(57)【要約】【課題】被加工物の表面または内部に存在するバリに対して、エネルギー効率を低下させることなく、バリ除去加工を含む加工を確実に実施できること。【解決手段】被加工物１の表面の孔周縁角部６または内部の孔交差角部７に存在するバリに対し、電子ビーム１１を照射してバリを溶融除去し、このバリが生じた被加工物１１の孔周縁角部６、孔交差角部７を電子ビームにより湾曲面に加工するバリ除去等加工方法であって、電子ビーム１１の照射条件を被加工物１の材質に応じて、載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θをバリの位置に応じてそれぞれ設定するものである。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の表面または内部に存在するバリに対し、電子ビームを照射してバリを溶融除去し、このバリが生じた前記被加工物の角部を電子ビームにより湾曲面に加工するバリ除去等加工方法であって、
電子ビームの照射条件を前記被加工物の材質に応じて、前記被加工物の設置角度を前記バリの位置に応じてそれぞれ設定することを特徴とするバリ除去等加工方法。
【請求項２】
前記被加工物の表面に存在するバリは、前記被加工物に形成された孔の入口または出口の周縁角部に生じたバリであり、前記被加工物の内部に存在するバリは、前記被加工物に交差して形成された複数の孔の交差箇所の角部に生じたバリであることを特徴とする請求項１に記載のバリ除去等加工方法。
【請求項３】
前記電子ビームの照射条件は、被加工物がクロムモリブデン鋼にて構成されている場合で、湾曲面の半径を０．５ｍｍ〜０．８ｍｍに加工する場合には、電子ビームの出力が５ｍＡ〜３０ｍＡで、且つ照射周波数が２５０Ｈｚ〜２０ＫＨｚであることを特徴とする請求項１に記載のバリ除去等加工方法。
【請求項４】
前記電子ビームの照射条件は、被加工物がステンレス鋼にて構成されている場合で、湾曲面の半径を０．５ｍｍ〜０．８ｍｍに加工する場合には、電子ビームの出力が１ｍＡ〜１０ｍＡで、且つ照射周波数が５０Ｈｚ〜１０ＫＨｚであることを特徴とする請求項１に記載のバリ除去等加工方法。
【請求項５】
前記電子ビームの照射条件は、被加工物がアルミニウムにて構成されている場合で、湾曲面の半径を０．５ｍｍ〜０．８ｍｍに加工する場合には、電子ビームの出力が１ｍＡ〜２０ｍＡで、且つ照射周波数が５０Ｈｚ〜２０ＫＨｚであることを特徴とする請求項１に記載のバリ除去等加工方法。
【請求項６】
前記バリが生じた被加工物の角部を頂点とし、この角部を二等分する方向にビーム中心線が一致するよう、電子ビームの照射角度を設定することを特徴とする請求項１に記載のバリ除去等加工方法。
【請求項７】
被加工物の表面または内部に存在するバリに対し、電子ビームを照射してバリを溶融除去し、このバリが生じた前記被加工物の角部を電子ビームにより湾曲面に加工するバリ除去等加工装置であって、
電子ビームを発生する電子銃と、
この電子銃からの電子ビームを収束するビーム収束手段と、
電子ビームを偏向するビーム偏向手段と、
被加工物を載置し、照射する電子ビームに対して被加工物を直線移動及び回転移動させる載置テーブルと、
前記電子銃、前記ビーム収束手段、前記ビーム偏向手段及び前記載置テーブルを制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記電子銃から発生する電子ビームの照射条件を前記被加工物の材質に応じて設定し、前記載置テーブルによる前記被加工物の設置角度を前記バリの位置に応じて設定し、これらの設定値に基づいて制御することを特徴とするバリ除去等加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の角部に生じたバリを電子ビームにより溶融除去すると共に、前記角部に湾曲面を電子ビームにより加工するバリ除去等加工方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、電力機器（開閉装置）の駆動部には油圧の操作機構が使用される場合があり、その油圧部品は内部に複数の孔加工が施されており、部品内部において複数の孔が交差する構造となっている。このような構造では、機械加工後にバリが発生し、そのバリまたは加工ゴミが部品内部に残存することにより大きなトラブルの発生原因となる。
【０００３】
