(57)【要約】【課題】高純度のアルコキシシランを簡便な方法で得ることができるアルコキシシランの製造方法を提供する。【解決手段】アルコキシシランの製造方法は、アルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃを第３級アミンＢの存在下で反応させてアルコキシシランを得る工程と、アルコキシシランを含有する第１液相と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相とを相分離させた後、該第２液相を除去する工程と、を含む。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃを第３級アミンＢの存在下で反応させてアルコキシシランを得る工程と、
前記アルコキシシランを含有する第１液相と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相とを相分離させた後、該第２液相を除去する工程と、
を含む、アルコキシシランの製造方法。
【請求項２】
前記アルコキシシランを得る工程は、前記アルコールＡおよび前記第３級アミンＢを含む反応系内に、前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃを添加する工程を含む、請求項１に記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項３】
前記アミンハロゲン酸塩の融点が０〜１５０℃である、請求項１または２に記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項４】
前記第３級アミンＢがイソプロピルジエチルアミン、トリプロピルアミン、ジエチル（３−メチル−ペンチル）アミン、ジエチル（２−プロピル−ペンチル）アミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、およびジメチル（２−メチル−３−フェニル−プロピル）アミンから選ばれる少なくとも１種である、請求項１ないし３のいずれかに記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項５】
前記アルコールＡ １分子中の水酸基の数をｘとし、前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃ 
１分子中のハロゲン−ケイ素結合の数をｙとしたとき、
前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの使用量に対する前記アルコールＡの使用量（モル比）ｚが、ｙ／ｘ≦ｚ≦２ｙ／ｘで規定される、請求項１ないし４に記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項６】
前記ハロゲン化ケイ素Ｃ化合物 １分子中のハロゲン−ケイ素結合の数をｙとしたとき、
前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの使用量に対する前記第３級アミンＢの使用量（モル比）ｗが、０．９５ｙ≦ｗ≦１．２ｙで規定される、請求項１ないし５のいずれかに記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項７】
前記アルコールＡ １分子に含まれる水酸基の数が１つである、請求項１ないし６のいずれかに記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項８】
前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃにおいてケイ素原子に結合しているハロゲン原子が、塩素、臭素、およびヨウ素から選ばれる少なくとも１種である、請求項１ないし７のいずれかに記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項９】
前記反応の後であって、前記第２液相を除去する工程の前または後に、水を実質的に含有しない酸を添加して、未反応の第３級アミンを塩として析出させる工程をさらに含む、請求項１ないし８のいずれかに記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項１０】
前記酸が有機酸である、請求項９に記載のアルコキシシランの製造方法。
【請求項１１】
前記アルコキシシランは、下記一般式（１）で表される化合物または下記一般式（２）で表される化合物である、請求項１ないし１０のいずれかに記載のアルコキシシランの製造方法。
Ｒ２２ｎＳｉ（ＯＲ２１）４−ｎ  ・・・・・（１）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示し、Ｒ２２は水素原子または１価の有機基を示し、ｎは０〜３の整数を示す。）
Ｒ２３ｋ（Ｒ２１Ｏ）３−ｋＳｉ−（Ｒ２５）ｏ−ＳｉＲ２４ｌ（ＯＲ２１）３−ｌ  ・・・（２）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示し、Ｒ２３およびＲ２４は同一または異なり、水素原子または１価の有機基を示し、ｋおよびｌは同一または異なり、０〜２の数を示し、Ｒ２５は酸素原子、フェニレン基または−（ＣＨ２）ｍ−で表される基（ここで、ｍは１〜６の整数である。）を表し、ｏは０または１を示す。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルコキシシランの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アルコキシシランは例えば、表面改質剤の成分やシロキサン高分子の原料として、また最近では化学気相蒸着（ＣＶＤ）法による成膜に使用される無機材料のプレカーサとして幅広く利用されている。アルコキシシランの製造方法は種々検討されており、中でも、対応するハロゲン化シランとアルコールとを第３級アミン存在下で反応させる方法は最も一般的な方法であり、塩化水素ガスの発生を伴わず、かつ短時間で反応が完結するという利点を有する。
【０００３】
上記方法では、第３級アミンとしてトリエチルアミンやピリジンが通常用いられる。この場合、不溶性のアミンハロゲン酸塩が副生するため、反応中に撹拌を行うには大量の溶剤を必要とするうえ、当該塩酸塩の濾別が煩雑であるなど、工業的に利用する上で課題があった。
【０００４】
一方、この課題を解決する手段として、炭素数が４個以上のアルキル基を置換基とする第３級アミンを用いて、クロロシラン化合物を所定のアルコールと反応させてアルコキシシラン化合物を製造する方法が開示されている（特開平０９−１５７２７７号公報）。この方法によれば、副生するアミン塩酸塩が反応系中で均一となり析出しない。しかしながら、この方法では、アルコキシシランと副生するアミン塩酸塩とを蒸留によって分離する必要がある。
【特許文献１】特開平０９−１５７２７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、高純度のアルコキシシランを簡便な方法で得ることができるアルコキシシランの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様にかかるアルコキシシランの製造方法は、
アルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃを第３級アミンＢの存在下で反応させてアルコキシシランを得る工程と、
前記アルコキシシランを含有する第１液相と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相とを相分離させた後、該第２液相を除去する工程と、
を含む。
