(57)【要約】【課題】高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】顔料、一般式（I）又は一般式（II）で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法。2010079095.tif 000040【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
顔料、
下記一般式（I）又は下記一般式（II）で表される化合物、及び、
光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする
感光性樹脂組成物。
【化１】
2010079095.tif 000038
（一般式（I）中、Ｒ11及びＲ12は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ13は置換基Ｐ１又は末端が置換基Ｐ１で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ14及びＲ15は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ16は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表し、ｎは０又は１を表す。）
【化２】
2010079095.tif 000039
（一般式（II）中、Ｒ21及びＲ22は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ23は末端が置換基Ｐ２で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ24及びＲ25は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ26は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表す。）
【請求項２】
前記一般式（I）で表される化合物及び前記一般式（II）で表される化合物の総含有量が、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．０１〜１０重量％である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記光重合開始剤が、オキシム系開始剤である請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記光重合開始剤が、オキシムエステル系開始剤である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
顔料分散剤を含む請求項１乃至４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
顔料誘導体を含む請求項１乃至５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記顔料誘導体が、前記顔料を母体骨格とし、かつ酸性基、塩基性基及び芳香族基を導入した顔料誘導体である請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
レッド、グリーン、及び、ブルーよりなる群から選ばれた色である請求項１乃至７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を塗布する工程、
塗布形成された前記感光性樹脂組成物の塗布層をフォトマスクを介して露光する工程、及び、
現像することによりパターン形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、並びに、カラーフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイに不可欠な構成部品である。
液晶ディスプレイは、表示装置としてＣＲＴと比較すると、省エネルギー、コンパクトであり、且つ、性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてＣＲＴに置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるＴＶ用途に向かいつつある。
【０００３】
ＴＶ用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められている。すなわち、コントラスト及び色純度の向上である。コントラスト向上のため、カラーフィルタの作製用の硬化性組成物に関しては、使用する着色剤（有機顔料等）の粒子サイズとして、より微小なものが求められている。
また、色純度向上のため、カラーフィルタ作製用の硬化性組成物の固形分中に占める着色剤（有機顔料）の含有率としては、より高いものが求められている。
【０００４】
一方、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、さらなる高精細化が望まれている。そこで、着色剤として顔料の代わりに有機溶剤可溶性の染料を用いる技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
また、固体撮像素子用途のカラーフィルタについても、着色パターンの薄膜化が求められており、従来と同じ色濃度で薄膜化するためには、カラーフィルタ作製用の硬化性組成物中における着色剤の含有率を高くすることが要求される。
【０００５】
従来の高精細な画素パターンを形成する方法としては、アルカリ可溶性樹脂、多官能性モノマー、光重合開始剤及び着色剤を主成分とする感光性樹脂組成物に、多官能性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物等を含有する感光性樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００６】
また、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、着色剤を主成分とする感光性樹脂組成物に、チオホスファイト化合物を０．０１〜２０質量％含有することにより、感度を向上させ、露光時間を短縮することにより実用性のある樹脂組成物を製造する方法が提案されている（例えば、特許文献４参照）。
【０００７】
より現像性がよく、画素パターンエッジ部の突鋭なパターンを製造する方法として、側鎖にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するアクリル系共重合体をバインダー成分とし、これに着色成分と多官能チオール化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献５参照）。
【０００８】
さらに、アルカリ可溶性樹脂、多官能性モノマー、光重合開始剤および着色剤を主成分とする感光性樹脂組成物に、イミダゾール環を分子内に持つ単官能性モノマーを含有する感光性樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献６参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開平７−１４０６５６号公報
【特許文献２】特開平１０−１０４４１２号公報
【特許文献３】特開２０００−８１５０８号公報
【特許文献４】特開平５−２５５４１９号公報
【特許文献５】特開平５−２８１７３４号公報
【特許文献６】特開２００１−２１７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の顔料分散系を適用した硬化性組成物では、顔料が比較的粗大な粒子であるために色ムラが発生する等の問題があり、解像度のさらなる向上を図ることは困難で、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。
また、液晶ディスプレイ用、固体撮像素子用いずれの場合においても、カラーフィルタ作製用の硬化性組成物は、着色剤を含有するため、該硬化性組成物を硬化させるために必要な成分である光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有量が制限されてしまい、強度が不充分になる、また、硬化性が不充分で基材となる硬質表面との密着性が充分に得られない、さらには、画素パターンの密着強度が現像により低下してしまい、画素パターンの形成後に画素パターンが基板から剥離する、などの問題があった。さらに、得られた画素パターン上にスカム（浮きかす）が発生するなどの問題点があり、高精度の画素パターンを製造することが困難であった。そのため、微細な画素パターンを形成する場合であっても、高精度でかつ基板との密着強度に優れ、画素上にスカムが発生することなく高精細な画素パターンを形成するネガ型の感光性樹脂組成物の開発が望まれていた。
また、前記特許文献１〜６に記載された発明における感光性樹脂組成物では、高精細な画素パターンを形成することは難しかった。
【００１１】
本発明は、上記の問題に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の上記課題は、以下の＜１＞、＜９＞又は＜１０＞に記載の手段により解決された。好ましい実施態様である＜２＞〜＜８＞とともに以下に記載する。
＜１＞顔料、下記式（I）又は下記式（II）で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、
【００１３】
【化１】
2010079095.tif 000002
（式（I）中、Ｒ11及びＲ12は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ13は置換基Ｐ１又は末端が置換基Ｐ１で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ14及びＲ15は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ16は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表し、ｎは０又は１を表す。）
【００１４】
【化２】
2010079095.tif 000003
（式（II）中、Ｒ21及びＲ22は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ23は末端が置換基Ｐ２で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ24及びＲ25は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ26は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表す。）
【００１５】
＜２＞前記式（I）で表される化合物及び式（II）で表される化合物の総含有量が、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．０１〜１０重量％である上記＜１＞に記載の感光性樹脂組成物、
＜３＞前記光重合開始剤が、オキシム系開始剤である上記＜１＞又は＜２＞に記載の感光性樹脂組成物、
＜４＞前記光重合開始剤が、オキシムエステル系開始剤である上記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物、
＜５＞顔料分散剤を含む上記＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物、
＜６＞顔料誘導体を含む上記＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物、
＜７＞前記顔料誘導体が、前記顔料を母体骨格とし、かつ酸性基、塩基性基及び芳香族基を導入した顔料誘導体である上記＜６＞に記載の感光性樹脂組成物、
＜８＞レッド、グリーン、又は、ブルー色である上記＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物、
＜９＞上記＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を塗布する工程、塗布形成された前記感光性樹脂組成物の塗布層をフォトマスクを介して露光する工程、現像することによりパターン形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法、
＜１０＞上記＜９＞に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたカラーフィルタ。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明について詳細に説明する。
【００１８】
＜感光性樹脂組成物＞
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料、下記式（I）又は下記式（II）で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする。なお、本発明においては、「式（I）」等を、「一般式（I）」等ともいう。
【００１９】
【化３】
2010079095.tif 000004
（式（I）中、Ｒ11及びＲ12は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ13は置換基Ｐ１又は末端が置換基Ｐ１で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ14及びＲ15は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ16は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表し、ｎは０又は１を表す。）
【００２０】
【化４】
