(57)【要約】      （修正有）【課題】簡略な構造で、洗浄時の装置振動を抑制し、均一な洗浄を可能にする低コストの高圧洗浄液噴射式洗浄装置を提供する。【解決手段】高圧洗浄液を一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズル３を備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置１で、ノズルホルダー２が３本で、相互に平行に隣接させて配置し、往復スライダ・クランク機構７を介して共通のサーボモータ３０により中央のノズルホルダー２ｃと両側方のノズルホルダー２ｂとを逆向きに直進往復移動させるとともに、中央のノズルホルダー２ｃの質量を両側方のノズルホルダー２ｂの質量の２倍に設定し、かつ往復スライダ・クランク機構による偏心量ｒを各ノズルホルダー２ｂ・２ｃについて同一にし、洗浄対象物ｘをノズルホルダー２ｂ・２ｃの長手方向に直交する方向に搬送しながらノズルホルダー２ｂ・２ｃを長手方向に往復移動させると同時に、各噴射ノズル３から高圧洗浄液を噴射させて洗浄する。【選択図】図６
2010206143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、
多数の前記高圧洗浄液噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、
前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダーを相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄することを特徴とする高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項２】
前記ノズルホルダーが３本で、相互に平行に隣接させて配置し、ピストン・クランク機構を介して共通のモータにより中央のノズルホルダーと両側方のノズルホルダーとを逆向きに直進往復移動させるとともに、中央の前記ノズルホルダーの質量を両側方の前記ノズルホルダーの質量の２倍に設定し、かつ前記ピストン・クランク機構による偏心量を前記各ノズルホルダーについて同一にしたことを特徴とする請求項１記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項３】
前記ノズルホルダーの下面に前記各噴射ノズルを長手方向に沿って等間隔に配列するとともに、前記ノズルホルダーの長手方向に沿って高圧洗浄液供給路を前記各噴射ノズルに連通させて設け、
前記高圧洗浄液供給路の端部に可撓性の高圧洗浄液供給管の一端を接続したことを特徴とする請求項１または２に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項４】
前記各ノズルホルダーをその長手方向に直進往復移動可能に支持するとともに、その長手方向の軸回りに回転可能に支持し、
前記各ノズルホルダーをその長手方向に所定距離内で往復移動させながら、同時に長手方向に直交する方向に所定回転角度内で往復回転させるようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項５】
共通のモーターにより前記ノズルホルダーの回転軸に対し長手方向の往復移動を許容しかつ前後方向に往復回転可能な回転力を付与するとともに、前記ノズルホルダーの回転軸に対し前後方向の回転を許容しかつ長手方向に往復移動可能な直動力を付与することを特徴とする請求項４に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項６】
前記ノズルホルダーの前後方向への往復回転ストローク距離と前記ノズルホルダーの長手方向への往復移動ストローク距離とを一致させたことを特徴とする請求項４または５に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項７】
２本の前記ノズルホルダーを対として複数組を平行に、前記洗浄対象物の搬送方向に沿って配列したことを特徴とする請求項１に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項８】
２本のノズルホルダーの組を１の列とし、上方より見て２つの前記列の境に対して鏡面対象となる構成および動作をするように、前記各列のノズルホルダーの組を相互に隣接させて配置したことを特徴とする請求項１に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項９】
前記複数本のノズルホルダーのうちの一部を、高圧水洗浄機構を具備しないダミーホルダーとしたことを特徴とする請求項１，２，７および８のいずれかに記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。
【請求項１０】
高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、多数の前記高圧洗浄液噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダーを相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄する高圧洗浄液噴射式洗浄装置における前記各ノズルホルダーの駆動装置で、
