(57)【要約】【課題】複雑なプロセスガスを供給することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供すること。【解決手段】第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、第１ラインは第１マスフローコントローラＭＢに接続されており、第２ラインは第２マスフローコントローラＭＣに接続されており、第１ラインは第１弁ＶＢ３及び第２弁ＶＢ２を有し、第２ラインは第３弁ＶＣ３及び第４弁ＶＣ２を有し、４種類のガスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスＡとガスＢは同じガスＧＡＳ６であること、第１弁ＶＢ３及び第３弁ＶＣ３はガスＧＡＳ６を供給する供給ポートと接続していること、第２弁ＶＢ２はガスＧＡＳ５を供給する供給ポートと接続していること、第４弁ＶＣ２はガスＧＡＳ８を供給する供給ポートと接続している。【選択図】  図１
2010108459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、該第１ラインは第１マスフローコントローラに接続されており、該第２ラインは第２マスフローコントローラに接続されており、該第１ラインはガスＡを供給する第１弁及びガスＣを供給する第２弁を有し、該第２ラインはガスＢを供給する第３弁及びガスＤを供給する第４弁を有する、ガス供給装置において、
前記ガスＡと前記ガスＢは同じガスであること、
を特徴とするガス供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載のガス供給装置において、
開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジを有すること、
前記ブロック状フランジは、
パイプが接続する接続ポートと、
前記マニホールドブロックに形成された前記開閉弁に連結されたマニホールド連通路と前記接続ポートとを連通するフランジ連通路と、
前記パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有すること、
を特徴とするガス供給装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のガス供給装置において、
回路の排気側に流量検定システムを有すること、
を特徴とするガス供給装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のガス供給装置において、
前記ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、前記マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、
を特徴とするガス供給装置。
【請求項５】
開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジにおいて、
前記ブロック状フランジは、
パイプが接続する接続ポートと、
前記マニホールドブロックに形成された前記開閉弁に連結されたマニホールド連通路と前記接続ポートとを連通するフランジ連通路と、
前記パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部と、
を有することを特徴とするブロック状フランジ。
【請求項６】
請求項５のブロック状フランジにおいて、
前記ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、前記マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、
を特徴とするブロック状フランジ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、該第１ラインは第１マスフローコントローラに接続されており、該第２ラインは第２マスフローコントローラに接続されており、該第１ラインは第１弁及び第２弁を有し、該第２ラインは該第３弁及び第４弁を有し、４種類のガスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の技術として、高価で比較的大きな装置であるマスフローコントローラの使用数を減らし、床占有面積を小さくすることを目的とする発明に、下記の特許文献１及び特許文献２に記載されるガス供給装置が開示されている。
図３２に示すよう、特許文献１に記載されるガス供給装置３００は、混合前のガス流量を制御する３つのマスフローコントローラ３０１ＭＡを有する。さらに、マスフローコントローラ３０１ＭＡには、３つの開閉弁３０２ＶＡ、３０３ＶＡ、３０４ＶＡが接続している。図３２においては、本発明と対比し易いように開閉弁を３つにした。マスフローコントローラ３０１ＭＡに接続しているラインを第１ラインとする。
当該構成を有することにより高価で比較的大きな装置であるマスフローコントローラの使用数を減らすことができた。
しかし、特許文献１に係る発明では、例えば、プロセスガスを供給する際に、頻繁に使用するプロセスガスＧ１がある場合には、１つのマスフローコントローラ３０１ＭＡを通じてしかプロセスガスＧ１を供給することができないとすると、同じマスフローコントローラ３０１ＭＡに通じる他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を同時に第１ラインでは供給することができない。そうすると、他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を供給する際には、プロセスガスＧ１の供給を止めなければならなかった。そのため、複雑なプロセスに対応できなかったり、対応のために新たなマスフローコントローラが必要になるという問題があった。
【０００３】
そこで、特許文献１に係る発明の課題を解決するものとして、特許文献２に係る発明がある。
図３３に示すように、特許文献２に記載されるガス供給装置２００は、３つのマスフローコントローラ２０１ＭＡ、２０１ＭＢ、２０１ＭＣを有する。マスフローコントローラ２０１ＭＡには、開閉弁２１２Ａ〜２１２Ｈまでの８つの開閉弁が連通している。また、その他のマスフローコントローラ２０１ＭＢ、２０１ＭＣにもそれぞれ８つの開閉弁が連通している。マスフローコントローラ２０１ＭＡに連通しているラインを第１ラインとし、マスフローコントローラ２０１ＭＢは、第２ライン、マスフローコントローラ２０１ＭＣは、第３ラインとする。例えば、プロセスガスＧ１を供給するときには、開閉弁２１２Ａ、２１３Ａ、又は２１４Ａのいずれかを開弁すれば、プロセスガスＧ１を、第１ライン乃至第３ラインのどのラインからでも供給することができる。そのため、頻繁に供給するプロセスガス例えばプロセスガスＧ１を第１ラインで供給しているときにも、他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を、他の第２、第３ラインで供給することができる。したがって、プロセスガスＧ１の供給を止めなくとも、その他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を供給することができる。
【０００４】
【特許文献１】特許３９０４３６８号
【特許文献２】特開２００３−９１３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のガス供給装置２００には、以下の問題があった。
例えば、ガス供給装置２００では、開閉弁が２４個必要とされる。そのため、開閉弁が増えることになるため、製造コストが高くなる問題、及び床占有面積が大きくなる問題がある。
また、上述したように、特許文献１に係るガス供給装置３００では、開閉弁の数は少ないが、例えば、ガスを供給する際に、頻繁に使用するプロセスガスＧ１がある場合には、１つのマスフローコントローラ３０１ＭＡを通じてしかプロセスガスＧ１を供給することができないとすると、同じマスフローコントローラ３０１ＭＡに通じる他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を同時に第１ラインでは供給することができない。そうすると、他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を供給する際には、プロセスガスＧ１の供給を止めなければならなかった。そのため、複雑なプロセスに対応できなかったり、対応のために新たなマスフローコントローラが必要になるという問題がある。
