(57)【要約】【課題】減圧蒸気を用いてより効果の高い蒸気乾燥を行うことができる蒸気乾燥方法を提供する。【解決手段】洗浄したワークを、溶剤を用いて乾燥する蒸気乾燥方法は、減圧された蒸気槽内において、洗浄後のワークを貯留された溶剤に浸漬する冷浴工程Ｓ１０と、蒸気槽内に溶剤の減圧蒸気を充満させて蒸気エリアを形成し、冷浴工程Ｓ１０後のワークを蒸気エリアに移動させて減圧蒸気中に留置する蒸気乾燥工程Ｓ２０と、蒸気乾燥工程Ｓ２０後に、ワークを蒸気エリアから蒸気槽内において減圧蒸気の希薄な冷却エリアに移動させ、ワーク表面の溶剤を気化させる冷却工程Ｓ３０とを備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄したワークを、溶剤を用いて乾燥する蒸気乾燥方法であって、
減圧された蒸気槽内において、洗浄後の前記ワークを貯留された前記溶剤に浸漬する冷浴工程と、
前記蒸気槽内に前記溶剤の減圧蒸気を充満させて蒸気エリアを形成し、前記冷浴工程後の前記ワークを前記蒸気エリアに移動させて前記減圧蒸気中に留置する蒸気乾燥工程と、
前記蒸気乾燥工程後に、前記ワークを前記蒸気エリアから前記蒸気槽内において前記減圧蒸気の希薄な冷却エリアに移動させ、前記ワーク表面の前記溶剤を気化させる冷却工程と、
を備えることを特徴とする蒸気乾燥方法。
【請求項２】
前記冷浴工程において、貯留された前記溶剤の温度は、前記蒸気乾燥工程において用いられる前記減圧蒸気の温度よりも５℃以上低く設定されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸気乾燥方法。
【請求項３】
前記冷却工程において、前記ワークは秒速３ミリメートル以上５０ミリメートル以下で前記蒸気エリアから前記冷却エリアへ移動されることを特徴とする請求項１の蒸気乾燥方法。
【請求項４】
前記冷却エリアの温度は、前記蒸気エリアの温度よりも５℃以上低く設定されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸気乾燥方法。
【請求項５】
洗浄したワークを、溶剤を用いて乾燥させる蒸気乾燥装置であって、
内部を減圧可能に構成され、前記溶剤が貯留される冷浴部を有する蒸気槽と、
前記蒸気槽と接続され、前記蒸気槽に前記溶剤の減圧蒸気を供給可能に構成された減圧蒸気供給部と、
前記減圧蒸気を冷却して、前記蒸気槽内を前記減圧蒸気が充満された蒸気エリアと前記減圧蒸気の希薄な冷却エリアとに分割する冷却部と、
前記冷浴部、前記蒸気エリア、及び前記冷却エリアに前記ワークを移動可能に構成された移動機構と、
を備えることを特徴とする蒸気乾燥装置。
【請求項６】
前記減圧蒸気供給部と前記冷浴部との間に設けられた断熱部をさらに備え、
前記減圧蒸気供給部は、前記蒸気槽の内部に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の蒸気乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧蒸気を用いて洗浄後の部品を乾燥する蒸気乾燥方法、及び当該蒸気乾燥方法を実行する蒸気乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗剤等を用いて各種のワークを洗浄し、純水等を用いてリンスした後の乾燥方法として、ワークに付着した純水等をイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等の溶剤や代替フロン等によって置換してから、置換された物質の蒸気が充満する環境下に移動させることによってワーク表面の洗浄及び乾燥を行う、いわゆる蒸気乾燥方法及び当該蒸気乾燥方法を行う蒸気乾燥装置が知られている。
【０００３】
上述した置換物質の蒸気のうち、ＩＰＡ等の蒸気は８０℃前後の高温であるため、樹脂等の材料に対する負荷が大きい。したがって、外周を縁塗りした光学ガラス素子や、当該光学ガラス素子どうしを接合剤で貼り合わせた接合品等をワークとする蒸気乾燥には適さない。また、フッ素系溶剤は、温暖化係数が高いため環境負荷が高く、使用できない状況になりつつある。
