(57)【要約】【課題】従来から用いられる載置台に載置された試料を加熱する方法では、複数の発熱体を使用することで、温度に斑が生じたり、載置台の回転によって生じる風、特に乱流によって試料の温度にばらつきが生じる恐れがあった。【解決手段】本件発明では、複数個の試料を円形に載置可能で、その円の中心を中心として回転する載置台と、載置台の下に空間を隔てないで前記回転の軌跡に沿った円環状の円環状発熱体と、載置台と円環状発熱体とを収納して内部を一定雰囲気に保つチャンバと、チャンバに設けられる分光測定用ガラス窓と、前記測定のための分光測定部と、を有する分光測定装置を提供する。これにより、載置台に載置された複数の試料を均一に加熱することが可能となり、正確な分光測定を行うことが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の試料を円形に載置可能で、その円の中心を中心として回転する載置台と、
載置台の下に空間を隔てないで前記回転の軌跡に沿った円環状の円環状発熱体と、
載置台と円環状発熱体とを収納して内部を一定雰囲気に保つチャンバと、
チャンバに設けられる分光測定用ガラス窓と、
前記測定のための分光測定部と、
を有する分光測定装置。
【請求項２】
載置台と、円環状発熱体と、は一体に回転する請求項１に記載の分光測定装置。
【請求項３】
円環状発熱体は、円環構造体に少なくとも一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻きまわして構成されている請求項１または２に記載の分光測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種温度で紫外線などの光を試料に対して照射し、その反射光を受光して分光測定を行う分光測定装置である。
【背景技術】
【０００２】
従来から用いられている分光測定装置は、特許文献１に示すように一つ一つの試料を、1回1回測定装置内に載置し、測定を行う毎に温度や、雰囲気、測定条件などを操作作業者が設定して行うことが一般的であった。
【０００３】
しかし、特許文献１に示したような評価装置では、試料毎に温度条件の設定など、種々の設定が必要となり、操作作業者の負担が大きかった。
【０００４】
そこで、特許文献２では、複数の試料を、一回の条件設定で測定が可能になるように、同一チャンバ内の回転台に載置している。このように、複数の試料を同一のチャンバ内に載置することで、全ての試料を一度に測定することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２６７７１８号公報
【特許文献２】特願２００８−２７８９３６号公報
【特許文献３】特開２００７−１１２６７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、円形の回転台に載置された試料を加熱する方法としては、特許文献３のような装置が示されているが、このように、複数の試料に対して複数の発熱体を有する装置では、個々の発熱体によって温度にばらつきが生じる恐れがある。特に試料を回転台に載置した装置の場合、回転台の回転によって生じる風、特に乱流の風が生じるため、試料温度に斑が生じやすい。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本件発明では上記課題に鑑み次に示す分光測定装置を提供する。すなわち第一の発明としては、複数個の試料を円形に載置可能で、その円の中心を中心として回転する載置台と、載置台の下に空間を隔てないで前記回転の軌跡に沿った円環状の円環状発熱体と、載置台と円環状発熱体とを収納して内部を一定雰囲気に保つチャンバと、チャンバに設けられる分光測定用ガラス窓と、前記測定のための分光測定部と、を有する分光測定装置を提供する。
【０００８】
第二の発明としては、載置台と、円環状発熱体と、は一体に回転する第一の発明に記載の分光測定装置を提供する。
【０００９】
第三の発明としては、円環状発熱体が、円環構造体に少なくとも一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻きまわして構成されている第一の発明または第二の発明に記載の分光測定装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本件発明の分光測定装置のように、試料が載置され回転する載置台の下に、空間を隔てることなく円環状発熱体を設けることで、載置台に載置された複数の試料を均一に加熱することが可能となり、正確な分光測定を行うことが可能となる。
