(57)【要約】【課題】製造時間の短縮化が図れる湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法を提供する。【解決手段】被着体部材１０、２０として、配置領域３１を構成する少なくとも一部分に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたものを用意する工程と、湿度硬化型部材３０を配置領域３１に配置する工程と、配置工程の後に、加熱処理を行い、吸湿剤４０より水蒸気を発生させることによって湿度硬化型部材３０に該水蒸気を供給し、湿度硬化型部材３０を硬化させる工程と、を含む湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法とする。このような製造方法では、湿度硬化型部材３０には、大気中の水蒸気のみではなく、吸湿剤４０からも水蒸気が供給されることになり、従来の製造方法より多量の水蒸気が供給されることになる。このため、湿度硬化型部材３０を硬化させる時間を短縮化することができ、製品の製造時間の短縮化を図ることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿度硬化型部材（３０）が配置される配置領域（３１）を備えた被着体部材（１０、２０）に前記湿度硬化型部材（３０）を配置し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程を有する製品の製造方法であって、
前記被着体部材（１０、２０）として、前記配置領域（３１）を構成する少なくとも一部分に水分が吸収された吸湿剤（４０）を備えたものを用意する工程と、
前記湿度硬化型部材（３０）を前記配置領域（３１）に配置する工程と、
前記配置工程の後に、加熱処理を行い、前記吸湿剤（４０）より水蒸気を発生させることによって前記湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項２】
前記被着体部材（１０、２０）として、凹部（１１）を一面に備えた第１被着体部材（１０）と、前記凹部（１１）に配置される第２被着体部材（２０）とを用い、
前記配置領域（３１）を前記凹部（１１）の壁面と前記第２被着体部材（２０）の外壁面とにより構成することを特徴とする請求項１に記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項３】
前記第１被着体部材（１０）として、前記凹部（１１）の壁面に前記吸湿剤（４０）を備えたものを用いることを特徴とする請求項２に記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項４】
前記第２被着体部材（２０）として、前記外壁面に前記吸湿剤（４０）を備えたものを用いることを特徴とする請求項２または３に記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項５】
前記第１被着体部材（１０）をケースとし、前記第２被着体部材（２０）を測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部とすることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１つに記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項６】
前記配置工程では、前記湿度硬化型部材（３０）内に水分が吸収された添加剤（４１）を添加したものを配置し、
前記硬化工程では、加熱処理を行い、前記吸湿剤（４０）および前記添加剤（４１）より水蒸気を発生させることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項７】
前記被着体部材（１０、２０）として、前記配置領域（３１）を構成する部分に凸部（１３）または窪み部を備えたものを用意し、
前記硬化工程では、加熱処理を行い、前記配置領域（３１）を構成する壁面から水蒸気を発生させることによって前記湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項８】
湿度硬化型部材（３０）が注入される配置領域（３１）を備えた被着体部材（１０、２０）に湿度硬化型部材（３０）を配置し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程を有する製品の製造方法であって、
前記湿度硬化型部材を配置する工程では、前記湿度硬化型部材（３０）内に水分が吸収された添加剤（４１）を添加したものを配置し、
前記配置工程の後に、加熱処理を行い、前記添加剤（４１）より水蒸気を発生させることによって前記湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項９】
前記被着体部材（１０、２０）として、前記配置領域（３１）を構成する部分に凸部（１３）または窪み部を備えたものを用意し、
前記硬化工程では、加熱処理を行い、前記配置領域（３１）を構成する壁面を構成する壁面から水蒸気を発生させることによって前記湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする請求項８に記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項１０】
湿度硬化型部材（３０）が注入される配置領域（３１）を備えた被着体部材（１０、２０）に湿度硬化型部材（３０）を配置し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程を有する製品の製造方法であって、
前記被着体部材（１０、２０）として、前記配置領域（３１）を構成する部分に凸部（１３）または窪み部を備えたものを用いる工程と、