【０００４】
この問題を解決する装置として、特許文献１に記載の蒸気乾燥装置が知られている。この装置では、減圧された蒸気を使用することにより、置換物質を高温にしない状態、すなわち置換物質の溶解力が低い状態での蒸気乾燥を可能にし、耐熱性や耐薬品性の高くない樹脂等からなる被洗浄物に対しても適用可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１２３６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の蒸気乾燥装置を用いた蒸気乾燥方法においては、蒸気乾燥に先立ってワークを置換物質に浸漬すること（冷浴）が行われることがある。この場合、充分な蒸気乾燥効果を得るためには、冷浴後直ちに蒸気乾燥が行われることが好ましい。
しかしながら、特許文献１に記載の蒸気乾燥装置では、減圧蒸気を用いるために、冷浴後のワークを蒸気槽内に移動させた後、蒸気槽内の減圧を行ってから蒸気を充満させる必要がある。その結果、冷浴から蒸気乾燥までの間にタイムラグが発生し、高い洗浄度が要求される光学ガラス素子等のワークを乾燥する場合、効果が充分得られないことがあるという問題がある。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、減圧蒸気を用いてより効果の高い蒸気乾燥を行うことができる蒸気乾燥方法、及び当該蒸気乾燥方法を実行可能な蒸気乾燥装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、洗浄したワークを、溶剤を用いて乾燥する蒸気乾燥方法であって、減圧された蒸気槽内において、洗浄後の前記ワークを貯留された前記溶剤に浸漬する冷浴工程と、前記蒸気槽内に前記溶剤の減圧蒸気を充満させて蒸気エリアを形成し、前記冷浴工程後の前記ワークを前記蒸気エリアに移動させて前記減圧蒸気中に留置する蒸気乾燥工程と、前記蒸気乾燥工程後に、前記ワークを前記蒸気エリアから前記蒸気槽内において前記減圧蒸気の希薄な冷却エリアに移動させ、前記ワーク表面の前記溶剤を気化させる冷却工程とを備えることを特徴とする。
【０００９】
なお、本発明において「ワーク」とは、単独の部品、及び複数の部品が組み合わされた製品又は半製品を含む。
【００１０】
本発明の蒸気乾燥方法によれば、減圧された蒸気槽内において、冷浴工程後のワークが減圧蒸気を用いて直ちに蒸気乾燥工程に移行するため、より効果的な蒸気乾燥が行われる。
【００１１】
前記冷浴工程において、貯留された前記溶剤の温度は、前記蒸気乾燥工程において用いられる前記減圧蒸気の温度よりも５℃以上低く設定されてもよい。この場合、ワーク表面の溶剤をより効率よく乾燥させることができる。
【００１２】
前記冷却工程において、前記ワークは秒速３ミリメートル（ｍｍ／ｓ）以上５０ｍｍ／ｓ以下で前記蒸気エリアから前記冷却エリアへ移動されてもよい。
また、前記冷却エリアの温度は、前記蒸気エリアの温度よりも５℃以上低く設定されてもよい。
【００１３】
本発明の第２の態様は、洗浄したワークを、溶剤を用いて乾燥させる蒸気乾燥装置であって、内部を減圧可能に構成され、前記溶剤が貯留される冷浴部を有する蒸気槽と、前記蒸気槽と接続され、前記蒸気槽に前記溶剤の減圧蒸気を供給可能に構成された減圧蒸気供給部と、前記減圧蒸気を冷却して、前記蒸気槽内を前記減圧蒸気が充満された蒸気エリアと前記減圧蒸気の希薄な冷却エリアとに分割する冷却部と、前記冷浴部、前記蒸気エリア、及び前記冷却エリアに前記ワークを移動可能に構成された移動機構とを備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の蒸気乾燥装置によれば、蒸気槽内の冷浴部で冷浴されたワークを、蒸気槽内に導入した減圧蒸気を用いて速やかに蒸気乾燥を行うことができる。
【００１５】
