(57)【要約】【課題】液晶パネルに防塵板等の光学素子を固定する際に、光学素子や液晶パネルが偏光板に対して簡易かつ精密にアライメントできるようにするプロジェクターの調整方法を提供すること。【解決手段】液晶モジュール８２ｍを構成する液晶デバイス８２ａの構造である位置決め用マーク８２ｘを基準にして液晶モジュール８２ｍに対して光学素子たる防塵板８２ｄ，８２ｅのアライメントを行うので、液晶モジュールを構成する液晶デバイス８２ａを介して防塵板８２ｄ，８２ｅの光学軸と偏光板たる偏光フィルター８４，８５の偏光軸との配置関係を調整するアライメントが可能になる。これにより、防塵板８２ｄ，８２ｅに適正な偏光を入射させ、ライトバルブを適正に動作させることができるので、プロジェクター１０による投射画像のコントラストを向上させ、延いては色ムラを低減することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶モジュールと、偏光板と、複屈折材料製の光学素子とを備えるライトバルブを照明するとともに、前記ライトバルブによって形成された画像を投射するプロジェクターの調整方法であって、
前記液晶モジュールを構成する液晶デバイスの構造を基準にして、前記液晶モジュールに対して前記光学素子のアライメントを行う工程と、
前記液晶モジュールに対して前記偏光板のアライメントを行う工程と、
を備えるプロジェクターの調整方法。
【請求項２】
前記液晶モジュールの構造として、前記液晶モジュールを構成する液晶デバイス内のマーク、画素パターン、及び配向膜パターンの少なくとも１つを基準としてアライメントを行う、請求項１に記載のプロジェクターの調整方法。
【請求項３】
前記光学素子は、板状の部材であり、法線のまわりに回転させるとともに法線に垂直な方向にシフトさせるホルダによってアライメントされる、請求項１及び請求項２のいずれか一項に記載のプロジェクターの調整方法。
【請求項４】
前記液晶モジュールと前記光学素子とのアライメントに際して、前記液晶モジュールと前記光学素子とを撮像装置によって撮影して得られた画像を利用する、請求項３に記載のプロジェクターの調整方法。
【請求項５】
前記光学素子は、前記液晶モジュールの表面に貼り付けられる防塵板である、請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のプロジェクターの調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライトバルブによって形成された画像をスクリーンに投射するプロジェクターの内蔵部品のための光学的な調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクターに組み込まれるライトバルブとして、液晶パネルの表面にサファイア製の防塵板を貼り付けて、液晶パネル上に付着した塵が投射表示されることを防止するとともに、液晶パネルの温度上昇を防止するものが存在する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−８５８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、液晶パネルの表面に貼り付けられる防塵板は、精密な位置調整がされておらず、例えば液晶パネルと偏光板とをこれらの外形フレームを基準として相互に固定することによってライトバルブやプロジェクターを組み立てた場合、防塵板の光学軸が偏光板の偏光軸からずれる等のバラつきにより、位相が乱れて理想的な偏光を液晶パネル内に入射させることができず、投射画像のコントラストを低下させている場合があった。
【０００５】
そこで、本発明は、液晶パネルに防塵板等の光学素子を固定する際に、光学素子や液晶パネルが偏光板に対して簡易かつ精密にアライメントできるようにするプロジェクターの調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明に係るプロジェクターの調整方法は、液晶モジュールと、偏光板と、複屈折材料製の光学素子とを備えるライトバルブを照明するとともに、ライトバルブによって形成された画像を投射するプロジェクターの調整方法であって、液晶モジュールを構成する液晶デバイスの構造を基準にして、液晶モジュールに対して光学素子のアライメントを行う工程と、液晶モジュールに対して偏光板のアライメントを行う工程と、を備える。なお、液晶モジュールと偏光板とのアライメントについては、液晶モジュールの外形を基準にすることができ、液晶デバイスの構造を基準にすることもできる。
【０００７】
上記調整方法では、液晶モジュールを構成する液晶デバイスの構造を基準にして液晶モジュールに対して光学素子のアライメントを行うので、液晶モジュールを構成する液晶デバイスを介して光学素子の光学軸と偏光板の偏光軸との配置関係を調整するアライメントが可能になる。これにより、光学素子に適正な偏光を入射させ、ライトバルブを適正に動作させることができるので、投射画像のコントラストを向上させ、延いては色ムラを低減することができる。
【０００８】
本発明の具体的な態様又は側面では、上記調整方法において、液晶モジュールの構造として、液晶モジュールを構成する液晶デバイス内のマーク、画素パターン、及び配向膜パターンとの少なくとも１つを基準としてアライメントを行う。
【０００９】
本発明の別の態様によれば、光学素子は、板状の部材であり、法線のまわりに回転させるとともに法線に垂直な方向にシフトさせるホルダによってアライメントされる。この場合、ホルダの微調整によって、光学素子を精密なアライメント状態とすることができる。
【００１０】
本発明のさらに別の態様によれば、液晶モジュールと光学素子とのアライメントに際して、液晶モジュールと光学素子とを撮像装置によって撮影して得られた画像を利用する。この場合、光学素子等のアライメントが高い再現性を有し効率的なものとなる。
【００１１】
本発明のさらに別の態様によれば、光学素子が、液晶モジュールの表面に貼り付けられる防塵板である。この場合、防塵板としてサファイア、水晶等の使用が可能になり、防塵板による液晶モジュールの冷却効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態の調整方法の対象であるプロジェクターを説明する図である。
