(57)【要約】【課題】製造工程の簡素化を図ることによって、製造コストを大幅に低減することができる液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供する。【解決手段】「液体吐出ヘッド」としてのインク吐出ヘッド１０を製造する際には、（ａ）１枚の孔無しプレート（図示省略）に複数のノズル孔５６と複数のフィルタ孔４８とを形成することによって複合プレート３８を作成するとともに、複数の圧力室５２とインク流路Ｒとを有するヘッド基材８０を作成し、（ｂ）複数のノズル孔５６と複数のフィルタ孔４８とが「折曲線」によって仕切られた異なる領域に配置されるようにして複合プレート３８を折り曲げるとともに、複合プレート３８をヘッド基材８０に接合する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、液体を吐出する複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに個別に連通された複数の圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段と、前記圧力室を介して前記ノズル孔に液体を供給する液体流路と、前記液体流路の入口に対応するように設けられた複数のフィルタ孔とを構成要素として備える、液体吐出ヘッドであって、
複数の前記フィルタ孔と少なくとも１つの他の構成要素とが、折曲げ加工された１枚のプレートにおける折曲線によって仕切られた異なる領域に作り込まれている、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
複数の前記ノズル孔が、前記他の構成要素として前記プレートに作り込まれている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記プレートにおける複数のフィルタ孔が形成されたフィルタ領域の表面には、撥液処理が施されている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記プレートの折曲げ部には、折曲線に沿って溝が形成されている、請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記フィルタ領域の面積は、前記液体流路の入口の開口面積よりも大きく設計されている、請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
液体を吐出する複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに個別に連通された複数の圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段と、前記圧力室を介して前記ノズル孔に液体を供給する液体流路と、前記液体流路の入口に設けられた複数のフィルタ孔とを備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（ａ）１枚の孔無しプレートに複数の前記ノズル孔と複数の前記フィルタ孔とを形成することによって複合プレートを作成するとともに、複数の前記圧力室と前記液体流路とを有するヘッド基材を作成し、
（ｂ）複数の前記ノズル孔と複数の前記フィルタ孔とが折曲線によって仕切られた異なる領域に配置されるようにして前記複合プレートを折り曲げるとともに、前記複合プレートを前記ヘッド基材に接合する、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記（ｂ）工程では、前記複合プレートにおける複数の前記ノズル孔が形成されたノズル領域を、複数の前記フィルタ孔が形成されたフィルタ領域よりも先に前記ヘッド基材に接合するようにした、請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記（ａ）工程では、前記孔無しプレートの表面に折曲げ加工用の溝を形成するようにした、請求項６または７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記（ａ）工程よりも前に、
（ｃ）前記孔無しプレートの表面に撥液処理を施すようにした、請求項６ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記（ｂ）工程では、複数の前記ノズル孔が形成されたノズル領域と複数の前記フィルタ孔が形成されたフィルタ領域との間に連結部が介在するようにして前記複合プレートを折り曲げるとともに、前記連結部を前記ヘッド基材の側方に配設し、
前記（ｃ）工程では、前記孔無しプレートにおける前記連結部となる部分の表面には撥液処理を施さないようにした、請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力室内の液体に圧力を付与することによって、圧力室に連通するノズル孔から液体を吐出させるようにした液体吐出ヘッド、およびそのような液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の「液体吐出ヘッド」としては、インクジェットプリンタの「インク吐出ヘッド」が周知であり、その一例が特許文献１に開示されている。特許文献１の「インク吐出ヘッド」すなわち「インクジェットプリンタヘッド（１）」は、インクを取り込むインク供給口（２２）と、ノズル孔（９）に連通する圧力室（２１）とを有する流路ユニット（１８）を備えており、流路ユニット（１８）の下面には、複数のノズル孔（９）を有するノズルユニット（１０）が接合されており、流路ユニット（１８）の上面には、アクチュエータ（３０）が接合されている。また、流路ユニット（１８）のインク供給口（２２）には、複数のフィルタ孔（図示されていない。）からなる濾過部（２６ａ）を有するフィルタ（２６）が取り付けられている。
【０００３】
そして、インクジェットプリンタヘッド（１）を製造する際には、流路ユニット（１８）、ノズルユニット（１０）、アクチュエータ（３０）およびフィルタ（２６）を別々に作成し、その後、これらを接着剤等を用いて互いに接合するようにしていた。
【０００４】
なお、上記括弧付数字は、特許文献１で用いられている参照番号に対応するものである。
