(57)【要約】【課題】  指タッチ入力が可能な信頼性の高い、検出感度の優れた静電容量結合方式のタッチパネル付き表示装置を提供する。【解決手段】  静電容量結合方式のタッチパネルに形成される電極を、Ｘ電極の数とＹ電極の数との比に合わせて分割して、面積の減少に伴い生じる隙間に浮遊電極を形成し電極の面積を調整する。個別電極面積縮小により、信号レベル低下以上にノイズレベルを下げることができるため、Ｓ／Ｎ比をあげることができ、検出感度を向上できる。また、フレキシブルプリント基板上で配線を分岐させ、フレキシブルプリント基板の裏面に交差配線を設け、前面に形成される配線と直交するように交差させて配線容量を低下させる。【選択図】  図４
2010039816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルと、該表示パネルに重ねて形成された静電容量タッチパネルと、
前記静電容量タッチパネルに形成された複数のＸ電極と、該Ｘ電極と交差する複数のＹ電極とを備え、
前記Ｘ電極とＹ電極とは、互いに重なり合う交差部と、２つの交差部間に形成された電極部と、
前記Ｘ電極の両端から信号を供給する第１の信号配線と、
前記Ｙ電極の両端から信号を供給する第２の信号配線と、
前記第１と第２の信号配線が形成されたフレキシブル基板とを有し、
前記第１と第２の信号配線とは前記フレキシブル基板上で交差し、前記第１と第２の信号配線は共に前記フレキシブル基板上で複数の経路に枝分かれしていることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記Ｘ電極またはＹ電極の電極部に近接してダミー電極が形成されたことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記Ｘ電極とＹ電極のいずれか一方は透明導電膜からなることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項４】
前記Ｘ電極とＹ電極とは、絶縁膜を挟んで形成された透明導電膜からなることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記Ｘ電極とＹ電極とは、絶縁膜を挟んで形成された透明導電膜からなり、前記ダミー電極は電極部と同層の透明導電膜からなることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
表示パネルと、該表示パネルの上に接着された静電容量タッチパネルと、
前記静電容量タッチパネルに形成された複数のＸ電極と、該Ｘ電極と交差する複数のＹ電極とを備え、
前記表示パネルは長辺と短辺とを有し、
前記Ｘ電極とＹ電極とは、互いに重なり合う交差部と、２つの交差部間に形成され、前記交差部よりも幅が広い個別電極と、
前記Ｘ電極に信号を供給する第１と第３の配線と、
前記Ｙ電極に信号を供給する第２と第４の配線と、
前記第１と第２と第３と第４の配線が形成されたフレキシブル基板とを有し、
前記Ｘ電極は前記長辺に沿って形成され、前記第１と第３の配線の一方の端部は前記長辺の両端部で前記Ｘ電極にそれぞれ接続し、他方の端部は前記フレキシブル基板上で接続し、
前記Ｙ電極は前記短辺に沿って形成され、前記第２と第４の配線の一方の端部は前記短辺の両端部で前記Ｙ電極にそれぞれ接続し、他方の端部は前記フレキシブル基板上で接続することを特徴とする表示装置。
【請求項７】
前記Ｘ電極の個別電極に近接してダミー電極が形成されたことを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
前記Ｘ電極とＹ電極のいずれか一方は透明導電膜からなることを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
【請求項９】
前記Ｘ電極とＹ電極とは、絶縁膜を挟んで形成された透明導電膜からなることを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記Ｘ電極とＹ電極とは、絶縁膜を挟んで形成された透明導電膜からなり、前記ダミー電極は前記Ｘ電極と同層の透明導電膜からなることを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