【０００６】
また、特許文献１に係るガス供給装置３００では、各プロセス毎にプロセスで使用するプロセスガスの供給源とそのプロセスガスを供給するための全てのパイプが各開閉弁に直接接続しているため、パイプが混雑し、床占有面積を小さくすることができない問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、頻繁に使用するプロセスガスの供給を止めることなく、その他のプロセスガスを使用することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るガス供給装置、ブロック状フランジは、以下の構成を有する。
（１）第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、第１ラインは第１マスフローコントローラに接続されており、第２ラインは第２マスフローコントローラに接続されており、第１ラインは第１弁及び第２弁を有し、第２ラインは第３弁及び第４弁を有し、４種類のガスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスＡとガスＢは同じガスであること、第１弁及び第３弁はガスＡを供給する供給ポートと接続していること、第２弁はガスＣを供給する供給ポートと接続していること、第４弁はガスＤを供給する供給ポートと接続していること、を特徴とする。
（２）（１）に記載のガス供給装置において、開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジを有すること、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有すること、を特徴とする。
（３）（１）又は（２）に記載のガス供給装置において、回路の排気側に流量検定システムを有すること、を特徴とする。
（４）（１）又は（２）のガス供給装置において、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、を特徴とする。
（５）開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジにおいて、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部と、を有することを特徴とする。
（６）（５）のブロック状フランジにおいて、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、を特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
上記ガス供給装置、ブロック状フランジの作用及び効果について説明する。
（１）上記発明に係るガス供給装置によると、ガスＡとガスＢは同じガスであること、第１弁及び第３弁はガスＡを供給する供給ポートと接続していること、第２弁はガスＣを供給する供給ポートと接続していること、第４弁はガスＤを供給する供給ポートと接続しているため、例えば、ガスを供給する際に、頻繁に使用するプロセスガスＧ１がある場合でも、２つのマスフローコントローラを通じてプロセスガスＧ１を供給することができる。そのため、他のプロセスガスＧ２、Ｇ３を同時に供給する場合には、プロセスガスＧ１を他方のマスフローコントローラを使用することにより、プロセスガスＧ２又はＧ３を同時に供給することができる。したがって、複雑なプロセスに対応することができるため、新たなマスフローコントローラを必要としない。
（２）（１）の構成を有し、さらに、開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジを有すること、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有すること、とする構成を採ることにより、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。
（３）（１）又は（２）の構成を有し、さらに、回路の排気側に流量検定システムを有する構成を採るため、マスフローコントローラの流量を測定することにより、マスフローコントローラの不具合の判定を行うことができる。
（４）（１）又は（２）の構成を有し、さらに、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であることとする構成を採るため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。そのため、省スペースであってもガス供給装置を配置することができる。
【００１０】
（５）開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジにおいて、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部と、を有するため、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。
（６）（５）の構成を有し、さらに、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であることとする構成を採るため、設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。そのため、省スペースであってもガス供給装置を配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明に係るガス供給装置、ブロック状フランジの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
＜ガス供給装置の全体構成＞
図１は、ガス供給装置１の回路図を示す。ガス供給装置１は、ガス供給方式として取り入れ口を側面に備える形式を採用するものである。
図１に示すように、ガス供給装置１は、８種類のプロセスガスＧＡＳ１、ＧＡＳ２、ＧＡＳ３、ＧＡＳ４、ＧＡＳ５、ＧＡＳ６、ＧＡＳ７、ＧＡＳ８及びパージガスのガス源が連通されている。（プロセスガスＧＡＳ６は、請求項中のガスＡ、及びガスＢに該当する。）
プロセスガスＧＡＳ１のガス源に連通する流路Ｈ１は、開閉弁ＶＡ１の入力ポートに連通している。開閉弁ＶＡ１の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＡの入力ポートに連通している。マスフローコントローラＭＡの出力ポートに連通している流路は、開閉弁ＶＡ４の入力ポートに連通している。開閉弁ＶＡ４の出力ポートには流路Ｈ９が連通しており、流路Ｈ９はチャンバーへ向かう流路Ｈ９ａと排気管へ向かう流路Ｈ９ｂとに分岐する。流路Ｈ９ｂには、流量検定システムＲ１が接続されている。
流路Ｈ９ｂには、流量検定システムＲ１が接続されていることにより、マスフローコントローラの不具合の判定を行うことができる。
【００１３】
プロセスガスＧＡＳ２のガス源に連通する流路Ｈ２は、開閉弁ＶＡ２の入力ポートに連通している。開閉弁ＶＡ２の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＡの入力ポートに連通している。マスフローコントローラＭＡの出力ポートに連通している流路は、開閉弁ＶＡ４の入力ポートに連通している。開閉弁ＶＡ４からの構成は、上記と同様の構成である。
プロセスガスＧＡＳ３、ＧＡＳ４、ＧＡＳ５、ＧＡＳ７、ＧＡＳ８のチャンバー及び排気管への回路は、上記プロセスガスＧＡＳ１、ＧＡＳ２の回路と同様の構成を採るため、説明を割愛する。（マスフローコントローラＭＢに連結するラインは、請求項中の第１ラインに該当し、マスフローコントローラＭＢは、第１マスフローコントローラに該当する。マスフローコントローラＭＣに連結するラインは、請求項中の第２ラインに該当し、マスフローコントローラＭＣは、第２マスフローコントローラに該当する。）
【００１４】
プロセスガスＧＡＳ６のガス源に接続する流路Ｈ６は、途中から流路Ｈ６ａと流路Ｈ６ｂの２つに分岐している。一方の流路Ｈ６ａは、開閉弁ＶＢ３の入力ポートに連通している。（開閉弁ＶＢ３は、請求項中の第１弁に該当する。）他方の流路Ｈ６ｂは、開閉弁ＶＣ３の入力ポートに連通している。（開閉弁ＶＣ３は、請求項中の第２弁に該当する。）
