(57)【要約】【課題】交換の必要なノズルを交換できる小型の液体噴射ヘッド、それを備えた液体噴射装置およびノズルの交換方法を提供すること。【解決手段】第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレート２０Ａを加熱または冷却すると、接着剤１６を介して取付枠２０１に力が加わる。このとき、接着剤１６の剥離が起こり、第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１から第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置にノズル開口２１交換のための機構を取付ける必要がなく、ノズルプレート２０の一部の交換でノズル開口２１の交換が行える小型のインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置を得ることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルプレートに設けられたノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートは、
前記ノズルが設けられた第１ノズルプレートと、
前記第１ノズルプレートとは異なる熱膨張係数を有し、前記第１ノズルプレートの取付枠が設けられた第２ノズルプレートとを備えている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１ノズルプレートは、前記第１ノズルプレートと前記取付枠との熱膨張差による押し合う力によって、前記取付枠に取付けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１ノズルプレートと前記第２ノズルプレートとは、接着剤によって接着されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１ノズルプレートはステンレス鋼からなり、前記第２ノズルプレートはシリコンからなる
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
ノズルプレートに設けられたノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドのノズルの交換方法であって、
前記ノズルプレートは、前記ノズルが設けられた第１ノズルプレートと、前記第１ノズルプレートとは異なる熱膨張係数を有し、前記第１ノズルプレートの取付枠が設けられた第２ノズルプレートとを備えており、
前記ノズルプレートの少なくとも一部を加熱または冷却する第１工程と、
前記第１ノズルプレートを前記取付枠から取り外す第２工程と、
前記第１ノズルプレートを前記取付枠に取付ける第３工程とを備えた
ことを特徴とするノズルの交換方法。
【請求項７】
請求項６に記載のノズルの交換方法において、
前記ノズルプレートの少なくとも一部は金属製であり、
前記第１工程は、前記ノズルプレートの金属部分に電気を流すことにより加熱を行う
ことを特徴とするノズルの交換方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載のノズルの交換方法において、
前記第３工程で、前記第１ノズルプレートを予め冷却した状態で前記取付枠に取付ける  ことを特徴とするノズルの交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートに設けられたノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッド、それを備えた液体噴射装置およびノズルの交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を噴射させる液体噴射ヘッドは、複数のノズルが形成されたノズルプレートを備えている。ここで、液体噴射ヘッドの製造工程時または使用時に、異物によるノズルの詰まり等の不良が発生したとき、ノズルプレートを交換する必要がある。
ノズルプレートを交換できる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置として、液体噴射ヘッドに吸引孔が穿設され、吸引孔を真空ポンプと接続して吸引することにより、ノズルプレートを吸引して密着させるものが知られている。ノズルプレート交換の際は、吸引を止めてノズルプレートを取り外し、新しいノズルプレートと交換する（特許文献１参照）。
また、ノズルである吐出口が形成された吐出面に複数枚のフィルム状の撥水性マイラーを重ね合わせて接着しておき、吐出不良が生じたら撥水性マイラーを１枚ずつ剥離することにより、吐出口の目詰まり防止を行うインクジェット記録装置が知られている（特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−６７３１１号公報（４頁、図２および図３）
【特許文献２】特開平４−２１４３５８号公報（３頁、図１〜図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
吸引によりノズルプレートを密着させて交換可能とする装置および方法では、吸引でノズルプレートを密着させて液漏れを防ぐためには、密着面の平面度を高める必要があり、加工が困難である。また、吸引用の真空ポンプ等が必要になり装置の小型化が難しい。さらに、ノズルプレート全体を交換しなければならず、無駄が多い。
撥水性マイラーを一枚ずつ剥離する装置および方法では、外部から付着した異物には有効であるが、ノズル内部からの異物による詰まりに対しては効果が少ない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