2010079095.tif 000005
（式（II）中、Ｒ21及びＲ22は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ23は末端が置換基Ｐ２で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ24及びＲ25は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ26は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表す。）
【００２１】
本発明の感光性樹脂組成物の色は、黒色でなければ、どのような色であってもよいが、レッド、グリーン、及び、ブルーよりなる群から選ばれた色であることが好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤を含有することが好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、さらに顔料分散剤及び／又は顔料誘導体、アルカリ可溶性樹脂などの他の成分を用いて構成することができる。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物は、特定構造の重合性モノマーを用いて顔料を含む組成物を構成することで、高感度でかつ基板との密着強度にも優れ、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができる。
以下、本発明の感光性樹脂組成物を構成する各成分について詳述する。
【００２３】
〔１〕顔料
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料を少なくとも１種含有する。
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。
顔料は、無機顔料又は有機顔料を問わず、膜形成したときに高透過率が得られるものが好ましいことを考慮すると、できるだけ粒子径が小さく微小な粒子サイズの顔料が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、好ましくは平均一次粒子径０．０１〜０．３μｍ、より好ましくは０．０１〜０．１５μｍの顔料である。平均一次粒子径が前記範囲内であると、透過率が高く、色特性が良好であると共に、高いコントラストのカラーフィルタを形成するのに有効である。
平均一次粒子径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）あるいは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察し、粒子が凝集していない部分で粒子サイズを１００個計測し、その平均値を算出することによって求められる。
【００２４】
前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができる。具体的には、例えば、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び、前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【００２５】
前記有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，７９のＣｌ置換基をＯＨに変更したもの，８０；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｒｏｗｎ  ２５，２８：
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １，７；
等を挙げることができる。
【００２６】
これらの中で好ましい顔料としては、以下のものを挙げることができる。ただし、本発明においては、これらに限定されるものではない。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３６，７１；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２２，１５０，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９，２３，３２；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，３６，３７；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １，７。
【００２７】
本発明においては、必要に応じて、微細でかつ整粒化された有機顔料を用いることができる。顔料の微細化は、顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類と共に高粘度な液状組成物として摩砕する工程である。具体的には、特開２００７−１１２９３４号公報の段落番号００３０〜００３２に記載されている。そして、同公報の段落番号００３４の記載のように、摩砕後の混合物を８０℃の温水に水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類と共に溶解し、濾過、水洗し、オーブンで乾燥させて、微細な顔料を得ることができる。
【００２８】
有機顔料は、単独、又は、色純度を上げるために種々組合せて用いることができる。組み合わせの具体例を以下に示す。
例えば、赤色用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料の単独又はそれらの少なくとも１種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料、アントラキノン系赤色顔料、ジケトピロロピロール系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９又はＣ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７との混合が好ましい。
また、赤色顔料と他色顔料との重量比は、１００：５〜１００：８０が好ましい。該重量比は、１００：５以上であると、４００ｎｍ〜５００ｎｍの光透過率が抑えられ、色純度を上げることができ、１００：８０以下であると発色力が良好である。特に前記重量比としては、１００：１０〜１００：６５の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に合わせて調整することができる。
【００２９】
また、緑色用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を１種単独で又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、３６、３７とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５との混合が好ましい。
緑色顔料と黄色顔料との重量比は、１００：５〜１００：２００が好ましい。該重量比は、１００：５以上であると４００〜４５０ｎｍの光透過率が抑えられ、色純度を上げることができ、１００：２００以下であると主波長が長波長偏らずにＮＴＳＣ目標色相からのズレを回避できる。該重量比としては、１００：２０〜１００：１５０の範囲が特に好ましい。
【００３０】
青色用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を１種単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。特に好適な例として、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との混合を挙げることができる。
青色顔料と紫色顔料との重量比は、１００：０〜１００：１００が好ましく、１００：７０以下がより好ましい。
【００３１】
本発明の感光性樹脂組成物中における顔料の含有量としては、該組成物の全固形分（重量）に対して、１〜３０重量％が好ましく、３〜２０重量％がより好ましい。顔料の含有量が上記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００３２】
〔２〕顔料分散剤
本発明の感光性樹脂組成物は、顔料を分散するための顔料分散剤を少なくとも１種含有することが好ましい。この顔料分散剤を含有することにより、顔料の組成物中での分散性を向上させることができる。
【００３３】
顔料分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（いずれもチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（いずれもサンノプコ（株）製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（ゼネカ社製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７，Ｐ８４，Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（ＡＤＥＫＡ（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成工業（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １０１，１０３，１０６，１０８，１０９，１１１，１１２，１１６，１３０，１４０，１４２，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７４，１７６，１８０，１８２，２０００，２００１，２０５０，２１５０（ビックケミー社製）が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端又は側鎖に極性基を有するオリゴマー又はポリマーが挙げられる。
【００３４】
顔料分散剤の感光性樹脂組成物中における含有量としては、既述の顔料の重量に対して、１〜１００重量％が好ましく、３〜７０重量％がより好ましい。
【００３５】
〔３〕顔料誘導体
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、顔料誘導体を添加することができ、前記顔料分散剤と共に顔料誘導体を添加することが好ましい。
顔料分散剤と親和性のある部分あるいは極性基が導入された顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを顔料分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として感光性樹脂組成物に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。
【００３６】
具体的には、顔料誘導体は、有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物であることが好ましい。ここでの有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開平１１−４９９７４号公報、特開平１１−１８９７３２号公報、特開平１０−２４５５０１号公報、特開２００６−２６５５２８号公報、特開平８−２９５８１０号公報、特開平１１−１９９７９６号公報、特開２００５−２３４４７８号公報、特開２００３−２４０９３８号公報、特開２００１−３５６２１０号公報等に記載されているものを使用できる。
【００３７】
本発明の感光性樹脂組成物中における顔料誘導体の含有量としては、顔料の重量に対して、１〜３０重量％が好ましく、３〜２０重量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行えると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られる。また、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。
【００３８】
分散の方法は、例えば、顔料と顔料分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機（例えば、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製のディスパーマット）等を用いて微分散させることによって行える。分散時間としては、３〜６時間程度が好適である。
【００３９】
〔４〕式（I）又は式（II）で表される化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、式（I）又は式（II）で表される化合物を少なくとも１種含有する。
本発明においては、鋭意研究を重ねた結果、重合性モノマーとして式（I）又は式（II）で表される化合物を少なくとも１種用いることで、高感度でかつ基板との密着強度にも優れ、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム（浮きかす）の発生を抑制することができることを見出した。
【００４０】
【化５】
2010079095.tif 000006
（式（I）中、Ｒ11及びＲ12は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ13は置換基Ｐ１又は末端が置換基Ｐ１で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ14及びＲ15は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ16は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表し、ｎは０又は１を表す。）
【００４１】
【化６】
2010079095.tif 000007