このため機械的なバリ除去作業を実施するが、内部構造の複雑化のためバリ除去が非常に困難であり、手作業により機械加工後のバリ除去及び湾曲面加工（Ｒ加工）を実施している。従って、１部品について作業者が１人で対応するため、多大な作業時間を要し、非効率的な製造工程となっている。また、内部構造の複雑化のため熟練技術者以外の作業者による対応が難しく、また標準化するのが困難な作業となっている。
【０００４】
このため、特許文献１には、被加工物の角部に生じたバリに対し、電極からアークを飛ばしてこの角部及びバリを加熱溶融し、成形ローラによりその溶融角部をピンチ成形してバリを除去し、且つ角部に湾曲面を形成するものが開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、被加工物の内部における複数の孔の交差角部に生じたバリへ向かって、レーザビームを集光レンズにて集光させ、反射ミラーにて向きを変えて前記バリに照射し、このバリを除去するものが開示されている。
【０００６】
更に、特許文献３には、被処理物の表面に電子ビームを照射し、その表層を溶融凝固させて、１μｍ程度の微細な表面粗さに仕上げる表面処理方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開平５−１６１２５号公報
【特許文献２】特開２００６−９５５６３号公報
【特許文献３】特開２００６−３５２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、特許文献１では、電極と成形ローラが必要になるため、被加工物の表面の角部に生じたバリに対しては有効ではあるが、被加工物の内部の孔交差角部のような狭隘な箇所に生じたバリを除去することは困難である。
【０００９】
また、特許文献２では、レーザビームを用いることで被加工物の内部の孔交差角部に生じたバリに対しレーザビームを照射して除去することができるが、レーザビームを反射ミラーにて反射させる際にエネルギー損失が発生してしまい、エネルギー効率が低下してしまう。更に、特許文献３は、電子ビームを用いて被処理物の表面を微細な表面粗さに仕上げるものであり、バリを除去するものではない。
【００１０】
本発明の目的は、上述の事情を考慮してなされたものであり、被加工物の表面または内部に存在するバリに対して、エネルギー効率を低下させることなく、バリ除去加工を含む加工を確実に実施できるバリ除去等加工方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るバリ除去等加工方法は、被加工物の表面または内部に存在するバリに対し、電子ビームを照射してバリを溶融除去し、このバリが生じた前記被加工物の角部を電子ビームにより湾曲面に加工するバリ除去等加工方法であって、電子ビームの照射条件を前記被加工物の材質に応じて、前記被加工物の設置角度を前記バリの位置に応じてそれぞれ設定することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明に係るバリ除去等加工装置は、被加工物の表面または内部に存在するバリに対し、電子ビームを照射してバリを溶融除去し、このバリが生じた前記被加工物の角部を電子ビームにより湾曲面に加工するバリ除去等加工装置であって、電子ビームを発生する電子銃と、この電子銃からの電子ビームを収束するビーム収束手段と、電子ビームを偏向するビーム偏向手段と、被加工物を載置し、照射する電子ビームに対して被加工物を直線移動及び回転移動させる載置テーブルと、前記電子銃、前記ビーム収束手段、前記ビーム偏向手段及び前記載置テーブルを制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記電子銃から発生する電子ビームの照射条件を前記被加工物の材質に応じて設定し、前記載置テーブルによる前記被加工物の設置角度を前記バリの位置に応じて設定し、これらの設定値に基づいて制御することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るバリ除去等加工方法及び装置によれば、電子ビームの偏向を、エネルギー効率を低下させることなく実施できるので、被加工物の表面または内部に存在するバリに対して、エネルギー効率を低下させることなく、バリ除去加工を含む加工を確実に実施できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るバリ除去等加工装置の第１の実施の形態を示す概略構成図。
