散にも有効と考えられ、顔料分散液の分散安定性に有効であることが多い。
【００８２】
−溶剤−
顔料分散組成物における溶剤としては、例えば、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、１−メトキシ−２−プロパノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ｎ−プロパノール、２−プロパノール、ｎ−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トルエン、キシレンなどの溶剤を挙げることができる。
【００８３】
顔料分散組成物における溶剤の含有量は、顔料分散組成物の用途などに応じて適宜選択される。顔料分散組成物が後述する着色感光性組成物の調製に用いられる場合には、取り扱い性の観点から、顔料及び顔料分散剤を含む固形分濃度が５〜５０質量％となるように含有することができる。
【００８４】
＜着色感光性組成物＞
本発明の着色感光性組成物は、（Ａ）ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、（Ｂ）黄色顔料、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダー樹脂、および（Ｅ）光重合開始剤を含み、該（Ｃ）重合性化合物が、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と、(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物とを含む。
【００８５】
本発明の着色感光性組成物中における顔料分散組成物の含有量としては、着色感光性組成物の全固形分（質量）に対して、顔料の含有量が５〜７０質量％の範囲となる量が好ましく、１５〜６０質量％の範囲となる量がより好ましい。顔料分散組成物の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００８６】
＜(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物＞
(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物としては、重合性基として同一分子内に２個の（メタ）アクリロイル基、またはビニルエーテル基を含む化合物が好ましい。
なお、本明細書では、アクリロイル基とメタクリロイル基とを総称して、（メタ）アクリロイル基と記載する。またアクリレートとメタクリレートとを総称して、（メタ）アクリレートと記載する。
【００８７】
同一分子内に２個の（メタ）アクリロイル基を有する化合物の具体例としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−１，３−ジアクリロキシプロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシジエトキシ）フェニル］プロパン、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸変性物、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ（メタ）アクリレートなどが挙げられ、好ましくはジメチロール−トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸変性物などが挙げられる。  また同一分子内に２個の（メタ）アクリロイル基を有する化合物の具体例として下記に記載の化合物を挙げることができる。
【００８８】
【化１０】
2010097172.tif 000011
【００８９】
【化１１】
2010097172.tif 000012
【００９０】
また同一分子内に２個のビニルエーテル基を有する化合物の具体例としては、１，３−シクロヘキシルジオールジビニルエーテル、ネオペンチルグリコールジビニルエーテル、ビスフェノールＡ型ジビニルエーテル等が挙げられる。
【００９１】
これらの中で、後工程で、溶剤耐性や、ＩＴＯスパッタ適性を好適に保つという観点で、同一分子内に２個の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートモノマーが好ましい。
これらの化合物のうち、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物としてより好ましい（メタ）アクリレートモノマーは、下記に示す一般式（４）、及び（５）である。
【００９２】
【化１２】
2010097172.tif 000013
【００９３】
一般式（４）、および一般式（５）において、Ｒ２１は水素原子、またはメチル基を表し、Ｒ２２は、水素原子、メチル基、またはエチル基を表わす。Ｘ１〜Ｘ４は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、フェニル基、またはハロゲン原子を表し、Ｙは−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ２−、−Ｓ−、−ＳＯ２−、または下記構造式（３）、および（８）で表される基を表す。ａ、ｂ、ｃ、及びｄは、それぞれ独立に、０〜２０の整数を表す。
【００９４】
【化１３】
2010097172.tif 000014
【００９５】
上記一般式（４）、または一般式（５）で表される化合物において、感度、現像性の観点で、Ｒ２１が水素原子、Ｒ２２が水素原子、Ｘ１〜Ｘ４が水素原子、Ｙが−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ２−、または−Ｓ−であり、ａ、ｂ、ｃ及びｄが０〜１０の整数であることが好ましい。さらにＲ２１が水素原子、Ｒ２２が水素原子、Ｘ１〜Ｘ４が水素原子、Ｙが−Ｃ（ＣＨ３）２−、ａ、ｂ、ｃ、及びｄが０〜５の整数であることがより好ましい。
【００９６】
上記一般式（４）、および一般式（５）で表される化合物は公知の方法で製造することができる。また市販されている化合物としては、ＡＢＥ−３００、Ａ-ＢＰＥ−４、Ａ-ＢＰＥ−６、Ａ−ＢＰＥ−１０、Ａ−ＢＰＥ−２０、Ａ−ＢＰＥ−３０、Ａ−Ｂ１２０６ＰＥ、Ａ−ＢＰＥＦ、Ａ−ＢＰＦＬ−１６Ｅ（以上新中村化学工業社製）、Ｍ−２０８、ＢＡＥＰＳ（以上東亞合成化学社製）、ＨＢＰＥ−４（第一化学製薬社製）等がある。
【００９７】
例えば、上記市販品ＡＢＥ−３００は、前記式（４）で表されるジアクリレートであり、式中  Ｒ２１：水素原子、Ｒ２２：水素原子、Ｘ１〜Ｘ４：水素原子、Ｙ：−Ｃ（ＣＨ３）２−、ａ＝０、ｄ＝０、ｂ＋ｃ＝３を表す。なお上記市販品ＡＢＥ−３００の構造式を下記に示す。
【００９８】
【化１４】
2010097172.tif 000015
【００９９】
本発明における(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物としては、さらに、下記一般式（１）で表される化合物、一般式（２）で表される化合物、一般式（６）で表される化合物、および一般式（７）で表される化合物が、広い現像ラチチュードを得られ、またカラーフィルタとしたときに溶剤耐性や、ＩＴＯスパッタ適性を好適に保つという観点で特に好ましい。特に好ましくは一般式（１）、および一般式（２）で表される化合物である。
【０１００】
【化１５】
2010097172.tif 000016
【０１０１】
一般式（１）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。より具体的には、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、エチル基を表し、感度が高くなる観点からは、水素原子、メチル基であることが好ましい。
ｐ、およびｑは１〜２０の整数であり、ｐ＋ｑは、２〜３０の整数である。ｐ＋ｑが１０〜３０の範囲が、現像性の観点で好ましく、１５〜２５の範囲が最も好ましい。
このような化合物は市販品としても入手可能であり、例えば、新中村化学工業株式会社製ＮＫエステル  Ａ−ＢＰＥ−４、Ａ−ＢＰＥ−１０、Ａ−ＢＰＥ−２０、Ａ−ＢＰＥ−３０である。本発明の課題である現像ラチチュードの観点からは、Ａ−ＢＰＥ−２０が好ましく、また、ポストベーク後の画素端部の形状をテーパにする観点ではＡ−ＢＰＥ−４が好ましい。
【０１０２】
【化１６】
2010097172.tif 000017
【０１０３】
一般式（２）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。ｒ、およびｓは１〜２０の整数であり、ｒ＋ｓは、２〜３０の整数である。Ａは下記に示す連結基を表す。
【０１０４】
【化１７】
2010097172.tif 000018
【０１０５】
Ｙ１、およびＹ２は感度の観点から、水素原子、メチル基であることが好ましく、現像性の観点からは、ＡがビスフェノールＦ、またはビスフェノールＳから両末端のＯＨ基を除いた骨格であることが好ましく、ｒ、およびｓは１〜５の整数が好ましく、（ｒ＋ｓ）は５〜２０の範囲が好ましい。
具体的な化合物としては、下記の化合物等が挙げられる。
【０１０６】
【化１８】
2010097172.tif 000019
【０１０７】
【化１９】
2010097172.tif 000020
【０１０８】
【化２０】
2010097172.tif 000021
【０１０９】
一般式（６）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｂは、下記に示す連結基を表し、ｍは１〜３の整数である。ｍが２または３のときは、含まれる複数のＢは互いに同じでも異なっていてもよい。
【０１１０】
【化２１】
2010097172.tif 000022
【０１１１】
Ｙ１、およびＹ２は感度の観点から、水素原子、メチル基であることが好ましく、現像性の観点からはＡが、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、またはビスフェノールＳから両末端のＯＨ基を除いた骨格であることが好ましく、ｍは１または２の整数であることが好ましい。
具体的な化合物としては、下記の化合物等が挙げられる。
【０１１２】
【化２２】
2010097172.tif 000023
【０１１３】
【化２３】
2010097172.tif 000024
【０１１４】
【化２４】
2010097172.tif 000025
【０１１５】
一般式（７）中、Ｙ１、Ｙ２はそれぞれ独立に水素原子、または炭素数１〜４のアルキル基を表す。
Ｙ１、およびＹ２は感度の観点から水素原子、またはメチル基が好ましい。
具体的な化合物としては、下記の化合物等が挙げられる。
【０１１６】
【化２５】
2010097172.tif 000026
【０１１７】
＜(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物＞