（式（II）中、Ｒ21及びＲ22は各々独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ23は末端が置換基Ｐ２で置換されたアルコキシ基を表し、Ｒ24及びＲ25は各々独立に水素原子又は無置換のアルキル基を表し、Ｒ26は、水素原子、２−クロロエチル基、メトキシエトキシエチル基又は無置換のアルキル基を表す。）
【００４２】
以下に、一般式（I）について、詳細に説明する。
Ｒ11、Ｒ12は、各々独立に水素原子又はメチル基を表す。ｎが０の時は、置換基Ｐ１は不飽和の二重結合基を表す。その置換基Ｒ14及びＲ15は、各々独立に水素原子、アルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニルが挙げられ、メチル、エチルなどの低級アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。）を表し、Ｒ14がメチル基でＲ15が水素原子、又は、Ｒ14及びＲ15が共に水素原子の組み合わせが特に好ましい。
【００４３】
置換基Ｒ16は、水素原子、置換又は無置換のアルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、２−クロロエチル、３−メトキシエチル、メトキシエトキシエチルが挙げられ、メチル、エチルなどの低級アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。）を表し、水素原子、低級アルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
【００４４】
その末端置換基Ｐ１が置換して成るアルコキシ残基は、アルキレンオキシ基（例えば、エチレンオキシ、プロピレンオキシ、ブチレンオキシ、ペンチレンオキシ、ヘキシレンオキシ、ヘプチレンオキシなどのアルキレンオキシ基、またエチレンオキシエトキシなどのエーテル結合を含む置換アルキレンオキシ基）を表す。ただし、末端置換基Ｐ１が直接芳香環に結合してもよい。
【００４５】
ｎが１の時は、Ｒ13の末端置換基Ｐ１はいわゆるビニルエーテル基を表す。その置換基Ｐ１の置換基Ｒ14及びＲ15は、各々独立に水素原子、アルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニルが挙げられ、メチル、エチルなどの低級アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。）を表し、Ｒ14がメチル基でＲ15が水素原子、又は、Ｒ14及びＲ15が共に水素原子の組み合わせが特に好ましい。
【００４６】
置換基Ｒ16は、水素原子、置換又は無置換のアルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、２−クロロエチル、メトキシエトキシエチルが挙げられ、メチル、エチルなどの低級アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。）を表し、水素原子、低級アルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。したがって、置換基Ｐ１としては、一般に重合活性の高い官能基である無置換のビニルオキシ基が好ましく用いられる。
【００４７】
その末端置換基Ｐ１が置換して成るアルコキシ残基は、アルキレンオキシ基（例えば、エチレンオキシ、プロピレンオキシ、ブチレンオキシ、ペンチレンオキシ、ヘキシレンオキシ、ヘプチレンオキシ）、アルキレンオキシ置換アルコキシ基（例えば、エチレンオキシエトキシ）を表す。
【００４８】
以下に、一般式（I）で表される化合物の具体例（ＴＰ−１〜ＴＰ−５０）を示すが、これによって本発明が限定されることはない。
【００４９】
【化７】
2010079095.tif 000008
【００５０】
【化８】
2010079095.tif 000009
【００５１】
【化９】
2010079095.tif 000010
【００５２】
【化１０】
2010079095.tif 000011
【００５３】
次に、一般式（II）について、詳細に説明する。
Ｒ21及びＲ22は、各々独立に水素原子又はメチル基を表す。
【００５４】
Ｒ23の末端置換基Ｐ２は、いわゆるアクリル基を表す。その置換基Ｐ２の置換基Ｒ24及びＲ25は、各々独立に水素原子、アルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニルが挙げられ、メチル、エチルなどの低級アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。）を表し、Ｒ24がメチル基でＲ25が水素原子、又は、Ｒ24及びＲ25が共に水素原子の組み合わせが好ましい。
【００５５】
置換基Ｒ26は、水素原子、置換又は無置換のアルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、２−クロロエチル、メトキシエトキシエチルが挙げられ、メチル、エチルなどの低級アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。）を表し、水素原子が好ましい。したがって、置換基Ｐ２としては、一般に無置換のアクリルオキシ基、メタクリルオキシ基、クロトニルオキシ基等の重合活性の高い官能基が好ましく用いられる。
【００５６】
その末端置換基Ｐ２が置換して成るアルコキシ残基は、アルキレンオキシ基（例えばエチレンオキシ、プロピレンオキシ、ブチレンオキシ、ペンチレンオキシ、ヘキシレンオキシ、ヘプチレンオキシなどのアルキレンオキシ基、また、エチレンオキシエトキシなどのエーテル結合を含む置換アルキレンオキシ基）を表す。
【００５７】
以下に、一般式（II）で表される化合物の具体例（ＴＰ−５１〜ＴＰ−８０）を示すが、これによって本発明が限定されることはない。
【００５８】
【化１１】
2010079095.tif 000012
【００５９】
【化１２】
2010079095.tif 000013
【００６０】
本発明の感光性樹脂組成物における前記一般式（I）で表される化合物及び一般式（II）で表される化合物の総含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．０１重量％〜５０重量％が好ましく、０．０１重量％〜４０重量％がより好ましく、０．０１重量％〜３０重量％がさらに好ましく、０．０１重量％〜１０重量％が特に好ましい。式（I）で表される化合物及び式（II）で表される化合物の総含有量が０．０１重量％以上であると、基板に対する密着性が上がりパターン形成に優れるカラーフィルタを形成できる。また、５０重量％以下であると、アルカリ現像性に優れ、パターン形成を容易に行うことできる。
【００６１】
〔５〕その他の重合性化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、前記式（I）又は式（II）で表される化合物以外の重合性化合物（その他の重合性化合物）を含んでいてもよい。前記式（I）又は式（II）で表される化合物以外の重合性化合物の含有により、光でパターニング可能な重合硬化機能をさらに付与できる。
【００６２】
その他の重合性化合物としては、少なくとも１つのエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合可能な化合物を用いることができ、具体的には、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも１つ、好ましくは２つ以上有する化合物群から選択することができる。このような化合物群は、当該産業分野において広く知られているものがあり、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち２量体、３量体、及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの共重合体などの化学的形態をもつものがある。
【００６３】
その他の重合性化合物の例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステル、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミド類が挙げられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類あるいはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基やエポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能又は多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、さらにハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能又は多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
【００６４】
前記「脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステル」のモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸エチレンオキサイド（ＥＯ）変性トリアクリレート等が挙げられる。
【００６５】
また、メタクリル酸エステルとして、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタン等が挙げられる。
【００６６】
また、イタコン酸エステルとして、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等が挙げられる。
クロトン酸エステルとして、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等が挙げられる。
イソクロトン酸エステルとして、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等が挙げられる。
マレイン酸エステルとして、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等が挙げられる。
さらには、その他のエステルの例として、特公昭５１−４７３３４号公報、特開昭５７−１９６２３１号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭５９−５２４０号公報、特開昭５９−５２４１号公報、特開平２−２２６１４９号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平１−１６５６１３号公報に記載のアミノ基を含有するもの、等も好適である。さらに、前記エステルモノマーは混合物として使用してもよい。
【００６７】
また、前記「脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミド類」のモノマーの具体例としては、メチレンビスアクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビスアクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビスメタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。また、その他の好ましいアミド系のモノマーの例としては、特公昭５４−２１７２６号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
【００６８】
また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、特公昭４８−４１７０８号公報に記載の、１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に下記一般式（Ａ）で表される水酸基を有するビニルモノマーを付加した１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ4）ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（Ｒ5）ＯＨ・・・（Ａ）
（一般式（Ａ）中、Ｒ4及びＲ5は、各々独立に水素原子又はＣＨ3を表す。）
【００６９】
また、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載のウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載の、エチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。さらに、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載の、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類では、感光速度の速い感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００７０】
その他の例として、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭４６−４３９４６号公報、特公平１−４０３３７号公報、特公平１−４０３３６号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平２−２５４９３号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、特開昭６１−２２０４８号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適である。さらには、日本接着協会誌ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
