(57)【要約】【課題】貼り合わせられる一対のワークの位置を検出して位置決めする場合に、位置決め量の補正値を、最適な値に収束可能な貼合装置及び貼合方法を提供する。【解決手段】ワークＳ１，Ｓ２を保持する保持装置１０、ワークＳ１を位置決めする位置決め部２１、ワークＳ１，Ｓ２を貼り合わせる押圧装置、貼合前のワークＳ１，Ｓ２のずれ量を算出する貼合前算出部４３１、貼合前のずれ量に基づいて、位置決め部２１によるワークＳ１の移動量を算出する移動量算出部４３２、貼合後のワークＳ１，Ｓ２のずれ量を算出する貼合後算出部４４０、貼合後のずれ量に基づいて、最小二乗法により移動量の補正値を算出する補正値算出部４４１を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルを構成する平板状の一対のワークを保持する保持装置と、前記保持装置に設けられ、一対のワークの少なくとも一方を位置決めする位置決め部と、前記保持装置における一対のワークの少なくとも一方を付勢することにより、一対のワークを貼り合わせる押圧装置とを有する貼合装置において、
前記保持装置に保持された貼り合せ前の一対のワークの位置のずれ量を検出する貼合前検出部と、
前記貼合前検出部により検出された貼り合せ前のずれ量に基づいて、前記位置決め部によるワークの移動量を算出する移動量算出部と、
前記押圧装置による貼り合わせ後の一対のワークの位置のずれ量を検出する貼合後検出部と、
前記貼合後検出部により検出された貼り合せ後のずれ量に基づいて、前記移動量の補正値を、最小二乗法により算出する補正値算出部と、
を有することを特徴とする貼合装置。
【請求項２】
前記貼合前検出部及び前記貼合後検出部の少なくとも一方は、一対のワークの複数箇所を撮像可能な複数の撮像部を有することを特徴とする請求項１記載の貼合装置。
【請求項３】
前記貼合後検出部は、貼り合せ後の一方のワークと他方のワークとにそれぞれ焦点を合わせて撮像可能な撮像部を有することを特徴とする請求項１記載の貼合装置。
【請求項４】
前記貼合後検出部は、一対のワークを撮像可能な撮像部を有し、
貼り合せ後の一対のワークを反転させる反転装置を有することを特徴とする請求項１記載の貼合装置。
【請求項５】
前記貼合後検出部は、貼り合せ後の一対のワークを挟んで対向する位置に配置された少なくとも一対の撮像部を有することを特徴とする請求項１記載の貼合装置。
【請求項６】
前記貼合前検出部によるずれ量の検出、前記移動量算出部によるワークの移動量の算出、前記貼合後検出部によるずれ量の検出、前記補正値算出部による補正値の算出を、所定のタイミングで行わせる制御装置を有することを特徴とする請求項１記載の貼合装置。
【請求項７】
保持装置が、表示パネルを構成する平板状の一対のワークを保持し、保持装置に設けられた位置決め部が、一対のワークの少なくとも一方を位置決めし、押圧装置が、保持装置における一対のワークの少なくとも一方を付勢することにより、一対のワークを貼り合わせる貼合方法において、
貼合前検出部が、保持装置に保持された貼り合せ前の一対のワークの位置のずれ量を検出し、
移動量算出部が、貼合前検出部により検出された貼り合せ前のずれ量に基づいて、位置決め部によるワークの移動量を算出し、
貼合後検出部が、前記押圧装置による貼り合わせ後の一対のワークのずれ量を検出し、
補正値算出部が、前記補正後検出部により検出された貼り合せ後のずれ量に基づいて、前記移動量の補正値を、最小二乗法により算出することを特徴とする貼合方法。
【請求項８】
前記貼合後検出部による検出の際に、反転装置が貼り合せ後の一対のワークを反転させることを特徴とする請求項７記載の貼合方法。
【請求項９】
前記貼合後検出部は、貼り合せ後の一対のワークを挟んで対向する位置から、少なくとも一対の撮像部によって撮像することを特徴とする請求項７記載の貼合方法。
【請求項１０】
前記貼合後検出部によるずれ量の検出及び前記補正値算出部による補正値の算出を、所定のタイミングで行うことを特徴とする請求項７記載の貼合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶パネル等の表示パネルを構成するモジュールとカバーパネルのような平板状のワークを、位置決めして貼り合わせる技術に改良を施した貼合装置及び貼合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶パネルは、液晶モジュールと、その表面を保護する保護シート、操作用のタッチパネル等を積層することにより構成されている。これらの液晶モジュール、保護シート、タッチパネル等（以下、ワークと呼ぶ）は、液晶モジュールの筐体に組み込まれており、保護パネルやタッチパネルの変形による液晶ガラスへの接触を避けるために、互いの間には空間が形成されていた。
