(57)【要約】【課題】高精度のバニッシュ処理を可能とするテープバニッシュ装置を提供する。【解決手段】磁気ディスク１０を厚さ方向に挟む配置に設けられた、一対のバニッシュ機構を備えるテープバニッシュ装置であって、前記バニッシュ機構１６は、テープの供給機構１２及びテープの巻き取り機構１４と、前記テープの供給機構からテープの巻き取り機構へ、間欠的にテープを送るテープの送り機構と、磁気ディスク１０の記録面から離間した退避位置と、前記記録面に前記テープ２０を押圧してバニッシュ処理を施す押圧位置との間で進退動するヘッド１６１を備えるバニッシュヘッド機構１６と、前記ヘッド１６１が前記退避位置から前記押圧位置に移動する際に、該ヘッド１６１に作用する前記テープのテンションを回避するテンションキャンセル機構１８とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを厚さ方向に挟む配置に設けられた、一対のバニッシュ機構を備えるテープバニッシュ装置であって、
前記バニッシュ機構は、
テープの供給機構及びテープの巻き取り機構と、
前記テープの供給機構からテープの巻き取り機構へ、間欠的にテープを送るテープの送り機構と、
磁気ディスクの記録面から離間した退避位置と、前記記録面に前記テープを押圧してバニッシュ処理を施す押圧位置との間で進退動するヘッドを備えるバニッシュヘッド機構と、
前記ヘッドが前記退避位置から前記押圧位置に移動する際に、該ヘッドに作用する前記テープのテンションを回避するテンションキャンセル機構と、
を備えることを特徴とするテープバニッシュ装置。
【請求項２】
前記テンションキャンセル機構として、
前記ヘッドが配置された位置よりも前記テープの上流側において、前記テープの裏面を真空吸着する真空吸着ヘッドと、
前記ヘッドが前記退避位置から前記押圧位置に向けて移動する際に、前記真空吸着ヘッドを、前記テープを真空吸着する吸着位置から該テープを前記ヘッド側に供給する送り位置に移動させる移動機構とを備えることを特徴とする請求項１記載のテープバニッシュ装置。
【請求項３】
前記移動機構は、
前記ヘッドを前記退避位置と前記押圧位置との間において移動可能に支持する移動板と、前記真空吸着ヘッドを支持する可動板とを備え、
前記移動板と前記可動板とに、前記移動板が退避位置から前記押圧位置に移動する際に、前記可動板を前記吸着位置から前記送り位置に移動させるカム機構が設けられていることを特徴とする請求項２記載のテープバニッシュ装置。
【請求項４】
前記テンションキャンセル機構として、
前記ヘッドが前記退避位置から押圧位置に移動する際に、前記ヘッドとともに移動し、ヘッド側にテープを供給するテンションキャンセル用のガイドローラを備えることを特徴とする請求項１記載のテープバニッシュ装置。
【請求項５】
前記ヘッドが、前記退避位置と前記押圧位置との間において前記ヘッドを移動可能に支持する移動板上に支持され、
前記ガイドローラが、前記移動板上に支持されていることを特徴とする請求項４記載のテープバニッシュ装置。
【請求項６】
前記バニッシュヘッド機構は、前記ヘッドを前記退避位置と前記押圧位置との間で進退動させる駆動部と、
前記押圧位置において、前記ヘッドにより前記テープを押圧する押圧力を調節する圧力調節部とを備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のテープバニッシュ装置。
【請求項７】
前記圧力調節部は、エア圧によって押動圧力を調節するエアベアリングシリンダと、前記ヘッドによる押圧力を検知するロードセルとを備えることを特徴とする請求項６記載のテープバニッシュ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
テープを用いて磁気ディスクの表面の突起あるいは付着物を除去する磁気ディスクテープバニッシュ（burnish）装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置に用いられる磁気ディスク（磁気記録媒体）の製造工程には、円盤状に形成した磁気ディスクの表面の凹凸を除去して表面を滑らかにしたり、表面に付着している付着物を除去したりする工程がある。テープバニッシュ装置はこの工程に用いられる装置であり、磁気ディスクを高速回転させた状態において、特定の表面粗さに形成されたポリエステルテープ等を磁気ディスクの記録面に押し当て、磁気ディスク表面の突起や付着物を除去する。テープには長尺状のテープが用いられ、１枚の磁気ディスクを処理するごとに定寸送りし、新しいテープ面を磁気ディスクの表面に押接して処理される。