前記湿度硬化型部材（３０）を前記配置領域（３１）に配置する工程と、
前記配置工程の後に、加熱処理を行い、前記被着体部材（１０、２０）のうち前記配置領域（３１）を構成する壁面から水蒸気を発生させることによって前記湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、前記湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項１１】
前記被着体部材（１０、２０）として、前記配置領域（３１）を構成する凹部（１１）を一面に備えたケース（１０）と、前記凹部（１１）に配置され、前記凹部（１１）の壁面と共に前記配置領域（３１）を構成し、測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部（２０）と、を用いることを特徴とする請求項８ないし１０のいずれか１つに記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【請求項１２】
前記硬化工程では、プラズマ、マイクロ波またはレーザを用いて加熱することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法に関し、特に、湿度硬化型部材を含んだ圧力センサの製造方法に適用すると好適である。
【背景技術】
【０００２】
従来より、一面に凹部を備え、この一面と反対側の他面に凹部に達する圧力導入孔を備えた板状のケースの凹部に、凹部と圧力導入孔とを区画するようにセンサ部を備えた圧力センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。そして、このような圧力センサでは、センサ部と凹部の底面との隙間を封止し、圧力導入孔から測定媒体が凹部内に侵入することを防止するシール部材が凹部内に配置されている。
【０００３】
このような圧力センサは、例えば、凹部および圧力導入孔を備えたケースを用意し、凹部にセンサ部を配設した後、凹部にシール部材を注入すると共にシール部材を硬化させることにより製造される。具体的には、シール部材として湿度硬化型部材を用いた場合には、シール部材を凹部に注入した後、シール部材を備えたケースを大気中に放置してシール部材を大気中の湿気（水蒸気）と反応させることにより硬化させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３１５１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながらこのような圧力センサの製造方法では、シール部材を大気中の水蒸気と反応させて完全に硬化させる為に８〜１２時間放置しなければならず、製造時間が長くなるという問題がある。なお、ここでは湿度硬化型部材を用いた製品として圧力センサを例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、湿度硬化型部材を含んだ加速度センサや角速度センサ等の製品においても同様の問題となる。
【０００６】
本発明は上記点に鑑みて、製造時間の短縮化が図れる湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、湿度硬化型部材（３０）が配置される配置領域（３１）を備えた被着体部材（１０、２０）に湿度硬化型部材（３０）を配置し、湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程を有する製品の製造方法であって、被着体部材（１０、２０）として、配置領域（３１）を構成する少なくとも一部分に水分が吸収された吸湿剤（４０）を備えたものを用意する工程と、湿度硬化型部材（３０）を配置領域（３１）に配置する工程と、配置工程の後に、加熱処理を行い、吸湿剤（４０）より水蒸気を発生させることによって湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、湿度硬化型部材（３０）を硬化させる工程と、を含むことを特徴としている。
【０００８】
このような湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法では、湿度硬化型部材（３０）には、大気中の水蒸気のみではなく、吸湿剤（４０）からも水蒸気が供給されることになり、従来の製造方法より多量の水蒸気が供給されることになる。このため、湿度硬化型部材（３０）を硬化させる時間を短縮化することができ、従来の製造方法より湿度硬化型部材（３０）を含んだ製品の製造時間の短縮化を図ることができる。
【０００９】
例えば、請求項２に記載の発明のように、被着体部材（１０、２０）として、凹部（１１）を一面に備えた第１被着体部材（１０）と、凹部（１１）に配置される第２被着体部材（２０）とを用い、配置領域（３１）を凹部（１１）の壁面と第２被着体部材（２０）の外壁面とにより構成することができる。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明のように、第１被着体部材（１０）として、凹部（１１）の壁面に吸湿剤（４０）を備えたものを用いることができる。
【００１１】
さらに、請求項４に記載の発明のように、第２被着体部材（２０）として、外壁面に吸湿剤（４０）を備えたものを用いることもできる。
【００１２】
そして、請求項６および８に記載の発明のように、配置工程では、湿度硬化型部材（３０）内に水分が吸収された添加剤（４１）を添加したものを配置し、硬化工程では、加熱処理を行い、吸湿剤（４０）および添加剤（４１）より水蒸気を発生させることができる。
【００１３】
