(57)【要約】【課題】パッケージングされた半導体の検査装置、特にテーピング機能を具備するような装置による電気特性検査におけるウェイトタイムを無くすことで装置のスループットを向上させる【解決手段】半導体デバイスを供給するローダ部１１と排出するアンローダ部１２、コレット４１と、コレット４１と同期して移動可能な電極を有したソケット２２と、テスタに接続された独立して移動可能な外側コンタクタ３２ａ、内側コンタクタ３２ｂ、を備えた半導体検査装置とする。【選択図】図１
2010190783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスの電気特性を検査する装置であって、前記半導体デバイスを供給するローダ部と、前記半導体デバイスを排出するアンローダ部と、前記半導体デバイスを検査する検査部とから構成され、前記検査部は反時計回りに回転するロータと、前記ロータの外周に設けられ前記半導体デバイスを着脱可能な保持部と、前記保持部と同期して移動可能なソケット部と、テスタに接続され独立して移動可能な複数のコンタクタとを備えたことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
前記複数のコンタクタは、前記ソケット部に接触可能な同心円上に位置する外側コンタクタと内側コンタクタからなり、前記外側コンタクタは外側レール上の外側スライダによって支持され、前記内側コンタクタは内側レール上の内側スライダによって支持されており、前記外側レールと前記内側レールが前記ロータの回転中心と成す角度は前記外側コンタクタあるいは前記内側コンタクタが前記ロータの回転中心と成す角度の３倍以上であることを特徴とする請求項１記載の半導体検査装置。
【請求項３】
前記外側コンタクタまたは前記内側コンタクタ上の前記半導体デバイスは一括同時測定されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体検査装置。
【請求項４】
前記半導体検査装置は、さらに外観検査機能およびテーピング機能を具備することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージの特性検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージの特性検査においてはテスタとハンドラを用いて特性検査を行っている。従来の特性検査装置では、装置の処理効率を良くするために２台のテストヘッドに対して１台のハンドラで対応してインデックスタイムを減らし、スループットを向上させたものがある。(例えば、特許文献１参照)
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２４８０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、半導体パッケージの外観検査機能や出荷のためのテーピング機能をも具備するような装置においては、テーピングや外観検査のインデックスタイムに比べ、電気特性検査におけるインデックスタイムが長いため、電気特性検査工程が律速工程となって、装置のスループットを低下させる原因となっている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、このような従来の問題を解決しようとするもので、電気特性検査におけるウェイトタイムを無くすことで装置のスループットを向上させるものである。
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では以下のような手段を用いた。
【０００７】
半導体デバイスの電気特性を検査する装置であって、半導体デバイスを供給するローダ部と、半導体デバイスを排出するアンローダ部と、半導体デバイスを検査する検査部とから構成され、検査部は反時計回りに回転するロータと、ロータの外周に設けられ半導体デバイスを着脱可能な保持部と、保持部と同期して移動可能なソケット部と、テスタに接続され独立して移動可能な複数のコンタクタとを備えたことを特徴とする半導体検査装置とする。
【０００８】
また、複数のコンタクタは、ソケット部に接触可能な外側コンタクタと内側コンタクタからなり、外側コンタクタは外側レール上の外側スライダによって支持され、内側コンタクタは内側レール上の内側スライダによって支持されており、外側レールと内側レールの長さは外側コンタクタや内側コンタクタがロータの回転中心と成す角度の３倍以上であることを特徴とする半導体検査装置とする。
また、外側コンタクタまたは内側コンタクタ上の半導体デバイスは一括同時測定されることを特徴とする半導体検査装置とする。
