(57)【要約】【課題】キャビティ基板対応のスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペーストの拭き取りを行うことができるスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置、スクリーン印刷機及びスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法を提供することを目的とする。【解決手段】フラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面にペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを摺擦させてフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行い、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の各凸状部３ａの下面にペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを順次摺擦させて各凸状部３ａの下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行う。各凸状部３ａの下面に付着したペーストＰＴを拭き取るにおいて、ペーパー部材３の摺擦領域３４ａがひとつの凸状部３ａから離間した後、他の凸状部３ａに接触するまでの間にペーパー部材３４の巻き取りを行ってペーパー部材３４の摺擦領域３４を更新する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて下方に突出した形状の複数の凸状部を備えた第２マスク領域を有するスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置であって、
スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦される摺擦領域を有したペーパー部材と、
第１マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて第１マスク領域の下面に付着したペーストの拭き取りを行うとともに、第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段と、
ペーパー部材の摺擦領域がひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新する摺擦領域更新手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置。
【請求項２】
基板の上面に設けられた複数の第１電極及び基板の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第２電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機であって、
基板の上面に接触して用いられ、第１電極に対応する第１のパターン孔が形成された平板状の第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられ、基板の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第２電極に対応する第２のパターン孔が形成された第２マスク領域を有するスクリーン印刷用マスクと、
スクリーン印刷用マスクの第２マスク領域に形成された第２のパターン孔と基板の第２電極を合致させた状態で第２マスク領域内にペーストを供給し、その後スクリーン印刷用マスクと基板を相対的に離間させることによって第２電極にペーストを印刷し、スクリーン印刷用マスクの第１マスク領域に形成された第１のパターン孔と基板の第１電極を合致させた状態で第１マスク領域内にペーストを供給し、その後スクリーン印刷用マスクと基板を相対的に離間させることによって第１電極にペーストを印刷する印刷実行手段と、
スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置とを備え、
スクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦される摺擦領域を有したペーパー部材と、
第１マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて第１マスク領域の下面に付着したペーストの拭き取りを行うとともに、第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段と、
ペーパー部材の摺擦領域がひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新する摺擦領域更新手段とを有することを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項３】
平板状の第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて下方に突出した形状の複数の凸状部を備えた第２マスク領域を有するスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法であって、
第１マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて第１マスク領域の下面に付着したペーストの拭き取りを行う工程と、
第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行う工程とを含み、
第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行う工程において、ペーパー部材の摺擦領域が
ひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新することを特徴とするスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置、スクリーン印刷機及びスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板の電極に半田ペースト等のペーストを印刷するときに基板に接触させて用いられるスクリーン印刷用マスク（以下、単にマスクと称する）では、版抜けをした後にマスクに付着したペーストを拭き取って次のスクリーン印刷に備える必要がある。このようなマスクに付着したペーストの拭き取りを行うためのクリーニング装置では、ペーパー部材の所定領域（摺擦領域）をマスクの下面に摺擦させることによって、マスクに付着したペーストを拭き取るようになっている（例えば特許文献１）。
