(57)【要約】【課題】万が一に天井搬送車同士が衝突するような事故が生じた場合でも、物品収納部および物品が落下するのを防止する。【解決手段】天井搬送車５は、天井９から吊り下げられたレール３に沿って走行してＦＯＵＰ４を搬送するものである。天井搬送車５は、走行部２１と、昇降駆動部２５と、連結部材６２と、ワイヤ６３とを備えている。走行部２１は、レール３に支持され、レール３に沿って走行する。昇降駆動部２５は、走行部２１から吊り下げられ、ＦＯＵＰ４を収納する。連結部材６２は、走行部２１と昇降駆動部２５とを位置を保持して連結する。ワイヤ６３は、走行部２１と昇降駆動部２５とを接続する。ワイヤ６３は、昇降駆動部２５およびＦＯＵＰ４の荷重を支えることが可能である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井から吊り下げられた軌道に沿って走行して物品を搬送する天井搬送車であって、
前記軌道に支持され、前記軌道に沿って走行する走行部と、
前記走行部から吊り下げられ、前記物品を収納するための物品収納部と、
前記走行部と前記物品収納部とを位置を保持して連結する連結部材と、
前記走行部と前記物品収納部とを接続する、前記物品収納部および前記物品の荷重を支えることが可能なワイヤと、
を備えた天井搬送車。
【請求項２】
前記連結部材と前記ワイヤは一つのユニットを構成している、請求項１に記載の天井搬送車。
【請求項３】
前記連結部材は中空形状であり、
前記ワイヤは前記連結部材の内部に配置されている、請求項１または２に記載の天井搬送車。
【請求項４】
前記ワイヤの両端は前記連結部材に固定されている、請求項２または３に記載の天井搬送車。
【請求項５】
前記連結部材は、両端に他の部分より強度が高い高強度部分を有しており、
前記ワイヤの両端は前記高強度部分に固定されている、請求項４に記載の天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井搬送車、特に、天井から吊り下げられた軌道に沿って走行して物品を搬送する天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工場等、塵埃の発生が問題となるクリーンルームでは、物品を搬送するために、天井に設けられた走行レールに沿って天井搬送車を走行させるようにした天井搬送車システムが採用されている。
【０００３】
天井搬送車は、走行レールに沿って走行を行う走行部と、物品を収納する物品収納部と、物品を昇降可能なホイストとから構成されている。ホイストは、物品をつかむためのチャックと、チャックを上下動可能なベルトと、ベルトを繰り出したり巻き上げたりできるベルト駆動機構とを有している。
【０００４】
天井搬送車がクリーンルームで搬送する物品としては、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）がある。ＦＯＵＰは、密閉型のウェハ格納用ポッドである。ＦＯＵＰによってウェハのクリーン度を高めて、ウェハサイズの大型化に伴う微細化に対応可能になっている。
【０００５】
天井搬送車は、走行部が走行レール内に配置されており、物品収納部が走行レールの下方に配置されている。物品収納部と走行部は連結部によって互いに連結されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２０６３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
連結部は、例えば、複数の金属製部材である。一方、天井搬送車がカーブを走行する際には連結部と走行レールの隙間が小さくなるので、連結部は十分に小型化されることが望ましい。また、連結部は、低コスト化及び軽量化のためにアルミ鋳物を用いている。
【０００８】
ところで、万が一に天井搬送車同士が衝突するような事故が生じた場合に、連結部が破損することが考えられる。そのような場合は、物品収納部および物品が落下するおそれがある。そのため、何らかの対策を講じる必要があった。
【０００９】
本発明の課題は、万が一に天井搬送車同士が衝突するような事故が生じた場合でも、物品収納部および物品が落下するのを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る天井搬送車は、天井から吊り下げられた軌道に沿って走行して物品を搬送するものである。天井搬送車は、走行部と、物品収納部と、連結部材と、ワイヤとを備えている。走行部は、軌道に支持され、軌道に沿って走行する。物品収納部は、走行部から吊り下げられ、物品を収納する。連結部材は、走行部と物品収納部とを位置を保持して連結する。ワイヤは、走行部と物品収納部とを接続する。ワイヤは、物品収納部および物品の荷重を支えることが可能である。
