(57)【要約】【課題】本発明の目的は、受信感度に優れる超音波探触子を与え、圧電特性および耐熱性に優れる超音波振動子を与える有機圧電体を提供することである。【解決手段】下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する化合物であることを特徴とする有機圧電体。    【化１】2010219868.tif 000010【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する化合物であることを特徴とする有機圧電体。
【化１】
2010219868.tif 000009
〔式中、Ｘは、酸素原子または硫黄原子を表す。ｐは、２から４の整数を表す。Ａは、アルキレン基またはポリオキシアルキレン基を表し、当該アルキレン基またはポリオキシアルキレン基の主鎖の途中には、脂環式環状部分を有してもよい。〕
【請求項２】
前記一般式（１）におけるＡが、アルキレン基であることを特徴とする請求項１に記載の有機圧電体。
【請求項３】
前記化合物の質量平均分子量が、１０，０００から５００，０００であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機圧電体。
【請求項４】
前記有機圧電体のガラス転位温度Ｔｇが、１００℃〜１８０℃であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の有機圧電体。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の有機圧電体を含有する圧電材料と、電極とを有することを特徴とする超音波振動子。
【請求項６】
前記超音波振動子が、受信用超音波振動子であることを特徴とする請求項５に記載の超音波振動子。
【請求項７】
請求項５または６に記載の超音波振動子を具備することを特徴とする超音波探触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波を送信、受信して超音波検査を行う超音波探触子ならびにそれに用いられる超音波振動子および有機圧電体に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波探蝕子などのセンサーに用いられる圧電体としては、無機圧電体および有機圧電体が知られている。
【０００３】
無機圧電体を用いた無機圧電材料としては、例えば水晶、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３、ＫＮｂＯ３などの単結晶、ＺｎＯ、ＡｌＮなどの薄膜、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３系などの焼結体を分極処理した無機圧電材料が知られている。
【０００４】
しかしながら、これら無機材質の圧電材料は、弾性スティフネスが高く、機械的損失係数が高い、密度が高く誘電率も高いなどの性質がある。
【０００５】
有機圧電体を用いた有機圧電材料としては、例えば、フッ化ビニリデンの重合体あるいは共重合体、シアン化ビニリデンの重合体あるいは共重合体を用いた有機圧電材料が知られている（例えば特許文献１参照。）。
【０００６】
また、蒸着重合で得られたポリ尿素膜からなる有機圧電材料（特許文献２参照）、尿素樹脂、ポリエステルなどの非フッソ系樹脂とフッ化ビニリデンの重合体などのフッソ系重合体の微粒子とを含有する有機圧電材料（特許文献３参照）などが知られている。
【０００７】
有機圧電体は、無機材質の圧電体に対して、薄膜化、大面積化等の加工性に比較的優れ、任意の形状、形態の物が作ることができ、弾性率が低い、誘電率が低い等の特徴を持つため、センサーとしての使用に際しては、高感度な検出を可能とする特徴を持っている。
【０００８】
他方、近年では、超音波探触子から被検体内へ送信された超音波の周波数（基本周波数）成分ではなく、その高調波周波数成分によって被検体内の内部状態の画像を形成するハーモニックイメージング（Ｈａｒｍｏｎｉｃ  Ｉｍａｇｉｎｇ）技術が研究、開発されている。
【０００９】
このハーモニックイメージング技術は、（１）基本周波数成分のレベルに比較してサイドローブレベルが小さく、Ｓ／Ｎ比（ｓｉｇｎａｌ  ｔｏ  ｎｏｉｓｅ  ｒａｔｉｏ）が良くなってコントラスト分解能が向上すること、（２）周波数が高くなることによってビーム幅が細くなって横方向分解能が向上すること、（３）近距離では音圧が小さくて音圧の変動が少ないために多重反射が抑制されること、および、（４）焦点以遠の減衰が基本波並みであり高周波を基本波とする場合に較べて深速度を大きくとれることなどの様々な利点を有しており、高精度な診断を可能としている。
【００１０】
そして、有機圧電体は、高周波特性、広帯域特性を必要とする上記ハーモニックイメージング技術における圧電材料に用いられる圧電体として適している。
【００１１】
また、上記のような有機圧電体の音響インピーダンスは生体のそれに近いという特徴があり、被検体が生体の場合、音響整合がとりやすいという利点を有している。
【００１２】
