(57)【要約】【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被洗浄ノズルを着脱自在に保持するノズルホルダと、
微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置と、
前記二流体生成装置に接近配置され、前記ノズルホルダに保持した被洗浄ノズルへ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズルと、
前記二流体噴射ノズルが被洗浄ノズルに順次対面するように、前記二流体生成装置及び二流体噴射ノズルをノズルホルダに対して相対移動させる移動手段と、
を備えたことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項２】
前記二流体生成装置への水の供給配管の先端部に流量調整用のオリフィスを形成した流量調整部材を設けた請求項１記載のノズル洗浄装置。
【請求項３】
前記二流体における、常温常圧下での空気の体積Ａと微細化した水粒子の体積Ｗとの体積比率Ａ／Ｗを２３０００〜９００００に設定した請求項１又は２記載のノズル洗浄装置。
【請求項４】
前記ノズルホルダとして、複数の被洗浄ノズルを直列状に保持可能なノズルホルダを設け、前記移動手段として、前記二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを被洗浄ノズルの配設方向に沿って移動させる移動手段を設けた請求項１〜３のいずれか１項記載のノズル洗浄装置。
【請求項５】
前記ノズルホルダとして、複数の被洗浄ノズルを直列状に複数列だけ併設可能なノズルホルダを設け、前記二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを前記被洗浄ノズルの各列に対応させてそれぞれ設け、前記移動手段により複数組の二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを被洗浄ノズルの配列方向に沿って移動させる請求項４記載のノズル洗浄装置。
【請求項６】
前記被洗浄ノズルが、電子部品吸着用の吸着ノズルである請求項１〜５のいずれか１項記載のノズル洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を吸着保持して移載するための吸着ノズルの洗浄に好適に利用可能なノズル洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の製造ラインでは、吸着ノズルの先端部に電子部品を吸着保持して、プリント基板上の所定位置に実装するように構成した実装装置が広く採用されている。
【０００３】
吸着ノズルとしては、吸着する電子部品の形状等に応じて様々な形状の開口部を形成した吸着ノズルが実用化されており、また吸着ノズルと電子部品間における滑りを防止するため、吸着面に微細な凹凸を形成したノズルも実用化されている。
【０００４】
ところで、吸着ノズルに先端部には、空気中のほこりや、電子部品に付着したフラックスや、電子部品の端子のメッキ材料などの異物が付着して、ノズルに目詰まりが発生することがあり、特に、吸着ノズルの開口部の形状が複雑な場合や、吸着面に微細な凹凸を形成した場合には、異物が付着しやすくなるので、定期的に洗浄を行なって、先端部に付着した異物を除去している。
【０００５】
吸着ノズルの洗浄方法としては、有機溶剤を充填した超音波洗浄装置の洗浄槽内に、吸着ノズルを一定時間浸漬して超音波洗浄した後、エアを用いて洗浄液を除去する方法（例えば、特許文献１参照。）や、吸着ノズルに高温ガスを吹き付けて除去する方法（例えば、特許文献２参照。）などが、提案され、実用化されている。
【０００６】
ところが、特許文献１記載のように、超音波洗浄装置を用いて洗浄する場合には、有機溶剤を使用するため、臭気により作業環境が悪化するとともに、廃液の処理コストが必要になる。また、超音波により吸着ノズル同士が衝突して、吸着ノズルの表面に画像処理のために形成した、黒色のコーティング層が剥離してしまうという問題があった。また、吸着ノズルによっては、画像処理を目的として円板状の黒色の反射板が取り付けられているが、反射板が樹脂製の場合には、溶剤によって侵されてしまい変形するという問題があった。
