(57)【要約】【課題】誘電体バリア放電ランプの消灯や待機時からの点灯の立ち上げを早くし、省電力化を図る。【解決手段】紫外線透過性の細長い管状をなす気密容器１４１内の管軸方向に内部電極１４２を配置し、気密容器１４１外に半円周形状の外部電極１４３を密着させて配置し、気密容器１４１内にエキシマ生成ガスを封入させて誘電体バリア放電ランプ１４を構成する。電源１１から供給される交流電圧を、コンバータ１２を介して直流電圧に変換し出力する。コンバータ１２から供給される直流電圧に基づきインバータ１３で高周波を生成させ、誘電体バリア放電ランプ１４に誘電体バリア放電を誘起させて紫外線を放射する。コンバータ１２は、直流電源１２１，１２２の出力を直列に接続して構成する。消灯や待機時に直流電源１２１をオフする減圧スイッチＳ１，Ｓ２を設け、再度点灯させる場合の立ち上がり時間を、予め直流電源１２２側を動作状態にしておき早くする。【選択図】図１
2010033826.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
商用電源から供給される交流電圧を直流電圧に変換するコンバータと、
前記コンバータから供給される直流電圧に基づき高周波を生成するインバータと、
紫外線透過性の細長い管状をなす気密容器内の管軸方向に内部電極を配置し、前記気密容器外に半円周形状の外部電極を密着して配置し、前記気密容器内にエキシマ生成ガスを封入させ、前記インバータの高周波に基づき、誘電体バリア放電を誘起させ紫外線を放射する誘電体バリア放電ランプと、を具備し、
前記コンバータは、少なくとも２つの直流電源の出力を直列接続して構成し、前記放電ランプが待機状態の場合は、前記コンバータの出力電圧を前記インバータの動作を停止する状態の値としたことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ点灯装置。
【請求項２】
前記変換回路と前記インバータの間に異常検出部を配置し、所定の電流値以下となった場合に異常として検出し、外部に検出信号を出力したことを特徴とする請求項１記載の誘電体バリア放電ランプ点灯装置。
【請求項３】
前記インバータの入力電圧をＶ１、前記インバータを駆動させ誘電体バリア放電ランプが点灯開始する前記インバータの入力電圧をＶ２、前記異常検出部で外部に異常信号を出力する電流値となるときの前記インバータの入力電圧をＶ３、前記インバータが待機状態（ランプ消灯中）にある場合に、前記インバータ回路に対して印加する直流電圧をＶ４としたとき、Ｖ４＜Ｖ３＜Ｖ２＜Ｖ１の関係が成り立つことを特徴とする請求項２記載の誘電体バリア放電ランプ点灯装置。
【請求項４】
前記コンバータは、少なくとも２つ以上の直流電源の出力を直列に接続して構成されるとともに、全ての直流電源が出力しているときの出力電圧の値を、定格のＶ１とし、前記直流電源の少なくとも一つが、前記誘電体バリア放電ランプの消灯期間にも出力することで、スタンバイ状態における前記インバータへの出力電圧の値をＶ４としたことを特徴とする請求項３記載の誘電体バリア放電ランプ点灯装置。
【請求項５】
前記コンバータの各直流電源の出力がそれぞれ供給される前記異常検出部内の前記各直流電源の出力端となる位置に、逆流防止用のダイオードを接続したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ点灯装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、誘電体バリア放電ランプを用いて液晶基板等をドライ洗浄するための誘電体バリア放電ランプ点灯装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の放電ガスを封入した細長い管状の気密容器内に、その中心軸方向に沿って延長配置された内部電極と、気密容器の外周に設けられた外部電極とから構成され、内部電極が直列に接続された複数本の誘電体バリア放電ランプは、これら誘電体バリア放電ランプの直列接続された内部電極と外部電極間に設置された高周波電源で高周波駆動されている。（例えば、特許文献１）
