(57)【要約】【課題】信号電荷を分岐させて転送するに際して、信号電荷を誤って別の分岐転送路に転送することを防ぎ、転送効率を改善する。【解決手段】分岐部の上流側の電荷転送部の転送電極に印加する駆動パルスφＨ１、φＨ２の遷移開始時点ｔａが、下流側の電荷転送部の転送電極に印加する駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂ、Ｃ内になるように駆動する。【選択図】図６
2010056639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電荷を分岐させて転送する電荷転送装置であって、
半導体基板上に形成されたチャネル領域と、
前記チャネル領域の上方に、前記チャネル領域が延在する方向に連続して配置された複数の電荷転送電極と、
前記電荷転送電極に対して駆動信号を供給する駆動部と、を備え、
前記チャネル領域は、電荷転送方向上流側の第１領域と、前記第１領域の電荷転送方向下流側に隣接する分岐領域と、前記分岐領域から２分岐した第２領域及び第３領域を含み、
前記分岐領域は、電荷転送方向上流側で浅く、下流側で深くなるポテンシャルを有しており、
前記駆動部は、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に対して、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである第１駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に対して、所定の固定電圧信号を供給し、前記第２領域上方の前記電荷転送電極及び前記第３領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルスである第２駆動パルスを供給するとともに、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に隣接する前記第２領域上方の前記電荷転送電極と前記第３領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第２駆動パルスを互いに逆位相で供給するものであり、
前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスの遷移期間内にある電荷転送装置。
【請求項２】
請求項１記載の電荷転送装置であって、
前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスがクロスオーバーする時点と前記第２駆動パルスの遷移完了時点との間にある電荷転送装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の電荷転送装置であって、
前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移完了時点は、前記第２駆動パルスの遷移完了時点より後である電荷転送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の電荷転送装置であって、
前記駆動部は、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に前記第１駆動パルスを供給するための配線に起因する静電容量による遅れ時間を考慮して、前記第１駆動パルスの遷移開始時点を定めて前記第１駆動パルスを発生させるものである電荷転送装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項記載の電荷転送装置であって、
前記分岐領域の電荷転送方向上流側で浅く、下流側で深くなるポテンシャルは、不純物濃度が異なる少なくとも２つの領域によって、又は、導電型が異なる少なくとも２つの領域によって、又は、同一の導電型の不純物濃度を連続的に変化させることによって、又は、前記分岐領域上のゲート絶縁膜が膜厚が異なる少なくとも２つの領域によって、又は、前記分岐領域上方の電極が少なくとも２つに分割されており、かつ、それぞれ異なる直流電圧を印加することによって、形成されている電荷転送装置。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか１項記載の電荷転送装置であって、
前記分岐領域の平面形状が、電荷転送方向上流側から下流側に向かって、幅が狭くなる略三角形又は台形の部分を有する電荷転送装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項記載の電荷転送装置であって、
更に、前記第２領域及び前記第３領域を転送される電荷を、それぞれ電気信号として検出する検出部と、
前記検出部で検出された電気信号を出力する信号出力部と、を備える電荷転送装置。
【請求項８】
半導体基板上に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域の上方に、前記チャネル領域が延在する方向に連続して配置された複数の電荷転送電極と、を備え、前記チャネル領域は、電荷転送方向上流側の第１領域と、前記第１領域の電荷転送方向下流側に隣接する分岐領域と、前記分岐領域から２分岐した第２領域及び第３領域を含み、前記分岐領域は、電荷転送方向上流側で高く、下流側で低くなるポテンシャルを有している、電荷転送装置の駆動方法であって、
前記第１領域上方の前記電荷転送電極に対して、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである第１駆動パルスを供給し、
前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に対して、所定の固定電圧信号を供給し、
前記第２領域上方の前記電荷転送電極及び前記第３２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルスである第２駆動パルスを供給し、
前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に隣接する前記第２領域上方の前記電荷転送電極と前記第２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第２駆動パルスを互いに逆位相で供給するものであり、
前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスの遷移期間内にある電荷転送装置の駆動方法。
【請求項９】
請求項８記載の駆動方法であって、
前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスがクロスオーバーする時点と前記第２駆動パルスの遷移完了時点との間にある電荷転送装置の駆動方法。
【請求項１０】
