(57)【要約】【課題】グレーティング導波路での反射波長を変化させる波長可変動作時におけるクロストークの発生を回避する波長可変光フィルタを提供する。【解決手段】グレーティングが形成された第１および第２の導波路１、２と、第１の導波路１と第２の導波路２との間に配置され、第１の導波路１と第２の導波路２とを直列に接続する第３の導波路３と、各導波路１、２、３に設けられ、各導波路１、２、３の屈折率を変化させる屈折率変化手段４、５、６と、各導波路１、２、３の屈折率変化手段４、５、６を制御して、各導波路１、２、３の屈折率をそれぞれ独立して変化させる屈折率制御手段９とを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射した複数の波長を有する光信号のうち特定の波長の光信号を選択的に反射させる波長可変光フィルタであって、グレーティングが形成された第１および第２の導波路と、前記第１の導波路と前記第２の導波路との間に配置され、前記第１の導波路と前記第２の導波路とを直列に接続する第３の導波路と、前記各導波路に設けられ、前記各導波路の屈折率を変化させる屈折率変化手段と、前記各導波路の前記屈折率変化手段を制御して、前記各導波路の屈折率をそれぞれ独立して変化させる屈折率制御手段とを有する波長可変光フィルタ。
【請求項２】
前記屈折率制御手段が、前記第１および第２の導波路の屈折率の変化を制御して、反射させる前記光信号の波長を第１の波長から第２の波長へと変化させる第１の制御手段と、前記第１、第２および第３の導波路によって構成される導波路列が前記第１の波長と前記第２の波長との間の第３の波長の前記光信号を透過させるように、前記第３の導波路の屈折率を制御する第２の制御手段とを有する、請求項１に記載の波長可変光フィルタ。
【請求項３】
２つの光分岐／合流手段の間に２つ配置され、一方の前記光分岐／合流手段の２つの入力導波路と他方の前記光分岐／合流手段の２つの出力導波路とをそれぞれ接続し、マッハ・ツェンダ型光回路を構成する、請求項１または２に記載の波長可変光フィルタ。
【請求項４】
前記各導波路の前記屈折率変化手段が、前記各導波路を加熱する加熱手段である、請求項１から３のいずれか１項に記載の波長可変光フィルタ。
【請求項５】
前記各導波路の前記屈折率変化手段が、前記各導波路に電流を注入する電流注入手段である、請求項１から３のいずれか１項に記載の波長可変光フィルタ。
【請求項６】
前記各導波路の前記屈折率変化手段が、前記各導波路に電圧を印加する電圧印加手段である、請求項１から３のいずれか１項に記載の波長可変光フィルタ。
【請求項７】
グレーティングが形成された第１および第２の導波路と、前記第１の導波路と前記第２の導波路との間に配置され、前記第１の導波路と前記第２の導波路とを直列に接続する第３の導波路と、前記各導波路に設けられ、前記各導波路の屈折率を変化させる屈折率変化手段と、前記各導波路の前記屈折率変化手段を制御して、前記各導波路の屈折率をそれぞれ独立して変化させる屈折率制御手段とを有し、入射した複数の波長を有する光信号のうち特定の波長の光信号を選択的に反射させる波長可変光フィルタの制御方法であって、
前記第１および第２の導波路の屈折率を調整して第１の波長を有する前記光信号を反射させた後に、前記第１および第２の導波路の屈折率の変化を制御して、反射させる前記光信号の波長を前記第１の波長から第２の波長へと変化させる際に、前記第３の導波路の屈折率を調整することにより、前記第１の波長と前記第２の波長との間の第３の波長の前記光信号が前記第１、第２および第３の導波路によって構成される導波路列を透過できるようにする波長可変光フィルタの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長可変光フィルタ及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ通信システムにおいては、通常、伝送路では光信号が用いられ、信号処理には電気信号が用いられる。しかし、通信の高速化に伴い、伝送路の途中で光電変換を伴う信号処理を削減していくことが期待されている。ネットワークとしての柔軟性や拡張性を維持しながら光電変換を削減していくためには、光信号のままでの様々な制御を導入する必要がある。伝送には波長分割多重（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ、ＷＤＭ）された光信号が多用されてきていることから、光信号のままでの制御の実現に向け、小型化・集積化可能な波長可変光フィルタの実現が望まれている。
