(57)【要約】【課題】  修理やメンテナンスなどの作業性を向上させたデバイス製造装置を提供する。【解決手段】  本発明のデバイス製造装置は、遠隔端末５７、５８、５９から回線６０を介して操作可能なデバイス製造装置５１であって、装置端末５２と、遠隔端末５７、５８、５９うちのいずれかの遠隔端末からの要求に基づいて、この遠隔端末を、デバイス製造装置５１を専有して操作可能な専有状態に設定する設定部（制御装置５５）と、デバイス製造装置５１のインターロック機能が作動した場合に、所定の端末から装置端末５２へ専有状態を移動させる制御部（制御装置５５）とを有する。【選択図】図１
2010165831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遠隔端末からネットワークを介して操作可能なデバイス製造装置であって、
操作部と、
前記遠隔端末からの要求に基づいて、該遠隔端末を、前記デバイス製造装置を専有して操作可能な専有状態に設定する設定部と、  
前記デバイス製造装置のインターロック機能が作動した場合に、前記遠隔端末から前記操作部へ前記専有状態を移動させる制御部と、を有することを特徴とするデバイス製造装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記インターロック機能の作動が終了した場合、前記操作部から前記遠隔端末へ前記専有状態を戻すことを特徴とする請求項１記載のデバイス製造装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記インターロック機能の作動の開始及び終了により前記専有状態が移動したことを前記操作部及び前記遠隔端末に通知することを特徴とする請求項１又は２記載のデバイス製造装置。
【請求項４】
前記インターロック機能の有効及び無効を切り替える切替部をさらに有し、
前記制御部は、前記切替部が前記インターロック機能を無効にするように切り替わった場合、前記遠隔端末から前記操作部へ前記専有状態を移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のデバイス製造装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記インターロック機能が無効になった後に再度有効になった場合、前記操作部から前記遠隔端末へ前記専有状態を戻すことを特徴とする請求項４記載のデバイス製造装置。
【請求項６】
前記デバイス製造装置は、原版のパターンを基板に露光する露光装置であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一に記載のデバイス製造装置。
【請求項７】
遠隔端末からネットワークを介して操作可能なデバイス製造装置の制御方法であって、
前記デバイス製造装置のインターロック機能が作動した場合に、該デバイス製造装置の動作を停止するステップと、
前記デバイス製造装置を専有して操作可能な専有状態の情報を記憶するステップと、
前記遠隔端末の前記専有状態を解除するステップと、
前記専有状態を前記デバイス製造装置の操作部に設定するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造装置の制御方法。
【請求項８】
請求項６記載のデバイス製造装置を用いて前記基板を露光するステップと、
前記ステップで露光された基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の遠隔端末により操作可能なデバイス製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイス製造工場では、クリーンルームにおける無人化や省電力化を目的として、オンラインシステムと呼ばれるデバイス製造装置の遠隔操作システムが導入されている。このようなオンラインシステムにより、作業者がクリーンルーム内に入ることなく、ホストコンピュータやパソコンなどの遠隔端末を用いて複数台のデバイス製造装置の統括操作を行うことが可能である。
【０００３】
特許文献１には、半導体露光装置を操作制御する端末を複数設けて、半導体を効率良く短期間で製造可能な方法が開示されている。半導体露光装置は、複数の端末のうちの１つの端末からの要求に基づき、この端末からのみの操作制御を受け付けるように、この端末を半導体露光装置の専有状態に設定する。