前記ノズルホルダーをその長手方向の軸回りに所定回転角度内で往復回転させるとともに、前記ノズルホルダーの直進往復移動の周期と長手方向軸回りの往復回転の周期とを同期させ、前記ノズルホルダーの前記噴射ノズルから噴射される洗浄液による洗浄軌跡が円形または楕円形にすることを特徴とするノズルホルダー駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として、液晶パネル、プラズマパネル、太陽電池パネル、有機ＥＬ（エレクトリックルミナンス)パネルなどのＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や大型板状ガラスや半導体ウエハーなどの平坦な板状物を高圧洗浄液を噴射して洗浄する高圧洗浄液噴射洗浄装置（ウォータジェット洗浄機ともいう）に関する。詳しくは、たとえば、液晶ディスプレイや半導体ウエハーなどの製造工程で、ガラス基板表面の微小な粒子や有機物や金属不純物といった歩留り低下の原因となる汚濁物質を高圧洗浄液(高圧水を含む）を噴射して除去するのに使用でき、構造が簡単で低コスト化が可能な高圧洗浄液噴射洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の高圧洗浄液噴射洗浄装置として、複数の高圧液噴射ノズルを並べて装着したノズルホルダーをその支持軸回りに旋回（円運動）させながら若しくは円錐状に揺動させながら、洗浄装置から噴射する高圧洗浄液を洗浄対象物に対し垂直に当てながら直交方向に移動させることで、噴射ノズルから噴射する高圧洗浄液にて洗浄対象物の一面を緻密に洗浄する装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この装置は１本の直線状に高圧洗浄液が噴射する収束型ノズルを備えている。
【０００３】
従来の一般的な洗浄装置で使用されているノズルは、噴射される洗浄液が円錐状に広がるコーン型、若しくは扇状に広がるファン型が多い。これらのノズルであれば、洗浄液の噴流が拡散し、その拡散する幅が広いために、上記特許文献１の洗浄装置のように円運動させたり、揺動させたりする必要がない。
【０００４】
一方、特許文献１の洗浄装置では、洗浄液が拡散しない１本の直線状になって噴射される収束型噴射ノズルを使用しているため、噴射される洗浄液のエネルギー密度がコーン型やファン型に比べて数十倍と非常に高い。したがって、洗浄面での剥離・洗浄効果は非常に優れている。しかし、洗浄対象物に対し洗浄液が当たる領域（面積）が極めて狭く、局所部分しか洗浄できない。いいかえれば、洗浄液が当たっていない箇所が広く、それらの箇所は洗浄されない。
【０００５】
これを解決するために、本願の発明者らは、洗浄対象物を一定速度で移動させながら多数の高圧液噴射ノズルから洗浄液を前記洗浄対象物に対し一直線状に噴射させて洗浄する高圧液噴射洗浄システムで、各高圧液噴射ノズルを洗浄対象物に向けかつ相互に間隔をあけて共通のノズルホルダーに配列し、前記各高圧液噴射ノズルの向きを揃え、前記各高圧液噴射ノズルを前記ノズルホルダーを介して一体的に水平面内で旋回円運動させながら各高圧液噴射ノズルから洗浄対象物に対し高圧液を噴射させるようにした洗浄方法と同洗浄装置を開発し、特許出願(2007−281322）している。
【０００６】
この種の洗浄装置に関する他の先行技術に、洗浄対象物の表面内の他の領域より付着物が多い特定領域を検出する検出手段と、前記洗浄対象物をその搬送方向に沿って傾斜させた状態で保持する保持手段と、前記洗浄対象物を前記保持手段により保持されたままで前記搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、前記洗浄対象物の表面に洗浄液を吐出する吐出手段と、前記表面の面内方向であり、かつ前記搬送方向に直交する方向である前記洗浄対象物の幅方向に沿って前記吐出手段を移動させる移動手段とを備え、前記特定領域に選択的に前記吐出手段から前記洗浄液を吐出する洗浄装置が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許２７０５７１９号公報
【特許文献２】特開２００６−１０９４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
・上記したように、ホルダーをその支持軸回りで旋回円運動させる際の回転速度を上げれば上げるほど、洗浄の緻密性（洗浄対象物に対し噴射洗浄液が当たる単位体積当たりの割合）が高まるが、一方でホルダーまたはホルダーを含む装置全体の振動が増大する。すなわち、この振動加速度は回転速度の２乗で増大するから、特許文献１に記載のような手持ち式洗浄装置にあっては、作業者が手で持った状態で洗浄作業を継続するのが困難になる。また、ホルダーに装着されるノズルの数を２倍〜３倍に増やすと、ホルダーの全長が延びるだけでなく、ホルダーの外径が大幅に大きくなるから、手持ち式洗浄装置としては不的確である。
【０００９】
・特許文献２に記載の装置は、洗浄対象物上の付着物が多い特定流域を集中的に洗浄する装置であり、洗浄対象物の全体を均一に洗浄する装置ではない。
【００１０】
・先願にかかる上記特許出願の洗浄装置７０は、図１０に示すように多数の高圧水噴射ノズル７２が配列されたノズルホルダー７１を、両側の駆動軸７４を偏心回転させて水平面内で旋回円運動しながら洗浄する構造からなる。このため、図１０においてＹ方向への加振時に二等辺三角形状の曲げモーメントがノズルホルダー７１に作用する。したがって、ノズルホルダー７１にはその曲げモーメントに打ち勝つだけの断面強度を持たせる必要があり、ノズルホルダー７１の剛性を上げるために大型化し、重量が増大する。それに伴って、両側の偏心回転駆動部７３および駆動モータも増強しなければならず、コストアップの要因になるほか、外部振動の増大につながる。また、密閉した洗浄室７６を確保するためには、旋回円運動するノズルホルダー７１から両側方に延びる支持部７５と洗浄室７６の両側壁７７とに所定の隙間（図１０のＧ部）を設けた上で、洗浄対象物（図示せず）の搬送方向前後部の隙間をシールしなければならない。このため、シール装置が複雑になる。
【００１１】
本発明は上記の点に鑑みなされたもので、上記の先願に係る洗浄装置に比べて構造を簡略化でき、小型・軽量化を図れ、低コスト化を達成でき、また洗浄時の装置の振動を抑制し、均一で効率的な洗浄を可能にする高圧洗浄液噴射式洗浄装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置は、高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の高圧洗浄液噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、多数の前記噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダー同士を駆動装置により前記ノズルホルダー長手方向に対し相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄することを特徴とする。
【００１３】