【図２】図１の載置テーブルに載置された被加工物を示す斜視図。
【図３】図１の載置テーブルをＸ軸まわりに回転させたときの被加工物の状態を示す斜視図。
【図４】図１における載置テーブル及び位置決め治具を示す平面図。
【図５】図４のＶ矢視図。
【図６】（Ａ）は図４のＶＩＡ−ＶＩＡ線に沿う断面図、（Ｂ）は図４のＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿う断面図。
【図７】孔周縁角部または孔交差角部に形成される湾曲面の半径と、電子ビームの（ビーム出力×照射時間）との関係を示すグラフ。
【図８】本発明に係るバリ除去等加工装置の第３の実施の形態で照射される電子ビームの照射角度を説明する説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づき説明する。但し、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。
【００１６】
［Ａ］第１の実施の形態（図１〜図７）
図１は、本発明に係るバリ除去等加工装置の第１の実施の形態を示す概略構成図である。この図１に示すバリ除去等加工装置１０は、被加工物１の表面または内部に存在するバリ（不図示）に対し、電子ビーム１１を照射してバリを溶融して除去し、このバリが生じた被加工物１の角部（後述の孔周縁角部６、孔交差角部７）を電子ビーム１１により湾曲面に加工するものである。このバリ除去等加工装置１０は、電子銃１２と、ビーム収束手段としての収束コイル１３及びビーム収束装置１４と、ビーム偏向手段としての偏向コイル１５及びビーム偏向装置１６と、載置テーブル１７と、制御手段としての制御装置１８とを有して構成される。
【００１７】
ここで、被加工物１は、例えば開閉装置などの電力機器の油圧駆動部品であり、鉄鋼材料（例えばクロムモリブデン鋼ＳＣＭ４３５）から構成されており、図２に示すように、複数の孔２、３、４が形成されている。孔２は、被加工物１の上面５Ａから下面５Ｂへ向かって貫通する、例えば直径約９ｍｍの貫通孔である。また、孔３は、被加工物１の上面５Ａから下面５Ｂへ向かって延びる、直径約２５ｍｍの貫通孔であり、孔４は、被加工物１の側面５Ｃから横方向（図２の左方向）へ延びる、直径約５ｍｍの孔である。この孔４は、孔３の深さ約２０ｍｍの位置で、この孔３に直交している。
【００１８】
被加工物１では、孔２、３、４が表面（例えば上面５Ａ、下面５Ｂ、側面５Ｃ）と交差する入口または出口の孔周縁角部６に、孔２、３、４の機械加工によって生じたバリが存在している。更に、孔３と４が交差する、被加工物１の内部の孔交差角部７に、孔４を機械加工したときに生じたバリが存在している。尚、実際の油圧駆動部品である被加工物１には、孔２、３、４以外の孔が複雑に加工されているが、本実施の形態では省略する。
【００１９】
さて、図１に示すように、電子銃１２は、電源装置１９からの電圧の印加により電子ビーム１１を発生する。また、収束コイル１３は、電子銃１２にて発生した電子ビーム１１を収束するものであり、その収束の度合いがビーム収束装置１４により調整される。更に、偏向コイル１５は、収束コイル１３にて収束された電子ビーム１１を偏向するものであり、その偏向の度合いがビーム偏向装置１６により調整される。
【００２０】
載置テーブル１７は、被加工物１を載置し、照射された電子ビーム１１に対して載置した被加工物１を、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸方向に直線移動させ、且つＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸回りに回転移動させる。これらの直線移動及び回転移動はサーボモーターなどの駆動によりなされる。
【００２１】
この載置テーブル１７には、図４〜図６に示すように、被加工物１を位置決めする複数の位置決め治具２０が設けられている。つまり、載置テーブル１７の表面に、Ｘ軸またはＹ軸方向に延びる複数本のガイド溝２１が形成され、位置決め治具２１には、これらのガイド溝２１に嵌合する嵌合凸部２２が形成されている。これらのガイド溝２１及び嵌合凸部２２は、位置決め治具２０が上方へ抜かれないように下部側が広い形状、例えば図６に示すアリ溝形状とアリ形状に構成されている。複数の位置決め治具２０は、ガイド溝２１に沿って移動され、例えばレーザなどを用いた距離センサ２３によって位置決めされ、ボルトなどで載置テーブル１７に固定される。
