(57)【要約】【課題】チップサイズを縮小することができる固体撮像素子及びその駆動方法を提供すること。【解決手段】入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、第１〜第３のセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲート２０と、読み出しゲート２０により第１〜第３のセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂから読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部３０と、読み出しゲート２０により第１のセンサ列１０Ｒから読み出された信号電荷と垂直電荷転送部３０から転送された第２及び第３のセンサ列１０Ｇ，１０Ｂの信号電荷とを水平方向に転送する水平電荷転送部１１とを備える。【選択図】図１
2010050841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列と、
前記第１〜第３のセンサ列の各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと、
少なくとも前記読み出しゲートにより前記第２及び第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、
前記第１〜第３のセンサ列から読み出された信号電荷を水平方向に転送する水平電荷転送部と、を備えた固体撮像素子。
【請求項２】
前記水平電荷転送部は、前記読み出しゲートにより前記第１のセンサ列から読み出された信号電荷と前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷とを水平方向に転送する請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記垂直電荷転送部は、前記読み出しゲートにより前記第１〜第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送し、
前記水平電荷転送部は、前記第１〜第３のセンサ列から読み出されて前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷を水平方向に転送する請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
前記読み出しゲートをＬ字状に形成した請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項５】
前記読み出しゲートをＩ字状に形成した請求項３に記載の固体撮像素子。
【請求項６】
固体撮像素子の駆動方法であって、
前記固体撮像素子は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列と、前記第１〜第３のセンサ列の各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと、前記読み出しゲートにより前記第２及び第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、前記読み出しゲートにより前記第１のセンサ列から読み出された信号電荷と前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷とを水平方向に転送する水平電荷転送部と、を備えており、
前記読み出しゲートを制御して前記第１〜第３のセンサ列の各画素に蓄積された信号電荷をそれぞれ第１〜第３の信号電荷として読み出すステップと、
前記読み出しゲートで読み出された前記第１の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するとともに、前記垂直電荷転送部を制御して前記第２の信号電荷及び前記第３の信号電荷を前記垂直電荷転送部へ転送するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第１の信号電荷を出力部へ出力するステップと、
前記垂直電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を出力部へ出力するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を出力部へ出力するステップと、を有する固体撮像素子の駆動方法。
【請求項７】
固体撮像素子の駆動方法であって、
前記固体撮像素子は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列と、前記第１〜第３のセンサ列の各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと、前記読み出しゲートにより前記第１〜第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、前記第１〜第３のセンサ列から読み出されて前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平電荷転送部と、を備えており、
前記読み出しゲートを制御して第１〜第３のセンサ列の各画素に蓄積された信号電荷をそれぞれ第１〜第３の信号電荷として読み出すステップと、
前記垂直電荷転送部を制御して前記第１の信号電荷〜前記第３の信号電荷を前記垂直電荷転送部へ転送するステップと、
前記垂直電荷転送部を制御して前記第１の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第１の信号電荷を出力部へ出力するステップと、
前記垂直電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を出力部へ出力するステップと、
前記垂直電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、
前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を出力部へ出力するステップと、を有する固体撮像素子の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー画像を取り込む光電変換素子を用いた電荷結合素子（以下、ＣＣＤという。）型の固体撮像素子及び固体撮像素子の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、入射光に応じた量の信号電荷を蓄積する光電変換素子を有する画素が一次元的に配列され、これら画素からの信号電荷をＣＣＤ（Charge Coupled Device）の電荷転送方式によって出力部に転送する水平転送部を有するＣＣＤリニアセンサが知られている。このＣＣＤリニアセンサは、コピー、ファクシミリ、ＯＣＲ 、パターン認識及び各種計測など、多くの分野で使用されており、近年ではカラー対応のものが普及している。