上記の構成を有する請求項１に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置によれば、多数の高圧洗浄液噴射ノズルがノズルホルダーとともにノズルホルダーの長手方向(左右方向）に所定距離内で直線状に往復移動すると同時に、多数の噴射ノズルから高圧洗浄液が一直線状に噴射されるから、高い洗浄強度が得られる。また、隣接する少なくとも２本のノズルホルダーが駆動装置により相互に逆方向に往復移動して洗浄作業を行うから、全体としての重心位置が移動しないために容易に重量バランスおよびモーメントバランスが取れた状態で往復移動させられるので、振動が少なくノズルホルダーがスムーズに移動し、また２本以上のノズルホルダーを相互に隣接した状態で洗浄対象物の幅方向にわたってほぼ隙間なく高圧洗浄液を均一に噴射させられ、洗浄ムラが生じにくい。さらに、洗浄の高速化を図るために洗浄対象物の移動速度を速めたり、往復移動時間を短縮したり、往復するノズルホルダーの移動速度を速めたりしても、ノズルホルダーあるいはノズルホルダーを含む装置全体の振動加速度が増大することがなく、振動が抑制される。
【００１４】
請求項２に記載のように、前記ノズルホルダーが３本で、相互に平行に隣接させて配置し、ピストンクランク機構や往復スライダクランク機構などの各種クランク機構を介して共通の駆動用モータにより中央のノズルホルダーと両側方のノズルホルダーとを同時に逆向きに直進往復移動させるとともに、中央の前記ノズルホルダーの質量を両側方の前記ノズルホルダーの質量の２倍に設定し、かつ前記往復スライダ・クランク機構による偏心量を前記各ノズルホルダーについて同一にすることが望ましい。
【００１５】
このようにすれば、洗浄作業時に中央のノズルホルダーとこのノズルホルダーを挟んで両側方のノズルホルダーとが力Ｆおよび運動モーメントＭ（Ｆ×ｒ）においてそれぞれバランスした状態で往復移動するから、たとえば偏心量（ｒ）１０ｍｍで８００〜１０００ｒｐｍ程度の高回転速度で各ノズルホルダーを往復移動させても、振動が生じずスムーズに移動する。
【００１６】
請求項３に記載のように、前記ノズルホルダーの下面に前記各噴射ノズルを長手方向に沿って等間隔に配列するとともに、前記ノズルホルダーの長手方向に沿って高圧洗浄液供給路を前記各噴射ノズルに連通させて設け、前記高圧洗浄液供給路の端部に可撓性の高圧洗浄液供給管の一端を接続することができる。
【００１７】
このようにすれば、ノズルホルダーの一端部に可撓性の高圧洗浄液供給管を接続して洗浄液をノズルホルダーに供給するので、クランク機構やモータなどを介してノズルホルダーを往復移動させることができる。また、ノズルホルダーは長手方向（左右方向）に直線状に往復移動するので、ノズルホルダーの往復移動時に可撓性の高圧洗浄液供給管が屈曲変形してノズルホルダー端部の変位を吸収する。そして、高圧洗浄液供給管を通じて高圧洗浄液供給路内に供給される高圧の洗浄液は高圧洗浄液供給路内に臨む（連通する）各噴射ノズルからほぼ均等に洗浄液が高圧下で噴射される。
【００１８】
請求項４に記載のように、前記各ノズルホルダーをその長手方向に直進往復移動可能に支持するとともに、その長手方向の軸回りに回転可能に支持し、前記各ノズルホルダーをその長手方向に所定距離内で往復移動させながら、同時に長手方向に直交する方向に所定回転角度内で往復回転させるようにすることができる。
【００１９】
このようにすれば、多数の噴射ノズルから高圧下で洗浄液を噴射しながら各ノズルホルダーをその長手方向（左右方向）に往復移動させると同時に、各ノズルホルダーの長手方向に直交する方向（前後方向）に往復回転させることができる。このため、ノズルホルダーの長手方向に直交する方向（前後方向）における方向転換点とホルダーの長手方向における方向転換点とで時間的なずれがあるので、高圧の洗浄液が洗浄対象物上の特定箇所に集中して噴射されることがない。また、ノズルホルダーを長手方向に往復移動させながら長手方向に直交する方向にも所定の回転角度内で往復回転させられるから、円形状だけでなく任意の楕円形状を描くように高圧洗浄液を洗浄対象物に噴射して洗浄でき、洗浄の均一性を確保する上で自由度が拡がる。
【００２０】
請求項５に記載のように、共通のモーターにより前記ノズルホルダーに対し長手方向の往復移動を許容しつつ前記ノズルホルダーの長手方向軸回りに往復回転可能な回転力を付与するとともに、前記ノズルホルダーの長手方向軸回りの回転を許容しつつ長手方向に往復移動可能な直動力を付与することができる。
【００２１】
このようにすれば、前記ノズルホルダーを長手方向に一定のピッチで直線状にスムーズに往復移動させながら長手方向の軸回り（前後方向）に往復回転させられるから、円形状だけでなく任意の楕円形状を描くように高圧洗浄液を洗浄対象物に噴射して洗浄でき、洗浄の均一性を確保する上で自由度が拡がる。しかも、共通のモーターにより前記ノズルホルダーの長手方向への往復移動とそれに直交する方向への往復回転とを同時に行わせるので、構造が簡単で二つの動作の連動(同期)が容易になる。
【００２２】
請求項６に記載のように、前記ノズルホルダーの長手方向（左右方向）への往復移動ストローク距離と前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向（前後方向）への往復回転ストローク距離と前記を一致させることができる。
【００２３】
このようにすれば、洗浄対象物に対し洗浄液を真円形状の円を描くように噴射させることができる。しかも、上記した先願の高圧洗浄液噴射式洗浄装置に比べて構造が簡単で、ほぼ同様の洗浄作用を得られる。また、ノズルホルダー前後方向の加速度のバランスは、先願の高圧洗浄液噴射式洗浄装置に比べて取りやすいので、取り扱いが容易になる。
【００２４】
請求項７に記載のように、２本の前記ノズルホルダーを対として複数組を平行に、前記洗浄対象物の搬送方向に沿って配列することができる。
【００２５】
このようにすれば、たとえば請求項１に記載の少なくとも２本のノズルホルダーを対として複数組配列することにより、洗浄の緻密性を向上させられる。
【００２６】
請求項８に記載のように、２本のノズルホルダーの組を１の列とし、上方より見て２つの前記列の境に対して鏡面対象となる構成および動作をするように、前記各列のノズルホルダーの組を相互に隣接させて配置することができる。
