(57)【要約】【課題】外部出力端子を必要とせず、ＤＡコンバータを高速かつ高精度に評価検査する。【解決手段】ＤＡコンバータ２０１および相関二重サンプリング回路１０１の出力端とＡＤコンバータ１０２の入力端との間に切替スイッチＳＷ２１を設け、シリアルインターフェース３０１およびデジタルシグナルプロセッサ１０３の出力端とＤＡコンバータ２０１の出力端との間に切替スイッチＳＷ１２を設ける。ＤＡコンバータ２０１の評価検査時に、シリアルインターフェース３０１をＤＡコンバータ２０１に接続し、ＤＡコンバータ２０１をＡＤコンバータ１０２に接続する。それによって、シリアルインターフェースから出力されるデジタルデータをＤＡコンバータ２０１でアナログ電圧に変換し、ＤＡコンバータ２０１から出力されるアナログ電圧をＡＤコンバータ１０２でデジタル信号に変換し、デジタルシグナルプロセッサ１０３からデジタル信号として出力する。【選択図】図１
2010219732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
映像信号を入力するための信号入力端子と、
前記信号入力端子からの入力信号を受け、前記入力信号中の低周波のノイズを除去する相関二重サンプリング回路と、
前記相関二重サンプリング回路からの出力信号を受け、デジタル信号に変換するＡＤコンバータと、
前記ＡＤコンバータから出力されるデジタル信号を受け、所望のデジタル処理をした結果デジタルデータを出力するデジタルシグナルプロセッサと、
前記デジタルシグナルプロセッサから出力されるデジタルデータをアナログ信号に変換して前記相関二重サンプリング回路に対して調整信号として供給するＤＡコンバータと、
前記ＤＡコンバータに対してテスト信号を入力するためのテスト信号入力部と、
前記ＤＡコンバータの出力端子と前記ＡＤコンバータの入力端子との間に設けられて前記ＡＤコンバータに前記ＤＡコンバータの出力信号を入力する第１の接続手段とを備えたＤＡコンバータ評価検査装置。
【請求項２】
前記ＡＤコンバータのデジタル信号はｎビットであり、前記ＤＡコンバータに入力されるデジタルデータはｍビット（ｍ＜ｎ）である請求項１に記載のＤＡコンバータ評価検査装置。
【請求項３】
前記テスト信号入力部は、テスト用シリアル信号を入力するためのシリアル信号入力端子と、前記シリアル信号入力端子から入力されたテスト用シリアル信号をシリアル−パラレル変換しテスト信号として前記ＤＡコンバータに入力するシリアルインターフェースと、前記シリアルインターフェースと前記ＤＡコンバータとの間に設けられて前記シリアルインターフェースから出力されるテスト信号を前記ＤＡコンバータへ入力する第２の接続手段とからなる請求項１または２に記載のＤＡコンバータ評価検査装置。
【請求項４】
前記テスト信号入力部は、テスト信号を発生するテスト信号発生回路と、前記テスト信号発生回路と前記ＤＡコンバータとの間に設けられて前記テスト信号発生回路から出力されるテスト信号を前記ＤＡコンバータに入力する第２の接続手段とからなる請求項１または２に記載のＤＡコンバータ評価検査装置。
【請求項５】
前記第１の接続手段は、通常動作時に前記相関二重サンプリング回路からの出力信号を前記ＡＤコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記ＤＡコンバータの出力信号を前記ＡＤコンバータに入力する第１の切替スイッチからなり、
前記第２の接続手段は、通常動作時に前記デジタルシグナルプロセッサから出力されるデジタルデータを前記ＤＡコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記シリアルインターフェースから出力されるテスト信号を前記ＤＡコンバータに入力する第２の切替スイッチからなる請求項３に記載のＤＡコンバータ評価検査装置。
【請求項６】
前記第１の接続手段は、通常動作時に前記相関二重サンプリング回路からの出力信号を前記ＡＤコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記ＤＡコンバータの出力信号を前記ＡＤコンバータに入力する第１の切替スイッチからなり、