【０００３】
しかし、ワークの間に空気の層が入ると、外光反射により表示面の視認性が低下する。これに対処するため、両面テープや接着剤などの貼着材によって、ワーク間を埋める層が形成されるように貼り合わせることが行われるようになってきている。
【０００４】
また、貼り合わされるワークは、正確に位置決めする必要がある。このため、ワークを貼り合わせる装置には、カメラによりワークを撮像し、互いのずれを修正する位置決め装置を備える必要がある。このように、ワークをカメラにより撮像して位置決めする技術としては、例えば、特許文献１及び２に示すものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２５８７４６号公報
【特許文献２】特開２００３−６６４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、複数のカメラによってＸ方向及びＹ方向（ワークに平行な面上の直交する２直線方向）、θ方向（ワークに平行な面上を回転する方向）の位置を検出すると、個々のカメラの相対位置によって、理想的な位置決め（アライメント）位置からのずれが発生する。これに対処するため、貼り合せ後の一対のワークのずれ量を実測することによって、オフセット量を導出し、これを補正値として位置決め動作にフィードバックすることにより、ずれを相殺してワークを貼り合わせることが考えられる。
【０００７】
しかし、かかる方法では、ある程度までずれが収束すると、Ｘ方向、Ｙ方向の直交成分とθ方向の成分とが互いに影響し合って、一定の範囲で＋（プラス）補正した場合にはずれが＋になり、次に−（マイナス）補正した場合にはずれが−になるという具合に、本来ゼロに収束すべきずれが、ばらつきの範囲で延々と繰り返して出現するようになって、ゼロ若しくはこれに近似した値にまで収束しなくなる。こうなると、ばらつき以下の値を、最適値とすべきしきい値に設定していた場合には、最適値で収束することがない。
【０００８】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、貼り合わされる一対のワークの位置を検出して位置決めする場合に、位置決め量の補正値を、最適な値に収束させることができる貼合装置及び貼合方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、請求項１の発明は、表示パネルを構成する平板状の一対のワークを保持する保持装置と、前記保持装置に設けられ、一対のワークの少なくとも一方を位置決めする位置決め部と、前記保持装置における一対のワークの少なくとも一方を付勢することにより、一対のワークを貼り合わせる押圧装置とを有する貼合装置において、前記保持装置に保持された貼り合せ前の一対のワークの位置のずれ量を検出する貼合前検出部と、前記貼合前検出部により検出された貼り合せ前のずれ量に基づいて、前記位置決め部によるワークの移動量を算出する移動量算出部と、前記押圧装置による貼り合わせ後の一対のワークの位置のずれ量を検出する貼合後検出部と、前記貼合後検出部により検出された貼り合せ後のずれ量に基づいて、前記移動量の補正値を、最小二乗法により算出する補正値算出部と、を有することを特徴とする。請求項７の発明は、請求項１の発明を方法の観点から捉えたものである。
【００１０】
以上のような請求項１及び７の発明では、ワークの貼り合わせ前のずれ量に基づいて算出される位置決めのための移動量を、ワークの貼り合わせ後のずれ量に基づいて、最小二乗法により補正値を更新していく処理を繰り返すことにより、最適な補正値を確実に探り当てることができる。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１の貼合装置において、前記貼合前検出部及び前記貼合後検出部の少なくとも一方は、一対のワークの複数箇所を撮像可能な複数の撮像部を有することを特徴とする。
以上のような請求項２の発明では、互いに影響されやすい複数箇所の位置の補正値を、最適な値に収束させることができる。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１の貼合装置において、前記貼合後検出部は、貼り合せ後の一方のワークと他方のワークとにそれぞれ焦点を合わせて撮像可能な撮像部を有することを特徴とする。
以上のような請求項３の発明では、撮像部が、貼り合わされた一対のワークのそれぞれに焦点を合わせて、正確な検出が可能となる。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項１の貼合装置において、前記貼合後検出部は、一対のワークを撮像可能な撮像部を有し、貼り合せ後の一対のワークを反転させる反転装置を有することを特徴とする。請求項８の発明は、請求項４の発明を方法の観点から捉えたものである。