しかしながら、上記のような有機圧電体を用いた圧電材料を有する素子は、無機圧電体を用いた圧電材料を有する素子に比べ、相転移温度が低いことなどから耐熱性が充分でないという問題があり、これらの素子を用いて構成した超音波探触子は、使用時間が長くなると、構成部材の発熱により圧電特性が低下する場合があるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】２００８−１７１９３５号公報
【特許文献２】２００６−２２５５６５号公報
【特許文献３】２００８−３６２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、受信感度に優れる超音波探触子を与え、圧電特性および耐熱性に優れる超音波振動子を与える有機圧電体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の上記課題は、以下の手段により達成される。
【００１６】
１．下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する化合物であることを特徴とする有機圧電体。
【００１７】
【化１】
2010219868.tif 000002
【００１８】
〔式中、Ｘは、酸素原子または硫黄原子を表す。ｐは、２から４の整数を表す。Ａは、アルキレン基またはポリオキシアルキレン基を表し、当該アルキレン基またはポリオキシアルキレン基の主鎖の途中には、脂環式環状部分を有してもよい。〕
２．前記一般式（１）におけるＡが、アルキレン基であることを特徴とする前記１に記載の有機圧電体。
【００１９】
３．前記化合物の質量平均分子量が、１０，０００から５００，０００であることを特徴とする前記１または２に記載の有機圧電体。
【００２０】
４．前記有機圧電体のガラス転位温度Ｔｇが、１００℃〜１８０℃であることを特徴とする前記１から３のいずれか１項に記載の有機圧電体。
【００２１】
５．前記１から４のいずれか１項に記載の有機圧電体を含有する圧電材料と、電極とを有することを特徴とする超音波振動子。
【００２２】
６．前記超音波振動子が、受信用超音波振動子であることを特徴とする前記５に記載の超音波振動子。
【００２３】
７．前記５または６に記載の超音波振動子を具備することを特徴とする超音波探触子。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の上記手段により、受信感度に優れる超音波探触子を与え、圧電特性および耐熱性に優れる超音波振動子を与える有機圧電体が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の超音波振動子の例の模式断面図である。
【図２】本発明の超音波探触子の例の模式断面図である。
【図３】本発明の超音波探触子を用いた画像検出装置の例の主要部の構成を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明は、有機圧電体であって、下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する化合物であることを特徴とする。
【００２７】
有機圧電体とは、機械的力や歪みを加えることにより、電荷を発生する正圧電効果または、電界を加えると力や歪みを発生する逆圧電効果を有する有機物質をいう。
【００２８】
本発明においては、特に下記特定の繰り返し単位を有する化合物を有機圧電材料に用いることで、圧電特性に優れ、かつ測定の安定性に優れる超音波振動子が得られ、受信感度に優れる超音波探触子を得ることができる。
【００２９】
【化２】
2010219868.tif 000003
【００３０】
一般式（１）中、Ｘは、酸素原子または硫黄原子を表す。ｐは、２から４の整数を表す。式中、Ｘは、酸素原子または硫黄原子を表す。ｐは、２から４の整数を表す。Ａは、アルキレン基またはポリオキシアルキレン基を表し、当該アルキレン基またはポリオキシアルキレン基の主鎖の途中には、脂環式環状部分を有してもよい。
【００３１】
アルキレン基としては、主鎖の炭素数が、３〜５のものが好ましく用いられる。また、アルキレン基の水素原子は、フッ素原子、酸素原子などで、置換されていてもよい。
【００３２】
ポリオキシアルキレン基としては、ポリオキシエチレン基が好ましく、主鎖の炭素数としては、２〜１０のものが好ましく用いられる。
【００３３】
また、ｐとしては、２〜３が好ましく、特に２が好ましい。
【００３４】
Ａの具体例を下記に挙げる。
【００３５】
【化３】
2010219868.tif 000004
【００３６】
【化４】
2010219868.tif 000005
【００３７】
【化５】
2010219868.tif 000006
【００３８】
一般式（１）で表される繰り返し単位としては、下記のものが挙げられる。
【００３９】
【化６】
2010219868.tif 000007
【００４０】
これらの中でも、Ｐ−００３、Ｐ−００５、Ｐ−００６、Ｐ−００８が好ましく用いられる。
【００４１】
これらの繰り返し単位を有する本発明の有機圧電体としては、上記Ｐ−００１〜Ｐ−０１２の、各々の分子量が、１０００であるもの、１００００であるもの、１０００００であるもの、５０００００であるものが挙げられる。
【００４２】
本発明に係る有機圧電体は、上記繰り返し単位を有する化合物であり、特に高分子化合物であることが好ましく、その質量分子量は、１０００〜５０００００であることが好ましく、特に１００００〜５０００００であることが好ましい。