前記第２の接続手段は、通常動作時に前記デジタルシグナルプロセッサから出力されるデジタルデータを前記ＤＡコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記テスト信号発生回路から出力されるテスト信号を前記ＤＡコンバータに入力する第２の切替スイッチからなる請求項４に記載のＤＡコンバータ評価検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置などに使用される高精度なＡＤコンバータおよびＤＡコンバータを搭載する半導体装置およびそれを用いた評価検査装置において、内蔵の高精度なＡＤコンバータを使用することにより容易にＤＡコンバータの評価検査を行うことができるＤＡコンバータ評価検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の微細化技術の向上により従来のアナログ処理システムのデジタル処理化が進んでいる。デジタル処理システムにおいては、システムの入出力信号はアナログ信号であることが多く、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤコンバータ、およびデジタル信号をアナログ信号に変換するＤＡコンバータはデジタル処理システムにおいて必要不可欠なものとしてその重要性がますます高まっている。
【０００３】
また、撮像装置などに使用されるＡＤコンバータとしては高精度なものが要求されており、年々高精度化が進んでおり、本発明は、その高精度ＡＤコンバータを用いた技術に関するものである。
【０００４】
図５および図６を用いて、従来例のＤＡコンバータ評価検査装置について説明する。
【０００５】
図５は従来例のＤＡコンバータ評価検査装置の構成を示すブロック図であり、図６は従来例のＤＡコンバータ評価検査装置の各部の信号波形図である。図５のＤＡコンバータ評価検査装置は、全体が一つの半導体集積回路で構成される。
【０００６】
従来例のＤＡコンバータ評価検査装置は、図５に示すように、撮像装置からの映像信号などの信号を入力するための信号入力端子１００と、その入力信号を受け低周波のノイズを除去する相関二重サンプリング回路１０１と、相関二重サンプリング回路１０１の出力信号を受け、ｎビットのデジタル信号に変換するＡＤコンバータ１０２と、ｎビットのデジタル信号を受け、各種デジタル処理を行うデジタルシグナルプロセッサ１０３とから構成され、デジタルシグナルプロセッサ１０３はＮビットデジタル信号Ｖｏｕｔを出力する。
【０００７】
さらに、このＤＡコンバータ評価検査装置は、評価検査対象であるＤＡコンバータ２０１を備えており、デジタルシグナルプロセッサ１０３は、所望のデジタル処理をした結果ｍビット（ｍ＜ｎ）のデジタルデータを出力し、このデジタルデータが通常時において切替スイッチＳＷ１２を介して、アナログ信号に変換するＤＡコンバータ２０１に入力される。ＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃは、相関二重サンプリング回路１０１へ調整信号として入力され、各種調整機能に用いられる。
【０００８】
また、このＤＡコンバータ評価検査装置は、ＤＡコンバータ２０１の評価検査のために、シリアルデータ入力端子３００とシリアルインターフェース３０１とテスト出力端子２００とを備えている。シリアルインターフェース３０１は、シリアルデータ入力端子３００より入力されたシリアルデータを受けｍビットのパラレルデータに変換して出力する。シリアルインターフェース３０１より出力されたｍビットのパラレルデータは、評価検査時において切替スイッチＳＷ１２を介してＤＡコンバータ２０１へ入力される。ＤＡコンバータ２０１の出力信号は、スイッチＳＷ１１を介してテスト出力端子２００へ出力される。
【０００９】
図５および図６を用いて、従来例のＤＡコンバータ評価検査装置の動作を詳細に説明する。
【００１０】
