(57)【要約】      （修正有）【課題】低い接触抵抗と良好な表面状態とを併せ持つオーミック性電極を備えた炭化珪素半導体装置を提供する。【解決手段】ＳｉＣ単結晶基板１上のＮ型エピタキシャル層２に対するショットキー金属部８と、Ｎ型エピタキシャル層に設けられたｐ型炭化珪素単結晶４に対するオーミック性電極５とを備える。オーミック性電極は、少なくともチタンとアルミニウムと珪素とを含む合金層を有する。合金層のチタンとアルミニウムと珪素との割合が、Ａｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％である。【選択図】図１
2010165838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｐ型炭化珪素単結晶と、前記ｐ型炭化珪素単結晶に対するオーミック性電極とを備え、
前記オーミック性電極は、少なくともチタンとアルミニウムと珪素とを含む合金層を有し、
前記合金層のチタンとアルミニウムと珪素との割合が、Ａｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％であることを特徴とする炭化珪素半導体装置。
【請求項２】
前記合金層が、前記ｐ型炭化珪素単結晶側に設けられた第１合金層と、前記第１合金層を挟んで前記ｐ型炭化珪素結晶と反対側に設けられた第２合金層との二層構造を有し、
前記第２合金層のチタンとアルミニウムと珪素との割合が、Ａｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％であることを特徴とする請求項１に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項３】
前記第１合金層の珪素濃度が、前記第２合金層の珪素濃度よりも高いことを特徴とする請求項２に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項４】
前記合金層は、前記炭化珪素単結晶上にチタンが層状に積層され、その上方にアルミニウムが層状に積層された後に、熱処理によって合金化されて形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項５】
前記熱処理は、温度が８８０〜９３０℃、時間が５分以内であることを特徴とする請求項４に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項６】
炭化珪素単結晶上にチタンを層状に積層する工程と、層状に積層された前記チタンの上方にアルミニウムを層状に積層する工程と、熱処理により合金化する工程とを備え、
前記熱処理は、温度が８８０〜９３０℃、時間が５分以内であることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭化珪素半導体装置及び炭化珪素半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
炭化珪素半導体は、シリコン半導体よりも絶縁破壊電圧が大きく、エネルギーバンドギャップが広く、また、熱伝導度が高いなど優れた特徴を有するので、発光素子、大電力パワーデバイス、耐高温素子、耐放射線素子、高周波素子等への応用が期待されている。
【０００３】
また、炭化珪素半導体は、ショットキーバリアダイオードに適用されている。この炭化珪素（ＳｉＣ）ショットキーバリアダイオードは、従来から、順方向にサージ電流が流れた際に、比較的低いサージ電流でも素子破壊が引き起こされることが知られている。
【０００４】
そこで、この問題を解決するために、ＳｉＣ半導体素子の一方の表面にｎ型領域とｐ型領域とを並列に配置し、大電流導通時にｐ型領域から少数キャリアである正孔の注入が起こるようにした素子構造が提案されている（例えば、非特許文献１参照）。このような素子構造とした場合、サージ耐量を向上させることができる。そして、このような素子構造は、ＭＰＳ（Merged  p-i-n  Schottky）構造と呼ばれている。
【０００５】
ＭＰＳ構造では、半導体素子の一方の表面にショットキーダイオードとｐｎ型ダイオードとを交互に配置している。したがって、半導体素子の一方の表面上には、ｎ型半導体領域に良好なショットキー接合し、かつｐ型半導体領域に良好なオーミック接合をする接合材料からなる接合層を設ける必要がある。
【０００６】
ところで、ｐ型炭化珪素に対してオーミック性電極を形成する金属の一つとして、アルミニウム−チタン（Ａｌ−Ｔｉ）合金が知られている。そして、低抵抗のオーミック性電極を形成する為には、通常は１０００℃以上の高温でのアニールが必要とされている。しかしながら、チタンとアルミニウムとを用いて高温でアニールした場合、表面電極が平滑でなくなるという問題があった。
【０００７】