【００４３】
なお、重量平均分子量及び分子量分布の測定は、下記の方法・条件等に準拠して行うことができる。
【００４４】
溶媒      ：３０ｍＭ  ＬｉＢｒ  ｉｎ  Ｎ−メチルピロリドン
装置      ：ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム    ：ＴＳＫｇｅｌ  ＳｕｐｅｒＡＷＭ−Ｈ×２本（東ソー（株）製）
カラム温度：４０℃
試料濃度  ：１．０ｇ／Ｌ
注入量    ：４０μｌ
流量      ：０．５ｍｌ／ｍｉｎ
校正曲線  ：標準ポリスチレン：ＰＳ−１（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）Ｍｗ＝５８０〜２，５６０，０００までの９サンプルによる校正曲線を使用した。
【００４５】
一般式（１）で表される化合物としては、耐熱性の面から、ガラス転位温度が、１００〜１８０℃であるものが好ましく用いられる。
【００４６】
本発明に係るガラス転移温度は、ＪＩＳ  Ｃ  ６４８１の（２）ＤＳＣ方により求めた値であり、示差走査熱量計を用い（ＤＳＣ法）、２０℃／分で昇温させる条件にて測定して得られたガラス転移温度をいう。
【００４７】
即ち、試験片を室温から２０℃／分の割合で昇温させ、示差走査熱量計にて発熱量を測定し、吸熱曲線（または発熱曲線）を作成し、吸熱曲線（または発熱曲線）に２本の延長線を引き、延長線間の１／２直線と吸熱曲線の交点からガラス転移温度（Ｔｇ）を求める。
【００４８】
一般式（１）で表される化合物は、ｐ＝２の構造を有するものは、Ａの構造を有するジイソシアネート化合物もしくはジイソチオシアネート化合物とアンモニアを反応させることにより合成できる。ｐ＝３の構造を有するものは、Ａの構造を有するジイソシアネート化合物もしくはジイソチオシアネート化合物と、尿素もしくはチオ尿素を反応させることにより合成できる。ｐ＝４の構造を有するものは、Ａの構造を有するジイソシアネート化合物もしくはジイソチオシアネート化合物と、（Ｚ）−Ｎ′−カルバモイルカルバミディック酸または（Ｚ）−Ｎ′−カルバモチオイルカルバミドチオイック酸と反応させることにより合成できる。
【００４９】
合成に際しての有機溶剤は、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸（イソ）プロピル、酢酸（イソ）ブチル、エチレングリコールジエチルエステル如きエステル系溶剤；メチルセロソルブ、セロソルブ、ブチルセロソルブ、イソブチルセロソルブ、ｔ−ブチルセロソルブ、イソプロピルセロソルブ、ヘキシルセロソルブ、メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、メチルカルビトール、カルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、メチルグリコールアセテート、酢酸セロソルブ、ブチルグリコールアセテート、酢酸メトキシプロピル、酢酸メトキシブチル、酢酸カルビトール、酢酸ブチルカルビトール、ソルフィットアセテート、ジメトキシエタン等のグリコールエーテル系溶剤；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、エチルアミルケトン等のケトン系溶剤；トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナンもしくはデカン等のパラフィン系炭化水素溶剤、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン等のナフテン系炭化水素溶剤、ＤＭＦ、ＤＭＳＯ、アセトン、ＭＥＫ等の非プロトン性極性溶剤等、使用することができる。
【００５０】
（超音波振動子）
本発明の超音波振動子は、本発明の有機圧電体を含有する圧電材料と、電極とを有する。
【００５１】
圧電材料は、必要に応じ、有機圧電体を膜状にし、分極処理を施すことで得られるが、さらに延伸処理、アニール処理が施されていてもよい。これらの処理は併用してなされてもよい。
【００５２】
有機圧電体の膜を作製する方法としては、溶融・流延法、上記有機圧電体を溶解してなる溶液を基板上に塗布し、乾燥して得る方法、上記有機圧電体の原料化合物を用いて従来公知の溶液重合塗布法などにより高分子膜を形成する方法が挙げられる。
【００５３】
分極処理の方法としては、従来公知の直流電圧印加処理、交流電圧印加処理またはコロナ放電処理方法が適用され得る。例えば、コロナ放電処理法による場合には、コロナ放電処理は、市販の高電圧電源と電極からなる装置を使用して処理することができる。
【００５４】
放電条件は、機器や処理環境により異なるので適宜条件を選択すればよいが、高電圧電源の電圧としては−１〜−２０ｋＶ、電流としては１〜８０ｍＡ、電極間距離としては、１〜１０ｃｍ、印加電圧としては、０．５〜２．０ＭＶ／ｍである条件が好ましい。
【００５５】
分極処理に用いられる電極としては、従来から用いられている針状電極、線状電極（ワイヤー電極）、網状電極を用いることができる。分極処理は、超音波振動子が有する、下述する電極を付す前に行ってもよいし、電極を付した後に、当該電極を使用して分極処理を行ってもよい。
【００５６】
