(57)【要約】【課題】熱アシスト記録方式を用いるＨＤＤ用磁気記録媒体において、磁気記録のために効率よく記録層内の磁性粒子を加熱、除熱し、かつ、記録時に加熱された磁性粒子およびその磁性粒子の周辺磁性粒子の熱的安定性を確保して、磁気記録消失を抑制する。【解決手段】記録層の上部に、異なった熱伝導率を有する複数の材料から構成される熱伝導層を配置し、この際に、記録層のデータ記録領域上部には複数の材料のうち、最も高熱伝導率の材料からなる薄膜を配置する。そして、熱伝導層内において、高熱伝導率の材料からなる薄膜の間には、複数の材料のうち最も高熱伝導率の材料からなる薄膜よりも相対的に低熱伝導率の材料からなる薄膜を配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に下地層を有し、前記下地層上に記録層を有する磁気記録媒体において、
前記記録層上には異なった熱伝導率を有する複数の材料からなる薄膜から形成される熱伝導層が配置され、前記記録層の一部のトラック上に、前記複数の材料のうち、最も熱伝導率が高い材料からなる第一の薄膜が配置され、前記熱伝導層内で、前記第一の薄膜の間に、前記第一の薄膜よりも相対的に熱伝導率が低い材料からなる第二の薄膜が配置されることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記第一の薄膜は、前記記録層の一部のトラック上に、離散的に配置されることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
基板上に下地層を有し、前記下地層上に記録層を有する円板状の磁気記録媒体において、前記記録層の記録トラックは、径方向に離散的、周方向に連続的に磁性材料により形成され、前記記録層の前記記録トラック以外の領域は、非磁性材料により形成され、前記記録層上には異なった熱伝導率を有する複数の材料からなる薄膜から形成される熱伝導層が配置され、前記記録層の前記記録トラック上に、前記複数の材料のうち、最も熱伝導率が高い材料からなる第一の薄膜が配置され、前記熱伝導層内で、前記第一の薄膜の間に、前記第一の薄膜よりも相対的に熱伝導率が低い材料からなる第二の薄膜が配置されることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項４】
前記第一の薄膜は、前記記録層の前記記録トラック上に、離散的に配置されることを特徴とする請求項３記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
基板上に下地層を有し、前記下地層上に記録層を有する円板状の磁気記録媒体において、前記記録層の記録トラックの記録領域は、径方向、周方向ともに離散的に磁性材料により形成され、前記記録層の前記記録領域以外の領域は、非磁性材料により形成され、前記記録層上には異なった熱伝導率を有する複数の材料からなる薄膜から形成される熱伝導層が配置され、前記記録層の前記記録トラック上に、前記複数の材料のうち、最も熱伝導率が高い材料からなる第一の薄膜が配置され、前記熱伝導層内で、前記第一の薄膜の間に、前記第一の薄膜よりも相対的に熱伝導率が低い材料からなる第二の薄膜が配置されることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項６】
前記第一の薄膜は、前記記録領域上に、配置されることを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒体。
【請求項７】
前記第一の薄膜は、前記記録トラックの上に加えて、前記記録トラックの側面にも配置されることを特徴とする請求項３ないし請求項６記載のいずれかの磁気記録媒体。
【請求項８】
前記第一の薄膜は、前記記録トラックの上に加えて、前記記録トラックの側面にも離散的に配置される請求項３および請求項４記載のいずれかの磁気記録媒体。
【請求項９】
前記第一の薄膜は、前記記録トラックの上に加えて、前記記録領域の側面にも配置される請求項５および請求項６記載のいずれかの磁気記録媒体。
【請求項１０】
前記第一の薄膜、および、前記第二の薄膜は、それぞれ１〜１０ｎｍの膜厚であることを特徴とする請求項１ないし請求項９記載のいずれかの磁気記録媒体。
【請求項１１】
前記第一の薄膜は、銅、銀、金、アルミニウム、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、カーボンナノチューブのいずれかを含む材料で形成されており、前記第二の薄膜は、酸化珪素、窒化珪素、酸化銅、酸化アルミニウムのいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９記載のいずれかの磁気記録媒体。
【請求項１２】
前記熱伝導層における前記第一の薄膜と前記第二の薄膜との界面領域、前記熱伝導層と前記記録層の界面領域、前記熱伝導層と保護膜の界面領域のうち、一つ以上の界面に拡散バリア層を有することを特徴とする請求項１ないし請求項９記載の磁気記録媒体。
【請求項１３】
前記拡散バリア層は、１〜１０ｎｍの膜厚であることを特徴とする請求項１２記載の磁気記録媒体。
【請求項１４】
前記拡散バリア層は、窒化チタン、窒化タンタル、タングステン、ルテニウムのいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項１２記載の磁気記録媒体。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかの磁気記録媒体を備える磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体および磁気記録装置に係り、特に、熱アシスト磁気記録によって、情報を記録する用途に好適な磁気記録媒体および磁気記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ（ＨＤＤ、Hard Disk Drive）等の磁気記録装置の大容量、低コスト化には記録媒体における記録密度の向上が不可欠である。ＨＤＤは、記録層となる磁性薄膜上の磁性粒子（一つあるいは複数の結晶粒からなる磁性クラスター）の磁化状態をデータのビット情報として用いる装置であるが、高記録密度化のためには、磁性粒子を縮小する必要がある。しかし、磁性粒子を縮小しすぎると熱的安定性が大きく低下し、記録された磁化の方向が乱れて記録された情報が消失してしまうため、磁性粒子の縮小化には限界があり、また、現状ではその限界に近づいていると考えられている。
【０００３】
磁性粒子の磁気エネルギーは、磁気異方性エネルギーＫｕ, 磁性粒子の体積をＶとすると、Ｋｕ・Ｖと表され、これが熱エネルギーＫＢ・Ｔ（ＫＢ:ボルツマン定数、Ｔ：温度）と比べて十分大きければ磁性粒子の磁化の熱的安定性は保たれるため、記録層に従来よりも磁気異方性エネルギーＫｕの大きい磁性材料を用いることで更なる磁性粒子の縮小化を進めることも考えられる。このとき、磁気異方性エネルギーと磁性粒子の保磁力は比例するため、この場合には記録のために磁気ヘッドにより発生させる記録磁場強度を従来以上に増大させなければならない。しかしながら、記録磁場強度を強めようとしても、記録磁場強度も現在その技術上の限界に近づいていると考えられている。
