(57)【要約】【課題】ペースト吐出により形成されるバンプの高さをスクリーン版内でより均一化することが可能なスクリーン版、その製造方法、およびこのスクリーン版を利用するバンプ形成方法を提供すること。【解決手段】ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が第１の所定のサイズである第１の領域と、前記第１の領域の隣に位置する領域であって、ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が前記第１の所定のサイズとは異なる第２の所定のサイズである第２の領域とを具備する。【選択図】図１
2010105394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が第１の所定のサイズである第１の領域と、
前記第１の領域の隣に位置する領域であって、ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が前記第１の所定のサイズとは異なる第２の所定のサイズである第２の領域と
を具備することを特徴とするスクリーン版。
【請求項２】
前記第１の領域とは反対側の、前記第２の領域の隣に位置する領域であって、ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が前記第２の所定のサイズとは異なる第３の所定のサイズである第３の領域をさらに具備することを特徴とする請求項１記載のスクリーン版。
【請求項３】
前記第１の領域、前記第２の領域、前記第３の領域が、縦方向に隣り合う領域であることを特徴とする請求項２記載のスクリーン版。
【請求項４】
前記第２の領域の複数のピットの平均径が、前記第１の領域の複数のピットの平均径および前記第３の領域の複数のピットの平均径のいずれよりも大きいことを特徴とする請求項３記載のスクリーン版。
【請求項５】
前記第１の領域と前記第２の領域とが、横方向に隣り合う領域であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン版。
【請求項６】
前記第１の領域、前記第２の領域、前記第３の領域が、横方向に隣り合う領域であることを特徴とする請求項２記載のスクリーン版。
【請求項７】
前記第１の領域の複数のピットの平均径が、前記第２の領域の複数のピットの平均径より小さく、該第２の領域の複数のピットの平均径が、前記第３の領域の複数のピットの平均径より小さいことを特徴とする請求項６記載のスクリーン版。
【請求項８】
前記第１の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第１の所定の幅に分布しており、
前記第２の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第２の所定の幅に分布していること
を特徴とする請求項１記載のスクリーン版。
【請求項９】
前記第１の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第１の所定の幅に分布しており、
前記第２の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第２の所定の幅に分布しており、
前記第３の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第３の所定の幅に分布していること
を特徴とする請求項２記載のスクリーン版。
【請求項１０】
多数のピットが穿設されたスクリーン版において横方向または縦方向にｎ個（ｎは２以上の整数）の領域を設定する工程と、
前記スクリーン版を用いて被印刷物面上にバンプを印刷、形成する工程と、
前記被印刷物面上に形成されたバンプの高さそれぞれまたは前記被印刷物面上に形成されたバンプのうちのサンプリングされた一部のバンプの高さそれぞれを計測する工程と、
前記ｎ個の領域ごとに、前記バンプの高さの平均値を推定する工程と、
前記ｎ個の領域ごとの前記平均値から、前記スクリーン版における横または縦方向位置ｘとバンプ高さｈの関係を記述する関数を最小二乗法を用いて同定する工程と、
前記関数における、横または縦方向位置ｘに対するバンプ高さｈの変化に応じて、前記バンプ高さｈが大きいほど小となり、小さいほど大となる、任意の横または縦方向位置ｘでの補正係数ＣＦ（ｘ）を求める工程と、
前記補正係数ＣＦ（ｘ）を利用して、任意のスクリーン版についてその有すべきピットそれぞれのあるべき径の値を求める工程と、
前記あるべき径の値に基づいて板部材にピットを穿設する工程と
を具備することを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項１１】
前記関数が、１以上ｎ−１以下の次数の代数関数であることを特徴とする請求項１０記載のスクリーン版の製造方法。
【請求項１２】