【００１１】
さらに、本件発明の円環状発熱体のように、円環発熱体の円環構造体に一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻き回すことで、円環状発熱体を均一に発熱することが可能となる。これにより、本実施形態の分光測定装置では、載置台に載置された複数の試料を均一に加熱することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態１の分光測定装置の概念図
【図２】実施形態１の載置台の概念図
【図３】実施形態１の載置台と円環状発熱体の概念図
【図４】実施形態１の載置台と円環状発熱体の断面図
【図５】実施形態１の載置台と分光測定用ガラス窓の概念図
【図６】実施形態１の分光測定部を説明するための概念図
【図７】実施形態２の円環状発熱体の概念図
【図８】実施形態２の円環状発熱体の概念図
【図９】本件発明の具体例
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本件発明の実施の形態について、添付図面を用いて説明する。なお、本件発明は、これら実施形態に何ら限定されるべきものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得る。
【００１４】
実施形態１は、主に請求項１および請求項２などに関する。実施形態２は、主に請求項３などに関する。
<<実施形態１>>
<実施形態１  概要>
【００１５】
本実施形態は、試料が載置された回転する載置台を有し、各種温度で測定可能な分光測定装置であって、試料の温度に斑が生じないように、載置台の下に空間を隔てないで円環状発熱体を設けたことを特徴とする分光測定装置である。
<実施形態１  構成>
【００１６】
図１に本実施形態の分光測定装置の概念図を示した。本実施形態の分光測定装置（０１００）は、複数個の試料を円形に載置可能で、その円の中心を中心として回転する載置台（０１０１）と、載置台の下に空間を隔てないで前記回転の軌跡に沿った円環状発熱体（０１０２）と、載置台と円環状発熱体とを収納して内部を一定雰囲気に保つチャンバ（０１０３）と、チャンバに設けられる分光測定用ガラス窓（０１０４）と、前記測定のための分光測定部（０１０５）と、を有する。尚、図１の（ａ）は、本実施形態の分光測定装置全体の概念図であり、（ｂ）は分光測定装置のチャンバ内部に収納される載置台と円環状発熱体の概念図である。また載置台には、試料を載置するための載置スペース（０１０６）が複数設けられている。
【００１７】
「載置台」は、測定試料を載置するための台であり、載置台中心を中心として、回転するように構成されている。図２に載置台（０２０１）を上部から見たときの概念図を示した。載置台には、複数の試料（０２０２）を円形に並べて載置することが可能となっている。この載置台が回転することで、試料は分光測定が行われる位置（０２０３）まで移動する。例えば、図２の（ａ）において、No.1の箇所（０２０３）が分光測定を行う位置であった場合、No.10の試料（０２０４）は、載置台を回転することで、（ｂ）のようにＡの箇所まで回転移動し、測定が行われる。このように、本実施形態の分光測定装置では、載置台が回転することで、試料を測定箇所まで移動している。載置台の回転は、図２に示したように、試料を複数個進めるように回転してもよいし、一つずつ進めるように回転してもよい。また逆回転するようにしてもよい。
【００１８】
「円環状発熱体」は、載置台の下に空間を隔てないで、載置台の回転の軌跡に沿って配置される。この円環状発熱体は、載置台に載置された複数の試料の温度を全て同一の温度に加熱する。
【００１９】
全ての試料を同温度下で測定するためには、発熱体を複数の試料から同距離となる位置に配置する必要がある。また、発熱体と載置台の間に空間を設けるか否かによって、熱の伝わり方に大きな違いが生じる。図３に円環状発熱体を載置台の下に配置した場合の一例を示した。（ａ）は円環状発熱体と載置台の間に空間（０３０８）を有する場合、（ｂ）は円環状発熱体と載置台の間に空間を設けずに密着させた場合である。（ａ）のように、円環状発熱体と載置台の間に空間を有する場合、試料の置かれた空間に風が無く理想的な状態であれば、試料は均等に熱せられ、等しい温度となる。しかし、本実施形態の分光測定装置では、載置台が回転するため、試料が置かれた空間には風が起こるため、試料は均等に加熱することが出来ない。また、図３でも分かるように、四角い形状のチャンバ（０３０４）内に円形に試料を載置すると、チャンバの壁面と試料との距離が、それぞれの試料によって異なる（０３０５、０３０６、０３０７）こととなる。載置台と円環状発熱体の間に空間を有する場合、この空間にも載置台の回転により風が発生する。この風は、側面に近い場所では、載置台の回転により乱流が発生しやすい。この乱流の発生する度合いや程度は、側面との距離によって大きく異なる。このため、載置台と円環状発熱体の間に空間を設けることで乱流が発生し、その結果、試料の温度が不均一となってしまう。