本発明の蒸気乾燥装置は、前記減圧蒸気供給部と前記冷浴部との間に設けられた断熱部をさらに備え、前記減圧蒸気供給部は、前記蒸気槽の内部に形成されてもよい。この場合、速やかに蒸気槽内に減圧蒸気を導入することができ、かつ冷浴部に貯留された溶剤が減圧蒸気供給部によって加熱されるのを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の蒸気乾燥方法及び蒸気乾燥装置によれば、減圧蒸気を用いてより効果の高い蒸気乾燥を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態の蒸気乾燥装置の構成を示す図である。
【図２】同蒸気乾燥装置を用いた蒸気乾燥方法の流れを示すフローチャートである。
【図３】同蒸気乾燥装置の使用時の動作を示す図である。
【図４】各種溶剤の飽和蒸気曲線を示すグラフである。
【図５】同蒸気乾燥装置の使用時の動作を示す図である。
【図６】同蒸気乾燥装置の使用時の動作を示す図である。
【図７】同蒸気乾燥装置の使用時の動作を示す図である。
【図８】同蒸気乾燥装置の使用時の動作を示す図である。である。
【図９】同蒸気乾燥装置の使用時の動作を示す図である。である。
【図１０】本発明の第２実施形態の蒸気乾燥装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の第１実施形態について、図１から図９を参照して説明する。図１は、本実施形態の蒸気乾燥方法を実行する蒸気乾燥装置１の構成を示す図である。
蒸気乾燥装置１は、各種のワークＷを蒸気乾燥するものであり、内部空間を減圧可能に構成された蒸気槽１０と、蒸気槽１０と接続された蒸気発生槽（減圧蒸気供給部）２０と、蒸気槽１０の内部環境を調節する調節部３０とを備えている。
【００１９】
蒸気槽１０は、上部に自動の蓋１１を有し、後述する調節部３０のエダクターを介して内部空間を減圧することが可能に構成されている。
蒸気槽１０の内部には、ワークＷを冷浴するための冷浴部１２と、内部空間を蒸気エリアと冷却エリアに分けるための冷却管（冷却部）１３と、ワークを蒸気槽１０の内部で移動させるための移動機構１４とを備えている。
【００２０】
冷浴部１２は、蒸気槽１０の下部に設けられており、内部にイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等の溶剤１００が貯留される。冷浴部１２に貯留される溶剤は、蒸気乾燥に用いられる公知のものが適宜選択されてよい。また、冷浴部１２の内面には冷却管１５が配置されており、相対的に高温の減圧蒸気が蒸気槽１０内に導入されても、貯留された溶剤１００の温度が一定に保たれる。
【００２１】
冷却管１３は、蒸気槽１０内において蓋１１に近い上部の所定位置に取り付けられている。冷却管１３は、蒸気槽１０内に導入された溶剤の減圧蒸気を冷却する。冷却された溶剤は、液化して下方に落下するため、冷却管１３より蓋１１側の領域は、減圧蒸気の希薄な冷却エリアＡ２（図３参照）となり、冷却１３よりも下方の領域は、減圧蒸気が充満する蒸気エリアＡ１（図３参照）となる。すなわち、冷却管１３によって、蒸気槽１０の内部空間が蒸気エリアＡ１と冷却エリアＡ２とに分割されており、冷却エリアＡ２の減圧蒸気の密度は、蒸気エリアＡ１のそれよりも小さい。
【００２２】
移動機構１４は、例えばアームやステージ等を有する公知のものを採用することができ、ワークＷを冷浴部１２内、蒸気エリアＡ１、及び冷却エリアＡ２の間で移動させることができる。
さらに、蒸気槽１０には内部の圧力を調整するためのリークバルブ１６が取り付けられている。
【００２３】
蒸気発生槽２０は、溶剤を加熱する加熱部２１を有している。加熱部２１としては公知のヒータ等を好適に採用することができる。
蒸気発生槽２０は、導入パイプ２２及び供給パイプ２３を介して蒸気槽１０と気密的に接続されている。そして、冷浴部１２に貯留された溶剤の一部が供給パイプ２３を通って蒸気発生槽２０に供給され、加熱部２１によって加熱され、蒸気となる。発生した蒸気は、導入パイプ２２を通って蒸気槽１０の内部に導入される。