【０００４】
そこでこの問題を解決するため、近年、熱アシスト磁気記録方式が研究されている。これは、磁性材料の保磁力が高温になると低下する現象を利用し、磁気異方性エネルギーの大きい磁性材料を用いながら、記録時にレーザー光等で磁性粒子を加熱することで、従来程度の記録磁場強度でも磁気記録をおこなうことができ、その後の冷却により、高い保持力で熱的安定性が保たれる記録方式である。しかしながら、熱アシスト磁気記録方式を実用化するためには、まだ課題も多い（非特許文献１参照）。
【０００５】
【非特許文献１】庄野敬二，押木満雅，「熱アシスト磁気記録の現状と課題」，日本応用磁気学会誌，２００５年，Vol. 29, No. 1, p. 5-13
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
熱アシスト磁気記録方式を実用化するためには、特に、効果的な磁性粒子の加熱、冷却法が重要課題である。これが解決されないと、加熱、記録後の磁性粒子が高温のまま保たれて熱的安定性が低下したり、記録のために加熱した磁性粒子の周辺の磁性粒子にも熱が伝わり周辺磁性粒子の熱的安定性が低下したりしてしまい、記録された情報が消失してしまうことになる。
【０００７】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その目的は、熱アシスト記録方式を用いるＨＤＤ用磁気記録媒体において、磁気記録のために効率よく記録層内の磁性粒子を加熱、冷却し、かつ、記録時に加熱された磁性粒子およびその磁性粒子の周辺磁性粒子の熱的安定性を確保して、磁気記録消失を抑制し、もって、高密度、高信頼な磁気記録媒体とそれを用いた磁気記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の熱アシスト記録方式を用いるＨＤＤ用磁気記録媒体は、記録層の上部に異なった熱伝導率を有する複数の材料から構成される熱伝導層を配置し、この際に、記録層のデータ記録領域上部には複数の材料のうち、最も高熱伝導率の材料からなる薄膜を配置するようにした。そして、熱伝導層内において、高熱伝導率の材料からなる薄膜の間には、複数の材料のうち、最も高熱伝導率の材料よりも相対的に低熱伝導率の材料からなる薄膜を配置するようにした。
【０００９】
これにより、レーザー光等による加熱時に効果的にデータ記録領域に熱が伝わり、非加熱時には、効果的にデータ記録領域から熱が取り除かれる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、熱アシスト記録方式を用いるＨＤＤ用磁気記録媒体において、磁気記録のために効率よく記録層内の磁性粒子を加熱、冷却し、かつ、記録時に加熱された磁性粒子およびその磁性粒子の周辺磁性粒子の熱的安定性を確保して、磁気記録消失を抑制し、もって、高密度、高信頼な磁気記録媒体とそれを用いた磁気記録装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る各実施形態を、図１ないし図３３を用いて説明する。
【００１２】
〔実施形態１〕
以下、本発明に係る第一の実施形態を、図１ないし図１６を用いて説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図である。
図２は、磁気記録媒体８の平面図である。
図３は、全面メディアにおける記録層３の様子を示す平面図の一部である。
図４は、本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の熱伝導層の平面図（その一）である。
図５は、図１に示される磁気記録媒体において、高熱伝導率の材料からなる薄膜６と低熱伝導率の材料からなる薄膜７との界面に拡散バリア層３００を設けたときの断面図である。
図６は、図１に示される磁気記録媒体において、基板１と下地層２の間にシード層を設けたときの断面図である。
図７は、図６に示される磁気記録媒体の下地層２において、第一下地層１００と、第二下地層１０１の間に、記録磁化安定化層１０がはさまれる構成としたときの断面図である。
図８は、図１に示される磁気記録媒体において、保護膜５の中に高熱伝導率の材料からなる薄膜６を設けたときの断面図である。
図９は、図１に示される磁気記録媒体において、保護膜５の中に低熱伝導率の材料からなる薄膜７を設けたときの断面図である。
図１０は、図１に示される磁気記録媒体において、熱伝導層４が保護膜５の機能を兼ねるようにし、保護膜５を省略したときの断面図である。
図１１は、本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の熱伝導層の平面図（その二）である。
図１２ないし図１５は、本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の製造工程を説明するための断面図である。
図１６は、本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体を備えた磁気記録装置の斜視図である。
【００１３】
本実施形態の基本的な磁気記録媒体は円板状をなしており、その径方向の断面は、図１に示されるようになる。これは、図２の平面図におけるＡ−Ａ′での断面の一部である。図１に示される磁気記録媒体は、基板１上に下地層２、その下地層２上に記録層３を有している。そして、その記録層３上に熱伝導層４が形成されており、その熱伝導層４上には保護膜５が形成されている。なお、保護膜５上には潤滑材が塗布されるが、図示は省略している。
【００１４】
記録層３は、その平面図の一部である図３に示されるように、全面が磁性体で構成されている（これを、仮に「全面メディア」と呼ぶ）。
【００１５】
また、熱伝導層４は、図４の磁気記録媒体の熱伝導層を表す平面図の一部に示すように、互いに異なった熱伝導率を有する複数の材料から構成されており、記録層３内のデータ記録をおこなうトラック上部には、複数の材料のうち、最も高熱伝導率の材料からなる薄膜（以下、単に「高熱伝導率薄膜」ともいう）６を有し、熱伝導層内のその他の部分は、複数の材料のうち、高熱伝導率の材料よりも相対的に低熱伝導率の材料からなる薄膜（以下、単に「低熱伝導率薄膜」ともいう）７から構成されることを特徴とする。この場合、図４に示すように、高熱伝導率薄膜６は、円板状の磁気記録媒体の径方向に離散的に、周方向に連続的に配置されており、これにより、この高熱伝導率薄膜６を通してデータ記録のための加熱時には効果的にデータ記録領域に熱が伝わり、非加熱時には効果的に除熱される。また、記録時に加熱された領域を有するトラック以外のトラックには、トラック上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性を確保し、磁気記録消失を抑制することが可能となる。