【０００３】
図７は、テープバニッシュ装置の従来の構成例を示す。このテープバニッシュ装置は、１回の処理操作により磁気ディスク１０の両面を処理するため、磁気ディスク１０を厚さ方向に挟む配置に一対のバニッシュ機構を備えている。
バニッシュ機構は、供給リール１２１を備えるテープの供給機構１２、及び巻き取りリール１４１を備えるテープの巻き取り機構１４と、テープ２０を磁気ディスク１０に押接するバニッシュヘッド機構１６とを備える。バニッシュヘッド機構１６は、テープ２０を磁気ディスク１０の記録面に押圧するヘッド１６１と、ヘッド１６１を磁気ディスク面に対して進退動させる駆動機構とを備える。
【０００４】
テープバニッシュ装置は、バニッシュ機構とは別に、磁気ディスクをバニッシュ位置にロードしてバニッシュ処理を施すための磁気ディスクのロード・アンロード機構を備える。バニッシュ機構は、ロード・アンロード機構により磁気ディスクを高速回転させた状態において、ヘッド１６１を介して磁気ディスク１０の記録面にテープ２０を押接してバニッシュ操作を行う。磁気ディスク１０を挟むようにして磁気ディスクの記録面にテープ２０を押接し、バニッシュヘッド機構を磁気ディスクの外周縁側と内周側との間で往復させることによって磁気ディスクの両面の記録面の全面をバニッシュ処理することができる。
バニッシュ処理が完了した後、巻き取り機構１４にテープ２０が所定長さ分、巻き取られ、テープ２０の新しい面を使用して次の磁気ディスク１０についてのバニッシュ操作がなされる。
【特許文献１】特開２００８−１３５０９１号公報
【特許文献２】特開平２−２１７８３７号公報
【特許文献３】特開昭５９−１５３６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
磁気ディスクの記録面の凹凸を除去したり、記録面に付着する付着物を除去したりするバニッシュ処理では、テープを磁気ディスクの記録面に押接する際の押圧力が、磁気ディスクの表面の仕上がり状態に影響を及ぼす。すなわち、テープによって磁気ディスクの記録面を押圧する際の押圧力（接触圧力）がばらつくと、処理結果にばらつきが生じて、磁気ディスクの仕上がり面が所定精度に仕上がらないといった問題が生じる。
【０００６】
磁気ディスクの表面を精度よく仕上げるために、従来のテープバニッシュ装置においては、ヘッド１６１によりテープ２０を磁気ディスク１０に押圧する際の押圧力を検知するロードセル１７５を設け、ロードセル１７５の出力を検知してテープ２０の押圧力を制御するといった方法を行っている。
しかしながら、ヘッド１６１を押圧位置に前進させた際にテープ２０のテンションがヘッド１６１に作用すると、ロードセル１７５によって検知された押圧力がそのままテープ２０に作用するとは限らなくなる。また、テープ２０に作用するテンションのばらつきによってテープ２０の押圧力がばらつく原因になる。
【０００７】
近年の磁気ディスク装置においては、磁気記録媒体が高密度化するとともに、磁気ディスク表面からの磁気ヘッドスライダーの浮上量が従来よりも低くなってきており、磁気ディスクの表面精度により高精度が求められるようになってきた。このため、テープバニッシュ装置においても、仕上がり精度のばらつきを抑え、より高精度のバニッシュ処理を可能にすることが求められている。
【０００８】
本発明は、磁気ディスクの記録面にバニッシュ処理を施すテープバニッシュ装置として、高精度の処理を可能にするテープバニッシュ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
