(57)【要約】【課題】グリーンシートの乾燥ムラを低減し乾燥効率の優れたグリーンシート形成用キャリアフィルム、グリーンシートの乾燥ムラを低減し乾燥効率の優れたグリーンシートの製造方法およびその製造装置、ならびに前記グリーンシートを用いた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。【解決手段】グリーンシート形成用キャリアフィルム２０は、第1の支持フィルム１２と、前記第1の支持フィルムの上方に形成された抵抗加熱層１４と、前記抵抗加熱層１４の上方に形成された第２の支持フィルム１６と、を含み、前記抵抗加熱層１４は、下面の両端に露出部１４ａおよび１４ｂを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の支持フィルムと、
前記第１の支持フィルムの上方に形成された抵抗加熱層と、
前記抵抗加熱層の上方に形成された第２の支持フィルムと、
を含み、
前記抵抗加熱層は、下面の両端に露出部を有する、グリーンシート形成用キャリアフィルム。
【請求項２】
請求項１において、
前記抵抗加熱層は、金属またはその合金を含む、グリーンシート形成用キャリアフィルム。
【請求項３】
請求項１において、
前記抵抗加熱層は、炭素またはその化合物を含む、グリーンシート形成用キャリアフィルム。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のグリーンシート形成用キャリアフィルムを用いた、グリーンシートの製造方法であって、
前記グリーンシート形成用キャリアフィルムを搬送部によって搬送する工程と、
前記第２の支持フィルムの上方に、セラミックス粒子を含むスラリーを塗布してグリーンシート用塗膜を形成する工程と、
前記抵抗加熱層に電流を供給して発熱させ、前記グリーンシート用塗膜を加熱することによって、グリーンシートを形成する工程と、
を含む、グリーンシートの製造方法。
【請求項５】
請求項４において、
前記搬送部は、第１の搬送用ローラーおよび電極部を備えた第２の搬送用ローラー有し、
前記電極部を介して前記抵抗加熱層に前記電流を供給する、グリーンシートの製造方法。
【請求項６】
請求項４または請求項５において、
さらに、前記グリーンシートの上方に塗料を塗布して電極用塗膜を形成する工程と、
前記抵抗加熱層に電流を供給して発熱させ、前記電極用塗膜を加熱することによって、電極膜を形成する工程と、
を含む、グリーンシートの製造方法。
【請求項７】
請求項４ないし請求項６のいずれか１項に記載のグリーンシートの製造方法に用いる、製造装置であって、
前記グリーンシート形成用キャリアフィルムを搬送する搬送部と、
セラミックス粒子を含むスラリーを塗布する塗布部と、
を含み、
前記搬送部は、第１の搬送用ローラーおよび電極部を備えた第２の搬送用ローラーを有する、グリーンシート製造装置。
【請求項８】
請求項７に記載のグリーンシート製造装置によって製造されたグリーンシートを用いた圧電素子を含む、液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液体噴射ヘッドを含む、液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシート形成用キャリアフィルム、グリーンシートの製造方法およびその製造装置、液体噴射ヘッド、ならびに液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
グリーンシートの形成において、樹脂フィルムからなるキャリアフィルムに、グリーンシートを形成することが記載されている（特許文献１）。
【０００３】
一般に、グリーンシートの形成は、以下のように行われることが知られている。まず、キャリアフィルムを搬送用ローラー等で搬送しながら、セラミックスを含むスラリーをキャリアフィルム上に塗布する。その後、キャリアフィルムを乾燥炉内に搬送してスラリーを乾燥させ、キャリアフィルム上にグリーンシートを形成させる。スラリーの乾燥は、熱風循環式乾燥装置を用いて行われることが多く、具体的にはスラリーの膜に熱風を吹き付けて乾燥させるという方法が行われている。
【０００４】
このようなグリーンシートの製造工程において、乾燥炉内において熱せられた搬送用ローラーとキャリアフィルムとの接触部および非接触部によって、グリーンシートの乾燥状態が異なり、いわゆる乾燥ムラの原因になる。そのため、乾燥ムラの低減されたグリーンシートが望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−９６３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的の１つは、グリーンシートの乾燥ムラを低減し、乾燥効率の優れた、グリーンシート形成用キャリアフィルムを提供することにある。
