(57)【要約】【課題】優れた耐スパッタ性及び加工性を備え、管電圧を低くすることができる冷陰極蛍光管用電極及びそれを用いた冷陰極蛍光管を提供する。【解決手段】冷陰極蛍光管１は、全量に対して０．１〜１０質量％の範囲のＭｏと、Ｆｅ及び不可避的不純物とを含有する合金からなる冷陰極蛍光管用電極３を備える。冷陰極蛍光管用電極３は、前記合金が、全量に対して１．５〜５．５質量％の範囲のＭｏを含有することが好ましく、さらにＲｕを含有することが好ましい。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
全量に対して０．１〜１０質量％の範囲のＭｏと、Ｆｅ及び不可避的不純物とを含有する合金からなることを特徴とする冷陰極蛍光管用電極。
【請求項２】
前記合金は、全量に対して１．５〜５．５質量％の範囲のＭｏを含有することを特徴とする請求項１記載の冷陰極蛍光管用電極。
【請求項３】
前記合金は、全量に対して５質量％以下のＲｕをさらに含有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の冷陰極蛍光管用電極。
【請求項４】
全量に対して０．１〜１０質量％の範囲のＭｏと、Ｆｅ及び不可避的不純物とを含有する合金からなる冷陰極蛍光管用電極を備えることを特徴とする冷陰極蛍光管。
【請求項５】
前記合金は、全量に対して１．５〜５．５質量％の範囲のＭｏを含有することを特徴とする請求項４記載の冷陰極蛍光管。
【請求項６】
前記合金は、全量に対して５質量％以下のＲｕをさらに含有することを特徴とする請求項４又は請求項５記載の冷陰極蛍光管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷陰極蛍光管用電極及びそれを用いた冷陰極蛍光管に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのバックライト用光源等として、冷陰極蛍光管が広く用いられている。冷陰極蛍光管は、内部にＨｇとＡｒ，Ｎｅ等の不活性ガスとが封入されるとともに内壁面に蛍光体が塗着された細径のガラス管と、該ガラス管内の両端に管軸方向に互いに対向させて取り付けられた１対の冷陰極蛍光管用電極とを備える。冷陰極蛍光管では、１対の冷陰極蛍光管用電極間に高電圧を印加することにより電界が発生し、非加熱状態の陰極（冷陰極）から電子が放出される。次いで、この電子がＨｇ原子に衝突することによりＨｇ原子が励起され、該Ｈｇ原子が励起状態から基底状態に遷移するときに放出された紫外線が蛍光体に照射することにより該蛍光体から可視光が放出される。
【０００３】
従来、冷陰極蛍光管用電極として、実質的にＭｏのみからなるものが知られている（例えば特許文献１参照）。前記冷陰極蛍光管用電極は、管電圧が低くエネルギー効率が良好であるものの、Ｍｏが極めて高価であるため製造コストが高い上に、Ｍｏは硬度が大きいため電極への加工が困難であるという不都合がある。
【０００４】
そこで、製造コストを抑えるとともに良好な加工性を得るためにＭｏの含有量を低減したものとして、全量に対して６〜３５質量％の範囲のＭｏを含有し、残部がＮｉ及び不可避的不純物である合金からなる冷陰極蛍光管用電極が知られている（例えば特許文献２参照）。しかしながら、前記冷陰極蛍光管用電極は、該電極を構成するＮｉがスパッタされやすく、スパッタされたＮｉ原子がガラス管内に封入されたＨｇ原子と反応して該Ｈｇ原子が消耗するため、冷陰極蛍光管の寿命が短くなるという不都合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１３３２０１号公報
【特許文献２】特開２００６−１２５０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、かかる不都合を解消して、優れた耐スパッタ性及び加工性を備え、管電圧を低くすることができる冷陰極蛍光管用電極及びそれを用いた冷陰極蛍光管を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、前記目的を達成するために種々検討を重ね、Ｍｏよりも低コスト化が可能であり且つＮｉよりも耐スパッタ性に優れる金属元素として、Ｆｅに着目した。しかし、実質的にＦｅのみからなる冷陰極蛍光管用電極は、放電特性に課題が残るため、Ｆｅを主成分として種々の金属元素の添加を試みた。その結果、所定の範囲のＭｏを含むＦｅ基合金からなる冷陰極蛍光管用電極は、実質的にＭｏのみからなる前記冷陰極蛍光管用電極に匹敵する放電特性と耐スパッタ性との両立が可能であることを見出した。
【０００８】
そして、本発明者らは、Ｍｏを含有するＮｉ基合金からなる前記冷陰極蛍光管用電極において、ＮｉをＦｅに代えることにより、驚くべきことには耐スパッタ性を向上させることができ、さらに、Ｍｏの含有量を０．１〜１０質量％の範囲とすることにより、管電圧を低くすることができることを知見した。さらに、実質的にＦｅのみからなる冷陰極蛍光管用電極の場合には発錆するという問題があるが、前記範囲のＭｏを含有し、残部が実質的にＦｅである合金からなる冷陰極蛍光管用電極とすることにより、Ｍｏが酸素を優先的に捕獲し被膜を生じる結果、発錆を抑制することができることを知見した。
【０００９】
そこで、前記目的を達成するために、本発明の冷陰極蛍光管用電極は、全量に対して０．１〜１０質量％の範囲のＭｏと、Ｆｅ及び不可避的不純物とを含有する合金からなることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の冷陰極蛍光管用電極は、より低い管電圧を実現するために、前記合金が全量に対して１．５〜５．５質量％の範囲のＭｏを含有することが好ましい。
【００１１】