【００１６】
ここで、基板１は、例えばガラス基板、アルミ基板、アルミ合金基板等である。記録層３は、CoCrPt, CoCrPt-SiO2等、磁性合金、磁性合金と酸化物等のグラニュラー膜、あるいは、これらに添加元素を加えた材料等からなる。また、下地層２は、Cr, W, Mo等を含み、体心立方構造を有する材料からなることが好ましい。これにより、記録層３の磁性原子の磁化容易軸が基板面に対して水平方向に配向し、水平磁気異方性が強く、安定した水平磁気記録媒体が提供される。また、保護膜５は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化珪素、窒化珪素、酸化アルミニウム等を含む材料からなる。また、複数の材料から構成される熱伝導層４内の高熱伝導率薄膜６は、銅、銀、金、アルミニウム、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、カーボンナノチューブ等を含む材料で形成されており、低熱伝導率薄膜７は、酸化珪素、窒化珪素、酸化銅、酸化アルミニウム等を含む材料で形成されている。また、高熱伝導率薄膜６の材料は、記録層３の構成材料よりも高熱伝導率であることが好ましく、低熱伝導率薄膜７の材料は、記録層３の構成材料よりも低熱伝導率であることが好ましい。これにより、加熱および、記録後の除熱が効果的におこなわれる。また、熱伝導層４は、例えば１〜１０ｎｍの膜厚であることが好ましい。
【００１７】
次に、熱伝導層４の別の構成としては、高熱伝導率薄膜６と低熱伝導率薄膜７の界面領域、あるいは、熱伝導層４と記録層３の界面領域、あるいは、熱伝導層４と保護膜５の界面領域のうち、一つあるいは複数の界面に、熱伝導層を構成する材料の拡散を抑制するために拡散バリア層を形成してもよい。例えば、図１に示される磁気記録媒体において、高熱伝導率薄膜６と低熱伝導率薄膜７の全ての界面に拡散バリア層３００を形成する場合は、径方向の断面図は、図５のようになる。また、この拡散バリア層３００は、例えば、窒化チタン、窒化タンタル、タングステン、ルテニウム等を含む材料から構成される。また、拡散バリア層３００は、例えば１〜１０ｎｍの膜厚であることが好ましい。
【００１８】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、図６に径方向の断面を示すように、基板１上にシード層９を有し、そのシード層９上に下地層２を有し、下地層２上に記録層３を有するようにしてもよい。この場合、シード層９が無い場合に比べて、下地層２の体心立法構造の（１００）面が基板面に平行に成長しやすく、そのため下地層上の記録層の磁性原子の磁化容易軸も基板面に対して水平方向に配向しやすくなる。また、シード層９は、Ｎｉ合金等からなる。あるいは、図７に径方向の断面を示すように、基板１上にシード層９を有し、そのシード層９上に第一の下地層１００を有し、その第一の下地層１００上に磁性材料からなる記録磁化安定化層１０を有し、さらに、その記録磁化安定化層１０上に第二の下地層１０１を有する構造でもよい。この場合、第二の下地層１０１は、磁気結合層の役割も担い、記録磁化安定化層１０の磁気モーメントと記録層３の磁気モーメントが反強磁性結合することで、より、熱的安定性に優れた磁気記録媒体とすることが可能となる。また、図示はしないが、下地層１００上に記録磁化安定化層と非磁性の磁気結合層を交互に複数層有していてもよい。
【００１９】
次に、本実施形態の磁気記録媒体の保護膜５の別の構成は、図８に径方向の断面を示すように、保護膜５として、低熱伝導率の酸化珪素、窒化珪素、酸化アルミニウム等を含む材料を用い、熱伝導層４の低熱伝導率薄膜と一体とした構造、図９に径方向の断面を示すように、保護膜５として、高熱伝導率のダイヤモンドライクカーボン等の材料を用い、熱伝導層４の高熱伝導率薄膜と一体とした構造、図１０に径方向の断面を示すように、熱伝導層の高熱伝導率薄膜６の材料として、保護膜を兼ねることのできるダイヤモンドライクカーボン等の材料を用い、低熱伝導率薄膜７の材料として、保護膜を兼ねることのできる酸化珪素、窒化珪素、酸化アルミニウム等を含む材料を用いた構造としてもよい。これら図８ないし図１０の構造の磁気記録媒体は、図１に示された磁気記録媒体と比べて、プロセスの工程数を削減できる利点がある。
【００２０】
次に、本実施形態の磁気記録媒体の別の構成は、図１１の磁気記録媒体の熱伝導層４の一部を表す平面図に示されるように、熱伝導層４が複数の材料から構成されており、記録層３内のデータ記録をおこなうトラックを周方向に磁気記録領域とその他の領域に、離散的に区分し、磁気記録領域上部に複数の材料のうち、高熱伝導率薄膜６を有し、熱伝導層４のその他の部分は、低高熱伝導率薄膜７から構成されていてもよい。この場合、図１１に示されるように、高熱伝導率薄膜６は、磁気記録媒体の径方向、周方向ともに離散的に配置されており、データ記録トラックの磁気記録領域のみを特に効果的に加熱、除熱できる。また、同一トラック内であっても、加熱された磁気記録領域以外の記録領域には記録領域上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性をさらに高めることが可能となる。
【００２１】
次に、本実施形態の磁気記録媒体の製造方法の一例について説明する。ここでは、図６の構造を有する磁気記録媒体の製造方法を、図１２ないし図１５を用いて説明することにする。まず、基板上１上にめっき法、スパッタ法、ＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition）法等により、シード層９を形成する。その後、スパッタ法、ＣＶＤ法等により、下地層２、記録層３を順次形成する。この際、各層を平坦にするために、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法等を用いてもよい。その後、スパッタ法、ＣＶＤ法等により、図１２に示されるように、熱伝導層の高熱伝導率薄膜６を記録層３上に形成し、パターニング用のフォトレジスト１１を塗布する。
【００２２】
次に、リソグラフィー、現像により、図１３に示されるように、エッチングにより除去する高熱伝導率薄膜６の上部のフォトレジスト１１を除去する。その後、図１４に示されるように、エッチングをおこなった後、アセトン等の溶液を用いて残ったフォトレジスト１１を取り除く。その後、図１５に示されるように、形成された溝部１２に低熱伝導率薄膜７をスパッタ法、ＣＶＤ法等により埋め込み、ＣＭＰ法等により、表面の平坦化をおこなう。その後、スパッタ法、ＣＶＤ法等により保護膜５を形成し、図６に示す磁気記録媒体が製造される。なお、実際の製造プロセスでは、この後、図６の媒体上に潤滑材を塗布するが、図示は省略した。