【０００７】
本発明の目的の１つは、グリーンシートの乾燥ムラを低減し、乾燥効率の優れた、グリーンシートの製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の目的の１つは、グリーンシートの乾燥ムラを低減し、乾燥効率の優れた、グリーンシートの製造装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の目的の１つは、前記グリーンシートを用いて形成された圧電体を含む、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明に係るグリーンシート形成用キャリアフィルムは、
第１の支持フィルムと、
前記第１の支持フィルムの上方に形成された抵抗加熱層と、
前記抵抗加熱層の上方に形成された第２の支持フィルムと、
を含み、
前記抵抗加熱層は、下面の両端に露出部を有する。
【００１１】
本発明に係るグリーンシート形成用キャリアフィルムを用いることにより、乾燥ムラを低減し、乾燥効率の優れたグリーンシートを提供することができる。
【００１２】
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下「Ｂ」という）を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。同様に、「下方」という文言は、Ａ下に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ下に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとする。
【００１３】
（２）本発明に係るグリーンシート形成用キャリアフィルムにおいて、
前記抵抗加熱層は、金属またはその合金を含むことができる。
【００１４】
（３）本発明に係るグリーンシート形成用キャリアフィルムにおいて、
前記抵抗加熱層は、炭素またはその化合物を含むことができる。
【００１５】
（４）本発明に係るグリーンシートの製造方法は、
上記グリーンシート形成用キャリアフィルムを用いた、グリーンシートの製造方法であって、
前記グリーンシート形成用キャリアフィルムを搬送部によって搬送する工程と、
前記第２の支持フィルムの上方に、セラミックス粒子を含むスラリーを塗布してグリーンシート用塗膜を形成する工程と、
前記抵抗加熱層に電流を供給して発熱させ、前記グリーンシート用塗膜を加熱することによって、グリーンシートを形成する工程と、
を含む。
【００１６】
（５）本発明に係るグリーンシートの製造方法において、
前記搬送部は、第１の搬送用ローラーおよび電極部を備えた第２の搬送用ローラーを有し、
前記電極部を介して前記抵抗加熱層に前記電流を供給することができる。
【００１７】
本発明に係るグリーンシートの製造方法を用いると、乾燥ムラを低減し、乾燥効率の優れたグリーンシートを提供することができる。
【００１８】
（６）本発明に係るグリーンシートの製造方法は、
さらに、前記グリーンシートの上方に塗料を塗布して電極用塗膜を形成する工程と、
前記抵抗加熱層に電流を供給して発熱させ、前記電極用塗膜を加熱することによって、電極膜を形成することができる。
【００１９】
（７）本発明に係るグリーンシート製造装置は、
上記のグリーンシートの製造方法に用いる、製造装置であって、
前記グリーンシート形成用キャリアフィルムを搬送する搬送部と、
セラミックス粒子を含むスラリーを塗布する塗布部と、
を含み、
前記搬送部は、第１の搬送用ローラーおよび電極部を備えた第２の搬送用ローラーを有する。
【００２０】
本発明に係るグリーンシート製造装置を用いると、乾燥ムラを低減し、乾燥効率の優れたグリーンシートを提供することができる。
【００２１】
（８）本発明に係る液体噴射ヘッドは、
上記のグリーンシート製造装置によって製造されたグリーンシートを用いた圧電素子を含む。
【００２２】
（９）本発明に係る液体噴射装置は、
上記の液体噴射ヘッドを含む。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態に係るキャリアフィルムを模式的に説明する図。
【図２】本実施形態に係るグリーンシートの製造方法を模式的に説明する図。