本発明の冷陰極蛍光管用電極において、前記合金は、全量に対して５質量％以下のＲｕをさらに含有することができる。前記構成によれば、管電圧をさらに低くすることができる。また、前記構成によれば、前記合金中のＲｕが酸素を取り込んで酸化ルテニウムからなる被膜を形成することにより、該合金中のＦｅの発錆をさらに抑制することができる。
【００１２】
本発明の冷陰極蛍光管用電極は、冷陰極蛍光管に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態の冷陰極蛍光管及び冷陰極蛍光管用電極を示す説明図。
【図２】実施例１〜６の冷陰極蛍光管用電極を備える冷陰極管の電気抵抗率を示すグラフ。
【図３】実施例１の冷陰極蛍光管用電極を備える冷陰極管の電流電圧特性を示すグラフ。
【図４】実施例１〜６の冷陰極蛍光管用電極を備える冷陰極管の管電圧比を示すグラフ。
【図５】実施例１，７の冷陰極蛍光管の寿命を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、添付の図面を参照しながら本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。図１に示す本実施形態の冷陰極蛍光管１は、液晶ディスプレイのバックライト用光源等に用いられるものであり、例えば直径３ｍｍ、長さ３００ｍｍのガラス管２と、ガラス管２内の両端に取り付けられた１対の冷陰極蛍光管用電極３（以下、単に電極３と略記することがある）とを備える。
【００１５】
ガラス管２は、内壁面にそれ自体周知の蛍光体が塗着されていて、内部にＨｇとＡｒ，Ｎｅ等の不活性ガスとが封入されている。
【００１６】
冷陰極蛍光管用電極３は、例えば、一方が開口する有底筒状体であって、開口部の外径が２．１ｍｍ、肉厚が０．１５ｍｍ、長さが７．０ｍｍとなっている。冷陰極蛍光管用電極３は、薄板状としてもよいが、前記有底筒状体であることにより、電子を放出させ易くすることができる。
【００１７】
１対の各冷陰極蛍光管用電極３は、前記開口部をガラス管２の軸方向に互いに対向させて、ガラス管２内に取り付けられている。冷陰極蛍光管用電極３の底部には、コバール線からなり、ガラス管２に封着されてガラス管２の外方に突出する封着ピン４が接続されている。封着ピン４の冷陰極蛍光管用電極３とは反対側の端部には、ジュメット線からなる外部リード線５が接続されている。また、封着ピン４には、ガラス管２との封着用ガラスビーズ（図示せず）が取り付けられている。
【００１８】
冷陰極蛍光管用電極３は、Ｆｅと、全量に対して０．１〜１０質量％の範囲のＭｏと、不可避的不純物とを含有する合金からなる。
【００１９】
本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３は、該電極３を構成する前記合金において基となる元素をＦｅとしたことにより、該電極３表面及び該電極３からのスパッタ粒子とガラス管２内のＨｇ原子との反応を抑制しＨｇの消耗を抑制する結果、冷陰極蛍光管１の寿命を長くすることができる。また、本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３は、該電極３を構成する前記合金において基となる元素をＦｅとしたことにより、電極としての基本的な電気特性と優れた加工性とを得ることができる上に、低コスト化することができる。
【００２０】
しかし、冷陰極蛍光管用電極３を構成する前記合金が実質的にＦｅのみでは、放電特性に課題が残る。そこで、本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３では、前記合金に前記範囲のＭｏを添加している。
【００２１】
本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３は、前記合金が前記範囲のＭｏを含有することにより、放電時の管電圧を低下させて電子放出特性を向上させることができる。また、本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３は、前記合金が前記範囲のＭｏを含有することにより、Ｆｅ基合金の発錆を抑制することができる。また、本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３は、前記合金が前記範囲のＭｏを含有することにより、Ｆｅ基合金とＨｇとの反応を抑制することができる。
【００２２】
冷陰極蛍光管用電極３を構成する前記合金において、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１質量％未満の場合には、電子放出特性を向上させることができず、管電圧を低くすることができない。また、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１質量％未満の場合には、Ｆｅ基合金の発錆を抑制することができず、且つ、Ｆｅ基合金とＨｇとの反応を十分に抑制することもできない。
【００２３】
一方、前記合金において、Ｍｏの含有量が全量に対して１０質量％を超える場合には、該合金中にＦｅ２Ｍｏ、Ｆｅ３Ｍｏ３等の脆性を示す金属間化合物が形成され、あるいは、硬度が大きくなることにより加工性が低くなるために、所望の形状を備える冷陰極蛍光管用電極３を形成することができない。
【００２４】
また、上述したＭｏ含有の効果をより確実に得るためには、前記合金において、Ｍｏの含有量は全量に対して１．５〜５．５質量％の範囲であることが好ましい。
【００２５】
また、本実施形態の冷陰極蛍光管用電極３は、Ｆｅと、全量に対して０．１〜１０質量％の範囲のＭｏと、不可避的不純物とに加えて、全量に対して５質量％以下のＲｕをさらに含有する合金からなるものを用いることができる。この場合には、管電圧をさらに低くすることができ、冷陰極蛍光管１の寿命を長くすることができる。
【００２６】