【００１４】
以上のような請求項４及び８の発明では、一方若しくは双方のワークが光を透過し難い場合であっても、反転させることにより、それぞれのワークの位置を正確に検出できる。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１の貼合装置において、前記貼合後検出部は、貼り合せ後の一対のワークを挟んで対向する位置に配置された少なくとも一対の撮像部を有することを特徴とする。請求項９の発明は、請求項５の発明を方法の観点から捉えたものである。
以上のような請求項５及び９の発明では、一方若しくは双方のワークが光を透過し難い場合であっても、対向する位置から撮像することにより、それぞれのワークの位置を正確に検出できる。
【００１６】
請求項６の発明は、請求項１の貼合装置において、前記貼合後検出部によるずれ量の検出及び前記補正値算出部による補正値の算出を、所定のタイミングで行わせる制御装置を有することを特徴とする。請求項１０の発明は、請求項６の発明を方法の観点から捉えたものである。
以上のような請求項６及び１０の発明では、生産効率や歩留まりに適したタイミングを選択して、補正値の算出等を行うことができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上、説明したように、本発明によれば、貼り合わさる一対のワークの位置を検出して位置決めする場合に、位置決め量の補正値を、最適な値に収束可能な貼合装置及び貼合方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１の実施形態の保持装置を示す斜視図である。
【図３】図１の実施形態における検出装置を示す斜視図である。
【図４】図３の検出装置の側面図である。
【図５】図１の実施形態における位置決め手順を示す説明図である。
【図６】図１の実施形態における制御装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図７】図１の実施形態における補正値決定処理を示すフローチャートである。
【図８】図１の実施形態における最小二乗法において補正値を近似させる一次関数のグラフを説明する図である。
【図９】本発明の他の実施形態における貼り合せ前のワークの撮像箇所を示す説明図である。
【図１０】本発明の他の実施形態における貼り合せ後のワークの撮像箇所を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
［Ａ．実施形態の構成］
まず、本実施形態の貼合装置（以下、本装置と呼ぶ）の構成を説明する。本装置は、図１に示すように、ターンテーブル１上に、５台の保持装置２を搭載したものである。ターンテーブル１は、図示しないインデックス機構によって、投入取出しポジション１Ａ、貼着材準備ポジション１Ｂ、位置決めポジション１Ｃ、真空貼り合せポジション１Ｄ、測定ポジション１Ｅに合わせて、間欠回転するように構成されている。
【００２０】
保持装置２は、図２に示すように、保持部２０と位置決め部２１によって、ワークＳ１及びワークＳ２を、上下に対向させて保持する装置である。本実施形態では、ワークＳ１，Ｓ２として、例えば、液晶モジュールとカバーパネルのような長方形状の基板を用いる。なお、ワークＳ１，Ｓ２には、仮想的な長方形若しくは正方形の４頂点に対応して、検出用のマークＭ１，Ｍ２が設けられていてもよい。
【００２１】
保持部２０は、ワークＳ２を保持するアームであり、図示しない駆動機構によって昇降可能に設けられるとともに、後述する押圧装置によって、ワークＳ２とともに下降可能に設けられている。位置決め部２１は、駆動源及びこれとクラッチ等を介して着脱される駆動機構から成るテーブル駆動機構２２（図６参照）を備えたＸ−Ｙ−θテーブルを有している。このＸ−Ｙ−θテーブルは、テーブル駆動機構２２によって、ワークＳ１を位置決めする水平なテーブルである。Ｘ−Ｙ−θテーブルは、水平面上を直交する直線方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能に、且つ、回動可能（θ方向）に設けられているが、具体的な構成は、周知技術であるため、説明は省略する。
【００２２】
貼着材準備ポジション１Ｂには、図示はしないが、剥離装置若しくは塗布装置が着脱自在に設けられている。剥離装置は、ワークＳ１にあらかじめ貼着された両面テープの剥離紙（剥離シート等、材質は問わない）を剥離する装置である。塗布装置は、ワークＳ１に接着剤を塗布する装置である。剥離装置、塗布装置としては、周知の装置を用いることができる。
