(57)【要約】      （修正有）【課題】表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を、マスクを利用して充填する際に、マスクとマザー基板との密着性を良好にでき、マザー基板上の必要な領域にあるセル内に粒子群を充填することができる情報表示用パネルの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】情報表示用パネルの製造装置を、隔壁が存在する側のマザー基板上に配置され、複数の表示領域の所定の領域に対応した数であるとともに前記複数の表示領域の所定の領域ごとに対応した大きさの開口部を有する、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスク３６と、前記マスクを配置した側とは反対側のマザー基板表面に対して配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石を設けてなる磁石ステージ部３８と、を備え、磁石ステージ部により前記マスクをマザー基板に密着させるように構成した。【選択図】図９
2010039324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が透明な２枚の基板間の隔壁によって仕切られた複数のセル内に封止した、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製するためのマザー基板に設けられた表示パネル部の所定の領域に、前記表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を充填するために用いる情報表示用パネルの製造装置であって、
隔壁が存在する側のマザー基板上に配置され、表示パネル部の所定の領域に対応した数であるとともに前記複数表示パネル部の所定の領域ごとに対応した大きさの開口部を有する、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスクと、
前記マスクを配置した側とは反対側のマザー基板表面に対して配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石を設けてなる磁石ステージ部と、を備え、
磁石ステージ部により前記マスクをマザー基板に密着させるように構成したことを特徴とする情報表示用パネルの製造装置。
【請求項２】
磁石ステージ部が、前記マザー基板を載置するステージ上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項３】
磁石ステージ部を、前記マザー基板に対向する面に、円柱状のフェライト磁石を所定の間隔で埋め込んで構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項４】
磁石ステージ部を、その面が前記マザー基板に対して直交するように、プレート状のフェライト磁石を列状に配置して構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの製造装置を用いて、マザー基板上に配置された表示パネル部の所定の領域にあるセル内に、表示媒体とする、帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する情報表示用パネルの製造方法において、
磁石ステージ部により前記マスクをマザー基板に密着させた状態で、前記マスクを介してマザー基板に設けられた表示パネル部の所定の領域にあるセル内に前記粒子群を充填することを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間の隔壁によって仕切られた複数のセル内に封止した、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを複数作製するためのマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域に、前記表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を充填するために用いる情報表示用パネルの製造装置および製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（ＬＣＤ）に代わる情報表示装置として、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率を有する粒子を含んだ粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルが知られている。また、表示媒体とする粒子群を構成する粒子としては、帯電粒子、導電粒子、電荷注入粒子などが提案されている。これらのうち、帯電粒子を移動させる方式で表示を行う情報表示用パネルは表示メモリー性を有することから、電子ペーパーとしての期待が高まっている。
【０００３】
上述した情報表示用パネルを製造する方法として、マスクを使用する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、情報表示用パネル基板上において、表示媒体を構成する粒子群の充填不要部分（隔壁が形成されている場合は隔壁形成部以外の部分）に導電性のマスクを、ダミースペーサーを間に介して配置し、基板およびマスクの上方に配置したノズルから表示媒体とする粒子群を噴霧することにより、所定量の粒子群を基板（隔壁が形成されている場合は隔壁で仕切られたセル内）に充填している。また、マスクを使用する方法の他の例として、隔壁に対応した開口部を有する磁性体からの磁力によって引き付けられる材料で構成したマスクを、磁力により基板に密着させる技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５８２４０号公報
【特許文献２】特開２００６−５３３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したマスクを使用して情報表示用パネルを製造する従来方法で用いるマスクは、セルに対応した大きさの開口を設けていた。このようなマスクを用いるのは、充填する粒子群を構成する粒子サイズに対してセルサイズが十分に大きな場合であり、例えば、粒子径が１０μｍ程度の粒子群を充填する場合には、５００×５００μｍ程度のセルサイズまでは対応できたが、５００×５００μｍより小さなセルサイズになると、マスクの開口も５００×５００μｍより小さくするために粒子径が１０μｍ程度の粒子群がマスクの開口を通過できなくなってしまいセル内に充填できないことがあった。