【図２】調整の具体的対象であるライトバルブの構造等について説明する分解斜視図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、液晶ユニットの作製を説明する斜視図である。
【図４】ライトバルブの構造等について説明する拡大断面図である。
【図５】ライトバルブやプロジェクターを組み立てる際に用いられる調整装置の概念図である。
【図６】チャック部による液晶モジュールの保持方法を説明する図である。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、アライメント用カメラによって取り込んだ液晶デバイス等の画像を概念的に説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図１〜６等を参照して、本発明の一実施形態に係るプロジェクターの調整方法について説明する。
【００１４】
〔１．調整対象であるプロジェクターの構造の概要〕
図１に示すように、調整の対象であるプロジェクター１０は、光学エンジンユニットとも呼ばれる本体光学装置１１と、装置全体を覆う外装ケース１９とを備える。
【００１５】
本体光学装置１１は、光源ランプユニット２０、均一化光学系３０、色分離導光光学系４０、光変調部５０、クロスダイクロイックプリズム６０、及び投射光学部７０を備えて構成される。これらの光源ランプユニット２０、均一化光学系３０、色分離導光光学系４０、光変調部５０、クロスダイクロイックプリズム６０、及び投射光学部７０は、遮光性を有するライトガイド１１ａ中に略全体が収納されている。
【００１６】
このうち、光源ランプユニット２０は、光源部として、ランプ部２１ａと、凹レンズ２１ｂとを備える。このうち、ランプ部２１ａは、例えば高圧水銀ランプ等であるランプ本体２２ａと、光源光を反射して前方に出射させる凹面鏡２２ｂとを備える。凹レンズ２１ｂは、ランプ部２１ａからの光源光をシステム光軸ＳＡすなわち照明光軸に略平行な光束にする役割を有するが、例えば凹面鏡２２ｂが放物面鏡である場合には、省略することもできる。
【００１７】
均一化光学系３０は、第１及び第２レンズアレイ３１，３２と、偏光変換部材３４と、重畳レンズ３５とを備える。第１及び第２レンズアレイ３１，３２は、それぞれマトリクス状に配置された複数の要素レンズからなる。このうち、第１レンズアレイ３１を構成する要素レンズによって、光源ランプユニット２０から出射された光束が複数の部分光束に分割される。また、第２レンズアレイ３２を構成する要素レンズによって、第１レンズアレイ３１からの各部分光束は適当な発散角で出射される。偏光変換部材３４は、プリズムアレイ等で構成され、レンズアレイ３２から出射した光源光を特定方向の直線偏光のみに変換して次段光学系に供給する。重畳レンズ３５は、偏光変換部材３４を経た照明光を全体として適宜収束させることにより、光変調部５０に設けた各色のライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃに対する重畳照明を可能にする。
【００１８】
色分離導光光学系４０は、第１及び第２ダイクロイックミラー４１ａ，４１ｂと、反射ミラー４２ａ，４２ｂ，４２ｃと、３つのフィールドレンズ４３ａ，４３ｂ，４３ｃとを備え、光源ランプユニット２０から出射された照明光を赤（Ｒ）色、緑（Ｇ）色、及び青（Ｂ）色の３色に分離するとともに、各色光を後段のライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃへ導く。より詳しく説明すると、まず、第１ダイクロイックミラー４１ａは、ＲＧＢの３色のうちＲ色の照明光ＬＲを反射しＧ色及びＢ色の照明光ＬＧ，ＬＢを透過させる。また、第２ダイクロイックミラー４１ｂは、ＧＢの２色のうちＧ色の照明光ＬＧを反射しＢ色の照明光ＬＢを透過させる。この色分離導光光学系４０において、第１ダイクロイックミラー４１ａで反射された照明光ＬＲは、反射ミラー４２ａを経て入射角調節用のフィールドレンズ４３ａに入射する。また、第１ダイクロイックミラー４１ａを透過し、第２ダイクロイックミラー４１ｂで反射された照明光ＬＧは、入射角調節用のフィールドレンズ４３ｂに入射する。さらに、第２ダイクロイックミラー４１ｂを通過した照明光ＬＢは、リレーレンズ４４ａ，４４ｂ及び反射ミラー４２ｂ，４２ｃを経て入射角調節用のフィールドレンズ４３ｃに入射する。
【００１９】
光変調部５０は、３色の照明光ＬＲ，ＬＧ，ＬＢがそれぞれ入射する３つのライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃを備える。なお、図示を省略しているが、後に詳述するように、各ライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃは、中央に配置される液晶パネルと、これを挟むように配置される１対の入射側及び出射側偏光フィルターとを備えている。各ライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃにそれぞれ入射した各色光ＬＲ，ＬＧ，ＬＢは、各ライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃに電気的信号として入力された駆動信号或いは制御信号に応じて、画素単位で強度変調される。
【００２０】
クロスダイクロイックプリズム６０は、カラー画像を合成するための光合成光学系であり、その内部には、Ｒ光反射用の第１ダイクロイック膜６１と、Ｂ光反射用の第２ダイクロイック膜６２とが、Ｘ字状に配置されている。このクロスダイクロイックプリズム６０は、ライトバルブ５１ａからの赤色光ＬＲを第１ダイクロイック膜６１で反射して進行方向右側に出射させ、ライトバルブ５１ｂからの緑色光ＬＧを両ダイクロイック膜６１，６２を介して直進・出射させ、ライトバルブ５１ｃからの青色光ＬＢを第２ダイクロイック膜６２で反射して進行方向左側に出射させる。
【００２１】
投射光学部７０は、投射レンズとして、クロスダイクロイックプリズム６０で合成された像光をスクリーン（不図示）上にカラー画像として投射する。
【００２２】
〔２．調整の具体的対象であるライトバルブ〕
