(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の整合回路網を有する多周波数整合回路網の為に適合されるプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷を提供する。【解決手段】プラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷４００は、直列抵抗負荷４１０ｒと直列リアクタンス４１０ｘを有する直列インピーダンス４１０を含む。シャントリアクタンス４３０は、直列インピーダンス４１０と並列である。オプションカプラ４２０は、直列インピーダンス４１０に沿って結合可能であり、直列インピーダンス４１０による電力離散の測定を可能にする。【選択図】図４
2010219052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の整合回路網から構成される多周波数整合回路網に適合されるプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷であって、
前記複数の整合回路網の各々は、同調間隔内で同調可能であり、
当該プラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷は、関連したＲＦ電源の動作周波数で、前記複数の整合回路網の各々の前記同調間隔内で、周波数レスポンスを同時に提供する能力がある、プラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項２】
並列結合整合回路網間に結合されるように構成される、請求項１記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項３】
当該多周波数ダイナミックダミー負荷は、第２整合回路網と並列に結合された第１整合回路網の間に結合されるように構成され、前記第１整合回路網は、第１ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力があり、前記第２整合回路網は、第２ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力がある、請求項２記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項４】
（ａ）一定の実成分及びリアクタンス成分と、（ｂ）可変の実成分及び可変のリアクタンス成分と、（ｃ）一定の実成分及び可変のリアクタンス成分と、のうちの一つを備える、請求項２記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項５】
前記負荷抵抗と直列にカプラを更に備える、請求項２記載の多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項６】
当該多周波数ダイナミックダミー負荷は、
ａ）直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを備えており、
ｂ）前記直列インピーダンスは、直列コンデンサと直列の、直列インダクタと直列の、直列負荷抵抗を備えており、
ｃ）前記シャントインピーダンスは、シャントインダクタと直列のシャントコンデンサを備える、請求項２記載の多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項７】
２つの周波数依存型整合回路網から構成されるデュアル周波数整合回路網に適合されたプラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷であって、
前記周波数依存型整合回路網の各々は、同調間隔内で同調可能であり、
当該プラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷は、関連したＲＦ電源の動作周波数で、前記周波数依存型整合回路網の各々の同調間隔内で、周波数レスポンスを同時に与える能力がある、プラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項８】
前記デュアル周波数整合回路網の共通出力部で結合されるように適合されている、請求項７記載のデュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項９】
当該デュアル周波数ダイナミックダミー負荷は、第２整合回路網と並列に結合された第１整合回路網間に結合されるように適合され、前記第１整合回路網は、第１ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力があり、前記第２整合回路網は、第２ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力がある、請求項８記載のデュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項１０】
