(57)【要約】【課題】オリフィスプレートの端部に生じる応力の緩和を図ることで、信頼性を向上する。【解決手段】インクを吐出するためのエネルギーを発生する電気熱変換素子Ｈ１１０３を有する基板Ｈ１１１０と、インクを吐出するインク吐出口Ｈ１１０７が電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応する位置に設けられたオリフィスプレートＨ１１０１と、を備える。そして、オリフィスプレートＨ１１０１には、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向に沿って溝Ｈ１２０２が形成され、かつ、この溝Ｈ１２０２の長手方向の端部が、この溝Ｈ１２０２の他の部分よりもオリフィスプレートＨ１１０１の短手方向の中央側に位置している。【選択図】図５
2010030152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するためのエネルギーを発生する素子を有する基板と、インクを吐出するインク吐出口が前記素子に対応する位置に設けられたオリフィスプレートと、を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記オリフィスプレートには、前記オリフィスプレートの長手方向に沿って溝が形成され、かつ、前記溝の長手方向の端部が、前記溝の他の部分よりも前記オリフィスプレートの短手方向の中央側に位置していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記溝の幅方向の端部が前記オリフィスプレートの長手方向に平行な端部近傍に位置している、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記オリフィスプレートの厚みが３０μｍ以上である、請求項１又は２記載にインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記オリフィスプレートが樹脂材によって形成されている、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記溝の長手方向の端部は、前記オリフィスプレートの長手方向と平行に形成されている、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記溝の幅方向における、前記オリフィスプレートの短手方向の中央側に面する一端部が、前記溝の長手方向に沿って波形に形成されている、請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録紙等の被記録材にインクを吐出して記録動作を行うインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドにおける代表的なインク吐出方式としては、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によってインクを吐出させるものが知られている。電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子が、インクが充填された液室内に設けられており、電気熱変換素子に記録信号となる電気パルスを供給して、電気熱変換素子を発熱させることによってインクに熱エネルギーを与える。そのときのインクの相変化により生じる、インクの発泡時（沸騰時）の気泡圧力を利用して、インク吐出口からインクを吐出させることで、被記録材に対して記録を行う。このように、インクに膜沸騰を生じさせ、気泡の形成（発生、成長、消泡、消滅）に伴って、インクを吐出させる、バブルジェット方式のインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置は、低コストで高品位な文字や画像が出力可能である。
【０００３】
このようなインクジェット記録ヘッドは、複数のインク吐出口を有するオリフィスプレートが、基板上に接合されて構成されている。基板の中央には、オリフィスプレート側にインクを供給するためのインク供給口が形成されている。基板の、オリフィスプレートが接合される面には、インク吐出口と対応する位置に複数の電気熱変換素子がそれぞれ設けられている。インク供給口から、電気熱変換素子の上方のインク吐出口までの間はインク流路によって連通されている。インクは、インク供給口からインク流路に供給され、電気熱変換素子の作用で発生する気泡の圧力によって、インク吐出口から吐出される。
