(57)【要約】      （修正有）【課題】低圧の作動流体を供給する外部の圧力源を用い、流体圧室に供給した作動流体を高圧にし、省エネルギー化を図り得る回転シリンダ装置を提供する。【解決手段】チャックシリンダ１には外部の油圧ポンプＰから他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧する加圧ポンプ１３を、第２の給排流路Ｂ２におけるパイロット操作逆止め弁１２の配設個所より流体圧室１０Ｂ側に接続して備えた。加圧ポンプ１３は、ピストン部材１５の大径部１５Ａに作動油の圧力を作用することで、この圧力に基づく作用力でばね２６、２７の弾性力に抗してピストン部材１５をポンプ室１６の容積増加方向に移動してポンプ室１６に作動油を吸入すると共に、ピストン部材１５の大径部１５Ａに流体の圧力を非作用にすることで、ばね２６、２７の弾性力でピストン部材１５をポンプ室１６の容積減少方向に移動してポンプ室１６の作動油を増圧して吐出する。【選択図】図３
2010284733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体にピストンを軸方向へ移動自在に収装し、回転体内にピストンの軸方向両側へ流体圧室を区画形成し、外部の圧力源から一方の流体圧室に作動流体を供給すると共に、他方の流体圧室から作動流体を低圧側に排出してピストンを軸方向に移動し、流体圧室に接続して作動流体を流通する給排流路を回転体に穿設し、給排流路には流体圧室側へ向けて作動流体を自由流れとするパイロット操作逆止め弁を配設し、回転体には外部の圧力源から流体圧室に供給する作動流体を増圧する加圧ポンプを、給排流路におけるパイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続して備えたことを特徴とする回転シリンダ装置。
【請求項２】
前記加圧ポンプは大径部と小径部とを連設したピストン部材を移動自在に設け、ピストン部材の小径部に隣接して作動流体を吸入吐出するポンプ室を区画形成し、ポンプ室を前記給排流路における前記パイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続し、ピストン部材には弾性部材の弾性力をポンプ室の容積減少方向に作用すると共に、大径部に流体の圧力を作用して圧力に基づく作用力をポンプ室の容積増加方向に作用し、ピストン部材の大径部に作用する流体の圧力を作用と非作用とに切換自在に設けたことを特徴とする請求項１に記載の回転シリンダ装置。
【請求項３】
前記加圧ポンプはピストン部材を移動自在に設け、ピストン部材に隣接して作動流体を吸入吐出するポンプ室を区画形成し、ポンプ室を前記給排流路における前記パイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続し、ピストン部材には電磁石への通電による吸引力をポンプ室の容積減少方向に作用すると共に、ピストン部材に流体の圧力を作用して圧力に基づく作用力をポンプ室の容積増加方向に作用し、電磁石への通電と非通電とを切換自在に設けたことを特徴とする請求項１に記載の回転シリンダ装置。
【請求項４】
前記電磁石は通電する電流値に比例した吸引力を生ずる比例電磁石としたことを特徴とする請求項３に記載の回転シリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば工作機械の主軸に内蔵されたチャックシリンダのように、回転しかつ回転体内で軸方向の駆動力を発生する回転シリンダ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回転シリンダ装置は、回転体としてのチャックシリンダにピストン軸を有するピストンを軸方向へ移動自在に設け、ピストンの軸方向両側に流体圧室を区画形成し、一方の流体圧室に作動流体としての作動油を、外部の圧力源から回転体と回転体を支持する支持台との間に介在する回転継手を介して供給すると共に、他方の流体圧室から作動油を低圧側に排出してピストンを軸方向へ移動し、チャックでワークを把持している。