(57)【要約】【課題】ブレードの直線進行部分に対する挟み込み部の内面の平行度の調整作業を簡略化してその調整作業に要する時間を短縮する。【解決手段】このバンドソー型切断装置では、各吹き掛け部２０ａ，２０ｂは、ブレード１８の直線進行部分１８ａを挟み込むように配置された挟み込み部２２と、その挟み込み部２２を垂直軸回りと水平軸回りとにそれぞれ回動可能な状態で加工用ヘッド１４に対して支持する支持部２４と、挟み込み部２２が垂直軸回りと水平軸回りとに回動可能な状態で前記直線進行部分１８ａの前面に挟み込み部２２の各ローラ２２ｃの玉軸受２２ｅの外輪部の外周面を押し当てて前記直線進行部分１８ａに挟み込み部２２の内面が沿うように挟み込み部２２を動かす作動部２６と、支持部２４における挟み込み部２２の垂直軸回りと水平軸回りの回動をロックするための回動ロック部２８とを有する。【選択図】図２
2010105118.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降可能な加工用ヘッドと、水平方向に離間した複数の垂直軸の周りに巻回された状態で前記加工用ヘッドに搭載されるとともに、隣り合う前記垂直軸間に直線進行部分を有するように周回移動するブレードとを備え、前記加工用ヘッドの下方に配置されたワークを前記加工用ヘッドの下降に伴い前記ブレードの直線進行部分により切断するバンドソー型切断装置であって、
前記ブレードの直線進行部分に沿って互いに離間した位置において前記加工用ヘッドに設けられ、前記ブレードの直線進行部分に側方から液体を吹き掛ける一対の吹き掛け部を備え、
前記各吹き掛け部は、前記ブレードの直線進行部分を挟み込むように配置され、その少なくとも一方の内面から前記ブレードの直線進行部分の側面に向かって前記液体を吐出可能な挟み込み部と、その挟み込み部を垂直軸回りと水平軸回りとにそれぞれ回動可能な状態で前記加工用ヘッドに対して支持する支持部と、前記挟み込み部が前記垂直軸回りと前記水平軸回りとに回動可能な状態で前記ブレードの直線進行部分の一方の側面に対向する前記挟み込み部の一方の内面を当該側面に押し当てて前記ブレードの直線進行部分に前記挟み込み部の両内面が沿うように前記挟み込み部を動かす作動部と、前記支持部における前記挟み込み部の前記垂直軸回りと前記水平軸回りの回動をロックするための回動ロック部とを有する、バンドソー型切断装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記挟み込み部と結合され、垂直方向に延びる第１軸部を有する第１支持体と、前記第１軸部を回動可能に支持するとともに、水平方向に延びる第２軸部を有する第２支持体と、前記加工用ヘッドに取り付けられ、前記第２軸部を回動可能に支持する第３支持体とを含む、請求項１に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項３】
前記回動ロック部は、注入される液体の圧力によって前記第１軸部を径方向外側から締め付けて固定することにより前記第１支持体の垂直軸回りの回動をロックする第１ロック部と、注入される液体の圧力によって前記第２軸部を径方向外側から締め付けて固定することにより前記第２支持体の水平軸回りの回動をロックする第２ロック部とを含む、請求項２に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項４】
前記第３支持体は、前記第２軸部を回動可能に支持する第３支持体本体部と、その第３支持体本体部を前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向に移動可能に支持する直交方向移動支持体とを有し、
前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向へ移動した前記第３支持体本体部をロックするための直交方向移動ロック部を備える、請求項２又は３に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項５】
前記第３支持体本体部には、前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向に延びる第３軸部が設けられ、
前記直交方向移動ロック部は、注入される液体の圧力によって前記第３軸部を径方向外側から締め付けて固定することにより前記第３支持体本体部をロックする、請求項４に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項６】
前記各吹き掛け部は、前記ブレードの直線進行部分の軌道が安定するようにその直線進行部分に側方から液体の圧力をかける、請求項１〜５のいずれか１項に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項７】
前記挟み込み部は、前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に対向して配置されるとともに、前記作動部に結合されるローラ部と、前記ブレードの直線進行部分の他方の側面に対向して配置されるとともに、その他方の側面に向かって前記液体を吐出可能なパッド部とを有し、
前記ローラ部を前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に押し当てるように前記作動部の動作を制御する制御装置を備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項８】
前記挟み込み部は、前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に対向して配置されるとともに、前記作動部に結合され、前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に向かって前記液体を吐出可能な第１パッド部と、前記ブレードの直線進行部分の他方の側面に対向して配置されるとともに、その他方の側面に向かって前記液体を吐出可能な第２パッド部とを有し、
前記第１パッド部を前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に押し当てるように前記作動部の動作を制御する制御装置を備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載のバンドソー型切断装置。
【請求項９】
前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向において前記第１パッド部の位置を調整するための位置調整部を備える、請求項８に記載のバンドソー型切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バンドソー型切断装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコン等の結晶体インゴットからなるワークを切断するためにバンドソー型切断装置が用いられており、このバンドソー型切断装置の一例が下記特許文献１に示されている。
【０００３】
この特許文献１に開示されたバンドソー型切断装置では、砥石を持つ無端状のブレードが離間して配置された一対のプーリに掛け渡されており、前記プーリの駆動によりブレードを垂直軸回りに周回移動させながらそのブレードの直線進行部分をワークに接触させてワークを切断するようになっている。そして、このバンドソー型切断装置では、ブレードの直線進行部分の軌道を安定させるためにその直線進行部分に沿って離間した位置に一対のブレード保持部が配設されている。この各ブレード保持部は、ブレードの直線進行部分を両面側から挟み込むように配置される挟み込み部をそれぞれ有しており、その挟み込み部間でブレードの直線進行部分の軌道の安定化を図るようになっている。