(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物としては、同一分子内に５乃至６個の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートが好適に使用される。同一分子内に５乃至６個の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートとしては、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ソルビトールペンタ（メタ）アクリレート、ソルビトールヘキサ（メタ）アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ（メタ）アクリレート、カプトラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、共栄社化学（株）製のＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ等のウレタンアクリレートが挙げられ、好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが挙げられる。これらのなかで、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、溶剤耐性や、ＩＴＯスパッタ適性の観点で好ましく、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物（質量換算の混合比率は、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート＝２〜４：８〜６）の混合物が、溶剤耐性や、ＩＴＯスパッタ適性の観点で最も好ましい。
【０１１８】
着色感光性組成物中における、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の
含有量は、着色感光性組成物の固形分を１００質量部としたとき、１〜４０質量部の範囲が、現像においてパターンのカケが発生しにくく、現像性が良好であり好ましい。また、１〜２０質量部の範囲がさらに好ましい。
また(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物の着色感光性組成物中
における含有量は、着色感光性組成物の固形分を１００質量部としたとき、１０〜６０質量部の範囲が、現像においてパターンのカケが発生しにくく、現像性が良好であり好ましい。また、１５〜５０質量部の範囲がさらに好ましい。
【０１１９】
また、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の含有量は、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物と(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物との合計の質量を１００質量％としたとき、１５質量％から４０質量％の範囲であることを要する。即ち、５〜６官能の重合性化合物に対し、２官能化合物を上記所定量含むことで、硬化性と形成された皮膜の柔軟性、基板との密着性が両立する。２官能化合物の含有比率を、２０質量％から３０質量％の範囲とすることにより、さらに現像ラチチュードが改良されるため、好ましい。
【０１２０】
さらに本発明の着色感光性組成物には、（Ｃ）重合性化合物として、(C-1)１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物および(C-2)１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性化合物以外の重合性化合物も本発明の効果を損なわない範囲で使用することができる。
これらの重合性化合物として、例えば以下の化合物が挙げられる。
【０１２１】
１分子中に重合性基を１個有する化合物：ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−オクチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４−ｎ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２−エチヘキシルジグリコール（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、２−クロロエチル（メタ）アクリレート、４−ブロモブチル（メタ）アクリレート、シアノエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ブトシキメチル（メタ）アクリレート、３−メトキシブチル（メタ）アクリレート、アルコキシメチル（メタ）アクリレート、アルコキシエチル（メタ）アクリレート、２−（２−メトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２−（２−ブトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２，２，２−テトラフルオロエチル（メタ）アクリレート、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈパーフルオロデシル（メタ）アクリレート、４−ブチルフェニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２，４，５−テトラメチルフェニル（メタ）アクリレート、４−クロロフェニル（メタ）アクリレート、フェノキシメチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、グリシジロキシブチル（メタ）アクリレート、グリシジロキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジロキシプロピル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、トリメトキシシリルプロピル（メタ）アクリレート、トリメチルシリルプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシド（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシド（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、オリゴプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、２−メタクリロイロキシチルコハク酸、２−メタクリロイロキシヘキサヒドロフタル酸、２−メタクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシプロピルフタレート、ブトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリフロロエチル（メタ）アクリレート、パーフロロオクチルエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性フェノール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性クレゾール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ノニルフェノール（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ノニルフェノール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性−２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、などが挙げられる。ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、
【０１２２】
１分子中に重合性基を３個有する化合物：例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンのアルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（（メタ）アクリロイルオキシプロピル）エーテル、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリ（（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ヒドロキシピバルアルデヒド変性ジメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化グリセリントリアクリレート、
【０１２３】
１分子中に重合性基を４個有する化合物：例えば、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、なども使用可能である。
これら、他の重合性化合物の含有量は、着色感光性組成物に含まれる全重合性化合物の含有量に対して、０〜２０質量パーセント程度であることが好ましい。
【０１２４】
＜（Ｄ）バインダー樹脂＞
本発明の着色感光性組成物は、（Ｄ）バインダー樹脂を含む。バインダー樹脂としては溶剤に可溶な高分子化合物なら、いずれでも使用できるが、好ましいバインダー樹脂としては、フォトリソ法によるアルカリ現像性を考えるとアルカリ可溶性樹脂が好ましい。
【０１２５】
アルカリ可溶性樹脂は顔料分散組成物の調整の段階で含有することも可能であり、顔料分散組成物の調整および着色感光性組成物の調整の段階の両方の工程で分割して添加することも可能である。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基（例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基など）を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。このうち、更に好ましくは、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものである。
【０１２６】
アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
【０１２７】
上記の線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましい。例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等が挙げられ、さらに側鎖に（メタ）アクリロイル基を有する高分子重合体も好ましいものとして挙げられる。
【０１２８】
これらの中では特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。このほか、メタクリル酸２−ヒドロキシエチルを共重合したもの等も有用なものとして挙げられる。該ポリマーは任意の量で混合して用いることができる。
【０１２９】
上記以外に、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
【０１３０】
アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。
【０１３１】
前記（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、（メタ）アクリル酸アルキル、（メタ）アクリル酸アリール、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
【０１３２】
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートの具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート等を挙げることができる。
【０１３３】