多数のピットが穿設されたスクリーン版において横方向または縦方向にｎ個（ｎは２以上の整数）の領域を設定する工程と、前記スクリーン版を用いて被印刷物面上にバンプを印刷、形成する工程と、前記被印刷物面上に形成されたバンプの高さそれぞれまたは前記被印刷物面上に形成されたバンプのうちのサンプリングされた一部のバンプの高さそれぞれを計測する工程と、前記ｎ個の領域ごとに、前記バンプの高さの平均値を推定する工程と、前記ｎ個の領域ごとの前記平均値から、前記スクリーン版における横または縦方向位置ｘとバンプ高さｈの関係を記述する関数を最小二乗法を用いて同定する工程と、前記関数における、横または縦方向位置ｘに対するバンプ高さｈの変化に応じて、前記バンプ高さｈが大きいほど小となり、小さいほど大となる、任意の横または縦方向位置ｘでの補正係数ＣＦ（ｘ）を求める工程と、前記補正係数ＣＦ（ｘ）を利用して、任意のスクリーン版についてその有すべきピットそれぞれのあるべき径の値を求める工程と、前記あるべき径の値に基づいて板部材にピットを穿設する工程とを経て得られたスクリーン版を印刷機に取り付け、
当該スクリーン版上にペースト状物体を供給し、
当該スクリーン版上にスキージを押しつけることにより、被印刷物面上に当該スクリーン版を線状に当接させ、
当該スクリーン版上で前記スキージを進行することにより、当該スクリーン版が有するピットを介して前記被印刷物面上に前記ペースト状物体を吐出させ該ペースト状物体のバンプを形成すること
を特徴とするバンプ形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペーストを吐出するためのピットが穿設されたスクリーン版、その製造方法、およびこのスクリーン版を利用するバンプ形成方法に係り、特に、ペースト吐出により形成されるバンプの高さをスクリーン版内で均一化するのに好適なスクリーン版、その製造方法、およびこのスクリーン版を利用するバンプ形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細な構造物を物体面上に形成するためスクリーン印刷を応用する技術が種々の場面で用いられている。配線板または金属箔上に微細構造物としての導電性バンプを形成するのもそのひとつである。このような方法で印刷・形成される導電性バンプは、先端が尖る形状になるので半硬化状態の絶縁板（プリプレグ）を貫通しやすく、絶縁板を貫通する配線層間の微細な層間接続導体として使用することができる。
【０００３】
導電性バンプの形成は、絶縁板を貫通するためある程度の高さが必要である。また、その形成高さに均一性が求められる。均一性が悪いと絶縁板への貫通が不完全の導電性バンプの発生確率が増加したり、周りに比べて高い導電性バンプが積層加圧時に割れその小片が残留したりして、配線板としての製造歩留まりが悪化するからである。
【０００４】
形成高さの不均一性には、上記のようなスクリーン版内の各所での局所的な不均一性のほかに、スクリーン印刷の原理上の要因による大局的な不均一性がある。スキージが移動する方向では、移動方向の各位置でスクリーン版が被印刷物面から離れる角度や速度が変化するなどの影響で、バンプの形成高さに不均一性が発生する可能性がある。また、スキージの長手方向には、スキージの撓み、磨耗の差などの影響によりバンプの形成高さに不均一性が発生する可能性がある。
【０００５】
一方、一般に、微細な層間接続導体を有する配線板では、生産性向上のため大判の絶縁板上に複数の配線板を同時に製造する工法が採用されている場合が多い。このような場合でのスクリーン印刷による導電性バンプ形成は、効率的な層間接続導体の形成として好ましい。しかしながら、複数の配線板のそれぞれで均一的高さに導電性バンプが形成されるかという点で課題が生じる。つまりは、このような場合、大局的なバンプ高さ不均一性も配線板としての製造歩留まりを悪化させる。
【０００６】
スクリーン印刷の従来技術には、導電性バンプを形成するスクリーン印刷とは異なるスクリーン印刷ではあるが、例えば下記特許文献１ないし５記載のものがある。このうち特許文献１ないし４に開示のスクリーン印刷は、ペースト状物体たるはんだペーストの均一的印刷、塗布に関している。これらのいずれも本願で開示するようなスクリーン版を想起させるような記載はない。
【０００７】
また、特許文献５に開示のスクリーン印刷は、ディスプレイパネル製造における蛍光体ペーストのスクリーン印刷に関している。このスクリーン印刷は、スクリーン版として、メッシュに形成パターンを乳剤でパターニングしたものを用いており、ピットの穿設されたスクリーン版による印刷ではない。また、パターニングによる開口率をスクリーン版に設定された各領域で異ならせるとの記載があるが、それに関する具体的、体系的な設計方法までは記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１−３０６２８７号公報
【特許文献２】特開平６−９２０５４号公報
【特許文献３】特開平７−１１５２６５号公報
【特許文献４】実公昭６２−１８９１５６号公報