【０００３】
このような小型化・集積化を実現するために、例えば、非特許文献１や特許文献１では、グレーティング導波路を用いた波長可変光フィルタが記載されている。
【０００４】
図６は、グレーティング導波路の構造を概略的に示す斜視図である。導波路のコア１４１はシリコンから成り、また、下部クラッド１４２、上部クラッド１４３はシリカガラスから成り、これらはシリコン基板１４４上に形成されている。グレーティング特性は、コアの側面に周期Ｄ、深さｄの凹凸構造を形成することによって発現される。すなわち、導波路コア１４１の実効屈折率をｎeとしたとき、中心波長λB＝２Ｄｎe、波長範囲ΔλBの光が、グレーティング導波路により反射される。ここで、λBはブラッグ波長と呼ばれる。
【０００５】
図７に、このようなグレーティング導波路を利用した波長可変光フィルタ１１０の構成例の概略平面図を示す。マッハ・ツェンダ型の光回路が３ｄＢカプラ１２５、１２６を用いて形成されており、その両アーム間にはグレーティング導波路１１１ａ、１１１ｂが配置されている。また、各導波路１１１ａ、１１１ｂの上部クラッド上には、通電によって熱を発生させる金属ヒータ１１４ａ、１１４ｂが形成されている。ヒータ通電により熱が印加されると、導波路コアの温度変化による屈折率変化が生じ、グレーティング導波路１１１ａ、１１１ｂにおけるブラッグ波長が変化することになる。
【０００６】
波長間隔Δλで並んだ３つの波長λ１、λ２、λ３のＷＤＭ光信号がポート１２３ａに入射されると、このＷＤＭ光信号は３ｄＢカプラ１２５で分岐された後、各グレーティング導波路１１１ａ、１１１ｂでブラッグ波長と同じ波長の光信号が反射される。ここで、λB＝λ１とすると、波長λ１の光信号は、再び３ｄＢカプラ１２６に戻り、そこで合波されてポート１２３ｂから出射される、一方で、波長λ２、λ３の光信号は、グレーティング導波路１１１ａ、１１１ｂを通過し、３ｄＢカプラ１２６で合波された後、ポート１２４ｂから出射される。グレーティング導波路１１１ａ、１１１ｂのブラッグ波長は、金属ヒータ１１４ａ、１１４ｂへの通電によって、波長λ２、λ３へと変化させることができ、それにより、ポート１２３ｂから出射させる光信号の波長が可変となる。
【０００７】
一方で、ＷＤＭ光信号のための波長可変光フィルタの特性として、より広範囲な反射波長領域および波長可変領域に対応可能であることが求められている。これらの目的のために、導波路伝搬方向に複数のグレーティング導波路を接続した構造の波長可変光フィルタが提案されている。
【０００８】
例えば、特許文献２には、反射波長範囲の拡大を図る目的で、位相シフト構造を含むグレーティング導波路が電流注入が行われる光増幅用導波路を介して直列に接続された波長可変光フィルタが記載されている。複数の位相シフトグレーティング導波路においては、透過波長ウィンドウに対して各導波路の反射波長帯域をずらしておくことにより、単一の位相シフトグレーティング導波路の場合に比べて反射波長帯域を広くすることが可能となる。
【０００９】
また、特許文献３には、複数のサンプルドグレーティング導波路に光信号を通過させる構成を用いて、波長可変範囲の拡大を図った波長可変光フィルタが記載されている。各サンプルドグレーティング導波路の反射ピーク波長間隔はわずかに異なっているため、一方のサンプルドグレーティング導波路の屈折率を変化させて反射ピーク波長を変化させる際、小さな屈折率変化量で大きな波長可変量が得られる。複数のサンプルドグレーティング導波路の間の領域は、光増幅を行う領域が形成されている。
【非特許文献１】「アイトリプルイー・フォトニクス・テクノロジー・レターズ（IEEE Photonics Technology Letters）」、（米国）、２００６年、第１８巻、第１３号、ｐ．１４０９−１４１１
