(57)【要約】      （修正有）【課題】大型半導体ウエハをコンテナ内に撓みを防止してコンパクトに収納するために、複数のウエハを縦方向に搬入、搬出する円盤状物把持装置を提供する。【解決手段】コンテナ内のウエハ８の中心を通る水平な線より上側に配置され、先端が厚み方向、且つ、ウエハ奥側の周縁に沿う方向に曲がった細長板状のエンドエフェクタ３と、エンドエフェクタ先端の曲がり側の厚み部に備えウエハの周縁部を把持する奥側パッド４と、奥側パッドがウエハ周縁に接触する位置とウエハ中心とを通る直線の下側にあって、ウエハに接触して周縁部を把持する下部手前側パッド６と、その直線の上側にあって、ウエハに接触して周縁部を把持する上部手前側パッド５とを有し、前記各パッドはウエハ周縁と接触する部分に凹部を有し、前記各パッドの少なくとも１つが動作してウエハを周縁部で把持する装置を提供する。【選択図】図５
2010165998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状物縦置き型前面開閉式コンテナに前記円盤状物を搬入搬出するためのロボット搬送機用円盤状物把持装置において、
前記コンテナ内の前記円盤状物の周縁の上側に配置され、先端が厚み方向、且つ、前記円盤状物の奥側の周縁に沿う方向に曲がった細長板状の１つのエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタ先端の曲がり側の厚み部に固定され前記円盤状物の周縁部を把持する少なくとも１つの奥側パッドと、
前記少なくとも１つの接触点を有する奥側パッドが前記円盤状物周縁に接触する位置と前記円盤状物の中心とを通る直線の下側にあって、前記円盤状物周縁に接触して前記円盤状物の周縁部を把持する少なくとも１つの接触点を有する下部手前側パッドと、
前記直線の上側にあって、前記円盤状物周縁に接触して前記円盤状物の周縁部を把持する少なくとも１つの接触点を有する他の上部手前側パッドと、を有し、
前記各パッドは、前記円盤状物周縁と接触する部分に凹部を有し、
前記各パッドの少なくとも１つが動作して前記円盤状物を周縁部で把持することを特徴とする、円盤状物把持装置。
【請求項２】
前記エンドエフェクタはリスト部に固定され、
２つの前記手前側パッドのいずれか、又は双方が動作して前記円盤状物を周縁部で把持することを特徴とする、請求項１に記載の円盤状物把持装置。
【請求項３】
リスト部に対し前記エンドエフェクタがθ回転できる機構を有し、
２つの前記手前側パッドのいずれか、又は双方が動作して前記円盤状物を周縁部で把持することを特徴とする、請求項1記載の円盤状物把持装置。
【請求項４】
リスト部に対し前記エンドエフェクタがφ回転できる機構を有し、
２つの前記手前側パッドのいずれか、又は双方が動作して前記円盤状物を周縁部で把持することを特徴とする、請求項1記載の円盤状物把持装置。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の円盤状物把持装置において、
１つの円盤状物把持装置に１つのエンドエフェクタに替えて、
１つの円盤状物把持装置に複数のエンドエフェクタが備えられ、
下部手前側パッド及び／又はその取り付け具が、エンドエフェクタ毎に複数、或いは、連通されて備えられ、
上部手前側バッド及び／又はその取り付け具が、エンドエフェクタ毎に複数、或いは、連通されて備えられていることを特徴とする、円盤状物把持装置。  
【請求項６】
少なくとも請求項１から５いずれかに記載の円盤状物把持装置を備えることを特徴とする、ロボット搬送機。
【請求項７】
さらに水平型円盤状物把持装置を１つのロボット搬送機に備えることを特徴とする、請求項６記載のロボット搬送機。
【請求項８】
請求項６または７いずれかに記載のロボット搬送機と、
円盤状物縦置き型前面開閉式コンテナ用ロードポートと、
を有することを特徴とする、円盤状物移載装置。
【請求項９】
さらに、円盤状物横置き型前面開閉式コンテナ用ロードポートと、
少なくとも１つの円盤状物を垂直と水平とに回転させることのできる反転機と、
を有することを特徴とする、請求項８記載の円盤状物移載装置。
【請求項１０】
前面の扉が開放され複数の円盤状物を縦置き式に収納できるコンテナに、及び／又は、前記コンテナから、前記円盤状物を搬入搬出するに際し、
搬入に当たっては、
請求項１、２、５のいずれかに記載の円盤状物把持装置の奥側パッドと、１つの手前側パッドと、他の手前側パッドとでほぼ縦状に把持した前記円盤状物を、前記コンテナ内を奥壁近傍までＹ移動させ、
前記円盤状物の周縁を前記コンテナ底部及びに奥部に予め設けられた溝に嵌合するように下方にＺ移動させてこれを載置し、
前記各パッドの少なくとも１つを開放して前記円盤状物の把持を解除し、
必要ならばさらに前記円盤状物の周縁部が前記奥側パッドの凹部溝から外れる距離だけ奥側に円盤状物把持装置をＹ移動させ、
前記エンドエフェクタを、隣接する円盤状物の間隙の前方、又は、設計上の間隙空間の前方までＸ移動させ、
前記エンドエフェクタを前記間隙を通して前記コンテナ外にＹ移動させて搬入を終了し、
また、搬出に当たっては、
前記エンドエフェクタの先端を、前記コンテナの外側から前記コンテナ内の隣接する円盤状物の間隙、または、設計上の間隙空間を通して前記円盤状物の奥側周縁と前記コンテナの奥壁との間までＹ移動させ、
ついで前記奥側パッドが搬送対象円盤状物の周縁後方に来るまでＸ移動させ、
前記奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとの少なくとも１つを動作させて前記搬送対象円盤状物を周縁で把持し、
前記円盤状物把持装置を前記エンドエフェクタが前記コンテナの天井に当たらない範囲でＺ移動させ、次いでこれを手前側にＹ移動させて円盤状物を搬出することを特徴とする、円盤状物の搬送方法。
【請求項１１】
前面の扉が開放され複数の円盤状物を縦置き式に収納できるコンテナに、及び／又は、コンテナから、円盤状物を搬入搬出するに際し、
搬入に当たっては、
請求項３に記載の円盤状物把持装置の奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとでほぼ縦状態に把持した前記円盤状物を、前記コンテナ内を奥壁近傍までＹ移動させ、
