(57)【要約】【課題】光学式欠陥検査に適した配線パターンを自動生成できるようにする。【解決手段】配線パターンを自動生成に必要な情報を取得する情報取得手段４ａと、前記情報取得手段４ａが取得した各情報を基に、各パッド間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出する補正量算出手段４ｃと、一方のパッド群における各パッドからは基準方向に対して同角で傾斜する配線が延び、他方のパッド群における各パッドからは前記補正量算出手段が算出した補正量の分だけ前記基準方向との直交方向に配線が延びるように、各パッド間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段４ｄと、を備えて配線パターン生成装置を構成する。【選択図】図１
2010033405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドについての位置情報、当該一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドについての位置情報、および、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段が取得した各情報を基に、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出する補正量算出手段と、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の一方における各パッドからは前記一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜する配線が延び、前記第一パッド群または前記第二パッド群の他方における各パッドからは前記補正量算出手段が算出した補正量の分だけ前記一構成辺に沿った方向との直交方向に配線が延びるように、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段と
を備える配線パターン生成装置。
【請求項２】
前記情報取得手段が取得した各情報を基に、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間で、前記一構成辺に沿った方向における位置が同一のものがあるか否かを判断する位置判断手段を備えるとともに、
前記補正量算出手段は、前記位置判断手段が同一位置であると判断したパッドを前記補正量の算出の対象外とし、
前記配線処理手段は、前記位置判断手段が同一位置であると判断したパッド間について、前記傾斜する配線が介在することなく、前記一構成辺に沿った方向との直交方向に延びる配線のみが存在するように、当該パッド間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する
請求項１記載の配線パターン生成装置。
【請求項３】
コンピュータを、
矩形状の配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドについての位置情報、当該一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドについての位置情報、および、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段が取得した各情報を基に、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出する補正量算出手段と、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の一方における各パッドからは前記一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜する配線が延び、前記第一パッド群または前記第二パッド群の他方における各パッドからは前記補正量算出手段が算出した補正量の分だけ前記一構成辺に沿った方向との直交方向に配線が延びるように、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段
として機能させる配線パターン生成プログラム。
【請求項４】
半導体装置を構成する配線の生成にあたり、矩形状の配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドについての位置情報、当該一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドについての位置情報、および、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得工程と、
前記情報取得工程で取得した各情報を基に、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出する補正量算出工程と、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の一方における各パッドからは前記一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜する配線を延ばし、前記第一パッド群または前記第二パッド群の他方における各パッドからは前記補正量算出工程で算出した補正量の分だけ前記一構成辺に沿った方向との直交方向に配線を延ばして、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理工程と
