(57)【要約】【課題】複数の副ベース板を容易に組み立てることが可能な位置決め装置を提供する。【解決手段】このパターン修正装置は、２枚の副ベース板１，２と、それぞれ副ベース板１，２を所定の高さで水平に支持する支持台３，４と、副ベース板１，２の対向する２つの端面を結合する結合部材７，８とを備える。結合部材７，８の各々は、連結ピン１２で連結された金属ブロック１０，１１と、横方向および上下方向にスライドするスライダ１３とを含む。したがって、２枚の副ベース板１，２の端面を突き合わせて接合する場合に比べ、副ベース板１，２を容易に組み立てることができる。【選択図】図１
2010050200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース板が複数の副ベース板に分解可能に形成された位置決め装置において、
各副ベース板に対応して設けられ、対応する副ベース板を所定の高さで水平に支持する支持台と、
各隣接する２枚の副ベース板に対応して設けられ、対応する２枚の副ベース板の対向する２つの端面間を結合する結合部材とを備えたことを特徴とする、位置決め装置。
【請求項２】
前記結合部材は、
前記２つの端面のうちの一方の端面に設けられる第１のブロックと、
前記２つの端面のうちの他方の端面に設けられ、前記第１のブロックの両側を挟む２本のフィンガ部を有する第２のブロックと、
前記第１のブロックと前記２本のフィンガ部を貫通し、前記第１および第２のブロックのうちの一方のブロックを他方のブロックに対して上下方向に回動可能に結合する連結ピンとを含むことを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記結合部材は、さらに、前記第１および第２のブロックのうちの一方のブロックに対応して設けられ、対応するブロックを対応する端面に沿ってスライド可能に保持するスライダを含むことを特徴とする、請求項２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記結合部材は、
それぞれ前記２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、
それぞれ前記第１および第２のフランジ部の表面に設けられ、互いに対向して設けられ、各々が円弧状の断面を有する第１および第２の凸部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記結合部材は、
それぞれ前記２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、
前記第１のフランジ部の表面に設けられた断面が円弧状の凸部と、
前記第２のフランジ部の表面に設けられ、前記凸部を回動可能に保持する凹部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記結合部材は、
それぞれ前記２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、
それぞれ前記第１および第２のフランジ部の表面に設けられ、互いに対向して設けられた第１および第２の凹部と、
前記第１および第２の凹部間に挟まれた球体とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記結合部材は、さらに、前記第１および第２のフランジ部のうちの一方のフランジ部に螺合され、その先端が他方のフランジ部の表面に当接された第１のネジ部材を含むことを特徴とする、請求項４から請求項６までのいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項８】
前記結合部材は、
それぞれ前記２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、
前記第１および第２のフランジ部のうちの一方のフランジ部に螺合され、その先端が他方のフランジ部の表面に当接された第１のネジ部材とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項９】
前記結合部材は、さらに、前記第１および第２のフランジ部を締結する第２のネジ部材を含むことを特徴とする、請求項４から請求項８までのいずれかに記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は位置決め装置に関し、特に、ベース板が複数の副ベース板に分解可能に形成された位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は、従来のパターン修正装置（位置決め装置）の要部を示す斜視図である。図９において、このパターン修正装置は、支持台（図示せず）によって水平に支持された長方形のベース板５０を備える。ベース板５０上の中央部にはチャックステージ５１が設けられ、チャックステージ５１上には修正対象の基板５２が載置される。基板５２は、たとえば、液晶パネルを構成するカラーフィルタ基板またはＴＦＴ（Thin Film Tramsistor)基板である。