前記円盤状物の周縁を前記コンテナ底部及びに奥部に予め設けられた溝に嵌合するように下方にＺ移動させて前記円盤状物を載置し、
前記各パッドの少なくとも１つを開放して前記円盤状物の把持を解除し、
必要ならばさらに前記円盤状物の周縁部が前記奥側パッドの凹部溝から外れる距離だけ奥側に円盤状物把持装置をＹ移動させ、
エンドエフェクタをθ回転させて水平状態にし、
前記エンドエフェクタを、前記載置された円盤状物と前記コンテナの天井との間隙を通して前記コンテナ外にＹ移動させて搬入を終了し、
また、搬出に当たっては、
前記コンテナ外でエンドエフェクタをθ回転させて水平状態にした前記エンドエフェクタの先端を、前記円盤状物と前記コンテナの天井の間隙を通して、前記円盤状物の奥側周縁と前記コンテナの奥壁との間までＹ移動させ、
前記エンドエフェクタが搬送対象円盤状物の周縁近傍に沿うように前記リスト部をθ回転させ、
前記奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとで前記搬送対象円盤状物の周縁を把持し、
前記円盤状物把持装置を前記エンドエフェクタが前記コンテナの天井に当たらない範囲で上方にほぼＺ移動させ、
次いでこれを手前側にＹ移動させて円盤状物を搬出する、
ことを特徴とする円盤状物の搬送方法。
【請求項１２】
前面の扉が開放され複数の円盤状物を縦置き式に収納できるコンテナに、及び／又は、コンテナから、円盤状物を搬入搬出するに際し、
搬入に当たっては、
請求項４に記載の円盤状物把持装置の奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとでほぼ縦状態に把持した前記円盤状物を、前記コンテナ内を奥壁近傍までＹ移動させ、
前記円盤状物の周縁を前記コンテナ底部及びに奥部に予め設けられた溝に嵌合するように下方にＺ移動させて前記円盤状物を載置し、
前記各パッドの少なくとも１つを開放して前記円盤状物の把持を解除し、
必要ならばさらに前記円盤状物の周縁部が前記奥側パッドの凹部溝から外れる距離だけ奥側に円盤状物把持装置をＹ移動させ、
エンドエフェクタを、前記円盤状物及び前記コンテナの天井に接触しない範囲で、φ回転させて持ち上げながらリスト部をＹ方向に後退移動しつつＺ方向に下降させて前記円盤状物の上部周縁に沿うよう前記エンドエフェクタ先端の奥側パッドが円盤状物の頂点近傍に来るまで抜き出し、
ついでリスト部をＹ移動させて搬入を終了し、
また、搬出に当たっては、
前記コンテナ外でエンドエフェクタをφ回転させて持ち上げ、
前記エンドエフェクタの曲がり側を搬送対象円盤状物の周縁に沿うように接近させ、
前記エンドエフェクタを、前記円盤状物及び前記コンテナの天井に接触しない範囲で、下方にφ回転させながらリスト部をＹ方向に前進移動しつつＺ方向に上昇させて前記円盤状物の上部周縁に沿うように前記コンテナ奥壁近傍までに挿入し、
前記奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとで前記搬送対象円盤状物の周縁を把持し、
前記円盤状物把持装置を前記エンドエフェクタが前記コンテナの天井に当たらない範囲で上方に微小ほぼＺ移動させ、
次いでこれを手前側にＹ移動させて円盤状物を搬出する、
ことを特徴とする円盤状物の搬送方法。
【請求項１３】
円盤状物を把持した状態で、
請求項１から４に記載のいずれかの円盤状物把持装置と、
少なくともウエハ面を９０度回転させることができる反転機との間を、
相互に直接把持し替えることを特徴とする、円盤状物の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子産業分野で用いられる円盤状物の把持装置並びに搬送機、移載装置、及び、円盤状物の搬送方法に関する。更に詳しくは、半導体ウエハ、液晶ディスプレー、有機ＥＬ，光ディスク、ハードディスクなどの基板である円盤状物を、把持し搬送するロボットのアーム端部である円盤状物把持装置並びにロボット搬送機、並びに前記ロボットを有する移載装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路は、一般に半導体材料であるシリコンやガリウム砒素金属間化合物なからなるウエハ（以下ウエハと呼ぶ）という円盤状物から製造される。塵埃を極端に嫌う半導体産業分野では、ウエハは通常２５枚を清浄箱であるコンテナに収納して各種処理装置間を搬送される。現在、ウエハは、直径３００ｍｍが最も大きく、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod、図３の図番１８）、或いはＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box、図２）と呼ばれるコンテナ内に２５段の棚段に水平に収納されて利用され、この棚段の間隔は、Ｓｅｍｉ規格により１０ｍｍと定められている。
また、このＦＯＵＰ１８は、例えば図３に示すように、ＦＯＵＰ１８の蓋がロードポート２７によって開らかれ、水平状態に収納されているウエハは、クリーンブース２１内に据え付けられた従来のスカラ型ロボット搬送機２６により、処理装置２５に送り込まれ、処理終了後、再び元のＦＯＵＰ１８に戻される、等に使用されている。
【０００３】
近年、集積回路の生産性を上げるためにウエハ直径を４５０ｍｍに拡大することが提案されている。しかし、直径が大きくなることで水平にするとウエハに撓みが生じ、コンテナ内に把持装置のエンドエフェクタを挿入する際、上下のウエハに接触しないように注意を要する。そのため直径３００ｍｍウエハの場合より棚段間隔を広げなければならなくなり、コンテナは、サイズが大きくなり、さらに強度を上げるために肉厚となったり、補強材を組み込んで、重量も増加して輸送効率が落ちる、など数々の問題点が指摘されている。
【０００４】
そこで、前述の撓みを生じさせないために、円盤状ウエハを縦置きにして収納するコンテナが考えられている。従来、ウエハ縦置き型のカセットが、複数枚のウエハを複数の溝に嵌め込み、まとめて洗浄液など液体に浸漬する工程等に使用されている。このカセットは、クリーンルーム或いはクリーンブース内で使用するため、蓋がないとか、コンテナに収納されていない形状となっている。