【０００７】
一方、特許文献２記載のように、吸着ノズルのノズル穴内に高温ガスを吹き付ける場合には、有機溶剤を使用しないので、臭気により作業環境が悪化したり、廃液の処理コストが必要になったりすることを防止できる。また、高温ガスとの接触による付着物の表面収縮によって、付着物の剥離を促進して、付着物を効率的に除去できるが、圧縮空気の噴き付け圧によって付着物を剥離させるので、付着物に対して大きな衝撃力を作用させることができず、その分、付着物の洗浄能力が低下するという問題がある。
【０００８】
そこで、ミスト生成器により水を微細化して生成した水粒子を、圧縮空気とともに配管チューブを通じて噴射ノズルへ供給し、水粒子と圧縮空気からなる二流体により吸着ノズルを洗浄するように構成した二粒体洗浄装置（例えば、株式会社中村超硬製のノズル洗浄機ＮＴ  ＭＡＣ−Ｉ、ＮＴ  ＭＡＣ−ＩＩ）も実用化されている。
【０００９】
前記二流体洗浄装置では、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を二流体噴射ノズルから被洗浄ノズルの先端部などの被洗浄面に向けて噴射し、被洗浄面に付着した付着物に対して水粒子を高速で衝突させて、水粒子の衝突エネルギで付着物を除去するので、圧縮空気のみで付着物を吹き飛ばす場合と比較して、効率的に付着物を除去することができる。また、水を用いるので、有機溶剤を用いる場合と比較して、作業環境を向上でき、廃液も低コストで処理できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−３０５２６３号公報
【特許文献２】特開２００７−９８２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本出願人は、前記二流体洗浄装置による洗浄力の更なる向上について鋭意検討した結果、前記二流体洗浄装置においても、次のような問題があり、それを改善することで、洗浄力を向上できることを見出した。
【００１２】
即ち、前記二流体洗浄装置では、ノズルから噴出した水粒子の粒径が所定値以下の場合には、水粒子が被洗浄面に付着することはなく、被洗浄面に衝突して弾き飛ばされるが、水粒子の粒径が所定値を超えると、水粒子が被洗浄面に付着して、被洗浄面に水膜を形成し、該水膜が緩衝膜として作用して、洗浄能力が低下するという問題があるので、ミスト生成器により水粒子の粒径が所定値以下になるまで、水を微細化している。しかし、ミスト生成器として大型なものを採用していることから、ミスト生成器とノズルとを配管チューブで接続し、ノズルのみを移動させて複数の被洗浄ノズルにノズルの開口を順次対面させていたので、配管チューブがどうしても長くなり、配管途中において水粒子同士が衝突して結合し、大きな粒径の水粒子の割合が増えてしまい、これによって被洗浄面に水膜が形成されて、洗浄力が低下するという問題があることを見出した。
【００１３】
本発明の目的は、微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るノズル洗浄装置は、複数の被洗浄ノズルを着脱自在に保持するノズルホルダと、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置と、前記二流体生成装置に接近配置され、前記ノズルホルダに保持した被洗浄ノズルへ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズルと、前記二流体噴射ノズルが被洗浄ノズルに順次対面するように、前記二流体生成装置及び二流体噴射ノズルをノズルホルダに対して相対移動させる移動手段とを備えたものである。
【００１５】
このノズル洗浄装置では、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を二流体噴射ノズルから被洗浄ノズルの先端部などの被洗浄面に向けて噴射し、被洗浄面に付着した付着物に対して水粒子を高速で衝突させて、水粒子の衝突エネルギで付着物を除去することになる。このため、圧縮空気のみで付着物を吹き飛ばす場合と比較して、効率的に付着物を除去することができるし、有機溶剤を使用しないので、作業環境を良好に維持でき、しかも廃液の処理コストも安くできる。