テープバニッシュ装置についての実施形態の一観点によれば、磁気ディスクを厚さ方向に挟む配置に設けられた、一対のバニッシュ機構を備えるテープバニッシュ装置であって、前記バニッシュ機構は、テープの供給機構及びテープの巻き取り機構と、前記テープの供給機構からテープの巻き取り機構へ、間欠的にテープを送るテープの送り機構と、磁気ディスクの記録面から離間した退避位置と、前記記録面に前記テープを押圧してバニッシュ処理を施す押圧位置との間で進退動するヘッドを備えるバニッシュヘッド機構と、前記ヘッドが前記退避位置から前記押圧位置に移動する際に、該ヘッドに作用する前記テープのテンションを回避するテンションキャンセル機構とを備えるテープバニッシュ装置が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るテープバニッシュ装置によれば、ヘッドによりテープを磁気ディスクの記録面に押圧してバニッシュ処理を施す際に、テンションキャンセル機構の作用によって、ヘッドに作用するテープのテンション（反力）が回避される。これにより、テープのテンションに左右されることなく、正確に押圧力を設定してバニッシュ処理することができ、高精度でばらつきのないバニッシュ処理が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係るテープバニッシュ装置についての実施の形態について説明する。
（テープバニッシュ装置の全体構成）
まず、図１にしたがって、本実施形態のテープバニッシュ装置の全体構成について説明する。本実施形態のテープバニッシュ装置も、図７に示したテープバニッシュ装置と同様に、磁気ディスクの記録面を厚さ方向に挟む配置に一対のバニッシュ機構を配置して形成されている。
【００１２】
テープバニッシュ装置は、磁気ディスクの収納位置とバニッシュ処理を施す位置との間において磁気ディスクをロード・アンロードする機構を備える。バニッシュ処理を施す位置に磁気ディスクを高速回転（3000〜4000回転／分）するスピンドルが設けられる。
本実施形態においては、バニッシュ処理を施す状態において、磁気ディスクは記録面を鉛直方向に向けて回転支持される。ロード位置において、バニッシュヘッドを磁気ディスク外周縁と内周側との間で往復させることにより、磁気ディスクの記録面の全面をバニッシュ処理する。なお、バニッシュヘッドは、回転する磁気ディスクの外周部から内周部へ移動する機構（不図示）を有する。
【００１３】
本実施形態のテープバニッシュ装置においては、バニッシュ機構として、テープの供給機構１２と、テープの巻き取り機構１４と、バニッシュヘッド機構１６と、テンションキャンセル機構１８とを備える。
磁気ディスクのセット位置を挟んで、左右に配されたバニッシュ機構を構成する各部は、まったく同一の対称配置に設けられている。以下の説明において、とくに断らない限り、バニッシュ機構についての説明は左右のバニッシュ機構に共通である。
【００１４】
テープの供給機構１２は、バニッシュ用のテープが巻回された供給リール１２１を脱着自在に装着する装着部を備える。図１は、装着部に供給リール１２１を装着した状態を示す。バニッシュ用のテープには、所定の粗さに形成されたポリエステルテープや、布製のテープが用いられる。本装置は、バニッシュ用として使用するテープの素材、厚さ、幅、長さ等が限定されるものではない。
テープの巻き取り機構１４は、テープの巻き取りリール１４１を脱着可能に装着する装着部を備える。図１は巻き取りリール１４１を装着した状態を示す。
【００１５】
バニッシュヘッド機構１６は、テープ２０を磁気ディスクの記録面（表面）に押圧するヘッド１６１と、ヘッド１６１を退避位置と押圧位置との間で進退駆動する駆動部と、テープ２０による押圧力を調節する圧力調節部とを備える。ヘッド１６１の駆動部および圧力調節部については後述する。
【００１６】
テンションキャンセル機構１８は、ヘッド１６１が退避位置から磁気ディスクの記録面を押圧する位置まで前進する際に、テープ２０のテンションがヘッド１６１に作用しないようにする機構である。ヘッド１６１が退避位置から押圧位置まで移動する際に、単にヘッド１６１を移動させると、ヘッド１６１はテープ２０のテンション（反力）を受けながら移動することになり、テープ２０の反力によってテープ２０によって磁気ディスクを押圧する圧力が設定値からずれてしまう。