【０００５】
塵埃の多い大気中でウエハを搬送する際、必ず清浄なコンテナに収納しなければならないが、前述のウエハ縦置き型コンテナとする際、コンテナの蓋を上面にするか、側面即ち前面とするか、議論されてきた。図４に、ウエハ縦置き型前面開閉式コンテナ１０を示す。このコンテナは本体［図4（ａ）］内部の下部にＶ字型の溝１２を複数前後方向と奥の壁面に縦方向に複数Ｖ字型溝１１を設け、ここに複数のウエハ８［図4（ｂ）］を収納し、蓋［図4（ｃ）］を閉じると同時に図4（ｄ）の様にウエハ８をコンテナ内に固定するものである。本発明では、落下する塵埃が入りにくい図４の縦置き型前面開閉式コンテナ１０に限定し、このコンテナにウエハを搬入、搬出する際のロボットの新規なアーム作用端としてのウエハ把持装置及びこれを有するロボット搬送機、ウエハ移載装置及びウエハ搬送方法を提供する。
【０００６】
従来、ロボットアーム端部に取り付けられたウエハ把持装置は、コンテナ内又は処理装置内に水平に置かれたウエハを取り上げ搬送するため、水平状態で使用されている。また、ウエハをウエハ把持装置に固定する方法として、裏面吸着法とエッジグリップ法とがある。後者には下記文献１のような例があり、図１（ａ）平面図に示す様に水平状のエンドエフェクタ４０の先端および基端に設けたパッドの上にウエハの周縁を乗せ、基端側から可動パッドでウエハを押し付け把持するものである。  図1（ｃ）のように、コンテナの任意の棚段にあるウエハを搬出するために、エンドエフェクタを目的ウエハとその下のウエハとの間隙に差し込み、次いで、図1（ｂ）に示すように微小高さ持ち揚げて目的ウエハをウエハ把持装置上に載置し、可動パッドを前進させてウエハを押して先端パッドに押し付けて固定している状態を示している。その後、ウエハ把持装置をコンテナから抜き出し、ウエハを目的場所に搬送する。
【０００７】
ところで、ウエハ縦置き型前面開閉式コンテナにウエハを搬入搬出する際は、例えば下記文献１にみられる図1（ａ）に示すようなエンドエフェクタ３の面を、９０度回転させて垂直にして使用することが考えられる。この際、ウエハをしっかり把持するための各パッドには、Ｖ字状溝を設け、可動パッドで押圧する。
【０００８】
また、下記文献２には、プロセスチャンバなどの装置の設置面積の増加を最小限に抑えるために、ウエハを縦に把持して搬送する装置が提案されているが、前面開閉型のコンテナに収納するための把持装置ではない。ここでは、コンテナについては、ウエハを把持したまま把持装置を回転させて水平にしてから横置カセット（ＦＯＵＰ）に収納する方法が例示されている。
【０００９】
【特許文献１】特表２００２−５３１９４２
【特許文献２】特開２０００−２６０８５８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、図1のような従来のウエハ把持装置は、ウエハを固定するためにＶ字状溝を有する固定爪（固定パッド）及び可動爪（可動パッド）をエンドエフェクタのフレーム面に設けている。直径４５０ｍｍの重いウエハに対しては、従来の直径３００ｍｍウエハに比べ、図１（ｃ）に示すようにエンドエフェクタ３の厚みは剛性を高めるために５〜８ｍｍ厚くする必要があり、さらにパッドの厚み４〜６ｍｍと厚くなっており、これらを足し合わせると９〜１４ｍｍとなる。多少のウエハ撓み、Ｖ字溝間隔の精度、ロボット搬送位置決め精度を考慮すると、隣接ウエハに接触しないようにエンドエフェクタを挿入する場合、ウエハピッチは、１２ｍｍ（コンテナ内ウエハ間隙約１１ｍｍ）から１９ｍｍ（コンテナ内ウエハ間隙約１８ｍｍ）とする必要がある。即ち、文献１や文献２に代表されるエンドエフェクタを縦にして使用する場合には、直径４５０ｍｍウエハを縦置き型コンテナにしても、従来の直径３００ｍｍウエハと同じ２５枚を収容するためには、大幅に大型化と高い強度がコンテナに必要となり、重量も増加することになる。
更に、Ｖ字型溝を具備したパッドを横型把持装置でウエハを台の上に載置する場合、少し高い位置で把持を開放するとウエハを落下させてしまうし、また、把持したまま少し台を行き過ぎて停止をするとウエハにダメージを与えてしまうので、極めて正確に台に接触するように降ろさなければならない。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明では、円盤状物縦置き型前面開閉式コンテナに前記円盤状物を搬入搬出するためのロボット搬送機用円盤状物把持装置において、前記コンテナ内の前記円盤状物の周縁の上側に配置され、先端が厚み方向、且つ、前記円盤状物の奥側の周縁に沿う方向に曲がった細長板状の１つのエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタ先端の曲がり側の厚み部に固定され前記円盤状物の周縁部を把持する少なくとも１つの奥側パッドと、前記少なくとも１つの接触点を有する奥側パッドが前記円盤状物周縁に接触する位置と前記円盤状物の中心とを通る直線の下側にあって、前記円盤状物周縁に接触して前記円盤状物の周縁部を把持する少なくとも１つの接触点を有する下部手前側パッドと、前記直線の上側にあって、前記円盤状物周縁に接触して前記円盤状物の周縁部を把持する少なくとも１つの接触点を有する他の上部手前側パッドと、を有し、前記各パッドは、前記円盤状物周縁と接触する部分に凹部を有し、前記各パッドの少なくとも１つが動作して前記円盤状物を周縁部で把持することを特徴とする、円盤状物把持装置を提供する。
【００１２】
縦型に把持中、ウエハなどの円盤状物を落下しないようにするためには、奥側パッドと下部手前側パッドの周縁との接触点を結ぶ線が、円盤状物の中心より下にあることが必須条件である。即ち、奥側パッド接触位置と円盤中心とを結ぶ線と、下部手前側パッド接触位置と円盤中心とを結ぶ線とが、１８０度を超えることが必要であるが２４０度もあれば充分で、好ましくは２００度〜２３０度である。
【００１３】
本発明では、コンテナの開閉面に向かって前後方向をＹ方向、左右方向をＸ方向、上下方向をＺ方向と呼ぶ。本発明の円盤状物把持装置は、把持装置及び／またはエンドエフェクタをＹ軸中心に回転（以下θ回転）させる機構や、エンドエフェクタや可動パッドのＹ方向往復運動機構や、エンドエファクタがリスト部に対して上下回転、即ちＸ軸中心に回転（φ回転）する機構、円盤状物把持装置全体がロボットアームに対してＸ軸中心回転（φ回転）機構のいずれかまたは２以上の機構を有してもよい。
