(57)【要約】【課題】記録トラック形状の歪みに因る記録／再生への影響を低減する。【解決手段】記録媒体であるパターンドディスクを同心円状に配置された複数の記録トラックと記録トラックの高次偏心を検出するための磁性パターンが形成された偏心検出用トラックとを有するものとし、偏心検出用トラックの読み取りによって得られた当該偏心検出用トラックの偏心状態を示す実測偏心プロファイルを記憶するメモリと、任意の記録トラックへのアクセスに際して、メモリの実測偏心プロファイルを参照し、当該記録トラックの偏心状態を予測して当該記録トラック対するトラッキング制御を実行する制御手段とを磁気ディスク装置に備えさせる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体としてパターンドディスクを備える磁気ディスク装置であって、
前記パターンドディスクは、同心円状に配置された複数の記録トラックと、前記記録トラックの高次偏心を検出するための磁性パターンが形成された偏心検出用トラックとを有しており、
前記偏心検出用トラックの読み取りによって得られた当該偏心検出用トラックの偏心状態を示す実測偏心プロファイルを記憶するメモリと、
任意の記録トラックへのアクセスに際して、前記メモリの前記実測偏心プロファイルを参照し、当該記録トラックの偏心状態を予測して当該記録トラック対するトラッキング制御を実行する制御手段とを備える
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記パターンドディスクのディスク面は、周方向に沿ってユーザデータ領域とサーボ領域とが交互となるように、複数のユーザデータ領域と複数のサーボ領域とに区画されており、
前記偏心検出用トラックの磁性パターンは、前記ユーザデータ領域のそれぞれの中の周方向に離れた複数位置の偏心の検出を可能にするパターンであり、
前記実測偏心プロファイルは、前記複数位置の偏心を検出した結果を示す
請求項１に記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記パターンドディスクのディスク面は、半径方向に沿って同心円状の複数のゾーンに区画され、
各ゾーンに複数の記録トラックが配置されるとともに、隣接するゾーンの境界ごとに偏心検出用トラックが配置され、
前記メモリは、複数の偏心検出用トラックのそれぞれに対応する実測偏心プロファイルを記憶し、
前記制御手段は、任意の記録トラックへのアクセスに際して、当該記録トラックの半径方向の両側の前記実測偏心プロファイルを参照し、当該記録トラックの偏心状態を予測して当該記録トラック対するトラッキング制御を実行する
請求項１に記載の磁気ディスク装置。
【請求項４】
前記制御手段は、磁気ディスク装置が起動するごとに前記偏心検出用トラックの読み取り制御を行って最新の実測偏心プロファイルを前記メモリに記憶させる
請求項３に記載の磁気ディスク装置。
【請求項５】
磁気ディスク装置に記録媒体として備えられるパターンドディスクであって、
ディスク面が、周方向に沿ってユーザデータ領域とサーボ領域とが交互となるように、複数のユーザデータ領域と複数のサーボ領域とに区画されており、
同心円状に配置された複数の記録トラックと、
前記ユーザデータ領域のそれぞれの中の周方向に離れた複数位置の偏心の検出を可能にする磁性パターンが形成された複数の偏心検出用トラックとを有する
ことを特徴とするパターンドディスク。
【請求項６】
前記記録トラックが互いに磁気的に分断されたピットパターンからなる
請求項４に記載のパターンドディスク。
【請求項７】
前記記録トラックどうしが互いに磁気的に分断されたディスクリートトラック型である
請求項４に記載のパターンドディスク。
【請求項８】
記録媒体としてパターンドディスクを備える磁気ディスク装置における前記パターンドディスクへのアクセスの制御方法であって、
前記パターンドディスクに、同心円状の複数の記録トラックとともに、前記記録トラックの高次偏心を検出するための磁性パターンが形成された偏心検出用トラックを設けておき、
前記偏心検出用トラックの読み取りによって得られた当該偏心検出用トラックの偏心状態を示す実測偏心プロファイルをメモリに記録しておき、
任意の記録トラックへのアクセスに際して、前記メモリの前記実測偏心プロファイルを参照し、当該記録トラックの偏心状態を予測して当該記録トラック対するトラッキング制御を行う