撮像装置などに使用される高精度なＡＤコンバータ１０２を搭載する半導体装置において、それに内蔵されるＤＡコンバータ２０１の特性を評価検査する際、従来技術では、シリアル入力端子３００からシリアルデータを入力し、このシリアルデータをシリアルインターフェース３０１でｍビットのパラレルデータに変換し、このｍビットのパラレルデータを切替スイッチＳＷ１２を通してＤＡコンバータ２０１に入力し、ｍビットのパラレルデータに対応した電圧Ｖｄａｃ（アナログ信号）をＤＡコンバータ２０１から出力させる。そして、ＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃ(アナログ信号)をスイッチＳＷ１１を通して外部端子であるテスト出力端子２００よりＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃを外部へ取り出せるようにし、テスト出力端子２００にて出力電圧Ｖｄａｃの測定を行うことにより、ＤＡコンバータ２０１の評価検査を行っていた。
【００１１】
また、ＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃを変化させるため、シリアル入力端子３００から入力されるシリアルデータを逐次変化させて、パラレル変換後のｍビットパラレルデータを変化させるようにしている。これによって、順次異なるｍビットパラレルデータ毎にＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃを測定することで、半導体装置に内蔵されるＤＡコンバータ２０１の特性を評価検査していた。
【００１２】
図６には、従来例におけるＤＡコンバータ２０１の評価検査時の各部の信号波形を示す。図６には、シリアル入力端子３００に入力されるシリアルデータと、シリアルインターフェース３０１から出力されるｍビットパラレルデータと、電圧Ｖｏｕｔと、テスト出力端子の電圧波形とを示している。なお、図６では、シリアルデータは、２つの信号波形で表されており、上段はデータ信号を示し、下段はクロック信号を示す。
【００１３】
特開２００４−４８３８３号公報に開示されている半導体装置においては、ＤＡコンバータ出力をＡＤコンバータに入力させるスイッチと信号経路を設け、ＤＡコンバータに単一周波数の正弦波テスト信号を入力して、ＤＡ変換―ＡＤ変換させその結果を内蔵のＦＦＴ回路で解析し、その結果に基づいてＤＡコンバータとＡＤコンバータの特性誤差を校正するものであり、通信用半導体集積回路に具備されるフーリエ変換回路や逆フーリエ変換回路を設けていることが前提であり撮像装置用としては不向きであった。
【特許文献１】特開２００４−４８３８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
図５に示した従来例におけるＤＡコンバータ評価検査装置は、ＤＡコンバータ２０１の出力電圧ＶｄａｃをスイッチＳＷ１１およびテスト出力端子２００を介して外部へ出力するため、外部の端子やワイヤなどの寄生容量の影響を受けやすいという問題があった。そのため、ノイズなど外乱の影響を受けやすくなり、また、精度良く安定して評価検査するのに時間を要するという問題があった。
【００１５】
また、アナログ電圧にて出力されるＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃを精度良く測定するためには、高精度な評価検査装置が必要になるという問題があった。
【００１６】
また、外部へ出力するための端子が必要であり、本来必要でない余分なテスト出力端子２００が必要となることから面積的に不利になるという問題があった。
【００１７】
さらに、シリアルインターフェース３０１を介して入力するため、評価検査のスピードはシリアルインターフェース３０１のスピードに依存するという問題があった。
【００１８】
本発明の目的は、上記従来の課題を解決し、ＤＡコンバータの出力電圧を外部へ出力することなく評価検査することにより、外部の影響を軽減し、精度良く安定して容易に評価検査することができるＤＡコンバータ評価検査装置を提供することである。
【００１９】
また、本発明の他の目的は、内蔵されるＡＤコンバータを用いてデジタル信号へ変換することにより、高精度な評価検査装置を必要としないで評価検査するＤＡコンバータ評価検査装置を提供することである。
【００２０】