前記合金において、Ｒｕの含有量が全量に対して５質量％を超えても、管電圧をさらに低くすることはできない上に、コストが上昇してしまう。前記合金において、Ｒｕ添加による管電圧低下の効果を確実に得るためには、Ｒｕの含有量を全量に対して０．１〜５質量％の範囲とするとよい。
【００２７】
次に、本実施形態の冷陰極蛍光管１及び冷陰極蛍光管用電極３について、実施例と比較例とを示す。
【実施例１】
【００２８】
本実施例では、まず、ＦｅとＭｏとからなるインゴット１０ｋｇを真空溶解炉にて溶解して溶湯を調製し、該溶湯から所定の形状のブロックを製造した。前記ブロックは、全量に対して３．４質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金からなる。前記不可避的不純物は、前記合金の全量に対して、０．１０質量％以下のＣと、０．５０質量％以下のＳｉと、０．５０質量％以下のＭｎと、０．０５質量％以下のＰと、０．０５質量％以下のＳとを含有している。
【００２９】
次に、前記ブロックに対し１１００℃の温度で熱間鍛造を行い、厚さ２０ｍｍの板材を得た。次に、前記厚さ２０ｍｍの板材をワイヤーカットすることにより、厚さ１ｍｍの板材を得た。次に、前記厚さ１ｍｍの板材を研磨することにより、前記ワイヤーカットで生じた酸化スケールを除去した。
【００３０】
次に、前記酸化スケールが除去された厚さ１ｍｍの板材に対し、常温での冷間圧延と、水素雰囲気下８００℃の温度での焼鈍とをこの順で繰り返し行うことにより、厚さ０．２ｍｍの薄板材を得た。次に、前記厚さ０．２ｍｍの薄板材を、水素雰囲気下８００℃での焼鈍を１０分間行った後に、常温に冷却することにより、冷陰極蛍光管用電極３に用いられる電極材料を得た。
【００３１】
次に、本実施例で得られた電極材料について、ビッカース硬さを測定したところ、１５６ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００３２】
次に、不可避的不純物を除き実質的にＮｉのみからなる電極材料（参考例１）について、本実施例と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、７５ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００３３】
次に、本実施例で得られた電極材料について、４探針法により電気抵抗率を測定したところ、１９．７μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００３４】
次に、参考例１の電極材料について、本実施例と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、４．６μΩ・ｃｍであった。結果を表１に示す。
【００３５】
次に、本実施例で得られた電極材料から、縦２０ｍｍ、横２０ｍｍ、厚さ０．２ｍｍの試験片２枚を製造した。
【００３６】
まず、１枚目の試験片について、大気中に２１６０時間放置し、発錆の有無を確認したところ、発錆は確認されなかった。
【００３７】
次に、２枚目の試験片について、スパッタ装置の真空チャンバー内に設置し、５．３３×１０−１ＰａのＡｒ雰囲気下、投入電力１５０Ｗの条件で８時間連続スパッタを行った。次に、連続スパッタされた前記試験片の重量減を測定することにより、本実施例で得られた電極材料におけるスパッタ率を算出した。
【００３８】
次に、参考例１の電極材料について、本実施例と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は５９％に相当した。結果を表１に示す。表１において、スパッタ率は、その値が小さい程、スパッタによる消耗が少なく、耐スパッタ性が優れることを意味している。
【００３９】
次に、本実施例で得られた電極材料から、縦１５ｍｍ、横１．５ｍｍ、厚さ０．２ｍｍの薄板状の本実施例の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造した。
【００４０】
次に、本実施例で得られた冷陰極蛍光管用電極３の性能評価を行うために、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に、１対の薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を備える冷陰極管Ａを製造した。冷陰極管Ａは、後で冷陰極蛍光管用電極３からスパッタされた原子の有無及びＨｇとの反応を調べる際の便宜を考慮して、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管を用いることとしたものである。
【００４１】
まず、冷陰極管Ａを製造するために、本実施例で得られた１対の薄板状の冷陰極蛍光管用電極３の端部にコバール線からなる封着ピン４を接続し、該封着ピン４の該電極３とは反対側の端部にジュメット線からなる外部リード線５を接続した。封着ピン４には、ガラス管との封着用ガラスビーズ（図示せず）が取り付けられている。
【００４２】
次に、内壁面に蛍光体が塗着されていない直径３ｍｍ、長さ３００ｍｍのガラス管内の両端に、封着ピン４が接続された薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を取り付けた。このとき、１対の冷陰極蛍光管用電極３は、封着ピン４が接続されていない側の端部が互いに対向するように、軸方向に取り付けられた。
【００４３】
次に、前記ガラス管の内部にＨｇとＡｒガス及びＮｅガスとを封入した後に、封着ピン４と該ガラス管とを封着した。このとき、封着ピン４を前記ガラス管の外方に突出させることにより、冷陰極管Ａを得た。
【００４４】