ノズルプレートに設けられたノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、前記ノズルプレートは、前記ノズルが設けられた第１ノズルプレートと、前記第１ノズルプレートとは異なる熱膨張係数を有し、前記第１ノズルプレートの取付枠が設けられた第２ノズルプレートとを備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０００７】
この適用例によれば、第１ノズルプレートと第２ノズルプレートとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレートを加熱または冷却すると、膨張により取付枠に力が加わる、あるいは収縮により取付枠の大きさに対して、第１ノズルプレートの大きさが小さくなる。この取付枠に加わる力や取付枠に対して大きさが小さくなることを利用して、第２ノズルプレートの取付枠から第１ノズルプレートを取り外せる。したがって、ノズル交換のための機構を液体噴射ヘッドに取付ける必要がなく、ノズルプレートの一部の交換でノズルの交換が行える小型の液体噴射ヘッドが得られる。
【０００８】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドであって、前記第１ノズルプレートは、前記第１ノズルプレートと前記取付枠との熱膨張差による押し合う力によって、前記取付枠に取付けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、取付枠に第１ノズルプレートを取付けるための接着剤等を使用することなくノズルの交換が行える液体噴射ヘッドが得られる。
【０００９】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドであって、前記第１ノズルプレートと前記第２ノズルプレートとは、接着剤によって接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、第１ノズルプレートと第２ノズルプレートとが接着剤で接着されているので、第１ノズルプレートと第２ノズルプレートの間からの液体の漏れが減少した液体噴射ヘッドが得られる。
【００１０】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドであって、前記第１ノズルプレートはステンレス鋼からなり、前記第２ノズルプレートはシリコンからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、ノズルの設けられた第１ノズルプレートがステンレス鋼なので、液体によるノズルの腐食が防げる。また、ステンレス鋼は、第２ノズルプレートのシリコンの熱膨張係数より大きな熱膨張係数を持つので、加熱または冷却することによりノズルの交換が行える液体噴射ヘッドが得られる。
【００１１】
［適用例５］
上記に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【００１２】
この適用例によれば、前述の効果を達成できる液体噴射装置が得られる。
【００１３】
［適用例６］
ノズルプレートに設けられたノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドのノズルの交換方法であって、前記ノズルプレートは、前記ノズルが設けられた第１ノズルプレートと、前記第１ノズルプレートとは異なる熱膨張係数を有し、前記第１ノズルプレートの取付枠が設けられた第２ノズルプレートとを備えており、前記ノズルプレートの少なくとも一部を加熱または冷却する第１工程と、前記第１ノズルプレートを前記取付枠から取り外す第２工程と、前記第１ノズルプレートを前記取付枠に取付ける第３工程とを備えたことを特徴とするノズルの交換方法。
【００１４】
この適用例によれば、第１ノズルプレートと第２ノズルプレートとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレートを加熱または冷却すると、膨張により取付枠に力が加わる、あるいは収縮により取付枠の大きさに対して、第１ノズルプレートの大きさが小さくなる。この取付枠に加わる力や取付枠に対して大きさが小さくなることを利用して、第２ノズルプレートの取付枠から第１ノズルプレートを取り外せる。したがって、第１ノズルプレートを加熱または冷却するだけで、ノズルプレートの一部の交換でノズルの交換が行えるノズルの交換方法が得られる。
なお、交換する第１ノズルプレートは、新たなまたは不良、不具合の改善した第１ノズルプレートでもよいし、改良により性能の向上した第１ノズルプレートでもよい。
【００１５】
［適用例７］
上記ノズルの交換方法であって、前記ノズルプレートの少なくとも一部は金属製であり、前記第１工程は、前記ノズルプレートの金属部分に電気を流ことにより加熱を行うことを特徴とするノズルの交換方法。
この適用例では、取付枠に力の加わった状態で、あるいは第１ノズルプレートの大きさが、取付枠の大きさより小さくなった状態で取り外すので、容易に第１ノズルプレートの取り外しが行えるノズルの交換方法が得られる。
【００１６】
［適用例８］
上記ノズルの交換方法であって、前記第３工程で、前記第１ノズルプレートを予め冷却した状態で前記取付枠に取付けることを特徴とするノズルの交換方法。
この適用例では、第１ノズルプレートの大きさが、取付枠の大きさより小さくなった状態で取付けるので、容易に第１ノズルプレートの取付けが行えるノズルの交換方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１は、実施形態における液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置１０００の一例を示す概略図である。