【００２３】
本実施形態の熱アシスト記録方式に好適な磁気記録媒体は、例えば、図１６に示すような形態で磁気記録装置として用いられる。図１６は、本実施形態の磁気記録媒体８、スピンドル１３、磁気ヘッド、加熱素子を搭載したスライダー１４を有する。スライダー１４は、サスペンション１５に保持され、ボイスコイルモーター１６によって磁気ディスク上の所望のトラックに対して位置決めされる。磁気ヘッドに送られる記録信号あるいは磁気ヘッドによって読み出された再生信号は信号処理用ＬＳＩ１７によって処理される。サスペンションには半導体レーザー用パッケージ１８が固定され、そこで発生されたレーザー光は導波路１９によって加熱素子に伝達され、加熱素子により生成される近接場光により、磁気記録媒体の所望の記録トラックが加熱される。
【００２４】
〔実施形態２〕
次に、本発明の第二の実施形態を、図１７ないし図２３を用いて説明する。
図１７ないし図２３は、本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図である。
【００２５】
第一の実施形態は、記録層内の磁性原子の磁化容易軸が基板面に対して水平方向に配向し、記録磁化が水平方向を向く、いわゆる水平磁気記録方式を想定したものであった。
【００２６】
本実施形態はそれに対して、記録層内の磁性原子の磁化容易軸が基板面に対して垂直方向に配向し、記録磁化が垂直方向を向く、いわゆる垂直磁気記録方式のために用いられるものである。
【００２７】
本実施形態の基本的な磁気記録媒体は円板状をなしており、その径方向の断面は、図１７に示されるようになる。これは、図２の平面図におけるＡ−Ａ′での断面の一部である。図１７に示される磁気記録媒体は、基板１上に軟磁性層２０、軟磁性層２０上に下地層２１、その下地層２１上に記録層２２を有し、そして、記録層２２上に熱伝導層４が形成されており、熱伝導層４上には保護膜５が形成されている。また、保護膜５上には潤滑材が塗布されるが、図示は省略している。
【００２８】
記録層２２は、第一の実施形態の図３に示した、全面が磁性体で構成されている全面メディアである。
【００２９】
熱伝導層４は、図４の磁気記録媒体の熱伝導層４の一部を表す平面図に示すように、第一の実施形態の熱伝導層４と同様の構造をしており、高熱伝導率薄膜６を通してデータ記録のための加熱時には効果的にデータ記録領域に熱が伝わり、非加熱時には効果的に除熱される。また、記録時に加熱された領域を有するトラック以外の記録トラックには、記録トラック上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性を確保し、磁気記録消失を抑制することが可能となる。基板１は、例えば、ガラス基板、アルミ基板、アルミ合金基板等である。軟磁性層２０は、NiFe,FeTaC, CoTaZr等、鉄合金、ニッケル合金、コバルト合金等からなる。また、下地層２１は、Ru, Os, Re等を含み、六方最密構造を有する材料からなることが好ましい。これにより、記録層の磁性原子の磁化容易軸が基板面に対して垂直方向に配向し、垂直磁気異方性が強く、安定した垂直磁気記録媒体が提供される。また、保護膜５は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化珪素、窒化珪素、酸化アルミニウム等を含む材料からなる。また、熱伝導層４は、第一の実施形態と同様の材料構成であることが好ましい。これにより、加熱および、記録後の除熱が効果的に行われる。また、熱伝導層４は、例えば１〜１０ｎｍの膜厚であることが好ましい。
【００３０】
次に、熱伝導層４の別の構成としては、高熱伝導率薄膜６と低熱伝導率薄膜７の界面領域、あるいは、熱伝導層４と記録層３の界面領域、あるいは、熱伝導層４と保護膜５の界面領域のうち、一つあるいは複数の界面に熱伝導層を構成する材料の拡散を抑制するために拡散バリア層を形成してもよい。また、この拡散バリア層は、例えば、窒化チタン、窒化タンタル、タングステン、ルテニウム等を含む材料から構成される。また、拡散バリア層は、例えば１〜１０ｎｍの膜厚であることが好ましい。
【００３１】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、図１８に径方向の断面を示すように、基板１上にプリコート層２３、そのプリコート層２３上に軟磁性層２０、その軟磁性層２０上に下地層２１、その下地層上に記録層２２を有するようにし、そして、記録層２２上に熱伝導層４が形成されており、熱伝導層４上には保護膜５が形成されている構造であってもよい。プリコート層２３は基板１がガラス基板の場合には、NiTa, NiTaZr等の合金であり、基板１がアルミ基板、アルミ合金基板の場合は、それらの基板材料とは組成の異なるアルミ合金等からなる。この場合、プリコート層が無い場合に比べて、基板との密着性が向上する。
【００３２】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成としては、図１９に径方向の断面図を示すように、基板１上にプリコート層２３、そのプリコート層２３上に第一の軟磁性層２４、その第一の軟磁性層２４上に磁気結合層２５、その磁気結合層２５上に第二の軟磁性層２６、その第二の軟磁性層２６上に下地層２１、その下地層２１上に記録層２２を有するようにし、そして、記録層２２上に熱伝導層４が形成されており、その熱伝導層４上には保護膜５が形成されている構造でもよい。この場合、第一の軟磁性層２４の磁気モーメントと第二の軟磁性層２６の磁気モーメントが、反強磁性結合することで、軟磁性層からの磁気ノイズを低減することが可能となる。また、前記磁気結合層２５は、Ru, Os, Re等を含む非磁性材料からなる。また、図示しなかったが、プリコート層２３上に軟磁性層と磁気結合層を交互に複数層有していてもよい。
【００３３】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成としては、図２０に径方向の断面図を示すように、第一の下地層２００上に磁性材料からなる記録磁化安定化層２７を有し、その記録磁化安定化層２７上に第二の下地層２０１を有する構造でもよい。この場合、第二の下地層２０１は磁気結合層の役割も担い、記録磁化安定化層２７の磁気モーメントと記録層２２の磁気モーメントが反強磁性結合することで、より熱的安定性に優れた磁気記録媒体とすることが可能となる。また、図示しなかったが、第一の下地層２００上に記録磁化安定化層と非磁性の磁気結合層を交互に複数層有していてもよい。
【００３４】
