(57)【要約】【課題】フープ本体を把持する本体把持部及びドアを把持するドア把持部を共通の把持部駆動機構で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れるフープ洗浄乾燥装置を提供する。【解決手段】前面に開口部を有するフープ本体２ａと該フープ本体２ａの開口部にロック・アンロック可能に装着されたドア２ｂとを有するフープ２を、上記フープ本体２ａと上記ドア２ｂとに分離して洗浄乾燥するフープ洗浄乾燥装置１であって、上記フープ２を把持して搬送するためのロボットアーム７を備え、該ロボットアーム７の先端部には、上記フープ本体２ａの上部に突設された被把持部２ｘを把持する本体把持部１９と、上記ドア２ｂを把持するドア把持部２０とを駆動するための同一軸線上で互いに接近又は離反する一対の移動体２１を有する共通の把持部駆動機構２２が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面に開口部を有するフープ本体と該フープ本体の開口部にロック・アンロック可能に装着されたドアとを有するフープを、上記フープ本体と上記ドアとに分離して洗浄乾燥するフープ洗浄乾燥装置であって、
上記フープを把持して搬送するためのロボットアームを備え、該ロボットアームの先端部には、上記フープ本体の上部に突設された被把持部を把持する本体把持部と、上記ドアを把持するドア把持部とを駆動するための同一軸線上で互いに接近離間する一対の移動体を有する共通の把持部駆動機構が設けられていることを特徴とするフープ洗浄乾燥装置。
【請求項２】
上記把持部駆動機構は、一方の移動体を駆動するシリンダと、両移動体間の中央に配された支点を対象軸として一方の移動体と他方の移動体を連動させるリンク機構とを備えたことを特徴とする請求項１記載のフープ洗浄乾燥装置。
【請求項３】
上記本体把持部は一対の本体把持爪からなり、上記ドア把持部は一対のドア把持爪からなり、本体把持爪同士の間隔はドア把持爪同士の間隔よりも狭く、本体把持爪はドア把持爪よりも奥まった位置に配設されていることを特徴とする請求項１又は２記載のフープ洗浄乾燥装置。
【請求項４】
上記把持部駆動機構は、上記被把持部の有無を検出する第１センサと、上記ドアの有無を検出する第２センサとを備えたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のフープ洗浄乾燥装置。
【請求項５】
上記本体把持爪及び上記ドア把持爪は、断面略Ｖ字状の把持溝を有していることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のフープ洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の搬送容器であるフープを洗浄して乾燥させるフープ洗浄乾燥装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等は、フープ（ＦＯＵＰ：Front Openning Unity Pod）と称する搬送容器に収容されて搬送される。このフープは、前面に開口部を有するフープ本体と、このフープ本体の開口部にロック・アンロック可能に装着されたドアとを備えている。
【０００３】
このフープは、半導体ウエハ等の汚染源とならないようにするために、定期的に洗浄されることが好ましい。そこで、空のフープをフープ本体とドアとに分離して洗浄槽内に搬入し、これらフープ本体及びドアに洗浄水を吹き付けて洗浄を行い、洗浄後、同洗浄槽内でフープ本体及びドアに乾燥空気を吹き付けて乾燥させるようにしたフープ洗浄乾燥装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