を含む半導体装置の製造方法。
【請求項５】
矩形状の配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドと当該一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドとの間を導通させる配線をパターニング形成するためのマスクパターンを備え、
前記マスクパターンは、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の一方における各パッドから前記一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜した状態で延びる配線部分を形成するための傾斜配線形成部と、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の他方における各パッドから、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を全て同角の配線で接続するために算出された補正量の分だけ、前記一構成辺に沿った方向との直交方向に延びる配線を形成するための補正量配線形成部と
を有する露光用マスク。
【請求項６】
画像表示領域と、
当該画像表示領域に周囲に配された周辺領域とを備え、
前記周辺領域には、
矩形状の配線領域と、
前記配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドと、
前記一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドと、
前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を導通させる配線とが設けられ、
さらに、前記配線は、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の一方における各パッドから前記一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜した状態で延びる配線部分である傾斜配線部と、
前記第一パッド群または前記第二パッド群の他方における各パッドから、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を全て同角の配線で接続するために算出された補正量の分だけ、前記一構成辺に沿った方向との直交方向に延びる配線部分である補正量配線部と
を有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の配線パターンを自動生成する配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、半導体装置の製造方法、および、当該配線パターンを得るための露光用マスク、並びに、当該配線パターンを有した画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体装置の配線パターンについては、コンピュータ装置を用いて自動生成し得ることが知られている（例えば、特許文献１参照。）。配線パターンの自動生成とは、導通させるべきパッド（接続端子）の位置を与えると、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターンを、コンピュータ装置が自動的に決定することをいう。
自動生成される配線パターンとしては、例えば図８に示すように、平面的な配線領域内における垂直方向または水平方向に延びる配線のみを用いてパターン構成されたものが挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】特開平０１−１１４０５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、現実に形成された配線については、光学式欠陥検査を行うことが考えられる。光学式欠陥検査は、形成された配線のパターンを光学的に撮像し、その撮像結果を予め設定されているパターン画像と比較することで、当該配線に欠陥が生じているか否かを検査するものである。
このような光学式欠陥検査にあたっては、パターン撮像結果を所定のパターン画像と比較して欠陥の有無を判断することから、同形状のパターン部分が限りなく連続していることが望ましい。
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術によって自動生成される配線パターンは、必ずしも光学式欠陥検査に適しているとは言えない。垂直方向または水平方向に延びる配線のみを用いてパターン構成されていると、同形状のパターン部分が連続することにはならないからである。