【特許文献５】特開２００４−３２２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、ペーストを吐出するためのピットが穿設されたスクリーン版、その製造方法、およびこのスクリーン版を利用するバンプ形成方法において、ペースト吐出により形成されるバンプの高さをスクリーン版内でより均一化することが可能なスクリーン版、その製造方法、およびこのスクリーン版を利用するバンプ形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様であるスクリーン版は、ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が第１の所定のサイズである第１の領域と、前記第１の領域の隣に位置する領域であって、ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が前記第１の所定のサイズとは異なる第２の所定のサイズである第２の領域とを具備することを特徴とする。
【００１１】
すなわち、このスクリーン版では、互いに隣の領域である第１、第２の領域において、それらの領域内に穿設された複数のピットの平均径が異なっている。つまり、スクリーン印刷の原理上の要因による大局的なバンプ高さ不均一性を克服するように、領域間でピットの平均径が異ならせている。一般に、ピット径が大きければピット内に充填されるペースト量が増すため形成されるバンプ高さがより高くなり、ピット径が小さければ逆にピット内に充填されるペースト量が減少するためバンプ高さがより低くなる。この一般的な性質を逆用して、スクリーン印刷の原理上の要因による大局的なバンプ高さ不均一性を改善する。
【００１２】
また、本発明の別の態様であるスクリーン版の製造方法は、多数のピットが穿設されたスクリーン版において横方向または縦方向にｎ個（ｎは２以上の整数）の領域を設定する工程と、前記スクリーン版を用いて被印刷物面上にバンプを印刷、形成する工程と、前記被印刷物面上に形成されたバンプの高さそれぞれまたは前記被印刷物面上に形成されたバンプのうちのサンプリングされた一部のバンプの高さそれぞれを計測する工程と、前記ｎ個の領域ごとに、前記バンプの高さの平均値を推定する工程と、前記ｎ個の領域ごとの前記平均値から、前記スクリーン版における横または縦方向位置ｘとバンプ高さｈの関係を記述する関数を最小二乗法を用いて同定する工程と、前記関数における、横または縦方向位置ｘに対するバンプ高さｈの変化に応じて、前記バンプ高さｈが大きいほど小となり、小さいほど大となる、任意の横または縦方向位置ｘでの補正係数ＣＦ（ｘ）を求める工程と、前記補正係数ＣＦ（ｘ）を利用して、任意のスクリーン版についてその有すべきピットそれぞれのあるべき径の値を求める工程と、前記あるべき径の値に基づいて板部材にピットを穿設する工程とを具備することを特徴とする。
【００１３】
すなわち、この方法では、スクリーン版を用いて実際に被印刷物面上にバンプを印刷、形成し、その高さを計測する。そしてｎ個の領域それぞれでバンプ高さの平均値を推定し、これに適合するように、位置ｘでのバンプ高さｈをｘの関数として、最小二乗法を用いて同定する。さらに、この関数における、位置ｘに対するバンプ高さｈの変化に応じて、バンプ高さｈが大きいほど小となり、小さいほど大となる、任意の横または縦方向位置ｘでの補正係数を求める。そして、この補正係数を利用して、任意のスクリーン版についてその有すべきピットそれぞれのあるべき径の値を求め、これにより、板部材にピットを穿設する。これによれば、スクリーン版内でのピットの位置により、その径が、バンプとして形成される高さを均一化するように、穿設されることになる。
【００１４】
また、本発明のさらに別の態様であるバンプ形成方法は、多数のピットが穿設されたスクリーン版において横方向または縦方向にｎ個（ｎは２以上の整数）の領域を設定する工程と、前記スクリーン版を用いて被印刷物面上にバンプを印刷、形成する工程と、前記被印刷物面上に形成されたバンプの高さそれぞれまたは前記被印刷物面上に形成されたバンプのうちのサンプリングされた一部のバンプの高さそれぞれを計測する工程と、前記ｎ個の領域ごとに、前記バンプの高さの平均値を推定する工程と、前記ｎ個の領域ごとの前記平均値から、前記スクリーン版における横または縦方向位置ｘとバンプ高さｈの関係を記述する関数を最小二乗法を用いて同定する工程と、前記関数における、横または縦方向位置ｘに対するバンプ高さｈの変化に応じて、前記バンプ高さｈが大きいほど小となり、小さいほど大となる、任意の横または縦方向位置ｘでの補正係数ＣＦ（ｘ）を求める工程と、前記補正係数ＣＦ（ｘ）を利用して、任意のスクリーン版についてその有すべきピットそれぞれのあるべき径の値を求める工程と、前記あるべき径の値に基づいて板部材にピットを穿設する工程とを経て得られたスクリーン版を印刷機に取り付け、当該スクリーン版上にペースト状物体を供給し、当該スクリーン版上にスキージを押しつけることにより、被印刷物面上に当該スクリーン版を線状に当接させ、当該スクリーン版上で前記スキージを進行することにより、当該スクリーン版が有するピットを介して前記被印刷物面上に前記ペースト状物体を吐出させ該ペースト状物体のバンプを形成することを特徴とする。