開閉弁ＶＢ３の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＢの入力ポートに連通している。他方の開閉弁ＶＣ３の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＣの入力ポートに連通している。
マスフローコントローラＭＢの出力ポートに連通している流路は、開閉弁ＶＢ４の入力ポートに連通している。マスフローコントローラＭＣの出力ポートに連通している流路は、開閉弁ＶＣ４に連通している。
開閉弁ＶＢ４及び開閉弁ＶＣ４の出力ポートには流路Ｈ９が連通しており、流路Ｈ９はチャンバーへ向かう流路Ｈ９ａと排気管へ向かう流路Ｈ９ｂとに分岐する。流路Ｈ９ｂには流量検定システムＲ１が接続されている。
【００１５】
パージガスのガス源に接続する流路は、開閉弁Ｐ１の入力ポートに連通しており、Ｐ１の出力ポートに連通している流路は開閉弁Ｐ２、ＰＡ、ＰＢ、ＰＣの入力ポートに連通している。
開閉弁ＰＡの出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＡの入力ポートに連通している。開閉弁ＰＢの出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＢの入力ポートに連通している。開閉弁ＰＣの出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラＭＣの入力ポートに連通している。
マスフローコントローラＭＡ、ＭＢ、ＭＣの出力ポートに連通している流路Ｈ９は、チャンバーへ向かう流路Ｈ９ａと排気管へ向かう流路Ｈ９ｂとに分岐する。流路Ｈ９ｂには流量検定システムＲ１が連通されている。
【００１６】
図２は、ガス供給装置１の外観上方斜視図を示す。図３は、ガス供給装置１の下面図を示す。図４は、ガス供給装置１の外観下方斜視図を示す。
図２、図３、及び図４の構成は図１の回路図に対応している。
図３及び図４に示すように、マニホールド２Ａ、２Ｂ、２Ｃ及びＶ字流路ブロック３Ａ、３Ｂ、３Ｃがある。
マニホールド２ＡとＶ字流路ブロック３Ａを連結するように、マスフローコントローラＭＡが、図示しないネジにより固設されている。マニホールド２Ａ、Ｖ字流路ブロック３Ａ、及びマスフローコントローラＭＡは、一体となっている。
マニホールド２Ｂ、Ｖ字流路ブロック３Ｂ、マスフローコントローラＭＢについて、また、マニホールド２Ｃ、Ｖ字流路ブロック３Ｃ、マスフローコントローラＭＣについても同様の構成を採るため説明を割愛する。
第１流路ブロック４が、マニホールド２Ａ、２Ｂ、２Ｃの端に、図示しないネジにより固設されている。第２流路ブロック５が、Ｖ字流路ブロック３Ａ、３Ｂ、３Ｃの端に、図示しないネジにより固設されている。第１流路ブロック４と第２流路ブロック５が固設されていることにより、ガス供給装置１は、全体として一体となる。
【００１７】
図２に示すように、ガス供給装置１の側面（マニホールド２Ａの側面、又はマニホールド２Ｃの側面）からは、プロセスガスのガス源へと連通するポートブロック１０が設置されている。本実施例においては、ポートブロック１０の入力口は水平方向を向いているが、入力口は、上、下、その他どの向きにつけることも可能である。
ポートブロック１０は、具体的には、プロセスガスＧＡＳ１が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック１１である。プロセスガスＧＡＳ２が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック１２である。
プロセスガスＧＡＳ３乃至ＧＡＳ８については、上記プロセスガスＧＡＳ１、ＧＡＳ２と同様の構成を採るため説明を割愛する。
【００１８】
図５は、図３のガス供給装置１のＡＡ断面図を示す。
図３及び図５に示すように、マニホールド２Ａには、ブロック状フランジＢＡ１、ＢＡ２、ＢＡ３が、ネジにより固設されている。ブロック状フランジＢＡ１は、開閉弁ＶＡ１の真下に位置し、ブロック状フランジＢＡ２は、開閉弁ＶＡ２の真下に位置し、ブロック状フランジＢＡ３は、開閉弁ＶＡ３の真下に位置する。
図５に示すように、ブロック状フランジＢＡ１内のフランジ連通路ＦＡ１は、マニホールド２Ａ内のマニホールド連通路ＲＡ１を連通し、開閉弁ＶＡ１に連通している。ブロック状フランジＢＡ２内のフランジ連通路ＦＡ２は、マニホールド２Ａ内のマニホールド連通路ＲＡ２を連通し、開閉弁ＶＡ２に連通している。ブロック状フランジＢＡ３内のフランジ連通路ＦＡ３は、マニホールド２Ａ内のマニホールド連通路ＲＡ３を連通し、開閉弁ＶＡ３に連通している。
マニホールド２Ｂには、ブロック状フランジＢＢ１、ＢＢ２、ＢＢ３が、ネジにより固設されている。図示していないが、ブロック状フランジＢＢ１は、開閉弁ＶＢ１の真下に位置し、ブロック状フランジＢＢ２は、開閉弁ＶＢ２の真下に位置し、ブロック状フランジＢＢ３は、開閉弁ＶＢ３の真下に位置する。
マニホールド２Ｃには、ブロック状フランジＢＣ１、ＢＣ２、ＢＣ３が、ネジにより固設されている。図示はしていないが、ブロック状フランジＢＣ１は、開閉弁ＶＣ１の真下に位置し、ブロック状フランジＢＣ２は、開閉弁ＶＣ２の真下に位置し、ブロック状フランジＢＣ３は、開閉弁ＶＣ３の真下に位置する。
図示していないが、マニホールド２Ｂ、２Ｃには、マニホールド連通路が形成され、ブロック状フランジにはフランジ連通路が形成されており、開閉弁ＶＢ１、ＶＢ２、ＶＢ３、ＶＣ１、ＶＣ２、ＶＣ３にそれぞれ連通している。
【００１９】
図３及び図４に示すように、ポートブロック１１から連通するパイプＫ１は、開閉弁ＶＡ１に連通するブロック状フランジＢＡ１と連通している。（パイプＫ１は、回路図における流路Ｈ１の一部を構成する。）ポートブロック１２から連通するパイプＫ２は、開閉弁ＶＡ２に連通するブロック状フランジＢＡ２と連通している。ポートブロック１３から連通するパイプＫ３は、開閉弁ＶＡ３に連通するブロック状フランジＢＡ３と連通している。
ブロック状フランジＢＡ１、ＢＡ２、ＢＡ３の形状は、Ｌタイプのブロック状フランジ６０を採用している。なお、図５で示した、ブロック状フランジＢＡ１内のフランジ連通路ＦＡ１、ブロック状フランジＢＡ２内のフランジ連通路ＦＡ２、ブロック状フランジＢＡ３内のフランジ連通路ＦＡ３は、後述するフランジ連通路６６に相当する。
【００２０】
図８を用いて、Ｌタイプのブロック状フランジ６０の構成を説明する。図８には、ぞれぞれ（ａ）乃至（ｄ）の図が示されている。（ａ）は外観斜視図を示す。（ｂ）は平面図を示す。（ｃ）は側面図を示す。（ｄ）は正面図を示す。なお、内部のフランジ連通口６５及びフランジ連通路６６が理解し易いように、フランジ連通口６５及びフランジ連通路６６を各図面において点線で表した。
ブロック状フランジ６０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ６０は、上面６１ａ、下面６１ｂ、正面６１ｃ、背面６１ｄ、左側面６１ｅ、及び右側面６１ｆの面から構成されている。
正面６１ｃの左上には、接続ポート６４が垂直方向に固設されている。接続ポート６４は、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路６６と連通している。フランジ連通路６６は下面６１ｂに形成されているフランジ連通口６５に連通している。フランジ連通路６６は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポート６４とを連通する流路である。
上面６１ａと右側面６１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部６２が形成されている。パイプ逃げ部６２の形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部６２の高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ２本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部６２の正面６１ｃ側には、貫通孔６３ａが形成されている。また、パイプ逃げ部６２の背面６１ｄ側には、貫通孔６３ｂが形成されている。
貫通孔６３ａと貫通孔６３ｂは、ブロック状フランジ６０の下面６１ｂの対角線上に位置し、その間に、フランジ連通口６５が形成されている。そのため、ネジによりマニホールドのネジ孔と固定した時に、フランジ連通口６５とマニホールド連通路の連通口の接合部に均一な押圧力を与えることができる。よって、フランジ連通口６５とマニホールド連通路の連通口の接合部からの漏れを防止することができる。