【００２７】
このようにすれば、たとえば請求項１に記載の２本のノズルホルダーの駆動反力により生ずる小さな偶力の振動を、必要に応じて対称になる配置で２組設けることにより解消することができる。
【００２８】
請求項９に記載のように、前記複数本のノズルホルダーのうちの一部を、高圧水洗浄機構を具備しないダミーホルダーとすることができる。
【００２９】
このようにすれば、重量バランスを図るために多数本配置されるノズルホルダーについて、洗浄の緻密性を必要としない場合には一部のノズルホルダーの噴射ノズル数を減らしたり、重量バランス専用のダミーのノズルホルダーを設けることによって構造を簡略化できる。
【００３０】
請求項１０に記載のノズルホルダー駆動装置は、高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、多数の前記高圧洗浄液噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダーを相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄する高圧洗浄液噴射式洗浄装置における前記各ノズルホルダーの駆動装置で、前記ノズルホルダーをその長手方向の軸回りに所定回転角度内で往復回転させるとともに、前記ノズルホルダーの直進往復移動の周期と長手方向軸回りの往復回転の周期とを同期させ、前記ノズルホルダーの前記噴射ノズルから噴射される洗浄液による洗浄軌跡が円形または楕円形にすることを特徴とする。
【００３１】
上記の構成を有するノズルホルダー駆動装置によれば、ノズルホルダーごとにこの駆動装置を用いて駆動させることにより、各ノズルホルダーの噴射ノズルから噴射される洗浄液による洗浄軌跡を円形または楕円形にすることができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置は上記の構成を有するから、下記のような優れた効果を奏する。すなわち、
多数の噴射ノズルが少なくとも２本のノズルホルダーとともにその長手方向に所定の速度で往復移動し、この往復移動時に多数の噴射ノズルから洗浄液が洗浄対象物に対して高圧下で噴射され、洗浄作業が行われる。ノズルホルダーを長手方向に往復移動させる場合に、図１に示すように洗浄軌跡がジグザグ（蛇腹状）になるから、洗浄対象物の幅方向（搬送方向に直交する方向）にわたって一定幅の洗浄領域が形成される。したがって、洗浄対象物をその洗浄領域を横切るように一定速度で搬送することにより、洗浄対象物の全面に対して高圧下で洗浄液を均一にかつ洗浄密度を高く保って噴射させられるので、高い洗浄力が得られ、洗浄ムラが生じにくい。
【００３３】
また、ノズルホルダーをその長手方向(左右方向）に往復移動させて洗浄し、隣接配置した少なくとも２本のノズルホルダーを相互に逆向きに移動させる構造からなるから、高速化を図っても振動加速度が増大せず振動が抑制され、洗浄密度の高い優れた洗浄効果が得られる。そして、何よりも本発明の洗浄装置は、先願の、ホルダーを水平面内で旋回させて洗浄する構造の洗浄装置に比べて、ホルダーの剛性を低減でき、軸受などの回転支持構造を軽量化でき、振動が低減されるとともに、製造コストを大幅に低減できる。
【００３４】
さらに、本発明の洗浄装置はクリーン室と呼ばれる密閉された洗浄室内に設置する場合に、図１０に示すような隙間（ノズルホルダー７５と洗浄室側壁７７との間隔）を最小限に抑えることができ、シール機構を簡素化できる。
【００３５】
また、ノズルホルダーの長手方向の往復直線運動に加えてノズルホルダーの長手方向に直交する方向への往復揺動（回転）運動を同時に行わせることにより、洗浄対象物に対し洗浄液を真円形や楕円形状の軌跡を描くように噴射させて洗浄することができるから、先願の洗浄装置に比べて遜色のない洗浄性能が得られ、しかも、構造が簡単で大幅なコストダウンが図れる。また、ノズルホルダーの往復直線運動のタイミングやストローク距離を調整することにより、真円形の洗浄軌跡だけでなく、任意の楕円形状の洗浄軌跡も描けるので、洗浄の均一性を確保する上で自由度が大きくなる。
【００３６】
ノズルホルダーの長手方向における往復移動時のストロークや往復移動回数を変更したり、スタンドオフを変更したりすることにより、洗浄幅（軌跡）を容易に変更でき、条件設定の自由度が広い。とくに請求項２に記載のように３連のノズルホルダーとすることにより、一層緻密な洗浄軌跡の制御が可能になる。また、ノズルホルダーの応力や固有振動数を配慮する必要がなく、つまり撓みと座屈を考慮するだけで済み、ノズルホルダーの小型軽量化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置の第１実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示す高圧洗浄液噴射式洗浄装置１の正面図である。
【図３】ノズルホルダー２の往復移動用クランク機構の他の実施例を示す概念図（原理を表す図）である。
【図４】ノズルホルダー２の実施例を示すもので、図４（ａ）は図４（ｂ）のａ−ａ断図、図４（ｂ）は図４（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図５】図５（ａ）は洗浄液供給管９をホルダー２の一端に接続した状態の正面を示す説明図、図５（ｂ）（ｃ）は洗浄液供給管９の他の実施例を示すもので、図５（ｂ）は高圧ホースからなる洗浄液供給管９’を接続した状態の正面を示す説明図、図５（ｃ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を下から上向きに接続した状態の正面を示す説明図、図５（ｄ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を側方から横向きに接続した状態の正面を示す説明図である。
【図６】本発明の第２実施例に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置１’を示す図面で、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の正面方向より見た断面図である。