【０００６】
また、上述したマスクを使用して情報表示用パネルを製造する従来方法において、マスクが薄いと（０．０５〜０．５ｍｍ程度）マスクに撓みが発生し、マスクがマザー基板に対して均一に密着しないため、充填不要部分まで粒子群が回り込んでしまう問題があった。そのため、マスクを取り外して繰り返し使用する場合、マスクのマザー基板に対する位置決めが不明確となり、マスク繰り返し使用時の安定性が悪くなっていた。また、マザー基板の粒子群を配置したくない部分にも粒子群が付着してしまい、マザー基板から複数の情報表示用パネルとして組み立てた場合に付着した粒子のためにパネル基板間隔が大きくなりやすい画面端部で表示性能が低下する場合があった。さらに、マスクとマザー基板との間に回り込んだ粒子群が蓄積されると、後工程での設備停止等のトラブルを招く場合があった。
【０００７】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを複数作製するためのマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域に、前記表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を、マスクを利用して充填する際に、マスクとマザー基板との密着性を良好にでき、マザー基板上の必要な領域にあるセル内に粒子群を充填することができる情報表示用パネルの製造装置および製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の情報表示用パネルの製造装置は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間の隔壁によって仕切られた複数のセル内に封止した、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを複数作製するためのマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域に、前記表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を充填するために用いる情報表示用パネルの製造装置であって、隔壁が存在する側のマザー基板上に配置され、複数の表示領域の所定の領域に対応した数であるとともに前記複数の表示領域の所定の領域ごとに対応した大きさの開口部を有する、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスクと、前記マスクを配置した側とは反対側のマザー基板表面に対して配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石を設けてなる磁石ステージ部と、を備え、磁石ステージ部により前記マスクをマザー基板に密着させるように構成したことを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の情報表示用パネルの製造装置の好適例としては、磁石ステージ部が、前記マザー基板を載置するステージ上に設けられていること、磁石ステージ部を、前記マザー基板に対向する面に、円柱状のフェライト磁石を所定の間隔で埋め込んで構成したこと、磁石ステージ部を、その面が前記マザー基板に対して直交するように、プレート状のフェライト磁石を列状に配置して構成したこと、がある。
【００１０】
本発明の情報表示用パネルの製造方法は、上述した構成の情報表示用パネルの製造装置を用いて、マザー基板上に配置された複数の表示領域の所定の領域にあるセル内に、表示媒体を構成する帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する情報表示用パネルの製造方法において、磁石ステージ部により磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスクをマザー基板に密着させた状態で、前記マスクを介してマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域にあるセル内に前記粒子群を充填することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、隔壁が存在する側のマザー基板上に配置され、複数の表示領域の所定の領域に対応した数であるとともに前記複数の表示領域の所定の領域ごとに対応した大きさの開口部を有する、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスクと、前記マスクを配置した側とは反対側のマザー基板表面に対して配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石を設けてなる磁石ステージ部と、を備え、磁石ステージ部により前記マスクをマザー基板に密着させるように構成したことで、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを複数作製するためのマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域に、前記表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を、マスクを利用して充填する際に、マスクとマザー基板との密着性を良好にでき、マザー基板上の必要な領域にあるセル内に粒子群を充填することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
まず、本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの一例について説明する。本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの一例では、対向する２枚の基板間の空間に封入した光学的反射率を有する帯電性粒子を含んだ粒子群として構成された表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１３】
本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図４（ａ）、（ｂ）および図５（ａ）〜（ｄ）に基づき説明する。