【００２３】
位置決めポジション１Ｃには、図３及び図４に示すように、ワークＳ１，Ｓ２の位置を検出する検出装置４が設けられている。この検出装置４によって検出されたワークＳ１，Ｓ２の貼り合せ前の位置情報と、後述する補正値に基づいて、後述する制御装置４０が、貼り合せ後のずれ量の算出、位置決め部２１におけるワークＳ２に対するワークＳ１の移動量の算出を行う。検出装置４は、ワークを撮像するための２台のＣＣＤカメラ４１，４２を有している。
【００２４】
ＣＣＤカメラ４１，４２は、内蔵された光源（同軸落射照明）の反射光を検出することにより、検出対象の撮像を行うカメラである。上方に配置されたＣＣＤカメラ４１は、レンズ面が下方を向いていて、上方のワークＳ２を撮像するためのカメラである。下方に配置されたＣＣＤカメラ４２は、レンズ面が下方を向いていて、下方のワークＳ１を撮像するカメラである。
【００２５】
これらのＣＣＤカメラ４１，４２は、図４に示すように、アーム４５，４６によって支持されている。ＣＣＤカメラ４１，４２及びアーム４５，４６は、カメラ駆動機構４３（図６参照）によって移動する。このカメラ駆動機構４３は、図示しない駆動源等を有し、アーム４５，４６を駆動する機構である（例えば、Ｘ−Ｙ軸駆動機構）。
【００２６】
アーム４５は、図３に示すように、カメラ駆動機構４３によって水平面上を、直交する直線方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動することにより、ワークＳ２の上方に対して、ＣＣＤカメラ４１を出し入れ可能に且つ前後左右方向に走査可能に設けられている。同様に、アーム４６も、カメラ駆動機構４３によって水平面上を、直交する直線方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動することにより、ワークＳ１の上方に対して、ＣＣＤカメラ４２を出し入れ可能に且つ前後左右方向に走査可能に設けられている。これにより、ＣＣＤカメラ４１，４２は、それぞれワークＳ１，Ｓ２のコーナー部若しくはマークＭ１，Ｍ２を撮像可能な位置に移動可能となる。
【００２７】
真空貼り合せポジション１Ｄには、図示はしないが、押圧装置が設けられている。この押圧装置は、真空チャンバ内の減圧空間において、ワークＳ２をワークＳ１側に押圧することにより、両者を貼り合わせることができる。押圧装置は、例えば、シリンダ等の駆動源により昇降するプレートによって実現できるが、周知の技術であるため、説明は省略する。
【００２８】
測定ポジション１Ｅには、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２の位置情報を検出する検出装置（図示せず）が設けられている、この検出装置は、例えば、上記の検出装置４と同様に、ＣＣＤカメラ５１、駆動機構５３、アーム（図示せず）によって構成されている（図６参照）。但し、ＣＣＤカメラ５１は、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２のコーナー部若しくはマークＭ１，Ｍ２を撮像するので、ワークＳ１，Ｓ２に合わせて焦点を調整する機能を有している。
【００２９】
焦点調整機能を実現する構成については周知のあらゆる技術を適用可能である。例えば、レンズの位置を可変として焦点をワークＳ１，Ｓ２に合わせる機構であっても、あらかじめ設定された焦点距離にワークＳ１，Ｓ２が来るようにカメラ自体を昇降させる機構であってもよい。このため、例えば、駆動機構５３としては、アームをＸ方向及びＹ方向ばかりでなく、Ｚ（高さ）方向に移動させる機構が考えられる。このように、検出装置によって検出されたワークＳ１，Ｓ２の位置情報に基づいて、後述する制御装置４０が、貼り合せ後のずれ量の算出、移動量の補正値の算出等を行う。
【００３０】
ＣＣＤカメラ４１，４２，５１、カメラ駆動機構４３，５３、テーブル駆動機構２２等は、制御装置４０によって制御される。この制御装置４０は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって、以下のような機能を実現することにより構成されている。
【００３１】
すなわち、図６に示すように、制御装置４０は、カメラ駆動部４１０、撮像制御部４１１、画像処理部４１２、抽出部４１３、テーブル駆動部４２０、貼合前算出部４３１、移動量算出部４３２、貼合後算出部４４０、補正値算出部４４１、記憶部４５０、入出力インタフェース部４６０等を有している。
【００３２】