このような湿度硬化型部材を含んだ製品の製造方法では、湿度硬化型部材（３０）には、大気中の水蒸気のみではなく、添加剤（４１）からも水蒸気が供給されることになり、従来の製造方法より多量の水蒸気が供給されることになる。このため、湿度硬化型部材（３０）を硬化させる時間を短縮化することができ、従来の製造方法より湿度硬化型部材（３０）を含んだ製品の製造時間の短縮化を図ることができる。
【００１４】
また、請求項７、９および１０に記載の発明のように、被着体部材（１０、２０）として、配置領域（３１）を構成する部分に凸部（１３）または窪み部を備えたものを用い、配置工程の後に、加熱処理を行い、被着体部材（１０、２０）のうち配置領域（３１）を構成する壁面から水蒸気を発生させることによって湿度硬化型部材（３０）に該水蒸気を供給し、湿度硬化型部材（３０）を硬化させることもできる。
【００１５】
このような圧力センサの製造方法では、湿度硬化型部材（３０）には、大気中の水蒸気のみでなく、配置領域（３１）を構成する壁面からも水蒸気が供給されることになり、従来の製造方法より多量の水蒸気が供給されることになる。このため、湿度硬化型部材（３０）を硬化させる時間を短縮化することができ、従来の製造方法より湿度硬化型部材（３０）を含んだ製品の製造時間の短縮化を図ることができる。
【００１６】
さらに、配置領域（３１）を構成する部分に凸部（１３）または窪み部を備えることにより、配置領域（３１）を構成する部分に凸部（１３）または窪み部を備えない被着体部材（１０、２０）を用いた従来の製造方法と比較すると、配置領域（３１）の表面積を増加させることができ、大気中の水分が付着する面積を大きくすることができる。このため、従来の製造方法において仮に配置領域（３１）を加熱する工程を行った場合と比較しても、配置領域（３１）を構成する壁面から多量の水蒸気が供給されることになる。
【００１７】
また、請求項５および請求項１１に記載の発明のように、被着体部材（１０、２０）として、配置領域（３１）を構成する凹部（１１）を一面に備えたケース（１０）と、凹部（１１）に配置され、凹部（１１）の壁面と共に配置領域（３１）を構成し、測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部（２０）と、を用いるもできる。
【００１８】
そして、請求項１２に記載の発明のように、硬化工程では、プラズマ、マイクロ波またはレーザを用いて加熱することができる。
【００１９】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるシール部材を含んだ圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【図２】図１に示す圧力センサの製造工程を示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態にかかるシール部材を含んだ圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【図４】本発明の第３実施形態にかかるシール部材を含んだ圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【図５】本発明の第４実施形態にかかるシール部材を含んだ圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかるシール部材を含んだ圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。なお、本実施形態では、圧力センサが本発明の湿度硬化型部材を含んだ製品に相当し、シール部材が湿度硬化型部材に相当している。
【００２２】
図１に示されるように、本実施形態の製造方法により製造された圧力センサは、ケース１０、センサ部２０、シール部材３０および吸湿剤４０を備えた構成とされている。なお、本実施形態では、ケース１０が本発明の第１被着体部材に相当し、センサ部２０が本発明の第２被着体部材に相当し、ケース１０およびセンサ部２０が被着体部材に相当する。
【００２３】
ケース１０は、センサ部２０を収容するものであり、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなる板状のものである。そして、ケース１０のうち、一面には凹部１１が形成されており、この一面と反対側の他面には凹部１１に達し、ケース１０の厚さ方向に貫通するように圧力導入孔１２が形成されている。
【００２４】
凹部１１には図示しない、例えば、シリコン系接着剤やフロロシリコン系接着剤等を介して圧力検出用のセンサ部２０が配設されており、センサ部２０により凹部１１と圧力導入孔１２とが区画されている。そして、本実施形態では、凹部１１の壁面とセンサ部２０の外壁面との間の領域（空間）で配置領域３１が構成されており、この配置領域３１に、例えば、シリコーンゴム等のシール部材３０が配置されている。このシール部材３０は、センサ部２０と凹部１１の底面との隙間を封止し、圧力導入孔１２から凹部１１内に測定媒体が侵入することを防止するものであり、さらに、ケース１０と後述するターミナルとの隙間を封止するものである。本実施形態では、シール部材３０が湿度硬化型部材に相当し、シール部材３０は水蒸気と反応することで硬化する性質を有している。
【００２５】
また、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する全壁面には、ケース１０よりも吸湿性の高い吸湿剤４０が備えられている。この吸湿剤４０は、例えば、ケース１０を構成するＰＰＳやＰＢＴより吸湿性の高いナイロン等の樹脂、網目構造を備えたセラミックスまたはアクリレート系等の有機系ポリマー、シリカゲルや活性炭等の多孔質体等を用いて構成されている。
【００２６】