【００２１】
図３及び図４に示すように、ポートブロック１４から連通するパイプＫ４は、ブロック状フランジＢＡ１であるブロック状フランジ６０のパイプ逃げ部６２を通って、開閉弁ＶＢ１に連通するブロック状フランジＢＢ１に連通している。ブロック状フランジＢＢ１の形状は、後述するセンタータイプのブロック状フランジ４０を採用している。
ポートブロック１５から連通するパイプＫ５は、ブロック状フランジＢＡ２であるブロック状フランジ６０のパイプ逃げ部６２を通って、開閉弁ＶＢ２に連通するブロック状フランジＢＢ２に連通している。ブロック状フランジＢＢ２の形状は、後述するセンタータイプのブロック状フランジ４０を採用している。
【００２２】
図６を用いて、センタータイプのブロック状フランジ４０の構成を説明する。図６には、ぞれぞれ（ａ）乃至（ｄ）の図が示されている。（ａ）は外観斜視図を示す。（ｂ）は平面図を示す。（ｃ）は側面図を示す。（ｄ）は正面図を示す。なお、内部のフランジ連通口４５及びフランジ連通路４６が理解し易いように、フランジ連通口４５及びフランジ連通路４６を各図面において点線で表した。
ブロック状フランジ４０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ４０は、上面４１ａ、下面４１ｂ、正面４１ｃ、背面４１ｄ、左側面４１ｅ、及び右側面４１ｆの面から構成されている。
正面４１ｃの中心上には、接続ポート４４が垂直方向に固設されている。接続ポート４４は、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路と連通している。フランジ連通路４６は下面４１ｂに形成されているフランジ連通口４５に連通している。フランジ連通路４６は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポート４４とを連通する流路である。
上面４１ａと左側面４１ｅの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部４２ａが形成されている。パイプ逃げ部４２ａの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部４２ａの高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ１本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部４２ａの正面４１ｃ側には、貫通孔４３ａが形成されている。
上面４１ａと右側面４１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部４２ｂが形成されている。パイプ逃げ部４２ｂの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部４２ｂの高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ１本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部４２ｂの背面４１ｄ側には、貫通孔４３ｂが形成されている。
貫通孔４３ａと貫通孔４３ｂについての効果は上記ブロック状フランジ６０と同様である。
【００２３】
ポートブロック１６から連通するパイプＫ６ａは、ブロック状フランジＢＡ３であるブロック状フランジ６０のパイプ逃げ部６２を通って、開閉弁ＶＢ３に連通するブロック状フランジＢＢ３に連通している。ブロック状フランジＢＢ３の形状は、第２接続タイプのブロック状フランジ８０を採用している。
【００２４】
図１０を用いて、第２接続タイプのブロック状フランジ８０の構成を説明する。  図１０には、ぞれぞれ（ａ）乃至（ｄ）の図が示されている。（ａ）は外観斜視図を示す。（ｂ）は平面図を示す。（ｃ）は側面図を示す。（ｄ）は正面図を示す。なお、内部のフランジ連通口８５及びフランジ連通路８６が理解し易いように、フランジ連通口８５及びフランジ連通路８６を各図面において点線で表した。
ブロック状フランジ８０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ８０は、上面８１ａ、下面８１ｂ、正面８１ｃ、背面８１ｄ、左側面８１ｅ、及び右側面８１ｆの面から構成されている。
正面８１ｃの中心上には、第１接続ポート８４ａが垂直方向に固設されている。また、背面８１ｄの中心上には、第２接続ポート８４ｂが垂直方向に固設されている。第１接続ポート８４ａと第２接続ポート８４ｂとは、内部に形成されているフランジ連通路８６ａにより連通されている。
また、フランジ連通路８６ａの途中から下面８１ｂのフランジ連通口８５に対して垂直にフランジ連通路８６ｂが形成されている。フランジ連通路８６は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と第１接続ポートと８４ａ、及び第２接続ポート８４ｂを連通する流路である。
上面８１ａと左側面８１ｅの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部８２ａが形成されている。パイプ逃げ部８２ａの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部８２ａの高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ１本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部８２ａの正面８１ｃ側には、貫通孔８３ａが形成されている。
上面８１ａと右側面８１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部８２ｂが形成されている。パイプ逃げ部８２ｂの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部８２ｂの高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ１本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部８２ｂの背面８１ｄ側には、貫通孔８３ｂが形成されている。
貫通孔８３ａと貫通孔８３ｂについての効果は上記ブロック状フランジ６０と同様である。
【００２５】
ポートブロック１７から連通するパイプＫ７は、第１にブロック状フランジＢＡ１であるブロック状フランジ６０のパイプ逃げ部６２を通って、第２にブロック状フランジＢＢ１であるブロック状フランジ４０の第２パイプ逃げ部４２ｂを通って、開閉弁ＶＣ１に接続するブロック状フランジＢＣ１に連通している。ブロック状フランジＢＣ１の形状は、上述したＲタイプのブロック状フランジ５０を採用している。
ポートブロック１８から連通するパイプＫ８は、第１にブロック状フランジＢＡ２であるブロック状フランジ６０のパイプ逃げ部６２を通って、第２にブロック状フランジＢＢ２であるブロック状フランジ４０の第２パイプ逃げ部４２ｂを通って、開閉弁ＶＣ２に連通するブロック状フランジＢＣ２に連通している。ブロック状フランジＢＣ２の形状は、上述したＲタイプのブロック状フランジ５０を採用している。
ポートブロック１６から連通するパイプＫ６ａは、ブロック状フランジＢＢ３であるブロック状フランジ８０の第１接続ポート８４ａに連通する。ブロック状フランジ８０内のポート連通路８７を連通して第２接続ポート８４ｂへと連通する。第２接続ポート８４ｂには、パイプＫ６ｂの一端が連通している。パイプＫ６ｂの他端はブロック状フランジＢＣ３に連通している。ブロック状フランジＢＣ３は、上述したセンタータイプのブロック状フランジ４０を採用している。
【００２６】
＜ブロック状フランジの全体構成＞
ブロック状フランジには、上記のブロック状フランジのほか様々なパターンがある。図６乃至図１９に、ブロック状フランジの様々なパターンを示す。図６乃至図１９には、ぞれぞれ（ａ）乃至（ｄ）の図が示されている。（ａ）は外観斜視図を示す。（ｂ）は平面図を示す。（ｃ）は側面図を示す。（ｄ）は正面図を示す。
図２０及び図２１に、かさ上げフランジのパターンを示す。図２０及び図２１には、ぞれぞれ（ａ）乃至（ｄ）の図が示されている。（ａ）は外観斜視図を示す。（ｂ）は平面図を示す。（ｃ）は背面図を示す。（ｄ）は正面図を示す。