そして、回転体に穿設して流体圧室に作動油を供給排出する給排流路には、流体圧室の圧力を保持するために逆止め弁および逆止め弁より流体圧室側に蓄圧器を配設し、逆止め弁で流体圧室の作動油が回転継手より漏出することを阻止し、蓄圧器により流体圧室の圧力を保持し、チャックによるワークの把持力が低下することを阻止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２２６５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、かかる従来の回転シリンダ装置では、外部の圧力源から流体圧室に供給する作動流体の圧力に基づきピストンを軸方向へ移動する押圧力、しいてはチャックでワークを把持する把持力が決定するため、ワークを把持する十分な把持力を得るために外部の圧力源から流体圧室に高圧の作動流体を供給しなければならず、高圧の作動流体を供給する外部の圧力源を必要として省エネルギー化を図り難かった。
【０００５】
本発明の課題は、低圧の作動流体を供給する外部の圧力源を用い、流体圧室に供給した作動流体を高圧にし、省エネルギー化を図り得る回転シリンダ装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を達成すべく、本発明は次の手段をとった。即ち、
回転体にピストンを軸方向へ移動自在に収装し、回転体内にピストンの軸方向両側へ流体圧室を区画形成し、外部の圧力源から一方の流体圧室に作動流体を供給すると共に、他方の流体圧室から作動流体を低圧側に排出してピストンを軸方向に移動し、流体圧室に接続して作動流体を流通する給排流路を回転体に穿設し、給排流路には流体圧室側へ向けて作動流体を自由流れとするパイロット操作逆止め弁を配設し、回転体には外部の圧力源から流体圧室に供給する作動流体を増圧する加圧ポンプを、給排流路におけるパイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続して備えたことを特徴とする回転シリンダ装置がそれである。
【０００７】
この場合、前記加圧ポンプは大径部と小径部とを連設したピストン部材を移動自在に設け、ピストン部材の小径部に隣接して作動流体を吸入吐出するポンプ室を区画形成し、ポンプ室を前記給排流路における前記パイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続し、ピストン部材には弾性部材の弾性力をポンプ室の容積減少方向に作用すると共に、大径部に流体の圧力を作用して圧力に基づく作用力をポンプ室の容積増加方向に作用し、ピストン部材の大径部に作用する流体の圧力を作用と非作用とに切換自在に設けても良い。
【０００８】
また、前記加圧ポンプはピストン部材を移動自在に設け、ピストン部材に隣接して作動流体を吸入吐出するポンプ室を区画形成し、ポンプ室を前記給排流路における前記パイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続し、ピストン部材に電磁石への通電による吸引力をポンプ室の容積減少方向に作用すると共に、ピストン部材に流体の圧力を作用して圧力に基づく作用力をポンプ室の容積増加方向に作用し、電磁石への通電と非通電とを切換自在に設けても良い。この場合、前記電磁石は通電する電流値に比例した吸引力を生ずる比例電磁石としても良い。
【発明の効果】
【０００９】
以上詳述したように、請求項１に記載の発明は、回転体には外部の圧力源から流体圧室に供給する作動流体を増圧する加圧ポンプを、給排流路におけるパイロット操作逆止め弁の配設個所より流体圧室側に接続して備えた。このため、回転体に備えた加圧ポンプで、外部の圧力源から流体圧室に供給する作動流体を増圧できるから、低圧の作動流体を供給する外部の圧力源を用いて流体圧室に供給した作動流体を高圧にでき、省エネルギー化を図ることができる。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明の効果に加え、ピストン部材の大径部に流体の圧力を作用することで、この圧力に基づく作用力で弾性部材の弾性力に抗してピストン部材をポンプ室の容積増加方向に移動してポンプ室に作動流体を吸入すると共に、ピストン部材の大径部に流体の圧力を非作用にすることで、弾性部材の弾性力でピストン部材をポンプ室の容積減少方向に移動してポンプ室の作動流体を増圧して吐出する。