延伸処理としては、種々の公知の方法を採用することができる。延伸処理は、所定形状の有機圧電体膜が破壊されない程度に一軸・二軸方向に延伸することができる。延伸倍率としては、２〜１０倍、好ましくは２〜６倍の範囲で行うことができる。例えば、本発明の化合物を、溶媒に溶解した液をガラス板などの基板上に流延し、常温にて溶媒を乾燥させ、所望の厚さのフィルムを得て、このフィルムを室温で所定の倍率の長さに延伸する方法などが挙げられる。
【００５７】
アニール処理は、加熱処理であり、例えば１００℃〜２００℃で加熱する方法が挙げられる。アニール処理としては、膜状の有機圧電体を加熱処理することが好ましく、有機圧電体の膜を、膜を担持する基材と共に加熱してもよいし、膜（フィルム状）のみを加熱雰囲気中で加熱してもよい。加熱時間としては、上記温度で１分から６０分間加熱する方法が挙げられる。
【００５８】
本発明に係る圧電材料としては、本発明の圧電体単体であってもよいし、他の有機圧電体を混合したものであってもよい。
【００５９】
本発明の有機圧電体と共に、併用可能な他の有機圧電体としては、混合した場合に相分離を起こさない有機圧電体を選択して用いることができる。他の有機圧電体の割合は、１０質量％以下が好ましく、０〜５質量％が好ましい。
【００６０】
他の有機圧電体としては、本発明の有機圧電体の双極子モーメント量を増加させる作用を有する電子吸引性基を持つ、重合性化合物により形成した有機高分子材料であることが好ましい。このような有機高分子材料であれば、双極子モーメント量を増加させる作用を有することから、圧電材料（膜）として用いた場合、優れた圧電特性を得ることができる。
【００６１】
本発明の超音波振動子は、本発明の有機圧電体を含有する圧電材料に電極を付したものであるが、対向する一対の電極間に、有機圧電材料を有する態様が好ましい。
【００６２】
本発明の有機圧電体は、超音波振動子に用いられる場合、形成された膜の状態で、分極処理が施されて、使用されるが、膜としては、上記のようにさらに延伸処理が施されたものであることが好ましい。
【００６３】
（電極）
超音波振動子に付される電極に用いられる材料としては、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）などが挙げられる。
【００６４】
圧電材料に電極を付す方法としては、例えば、チタン（Ｔｉ）やクロム（Ｃｒ）などの下地金属をスパッタ法により０．０２〜１．０μｍの厚さに形成した後、上記金属元素を主体とする金属およびそれらの合金からなる金属材料、さらには必要に応じ一部絶縁材料をスパッタ法、その他の適当な方法で１〜１０μｍの厚さに形成する方法が挙げられる。
【００６５】
電極形成はスパッタ法以外でも、微粉末の金属粉末と低融点ガラスとを混合した導電ペーストをスクリーン印刷やディッピング法、溶射法で形成することもできる。
【００６６】
さらに、圧電材料の膜の両面に形成した電極間に、所定の電圧を供給し、圧電材料の膜を分極処理することができる。
【００６７】
超音波振動子は、超音波探触子に用いられる場合、基板と共に用いられることが好ましい。基板としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリイミドアミド、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート樹脂、シクロオレフィンポリマーのようなプラスチック板またはフィルムでもよいし、これらの素材の表面をアルミニウム、金、銅、マグネシウム、珪素等で覆ったものでもよい。
【００６８】
またアルミニウム、金、銅、マグネシウム、珪素単体、希土類のハロゲン化物の単結晶の板またはフィルムでもかまわない。
【００６９】
本発明に係る超音波振動子は、超音波探触子に用いられる場合、受信用超音波振動子として、または送信用超音波振動子として用いられるが、特に受信用超音波振動子として用いられることが好ましい態様である。
【００７０】
図１を用いて、本発明の超音波振動子を説明する。
【００７１】
超音波振動子１０は、圧電材料１の両側に電極２が配置されている。電極２は、必要に応じ、圧電材料１の全面にわたり配置されてもよいし、有機圧電材料１の一部分に配置されてもよい。
【００７２】
（超音波探触子）
本発明の超音波探触子は、本発明の超音波振動子を具備したものである。超音波探触子は、超音波振動子として、送信用超音波振動子と受信用超音波振動子とを具備することが好ましい。
【００７３】
本発明の超音波探触子は、送信用超音波振動子および受信用超音波振動子の少なくとも一方が本発明の超音波振動子であることが必要であるが、特に少なくとも受信用超音波振動子が本発明の超音波振動子であることが好ましい。
【００７４】
本発明においては、超音波の送受信の両方を一つの振動子で担ってもよいが、より好ましくは、送信用と受信用で振動子は分けて超音波探触子内に構成されることが好ましい。
【００７５】
本発明の超音波振動子以外の超音波振動子を用いる場合、それは従来公知のセラミックス無機圧電材料でも、有機圧電材料でもよい。
【００７６】
送信用振動子と、受信用振動子の配列としては、各々を上下に配置する配列および並列に配置する配列のどちらでもよいが、上下に配置して積層する構造が好ましい。
【００７７】