そこで、チタンとアルミニウムとを用いて、高温でアニールすることなくｐ型オーミック電極を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献１又は２）。具体的には、特許文献１には、熱処理を施さなくとも下地のＳｉＣ単結晶と強固な密着性を示すことを特徴とするチタン−アルミニウム合金が記載されている（珪素（Ｓｉ）は含有されていない）。また、特許文献２には、チタンカーバイドの薄層を介したチタン−アルミニウム合金（実施例中ではｎ型ＳｉＣ）が記載されている。いずれも低温でオーミック接合の形成が可能であり、高温での熱処理が不要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第２５０９７１３号公報
【特許文献２】特開２００２−１６０１７号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】ＩＥＥＥ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｄｅｖｉｃｅ  Ｌｅｔｔｅｒｓ  Ｖｏｌ．ＥＤＬ８  Ｎｏ．９  １９８７，Ｐ４０７〜４０９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に記載の炭化珪素半導体装置では、オーミック性電極の形成時にアニールを行わない場合に、接触抵抗が低いオーミック性電極が得られにくいという問題があった。したがって、チタンとアルミニウムとを用いた場合に低い接触抵抗を有するオーミック性電極を形成するためには、一定以上の高温でアニールすることが必要となるが、その場合にチタンとアルミニウムとが炭化珪素と反応することにより、付着させた金属の組成とは異なる合金が生成してしまうため、低い接触抵抗と良好な表面状態とを併せ持つオーミック性電極を安定的に形成する条件が確立されていないという問題があった。
【００１１】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、低い接触抵抗と良好な表面状態とを併せ持つオーミック性電極を備えた炭化珪素半導体装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、低い接触抵抗と良好な表面状態とを併せ持つオーミック性電極を安定して形成可能な炭化珪素半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願発明者は、低い接触抵抗と良好な表面状態とを併せ持つオーミック性電極を形成する条件について検討し、電極の構造、特に合金の組成を指標として蒸着条件及びアニール条件を制御することにより、良好なｐ型オーミック電極が得られることを解明した。すなわち、本願発明者は、オーミック性電極の合金組成をチタン−アルミニウム−珪素からなる３元系合金とし、チタン、アルミニウムの順に積層すると共に熱処理温度を通常の１０００℃よりも低い８８０〜９３０℃とすることで、最適な組成の膜が得られることを見出して本願発明を完成させた。
【００１３】
すなわち、本発明は以下に関する。
（１）  ｐ型炭化珪素単結晶と、前記ｐ型炭化珪素単結晶に対するオーミック性電極とを備え、前記オーミック性電極は、少なくともチタンとアルミニウムと珪素とを含む合金層を有し、前記合金層のチタンとアルミニウムと珪素との割合が、Ａｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％であることを特徴とする炭化珪素半導体装置。
（２）  前記合金層が、前記ｐ型炭化珪素単結晶側に設けられた第１合金層と、前記第１合金層を挟んで前記ｐ型炭化珪素結晶と反対側に設けられた第２合金層との二層構造を有し、前記第２合金層のチタンとアルミニウムと珪素との割合が、Ａｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％であることを特徴とする前項（１）に記載の炭化珪素半導体装置。
（３）  前記第１合金層の珪素濃度が、前記第２合金層の珪素濃度よりも高いことを特徴とする前項（２）に記載の炭化珪素半導体装置。
（４）  前記合金層は、前記炭化珪素単結晶上にチタンが層状に積層され、その上方にアルミニウムが層状に積層された後に、熱処理によって合金化されて形成されることを特徴とする前項（１）乃至（３）のいずれか一項に記載の炭化珪素半導体装置。
（５）  前記熱処理は、温度が８８０〜９３０℃、時間が５分以内であることを特徴とする前項（４）に記載の炭化珪素半導体装置。
（６）  炭化珪素単結晶上にチタンを層状に積層する工程と、層状に積層された前記チタンの上方にアルミニウムを層状に積層する工程と、熱処理により合金化する工程とを備え、前記熱処理は、温度が８８０〜９３０℃、時間が５分以内であることを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の炭化珪素半導体装置によれば、オーミック性電極が少なくともチタンとアルミニウムと珪素とを含む合金層からなる構成を有している。そして、この合金層がＡｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％という最適な組成を有している。このため、接触抵抗が小さく、電極表面が平滑なオーミック性電極を提供することができる。したがって、オーミック性電極を形成した後にフッ酸処理を行った場合であっても、電極内に空隙が発生しない緻密な電極が形成された炭化珪素半導体装置を提供することができる。