【００１４】
本発明の円盤状物把持装置に備える１つの奥側パッド、２つの手前側パッドの少なくとも１つは、それらパッドを固定した取り付け具を可動として円盤状物を把持固定する。３つのうち、奥部パッドはエンドエフェクタ先端の円盤状物側に固定して設け、手前側パッド２つを可動とすることが好ましい。
【００１５】
ここで本発明の円盤状物把持装置を備えるロボット搬送機は、前記円盤状物把持装置をＸ、Ｙ、Ｚの各方向に移動させることができるものである。また、前記ロボット搬送機には、縦置き型コンテナから、搬出先ではウエハを水平に載置するために、リスト部に回転自在、且つ、制御可能な軸を設けてもよい。
【００１６】
前記エンドエフェクタの厚みは、２〜５ｍｍが好ましく、幅は厚みの２倍以上、即ち、４〜２５ｍｍ程度が好ましい。エンドエフェクタの幅は、勿論、縦に置かれたウエハの頂点とコンテナ天井との間隙により規定されるが、少なくとも４〜１５ｍｍを要する。この際、重い４５０ｍｍウエハを縦に把持して横揺れを起こさないために、炭素繊維強化プラスチックスやセラミックスなど高弾性率材料が好ましい。セラミックスとしては、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニアなどの焼結体を用いる。  
【００１７】
前記パッドの厚み側面には、４５０ｍｍウエハの周縁を収納把持するために深さ２ｍｍ以上のＶ字状またはＵ字状の溝を設ける。そためパッドの厚みは３〜７ｍｍが好ましい。パッドの材質としては、高度が高く研磨粗面であるシリコンウエハの周縁と接触するため、シリコンより柔らかく、且つ、摩耗し難い架橋ポリウレタン、耐摩耗性ポリエステルや、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリフェニレンオキサイド（ＰＰＯ）等のエンジニアリングプラスチックスが好ましい。パッドの形状については、ウエハが接触する側面は接触面積が小さくなるように円形状が好ましく、且つ、溝を設けるほかは、他の面は円形、半円形、楕円形、半楕円形などでよい。前記他の面が円形で、その中心に設けた軸がエンドエフェクタや手前パッドの取付け具に固定されている。
【００１８】
本発明では、１つの円盤状物把持装置に複数、例えば５個から２５個のエンドエフェクタが備えられている円盤状物把持装置をも含む。その際、下部手前側パッド又はそのパッド取り付け具が、エンドエフェクタ毎に設けられても、或いは連通されて備えられ、上部手前側バッド又はその取り付け具が、エンドエフェクタ毎に或いは連通されて備えられていてもよい。
【００１９】
次に、本発明の円盤状物把持装置を用いて、ウエハを１枚ずつコンテナに搬入搬出する方法について述べる。まず、第１の搬送方法として、前面の扉が開放され複数の円盤状物を縦置き式に収納できるコンテナに、及び／又は、コンテナから、円盤状物を搬入搬出するに際し、搬入に当たっては、請求項１または２に記載の円盤状物把持装置の奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとでほぼ縦状に把持した前記円盤状物を、前記コンテナ内を奥壁近傍までＹ移動させ、前記円盤状物の周縁を前記コンテナ底部及びに奥部に予め設けられた溝に嵌合するように下方にＺ移動させてこれを載置し、前記各パッドの少なくとも１つを開放して前記円盤状物の把持を解除し、必要ならばさらに前記円盤状物の周縁部が前記奥側パッドの凹部溝から外れる距離だけ奥側に円盤状物把持装置をＹ移動させ、前記エンドエフェクタを、隣接する円盤状物の間隙、または、設計上の間隙空間までＸ移動させ、前記エンドエフェクタを前記間隙を通して前記コンテナ外にＹ移動させて搬入を終了し、また、搬出に当たっては、前記エンドエフェクタの先端を、前記コンテナの外側から前記コンテナ内の隣接する円盤状物の間隙、または、設計上の間隙空間を通して前記円盤状物の奥側周縁と前記コンテナの奥壁との間までＹ移動させ、ついで前記奥側パッドが搬送対象円盤状物の周縁近傍に来るまでＸ移動させ、前記奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとの少なくとも１つを動作させて前記搬送対象円盤状物を周縁で把持し、前記円盤状物把持装置を前記エンドエフェクタが前記コンテナの天井に当たらない範囲でＺ移動させ、次いでこれを手前側にＹ移動させて円盤状物を搬出することを特徴とする、円盤状物の搬送方法である。
【００２０】
また請求項５に記載の複数のエンドエフェクタを、１つの円盤状物把持装置によって、縦置きされた複数の円盤状物を一度に把持し搬送する場合も、上記と同様な方法で搬入搬出することもできる。
【００２１】
次に、第２の搬送方法として、前面の扉が開放され複数の円盤状物を縦置き式に収納できるコンテナに、及び／又は、コンテナから、円盤状物を搬入搬出するに際し、搬入に当たっては、請求項３に記載の円盤状物把持装置の奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとでほぼ縦状態に把持した前記円盤状物を、前記コンテナ内を奥壁近傍までＹ移動させ、前記円盤状物の周縁を前記コンテナ底部及びに奥部に予め設けられた溝に嵌るように下方にＺ移動させて前記円盤状物を載置し、前記各パッドの少なくとも１つを開放して前記円盤状物の把持を解除し、必要ならばさらに前記円盤状物の周縁部が前記奥側パッドの凹部溝から外れる距離だけ奥側にＹ移動させて円盤状物把持装置を移動させ、エンドエフェクタをθ回転させて水平状態にし、前記エンドエフェクタを、前記載置された円盤状物と前記コンテナの天井の間隙を通して前記コンテナ外にＹ移動させて搬入を終了し、また、搬出に当たっては、前記コンテナ外でエンドエフェクタをθ回転させて水平状態にした前記エンドエフェクタの先端を、前記円盤状物と前記コンテナの天井の間隙を通して、前記円盤状物の奥側周縁と前記コンテナの奥壁との間までＹ移動させ、前記エンドエフェクタが搬送対象円盤状物の周縁近傍に沿うように前記エンドエフェクタをθ回転させ、前記奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとで前記搬送対象円盤状物の周縁を把持し、前記円盤状物把持装置を前記エンドエフェクタが前記コンテナの天井に当たらない範囲でほぼＺ移動させ、次いでこれを手前側にＹ移動させて円盤状物を搬出する、ことを特徴とする円盤状物の搬送方法である。