前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジル（メタ）アクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、ＣＨ２＝ＣＲ３１Ｒ３２〔ここで、Ｒ３１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ３２は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素環を表す。〕、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ３１）（ＣＯＯＲ３３）〔ここで、Ｒ３１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ３３は炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１２のアラルキル基を表す。〕、等を挙げることができる。
【０１３４】
これら共重合可能な他の単量体は、１種単独であるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。好ましい共重合可能な他の単量体は、ＣＨ２＝ＣＲ３１Ｒ３２、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ３１）（ＣＯＯＲ３３）、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート及びスチレンから選択される少なくとも１種であり、特に好ましくは、ＣＨ２＝ＣＲ３１Ｒ３２及び／又はＣＨ２＝Ｃ（Ｒ３１）（ＣＯＯＲ３３）である。これらの、Ｒ３１、Ｒ３２及びＲ３３はそれぞれ前記したのと同義である。
【０１３５】
着色感光性組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂等のバインダー樹脂の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、１〜２０質量％が好ましく、より好ましくは２〜１５質量％であり、特に好ましくは３〜１２質量％である。
【０１３６】
＜（Ｅ）光重合開始剤＞
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始剤の少なくとも一種を含有する。
光重合開始剤としては、例えば、特開平５７−６０９６号公報に記載のハロメチルオキサジアゾール、特公昭５９−１２８１号公報、特開昭５３−１３３４２８号公報等に記載のハロメチル−ｓ−トリアジン等活性ハロゲン化合物、米国特許第４３１８７９１号、欧州特許公開ＥＰ８８０５０Ａ等の各明細書に記載のケタール、アセタール、又はベンゾインアルキルエーテル類等の芳香族カルボニル化合物、米国特許第４１９９４２０号明細書に記載のベンゾフェノン類等の芳香族ケトン化合物、仏国特許−２４５６７４１明細書に記載の（チオ）キサントン類又はアクリジン類化合物、特開平１０−６２９８６号公報に記載のクマリン類又はロフィンダイマー類等の化合物、特開平８−０１５５２１号公報等に記載のスルホニウム有機硼素錯体等、等を挙げることができる。
【０１３７】
中でも、光重合開始剤としては、アセトフェノン系、ケタール系、ベンゾフェノン系、ベンゾイン系、ベンゾイル系、キサントン系、トリアジン系、ハロメチルオキサジアゾール系、アクリジン類系、クマリン類系、ロフィンダイマー類系、ビイミダゾール系等が好ましい。
【０１３８】
前記アセトフェノン系の光重合開始剤としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、４’−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオフェノンなどを好適に挙げることができる。
前記ケタール系の光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタールなどを好適に挙げることができる。
【０１３９】
前記ベンゾフェノン系の光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４’−（ビスジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−（ビスジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−トリル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノン−１等を好適に挙げることができる。
【０１４０】
前記ベンゾイン系又はベンゾイル系の光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインイソプロピルエーテル、ゼンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベゾエート等を好適に挙げることができる。
【０１４１】
前記キサントン系の光重合開始剤としては、例えば、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、モノイソプロピルチオキサントン、クロロチオキサントン、等を好適に挙げることができる。
【０１４２】
前記トリアジン系の光重合開始剤としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル）−１，３−ブタジエニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ビフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（ｐ−メチルビフェニル）−ｓ−トリアジン、ｐ−ヒドロキシエトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、メトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、３，４−ジメトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−ベンズオキソラン−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（クロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（クロロメチル）−ｓ−トリアジン等を好適に挙げることができる。
【０１４３】
前記ハロメチルオキサジアゾール系の光重合開始剤としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾール等を好適に挙げることができる。
前記アクリジン類系の光重合開始剤としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン等を好適に挙げることができる。
【０１４４】
前記クマリン類系の光重合開始剤としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を好適に挙げることができる。
【０１４５】
前記ロフィンダイマー類系の光重合開始剤としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体等を好適に挙げることができる。
前記ビイミダゾール系の光重合開始剤としては、例えば、２−メルカプトベンズイミダゾール、２，２’−ベンゾチアゾリルジサルファイド等を好適に挙げることができる。
【０１４６】
上記以外に、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、ｏ−ベンゾイル−４’−（ベンズメルカプト）ベンゾイル−ヘキシル−ケトキシム、２，４，６−トリメチルフェニルカルボニル−ジフェニルフォスフォニルオキサイド、ヘキサフルオロフォスフォロ−トリアルキルフェニルホスホニウム塩等が挙げられる。
【０１４７】
本発明に用いうる光重合開始剤としては、以上の光重合開始剤に限定されるものではなく、他の公知のものも使用することができる。例えば、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５１，７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物等が挙げられる。
また、これらの光重合開始剤を併用することもできる。
【０１４８】
上記した光重合開始剤の中でも、下記一般式（Ｉ）で表される化合物、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビイミダゾール、４，４’−（ビスジエチルアミノ）ベンゾフェノン、および下記のＥ−１で表される化合物のうちいずれか１種以上を用いることが好ましい。
特に一般式（Ｉ）で表される化合物を用いると表面の荒れを抑制して好適な画素を形成する観点で最も好ましい。
【０１４９】
【化２６】
2010097172.tif 000027
【０１５０】
一般式（Ｉ）中、Ｒ１〜Ｒ１４は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、芳香族基、及び脂肪族基のいずれかである。但し前記芳香族基、及び脂肪族基は、分岐構造、及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、エーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を介していても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン原子、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。
【０１５１】
一般式（Ｉ）において、１個又は２個以上のＲ１〜Ｒ１４をハロゲン原子にすることによって、一般式（Ｉ）の化合物の開裂反応性を高めることが可能であり、感度をより向上させることができる。ハロゲン原子としては、Ｂｒ、Ｃｌ等が挙げられる。
【０１５２】
また、１個又は２個以上のＲ１〜Ｒ１４をヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、芳香族基、又は脂肪族基のいずれかにすることによって、一般式（Ｉ）の化合物の吸収スペクトルを変えることが可能であり、照射波長に合わせて吸収波長特性を調節することができる。
これらの芳香族基、又は脂肪族基は置換基を有していてもよいし、基の途中に炭化水素以外の構造を有していてもよい。
【０１５３】
芳香族基としては、炭素数５〜２０の芳香族基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基のような芳香族炭化水素基の他、ピリジル基のような炭化水素以外の異種原子を含む基も挙げられる。
脂肪族基としては、炭素数１〜１０の脂肪族基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基のようなアルキル基、アルケニル基のような不飽和炭化水素基等の脂肪族炭化水素基の他、炭化水素以外の異種原子を含む基も挙げられる。
【０１５４】
一般式（Ｉ）で表される光重合開始剤は感度が高く、この光重合開始剤を使用することによって、着色感光性組成物の感度が飛躍的に向上するため効率よく反応が進行し、その結果、通常と比べて少ない露光量でも充分硬化させることができる。また、この光重合開始剤を使用することによって、現像に対する線幅安定性が極めて高いパターンを形成することができるため、高生産性のカラーフィルタを作成することができる。