【特許文献１】特開２００６−１３４７０５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記した特許文献１の技術は、コンバータを構成する複数の直流電源は、ランプの消灯や待機期間において全ての出力を停止している。このため、点灯の状態から再び消灯させる場合や待機状態から点灯させる場合に点灯に時間がかかっていた。このため、誘電体バリア放電ランプを用いた液晶基板等をドライ洗浄する工程における作業性が劣るばかりか余分な消費電力を必要とするという、問題があった。
【０００４】
この発明の目的は、点灯の立ち上げを早くし、省電力化に寄与する誘電体バリア放電ランプ点灯装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記した課題を解決するために、この発明の誘電体バリア放電ランプ点灯装置は、商用電源から供給される交流電圧を直流電圧に変換するコンバータと、前記コンバータから供給される直流電圧に基づき高周波を生成するインバータと、紫外線透過性の細長い管状をなす気密容器内の管軸方向に内部電極を配置し、前記気密容器外に半円周形状の外部電極を密着して配置し、前記気密容器内にエキシマ生成ガスを封入させ、前記インバータの高周波に基づき、誘電体バリア放電を誘起させ紫外線を放射する誘電体バリア放電ランプと、を具備し、前記コンバータは、少なくとも２つの直流電源の出力を直列接続して構成し、前記放電ランプが待機状態の場合は、前記コンバータの出力電圧を前記インバータの動作を停止する状態の値としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
この発明によれば、ランプ消灯時においてもインバータには一定の直流電圧がバイアスされており、誘電体バリア放電ランプの消灯や待機時からの点灯の立ち上げを早くし、省電力化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【０００８】
図１は、この発明の誘電体バリア放電ランプ点灯装置に関する一実施形態について説明するための概念的な構成図である。この実施形態では、２灯の誘電体バリア放電ランプをそれぞれの高周波点灯装置１００，２００で点灯させるもので、共通の構成部分には同一の符号を付して説明する。
【０００９】
商用電源１１から供給される交流電圧は、駆動スイッチＳＷ、コンバータ１２，１２を介して直流電圧に変換し、インバータ１３に供給する。インバータ１３では、コンバータ１２から供給される直流電圧に基づいてインバータ１３で高周波を生成する。
【００１０】
コンバータ１２は、電源１１の交流電圧を直流電圧に変換する２つの直流電源１２１，１２２から構成する。直流電源１２１，１２２の出力は互いを直列に接続し、コンバータ１２からは、直流電源１２１，１２２のそれぞれの直流電圧が足し合わされたものを出力直流電圧としてインバータ１３に供給する。直流電源１２１の入力は、減圧スイッチＳ１，Ｓ２を介して電源１１と接続される。
【００１１】
１４は誘電体バリア放電ランプである。この誘電体バリア放電ランプ１４は、紫外線透過性を有する例えば石英ガラス製の細長い管状の気密容器１４１内に、エキシマ生成ガスであるキセノンが封入されている。さらに、気密容器１４１内部の管軸方向の全域に内部電極１４２を配置し、気密容器１４１外部の半円周形状に密着する外部電極１４３が配置される。
【００１２】
誘電体バリア放電ランプ１４は、インバータ１３で生成される高周波に基づき誘電体バリア放電を誘起させることで、紫外線を放射させることができる。