【００１５】
本発明の炭化珪素半導体装置の製造方法によれば、チタンを層状に積層した後にアルミニウムを層状に積層する構成を有している。また、通常のオーミック性電極を形成するための熱処理温度である１０００℃よりも低い８８０〜９３０℃の温度で５分間処理する構成を有している。このように、積層する順番と熱処理条件とを上記のように規定することにより、望ましい組成を有するオーミック性電極を形成することができる。したがって、接触抵抗が小さく電極表面が平滑なオーミック性電極を備えた炭化珪素半導体装置を安定的に生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明を適用した一実施形態であるショットキーバリアダイオードの断面模式図である。
【図２】図２は、本実施形態のショットキーバリアダイオードにおける表面オーミックコンタクト電極の周辺の拡大断面図である。
【図３】図３は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図４】図４は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図５】図５は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図６】図６は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図７】図７は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図８】図８は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図９】図９は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図１０】図１０は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図１１】図１１は、本実施形態のショットキーバリアダイオードの製造方法を説明する工程断面図である。
【図１２】図１２は、実施例１の電極近傍のＴＥＭ断面写真を示している。
【図１３】図１３は、実施例１の電極のＥＤＸによる組成分析の結果を示している。
【図１４】図１４は、実施例１の電極の表面写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を適用した一実施形態である炭化珪素半導体装置及びその製造方法について、図面を用いて詳細に説明する。ここでは、炭化珪素半導体装置の一例として、ＰＮ接合領域とショットキー接合領域とが複合化したショットキーバリアダイオードを用いて説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１８】
図１は、本発明を適用した一実施形態であるショットキーバリアダイオードの断面模式図である。図１に示すように、本実施形態のショットキーバリアダイオード１０１は、ＳｉＣ単結晶基板１と、ＳｉＣ単結晶基板１の表面１ａに形成されたＮ型エピタキシャル層２と、Ｎ型エピタキシャル層２の表面２ａに形成された微細パターンからなるＰ型不純物領域３，４と、Ｐ型不純物領域４（ｐ型炭化珪素単結晶）上に形成された表面オーミックコンタクト電極（オーミック性電極）５と、Ｐ型不純物領域３，４及び表面オーミックコンタクト電極５と接続されたショットキー金属部８と、ショットキー金属部８を覆うように形成された表面パッド電極９と、ＳｉＣ単結晶基板１の裏面１ｂに形成された裏面オーミックコンタクト電極７と、裏面オーミックコンタクト電極７を覆うように形成された裏面パッド電極１１と、を備えて概略構成されている。
【００１９】
ＳｉＣ単結晶基板１は、４Ｈ−ＳｉＣ基板である。また、面方位はｃ面であり、オフ角が設けられていてもよい。さらに、Ｓｉ面を用いても、Ｃ面を用いてもよい。このＳｉＣ単結晶基板１は、高濃度にＮ型不純物がドープされたＮ型半導体基板とされている。
【００２０】
ＳｉＣ単結晶基板１上にはＮ型エピタキシャル層２が形成されており、Ｎ型エピタキシャル層２には複数のＰ型不純物領域３，４が形成されている。これにより、Ｐ型不純物領域３，４とＮ型エピタキシャル層２との界面にはＰＮ接合領域が形成され、ショットキーバリアダイオード１０１の整流性が向上される。なお、Ｐ型不純物領域３，４は、Ｎ型エピタキシャル層２に設けてもよく、ＳｉＣ単結晶基板１に設けてもよい。また、前記ＰＮ接合領域の間隔を狭くすることにより、リーク電流を小さくすることができる。