【００１４】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）付き画素電極）と基板２に設けた電極６（共通電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示（ドット表示）を行うか、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示（ドット表示）を行っている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１５】
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示（ドット表示）を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示（ドット表示）を行っている。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１６】
図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、３個のセル（ピクセル）で表示単位（１ドット）を構成するカラー表示の例を示している。図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、表示媒体としてはセル２１−１〜２１−３の全てに白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填し、第１のセル２１−１の観察者側に赤色カラーフィルター２２Ｒを設け、第２のセル２１−２の観察者側に緑色カラーフィルター２２Ｇを設け、第３のセル２１−３の観察者側に青色カラーフィルター２２Ｂを設け、第１のセル２１−１、第２のセル２１−２および第３のセル２１−３の３個のセル（ピクセル）で表示単位（１ドット）を構成している。本例では、カラー表示を行う際に、図３（ａ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて白色表示媒体３Ｗを移動すると、観察者に対し白色ドット表示を行うことができ、図３（ｂ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて黒色表示媒体３Ｂを移動すると、観察者に対し黒色ドット表示を行うことができる。ピクセルごとに配置した表示媒体の移動のさせ方で、多色カラー表示を行うことができる。なお、図３（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１７】
図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した１種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５と少なくとも表面が黒色の電極６との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と平行方向に移動させる。そして、図４（ａ）に示すように、白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色表示（ドット表示）を行うか、あるいは、図４（ｂ）に示すように、黒色電極６の色を観察者に視認させて黒色表示（ドット表示）を行っている。なお、図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、手前にある隔壁は省略している。
【００１８】
図５（ａ）〜（ｄ）に示す例では、まず、図５（ａ）、（ｃ）に示すように、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した、光学的反射率および帯電特性の異なる少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１の外側に設けた外部電界形成手段７と基板２の外側に設けた外部電界形成手段８との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図５（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示（ドット表示）を行うか、あるいは、図５（ｄ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示（ドット表示）を行っている。なお、図５（ａ）〜（ｄ）において、手前にある隔壁は省略している。また、基板１の内側には導電部材９を設けるとともに、基板２の内側には導電部材１０を設けている。これら導電部材は設けなくてもよい。
【００１９】
次に、本発明の製造装置および製造方法によってより好適に作製することのできるエリアカラー表示の情報表示用パネルの例を、図６および図７に基づき説明する。図６および図７に示すエリアカラー表示の情報表示用パネルでは、異なる色の表示を行うエリア毎にマスクを表示領域上に配置して表示媒体を充填する必要があるため、マスクとマザー基板との密着性がより高いことが求められ、本発明の製造装置および製造方法を好適に適用することができる。
【００２０】
図６および図７に示す例において、上述した図１〜図５に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図６に示す例では、左側の３セルには黒色表示媒体３Ｂと白色表示媒体３Ｗとを各別に充填するとともに、対向直交するライン電極で形成した画素（１ドット）を用いて、黒／白のドット表示を行う黒／白表示エリアを構成し、右側の３セルには赤色表示媒体３Ｒと白色表示媒体３Ｗとを各別に充填するとともに、対向直交するライン電極で形成した画素（１ドット）を用いて、赤／白のドット表示を行う赤／白表示エリアを構成している。また、図７に示す例では、左側の３セルには黒色表示媒体３Ｂと黄色表示媒体３Ｙとを各別に充填するとともに、対向直交するライン電極で形成した画素（１ドット）を用いて、黒／黄のドット表示を行う黒／黄表示エリアを構成し、右側の３セルには黒色表示媒体３Ｂと白色表示媒体３Ｗとを各別に充填するとともに、対向直交するライン電極で形成した画素（１ドット）を用いて、黒／白のドット表示を行う黒／白表示エリアを構成している。
【００２１】
本発明の情報表示用パネルの製造装置の特徴は、上述した構成の情報表示用パネルを複数作製するためのマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域に、前記表示媒体とする帯電性粒子を含んだ粒子群を充填するために用いる情報表示用パネルの製造装置であって、隔壁が存在する側のマザー基板上に配置され、複数の表示領域の所定の領域に対応した数であるとともに前記複数の表示領域の所定の領域ごとに対応した大きさの開口部を有する、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスクと、前記マスクを配置した側とは反対側のマザー基板表面に対して配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石を設けてなる磁石ステージ部と、を備え、磁石ステージ部により前記マスクをマザー基板に密着させるように構成した点にある。