【０００７】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記アルコキシシランを得る工程は、前記アルコールＡおよび前記第３級アミンＢを含む反応系内に、前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃを添加する工程を含むことができる。
【０００８】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記アミンハロゲン酸塩の融点が０〜１５０℃であることができる。
【０００９】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記第３級アミンＢがイソプロピルジエチルアミン、トリプロピルアミン、ジエチル（３−メチル−ペンチル）アミン、ジエチル（２−プロピル−ペンチル）アミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、およびジメチル（２−メチル−３−フェニル−プロピル）アミンから選ばれる少なくとも１種であることができる。
【００１０】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記アルコールＡ １分子中の水酸基の数をｘとし、前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃ １分子中のハロゲン−ケイ素結合の数をｙとしたとき、前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの使用量に対する前記アルコールＡの使用量（モル比）ｚが、ｙ／ｘ≦ｚ≦２ｙ／ｘで規定されることができる。
【００１１】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記ハロゲン化ケイ素Ｃ化合物  １分子中のハロゲン−ケイ素結合の数をｙとしたとき、
前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの使用量に対する前記第３級アミンＢの使用量（モル比）ｗが、０．９５ｙ≦ｗ≦１．２ｙで規定されることができる。
【００１２】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記アルコールＡ １分子に含まれる水酸基の数が１つであることができる。
【００１３】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記ハロゲン化ケイ素化合物Ｃにおいてケイ素原子に結合しているハロゲン原子が、塩素、臭素、およびヨウ素から選ばれる少なくとも１種であることができる。
【００１４】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記反応の後であって、前記第２液相を除去する工程の前または後に、水を実質的に含有しない酸を添加して、未反応の第３級アミンを塩として析出させる工程をさらに含むことができる。ここで、「水を実質的に含有しない酸」とは、例えば、原料中に含まれる水が残留していたりするのを排除するものではない。水の含有率が１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であることがより好ましく、１質量％であることが特に好ましい。
【００１５】
この場合、前記酸が有機酸であることができる。
【００１６】
上記アルコキシシランの製造方法において、前記アルコキシシランは、下記一般式（１）で表される化合物または下記一般式（２）で表される化合物であることができる。
【００１７】
Ｒ２２ｎＳｉ（ＯＲ２１）４−ｎ  ・・・・・（１）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示し、Ｒ２２は水素原子または１価の有機基を示し、ｎは０〜３の整数を示す。）
Ｒ２３ｋ（Ｒ２１Ｏ）３−ｋＳｉ−（Ｒ２５）ｏ−ＳｉＲ２４ｌ（ＯＲ２１）３−ｌ  ・・・（２）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示し、Ｒ２３およびＲ２４は同一または異なり、水素原子または１価の有機基を示し、ｋおよびｌは同一または異なり、０〜２の数を示し、Ｒ２５は酸素原子、フェニレン基または−（ＣＨ２）ｍ−で表される基（ここで、ｍは１〜６の整数である。）を表し、ｏは０または１を示す。）
【発明の効果】
【００１８】
上記アルコキシシランの製造方法によれば、前記アルコキシシランを含有する第１液相と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相とを相分離させた後、該第２液相を除去する工程と、を含むことにより、当該アミンハロゲン酸塩のほとんどを分液処理にて容易に除去することができるうえに、溶剤を使用せずにアルコキシシランを得ることができる。すなわち、上記アルコキシシランの製造方法によれば、高純度のアルコキシシランを簡便な方法にて得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態に係るアルコキシシランの製造方法について具体的に説明する。
【００２０】
１．アルコキシシランの製造方法
本発明の一実施形態に係るアルコキシシランの製造方法は、
アルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃを第３級アミンＢの存在下で反応させてアルコキシシランを得る工程と、
アルコキシシランを含有する第１液相（以下単に「第１液相」ともいう。）と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相（以下単に「第２液相」ともいう。）とを相分離させた後、該第２液相を除去する工程と、を含む。
【００２１】
１．１．アルコキシシランを得る工程
上述したように、アルコキシシランを得る工程では、アルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃを第３級アミンＢの存在下で反応させることによりアルコキシシランを得る。この場合、各成分の添加順序は特に限定されないが、副生するアミンハロゲン酸塩がアルコールＡに溶解し反応系が均一となる点で、アルコールＡおよび第３級アミンＢを含む反応系内に、ハロゲン化ケイ素化合物Ｃを添加することが好ましい。また、上記反応は、副生するアミンハロゲン酸塩の凝固による過度の析出を防止して、撹拌を継続して行う観点から、アミノハロゲン酸塩の融点をＴ℃とすると、（Ｔ−５０）℃〜（Ｔ＋１００）℃の温度で行うことが好ましい。また、副生するアミンハロゲン酸塩の凝固による過度の析出をより効果的に防止する観点からは、Ｔ℃〜（Ｔ＋１００）℃であることがより好ましく、Ｔ℃〜（Ｔ＋５０）℃であることがさらに好ましい。具体的な反応温度としては、通常０〜１５０℃であり、２０〜１２０℃であることが好ましく、３０〜１００℃であることがより好ましい。また、反応時間は、通常１〜１０００分であり、好ましくは１０〜５００分である。なお、ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの添加を０℃未満で行うと、副生するアミンハロゲン酸塩の種類によっては凝固および析出が生じてしまい、撹拌が継続できなくなる場合がある。
【００２２】