請求項８又は９記載の駆動方法であって、
前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移完了時点は、前記第２駆動パルスの遷移完了時点より後である電荷転送装置の駆動方法。
【請求項１１】
請求項８ないし１０のいずれか１項記載の駆動方法であって、
前記第１駆動パルスは、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に前記第１駆動パルスを供給するための配線に起因する静電容量による遅れ時間を考慮して、前記第１駆動パルスの遷移開始時点を定めて発生されたものである電荷転送装置の駆動方法。
【請求項１２】
請求項１ないし７のいずれか１項記載の電荷転送装置を有する撮像装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電荷を分岐させて転送する電荷転送装置、そのような電荷転送装置の駆動方法、及び電荷を分岐させて転送する電荷転送装置を備えた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ型固体撮像素子の電荷転送部に利用される電荷転送素子として、電荷転送方向下流側の端部で、転送チャネルが２分岐したものが知られている（特許文献１、２参照）。このような２分岐された出力経路を有する電荷転送素子は、分岐部において、信号電荷を２つの分岐経路に交互に振り分けて動作させるものであるので、分岐転送された電荷信号に応じた出力信号を出力する出力回路部の動作周波数を、分岐させない場合の出力回路部の動作周波数に比較して１／２にすることができる特徴を有している。
【０００３】
特許文献１、２に記載された電荷転送素子は、分岐後の転送領域における駆動パルスの周波数が分岐前の転送領域における駆動パルスの周波数の１／２となるが、分岐前の転送領域の分岐領域から２分岐した分岐チャネル（分岐後の転送領域）への転送周波数は分岐前の駆動パルスの周波数に規定される。しかし、分岐チャネルと接続する領域である分岐領域の形状は、分岐前のチャネルの形状と異ならざるを得ないので、分岐領域から２分岐した分岐チャネルへの電荷転送の転送効率は、分岐前の電荷転送の転送効率に比較して低下することが避けられない。
【０００４】
特許文献１に記載された電荷転送素子は、分岐領域の電極（分岐前の転送領域に対する駆動パルスが供給される最終電極）の形状を略三角形状とすることにより、転送すべき電荷をチャネルの中央部分に集め、分岐領域から分岐チャネルへの電荷転送効率の向上を図っている。
【０００５】
また、特許文献２に記載された電荷転送素子は、分岐領域に上流側が高く下流側が低くなる階段状のポテンシャルを形成し、かつ、分岐領域の上部に形成した分岐領域電極に一定の電圧を印加し、電荷転送時に分岐領域で電荷が停滞しないような駆動をすることで、分岐経路への電荷転送時間を実効的に長くして電荷転送効率の向上を図っている。しかし、駆動パルスのタイミングずれの電荷転送への影響については検討されていない。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２６９９６９号公報
【特許文献２】特開２００７−２０１１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、電荷を分岐させて転送する際の電荷転送効率を向上させた電荷転送装置、電荷転送方法、及び撮像装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電荷転送装置は、電荷を分岐させて転送する電荷転送装置であって、半導体基板上に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域の上方に、前記チャネル領域が延在する方向に連続して配置された複数の電荷転送電極と、前記電荷転送電極に対して駆動信号を供給する駆動部と、を備え、前記チャネル領域は、電荷転送方向上流側の第１領域と、前記第１領域の電荷転送方向下流側に隣接する分岐領域と、前記分岐領域から２分岐した第２領域及び第３領域を含み、前記分岐領域は、電荷転送方向上流側で浅く、下流側で深くなるポテンシャルを有しており、前記駆動部は、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に対して、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである第１駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に対して、所定の固定電圧信号を供給し、前記第２領域上方の前記電荷転送電極及び前記第３領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルスである第２駆動パルスを供給するとともに、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に隣接する前記第２領域上方の前記電荷転送電極と前記第３領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第２駆動パルスを互いに逆位相で供給するものであり、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスの遷移期間内にあるものである。
【０００９】
本発明の駆動方法は、半導体基板上に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域の上方に、前記チャネル領域が延在する方向に連続して配置された複数の電荷転送電極と、を備え、前記チャネル領域は、電荷転送方向上流側の第１領域と、前記第１領域の電荷転送方向下流側に隣接する分岐領域と、前記分岐領域から２分岐した第２領域及び第３領域を含み、前記分岐領域は、電荷転送方向上流側で高く、下流側で低くなるポテンシャルを有している、電荷転送装置の駆動方法であって、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に対して、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである第１駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に対して、所定の固定電圧信号を供給し、前記第２領域上方の前記電荷転送電極及び前記第３領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルスである第２駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に隣接する前記第２領域上方の前記電荷転送電極と前記第２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第２駆動パルスを互いに逆位相で供給するものであり、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスの遷移期間内にあるものである。