【特許文献１】特開平１０−２３９６４５号公報
【特許文献２】特開昭６３−２２３６０５号公報
【特許文献３】特開２００７−２４８９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した波長可変光フィルタにおいては、一般にダイナミッククロストークと呼ばれている、波長可変動作時のクロストークを回避することが課題となっている。以下に、図８を参照しながら、このクロストークについて説明する。
【００１１】
図８（ａ）から図８（ｃ）は、非特許文献１や特許文献１に記載されている波長可変光フィルタの波長可変動作時における、グレーティング導波路の反射波長帯域と入射された光信号の波長との関係を示す図である。これらの図では、フィルタに入射された光信号を上向きの矢印で模式的に示し、それらの光信号に対して、陰影を施した反射波長帯域が変化していく様子を示している。
【００１２】
例えば、グレーティング導波路での反射波長（ブラッグ波長）を、図８（ａ）に示すように波長λ１に設定している状態から、図８（ｃ）に示すように波長λ３に設定している状態へ変化させる。この波長可変動作時においては、フィルタとしての機能上、波長λ２の光信号に対しては何の影響も与えないことが求められる。しかし、グレーティング導波路コアに熱印加を行って屈折率を連続的に変化させるため、それに伴い、ブラッグ波長も連続的に変化することになる。そのため、図８（ｂ）に示すように、波長λ２の光信号を反射させ遮断してしまう状態が一時的に発生することになる。
【００１３】
一方で、特許文献２や特許文献３に記載された波長可変光フィルタは、複数波長の光信号から単一波長の光信号を選択する動作を前提としており、選択する波長を変化させる動作については考慮されていない。そのため、選択する波長以外の光信号に対して波長可変動作時に生じるダイナミッククロストークについても考慮されていない。
【００１４】
そこで本発明は、グレーティング導波路での反射波長を変化させる波長可変動作時におけるクロストークの発生を回避する波長可変光フィルタを提供することを目的とする。また、本発明は、その波長可変光フィルタの制御方法を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述した目的を達成するために、本発明の波長可変光フィルタは、入射した複数の波長を有する光信号のうち特定の波長の光信号を選択的に反射させる波長可変光フィルタであって、グレーティングが形成された第１および第２の導波路と、前記第１の導波路と前記第２の導波路との間に配置され、前記第１の導波路と前記第２の導波路とを直列に接続する第３の導波路と、前記各導波路に設けられ、前記各導波路の屈折率を変化させる屈折率変化手段と、前記各導波路の前記屈折率変化手段を制御して、前記各導波路の屈折率をそれぞれ独立して変化させる屈折率制御手段とを有している。
【００１６】
また、本発明の波長可変光フィルタの制御方法は、グレーティングが形成された第１および第２の導波路と、前記第１の導波路と前記第２の導波路との間に配置され、前記第１の導波路と前記第２の導波路とを直列に接続する第３の導波路と、前記各導波路に設けられ、前記各導波路の屈折率を変化させる屈折率変化手段と、前記各導波路の前記屈折率変化手段を制御して、前記各導波路の屈折率をそれぞれ独立して変化させる屈折率制御手段とを有し、入射した複数の波長を有する光信号のうち特定の波長の光信号を選択的に反射させる波長可変光フィルタの制御方法であって、前記第１および第２の導波路の屈折率を調整して第１の波長を有する前記光信号を反射させた後に、前記第１および第２の導波路の屈折率の変化を制御して、反射させる前記光信号の波長を前記第１の波長から第２の波長へと変化させる際に、前記第３の導波路の屈折率を調整することにより、前記第１の波長と前記第２の波長との間の第３の波長の前記光信号が前記第１、第２および第３の導波路によって構成される導波路列を透過できるようにする。
【発明の効果】
【００１７】