【００１５】
このバンプ形成方法は、上記のスクリーン版の製造方法によって得られたスクリーン版を用いて行う形成方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ペースト吐出により形成されるバンプの高さをスクリーン版内でより均一化することが可能なスクリーン版、その製造方法、およびこのスクリーン版を利用するバンプ形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係るスクリーン版を得るための、スクリーン版ピット径の補正係数取得方法の一例を示す流れ図。
【図２】スクリーン版上に取った各領域の配置例を示す構成図。
【図３】ある未補正スクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの高いものの位置を示す配置図。
【図４】図３と同じ未補正スクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの低いものの位置を示す配置図。
【図５】補正係数の調整について説明するグラフ。
【図６】ピット径が補正されたスクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの高いものの位置を示す配置図。
【図７】図６と同じスクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの低いものの位置を示す配置図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施態様として、前記第１の領域とは反対側の、前記第２の領域の隣に位置する領域であって、ペーストを吐出するためのピットが複数穿設され、該複数のピットの平均径が前記第２の所定のサイズとは異なる第３の所定のサイズである第３の領域をさらに具備する、とすることができる。これは領域の数を３つに増加させたものであり、これによれば、スクリーン版はより細やかな対応となる。
【００１９】
ここで、前記第１の領域、前記第２の領域、前記第３の領域が、縦方向に隣り合う領域である、とすることができる。縦方向は、例えばスキージの長手方向に相当し、スキージの撓みや磨耗の差などの影響によりバンプの形成高さに不均一性をもたらし得る。そこで、このように第１、第２、第３の領域が、縦方向に隣り合う領域であれば、この不均一性を改善できる。
【００２０】
また、ここで、前記第２の領域の複数のピットの平均径が、前記第１の領域の複数のピットの平均径および前記第３の領域の複数のピットの平均径のいずれよりも大きい、とすることができる。これはひとつの例であるが、実際のスクリーン版における対症的な対応としては、このようなピット径が好ましい場合が多い。
【００２１】
また、実施態様として、前記第１の領域と前記第２の領域とが、横方向に隣り合う領域である、とすることができる。横方向は、例えばスキージが移動する方向に相当し、移動方向の各位置でスクリーンが被印刷物面から離れる角度が変化するなどの影響で、バンプの形成高さに不均一性をもたらし得る。そこで、このように第１の領域と第２の領域とが、横方向に隣り合う領域であれば、この不均一性を改善できる。
【００２２】
また、前記第１の領域、前記第２の領域、前記第３の領域が、横方向に隣り合う領域である、とすることもできる。これは領域の数を横方向に３つに増加させたものであり、これによれば、領域を２つとする場合より、スクリーン版はより細やかな対応となる。
【００２３】
ここで、前記第１の領域の複数のピットの平均径が、前記第２の領域の複数のピットの平均径より小さく、該第２の領域の複数のピットの平均径が、前記第３の領域の複数のピットの平均径より小さいとすることができる。これはひとつの例であるが、実際のスクリーン版における対症的な対応としては、このようなピット径が好ましい場合が多い。
【００２４】
また、実施態様として、前記第１の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第１の所定の幅に分布しており、前記第２の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第２の所定の幅に分布している、とすることができる。また、前記第１の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第１の所定の幅に分布しており、前記第２の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第２の所定の幅に分布しており、前記第３の領域に穿設された前記複数のピットの径が、数値として第３の所定の幅に分布している、とすることもできる。これらは、それぞれの領域内でもピットの径を変えていることを意味している。すなわち、形成されるバンプの高さを均一化するためにスクリーン版はより細やかな対応となっている。