【特許文献１】特開２００３−０３７０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のデバイス製造システムには、以下のような問題があった。例えば、クリーンルーム内は基本的には無人化されているが、デバイス製造装置の修理やメンテナンスなどの作業のため、デバイス製造装置内での作業者による作業が必要となる場合がある。このような作業時には、通常、インターロック機能が作動してデバイス製造装置の動作は停止する。
【０００５】
しかしながら、従来技術では、デバイス製造装置のインターロック機能が作動したとしても、遠隔端末による専有状態にある場合、デバイス製造装置の操作は遠隔端末により専有されていることになる。
【０００６】
また、デバイス製造装置内でのメンテナンスなどの作業には、インターロック機能を解除しないと行うことのできない作業もある。このため、デバイス製造装置には、インターロック機能を解除する手段が設けられている場合がある。ところが、インターロック機能が解除されても、遠隔端末による専有状態にある場合、デバイス製造装置の操作は遠隔端末により専有されていることになる。
【０００７】
このような専有状態では、デバイス製造装置の操作部によっても装置の操作を行うことができない。メンテナンスなどの作業には、遠隔端末による専有状態が解除されないと行うことのできない作業もあり、従来技術では、デバイス製造装置の修理やメンテナンス作業の際における作業性が悪かった。
【０００８】
そこで本発明は、修理やメンテナンスなどの作業性を向上させたデバイス製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一側面としてのデバイス製造装置は、遠隔端末からネットワークを介して操作可能なデバイス製造装置であって、操作部と、前記遠隔端末からの要求に基づいて、該遠隔端末を、前記デバイス製造装置を専有して操作可能な専有状態に設定する設定部と、前記デバイス製造装置のインターロック機能が作動した場合に、前記遠隔端末から前記操作部へ前記専有状態を移動させる制御部とを有する。
【００１０】
本発明の他の側面としてのデバイス製造装置の制御方法は、遠隔端末からネットワークを介して操作可能なデバイス製造装置の制御方法であって、前記デバイス製造装置のインターロック機能が作動した場合に、該デバイス製造装置の動作を停止するステップと、前記デバイス製造装置を専有して操作可能な専有状態の情報を記憶するステップと、前記遠隔端末の前記専有状態を解除するステップと、前記専有状態を前記デバイス製造装置の操作部に設定するステップとを有する。
【００１１】
本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、前記デバイス製造装置を用いて前記基板を露光するステップと、前記ステップで露光された基板を現像するステップとを有する。
【００１２】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、修理やメンテナンスなどの作業性を向上させたデバイス製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
まず、本実施例におけるデバイス製造装置の構成について説明する。
図１は、本実施例におけるデバイス製造装置の概略構成図である。
【００１６】
図１において、５１はデバイス製造装置である。デバイス製造装置５１は、複数の遠隔端末からネットワークを介して操作可能なデバイス製造装置であり、例えば、原版のパターンを基板に露光する露光装置である。ただし、本実施例のデバイス製造装置は露光装置に限定されるものではなく、露光装置以外の他のデバイス製造装置にも適用可能である。
【００１７】
デバイス製造装置５１において、ドア５３は、修理やメンテナンスなどの作業のため、作業者がデバイス製造装置５１の内部に入るためのドアである。ドア５３には例えばセンサが設けられており、デバイス製造装置５１は、ドア５３が開けられたことによりインターロック機能を作動させる。
【００１８】
スイッチ５４（切替部）は、デバイス製造装置５１のインターロック機能の有効及び無効を切り替える。前述のとおり、作業者がドア５３を開けてデバイス製造装置５１の内部に入ることによりインターロック機能が有効になるが、作業者は、必要に応じて、スイッチ５４によりこのインターロック機能を無効にすることができる。
【００１９】