【００２２】
同一形状の被加工物１を交換して載置テーブル１７に載置する際には、上記位置決め治具２０に当接して位置決めすることで、被加工物１の載置テーブル１７への設置（載置）位置精度が向上し、この被加工物１に対する電子ビーム１１の照射位置精度が１ｍｍ以下の精度に向上する。
【００２３】
図１に示す制御装置１８は、電源装置１９へ指令信号を送信して電子銃１２から発生する電子ビーム１１を制御し、また、ビーム収束装置１４へ指令信号を送信して収束コイル１３による電子ビーム１１の収束度合いを制御し、また、ビーム偏向装置１６へ指令信号を送信して偏向コイル１５による電子ビーム１１の偏向度合いを制御し、更に、載置テーブル１７へ指令信号を送信して、電子ビーム１１に対する被加工物１の位置（電子ビーム１１の照射位置や照射角度など）及び被加工物１の設置角度θ（後述）を制御する。
【００２４】
特に、制御装置１８は、電子銃１２から発生する電子ビーム１１の照射条件を、被加工物１の材質に応じて設定し、この設定値に基づいて電源装置１９を制御する。例えば、被加工物１がクロムモリブデン鋼ＳＣＭ４３５にて構成されている場合で、孔２、３、４の孔周縁角部６及び孔交差角部７のバリを除去し、且つこれらの角部６、７に形成すべき湾曲面の半径を０．５ｍｍ〜０．８ｍｍに加工する場合には、図７に示すように、制御装置１８は、この場合の電子ビーム１１の照射条件として、電子ビーム１１のビーム出力（ｍＡ）と照射時間（ｓｅｃ）との積を０．００２〜０．０１８（ｍＡ・ｓｅｃ）の範囲に設定する。具体的には、照射時間の逆数である照射周波数を用い、この照射周波数の余裕度を考慮したとき、制御装置１８は、この場合の照射条件として、ビーム出力を５ｍＡ〜３０ｍＡで、且つ照射周波数を約２５０Ｈｚ〜２０ｋＨｚに設定する。
【００２５】
また、被加工物１がステンレス鋼にて構成されている場合で、孔２、３、４の孔周縁角部６及び孔交差角部７のバリを除去し、且つこれらの角部６、７に形成すべき湾曲面の半径を０．５ｍｍ〜０．８ｍｍに加工する場合には、制御装置１８は、この場合の電子ビーム１１の照射条件として、電子ビーム１１のビーム出力を１ｍＡ〜１０ｍＡで、且つ照射周波数を５０Ｈｚ〜１０ｋＨｚに設定する。また、被加工物１がアルミニウムにて構成されている場合で、孔２、３、４の孔周縁角部６及び孔交差角部７に生じたバリを除去し、且つこれらの角部６、７に形成すべき湾曲面の半径を０．５ｍｍ〜０．８ｍｍに加工する場合には、制御装置１８は、この場合の電子ビーム１１の照射条件として、電子ビーム１１のビーム出力を１ｍＡ〜２０ｍＡで、且つ照射周波数を５０Ｈｚ〜２０ｋＨｚに設定する。
【００２６】
また、制御装置１８は、載置テーブル１７による被加工物１の設定角度θ（図３）を孔２、３、４の孔周縁角部６、孔交差角部７におけるバリの位置に応じて設定し、この設定値に基づいて載置テーブル１７を制御する。例えば、被加工物１の下面５Ｂが載置テーブル１７に接する状態で、孔２、３が被加工物１の上面５Ａと交差する孔周縁角部６に生じたバリを除去し、この孔周縁角部６に湾曲面を形成する場合には、制御装置１８は、載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θをゼロ度とし、被加工物１の上面５Ａを水平状態に保持した状態で、被加工物１の孔周縁角部６のバリ等へ電子ビーム１１を直線的に照射させる。
【００２７】
また、被加工物１の下面５Ｂが載置テーブル１７に接する状態で、孔３と４が交差する、被加工物１内の孔交差角部７に生じたバリを除去し、この孔交差角部７に湾曲面を形成する場合には、被加工物１の上面５Ａからの孔交差角部７の深さと、孔３及び４の直径等を考慮して、載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θを設定する。具体的には、孔３が被加工物１の上面５Ａに交差する孔周縁角部６において孔４から最も離れた点を点Ａとし、孔３と孔４の孔交差角部７における最下点を点Ｂとし、これらの点Ａ及びＢを結ぶ直線ｍが、孔３の内面において孔３の軸に平行な直線ｎと交わる角度を角度αとしたとき、載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θを、例えば載置テーブル１７をＸ軸回りに回転させることで、上記角度αと略一致させ、前記直線ｍを略鉛直線上に位置付ける。このようにして被加工物１の設置角度θを設定することで、孔３と孔４の孔交差角部７に電子ビーム１１が直線的に照射可能になる。