次に、得られた冷陰極管Ａについて、１対の前記電極３の間に、５ｍＡ，６ｍＡ，７ｍＡ，８ｍＡの管電流をそれぞれ印加し、それぞれの管電流に対して生じた管電圧を測定した。結果を図３に示す。
【００４５】
次に、不可避的不純物を除き実質的にＭｏのみからなる電極材料を用いた以外は、本実施例と全く同一にして、参考例２としての薄板状の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、１対の該電極を備える冷陰極管Ｂを製造した。得られた冷陰極管Ｂについて、１対の前記電極の間に、５ｍＡ，６ｍＡ，７ｍＡ，８ｍＡの管電流をそれぞれ印加し、それぞれの管電流に対して生じた管電圧を測定した。結果を図３に示す。また、前記冷陰極管Ａ（本実施例の冷陰極蛍光管用電極３を備える）に８ｍＡの管電流を印加したときに生じた管電圧を、前記冷陰極管Ｂ（参考例２の冷陰極蛍光管用電極を備える）の管電圧に対する比として、図４に示す。
【００４６】
次に、前記冷陰極管Ａについて、管電流を６ｍＡ一定の条件で２００時間放電させた後、該冷陰極管Ａを開封して冷陰極蛍光管用電極３を取り出した。次に、冷陰極蛍光管用電極３からスパッタされた原子の有無及びＨｇとの反応を調べるために、該電極３の表面の組成と、前記ガラス管の内壁面の組成とを、電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ：Electron Probe Micro Analyzer）により測定した。結果を表２及び表３に示す。表２は冷陰極蛍光管用電極３の表面の組成を示し、表３は前記ガラス管の内壁面の組成を示す。
【００４７】
次に、本実施例で得られた電極材料から、一方が開口する有底筒状体であって、開口部の外径が２．１ｍｍ、肉厚が０．１５ｍｍ、長さが７．０ｍｍである冷陰極蛍光管用電極３を２対製造した。
【００４８】
次に、本実施例で得られた冷陰極蛍光管用電極３を備える冷陰極蛍光管１について水銀消耗量評価を行うために、内壁面に蛍光体が塗着されているガラス管２の内部に、１対の有底筒状体の冷陰極蛍光管用電極３を備える冷陰極蛍光管１を製造した。
【００４９】
まず、冷陰極蛍光管１を製造するために、本実施例で得られた１対の有底筒状体の冷陰極蛍光管用電極３の端部にコバール線からなる封着ピン４を接続し、該封着ピン４の該電極３とは反対側の端部にジュメット線からなる外部リード線５を接続した。封着ピン４には、ガラス管との封着用ガラスビーズ（図示せず）が取り付けられている。
【００５０】
次に、内壁面に蛍光体が塗着されている直径３ｍｍ、長さ５６９ｍｍのガラス管２内の両端に、封着ピン４が接続された有底筒状体の冷陰極蛍光管用電極３を取り付けた。このとき、１対の冷陰極蛍光管用電極３は、封着ピン４が接続されていない側の端部が互いに対向するように、軸方向に取り付けられた。
【００５１】
次に、ガラス管２の内部にＨｇとＡｒガスとＮｅガスとを封入した。前記封入は、Ａｒガス及びＮｅガスの合計圧力が５．３ｋＰａとなるように行った。次に、封着ピン４とガラス管２とを封着した。このとき、封着ピン４を前記ガラス管の外方に突出させることにより、冷陰極蛍光管１を得た。
【００５２】
次に、得られたガラス管２の長さが５６９ｍｍである本実施例の冷陰極蛍光管１について、管電流を８ｍＡ一定の条件で２０００時間放電した。次に、蛍光管中水銀測定装置を用いてガラス管２を２４０℃の温度で加熱し、ガラス管２から放出された水銀量を有効水銀量として測定したところ、３．６４ｇであった。前記有効水銀量は、前記放電の際に消耗されなかった金属水銀量に相当する。
【００５３】
次に、ガラス管２を９００℃の温度で加熱し、ガラス管２から放出された水銀量を消耗水銀量として測定したところ、０．０４ｇであった。前記消耗水銀量は、前記放電の際に消耗された蛍光体や管壁に付着した化合物水銀量に相当する。前記有効水銀量と前記消耗水銀量との和は、冷陰極蛍光管１の製造時にガラス管２内に封入された総水銀量に相当する。そして、次式（１）により前記放電における水銀消耗率を算出した。結果を表４に示す。
【００５４】
水銀消耗率（％）＝｛消耗水銀量（ｇ）／総水銀量（ｇ）｝×１００（％）…（１）
次に、参考例１の電極材料を用いたことを除いて、本実施例と全く同一にして、有底筒状体の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されている長さ５６９ｍｍのガラス管の内部に１対の該電極を備える参考例１の冷陰極蛍光管を製造した。
【００５５】
次に、得られたガラス管の長さが５６９ｍｍである本参考例の冷陰極蛍光管について、実施例１と全く同一にして、管電流を８ｍＡ一定の条件で２０００時間放電し、該放電における水銀消耗率を算出した。結果を表４に示す。
【００５６】
次に、本実施例で得られた冷陰極蛍光管用電極３を備える冷陰極蛍光管１について寿命評価を行うために、ガラス管２の長さが３００ｍｍであることを除いて、ガラス管の長さが５６９ｍｍである本実施例の冷陰極蛍光管１と全く同一にして、本実施例の冷陰極蛍光管１を製造した。
【００５７】
次に、得られたガラス管２の長さが３００ｍｍである本実施例の冷陰極蛍光管１について、管電流を８ｍＡ一定の条件で放電し、その際の中心輝度を測定した。次に、得られた結果をレーマン近似することにより、冷陰極蛍光管１の中心輝度が半減するまでに要する時間を算出した。結果を図５及び表５に示す。
【００５８】
次に、参考例１の電極材料を用いたことを除いて、本実施例と全く同一にして、有底筒状体の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、長さ３００ｍｍのガラス管の内部に１対の該電極を備える参考例１の冷陰極蛍光管を製造した。
【００５９】