以上、本発明によれば、グレーティング導波路での反射波長を変化させる波長可変動作時におけるクロストークの発生を回避する波長可変光フィルタ、およびその制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の波長可変光フィルタにおける実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態における波長可変光フィルタを概略的に示す平面図である。
【００２０】
本実施形態の波長可変光フィルタ１０は、それぞれグレーティングが形成された２つのグレーティング導波路１、２と、接続導波路３とを有している。接続導波路３は、２つのグレーティング導波路１、２の間に配置され、これらの導波路１、２を直列に接続している。各導波路１、２、３は、シリコンから成るコアと、シリカガラスから成る下部クラッドおよび上部クラッドとが、シリコン基板上に形成されて構成されている。グレーティング導波路１、２のグレーティング特性は、コアの側面に周期Ｄ、深さｄの凹凸構造を形成することによって発現されている。すなわち、導波路コアの実効屈折率をｎeとしたとき、ブラッグ波長と呼ばれる中心波長λB＝２Ｄｎe、波長範囲ΔλBの光が、グレーティング導波路１、２によって反射されることになる。
【００２１】
各導波路１、２、３には、通電によって熱を発生し、各導波路１、２、３のコアを加熱して、温度変化による屈折率変化を生じさせる金属ヒータ４、５、６が、それぞれの上部クラッド上に設けられている。グレーティング導波路１、２に設けられた金属ヒータ４、５は、反射させる光の波長（ブラッグ波長）を変化させるために用いられ、接続導波路３に設けられた金属ヒータ６は、後述する屈折率調整用に用いられている。各金属ヒータ４、５、６間には、各導波路１、２、３のコアを熱的に分離させるための溝７、８が形成されており、これにより、各導波路１、２、３をそれぞれ異なる温度に設定することができる。また、各金属ヒータ４、５、６は、導線等によって、電源を備えた制御装置９と接続されている。制御装置９は、各金属ヒータ４、５、６に流す電流をそれぞれ独立して制御可能であり、したがって、各導波路１、２、３の屈折率は、それぞれの目的のために、それぞれ独立に変化させることが可能となる。
【００２２】
本実施形態の波長可変光フィルタ１０では、反射器として機能するグレーティング導波路１、２が接続導波路３によって接続されていることで、導波路列１−３がエタロンを形成することが特徴となる。通常、２つの反射器（グレーティング導波路）間の長さがＬ、屈折率がｎであるエタロンに対して、ｍλ＝２ｎＬ（ｍ：整数）を満たす波長λの光が透過する。したがって、本実施形態の波長可変光フィルタ１０は、グレーティング導波路１、２の間の接続導波路３の屈折率を上記の関係を満たすように制御装置によって制御することで、任意の波長の光信号を透過させることが可能となる。
【００２３】
以下に、このエタロンの効果に基づいた、波長可変動作時におけるクロストークの回避動作について、図２および図３を参照して説明する。
【００２４】
図２および図３は、本実施形態の波長可変光フィルタ１０の波長可変動作時における、グレーティング導波路１、２の反射波長帯域（ブラッグ波長）と入射された光信号の波長との関係を示す図である。これらの図では、フィルタ１０に入射された光信号を上向きの矢印で模式的に示し、それらの光信号に対して、陰影を施した反射波長帯域が変化していく様子を示している。また、導波路列１−３によって形成されたエタロンの透過波長帯域は破線で示している。
【００２５】
まず、図２を参照しながら、波長間隔Δλで並んだ３つの波長λ１、λ２、λ３のＷＤＭ光信号がポート９へ入射されている場合について説明する。
【００２６】
初期状態では、図２（ａ）に示すように、グレーティング導波路１、２のブラッグ波長が、波長λ１に設定されている。すなわち、ポート９から入射された３つの波長の光信号のうち、波長λ１の光信号はポート２１へ戻り、波長λ２、λ３の光信号はポート２２へ導かれる。
【００２７】
ここで、金属ヒータ４、５への通電によって、グレーティング導波路１、２の屈折率を変化させて、反射させる光信号の波長であるブラッグ波長を、波長λ１から波長λ３へと変化させる波長可変動作をおこなう。
【００２８】