導入パイプ２２及び供給パイプ２３には、それぞれ弁２４及び弁２５が取り付けられており、溶剤及び蒸気の流通のオンオフを切り替え可能となっている。
【００２４】
調節部３０は、蒸気槽１０の真空引きをするためのエダクター３１と、蒸気槽１０に供給する溶剤が貯留される封液槽３２とを備えている。
エダクター３１は吸引パイプ３３を介して蒸気槽１０と気密的に接続されており、ポンプ３４を動作させることによって蒸気槽１０の真空引きを行うことができる。なお、真空引きを行う手段として、真空ポンプが使用されても良い。
封液槽３２は、パイプ３５を介して蒸気槽１０の冷浴部１２と接続される一方、エダクター３１及びポンプ３４とも回路を構成している。吸引パイプ３３及びパイプ３５にも、それぞれ弁３６及び弁３７が取り付けられている。
蒸気槽１０のリークバルブ１６、蒸気槽１０と蒸気発生槽２０との接続部位に設けられた弁２４、２５、及び蒸気槽１０と調節部３０との接続部位に設けられた弁３６、３７は、いずれも図示しない制御部に接続されており、自動で開閉可能となっている。
【００２５】
上記のように構成された本実施形態の蒸気乾燥装置１の使用時の動作について説明する。
図２は蒸気乾燥装置１を用いて行われる、本実施形態の蒸気乾燥方法の流れを示すフローチャートである。この蒸気乾燥方法は、洗浄後のワークを蒸気槽１０に入れて冷浴する冷浴工程Ｓ１０と、冷浴後のワークを減圧蒸気で蒸気乾燥する蒸気乾燥工程Ｓ２０と、蒸気乾燥後にワークを冷却してワーク表面の溶剤を気化させる冷却工程Ｓ３０と、冷却工程後のワークを蒸気槽１０から取り出す取出工程Ｓ４０とを備えている。
【００２６】
まずステップＳ１０の冷浴工程において、図１に示すように、ユーザは蒸気槽１０の蓋１１を開け、洗浄剤による洗浄及びリンスが終了したワークＷを蒸気槽１０内部の移動機構１４に設置する。ユーザが蓋１１を閉めると、図示しない制御部によって弁３７が開き、封液槽３２から蒸気槽１０内の冷浴部１２に溶剤１００が供給され、冷浴部１２内に貯留される。このとき、弁２５も並行して開き、冷浴部１２内の溶剤の一部が蒸気発生槽２０内に供給される。
【００２７】
冷浴部１２に所定量の溶剤１００が貯留されると、移動機構１４が冷浴部１２に移動してワークＷが溶剤１００に浸漬される。このようにして所定時間ワークＷの冷浴が行われる。ワークＷは、例えば、貯留された溶剤１００と同程度の温度となるように溶剤１００に浸漬される。
なお、冷浴工程Ｓ１０においては、弁３６及び弁２４は閉じられており、かつリークバルブ１６は開かれているので、蒸気槽１０の内部はまだ減圧されていない。
【００２８】
冷浴工程Ｓ１０と並行して、続く蒸気洗浄工程Ｓ２０の準備が行われる。
具体的には、図３に示すように、弁３７及びリークバルブ１６が閉じられてから弁３６及び弁２４が開かれ、調節部３０のエダクター３１が作動されて蒸気槽１０及び気密的に接続された蒸気発生槽２０の真空引きが行われる。これによって蒸気槽１０及び蒸気発生槽２０の内部が所定の圧力となるまで減圧されるとともに、蒸気発生槽２０内で加熱部２１によって加熱された溶剤は、蒸気となって蒸気槽１０内に導入される。このとき、蒸気槽１０及び蒸気発生槽２０の内部は減圧されているため、溶剤１００の沸点が下がり、大気圧下における蒸気よりも低温の蒸気が蒸気槽１０内に充満する。
なお、減圧の目標値は、図４に示すような各溶剤の飽和蒸気圧曲線に基づいて、選択した溶剤における設定したい蒸気温度に対応する圧力まで減圧されるように設定すればよい。
【００２９】
ここで処理はステップＳ２０に移る。蒸気槽１０内に充満した減圧蒸気は、蓋１１側の冷却管１３によって冷却され、上述のように蒸気槽１０の内部が蒸気エリアＡ１と冷却エリアＡ２に分割される。
そして、蒸気エリアＡ１が形成されたところで、図５に示すように、移動機構１４がワークＷを蒸気エリアＡ１内に移動し、減圧蒸気によってワークＷの蒸気乾燥が行われる。
【００３０】