【００２８】
上述の電子ビーム１１の照射条件及び載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θは、電子ビーム１１の照射位置、照射順序及び照射角度とともに予めプログラミング化されて、図示しない記憶装置に保存される。制御装置１８は、この記憶装置に保存されたプログラムに基づいて、電源装置１９、ビーム収束装置１４、ビーム偏向装置１６及び載置テーブル１７を制御する。
【００２９】
次に、作用を説明する。
【００３０】
図１、図４及び図５に示すように、載置テーブル１７上に位置決め治具２０を用いて位置決めして載置された被加工物１の表面及び内部のバリに対し、制御装置１８は、電子銃１２から電子ビーム１１を照射させ、載置テーブル１７を移動させ、偏向コイル１５により電子ビーム１１の照射角度を微調整することで前記バリを溶融除去する。
【００３１】
孔２及び３における被加工物１の上面５Ａとの孔周縁角部６に生じたバリに対しては、図２に示すように、制御装置１８は、載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θをゼロ度とし、電子ビーム１１が孔周縁角部６に沿って円形軌跡を描くように載置テーブル１７を制御し、且つ偏向コイル１５にて電子ビーム１１の照射角度を微調整する。このとき制御装置１８は、電子ビーム１１の照射条件（ビーム出力、照射周波数）を被加工物１の材質に応じて設定することで、孔２及び３の孔周縁角部６に生じたバリを除去すると共に、この孔周縁角部６に所定半径の湾曲面を形成する。
【００３２】
被加工物１の内部の孔３と孔４の孔交差角部７に生じたバリに対しては、図３に示すように、制御装置１８は、まず、孔３及び４の直径並びに孔交差角部７の上面５Ａからの深さを考慮して、電子ビーム１１が直線的に照射可能な角度になるように、載置テーブル１７により被加工物１の設置角度θを設定する。次に、電子ビーム１１が孔交差角部７に沿って円形軌跡を描くように載置テーブル１７を制御し、且つ偏向コイル１７を制御して電子ビーム１１の照射角度を微調整する。このときも、制御装置１８は、電子ビーム１１の照射条件を被加工物１の材質に応じて設定することで、孔３と孔４の孔交差角部７に生じたバリを除去すると共に、この孔交差角部７に所定半径の湾曲面を形成する。
【００３３】
従って、本実施の形態によれば、次の効果（１）〜（３）を奏する。
【００３４】
（１）例えばレーザビームの場合には、反射ミラーによる反射時にレーザビームのエネルギー損失が発生してしまうが、電子ビーム１１の場合には、偏向コイル１５を用いることで、エネルギー効率を低下させることなく電子ビーム１１を偏向できる。このため、被加工物１の表面の孔周縁角部６または内部の孔交差角部７に存在するバリに対して、エネルギー効率を低下させることなく、バリ除去加工を確実に実施できると共に、これらの孔周縁角部６及び孔交差角部７に所定半径の湾曲面を確実に加工することができる。
【００３５】
（２）電子ビーム１１の照射位置、照射順序、照射角度及び照射条件、並びに載置テーブル１７による被加工物１の設置角度θを予めプログラミング化し、制御装置１８がこのプログラムに基づいて被加工物１の孔周縁角部６及び孔交差角部７に生じたバリを除去し、孔周縁角部６、孔交差角部７に所定半径の湾曲面を加工する。この結果、これらのバリ除去及び湾曲面形成加工を、自動化により短時間且つ高精度に実現できる。
【００３６】
（３）同一形状の被加工物１を交換して、電子ビーム１１によりバリ除去及び湾曲面形成加工を実施する際には、載置テーブル１７に設置された位置決め治具２０を用いて被加工物１を高精度に位置決めすることで、電子ビーム１１によるバリ除去及び湾曲面形成加工の加工精度を向上させることができる。
【００３７】
［Ｂ］第２の実施の形態
この第２の実施の形態において、前記第１の実施の形態と同様な部分については、同一の符号を付すことにより説明を簡略化し、または省略する。
【００３８】