なお、後述するショットキーバリアダイオードの製造方法において説明するように、Ｐ型不純物領域３，４は、Ｐ型不純物濃度の違いにより、低濃度Ｐ型不純物領域３と、高濃度Ｐ型不純物領域４とされている。また、Ｐ型不純物領域３，４は、エピタキシャル成長で形成されたものであっても良い。
【００２１】
図２は、表面オーミックコンタクト電極５の周辺の拡大図である。図２に示すように、表面オーミックコンタクト電極５は、Ｐ型不純物領域４側に設けられた第１合金層５ａと、第１合金層５ａを挟んでＰ型不純物領域４と反対側に設けられた第２合金層５ｂとの二層構造を有している。なお、電極の断面観察において二層構造が観察される表面オーミックコンタクト電極５は、オーミック特性が良好で且つ表面状態が良好な電極となっている。これは、後述するショットキーバリアダイオードの製造方法において説明するように、表面オーミックコンタクト電極５の形成において、チタンを蒸着した後にアルミニウムを積層するという順序になっていることと関連している。したがって、上記積層順序と異なる場合には、明確な層として観察されない。
なお、第１合金層５ａと第２合金層との境界は、電子顕微鏡を用いて断面を観察した際にコントラストが異なる境界から定めることができる。
【００２２】
表面オーミックコンタクト電極５は、少なくともチタン、アルミニウム、珪素を含む三元系の合金層である。そして、この合金層のチタンとアルミニウムと珪素との割合は、アルミニウム（Ａｌ）が４０〜７０質量％、チタン（Ｔｉ）が２０〜５０質量％、珪素（Ｓｉ）が１〜１５質量％であることが好ましい。アルミニウムが４０質量％未満であると、オーミック性を示さないために好ましくなく、アルミニウムが７０質量％を越えると、余剰のアルミニウムが液相を形成して周囲に飛散し、ＳｉＯ２等の保護膜と反応してしまうために好ましくない。また、Ｔｉが２０％未満であると、余剰のアルミが周囲に飛散し、ＳｉＯ２保護膜と反応してしまうために好ましくなく、５０質量％を超えるとオーミック性を示さないために好ましくない。さらに、珪素が１質量％未満であると接触抵抗が大きくなるために好ましくなく、１５質量％を越えるとオーミック性を示さないために好ましくない。
なお、第１合金層５ａと第２合金層５ｂとは、珪素の濃度が明確に異なっている。すなわち、第１合金層５ａと第２合金層５ｂとの境界において、珪素の濃度分布は急激に変化することが確認されている。また、第１合金層５ａ及び第２合金層５ｂの各層の組成中には急激な濃度勾配は見られず、各層内において比較的均一な濃度分布を有している。
【００２３】
第１合金層５ａは、層厚が薄い為、例えばＥＤＸ等による正確な定量的組成分析は困難であるが、第２号金層５ｂと比較して珪素が多い組成になっている。また、後述するショットキーバリアダイオードの製造方法において説明するように、最初にＴｉを積層し、その後にＡｌを積層するため、ＴｉがＡｌに比して多い組成を有することは推定される。さらに、第１合金層５ａは、第２合金層５ｂに比べてＳｉが多いという特徴がある。なお、第１合金層５ａが存在する場合（断面観察で確認される場合）、表面オーミックコンタクト電極５は、平坦で良好な表面が得られる。一方、第１号金層５ａ存在しない場合（断面観察で確認されない場合）には、表面オーミックコンタクト電極５は、荒れた表面になる傾向がある。
【００２４】
第２合金層５ｂは、表面オーミックコンタクト電極５の特性と密接な関係がある。すなわち、第２合金層５ｂの組成が、上述したチタンとアルミニウムと珪素との割合となることが好ましい。また、第２合金層５ｂの層厚は、１０〜５００ｎｍであることが好ましく、１００〜３００ｎｍであることがより好ましく、１００〜２００ｎｍであることが特に好ましい。第２合金層５ｂの層厚が１０ｎｍ未満であると膜を連続にすることが困難であるために好ましくなく、５００ｎｍを超えると剥離することがあるために好ましくない。一方、上記範囲であると、連続な膜が剥離無く形成できるために好ましい。
【００２５】
図１に示すように、Ｐ型不純物領域４及びＮ型エピタキシャル層２とショットキー金属部８との界面には、金属と半導体との接合によって生じるショットキー障壁が形成され、ショットキー接合領域が形成される。これにより、ショットキーバリアダイオード１０１の順方向の電圧降下を低くするとともに、スイッチング速度を速くすることができる。
なお、電極全体で前記ショットキー接合領域が占める面積の割合を大きくすることにより、順方向に電流を流したときの電圧降下を小さくして、電力損失を小さくすることができる。
【００２６】
パッシベーション膜１０は、表面パッド電極９の端部９ｃを覆うとともに、Ｎ型エピタキシャル層２の表面２ａ全面を覆って形成されている。表面パッド電極９の露出された部分は端子接合部とされる。
たとえば、ショットキーバリアダイオード１０１を、配線基板（図示略）に実装する際に、前記配線基板の一の端子部と前記端子接合部とを結ぶように、アルミワイヤーボンディングするとともに、前記配線基板の他の端子部に、裏面パッド電極１１を接合して配置する。これにより、ショットキーバリアダイオード１０１の裏面パッド電極１１と表面パッド電極９に電圧を印加することができる。