【図７】本発明の高圧洗浄液噴射洗浄装置における長手方向の往復直線運動と前後方向の往復回転とを組み合わせた第３実施例にかかる洗浄装置１”を示す図面で、（ａ）は平面図で、（ｂ）は往復回転用駆動機構を概略的に表した正面図である。
【図８】図８および図９は上記第３実施例にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”の、とくに駆動機構の別の実施例を詳細に示す図面で、図８（ａ）は図８（ｃ）のＡ−Ａ断面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図８（ｃ）は図８（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】図９（ｄ）は図８（ａ）の左側面図、図９（ｅ）は図９（ｄ）のＥ方向矢視図、図９（ｆ）は図８（ｃ）のＦ部を拡大して示す詳細図である。
【図１０】多数の高圧水噴射ノズル７２が配列されたノズルホルダー７１を、両側の駆動軸７４を偏心回転させて水平面内で旋回円運動しながら洗浄する構造の、先願にかかる洗浄装置７０を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下に、本発明に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置の実施の形態について説明する。
【実施例１】
【００３９】
図１に示すように、本実施例の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１は  直動式（直進往復移動方式とも称される）の洗浄装置で、多数の高圧洗浄液噴射ノズル３を下面に配列した２本のノズルホルダー２・２を相互に平行に隣接させて備えている。各ノズルホルダー２は、上方より見て長方形状の角筒状体からなり、その下面の長手方向に等間隔に多数の高圧洗浄液噴射ノズル３を配列している。各ノズルホルダー２の長さは洗浄対象物ｘの幅よりやや長く、また洗浄対象物ｘの幅を十分にカバーできるように噴射ノズル３がノズルホルダー２の下面に装着されている。
【００４０】
本実施例の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１は、図１に示すように長方形の薄板状の洗浄対象物ｘを洗浄する装置である。洗浄対象物ｘは図２に示すように洗浄室１０内において、ローラコンベヤ１１により前後方向に沿って搬送される。洗浄室１０の両側方に一対の支持台１２が洗浄室１０を挟むように設置されている。両側の支持台１２上に支柱１３・１４が立設され、各支柱１３・１４の上端部間にノズルホルダー２・２が独立して直線状に往復移動可能に支持されている。詳しくは、各ノズルホルダー２・２の支柱１３・１４側端部は、それぞれリニアガイド１５によりそれぞれ長手方向に摺動自在に支柱１３または支柱１４に対し支持されている。また、支柱１４側では、共通のピストン・クランク機構６により隣接するノズルホルダー２・２が相互の逆方向に往復移動する。すなわち、回転軸１８ａを中心に回転可能で、各ノズルホルダー２・２の一端とそれぞれピン１９ｂ・２０ｂを介して連接棒１９・２０の一端が接続され、連接棒１９・２０の他端とクランクピン１９ａ・２０ａで接続された円板１８が、駆動用モータ１６により一方向に回転する。円板１８はモータ１６の駆動軸と回転軸１８ａで一体回転可能に接続されている。
【００４１】
図３はノズルホルダー２の往復移動用クランク機構の他の実施例を示す概念図で、円板１８上のクランクピン２１・２２が共通のモータ１６により一方向に半径ｒで回転し、クランクピン２１で一端が連結された連接棒２３の他端にピン２５ａで接続されたスライダ２５およびクランクピン２２で一端が連結された連接棒２４の他端にピン２６ａで接続されたスライダ２６がそれぞれガイド２７またはガイド２８に沿って直線状に相互に逆向きに往復移動する。各ノズルホルダー２の質量は同一で、一方はスライダ２５に他方はスライダ２６にそれぞれ一体的に移動可能に連結されている。なお、本例では往復スライダ・クランク機構７が用いられ、円板１８上におけるクランクピン２１・２２の半径ｒはそれぞれ１０ｍｍに設定されている。
【００４２】
これらの構成により、隣接する２本のノズルホルダー２が洗浄対象物ｘの幅方向に±１０ｍｍの範囲内で水平状態に保たれ、相互に逆方向に直線状に往復移動する。図１・図２の実施例１では、ノズルホルダー２を往復回転させる機構としてピストン・クランク機構６を用いており、図３の実施例では往復スライダ・クランク機構７を用いており、いずれの実施例でもモータ１６の一方向への回転により行われる。すなわち、ノズルホルダー２は、ピストン・クランク機構６または往復スライダ・クランク機構７により直線状に往復移動する。
【００４３】
上記の各噴射ノズル３から噴射される洗浄液（洗浄水を含む）は、高圧下で１本の直線状になって噴射されるようになっている。各噴射ノズル３から噴射される洗浄液は１本の直線状で洗浄能力（洗浄力）が大きい。また、各噴射ノズル３から噴射される洗浄液は１本の直線状であるが、洗浄対象物ｘの幅方向に沿って２本のノズルホルダー２が相互に逆方向に往復移動するとともに、洗浄対象物ｘをローラコンベヤ１１などの搬送機構によって所定の速度で搬送するので、両者の速度を調整することにより、洗浄対象物ｘの全面をほぼ隙間なく洗浄することができる。
【００４４】
図４は多数の噴射ノズル３を下面に配列したノズルホルダー２の実施例を示す図面で、本例のノズルホルダー２は、図４（ａ）・図４（ｂ）に示すように、断面四角形状の長尺なノズルホルダー２の上部に高圧洗浄液供給路３２が長手方向に沿って設けられている。また、多数の噴射ノズル３を一定ピッチで装着したノズル部４がノズルホルダー２の下部に設けられ、ノズル部４には各噴射ノズル３の下方に臨む下端を開放した開口４ｃが形成されている。さらに、ノズルホルダー２の下部の一端部には、高圧洗浄液供給路３２に連通する接続孔４ｄが設けられ、この接続孔４ｄに高圧洗浄液供給路３２の一端が接続されている。なお、本例の場合、可撓性を有する金属製やゴム製で外周面に金属ブレード（ワイヤー）を巻装して強化した高圧ホースなどの洗浄液供給管９（図５（ａ）参照）を高圧洗浄液供給路３２の一端部に接続する。
【００４５】