【００２５】
また、スクリーン版の製造方法としての実施態様として、前記関数が、１以上ｎ−１以下の次数の代数関数である、とすることができる。このような代数関数を前記関数として用いることは非常に実用的である。
【００２６】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るスクリーン版を得るための、スクリーン版ピット径の補正係数取得方法の一例を示す流れ図である。以下、図１を中心として、適宜途中で他の図（図２ないし図７）を参照しつつこの方法を説明する。なお、これにより取得された補正係数を用いて、任意のスクリーン版についてその有すべきピットそれぞれのあるべき径の値を求め、このあるべき径の値に基づいて板部材にピットを穿設すれば、本発明の一実施形態に係るスクリーン版を製造することができる。
【００２７】
まず、ピット径について何らの補正もされていない（＝呼び径として同一のピットを有する）スクリーン版を用いて被印刷物面上にバンプをオフコンタクトで印刷、形成する（ステップ１１）。被印刷物は、通常の配線板製造方法で使用のものと同じように、金属箔（銅箔）やパターン化金属箔を有する絶縁板である。バンプのもととなるペーストは、例えばペースト状樹脂の中に金属微細粒（銀、金、銅、半田など）を分散させ、加えて揮発性の溶剤を混合させたものである。各ピットの位置については、実際に生産する配線板に応じた位置でよく、または、この方法を実施するため特別に設定された位置でもよい。
【００２８】
なお、被印刷物面上にバンプを印刷、形成する手順は以下である。まず、スクリーン版を印刷機に取り付け、このスクリーン版上にペースト状物体を供給し、続いて当該スクリーン版上にスキージを押しつけることにより、被印刷物面上に当該スクリーン版を線状に当接させる。そして、当該スクリーン版上でスキージを進行することにより、当該スクリーン版が有するピットを介して被印刷物面上にペースト状物体を吐出させる。これにより、被印刷物面上にペースト状物体のバンプを形成することができる。
【００２９】
スクリーン版となる板部材は、その材料として、例えばアルミニウム、ニッケル、ステンレス鋼、銅、真ちゅうなどが用いられ、その厚さは、例えば５０μｍから５００μｍ程度（より具体的に以下では例えば１５０μｍとする）である。各ピットの呼び径は、例えば５０μｍから５００μｍ程度である（より具体的に以下では１５０μｍとする）。このようなピット径のスクリーン版を用い乾燥工程を挟みながらここでは例えば３回重ねて印刷を行い、高さ例えば１００μｍ程度のバンプを形成する。
【００３０】
ここで、このスクリーン版は、便宜的に縦に６領域、横に６領域あるものと考える。この領域数は、最大では、形成するバンプの数と等しい数と考え得るが、後述する代数関数（実験上の経験からこの次数は例えば２次か３次が適当）の同定に足る数とすればよく、以下説明の例では、６領域と考え、上記代数関数は２次とする。
【００３１】
スクリーン版上の上記領域の様子を図２に示す。図２は、スクリーン版上に取った各領域の配置例を示す構成図である。図２に示すように、スクリーン版２１は、縦領域１、同２、…、同６のような、各隣に配置の領域があり、同時に、横領域１、同２、…、同６のような、各隣に配置の領域がある。ここで、スクリーン版２１の縦方向がスクリーン印刷のスキージの長手方向に一致し、横方向がスキージが進行する方向に一致する。スクリーン版２１における上記縦領域、横領域の存在する大きさは、縦例えば４００ｍｍ、横例えば５００ｍｍである。上記のひとつの領域あたりピットの数は例えば数千である。なお、実際のスクリーン版２１には、４００ｍｍ×５００ｍｍの領域の外側に印刷機に取り付けるための予備領域（不図示）が設けてあり、全体として例えば５５０ｍｍ×８５０ｍｍの大きさである。
【００３２】
被印刷物面上にバンプを印刷、形成したら、次に、それぞれのバンプ高さを専用機を用いて計測する（ステップ１２）。専用機を用いることで多数のバンプについて短時間で効率的にそれらの高さを計測することができる。この専用機のバンプ高さ計測原理は、被印刷物面上に対して斜め一定の角度から光を当て、バンプにより生じる影を撮像素子で撮影し、得られた撮像画像を画像処理することによっている。このような画像処理により、バンプの数が全部で例え数万あっても高速に計測することができる。それぞれのバンプの高さは、被印刷物面上でのその位置座標（したがって、縦領域、横領域のうちのどこに対応するかも含まれる）に対応付けて保持される。
【００３３】
なお、印刷、形成されたバンプのすべてについて高さを計測する代わりに、例えばある空間周期でサンプリングされた一部のバンプについてその高さを計測するようにしてもよい。これによれば、計測がさらに高速化できる。スクリーン版によってはバンプの形成密度が高い場合もありこのような場合には、サンプリングしても、得られるバンプ高さ情報の質はほとんど低下しない。