また、本発明のさらに他の目的は、シリアルインターフェースを介せずＤＡコンバータを評価検査する入力信号を内部で作成することにより、インターフェースのスピードに依存せず、高速で評価検査をすることができるＤＡコンバータ評価検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決するために、本発明のＤＡコンバータ評価検査装置は、映像信号を入力するための信号入力端子と、信号入力端子からの入力信号を受け、入力信号中の低周波のノイズを除去する相関二重サンプリング回路と、相関二重サンプリング回路からの出力信号を受け、デジタル信号に変換するＡＤコンバータと、ＡＤコンバータから出力されるデジタル信号を受け、所望のデジタル処理をした結果デジタルデータを出力するデジタルシグナルプロセッサと、デジタルシグナルプロセッサから出力されるデジタルデータをアナログ信号に変換して相関二重サンプリング回路に対して調整信号として供給するＤＡコンバータと、ＤＡコンバータに対してテスト信号を入力するためのテスト信号入力部と、ＤＡコンバータの出力端子とＡＤコンバータの入力端子との間に設けられてＡＤコンバータにＤＡコンバータの出力信号を入力する第１の接続手段とを備えている。
【００２２】
この構成によれば、ＤＡコンバータの出力端子とＡＤコンバータの入力端子との間に、ＡＤコンバータにＤＡコンバータの出力信号を入力する第１の接続手段を設けたので、ＡＤ変換器でデジタル化して外部へ出力することができ、ＤＡコンバータの出力電圧をそのまま外部へ出力することなく、ＤＡコンバータを評価検査することが可能であり、外部の端子やワイヤなどの寄生容量の影響を軽減し、精度良く安定して容易に評価検査することが可能となり、本来必要でない余分なテスト出力端子も不要である。
【００２３】
また、内蔵されるＡＤコンバータを用いてデジタル信号へ変換しているので、高精度な評価検査装置を必要としないでＤＡコンバータを評価検査することが可能となる。
【００２４】
上記のＤＡコンバータ評価検査装置においては、ＡＤコンバータのデジタル信号はｎビットであり、前記ＤＡコンバータに入力されるデジタルデータはｍビット（ｍ＜ｎ）であることが好ましい。
【００２５】
また、上記のＤＡコンバータ評価検査装置においては、テスト信号入力部は、テスト用シリアル信号を入力するためのシリアル信号入力端子と、シリアル信号入力端子から入力されたテスト用シリアル信号をシリアル−パラレル変換しテスト信号としてＤＡコンバータに入力するシリアルインターフェースと、シリアルインターフェースとＤＡコンバータとの間に設けられてシリアルインターフェースから出力されるテスト信号をＤＡコンバータへ入力する第２の接続手段とからなることが好ましい。
【００２６】
また、上記のＤＡコンバータ評価検査装置においては、テスト信号入力部は、テスト信号を発生するテスト信号発生回路と、テスト信号発生回路とＤＡコンバータとの間に設けられてテスト信号発生回路から出力されるテスト信号をＤＡコンバータに入力する第２の接続手段とからなる構成であってもよい。
【００２７】
この構成によれば、内蔵のテスト信号発生回路を用いてテスト信号を生成するので、シリアルインターフェースを介せずＤＡコンバータを評価検査する入力信号を内部で作成することができ、インターフェースのスピードに依存せず、高速でＤＡコンバータを評価検査することが可能となる。
【００２８】
ここで、上記の第１の接続手段は、例えば、通常動作時に前記相関二重サンプリング回路からの出力信号を前記ＡＤコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記ＤＡコンバータの出力信号を前記ＡＤコンバータに入力する第１の切替スイッチからなる。
【００２９】
また、上記の第２の接続手段は、シリアルインターフェースを備えた構成の場合、例えば、通常動作時に前記デジタルシグナルプロセッサから出力されるデジタルデータを前記ＤＡコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記シリアルインターフェースから出力されるテスト信号を前記ＤＡコンバータに入力する第２の切替スイッチからなる。
【００３０】
また、上記の第２の接続手段は、テスト信号発生回路を備えた構成の場合、例えば、通常動作時に前記デジタルシグナルプロセッサから出力されるデジタルデータを前記ＤＡコンバータに入力し、前記ＤＡコンバータの評価検査時に前記テスト信号発生回路から出力されるテスト信号を前記ＤＡコンバータに入力する第２の切替スイッチからなる。
【発明の効果】
【００３１】