この搬送車では、天井搬送車同士が衝突して連結部材が破損したとしても、ワイヤが物品収納部および物品の荷重を支える。この結果、物品収納部および物品が落下するのを防止できる。
なお、「位置を保持する」とは位置関係を保つことをいい、連結部材は回動やスライドする部材を含んでいても良い。
【００１１】
連結部材とワイヤは一つのユニットを構成していても良い。この場合、連結部材とワイヤの運搬や取付・取り外しが容易になる。
【００１２】
連結部材は中空形状であり、ワイヤは連結部材の内部に配置されていても良い。この場合、ワイヤの占有スペースが不要になるので、天井搬送車の大型化を抑えることができる。
【００１３】
ワイヤの両端は連結部材に固定されていても良い。この場合、ワイヤの両端を走行部や物品収納部に固定する必要がないので、連結部材およびワイヤの取り付けおよび取り外し操作が容易になる。
【００１４】
連結部材は、両端に他の部分より強度が高い高強度部分を有しており、ワイヤの両端は高強度部分に固定されていても良い。この場合、高強度部分は破損しにくいのでワイヤは確実に両端が固定されている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、万が一に天井搬送車同士が衝突するような事故が生じた場合でも、物品収納部および物品が落下するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】クリーンルーム内の天井搬送車システムの概略模式図。
【図２】天井搬送車システム及び天井搬送車の部分側面図。
【図３】レール内の縦断面概略図。
【図４】天井搬送車システム及び天井搬送車の部分側面図。
【図５】連結部の縦断面図。
【図６】連結部の縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（１）天井搬送車システム
本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は、給電線を用いた非接触給電供給方式による天井搬送車システム１の模式図である。天井搬送車システム１は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）を搬送する。天井搬送車システム１は、主に、レール３と、レール３に沿って走行する天井搬送車５とを有している。
【００１８】
半導体工場内の構成について説明する。半導体工場は、複数のベイ（工程）を有しており、遠隔のベイ同士を接続するためにインターベイルート５１が設けられており、さらに各ベイはイントラベイルート５３を有している。インターベイルート５１およびイントラベイルート５３はレール３により構成されている。
【００１９】
イントラベイルート５３に沿って、半導体処理装置などの複数の処理装置５５が配置されている。さらに、処理装置５５の近傍には、ロードポート５７が設けられている。ロードポート５７は、イントラベイルート５３の直下に設けられている。以上の構成において、天井搬送車５はレール３を走行してロードポート５７間で後述するＦＯＵＰ４を搬送する。
【００２０】
（２）レール
レール３は、図２に示すように、複数の支柱７によって天井９から吊り下げられている。レール３は、主に、走行レール１１と、走行レール１１の下部に設けられた給電レール１３とを有している。
【００２１】
（２−ａ）走行レール
走行レール１１は、例えばアルミ製であり、図３に示すように、断面視逆Ｕ字状に構成されており、上面部１１ａと、両側面部１１ｂとを有している。両側面部１１ｂの下には、内側に延びる一対の第１走行面１１ｃが形成されている。さらに、両側面部１１ｂの内側面の上部には第２走行面１１ｄが形成され、上面部１１ａの下側面に第３走行面１１ｅが形成されている。
【００２２】
（２−ｂ）給電レール