【請求項１１】
表示パネルと、該表示パネルの上に設けられた静電容量タッチパネルと、
前記静電容量タッチパネルに形成された複数のＸ電極と、該Ｘ電極と交差する複数のＹ電極と、
前記Ｘ電極とＹ電極とは、互いに重なり合う交差部と、２つの交差部間に形成され、前記交差部よりも幅が広い個別電極と、
前記Ｘ電極に信号を供給する第１の配線と、
前記Ｙ電極に信号を供給する第２の配線と、
前記第１と第２の配線が形成されたフレキシブル基板とを備え、
前記フレキシブル基板は外部装置側入出力端子と静電容量タッチパネル側入出力端子とを有し、
前記外部装置側入出力端子の数に対して静電容量タッチパネル側入出力端子の数が多く、
前記表示パネルと前記静電容量タッチパネルとの間に設けられた透明導電膜とを有し、
前記透明導電膜は定電圧電源に接続されたことを特徴とする表示装置。
【請求項１２】
前記Ｘ電極の個別電極に近接して浮遊電位であるダミー電極が形成されたことを特徴とする請求項１１に記載の表示装置。
【請求項１３】
前記Ｘ電極とＹ電極のいずれか一方は透明導電膜からなることを特徴とする請求項１１に記載の表示装置。
【請求項１４】
前記Ｘ電極とＹ電極とは、絶縁膜を挟んで形成された透明導電膜からなることを特徴とする請求項１１に記載の表示装置。
【請求項１５】
前記Ｘ電極とＹ電極とは、絶縁膜を挟んで形成された透明導電膜からなり、前記ダミー電極は前記Ｘ電極と同層の透明導電膜からなることを特徴とする請求項１１に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル付き表示装置に係わり、特に、静電容量結合方式のタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、モバイル機器の普及において、“人にやさしい”グラフィカルユーザインターフェースを支えるタッチパネル技術が重要となってきている。
このタッチパネル技術として、静電容量結合方式のタッチパネルが知られており、この静電容量結合方式のタッチパネルとして、観察者がタッチしたタッチ位置を検出するものが知られている。（下記、特許文献１参照）
下記特許文献１に記載されているタッチパネルは、Ｘ方向の電極線とＹ方向の電極線との結合容量を検出して、観察者がタッチした位置座標を検出している。
【０００３】
なお、本願発明に関連する先行技術文献としては以下のものがある。
【特許文献１】特表２００３−５１１７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
静電容量結合方式のタッチパネルは、第１の方向（例えばＹ方向）に延在し、前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＸ方向）に併設される複数のＸ電極と、このＸ電極と交差して前記第２の方向に延在し、前記第１の方向に併設される複数のＹ電極とを有している。このようなタッチパネルをＸ−Ｙ方式タッチパネルと呼ぶ。
Ｘ−Ｙ方式タッチパネルでは、複数のＸ電極と複数のＹ電極とは、基板上に層間絶縁膜を介して積層されている。これらＸ電極とＹ電極とは例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明性導電材料で形成されている。
従来技術のＸ−Ｙ方式タッチパネルの、指などで触れられてない状態（定常状態）の電極１ラインの容量は、隣接する電極との間の電極間容量、直行する電極との交差部で形成する交差部容量、タッチパネルの下に配置する表示装置との間の対地容量、および制御用ＩＣとタッチパネルとの間の配線に生じる配線容量とからなる。
静電容量結合方式のタッチパネルは、タッチパネルに人の指などが触れる事による容量変化を検知する方式であるため、電極間容量以外の容量はより小さい事が望まれる。電極間容量が他の容量に比較して大きいと、指等で触れたときの容量比を確保でき、タッチパネルの性能が向上する。逆に容量比が確保できない場合、指等で触れたということが認識できずに、誤動作することも考えられる。