【０１５５】
このような感度や線幅安定性の向上は、特に、酸素存在下での露光において顕著である。一般式（Ｉ）の光重合開始剤は、酸素による反応阻害を受けにくいため、酸素存在下でも重合反応が速やかに進行する。従って、本発明の着色感光性組成物を用いて塗膜を形成する場合には、塗膜表面に露光前に酸素遮断膜を塗工したり、塗膜を窒素雰囲気下で露光したりする必要がなく、プロセスの煩雑さやコスト高を回避することができる。
【０１５６】
上記式（Ｉ）で表される化合物のうち、Ｒ２〜Ｒ１１が水素原子である化合物が好ましく、また、該Ｒ２〜Ｒ１１が水素原子である化合物としては、Ｒ１、Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４が炭素数１〜３の脂肪族基である化合物が好ましい。
さらに、一般式（Ｉ）において、Ｒ２〜Ｒ１１が水素原子であり、Ｒ１がメチル基、Ｒ１２がエチル基、Ｒ１３がメチル基、及びＲ１４がメチル基である下記のＥ−１の化合物は、露光によって効率よくラジカルを発生させることができる。
【０１５７】
【化２７】
2010097172.tif 000028
【０１５８】
前記Ｅ−１の光重合開始剤としては、例えば、ＣＧＩ２４２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製）等の市販品を用いることができる。
【０１５９】
【化２８】
2010097172.tif 000029
【０１６０】
【化２９】
2010097172.tif 000030
【０１６１】
また（C-1）１分子中に重合性基を２個有する重合性化合物の重合性基がビニルエーテル基の場合には、光重合開始剤として、カチオン重合に有用な公知の光酸発生剤を併用させることが、高感度を維持するという観点でより有用である。具体的な光酸発生剤としては、前述のトリハロメチルトリアジン系開始剤やヨードニウム塩、スルホニウム塩等のオニウム塩が挙げられる。これらオニウム塩は市販品として、サイラキュア−ＵＶＩ−６９９０、ＵＶＩ−６９７４（以上ダウケミカル（株）製）、アデカオプトマーＳＰ−１５０，ＳＰ−１５２，ＳＰ−１７０、ＳＰ−１７２（以上旭電化（株）製）、光開始剤２０７４（ローデイア（株）製）、イルガキュア２５０（チバ・スペシャリティケミカル（株）製）、ＣＩ−５１０２（日本曹達（株）製）等が販売されている。
【０１６２】
（Ｅ）光重合開始剤の配合量は、着色感光性組成物中の全固形分１００質量部に対して、通常０．５〜４０質量部の範囲であり、好ましくは１〜２０質量部の範囲である。
着色感光性組成物中における光重合開始剤の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、０．１〜１５．０質量％が好ましく、より好ましくは０．５〜１０．０質量％である。光重合開始剤の含有量が前記範囲内であると、重合反応を良好に進行させて強度の良好な膜形成が可能である。
光酸発生剤を重合開始剤として併用する場合には、光重合開始剤の全量に対し、１〜３０質量％が好ましく、より好ましくは５〜２０質量％である。
【０１６３】
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始剤（ラジカル開始剤）のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、ラジカル開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
【０１６４】
本発明に用いることができる増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ３００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ３３０ｎｍから４５０ｎｍ域に吸収波長を有するものを挙げることができる。
例えば、多核芳香族類（例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、９，１０−ジアルコキシアントラセン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、チオキサントン類（イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン）、シアニン類（例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、フタロシアニン類、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、アクリジンオレンジ、クマリン類（例えば、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン）、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、Ｎ−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
【０１６５】
増感剤の含有量は、感度と保存安定性の観点から、着色感光性組成物の全固形分の質量に対し、０．１〜３０質量％の範囲が好ましく、１〜２０質量％の範囲がより好ましく、２〜１５質量％の範囲が更に好ましい。
【０１６６】
本発明の着色感光性組成物は、共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による光重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
【０１６７】
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばM.R.Sanderら著「Journal of Polymer Society」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４−２０１８９号公報、特開昭５１−８２１０２号公報、特開昭５２−１３４６９２号公報、特開昭５９−１３８２０５号公報、特開昭６０−８４３０５号公報、特開昭６２−１８５３７号公報、特開昭６４−３３１０４号公報、Research Disclosure ３３８２５号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ホルミルジメチルアニリン、ｐ−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
【０１６８】
共増感剤の別の例としてはチオール及びスルフィド類、例えば、特開昭５３−７０２号公報、特公昭５５−５００８０６号公報、特開平５−１４２７７２号公報記載のチオール化合物、特開昭５６−７５６４３号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。
【０１６９】
また別の例としては、アミノ酸化合物（例、Ｎ−フェニルグリシン等）、特公昭４８−４２９６５号公報記載の有機金属化合物（例、トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５−３４４１４号公報記載の水素供与体、特開平６−３０８７２７号公報記載のイオウ化合物（例、トリチアン等）等が挙げられる。
【０１７０】
共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、感光性組成物の全固形分の質量に対し、０．１〜３０質量％の範囲が好ましく、１〜２５質量％の範囲がより好ましく、０．５〜２０質量％の範囲が更に好ましい。
【０１７１】
＜溶剤＞
本発明の着色感光性組成物は、一般に上記成分と共に溶剤を用いて好適に調製することができる。
【０１７２】
溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、並びに、３−オキシプロピオン酸メチル及び３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル）、並びに、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、及び２−オキシプロピオン酸プロピルなどの２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル）、並びに、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；
【０１７３】
エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；
ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；
芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン、等が挙げられる。
【０１７４】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１７５】
＜その他成分＞
本発明の着色感光性組成物には、必要に応じて、フッ素系有機化合物、熱重合防止剤、着色剤、光重合開始剤、その他充填剤、アルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することができる。
【０１７６】
〈フッ素系有機化合物〉
フッ素系有機化合物を含有することで、塗布液としたときの液特性（特に流動性）を改善でき、塗布厚の均一性や省液性を改善することができる。すなわち、基板と塗布液との界面張力を低下させて基板への濡れ性が改善され、基板への塗布性が向上するので、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成が可能である点で有効である。
【０１７７】
フッ素系有機化合物のフッ素含有率は３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が前記範囲内であると、塗布厚均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中への溶解性も良好である。
【０１７８】
フッ素系有機化合物としては、例えば、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１４１、同Ｆ１４２、同Ｆ１４３、同Ｆ１４４、同Ｒ３０、同Ｆ４３７（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ１０６８、同ＳＣ−３８１、同ＳＣ−３８３、同Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）等が挙げられる。
【０１７９】
フッ素系有機化合物は特に、例えば塗布形成される塗布膜を薄くしたときの塗布ムラや厚みムラの防止に効果的である。また、液切れを起こしやすいスリット塗布においても効果的である。
フッ素系有機化合物の添加量は、顔料分散組成物または着色感光性組成物の全質量に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、より好ましくは０．００５〜１．０質量％である。
【０１８０】
＜（Ｆ）エポキシ環を有する化合物＞
本発明の着色感光性組成物は、形成された塗布膜の強度を上げるために、熱重合成分として、（Ｆ）エポキシ環を有する化合物を用いることが好ましい。エポキシ環を有する化合物を使用することによって、溶剤耐性が向上したり、ＩＴＯスパッタ適性が向上したりして好ましい。