図２〜図４に示すように、ライトバルブ８０は、光変調用の能動素子である液晶ユニット８２と、液晶ユニット８２の入射側に配置される入射偏光フィルター８４と、液晶ユニット８２の出射側に配置される出射偏光フィルター８５とを備える。ライトバルブ８０は、照明光である入射光ＬＩの強度の空間分布を変調して、変調光である出射光ＬＯを出力する非発光型で透過型の光変調装置である。なお、図２に示すライトバルブ８０は、図１に示す各ライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃに対応するものとなっている。
【００２３】
ライトバルブ８０において、入射偏光フィルター８４は、第１偏光方向の直線偏光を選択的に透過させて液晶ユニット８２に導く。ここで、第１偏光方向は、システム光軸ＳＡに対して垂直な横のＸ軸方向を意味する。液晶ユニット８２は、これに入射した第１偏光方向の直線偏光を画像信号に応じて例えば部分的に第２偏光方向の直線偏光に変換する。ここで、第２偏光方向は、システム光軸ＳＡ及び第１偏光方向に垂直な縦のＹ軸方向を意味する。出射偏光フィルター８５は、液晶ユニット８２を経て変調された第２偏光方向の直線偏光のみを選択的に透過させる。
【００２４】
図２に示すように、液晶ユニット８２は、矩形の液晶デバイス８２ａと、液晶デバイス８２ａを周囲から支持する矩形枠状の外形フレーム８２ｂと、液晶デバイス８２ａの光入射面に貼り付けられる入射側防塵板８２ｄと、液晶デバイス８２ａの光出射面に貼り付けられる出射側防塵板８２ｅとを備える。液晶ユニット８２の光路上流に配置される入射偏光フィルター８４は、偏光板である矩形の第１フィルター板８４ａと、第１フィルター板８４ａを周囲から支持する矩形枠状の外形フレーム８４ｂとを備える。液晶ユニット８２の光路下流に配置される出射偏光フィルター８５は、偏光板である矩形の第２フィルター板８５ａと、第２フィルター板８５ａを周囲から支持する矩形枠状の外形フレーム８５ｂとを備える。
【００２５】
入射偏光フィルター８４は、液晶ユニット８２に対してアライメントされ直接的に又は間接的に固定されるが、この際、例えば入射偏光フィルター８４の外形フレーム８４ｂの適所に形成された複数の突起部８４ｄが液晶ユニット８２の外形フレーム８２ｂの表面８３ｆに対して接着される。同様に、出射偏光フィルター８５も、液晶ユニット８２に対してアライメントされ直接的に又は間接的に固定されるが、この際、例えば入射偏光フィルター８５の外形フレーム８５ｂの適所に形成された複数の突起部８５ｄが液晶ユニット８２の外形フレーム８２ｂの裏面８３ｒに対して接着される。
【００２６】
図３に示すように、液晶ユニット８２のうち、液晶デバイス８２ａと外形フレーム８２ｂとを組み合わせたものは、液晶製造プロセスで一括して製造される一体的な部品であり、液晶モジュール８２ｍと呼ばれる（図３（Ａ）参照）。この液晶モジュール８２ｍには、図１のプロジェクター１０に組み込まれる前に、入射側防塵板８２ｄと出射側防塵板８２ｅとが貼り付けられて液晶ユニット８２となる（図３（Ｂ）参照）。この液晶ユニット８２に対して入射偏光フィルター８４と出射偏光フィルター８５とが固定されると、ライトバルブ８０が完成する。
【００２７】
図４に示すように、ライトバルブ８０において、入射側に配置された第１フィルター板８４ａは、例えば基板Ｓ１上に樹脂製の第１偏光フィルムＰＦ１を接着した構造を有し、入出射面の法線がそれぞれシステム光軸ＳＡすなわちＺ軸に平行になっている。第１フィルター板８４ａは、偏光素子としての第１偏光フィルムＰＦ１によって、Ｘ軸方向に沿った第１偏光方向のＰ偏光のみを通過させる。つまり、第１フィルター板８４ａの偏光軸はＸ軸方向に延びている。ここで、第１偏光フィルムＰＦ１を支持する基板Ｓ１は、例えば石英ガラス製であり、Ｘ軸方向に沿った第１偏光方向のＰ偏光をそのままシステム光軸ＳＡに沿って出射させる。
【００２８】
一方、出射側に配置された第２フィルター板８５ａは、例えば基板Ｓ２上に樹脂製の第２偏光フィルムＰＦ２を接着した構造を有し、入出射面の法線がそれぞれシステム光軸ＳＡすなわちＺ軸に平行になっている。第２フィルター板８５ａは、偏光素子としての第２偏光フィルムＰＦ２によって、Ｙ軸方向に沿った第２偏光方向のＳ偏光のみを通過させる。つまり、第２フィルター板８５ａの偏光軸はＹ軸方向に延びている。ここで、第２偏光フィルムＰＦ２を支持する基板Ｓ２は、例えば石英ガラス製であり、Ｙ軸方向に沿った第２偏光方向のＳ偏光をそのままシステム光軸ＳＡに沿って出射させる。
【００２９】
以上では、第２偏光フィルムＰＦ２の支持用の基板Ｓ２を石英ガラス製としたが、例えば水晶製とすることにより、第１偏光フィルムＰＦ１よりも比較的加熱されやすい状態にある第２偏光フィルムＰＦ２を効率良く冷却することができる。
【００３０】
以上の説明から明らかなように、第１フィルター板８４ａすなわち入射偏光フィルター８４と、第２フィルター板８５ａすなわち出射偏光フィルター８５とは、クロスニコルを構成するように配置されている。これら第１及び第２フィルター板８４ａ，８５ａ間に挟まれた液晶デバイス８２ａは、フィルター板８４ａ側から入射した入射光ＬＩを入力信号に応じて画素単位で部分的にＰ偏光からＳ偏光に変化させ、Ｓ偏光すなわち変化後の変調光を出射光ＬＯとして第２フィルター板８５ａ側に出射する。
【００３１】
第１及び第２フィルター板８４ａ，８５ａ間に配置された液晶ユニット８２のうち、本体の液晶デバイス８２ａは、例えば垂直配向モードやツイストネマチックモードで動作する液晶で構成される液晶層７１を挟んで、入射側に第１基板７２と、出射側に第２基板７３とを備える。これらの基板７２，７３は、ともに平板状であり、第１フィルター板８４ａ等と同様に、入出射面の法線がシステム光軸ＳＡすなわちＺ軸に平行になるように配置されている。
【００３２】
液晶ユニット８２において、第１基板７２の液晶層７１側の面上には、透明な共通電極７５が設けられており、その上には、例えば配向膜７６が形成されている。一方、第２基板７３の液晶層７１側の面上には、マトリクス状に配置された表示用電極としての複数の透明画素電極７７と、各透明画素電極７７に電気的に接続可能な配線（不図示）と、透明画素電極７７及び配線の間に介在する薄膜トランジスタ（不図示）とが設けられており、その上には、例えば配向膜７８が形成されている。この液晶デバイス８２ａを構成する各画素部分ＰＰは、1つの透明画素電極７７と、共通電極７５の一部と、両配向膜７６，７８の一部と、液晶層７１の一部とを含む。なお、第１基板７２と共通電極７５との間には、各画素部分ＰＰを区分するように格子状のブラックマトリクス７９が設けられている。