このため、ピストン部材の大径部への流体の圧力の作用と非作用とを繰り返し切換えることで、増圧した作動流体を多量に流体圧室へ供給することが可能となり、回転体に備える加圧ポンプはポンプ室の容積を小さくした小型のものとすることができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明の効果に加え、電磁石を非通電にすることで、ピストン部材をポンプ室の容積増加方向に移動してポンプ室に作動流体を吸入すると共に、電磁石を通電することで、電磁石の吸引力でピストン部材をポンプ室の容積減少方向に移動してポンプ室の作動流体を増圧して吐出する。このため、電磁石への通電と非通電とを繰り返し切換えることで、増圧した作動流体を多量に流体圧室へ供給することが可能となり、回転体に備える加圧ポンプはポンプ室の容積を小さくした小型のものとすることができる。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明の効果に加え、電磁石は通電する電流値に比例した吸引力を生ずる比例電磁石としている。このため、電磁石に通電する電流値の変更により吸引力を所望値に変更できるから、流体圧室に供給する作動流体の圧力を吸引力の変更により調整自在に設定でき、広範囲の用途に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態を示した回転シリンダ装置の縦断面図である。
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図３】一実施形態の油圧回路図である。
【図４】他実施形態の油圧回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づき説明する。
図１ないし図３において、１は回転体としてのチャックシリンダで、回転継手２を介在して支持台３に回転自在に支持されている。４はチャックシリンダ１の第１本体部材で、貫通孔４Ａを軸方向に貫通形成して横断面を円形に形成し、一体形成した円筒状の筒部４Ｂを一側面から軸方向の一方側へ突設し、回転継手２に備えた軸受２Ａ、２Ｂで回転自在に軸支している。５はチャックシリンダ１の第２本体部材で、大径孔５Ａと小径孔５Ｂとを連設して軸方向に貫通し、大径孔５Ａを一側面に開口すると共に、小径孔５Ｂを他側面に開口している。第２本体部材５は第１本体部材４の他側面にボルト部材６で取り付け、大径孔５Ａの一側面への開口を閉塞している。
【００１５】
７はピストンで、第２本体部材５の大径孔５Ａに軸方向へ移動自在に収装し、一側面から第１のピストン軸７Ａを軸方向の一方側へ突設すると共に、他側面から第１のピストン軸７Ａより大径の第２のピストン軸７Ｂを軸方向の他方側へ突設し、クーラント液を流通する排出孔８を軸方向へ貫通形成している。第１のピストン軸７Ａは第１本体部材４の貫通孔４Ａへ液密に嵌挿して端部を外方へ突出している。第２のピストン軸７Ｂは第２本体部材５の小径孔５Ｂへ液密に嵌挿して端部を外方へ突出し、図示しないチャックに係合している。ピストン７は、第１のピストン軸７Ａより第２のピストン軸７Ｂを大径に設けたことにより、第１のピストン軸７Ａを突設する一側面の受圧面積を第２のピストン軸７Ｂを突設する他側面より大きい受圧面積に形成している。９はピストン７に備えたピン部材で、第１本体部材４に穿設の孔９Ａもしくは第２本体部材５に穿設の孔９Ｂの少なくとも一方に常に係合してピストン７が第１本体部材４、第２本体部材５と相対回転することを阻止している。
【００１６】
１０Ａ、１０Ｂはピストン７の軸方向両側に設けた流体圧室で、作動流体としての作動油を給排自在に設けている。流体圧室１０Ａはピストン７の軸方向の一方側で第１のピストン軸７Ａの外周に区画形成している。流体圧室１０Ｂはピストン７の軸方向の他方側で第２のピストン軸７Ｂの外周に区画形成している。一方の流体圧室１０Ａに作動油を供給すると共に、他方の流体圧室１０Ｂから作動油を低圧側に排出してピストン７を図示右方向に移動し、図示しないチャックによるワークの把持を解除する。また、他方の流体圧室１０Ｂに作動油を供給すると共に、一方の流体圧室１０Ａから作動油を低圧側に排出してピストン７を図示左方向に移動し、チャックでワークを把持する。ワークを把持するチャックの把持力は、他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油の圧力にピストン７の他側面の受圧面積を積算した値に基づく。