なお、内部のフランジ連通口及びフランジ連通路が理解し易いように、フランジ連通口及びフランジ連通路を各図面において点線で表した。
以下では、上述したブロック状フランジ４０、６０、８０以外のブロック状フランジ５０、７０、９０、１００、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０及びかさ上げブロック１８０、１９０について説明する。
【００２７】
図７を用いて、Ｒタイプのブロック状フランジ５０の構成を説明する。
ブロック状フランジ５０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ５０は、上面５１ａ、下面５１ｂ、正面５１ｃ、背面５１ｄ、左側面５１ｅ、及び右側面５１ｆの面から構成されている。
正面５１ｃの右上には、接続ポート５４が垂直方向に固設されている。接続ポート５４は、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路５６と連通している。フランジ連通路５６は下面５１ｂに形成されているフランジ連通口５５に連通している。フランジ連通路５６は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポート５４とを連通する流路である。
上面５１ａと左側面５１ｅの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部５２が形成されている。パイプ逃げ部５２の形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部５２の高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ２本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部５２の正面５１ｃ側には、貫通孔５３ａが形成されている。また、パイプ逃げ部５２の背面５１ｄ側には、貫通孔５３ｂが形成されている。
貫通孔５３ａと貫通孔５３ｂは、ブロック状フランジ５０の下面５１ｂの対角線上に位置し、その間に、フランジ連通口５５が形成されている。そのため、ネジによりマニホールドのネジ孔と固定した時に、フランジ連通口５５とマニホールド連通路の連通口の接合部に均一な押圧力を与えることができる。よって、フランジ連通口５５とマニホールド連通路の連通口の接合部からの漏れを防止することができる。
【００２８】
図９を用いて、第１接続タイプのブロック状フランジ７０の構成を説明する。
ブロック状フランジ７０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ７０は、上面７１ａ、下面７１ｂ、正面７１ｃ、背面７１ｄ、左側面７１ｅ、及び右側面７１ｆの面から構成されている。
正面７１ｃの右上には、第１接続ポート７４ａが垂直方向に固設されている。また、背面７１ｄの左上には、第２接続ポート７４ｂが垂直方向に固設されている。第１接続ポート７４ａは、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路７６ａと連通している。また、第２接続ポート７４ｂは、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路７６ｂと連通している。フランジ連通路７６ａ、７６ｂは、下面７１ｂに形成されているフランジ連通口７５に連通している。フランジ連通路７６ａ、７６ｂは、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と第１接続ポート７４ａ、及び第２接続ポート７４ｂを連通する流路である。
上面７１ａの中心には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部７２が形成されている。パイプ逃げ部７２の形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部７２の高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ１本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部７２の正面７１ｃ側には、貫通孔７３ａが形成されている。また、パイプ逃げ部７２の背面７１ｄ側には、貫通孔７３ｂが形成されている。
貫通孔７３ａと貫通孔７３ｂについての効果は上記ブロック状フランジ５０と同様である。
【００２９】
図１１を用いて、第３接続タイプのブロック状フランジ９０の構成を説明する。
ブロック状フランジ９０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ９０は、上面９１ａ、下面９１ｂ、正面９１ｃ、背面９１ｄ、左側面９１ｅ、及び右側面９１ｆの面から構成されている。
正面９１ｃの左上には、第１接続ポート９４ａが垂直方向に固設されている。また、左側面９１ｅの中心上には、第２接続ポート９４ｂが垂直方向に固設されている。第１接続ポート９４ａと第２接続ポート９４ｂとは、内部に形成されているフランジ連通路９６ａにより連通されている。また、フランジ連通路９６ａの途中から下面９１ｂのフランジ連通口９５に対してフランジ連通路９６ｂが形成されている。第１接続ポート９４ａ及び第２接続ポート９４ｂは共に、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路９６と連通している。フランジ連通路９６は、下面９１ｂに形成されているフランジ連通口９５に連通している。フランジ連通路９６は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と第１接続ポート９４ａ、及び第２接続ポート９４ｂを連通する流路である。
上面９１ａと右側面９１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部９２が形成されている。パイプ逃げ部９２の形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部９２の高さＸ、及び奥行Ｙの最長部の長さは、パイプ２本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部９２の正面９１ｃ側には、貫通孔９３ａが形成されている。また、パイプ逃げ部９２の背面９１ｄ側には、貫通孔９３ｂが形成されている。
貫通孔９３ａと貫通孔９３ｂについての効果は上記ブロック状フランジ５０と同様である。
【００３０】
図１２を用いて、第４接続タイプのブロック状フランジ１００の構成を説明する。
第４タイプのブロック状フランジ１００は、図９の第１接続タイプのブロック状フランジ７０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１００は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１００は、上面１０１ａ、下面１０１ｂ、正面１０１ｃ、背面１０１ｄ、左側面１０１ｅ、及び右側面１０１ｆの面から構成されている。
正面１０１ｃの左上には、第１接続ポート１０４ａが垂直方向に固設されている。また、背面１０１ｄの右上には、第２接続ポート１０４ｂが垂直方向に固設されている。ブロック状フランジ７０との構成の相違は、接続ポートの配置位置の違いである。
【００３１】
図１３を用いて、第５接続タイプのブロック状フランジ１１０の構成を説明する。
第５タイプのブロック状フランジ１１０は、図１１の第３接続タイプのブロック状フランジ９０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１１０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１１０は、上面１１１ａ、下面１１１ｂ、正面１１１ｃ、背面１１１ｄ、左側面１１１ｅ、及び右側面１１１ｆの面から構成されている。
正面１１１ｃの中心上には、第１接続ポート１１４ａが垂直方向に固設されている。また、左側面１１１ｅの右上には、第２接続ポート１１４ｂが垂直方向に固設されている。ブロック状フランジ９０との構成の相違は、接続ポートの配置位置の違いである。
【００３２】
図１４を用いて、第２センタータイプ１２０のブロック状フランジの構成を説明する。