図１において、インクジェット式記録装置１０００は、記録ヘッドユニット１Ａおよび１Ｂを備えている。
記録ヘッドユニット１Ａおよび１Ｂには、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａおよび２Ｂが着脱可能に設けられている。記録ヘッドユニット１Ａおよび１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取付られたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【００１８】
記録ヘッドユニット１Ａおよび１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物およびカラーインク組成物を噴射する。そして、駆動モータ６の駆動力が、図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａおよび１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動する。一方、装置本体４には、キャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラ等により給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送される。
【００１９】
記録ヘッドユニット１Ａおよび１Ｂは、液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド１を記録シートＳに対向する位置に備えている。
図２に、インクジェット式記録ヘッド１を示す分解部分斜視図を示した。インクジェット式記録ヘッド１の形状は略直方体であり、図２は、インクジェット式記録ヘッド１の長手方向（図中の白抜き矢印方向）に直交する面で切断した分解部分斜視図である。
図３（ａ）には、インクジェット式記録ヘッド１の部分平面図を、（ｂ）には、（ａ）におけるＡ−Ａ断面図を示した。
【００２０】
図２および図３において、インクジェット式記録ヘッド１は、流路形成基板１０とノズルプレート２０と接合基板３０とコンプライアンス基板４０と駆動ＩＣ２００とを備えている。
流路形成基板１０とノズルプレート２０と接合基板３０とは、流路形成基板１０をノズルプレート２０と接合基板３０とで挟むように積み重ねられ、接合基板３０上には、コンプライアンス基板４０が形成されている。また、コンプライアンス基板４０上には、駆動ＩＣ２００が載せられている。
【００２１】
流路形成基板１０は、面方位（１１０）のシリコン単結晶板からなる。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が列をなすように形成されている。圧力発生室１２のインクジェット式記録ヘッド１の長手方向に直交する断面形状は台形状で、圧力発生室１２は、インクジェット式記録ヘッド１の幅方向に長く形成されている。
【００２２】
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の幅方向の一方端にはインク供給路１３が形成され、インク供給路１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられた連通部１４を介して連通されている。連通部１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１４から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
圧力発生室１２、連通部１４およびインク供給路１３等は、マスクを施したうえで、シリコン単結晶板を異方性エッチング（ウェットエッチング）することによって得られる。  具体的には、シリコン単結晶板を、例えば、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液等のエッチング液によってエッチングすることより、圧力発生室１２、連通部１４およびインク供給路１３を同時に形成する。
【００２３】
ノズルプレート２０は、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとを備えている。第１ノズルプレート２０Ａは、第２ノズルプレート２０Ｂの各圧力発生室１２のインク供給路１３とは反対側の端部近傍に取付けられている。
第１ノズルプレート２０Ａには、各圧力発生室１２ごとにノズルとしてのノズル開口２１が形成されている。第２ノズルプレート２０Ｂのノズル開口２１に対応する位置には、孔２０２が形成され、孔２０２を介してノズル開口２１と圧力発生室１２とが連通している。
【００２４】
図４に、第２ノズルプレート２０Ｂに取付けられた第１ノズルプレート２０Ａ付近の拡大断面図を、図５に、第２ノズルプレート２０Ｂから取り外された第１ノズルプレート２０Ａおよび第２ノズルプレート２０Ｂの部分平面図を示した。
図４において、第２ノズルプレート２０Ｂには、取付枠２０１が形成され、取付枠２０１に第１ノズルプレート２０Ａが取付けられている。
また、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとは、接着剤１６によって一部分が接着されている。実施形態では、取付枠２０１の底面２０１Ａと第１ノズルプレート２０Ａとが接着され、取付枠２０１の側面２０１Ｂでは接着されていない。