【０００４】
このようなインクジェット記録ヘッドの製造方法としては、特許文献１、２等に開示されている。具体的には、電気熱変換素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂層を形成し、続いて、この樹脂層の上に、オリフィスプレートを構成する被覆樹脂層を、スピンコート等によって塗布する。次に、被覆樹脂層にインク吐出口を形成する。最後に、基板にインク供給口を形成し、溶解可能な樹脂層を溶解させる。これにより、溶解された部分が、インク供給口から電気熱変換素子の上方のインク吐出口までを連通するインク流路となる。
【０００５】
このように作製されたインクジェット記録ヘッドでは、被覆樹脂層の熱硬化に伴う収縮等によってオリフィスプレートに大きな応力がかかり、オリフィスプレートが基板から剥離し易くなる。このような剥離は、インクジェット記録ヘッドが長尺化されたり、オリフィスプレートが厚くなったりするのに伴って顕著になる。
【０００６】
このような、オリフィスプレートの基板からの剥離に対する対策としては、特許文献３等に開示されている。具体的には、オリフィスプレートに溝等を設けることによって、オリフィスプレートの体積を減らして、オリフィスプレートにかかる応力を低減させて、剥離を発生しにくくするというものである。また、溝の形状を鋸歯状にするといった構成も、剥離を発生しにくくするのに有効である。
【特許文献１】特願平１０−１５７１５０号公報
【特許文献２】特願平１１−１３８８１７号公報
【特許文献３】特開２００３−８０７１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、オリフィスプレートに溝を設けることによって、オリフィスプレートの絶対的な量を減らす対策は、オリフィスプレートの基板からの剥離に有効である。しかし、オリフィスプレートに溝が設けられた場合には、溝の端部に少なからず応力がかかり、場合によっては、溝の端部に若干の剥離が発生することがある。また、オリフィスプレートの端部も同様に、少なからず応力がかかり、場合によっては、若干の剥離が発生することがある。このとき、溝の端部の剥離と、オリフィスプレートの端部の剥離とが繋がった場合には、更に大きな剥離に発展する可能性がある。
【０００８】
すなわち、オリフィスプレートに溝を設ける場合には、溝の端部の位置に対しても注意を払う必要がある。特に、基板の端部に、電気熱変換素子等を駆動するための回路の特性の測定等を行うためのテスト端子が設けられている場合には、このテスト端子の近傍においてオリフィスプレートの基板からの剥離が生じるのは好ましくない。基本的には、テスト端子上にオリフィスプレートが存在して、インクや湿気が触れない構成である。
【０００９】
また、テスト端子近傍に、電気配線に電力を供給するための電極部が位置されている場合、その領域はエポキシ樹脂を主成分とする封止材によって封止される。この際、結果的に、オリフィスプレートの端部が封止材によって覆われている形態になることが多い。しかし、オリフィスプレートの端部が基板から剥離し、かつ、剥離したオリフィスプレートの端部が封止材で充分に覆われていない場合には、テスト端子がインクや湿気に触れてしまうことが極まれに生じる。テスト端子は、ＧＮＤ（接地）に対して大きな電位を持っている場合があり、テスト端子にインクや湿気が触れることで腐食に至る可能性がある。ただし、腐食は、即時にインクジェット記録ヘッドの性能に対して影響を及ぼす類いの不具合ではない。
【００１０】
そこで、本発明は、上述したような課題を考慮し、オリフィスプレートの端部に生じる応力の緩和を図ることで、信頼性を向上することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した目的を達成するため、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するためのエネルギーを発生する素子を有する基板と、インクを吐出するインク吐出口が素子に対応する位置に設けられたオリフィスプレートと、を備える。そして、オリフィスプレートには、このオリフィスプレートの長手方向に沿って溝が形成され、かつ、この溝の長手方向の端部が、この溝の他の部分よりもオリフィスプレートの短手方向の中央側に位置している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、オリフィスプレートの端部に生じる応力の緩和を図ることによって、インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１から図３は、本発明が実施又は適用される好適なインクジェット記録ヘッドを説明するための図である。以下、これらの図面を参照して各構成要素について説明する。