【０００３】
ベース板５０上には、チャックステージ５１を跨ぐようにして門型のＹ軸テーブル５３が設けられ、Ｙ軸テーブル５３上にはＸ軸テーブル５４が設けられる。Ｙ軸テーブル５３は、ベース板５０上に設けられたレールに沿ってＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｘ軸テーブル５４は、Ｙ軸テーブル５３上に設けられたレールに沿ってＸ軸方向に移動可能に設けられている。
【０００４】
Ｘ軸テーブル５４には、基板５２の表面に形成された微細パターンの欠陥を修正する修正ユニットが搭載される。Ｙ軸テーブル５３およびＸ軸テーブル５４を駆動することにより、修正ユニットを基板５２の表面の所望の位置に位置決めすることが可能となっている。
【０００５】
図１０は、図９に示したパターン修正装置のうちのベース板５０と、その支持台５５を示す側面図である。図１０において、支持台５５は、複数（たとえば８本）の柱状の脚部５６と、各脚部５６の下端に設けられたフットアジャスタ５７とを備える。各フットアジャスタ５７を調整して各脚部５６の高さを調整することにより、ベース板５０を所定の高さで水平に支持することが可能となっている。また、図１１に示すように、ベース板５０と支持台５５を一体に形成したものもある。
【０００６】
このようなパターン修正装置は、装置の製造メーカで製造され、液晶パネルの製造メーカの工場に納入される。第８世代までのガラス基板は１辺が約２ｍであったので、パターン修正装置を一体構造の形で車両で運搬することができた。しかし、最新の第１０世代のガラス基板は１辺が３ｍを超えるものとなり、大型化したパターン修正装置、特にベース板５０を一体構造の形で車両で運搬することは困難になった。そこで、ベース板５０を２つの副ベース板に分割して運搬し、２つの副ベース板を工場で接合してベース板５０を復元する方法が考案された（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−７３６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、液晶パネルの製造メーカでは、パターン修正装置をクリーンルームのような特殊管理された部屋に設置する場合が多く、副ベース板のような重量物を高精度で移動させる機材を十分に利用できない。このような条件下で、各副ベース板を水平に支持し、２枚の副ベース板の端面を精度良く突き合わせて接合することは容易でなかった。
【０００８】
それゆえに、この発明の主たる目的は、複数の副ベース板を容易に組み立てることが可能な位置決め装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る位置決め装置は、ベース板が複数の副ベース板に分解可能に形成された位置決め装置において、各副ベース板に対応して設けられ、対応する副ベース板を所定の高さで水平に支持する支持台と、各隣接する２枚の副ベース板に対応して設けられ、対応する２枚の副ベース板の対向する２つの端面間を結合する結合部材とを備えたものである。
【００１０】
好ましくは、結合部材は、２つの端面のうちの一方の端面に設けられる第１のブロックと、２つの端面のうちの他方の端面に設けられ、第１のブロックの両側を挟む２本のフィンガ部を有する第２のブロックと、第１のブロックと２本のフィンガ部を貫通し、第１および第２のブロックのうちの一方のブロックを他方のブロックに対して上下方向に回動可能に結合する連結ピンとを含む。
【００１１】
また好ましくは、結合部材は、さらに、第１および第２のブロックのうちの一方のブロックに対応して設けられ、対応するブロックを対応する端面に沿ってスライド可能に保持するスライダを含む。
【００１２】
また好ましくは、結合部材は、それぞれ２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、それぞれ第１および第２のフランジ部の表面に設けられ、互いに対向して設けられ、各々が円弧状の断面を有する第１および第２の凸部とを含む。
【００１３】
また好ましくは、結合部材は、それぞれ２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、第１のフランジ部の表面に設けられた断面が円弧状の凸部と、第２のフランジ部の表面に設けられ、凸部を回動可能に保持する凹部とを含む。