【００３３】
以上の液晶デバイス８２ａにおいて、液晶層７１が例えば垂直配向型の液晶で構成される場合、配向膜７６，７８は、電界の存在しない状態で、液晶層７１を構成する液晶性化合物をシステム光軸ＳＡすなわちＺ軸に略平行な状態に配列させる役割を有する。ただし、Ｚ軸に沿った方向に適度な電界を形成した場合、液晶層７１を構成する液晶性化合物は、システム光軸ＳＡすなわちＺ軸に略平行な状態から例えばＸＹ面内の所定方位に向けて傾けられる。これにより、一対のフィルター板８４ａ，８５ａ間に挟まれた液晶層７１をノーマリーブラックモードで動作させることになり、電圧非印加のオフ状態で最大遮光状態（光オフ状態）を確保することができる。つまり、液晶ユニット８２は、光オフ状態の黒表示時に、Ｐ偏光をそのまま変化させないで通過させる。また、液晶ユニット８２は、光オン状態の白表示時に、Ｐ偏光をＳ偏光に切替えて通過させる。
【００３４】
液晶デバイス８２ａの光入射側すなわち第１基板７２の外側には、光透過性の入射側防塵板８２ｄが貼り付けられている。また、液晶デバイス８２ａの光出射側すなわち第２基板７３の外側には、光透過性の出射側防塵板８２ｅが貼り付けられている。これらの防塵板８２ｄ，８２ｅは、ともに複屈折性の材料で形成された平板状の光学素子であり、第１フィルター板８４ａ等と同様に、入出射面の法線がシステム光軸ＳＡすなわちＺ軸に平行になるように配置されている。入射側防塵板８２ｄは、例えば正の一軸性の結晶材料（具体的には水晶）で形成された平板であり、出射側防塵板８２ｅも、例えば正の一軸性の結晶材料（具体的には水晶）で形成された平板である。本実施形態の場合、両防塵板８２ｄ，８２ｅは、例えばこれを形成する水晶の光学軸がＹ軸方向に延びるように切り出されたものである。つまり、入射側防塵板８２ｄの光学軸は、入射偏光フィルター８４の偏光軸（透過軸）に対して垂直な状態になっており、出射側防塵板８２ｅの光学軸は、出射偏光フィルター８５の偏光軸（透過軸）に対して平行な状態になっている。このように、入射側防塵板８２ｄの光学軸と入射偏光フィルター８４の偏光軸とを垂直又は平行に設定し、出射側防塵板８２ｅの光学軸と出射偏光フィルター８５の偏光軸とを垂直又は平行に設定することで、両防塵板８２ｄ，８２ｅの屈折率異方性によって変調量がずれた変調光がライトバルブ８０から出射されてコントラストが低下する現象を回避できる。
【００３５】
〔３．調整装置の説明〕
図５は、図１等に示すライトバルブ８０を組み立てる際の調整に用いられる装置を概念的に説明する図である。図示の調整装置９０は、ステージＳＴ上に、第１〜第５ホルダ９１〜９５と、検査用照明装置９７と、透過光検出装置９８と、アライメント用カメラ９９ａ，９９ｂとを設けたものである。なお、各アライメント用カメラ９９ａ，９９ｂは、液晶モジュール８２ｍと防塵板８２ｄ，８２ｅとを拡大撮影するための撮像装置であり、支持脚部９９ｄ，９９ｅにそれぞれ支持されて変位可能になっている。両アライメント用カメラ９９ａ，９９ｂは、液晶モジュール８２ｍや防塵板８２ｄ，８２ｅに関する画像処理を利用したアライメントに際して利用される。透過光検出装置９８、アライメント用カメラ９９ａ，９９ｂ等の出力は、ＡＤ変換、画像処理等の各種データ処理が可能な制御装置９０ａによって監視されている。
【００３６】
第１ホルダ９１は、液晶モジュール８２ｍをアライメントのために支持することを目的としたものであり、基部９１ａと、微動機構９１ｂと、チャック部９１ｃとを備える。基部９１ａは、ステージＳＴ上に固定されており、微動機構９１ｂは、制御装置９０ａの制御下で動作してチャック部９１ｃを変位させることができ、チャック部９１ｃは、液晶モジュール８２ｍを保持して液晶モジュール８２ｍとともに変位する。微動機構９１ｂを利用したチャック部９１ｃの位置調整によって、液晶モジュール８２ｍを精密にアライメントすることができる。なお、微動機構９１ｂは、液晶モジュール８２ｍの第１基板７２の法線を基準となる検査軸ＤＡに一致させるための微調整機構を有する。また、微動機構９１ｂは、液晶モジュール８２ｍを保持したチャック部９１ｃを検査軸ＤＡのまわりに所望の角度だけ微少回転させることができるとともに、検査軸ＤＡに垂直なｘ方向やｙ方向に所望の距離だけ微少シフトさせることができる。
【００３７】
図６は、チャック部９１ｃによる液晶モジュール８２ｍの保持方法を説明する図である。この場合、チャック部９１ｃには、矩形の開口９１ｄを有する枠状の本体部分９１ｅの下部においてアライメント部９１ｆが設けられており、側部及び上部において複数の係止具９１ｇが設けられている。チャック部９１ｃに液晶モジュール８２ｍを保持させる際には、アライメント部９１ｆの上面９１ｈ上に液晶モジュール８２ｍを載置する。そして、係止具９１ｇを利用して液晶モジュール８２ｍの表面８３ｆを一定の付勢力でチャック部９１ｃの支持面９１ｉに押しつける。
【００３８】
なお、上記のように、チャック部９１ｃにセットされた液晶モジュール８２ｍは、図５に示す微動機構９１ｂによって、チャック部９１ｃとともに検査軸ＤＡのまわりに回転し、ｘ方向やｙ方向にシフトする。これにより、調整装置９０内において、チャック部９１ｃにセットした液晶モジュール８２ｍを基準位置に微調整して配置する精密なアライメントが可能になる。
【００３９】
図５に戻って、第２ホルダ９２は、入射側防塵板８２ｄをアライメントのために支持することを目的としたものであり、基部９２ａと、微動機構９２ｂと、チャック部９２ｃとを備える。基部９２ａは、ステージＳＴ上に固定されており、微動機構９２ｂは、制御装置９０ａの制御下で動作してチャック部９２ｃを変位させることができ、チャック部９２ｃは、図６に示すチャック部９１ｃと同様の構造を有し、入射側防塵板８２ｄを保持して入射側防塵板８２ｄとともに変位する。微動機構９２ｂを利用したチャック部９２ｃの位置調整によって、入射側防塵板８２ｄを精密にアライメントすることができる。
【００４０】