【００７１】
また、本発明の感光性樹脂組成物を構成する重合性化合物の構造、あるいは単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、感光性樹脂組成物の最終的な性能設計に合わせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では、１分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、２官能以上が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、３官能以上のものがよく、さらに、異なる官能数・異なる重合性基（例えば、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物）のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、感光性樹脂組成物に含有される他の成分（例えば、光重合開始剤、顔料、バインダーポリマー等）との相溶性、分散性に対しても、光重合性化合物の選択・使用法は重要であり、例えば、低純度化合物の使用や２種以上の併用により相溶性を向上させ得ることがある。また、支持体などの硬質表面との密着性を向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
【００７２】
光重合性化合物の感光性樹脂組成物中における含有量としては、組成物の全固形分に対して、５〜２０重量％の範囲が好ましい。特には、２官能以上の（メタ）アクリレートモノマーの組成物全固形分に対する含有量を５〜２０重量％とした組成が好ましい。
光重合性化合物の含有量は、５重量％以上であると光硬化性を保って良好なパターン形成性、膜強度が得られ、２０重量％以下であると、表面硬化性が適度であり、パターン解像度が良好である。
上記のうち、同様の理由から、重合性化合物の含有量は、５〜１５重量％がより好ましく、７．５〜１２．５重量％が特に好ましい。
【００７３】
〔６〕光重合開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含有する。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を１種単独で含有しても、２種以上含有してもよい。
光重合開始剤としては、前記重合性化合物を光重合させることができるものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選択することが好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物に用いる光重合開始剤としては、ハロゲン原子を有しない化合物が好ましく、また、ｉ線に対する感度が高い開始剤が好ましく、ロフィン二量体、オキシム系化合物が例示できる。また、オキシム系化合物としては、オキシムエステル系化合物がより好ましい。
本発明に用いることのできる光重合開始剤は、活性放射線（光）を吸収して重合開始種を生成する化合物である。活性放射線としては、γ線、β線、電子線、紫外線、可視光線、赤外線が例示できる。
【００７４】
オキシム系光重合開始剤としては、下記式（１）で表される化合物が例示できる。なお、本発明におけるオキシム化合物は、オキシムのＮ−Ｏ結合が（Ｅ）体のオキシム化合物であっても、（Ｚ）体のオキシム化合物であっても、（Ｅ）体と（Ｚ）体との混合物であってもよい。
【００７５】
【化１３】
2010079095.tif 000014
（式（１）中、Ｒ、Ａ及びＢは各々独立に一価の置換基を表す。）
【００７６】
前記Ｒで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
前記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルキニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ホスフィノイル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基、ジアルキルアミノチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、１以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、ｐ−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、ｔｅｒｔ−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、ｐ−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、ｐ−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、ｐ−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、ｐ−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウム基、ジメチルスルホニウム基、トリフェニルフェナシルホスホニウム基等が挙げられる。
【００７７】
アルキル基としては、炭素数１〜３０のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクダデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、１−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、２−エチルヘキシル基、フェナシル基、１−ナフトイルメチル基、２−ナフトイルメチル基、４−メチルスルファニルフェナシル基、４−フェニルスルファニルフェナシル基、４−ジメチルアミノフェナシル基、４−シアノフェナシル基、４−メチルフェナシル基、２−メチルフェナシル基、３−フルオロフェナシル基、３−トリフルオロメチルフェナシル基、及び、３−ニトロフェナシル基が例示できる。
【００７８】
アリール基としては、炭素数６〜３０のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、ビフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデニル基、２−アズレニル基、９−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、ｏ−、ｍ−及びｐ−トリル基、キシリル基、ｏ−、ｍ−及びｐ−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、並びに、オバレニル基が例示できる。
【００７９】
アルケニル基としては、炭素数２〜１０のアルケニル基が好ましく、具体的には、ビニル基、アリル基、及び、スチリル基が例示できる。
【００８０】
アルキニル基としては、炭素数２〜１０のアルキニル基が好ましく、具体的には、エチニル基、プロピニル基、及び、プロパルギル基が例示できる。
【００８１】
アルキルスルフィニル基としては、炭素数１〜２０のアルキルスルフィニル基が好ましく、具体的には、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、プロピルスルフィニル基、イソプロピルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、ヘキシルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、２−エチルヘキシルスルフィニル基、デカノイルスルフィニル基、ドデカノイルスルフィニル基、オクタデカノイルスルフィニル基、シアノメチルスルフィニル基、及び、メトキシメチルスルフィニル基が例示できる。
【００８２】
アリールスルフィニル基としては、炭素数６〜３０のアリールスルフィニル基が好ましく、具体的には、フェニルスルフィニル基、１−ナフチルスルフィニル基、２−ナフチルスルフィニル基、２−クロロフェニルスルフィニル基、２−メチルフェニルスルフィニル基、２−メトキシフェニルスルフィニル基、２−ブトキシフェニルスルフィニル基、３−クロロフェニルスルフィニル基、３−トリフルオロメチルフェニルスルフィニル基、３−シアノフェニルスルフィニル基、３−ニトロフェニルスルフィニル基、４−フルオロフェニルスルフィニル基、４−シアノフェニルスルフィニル基、４−メトキシフェニルスルフィニル基、４−メチルスルファニルフェニルスルフィニル基、４−フェニルスルファニルフェニルスルフィニル基、及び、４−ジメチルアミノフェニルスルフィニル基が例示できる。
【００８３】
アルキルスルホニル基としては、炭素数１〜２０のアルキルスルホニル基が好ましく、具体的には、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、２−エチルヘキシルスルホニル基、デカノイルスルホニル基、ドデカノイルスルホニル基、オクタデカノイルスルホニル基、シアノメチルスルホニル基、メトキシメチルスルホニル基、及び、パーフルオロアルキルスルホニル基が例示できる。
【００８４】
アリールスルホニル基としては、炭素数６〜３０のアリールスルホニル基が好ましく、具体的には、フェニルスルホニル基、１−ナフチルスルホニル基、２−ナフチルスルホニル基、２−クロロフェニルスルホニル基、２−メチルフェニルスルホニル基、２−メトキシフェニルスルホニル基、２−ブトキシフェニルスルホニル基、３−クロロフェニルスルホニル基、３−トリフルオロメチルフェニルスルホニル基、３−シアノフェニルスルホニル基、３−ニトロフェニルスルホニル基、４−フルオロフェニルスルホニル基、４−シアノフェニルスルホニル基、４−メトキシフェニルスルホニル基、４−メチルスルファニルフェニルスルホニル基、４−フェニルスルファニルフェニルスルホニル基、及び、４−ジメチルアミノフェニルスルホニル基が例示できる。
【００８５】
アシル基としては、炭素数２〜２０のアシル基が好ましく、具体的には、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロアセチル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、１−ナフトイル基、２−ナフトイル基、４−メチルスルファニルベンゾイル基、４−フェニルスルファニルベンゾイル基、４−ジメチルアミノベンゾイル基、４−ジエチルアミノベンゾイル基、２−クロロベンゾイル基、２−メチルベンゾイル基、２−メトキシベンゾイル基、２−ブトキシベンゾイル基、３−クロロベンゾイル基、３−トリフルオロメチルベンゾイル基、３−シアノベンゾイル基、３−ニトロベンゾイル基、４−フルオロベンゾイル基、４−シアノベンゾイル基、及び、４−メトキシベンゾイル基が例示できる。
【００８６】
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基が好ましく、具体的には、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、及び、トリフルオロメチルオキシカルボニル基が例示できる。
【００８７】
アリールオキシカルボニル基として具体的には、フェノキシカルボニル基、１−ナフチルオキシカルボニル基、２−ナフチルオキシカルボニル基、４−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、４−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、４−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、４−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、２−クロロフェニルオキシカルボニル基、２−メチルフェニルオキシカルボニル基、２−メトキシフェニルオキシカルボニル基、２−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、３−クロロフェニルオキシカルボニル基、３−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、３−シアノフェニルオキシカルボニル基、３−ニトロフェニルオキシカルボニル基、４−フルオロフェニルオキシカルボニル基、４−シアノフェニルオキシカルボニル基、及び、４−メトキシフェニルオキシカルボニル基が例示できる。
【００８８】
ホスフィノイル基としては、炭素数２〜５０のホスフィノイル基が好ましく、具体的には、ジメチルホスフィノイル基、ジエチルホスフィノイル基、ジプロピルホスフィノイル基、ジフェニルホスフィノイル基、ジメトキシホスフィノイル基、ジエトキシホスフィノイル基、ジベンゾイルホスフィノイル基、及び、ビス（２，４，６−トリメチルフェニル）ホスフィノイル基が例示できる。
【００８９】
複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子若しくはリン原子を含む、芳香族又は脂肪族の複素環が好ましい。
具体的には、チエニル基、ベンゾ［ｂ］チエニル基、ナフト［２，３−ｂ］チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、２Ｈ−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、３Ｈ−インドリル基、インドリル基、１Ｈ−インダゾリル基、プリニル基、４Ｈ−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、４ａＨ−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、及び、チオキサントリル基が例示できる。
【００９０】