ステップＳ３０の冷却工程では、図６に示すように、移動機構１４が所定の速度で移動してワークＷを蒸気エリアＡ１から冷却エリアＡ２に移動させる。そして、図７に示すように、弁２４、２５が閉じられて蒸気槽１０への減圧蒸気の供給が停止され、ワークＷが冷却エリアＡ２に所定時間放置される。この間に、ワークＷは冷却エリアＡ２で徐々に冷却されると共に、ワークＷ表面の溶剤が気化して蒸気乾燥が完了する。
【００３１】
その後、ステップＳ４０の取出工程において、図８に示すように、弁３６が閉じられるとともにリークバルブ１６が開かれ、蒸気槽１０の内部が大気圧と同等の常圧に戻される。蒸気槽１０内が常圧に戻った後、蓋１１が開かれ、ワークＷが取り出される。その後継続して蒸気乾燥を行う場合は、必要に応じて、図９に示すように弁３７及び弁２５を開いて、冷浴部１２及び蒸気発生槽２０内の溶剤１００の量を調整してもよい。
【００３２】
本実施形態の蒸気乾燥装置１を用いて蒸気乾燥を行った場合と、大気圧下における一般的な蒸気乾燥との比較実験を行った。この比較実験においては、直径５０ｍｍの光学ガラス素子で、外周に黒色の縁取り塗料が塗られたものと、当該光学ガラス素子が接着剤によって複数個接合されたものとの２種類のワークを使用した。溶剤としてはＩＰＡを使用し、蒸気乾燥装置１では減圧蒸気の温度を５０℃及び４０℃の２種類設定した。結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
表１に示すように、大気圧下においては、ＩＰＡの蒸気温度は８３℃であり、高温にさらされたためにワークの縁取り塗料や接着剤に変質等のダメージが見られ、ワークに設定された要求品質を保持することができなかった。また、蒸気乾燥後、触れられる程度の温度まで冷却されるのに２分程度を要した。さらに、蒸気が高温であるため、爆発や火災等に対する注意が必要であった。
【００３５】
これに対し、蒸気乾燥装置１を用いた場合、４０℃及び５０℃のいずれの蒸気温度においても縁取り塗料や接着剤へのダメージは見られず、ワークの品質が保持されていた。また、蒸気乾燥終了後はすぐにワークに触れることができ、速やかに蒸気槽１０から取り出すことができた。さらに、火災等の危険性は低く、安全に作業を行うことができた。
【００３６】
本実施形態の蒸気乾燥装置１を用いた蒸気乾燥方法によれば、ステップＳ１０の冷浴工程において、減圧された蒸気槽１０内に設けられた冷浴部１２でワークの冷浴が行われる。そしてステップＳ２０の蒸気乾燥工程で蒸気槽１０内に溶剤の減圧蒸気が導入され、冷浴後のワークが直ちに蒸気エリアＡ１に移動されて蒸気乾燥が行われる。
したがって、減圧蒸気を用いながらも冷浴後すぐにワークを蒸気洗浄できるため、樹脂等の材料を含んで形成されるワークであっても、品質を損なうことなくより効果的に蒸気乾燥を行うことができる。
【００３７】
本実施形態の蒸気乾燥方法においては、冷浴部１２内に貯留される溶剤の温度や、移動機構の移動速度等を適切に設定することによってさらに蒸気乾燥の質を向上させることが可能である。以下、具体例を示す。
【００３８】
下記表２は、冷浴部１２内の溶剤１００の温度と減圧蒸気の温度との差について検討した結果を示す表である。両者の温度差が２℃の場合はワーク表面に若干の乾燥染みが観察され、蒸気槽１０から取り出した後に手拭きが必要であった（以下、この状態を「乾燥染みあり」と表記し、表２以降の各表において「△」で示す。）が、両者の温度差が５℃以上の場合は、ワーク表面に乾燥染みは見られず、手拭き工程を必要としない程度の仕上がりであった（以下、この状態を「良好」と表記し、表２以降の各表において「○」で示す。）。したがって、冷浴部１２内の溶剤１００の温度と減圧蒸気の温度との差が５℃以上に設定されると、蒸気乾燥の品質が向上し、好ましいことが示された。
【００３９】
【表２】
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【００４０】
下記表３は、ワークが蒸気エリアＡ１から冷却エリアＡ２に移動するときの移動機構１４の移動速度について検討した結果を示す表である。移動速度が８０ｍｍ／ｓ以上の場合で、ワークが「乾燥染みあり」の状態となったが、大気圧下では蒸気乾燥の仕上がりに影響が出る場合がある５０ｍｍ／ｓの移動速度においても仕上がりは「良好」であった。