【特許文献１】特開２００７−１４４５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなバンドソー型切断装置では、ワークの切断に伴ってブレードが熱をもつとともにブレードに切削屑が付着するため、ブレード保持部において挟み込み部の内面からブレードの直線進行部分の側面に切削水を吹き掛けることにより、ブレードの冷却や切削屑の除去が行われる。この場合、挟み込み部の内面がブレードの直線進行部分に対して傾斜していると、ブレードの直線進行部分に加えられる切削水の圧力に偏りが生じ、その結果、ブレードの直線進行部分の軌道の安定化が損なわれる虞がある。このため、切断装置には、挟み込み部の内面がブレードの直線進行部分に対して平行となるように挟み込み部の角度を調整するための調整機構が一般的に設けられており、切断装置の使用者がダイヤルゲージ等を用いて挟み込み部の内面とブレードの直線進行部分との平行度を計測しながら、前記調整機構の調整ボルトを手動で回して前記平行度を調整することが行われる。
【０００５】
しかしながら、この場合には、前記平行度の調整作業が煩雑となり、その調整作業に時間がかかるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、ブレードの直線進行部分に対する挟み込み部の内面の平行度の調整作業を簡略化してその調整作業に要する時間を短縮することが可能なバンドソー型切断装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明によるバンドソー型切断装置は、昇降可能な加工用ヘッドと、水平方向に離間した複数の垂直軸の周りに巻回された状態で前記加工用ヘッドに搭載されるとともに、隣り合う前記垂直軸間に直線進行部分を有するように周回移動するブレードとを備え、前記加工用ヘッドの下方に配置されたワークを前記加工用ヘッドの下降に伴い前記ブレードの直線進行部分により切断するバンドソー型切断装置であって、前記ブレードの直線進行部分に沿って互いに離間した位置において前記加工用ヘッドに設けられ、前記ブレードの直線進行部分に側方から液体を吹き掛ける一対の吹き掛け部を備え、前記各吹き掛け部は、前記ブレードの直線進行部分を挟み込むように配置され、その少なくとも一方の内面から前記ブレードの直線進行部分の側面に向かって前記液体を吐出可能な挟み込み部と、その挟み込み部を垂直軸回りと水平軸回りとにそれぞれ回動可能な状態で前記加工用ヘッドに対して支持する支持部と、前記挟み込み部が前記垂直軸回りと前記水平軸回りとに回動可能な状態で前記ブレードの直線進行部分の一方の側面に対向する前記挟み込み部の一方の内面を当該側面に押し当てて前記ブレードの直線進行部分に前記挟み込み部の両内面が沿うように前記挟み込み部を動かす作動部と、前記支持部における前記挟み込み部の前記垂直軸回りと前記水平軸回りの回動をロックするための回動ロック部とを有する。
【０００８】
このバンドソー型切断装置では、挟み込み部が垂直軸回りと水平軸回りとに回動可能な状態で、作動部がブレードの直線進行部分の一方の側面に対向する挟み込み部の一方の内面を当該側面に押し当ててその直線進行部分に挟み込み部の両内面が沿うように挟み込み部を動かすことにより、ブレードの直線進行部分に対して挟み込み部の内面が自動的に平行に配置される。そして、この状態で、回動ロック部により支持部における挟み込み部の垂直軸回りと水平軸回りの回動がロックされることによって、ブレードの直線進行部分と挟み込み部の内面とが平行に保持される。従って、このバンドソー型切断装置では、従来のようにダイヤルゲージ等を用いて挟み込み部の内面とブレードの直線進行部分との平行度を計測しながら調整機構の調整ボルトを手動で回して前記平行度を調整する場合に比べて、ブレードの直線進行部分に対する挟み込み部の内面の平行度の調整作業を簡略化することができ、その結果、その平行度の調整作業に要する時間を短縮することができる。
【０００９】
上記バンドソー型切断装置において、前記支持部は、前記挟み込み部と結合され、垂直方向に延びる第１軸部を有する第１支持体と、前記第１軸部を回動可能に支持するとともに、水平方向に延びる第２軸部を有する第２支持体と、前記加工用ヘッドに取り付けられ、前記第２軸部を回動可能に支持する第３支持体とを含むことが好ましい。
【００１０】
このように構成すれば、支持部において、第１支持体を第２支持体に対して第１軸部を中心として回動させることによりその第１支持体とともに挟み込み部を垂直軸回りに回動させることができるとともに、第２支持体を第３支持体に対して第２軸部を中心として回動させることによりその第２支持体とともに第１支持体及び挟み込み部を水平軸回りに回動させることができる。従って、この構成では、支持部において、挟み込み部を垂直軸回りと水平軸回りとにそれぞれ回動可能とする具体的な構造を得ることができる。
【００１１】
この場合において、前記回動ロック部は、注入される液体の圧力によって前記第１軸部を径方向外側から締め付けて固定することにより前記第１支持体の垂直軸回りの回動をロックする第１ロック部と、注入される液体の圧力によって前記第２軸部を径方向外側から締め付けて固定することにより前記第２支持体の水平軸回りの回動をロックする第２ロック部とを含むことが好ましい。
【００１２】
このように構成すれば、第１ロック部と第２ロック部に液体を注入するだけでその液体の圧力によって第１支持体と第２支持体をロックすることができるので、各支持体を手動操作でロックするような構成に比べて、各支持体のロック作業を簡略化することができる。
【００１３】
上記支持部が第３支持体を含む構成において、前記第３支持体は、前記第２軸部を回動可能に支持する第３支持体本体部と、その第３支持体本体部を前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向に移動可能に支持する直交方向移動支持体とを有し、前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向へ移動した前記第３支持体本体部をロックするための直交方向移動ロック部を備えることが好ましい。
【００１４】
このように構成すれば、第３支持体本体部、第２支持体、第１支持体及び挟み込み部が一体的にブレードの直線進行部分に対して直交する方向へ移動可能となるので、前記作動部により挟み込み部が動かされるのに伴って、挟み込み部をブレードの直線進行部分に対して直交する方向へ移動させることが可能となる。これにより、ブレードの直線進行部分がその直交方向に位置ずれを生じている場合でもそれに合わせて挟み込み部の位置が自動的に調整され、その後、直交方向移動ロック部により第３支持体本体部をロックすることによってその調整後の状態が維持される。従って、ブレードの直線進行部分に対するその直交方向への挟み込み部の位置調整のためにダイヤルゲージ等を用いて挟み込み部の位置を計測しながら調整ボルトを手動で回して調整するような構成に比べて、ブレードの直線進行部分に対するその直交方向への挟み込み部の位置調整作業を簡略化することができる。
【００１５】
この場合において、前記第３支持体本体部には、前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向に延びる第３軸部が設けられ、前記直交方向移動ロック部は、注入される液体の圧力によって前記第３軸部を径方向外側から締め付けて固定することにより前記第３支持体本体部をロックすることが好ましい。
【００１６】
このように構成すれば、直交方向移動ロック部に液体を注入するだけでその液体の圧力によって第３支持体本体部をロックすることができるので、第３支持体本体部を手動操作でロックするような構成に比べて、第３支持体本体部のロック作業を簡略化することができる。
【００１７】
上記バンドソー型切断装置において、前記各吹き掛け部は、前記ブレードの直線進行部分の軌道が安定するようにその直線進行部分に側方から液体の圧力をかけることが好ましい。
【００１８】
このように構成すれば、各吹き掛け部からブレードに吹き掛けられる液体によりブレードの冷却及びブレードに付着した切削屑の除去が行えるのみならず、ブレードの直線進行部分に対して平行に配置される挟み込み部の内面から前記直線進行部分の軌道が安定するようにその直線進行部分に液体の圧力がかけられるので、その液体の圧力に偏りが生じることが抑制され、その結果、ブレードの直線進行部分の軌道を良好に安定させることができる。