【０００３】
従来のカラー対応の３ラインＣＣＤリニアセンサ（以下、「カラーリニアセンサ」と呼ぶ。）としては、一般に図１４及び図１５に示す構成のものが用いられている。図１４は従来のカラーリニアセンサの外観斜視図、図１５は従来のカラーリニアセンサの構成の一例を示す図である。
【０００４】
図１４に示すように、従来のカラーリニアセンサとして、１つのセンサチップ上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３つの色を検出する３本のセンサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂを並列に設けたものが知られている。
【０００５】
これらのセンサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂは、それぞれ光電変換素子列の受光面上に、ＲＧＢのそれぞれの色成分を透過するカラーフィルタを設けたものである。
【０００６】
すなわち、図１５に示すように、第１のセンサ列２０１Ｒは、赤色を検出するものであり、赤色光を透過するカラーフィルタを透過した光成分を光電変換素子Ｒ１〜Ｒ５３４０からなる画素列で受光し、その受光量に応じた信号電荷を発生する。また、第２のセンサ列２０１Ｇは、緑色を検出するものであり、緑色光を透過するカラーフィルタを透過した光成分を光電変換素子Ｇ１〜Ｇ５３４０からなる画素列で受光し、その受光量に応じた信号電荷を発生する。また、第３のセンサ列２０１Ｂは、青色を検出するものであり、青色光を透過するカラーフィルタを透過した光成分を光電変換素子Ｂ１〜Ｂ５３４０からなる画素列で受光し、その受光量に応じた信号電荷を発生する。
【０００７】
各センサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂによる光電変換によって発生した信号電荷は、読み出しゲート２０２Ｒ，２０２Ｇ，２０２Ｂで読み出されてそれぞれ水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂに出力される。そして、このように出力された信号電荷は、水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂによって転送され、出力部であるフローティングフュージョンアンプ（以下、「ＦＤ部」と呼ぶ。) ２２０Ｒ，２２０Ｇ，２２０Ｂに転送される。ＦＤ部では信号電荷を電圧信号に変換してカラーリニアセンサ２００から出力する。
【特許文献１】特開２００３−１１５４６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、カラーリニアセンサにおいて製造コストを削減するためには、そのチップサイズを縮小して、ウェーハ１枚辺りに製造できるカラーリニアセンサの数を増やす必要がある。
【０００９】
ところが、各センサ列においてその解像度や画素のピッチが決まっていると、カラーリニアセンサの主走査方向の長さＬ（図１４参照。）は必然的に決まることになる。
【００１０】
従って、このような場合にカラーリニアセンサのチップサイズを縮小しようとすると、カラーリニアセンサの副走査方向（カラーリニアセンサを移動させる方向）の長さＷ（図１４参照。）を縮小しなければならない。
【００１１】
しかしながら、従来のカラーリニアセンサ２００では、３つのセンサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂのそれぞれに対して水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂ及びＦＤ部２２０Ｒ，２２０Ｇ，２２０Ｂを備える構造となっている。そのため、水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂの領域面積が支配的になり、副走査方向の長さＷを縮小することが困難となっていた。
【００１２】
しかも、水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂは、センサ動作の転送の阻害要因となる端子容量に関わっており、水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂの領域面積が大きいほど、端子容量が増加し、転送劣化の原因となっていた。
【００１３】
さらには、各センサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂに対応してＦＤ部２２０Ｒ，２２０Ｇ，２２０Ｂがあることで、これら３つのＦＤ部２２０Ｒ，２２０Ｇ，２２０Ｂの発熱により、カラーリニアセンサ２００の動作温度が上昇する問題があった。
【００１４】
また、従来のカラーリニアセンサ２００では、３色のセンサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂで画像を再現しているが、各センサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂの間に水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂがある。そのため、カラーリニアセンサ２００を移動させるセットモータ精度や水平電荷転送部２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂの間隔によっては、副走査方向に対する色ずれが発生してしまうおそれがある。さらに、各センサ列２０１Ｒ，２０１Ｇ，２０１Ｂの出力信号を画像処理する際に、離間距離を補正する内部メモリが多く必要となる問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
