(57)【要約】【課題】ジャンパー配線部材を用いながら絶縁カバー層のエッジに対する摩耗を抑制することを可能とする。【解決手段】アクチュエータ素子への通電によりベース・プレート１３側に対して変位可能なロード・ビームと、ベース・プレート１３の一側部に配索されたフレキシャと、アクチュエータ素子に一側が導通接続されベース・プレート１３側のプレート端縁部３５上を通って他側がフレキシャの給電用の配線部に導通接続されアクチュエータ素子への通電を行わせるジャンパー配線部材７とを備え、ジャンパー配線部材７は、ベース・プレート１３側のプレート面１３ａに対面する側から絶縁カバー層３７、導体層３９、絶縁層４１、金属層４３の多層構造であり、導体層３９を層方向へ迂回形成してジャンパー配線部材７にプレート端縁部３５のエッジ３５ａを逃げる逃げ凹部４５を設けた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ素子への通電によりベース・プレート側に対して変位可能なロード・ビームと、
前記ベース・プレートの一側部に配索された配線部材と、
前記アクチュエータ素子に一側が導通接続され前記ベース・プレート側のプレート端縁部上を通って他側が前記配線部材に導通接続され該アクチュエータ素子への通電を行わせるジャンパー配線部材とを備え、
前記ジャンパー配線部材は、前記ベース・プレート側のプレート面に対面する側から絶縁カバー層、導体層、絶縁層の多層構造であり、
前記導体層を層方向へ迂回形成して前記ジャンパー配線部材に前記プレート端縁部を逃げる逃げ凹部を設けた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項２】
請求項１記載のヘッド・サスペンションであって、
前記ジャンパー配線部材は、前記ベース・プレート側のプレート面に対面する側から絶縁カバー層、導体層、絶縁層、金属層の多層構造であり、
前記導体層の迂回形成は、前記金属層の一部を分離形成した島状部と前記逃げ凹部の両側で分断させた導体層の分離端末部に設けられ前記絶縁層を貫通して前記島状部に導通接続されたグランド部とにより行われた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項３】
請求項２記載のヘッド・サスペンションであって、
前記導体層の迂回形成は、前記金属層の一部を分離形成した島状部と前記絶縁層の部分的な絶縁層除去部とで形成された迂回用凹部内で行われた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項４】
請求項１又は２記載のヘッド・サスペンションであって、
前記導体層の迂回形成は、前記絶縁層の部分的な薄肉形成による迂回用凹部内で行われた、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ素子への通電によりベース・プレート側に対してロード・ビームが変位可能なヘッド・サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。このため、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロ・アクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インク・ジェット・プリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッド・アクチュエータ等の分野では、マイクロ・アクチュエータの要請が高い。
【０００３】
特に、磁気ディスク装置は市場の拡大と装置の高性能化に伴い、記録装置の大容量化が益々重要となってきている。この磁気ディスク装置の大容量化は、ディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。
【０００４】
しかし、ディスクの直径を変えずに高記録密度化を実現するには、単位長さあたりのトラック数 (TPI : Track Per inch) を大きくし、トラックの幅を狭くすることが必要となる。
【０００５】
このため、トラック幅方向のヘッド位置決め精度を向上することが必要となり、微細領域で高精度の位置決めを実現することのできるアクチュエータが望まれる。
【０００６】
従来、このようなアクチュエータを採用したディスク装置用サスペンションが特許文献１，２のように提案されている。
【０００７】