給電レール１３は、走行レール１１の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ１５から主に構成されている。給電線ホルダ１５には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆しリッツ線からなる一対の給電線１７が配置されている。給電線１７の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線１７に高周波電流が供給されるようになっている。
【００２３】
（３）天井搬送車
天井搬送車５は、主に、走行部２１と、受電部２３と、昇降駆動部２５とを有している。走行部２１は、走行レール１１内に配置され、レール３上を走行するための機構である。受電部２３は、給電レール１３内に配置され、一対の給電線１７から電力を供給されるための機構である。昇降駆動部２５は、給電レール１３の下方に配置され、ＦＯＵＰ４を保持すると共に上下に昇降させるための機構である。
【００２４】
（３−ａ）走行部
走行部２１は、主に、走行レール１１内に配置されており、一対の第１ガイド輪１８と、一対の第２ガイド輪１９と、走行駆動輪２０と、モータ（図示せず）とを有している。一対の第１ガイド輪１８は、走行部２１の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第１ガイド輪１８は、走行レール１１の第１走行面１１ｃ上に載置されている。
【００２５】
第２ガイド輪１９は、走行部２１の上部両側に配置され、垂直方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第２ガイド輪１９は、走行レール１１の第２走行面１１ｄをガイド面として、横方向（進行方向の左右方向）の位置ズレを防止している。
【００２６】
走行駆動輪２０は、走行部２１の略中央に配置され、走行レール１１の第３走行面１１ｅに、スプリングなどの押圧手段により押圧されている。走行駆動輪２０は、モータ（図示せず）によって駆動される。その結果、天井搬送車５はレール３上を走行する。
【００２７】
（３−ｂ）受電部
受電部２３は、一対の給電線１７から電力を得るための一対のピックアップユニット２７を有している。具体的には、一対のピックアップユニット２７は、給電レール１３内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット２７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア２９と、コア２９に巻かれたピックアップコイル３１とを有している。具体的には、コア２９は、両側の突出部２９ａと、その間の中央の突出部２９ｂとを有しており、ピックアップコイル３１は中央の突出部２９ｂに巻かれている。
【００２８】
給電線ホルダ１５に保持された一対の給電線１７が、両側の突出部２９ａと中央の突出部２９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線１７に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル３１に作用して、ピックアップコイル３１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線１７からピックアップユニット２７に非接触で電力を供給し、走行用のモータ（図示せず）を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このように給電レール１３の一対の給電線１７と天井搬送車５の受電部２３とによって、非接触給電部３３が構成されている。
【００２９】
（３−ｃ）昇降駆動部
昇降駆動部（ホイスト）２５は、図２に示すように、主に、本体フレーム３５と、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、昇降台４３とを備えている。
【００３０】
本体フレーム３５は、受電部２３の下部に固定された部材である。本体フレーム３５の前後には、前側フレーム４５および後側フレーム４７が設けられている。前側フレーム４５および後側フレーム４７は、本体フレーム３５から下方に延びる部材であり、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、昇降台４３を前後に挟んでいる。前側フレーム４５および後側フレーム４７は、内部に空間を有する筐体を有している。
【００３１】