かかる課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列と、前記第１〜第３のセンサ列の各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと、少なくとも前記読み出しゲートにより前記第２及び第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、前記第１〜第３のセンサ列から読み出された信号電荷を水平方向に転送する水平電荷転送部と、を備えたものである。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の固体撮像素子において、前記水平電荷転送部は、前記読み出しゲートにより前記第１のセンサ列から読み出された信号電荷と前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷とを水平方向に転送するものである。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の固体撮像素子において、前記垂直電荷転送部は、前記読み出しゲートにより前記第１〜第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送し、前記水平電荷転送部は、前記第１〜第３のセンサ列から読み出されて前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷を水平方向に転送するものである。
【００１８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の固体撮像素子において、前記読み出しゲートをＬ字状に形成したものである。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の固体撮像素子において、前記読み出しゲートをＩ字状に形成したものである。
【００２０】
また、請求項６に記載の発明は、固体撮像素子の駆動方法であって、前記固体撮像素子は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列と、前記第１〜第３のセンサ列の各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと、前記読み出しゲートにより前記第２及び第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、前記読み出しゲートにより前記第１のセンサ列から読み出された信号電荷と前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷とを水平方向に転送する水平電荷転送部と、を備えており、前記読み出しゲートを制御して前記第１〜第３のセンサ列の各画素に蓄積された信号電荷をそれぞれ第１〜第３の信号電荷として読み出すステップと、前記読み出しゲートで読み出された前記第１の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するとともに、前記垂直電荷転送部を制御して前記第２の信号電荷及び前記第３の信号電荷を前記垂直電荷転送部へ転送するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第１の信号電荷を出力部へ出力するステップと、前記垂直電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を出力部へ出力するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を出力部へ出力するステップと、を有するものである。
【００２１】
また、請求項７に記載の発明は、固体撮像素子の駆動方法であって、前記固体撮像素子は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成され、それぞれ異なる分光感度を有する第１〜第３のセンサ列と、前記第１〜第３のセンサ列の各画素に隣接して形成され、これらの画素に蓄積された信号電荷を読み出す読み出しゲートと、前記読み出しゲートにより前記第１〜第３のセンサ列から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、前記第１〜第３のセンサ列から読み出されて前記垂直電荷転送部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平電荷転送部と、を備えており、前記読み出しゲートを制御して第１〜第３のセンサ列の各画素に蓄積された信号電荷をそれぞれ第１〜第３の信号電荷として読み出すステップと、前記垂直電荷転送部を制御して前記第１の信号電荷〜前記第３の信号電荷を前記垂直電荷転送部へ転送するステップと、前記垂直電荷転送部を制御して前記第１の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第１の信号電荷を出力部へ出力するステップと、前記垂直電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第２の信号電荷を出力部へ出力するステップと、前記垂直電荷転送部を制御して前記垂直電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を前記水平電荷転送部に転送するステップと、前記水平電荷転送部を制御して前記水平電荷転送部に転送された前記第３の信号電荷を出力部へ出力するステップと、を有するものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、異なる分光感度を有する３つのセンサ列に対して、１つの水平電荷転送部と１つの出力部とを設ければよいため、水平電荷転送部と出力部とを従来構造に比べて３分の１にすることができ、チップサイズの縮小によりコスト削減が実現できる。また、出力部で消費されていた電流も３分の１に減少するため、リニアセンサの発熱を抑えることができ、動作温度を下げることが可能となる。さらに水平電荷転送部を３ラインから１ラインに削減できるため、水平電荷転送部の端子容量に関わる電極面積が小さくなり、端子容量の削減が可能となる。このため、高速化を実現することができ、また、水平電荷転送部を駆動させるタイミング信号発生器の部品数を減らすことができ、リニアセンサを実装する装置のコスト削減を図ることができる。しかも、３つのセンサ列間を隣接することができる。このため、副走査方向に対する色ずれの改善、さらに、リニアセンサからの出力信号を画像処理する際に、離間距離を補正する内部メモリを少なくすることができる。また、読み出しゲートを３つの画素に付加しているため、垂直電荷転送部に印加する電源バイアスを２電源とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明のいくつかの実施形態について説明する。
［１．第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態にかかる固体撮像素子として、３ラインＣＣＤカラーリニアセンサ （以下、単に「カラーリニアセンサ」と呼ぶ。）２を備えた固体撮像装置１の構成を示している。