アルキルチオカルボニル基として具体的には、メチルチオカルボニル基、プロピルチオカルボニル基、ブチルチオカルボニル基、ヘキシルチオカルボニル基、オクチルチオカルボニル基、デシルチオカルボニル基、オクタデシルチオカルボニル基、及び、トリフルオロメチルチオカルボニル基が例示できる。
【００９１】
アリールチオカルボニル基として具体的には、１−ナフチルチオカルボニル基、２−ナフチルチオカルボニル基、４−メチルスルファニルフェニルチオカルボニル基、４−フェニルスルファニルフェニルチオカルボニル基、４−ジメチルアミノフェニルチオカルボニル基、４−ジエチルアミノフェニルチオカルボニル基、２−クロロフェニルチオカルボニル基、２−メチルフェニルチオカルボニル基、２−メトキシフェニルチオカルボニル基、２−ブトキシフェニルチオカルボニル基、３−クロロフェニルチオカルボニル基、３−トリフルオロメチルフェニルチオカルボニル基、３−シアノフェニルチオカルボニル基、３−ニトロフェニルチオカルボニル基、４−フルオロフェニルチオカルボニル基、４−シアノフェニルチオカルボニル基、及び、４−メトキシフェニルチオカルボニル基が挙げられる。
【００９２】
ジアルキルアミノカルボニル基として具体的には、ジメチルアミノカルボニル基、ジメエルアミノカルボニル基、ジプロピルアミノカルボニル基、及び、ジブチルアミノカルボニル基が例示できる。
【００９３】
ジアルキルアミノチオカルボニル基としては、ジメチルアミノチオカルボニル基、ジプロピルアミノチオカルボニル基、及び、ジブチルアミノチオカルボニル基が例示できる。
【００９４】
中でも、高感度化の点から、Ｒとしては、アシル基がより好ましく、具体的には、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、トルオイル基がさらに好ましい。
【００９５】
前記Ａで表される一価の置換基としては、アルキル基、アリール基、複素環基、又は、硫黄原子を含む基であることが好ましく、アルキル基、又は、硫黄原子を含む基であることがより好ましい。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
前記Ａにおけるアルキル基、アリール基及び複素環基の好ましい範囲は、前記Ｒにおけるアルキル基、アリール基及び複素環基の好ましい範囲と同様である。
また、前記Ａにおける硫黄原子を含む基としては、−Ａ1−ＳＡｒであることが好ましい。Ａ1及びＡｒはそれぞれ、後述する式（２）におけるＡ1及びＡｒと同義であり、好ましい例も同様である。
【００９６】
前記Ｂで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基を表す。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
中でも、前記Ｂで表される一価の置換基としては、以下に示す構造が特に好ましい。
下記の構造中、Ｙ、Ｘ、及び、ｎは、それぞれ、後述する式（３）におけるＹ、Ｘ、及び、ｎと同義であり、好ましい例も同様である。
【００９７】
【化１４】
2010079095.tif 000015
【００９８】
オキシム系光重合開始剤としては、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕エタノン、又は、前記式（１）で表される化合物を含むことが好ましく、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕エタノン、又は、下記式（２）で表される化合物（以下、「特定オキシム化合物」ともいう。）を含むことがより好ましく、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕エタノン、及び／又は、下記式（２）で表される化合物であることがさらに好ましい。
【００９９】
【化１５】
2010079095.tif 000016
（式（２）中、Ｒ及びＢは各々独立に一価の置換基を表し、Ａ1は二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表す。）
【０１００】
式（２）におけるＲ及びＢは、前記式（１）におけるＲ及びＢと同義であり、好ましい範囲も同様である。
前記Ａ1で表される二価の有機基としては、炭素数１〜１２のアルキレン基、シクロヘキシレン基、アルキニレン基が挙げられる。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
中でも、Ａ1としては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基（例えば、メチル基、エチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ドデシル基）で置換されたアルキレン基、アルケニル基（例えば、ビニル基、アリル基）で置換されたアルキレン基、アリール基（例えば、フェニル基、ｐ−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基）で置換されたアルキレン基が好ましい。
【０１０１】
前記Ａｒで表されるアリール基としては、炭素数６〜３０のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
具体的には、フェニル基、ビフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデニル基、２−アズレニル基、９−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、ｏ−、ｍ−及びｐ−トリル基、キシリル基、ｏ−、ｍ−及びｐ−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、並びに、オバレニル基が例示できる。
中でも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
【０１０２】
式（２）においては、前記Ａｒと隣接するＳとで形成される「ＳＡｒ」の構造が、以下に示す構造であることが感度の点で好ましい。なお、Ｍｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表す。
【０１０３】
【化１６】
2010079095.tif 000017
【０１０４】
前記オキシム化合物は、下記式（３）で表される化合物であることが好ましい。
【０１０５】
【化１７】
2010079095.tif 000018
（式（３）中、Ｒ及びＸは各々独立に一価の置換基を表し、Ａ1及びＹは各々独立に二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表し、ｎは０〜５の整数である。）
【０１０６】
式（３）におけるＲ、Ａ1、及びＡｒは、前記式（１）におけるＲ、並びに、前記式（２）におけるＡ1及びＡｒと同義であり、好ましい例も同様である。
【０１０７】
前記Ｘで表される一価の置換基としては、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アルキルスルファニル基、アリールスルファニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、スルファモイル基、アミノ基、ホスフィノイル基、複素環基、ハロゲン原子が挙げられる。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
【０１０８】
前記Ｘにおけるアルキル基、アリール基、アルケニル基、アルキニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ホスフィノイル基、及び、複素環基は、前記式（１）におけるＲのアルキル基、アリール基、アルケニル基、アルキニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ホスフィノイル基、及び、複素環基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【０１０９】
アルコキシ基としては、炭素数１〜３０のアルコキシ基が好ましく、具体的には、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ヘキシルオキシキ、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、デシルオキシ基、ドデシルオキシ基、オクタデシルオキシ基、エトキシカルボニルメチル基、２−エチルヘキシルオキシカルボニルメチルオキシ基、アミノカルボニルメチルオキシ基、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノカルボニルメチルオキシ基、Ｎ−メチルアミノカルボニルメチルオキシ基、Ｎ−エチルアミノカルボニルメチルオキシ基、Ｎ−オクチルアミノカルボニルメチルオキシ基、Ｎ−メチル−Ｎ−ベンジルアミノカルボニルメチルオキシ基、ベンジルオキシ基、及び、シアノメチルオキシ基が例示できる。
【０１１０】
アリールオキシ基としては、炭素数６〜３０のアリールオキシ基が好ましく、具体的には、フェニルオキシ基、１−ナフチルオキシ基、２−ナフチルオキシ基、２−クロロフェニルオキシ基、２−メチルフェニルオキシ基、２−メトキシフェニルオキシ基、２−ブトキシフェニルオキシ基、３−クロロフェニルオキシ基、３−トリフルオロメチルフェニルオキシ基、３−シアノフェニルオキシ基、３−ニトロフェニルオキシ基、４−フルオロフェニルオキシ基、４−シアノフェニルオキシ基、４−メトキシフェニルオキシ基、４−ジメチルアミノフェニルオキシ基、４−メチルスルファニルフェニルオキシ基、及び、４−フェニルスルファニルフェニルオキシ基が例示できる。
【０１１１】
アシルオキシ基としては、炭素数２〜２０のアシルオキシ基が好ましく、具体的には、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ブタノイルオキシ基、ペンタノイルオキシ基、トリフルオロメチルカルボニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、１−ナフチルカルボニルオキシ基、及び、２−ナフチルカルボニルオキシ基が例示できる。
【０１１２】
アルキルスルファニル基としては、炭素数１〜２０のアルキルスルファニル基が好ましく、具体的には、メチルスルファニル基、エチルスルファニル基、プロピルスルファニル基、イソプロピルスルファニル基、ブチルスルファニル基、ヘキシルスルファニル基、シクロヘキシルスルファニル基、オクチルスルファニル基、２−エチルヘキシルスルファニル基、デカノイルスルファニル基、ドデカノイルスルファニル基、オクタデカノイルスルファニル基、シアノメチルスルファニル基、及び、メトキシメチルスルファニル基が例示できる。
【０１１３】
アリールスルファニル基としては、炭素数６〜３０のアリールスルファニル基が好ましく、具体的には、フェニルスルファニル基、１−ナフチルスルファニル基、２−ナフチルスルファニル基、２−クロロフェニルスルファニル基、２−メチルフェニルスルファニル基、２−メトキシフェニルスルファニル基、２−ブトキシフェニルスルファニル基、３−クロロフェニルスルファニル基、３−トリフルオロメチルフェニルスルファニル基、３−シアノフェニルスルファニル基、３−ニトロフェニルスルファニル基、４−フルオロフェニルスルファニル基、４−シアノフェニルスルファニル基、４−メトキシフェニルスルファニル基、４−メチルスルファニルフェニルスルファニル基、４−フェニルスルファニルフェニルスルファニル基、及び、４−ジメチルアミノフェニルスルファニル基が例示できる。
【０１１４】
カルバモイル基としては、総炭素数１〜３０のカルバモイル基が好ましく、具体的には、Ｎ−メチルカルバモイル基、Ｎ−エチルカルバモイル基、Ｎ−プロピルカルバモイル基、Ｎ−ブチルカルバモイル基、Ｎ−ヘキシルカルバモイル基、Ｎ−シクロヘキシルカルバモイル基、Ｎ−オクチルカルバモイル基、Ｎ−デシルカルバモイル基、Ｎ−オクタデシルカルバモイル基、Ｎ−フェニルカルバモイル基、Ｎ−２−メチルフェニルカルバモイル基、Ｎ−２−クロロフェニルカルバモイル基、Ｎ−２−イソプロポキシフェニルカルバモイル基、Ｎ−２−（２−エチルヘキシル）フェニルカルバモイル基、Ｎ−３−クロロフェニルカルバモイル基、Ｎ−３−ニトロフェニルカルバモイル基、Ｎ−３−シアノフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−メトキシフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−シアノフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−メチルスルファニルフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−フェニルスルファニルフェニルカルバモイル基、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルカルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジブチルカルバモイル基、Ｎ，Ｎ−ジフェニルカルバモイル基が例示できる。
【０１１５】