【００２７】
次に、本発明の実施形態であるショットキーバリアダイオード１０１の製造方法について説明する。図３〜図１１は、本実施形態のショットキーバリアダイオード１０１の製造方法の一例を説明する工程断面図である。なお、図１及び図２で示した部材と同一の部材については同一の符号を付している。
【００２８】
本実施形態のショットキーバリアダイオード１０１の製造方法は、ＳｉＣ単結晶基板１の表面１ａにＰ型不純物領域３，４及び表面オーミックコンタクト電極５を形成する工程（表面オーミックコンタクト電極形成工程）と、Ｐ型不純物領域３，４及び表面オーミックコンタクト電極５を覆うように保護膜６を形成した後、保護膜６の平坦化を行う工程（保護膜平坦化工程）と、ＳｉＣ単結晶基板１の裏面１ｂに裏面オーミックコンタクト電極７を形成する工程（裏面オーミックコンタクト電極形成工程）と、Ｐ型不純物領域３、４及び表面オーミックコンタクト電極５と接続されたショットキー金属部８を形成した後、ショットキー金属部８を覆うように表面パッド電極９を形成する工程（表面パッド電極形成工程）と、を備える。
【００２９】
＜表面オーミックコンタクト電極形成工程＞
まず、図３に示すように、ＳｉＣ単結晶基板（Ｎ型半導体基板）１上にＮ型エピタキシャル層２を形成する。
次に、ＣＶＤ法により、Ｎ型エピタキシャル層２上に酸化膜を形成する。
次に、前記酸化膜上にレジストを塗布した後、ステッパーによるフォトレジストパターンを形成する。ステッパーを用いることにより微細パターンからなるフォトレジストパターンを形成することができる。その後、前記酸化膜をドライエッチングして窓部を形成する。
【００３０】
次に、窓部が形成された前記酸化膜をマスクとして用いて、Ｐ型不純物となるアルミニウムまたはボロンをＮ型エピタキシャル層２にイオン注入する。その後、再び前記酸化膜上にレジストを塗布した後、ステッパーによるフォトレジストパターンを形成、その後、前記酸化膜をドライエッチングして窓部を形成する。次に、窓部が形成された前記酸化膜をマスクとして用いて、Ｐ型不純物となるアルミニウムまたはボロンをＮ型エピタキシャル層２にイオン注入する。前記酸化膜を除去する。
【００３１】
次に、Ｎ型エピタキシャル層２上に、スパッタ法により炭化膜（例えば、カーボン膜）を形成した後、イオン注入を行ったＰ型不純物の活性化を行うため、高温の熱処理（例えば、１７００℃の熱処理）を不活性ガス雰囲気または真空中で行う。その後、前記炭化膜を除去する。これにより、低濃度Ｐ型不純物領域３と高濃度Ｐ型不純物領域４を形成する。
なお、前記炭化膜は、スパッタ法の代わりに、有機物を塗布した後、熱処理をして形成しても良い。
図４は、低濃度Ｐ型不純物領域３と高濃度Ｐ型不純物領域４形成後の時点の状態を示す断面工程図である。
【００３２】
次に、Ｐ型不純物領域４上に表面オーミックコンタクト電極５を形成する。表面オーミックコンタクト電極５の形成は、Ｐ型不純物領域３，４を形成したＮ型エピタキシャル層２上にチタンを層状に積層する工程（チタン積層工程）と、層状に積層された前記チタンの上方にアルミニウムを層状に積層する工程（アルミニウム積層工程）と、熱処理により合金化する工程（熱処理工程）とから概略構成されている。
【００３３】
（チタン積層工程）
まず、前処理として例えば硫酸＋過酸化水素、アンモニア＋過酸化水素、フッ酸水溶液、塩酸＋過酸化水素、フッ酸水溶液等を用いて基板をＲＣＡ洗浄する。
次に、図５に示すように、スパッタ法または蒸着法を用いて、Ｐ型不純物領域３，４を形成したＮ型エピタキシャル層２上にチタンを層状に積層する。これにより、チタン層１５ａが形成される。
【００３４】
（アルミニウム積層工程）
次に、図５に示すように、スパッタ法または蒸着法を用いて、チタン層１５ａ上にアルミニウムを層状に積層する。これにより、アルミニウム層１５ｂが形成される。
ここで、チタン層１５ａ及びアルミニウム層１５ｂの膜厚は、それぞれ１０〜１００００Åであることが好ましく、１００〜１０００Åがより好ましく、５００〜１０００Åが特に好ましい。チタン層１５ａ及びアルミニウム層１５ｂの膜厚が１０Å未満であるとオーミック接合に充分な電極層が形成できないために好ましくなく、１００００Åを超えると周囲の絶縁膜等に影響が出るおそれがあるために好ましくない。
【００３５】
また、本実施形態では、表面オーミックコンタクト電極５を形成する際のチタンとアルミニウムとの積層順序を上記のように規定することを特徴とするものである。ここで、珪素（Ｓｉ）は通常ＳｉＣ基板から拡散してくることにより表面オーミックコンタクト電極５の合金の要素となる。なお、珪素をＴｉ積層の前にスパッタ法または蒸着法を用いて積層しても良い。
【００３６】
（熱処理工程）