次に、得られたガラス管の長さが３００ｍｍである本参考例の冷陰極蛍光管について、本実施例と全く同一にして、管電流を８ｍＡ一定の条件で放電した際の中心輝度を測定した。次に、得られた結果をレーマン近似することにより、冷陰極蛍光管の中心輝度が半減するまでに要する時間を算出した。結果を図５及び表５に示す。
【実施例２】
【００６０】
本実施例では、全量に対して６．６質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本実施例の電極材料を製造した。
【００６１】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、２００ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００６２】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、２６．０μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００６３】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は６５％に相当した。結果を表１に示す。
【００６４】
次に、本実施例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極３を備える冷陰極管Ｃを製造した。
【００６５】
次に、得られた冷陰極管Ｃについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極３の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｃにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【実施例３】
【００６６】
本実施例では、全量に対して９．９質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、本実施例の電極材料を製造した。
【００６７】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、２９１ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００６８】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、２６．２μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００６９】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は７１％に相当した。結果を表１に示す。
【００７０】
次に、本実施例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極３を備える冷陰極管Ｄを製造した。
【００７１】
次に、得られた冷陰極管Ｄについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極３の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｄにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【実施例４】
【００７２】
本実施例では、全量に対して０．１７質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本実施例の電極材料を製造した。
【００７３】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、１１３ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００７４】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、１１．０μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００７５】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は５８％に相当した。結果を表１に示す。
【００７６】
次に、本実施例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極３を備える冷陰極管Ｅを製造した。
【００７７】
次に、得られた冷陰極管Ｅについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極３の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｅにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【実施例５】
【００７８】
本実施例では、全量に対して１．７質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本実施例の電極材料を製造した。
【００７９】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、１４９ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００８０】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、１５．４μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００８１】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は５７％に相当した。結果を表１に示す。
【００８２】
