(57)【要約】【課題】省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供すること。【解決手段】精度の高い温度調節を必要とする放電部１１ａ〜１４ａと放電部１１ａ〜１４ａに比して低い精度の温度調節を必要とし放電部１１ａ〜１４ａに比して高い温度の温度調節を許容する電源部１１ｂ〜１４ｂとを有した複数のレーザ装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成するチラー３２と、各電源部１１ｂ〜１４ｂを温度調節する冷却水を生成するチラー３１と、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとを並列接続する配管Ｌ２と、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとを並列接続する配管Ｌ１と、を備える。【選択図】図４
2010219516.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
精度の高い温度調節を必要とする第１被温度調節部と該第１被温度調節部に比して低い精度の温度調節を必要とし該第１被温度調節部に比して低いあるいは高い温度の温度調節を許容する第２被温度調節部とを有した複数の被温度調節装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、
各第１被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成する第１温度調節部と、
各第２被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成する第２温度調節部と、
前記第１温度調節部と各第１被温度調節部とを並列接続する第１配管系と、
前記第２温度調節部と各第２被温度調節部とを並列接続する第２配管系と、
を備えたことを特徴とするガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項２】
各第１被温度調節部および／または各第２被温度調節部に対して流れる媒体の流量を調節する流量調節部を備えたことを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項３】
各第１被温度調節部および／または各第２被温度調節部の温度調節容量に応じて各第１被温度調節部および／または各第２被温度調節部に対する配管径を異ならせることを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項４】
前記第１温度調節部および前記第２温度調節部は、１つの温度調節部であり、
前記第２配管系の各第２被温度調節部への出力配管の基端は前記１つの温度調節部に接続され、
前記１つの温度調節部は、前記第１配管系の戻り配管内の媒体を温度調節して各第２被温度調節部に送ることを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項５】
前記冷却媒体は、既存の冷却水であり、
前記第１温度調節部および／または前記第２温度調節部は、前記冷却水をそのまま各第１被温度調節部および／または各第２被温度調節部に出力することを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項６】
前記既存の冷却水は、上位の冷却設備内で一括生成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項７】
前記第１温度調節部および／または前記第２温度調節部は、前記所定の冷却設備内に組み込まれていることを特徴とする請求項６に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項８】
精度の高い温度調節を必要とする第１被温度調節部と該第１被温度調節部に比して低い精度の温度調節を必要とし該第１被温度調節部に比して低いあるいは高い温度の温度調節を許容する第２被温度調節部とを有した複数の被温度調節装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、
各第１被温度調節部に対応して設けられ、少なくとも各第１被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成する複数の第１温度調節部と、
各第１温度調節部と各第１被温度調節部とをそれぞれ接続して各第１温度調節部から前記冷却媒体あるいは加熱媒体を送出する複数の送り配管系と、
各第１温度調節部と各第２被温度調節部とをそれぞれ接続して各第２被温度調節部からの前記冷却媒体あるいは加熱媒体を戻す複数の戻り配管系と、
各第１被温度調節部と各第２被温度調節部とをそれぞれ連結して各第１被温度調節部から各第２被温度調節部に前記冷却媒体あるいは加熱媒体を送る複数の接続配管系と、
を備えたことを特徴とするガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項９】
１つの前記第１被温度調節部に精度の高い異なる温度調節を必要する複数の高精度被温度調節部がある場合、各高精度被温度調節部に対して前記第１温度調節部に対応する高精度温度調節部、および該高精度温度調節部と高精度被温度調節部とを接続する配管系をさらに設けることを特徴とする請求項８に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１０】
前記複数の第１温度調節部は、１つの温度調節部であり、
各送り配管系は、前記１つの温度調節部に共通接続されて各第１被温度調節部が並列接続され、
各戻り配管系は、前記１つの温度調節部に共通接続されて各第２被温度調節部が並列接続されることを特徴とする請求項８に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１１】
各第１被温度調節部に対して流れる媒体の流量を調節する流量調節部を備えたことを特徴とする請求項１０に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１２】
各第１被温度調節部の温度調節容量に応じて前記送り配管系、前記戻り配管系、および接続配管系の配管径を異ならせることを特徴とする請求項１０に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１３】