次に、本実施形態の磁気記録媒体の保護膜５の別の構成は、図１７に示される記録媒体の構成において、図２１に径方向の断面図を示すように、保護膜５として、低熱伝導率の酸化珪素、窒化珪素、酸化アルミニウム等を含む材料を用い、熱伝導層の低熱伝導率薄膜と一体とした構造、図２２に径方向の断面を示すように、保護膜５として、高熱伝導率のダイヤモンドライクカーボン等の材料を用い、熱伝導層の高熱伝導率薄膜と一体とした構造、図２３に径方向の断面を示すように、熱伝導層の高熱伝導率薄膜６の材料として、保護膜を兼ねることのできるダイヤモンドライクカーボン等の材料を用い、低熱伝導率薄膜７の材料として、保護膜を兼ねることのできる酸化珪素、窒化珪素、酸化アルミニウム等を含む材料を用いた構造としてもよい。なお、これら図２１ないし図２３の構造の磁気記録媒体は、図１７の磁気記録媒体と比べて、プロセスの工程数を削減できる利点がある。
【００３５】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、図１１の磁気記録媒体の熱伝導層４の一部を表す平面図に示されるように、熱伝導層４が複数の材料から構成されており、記録層２２のデータ記録をおこなうトラックを周方向に磁気記録領域とその他の領域に区分し、磁気記録領域上部に複数の材料のうち、高熱伝導率薄膜６を有し、熱伝導層４内のその他の部分は前記複数の材料のうち、低熱伝導率薄膜７から構成されていてもよい。この場合、データ記録トラックの磁気記録領域のみを特に効果的に加熱、除熱できる利点がある。また、同一トラック内であっても、加熱された磁気記録領域以外の記録領域には記録領域上部の高熱伝導率薄膜間に配置された低熱伝導率の材料のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性をさらに高めることが可能となる。
【００３６】
本実施形態の磁気記録媒体は、例えば、第一の実施形態に記載した方法と類似の製造方法で製造することができる。また、本実施形態の磁気記録媒体は、第一の実施形態と同様、例えば、図１６に示すような形態で磁気記録装置として用いられる。
【００３７】
〔実施形態３〕
次に、本発明の第三の実施形態を、図２４ないし図２６を用いて説明する。
図２４は、ディスクリートトラックメディア（Discrete Track Media）における記録層の様子を示す平面図の一部である。
図２５および図２６は、本発明の第三の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図である。
【００３８】
第一の実施形態は、磁気記録媒体が水平磁気記録方式で記録され、記録層３が全て磁性体で構成される全面メディアからなるものであった。
【００３９】
本実施形態はそれに対して、水平磁気記録方式で記録され、記録層３の内で、記録トラックの部分に磁性材料を用い、記録トラック以外の領域に非磁性材料を用いた、いわゆるディスクリートトラックメディアからなるものである。
【００４０】
先ず、図２４を用いてディスクリートトラックメディアの構造について簡単に説明する。
【００４１】
ディスクリートトラックメディアは、記録層３の記録に用いられる記録トラック２８に磁性材料を用い、それらの間の溝状の記録トラック以外の部分２９に、非磁性材料を用いて構成した円板状のメディアである。このディスクリートトラックメディアは、記録トラックが磁気的に分離して形成されるため、隣接トラックの磁気的影響や熱揺らぎ現象を軽減でき、高記録密度化が期待できる。
【００４２】
本実施形態の基本的な磁気記録媒体は円板状をなしており、その径方向の断面は、図２５に示されるようになる。これは、図２の平面図におけるＡ−Ａ′での断面の一部である。本実施形態の磁気記録媒体は、第一の実施形態の図１に示す磁気記録媒体と比べて記録層３以外の部分は同様であり、記録層３の部分は図２５に示すように記録トラック２８が磁性材料により構成され、記録トラック以外のトラック２９は非磁性の材料からなる構造となっており、これら材料は周方向には連続的である、いわゆるディスクリートトラック構造になっている。この場合、記録トラック間が磁気的に分離されているため、周辺トラックの記録磁化による磁気的な作用（ノイズ）がより低減できる。記録トラック２８は、第一の実施形態における記録層３と同様の材料から構成される。また、非磁性材料からなる記録トラック以外のトラック２９は、プロセス簡易化、層間剥離低減の観点から、下地層２と同様な構造を有する材料から構成されるか、あるいは、低熱伝導率薄膜７と同様な材料から構成されることが好ましい。
【００４３】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、第一の実施形態の図５から図１０に示すいずれかの磁気記録媒体において、記録層３以外の部分は同様であり、記録層３の部分は図２５に示す構造となっていてもよい。
【００４４】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、図２６に径方向の断面を示すように、記録トラック２８上部に加えて記録トラック２８側部にも高熱伝導率薄膜６を有する構造であってもよい。この場合、図２５の構造よりもさらに効果的に記録トラックを加熱、除熱することが可能となる。
【００４５】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、図１１に熱伝導層の一部を表す平面図に示すように、熱伝導層４が複数の材料から構成され、記録トラック２８を周方向に記録領域とその他の領域に区分し、記録領域上部に複数の材料のうち、最も高熱伝導率の材料６からなる薄膜を有し、熱伝導層４のその他の部分は複数の材料のうち、低熱伝導率薄膜７から構成されている構造、あるいは、記録領域上部および側部（記録層３内の記録領域隣接部）に、高熱伝導率薄膜６を有する構造であってもよい。これらの場合、記録トラックの記録領域のみを特に効果的に加熱、除熱できる利点がある。また、同一トラック内であっても、加熱された記録領域以外の記録領域には、記録領域上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性をさらに高めることが可能となる。
【００４６】
本実施形態の磁気記録媒体は、例えば、第一の実施形態に記載した方法と類似の製造方法で製造することができる。また、本実施形態の磁気記録媒体は、第一の実施形態と同様、例えば、図１６に示すような形態で磁気記録装置として用いられる。
【００４７】
〔実施形態４〕
次に、本発明の第四の実施形態を、図２７および図２８を用いて説明する。
図２７および図２８は、本発明の第四の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図である。
【００４８】
第二の実施形態は、磁気記録媒体が垂直磁気記録方式で記録され、記録層２２の構成が全て磁性体で構成される全面メディアからなるものであった。
【００４９】
本実施形態はそれに対して、円板状の磁気記録媒体が垂直磁気記録方式で記録され、記録層２２の内で、記録トラックの部分に磁性材料を用い、記録トラック以外の領域に非磁性材料を用いた、いわゆるディスクリートトラックメディアからなるものである。
【００５０】