【００１０】
本発明の撮像装置は、上記した電荷転送装置を有するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、電荷を分岐させて転送する際の電荷転送効率を向上させた電荷転送装置、電荷転送方法を提供することができる。２次元、又は１次元に多数配置したフォトダイオードによって光電変換した信号電荷の転送をこのような電荷転送装置によって行う撮像装置に利用した場合には、画像の横流れや解像度の劣化を防ぎ、また、フォトダイオード上にカラーフィルターを配置してカラー信号を得ようとした場合は、色偽信号の発生を防ぎ、良好な画質を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の概略構成を示す図である。図１の固体撮像素子は、半導体基板表面に複数行、複数列に亘って行列状に配設された複数の光電変換素子１０と、光電変換素子１０に隣接して設けられ、光電変換素子１０で発生した電荷を列方向Ｙに転送する複数の垂直転送部２０と、垂直転送部２０からの電荷を行方向Ｘに転送する水平転送部３０と、水平転送部３０によって転送される電荷に応じた信号を出力する出力部４１、４２を含む。なお、図１では、光電変換素子１０、電荷読み出し部２１は、一部のみに番号を付してある。
【００１４】
光電変換素子１０は、埋込型のフォトダイオードで実現され、入射光量に応じた電荷を発生し蓄積する。固体撮像素子がカラー画像を撮影するためのものである場合、各光電変換素子１０の上方に、色フィルタ（図示せず）が設けられ、各光電変換素子１０は、フィルタの色に対応した分光感度の電荷を発生し蓄積する。色フィルタは、例えば赤色、緑色、青色の３原色で構成される。
【００１５】
垂直転送部２０は、光電変換素子１０から読み出された電荷を蓄積し、転送する垂直転送チャネルとその上方に設けられた垂直転送電極（図１においては、垂直転送チャネル領域に対応する領域を概略的に垂直転送部２０として記載してある。）を含む電荷転送素子で構成される。光電変換素子１０の電荷は、電荷読み出し部２１を介して垂直転送部２０に読み出される。光電変換素子１０、垂直転送部２０、電荷読み出し部２１の形状及び配置、垂直転送電極（図示せず）の形状、配置等は、種々のものが周知であるので、詳細な記載は省略する。
【００１６】
水平転送部３０は、垂直転送部２０から転送された電荷を蓄積し、転送する水平転送チャネルとその上方に設けられた水平転送電極（図１においては、水平転送チャネル領域に対応する領域を概略的に水平転送部３０として記載してある。）を含む電荷転送素子で構成される。詳細は後述するように、水平転送部３０は、電荷転送方向下流側の水平転送チャネル領域が２つに分岐しており、２つの出力部４１、４２に電荷を振り分けて送る。なお、図１では、垂直転送部２０から水平転送部３０へ直接電荷を転送する構成となっているが、垂直転送部２０の水平転送部側端部に、転送された電荷を一時的に蓄積するラインメモリを設け、ラインメモリから選択的に電荷を水平転送部へ転送する構成としてもよい。
【００１７】
出力部４１、４２は、水平転送部３０から送られた電荷に応じた電圧信号ＯＳ１、ＯＳ２を出力するものであり、フローティングデフュージョン領域、リセットトランジスタ、ソースフォロアアンプを含んで構成される。このような構成を有する出力部は周知のものであるので説明を省略する。
【００１８】
図１の固体撮像素子を利用して撮像を行う場合、図示しない駆動部から駆動信号を供給し、入射光量に応じて光電変換素子１０で発生した電荷を、垂直転送部２０に読み出し、垂直転送部２０、水平転送部３０を転送し、出力部４１、４２から撮像信号として出力する。駆動部から供給される駆動信号には、垂直転送電極及び水平転送電極に供給する駆動パルスが含まれる。
【００１９】
図２は、図１に示す固体撮像素子の水平転送部３０の部分拡大図である。水平転送部３０は、第１水平転送部３１、第２水平転送部３２、第３水平転送部３３、分岐部３４を含んでおり、図２は、分岐部３４近傍を拡大して示したものである。第１転送部３１は、電荷転送方向最上流側に位置し、垂直転送部から並列に電荷を受け取り、順次分岐部３４に転送する。分岐部３４は、第１水平転送部３１からの電荷を振り分けて、第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３に転送する。
【００２０】
水平転送部３０は、半導体基板上に形成され、電荷を蓄積し、移動する通路となるチャネル領域と、チャネル領域の上方に配置された水平転送電極（以下、単に「転送電極」と記載する場合もある。）を備えている。チャネル領域は、第１水平転送部３１に対応する第１チャネル領域５１、第２水平転送部３２に対応する第２チャネル領域５２、第３水平転送部３３に対応する第３チャネル領域５３、分岐部３４に対応する分岐領域５４を含む。転送電極は、複数の第１ポリシリコン電極６１と、第１ポリシリコン電極６１の間に重なるように形成された複数の第２ポリシリコン電極６２を含み、隣接する第１ポリシリコン電極６１と第２ポリシリコン電極６２には、同電位の駆動電圧が印加される（以下、同電位の駆動電圧が印加される電極を「転送電極対」と記述する場合もある。）。以下、水平転送部３０が備えるチャネル領域を第1チャネル領域５１、第２チャネル領域５２、第３チャネル領域５３、分岐領域５４の区別なく記述する場合は、単に「チャネル領域５０」と記述し、水平転送部３０が備える転送電極を第１ポリシリコン電極６１と第２ポリシリコン電極６２の区別なく記述する場合は、単に「水平転送電極６０」と記述する。
【００２１】
第１水平転送部３１においては、逆位相で所定周期の２相クロックパルス（第１駆動パルス）が、１つ置きの転送電極対に供給され、第２水平転送部３２、第３水平転送部３３においては、第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルス（第２駆動パルス）が、１つ置きの転送電極対に供給される。また、分岐部３４の転送電極対には、固定電圧が印加される。
【００２２】
図２では、第１駆動パルスの一方が端子Ｈ１に、他方が端子Ｈ２に供給され、第２駆動パルスの一方が端子ＨＰ１に、他方が端子ＨＰ２に供給されるものとして記載してある。図２に示すように、分岐部３４に隣接する第２水平転送部３２の転送電極対には、端子ＨＰ１が接続され、第３水平転送部３３の転送電極対には、端子ＨＰ２が接続されている。したがって、分岐部３４に隣接する第２水平転送部３２の転送電極対と、第３水平転送部３３の転送電極対には、互いに異なる位相（逆位相）の第２駆動パルスが供給されることになる。また、分岐部３４の電極対には、端子ＨＢから固定電圧が印加される。