前記冷却媒体は、既存の冷却水であり、
前記第１温度調節部および／または前記高精度温度調節部は、前記冷却水をそのまま各第１被温度調節部および／または各高精度被温度調節部に送ることを特徴とする請求項８に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１４】
前記既存の冷却水は、上位の冷却設備内で一括生成されたものであることを特徴とする請求項８に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１５】
前記第１温度調節部および／または前記高精度温度調節部は、前記所定の冷却設備内に組み込まれていることを特徴とする請求項１４に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１６】
電源部に接続された放電電極を備え、内部にガス状の増幅媒体が充填される放電部を備えたレーザ装置と、
前記放電部に接続された配管と、
前記配管を介して前記放電部へ供給される冷却水を冷却または加熱する熱交換器と、
前記放電部を通過することで増幅されたレーザ光のエネルギーおよび／またはパワーを検出するエネルギーおよび／またはパワー検出部と、
前記エネルギーおよび／またはパワー検出部の検出結果に基づいて前記冷却水を用いて前記放電部を温度制御する温度制御部と、
を備えたことを特徴とするガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１７】
前記熱交換器による冷却または加熱を制御する温調器をさらに備え、
前記温度制御部は、前記エネルギーおよび／またはパワー検出部で検出されたエネルギーおよび／またはパワーに基づいて前記温調器を制御して前記放電部へ供給される前記冷却水の温度を調整することで、前記放電部を温度制御することを特徴とする請求項１６に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１８】
前記配管を介して前記放電部へ流れる前記冷却水の流量を制御する流量制御部をさらに備え、
前記温度制御部は、前記エネルギーおよび／またはパワー検出部で検出されたエネルギーおよび／またはパワーに基づいて前記流量制御部を制御して前記放電部へ供給される前記冷却水の流量を調整することで、前記放電部を温度制御することを特徴とする請求項１６に記載のガスレーザ装置用温度調節装置。
【請求項１９】
前記放電部内部の前記増幅媒体の温度を検出する温度検出部をさらに備え、
前記温度制御部は、前記エネルギーおよび／またはパワー検出部で検出されたエネルギーおよび／またはパワーおよび前記温度検出部で検出された温度に基づいて、前記冷却水を用いて前記放電部を温度制御することを特徴とする請求項１６に記載のガスレーザ用温度調節装置。
【請求項２０】
前記配管を介して前記放電部へ流れる前記冷却水の流量を検出する流量検出部をさらに備え、
前記温度制御部は、前記エネルギーおよび／またはパワー検出部で検出されたエネルギーおよび／またはパワーおよび前記流量検出部で検出された流量に基づいて、前記冷却水を用いて前記放電部を温度制御することを特徴とする請求項１６に記載のガスレーザ用温度調節装置。
【請求項２１】
前記レーザ装置内部で結露が発生したか否かを検出する露点検出部をさらに備え、
前記温度制御部は、前記エネルギーおよび／またはパワー検出部で検出されたエネルギーおよび／またはパワーおよび前記露点検出部で検出された結露発生の有無に基づいて、前記冷却水を用いて前記放電部を温度制御することを特徴とする請求項１６に記載のガスレーザ用温度調節装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、精度の高い温度調節を必要とする第１被温度調節部と該第１被温度調節部に比して低い精度の温度調節を必要とし該第１被温度調節部に比して低いあるいは高い温度の温度調節を許容する第２被温度調節部とを有した複数の被温度調節装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ〜４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、たとえば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度の極端紫外光（ＥＵＶ）光源と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
【０００３】
ＥＵＶ光源としては、ターゲットにレーザビームを照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ：レーザ励起プラズマ）光源と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）光源と、軌道放射光を用いたＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）光源との３種類がある。これらのうち、ＬＰＰ光源は、ＤＰＰ光源やＳＲ光源と比較してプラズマ密度を大きくできるので、黒体輻射に近い極めて高い輝度が得られるという利点を有する。また、ＬＰＰ光源は、ターゲット物質を選択することによって、所望の波長帯の強い光を得ることが可能であるという利点を有する。さらに、ＬＰＰ光源は、光源の周囲に電極等の構造物がなく、ほぼ等方的な角度分布をもつ点光源であるので、極めて大きな捕集立体角の確保が可能である等の利点を有する。これらのような利点を有するＬＰＰ光源は、数十から数百ワット以上のパワーが要求されるＥＵＶリソグラフィ用の光源として注目されている。
【０００４】
このＬＰＰ方式による極端紫外光光源装置は、たとえば以下の特許文献１が開示するように、まず、真空チャンバ内に供給されるターゲット物質に対してレーザ光を照射することにより、ターゲット物質が励起されてプラズマ化する。すると、このプラズマからＥＵＶ光を含む様々な波長成分よりなる光が放射される。そこで極端紫外光光源装置は、所望の波長成分、たとえば１３．５ｎｍの波長成分のＥＵＶ光を選択的に反射するＥＵＶ光集光ミラーを用いてＥＵＶ光を所定の位置に集光する。集光されたＥＵＶ光は、露光装置に入力される。ＥＵＶ光集光ミラーの反射面には、たとえば、モリブデン（Ｍｏ）の薄膜とシリコン（Ｓｉ）の薄膜とが交互に積層された構造を持つ多層膜（Ｍｏ／Ｓｉ多層膜）が形成されている。この多層膜は、波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光に対して高反射率（約６０％から７０％）を示す。