【００２２】
次に、第３の搬送方法として、前面の扉が開放され複数の円盤状物を縦置き式に収納できるコンテナに、及び／又は、コンテナから、円盤状物を搬入搬出するに際し、搬入に当たっては、請求項４に記載の円盤状物把持装置の奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとでほぼ縦状態に把持した前記円盤状物を、前記コンテナ内を奥壁近傍までＹ移動させ、前記円盤状物の周縁を前記コンテナ底部及びに奥部に予め設けられた溝に嵌合するように下方にＺ移動させて前記円盤状物を載置し、前記各パッドの少なくとも１つを開放して前記円盤状物の把持を解除し、必要ならばさらに前記円盤状物の周縁部が前記奥側パッドの凹部溝から外れる距離だけ奥側に円盤状物把持装置をＹ移動させ、エンドエフェクタを、非接触状態でφ回転させて持ち上げながらリスト部をＹ方向に後退移動しつつＺ方向に下降させて前記円盤状物の上部周縁に沿うよう前記エンドエフェクタ先端の奥側パッドが円盤状物の頂点近傍に来るまで抜き出し、ついでリスト部をＹ移動させて搬入を終了し、また、搬出に当たっては、前記コンテナ外でエンドエフェクタをφ回転させて持ち上げ、前記エンドエフェクタの曲がり側を搬送対象円盤状物の周縁に沿うように接近させ、前記エンドエフェクタを、非接触状態で下にφ回転させながらリスト部をＹ方向に前進移動しつつＺ方向に上昇させて前記円盤状物の上部周縁に沿うように前記コンテナ奥壁近傍までに挿入し、前記奥側パッドと、手前側パッドと、他の手前側パッドとで前記搬送対象円盤状物の周縁を把持し、前記円盤状物把持装置を前記エンドエフェクタが前記コンテナの天井に当たらない範囲で上方に微小ほぼＺ移動させ、次いでこれを手前側にＹ移動させて円盤状物を搬出する、ことを特徴とする円盤状物の搬送方法である。
【００２３】
請求項１１に使用されるエンドエフェクタの曲がり側は、コンテナの天井と収納されているウエハとの間にウエハの上部周縁に沿って挿入させるため、真の円弧状になっていることが好ましい。
【００２４】
請求項１１では、エンドエフェクタのみをφ回転させたが、リスト部とロボットアームとの間にＸ軸方向の関節を設け、本発明の円盤状物把持装置全体をφ回転させることもできる。この際、φ回転するための駆動源はリスト部内、ロボットアーム内に設けても、前記関節の軸に設けてもよい。
【００２５】
コンテナによっては、搬送時のガタつきを避けるために、前記円盤状物をＺ方向（垂直面）に対し若干傾斜（例えば±２０度以内ならばほぼＺ方向と呼ぶ）に収納されている場合があり、前記エンドエフェクタを前記傾斜に合わせて、傾けて円盤状物を把持し、Ｖ字状溝から斜めに移動（ほぼＺ移動）させ搬出することもできる。
【００２６】
本発明には、前記本発明の円盤状物把持装置を有するロボット搬送機も含む。更に、前述の本発明の縦型把持装置と、従来型の横型把持装置とを1台のロボット搬送機に備えることが好ましい。これは、いわゆるWアーム型ロボット搬送機で、一方のアームに縦型把持装置を、他方のアームに横型把持装置を持つものである。このWアーム型ロボット搬送機では、それぞれの機能を特化させることにより、それぞれの把持装置についてパッドの溝形状、エンドエフェクタの形状と強度など最適の設計をすることができ、故障がなく信頼性の高い円盤状物搬送機を提供することができる。ここでロボット搬送機は、水平多関節型ロボットが好ましいが、垂直多関節型ロボットであってもよい。
【００２７】
本発明は、前述の円盤状物把持装置を有するロボット搬送機と、円盤状物縦置き型前面開閉式コンテナ用ロードポートとを有する円盤状物移載装置をも含む。更に、本発明は、前述のロボット搬送機と、円盤状物縦置き型前面開閉式コンテナ用ロードポートと、を有することを特徴とする、円盤状物移載装置をも含む。更に詳しくは、前述のロボット搬送機と、円盤状物縦置き型前面開閉式コンテナ用ロードポートと、円盤状物横置き型前面開閉式コンテナ用ロードポートと、少なくとも１つの円盤状物を垂直と水平とに回転させることのできる反転機と、を有することを特徴とする、円盤状物移載装置をも含む。ここで、前述のロボット搬送機を収納する円盤状物移載装置は清浄空気をダウンフローするクリーンブースとすることができる。
【００２８】
上記の円盤状物移載装置では、前述のロボット搬送機によって、円盤状物を把持したまま、本発明の円盤状物把持装置と、円盤状物を少なくともウエハ面を９０度回転させることができる反転機との間を、相互に直接把持し替えることを特徴とする、円盤状物の搬送方法をも提供する。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の円盤状物把持装置では、上述の様に、その形状を円盤状物の奥側の周縁に沿う方向に曲がった細長板状エンドエフェクタとし、その曲がっている側の先端の厚み部分に奥側パッドを取り付けたため、従来法の１０〜１５ｍｍに比べ、コンテナ内に縦に収納されるウエハピッチを、コンテナ内のウエハ間にエンドエフェクタを挿入する場合で６〜８ｍｍときわめて小さくすることができた。さらに、エンドエフェクタに回転機構を設けることにより、コンテナ内のウエハ上部にエンドエフェクタを挿入するため、ウエハ間隔をさらに狭く最小２ｍｍ、即ち、ウエハピッチ最小３ｍｍと小さくすることができた。そのためコンテナの幅を小さくすることができ、コンテナ全体の大きさも小さくでき、コンテナ強度も十分維持できる。本発明では、そのため、４５０ｍｍウエハを２５枚収納したコンテナは、その形状を最適に設計することができ、軽くコンパクトとなり、コンテナの輸送においても多数積載することができる。
【００３０】
本発明の縦型搬送装置と従来の横型搬送装置とをそれぞれロボット搬送機１台の左右のアームに持たせることにより、縦置き型コンテテナと横置き型コンテナとの間を反転機を介して移載できるため、ウエハなどの円盤状物移載装置をコンパクトな形で製造することができる。
【００３１】