ことを特徴とするパターンドディスクへのアクセスの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンドディスク、パターンドディスクを備える磁気ディスク装置およびパターンドディスクへのアクセスの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）と呼ばれる磁気ディスク装置に組み付ける記憶媒体として、パターンドディスクが注目されている。ここでいうパターンドディスクは、データ記録領域が構造的にパターン化された媒体であって、隣接する帯状の記録トラックが非磁性のガードバンドで磁気的に分離されたディスクリートトラック型と記録トラックがビットごとに独立した磁性パターンからなるビットパターンド型とを含む。特に、ビットパターンド型は、１ビット分の磁性パターンが微細であっても記録情報が変化しにくいので、磁気記録密度のいっそうの向上を実現するのに有用である。
【０００３】
パターンドディスクの量産にはインプリント法が適用され、ビットパターンはスタンパからの転写によって形成される。１つのスタンパによって、データ記録用のビットパターンとともに、アドレスを示すパターンおよびサーボ制御のためのパターンを一括に形成する技術がある（例えば、特許文献１）。インプリント法によればパターン露光過程を含むフォトリソグラフィでは形成が難しい直径１０ｎｍ以下の微細パターンを形成することができる。
【０００４】
パターンドディスクではディスク面内の記録トラックの位置が定まっているので、回転中心に対する記録トラックの偏心が記録／再生の良否に影響する。従来において、回転用のスピンドルモータの軸に固定する段階で偏心が少なくなるように軸との相対位置の調整を行い、この調整のために予めパターンドディスクに光学的に偏心を検出するためのトラックを形成しておく技術がある（特許文献２、特許文献３）。この技術によれば、真円とみなした記録トラックにおける幾何中心と回転中心とのずれに因る一次偏心に対する補正が可能である。
【特許文献１】特開２００６−１５５８６３号公報
【特許文献２】特開平９−２５０９０６号公報
【特許文献３】特開２００６−１８５５４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
実際に製造されるパターンドディスクでは、パターン化された記録トラックが真円に近いものの部分的または全体的に歪んだ環状になる。なお、厳密には記録トラックは回転中心を一周する環状ではなくサーボ領域で途切れるが、ここでは便宜的に環状とみなしている。記録トラックの形状の歪みは、パターンが微細になるほど記録／再生の良否に大きな影響を及ぼす。歪みの原因は様々である。例えば、スタンパを製作するための電子ビーム描画露光には日単位の時間がかかるので、描画中の環境の微変動で歪みの生じる可能性がある。また、スタンパの形状を転写するときの転写材料層への押圧力の不均一、転写材料層の材質や温度の不均一、スタンパを転写材料層から引き離すときの微妙な振れによっても歪みは生じる。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされ、記録トラック形状の歪みに因る記録／再生への影響を低減することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する装置は、記録媒体としてパターンドディスクを備える磁気ディスク装置であって、前記パターンドディスクは、同心円状に配置された複数の記録トラックと、前記記録トラックの高次偏心を検出するための磁性パターンが形成された偏心検出用トラックとを有しており、前記偏心検出用トラックの読み取りによって得られた当該偏心検出用トラックの偏心状態を示す実測偏心プロファイルを記憶するメモリと、任意の記録トラックへのアクセスに際して、前記メモリの前記実測偏心プロファイルを参照し、当該記録トラックの偏心状態を予測して当該記録トラック対するトラッキング制御を実行する制御手段とを備えるものである。
【０００８】
好ましい態様では、前記制御手段は、磁気ディスク装置が起動するごとに、前記偏心検出用トラックの読み取り制御を行って最新の実測偏心プロファイルを前記メモリに記憶させる。この態様によれば、経年変化や使用環境の変化に因って偏心状態や装置各部の動作特性が変化しても、記録／再生を良好にすることができる。