また、アルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃの反応では、溶剤を実質的に使用しないことが好ましい。この場合、溶剤を実質的に使用しないことにより、生成するアルコキシシランを含有する第１液相と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相とを確実に相分離させることができる。本発明において、「溶剤を実質的に使用しない」とは、例えば、原料中に含まれる溶剤成分が残留していたりするのを排除するものではない。具体的には、反応系内に存在する溶剤の量が反応系の総量に対して１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であることがより好ましく、１質量％であることが特に好ましい。
【００２３】
１．１．１．原料
アルコールＡは例えば下記一般式（３）で表される化合物であり、ハロゲン化ケイ素化合物Ｃは例えば下記一般式（４）で表される化合物または（５）で表される化合物であり、第３級アミンＢは例えば下記一般式（６）で表される化合物である。
【００２４】
Ｒ２１ＯＨ  ・・・・・（３）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示す。）
Ｒ２２ｎＳｉＸ４−ｎ  ・・・・・（４）
（式中、Ｒ２２は水素原子または１価の有機基を示し、Ｘはハロゲン原子を示し、ｎは０〜３の整数を示す。）
Ｒ２３ｋＸ３−ｋＳｉ−（Ｒ２５）ｏ−ＳｉＲ２４ｌＸ３−ｌ  ・・・・・（５）
（式中、Ｒ２３およびＲ２４は同一または異なり、水素原子または１価の有機基を示し、Ｒ２５は酸素原子、フェニレン基または−（ＣＨ２）ｍ−で表される基（ここで、ｍは１〜６の整数である。）を示し、Ｘはハロゲン原子を示し、ｋおよびｌは同一または異なり、０〜２の整数を示し、ｏは０または１を示す。）
（Ｒ２６）３Ｎ  ・・・・・（６）
（式中、Ｒ２６は１価の有機基を表す。）
【００２５】
上記一般式（３）〜（６）において、Ｒ２１〜Ｒ２４およびＲ２６で表される１価の有機基としては、より好ましくは、アルキル基、アルケニル基、アリール基、アリル基、グリシジル基が挙げられ、さらに好ましくは、アルキル基またはフェニル基である。また、Ｒ２２〜Ｒ２４でそれぞれ表される１価の有機基がアルキル基である場合、アルキル基を構成する水素原子の少なくとも１つが塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などのハロゲン原子で置換されていてもよい。
【００２６】
ここで、アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１〜５であり（より好ましくは１〜４、さらに好ましくは１〜３）、これらのアルキル基は鎖状でも、分岐していてもよい。アリール基としては、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、フルオロフェニル基等を挙げることができる。アルケニル基としては、例えばビニル基、プロペニル基、３−ブテニル基、３−ペンテニル基、３−ヘキセニル基を挙げることができる。
【００２７】
アルコールＡとしては、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｉ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔ−ブタノール等の炭素数１〜４（好ましくは１〜３）の１価アルコールが挙げられる。
【００２８】
ハロゲン化ケイ素化合物Ｃとしては、例えば、テトラクロロシラン、テトラブロモシラン、テトラヨードシランなど；
メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン、ｎ−プロピルトリクロロシラン、イソプロピルトリクロロシラン、シクロヘキシルトリクロロシラン、フェネチルトリクロロシラン、ビニルトリクロロシラン、フェニルトリクロロシラン、メチルトリブロモシラン、エチルトリブロモシラン、ｎ−プロピルトリブロモシラン、イソプロピルトリブロモシラン、シクロヘキシルトリブロモシラン、フェネチルトリブロモシラン、ビニルトリブロモシラン、フェニルトリブロモシラン、メチルトリヨードシラン、エチルトリヨードシラン、ｎ−プロピルトリヨードシラン、イソプロピルトリヨードシラン、シクロヘキシルトリヨードシラン、フェネチルトリヨードシラン、ビニルトリヨードシラン、フェニルトリヨードシラン、トリクロロシラン、トリブロモシラン、トリヨードシランなど；
ジメチルジクロロシラン、ジエチルジクロロシラン、ジ−ｎ−プロピルジクロロシラン、ジイソプロピルジクロロシラン、ジシクロヘキシルジクロロシラン、ジフェネチルジクロロシラン、ジビニルジクロロシラン、ジフェニルジクロロシラン、ジメチルジブロモシラン、ジエチルジブロモシラン、ジ−ｎ−プロピルジブロモシラン、ジイソプロピルジブロモシラン、ジシクロヘキシルジブロモシラン、ジフェネチルジブロモシラン、ジビニルジブロモシラン、ジフェニルジブロモシラン、ジメチルジヨードシラン、ジエチルジヨードシラン、ジ−ｎ−プロピルジヨードシラン、ジイソプロピルジヨードシラン、ジシクロヘキシルジヨードシラン、ジフェネチルジヨードシラン、ジビニルジヨードシラン、ジフェニルジヨードシラン、メチルジクロロシラン、メチルジブロモシラン、メチルジヨードシラン、エチルジクロロシラン、エチルジブロモシラン、エチルジヨードシラン、n-プロピルジクロロシラン、イソプロピルジクロロシランなど；
トリメチルクロロシラン、トリエチルクロロシラン、トリ−ｎ−プロピルクロロシラン、トリイソプロピルクロロシラン、トリシクロヘキシルクロロシラン、トリフェネチルクロロシラン、トリビニルクロロシラン、トリフェニルクロロシラン、トリメチルブロモシラン、トリエチルブロモシラン、トリ−ｎ−プロピルブロモシラン、トリイソプロピルブロモシラン、トリシクロヘキシルブロモシラン、トリフェネチルブロモシラン、トリビニルブロモシラン、トリフェニルブロモシラン、トリメチルヨードシラン、トリエチルヨードシラン、トリ−ｎ−プロピルヨードシラン、トリイソプロピルヨードシラン、トリシクロヘキシルヨードシラン、トリフェネチルヨードシラン、トリビニルヨードシラン、トリフェニルヨードシラン、ジメチルクロロシラン、ジメチルブロモシラン、ジメチルヨードシラン、ジエチルクロロシラン、ジエチルブロモシラン、ジエチルヨードシラン、プロピルジクロロシラン、イソプロピルジクロロシランなど；
クロロメチルトリクロロシラン、ブロモメチルトリクロロシラン、ヨードメチルトリクロロシラン、クロロメチルジクロロシラン、クロロメチルメチルジクロロシラン、クロロメチルエチルジクロロシラン、クロロメチルシクロヘキシルジクロロシラン、クロロメチルフェネチルジクロロシラン、クロロメチルビニルジクロロシラン、クロロメチルフェニルジクロロシラン、ブロモメチルメチルジクロロシラン、ブロモメチルエチルジクロロシラン、ブロモメチルシクロヘキシルジクロロシラン、ブロモメチルフェネチルジクロロシラン、ブロモメチルビニルジクロロシラン、ブロモメチルフェニルジクロロシラン、ヨードメチルメチルジクロロシラン、ヨードメチルエチルジクロロシラン、ヨードメチルシクロヘキシルジクロロシラン、ヨードメチルフェネチルジクロロシラン、ヨードメチルビニルジクロロシラン、ヨードメチルフェニルジクロロシラン、クロロメチルジメチルクロロシラン、クロロメチルジエチルクロロシラン、クロロメチルジシクロヘキシルクロロシラン、クロロメチルジフェネチルクロロシラン、クロロメチルジビニルクロロシラン、クロロメチルジフェニルクロロシラン、ブロモメチルジメチルクロロシラン、ブロモメチルジエチルクロロシラン、ブロモメチルジシクロヘキシルクロロシラン、ブロモメチルジフェネチルクロロシラン、ブロモメチルジビニルクロロシラン、ブロモメチルジフェニルクロロシラン、ヨードメチルジメチルクロロシラン、ヨードメチルジエチルクロロシラン、ヨードメチルジシクロヘキシルクロロシラン、ヨードメチルジフェネチルクロロシラン、ヨードメチルジビニルクロロシラン、ヨードメチルジフェニルクロロシランなど；