【００２０】
さらに、載置台と円環状発熱体の下には、載置台を回転させるためのモータなどの駆動装置が配置されている。この駆動装置は、使用することで発熱することが考えられる。特にモータは、コイルの巻き方によっては、場所によって発熱量が異なるため、モータから発せられる熱は、不均一に載置台に載置された試料に伝わる可能性がある。
【００２１】
載置台のみの熱容量と、載置台と円環状発熱体が密着した状態での熱容量は、前者の法が小さい。このため、載置台と円環状発熱体の間に空間が存在する場合、載置台と円環状発熱体が密着している場合に比べて、試料が載置されている載置台の熱容量が小さくなる。従って、チャンバの壁面に近い箇所に載置された試料は、他の箇所の試料に比べて温度が低下する影響が出る。これは特に円環状発熱体への電力供給が切られた状態で顕著に表れる。
【００２２】
一方、図３の（ｂ）のように、発熱体を載置台の下に空間を隔てないで円環状の発熱体を配置すると、円環状発熱体と載置台の間に空間を設けていないため、風の影響を受けずに、発熱体から載置台に載置された試料へ熱を伝えることが可能となる。また、載置台と円環状発熱体が密着した状態での熱容量が大きくなるため、温度が低下しにくくなる。
【００２３】
また、円環状発熱体は、載置台に載置された試料の回転軌跡に沿った位置に配置されることが望ましい。図４に載置台と円環状発熱体の部分断面図を示した。例えば、図４（ａ）のように、円環状発熱体（０４０１）を載置台（０４０２）の下であって、試料（０４０３）が載置された場所に比べて回転中心よりに配置すると、試料との距離が離れてしまう。このように離れてしまうと、温度の斑が生じやすいため、避けるべきである。このため、円環状発熱体は、試料が載置された載置台の真下に配置することが望ましい。また、円環状発熱体は、図４の（ｂ）のように、載置台に載置される試料の底面を投影したときに、全てを占める大きさがあることが望ましい。つまり、試料の底面全体が発熱体の垂直上方に配されることが望ましい。仮に、（ｃ）のように、載置台に載置される試料に比べて小さい発熱体を設置した場合、試料に伝わる熱に斑が生じてしまう可能性がある。
【００２４】
また、円環状発熱体と載置台は、比熱の大きい材料を隔てて配置されていても良いし、直接円環状発熱体と載置台が接触するように配置しても良い。前述のように、円環状発熱体と載置台との間に空間を設けた場合、円環状発熱体から発せられた熱が、均一に載置台に伝わらず、結果として試料の温度が不均一となってしまう。従って、円環状発熱体と載置台は直接接触するように配置するか、または比熱の大きい材料を介して配置するかする必要がある。比熱の大きい材料を介して配置する場合には、比熱の大きい材料が、均一に円環状発熱体から載置台へ熱を伝えられるように、材料の組成や構造を均一にすることが必要である。
【００２５】
また、円環状発熱体は、載置台と一体に回転しても良いし、円環状発熱体は固定で、載置台のみが接触しながら回転するように構成しても良い。さらに、載置台と円環状発熱体が互いに反対方向に回転したり、円環状発熱体と載置台が互いに独立して回転するように構成しても良い。
【００２６】
円環状発熱体と載置台が一体となって回転する場合、円環状発熱体と載置台や、円環状発熱体と載置台を隔てる材料は密着して構成すればよい。また、円環状発熱体と載置台が一体となって回転しない場合には、円環状発熱体と載置台の間は、空間が生じないように接触するように構成する。またこの場合は、円環状発熱体と載置台の間に、耐熱性グリスなどを配置することで、円環状発熱体と載置台が互いにスムーズに回転することが可能である。
【００２７】