【００１９】
上記バンドソー型切断装置において、前記挟み込み部は、前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に対向して配置されるとともに、前記作動部に結合されるローラ部と、前記ブレードの直線進行部分の他方の側面に対向して配置されるとともに、その他方の側面に向かって前記液体を吐出可能なパッド部とを有し、前記ローラ部を前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に押し当てるように前記作動部の動作を制御する制御装置を備えることが好ましい。
【００２０】
このように構成すれば、制御装置による作動部の動作制御によって、ブレードの直線進行部分の一方の側面に対向する挟み込み部のローラ部を当該一方の側面に自動的に押し当ててその側面に沿わせることができるので、ブレードの直線進行部分に対して挟み込み部の内面を自動的に平行に配置させるための具体的な構成を得ることができる。
【００２１】
上記バンドソー型切断装置において、前記挟み込み部は、前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に対向して配置されるとともに、前記作動部に結合され、前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に向かって前記液体を吐出可能な第１パッド部と、前記ブレードの直線進行部分の他方の側面に対向して配置されるとともに、その他方の側面に向かって前記液体を吐出可能な第２パッド部とを有し、前記第１パッド部を前記ブレードの直線進行部分の前記一方の側面に押し当てるように前記作動部の動作を制御する制御装置を備えることが好ましい。
【００２２】
このように構成すれば、制御装置による作動部の動作制御によって、ブレードの直線進行部分の一方の側面に対向する挟み込み部の第１パッド部を当該一方の側面に自動的に押し当ててその側面に沿わせることができるので、ブレードの直線進行部分に対して挟み込み部の内面を自動的に平行に配置させるための具体的な構成を得ることができる。
【００２３】
この場合において、前記ブレードの直線進行部分に対して直交する方向において前記第１パッド部の位置を調整するための位置調整部を備えることが好ましい。
【００２４】
このように構成すれば、ブレードの直線進行部分の一方の側面に第１パッド部が押し当てられてブレードの直線進行部分に対して挟み込み部の内面が平行となった後、位置調整部を用いて第１パッド部の位置を調整することにより、第１パッド部とブレードの直線進行部分の一方の側面との間に適切な隙間を設けることができ、第１パッド部にブレードの直線進行部分が擦れてブレードの周回移動が阻害されるのを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明のバンドソー型切断装置によれば、ブレードの直線進行部分に対する挟み込み部の内面の平行度の調整作業を簡略化してその調整作業に要する時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００２７】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態によるバンドソー型切断装置を概略的に示す正面図である。まず、この図１を参照して、本発明の第１実施形態によるバンドソー型切断装置の全体構成について説明する。
【００２８】
この第１実施形態によるバンドソー型切断装置（以下、切断装置と略す）は、シリコン等の結晶体インゴットからなるワークＷを切断するものである。この切断装置は、基台２上にワークＷを切断する装置本体４と、この装置本体４の所定の加工位置にワークＷを搬送する搬送装置６とを備えている。
【００２９】
装置本体４は、基台２上に幅方向に所定の間隔を隔てて立設され、かつ、上端部がトップビーム８によって連結された一対のコラム１０と、この両コラム１０の前面に設けられた横桁１２と、この横桁１２に搭載された加工用ヘッド１４とを有している。なお、図１の紙面に垂直な方向において、手前側を前側とし、奥側を後側として説明する。
【００３０】
前記横桁１２は、両コラム１０に沿って昇降駆動されるようになっている。すなわち、各コラム１０の前面には、上下方向に延びるガイドレール１０ａがそれぞれ設けられ、これらガイドレール１０ａに横桁１２が移動可能に装着されている。横桁１２には、図略の駆動機構、例えば上下方向に延びるように配設されるとともに、モータによって駆動されるボールねじ軸が結合されている。そして、この駆動機構の作動、例えば、前記モータによるボールねじ軸の回転駆動により、ガイドレール１０ａに沿って横桁１２が上下方向に移動するとともに、この移動に伴い前記加工用ヘッド１４が横桁１２と一体に昇降するようになっている。
【００３１】
前記加工用ヘッド１４は、横桁１２に取り付けられるヘッド本体１５と、そのヘッド本体１５の下面部分に、水平方向でコラム１０の並び方向（以下、幅方向という）に離間して配設された一対のプーリ１６ａ，１６ｂとを備えている。各プーリ１６ａ，１６ｂは、それぞれ垂直軸回りに回転可能にヘッド本体１５の下面部分に取り付けられている。これらプーリ１６ａ，１６ｂの周りには、ワークＷを切断するための無端状のブレード１８が巻回されている。このブレード１８は、図略の駆動手段によりプーリ１６ａ，１６ｂの一方が回転駆動されることによってプーリ１６ａ，１６ｂ間で幅方向に進行する直線進行部分１８ａを有する状態で高速で周回移動するようになっている。ブレード１８は、上下方向に幅を有する金属ベルト帯の下端縁部に、ダイヤモンド砥石が周方向に一定の間隔で配列された構造を有する。なお、このダイヤモンド砥石は、金属ベルト帯の下端縁部に周方向に連続して設けられていてもよい。ワークＷは、前記搬送装置６によりそのテーブル６ａ上の支持ブロック６ｂ上にセットされた状態で図１の紙面に垂直な方向に搬送されて加工用ヘッド１４の下方の加工位置に配置され、そのワークＷの切断時には、加工用ヘッド１４の下降に伴いブレード１８の前面側の直線進行部分１８ａの下端部でワークＷに切り込むようになっている。
【００３２】
そして、この第１実施形態によるバンドソー切断装置は、ブレード１８の前面側の直線進行部分１８ａ（以下、単に直線進行部分１８ａという）に側方（後側）から切削水を吹き掛ける一対の吹き掛け部２０ａ，２０ｂを備えている。また、各吹き掛け部２０ａ，２０ｂは、前記直線進行部分１８ａの軌道が安定するようにその直線進行部分１８ａに側方から前記切削水の圧力をかける機能も有する。一対の吹き掛け部２０ａ，２０ｂは、前記直線進行部分１８ａに沿って互いに離間した位置、詳細には加工位置に配置されたワークＷを挟んで幅方向に離間した位置において加工用ヘッド１４のヘッド本体１５に設けられている。
【００３３】
図２には、一対の吹き掛け部２０ａ，２０ｂのうち図１において左側に位置する一方の吹き掛け部２０ａの正面図が示されており、図３には、その一方の吹き掛け部２０ａを右側から見た側面図が示されている。図４には、図２に示した吹き掛け部２０ａの一部縦断面図が示されており、図５には、図４中のＶ−Ｖ線に沿った吹き掛け部２０ａの断面図が示されている。図６には、吹き掛け部２０ａのうち第１支持体３２と挟み込み部２２を除いた部分の上面図が示されており、図７には、図６を矢印ＶＩＩ方向から見た側面図において直交方向移動ロック部３０のみを部分的に破断させた図が示されている。図８には、回動ロック部２８の第１ロック部２８ａの軸方向に沿った断面図が拡大して示されている。図９には、図５中のＩＸ−ＩＸ線に沿った吹き掛け部２０ａの断面図が示されている。以下、上記各図を参照して、吹き掛け部２０ａ，２０ｂの詳細な構成について説明する。
【００３４】