ヘキサクロロジシラン、１，１，１，２，２−ペンタクロロ−２−メチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタクロロ−２−エチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタクロロ−２−フェニルジシラン、１，１，２，２−テトラクロロ−１，２−ジメチルジシラン、１，１，２，２−テトラクロロ−１，２−ジエチルジシラン、１，１，２，２−テトラクロロ−１，２−ジフェニルジシラン、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリメチルジシラン、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリエチルジシラン、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフェニルジシラン、１，２−ジクロロ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジクロロ−１，１，２，２−テトラエチルジシラン、１，２−ジクロロ−１，１，２，２−テトラフェニルジシランなど；
ビス（ジクロロシリル）メタン、ビス（ジブロモシリル）メタン、ビス（ジヨードシリル）メタン、１，２−ビス（ジクロロシリル）エタン、１，２−ビス（ジブロモシリル）エタン、１，２−ビス（ジヨードシリル）エタン、１，３−ビス（ジクロロシリル）プロパン、１，３−ビス（ジブロモシリル）プロパン、１，３−ビス（ジヨードシリル）プロパン、１，４−ビス（ジクロロシリル）ブタン、１，４−ビス（ジブロモシリル）ブタン、１，４−ビス（ジヨードシリル）ブタン、ビス（トリクロロシリル）メタン、ビス（トリクロロシリル）エタン、ビス（トリクロロシリル）プロパン、ビス（ジクロロメチルシリル）メタン、ビス（ジクロロメチルシリル）エタン、ビス（ジクロロメチルシリル）プロパンが挙げられる。
【００２９】
第３級アミンＢとしては、例えば、後述するアミンハロゲン酸塩の欄で例示された化合物が挙げられる。
【００３０】
また、アルコールＡ、第３級アミンＢ、およびハロゲン化ケイ素化合物Ｃは、下記（ｉ）ないし（ｉｖ）を満たすことが好ましい。
【００３１】
（ｉ）アルコールＡ １分子中の水酸基の数をｘとし、ハロゲン化ケイ素化合物Ｃ １分子中のハロゲン−ケイ素結合の数をｙとしたとき、ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの使用量に対するアルコールＡの使用量（モル比）ｚが、ｙ／ｘ≦ｚ≦２ｙ／ｘで規定される。ｚ＜ｙ／ｘの場合、ケイ素−ハロゲン結合のアルコキシ化が完全に進行しない場合があり、また、ｚ＞２ｙ／ｘの場合、過剰のアルコールＡに第３級アミンＢが溶解してしまい、目的の液相分離が不可能になる場合がある。
【００３２】
（ｉｉ）ハロゲン化ケイ素Ｃ化合物  １分子中のハロゲン−ケイ素結合の数をｙとしたとき、ハロゲン化ケイ素化合物Ｃの使用量に対する第３級アミンＢの使用量（モル比）ｗが、０．９５ｙ≦ｗ≦１．２ｙで規定される。ｗ＜０．９５ｙの場合、ハロゲン化ケイ素Ｃ化合物のアルコールＡとの反応により生ずるハロゲン化水素が捕捉されずに反応系内に遊離し、反応により生成したアルコキシシランの縮合反応等を引き起こす場合がある。また、ｗ＞１．２ｙの場合、第３級アミンＢが過剰に残留し、目的物との分離が困難な場合がある。
【００３３】
（ｉｉｉ）アルコールＡ １分子に含まれる水酸基の数が１つ（１価アルコール）であることが好ましい。
【００３４】
（ｉｖ）ハロゲン化ケイ素化合物Ｃにおいてケイ素原子に結合しているハロゲン原子が、塩素、臭素、およびヨウ素から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。この場合、ハロゲン原子は反応性の高さの観点から、塩素または臭素であることがより好ましい。
【００３５】
１．１．２．生成物
本実施形態に係るアルコキシシランの製造方法では、第３級アミンＢの存在下でアルコールＡおよびハロゲン化ケイ素化合物Ｃが反応して、アルコキシシランが生成し、アミンハロゲン酸塩が副生する。アミンハロゲン酸塩としては、例えばアミン塩酸塩、アミン臭素酸塩、アミンヨウ素酸塩が挙げられる。
【００３６】
生成するアルコキシシランは例えば下記一般式（１）で表される化合物または（２）で表される化合物であり、副生するアミンハロゲン酸塩は例えば下記一般式（７）で表される化合物である。
【００３７】
Ｒ２２ｎＳｉ（ＯＲ２１）４−ｎ  ・・・・・（１）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示し、Ｒ２２は水素原子または１価の有機基を示し、ｎは０〜３の整数を示す。）
Ｒ２３ｋ（Ｒ２１Ｏ）３−ｋＳｉ−（Ｒ２５）ｏ−ＳｉＲ２４ｌ（ＯＲ２１）３−ｌ  ・・・（２）
（式中、Ｒ２１は１価の有機基を示し、Ｒ２３およびＲ２４は同一または異なり、水素原子または１価の有機基を示し、ｋおよびｌは同一または異なり、０〜２の数を示し、Ｒ２５は酸素原子、フェニレン基または−（ＣＨ２）ｍ−で表される基（ここで、ｍは１〜６の整数である。）を表し、ｏは０または１を示す。）
（Ｒ２６）３ＮＨ＋Ｘ−  ・・・・・（７）
（式中、Ｒ２６は上記一般式（４）で定義した通りであり、Ｘ−はハロゲンイオンを示す。）
【００３８】
上記一般式（１）において、Ｒ２１またはＲ２２で表される１価の有機基としては、上記一般式（３）および（４）においてＲ２１またはＲ２２として例示された基が挙げられる。
【００３９】
また、上記一般式（２）において、Ｒ２１、Ｒ２３またはＲ２４で表される１価の有機基としては、上記一般式（３）および（５）においてＲ２１、Ｒ２３またはＲ２４として例示された基が挙げられる。
【００４０】
製造目的物であるアルコキシシランであって、上記一般式（１）で表されるものとしては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−ｎ−プロポキシシラン、テトラ−ｉｓｏ−プロポキシシラン、テトラフェノキシシランなど；
メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、メチルトリフェノキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、エチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリフェノキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ｎ−プロピルトリイソプロポキシシラン、ｎ−プロピルトリフェノキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリ−ｎ−プロポキシシラン、イソプロピルトリイソプロポキシシラン、イソプロピルトリフェノキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリ−ｎ−プロポキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、フェニルトリフェノキシシランなど；