このディスク装置用サスペンションは、アクチュエータ素子への通電によりベース・プレート側に対してロード・ビームをスウェイ方向へ変位させるものであり、フレキシャの配線部からアクチュエータ素子へは、ワイヤー・ボンディングなどにより導通接続させている。
【０００８】
しかし、ワイヤー・ボンディングでは、フレキシャの配線部との接合方向の自由度が小さいものとなる。
【０００９】
これに対し、図１０に示すヘッド・サスペンションを本願出願人は提案した。
【００１０】
このヘッド・サスペンションは、アクチュエータ素子１０１ａ，１０１ｂへの通電によりベース・プレート１０３側に対してロード・ビーム１０５を変位させるものであり、前記ベース・プレート１０３の一側部を通ってロード・ビーム１０５へ配線部材としてのフレキシャ１０７が配索されている。アクチュエータ素子１０１ａ，１０１ｂのフレキシャ１０７への導通接続は、ジャンパー配線部材１０９で行っている。
【００１１】
ジャンパー配線部材１０９は、一側の導通接続部１１１ａ，１１１ｂがアクチュエータ素子１０１ａ，１０１ｂに導通接続され、中間部１１３がベース・プレート１０３のプレート端縁部１０３ａ上を通り、他側の導通部１１１ｃがフレキシャ１０７の配線部に導通接続されている。
【００１２】
したがって、ジャンパー配線部材１０９により給電方向の自由度を広げながらアクチュエータ素子１０１ａ，１０１ｂへの通電を行わせることができる。
【００１３】
しかし、このようなジャンパー配線部材１０９では、ベース・プレート１０３のプレート端縁部１０３ａのエッジで早期に電気的なショートを招く恐れがあった。
【００１４】
図１１は、図１０のＸＩ部の拡大断面図であり、ジャンパー配線部材１０９は、ベース・プレート１０３のプレート面１０３ｂに対面する側から絶縁カバー層１１３、導体層１１５、絶縁層１１７、金属層１１９の多層構造となっている。
【００１５】
そして、振動やアクチュエータ素子１０１ａ，１０１ｂの駆動変位等の影響があると、プレート端縁部１０３ａのエッジに当たっている絶縁カバー層１１３が早期に摩耗し、最悪の場合は電気的なショートを招く恐れがある。
【００１６】
これに対し、金属層１１９による剛性バック・アップを無くすとプレート端縁部１０３ａのエッジに対するジャンパー配線部材１０９の押さえ力を低下させ、絶縁カバー層１１３の摩耗を抑制することができる。
【００１７】
しかし、絶縁カバー層１１３の摩耗を遅らせることはできるが、最終的にショートするリスクは残る。
【００１８】
また、エッジに対するジャンパー配線部材１０９の接触摩耗部がジャンパー配線部材１０９の電気的接合部である導通接続部１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃに近い場合などには、ジャンパー配線部材１０９のエッジに対する押さえつけ力を十分に小さくすることはできず、早期の摩耗が避けられないことになる。
【００１９】
【特許文献１】特開２００２−５０１４０号公報
【特許文献２】特開２００２−１９７８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
解決しようとする問題点は、ジャンパー配線部材により給電方向の自由度を広げながらアクチュエータ素子への通電を行わせることはできるが、プレート端縁部のエッジに当たっている絶縁カバー層が摩耗し、最悪の場合は電気的なショートを招く恐れがあった点である。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、ジャンパー配線部材を用いながら絶縁カバー層のエッジに対する摩耗を抑制するため、アクチュエータ素子への通電によりベース・プレート側に対して変位可能なロード・ビームと、前記ベース・プレートの一側部に配索された配線部材と、前記アクチュエータ素子に一側が導通接続され前記ベース・プレート側のプレート端縁部上を通って他側が前記配線部材に導通接続され該アクチュエータ素子への通電を行わせるジャンパー配線部材とを備え、前記ジャンパー配線部材は、前記ベース・プレート側のプレート面に対面する側から絶縁カバー層、導体層、絶縁層の多層構造であり、前記導体層を層方向へ迂回形成して前記ジャンパー配線部材に前記プレート端縁部を逃げる逃げ凹部を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のヘッド・サスペンションは、アクチュエータ素子への通電によりベース・プレート側に対して変位可能なロード・ビームと、前記ベース・プレートの一側部に配索された配線部材と、前記アクチュエータ素子に一側が導通接続され前記ベース・プレート側のプレート端縁部上を通って他側が前記配線部材に導通接続され該アクチュエータ素子への通電を行わせるジャンパー配線部材とを備え、前記ジャンパー配線部材は、前記ベース・プレート側のプレート面に対面する側から絶縁カバー層、導体層、絶縁層の多層構造であり、前記導体層を層方向へ迂回形成して前記ジャンパー配線部材に前記プレート端縁部を逃げる逃げ凹部を設けた。