【０１８１】
（Ｆ）エポキシ環を有する化合物としては、ビスフェノールＡ型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などのエポキシ環を分子中に２個以上有する化合物である。
例えば、ビスフェノールＡ型としては、エポトートＹＤ−１１５、ＹＤ−１１８Ｔ、ＹＤ−１２７、ＹＤ−１２８、ＹＤ−１３４、ＹＤ−８１２５、ＹＤ−７０１１Ｒ、ＺＸ−１０５９、ＹＤＦ−８１７０、ＹＤＦ−１７０など（以上東都化成製）、デナコールＥＸ−１１０１、ＥＸ−１１０２、ＥＸ−１１０３など（以上ナガセ化成製）、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、Ｇ１０１、Ｇ１０２（以上ダイセル化学製）の他に、これらの類似のビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型も挙げることができる。また、Ｅｂｅｃｒｙｌ  ３７００、３７０１、６００（以上ダイセルユーシービー製）などのエポキシアクリレートも使用可能である。
【０１８２】
クレゾールノボラック型としては、エポトートＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、ＹＤＰＮ−７０２、ＹＤＰＮ−７０３、ＹＤＰＮ−７０４など（以上東都化成製）、デナコールＥＭ−１２５など（以上ナガセ化成製）、ビフェニル型としては、３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’−ジグリシジルビフェニルなど、脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド２０２１、２０８１、２０８３、２０８５、エポリードＧＴ−３０１、ＧＴ−３０２、ＧＴ−４０１、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０（以上ダイセル化学製）、サントートＳＴ−３０００、ＳＴ−４０００、ＳＴ−５０８０、ＳＴ−５１００など（以上東都化成製）、Ｅｐｉｃｌｏｎ４３０、同６７３、同６９５、同８５０Ｓ、同４０３２（以上大日本インキ製）などを挙げることができる。
また、１，１，２，２−テトラキス（ｐ−グリシジルオキシフェニル）エタン、トリス（ｐ−グリシジルオキシフェニル）メタン、トリグリシジルトリス（ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートＹＨ−４３４、ＹＨ−４３４Ｌ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。
【０１８３】
この中で好ましいのは「分子量／エポキシ環の数」が１００以上であり、より好ましいものは１３０〜５００である。「分子量／エポキシ環の数」が小さいと硬化性が高く、硬化時の収縮が大きく、また、大きすぎると硬化性が不足し、信頼性に欠けたり、平坦性が悪くなる。
具体的な好ましい化合物としては、エポトートＹＤ−１１５、１１８Ｔ、１２７、ＹＤＦ−１７０、ＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’ジグリシジルビフェニル、セロキサイド２０２１、２０８１、エポリードＧＴ−３０２、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０などが挙げられる。
【０１８４】
〈熱重合開始剤〉
本発明の着色感光性組成物には、熱重合開始剤を含有させることも有効である。熱重合開始剤としては、例えば、各種のアゾ系化合物、過酸化物系化合物が挙げられ、前記アゾ系化合物としては、アゾビス系化合物を挙げることができ、前記過酸化物系化合物としては、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネートなどを挙げることができる。
【０１８５】
〈界面活性剤〉
本発明の着色感光性組成物には、塗布性を改良する観点から、各種の界面活性剤を用いて構成することが好ましく、ノニオン系、カチオン系、アニオン系の各種界面活性剤を使用できる。中でも、ノニオン系界面活性剤でパーフルオロアルキル基を有するフッ素系界面活性剤が好ましい。
フッ素系界面活性剤の具体例としては、ＤＩＣ（株）製のメガファック（登録商標）シリーズ、３Ｍ社製のフロラード（登録商標）シリーズなどが挙げられる。
【０１８６】
上記以外に、着色感光性組成物には、添加物の具体例として、ガラス、アルミナ等の充填剤；イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、アルコール可溶性ナイロン、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとから形成されたフェノキシ樹脂などのアルカリ可溶の樹脂；ノニオン系、カチン系、アニオン系等の界面活性剤、具体的にはフタロシアニン誘導体（市販品ＥＦＫＡ−７４５（森下産業社製））；オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業社製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社油脂化学工業社製）、Ｗ００１（裕商社製）等のカチオン系界面活性剤；
【０１８７】
その他添加物等の例として、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル（ＢＡＳＦ社製  プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（以上森下産業社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（サンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（ゼネカ社製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７，Ｐ８４，Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化社製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成社製）；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１８８】
また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、着色感光性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、着色感光性組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１８９】
〈熱重合防止剤〉
本発明の着色感光性組成物には、さらに熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１９０】
本発明の着色感光性組成物は、既述の本発明の顔料分散組成物に、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、及び光重合開始剤を（好ましくは溶剤と共に）含有させ、これに必要に応じて界面活性剤等の添加剤を混合することによって調製することができる。
【０１９１】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
本発明のカラーフィルタは、既述の本発明の着色感光性組成物を用いてガラスなどの基板上に着色された膜（着色パターン）を形成することにより作製されるものであり、例えば、本発明の着色感光性組成物を、基板に直接又は他の層を介して付与（好ましくは、回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布）して感光性膜を形成し、形成された感光性膜に、所定のマスクパターンを介して露光し、露光後に未硬化部を現像液で現像除去することにより各色（例えば３色あるいは４色）の着色パターン（例えば着色画素）を形成することによって、最も好適にカラーフィルタを作製することができる。
これにより、液晶表示装置や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタをプロセス上の困難性が少なく、高品質でかつ低コストに作製することができる。
この際、露光に用いる放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線、ｊ線等の紫外線が好ましい。
【０１９２】
また本発明におけるレーザー光源を用いた露光方式では、光源として紫外光レーザーを用いる。レーザーは英語のLight Amplification by Stimulated Emission of Radiation（誘導放出により光の増幅）の頭文字である。反転分布をもった物質中でおきる誘導放出の現象を利用し、光波の増幅、発振によって干渉性と指向性が一層強い単色光を作り出す発振器および増幅器、励起媒体として結晶、ガラス、液体、色素、気体などがあり、これらの媒質から固体レーザー、液体レーザー、気体レーザー、半導体レーザーなどの公知の紫外光に発振波長を有するレーザーを用いることができる。その中でも、レーザーの出力および発振波長の観点から、固体レーザー、ガスレーザーが好ましい。
【０１９３】
本発明に用いることのできる波長としては、３００ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲である波長の範囲の紫外光レーザーが好ましく、さらに好ましくは３００ｎｍ〜３６０ｎｍの範囲の波長である紫外光レーザーがレジストの感光波長に合致しているという点で好ましい。
【０１９４】
具体的には、特に出力が大きく、比較的安価な固体レーザーのＮｄ：ＹＡＧレーザーの第三高調波（３５５ｎｍ）や、エキシマレーザーのＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）、ＸｅＦ（３５３ｎｍ）を好適に用いることができる。
被露光物（パターン）の露光量としては、１ｍＪ／ｃｍ２〜１００ｍＪ／ｃｍ２の範囲であり、１ｍＪ／ｃｍ２〜５０ｍＪ／ｃｍ２の範囲がより好ましい。露光量がこの範囲であると、パターン形成の生産性の点で好ましい。
【０１９５】
本発明に使用可能な露光装置としては、特に制限はないが市販されているものとしては、Ｃａｌｌｉｓｔｏ（ブイテクノロジー株式会社製）やＥＧＩＳ（ブイテクノロジー株式会社製）やＤＦ２２００Ｇ（大日本スクリーン株式会社製などが使用可能である。また上記以外の装置も好適に用いられる。
【０１９６】
また、発光ダイオード（ＬＥＤ）及びレーザーダイオード（ＬＤ）を活性放射線源として用いることが可能である。特に、紫外線源を要する場合、紫外ＬＥＤ及び紫外ＬＤを使用することができる。例えば、日亜化学（株）は、主放出スペクトルが３６５ｎｍと４２０ｎｍとの間の波長を有する紫色ＬＥＤを上市している。更に一層短い波長が必要とされる場合、米国特許番号第６，０８４，２５０号明細書は、３００ｎｍと３７０ｎｍとの間に中心付けされた活性放射線を放出し得るＬＥＤを開示している。また、他の紫外ＬＥＤも、入手可能であり、異なる紫外線帯域の放射を照射することができる。本発明で特に好ましい活性放射線源は、ＵＶ−ＬＥＤであり、特に好ましくは、３４０〜３７０ｍにピーク波長を有するＵＶ−ＬＥＤである。
【０１９７】