【００１４】
また好ましくは、結合部材は、それぞれ２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、それぞれ第１および第２のフランジ部の表面に設けられ、互いに対向して設けられた第１および第２の凹部と、第１および第２の凹部間に挟まれた球体とを含む。
【００１５】
また好ましくは、結合部材は、さらに、第１および第２のフランジ部のうちの一方のフランジ部に螺合され、その先端が他方のフランジ部の表面に当接された第１のネジ部材を含む。
【００１６】
また好ましくは、結合部材は、それぞれ２つの端面に設けられ、それらの表面が互いに対向して設けられた第１および第２のフランジ部と、第１および第２のフランジ部のうちの一方のフランジ部に螺合され、その先端が他方のフランジ部の表面に当接された第１のネジ部材とを含む。
【００１７】
また好ましくは、結合部材は、さらに、第１および第２のフランジ部を締結する第２のネジ部材を含む。
【発明の効果】
【００１８】
この発明に係る位置決め装置では、各副ベース板に対応して設けられ、対応する副ベース板を所定の高さで水平に支持する支持台と、各隣接する２枚の副ベース板に対応して設けられ、対応する２枚の副ベース板の対向する２つの端面間を結合する結合部材とが設けられる。したがって、隣接する２枚の副ベース板の対向する２つの端面を突き合せて接合する場合に比べ、複数の副ベース板を容易に組み立てることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
[実施の形態１]
図１（ａ）は、この発明の実施の形態１によるパターン修正装置（位置決め装置）の要部を示す平面図であり、同図（ｂ）はその側面図であって、図１０と対比される図である。図１（ａ）（ｂ）において、このパターン修正装置では、２枚の副ベース板１，２を備える。２枚の副ベース板１，２は、図９および図１０で説明した１枚のベース板を構成する。２枚の副ベース板１，２で構成される１枚のベース板上には、図９で示したチャックステージ５１、基板５２、Ｙ軸テーブル５３、Ｘ軸テーブル５４などが搭載される。
【００２０】
副ベース板１，２は、それぞれ支持台３，４によって所定の高さで水平に支持されている。支持台３，４の各々は、複数（たとえば４本）の柱状の脚部５と、各脚部５の下端に設けられたフットアジャスタ６とを含む。各フットアジャスタ６を調整して各脚部５の高さを調整することにより、副ベース板１，２の各々を所定の高さで水平に支持することが可能となっている。
【００２１】
２枚の副ベース板１，２は、図１（ａ）中のＹ軸方向に所定の間隔を開けて配置されている。副ベース板１，２の対向する２つの端面の間には、２つの結合部材７，８が設けられている。結合部材７は２つの端面間のスペースの図１（ａ）の上側の端部に設けられ、結合部材８は２つの端面間のスペースの図１（ａ）の下側の端部に設けられる。
【００２２】
図２（ａ）は結合部材８の構成を示す平面図であり、同図（ｂ）はその側面図である。図２（ａ）（ｂ）において、結合部材８は、２つの金属ブロック１０，１１と、連結ピン１２と、スライダ１３とを含む。金属ブロック１０の一方側（副ベース板１側）にはフランジ部１０ａが設けられている。金属ブロック１１の一方側には、金属ブロック１０の他方側端部を両側から挟むように２本のフィンガ部１１ａ，１１ｂが設けられている。２本のフィンガ部１１ａ，１１ｂと金属ブロック１０には、それらを水平方向に貫通する貫通孔が設けられており、その貫通孔には連結ピン１２が挿嵌されている。したがって、金属ブロック１０，１１は、連結ピン１２により、上下方向に回動可能に結合されている。
【００２３】
スライダ１３は、副ベース板２の端面に固定されるレール部１４と、レール部１４に沿って上下方向に移動可能に設けられた可動部１５と、可動部１５に沿って前後方向（Ｘ軸方向）に移動可能に設けられた可動部１６とを含む。可動部１６は、金属ブロック１１の他方側（副ベース板２側）の端面に固定されている。なお、可動部１５，１６の各々は、ストッパ（図示せず）によって移動範囲を制限されている。結合部材７は、結合部材８と同じ構成である。
【００２４】
次に、２枚の副ベース板１，２の結合方法について説明する。図３に示すように、２枚の副ベース板１，２が分離された状態では、結合部材７，８のレール部１４が副ベース板２の端面に固定され、フランジ部１０ａは副ベース板１の端面に固定されていない。２枚の副ベース板１，２を結合する場合は、まず支持台４を所定の位置に配置し、支持台４の各フットアジャスタ６を調整して副ベース板２を所定の高さで水平に支持する。
【００２５】