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシラン、ジメチルジフェノキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジエチルジイソプロポキシシラン、ジエチルジフェノキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジメトキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジエトキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジイソプロポキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジ−フェノキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、ジイソプロピルジエトキシシラン、ジイソプロピルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジイソプロピルジイソプロポキシシラン、ジイソプロピルジフェノキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ジフェニルジイソプロポキシシラン、ジフェニルジフェノキシシランなど；
トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチル−ｎ−プロポキシシラン、トリメチルイソプロポキシシラン、トリメチルフェノキシシラン、トリエチルメトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリエチル−ｎ−プロポキシシラン、トリエチルイソプロポキシシラン、トリエチルフェノキシシラン、トリ−ｎ−プロピルメトキシシラン、トリ−ｎ−プロピルエトキシシラン、トリ−ｎ−プロピル−ｎ−プロポキシシラン、トリ−ｎ−プロピルイソプロポキシシラン、トリ−ｎ−プロピル−フェノキシシラン、トリイソプロピルメトキシシラン、トリイソプロピルエトキシシラン、トリイソプロピル−ｎ−プロポキシシラン、トリイソプロピルイソプロポキシシラン、トリイソプロピルフェノキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、トリフェニル−ｎ−プロポキシシラン、トリフェニルイソプロポキシシラン、トリフェニルフェノキシシラン、ジメチルメトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、ジメチルｎ−プロポキシシラン、ジメチルイソプロポキシシラン、ジメチルフェノキシシラン、ジエチルメトキシシラン、ジエチルエトキシシラン、ジエチルｎ−プロポキシシラン、ジエチルイソプロポキシシラン、ジエチルフェノキシシラン、ジ−ｎ−プロピルメトキシシラン、ジ−ｎ−プロピルエトキシシラン、ジ−ｎ−プロピルｎ−プロポキシシラン、ジ−ｎ−プロピルイソプロポキシシラン、ジ−ｎ−プロピルフェノキシシラン、ジイソプロピルメトキシシラン、ジイソプロピルエトキシシラン、ジイソプロピルｎ−プロポキシシラン、ジイソプロピルイソプロポキシシラン、ジイソプロピルフェノキシシラン、ジフェニルメトキシシラン、ジフェニルエトキシシラン、ジフェニルｎ−プロポキシシラン、ジフェニルイソプロポキシシラン、ジフェニルフェノキシシランなど；
クロロメチルトリメトキシシラン、ブロモメチルトリメトキシシラン、ヨードメチルトリメトキシシラン、クロロメチルジメトキシシラン、クロロメチルメチルジメトキシシラン、クロロメチルエチルジメトキシシラン、クロロメチルシクロヘキシルジメトキシシラン、クロロメチルフェネチルジメトキシシラン、クロロメチルビニルジメトキシシラン、クロロメチルフェニルジメトキシシラン、ブロモメチルメチルジメトキシシラン、ブロモメチルエチルジメトキシシラン、ブロモメチルシクロヘキシルジメトキシシラン、ブロモメチルフェネチルジメトキシシラン、ブロモメチルビニルジメトキシシラン、ブロモメチルフェニルジメトキシシラン、ヨードメチルメチルジメトキシシラン、ヨードメチルエチルジメトキシシラン、ヨードメチルシクロヘキシルジメトキシシラン、ヨードメチルフェネチルジメトキシシラン、ヨードメチルビニルジメトキシシラン、ヨードメチルフェニルジメトキシシラン、クロロメチルジメチルメトキシシラン、クロロメチルジエチルメトキシシラン、クロロメチルジシクロヘキシルメトキシシラン、クロロメチルジフェネチルメトキシシラン、クロロメチルジビニルメトキシシラン、クロロメチルジフェニルメトキシシラン、ブロモメチルジメチルメトキシシラン、ブロモメチルジエチルメトキシシラン、ブロモメチルジシクロヘキシルメトキシシラン、ブロモメチルジフェネチルメトキシシラン、ブロモメチルジビニルメトキシシラン、ブロモメチルジフェニルメトキシシラン、ヨードメチルジメチルメトキシシラン、ヨードメチルジエチルメトキシシラン、ヨードメチルジシクロヘキシルメトキシシラン、ヨードメチルジフェネチルメトキシシラン、ヨードメチルジビニルメトキシシラン、ヨードメチルジフェニルメトキシシランなど；
クロロメチルトリエトキシシラン、ブロモメチルトリエトキシシラン、ヨードメチルトリエトキシシラン、クロロメチルジエトキシシラン、クロロメチルメチルジエトキシシラン、クロロメチルエチルジエトキシシラン、クロロメチルシクロヘキシルジエトキシシラン、クロロメチルフェネチルジエトキシシラン、クロロメチルビニルジエトキシシラン、クロロメチルフェニルジエトキシシラン、ブロモメチルメチルジエトキシシラン、ブロモメチルエチルジエトキシシラン、ブロモメチルシクロヘキシルジエトキシシラン、ブロモメチルフェネチルジエトキシシラン、ブロモメチルビニルジエトキシシラン、ブロモメチルフェニルジエトキシシラン、ヨードメチルメチルジエトキシシラン、ヨードメチルエチルジエトキシシラン、ヨードメチルシクロヘキシルジエトキシシラン、ヨードメチルフェネチルジエトキシシラン、ヨードメチルビニルジエトキシシラン、ヨードメチルフェニルジエトキシシラン、クロロメチルジメチルエトキシシラン、クロロメチルジエチルエトキシシラン、クロロメチルジシクロヘキシルエトキシシラン、クロロメチルジフェネチルエトキシシラン、クロロメチルジビニルエトキシシラン、クロロメチルジフェニルエトキシシラン、ブロモメチルジメチルエトキシシラン、ブロモメチルジエチルエトキシシラン、ブロモメチルジシクロヘキシルエトキシシラン、ブロモメチルジフェネチルエトキシシラン、ブロモメチルジビニルエトキシシラン、ブロモメチルジフェニルエトキシシラン、ヨードメチルジメチルエトキシシラン、ヨードメチルジエチルエトキシシラン、ヨードメチルジシクロヘキシルエトキシシラン、ヨードメチルジフェネチルエトキシシラン、ヨードメチルジビニルエトキシシラン、ヨードメチルジフェニルエトキシシランなど；
クロロメチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルトリ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジ−ｎ−プロポキシラン、クロロメチルメチルジ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルエチルジ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルシクロヘキシルジ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルフェネチルジ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルビニルジ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルメチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルエチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルシクロヘキシルジ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルフェネチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルビニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルメチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルエチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルシクロヘキシルジ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルフェネチルジ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルビニルジ−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルフェニルジ−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジシクロヘキシル−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジフェネチル−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジビニル−ｎ−プロポキシシラン、クロロメチルジフェニル−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルジシクロヘキシル−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルジフェネチル−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルジビニル−ｎ−プロポキシシラン、ブロモメチルジフェニル−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルジメチル−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルジエチル−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルジシクロヘキシル−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルジフェネチル−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルジビニル−ｎ−プロポキシシラン、ヨードメチルジフェニル−ｎ−プロポキシシランなど；
クロロメチルトリイソプロポキシシラン、ブロモメチルトリイソプロポキシシラン、ヨードメチルトリイソプロポキシシラン、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン、クロロメチルエチルジイソプロポキシシラン、クロロメチルシクロヘキシルジイソプロポキシシラン、クロロメチルフェネチルジイソプロポキシシラン、クロロメチルビニルジイソプロポキシシラン、クロロメチルフェニルジイソプロポキシシラン、ブロモメチルメチルジイソプロポキシシラン、ブロモメチルエチルジイソプロポキシシラン、ブロモメチルシクロヘキシルジイソプロポキシシラン、ブロモメチルフェネチルジイソプロポキシシラン、ブロモメチルビニルジイソプロポキシシラン、ブロモメチルフェニルジイソプロポキシシラン、ヨードメチルメチルジイソプロポキシシラン、ヨードメチルエチルジイソプロポキシシラン、ヨードメチルシクロヘキシルジイソプロポキシシラン、ヨードメチルフェネチルジイソプロポキシシラン、ヨードメチルビニルジイソプロポキシシラン、ヨードメチルフェニルジイソプロポキシシラン、クロロメチルジメチルイソプロポキシシラン、クロロメチルジエチルイソプロポキシシラン、クロロメチルジシクロヘキシルイソプロポキシシラン、クロロメチルジフェネチルイソプロポキシシラン、クロロメチルジビニルイソプロポキシシラン、クロロメチルジフェニルイソプロポキシシラン、ブロモメチルジメチルイソプロポキシシラン、ブロモメチルジエチルイソプロポキシシラン、ブロモメチルジシクロヘキシルイソプロポキシシラン、ブロモメチルジフェネチルイソプロポキシシラン、ブロモメチルジビニルイソプロポキシシラン、ブロモメチルジフェニルイソプロポキシシラン、ヨードメチルジメチルイソプロポキシシラン、ヨードメチルジエチルイソプロポキシシラン、ヨードメチルジシクロヘキシルイソプロポキシシラン、ヨードメチルジフェネチルイソプロポキシシラン、ヨードメチルジビニルイソプロポキシシラン、ヨードメチルジフェニルイソプロポキシシランなどが挙げられる。
【００４１】
また、製造目的物であるアルコキシシランであって、上記一般式（２）で表されるもののうちｏ＝０の化合物としては、例えば、ヘキサメトキシジシラン、ヘキサエトキシジシラン、ヘキサフェノキシジシラン、１，１，１，２，２−ペンタメトキシ−２−メチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタエトキシ−２−メチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタフェノキシ−２−メチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタメトキシ−２−エチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタエトキシ−２−エチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタフェノキシ−２−エチルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタメトキシ−２−フェニルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタエトキシ−２−フェニルジシラン、１，１，１，２，２−ペンタフェノキシ−２−フェニルジシラン、１，１，２，２−テトラメトキシ−１，２−ジメチルジシラン、１，１，２，２−テトラエトキシ−１，２−ジメチルジシラン、１，１，２，２−テトラフェノキシ−１，２−ジメチルジシラン、１，１，２，２−テトラメトキシ−１，２−ジエチルジシラン、１，１，２，２−テトラエトキシ−１，２−ジエチルジシラン、１，１，２，２−テトラフェノキシ−１，２−ジエチルジシラン、１，１，２，２−テトラメトキシ−１，２−ジフェニルジシラン、１，１，２，２−テトラエトキシ−１，２−ジフェニルジシラン、１，１，２，２−テトラフェノキシ−１，２−ジフェニルジシラン、１，１，２−トリメトキシ−１，２，２−トリメチルジシラン、１，１，２−トリエトキシ−１，２，２−トリメチルジシラン、１，１，２−トリフェノキシ−１，２，２−トリメチルジシラン、１，１，２−トリメトキシ−１，２，２−トリエチルジシラン、１，１，２−トリエトキシ−１，２，２−トリエチルジシラン、１，１，２−トリフェノキシ−１，２，２−トリエチルジシラン、１，１，２−トリメトキシ−１，２，２−トリフェニルジシラン、１，１，２−トリエトキシ−１，２，２−トリフェニルジシラン、１，１，２−トリフェノキシ−１，２，２−トリフェニルジシラン、１，２−ジメトキシ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジフェノキシ−１，１，２，２−テトラメチルジシラン、１，２−ジメトキシ−１，１，２，２−テトラエチルジシラン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラエチルジシラン、１，２−ジフェノキシ−１，１，２，２−テトラエチルジシラン、１，２−ジメトキシ−１，１，２，２−テトラフェニルジシラン、１，２−ジエトキシ−１，１，２，２−テトラフェニルジシラン、１，２−ジフェノキシ−１，１，２，２−テトラフェニルジシラン等が挙げられる。