そのため、光学式欠陥検査にあたり、様々な形状のパターン画像を予め用意する必要があったり、当該欠陥検査のための処理負荷が過大なものとなったりするおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明は、光学式欠陥検査に適した配線パターンを自動生成することのできる配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、および、半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、当該配線パターンを得るための露光用マスク、および、当該配線パターンを有した画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために案出された配線パターン生成装置で、矩形状の配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドについての位置情報、当該一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドについての位置情報、および、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間の接続対応関係を特定する識別子情報を取得する情報取得手段と、前記情報取得手段が取得した各情報を基に、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出する補正量算出手段と、前記第一パッド群または前記第二パッド群の一方における各パッドからは前記一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜する配線が延び、前記第一パッド群または前記第二パッド群の他方における各パッドからは前記補正量算出手段が算出した補正量の分だけ前記一構成辺に沿った方向との直交方向に配線が延びるように、前記第一パッド群における各パッドと前記第二パッド群における各パッドとの間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する配線処理手段とを備えるものである。
【０００８】
上記構成の配線パターン生成装置では、配線処理手段が各パッドとの間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するのにあたり、補正量算出手段が算出した補正量の分だけ、配線領域の一構成辺に沿った方向との直交方向に配線が延びるようにする。これにより、当該配線と対向する構成辺の側については、配線領域の一構成辺に沿った方向に対して同角で傾斜する配線が延びることになる。すなわち、第一パッド群における各パッドと第二パッド群における各パッドとの間は、全て同角で傾斜する配線部分を含んで接続されることになる。したがって、当該配線部分のみに着目すると、同形状のパターン部分が連続することになる。また、補正量算出手段が算出した補正量の分だけ直交方向に延びる配線部分についても同様であり、当該配線部分のみに着目すると、同形状のパターン部分が連続することになる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターンにおいて同形状のパターン部分が連続することになるので、その配線パターンが自動生成されたものであっても、当該配線パターンが光学式欠陥検査に適したものとなる。したがって、各パッド間を結ぶ配線について、例えば異物等でショートした箇所があっても、これを光学式欠陥検査によって少ない処理負荷で的確に検知し得るようになり、その結果として当該配線に対する信頼性向上が図れるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面に基づき本発明に係る配線パターン生成装置、配線パターン生成プログラム、半導体装置の製造方法、露光用マスク、および、画像表示装置について説明する。
【００１１】
〔配線パターン生成装置の概略構成〕
先ず、配線パターン生成装置の概略構成を説明する。
図１は、本発明に係る配線パターン生成装置の概略構成例を示すブロック図である。
図例の配線パターン生成装置は、ディスプレイパネルまたはＣＲＴ（Cathode Ray Tube）からなる表示部１と、キーボードやマウス等からなる入力部２と、ＨＤＤ（Hard disk drive）等の記憶装置からなるデータ格納部３と、コンピュータ装置としての機能を有する自動配線処理部４と、を備えている。そして、入力部２からの入力情報またはデータ格納部３での記憶情報を基に、自動配線処理部４が配線パターンの自動生成を行うように構成されている。
【００１２】
配線パターンの自動生成を行うために、自動配線処理部４は、情報取得手段４ａ、位置判断手段４ｂ、補正量算出手段４ｃおよび配線処理手段４ｄとしての機能を有している。
情報取得手段４ａは、入力部２またはデータ格納部３から、配線パターンの自動生成に必要となる情報を取得するものである。
位置判断手段４ｂは、情報取得手段４ａが取得した各情報を基に、パッド位置が後述する所定関係にあるか否かを判断し、当該所定関係にあるパッド同士を抽出するものである。
補正量算出手段４ｃは、位置判断手段４ｂが所定関係にあると判断したパッドを除き、情報取得手段４ａでの取得情報によって特定される各パッドについて、接続対応関係にある各パッド間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出するものである。
配線処理手段４ｄは、位置判断手段４ｂでの判断結果および補正量算出手段４ｃでの補正量算出結果を基にしつつ、接続対応関係にある各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターンを、後述する態様となるように自動的に決定するものである。
【００１３】
これらの各手段４ａ〜４ｄは、自動配線処理部４におけるコンピュータ装置としての機能が、所定プログラムを実行することによって実現されるものとする。つまり、上述した各手段４ａ〜４ｄとしての機能は、コンピュータ装置にインストールされた所定プログラム（配線パターン生成装置）によって実現される。なお、当該所定プログラムは、コンピュータ装置へのインストールに先立ち、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に格納されて提供されるものであっても、または通信回線を介して外部から配信されるものであってもよい。