【００２３】
このため、プレート端縁部を逃げ凹部によって逃げることができ、プレート端縁部のエッジによる絶縁カバー層の摩耗を抑制することができる。
【００２４】
しかも、導体層を層方向へ迂回形成するから、逃げ凹部で導体層の厚みを確保することができ、配線部材からジャンパー配線部材を介したアクチュエータ素子への給電を円滑に行わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
ジャンパー配線部材を用いながら絶縁カバー層のエッジに対する摩耗を抑制するという目的を、導体層の層方向への迂回形成による逃げ凹部により実現した。
【実施例１】
【００２６】
［ヘッド・サスペンション］
図１は、実施例１に係るヘッド・サスペンションの平面図、図２は、ジャンパー配線部材の平面図、図３は、ジャンパー配線部材の下面図である。
【００２７】
図１に示すように、ヘッド・サスペンション１は、ロード・ビーム３と配線部材としてのフレキシャ５とジャンパー配線部材７とを備えている。
【００２８】
前記ロード・ビーム３は、先端側のスライダに負荷荷重を与えるもので、例えば３０〜１５０μｍ程度の板厚のステンレス鋼で形成され、剛体部９とバネ部１１とを備えている。バネ部１１がベース・プレート１３のアクチュエータ支持部１５先端縁にレーザー・スポット溶接などにより結合されている。
【００２９】
ベース・プレート１３は、板厚が例えば１５０〜２００μｍ程度の金属板（例えばステンレス鋼）により形成され、前記アクチュエータ支持部１５を一体に備えている。なお、アクチュエータ支持部１５を、ベース・プレート１３に対して別体に形成することもできる。
【００３０】
アクチュエータ支持部１５には、開口部１７の両側に湾曲した可撓部１９ａ，１９ｂが設けられている。ベース・プレート１３には、ボス部２１が設けられ、ボイス・コイル・モータ側のアクチュエータ・アームに結合可能となっている。
【００３１】
ベース・プレート１３のアクチュエータ支持部１５には、一対のアクチュエータ素子２３ａ，２３ｂが開口部１７を渡るように配され、アクチュエータ支持部１５に結合支持されている。
【００３２】
前記フレキシャ５は、ベース・プレート１３の一側部を通るように配索され、ロード・ビーム３に延設されている。このフレキシャ５は、ロード・ビーム３よりもさらに薄く精密な金属製の薄板ばねをベースとし、先端のヘッド部に接続される読み書き用の信号線（図示せず。）を備えている。また、フレキシャ５には、ベース・プレート１３の一側部に間で延びる給電用の配線部（図示せず。）が設けられている。
【００３３】
図１〜図３のように、前記ジャンパー配線部材７は、一側のアクチュエータ素子接続部２５と他側の配線接続部２７と中間ジャンパー部２９とからなっている。
【００３４】
アクチュエータ素子接続部２５は、各アクチュエータ素子２３ａ，２３ｂの一端部に導電性接着剤３１ａ，３１ｂにより導通接続され、配線接続部２７は、フレキシャ５の配線部に導電性接着剤３３により導通接続されている。なお、アクチュエータ素子２３ａ，２３ｂは、導電性接着剤等によりアクチュエータ支持部１５にグランドされている。
【００３５】
中間ジャンパー部２９は、平面視湾曲形成され、ベース・プレート１３側のプレート端縁部３５上を通って配線接続部２７へ至っている。
［逃げ凹部］
図４は、図１のＩＶ部の拡大断面図である。
【００３６】
図１〜図４のように、前記ジャンパー配線部材７は、前記ベース・プレート１３側のプレート面１３ａに対面する側から絶縁カバー層３７、導体層３９、絶縁層４１、金属層４３の多層構造であり、前記導体層３９を層方向へ迂回形成して前記ジャンパー配線部材７に前記プレート端縁部３５のエッジ３５ａを逃げる逃げ凹部４５を設けた。
【００３７】
絶縁カバー層３７及び絶縁層４１は、例えばポリイミドにより形成され、導体層３９は、銅により形成されている。金属層４３は、ステンレス・シートなどにより形成されている。
【００３８】