積層する場合の送信用振動子および受信用振動子の厚さとしては、４０〜１５０μｍであることが好ましい。
【００７８】
本発明の超音波探触子は、必要に応じバッキング層、音響整合層、音響レンズなどを具備することが好ましい。
【００７９】
図２に本発明の超音波探触子の好ましい態様の例を示す。超音波探触子２０は、バッキング層６上に、送信用圧電材料５に電極２が付された送信用超音波振動子１２を有し、送信用超音波振動子１２上に基板７を有し、基板７上に受信用有機圧電材料１１に電極２が付された受信用超音波振動子１３を有し、さらにその上に音響整合層８および音響レンズ９を有する構成を有する。
【００８０】
（超音波画像検出装置）
本発明の超音波探触子は、種々の態様の超音波診断装置に用いることができる。例えば、図３に示すような超音波画像検出装置において好適に使用することができる。図３は、本発明の超音波画像検出装置の主要部の構成を示す概念図である。
【００８１】
超音波画像検出装置は、例えば、生体などの被検体に対して超音波を送信し、被検体で反射した超音波をエコー信号として受信する超音波振動子が配列されている超音波探触子（プローブ）を備えている。また当該超音波探触子に電気信号を供給して超音波を発生させるとともに、当該超音波探触子の各超音波振動子が受信したエコー信号を受信する送受信回路と、送受信回路の送受信制御を行う送受信制御回路を備えている。
【００８２】
さらに、送受信回路が受信したエコー信号を被検体の超音波画像データに変換する画像データ変換回路を備えている。また当該画像データ変換回路によって変換された超音波画像データでモニタを制御して表示する表示制御回路と、超音波画像検出装置全体の制御を行う制御回路を備えている。
【００８３】
制御回路には、送受信制御回路、画像データ変換回路、表示制御回路が接続されており、制御回路はこれら各部の動作を制御している。そして、超音波探触子の各超音波振動子に電気信号を印加して被検体に対して超音波を送信し、被検体内部で音響インピーダンスの不整合によって生じる反射波を超音波探触子で受信する。
【実施例】
【００８４】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【００８５】
（一般式（１）で表される繰り返し単位を有する有機圧電体１〜４の合成）
（有機圧電体１（Ｐ−００３、分子量２５０００）の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、アンモニアを１．７ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００８６】
またモノマーとしてジイソシアネート化合物Ｍ−００１を２２．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後から室温で続けて２時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、アセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体１（Ｐ−００３）を２０．２ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量２５，０００、分子量分布２．０であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１５６℃であった。
（有機圧電体２（Ｐ−００３、分子量６７００００）の合成）
０．５Ｌの耐圧性四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、攪拌装置及び還流冷却管を付し、アンモニアを２．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００８７】
またモノマーとしてジイソシアネート化合物Ｍ−００１を２２．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後、フラスコを密閉し、室温で続けて６時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、アセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体２（Ｐ−００３）を１４．８ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量６７０，０００、分子量分布２．２であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１６０℃であった。
（有機圧電体３（Ｐ−００５、分子量１４０００）の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、アンモニアを１．７ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００８８】