【特許文献１】特開２００７−２４５３９４号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の「インク吐出ヘッド」としての「インクジェットプリンタヘッド（１）」によれば、ノズルユニット（１０）とフィルタ（２６）とを別々に作成した後、これらを流路ユニット（１８）に接合するようにしていたので、ノズルユニット（１０）を構成する複数のノズル孔（９）と、フィルタ（２６）を構成する複数のフィルタ孔（図示されていない。）とを別々の工程で形成しなければならず、製造工程が煩雑になることから、製造コストが高くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、製造工程の簡素化を図ることによって、製造コストを大幅に低減することができる液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出ヘッドは、少なくとも、液体を吐出する複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに個別に連通された複数の圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段と、前記圧力室を介して前記ノズル孔に液体を供給する液体流路と、前記液体流路の入口に対応するように設けられた複数のフィルタ孔とを構成要素として備える、液体吐出ヘッドであって、複数の前記フィルタ孔と少なくとも１つの他の構成要素とが、折曲げ加工された１枚のプレートにおける折曲線によって仕切られた異なる領域に作り込まれていることを特徴とする。
【０００８】
この構成では、複数のフィルタ孔と少なくとも１つの他の構成要素とを１枚のプレート（当該プレートは、後述する「孔無しプレート」に相当する。）に対して同時に形成することができるので、これらの構成要素を作成する工程数を削減でき、製造工程を簡素化することができる。また、フィルタ領域は、所望の位置から外れて配置された場合であっても、液体流路の入口と重なって配置されていれば液体流路内に液体を与えることができるので、液体流路の入口と重なる領域内であれば所望の位置に対する位置ずれを許容することができる。そのため、プレート（当該プレートは、後述する「複合プレート」に相当する。）に作り込まれた他の構成要素（たとえば、ノズル孔等）の位置決め精度を優先させた場合でも、フィルタ孔の位置決め精度の誤差を当該フィルタ領域において吸収することができる。
【０００９】
複数の前記ノズル孔が、前記他の構成要素として前記プレートに作り込まれていてもよい。
【００１０】
この構成では、複数のノズル孔と複数のフィルタ孔とを１枚のプレート（すなわち、孔無しプレート）に対して同じ工程で形成することができる。また、ノズル孔とフィルタ孔とは、直径の差が小さいため、同じ加工装置を用いて形成することができる。
【００１１】
前記プレートにおける複数のフィルタ孔が形成されたフィルタ領域の表面には、撥液処理が施されていてもよい。
【００１２】
この構成では、フィルタ領域の表面（すなわち、インクの流れに対して上流側の面）に撥液処理が施されているので、当該表面において、液体に混入している気泡を捕捉することができる。
【００１３】
前記プレートの折曲げ部には、折曲線に沿って溝が形成されていてもよい。
【００１４】
この構成では、プレート（すなわち、複合プレート）の折曲げ部に溝が形成されているので、当該プレートの折曲げ加工を容易に行うことができる。
【００１５】
前記フィルタ領域の面積は、前記液体流路の入口の開口面積よりも大きく設計されていてもよい。
【００１６】
この構成では、フィルタ領域の面積が液体流路の入口の開口面積よりも大きく設計されているので、当該入口に対するフィルタ領域の位置が多少ずれた場合でも、当該入口におけるフィルタ孔の開口率を設計通りに確保することができ、開口率の縮小による性能低下を防止することができる。なお、液体流路の入口は、インク吐出ヘッドの端部に形成されるのが通常であることから、当該入口に配設されるフィルタ領域の面積を大きく設計することは容易である。
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する複数のノズル孔と、前記ノズル孔のそれぞれに個別に連通された複数の圧力室と、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段と、前記圧力室を介して前記ノズル孔に液体を供給する液体流路と、前記液体流路の入口に設けられた複数のフィルタ孔とを備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、（ａ）１枚の孔無しプレートに複数の前記ノズル孔と複数の前記フィルタ孔とを形成することによって複合プレートを作成するとともに、複数の前記圧力室と前記液体流路とを有するヘッド基材を作成し、（ｂ）複数の前記ノズル孔と複数の前記フィルタ孔とが折曲線によって仕切られた異なる領域に配置されるようにして前記複合プレートを折り曲げるとともに、前記複合プレートを前記ヘッド基材に接合するものである。
【００１８】
この構成では、複数のノズル孔と複数のフィルタ孔とを１枚の孔無しプレートに対して同じ工程で形成することができるので、液体吐出ヘッドの製造工程を簡素化することができる。
【００１９】
前記（ｂ）工程では、前記複合プレートにおける複数の前記ノズル孔が形成されたノズル領域を、複数の前記フィルタ孔が形成されたフィルタ領域よりも先に前記ヘッド基材に接合するようにしてもよい。
【００２０】
この構成では、ノズル領域をフィルタ領域よりも先にヘッド基材に接合するようにしているので、ヘッド基材に対してノズル孔を高精度で位置決めすることができ、所望の液体吐出性能を確保することができる。
【００２１】
前記（ａ）工程では、前記孔無しプレートの表面に折曲げ加工用の溝を形成するようにしてもよい。
【００２２】
この構成では、（ａ）工程において孔無しプレートの表面に折曲げ加工用の溝を形成するようにしているので、（ｂ）工程における複合プレートの折曲げ加工を容易に行うことができる。
【００２３】
前記（ａ）工程よりも前に、（ｃ）前記孔無しプレートの表面に撥液処理を施すようにしてもよい。
【００２４】
この構成では、孔無しプレートに複数のノズル孔と複数のフィルタ孔とを形成するよりも前に、当該孔無しプレートの表面に撥液処理を施すようにしているので、ノズル孔やフィルタ孔の内周面に撥液処理が施されることによる弊害を防止することができる。たとえば、ノズル孔の内周面に撥液処理が施されることによる液面（メニスカス）の後退を防止することができ、液体の吐出動作が不安定になるのを防止することができる。また、フィルタ孔の内周面に撥液処理が施されることによる通液性の低下を防止することができる。
【００２５】
そして、（ｂ）工程（すなわち、複合プレートを折り曲げる工程）よりも前に、孔無しプレートの表面に撥液処理を施すようにしているので、撥液処理が必要な領域（すなわち、ノズル領域およびフィルタ領域となる領域）に対して撥液処理を簡単に施すことができる。
【００２６】