次に、積層されたチタン層１５ａとアルミニウム層１５ｂとを熱処理により合金化する。熱処理には、赤外線ランプ加熱装置（ＲＴＡ装置）等を用いることができる。装置の真空度は、低い方が好ましく、３×１０−４Ｐａ以下とすることがより好ましい。先ず、表面の水分を除去して膜の密着性を向上させるため室温から１００℃に加熱し、その後熱処理温度まで昇温する。熱処理温度は、８８０〜９３０℃が好ましく、８９０〜９１０℃がより好ましい。熱処理温度が８８０℃未満であると合金化反応が充分に促進しないため好ましくなく、９３０℃を超えると拡散の制御が困難となって所望の合金組成を得られないために好ましくない。また、熱処理時間は、１〜５分が好ましく、１〜３分がより好ましい。熱処理時間が１分未満であると合金化反応が充分に促進しないため好ましくなく、５分を超えると基板との反応が進行しすぎてしまい電極の表面が荒れてしまうために好ましくない。なお、熱処理は、不活性ガス雰囲気で行うことが好ましく、アルゴン雰囲気で行うことがより好ましい。このようにして、チタン−アルミニウム−珪素からなる三元系の合金膜を形成する。
【００３７】
次に、前記合金膜上にレジストを塗布した後、ステッパーによるフォトレジストパターンを形成する。ステッパーを用いることにより微細パターンからなるフォトレジストパターンを形成することができる。その後、前記金属膜をドライエッチングして表面オーミックコンタクト電極５を形成する。表面オーミックコンタクト電極５は、複数の高濃度Ｐ型不純物領域４に接続され、オーミックコンタクトを形成する。
【００３８】
＜保護膜平坦化工程＞
ＣＶＤ法により、オーミックコンタクト電極５を形成したＮ型エピタキシャル層２上に、たとえば、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２）からなる保護膜６を形成する。
次に、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法により、保護膜６の平坦化を行う。図６は、この時点の状態を示す断面工程図である。なお、当該保護膜平坦化工程は行わなくても良い。
【００３９】
＜裏面オーミックコンタクト電極形成工程＞
スパッタ法または蒸着法で、Ｐ型不純物領域３，４を形成したＳｉＣ単結晶基板１の裏面に、例えば、Ｎｉからなる金属膜を形成する。
次に、熱処理（例えば、９５０℃の熱処理）を不活性ガス雰囲気または真空中で行って、裏面オーミックコンタクト電極７とする。これにより、裏面オーミックコンタクト電極７は、ＳｉＣ単結晶基板１の裏面と良好なオーミックコンタクトを形成する。図７は、この時点の状態を示す断面工程図である。
次に、図８に示すように、保護膜６を除去する。
【００４０】
＜表面ショットキーコンタクト電極形成工程＞
次に、オーミックコンタクト電極５を形成したＮ型エピタキシャル層２上にレジストを塗布した後、フォトレジストパターンを形成する。
次に、スパッタ法または蒸着法で、窓部を形成したレジスト上に、例えば、チタンまたはモリブデンなどからなる金属膜を形成する。
次に、前記レジストを除去（リフトオフ）することにより、窓部に形成された金属膜のみをオーミックコンタクト電極５を覆うように残すことができる。
次に、ショットキー障壁制御のための熱処理（例えば、６００℃での熱処理）を不活性ガス雰囲気で行い、ショットキー金属部８を形成する。ショットキー金属部８は、ＳｉＣ単結晶基板１に接続され、ショットキーコンタクトを形成している。図９は、この時点の状態を示す断面工程図である。
【００４１】
＜表面パッド電極形成工程＞
次に、ショットキー金属部８を形成したＮ型エピタキシャル層２上にレジストを塗布した後、露光・現像により、フォトレジストパターンを形成する。
次に、スパッタ法で、窓部を形成したレジスト上に、例えば、アルミニウムからなる金属膜を形成する。
次に、前記レジストを除去（リフトオフ）することにより、窓部に形成された金属膜のみをショットキー金属部８を覆うように残すことができる。
これにより、ショットキー金属部８に接続された表面パッド電極９を形成する。図１０は、この時点の状態を示す断面工程図である。
【００４２】
次に、表面パッド電極９を形成したＮ型エピタキシャル層２上に、パッシベーション膜を塗布する。パッシベーション膜としては、たとえば、感光性ポリイミド膜を用いる。
次に、露光・現像により、パターン化されたパッシベーション膜１０を形成する。図１１は、この時点の状態を示す断面工程図であって、表面パッド電極９の表面の一部が露出され、表面パッド電極９の端部９ｃのみを覆うようにパッシベーション膜１０が形成されている。
最後に、スパッタ法で、裏面オーミックコンタクト電極７上に、裏面パッド電極１１として、例えば、Ｎｉ／Ａｇなどからなる２層の金属膜を形成する。
以上の工程により、図１に示すショットキーバリアダイオード１０１を作製する。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態のショットキーバリアダイオード１０１によれば、表面オーミック電極５が少なくともチタンとアルミニウムと珪素とを含む合金層からなる構成を有している。そして、この合金層がＡｌ：４０〜７０質量％、Ｔｉ：２０〜５０質量％、Ｓｉ：１〜１５質量％という最適な組成を有している。このため、接触抵抗が小さく、電極表面が平滑なオーミック性電極を提供することができる。したがって、表面オーミック電極５を形成した後に、例えばフッ酸処理を行った場合であっても、電極内に空隙が発生しない緻密な電極が形成されたショットキーバリアダイオード１０１を提供することができる。