タッチパネルの検出感度の指標として、指などが触った際の容量変化とバックグランドノイズの比(以下Ｓ／Ｎ比と表示)を使用する。検出感度即ちＳ／Ｎ比を上げるためには、信号を増やすかノイズを減らす必要がある。
【０００５】
前述したように、信号レベルは、タッチパネルに触れた指等と電極間に形成する容量に比例する。一方、配線容量等が増加すると、指などが触った際の容量変化が、相対的に小さくなりＳ／Ｎ比が悪化する。また、バックグランドノイズに関しては、表示装置が表示のために発生する信号電圧の変動を、直上に位置するタッチパネルの電極がノイズとして検出していることがわかった。電極1ライン上の電極面積合計が大きいほど、対地容量が大きくなるため、ノイズを検出しやすい。
また、Ｓ／Ｎ比の向上のための信号の供給方法として、タッチパネルのＸ電極とＹ電極のそれぞれ両端で配線に接続することを試み、制御用ＩＣからの信号を、Ｘ電極とＹ電極それぞれの両端から供給することがＳ／Ｎ比の向上に良いことがわかった。
しかしながら、電極の両端から信号を供給するため、制御用ＩＣからタッチパネルまでの配線は左右に延長され他の配線と交差して形成されることとなり、配線容量が増加する要因となるという新たな問題も発生した。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、指タッチ入力が可能な信頼性の高い、検出感度の優れた静電容量結合方式のタッチパネル付き表示装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。
Ｓ／Ｎ比の向上のため、Ｘ−Ｙ方式のタッチパネルの電極の両端から信号を供給すると、フレキシブル基板上で配線が交差するため交差部で配線容量が増加する問題点が生じた。そのため、制御用ＩＣの出力からタッチパネル上の電極につながる配線部分では、その裏面には接地電位部分を含む配線を配置しない構造とした。またフレキシブル基板の配線交差が必要な部分では、配線を直交させることで交差面積を最小化し、配線容量の増加を防止することとした。
また、Ｘ方向とＹ方向で電極1ライン上の容量を同等とするため、電極数が多い電極の面積を小さくして、Ｘ方向とＹ方向でノイズ強度を同等とした。すなわち、Ｘ方向とＹ方向でＳ／Ｎ比を同等とした。
さらに、表示パネルからのノイズを低減するために、表示パネルとタッチパネルとの間に透明導電膜を形成した。
【発明の効果】
【０００７】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明によれば、指タッチ入力が可能な信頼性の高い、検出感度の優れた静電容量結合方式のタッチパネル付き表示装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
本実施例では、表示パネルの一例として液晶表示パネルを用いて説明する。なお、表示パネルとしては、タッチパネルを用いることができるものであれば良く、液晶表示パネルに限らず、有機発光ダイオード素子や表面伝導型電子放出素子を用いることも可能である。
図１は、本発明の実施例のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示す平面図である。また、図２は図１のＡ−Ａ’線での断面図である。
本実施例の表示装置３００は、図１および図２に示すように、液晶表示パネル６００と、液晶液示パネル６００の観察者側の面上に配置された静電容量結合方式のタッチパネル４００と、液晶表示パネル６００の観察者側とは反対側の面下に配置されたバックライト７００とを備えている。液晶表示パネル６００としては、例えばＩＰＳ方式、ＴＮ方式、ＶＡ方式等の液晶表示パネルが用いられている。
液晶表示パネル６００は対向して配置された２枚の基板６２０と６３０とが貼り合わされて形成されており、２枚の基板の外側には偏光板６０１、６０２が設けられている。また、液晶表示パネル６００とタッチパネル４００とは樹脂・粘着フィルム等からなる第１の接着材５０１により接合されている。さらに、タッチパネル４００の外側にはアクリル樹脂からなる前面保護板（フロントウインドウとも呼ぶ）１２が樹脂・粘着フィルム等からなる第２の接着材５０２により貼り合わされている。