このフープ洗浄乾燥装置は、フープの搬入搬出のためにフープを載置する載置台と、フープをフープ本体とドアとに分離するために仮置きする仮置台と、分離されたフープ本体とドアとを洗浄乾燥する洗浄槽と、載置台と仮置台との間でフープを、仮置台と洗浄槽との間でフープ本体又はドアを搬送するロボットアームとを備えている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１０９５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記フープ洗浄乾燥装置においては、フープ本体を搬送する場合、フープ本体の上部に突設された被把持部を把持し、ドアを搬送する場合、ドアを把持するのであるが、上記被把持部とドアの大きさや形状が異なっているため、ロボットアームにはフープ本体を把持する本体把持部と、ドアを把持するドア把持部とを設け、それぞれを駆動する必要があり、構造の煩雑化や製造コストの増大を招く問題があった。
【０００７】
そこで本発明の目的は、フープ本体を把持する本体把持部及びドアを把持するドア把持部を共通の把持部駆動機構で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れるフープ洗浄乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために創案された本発明は、前面に開口部を有するフープ本体と該フープ本体の開口部にロック・アンロック可能に装着されたドアとを有するフープを、上記フープ本体と上記ドアとに分離して洗浄乾燥するフープ洗浄乾燥装置であって、上記フープを把持して搬送するためのロボットアームを備え、該ロボットアームの先端部には、上記フープ本体の上部に突設された被把持部を把持する本体把持部と、上記ドアを把持するドア把持部とを駆動するための同一軸線上で互いに接近離間する一対の移動体を有する共通の把持部駆動機構が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
上記把持部駆動機構は、一方の移動体を駆動するシリンダと、移動体間の中央に配された支点を対象軸として一方の移動体と他方の移動体を連動させるリンク機構とを備えたことが好ましい。
【００１０】
上記本体把持部は一対の本体把持爪からなり、上記ドア把持部は一対のドア把持爪からなり、本体把持爪同士の間隔はドア把持爪同士の間隔よりも狭く、本体把持爪はドア把持爪よりも奥まった位置に配設されていることが好ましい。
【００１１】
上記把持部駆動機構は、上記被把持部の有無を検出する第１センサと、ドアの有無を検出する第２センサとを備えていることが好ましい。
【００１２】
上記本体把持爪及び上記ドア把持爪は、断面略Ｖ字状の把持溝を有していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るフープ洗浄乾燥装置によれば、ロボットアームフープ本体を把持する本体把持部及びドアを把持するドア把持部を共通の把持部駆動機構で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１５】
図１は本実施形態に係るフープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す側面透視図、図２は同フープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す平面透視図である。
【００１６】
本実施形態に係るフープ洗浄乾燥装置１は、フープ２の搬入搬出のためにフープ２を載置する載置台３と、フープ２を一時的に保管するバッファ台４と、フープ２をフープ本体２ａとドア２ｂとに分離するために仮置きする仮置台５と、分離されたフープ本体２ａとドア２ｂとを洗浄乾燥する洗浄槽６と、載置台３とバッファ台４と仮置台５との間でフープ２を、仮置台５と洗浄槽６との間でフープ本体２ａ又はドア２ｂを搬送するロボットアーム７とを備えている。載置台３は、フープ洗浄乾燥装置１のケーシング１ａの外部に配設され、バッファ台４、仮置台５、洗浄槽６及びロボットアーム７は、上記ケーシング１ａの内部に配設されている。