上記本発明の構成によれば、ＤＡコンバータの出力電圧を外部へ出力することなくＤＡコンバータを評価検査することが可能であり、外部の端子やワイヤなどの寄生容量の影響を軽減し、精度良く安定して容易に評価検査することが可能なＤＡコンバータ評価検査装置を実現できるという有利な効果が得られ、本来必要でない余分なテスト出力端子も不要である。
【００３２】
また、内蔵されるＡＤコンバータを用いてデジタル信号へ変換することにより、高精度な評価検査装置を必要としないでＤＡコンバータを評価検査することが可能なＤＡコンバータ評価検査装置を実現できるという有利な効果が得られる。
【００３３】
さらに、シリアルインターフェースを介せずＤＡコンバータを評価検査する入力信号を内部で作成することにより、インターフェースのスピードに依存せず、高速でＤＡコンバータを評価検査することが可能なＤＡコンバータ評価検査装置を実現できるという有利な効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施をするための最良の形態を具体的に示した実施の形態について、図面とともに記載する。
【００３５】
《実施の形態１》
図１および図２を用いて本発明の実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置について説明する。
【００３６】
図１は、本発明の実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置の構成を示すブロック図であり、図２は本発明の実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置の各部の信号波形図である。図１のＤＡコンバータ評価検査装置は、全体が一つの半導体集積回路で構成される。
【００３７】
本発明の実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置は、図１に示すように、撮像装置からの映像信号などの信号を入力するための信号入力端子１００と、その入力信号を受け低周波のノイズを除去する相関二重サンプリング回路１０１と、相関二重サンプリング回路１０１の出力信号を受け、ｎビットのデジタル信号に変換するＡＤコンバータ１０２と、ｎビットのデジタル信号を受け、各種デジタル処理を行うデジタルシグナルプロセッサ１０３とから構成され、デジタルシグナルプロセッサ１０３はＮビットデジタル信号Ｖｏｕｔを出力する。
【００３８】
また、上記の各種デジタル処理としては、例えば、オフセット（クランプ）処理や、ゲインコントロール処理などが考えられる。
【００３９】
さらに、このＤＡコンバータ評価検査装置は、評価検査対象であるＤＡコンバータ２０１を備えており、デジタルシグナルプロセッサ１０３は、所望のデジタル処理をした結果ｍビット（ｍ＜ｎ）のデジタルデータを出力し、このデジタルデータが通常時において切替スイッチＳＷ１２を介して、アナログ信号に変換するＤＡコンバータ２０１に入力される。ＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃは、相関二重サンプリング回路１０１へ調整信号として入力され、各種調整機能に用いられる。
【００４０】
上記所望のデジタル処理としては、例えば、フィルタリングやループゲイン制御などが考えられる。
【００４１】
また、このＤＡコンバータ評価検査装置は、ＤＡコンバータ２０１の評価検査のために、シリアルデータ入力端子３００とシリアルインターフェース３０１と接続手段としての切替スイッチＳＷ２１とを備えている。シリアルインターフェース３０１は、シリアルデータ入力端子３００より入力されたシリアルデータを受けｍビットのパラレルデータに変換して出力する。シリアルインターフェース３０１より出力されたｍビットのパラレルデータは、評価検査時において接続手段としての切替スイッチＳＷ１２を介してＤＡコンバータ２０１へ入力される。ＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃは、接続手段としてのスイッチＳＷ２１を介してＡＤコンバータ１０２へ入力され、ＡＤコンバータ１０２でｎビットのデジタル信号に変換された後、デジタルシグナルプロセッサ１０３を介してＮビットのデジタル信号として出力される。
【００４２】