テンションキャンセル機構１８は、ヘッド１６１によってテープ２０を押圧する際にテープ２０が移動する量（長さ）を補うことによって、ヘッド１６１にテープ２０のテンションが作用することを解消する機構である。
【００１７】
図２（ａ）は、ヘッド１６１が退避位置にある状態、図２（ｂ）は、ヘッド１６１が押圧位置に前進した状態を拡大して示す。テープ２０の送り方向にヘッド１６１を挟む配置に、固定ガイドローラ１２５、１２６が配置されている。
ヘッド１６１のテープ２０の裏面に接触する部位には、テープ２０を全幅にわたって押さえる押接部１６１ａが設けられる。この押接部１６１ａは、縦方向にはテープ幅、横方向には５ｍｍ程度の幅に設けられる。押接部１６１ａはスポンジ等の軟らかい素材によって形成される。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、ヘッド１６１が退避位置にある状態においては、固定ガイドローラ１２５、１２６の間に直線的に掛け渡されたテープ２０の裏面にヘッド１６１が位置する。これに対し、ヘッド１６１が磁気ディスクの記録面にテープ２０を押圧する位置まで前進すると（図２（ｂ））、押圧位置において、テープ２０は、固定ガイドローラ１２５、１２６によって直線的に支持された位置よりも突出する。すなわち、ヘッド１６１はテープ２０のテンションに抗してテープ２０を押し出すことになるから、このテープ２０の押し出し量を補充するように、ヘッド１６１にテープ２０を供給すれば、テープ２０のテンションの影響を受けることなく磁気ディスクにテープ２０を押圧することができる。テンションキャンセル機構１８はこのヘッド１６１を前進させる際のテープテンションをキャンセルするための機構である。
【００１９】
図３に、図１に示したバニッシュ機構の一方の構造を拡大して示している。
テープの供給機構１２の送り出し側位置に、可動ガイドローラ１２２が配置されている。この可動ガイドローラ１２２はテープ２０のたるみを調節するためのガイドローラである。可動ガイドローラ１２２は、スライドガイドにより移動方向が規制され、モータによって進退動する。
可動ガイドローラ１２２と固定ガイドローラ１２５との間のテープ経路上に、ガイドローラ１２３と、テンションキャンセル機構１８の一部材である真空吸着ヘッド１８１が配置されている。真空吸着ヘッド１８１は、真空吸着面１８１ａをテープ２０の裏面に向けて配置されている。テープ送りの際には、テープ２０は真空吸着面１８１ａ上をすべりながら移動する。
【００２０】
固定ガイドローラ１２６とテープ巻き取り機構１４に装着される巻き取りリール１４１との間には、テンションキャンセル用のガイドローラ１２７と駆動ローラ１２９が配されている。ガイドローラ１２７は、バニッシュヘッド機構１６のヘッド１６１が前進する際に、ヘッド１６１とともに前進し、テープ２０を戻り方向に供給してテープ２０のテンションをキャンセルするように作用する。ガイドローラ１２７はヘッド１６１を支持する移動板１６７上に支持され、ヘッド１６１とともに固定ガイドローラ１２５、１２６に対して相対的に移動する。
【００２１】
駆動ローラ１２９はテープ２０を間欠的に定寸送りするためのローラである。駆動ローラ１２９に対向してテープ２０を挟む配置にピンチローラ１３０が設けられている。巻き取り機構１４では、テープ２０の巻径が変動することによって巻き取り量が変動する。テープの巻き取り機構１４は一定のテンションによってテープ２０を巻取るように設定されている。テープの巻き取り機構１４に巻き取られるテープ２０の巻き取り量は、駆動ローラ１２９とピンチローラ１３０の送り作用によって規定される。
可動ガイドローラ１２２、ガイドローラ１２３、固定ガイドローラ１２５、１２６、ガイドローラ１２７、駆動ローラ１２９及びピンチローラ１３０が、テープの送り機構を構成する。
【００２２】
（ヘッド部の駆動機構）
ヘッド１６１は駆動機構によって磁気ディスク１０から離間した退避位置と、磁気ディスク１０にテープ２０を押圧する押圧位置との間で進退駆動される。
図４にヘッド１６１を進退動させる駆動機構を示す。図４は、対向して配置されているバニッシュヘッド機構１６を側面方向から見た状態を示している。