スルファモイル基としては、総炭素数０〜３０のスルファモイル基が好ましく、具体的には、スルファモイル基、Ｎ−アルキルスルファモイル基、Ｎ−アリールスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジアルキルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジアリールスルファモイル基、及び、Ｎ−アルキル−Ｎ−アリールスルファモオイル基が例示できる。より具体的には、Ｎ−メチルスルファモイル基、Ｎ−エチルスルファモイル基、Ｎ−プロピルスルファモイル基、Ｎ−ブチルスルファモイル基、Ｎ−ヘキシルスルファモイル基、Ｎ−シクロヘキシルスルファモイル基、Ｎ−オクチルスルファモイル基、Ｎ−２−エチルヘキシルスルファモイル基、Ｎ−デシルスルファモイル基、Ｎ−オクタデシルスルファモイル基、Ｎ−フェニルスルファモイル基、Ｎ−２−メチルフェニルスルファモイル基、Ｎ−２−クロロフェニルスルファモイル基、Ｎ−２−メトキシフェニルスルファモイル基、Ｎ−２−イソプロポキシフェニルスルファモイル基、Ｎ−３−クロロフェニルスルファモイル基、Ｎ−３−ニトロフェニルスルファモイル基、Ｎ−３−シアノフェニルスルファモイル基、Ｎ−４−メトキシフェニルスルファモイル基、Ｎ−４−シアノフェニルスルファモイル基、Ｎ−４−ジメチルアミノフェニルスルファモイル基、Ｎ−４−メチルスルファニルフェニルスルファモイル基、Ｎ−４−フェニルスルファニルフェニルスルファモイル基、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジブチルスルファモイル基、及び、Ｎ，Ｎ−ジフェニルスルファモイル基が好ましく例示できる。
【０１１６】
アミノ基としては、総炭素数０〜５０のアミノ基が好ましく、具体的には、アミノ基（−ＮＨ2）、Ｎ−アルキルアミノ基、Ｎ−アリールアミノ基、Ｎ−アシルアミノ基、Ｎ−スルホニルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジアリールアミノ基、Ｎ−アルキル−Ｎ−アリールアミノ基、及び、Ｎ，Ｎ−ジスルホニルアミノ基が例示できる。より具体的には、Ｎ−メチルアミノ基、Ｎ−エチルアミノ基、Ｎ−プロピルアミノ基、Ｎ−イソプロピルアミノ基、Ｎ−ブチルアミノ基、Ｎ−ｔｅｒｔ−ブチルアミノ基、Ｎ−ヘキシルアミノ基、Ｎ−シクロヘキシルアミノ基、Ｎ−オクチルアミノ基、Ｎ−２−エチルヘキシルアミノ基、Ｎ−デシルアミノ基、Ｎ−オクタデシルアミノ基、Ｎ−ベンジルアミノ基、Ｎ−フェニルアミノ基、Ｎ−２−メチルフェニルアミノ基、Ｎ−２−クロロフェニルアミノ基、Ｎ−２−メトキシフェニルアミノ基、Ｎ−２−イソプロポキシフェニルアミノ基、Ｎ−２−（２−エチルヘキシル）フェニルアミノ基、Ｎ−３−クロロフェニルアミノ基、Ｎ−３−ニトロフェニルアミノ基、Ｎ−３−シアノフェニルアミノ基、Ｎ−３−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、Ｎ−４−メトキシフェニルアミノ基、Ｎ−４−シアノフェニルアミノ基、Ｎ−４−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、Ｎ−４−メチルスルファニルフェニルアミノ基、Ｎ−４−フェニルスルファニルフェニルアミノ基、Ｎ−４−ジメチルアミノフェニルアミノ基、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジフェニルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジアセチルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジベンゾイルアミノ基、Ｎ，Ｎ−（ジブチルカルボニル）アミノ基、Ｎ，Ｎ−（ジメチルスルホニル）アミノ基、Ｎ，Ｎ−（ジエチルスルホニル）アミノ基、Ｎ，Ｎ−（ジブチルスルホニル）アミノ基、Ｎ，Ｎ−（ジフェニルスルホニル）アミノ基、モルホリノ基、及び、３，５−ジメチルモルホリノ基、カルバゾール基が好ましく例示できる。
【０１１７】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
【０１１８】
これらの中でも、Ｘとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルスルファニル基、アリールスルファニル基、アミノ基が好ましい。
また、式（３）におけるｎは、０〜５の整数を表し、０〜２の整数が好ましい。
【０１１９】
前記Ｙで表される二価の有機基としては、以下に示す構造が挙げられる。なお、以下に示される基において、「＊」は、前記式（３）において、Ｙと隣接する炭素原子との結合位置を示す。
【０１２０】
【化１８】
2010079095.tif 000019
【０１２１】
中でも、高感度化の観点から、下記に示す構造が好ましい。
【０１２２】
【化１９】
2010079095.tif 000020
【０１２３】
前記特定オキシム化合物は、下記式（４）で表される化合物であることが好ましい。
【０１２４】
【化２０】
2010079095.tif 000021
（式（４）中、Ｒ及びＸは各々独立に一価の置換基を表し、Ａ1は二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表し、ｎは０〜５の整数である。）
【０１２５】
式（４）におけるＲ、Ａ1、Ａｒ、Ｘ、及び、ｎは、前記式（１）におけるＲ、前記式（２）におけるＡ1及びＡｒ、並びに、前記式（３）におけるＸ及びｎとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。
【０１２６】
以下、本発明における特定オキシム化合物の具体例（Ｋ−１）〜（Ｋ−８８）を以下に示すが、これらに限定されるものではない。
【０１２７】
【化２１】
2010079095.tif 000022
【０１２８】
【化２２】
2010079095.tif 000023
【０１２９】
【化２３】
2010079095.tif 000024
【０１３０】
【化２４】
2010079095.tif 000025
【０１３１】
【化２５】
2010079095.tif 000026
【０１３２】
【化２６】
2010079095.tif 000027
【０１３３】
【化２７】
2010079095.tif 000028
【０１３４】
【化２８】
2010079095.tif 000029
【０１３５】
【化２９】
2010079095.tif 000030
【０１３６】
【化３０】
2010079095.tif 000031
【０１３７】
【化３１】
2010079095.tif 000032
【０１３８】
前記特定オキシム化合物は、３５０ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有するものであり、３６０ｎｍ〜４８０ｎｍの波長領域に吸収波長を有するものであることが好ましく、３６５ｎｍ及び４５５ｎｍの吸光度が高いものが特に好ましい。特に、前記特定オキシム化合物は、従来のオキシム系の化合物に比して、長波長領域に吸収を有するので、３６５ｎｍや４０５ｎｍの光源で露光した際に、優れた感度を示す。
【０１３９】
前記特定オキシム化合物は、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、１０，０００〜３００，０００であることが好ましく、１５，０００〜３００，０００であることがより好ましく、２０，０００〜２００，０００であることが特に好ましい。
なお、本発明において、化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｒｙ−５  ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
【０１４０】
前記特定オキシム化合物は、例えば、以下に示す方法により合成することができるが、この方法に限定されるものではない。
【０１４１】
【化３２】
2010079095.tif 000033
【０１４２】
また、本発明に用いることができる光重合開始剤としては、オキシム系化合物の他に、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物及びハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択される少なくとも１つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩等が挙げられる。これらの中でも、オキシム系化合物の他には、ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物を用いることが好ましい。
【０１４３】
ハロメチルオキサジアゾール化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール等が挙げられる。
【０１４４】
ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物及び４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物等が挙げられる。
【０１４５】
ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物の具体例としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）ナフト−１−イル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１４６】
２−〔４−（２−エトキシエチル）ナフト−１−イル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）ナフト−１−イル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチルナフト−２−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシナフト−２−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１４７】
４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１４８】
４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１４９】
４−〔ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１５０】
４−〔ｍ−フルオロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フルオロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１５１】
４−（ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フルオロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フルオロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１５２】
その他、みどり化学社製のＴＡＺシリーズ（例えば、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３）、ＰＡＮＣＨＩＭ社製のＴシリーズ（例えば、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ）、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアシリーズ（例えば、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１）、ダロキュアシリーズ（例えばダロキュア１１７３）、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も好適に用いることができる。
【０１５３】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−エトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（又はミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。
【０１５４】
本発明の感光性樹脂組成物には、前述の光重合開始剤の他に、他の公知の開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組み合わせ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
【０１５５】
前記光重合開始剤の中でも、少量添加で高感度化できる点で、オキシム系化合物が好ましく、オキシムエステル系化合物がより好ましく、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンが最も好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物中における光重合開始剤の含有量としては、該組成物の全固形分に対して、０．１〜１０．０重量％が好ましく、より好ましくは０．５〜５．０重量％である。光重合開始剤の含有量が前記範囲内であると、重合反応を良好に進行させて強度の良好な膜形成が可能である。
【０１５６】
本発明の感光性樹脂組成物には、上記成分の他に、さらに熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１５７】
〔７〕アルカリ可溶性樹脂
本発明の感光性樹脂組成物には、アルカリ可溶性樹脂を用いて構成することができる。アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性であれば特に限定はないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
【０１５８】
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であり、かつ有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。
【０１５９】
上記の他、アルカリ可溶性樹脂としては、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール等も有用である。