金属製供給管９の他端は、高圧洗浄液貯留タンク（図示せず）に接続され、この高圧洗浄液貯留タンクから金属製供給管９を介してノズルホルダー２の高圧水供給路３２の一端に接続され、その高圧水供給路３２から各噴射ノズル３へ高圧下で洗浄液が供給され、各噴射ノズル３から一直線状に高圧の洗浄液が噴射される。なお、金属製の高圧洗浄液供給管９は可撓性を備えていれば螺旋状にしなくてもよく、たとえば直線状にして供給管９の全体が湾曲するようにしてもよい。また、図５（ｂ）（ｃ）は洗浄液供給管９の他の実施例を示すもので、図５（ｂ）は高圧ホースからなる洗浄液供給管９’を示し、図５（ｃ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を下から上向きに接続した状態を示し、図５（ｄ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を側方から横向きに接続した状態を示している。
【００４６】
上記実施例にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１によれば、図１に示すように洗浄対象物ｘの搬送方向（矢印）に対して直交し、２本のノズルホルダー２・２の各噴射ノズル３から１本の直線状に高圧下で洗浄液を噴射しながら洗浄対象物ｘの幅方向に揺動（往復回転）する。すなわち、本実施例にかかる高圧洗浄液噴射洗浄装置１によれば、ノズルホルダー２下面に等間隔に配列された各噴射ノズル３から噴射される洗浄液が洗浄対象物ｘの幅方向に往復移動し、矢印方向に搬送される洗浄対象物ｘは、多数の噴射ノズル３から噴射される高圧洗浄液の軌跡が重なり合って構成される洗浄領域を横切るように移動することになるから、洗浄対象物ｘ上の全面がほぼ隙間なく洗浄液にて洗浄されることになる。
【００４７】
以上に、本発明にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置について実施例を示したが、この実施例に限定されるものではなく、たとえば、下記のように実施することができる。
【実施例２】
【００４８】
図６は本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置の実施例２を示す図面で、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の正面方向より見た断面図である。
【００４９】
図６に示すように、本実施例にかかる洗浄装置１’は、ノズルホルダーが３本で、相互に隣接させて平行に配置し、各ノズルホルダー２はそれぞれ両端面をバネ板８でノズルホルダー２・２の長手方向に移動可能に支持し、各ノズルホルダー２をそれぞれ独立してその長手方向に往復移動できるように構成する。中央のノズルホルダー２ｃの質量を両側のノズルホルダー２ｂの質量の２倍にしている。本例では、３本のノズルホルダー２の一側方（図の左側）にサーボモータ３０を設置し、図６（ｂ）に示すように駆動軸３０ａの一端側に３つのクランク３３・３４・３３が一連に連結され、一体回転可能に連結される。３連のクランク３３・３４・３３を挟むようにその両端の駆動軸３０ａが軸受３５により回転可能に支持される。中央のクランク３４のクランクピン３４ａとその両側のクランク３３のクランクピン３３ａとは１８０°位相をずらしている。また、両側のノズルホルダー２ｂにピン３６ａで一端が連結された連接棒３６の他端がクランク３３にクランクピン３３ａで連結されるとともに、中央のノズルホルダー２ｃにピン３７ａで一端が連結された連接棒３７の他端がクランク３４にクランクピン３４ａで連結されている。なお、各クランク３３・３４の他端側（クランクピン３３ａ・３４ａの反対側）には、カウンタウエイト（図示せず）が一体に形成されている。また、３つのクランク３３・３４・３３におけるクランクピン３３ａ・３４ａ・３３ａまでの回転中心からの偏心量ｒは全て同一にする。
【００５０】
この構成により、サーボモータ３０により各クランク３３・３４・３３が一方向（たとえば時計方向）に回転することにより、各ノズルホルダー２は基準位置を中心にその長手方向に±１０ｍｍ、合計２０ｍｍの範囲内で直線状に往復移動する。この状態で、中央に位置するノズルホルダー２ｃとその両側のノズルホルダー２ｂとは、移動方向が相互に逆向きになる。このように、共通のモータ３０により中央のノズルホルダー２ｃと両側方のノズルホルダー２ｂとを逆向きに移動させるとともに、中央のノズルホルダー２ｃの質量を両側方の前記ノズルホルダー２ｂの質量の２倍にし、かつクランク３３・３４による偏心量ｒを各ノズルホルダー２について同一にしているので、洗浄作業時の３本のノズルホルダー２ｃ+２×２ｂに作用する力の和がＦ＝０となり、同モーメントの和もＦ×ｒ＝０となる。したがって、サーボモータ３０の回転速度を、たとえば８００〜１０００ｒｐｍあるいはそれ以上の高回転速度に上げても、ノズルホルダー２の駆動系やノズルホルダー２を初め洗浄装置１’全体には振動等が生じず、安定している。
【００５１】
本実施例では、図６に示すように洗浄室３８を設けて同洗浄室３８内で洗浄対象物ｘを洗浄するようにしている。３本のノズルホルダー２ｂ・２ｃは洗浄室３８の幅よりも長くし、洗浄室３８内を横切ってノズルホルダー２ｂ・２ｃの両側部分を洗浄室３８の両側方に張り出させ、各ノズルホルダー２を洗浄室３８の幅方向に貫通させた状態で長手方向に往復移動できるようにしている。洗浄室３８内の下部にローラコンベヤ４０を配備し、各ノズルホルダー２の下方において、その長手方向に直交する方向に洗浄対象物ｘを搬送するようにしている。洗浄室３８の両側壁と各ノズルホルダー２との間にわずかに隙間を設け、この隙間をシール機構３９で密封するとともに、ノズルホルダー２の往復移動時に洗浄室３８内で発生する空気流をシール機構３９の上端部に排気口３９ａを設けて外部（大気中）へ排出できるようにしている。また、各ノズルホルダー２の一端部上面に可撓性を有する高圧洗浄液供給管９の一端を接続し、洗浄液貯留タンク（図示せず）からノズルホルダー２の下面の各噴射ノズル３に供給できるようにしている。
【実施例３】
【００５２】