【図３】本実施形態に係るグリーンシートの製造方法を模式的に説明する図。
【図４】本実施形態に係るグリーンシート製造装置を模式的に説明する図。
【図５】本実施形態に係るグリーンシート製造装置を模式的に説明する図。
【図６】本実施形態に係るグリーンシート製造装置を模式的に説明する図。
【図７】本実施形態に係る液体噴射ヘッドを模式的に説明する図。
【図８】本実施形態に係る液体噴射装置を模式的に説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態の一例について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに制限されるものではない。
【００２５】
１．  グリーンシート形成用キャリアフィルム
図１は、本実施形態に係るグリーンシート形成用キャリアフィルムを模式的に示す断面図である。
【００２６】
図１に示すように、本実施形態に係るグリーンシート形成用キャリアフィルム（以下、「キャリアフィルム」ともいう。）１０は、第１の支持フィルム１２と、抵抗加熱層１４と、第２の支持フィルム１６と、を含む。
【００２７】
第１の支持フィルム１２は、抵抗加熱層１４の下に形成される。第１の支持フィルム１２は、特に限定されないが、シート状フィルム、プレート状フィルム等を用いることができる。
【００２８】
第１の支持フィルム１２は、抵抗加熱層１４を保護する機能を有する。また、第１の支持フィルム１２は、抵抗加熱層１４に電流を供給する際にキャリアフィルム１０の下面を電気的に絶縁する機能を有する。
【００２９】
第１の支持フィルム１２の材料としては、特に制限されないが、樹脂を用いることができる。樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ナイロン６６、ナイロン６等のポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、トリアセテート系樹脂、ポリイミド系樹脂などが挙げられる。
【００３０】
第１の支持フィルム１２の厚さは、特に制限されないが、１０μｍ以上１５０μｍ以下であることができる。厚さが１０μｍ以上であれば、工程等で取扱いが容易になり、１５０μｍ以下であれば、柔軟性に富み、ロール状に巻き取ることが容易になる。
【００３１】
抵抗加熱層１４は、第１の支持フィルム１２の上に形成されている。抵抗加熱層１４としては、特に限定されないが、シート状フィルム、プレート状フィルム等が挙げられる。
【００３２】
抵抗加熱層１４の下面の両端部は、第１の露出部１４ａおよび第２の露出部１４ｂを有する。露出部１４ａはキャリアフィルム１０の短手方向の一方の端部に、露出部１４ｂは他方の端部に形成することができる。露出部１４ａおよび１４ｂは、キャリアフィルム１０の長手方向に沿って連続して形成することができる。露出部１４ａおよび１４ｂの幅は、抵抗加熱層１４に電流を供給できるのであれば、特に限定されるものではない。例えば、露出部１４ａおよび１４ｂの幅は、後述する電極部５６と十分に接触できればよい。
【００３３】
抵抗加熱層１４は導電性を有しており、電流の供給によって発熱する。抵抗加熱層１４の材料としては、導電性を有していれば特に限定されないが、金属またはその合金、炭素またはその化合物が挙げられる。金属またはその合金としては、Ｆｅ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｗ、Ｍｏ、Ｔａおよびこれらの合金等が挙げられ、炭素またはその化合物としては、カーボンブラック、ＳｉＣ等が挙げられる。
【００３４】
抵抗加熱層１４の厚さは、特に限定されないが、好ましくは５μｍ以上２００μｍ以下である。厚さが５μｍ以上であれば、工程等で取扱いが容易になり、２００μｍ以下であれば、柔軟性に富み、ロール状に巻き取ることが容易になる。
【００３５】
第２の支持フィルム１６は、抵抗加熱層１４の上に形成されている。第２の支持フィルム１４としては、特に限定されないが、シート状フィルム、プレート状フィルム等が挙げられる。第２の支持フィルム１６としては、第１の支持フィルム１２において例示したフィルムと同様のフィルムを用いることができる。
【００３６】
第２の支持フィルム１６は、グリーンシートを支持する機能を有する。また、第２の支持フィルム１６は、抵抗加熱層１４を保護する機能を有する。さらに、第２の支持フィルム１６は、剥離性を有することができる。これによって、第２の支持フィルム１６の上に形成されたグリーンシート等を、キャリアフィルム１０から容易に剥離することができる。