【０００３】
ところで、基板の中には、基板の上面（フラット部）だけでなく、基板の上面から窪んで設けられた開口部（キャビティ部）の底面にも電極が設けられた、いわゆるキャビティ基板が知られている。このキャビティ基板はキャビティ部に設けられたキャビティ部電極とフラット部に設けられたフラット部電極を有しているため、キャビティ基板対応のマスクは、キャビティ部電極に対応するパターン孔とフラット部電極に対応するパターン孔を有したものとなる。この場合、マスクには、キャビティ部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部が設けられ、その凸状部の底面にキャビティ部電極に対応するパターン孔が形成される。
【０００４】
このようなキャビティ基板対応のマスクでは、複数の凸状部の底面にキャビティ部電極に対応するパターン孔が形成されたキャビティ部対応マスク領域と、平板状の部分にフラット部電極に対応するパターン孔が形成されたフラット部対応マスク領域とが互いに異なる領域として存在する形態にすることができる。そうすると、このようなマスクに対してクリーニングを行う際には、キャビティ部対応マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて行うクリーニングと、フラット部対応マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて行うクリーニングとをそれぞれ行えばよく、マスクのクリーニングを簡単に行うことができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−６６８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように、各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させていった場合、ひとつの凸状部のクリーニングを終えてそこから離間したペーパー部材が他の凸状部に接触するときに、前の凸状部から拭き取ったペーストが次の凸状部に擦り付けられてしまうことがあった。このように前の凸状部から拭き取ったペーストが次の凸状部に擦り付けられると、後の凸状部のクリーニングでは、その擦り付けられたペーストも拭き取らねばならなくなるため、クリーニングの作業効率が低下する場合があるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、キャビティ基板対応のスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペー
ストの拭き取りを行うことができるスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置、スクリーン印刷機及びスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、平板状の第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて下方に突出した形状の複数の凸状部を備えた第２マスク領域を有するスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置であって、スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦される摺擦領域を有したペーパー部材と、第１マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて第１マスク領域の下面に付着したペーストの拭き取りを行うとともに、第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段と、ペーパー部材の摺擦領域がひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新する摺擦領域更新手段とを備えた。
【０００９】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に設けられた複数の第１電極及び基板の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第２電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機であって、基板の上面に接触して用いられ、第１電極に対応する第１のパターン孔が形成された平板状の第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられ、基板の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第２電極に対応する第２のパターン孔が形成された第２マスク領域を有するスクリーン印刷用マスクと、スクリーン印刷用マスクの第２マスク領域に形成された第２のパターン孔と基板の第２電極を合致させた状態で第２マスク領域内にペーストを供給し、その後スクリーン印刷用マスクと基板を相対的に離間させることによって第２電極にペーストを印刷し、スクリーン印刷用マスクの第１マスク領域に形成された第１のパターン孔と基板の第１電極を合致させた状態で第１マスク領域内にペーストを供給し、その後スクリーン印刷用マスクと基板を相対的に離間させることによって第１電極にペーストを印刷する印刷実行手段と、スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置とを備え、スクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦される摺擦領域を有したペーパー部材と、第１マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて第１マスク領域の下面に付着したペーストの拭き取りを行うとともに、第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段と、ペーパー部材の摺擦領域がひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新する摺擦領域更新手段とを有する。
【００１０】