前記（ｂ）工程では、複数の前記ノズル孔が形成されたノズル領域と複数の前記フィルタ孔が形成されたフィルタ領域との間に連結部が介在するようにして前記複合プレートを折り曲げるとともに、前記連結部を前記ヘッド基材の側方に配設し、前記（ｃ）工程では、前記孔無しプレートにおける前記連結部となる部分の表面には撥液処理を施さないようにしてもよい。
【００２７】
この構成では、連結部となる部分の表面には撥液処理を施さないようにしているので、連結部の表面に対するポッティング剤の付着性が損なわれることはない。したがって、液体吐出ヘッドをキャリッジのヘッドホルダーに装着した後、ヘッドホルダーと連結部との間に生じた隙間にポッティング剤を充填した場合でも、当該ポッティング剤の「封止機能」が損なわれるのを防止することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明は、以上に説明したように構成され、複数のフィルタ孔と少なくとも１つの他の構成要素とを１枚のプレート（すなわち、孔無しプレート）に対して同時に形成することができるので、製造工程を簡素化することができ、製造コストを大幅に低減することができる。
【００２９】
また、フィルタ領域は、所望の位置から外れて配置された場合であっても、液体流路の入口と重なって配置されていれば液体流路内に液体を与えることができるので、液体流路の入口と重なる領域内であれば所望の位置に対する位置ずれを許容することができる。そのため、プレート（すなわち、複合プレート）に作り込まれた他の構成要素（たとえば、ノズル孔等）の位置決め精度を優先させた場合でも、フィルタ孔の位置決め精度の誤差を当該フィルタ領域において吸収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、本発明の好ましい実施形態に係る「液体吐出ヘッド」および「液体吐出ヘッドの製造方法」について図面を参照しながら説明する。
【００３１】
なお、以下の各実施形態では、本発明を「アクチュエータ」を用いてインク（液体）を吐出させる方式の「インク吐出ヘッド」に適用しているが、本発明は、「発熱体で加熱したときの圧力」を用いてインク（液体）を吐出させる方式の「インク吐出ヘッド」や、カラーフィルタ製造装置において着色液（液体）を吐出させる「着色液吐出ヘッド」や、電気配線装置において導電液（液体）を吐出させる「導電液吐出ヘッド」のような他の「液体吐出ヘッド」にも適用可能である。
【００３２】
また、以下の説明で用いる「下」とは、インクを吐出する方向を意味し、「上」とは、その反対の方向を意味し、「平面視」とは、上方からの目視を意味するものとする。そして、「側方」とは、上下方向に対して直交する方向を意味するものとする。さらに、「構成要素」とは、「インク吐出ヘッドの構成要素」を意味するものとする。
【００３３】
（第１実施形態）
［インク吐出ヘッドの構成］
図１は、本発明の第１実施形態に係る「液体吐出ヘッド」としてのインク吐出ヘッド１０の使用状態を示す斜視図であり、図２は、インク吐出ヘッド１０の構成を示す平面図であり、図３は、インク吐出ヘッド１０の構成を示す断面図であり、図４は、インク吐出ヘッド１０の要部を示す部分拡大断面図である。また、図５（Ａ）は、インク吐出ヘッド１０の構成を示す部分拡大平面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）におけるＶＢ−ＶＢ線断面図である。
【００３４】
インク吐出ヘッド１０は、図１に示すように、インクジェットプリンタ１２のキャリッジ１４に搭載されて、用紙１６の搬送方向（すなわち、副走査方向）Ｙに対して直交する方向（すなわち、主走査方向）Ｘへ移動されるとともに、インクサブタンク１８から供給される「液体」としてのインクを、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ:図示省略）から付与された駆動電圧に従って用紙１６へ向けて吐出するものであり、図２および図３に示すように、「液体流路」としてのインク流路Ｒを構成する流路ユニット２０と、「圧力付与手段」としてのアクチュエータユニット２２とを備えている。
【００３５】
［流路ユニットの構成］
流路ユニット２０は、図３に示すように、フィルタプレート２４、キャビティプレート２６、ベースプレート２８、マニホールドプレート３０およびノズルプレート３２を上側からこの順に積層することによって構成されており、これらのプレート２４〜３２に形成された「孔」が互いに連通されることによって、インクが流れるインク流路Ｒが構成されている。
【００３６】
流路ユニット２０を構成する５枚のプレートのうち、キャビティプレート２６、ベースプレート２８およびマニホールドプレート３０は、ステンレス等のような耐食性に優れる金属材料からなる平面視略四角形の板状部材であり、フィルタプレート２４およびノズルプレート３２は、ポリイミド等の合成樹脂材料からなる平面視略四角形の板状部材であり、フィルタプレート２４とノズルプレート３２とが、これらと同じ材料からなる連結部３４を介して一体的に形成されている。そして、キャビティプレート２６、ベースプレート２８およびマニホールドプレート３０を積層することによって得られた積層体３６（図３、図６）と、フィルタプレート２４、ノズルプレート３２および連結部３４を有する複合プレート３８（図３、図６）とが接着剤等を用いて接合されている。
【００３７】
なお、フィルタプレート２４、ノズルプレート３２および連結部３４（すなわち、複合プレート３８）の材質は、合成樹脂に限定されるものではなく、ステンレス等のような金属であってもよい。
【００３８】
インク流路Ｒは、図２および図３に示すように、１個のインク導入流路４０と、インク導入流路４０に連通された複数（本実施形態では２個）の共通インク室４２（図２）と、共通インク室４２に連通された複数（本実施形態では合計１２個）の個別インク流路４４とを備えている。
【００３９】
インク導入流路４０は、図４に示すように、流路ユニット２０における副走査方向Ｙの一方端部において、キャビティプレート２６およびベースプレート２８のそれぞれに形成された孔２６ａ，２８ａと、マニホールドプレート３０に形成された孔３０ａとが厚さ方向へ連通されることによって構成されており、インク導入流路４０の上部開口がインク流路Ｒの入口４６となっている。そして、キャビティプレート２６の上面には、入口４６を覆うようにしてフィルタプレート２４が接合されており、フィルタプレート２４に形成された複数のフィルタ孔４８が入口４６に対応するように配設されている。
【００４０】