第２センタータイプのブロック状フランジ１２０は、図６のセンタータイプのブロック状フランジ４０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１２０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１２０は、上面１２１ａ、下面１２１ｂ、正面１２１ｃ、背面１２１ｄ、左側面１２１ｅ、及び右側面１２１ｆの面から構成されている。
上面１２１ａと左側面１２１ｅの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１２２ａが形成されている。上面１２１ａと右側面１２１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１２２ｂが形成されている。上面１２１ａと背面１２１ｄの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１２２ｃが形成されている。ブロック状フランジ４０との構成の相違は、パイプ逃げ部１２２ｃが形成されているか否かの違いである。
【００３３】
図１５を用いて、第３センタータイプ１３０のブロック状フランジの構成を説明する。
第３センタータイプのブロック状フランジ１３０は、図６のセンタータイプのブロック状フランジ４０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１３０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１３０は、上面１３１ａ、下面１３１ｂ、正面１３１ｃ、背面１３１ｄ、左側面１３１ｅ、及び右側面１３１ｆの面から構成されている。
上面１３１ａと左側面１３１ｅの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１３２ａが形成されている。上面１３１ａと右側面１３１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１３２ｂが形成されている。上面１３１ａと背面１３１ｄの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１３２ｃが形成されている。
パイプ逃げ部１３２ｂの正面１３１ｃ側には、貫通孔１３３ｂが形成されている。パイプ逃げ部１３２ａの背面１３１ｄ側には、貫通孔１３３ａが形成されている。
ブロック状フランジ４０との構成の相違は、パイプ逃げ部１３２ｃが形成されているか否かの違い、及び貫通孔の位置の違いである。
【００３４】
図１６を用いて、第２Ｒタイプ１４０のブロック状フランジの構成を説明する。
第２Ｒタイプのブロック状フランジ１４０は、図７のＲタイプのブロック状フランジ５０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１４０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１４０は、上面１４１ａ、下面１４１ｂ、正面１４１ｃ、背面１４１ｄ、左側面１４１ｅ、及び右側面１４１ｆの面から構成されている。
上面１４１ａと左側面１４１ｅの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１４２ａが形成されている。パイプ逃げ部１４２ａの形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。上面１４１ａと背面１４１ｄの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１４２ｂが形成されている。パイプ逃げ部１４２ｂの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ５０との構成の相違は、パイプ逃げ部１４２ｂが形成されているか否かの違いである。
【００３５】
図１７を用いて、第２Ｌタイプ１５０のブロック状フランジの構成を説明する。
第２Ｌタイプのブロック状フランジ１５０は、図８のＬタイプのブロック状フランジ６０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１５０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１５０は、上面１５１ａ、下面１５１ｂ、正面１５１ｃ、背面１５１ｄ、左側面１５１ｅ、及び右側面１５１ｆの面から構成されている。
上面１５１ａと右側面１５１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１５２ａが形成されている。パイプ逃げ部１５２ａの形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。上面１５１ａと背面１５１ｄの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１５２ｂが形成されている。パイプ逃げ部１５２ｂの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ６０との構成の相違は、パイプ逃げ部１５２ｂが形成されているか否かの違いである。
【００３６】
図１８を用いて、第６接続タイプ１６０のブロック状フランジの構成を説明する。
第６接続タイプのブロック状フランジ１６０は、図１１の第３接続タイプのブロック状フランジ９０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１６０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１６０は、上面１６１ａ、下面１６１ｂ、正面１６１ｃ、背面１６１ｄ、左側面１６１ｅ、及び右側面１６１ｆの面から構成されている。
上面１６１ａと右側面１６１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１６２ａが形成されている。パイプ逃げ部１６２ａの形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。上面１６１ａと背面１６１ｄの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１６２ｂが形成されている。パイプ逃げ部１６２ｂの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ９０との構成の相違は、パイプ逃げ部１６２ｂが形成されているか否かの違いである。
【００３７】
図１９を用いて、第７接続タイプのブロック状フランジ１７０の構成を説明する。
第７接続タイプのブロック状フランジ１７０は、図１３の第５接続タイプのブロック状フランジ１１０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ１７０は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ１７０は、上面１７１ａ、下面１７１ｂ、正面１７１ｃ、背面１７１ｄ、左側面１７１ｅ、及び右側面１７１ｆの面から構成されている。
上面１７１ａと背面１７１ｄの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１７２ａが形成されている。パイプ逃げ部１７２ａの形状は、プロセスガスが通るパイプが２本収まる空間を備えている。上面１７１ａと右側面１７１ｆの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部１７２ｂが形成されている。パイプ逃げ部１７２ｂの形状は、プロセスガスが通るパイプが１本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ１１０との構成の相違は、パイプ逃げ部１７２ｂが形成されているか否かの違いである。
【００３８】
図２０を用いて、第１かさ上げフランジ１８０の構成を説明する。
第１かさ上げフランジ１８０は、直方体形状をしている。第１かさ上げフランジ１８０は、上面１８１ａ、下面１８１ｂ、正面１８１ｃ、背面１８１ｄ、左側面１８１ｅ、及び右側面１８１ｆの面から構成されている。
上面１８１ａの中心には、接続口１８７が形成されている。下面１８１ｂの中心には、連通口１８５が形成されている。接続口１８７から連通口１８５までは、フランジ連通路１８６が連通している。
接続口１８７及び連通口１８５を挟むように貫通孔１８３ａ、１８３ｂが形成されている。貫通孔１８３ａ、１８３ｂは、下面１８１ｂまで貫通している。
かさ上げフランジ１８０の高さＸは、少なくともパイプの直径よりも高い。