【０００９】
液晶表示パネル６００と偏光板６０１との間には、透明導電層６０３が設けられている。この透明導電層６０３は液晶表示パネル６００で発生する信号をシールドする目的で形成されている。液晶表示パネル６００には多数の電極が設けられており、様々なタイミングで電極上に電圧が信号として印加されている。
静電容量結合方式のタッチパネル４００に設けられた電極に対して、液晶表示パネル６００での電圧の変化はノイズとなる。そのため、液晶表示パネル６００を電気的にシールドする必要があり透明導電層６０３が設けられている。シールドとして機能するように、透明導電層６０３には定電圧がフレキシブルプリント基板７１等から供給されており、例えば接地電位とされている。
なお、透明導電層６０３はノイズの影響を抑えるために、タッチパネル４００に設けられた電極と同程度のシート抵抗値である１５０〜２００Ω／□であることが望ましい。透明導電層６０３の抵抗値は、結晶粒の大きさに関係することが解っているが、透明導電層６０３を形成する際の熱処理温度を２００℃以上とすることで、結晶化を進めてシート抵抗値を１５０〜２００Ω／□とすることが可能である。
また、さらに低抵抗な透明導電層６０３とすることも可能である。例えば熱処理温度を４５０℃として、透明導電層６０３の結晶化を十分に行うことで、シート抵抗値を３０〜４０Ω／□とすることも可能である。シールド用の透明導電層６０３がタッチパネル４００に設けられた電極に比較して同程度、または低抵抗であればノイズを抑える効果が向上する。
【００１０】
液晶表示パネル６００の一辺には、駆動回路５０が設けられており、この駆動回路５０により液晶表示パネル６００に各種信号が供給される。駆動回路５０には外部からの信号を供給するためにフレキシブルプリント基板７２が電気的に接続されている。また、タッチパネル４００にもフレキシブルプリント基板７１が接続されている。フレキシブルプリント基板７１はタッチパネル制御回路（図示せず）が接続されており、タッチパネル制御回路により入力位置の検出等が制御される。
液晶表示パネル６００にタッチパネル４００及びフロントウインドウ１２を組み合わせたハイブリッド構造において、液晶表示パネル６００の基板６２０のガラス強度が弱いという問題が生じる。
基板６２０はＴＦＴ基板とも呼ばれ、画素電極、薄膜トランジスタ等が形成され、信号を供給する駆動回路５０が搭載される。駆動回路５０を搭載する領域は他方の基板６３０より突出しており１枚板の形状となっている。この駆動回路５０の搭載領域で基板６２０が破損する不具合が生じる場合がある。そのため、基板６２０とタッチパネル４００との間にスペーサ３０を挿入し強度を向上させている。
【００１１】
次に、図３にタッチパネル４００の概略図を示す。本実施例はタッチパネル４００を縦長に使用する場合を示す。なお、表示パネルと重ねて使用するタッチパネルの外形は、表示パネルとほぼ同様の形状となる。表示パネルは一般に長方形であり、Ｘ方向かＹ方向のどちらかが長い場合が一般的である。図３では、タッチパネル４００に重ねて用いられる液晶表示パネル６００も縦長の形状をしているものとする。
タッチパネル４００では、透明基板としてガラス基板５を用い、ガラス基板５の片方の面にタッチパネル用電極１、２と、接続用端子７と、タッチパネル用電極１、２から接続用端子７までの周辺配線６とを配置する。直行するように配置した２種の電極の少なくとも交差部は絶縁膜で分離する。
タッチパネル用電極１、２は透明導電膜で形成され、縦方向（図中Ｙ方向）に延在し、横方向（Ｘ方向）に並列する電極をＸ電極１と呼ぶ。また、Ｘ電極１に交差するように横方向（Ｘ方向）に延在し縦方向（Ｙ方向）に並列して形成される電極をＹ電極２と呼ぶ。これらＸ電極１とＹ電極２の静電容量の変化を検出し、タッチされた位置を算出する。符号３で示す点線内部の検出可能な領域を入力領域と呼ぶ。
各Ｘ電極１、Ｙ電極２ともに交差部１ａおよび２ａで幅が狭くなっており、２つの交差部１ａまたは２ａに挟まれた電極部１ｂおよび２ｂで幅が広くなっている。この交差部１ａまたは２ａに挟まれた電極部１ｂおよび２ｂを個別電極とも呼ぶ。