【００３４】
ここで、被印刷物面上にバンプを印刷、形成し、専用機により得られたバンプ高さのデータ例について、図３、図４を参照して説明する。図３は、ある未補正スクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの高いものの位置を示す配置図である。図４は、図３と同じ未補正スクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの低いものの位置を示す配置図である。
【００３５】
すなわち、図３は、得られたバンプ高さデータの平均に対してある高めの閾値を設定し、それ以上の高さのバンプが位置する地点をプロットして得られたものである（黒三角点で示す）。図４は、得られたバンプ高さデータの平均に対してある低めの閾値を設定し、それ以下の高さのバンプが位置する地点をプロットして得られたものである（黒丸点で示す）。これらの図から、このスクリーン版を用いた場合には、バンプ高さに関して、大局的に見て図で左側ほど高くバンプが形成され、その中でも縦方向に端である領域で特に高くバンプが形成されていることがわかる。このようになる要因についてはすでに説明した通りである。
【００３６】
なお、図３、図４に示した配置図を与えたスクリーン版は、横方向に６シート、縦方向に３シートを一度に印刷するものであり、１シートは、横に４つ、縦に３つの１２面で構成される。その１面ごとが最終製品として１つの配線板に相当する。すなわち、このスクリーン版は、４×３の１２面付け１シートを、６×３の１８シート有する構成である。なお、ここで説明のシートの数および面の数は、上記説明した領域の数とは無関係の数であってよい。
【００３７】
図１に戻って、それぞれのバンプ高さを計測したら、次に、上記保持されたバンプ高さのデータを用いて、縦に取られた６領域ごとにバンプ高さの平均値を算出し、また、横に取られた６領域ごとにバンプ高さの平均値を算出する（ステップ１３）。この算出は、上記画像処理を行う装置（例えば所定のソフトウエアを備えたＰＣ）に所定の計算用ソフトウエアを備えさせておけば、容易にかつ高速に求めることができる。なお、バンプをサンプリングして高さ計測している場合も処理として同じであるが、この場合には、平均値の算出によってその領域のバンプ高さの平均値を推定しているという見方ができる。
【００３８】
次に、上記より得られた縦に関する６つのバンプ高さ平均値（これを、ｈａ１、ｈａ２、…、ｈａ６とする）を用いて、縦位置ｘａ対バンプ高さｈの関係を記述する２次関数：ｈ＝ｆ（ｘａ）＝ｋ３ｘａ２＋ｋ２ｘａ＋ｋ１を、最小二乗法を用いて同定する（ステップ１４）。すなわち、この式におけるｋ３、ｋ２、ｋ１を当初は未知数として、６つの残差二乗値の和を求め、次にこの和を極小とするｋ３、ｋ２、ｋ１を求める。この最小二乗法は、実際には、例えば、一般的な表計算ソフトを用いれば容易に実行できる。
【００３９】
以上と同様の処理を、横に関しても行う。すなわち、上記より得られた横に関する６つのバンプ高さ平均値（これを、ｈｂ１、ｈｂ２、…、ｈｂ６とする）を用いて、横位置ｘｂ対バンプ高さｈの２次関数：ｈ＝ｇ（ｘｂ）＝ｋ３ｘｂ２＋ｋ２ｘｂ＋ｋ１を、最小二乗法を用いて同定する（ステップ１４）。すなわち、この式におけるｋ３、ｋ２、ｋ１を当初は未知数として、６つの残差二乗値の和を求め、次にこの和を極小とするｋ３、ｋ２、ｋ１を求める。
【００４０】
そして、次に、上記求められた縦位置に関する２次関数ｈ＝ｆ（ｘａ）を、ｈａ１、ｈａ２、…、ｈａ６の平均値を用いて正規化する（ステップ１５；ｈｎ＝ｆｎ（ｘａ））。すなわち、ｈ＝ｆ（ｘａ）の両辺をこの平均値で割る。この正規化２次関数は、大局的なバンプ高さ平均に対する各縦位置でのバンプ高さの比を示す関数になる。同様に横位置に関する２次関数ｈ＝ｇ（ｘｂ）についても正規化する（ステップ１５；ｈｎ＝ｇ（ｘｂ））。この正規化２次関数は、大局的なバンプ高さ平均に対する各横位置でのバンプ高さの比を示す関数になる。
【００４１】
次に、上記求められた正規化２次関数の逆数として、スクリーン版ピット径の補正係数ＣＦを求める（ステップ１６；ＣＦ（ｘａ）＝１／ｆｎ（ｘａ）、ＣＦ（ｘｂ）＝１／ｇｎ（ｘｂ））。これは、すなわち、横位置ｘａまたは縦方向ｘｂに対するバンプ高さｈの変化に応じて、バンプ高さｈが大きいほど小となり、小さいほど大となる、任意の横位置ｘａまたは縦位置ｘｂでの補正係数ＣＦを求める、ということである。
【００４２】
一般に、ピット径が大きければピット内に充填されるペースト量が増すため形成されるバンプ高さがより高くなり、ピット径が小さければ逆にピット内に充填されるペースト量が減少するためバンプ高さがより低くなる。補正係数ＣＦは、この一般的な性質を逆用して、スクリーン印刷の原理上の要因による大局的なバンプ高さ不均一性を改善するためのものである。このような逆用が適用されるのであれば、補正係数ＣＦの算出は、正規化２次関数の逆数には限られない。例えば、ＣＦ（ｘａ）＝１−（ｆｎ（ｘａ）−１）などとすることもできる。