【０１６０】
また、前記線状有機高分子重合体は、親水性を有するモノマーを共重合したものであってもよい。この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、第二級若しくは第三級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリン（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐若しくは直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐若しくは直鎖のブチル（メタ）アクリレート、又は、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【０１６１】
その他、親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸基、燐酸エステル基、第四級アンモニウム塩基、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸及びその塩に由来の基、モルホリノエチル基等を含むモノマー等も有用である。
【０１６２】
また、アルカリ可溶性樹脂は、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、例えば、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有するポリマー等も有用である。
【０１６３】
重合性基を有するポリマーの例としては、市販品のＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業（株）製）等が挙げられる。また、硬化皮膜の強度を高めるために、アルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）プロパンとエピクロルヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
【０１６４】
これら各種アルカリ可溶性樹脂の中でも、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
【０１６５】
前記アクリル系樹脂としては、例えば、ベンジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、及び（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーの重合により得られる共重合体や、市販品のＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業（株）製）等が好ましい。
【０１６６】
アルカリ可溶性樹脂としては、現像性、液粘度等の観点から、重量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）が１，０００〜２×１０5の重合体が好ましく、２，０００〜１×１０5の重合体がより好ましく、５，０００〜５×１０4の重合体が特に好ましい。
【０１６７】
本発明の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量は、現像性等の観点から、組成物の全固形分に対して、１０〜９０重量％が好ましく、２０〜８０重量％がさらに好ましく、３０〜７０重量％が特に好ましい。
【０１６８】
〔８〕溶剤
本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤を用いて構成することができる。
有溶剤は、各成分の溶解性や感光性樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特にバインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物を調製する際には、少なくとも２種類の溶剤を含むことが好ましい。
【０１６９】
溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等；
【０１７０】
３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、等；２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等の２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、等；ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；
【０１７１】
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等；
【０１７２】
ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等が好ましい。
【０１７３】
上述の通り、これらの有機溶剤は、紫外線吸収剤及びアルカリ可溶性樹脂の溶解性、塗布面状の改良などの観点から、２種以上を混合してもよく、特に、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合溶液が好適に用いられる。
【０１７４】
本発明の感光性樹脂組成物中における有機溶剤の含有量は、塗布性の観点から、組成物の全固形分濃度が５〜８０重量％になる量とすることが好ましく、５〜６０重量％がさらに好ましく、１０〜５０重量％が特に好ましい。
【０１７５】
〔９〕その他の添加物
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば、充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【０１７６】
これらの添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤；及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１７７】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の紫外線未照射部におけるアルカリ溶解性を促進し、現像性のさらなる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量の有機カルボン酸を含有することができる。
有機カルボン酸の具体例としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１７８】
本発明の感光性樹脂組成物は、液晶表示装置（ＬＣＤ）や固体撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなど）等に用いられるカラーフィルタ、エレクトロルミネッセンス用カラーフィルタなどの着色画素形成用として、また、印刷用インキ、インクジェット用インキ、及び塗料などの作製用途として、好適に用いることができる。
【０１７９】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明の感光性樹脂組成物を塗布する工程、塗布形成された前記感光性樹脂組成物の塗布層をフォトマスクを介して露光する工程、現像することによりパターン形成する工程を含む。
また、本発明のカラーフィルタは、基板上に複数の着色又は非着色のパターンが配列形成されてなるものであり、本発明の感光性樹脂組成物を用いて作製されたものであり、前記本発明のカラーフィルタの製造方法により好適に作製することができる。
【０１８０】
本発明のカラーフィルタの製造方法として具体的には、感光性樹脂組成物を、例えば基板上に直接又は他の層を介して、塗布して（好ましくはその後に乾燥させて）塗布層を形成し（以下、これを「塗膜形成工程」ということがある。）、塗布形成された塗布層を少なくとも紫外線で（例えば所定のマスクパターンを介して）画像様に露光し（以下、これを「露光工程」ということがある。）、露光された前記塗布層を現像液（例えばアルカリ現像液）で現像する（以下、「現像工程」ということがある。）ことによりパターンを形成して作製することができる。また、本発明においては、必要に応じて、現像処理した後の塗布層、つまりパターンに加熱処理を施す工程（以下、「ポストベーク工程」ということがある。）をさらに設けることができる。
また、本発明のカラーフィルタの製造方法においては、必要に応じて露光・現像後のパターンをさらに加熱及び／又は露光することによって硬化させる硬化工程をさらに設けることができる。
【０１８１】
前記塗膜形成工程は、感光性樹脂組成物を例えば基板上に、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スリット塗布等の塗布方法により塗布して（好ましくはその後に乾燥させて）感放射線性の樹脂組成物層（塗布層）を形成する。
【０１８２】
前記基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、及び、これらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、カラーフィルタを構成する各画素パターンを隔離するブラックマトリックスが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、基板の上に設けられる層との密着性改良、物質の拡散防止、あるいは基板表面の平坦化のために、下塗り層を設けてもよい。
【０１８３】
前記露光工程は、前記塗膜形成工程で形成された塗布層を、少なくとも紫外線で例えばマスク等を介して特定のパターンにて画像様に露光する。露光の際には、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。露光は、液晶表示装置用のカラーフィルタでは、プロキシミテイ露光機、ミラープロジェクション露光機で主としてｈ線、ｉ線を使用した露光が好ましく、固体撮像素子用のカラーフィルタでは、ステッパー露光機で主としてｉ線を使用した露光が好ましい。
【０１８４】
露光照度は、液晶表示装置用のカラーフィルタの作製に用いられるプロキシミテイ露光機及びミラープロジェクション露光機では、スループットの観点より、１０ｍＪ／ｃｍ2以上が好ましく、２０ｍＪ／ｃｍ2以上がさらに好ましく、３０ｍＪ／ｃｍ2以上が特に好ましい。固体撮像素子用のカラーフィルタの作製に用いられるステッパー露光機では、同じくスループットの観点より、３００ｍＪ／ｃｍ2以上が好ましく、５００ｍＪ／ｃｍ2以上がさらに好ましく、１，０００ｍＪ／ｃｍ2以上が特に好ましい。また、露光量は、同じくスループットの観点より、１，０００ｍＪ／ｃｍ2以下が好ましく、５００ｍＪ／ｃｍ2以下がさらに好ましく、３００ｍＪ／ｃｍ2以下が特に好ましい。
【０１８５】
前記現像工程は、露光された塗布層を現像液で現像処理し、パターンを顕在化する。
現像液としては、感光性樹脂組成物の未露光部を溶解し、かつ露光部（放射線照射部）を溶解し難いものであれば、いかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤及びその組み合わせ、アルカリ性の水溶液を用いることができる。
【０１８６】
前記有機溶剤としては、感光性樹脂組成物を調製する際に使用することができる既述の溶剤を挙げることができる。
【０１８７】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ〔５．４．０〕−７−ウンデセン等を含有する水溶液が挙げられる。
【０１８８】
現像液としては、アルカリ濃度を好ましくはｐＨ１１〜１３、さらに好ましくはｐＨ１１．５〜１２．５となるように調整したアルカリ性の水溶液を使用することが好ましい。アルカリ濃度は、ｐＨ１３以下であるとパターンの荒れや剥離、残膜率の低下を回避でき、ｐＨ１１以上であると現像速度が良好で残渣の発生を防止できる。
【０１８９】
現像工程は、アルカリ性の水溶液などの現像液を用いて現像処理するが、現像方法には、例えば、ディップ法、スプレー法、パドル法等がある。現像温度は、１５〜４０℃で行うことが好ましい。また、現像後は、流水にて洗浄が行われることが好ましい。
【０１９０】
さらに、本発明のカラーフィルタの製造方法においては、現像後の塗布層を充分に硬化させるために、ポストベーク工程を設けて加熱処理が施されることが好ましい。ポストベーク工程における加熱温度は、１００〜３００℃が好ましく、１５０〜２５０℃がさらに好ましい。また、加熱時間は、１０分〜１時間が好ましく、５分〜３０分がさらに好ましい。
【０１９１】
本発明のカラーフィルタは、基板上に複数のパターン、例えば着色画素やブラックマトリクスなどが例えば規則的に配列されたパターンを有することができる。カラーフィルタを構成する着色画素は、一般に四辺形に構成され、この場合にはその一辺（最大辺）は、１．５〜２００μｍの範囲に形成されることが好ましい。中でも、シリコンウエハ等の基板の有効利用、固体撮像素子を使ったデバイスの小型化、固体撮像素子の高速作動の観点から、５μｍ以下が好ましく、４μｍ以下がさらに好ましく、３μｍ以下が特に好ましい。
【０１９２】
また、カラーフィルタにおける着色画素の厚みとしては、特に制限はないが、シリコンウエハ等の基板の有効利用、固体撮像素子を使ったデバイスのシェーディングの観点から、薄くなる傾向にあり、具体的には、２μｍ以下が好ましく、１．５μｍ以下がさらに好ましく、１．０μｍ以下が特に好ましい。
【０１９３】
カラーフィルタを構成する着色画素における顔料の含有率としては、特に限定されるものではないが、色分離の観点から、組成物の全固形分に対して、２５重量％以上であることが好ましく、３０重量％以上であることがさらに好ましく、４０重量％以上が特に好ましい。
【０１９４】