センサ部２０は、センサチップ２１と台座２２とを有した構成とされている。センサチップ２１は、板の表面にダイヤフラム２３を備えていると共に、表面と反対側の裏面にダイヤフラム２３を構成するための凹部２４を備えた半導体ダイヤフラム式のものである。そして、ダイヤフラム２３には、ブリッジ回路を構成するように形成された図示しないゲージ抵抗が備えられている。これにより、センサチップ２１では、板の両面に圧力が印加されると両圧力の差圧によってダイヤフラム２３が歪み、ブリッジ回路にて差圧に応じた電気信号が出力される。
【００２７】
台座２２はガラス等により構成されており、センサチップ２１の裏面と陽極接合等により接合されることでセンサチップ２１と一体化されている。本実施形態では、台座２２の外壁面が凹部１１の壁面と共に配置領域３１を構成している。また、台座２２には、センサチップ２１が固定された面から中を貫いて反対側の面に抜け、圧力導入孔１２と連通するように貫通孔２５が形成されている。
【００２８】
また、ケース１０には、センサチップ２１と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル（図示せず）が備えられている。これらのターミナルはインサートモールドによりケース１０と一体に成形されることによりケース１０内に保持されている。
【００２９】
具体的には、各ターミナルのうち一端部は、ケース１０から凹部内１１に突出している。そして、この一端部が、図示しないボンディングワイヤを介してセンサチップ２１と電気的に接続されている。
【００３０】
次に、このような圧力センサの製造方法について説明する。
【００３１】
図２は、図１に示す圧力センサの製造工程を示す断面図である。図２（ａ）に示されるように、上記形状の凹部１１および圧力導入孔１２を備え、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたケース１０を用意する。なお、吸湿剤４０は、ケース１０を型成形する際に凹部１１の壁面に配置してもよいし、凹部１１の壁面に対して塗布することにより備えても良い。また、吸湿剤４０は、例えば、大気中の湿気（水蒸気）を吸収することにより、水分が吸収された状態、つまり水分を蓄えた状態とすることができる。その後、台座２２の貫通孔２５と圧力導入孔１２とが連通すると共に、凹部１１と圧力導入孔１２とが区画されるように、接着剤等を介して凹部１１にセンサ部２０を配設する。続いて、図２（ｂ）に示されるように、シール部材３０を配置領域３１に注入する。
【００３２】
その後、図２（ｃ）に示されるように、吸湿剤４０を、例えば、レーザ照射することにより加熱処理し、吸湿剤４０から水蒸気を発生させることによってシール部材３０に該水蒸気を供給し、シール部材３０を硬化させる。このとき、もちろんシール部材３０は大気中の水蒸気とも反応して硬化している。以上のようにして、本実施形態の圧力センサが製造される。
【００３３】
このような圧力センサの製造方法では、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたケース１０を用意し、シール部材３０を配置領域３１に注入した後、吸湿剤４０を加熱処理して水蒸気を発生させ、該水蒸気をシール部材３０に供給している。これにより、シール部材３０には、大気中の水蒸気のみではなく、吸湿剤４０からも水蒸気が供給されることになり、従来の製造方法より多量の水蒸気が供給されることになる。このため、シール部材３０を硬化させる時間を短縮化することができ、従来の製造方法より圧力センサの製造時間の短縮化を図ることができる。
【００３４】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態のシール部材を含んだ圧力センサの製造方法は、第１実施形態に対して吸湿剤４０を備えたケース１０を用いる代わりに、吸湿剤４０を備えたセンサ部２０を用いるものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図３は、本実施形態にかかる圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【００３５】
図３に示されるように、本実施形態の製造方法により製造された圧力センサでは、台座２２の外壁面のうち配置領域３１を構成する全壁面に吸湿剤４０が備えられている。
【００３６】
このような圧力センサは、上記図２（ａ）の工程において、吸湿剤４０を備えていないケース１０を用意すると共に、台座２２のうち配置領域３１を構成する部分に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたセンサ部２０を用意し、このセンサ部２０を凹部１１に配設する。なお、吸湿剤４０は、例えば、台座２２に塗布されることにより備えられている。その後、上記図２（ｃ）の工程において、台座２２に備えられている吸湿剤４０を、例えば、レーザ照射することにより加熱処理し、吸湿剤４０から水蒸気を発生させることによってシール部材３０に該水蒸気を供給し、シール部材３０を硬化させる。以上のようにして、本実施形態の圧力センサが製造される。
【００３７】
このような圧力センサの製造方法では、外壁面のうち配置領域３１を構成する部分に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたセンサ部２０を用い、この吸湿剤４０を加熱処理して水蒸気を発生させ、該水蒸気をシール部材３０に供給している。これにより、シール部材３０には、大気中の水蒸気のみではなく、吸湿剤４０からも水蒸気が供給されることになり、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態のシール部材を含んだ圧力センサの製造方法は、第１実施形態に対して吸湿剤４０を備えたケース１０を用いる代わりに、シール部材３０内に添加剤が添加されたものを配置領域３１に配置するものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図４は、本実施形態にかかる圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【００３９】