【００４３】
次に、上記求められた補正係数ＣＦを調整し（ステップ１７）、調整後補正係数ＣＦｓを求める。この調整は、補正の効き方を調整するものであり、概略的には図５に示すような変換である。図５は、補正係数の調整について説明するグラフである。
【００４４】
すなわち、補正の効きを調整しなければ図５における「無調整時」のように、補正係数ＣＦと調整後補正係数ＣＦｓとは一致する。補正の効きを増せば、「強調整時」のように、ＣＦの変化に対するＣＦｓの変化量は増加する（ただし、正規化の意味を保持するためＣＦ＝１のとき、ＣＦｓ＝１とする）。また、補正の効きを減らせば、「弱調整時」のように、ＣＦの変化に対するＣＦｓの変化量は減少する（ただし、正規化の意味を保持するためＣＦ＝１のとき、ＣＦｓ＝１とする）。
【００４５】
調整後補正係数ＣＦｓの算出は、実際には、実験を通して試行錯誤的に求めることが有用である。すなわち、当初は補正の効きを調整せずに以降のステップ１８、およびそれに基づくスクリーン版の製造とバンプ形成とを行い、その結果をフィードバックすることでより適切に調整することができる。また、必ずしも、ＣＦに対してＣＦｓの変化の特性は、図５に示すような直線である必要はない。適宜曲線を含むような特性としてもよい。
【００４６】
補正係数を調整したら、次に、上記求められた調整後補正係数ＣＦｓ（ｘａ）、ＣＦｓ（ｘｂ）を用いて、未補正スクリーン版の各ピットについて、あるべき各径を計算する（ステップ１８）。すなわち、例えば、各ピットの縦位置ｘａ、横位置ｘｂを用いて、補正なしの径である１５０μｍにＣＦｓ（ｘａ）とＣＦｓ（ｘｂ）とを掛けてこれを求める。ここで、ｘａ、ｘｂについては、各ピットの実際の位置の値を用いてよいが、より簡略化した方法では、そのピットが属する縦領域または横領域の中心でのｘａまたはｘｂを用いるとしてもよい。
【００４７】
いずれの場合も、互いに隣となる領域間において、それらの領域内に穿設された複数のピットの平均径は異なることになる。また、前者の場合は、ひとつの領域に穿設された複数のピットの径が、数値としてある幅に分布し、隣の領域に穿設されたピットの径も、数値としてある幅に分布することになる。すなわち、前者では、形成されるバンプの高さを均一化するためにスクリーン版はより細やかな対応となる。
【００４８】
ここで、以上の方法によりピット径を補正し製造したスクリーン版を用いて被印刷物面上にバンプを印刷、形成した例について図６、図７を参照して説明する（なお、被印刷物面上にバンプを印刷、形成する手順はすでに述べた。）。図６は、ピット径が補正されたスクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの高いものの位置を示す配置図である。図７は、図６と同じスクリーン版により形成されたバンプのうち比較的高さの低いものの位置を示す配置図である。
【００４９】
図６、図７は、それぞれ、未補正のスクリーン版の場合である図３、図４に示した配置図についてこれを補正化した後に相当している。すなわち、図６は、得られたバンプ高さデータの平均に対してある高めの閾値を設定し、それ以上の高さのバンプが位置する地点をプロットして得られたものである（黒三角点で示す）。図７は、得られたバンプ高さデータの平均に対してある低めの閾値を設定し、それ以下の高さのバンプが位置する地点をプロットして得られたものである（黒丸点で示す）。なお、ここで使用のスクリーン版は、ピット径補正のＣＦｓ（ｘａ）、ＣＦｓ（ｘｂ）について、それぞれ、各ピットの実際の縦位置ｘａ、横位置ｘｂを用いている。
【００５０】
図６、図７を図３、図４と比較して分かるように、本方法によれば、大局的なバンプ高さの不均一性は大きく改善される。すなわち、ペースト吐出により形成されるバンプの高さをスクリーン版内でより均一化することが可能なスクリーン版が得られる。ここでのスクリーン版の補正されたピット径は、最大で１５６μｍ、最小で１４６μｍである。形成されたバンプ高さのばらつきは、３σ／（平均のｈ）で見て、０．０９０（±９．０％の高さばらつき内に９９％以上のバンプが含まれる）であった。
【００５１】
また、ピット径補正のＣＦｓ（ｘａ）、ＣＦｓ（ｘｂ）について、それぞれ、各ピットが含まれる縦領域または横領域の中心での縦位置ｘａ、横位置ｘｂを用いて算出したものを用いて、これにより各ピット径を補正したスクリーン版を製造し、同様にバンプを印刷、形成した場合についても調べた。このスクリーン版の補正されたピット径は、最大で１５５μｍ、最小で１４６μｍである。形成されたバンプ高さのばらつきは、３σ／（平均のｈ）で見て、０．０９２（±９．２％の高さばらつき内に９９％以上のバンプが含まれる）であった。
【００５２】