【００３７】
第２の支持フィルム１６に剥離性を付与する方法としては、特に限定されないが、例えばＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等により第２の支持フィルム１６の表面処理を行う方法や、第２の支持フィルム１６の表面に樹脂等を塗布しコーティングする方法等が挙げられる。第２の支持フィルム１６に剥離性を付与する樹脂としては、例えば、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、およびオレフィン系樹脂等を用いることができる。
【００３８】
本実施形態におけるキャリアフィルムの構成は以上の通りである。本実施形態では、第１の支持フィルムの上に抵抗加熱層１４を有している。抵抗加熱層１４は電流を供給することで発熱するため、その上に塗布されたスラリー等からなる塗膜を加熱して乾燥することができる。また、抵抗加熱層１４はシート状であるため、グリーンシートの形成に用いられるスラリーや電極形成に用いる塗料がキャリアフィルム１０に塗布された際に、塗膜を均一に加熱することができる。したがって、塗膜の乾燥ムラを低減することができる。さらに、乾燥ムラに起因するグリーンシートのクラック等を防止することができる。
【００３９】
また、キャリアフィルム１０は、露出部１４ａおよび１４ｂを抵抗加熱層１４に有している。そのため、露出部１４ａおよび１４ｂを介して、抵抗加熱層１４と電極等との接触を行うことができる。したがって、抵抗加熱層１４への電流の供給を確実に行うことができる。
【００４０】
２．  グリーンシート形成用キャリアフィルムの製造方法
キャリアフィルム１０の形成方法としては、特に限定されないが、例えば以下の方法で形成することができる。
【００４１】
まず、第２の支持フィルム１６を準備し、その上に抵抗加熱層１４を形成する。抵抗加熱層１４は、公知の技術を用いて形成すればよく、例えば真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング法、スクリーン印刷、またはグラビア印刷等を用いることができる。
【００４２】
次に、抵抗加熱層１４の第２の支持フィルムが形成されていない面に、露出部１４ａおよび１４ｂを有するように第１の支持フィルム１２を形成する。抵抗加熱層１４における露出部１４ａおよび１４ｂは、例えば、抵抗加熱層１４の上に形成される第１の支持フィルム１２の幅を、抵抗加熱層１４の幅よりも狭いものを用いることで、露出部１４ａおよび１４ｂを形成することができる。第２の支持フィルムは、例えば接着剤等を用いて貼り合わせることができる。
【００４３】
３．  グリーンシートの製造装置
図４から図６は、本実施形態におけるグリーンシートの製造装置を模式的に示す図である。
【００４４】
図４から図６に示すように、本実施形態に係るグリーンシートの製造装置は、前記グリーンシート形成用キャリアフィルムを搬送する搬送部５０と、セラミックス粒子を含むスラリーを塗布する塗布部４０と、を含む。
【００４５】
図４に示すように、本実施形態に係るグリーンシートの製造装置は、塗布部４０を有する。塗布部４０としては、キャリアフィルムにセラミックス粒子を含むスラリーを塗布して所望の厚みに調整できる機構を有していれば、特に限定されるものではない。例えば、ドクターブレード法を用いた場合、塗布部４０としては、スラリー供給部４２、スラリー溜め部４４、ドクターブレード４６を有することができる。ドクターブレード法を用いた場合のスラリーの塗布方法としては、次のように行うことができる。まず、スラリー供給部４２からスラリー溜め部４４にセラミックス粒子を含むスラリーを供給する。次に、供給したスラリーをキャリアフィルム上に塗布して、ドクターブレード４６を用いて所望の厚みに調整して、塗膜を形成する。
【００４６】
本実施形態に係るグリーンシートの製造装置は、搬送部５０を有する。搬送部５０は、キャリアフィルム１０を一定方向に移動させる移動手段を備えていればよく、特に限定されるものではない。
【００４７】
また、搬送部５０は、図４から図６に示すように、第１の搬送用ローラー５２および第２の搬送用ローラー５４を有する。第１の搬送用ローラー５２および第２の搬送用ローラー５４の回転によってキャリアフィルムを搬送することができる。
【００４８】