したがって、本実施形態の蒸気乾燥方法では、５０ｍｍ／ｓ以下の速度でワークが蒸気エリアＡ１から冷却エリアＡ２に移動されるのが好適であることが示された、また、この範囲内であれば、一般的な蒸気乾燥方法における移動速度である３ｍｍ／ｓ以上でワークが移動されても問題はなく、この範囲内であれば、移動速度を上げるほど蒸気乾燥に要する時間をより短縮できることができ、より好ましいと考えられた。
【００４１】
【表３】
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【００４２】
下記表４は、蒸気エリアＡ１と冷却エリアＡ２との温度差について検討した結果を示す表である。両者が同等の温度である場合は、ワークが「乾燥染みあり」の状態となったが、両者の温度差が５℃以上の場合は、ワークの仕上がりは「良好」であった。したがって、蒸気エリアＡ１と冷却エリアＡ２との温度差が５℃以上に設定されると、蒸気乾燥の品質が向上し、好ましいことが示された。
【００４３】
【表４】
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【００４４】
次に、本発明の第２実施形態について、図１０を参照して説明する。本実施形態の蒸気乾燥装置４１と、上述の第１実施形態の蒸気乾燥装置１との異なるところは、蒸気発生槽が蒸気槽の内部に設けられている点である。なお、上述の第１実施形態と共通する構成には、同一の符号を付して共通する説明を省略する。
【００４５】
図１０は本実施形態の蒸気乾燥装置４１の構成を示す図である。蒸気発生槽４２は、蒸気槽１０の内部において、冷浴部１２と隣接して設けられている。蒸気発生槽４２と冷浴部１２との間は隔壁４３で仕切られている。隔壁４３には断熱材等を用いて断熱部４４が設けられており、減圧蒸気発生時に加熱される蒸気発生槽４２内の溶剤１００の熱が、冷浴部１２に伝わりにくくなっている。
溶剤は、パイプ３５からまず冷浴部１２に供給される。溶剤が冷浴部１２に満量たまると、隔壁４３を越えてオーバーフローし、蒸気発生槽４２へ供給される。
【００４６】
上記のように構成された蒸気乾燥装置４１においては、蒸気乾燥工程Ｓ２０において、ワークＷの冷浴と並行しながら蒸気発生槽４２で減圧蒸気が発生される。発生した減圧蒸気はそのまま蒸気槽１０内を上昇して蒸気エリアＡ１に減圧蒸気が充満する。
【００４７】
本実施形態の蒸気乾燥装置４１においても、上述の蒸気乾燥装置１と同様に、冷浴後のワークＷに対してただちに減圧蒸気による蒸気乾燥を行うことができる。
また、蒸気槽１０内に蒸気発生槽４２が設けられているので、蒸気槽と蒸気発生槽とを接続するためのパイプや弁等が必要なく、より装置構成や使用時の制御を簡素にすることができる。
【００４８】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００４９】
例えば、上述の各実施形態においては、ワークが光学ガラス素子からなる例を説明したが、本発明の蒸気乾燥方法及び蒸気乾燥装置の適用対象はこれには限定されず、高温の溶剤蒸気では品質が損なわれたり、より高い洗浄品質が求められたりするような他のワークに対しても問題なく適用することが可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１、４１  洗浄乾燥装置
１０  蒸気槽
１２  冷浴部
１３  冷却管（冷却部）
１４  移動機構
２０、４２  蒸気発生槽（減圧蒸気供給部）
４４  断熱部
１００  溶剤
Ａ１  蒸気エリア
Ａ２  冷却エリア
Ｓ１０  冷浴工程
Ｓ２０  蒸気乾燥工程
Ｓ３０  冷却工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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