(57)【要約】【課題】  表面に凹凸形状を備えたウェーハであっても高い接着固定力を発揮するウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置を提供すること。【解決手段】  押さえ板３でウェーハＷを押圧するとともに吸引手段により、ウェーハＷと粘着層ＴＢとの間のエアを吸引してウェーハＷを粘着シートＴへ貼着する【選択図】図２
2010165740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔が形成されているウェーハの前記一方の面を、粘着層を備えた粘着シートに載置し、外周部にシール部材を備えた押さえ板で前記他方の面を押圧するとともに前記抑え板に設けられた吸引手段により、前記一方の面と前記粘着層との間のエアを吸引して前記ウェーハを前記粘着シートへ貼着することを特徴とするウェーハマウント方法。
【請求項２】
前記ウェーハは微小電気機械素子を備えたウェーハであることを特徴とする請求項１に記載のウェーハマウント方法。
【請求項３】
粘着層を備えた粘着シートが載置され、少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔が形成されているウェーハの前記一方の面が前記粘着シートの上に載置されるマウントテーブルと、
外周部にシール部材を備え、前記シール部材を介して前記ウェーハの前記他方の面を押圧する押さえ板と、
前記押さえ板に設けられ、前記一方の面と前記粘着層との間のエアを吸引する吸引手段と、を備えたことを特徴とするウェーハマウント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたウェーハを加工時や搬送時に使用する粘着シートへ貼着するウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されるウェーハはインゴットより切断された後、グラインディングやポリッシング、各種デバイスの形成、プロービング、ダイシング、ダイボンディングなど様々な工程に適した加工装置間を搬送装置または人の手により搬送されて加工が行われ個々の半導体装置や電子部品となる。
【０００３】
特にダイシング工程やダイボンディング工程においては、加工工程中及び加工装置間の搬送の際に片面に粘着層が形成された粘着シートにウェーハが貼着され、粘着シートを介してウェーハがフレーム等にマウントされる。これにより、ウェーハが加工中に動くことがなく容易に薄化や個片化することが可能となり、加工後のウェーハも容易に搬送することが可能となる。
【０００４】
このようなウェーハへの粘着シートの貼着は、従来図１に示すようにウェーハＷをマウントテーブル１０等の平坦な台の上に載置した後、ローラー１１を使用してウェーハ端部から粘着シート１２を押し付けて貼着を行っていた（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００５−３３２９３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、半導体製造技術の応用、メカトロニクス技術の微小化の進展により、プロジェクタの光学素子の一種であるＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅ）や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどの各種のセンサーに使用される微小電気機械素子を備えたＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ウェーハの需要が高まっている。
【０００６】
ＭＥＭＳウェーハでは微小電気機械素子が形成されている為、ウェーハ表面に凹凸形状を備えている。このような凹凸形状を備えた表面に従来のようにローラーで粘着シートを貼着すると、凹部分は粘着層と接触しないため接着面積が減少して接着固定力が低下する。接着固定力が低下した状態でウェーハの搬送や加工が行われると、搬送中や加工中にウェーハが剥がれて破損するなど大きな問題が発生する。
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みて成されたものであり、ＭＥＭＳウェーハのような表面に凹凸形状を備えたウェーハであっても高い接着固定力を発揮するウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は前記目的を達成するために、少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔が形成されているウェーハの前記一方の面を、粘着層を備えた粘着シートに載置し、外周部にシール部材を備えた押さえ板で前記他方の面を押圧するとともに前記抑え板に設けられた吸引手段により、前記一方の面と前記粘着層との間のエアを吸引して前記ウェーハを前記粘着シートへ貼着することを特徴としている。
【０００９】
また、本発明は、前記発明において、前記ウェーハは微小電気機械素子を備えたウェーハであることを特徴としている。
【００１０】
本発明によれば、マウントテーブル上に粘着層を備えた粘着シートが載置され、少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔が形成されているＭＥＭＳ等のウェーハの一方の面が粘着シート上に載置される。ウェーハは粘着シートが貼着される一方の面とは反対側の他方の面を押さえ板により押圧されて粘着シートが貼着される。
