(57)【要約】【課題】ワーク自体や粉塵等を吹き上げることなく、ワークを浮上させる。【解決手段】非接触ワーク支持装置１０は、開口部１２Ｅが上方に向けられたハウジング１１を備える。圧力気体を供給流路１９を介してハウジング１１内部に送る。ハウジング１１内部において、圧力気体は、螺旋流路形成部１２Ｂの螺旋流路、縮径部１２Ｃ、円筒状の螺旋流形成部１２Ｄを通って、開口部１２Ｅから旋回気流として噴出する。螺旋気流は、ワークＷの下面に作用されて、ワークＷを浮上させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口が設けられたハウジングと、前記ハウジングの内周面の周方向に沿って前記ハウジングの軸方向の成分を有する流速で、気体を前記ハウジング内部に噴出して、前記開口に向けて流れる旋回気流を発生させる流路とを備え、前記開口から噴出する前記旋回気流を、ワークの下面又は側面に作用させて前記ワークを支持する非接触ワーク支持装置。
【請求項２】
前記内周面は、前記流路よりも開口側に、前記開口に向けて縮径する縮径部を有することを特徴とする請求項１に記載の非接触ワーク支持装置。
【請求項３】
前記ハウジングの内部にブロック部材が嵌入され、前記ブロック部材と前記内周面との間で、前記流路が螺旋状に形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触ワーク支持装置。
【請求項４】
前記ブロック部材の外周面に螺旋状の凸条が設けられ、前記凸条が前記内周面に当接することにより螺旋状の前記流路が形成されることを特徴とする請求項３に記載の非接触ワーク支持装置。
【請求項５】
前記内周面は、前記流路よりも開口側に、前記開口に向けて縮径する縮径部を有するとともに、前記ブロック部材が、前記開口に向けて縮径する突出部を備え、前記突出部は前記縮径部の内部に配置されることを特徴とする請求項３又は４に記載の非接触ワーク支持装置。
【請求項６】
前記螺旋状の流路が複数設けられたことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の非接触ワーク支持装置。
【請求項７】
コンベヤで移動される前記ワークの側面に前記旋回気流が作用されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の非接触ワーク支持装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の非接触ワーク支持装置を複数個備える非接触ワーク支持装置ユニットであって、前記開口が行列状に並べられており、各列において左巻きの旋回気流を噴出する前記開口と、右巻きの旋回気流を噴出する前記開口とが交互に並べられるとともに、各行において左巻きの旋回気流を噴出する前記開口と、右巻きの旋回気流を噴出する前記開口とが交互に並べられることを特徴とする非接触ワーク支持装置ユニット。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の非接触ワーク支持装置を複数個備える非接触ワーク支持装置ユニットであって、左巻きの旋回気流を噴出する前記開口と、右巻きの旋回気流を噴出する前記開口とが並列された開口対が、所定方向に複数並べられており、これら開口から噴出した旋回気流でワークが前記所定方向に搬送されることを特徴とする非接触ワーク支持装置ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、旋回気流によって形成される空気層を使ってワークを支持する非接触ワーク支持装置に関し、特にワークを浮上させて支持する非接触ワーク支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体製造工程等において、静電気や粉塵等がワークに付着することを防止するために、ステージ上に配置されるワークを浮上させて、その浮上したワークを搬送させる搬送機構が知られている。このような搬送機構では、例えばステージに複数の絞り孔を設けて、その絞り孔から上部に向けて噴出させたエアでワークを浮上させることが一般的である（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】平山朋子著、「静圧気体軸受けによる非接触搬送技術」、油空圧技術２００８年１０月号、２００８年１０月１日発行
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、例えばワークが軽量物である場合や、ガラスや紙のように薄物である場合、絞り孔から噴出したエアによって、ワークが吹き上げられ、安定的にワークを浮上させることができないことがある。また、絞り孔から噴出したエアによって粉塵等も吹き上げられ、周辺環境を汚染することがある。特に、半導体製造工程等においては、吹き上げられた粉塵がワークに付着することによって歩留りが大きく低下することがある。
【０００５】
本発明は、以上の問題点に鑑みて成されたものであり、ワークを吹き上げることなく支持し、かつ粉塵等を吹き上げにくい非接触ワーク支持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る非接触ワーク支持装置は、開口が設けられたハウジングと、ハウジングの内周面の周方向に沿ってハウジングの軸方向の成分を有する流速で、気体をハウジング内部に噴出して、開口に向けて流れる旋回気流を発生させる流路とを備え、開口から噴出する旋回気流を、ワークの下面又は側面に作用させて前記ワークを支持することを特徴とする。
【０００７】
上記開口から噴出した旋回気流をワークの下面に作用させて、ワークを上方に浮上させることが好ましい。
【０００８】