横送り部３７は、θドライブ３９、ホイスト本体４１および昇降台４３を例えば側方に横送りし、レール３の側方に設けたサイドバッファ（図示せず）との間で、ＦＯＵＰ４を受け渡しできる。θドライブ３９は、ホイスト本体４１を水平面内で回動させて、ＦＯＵＰ４の受け渡しを容易にする。ホイスト本体４１内には、昇降台４３を昇降させるための昇降手段（図示せず）が設けられている。昇降手段は、例えば、４組の巻き取りドラムであり、巻き取りドラムにはベルト５９が巻きかけられている。ベルト５９の端部には昇降台４３が取り付けられている。図４に、ベルト５９が巻き取りドラムから繰り出されて、昇降台４３がＦＯＵＰ４と共に下降している状態を示している。
【００３２】
ＦＯＵＰ４は、内部に複数の半導体ウェハを収容している。ＦＯＵＰ４の上部にはフランジ４９が設けられており、フランジ４９は昇降台４３でチャックされている。
【００３３】
（３−ｄ）連結部
連結部６１は、昇降駆動部２５を走行部２１に連結するための構造である。連結部６１は、例えば、搬送方向前後の二カ所に設けられている。
【００３４】
図５および図６は、連結部６１の縦断面図である。連結部６１は、主に、連結部材６２と、ワイヤ６３とから構成されている。
【００３５】
連結部材６２は、昇降駆動部２５を走行部２１に連結するための部材である。連結部材６２は、第１部材６４と、第２部材６５と、第３部材６６と、第４部材６７とを有している。これら部材はアルミ鋳物製であり、互いに固定されている。
【００３６】
第１部材６４は、上下方向に延びており、連結部材６２の主要部分を構成している。第１部材６４は、上下方向に延びる中空部６４ａを有している。中空部６４ａは第１部材６４の大半にわたって形成されている。中空部６４ａの上側には、上下方向に延びる隙間６４ｂが形成されている。
【００３７】
第２部材６５は、第１部材６４の上部に第１ボルト６８（図６）によって固定されている。これにより、第２部材６５の段部と第１部材６４の段部との間に第４部材６７の内周部が挟まされている。第４部材６７の外周部は、支持プレート７０に着座している。
なお、第２部材６５には、隙間６４ｂに対応する隙間６５ａが形成されている。
【００３８】
第３部材６６は、第２部材６５の上部に第２ボルト６９（図５）によって固定されている。第３部材６６は、走行部２１の他の部材に固定されている。
【００３９】
第１部材６４の下端には、フランジ６４ｃが形成されている。フランジ６４ｃは、第３ボルト７２によって、昇降駆動部２５の上面に固定されている。さらに、フランジ６４ｃには、本体部分から複数のリブ６４ｄが延びている。
【００４０】
ワイヤ６３は、昇降駆動部２５を走行部２１に接続している。ワイヤ６３は、昇降駆動部２５やＦＯＵＰ４の荷重を支えることが可能である。
【００４１】
ワイヤ６３は、連結部材６２内部に配置されている。具体的には、ワイヤ６３は、第１部材６４の中空部６４ａ内を上下に延びており、さらに、第１部材６４の隙間６４ｂおよび第２部材６５の隙間６５ａ内を延びている。ワイヤ６３は、本体６３ａと、上側リング６３ｂと、下側リング６３ｃとを有している。
上側リング６３ｂは、第１ピン７５によって支持されている。第１ピン７５は、水平方向に延びて、両端が第２部材６５の切欠きに係合している。また、第１ピン７５の上部には、第３部材６６が当接または近接して配置されている。
下側リング６３ｃは第２ピン７６に支持されている。第２ピン７６は、第１部材６４の底面に形成された凹部６４ｅ内に配置されている。また、凹部６４ｅは蓋７９によって覆われている。
以上より、ワイヤ６３は、連結部材６２の両端に第１ピン７５と第２ピン７６を介して固定されている。
この実施形態での高強度部分とは、連結部材６２の下方では第１部材６４のフランジ６４ｄやリブ６４ｅが形成された部分であり、連結部材６２の上方では第１部材６４に第２部材６５や第３部材６６が固定された部分である。これら部分は、第１部材６４の中間部に比べて剛性が高くなっている。
【００４２】
（４）特徴
天井搬送車５は、天井９から吊り下げられたレール３に沿って走行してＦＯＵＰ４を搬送するものである。天井搬送車５は、走行部２１と、昇降駆動部２５と、連結部材６２と、ワイヤ６３とを備えている。走行部２１は、レール３に支持され、レール３に沿って走行する。昇降駆動部２５は、走行部２１から吊り下げられ、ＦＯＵＰ４を収納する。連結部材６２は、走行部２１と昇降駆動部２５とを位置を保持して連結する。ワイヤ６３は、走行部２１と昇降駆動部２５とを接続する。ワイヤ６３は、昇降駆動部２５およびＦＯＵＰ４の荷重を支えることが可能である。