ここで、側面２０１Ｂと第１ノズルプレート２０Ａとの間は、すき間があってもよいし、なくてもよい。
【００２５】
なお、第１ノズルプレート２０Ａおよび第２ノズルプレート２０Ｂは、厚さが例えば、０．０１ｍｍ〜１ｍｍで、熱膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板または１１．０〜１７．３［×１０-6／℃］ステンレス鋼等からなる。
ここで、第１ノズルプレート２０Ａの材質は、第２ノズルプレート２０Ｂの材質とは熱膨張係数の異なるものを用いる。
実施形態では、第１ノズルプレート２０Ａとしてステンレス鋼であるＳＵＳ３０４を、第２ノズルプレート２０Ｂとしてシリコンを用いている。この場合、第１ノズルプレート２０Ａの熱膨張係数は２．５［×１０-6／℃］であり、第２ノズルプレート２０Ｂの熱膨張係数は１７．３［×１０-6／℃］である。
【００２６】
図２および図３において、流路形成基板１０とノズルプレート２０とは、接着剤１６によって接合されている。接着剤１６としては、例えば、エポキシ系の接着剤を用いることができる。
なお、流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着する接着剤１６と、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとを接着する接着剤１６は、同じ接着剤であってもよいし、異なる接着剤であってもよい。
【００２７】
第１ノズルプレート２０Ａを第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１に取付けるのは、以下の方法によって行う。
第１ノズルプレート２０Ａの第２ノズルプレート２０Ｂへの取付けは、流路形成基板１０にノズルプレート２０を接着する前でもよいし、第２ノズルプレート２０Ｂを流路形成基板１０に接着した後に、第１ノズルプレート２０Ａを第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１に取付けてもよい。
【００２８】
インクジェット式記録ヘッド１の保証温度範囲において、実施形態の図４に示すように、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂの側面２０１Ｂとの間に隙間がある場合は、接着剤１６によって第１ノズルプレート２０Ａを取付枠２０１に取付ける。
ここで、保証温度範囲とは、動作に関しては５℃〜４０℃、保管に関しては−４０℃〜６０℃程度である。
【００２９】
図６に、ノズル開口２１の交換方法を表すフロー図を示した。ノズル開口２１の交換は、第１ノズルプレート２０Ａを交換することによって行う。
ノズル開口２１の交換は、第１ノズルプレート２０Ａを加熱する加熱工程または第１ノズルプレート２０Ａを冷却する冷却工程であるステップ１（Ｓ１）と、第１ノズルプレート２０Ａを取付枠２０１から取り外す工程であるステップ２（Ｓ２）と、第１ノズルプレート２０Ａを取付枠２０１に取付る工程であるステップ３（Ｓ３）とを備えている。
【００３０】
ステップ１において、第１ノズルプレート２０Ａの加熱または冷却は、第１ノズルプレート２０Ａに電流を流したり、加熱あるいは冷却された治具を押し付けたり、レーザを照射したり、電磁波を照射したり、ペルチェ効果を利用したりして、第１ノズルプレート２０Ａを加熱、冷却する。
【００３１】
ステップ２において、第１ノズルプレート２０Ａを取付枠２０１から取り外す取外し工程では、第１ノズルプレート２０Ａの大きさが加熱、冷却によって変化することによって、第２ノズルプレート２０Ｂとの間の接着剤１６に応力が加わり、接着剤１６が剥がれ、取り外しが可能となる。
【００３２】
ステップ３において、取付枠２０１に取付ける第１ノズルプレート２０Ａは、新たな第１ノズルプレート２０Ａであってもよいし、取り外した第１ノズルプレート２０Ａのノズル開口２１の不具合、例えば、インク詰まりを洗浄等によって解消した第１ノズルプレート２０Ａであってもよい。
第１ノズルプレート２０Ａの取付枠２０１への取付けは、前述の方法によって行う。
【００３３】
第２ノズルプレート２０Ｂを加熱、冷却して第１ノズルプレート２０Ａを取り外す方法を採用しても良い。ただし、第２ノズルプレート２０Ｂを加熱、冷却すると、第２ノズルプレート２０Ｂが、流路形成基板１０から剥がれるので好ましくはない。
したがって、第１ノズルプレート２０Ａを加熱、冷却する際は、極力第２ノズルプレート２０Ｂが加熱、冷却されないようにするのが好ましい。
【００３４】
図２および図３に戻って、流路形成基板１０のノズルプレート２０が接合された面と対向する面には、弾性膜５０が形成されている。弾性膜５０は、熱酸化により形成された二酸化ケイ素膜からなる。
また、流路形成基板１０の弾性膜５０上には、酸化膜からなる絶縁体膜５１が形成されている。具体的には、弾性膜５０上に、例えば、スパッタ法等によりジルコニウム層を形成後、このジルコニウム層を、例えば、５００℃〜１２００℃の拡散炉で熱酸化することにより酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５１を形成する。
さらに、この絶縁体膜５１上には、下電極６０と、ペロブスカイト構造の圧電体層７０と、上電極８０とが形成され、圧力発生素子としての圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極６０、圧電体層７０および上電極８０を含む部分をいう。
【００３５】
圧電素子３００は、具体的には、以下のように形成する。
下電極６０を、白金等の金属やルテニウム酸ストロンチウム等の金属酸化物を絶縁体膜５１上に積層することにより形成する。