【００１７】
Ａ１は作動油を流通する第１の給排流路で、第１本体部材４に穿設して一方の流体圧室１０Ａに接続している。Ｂ１は作動油を流通する第２の給排流路で、第２本体部材５に穿設して他方の流体圧室１０Ｂに接続している。第２の給排流路Ｂ１は、第１本体部材４に穿設した第２の給排流路Ｂ２、Ｂ３に接続している。第１の給排流路Ａ１、第２の給排流路Ｂ３はそれぞれ回転継手２に設けた第１の給排流路Ａ２、第２の給排流路Ｂ４を介して外部に配置した電磁弁１１に接続している。電磁弁１１は２位置４ポートで、第１位置１１Ａと第２位置１１Ｂとに切換操作自在に設け、一方の電磁石に通電した第１位置１１Ａでは第１の給排流路Ａ２を外部の圧力源としての油圧ポンプＰに、第２の給排流路Ｂ４を低圧側としてのタンクＴに切換連通し、他方の電磁石に通電した第２位置１１Ｂでは第１の給排流路Ａ２をタンクＴに、第２の給排流路Ｂ４を油圧ポンプＰに切換連通する。油圧ポンプＰは電動機Ｍにより回転駆動され作動油を吸入吐出する。なお、電動機Ｍをインバータ制御により回転数を変更自在に制御したり、電動機Ｍをサーボモータに置き換え回転数を変更自在に制御しても良い。
【００１８】
１２は第２の給排流路Ｂ２、Ｂ３の接続個所に配設したパイロット操作逆止め弁で、  作動油を他方の流体圧室１０Ｂ側へ向けて自由流れとするよう、すなわち給排流路Ｂ３から給排流路Ｂ２へ向けて自由流れとするよう設けている。パイロット操作逆止め弁１２は第１の給排流路Ａ１にパイロット流路Ｐ１を接続し、第１の給排流路Ａ１を流通する作動油の一部をパイロット油としてパイロットピストン１２Ａに作用し、この作用でパイロットピストン１２Ａにより弁体１２Ｂを開作動して第２の給排流路Ｂ２から給排流路Ｂ３へ向けての作動油の制御流れを可能としている。
【００１９】
１３は第１本体部材４に備えた加圧ポンプで、油圧ポンプＰから第２の給排流路Ｂ４、Ｂ３、Ｂ２、Ｂ１を流通して他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧する。加圧ポンプ１３は第１本体部材４に穿設の収装孔１４へ大径部１５Ａと小径部１５Ｂとを連設したピストン部材１５を移動自在に収装し、小径部１５Ｂの先端には作動油を吸入吐出するポンプ室１６を区画形成している。ポンプ室１６は第１の接続流路１７を介して第２の給排流路Ｂ２におけるパイロット操作逆止め弁１２の配設個所より他方の流体圧室１０Ｂ側に接続し、第１の接続流路１７にはポンプ室１６から他方の流体圧室１０Ｂへの流れを許容し他方の流体圧室１０Ｂからポンプ室１６への流れを阻止する第１の逆止め弁１８を配設している。また、ポンプ室１６は第１本体部材４に穿設の第２の接続流路１９、回転継手２に設けた第２の接続流路１９Ａを介して外部に配置した電磁弁２０に接続し、第２の接続流路１９には電磁弁２０からポンプ室１６への流れを許容しポンプ室１６から電磁弁２０への流れを阻止する逆止め弁２１を配設している。電磁弁２０は２位置３ポートで、非通電の第１位置２０Ａと通電の第２位置２０Ｂとに切換操作自在に設け、第１位置２０Ａでは第２の接続流路１９ＡをタンクＴに切換連通し、第２位置２０Ｂでは第２の接続流路１９Ａを油圧ポンプＰに切換連通する。電磁弁２０と油圧ポンプＰとを接続する流路２２には、油圧ポンプＰから電磁弁２０への流れを許容し電磁弁２０から油圧ポンプＰへの流れを阻止する逆止め弁２３を配設し、流路２２における逆止め弁２３の配設個所より電磁弁２０側に蓄圧器２４を分岐接続し、外部に配置の蓄圧器２４は大容量で大型のものでも設置スペースの制約を受けることなくできる。
【００２０】