ヘッド１６１は、スライド板１６５上に起立して設けられ、スライド板１６５はスライドガイド１６６を介して移動板１６７上に支持される。移動板１６７は、スライドガイド１６８を介して、機枠に固定されている支持板３０上に支持される。
【００２３】
スライドガイド１６８は、支持板３０上において移動板１６７を、ヘッド１６１が互いに対向する方向に進退動するようにガイドし、スライドガイド１６６は、移動板１６７上において、ヘッド１６１が互いに対向する方向に進退動するようにガイドする。
各々の移動板１６７の内端部には、支持板３０の面と垂直に駆動ロッド１６９が鉛直下方に向けて立設されている。
支持板３０の下面には駆動モータ１７０が取り付けられ、この駆動モータ１７０に設けられた一対のチャックアーム１７１に、それぞれ駆動ロッド１６９の下端部がチャックされる。
【００２４】
駆動モータ１７０はチャックアーム１７１を互いに接離動させる向きに押動する作用をなす。すなわち、駆動モータ１７０が作動することにより、一対の駆動ロッド１６９は互いに対向する向きに接離動する。
駆動モータ１７０、駆動ロッド１６９、スライドガイド１６８、移動板１６７、スライドガイド１６６及びスライド板１６５が、ヘッド１６１を進退動させる駆動部１６２を形成する。一対の駆動部１６２により、ヘッド１６１は磁気ディスク１０に対して接近する向きと離間する向きに移動されることになる。
【００２５】
移動板１６７上にはエアベアリングシリンダ１７２が、押動軸１７３の突出入方向をヘッド１６１の進退動方向に平行として取り付けられている。押動軸１７３はポート１７４に接続されるエア源からのエア圧により、移動板１６７に対してスライド板１６５を前進させる向きに押動する。押動軸１７３はロードセル１７５を介してスライド板１６５の後端面に当接し、ロードセル１７５の出力が制御部（不図示）に入力されエアベアリングシリンダ１７２によって押動軸１７３を押圧する押圧力が制御される。
エアベアリングシリンダ１７２、押動軸１７３及びロードセル１７５が圧力調節部１６３を形成する。
【００２６】
図５に、テープの供給機構１２、テープの巻き取り機構１４、バニッシュヘッド機構１６等の構成を、ヘッド１６１に対向する面側から見た状態を示す。
支持板３０上にスライドガイド１６８を介して移動板１６７が支持され、移動板１６７上に、ヘッド１６１、エアベアリングシリンダ１７２、テンションキャンセル用のガイドローラ１２７が支持されている。ヘッド１６１、エアベアリングシリンダ１７２、ガイドローラ１２７は、駆動ロッド１６９により一体的に進退駆動される。
【００２７】
固定ガイドローラ１２５、１２６は、ヘッド１６１を挟む配置に機枠上に立設されている。可動ガイドローラ１２２は、駆動ロッド１７６によりスライドガイド１７７にガイドされて往復動する。駆動ロッド１７６は、駆動ロッド１６９を駆動する駆動モータ１７０とは別体に設けられた駆動モータ（不図示）によって押動される。
【００２８】
テンションキャンセル機構１８の真空吸着ヘッド１８１は、可動板１８２上に立設された支持ブロック１８３の上部に取り付けられている。真空吸着ヘッド１８１のテープ２０の裏面に対向する真空吸着面１８１ａにはテープ２０を真空吸着面１８１ａに吸着する複数個の吸着孔が開口する。真空吸着ヘッド１８１はエア吸引機構に接続され、エア吸引機構は制御部によりエア吸引操作が制御される。
テープの供給機構１２とテープの巻き取り機構１４との間を連通するテープ２０の移動高さ位置に合わせて固定ガイドローラ１２５、１２６、ヘッド１６１、真空吸着ヘッド１８１等の高さが設定されている。
【００２９】
図３に示すように、真空吸着ヘッド１８１を支持する可動板１８２は、ガイド１８４により、ガイドローラ１２３と固定ガイドローラ１２５とを結ぶ直線に平行となる方向に可動に支持される。
移動板１６７の側面に対向する、可動板１８２のコーナー部には、円形ローラに形成されたカムフォロア１８５が取り付けられている。可動板１８２と支持板３０との間には、カムフォロア１８５をカム１６７ａに常時当接させる向きに可動板１８２を付勢する収縮スプリング１８６が設けられている。可動板１８２の後端縁からはアームが延出し、アームに収縮スプリング１８６の一端が係止され、アームに対向して可動板１８２の移動位置を規制するストッパ１８７が設けられている。