【００３９】
図２１を用いて、第２かさ上げフランジ１９０の構成を説明する。
第２かさ上げフランジ１９０は、図２０の第１かさ上げフランジ１８０と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
第２かさ上げフランジ１９０の高さＸは、第１かさ上げフランジ１９０の高さＸの倍の高さである。
第１かさ上げフランジ１８０との構成の相違は、高さＸの違いである。
【００４０】
ブロック状フランジを備えることによる効果は、以下の通りである。
ブロック状フランジ４０、５０、６０、７０、８０、９０、１００、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０には、パイプ逃げ部が形成されている。パイプを通す際には、図３及び図５に示すように、パイプ逃げ部を通すことができるため、他のブロック状フランジを避けてパイプを通す必要がない。そのため、パイプを直線状に引くことができるため、単純なパイプの構造とすることができる。また、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。パイプの節約も同時に図ることができる。
【００４１】
＜プロセスガスの供給方法＞
プロセスガスの供給方法は図１の回路図を用いて説明する。
例えば、プロセスガスＧＡＳ１をチャンバーへ送る時には、プロセスガスＧＡＳ１は、流路Ｈ１にまで充填された状態になっている。その状態のときに、開閉弁ＶＡ１、ＶＡ４を図示しない制御手段により開弁する。それにより、プロセスガスＧＡＳ１が、流路Ｈ１を通り、マスフローコントローラＭＡを通じてチャンバーへ送り込まれる。
プロセスガスＧＡＳ２、ＧＡＳ３、ＧＡＳ４、ＧＡＳ５、ＧＡＳ７、ＧＡＳ８をチャンバーへ送り込む際には、上記プロセスガスＧＡＳ１をチャンバーへと送り込む供給方法と変わるところはないため、説明を割愛する。
【００４２】
プロセスガスＧＡＳ６をチャンバーへ送り込む供給方法として、２つの方法がある。第１方法は、マスフローコントローラＭＢを通してチャンバーへ送り込む方法である。第２方法は、マスフローコントローラＭＣを通してチャンバーへ送り込む方法である。
第１方法は、プロセスガスＧＡＳ６は、流路Ｈ６にまで充填された状態のときに、開閉弁ＶＢ３、ＶＢ４を図示しない制御手段により開弁する。それにより、プロセスガスＧＡＳ６が、流路Ｈ６ａを通り、マスフローコントローラＭＢを通じてチャンバーへ送り込まれる。
第２方法は、プロセスガスＧＡＳ６は、流路Ｈ６にまで充填された状態のときに、図１に示す、開閉弁ＶＣ３、ＶＣ４を図示しない制御手段により開弁する。それにより、プロセスガスＧＡＳ６が、流路Ｈ６ｂを通り、マスフローコントローラＭＣを通じてチャンバーへ送り込まれる。
【００４３】
以上、詳細に説明したように、本実施例のガス供給装置１によれば、上記の２つの方法があることにより、頻繁に使うプロセスガスＧＡＳ６ついては、開閉弁ＶＢ３又は開閉弁ＶＣ３を切り替えることにより、マスフローコントローラＭＢ又はマスフローコントローラＭＣを通してチャンバーへ供給するかを選択することができる。そのため、例えば、他のプロセスガスＧＡＳ７とＧＡＳ６を同時に供給する場合には、プロセスガスＧＡＳ６についてマスフローコントローラＭＢを使用することにより、プロセスガスＧＡＳ６及びＧＡＳ７を同時に供給することができる。
また、例えば、他のプロセスガスＧＡＳ４とＧＡＳ６を同時に供給する場合には、プロセスガスＧＡＳ６についてマスフローコントローラＭＣを使用することにより、プロセスガスＧＡＳ６及びＧＡＳ４を同時に供給することができる。
したがって、頻繁に使用するプロセスガスＧＡＳ６がある場合でも、２つのマスフローコントローラＭＢ、ＭＣを通じてプロセスガスＧＡＳ６を供給することができるため、複雑なプロセスに対応することができる。そのため、新たなマスフローコントローラを必要としない。
【００４４】
また、ブロック状フランジ４０、５０、６０、７０、８０、９０、１００、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０、１７０は、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有することにより、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。
また、回路の排気側に流量検定システムＲ１を有することにより、マスフローコントローラの不具合の判定を行うことができる。
また、本実施例のガス供給装置１によれば、ポートブロックをガス供給装置の側面に設置することができる。そのため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。例えば、ガス供給装置のライン側方向にスペースを確保することができない時は、第１実施形態におけるガス供給装置１のようにポートブロックを側面方向に設置することにより、ガス供給装置を設置することができる。
【００４５】
（第２実施形態）
図２２は、ガス供給装置２１の外観上方斜視図を示す。図２３は、ガス供給装置２１の下面図を示す。図２４は、ガス供給装置２１の外観下方斜視図を示す。図２５は、図２３のガス供給装置２１のＢＢ断面図を示す。
ガス供給装置２１は、ガス供給方式として取り入れ口をライン方向に備える形式を採用するものである。
ガス供給装置２１は、第１実施形態で用いられた、図１の回路図に基づいて設計されたものである。そのため、基本的な構成は、第１実施形態におけるガス供給装置１と異なるところはないため、以下では、ガス供給装置１と異なる点について説明する。
【００４６】
ガス供給装置２１のライン側（第１流路ブロック４側、又は第２流路ブロック５側）からは、プロセスガスのガス源へと連通するポートブロック１０が設置されている。本実施例においては、ポートブロック１０の入力口は水平方向を向いているが、入力口は、上、下、その他どの向きにつけることも可能である。
ポートブロック１０は、具体的には、プロセスガスＧＡＳ１が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック１１である。プロセスガスＧＡＳ２が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック１２である。
プロセスガスＧＡＳ３乃至ＧＡＳ８については、上記プロセスガスＧＡＳ１、ＧＡＳ２と同様の構成を採るため説明を割愛する。
【００４７】
図２３及び図２４に示すように、ポートブロック１６から連通する流路Ｋ６ａは、ブロック状フランジＢＢ１３であるブロック状フランジ９０の第２接続ポート９４ｂに接続する。ブロック状フランジ９０内のポート連通路９６ａを連通して第１接続ポート９４ａへと連通する。第１接続ポート９４ａには、パイプＫ６ｂの一端が連通している。流路Ｋ６ｂの他端はブロック状フランジＢＣ１３に接続している。
ブロック状フランジＢＣ１３は、上述した図８に示すブロック状フランジ５０を採用している。ブロック状フランジ５０の接続ポート５４は、ガス供給装置２１のライン側方向を向いておらず、側面方向を向いている。
その他ポートブロック１１、１２、１３、１４、１５、１７、１８から連通するパイプは、第１実施形態と大きな構成の違いはないため、説明を割愛する。
【００４８】
以上詳細に説明したように、本実施例のガス供給装置２１によれば、ブロック状フランジを第１実施形態の側面と異なるライン側を向かせることにより、ポートブロックをライン側に設置することができる。そのため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。例えば、ガス供給装置の側面方向にスペースを確保することができない時は、第２実施形態におけるガス供給装置２１のようにポートブロックをライン側に設置することにより、ガス供給装置を設置することができる。
【００４９】
（第３実施形態）
図２６及び図２７は、第３実施形態におけるガス供給装置２２の回路図を示す。図２６及び図２７のガス供給装置２２は、マスフローコントローラＭＡ３、ＭＢ３の前に、チャンバー及び排気管へと繋がる流路Ｈ１０を有することを特徴とする。
マスフローコントローラＭＡ３、ＭＢ３の前に、流路Ｈ１０を設けることにより、パージガスを流した時のパージ排気効率を上げることができる。
図２６は、第１実施形態を簡略した回路図に、流路Ｈ１０を設けたものであり、図２７は、従来技術の回路図に流路Ｈ１０を設けたものである。
【００５０】
