(57)【要約】      （修正有）【課題】安価で安全であり、かつ全体としてコンパクトに構成できるベローズ機構を提供する。【解決手段】柔軟連結部２１の連結室内に自由端部を遊嵌することによって、自由端部は連結室内側において自在に変位し、したがって、上端装置設備用板２０に加えられる装置振動は上端装置設備用板２０から直接に揺動制御シャフト６０に伝動されることはない。したがって上端装置設備用板２０上の装置振動は上端装置設備用板２０と、揺動制御シャフト６０との相互変位に変換される。柔軟連結部２１における連結室に取り付けられる制止部材は、揺動制御シャフト６０の軸方向Ｙの一定以上の動きを規制し、揺動制御シャフト６０の有する自由端部を連結室の内側に保持し、揺動制御シャフト６０が柔軟連結部２１から外れるのを防ぐ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端装置設備用板と、複数の積層板と、下端装置設備用板と、を順にベローズで繋ぎ、上端装置設備用板は柔軟連結部を備え、該柔軟連結部に複数の積層板を連通する揺動制御シャフトを連結することを特徴とするベローズ機構。
【請求項２】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部は、揺動制御シャフトの有する自由端部を遊嵌することを特徴とする請求項１に記載のベローズ機構。
【請求項３】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部は、揺動制御シャフトの軸方向の動きのみを制止する連結室を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のベローズ機構。
【請求項４】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部の有する連結室は、揺動制御シャフトの有する自由端部を該連結室の内側に保持する制止部材を備えることを特徴とする請求項３に記載のベローズ機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はベローズ機構に関し、例えば基板等を搬送する基板搬送装置等に用いるベローズ機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には内径と外形の中心を相対的に偏心させることによって、周方向の各伸縮変位を変化させることによって、回転方向のねじれ成分を取り出すことができるので、１山では微少なねじれ量であるが、これを山数分乗することによって、実用的に必要なねじれ変位量を確保することができる溶接ベローズが開示された。
【０００３】
また特許文献２には、第一ベローズ、第二ベローズの中空部内を大気圧に連通し、第一ベローズ、第二ベローズに複数枚の変形防止板を上下方向に等間隔に介設し、各変形防止板を複数本の補助ガイドレールによって案内する基板搬送装置が開示された。
【０００４】
図４に示すように上の特許文献１若しくは特許文献２に示された従来のベローズ機構１００は、上端装置設備用板２００と、上端積層板３００ａと、複数の積層板３００ｂと、下端装置設備用板４００と、を順にベローズ５００ａ及びベローズ５００ｂで繋いで構成されていた。
【０００５】
さらに詳細には、この従来のベローズ機構１００は、上端装置設備用板２００と、上端積層板３００ａと、伝動防止シャフト６００ａと、伝動防止ベローズ５００ａと、で構成する伝動防止層７００ａと、上端積層板３００ａと、複数の積層板３００ｂと、揺動防止シャフト６００ｂと、複数の運搬用ベローズ５００ｂと、で構成する運搬用伸縮層７００ｂと、を有していた。
【０００６】
運搬用伸縮層７００ｂでは、揺動防止シャフト６００ｂが、上端積層板３００ａと、複数の積層板３００ｂと、を連通することによって、運搬用伸縮層７００ｂにてベローズ伸縮の際における過度な揺動を制御していた。
また、伝動防止層７００ａでは、伝動防止シャフト６００ａが、その一端６１０を上端装置設備用板２００と連結し、他端６２０を上端積層板３００ａと連結することによって、装置の振動を伝動防止層７００ａのみで吸収し、運搬用伸縮層７００ｂに上端装置設備用板２００に設置された装置（図示せず）の振動が伝搬することを防止していた。
【０００７】
図５（ａ）に示すように、伝動防止層７００ａにおける上端装置設備用板２００と、伝動防止シャフト６００ａの一端６１０と、を連結する際は、上端装置設備用板２００に備えた雌螺号部２１０と、伝動防止シャフト６００ａの一端６１０に備えた雄螺号部６３０と、を螺合連結し、調整具８００にて伝動防止ベローズ５００ａの伸縮可動範囲を調整制御していた。
【０００８】
また図５（ｂ）に示すように、運搬用伸縮層７００ｂでは、揺動防止シャフト６００ｂの上端６３０を、上端積層板３００ａと連結するために上端積層板３００ａに備えた螺号部３１０と、揺動防止シャフト６００ｂの上端６３０に備えた螺号部６４０とを螺合連結して、上端積層板３００ａに対し複数の積層板３００ｂを連結していた。
【０００９】
以上のように構成される従来のベローズ機構１００では、装置振動の伝動を抑制することのみを目的とする伝動防止ベローズ５００ａを配置する必要があることから製造にも手間が掛かり、コスト高になるという問題があった。
また伝動防止ベローズ５００ａを配置するための固有のスペースが必要となり、その点でスペース効率が不十分であるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−０９７７０９号公報
【特許文献２】特開２００３−０１７５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、安価で安全であり、かつ全体としてコンパクトに構成できるベローズ機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るベローズ機構は、上端装置設備用板と、複数の積層板と、下端装置設備用板と、を順にベローズで繋ぎ、上端装置設備用板は柔軟連結部を備え、該柔軟連結部に複数の積層板を連通する揺動制御シャフトを連結することを特徴とする。
【００１３】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部に複数の積層板を連通する揺動制御シャフトを連結することによって、上端装置設備用板に伝達される装置振動を、柔軟連結部で吸収して、複数層構成のベローズ部には伝達されないようにしたので、コスト高の原因となる伝動防止層を設けずに複数層構成のベローズ機構を構成することができる。