【０００９】
そして、前記半導体検査装置は、さらに外観検査機能およびテーピング機能を具備することを特徴とする半導体製造装置とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、半導体デバイス保持装置と接触端子が同期移動しながら複数の特性検査を行うことで、特性検査時間すなわちテストタイムがインデックスタイムより長いことにより発生するウェイトタイムなしに装置を稼動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す鳥瞰図である。
【図２】本発明の検査装置の一実施例を示す要部拡大図である。
【図３】本発明の検査装置の一実施例を示す要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施の形態を図１乃至図３に示す実施例に基づき説明する。
【００１３】
図１は、本発明の検査装置の一実施例を示す鳥瞰図である。また、図１の要部６０を拡大した図が図２および図３であって、図２は斜め上からの斜視図であり、図３は斜め下からの斜視図である。
【００１４】
半導体検査装置１００は、検査装置の支持体となるベース１０上に構成物が載り、主に、ローダ部１１とアンローダ部１２と検査部とから構成されている。ローダ部１１は被試験体であるパッケージングされた半導体回路（以下、半導体デバイス５０と呼ぶ）を検査部へ供給する部分であり、アンローダ部１２は検査終了後の半導体デバイス５０が検査部から排出される部分である。半導体デバイス５０はアンローダ部を経て次工程へ送られる。
【００１５】
検査部は、その中心に反時計回りに回転するロータ４２があり、ロータ４２の外周にはアーム４０とコレット４１からなる保持部が付いている。ロータ４２の外周には半径方向に動作可能な数十個のアーム４０が固定され、一つのアームの下には上下方向に動作可能な一つのコレット４１がついていて、半導体デバイス５０を吸着したり離したりすることができる。コレット４１内部には図示しない真空発生装置につながる中空管があり、中空管の先端はコレット４１の下方先端で開口となる。半導体デバイス５０をコレット４１に吸着する場合は中空管内部を真空とし、また、真空ラインとの連通を遮断することで半導体デバイス５０をコレット４１から離すことができる。
【００１６】
次に、アーム４０の下方における検査装置１００の構成について説明する。数十個のアーム４０の下方にはロータ４２と同じ中心を有するレール２０が同心円状に敷かれ、レール２０には内接して円弧状のトレイ２１が複数配置されている。レール２０とトレイ２１は一方の側面の溝と他方の側面の凸部との嵌め込みにて接し、互いの接触面の間にある潤滑材やベアリング等の作用で内接するトレイ２１はレール２０の内側を滑らかに動くことができるようになっている。トレイ２１の上方にはコレット４１が離間して位置する。トレイ２１の上面にはソケット２２と呼ばれる凹部があり、ソケット２２の直上には対応するコレット４１がある。すなわち、ソケット２２のロータ４２の回転中心からの距離（半径）はコレット４１のロータ４２の回転中心からの距離（半径）に等しく、検査装置１００の中のソケット２２の個数とコレット４１の個数は同じ構成となっている。
【００１７】
ソケット２２は、その凹部に半導体デバイス５０の外側端子と接触する電極が形成されており、該電極はトレイ裏面にある突起端子と電気的に接続されている。トレイ裏面の複数の突起端子にはトレイと同じ長さの円弧状の外側コンタクタ３２ａと呼ばれる端子や円弧状の内側コンタクタ３２ｂが接触して半導体デバイス５０の電気特性を測定することになる。なお、外側コンタクタ３２ａおよび内側コンタクタ３２ｂにはトレイ２１裏面の突起端子に対応して突起端子と同数の端子がある。外側コンタクタ３２ａはレール２０の外側にロータ４２の回転中心と同心円に設置された外側レール３０ａ上の外側スライダ３１ａにより支持され円周方向に移動することができる。
【００１８】
また、外側レール３０ａは外側エレベータ３３ａにより上下に動作することができる。同様に、内側コンタクタ３２ｂはレール２０の内側にアーム４０の回転中心と同心円に設置された内側レール３０ｂ上の内側スライダ３１ｂにより支持され円周方向に移動することができる。また、内側レール３０ｂは内側エレベータ３３ｂにより上下に可動する。
【００１９】