【０００９】
上記目的を達成する方法は、記録媒体としてパターンドディスクを備える磁気ディスク装置における前記パターンドディスクへのアクセスの制御方法であって、前記パターンドディスクに同心円状の複数の記録トラックとともに前記記録トラックの高次偏心を検出するための磁性パターンが形成された偏心検出用トラックを設けておき、前記偏心検出用トラックの読み取りによって得られた当該偏心検出用トラックの偏心状態を示す実測偏心プロファイルをメモリに記録しておき、任意の記録トラックへのアクセスに際して、前記メモリの前記実測偏心プロファイルを参照し、当該記録トラックの偏心状態を予測して当該記録トラック対するトラッキング制御を行うものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、記録トラック形状の歪みに因る記録／再生への影響を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は本発明の実施形態に係るパターンドディスク２の領域区分を示し、図２は偏心検出用トラックの配置を示す。図１のように、パターンドディスク２における円環状のディスク面は、１周を所定角度ずつ分割する形で周方向に沿って複数のユーザデータ領域２１と複数のサーボ領域２２とに区画されている。ユーザデータ領域２１およびサーボ領域２２は周方向に交互に並ぶ。また、ディスク面は、同心円状の複数のゾーンに区画されている。ユーザデータ領域２１内の各ゾーンに径方向に一定のピッチで同心円状に記録トラックが設けられ、隣接するゾーンの境界に偏心検出用トラック２４が設けられている（図２参照）。また、本例では最外ゾーンの外側および最内ゾーンの内側にも偏心検出用トラック２４が設けられている。放射状に並ぶ複数のサーボ領域２２のそれぞれにはサーボパターンが設けられている。サーボパターンは、トラッキングのためのマーク、クロック生成のためのマーク、およびアドレス情報を表わすグレイコードを含む。
【００１２】
図示のパターンドディスク２の構成は角速度一定（ＣＡＶ）で回転する状態でのアクセスおよび回動式アームによるシーク動作に適合するものであるので、ユーザデータ領域２１およびサーボ領域２２はディスク面の外周に近づくほど拡がり、アーム先端の移動経路に沿うよう湾曲した形状をもつ。
【００１３】
図３のとおり、ユーザデータ領域２１には非磁性の分離領域２７で囲まれる多数のビットパターン２６が規則的に配列されている。ビットパターン２６のそれぞれが１ビットを記録するための磁性パターンである。例示のビットパターン２６は円形であり、その直径は１０ｎｍ程度である。図ではビットパターン２６の一部に符号を付してあるが、図３中の白抜きの丸は全てビットパターン２６を表わす。複数の記録トラック２３のそれぞれに、周方向（図の左右方向）および径方向（図の上下方向）に並ぶビットパターン２６のうちの周方向に沿って一列に等間隔に並ぶビットパターン２６が対応する。各記録トラック２３におけるビットパターン２６の配列ピッチは１５〜２０ｎｍ程度であり、記録トラック２３の配列ピッチも１５〜２０ｎｍ程度である。
【００１４】
図４は高次偏心によるビットパターン２６と図示しない磁気ヘッドとのずれを示す。本来、１つの記録トラックに対応するビットパターン２６は図４中に破線の丸で示すように周方向に整然と並ぶ。しかし、製造時または製造後の何らかの原因によってビットパターン２６の半径方向の位置が本来の位置からずれ、複数のビットパターン２６の間でずれ量が不均一であるという図示の状態、すなわち高次偏心が発生する。このようにビットパターン２６が不規則にずれた高次偏心状態の記録トラックの形状は、１つのユーザデータ領域２１でみると、本来のほぼ直線に近い円弧ではなく歪んだ略円弧となる。
【００１５】
高次偏心状態の記録トラックへのアクセス（記録／再生）に際して、磁気ヘッドに対して一般的なトラッキング制御を適用すると、磁気ヘッドによって全体がトレースされるビットパターン２６と一部のみがトレースされるビットパターン２６とが生じてしまう。つまり、磁気ヘッドからビットパターン２６へまたはその逆に与えられる磁気信号強度が不均一になる。当然に強度の小さいビットパターン２６では記録／再生が不良になり易い。一般的なトラッキング制御とは、ヘッド走行方向Ｍ１に領域２８をトレースするように磁気ヘッドを相対移動させるときに、サーボ領域２２のプリアンブル部で偏心量を検出し、検出値を基に線形補完値を算出しながら逐次に算出値を適用したトラッキングを行う制御である。この制御によって一次偏心の影響は低減される。
