(57)【要約】【課題】貫通孔を有する複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離できるキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートとからなる複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離方法において、前記複合シートのグリーンシート側に多孔質シートを配置した後に前記複合シートを保持部材に吸着固定する複合シート固定工程と、前記複合シートから前記キャリアフィルムの端部を分離する第１の剥離工程と、前記分離された端部をクランプするクランピング工程と、前記クランプされたキャリアフィルムを前記複合シートから全て剥離する第２の剥離工程とからなるキャリアフィルム剥離方法。【選択図】図１
2010017946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートとからなる複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離方法において、
前記複合シートのグリーンシート側に多孔質シートを配置した後に前記複合シートを保持部材に吸着固定する複合シート固定工程と、
前記複合シートから前記キャリアフィルムの端部を分離する第１の剥離工程と、
前記分離された端部をクランプするクランピング工程と、
前記クランプされたキャリアフィルムを前記複合シートから全て剥離する第２の剥離工程とからなるキャリアフィルム剥離方法。
【請求項２】
前記複合シートは、
少なくとも１つ以上の貫通孔をもつ請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項３】
前記多孔質シートは、
２０〜４０重量％の針葉樹クラフトパルプと６０〜８０重量％の広葉樹クラフトパルプからなるセルロースを全体の９０〜９８重量％含むセルロース系シートからなる請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項４】
キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートとからなる複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離装置において、
前記複合シートのグリーンシート面を吸着固定するための保持部材と
前記保持部材の吸着固定面上に多孔質シートを配置する多孔質シート送り機構と、
前記保持部材上に吸着固定された前記複合シートからキャリアフィルムを剥離し剥離面を作るキャリアフィルム剥離機構と、
前記キャリアフィルムの剥離面をクランプするクランピング機構と
前記複合シートから前記キャリアフィルムを全て取り除くように前記クランピング機構と前記キャリアフィルム剥離機構に指示する剥離制御部と
からなるキャリアフィルム剥離装置。
【請求項５】
前記複合シートは、
少なくとも１つ以上の貫通孔をもつ請求項４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項６】
前記多孔質シートは、
２０〜４０重量％の針葉樹クラフトパルプと６０〜８０重量％の広葉樹クラフトパルプからなるセルロースを全体の９０〜９８重量％含むセルロース系シートからなる請求項４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項７】
前記吸着固定面が多孔質板から構成されている請求項４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項８】
前記多孔質シート送り機構は、
前記保持部材の一方の側に前記多孔質シートをロール状に巻いた巻出しローラと他方の側に前記多孔質シートを巻き取る巻取りローラとを有し、
前記巻出しローラと前記巻取りローラとにより前記多孔質シートの未使用面を順次供給する多孔質シート送り機構とを有する請求項４記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項９】
前記キャリアフィルム剥離装置は、さらに保持部材の負圧量を検出するための圧力センサを備え、
前記圧力センサの出力が所定の閾値以下であれば前記複合シートと前記保持部材とが密着固定したと判断して前記キャリアフィルム剥離機構に前記複合シートから前記キャリアフィルムの分離を指令する制御部とを備えた請求項４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１０】
前記キャリアフィルム剥離装置は、さらに複合シートからの反射光量を検出する複合シート検出センサを備え、