「チャンバ」は、載置台と円環状発熱体を収納し、その内部を一定雰囲気に保つ。チャンバの形状は、図３に示したような、四角形であっても良いが、前述の乱流の影響を抑えるために、載置台の回転軌跡に沿った円形筒型としても良い。このチャンバは、試料が分光測定の際に、温度や雰囲気（空気雰囲気や窒素雰囲気、気圧など）がコントロール可能なように密閉された空間である。このためチャンバは、その壁面を断熱材などで構成することが望ましい。さらに、載置台に載置された複数の試料が斑なく全て同一条件になるように、コントロール可能である。また、チャンバ内は前述の円環状発熱体により高温に加熱されるため、チャンバを構成する材料は高温に耐えうる材料で構成し、さらにチャンバの内壁は黒色の耐熱塗料で塗装するなど高温対策を施すことが望ましい。
【００２８】
「分光測定用ガラス窓」は、チャンバに設けられ、チャンバ外部に設けられた分光測定部から試料へ照射される光を透過するための窓である。分光測定部から試料へ照射される光については後述するが、様々な波長の光を試料に対して照射するため、測定に用いる光を吸収しない材料で分光測定用窓ガラスを構成する必要がある。例えば、試料へ照射する光が、紫外線の場合には、紫外線を吸収しないような石英ガラスなどを用いる必要がある。また、このように分光測定部が照射する光に対応して適切な材質の分光測定用ガラスに交換可能に構成しても良い。
【００２９】
図５に分光測定用ガラス窓（０５０１）を有するチャンバ（０５０４）の概念図を示した。（ａ）は分光測定用ガラス窓（０５０１）を一つ有するチャンバであって、（ｂ）は複数の分光測定用ガラス窓（０５０１、０５０２）を有するチャンバである。（ａ）のような、分光測定用ガラス窓を一つ有するチャンバの場合、一つの分光測定用ガラス窓から、複数の測定に用いる光を試料に対して照射しても良い。例えば、（ａ）の場合には、紫外線吸収スペクトルと試料の温度測定を一つの分光測定用ガラス窓から行うように構成しても良い。逆に（ｂ）の場合には、複数の分光測定用ガラス窓を設けることで、測定する項目毎に測定用ガラス窓を分けることが可能である。（ｂ）の例では例えば、紫外線吸収スペクトルと、温度測定をそれぞれ別々の測定用ガラス窓から行っても良い。尚、図中下側に示した扉（０５０３）は、載置台に試料を載置するための扉である。試料を交換する際に開放し、試料の出し入れを行う。
【００３０】
「分光測定部」は、チャンバ内の載置台に載置された試料に対して様々な分光測定を行う。分光測定部はチャンバに設けられた測定用ガラス窓から、載置台に載置された試料に対して、分光測定用の光を照射する。そして、照射した光に対して、試料が反射した反射光を測定用ガラス窓を介して受光する。さらに受光した光を元に、試料の発光強度、ピーク波長、分光スペクトル、三刺激値、色度座標、相関色温度などの分光分析が行われる。
【００３１】
分光測定部から、試料に対して照射される光は、測定項目に応じて異なるが、例えば紫外線や赤外線、可視光、マイクロ波などである。図６に分光測定部が試料に対して分析用の光を照射し、反射光を受光する様子を説明するための概念図を示した。図６では、説明のために測定対象である試料（０６０１）がチャンバ（０６０２）や載置台（０６０３）に比べて大きくなるように記載しているが、実際の大きさは、載置台に載置される試料の数などによって変化するものである。まず、分光測定部（０６０４）から照射される光（０６０５）は、チャンバに設けられた測定用ガラス窓（０６０６）から所定の角度で試料に照射され、所定角度に対する反射角で反射される。試料によって反射された光（０６０７）は、測定用ガラス窓を透過し、分光測定部が受光する。受光した光の情報は様々な分析が行われる。さらに分光測定部の上部には、照射光が照射されている試料を目視で確認するための窓（０６０８）を設けても良い。この試料を目視で確認するための窓は、紫外線が透過しない材料で構成することが望ましい。また、この窓には、蓋などをもうけて、チャンバ内部の熱がチャンバ外部へ漏れないようにすることが望ましい。
【００３２】
分光測定部は、前述のように光を照射したり受光したりする。この光の照射や受光は、温度や雰囲気によって、光の照射出力や受光感度が変化する可能性がある。従って、分光測定部は、チャンバ外部に設け、一定温度、一定雰囲気下になるように制御された空間に配置されることが望ましい。このため、分光測定部は、試料が載置されたチャンバ内部ではなく、チャンバの外部に配置し、測定に必要な光は、チャンバ外部から測定用ガラス窓を介して、試料に照射している。分光測定部は、例えば、窒素雰囲気下に配置し、照射光発射部は発熱することが予想されるので、内部は一定温度に保てるよう、窒素を常に流通させるなどすることが望ましい。
【００３３】