導波路コアの温度は連続的に変化するため、グレーティング導波路１、２のブラッグ波長も連続的に変化して、図２（ｂ）に示すように、一時的に波長λ２に一致した状態となる。このとき、従来の波長可変光フィルタであれば、グレーティング導波路が反射器として機能して、波長λ２の光信号を一時的に遮断することになる。しかし、本実施形態の波長可変光フィルタ１０では、波長λ２が上記の透過波長条件を満たすように、金属ヒータ６への通電を制御することで接続導波路３の屈折率が調整され、図２（ｂ）に破線で示すように、導波路列１−３によって構成されるエタロンの透過波長帯域を波長λ２に合わせることができる。これにより、グレーティング導波路１、２のブラッグ波長が波長λ２であっても、波長λ２の光信号は導波路列１−３を透過することが可能となる。
【００２９】
その後、図２（ｃ）に示すように、ブラッグ波長は波長λ３に設定されて、波長可変動作は完了する。このようにして、本実施形態の波長可変光フィルタ１０では、波長λ１から波長λ３までの波長可変動作時における、所望しない波長λ２の光信号の一時的な遮断を回避することが可能となる。
【００３０】
次に、図３を参照しながら、波長間隔Δλで並んだ４つの波長λ１、λ２、λ３、λ４のＷＤＭ光信号が入射され、グレーティング導波路１、２のブラッグ波長を波長λ１から波長λ４へと変化させる波長可変動作の場合について説明する。ここでは、図２で説明した所定の１つの波長の光信号に対するクロストークの回避動作に対して、所定の複数の波長の光信号に対するクロストークの回避動作も可能であることを説明する。
【００３１】
まず、２つのグレーティング導波路１、２間の距離を調整して、グレーティング導波路１、２に基づくエタロンの透過波長の間隔が入射光の波長間隔Δλとなるように設定しておく。これにより、接続導波路３の屈折率の調整によってエタロンの透過波長が一旦１つの波長に設定されると、他の波長の光信号に対してもエタロンは同様に透過を示すことになる。
【００３２】
初期状態では、図３（ａ）に示すように、グレーティング導波路１、２のブラッグ波長は、波長λ１に設定されている。ここで、まず、エタロンの透過波長が波長λ１となるように接続導波路３の屈折率の調整が行われ、これにより、波長λ２、λ３の光信号がエタロンを透過できるようになる。その後、グレーティング導波路１、２のブラッグ波長を波長λ４まで変化させる。その際に、グレーティング導波路１、２は、図３（ｂ）に示すように、一時的に波長λ２の光信号に対する反射器となりうるが、エタロンの透過波長が波長λ２に調整されていることにより、波長λ２の光信号の一時的な遮断を回避することが可能となる。さらに、図３（ｃ）に示すように、ブラッグ波長が波長λ３となった際にも、エタロンは波長λ３の光信号を透過させるように調整されているため、波長λ３の光信号に対しても一時的な遮断を回避することが可能となる。その後、図３（ｄ）に示すように、ブラッグ波長は波長λ４に設定されて、波長可変動作は完了する。
【００３３】
以上のように、本実施形態における波長可変光フィルタ１０では、反射器として機能する２つのグレーティング導波路１、２が接続導波路３によって接続されることにより、導波路列１−３が任意の波長の光信号を透過させるエタロンを形成することになる。これにより、各グレーティング導波路１、２がブラッグ波長に等しい波長の光を反射させる一方で、導波路列１−３は、接続導波路３の屈折率を調整することで、エタロンの効果により任意の波長の光信号を透過させることが可能となる。このようにして、本実施形態における波長可変光フィルタ１０は、所望しない波長の光信号を透過させることで、波長可変動作時における一時的な光信号の遮断によるクロストークを回避することが可能となる。
【００３４】
本実施形態の波長可変光フィルタは、マッハ・ツェンダ型の光回路に組み込んで用いることも可能である。図４に、本実施形態の波長可変光フィルタを用いて構成したマッハ・ツェンダ型の光回路の概略平面図に示す。
【００３５】