前記複合シート検出センサの出力が所定の閾値以下であれば前記剥離面が生じたと判断して、前記キャリアフィルムの剥離面をクランプするように前記クランピング機構に指令する制御部とを備えた請求項４に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はグリーンシートに付着したキャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、セラミック多層基板の製造においてはシート積層法が用いられている。たとえば、キャリアフィルム上にスラリーから長尺帯状にグリーンシートを成膜し、そのキャリアフィルムとグリーンシートとからなる複合シートを所定形状に枠抜きすると共に、該グリーンシートにビアホール等を穿設し、ビアホールの穴埋め、配線パターンの印刷等を行った後に、キャリアフィルムのみを剥離し、同様にして加工された他のグリーンシートと積層して一体化し、焼成等を行っている。
【０００３】
上記のようにキャリアフィルムのみを剥離するときには、キャリアフィルム剥離装置を用いている。すなわち、キャリアフィルム剥離装置に設けられた多孔質の載架台に複合シートをキャリアフィルムを上面にして置き、載架台内に設けられた真空引きチャンバーにより真空吸引して複合シートを固定した後、外周面に粘着剤を付与した巻取りローラをキャリアフィルムの上面の一端に押し当て他端側へ転動させることにより、キャリアフィルムを巻取りローラに巻き取って剥離している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平７−３０２５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記従来の構成では、貫通孔を持つ複合シートを載架台で吸着固定させたときに、貫通孔と載架台との間から空気が流入するため、複合シートを吸着する力が弱くなる。そのため、複合シートからキャリアフィルムを剥離する際に、複合シートが載架台から離れてしまい、キャリアフィルムを剥離できないという課題を有していた。
【０００５】
本発明は上記問題を解決するもので、貫通孔を有する複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離できるキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置は、キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートとからなる複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離方法において、前記複合シートのグリーンシート側に多孔質シートを配置した後に前記複合シートを保持部材に吸着固定する複合シート固定工程と、前記複合シートから前記キャリアフィルムの端部を分離する第１の剥離工程と、前記分離された端部をクランプするクランピング工程と、前記クランプされたキャリアフィルムを前記複合シートから全て剥離する第２の剥離工程とからなることを特徴とする。
【０００７】
さらに、本発明のキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置は、キャリアフィルム上に形成されたグリーンシートとからなる複合シートから前記キャリアフィルムを剥離するキャリアフィルム剥離装置において、前記複合シートのグリーンシート面を吸着固定するための保持部材と、前記保持部材の吸着固定面上に多孔質シートを配置する多孔質シート送り機構と、前記保持部材上に吸着固定された前記複合シートからキャリアフィルムを剥離し剥離面を作るキャリアフィルム剥離機構と、前記キャリアフィルムの剥離面をクランプするクランピング機構と、前記複合シートから前記キャリアフィルムを全て取り除くように前記クランピング機構と前記キャリアフィルム剥離機構に指示する剥離制御部とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置によれば、貫通孔のある複合シートでも確実に保持部材に吸着保持できるので、保持部材上の複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明のキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【００１０】
（実施の形態１）
図１は本発明の第１の実施形態のキャリアフィルム剥離装置の全体構成を示す。図１で示すように、保持部材１は、通気性の多孔質板２と、多孔質板２の背面側に保持部材１を覆うような空間を持つホルダー部６とから成る。ホルダー部６には孔１０が設けられ、この孔１０に接続された真空ポンプ７により多孔質板２を通して大気を吸引する。この時に生じる負圧により、多孔質板２上に置かれた複合シート１２を、多孔質板２上で吸着固定することができる。
【００１１】
処理対象となる複合シート１２は、グリーンシート３がキャリアフィルム４上に形成されている（その詳細は図２で後述する。）。この複合シート１２は、グリーンシート面が保持部材１に向くようにして保持部材１上に載置される。