フィルタ孔４８は、インク流路Ｒに取り込まれるインク中の異物または気泡を入口４６において捕捉する平面視略円形の貫通孔であり、複数のフィルタ孔４８が入口４６の全体にほぼ均等に分布するように配設されている。複数のフィルタ孔４８が形成された領域（以下、「フィルタ領域」という。）Ａの面積は、入口４６の開口面積よりも大きく設計されており、フィルタ領域Ａの形状は、入口４６の形状（本実施形態では略楕円状）とほぼ相似形に設計されている。したがって、フィルタプレート２４の「加工精度」或いは「位置決め精度」に誤差が生じた場合でも、フィルタ領域Ａにおいて当該誤差を吸収することができ、入口４６におけるフィルタ孔４８の開口率が不所望に変動するのを防止することができる。
【００４１】
ただし、入口４６におけるフィルタ孔４８の開口率が不所望に変動したとしても、フィルタ領域Ａの一部がインク流路Ｒの入口４６と重なって配置されていれば、インク流路Ｒ内へインクを流入させることができるので、インク流路Ｒ内へのインクの流入が完全に遮断されない限り、開口率の変動が致命的な欠陥となることはない。
【００４２】
なお、フィルタ孔４８の直径は、特に限定されるものではないが、異物等によるノズル孔５６の詰まりを防止するためには、ノズル孔５６の直径よりも十分に小さいことが望ましく、インクに混入した気泡を捕捉できるようにすることをも考慮すると、７〜１５μｍ程度であることが望ましい。また、フィルタ孔４８の平面視形状は、特に限定されるものではなく、「略円形」の他、「略四角形」または「略楕円形」等であってもよく、フィルタ孔４８の内周面の形状は、「円筒状」の他、「上流側から下流側へ向かうにつれて縮径されたテーパ状」等であってもよい。
【００４３】
共通インク室４２は、図２および図５（Ｂ）に示すように、マニホールドプレート３０に副走査方向Ｙへ長く延びて形成された長孔３０ａによって構成されており、共通インク室４２の横断面形状は、主走査方向Ｘへ長く延びた長方形に設計されている。また、共通インク室４２における副走査方向Ｙの一方端部４２ａは、図２に示すように、インク導入流路４０における主走査方向Ｘの側部に接続されており、共通インク室４２における副走査方向Ｙの他方端部４２ｂは、図２に示すように、平面視略半円状の端面において閉塞されている。そして、共通インク室４２のそれぞれに覆い被さるようにして、複数の個別インク流路４４が２列に並んで千鳥状に配設されている。
【００４４】
個別インク流路４４は、共通インク室４２内のインクを外部へ選択的に吐出させるための流路であり、図５（Ｂ）に示すように、接続流路５０、圧力室５２、吐出流路５４およびノズル孔５６が上流側からこの順に連通されることによって構成されている。
【００４５】
接続流路５０は、ベースプレート２８に形成された孔２８ｂによって共通インク室４２の上方に構成されており、圧力室５２は、キャビティプレート２６に主走査方向Ｘへ長く延びて形成された長孔２６ｂによって接続流路５０の上方に構成されており、圧力室５２の上流側端部と共通インク室４２とが、接続流路５０を介して連通されている。また、吐出流路５４は、ベースプレート２８に形成された孔２８ｃとマニホールドプレート３０に形成された孔３０ｂとによって圧力室５２の下方に構成されており、ノズル孔５６は、ノズルプレート３２に形成されたテーパ状の孔３２ａによって吐出流路５４の下方に構成されており、圧力室５２の下流側端部とノズル孔５６とが、吐出流路５４を介して連通されている。そして、圧力室５２の上部には、流路ユニット２０の上面に開口された開口部５２ａが形成されており、この開口部５２ａがアクチュエータユニット２２の下面によって閉塞されている。
【００４６】
ノズル孔５６は、圧力室５２で加圧されたインクを吐出する孔であり、ノズル孔５６の内周面の形状は、「上流側から下流側（すなわち、吐出口側）へ向かうにつれて縮径されたテーパ状」に設計されている。ノズル孔５６の最小径（すなわち、吐出口の直径）は、一般的なインクジェットプリンタにおけるインク吐出ヘッドと同様に、１５〜３０μｍ程度に設計されている。そして、上述したように、このノズル孔５６の最小径との関係において、フィルタ孔４８の直径が設計されている。
【００４７】
［アクチュエータユニットの構成］
アクチュエータユニット２２は、圧力室５２の内部上面を構成するとともに、圧力室５２内のインクに吐出圧を選択的に付与するものであり、図５（Ｂ）に示すように、第１圧電シート５８、第２圧電シート６０および第３圧電シート６２を上側からこの順に積層することによって構成されている。
【００４８】
圧電シート５８，６０，６２のそれぞれは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなり、かつ、１０〜３０μｍ程度の厚さを有するシート部材であり、最上層となる第１圧電シート５８の上面には、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、圧力室５２のそれぞれに個別に対応する複数の個別電極６４が圧力室５２と対向する位置に形成されており、中間層となる第２圧電シート６０の上面には、圧力室５２のそれぞれに共通に対応する第１共通電極６６が圧力室５２のそれぞれに対応する位置に形成されており、最下層となる第３圧電シート６２の上面には、圧力室５２のそれぞれに共通に対応する第２共通電極６８が全ての圧力室５２に跨って形成されている。したがって、アクチュエータユニット２２においては、第１圧電シート５８における個別電極６４と第１共通電極６６とで挟まれた部分と、第２圧電シート６０における第１共通電極６６と第２共通電極６８とで挟まれた部分とが「第１活性部」となっており、第１圧電シート５８および第２圧電シート６０における個別電極６４と第２共通電極６８とで挟まれた部分（すなわち、第１共通電極６６が配置された領域を除く部分）が「第２活性部」となっている。
【００４９】
そして、最上層となる第１圧電シート５８の上面には、図２および図５（Ａ）に示すように、個別電極端子７０と、第１共通電極端子７２と、第２共通電極端子７４とが形成されており、個別電極端子７０と個別電極６４とが電気的に接続されている。また、第１共通電極端子７２と第１共通電極６６とが、第１圧電シート５８を貫通して配設された導電体（図示省略）を介して電気的に接続されており、第２共通電極端子７４と第２共通電極６８とが、第１圧電シート５８および第２圧電シート６０を貫通して配設された導電体（図示省略）を介して電気的に接続されている。
【００５０】
なお、圧電シート５８，６０，６２の積層体を製造する方法としては、特に限定されるものではなく、「グリーンシート法」、「エアロゾルデポジション法」または「化学蒸着法」等を任意に選択して採用することが可能であるが、本実施形態では、個別電極６４、個別電極端子７０、第１共通電極端子７２および第２共通電極端子７４のそれぞれを構成する「導電性パターン」が上面に形成された「第１グリーンシート」と、第１共通電極６６を構成する「導電性パターン」が上面に形成された「第２グリーンシート」と、第２共通電極６８を構成する「導電性パターン」が上面に形成された「第３グリーンシート」とを重ねて焼成する「グリーンシート法」が採用されている。また、「導電性パターン」のそれぞれを形成する方法としては、Ａｇ−Ｐｄ等を含む金属材料からなる「導電性ペースト」を「グリーンシート」の上面にスクリーン印刷する「スクリーン印刷法」が採用されている。