【００１２】
図３では、タッチパネル４００のＸ電極１の個別電極１ｂの幅を減少させている。すなわち、Ｘ電極１の個別電極１ｂの数に対して、Ｙ電極２の個別電極２ｂの数の比に対応させて、Ｘ電極１は面積を縮小しており、個別電極１ａと浮遊電位の電極（ダミー電極）４とに分離している。
そのため、縦長の形状に従って電極の面積が大きくなっていたＸ電極１の面積を縮小して、１ライン上の容量をＹ電極２とほぼ等しくし、液晶表示パネル６００から発生する信号電圧の変動によるノイズをＸ電極１とＹ電極２とで同等とした。
前述したように、液晶表示パネル６００には透明導電層６０３が設けられており、液晶表示パネル６００からのノイズの影響を抑えている。しかしながら、液晶表示パネル６００に高温度で透明導電層６０３ことは困難であり、十分に低抵抗な透明導電層６０３を液晶表示パネル６００に設けることが出来ない場合もある。また、透明導電層６０３を設けた場合でも、少なからず液晶表示パネル６００からのノイズの影響が問題となる場合がある。
従来技術では、Ｘ方向および、Ｙ方向の各１ライン上の個別電極は同等のサイズであるが、Ｘ方向の電極と、Ｙ方向の電極では1ラインの長さが異なることから個別電極数が異なる。そのため、１ラインの容量がＸ方向とＹ方向とで異なる。例として縦長のタッチパネルの場合、Ｙ方向に平行に配置するＸ電極の１ライン分の容量は、Ｘ方向に平行に配置するＹ電極の１ライン分の容量よりも大きくなる。
従って、Ｘ方向とＹ方向で電極1ライン上の容量が異なる従来技術のタッチパネルでは、Ｘ方向とＹ方向でノイズ強度が異なる。すなわち、従来技術のタッチパネルでは、Ｘ方向とＹ方向でＳ／Ｎ比が異なることとなる。Ｓ／Ｎ比が異なることによって、タッチパネル全体の検出感度としては、低いほうのＳ／Ｎ比で規定されてしまう問題があった。
【００１３】
本実施例では、上記問題を解決し、Ｓ／Ｎ比が大きく検出感度の良い入力装置を提供することが可能となる。個別電極１ｂを分割して面積を縮小し、浮遊電極４を形成すると、対地容量を削減できるため、ノイズレベルを下げることができる。
図３に示す電極では、浮遊電極４を配置しなかった場合、隣接するＸ電極１とＹ電極２との間隔８が広くなる。前述したようにＸ電極１とＹ電極２とは透明導電膜によって形成されるが、この間隔部８には、絶縁膜とガラス基板とが形成されて、透明導電膜が無い領域となる。透過率、反射率及び反射光の色度に関し、透明導電膜がある部分と無い部分とで差が生じるために、間隔部８が肉眼で見えてしまい、表示する画像の品質を下げる。
我々の検討では、間隔部８が３０μｍの場合は間隔は薄く見え、２０μｍではほぼ見えなくなった。また１０μｍでは見えない結果となった。間隔部８を狭くしていくと、浮遊電極４を介し隣接するＸ電極１とＹ電極２との間の容量が増大する。また、間隔部８を狭くすることにより、工程中の異物付着などに起因するパターン形成異常からＸ電極１またはＹ電極２と浮遊電極４がショートする不良が増加する。
Ｘ電極１の個別電極１ｂと隣接する浮遊電極４がショートすると、該当するＸ電極１ライン分の対地容量が増加しノイズが増え、検出感度が低下する不具合が生じる。ショートした際に、増加する容量を低減するため、図１のように浮遊電極４は４分割とした。より細かく細分化した場合はショート不良の懸念が低下するが、該当領域に透明導電膜の無い領域が増えるため、隣接する電極との透過率、反射率および色度の差が生じ増加する懸念がある。そのため、前述のとおり浮遊電極４は４分割とし、相互の電極間隔は３０μｍより狭く２０μｍ程度とした。
本実施例では縦長の液晶表示装置に重ねて使用する場合を示したが、横長の液晶表示装置、もしくは他の方式の画像表示装置に重ねる場合でも、本発明の効果は変わらない。また、浮遊電極の分割数も４分割に限定するものでもない。
【００１４】
次に、図４にタッチパネル４００にフレキシブルプリント基板７１を貼り付けたものを示す。フレキシブルプリント基板７１はタッチパネル４００の接続端子７に電気的に接続され制御回路（図示せず）から出力する各種信号をタッチパネル４００に供給する。