収装孔１４にはピストン部材１５と対向してばね受け部材２５を収装し、ピストン部材１５とばね受け部材２５との間には弾性部材としてのばね２６、２７を同心状に介装し、ばね２６、２７の弾性力をピストン部材１５にポンプ室１６の容積減少方向に作用する。ばね受け部材２５は収装孔１４へ回動操作自在に螺着した調整部材２８に支持され、調整部材２８の回動操作によりばね受け部材２５を進退してばね２６、２７の弾性力を調整自在にする。２９はピストン部材１５の大径部１５Ａと小径部１５Ｂとの連設段部に区画形成した作用室で、第３の接続流路３０を介して第２の接続流路１９における逆止め弁２１の配設個所より電磁弁２０側に接続している。ピストン部材１５には作用室２９に供給する作動油の圧力に基づく作用力を大径部１５Ａにポンプ室１６の容積増加方向に作用する。ピストン部材１５の大径部１５Ａに作用する作動油の圧力は、電磁弁２０の第１位置２０Ａと第２位置２０Ｂとの切換操作に応じて作用と非作用とに切換自在に設けている。加圧ポンプ１３は電磁弁２０の第２位置２０Ｂから第１位置２０Ａへの切換操作に伴い、ばね２６、２７の弾性力でピストン部材１５をポンプ室１６の容積減少方向に付勢し、ポンプ室１６の圧力はばね２６、２７の弾性力を小径部１５Ｂ先端の受圧面積で除算した値となり、油圧ポンプＰの吐出圧力より高圧となる。３Ａは支持台３に設けた作動油の回収孔で、油圧ポンプＰから回転継手２の第１の給排流路Ａ２、第２の給排流路Ｂ４を流通する作動油の一部が回転継手２とチャックシリンダ１の第１本体部材４の筒部４Ｂとの間を潤滑して軸受２Ａ、２Ｂより漏出し、この漏出した作動油をタンクＴに回収する。３Ｂは支持台３に設けたクーラント液の回収孔で、チャックで把持したワークの切削加工に使用してピストン７の排出孔８を流通したクーラント液を回収する。
【００２１】
次に、かかる構成の作動を説明する。
図３の状態は、図示しないチャックでワークを把持しておらず、電磁弁１１は一方の電磁石を通電して第１位置１１Ａに位置して、ピストン７は右方端に位置し、電磁弁２０は非通電で第１位置２０Ａに位置して、加圧ポンプ１３は作用室２９がタンクＴに切換連通してピストン部材１５の大径部１５Ａに作動油の圧力が非作用で、ピストン部材１５がばね２６、２７の弾性力で付勢されて右方端に位置し、ポンプ室１６の容積を最小にしている。
【００２２】
この状態で、電磁弁１１を一方の電磁石を非通電して他方の電磁石を通電して第２位置１１Ｂに切換操作すると、油圧ポンプＰから吐出した作動油は、第２の給排流路Ｂ４、Ｂ３、パイロット操作逆止め弁１２、第２の給排流路Ｂ２、Ｂ１を流れて他方の流体圧室１０Ｂに供給され、ピストン７は図３の左方向に移動し、一方の流体圧室１０Ａの作動油は第１の給排流路Ａ１、Ａ２を流れてタンクＴに排出され、チャックでワークを把持する。
【００２３】
この状態で、電磁弁２０を通電して第２位置２０Ｂに切換操作すると、油圧ポンプＰから吐出した作動油は、流路２２より第２の接続流路１９Ａ、１９、第３の接続流路３０を流れて加圧ポンプ１３の作用室２９に供給され、作動油の圧力に基づく作用力をピストン部材１５の大径部１５Ａにポンプ室１６の容積増加方向に作用する。加圧ポンプ１３は大径部１５Ａに作用する作動油の圧力に基づく作用力でばね２６、２７の弾性力に抗してピストン部材１５を図３の左方向に移動し、第２の接続流路１９より逆止め弁２１を介してポンプ室１６に作動油を吸入する。
【００２４】
次に、電磁弁２０を非通電にして第１位置２０Ａに切換操作すると、作用室２９の作動油は第３の接続流路３０、第２の接続流路１９、１９Ａを流れてタンクＴに排出され、加圧ポンプ１３はピストン部材１５の大径部１５Ａに作動油の圧力が非作用となって、ばね２６、２７の弾性力でピストン部材１５を図３の右方向に移動し、ポンプ室１６の圧力はばね２６、２７の弾性力を小径部１５Ｂ先端の受圧面積で除算した値となって油圧ポンプＰの吐出圧力より高圧となり、この高圧となった作動油を第１の接続流路１７より逆止め弁１８を介して第２の給排流路Ｂ２に流し、油圧ポンプＰから第２の給排流路Ｂ４、Ｂ３、Ｂ２、Ｂ１を流して他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧する。そして、電磁弁２０の通電と非通電とを繰り返し切換え、ピストン部材１５の大径部１５Ａへ作動油の圧力の作用と非作用とを繰り返すポンプ作動で、ワークを把持するチャックの把持力を所望値まで上昇して設定する。
【００２５】
