(57)【要約】【課題】磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、端面の損傷、欠損（カケ）のための外観検査を強化している。この外観検査は、目視にて実施しているが、ガラス基板を一列に並べて外観検査すると正面から見たとき、ガラス基板が重なり見えにくいため、検査精度と検査効率の低下の原因となっている。【解決手段】本発明は、複数の円板状ディスクを、互いに平行に、かつ階段状に並べて配置するディスク保持構造を有するディスク検査装置を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の円板状ディスクを並べて外観検査するディスク検査装置において、
複数の円板状ディスクを、互いに平行に、かつ階段状に並べて配置するディスク保持構造を有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項２】
前記ディスク保持構造が、複数の円板状ディスクを、ディスク面の中心が、ディスク面に垂直な軸に対し１０°以上８０°以下の角度をなす軸上に位置するように配置する構造であることを特徴とする請求項１に記載のディスク検査装置。
【請求項３】
前記ディスク保持構造が、複数の円板状ディスクを山型状に配置する構造であって、ディスクを、ディスク面の中心が、ディスク面に垂直な軸に対し１０°以上８０°以下の角度をなす軸上に位置するように配置し、他方の複数のディスクを、ディスク面の中心が、ディスク面に垂直な軸に対し１０°以上８０°以下の角度をなす軸上に位置するように配置する構造であることを特徴とする請求項１に記載のディスク検査装置。
【請求項４】
前記ディスク保持構造が、該ディスク1枚を保持する保持具を複数個、互いに平行に配置した構造であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか1項に記載のディスク検査装置。
【請求項５】
前記ディスク検査装置において、
複数のディスクが互いに前記所定の間隔を隔てて収納され、上方が開放され、底面に開口部を有するディスクケースを搭載するディスクケース搭載台と、
該ディスクケース搭載台を鉛直上下両方向に可動せしめるガイドレールと、
該ディスクケースに収納されている該複数のディスクと同じ前記所定の間隔を隔てて並んだ複数の前記ディスク保持具を有し、
該ディスクケース搭載台の中央には開口部を有し、
該ディスクケースを保持した該ディスクケース搭載台を該ガイドレールに従って鉛直下方向に移動させたとき、該ディスク保持具が、該ディスクケース搭載台の該開口部及び該ディスクケースの底面の開口部を貫通し、
該ディスクケースに収納されている対応する該ディスクを保持することができることを特徴とする請求項４に記載のディスク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円板状ディスクの外観検査に際して使用するディスク検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＴ技術の進化によりデジタル情報化が加速している。このような高度情報化社会においては、多くの情報の中から、必要な時に、必要な情報を抽出し、さらにその情報正確に取り扱うことができるようにすることが求められている。そのため、デジタル情報の保存、管理、ユビキタス性が重要なファクターとなっており、高記録密度、高速読み書き、高信頼性を有し、ポータブル性に富んだデジタル情報の記録媒体が求められている。特にＨＤＤ（Hard Disk Drive）は、こうした大容量記録媒体の主流となっており、さらなる大容量化、小型化、高信頼性化のための開発が進められている。
【０００３】
ＨＤＤの記録媒体の主要部品となる磁気ディスクには、主にアルミニウム系基板とガラス基板が使用されている。最近は、基板表面の平滑性や硬度の点から、ガラス基板へのニーズが高まっている。
【０００４】
しかし、ガラスは脆性材料であることから、欠け等の損傷が生じ易い。ガラス基板の損傷は、異物の発生源となり、基板表面凹凸の原因となり、情報の書き込み、読み出し不良の元となるだけでなく、最悪の場合は、磁気ヘッドとのグライドヒットやクラッシュなどの障害発生の原因となる。また、ガラス基板は、ＨＤＤ内で高速回転するため、その僅かな損傷が、破損起点になる場合も想定できる。そのため、端面加工を施し破損し難くすることや、例えば特許文献１のようにディスクケースを改良して損傷が発生しないよう、種々の提案がされている。
【０００５】
このような改良や、高度な生産管理下でも、磁気ディスク用ガラス基板の製造工程においては、ガラス基板と装置等の接触やガラス基板同士の接触を皆無とすることは難しく、極まれではあるが、ガラス基板の損傷が発生する場合がある。そのため僅かな損傷でも発見し、損傷したガラス基板を除去することが非常に重要となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
現在、ガラス基板の製造工程においては、特に外周部、いわゆる端部が損傷、欠損（カケの発生）する場合が多く、外周部の検査を強化している。この外周部検査については、人間の目が非常に高感度であることから、目視による外観検査を実施しており、この外観検査の検査精度と検査効率の向上が重要な課題となっている。
【０００７】
しかし、ある一定量（例えばディスクケースの収納量）を同時に検査するとき、ディスクケースに収納された状態のようにガラス基板を一列かつ平坦に並べた状態では、ディスクケース直上からは、ガラス基板の端面を見ることはできるが、ディスクの正面からはガラス基板が重なって見えるため、ガラス基板の端面の損傷、欠損を発見し難く、よく検査できないことが課題であった。
【０００８】
そのため、本発明は、上記課題を解決するため、一定量のガラス基板を同時に、視認性よく観察でき、また、簡便な方法でそれを実現でき、検査精度と検査効率の向上を図るディスク検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、前記課題を解決する手法について、鋭意検討した。その結果、本発明者は、複数のガラス基板を、その基板面に平行に、かつ階段状にずらして並べて配置すると、上面からの視認性だけでなく、基板正面からの視認性や、側面からの視認性が向上することを見出した。本発明は、上記知見に基づいて成されたものであり、その要旨は以下のとおりである。
【００１０】
（１）複数の円板状ディスクを並べて外観検査するディスク検査装置において、複数の円板状ディスクを、互いに平行に、かつ階段状に並べて配置するディスク保持構造を有することを特徴とするディスク検査装置。
【００１１】
（２）前記ディスク保持構造が、複数の円板状ディスクを、ディスク面の中心が、ディスク面に垂直な軸に対し１０°以上８０°以下の角度をなす軸上に位置するように配置する構造であることを特徴とする（１）に記載のディスク検査装置。
【００１２】
（３）前記ディスク保持構造が、複数の円板状ディスクを山型状に配置する構造であって、ディスクを、ディスク面の中心が、ディスク面に垂直な軸に対し１０°以上８０°以下の角度をなす軸上に位置するように配置し、他方の複数のディスクを、ディスク面の中心が、ディスク面に垂直な軸に対し１０°以上８０°以下の角度をなす軸上に位置するように配置する構造であることを特徴とする（１）に記載のディスク検査装置。
【００１３】
（４）前記ディスク保持構造が、該ディスク1枚を保持する保持具を複数個、互いに平行に配置した構造であることを特徴とする（１）〜（３）のいずれか1項に記載のディスク検査装置。
【００１４】
（５）前記ディスク検査装置において、複数のディスクが互いに前記所定の間隔を隔てて収納され、上方が開放され、底面に開口部を有するディスクケースを搭載するディスクケース搭載台と、該ディスクケース搭載台を鉛直上下両方向に可動せしめるガイドレールと、該ディスクケースに収納されている該複数のディスクと同じ前記所定の間隔を隔てて並んだ複数の前記ディスク保持具を有し、該ディスクケース搭載台の中央には開口部を有し、該ディスクケースを保持した該ディスクケース搭載台を該ガイドレールに従って鉛直下方向に移動させたとき、該ディスク保持具が、該ディスクケース搭載台の該開口部及び該ディスクケースの底面の開口部を貫通し、該ディスクケースに収納されている対応する該ディスクを保持することができることを特徴とする（４）に記載のディスク検査装置。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、磁気ディスク用ガラス基板のような円板状ディスクを、複数同時に、上面や正面だけでなく側面からも観察することができ、さらに、簡便な操作によりそれを実現できることから、外観検査における効率を向上させるだけでなく、検査精度の向上も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来のディスクが一列に並んだ検査装置の一例を示した図である。（ａ）は正面態様を示し、（ｂ）は側面態様を示す。
【図２】本発明によるディスクが階段状に並んだ検査装置の一例（斜め一方向配置）を示した図である。（ａ）は正面態様を示し、（ｂ）は側面態様を示す。
【図３】本発明による検査装置の一例（山型配置）
【図４】本発明による検査装置の一例（ディスクケースを搭載していないとき）