更に、本発明の縦型把持装置と従来型の横置き型把持装置とを1台のロボット搬送機に備えることによって、それぞれを縦型把持と横型把持とに特化させることにより信頼性と生産性を上げることができたのである。即ち、図１（ｃ）に示すようなＶ字型溝を施したパッドを有する横型把持装置では、前述のようにウエハを水平な台の上に載置する場合、非常に困難であった。この点、横置き専用の把持装置のパッドの溝を、垂直カットと水平カット（ウエハ載置面は、通常１０〜２０度ウエハ中心に向けて下がるよう傾斜させる）部分とから形成させれば、台に接触するか微小下に行き過ぎるように載置制御すればよいため、安価、且つ、歩留まりよく、高生産性のもとに載置動作をさせることが出来たのである。
【実施例】
【００３２】
図５に、縦置き型前面開閉式コンテナ１０内で、本発明の円盤状物把持装置１がウエハ８を把持している状態を示す。ウエハ８は、このコンテナ１０内に設けられた下側ウエハ受け１２の前後に切られた複数のＶ溝に嵌って乗っており、同じくＶ溝が切られた奥側ウエハ立て１１の溝に嵌って垂直に保たれている。
【００３３】
リスト部２に取り付けられた板状のエンドエフェクタ３はウエハの周縁に沿って接触しないように湾曲し、その先端の板状エンドエフェクタの厚み側に固定された奥側パッド４がＡ点でウエハ周縁に接触している。リスト部２には前後可動式の上部手前側パッド５と前後可動式の下部手前側パッド６が備えられ、それぞれＣ点、Ｂ点でウエハ周縁と接触し、ウエハを把持している。ここで、直線ＡＣはウエハ中心Ｏの上側にあり、直線ＡＢはウエハ中心Ｏの下側にある。リスト部２には、ウエハ８を縦型コンテナ１０から抜き出した後、水平にするための回転軸９を設けている。
【００３４】
図６（ａ）は、本発明の円盤状物把持装置１ａの第１の実施例で、曲がっている先端内側の厚み側に奥側パッド４を備えたエンドエフェクタ３がリスト部２に固定され、前後可動式の上部手前側パッド５を備えた取り付け具７と、同じく前後可動式の下部手前側パッド６を備えた取り付け具７とを有するリスト部２とを示している。ここで、２つの取り付け具７は、エアシリンダやスクリュー軸付きモータ、バネなど駆動部を備えており、上部手前側パッド５と下部手前側パッド６を直進運動させてウエハ周縁を押圧してウエハ８を把持する。
【００３５】
図６（ｂ）は、図６（ａ）の２つの可動式手前側パッドを１つに纏めた円弧状パッド３７と、１つの取り付け部７とをリスト部２に設けた把持装置１ｂである。図６（ｃ）は、２つの手前側パッドを１つの逆Ｊ字状の取り付け具７により支持した把持装置１ｃであり、２つの手前側パッドは、双方とも或いはそれらの一方に、バネを介してウエハ周縁を押しつけ把持させるとウエハに把持応力や衝撃によるダメージを緩和させることができる。図６の（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す手前側パッドと取り付け具７は、後述のエンドエフェクタ３のリスト部２への取り付け方が異なる把持装置１ａから把持装置１ｈのいずれとも組み合わせてもよい。
【００３６】
図７（ａ）は、実施例図６のエンドエフェクタ３にその先端厚み部に奥側パッド４が固定され、縦置きされた複数のウエハの間隙に、エンドエフェクタ３がウエハと干渉することなく挿入されることを示している。本実施例では、図７（ｂ）に示すように、エンドエフェクタ３と奥側パッド４がともに３ｍｍの厚みで重なっていないため、また、１ｍｍ厚さのウエハ間に左右各１ｍｍの余裕（搬送精度）で、ウエハ間に挿入することができる。すなわちウエハピッチを最小６ｍｍとすることができたのである。工業的量産においては、コンテナ１０のウエハ受け１２のＶ溝間隔の精度、ロボット搬送精度などの余裕をみて、ウエハ間隙は７〜８ｍｍピッチとすることが好ましい。
【００３７】
図８（ａ）〜（ｅ）は、実施例図６の把持装置１ａで、縦置きされたウエハ８を取りに行く運動を示す動作図である。図８（ａ）は把持装置１ａの動作開始前、図８（ｂ）は複数のウエハ８間隙をエンドエフェクタ３がＹ方向に進行中を示す。図８（ｃ）は、エンドエフェクタ３の先端を、コンテナ１０奥壁（図示せず）とウエハ８の間に停止させ、目的ウエハ８の後ろにＸ移動（◎印）した後、ロボット搬送機１９のアームを微小Ｙ方向（→印）に引き、図８（ｄ）で、ウエハ８に奥側パッド４を接触させ、２つの手前側パッド５，６を押しだすところ、図８（ｅ）は、奥側パッド４と上部手前側パッド５と下部手前側パッド６とでウエハ８を把持したところを示す。その後、把持装置１ａを微小Ｚ方向に上げＹ方向に引いてウエハ８を取り出す（図示せず）。
【００３８】
図９は本発明の他の実施例の一部省略図で、リスト部２内に、エンドエフェクタ３の根元のθ回転機構１６を設けた把持装置１ｄである。図１０（ａ）には、エンドエフェクタ３の曲がり方向が垂直の場合と、図１０（ｂ）には、９０度回転させて水平にした場合とを、垂直においたウエハ８とともに図示している。図９では、θ回転機構１６の駆動源としてモータとギヤを図示したが、エアシリンダ、バネ、或いは、これらの組み合わせ部品を用いてもよい。また、図９の上部手前側パッド５を備えた取り付け具７と下部手前側パッド６を備えた取り付け具７とを有するリスト部２とを示しているが、これら２つの取り付け具７は、エアシリンダやスクリュー軸付きモータ、バネなどのいずれかの駆動部を備えており、上部手前側パッド５と下部手前側パッド６を直進運動させてウエハ周縁を押圧してウエハを把持するものである。
【００３９】
図１１（ａ）〜（ｆ）は、図９のθ回転機構１６を有する把持装置１ｄが、縦置きされたウエハ８を取りに行く運動を示す動作図である。図１１（ａ）は把持装置１ｄの動作開始直後でエンドエフェクタ３は水平に寝かせてある。図１１（ｂ）はウエハ８の上部をエンドエフェクタ３がＹ方向に進行中であるところ、図１１（ｃ）はコンテナ１０の奥壁（図示せず）とウエハ８の間にエンドエフェクタ３の先端を停止させ、目的ウエハ８の上部でこれをθ回転させ、図１１（ｄ）は垂直にした把持装置１ｄをＺ方向に下げてウエハの少し上で停止し、Ｙ方向に微小引いてウエハ８に奥側パッド４を接触させ、図１１（ｅ）上部手前側パッド５と下部手前側パッド６をＹ方向に押し出し、図１１（ｆ）ウエハ８を把持する。その後、微小Ｚ方向に把持装置１ｄを上げてＹ方向に引いてウエハ８を取り出す（図示せず）。エンドエフェクタ３をウエハ８の隙間を通さないことでウエハ間距離をさらに狭めても挿入でき、次いでθ回転してウエハ把持後はウエハ厚み部とエンドエフェクタ３厚み部とを重ねるため、最小ウエハ間隔を取ることが可能となる。ここでは、３ｍｍ厚のエンドエフェクタに３ｍｍ厚の奥側パッド４を固定し、これに設けた３ｍｍ深さのＶ字溝にウエハ８を把持すると奥側パッド３の両側に最少１ｍｍの間隙を設けたところ、ウエハ８の振動、ロボットアームの位置決め精度を十分クリアして、ウエハ８をどちらの隣のウエハに接触することもなく搬出することができた。即ち、ウエハ厚みは１ｍｍであるのでウエハ間隔は２ｍｍ、ウエハピッチは３ｍｍとなる。