【００１７】
フープ２は、略ボックス状に形成され前面に開口部を有するフープ本体２ａと、フープ本体２ａの開口部にロック・アンロック可能に装着されたドア２ｂとを有する。
【００１８】
載置台３は、複数のフープ２を並列に載置するため、複数のポート（載置部）を備えている。本実施形態では、載置台３は３個のポートを備えており、そのうち左の２ポートがロード専用、右端の１ポートがアンロード専用となっている。
【００１９】
バッファ台４には、複数（本実施形態では４個）のフープ２が一時的に載置される。バッファ台４と載置台３との間のケーシング１ａには、フープ２を出し入れするための開口部が形成されており、開口部にはシャッタ８が昇降可能に設けられている。
【００２０】
図３は図２のIII−III線断面図である。
【００２１】
ケーシング１ａ内の基部フレーム１ｂには、中間フレーム９が設けられ、中間フレーム９の上部には、上記仮置台５が装着されている。仮置台５は、フープ２を、フープ本体２ａとドア２ｂとに分離するために仮置きするものである。仮置台５は、中間フレーム９の上部に装着された台基部１０と、台基部１０に複数の柱１１を介して取り付けられた頂板１２と、頂板１２に設けられた複数の台座１３とを有する。台座１３には、フープ２のドア２ｂが水平に着座される。
【００２２】
図４は図３のIV−IV線断面図、図５は図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【００２３】
仮置台５の台座１３は、円柱状に形成され、頂板１２に４個、矩形の頂点に配設されている。４個の台座１３は同じ高さであり、その内の対角の２個には、フープ２のドア２ｂを吸着する吸着手段１４と、ドア２ｂに形成された凹部２ｂ１に挿入される位置決めピン１５とが設けられている。位置決めピン１５は、台座１３の中心に立設されており、吸着手段１４は、その位置決めピン１５を囲むようにして台座１３に設けられた吸盤１４ａと、その位置決めピン１５に形成されドア２ｂと吸盤１４ａとで区画された空間内の空気を排気するための排気通路１４ｂとを備えている。
【００２４】
詳しくは、台座１３の上面には窪み部１３ａが形成されており、その窪み部１３ａに吸盤１４ａが装着されていて、吸盤１４ａがドア２ｂに吸着して変形したとき、変形した吸盤１４ａが窪み部１３ａに収容されるようになっている。排気通路１４ｂは、位置決めピン１５の内部に長手方向に沿って形成された縦排気通路１４ｂ１と、縦排気通路１４ｂ１に接続され位置決めピン１５の側面に開口を有する横排気通路１４ｂ２とを有し、縦排気通路１４ｂ１が図示しない排気手段（吸込ポンプ等）に接続されている。また、位置決めピン１５の先端は、テーパ状又はアール状に形成されており、ドア２ｂに形成された断面円状の位置決め用の凹部２ｂ１に対して多少ずれていても挿入され易くなっている。
【００２５】
仮置台５の頂板１２には、ドアに組込まれたロック・アンロック機構（ラッチ機構）（図示省略）のドア２ｂとフープ本体２ａとのロック・アンロックを切り換えるため、ドア２ｂに長穴状に形成されたラッチキー穴２ｂ２に挿入された状態で回転されるラッチキー１６が、間隔を隔てて一対設けられている。ラッチキー１６は、側面視Ｔ字状に形成され、台基部１０に設けられたロータリーシリンダ１７により、鉛直軸廻りに９０度の範囲で正逆回転される。ロータリーシリンダ１７は、台基部１０に固定されたシリンダ本体１７ａと、シリンダ本体１７ａに対して９０度の範囲で正逆回転するロータ１７ｂとを有し、ロータ１７ｂが頂板１２に貫通形成された穴１２ａに回転可能に挿通されていて、そのロータ１７ｂの頂部に上記ラッチキー１６が取り付けられている。
【００２６】