【００５１】
また、本実施形態では、１つの個別電極６４に対して２つの共通電極６６，６８を設けたアクチュエータユニット２２を用いているが、このアクチュエータユニット２２は「圧力付与手段」の一例に過ぎず、たとえば、１つの個別電極に対して１つの共通電極を設けたアクチュエータを用いるようにしてもよいし、圧力室内のインクに含有された気泡を発熱抵抗体で加熱膨張させることによって当該インクに吐出圧を付与するようにしてもよい。
【００５２】
［インク吐出ヘッドの製造方法］
インク吐出ヘッド１０（図２、図３）を製造する際には、まず、図６に示すように、流路ユニット２０の一部を構成する積層体３６とアクチュエータユニット２２とが一体的に接合されたヘッド基材８０と、流路ユニット２０の他の一部を構成する複合プレート３８とを別々に製造し、その後、図７に示すように、ヘッド基材８０に対して複合プレート３８を接着剤等を用いて接合する。
【００５３】
以下には、「ヘッド基材８０の製造工程」、「複合プレート３８の製造工程」および「ヘッド基材８０に対する複合プレート３８の接合工程」について説明する。
【００５４】
＜ヘッド基材８０の製造工程＞
ヘッド基材８０（図６）を製造する際には、まず、ステンレス等のような金属材料からなる３枚の孔無しプレート（図示省略）のそれぞれにエッチングにより「孔」を形成することによって、キャビティプレート２６、ベースプレート２８およびマニホールドプレート３０を形成し、これらを接着剤で接合することによって積層体３６を作成する。そして、この積層体３６の上面に、アクチュエータユニット２２を接着剤で接合する。
【００５５】
なお、キャビティプレート２６、ベースプレート２８およびマニホールドプレート３０を互いに接合する方法としては、「接着接合」の他、各プレートの金属分子を隣接するプレートへ熱拡散させることにより接合する「拡散接合」等を用いるようにしてもよい。
【００５６】
＜複合プレート３８の製造工程＞
複合プレート３８（図３、図６）を製造する際には、まず、図８に示すように、ポリイミド等の合成樹脂材料からなり、かつ、複合プレート３８を平面に展開したときの形状とほぼ同じ形状を有する略四角形の孔無しプレート８２を準備する。この孔無しプレート８２は、フィルタプレート２４に対応するフィルタプレート領域８４と、ノズルプレート３２に対応するノズルプレート領域８６と、連結部３４に対応する連結部領域８８とを有する平板状の部材であり、図８では、これらの領域８４，８６，８８の「境界線」を一点鎖線Ｌ１，Ｌ２で示している。
【００５７】
なお、孔無しプレート８２は、フィルタ孔４８およびノズル孔５６のいずれも形成されていない状態のプレートを意味し、この孔無しプレート８２にフィルタ孔４８およびノズル孔５６が形成された時点で、孔無しプレート８２が複合プレート３８（図６）に変わる。そのため、図８では、フィルタ孔４８およびノズル孔５６を「仮想線」としての「二点鎖線」で示している。
【００５８】
孔無しプレート８２の準備が完了すると、この孔無しプレート８２をレーザ加工装置（図示省略）の支持台に載置し、孔無しプレート８２の所定位置に「構成要素」としての複数のフィルタ孔４８と、「構成要素」としての複数のノズル孔５６とをレーザ加工する。この工程で形成されるフィルタ孔４８の直径は、７〜１５μｍ程度であり、ノズル孔５６の直径は、１５〜３０μｍ程度であるため、これらを同じ加工装置を用いて同じ工程で形成することができる。したがって、複数のフィルタ孔４８と複数のノズル孔５６とを別々の工程で形成する場合に比べて、製造工程を簡素化することができ、製造コストを大幅に低減することができる。
【００５９】
なお、フィルタ孔４８およびノズル孔５６を形成する方法は、「レーザ加工法」に限定されるものではなく、孔無しプレート８２（図８）の材質に応じて、「エッチング法」または「電気鋳造法」等を適宜選択して用いるようにしてもよい。ただし、高い加工精度を得られる点において「レーザ加工法」を用いることが望ましく、特に、「エキシマレーザ加工法」を用いることが望ましい。
【００６０】
また、本実施形態では、１枚の孔無しプレート８２に対して１つのインク吐出ヘッド１０に対応するフィルタ孔４８およびノズル孔５６を形成するようにしているが、１枚の孔無しプレートに対して複数のインク吐出ヘッド１０のそれぞれに対応するフィルタ孔４８およびノズル孔５６を形成し、これにより得られた複合プレートの集合体を切断分割することによって、複数の複合プレート３８を同時に作成するようにしてもよい。
＜ヘッド基材８０に対する複合プレート３８の接合工程＞
ヘッド基材８０に対して複合プレート３８を接合する際には、これらの少なくとも一方の接合面に接着剤を塗布した後、図７に示すように、ノズルプレート３２の複数のノズル孔５６が形成された領域（以下、「ノズル領域」という。）Ｂをヘッド基材８０の下面に接合する。このとき、設計通りの「吐出性能」を得るためには、吐出流路５４に対するノズル孔５６の位置を正確に定める必要があることから、専用の位置決め治具（図示省略）を用いることが望ましい。
【００６１】
ヘッド基材８０の下面に対するノズルプレート３２（ノズル領域Ｂを含む。）の接合が完了すると、図７中の矢印で示すように、複合プレート３８を２本の「折曲線」に沿って２段階に折り曲げることによって、フィルタプレート２４のフィルタ孔４８をインク流路Ｒの入口４６に位置決めしながら、フィルタプレート２４（フィルタ領域Ａを含む。）をヘッド基材８０の上面に接合する。このとき、吐出流路５４に対するノズル孔５６の位置決めを先に行っていることから、入口４６に対するフィルタ孔４８の位置決め精度には誤差が生じるおそれがあるが、フィルタ領域Ａの面積は、入口４６の開口面積よりも大きく設計されているため、フィルタ領域Ａにおいて当該誤差を吸収することができ、多少の誤差にかかわらず、入口４６におけるフィルタ孔４８の開口率を設計通りに確保することができる。
【００６２】
なお、図７では、２本の「折曲線」を一点鎖線Ｌ１，Ｌ２で示している。
【００６３】
［インク吐出ヘッドの使用方法］