例えば、まず、イリジウム等を含む層を形成し、次いで白金等を含む層を形成し、さらにイリジウム等を含む層を形成する。下電極６０を構成する各層は、それぞれイリジウムまたは白金を絶縁体膜５１の表面にスパッタ法等で付着させて形成する。その後、この下電極６０を所定形状にパターニングする。
【００３６】
次に、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層７０と、例えば、Ａｕ、Ｉｒ等の金属からなる上電極８０とを形成する。その後、圧電体層７０および上電極８０をパターニングする。
【００３７】
また、圧電体層７０の形成方法は、特に限定されないが、例えば、実施形態では、金属有機物を触媒に溶解・分散した、いわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層７０を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電体層７０を形成することができる。
【００３８】
一般的には、圧電素子３００のいずれか一方の電極を共通電極とし、他方の電極および圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされたいずれか一方の電極および圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。
なお、実施形態では、下電極６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。いずれの場合においても、各圧力発生室１２毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる弾性膜５０および絶縁体膜５１（２膜合わせて振動板５３という）とを合わせてアクチュエータと称する。ここで、絶縁体膜５１は、振動板５３の一部として必ずしも形成されている必要はない。
【００３９】
図２および図３において、このような各圧電素子３００を構成する上電極８０には、上電極用リード電極９０が接続されている。
また、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ２００が実装される接合基板３０が接着剤３５によって接合されている。
接合基板３０は、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部３２を有する。圧電素子保持部３２は、圧力発生室１２の列に対応して設けられている。
【００４０】
なお、実施形態では、圧電素子保持部３２は、圧力発生室１２の列に対応する領域に一体的に設けられているが、圧電素子３００毎に独立して設けられていてもよい。
接合基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成する。
【００４１】
また、接合基板３０には、流路形成基板１０のインク供給路１３に対応する領域にリザーバ部３１が設けられている。このリザーバ部３１は、接合基板３０を厚さ方向に圧力発生室１２の列に沿って設けられており、流路形成基板１０のインク供給路１３と貫通孔５２によって連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００４２】
また、接合基板３０上には、図示しない外部配線が接続されて駆動信号が供給される配線パターンが設けられている。そして、配線パターン上に、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）である駆動ＩＣ２００がそれぞれ実装されている。
【００４３】
駆動信号は、例えば、駆動電源信号等の駆動ＩＣを駆動させるための駆動系信号のほか、シリアル信号（ＳＩ）等の各種制御系信号を含み、配線パターンは、それぞれの信号が供給される複数の配線で構成される。
【００４４】
下電極６０は、圧力発生室１２の長手方向では圧力発生室１２に対向する領域内に形成され、複数の圧力発生室１２に対応する領域に連続的に設けられている。また、下電極６０は、圧力発生室１２の列の外側まで延設されている。
【００４５】
上電極８０の一端部近傍には上電極用リード電極９０が接続されている。そして、駆動ＩＣ２００と各圧電素子３００から延設された上電極用リード電極９０とは、例えば、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線２２０によってそれぞれ電気的に接続されている。また、同様に、駆動ＩＣ２００と下電極６０とは、図示しない接続配線によって電気的に接続されている。
【００４６】
さらに、接合基板３０上には、封止膜４１および固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみである。
【００４７】
インクジェット式記録ヘッド１の製造方法としては、例えば、ウェハ状態で複数のインクジェット式記録ヘッド１を形成した後に各インクジェット式記録ヘッド１を切り離すことによって得られる。
【００４８】
このような実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレート２０Ａを加熱または冷却すると、接着剤１６を介して取付枠２０１に力が加わる。このとき、接着剤１６の剥離が起こり、第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１から第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００にノズル開口２１交換のための機構を取付ける必要がなく、ノズルプレート２０の一部の交換でノズル開口２１の交換が行える小型のインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００を得ることができる。