光分岐／合流器である２つの３ｄＢカプラ２５、２６を接続するために、エタロンを形成する２つの導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂが、各アーム間にそれぞれ配置されており、それにより、マッハ・ツェンダ型の光回路が構成されている。各導波路１１ａ、１２ａ、１３ａ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂの上部クラッド上に設けられた金属ヒータ１４ａ、１５ａ、１６ａ、１４ｂ、１５ｂ、１６ｂは、上述と同様な目的のために用いられている。また、各導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂにおいて隣接する金属ヒータ間に設けられた溝１７、１８の機能および効果についても、上述と同様である。
【００３６】
このマッハ・ツェンダ型の光回路においては、ポート２３ａから入射されたＷＤＭ光信号は、３ｄＢカプラ２５で分岐された後、３ｄＢカプラ２５の両アームに接続された各グレーティング導波路１１ａ、１２ａ、１１ｂ、１２ｂで、ブラッグ波長と同じ波長の光信号が反射される。反射された光信号が再び３ｄＢカプラ２５に戻り、そこで合波されてポート２３ｂから出射される一方で、それ以外の波長の光信号は、各導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂを通過して、３ｄＢカプラ２６で合波された後、ポート２４ｂから出射されることになる。
【００３７】
各導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂにおける、波長可変動作時でのクロストークの回避動作については、上述と同様の手順でそれぞれ行われることになる。ここでは、クロストークの回避動作の具体的な制御例について、マッハ・ツェンダ型の光回路に制御系を設けた場合を例に挙げて説明する。
【００３８】
図５には、図４に示したマッハ・ツェンダ型光回路に、各導波路の屈折率変化の制御を行う制御系を設けた構成例を概略的に示している。
【００３９】
この構成例における制御系には、導線等によって各ヒータと接続した制御装置１９と、制御装置１９に接続された受光器２７と、ポート２４ｂ上に設けられ、透過させたい所定の波長の光信号を分離して受光器２７に入力するための分波器２８とが含まれている。制御装置１９は、各導波路の屈折率を独立して変化させるために、各ヒータに流す電流を独立して制御することができ、また、分波器２８で分離された光信号の受光器２７での受光量に応じた、各導波路の屈折率制御も行うことができる。
【００４０】
以下に、波長間隔Δλで並んだ４つの波長λ１、λ２、λ３、λ４のＷＤＭ光信号がポート２３ａへ入射されている場合について説明する。初期状態では、各グレーティング導波路１１ａ、１２ａ、１１ｂ、１２ｂのブラッグ波長は、波長λ１に設定されている。このとき、波長λ１の光信号は、３ｄＢカプラ２５で分岐された後、各導波路１１ａ、１２ａ、１１ｂ、１２ｂで反射され、再び３ｄＢカプラ２５で合波されて、ポート２３ｂから出射される。一方で、波長λ２、λ３、λ４の光信号は、各導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂを通過して、３ｄＢカプラ２６で合波された後、ポート２４ｂから出射されるが、このうち波長λ２の光信号は分波器２８で分離され受光器２７へと送られることになる。
【００４１】
この波長λ２の光信号は、波長可変動作時のクロストークを回避するためのモニター光として用いられる。波長可変動作時においては、グレーティング導波路１１ａ、１２ａ、１１ｂ、１２ｂへの熱印加による屈折率変化を利用して、そのブラッグ波長を波長λ２から波長λ４へと変化させることになる。その間に、受光器２７における波長λ２の光信号の受光量が常に最大になるように、接続導波路１３ａ、１３ｂの屈折率が制御装置１９によって制御される。すなわち、エタロンの効果によって各導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂを透過する波長λ２の光信号の透過量が最大となるように、接続導波路１３ａ、１３ｂの屈折率が調整される。このとき、各導波路列１１ａ−１３ａ、１１ｂ−１３ｂによって形成されるエタロンの透過波長の間隔は、前述のように、予め入射光の波長間隔Δλと等しくなるように調整しておく。これにより、波長λ２の光信号の透過量が最大となるように制御されていれば、波長λ３の光信号の透過量も同時に最大にすることが可能となる。したがって、ブラッグ波長を波長λ２から波長λ３へと変化させる際にも、波長λ２の光信号のみをモニターするだけで、波長λ２の光信号だけでなく波長λ３の光信号に対する一時的な遮断も回避することが可能となる。