【００２３】
なお、図２では、模式的に、端子Ｈ１、Ｈ２、ＨＰ１、ＨＰ２、ＨＢを介して駆動信号（第１駆動パルス等）を供給するものとして記載したが、具体的には、対応する水平転送電極６０に接続された駆動信号供給用配線（図示せず）を用いて供給する。
【００２４】
図３は、図２に示す水平電荷転送部のＡ１−Ａ２−Ａ３−Ａ４断面を模式的に示す図である。水平転送部３０のチャネル領域５０は、N型シリコン基板７０に形成されたP−ウェル７１内に形成されたN型不純物領域である。第１チャネル領域５１には、複数の相対的に高濃度の不純物領域５１ａと相対的に低濃度の不純物領域５１ｂが転送方向に交互に配置され、第２チャネル領域５２には、複数の相対的に高濃度の不純物領域５２ａと相対的に低濃度の不純物領域５２ｂが転送方向に交互に配置され、分岐領域５４には、相対的に高濃度の不純物領域５４ａと相対的に低濃度の不純物領域５４ｂが配置されている。
【００２５】
図３から明らかなように、相対的に高濃度の不純物領域５１ａ、５２ａ、５４ａは、第１ポリシリコン電極６１の下方に設けられ、相対的に低濃度の不純物領域５１ｂ、５２ｂ、５４ｂは、第２ポリシリコン電極６２の下方に設けられる。また、相対的に高濃度の不純物領域５１ａ、５２ａ、５４ａの不純物濃度は、領域５１ａが最も低濃度であり、次に領域５４ａが低濃度であり、領域５２ａが最も高濃度である。同様に、相対的に低濃度の不純物領域５１ｂ、５２ｂ、５４ｂについても、領域５１ｂが最も低濃度であり、次に領域５４ｂが低濃度であり、領域５２ｂが最も高濃度である。
【００２６】
なお、図示を省略したが、第３チャネル領域５３にも、複数の相対的に高濃度の不純物領域（不純物領域５２ａと同一濃度である。）と相対的に低濃度の不純物領域５３ｂ（不純物領域５２ｂと同一濃度）が転送方向に交互に配置されている。
【００２７】
図４は、図２に示す水平電荷転送部のＡ１−Ａ２−Ａ３−Ａ４断面に沿ったチャネル領域５０の駆動信号供給時のポテンシャルの変化を示す図である。第１水平転送部３１、第２水平転送部３２、及び第３水平転送部３３の転送電極には、２相の駆動パルスが供給され、分岐部３４の転送電極には、固定電圧が印加されるが、図４では、２相の駆動パルスがローレベルの場合のポテンシャルを実線で示し、駆動パルスがハイレベルの場合のポテンシャルを破線で示している。図４に示すポテンシャルから明らかなように、高濃度の不純物領域５１ａ、５２ａに電荷を蓄積できるので、２相の駆動パルスの供給により、第１水平転送部３１、及び第２水平転送部３２に蓄積された電荷を順次転送することができる。また、分岐部３４の不純物領域５４ａのポテンシャルが、第１水平転送部３１の不純物領域５１ａのポテンシャルより深く、第２水平転送部３２の不純物領域５２ａのポテンシャルより浅いので、第１転送部３１から分岐部３４の転送された電荷は、端子ＨＰ１に供給される第２駆動パルスがハイレベルの場合、そのまま、第２水平転送部３２に転送される。なお、第３水平転送部３３の構造及び供給される駆動パルスも第２水平転送部と同様であるので、第３水平転送部３３における転送も第２水平転送部における転送と同様である。
【００２８】
第１水平転送部３１から第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３への電荷の振り分け転送を、より詳細に説明する。端子Ｈ１の第１駆動パルスがローレベルになると、水平転送部３１の不純物領域５１ａのポテンシャルが、分岐部３４の不純物領域５４ｂのポテンシャルよりも浅くなるので、第１水平転送部３１の不純物領域５１ａの電荷は、分岐部３４に転送される。このとき、第２駆動パルスの一方はハイレベルであるので、第２水平転送部３２と第３水平転送部３３の一方の不純物領域５２ｂ又は５３ｂは、分岐部３４の不純物領域５４ａのポテンシャルより深くなる。したがって、分岐部３４に転送された電荷は、分岐部３４に停滞することなく第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３に転送される。
【００２９】
このとき、第２水平転送部３２と第３水平転送部３３の他方の不純物領域５２ｂ又は５３ｂは、分岐部３４の不純物領域５４ａのポテンシャルより浅くなっているので、第１水平転送部３１から分岐部３４に転送された電荷は、第２水平転送部３２と第３水平転送部３３の一方のみに転送される。第２水平転送部３２と第３水平転送部３３の不純物領域５２ｂ、５３ｂのポテンシャルは、第２駆動パルスの状態に応じて変化するので、第１水平転送部３１から分岐部３４に転送された電荷は、第２駆動パルスに応じて、第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３に振り分けられることになる。
【００３０】
また、図２に示すように、分岐部３４のチャネル領域である分岐領域５４の平面形状を、電荷転送方向上流側（第１水平転送部側）から下流側（第２水平転送部又は第３水平転送部側）に向かって、幅が狭くなる略三角形又は台形の部分を有するものとしている。（図２においては、第１チャネル領域５１の幅と同一の幅を有する部分と、第２チャネル領域５２及び第３チャネル領域５３の幅と同一の幅を有する部分を除いた部分が、略三角形になっている。）。したがって、分岐領域５４のポテンシャルが、第２水平転送部３２側から第３水平転送部３３側に向かって、又は第３水平転送部３３側から第２水平転送部３２側に向かって、傾斜がつくことになり、分岐部３４から第２水平転送部又は第３水平転送部への電荷転送効率が向上する。
【００３１】
図５は、図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の駆動パルスの概略タイミングを示す図であり、図６は、図５に示す駆動パルスの詳細タイミングの一例を示す図である。図２の端子Ｈ１、Ｈ２にそれぞれ供給される第１駆動パルスφＨ１、φＨ２は、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである。また、図２の端子ＨＰ１、ＨＰ２にそれぞれ供給される第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２は、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２の２倍の周期の２相クロックパルスである。そして、図２の端子ＨＢには、所定の固定電圧信号ＶＨＢが供給される。
【００３２】