ワークを把持するチャックの把持力が所望値に達すると、加圧ポンプ１３は、大径部１５Ａに作動油の圧力を非作用にしてもピストン部材１５がポンプ室１６の容積減少方向に移動せずポンプ作動を自動的に停止する。そして、他方の流体圧室１０Ｂからピストン７外周と大径孔５Ａ内周との間を介して一方の流体圧室１０Ａ等に作動油が漏出し、チャックの把持力が所望値より低下すると、加圧ポンプ１３はピストン部材１５がポンプ室１６の容積減少方向に移動してポンプ作動を自動的に再開する。このため、加圧ポンプ１３におけるピストン部材１５の大径部１５Ａへ作動油の圧力の作用と非作用とを繰り返すポンプ作動を一定の周期で行なうことで、他方の流体圧室１０Ｂの圧力を格別に検出しなくとも良く、圧力を検出する圧力検出器を不要とすることもできる。
【００２６】
ワークの加工が完了して、電磁弁１１を他方の電磁石を非通電して一方の電磁石を通電して第１位置１１Ａに復帰操作すると、油圧ポンプＰから吐出した作動油は第１の給排流路Ａ２、Ａ１を流れて一方の流体圧室１０Ａに供給され、ピストン７は図３の右方向に移動して図示位置に復帰し、他方の流体圧室１０Ａの作動油は第２の給排流路Ｂ１、Ｂ２、第１の給排流路Ａ１を流れる作動油の一部がパイロット油として作用して開作動したパイロット操作逆止め弁１２、第２の給排流路Ｂ３、Ｂ４を流れてタンクＴに排出され、チャックによるワークの把持を解除する。電磁弁２０は非通電にして第１位置２０Ａに切換操作し、加圧ポンプ１３はピストン部材１５の大径部１５Ａに作動油の圧力が非作用で、ピストン部材１５がポンプ室１６の容積を最小とする図示位置に停止する。
【００２７】
かかる作動において、チャックシリンダ１には外部の油圧ポンプＰから他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧する加圧ポンプ１３を、第２の給排流路Ｂ２におけるパイロット操作逆止め弁１２の配設個所より流体圧室１０Ｂ側に接続して備えた。このため、チャックシリンダ１に備えた加圧ポンプ１３で、外部の油圧ポンプＰから流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧できるから、低圧の作動油を供給する外部の油圧ポンプＰを用いて流体圧室１０Ｂに供給した作動油を高圧にでき、油圧ポンプＰを回転駆動する電動機Ｍのトルクを低減できて省エネルギー化を図ることができる。また、電動機Ｍの回転数を変更自在に設けた場合には、チャックの把持力を所望値まで上昇して設定した後は、油圧ポンプＰの回転数を低下して吐出量を減少することも可能で、一層の省エネルギー化を図ることもできる。
【００２８】
また、ピストン部材１５の大径部１５Ａに作動油の圧力を作用することで、この圧力に基づく作用力でばね２６、２７の弾性力に抗してピストン部材１５をポンプ室１６の容積増加方向に移動してポンプ室１６に作動油を吸入すると共に、ピストン部材１５の大径部１５Ａに流体の圧力を非作用にすることで、ばね２６、２７の弾性力でピストン部材１５をポンプ室１６の容積減少方向に移動してポンプ室１６の作動油を増圧して吐出し、ピストン部材１５の大径部１５Ａへの作動油の圧力の作用と非作用とを繰り返し切換えることで、増圧した作動油を多量に流体圧室１０Ｂへ供給することが可能となり、チャックシリンダ１に備える加圧ポンプ１３はポンプ室１６の容積を小さくした小型のものとすることができる。
【００２９】
図４は本発明の他実施形態を示し、一実施形態と同一個所には同符号を付して説明を省略し、異なる個所についてのみ説明する。
加圧ポンプ３３はピストン部材３５を移動自在に設け、ピストン部材３５の先端には作動油を吸入吐出するポンプ室３６を区画形成している。ポンプ室３６は第１の接続流路１７を介して第２の給排流路Ｂ２におけるパイロット操作逆止め弁１２の配設個所より他方の流体圧室１０Ｂ側に接続し、第１の接続流路１７にはポンプ室３６から他方の流体圧室１０Ｂへの流れを許容する第１の逆止め弁１８を配設している。また、ポンプ室１６は第２の接続流路１９、回転継手に設けた第２の接続流路１９Ａ、流路２２を介して油圧ポンプＰと接続し、第２の接続流路１９にはポンプ室３６への流れを許容する逆止め弁２１を配設している。流路２２には、ポンプ室３６への流れを許容する逆止め弁２３を配設し、流路２２における逆止め弁２３の配設個所よりポンプ室３６側に蓄圧器２４を分岐接続している。
【００３０】