また、本実施形態の分光測定装置では、非接触で試料の温度を測定することが望ましい。従来の分光測定装置では、試料の温度測定には、試料を載置する載置台に熱電対などを設置して温度を測定するのが一般的であった。しかし、このように載置台に熱電対を設置して温度を測定した場合、直接試料の温度を測定するわけではないため、正確な試料の温度を測定することが出来なかった。そこで、本実施形態では、非接触型の温度計を用いて、チャンバの外部から、試料の温度を直接測定する。このように非接触型の温度計を用いて、直接試料の温度を測定することで、正確に精度良く試料の温度をコントロールすることが可能となる。チャンバ内部は、測定条件に合わせて、５０℃から２２０℃程度の間を変化させるように構成されている。このような高温の条件では、温度計が正確に温度を測定することが不可能となる。そこで、温度計をチャンバの外部に配置することで温度の計測が正確に行われるように構成されている。
【００３４】
非接触型の温度計は、一般的に測定対象に対して赤外線などを測定用ガラス窓を介して照射し、その反射光を測定することで温度を計測している。従って、シールドに設けられた窓は、赤外線などの透過を阻害しない材料で構成されることが望ましい。赤外線を照射する非接触型の温度計の場合、窓はセレン化亜鉛などを用いることが望ましい。
【００３５】
ここで、図６を例にして、分光測定部が試料に対して照射する光が波長２５４ｎｍの紫外線で、試料が蛍光体であった場合を一例に具体例を説明する。前述のように、分光測定部は、一定温度、一定雰囲気下にすることが望ましい。そこで、分光測定部は、窒素雰囲気下、５０℃近辺に保った空間内に配置する。照射光の試料への照射角度は４５度であり、分光測定部が受光する反射光も、照射角度に対する角度である４５度の反射光を受光する。チャンバに設けられ、照射光および反射光が透過する測定用ガラス窓は、石英ガラスで構成されている。また試料は、窒素雰囲気下の所定温度条件下に配置されている。
【００３６】
また本実施形態の分光測定装置は、分光測定部が、装置筐体の操作作業者の立ち位置から反対側に配置されていることが望ましい。チャンバに試料を載置するための扉は、操作作業者の立ち位置に近い位置であることが望ましい。これは操作上、操作作業者に近い方が、操作作業者の負担が軽減できるためである。一方で、分光測定部は、前述のように温度などの諸条件により、照射出力や受光感度に影響を及ぼす可能性がある。従って、操作作業者が発する体温の影響を受けにくい、操作作業者の立ち位置の反対側に分光測定部を設けることが望ましい。
<実施形態１  効果>
【００３７】
本実施形態の分光測定装置のように、試料が載置され回転する載置台の下に、空間を隔てることなく円環状発熱体を設けることで、載置台に載置された複数の試料を均一に加熱することが可能となり、正確な分光測定を行うことが可能となる。
<<実施形態２>>
<実施形態２  概要>
【００３８】
本実施形態は、実施形態１に示した円環状発熱体が均一に発熱するように、一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻き回している。このように、円環状発熱体を一本の電熱線によって発熱させることで、均一に円環状発熱体を発熱させることが可能となる。
<実施形態２  構成>
【００３９】
本実施形態の分光測定装置は、円環状発熱体が、円環構造体に少なくとも一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻きまわして構成されている。
【００４０】
図７に本実施形態の円環状発熱体の一例を示した。本実施形態の円環状発熱体は、図７に示したように、少なくとも一本の電熱線（０７０１）が円環構造体（０７０２）をスパイラル状に巻き回している。図７の（ａ）は、円環構造体を上方から見たときの平面図であり、（ｂ）は、円環構造体の一部を切断したときの斜視図である。このように、本実施形態の分光測定装置の円環状発熱体は、少なくとも一本の電熱線が絶縁体の全周にわたってスパイラル状に巻き回して構成されている。このとき、円環構造体にスパイラル状に巻き回される電熱線は、間隔が等しくなるように巻き回す必要がある。仮に、間隔にばらつきがある場合、均一に発熱せずに斑が生じてしまう。
【００４１】