図５に示すリセットパルスφＲＳ１、φＲＳ２は、出力部４１、４２のリセットトランジスタ（図示せず）をリセットして、第２水平転送部３２、第３水平転送部３３から図示しないフローティングデフュージョン領域（図示せず）の電荷をリセットするためのものであり、それぞれ、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２に同期している。したがって、フローティングデフュージョン領域の電荷に応じた電圧信号ＯＳ１、ＯＳ２は、図のような変化をする。図５から明らかなように、出力部４１、４２からの電圧信号ＯＳ１、ＯＳ２は、第１水平転送部３１の駆動周期の２倍の周期で変化する。出力部４１、４２の動作自体は、特許文献１、２にも示されるように周知のものであるので、詳細な説明は省略する。
【００３３】
図６は、図５の時点ｔ１〜ｔ４付近における第１駆動パルスφＨ１、φＨ２と第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の詳細タイミングを示す図である。図２〜図４を用いて説明したように、第１駆動パルスφＨ１がハイレベルからローレベルに遷移することにより、第１水平転送部３１の分岐部３４に隣接する不純物領域５１ａに蓄積された電荷が分岐部３４に転送される。この転送に同期して第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２も遷移して、第２水平転送部３２への転送と第３水平転送部３３への転送とを切り換えているが、この第１駆動パルスφＨ１の遷移開始時点ｔａが、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂ、Ｃ内となるように、駆動部（図示せず）から第１駆動パルスφＨ１、φＨ２と第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２が転送電極６０に供給される。なお、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂは、第２水平転送部３２への転送に切り換える期間であり、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｃは、第３水平転送部３３への転送に切り換える期間である。
【００３４】
図７は、図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部を図５に示す駆動パルスで駆動したときの電荷転送を模式的に示す図である。図７は、第１水平転送部３１の不純物領域５１ａに電荷が蓄積された状態からのポテンシャルの変化と電荷の状態を、図５の時点ｔ１〜ｔ４に対応させて示したものであり、図７（ａ）は、第２水平転送部３２側の状態を示し、第７（ｂ）は第３水平転送部３３側の状態を示す。
【００３５】
時点ｔ１では、第１駆動パルスφＨ１がハイレベルであるので、電荷は第１水平転送部３１に保持されたままである。時点ｔ２では、第１駆動パルスφＨ１がローレベルに変化しているので、電荷は第１水平転送部３１内を転送段１段だけ転送するとともに、分岐部３４に隣接する不純物領域５１ａの電荷が分岐部３４に転送される。この時点ｔ２では、第２駆動パルスφＨＰ１がハイレベル、第２駆動パルスφＨＰ２がローレベルに遷移しているので、分岐領域３４の電荷は停滞することなく、第２水平転送部３２に転送される。
【００３６】
時点ｔ３では、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２が反転しているので、第１水平転送部３１は、時点ｔ１と同じ状態となっている。また、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２は、時点ｔ２と同じ状態であるので、分岐部３４からの電荷が第２水平転送部３２に転送され、分岐領域３４に隣接する不純物領域５２ａに蓄積された状態となっている。
【００３７】
時点ｔ４では、第１駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２が時点ｔ２と同様の状態となるので、電荷は第１水平転送部３１内を転送段１段だけ転送するとともに、分岐部３４に隣接する不純物領域５１ａの電荷が分岐部３４に転送される。この時点ｔ４では、第２駆動パルスφＨＰ２がハイレベル、第２駆動パルスφＨＰ１がローレベルに遷移しているので、分岐領域３４の電荷は停滞することなく、第３水平転送部３３に転送される。同時に、第２水平転送部３２の電荷は、転送段１段だけ転送される。
【００３８】
以上の動作を繰り返すことにより第１水平転送部３１を転送された電荷は、第２水平転送部３２と第３水平転送部３３に交互に振り分けられて転送される。
【００３９】
図６を用いて説明したように、第１水平転送部３１の分岐部３４に隣接する不純物領域５１ａに蓄積された電荷が分岐部３４に転送される際の、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２の遷移開始時点ｔａは、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂ、Ｃ内となっている。すなわち、第１水平転送部３１から分岐部３４に電荷が流れ込み始めるタイミングでは、下流側の第２水平転送部３２、第３水平転送部３３のポテンシャル変化は始まっている。また、第２水平転送部３２、第３水平転送部３３のポテンシャル変化が終了する前に、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２の遷移が開始される。
【００４０】
したがって、分岐部３４に転送された電荷を確実に、第２水平転送部３２と第３水平転送部３３との転送したい側の転送部にのみ転送されることになる。
また、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間にも、分岐部３４から第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３に電荷が流れ込むので、分岐部３４から第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３に流れ込む時間を長く取ることができる。したがって、分岐部３４に転送された電荷を、確実に第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３転送することができる。
【００４１】
以上説明したように、図６に示すようなタイミングで第１駆動パルス及び第２駆動パルスを供給することにより、上流側（第１水平転送部３１）から分岐部３４に転送された電荷は、意図しない下流側の転送部（第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３）に誤って転送されることなく、かつ、後続の転送段の電荷と交じり合うことなく、正確に２つの転送部に振り分けて転送される。
【００４２】