本実施の形態のバリ除去等加工装置３０（図１）、及びこのバリ除去等加工装置３０が実施するバリ除去等加工方法が前記第１の実施の形態と異なる点は、制御装置１８が電源装置１９を制御して、電子銃１２からの電子ビーム１１を、被加工物１に生じたバリの形状や寸法などに応じて複数回に分けて照射する点である。
【００３９】
被加工物１の孔周縁角部６または孔交差角部７に生じたバリに対して電子ビーム１１を照射すると、バリの大部分は溶融して除去されるが、バリの形状や寸法によっては、孔周縁角部６または孔交差角部７に所定半径の湾曲面が形成されにくい場合がある。この場合には、電子ビーム１１を、被加工物１の孔周縁角部６または孔交差角部７に沿って円形軌跡を描いて１回照射した後、連続してまたは一定時間経過後に同様な照射を再度実施する。電子ビーム１１のビーム焦点が直径０．１ｍｍ程度であることから、１回目の照射でバリが溶融された後、同一位置を再度照射することで、孔周縁角部６または孔交差角部７に所定半径の湾曲面を形成することが容易に可能となる。
【００４０】
また、孔周縁角部６または孔交差角部７に形成すべき湾曲面の半径が、例えば０．５ｍｍ〜０．８ｍｍ以上である場合には、２回目以降の電子ビーム１１の照射において照射位置をずらすことで、所定半径の湾曲面を形成することが可能になる。
【００４１】
従って、本実施の形態によれば、前記第１の実施の形態の効果（１）〜（３）と同様な効果を奏するほか、次の効果（４）を奏する。
【００４２】
（４）被加工物１に生じたバリの形状や寸法、または形成すべき湾曲面の半径に応じて、電子銃１２からの電子ビーム１１を複数回に分けて照射することで、バリを確実に除去できると共に、バリが生じた被加工物１の孔周縁角部６または孔交差角部７に所定半径の湾曲面を良好に加工できる。
【００４３】
［Ｃ］第３の実施の形態（図８）
図８は、本発明に係るバリ除去等加工装置の第３の実施の形態で照射される電子ビームの照射角度を説明する説明図である。この第３の実施の形態において、前記第１の実施の形態と同様な部分については、同一の符号を付すことにより説明を簡略化し、または省略する。
【００４４】
本実施の形態のバリ除去等加工装置４０（図１）、及びこのバリ除去等加工装置４０が実施するバリ除去等加工方法が前記第１の実施の形態と異なる点は、被加工物１の孔周縁角部６または孔交差角部７に生じたバリに照射される電子ビーム１１の照射角度を、孔周縁角部６または孔交差角部７を頂点とし、この孔周縁角部６または孔交差角部７を二等分（それぞれの角度β）する二等分線４１の方向に電子ビーム１１の中心線Ｏが一致するように設定した点である。
【００４５】
被加工物１の孔周縁角部６または孔交差角部７に対して、その側面から電子ビーム１１を照射する場合に比べ、被加工物１の孔周縁角部６または孔交差角部７を頂点とし、この孔周縁角部６または孔交差角部７の二等分線４１の方向に電子ビーム１１の中心線Ｏを一致させるように電子ビーム１１を孔周縁角部６または孔交差角部７に照射する場合には、これらの角部６または７に電子ビーム１１のエネルギーを集中させることが可能になる。
【００４６】
従って、本実施の形態によれば、孔周縁角部６または孔交差角部７に生じたバリを効率的に溶融でき、これらの孔周縁角部６または孔交差角部７を所定半径の湾曲面に短時間に加工できる。そのほか、この第３の実施の形態においても、前記第１の実施の形態の効果（１）〜（３）と同様な効果を奏する。
【符号の説明】
【００４７】
１  被加工物
２、３、４  孔
６  孔周縁角部
７  孔交差角部
１０  バリ除去等加工装置
１１  電子ビーム
１２  電子銃
１３  収束コイル
１５  偏向コイル
１７  載置テーブル
１８  制御装置
２０  位置決め治具
３０、４０  バリ除去等加工装置
４１  二等分線
Ｏ  電子ビームの中心線
θ  被加工物の設置角度
【図１】
2010269349.tif 000003
【図２】
2010269349.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010269349.tif 000006
【図５】
2010269349.tif 000007
【図６】
2010269349.tif 000008
【図７】
2010269349.tif 000009
【図８】
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