ラッチキー１６がドア２ｂのラッチキー穴（長穴）２ｂ２に挿入された状態で９０度回転されると、ドア２ｂの内部に設けられたロック・アンロック機構によりドア２ｂとフープ本体２ａとのロックが解除され、同時にラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２に引っ掛かるためドア２ｂがラッチキー１６によりチャック（保持）される。また、この保持状態から、ラッチキー１６が逆方向に９０度回転されると、上記ロック・アンロック機構によりドア２ｂとフープ本体２ａとがロックされ、同時にラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２に沿った向きとなるため、ラッチキー１６をラッチキー穴（長穴）２ｂ２から引き抜くことが可能となる。
【００２７】
上記ラッチキー１６は、上記位置決めピン１５よりも低い。すなわち、位置決めピン１５は、ラッチキー１６よりも上方に突出していて、位置決めピン１５の上端は、ラッチキー１６の上端よりも高い位置にある。よって、フープ２のドア２ｂが仮置台５の頂板１２に平行に近付くと、先ず位置決めピン１５がドア２ｂの凹部２ｂ１に挿入され、その後ラッチキー１６がドア２ｂのラッチキー穴２ｂ２に挿入されることになる。なお、ドア２ｂの表面が平坦状であることは勿論である。
【００２８】
仮置台５の頂板１２には、フープ２のドア２ｂが４個の台座１３に適正に着座したか否かを検出するためのセンサ１８が設けられている。センサ１８は、本実施形態では、頂板１２に３個、三角形の頂点に配設された距離センサからなる。これら各距離センサ１８からドア２ｂまでの距離を計測し、それらの測定値が揃っていれば（所定の範囲内にあれば）、ドア２ｂが頂板１２と平行であり４個の台座１３に適正に着座した（チャックＯＫ）と判定し、さもなければドア２ｂが傾いている（チャックミス）と判定する。
【００２９】
図１〜図３に示すように、フープ洗浄乾燥装置１のケーシング１ａ内には、ロボットアーム７が設けられている。ロボットアーム７は、載置台３とバッファ台４と仮置台５との間でフープ２を、仮置台５と洗浄槽６との間でフープ本体２ａ又はドア２ｂを移動する多関節ロボットアームからなる。
【００３０】
図６は把持部駆動機構の正面図、図７は把持部駆動機構の底面図、図８は把持部駆動機構の側面図である。
【００３１】
図６〜図８に示すようにロボットアーム７の先端部には、フープ本体２ａの上部に突設された方形の被把持部２ｘを把持する本体把持部１９と、被把持部２ｘよりも大きい方形のドア２ｂの両端部を把持するドア把持部２０とを駆動するための同一軸線上で互いに接近離反する一対の移動体（スライドブロック）２１を有する共通の把持部駆動機構２２が設けられている。この把持部駆動機構２２は、ロボットアーム７の先端部に取付けられるベースプレート２２ａを有し、左右方向に長いこのベースプレート２２ａの下面両側に長手方向に沿って上記一対の移動体２１が移動可能に配設されている。
【００３２】
本体把持部１９は一対の本体把持爪１９ａからなり、ドア把持部２０は一対のドア把持爪２０ａからなる。詳しくは、上記移動体２１に、アームブロック５２を介して、一対の本体把持爪１９ａとドア把持爪２０ａとが夫々設けられている。
【００３３】
また、上記把持部駆動機構２２は、一方の移動体２１をベースプレート５２ａの長手方向に沿って進退（往復）駆動するシリンダ（例えばエアシリンダ）５４と、上記ベースプレート２２ａの下面における両移動体２１間の中央に配された支点である支軸５３を対象軸として一方の移動体２１と他方の移動体２１を連動させるリンク機構５５とを備えている。上記シリンダ５４の下面には図示しないリニアガイドを介して一方の移動体２１がスライド可能に設けられ、この一方の移動体２１がシリンダ５４内の図示しないピストンを介して移動されるようになっている。
【００３４】
他方の移動体２１は、ベースプレート２２ａの他方の下面にリニアガイド５６を介してスライド可能に設けられている。上記リンク機構５５は、中央部が支軸５３とこれを支持する軸受５７を介して回動自在に支持された第１リンク（レバー）５５ａと、該第１リンク５５ａの両端部にそれぞれの一端が回動可能に連結された第２リンク５５ｂとからなり、一方の第２リンク５５ｂの他端が一方の移動体２１の一側部に回動可能に連結され、他方の第２リンク５５ｂの他端が他方の移動体２１の他側部に回動可能に連結されている。