【００１４】
〔配線パターンの自動生成に必要な情報〕
続いて、情報取得手段４ａでの取得情報、すなわち配線パターンの自動生成に必要となる情報について説明する。
配線パターンの自動生成に必要となる情報としては、配線を這わす領域（以下、単に「配線領域」という。）に関する情報と、配線によって導通させるべきパッドに関する情報と、配線のレイアウトパターンを決定する際の条件に関する情報と、が挙げられる。
【００１５】
配線領域に関する情報は、当該配線領域の位置、大きさ、範囲等を特定する情報である。なお、配線領域は、その設定の容易さ等を考慮して、矩形状に設定されるものとする。
図２は、配線領域の一具体例を示す説明図である。
図例は、液晶表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等といった、いわゆるフラットパネルディスプレイにおいて、設定される配線領域１１を示している。すなわち、図中に破線で示す配線領域１１は、画像表示領域１２における電源供給線や信号線等に繋がるパッド（ただし不図示）と、電源供給ＴＣＰ（Tape Carrier Package）１３や信号供給ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）１４等を接続すべく画像表示領域１２の周囲に配された周辺領域１５に設けられたパッド（ただし不図示）との間について、これらを導通させるための配線を這わす領域として設定されるものである。
【００１６】
パッドに関する情報としては、当該パッドについての位置情報と、パッド間の接続対応関係を特定する識別子情報と、が挙げられる。
図３は、パッド配置の一具体例を示す説明図である。
図例のように、配線によって導通させるべきパッド１６ａ，１６ｂは、配線領域１１の一構成辺とこれに対向する他の構成辺とのそれぞれに沿うように配されている。したがって、パッドについての位置情報には、配線領域１１の一構成辺に沿って配された第一パッド群１７ａを構成する各パッド１６ａについての位置情報と、当該一構成辺と対向する他の構成辺に沿って配された第二パッド群１７ｂを構成する各パッド１６ｂについての位置情報とがある。各位置情報としては、座標値情報を用いることが考えられるが、ある１点を特定するものであっても、あるいは領域範囲を特定するものであってもよい。
各パッド１６ａ，１６ｂが並ぶ方向は、第一パッド群１７ａと第二パッド群１７ｂとのいずれについても全く同様に、配線領域１１の一構成辺に沿った方向（以下、この方向を「基準方向」という。）である。ただし、この基準方向は、図３（ａ）のように図中垂直方向になる場合も、また図３（ｂ）のように図中水平方向になる場合もあり得る。
識別子情報としては、図例のような「1Pin」「2Pin」…といったものが挙げられるが、接続対応関係を特定可能であれば、その形式が特に限定されるものではない。
なお、ここでいう「パッド」は、配線が接続される端子部分を総称するものであり、配線が接続されるものであればピンやターミナル等も含まれるものとする。
【００１７】
図４は、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一具体例を示す説明図である。
図例のように、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一つとしては、配線領域１１内での配線の最低突き出し量（図中Ａ，Ｂ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、生成後の配線が外部（例えば、他のパッド。）との間で電気的短絡を発生させてしまうのを防止するために、予め設定されるものである。
また、レイアウトパターンの決定条件に関する情報の他の一つとしては、配線の線幅（図中Ｃ参照。）を特定する情報が挙げられる。これは、形成後の配線が太すぎて他の配線との間で電気的短絡を発生させてしまったり、あるいは解像限界を超える細さで適切な形成が行えなくなったりするのを防止するために、予め設定されるものである。
【００１８】
〔配線パターンの自動生成の基本的な手順〕
次に、自動配線処理部４が配線パターンの自動生成を行う場合の処理手順の概要を説明する。
図５は、本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作例を示すフローチャートである。
【００１９】
自動配線処理部４では、配線パターンの自動生成にあたり、先ず、情報取得手段４ａが情報取得工程を実行して、入力部２またはデータ格納部３からの情報取得を行う（ステップ１０１、以下ステップを「Ｓ」と略す。）。取得する情報は、既に説明した通りである。ただし、情報取得手段４ａは、上述した取得情報に加えて、他の情報を取得するものであってもよい。
【００２０】
情報取得手段４ａが各種情報を取得した後は、位置判断手段４ｂが位置判断工程を実行して、所定関係に該当する２点接続パターンがあるか否かを判断する（Ｓ１０２）。具体的には、情報取得手段４ａが取得した各情報を基に、第一パッド群１７ａにおける各パッド１６ａと第二パッド群１７ｂにおける各パッド１６ｂとの間で、基準方向における位置（座標値）が同一のものがあるか否かを判断する。そして、当該基準方向の位置が同一であるパッド１６ａ，１６ｂについては、これらが２点接続パターンを構成するものとして認識する。
【００２１】