【００１２】
ホルダー部６の孔１０と真空ポンプ７との間の経路には圧力センサ１１が設けられている。多孔質板２の近傍には、複合シート１２の反射光量を測定するための物体検出センサ１３が設けられている。物体検出センサ１３からの反射光量により、キャリアフィルム４の面とグリーンシート３の面とを判別することができる。
【００１３】
キャリアフィルム剥離機構９とクランピング機構１７とは一体化されており、多孔質板２上に置かれた複合シート１２の端部からキャリアフィルム４を剥離するために用いる。      
【００１４】
クランピング機構１７は、この紙面と交わる方向に長く延びているクランプ部１８と図示しない駆動部とを具備し、剥離駆動部１６上にこの紙面と交わる方向に移動自在に設けられており、クランプ部１８は、多孔質板２よりも奥側（あるいは手前側）の待機位置と、キャリアフィルム吸引部１４によって吸引され分離されてくるキャリアフィルム４の端部をクランプ可能な位置とにわたって移動する。
【００１５】
物体検出センサ１３からの反射光量が所定の閾値より低下したときは、キャリアフィルム４の一部が剥離し剥離面が出来たと判断し、クランピング機構１７によりキャリアフィルム４の剥離面をキャリアフィルム吸引部１４にてクランプする。本実施例では、吸引によるクランプを用いたが、確実にキャリアフィルム４の剥離面をクランプ出来れば良く、他の手段、たとえば粘着手段を用いてもよい。
【００１６】
キャリアフィルム剥離機構９は、図示しない駆動部とからなる剥離駆動部１６上に軸１６ａ廻りに回転自在に設けられている。このキャリアフィルム剥離機構９は、剥離駆動部１６は、多孔質板２よりも奥側（あるいは手前側）に同多孔質板２に対して斜め方向に配置されたガイドレール１５に沿って移動するように構成されている。
【００１７】
多孔質シート送り機構２３は、保持部材１の両サイドに多孔質シート８を送る為の巻出し軸と巻取り軸のローラをそれぞれ配置しており、多孔質板２の表面を覆うように多孔質シート８は送られる。巻出しのローラからは未使用の多孔質シート２が送り出され、複合シート１２の剥離作業完了後にゴミがついた使用済みの多孔質シート２が巻き取りのローラに巻き込まれる。本発明では多孔質シート送り機構２３を有しているが、多孔質シート送り機構２３を使用せず枚葉の多孔質シート８を使用することも可能である。
【００１８】
制御ブロック１９は、圧力センサ１１から検知信号を受ける複合シート密着判断部２０と、物体検出センサ１３から検知信号を受けるキャリアフィルム剥離検知部２１と、これら複合シート密着判断部２０，キャリアフィルム剥離検知部２１から複合シート密着信号，キャリアフィルム分離信号を受ける剥離制御部２２とを有しており、この剥離制御部２２から、キャリアフィルム剥離機構９，クランピング機構１７，剥離駆動部１６に対して制御信号が出力される。
【００１９】
図２に処理対象である複合シート１２の詳細を示す。本実施形態では、複合シート１２のサイズが約１２０ｍｍ角に対し貫通孔５のサイズが約１０ｍｍ角を９箇所有するものを用いた。
【００２０】
本発明の特徴は、複合シート１２のグリーンシート３と保持部材１の間には、多孔質シート８を配置したことである。そのため、多孔質シート８には、（１）複合シート１２を保持部材１に強固に固定するために優れた通気性を持つこと、（２）複合シート１２との密着性を良くするため表面が平滑性であること、（３）多孔質シート８の一部または全部が複合シート１２のグリーンシートに付着しないこと、（４）十分な強度（引っ張り強度）を有すること、が必要となる。
【００２１】
このような理由から、例えば、通常のトイレットペーパーでは、この紙から出る多量のゴミや繊維屑がグリーンシート３に付着しやすく、その上、引っ張り強度に乏しく実用性がない。また、上質紙は、通気性が乏しいため、複合シート１２を保持部材１に吸着させることができない。
【００２２】
そのため、本実施例の多孔質シート８は、２０〜４０重量％の針葉樹クラフトパルプと６０〜８０重量％の広葉樹クラフトパルプからなるセルロースを全体の９０〜９８重量％含む多孔質シート８を用いた（詳細は、特許第３４０５６８５号を参照。）。
【００２３】
多孔質シート８において、セルロースが９０重量％を下回ると、シートとしての引張り強度が保たれず、他方、９８重量％を上回ると、フレキシビリティーがなくなる。セルロースの原料については、針葉樹パルプが多いと繊維屑の出難い強度の十分にある多孔質シート８が得られる利点があるが、上記の範囲を越えて多くなり過ぎると、表面の平滑性が著しく悪くなり、貫通孔５と多孔質シート８の接触程度がばらつき、したがって、吸引力にばらつきが生じるためにリーク量低下の効果が出ない。他方、広葉樹パルプが多いと、表面平滑性の良い多孔質シート８となるが、上記の範囲を越えて多くなり過ぎると、通気性が却って著しく低下するようになり、吸引力を弱める原因となる。
【００２４】