【００１６】
高次偏心によるアクセス不良を防ぐために、パターンドディスク２には上記のように偏心検出用トラック２４が設けられている。偏心検出用トラック２４には以下に説明するように偏心検出パターンが形成されている。
【００１７】
図５は偏心検出用トラック２４の構成の第１例を示す。図５（Ａ）では、設計どおりに２種の偏心検出パターン４１，４２が所望位置に配置されており、高次偏心は生じていない。偏心検出パターン４１はビットパターン２６よりも大きい円形の磁性パターンである。偏心検出パターン４１は、これらの位置を読み取るスキャンニング時に磁気ヘッドでトレースされる領域２８内に、周方向に沿って一列に配列されている。他方の偏心検出パターン４２は、周方向の長さが偏心検出パターン４１よりも長い形状の磁性パターンである。偏心検出パターン４２は、偏心検出パターン４１の配列のディスク半径方向の片側に周方向に沿って配列されている。図５（Ａ）の状態の場合には、偏心検出用トラック２４をスキャンニングすると、偏心検出パターン４１の配列ピッチに対応した周期の検出信号が得られる。
【００１８】
図５（Ｂ）では高次偏心が生じている。図５（Ｂ）の状態の場合、偏心検出用トラック２４をスキャンニングすると、偏心検出パターン４１の配列ピッチに対応した比較的に短い周期の検出信号に、偏心検出パターン４２の配列ピッチに対応した比較的に長い周期の信号が重畳する。重畳のタイミングおよび重畳の度合いはこれらパターンの偏心状態に対応するので、検出信号によってディスク半径方向の偏心の周方向の分布である偏心プロファイルを特定することができる。
【００１９】
図６は偏心検出用トラック２４の構成の第２例を示す。図６（Ａ）のとおり本例の偏心検出用トラック２４は、バースト信号が得られるように複数個ごとにディスク半径方向位置を交互にずらして周方向に沿って配列された偏心検出パターン４３からなる。図６（Ｂ）および（Ｃ）から分かるように、偏心検出パターン４３のディスク半径方向位置が本来の位置からずれると、図の上側または下側に振り分けられている偏心検出パターン４３からの信号が他方の偏心検出パターン４３からの信号よりも強いという偏った検出信号が得られる。偏りのタイミングおよび偏り量はパターンの偏心状態（ずれ状態）に対応するので、検出信号によって偏心プロファイルを特定することができる。
【００２０】
図７は偏心検出用トラック２４の構成の第３例を示す。図７（Ａ）において偏心検出用トラック２４は、光ディスクで設けられるウォブルのように規則的に蛇行した帯状の一様な磁性パターンである偏心検出パターン４４からなる。図７（Ｂ）において偏心検出用トラック２４は、図７（Ａ）の偏心検出パターン４４に磁気信号の検出を容易にするために単一周期の信号（縞状磁気パターン）を書き込んだ偏心検出パターン４４ｂからなる。偏心検出パターン４４，４４ｂの幅は記録トラック２３の幅より広いが、記録トラック２３へのアクセス用の磁気ヘッドを用いて複数トラック分の書込みを行うことによって偏心検出パターン４４ｂが得られる。
【００２１】
図７（Ａ）および（Ｂ）では高次偏心が生じていない。この状態の偏心検出用トラック２４をスキャンニングすると、磁気ヘッドが通る領域２８は偏心検出パターン４４，４４ｂにおけるディスク半径方向の中央部であるので、偏心検出パターン４４，４４ｂの蛇行が関係しない一定または一定周期の検出信号が得られる。図示は省略したが、高次偏心が生じている場合には、偏心検出パターン４４，４４ｂの蛇行が不規則であって、その蛇行した端縁と磁気ヘッドが通る領域２８との重なりに応じた検出信号が得られる。
【００２２】