【００３５】
上記シリンダ５４には、被把持部２ｘの把持位置及びドア２ｂの把持位置をそれぞれ検出してシリンダ５４の駆動をそれぞれの把持位置で停止させるための位置センサ５６ａ，５６ｂが設けられている。また、把持部駆動機構２２のベースプレート２２ａには、上記被把持部２ｘの有無を検出する光学式の第１センサ５７ａと、ドア２ｂの有無を検出する光学式の第２センサ５７ｂとが設けられている。これにより、チャックミスを監視しており、チャック精度の向上が図られている。
【００３６】
本体把持爪１９ａ同士の間隔はドア把持爪２０ａ同士の間隔よりも狭く、且つ本体把持爪１９ａはドア把持爪２０ａよりも奥まった位置に配設されている。そして、本体把持爪１９ａがフープ本体２ａの被把持部２ｘを把持したとき、ドア把持爪２０ａがそのフープ本体２ａと干渉せず、ドア把持爪２０ａがドア２ｂの両端部（図５参照）を把持したとき、本体把持爪１９ａがそのドア２ｂと干渉しないようになっている。
【００３７】
また、上記本体把持爪１９ａは、断面略Ｖ字状の把持溝５８を有し、把持溝５８の両側面５８ａ，５８ｂが傾斜しており、上記被把持部２ｘとの相対的な位置のばらつき（変位）を吸収でき、チャック性能の向上が図られている。また、同様に、上記ドア把持爪２０ａも、断面略Ｖ字状の把持溝５９を有している。この場合、ドア２ｂのエッジ部６０の断面形状が水平面（下面）と傾斜面からなるため、上記把持溝５９の一側面５９ａが水平で、他側面５９ｂが傾斜している。また、水平な一側面５９ａの縁部には傾斜面６１が形成されている。
【００３８】
図９は洗浄槽６の内部の構成を概略的に示す側面透視図である。
【００３９】
図１、図２、図９に示すように、洗浄槽６は、上部に開口を有する洗浄槽本体６ａと、洗浄槽本体６ａの開口に着脱される筒状の内蓋２３と、内蓋２３の上部に着脱される外蓋２４とを有する。内蓋２３及び外蓋２４は、パワーシリンダ２５、２６により開閉されるようになっている。外蓋２４の内面には、ドア２ｂを吸着保持するドア保持部２７が設けられている。ドア保持部２７は、図５に示す位置決めピン１５及び吸着手段１４と同様の構成を有し、ドア２ｂを吸着保持する。外蓋２４の外面には、ドア保持部２７を回転するドア回転機構２８が設けられている。ドア回転機構２８は、ドア２ｂの洗浄時及び乾燥時に、ドア保持部２７に吸着保持されたドア２ｂを回転させる。
【００４０】
図９に示すように、洗浄槽本体６ａの下面には軸受筒体２９が固設され、軸受筒体２９の内部には軸受３０を介して筒状の回転軸３１が回転可能に設けられ、回転軸３１の内部には軸受３２を介して固定支軸３３が設けられている。回転軸３１及び固定支軸３３は、洗浄槽本体６ａの下面を下方から上方に貫通している。回転軸３１の上端部には、回転台３４が設けられ、回転台３４には、フープ本体２ａを開口部を下向きにした状態でその四隅を保持する保持部３５が設けられている。
【００４１】
図１に示すように、洗浄槽本体６ａは、ケーシング１ａ内の基部フレーム１ｂに設けられた洗浄槽フレーム３６に固定され、図９に示す固定支軸３３には、洗浄槽フレーム３６に固定された固定ブラケット３７が取り付けられている。固定ブラケット３７には、回転軸３１を回転駆動するための電動機３８が設けられている。電動機３８の回転軸には入力プーリー３９が、回転軸３１には出力プーリー４０が夫々設けられ、これらプーリー３９、４０に無端ベルト４１が巻き掛けられている。電動機３８は、フープ本体２ａの洗浄時及び乾燥時に、回転台３４に保持されたフープ本体２ａを回転させる。
【００４２】