【００２４】
図１に示すように、第１実施形態に係る固体撮像装置１は、カラーリニアセンサ２及びこのカラーリニアセンサ２に駆動パルスを供給するタイミング信号発生器３を備えている。
【００２５】
カラーリニアセンサ２は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成される第１〜第３のセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、水平電荷転送部１１と、出力部であるフローティングフュージョンアンプ１２（以下、「ＦＤ部１２」と呼ぶ。)とを備えている。そして、タイミング信号発生器３による駆動パルスによって、これらセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの各画素に蓄積された信号電荷が水平電荷転送部１１を介して出力部であるＦＤ部１２から出力される。
【００２６】
ここで、第１のセンサ列１０Ｒは、赤色を検出するものであり、赤色光を透過するカラーフィルタを透過した光成分を複数の光電変換素子Ｒ１〜Ｒ５３４０からなる画素列で受光し、各光電変換素子の受光量に応じた信号電荷をそれぞれ発生する。また、第２のセンサ列１０Ｇは、緑色を検出するものであり、緑色光を透過するカラーフィルタを透過した光成分を複数の光電変換素子Ｇ１〜Ｇ５３４０からなる画素列で受光し、各光電変換素子の受光量に応じた信号電荷をそれぞれ発生する。また、第３のセンサ列１０Ｂは、青色を検出するものであり、青色光を透過するカラーフィルタを透過した光成分を複数の光電変換素子Ｂ１〜Ｂ５３４０からなる画素列で受光し、各光電変換素子の受光量に応じた信号電荷をそれぞれ発生する。
【００２７】
第１〜第３のセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、図１に示すように隣接して配置されており、各センサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの各画素も隣接して配置される。そして、３色の画素を一つの読み出し単位Ａとして、各画素の光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂで蓄積した信号電荷を水平電荷転送部１１に出力する。例えば、光電変換素子Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１を有する３色の画素を含む領域が一つの読み出し単位Ａ１となり、光電変換素子Ｒ５３４０，Ｇ５３４０，Ｂ５３４０を有する３色の画素を含む領域が一つの読み出し単位Ａ５３４０となる。
【００２８】
ここで各読み出し単位Ａの構成について説明する。図２はカラーリニアセンサ２の読み出し単位Ａの構成を示す図である。
【００２９】
図２に示すように、読み出し単位Ａは、３色の画素１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂと、Ｌ字状の読み出しゲート２０と、垂直電荷転送部３０とから構成される。なお、垂直電荷転送部３０には第１電極Ｖ１及び第２電極Ｖ２が形成される。
【００３０】
３色の画素１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂが隣接して形成される。また、各画素１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂの周囲にチャネルストップ（ＣＳ）４１〜４７が設けられ、センサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ間の画素混色を防いでいる。
【００３１】
そして、光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂには読み出す読み出しゲート２０が隣接して形成され、光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂに蓄積された信号電荷が読み出しゲート２０によって読み出される。なお、読み出しゲート２０には、読み出しパルスφＲＯＧが印加される。このφＲＯＧは高位レベル（ 以下、「Ｈレベル」と呼ぶ。） 及び低位レベル（ 以下、「Ｌレベル」と呼ぶ。）の２値をとり、この読み出しパルスφＲＯＧにより信号電荷が読み出される。
【００３２】
読み出しゲート２０によって光電変換素子Ｇ，Ｂから読み出された信号電荷は垂直電荷転送部３０により垂直方向に転送される。なお、垂直電荷転送部３０の第１電極Ｖ１には垂直駆動パルスφＶ１が印加され、第２電極Ｖ２には垂直駆動パルスφＶ２が印加される。この垂直駆動パルスφＶ１，φＶ２はＨレベル及びＬレベルの２値をとり、これらにより信号電荷の転送が行われる。
【００３３】
そして、読み出しゲート２０により第１のセンサ列１０Ｒの光電変換素子Ｒから読み出された信号電荷と垂直電荷転送部３０から転送された光電変換素子Ｇ、Ｂの信号電荷とが水平電荷転送部１１により水平方向に転送される。なお、水平電荷転送部１１は２相駆動であり、Ｈレベル及びＬレベルの２値を交互にとる水平駆動パルスφＨ１，φＨ２が印加され、これらにより信号電荷の転送が行われる。
【００３４】
以上のように構成されたカラーリニアセンサ２の動作について図面を参照して具体的に説明する。図３はカラーリニアセンサ２に印加する駆動パルスのタイミング図であり、図４は光電変換素子Ｒ，Ｇ、Ｂからの信号電荷の移動動作を説明するための図である。なお、図４においては、光電変換素子Ｒの信号電荷を第１の信号電荷ＱＲ、光電変換素子Ｇの信号電荷を第２の信号電荷ＱＧ、光電変換素子Ｂの信号電荷を第３の信号電荷ＱＢとし、読み出し単位Ａにおける各タイミングｔ１〜ｔ９時（図３参照。）の各信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢの状態を示している。
【００３５】
まず、図３に示すように、タイミングｔ１では、タイミング信号発生器３から印加される信号は、読み出しパルスφＲＯＧがＬレベル、垂直駆動パルスφＶ１，φＶ２がＨレベル、水平駆動パルスφＨ１がＨレベル、水平駆動パルスφＨ２がＬレベルとなる。従って、各センサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの光電変換素子Ｒ，Ｇ、Ｂにそれぞれ信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢが蓄積される（図４（ａ）参照。）。