一対の吹き掛け部２０ａ，２０ｂのうち図１において左側に配置された一方の吹き掛け部２０ａは、図２及び図３に示すように、挟み込み部２２と、支持部２４と、作動部２６と、回動ロック部２８と、直交方向移動ロック部３０とを有している。
【００３５】
挟み込み部２２は、前記直線進行部分１８ａを前後方向から挟み込むように配置されており、その両内面のうち後側の内面から前記直線進行部分１８ａの後面に向かって前記水圧をかけるための水を吐出可能に構成されている。この挟み込み部２２は、図５に示すように、前記直線進行部分１８ａの前面に対向するように配置されるローラ部２２ａと、前記直線進行部分１８ａの後面に対向するように配置されるパッド部２２ｂとを有する。
【００３６】
ローラ部２２ａは、図４に示すように前記直線進行部分１８ａに沿って隣り合うように配置された２つのローラ２２ｃを有しており、各ローラ２２ｃは、図５に示すように垂直方向に延びる軸部２２ｄと、その軸部２２ｄの上端部の周りと下端部の周りとにそれぞれ装着された玉軸受２２ｅ，２２ｅとによって構成されている。これにより、各玉軸受２２ｅの外輪部が軸部２２ｄを中心として回転自在となっている。そして、各玉軸受２２ｅの外輪部の外周面のうち前記直線進行部分１８ａに対向する部分が挟み込み部２２の両内面のうちの前側の内面となっており、前記直線進行部分１８ａは、その外輪部の外周面に接触しながら幅方向に移動するようになっている。
【００３７】
パッド部２２ｂは、前記直線進行部分１８ａに近接配置される主パッド部２２ｆと、その主パッド部２２ｆの後面に結合される補助パッド部２２ｇとによって構成されている。
【００３８】
主パッド部２２ｆは、その前面及び後面が平面に形成された矩形状の平板からなり、前後方向に貫通する複数の吐出孔２２ｈが設けられている。この複数の吐出孔２２ｈは、主パッド部２２ｆにおいて、補助パッド部２２ｇに形成された後述の凹部に対応する範囲に分散して配設されている。主パッド部２２ｆの前面は、挟み込み部２２の両内面のうちの後側の内面となっており、当該主パッド部２２ｆの前面は、前記各玉軸受２２ｅの外周面のうち前記直線進行部分１８ａに最も近い部分が通る平面と平行に配置されている。
【００３９】
補助パッド部２２ｇは、矩形状の平板からなり、その前面に矩形状の凹部が形成されているとともに、その凹部から後面側へ貫通する貫通孔が形成されている。補助パッド部２２ｇの前面は主パッド部２２ｆの後面に密着されて補助パッド部２２ｇと主パッド部２２ｆとが一体となっており、それによって補助パッド部２２ｇの前面に形成された凹部が主パッド部２２ｆの後面で封止されて分配空間２２ｉが形成されている。この分配空間２２ｉは、前記各吐出孔２２ｈと連通している。そして、補助パッド部２２ｇの貫通孔には、配管部２２ｊの一端部が接続されているとともに、この配管部２２ｊの他端部は、図略の吐出装置に繋がっている。
【００４０】
このような構成により、図略の吐出装置から吐出された切削水が配管部２２ｊを通じて分配空間２２ｉに導入されるとともに、その分配空間２２ｉから各吐出孔２２ｈに均等に分配されて各吐出孔２２ｈから前記直線進行部分１８ａの後面に向かって均一な圧力で吐出されるようになっている。この切削水としては、純水、水道水又は工業用水等が用いられており、この切削水は、ワークＷの切断によって熱をもつブレード１８を冷却する役割及び切削屑を除去する役割を兼ねている。そして、ブレード１８を周回移動させている時には、この直線進行部分１８ａの後面に向かって吐出される切削水によって主パッド部２２ｆの前面と直線進行部分１８ａの後面との間に水膜が形成されるとともに、その吐出される切削水の圧力により直線進行部分１８ａは前記各ローラ２２ｃの玉軸受２２ｅの外輪部の外周面に押し付けられる。これにより、前記直線進行部分１８ａのブレが抑制されてその直線進行部分１８ａの軌道の安定化が図られるようになっている。
【００４１】
前記支持部２４は、挟み込み部２２を垂直軸回りと水平軸回りとにそれぞれ回動可能でかつ前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能な状態で加工用ヘッド１４に対して支持するものである。
【００４２】
具体的には、この支持部２４は、図２及び図３に示すように、第１支持体３２と、第２支持体３４と、第３支持体３６と、張り出し板３８とによって構成されている。
【００４３】
第１支持体３２は、挟み込み部２２の上方に配置されているとともにその挟み込み部２２と結合されている。この第１支持体３２は、図５に示すように、第１支持体本体部３２ａと、第１軸部３２ｂとを有する。第１支持体本体部３２ａは、基部３２ｃと延設部３２ｄとを有している。基部３２ｃは、その下端部に挟み込み部２２が結合されている部分と、その部分の上部から前側に張り出された板状の部分とを有している。延設部３２ｄは、基部３２ｃの前記板状の部分の前端から下方に延設されていた板状の部分である。第１軸部３２ｂは、第１支持体本体部３２ａの上面から上方へ垂直に突設されている。この第１軸部３２ｂは、その軸心が前記パッド部２２ｂの前面上でかつそのパッド部２２ｂの幅方向の略中心上に位置するように配置されている。
【００４４】
第２支持体３４は、第１支持体３２の第１軸部３２ｂを垂直軸回りに回動可能に支持している。この第２支持体３４は、図４に示すように、第２支持体本体部３４ａと、第２軸部３４ｂとを有する。第２支持体本体部３４ａは、第１軸部３２ｂの根元部近傍の周りを囲むように設けられているとともに、その内部に第１軸部３２ｂの根元部近傍を軸支する軸受３４ｃ（図５参照）を有しており、この軸受３４ｃによって前記第１軸部３２ｂを垂直軸回りに回動可能に支持している。この構成により、第１支持体３２とともに挟み込み部２２が垂直軸回りに回動可能となっている。また、第２軸部３４ｂは、第２支持体本体部３４ａの図４における左側面から左方へ水平に突設されている。
【００４５】
第３支持体３６は、加工用ヘッド１４のヘッド本体１５に張り出し板３８を介して取り付けられている。張り出し板３８は、幅方向の一端部側で加工用ヘッド１４のヘッド本体１５に結合されるとともにその結合部からバンドソー型切断装置の幅方向内側に水平に張り出すように設けられており、第３支持体３６は、その張り出し板３８の先端部の下面に結合されている。そして、この第３支持体３６は、第２支持体３４の第２軸部３４ｂを水平軸回りに回動可能に支持している。この第３支持体３６は、第３支持体本体部３６ａと、一対のガイド部３６ｂと、第３軸部３６ｃ（図６及び図７参照）とを有している。
【００４６】
第３支持体本体部３６ａは、第２軸部３４ｂの根元部近傍の周りを囲むように設けられているとともに、その内部に第２軸部３４ｂの根元部近傍を軸支する軸受３６ｄを有しており、この軸受３６ｄによって前記第２軸部３４ｂを水平軸回りに回動可能に支持している。この構成により、第２支持体３４とともに第１支持体３２及び挟み込み部２２が水平軸回りに回動可能となっている。
【００４７】
一対のガイド部３６ｂは、第３支持体本体部３６ａを前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能に支持する。なお、このガイド部３６ｂは、本発明の直交方向移動支持体の概念に含まれるものである。一対のガイド部３６ｂは、第３支持体本体部３６ａの上側に前記直線進行部分１８ａに平行な方向に並んで設けられており、各ガイド部３６ｂは、ガイドレール３６ｆと、スライドブロック３６ｇとを有している。
【００４８】
ガイドレール３６ｆは、前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に延びるように第３支持体本体部３６ａの上面に固定されている。スライドブロック３６ｇは、前記張り出し板３８の下面に固定されている。このスライドブロック３６ｇは、ガイドレール３６ｆに対して摺動可能に装着されており、それによってガイドレール３６ｆとともに第３支持体本体部３６ａが前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能となっている。そして、この構成により、第３支持体本体部３６ａとともに第２支持体３４、第１支持体３２及び挟み込み部２２が前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能となっている。