固定支軸３３の上端部には、フープ本体２ａの内側を洗浄し乾燥させるべく複数のノズル４１を備えた内側洗浄管４２が立設され、固定支軸３３の内部には、内側洗浄管４２と連通する供給通路４３が設けられている。この供給通路４３には、洗浄水又はドライエアを供給する図示しない供給通路が接続されている。また、洗浄槽本体６ａの内側には、フープ本体２ａの外側を洗浄し乾燥させるべく複数のノズル４４を備えた外側洗浄管４５が立設され、この外側洗浄管４５には、洗浄水又はドライエアを供給する図示しない供給通路が接続されている。
【００４３】
また、洗浄槽６の内蓋２３には、洗浄槽本体６ａとの境界に位置して上方のドア２ｂと下方のフープ本体２ａとを洗浄し乾燥させるノズル４６を上向き及び下向きに備えた上部洗浄管４７が設けられ、この上部洗浄管４７には、洗浄水又はドライエアを供給する図示しない供給通路が接続されている。なお、洗浄水又はドライエアは、フープ洗浄乾燥装置１の外部の供給源から供給されるようになっている。洗浄槽本体６ａの底部には、排気排水口４８が設けられ、この排気排水口４８には、図２に示すように、開閉弁４９及び気液分離器５０を介して排気管５１と配水管（図示省略）が接続されている。また、乾燥時に洗浄槽６内を負圧にすることにより乾燥を促進できるように構成されている。
【００４４】
本実施形態の作用を述べる。
【００４５】
図１、図２に示す載置台３に載置されたフープ２は、フープ本体２ａに設けた被把持部２ｘがロボットアーム７に把持されて、バッファ台４に移動される。バッファ台４上のフープ２は、被把持部２ｘがロボットアーム７に把持されて持ち上げられ、図３に示すように、仮置台５にドア２ｂを下向きとして所定の位置に載置される。
【００４６】
このとき、図５に示すように、仮置台５の位置決めピン１５がラッチキー１６よりも上方に突出されているので、ドア２ｂは、ドア２ｂに形成された凹部２ｂ１が位置決めピン１５に挿入されて位置決めされた後、ドア２ｂに形成されたラッチキー穴（長穴）２ｂ２がラッチキー１６に挿入されることになる。よって、ラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２に正確に挿入され、ラッチキー１６がラッチキー穴（長穴）２ｂ２の周囲の部分に当たってドア２ｂが傷付くことが防止される。
【００４７】
その後、排気通路１４ｂを介して吸盤１４ａとドア２ｂとで区画された空間内の空気を排気し、ドア２ｂを仮置台５に吸着保持すると共に、ラッチキー１６を９０度回転させてドア２ｂとフープ本体２ａとのロックを解除する。ここで、ラッチキー１６を９０度回転させると、ラッチキー１６がドア２ｂのラッチキー穴（長穴）２ｂ２に引っ掛かり、ドア２ｂがラッチキー１６にチャックされることにもなる。チャックミスが生じたか否か、即ちドア２ｂが仮置台５に適正に着座したか否かは、図４、図６に示すセンサ１８によって検出される。
【００４８】
チャックＯＫであれば、即ちドア２ｂが仮置台５に適正に吸着保持された状態であれば、フープ本体２ａの被把持部２ｘを把持しているロボットアーム７は、被把持部２ｘを持ち替えることなく、フープ本体２ａのみを仮置台５から持ち上げて洗浄槽６内に移動し、被把持部２ｘを放す。ここで、ロボットアーム７がフープ本体２ａを仮置台５から持ち上げるとき、置き去りとされるドア２ｂは、吸着手段１４により仮置台５に吸着保持されているので、仮置台５に対してガタ付くことはない。よって、ドア２ｂのラッチキー穴２ｂ２の開口縁が仮置台５のラッチキー１６に当たって傷付くことが防止される。
【００４９】
次いで、ロボットアーム７は、図５に示す仮置台５に吸着保持されたドア２ｂの両端部を把持する。その後、ラッチキー１６を９０度逆方向に回転させてアンチャック状態とし、排気通路１４ｂからの排気を中止して吸着を解除する。このようにアンチャック状態とし吸着を解除したなら、ロボットアーム７は、把持したドア２ｂを持ち上げて図１に示す洗浄槽６の外蓋２４の内面のドア保持部２７に装着する。
【００５０】