インク吐出ヘッド１０を使用する際には、図９に示すように、キャリッジ１４（図１）を構成するヘッドホルダー９０のヘッド装着孔９２にインク吐出ヘッド１０を装着し、インク吐出ヘッド１０の外周面とヘッド装着孔９２の内周面との間に生じた隙間Ｓにポッティング剤９４を充填する。また、インク吐出ヘッド１０におけるインク流路Ｒの入口４６にインク供給管９６を取り付けるとともに、アクチュエータユニット２２の表面にドライバＩＣが実装されたフレキシブルプリント配線板（図示省略）を配設し、個別電極端子７０、第１共通電極端子７２および第２共通電極端子７４（図２）のそれぞれに対して、当該フレキシブルプリント配線板の対応する導電配線を電気的に接続する。そして、インク供給管９６にインクサブタンク１８（図１）を接続するとともに、フレキシブルプリント配線板をプリンタ本体の制御部（図示省略）に接続する。
【００６４】
インク供給管９６にインクサブタンク１８（図１）を接続すると、インクサブタンク１８内のインクがインク供給管９６を通して入口４６からインク流路Ｒへ与えられる。このとき、インクは、入口４６に対応するように設けられた複数のフィルタ孔４８を通過するので、インク中の異物または気泡をフィルタ孔４８によって捕捉することができ、「異物によるノズル孔５６の詰まり」や、「気泡による吐出性能の低下」を防止することができる。
【００６５】
画像を印刷する際には、複数の個別電極６４に対してフレキシブルプリント配線板から駆動電圧を選択的に印加し、個別電極６４と共通電極６６，６８との間に電位を生じさせる。すると、駆動電圧が印加された個別電極６４と共通電極６６，６８とで挟まれた「第１活性部」に電界が作用し、当該「第１活性部」が厚さ方向（すなわち分極方向）に対して直交する方向に収縮され、圧電シート５８，６０，６２の全体が下側へ凸となるように変形される。このとき、最下層である第３圧電シート６２の下面は圧力室５２の内部上面を構成しているので、当該下面は圧力室５２の内側へ出っ張るように変形され、これにより圧力室５２の容積が縮小される。したがって、圧力室５２の内部に存在するインクには、駆動電圧に応じたタイミングで圧力が付与され、当該圧力によって加圧されたインクがノズル孔５６から吐出される。ノズル孔５６からインクが吐出されると、インク流路Ｒ内には負圧が生じるため、インク供給管９６内のインクがフィルタ孔４８および入口４６を通してインク流路Ｒ内へ引き込まれる。
【００６６】
（第２実施形態）
［インク吐出ヘッドの構成］
図１０は、本発明の第２実施形態に係るインク吐出ヘッド（図示省略）で用いられる複合プレート１００の構成を示す正面図である。
【００６７】
第２実施形態に係るインク吐出ヘッドは、複合プレート１００の構成において第１実施形態に係るインク吐出ヘッド１０と相違しており、他の構成は、インク吐出ヘッド１０と同様である。つまり、第２実施形態に係るインク吐出ヘッドでは、図１０に示すように、フィルタプレート２４におけるフィルタ領域Ａの表面（すなわち、インクの流れに対して上流側の面）と、ノズルプレート３２におけるノズル領域Ｂの表面（すなわち、ノズル孔５６の吐出口が開口された側の面）とに撥液処理が施されるとともに、フィルタプレート２４およびノズルプレート３２のそれぞれと連結部３４との境界に位置する「折曲げ部」に「折曲線（図１０中の一点鎖線Ｌ１，Ｌ２）」に沿って折曲加工用の溝１０２ａ，１０２ｂが形成されている。
【００６８】
このインク吐出ヘッド（図示省略）によれば、フィルタ領域Ａの表面に撥液処理を施しているので、当該表面においてインク（水系インク、油系インクおよび溶剤系インクのいずれであってもよい。）を弾くことができ、インクに混入している気泡を当該表面に強く付着させることによって効率よく捕捉することができる。また、ノズル領域Ｂの表面に撥液処理を施しているので、ノズル孔５６から吐出されたインクが当該表面に「汚れ」として付着するのを防止することができる。そして、溝１０２ａ，１０２ｂにおいて複合プレート１００を簡単かつ正確に折り曲げることができるので、折曲げ加工の「作業性」および「加工精度」を高めることができる。
【００６９】
なお、「フィルタ領域Ａの表面の撥液処理」、「ノズル領域Ｂの表面の撥液処理」および「溝１０２ａ，１０２ｂの加工」は、それぞれ異なる効果を奏するものであるため、必ずしもこれらの全てを同時に採用する必要はなく、いずれか１つまたは２つを選択的に採用するようにしてもよい。
【００７０】
［インク吐出ヘッドの製造方法］
第２実施形態に係るインク吐出ヘッドを製造する際には、複合プレート１００を平面に展開したときの形状とほぼ同じ形状を有する略四角形の孔無しプレート（図示省略）を準備し、この孔無しプレートの一方の表面に撥液処理を施す。つまり、少なくとも、フィルタ領域Ａとなる部分の表面と、ノズル領域Ｂとなる部分の表面とに、「シリコーン処理」または「フッ素処理」等のような撥液処理を施す。このとき、連結部３４となる部分の表面に撥液処理を施すと、隙間Ｓ（図９）に充填されるポッティング剤９４の付着性が悪くなるため、隙間Ｓにおけるポッティング剤９４の「封止機能」が損なわれるおそれがある。そこで、本実施形態では、連結部３４となる部分の表面には、撥液処理を施さないようにしている。
【００７１】
孔無しプレートの表面に撥液処理を施した後は、当該孔無しプレートに対してフィルタ孔４８、ノズル孔５６および溝１０２ａ，１０２ｂを形成することによって複合プレート１００（図１０）を作成する。フィルタ孔４８、ノズル孔５６および溝１０２ａ，１０２ｂを形成する方法としては、第１実施形態と同様に、「レーザ加工法」、「エッチング法」または「電気鋳造法」等の中から適宜選択して用いることができる。なお、複合プレート１００（図１０）をヘッド基材８０（図６）に接合する工程は、第１実施形態における工程（図７）と同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００７２】
この製造方法によれば、孔無しプレートの表面に撥液処理を施した後に、フィルタ孔４８およびノズル孔５６を形成するようにしているので、フィルタ孔４８およびノズル孔５６の内周面に撥液処理が施されることはなく、当該撥液処理による弊害を防止することができる。たとえば、ノズル孔５６の内周面に撥液処理が施されることによる液面（メニスカス）の後退を防止することができ、インクの吐出動作が不安定になるのを防止することができる。また、フィルタ孔４８の内周面に撥液処理が施されることによる通液性の低下を防止することができる。
【００７３】
（第３実施形態）
［インク吐出ヘッドの構成］
図１１は、本発明の第３実施形態に係るインク吐出ヘッド（図示省略）で用いられる複合プレート１０４の構成を示す正面図である。
【００７４】