この判断の結果、２点接続パターンを構成するものがあれば、配線処理手段４ｄは、他のパッド間とは別に、当該２点接続パターンを構成するパッド１６ａ，１６ｂ間のみについて、第一配線処理工程を実行する（Ｓ１０３）。すなわち、配線処理手段４ｄは、２点接続パターンを構成するパッド１６ａ，１６ｂ間を直線的に結び、基準方向との直交方向に延びる配線のみが存在するように、当該パッド１６ａ，１６ｂ間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する。
【００２２】
その後は、２点接続パターンを構成するものがあれば、当該２点接続パターンを構成するパッド間を除く他のパッド１６ａ，１６ｂ間について、また２点接続パターンを構成するものがなければ、情報取得手段４ａでの取得情報によって特定される各パッド１６ａ，１６ｂ間について、補正量算出手段４ｃが補正量算出工程を実行して、当該パッド１６ａ，１６ｂ間における補正量を算出する（Ｓ１０４）。具体的には、詳細を後述するように、予め設定されている演算手順に従いつつ、２点接続パターンを構成するパッド間を除き、接続対応関係にある各パッド１６ａ，１６ｂ間を全て同角の配線で接続するために必要となる補正量を算出する。
【００２３】
そして、補正量算出手段４ｃが補正量を算出したら、配線処理手段４ｄが第二配線処理工程を実行して、接続対応関係にある各パッド１６ａ，１６ｂ間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定する（Ｓ１０５）。ただし、この第二配線処理工程では、補正量算出手段４ｃでの補正量の算出結果を反映させつつ、配線処理手段４ｄが当該レイアウトパターンの決定を行う。具体的には、第一パッド群１７ａまたは第二パッド群１７ｂの一方における各パッド１６ａ，１６ｂからは、基準方向に対して同角で傾斜する配線を延ばす。その一方で、第一パッド群１７ａまたは第二パッド群１７ｂの他方における各パッド１６ａ，１６ｂからは、補正量算出手段４ｃが算出した補正量の分だけ、基準方向との直交方向に配線を延ばす。このようにして、配線処理手段４ｄは、第二配線処理工程において、各パッド１６ａ，１６ｂ間を導通させる配線のレイアウトパターンを決定するのである。
【００２４】
〔配線パターンの自動生成の具体例〕
ここで、上述した一連の配線パターンの自動生成手順について、具体例を挙げてさらに詳しく説明する。
図６は、配線パターンの自動生成の一具体例を示す説明図である。
ここでは、図６（ａ）に示す配線領域１１および各パッド１６ａ，１６ｂについて、配線パターンの自動生成を行う場合を例に挙げる。
【００２５】
配線パターンの自動生成にあたっては、先ず、図６（ｂ）に示すように、各パッドの配置位置が配線領域のどの構成辺に接しているかに応じて、当該各パッドを第一パッド群１７ａと第二パッド群１７ｂとにグループ分けする。
【００２６】
グループ分けの後は、さらに、第一パッド群１７ａにおける各パッドと第二パッド群１７ｂにおける各パッドとの間で、基準方向（図中水平方向）における位置（座標値）が同一のものがあるか否かを判断する。そして、同一位置のものがあれば、図６（ｃ）に示すように、同一位置で２点接続パターン２１を構成するもの、当該２点接続パターン２１よりも左側に位置する第一パッド群２２ａに属するもの、同じく左側に位置する第二パッド群２２ｂに属するもの、当該２点接続パターン２１よりも右側に位置する第一パッド群２３ａに属するもの、同じく右側に位置する第二パッド群２３ｂに属するものにグループ分けを行う。２点接続パターン２１を挟んで左右にグループ分けをするのは、後述する補正量算出を行う際に、同一グループについては同一の演算アルゴリズムを適用可能にするためである。
【００２７】
その後は、２点接続パターン２１を構成する各パッドについて、図６（ｄ）に示すように、これらを直線的に結び、基準方向との直交方向に延びる配線２４のみが存在するように、当該パッド間を導通させる配線パターンを決定する。
【００２８】
また、２点接続パターン２１を除く他のパッド間については、当該２点接続パターン２１よりも左側に位置するもの、または右側に位置するもののいずれかに着目し、第一パッド群２２ａ，２３ａにおける各パッドと第二パッド群２２ｂ，２３ｂにおける各パッドとの間の位置関係を認識する。具体的には、図６（ｄ）に示すように、２点接続パターンよりも左側に位置するものに着目した場合であれば、第一パッド群２２ａと第二パッド群２２ｂとでどちらのほうがパッドの配置ピッチが広いかを認識する。
これは、各パッド間を全て同角の配線で接続するための補正量反映側を特定するためである。さらに詳しくは、後述する補正量の算出結果を反映させる側、すなわち当該補正量の分だけ基準方向との直交方向に配線を延ばす側を特定するためである。
例えば、第一パッド群２２ａにおける各パッドと第二パッド群２２ｂにおける各パッドとの配置ピッチが互いに異なる場合には、当該配置ピッチの狭いほうを、補正量反映側とする。ただし、配置ピッチが同じである場合には、全てのパッド間に関して補正量の算出結果が「０」となるので、どちらを補正量反映側とするか特定しなくても構わない。
【００２９】
補正量反映側を特定したら、その後は、接続対応関係にあるパッド間で、基準方向における位置（座標値）の差が最も大きいものを抽出する。そして、図６（ｅ）に示すように、基準方向における位置（座標値）の差が最も大きいパッド間（図中において最も左側に位置するパッド間）を、配線の最低突き出し量（図４におけるＡ，Ｂ参照。）を考慮しつつ、直線的に結ぶ。これにより、当該パッド間は、配線の最低突き出し量の分を除き、基準方向に対して傾斜角を有した直線状の配線２５によって接続されることになる。この配線２５の傾斜角が、各パッド間を全て同角の配線で接続するための基準角度となる。また、当該パッド間が基準となるため、当該パッド間についての補正量は不要である。すなわち、当該パッド間についての補正量は「０」に相当することになる。