洗浄槽６の内蓋２３、外蓋２４を閉じて、フープ本体２ａ及びドア２ｂを洗浄乾燥する。洗浄乾燥の終了後、内蓋２３、外蓋２４を開く。ロボットアーム７は、外蓋２４のドア保持部２７に装着されたドア２ｂの両端部を把持し、そのドア２ｂを図３及び図５に示す仮置台５に移載する。ドア２ｂは、前述の位置決めピン１５、吸盤１４ａ、排気通路１４ｂ及びラッチキー１６により、前述したように仮置台５に吸着保持される。その後、ロボットアーム７は、洗浄槽６内のフープ本体２ａの被把持部２ｘを把持して持ち上げ、フープ本体２ａを開口部を下向きにして仮置台５に降ろしてドア２ｂに係合させ、フープ本体２ａとドア２ｂとを一体化する。
【００５１】
その後、仮置台５におけるドア２ｂの吸着保持を、排気通路１４ｂからの排気を中止しラッチキー１６を９０度回転させることで解除する。フープ本体２ａの被把持部２ｘを把持しているロボットアーム７は、被把持部２ｘを持ち替えることなく、ドア２ｂとフープ本体２ａとが一体となったフープ２を持ち上げ、バッファ台４にドア２ｂが側方を向くようにして移載する。バッファ台４のフープ２はロボットアーム７により被把持部２ｘが把持されて載置台３に移載される。
【００５２】
このフープ洗浄乾燥装置１によれば、フープ本体２ａを把持する本体把持部１９及びドア２ｂを把持するドア把持部２０を共通の把持部駆動機構２２で駆動することができ、構造の簡素化及び製造コストの低減が図れる。
【００５３】
特に、上記把持部駆動機構２２は、一方の移動体２１を駆動するシリンダ５４と、両移動体２１間の中央に配された支点（支軸）５３を対象軸として一方の移動体２１と他方の移動体２１を連動させるリンク機構５５とを備えているため、簡単な構造で両移動体２１を同期させて接近離間（開閉）させることができる。
【００５４】
また、上記本体把持部１９は一対の本体把持爪１９ａからなり、上記ドア把持部２０は一対のドア把持爪２０ａからなり、本体把持爪１９ａ同士の間隔はドア把持爪２０ａ同士の間隔よりも狭く、本体把持爪１９ａはドア把持爪２０ａよりも奥まった位置に配設されているため、本体把持爪１９ａがフープ本体２ａの被把持部２ｘ（図１参照）を把持したとき、ドア把持爪２０ａがそのフープ本体２ａと干渉するのを回避でき、ドア把持爪２０ａがドア２ｂの両端部（図５参照）を把持したとき、本体把持爪１９ａがそのドア２ｂと干渉するのを回避できる。
【００５５】
上記把持部駆動機構２２は、上記被把持部２ｘの有無を検出する第１センサ５７ａと、ドア２ｂの有無を検出する第２センサ５７ｂとを備えているため、チャックミスを防止でき、チャック精度の向上が図られている。
【００５６】
上記本体把持爪１９ａ及び上記ドア把持爪２０ａは、断面略Ｖ字状の把持溝５８，５９を有しているため、被把持部２ｘやドア２ｂとの相対的な位置のばらつき（変位）を吸収でき、チャック性能の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係るフープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す側面透視図である。
【図２】図１に示すフープ洗浄乾燥装置の内部の構成を概略的に示す平面透視図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】把持部駆動機構の正面図である。
【図７】把持部駆動機構の底面図である。
【図８】把持部駆動機構の側面図である。
【図９】洗浄室内の構成を概略的に示す側面透視図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  フープ洗浄乾燥装置
２  フープ
２ａ  フープ本体
２ｂ  ドア
２ｘ  被把持部
７  ロボットアーム
１９  本体把持部
２０  ドア把持部
２１  移動体
２２  把持部駆動機構
５３  支軸（支点）
５４  シリンダ
５５  リンク機構
５７ａ  第１センサ
５７ｂ  第２センサ
５８，５９  把持溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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