紫外光レーザーは平行度が良好なので、露光の際にマスクを使用せずとも、パターン露光ができる。しかし、マスクを用いてパターンを露光した場合、さらにパターンの直線性が高くなるのでより好ましい。
【０１９８】
基板上に付与（好ましくは塗布）された本発明の着色感光性組成物による膜の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等を用いて５０〜１４０℃の温度範囲で１０〜３００秒の条件にて行なうことができる。
【０１９９】
現像では、露光後の未硬化部を現像液に溶出させ、硬化部のみを残存させる。現像温度としては、通常２０〜３０℃であり、現像時間としては２０〜９０秒である。
現像液としては、未硬化部における着色感光性組成物の膜を溶解する一方、硬化部を溶解しないものであれば、いずれのものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
【０２００】
前記有機溶剤としては、本発明の顔料分散組成物又は着色感光性組成物を調製する際に使用できる既述の溶剤として列挙したものが挙げられる。
【０２０１】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５，４，０］−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。
なお、アルカリ性水溶液を現像液として使用した場合には、一般に現像後に水で洗浄（リンス）が行なわれる。
【０２０２】
現像後は、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後、一般に１００〜２５０℃の温度で加熱処理（ポストベーク）が施される。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱であり、通常約２００℃〜２５０℃の加熱（ハードベーク）を行なう。このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行なうことができる。
【０２０３】
以上の操作を所望の色相数に合わせて、各色毎に順次繰り返し行なうことにより、複数色の着色された硬化膜が形成されてなるカラーフィルタを作製することができる。
【０２０４】
本発明の着色感光性組成物を基板上に付与して膜形成する場合、膜の乾燥厚みとしては、一般に０．３〜５．０μｍであり、好ましくは０．５〜３．５μｍであり、最も望ましくは１．０〜２．５μｍである。
【０２０５】
基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等、並びにプラスチック基板が挙げられる。これらの基板上には、通常、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている。
【０２０６】
プラスチック基板には、その表面にガスバリヤー層及び／又は耐溶剤性層を有していることが好ましい。
基板上に他の層を介して着色感光性組成物を付与する場合の、他の層としては、ガスバリヤー層、耐溶剤性層、などが挙げられる。
【実施例】
【０２０７】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「％」「部」は質量基準である。
【０２０８】
−ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の合成−
フタロジニトリル、塩化亜鉛を原料として亜鉛フタロシアニンを製造した。
ハロゲン化は、塩化スルフリル  ３．１部、無水塩化アルミニウム  ３．７部、塩化ナトリウム  ０．４６部、亜鉛フタロシアニン  １部を４０℃で混合し、臭素  ２．２部を滴下して行った。８０℃で１５時間反応し、その後、反応混合物を水に投入し、部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を析出させた。この水性スラリーを濾過し、８０℃の湯洗浄を行い、９０℃で乾燥させ、２．６部の精製された部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を得た。
【０２０９】
この部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料  １部、粉砕した塩化ナトリウム  ７部、ジエチレングリコール  １．６部、キシレン  ０．０９部を双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後８０℃の水１００部に取り出し、１時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕した部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料を得た。
得られた部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料は、質量分析によるハロゲン含有量分析から、平均組成はＺｎＰｃＢｒ１０Ｃｌ４Ｈ２で（Ｐｃ；フタロシアニン）、１分子中に平均１０個の臭素を含有するものであった。
なお、透過型電子顕微鏡（日本電子（株）製ＪＥＭ−２０１０）で測定した一次粒径の平均値は０．０６５μｍであった。
【０２１０】
（合成例１）樹脂（ｉ−１）の合成
ｎ−オクタン酸６．４ｇ、ε−カプロラクトン２００ｇ、チタン（ＩＶ）テトラブトキシド５ｇを混合し、１６０℃で８時間加熱した後、室温まで冷却しポリエステル樹脂（ｉ−１）を得た。
スキームを以下に示す。
【０２１１】
【化３０】
2010097172.tif 000031
【０２１２】
（合成例２）樹脂（Ｊ−１）の合成
ポリエチレンイミン（ＳＰ−０１８、数平均分子量１，８００、日本触媒製）  １０ｇ及びポリエステル樹脂（ｉ−１）  １００ｇを混合し、１２０℃で３時間加熱して、中間体（Ｊ−１Ｂ）を得た。その後、６５℃まで放冷し、無水コハク酸  ３．８ｇを含有するプロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート（以下、ＰＧＭＥＡとよぶ）２００ｇをゆっくり添加し２時間攪拌した。その後、ＰＧＭＥＡを添加し、樹脂（Ｊ−１）のＰＧＭＥＡ１０質量％溶液を得た。樹脂（Ｊ−１）は、ポリエステル樹脂（ｉ−１）由来の側鎖と無水コハク酸由来のカルボキシ基を有するものである。
合成スキームを以下に示す。
【０２１３】
【化３１】
2010097172.tif 000032
【０２１４】
−緑色顔料ハロゲン化亜鉛フタロシアニンの分散液の調製−
直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを仕込んだ五十嵐機械製造社製高速分散機「ＴＳＣ−６Ｈ」に、前記で得た部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料（ＰＧ５８と称する）  １４．９部、ビックケミー社製アクリル系分散剤「ＢＹＫ−２００１」  7．２部、ＰＧＭＥＡ  ７８部を仕込み、毎分２０００回転で８時間攪拌して、部分臭素化したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（ＰＧ５８）の分散液を調製した。
【０２１５】
−黄色顔料ＰＹ１５０の分散液の調製−
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（ＰＹ１５０）を４０部（平均粒子径６０ｎｍ）、前記樹脂（Ｊ−１）のＰＧＭＥＡ１０質量％溶液  ２２３部（固形分換算で２２．３部）混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ）により３時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。
【０２１６】
−黄色顔料ＰＹ１３８の分散液の調製−
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８（ＰＹ１３８）を４０部（平均粒子径６０ｎｍ）、前記樹脂（Ｊ−１）のＰＧＭＥＡ１０質量％溶液  ２２３部（固形分換算２２．３部）混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ）により３時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。
【０２１７】
−緑色顔料ＰＧ３６の分散液の調製−
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６（ＰＧ３６）を４０部（平均粒子径６０ｎｍ）、樹脂（ｉ−１）  ２００部（固形分換算２０部）からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ）により３時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。顔料分散液について、顔料の平均１次粒径を動的光散乱法（Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ  Ｎａｎｏｔｒａｃ  ＵＰＡ−ＥＸ１５０（日機装社製）を用いて、測定したところ、２５ｎｍであった。
【０２１８】
（実施例１）
下記組成１で着色感光性組成物を調製した。
なお、重量平均分子量、および、数平均分子量を求めるゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）測定の条件は以下である。
使用カラム：ＴＳＫｇｅｌ  ＭｕｌｔｉｐｏｒｅＨＸＬ−Ｍ
（細孔多分散型リニアカラム）東ソー製
溶離液：ＴＨＦ
流量：１．０ｍｌ／ｍｉｎ
温度：４０℃
検出条件：ＲＩ
システム：高速  ＧＰＣ  装置一式  （東ソ−  ＨＬＣ−８２２０）
【０２１９】
（組成１）
・緑色顔料ＰＧ５８の分散液    ２６．１部
・黄色顔料ＰＹ１５０の分散液    １４．３部
・バインダー樹脂（ベンジルメタクリレート−アクリル酸（＝共重合モル比  ６：４）共重合体、重量平均分子量  ９０００）    ２．８部
・１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマー（新中村化学（株）製  Ａ−ＢＰＥ−２０、２，２−ビス［４−（アクリロイロキシ−ポリエトキシ）フェニル］プロパン、エトキシはｍ＋ｎで１７個）    ０．９４部
・１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマー（日本化薬社製  商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの７：３（質量比）混合物    ２．６４部
・光重合開始剤（下記構造の化合物Ｅ−２）    １．０２部
・エポキシ環を有する化合物（２，２−ビス（ヒドロキシメチル−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキソラニル）シクロヘキサン付加物、ダイセル化学社製  ＥＨＰＥ−３１５０）    ０．４８０部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）    ０．００１８部
・界面活性剤（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ社製商品名メガファックＦ７８１−Ｆ    ０．０３３４部
・シランカップリング剤（３−メタクリロイロキシ−トリメトキシシリルプロパン）    ０．３２０部