図４に示されるように、本実施形態の製造方法により製造された圧力センサでは、シール部材３０内に添加剤４１を添加したものが配置領域３１に配置されている。この添加剤４１は、例えば、上記吸収剤４０と同じ材料を用いて構成することができ、ナイロン等の樹脂、網目構造を備えたセラミックスまたはアクリレート系等の有機系ポリマー、シリカゲルや活性炭等の多孔質体等を用いて構成することができる。
【００４０】
このような圧力センサは、まず、上記図２（ａ）の工程において、吸湿剤４０を備えていないケース１０を用意する。そして、上記図２（ｂ）の工程において、シール部材３０内に水分が吸収された添加剤４１を添加したものを配置領域３１に注入する。その後、上記図２（ｃ）の工程において、シール部材３０内に添加されている添加剤４１を、例えば、レーザ照射することにより加熱処理し、添加剤４１から水蒸気を発生させることによってシール部材３０に該水蒸気を供給し、シール部材３０を硬化させる。以上のようにして、本実施形態の圧力センサが製造される。
【００４１】
このような圧力センサの製造方法では、シール部材３０内に水分が吸収された添加剤４１を添加したものを配置領域３１に配置し、添加剤４１を加熱処理して水蒸気を発生させ、該水蒸気をシール部材３０に供給している。これにより、シール部材３０には、大気中の水蒸気のみではなく、添加剤４１からも水蒸気が供給されることになり、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４２】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態にかかるシール部材を含んだ圧力センサの製造方法は、第１実施形態に対して吸湿剤４０を備えたケース１０を用いる代わりに、凹部１１の壁面に凸部を備えたケース１０を用いるものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。図５は、本実施形態にかかる圧力センサの製造方法により製造された圧力センサの断面構成を示す図である。
【００４３】
図５に示されるように、本実施形態の製造方法により製造された圧力センサでは、配置領域３１を構成する壁面に凸部１３が備えられている。具体的には、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３が備えられている。
【００４４】
このような圧力センサは、上記図２（ａ）の工程において、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えるように、例えば、型成形によりケース１０を用意する。その後、上記図２（ｂ）の工程のように、シール部材３０を配置領域３１に注入する。このとき、凹部１１の壁面および台座２２の外壁面には大気中の水分が付着した状態となっている。続いて、上記図２（ｃ）の工程において、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分および台座２２の外壁面のうち配置領域３１を構成する部分を、例えば、レーザ照射することにより加熱処理し、この部分に付着している水分から水蒸気を発生させることによってシール部材３０に該水蒸気を供給し、シール部材３０を硬化させる。以上のようにして、本実施形態の圧力センサが製造される。
【００４５】
このような圧力センサの製造方法では、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分および台座２２の外壁面のうち配置領域３１を構成する部分を加熱処理することにより、この部分に付着している水分から水蒸気を発生させ、該水蒸気をシール部材３０に供給している。これにより、シール部材３０には、大気中の水蒸気のみでなく、配置領域３１を構成する壁面からも水蒸気が供給されることになり、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４６】
そして、本実施形態では、さらに、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えたケース１０を用いている。これにより、従来の製造方法で用いられる凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えないケース１０と比較すると、配置領域３１の表面積を増加させることができ、大気中の水分が付着する面積を大きくすることができる。このため、従来の製造方法において仮に凹部１１の壁面のうち配置領域３１を加熱する工程を行った場合と比較しても、配置領域３１を構成する壁面から多量の水蒸気が供給されるため、シール部材３０を硬化させる時間を短縮化することができる。
【００４７】
（他の実施形態）
上記各実施形態では、湿度硬化型部材としてシール部材３０を用いた例について説明したが、もちろんこれに限定されるものではなく、例えば、湿度硬化型部材として接着剤とすることもできる。例えば、一面に凹部１１を備えたケース１０に対して、凹部１１の底面にセンサ部２０を接合する際に、湿度硬化型部材からなる接着剤を介してセンサ部２０を配置することもできる。
【００４８】