第３実施形態に係るインク吐出ヘッドは、ブラック（ＢＫ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）およびシアン（Ｃ）の４色のインクのそれぞれに対応する４つのインク流路を有する点で、１色のインクに対応する１つのインク流路Ｒを有する第１実施形態に係るインク吐出ヘッド１０と相違しており、他の構成は、インク吐出ヘッド１０と同様である。つまり、第３実施形態に係るインク吐出ヘッドでは、図１１に示すように、フィルタプレート２４、ノズルプレート３２および連結部３４のそれぞれが４つのインク流路のそれぞれに対応して形成されており、フィルタプレート２４には、４つのインク流路のそれぞれのフィルタ孔４８が形成されており、ノズルプレート３２には、４つのインク流路のそれぞれのノズル孔５６が形成されている。
【００７５】
［インク吐出ヘッドの製造方法］
第３実施形態に係るインク吐出ヘッドを製造する際には、複合プレート１０４を平面に展開したときの形状とほぼ同じ形状を有する略四角形の孔無しプレート（図示省略）を準備し、この孔無しプレートに対して、４つのインク流路のそれぞれのフィルタ孔４８およびノズル孔５６を、第１実施形態と同様の方法で形成することによって複合プレート１０４（図１１）を作成する。
【００７６】
第３実施形態では、フィルタ孔４８およびノズル孔５６の数が第１実施形態におけるそれらの数の４倍になるが、これらを同じ加工装置を用いて同じ工程で形成することができるので、製造工程が煩雑になることはない。
【００７７】
（第４実施形態）
［インク吐出ヘッドの構成］
図１２は、本発明の第４実施形態に係るインク吐出ヘッド１１０をヘッドホルダー１１２に装着した状態を示す断面図であり、図１３は、インク吐出ヘッド１１０で用いられる複合プレート１１４の構成を示す正面図である。
【００７８】
第４実施形態に係るインク吐出ヘッド１１０は、インク流路Ｒの入口４６をインク導入流路４０の「側方」に設けている点で、当該入口４６をインク導入流路４０の「上方」に設けている第１実施形態に係るインク吐出ヘッド１０と相違しており、他の構成は、インク吐出ヘッド１０と同様である。つまり、第４実施形態に係るインク吐出ヘッド１１０では、図１２に示すように、ベースプレート２８およびマニホールドプレート３０のそれぞれに形成された孔２８ａ，３０ａが厚さ方向へ連通されることによってインク導入流路４０が構成されており、インク導入流路４０の内部上面が、キャビティプレート２６で構成されており、インク導入流路４０の内部下面が、マニホールドプレート３０とノズルプレート３２との間に配設された下面構成プレート１１６で構成されている。そして、インク導入流路４０の側方にインク流路Ｒの入口４６が設けられており、フィルタプレート２４に形成された複数のフィルタ孔４８が入口４６に対応するように配設されている。さらに、フィルタプレート２４に連続して形成された接合プレート１１８がキャビティプレート２６の上面に接合されている。そして、インク吐出ヘッド１１０をヘッドホルダー１１２に装着した状態において、インク流路Ｒの入口４６には、インク供給管１２０が取り付けられる。
【００７９】
［インク吐出ヘッドの製造方法］
第４実施形態に係るインク吐出ヘッド１１０を製造する際には、複合プレート１１４を平面に展開したときの形状とほぼ同じ形状を有する略四角形の孔無しプレート（図示省略）を準備し、この孔無しプレートに対して、フィルタ孔４８およびノズル孔５６を、第１実施形態と同様の方法で形成することによって複合プレート１１４（図１３）を作成する。
【００８０】
第４実施形態では、図１３に示すように、フィルタプレート２４が接合プレート１１８とノズルプレート３２との間に設けられるため、フィルタ孔４８を形成する位置が第１実施形態（図８）とは異なるが、フィルタ孔４８およびノズル孔５６を同じ加工装置を用いて同じ工程で形成できる点に変わりはなく、第１実施形態と同様に製造工程を簡素化することができる。
【００８１】
（第５実施形態）
［インク吐出ヘッドの構成］
図１４は、本発明の第５実施形態に係るインク吐出ヘッド１３０をヘッドホルダー１３２に装着した状態を示す断面図であり、図１５は、インク吐出ヘッド１３０で用いられる複合プレート１３４の構成を示す正面図である。
【００８２】
第５実施形態に係るインク吐出ヘッド１３０は、インク導入流路４０を共通インク室４２（図２）における副走査方向Ｙの両端部に配設している点で、当該インク導入流路４０を一方端部に配設している第１実施形態に係るインク吐出ヘッド１０と相違しており、他の構成は、インク吐出ヘッド１０と同様である。つまり、第５実施形態に係るインク吐出ヘッド１３０では、図１４に示すように、インク導入流路４０が共通インク室４２における副走査方向Ｙの両端部に１つずつ配設されており、２つのインク導入流路４０のそれぞれの上部にインク流路Ｒの入口４６が形成されており、フィルタプレート２４に形成された複数のフィルタ孔４８が２つの入口４６のそれぞれに対応するように配設されている。そして、インク吐出ヘッド１３０をヘッドホルダー１３２に装着した状態において、２つの入口４６のそれぞれには、インク供給管９６が取り付けられる。
【００８３】
［インク吐出ヘッドの製造方法］
第５実施形態に係るインク吐出ヘッド１３０を製造する際には、複合プレート１３４を平面に展開したときの形状とほぼ同じ形状を有する略四角形の孔無しプレート（図示省略）を準備する。そして、この孔無しプレートに対して、ノズル孔５６と、２つの入口４６のそれぞれに対応するフィルタ孔４８とを、第１実施形態と同様の方法で形成することによって複合プレート１３４（図１５）を作成する。
【００８４】
第５実施形態では、図１５に示すように、ノズルプレート３２の両側にフィルタプレート２４が設けられるため、フィルタ孔４８の数が第１実施形態の２倍になるが、これらのフィルタ孔４８とノズル孔５６とを同じ加工装置を用いて同じ工程で形成することができるので、製造工程が煩雑になることはない。
【００８５】
（第６実施形態）
［インク吐出ヘッドの構成］
図１６は、本発明の第６実施形態に係るインク吐出ヘッド１４０をヘッドホルダー１４２に装着した状態を示す断面図であり、図１７は、インク吐出ヘッド１４０で用いられる複合プレート１４４の構成を示す正面図である。
【００８６】
第６実施形態に係るインク吐出ヘッド１４０は、ノズルプレート３２の下面にノズル保護プレート１４６を接合した点で、ノズル保護プレート１４６を有していない第１実施形態に係るインク吐出ヘッド１０と相違しており、他の構成は、インク吐出ヘッド１０と同様である。つまり、第６実施形態に係るインク吐出ヘッド１４０では、図１６および図１７に示すように、「構成要素」としてのノズル保護部１４６ａを有するノズル保護プレート１４６が、連結部３４を介してフィルタプレート２４と一体的に形成されており、このノズル保護プレート１４６がノズルプレート３２（図１６）の下面に接合されている。ノズル保護部１４６ａは、ノズル孔５６の周囲において、ノズル孔５６の吐出口よりも下方へ突出する部分であり、ノズル保護プレート１４６に形成された平面視略円形の保護部形成孔１４６ｂの周辺部がノズル保護部１４６ａとなっている。