【０００５】
ここで特許文献２には、ＬＰＰ方式によるＥＵＶ光源装置用のドライバレーザであって、マスタオシレータ（Ｍａｓｔｅｒ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ：ＭＯ）にＣＯ２ガスレーザを用い、ＭＯによって発振したレーザ光を、ＣＯ２ガスレーザによって多段増幅するドライバレーザが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２６６２３４号公報
【特許文献２】特開２００６−１３５２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述した従来のドライバレーザなどは、高精度かつ大出力のレーザ光を出力するために、ミラーなどの光学素子の高精度温度調節が必要であるとともに、電源装置の冷却が必要である。そこで従来は、光学素子や電源装置毎に、チラーなどの冷却装置を個別に設けていた。
【０００８】
しかしながら、多段増幅のドライバレーザなどでは、複数のレーザ装置が設置されるため、各レーザ装置に各レーザ装置内の被温度調節部に対して個別に温度調節装置を設けることは、省エネルギー化を阻害するとともに、装置の大型化を招くという問題点があった。
【０００９】
この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ＣＯ２ガスレーザ等のガスレーザ装置の温度制御における省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によるガスレーザ用温度調節装置は、精度の高い温度調節を必要とする第１被温度調節部と該第１被温度調節部に比して低い精度の温度調節を必要とし該第１被温度調節部に比して低いあるいは高い温度の温度調節を許容する第２被温度調節部とを有した複数の被温度調節装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各第１被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成する第１温度調節部と、各第２被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成する第２温度調節部と、前記第１温度調節部と各第１被温度調節部とを並列接続する第１配管系と、前記第２温度調節部と各第２被温度調節部とを並列接続する第２配管系と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明によるガスレーザ装置用温度調節装置は、精度の高い温度調節を必要とする第１被温度調節部と該第１被温度調節部に比して低い精度の温度調節を必要とし該第１被温度調節部に比して低いあるいは高い温度の温度調節を許容する第２被温度調節部とを有した複数の被温度調節装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各第１被温度調節部に対応して設けられ、少なくとも各第１被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成する複数の第１温度調節部と、各第１温度調節部と各第１被温度調節部とをそれぞれ接続して各第１温度調節部から前記冷却媒体あるいは加熱媒体を送出する複数の送り配管系と、各第１温度調節部と各第２被温度調節部とをそれぞれ接続して各第２被温度調節部からの前記冷却媒体あるいは加熱媒体を戻す複数の戻り配管系と、各第１被温度調節部と各第２被温度調節部とをそれぞれ連結して各第１被温度調節部から各第２被温度調節部に前記冷却媒体あるいは加熱媒体を送る複数の接続配管系と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明によるガスレーザ用温度調節装置は、電源部に接続された放電電極を備え、内部にガス状の増幅媒体が充填される放電部を備えたレーザ装置と、前記放電部に接続された配管と、前記配管を介して前記放電部へ供給される冷却水を冷却または加熱する熱交換器と、前記放電部を通過することで増幅されたレーザ光のエネルギーおよび／またはパワーを検出するエネルギーおよび／またはパワー検出部と、前記エネルギーおよび／またはパワー検出部の検出結果に基づいて前記冷却水を用いて前記放電部を温度制御する温度制御部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、第１温度調節部は、各第１被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成し、前記第１温度調節部と各第１被温度調節部とを並列接続する第１配管系を介して冷却媒体あるいは加熱媒体を各第１被温度調節部に流入させて温度調節を行い、第２温度調節部は、各第２被温度調節部を温度調節する冷却媒体あるいは加熱媒体を生成し、前記第２温度調節部と各第２被温度調節部とを並列接続する第２配管系を介して冷却媒体あるいは加熱媒体を各第２被温度調節部に流入させて温度調節を行うようにしているので、必要最小限の冷却能力のみで温度調節が可能となり、省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１において各ガスレーザ装置の増幅媒体として用いられるＣＯ２ガスの温度に対する小信号利得を示す図である。