【００１３】
図２は、図１の誘電体バリア放電ランプを点灯させる高周波点灯装置１００の、特にコンバータ１２とインバータ１３の具体例について説明するための回路図であり、図３は図２の動作について説明するための説明図である。
【００１４】
図２において、電源１１の交流電圧は、オンされた駆動スイッチＳＷ，減圧スイッチＳ１を介して直流電源１２１のトランスＴ１の１次コイルＬａに、駆動スイッチＳＷ，減圧スイッチＳ１を介して直流電源１２２のトランスＴ１の１次コイルＬａにそれぞれ供給する。トランスＴ１の２次コイルＬｂから取り出される巻線比に応じた交流電圧を生成する。それぞれのトランスＴ１の２次コイルに導出された交流電圧は、整流用のダイオードＤ１、コンデンサＣ１で平滑されて直流電圧に変換される。直流電源１２１，１２２から出力される直流電圧は、加算されてコンバータ１２の出力としてインバータ１３の駆動用電源として供給する。
【００１５】
直流電源１２１，１２２のコンデンサＣ１の出力には、図示極性の逆流防止用のダイオードＤ２を接続している。これは、直列接続された直流電源１２１，１２２の立ち上がりの時間差による逆流が発生することの不具合を防止するものである。
【００１６】
インバータ１３は、例えば自励共振型のプッシュプル回路であり、トランジスタＱ１，Ｑ２、定電流用インダクタＬ、始動抵抗Ｒ１，Ｒ２、トランスＴ２、コンデンサＣ２等で構成される。
【００１７】
コンバータ１２から直流電圧が供給されると、回路定数、トランジスタＱ１，Ｑ２のｈｆｅ（電流増幅率）のバラツキでトランジスタＱ１，Ｑ２の何れかが先に導通する。トランジスタＱ１が先に導通したとすると、トランスＴ２の中間タップａを有する１次巻線ＮＰ１，ＮＰ２には図中ドット印がある側がマイナスになる電圧を発生する。ベース巻線Ｎｂには１次巻線ＮＰ１，ＮＰ２とＮｂの巻線比に等しい電圧を誘起する。
【００１８】
この電圧により、トランジスタＱ１のベース・エミッタ間は順バイアスされ急速に飽和領域に達する。トランジスタＱ２のベース・エミッタ間は逆バイアスされ遮断状態なる。このときの電流は、１次巻線ＮＰ１とＮＰ２の中間タップａから１次巻線ＮＰ１、トランジスタＱ１のコレクタ、接地（−）へと流れる。中間タップａは正、１次巻線ＮＰ１の端部ｂは負となり、入力電圧が印加される。
【００１９】
一方、中間タップａと１次巻線ＮＰ２の端部ｃ間には、１次巻線ＮＰ１と同じ電圧が誘起され、トランスＴ２は１次巻線ＮＰ２の端部ｃが正、１次巻線ＮＰ１の端部ｂが負となり、トランジスタＱ２のベース・エミッタ間には、この電圧が印加される。
【００２０】
また、コンデンサＣ２とトランスＴ２の１次巻線ＮＰ１，ＮＰ２との共振により共振電流は、端部ｃからコンデンサＣ２を介して端部ｂの経路で流れ、コンデンサＣ２に充電される。
【００２１】
トランスＴ２の２次巻線ＮＳにはドットの印がある側の端子ｄに負が、その逆の端子ｅに正が発生し、電流は端子ｂからｃの方向に流れ、電圧と電流はコンデンサＣ２の電圧、電流と同相になる。トランスＴ２の２次巻線ＮＳには負荷である誘電体バリア放電ランプ１４が接続される。
【００２２】
このように、トランジスタＱ１，Ｑ２は、ＯＮ／ＯＦＦ動作を繰り返して発振するが、主として共振用コンデンサＣ１、トランスＴ２で決まる共振周波数により高周波発振する。発振は、正弦波に近い波形となる。
【００２３】
トランスＴ２は、１次巻線ＮＰ１，ＮＰ２に供給された電圧を、誘電体バリア放電ランプ１４を点灯させるのに必要な電圧まで昇圧し、２次巻線ＮＳ側から出力する。トランスＴ２で発生した高周波、高電圧が誘電体バリア放電ランプ１４に印加されると、内部の気密容器１４１を通して＋／−電極間に印加されることにより放電用ガスが励起され、その後エキシマ状態となり基底状態へ戻る際に真空紫外光であるエキシマ光または真空紫外を発生する。