【００４９】
なお、一対のガイド部３６ｂの周囲四方は、ゴム膜３９で覆われて防水が施されており、水が付着することに起因するガイドレール３６ｆのさびの発生が防止されている。また、スライドブロック３６ｇとガイドレール３６ｆが摺動する時には、ゴム膜３９が変形することによってその摺動の動作が阻害されないようになっている。
【００５０】
第３軸部３６ｃは、第３支持体本体部３６ａの前面から前方へ突設されており、前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に延びている。
【００５１】
作動部２６は、前記直線進行部分１８ａに対する挟み込み部２２の内面の平行度の調整及び前記直線進行部分１８ａに対するその直交方向への挟み込み部２２の位置調整に用いられるものであり、支持部２４において挟み込み部２２が垂直軸回りと水平軸回りとにそれぞれ回動可能でかつ前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能な状態で前記直線進行部分１８ａの前面に挟み込み部２２の各ローラ２２ｃの玉軸受２２ｅの外周面を押し当ててその直線進行部分１８ａに一対のローラ２２ｃとともにパッド部２２ｂの前面が沿うように挟み込み部２２のローラ部２２ａを動かすものである。この作動部２６は、図５に示すように、ローラ部支持体２６ａと、駆動シリンダ２６ｂとを有する。
【００５２】
ローラ部支持体２６ａは、挟み込み部２２のローラ部２２ａを支持している。具体的には、ローラ部支持体２６ａは、ローラ部２２ａのうち各ローラ２２ｃの軸部２２ｄを支持しており、その各ローラ２２ｃの軸部２２ｄの上端部がローラ部支持体２６ａの下部の後部にそれぞれ結合されている。このローラ部支持体２６ａは、第１支持体本体部３２ａのうち基部３２ｃの前記板状の部分の下面に対して前後方向に移動可能に取り付けられている。これにより、ローラ部支持体２６ａとともに挟み込み部２２のローラ部２２ａが前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能となっている。
【００５３】
駆動シリンダ２６ｂは、第１支持体本体部３２ａのうち延設部３２ｄに取り付けられている。この駆動シリンダ２６ｂは、ローラ部支持体２６ａを前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に駆動させる。具体的には、駆動シリンダ２６ｂは、ローラ部支持体２６ａを後方へ押動し、そのローラ部支持体２６ａに支持されたローラ部２２ａの各ローラ２２ｃの外周面を前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てるようになっている。この駆動シリンダ２６ｂは、作動油等の液体が供給されることによって作動する。
【００５４】
回動ロック部２８は、前記支持部２４における挟み込み部２２の垂直軸回りと水平軸回りの回動をロックするものである。この回動ロック部２８は、第１ロック部２８ａと、第２ロック部２８ｂとからなる。
【００５５】
第１ロック部２８ａは、後述する液体供給部４０ａから供給されて当該第１ロック部２８ａに注入される作動油等の液体の圧力によって前記第１軸部３２ｂを径方向外側から締め付けて固定することにより第１支持体３２の垂直軸回りの回動をロックするものである。この第１ロック部２８ａは、図５に示すように、前記第２支持体本体部３４ａの上側に配置されるとともに、第１軸部３２ｂの周りを囲むように設けられている。この第１ロック部２８ａは、図８に示すように、ケーシング４２と、スリーブ４４と、ジャケット４６とを有している。
【００５６】
ケーシング４２は、上端が閉塞された略円筒状に構成されており、前記第１軸部３２ｂに上から被せられるとともに前記第２支持体本体部３４ａ上に載せられた状態でその第２支持体本体部３４ａに結合されている。このケーシング４２は、第１軸部３２ｂと同軸に配置されている。また、ケーシング４２には、その内外を貫通するように径方向に延びる注入孔４２ａが設けられており、この注入孔４２ａを通じて液体がケーシング４２内に注入されるようになっている。
【００５７】
スリーブ４４は、ケーシング４２内において、第１軸部３２ｂに外嵌されている。このスリーブ４４には、軸方向に延びる複数のスリット４４ａが周方向に間隔をあけて形成されている。
【００５８】
ジャケット４６は、ケーシング４２内において、スリーブ４４に外嵌されており、変形可能な樹脂材料からなる。このジャケット４６の外周面とケーシング４２の内周面との間には、前記注入孔４２ａを通じて注入された液体が溜まる貯留空間４８が形成されている。
【００５９】
このような構成により、注入孔４２ａを通じて液体が貯留空間４８に注入され、その液体の圧力によってジャケット４６の前記貯留空間４８に対応する部分が縮径するように変形するとともに、そのジャケット４６の変形に押されてスリーブ４４の対応する部分が縮径し、第１軸部３２ｂを径方向外側から締め付けて固定するようになっている。
【００６０】
第２ロック部２８ｂは、後述する液体供給部４０ａから供給されて当該第２ロック部２８ｂに注入される作動油等の液体の圧力によって前記第２軸部３４ｂを径方向外側から締め付けて固定することにより第２支持体３４の水平軸回りの回動をロックするものである。この第２ロック部２８ｂは、前記第１ロック部２８ａと同様に構成されており、正面から見て前記第３支持体本体部３６ａの左側（図４中において左側）に配置されるとともに、第２軸部３４ｂの周りを囲むように設けられている。そして、第２ロック部２８ｂは、第２軸部３４ｂの先端部近傍を径方向外側から締め付けて固定するようになっている。
【００６１】
直交方向移動ロック部３０は、後述する液体供給部４０ａから供給されて当該直交方向移動ロック部３０に注入される作動油等の液体の圧力によって前記第３軸部３６ｃを径方向外側から締め付けて固定することにより前記第３支持体本体部３６ａをロックするものである。この直交方向移動ロック部３０は、図７に示すように、第３支持体本体部３６ａの前側に配置されているとともに、第３軸部３６ｃの周りを囲むように設けられている。そして、この直交方向移動ロック部３０は、前記張り出し板３８の下面に連結部５０を介して固定されている。この直交方向移動ロック部３０における第３支持体本体部３６ａをロックするための機構は、前記第１ロック部２８ａと基本的に同様である。ただし、この直交方向移動ロック部３０は、第３軸部３６ｃの先端部近傍を径方向外側から締め付けて第３軸部３６ｃをその軸方向に移動しないように固定し、それによって前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向（前後方向）への第３支持体本体部３６ａの移動をロックするようになっている。
【００６２】
また、このバンドソー型切断装置は、図９に示す位置調整部５１を備えている。この位置調整部５１は、前記直線進行部分１８ａに直交する方向、すなわち前後方向においてローラ部２２ａの位置を調整するためのものである。
【００６３】
具体的には、位置調整部５１は、一対の調整ボルト５１ａを有しており、これら調整ボルト５１ａは、駆動シリンダ２６ｂの左右両側に分かれて配設されているとともに、ローラ部支持体２６ａの移動方向（前後方向）に対して平行に延びる姿勢で配置されている。前記第１支持体本体部３２ａの延設部３２ｄには、駆動シリンダ２６ｄの左右両側に分かれて一対の貫通孔３２ｆが形成されており、前記ローラ部支持体２６ａには、各貫通孔３２ｆに対応する位置にねじ穴２６ｃがそれぞれ形成されている。各調整ボルト５１ａの頭部近傍の部分は、前記延設部３２ｄに形成された貫通孔３２ｆに挿通されているとともに、その貫通孔３２ｆを通って後方へ延びる調整ボルト５１ａの先端部は、前記ローラ部支持体２６ａに形成されたねじ穴２６ｃに螺合している。そして、一対の調整ボルト５１ａをそれぞれ締め込む方向に回すことによってローラ部支持体２６ａとともにローラ部２２ａが前方へ移動させられる一方、一対の調整ボルト５１ａをそれぞれ緩める方向に回すことによってローラ部支持体２６ａ及びローラ部２２ａの位置を後方へずらすことが可能となっている。