【００４０】
図１２は、図５のエンドエフェクタ３に進退機構１５をその根元のリスト部２内に取り付け、これと上部手前側パッド５、下部手前側パッド６とを合わせて３つの可動パッドでウエハ８を把持する他の実施例で把持装置１ｅの一部省略図である。進退機構１５の駆動源は、モータとギヤの組み合わせ、エアシリンダ、スクリュー軸付きモータ、バネなど公知の部品を用いる。ここでは２つの手前側パッド５，６はそれらの取り付け部７をともに可動として、３点とも可動パッドしたものである。尚、上部手前側パッド５と下部手前側パッド６とを、パッド取り付け具７を介してリスト部２に固定（図示せず）し、エンドエフェクタ３の進退機構１５のみでウエハ把持動作をさせてもよい。進退機構１５の駆動源は、モータとギヤの組み合わせ、エアシリンダ、スクリュー軸付きモータ、バネなど公知の部品を用いる。
【００４１】
図１３は、本発明の請求項４の円盤状物把持装置の一実施例の把持装置１ｆである。リスト部２は、その下部でロボットアームと接続され、上から先端下側に奥側パッド４を固定したエンドエフェクタ３を、φ回転機構４１を介して備え、次に上部手前側パッド５を固定したパッド取り付け具７と、下部手前側パッド６を固定したパッド取り付け具７を有している。ここでエンドエフェクタ３の根元外縁には歯形を形成又は歯車が固定され、この歯に噛み合いリスト部２に固定された歯車付きモータ４２が設けられ、φ回転機構４１を形成している。エンドエフェクタ３の曲がり内側はウエハ周縁より若干大きい曲率半径の円弧状をしている。
【００４２】
図１４に、コンテナ１０内に収納されているウエハ８を、図１３の把持装置１ｆでウエハ８を把持し搬出する状態を示す。図１４（ａ）は、コンテナ外でφ回転機構４１を駆動させて奥側パッド４が目的のウエハの頂部より微小高くなる様にエンドエフェクタ３を持ち上げ、把持装置１ｆをリスト部２の下部で取り付けたロボット搬送機１９のアームをＹ方向に伸ばして目的ウエハの周縁に接近させ、奥側パッド４がウエハ頂点の微小上に行くよう、且つ、エンドエフェクタ３がウエハ８の近傍に行くようにコンテナ内に挿入する。次いで図１４（ｂ）の様に、リスト部２をＺ方向に上昇させながらＹ方向に前進する様にロボットアームを動作させながら、前記エンドエフェクタ３の円弧がウエハ周縁に非接触状態で沿うようにφ回転機構４１を下方に駆動してエンドエフェクタ３をコンテナ１０内に挿入し、図１４（ｃ）の様にエンドエフェクタ３の付け根がほぼ水平状態になったらロボットアームとφ回転機構４１を一旦停止し、エンドエフェクタ３を微小Ｙ方向に引いて奥側パッド４をウエハ周縁に接触させる。そして図１４（ｄ）の様に２つの手前側パッド５，６を押しだしてウエハを把持し、リスト部２を微小Ｚ方向に持ち上げた後、手前側Ｙ方向に引いて（図示せず）、ウエハ８をコンテナから搬出する。
【００４３】
図１３の把持装置１ｆでウエハ８をコンテナ１０内に搬入する際は、図１４の逆をたどればよい。即ち、ウエハ８の上部を縦に把持した把持装置１ｆをコンテナ１０の天井近傍で当たらないように挿入しコンテナ１０の奥側ウエハ立て１１の任意のＶ字状溝に嵌め合わせ、微小Ｚ方向に下降させて下側ウエハ立て１２にウエハ８を置き、手前側パッド５，６を解除してウエハ８を開放する。次いで、エンドエフェクタ３がウエハ周縁に非接触で沿うように、φ回転機構４１と、ロボットアームを動作させてリスト部２をＺ方向に下げながらＹ方向に引いてエンドエフェクタ３の先端に固定された奥側パッド４がウエハ８の頂部まで後退した後、Ｙ方向に引いて搬入を終了する。図１３の把持装置１ｆを用いると、図１０の把持装置１ｄの場合と同様、コンテナ内のウエハピッチを最小３ｍｍにまで狭めることができる。
【００４４】
図１５（ａ）は、１つのリスト部２に複数のエンドエフェクタ３を設けた実施例である。通常コンテナに収容するウエハ２５枚を一度に把持することが好ましいが、必要に応じ、例えば５枚ずつ、或いは１０枚ずつ把持するようにエンドエフェクタの数を定めてよい。本図では、上部及び下部手前側パッド５，６は、ウエハ１枚搬送用の図６と同じであり、エンドエフェクタと同数設けている。図１５（ｂ）は、手前側パッド３８、３９を上部と下部の２本とも棒状にしたもので、それぞれは把持するすべてのウエハに接触する。この棒状パッドには、ウエハを固定するために複数のＶ字溝など凹部切り込みを持たせてもよい。また、棒状パッド（３８）（３９）を可動とするために、駆動系を有するパッド取付部７は、ここでは棒状パッド１本につき２か所を記載しているが、設計上必要な任意の位置に任意の数設ける。
【００４５】
次に、図１８（ａ）から（ｄ）に、本発明の把持装置１ａを有するＷアーム型のロボット搬送機１９で縦状に把持するウエハ８を、反転機２３を用いて水平に置き換える実施例を示す。その前に、まず反転機２３には、図１６に示すように、反転機フィンガ２８の先端部に２本のフィンガ２８がなす平面（フィンガ面）から直角方向に突出するように反転機パッドベース板３４が固定され、突出部に反転機パッド３３が２個取り付けられ、その反転機パッド３３にウエハ８が嵌るようになっている。尚、図１６の反転機パッド３３は、Ｖ字状溝が切りこまれているが、上方の土手は切り取って垂直面（紙面と同方向）としてもよい。
【００４６】