また、本発明の情報表示用パネルの製造方法は、上述した情報表示用パネルの製造装置を用いて、マザー基板上に配置された複数の表示領域の所定の領域にあるセル内に、表示媒体を構成する帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する情報表示用パネルの製造方法において、磁石ステージ部により磁性マスクをマザー基板に密着させた状態で、前記マスクを介してマザー基板に設けられた複数の表示領域の所定の領域にあるセル内に前記粒子群を充填する点にある。
以下、図面を参照して本発明の特徴部分をさらに説明する。
【００２２】
図８（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を説明するための図である。図８（ａ）は本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を上方向から見た図を示し、図８（ｂ）は本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を粒子充填槽とともに横方向から見た図を示している。なお、図８（ａ）、（ｂ）に示す例では、１つのマザー基板で４個の情報表示用パネルの表示領域のセル内に、同時に、表示媒体とする粒子群を充填する例を示しているが、１枚のマザー基板に配置され、同時に粒子群を充填する情報表示用パネルの数は４個に限られない。
【００２３】
図８（ａ）、（ｂ）に示す例において、本発明の情報表示用パネルの製造装置は、一方のマザー基板３１上に隔壁３２により形成したセル３３が存在する側のマザー基板の表面３１ａ上に配置され、表示領域３４（表示パネル部に対応する）の所定領域に対応する大きさの開口部３５−１を所定数有するとともにそれ以外のマスク部３５−２とから構成される、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスク３６と、マザー基板３１の、マスク３６を配置した側と反対側の表面３１ｂに配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石３７を設けてなる磁石ステージ部３８と、を備えている。そのため、磁石ステージ部３８の磁石３７の磁力により、マスク３６をマザー基板３１上の隔壁の頂上あるいは基板間ギャップ確保用部材の頂上に密着させることができる。本例では、表示領域３４の最外周に配置された隔壁３９の頂上に開口部３５−１とマスク部３５−２との境界部を密着させている。図８（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明によれば、マザー基板３１をはさんで、本発明の情報表示用パネルの製造装置を構成する磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスク３６と磁石ステージ部３８とを配置して、ノズル４１を頂部に備える粒子充填槽４２内にセットし、磁石ステージ部３８によりマスク３６をマザー基板と密着させた状態で、ノズル４１から粒子群を粒子充填槽４２内に吐出することで、マスク３６を介してマザー基板３１上のセル３３内に粒子群３を充填することができる。本例では、粒子群を充填したくない領域にマスク３６のマスク部３５−２が載っているため、マスク開口部３５−１に対応したセル以外のセルには粒子群は充填されない。
【００２４】
図９（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を説明するための図である。図９（ａ）は本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を粒子充填槽とともに横方向から見た図を示し、図９（ｂ）は図９（ａ）における○で表示した部分の拡大図を示している。なお、図９（ａ）、（ｂ）に示す例では、エリアカラー表示の情報表示用パネルを製造する例を示しており、エリアごとに開口部３５−１の異なるマスク３６を準備し、図９（ｂ）に示す表示媒体の充填を異なるマスク３６を使用して行うことで、エリアカラー表示の情報表示用パネルを得ることができる。
【００２５】
図９（ａ）、（ｂ）に示す例において、本発明の情報表示用パネルの製造装置は、一方のマザー基板３１上に隔壁３２により形成したセル３３が存在する側のマザー基板３１の隔壁上に配置され、表示領域３４の所定領域に対応する大きさの開口部３５−２を所定数有するとともにそれ以外のマスク部３５−２とから構成される、磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスク３６と、マザー基板３１の、マスク３６を配置した側と反対側の表面３１ｂに配置され、少なくともマザー基板に対向する面に磁石３７を設けてなる磁石ステージ部３８と、を備えている。そのため、磁石ステージ部３８の磁石３７の磁力により、マスク３６をマザー基板３１の隔壁上に密着させることができる。図９（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明によれば、マザー基板３１をはさんで、本発明の情報表示用パネルの製造装置を構成する磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスク３６と磁石ステージ部３８とを配置して、ノズル４１を頂部に備える粒子充填槽４２内にセットし、磁石ステージ部３８によりマスク３６を密着させた状態で、ノズル４１から粒子群を粒子充填槽４２内に吐出することで、マスク３６を介してマザー基板３１上のセル３３内に粒子群３を充填することができる。本例では、表示領域のうち粒子群を充填したくない領域にある隔壁上にはマスク３６のマスク部３９が載っているため、粒子群は充填されない。
【００２６】
図９（ａ）、（ｂ）における○で表示した部分の拡大図（マスクをセットした様子を示した図）において、粒子群から構成される表示媒体３の平均粒子径は１μｍ〜２０μｍであることが好適である。また、隔壁の幅は２μｍ〜１００μｍとすることが好適であり、１０μｍ〜５０μｍとするのがさらに好適である。なお、マスク３６の開口部３５とマスク３６マスク部との境界に位置する隔壁の幅は、その他に位置する隔壁の幅に対して太くすることができる。また、マスク３６のアライメントは、マスク３６が開口部３５とマスク３６との境界部分に位置する隔壁の幅一杯に揃えるようにすることが好ましいが、多少越えても構わない。