【００４２】
このように、実際に波長可変動作時に透過させる光信号をモニターして制御を行うことで、波長可変動作時におけるクロストークの回避動作を効率良く行うことができる。もちろん、このような分波器や受光器を含む制御系は、図１に示した波長可変光フィルタにも適用可能である。
【００４３】
以上、本実施形態では、波長可変光フィルタを構成する導波路列が２つのグレーティング導波路と１つの接続導波路とを有する場合について説明したが、導波路列の構成はこれに限定されない。１つの導波路列が、３つ以上のグレーティング導波路とそれらの間に配置された２つ以上の接続導波路とから構成されていてもよい。その場合、これらの導波路によって形成されるエタロンの透過波長帯域（図２および図３参照）の形状を矩形に変化させることで、エタロンの効果によりフィルタを透過する光信号の波形劣化を抑制することができる。それにより、波長可変動作時におけるクロストークの回避動作がより確実に行えることが有利となる。
【００４４】
また、本実施形態の波長可変光フィルタの導波路を構成する材料として、コアおよびクラッドに対して、それぞれシリコンおよびシリカガラスを用いた場合について説明したが、導波路構成材料はこれに限定されない。例えば、コアおよびクラッドを共に、シリカガラス、化合物半導体、有機材料等で形成した導波路についても同様の効果を得ることができる。また、各導波路の屈折率変化手段についても、上述したような導波路を加熱する加熱手段（金属ヒータ）だけでなく、導波路に電流を注入する電流注入手段や電圧を印加する電圧印加手段を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態における波長可変光フィルタを概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態における波長可変光フィルタの波長可変動作時におけるクロストークの回避動作を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施形態における波長可変光フィルタの波長可変動作時におけるクロストークの回避動作を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施形態における波長可変光フィルタをマッハ・ツェンダ型光回路に組み込んだ構成例を概略的に示す平面図である。
【図５】図４のマッハ・ツェンダ型光回路に制御系を設けた構成例を概略的に示す平面図である。
【図６】グレーティング導波路を示す斜視図である。
【図７】マッハ・ツェンダ型光回路によって構成された従来の波長可変光フィルタを概略的に示す平面図である。
【図８】従来の波長可変光フィルタの波長可変動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４６】
１、２、１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ  グレーティング導波路
３、１３ａ、１３ｂ  接続導波路
４−６、１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ  金属ヒータ
２５、２６  ３ｄＢカプラ
９、１９  制御装置
１０  波長可変光フィルタ
【図１】
2010117570.tif 000003
【図２】
2010117570.tif 000004
【図３】
2010117570.tif 000005
【図４】
2010117570.tif 000006
【図５】
2010117570.tif 000007
【図６】
2010117570.tif 000008
【図７】
2010117570.tif 000009
【図８】
2010117570.tif 000010