請求項３に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法は、平板状の第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて下方に突出した形状の複数の凸状部を備えた第２マスク領域を有するスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法であって、第１マスク領域の下面にペーパー部材の摺擦領域を摺擦させて第１マスク領域の下面に付着したペーストの拭き取りを行う工程と、第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行う工程とを含み、第２マスク領域内の各凸状部の下面にペーパー部材の摺擦領域を順次摺擦させて各凸状部の下面に付着したペーストの拭き取りを行う工程において、ペーパー部材の摺擦領域がひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、ペーパー部材の摺擦領域がひとつの凸状部から離間した後、他の凸状部に接触するまでの間にペーパー部材の巻き取りを行ってペーパー部材の摺擦領域を更新するようになっているので、ひとつの凸状部のクリーニングを終えてそこから離間したペーパー部材が他の凸状部に接触したときに、前の凸状部から拭き取ったペーストが次の凸状部に擦り付けられてしまうことがない。このため、キャビティ基板対応のスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペーストの拭き取りを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の概略構成図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とするキャビティ基板の（ａ）平面図（ｂ）側断面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクの（ａ）平面図（ｂ）側断面図
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、印刷対象物である基板ＰＢを保持する基板保持部２、基板保持部２によって保持された基板ＰＢの上方に水平に設けられた全体として長方形形状のスクリーン印刷用マスク（以下、単にマスク）３、マスク３の上方に設けられたペースト供給ヘッド４、マスク３の下面に下方から接触してスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷の実行後にマスク３のクリーニングを行うクリーニング装置５を備えて構成されている。以下、説明の便宜上、マスク３の短辺方向（図１の紙面に垂直な方向）をＸ軸方向、マスク３の長辺方向（図１の紙面左右方向）をＹ軸方向、マスク３の厚さ方向（上下方向であり、図１の紙面上下方向）をＺ軸方向とする。
【００１４】
図２（ａ），（ｂ）において基板ＰＢは、下層側基板部材１１及び下層側基板部材１１の上面に貼り合わされた上層側基板部材１２を有して成る。基板ＰＢの（上層側基板部材１２の）上面には複数のフラット部電極ｆｄ（第１電極）が設けられており、上層側基板部材１２の上面の一部に設けられた開口部であるキャビティ部ＣＶの底面（すなわち下層側基板部材１１の上面）には複数のキャビティ部電極ｃｄ（第２電極）が設けられている。すなわちこの基板ＰＢは、上面（上層側基板部材１２の上面）に複数のフラット部電極ｆｄを備えるとともに、キャビティ部ＣＶの底面（下層側基板部材１１の上面）複数のキャビティ部電極ｃｄを備えたキャビティ基板である。
【００１５】
基板保持部２は水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられており、保持した基板ＰＢをマスク３の下方の任意の位置に位置決めすることができる。
【００１６】
図１及び図３（ａ），（ｂ）において、マスク３は四辺を枠部材３ｗによって支持されており、枠部材３ｗによって囲まれた矩形の領域には、互いに別個の領域であるフラット
部対応マスク領域ＭＲＦとキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣが設けられている。フラット部対応マスク領域ＭＲＦには、上層側基板部材１２の上面に設けられた複数のフラット部電極ｆｄに対応する複数の第１のパターン孔ｈ１が設けられている。一方、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣには、基板ＰＢの複数のキャビティ部ＣＶのそれぞれに嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部３ａが設けられており、各凸状部３ａには下層側基板部材１１の上面（キャビティ部ＣＶの底面）に設けられた複数のキャビティ部電極ｃｄに対応する複数の第２のパターン孔ｈ２が設けられている。
【００１７】
図３（ａ）から分かるように、フラット部対応マスク領域ＭＲＦはマスク３の短辺方向（Ｘ軸方向）と平行なマスク３の中心線ＣＬを挟んで位置する２つのマスク３の領域の一方側から成り、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣは中心線ＣＬを挟んで位置する２つのマスク３の領域のうちの他方側から成っている。このように本実施の形態におけるマスク３は、平板状のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第１マスク領域）及びフラット部対応マスク領域ＭＲＦとは異なる領域として設けられて下方に突出した形状の複数の凸状部３ａを備えたキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第２マスク領域）を有する、キャビティ基板対応のマスクとなっている。
【００１８】
図１において、ペースト供給ヘッド４はマスク３に対して水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられたヘッド本体２１と、ヘッド本体２１の下部に設けられてＹ軸方向に対向する２つのガイド部材２２を備えて成る。各ガイド部材２２はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、ヘッド本体２１に内蔵されたペーストカートリッジ（図示せず）より下方に供給（圧送）される半田ペーストや導電性ペースト等のペーストがマスク３上の目的とする箇所に集中して供給されるようにガイドをする。
【００１９】