【００３６】
次に、タイミング信号発生器３は、読み出しパルスφＲＯＧをＬレベルからＨレベルへ変化させて読み出しゲート２０に印加する（図３に示すタイミングｔ２参照。）。これにより、光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂに蓄積された第１〜第３の信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢが読み出しゲート２０によって読み出される（図４（ｂ）参照。）。
【００３７】
その後、タイミング信号発生器３は、読み出しパルスφＲＯＧをＨレベルからＬレベルへ変化させて読み出しゲート２０に印加する（図３に示すタイミングｔ３参照。）。これにより、読み出しゲート２０によって読み出された信号電荷ＱＲが水平電荷転送部１１へ転送される（図４（ｃ）参照。）。
【００３８】
次に、タイミング信号発生器３は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１に印加する（図３に示すタイミングｔ４参照。）。これにより、第１の信号電荷ＱＲが水平電荷転送部１１から出力部であるＦＤ部１２に出力される（図４（ｄ）参照。）。
【００３９】
その後、タイミング信号発生器３は、垂直駆動パルスφＶ１をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第１電極Ｖ１へ印加する（図３に示すタイミングｔ５参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０から第２の信号電荷ＱＧが読み出されて水平電荷転送部１１へ転送される（図４（ｅ）参照。）。
【００４０】
次に、タイミング信号発生器３は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１に印加する（図３に示すタイミングｔ６参照。）。これにより、第２の信号電荷ＱＧが水平電荷転送部１１から出力部であるＦＤ部１２に出力される（図４（ｆ）参照。）。
【００４１】
その後、タイミング信号発生器３は、垂直駆動パルスφＶ２をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第２電極Ｖ２へ印加する（図３に示すタイミングｔ７参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０の第２電極Ｖ２付近に位置する第３の信号電荷ＱＢが第１電極Ｖ１付近へ移動する（図４（ｇ）参照。）
【００４２】
その後、タイミング信号発生器３は、垂直駆動パルスφＶ１をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第１電極Ｖ１へ印加する（図３に示すタイミングｔ８参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０から第３の信号電荷ＱＢが読み出されて水平電荷転送部１１へ転送される（図４（ｈ）参照。）。
【００４３】
次に、タイミング信号発生器３は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１に印加する（図３に示すタイミングｔ９参照。）。これにより、第３の信号電荷ＱＢが水平電荷転送部１１から出力部であるＦＤ部１２に出力される（図４（ｉ）参照。）。
【００４４】
このようにして各センサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの光電変換素子Ｒ，Ｇ、Ｂにそれぞれ蓄積された信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢがＦＤ部１２に出力される。
【００４５】
以上のように第１実施形態におけるカラーリニアセンサ２では、異なる分光感度を有する３つのセンサ列１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、１つの水平電荷転送部１１と、１つのＦＤ部１２とで３色のカラーリニアセンサを構成することができる。
【００４６】
従って、水平電荷転送部１１とＦＤ部１２とを従来構造に比べて３分の１にすることができ、チップ幅長Ｗを短くしてチップサイズを縮小させることができるため、コスト削減を実現することができる。
【００４７】
また、出力部であるＦＤ部で消費されていた電流も３分の１に減少するため、カラーリニアセンサ２の発熱を抑えることができ、動作温度を下げることが可能となる。
【００４８】
さらに水平電荷転送部を３ラインから１ラインに削減できるため、水平電荷転送部の端子容量に関わる電極面積が小さくなり、端子容量の削減が可能となる。このため、高速化を実現することができ、また、水平電荷転送部を駆動させるタイミング信号発生器３の部品数を減らすことができるので、カラーリニアセンサ２を実装する装置のコスト削減を図ることができる。
【００４９】
しかも、従来のカラーリニアセンサ２００のようにセンサ列間に水平電荷転送部を設ける必要がないため、３つのセンサ列間を隣接することができる。このため、副走査方向に対する色ずれの改善ができ、さらに、カラーリニアセンサ２からの出力信号を画像処理する際に、離間距離を補正する内部メモリを少なくすることができる。
【００５０】
また、第１実施形態におけるカラーリニアセンサ２では、読み出しゲート２０を３色の画素の光電変換素子に隣接して形成していることから、垂直電荷転送部３０の第１電極Ｖ１及び第２電極Ｖ２に印加する電源バイアスを２電源とすることができる。
【００５１】
一方、図５及び図６に示すように、１つのセンサ列の光電変換素子のみに読み出しゲートを隣接形成して付加したリニアセンサ１０２では、電源バイアスを３電源としなければならない。なお、図５は１つのセンサ列１１０Ｒの光電変換素子Ｒのみに読み出しゲート１２０を付加したリニアセンサ１０２の構成図、図６はリニアセンサ１０２の読み出し単位ＡＡの構成を示す図である。
【００５２】
ここで、１つのセンサ列１１０Ｒの光電変換素子Ｒのみに読み出しゲート１２０を付加したリニアセンサ１０２の動作について説明する。なお、図７はリニアセンサ１０２に印加する駆動パルスのタイミング図であり、図８は光電変換素子Ｒ，Ｇ、Ｂからの信号電荷の移動動作を説明するための図である。なお、図８においては、光電変換素子Ｒの信号電荷をＱＲ、光電変換素子Ｇの信号電荷をＱＧ、光電変換素子Ｂの信号電荷をＱＢとし、読み出し単位ＡＡにおける各タイミングｔ１’〜ｔ９ ’時（図７参照。）の信号電荷の状態を示している。
【００５３】