【図２】図２は、本実施の形態１によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図３】図３は、本実施の形態１の変形例によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態２によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図５】図５は、本実施の形態２の変形例１によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図６】図６は、本実施の形態２の変形例２によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図７】図７は、本実施の形態２の変形例３によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図８】図８は、本実施の形態２の変形例４によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態３によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１０】図１０は、本実施の形態３の変形例によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態４によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１２】図１２は、本実施の形態４の変形例によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態５によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１４】図１４は、本実施の形態５の変形例１によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１５】図１５は、本実施の形態５の変形例２によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１６】図１６は、本実施の形態５の変形例３によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施の形態６によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。
【図１８】図１８は、本実施の形態６の変形例１によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。
【図１９】図１９は、本実施の形態６の変形例２によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。
【図２０】図２０は、本発明の実施の形態７によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、この発明を実施するための形態によるガスレーザ装置用温度調節装置について説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
まず、図２は、本発明の実施の形態１によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図２に示すように、ドライバレーザは、ＭＯとしてのマスタＯＳＣレーザ装置１１、プリアンプレーザ装置１２、第１メインアンプレーザ装置１３、および第２メインアンプレーザ装置１４を有する。マスタＯＳＣレーザ装置１１から出力された１０．６μｍの種光は、プリアンプレーザ装置１２、第１メインアンプレーザ装置１３、および第２メインアンプレーザ装置１４を介して順次増幅される。増幅された大出力レーザ光は、ＥＵＶ光を生成する極端紫外光光源装置１５に入力される。ここで、マスタＯＳＣレーザ装置１１、プリアンプレーザ装置１２、第１メインアンプレーザ装置１３、および第２メインアンプレーザ装置１４は、クリーンルームＣＲ内に配置されるか、またはクリーンルームＣＲ外でも極端紫外光光源装置１５の近く（例えば階下など）に配置される。極端紫外光光源装置１５は、クリーンルームＣＲ内に配置される。もちろん、極端紫外光光源装置１５が生成したＥＵＶ光を用いて露光する図示しない露光装置も、クリーンルームＣＲ内に配置される。
【００１７】
マスタＯＳＣレーザ装置１１、プリアンプレーザ装置１２、第１メインアンプレーザ装置１３、および第２メインアンプレーザ装置１４のそれぞれは、放電部１１ａ〜１４ａ（１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ）および電源部１１ｂ〜１４ｂ（１１ｂ，１２ｂ，１３ｂ，１４ｂ）を有する。放電部１１ａ〜１４ａは、出力ミラーなどの高精度の温度調節が必要なものを有する。たとえば、出力ミラーは、２６±０．５℃に温度調節されることが必要とされる。一方、電源部１１ｂ〜１４ｂは、出力ミラーほどの高精度の温度調節範囲は不要であり、かつ出力ミラーの調節温度よりも高い温度領域が許容される。たとえば、電源部１１ｂ〜１４ｂは、３５℃未満に温度調節されることが要求される。
【００１８】
また、図１は、本実施の形態１において各ガスレーザ装置の増幅媒体として用いられるＣＯ２ガスの温度に対する小信号利得を示す図である。なお、図１において、ラインＬ１〜Ｌ４は、放電部内における単位堆積あたりの分子数ｎｅが、それぞれ、ｎｅ＝０．５×１０１６ｍ−３、ｎｅ＝１×１０１６ｍ−３、ｎｅ＝２×１０１６ｍ−３、または、ｎｅ＝３×１０１６ｍ−３の場合のガス温度に対する小信号利得を示している。図１から明らかなように、ＣＯ２ガスの温度が低下すればするほど、各ガスレーザ装置１１〜１４の小信号利得は増加する。すなわち、チラー１〜４の冷却能力を上げてガス温度を低くすることによって、電源部１１ｂ〜１４ｂが放電部１１ａ〜１４ａに供給する電力を小さくしてもレーザ光を所望のエネルギーおよび／またはパワーに増幅することが可能となる。これにより、各ガスレーザ装置１１〜１４の省エネルギー化、およびこれを備えた極端紫外光光源装置の省エネルギー化を実現することが可能となる。
【００１９】
そこで、この実施の形態１では、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却媒体、たとえば冷却水を生成するチラー１〜４を、それぞれ各放電部１１ａ〜１４ａに対応して設ける。チラー１〜４は、温度調節された冷却排水を各放電部１１ａ〜１４ａに供給することで、各電源部１１ｂ〜１４ｂを冷却する。
【００２０】