【００１１】
このとき、押さえ板の外周部にはＯリング等のシール部材が取り付けられており、押さえ板とウェーハの他方の面との間が密閉状態となる。この状態で押さえ板に設けられた吸引手段によりエアを吸引することで一方の面と粘着層との間のエアがウェーハに形成されている孔より排出され、粘着層がウェーハ側へ吸引されて凹形状内部に引き込まれる。これにより、粘着層が凹部内部でも接着されて接着面積が増加し接着固定力を増加させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明のウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置によれば、吸引しながら押圧することで粘着層が凹部に引き込まれて接着され、接着面積を増し接着固定力を増加させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下添付図面に従って本発明に係るウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置の好ましい実施の形態について詳説する。図２は本発明に係わるウェーハマウント装置の構成及びウェーハマウント方法を示した側面図である。
【００１４】
まず本発明に係わるウェーハマウント装置の構成を説明する。本発明に係わるウェーハマウント装置１はウェーハテーブル２とウェーハＷを押圧する押さえ板３とにより構成されている。
【００１５】
ウェーハテーブル２は平坦であってマウントされるウェーハＷよりも十分な広さを持ち、ウェーハテーブル２上には粘着シートＴが載置され、粘着シートＴ上にはウェーハＷが載置される。なお、ウェーハテーブル２の粘着シートＴが載置される面には、複数の溝やポーラス面が形成され、ウェーハテーブル２と連通する真空発生源により粘着シートＴを吸引吸着する機構を備えていても良い。
【００１６】
粘着シートＴは樹脂等で形成されるフィルム状の基材ＴＡの上に粘着層ＴＢが形成されている。粘着シートＴはロール状に巻かれたものを広げて、または図２（ａ）に示されるように円形に切断されたものがリング状のフレームＦに貼着されてウェーハテーブル２上に載置される。
【００１７】
ウェーハＷは少なくとも一方の面に凹凸形状を備えた板状部材であって一方の面と他方の面との間でエアの通過が可能な孔４が形成されている。ウェーハＷとしては、ＤＭＤや、インクジェットプリンタの微小ノズル、圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどの各種のセンサーに使用される微小電気機械素子を備えたＭＥＭＳウェーハ等のウェーハが用いられる。
【００１８】
押さえ板３は外周部にシール部材としてのゴム等の弾性素材によるＯリング５を備えた板状部材であって、中央部に不図示の吸引手段と連通する吸引パイプ６が設けられている。押さえ板３は不図示の移動機構により矢印Ｚ方向に移動可能であって、図２（ｂ）に示すように粘着シートＴ上に凹凸面を接触させて載置されたウェーハＷ上に移動してＯリング５をウェーハＷへ接触させ、押さえ板３とウェーハＷの間を密閉状態とするとともにウェーハＷを粘着シートＴへ押圧する。
【００１９】
なお、本実施の形態では押さえ板３は外周部にＯリング５のみを備えているが本発明はこれに限らず、押さえ板３のＯリング５よりも内側に押さえ板３を支える支柱を備えていてもよく、Ｏリング５と支柱によりウェーハＷ全面または一部を押圧して粘着シートＴへ押圧してもよい。
【００２０】
次に本発明に係わるウェーハマウント方法について説明する。本発明に係わるウェーハマウント方法では、まずウェーハテーブル上に基材ＴＡが接触するように粘着シートＴが載置される。粘着シートＴの粘着層ＴＢ上には、図２（ａ）に示すように凹凸面を接触させてウェーハＷが載置される。
【００２１】
続いて、押さえ板３が図２（ｂ）に示すように矢印Ｚ方向に移動し、ウェーハＷにＯリング５を接触させて押さえ板３とウェーハＷの間を密閉状態とする。押さえ板３は更にウェーハＷへ向って移動してウェーハＷを粘着シートＴへ押圧する。
【００２２】
押さえ板３は粘着シートＴへウェーハＷを押圧した状態で図２（ｃ）に示すように不図示の吸引手段と連通する吸引パイプ６からエアを排出する。
【００２３】
これにより、ウェーハＷと粘着層ＴＢとの間のエアがウェーハＷに形成されている孔４より排出され、粘着層ＴＢがウェーハＷ側へ吸引されて凹形状内部に引き込まれる。凹部へ引き込まれた粘着層ＴＢは凹部内部でも接着されて接着面積が増加し、接着固定力を増加させることが可能となる。
【００２４】
以上、説明したように、本発明に係わるウェーハマウント方法及びウェーハマウント装置によれば、押さえ板により吸引しながら押圧して粘着シートにマウントすることで粘着層が凹部に引き込まれて接着され、接着面積を増し接着固定力を増加させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】従来のウェーハマウント方法を示した斜視図。
【図２】本発明に係わるウェーハマウント装置の構成及びウェーハマウント方法を示した側面図。
【符号の説明】
【００２６】
１…ウェーハマウント装置，２…ウェーハテーブル，３…押さえ板，４…孔，５…Ｏリング（シール部材），６…吸引パイプ，１１……ローラー，１２、Ｔ…粘着シート，Ｆ…フレーム、ＴＡ…基材，ＴＢ…粘着層，Ｗ…ウェーハ
【図１】
2010165740.tif 000003
【図２】
2010165740.tif 000004