まず、図７に示すタイミングｔ１’では、図示しないタイミング信号発生器から印加される信号は、読み出しパルスφＲＯＧがＬレベル、垂直駆動パルスφＶ１がＬレベル、垂直駆動パルスφＶ２が中位レベル（以下、「Ｍレベル」と呼ぶ。）となる。また、水平駆動パルスφＨ１がＨレベル、水平駆動パルスφＨ２がＬレベルとなる。従って、各画素１１３Ｒ，１１３Ｇ，１１３Ｂの光電変換素子Ｒ，Ｇ、Ｂにそれぞれ信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢが蓄積される（図８（ａ）参照。）。
【００５４】
次に、タイミング信号発生器は、読み出しパルスφＲＯＧをＬレベルからＨレベルへ変化させて読み出しゲート１２０に印加する。また、垂直駆動パルスφＶ１をＬレベルからＨレベルへ変換させて電極Ｖ１へ印加し、垂直駆動パルスφＶ２をＭレベルからＨレベルへ変化させて電極Ｖ２へ印加する（図７に示すタイミングｔ２’参照。）。これにより、光電変換素子Ｒに蓄積された信号電荷ＱＲが読み出しゲート１２０によって読み出され、光電変換素子Ｇ，Ｂに蓄積された信号電荷ＱＧ，ＱＢが垂直電荷転送部１３０に読み出される（図８（ｂ）参照。）。
【００５５】
次に、タイミング信号発生器は、垂直駆動パルスφＶ１，φＶ２をＨレベルからＭレベルへ変化させて電極Ｖ１，Ｖ２へ印加する（図７に示すタイミングｔ３’参照。）。このようにＭレベルの垂直駆動パルスφＶ１，φＶ２を電極Ｖ１，Ｖ２へ印加するのは、垂直電荷転送部１３０から水平電荷転送部１１１へ信号電荷ＱＧ，ＱＢが転送されないようにするためである。
【００５６】
次に、タイミング信号発生器は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１１に印加する（図７に示すタイミングｔ４’参照。）。これにより、信号電荷ＱＲが水平電荷転送部１１１からＦＤ部１１２に出力される（図８（ｄ）参照。）。
【００５７】
その後、タイミング信号発生器は、垂直駆動パルスφＶ１をＭレベルからＬレベルへ変化させて電極Ｖ１へ印加する（図７に示すタイミングｔ５’参照。）。これにより、垂直電荷転送部１３０から信号電荷ＱＧが読み出されて水平電荷転送部１１１へ転送される（図８（ｅ）参照。）。
【００５８】
次に、タイミング信号発生器は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１１に印加する（図７に示すタイミングｔ６’参照。）。これにより、信号電荷ＱＧが水平電荷転送部１１１からＦＤ部１１２に出力される（図８（ｆ）参照。）。
【００５９】
その後、タイミング信号発生器は、垂直駆動パルスφＶ１をＬレベルからＭレベルへ変化させて電極Ｖ１へ印加し、垂直駆動パルスφＶ２をＭレベルからＬレベルへ変化させて電極Ｖ２へ印加する（図７に示すタイミングｔ７’参照。）。これにより、垂直電荷転送部１３０の第２電極Ｖ２付近に位置する信号電荷ＱＢが第１電極Ｖ１付近へ移動する（図８（ｇ）参照。）
【００６０】
その後、タイミング信号発生器は、垂直駆動パルスφＶ１をＭレベルからＬレベルへ変化させて電極Ｖ１へ印加し、垂直駆動パルスφＶ２をＬレベルからＭレベルへ変化させて電極Ｖ２へ印加する（図７に示すタイミングｔ８’参照。）。これにより、垂直電荷転送部１３０から信号電荷ＱＢが水平電荷転送部１１１に読み出される（図８（ｈ）参照。）。
【００６１】
次に、タイミング信号発生器は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１１に印加する（図７に示すタイミングｔ９’参照。）。これにより、信号電荷ＱＢが水平電荷転送部１１１からＦＤ部１１２に出力される（図８（ｉ）参照。）。
【００６２】
このように、図５，６に示すセンサ構造を採用した場合、垂直電荷転送部１３０に印加する垂直駆動パルスφＶ１, φＶ２がＨレベルのときにセンサ列からの信号電荷の読み出しとなり、垂直電荷転送部１３０の転送では、Ｈレベルのバイアス条件を使用できない。このため、Ｍレベルのバイアスを使用して、垂直電荷転送部１３０の転送を行なっており、電源バイアスが３電源必要となってしまう。
【００６３】
しかし、第１実施形態におけるカラーリニアセンサ２では、読み出しゲート２０を各光電変換素子Ｒ，Ｇ、Ｂに隣接形成して付加することで、垂直電荷転送部３０のバイアス条件をＨ／Ｍ／Ｌレベルの３電源からＨ／Ｌレベル２電源にすることができる。従って、カラーリニアセンサ２を実装する装置のコスト削減を図ることができる。
【００６４】
［２．第２実施形態］
上述した第１実施形態のカラーリニアセンサ２では、読み出しゲートをＬ字状に形成して、３つの光電変換素子に付加することとしたが、第２実施形態のカラーリニアセンサ２’では、読み出しゲートをＩ字状に形成して、３つの光電変換素子に付加するものである。
【００６５】
以下、固体撮像素子として第２実施形態のカラーリニアセンサ２’を備えた固体撮像装置１’の構成及び動作について図面を参照して具体的に説明する。なお、第１実施形態の固体撮像装置１と同一の構成は同一符号を付して説明する。図９は、第２実施形態にかかるカラーリニアセンサ２’を備えた固体撮像装置１’の構成を示す図、図１０はカラーリニアセンサ２’の読み出し単位Ａ’の構成を示す図である。
【００６６】
図９に示すように、第２実施形態のカラーリニアセンサ２’は、入射光を光電変換する複数の画素が列状に形成される第１〜第３のセンサ列１０Ｒ’，１０Ｇ’，１０Ｂ’と、水平電荷転送部１１と、出力部であるＦＤ部１２とを備えている。そして、タイミング信号発生器３’による駆動パルスによって、これらセンサ列１０Ｒ’，１０Ｇ’，１０Ｂ’の各画素に蓄積された信号電荷が水平電荷転送部１１を介してＦＤ部１２から出力される。
【００６７】
第１〜第３のセンサ列１０Ｒ’，１０Ｇ’，１０Ｂ’の各画素は、図９に示すように隣接して配置されている。そして、３色の画素を一つの読み出し単位Ａ’として、各画素の光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂで蓄積した信号電荷が水平電荷転送部１１に出力される。例えば、光電変換素子Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１を有する３色の画素を含む領域が一つの読み出し単位Ａ１’となり、光電変換素子Ｒ５３４０，Ｇ５３４０，Ｂ５３４０を有する３色の画素を含む領域が一つの読み出し単位Ａ５３４０’となる。
【００６８】
ここで各読み出し単位Ａ’の構成について説明する。
【００６９】
図１０に示すように、読み出し単位Ａ’は、３色の画素１３Ｒ’，１３Ｇ’，１３Ｂ’と、Ｉ字状の読み出しゲート２０’と、垂直電荷転送部３０’とから構成される。なお、垂直電荷転送部３０’には第１電極Ｖ１、第２電極Ｖ２及び第３電極Ｖ３が形成される。