装置端末５２（操作部）は、デバイス製造装置５１の動作を操作制御するための操作部である。本実施例の装置端末５２は、デバイス製造装置５１の内部又はその近傍に設置されている。また装置端末５２は、ネットワークを介してデバイス製造装置５１を操作制御可能に構成されていてもよい。
【００２０】
記憶部５６は、デバイス製造装置５１に関する情報を記憶する。後述のように、記憶部５６には、例えばデバイス製造装置５１に対する現在の専有状態を有する端末に関する情報が格納される。
【００２１】
デバイス製造装置５１において、ドア５３及びスイッチ５４は、制御装置５５を介して装置端末５２に接続されている。装置端末５２は、回線６０（ネットワーク回線）に接続されている。回線６０には、複数の遠隔端末５７、５８、５９が接続されている。
【００２２】
遠隔端末５７、５８、５９は、回線６０を通じてデバイス製造装置５１との間で情報のやり取りが可能に構成されており、デバイス製造装置５１を専有して遠隔操作することができる。遠隔端末５７、５８、５９のそれぞれがデバイス製造装置５１の遠隔操作を行うには、デバイス製造装置５１を専有して操作可能な専有状態に設定される必要がある。このため、遠隔端末５７、５８、５９は、それぞれ、デバイス製造装置５１を専有して操作する際に、この専有状態をそれぞれの遠隔端末５７、５８、５９へ移動するように制御装置５５に要求する。
【００２３】
制御装置５５は、遠隔端末５７、５８、５９からの要求に応じて、専有状態を設定する。このように制御装置５５は、複数の遠隔端末５７、５８、５９のうちの所定の端末からの要求に基づいて、この所定の端末を、デバイス製造装置５１を専有して操作可能な専有状態に設定するための設定部を含む。また制御装置５５は、後述のように、遠隔端末５７、５８、５９のうちの所定の端末と装置端末５２との間で、デバイス製造装置５１に対する専有状態を移動させる制御部を含む。
【００２４】
遠隔端末５７、５８、５９は、デバイス製造装置５１の設置場所から離れた場所に設けられている。なお、本実施例では複数の遠隔端末が設けられているが、一つの遠隔端末のみを設けてもよい。本実施例では、デバイス製造装置５１、複数の遠隔端末５７、５８、５９、及び、回線６０により、デバイス製造システムが構成される。デバイス製造装置５１の動作については、以下の実施例において詳述する。
【実施例１】
【００２５】
本発明の実施例１について説明する。図２は、本実施例におけるデバイス製造装置の処理シーケンスである。
【００２６】
本実施例の処理は、例えば、作業者がデバイス製造装置５１の内部で修理やメンテナンスなどの作業をするために、デバイス製造装置５１のドア５３を開けた場合に実行される。また、本実施例では、デバイス製造装置５１のドア５３が開けられたとき、遠隔端末５７に対してデバイス製造装置５１の専有状態が設定されていた場合について説明する。専有状態が遠隔端末５８、５９に設定されていた場合も同様であるため、これらについての説明は省略する。
【００２７】
図２に示されるように、作業者によりデバイス製造装置５１のドア５３が開けられると（ステップＳ６１）、制御装置５５は、デバイス製造装置５１のインターロック機能を作動させる。インターロック機能が作動すると、デバイス製造装置５１の動作は停止する（ステップＳ６２）。
【００２８】
複数の遠隔端末５７、５８、５９のいずれか一つの端末は、その端末の要求に応じて、デバイス製造装置５１の制御装置５５（設定部）により、デバイス製造装置５１を専有して操作可能な専有状態に設定される。例えば、本実施例では、遠隔端末５７がデバイス製造装置５１の専有状態に設定されている。このとき、現在の専有状態を有する端末が遠隔端末５７であるという情報は、記憶部５６に記憶される（ステップＳ６３）。
【００２９】
続いて、制御装置５５は、遠隔端末５７に設定されているデバイス製造装置５１の専有状態を解除する（ステップＳ６４）。設定部としての制御装置５５は、遠隔端末５７の専有状態を解除した後、装置端末５２に対してデバイス製造装置５１の専有状態を設定する（ステップＳ６５）。そして制御部としての制御装置５５は、デバイス製造装置５１のインターロック機能が作動した場合、専有状態を有する所定の端末（一つの遠隔端末）から装置端末５２（操作部）へ自動的に専有状態を移動させる。また、制御装置５５は、デバイス製造装置５１のインターロック機能の作動が開始したことにより専有状態が移動したことを、所定の端末（遠隔端末５７、５８、５９）、及び、装置端末５２に通知する（ステップＳ６６）。