【００３０】
（テープバニッシュ装置の作用）
続いて、本実施形態のテープバニッシュ装置の作用について説明する。
まず、図１に示すように、バニッシュヘッド機構１６のヘッド１６１が退避位置にある状態において、ロード・アンロード機構により磁気ディスク１０を支持し、対向して配置されているヘッド１６１の中間位置に磁気ディスク１０をロードする。
ヘッド１６１が退避位置にある状態においては、固定ガイドローラ１２５、１２６に掛け渡されているテープ２０の位置よりも後方にヘッド１６１の押接部１６１ａが位置し、対向配置されているテープ２０間に、磁気ディスク１０を挿入するに十分な間隔が形成されている。
【００３１】
対向配置されているテープ２０の中間に磁気ディスク１０をロードした状態において磁気ディスク１０を回転させ、バニッシュ操作に移る。バニッシュ操作は、磁気ディスク１０を回転させた状態でヘッド１６１によってテープ２０を磁気ディスク１０の外周縁にて押接させ、押接状態のままバニッシュヘッド機構を内周側との間で往復させることで磁気ディスク全面のバニッシュを行なう。
本実施形態のテープバニッシュ装置においては、ヘッド１６１によってテープ２０を磁気ディスク１０に押接する際に、テンションキャンセル機構１８によりテープ２０のテンション（反力）がヘッド１６１に作用しないようにしている。
【００３２】
ヘッド１６１によってテープ２０を磁気ディスク１０の記録面に押接する操作は、駆動モータ１７０により駆動ロッド１６９を介して移動板１６７を磁気ディスク１０に向けて移動させることによってなされる。
ヘッド１６１は、移動板１６７上に支持されているエアベアリングシリンダ１７２の押動軸１７３によりスライド板１６５を押動することによって前進する。このヘッド１６１が前進する操作により、磁気ディスク１０を挟んで配置されている一対のヘッド１６１が互いに接近するように移動する。
【００３３】
ヘッド１６１の端面に形成されている押接部１６１ａはテープ２０の裏面に接触し、磁気ディスク１０の記録面にはテープ２０の処理面が接触する。
テープ２０を磁気ディスク１０の記録面に押圧する際には、駆動部１６２によってヘッド１６１を移動させるストロークを、テープ２０が磁気ディスク１０の記録面に接触する位置よりも若干深くなるように設定し、テープ２０を磁気ディスク１０の記録面に接触させた状態において圧力調節部１６３の作用により押圧力が設定されるようにしている。
【００３４】
圧力調節部１６３は、ロードセル１７５の出力を検知しながらエアベアリングシリンダ１７２に作用させるエア圧をコントロールして、磁気ディスク１０に対するテープ２０の押圧力を制御する。すなわち、磁気ディスク１０に作用するテープ２０の押圧力を最終的に制御するのは圧力制御部１６３である。圧力調節部１６３にエアベアリングシリンダ１７２を使用しているのは、高精度に押圧力を調節することが可能だからである。
磁気ディスクにはいろいろな製品があり、製品によって、バニッシュ処理におけるテープ２０の押圧力を調節する必要がある。その場合には、圧力調節部１６３を調節してテープ２０の押圧力を調節する。なお、移動板１６７の移動ストロークを調節する場合は、ストッパ等により移動板１６７の移動位置を規制する等の方法によることができる。
【００３５】
（テンションキャンセル機構の作用）
図３において、テープの供給機構１２の送り出し位置に設けられている可動ガイドローラ１２２は、テープ２０を送り出し操作する際においては突出位置にあり、ヘッド１６１によりテープ２０を磁気ディスク１０に向けて押し出す際に、引き込み位置に移動する。図３においては、可動ガイドローラ１２２が引き込み位置に移動した状態を破線によって示す。この可動ガイドローラ１２２の動作は、図５に示す駆動ロッド１７６をモータ駆動することによってなされる。
可動ガイドローラ１２２が引き込み位置に移動することにより、テープの供給機構１２から送り出されたテープ２０にたるみ（余裕）が 生じる。このたるみがヘッド１６１が前進する際にヘッド１６１側に供給される。
【００３６】
テープの供給機構１２からテープ２０を送り出した際に、真空吸着ヘッド１８１に接続するエア吸引機構を作動させ、テープ２０を真空吸着ヘッド１８１の真空吸着面１８１ａに真空吸着する。