【００８７】
インク吐出ヘッド１４０（図１６）の使用時において、用紙１６（図１）を搬送する搬送径路でジャムが発生すると、搬送ローラ間で湾曲した用紙１６がインク吐出ヘッド１４０の下面に接触するが、インク吐出ヘッド１４０の下面はノズル保護プレート１４６で構成されているため、当該用紙１６は、ノズル孔５６の周囲においてノズル保護部１４６ａに接触する。したがって、当該用紙１６によってノズル孔５６が傷付けられることはなく、ノズル孔５６の損傷による吐出性能の低下を防止することができる。
【００８８】
［インク吐出ヘッドの製造方法］
第６実施形態に係るインク吐出ヘッド１４０を製造する際には、複合プレート１４４を平面に展開したときの形状とほぼ同じ形状を有する略四角形の孔無しプレート（図示省略）を準備し、この孔無しプレートに対して、フィルタ孔４８および保護部形成孔１４６ｂを、「レーザ加工法」、「エッチング法」、「電気鋳造法」または「プレス加工法」等で形成することによってノズル保護部１４６ａを有する複合プレート１４４（図１７）を作成する。そして、ノズル保護プレート１４６のノズル保護部１４６ａが形成された領域（以下、「保護部領域」）Ｃをヘッド基材１４８（図１６）におけるノズルプレート３２の下面に接合し、その後、複合プレート１４４を２本の「折曲線（図１７中の一点鎖線Ｌ１，Ｌ２）」に沿って２段階に折り曲げることによって、フィルタ孔４８をインク流路Ｒの入口４６に位置決めしながら、フィルタプレート２４をヘッド基材１４８におけるキャビティプレート２６の上面に接合する。
【００８９】
第６実施形態では、複合プレート１４４における「折曲線」によって仕切られた異なる領域に作り込まれた「構成要素」が「フィルタ孔４８」および「ノズル保護部１４６ａ」であり、当該「構成要素」が「フィルタ孔４８」および「ノズル孔５６」である第１〜５実施形態とは相違するが、２つの「構成要素」を同じ加工装置を用いて同じ工程で形成できる点に変わりはなく、第１〜５実施形態と同様に製造工程を簡素化することができる。
【００９０】
なお、ノズル保護部１４６ａを構成する保護部形成孔１４６ｂの平面視形状は、特に限定されるものではなく、略円形の他、略楕円形または略四角形等であってもよい。また、全てのノズル孔５６を収容する１つの保護部形成孔１４６ｂを設け、この保護部形成孔１４６ｂの周辺部をノズル保護部１４６ａとして用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの使用状態を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの構成を示す示す平面図である。
【図３】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの構成を示す示す断面図である。
【図４】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの要部を示す部分拡大断面図である。
【図５】（Ａ）は、第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの構成を示す部分拡大平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）におけるＶＢ−ＶＢ線断面図である。
【図６】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる複合プレートおよびヘッド基材の構成を示す断面図である。
【図７】ヘッド基材に対して複合プレートを接合する工程を示す工程図である。
【図８】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる孔無しプレートの構成を示す正面図である。
【図９】第１実施形態に係るインク吐出ヘッドをヘッドホルダーに装着した状態を示す断面図である。
【図１０】第２実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる複合プレートの構成を示す正面図である。
【図１１】第３実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる複合プレートの構成を示す正面図である。
【図１２】第４実施形態に係るインク吐出ヘッドをヘッドホルダーに装着した状態を示す断面図である。
【図１３】第４実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる複合プレートの構成を示す正面図である。
【図１４】第５実施形態に係るインク吐出ヘッドをヘッドホルダーに装着した状態を示す断面図である。
【図１５】第５実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる複合プレートの構成を示す正面図である。
【図１６】第６実施形態に係るインク吐出ヘッドをヘッドホルダーに装着した状態を示す断面図である。
【図１７】第６実施形態に係るインク吐出ヘッドの製造に用いられる複合プレートの構成を示す正面図である。
【符号の説明】
【００９２】
Ａ…  フィルタ領域
Ｂ…  ノズル領域
Ｒ…  インク流路
１０…  インク吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）
２０…  流路ユニット
２２…  アクチュエータユニット
２４…  フィルタプレート
３２…  ノズルプレート
３４…  連結部
３６…  積層体
３８…  複合プレート
４０…  インク導入流路
４６…  インク流路の入口
４８…  フィルタ孔
５２…  圧力室
５４…  吐出流路
５６…  ノズル孔
８０…  ヘッド基材
８２…  孔無しプレート
１００…  複合プレート
１０２ａ，１０２ｂ…  溝
１０４…  複合プレート
１１０…  インク吐出ヘッド
１１４…  複合プレート
１３０…  インク吐出ヘッド
１３４…  複合プレート
１４０…  インク吐出ヘッド
１４４…  複合プレート
１４６…  ノズル保護プレート
１４６ａ…  ノズル保護部
１４６ｂ…  保護部形成孔
１４８…  ヘッド基材
【図１】
2010105251.tif 000003
【図２】
2010105251.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2010105251.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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