前記導体層３９の迂回形成は、島状部４３ａとグランド部４７ａ，４７ｂとにより行われている。
【００３９】
島状部４３ａは、金属層４３の一部を分離形成したものである。
【００４０】
グランド部４７ａ，４７ｂは、逃げ凹部４５の両側で分断させた導体層３９の分離端末部３９ａ，３９ｂに設けられ前記絶縁層４１を貫通して前記島状部４３ａに導通接続されている。
【００４１】
島状部４３ａの形成は、金属層４３のエッチングによる外形形成と同時に形成される。
【００４２】
すなわち、ステンレス・シートに絶縁層４１用のポリイミドをべた塗りし、絶縁層４１の外形をエッチングにより形成した後、金属層４３をエッチングにより外形形成する。
【００４３】
導体層３９は、絶縁層４１にメッキにより形成され、絶縁カバー層３７によりコーティングされる。
【００４４】
かかるジャンパー配線部材７の構造により、プレート端縁部３５のエッジ３５ａを逃げ凹部４５によって逃げることができ、絶縁カバー層３７の摩耗を抑制することができる。
【００４５】
したがって、絶縁カバー層３７による絶縁性を長く維持させることができ、電気的なショートを長く防止することができる。
【００４６】
しかも、導体層３９をグランド部４７ａ，４７ｂ及び島状部４３ａを介して層方向へ迂回形成するから、逃げ凹部４５の形成に係わらず導体層３９の厚みを一般部の厚みと同等にすることができ、フレキシャ５からジャンパー配線部材７を介したアクチュエータ素子２３ａ，２３ｂへの給電を円滑に行わせることができる。
【００４７】
そして、アクチュエータ素子２３ａ，２３ｂへ給電されるとアクチュエータ素子２３ａ，２３ｂが微少変位し、ベース・プレート１３側に対してロード・ビーム３が微少変位し、ヘッド部をスウェイ方向へ微少変位させることができる。
［実施例１の効果］
本発明実施例１のヘッド・サスペンション１は、アクチュエータ素子２３ａ，２３ｂへの通電によりベース・プレート１３側に対して変位可能なロード・ビーム３と、前記ベース・プレート１３の一側部を通ってロード・ビーム３へ配索されたフレキシャ５と、前記アクチュエータ素子２３ａ，２３ｂに一側が導通接続され前記ベース・プレート１３側のプレート端縁部３５上を通って他側が前記フレキシャ５の給電用の配線部に導通接続され該アクチュエータ素子２３ａ，２３ｂへの通電を行わせるジャンパー配線部材７とを備え、前記ジャンパー配線部材７は、前記ベース・プレート１３側のプレート面１３ａに対面する側から絶縁カバー層３７、導体層３９、絶縁層４１、金属層４３の多層構造であり、前記導体層３９を層方向へ迂回形成して前記ジャンパー配線部材７に前記プレート端縁部３５のエッジ３５ａを逃げる逃げ凹部４５を設けた。
【００４８】
このため、プレート端縁部３５のエッジ３５ａを逃げ凹部４５によって逃げることができ、振動やアクチュエータ素子１０１ａ，１０１ｂの駆動変位等の影響があっても、絶縁カバー層１１３がプレート端縁部３５のエッジ３５ａに当たることがない。
【００４９】
したがって、絶縁カバー層３７のエッジ３５ａによる摩耗を抑制することができ、電気的なショートを防止できる。
【００５０】
さらに、エッジ３５ａに対するジャンパー配線部材７の接触摩耗部がジャンパー配線部材７の電気的接合部（導電性接着剤３１ａ，３１ｂ、導電性接着剤３３）に近い場合など、金属層４３によるジャンパー配線部材７のエッジに対する押さえつけ力が多少大きくなっても、絶縁カバー層３７のエッジ３５ａによる摩耗を抑制することができ、押さえつけ力によりジャンパー配線部材７のばたつきを確実に抑制することができる。
【００５１】
しかも、導体層３９を層方向へ迂回形成するから、逃げ凹部４５の形成に係わらず導体層３９を一般部と同等の厚みで連続させることができ、フレキシャ５からジャンパー配線部材７を介したアクチュエータ素子２３ａ，２３ｂへの給電を円滑に行わせることができる。
［実施例２］
図５は、本発明の実施例２に係り、図４と同一位置の拡大断面図である。なお、基本的な構成は実施例と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＡを付し、重複した説明は省略する。
【００５２】
本実施例のヘッド・サスペンション１Ａでは、前記導体層３９Ａの迂回形成を、金属層４３の一部を分離形成した島状部４３ａと絶縁層４１Ａの部分的な絶縁層除去部４１Ａａとで形成された迂回用凹部４９内で行った。
【００５３】
したがって、本実施例でも、逃げ凹部４５により実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００５４】