【００２７】
図８（ａ）、（ｂ）および図９（ａ）、（ｂ）に示す本発明の情報表示用パネルの製造装置および製造方法によれば、磁石ステージ部３８の磁石３７から磁力を発生させ、磁性体を含む磁性マスク３６を使用することで、マスク３６をマザー基板３１を通して磁石ステージ部３８に均一に吸着させることができる。そのため、マスク３６とマザー基板３１に形成された隔壁および／または基板間ギャップ確保用部材頂上とマスク３６のマスク部３５−２との間に隙間がなくなり、隙間と通り抜けてマスク部３５−２上にあるセル内に当該粒子が入ることによる不要粒子の混在を防ぐことができ、画面端部での表示性能が向上する。
【００２８】
なお、上述した例において、マザー基板３１としては、ガラス基板、樹脂基板等、従来から情報表示用パネルとして使用されてきた基板材料のいずれをも使用することができる。また、マスク３６の材料としては、磁石からの磁力で引き寄せられる金属材料や前記金属材料でコートされた樹脂材料等のいずれをも使用することができる。このようなマスク３６の材料としては、さびに強く、強度的にも優れるステンレス鋼（ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４等があげられる）やニッケル等がある。さらに、磁石ステージ部３８としてはステンレス鋼等の金属材料を使用することができ、また、その一部を構成する磁石３７としては、フェライト鋼などの磁石のほか、電磁石なども使用することができる。
【００２９】
図１０、図１１および図１２はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の他の例を説明するための図である。図１０および図１１に示す例では、磁石ステージ部３８を、マザー基板３１に対向する面（ステージ面）３８ａに所定の間隔（ここでは等間隔）で穴５１を開け、その穴５１に円柱状のフェライト磁石５２あるいは電磁石６１を埋め込んで構成している。図１２に示す例では、磁石ステージ部３８を、その面が基板３１に対して直交するように、プレート状のフェライト磁石５３とプレート状のステンレス鋼５４とを交互に配置して構成している。図１０、図１１および図１２に示す例とも、磁石ステージ部３８をステージ５５上に設置し、磁石マスク３６の両端を支持部材５６により支持した状態で、磁石ステージ部３８の磁力によりマスク３６を引き寄せることで、本発明を達成することができる。なお、図１０、図１１および図１２に示す例では、ステージ５５上に磁石ステージ部３８を設けたが、ステージ５５の役目を磁石ステージ部３８に持たせることもできる。
【００３０】
以下、図１０、図１１および図１２の構成を用いて、図９（ａ）、（ｂ）に示すように粒子充填を行った例を説明する。
【００３１】
＜実施例１＞
ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製部材のステージ面３８ａ上にＸ−Ｙ方向に等間隔にて穴５１を開け、その穴５１に図１０のようにフェライト磁石５２を設置して磁石ステージ部３８を構成するとともに、厚さ０．３ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）製マスク３６を使用して、７００μｍ厚のガラス製マザー基板３１を磁石ステージ部３８とマスク３６との間に設置し、磁力にてマスク３６を引き寄せたところ、マスク３６をガラス製マザー基板３１に形成した隔壁（高さ５０μｍ）に対して均一密着させることができ、充填不要部分への粒子回りを防ぐことができた。
【００３２】
＜実施例２＞
ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）のステージ面３８ａ上にＸ−Ｙ方向に等間隔にて穴５１を開け、その穴５１に図１１のように電磁石６１を設置して磁石ステージ部３８を構成するとともに、厚さ０．３ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）製マスク３６を使用して、ガラス製マザー基板３１を磁石ステージ部３８とマスク３６との間に設置し、ステージ５５を上昇させた後、磁力を発生させ、磁力にてマスク３６を引き寄せたところ、マスク３６を７００μｍ厚のガラス製マザー基板３１に形成した隔壁（高さ５０μｍ）に対して均一密着させることができ、充填不要部分への粒子回りを防ぐことができた。
【００３３】
＜実施例３＞
図１２に示すように、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）のステージ面３８ａ上に角形プレートフェライト磁石５３をＹ方向に等間隔に配置して磁石ステージ部３８を構成するとともに、厚さ０．３ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）製マスク３６を使用して、７００μｍ厚のガラス製マザー基板３１を磁石ステージ部３８とマスク３６との間に設置し、磁力にてマスク３６を引き寄せたところ、マスク３６をガラス製マザー基板３１に形成した隔壁（高さ５０μｍ）に対して均一密着させることができ、充填不要部分への粒子回りを防ぐことができた。
【００３４】
＜実施例４＞
図１２に示すように、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）のステージ面３８ａ上に角形プレートフェライト磁石５３をＹ方向に等間隔に配置して磁石ステージ部３８を構成するとともに、ステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）で厚さ０．３ｍｍの磁性マスク３６を使用して、厚さ１２５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製マザー基板３１を磁石ステージ部３８とマスク３６との間に設置し、ステージ５５を上昇させた後、磁力を発生させ、磁力にてマスク３６を引き寄せたところ、マスク３６を厚さ１２５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製マザー基板３１に形成した隔壁（高さ５０μｍ）に対して均一密着させることができ、充填不要部分への粒子回りを防ぐことができた。
【００３５】