（１）インクジェット記録ヘッド
本実施例のインクジェット記録ヘッドＨ１０００は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じさせるための熱エネルギーを生成する電気熱変換素子を用いたバブルジェット（登録商標）方式の記録ヘッドである。このインクジェット記録ヘッドＨ１０００は、電気熱変換素子と、インク滴を吐出するインク吐出口とが対向するように配置された、いわゆるサイドシュータ型の記録ヘッドである。
【００１５】
インクジェット記録ヘッドＨ１０００はブラックインクを吐出させるためのものである。この記録ヘッドＨ１０００は、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、記録素子基板Ｈ１０５０、電気配線テープＨ１３００、インク供給保持部材Ｈ１５００、フィルタＨ１７００、インク吸収体Ｈ１６００、蓋部材Ｈ１９００、シール部材Ｈ１８００を備えている。
【００１６】
上述したようなカートリッジタイプのインクジェット記録ヘッドの記録素子基板に設けられているインク吐出口を塞ぐように、表面に保護テープ（不図示）を貼った状態で物流される。
（２）インクジェット記録ヘッドのインクジェット記録装置への装着
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、記録装置本体のキャリッジの装着位置に案内するための装着ガイドＨ１５６０、ヘッドセットレバーによってキャリッジに装着固定するための係合部Ｈ１９３０を備えている。また、インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、キャリッジの所定の装着位置に位置決めするためのＸ方向（キャリッジスキャン方向）の突き当て部Ｈ１５７０、Ｙ方向（被記録材の搬送方向）の突き当て部Ｈ１５８０を備えている。さらに、インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、Ｚ方向（インク吐出方向）の突き当て部Ｈ１５９０を備えている。上述した突き当て部によって位置決めされることで、電気配線テープＨ１３００上の外部信号入力端子Ｈ１３０２がキャリッジ内に設けられた電気接続部のコンタクトピンと正確に電気的な接触を行う。
（３）インクジェット記録装置
次に、上述したようなカートリッジタイプのインクジェット記録ヘッドを搭載可能なインクジェット記録装置について説明する。図３は、インクジェット記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
【００１７】
図３に示す記録装置において、図１に示したインクジェット記録ヘッドＨ１０００がキャリッジ１０２に位置決めして交換可能に搭載されている。キャリッジ１０２には、インクジェット記録ヘッドＨ１０００上の外部信号入力端子を介して各吐出部に駆動信号等を伝達するための電気接続部が設けられている。
【００１８】
キャリッジ１０２は、主走査方向に延在して装置本体に設置されたガイドシャフト１０３に沿って往復移動可能に案内支持されている。そして、キャリッジ１０２は主走査モータ１０４によりモータプーリ１０５、従動プーリ１０６及びタイミングベルト１０７等の駆動機構を介して駆動されるとともにその位置及び移動が制御される。また、キャリッジ１０２には、ホームポジションセンサ１３０が設けられている。これにより、遮蔽板１３６の位置をキャリッジ１０２上のホームポジションセンサ１３０が通過したときの位置を検出することが可能になる。
【００１９】