【００１６】
また、二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを接近配置して、移動手段によりノズルホルダに対して相対移動させるので、特に二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを移動手段により移動させる場合において、二流体生成装置と二流体噴射ノズルとを接続する配管長を短くして、二流体生成装置から二流体噴射ノズルへの二流体の送給途中において、微細化した水粒子同士の衝突を少なくして、水粒子の直径が大きくなることを防止でき、被洗浄面に水膜が形成されることを防止して、ノズル洗浄装置の洗浄能力を向上することができる。
【００１７】
ここで、前記二流体生成装置への水の供給配管の先端部に流量調整用のオリフィスを形成した流量調整部材を設けることも好ましい実施例である。被洗浄面に水膜が形成されないようにするためには、二流体噴射ノズルから噴射する二流体における水粒子の体積を少なくする必要があるが、バルブ等により水量を微調整することは難しいので、この発明のように、オリフィスにより二流体生成装置へ供給する水量を微調整することが好ましい。
【００１８】
前記二流体における、常温常圧下での空気の体積Ａと微細化した水粒子の体積Ｗとの体積比率Ａ／Ｗを２３０００〜９００００に設定したものを用いることも好ましい実施の形態である。体積比率Ａ／Ｗが２３０００未満の場合には、水粒子が多くなり過ぎて、被洗浄面に水膜が形成され易くなり、洗浄能力が低下する。また、体積比率Ａ／Ｗが９００００を超える場合には、水粒子が少なくなって、被洗浄面の付着物に対して十分な衝撃力を与えることができず、洗浄時間が長くなるので、体積比率Ａ／Ｗは２３０００〜９００００に設定することが好ましい。
【００１９】
前記ノズルホルダとして、複数の被洗浄ノズルを直列状に保持可能なノズルホルダを設け、前記移動手段として、前記二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを被洗浄ノズルの配設方向に沿って移動させる移動手段を設けることも好ましい実施例である。この場合には、ノズルホルダに対して環状に被洗浄ノズルを保持する場合と比較して、駆動系を簡略に構成できるので好ましい。つまり、ノズルホルダに対して環状に被洗浄ノズルを保持する場合には、ノズルホルダを回転させるための駆動手段と、二流体噴射ノズルをノズルホルダの上方の使用位置と側方の退避位置とにわたって移動させる駆動手段とが必要になるが、この発明のように構成すると、直列状にノズルホルダに保持した被洗浄ノズルに沿って二流体噴射ノズルを移動させるだけで、複数の被洗浄ノズルに対して二流体噴射ノズルを順次対面させて洗浄を行い、そのまま被洗浄ノズルの配設方向に沿って移動させることで、二流体生成装置及び二流体噴射ノズルをノズルホルダの上方外の退避位置へ移動できるので、駆動系の構成を大幅に簡素にできる。
【００２０】
前記ノズルホルダとして、複数の被洗浄ノズルを直列状に複数列だけ併設可能なノズルホルダを設け、前記二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを前記被洗浄ノズルの各列に対応させてそれぞれ設け、前記移動手段により複数組の二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを被洗浄ノズルの配列方向に沿って移動させることも好ましい実施例である。この場合には、併設する被洗浄ノズルの配列数を増やすとともに、それに対応させて二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを増やすことで、一度に洗浄可能な被洗浄ノズルの個数を容易に増やすことができる。
【００２１】
前記被洗浄ノズルが、電子部品吸着用の吸着ノズルであることも好ましい実施例である。電子部品吸着用以外の用途のノズル洗浄装置としても本発明を適用できるが、本発明のノズル洗浄装置は、微細な付着物の除去に好適に利用できるので、電子部品吸着用の吸着ノズルの洗浄に好適である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るノズル洗浄装置によれば、被洗浄面に付着した付着物に対して水粒子を高速で衝突させて、水粒子の衝突エネルギで付着物を除去できるので、圧縮空気のみで付着物を吹き飛ばす場合と比較して、効率的に付着物を除去することができるし、有機溶剤を使用しないので、作業環境を良好に維持でき、しかも廃液の処理コストも安くできる。