【００１４】
揺動制御シャフトに対する装置振動の伝動を抑制すること目的とし、上端装置設備用板に備える柔軟連結部には、揺動制御シャフトの有する自由端部を遊嵌するようにすることができる。
【００１５】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部が、揺動制御シャフトの有する自由端部を遊嵌することによって、装置振動が上端装置設備用板から直接的に揺動制御シャフトに伝動されることを防止することができる。
すなわち柔軟連結部が、揺動制御シャフトの有する自由端部を遊嵌することによって、装置振動の伝動は、上端装置設備用板と、揺動制御シャフトと、の相互揺動若しくは相互変位に変換することができる。
【００１６】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部は、揺動制御シャフトの軸方向の動きのみを制止することを目的とする連結室を有するようにすることができる。
【００１７】
連結室にて、揺動制御シャフトの軸方向の動きのみを制止することによって、装置振動の伝動に起因する上端装置設備用板と揺動制御シャフトとの相互揺動の方向を揺動制御シャフトの軸方向に対する垂直方向のみに規制することができる。
揺動制御シャフトの軸方向は、基板等を搬送する際に伸縮するベローズの運搬用ベローズ伸縮方向と同じ方向であることから、これと直交する水平方向の振動は上端装置設備用板と揺動制御シャフトとの連結室における相互変位に変換して吸収することができる。
【００１８】
上端装置設備用板に備える柔軟連結部の有する連結室は、揺動制御シャフトの有する自由端部を該連結室の内側に保持する制止部材を備えるのもよい。
制止部材にて、自由端部を連結室内側に保持することによって、揺動制御シャフトが柔軟連結部から外れるのを防ぐと同時に、装置振動の伝動に起因する上端装置設備用板と揺動制御シャフトとの相互揺動の方向を揺動制御シャフトの軸方向に対する垂直方向のみに規制することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るベローズ機構は、上端装置設備用板と、複数の積層板と、下端装置設備用板と、を順にベローズで繋ぎ、上端装置設備用板は柔軟連結部を備え、該柔軟連結部に複数の積層板を連通する揺動制御シャフトを連結することによって、ベローズを配置した伝動防止層を特に設ける必要はなく、安価で安全であり、かつ全体としてコンパクトに構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ベローズ機構の端面断面図。
【図２】ベローズ機構の部分拡大端面断面図。
【図３】ベローズ機構の部分拡大端面断面図。
【図４】従来のベローズ機構の端面断面図。
【図５】（ａ）従来のベローズ機構の部分拡大端面断面図。（ｂ）従来のベローズ機構の他の部分拡大端面断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明のベローズ機構を実施するための形態を、以下図面を参照して説明する。
図１の端面断面図を示すように、ベローズ機構１０は、上端装置設備用板２０と、複数の積層板３０と、下端装置設備用板４０と、を順にベローズ５０（ａ、ｂ、ｃ）で繋ぎ、上端装置設備用板２０は柔軟連結部２１を備え、該柔軟連結部２１に複数の積層板３０を連通する揺動制御シャフト６０を連結する。
【００２２】
複数層構成のベローズ機構１０は装置振動の伝動を、上端装置設備用板２０に繋いだベローズ５０ａのみでは無く、ベローズ５０ｂ、ｃにも伝動する。よって、複数層における特定のベローズのみに過大負荷が掛かることなく、特定のベローズに著しい損傷が偏って生じることの無い、耐久性の高いベローズ機構１０を構成することができる。
【００２３】
図２に柔軟連結部２１と、揺動制御シャフト６０と、を連結する部分の拡大端面断面図を示す。図に示すように、上端装置設備用板２０に備える柔軟連結部２１は、連結室２２を有し、該連結室２２は制止部材２３を備える。揺動制御シャフト６０の有する自由端部６１は連結室２２内に遊嵌する。
【００２４】
柔軟連結部２１の連結室２２内に自由端部６１を遊嵌することによって、自由端部６１は連結室２２内側において自在に変位し、したがって、上端装置設備用板２０に加えられる装置振動は上端装置設備用板２０から直接に揺動制御シャフト６０に伝動されることはない。したがって上端装置設備用板２０上の装置振動は上端装置設備用板２０と、揺動制御シャフト６０との相互変位に変換される。
柔軟連結部２１における連結室２２に取り付けられる制止部材２３は、揺動制御シャフト６０の軸方向Ｙの一定以上の動きを規制し、揺動制御シャフト６０の有する自由端部６１を連結室２２の内側に保持し、揺動制御シャフト６０が柔軟連結部２１から外れるのを防ぐ。
以上のように、連結室２２を有することによって、基板等を搬送する際に伸縮するベローズ５０ａ、ｂ、ｃに上端装置設備用板２０に加えられる装置振動を伝達させることなく、安全な基板等の運送を安定したサイクルで担えるベローズ機構１０とすることができる。
【００２５】
図３示すように、フローティングジョイント７０にて上端装置設備用板２０と、揺動制御シャフト６０と、を連結するのもよい。
フローティングジョイント７０は、上端装置設備用板２０に備える、制止部材２３を備えた連結室２２を有する柔軟連結部２１であり、揺動制御シャフト６０の有する自由端部６１と上端装置設備用板２０を相互変位自在に連結する。
【符号の説明】
【００２６】
１０      ベローズ機構
２０      上端装置設備用板
２１      柔軟連結部
２２      連結室
２３      制止部材
３０      積層板
４０      下端装置設備用板
５０（ａ、ｂ、ｃ）      ベローズ
６０      揺動制御シャフト
６１      自由端部
７０      フローティングジョイント
Ｙ      軸方向
Ｘ      軸方向に対する垂直方向
【図１】
2010255765.tif 000003
【図２】
2010255765.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010255765.tif 000006
【図５】
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