【００２４】
図４〜図６は、図１で説明した高周波点灯装置で点灯される誘電体バリア放電ランプをより具体的に説明するためのもので、図４は構成図、図５は図４の要部を具体的に説明するための構成図、図６は図４のＩ−Ｉ’断面図である。
【００２５】
ＬＴは発光管であり、この発光管ＬＴは気密容器１４１、電媒体および長い内部電極４２を備え、両端に給電部４３ａ，４３ｂおよび支持部４４ａ，４４ｂを有している。
【００２６】
気密容器１４１は、図５に示すように、紫外線透過性の材料からなり、例えば外径が１８ｍｍ、内径１６ｍｍの細長い円管状の中空部４５および中空部４５の両端に形成された封止部４６ａ，４６ｂを備え、長さ１３００ｍｍである。封止部４６ａ，４６ｂには、それぞれ内部にモリブデン箔４７ａ，４７ｂが埋設されたピンチシール構造である。なお、気密容器１４１の中空部４５の内部にはエキシマ生成ガスとしてキセノンが封入されている。
【００２７】
長い内部電極１４２は、図５に示すように、気密容器１４１の内部に気密容器１４１と同軸関係に配設されており、多数のアンカー４８および内部リード４９ａ，４９ｂからなる。内部電極１４２は、線径０．２６ｍｍのタングステン線からなる金属細線を巻回してなる例えば外径１．２ｍｍのコイルを主体として構成されている。アンカー４８は、内部電極１４２に例えば１５ｍｍ間隔の一定ピッチで多数配設している。内部リード４９ａ，４９ｂは、内部電極１４２の両端を引き延ばして形成されている。そして、内部電極１４２は、約２ｋｇの張力を作用させた状態で、気密容器１４１の両端に形成された封止部４６ａ，４６ｂのモリブデン箔４７ａ，４７ｂの一端に内部リード４９ａ，４９ｂを溶接している。内部電極１４２は、気密容器１４１内に装架された状態で張力の作用によって引き延ばされている。
【００２８】
給電部４３ａ，４３ｂは、それぞれ棒状をなしていて、それらの内端が気密容器１４１の両端に形成された封止部４６ａ，４６ｂに埋設されたモリブデン箔４７ａ，４７ｂに溶接され、基端が気密容器１４１の両端に形成された封止部４６ａ，４６ｂから外部の管軸方向へ突出している。また、給電部４３ａ、４３ｂは、後述する支持部４４ａ，４４ｂの内部において、それぞれ給電線５０ａ，５０ｂに加締め接続されている。なお、給電線５０ａ，５０ｂは、高周波点灯装置１００の出力端から延在している。
【００２９】
支持部４４ａ，４４ｂは、発光管ＬＴを図４に示す位置出しガイド５１ａ，５１ｂに取り付けられる。なお、位置出しガイド５１ａ，５１ｂは、外部電極１４３の管軸方向両端から気密容器１４１の端部方向へ延在して気密容器１４１の取り付け位置を規定する。
【００３０】
外部電極１４３は、下面が凹形の円弧状曲面に形成されて樋状をなしたアルミニウムブロックからなり、内部電極１４２に対向する領域のほぼ全長にわたって、気密容器１４１の上半部外面に０．３５±０．１５ｍｍの間隙Ｇを存して対向して配設されている。また、外部電極１４３の管軸方向の中央部には、スペーサ５２を収納する切込み溝５３および吸気孔５４が形成されているとともに、図５に示すように、両側面に冷却パイプ８が溶接されている。切込み溝５３は、図４および図６に示すように、管軸に対して直交するように形成され、外部電極１４３の下面に開口している。吸気孔５４は、切込み溝５３に跨って形成されるとともに、外部電極１４３の上下を貫通している。
【００３１】
スペーサ５２は、図４、図６に示すように、板厚３ｍｍのステンレス鋼板からなり、外部電極１４３の切込み溝５３内に圧入により収納されているとともに、下部が外部電極１４３の下面に位置する円弧状曲面からわずかに突出している。その突出量は、外部電極１４３と気密容器１４１との間の間隙Ｇが所定の離間距離より小さくならないような値になっている。なお、スペーサ５２と気密容器１４１とは、図面上若干離間しているが、接触していてもよい。
【００３２】