図６に示すように、第２の搬送用ローラー５４は、２つの電極部５６とローラー支持部５８とを有することができる。２つの電極部５６は、ローラー支持部５８を介して、対向するように両端部にそれぞれ設けることができる。電極部５６には、図示しない給電手段によって、電流を供給することができる。そのため、電極部５６に接触した抵抗加熱層１４に電極部５６を介して電流が供給されて、抵抗加熱層１４が発熱する。したがって、発熱した抵抗加熱層１４によって、キャリアフィルム１０の上に塗布されたスラリーからなる塗膜を乾燥することができる。このように、キャリアフィルムの上に形成された塗膜を乾燥するために、電極部５６を備えた第２の搬送用ローラー５４は、塗布部４０の設置部分よりも下流側に設置する。
【００４９】
電極部５６の材料としては、抵抗加熱層１４に電流を供給できるものであれば特に限定されないが、例えば銀、銅、金、ニッケル、パラジウム、銀−パラジウム、銀−白金等が挙げられる。
【００５０】
また、図示しないが、巻き取りロールを用いてキャリアフィルムを搬送することができる。巻き取りロールを用いてキャリアフィルムを搬送する方法としては、上流側のキャリアフィルム１０の一端を送り出し、下流側のキャリアフィルム１０の一端を巻き取りロールにより巻き取る。このようにキャリアフィルムが巻き取りロールに巻き取られることで、キャリアフィルム１０を搬送することができる。この場合、第１の搬送用ローラー５２および第２の搬送用ローラー５４は、回転駆動してもよいし、巻き取りロールの巻き取り力によって回転してもよい。
【００５１】
本実施形態に係るグリーンシートの製造装置は、さらに、塗布されたスラリーからなる塗膜を乾燥させる乾燥部を有することができる。乾燥部としては、スラリーを塗布した塗膜を補助的に乾燥できるものであれば特に限定されないが、例えば公知の熱風乾燥炉等を用いることができる。このように、上述した電極部５６を備えた第２の搬送ローラー５４と、公知の熱風乾燥炉とを併用することで、スラリーの乾燥効率をさらに向上させることができる。
【００５２】
本実施形態におけるグリーンシート製造装置の構成は以上の通りである。本発明に係るキャリアフィルム１０の上にグリーンシートを形成する際に、本発明に係るグリーンシート製造装置を用いると、グリーンシートの乾燥ムラを低減することができる。さらに、乾燥ムラにより発生するグリーンシートのクラック等も防止することができる。これは上述したように、電極部５６を備えた第２の搬送用ローラー５４が、抵抗加熱層１４を発熱させることができるためである。抵抗加熱層１４はシート状であるため、この上に形成された塗膜の全面を均一に加熱できる。したがって、従来行われていた塗膜の上面に熱風を吹き付けて乾燥するよりも、塗膜を均一に乾燥することができる。
【００５３】
また、電極部５６を備えた第２の搬送用ローラー５４に供給する電流をコントロールすることによって、所望の加熱温度を得ることができる。このように、電極部を備えた第２の搬送用ローラー５４毎に温度設定が可能となるため、温度設定を所定の領域毎に容易に行うことができる。
【００５４】
また、本実施形態に係るグリーンシート製造装置において、電極部５６を備えた第２の搬送用ローラー５４は所望の位置に設置できる。そのため、グリーンシート製造装置の設計の自由度を高めることができ、従来のグリーンシートの製造装置よりも省スペース化することができる。
【００５５】
４．  グリーンシートの製造方法
図２および図３は、本実施形態におけるグリーンシートの製造方法を模式的に示す図である。
【００５６】
図２および図３に示すように、本実施形態に係るグリーンシートの製造方法は、上述のキャリアフィルム１０およびグリーンシート製造装置を用いたグリーンシートの製造方法であって、前記キャリアフィルム１０を搬送部５０によって搬送する工程と、前記第２の支持フィルムの上方にセラミックス粒子を含むスラリーを塗布し、グリーンシート用塗膜を形成する工程と、前記抵抗加熱層に電流を供給して発熱させ、前記グリーンシート用塗膜を加熱することによって、グリーンシート２０を形成する工程と、を含む。
【００５７】
まず、キャリアフィルム１０を搬送部５０の上に設置し、搬送する。キャリアフィルム１０を搬送する方法としては、キャリアフィルム１０を搬送することができれば特に限定されるものではない。例えば、上述した第１の搬送用ローラー５２および第２の搬送用ローラー５４の回転による搬送方法や、上述した巻き取りロールを用いた搬送方法を用いることができる。
【００５８】