【００４４】
また、表面オーミック電極５は、Ｐ型不純物領域４側に設けられた第１合金層５ａと、第１合金層５ａを挟んでＰ型不純物領域４と反対側に設けられた第２合金層５ｂとの二層構造を有している。このように電極の断面観察において二層構造が観察される表面オーミックコンタクト電極５は、オーミック特性が良好で且つ表面状態が良好な電極である。
【００４５】
本実施形態のショットキーバリアダイオード１０１の製造方法によれば、表面オーミック電極５の形成において、チタンを層状に積層してチタン層１５ａを形成後にアルミニウムを層状に積層してアルミニウム層１５ｂを形成している。そして、通常のオーミック性電極を形成するための熱処理温度１０００℃よりも低い８８０〜９３０℃の温度で５分間処理している。このように、積層する順番と熱処理条件とを規定することにより、望ましい組成を有する表面オーミック電極５を形成することができる。したがって、接触抵抗が小さく電極表面が平滑なオーミック性電極を備えたショットキーバリアダイオード１０１を安定的に生産することができる。
【００４６】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、本実施形態においては、ショットキーバリアダイオード単体に限らず、構成要素にショットキーバリアを含むＦＥＴや集積素子なども同様に適用できる。
【実施例】
【００４７】
以下、本発明の効果を、実施例を用いて具体的に説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４８】
（実施例１）
まず、ＳｉＣ単結晶基板上にＮ型エピタキシャル層を形成した。次に、ＣＶＤ法により、Ｎ型エピタキシャル層上に酸化膜を形成した。次に、前記酸化膜上にレジストを塗布した後、フォトレジストパターンを形成した。その後、前記酸化膜をドライエッチングして窓部を形成した。次に、窓部が形成された前記酸化膜をマスクとして用いて、Ｐ型不純物となるアルミニウムをイオン注入した。その後、再び前記酸化膜上にレジストを塗布した後、フォトレジストパターンを形成、その後、前記酸化膜をドライエッチングして追加の窓部を形成する。次に、窓部が形成された前記酸化膜をマスクとして用いて、Ｐ型不純物となるアルミニウムまたはボロンをＮ型エピタキシャル層に再度イオン注入した。次に、１７００℃の熱処理を不活性ガス雰囲気で行った。これにより、低濃度Ｐ型不純物領域および高濃度Ｐ型不純物領域を形成した。
【００４９】
次に、スパッタ法で、Ｐ型不純物領域を形成したＮ型エピタキシャル層上に、Ｔｉを６０ｎｍの膜厚で成膜した。続いて、Ｔｉ膜上にＡｌを１００ｎｍ（４９質量％）の膜厚で成膜した。その後、９００℃で５分間熱処理を行って電極を形成した。
【００５０】
図１２は、実施例１の電極近傍のＴＥＭ断面写真を示している。図１２に示すように、実施例１の電極は、断面観察において第１合金層及び第２合金層の二層構造を有していることが確認された。なお、図１２において、電極の上には、電子顕微鏡観察をするためにカーボン保護膜が積層されている。
【００５１】
図１３は、実施例１の電極のＥＤＸによる組成分析の結果を示している。図１３に示すように、実施例１の電極の組成は、チタン−アルミニウム−珪素の三元系であることが確認された。また、第１合金層の組成は、Ａｌ：５質量％、Ｔｉ：４９質量％、Ｓｉ：４６質量％であった。一方、第２合金層の組成は、Ａｌ：５２質量％、Ｔｉ：４１質量％、Ｓｉ：７質量％であった。
【００５２】
図１４は、実施例１の電極の表面写真である。ここで、実施例１の電極の表面状態を表面写真及びＡＦＭを用いて評価したところ、電極表面は平滑であることが確認された。
なお、実施例１の電極に対してフッ酸処理を行ったところ、電極内に空隙は見られなかった。
【００５３】
また、実施例１の電極のコンタクト抵抗を測定した結果、４×１０−４Ω／ｃｍ２であった。したがって、実施例１では、良好なオーミック電極が形成されたことが確認された。
【００５４】
（実施例２）
実施例２の電極は、スパッタ法で、Ｔｉを４０ｎｍの膜厚で成膜した。続いて、Ｔｉ膜上にＡｌを１００ｎｍ（５９質量％）の膜厚で成膜した。その後、９００℃で５分間熱処理を行って電極を形成した。
その結果、第１合金層の組成は、Ａｌ：２１質量％、Ｔｉ：６４質量％、Ｓｉ：１４質量％であった。一方、第２合金層の組成は、Ａｌ：６５質量％、Ｔｉ：２７質量％、Ｓｉ：８質量％であった。また、実施例２の電極は、良好なオーミック電極であり、表面も平滑であった。
【００５５】
（実施例３）
Ｐ型電極部に、本発明のＰ型電極を応用して、ＭＰＳ−ＳＢＤを作製した。