【００７０】
３色の画素１３Ｒ’，１３Ｇ’，１３Ｂ’は隣接して形成される。また、各画素１３Ｒ’，１３Ｇ’，１３Ｂ’の光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂの周囲にチャネルストップ（ＣＳ）４１〜４６，４７’が設けられ、センサ列１０Ｒ’，１０Ｇ’，１０Ｂ’間の画素混色を防いでいる。
【００７１】
そして、光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂには読み出す読み出しゲート２０’が隣接して形成され、光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂに蓄積された信号電荷が読み出しゲート２０’によって読み出される。
【００７２】
読み出しゲート２０’によって光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂから読み出された信号電荷は垂直電荷転送部３０’により垂直方向に転送される。
【００７３】
その後、垂直電荷転送部３０’から転送された光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂの信号電荷が水平電荷転送部１１により水平方向に転送される。なお、読み出しゲート２０’には読み出しパルスφＲＯＧが印加され、垂直電荷転送部３０’の第１〜第３電極Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３には垂直駆動パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３が印加される。また、水平電荷転送部１１は２相駆動であり、Ｈレベル及びＬレベルの２値を交互にとる水平駆動パルスφＨ１，φＨ２が印加され、これらにより信号電荷の転送が行われる。
【００７４】
以上のように構成されたカラーリニアセンサ２’の動作について図面を参照して具体的に説明する。図１１はカラーリニアセンサ２’に印加する駆動パルスのタイミング図であり、図１２は光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂからの信号電荷の移動動作を説明するための図である。
【００７５】
まず、図１１に示すように、タイミングｔ１１では、タイミング信号発生器３’から印加される信号のレベルは、読み出しパルスφＲＯＧがＬレベル、垂直駆動パルスφＶ１，φＶ２，φＶ３がＨレベルとなる。また、水平駆動パルスφＨ１がＨレベル、水平駆動パルスφＨ２がＬレベルとなる。従って、各画素１３Ｒ’，１３Ｇ’，１３Ｂ’の光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ第１〜第３の信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢが蓄積される（図１２（ａ）参照。）。
【００７６】
次に、タイミング信号発生器３’は、読み出しパルスφＲＯＧをＬレベルからＨレベルへ変化させて読み出しゲート２０’に印加する（タイミングｔ１２参照。）。これにより、光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂに蓄積された第１〜第３の信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢが読み出しゲート２０’によって読み出される（図１２（ｂ）参照。）。
【００７７】
その後、タイミング信号発生器３’は、読み出しパルスφＲＯＧをＨレベルからＬレベルへ変化させて読み出しゲート２０’に印加する（タイミングｔ１３参照。）。これにより、読み出しゲート２０’から垂直電荷転送部３０’へ第１〜第３の信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢが転送される（図１２（ｃ）参照。）。
【００７８】
次に、タイミング信号発生器３’は、垂直駆動パルスφＶ１をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第１電極Ｖ１へ印加する（タイミングｔ１４参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０’から第１の信号電荷ＱＲが読み出されて水平電荷転送部１１へ転送される（図１２（ｄ）参照。）。
【００７９】
次に、タイミング信号発生器３’は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１に印加する（タイミングｔ１５参照。）。これにより、第１の信号電荷ＱＲが水平電荷転送部１１から出力部であるＦＤ部１２に出力される（図１２（ｅ）参照。）。
【００８０】
その後、タイミング信号発生器３’は、垂直駆動パルスφＶ２をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第２電極Ｖ２へ印加する（タイミングｔ１６参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０’の第２電極Ｖ２付近に位置する第２の信号電荷ＱＧが第１電極Ｖ１付近へ移動する（図１２（ｆ）参照。）。
【００８１】
その後、タイミング信号発生器３’は、垂直駆動パルスφＶ１, φＶ３をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第１電極Ｖ１，第３電極Ｖ３へ印加する（タイミングｔ１７参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０’から第２の信号電荷ＱＧが読み出されて水平電荷転送部１１へ転送され、垂直電荷転送部３０’の第３電極Ｖ３付近に位置する第３の信号電荷ＱＢが第２電極Ｖ２付近へ移動する（図１２（ｇ）参照。）。
【００８２】
次に、タイミング信号発生器３’は、水平駆動パルスφＨ１，φ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１に印加する（タイミングｔ１８参照。）。これにより、信号電荷ＱＧが水平電荷転送部１１から出力部であるＦＤ部１２に出力される（図１２（ｈ）参照。）。
【００８３】
その後、タイミング信号発生器３’は、垂直駆動パルスφＶ２をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第２電極Ｖ２へ印加する（タイミングｔ１９参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０’の第２電極Ｖ２付近に位置する第３の信号電荷ＱＢが第１電極Ｖ１付近へ移動する（図１２（ｉ）参照。）