まず、制御回路から出力した信号は、外部装置側入出力端子７４を介してフレキシブルプリント基板７１に設けられた配線７３に伝達される。配線７３にはスルーホール７８が形成され裏面に設けられた交差配線７７と接続する。
交差配線７７は多数の配線７３と交差し他端に形成されたスルーホール７８を介して再度配線７３に接続される。交差配線７７と配線７３とはなるべく重なる面積が小さくなるように直交している。すなわち、交差配線７７はＸ方向に沿って形成され、交差部で配線７３はＹ方向に沿うよう形成されている。また、交差配線７７は接地電位を含む電源用配線７３−３と交差しないよう設けられている。なお、配線７３−３はシールドの目的で、接地電位（ＧＮＤ）が供給されて、他の配線７３を囲むよう形成されている。
タッチパネル４００に設けられたＸ電極１とＹ電極２には両端から信号が供給されており信号の検出精度を高めている。すなわち、各Ｘ電極１およびＹ電極２に電荷を供給し、一定の電圧に達する時間を計測することで容量変化を検出する場合などでは、電極の両端から電荷を供給することで、配線抵抗により生じる測定誤差を抑えることが可能となる。
そのため、図４のＹ電極２−１と２−２に示すように、配線６−１は図中右側からＹ電極２−１に接続し、配線６−２は図中左側からＹ電極２−２に接続している。同様にＸ電極１も上下両端で周辺配線６に接続している。
【００１５】
このように、Ｘ電極１とＹ電極２の両端から信号を供給するには、制御回路から出力する信号を２つの端部に分岐させて供給する必要が生じるが、フレキシブルプリント基板７１では配線７３−１と７３−２とに分岐することで、Ｘ電極１とＹ電極２の両端から信号を供給可能としている。
さらに、分岐した配線は他の配線と交差するため、交差配線７７をフレキシブルプリント基板７１の裏面に形成し、配線７３とスルーホール７８を介して接続している。すなわち、スルーホール７８は裏面の交差配線７７と接続する役割と信号を分岐する役割とを有している。フレキシブルプリント基板７１上で信号が分岐するため、外部装置側入出力端子７４側で信号が供給される配線数に対して、タッチパネル４００側で信号が供給される配線数が増加している。
Ｘ電極１とＹ電極２の両端から信号を供給するために、配線が交差するという特有の問題点が発生するが、特に短辺側に接続端子７を形成した場合は、縦方向（図中Ｙ方向）に延在し、横方向（Ｘ方向）に並列するＸ電極１は、周辺配線６がタッチパネル４００の中心近傍の配線６−ｂと外縁近傍の配線６−ａに接続されることとなる。
そのため、フレキシブルプリント基板７１上では、配線６−ｂと配線６−ａとを接続する交差配線７７は他の多くの配線７３と交差することとなる。そのため、Ｘ電極１の配線容量はＹ電極２の配線容量よりも大きくなる。前述したように、Ｘ電極１は縦長の形状に従って電極の面積が大きくなるという問題点も有しており、Ｙ電極２よりもノイズの影響を受けやすい。よって短辺側に接続端子７を形成した場合には、Ｘ電極１の面積を縮小して、１ライン上の容量をＹ電極２とほぼ等しくし、液晶表示パネル６００から発生する信号電圧の変動によるノイズをＸ電極１とＹ電極２とで同等とする構成が有効である。
【００１６】
次に、図５にフレキシブルプリント基板７１にスペーサ３０を貼り付け、タッチパネル４００とスペーサ３０とを一体に形成した後、タッチパネル４００を液晶表示パネル６００に組み合わせることで、スペーサ３０を容易に実装する構成を示す。
スペーサ３０はタッチパネル４００に貼り付けられたフレキシブルプリント基板７１に接着剤等により貼り付けられており、液晶表示パネル６００に容易に実装される。また、フレキシブルプリント基板７１にスペーサ３０を貼り付けることで、フレキシブルプリント基板７１により微小な段差を吸収する事が可能となる。
また図５では、偏光板６０１をタッチパネル４００とフロントウインドウ１２との間に設けている。偏光板６０１をタッチパネル４００の上に設けることで、タッチパネル４００の電極パターンが観測される問題を低減する。
【００１７】
次に、本発明によるタッチパネルの製造方法を図６から図９を用いて説明する。図３のＢ-Ｂ'線に沿った各プロセス段階の断面概略を各図の（ａ）に示す。同様に図３のＣ−Ｃ’線に沿った各プロセス段階の断面概略を各図の（ｂ）に示す。