図８は偏心検出用トラック２４の構成の第４例を示す。図８において偏心検出用トラック２４は、周方向に等間隔に配列された複数の偏心検出パターン４５からなる。各偏心検出パターン４５は、周方向に長い部分とその周方向の中央から片側に突き出た部分とからなる略Ｔ字状であり、偏心のない通常であるときに長い部分が磁気ヘッドの通過する領域２８に位置するように形成されている。高次偏心が生じていない通常であれば、偏心検出用トラック２４をスキャンニングすると、長い部分の配列ピッチに応じた検出信号が得られる。高次偏移が生じて例えばある偏心検出パターン４５が図の下方（ディスク半径方向の内周側）にずれて長い部分が領域２８から外れた場合、周方向におけるずれの生じた位置では検出信号が得られない。逆に図の上方にずれて長い部分から突き出る部分が領域２８内に位置する場合は、その位置では突き出る部分に応じた検出信号が得られる。すなわち、検出信号は、偏心検出パターン４５のうちの領域２８内に在る部位の面積に依存する。
【００２３】
図９は偏心検出用トラック２４の構成の第５例を示す。図９において偏心検出用トラック２４は、周方向に等間隔に配列された複数の偏心検出パターン４６からなる。各偏心検出パターン４６は図８の偏心検出パターン４５の変形であり、図の下方側に頂点をもつ略三角形のパターンである。この例でも図８の例と同様に高次偏心に応じた検出信号が得られる。
【００２４】
以上のような偏心検出用トラック２４のスキャンニングによって検出された偏心プロファイル（以下、これを実測偏心プロファイルという）は、記録トラック２３へのアクセス（記録／再生）に際して、記録トラック２３の高次偏心を予測して磁気ヘッドの半径方向位置を調整するトラッキング制御に用いられる。高次偏心の予測として実測偏心プロファイルに基づいて記録トラック２３の偏心プロファイルが計算によって作成され、作成された偏心プロファイル（以下、これを算出偏心プロファイルという）に従ってトラッキング制御が行われる。
【００２５】
図１０は記録トラック２３の偏心プロファイルとみなす算出偏心プロファイルの求め方を示す。基本的に、ある記録トラック２３の算出偏心プロファイルは、２つの偏心検出用トラック２４の実測偏心プロファイルに基づいて算出される。例えば、ｎ番目のゾーン内の記録トラック２３に対しては、当該ゾーンとそれに隣接する（ｎ−１）番目および（ｎ＋１）番目のゾーンとの境界に配置された偏心検出用トラック２４の実測偏心プロファイルＡ，Ｂが適用される。当該記録トラック２３と２つの偏心検出用トラック２４とのディスク半径方向の位置関係を考慮した補間演算によって算出偏心プロファイルが算出される。
【００２６】
図１１は本発明の実施形態に係る磁気ディスク装置の構成を示す。
【００２７】
磁気ディスク装置１は、単数または複数のパターンドディスク２を記憶媒体として備えるストレージであり、周知のハードディスクドライブと同様にパターンドディスク２とヘッドジンバルアセンブリ７に支持された磁気ヘッド５とを相対移動させてビットデータ列の記録／再生を行う。パターンドディスク２を回転させるスピンドルモータ（ＳＰＭ）６および磁気ヘッド５をディスク径方向に移動させるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）８はドライブコントローラ９によって制御される。磁気ヘッド５にはヘッドアンプを含む書込み読出し回路（以下、Ｗ／Ｒ回路という）１０から書込み信号が与えられ、磁気ヘッド５からの読出し信号もＷ／Ｒ回路１０へ送られる。Ｗ／Ｒ回路１０は、ハードディスクコントローラとしてのデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）１２から与えられる書込みデータに基づいてパターンドディスク２に記録する符合化データを生成するエンコード、およびパターンドディスク２から読み出された信号をデコードしてＤＳＰ１２へ引き渡す信号処理を受け持つ。ＤＳＰ１２はインタフェース１７を介して外部装置であるホストとデータの送受を行うとともに、ドライブコントローラ９にパターンドディスク２に対するアクセスの位置を通知する。インタフェース１８はデータ送受のタイミング調整のためのバッファを有している。
【００２８】
また、磁気ディスク装置１は、ＤＳＰ１２によって実行されるプログラムを記憶するＲＯＭ１４、およびプログラム実行のワークエリアとなるＲＡＭ１６を有している。ＲＡＭ１６は複数の偏心検出用トラック２４のそれぞれから得られた実測偏心プロファイルＰ１および実測偏心プロファイルＰ１に基づく演算で得られた算出偏心プロファイルＰ２の一時記憶に利用される。
【００２９】
図１２はパターンドディスク２に対するアクセス制御の概要を示すフローチャートである。