各チラー１〜４は、既存の冷却水を生成する工場内などの冷却水設備１０から冷却水を取り込み、この冷却水を利用した熱交換器により、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成する。各チラー１〜４と各放電部１１ａ〜１４ａとの間には、温度調節用の冷却水を各放電部１１ａ〜１４ａに送る送り配管Ｌ１１〜Ｌ４１（Ｌ１１，Ｌ２１，Ｌ３１，Ｌ４１）が設けられる。各放電部１１ａ〜１４ａと各電源部１１ｂ〜１４ｂとの間には、各放電部１１ａ〜１４ａからの冷却排水を各電源部１１ｂ〜１４ｂに送る接続配管Ｌ１２〜Ｌ４２（Ｌ１２，Ｌ２２，Ｌ３２，Ｌ４２）が設けられる。さらに、各電源部１１ｂ〜１４ｂと各チラー１〜４との間には、電源部１１ｂ〜１４ｂから排出された冷却排水を各チラー１〜４に戻す戻し配管Ｌ１３〜Ｌ４３（Ｌ１３，Ｌ２３，Ｌ３３，Ｌ４３）が設けられる。
【００２１】
すなわち、各チラー１〜４によって冷却された冷却水は、各放電部１１ａ〜１４ａに配管Ｌ１１〜Ｌ４１を介して送られ、高精度の温度調節に用いられる。この温度調節使用後の冷却排水は、電源部１１ｂ〜１４ｂをたとえば３５℃未満に冷却する能力を有する。そこで本実施の形態１では、各放電部１１ａ〜１４ａを通過した冷却排水を、接続配管Ｌ１２〜Ｌ４２を介して電源部１１ｂ〜１４ｂに入力する。これにより、電源部１１ｂ〜１４ｂは、冷却排水を用いて温度調節される。そして、電源部１１ｂ〜１４ｂを通過した温度調節使用後の冷却排水は、それぞれ戻り配管Ｌ１３〜Ｌ４３を介してチラー１〜４に戻る。チラー１〜４は、戻ってきた冷却排水を再び熱交換器により冷却する。これにより、冷却排水が、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水として再生される。なお、チラー１〜４内の熱交換器に使用された冷却水設備１０からの冷却水は、冷却水設備１０側に戻される。
【００２２】
この実施の形態１では、各放電部１１ａ〜１４ａおよび各電源部１１ｂ〜１４ｂに対してそれぞれ個別にチラーなどの冷却装置を設けず、高精度の温度調節が必要な放電部１１ａ〜１４ａに対してのみ個別に冷却装置を設けて高精度の温度調節を行い、この温度調節後の冷却排水を用いて、放電部１１ａ〜１４ａに比して、精度が低く、高い温度の冷却水でも温度調節が可能な電源部１１ｂ〜１４ｂを冷却するようにしているので、チラーなどの冷却能力を低減でき、省エネルギー化を促進するとともに、少ない数のチラーおよび配管で済むため、装置の小型化を促進することができる。
【００２３】
（実施の形態１の変形例）
なお、放電部１１ａ〜１４ａのそれぞれが異なる精度の被温度調節部を有する場合、たとえば、２６±０．５℃に温度調節する必要がある出力ミラーの他に、２３±１℃の温度調節を必要とする光学素子がある場合、図３に示すように、新たに、各放電部１１ａ〜１４ａに対応したチラー２１〜２４および配管Ｌ１４〜Ｌ４４が設けられる。図３は、本実施の形態１の変形例によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。各放電部１１ａ〜１４ａは、この個別に設けられたチラー２１〜２４を用いて個別に高精度に温度調節される。なお、チラー１〜４からの冷却排水に加えて、この高精度温度調節使用後の冷却排水を電源部１１ｂ〜１４ｂの冷却に用いるようにしてもよいし、単独で電源部１１ｂ〜１４ｂの冷却に用いるようにしてもよい。
【００２４】
（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２によるガスレーザ装置用温度調節装置について、図面を用いて詳細に説明する。上述した実施の形態１では、放電部１１ａ〜１４ａの冷却排水を電源部１１ｂ〜１４ｂで用いた。これに対し、この実施の形態２では、複数の放電部１１ａ〜１４ａを共通の１つのチラー３２で温度調節するとともに、複数の電源部１１ｂ〜１４ｂを共通の１つのチラー３１で温度調節する。
【００２５】
図４は、本実施の形態２によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図４に示すように、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとは、配管Ｌ２によって共通接続される。これにより、複数の放電部１１ａ〜１４ａが並列接続された状態となる。また、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとは、配管Ｌ１によって共通接続される。これにより、複数の電源部１１ｂ〜１４ｂが並列接続された状態となる。
【００２６】
この実施の形態２では、被温度調節部の温度調節内容毎に１つのチラー３１または３２を設けているので、それぞれのチラー３１および３２は、共通の被温度調節部の排熱に必要なだけの冷却能力を持てばよい。この構成により、効率のよい温度調節が可能となり、この結果、省エネルギー化と装置の小型化とを促進することができる。
【００２７】
（実施の形態２の変形例１）
ここで、後段の増幅段ほど大きなレーザ出力を行うため、放電部１１ａ〜１４ａのうち後段の増幅段の放電部ほど大きな冷却能力を必要とする。このため、同じ温度調節範囲の放電部が異なる冷却能力を要求する場合がある。たとえば、放電部１２ａの冷却能力に比して、放電部１３ａは大きな冷却能力を必要とする。
【００２８】
そこで本実施の形態２の変形例１では、図５に示すように、各放電部１１ａ〜１４ａに流入する冷却水の流量を調節する調節弁４１〜４４が設けられる。放電部１１ａ〜１４ａの冷却能力は、放電部１１ａ、放電部１２ａ、放電部１３ａ、放電部１４ａの順で大きくなる。また、調節弁４１〜４４の開口の大きさは、調節弁４１、調節弁４２、調節弁４３、調節弁４４の順で大きくなる。これにより、各放電部１１ａ〜１４ａの冷却容量が異なっていても、１つのチラー３２で全ての放電部１１ａ〜１４ａを効率よく冷却することができる。また、全ての放電部１１ａ〜１４ａを冷却するのに必要となるチラー３２の冷却能力を小さくすることが可能となる。
【００２９】
なお、図５に示すように、各調節弁４１〜４４の開口度を、各放電部１１ａ〜１４ａの温度状態に応じてアクティブに調節可能に構成してもよい。この場合、弁制御部４０が、各放電部１１ａ〜１４ａの温度状態を検出し、得られた検出値に基づいて各調節弁４１〜４４の開口度を調節するフィードバック制御を行うことによって、流量制御を行うようにしてもよい。
【００３０】
また、調節弁４１〜４４に替えて、配管径が異なる配管を放電部１１ａ〜１４ａに接続してもよい。すなわち、各放電部１１ａ〜１４ａの配管径が、放電部１１ａ、放電部１２ａ、放電部１３ａ、放電部１４ａの順で大きくなるように予め設定しておいてもよい。
【００３１】