次に、本実施例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極３を備える冷陰極管Ｆを製造した。
【００８３】
次に、得られた冷陰極管Ｆについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極３の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｆにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【実施例６】
【００８４】
本実施例では、全量に対して５．０質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本実施例の電極材料を製造した。
【００８５】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、１７５ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００８６】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、２３．８μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００８７】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は５７％に相当した。結果を表１に示す。
【００８８】
次に、本実施例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極３を備える冷陰極管Ｇを製造した。
【００８９】
次に、得られた冷陰極管Ｇについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極３の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｇにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【００９０】
〔比較例１〕
本比較例では、不可避的不純物を除き実質的にＦｅのみからなる金属を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、本比較例の電極材料を製造した。
【００９１】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、１１０ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００９２】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、１０．１μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【００９３】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本比較例の電極材料のスパッタ率は５８％に相当した。結果を表１に示す。
【００９４】
次に、本比較例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極を備える冷陰極管Ｈを製造した。
【００９５】
次に、得られた冷陰極管Ｈについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極の間に５ｍＡ，６ｍＡ，７ｍＡ，８ｍＡの管電流をそれぞれ印加し、それぞれの管電流に対して生じた管電圧を測定した。結果を図３に示す。また、前記冷陰極管Ｈにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【００９６】
次に、前記冷陰極管Ｈについて、実施例１と全く同一にして、冷陰極蛍光管用電極の表面の組成と、ガラス管の内壁面の組成とを、ＥＰＭＡにより測定した。結果を表２及び表３に示す。
【００９７】
〔比較例２〕
本比較例では、全量に対して１５．３質量％のＭｏを含有し、残部がＮｉ及び不可避的不純物である合金を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、本比較例の電極材料を製造した。
【００９８】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、３０５ＨＶであった。結果を表１に示す。
【００９９】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、７２．６μΩ・ｃｍであった。結果を表１に示す。
【０１００】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本比較例の電極材料のスパッタ率は１１１％に相当した。結果を表１に示す。
【０１０１】
次に、本比較例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極を備える冷陰極管Ｊを製造した。
【０１０２】
次に、前記冷陰極管Ｊについて、実施例１と全く同一にして、冷陰極蛍光管用電極の表面の組成と、ガラス管の内壁面の組成とを、ＥＰＭＡにより測定した。結果を表２及び表３に示す。
【０１０３】
〔比較例３〕
本比較例では、全量に対して１６．０質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本比較例の電極材料を製造した。
【０１０４】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、４９０ＨＶであった。結果を表１に示す。