・溶剤（ＰＧＭＥＡ）    ５１．４２部
【０２２０】
【化３２】
2010097172.tif 000033
【０２２１】
（実施例２〜７、比較例１〜５）
組成１において、顔料分散液、１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーおよび１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマーを表１のように変更し、それ以外は実施例１と同様にして、実施例２〜７、および比較例１〜５のそれぞれの着色感光性組成物を調整した。
なお表１で顔料分散液の欄の○印は、用いた顔料分散液を示す。また重合性化合物として、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマー（２官能モノマー）と（Ｄ）１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマー（５、６官能モノマー）との合計量は、実施例１と同じ質量とした。表１の数値は、各重合性モノマーの化合物に重合性化合物に占める比率を表している。
表１でＡ−ＢＰＥ−１０とは、新中村化学（株）製  Ａ−ＢＰＥ−１０、〔２，２−ビス［４−（アクリロイロキシ−ポリエトキシ）フェニル］プロパン、エトキシはｍ＋ｎで１０個〕である。
【０２２２】
【表１】
2010097172.tif 000034
【０２２３】
−着色組成物層形成−
得られた着色感光性組成物を、ガラス基板（コーニング社製ミレニアム  ０．７ｍｍ厚）に塗布した。具体的には、ポストベーク後の着色組成物層の膜厚が約２．４μｍとなるようにスリットノズルと基板との間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０２２４】
−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、真空乾燥装置にて真空度が６６Ｐａに到達するまで乾燥の後、ホットプレートを用いて、１００℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、プロキシミティ露光機（日立ハイテク社製、ＬＥ５５６５Ａ）を用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。
【０２２５】
−着色層現像工程、着色層ベーク（ポストベーク）工程−
その後、現像装置（日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２５℃）でシャワー圧を０．２ＭＰａに設定して、現像時間を１０〜１１０秒の間で１０秒刻みに現像し、純水で洗浄した。
【０２２６】
現像時間１０秒毎の基板を光学顕微鏡で観察し、現像の状況を評価し、表２にまとめて示した。表２で、現像時間下限とは、使用可能な現像時間の下限秒数のことであり、この時間より短い時間では非画素部分が除去できていない。現像時間上限とは、使用可能な現像時間の上限秒数のことであり、この時間より長い時間では、画素に欠けや脱落が起きる。現像時間は、プロセス（タクトタイム）の制約から８０秒以下が好ましいとされるため８０秒まで評価した。尚現像ラチチュードは、現像時間上限と現像時間下限との秒数の差を示している。
次に、２２０℃のオーブン中で３０分ベークした。
【０２２７】
−パターン直線性の評価−
光学顕微鏡を用いて反射２００倍で画素パターンのエッジ部分を写真にとり評価した。５センチメートル×５センチメートルの写真内で画素エッジ部分を観察し、画素エッジ部分が直線的に見えるものを「良」、画素エッジ部分が一部（全体の長さの１／３以内が）直線的ではないもののギザギザにはなっていないものを「やや良」、画素エッジ部分が全体の長さの１／３を超えて直線的でないもの、または、一部（全体の長さの１／４以下が）ギザギザになっているものを「やや悪い」、画素エッジ部分が全体の長さの１／４を超えてギザギザになっているものを「悪い」とした。
画素パターンのエッジ部分は直線的が好ましいとされる。該画素パターンのエッジ部分が残膜やアンダーカットやその他に起因してギザギザになると、ブラックマトリクスとの重なりを大きく取る必要があり、ブラックマトリクスの幅を広げ開口率を下げてしまう。またブラックマトリクスとの重なりを大きく取らない場合は、ブラックマトリクスのエッジ付近で、着色層が無く白く抜ける部分ができる恐れがある。さらに、画素パターンのエッジ部分がギザギザの場合、その上に形成された透明電極が断線して抵抗値が高くなるなどの問題がある。
【０２２８】
−カケの評価−
光学顕微鏡を用いて反射２００倍で画素パターンのエッジ部分を写真にとり評価した。５センチメートル×５センチメートルの写真内で画素エッジ部分を観察し、カケ（通常、半月状にエッジ部分がなくなっている形状となる。ケースによっては、更に細長い場合もあるが、周囲より線幅が不連続に細くなり、欠けていると認識される）が１つでも見られる場合、カケ有りと評価している。
カケが発生すると、その部分は白く光が抜けるので、好ましくない。
【０２２９】
【表２】
2010097172.tif 000035
【０２３０】
表２の判定の基準を以下に示す。
○：現像ラチチュードが広く（５０秒以上）、かつ、パターンの直線性がやや良以上で、かつ、輝度が高いものを「○」とした。
×：上記「○」の何れか一つ以上が該当しないものを「×」とした。
【０２３１】
表２から、本発明の（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーおよび（Ｄ）１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマーを併用し、且つその組成比が本発明の範囲である実施例１〜７は現像ラチチュードが大きく、またパターンの直線性も良好であった。これに対し、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーを用いていない比較例１、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーと（Ｄ）１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマーとの組成比が本発明の範囲外である比較例２、３は、いずれも現像ラチチュードが小さく、またパターンの直線性が不良であった。本発明の範囲外である緑色顔料として従来広く用いられているピグメントグリーン３６を用いた比較例４、５は輝度の指標であるＹ値が５８．５と低かった（本発明は６０．５）。また、この従来顔料ピグメントグリーン３６を用いた系では、重合性モノマー組成を本発明の重合性モノマー組成にすると、カケが早めに出るため、現像ラチチュードはむしろ狭くなった。
尚、ここでＹ値は、ベーク後の基板を、顕微分光光度計（オリンパス光学社製；ＯＳＰ１００）により測定し、Ｃ光源視野２度の結果として計算した。
【０２３２】
（実施例８）
下記組成２で着色感光性組成物を調整した。
（組成２）
・緑色顔料ＰＧ５８の分散液    ２６．１部
・黄色顔料ＰＹ１５０の分散液    １４．３部
・バインダー樹脂（ベンジルメタクリレート−アクリル酸（＝共重合モル比  ６：４）共重合体、重量平均分子量  ９０００）    ２．３５部
・１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマー（新中村化学（株）製  Ａ−ＢＰＥ−２０、２，２−ビス［４−（アクリロイロキシ−ポリエトキシ）フェニル］プロパン、エトキシはｍ＋ｎで１７個）    ０．９４部
・１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマー（日本化薬社製  商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの７：３（質量比）混合物    ３．７６部
・光重合開始剤（組成１と同じ重合開始剤Ｅ−２）    ０．９４部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）    ０．００１８部
・界面活性剤（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ社製商品名メガファックＦ７８１−Ｆ    ０．０３３４部
・シランカップリング剤（３−メタクリロイロキシ−トリメトキシシリルプロパン）    ０．３２０部
・溶剤（ＰＧＭＥＡ）    ５１．４２部
【０２３３】
得られた着色感光性組成物を用いて実施例１と同様に着色層を形成し、実施例１と同様の評価を行ったところ、パターン直線性が良であり、現像時間（sec）のラチチュードが７０秒（下限１０秒、上限８０秒）であり、輝度が高く、欠けもなく、判定○に相当するものであった。
【０２３４】
（実施例９〜１７、比較例６〜１０）
組成２において、顔料分散液、１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーおよび１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマーを表３のように変更し、それ以外は実施例８と同様にして、実施例９〜１７、および比較例６〜１０のそれぞれの着色感光性組成物を調整した。
なお、表３で顔料分散液の欄の○印は、用いた顔料分散液を示す。また、１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマー（２官能モノマー）の種の欄のＭ−１〜Ｍ−８は、下記の構造で示される化合物である。重合性化合物として、１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマー（２官能モノマー）と１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマー（５、６官能モノマー）との合計量は、実施例８と同じ質量とした。表３の数値は、各重合性モノマーの化合物が、重合性化合物の合計量に占める質量比率を表している。
得られた組成物を用いて実施例１と同様に着色層の形成、同様な評価を行った結果を表４に示した。
【０２３５】
【表３】
2010097172.tif 000036
【０２３６】
【化３３】
2010097172.tif 000037
【０２３７】
【化３４】
2010097172.tif 000038
【０２３８】
【表４】
2010097172.tif 000039
【０２３９】
表４から、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーが、一般式（１）に該当する実施例８、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーが、一般式（２）に該当するＭ−５、Ｍ−６、およびＭ−７を用いた実施例１３、１４、および１５、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーが、一般式（６）に該当するＭ−１、Ｍ−２、Ｍ−３，およびＭ−４を用いた実施例９、１０、１１，および１２、さらに（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーが、一般式（７）に該当するＭ−８を用いた実施例１６は、いずれも現像ラチチュードが大きく、またパターンの直線性も良好であった。また黄顔料としてＰＹ１３８を用いた実施例１７も現像ラチチュードが大きく、またパターンの直線性が良好であった。