カメラ駆動部４１０は、カメラ駆動機構４３を制御する手段である。撮像制御部４１１は、ＣＣＤカメラ４１，４２，５１の撮像を制御する手段である。画像処理部４１２は、ＣＣＤカメラ４１，４２，５１により撮像された画像を処理する手段である。抽出部４１３は、撮像された画像から、ワークＳ１，Ｓ２のコーナー部若しくは検出用マークＭ１，Ｍ２を抽出する手段である。テーブル駆動部４２０は、テーブル駆動機構２２を制御する手段である。
【００３３】
貼合前算出部４３１は、貼り合せ前のワークＳ１，Ｓ２のずれ量を算出する手段である。この貼合前算出部４３１と、検出装置４（ＣＣＤカメラ４１，４２を含む）及び入出力インタフェース４６０等によって、請求項の貼合前検出部が構成されている。移動量算出部４３２は、貼り合せ前のワークＳ１，Ｓ２のずれ量に基づいて、テーブル駆動部４２０によって制御されるテーブル駆動機構２２によるワークＳ１の移動量を算出する手段である。
【００３４】
貼合後算出部４４０は、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２のずれ量を算出する手段である。この貼合後算出部４４０と、検出装置（ＣＣＤカメラ５１を含む）及び入出力インタフェース４６０等によって、請求項の貼合後検出部が構成されている。
【００３５】
補正値算出部４４１は、後述の作用で説明する最小二乗法を用いて、移動量の補正値を算出する手段である。この補正値算出部４４１は、算出部４４１ａ、判定部４４１ｂ、更新部４４１ｃを有している。算出部４４１は、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２のずれ量に基づいて、補正値を算出する手段である。判定部４４１ｂは、算出部４４１ａによって算出された補正値と、前回設定された補正値とを比較判定する手段である。更新部４４１ｃは、判定部４４１ｂの判定結果に応じて、前回設定された補正値を更新する手段である。
【００３６】
記憶部４５０は、各種のデータ、設定等を記憶する手段である。記憶部４５０は、補正値の設定部としての機能を有している。その他、記憶部４５０に記憶される情報としては、各部の駆動量及び方向、演算式、撮像された画像、抽出された位置等が考えられるが、これには限定されない。
【００３７】
入出力インタフェース部４６０は、外部のＣＣＤカメラ４１，４２，５１、カメラ駆動機構４３，５３、テーブル駆動機構２２、後述する入力装置４７０等との間での情報の入出力を行うインタフェースである。
【００３８】
なお、制御装置４０には、作業者が、制御装置４０を操作するための、スイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置４７０が接続されている。さらに、制御装置４０には、制御装置４０の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置も接続されているが、説明を省略する。
【００３９】
［Ｂ．実施形態の作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用を、以下に説明する。なお、以下に説明する手順でワークを貼り合わせる方法及び貼合装置を動作させるコンピュータプログラムも、本発明の一態様である。
【００４０】
まず、図１に示す投入取出しポジション１Ａにおいて、作業者は、保持装置２へワークＳ１，Ｓ２を装着する。なお、人手によるワークＳ１，Ｓ２の投入でなく、オートローダ等の供給機構によって、ハンドリング等されたワークを自動的に投入することも可能である。
【００４１】
そして、ワークＳ１，Ｓ２を保持した保持装置２は、ターンテーブル１の回転によって、貼着材準備ポジション１Ｂに来る。ここで、剥離装置が、ワークＳ１の剥離紙を剥離するか、若しくは塗布装置がワークＳ１に接着剤を塗布する。
【００４２】
次に、ワークＳ１，Ｓ２を保持した保持装置２が、ターンテーブル１の回転によって位置決めポジション１Ｃに来る。この後、ワークＳ１，Ｓ２の位置検出、位置決め、貼り合せ、補正値設定等の処理が行われる。これらの手順を図７のフローチャートを参照して説明する。
【００４３】
［初期補正値設定（ステップ１０１）］
まず、初期の補正値が、あらかじめ記憶部４５０に設定される。これは、経験的、統計的に最適と判断された値が、デフォルトで設定されていてもよいし、作業者が入力装置を用いて所望の値を入力してもよい。
【００４４】
［位置検出（ステップ１０２）］
カメラ駆動部４１０は、カメラ駆動機構４３を作動させることによりアーム４５，４６を移動させる。これにより、図４に示すように、ＣＣＤカメラ４１がワークＳ２の上方に移動し、ＣＣＤカメラ４２はワークＳ１とワークＳ２との間に移動する。
【００４５】