【００３０】
基準角度を特定したら、その後は、当該基準角度を導き出す基になった配線２５によって接続されるパッドの隣に位置するパッド間に着目する。そして、当該パッド間について、図６（ｅ）に示すように、その隣の配線２５と同角（すなわち、基準角度。）で傾斜する配線で接続するために必要となる補正量の算出を行う。具体的には、当該パッド間で、配置ピッチの広いほうのパッドから、配線の最低突き出し量を考慮しつつ、その隣の配線２５と同じＹ座標位置から同角の配線を延ばした場合に、配置ピッチの狭いほうのパッドから基準方向との直交方向に延びる配線長さを、同角の配線で接続するための補正量として算出する。
【００３１】
補正量の算出は、図６（ｆ）に示すような幾何的な演算処理を用いて行えばよい。すなわち、基準角度となる配線２５の始点および終点のＸ，Ｙ座標値と、当該配線２５によって接続される各パッドとその隣に位置する着目パッドとのパッド間距離（ピッチ周期）が明らかになれば、これらの値を用いた幾何的な演算処理（例えば、図中に示す相似三角形を利用した幾何演算。）を行うことで、図中に示す補正量を算出することが可能になる。
【００３２】
このような補正量算出を経ることで、配線２５によって接続される各パッドの隣に位置する着目パッドの間については、基準角度で傾斜する配線と算出された補正量の分だけ基準方向との直交方向に延びる配線との組み合わせによって接続されることになる。つまり、配置ピッチの広いほうのパッドからは、基準角度で傾斜する配線が延びる。一方、配置ピッチの狭いほうのパッドからは、算出された補正量の分だけ、基準方向と直交する配線が延びる。そして、これらの配線が交差して組み合わさることで、着目したパッド間が互い接続されるのである。
【００３３】
そして、このような処理を、２点接続パターンを除く他のパッド間のそれぞれについて、全て終了するまで繰り返し行う。これにより、２点接続パターンを除く他の全てのパッド間について、それぞれの間を導通させる配線パターンが決定されることになる。
【００３４】
なお、上述した一連の配線パターンの自動生成手順においては、与えられた条件では上述した幾何的な演算処理が成立せずに補正量算出が行えない、といったことも起こり得る。その場合には、補正量算出が行えないことが判明した時点で、その旨のアラーム出力を表示部１等で行い、その後の対応処理（例えば、設定条件の変更。）を配線パターン生成装置の操作者に委ねるようにすることが考えられる。
【００３５】
〔生成される配線パターンの具体例〕
図７は、以上のような一連の自動生成手順を経て得られる配線パターンの一具体例を示す説明図である。
図例の配線パターン（すなわち、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターン。）では、基準角度を導き出す基になったパッド間を除く他のパッド間において、配置ピッチが狭いほうのパッド群から、補正量算出手段４ｃが算出した補正量の分だけ、基準方向との直交方向に配線が延びている。これにより、基準角度を導き出す基になったパッド間を含む全てのパッド間において、配置ピッチが広いほうのパッド群からは、基準角度で傾斜する配線が延びることになる。すなわち、全てのパッド間が、全て同角で傾斜する配線部分（例えば、図中Ｄ部参照。）を含んで接続されることになる。したがって、当該配線部分のみに着目すると、同形状のパターン部分が連続することになる。また、補正量の分だけ直交方向に延びる配線部分（例えば、図中Ｅ部参照。）についても同様であり、当該配線部分のみに着目すると、同形状のパターン部分が連続することになる。
【００３６】
以上のように、本実施形態で説明した自動生成手順によれば、各パッド間を結ぶ配線の平面的なレイアウトパターンにおいて、同形状のパターン部分が連続することになる。したがって、その配線パターンが自動生成されたものであっても、当該配線パターンが光学式欠陥検査に適したものとなる。つまり、各パッド間を結ぶ配線について、例えば異物等でショートした箇所があっても、これを光学式欠陥検査によって少ない処理負荷で的確に検知し得るようになる。その結果として、当該配線に対する信頼性向上も図れるようになる。
【００３７】
しかも、同形状のパターン部分を連続させるために算出した補正量については、配置ピッチの狭い側におけるパッド群に対して反映させるようになっている。したがって、全て同角で傾斜する配線部分については、配置ピッチの広い側に補正量を反映させる場合に比べて、その配線の間隔を十分に確保し得るようになる。
【００３８】
また、本実施形態で説明したように、２点接続パターンの存在有無についての判断を行うようにすれば、当該判断を行わない場合に比べて、配線パターンの自動生成を行う際の処理負荷軽減が図れるようになる。これは、２点接続パターンが存在する場合に、当該２点接続パターンを構成するパッド間については、傾斜する配線が介在することなく基準方向との直交方向に延びる配線のみが存在するように、当該パッド間の配線パターンを決定すればよいからである。つまり、当該パッド間については、補正量の算出が不要であることから、予め補正量算出の対象外とすることで、その分の処理負荷軽減が実現可能となる。
【００３９】