（ａ）一定の実成分及びリアクタンス成分と、（ｂ）可変の実成分及びリアクタンス成分と、（ｃ）一定の実成分及び可変のリアクタンス成分と、のうちの一つを備える、請求項８記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項１１】
当該デュアル周波数ダイナミックダミー負荷は、
ａ）直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを備えており、
ｂ）前記直列インピーダンスは、直列コンデンサと直列の、直列インダクタと直列の、直列負荷抵抗を備えており、
ｃ）前記シャントインピーダンスは、シャントインダクタと直列のシャントコンデンサを備える、請求項７記載の多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項１２】
１３．５ＭＨｚ源電源に結合された整合回路網と２ＭＨｚ源電源に結合された整合回路網とから構成されるデュアル整合回路網に適合されるプラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷であって、
ａ）直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを備えており、
ｂ）前記直列インピーダンスは、約５００ピコファラドのコンデンサと直列の、約２ミクロンヘンリーのインダクタンスと直列の、約１００オームの抵抗を備えており、
ｃ）前記シャントインピーダンスは、約１００ナノヘンリーのインダクタンスと直列の、約３５０ピコファラドのコンデンサを備える、プラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願は、”MULTI-FREQUENCYDYNAMIC DUMMY LOAD AND METHOD FOR TESTING PLASMAREACTOR MULTI-FREQUENCYIMPEDANCE MATCH NETWORKS”と題する、Steven C.Shannonにより２００４年４月２８日に出願された米国仮出願第６０／５６６，３０６号の利益を請求するが、その全体は参考までに本願に組み込まれる。
【背景】
【０００２】
プラズマリアクタにおいて、ＲＦ電源は、インピーダンス整合回路網を介してプラズマ源電力をプラズマチャンバに供給する。プラズマのインピーダンスは、多数の処理パラメータ及び条件の、複素数かつ高次変数関数になっている。インピーダンス整合回路網は、ＲＦ源からプラズマへの電力伝達を最大にする。これが達成されるのは、負荷の入力インピーダンスがＲＦ源又はジェネレータの出力インピーダンスの複素共役になったときである。
【０００３】
インピーダンス整合回路網の正確な評価（characterization）は、信頼性の高い、効率的な、予想可能な処理を提供する為に決定的に重要である。通常、インピーダンス整合回路網の評価は、プラズマチャンバの代わりにインピーダンス整合回路網の出力に結合されたダミー負荷を用いて行われる。
【０００４】
多周波数源電力は、時々、プラズマリアクタ内で利用される。これは、各々が関連した周波数依存型整合回路網を有する複数のＲＦ電源を含む。周波数依存型整合回路網は、共通の出力部でプラズマチャンバに接続される。バンドパスフィルタは、各周波数依存型整合回路網とチャンバとの間に含まれ、異なる周波数電源を分離する。
【０００５】
図１は、デュアル周波数源電力の実施形態１００の簡略図を示す。第１の電源１１０は、第１周波数依存型整合回路網１３０に結合されている。第２電源１２０は、第２周波数依存型整合回路網１４０に結合されている。周波数依存型整合回路網の出力部は、共通点１５０で共に結合されており、負荷１６０にわたりデュアル周波数源電力を与える。動作において、負荷１６０は、プラズマチャンバ（図示せず）を表す。図１は、簡略の為に、デュアル周波数源１００で例示されている。多周波数源電力は、２以上のソース電力と、周波数依存型整合回路網を含むことがある。  
【０００６】
周波数依存型整合回路網１３０，１４０の評価は、別個のダミー負荷を１６０に挿入し取り外すことにより発揮されるが、各ダミー負荷は、それぞれ、各動作周波数ｆ１及びｆ２においてプラズマチャンバのインピーダンスを整合するように設計されている。周波数依存型整合回路網１３０または１４０の各々の試験は、関連したソース電力周波数ｆ１又はｆ２で別個に行われる。そのため、周波数依存型整合回路網１３０は、その動作周波数ｆ１において、その関連したソース電源１１０で動作する間に評価される。周波数依存型整合回路網１４０は、その動作周波数ｆ２において、その関連したソース電源１２０で動作する間に評価される。さらに、周波数依存型整合回路網（図示せず）は、同様に試験可能であり、各周波数依存型整合回路網は、試験の為に動作においてソース電力の特定周波数に対応した別個のダミー負荷で別個に試験される。