図１においてクリーニング装置５は、水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられたケース状のベース部３１と、ベース部３１内に設けられて上方に開口した形状のバックアップ部材３２と、バックアップ部材３２を挟んでＹ軸方向に対向して配置されたＸ軸回りに回転自在な一対の巻き取りローラ３３と、一対の巻き取りローラ３３に掛け渡されたペーパー部材３４と、一対の巻き取りローラ３３の間においてバックアップ部材３２を挟んでＹ軸方向に対向して配置されたＸ軸回りに回転自在な一対の案内ローラ３５を備えて成る。
【００２０】
ペーパー部材３４はその上面が粘着面となっており、一対の案内ローラ３５の間のバックアップ部材３２によって支持される水平な領域は、マスク部材３の下面に下方から摺擦される摺擦領域３４ａとなっている。このペーパー部材３４の摺擦領域３４ａは、一対の巻き取りローラ３３を同方向に駆動してペーパー部材３４を巻き取ることによって更新することができる。バックアップ部材３２の内部には上方に開口する空気吸引管路３２ａが形成されており、この空気吸引管路３２ａから空気を真空吸引することにより、ペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを介して空気吸引管路３２ａ内に空気を吸引することができるようになっている。
【００２１】
基板保持部２の水平面内方向移動及び上下方向移動による基板ＰＢのマスク３に対する位置決め動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置４０（図１）が図示しないアクチュエータ等から成る基板位置決め機構４１（図１）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２２】
ペースト供給ヘッド４のヘッド本体２１の水平面内方向移動及び上下方向移動によるペースト供給ヘッド４のマスク３に対する位置決め動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給ヘッド移動機構４２（図１）の作動制御を行うことに
よってなされ、ペースト供給ヘッド４からのペーストの供給動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構４３（図１）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２３】
クリーニング装置５のベース部３１の水平面内方向移動及び上下方向移動によるクリーニング装置５のマスク３に対する位置決め及び相対移動動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るクリーニング装置移動機構４４（図１）の作動制御を行うことによってなされる。また、一対の巻き取りローラ３３によるペーパー部材３４の巻き取り動作（ペーパー部材３４の摺擦領域３４ａの更新動作）は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るペーパー部材巻き取り機構４５（図１）の作動制御を行うことによってなされる。また、空気吸引管路３２ａから空気を真空吸引する空気の吸引動作は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構４６の作動制御を行うことによってなされる。
【００２４】
このスクリーン印刷機１による基板ＰＢへのスクリーン印刷実行工程では、制御装置４０は先ず、マスク３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の各第２のパターン孔ｈ２と基板保持部２に保持された基板ＰＢの各キャビティ部電極ｃｄが上下に対応するように基板ＰＢを移動させた後（図４（ａ））、基板ＰＢを上昇させて基板ＰＢの上面とマスク３の下面を接触させる（図４（ｂ））。これによりマスク３の凸状部３ａと基板ＰＢのキャビティ部ＣＶが上下に嵌合し、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の各第２のパターン孔ｈ２と基板ＰＢのキャビティ部電極ｃｄとが上下に合致する（位置合わせ工程）。
【００２５】
制御装置４０は、基板ＰＢの上面とマスク３の下面を接触させたら、ペースト供給ヘッド４のガイド部材２２をマスク３の上面に接触させたうえでペースト供給機構４３を作動させ、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内（凸状部３ａ内）にペーストＰＴを供給する（図４（ｃ）。ペースト供給工程）。これにより、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の各第２のパターン孔ｈ２を介して各キャビティ部電極ｃｄ上にペーストＰＴが供給されるので、その後基板ＰＢとマスク３を上下方向に相対的に離間させれば（版抜け工程）、各キャビティ部電極ｃｄにペーストＰＴが印刷（転写）される（図４（ｄ））。
【００２６】
制御装置４０は次に、マスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内の各第１のパターン孔ｈ１と基板保持部２に保持された基板ＰＢの各フラット部電極ｆｄが上下に対向するように基板ＰＢを移動させた後（図５（ａ））、基板ＰＢを上昇させて基板ＰＢの上面とマスク３の下面を接触させる（図５（ｂ））。これによりマスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内の各第１のパターン孔ｈ１と基板ＰＢのフラット部電極ｆｄとが上下に合致する。
【００２７】
制御装置４０は、基板ＰＢの上面とマスク３の下面を接触させたら、ペースト供給ヘッド４のガイド部材２２をマスク３の上面に接触させたうえでペースト供給機構４３を作動させ、フラット部対応マスク領域ＭＲＦ内にペーストＰＴを供給する（図５（ｃ））。これによりフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内の各第１のパターン孔ｈ１を介して各フラット部電極ｆｄ上にペーストＰＴが供給されるので、その後基板ＰＢとマスク３を上下方向に相対的に離間させれば、各フラット部電極ｆｄにペーストＰＴが印刷される（図５（ｄ））。
【００２８】
なお、キャビティ部電極ｃｄは基板ＰＢの上面から窪んで設けられたキャビティ部ＣＶ内に設けられているので、キャビティ部電極ｃｄへのペーストＰＴの印刷が終了した後にマスク３を基板ＰＢの上面に接触させても、マスク３がキャビティ部電極ｃｄ上のペーストＰＴと接触することはない。
【００２９】