〔半導体装置の製造方法への適用〕
以上のような一連の配線パターンの自動生成手順は、半導体装置の製造方法に適用することが考えられる。すなわち、半導体装置の製造過程において、上述した一連の自動生成手順を経て配線パターンを決定した後、その決定した配線パターンによる配線をパターニング形成するためのマスクパターンを備えた露光用マスクを作成する。そして、その作成した露光用マスクを用いてリソグラフィ工程を実行し、これにより基板上への配線の形成を行うのである。
【００４０】
このときに作成する露光用マスクは、半導体基板上に設定された矩形状の配線領域に対し、その配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドと、当該一構成辺と対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドとの間を、互いに導通させる配線をパターニング形成するためのものである。すなわち、当該配線をパターニング形成するためのマスクパターンを備えて構成されるものである。ただし、パターニング形成すべき配線は、上述した一連の自動生成手順を経て得られたものである。したがって、マスクパターンは、第一パッド群または第二パッド群の一方における各パッドから基準方向に対して同角で傾斜した状態で延びる配線部分を形成するための傾斜配線形成部と、第一パッド群または第二パッド群の他方における各パッドから補正量の分だけ基準方向との直交方向に延びる配線を形成するための補正量配線形成部と、を有したものとなる。
なお、マスクパターン以外については、公知技術を利用して実現すればよいため、ここではその説明を省略する。また、このような露光用マスクを用いて行うリソグラフィ工程についても、公知技術を利用して行えばよいため、ここではその説明を省略する。
【００４１】
半導体装置は、半導体製造プロセスを経て形成され、かつ、基板上への配線の形成を必要とするものであれば、特に限定されることはなく、様々なものへの適用が考えられる。
その一具体例としては、例えば、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等といった、フラットパネルディスプレイと呼ばれる画像表示装置が挙げられる。
画像表示装置は、通常、画像表示領域と、当該画像表示領域に周囲に配された周辺領域と、を備えて構成されている。そして、周辺領域には、矩形状の配線領域の一構成辺に沿って配された第一パッド群を構成する各パッドと、これと対向する構成辺に沿って配された第二パッド群を構成する各パッドと、これらの各パッド間を導通させる配線と、が設けられるようになっている。この配線の平面的なレイアウトパターンを決定するにあたり、上述した一連の配線パターンの自動生成手順を適用することで、その画像表示装置における配線は、第一パッド群または第二パッド群の一方における各パッドから基準方向に対して同角で傾斜した状態で延びる配線部分である傾斜配線部と、第一パッド群または第二パッド群の他方における各パッドから補正量の分だけ基準方向との直交方向に延びる配線部分である補正量配線部と、を有したものとなる。
【００４２】
ところで、有機ＥＬ表示装置等に代表される画像表示装置は、周辺領域上に設定された限られた配線領域内に、多数本（例えば、１０００本以上。）の配線が形成されるものが一般的である。そのため、画像表示装置において必要とされる配線形状は、光学式欠陥検査が可能な配線パターンによるものであると言える。
これに対して、本実施形態で説明した構成の画像表示装置では、配線パターンが光学式欠陥検査に適したものとなっている。したがって、当該配線パターンによる配線について、例えば異物等でショートした箇所があっても、これを光学式欠陥検査によって少ない処理負荷で的確に検知し得るので、その結果として当該配線に対する信頼性向上が図れ、これを通じて画像表示装置の品質向上も図れるようになる。
【００４３】
なお、上述した実施形態では、本発明の好適な実施具体例を説明したが、本発明はその内容に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る配線パターン生成装置の概略構成例を示すブロック図である。
【図２】配線領域の一具体例を示す説明図である。
【図３】パッド配置の一具体例を示す説明図である。
【図４】レイアウトパターンの決定条件に関する情報の一具体例を示す説明図である。
【図５】本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作例を示すフローチャートである。
【図６】本発明に係る配線パターン生成装置における配線パターンの自動生成の一具体例を示す説明図である。
【図７】本発明に係る配線パターン生成装置における処理動作を経て得られる配線パターンの一具体例を示す説明図である。
【図８】従来技術により得られる配線パターンの一具体例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
４…自動配線処理部、４ａ…情報取得手段、４ｂ…位置判断手段、４ｃ…補正量算出手段、４ｄ…配線処理手段、１１…配線領域、１２…画像表示領域、１５…周辺領域、１６ａ，１６ｂ…パッド、１７ａ，２２ａ，２３ａ…第一パッド群、１７ｂ，２２ｂ，２３ｂ…第二パッド群、２１…２点接続パターン、２４，２５…配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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