この実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置のブロック図において、図５に示した従来例のＤＡコンバータ評価検査装置と共通のブロックには同一の符号を使用し、説明を簡略する。
【００４３】
次に、ＤＡコンバータを評価検査する際の動作について図１および図２を用いて詳細に説明する。
【００４４】
撮像装置などに使用される高精度なＡＤコンバータ１０２を搭載する半導体装置において、それに内蔵されるＤＡコンバータ２０１の特性を評価検査する際、ＤＡコンバータを所望の値に変化させるためのシリアルデータをシリアル入力端子３００より入力する。入力されたシリアルデータはシリアルインターフェース３０１にて、ｍビットのパラレルデータに変換され、接続手段としての切替スイッチＳＷ１２に入力される。切替スイッチＳＷ１２は、デジタルシグナルプロセッサ１０３とシリアルインターフェース３０１の出力端とＤＡコンバータ２０１の入力端との間に設けられている。
【００４５】
通常は、切替スイッチＳＷ１２は、デジタルシグナルプロセッサ１０３の出力信号をＤＡコンバータ２０１に入力するためのスイッチであるが、ＤＡコンバータ２０１を評価検査する際には、シリアルインターフェース３０１より出力されたｍビットのパラレルデータをＤＡコンバータ２０１へ入力するように切替スイッチＳＷ１２は動作する。
【００４６】
ここで、上記の切替スイッチＳＷ１２、ＳＷ２１の制御方法について説明する。上記切替スイッチＳＷ１２、ＳＷ２１を切り替えるための制御信号は、例えば通常時にローレベルとなり、テストモード時にハイレベルとなるデジタル信号であり、この制御信号を切替スイッチＳＷ１２、ＳＷ２１に与えることにより切替スイッチＳＷ１２、ＳＷ２１が切り替えられる。この制御信号は、別の端子から切替スイッチＳＷ１２、ＳＷ２１に与えるか、もしくはシリアルインターフェースを用いて切替スイッチＳＷ１２、ＳＷ２１に与える。
【００４７】
また、ＤＡコンバータ２０１の評価検査は、ＤＡコンバータ２０１を含む半導体装置、つまり半導体集積回路の開発中においては、設計の確認を目的とし、特性問題のフィードバックが行われる。また、量産中においては、良品／不良品の判断を目的とし、不良品の場合には、廃棄処分される。
【００４８】
ｍビットのデータを入力されたＤＡコンバータ２０１は、そのデータに応じたアナログ出力電圧Ｖｄａｃを出力し、接続手段である切替スイッチＳＷ２１に入力される。切替スイッチＳＷ２１は、相関二重サンプリング回路１０１およびＤＡコンバータ２０１の出力端とＡＤコンバータ１０２の入力端との間に設けられている。
【００４９】
通常、切替スイッチＳＷ２１は、相関二重サンプリング回路１０１の出力信号をＡＤコンバータ１０２に入力するためのスイッチであるが、ＤＡコンバータを評価検査する際には、ＤＡコンバータ２０１より出力されたアナログ出力電圧ＶｄａｃをＡＤコンバータ１０２へ入力するように、切替スイッチＳＷ２１は動作する。
【００５０】
ＤＡコンバータ２０１より出力されたアナログ出力電圧Ｖｄａｃを入力されたＡＤコンバータ１０２は、その電圧に応じたｎビットのデジタルデータを出力し、デジタルシグナルプロセッサ１０３へ入力する。デジタルシグナルプロセッサ１０３は、各種デジタル処理を行い、デジタル処理の結果としてデジタルシグナルプロセッサ１０３はＮビットデジタル信号Ｖｏｕｔを出力する。
【００５１】
上記デジタルシグナルプロセッサ１０３より出力されるＮビットデジタル信号Ｖｏｕｔを測定することにより、ＤＡコンバータ２０１の特性の評価検査を行うことができる。
【００５２】
また、ＡＤコンバータ１０２より出力されるｎビットデジタルデータを、デジタルシグナルプロセッサ１０３にて何も処理せずに出力したｎビットデジタルデータを測定し、ＤＡコンバータの評価検査を実施してもよい。
【００５３】
図２には、本実施の形態１におけるＤＡコンバータ２０１の評価検査時の各部の信号波形を示す。図２には、シリアル入力端子３００に入力されるシリアルデータと、シリアルインターフェース３０１から出力されるｍビットパラレルデータと、電圧Ｖｏｕｔと、ＡＤコンバータ１０２から出力されるｎビットデジタルデータと、デジタルシグナルプロセッサ１０３から出力されるＮビットデジタルデータとを示している。なお、図２では、シリアルデータは、２つの信号波形で表されており、上段はデータ信号を示し、下段はクロック信号を示す。
【００５４】