まず、図６を用い第１の工程を説明する。図６に示す工程では、ガラス基板５上に第１のＩＴＯ膜１４(Indium  Tin  Oxide)を約１５ｎｍの厚さで成膜した後、銀合金膜を約２００ｎｍ成膜する。ホトリソグラフィ工程でレジストパターンを形成し、銀合金膜をパターニングする。次にレジストを剥離除去し、ホトリソグラフィ工程でレジストパターンを形成し第１のＩＴＯ膜１４をパターニングする。その後、レジストを剥離除去して図６に示すようにパターンニングされたＩＴＯ膜１４と銀合金膜１５を形成する。銀合金膜１５は不透明であるため、視認されることを避けるために、後で重ねる液晶表示パネル６００の表示領域に掛かる部分からは除去し、銀合金膜１５では周辺配線６のみに形成する。
【００１８】
次に、図７を用い第２の工程を説明する。第１のＩＴＯ膜１４と銀合金膜１５のパターンを形成した基板上に感光性の層間絶縁膜１６を塗布しホトリソグラフィ技術でパターニング加工する。層間絶縁膜１６はＳｉＯ２を主成分とする膜を1μｍ以上塗布するのが望ましい。図７（ｂ）に示すように、周辺部にはコンタクトホール１７を設ける。また、外部駆動回路との接続に使用する接続端子部では層間絶縁膜１６を除去する。
次に図８を用いて第３の工程を説明する。第２のＩＴＯ膜１８を約３０ｎｍ成膜し、ホトリソグラフィ工程でレジストパターンを形成し第２のＩＴＯ膜１８をパターニングする。その後レジストを剥離除去して、図８に示すように、第２のＩＴＯ膜１８を形成する。
次に、図９を用いて第４の工程を説明する。第２の工程で用いた絶縁膜と同じ膜を最上層保護膜１９として再度基板上に塗布する。ホトリソグラフィ工程で最上層保護膜１９にパターンを形成する。以上の工程をもってタッチパネル４００が形成される。
【００１９】
以上述べたように、本発明によれば、画像情報、文字情報の表示装置用の静電容量結合式入力装置において、検出感度に優れたタッチパネルを生産することが可能となる。なお、本発明は、入力検出領域の形状、個別電極の形状に制限されるものではない。また実施例では直行するＸ方向および、Ｙ方向の電極について記述しているが、入力位置の検出に用いる電極ライン間のＳ／Ｎ比の向上を目的としたものであれば、斜めに交差するものや並走する長さの異なる電極間の容量にも有効である。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例の表示装置の概略平面図である。
【図２】本発明の実施例の表示装置の概略断面図である。
【図３】本発明の実施例のタッチパネルの概略平面図である。
【図４】本発明の実施例のタッチパネルにフレキシブルプリント基板を実装した概略平面図である。
【図５】本発明の実施例のタッチパネルの概略断面図である。
【図６】本発明の実施例のタッチパネルの第１の工程の概略断面図である。
【図７】本発明の実施例のタッチパネルの第２の工程の概略断面図である。
【図８】本発明の実施例のタッチパネルの第３の工程の概略断面図である。
【図９】本発明の実施例のタッチパネルの第４の工程の概略断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１  Ｘ電極
２  Ｙ電極  
３  入力用領域
４  浮遊電極
５  ガラス基板
６  周辺配線
７  接続端子
１２  前面保護板
１４  第１のＩＴＯ膜
１５  銀合金膜
１６  層間絶縁膜
１７  コンタクトホール
１８  第２のＩＴＯ膜
１９  最上層保護膜
１７  コンタクトホール
３０  スペーサ
７１  フレキシブルプリント基板
７３  配線
７８  スルーホール
３００  表示装置
４００  タッチパネル
５０１  第１の接着材
５０２  第２の接着材
６００  液晶表示パネル
６０１  偏光板
７００  バックライト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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