【００６４】
また、この第１実施形態によるバンドソー型切断装置は、図１０に示す制御装置４０を備えており、この制御装置４０が作動部２６、第１ロック部２８ａ、第２ロック部２８ｂ及び直交方向移動ロック部３０のそれぞれの動作を制御する。なお、図１０は、制御装置４０の構成を示すブロック図である。
【００６５】
具体的には、制御装置４０は、液体供給部４０ａと、第１レギュレータ４０ｂと、第２レギュレータ４０ｃと、第１切換弁４０ｄと、第２切換弁４０ｅと、制御部４０ｆとを有する。
【００６６】
液体供給部４０ａは、作動油等の液体を吐出するポンプからなる。この液体供給部４０ａから吐出された液体は、作動部２６の駆動シリンダ２６ｂ側へ供給される液体と、前記各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０側へ供給される液体とに分流される。駆動シリンダ２６ｂ側へ供給される液体は、さらに２つに分流され、一方の液体の流れは第１レギュレータ４０ｂを通ってその圧力が高圧に調整され、もう一方の液体の流れは第２レギュレータ４０ｃを通ってその圧力が低圧に調整される。そして、両レギュレータ４０ｂ，４０ｃを通過した液体は、第１切換弁４０ｄを通じて駆動シリンダ２６ｂへ供給可能となっている。第１切換弁４０ｄは、制御部４０ｆによって切換制御され、第１レギュレータ４０ｂを通過した高圧の液体と、第２レギュレータ４０ｃを通過した低圧の液体のいずれか一方を駆動シリンダ２６ｂ側へ流す。そして、駆動シリンダ２６ｂは、供給される液体の圧力に応じた力でローラ部支持体２６ａとともにローラ部２２ａを後方へ押動し、そのローラ部２２ａの各ローラ２２ｃを前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てるようになっている。
【００６７】
また、液体供給部４０から前記各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０側へ供給される液体は、第２切換弁４０ｅを通過した後、３つに分流されて、その各液体の流れが３つのロック部２８ａ，２８ｂ，３０の対応するものにそれぞれ供給される。第２切換弁４０ｅは、制御部４０ｆによって開状態と閉状態に切換制御されるようになっている。第２切換弁４０ｅは、開状態とされることによって前記各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０側への液体の流通を許容する一方、閉状態とされることによって前記各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０側への液体の流通を遮断する。そして、各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０は、液体が供給されることによりそれぞれ上記したロック動作を行う一方、液体の供給が停止されるとそれぞれロックを解除するようになっている。
【００６８】
また、前記一対の吹き掛け部２０ａ，２０ｂのうち図１において右側に配置された他方の吹き掛け部２０ｂは、前記一方の吹き掛け部２０ａを図１において左右反転させた構造を有している。
【００６９】
次に、この第１実施形態によるバンドソー型切断装置において前記直線進行部分１８ａに対する挟み込み部２２の内面（パッド部２２ｂの前面）の平行度を調整する際の動作について説明する。
【００７０】
まず、この平行度の調整作業は、図略の吐出装置からの切削水の吐出を止めてパッド部２２ｂの吐出孔２２ｈからの切削水の吐出が止められているとともに、制御装置４０の第２切換弁４０ｅが閉状態とされていて前記各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０に液体が供給されず、それら各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０におけるロックが解除されている状態、すなわち、支持部２４において挟み込み部２２が垂直軸回りと水平軸回りとに回動可能でかつ前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能な状態で行われる。
【００７１】
そして、この状態において、制御装置４０によって作動部２６の駆動シリンダ２６ｂが制御されることにより、当該駆動シリンダ２６ｂがローラ部支持体２６ａとともに挟み込み部２２のローラ部２２ａを後方に押動する。具体的には、制御部４０ｆによって第１切換弁４０ｄが制御され、第１レギュレータ４０ｂを通った高圧の液体が第１切換弁４０ｄを通じて駆動シリンダ２６ｂに供給される。これにより、駆動シリンダ２６ｂは、前記高圧の液体の圧力に応じた力でローラ部２２ａの各ローラ２２ｃの玉軸受２２ｅの外周面を前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てる。それによって、ローラ部２２ａが前記直線進行部分１８ａに沿うように、支持部２４において第１軸部３２ｂと第２支持体本体部３４ａが相対的に回動するとともに第２軸部３４ｂと第３支持体本体部３６ａとが相対的に回動する。その結果、ローラ部２２ａとともにパッド部２２ｂの前面が前記直線進行部分１８ａに対して自動的に平行に配置される。
【００７２】
また、この際、プーリ１６ａ，１６ｂの磨耗等の要因により前記直線進行部分１８ａの位置がその直交方向にずれている場合には、前記ローラ２２ｃの玉軸受２２ｅの外周面が前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てられた際に支持部２４の第３支持体３６においてガイド部３６ｂのガイドレール３６ｆとスライドブロック３６ｇが相対的に摺動し、逸れに伴って挟み込み部２２が前後方向に移動する。これにより、前記直線進行部分１８ａに対するその直交方向への挟み込み部２２の位置調整も自動的に行われる。
【００７３】
この後、制御部４０ｆによって第１切換弁４０ｄが切換制御され、第２レギュレータ４０ｃを通った低圧の液体が前記高圧の液体の替わりに第１切換弁４０ｄを通じて駆動シリンダ２６ｂに供給される。これにより、駆動シリンダ２６ｂがローラ部２２ａを前記直線進行部分１８ａに対して押圧する力が弱まり、ローラ部２２ａに押圧されて張った状態となっていた前記直線進行部分１８ａが緩められる。
【００７４】
次に、制御部４０ｆは、第２切換弁４０ｅを開状態に切り換える。これにより、液体供給部４０ａから吐出された液体が前記各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０にそれぞれ供給され、それによって、挟み込み部２２の垂直軸回り及び水平軸回りの回動と前記直線進行部分１８ａに直交する方向への挟み込み部２２の移動とがロックされる。その結果、挟み込み部２２のローラ部２２ａの両ローラ２２ｃ及びパッド部２２ｂの前面が前記直線進行部分１８ａに対して平行な状態及びその挟み込み部２２が前記直線進行部分１８ａに対してその直交方向に位置調整された状態が維持される。
【００７５】
そして、この状態で、ブレード１８が周回移動してワークＷを切断する際にパッド部２２ｂの各吐出孔２２ｈから切削水が吐出されると、パッド部２２ｂの前面全体から前記直線進行部分１８ａへ向かって均一な水圧がかかるようになる。
【００７６】