先ず、通常のＳＢＤ作製方法に準じ、Ｎ型エピタキシャル層を形成したＳｉＣ基板を用意した。次に、Ｎ型エピタキシャル層側に、Ｐ型オーミック層及びＪＴＥとなるＰ型不純物領域をＡｌイオン注入・活性化アニールにより形成した。さらに裏面にオーミック電極を形成した炭化珪素ウエハを作製した。
【００５６】
さらに、実施例２の組成でＭＰＳ構造のＰ型オーミック電極となる部分に、Ｔｉ膜を蒸着し、続いてＡｌ膜を蒸着した後、リフトオフによりＰ型オーミック電極パターンを形成した。そして、アルゴン雰囲気下、９００℃で５分の処理条件でアニールした。その後、作成したＰ型オーミック電極上にＭｏ電極（１．３ｍｍ角）を形成し、アルゴン雰囲気下６５０℃で５分間アニールすることにより、ＭＰＳ構造のショットキーダイオードを作成した。
【００５７】
実施例３のショットキーダイオードにおいて、Ｐ型オーミック電極の表面は平坦で良好であった。また、得られたショットキーダイオードの順サージ耐量を測定すると、７２Ａと良好なであり、作製したＰ型電極をもつＰ型部分が良好なオーミック電極として機能していることが確認された。
【００５８】
（実施例４）
実施例４の電極は、上記実施例２の電極の熱処理条件を変更して形成した。
具体的に、実施例４の電極は、スパッタ法で、Ｔｉを４０ｎｍの膜厚で成膜した。続いて、Ｔｉ膜上にＡｌを１００ｎｍ（５９質量％）の膜厚で成膜した。その後、８８０℃で５分間熱処理を行って電極を形成した。
その結果、実施例４の電極の組成は、第１合金層が、Ａｌ：２３質量％、Ｔｉ：７４質量％、Ｓｉ：３質量％であった。一方、第２合金層が、Ａｌ：６８質量％、Ｔｉ：３０質量％、Ｓｉ：２質量％であった。また、実施例４の電極は、良好なオーミック電極であり、表面も平滑であった。
【００５９】
（実施例５）
実施例５の電極は、上記実施例２の電極の熱処理条件を変更して形成した。
具体的に、実施例５の電極は、スパッタ法で、Ｔｉを４０ｎｍの膜厚で成膜した。続いて、Ｔｉ膜上にＡｌを１００ｎｍ（５９質量％）の膜厚で成膜した。その後、９３０℃で５分間熱処理を行って電極を形成した。
その結果、実施例５の電極の組成は、第１合金層が、Ａｌ：１９質量％、Ｔｉ：７１質量％、Ｓｉ：１５質量％であった。一方、第２合金層が、Ａｌ：６９質量％、Ｔｉ：２０質量％、Ｓｉ：１１質量％であった。また、実施例５の電極は、良好なオーミック電極であり、表面も平滑であった。
【００６０】
（比較例１）
ＳｉＣ単結晶基板上に、Ｔｉ：４０ｎｍ、Ａｌ：５０ｎｍ、Ｓｉ：２０ｎｍを積層した後に、９００℃で５分間熱処理を行って電極を作成した。この電極の組成を確認したところ、第１合金層の組成は、Ａｌ：３質量％、Ｔｉ：４５質量％、Ｓｉ：５２質量％であった。一方、第２合金層の組成は、Ａｌ：３０質量％、Ｔｉ：３３質量％、Ｓｉ：３７質量％であった。また、比較例１の電極は、オーミック性の電極ではなかった。
【００６１】
（比較例２）
ＳｉＣ単結晶基板上に、Ｔｉ：４０ｎｍ、Ａｌ：１００ｎｍ（５９質量％）を積層した後に、９５０℃で５分間熱処理を行って電極を作成した。この電極の組成を確認したところ、第１合金層の組成は、Ａｌ：１質量％、Ｔｉ：８１質量％、Ｓｉ：１８質量％であった。一方、第２合金層の組成は、Ａｌ：９３質量％、Ｔｉ：１質量％、Ｓｉ：６質量％であった。また、比較例２の電極の表面は、荒れていた。
【００６２】
（比較例３）
ＳｉＣ単結晶基板上に、Ｔｉ：４０ｎｍ、Ａｌ：１００ｎｍ（５９質量％）を積層した後に、８００℃で５分間熱処理を行って電極を作成した。この電極の組成を確認したところ、第１合金層の組成は、Ａｌ：３２質量％、Ｔｉ：６７質量％、Ｓｉ：１質量％であった。一方、第２合金層の組成は、Ａｌ：３５質量％、Ｔｉ：６５質量％、Ｓｉ：０質量％であった。また、比較例３の電極は、オーミック性の電極ではなかった。
【００６３】
（比較例４）
ＳｉＣ単結晶基板上に、Ｔｉ：４０ｎｍ、Ａｌ：１００ｎｍ（５９質量％）を積層した後に、９００℃で１０分間熱処理を行って電極を作成した。この電極の組成を確認したところ、第１合金層の組成は、Ａｌ：２０質量％、Ｔｉ：６５質量％、Ｓｉ：１５質量％であった。一方、第２合金層の組成は、Ａｌ：６２質量％、Ｔｉ：２９質量％、Ｓｉ：９質量％であった。また、比較例４の電極の表面は、荒れていた。
【符号の説明】
【００６４】
１…ＳｉＣ単結晶基板
２…Ｎ型エピタキシャル層
３，４…Ｐ型不純物領域（ｐ型炭化珪素単結晶）
５…表面オーミックコンタクト電極（オーミック性電極）
５ａ…第１合金層
５ｂ…第２合金層
６…保護膜
７…裏面オーミックコンタクト電極
８…ショットキー金属部
９…表面パッド電極
１０…パッシベーション膜
１１…裏面パッド電極
１５ａ…チタン層
１５ｂ…アルミニウム層
１０１…ショットキーバリアダイオード（炭化珪素半導体装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１２】
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【図１４】
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