（第４実施形態）
図２８及び図２９は、第４実施形態におけるガス供給装置２３の回路図を示す。図２８及び図２９のガス供給装置２３は、マスフローコントローラＭＡ４、ＭＢ４の後に、チャンバー及び排気管へと繋がる流路Ｈ１１を有することを特徴とする。
マスフローコントローラＭＡ４、ＭＢ４の後に、流路Ｈ１１を設けることにより、例えばプロセスガスＧＡＳ１を使用しマスフローコントローラＭＡ４を使用しているときに、使用していないマスフローコントローラＭＢ４を使用してマスフローコントローラＭＢ４の検定を行うことができる。それにより、マスフローコントローラＭＢ４の不具合を検知できる。
図２８は、第１実施形態を簡略した回路図に、流路Ｈ１１を設けたものであり、図２９は、従来技術の回路図に流路Ｈ１１を設けたものである。
【００５１】
（第５実施形態）
図３０は、第５実施形態におけるガス供給装置２４の上面図を示す。
ガス供給装置２４は、第１実施形態におけるガス供給装置１を両側配置する構成である。
ガス供給装置１を両側配置する構成を採ることにより、ガス合流部Ｇ１の内容積を大幅に削減し流量検定システムの測定時間を大幅に短縮することができる。
また、流量検定システムＲ２を設置していることにより、マスフローコントローラの検定を行うことができる。それにより、マスフローコントローラの不具合を検知できる。
【００５２】
（第６実施形態）
図３１は、第６実施形態におけるガス供給装置２５の一部断面を表す側面図を示す。具体的には、横並びの開閉弁ＶＡ１１、ＶＢ１１・・・の中心から断面とした図を示す。
マニホールドＮＡ１に連通する開閉弁ＶＡ１１、マニホールドＮＡ２に連通する開閉弁ＶＢ１１・・・により構成されている。
マニホールドＮＡ１には、かさ上げブロックＫＡ１が連通しており、マニホールドＮＡ２には、かさ上げブロックＫＡ２が連通しており、マニホールドＮＡ３以下、マニホールドＮＡ６までには、かさ上げブロックＫＡ３以下、かさ上げブロックＫＡ６が連通している。かさ上げブロックＫＡ１、ＫＡ２、ＫＡ３は、上述した、かさ上げブロック１９０を採用する。かさ上げブロックＫＡ４、ＫＡ５、ＫＡ６は、上述した、かさ上げブロック１８０を採用する。
かさ上げブロックＫＡ１には、ブロック状フランジＣＡが連通している。  かさ上げブロックＫＡ２には、ブロック状フランジＣＢが連通している。かさ上げブロックＫＡ３以下にも同様に、ブロック状フランジＣＣ以下が連通している。
マニホールドＮＡ７には、ブロック状フランジＣＧが連通しており、マニホールドＮＡ８には、ブロック状フランジＣＨが連通しており、マニホールドＮＡ９には、ブロック状フランジＣＩが連通している。
【００５３】
ポートブロックＩＣと連通するパイプＴＣは、ブロック状フランジＣＨに連通し、開閉弁ＶＨ１１へと連通する。ポートブロックＩＢと連通するパイプＴＢは、ブロック状フランジＣＥに連通し、かさ上げブロックＫＡ５を連通し、開閉弁ＶＥ１１へと連通する。ポートブロックＩＡと連通するパイプＴＡは、ブロック状フランジＣＢに連通し、かさ上げブロックＫＡ２を連通し、開閉ＶＢ１１へと連通する。
かさ上げブロックＫＡ５を使用することにより、横並びに開閉弁を４つ以上並べることができる。すなわち、ポートブロックＩＢと連通するパイプＴＢは、かさ上げブロックＫＡ５により、ブロック状フランジＣＧ、ＣＨ、ＣＩの下を通すことができる。そのため、パイプＴＢを、ブロック状フランジＣＧ、ＣＨ、ＣＩと干渉させることなく、ブロック状フランジＣＥと連通させることができる。それにより、横並びに開閉弁を４つ以上並べることができる。
本実施形態においては、さらにかさ上げブロックＫＡ２を使用することにより横並びに開閉弁を７つ以上並べることができる。すなわち、ポートブロックＩＡと連通するパイプＴＡは、かさ上げブロックＫＡ２により、ブロック状フランジＣＤ、ＣＥ、ＣＦ、ＣＧ、ＣＨ、ＣＩの下を通すことができる。そのため、パイプＴＢを、ブロック状フランジＣＤ、ＣＥ、ＣＦ、ＣＧ、ＣＨ、ＣＩと干渉させることなく、ブロック状フランジＣＢと連通させることができる。それにより、横並びに開閉弁を７つ以上並べることができる。
【００５４】
以上詳細に説明したように、本実施例のガス供給装置２５によれば、開閉弁を側面方向又はライン方向に４つ以上並べることができる。そのため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。例えば、ガス供給装置のライン方向にスペースを確保することができない時は、第６実施形態におけるガス供給装置２５のように、開閉弁を横並びに９つ並べることができる。反対に、ガス供給装置の側面方向にスペースを確保することができない時は、図には示さないが、開閉弁を縦並びに４つ以上並べることができる。
【００５５】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、開閉弁は、エアオペレイトバルブのほか、ソレノイドバルブ等を使用することができる。
ブロック状フランジの２つの貫通孔の位置は、正面に対して、一方の貫通穴が右前方にあれば、他方は左後方に位置する。反対に、正面に対して、一方の貫通孔が左前方にあれば、他方は右後方に位置する。
ブロック状フランジには、２つの貫通孔が、ブロック状フランジの下面の対角線上に位置し、形成されているが、さらに２つの貫通孔を加え、ブロック状フランジの下面の４隅に位置するように形成することができる。ブロック状フランジの下面の４隅に貫通孔を形成することにより、ネジによりマニホールドのネジ孔と固定した時に、フランジ連通口とマニホールド連通路の連通口の接合部に均一な押圧力を与えることができる。
かさ上げフランジの高さは、実施形態により設計変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】ガス供給装置１の回路図を示す。
【図２】ガス供給装置１の外観上方斜視図を示す。
【図３】ガス供給装置１の下面図を示す。
【図４】ガス供給装置１の外観下方斜視図を示す。
【図５】図３のガス供給装置１のＡＡ断面図を示す。
【図６】センタータイプのブロック状フランジ４０の図を示す。
【図７】Ｒタイプのブロック状フランジ５０の図を示す。
【図８】Ｌタイプのブロック状フランジ６０の図を示す。
【図９】第１接続タイプのブロック状フランジ７０の図を示す。
【図１０】第２接続タイプのブロック状フランジ８０の図を示す。
【図１１】第３接続タイプのブロック状フランジ９０の図を示す。
【図１２】第４接続タイプのブロック状フランジ１００の図を示す。
【図１３】第５接続タイプのブロック状フランジ１１０の図を示す。
【図１４】第２センタータイプのブロック状フランジ１２０の図を示す。
【図１５】第３センタータイプのブロック状フランジ１３０の図を示す。
【図１６】第２Ｒタイプのブロック状フランジ１４０の図を示す。
【図１７】第２Ｌタイプのブロック状フランジ１５０の図を示す。
【図１８】第６接続タイプのブロック状フランジ１６０の図を示す。
【図１９】第７接続タイプのブロック状フランジ１７０の図を示す。
【図２０】第１かさ上げフランジ１８０の図を示す。
【図２１】第２かさ上げフランジ１９０の図を示す。
【図２２】ガス供給装置２１の外観上方斜視図を示す。
【図２３】ガス供給装置２１の下面図を示す。
【図２４】ガス供給装置２１の外観下方斜視図を示す。
【図２５】図２３のガス供給装置２１のＢＢ断面図を示す。
【図２６】実施例３におけるガス供給装置２２の第１回路図を示す。
【図２７】実施例３におけるガス供給装置２２の第２回路図を示す。
【図２８】実施例４におけるガス供給装置２３の第１回路図を示す。
【図２９】実施例４におけるガス供給装置２３の第２回路図を示す。
【図３０】実施例５におけるガス供給装置２４の上面図を示す。
【図３１】実施例６におけるガス供給装置２５の一部断面を表す側面図を示す。
【図３２】特許文献１に記載されるガス供給装置３００の回路図を示す。
【図３３】特許文献２に記載されるガス供給装置２００の回路図を示す。
【符号の説明】
【００５７】
１      ガス供給装置
ＶＡ１、ＶＡ２、ＶＡ３、ＶＡ４    開閉弁
ＶＢ１、ＶＢ２、ＶＢ３、ＶＢ４    開閉弁
ＶＣ１、ＶＣ２、ＶＣ３、ＶＣ４    開閉弁
ＰＡ、ＰＢ、ＰＣ、Ｐ１、Ｐ２      開閉弁
Ｈ１〜Ｈ９    流路
ＭＡ、ＭＢ、ＭＣ    マスフローコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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