本実施形態の基本的な磁気記録媒体は円板状をなしており、その径方向の断面は、図２７に示されるようになる。これは、図２の平面図におけるＡ−Ａ′での断面の一部である。本実施形態の磁気記録媒体は、第二の実施形態の図１７に示す磁気記録媒体と比べて記録層３以外の部分は同様であり、記録層３の部分は図２７に示すように記録トラック３０が磁性材料により構成され、記録トラック以外のトラック３１は非磁性の材料からなる構造となっており、これら材料は周方向には連続的である、いわゆるディスクリートトラック構造になっている。この場合、記録トラック間が磁気的に分離されているため、周辺トラックの記録磁化による磁気的な作用（ノイズ）がより低減できる。記録トラック３０は、第二の実施形態における記録層２２と同様の材料から構成される。また、非磁性材料からなる記録トラック以外のトラック３１は、プロセス簡易化、層間剥離低減の観点から、下地層２と同様な構造を有する材料から構成されるか、あるいは、低熱伝導率薄膜７と同様な材料から構成されることが好ましい。
【００５１】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、第二の実施形態の図１８から図２３に示すいずれかの磁気記録媒体において、記録層２２以外の部分は同様であり、記録層２２の部分は図２７に示す構造となっていてもよい。
【００５２】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、図２８に径方向の断面を示すように、記録トラック上部に加えて記録トラック側部にも高熱伝導率薄膜６を有する構造であってもよい。この場合、図２７の構造よりもさらに効果的に記録トラックを加熱、除熱することが可能となる。
【００５３】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、図１１に熱伝導層４の一部を表す平面図に示すように、熱伝導層４が複数の材料から構成され、記録トラック３０を周方向に記録領域とその他の領域に区分し、記録領域上部に複数の材料のうち、高熱伝導率薄膜６を有し、熱伝導層４内のその他の部分は複数の材料のうち低熱伝導率薄膜７から構成されている構造、あるいは、記録領域上部および側部（記録層内の記録領域隣接部）に高熱伝導率薄膜６を有する構造であってもよい。これらの場合、記録トラックの記録領域のみを特に効果的に加熱、除熱できる利点がある。また、同一トラック内であっても、加熱された記録領域以外の記録領域には記録領域上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性をさらに高めることが可能となる。
【００５４】
本実施形態の磁気記録媒体は、例えば、第一の実施形態に記載した方法と類似の製造方法で製造することができる。また、本実施形態の磁気記録媒体は、第一の実施形態と同様、例えば、図１６に示すような形態で磁気記録装置として用いられる。
【００５５】
〔実施形態５〕
次に、本発明の第五の実施形態を、図２９ないし図３１を用いて説明する。
図２９は、パターンドメディア（Patterned Media）における記録層３の様子を示す平面図の一部である。
図３０および図３１は、本発明の第五の実施形態に係る磁気記録媒体の周方向の断面図である。
【００５６】
第三の実施形態は、磁気記録媒体が水平磁気記録方式で記録され、記録層３の内で、記録トラックの部分に磁性材料を用い、記録トラック以外の領域に非磁性材料を用いた、いわゆるディスクリートトラックメディアからなるものであった。
【００５７】
本実施形態はそれに対して、水平磁気記録方式で記録され、記録層３の内で、記録領域を有するトラックの記録領域に離散的に磁性材料を用い、記録領域を有するトラックの記録領域以外の領域に非磁性材料を用いた、いわゆるパターンドメディアからなるものである。
【００５８】
先ず、図２９を用いてパターンドメディアの構造について簡単に説明する。
【００５９】
パターンドメディアは、記録層３の記録トラック上に離散的に磁性材料を配置して、それ以外の部分は、非磁性材料で構成した円板状のメディアである。このパターンドメディアは、製造方法は複雑になるものの、ディスクリートトラックメディアよりさらに、周辺記録領域からの磁気的影響や熱揺らぎ現象を軽減でき、高記録密度化を期待することができる。
【００６０】
本実施形態の基本的な磁気記録媒体は円板状をなしており、その径方向の断面は、図２５に示されるようになる。これは、図２の平面図におけるＡ−Ａ′での断面の一部である。本実施形態の磁気記録媒体は、第三の実施形態の図２５に示す磁気記録媒体と比べて記録層３以外の部分は同様であり、記録層３の部分は径方向の断面図は、図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２５と同様であるが、周方向の断面図（図２に示す磁気記録媒体８の平面図におけるＢ−Ｂ′での断面の一部）は、記録領域を有するトラック（図２９のＣ−Ｃ′の断面）では、図３０のように径方向同様、記録領域が離散的になっており、記録領域のないトラック（図２９のＤ−Ｄ′の断面）では図３１のような構造である、いわゆるパターンドメディア構造になっている。この場合、記録領域３がトラック間に加えてトラック内でも磁気的に分離されているため、周辺記録領域の記録磁化による磁気的な作用（ノイズ）が、ディスクリートトラックメディアよりもさらに低減でき、高密度化に有効である。
【００６１】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、第一の実施形態の図５から図９に示すいずれかの磁気記録媒体において、記録層３以外の部分は同様であり、記録層３の部分は、径方向の断面図は、図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２５に示す構造となっており、周方向の断面図は記録領域を有するトラックでは図３０、記録領域のないトラックでは、図３１に示す構造となっていてもよい。
【００６２】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、径方向の断面が図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると第三の実施形態の図２６に示す構造となっており、周方向の断面図は、記録領域を有するトラックでは図３０、記録領域がなく、記録領域を有するトラック間の非磁性層２９を有するトラックでは図３１に示す構造となっており、記録領域を有するトラックの側部にも高熱伝導率薄膜６を有する構造であってもよい。