【図５】本発明による検査装置の一例（山型配置）において、ディスクケースを搭載したところを横から見た図を示す。
【図６】本発明による検査装置の一例（山型配置）において、ディスクケースからディスクケース保持具にディスクを移載したところを横から見た図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明を実施するための形態について、磁気ディスク用ガラス基板を例にして、図に従い説明する。言うまでもなく、本発明は、当該ガラス基板に限らず、円板形状のディスクであれば、材質、大きさ、厚さを問わず適用可能である。また、ディスクは、外形が円であれば、例えばドーナッツのように、その内部に開口部があっても問題ない。
【００１８】
図１は、従来のガラス基板を外観目視検査する際に利用している検査装置である。図１（ａ）に示すように、ガラス基板正面（円板面）に向かって見ると、ガラス基板が重なってしまい、外観目視検査に支障があった。
【００１９】
そこで、本発明は、複数のガラス基板を互いに所定の間隔を隔て且つ平行で、さらに階段状に並べて配置される構造（図２（ａ）、（ｂ））とすることにより、ガラス基板正面（円板面）に向かって見ると、それぞれがずれて見えるため（図２（ａ）)、ガラス基板を目視したとき、全数が見易くなる。特に、損傷や疵が発生しやすい外周部の一瞥性が上がるため、検査精度だけでなく検査効率が向上する。
【００２０】
所定の間隔を隔てて且つ平行にするのは、互いのガラス基板が接触しないためである。もし、ガラス基板同士が接触すると、ガラス基板の損傷につながり、カケが発生したり、破損したりするからである。
【００２１】
階段状に並べるのは、前述したように、ガラス基板を目視したとき、特に円板面に向かって見たときに、ガラス基板が一方向にずれて見え、検査精度と検査効率の向上につながるからである。
【００２２】
階段の角度（ガラス基板のずれ量）、つまりガラス基板の円板面の中心を通り該円板面に垂直な軸に対し、隣り合うガラス基板がずれる角度は特に限定されない。
【００２３】
また、階段の方向（ガラス基板のずれる方向）、つまりガラス基板の円板面を正面から見たとき、円板面の中心角方向で、隣り合うガラス基板がずれる角度は特に限定されない。
【００２４】
しかしながら、ずれ方が違うと目視する上で、かえって見にくくなる場合があることから、一定のずれ方となることが望ましい。例えば、一端に配置されるガラス基板の円板面の中心を通り、該円板面に垂直な軸に対し所定の角度をなす軸上に、複数のガラス基板の円板面の中心が配置される構造を有することが望ましい。そして、ガラス基板の保持具をコンパクトにするために、階段の方向（ガラス基板のずれる方向）は、鉛直方向であることが望ましい。以下、ガラス基板を鉛直方向にずらして配置する場合を例として、説明する。
【００２５】
前記所定の角度は、特に限定されないが、人間による目視性や、装置の小型化等を考慮すると、１０°以上８０°以下とすることが望ましく、１５°以上４５°以下であればさらに望ましい。
【００２６】
図２（ａ）（ｂ）は、ガラス基板を斜め一方向にずれるように並べた例（斜め一方向型配置）であるが、図３のように、山型になるようにガラス基板を並べてもよい（山型配置）。こうすることにより、装置の高さを抑えることができ、小型化することができる。
【００２７】
しかしながら、一端にあるガラス基板の円板面正面から目視したとき、山の頂上に相当する部分までは前述したように一瞥できるが、その反対側は見えなくなる。そのため、山型配置をした場合は、両方向から目視して外観検査しなければならないので、検査効率は落ちることになる。実際は、装置の小型化によるハンドリング性の向上効果が大きく、検査効率は、斜め一方向型配置とそれほど遜色はなかった。
【００２８】
ガラス基板を保持する方法は、特に限定しない。斜め一方向型配置に対応し、従来のディスクケースを奥になるに従いディスクを上方で保持するようにしもよい。山型配置に対応し、従来のディスクケースを中央になるに従いガラス基板を上方で保持するようにしもよい。
【００２９】
図２、３では、1枚のガラス基板を複数の支点で保持する保持具によるガラス基板保持方法を示している。必要な本数の保持具が、平行で、かつ所定の間隔を隔て、ガラス基板が所定の配置になるように、設置されている。複数の支点で、ガラス基板を保持するのは、ガラス基板を安定的に保持するためである。1枚ずつのガラス基板を独立して保持することにより、その保持具の高さ、位置を変えることで、いろいろなガラス基板の並べ方が可能となる。
【００３０】
次に、図４に示す検査装置について説明する。