吸気孔５４は、切込み溝５３に跨って形成されているので、下端の開口端がスペーサ５２の両側に分かれて開口している。このため、スペーサ５２の両側の空気は、吸気孔５４に良好に吸気される。そうして、吸気孔５４内を通って外部電極１４３の外部へ排出された空気は、さらに排気ダクトによって紫外線照射装置の外部へ排出される。従って、たとえスペーサ５２と気密容器１４１とが擦れてスペーサ５２が削れて微粒のパーティクルが生じたとしても、パーティクルは、周囲の空気と一緒に吸気孔５４から外部へ排出されることになる。
【００３３】
高周波点灯装置１００は、誘電体バリア放電ランプ１４の内部電極１４２と外部電極１４３との間に高周波電圧を印加して、誘電体バリア放電ランプ１４を付勢して点灯するものであり、図２のコンバータおよびインバータより構成されるものとする。高周波点灯回路１００の高周波出力は、一対の給電線５０ａ，５０ｂを介して誘電体バリア放電ランプ１４における発光管ＬＴの一対の給電部４３ａ、４３ｂと、外部電極１４３との間に接続されている。
【００３４】
誘電体バリア放電ランプ１４は、高周波点灯回路１００の高周波出力端の一方が給電線５０ａ，５０ｂを経由して内部電極１４２から外部へ導出された一対の給電部４３ａ、４３ｂに接続され、他方が外部電極１４３の一端に給電線５０ａ，５０ｂを経由して接続されているので、高周波点灯回路１００の電源１１が投入されると、高周波を発生して高周波出力が内部電極１４２と、これに気密容器１４１の壁面を介して対向している外部電極１４３との間に印加されて、誘電体バリア放電が気密容器１４１の内部に生起する。この誘電体バリア放電によってキセノンのエキシマにより１７２ｎｍを中心波長とする真空紫外光を放射する。真空紫外光は、気密容器１４１の壁面を透過して外部へ導出されるので、これをそれぞれの目的に応じて利用することができる。
【００３５】
また、外部電極１４３と気密容器１４１との間は、わずかに離間しているので、ランプが点滅を繰り返しても少なくともランプの有効長の部分においては、パーティクルが発生しなくなり、スペーサと気密容器との擦れにより、たとえパーティクルが発生するにしても、極めて少量となるのに加えて、吸気手段がパーティクルを速やかに外部へ排出するので、黒色付着物を生じるようなことがなくなる。
【００３６】
このように、インバータに供給されるコンバータからの直流電圧を、直流電源を直列に接続することで、仕様の異なる誘電体バリア放電ランプの点灯に必要な出力電圧を確保することが可能となる。このため、仕様の異なる誘電体バリア放電ランプを使用した場合でも、新たに設計し直すことなく最適な発光効率の実現することができる。換言すれば、特別な直流電源でなく、一般的な直流電源（＋２４Ｖ、＋４８Ｖ）を用いて仕様の異なる誘電体バリア放電ランプを点灯させることができる。
【００３７】
ところで、直流電源１２１の入力に接続された減圧スイッチＳ１は、直流電源１２１に電源１１を供給するかどうかを切り換えるものである。減圧スイッチＳ１がオン時のコンバータ１２の出力は、直流電源１２１，１２２の出力電圧が加算された高い直流電圧を、減圧スイッチＳ１がオフ時のコンバータ１２の出力は、直流電源１２２のみの低い直流電圧をそれぞれ出力する。
【００３８】
同様に、高周波点灯回路２００の減圧スイッチＳ２のオン／オフ時のコンバータ１２は、オン時に高い直流電圧を、オフ時に低い直流電圧をそれぞれ出力する。
【００３９】
次に、図７の説明図を参照し、図１の動作について説明する。図７では高周波点灯回路１００の動作について説明するが、高周波点灯回路２００について同様である。
【００４０】
すなわち、図７（ａ）に示すように、減圧スイッチＳ１がオンの状態で、駆動スイッチＳＷのオン、オフに基づき、コンバータ１２の出力から図７（ｂ）に示す出力電圧Ｖｄｃを、インバータ１３に供給する。
【００４１】