【００６３】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、図１１に熱伝導層４の一部を表す平面図に示すように、熱伝導層４が複数の材料から構成され、記録層３の記録領域上部に複数の材料のうち、高熱伝導率薄膜６を有し、熱伝導層３内のその他の部分は複数の材料のうち、低熱伝導率薄膜７から構成されていてもよい。この場合、記録層３は、径方向の断面図は図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２５と同様となり、周方向の断面図は記録領域を有するトラックでは、図２５のように径方向同様、記録領域および高熱伝導率薄膜６が離散的に配置されるようになり、記録領域のないトラックでは、図３１のようになっており、記録領域３２のみを特に効果的に加熱、除熱できる利点がある。また、同一トラック内であっても、加熱された記録領域以外の記録領域には記録領域上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性をさらに高めることが可能となる。
【００６４】
次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、径方向の断面が、図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２６に示す構造となっており、周方向の断面図は記録領域を有するトラックでは径方向同様図２６、記録領域がなく、記録領域を有するトラック間の非磁性層２９を有するトラックでは図３１に示す構造となっており、記録領域上部および側面部全てが高熱伝導率薄膜６と接しており、記録領域が高熱伝導率薄膜６で囲まれている構造であってもよい。この場合、さらに効果的に記録領域を加熱、除熱することが可能となる。
【００６５】
本実施形態の磁気記録媒体は、例えば、第一の実施形態に記載した方法と類似の製造方法で製造することができる。また、本実施形態の磁気記録媒体は、第一の実施形態と同様、例えば、図１６に示すような形態で磁気記録装置として用いられる。
【００６６】
〔実施形態６〕
次に、本発明の第六の実施形態を、図３２および図３３を用いて説明する。
図３２および図３３は、本発明の第六の実施形態に係る磁気記録媒体の周方向の断面図である。
【００６７】
第四の実施形態は、磁気記録媒体が垂直磁気記録方式で記録され、記録層２２の内で、記録トラックの部分に磁性材料を用い、記録トラック以外の領域に非磁性材料を用いた、いわゆるディスクリートトラックメディアからなるものであった。
【００６８】
本実施形態はそれに対して、垂直磁気記録方式で記録され、記録層２２の内で、記録領域を有するトラックの離散的な記録領域に磁性材料を用い、記録領域を有するトラックの記録領域以外の領域に非磁性材料を用いた、いわゆるパターンドメディアからなるものである。
【００６９】
本実施形態における磁気記録媒体は、第四の実施形態の図２７に示す磁気記録媒体と比べて記録層２２以外の部分は同様であり、記録層２２の部分は、径方向の断面図は、図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２７と同様であるが、周方向の断面図（図２に示す本発明の磁気記録媒体８の平面図におけるＢ−Ｂ′での断面図の一部）は、記録領域を有するトラック（図２９のＣ−Ｃ′の断面）では、図３２のように径方向同様、記録領域が離散的になっており、記録領域のないトラック（図２９のＤ−Ｄ′の断面）では図３３のような構造の、いわゆるパターンドメディア構造になっている。この場合、記録領域がトラック間に加えてトラック内でも磁気的に分離されているため、周辺記録領域の記録磁化による磁気的な作用（ノイズ）がさらに低減でき、高密度化に有効である。
【００７０】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、第二の実施形態の図１７から図２３に示すいずれかの磁気記録媒体において、記録層２２以外の部分は同様であり、記録層２２の部分は、径方向の断面図は図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２７に示す構造となっており、周方向の断面図は記録領域を有するトラックでは図３２、記録領域のないトラックでは図３３に示す構造となっていてもよい。
【００７１】
また、次に、本実施形態における磁気記録媒体の別の構成は、径方向の断面が図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると第四の実施形態の図２８に示す構造となっており、周方向の断面図は記録領域を有するトラックでは図３２、記録領域がなく、記録領域間の非磁性層３１を有するトラックでは図３３に示す構造となっており、記録領域を有するトラックの側部にも高熱伝導率材料を有する構造であってもよい。
【００７２】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、図１１に熱伝導層４の一部を表す平面図に示すように、熱伝導層４が複数の材料から構成され、記録層２２の記録領域上部に複数の材料のうち、高熱伝導率薄膜６を有し、熱伝導層４内のその他の部分は複数の材料のうち、低熱伝導率薄膜７から構成されていてもよい。この場合、記録層２２は径方向の断面図は図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２７と同様となり、周方向の断面図は、記録領域を有するトラックでは図２７のように径方向同様、記録領域および高熱伝導率薄膜６が離散的に配置されるにようになり、記録領域のないトラックでは図３３のようになっており、記録領域のみを特に効果的に加熱、除熱できる利点がある。また、同一トラック内であっても、加熱された記録領域以外の記録領域には記録領域上部の高熱伝導率薄膜６の間に配置された低熱伝導率薄膜７のため熱が伝わりにくくなり、磁性粒子の磁気記録の熱的安定性をさらに高めることが可能となる。
【００７３】
また、本実施形態における磁気記録媒体は、径方向の断面が図２９のように記録領域のあるＡ−Ａ′で切断すると図２８に示す構造となっており、周方向の断面図は記録領域を有するトラックでは径方向同様図２８、記録領域がなく、記録領域間の非磁性層３１を有するトラックでは図３３に示す構造となっており、記録領域上部および側面部全てが高熱伝導率薄膜６と接しており、記録領域が高熱伝導率材料で囲まれている構造であってもよい。この場合、さらに効果的に記録領域を加熱、除熱することが可能となる。
【００７４】
本実施形態の磁気記録媒体は、例えば、第一の実施形態に記載した方法と類似の製造方法で製造することができる。また、本実施形態の磁気記録媒体は、第一の実施形態と同様、例えば、図１６に示すような形態で磁気記録装置として用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図である。
【図２】磁気記録媒体８の平面図である。
【図３】全面メディアにおける記録層３の様子を示す平面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の熱伝導層の平面図（その一）である。