このため、微動機構９２ｂは、入射側防塵板８２ｄの法線を基準となる検査軸ＤＡに一致させるための微調整機構を有する。また、微動機構９２ｂは、入射側防塵板８２ｄを保持したチャック部９２ｃを検査軸ＤＡのまわりに所望の角度だけ微少回転させることができるとともに、検査軸ＤＡに垂直なｘ方向やｙ方向に所望の距離だけ微少シフトさせることができる。これにより、調整装置９０内において、チャック部９２ｃにセットした入射側防塵板８２ｄを精密なアライメント状態に相当する基準位置に精密に調整して配置することができる。
【００４１】
なお、第２ホルダ９２おいて、基部９２ａは、ステージＳＴに設けられたスライド装置９６に支持されており、チャック部９２ｃに保持された入射側防塵板８２ｄを検査軸ＤＡに沿って移動させることができ、入射側防塵板８２ｄをその姿勢を保って液晶モジュール８２ｍの入射面側に近接させることができる。また、チャック部９２ｃは、図６に示す係止具９１ｇに代えて背後から吸着するタイプの係止具によっても固定可能である。
【００４２】
第３ホルダ９３は、出射側防塵板８２ｅをアライメントのために支持することを目的としたものであり、基部９３ａと、微動機構９３ｂと、チャック部９３ｃとを備える。基部９３ａは、ステージＳＴ上に固定されており、微動機構９３ｂは、制御装置９０ａの制御下で動作してチャック部９３ｃを変位させることができ、チャック部９３ｃは、図６に示すチャック部９１ｃと同様の構造を有し、出射側防塵板８２ｅを保持して出射側防塵板８２ｅとともに変位する。微動機構９３ｂを利用したチャック部９３ｃの位置調整によって、出射側防塵板８２ｅを精密にアライメントすることができる。
【００４３】
このため、微動機構９３ｂは、出射側防塵板８２ｅの法線を基準となる検査軸ＤＡに一致させるための微調整機構を有する。また、微動機構９３ｂは、出射側防塵板８２ｅを保持したチャック部９３ｃを検査軸ＤＡのまわりに所望の角度だけ微少回転させることができるとともに、検査軸ＤＡに垂直なｘ方向やｙ方向に所望の距離だけ微少シフトさせることができる。これにより、調整装置９０内において、チャック部９３ｃにセットした出射側防塵板８２ｅを精密なアライメント状態に相当する基準位置に精密に調整して配置することができる。
【００４４】
なお、第３ホルダ９３おいて、基部９３ａは、ステージＳＴに設けられたスライド装置９６に支持されており、チャック部９３ｃに保持された出射側防塵板８２ｅを検査軸ＤＡに沿って移動させることができ、出射側防塵板８２ｅをその姿勢を保って液晶モジュール８２ｍの出射面側に近接させることができる。また、チャック部９３ｃは、図６に示す係止具９１ｇに代えて背後から吸着するタイプの係止具によっても固定可能である。
【００４５】
第４ホルダ９４は、入射偏光フィルター８４をアライメントのために支持することを目的としたものであり、基部９４ａと、微動機構９４ｂと、チャック部９４ｃとを備える。基部９４ａは、ステージＳＴ上に固定されており、微動機構９４ｂは、制御装置９０ａの制御下で動作してチャック部９４ｃを変位させることができ、チャック部９４ｃは、入射偏光フィルター８４を保持して入射偏光フィルター８４とともに変位する。この第４ホルダ９４により、チャック部９４ｃにセットした入射偏光フィルター８４を標準的なアライメント状態である入射偏光用基準位置に配置することができるとともに、微動機構９４ｂを利用したチャック部９４ｃの微調整によって、入射偏光フィルター８４をより精密なアライメント状態である修正位置に配置することができる。なお、微動機構９４ｂは、入射偏光フィルター８４の第１フィルター板１８４ａの法線を基準となる検査軸ＤＡに一致させるための微調整機構を有する。また、微動機構９４ｂは、入射偏光フィルター８４を保持したチャック部９４ｃを検査軸ＤＡのまわりに所望の角度だけ微少回転させることができるとともに、検査軸ＤＡに垂直なｘ方向やｙ方向に所望の距離だけ微少シフトさせることができる。
【００４６】
第５ホルダ９５は、出射偏光フィルター８５をアライメントのために支持することを目的としたものであり、基部９５ａと、微動機構９５ｂと、チャック部９５ｃとを備える。基部９５ａは、ステージＳＴ上に固定されており、微動機構９５ｂは、制御装置９０ａの制御下で動作してチャック部９５ｃを変位させることができ、チャック部９５ｃは、出射偏光フィルター８５を保持して出射偏光フィルター８５とともに変位する。この第４ホルダ９５により、チャック部９５ｃにセットした出射偏光フィルター８５を標準的なアライメント状態である出射偏光用基準位置に配置することができるとともに、微動機構９５ｂを利用したチャック部９５ｃの微調整によって、出射偏光フィルター８５をより精密なアライメント状態である修正位置に配置することができる。なお、微動機構９５ｂは、出射偏光フィルター８５の法線を基準となる検査軸ＤＡに一致させるための微調整機構を有する。また、微動機構９５ｂは、出射偏光フィルター８５を保持したチャック部９５ｃを検査軸ＤＡのまわりに所望の角度だけ微少回転させることができるとともに、検査軸ＤＡに垂直なｘ方向やｙ方向に所望の距離だけ微少シフトさせることができる。
【００４７】
〔４．調整装置を用いた調整及び組み立ての手順〕
まず、液晶デバイス８２ａと外形フレーム８２ｂとを一組とする液晶モジュール８２ｍを準備する。
【００４８】
次に、調整装置９０の第１ホルダ９１に液晶モジュール８２ｍを固定する。この際、チャック部９１ｃにより、液晶モジュール８２ｍの姿勢及び配置が、液晶モジュール８２ｍの外形を利用して調整され、液晶モジュール８２ｍに対して比較的精度の低い初期アライメントが達成される。この状態で、アライメント用カメラ９９ａを動作させるとともに、制御装置９０ａによってアライメント用カメラ９９ａの画像出力に対して画像処理等を適宜施すことで、液晶モジュール８２ｍの姿勢が適正であるか否かを確認することができる。図７（Ａ）は、アライメント用カメラ９９ａによって取り込んだ液晶デバイス８２ａの一部領域の画像を例示している。アライメント用カメラ９９ａの視野ＦＬ内には、液晶デバイス８２ａの第１基板７２の周辺部に形成された位置決め用マーク（実線）８２ｘが表示されるとともに、十字の指標ＦＭが視野ＦＬ内に固定して表示される。この視野ＦＬを観察しながら、例えばチャック部９１ｃをｘ方向やｙ方向に自動又は手動で移動させ、或いは検査軸ＤＡのまわりに回転させることで、指標ＦＭに対して位置決め用マーク（点線）８２ｘを合致させることができる。このように、指標ＦＭに位置決め用マーク８２ｘを合致させることで、液晶モジュール８２ｍを適正な修正位置に配置することができ、比較的高精度のアライメントが達成される。つまり、アライメント用カメラ９９ａ、チャック部９１ｃ等を適宜動作させることで、液晶モジュール８２ｍの基準軸ＳＸ１を調整装置９０に予め設定された基準軸ＳＸ０に対して正確に平行な状態とする精密アライメントが達成される（図６参照）。