【００２３】
また、二流体生成装置及び二流体噴射ノズルを接近配置して、移動手段によりノズルホルダに対して相対移動させるので、二流体生成装置と二流体噴射ノズルとを接続する配管長を短くして、二流体生成装置から二流体噴射ノズルへの二流体の送給途中において、微細化した水粒子同士の衝突を少なくし、水粒子の直径が大きくなることを防止でき、被洗浄面に水膜が形成されることを防止して、ノズル洗浄装置の洗浄能力を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】ノズル洗浄装置の要部正面図
【図２】ノズル洗浄装置の要部断面図
【図３】ノズル洗浄装置の要部斜視図
【図４】ノズルホルダ及びそれにセットした被洗浄ノズルの断面図
【図５】被洗浄ノズルの先端部の斜視図
【図６】他の構成のノズル洗浄装置の要部斜視図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
図１〜図３に示すように、ノズル洗浄装置１０は、複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えている。
【００２６】
被洗浄ノズル１としては、任意の用途、任意の構成のものを洗浄することができるが、本発明のノズル洗浄装置１０では、微細な付着物の除去に好適に利用できるので、電子部品吸着用の吸着ノズルに好適に適用できる。つまり、電子部品吸着用の吸着ノズルでは、空気中のほこりや、電子部品に付着したフラックスや、電子部品の端子のメッキ材料などの異物が付着して、ノズルに目詰まりが発生することがあり、特に、吸着ノズルの開口部の形状が複雑な場合や、吸着面に微細な凹凸を形成した場合には、異物が付着し易くなるので好適である。
【００２７】
具体的には、図４、図５に示す被洗浄ノズル１のように、電子部品の移載装置に着脱自在に接続される接続部２と、接続部２に連なって延びる細長い筒状のノズル部３と、接続部２とノズル部３との境界部に形成した円板状の反射板４とを有し、接続部２とノズル部３とに吸引通路５を形成し、ノズル部３の先端部に直方体状の当接部６を形成し、当接部６の先端面に吸引通路５に連なる２つの吸引孔７を形成したもので、当接部６の先端面を電子部品に圧接させて、吸引孔７で電子部品を吸引することで、電子部品を密着保持できるように構成したものである。ただし、電子部品吸着用以外の用途のノズルの洗浄に対しても本発明のノズル洗浄装置１０を適用できる。
【００２８】
ノズルホルダ１１は、長方形平板状の板状部材で構成され、ノズル洗浄装置１０の洗浄室１５の下部の所定位置に着脱自在に位置決め設置される。ノズルホルダ１１には、被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するための複数の保持部２０が、左右に設定間隔おきに直列状に且つ前後に間隔をあけて２列併設され、被洗浄ノズル１はその長さ方向を上下方向にして各保持部２０にセットされている。保持部２０は、被洗浄ノズル１の構成に応じた形状に構成され、例えば図４に示すような構成の被洗浄ノズル１を保持する場合には、反射板４を収容する円形の凹部２１と、接続部２が挿通される取付孔２２とを有する保持部２０を形成することになる。取付孔２２の下端部は開放されており、被洗浄ノズル１の下端部は取付孔２２から下方へ突出され、被洗浄ノズル１の洗浄時に吸引通路５内に流入した二流体は、ノズルホルダ１１の下側に排出されるように構成されている。なお、本実施例では、複数の保持部２０を２列併設したが、１列だけ設けることもできるし、３列以上併設することもできる。
【００２９】