多孔質シート８を介さずに貫通孔５を持つ複合シート１２を保持部材１に載せ、真空ポンプ７による負圧を複合シート１２にかけると、貫通孔５からのリークにより複合シート１２を保持する力は低下する。しかし、本発明の多孔質シート８を介して複合シート１２を保持部材１に載せれば、複合シート１２を保持する力の低下は極めて少ない。
【００２５】
複合シート１２の貫通孔５の面積や個数が変化した場合、リーク量も変化するので吸着力も変化する。その都度の吸着力の最適化を多孔質板２の変更で行うことはとても高価で且つ時間がかかることであるが、多孔質シート８の変更であればとても容易であり安価である。
【００２６】
また、この多孔質シート８は、多孔質板２の全面を覆っており、保持部材１の両サイドに備えられた巻取り軸と巻出し軸により順次ゴミ付着の無い未使用部分を送り出すことが出来る。未使用部分の送り出しは新しい複合シート１２を保持部材１に固定する前であり、これにより新しい複合シート１２にゴミが付着することを防止することも出来る。
【００２７】
図３は本発明のキャリアフィルム剥離装置によりキャリアフィルム４が剥離される状態を説明するための図である。
【００２８】
図３（ａ）は、複合シート１２のキャリアフィルム４を剥離する直前の状態を示す。複合シート１２のキャリアフィルム４と多孔質板２との間に多孔質シート８が配置されている。多孔質シート８は、ロール状に多孔質シート送り機構２３に巻き取られる。この時の複合シート１２は、孔１０から負圧により多孔質板２に密着している。この時、本発明の多孔質シート８があるため、図２に示した様な大きな貫通孔を持つ複合シート１２でも、充分な密着力を持つ。キャリアフィルム吸引部１４が、複合シート１２の端部に接触しておりキャリアフィルム４の端部を吸引保持する。
【００２９】
図３（ｂ）は、キャリアフィルム４がグリーンシート３から分離開始した状態を示す。複合シート１２が多孔質シート８を介して多孔質板２上に密着した状態である。その状態でキャリアフィルム吸引部１４が移動されてキャリアフィルム４の端部に接触する。そこでキャリアフィルム４の端部を吸引保持したキャリアフィルム吸引部１４が、多孔質板２から遠ざかる方向に移動される。その移動に伴ってキャリアフィルム４がグリーンシート３から分離される。
【００３０】
図３（ｃ）は、キャリアフィルム４がグリーンシート３から分離した状態を示す。詳しくは、貫通孔５の直前の位置まで分離した状態である。また、クランピング機構１７が移動し、クランプ１８が閉じてキャリアフィルム４の分離部分を挟んで保持した状態である。
【００３１】
図３（ｄ）は、キャリアフィルム４がグリーンシート３から完全剥離を開始した状態を示す。クランプ１８がキャリアフィルム４を挟んで保持した状態である。その状態で剥離駆動部１６がガイドレール１５に沿って下方へ移動する。それに伴われてキャリアフィルム剥離機構９，クランピング機構１７が移動して、キャリアフィルム４の完全剥離を開始する。
【００３２】
図３（ｅ）は、キャリアフィルム４が完全剥離され、廃棄される状態を示す。キャリアフィルム４が完全剥離された後、キャリアフィルム吸引部１４は吸引を止める。さらにクランプ部１８が開いて、キャリアフィルム４は廃棄される。
【００３３】
次に、図４を用いて、本発明のキャリアフィルム剥離装置の動作を説明する。
【００３４】
（ステップＳ１）
ステップＳ１では、複合シート１２を多孔質板２に吸着させる。まず、複合シート１２を多孔質板２に載せた後に、真空ポンプ７により保持部材１内部を真空にする。すると、多孔質板２に負圧が与えられるため、複合シート１２は、多孔質シート８を挟んで多孔質板２と密着する。これは、図３（ａ）で説明した通り、多孔質シート８が通気性を持つためである。この多孔質シート８により、従来技術で生じていた複合シート１２の貫通孔５による吸引漏れが減少する。
【００３５】
（ステップＳ２）
ステップＳ２では、圧力センサ１１が多孔質板２の真空ポンプ７側の負圧を測定する。そしてその測定結果を複合シート密着判断部２０へと信号出力する。
【００３６】
（ステップＳ３）
ステップＳ３では、複合シート密着判断部２０は圧力センサ１１の測定結果を受け取る。その結果を基に複合シート１２がその多孔質シート８を介して多孔質板２上に固定されているかを判断する。この時、多孔質シート８は複合シート１２と多孔質板２の間で多孔質板２上に吸着されている。複合シート１２が密着固定されていると判断した時に複合シート密着信号を剥離制御部２２に出力する。
【００３７】
本実施形態では、圧力センサ１１に真空用圧力スイッチ（製品品番ＺＳＥ３０、ＳＭＣ社）を用いた。約―２０ｋＰａの時は多孔質板２上に複合シート１２が存在しないと判断する。また、約―４０ｋＰａの時には多孔質シート８・複合シート１２が多孔質板２上に密着固定されていると判断して剥離制御部２２に信号出力するようにした。この密着状態の判断基準とする値は、多孔質板２の平均孔径や複合シート１２の面積・多孔質シート８の面積等を加味して適宜最適な値を選択すれば良い。圧力センサ１１も同様の機能を果たすものであればよい。