以上説明したように、第１実施形態によるバンドソー型切断装置では、挟み込み部２２が垂直軸回りと水平軸回りとに回動可能な状態で、作動部２６がブレード１８の直線進行部分１８ａの前面に対向する各ローラ２２ｃの玉軸受２２ｅの外輪の外周面を押し当ててその直線進行部分１８ａに挟み込み部２２の内面が沿うように挟み込み部２２を動かすことにより、ブレード１８の直線進行部分１８ａに対して挟み込み部２２の内面、すなわちパッド部２２ｂの前面が自動的に平行に配置される。そして、この状態で、回動ロック部２８の第１ロック部２８ａと第２ロック部２８ｂにより支持部２４における挟み込み部２２の垂直軸回りと水平軸回りの回動がロックされることによって、ブレード１８の直線進行部分１８ａとパッド部２２ｂの前面とが平行に保持される。従って、この第１実施形態によるバンドソー型切断装置では、従来のようにダイヤルゲージ等を用いて挟み込み部の内面とブレードの直線進行部分との平行度を計測しながら調整機構の調整ボルトを手動で回して前記平行度を調整する場合に比べて、ブレード１８の直線進行部分１８ａに対する挟み込み部２２の内面（パッド部２２ｂの前面）の平行度の調整作業を簡略化することができ、その結果、その平行度の調整作業に要する時間を短縮することができる。
【００７７】
また、第１実施形態では、回動ロック部２８が、注入される液体の圧力によって第１軸部３２ｂを径方向外側から締め付けて固定することにより支持部２４の第１支持体３２の垂直軸回りの回動をロックする第１ロック部２８ａと、注入される液体の圧力によって第２軸部３４ｂを径方向外側から締め付けて固定することにより支持部２４の第２支持体３４の水平軸回りの回動をロックする第２ロック部２８ｂとによって構成されているので、制御装置４０の液体供給部４０ａから吐出される液体を第１ロック部２８ａと第２ロック部２８ｂに供給するだけで第１支持体３２と第２支持体３４をロックすることができ、各支持体３２，３４をクランプ等により手動操作でロックするような構成に比べて、各支持体３２，３４のロック作業を簡略化することができる。
【００７８】
また、第１実施形態では、支持部２４の第３支持体３６が、第２軸部３４ｂを回動可能に支持する第３支持体本体部３６ａと、その第３支持体本体部３６ａをブレード１８の直線進行部分１８ａに対して直交する方向に移動可能に支持するガイド部３６ｂとを有しているため、第３支持体本体部３６ａ、第２支持体３４、第１支持体３２及び挟み込み部２２が一体的にブレード１８の直線進行部分１８ａに対して直交する方向へ移動可能となり、作動部２６により挟み込み部２２を動かされるのに伴って、挟み込み部２２をブレード１８の直線進行部分１８ａに対して直交する方向へ移動させることが可能となる。これにより、ブレード１８の直線進行部分１８ａがその直交方向に位置ずれを生じている場合でもそれに合わせて挟み込み部２２の位置が自動的に調整される。そして、第１実施形態では、直交方向移動ロック部３０がブレード１８の直線進行部分１８ａに対して直交する方向へ移動した第３支持体本体部３６ａをロックするようになっているので、上記のように挟み込み部２２の位置が調整された後、直交方向移動ロック部３０により第３支持体本体部３６ａをロックすることによってその調整後の状態が維持される。従って、この第１実施形態では、ブレード１８の直線進行部分１８ａに対するその直交方向への挟み込み部２２の位置調整のためにダイヤルゲージ等を用いて挟み込み部２２の位置を計測しながら調整ボルトを手動で回して調整するような構成に比べて、ブレード１８の直線進行部分１８ａに対するその直交方向への挟み込み部２２の位置調整作業を簡略化することができる。
【００７９】
また、第１実施形態では、直交方向移動ロック部３０が、注入される液体の圧力によって第３軸部３６ｃを径方向外側から締め付けて固定することにより支持部２４の第３支持体３６の第３支持体本体部３６ａをロックするので、制御装置４０の液体供給部４０ａから吐出される液体を直交方向移動ロック部３０に供給するだけでその液体の圧力によって第３支持体本体部３６ａをロックすることができ、第３支持体本体部３６ａをクランプ等により手動操作でロックするような構成に比べて、第３支持体本体部３６ａのロック作業を簡略化することができる。
【００８０】
また、第１実施形態では、各吹き掛け部２０ａ，２０ｂからブレード１８に吹き掛けられる切削水によりブレード１８の冷却及びブレード１８に付着した切削屑の除去が行えるのみならず、ブレード１８の直線進行部分１８ａに対して平行に配置される挟み込み部２２のパッド部２２ｂの前面から直線進行部分１８ａの軌道が安定するようにその直線進行部分１８ａに切削水の圧力がかけられるので、その切削水の圧力に偏りが生じることが抑制され、その結果、直線進行部分１８ａの軌道を良好に安定させることができる。
【００８１】
（第２実施形態）
図１１には、本発明の第２実施形態によるバンドソー型切断装置の吹き掛け部２０ａの前記図５に対応する断面図が示されている。次に、この図１１を参照して、本発明の第２実施形態によるバンドソー型切断装置の構成について説明する。
【００８２】
この第２実施形態によるバンドソー型切断装置は、上記第１実施形態と異なり、挟み込み部２２のうちブレード１８の直線進行部分１８ａの前面に対向する部分が前側パッド部５２ａによって構成されている。すなわち、この第２実施形態では、挟み込み部２２は、前側パッド部５２ａと、上記第１実施形態のパッド部２２ｂと全く同じ構成の後側パッド部５２ｂとを有しており、それら両パッド部５２ａ，５２ｂによって前記直線進行部分１８ａを前後から挟み込むようになっている。なお、前側パッド部５２ａは、本発明の第１パッド部の概念に含まれるものであり、後側パッド部５２ｂは、本発明の第２パッド部の概念に含まれるものである。
【００８３】
具体的には、前側パッド部５２ａの構造は、上記第１実施形態のパッド部２２ｂを前後に反転させて配置した構造とほぼ同様となっている。この前側パッド部５２ａは、上記第１実施形態の主パッド部２２ｆ及び補助パッド部２２ｇと同様の主パッド部５２ｆ及び補助パッド部５２ｇを有している。主パッド部５２ｆには、前記複数の吐出孔２２ｈと同様の複数の吐出孔５２ｈが設けられているとともに、前側パッド部５２ａには、前記貯留空間２２ｉと同様の分配空間５２ｉが設けられている。そして、前記配管部２２ｊと同様の配管部５２ｊを通じて図略の吐出装置から分配空間５２ｉに切削水が供給されるとともに、その切削水が各吐出孔５２ｈから前記直線進行部分１８ａの前面に向かって吐出されるようになっている。
【００８４】
従って、この第２実施形態では、両パッド部５２ａ，５２ｂの各吐出孔５２ｈ，２２ｈから前記直線進行部分１８ａの対応する面に向かって均一な圧力で切削水が吐出され、前側パッド部５２ａの後面と前記直線進行部分１８ａの前面との間に水膜が形成されるとともに、後側パッド部５２ｂの前面と前記直線進行部分１８ａの後面との間に水膜が形成されるようになっている。これにより、前記直線進行部分１８ａは、その前後から水圧がかけられて両パッド部５２ａ，５２ｂ間でその軌道の安定化が図られる。
【００８５】
また、作動部２６は、第１支持体本体部３２ａのうち基部３２ｃの板状の部分の下面に対して前後方向に移動可能に取り付けられるとともに前側パッド部５２ａを支持する前側パッド部支持体２６ｄを有している。この前側パッド部支持体２６ｂは、上記第１実施形態のローラ部２２ａの代わりに前側パッド部５２ａが取り付けられていること以外は、前記ローラ部支持体２６ａとほぼ同様に構成されている。
【００８６】
そして、この第２実施形態によるバンドソー型切断装置は、上記第１実施形態と同様、位置調整部５１（図９参照）を有している。この位置調整部５１を用いて、後述するように前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てられた前側パッド部５２ａを直線進行部分１８ａの前面との間に所定の隙間が設けられる位置まで後退させることが可能となっている。
【００８７】
この第２実施形態によるバンドソー型切断装置の上記以外の構成は、上記第１実施形態によるバンドソー型切断装置の構成と同様である。
【００８８】