これまでの説明では、マザー基板の上方に配置したノズルから吐出させた粒子群をマザー基板上のセル内に充填する方法を述べてきたが、粒子群を充填する方法としてはこれに限定されるものではなく、篩から粒子を落下させる自由落下方式やスクリーンを通して粒子をスクリーン下に落下させる、いわゆるスクリーン印刷方式のものなど、基板上方から粒子を落下させる方式のものを用いることができる。
【００３６】
以下、本発明の対象となる情報表示用パネルを構成する各部材について説明する。
【００３７】
基板としては、少なくとも一方の基板はパネル外側から表示媒体の色が確認できる透明基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。もう一方の基板となる背面基板は透明でも不透明でもかまわない。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルサルフィン（ＰＥＳ）、アクリル等の  有機高分子系基板や、ガラスシート、石英シート、金属シート等を用い、表示面側にはこのうち透明なものを用いる。基板の厚みは、２〜２０００μｍが好ましく、さらに５〜１０００μｍが好適であり、薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、２０００μｍより厚いと、薄型情報表示用パネルとする場合に不都合がある。
【００３８】
基板に設ける電極の形成材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛アルミニウム（ＡＺＯ）、酸化インジウム、導電性酸化錫、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピローラ、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が例示され、適宜選択して用いられる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状にパターニング形成する方法や、金属箔（例えば圧延銅箔）をラミネートする方法や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布してパターニング形成する方法が用いられる。視認側（表示面側）基板に設ける電極は透明である必要があるが、背面側基板に設ける電極は透明である必要がない。いずれの場合もパターン形成可能である導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１〜１０μｍ、好ましくは０．０５〜５μｍが好適である。背面側基板に設ける電極の材質や厚みなどは上述した表示面側基板に設ける電極と同様であるが、透明である必要はない。
【００３９】
基板に設ける隔壁については、その形状は表示にかかわる表示媒体の種類や、配置する電極の形状、配置により適宜最適設定され、一概には限定されないが、隔壁の幅は２〜１００μｍ、好ましくは３〜５０μｍに、隔壁の高さは１０〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍに調整される。なお、マスク３６の開口部３５−１とマスク部３５−２との境界に位置する隔壁の幅は、その他に位置する隔壁の幅に対して太くすることができる。また、マスク３６のアライメントは、マスク３６が開口部３５−１とマスク部３５−２との境界部分に位置する隔壁の幅一杯に揃えるようにすることが好ましいが、多少越えても構わない。
また、隔壁を形成するにあたり、対向する両基板１、２の各々にリブを形成した後に接合する両リブ法、片側の基板上にのみリブを形成する片リブ法が考えられる。この発明では、いずれの方法も好適に用いられる。
これらのリブからなる隔壁により形成されるセルは、図１３に示すごとく、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状が例示され、配置としては格子状やハニカム状や網目状が例示される。表示面側から見える隔壁断面部分に相当する部分（セルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方が良く、表示の鮮明さが増す。
ここで、隔壁の形成方法を例示すると、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法が挙げられる。いずれの方法もこの発明の情報表示装置に搭載する情報表示用パネルに好適に用いることができるが、これらのうち、レジストフィルムを用いるフォトリソ法や金型転写法が好適に用いられる。
【００４０】
次に、本発明の対象となる情報表示用パネルにおいて表示媒体とする粒子群を構成する帯電性粒子（以下、粒子ともいう）について説明する。粒子は、そのまま該粒子だけで粒子群を構成して表示媒体としたり、その他の粒子と合わせて粒子群を構成して表示媒体としたりして用いられる。
粒子には、その主成分となる樹脂に、必要に応じて、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等を含ますことができる。以下に、樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤を例示する。
【００４１】
樹脂の例としては、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アクリルウレタン樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、アクリルフッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレンアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられ、２種以上混合することもできる。特に、基板との付着力を制御する観点から、アクリルウレタン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、アクリルフッ素樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂が好適である。
【００４２】
荷電制御剤としては、特に制限はないが、負荷電制御剤としては例えば、サリチル酸金属錯体、含金属アゾ染料、含金属（金属イオンや金属原子を含む）の油溶性染料、４級アンモニウム塩系化合物、カリックスアレン化合物、含ホウ素化合物（ベンジル酸ホウ素錯体）、ニトロイミダゾール誘導体等が挙げられる。正荷電制御剤としては例えば、ニグロシン染料、トリフェニルメタン系化合物、４級アンモニウム塩系化合物、ポリアミン樹脂、イミダゾール誘導体等が挙げられる。その他、超微粒子シリカ、超微粒子酸化チタン、超微粒子アルミナ等の金属酸化物、ピリジン等の含窒素環状化合物及びその誘導体や塩、各種有機顔料、フッ素、塩素、窒素等を含んだ樹脂等も荷電制御剤として用いることもできる。