次に、副ベース板１，２間の距離を設計値に合わせて、副ベース板１を仮設置する。このとき、副ベース板１の高さ、Ｘ軸方向の位置、角度については、目視によって合わせても後の作業に支障はない。次いで、副ベース板１の端面とフランジ部１０ａとの高さ方向および横方向の位置を確認しながら、結合部材７，８の自由度を活かして副ベース板１の端面にフランジ部１０ａを複数のネジ（図示せず）で仮固定する。最後に、基準となる副ベース板２に対して副ベース板１の高さ、Ｘ軸方向の位置、角度が適正となるように、支持台３の各フットアジャスタ６を調整する。
【００２６】
この実施の形態１では、副ベース板１の高さを調整する場合は、金属ブロック１０，１１および可動部１５，１６が副ベース板１に伴って上下方向に移動するので、副ベース板１の高さ調整をスムーズに行なうことができる。副ベース板１のＸ軸方向の位置を調整する場合は、金属ブロック１０，１１および可動部１６が副ベース板１に伴ってＸ軸方向に移動するので、副ベース板１の位置調整をスムーズに行なうことができる。副ベース板１の角度を調整する場合は、金属ブロック１０の角度が副ベース板１に伴って変化するので、副ベース板１の角度調整をスムーズに行なうことができる。したがって、結合部材７，８を用いずに２枚の副ベース板１，２の端面を直接突き合わせて接合する場合に比べ、２枚の副ベース板１，２を容易に組み立てることができる。
【００２７】
[実施の形態２]
図４は、この発明の実施の形態２によるパターン修正装置の要部を示す図であって、図１（ｂ）と対比される図である。図４において、このパターン修正装置が実施の形態１のパターン修正装置と異なる点は、結合部材７，８の各々が結合部材２０で置換されている点である。
【００２８】
結合部材２０は、副ベース板１の端面に垂直に設けられた柱状の支持部２１と、支持部２１の先端に設けられたフランジ部２２と、フランジ部２２の表面に設けられた断面が円弧状の凸部２３とを含む。支持部２１、フランジ部２２、および凸部２３は、金属により一体的に形成されている。凸部２３は、正面から見れば円形である。フランジ部２２の外縁部には、複数のネジ孔２２ａが形成されている。
【００２９】
また、結合部材２０は、副ベース板２の端面に垂直に設けられた柱状の支持部２４と、支持部２４の先端に設けられたフランジ部２５と、フランジ部２２の表面に設けられた断面が円弧状の凸部２６とを含む。支持部２４、フランジ部２５、および凸部２６は、金属により一体的に形成されている。凸部２６は、正面から見れば円形である。フランジ部２５の外縁部には、複数の貫通孔２５ａが形成されている。複数の貫通孔２５ａは、それぞれ複数のネジ孔２２ａに対応して設けられている。また、凸部２６の周りには、複数のネジ孔２５ｂが形成されている。
【００３０】
次に、２枚の副ベース板１，２の結合方法について説明する。まず支持台３，４の各々を所定の位置に配置する。このとき、結合部材２０の凸部２３，２６の頂部は接触している。次に、支持台３，４の各フットアジャスタ６を調整して副ベース板１，２を所定の高さで水平に支持する。次いで、フランジ部２５の各ネジ孔２５ｂにボルト２７を螺合し、各ボルト２７の先端をフランジ部２２の表面に当接させる。次に、フランジ部２５の各貫通孔２５ａにボルト２８を挿入し、各ボルト２８をフランジ部２２のネジ孔２２ａに螺合し、各ボルト２８を締め込んでフランジ部２２，２５を締結する。これにより、副ベース板１，２の結合を完了する。
【００３１】
したがって、この実施の形態２では、結合部材２０を用いずに２枚の副ベース板１，２の端面を直接突き合わせて接合する場合に比べ、２枚の副ベース板１，２を容易に組み立てることができる。
【００３２】
なお、凸部２３，２６がなくても、フランジ部２２，２５の表面が並行になっていれば、各ボルト２８を締め込むことにより、フランジ部２２，２５の表面をぴったりと合わせることができる。しかし、実際には、フランジ部２２，２５や装置全体の歪などにより、フランジ部２２，２５の上端または下端のみが接触し、下側または上側に角度を持った隙間（以下、角度隙間と称す）が生じる場合が多い。この角度隙間は、装置のサイズが大きくなるほど発生し易くなる。角度隙間がある場合にボルト２８を確実に締め込むためには、その角度隙間を埋めるスペーサをフランジ部２２，２５の表面間に挿入する必要がある。
【００３３】
しかし、装置の製造メーカでスペーサを形成しても、装置を分解して工場に納入し、組み立てる際には、設置条件の微妙な違いなどにより分解前と異なる角度隙間が発生し、スペーサを使用できなくなる場合がある。これに対して、この実施の形態２では、凸部２３，２６およびボルト２７を設けたので、分解および組立により角度隙間が変化しても、ボルト２７の先端の突出量を調整することにより、角度隙間を確実に埋めることができる。
【００３４】