以上説明したように、本発明の実施の形態１においては、切替スイッチＳＷ２１を設けて、ＤＡコンバータ２０１の評価検査時にＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃを切替スイッチＳＷ２１を介してＡＤコンバータ１０２に入力し、それによって、ＤＡコンバータ２０１の出力電圧Ｖｄａｃに対応したｎビットデジタル信号をＡＤコンバータ１０２から出力させ、さらにデジタルシグナルプロセッサ１０３からＮビットデジタル信号を出力させるようにしている。そのため、ＤＡコンバータ２０１の出力電圧を外部へ出力することなく評価検査することが可能であり、精度良く安定して容易にＤＡコンバータ２０１を評価検査することが可能であり、テスト出力端子も不要である。
【００５５】
また、ＤＡコンバータ評価検査装置を構成する半導体装置に内蔵されるＡＤコンバータ１０２を用いてデジタル信号へ変換することにより、高精度な評価検査装置を必要としないで評価検査することが可能である。
【００５６】
《実施の形態２》
図３および図４を用いて本発明の実施の形態２のＤＡコンバータ評価検査装置について説明する。
【００５７】
図３は、本発明の実施の形態２のＤＡコンバータ評価検査装置の構成を示すブロック図である。図３のＤＡコンバータ評価検査装置は、全体が一つの半導体集積回路で構成される。
【００５８】
本発明の実施の形態２のＤＡコンバータ評価検査装置は、図３に示すように、図１におけるシリアル入力端子３００およびシリアルインターフェース３０１の代わりに、テスト信号発生回路３０２を備えている。その他の構成は、図１と同様である。したがって、図１と異なる点について、重点的に説明する。
【００５９】
この実施の形態２においては、テスト信号発生回路３０２より出力されたｍビットのデジタルデータは、接続手段である切替スイッチＳＷ１２を介してＤＡコンバータ２０１へ入力され、ＤＡコンバータ２０１の出力信号は、実施の形態１と同様に接続手段である切替スイッチＳＷ２１を介してＡＤコンバータ１０２に入力されている。
【００６０】
ここで、テスト信号発生回路３０２の具体的な構成について図４を用いて説明する。図４は、テスト信号発生回路３０２の実施例を示すブロック図である。
【００６１】
実施の形態２のテスト信号発生回路３０２は、カウンタクロックの入力端子３０４と、カウンタクロックに応じて出力のデジタルデータをアップ（或いはダウン）するｍビットアップカウンタ（或いはダウンカウンタ）３０３と、ｍビットのデジタルデータ出力端子３０５とから構成されている。
【００６２】
ｍビットアップカウンタ（或いはダウンカウンタ）３０３は、入力されたカウンタクロックの立ち上がり（或いは立ち下がり）のタイミングに出力であるｍビットのデジタルデータを１増やす（或いは減らす）動作をする回路である。
【００６３】
ここで、カウンタクロックのタイミングでｍビットのデジタルデータが１増えるとしたが、任意の数Ｋ（整数）でも構わない。
【００６４】
また、上記図４の実施例に限定されず、別の構成にて同様の動作をする回路にて構成しても構わない。
【００６５】
次に、実施の形態２において、ＤＡコンバータ２０１を評価検査する際の動作について図３および図４を用いて詳細に説明する。
【００６６】
ＤＡコンバータ２０１を評価検査する際、ＤＡコンバータ２０１へのデジタル入力を所望の値に変化させるため、テスト信号発生回路３０２にカウンタクロックを入力する。カウンタクロックを入力されたテスト信号発生回路３０２は、ｍビットのデジタルデータを順次変化させ、そのｍビットのデジタルデータ（テスト信号）は切替スイッチＳＷ１２に入力される。
【００６７】
通常、切替スイッチＳＷ１２は、デジタルシグナルプロセッサ１０３の出力信号をＤＡコンバータ２０１に入力するためのスイッチであるが、ＤＡコンバータ２０１を評価検査する際には、テスト信号発生回路３０２より出力されたｍビットのデジタルデータをＤＡコンバータ２０１へ入力するように、切替スイッチＳＷ１２は動作する。
【００６８】
ｍビットのデジタルデータを入力されたＤＡコンバータ２０１は、そのデータに応じたアナログ出力電圧Ｖｄａｃを出力し、切替スイッチＳＷ２１に入力される。通常、切替スイッチＳＷ２１は、相関二重サンプリング回路１０１の出力信号をＡＤコンバータ１０２に入力するためのスイッチであるが、ＤＡコンバータ２０１を評価検査する際には、ＤＡコンバータ２０１より出力されたアナログ出力電圧ＶｄａｃをＡＤコンバータ１０２へ入力するように、切替スイッチＳＷ２１は動作する。