外側エレベータ３３ａの上限位置は、レール２０に設置されたトレイ２１の裏側にある図示しない突起端子と図示しない外側コンタクタ３２ａ上の接触端子が導通可能な高さである。下限位置は同様に円周方向に可動する内側コンタクタ３２ｂと接触せずにすれ違い可能な高さである。同様に、内側エレベータ３３ｂの上限位置は、レール２０に設置されたトレイ２１の裏側にある図示しない接触端子と図示しない内側コンタクタ３２ｂ上の接触端子が導通可能な高さである。下限位置は外側コンタクタ３２ａと接触せずにすれ違い可能な高さである。外側コンタクタ３２ａ及び内側コンタクタ３２ｂはそれぞれ図示しないテスタに接続されている。
【００２０】
外側レール３０ａと内側レール３０ｂの同心円半径方向の端面は、半径方向にそろっている。また、外側レール３０ａと内側レール３０ｂの長さの指標となる外側レール３０ａと内側レール３０ｂがロータ４２の回転中心と成す角度は外側コンタクタ３２ａあるいは内側コンタクタ３２ｂがロータ４２の回転中心と成す角度の３倍以上とするのが良い。外側コンタクタ３２ａと内側コンタクタ３２ｂはロータ４２の回転中心と同心円でトレイ２１と同半径に設置されている。
【００２１】
次に、上記説明した構成の半導体検査装置１００の動作について説明する。
【００２２】
ローダ部１１から供給された半導体デバイス５０はインデックス毎にコレット４１により次々吸着される。コレット４１は反時計回り方向に同期移動しているトレイ２１のソケット２２に半導体デバイス５０を次々とセットするが、トレイ２１の進行する先端が入口端部４３に達する前に終了しなければならない。なお、入口端部４３は図１の外側レール３０ａの先端部とロータ４２の回転中心を結ぶ線とトレイ２１との交点を示すものである。図示してはいないが、内側レール３０ｂの先端部とロータ４２の回転中心を結ぶ線とトレイ２１との交点も前述の入口端部４３となる。外側コンタクタ３２ａは下限位置のまま外側コンタクタ３２ａの最後部が入口端部に対応する位置で待機している。
【００２３】
半導体デバイス５０を搭載したトレイ２１の最後部が入口端部４３に達した時点で、外側コンタクタ３２ａは反時計回りにコレット４１と同期して移動を開始しながら上昇しトレイ２１と導通状態となり、複数のソケット２２にある半導体デバイス５０を同時にテストする。この時、内側コンタクタ３２ｂは下限位置にあり、入口端部４３に向かって時計回りに移動を開始し、移動終了後待機する。外側コンタクタ３２ａのテスト開始位置から外側コンタクタ３２ａの長さ分移動する間にテストは終了する。外側コンタクタ３２ａの長さ分移動した時点で外側コンタクタ３２ａは下降する。この時点で内側コンタクタ３２ｂは反時計回りにコレット４１と同期して移動を開始しながら上昇し次のトレイ２１に接触しテストを開始する。また、この時点で外側コンタクタ３２ａは下限位置にあり、入口端部４３に向かって時計回りに移動を開始し、移動後待機状態となる。
【００２４】
一方、半導体デバイス５０はアンローダ部１２に達するまでに、同期移動しているコレット４１により吸着され、アンローダ部１２に達した時点でアンローダ部１２に次々と排出される。
【００２５】
以上のように、本発明の半導体検査装置においては、半導体デバイスのロードおよびアンロードを電気特性検査と異なるポイントで行い、また、複数の半導体デバイスを一括同時測定するため、インデックスタイムを大幅に減らすことができ、外観検査やテーピングのインデックスタイムに比べ短くすることができる。
【００２６】
従来、外観検査機能と電気特性検査機能とテーピング機能をも具備する装置においては電気特性検査にかかる時間が他工程に比べ長かったため、外観検査工程のあとの電気特性検査工程の前で半導体デバイスが滞留するという問題があったが、本発明の半導体検査装置はスループットが高く、電気特性検査工程が律速工程となる可能性を小さくすることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、半導体パッケージの特にテーピング機構等を備えた特性検査装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１０    ベース
１１    ローダ部
１２    アンローダ部
２０    レール
２１    トレイ
２２    ソケット
３０ａ  外側レール
３０ｂ  内側レール
３１ａ  外側スライダ
３１ｂ  内側スライダ
３２ａ  外側コンタクタ
３２ｂ  内側コンタクタ
３３ａ  外側エレベータ
３３ｂ  内側エレベータ
４０    アーム
４１    コレット
４２    ロータ
４３    入口端部
５０    半導体デバイス
６０    要部
１００  半導体検査装置
【図１】
2010190783.tif 000003
【図２】
2010190783.tif 000004
【図３】
2010190783.tif 000005