以下、この実施の形態２の種々の変更例について説明する。図５の変更例では、凸部２３，２６の代わりに、凸部３０と凹部３１が設けられる。凸部３０は、円弧状の断面を有し、フランジ部２２の表面の中央に設けられる。凹部３１は、円弧状の断面を有し、フランジ部２５の表面の中央に設けられる。凸部３０および凹部３１の各々は、正面から見れば円形である。２枚の副ベース板１，２を組み立てる際には、凸部３０は凹部３１に挿入され、凸部３０の外周面と凹部３１の内周面は接触している。各ボルト２７を締めてその先端をフランジ部２２の表面に当接させた後、各ボルト２８を締め込むことにより、２枚の副ベース板１，２を結合する。この変更例でも、実施の形態２と同じ効果を得ることができる。
【００３５】
図６の変更例では、凸部２３，２６が除去されている。フランジ部２２，２５間に角度隙間が発生した場合、各ボルト２７を締めてその先端をフランジ部２２の表面に当接させた後、各ボルト２８を締め込むことにより、２枚の副ベース板１，２を結合する。この変更例でも、実施の形態２と同じ効果を得ることができる。
【００３６】
図７の変更例では、凸部２３，２６が除去され、ボルト２７の代わりにプランジャ３２が使用される。フランジ部２２の表面には、プランジャ３２の先端部を収納するための凹部２２ｂが形成されている。この変更例でも、実施の形態２と同じ効果を得ることができる。
【００３７】
図８の変更例では、凸部２３，２６の代わりに、凹部３３，３４が設けられる。凹部３３，３４は、それぞれフランジ部２２，２５の表面の中央に設けられる。凹部３３，３４の各々は、円錐状のくぼみであり、正面から見れば円形である。凹部３３，３４の間には鋼球３５が設けられる。この変更例でも、実施の形態２と同じ効果を得ることができる。
【００３８】
なお、図８の変更例では、凹部３３，３４の各々がＶ字形の溝であってもよい。すなわち、凹部３３は、Ｘ軸方向（横方向）に延びるＶ字形の溝であり、フランジ部２２の表面の中央に設けられる。凹部３４は、Ｘ軸方向に延びるＶ字形の溝であり、フランジ部２５の表面の中央に設けられる。凹部３３，３４の各々は、正面から見れば四角形である。凹部３３，３４の間には、鋼球３５が設けられる。この変更例でも、実施の形態２と同じ効果を得ることができる。また、凹部３３，３４のうちの一方を横方向に延びる溝とし、他方を上下方向（縦方向）に延びるＶ字形の溝として、２つの溝同士が直交するようにしてもよい。この場合でも、実施の形態２と同じ効果を得ることができる。
【００３９】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の実施の形態１によるパターン修正装置の要部を示す図である。
【図２】図１に示した結合部材の構成を示す図である。
【図３】図１に示した２枚の副ベース板の組立方法を説明するための図である。
【図４】この発明の実施の形態２によるパターン修正装置の要部を示す図である。
【図５】実施の形態２の変更例を示す図である。
【図６】実施の形態２の他の変更例を示す図である。
【図７】実施の形態２のさらに他の変更例を示す図である。
【図８】実施の形態２のさらに他の変更例を示す図である。
【図９】従来のパターン修正装置の要部を示す斜視図である。
【図１０】図９に示したベース板の支持方法を示す図である。
【図１１】図９に示したベース板の他の支持方法を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１，２  副ベース板、３，４，５５  支持台、５，５６  脚部、６，５７  フットアジャスタ、７，８，２０  結合部材、１０，１１  金属ブロック、１０ａ，２２，２５  フランジ部、１１ａ，１１ｂ  フィンガ部、１２  連結ピン、１３  スライダ、１４  レール部、１５，１６  可動部、２１，２４  支持部、２２ａ，２５ｂ  ネジ孔、２２ｂ，２３，２６，３０  凸部、２５ａ  貫通孔、２７，２８  ボルト、２２ｂ，３１，３３，３４  凹部、３２  プランジャ、３５  鋼球、５０  ベース板、５１  チャックステージ、５２  基板、５３  Ｙ軸テーブル、５４  Ｘ軸テーブル。
【図１】
2010050200.tif 000003
【図２】
2010050200.tif 000004
【図３】
2010050200.tif 000005
【図４】
2010050200.tif 000006
【図５】
2010050200.tif 000007
【図６】
2010050200.tif 000008
【図７】
2010050200.tif 000009
【図８】
2010050200.tif 000010
【図９】
2010050200.tif 000011
【図１０】
2010050200.tif 000012
【図１１】
2010050200.tif 000013