【００４９】
（２）第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとが接着剤１６で接着されているので、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂの間からのインクの漏れの減少したインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００を得ることができる。
【００５０】
（３）ノズル開口２１の設けられた第１ノズルプレート２０Ａがステンレス鋼なので、インクによるノズル開口２１の腐食を防ぐことができる。また、ステンレス鋼は、第２ノズルプレート２０Ｂのシリコンの熱膨張係数より大きな熱膨張係数を持つので、加熱または冷却することによりノズル開口２１の交換が行えるインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００を得ることができる。
【００５１】
（４）第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレート２０Ａを加熱または冷却することにより、取付枠２０１に力が加わる。このとき、接着剤１６の剥離が起こり、第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１から第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１にノズル開口２１の交換のための機構を取付ける必要がなく、ノズルプレート２０の一部の交換でノズル開口２１の交換が行えるノズルの交換方法を得ることができる。
【００５２】
（変形例１）
図７（ａ）および（ｂ）に、本変形例における、第２ノズルプレート２０Ｂに取付けられた第１ノズルプレート２０Ａ付近の断面図を示した。実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。実施形態とは、第１ノズルプレート２０Ａおよび第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１の形状、大きさが異なる。
本変形例は、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂの側面２０１Ｂとの間に隙間がない場合および第１ノズルプレート２０Ａが第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１より大きい場合である。
【００５３】
図７（ａ）において、取付枠２０１の側面２０１Ｂは、第１ノズルプレート２０Ａが取付けられる方向に向かって広がるように傾斜している。図中の二点鎖線で示すように、取付けられる前の第１ノズルプレート２０Ａの形状は、取付枠２０１の形状に合わせられ、大きさは大きめに形成されている。
【００５４】
第１ノズルプレート２０Ａの第２ノズルプレート２０Ｂへの取付けは、以下に示す方法で行う。
まず、第１ノズルプレート２０Ａを第２ノズルプレート２０Ｂの温度より低い温度に冷却する。詳しくは、取付枠２０１に収まる第１ノズルプレート２０Ａの大きさ（図中の実線で示した）になる温度まで冷却する。
流路形成基板１０にノズルプレート２０を接着する前であれば、第２ノズルプレート２０Ｂを加熱して、相対的に第１ノズルプレート２０Ａの温度を第２ノズルプレート２０Ｂの温度より低い温度にしてもよい。
【００５５】
第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとの接着面には、冷却、加熱前に予め接着剤１６を塗っておくか、冷却、加熱後に接着剤１６を塗る。
第１ノズルプレート２０Ａの大きさが、第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１に取付けることのできる大きさになったところで、第１ノズルプレート２０Ａを取付枠２０１に取付ける。このとき、第１ノズルプレート２０Ａおよび第２ノズルプレート２０Ｂが加熱、冷却された状態で行う。
次に、第１ノズルプレート２０Ａおよび第２ノズルプレート２０Ｂを保証温度範囲に戻す。ここで、保証温度範囲での第１ノズルプレート２０Ａ単体での大きさ（図中二点鎖線で示した大きさ）と取付枠２０１の大きさが異なるために、側面２０１Ｂで両者は押し合って、第１ノズルプレート２０Ａが固定される。
【００５６】
第１ノズルプレート２０Ａの交換は、以下に示す方法で行う。
本変形例では、第１ノズルプレート２０Ａを加熱することによっても第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。
第１ノズルプレート２０Ａを加熱すると、第１ノズルプレート２０Ａが斜面である側面２０１Ｂを押すことにより、第１ノズルプレート２０Ａが外れる方向に第１ノズルプレート２０Ａに力が動き、第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。
【００５７】
図７（ｂ）において、本変形例の実施形態と異なる点は、図４における接着剤１６を使用していない点と、第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂの側面２０１Ｂとの間に隙間がない点である。
本変形例では、第１ノズルプレート２０Ａの交換は、第１ノズルプレート２０Ａを冷却することによって行う。取付けは、上記変形例と同様の方法で行うことができる。
【００５８】
以上、本変形例の場合であっても、接合部からの液体であるインクの漏れを防ぐには、接着剤１６を設けるのが好ましい。