さらに、図５に示すように、放電部１１ａ〜１４ａと同様に、電源部１１ｂ〜１４ｂを１つのチラー３１に対して並列接続状態に共通接続して温度調節するようにしてもよい。この場合も、上述における放電部１１ａ〜１４ａと同様に、電源部１１ｂ〜１４ｂの必要な排熱機能も後段になるにしたがって大きくなるため、電源部１１ｂ〜１４ｂ側に調節弁を設けるか、あるいは配管径の異なる配管を電源部１１ｂ〜１４ｂに接続してもよい。
【００３２】
（実施の形態２の変形例２）
また、図６は、本実施の形態２の変形例２によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図６に示すように、放電部１１ａ〜１４ａ内に異なる高精度の温度調節が必要な部分（高精度被温度調節部）がある場合、新たに１つのチラー３３と、この高精度被温度調節部に共通接続される配管Ｌ３とが設けられる。配管Ｌ３によって、放電部１１ａ〜１４ａが並列接続された状態になる。これにより、各放電部１１ａ〜１４ａ内の高精度被温度調節部に対する温度調節を一括して行うことが可能となる。
【００３３】
（実施の形態２の変形例３）
ところで、上述した電源部１１ｂ〜１４ｂは、温度調節範囲が広く、許容温度の上限も放電部１１ａ〜１４ａに比して高いため、図７に示すように、チラー３１を設けずに、冷却水設備１０の冷却水をそのまま用いて冷却されてもよい。この場合も、配管は複数の電源部１１ｂ〜１４ｂに共通接続される。これにより、配管の構成が小さくなる。なお、図７は、本実施の形態２の変形例３によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【００３４】
（実施の形態２の変形例４）
また、上述した実施の形態２の変形例３によるガスレーザ装置用温度調節装置は、図５に示したガスレーザ装置用温度調節装置の構成に対してチラー３１が削除された構成を備えた。これに対し、この実施の形態２の変形例４は、図８に示すように、図６に示したガスレーザ装置用温度調節装置の構成に対してチラー３３が削除された構成を備える。この構成によっても、ガスレーザ装置用温度調節装置の省エネルギー化および小型化を一層促進することができる。なお、図８は、本実施の形態２の変形例４によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。
【００３５】
（実施の形態３）
つぎに、本発明の実施の形態３によるガスレーザ装置用温度調節装置について、図面を用いて詳細に説明する。上述した実施の形態１では、放電部１１ａ〜１４ａからの冷却排水を、電源部１１ｂ〜１４ｂに用いていた。これに対し、この実施の形態３では、実施の形態２と同様な共通接続を行う場合に、冷却排水を利用する。これにより、さらなる省エネルギー化を実現することができる。
【００３６】
図９は、本発明の実施の形態３によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図９に示すように、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとは、並列に共通接続される。各放電部１１ａ〜１４ａからの冷却排水は、再びチラー３２に戻される。ここで、冷却水設備１０から供給される冷却水の温度が十分に低ければ、チラー３２での熱交換に使われた後の冷却排水でも、電源部１１ｂ〜１４ｂの冷却に十分な冷却能力を有する。そこで本実施の形態３では、チラー３２から電源部１１ｂ〜１４ｂに並列に共通接続された送り配管Ｌ１ａを設ける。各電源部１１ｂ〜１４ｂは、送り配管Ｌ１ａを介して送られるチラー３２からの冷却排水によって冷却される。この電源部１１ｂ〜１４ｂを通った冷却排水は、各電源部１１ｂ〜１４ｂと冷却水設備１０との間を共通接続する戻り配管によって冷却水設備１０側に戻される。
【００３７】
この実施の形態３では、チラー３２からの冷却排水を再利用して電源部１１ｂ〜１４ｂを冷却するので、一層、省エネルギー化を促進することができる。加えて、電源部１１ｂ〜１４ｂを冷却するためのチラーを設ける必要がないので、装置の小型化をも促進することができる。特に、図７に示した実施の形態２の変形例２では、冷却水設備１０から供給する水量がチラー３２の冷却に必要な分と各電源部１１ｂ〜１４ｂの冷却に必要な分との合計であるのに対し、図９に示した実施の形態３では、チラー３２に必要な分の水量で済む。これにより、省エネルギー化を促進することができる。
【００３８】
（実施の形態３の変形例）
図１０は、本実施の形態３の変形例によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図１０に示すように、図８に対応した構成の場合にも、送り配管Ｌ１ａを用いて、チラー３２からの冷却排水を有効利用するようにしてもよい。
【００３９】
（実施の形態４）
つぎに、本発明の実施の形態４によるガスレーザ装置用温度調節装置について、図面を用いて詳細に説明する。この実施の形態４では、１つのチラーが複数の放電部に並列接続された構成において、実施の形態１と同様に、各レーザ装置内で放電部１１ａ〜１４ａからの冷却排水を直接、電源部１１ｂ〜１４ｂに用いる。
【００４０】
図１１は、本発明の実施の形態４によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図１１に示すように、チラー５１から放電部１１ａ〜１４ａへの送り配管Ｌ５ａは、並列に共通接続される。また、各放電部１１ａ〜１４ａからの冷却排水は、各放電部１１ａ〜１４ａと各電源部１１ｂ〜１４ｂとの間を接続する接続配管Ｌ５１〜Ｌ５４を介してそれぞれ各電源部１１ｂ〜１４ｂ側に送られる。さらに、各電源部１１ｂ〜１４ｂからチラー５１への戻り配管Ｌ５ｂは、各電源部１１ｂ〜１４ｂに並列に共通接続される。
【００４１】
この結果、実施の形態１と同様に、各レーザ装置内で、放電部１１ａ〜１４ａからの冷却排水が電源部１１ｂ〜１４ｂで用いられる。しかも、チラー５１と各放電部１１ａ〜１４ａと各電源部１１ｂ〜１４ｂとは並列接続されているため、１つのチラー５１のみを用いて実現できる。したがって、この実施の形態４では、省エネルギー化と装置の小型化とを促進することができる。
【００４２】
（実施の形態４の変形例）