つぎに、図７は本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置における実施例３の原理図を示すものである。本実施例にかかる洗浄装置１”は、図１の直進往復移動式洗浄装置１に２本の各ノズルホルダー２の長手方向に直交する方向への、いいかえれば長手方向の軸回りにおける往復回転を付加することにより、各噴射ノズル３からの洗浄液を円形や楕円形を描くように洗浄対象物ｘに対し噴射させることができる。このため、各ノズルホルダー２の両側部を両側方の支柱１３・１４に対し軸受装置１５’を介して、各ノズルホルダー２の長手方向への移動が可能なように支持するとともに、各ノズルホルダー２を長手方向軸回りに回転可能に支持している。
【００５３】
図７（ａ）に示すように、各ノズルホルダー２に対し長手方向に一定のピッチで往復直線運動を付与する駆動機構には、往復スライダ・クランク機構４１が用いられている。この機構４１によりサーボモータ４２の一方向への回転力を後述の円筒体状伝達部４６・４６をガイドとして各ノズルホルダー２の長手方向への往復駆動力に変換し、各ノズルホルダー２に対し相互に逆向きに往復移動可能な直動力（直線方向の往復駆動力）を付与する。モータ４２で回転する円板４３の外周部において、回転軸４３ａを中心に対向する位置に連接棒４４・４５の一端がクランクピン４４ａ・４５ａで接続され、連接棒４４・４５の他端が各ノズルホルダー２の一端に一体に連結されたスプライン軸２ｄにピン４４ｂ・４５ｂで接続されている。
【００５４】
各伝達部４６の内周面にはノズルホルダー２の一端のスプライン軸２ｄに噛合するスプライン歯４６ｃが形成され、各スプライン軸２ｄの周囲に配置され、スプライン機構を介して軸方向に摺動可能にかつ軸回りの回転力を伝達可能に接続されている。一方、図７（ｂ）に示すように、別のサーボモータ４８の一方向への回転力を、ピストン・クランク機構４７により一対の円筒体状伝達部４６・４６の一方に伝達する。各伝達部４６にはレバー４６ａが一体回転可能に連結され、２つのレバー４６ａの先端部間が連接棒４６ｂで接続されている。モータ４８で回転する円板４９の外周部において、連接棒４７ａの一端がクランクピン４７ｂで接続され、他端が一方のレバー４６ａの先端部に接続されている。各ノズルホルダー２・２のスプライン軸２ｄが伝達部４６内に挿入され、各スプライン軸２ｄに対しスプライン機構を介して軸方向の移動を許容するように接続されている。モータ４８で円板４９が一方向に回転することにより、レバー４６ａを介して一対の伝達部４６が同時に所定角度θの範囲内で左右に往復回転する。このようして、ノズルホルダー２の長手方向の軸回りに往復回転力が付与される。これにより、２本のノズルホルダー２は、駆動機構４１によりその長手方向に相互に逆方向に往復移動すると同時に、駆動機構４７により長手方向に直交する方向において同一方向に往復回転する。
【００５５】
以上の構成により、本実施例にかかる洗浄装置１”では、多数の噴射ノズル３から高圧下で洗浄液を噴射しながら、サーボモータ４２・４８の回転により各ノズルホルダー２を相互に逆向きに長手方向に往復移動させると同時に、各ノズルホルダー２を長手方向軸回り（前後方向）に往復回転させることができる。また、ノズルホルダー２の長手方向への往復移動と長手方向軸回り（前後方向）の往復回転とを同期させることによって、洗浄液を真円形状ないし楕円形状の円を描くように噴射させられるので、洗浄対象物ｘに対し隙間なく均一に洗浄液を噴射でき、洗浄密度の高い優れた洗浄効果が得られる。しかも、ノズルホルダー２（噴射ノズル３）の前後方向における方向変換位置とノズルホルダー２の長手方向における方向変換位置とに時間的なずれがあるので、洗浄液が洗浄対象物ｘ上の特定箇所に集中して噴射されることがない。さらに、ノズルホルダー２の長手方向への往復移動ストローク距離とノズルホルダー２の前後方向への揺動ストローク距離とを一致させることもでき、この場合には、洗浄対象物ｘに対し洗浄液を真円形状の円を描くように噴射させることができる。また、両方のストローク距離を調整することで、真円形状だけでなく任意の楕円形状を描くように洗浄液を噴射させることができ、洗浄の均一性を確保する上で自由度が拡がる。その他の構成については、上記実施例１にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１と共通するので、共通の部材については同一の符号を用いて図面に示し、説明を省略する。なお、図示は省略するが、上記第２実施例における３連のノズルホルダー２についても、上記の図７に示す駆動機構４１・４７を適用することにより、各ノズルホルダー２を相互に逆向きに長手方向に往復移動させると同時に、各ノズルホルダー２を長手方向軸回り（前後方向）に往復回転させることができる。
【００５６】
さらにまた、本例の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”は上記した先願の洗浄装置に比べて構造が簡単で、ほぼ同様の洗浄作用を得られる。また、ノズルホルダー２の前後方向の加速度バランスは、先願の洗浄装置よりも取りやすいので、取り扱いが容易になる。
【００５７】
図８および図９は上記の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”の、とくに駆動機構の他の実施例を詳細に示す図面である。
【００５８】
これらの図面に示すように、本例の駆動機構５０では共通のモータ６１によりギヤ機構６２・６３を介してノズルホルダー２の長手方向への直動往復運動とノズルホルダー２の長手方向軸回りの往復回転とを、それぞれピストンクランク機構５１・５２を介して行うようにしている。図８に示すようにノズルホルダー２（図１参照）の一端部には、スプライン機構５３を介してノズルホルダー２の長手方向への往復直線運動を可能にする一方、スプライン機構５３の一部周囲を覆う円筒体状の外筒部５３ａに隣接（図８（ｃ）では外筒部５３ａの右側方に隣接）する回転連結部５４において、図９（ｆ）に示すように軸受５４ａおよび細径支持棒２ｅを介してノズルホルダー２を回転可能に連結している。細径支持棒２ｅは、図１に示すノズルホルダー２の一端に連結した回転軸２ｂに一体回転可能に固定されている。また、回転連結部５４が一端を開口したコの字状カバー体５５内に遊嵌され、この状態で支軸５５ａおよび軸受５５ｂを介して支軸５５ａを中心に折曲可能に連結されている。また、図９（ｆ）に示すように、コの字状カバー体５５の他端側中心部とピストンクランク機構５２のピストン部５２ａとが連結杆５６で連結されている。つまり、外筒部５３ａはスプライン機構５３によりノズルホルダー２の長手方向への往復移動を許容しつつ、ノズルホルダー２の軸回りに所定角度θずつ往復回転する（図９（ｄ）ではθ＝３０°）。なお、外筒部５３ａは軸受５３ｂを介して装置本体のケーシングに回転可能に支持されている。