ヘッド１６１を支持する移動板１６７と真空吸着ヘッド１８１を支持する可動板１８２とはカム機構によって連繋している。すなわち、テープ２０を磁気ディスク１０に押圧するためにヘッド１６１が前進すると、移動板１６７に設けたカム１６７ａと、真空吸着ヘッド１８１を支持する可動板１８２に設けたカムフォロア１８５との作用によって、真空吸着ヘッド１８１がテープ２０をヘッド１６１に送る位置まで移動する。
移動板１６７、可動板１８２、カム１６７ａ、カムフォロア１８５等が真空吸着ヘッド１８１を吸着位置と供給位置との間で移動させる移動機構を構成する。
【００３７】
図６にこの真空吸着ヘッド１８１の作用を図示した。
図６（ａ）は、ヘッド１６１が退避位置にある状態、図６（ｂ）は、ヘッド１６１が前進し、テープ２０を磁気ディスク１０の記録面に押圧する状態である。
図６（ｃ）に示すように、ヘッド１６１が退避位置にある状態においては、可動板１８２に設けられているカムフォロア１８５はカム１６７ａのカム面の頂部近傍に当接する。この位置が真空吸着ヘッド１８１がテープ２０を真空吸着する吸着位置である。
【００３８】
ヘッド１６１が前進すると、カムフォロア１８５はカム１６７ａのカム面の中途位置まで移動し、これとともに、可動板１８２が移動する。図６（ｄ）に移動板１６７が移動することによって可動板１８２が移動する状態を矢印によって示した。可動板１８２の移動方向はガイドローラ１２３と固定ローラ１２５とを結ぶ線に平行となる方向である。真空吸着ヘッド１８１が移動した位置がテープ２０の送り位置である。
【００３９】
このカム１６７ａとカムフォロア１８５によるカム作用により、ヘッド１６１が前進するとともに真空吸着ヘッド１８１がヘッド１６１側にわずかに移動し、ヘッド１６１側にテープ２０が供給される。テープ２０は真空吸着ヘッド１８１に真空吸着されているから、真空吸着ヘッド１８１が吸着位置から送り位置まで移動することにより、その移動量に応じてヘッド１６１側にテープ２０が供給される。
【００４０】
こうして、真空吸着ヘッド１８１によりヘッド１６１側にテープ２０を供給することにより、ヘッド１６１が退避位置から押圧位置に移動する際にヘッド１６１に作用するテープ２０のテンションを回避することができる。
真空吸着ヘッド１８１によってテープ２０を補充する量は、ヘッド１６１の移動量等に応じて、カム等の設計により適宜調節することが可能である。本実施形態における真空吸着ヘッド１８１の移動量は０．５〜１ｍｍ程度である。
【００４１】
テープ２０を真空吸着ヘッド１８１によって真空吸着している理由は、処理前においては、テープ２０を清浄に維持するため、テープ２０の裏面を支持してテープ２０の処理面に部材が接触しないようにするためである。可動ガイドローラ１２２についても、テープ２０の裏面にローラが接触する配置としている。
可動ガイドローラ１２２を引き込み位置に移動させるタイミングは、ヘッド１６１が前進するタイミング、すなわち真空吸着ヘッド１８１が移動するタイミングに一致させる。テープ２０は真空吸着ヘッド１８１によって吸着支持しているが、タイミングを調節せず、単に可動ガイドローラ１２２を動かしてしまうと、テープ２０が垂れ下がってしまうおそれがあるからである。
【００４２】
上述したテープ２０のテンションがヘッド１６１に作用することを回避する作用は、ヘッド１６１の上流側における作用である。ヘッド１６１の下流側においては、固定ガイドローラ１２６と駆動ローラ１２９との間に配置されたガイドローラ１２７によってテンションキャンセル作用がなされる。
図５に示したように、ガイドローラ１２７は移動板１６７上に支持されている。ヘッド１６１を移動させるために移動板１６７が前進すると、これに伴ってガイドローラ１２７も前進する。固定ガイドローラ１２６及び駆動ローラ１２９の設置位置は固定されているから、ガイドローラ１２７が移動することにより、その移動量に応じてヘッド１６１側にテープ２０が戻される。
【００４３】
こうして、ヘッド１６１の下流側においては、ガイドローラ１２７がヘッド１６１とともに移動することにより、ヘッド１６１が前進する際にヘッド１６１側にテープ２０を供給してテープ２０のテンションをキャンセルする作用がなされる。