図１２は、本実施の形態４の変形例によるガスレーザ装置用温度調節装置を極端紫外光光源装置のドライバレーザに適用した場合の構成を示す模式図である。図１２に示すように、放電部１１ａ〜１４ａに異なる高精度の被温度調節部がある場合には、この被温度調節部を共通接続した配管Ｌ６ａおよびＬ６ｂと、１つのチラー６１とを設けることによって、複数の高精度被温度調節部に対する効率的な温度調節を行うことができる。
【００４３】
（実施の形態５）
上述した実施の形態１〜４では、冷却水設備１０とは別のチラーを設けた。ただし、このチラーは、冷却水設備１０内に組み込まれていてもよい。
【００４４】
たとえば、図１３に示す例では、図７に示したチラー３２が冷却水設備１０内に組み込まれる。これにより、高精度冷却装置１０ａとしてチラー３２の機能が実現される。また、図１４に示す例では、図８に示したチラー３１および３２が冷却水設備１０内に組み込まれる。これにより、高精度冷却装置１０ｂおよび１０ａとしてチラー３１および３２の機能が実現される。さらに、図１５に示す例では、図１１に示したチラー５１が冷却水設備１０内に組み込まれる。これにより、高精度冷却装置１０ａとしてチラー５１の機能が実現される。さらに、図１６に示す例では、図１２に示したチラー５１および６１が冷却水設備１０内に組み込まれる。これにより、高精度冷却装置１０ａおよび１０ｂとしてチラー５１および６１の機能が実現される。なお、大きな冷却能力を必要としない電源部１１ｂ〜１４ｂに対しては、図１３または図１４に示すように、チラーを設けずに、直接、冷却水設備１０の冷却水を用いることが好ましい。
【００４５】
この実施の形態５では、チラーを別途、独立配置せずに、冷却水設備１０内に設けたので、装置全体を小型化することができるとともに、冷却装置としてのチラーの構成を容易かつ簡易に実現することができる。
【００４６】
（実施の形態６）
つぎに、本発明の実施の形態６について、図面を用いて詳細に説明する。図１７は、本実施の形態６によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。図１７に示すように、本実施の形態６によるガスレーザ装置用温度調節装置は、結露防止パージがされたレーザ装置１１１およびチラー１０１を備える。レーザ装置１１１は、対向する放電電極１１１ｃおよび１１１ｄが設けられた放電部１１１ａと、放電部１１１ａ内に充填されたＣＯ２ガスの温度を検出するガス温度センサ１１２と、放電電極１１１ｃおよび１１１ｄに電圧を印加する電源部１１１ｂと、を備える。一方、チラー１０１は、温調器１０２と熱交換器１０３とを備える。レーザ装置１１１とチラー１０１とは、結露防止された断熱配管１０４によって接続される。
【００４７】
チラー１０１からレーザ装置１１１へ接続される断熱配管１０４の内部には、熱交換器１０３によって冷却された冷却水が流れる。この断熱配管１０４は、レーザ装置１１１の放電部１１１ａにまで配管されている。したがって、放電部１１１ａ内のＣＯ２ガスは、チラー１０１から断熱配管１０４を介して送られた冷却水によって冷却される。放電部１１１ａにはガス冷却を効率的に行うために、冷却水が通過する図示しないラジエータがガス流路上に設置されていても良い。放電部１１１ａを冷却した後の冷却排水は、たとえば上述の実施の形態１と同様に、レーザ装置１１１から電源部１１１ｂを経由してチラー１０１へ戻る断熱配管１０４を通ってチラー１０１へ戻る。この際、電源部１１１ｂを冷却する。その後、チラー１０１内に戻った冷却排水は、断熱配管１０４上に配置された熱交換器１０３によって冷却水に再生される。
【００４８】
レーザ装置１１１の放電部１１１ａを通過することで増幅されたレーザ光ＬＬ１は、その一部がビームサンプラー１２１によって反射される。ビームサンプラー１２１の反射先には、レーザ光のエネルギーおよび／またはパワーを検出するディテクタ１２０が配置される。これにより、増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーが検出される。
【００４９】
ガス温度センサ１１２により検出された放電部１１１ａ内のＣＯ２ガスの温度と、ディテクタ１２０により検出された増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーとは、レーザコントローラ１００に入力される。レーザコントローラ１００は、ガス温度センサ１１２からの温度とディテクタ１２０からのエネルギーおよび／またはパワーとに基づいて温調器１０２と電源部１１１ｂを制御する。たとえば、所望のエネルギーおよび／またはパワーとなるよう電源部１１１ｂを運転し、温調器１０２はガス温度が一定となるよう動作させておく。このような場合において、電極消耗や放電部の劣化等によって、ある電源出力に対して所望のエネルギーおよび／またはパワーが得られなくなったとき、レーザコントローラ１００は温調器１０２により冷却水温度を低下させることでガス温度を低下させ、所望のエネルギーおよび／またはパワーを得られるようにする。このようなことが可能なのは、図１において説明したようにガス温度を低下させて小信号利得を増加させ、増幅後のエネルギーおよび／またはパワーを増加させ得るためである。または、予め温調器１０２を最大能力で運転しておき、電源部１１１ｂから放電部１１１ａに供給する電力を所望のエネルギーおよび／またはパワーが得られる範囲で低下させ、電源部１１１ｂにおける消費電力を低減するようにしても良い。本実施例のような多段のレーザ増幅システムの構成要素の中では電源部の消費電力が最も大きい。このため電源部の消費電力を低減することは劇的な省エネルギーを実現する。このように、放電部１１１ａ内のＣＯ２ガスの温度と増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーとが所望の値となるように、レーザ装置１１１へ供給する冷却水の温度と電源部１１１ｂの出力電力が制御される。
【００５０】
（実施の形態６の変形例１）