【概要】
【０００７】
一実施形態において、複数の整合回路網から構成されるプラズマリアクタ用多周波数整合回路網を試験する為の方法において、各々の前記複数の整合回路網が、関連したＲＦ電源に結合され、同調間隔内で同調可能である、上記方法が提供される。この方法は、関連したＲＦ電源の動作周波数で複数の整合回路網の各々の同調間隔内で周波数レスポンスを有する多周波数ダイナミックダミー負荷を提供するステップを含む。更に、この方法は、複数の周波数で同時に動作する間、多周波数整合回路網のレスポンスに基づき、多周波数整合回路網の特性を評価するステップを含む。
【０００８】
一実施形態において、複数の整合回路網から構成される多周波数整合回路網に適合されるプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷が提供される。複数の整合回路網の各々は、同調間隔内で同調可能である。プラズマリアクタ用ダイナミックダミー負荷は、関連したＲＦ電源の動作周波数で、複数の整合回路網の各々の同調間隔内で、周波数レスポンスを同時に提供する能力がある。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、デュアル周波数インピーダンス整合回路網を備えたデュアル周波数ソース電力を例示する。
【図２】図２は、２つの周波数依存型インピーダンス整合回路網の為の別個の同調間隔を例示するスミスチャートを示す。
【図３】図３は、本発明の一実施例による多周波数ダイナミックダミー負荷の周波数レスポンスを例示するスミスチャートを示す。
【図４】図４は、本発明の一実施形態による多周波数ダイナミックダミー負荷の簡略化された概略図を例示する。
【図５】本発明の一実施形態による多周波数ダイナミックダミー負荷の簡略化された概略図を例示する。
【図６】図６は、本発明の一実施例による多周波数ダイナミックダミー負荷の周波数レスポンスを例示する。
【説明】
【００１０】
しばしば整合回路網は、多くの異なるプラズマリアクタの実施形態に使用される為に構築される。そのため、整合回路網は、複数のチャンバ用に構成され、各々は、独自範囲のインピーダンスを有する。各リアクタのインピーダンスは、チャンバ構成、プラズマへの電力分配機構、その処理ウインドウ又はウインドウズにわたるプラズマの負荷インピーダンスの周波数依存性により影響される。各々の周波数依存型整合回路網は、ソース電力の動作周波数の範囲で同調間隔を有する。
【００１１】
通常、周波数依存型整合回路網の同調間隔は、対応するソース電源の特定周波数で異なるプラズマリアクタ構成に適用可能な広い同調間隔を提供するように選択される。例えば、図２のスミスチャートで例示されているように、一つの周波数依存型整合回路網は、高い周波数電源と関連した同調間隔２１０を有する一方、他の周波数依存型整合回路網は、低い周波数電源と関連した同調間隔２２０を有してもよい。そのため、異なる周波数の複数のソース電力を備えた一部のプラズマリアクタでは、周波数依存型整合回路網の同調間隔２１０、２２０は重複しない。
【００１２】
その結果、図１を参考に検討されるように、従来の試験において、別個のダミー負荷（図示せず）は、各々の周波数依存型整合回路網１３０、１４０の試験の為に提供される。各々の別個のダミー負荷は、ソース電力１１０、１２０の周波数に対応した、単一周波数ｆ１、ｆ２において、同調間隔内で周波数レスポンスを有する。この方法における多周波数整合回路網の評価は、分けて行われるので、システムを正確に評価しない。
【００１３】
整合回路網の評価は、幾つかの態様を含む。一つの態様は、高電圧及び高電流で行われる故障試験である。他の態様は、当該システムの効率を決定することである。また更なる態様は、整合回路網電圧及び電流プローブ又はＶＩプローブの較正である。
【００１４】
ＶＩプローブは、インピーダンス整合回路網の出力部に配置されている。ＶＩプローブは、プラズマリアクタに対する電圧と電流を測定する為に使用可能である。ある状況において、ＶＩプローブは、また、位相の精度を測定する為に使用可能である。電力効率が既知である場合、位相はＰ＝ＶＩcosθから計算可能である。
【００１５】
ＶＩプローブの較正における精度は、高精度静電チャック制御、処理制御等にとって重要である。ＶＩプローブの較正が不正確であると、処理性能を減弱させる。プローブの較正により、プローブ測定値に適用される係数を決定し、正しい示度を提供する。
【００１６】