ヘッド１６１の下流側においては、テープ２０の処理面にローラが接触してもなんら問題はない。ガイドローラ１２７をテープ２０の処理面に接触する配置としているのは、この理由である。
仮に、ヘッド１６１の上流側であってもテープ２０の処理面に部材が接触してかまわない場合には、ヘッド１６１の上流側におけるテンションキャンセル機構をガイドローラ１２７による構造と同一構造に形成することも可能である。ガイドローラ１２７を用いるテンションキャンセル機構の方が、真空吸着ヘッド１８１を用いる機構よりも構造は簡単化される。
【００４４】
ヘッド１６１によりテープ２０を磁気ディスク１０の記録面に押圧しながら磁気ディスク１０の全面についてバニッシュ処理を施した後は、テープの巻き取り機構１４にテープ２０を巻き取る操作になる。
ヘッド１６１を退避位置に移動させ、真空吸着ヘッド１８１によるテープ２０の真空吸着を解除し、可動ガイドローラ１２２を突出位置に移動させる。その際に、駆動ローラ１２９を駆動してテープ２０を定寸長さ分、前送りし、テープの巻き取り機構１４の巻き取りリール１４１にテープ２０を巻き取る。
【００４５】
ヘッド１６１を退避位置に移動させる操作は、駆動モータ１７０により駆動ロッド１６９を介して移動板１６７を開き位置に移動させる操作となる。移動板１６７が離間位置に移動することにより、ヘッド１６１は中間に磁気ディスク１０を挿入する間隔をあけて対向する配置に戻り、次回の磁気ディスク１０をバニッシュ処理する状態に復帰する。こうして、次々と、磁気ディスク１０のバニッシュ処理を施すことができる。
【００４６】
本実施形態のバニッシュ機構によれば、テンションキャンセル機構１６を備えていることにより、ヘッド１６１によってテープ２０を処理位置まで押し出す際に、ヘッド１６１に作用するテープ２０からのテンション（反力）を完全にキャンセルして押し出すことができる。したがって、テープ２０を磁気ディスク１０の記録面に押圧する際の押圧力として、圧力調節部１６３によって設定された押圧力がそのまま作用することになる。
こうして、本実施形態のテープバニッシュ装置によれば、磁気ディスク１０をバニッシュ処理する際のテープ２０の押圧力を正確に制御することが可能となり、磁気ディスク１０のバニッシュ処理を高精度に、ばらつきなく行うことができる。本実施形態のテープバニッシュ装置は、高密度記録用の磁気ディスクのように、高精度のバニッシュ処理が求められる製品について好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】テープバニッシュ装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】ヘッドが退避位置にある状態と前進位置にある状態を示す平面図である。
【図３】テープバニッシュ装置の一方のバニッシュ機構を示す平面図である。
【図４】バニッシュヘッド機構の側面図である。
【図５】バニッシュヘッド機構及びテンションキャンセル機構の側面図である。
【図６】テンションキャンセル機構の作用を示す説明図である。
【図７】テープバニッシュ装置の従来の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  磁気ディスク
１２  テープの供給機構
１４  テープの巻き取り機構
１６  バニッシュヘッド機構
１８  テンションキャンセル機構
２０  テープ
３０  支持板
１２１  供給リール
１２２  可動ガイドローラ
１２５、１２６  固定ガイドローラ
１２７  ガイドローラ
１２９  駆動ローラ
１４１  巻き取りリール
１６１  ヘッド
１６１ａ  押接部
１６２  駆動部
１６３  圧力調節部
１６５  スライド板
１６７  移動板
１６７ａ  カム
１７０  駆動モータ
１７２  エアベアリングシリンダ
１８１  真空吸着ヘッド
１８１ａ  真空吸着面
１８２  可動板
１８５  カムフォロア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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