【００４３】
着色剤としては、以下に例示するような、有機または無機の各種、各色の顔料、染料が使用可能である。
【００４４】
黒色着色剤としては、カーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、活性炭等がある。
青色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、無金属フタロシアニンブルー、フタロシアニンブルー部分塩素化物、ファーストスカイブルー、インダンスレンブルーＢＣ等がある。
赤色着色剤としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、カドミウム、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ピラゾロンレッド、ウォッチングレッド、カルシウム塩、レーキレッドＤ、ブリリアントカーミン６Ｂ、エオシンレーキ、ローダミンレーキＢ、アリザリンレーキ、ブリリアントカーミン３Ｂ、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２等がある。
【００４５】
黄色着色剤としては、黄鉛、亜鉛黄、カドミウムイエロー、黄色酸化鉄、ミネラルファーストイエロー、ニッケルチタンイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエローＧ、ハンザイエロー１０Ｇ、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、キノリンイエローレーキ、パーマネントイエローＮＣＧ、タートラジンレーキ、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２等がある。
緑色着色剤としては、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンＢ、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等がある。
橙色着色剤としては、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、インダンスレンブリリアントオレンジＲＫ、ベンジジンオレンジＧ、インダンスレンブリリアントオレンジＧＫ、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１等がある。
紫色着色剤としては、マンガン紫、ファーストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ等がある。
白色着色剤としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛等がある。
【００４６】
体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等がある。また、塩基性、酸性、分散、直接染料等の各種染料として、ニグロシン、メチレンブルー、ローズベンガル、キノリンイエロー、ウルトラマリンブルー等がある。
【００４７】
無機系添加剤の例としては、酸化チタン、亜鉛華、硫化亜鉛、酸化アンチモン、炭酸カルシウム、鉛白、タルク、シリカ、ケイ酸カルシウム、アルミナホワイト、カドミウムイエロー、カドミウムレッド、カドミウムオレンジ、チタンイエロー、紺青、群青、コバルトブルー、コバルトグリーン、コバルトバイオレット、酸化鉄、カーボンブラック、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅粉、アルミニウム粉などが挙げられる。
これらの顔料および無機系添加剤は、単独であるいは複数組み合わせて用いることができる。このうち特に黒色顔料としてカーボンブラックが、白色顔料として酸化チタンが好ましい。上記着色剤を配合して所望の色の帯電性粒子を作製できる。
【００４８】
また、粒子は平均粒子径d(0.5)が、１〜２０μｍの範囲であり、均一で揃っていることが好ましい。平均粒子径d(0.5)がこの範囲より大きいと表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなりすぎるために表示媒体としての移動に支障をきたすようになる。
【００４９】
さらに本発明では、各粒子群の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Spanを５未満、好ましくは３未満とする。
Span＝（ｄ(0.9)−ｄ(0.1)）／ｄ(0.5)
（但し、ｄ(0.5)は粒子の50％がこれより大きく、50％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.1)はこれ以下の粒子の比率が10％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.9)はこれ以下の粒子が90％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Spanを５以下の範囲に納めることにより、粒子のサイズが揃い、均一な表示媒体としての移動が可能となる。
【００５０】
さらにまた、使用した粒子群の内、最大径を有する粒子群のd(0.5)に対する最小径を有する粒子群のd(0.5)の比を１０以下とすることが肝要である。たとえ粒子径分布Spanを小さくしたとしても、互いに帯電特性の異なる粒子が互いに反対方向に動くので、互いの粒子サイズを同程度として反対方向に容易に移動できるようにするのが好適であり、それがこの範囲となる。
【００５１】
なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
ここで、本発明における粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Mastersizer2000(Malvern Instruments Ltd.）測定機を用いて、窒素気流中に粒子を投入し、付属の解析ソフト（Mie理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、粒子径および粒子径分布の測定を行なうことができる。
【００５２】
さらに、粒子群として構成する表示媒体を気体中空間で駆動させる情報表示用パネルに適用する場合には、基板間の表示媒体を取り巻く空隙部分の気体の管理が重要であり、表示安定性向上に寄与する。具体的には、空隙部分の気体の湿度について、２５℃における相対湿度を６０％RH以下、好ましくは５０％RH以下とすることが重要である。