制御装置４０は、上記のスクリーン印刷実行工程を終了したら、クリーニング装置５によりマスク３の下面のクリーニングを行う。このマスク３の下面のクリーニングでは、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣについてのクリーニングと、フラット  部対応マスク領域ＭＲＦについてのクリーニングとを、それぞれ別々に行う。
【００３０】
マスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦのクリーニングでは、制御装置４０は、図６に示すように、クリーニング装置移動機構４４の作動制御を行って、フラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面にクリーニング装置５のペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを接触させたうえで、ベース部３１を水平面内方向（ここではＹ軸方向）に移動させる（図６中に示す矢印Ｄ１）。これにより、マスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着していたペーストＰＴ（ペーストＰＴの残り滓ＤＳ。図５（ｄ）参照）はペーパー部材３４の摺擦領域３４ａにくっつくので、マスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面からペーストＰＴを拭き取ることができる（フラット部対応マスク領域のペースト拭き取り工程）。
【００３１】
一方、マスク３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣのクリーニングでは、制御装置４０は、図７（ａ）に示すように、クリーニング装置移動機構４４の作動制御を行って、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の凸状部３ａのひとつの下面にクリーニング装置５のペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを接触させたうえで、そのベース部３１を水平面内方向（ここではＹ軸方向）に移動させる（図７（ａ）中に示す矢印Ｄ２）。これにより、マスク３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの下面に付着していたペーストＰＴ（ペーストＰＴの残り滓ＤＳ。図４（ｄ）参照）はペーパー部材３４の摺擦領域３４ａにくっつくので、マスク３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの下面からペーストＰＴを拭き取ることができる。
【００３２】
そして、制御装置４０は、ひとつの凸状部３ａの下面のクリーニングが終了したら、他の（隣の）凸状部３ａに移動して（図７（ｂ），（ｃ），（ｄ）中に示す矢印Ｄ３）、その凸状部３ａの下面のクリーニングを行う。これにより全ての凸状部３の下面からペーストＰＴを拭き取ることができる（キャビティ部対応マスク領域のペースト拭き取り工程）。
【００３３】
なお、上記両ペースト拭き取り工程におけるペーストＰＴの拭き取りの際には、制御装置４０は吸引機構４６の作動制御を行い、空気吸引管路３２ａからペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを介して空気を真空吸引するようにする。これによりマスク３の下面に付着したペーストＰＴはペーパー部材３４側に吸い出されるようになるので、ペーストＰＴの拭き取りを一層効果的に行うことができるようになる。
【００３４】
ところで、制御装置４０は、上記のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の各凸状部３ａの下面にペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを順次摺擦させて各凸状部３ａの下面に付着したペーストＰＴの拭き取り工程において、ペーパー部材３４の摺擦領域３４ａがひとつの凸状部３ａから離間した後、他の凸状部３ａに接触するまでの間にペーパー部材巻き取り機構４５を作動させてペーパー部材３４の巻き取りを行い、これによりペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを更新するようにする（図７（ｃ），（ｄ）中に示す矢印Ｄ４。摺擦領域更新工程）。これによりペーパー部材３４に付着したペーストＰＴの残り滓ＤＳ（図７（ｂ），（ｃ），（ｄ））は除去され、前の凸状部３ａから拭き取ったペーストＰＴが次の凸状部３ａに擦り付けられてしまうようなことがない。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷用マスク３のクリーニング装置５は、マスク３の下面に摺擦される摺擦領域３４ａを有したペーパー部材３４と、マスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第１マスク領域）の下面にペーパー部材３４
の摺擦領域３４ａを摺擦させてフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行うとともに、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第２マスク領域）内の各凸状部３ａの下面にペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを順次摺擦させて各凸状部３ａの下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段（クリーニング装置移動機構４４及び制御装置４０）と、ペーパー部材３４の摺擦領域３４ａがひとつの凸状部３ａから離間した後、他の凸状部３ａに接触するまでの間にペーパー部材３４の巻き取りを行ってペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを更新する摺擦領域更新手段（ペーパー巻き取り機構４５及び制御装置４０）を備えたものとなっている。