図１７に示すように、本発明の把持装置１ａに縦状に把持されているウエハ８を反転機２３で把持するために、水平軸２９を中心に上下回転部３６を４５度持ち上げた後、反転機リスト部３５を回転マーク３０の様に９０度回転させて２つのフィンガ２８がなす面（フィンガ面）を垂直にして、２つの反転機フィンガ２８をウエハ８の直径より微小大きく開いておく。次いで、本発明のロボット搬送機１９がそのアームを動作させて、一方の反転機パッドベース板３４を、その突出側からエンドエフェクタ３とウエハ８との間隙に挿入させその反転機パッド３３のＶ溝と、他方の反転機フィンガ２８の反転機パッド３３のＶ溝がウエハ８周縁の位置に来ていることを確認して、２つの反転機フィンガ２８を閉じウエハ８を把持する。
【００４７】
そして把持装置１ａは、図１７及び図１８（ａ）に示すように、上部及び下部手前側パッド５，６を引いて完全に反転機２３にウエハ８の荷重を写した後、本発明の把持装置１ａをＹ方向に微小前進させてからＸ方向に微小移動させ、図１８（ｂ）のようにＹ方向に引く。次いで、反転機２３上のウエハ８を９０度回転させ、図１８（ｃ）に示すように、水平軸２９を中心に４５度下に回転させて、図１８（ｄ）のように把持式アライナ２４のアライナフィンガ３１の上に置く。ここで図示した把持式アライナ２４に変えて単なるウエハ置き台（図示せず）においてもよい。また、上記の手順を逆にたどれば、水平に置かれたウエハ８を縦状に本発明の把持装置１ａに把持させることができる。
【００４８】
図１９に、本発明の円盤状物移載装置１７を示し、本図Ａ−Ａ´面での切断図を図２０に示す。これらの図に示す実施例では、ファンフィルタユニット２０からクリーンブース２１内にクリーンエアを吹き込み、内部に据え付けられＸ軸スライダ２２上を移動できるロボット搬送機１９が動作しても塵埃は下部から床面に沿って、又はパンチングプレート床の下に排出する。また、ロボット搬送機１９を挟んで、クリーンブース２１の片側にウエハ縦置き型コンテナ１０を載置したロードポート２７と、他の片側に横置き型ＦＯＵＰ１８を載置したロードポート２７が取り付けられ、更にクリーンブース２１内の隅に、把持式アライナ２４と反転機２３とが組み込まれている。縦置き型前面開閉式コンテナ１０に収納されているウエハ８は、本発明のロボット搬送機１９の把持装置１によって把持されてコンテナ１０から引き出され、ロボット搬送機１９は９０度左に旋回してＸ軸上を移動して反転機２３前で停止する。反転機２３は、水平状に置かれている反転機フィンガ２８を水平回転軸２９を中心に４５度起こし、さらに反転機フィンガ２８面を９０度回転させ、ウエハ８の受取体制を整える。次に、図１６で説明した手順によって、把持式アライナ２４のアライナフィンガ３１上にウエハ８を載置し、前記把持式アライナ２４のファンが３１を回転させてノッチ位置を検出して位置決めして停止する。このウエハをアライナフィンガ３１から、本発明のロボット搬送機１９のもう一方のアームに設けられた水平型把持装置４０が把持して、定められたＦＯＵＰ１８に収納する。
【００４９】
図２１は、縦置き型コンテナ１０から処理装置２５に本発明のロボット搬送機１９によりウエハ８を移載するシステムの実施例である。図１７と同様なファンフィルタユニット２０を有するクリーンブース２１内に、ここには図示していないが、反転機２３、水平置き台又は把持式アライナ２４を備えており、縦のウエハ８を一方の縦型把持装置１で取り出した後、水平に置き、他方の水平把持型装置４０で処理装置２５に挿入載置する。処理後は、ウエハ８を水平把持型装置４０で水平置き台又は把持式アライナ２４、反転機２３を経て本発明の縦型把持装置１により、同じ又は別の縦置き型コンテナ１０に収納する。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】従来の水平型ウエハ把持装置
【図２】従来のウエハ横置き型コンテナ
【図３】従来のウエハ横置き型コンテナを備えたウエハ移載装置・処理装置システム例
【図４】本発明で使用する縦置き型コンテナ
【図５】コンテナ内の本発明の円盤状物把持装置
【図６】本発明の円盤状物把持装置の実施例
【図７】ウエハ間に挿入できるエンドエフェクタ先端
【図８】図６の本発明の円盤状物把持装置によるウエハ把持方法を示す図
【図９】本発明の円盤状物把持装置の他の実施例
【図１０】図９の円盤状物把持装置のエンドエフェクタの回転を示す図
【図１１】図９の本発明の円盤状物把持装置によるウエハ把持方法を示す図
【図１２】本発明の円盤状物把持装置の他の実施例
【図１３】本発明の円盤状物把持装置の他の実施例
【図１４】図１３の把持装置がウエハを把持する方法を示す図
【図１５】本発明の円盤状物把持装置の他の実施例
【図１６】反転機のウエハ把持方法を示す図
【図１７】本発明の円盤状物把持装置と反転機とのウエハ受渡しを示す図
【図１８】本発明の円盤状物把持装置からアライナへウエハ搬送を示す図
【図１９】本発明のウエハ移載装置の平面図
【図２０】本発明のウエハ移載装置の断面図
【図２１】本発明のロボット搬送機を備えたウエハ処理装置システム例
【符号の説明】
【００５１】
１      縦置き円盤状物把持装置
２      リスト部
３      エンドエフェクタ
４      奥側パッド
５      上部手前側パッド
６      下部手前側パッド
７      パッド取り付け具
８      ウエハ
９      リスト部回転軸
１０    縦置き型前面開閉式コンテナ
１１    奥側ウエハ立て
１２    下側ウエハ受け
１３    蓋
１４    ウエハ抑え
１５  進退機構
１６  θ回転機構
１７  円盤状物移載装置
１８  前面開閉型横置き型コンテナ（ＦＯＵＰ）
１９  ロボット搬送機
２０  ファンフィルタユニット
２１  クリーンブース
２２  Ｘ軸スライダ
２３  反転機
２４  把持式アライナ
２５  処理装置
２６  従来のロボット搬送機
２７  ロードポート
２８  反転機フィンガ
２９  水平軸
３０  ウエハ反転軸
３１  アライナフィンガ
３２  アライナ回転軸
３３  反転機パッド
３４  反転機パッドベース板
３５  反転機リスト部
３６  上下回転部
３７  円弧状パッド
３８  上部棒状パッド
３９  下部棒状パッド
４０  横置きウエハ把持装置
４１  φ回転機構
４２  歯車付きモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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