そして、ＣＣＤカメラ４１，４２は、図３に示すように、ワークＳ１，Ｓ２のコーナー部若しくはマークＭ１，Ｍ２に対応する位置に、順次停止する。撮像制御部４１１は、ＣＣＤカメラ４１，４２に、ワークＳ１及びワークＳ２のコーナー部若しくはマークＭ１，Ｍ２を、順次撮像させる。撮像された画像は、制御装置４０に入力される。
【００４６】
上記のようにして、少なくとも３点を撮像した後、抽出部４１３は、撮像した画像から、ワークＳ１のコーナー部若しくは識別マークＭ１の３点を抽出するとともに、これに対応するワークＳ２のコーナー部若しくはマークＭ２の３点を抽出する。なお、画像から点を抽出する処理は、従来の一般的な画像処理技術によって実現可能であるため、説明を省略する。
【００４７】
［貼り合せ前のずれ量算出（ステップ１０３）］
貼合前算出部４３１は、図５に示すように、各ワークＳ１，Ｓ２の３点（一点鎖線の円で囲まれた点）のうち、対角２点の中点を、ワークＳ１，Ｓ２の重心座標Ｇ１，Ｇ２として算出する。そして、各ワークＳ１，Ｓ２の３点のうち、長辺若しくは短辺の２点を結ぶ直線の傾きを、ワークＳ１，Ｓ２の傾きとして算出する。このように、算出された重心座標Ｇ１，Ｇ２のＸ、Ｙ方向の差分、傾きの差分を、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向のずれ量として算出する。
【００４８】
［移動量の算出（ステップ１０４）］
上記の貼り合せ前のずれ量と、初期補正値に基づいて、テーブル駆動部４２０によって制御されるテーブル駆動機構２２よるワークＳ１の移動量が算出される。
【００４９】
［位置決め動作（ステップ１０５）］
算出された移動量に基づいて、テーブル駆動機構２２が動作して、ワークＳ１をワークＳ２に対して位置決めする。
【００５０】
［貼り合せ（ステップ１０６）］
次に、ワークＳ１，Ｓ２を保持した保持装置２が、ターンテーブル１の回転によって真空貼り合せポジション１Ｄに来る。ここで、真空チャンバ内が密閉、減圧された後、ワークＳ２が押圧装置に付勢されることによって、ワークＳ１に対して貼り合わされる。
【００５１】
［貼り合せ後のずれ量算出（ステップ１０７）］
そして、貼り合わされたワークＳ１，Ｓ２を保持した保持装置２は、ターンテーブル１の回転によって測定ポジション１Ｅに来る。すると、カメラ駆動部４１０は、カメラ駆動機構５３を作動させることによりアームを移動させる。これにより、ＣＣＤカメラ５１が貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２の上方に移動する。
【００５２】
そして、ＣＣＤカメラ５１は、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２のコーナー部若しくはマークＭ１，Ｍ２に対応する位置に、順次停止する。なお、ワークＳ１とワークＳ２との焦点距離の違いは、上記のような焦点調整機能によって調整する。撮像制御部４１１は、ＣＣＤカメラ５１に、ワークＳ１及びワークＳ２のコーナー部若しくはマークＭ１，Ｍ２を、順次撮像させる。撮像された画像は、制御装置４０に入力される。
【００５３】
上記のようにして、少なくとも３点を撮像した後、抽出部４１３は、撮像した画像から、ワークＳ１のコーナー部若しくは識別マークＭ１の３点を抽出するとともに、これに対応するワークＳ２のコーナー部若しくはマークＭ２の３点を抽出する。このように抽出された点に基づいて、貼合後算出部４４０が、上記の貼り合せ前のずれ量算出と同様に、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向のずれ量を算出する。
【００５４】
［補正値の決定（ステップ１０８〜１１１）］
そして、算出された貼り合せ後のずれ量に基づいて、補正値算出部４４１における算出部４４１ａが、ずれを相殺するオフセット値となる補正値を算出する（ステップ１０８）。このとき、本実施形態における算出部４４１ａは、従来のずれ量分そのものを、逆方向の移動量とするような補正量を補正値として与えるのではなく、傾きを１とした線形一次方程式を想定した最小二乗法による近似値の算出によって、測定の繰り返し数ｎの蓄積を活かせるような補正値決定法を用いる。
【００５５】
そのための計算の一例を、以下に具体的に説明する。すなわち、単純にずれ量を補正値とする場合、ｎ＋１回目の補正値Ｘｎ＋１は、前回、すなわちｎ回目の補正値Ｘｎを用いて、新たに生じたずれ量を、反対側の向きのオフセット値として減じた次式のようになる。ここで、Ｘは、検出装置によって検出され、貼合後算出部４４０によってずれ量として算出されたオフセット値である。
【数１】
2010282099.tif 000003