次に、第２の支持フィルム１６の上に、セラミックス粒子を含むスラリー（以下、単に「スラリー」ともいう。）を塗布し、グリーンシート用塗膜を形成する。本実施形態に係るスラリーは、結晶化した際に圧電特性を発現するセラミックスとなるものであれば特に限定されるものではない。スラリーとしては、例えば、セラミックス粒子と、該セラミックス粒子を分散させる公知のバインダー、有機溶剤、可塑剤、分散媒等を含むことができる。スラリーに分散するセラミックス粒子は、公知の圧電材料セラミックスを用いてもよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、チタン酸ビスマスナトリウム（（Ｂｉ，Ｎａ）ＴｉＯ３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等を用いることができる。
【００５９】
スラリーをキャリアフィルム１０の上に塗布しグリーンシート用塗膜を形成する方法は特に限定されず、公知の成膜技術を用いることができる。例えば、ドクターブレード法、デップコート法、スロットダイコート法等を用いることができる。
【００６０】
キャリアフィルム１０上に塗布するスラリーの厚みは、特に限定されないが、０．５μｍ以上１００μｍ以下であることができる。
【００６１】
次に、抵抗加熱層１４に電流を供給して発熱させ、前記グリーンシート用塗膜を加熱することによって、グリーンシート２０を形成する。抵抗加熱層１４に電流を供給して発熱させる方法としては、特に限定されないが、抵抗加熱層１４に電極を接触させることにより行うことができる。このような電極としては、例えば、上述した電極部５６を用いることができる。抵抗加熱層１４の発熱温度は、供給する電流をコントロールすることで所望の温度を得ることができる。
【００６２】
キャリアフィルム１０の上に形成されたグリーンシート用塗膜を、例えば、７０℃以上１３０℃以下で加熱することにより、図２に示すようにキャリアフィルム１０の上にグリーンシート２０を形成することができる。本発明におけるグリーンシート用塗膜の加熱は、抵抗加熱層１４の発熱によって行われる。そのため、従来から行われているグリーンシート用塗膜に熱風を吹き付けて加熱して乾燥する方法よりも、グリーンシート用塗膜全面に対して均一に熱を与えることができる。したがって、グリーンシート２０の乾燥ムラを低減することができる。さらに、乾燥ムラに起因するグリーンシート２０のクラック等を防止することができる。
【００６３】
次に、図３に示すように、グリーンシート２０の形成後、グリーンシート２０の上に塗料を塗布して電極用塗膜を形成する。その後、抵抗加熱層１４に電流を供給して発熱させ、電極用塗膜を加熱することによって、電極膜３０を形成することができる。
【００６４】
電極膜３０は、所望の領域に形成されていれば特に限定されないが、例えば電極膜３０が形成されている領域と電極膜３０が形成されていない領域とを有するように、グリーンシート２０の上に形成することができる。また、電極膜３０は、所望の形状を有することができる。
【００６５】
電極膜３０に用いられる材料としては、例えば、銀、銅、金、ニッケル、パラジウム、銀−パラジウム、銀−白金等が挙げられる。
【００６６】
電極膜３０は、公知の成膜技術により形成することができ、例えば、スクリーン印刷やグラビア印刷等の印刷法により形成することができる。電極膜３０の形成方法は次の通りである。まず、上記例示した材料粉体に樹脂と溶剤等とを混合した塗料を調整する。次に、上記の印刷方法を用いて、グリーンシート２０の上に塗料を塗布し、電極用塗膜を形成する。その後、抵抗加熱層１４に電流を供給して発熱させ、電極用塗膜を加熱することによって、電極膜３０が形成される。電極用塗膜の加熱は、抵抗加熱層１４の発熱によって行うことができる。そのため、従来から行われている塗料の上面に熱風を吹き付けて加熱して乾燥する方法よりも、塗料の全面に対して均一に熱をかけられる。したがって、電極膜３０の乾燥ムラを低減することができる。
【００６７】
次に、グリーンシート２０を所望の形状に切断することができる。切断は、グリーンシート２０がキャリアフィルム１０の上に形成された状態のまま切断することができる。また、キャリアフィルム１０からグリーンシート２０を剥離させた後、グリーンシート２０のみを切断することもできる。また、グリーンシート２０の切断は、電極膜３０の形成前に切断することもできるし、電極膜３０の形成後に切断することもできる。
【００６８】
グリーンシート２０の切断は、例えば回転ブレード等を用いて、所定の破断線に沿って切断することができる。
【００６９】
また、切断されたグリーンシートを積層、圧着して、焼成することによって、圧電素子を得ることができる。
【００７０】
５．  液体噴射ヘッド