【００３８】
（ステップＳ４）
ステップＳ４では、複合シート密着信号を受けた剥離制御部２２は、キャリアフィルム剥離機構９，剥離駆動部１６に対して、キャリアフィルム４の分離（剥離）を指示する。
【００３９】
（ステップＳ５）
ステップＳ５では、キャリアフィルム剥離機構９がキャリアフィルム４の分離を開始する。
【００４０】
（ステップＳ６）
ステップＳ６では、物体検出センサ１３は複合シート１２の表面からの反射光を非接触でモニターしている。その反射光からキャリアフィルム４の分離の検出したときに、検知信号をキャリアフィルム剥離検知部２１へと出力する。
【００４１】
本実施形態では、物体検出センサ１３に光電センサ（製品番号ＣＺ−Ｖ２０、ＫＥＹＥＮＣＥ社）を用いた。複合シート１２の最も端部寄りの貫通孔５のさらに端部寄りの位置（貫通孔５に近接した位置）からの反射光をモニターする。その時のキャリアフィルム４の表面からの反射光とグリーンシート３の表面からの反射光の違いを検出するようにした。具体的には、モニター位置での反射光がグリーンシート３の表面からの反射光であるかを検出するようにした。ただしこれに限るのもではなく、キャリアフィルム４の表面状態とグリーンシート３の表面状態との差が判別できる機能を有するものであればよい。さらに検出すべき物体の表面反射光を非接触で検出できるものであればよい。
【００４２】
（ステップＳ７）
ステップＳ７では、物体検出センサ１３からの検知信号を受けたキャリアフィルム剥離検知部２１は、グリーンシート３の表面状態であると判断する。詳しくは貫通孔５の直前の位置までグリーンシート３の表面状態であると判断する。そしてキャリアフィルム分離信号を剥離制御部２２に出力する。
【００４３】
（ステップＳ８）
ステップＳ８では、剥離制御部２２は、キャリアフィルム剥離機構９，剥離駆動部１６に対して、キャリアフィルム４の分離停止を指示する。
【００４４】
（ステップＳ９）
ステップＳ９では、キャリアフィルム剥離機構９と剥離駆動部１６は剥離制御部２２からの指示を受けキャリアフィルム４の分離を停止する。
【００４５】
以上のように、本発明のキャリアフィルム剥離装置、キャリアフィルム剥離方法によれば、多孔質シート８を介して複合シート１２を多孔質板２に吸着固定することによって、貫通孔５からの吸引漏れによる吸着力の低下を防ぎ、保持部材１からグリーンシート３が離れることなく、キャリアフィルム４のみを確実に剥離することができる。
【００４６】
さらに、多孔質シート８を新しい複合シート１２が固定される前毎にきれいな部分を送り出すことによりグリーンシート３へのゴミ付着が防止でき、さらに多孔質シート８により多孔質板２へのゴミ吸引を低減し、多孔質板２の吸着力低下及び清掃の為のメンテナンス回数を減少させることが出来る。
【００４７】
また、クランピング機構１７によってキャリアフィルム４をクランプした状態で剥離を行うようにしたので、剥離途中での不本意な落下を防止することができ、任意の位置で廃棄することができる。キャリアフィルム剥離機構９とクランピング機構１７の動作は、剥離及び廃棄を円滑に行うように剥離制御部２２によって制御される。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明にかかるキャリアフィルム剥離方法及びキャリアフィルム剥離装置は、キャリアフィルムとグリーンシートとからなる複合シートが貫通孔を有している場合もキャリアフィルムのみを確実に剥離できるもので、セラミック多層基板の製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態のキャリアフィルム剥離装置の概略全体構成図
【図２】処理対象の複合シートの一例の平面図
【図３】図１のキャリアフィルム剥離装置によるキャリアフィルム剥離方法を説明する工程断面図
【図４】図１のキャリアフィルム剥離装置によるキャリアフィルム剥離方法を説明するフローチャート
【符号の説明】
【００５０】
１  保持部材
２  多孔質板
３  グリーンシート
４  キャリアフィルム
５  貫通孔
６  ホルダー部
７  真空ポンプ
８  多孔質シート
９  キャリアフィルム剥離機構
１０  孔
１１  圧力センサ
１２  複合シート
１３  物体検出センサ
１４  キャリアフィルム吸引部
１５  ガイドレール
１６  剥離駆動部
１６ａ  軸
１７  クランピング機構
１８  クランプ部
１９  制御ブロック
２０  複合シート密着判断部
２１  キャリアフィルム剥離検知部
２２  剥離制御部
２３  多孔質シート送り機構
【図１】
2010017946.tif 000003
【図２】
2010017946.tif 000004
【図３】
2010017946.tif 000005
【図４】
2010017946.tif 000006