【００６９】
ＤＡコンバータ２０１より出力されたアナログ出力電圧Ｖｄａｃを入力されたＡＤコンバータ１０２は、その電圧に応じたｎビットのデジタルデータを出力し、デジタルシグナルプロセッサ１０３へ入力する。デジタルシグナルプロセッサ１０３は、入力されたｎビットのデジタルデータに対して各種デジタル処理を行い、デジタルシグナルプロセッサ１０３はＮビットデジタル信号Ｖｏｕｔを出力する。
【００７０】
上記デジタルシグナルプロセッサ１０３のＮビットデジタル信号Ｖｏｕｔを測定することにより、ＤＡコンバータの特性の評価検査を行う。
【００７１】
また、ＡＤコンバータ１０２より出力されるｎビットデジタルデータを、デジタルシグナルプロセッサ１０３にて何も処理せずに出力したｎビットデジタルデータを測定し、ＤＡコンバータの評価検査を実施してもよい。
【００７２】
以上説明したように、本発明の実施の形態２においては、シリアルインターフェースを介せずテスト信号発生回路３０２にて、ＤＡコンバータ２０１を評価検査する入力信号であるテスト信号を内部で作成することにより、シリアルインターフェースの動作スピードに依存せず高速でＤＡコンバータ２０１を評価検査することが可能である。
【００７３】
本発明は、基本的に以上のようなものである。
【００７４】
以上、本発明のＤＡコンバータ評価検査装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【００７５】
実施の形態のＤＡコンバータ評価検査装置は、高精度なＡＤコンバータを内蔵する撮像装置において、ＤＡコンバータの出力電圧を外部へ出力することなく評価検査することが可能であり、精度良く安定して容易にＤＡコンバータを評価検査することが可能であり、テスト出力端子も不要である。
【００７６】
また、内蔵されるＡＤコンバータを用いてデジタル信号へ変換することにより、高精度な評価検査装置を必要としないでＤＡコンバータを評価検査することが可能である。
【００７７】
さらに、シリアルインターフェースを介せずテスト信号発生回路にて、ＤＡコンバータを評価検査する入力信号を内部で作成することにより、シリアルインターフェースのスピードに依存しないせず、高速でＤＡコンバータを評価検査することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
近年、撮像装置などに内蔵されるＡＤコンバータは高精度化が進み、また、ＤＡコンバータは回路技術や周辺モジュールの高精度化により調整が不要となっており、低ビット化の傾向にある。内蔵されるＤＡコンバータを高精度のＡＤコンバータで評価検査する本発明は、撮像装置など高精度なＡＤコンバータを内蔵するシステムに使用されるＤＡコンバータの評価検査装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１のＤＡコンバータ評価検査装置の各部の信号波形図である。
【図３】本発明の実施の形態２のＤＡコンバータ評価検査装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態２におけるテスト信号発生回路の具体的な実施例を示すブロック図である。
【図５】従来例のＤＡコンバータ評価検査装置の構成を示すブロック図である。
【図６】従来例のＤＡコンバータ評価検査装置の各部の信号波形図である。
【符号の説明】
【００８０】
１００  信号入力端子
１０１  相関二重サンプリング回路
１０２  ＡＤコンバータ
１０３  デジタルシグナルプロセッサ
２００  テスト出力端子
２０１  ＤＡコンバータ
３００  シリアル入力端子
３０１  シリアルインターフェース
３０２  テスト信号発生回路
３０３  ｍビットアップ（ダウン）カウンタ
３０４  カウンタクロックの入力端子
３０５  デジタルデータ出力端子
【図１】
2010219732.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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