【００３０】
この後、作業者はデバイス製造装置５１の内部において、修理やメンテナンス等の作業を行う。このとき、デバイス製造装置５１の専有状態は装置端末５２（操作部）にある。このため、作業者による修理やメンテナンス等の作業性を向上させることが可能となる。作業者によるデバイス製造装置５１の修理やメンテナンス等の作業が終了した後、ドア５３は閉じられる（ステップＳ６７）。ドア５３が閉じられることにより、制御装置５５はインターロック機能を解除する（インターロック機能の作動を終了させる）。
【００３１】
ステップＳ６７においてドア５３が閉じられてインターロック機能が解除されたとき、デバイス製造装置５１の専有状態は設定部により装置端末５２に設定されている。このため、インターロック機能が解除された場合、制御装置５５は、装置端末５２から所定の端末（インターロック機能の作動前に専有状態に設定されていた遠隔端末）へ自動的に専有状態を戻す。
【００３２】
まず、制御装置５５は、現段階でデバイス製造装置５１を専有している装置端末５２の専有状態を解除する（ステップＳ６８）。続いて、制御装置５５は、専有状態をインターロック機能の作動前の状態に戻すため、元々専有状態が設定されていた端末の情報を記憶部５６から取得する（ステップＳ６９）。記憶部５６には、インターロック機能の作動前に専有状態が設定されていた遠隔端末５７の情報が格納されている。このため、設定部としての制御装置５５は、記憶部５６に格納されていた情報に基づいて、デバイス製造装置５１の専有状態を遠隔端末５７に設定する（ステップＳ７０）。
【００３３】
制御装置５５は、専有状態を遠隔端末５７に設定した後、デバイス製造装置５１を再稼動させる（ステップＳ７１）。また、制御装置５５は、インターロック機能の作動の終了により専有状態が移動した（インターロック機能の作動前の状態に戻った）ことを、所定の端末（遠隔端末５７、５８、５９）、及び、装置端末５２に通知する（ステップＳ７２）。
【００３４】
本実施例によれば、デバイス製造装置の専有状態をデバイス製造装置の操作部（装置端末）に移動させることにより、インターロック機能が作動した場合に、修理やメンテナンスなどの作業性を向上させたデバイス製造装置を提供することができる。
【００３５】
上述のとおり、本実施例のデバイス製造装置では、作業者がデバイス製造装置の内部に立ち入るためのドアの開閉により、インターロック機能が作動する。ただし、本実施例におけるインターロック機能の作動条件は、ドアの開閉に限定されるものではない。例えば、デバイス製造装置の内部に、作業者が所定の進入禁止領域に入ったことを検知するためのエリアセンサを設けることもできる。このとき、デバイス製造装置は、エリアセンサから出力される信号に基づいて、制御部がインターロック機能を作動させるように構成される。
【実施例２】
【００３６】
次に、本発明の実施例２について説明する。
【００３７】
デバイス製造装置のインターロック機能が解除された場合にデバイス製造装置の専有状態が遠隔端末に設定されていると、修理やメンテナンス等の作業性を十分に向上させることができない場合がある。このため、本実施例のデバイス製造装置は、インターロック機能が解除された際に、装置端末に専有状態を自動的に移動させる。
【００３８】
図３は、本実施例における処理シーケンスである。図３の処理シーケンスも、図２の処理シーケンスと同様に、遠隔端末５７に対してデバイス製造装置５１の専有状態が設定されている。
【００３９】
まず、デバイス製造装置５１のスイッチ５４が押下されると（ステップＳ７３）、制御装置５５は、現段階で専有状態を有する端末が遠隔端末５７であるという情報を記憶部５６に記憶させる（ステップＳ７４）。続いて、制御装置５５は、遠隔端末５７に設定されているデバイス製造装置５１の専有状態を解除する（ステップＳ７５）。
【００４０】
また制御装置５５は、デバイス製造装置５１の専有状態を装置端末５２（操作部）に設定する（ステップＳ７６）。その後、制御装置５５は、実際のインターロック機能を解除するための処理（無効化処理）を行う（ステップＳ７７）。続いて、制御装置５５は、デバイス製造装置５１のインターロック機能が解除されたために専有状態が自動的に移動したことを、遠隔端末５７、５８、５９、及び、装置端末５２に通知する（ステップＳ７８）。
【００４１】
このように、制御装置５５は、スイッチ５４がインターロック機能を無効にするように切り替わった場合、所定の端末（遠隔端末５７）から装置端末５２へ専有状態を自動的に移動させる。