図８は、図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の駆動パルスの他の例の詳細タイミングを示す図である。図８に示す駆動パルスは、基本的に図５に示すものと同様であるが、第１駆動パルスφＨ１の遷移開始時点ｔａが更に限定され、遷移完了時点ｔｂも第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間内となっている点が異なる。すなわち、図８に示すように、第１駆動パルスφＨ１の遷移開始時点ｔａと遷移完了時点ｔｂは、共に、第２駆動パルスφＨＰ１，φＨＰ２がクロスオーバーする時点ｔｘと、第２駆動パルスφＨＰ１，φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃの間にある。このようなタイミングで駆動すると、下流側の第２水平転送部３２と第３水平転送部３３のポテンシャルが逆転してから、第１駆動パルスφＨ１の遷移が開始して、上流の第１転送路３１からの電荷が分岐部３４に転送される。したがって、分岐部３４に電荷が上流側から転送されてきた時点では、既に下流側の第２水平転送部３２、第３水平転送部３３のポテンシャルが逆転しており、分岐部３４に転送された電荷を、より確実に第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３転送することができる。また、第１駆動パルスφＨ１の遷移完了時点ｔｂを第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃより前にして、第１駆動パルスφＨ１の遷移を早く完了させるようにしているので、第１水平転送部３１から分岐部３４への転送時間を短くできる。
【００４３】
以上説明したように、図８に示すようなタイミングで第１駆動パルス及び第２駆動パルスを供給することにより、上流側（第１水平転送部３１）から分岐部３４に転送された電荷は、より正確に２つの転送部（第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３）に振り分けて転送される。
【００４４】
図９は、図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の別の例の詳細タイミングを示す図である。図９に示す駆動パルスは、基本的に図８に示すものと同様であるが、第１駆動パルスφＨ１の遷移完了時点ｔｂを第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了後とした点が異なる。すなわち、第１駆動パルスφＨ１の遷移開始時点ｔａは、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２がクロスオーバーする時点ｔｘと、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃの間にあり、第１駆動パルスφＨ１の遷移完了時点ｔｂは、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃの後にある。
【００４５】
このようなタイミングで駆動すると、図８のタイミングと同様、下流側の第２水平転送部３２と第３水平転送部３３のポテンシャルが逆転してから、第１駆動パルスφＨ１の遷移が開始して、上流の第１転送路３１からの電荷が分岐部３４に転送されることになるので、分岐部３４に転送された電荷を、より確実に第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３転送することができる。
【００４６】
また、下流側の転送部に印加する第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃより後に、第１駆動パルスφＨ１の遷移が完了するので、第１水平転送部３１から分岐部５４に大量の電荷が一気に流れ込んで、下流側の転送部（第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３）に誤って電荷が転送されてしまう可能性を減少させることができる。図８の例で説明したように、第１駆動パルスφＨ１の遷移期間を短くすることにより、第１水平転送部３１から分岐部３４への転送時間を短くできるが、上流側の第１水平転送部の電極に印加する第１駆動パルスφＨ１、φＨ２のスルーレートが速い場合には、下流側の転送部のポテンシャル遷移期間中に、大量の電荷が分岐部５４に一気に流れ込む。そのとき下流側の転送部（第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３）のポテンシャルの遷移が完了していない場合、下流側の転送部に誤って電荷が転送されてしまう可能性がある。図９に示すように、下流側の転送部に印加する第２駆動パルスＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃより後に、第１駆動パルスφＨ１の遷移完了時点ｔｂを設定することにより、誤転送の可能性を減少させることができる。
【００４７】
以上説明したように、図９に示すようなタイミングで第１駆動パルスφＨ１、φＨ２及び第２駆動パルスＨＰ１、φＨＰ２を供給することで、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２のスルーレートが速い場合にも、上流側（第１水平転送部３１）から分岐部３４に転送された電荷が誤って別の転送部（第２水平転送部３２又は第３水平転送部３３）に転送されることなく正確に転送される。
【００４８】
図１０と図１１は、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２の駆動部（図示せず）側の発生タイミングを説明する図である。水平転送部３０（第１水平転送部３１）の長さが長くなると、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２供給線路の電気抵抗と水平転送電極の静電容量による時定数が無視できなくなり、実際の電極でのφＨ１、φＨ２の遷移開始時点は、駆動部のパルス発生装置でのパルスφＨ１ｐ、φＨ２ｐの遷移開始時点より時定数の分だけ遅れてしまう。そこで、あらかじめ遅れ時間τを測定し、第１駆動パルスφＨ１、φＨ２を供給する駆動部のパルス発生装置でのパルス電圧の遷移開始時点を遅れ時間τの分だけ早く設定する。図１０は、図５及び図６の駆動パルスに対応するものであり、図１１は、図９の駆動パルスに対応するものである。駆動部側で発生する第１駆動パルス（以下、「発生第１駆動パルス」と記述する。）φＨ１ｐとφＨ２ｐは、第１チャネル領域３１上方の水平転送電極６１、６２に第１駆動パルスφＨ１、φＨ２を供給するための配線抵抗等に起因する遅れ時間τを考慮して、遷移開始時点を定めている。
【００４９】