【００５６】
しかし、かかる式（１）による補正値の算出では、繰り返し回数を増やしても、補正値に生じるばらつきは、ある一定値以下にはならない。そこで、本実施形態では、次のように、最小二乗法を用いる。すなわち、式（１）を変形した式（２）とする。
【数２】
2010282099.tif 000004
【００５７】
ここで、図８に示すように、Ｘｎを縦軸変数、Ｘを横軸変数、Ｘｎ＋１を縦軸切片とする一次関数で近似できると定義する。傾き１として、最小二乗法を用いて、縦軸切片［Ｘｎ＋１］を求めると、式（３）が得られる。この式（３）により、算出部４４１ａが補正値を算出する（ステップ１０９）。
【数３】
2010282099.tif 000005
【００５８】
判定部４４１ｂは、設定されている補正値と、新たに算出した補正値とを比較して、ゼロ若しくはゼロに近似する値（所定のしきい値を設定してもよい）となったか否かを判定する（ステップ１０９）。ゼロ若しくはその近似値になっていない場合には、更新部４４１ｃが、新たな補正値によって、設定された補正値を更新する（ステップ１１０）。そして、次のワークＳ１，Ｓ２を対象として、上記のステップ１０１〜１０９の処理が行われる。
【００５９】
このような貼り合わせ後のずれ量に基づく補正値のフィードバック処理が、式（４）に示すように、補正値が、ゼロ若しくはその近似値となって収束するまで繰り返される。
【数４】
2010282099.tif 000006
【００６０】
そして、判定部４４１ｂが、補正値が収束したと判定した場合には（ステップ１０９）、その時点で設定された補正値が、最適な補正値として決定される（ステップ１１１）。上記例では、Ｘ方向の移動量の補正値が決定する。このように、用いる式を式（１）から式（３）に置き換えることによって、補正値を最適の値で収束させることが可能となる。
【００６１】
なお、Ｙ方向、θ方向についても、同様に、式（５）、式（６）を用いて、式（７）、式（８）で収束するまでフィードバック処理を繰り返し、補正値を決定する。
【数５】
2010282099.tif 000007
【数６】
2010282099.tif 000008
【数７】
2010282099.tif 000009
【数８】
2010282099.tif 000010
【００６２】
貼り合わされたワークＳ１，Ｓ２を保持した保持装置２が、ターンテーブル１の回転によって投入取出しポジション１Ａに来ると、作業者は、ワークＳ１，Ｓ２を保持装置１０から取り出す。なお、この作業も、搬出機構等による自動化が可能である。
【００６３】
［Ｃ．実施形態の効果］
以上のような本実施形態によれば、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向という互いの成分が影響し合うような補正動作においても、最小二乗法によって補正値を求める処理を繰り返すことによって、確実に最適な補正値を探り当てることが可能となる。繰り返し数を増やすことによって、ずれ量が大きいサンプルが発生しても、補正値の計算結果の値は、最適値からの乖離を極力小さくすることができる。
【００６４】
これは、保持装置をターンテーブルによって移動させ、複数のカメラによって多数の点を撮像して位置決めを行う本実施形態のように、ずれを生じさせる要因が多数存在する場合に、特に有効である。さらに、貼り合わせ後の検出装置においては、ＣＣＤカメラ５１の焦点調整機能によって、上下のワークＳ１，Ｓ２に焦点を合わせて撮像する。このため、正確な検出が可能となる。また、カメラを上下に配置する必要もない。
【００６５】
［Ｄ．他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、さらに、貼り合わせるワークは、表示パネルを構成する平板状のものであれば、その種類は問わない。液晶ディスプレイ用ばかりでなく、有機ＥＬディスプレイ等、現在又は将来において利用可能な表示パネルのワークを広く包含する。ワークの位置を検出する検出装置は、カメラには限定されない。現在又は将来において利用可能な非接触式若しくは接触式の検出装置が適用可能である。例えば、金属顕微鏡によって、上記のように、ワークの所定点を測定することも可能である。
【００６６】
また、上記の実施形態においては、貼り合せ後のワークの位置の検出を、他の処理と共通の搬送ライン内（オンライン）で行っていた。しかし、他の処理と共通のラインから外して（オフライン）、ワークの位置を検出することも可能である。これにより装置コストを節約できる。例えば、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２を、所定の枚数（例えば、５〜６枚）、ターンテーブル１からサンプルとして取り出して、金属顕微鏡等の測定装置により、所定点を測定する。この測定点の位置情報を、操作者が入力装置４７０から入力する。入力された位置情報に基づいて、貼合後算出部４４０がずれ量を算出し、これに基づいて、補正値算出部４４１が補正値を算出する。この場合、入力装置４７０、入出力インタフェース４６０及び貼合後算出部４４０等によって、請求項の貼合後検出部が構成される。