記録用紙やプラスチック薄板等の被記録材１０８は、給紙モータ１３５からギアを介してピックアップローラ１３１を回転させることによって、オートシートフィーダ（ＡＳＦ）１３２から１枚ずつ分離給紙される。搬送ローラ１０９が更に回転されることによって、インクジェット記録ヘッドＨ１０００の吐出口面と対向する位置（プリント部）を通って搬送（副走査）される。搬送ローラ１０９はＬＦモータ１３４の回転によりギアを介して行われる。その際、給紙されたかどうかの判定と給紙時の頭出し位置の確定は、ペーパエンドセンサ１３３を被記録材１０８が通過した時点で行われる。さらに、被記録材１０８の後端が実際にどこに有り、実際の後端から現在の記録位置を最終的に割り出すためにもペーパエンドセンサ１３３は使用されている。
【００２０】
なお、被記録材１０８は、プリント部において平坦なプリント面を形成するように、その裏面をプラテン（不図示）によって支持されている。この場合、キャリッジ１０２に搭載されたインクジェット記録ヘッドＨ１０００は、それらの吐出口面がキャリッジ１０２から下方へ突出して２組の搬送ローラ対の間で被記録材１０８と平行になるように保持されている。
【００２１】
インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、インク吐出口の配列方向がキャリッジ１０２の走査方向に対して交差するようにキャリッジ１０２に搭載され、これらのインク吐出口からインクを吐出して記録を行う。
【００２２】
（比較例）
以下は、本発明の効果を比較するための比較例である。
【００２３】
図４（ａ）に、比較例の記録素子基板Ｈ１０５１の構成を説明するための一部破断した斜視図を示す。記録素子基板Ｈ１０５１は、電気熱変換素子Ｈ１１０３が配設された基板Ｈ１１１０と、矩形状のオリフィスプレートＨ１１０１とで構成されている。基板Ｈ１１１０には、長溝状の貫通口のインク供給口Ｈ１１０２がＳｉの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成されている。基板Ｈ１１１０上には、オリフィスプレートＨ１１０１が接合されている。オリフィスプレートＨ１１０１は、樹脂材料を用いて、フォトリソグラフィ技術によってインク流路壁Ｈ１１０６やインク吐出口Ｈ１１０７が形成されている。オリフィスプレートＨ１１０１には、インク吐出口Ｈ１１０７及びインク流路（不図示）を囲むようにして、溝Ｈ１１５０が設けられている。溝Ｈ１１５０は、インク流路近傍の応力緩和を図ることにより、インク流路を形成する壁の、基板からの剥離を防止する目的を有している。
【００２４】
また、基板Ｈ１１１０には、Ａｌ等からなる電気配線（不図示）、ヒューズ（不図示）、電極部Ｈ１１０４等が形成されている。電気配線に電力を供給するための電極部Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向に平行な端部近傍には、溝Ｈ１２０１が設けられている。溝Ｈ１２０１は、幅が３０μｍ程度で形成されている。
【００２５】
図４（ｂ）に、記録素子基板Ｈ１０５１の長手方向における一方の端部近傍の上方からの観察図を示す。基板Ｈ１１１０には、アライメントマークＨ１２２０が設けられている。アライメントマークＨ１２２０は、記録素子基板Ｈ１０５１をインク供給保持部材に接合する際の位置決めに使用される。さらに、アライメントマークＨ１２２０の隣には、電気熱変換素子Ｈ１１０３等を駆動するための回路の特性を測定する等のためのテスト端子Ｈ１２３０が設けられている。
【００２６】
このような記録素子基板Ｈ１０５１を使用してインクジェット記録ヘッドを作製した。作製後に、オリフィスプレートＨ１１０１の基板Ｈ１１１０からの剥離を確認したところ、大きな剥離は確認されなかった。更に詳細に確認したところ、溝Ｈ１２０１の端部及びオリフィスプレートＨ１１０１の端部に微小な剥離は確認された。このようなインクジェット記録ヘッドの表面を、色材としてカーボンブラック顔料を含有するブラックインクに浸し、温度６０℃、湿度９０％の環境下に５日間放置した。続いて、テスト端子に電圧２４Ｖを印加した状態で、温度６０℃、湿度９０％の環境下に３００時間放置した。その後、テスト端子を詳細に確認したところ、テスト端子に若干の腐食が確認された。
【００２７】