【００４９】
なお、詳細な説明を省略しているが、液晶モジュール８２ｍを精密にアライメントするためには、第１基板７２の複数箇所に位置決め用マーク８２ｘを形成し、液晶モジュール８２ｍすなわち液晶デバイス８２ａに対してアライメント用カメラ９９ａを相対的にステップ移動させて複数箇所で位置決め用マーク８２ｘを撮像するか、予め複数のアライメント用カメラ９９ａを準備して複数箇所の位置決め用マーク８２ｘを同時に撮像する必要がある。この際、制御装置９０ａは、アライメント用カメラ９９ａの配置、撮像タイミング等に関する動作制御、アライメント用カメラ９９ａの出力に対して行う画像処理、かかる画像処理の結果に基づく微動機構９１ｂの駆動すなわち液晶モジュール８２ｍの姿勢調整等を含む各種処理を行う。
【００５０】
次に、調整装置９０の第２ホルダ９２に入射側防塵板８２ｄを固定する。この際、チャック部９２ｃにより、入射側防塵板８２ｄの姿勢及び配置が、入射側防塵板８２ｄの外形を利用して調整され、入射側防塵板８２ｄに対して比較的精度の低い初期アライメントが達成される。この状態で、アライメント用カメラ９９ａを動作させるとともに、制御装置９０ａによってアライメント用カメラ９９ａの画像出力に対して画像処理等を適宜施すことで、入射側防塵板８２ｄの姿勢が適正であるか否かを確認することができる。図７（Ｂ）は、アライメント用カメラ９９ａによって取り込んだ入射側防塵板８２ｄの一部領域の画像を例示している。アライメント用カメラ９９ａの視野ＦＬ内には、入射側防塵板８２ｄの周辺部に形成された位置決め用マーク（実線）８２ｙが表示されるとともに、十字の指標ＦＭが視野ＦＬ内に固定して表示される。この位置決め用マーク８２ｙは、画素部分ＰＰ等を基準としてレーザ等の手段によって予め刻印されている。視野ＦＬを観察しながら、例えばチャック部９２ｃをｘ方向やｙ方向に自動又は手動で移動させ、或いは検査軸ＤＡのまわりに回転させることで、指標ＦＭに対して位置決め用マーク（点線）８２ｙを合致させることができる。このように、指標ＦＭに位置決め用マーク８２ｙを合致させることで、入射側防塵板８２ｄを適正な修正位置に配置することができ、比較的高精度のアライメントが達成される。つまり、アライメント用カメラ９９ａ、チャック部９２ｃ等を適宜動作させることで、入射側防塵板８２ｄの基準軸（具体的には光学軸又はこれに垂直な軸）を調整装置９０に予め設定された基準軸ＳＸ０に対して正確に平行な状態とする精密アライメントが達成される。
【００５１】
なお、詳細な説明を省略しているが、入射側防塵板８２ｄを精密にアライメントするためには、入射側防塵板８２ｄの複数箇所に位置決め用マーク８２ｙを形成し、入射側防塵板８２ｄに対してアライメント用カメラ９９ａを相対的にステップ移動させて複数箇所で位置決め用マーク８２ｙを撮像するか、予め複数のアライメント用カメラ９９ａを準備して複数箇所の位置決め用マーク８２ｙを同時に撮像する必要がある。この際、制御装置９０ａは、第１ホルダ９１の場合と同様に、アライメント用カメラ９９ａの配置、撮像タイミング等に関する動作制御、アライメント用カメラ９９ａの出力に対して行う画像処理、かかる画像処理の結果に基づく微動機構９２ｂの駆動すなわち入射側防塵板８２ｄの姿勢調整等を含む各種処理を行う。
【００５２】
以上のようにして、精密アライメントが達成された状態で、スライド装置９６を利用して、チャック部９２ｃ上の入射側防塵板８２ｄを検査軸ＤＡに沿って移動させて液晶モジュール８２ｍの入射面側に近接させる。さらに、入射側防塵板８２ｄと液晶モジュール８２ｍ表面の第１基板７２（図４参照）との間に不図示の接着剤供給装置からの紫外線硬化樹脂等を注入し硬化させることで、液晶モジュール８２ｍの第１基板７２上に入射側防塵板８２ｄをアライメントした状態で固定することができる。
【００５３】
次に、調整装置９０の第３ホルダ９３に出射側防塵板８２ｅを固定する。この際、チャック部９３ｃにより、出射側防塵板８２ｅの姿勢及び配置が、出射側防塵板８２ｅの外形を利用して調整され、出射側防塵板８２ｅに対して比較的精度の低い初期アライメントが達成される。この状態で、アライメント用カメラ９９ｂを動作させるとともに、制御装置９０ａによってアライメント用カメラ９９ｂの画像出力に対して画像処理等を適宜施すことで、出射側防塵板８２ｅの姿勢が適正であるか否かを確認することができる。図７（Ｃ）は、アライメント用カメラ９９ｂによって取り込んだ出射側防塵板８２ｅの一部領域の画像を例示している。アライメント用カメラ９９ｂの視野ＦＬ内には、出射側防塵板８２ｅの周辺部に形成された位置決め用マーク（実線）８２ｚが表示されるとともに、十字の指標ＦＭが視野ＦＬ内に固定して表示される。この位置決め用マーク８２ｚは、光学軸等を基準としてレーザ等の手段によって予め刻印されている。視野ＦＬを観察しながら、例えばチャック部９３ｃをｘ方向やｙ方向に自動又は手動で移動させ、或いは検査軸ＤＡのまわりに回転させることで、指標ＦＭに対して位置決め用マーク（点線）８２ｚを合致させることができる。このように、指標ＦＭに位置決め用マーク８２ｚを合致させることで、出射側防塵板８２ｅを適正な修正位置に配置することができ、比較的高精度のアライメントが達成される。つまり、アライメント用カメラ９９ｂ、チャック部９３ｃ等を適宜動作させることで、出射側防塵板８２ｅの基準軸（具体的には光学軸又はこれに垂直な軸）を調整装置９０に予め設定された基準軸ＳＸ０に対して正確に平行な状態とする精密アライメントが達成される。
【００５４】
なお、詳細な説明を省略しているが、出射側防塵板８２ｅを精密にアライメントするためには、出射側防塵板８２ｅの複数箇所に位置決め用マーク８２ｚを形成し、出射側防塵板８２ｅに対してアライメント用カメラ９９ｂを相対的にステップ移動させて複数箇所で位置決め用マーク８２ｚを撮像するか、予め複数のアライメント用カメラ９９ｂを準備して複数箇所の位置決め用マーク８２ｚを同時に撮像する必要がある。この際、制御装置９０ａは、第２ホルダ９２の場合と同様に、アライメント用カメラ９９ｂの配置、撮像タイミング等に関する動作制御、アライメント用カメラ９９ｂの出力に対して行う画像処理、かかる画像処理の結果に基づく微動機構９３ｂの駆動すなわち出射側防塵板８２ｅの姿勢調整等を含む各種処理を行う。