図１０の例では、第１チャネル領域３１上方の水平転送電極６１、６２に供給される第１駆動パルスφＨ１の遷移開始時点ｔａが、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂ又はＣ内になるように、発生第１駆動パルスφＨ１ｐとφＨ２ｐを、時点ｔａより遅れ時間τだけ早く遷移するように発生させている。なお、図１０においては、第１駆動パルスのφＨ１、φＨ２の遷移完了時点も第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂ又はＣ内となっているが、遷移完了時点は、遷移期間Ｂ又はＣの後になってもよい。
【００５０】
図１１の例では、第１チャネル領域３１上方の水平転送電極６１、６２に供給される第１駆動パルスφＨ１の遷移開始時点ｔａが、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２がクロスオーバーする時点ｔｘと、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃの間になり、第１駆動パルスφＨ１の遷移完了時点ｔｂが、第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移完了時点ｔｃの後になるように、発生第１駆動パルスφＨ１ｐとφＨ２ｐを遅れ時間τだけ早く発生させている。
【００５１】
以上説明したように、図１０又は図１１に示すようなタイミングで、駆動部側で駆動パルスを発生させることにより、水平転送部３０の水平転送電極６０と駆動部（図示せず）間の遅れ時間を補正することができる。
【００５２】
なお、以上説明した電荷転送素子では、分岐部３４のチャネル領域である分岐領域５４のポテンシャルを上流側で浅く、下流側で深い段型としたが、傾斜型でもかまわない。また、チャネル領域５０のポテンシャル分布を、チャネル領域５０の不純物濃度を変化させることで変化させたが、異なる導電型の不純物を導入したり、ゲート絶縁膜の膜厚を変えたり、電極の仕事関数を変化させたり、電極を複数に分割して異なる電圧を印加することで変化させてもよい。
【００５３】
以上、電荷を分岐して転送するＣＣＤ型の電荷転送装置を、エリアセンサにおける水平転送部に例に説明したが、このような電荷転送装置は、ラインセンサの電荷転送部、あるいは、シフトレジスタ等の他のデバイスの電荷転送部にも利用可能である。
【００５４】
以上説明したように、本明細書には、次の事項が開示されている。
【００５５】
開示された駆動方法は、半導体基板上に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域の上方に、前記チャネル領域が延在する方向に連続して配置された複数の電荷転送電極と、を備え、前記チャネル領域は、電荷転送方向上流側の第１領域と、前記第１領域の電荷転送方向下流側に隣接する分岐領域と、前記分岐領域から２分岐した第２領域及び第３領域を含み、前記分岐領域は、電荷転送方向上流側で高く、下流側で低くなるポテンシャルを有している、電荷転送装置の駆動方法であって、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に対して、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである第１駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に対して、所定の固定電圧信号を供給し、前記第２領域上方の前記電荷転送電極及び前記第３２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルスである第２駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に隣接する前記第２領域上方の前記電荷転送電極と前記第２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第２駆動パルスを互いに逆位相で供給するものであり、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスの遷移期間内にあるものである。
【００５６】
この電荷転送装置によれば、分岐領域の上流側と下流側の駆動パルスの遷移開始時点の関係を規定すること、すなわち、下流側の駆動パルスの遷移開始時点と遷移終了時点の間に上流側の駆動パルスの遷移を開始することで、上流側から転送される電荷が本来転送されるべき分岐経路とは別の分岐経路に転送されるのを防ぐことができる。
【００５７】
開示された電荷転送装置は、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点が、前記第２駆動パルスがクロスオーバーする時点と前記第２駆動パルスの遷移完了時点との間にあるものを含む。この電荷転送装置によれば、第２駆動パルスがクロスオーバーし、分岐路下流側の第２領域と第３領域のポテンシャルが逆転した後で、上流側のポテンシャルを遷移させ、転送電荷を下流側に流し始めることで、誤って別の分岐経路に電荷が転送されてしまう危険をより少なくすることができる。
【００５８】
開示された電荷転送装置は、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移完了時点が、前記第２駆動パルスの遷移完了時点より後であるものを含む。この電荷転送装置によれば、前記第２領域、前記第３領域の駆動パルスの遷移途中で、前記第１領域から大量の電荷が流れ込み誤って別の分岐路に電荷が振り分けられてしまう危険性を少なくすることができる。
【００５９】
開示された電荷転送装置は、前記駆動部が、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に前記第１駆動パルスを供給するための配線に起因する静電容量による遅れ時間を考慮して、前記第１駆動パルスの遷移開始時点を定めて前記第１駆動パルスを発生させるものであるものを含む。この電荷転送装置によれば、前期第１領域と前記第１領域上の転送電極との間の電気容量と、前記駆動部と前記第１領域上の転送電極との間の抵抗により前記転送電極の電位の変化と前記駆動部の電位変化との間に発生する遅れ時間を補正することができる。
【００６０】
開示された電荷転送装置は、前記分岐領域の電荷転送方向上流側で浅く、下流側で深くなるポテンシャルが、不純物濃度が異なる少なくとも２つの領域によって、又は、導電型が異なる少なくとも２つの領域によって、又は、同一の導電型の不純物濃度を連続的に変化させることによって、又は、前記分岐領域上のゲート絶縁膜が膜厚が異なる少なくとも２つの領域によって、又は、前記分岐領域上方の電極が少なくとも２つに分割されており、かつ、それぞれ異なる直流電圧を印加することによって、形成されているものを含む。この電荷転送装置によれば、前記分岐領域の電荷転送方向上流側で高く、下流側で低くなるポテンシャルを形成することによって、信号電荷の転送効率を改善することができる。