この空隙部分とは、図１（ａ）、（ｂ）〜図４（ａ）、（ｂ）および図５（ａ）〜（ｄ）において、対向する基板１、基板２に挟まれる部分から、電極５、６（電極を基板の内側に設けた場合）、表示媒体の占有部分、隔壁４の占有部分（隔壁を設けた場合）、情報表示用パネルのシール部分を除いた、いわゆる表示媒体が接する気体部分を指すものとする。
空隙部分の気体は、先に述べた湿度領域であれば、その種類は問わないが、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン、乾燥ヘリウム、乾燥二酸化炭素、乾燥メタンなどが好適である。この気体は、その湿度が保持されるように情報表示用パネルに封入することが必要であり、例えば、表示媒体の充填、情報表示用パネルの組み立てなどを所定湿度環境下にて行い、さらに、外からの湿度侵入を防ぐシール材、シール方法を施すことが肝要である。
【００５３】
本発明の対象となる情報表示用パネルにおける基板と基板との間隔は、表示媒体が移動できて、コントラストを維持できればよいが、通常１０〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍに調整される。
対向する基板間の気体中空間における表示媒体の体積占有率は５〜７０％が好ましく、さらに好ましくは５〜６０％である。７０％を超える場合には表示媒体の移動に支障をきたし、５％未満の場合にはコントラストが不明確となり易い。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants ）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（電子取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板やホワイトボード等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ（Point Of Presence 、Point Of Purchase advertising ）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、外部電界形成手段を用いて表示書換えを行う、いわゆるリライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
【００５５】
なお、本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、外部電界形成手段を用いた外部電界駆動方式など、種々のタイプの駆動方式が適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成の一例を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成の他の例を示す図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成のさらに他の例を示す図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成のさらに他の例を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成のさらに他の例を示す図である。
【図６】本発明の製造装置および製造方法によってより好適に作製することのできるエリアカラー表示の情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図７】本発明の製造装置および製造方法によってより好適に作製することのできるエリアカラー表示の情報表示用パネルの他の例を説明するための図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を説明するための図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の他の例を説明するための図である。
【図１０】本発明の情報表示用パネルの製造装置の他の例を説明するための図である。
【図１１】本発明の情報表示用パネルの製造装置のさらに他の例を説明するための図である。
【図１２】本発明の情報表示用パネルの製造装置のさらに他の例を説明するための図である。
【図１３】本発明の対象となる情報表示用パネルにおける隔壁の形状の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１、２  基板
３Ｗ  白色表示媒体（白色粒子群）
３Ｂ  黒色表示媒体（黒色粒子群）
３Ｒ  赤色表示媒体（赤色粒子群）
３Ｙ  黄色表示媒体（黄色粒子群）
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
４  隔壁
５、６  電極
７，８  外部電界形成手段
９，１０  導電部材
２１−１  第１のセル
２１−２  第２のセル
２１−３  第３のセル
２２Ｒ  赤色カラーフィルター
２２Ｇ  緑色カラーフィルター
２２Ｂ  青色カラーフィルター
３１  マザー基板
３１ａ、３１ｂ  表面
３２  隔壁
３３  セル
３４  表示領域
３５−１  マスク開口部
３５−２  マスク部
３６  磁石によって引き寄せられる性質を有する材料を含んで構成されたマスク
３７  磁石
３８  磁石ステージ部
３８ａ  ステージ面
３９  隔壁
４１  ノズル
４２  粒子充填槽
５１  穴
５２、５３  フェライト磁石
５４  ステンレス鋼
５５  ステージ
５６  支持部材
６１  電磁石
【図１】
2010039324.tif 000003
【図２】
2010039324.tif 000004
【図３】
2010039324.tif 000005
【図４】
2010039324.tif 000006
【図５】
2010039324.tif 000007
【図６】
2010039324.tif 000008
【図７】
2010039324.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010039324.tif 000011
【図１０】
2010039324.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2010039324.tif 000014
【図１３】
2010039324.tif 000015