【００５９】
まず、モーター６１の回転がギヤ機構６２(ギヤ６２ａ・６２ｂ）を介して減速され、第１回転駆動軸６７に伝達されて回転する。駆動回転軸６７の先端にクランク６８の一端が軸受６８ａを介して軸回りに回転可能に接続され、クランク６８の他端のピストン部６８ｂはレバー６９の一端に軸着にて接続されている。また、レバー６９の他端は外筒部５３ａに一体回転可能に接続され、長手方向の軸回りに往復回転する。さらに、第１回転駆動軸６７に直交して第２駆動回転軸６０が配置され、第１駆動回転軸６７の回転がベベルギヤ６３ａ・６３ｂを介して第２駆動回転軸６０に伝達され、第２駆動回転軸６０が同時に回転する。また、第２駆動回転軸６０と平行に第３駆動回転軸６４が配置され、第２駆動回転軸６０の回転がギヤ６０ａ・６４ａを介して第３駆動回転軸６４に伝達される。第３駆動回転軸６４の一方向への回転より先端の、対向的に配置されたクランク６５が回転し、各クランク６５先端のピストン部６５ａおよび連結杆５６および回転連結部５４を介してノズルホルダー２がその長手方向へ直動往復移動する。なお、連結杆５６のピストン部６５ａ側の各クランク６５による往復回転は、回転連結部５４における支軸５５ａを中心に連結杆５６の他端側が折れ曲がり運動することにより吸収される。また、第１駆動回転軸６７は連結杆５６と平行に配置される。
【００６０】
このように構成される本実施例にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”について、１本のノズルホルダー２について動作を説明する。
【００６１】
図８・図９に示すように、モーター６１の回転を開始することにより、ギヤ機構６２を介して第１駆動回転軸６７が回転し、同時にベベルギヤ機構６３を介して第２駆動回転軸６０が回転し、さらにギヤ６０ａ・６４ａを介して第３駆動回転軸６４に伝達され、第３駆動回転軸６４が回転する。駆動回転軸６４の回転でクランク６５が回転し、クランク６５先端のピストン部６５ａおよび連結杆５６を介して回転連結部５４で支軸５５ａを中心に連結杆５６の他端（ピストン部６５ａ）側が図８（ｃ）のように連結杆５６の軸線に対し直交する方向に往復回転しながら、ノズルホルダー２が長手方向に沿って往復直線移動する。また、第１駆動回転軸６７が同時に回転することにより、クランク６８が回転してその先端のピストン部６８ｂが所定角度ずつ往復回転し、レバー６９および外筒部５３ａを介してノズルホルダー２を長手方向軸回りに往復回転させる。なお、回転連結部５４によるノズルホルダー２の長手方向への直線往復移動はスプライン機構５３で許容され、外筒部５３ａの往復回転には支障を来さない。一方、回転連結部５４の往復回転は軸受５４ａ(図９（ｆ））で許容されるので、ノズルホルダー２の直線往復移動には支障を来さない。したがって、ノズルホルダー２は共通（１台）のモーター６１の回転により長手方向への往復直線移動と軸回りの往復回転とを同時に行うことができる。なお、上記の駆動機構５０を各ノズルホルダー２ごとに用いて電気的に同期させることにより、複数本のノズルホルダー２について各ノズルホルダー２を相互に逆向きに長手方向に往復移動させると同時に、各ノズルホルダー２を長手方向軸回りに往復回転させることができる。
【他の実施例】
【００６２】
・請求項７に記載のように
・上記実施例１・２では、ノズルホルダー２の下面に噴射ノズル３を一定間隔で直線状に配列したが、千鳥状に等間隔に２列〜３列を配列することができる。
【００６３】
・上記実施例１・２では、ノズルホルダー２が２本と３本の場合について説明したが、４本あるいは５本以上に増やすこともできる。
【００６４】
・ノズルホルダー２を長手方向に往復移動させる駆動機構として、オフセットクランク機構やクランクにクランクの幅ｒの１／２の小歯車を用いたリニアクランク機構を使用することができる。
【００６５】
・上記実施例３ではノズルホルダー２が２本の場合を例示したが、たとえば３本であっても同様に実施できることは言うまでもない。
【００６６】
・上記各実施例では、ノズルホルダー２を洗浄対象物ｘの上面側にのみ配置したが、洗浄対象物ｘの上下両面に配置することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、主に、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や大型板状ガラスや半導体ウエハーなどの平坦な板状物を高圧洗浄液を噴射して洗浄する高圧洗浄液噴射洗浄装置として利用される。
【符号の説明】
【００６８】
１・１’・１”高圧洗浄液噴射式洗浄装置
２・２ｂ・２ｃノズルホルダー
２ａ回転軸
２ｄスプライン軸
３  噴射ノズル
４  ノズル部
４ｃ開口
４ｄ接続孔
６  ピストン・クランク機構
７  往復スライダ・クランク機構
８  バネ板
９・９’・９”高圧洗浄液供給管
１０  洗浄室
１１  ローラコンベヤ
１２  支持台
１３・１４  支柱
１５  リニアガイド
１５’軸受
１６  駆動用モータ
１７  無端ベルト
１８  円板
１８ａ回転軸
１９・２０  連接棒
１９ａ・２０ａクランクピン
１９ｂ・２０ｂピン
２１・２２  クランクピン
２３・２４  連接棒
２５・２６  スライダ
２５ａ・２６ａピン
２７・２８  ガイド
３０  サーボモータ
３０ａモータ３０の駆動軸
３２  高圧洗浄液供給路
３３・３４  クランク
３３ａ・３４ａ  クランクピン
３５  軸受
３８  洗浄室
３９  シール機構
３９ａ排気口
４０  ローラコンベヤ
４１  往復スライダ・クランク機構
４２・４８  サーボモータ
４３・４９  円板
４４・４５  連接棒
４６  円筒体状伝達部
４７  ピストン・クランク機構
４６ｃスプライン機構（スプライン歯）
ｘ  洗浄対象物
【図１】
2010206143.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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