本発明により気が付いたことは、ある状況において、複数のソース電力の周波数は、一つのソース電源のソース電力分配システム内で生成されたサイドバンド周波数が、他の周波数又は周波数範囲で、他の周波数又は周波数範囲の近くに、又は、他の周波数又は周波数範囲内にあることである。例えば、２ＭＨｚソース電力は、１２．２２でサイドバンドを生成可能であり、これは、１３．５６ＭＨｚソース電力に対する１２．８８ＭＨｚ−１４．３ＭＨｚの動作範囲の付近にある。このように、対応する電源だけを動作する間、周波数依存型整合回路網を試験することにより、高精度な評価を提供することはできない。例えば、周波数依存型整合回路網は、動作において単一周波数ソース電力だけでは故障モード試験を合格するかもしれないが、追加のソース電力を備えてシステムが動作するときに故障する。さらに、ＶＩプローブ較正上の相互変調効果は、試験中に唯一のソース電力だけを動作するときに試験されない。
【００１７】
バンドパスフィルタは、周波数依存型整合回路網を分離する為に使用可能であるが、周波数依存型整合回路網で複数ソース電源の調波的な効果および／または相互変調的な効果の全てを除去するには非実用的である。ある状況において、調和的又は相互変調的な効果は、他の電源の動作周波数に近くなる又は他の電源の動作周波数に重なる成分を有する場合がある。そのため、フィルタは、実用的解決策を与えることができない。上記例に関し、１２．８８ＭＨｚ−１４．３ＭＨｚを許容しながら、１２．２２ＭＨｚを遮断する能力があるロールオフレスポンスを備えたフィルタを提供することは、簡単に達成されない。これらの周波数において顕著な変動がある場合、周波数は部分的に重複する可能性がある。さらに、フィルタリングは、異なるソース電力および異なる周波数の数が増加するので、あまり実用的な解決にならない。そのため、チャンバに対し共通の出力部を備えた多周波数の整合回路網において、互いに、周波数依存型整合回路網のブリードオフ（bleed off）が存在する。
【００１８】
ある状況において、周波数依存型整合回路網の特性は、各々の周波数依存型整合回路網が動作周波数で別個に試験される場合、正確ではない。そのため、良好な評価は、同時にアクティブな全ての動作周波数で多周波数整合回路網が試験される場合に得られる。
【００１９】
図３に戻ると、本発明の一実施例において、デュアル周波数整合回路網の同調間隔３１０，３２０の両方を通過する周波数レスポンス３３０を有する周波数デュアル周波数ダイナミックダミー負荷が提供されている。各同調間隔３１０、３２０の各々に対する関連周波数は、デュアル周波数ダイナミックダミー負荷特性３３０において、同一周波数で、レスポンス３４０、３５０を含むことに注意することが大事である。そのため、デュアル周波数ダイナミックダミー負荷の周波数レスポンスは、同調間隔の、それぞれの駆動周波数で同調間隔を通過しなければならない。
【００２０】
多周波数整合回路網と関連した複数の同調間隔内にある周波数レスポンスを持つ多周波数ダイナミックダミー負荷を提供することにより、試験中、同時に多周波数の動作が可能になる。これは、周波数依存型整合回路網が、所定のデュアル周波数ダイナミックダミー負荷インピーダンスに対する特性インピーダンスを発生させることができることを意味する。このように、３４０、３５０でのデュアル周波数ダミー負荷の所望の中央周波数レスポンスは、多周波数整合回路網の同調間隔３１０、３２０の範囲内に入る。
【００２１】
多周波数ダイナミックダミー負荷は、図２に示される周波数依存型整合回路網２３０、２４０の同時の評価を可能にする。このように、高い電圧及び電流測定値は、周波数依存型整合回路網の各々における組合せ周波数の影響を考慮に入れる。さらに、較正測定値は、複数の電源操作により起因される高調波成分と相互変調成分の影響を含む。その結果、システムの評価と信頼性は改善される。
【００２２】
更に以下に説明するように、ある実施形態において、これは、純粋な実電力端子に終結される純粋なリアクタンス成分のネットワークを使用して達成される。この終結されたネットワークのレスポンスは、特定動作周波数で試験される多周波数整合回路網の為に所望の同調間隔を越える周波数依存型インピーダンスを提供する。さらに、回路網は、一定リアクタンス及び／又は可変リアクタンスを含んでもよい。また、それは、一定消費負荷及び／又は可変消費負荷を含んでもよい。可変成分を使用することにより、一部の多周波数ダイナミックダミー負荷の実施形態において、各同調間隔の範囲内の単一ポイントだけというより、各同調間隔の大部分を取り込むことが可能である。
【００２３】
図４は、本発明の一実施形態による多周波数ダイナミックダミー負荷４００を示す。多周波数ダイナミックダミー負荷４００は、図１に示される負荷１６０の代わりに提供される。図４の実施形態において、多周波数ダイナミックダミー負荷４００は、直列抵抗負荷４１０ｒと直列の直列リアクタンス４１０ｘを有する直列インピーダンス４１０を含む。シャントリアクタンス４３０は、直列インピーダンス４１０と並列である。通常、直列抵抗負荷４１０ｒは、良好に評価された消費負荷であるが、直列およびシャントリアクタンス４１０ｘ、４３０は、非消費的である。
【００２４】