また、図８の（ａ）のように円環構造体（０８０１）に巻き回される電熱線（０８０２）の間隔を広くすると、温度の斑がでるため、電熱線の間隔は広げすぎない必要がある。また、図８の（ｂ）のように、複数の電熱線（０８０３、０８０４）をそれぞれ全周に渡ってスパイラル状に巻き回しても良い。このとき、複数の電熱線どうしの発熱量の差が大きい場合、温度の斑が生じるため、可能な限り電熱線どうしの発熱量の差は小さくすることが望ましい。複数の電熱線を用いた場合でも、図８の（ｃ）のように円環構造体を４５度づつ分割し、４本の電熱線（０８０５、０８０６、０８０７、０８０８）で巻き付けると、温度差を生じる可能性がある。図８の（ｃ）の場合、それぞれの4本の電熱線に加わる電圧や電流の微妙な差によって電熱線の発熱量が変化したり、電熱線の個体差によって発熱量が変化するなど、均一に発熱させるのが困難となってしまう。従って、本実施形態の円環状発熱体では、このような差によって温度に斑が生じないように、少なくとも一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻きまわして構成されている。
【００４２】
複数の電熱線を用いる場合には、出来るだけ電熱線同士の間隔を狭め、一本の電熱線が必ず円環構造体の全周を巻き回すようにするなど、温度の斑が生じないように構成する。
<実施形態２  効果>
【００４３】
本実施形態の円環状発熱体のように、円環状発熱体の円環構造体に一本の電熱線を全周にわたってスパイラル状に巻き回すことで、円環状発熱体を均一に発熱することが可能となる。これにより、本実施形態の分光測定装置では、載置台に載置された複数の試料を均一に加熱することが可能となる。
<<具体例>>
【００４４】
図９に本件発明の分光測定装置の具体例を説明するための３面図を示した。（ａ）は分光測定装置を操作作業者の立ち位置から見たときの正面図で、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は上面からみた平面図である。（ｄ）は、チャンバ内部に配置されている載置台である。チャンバ（０９０１）の上面には、ディスプレイ（０９０２）と、分光測定部（０９０３）と、試料の温度を測定するための温度計（０９０４）と、試料を載置台に載置するための扉（０９０５）が設けられている。その他に図示はされていないが、チャンバの下部には、温度制御や載置台の回転を制御するための制御用のパソコンや制御装置などが納められている。チャンバの上部に配置されているディスプレイは、試料を測定する際の測定条件の入力や、測定方法、測定項目などの設定を確認するためのディスプレイである。測定条件の入力などは、正面図に記載されたキーボード（０９０６）などの入力装置を用いて行われる。
【００４５】
ここで、簡単に本件発明の分光測定装置を使用する流れを説明する。まず、チャンバ上部の試料を載置台に載置するための扉を開け、載置台に試料を載置する。載置台に試料を載置した後、測定条件や測定項目の設定を行う。この際、複数の試料をそれぞれ別々の測定条件や測定項目に設定することも可能であるし、すべての試料を同じ条件で、測定することも可能である。また測定条件を変更した内容で連続して測定を行うことも可能である。この際特に温度条件を変更して測定を行う場合には、低い温度から順に昇温しながら測定を行うと効率よく測定を行うことが可能となる。
【００４６】
すべての測定条件や測定項目の設定が完了すると、測定を開始する。測定開始後、本件発明の分光測定装置は、測定条件や測定項目を自身で設定を行い、すべて自動で測定が行われ、その間、操作作業者は分光測定装置に対して行う操作は一切ない。分光測定中は、測定結果や測定条件等を逐次分光測定装置内の記憶装置に保存を行う。また、すべての測定が完了すると、保存された測定結果などを元に、測定結果の一覧表を自動的に作成し、出力するように構成してもよい。さらに、分光測定装置は測定終了後、自動的に終了するように構成しても良い。
【符号の説明】
【００４７】
０１００  分光測定装置
０１０１  載置台
０１０２  円環状発熱体
０１０３  チャンバ
０１０４  分光測定用ガラス窓
０１０５  分光測定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2010190753.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2010190753.tif 000009
【図８】
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【図９】
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