図４（ｃ）に、試験後の記録素子基板Ｈ１０５１の、若干の腐食が確認されたテスト端子近傍の上方からの観察図を示す。オリフィスプレートＨ１１０１が基板Ｈ１１１０から剥がれた剥離部分Ｈ１２４０が確認され、さらに、剥離部分Ｈ１２４０がオリフィスプレートＨ１１０１の端部からテスト端子の上まで至るものであることが確認された。すなわち、オリフィスプレートＨ１１０１の端部の剥離領域からインクや湿気が入り込み、テスト端子に触れたことが腐食の原因と考えられる。これは、オリフィスプレートＨ１１０１の端部の剥離と、溝Ｈ１２０１の長手方向の端部の剥離とが、試験中に繋がって、オリフィスプレートＨ１１０１の端部からテスト端子の上まで至る大きな剥離が発生したと予想される。これのような剥離を防ぐためには、溝Ｈ１２０１の長手方向の端部を、オリフィスプレートＨ１１０１の端部から離して配置する構成が好ましいと考えられる。
【００２８】
（実施例１）
本実施例では、上述した課題を考慮して、オリフィスプレートに形成された溝の長手方向の端部が、溝の他の部分よりも、オリフィスプレートの中央側に位置する構成について、テスト端子の腐食の有無を確認する。
【００２９】
図５（ａ）に、本実施例の記録素子基板Ｈ１０５２の構成を説明するための一部破断した斜視図を示す。基本構成は、上述の図４と同様である。オリフィスプレートＨ１１０１にはインク吐出口Ｈ１１０７が設けられている。インク吐出口Ｈ１１０７は直径が２１．７μｍ程度で形成されている。オリフィスプレートＨ１１０１の厚さは、インク流路（不図示）部は５２μｍ程度、それ以外は７０μｍ程度で形成されている。すなわち、オリフィスプレートＨ１１０１は、厚みが３０μｍ以上にされている。オリフィスプレートに発生する応力の影響は厚みが３０μｍ以上で大きくなるので、３０μｍ以上のオリフィスプレートに本発明を適用することが好ましい。
【００３０】
基板Ｈ１１１０には電気熱変換素子Ｈ１１０３が配設されている。電気熱変換素子Ｈ１１０３は、幅が３４．８μｍ程度、長さが３７．２μｍ程度の直方形状に形成されている。そして、オリフィスプレートＨ１１０１には、インク吐出口Ｈ１１０７が、電気熱変換素子Ｈ１１０３の上方である、電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応する位置に設けられている。
【００３１】
また、オリフィスプレートＨ１１０１には、インク吐出口Ｈ１１０７及びインク流路（不図示）を囲むようにして、四角形の枠状をなす溝Ｈ１１５０が設けられている。また、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向に平行な側端近傍には、基板Ｈ１１１０からの剥離を防ぐための溝Ｈ１２０２が、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向に沿って形成されている。つまり、溝Ｈ１２０２の短手方向である幅方向の端部は、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向に平行な端部近傍に位置している。
【００３２】
また、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向の端部には、溝Ｈ１２０２の長手方向の端部が位置されている。そして、溝Ｈ１２０２の長手方向の端部は、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向と直交する短手方向に曲げられて伸ばされることで、溝Ｈ１２０２の他の部分よりも、オリフィスプレートＨ１１０１の短手方向の中央側に位置するように構成されている。なお、溝Ｈ１２０２は、短手方向に平行な幅が３０μｍ程度で形成されている。
【００３３】
図５（ｂ）に、記録素子基板Ｈ１０５２の長手方向における一方の端部近傍の上方からの観察図を示す。基板Ｈ１１１０には、アライメントマークＨ１２２０が設けられている。アライメントマークＨ１２２０の隣には、電気熱変換素子Ｈ１１０３等を駆動するための回路の特性を測定する等のためのテスト端子Ｈ１２３０が設けられている。
【００３４】