これに対し、（Ｃ）１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマーを用いていない比較例６、顔料を用いていない比較例７、および８、さらに本発明の範囲外である緑色顔料としてピグメントグリーン３６を用いた比較例９は、現像ラチチュードが狭く、またパターンの直線性も不良であった。特にピグメントグリーン３６を用いた比較例９は現像でカケの発生が現像時間の短い時間から発生した。
【０２４０】
実施例８の着色感光性組成物を用いてＣＩＥ色度図上のｙ値が０．５８５となるように着色層を形成し、輝度（Ｙ値）を計測すると６０であった。これに対し比較例１０の着色感光性組成物を用いてＣＩＥ色度図上のｙ値を０．５８５となるように着色層を形成し、輝度（Ｙ値）を計測すると５８であった。実施例８は比較例１０に比べて、輝度が優れていることがわかった。
【０２４１】
（実施例１８）
下記組成３で着色感光性組成物を調整した。
（組成３）
・緑色顔料ＰＧ５８の分散液    ２６．１部
・黄色顔料ＰＹ１５０の分散物    １４．３部
・バインダー樹脂（ベンジルメタクリレート−アクリル酸（＝共重合モル比  ６：４）共重合体、重量平均分子量  ９０００）    ２．３５部
・１分子中に重合性基を２個有する重合性モノマー（下記構造の重合性化合物Ｍ−１０）    ０．９４部
・１分子中に重合性基を５乃至６個有する重合性モノマー（日本化薬社製  商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの７：３（質量比）混合物    ３．７６部
・光重合開始剤（組成１と同じ重合開始剤Ｅ−２）    ０．７５部
・光重合開始剤（サイラキュアＵＶ−６９９０（ダウケミカル社製）、下記構造の重合開始剤Ｅ−３）    ０．１９部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）    ０．００１８部
・界面活性剤（フッ素系界面活性剤、ＤＩＣ社製  商品名メガファックＦ７８１−Ｆ    ０．０３３４部
・シランカップリング剤（３−メタクリロイロキシ−トリメトキシシリルプロパン）    ０．３２０部
・溶剤（ＰＧＭＥＡ）    ５１．４２部
【０２４２】
【化３５】
2010097172.tif 000040
【０２４３】
得られた組成物を用いて実施例１と同様に着色層の形成、同様な評価を行ったところ、パターン直線性が良であり、現像時間（sec）のラチチュードが６０秒（下限２０秒、上限８０秒）であり、輝度が高く（ｙ値が０．５８５となるＹ値を外挿して求めると６０であった。）、カケもなく、判定○に相当するものであった。
【０２４４】
組成３においてバインダー樹脂の半分を、以下の樹脂に置き換えて評価したところ、上記評価項目において同等の効果が得られた。さらに、２つのサンプルの表面粗さ（Ｒａ）をＡＦＭを用いて評価したところ、置き換え前のサンプルにおいて４ｎｍであったものが、置き換え後のサンプルにおいて２ｎｍとなり、良好であった。
アルカリ可溶性樹脂：アリルメタクリレートとメタクリル酸（＝８０／２０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝３５，０００
【０２４５】
（実施例１９）
実施例８の組成物を用いて露光工程を以下のものに変更したこと以外は同様の評価を行ったところ、実施例８と同様の良好な結果が得られた。この結果より、レーザー露光機によるパターン露光でも、高圧水銀灯による露光と同様に、本発明の優れた効果が得られることがわかった。
(露光工程)
レーザー露光装置としてＥＧＩＳ（ブイテクノロジー（株）、ＹＡＧレーザーの第３高調波  波長３５５ｎｍ、パルス幅６ｎｓｅｃ）を用い、感光性樹脂組成物層表面に対し、約１ｍＪ/ｃｍ２のパルス照射を２０回、フォトマスクを通して行った。
【０２４６】
〔カラーフィルタの作製〕
１．着色感光性組成物層の形成
５５０ｍｍ×６５０ｍｍのブラックマトリックスを設けたガラス基板に、実施例１の緑色の着色感光性組成物を、下記条件でスリット塗布した後、真空乾燥（６６Ｐａ）とプレベーク（ｐｒｅｂａｋｅ）（８０℃１６０秒）を施して緑色の着色感光性組成物塗膜（着色感光性組成物層）を形成した。
【０２４７】
（スリット塗布条件）
塗布ヘッド先端の開口部の間隙：１００μｍ
塗布速度：１５０ｍｍ／秒
基板と塗布ヘッドとのクリヤランス：１５０μｍ
塗布厚（乾燥厚）：２μｍ
塗布温度：２３℃
【０２４８】
２．露光、現像
その後、緑色の着色感光性組成物層をプロキシミティー露光機（日立ハイテクノロジー社製、ＬＥ５５６５Ａ）を用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２でパターン状に露光した。露光後の着色感光性組成物層の全面を、無機系現像液（商品名：ＣＤＫ−１、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１.０％水溶液(２５℃)をシャワー圧０．２ＭＰａ（設定）で６０秒間現像した。
【０２４９】
３．加熱処理
その後、着色感光性組成物層上に純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、次いで２２０℃のオーブンにて１時間加熱した（ポストベーク）。
【０２５０】
４．カラーフィルタの作製
この後、青色の着色感光性組成物（下記のＢ−１組成）で着色パターンを形成し、さらに赤色の着色感光性組成物（下記のＣ−１組成）で着色パターンを形成し、ＩＴＯを蒸着、光重合性組成物（ＣＳＰ−３２１０Ｌ；富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いてスペーサーを形成し、基板上に緑色、赤色、および青色の着色パターンを有するカラーフィルタを得た。
【０２５１】
（Ｂ−１組成）
・青色顔料分散液（下記に記載）    ２４６．２部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレートとメタクリル酸（＝７０／３０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝８，０００（４５質量％濃度のプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液）    ２．０８部
・アルカリ可溶性樹脂：アリルメタクリレートとメタクリル酸（＝８０／２０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝３５，０００  （４５質量％濃度のプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液）    １８．７部
・重合性化合物：日本化薬（株）製  ＤＰＨＡ    ２０部
・重合開始剤：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール    ３部
・重合開始剤：チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  オキシム系開始剤  ＯＸＥ−０１    ３部
・多官能エポキシ化合物：ＤＩＣ（株）製  エピクロン６９５    ５部
・ジエチルアミノベンゾフェノン    ０．５部
・Ｎ−フェニルメルカプトベンズイミダゾール    ０．５部
・界面活性剤：（下記構造物１）    １．０部
・溶剤（プロピレングリコールメチルエーテルアセテート／エチルエトキシプロピオネート＝８／２）    ４００部
【０２５２】
（Ｃ−１組成）
・赤色顔料分散液（下記に記載）    ２４６．２部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレートとメタクリル酸（＝７０／３０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝８，０００（４５質量％濃度のプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液）    ２．０８部
・アルカリ可溶性樹脂：アリルメタクリレートとメタクリル酸（＝８０／２０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝３５，０００  （４５質量％濃度のプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液）    １８．７部
・重合性化合物：日本化薬（株）製  ＤＰＨＡ    ２０部
・重合開始剤：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール    ３部
・重合開始剤：チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  オキシム系開始剤  ＯＸＥ−０１    ３部
・多官能エポキシ化合物：ＤＩＣ（株）製  エピクロン６９５    ５部
・ジエチルアミノベンゾフェノン    ０．５部
・Ｎ−フェニルメルカプトベンズイミダゾール    ０．５部
・界面活性剤：（下記構造物１）    １．０部
・溶剤（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／エチルエトキシプロピオネート＝８／２）    ４００部
【０２５３】
【化３６】
2010097172.tif 000041
【０２５４】
上記のＢ−１組成、およびＣ−１組成で用いた青色顔料分散液、及び赤色顔料分散液は以下の通りである。
まず、被覆顔料を以下のように調製した。
【０２５５】
（被覆顔料１の調製）
顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４  チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ）  ５０ｇ、塩化ナトリウム  ５００ｇ、上記した重合体１の溶液  ２０ｇ、およびジエチレングリコール１００ｇをステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、９時間混練した。次に、この混合物を約３リットルの水中に投入し、ハイスピードミキサーで約１時間撹拌した後に、ろ過、水洗して塩化ナトリウムおよび溶剤を除き、乾燥して被覆顔料１を調製した。
【０２５６】
（被覆顔料２の調製）
被覆顔料１の調整で、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６（ＢＡＳＦ社製  ＨＥＬＩＯＧＥＮ  Ｂｌｕｅ  Ｌ６７００Ｆ）を用いて、また重合体１の代わりに重合体２を用いて、他は被覆顔料１の調製と同様にして被覆顔料２を調製した。
【０２５７】
（赤色顔料分散液の調製）
被覆顔料１の顔料相当分３５部に対し、分散剤としてディスパービックｂｙｋ１６１（ビックケミー社製）７．０部、溶剤：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート  ２００部の組成にて、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３時間撹拌して混合し、混合溶液を調製し、さらに０．１ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル（寿工業社製）にて６時間分散処理を行なった。
【０２５８】
（青色顔料分散液の調製）
被覆顔料１を被覆顔料２に変更した以外は、赤色顔料分散液の調製と同様の操作をおこなって、青色顔料分散液を得た。