【００５５】
以上のようにして、精密アライメントが達成された状態で、スライド装置９６を利用して、チャック部９３ｃ上の出射側防塵板８２ｅを検査軸ＤＡに沿って移動させて液晶モジュール８２ｍの出射面側に近接させる。さらに、出射側防塵板８２ｅと液晶モジュール８２ｍ表面の第２基板７３（図４参照）との間に不図示の接着剤供給装置からの紫外線硬化樹脂等を注入し硬化させることで、液晶モジュール８２ｍの第２基板７３上に出射側防塵板８２ｅをアライメントした状態で固定することができる。
【００５６】
次に、第１フィルター板８４ａを組み込んだ入射偏光フィルター８４を準備する。この入射偏光フィルター８４は、第１フィルター板８４ａの偏光軸が外形フレーム８４ｂの輪郭に沿った外周端面等に対して直角又は垂直となるように外形基準で組み立てられている。そして、調整装置９０の第４ホルダ９４に入射偏光フィルター８４を固定する。この際、チャック部９４ｃによって、第１フィルター板８４ａの姿勢及び配置が外形を利用して自動的にアライメントされ、第１フィルター板８４ａを入射偏光用基準位置に配置することができ、第１フィルター板８４ａの基準軸（具体的には偏光軸又は吸収軸）を調整装置９０の基準軸ＳＸ０略と平行にする標準的なアライメントが達成される。
【００５７】
次に、第２フィルター板８５ａを組み込んだ出射偏光フィルター８５を準備する。この出射偏光フィルター８５は、第２フィルター板８５ａの偏光軸が外形フレーム８５ｂの輪郭に沿った外周端面等に対して直角又は垂直となるように外形基準で組み立てられている。そして、調整装置９０の第５ホルダ９５に入射偏光フィルター８５を固定する。この際、チャック部９５ｃによって、第２フィルター板８５ａの姿勢及び配置が外形を利用して自動的にアライメントされ、第２フィルター板８５ａを出射偏光用基準位置に配置することができ、第２フィルター板８５ａの基準軸（具体的には偏光軸又は吸収軸）を調整装置９０の基準軸ＳＸ０と略平行にする標準的なアライメントが達成される。この際、検査用照明装置９７と透過光検出装置９８とを利用した観察により、出射偏光フィルター８５の挿入による遮光状態を確認することができ、例えばチャック部９５ｃを検査軸ＤＡのまわりに回転させて、透過光検出装置９８による検出光量が減少するように第２フィルター板８５ａの回転姿勢を調整することで、出射偏光フィルター８５を修正位置に配置するさらに精密なアライメントが可能になる。
【００５８】
次に、スライド装置９６を利用して、チャック部９４ｃ上の入射偏光フィルター８４を検査軸ＤＡに沿って移動させて液晶モジュール８２ｍの入射面側に近接させる。さらに、外形フレーム８４ｂの突起部８４ｄ（図２参照）と、液晶モジュール８２ｍの外形フレーム８２ｂの表面８３ｆ（図２参照）との間に不図示の接着剤供給装置からの紫外線硬化樹脂等を注入し硬化させることで、液晶モジュール８２ｍの外形フレーム８２ｂ上に入射偏光フィルター８４をアライメントした状態で固定することができる。
【００５９】
次に、スライド装置９６を利用して、チャック部９５ｃ上の出射偏光フィルター８５を検査軸ＤＡに沿って移動させて液晶モジュール８２ｍの出射面側に近接させる。さらに、外形フレーム８５ｂの突起部８５ｄ（図２参照）と、液晶モジュール８２ｍの外形フレーム８２ｂの裏面８３ｒ（図２参照）との間に不図示の接着剤供給装置からの紫外線硬化樹脂等を注入し硬化させることで、液晶モジュール８２ｍの外形フレーム８２ｂ上に出射偏光フィルター８５をアライメントした状態で固定することができる。
【００６０】
以上により、液晶ユニット８２に一対の偏光フィルター８４，８５を固定したライトバルブ８０が得られる。このライトバルブ８０は、図１に示すライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃとして、ライトガイド１１ａ内の適所に固定される。この際、ライトガイド１１ａの対応箇所に設けた保持具５３ａ，５３ｂ，５３ｃによって、ライトバルブ８０すなわちライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃを本体光学装置１１内にアライメントした状態で組み付け可能になる。
【００６１】
以上では、ライトバルブ８０（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ）を予め一体部品として組み立てた後、これらをライトガイド１１ａの保持具５３ａ，５３ｂ，５３ｃに組み付けているが、液晶ユニット８２を予め組み立て、この液晶ユニット８２と、別途準備した偏光フィルター８４，８５とを個別にライトガイド１１ａに組み付けてライトバルブ８０（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ）を完成することもできる。つまり、第１〜第３ホルダ９１〜９３までを利用したアライメント及び接合によって液晶ユニット８２を完成する。この液晶ユニット８２は、例えば図１に示すライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃの一部として、ライトガイド１１ａ内の適所に固定される。この際、ライトガイド１１ａの対応箇所に設けた保持具５３ａ，５３ｂ，５３ｃによって、液晶ユニット８２を本体光学装置１１内にアライメントした状態で組み付けが可能になる。さらに、別途準備した入射偏光フィルター８４と出射偏光フィルター８５とを保持具５３ａ，５３ｂ，５３ｃに固定することによって、ライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃが完成する。この際、液晶ユニット８２の外形と偏光フィルター８４，８５の外形とを基準にして、これら液晶ユニット８２及び偏光フィルター８４，８５のアライメントが可能になる。
【００６２】