【００３０】
本実施形態では、パターンドディスク２および磁気ヘッド５を含めた装置全体の経時変化が磁気記録特性に影響する可能性があるので、磁気ディスク装置１が起動するごとに複数の偏心検出用トラック２４のスキャンニングが行われる。ＤＳＰ１２は、ドライブコントローラ９に対して偏心検出用トラック２４の順次の読み取りを指示し、Ｗ／Ｒ回路１０を介して取得した実測偏心プロファイルＰ１をＲＡＭ１６に書き込む（＃０１、＃０２）。ホストからのアクセス命令を待ち（＃０３）、アクセス命令を受けると、ＤＳＰ１２はアクセス開始トラックおよびセクタの番号を算出する（＃０４）。続いて、ＤＳＰ１２はアクセスすべき記録トラック２３について算出偏心プロファイルＰ２を算出してＲＡＭ１６に記憶させる（＃０５）。ドライブコントローラ９はアクセスすべき記録トラック２３にオントラックするようシーク制御を行い（＃０６）、ＤＳＰ１２から与えられた算出偏心プロファイルＰ２を用いて磁気ヘッド５を記録トラック２３に追従させる（＃０７）。磁気ヘッド５がアクセス開始セクタに到達すると、当該セクタからそれに続く所定数のセクタに逐次にアクセスする（＃０８、＃０９）。命令に応えるアクセスが完了すると（＃１０）、ステップ＃０３に戻って次のアクセス命令を待つ。引き続きアクセスすべきセクタ列がある場合は、ＤＳＰ１２は次のアクセス対象の開始トラックおよびセクタの番号を算出し（＃１１）、ステップ＃０５に戻って次にアクセスすべき記録トラック２３の算出偏心プロファイルＰ２を算出する。
【００３１】
以上の実施形態においてパターンドディスク２はビットパターンドディスクに限らず、ディスクリートトラック型のディスクであってもよい。実測偏心プロファイルＰ１を装置の起動ごとに取得する構成に代えて、磁気ディスク装置１の製造段階で実測偏心プロファイルＰ１を取得してパターンドディスク２に書き込んでおく構成を採用することができる。各記録トラック２３の偏心プロファイルを３以上の実測偏心プロファイルに基づいて算出してもよい。また、各記録トラック２３の偏心プロファイルとして、当該記録トラック２３に最も近い偏心検出用トラック２４の実測偏心プロファイルを適用してもよい。偏心検出パターン４１，４２，４３，４４，４４ｂ，４５，４６の寸法条件は適宜に最適化するのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態に係るパターンドディスク２の領域区分を示す図である。
【図２】偏心検出用トラックの配置を示す図である。
【図３】ビットパターンの配列を示す図である。
【図４】高次偏心によるビットパターンと磁気ヘッドとのずれを示す図である。
【図５】偏心検出用トラックの構成の第１例を示す図である。
【図６】偏心検出用トラックの構成の第２例を示す図である。
【図７】偏心検出用トラックの構成の第３例を示す図である。
【図８】偏心検出用トラックの構成の第４例を示す図である。
【図９】偏心検出用トラックの構成の第５例を示す図である。
【図１０】記録トラックの偏心プロファイルの求め方を示す図である。
【図１１】発明の実施形態に係る磁気ディスク装置の構成を示す図である。
【図１２】パターンドディスクに対するアクセス制御の概要を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３３】
１    磁気ディスク装置
２    パターンドディスク
２３    記録トラック
２４    偏心検出用トラック
４１，４２，４３，４４，４４ｂ，４５，４６    偏心検出パターン（磁性パターン）
１６    ＲＡＭ（メモリ）
１２    ＤＳＰ（制御手段）
２１    ユーザデータ領域
２２    サーボ領域
Ｐ１    実測偏心プロファイル
２６    ピットパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010033681.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010033681.tif 000011
【図１０】
2010033681.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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