またモノマーとしてジイソチオシアネート化合物Ｍ−００２を１８．８ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後から室温で続けて２時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、アセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体３（Ｐ−００５）を２５．１ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量１４，０００、分子量分布１．３であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１２４℃であった。
（有機圧電体４（Ｐ−００５、分子量５５００００）の合成）
０．５Ｌの耐圧性四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、攪拌装置及び還流冷却管を付し、アンモニアを２．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００８９】
またモノマーとしてジイソチオシアネート化合物Ｍ−００２を２７．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後、フラスコを密閉し、室温で続けて６時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、アセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体４（Ｐ−００５）を２０．９ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量５５０，０００、分子量分布２．５であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１３０℃であった。
（有機圧電体５（Ｐ−００６、分子量１３０００）の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、チオ尿素を７．６ｇと、脱水した０℃のジメトキシエタン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００９０】
またモノマーとしてジイソチオシアネート化合物Ｍ−００３を４１．７ｇと、脱水した０℃のジメトキシエタン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後から室温で続けて２時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、ジメトキシエタンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体５（Ｐ−００６）を４５．３ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量１３，０００、分子量分布１．３であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１５８℃であった。
（有機圧電体６（Ｐ−００８、分子量３３００００）の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、尿素を６．０ｇと、脱水した０℃のＤＭＦ１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００９１】
またモノマーとしてジイソシアネート化合物Ｍ−００４を２２．３ｇと、脱水した０℃のＤＭＦ１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後から室温で続けて２時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、ＤＭＦで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体６（Ｐ−００８）を２２．５ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量３３０，０００、分子量分布１．８であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１７５℃であった。
（有機圧電体７（Ｐ−０１１、分子量１０００００）の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、（Ｚ）−Ｎ′−カルバモイルカルバミディック酸を１０．３ｇと、脱水した０℃のＤＭＦ１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００９２】
またモノマーとしてジイソシアネート化合物Ｍ−００１を２２．６ｇと、脱水した０℃のＤＭＦ１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後から室温で続けて２時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、ＤＭＦで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して有機圧電体７（Ｐ−０１１）を２２．５ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量１００，０００、分子量分布１．９であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１６３℃であった。