【００３６】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷用マスク３のクリーニング方法は、フラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第１マスク領域）の下面にペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを摺擦させてフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行う工程（フラット部対応マスク領域のペースト拭き取り工程）と、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第２マスク領域）内の各凸状部３ａの下面にペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを順次摺擦させて各凸状部３ａの下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行う工程（キャビティ部対応マスク領域のペースト拭き取り工程）を含み、キャビティ部対応マスク領域のペースト拭き取り工程において、ペーパー部材３４の摺擦領域３４ａがひとつの凸状部３ａから離間した後、他の凸状部３ａに接触するまでの間にペーパー部材３４の巻き取りを行ってペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを更新する工程（摺擦領域更新工程）を行うようになっている。
【００３７】
このように、本実施の形態では、ペーパー部材３４の摺擦領域３４ａがひとつの凸状部３ａから離間した後、他の凸状部３ａに接触するまでの間にペーパー部材３４の巻き取りを行ってペーパー部材３４の摺擦領域３４ａを更新するようになっているので、ひとつの凸状部３ａのクリーニングを終えてそこから離間したペーパー部材３４が他の凸状部３ａに接触したときに、前の凸状部３ａから拭き取ったペーストＰＴが次の凸状部３ａに擦り付けられてしまうことがない。このため、キャビティ基板対応のスクリーン印刷用マスク３に対して効率よくペーストＰＴの拭き取りを行うことができる。
【００３８】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの上面に設けられた複数のフラット部電極ｆｄ（第１電極）及び基板ＰＢの上面の一部に形成された複数のキャビティ部ＣＶ（開口部）それぞれの底面に設けられた複数のキャビティ部電極ｃｄ（第２電極）にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機１であり、基板ＰＢの上面に接触して用いられ、フラット部電極ｆｄに対応する第１のパターン孔ｈ１が形成された平板状のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第１マスク領域）及びフラット部対応マスク領域ＭＲＦとは異なる領域として設けられ、基板ＰＢの開口部（キャビティ部ＣＶ）に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部３ａのそれぞれにキャビティ部電極ｃｄに対応する第２のパターン孔ｈ２が形成されたキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第２マスク領域）を有するマスク３と、マスク３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣに形成された第２のパターン孔ｈ２と基板ＰＢのキャビティ部電極ｃｄを合致させた状態でキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内にペーストＰＴを供給し、その後マスク３と基板ＰＢを相対的に離間させることによってキャビティ部電極ｃｄにペーストＰＴを印刷し、マスク３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦに形成された第１のパターン孔ｈ１と基板ＰＢのフラット部電極ｆｄを合致させた状態でフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内にペーストＰＴを供給し、その後マスク３と基板ＰＢを相対的に離間させることによってフラット部電極ｆｄにペーストＰＴを印刷する印刷実行手段（ペースト供給ヘッド４、基板保持部２、ペースト供給機構４３、基板位置決め機構４１及び制御装置４０）と、マスク３の下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行う上記クリーニング装置５を備えたものとなっている。
【００３９】
このようなスクリーン印刷機では、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の凸状部３ａ
に邪魔をされずにフラット部対応マスク領域ＭＲＦのクリーニングを行うことができるので、キャビティ基板対応の立体的なスクリーン印刷用マスク３のクリーニングを良好に行うことができる。
【００４０】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、フラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面のクリーニングを行った後にキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの下面を行うようにしていたが、その順序は逆であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
キャビティ基板対応のスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペーストの拭き取りを行うことができるスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置及びスクリーン印刷用マスクのクリーニング方法を提供する。
【符号の説明】
【００４２】
１  スクリーン印刷機
２  基板保持部（印刷実行手段）
３  スクリーン印刷用マスク
３ａ  凸状部
４  ペースト供給ヘッド（印刷実行手段）
５  クリーニング装置
３４  ペーパー部材
３４ａ  摺擦領域
４０  制御装置（ペーパー部材摺擦手段、摺擦領域更新手段、印刷実行手段）
４１  基板位置決め機構（印刷実行手段）
４３  ペースト供給機構（印刷実行手段）
４４  クリーニング装置移動機構（ペーパー部材摺擦手段）
４５  ペーパー部材巻き取り機構（摺擦領域更新手段）
ＭＲＦ  フラット部対応マスク領域（第１マスク領域）
ＭＲＣ  キャビティ部対応マスク領域（第２マスク領域）
ｈ１  第１のパターン孔
ｈ２  第２のパターン孔
ＰＢ  基板
ＣＶ  キャビティ部（開口部）
ｆｄ  フラット部電極（第１電極）
ｃｄ  キャビティ部電極（第２電極）
ＰＴ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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