(57)【要約】      （修正有）【課題】可動レールの動きと独立してバックアップテーブル上の障害物を検出可能とする。【解決手段】搬送される基板８の幅に合わせて移動される可動レール３８を備えた基板搬送装置において、前記可動レール３８の移動範囲内にある障害物（バックアップピン４４）を検出するための、基板搬送装置本体に配設された障害物検出手段（障害物検出センサ５０）を設ける。この障害物検出装置を用いて、可動レール移動前に、該可動レールの移動範囲内にある障害物の有無を検出し、障害物が無い時に、可動レールを移動する。【選択図】図３
2010219142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される基板の幅に合わせて移動される可動レールを備えた基板搬送装置において、
前記可動レールの移動範囲内にある障害物を検出するための、基板搬送装置本体に配設された障害物検出手段を設けたことを特徴とする基板搬送装置の障害物検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の障害物検出装置を用いて、可動レール移動前に、該可動レールの移動範囲内にある障害物の有無を検出し、
障害物が無い時に、可動レールを移動することを特徴とする基板搬送装置の障害物回避方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置の障害物検出方法及び障害物回避方法に係り、特に、電子部品実装装置（マウンタとも称する）に用いるのに好適な、搬送される基板の幅に合わせて移動される可動レールを備えた基板搬送装置の障害物検出方法、及び、これを用いた障害物回避方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に例示する如く、図のＸ方向に基板８を搬送するための基板搬送部１２により搬入され、所定の搭載位置（生産位置）に固定された基板８に対して、例えば基板搬送部１２の手前に設けられた部品供給部１４のテープフィーダ１６等から電子部品をピックアップして搭載する電子部品実装装置（マウンタ）１０が知られている。図において、２０は、テープフィーダ１６等から基板８上に部品を移載するためのヘッド、２２は、該ヘッド２０をＸ軸座標方向に移動して位置決めするためのＸ駆動部、２４は、該Ｘ駆動部２２ごとヘッド２０をＹ軸座標方向に移動して位置決めするためのＹ駆動部、２６は、電子部品を例えば吸着してピックアップするための、ヘッド２０に装着されるノズル、２８は、基板８のマーク等を上方から撮影するための、同じくヘッド２０に装着される基板認識カメラ、３０は、ノズル２６に吸着された電子部品等を下方から撮影するための部品認識カメラである。
【０００３】
このマウンタの基板搬送部１２として用いられる基板搬送装置の一般的な構成例を図２に示す（特許文献１参照）。
【０００４】
この基板搬送装置は、図２（Ａ）（平面図）、（Ｂ）（正面図）、（Ｃ）（側面図）に示す如く、センタステーション３０と呼ばれる、基板８を固定し、電子部品を搭載するエリアと、インバッファ２８と呼ばれる、次の生産基板の待機場所と、アウトバッファ３２と呼ばれる、生産済みの基板を留めておく場所、の３つの機能に分かれている。基板８を搬送するための搬送ベルト３４は、一対の搬送レール上を通っており、基板８を各ステーション、バッファ間で移動させる。一対のレールの片方は固定されており、固定レール３６と呼ばれる。もう片方は可動レール３８と呼ばれ、予め入力された基板８の幅に応じて基板幅サイズに変更可能である。
【０００５】
基板８がセンタステーション３０に搬送された後、センタステーション３０下部にあるバックアップテーブル４０によって、センタステーション３０の固定レール３６及び可動レール３８と搬送ベルト３４が同時に押し上げられ、搬送ベルト３４と基板上面位置決め部品４２によって基板８の幅方向両端を挟み込んで固定する。このとき、バックアップテーブル４０には、部品搭載時の基板８の撓みを抑えるためのバックアップピン４４が立っており、基板８裏面（下面）と接触する。このバックアップピン４４の基部には磁石４６が付いており、磁性体製のバックアップテーブル４０上の任意の位置に設置することが可能である。
【０００６】
しかしながら、従来の基板搬送装置では、基板８の幅に合わせて可動レール３８が移動する際、バックアップピン４４を検出できていなかった。基板８の幅に合わせて、可動レール３８を移動する際に、警告として、バックアップピン４４の除去を謳っていたが、実際に徹底することは難しかった。そのため、磁石４６の付いたバックアップピン４４は、可動レール３８が移動し、バックアップピン４４の立っている位置まで移動すると、バックアップピン４４に接触し倒していた。更に、倒れたバックアップピン４４は、他のバックアップピンに接触し、設置位置がずれ、基板８裏面に搭載されている部品に接触するという問題もあった。
【０００７】
一方、特許文献２には、可動レールの片側（図２の下側）の前端と後端（図２の右端と左端）に投光部と受光部からなる透過型センサを設けて、バックアップピン等の障害物の有無を検出することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平７−１４２８９２号公報