【００４２】
さらに、製造目的物であるアルコキシシランであって、上記一般式（２）で表されるもののうちｏ＝１の化合物としては、ビス（トリメトキシシリル）メタン、ビス（トリエトキシシリル）メタン、ビス（トリ−ｎ−プロポキシシリル）メタン、ビス（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）メタン、１，２−ビス（トリメトキシシリル）エタン、１，２−ビス（トリエトキシシリル）エタン、１，２−ビス（トリ−ｎ−プロポキシシリル）エタン、１，２−ビス（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）エタン、１−（ジメトキシメチルシリル）−１−（トリメトキシシリル）メタン、１−（ジエトキシメチルシリル）−１−（トリエトキシシリル）メタン、１−（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）−１−（トリ−ｎ−プロポキシシリル）メタン、１−（ジ−ｉｓｏ−プロポキシメチルシリル）−１−（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）メタン、１−（ジメトキシメチルシリル）−２−（トリメトキシシリル）エタン、１−（ジエトキシメチルシリル）−２−（トリエトキシシリル）エタン、１−（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）−２−（トリ−ｎ−プロポキシシリル）エタン、１−（ジ−ｉｓｏ−プロポキシメチルシリル）−２−（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）エタン、ビス（ジメトキシシリル）メタン、ビス（ジエトキシシリル）メタン、ビス（ジ−ｎ−プロポキシシリル）メタン、ビス（ジ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）メタン、１，２−ビス（ジメトキシシリル）エタン、１，２−ビス（ジエトキシシリル）エタン、１，２−ビス（ジ−ｎ−プロポキシシリル）エタン、１，２−ビス（ジ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）エタン、１，３−ビス（ジメトキシシリル）プロパン、１，３−ビス（ジエトキシシリル）プロパン、１，３−ビス（ジ−ｎ−プロポキシシリル）プロパン、１，３−ビス（ジ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）プロパン、１，４−ビス（ジメトキシシリル）ブタン、１，４−ビス（ジエトキシシリル）ブタン、１，４−ビス（ジ−ｎ−プロポキシシリル）ブタン、１，４−ビス（ジ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）ブタン、ビス（ジメトキシメチルシリル）メタン、ビス（ジエトキシメチルシリル）メタン、ビス（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）メタン、ビス（ジ−ｉｓｏ−プロポキシメチルシリル）メタン、１，２−ビス（ジメトキシメチルシリル）エタン、１，２−ビス（ジエトキシメチルシリル）エタン、１，２−ビス（ジ−ｎ−プロポキシメチルシリル）エタン、１，２−ビス（ジ−ｉｓｏ−プロポキシメチルシリル）エタン、１，２−ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、１，２−ビス（トリエトキシシリル）ベンゼン、１，２−ビス（トリ−ｎ−プロポキシシリル）ベンゼン、１，２−ビス（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）ベンゼン、１，３−ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、１，３−ビス（トリエトキシシリル）ベンゼン、１，３−ビス（トリ−ｎ−プロポキシシリル）ベンゼン、１，３−ビス（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）ベンゼン、１，４−ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、１，４−ビス（トリエトキシシリル）ベンゼン、１，４−ビス（トリ−ｎ−プロポキシシリル）ベンゼン、１，４−ビス（トリ−ｉｓｏ−プロポキシシリル）ベンゼン等を挙げることができる。
【００４３】
副生するアミンハロゲン酸塩としては、アミン塩酸塩、アミン臭素酸塩、アミンヨウ素酸塩が挙げられる。
【００４４】
副生する液体のアミンハロゲン酸塩は、融点が０℃〜１５０℃であることが好ましく、１０℃〜１００℃であるのがより好ましく、３０℃〜１００℃であるのがさらに好ましい。融点が１５０℃を超えると、アミンハロゲン酸塩が析出しやすくなるため、第１液相と第２液相との相分離が困難になる場合がある。
【００４５】
副生するアミンハロゲン酸塩の析出を防止して、第１液相と第２液相とを明確に相分離させるためには、副生するアミンハロゲン酸塩の融点が１５０℃以下になるような第３級アミンＢを使用するのが好ましい。このような第３級アミンＢとしては、例えば、イソプロピルジエチルアミン、トリプロピルアミン、ジエチル（３−メチル−ペンチル）アミン、ジエチル（２−プロピル−ペンチル）アミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、およびジメチル（２−メチル−３−フェニル−プロピル）アミンが挙げられる。
【００４６】
１．２．第２液相を除去する工程
上述したように、第２液相を除去する工程は、生成したアルコキシシランを含有する第１液相と、副生する液体のアミンハロゲン酸塩を含有する第２液相とを相分離させた後、該第２液相を除去する工程と、を含む。第１液相と第２液相とを層分離させるためには、反応液の温度がアミンハロゲン酸塩の融点より高いことが望ましい。第２液相を除去する工程における具体的な反応液の温度としては、通常０〜２００℃であり、３０〜１８０℃であることが好ましく、５０〜１５０℃であることがより好ましい。この場合、副生するアミンハロゲン酸塩が液体状で存在するため、第１液相と第２液相とを相分離させることができる。このうち、第２液相を例えば分液処理により除去することにより、アルコキシシランを含む第１液相のみを単離することができる。これにより、蒸留などの精製処理を別途行わずに、アルコキシシランを高純度で得ることができる。
【００４７】
１．３．未反応の第３級アミンを除去する工程
本実施形態に係るアルコキシシランの製造方法は、アルコールＡとハロゲン化ケイ素化合物Ｃとの反応の後であって、第２液相を除去する工程の前または後に、水を実質的に含有しない酸を添加して、未反応の第３級アミンを塩として析出させる工程をさらに含んでいてもよい。この工程により、未反応の第３級アミンをアルコキシシランと効果的に分離することができるため、第３級アミンを簡便に除去することができる。この工程は、第３級アミンの沸点と目的物のアルコキシシランの沸点とが近い場合（例えば両者の沸点の差が０〜５０℃）に特に有用である。
【００４８】
酸の使用量は、反応に使用した第３級アミンに対して１〜１０モル％であることが好ましい。
【００４９】
また、目的物であるアルコキシシランの加水分解や縮合反応を抑制する点で、酸は有機酸であることが好ましい。有機酸としては、例えば、酢酸、シュウ酸、マレイン酸、ギ酸、マロン酸、フタル酸、フマル酸、イタコン酸、コハク酸、メサコン酸、シトラコン酸、リンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、無水マレイン酸の加水分解物などが挙げられる。これらは１種あるいは２種以上を同時に使用してもよい。