【０１０５】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、３３．６μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【０１０６】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本比較例の電極材料のスパッタ率は６５％に相当した。結果を表１に示す。
【０１０７】
次に、本比較例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極を備える冷陰極管Ｋを製造した。
【０１０８】
次に、得られた冷陰極管Ｋについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｋにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【０１０９】
〔比較例４〕
本比較例では、全量に対して２３．３質量％のＭｏを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本比較例の電極材料を製造した。
【０１１０】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、４９３ＨＶであった。結果を表１に示す。
【０１１１】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、３６．２μΩ・ｃｍであった。結果を表１及び図２に示す。
【０１１２】
次に、本比較例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本比較例の電極材料のスパッタ率は８３％に相当した。結果を表１に示す。
【０１１３】
次に、本比較例で得られた電極材料から、実施例１と全く同一にして、薄板状の冷陰極蛍光管用電極を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されていないガラス管の内部に１対の該電極を備える冷陰極管Ｌを製造した。
【０１１４】
次に、得られた冷陰極管Ｌについて、実施例１と全く同一にして、１対の前記電極の間に８ｍＡの管電流を印加し、生じた管電圧を測定した。前記冷陰極管Ｌにおける管電圧を、前記冷陰極管Ｂの管電圧に対する比として、図４に示す。
【０１１５】
【表１】
2010097932.tif 000003
【０１１６】
表１から、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１７〜９．９質量％の範囲であり、残部が実質的にＦｅである実施例１〜６の電極材料は、Ｍｏの含有量が全量に対して１５．３質量％であり、残部が実質的にＮｉである比較例２の電極材料と比較して、ビッカース硬さが小さく、加工性に優れていることが明らかである。一般的に、金属材料において、ビッカース硬さが低い材料は冷間塑性加工性に優れており、ビッカース硬さが３００ＨＶ以下であれば冷間加工が容易である。したがって、表１の結果から、実施例１〜６の電極材料は実施例１の冷陰極蛍光管用電極３に容易に加工することができることが明らかである。
【０１１７】
また、表１から、Ｍｏの含有量が全量に対して１５．３質量％であり、残部が実質的にＮｉである比較例２の電極材料のスパッタ率は、実質的にＮｉのみからなる参考例１の電極材料よりも大きいことが明らかである。一方、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１７〜９．９質量％であり、残部が実質的にＦｅである実施例１〜６の電極材料のスパッタ率は、参考例１の電極材料よりも小さいことが明らかである。したがって、実施例１〜６の電極材料は、スパッタ率が小さく、優れた耐スパッタ性を備えることが明らかである。
【０１１８】
また、図２から、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１７〜９．９質量％の範囲であり、残部が実質的にＦｅである実施例１〜６の電極材料は、Ｍｏの含有量が大きくなるほど電気抵抗率が大きくなることが明らかである。特に、Ｍｏの含有量が全量に対して１０質量％を超えると電気抵抗率が急上昇することから、Ｍｏを含有するＦｅ基合金からなる電極材料において、Ｍｏの含有量は全量に対して１０質量％以下とすることがよいことが明らかである。
【０１１９】
また、図３から、Ｍｏの含有量が全量に対して３．４質量％であり、残部が実質的にＦｅである実施例１の冷陰極蛍光管用電極３は、実質的にＦｅのみからなる比較例１の冷陰極蛍光管用電極と比較して、Ｍｏの含有量が少ないにも拘わらず、管電圧が小さいことが明らかである。また、実施例１の冷陰極蛍光管用電極３は、実質的にＭｏのみからなる参考例２の冷陰極蛍光管用電極に近い管電圧となっていることが明らかである。また、実施例１の冷陰極蛍光管用電極３は、実質的にＭｏのみからなる参考例２の冷陰極蛍光管用電極に近い管電圧となっていることが明らかである。したがって、実施例１の冷陰極蛍光管用電極３は、管電圧が小さくエネルギー効率が良好であることが明らかである。
【０１２０】
また、図４から、管電流を８ｍＡとするとき、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１７〜９．９質量％の範囲であり、残部が実質的にＦｅである実施例１〜６の冷陰極蛍光管用電極３は、実質的にＦｅのみからなる比較例１の冷陰極蛍光管用電極と比較して、管電圧が小さいことが明らかである。また、Ｍｏの含有量が全量に対して１．５〜５．５質量％の範囲であり、残部が実質的にＦｅである実施例１，５，６の冷陰極蛍光管用電極３は、管電圧が特に小さく、エネルギー効率が良好であることが明らかである。
【０１２１】
【表２】
2010097932.tif 000004