オプションカプラ４２０は、直列インピーダンス４１０に沿って結合可能であり、直列インピーダンス４１０による電力消費の測定を可能にする。直列リアクタンス４１０ｘとシャントリアクタンス４３０が純粋に虚数である実施形態において、カプラ４２０は、直列抵抗４１０ｒに隣接して置かれてもよい。
【００２５】
この、特例の実施形態は、例示目的の為に、デュアル周波数ダイナミックダミー負荷を参考に説明される。本願の教示は、２つの周波数に限定されるものではなく、２以上の周波数の多周波数ソース電力に適用可能である。特別な回路技術は、同調間隔がスミスチャートに存在するかに依存する。多周波数ダイナミックダミー負荷は、関連した周波数依存型ネットワークの動作周波数における各同調間隔に入る特性インピーダンスを有する。
【００２６】
前述した実施例において、１３．５６ＭＨｚおよび２ＭＨｚ電源を持つデュアル周波数の実施形態にとって、デュアル周波数ダイナミックダミー負荷３００は、１００Ωの直列抵抗３１０ｒ、５００ピコファラドのコンデンサと直列の、２マイクロヘンリのインダクタを含む直列リアクタンス３１０ｒを含んでもよい。シャントリアクタンス３３０は、３５０ピコファラドのコンデンサと直列の２００ナノヘンリーのインダクタを含んでもよい。
【００２７】
本質的に注意すべき点は、本発明の実施形態は上記実施例に限定されるものではない点である。さらなる実施例に係る多周波数ソース電力は、６０ＭＨｚを持つ１３．５６ＭＨｚ、６０ＭＨｚを持つ２ＭＨｚ、６０ＭＨｚを持つ１３．５６ＭＨｚと、他の周波数との組合せである。前述した周波数は、限定の目的ではなく、他の周波数や組合せでも可能である。
【００２８】
図５は、多周波数ダイナミックダミー負荷５００の、可能な他の実施形態を示す。多周波数ダイナミックダミー負荷５００の実施形態は、図４に例示されたような多周波数ダイナミックダミー負荷とカスケード接続された追加の直列リアクタンス５１０ｘとシャントリアクタンス５６０を含む。図５の実施形態は、図４のようなシャントリアクタンス５３０を備えた直列抵抗負荷５２０ｒと直列の直列リアクタンス５１０ｘを有する直列インピーダンス５１０を含む。追加の直列リアクタンス５５０ｘは、直列インピーダンス５１０とシャントリアクタンス５３０と直列に結合され、追加のシャントリアクタンス５６０は、直列リアクタンス５５０ｘと並列に結合されている。図４の実施形態のように、オプションカプラ５２０は、直列抵抗負荷５１０ｒと直列に含まれてもよく、直列抵抗負荷５１０ｒによる電力消費の測定を可能にする。
【００２９】
一例において、図５の実施形態は、３つのソース電力を有する多周波数システム（すなわち、２ＭＨｚ／１３．５６ＭＨｚ／６０ＭＨｚ等）を試験するのに利用可能である。他の例も可能である。
【００３０】
他の多周波数ダイナミックダミー負荷の実施形態において（図示せず）追加の直列リアクタンス及びシャントリアクタンスは、図５の実施形態にカスケード接続可能である。追加の直列リアクタンスとシャントリアクタンス（図示せず）は、図５の実施形態を構成する為に、追加の直列リアクタンス５５０ｘとシャントリアクタンス５６０が図４の実施形態とカスケード接続された同一方式で結合可能である。カスケード接続された直列リアクタンス及びシャントリアクタンスの数は、多周波数整合回路網の、異なる同調間隔の数と一致してもよい。
【００３１】
図６は、４つの周波数依存型整合回路網に対応した複数の同調間隔６１０、６２０、６４０、６５０を通過する、可能な周波数レスポンス６３０の一実施例を示す。周波数レスポンス６３０を有する回路は、ポイント６１５、６２５、６４５、６５５を各同調間隔の範囲内で選択し、各周波数依存型整合回路網の動作周波数において各同調間隔を通過する周波数レスポンス６３０をインピーダンス値が生成するように解くことにより、決定される。そのため、各ソース電力動作周波数における多周波数ダミー負荷に対する周波数レスポンス６３０は、その動作周波数に対する周波数依存型整合回路網の同調間隔の範囲内に入る。
【００３２】
図６の実施例には各同調間隔６１０、６２０、６４０または６５０の全体を取り込む周波数レスポンス６３０は示されていないが、一部の実施形態において、各同調間隔６１０、６２０、６４０または６５０の全て、又はそれ以上を取り込む為に可変成分を提供することが可能である。一部の例において、多周波数整合回路網の性能を評価することは、虚数方向に同調間隔の幅を与える為に、その周波数範囲内の関連したＲＦソース電力の周波数（例えば、＋／−５％）を変更することを含む。ある例において、シャントコンデンサは、実数方向における幅を与える為に変更される。ある例において、可変の、直列の、シャント成分は、同調間隔を取り込む為に調整される。
【００３３】