図７（ｂ）に示すコンバータ１２の出力電圧Ｖｄｃの値が、Ｖ１の場合は正常点灯時のインバータ１３の駆動電圧で、Ｖ２の場合はインバータ１３の駆動開始電圧である。また、Ｖ３は、不点を検知した場合の出力電圧Ｖｄｃの値を示し、Ｖ４は、減圧スイッチＳ１をオフし、直流電源１２２のみの出力電圧Ｖｄｃの値を示している。
【００４２】
これらＶ１〜Ｖ４の電圧値は、Ｖ４＜Ｖ３＜Ｖ２＜Ｖ１の関係となるように設定した。この条件は、安定点灯状態、インバータ駆動→点灯開始、点灯異常、ＤＣ電源停止、など各動作点におけるコンバータ１２の出力電圧Ｖｄｃの関係を規定している。
【００４３】
すなわち、インバータ１３が駆動開始する電圧値Ｖ２とインバータ１３に供給される電圧値Ｖ１の関係がＶ２＜Ｖ１であることから、コンバータ１２は、確実にインバータ１３を駆動する条件を満たすことができる。
【００４４】
減圧スイッチＳ１をオンした状態で、インバータ１３に入力される出力電圧ＶｄｃがＶ３の値となった場合は、Ｖ１、Ｖ２の関係がＶ３＜Ｖ２＜Ｖ１であることから、誘電体バリア放電ランプ１４の正常点灯時に異常信号を出力するといった誤動作を起こすことがない。また、インバータ１３の駆動直後に異常信号を出力するといった不点等の誤動作を起こすことがない。
【００４５】
ところで、誘電体バリア放電ランプ１４が不点となった場合のコンバータ１２の出力電圧ＶｄｃはＶ３の値となる。それで、減圧スイッチＳ１を一旦オフして直流電源１２１を停止し、コンバータ１２の出力電圧ＶｄｃをＶ４の値として、インバータ１３を停止させる。その後、減圧スイッチＳ１をオンさせ、出力電圧ＶｄｃとＶ２の値としインバータ１３を駆動する。
【００４６】
図７（ｃ）は、コンバータ１２の出力電流Ｉｄｃを示し、図７（ｄ）はインバータ１３の駆動の状態による誘電体バリア放電ランプ１４に流れるランプ電流ＩＬを、図７（ｅ）は誘電体バリア放電ランプ１４の点灯、不点灯の状態について示している。図７（ｄ）において、インバータ１３が停止して期間においも電流が流れている状態にあるのは、漏れ電流による。
【００４７】
このように、対応の高周波点灯回路で点灯される誘電体バリア放電ランプが不点の状態にある場合、減圧スイッチを一旦オフし、所定時間経過したのちに再度オンさせる動作を行うことにより、誘電体バリア放電ランプの不点が解消される。つまり、直流電源１２２によりバイアスがかかった状態で、減圧スイッチＳ１で直流電源１２１をオンさせることで、誘電体バリア放電ランプのスムースな点灯への移行を行うことができる。
【００４８】
この点、被照射体を誘電体バリア放電ランプ１４の位置に一旦止めて照射させる、いわゆるバッチ処理の製造工程に利用した場合には、被照射体を誘電体バリア放電ランプ１４の位置にある場合減圧スイッチＳ１でオンさせ、ない場合減圧スイッチＳ１をオフさせることで電力消費の低減に寄与する。この場合、減圧スイッチＳ１がオフしている場合には、直流電源１２２は駆動状態にあることから、減圧スイッチＳ１をオンした場合の直流電源１２１の立上げ時間を早くさせることもできる。
【００４９】
この実施形態では、不点の誘電体バリア放電ランプに対するスムースな点灯動作を行うことができるばかりか、駆動状態にある直流電源からのバイアスを受けて非駆動状態の直流電源を駆動させたことにより非駆動状態の直流電源の立ち上がり時間を短くでき、バッチ処理を行う工程での使用にも適している。
【００５０】
図８、図９は、この発明の誘電体バリア放電ランプ点灯装置に関する他の実施形態について説明するための、図８は概念的な構成図、図９は図８の要部を詳細に説明するための構成図である。この実施形態でも、２灯の誘電体バリア放電ランプをそれぞれの高周波点灯装置１００，２００で点灯させるもので、共通の構成部分には同一の符号を付すとともに、上記した実施形態と同一の構成部分には同一の符号を付し、ここでは異なる部分について説明する。