【図５】図１に示される磁気記録媒体において、高熱伝導率の材料からなる薄膜６との低熱伝導率の材料からなる薄膜７との界面に拡散バリア層３００を設けたときの断面図である。
【図６】図１に示される磁気記録媒体において、基板１と下地層２の間にシード層を設けたときの断面図である。
【図７】図６に示される磁気記録媒体の下地層２において、第一下地層１００と、第二下地層１０１の間に、記録磁化安定化層１０がはさまれる構成としたときの断面図である。
【図８】図１に示される磁気記録媒体において、保護膜５の中に高熱伝導率の材料からなる薄膜６を設けたときの断面図である。
【図９】図１に示される磁気記録媒体において、保護膜５の中に低熱伝導率の材料からなる薄膜７を設けたときの断面図である。
【図１０】図１に示される磁気記録媒体において、熱伝導層４が保護膜５の機能を兼ねるようにし、保護膜５を省略したときの断面図である。
【図１１】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の熱伝導層の平面図（その二）である。
【図１２】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の製造工程を説明するための断面図（その一）である。
【図１３】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の製造工程を説明するための断面図（その二）である。
【図１４】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の製造工程を説明するための断面図（その三）である。
【図１５】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体の製造工程を説明するための断面図（その四）である。
【図１６】本発明の第一の実施形態に係る磁気記録媒体を備えた磁気記録装置の斜視図である。
【図１７】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その一）である。
【図１８】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その二）である。
【図１９】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その三）である。
【図２０】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その四）である。
【図２１】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その五）である。
【図２２】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その六）である。
【図２３】本発明の第二の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その七）である。
【図２４】ディスクリートトラックメディアにおける記録層の様子を示す平面図である。
【図２５】本発明の第三の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その一）である。
【図２６】本発明の第三の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その二）である。
【図２７】本発明の第四の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その一）である。
【図２８】本発明の第四の実施形態に係る磁気記録媒体の径方向の断面図（その二）である。
【図２９】パターンドメディアにおける記録層の様子を示す平面図である。
【図３０】本発明の第五の実施形態に係る磁気記録媒体の周方向の断面図（その一）である。
【図３１】本発明の第五の実施形態に係る磁気記録媒体の周方向の断面図（その二）である。
【図３２】本発明の第六の実施形態に係る磁気記録媒体の周方向の断面図（その一）である。
【図３３】本発明の第六の実施形態に係る磁気記録媒体の周方向の断面図（その二）である。
【符号の説明】
【００７６】
１…基板
２、２１、１００、１０１、２００、２０１…下地層
３、２２…記録層
４…熱伝導層
５…保護膜
６…高熱伝導率薄膜
７…低熱伝導率薄膜
８…磁気記録媒体
９…シード層
１０、２７…記録磁化安定化層
１１…フォトレジスト
１２…低熱伝導率材料埋め込み用溝部
１３…スピンドル
１４…スライダー
１５…サスペンション
１６…ボイスコイルモーター
１７…信号処理用ＬＳＩ
１８…半導体レーザー用パッケージ
１９…導波路
２０、２４、２６…軟磁性層
２３…プリコート層
２５…磁気結合層
２８、３０…記録トラック
２９、３１…記録トラック以外のトラック
３２、３３…記録領域
３４…記録領域以外の領域
３００…拡散バリア層。
【図１】
2010165404.tif 000003
【図２】
2010165404.tif 000004
【図３】
2010165404.tif 000005
【図４】
2010165404.tif 000006
【図５】
2010165404.tif 000007
【図６】
2010165404.tif 000008
【図７】
2010165404.tif 000009
【図８】
2010165404.tif 000010
【図９】
2010165404.tif 000011
【図１０】
2010165404.tif 000012
【図１１】
2010165404.tif 000013
【図１２】
2010165404.tif 000014
【図１３】
2010165404.tif 000015
【図１４】
2010165404.tif 000016
【図１５】
2010165404.tif 000017
【図１６】
2010165404.tif 000018
【図１７】
2010165404.tif 000019
【図１８】
2010165404.tif 000020
【図１９】
2010165404.tif 000021
【図２０】
2010165404.tif 000022
【図２１】
2010165404.tif 000023
【図２２】
2010165404.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
2010165404.tif 000029
【図２８】
2010165404.tif 000030
【図２９】
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【図３０】
2010165404.tif 000032
【図３１】
2010165404.tif 000033
【図３２】
2010165404.tif 000034
【図３３】
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