この搬送車では、天井搬送車５同士が衝突して連結部材６２が破損したとしても、ワイヤ６３が昇降駆動部２５およびＦＯＵＰ４の荷重を支える。この結果、昇降駆動部２５およびＦＯＵＰ４が落下するのを防止できる。
なお、「位置を保持する」とは位置関係を保つことをいい、連結部材は回動やスライドする部材を含んでいても良い。
【００４３】
連結部材６２とワイヤ６３は一つのユニットを構成している。そのため、連結部材６２とワイヤ６３の運搬や取付・取り外しが容易になる。
【００４４】
連結部材６２は中空形状であり、ワイヤ６３は連結部材６２の内部に配置されている。この場合、ワイヤ６３の占有スペースが不要になるので、天井搬送車５の大型化を抑えることができる。
【００４５】
ワイヤ６３の両端は連結部材６２に固定されている。そのため、ワイヤ６３の両端を走行部２１や昇降駆動部２５に固定する必要がないので、連結部材６２およびワイヤ６３の取り付けおよび取り外し操作が容易になる。
【００４６】
連結部材６２は、両端に他の部分より強度が高い高強度部分を有しており、ワイヤ６３の両端は高強度部分に固定されていても良い。この場合、高強度部分は破損しにくいのでワイヤ６３は確実に両端が固定されている。
この実施形態での高強度部分とは、連結部材６２の下方では第１部材６４のフランジ６４ｄやリブ６４ｅが形成された部分であり、連結部材６２の上方では第１部材６４に第２部材６５や第３部材６６が固定された部分である。これら部分は、第１部材６４の中間部に比べて剛性が高くなっている。
【００４７】
（５）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４８】
ワイヤの端部は、走行部や昇降駆動部に固定されていても良い。
ワイヤは連結部材の外側に配置されていても良い。
ワイヤは一つの連結部材に対して複数配置されていても良い。
ワイヤはピン以外の部材によって他の部材に係止されていても良い。
【００４９】
前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。
前記実施形態では、搬送物品はＦＯＵＰであったが、他の部材であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、軌道上を走行する天井搬送車システムに広く適用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１      天井搬送車システム
３      レール
４      ＦＯＵＰ
５      天井搬送車
７      支柱
９      天井
１１    走行レール（軌道）
１１ａ  上面部
１１ｂ  両側面部
１１ｃ  第１走行面
１１ｄ  第２走行面
１１ｅ  第３走行面
１３    給電レール
１５    給電線ホルダ
１７    給電線
１８    第１ガイド輪
１９    第２ガイド輪
２０    走行駆動輪
２１    走行部
２３    受電部
２５    昇降駆動部（物品収納部）
２７    ピックアップユニット
２９    コア
２９ａ  突出部
２９ｂ  突出部
３１    ピックアップコイル
３３    非接触給電部
３５    本体フレーム
３７    横送り部
３９    θドライブ
４１    ホイスト本体
４３    昇降台
４５    前側フレーム
４７    後側フレーム
４９    フランジ
５１    インターベイルート
５３    イントラベイルート
５５    処理装置
５７    ロードポート
５９    ベルト
６１    連結部
６２    連結部材
６３    ワイヤ
６３ａ  本体
６３ｂ  上側リング
６３ｃ  下側リング
６４    第１部材
６４ａ  中空部
６４ｂ  隙間
６４ｃ  フランジ
６４ｄ  リブ
６４ｅ  凹部
６５    第２部材
６５ａ  隙間
６６    第３部材
６７    第４部材
６８    第１ボルト
６９    第２ボルト
７０    支持プレート
７２    第３ボルト
７５    第１ピン
７６    第２ピン
７９    蓋
【図１】
2010165710.tif 000003
【図２】
2010165710.tif 000004
【図３】
2010165710.tif 000005
【図４】
2010165710.tif 000006
【図５】
2010165710.tif 000007
【図６】
2010165710.tif 000008