【００８４】
その後、タイミング信号発生器３’は、垂直駆動パルスφＶ１をＨレベルからＬレベルへ所定期間変化させて第１電極Ｖ１へ印加する（タイミングｔ２０参照。）。これにより、垂直電荷転送部３０’から第３の信号電荷ＱＢが読み出されて水平電荷転送部１１へ転送される（図１２（ｊ）参照。）。
【００８５】
次に、タイミング信号発生器３’は、水平駆動パルスφＨ１，φＨ２を交互にＬレベルとＨレベルとに変化させながら水平電荷転送部１１に印加する（タイミングｔ２１参照。）。これにより、信号電荷ＱＢが水平電荷転送部１１から出力部であるＦＤ部１２に出力される（図１２（ｋ）参照。）。
【００８６】
このようにして各センサ列１０Ｒ’，１０Ｇ’，１０Ｂ’の光電変換素子Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ蓄積された第１〜第３の信号電荷ＱＲ，ＱＧ，ＱＢがＦＤ部１２に出力される。
【００８７】
以上のように構成されているため、第２実施形態にかかるカラーリニアセンサ２’では、第１実施形態のカラーリニアセンサ２と同様の効果を得ることができる。
【００８８】
また、第２実施形態にかかるカラーリニアセンサ２’では、各センサ列の各画素から信号電荷を読み取る時間が第１実施形態にかかるカラーリニアセンサ２よりも長いものの、読み出し単位Ａ’において、読み出しゲート２０’がＩ字状に構成されている。したがって、読み出し単位Ａ’の面積を読み出し単位Ａの面積より小さくすることができ、チップ幅長Ｗが短くなってチップサイズが縮小し、コスト削減が実現できる。
【００８９】
［３．適用例］
上述した実施形態にかかる固体撮像装置１，１’は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置（カメラモジュール）において、その撮像デバイスとして用いて好適なものである。
【００９０】
図１３は、本発明の一実施形態にかかる撮像装置の構成の一例を示すブロック図である。図１３に示すように、本例に係る撮像装置５０は、光学系の一部であるレンズ５１、撮像デバイス５２、信号処理回路５３およびコントローラ５４によって構成されている。
【００９１】
レンズ５１は被写体からの像光を撮像デバイス５２の撮像面に結像する。撮像デバイス５２は、レンズ５１によって撮像面に結像された像光を画素単位で電気信号に変換して得られる画像信号を出力する。この撮像デバイス５２として、先述した実施形態にかかる固体撮像装置１，１’が用いられる。
【００９２】
信号処理回路５３は、撮像デバイス５２から出力される画像信号の信号レベルを増幅するアンプ等を有し、当該画像信号に対して種々の信号処理を行う。コントローラ５４は、ユーザによって設定される各動作モードに対応して撮像デバイス５２や信号処理回路５３の制御を行う。
【００９３】
上述したように、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置において、その撮像デバイス４２として先述した実施形態にかかる固体撮像装置１，１’を搭載することで、コスト削減や消費電力の削減を行うことができる。
【００９４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００９５】
例えば、センサ列を赤、緑、青の順に配置したがこれに限らず、赤、青、緑の順や青、緑、赤の順に配置するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるカラーリニアセンサを備えた固体撮像装置の構成を示す図である。
【図２】第１実施形態にかかるカラーリニアセンサの読み出し単位の構成を示す図である。
【図３】第１実施形態にかかるカラーリニアセンサに印加する駆動パルスのタイミング図である。
【図４】光電変換素子からの信号電荷の移動動作を説明するための図である。
【図５】１つのセンサ列の光電変換素子のみに読み出しゲートを付加したカラーリニアセンサの構成図である。
【図６】図５に示すカラーリニアセンサの読み出し単位の構成を示す図である。
【図７】図５に示すカラーリニアセンサに印加する駆動パルスのタイミング図である。
【図８】光電変換素子からの信号電荷の移動動作を説明するための図である。
【図９】第２実施形態にかかるカラーリニアセンサを備えた固体撮像装置の構成を示す図である。
【図１０】第２実施形態にかかるカラーリニアセンサの読み出し単位の構成を示す図である。
【図１１】第２実施形態にかかるカラーリニアセンサに印加する駆動パルスのタイミング図である。
【図１２】光電変換素子からの信号電荷の移動動作を説明するための図である。
【図１３】本発明の一実施形態にかかる撮像装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図１４】従来のカラーリニアセンサの外観斜視図である。
【図１５】従来のカラーリニアセンサの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９７】
１，１’  固体撮像装置
２，２’  リニアセンサ
３，３’  タイミング信号発生器
１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ，１０Ｒ‘，１０Ｇ’，１０Ｂ‘  センサ列
１１  水平電荷転送部
１２  ＦＤ部（出力部）
１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｇ，１３Ｒ‘，１３Ｇ’，１３Ｂ‘  画素
２０，２０’  読み出しゲート
３０，３０’  垂直電荷転送部
４１〜４７，４７’  チャンネルストップ（ＣＳ）
５０  撮像装置
【図１】
2010050841.tif 000003
【図９】
2010050841.tif 000004
【図２】
2010050841.tif 000005
【図３】
2010050841.tif 000006
【図４】
2010050841.tif 000007
【図５】
2010050841.tif 000008
【図６】
2010050841.tif 000009
【図７】
2010050841.tif 000010
【図８】
2010050841.tif 000011
【図１０】
2010050841.tif 000012
【図１１】
2010050841.tif 000013
【図１２】
2010050841.tif 000014
【図１３】
2010050841.tif 000015
【図１４】
2010050841.tif 000016
【図１５】
2010050841.tif 000017