次に本実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドは、本発明に係るグリーンシート２０を用いて上述した方法で得られた圧電素子１００を有する。圧電素子１００は、複数の電極と複数の圧電体が交互に積層された構造を有する。以下、圧電素子１００を用いた例について説明する。図７は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００の分解斜視図である。
【００７１】
液体噴射ヘッド４００は、図７に示すように、圧電素子１００と、圧力室４１０と、ノズルプレート４２０と、振動板４３０と、を有することができる。
【００７２】
圧力室４１０は、ノズルプレート４２０上に形成されている。圧力室４１０は、ノズルプレート４２０の開口部４２１に連通して形成されている。圧力室４１０は、圧力室基板４１２によって区画されている。圧力室基板４１２は、例えば、ニッケル、銅、シリコンからなる。圧力室４１０は、図７に示すように、供給路４４０を介してリザーバ４５０と連通していることができる。リザーバ４５０は、供給路４４０を介して圧力室４１０に液体を供給することができる。リザーバ４５０には、貫通孔（図示せず）が形成されており、貫通孔を通って外部からリザーバ４５０内に液体が供給される。
【００７３】
振動板４３０は、圧力室４１０上および圧力室基板４１２上に形成されている。振動板４３０の材質としては、圧電素子１００によって変形できれば特に限定されず、プラスチック、金属などを用いることができる。より具体的には、振動板４３０は、例えば、ニッケルなどの金属膜、ポリイミドなどの高分子材料膜、二酸化ジルコニウムや二酸化シリコンなどの絶縁膜からなる。振動板４３０は、圧電素子１００によって振動（変位）することができる。振動板４３０は、高弾性領域４３２を有してもよい。高弾性領域４３２を有することにより、圧電素子１００の変形による圧力を振動板４３０に効率的に伝達することができる。
【００７４】
圧電素子１００は、振動板４３０上に形成されている。圧電素子１００は、図示はしないが、接着剤などを介して、振動板４３０上に形成されていてもよい。圧電素子１００は、与えられる電気信号にしたがって、振動板４３０を上下方向に振動（変位）させることができる。圧電素子１００の電極の延びる方向は、振動板４３０の振動方向に対して垂直（縦モード）である。
【００７５】
次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００７６】
液体噴射ヘッド４００の製造方法は、まず、図７に示すように、ノズルプレート４２０上に圧力室基板４１２を形成する。圧力室基板４１２は、例えば、電鋳法により形成されてもよい。具体的には、ノズルプレート４２０上に所定の形状を有するレジスト層（図示しない）を形成し、めっきを行うことにより、圧力室基板４１２を形成する。レジスト層を除去することにより、圧力室４１０、供給路４４０、リザーバ４５０を形成することができる。
【００７７】
図７に示すように、圧力室４１０上および圧力室基板４１２上に振動板４３０を形成する。振動板４３０は、例えば、めっき法により形成された金属膜を、接着することにより形成されてもよい。次に、振動板４３０上に圧電素子１００を形成する。
【００７８】
以上の工程により、液体噴射ヘッド４００を製造することができる。
【００７９】
６．  液体噴射装置
次に、本実施形態に係る液滴噴射装置について説明する。本実施形態に係る液滴噴射装置は、本発明に係る液体噴射ヘッド４００を有する。ここでは、本実施形態に係る液滴噴射装置１０００がインクジェットプリンターである場合について説明する。図８は、本実施形態に係る液滴噴射装置１０００を模式的に示す斜視図である。
【００８０】
液滴噴射装置１０００は、ヘッドユニット１０３０と、駆動部１０１０と、制御部１０６０と、を含む。また、液滴噴射装置１０００は、装置本体１０２０と、給紙部１０５０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ１０２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口１０２２と、装置本体１０２０の上面に配置された操作パネル１０７０と、を含むことができる。
【００８１】