【００５９】
本変形例によれば、以下の効果がある。
（５）第１ノズルプレート２０Ａと第２ノズルプレート２０Ｂとの熱膨張係数が異なるので、第１ノズルプレート２０Ａを加熱または冷却することにより、膨張により取付枠２０１に力が加わる、あるいは収縮により取付枠２０１の大きさに対して、第１ノズルプレート２０Ａの大きさが小さくなる。取付枠２０１に加わる力や取付枠２０１に対して大きさが小さくなることを利用して、第２ノズルプレート２０Ｂの取付枠２０１から第１ノズルプレート２０Ａを取り外すことができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００にノズル交換のための機構を取付ける必要がなく、ノズルプレート２０の一部の交換でノズル開口２１の交換が行える小型のインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００を得ることができる。
【００６０】
（６）取付枠２０１に第１ノズルプレート２０Ａを取付けるための接着剤１６等を使用することなくノズル開口２１の交換が行えるインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。
【００６１】
（７）第１ノズルプレート２０Ａの大きさが、取付枠２０１の大きさより小さくなった状態で取り外すので、容易に第１ノズルプレート２０Ａの取り外しが行えるノズルの交換方法を得ることができる。
【００６２】
（８）第１ノズルプレート２０Ａの大きさが、取付枠２０１の大きさより小さくなった状態で取付けるので、容易に第１ノズルプレート２０Ａの取付けが行えるノズルの交換方法を得ることができる。
【００６３】
（変形例２）
図８に、本変形例における第２ノズルプレート２０Ｂから取り外された一つの第１ノズルプレート２０Ａおよび第２ノズルプレート２０Ｂの部分平面図を示した。実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。実施形態とは、第１ノズルプレート２０Ａの数が４個で異なる。
本変形例のように、一つの第２ノズルプレート２０Ｂに複数の第１ノズルプレート２０Ａを取付けてもよい。
このように、第１ノズルプレート２０Ａは、ノズル１個ごとであっても、４個ごとであっても、ノズル列ごとであっても何個であってもよい。
【００６４】
本変形例によれば、以下の効果がある。
（９）複数のノズル開口２１を備えたノズルプレート２０においても、交換の必要な第１ノズルプレート２０Ａを交換するだけで、ノズル開口２１の交換が行える小型のインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置１０００を得ることができる。
【００６５】
以上述べた実施形態および変形例以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
第１ノズルプレート２０Ａおよび取付枠２０１の形状は、実施形態および変形例で示した形状に限らず、第１ノズルプレート２０Ａを外側から取付枠２０１に嵌め込める形状であればよい。例えば、底面２０１Ａおよび側面２０１Ｂは平面に限らず曲面であってもよく、これらの面に接する第１ノズルプレート２０Ａの面も曲面であってよい。また、図の上が広がるテーパ形状であっても膨張収縮によって第１ノズルプレート２０Ａを外側から取付枠２０１に嵌め込める程度であれば良い。
【００６６】
また、第１ノズルプレート２０Ａおよび取付枠２０１の平面形状も長方形に限らず他の形状であってもよい。例えば、平行四辺形、台形等であってもよい。
【００６７】
また、上述した実施形態および変形例においては、撓み振動モードの圧電振動子が用いられた液体噴射装置に適用した例を示したが、これに限定するものではなく、縦振動モードの圧電振動子が用いられた液体噴射装置に適用することもできるし、流路内の液体を加熱する加熱素子が用いられた液体噴射装置に適用することも可能である。
さらに液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録へッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】実施形態における液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図。
【図２】インクジェット式記録ヘッドを示す分解部分斜視図。
【図３】（ａ）は、インクジェット式記録ヘッドの部分平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ断面図。
【図４】第２ノズルプレートに取付けられた第１ノズルプレート付近の拡大断面図。
【図５】第２ノズルプレートから取り外された第１ノズルプレート付近および第２ノズルプレートの部分平面図。
【図６】ノズル開口の交換方法を表すフロー図。
【図７】変形例における第２ノズルプレートに取付けられた第１ノズルプレート付近の断面図。
【図８】変形例における第２ノズルプレートから取り外された第１ノズルプレート付近および第２ノズルプレートの部分平面図。
【符号の説明】
【００６９】
１…液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド、１６…接着剤、２０…ノズルプレート、２０Ａ…第１ノズルプレート、２０Ｂ…第２ノズルプレート、２１…ノズルとしてのノズル開口、２０１…取付枠、１０００…液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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