【００５０】
２．実施例
以下、本発明を、実施例を挙げてさらに具体的に説明する。本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例中の「部」および「％」は、特記しない限り、それぞれ重量部および質量％であることを示している。
【００５１】
２．１．評価方法
反応後の反応液をサンプリングし、ＧＣ（装置本体：Ａｇｉｌｅｎｔ  ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製６８９０Ｎ、カラム：Ｓｕｐｅｌｃｏ社製ＳＰＢ−３５）により反応液中の化合物存在比を調べた。なお、各化合物の同定は、標品のＧＣを測定することによって実施した。その結果を表１に示す。
【００５２】
２．２．合成例
２．２．１．合成例１
四つ口セパラブルフラスコに、窒素導入口、温度計および撹拌羽を取り付け、イソプロピルジエチルアミン１５２ｇ（1.0 mol）およびエタノール４６ｇ(1.0 mol)を加え、ここに滴下ロートを用いてトリエチルクロロシラン１５１ｇ(1.0 mol)を１時間かけて滴下した。この際、反応液の温度が６０℃以上７０℃以下となるよう制御した。滴下終了後、６０℃で撹拌を１時間継続した後に撹拌を止め静置すると、反応液が２相に分離した。分液ロートで下相を抜き取った後、上相をＧＣにて分析したところエタノール１％、トリエチルエトキシシラン９６%、イソプロピルジエチルアミン２％、その他未同定成分１％であることを確認した。次いで、この上相を蒸留にて精製して、トリエチルエトキシシラン１４９ｇ（収率９３％、純度９９％）を得た。（なお、下相を構成する、副生するイソプロピルジエチルアミン塩酸塩の融点は約５７℃である。）。
【００５３】
２．２．２．合成例２
四つ口セパラブルフラスコに、窒素導入口、温度計および撹拌羽を取り付け、トリプロピルアミン１４３ｇ（1.0 mol）およびメタノール３２ｇ(1.0 mol)を加え、ここに滴下ロートを用いてビス（ジクロロシリル）メタン５４ｇ(0.25 mol)を１時間かけて滴下した。この際、反応液の温度が５０℃以上６０℃以下となるよう制御した。滴下終了時の時点では固体のアミン塩酸塩が析出したが、滴下終了後９０℃で撹拌を１時間継続した後に撹拌を止め静置すると、固体は完全に溶解し、反応液が２相に分離した。分液ロートで下相を抜き取った後、上相をＧＣにて分析したところ、メタノール１％、ビス（ジメトキシシリル）メタン９５％、トリプロピルアミン３％、その他未同定成分１％であることを確認した。次いで、この上相を蒸留にて精製したところ、ビス（ジメトキシシリル）メタンを４７ｇ（収率９５％、純度９９％）を得た（なお、下相を構成する、副生するトリプロピルアミン塩酸塩の融点は約９０℃である）。
【００５４】
２．２．３．合成例３
四つ口セパラブルフラスコに、窒素導入口、温度計および撹拌羽を取り付け、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン４３６ｇ（3.6 mol）および２−プロパノール２１６ｇ(3.6 mol)を加え、ここに滴下ロートを用いてクロロメチルメチルジクロロシラン２９４ｇ(1.8 mol)を３時間かけて滴下した。この際、反応液の温度が６０℃以上７０℃以下となるよう制御した。この時点で固体のアミン塩酸塩は確認されなかった。滴下終了後６０℃で撹拌を１時間継続した後に撹拌を止め静置すると、反応液が２相に分離した。上相をＧＣにて分析したところ、２−プロパノール１％、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン９４％、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン４％、その他未同定成分１％であることを確認した。さらに反応液を９０℃に加熱しながら、マレイン酸１０ｇを添加し３０分間撹拌を継続した後静置すると、反応液が再度２相に分離した。分液ロートで下相を抜き取った後、上相をＧＣにて分析したところ、２−プロパノール１％、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン９８％、その他未同定成分１％となり、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンは検出されなかった。次いで、この上相を蒸留にて精製したところ、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン３４１ｇ（収率９０％、純度９９％）を得た（なお、下相を構成する、副生するＮ，Ｎ−ジメチルアニリン塩酸塩の融点は約９０℃である）。
【００５５】
２．２．４．合成例４
四つ口セパラブルフラスコに、窒素導入口、温度計および撹拌羽を取り付け、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン４３６ｇ（3.6 mol）および２−プロパノール２７０ｇ(4.5 mol)を加え、ここに滴下ロートを用いてクロロメチルメチルジクロロシラン２９４ｇ(1.8 mol)を３時間かけて滴下した。この際、反応液の温度が４０℃以上５０℃以下となるよう制御した。この時点で固体のアミン塩酸塩は確認されなかった。滴下終了後６０℃で撹拌を１時間継続した後に撹拌を止め静置すると、反応液が２相に分離した。分液ロートで下相を抜き取った後、上相をＧＣにて分析したところ、２−プロパノール２％、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン９５％、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン２％、その他未同定成分１％であることを確認した。次にこの上相にシュウ酸（無水）を８ｇ加え１時間撹拌させた後、固形分をろ別し、ろ液をＧＣにて分析したところ、２−プロパノール２％、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン９７％、その他未同定成分１％となり、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンは検出されなかった。次いで、このろ液を蒸留にて精製したところ、クロロメチルメチルジイソプロポキシシラン３３８ｇ（収率８９％、純度９９％）を得た。
【００５６】
２．３．考察
合成例１〜４に示されるように、対応する第３級アミン塩酸塩の融点が１５０℃以下となる第３級アミンＢを用いてハロゲン化シラン化合物Ｃのアルコキシ化を行うことにより、反応液がアミンハロゲン酸塩の融点以上であれば、副生する第３級アミン塩酸塩Ｃを含む相（第２液相）が液体となるため、主に第３級アミン塩酸塩Ｃから構成される相（第２液相）と生成するアルコキシシランＡを含む層（第１液相）との相分離が生じるため、副生する第３級アミン塩酸塩を分液処理によって除去することができることが理解できる。
【００５７】
また、合成例４に示されるように、アルコールＡの使用量（当量）をハロゲン化シラン化合物Ｃの使用量（当量）より多くした場合であっても、同様の操作を行うことができる。
【００５８】
さらに、合成例３，４によれば、水を実質的に含有しない酸を系（反応液）内に添加することにより、アルコキシシラン含有相に残留する微量の第３級アミンに酸を作用させて、塩として系外に除去できることが明らかになった。このアミン除去方法は、第３級アミンの沸点と目的物のアルコキシシランの沸点とが近い場合に特に有用である。
【００５９】
本発明に係る実施の形態の説明は以上である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。