二流体生成装置１２は、水タンクから供給される水をノズルから噴射させて微細化し、この微細化した水粒子をポンプから供給される圧縮空気と混合して、二流体を生成する周知の構成のものである。二流体生成装置１２は、２列の保持部２０に対応させて外装ケース内に２個設けられ、二流体生成装置１２で生成した二流体を二流体噴射ノズル１３から被洗浄ノズル１の先端部に向けて噴射して、被洗浄ノズル１の先端部を洗浄するように構成されている。なお、二流体生成装置１２は、保持部２０の列の個数だけ設けることになり、保持部２０を３列設ける場合には３個の二流体生成装置１２を設けることになる。また、二流体生成装置１２に供給する水としては、純水を用いることができるが、アルカリ電解水やアルカリイオン水などを供給することもできる。
【００３０】
二流体生成装置１２により生成される二流体の常温常圧下での圧縮空気の体積Ａと微細化した水粒子の体積Ｗとの体積比率Ａ／Ｗは、２３０００未満の場合には、二流体中における水粒子の割合が高くなり過ぎて、被洗浄面に水膜が形成され易くなり、洗浄能力が低下し、９００００を超える場合には、二流体中における水粒子の割合が低くなり過ぎて、被洗浄面の付着物に対して十分な衝撃力を与えることができず、洗浄時間が長くなるので、２３０００〜９００００に設定することが好ましい。また、二流体生成装置１２において、例えば圧縮空気の消費エア量は１８０Ｎｌ／ｍｉｎに設定し、圧縮空気の圧力は０．４〜０．５ＭＰａに設定し、水の消費量は４ｃｃ／ｍｉｎに設定することになる。
【００３１】
二流体生成装置１２への水の供給配管の二流体生成装置１２側の端部には、流量調整用のオリフィスを形成した流量調整部材（図示略）が設けられ、二流体生成装置１２への水の供給量が適正に調整されるように構成されている。オリフィスの直径は、例えば前述のように水の消費量を４ｃｃ／ｍｉｎに設定した場合には、０．０９ｍｍに設定することになる。
【００３２】
二流体噴射ノズル１３は、二流体生成装置１２の下側に突出状に設けられ、二流体生成装置１２の図示外の二流体吐出口に接近配置されて直線状に接続され、二流体噴射ノズル１３への送給途中において二流体中の水粒子同士が衝突することを極力防止して、水粒子の粒径が大きくなることにより水膜が形成されることを防止して、水膜による洗浄能力の低下を防止できるように構成されている。
【００３３】
二流体生成装置１２の側部には送風ユニット２５が固定され、二流体噴射ノズル１３により洗浄した被洗浄ノズル１に対して、送風ユニット２５の送風ノズル２６から空気を吹き付けて被洗浄ノズル１の先端部を乾燥できるように構成されている。ただし、この送風ユニット２５は省略することも可能である。
【００３４】
移動手段１４について説明すると、ノズルホルダ１１の後方上部には左右方向（被洗浄ノズル１の配設方向）に沿って延びるガイドレール３０が設けられ、ガイドレール３０には前方へ延びる可動部材３１が左右方向に移動自在に支持されている。ガイドレール３０の左右両端部には駆動プーリ３２と従動プーリ３３とが設けられ、両プーリ３２、３３間には歯付ベルト３４が張設され、歯付ベルト３４の途中部は可動部材３１に連結されている。可動部材３１の下面には二流体生成装置１２が固定され、ステッピングモータ３５で駆動プーリ３２を回転して、歯付ベルト３４を左右方向に駆動することで、ガイドレール３０に沿って可動部材３１を左右方向に駆動して、二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１にセットした被洗浄ノズル１の先端部に順次対面させて、被洗浄ノズル１を洗浄できるように構成されている。移動手段１４では、二流体生成装置１２及び送風ノズル２６をノズルホルダ１１よりも側方の図３に仮想線で図示の退避位置へ移動させて、二流体生成装置１２に干渉することなく、ノズル洗浄装置１０に対してノズルホルダ１１を着脱できるように構成されている。
【００３５】
次に、ノズル洗浄装置１０を用いた洗浄方法の一例について説明する。
先ず、退避位置に二流体生成装置１２を保持した状態で、複数の被洗浄ノズル１をセットしたノズルホルダ１１をノズル洗浄装置１０の洗浄室１５にセットする。
【００３６】