【００６７】
なお、ずれ量を算出する貼合後算出部４４０が、制御装置４０の外部の測定装置等に構成され、金属顕微鏡等により測定された点に基づいて、ずれ量を算出するように構成してもよい。この場合、算出されたずれ量は、入出力インタフェース４６０を介して測定装置から入力されるか、操作者によって入力装置４７０を介して制御装置４０に入力される。この場合、入力装置４７０、入出力インタフェース４６０等によって、請求項の貼合後検出部が構成される。
【００６８】
位置決め装置も、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向の少なくとも一方向に位置合わせできるものであればよい。対向するワーク間の角度を変更可能として、この角度についても、位置決め、補正可能に構成してもよい。
【００６９】
ずれ量の検出のために撮像等する箇所は、上記のようなコーナー部でも、マークでもよいし、他の箇所（他の目的のために設けられたもの、例えば、デザインや操作のための凹凸、印刷等）であってもよい。また、画像から、点ではなくエッジその他のラインを抽出し、複数箇所の間隔の比較等により、ずれ量を算出してもよい。画像から抽出された複数のラインに基づいて算出される交点を基準として、ずれ量を算出してもよい。ワークに対する撮像箇所の数も、３つには限定されない。例えば、４つとして精度を高めてもよいし、１つとして角度（θ方向）の補正を省略してもよい。
【００７０】
ここで、例えば、ワークＳ２として携帯電話の液晶パネルのカバーパネルが用いられる場合には、以下のような態様が考えられる。かかるワークＳ２には、図９，１０に示すように、液晶モジュールの有効画面領域を視認可能な窓部Ｗの周囲に、特定色で塗られた枠部Ｍが設けられている。かかる場合には、貼り合せ前及び貼り合せ後に、ワークＳ１における検出対象となる点Ｐ１は、ワークＳ１のコーナー部とし、ワークＳ２における検出対象となる点Ｐ２は、枠部Ｍの直交するラインの交点とすることが考えられる。
【００７１】
なお、このようにワークＳ２に光を透過し難い部分がある場合に、貼り合せ後にもワークＳ１を正確に検出（撮像等）できるように、保持装置若しくはオフラインに配置された検出箇所に、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２を反転させる反転装置を設けてもよい。また、貼り合せ後のワークＳ１，Ｓ２の上下から検出（撮像等）できるように、検出装置を設けてもよい。例えば、一対の撮像部を、ワークＳ１，Ｓ２を挟んで上下に配置してもよい。
【００７２】
位置決めや貼り合せのために、一方若しくは双方のいずれのワークを移動させるかも自由である。貼り合せ後のずれ量を測定するための位置は、上記のように独立して設けてもよいが、例えば、真空貼り合せポジションにおいて測定してもよい。
【００７３】
また、貼合後検出部によるずれ量の検出及び補正値算出部による補正値の算出は、常時行う必要はなく、生産効率や歩留まりに適したタイミングを選択して行うことができる。このタイミングは、例えば、操作者が、あらかじめ入力装置４７０を用いて、制御装置４０における記憶部４５０に設定しておくこともできる。操作者が、入力装置４７０を用いて任意のタイミングで実施させることもできる。例えば、ロット変更時や一定生産時点などの定期的に実施してもよい。品種変更などのタイミングのみで実施してもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１…ターンテーブル
２…保持装置
４…検出装置
１０…保持装置
２０…保持部
２１…位置決め部
２２…テーブル駆動機構
４０…制御装置
４１，４２…カメラ
４３…カメラ駆動機構
４５，４６…アーム
５１…測定装置
４１０…カメラ駆動部
４１１…撮像制御部
４１２…画像処理部
４１３…抽出部
４２０…テーブル駆動部
４３１…貼合前算出部
４３２…移動量算出部
４４０…貼合後算出部
４４１…補正値算出部
４４１ａ…判定部
４４１ｂ…更新部
４４１ｃ…記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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