比較ため、何らピット径について補正がされていないスクリーン版については、以下の結果であった。この場合、スクリーン版のピット径は一律１５０μｍである。形成されたバンプ高さのばらつきは、３σ／（平均のｈ）で見て、０．１０９（±１０．９％の高さばらつき内に９９％以上のバンプが含まれる）であった。
【００５３】
本方法によるバンプ高さの形成均一化は、大局的な不均一性の改善である。この点は、図３、図４と図６、図７とを比較すればよく分かる。本方法適用後に残るバンプ高さの不均一性は、スクリーン版内の各所での局所的な不均一性ということになる。ちなみに、大局的なバンプ高さばらつきが図３、図４で示される場合について上記の方法を実行し補正スクリーン版を得ると、縦方向には、上側でピット径が小、中央でピット径が大、下側でピット径が小のスクリーン版となる。横方向には、左側でピット径が小、右に行くほどピット径が大のスクリーン版となる。
【００５４】
なお、図１を用いての説明は、未補正スクリーン版を用いた場合の大局的なバンプ高さばらつきの分布が縦方向にも横方向にも発生している場合（すなわち図３、図４に示したような場合）を前提として行っている。もし、いずれかの方向には大局的なバンプ高さばらつきが無視してよいほどの小ささで発生している場合には、その方向には領域分けを行わず、別の一方のみの領域分けに基づいて上記の方法を実行することができる。
【００５５】
以上、本発明の一実施形態に係るスクリーン版を得るための、スクリーン版ピット径の補正係数取得方法の一例について説明したが、以下補足する。まず、スクリーン版におけるバンプの数、取るべき領域の数、代数関数の次数の３者の相互関係についてである。バンプの数は、一般に非常に大きな数（例えば数万のオーダー）であるが、それらに数によらず、領域の数および代数関数の次数を決めてよい。
【００５６】
代数関数の次数は、バンプの高さ分布の大局的な傾向を記述するため、無闇に大きくするには及ばず、実験的な見地からは例えば、２次か３次程度が適当である（ただし原理的には、もっと大きな次数とすることもできる。また最低では１次とすることもあり得る）。取るべき領域の数は、この２次関数、３次関数を同定するため必要な、位置とバンプ高さとの組データが得られるような領域数とする。例えば代数関数が２次であれば、取るべき領域の数は、最低で３、最大ではバンプの数と同じ数（この場合は、もはや「領域」と呼ぶには及ばない）とすることができる。代数関数が２次以外の場合、例えば１次や３次の場合も同様に考えることができる。
【００５７】
次の補足事項として、上記説明では、バンプの高さを実際に計測するようにしていたが、このような直接的な方法によらずにバンプ高さを推定しその推定値をバンプ高さとして用いて上記一連の処理を行うようにしてもよい。すなわち、形成されるバンプ高さを導出するためのモデルを決定しておき、実際のスクリーン版についてはこのモデルによるシミュレーションを用いてバンプ高さを推定する方法である。モデルには、バンプ高さを決定している各種の要因（例えば、スクリーン版の各部が被印刷物から離れるベクトル速度など）がパラメータとして含まれる。これらの各種の要因を既知化しモデルに取り込んでいくことによりシミュレーション精度を上げていくことができる。
【００５８】
さらに補足事項として、上記説明では、例えば２次の代数関数を求め、しかる後補正係数を求めるようにしているが、ある程度の範囲（例えば１０ｍｍの範囲）に存在するバンプの高さの平均値それぞれを計測ないし推定し、代数関数を同定することなく、例えばバンプ高さ平均値の正規化のみ行いその逆数を補正係数とするように補正係数の導出を行うようにしてもよい。この場合の関数は、代数関数のような連続な関数ではなく例えば１０ｍｍごとに値が変化するディスクリートは関数として捉えることができる。
【００５９】
また、図１での説明では、縦に関する関数ｈ＝ｆ（ｘａ）と、横に関する関数ｈ＝ｇ（ｘｂ）とを別々に求めるようにして以下一連の処理を行っているが、次のようにすることもできる。すなわち、バンプ高さｈを、縦位置ｘａおよび横位置ｘｂの２元の関数、例えば、ｈ＝ｍ６ｘａ２＋ｍ５ｘｂ２＋ｍ４ｘａｘｂ＋ｍ３ｘａ＋ｍ２ｘｂ＋ｍ１で表わされるものとしておいて、各領域でのバンプ高さ平均値を使った最小二乗法を用い、この式の各係数を同定し、以下一連の処理を行う。
【００６０】
また、スクリーン版にピットを穿設するための穴あけについてであるが、径の違いに対応するためには、レーザ光を用いた穴あけが向いている。レーザ光を用いれば例えばソフトウエア上での対応により穴径を連続的に変化させることができる。機械的なドリリングによる穴あけの場合には、穴径を細かく連続的に変化させることにやや難があるが、例えば数種の径のドリルを設定し、実際に形成する穴をあるべき径に最も近いドリルでの穴で済ませるなどの方法を採ることができる。
【符号の説明】
【００６１】
２１…スクリーン版。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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