【０１２２】
【表３】
2010097932.tif 000005
【０１２３】
また、冷陰極管Ａ（実施例１の薄板状の冷陰極蛍光管用電極３を備える）においては、表２から、該電極３の表面にＨｇ原子が存在していないことが明らかであり、表３から、ガラス管の内壁面にＦｅ原子が３．３質量％存在し、Ｈｇ原子が存在していないことが明らかである。これは、冷陰極蛍光管用電極３の表面にＭｏが存在することによると考えられる。したがって、前記冷陰極管Ａにおいては、前記電極３を構成するＦｅ原子が僅かにスパッタされるものの、該電極３の表面とガラス管の内壁面との両方にＦｅとＨｇとからなる合金（アマルガム）が形成されていないことが明らかである。これにより、冷陰極管Ａは、アマルガム形成によりガラス管内のＨｇを消耗することがなく、該冷陰極管Ａの寿命を長くすることができることが明らかである。
【０１２４】
一方、冷陰極管Ｈ（比較例１の薄板状の冷陰極蛍光管用電極を備える）においては、表２から、該電極の表面にＨｇ原子が２．５質量％存在することが明らかである。したがって、冷陰極管Ｈにおいては、前記電極の表面にＦｅとＨｇとが微量ながら反応していることが明らかである。
【０１２５】
また、冷陰極管Ｊ（比較例２の薄板状の冷陰極蛍光管用電極を備える）においては、表３から、ガラス管の内壁面に、Ｍｏ原子が１．５質量％、Ｎｉ原子が４３．３３質量％、Ｈｇ原子が１．２質量％存在することが明らかである。したがって、冷陰極管Ｊにおいては、前記電極を構成するＭｏ原子及びＮｉ原子が多量にスパッタされてガラス管の内壁面に付着し、Ｈｇに対して反応しやすいＮｉとＨｇとからなるアマルガムが形成されていることが明らかである。これにより、冷陰極管Ｊは、アマルガム形成によりガラス管内のＨｇを消耗し、該冷陰極管Ｊの寿命が短くなることが明らかである。
【０１２６】
したがって、Ｍｏの含有量が全量に対して０．１７〜９．９質量％の範囲であり、残部が実質的にＦｅである上記各実施例１〜６の冷陰極蛍光管用電極３を、内壁面にそれ自体周知の蛍光体が塗着されたガラス管２の内部に備える冷陰極蛍光管１は、アマルガム形成によりガラス管内のＨｇを消耗することがなく、該蛍光管１の寿命を長くすることができることが明らかである。
【０１２７】
【表４】
2010097932.tif 000006
【０１２８】
また、表４から、Ｍｏの含有量が全量に対して３．４質量％であり、残部が実質的にＦｅである実施例１の冷陰極蛍光管用電極３は、実質的にＮｉのみからなる参考例１の冷陰極蛍光管用電極と比較して、水銀消耗率が格段に低いことが明らかである。したがって、実施例１の冷陰極蛍光管１は、ガラス管２内のＨｇの消耗が非常に少なく、該蛍光管１の寿命を長くすることができることが明らかである。
【実施例７】
【０１２９】
本実施例では、全量に対して３．４質量％のＭｏと、全量に対して０．６質量％のＲｕとを含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である合金を用いた以外は、実施例１と全く同一にして、本実施例の電極材料を製造した。
【０１３０】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、ビッカース硬さを測定したところ、１５３ＨＶであった。
【０１３１】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、電気抵抗率を測定したところ、２２．１μΩ・ｃｍであった。
【０１３２】
次に、本実施例で得られた電極材料について、実施例１と全く同一にして、試験片を製造し、連続スパッタされた該試験片の重量減を測定することにより、該電極材料におけるスパッタ率を算出した。参考例１の電極材料のスパッタ率を１００％とするとき、本実施例の電極材料のスパッタ率は７１％に相当した。
【０１３３】
次に、本実施例で得られた電極材料を用いたことを除いて、実施例１と全く同一にして、本実施例の有底筒状体の冷陰極蛍光管用電極３を１対製造し、内壁面に蛍光体が塗着されている長さ３００ｍｍのガラス管２の内部に１対の該電極３を備える本実施例の冷陰極蛍光管１を製造した。
【０１３４】
次に、本実施例で得られた冷陰極蛍光管１を用いたことを除いて、本実施例と全く同一にして、管電流を８ｍＡ一定の条件で放電した際の中心輝度を測定し、得られた結果をレーマン近似することにより、冷陰極蛍光管１の中心輝度が半減するまでに要する時間を算出した。結果を図５及び表５に示す。
【０１３５】
【表５】
2010097932.tif 000007
【０１３６】
実施例１の冷陰極蛍光管１は、Ｍｏの含有量が全量に対して３．４質量％であり、残部が実質的にＦｅである冷陰極蛍光管用電極３を備えている。実施例７の冷陰極蛍光管１は、Ｍｏの含有量が全量に対して３．４質量％であり、Ｒｕの含有量が全量に対して０．６質量％であり、残部が実質的にＦｅである冷陰極蛍光管用電極３を備えている。参考例１の冷陰極蛍光管は、実質的にＮｉのみからなる冷陰極蛍光管用電極を備えている。
【０１３７】
図５及び表５から、実施例１の冷陰極蛍光管１は、参考例１の冷陰極蛍光管と比較して、中心輝度が半減するまでに要する時間が長く、実施例７の冷陰極蛍光管１は、実施例１の冷陰極蛍光管１と比較して、中心輝度が半減するまでに要する時間がさらに長いことが推測される。したがって、実施例７の冷陰極蛍光管１は、寿命を特に長くすることができることが明らかである。
【符号の説明】
【０１３８】
１…冷陰極蛍光管、  ３…冷陰極蛍光管用電極。
【図１】
2010097932.tif 000008
【図２】
2010097932.tif 000009
【図３】
2010097932.tif 000010
【図４】
2010097932.tif 000011
【図５】
2010097932.tif 000012