次に、二流体生成装置１２を退避位置から、例えばノズルホルダ１１の右端の保持部２０にセットした被洗浄ノズル１に対応する位置まで移動させて、二流体噴射ノズル１３を該被洗浄ノズル１の先端部に対面させる。そして、二流体噴射ノズル１３から水粒子と圧縮空気とからなる二流体を被洗浄ノズル１の先端部に向けて設定時間噴射し、二流体により被洗浄ノズル１の先端部を洗浄する。このとき、被洗浄ノズル１の先端部に付着した付着物は、圧縮空気により二流体噴射ノズル１３から高速で噴射される水粒子との衝突時における衝撃力で効率良く除去される。また、二流体は被洗浄ノズル１の先端部付近の吸引通路５内にも高速で噴き付けられて、吸引通路５内面に付着した付着物も除去される。なお、吸引通路５内に噴き付けられた二流体は、吸引通路５を通って下側へ排出されることになる。
【００３７】
こうして、１つの被洗浄ノズル１を設定時間だけ洗浄した後、移動手段１４により、隣の被洗浄ノズル１に対応する位置まで二流体生成装置１２を移動させて、二流体噴射ノズル１３を被洗浄ノズル１に対面させ、該被洗浄ノズル１の先端部を洗浄することになる。そして、全ての被洗浄ノズル１を洗浄した後、今度は送風ノズル２６を被洗浄ノズル１に順次対面させて、左側の被洗浄ノズル１から順番に被洗浄ノズル１に対して空気を噴き付けて、被洗浄ノズル１を乾燥させ、退避位置まで二流体生成装置１２を移動させ、被洗浄ノズル１の洗浄処理を完了することになる。
【００３８】
なお、前記実施例では、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３を被洗浄ノズル１の配列方向に沿って直線的に順次移動させて、ノズルホルダ１１にセットした複数の被洗浄ノズル１の先端部に二流体噴射ノズル１３を順次対面させたが、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３を固定し、ノズルホルダ１１を移動させて、ノズルホルダ１１にセットした複数の被洗浄ノズル１の先端部に二流体噴射ノズル１３を順次対面させることもできる。
【００３９】
また、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３とノズルホルダ１１とを直線移動させて、二流体噴射ノズル１３を被洗浄ノズル１に順次対面させたが、ノズルホルダを回転させて、二流体噴射ノズル１３や送風ノズル２６を被洗浄ノズル１に順次対面させることもできる。具体的には、図６に示すノズル洗浄装置４０のように、ノズルホルダ４１として、円板状のノズルホルダ４１を用い、ノズルホルダ４１の外周近傍部に周方向に一定間隔おきに被洗浄ノズル１を保持する保持部４２を形成し、被洗浄ノズル１が二流体噴射ノズル１３に対面するまで、ステッピングモータ４３によりノズルホルダ４１を回転させることもできる。ただし、この場合には、二流体生成装置１２と二流体噴射ノズル１３と送風ノズル４５とをノズルホルダ４１の上方の使用位置と、ノズルホルダ４１の側方の退避位置とに移動させるシリンダ４４を設けて、ノズル洗浄装置４０に対するノズルホルダ４１の着脱時には、二流体生成装置１２と二流体噴射ノズル１３と送風ノズル４５とを退避位置へ移動させて、ノズルホルダ４１がこれらの部材に接触しないように構成することが好ましい。
【符号の説明】
【００４０】
１      被洗浄ノズル        ２      接続部
３      ノズル部            ４      反射板
５      吸引通路            ６      当接部
７      吸引孔
１０    ノズル洗浄装置      １１    ノズルホルダ
１２    二流体生成装置      １３    二流体噴射ノズル
１４    移動手段            １５    洗浄室
２０    保持部              ２１    凹部
２２    取付孔
２５    送風ユニット        ２６    送風ノズル
３０    ガイドレール        ３１    可動部材
３２    駆動プーリ          ３３    従動プーリ
３４    歯付ベルト          ３５    ステッピングモータ
４０    ノズル洗浄装置      ４１    ノズルホルダ
４２    保持部              ４３    ステッピングモータ
４４    シリンダ            ４５    送風ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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