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置（ＬＣＤ）用のカラーフィルタとして用いることができるが、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどのイメージセンサ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に用いることが好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各着色画素における受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることが最適である。
【実施例】
【０１９５】
以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は「重量部」を表す。
【０１９６】
−顔料分散組成物の調製−
（レッド顔料分散組成物Ｒ−１の調製）
下記組成の成分を混合し、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ．ｐ．ｍ．で３時間撹拌して混合し、顔料を含む混合溶液を調製した。
＜組成＞
・Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４（顔料、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製ＩＲＧＡＰＨＯＲ（登録商標） ＲＥＤ ＢＴ−ＣＦ）・・・１５３．６部
・顔料誘導体（同顔料のスルホン酸誘導体）・・・６．４部
・ソルスパース（登録商標）２４０００（分散助剤、アビシア社製）の３０重量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液・・・１６０部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸（＝７０／３０（モル比））共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（４５％、重量平均分子量３０，０００、藤倉化成（株）製、製品名：アクリベースＦＦ−１８７）・・・２６．７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ダイセル化学工業（株）製、製品名：ＭＭＰＧＡＣ）・・・６５３．３部
【０１９７】
続いて、上記より得られた混合溶液を、さらに０．３ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ディスパーマット（ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて３時間分散処理を行い、顔料濃度１６重量％、固形分２２重量％のレッド顔料分散組成物Ｒ−１を得た。
【０１９８】
（グリーン顔料分散組成物Ｇ−１の調製）
下記組成の成分を混合し、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ．ｐ．ｍ．で３時間撹拌して混合し、顔料を含む混合溶液を調製した。
＜組成＞
・Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ３６（アビシア社製ＭＯＮＡＳＴＲＡＬ（登録商標） ＧＲＥＥＮ ６ＹＣＬ）・・・１０４部
・Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０（バイエル社製Ｅ４ＧＮ−ＧＴ）・・・５６部
・分散剤”ソルスパース（登録商標）”２４０００（アビシア社製）３０重量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液）・・・１６０部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸（＝７０／３０（モル比））共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（４５％、重量平均分子量３０，０００、藤倉化成（株）製、製品名アクリベースＦＦ−１８７）・・・２６．７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ダイセル化学工業（株）製、製品名：ＭＭＰＧＡＣ）・・・６５３．３部
【０１９９】
続いて、上記より得られた混合溶液を、さらに０．３ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ディスパーマット（ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて３時間分散処理を行い、顔料濃度１６重量％、固形分２２重量％のグリーン顔料分散組成物Ｇ−１を得た。
【０２００】
（ブルー顔料分散組成物Ｂ−１の調製）
下記組成の成分を混合し、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ．ｐ．ｍ．で３時間撹拌して混合し、顔料を含む混合溶液を調製した。
＜組成＞
・Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６（大日本インキ化学工業（株）（ＤＩＣ（株）））製ファーストゲンブルー ＥＰ−ＣＦＥ）・・・１１６．４部
・顔料誘導体（同顔料のスルホン酸）・・・３．６部
・分散剤（味の素ファインテクノ（株）製”アジスパー”ＰＢ８２１のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０重量％溶液）・・・１８０部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸（＝７０／３０（モル比））共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（４５％、重量平均分子量３０，０００、藤倉化成（株）製、製品名：アクリベースＦＦ−１８７）・・・２０．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ダイセル化学工業（株）製、製品名：ＭＭＰＧＡＣ）・・・６８０部
【０２０１】
続いて、上記より得られた混合溶液を、さらに０．３ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ディスパーマット（ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて３時間分散処理を行い、顔料濃度１２重量％、固形分１６．５重量％のブルー顔料分散組成物Ｂ−１を得た。
【０２０２】
（実施例１：固体撮像素子用カラーフィルタの作製）
−平坦化膜用レジスト液の調製−
下記の各成分をホモジナイザー撹拌機で混合、撹拌して、平坦化膜用レジスト液を調製した。
＜平坦化膜用レジスト液の組成＞
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸（＝７０／３０（モル比））共重合体（樹脂Ａ）のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（４５％、重量平均分子量３０，０００、藤倉化成（株）製、製品名：アクリベースＦＦ−１８７）・・・２２部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（日本化薬（株）製、製品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）・・・６．５部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ダイセル化学工業（株）製、製品名：ＭＭＰＧＡＣ）・・・１３．８部
・エチル−３−エトキシプロピオネート（長瀬産業（株）製）・・・１２．３部
・ハロメチルトリアジン化合物（下記化合物（Ｔ））（ＰＡＮＣＨＩＭ社製、製品名：トリアジンＰＰ）・・・０．３部
【０２０３】
【化３３】
2010079095.tif 000034
【０２０４】
−平坦化膜の作製−
得られた平坦化膜用レジスト液を、６インチのシリコンウエハ上にスピンコートを用いて塗布した。次いで、塗布膜面の表面温度１２０℃で１２０秒間、ホットプレート上で加熱処理し、シリコンウエハ上に約２μｍの膜厚の均一な塗布膜を得た。次いで、２２０℃の条件下で１時間、オーブンにてその塗布膜を硬化処理して、平坦化膜を形成した。
【０２０５】
−感光性着色組成物の調製−
次いで、前記レッド顔料分散組成物Ｒ−１をサンドミル分散機で混練・分散して得られた顔料分散液を用い、下記組成の成分を混合して感光性着色組成物を調製した。
＜感光性着色組成物の組成＞
・モノマーＡ（ジペンタエリスリトールペンタアクリレート；日本化薬（株）製、製品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）・・・２．５１部
・モノマー（前記ＴＰ−５５）・・・０．５７部
・前記レッド顔料分散組成物Ｒ−１・・・５５．８０部
・溶剤Ａ（有機溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート；ダイセル化学工業（株）製、製品名：ＭＭＰＧＡＣ）・・・３３．０７部
・光重合開始剤Ａ（下記化合物；チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、製品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ０１）・・・０．４４部
・界面活性剤Ａ（フッ素系界面活性剤、大日本インキ化学工業（株）（ＤＩＣ（株））製、製品名：メガファックＦ−１４４）・・・０．０５部
・重合禁止剤Ａ（ｐ−メトキシフェノール、関東化学（株）製）・・・０．００１部
【０２０６】
【化３４】
2010079095.tif 000035
【０２０７】
−塗布膜の作製−
上記より得られた感光性着色組成物を、前記シリコンウエハの平坦化膜上にスピンコートにより塗布した後、塗布膜面の表面温度１００℃で１２０秒間、ホットプレートで加熱処理して乾燥させ、乾燥後の膜厚が約１．０μｍの塗布膜を形成した。
【０２０８】
−カラーフィルタの画素パターンの作製−
次に、乾燥後の塗布膜に対して、２．０μｍの正方ピクセルがそれぞれ基板上の４ｍｍ×３ｍｍの領域に配列されたマスクパターンを介してｉ線ステッパー（キャノン（株）製のＦＰＡ−３０００ｉ５＋）により、露光量１００ｍＪ／ｃｍ2にて照度１，２００ｍＷ／ｃｍ2で露光した。
【０２０９】
パターン露光された塗布膜は、有機アルカリ性現像液ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の６０％水溶液を用いて、室温にて６０秒間、パドル現像した後、さらに２０秒間スピンシャワーにて純水でリンスを行った。その後さらに、純水にて水洗を行った。その後、水滴を高圧のエアーで飛ばし、基板を自然乾燥させ、２２０℃で３００秒間、ホットプレートでポストベーク処理し、シリコンウエハ上に着色パターン（着色樹脂被膜）を形成した。
以上のようにして、固体撮像素子用カラーフィルタを作製した。
【０２１０】
−評価１−
上記より得られた固体撮像素子用カラーフィルタについて、下記の評価、測定を行った。評価、測定の結果は、下記表２に示す。
【０２１１】
（１−１）残渣
ポストベーク後のカラーフィルタの画素パターンを、測長ＳＥＭ（Ｓ−７８００Ｈ、（株）日立製作所製）を用いて、シリコンウエハ上のカラーフィルタのさらに上方から３万倍で観察し、目測で残渣の発生の有無を下記の評価基準にしたがって評価した。
＜評価基準＞
○：現像残渣はなかった。
△：現像残渣が僅かにみられたが、実用上許容できる程度であった。
×：残渣の発生が顕著であった。
【０２１２】
（１−２）線幅
露光後に現像、ポストベークを行った後におけるカラーフィルタの画素パターンの形状を、測長ＳＥＭ（Ｓ−７８００Ｈ、（株）日立製作所製）を用いて、シリコンウエハ上のカラーフィルタのさらに上方から３万倍で観察した。線幅は、マスクパターンの２．０μｍの正方ピクセルと対比した適性寸法という観点から、下記の評価基準にしたがって評価した。
＜評価基準＞
○：線幅が、１．８０μｍ以上２．２０μｍ未満であった。
×：線幅が、１．８０μｍ未満又は２．２０μｍ以上であった。
【０２１３】
（実施例２〜１２：固体撮像素子用カラーフィルタの作製）
実施例１において、感光性着色組成物の組成を下記表１に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、感光性着色組成物を調製し、カラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を行った。評価、測定の結果は下記表２に示す。
【０２１４】
（比較例１〜３：固体撮像素子用カラーフィルタの作製）
実施例１において、感光性着色組成物の組成を下記表１に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、感光性着色組成物を調製し、カラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を行った。評価、測定の結果は下記表２に示す。
【０２１５】
なお、下記表１におけるＴＰ−５、ＴＰ−２９、ＴＰ−５５は、前記一般式（I）又は一般式（II）で表される化合物の具体例で示した化合物を表し、また、下記表１における樹脂Ａとは、平坦化膜用レジスト液にて前述したように、ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸（＝７０／３０（モル比））共重合体を表す。
【０２１６】
【表１】
2010079095.tif 000036
【０２１７】
【表２】
2010079095.tif 000037
【０２１８】
表２に示すように、前記一般式（I）又は前記一般式（II）で表される化合物を使用することで、パターン形成感度が高くなる（実施例１〜１２と比較例１〜３を比較）。
また、前記一般式（I）又は前記一般式（II）で表される化合物を使用しても残渣は発生しない。