【００６１】
開示された電荷転送装置は、前記分岐領域の平面形状が、電荷転送方向上流側から下流側に向かって、幅が狭くなる略三角形又は台形の部分を有するものを含む。この電荷転送装置によれば、電荷の転送効率を改善することができる。
【００６２】
開示された電荷転送装置は、更に、前記第２領域及び前記第３領域を転送される電荷を、それぞれ電気信号として検出する検出部と、前記検出部で検出された電気信号を出力する信号出力部と、を備えるものを含む。
【００６３】
開示された撮像装置は、上記した電荷転送装置を有するものである。
【００６４】
開示された駆動方法は、半導体基板上に形成されたチャネル領域と、前記チャネル領域の上方に、前記チャネル領域が延在する方向に連続して配置された複数の電荷転送電極と、を備え、前記チャネル領域は、電荷転送方向上流側の第１領域と、前記第１領域の電荷転送方向下流側に隣接する分岐領域と、前記分岐領域から２分岐した第２領域及び第３領域を含み、前記分岐領域は、電荷転送方向上流側で高く、下流側で低くなるポテンシャルを有している、電荷転送装置の駆動方法であって、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に対して、逆位相で所定周期の２相クロックパルスである第１駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に対して、所定の固定電圧信号を供給し、前記第２領域上方の前記電荷転送電極及び前記第３２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第１駆動パルスの２倍の周期の２相クロックパルスである第２駆動パルスを供給し、前記分岐領域上方の前記電荷転送電極に隣接する前記第２領域上方の前記電荷転送電極と前記第２領域上方の前記電荷転送電極に対して、前記第２駆動パルスを互いに逆位相で供給するものであり、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点は、前記第２駆動パルスの遷移期間内にあるものである。
【００６５】
開示された駆動方法は、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移開始時点が、前記第２駆動パルスがクロスオーバーする時点と前記第２駆動パルスの遷移完了時点との間にあるものを含む。
【００６６】
開示された駆動方法は、前記第１領域の電荷を前記分岐領域に転送する際の、前記第１駆動パルスの遷移完了時点が、前記第２駆動パルスの遷移完了時点より後であるものを含む。
【００６７】
開示された駆動方法は、前記第１駆動パルスが、前記第１領域上方の前記電荷転送電極に前記第１駆動パルスを供給するための配線に起因する静電容量による遅れ時間を考慮して、前記第１駆動パルスの遷移開始時点を定めて発生されたものであるものを含む。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明によれば、分岐経路へ確実に電荷の振り分けを行える。したがって、分岐された２系統信号出力経路を持つ電荷転送装置に用いて有用である。また、このような電荷転送装置を、撮像装置に利用して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の概略構成を示す図
【図２】図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の部分拡大図
【図３】図２に示す水平電荷転送部のＡ１−Ａ２−Ａ３−Ａ４断面を模式的に示す図
【図４】図２に示す水平電荷転送部のＡ１−Ａ２−Ａ３−Ａ４断面に沿ったチャネルのポテンシャルの変化を示す図
【図５】図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の駆動パルスの概略タイミングを示す図
【図６】図５に示す駆動パルスの詳細タイミングの一例を示す図
【図７】図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部を図５に示す駆動パルスで駆動したときの電荷転送を模式的に示す図
【図８】図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の駆動パルスの他の例の詳細タイミングを示す図
【図９】図１に示す固体撮像素子の水平電荷転送部の駆動パルスの別の例の詳細タイミングを示す図
【図１０】図５及び図６に示す駆動パルスの発生タイミングを説明する図
【図１１】図９に示す駆動パルスの発生タイミングを説明する図
【符号の説明】
【００７０】
１０・・・光電変換素子
２０・・・垂直転送部
２１・・・電荷読み出し部
３０・・・水平転送部
３１・・・第１水平転送部
３２・・・第２水平転送部
３３・・・第３水平転送部
３４・・・分岐部
４１、４２・・・出力部
５０・・・チャネル領域
５１・・・第１チャネル領域
５１ａ・・・相対的に高濃度の不純物領域
５１ｂ・・・相対的に低濃度の不純物領域
５２・・・第２チャネル領域
５２ａ・・・相対的に高濃度の不純物領域
５２ｂ・・・相対的に低濃度の不純物領域  
５３・・・第３チャネル領域
５４・・・分岐領域
５４ａ・・・相対的に高濃度の不純物領域
５４ｂ・・・相対的に低濃度の不純物領域
６０・・・水平転送電極
６１・・・第１ポリシリコン電極
６２・・・第２ポリシリコン電極
Ｈ１・・・第１駆動パルスが供給される一方の端子
Ｈ２・・・第１駆動パルスが供給される他方の端子
ＨＰ１・・・第２駆動パルスが供給される一方の端子
ＨＰ２・・・第２駆動パルスが供給される他方の端子
ＨＢ・・・分岐部の固定電圧が供給される端子
φＨ１、φＨ２・・・第１駆動パルスのタイミング
φＨＰ１、φＨＰ２・・・第２駆動パルスのタイミング
φＲＳ１、φＲＳ２・・・リセットパルスのタイミング
ＯＳ１、ＯＳ２・・・出力電圧
ｔａ・・・第１駆動パルスの遷移開始時点
Ｂ、Ｃ・・・駆動パルスの遷移期間
ｔｘ・・・第２駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２がクロスオーバーする時点
ｔｂ・・・第１駆動パルスφＨ１，φＨ２が遷移完了時点
ｔｃ・・・第２駆動パルスφＨＰ１，φＨＰ２の遷移完了時点
φＨ１ｐ、φＨ２ｐ・・・第１駆動パルスφＨ１、φＨ２を供給する駆動部で発生される駆動パルス(発生第１駆動パルス)
τ・・・遅れ時間
【図１】
2010056639.tif 000003
【図２】
2010056639.tif 000004
【図３】
2010056639.tif 000005
【図４】
2010056639.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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