Ｍ−００１：２，２，４，４−テトラフルオロペンタン−１，５−ジイソシアナト
Ｍ−００２：２，２′−オキシジエタンジイソチオシアネート
Ｍ−００３：１，３−ジ（チオフェン−２−イル）−４，５，６，７−テトラハイドロベンゾ［ｃ］チオフェン−５，６−ジイソチオシアネート
Ｍ−００４：４，６−ジイソシアナト−３，４，５，６−テトラハイドロ−２Ｈ−シクロペンタン［ｄ］チアゾール−２−オン
（超音波振動子１〜７の作製）
有機圧電体１の１０質量％Ｎ−メチルピロリジノン溶液を調製し、ガラス基板上に乾燥膜厚が４０μｍになるよう塗布し、１５０℃で１０時間減圧乾燥した。乾燥後、基板から膜を剥離し、得られた膜の両面に、蒸着によりアルミニウム電極を施し、高圧電源装置ＨＡＲｂ−２０Ｒ６０（松定プレシジョン（株）製）と針状電極を用い、２．０ＭＶ／ｍの電界で１５３℃（ガラス転移温度＋１０℃）の温度条件下、コロナ放電分極処理を行い、有機圧電体膜１を用いた超音波振動子１を作製した。
【００９３】
また有機圧電体２〜６についても、有機圧電体１と同様にして超音波振動子２〜７を作製した。
（有機圧電体比較１の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、モノマーとして１，５−ジアミノペンタンを１０．２ｇと、脱水した０℃のＤＭＦ１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００９４】
またモノマーとして１，５−ジイソシアナトペンタンを１５．４ｇ、脱水した０℃のＤＭＦ１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後３０℃まで徐々に昇温し、６時間攪拌した。重合溶液をメタノール１０００ｇに添加し、その後沈殿物を濾取し、０℃に調温したアセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して比較圧電体１を２３．１ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量６５，０００、分子量分布１．３であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、５０℃であった。
（有機圧電体比較２の合成）
０．５Ｌの耐圧性四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、攪拌装置及び還流冷却管を付し、アンモニアを２．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００９５】
またモノマーとしてトリレン−２，４−ジイソチオシアネートを２０．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後、フラスコを密閉し、室温で続けて６時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、アセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して比較圧電体２を１５．５ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量５８，０００、分子量分布２．２であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１７０℃であった。
（有機圧電体比較３の合成）
０．５Ｌの四つ口セパラブルフラスコに、滴下装置、温度計、窒素ガス導入管、攪拌装置及び還流冷却管を付し、１，３−ジアミノシクロヘキサンを１１．４ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを添加し溶解した（グランド溶液）。
【００９６】
またモノマーとしてジイソシアネート化合物Ｍ−００１を２２．６ｇと、脱水した０℃のアセトン１００ｇを混合、溶解し、氷浴下、２ｇ／分の速度でグランドに滴下し、滴下後から室温で続けて６時間攪拌した。重合溶液をメタノール４００ｇに添加し、その溶液をヘプタン４００ｇに添加した。その後沈殿物を濾取し、アセトンで洗浄した。得られた濾物を減圧乾燥して比較圧電体３を３０．９ｇ得た。一部を重量平均分子量及び分子量分布の測定を行ったところ、重量平均分子量７４，０００、分子量分布２．０であった。またＤＳＣよりガラス転移温度を測定したところ、１０１℃であった。
（超音波振動子比較１〜３の作製）
比較圧電体１の１０質量％Ｎ−メチルピロリジノン溶液を調製し、ガラス基板上に乾燥膜厚が４０μｍになるよう塗布し、１５０℃で１０時間減圧乾燥した。乾燥後、基板から膜を剥離し、得られた膜の両面に、蒸着によりアルミニウム電極を施し、高圧電源装置ＨＡＲｂ−２０Ｒ６０（松定プレシジョン（株）製）と針状電極を用い、２．０ＭＶ／ｍの電界で１５３℃（ガラス転移温度＋１０℃）の温度条件下、コロナ放電分極処理を行い、比較圧電体膜１を用いた比較超音波振動子１を作製した。
【００９７】
また比較圧電体２、３についても、比較圧電体１と同様にして比較超音波振動子２、３を作製した。
（超音波振動子比較４の作製）