【００５１】
この実施形態は、コンバータ１２とインバータ１３との間に異常検出部８１を介在させたものである。異常検出部８１は、コンバータ１２の出力電流Ｉｄｃを電圧に変換した値と基準値が異なる場合に異常信号として出力するものである。
【００５２】
異常検出部８１のより具体的な構成は、図９に示す構成をしている。直流電源１２１，１２２の出力電圧を加算した出力電圧Ｖｄｃとして検出部８１１を介してコンバータ１２に供給する。検出部８１１では、コンバータ１２の出力電流Ｉｄｃを電圧に変換し、検出電圧として判定部８１２に供給する。
【００５３】
判定部８１２では、検出部８１１で検出された検出電圧と基準電位Ｖｒを比較し、基準電位より検出電圧が低い場合は、異常として検出部８１１から異常信号を出力し、スイッチＳ１をオフさせる。
【００５４】
異常検出部８１の動作について図７（ｂ）も参照しながらさらに説明する。
【００５５】
判定部８１２から検出部８１１に供給された検出電圧Ｖｄが基準電位Ｖｒよりも低い場合は、例えば不点灯と判断し、異常検出部８１から異常信号を出力し、減圧スイッチＳ１をオフにする。所定時間後に減圧スイッチＳ１をオンさせ、再び異常検出部８１は異常かどうかを判断し、減圧スイッチＳ１のオンオフ制御を行う。
【００５６】
この実施形態では、異常検出部８１で検出電圧Ｖｄが基準電位Ｖｒにあるかどうかの判定に基づき減圧スイッチＳ１の制御を行うことができる。
【００５７】
異常検出部８１の異常検出例としては、対応の高周波点灯回路で点灯される誘電体バリア放電ランプが不点の状態にある場合がある。このような、減圧スイッチを一旦オフし、所定時間経過したのちに再度オンさせる動作を行うことにより、誘電体バリア放電ランプの不点が解消される。数回のトライで不点が解消されない場合には警告を出すことも考えられる。
【００５８】
この実施形態でも、被照射体を誘電体バリア放電ランプ１４の位置に一旦止めるバッチ処理の製造工程に利用した場合には、被照射体を誘電体バリア放電ランプ１４の位置にある場合減圧スイッチＳ１でオンさせ、ない場合減圧スイッチＳ１をオフさせることで電力消費の低減できるとともに高周波点灯回路の立ち上げ時間を早くさせることができる。
【００５９】
この発明は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、誘電体バリア放電ランプは２本の例で説明したが、３本以上であっても構わない。また、コンバータ１２の直流電源は２個でなく３個以上を直列接続するものであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】この発明の誘電体バリア放電ランプ点灯装置に関する一実施形態について説明するための概念的な構成図。
【図２】図１の要部の具体的に説明するための回路図。
【図３】図２の動作について説明するための説明図。
【図４】図１の誘電体バリア放電ランプをより具体的に説明するための構成図。
【図５】図４の要部を具体的に説明するための構成図。
【図６】図４のＩ−Ｉ’断面図。
【図７】図１の動作について説明する説明図。
【図８】この発明の誘電体バリア放電ランプ点灯装置に関する他の実施形態について説明するための概念的な構成図。
【図９】図８の要部を詳細に説明するための構成図。
【符号の説明】
【００６１】
１００，２００  高周波点灯装置
１１  電源
ＳＷ  駆動スイッチ
１２  コンバータ
１２１，１２２  直流電源
１３  インバータ
Ｓ１，Ｓ２  減圧スイッチ
１４  誘電体バリア放電ランプ
Ｄ２  逆流防止用のダイオード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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