以上のように、液晶ユニット８２のみを調整装置９０によってアライメントして組み立てる場合、第１ホルダ９１に反転可能に液晶モジュール８２ｍを固定し、アライメント用カメラ９９ａで観察しつつアライメントし、さらに、第２ホルダ９２に入射側防塵板８２ｄと出射側防塵板８２ｅとを順次固定してアライメント用カメラ９９ａを利用した同様のアライメントを順次行うことで、アライメント用カメラ９９ｂを用いることなく液晶ユニット８２を完成することができる。
【００６３】
〔まとめ〕
以上説明した実施形態の調整方法によれば、液晶モジュール８２ｍを構成する液晶デバイス８２ａの構造である位置決め用マーク８２ｘを基準にして、液晶モジュール８２ｍに対して光学素子の一例である防塵板８２ｄ，８２ｅのアライメントを行うので、液晶モジュールを構成する液晶デバイス８２ａを介して防塵板８２ｄ，８２ｅの光学軸と偏光板である偏光フィルター８４，８５の偏光軸との配置関係を調整するアライメントが可能になる。これにより、防塵板８２ｄ，８２ｅに適正な偏光を入射させ、ライトバルブ８０（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ）を適正に動作させることができるので、プロジェクター１０による投射画像のコントラストを向上させ、延いては色ムラを低減することができる。
【００６４】
以上実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
【００６５】
例えば上記実施形態では、液晶デバイス８２ａの第１基板７２に形成された位置決め用マーク８２ｘを利用してアライメントを行っているが、第２基板７３に形成された位置決め用マークをアライメント用カメラ９９ｂで観察することによって、液晶デバイス８２ａすなわち液晶モジュール８２ｍのアライメントを行うこともできる。
【００６６】
また、上記実施形態では、液晶デバイス８２ａの第１基板７２に位置決め用マーク８２ｘを形成しているが、位置決め用マーク８２ｘに代えて、液晶デバイス８２ａの画素部分ＰＰのパターン（画素パターン）、配向膜７６のパターン（配向膜パターン），７８、ブラックマトリックス７９のパターン（ブラックマトリックスパターン）等を利用することによっても、同様のアライメントが可能になる。
【００６７】
また、光学素子として、防塵板８２ｄ，８２ｅに代えて或いは追加して、光学補償板等の位相差板を液晶モジュール８２ｍに隣接して配置する場合にも、液晶モジュール８２ｍの位置決め用マーク８２ｘ等の構造と、位相差板の位置決め用マーク８２ｙ，８２ｚ等の構造や外形を利用することにより、防塵板８２ｄ，８２ｅと同様のアライメントが可能になる。
【００６８】
また、上記実施形態では、防塵板８２ｄ，８２ｅを正の一軸性の結晶材料で形成するとしたが、防塵板８２ｄ，８２ｅをサファイア等の負の一軸性の結晶材料で形成することもできる。
【００６９】
また、入射偏光フィルター８４や出射偏光フィルター８５についても、位置決め用マーク８２ｘと同様の位置決め用マークを形成し、アライメント用カメラ９９ａ，９９ｂからの画像に対する画像処理を利用した同様のアライメントを順次行うことができる。これにより、偏光フィルター８４，８５をより精密な修正位置にアライメントすることができる。
【００７０】
本発明の調整方法の対象となるプロジェクターは、ライトバルブ８０を備える多様な装置とすることができる。つまり、上記実施形態では、本体光学装置１１が、光源ランプユニット２０、均一化光学系３０、色分離導光光学系４０、光変調部５０、クロスダイクロイックプリズム６０、及び投射光学部７０を備えるものであるとして具体的に説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、上記実施形態では、光変調部５０において、透過型のライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃを用いているが、本発明は、反射型のライトバルブを組み込んだプロジェクターにも適用することができる。ここで、「反射型」とは、ライトバルブが光を反射するタイプであることを意味している。この場合、液晶デバイス８２ａの位置決め用マーク８２ｘ等の構造を利用して単一の防塵板を貼り付けることになる。さらに、上記実施形態では、光変調部５０を３個のライトバルブ５１ａ，５１ｂ，５１ｃで構成しているが、本発明は、１個以上の任意のライトバルブを組み込んだプロジェクターにも適用することができる。
【符号の説明】
【００７１】
ＤＡ…検査軸、  ＦＬ…視野、ＦＭ…指標、  ＬＩ…入射光、  ＬＯ…出射光、  ＬＲ，ＬＧ，ＬＢ…照明光、  ＰＦ１…第１偏光フィルム、  ＰＦ２…第２偏光フィルム、  ＳＡ…システム光軸、  ＳＴ…ステージ、  ＳＸ０，ＳＸ１…基準軸、  １０…プロジェクター、  １１ａ…ライトガイド、２０…光源ランプユニット、  ３０…均一化光学系、  ４０…色分離導光光学系、  ４１ａ，４１ｂ…ダイクロイックミラー、  ５０…光変調部、  ５１ａ，５１ｂ，５１ｃ…ライトバルブ、  ５３ａ，５３ｂ，５３ｃ…保持具、  ６０…クロスダイクロイックプリズム、  ７０…投射光学部、  ７１…液晶層、  ７２，７３…基板、  ７６，７８…配向膜、  ７９…ブラックマトリクス、  ８０…ライトバルブ、  ８２…液晶ユニット、  ８２ａ…液晶デバイス、  ８２ｂ…外形フレーム、  ８２ｄ…入射側防塵板、  ８２ｅ…出射側防塵板、  ８２ｈ…貫通孔、  ８２ｍ…液晶モジュール、  ８２ｐ…外縁端面、  ８２ｘ，８２ｙ，８２ｚ…位置決め用マーク、  ８４…入射偏光フィルター、  ８４ａ…第１フィルター板、  ８４ｂ…外形フレーム、  ８５…出射偏光フィルター、  ８５ａ…第２フィルター板、  ８５ｂ…外形フレーム、  ９０…調整装置、  ９１，９２，９３，９４，９５…ホルダ、  ９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，９４ｂ，９５ｂ…微動機構、  ９１ｃ，９２ｃ，９３ｃ，９４ｃ，９５ｃ……チャック部、  ９１ｅ…本体部分、  ９１ｆ…アライメント部、  ９１ｇ…係止具、  ９６…スライド装置、  ９７…検査用照明装置、  ９８…透過光検出装置、  ９９ａ，９９ｂ…アライメント用カメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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