本質的に注意すべきことは、図４の実施形態はＬ型回路構成で描かれているが、他の構成も可能である点である。幾つかの実施例の構成は、逆Ｌ型、π型、Ｔ型、これらの組合せを含む。逆Ｌ型実施形態（図示せず）において、直列素子４１０ｘと並列のシャント素子４３０と共に、抵抗負荷４１０ｒに隣接して直列素子４１０ｒを有するというより、むしろ、逆Ｌ型回路は、直列素子４１０ｒと抵抗負荷４１０ｒとの間に結合されたシャント素子４３０を有する。
【００３４】
例示目的の為に図５の相互接続を参照すると、そのような逆Ｌ型実施形態は、図５に配置されたように（抵抗負荷５１０ｒに沿って）シャントリアクタンス５３０と直列リアクタンス５５０ｘだけを備えて構成可能である。基本的なπ型実施形態は、図５に配置されたように（抵抗負荷５１０ｒに沿って）シャントリアクタンス５３０、シャントリアクタンス５６０、直列リアクタンス５５０ｘだけで構成可能である。基本的なＴ型実施形態は、図５に配置されたように（抵抗負荷５１０ｒに沿って）直列リアクタンス５１０ｘ、シャントリアクタンス５３０、直列リアクタンス５５０ｘだけで構成可能である。異なる回路型のカスケード接続を含む組合せは可能である。様々な組合せ及び／又は回路型のカスケード接続は、１以上の同調間隔の範囲内のカバレージを高めるか、より効率的に同調間隔を取り込む為に、より大きな可変性を許容することにより２以上の多周波数例で使用可能である。
【００３５】
他の実施形態（図示せず）において、多周波数ダイナミックダミー負荷は、並列回路で構成可能であるが、各々は、相補型周波数分離及び抵抗を有する。例えば、デュアル周波数ダイナミックダミー負荷の実施形態において、接地まで２つの平行な経路があり、その一つの経路は第１周波数で一定のインピーダンスを有する一方、第２周波数で実質的に開放回路であり、平行経路の他方は、第２周波数で一定の試験インピーダンスを有するが、第１周波数で実質的に開放回路になっている。この実施形態は、複数の周波数電源に対応した複数の並列経路を有してもよい。例えば、多周波数ダイナミックダミー負荷は、複数の並列経路を含み、各々はリアクタンス（例えば、グランドに結合されたコンデンサ）と並列な抵抗を備える。
【００３６】
このように、単一の多周波数ダイナミックダミー負荷は、同時に、異なる周波数で動作する複数の電源を有する複数の整合回路網の同調間隔の範囲内に負荷インピーダンスを与えてもよい。
【００３７】
本願で開示された発明は、特定実施形態および実施例により説明されたが、数多くの変形および変更は、請求項に記載された発明の範囲から逸脱することなく、当業者にとって案出可能であろう。
【符号の説明】
【００３８】
１００…デュアル周波数ソース電力実施形態、１１０…第１電源、１２０…第２電源、１３０…第１周波数依存型整合回路網、１４０…第２周波数依存型整合回路網、１５０…共通点、１６０…負荷、２１０…、２２０…、２３０、２４０…周波数依存型整合回路網、３１０、３２０…同調間隔、３３０…デュアル周波数ダイナミックダミー負荷特性、３４０、３５０…レスポンス、４００…多周波数ダイナミックダミー負荷、４１０…直列インピーダンス、４１０ｒ…直列抵抗負荷、４１０ｘ…直列リアクタンス、４２０…カプラ、４３０…シャントリアクタンス、５００…多周波数ダイナミックダミー負荷、５１０…直列インピーダンス、５１０ｒ…直列抵抗負荷、５１０ｘ…直列リアクタンス、５２０…オプションカプラ、５３０…シャントリアクタンス、５５０ｘ…直列リアクタンス、５６０…追加シャントリアクタンス、６１０、６２０、６４０、６５０…同調間隔、６１５、６２５、６４５、６５５…ポイント、６３０…周波数レスポンス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年5月10日(2010.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の整合回路網から構成される多周波数整合回路網に適合されるプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷であって、
前記複数の整合回路網の各々は、該複数の整合回路網の各々の同調間隔内で、関連したＲＦ電源の動作周波数に基づいて同調可能であり、
当該プラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷は、直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを有しており、前記関連したＲＦ電源の前記動作周波数で、前記複数の整合回路網の各々の前記同調間隔内で、周波数レスポンスを同時に提供する能力がある、プラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項２】
並列結合整合回路網間に結合されるように構成される、請求項１記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項３】