ヘッドユニット１０３０は、例えば、上述した液体噴射ヘッド４００から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット１０３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ１０３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ１０３１を搭載した運搬部（キャリッジ）１０３２と、を備える。
【００８２】
駆動部１０１０は、ヘッドユニット１０３０を往復動させることができる。駆動部１０１０は、ヘッドユニット１０３０の駆動源となるキャリッジモーター１０４１と、キャリッジモーター１０４１の回転を受けて、ヘッドユニット１０３０を往復動させる往復動機構１０４２と、を有する。
【００８３】
往復動機構１０４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸１０４４と、キャリッジガイド軸１０４４と平行に延在するタイミングベルト１０４３と、を備える。キャリッジガイド軸１０４４は、キャリッジ１０３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ１０３２を支持している。さらに、キャリッジ１０３２は、タイミングベルト１０４３の一部に固定されている。キャリッジモーター１０４１の作動により、タイミングベルト１０４３を走行させると、キャリッジガイド軸１０４４に導かれて、ヘッドユニット１０３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【００８４】
制御部１０６０は、ヘッドユニット１０３０、駆動部１０１０および給紙部１０５０を制御することができる。
【００８５】
給紙部１０５０は、記録用紙Ｐをトレイ１０２１からヘッドユニット１０３０側へ送り込むことができる。給紙部１０５０は、その駆動源となる給紙モーター１０５１と、給紙モーター１０５１の作動により回転する給紙ローラー１０５２と、を備える。給紙ローラー１０５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラー１０５２ａおよび駆動ローラー１０５２ｂを備える。駆動ローラー１０５２ｂは、給紙モーター１０５１に連結されている。制御部１０６０によって供紙部１０５０が駆動されると、記録用紙Ｐは、ヘッドユニット１０３０の下方を通過するように送られる。
【００８６】
ヘッドユニット１０３０、駆動部１０１０、制御部１０６０および給紙部１０５０は、装置本体１０２０の内部に設けられている。
【００８７】
なお、上述した例では、液滴噴射装置１０００がインクジェットプリンターである場合について説明したが、本発明のプリンタは、工業的な液体吐出装置として用いられることもできる。この場合に吐出される液体（液状材料）としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したもの、または、メタルフレーク等を含むものなどを用いることができる。
【００８８】
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００８９】
１０  キャリアフィルム、１２  第１の支持フィルム、１４  抵抗加熱層、
１４ａ  第１の露出部、１４ｂ  第２の露出部、１６  第２の支持フィルム、
２０  グリーンシート、３０  電極膜、
４０  塗布部、４２  スラリー供給部、
４４  スラリー溜め部、４６  ドクターブレード、
５０  搬送部、５２  第１の搬送用ローラー、５４  第２の搬送用ローラー、
５６  電極部、５８  ローラー支持部、
１００  圧電素子、
４００  液体噴射ヘッド、４１０  圧力室、４１２  圧力室基板、
４２０  ノズルプレート、４２１  開口部、４３０  振動板、４３２  高弾性領域、
４４０  供給路、４５０  リザーバ、
１０００  液体噴射装置、１０１０  駆動部、１０２０  装置本体、
１０２１  トレイ、１０２２  排出口、１０３０  ヘッドユニット、
１０３１  インクカートリッジ、１０３２  キャリッジ、
１０４１  キャリッジモーター、１０４２  往復動機構、１０４３  タイミングベルト、
１０４４  キャリッジガイド軸、１０５０  給紙部、１０５１  給紙モーター、
１０５２  給紙ローラー、１０５２ａ  従動ローラー、１０５２ｂ  駆動ローラー、
１０６０  制御部、１０７０  操作パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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