なお、上記の実施の形態６では、放電部１１１ａ内のＣＯ２ガスの温度と増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーとに基づいて、チラー１０１からレーザ装置１１１へ供給する冷却水の温度と電源部１１１ｂの出力電力を制御する場合を例に挙げた。ただし、これに限らず、たとえば図１８に示すように、チラー１０１からレーザ装置１１１への断熱配管１０４上にコントロールバルブ１０５を設けるとともに、レーザ装置１１１からチラー１０１への断熱配管１０４上に圧送ポンプ１０６を設けてもよい。図１８は、本実施の形態６の変形例１によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。図１８に示す構成では、レーザコントローラ１００には、ディテクタ１２０で検出された増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーが入力される。レーザコントローラ１００は、入力されたエネルギーおよび／またはパワーが所定値となるように、コントロールバルブ１０５および圧送ポンプ１０６を制御する。これにより、チラー１０１からレーザ装置１１１へ流れる冷却水の流量が制御され、この結果、放電部１１１ａ内のＣＯ２ガスの温度が調節される。
【００５１】
（実施の形態６の変形例２）
また、たとえば図１９に示すように、図１８に示す構成において、チラー１０１からレーザ装置１１１への断熱配管１０４上に、チラー１０１からレーザ装置１１１へ流れる冷却水の流量を検出する流量センサ１０７を設けてもよい。図１９は、本実施の形態６の変形例２によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。図１９に示す構成では、レーザコントローラ１００には、ディテクタ１２０で検出された増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーと、流量センサ１０７で検出された冷却水の流量とが入力される。レーザコントローラ１００は、入力された増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーと冷却水の流量とに基づいてコントロールバルブ１０５を制御する。これにより、増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーとチラー１０１からレーザ装置１１１へ流れる冷却水の流量とが所望の値もしくはそれ以上となるように、レーザ装置１１１へ供給する冷却水の流量が制御される。
【００５２】
（実施の形態７）
つぎに、本発明の実施の形態７について、図面を用いて詳細に説明する。図２０は、本実施の形態７によるガスレーザ装置用温度調節装置の概略構成を示す模式図である。図２０に示すように、本実施の形態７によるガスレーザ装置用温度調節装置は、図１７に示すガスレーザ装置用温度調節装置と同様の構成において、チラー１０１およびレーザ装置１１１それぞれの内部に露点計１０８および１１８が設けられる。なお、チラー１０１およびレーザ装置１１１の内部は、結露防止パージがなされていなくともよい。
【００５３】
露点計１０８および１１８で検出された露点温度は、レーザコントローラ１００に入力される。レーザコントローラ１００には、ガス温度センサ１１２で検出された放電部１１１ａ内部のＣＯ２ガスの温度と、ディテクタ１２０で検出された増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーも入力される。レーザコントローラ１００は、露点計１０８および１１８で検出された露点温度の低い方の露点温度と放電部１１１ａ内部のＣＯ２ガスの温度とを比較して、たとえばＣＯ２ガスの温度が露点温度より低くならないように温調器１０２を制御する。レーザコントローラ１００はまた、増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーとに基づいて温調器１０２を制御する。これにより、チラー１０１およびレーザ装置１１１内の結露を防止しつつ、放電部１１１ａ内のＣＯ２ガスの温度と増幅後のレーザ光ＬＬ１のエネルギーおよび／またはパワーとが所望の値もしくはそれ以上となるように、レーザ装置１１１へ供給する冷却水の温度が制御される。なお、本実施例では露点計を用いているが、これに限らず結露発生の有無を検出できれば良いのであって、レーザ装置およびチラーにおいて最も低温となる部位に曇りセンサーを配して代替としても良い。また、たとえば気温を検出する温度センサーと湿度計等の空気中の水蒸気圧を検出するセンサーを組み合わせても良い。レーザコントローラは、これらセンサーの検出値から露点温度を計算するようにする。
【００５４】
なお、上述した実施の形態１〜７では、いずれもガスレーザ装置用温度調節装置としてチラーなどの冷却装置について説明したが、これに限らず、加熱装置によって温度調節するものであってもよい。
【００５５】
さらに、冷却水を一例にあげて説明したが、冷却媒体は、冷却水に限らない。さらに、加熱媒体であってもよい。また、媒体は、流体であればよく、液体に限らず、気体であってもよい。
【００５６】
また、上述した実施の形態１〜７では、極端紫外光光源装置に用いられるドライバレーザを一例にあげて説明したが、これに限らず、加工用のドライバレーザであってもよく、さらには、複数の被温度調節装置内に、異なる精度の被温度調節対象が含まれる装置であればよい。
【符号の説明】
【００５７】
１〜４，２１〜２４，３１〜３３，５１，６１  チラー
１０  冷却水設備
１０ａ，１０ｂ  高精度冷却装置
１１  マスタＯＳＣレーザ装置
１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ  放電部
１１ｂ，１２ｂ，１３ｂ，１４ｂ  電源部
１２  プリアンプレーザ装置
１３  第１メインアンプレーザ装置
１４  第２メインアンプレーザ装置
１５  極端紫外光光源装置
４０  弁制御部
４１〜４４  調節弁
１００  レーザコントローラ
１０１  チラー
１０２  温調器
１０３  熱交換器
１０４  断熱配管
１０５  コントロールバルブ
１０６  圧送ポンプ
１０７  流量センサ
１０８、１１８  露点計
１１１  レーザ装置
１１１ａ  放電部
１１１ｂ  電源部
１１１ｃ、１１１ｄ  放電電極
１１２  ガス温度センサ
１２０  ディテクタ
１２１  ビームサンプラー
ＣＲ  クリーンルーム
Ｌ，Ｌ１〜Ｌ３，Ｌ１ａ，Ｌ１１〜Ｌ１４，Ｌ２１〜Ｌ２４，Ｌ３１〜Ｌ３４，Ｌ４１〜Ｌ４４，Ｌ５１〜Ｌ５４，Ｌ５ａ，Ｌ５ｂ，Ｌ６ａ，Ｌ６ｂ  配管
ＬＬ１  レーザ光
【図１】
2010219516.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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