当該多周波数ダイナミックダミー負荷は、第２整合回路網と並列に結合された第１整合回路網の間に結合されるように構成され、前記第１整合回路網は、第１ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力があり、前記第２整合回路網は、第２ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力がある、請求項２記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項４】
（ａ）一定の実成分及びリアクタンス成分と、（ｂ）可変の実成分及び可変のリアクタンス成分と、（ｃ）一定の実成分及び可変のリアクタンス成分と、のうちの一つを備える、請求項２記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項５】
前記負荷抵抗と直列にカプラを更に備える、請求項２記載の多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項６】
当該多周波数ダイナミックダミー負荷は、
ａ）直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを備えており、
ｂ）前記直列インピーダンスは、直列コンデンサと直列の、直列インダクタと直列の、直列負荷抵抗を備えており、
ｃ）前記シャントインピーダンスは、シャントインダクタと直列のシャントコンデンサを備える、請求項２記載の多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項７】
２つの周波数依存型整合回路網から構成されるデュアル周波数整合回路網に適合されたプラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷であって、
前記周波数依存型整合回路網の各々は、該周波数依存型整合回路網の各々の同調間隔内で、関連したＲＦ電源の動作周波数に基づいて同調可能であり、
当該プラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷は、直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを有しており、前記関連したＲＦ電源の前記動作周波数で、前記周波数依存型整合回路網の各々の同調間隔内で、周波数レスポンスを同時に与える能力がある、プラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項８】
前記デュアル周波数整合回路網の共通出力部で結合されるように適合されている、請求項７記載のデュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項９】
当該デュアル周波数ダイナミックダミー負荷は、第２整合回路網と並列に結合された第１整合回路網間に結合されるように適合され、前記第１整合回路網は、第１ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力があり、前記第２整合回路網は、第２ＲＦ電源にインピーダンス整合を与える能力がある、請求項８記載のデュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項１０】
（ａ）一定の実成分及びリアクタンス成分と、（ｂ）可変の実成分及びリアクタンス成分と、（ｃ）一定の実成分及び可変のリアクタンス成分と、のうちの一つを備える、請求項８記載のプラズマリアクタ用多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項１１】
当該デュアル周波数ダイナミックダミー負荷は、
ａ）直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを備えており、
ｂ）前記直列インピーダンスは、直列コンデンサと直列の、直列インダクタと直列の、直列負荷抵抗を備えており、
ｃ）前記シャントインピーダンスは、シャントインダクタと直列のシャントコンデンサを備える、請求項７記載の多周波数ダイナミックダミー負荷。
【請求項１２】
１３．５ＭＨｚ源電源に結合された整合回路網と２ＭＨｚ源電源に結合された整合回路網とから構成されるデュアル整合回路網に適合されるプラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷であって、
ａ）直列インピーダンスと並列のシャントインピーダンスを備えており、
ｂ）前記直列インピーダンスは、５００ピコファラドのコンデンサと直列の、２ミクロンヘンリーのインダクタンスと直列の、１００オームの抵抗を備えており、
ｃ）前記シャントインピーダンスは、１００ナノヘンリーのインダクタンスと直列の、３５０ピコファラドのコンデンサを備える、プラズマリアクタ用デュアル周波数ダイナミックダミー負荷。
【外国語明細書】
2010219052000001.pdf