以上のように構成された記録素子基板Ｈ１０５２を使用してインクジェット記録ヘッドを作製した。作製後に、オリフィスプレートＨ１１０１の基板Ｈ１１１０からの剥離を確認したところ、大きな剥離は確認されなかった。更に詳細に確認したところ、溝Ｈ１２０２の端部及びオリフィスプレートＨ１１０１の端部に微小な剥離が確認された。このようなインクジェット記録ヘッドの表面を、色材としてカーボンブラック顔料を含有するブラックインクに浸し、温度６０℃、湿度９０％の環境下に５日間放置した。続いて、テスト端子に電圧２４Ｖを印加した状態で、温度６０℃、湿度９０％の環境下に３００時間放置した。その後、テスト端子を詳細に確認したところ、腐食は確認されなかった。図５（ｃ）に、試験後の記録素子基板Ｈ１０５２の、テスト端子近傍の上方からの観察図を示す。オリフィスプレートＨ１１０１の基板Ｈ１１１０からの剥離部分Ｈ１２４０は確認されたが、オリフィスプレートＨ１１０１の端部からテスト端子の上まで至るものではないことが確認された。
【００３５】
このように、溝Ｈ１２０２の長手方向の端部を、オリフィスプレートＨ１１０１の端部から離して配置することは、溝Ｈ１２０２の端部の剥離と、オリフィスプレートＨ１１０１の端部の剥離とが繋がり、更に大きな剥離に発展することを防ぐのに有効である。
【００３６】
また、溝Ｈ１２０２の長手方向の端部を、溝Ｈ１２０２の他の部分よりも、オリフィスプレートＨ１１０１の短手方向の中央側に位置させるために、一部に曲点部を有する場合がある。この場合には、曲点部が直角に曲げられた直角形状よりも円弧状に曲げられたＲ形状に形成する方が、曲点部への応力集中が緩和されて好ましいと考えられる。本実施例において、溝Ｈ１２０２の曲点部は、内周側の直径は５１．５μｍ程度、外周側の直径は８１．５μｍ程度をなすＲ形状（円弧状）に形成されている。
【００３７】
（実施例２）
本実施例では、実施例１と同様に、オリフィスプレートに形成された溝の長手方向の端部が、溝の他の部分よりも、オリフィスプレートの中央側に位置する構成における、テスト端子の腐食の有無を確認する。
【００３８】
本実施例のインクジェット記録ヘッドの基本構成は、実施例１と同様である。図６（ａ）に、本実施例の記録素子基板Ｈ１０５３の構成を説明するための一部破断した斜視図を示す。
【００３９】
図６（ｂ）に、記録素子基板Ｈ１０５３の長手方向における一方の端部近傍の上方からの観察図を示す。溝Ｈ１２０３は、長手方向の端部が、この溝Ｈ１２０３の他の部分よりも、オリフィスプレートＨ１１０１の中央側に位置するように構成されている。また、本実施例では、実施例１と比較して、溝Ｈ１２０３の端部を長手方向に沿って延長することによって、オリフィスプレートＨ１１０１の端部に生じる剥離の低減を図っている。溝Ｈ１２０３の長手方向の端部は、オリフィスプレートＨ１１０１の長手方向と平行に形成されている。なお、溝Ｈ１２０３は、短手方向に平行な幅が３０μｍ程度で形成されている。
【００４０】
このような記録素子基板Ｈ１０５３を使用してインクジェット記録ヘッドを作製した。作製後に、オリフィスプレートＨ１１０１の基板Ｈ１１１０からの剥離を確認したところ、大きな剥離は確認されなかった。更に詳細に確認したところ、溝Ｈ１２０３の端部及びオリフィスプレートＨ１１０１の端部に微小な剥離が確認された。しかし、オリフィスプレートＨ１１０１の端部に生じた剥離の程度は、実施例１よりも軽微であった。
【００４１】
このようなインクジェット記録ヘッドにおいて、実施例１に記載と同様の試験を行った後、テスト端子を詳細に確認したところ、腐食は確認されなかった。図６（ｃ）に、試験後の記録素子基板Ｈ１０５３の、テスト端子近傍の上方からの観察図を示す。オリフィスプレートＨ１１０１が基板Ｈ１１１０から剥がれた剥離部分Ｈ１２４０が確認されるが、この剥離部分Ｈ１２４０は、オリフィスプレートＨ１１０１の端部からテスト端子の上まで至るものではないことが確認された。
【００４２】
このように、溝Ｈ１２０３の長手方向の端部を、オリフィスプレートＨ１１０１の端部から離して配置することは、溝Ｈ１２０３の端部の剥離と、オリフィスプレートＨ１１０１の端部の剥離とが繋がり、更に大きな剥離に発展することを防ぐのに有効である。
【００４３】
また、溝が複数の曲点部を有する場合には、実施例１と同様に、曲点部が直角形状よりもＲ形状に形成される方が好ましいと考えられる。本実施例において、溝Ｈ１２０３の曲点部は、内周側の直径は５１．５μｍ程度、外周側の直径は８１．５μｍ程度をなすＲ形状で形成されている。
【００４４】
（実施例３）
本実施例では、実施例１と同様に、オリフィスプレートに形成された溝の長手方向の端部が、溝の他の部分よりも、オリフィスプレートの中央側に位置する構成における、テスト端子の腐食有無を確認する。
【００４５】