加圧ポンプ３３はコイル３７への通電により可動鉄心３８を固定鉄心３９に吸引する電磁石４０を備え、電磁石４０の可動鉄心３８をピストン部材３５に係合し、ピストン部材３５には電磁石４０のコイル３７への通電による吸引力をポンプ室３６の容積減少方向に作用すると共に、ポンプ室３６の作動油の圧力に基づく作用力および弾性部材としてのばね４１の弾性力をポンプ室３６の容積増加方向に作用する。電磁石４０はコイル３７に通電する電流値に比例した吸引力を生ずる比例電磁石で、電流値の変更に応じて吸引力を変更自在に設ける。ポンプ室３６の圧力は電磁石４０の通電により生ずる吸引力をピストン部材３５のポンプ室３６に面する受圧面積で除算した値となり、油圧ポンプＰの吐出圧力より高圧となる。
【００３１】
作動は、電磁弁１１を第２位置１１Ｂに切換操作すると、ピストン７が図４の左方向に移動し、チャックでワークを把持する。この状態で、加圧ポンプ３３の電磁石４０を非通電にすると、油圧ポンプＰから吐出した作動油は、流路２２より第２の接続流路１９Ａ、１９を流れて加圧ポンプ３３のポンプ室３６に供給され、ピストン部材３５にポンプ室３６の容積増加方向に作用し、ピストン部材３５は作動油の圧力に基づく作用力およびばね４１の弾性力で図４の左方向に移動する。次に、加圧ポンプ３３の電磁石４０に通電すると、電流値に応じた吸引力でピストン部材３５を図４の右方向に移動し、ポンプ室３６の作動油を高圧にして吐出し、油圧ポンプＰから他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧する。そして、電磁石４０のコイル３７への通電と非通電とを繰り返し切換えるポンプ作動で、ワークを把持するチャックの把持力を所望値まで上昇して設定する。
【００３２】
かかる作動において、チャックシリンダ１には外部の油圧ポンプＰから他方の流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧する加圧ポンプ３３を、第２の給排流路Ｂ２におけるパイロット操作逆止め弁１２の配設個所より流体圧室１０Ｂ側に接続して備えた。このため、一実施形態と同様に、チャックシリンダ１に備えた加圧ポンプ３３で、外部の油圧ポンプＰから流体圧室１０Ｂに供給する作動油を増圧できるから、低圧の作動油を供給する外部の油圧ポンプＰを用いて流体圧室１０Ｂに供給した作動油を高圧にでき、省エネルギー化を図ることができる。
【００３３】
また、電磁石４０を非通電にすることで、作動油の圧力に基づく作用力およびばね４１の弾性力でピストン部材３５をポンプ室３６の容積増加方向に移動してポンプ室３６に作動油を吸入すると共に、電磁石４０を通電することで、通電により生じる吸引力でピストン部材３５をポンプ室３６の容積減少方向に移動してポンプ室３６の作動油を増圧して吐出する。このため、電磁石４０への通電と非通電とを繰り返し切換えることで、増圧した作動油を多量に流体圧室１０Ｂへ供給することが可能となり、一実施形態と同様に、チャックシリンダ１に備える加圧ポンプ３３はポンプ室３６の容積を小さくした小型のものとすることができる。さらにまた、電磁石４０は通電する電流値に比例した吸引力を生ずる比例電磁石としているため、電磁石４０に通電する電流値の変更により吸引力を所望値に変更できるから、流体圧室１０Ｂに供給する作動油の圧力を吸引力の変更により調整自在に設定でき、広範囲の用途に適用することができる。
【００３４】
なお、他実施形態では、加圧ポンプ３３の電磁石４０をコイル３７に通電する電流値に比例した吸引力を生ずる比例電磁石としたが、比例電磁石でなくても良く、また、ピストン部材３５をポンプ室３６の容積増加方向に付勢するばね４１は必要に応じて適宜用いなくても良いことは勿論である。
【符号の説明】
【００３５】
１：チャックシリンダ（回転体）
７：ピストン
１０Ａ、１０Ｂ：流体圧室
１２：パイロット操作逆止め弁
１３、３３：加圧ポンプ
１５、３５：ピストン部材
１６、３６：ポンプ室
２６、２７：ばね（弾性部材）
４０：電磁石
Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３：給排流路
Ｐ：油圧ポンプ（圧力源）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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