また、本実施例では、迂回用凹部４９内で導体層３９Ａを一般部と同等の厚みで連続させることができ、フレキシャ５からジャンパー配線部材７を介したアクチュエータ素子２３ａ，２３ｂへの給電をより円滑に行わせることができる。
［実施例３］
図６〜図９は、本発明の実施例３係り、図６は、ヘッド・サスペンションの平面図、図７は、ジャンパー配線部材の平面図、図８は、ジャンパー配線部材の下面図、図９は、図６のＩＸ部の拡大断面図である。なお、基本的な構成は実施例と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＢを付し、重複した説明は省略する。
【００５５】
本実施例のヘッド・サスペンション１Ｂは、図６〜図８のように、ジャンパー配線部材７Ｂの中間ジャンパー部２９Ｂを、アール２９Ｂａをもってほぼ直角に形成して張りに余裕を持たせた。この張りの余裕により中間ジャンパー部２９Ｂのエッジに対する押さえつけ力を多少弱めた。
【００５６】
図９のように、導体層３９Ｂの迂回形成を、絶縁層４１Ｂの部分的な薄肉形成による迂回用凹部４９Ｂ内で行った。
【００５７】
したがって、本実施例でも逃げ凹部４５Ｂにより実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００５８】
また、本実施例では、逃げ凹部４５Ｂが若干浅くなるものの、上記のように中間ジャンパー部２９Ｂのエッジ３５ａに対する押さえつけ力を多少弱めたため、逃げ凹部４５Ｂにより実施例１とほぼ同様な作用効果を奏することができる。  ［その他］
アクチュエータ支持部１５を、ベース・プレート１３に対して別体に形成した場合、プレート端縁部のエッジと逃げ凹部との関係は、ベース・プレート以外、例えばアクチュエータ支持部１５のプレート端縁部と逃げ凹部との相関関係となることもある。
【００５９】
実施例３のジャンパー配線部材７Ｂの中間ジャンパー部２９Ｂの張りの余裕構造は、他の実施例にも適用することができる。
【００６０】
実施例３の図９の断面図において、金属層４３Ｂを省略し、中間ジャンパー部２９Ｂに代え、実施例１の中間ジャンパー部２９等を採用することもできる。この場合、前記張りの余裕構造と同様に中間ジャンパー部のエッジに対する押さえつけ力を多少弱めることができ、浅い逃げ凹部４５Ｂにより実施例１とほぼ同様な作用効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】ヘッド・サスペンションの平面図である。（実施例１）
【図２】ジャンパー配線部材の平面図である。（実施例１）
【図３】ジャンパー配線部材の下面図である。（実施例１）
【図４】図１のＩＶ部の拡大断面図である。（実施例１）
【図５】図４と同一位置の拡大断面図である。（実施例２）
【図６】ヘッド・サスペンションの平面図である。（実施例３）
【図７】ジャンパー配線部材の平面図である。（実施例３）
【図８】ジャンパー配線部材の下面図である。（実施例３）
【図９】図６のＩＸ部の拡大断面図である。（実施例３）
【図１０】ヘッド・サスペンションの平面図である。（関連例）
【図１１】図１０のＸＩ部の拡大断面図である。（関連例）
【符号の説明】
【００６２】
１，１Ａ，１Ｂ  ヘッド・サスペンション
３  ロード・ビーム
５  フレキシャ（配線部材）
７，７Ａ，７Ｂ  ジャンパー配線部材
１３  ベース・プレート
１３ａ  プレート面
２３ａ，２３ｂ  アクチュエータ素子
３５  プレート端縁部
３５ａ  エッジ
３７，３７Ｂ  絶縁カバー層
３９ａ，３９ｂ  分離端末部
３９，３９Ａ，３９Ｂ  導体層
４１，４１Ａ，４１Ｂ  絶縁層
４１Ａａ  絶縁層除去部
４３，４３Ｂ  金属層
４３ａ  島状部
４９，４９Ｂ  迂回用凹部
【図１】
2010165427.tif 000003
【図２】
2010165427.tif 000004
【図３】
2010165427.tif 000005
【図４】
2010165427.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2010165427.tif 000009
【図８】
2010165427.tif 000010
【図９】
2010165427.tif 000011
【図１０】
2010165427.tif 000012
【図１１】
2010165427.tif 000013