本実施例のインクジェット記録ヘッドの基本構成は、実施例１と同様である。図７（ａ）に、本実施例の記録素子基板Ｈ１０５４の構成を説明するための一部破断した斜視図を示す。
【００４６】
図７（ｂ）に、記録素子基板Ｈ１０５４の長手方向における一方の端部近傍の上方からの観察図を示す。溝Ｈ１２０４は、長手方向の端部が、溝Ｈ１２０４の他の部分よりも、オリフィスプレートＨ１１０１の中央側に位置するように構成されている。また、本実施例は、実施例１と比較して、溝Ｈ１２０４の端部を、この溝Ｈ１２０４の長手方向に延長することによって、オリフィスプレートＨ１１０１の端部に生じる剥離の低減を図っている。
【００４７】
また、溝Ｈ１２０４は、短手方向である幅方向における、オリフィスプレートＨ１１０１の中央側に面する一端部、つまり、溝Ｈ１２０４の幅方向の内側の端部が、ギザギザがある波形の形状に形成されている。この波形の形状は、１つの山の高さが１５μｍ程度、幅が２１μｍ程度で形成されており、この山が、２１μｍ程度のピッチで配列されている。また、波形の形状のトップと、溝Ｈ１２０４の長手方向の外側の端部との距離は３５μｍ程度で形成されている。すなわち、溝Ｈ１２０４は、波形の形状のトップ部は、３５μｍ程度、波形の形状のボトム部は２０μｍ程度の幅で形成されている。
【００４８】
このような記録素子基板Ｈ１０５４を使用してインクジェット記録ヘッドを作製した。作製後に、オリフィスプレートＨ１１０１の基板Ｈ１１１０からの剥離を確認したところ、大きな剥離は確認されなかった。更に詳細に確認したところ、溝Ｈ１２０４の端部及びオリフィスプレートＨ１１０１の端部に微小な剥離は確認された。しかし、オリフィスプレートＨ１１０１の端部に生じた剥離の程度は、実施例１よりも軽微であった。また、溝Ｈ１２０４の長手方向の端部に生じた剥離の程度は、実施例２よりも軽微であった。
【００４９】
このようなインクジェット記録ヘッドについて、実施例１の試験と同様の試験を行った後、テスト端子を詳細に確認したところ、腐食は確認されなかった。図７（ｃ）に、試験後の記録素子基板Ｈ１０５４の、テスト端子近傍の上方からの観察図を示す。オリフィスプレートＨ１１０１が基板Ｈ１１１０から剥がれた剥離部分Ｈ１２４０が確認されるが、この剥離部分Ｈ１２４０は、オリフィスプレートＨ１１０１の端部からテスト端子の上まで至るものではないことが確認された。
【００５０】
このように、溝Ｈ１２０４の長手方向の端部を、オリフィスプレートＨ１１０１の端部から離して配置することは、溝Ｈ１２０４の端部の剥離と、オリフィスプレートＨ１１０１の端部の剥離とが繋がり、更に大きな剥離に発展することを防ぐのに有効である。
【００５１】
本発明の思想に沿うものであれば、実施形態は、本明細書の実施例やその他の具体的な形状に限定されるものではない。
【００５２】
なお、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、一般的なプリント装置の他、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】インクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。
【図２】インクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】インクジェット記録装置を示す平面図である。
【図４】比較例の実施形態のインクジェット記録ヘッドを説明するための図である。
【図５】実施例１のインクジェット記録ヘッドを説明するための図である。
【図６】実施例２のインクジェット記録ヘッドを説明するための図である。
【図７】実施例３のインクジェット記録ヘッドを説明するための図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０８  被記録材
Ｈ１０００  インクジェット記録ヘッド
Ｈ１０５０、Ｈ１０５１、Ｈ１０５２、Ｈ１０５３、Ｈ１０５４  記録素子基板
Ｈ１１０１  オリフィスプレート
Ｈ１１０３  電気熱変換素子
Ｈ１１０７  インク吐出口
Ｈ１１１０  基板
Ｈ１２０２  溝
Ｈ１２４０  剥離部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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