この第２実施形態によるバンドソー型切断装置において、前記直線進行部分１８ａに対する両パッド部５２ａ，５２ｂの平行度及び直交方向への位置を調整する際には、図略の吐出装置からの切削水の吐出を止めて両パッド部５２ａ，５２ｂの吐出孔５２ｈ，２２ｈからの切削水の吐出を止め、回動ロック部２８の第１ロック部２８ａ及び第２ロック部２８ｂと直交方向移動ロック部３０とによるロックを解除した状態で、制御装置４０が作動部２６の駆動シリンダ２６ｂを制御することによりその駆動シリンダ２６ｂが前側パッド部５２ａを後方に押動する。これにより、前側パッド部５２ａの後面が前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てられてその前側パッド部５２ａの後面が前記直線進行部分１８ａに沿い、前側パッド部５２ａの後面及び後側パッド部５２ｂの前面が前記直線進行部分１８ａに対して自動的に平行に配置される。
【００８９】
また、前記直線進行部分１８ａの位置がその直交方向にずれている場合には、前側パッド部５２ａの後面が前記直線進行部分１８ａの前面に押し当てられた際に挟み込み部２２が前後方向に移動し、前記直線進行部分１８ａに対するその直交方向への挟み込み部２２の位置調整も自動的に行われる。
【００９０】
上記各調整作業時の制御装置４０における駆動シリンダ２６ｂ及び各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０への液体の供給制御は、上記第１実施形態と同様に行われ、上記各調整作業が終わると各ロック部２８ａ，２８ｂ，３０によるロック動作が行われて挟み込み部２２の内面が前記直線進行部分１８ａに対して平行な状態及びその挟み込み部２２が前記直線進行部分１８ａに対してその直交方向に位置調整された状態が維持される。
【００９１】
その後、前記直線進行部分１８ａに対する前側パッド部５２ａの後面及び後側パッド部５２ｂの前面の平行度の調整時に前記直線進行部分１８ａに押し当てられた前側パッド部５２ａを、位置調整部５１を用いて前記直線進行部分１８ａから離間させる。具体的には、位置調整部５１の各調整ボルト５１ａ，５１ｂを締め込む方向に回すことによって、前側パッド部支持体２６ｄとともに前側パッド部５２ａを前方に移動させ、前記直線進行部分１８ａの前面と前側パッド部５２ａの後面との間に所定の隙間、具体的には、前記直線進行部分１８ａの後面と後側パッド部５２ｂの前面との間の隙間と等しい大きさの隙間が設けられる位置まで前側パッド部５２ａを前記直線進行部分１８ａに対して後退させる。
【００９２】
この第２実施形態における上記以外の動作は、上記第１実施形態の場合と同様である。
【００９３】
この第２実施形態では、ブレード１８の直線進行部分１８ａの前面に前側パッド部５２ａが押し当てられて直線進行部分１８ａに対して挟み込み部２２の内面が平行となった後、位置調整部５１を用いて前側パッド部５２ａと直線進行部分１８ａの前面との間に適切な隙間を設けることができ、前側パッド部５２ａに前記直線進行部分１８ａが擦れてブレード１８の周回移動が阻害されるのを防ぐことができる。
【００９４】
この第２実施形態によるこれ以外の効果は、上記第１実施形態による効果と同様である。
【００９５】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００９６】
例えば、前記直線進行部分１８ａに対してその直交方向への挟み込み部２２の位置調整を行うための構成は、前記直線進行部分１８ａに直交する方向へ挟み込み部２２を手動で移動させて位置調整するような構成であってもよい。
【００９７】
また、上記各実施形態では、支持部２４において挟み込み部２２に近い方から順番に垂直軸回りの回動、水平軸回りの回動が可能な構成となっているが、この順番が逆に構成されていてもよい。
【００９８】
また、前記各軸部３２ｂ，３４ｂ，３６ｃを固定して第１支持体３２、第２支持体３４及び第３支持体本体部３６ａをロックするための回動ロック部２８の第１ロック部２８ａ及び第２ロック部２８ｂと直交方向移動ロック部３０は、上記のような構成のものに限定されず、一般的なクランプを用いて前記各軸部３２ｂ，３４ｂ，３６ｃを固定するものや、その他の各種構成のものを適用することが可能である。
【００９９】
また、作動部２６の駆動シリンダ２６ｂは、液圧によって駆動するものに限らず、空圧やその他種々の動力によって駆動するものであってもよい。そして、駆動シリンダの動作を制御する制御装置は、駆動シリンダの駆動方式に応じた動力でその駆動シリンダの動作を制御するように構成されていてもよい。
【０１００】
また、上記実施形態で示したブレード１８の直線進行部分１８ａに対する挟み込み部２２の内面の平行度調整に先立って、挟み込み部２２の垂直軸回りの角度、水平軸回りの角度及び前記直線進行部分１８ａに対して直交する方向（前後方向）における位置をそれぞれ手動で基準状態に合わせる操作を行ってもよい。
【０１０１】
具体的には、テーブル６ａの後端面に対する挟み込み部２２の主パッド部２２ｆの後面（補助パッド部２２ｇの前面）の平行度をゲージで測定しながら、手動で挟み込み部２２及び第１支持体３２を第１軸部３２ｂ（垂直軸）を中心として回動させるとともに、手動で挟み込み部２２、第１支持体３２及び第２支持体３４を第２軸部３４ｂ（水平軸）を中心として回動させて主パッド部２２ｆの後面（補助パッド部２２ｇの前面）がテーブル６ａの後端面に対して平行となるように挟み込み部２２の角度調整を行う。なお、テーブル６ａの後端面は、テーブル６ａの上面に対して垂直な平面になっているものとする。そして、上記第１実施形態であれば、挟み込み部２２のローラ２２ｃの外周面が前記直線進行部分１８ａの前面にちょうど接触する位置まで挟み込み部２２、第１支持体３２、第２支持体３４及び第３支持体本体部３６ａをガイドレール３６ｆに沿って手動で移動させて挟み込み部２２の前後方向の位置を調整し、上記第２実施形態であれば、挟み込み部２２の前側パッド部５２ａが前記直線進行部分１８ａの前面にちょうど接触する位置まで挟み込み部２２、第１支持体３２、第２支持体３４及び第３支持体本体部３６ａをガイドレール３６ｆに沿って手動で移動させて挟み込み部２２の前後方向の位置を調整する。以上のような各調整によって、挟み込み部２２を基準状態とし、その後、上記各実施形態で示した前記直線進行部分１８ａに対する挟み込み部２２の内面の平行度調整を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の第１実施形態によるバンドソー型切断装置を概略的に示す正面図である。
【図２】一対の吹き掛け部のうち図１において左側に位置する一方の吹き掛け部の正面図である。
【図３】図２に示した一方の吹き掛け部を右側から見た側面図である。
【図４】図２に示した吹き掛け部の一部縦断面図である。
【図５】図４中のＶ−Ｖ線に沿った吹き掛け部の断面図である。
【図６】図２に示した吹き掛け部のうち第１支持体と挟み込み部を除いた部分の上面図である。
【図７】図６を矢印ＶＩＩ方向から見た側面図において直交方向移動ロック部のみを部分的に破断させて示した図である。
【図８】回動ロック部の第１ロック部の軸方向に沿った拡大断面図である。
【図９】図５中のＩＸ−ＩＸ線に沿った吹き掛け部の断面図である。
【図１０】作動部の駆動シリンダ、第１ロック部、第２ロック部及び直交移動ロック部の動作を制御する制御装置の構成を示したブロック図である。
【図１１】本発明の第２実施形態によるバンドソー型切断装置の吹き掛け部の図５に対応する断面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１４  加工用ヘッド
１８  ブレード
１８ａ  直線進行部分
２０ａ、２０ｂ  吹き掛け部
２２  挟み込み部
２４  支持部
２６  作動部
２８  回動ロック部
２８ａ  第１ロック部
２８ｂ  第２ロック部
３０  直交方向移動ロック部
３２  第１支持体
３２ｂ  第１軸部
３４  第２支持体
３４ｂ  第２軸部
３６  第３支持体
３６ａ  第３支持体本体部
３６ｂ  ガイド部（直交方向移動支持体）
３６ｃ  第３軸部
５１  位置調整部
５２ａ  前側パッド部（第１パッド部）
５２ｂ  後側パッド部（第２パッド部）
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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