【００４２】
本実施例において、作業者は、インターロック機能を無効化した後、デバイス製造装置５１の修理やメンテナンス等の作業を行う。作業者によるこの作業が終了した後、再度、インターロック機能を有効にするため、スイッチ５４が押下される（ステップＳ７９）。スイッチ５４が押下されると、制御装置５５は、デバイス製造装置５１のインターロック機能を有効化する（ステップＳ８０）。続いて、制御装置５５は、装置端末５２によるデバイス製造装置５１の専有状態を解除する（ステップＳ８１）。
【００４３】
その後、制御装置５５は、専有状態を戻すために、元々専有状態が設定されていた端末の情報を記憶部５６から取得する（ステップＳ８２）。本実施例では、インターロックが無効化される前において、遠隔端末５７がデバイス製造装置５１の専有状態を有していた。このため、制御装置５５は、記憶部５６に格納されている遠隔端末５７の情報を取得する。この情報に基づいて、制御装置５５は、デバイス製造装置５１の専有状態を遠隔端末５７に移動させる（ステップＳ８３）。また、制御装置５５は、デバイス製造装置５１のインターロック機能が、再度有効になったことにより専有状態が自動的に装置端末５２から遠隔端末５７へ移動したことを遠隔端末５７、５８、５９、及び、装置端末５２に通知する（ステップＳ８４）。
【００４４】
このように、制御装置５５は、インターロック機能が無効になった後に再度有効になった場合、装置端末５２から遠隔端末５７へ専有状態を自動的に戻す。
【００４５】
本実施例によれば、デバイス製造装置の修理やメンテナンス等の作業を行う場合、インターロック機能を無効化する前に、デバイス製造装置の専有状態をデバイス製造装置の操作部（装置端末）に移動させる。このため、本実施例によれば、デバイス製造装置のインターロック機能を無効化してからデバイス製造装置の修理やメンテナンス等の作業を行う場合に、修理やメンテナンスなどの作業性を向上させたデバイス製造装置を提供することができる。
［デバイス製造方法の実施形態］
次に、本発明の一実施形態のデバイス（半導体デバイス、液晶表示デバイス等）の製造方法について説明する。当該方法において、本発明を適用したデバイス製造装置（露光装置）を使用し得る。
【００４６】
半導体デバイスは、ウエハ（半導体基板）に集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程とを経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、その工程で露光されたウエハを現像する工程とを含みうる。後工程は、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）と、パッケージング工程（封入）とを含みうる。また、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、その工程で露光されたガラス基板を現像する工程とを含みうる。なお、本実施例におけるデバイス製造方法は、基板の露光前に、撥液（撥水）性または親液（親水）性を調整するために基板の表面処理を行う工程を含みうる。
【００４７】
本実施形態のデバイス製造方法は、デバイスの生産性、品質および生産コストの少なくとも一つにおいて従来よりも有利である。
【００４８】
上記各実施例によれば、インターロック機能が作動した場合に、修理やメンテナンスなどの作業性を向上させたデバイス製造装置を提供することができる。また、上記各実施例によれば、作業後に専有状態を元の端末に移動させることにより、本来デバイス製造装置を操作していた作業者の利便性を確保することができる。
【００４９】
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本実施例におけるデバイス製造装置の概略構成図である。
【図２】実施例１におけるデバイス製造装置の処理シーケンスである。
【図３】実施例２におけるデバイス製造装置の処理シーケンスである。
【符号の説明】
【００５１】
５１：デバイス製造装置
５２：装置端末
５３：ドア
５４：スイッチ
５５：制御部
５６：記憶部
５７、５８、５９：遠隔端末
６０：回線
【図１】
2010165831.tif 000003
【図２】
2010165831.tif 000004
【図３】
2010165831.tif 000005