通常、製造工程内において磁気ディスク用ガラス基板は、25枚ずつディスクケースに収納され、工程間を移動する。ガラス基板の外観検査工程は、通常端面研磨工程の後に行うため、このディスクケースに収納された状態で検査を待つことになる。ここで、外観検査のために、前述したように、斜め一方向型配置や山型配置のように階段状に配置しなければならないが、このディスクケースを活用して、簡便で、スピーディーな検査装置を提案する。
【００３１】
本ディスク検査装置は、図４に示すように、ディスクケース搭載台１１と、該ディスクケース搭載台を鉛直上下両方向に可動せしめるガイドレール１２と、該ディスクケースに収納されている該複数のディスクと同じ前記所定の間隔を隔てて並んだ複数の前記ディスク保持具２から構成され、これらがベース板１上に配置されている。
【００３２】
通常、ディスクケースには、複数のディスクが、上方が開放された収納レーンと、この収納レーンの内壁に形成されガラス基板を収納保持するための複数の溝部とを有しており、この溝部が互いに所定の間隔を隔てて設置されている。そして、ディスクケースの底部には、ディスク直径よりは狭い幅でディスクケースの長手方向にわたり開口部がある。
【００３３】
また、ディスクケース搭載台１１にもディスクの底部と同様な開口部があり、ディスクケースを搭載したとき、ディスクケースの底部開口部と位置的に合致するようになっている。ディスクケース搭載台１１は、ガイドレール１２に従い鉛直上下動ができる構造となっている。前記ディスク保持具２は、ベース板１３上において、2本のガイドレール１２を結ぶ直線上に、所定の間隔に従い配列されている。
【００３４】
次に操作について説明する。図５に示すように、ガラス基板を収納したディスクケース１４を、前記ディスク搭載台１１の所定の位置に置く。そのディスクケース搭載台１１をガイドレール１２に従って鉛直下方向に移動させる。ディスクケース搭載台１１の開口部とそれに合致するディスクケース１４の底部の開口部に、ベース板１３上に配置された複数のディスク保持具２が挿入される構造となっている。図６に示すように、ディスク保持具２の所定の間隔が、ディスクケース１4の溝部の所定の間隔と合致するようになっているので、ディスクケースを下方に移動させることにより、ディスクケース内に収納したガラス基板が、対応するディスク保持具に保持されることとなる。こうして、ディスクケースに収納されたガラス基板を、ディスク保持具に移載することができる。図６の例は、山型配置の例であり、簡便な操作により、ガラス基板を山型配置にすることができる。
【００３５】
このとき、ディスク保持具２の間隔を、ディスクケース溝部の間隔の2倍とすれば、１枚おきにガラス基板を保持することができる。間隔を空けて、検査したいときなどに応用できる。例えば、ディスク保持具２をベース板１３に、脱着可能な構造としておけば、任意の位置のガラス基板のみを保持することが可能となる。例えば、抜き取り検査をするときなどに適用できる。
【００３６】
図５、図６は山型配置の例であるが、斜め一方向配置等、多種な配置形態にも対応できることは、言うまでもない。
【実施例】
【００３７】
磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、端面研磨後の端面外観検査において、図５と同形の本発明による検査装置を適用した。従来実施していた、ディスクケースに収納した状態でのガラス基板外観検査と比較した。
【００３８】
その結果、検査効率が向上したことにより、当該検査工程の生産性が約３％向上した。また、もともと端面研磨後の端面のカケやチッピングの発生頻度が低いものの、検査精度の指標である不良の発見頻度は約２％向上した。従来、最終検査工程で不良とされていたものが、端面研磨後に取り除かれるので、その間の表面研磨工程での無駄な生産がなくなり、全体としての生産性が約５％向上した。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、磁気ディスク用ガラス基板の外観検査への適用を例として説明したが、これに限らず、円板形状をしたディスクであれば何にでも適用できる。例えば、半導体用シリコンウェハや、ＤＶＤディスク等の外観検査に適用できる。そして、以上説明したように、簡便な方法により、検査効率と検査精度の向上が図られ、その結果、製品生産性の向上が達成できることから、産業への貢献度は大きいものと確信する。
【符号の説明】
【００４０】
１    磁気ディスク用ガラス基板
２    ディスク保持具
１１    ディスクケース搭載台
１２    ガイドレール
１３    ベース板
１４    ディスクケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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