【特許文献２】特許第２９１９４８６号公報（第５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、透過型センサが可動レールの片側に配設されているため、取り外し難いだけでなく、可動レールの反対側に保持されたバックアップピンは検出できないという問題点を有していた。
【００１０】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、可動レールとは独立して障害物を検出可能な障害物検出装置、及び、この装置を利用した障害物回避方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、搬送される基板の幅に合わせて移動される可動レールを備えた基板搬送装置の障害物検出装置において、前記可動レールの移動範囲内にある障害物を検出するための、基板搬送装置本体に配設された障害物検出手段を設けることにより、前記課題を解決したものである。
【００１２】
本発明は、又、前記障害物検出装置を用いて、可動レール移動前に、該可動レールの移動範囲内にある障害物の有無を検出し、障害物が無い時に、可動レールを移動することを特徴とする基板搬送装置の障害物回避方法を提供するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、可動レールが移動する前に、可動レールの移動とは独立にバックアップピン等の障害物を検出でき、可動レールと障害物の接触を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の対象である電子部品実装装置の構成例を示す、一部を切り欠いて示す斜視図
【図２】従来の基板搬送装置を示す図
【図３】本発明に係る基板搬送装置の実施形態の全体構成を示す図
【図４】同じく障害物検出センサの移動機構の部分を示す図
【図５】同じく処理手順を記す流れ図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１６】
本実施形態は、図２に示した従来例と同様の基板搬送装置において、全体を示す図３（Ａ）（平面図）、（Ｂ）（正面図）、（Ｃ）（側面図）及び詳細を示す図４（Ａ）（平面図）、（Ｂ）（正面図）に示す如く、投光器５２及び受光器５４で構成される、障害物検出用の透過型センサ（障害物検出センサと称する）５０をバックアップテーブル４０の下降位置近傍のベースフレーム５８に設け、該投光器５２と受光器５４を、それぞれ例えばテーブル式エアシリンダでなる駆動源６０、６１により駆動される直動機器６２、６３上に配設したものである。図において、６４、６５は直動ガイドレール、６６、６７は高さ調整用のスペーサである。
【００１７】
以下、図５を参照して、作用を説明する。まずステップＳ１で基板サイズ（幅）を入力する。次いでステップＳ２で、幅調整駆動（幅調駆動と称する）のボタンを押すか、あるいは原点復帰ボタンを押すことによって、可動レールの移動を指示する。するとステップＳ３で、駆動源６０、６１により障害物検出センサ５０の投光器５２と受光器５４が同期して基板幅方向に駆動される。
【００１８】
ステップＳ４で、バックアップテーブル上の物体を認識したか否かを判定し、バックアップテーブル上の物体を認識した場合には、可動レール３８は移動せずに、ステップＳ５に進み、ユーザによりバックアップテーブル上の物体が撤去されるのを待つ。
【００１９】
ステップＳ５終了後、ステップＳ２に戻り、ユーザにより幅調駆動ボタン又は原点復帰ボタンが押されると、再びステップＳ３で障害物検出センサ５０が駆動され、ステップＳ４で、バックアップテーブル上の物体を認識したか否かを判定する。
【００２０】
ステップＳ４でバックアップテーブル上の物体が認識されなくなった時、ステップＳ６に進み、可動レール３８を移動して、基板の幅に調整するか、原点復帰して、処理を終了する。
【００２１】
ここで、幅調駆動時だけでなく原点復帰時にも障害物検出センサ５０を駆動するのは、バックアップピンが可動レールの基板側にあるとは限らないからである。
【００２２】
なお、前記実施形態においては、障害物検出センサがテーブル式エアシリンダと直動ガイドの組合せにより駆動されていたが、障害物検出センサの駆動方法は、これに限定されず、例えばモータとボールねじの組合せにより駆動することも可能である。
【００２３】
又、障害物検出センサも透過型センサに限定されず、エリアセンサに変更して、駆動源を省略することも可能である。更に、検出範囲を可動レールの移動範囲のみとすることも可能である。
【符号の説明】
【００２４】
８…基板
３０…センタステーション
３４…搬送ベルト
３６…固定レール
３８…可動レール
４０…バックアップテーブル
４４…バックアップピン
５０…障害物検出センサ
５２…投光器
５３…ビーム
５４…受光器
６０、６１…駆動源（テーブル式エアシリンダ）
６２、６３…直動機器
６４、６５…直動ガイドレール
【図１】
2010219142.tif 000003
【図２】
2010219142.tif 000004
【図３】
2010219142.tif 000005
【図４】
2010219142.tif 000006
【図５】
2010219142.tif 000007