特開２００８−３６２０２号公報の実施例１に記載の４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナート（Ｍ−０２０）と４，４′−ジフェニルメタンジアミン（Ｍ−０２１）との反応生成物を含む圧電材料を用いて、超音波振動子１と同様にして比較超音波振動子４を作製した。
【００９８】
（作製した超音波振動子の圧電特性評価）
得られた超音波振動子１〜７、超音波振動子比較１〜４の評価は、Ｎａｎｏ−Ｒ２／Ｉ２クローズドループ・リニアスキャナ搭載多機能ＡＦＭ（ＰＡＣＩＦＩＣ  ＮＡＮＯＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ社製）とＦＣＥ−１型強誘電体特性評価システム（東陽テクニカ社製）で、２５℃および１００℃における、圧電ｄ３３特性を測定し、有機圧電体膜の超音波圧電特性の指標とした。
【００９９】
尚、１００℃の場合は、１００℃の恒温槽に３時間に静置した後、２５℃で測定した。
【０１００】
値が大きなほど超音波振動子として用いた場合の圧電性が良好であり、１００℃に加熱する前と後との圧電性の差が小さいほど耐熱性に優れる。
【０１０１】
結果を表１に示した。
【０１０２】
（超音波探触子の作製と評価）
〈送信用超音波振動子の作製〉
成分原料であるＣａＣＯ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｂｉ２Ｏ３とＴｉＯ２、および副成分原料であるＭｎＯを準備し、成分原料については、成分の最終組成が（Ｃａ０．９７Ｌａ０．０３）Ｂｉ４．０１Ｔｉ４Ｏ１５となるように秤量した。
【０１０３】
次に、純水を添加し、純水中でジルコニア製メディアを入れたボールミルにて８時間混合し、十分に乾燥を行い、混合粉体を得た。得られた混合粉体を、仮成形し、空気中、８００℃で２時間仮焼を行い仮焼物を作製した。
【０１０４】
次に、得られた仮焼物に純水を添加し、純水中でジルコニア製メディアを入れたボールミルにて微粉砕を行い、乾燥することにより圧電セラミックス原料粉末を作製した。微粉砕においては、微粉砕を行う時間および粉砕条件を変えることにより、それぞれ粒子径１００ｎｍの圧電セラミックス原料粉末を得た。
【０１０５】
それぞれ粒子径の異なる各圧電セラミックス原料粉末にバインダーとして純水を６質量％添加し、プレス成形して、厚み１００μｍの板状仮成形体とし、この板状仮成形体を真空パックした後、２３５ＭＰａの圧力でプレスにより成形した。
【０１０６】
次に、上記の成形体を焼成した。
【０１０７】
最終焼結体の厚さは２０μｍの焼結体を得た。
【０１０８】
なお、焼成温度は、それぞれ１１００℃であった。１．５×Ｅｃ（ＭＶ／ｍ）以上の電界を１分間印加して分極処理を施した。
【０１０９】
〈受信用超音波振動子の作製〉
作製した上記有超音波振動子１と厚さ５０μｍのポリエステルフィルムをエポキシ系接着剤にて貼り合わせた圧電材料を作製した。
【０１１０】
その後、上記と同様に電極を設け、分極処理を行い、受信用超音波振動子１を作製した。
【０１１１】
その他の超音波振動子２〜７および比較１〜４についても同様にして、受信用超音波振動子２〜７および比較１〜４を作製した。
【０１１２】
次に、常法に従って、上記の送信用超音波振動子の上に基板を設け、基板上に受信用超音波振動子を積層し、図３に示すように、バッキング層と音響整合層を設置し超音波探触子１を作製した。
【０１１３】
同様にして他の受信用超音波振動子２〜７および比較１〜４を用いて、超音波探触子２〜７、比較１〜４を作製した。
【０１１４】
（受信感度の評価）
下記のようにして、受信感度を測定した。
【０１１５】
受信感度の測定は、超音波探触子比較４の受信感度を基準値１００としたときの相対受信感度で評価した。相対感度が基準値の１４０％以上のときを○、９５％以上１４０％未満を△、９５％未満を×として評価した。○以上の範囲が、実用上良好な範囲であると評価した。
【０１１６】
なお、受信感度の条件としては、５ＭＨｚの基本周波数ｆ１を発信させ、受信２次高調波ｆ２として１０ＭＨｚ、３次高調波として１５ＭＨｚ、４次高調波として２０ＭＨｚの受信相対感度を求めこれを受信感度とした。
【０１１７】
受信相対感度は、ソノーラメディカルシステム社（Ｓｏｎｏｒａ  Ｍｅｄｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ，Ｉｎｃ：２０２１Ｍｉｌｌｅｒ  Ｄｒｉｖｅ  Ｌｏｎｇｍｏｎｔ，Ｃｏｌｏｒａｄｏ（０５０１  ＵＳＡ））の音響強度測定システムＭｏｄｅｌ８０５（１〜５０ＭＨｚ）を使用した。
【０１１８】
結果を下記表に示す。
【０１１９】
【表１】
2010219868.tif 000008
【０１２０】
表１から、本発明の有機圧電体は、圧電特性に優れ、熱安定性に優れる超音波振動子を与えることが分かる。また本発明の、超音波探触子は、受信感度が優れることが分かる。
【符号の説明】
【０１２１】
１  有機圧電材料
２  電極
５  送信用圧電材料
６  バッキング層
７  基板
８  音響整合層
９  音響レンズ
１０  超音波振動子
１１  受信用有機圧電材料
１２  送信用超音波振動子
１３  受信用超音波振動子
２０  超音波探触子
【図１】
2010219868.tif 000011
【図２】
2010219868.tif 000012
【図３】
2010219868.tif 000013