この場合は、例えば、凹部１１の底面のうちセンサ部２０が配置される領域に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたケース１０を用い、吸湿剤４０を加熱処理することにより上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、台座２２のうち、凹部１１の底面と接合される面、つまりセンサチップ２１と接合される面と反対側の面に水分が吸収された吸湿剤４０を備えたセンサ部２０を用い、吸湿剤４０を加熱処理することにより上記第２実施形態と同様の効果を得ることができる。そして、接着剤として水分が吸収された添加剤４１を含んだものを用い、添加剤４１を加熱処理することにより上記第３実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、凹部１１の底面のうち、センサ部２０が配置される領域に凸部１３を備えたケース１０を用い、配置領域３１を構成する壁面を加熱処理することにより上記第４実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４９】
また、湿度硬化型部材を含んだ製品として、上記各実施形態では、圧力センサを例に挙げて説明したが、もちろんこれに限定されるものではなく、例えば、加速度センサや角速度センサに適用することができる。
【００５０】
さらに、上記第１、第２実施形態では、レーザ照射により吸湿剤４０を加熱処理し、上記第３実施形態では、レーザ照射により添加剤４１を加熱処理し、上記第４実施形態では、レーザ照射により配置領域３１を構成する壁面を加熱処理する方法について説明したが、例えば、吸湿剤４０、添加剤４１または配置領域３１を構成する壁面をプラズマまたはマイクロ波を照射することにより加熱することもできるし、誘導加熱により加熱することもできる。さらに、シール部材３０が注入されたケース１０を所定の部屋に配置し、部屋全体の温度を調節してケース１０全体を加熱することにより、吸湿剤４０、添加剤４１または配置領域３１を構成する壁面を加熱することもできる。
【００５１】
そして、上記第１実施形態では凹部１１のうち配置領域３１を構成する全壁面に吸湿剤４０を備えたケース１０を用い、上記第２実施形態では台座２２のうち配置領域３１を構成する全外壁面に吸湿剤４０を備えたセンサ部２０を用いた例を説明したが、もちろん配置領域３１を構成する一部分のみに吸湿剤４０を備えるケース１０またはセンサ部２０を用いる製造方法としても従来の圧力センサの製造方法と比較して製造時間の短縮化を図ることができる。また、同様に、上記第４実施形態において、凹部１１のうち配置領域３１を構成する一部分のみに凸部１３を備える製造方法としても、従来の製造方法において仮に凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分を加熱する工程を行った場合と比較して、製造時間の短縮化を図ることができる。
【００５２】
さらに、上記第１、第２実施形態では、配置領域３１を構成する部分に吸湿剤４０を備えた圧力センサの製造方法を説明したが、例えば、上記第１実施形態においては、凹部１１の全壁面に吸湿剤４０を備えたケース１０を用いることもできるし、第２実施形態においては、台座２２の全外壁面に吸湿剤４０を備えたセンサ部２０を用いることもできる。同様に、第４実施形態では、凹部１１の全壁面に凸部１３を備えたケース１０を用いることもできる。
【００５３】
また、上記第４実施形態では、凹部１１の壁面に凸部１３が備えられているケース１０を用いる例について説明したが、凹部１１の壁面に窪み部が備えられているケース１０を用いてもよく、凹部１１の壁面が荒らされているケース１０を用いてもよい。また、例えば、センサ部２０の外壁面に凸部１３を備えることにより、配置領域３１の壁面に凸部１３を備えることもできる。
【００５４】
さらに、上記各実施形態を互いに組み合わせた圧力センサの製造方法とすることもできる。例えば、上記第１実施形態に対して上記第２実施形態を組み合わせて、凹部１１およびセンサ部２０のうち配置領域３１を構成する部分に吸湿剤４０を備えることもできる。そして、さらに、上記第３実施形態を組み合わせて、シール部材３０内に水分が吸収された添加剤４１を添加したものを配置領域３１に配置することもできるし、上記第４実施形態を組み合わせて、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えることもできる。もちろん上記第１実施形態に対して、上記第３実施形態のみを組み合わせて、シール部材３０内に水分が吸収された添加剤４１を添加したものを配置領域３１に配置することもできるし、上記第４実施形態を組み合わせて、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えることもできる。
【００５５】
同様に、上記第２実施形態に対して上記第３実施形態を組み合わせて、シール部材３０内に水分が吸収された添加剤４１を添加したものを配置領域３１に配置することもできるし、さらに、上記第４実施形態を組み合わせて、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えることもできる。また、上記第２実施形態に対して上記第４実施形態のみを組みあせて、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えることもできる。
【００５６】
そして、上記第３実施形態に対して上記第４実施形態のみを組み合わせて、凹部１１の壁面のうち配置領域３１を構成する部分に凸部１３を備えることもできる。
【符号の説明】
【００５７】
１０    ケース
１１    凹部
２０    センサ部
３０    シール部材
３１    配置領域
４０    吸湿剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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