ハウジングの内周面は、その流路よりも開口側に、開口に向けて縮径する縮径部を有していたほうがさらに良い。ハウジングの内部にブロック部材が嵌入されていても良い。この場合、ブロック部材と内周面との間で、流路が螺旋状に形成されることが好ましい。
【０００９】
例えば、ブロック部材の外周面に螺旋状の凸条が設けられ、凸条が内周面に当接することにより螺旋状の流路が形成される。また、ブロック部材が、開口に向けて縮径する突出部を備える場合、突出部は縮径部の内部に配置される。螺旋状の流路は、複数設けられていても良い。
【００１０】
また、本発明に係る非接触ワーク支持装置は、コンベヤで移動されるワークの側面に上記旋回気流が作用されるようにして使用されても良い。
【００１１】
本発明に係る非接触ワーク支持装置ユニットは、上記非接触ワーク支持装置を複数個備えるものである。
【００１２】
上記ユニットにおいて、複数の開口は行列状に並べられており、各列において左巻きの旋回気流を噴出する開口と、右巻きの旋回気流を噴出する開口とが交互に並べられるとともに、各行において左巻きの旋回気流を噴出する開口と、右巻きの旋回気流を噴出する開口とが交互に並べられることが好ましい。
【００１３】
また、左巻きの旋回気流を噴出する開口と、右巻きの旋回気流を噴出する開口とが並列された開口対が、所定方向に複数並べられており、これら開口から噴出した旋回気流でワークが所定方向に搬送されても良い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、旋回気流を用いてワークを支持するので、ワーク自体や、ワーク周辺にある粉塵等を吹き上げることなく、ワークを支持することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る非接触ワーク支持装置を示す断面図である。
【図２】ブロック部材の変形例を示す頂面図である。
【図３】第２の実施形態に係る非接触ワーク支持装置ユニットを示す模式的な断面図である。
【図４】第２の実施形態に係る非接触ワーク支持装置ユニットを示す模式的な上面図である。
【図５】第３の実施形態に係る非接触ワーク支持装置ユニットを示す模式的な上面図である。
【図６】第４の実施形態に係る非接触ワーク支持装置ユニットを示す模式的な断面図である。
【図７】第５の実施形態に係る非接触ワーク支持装置を示す断面図である。
【図８】非接触ワーク支持装置の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照に説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る非接触ワーク支持装置の構成を示す断面図である。
【００１７】
非接触ワーク支持装置１０は、略円筒形状を有するハウジング１１を備え、ハウジング１１には円筒軸Ｘに沿って連通する回転対称な空洞１２が設けられる。すなわち、ハウジング１１には、回転対称な内周面が形成される。本実施形態では、装置１０は、後述するように、ハウジング１１の底面１１Ａが上方に、頂面１１Ｂが下方に向けられて使用されるものである。
【００１８】
ハウジング１１は、頂面１１Ｂ側から順に、連結部１２Ａ、螺旋流路形成部１２Ｂ、縮径部１２Ｃ、螺旋流形成部１２Ｄ、開口部１２Ｅが構成される。連結部１２Ａの内周面は、内径Ｄ１の円筒形状をなし、螺旋流路形成部１２Ｂの内周面は、内径Ｄ１よりも一回り小さい内径Ｄ２を有する円筒形状をなす。縮径部１２Ｃは、その内周面が内径Ｄ２よりもひと回り小さい内径Ｄ３を有する円筒形状をなす部分と、内径Ｄ３よりも小さい内径Ｄ４の円筒形状をなす旋回流路形成部１２Ｄへと軸Ｘに沿って漸次縮径（本実施形態では、直線的に縮径）する部分とから形成される。また、開口部１２Ｅは、旋回流形成部１２Ｄ（すなわち、内径Ｄ４）から一旦僅かに縮径した後、円筒形状をなす部分に続き、さらにハウジング１１の底面１１Ａに向けて拡径し、底面１１Ａにおいて、円形を成す開口部１２Ｅの径は内径Ｄ４に略一致する。ハウジング１１は、後述する固定部材１５及び連結部材１７によってその頂面１１Ｂ側（すなわち、連結部１２Ａ）が気密に塞がれる。
【００１９】
ハウジング１１の内部には、ブロック部材１３が配置される。ブロック部材１３は、螺旋流形成部１２Ｂに嵌入される円筒部１３Ａと、円筒部１３Ａから突出し、開口部１２Ｅに向かうに従って縮径する切頭円錐形の突出部１３Ｂとを備える。円筒部１３Ａ及び突出部１３Ｂは、軸Ｘを中心に回転対称である。円筒部１３Ｂの外周面には、螺旋状の凸条１４が一体的に設けられる。円筒部１３Ａの外径Ｄ５は螺旋流形成部１２Ｂの内径Ｄ２よりも小さく、その高さは螺旋流路形成部１２Ｂに略等しい。また、螺旋状の凸条１４の外径は螺旋流路形成部１２Ｂの内径Ｄ２に略等しい。円筒部１３Ａが螺旋流路形成部１２Ｂの内部に嵌入されると、凸条１４の一端は、螺旋流路形成部１２Ｂと縮径部１３Ｃの間の段部に係合し、これにより、ブロック部材１３が開口部１２Ｅ側に移動することが規制される。このとき、円筒部１３Ａの外周面と螺旋流路形成部１２Ｂの内周面に挟まれた空間には、螺旋流路形成部１２Ｂの内周面に当接する凸条１４により仕切られた螺旋状の流路が形成される。
【００２０】
円筒部１３Ａが螺旋流路形成部１２Ｂに嵌め入れられた状態において、突出部１３Ｂは縮径部１２Ｃの内部に張り出しており、その先端はほぼ旋回流形成部１２Ｄの入り口高さに達する。このとき、突出部１３Ｂの外周面（錐面）と縮径部１２Ｃの内周面との間には隙間が形成される。
【００２１】
連結部１２Ａには固定部材１５が気密的に嵌入され、ブロック部材１３の凸条１４の他端は、固定部材１５の底面１１Ａ側の端部に係合される。さらに、この状態において、固定部材１５の頂面１１Ｂ側の端部は、連結部１２Ａの内周面に形成された環状の溝に嵌合されるＣリング１６により軸方向移動が規制される。これにより、ブロック部材１３及び固定部材１５は、ハウジング１１に対して軸方向に固定される。
【００２２】
固定部材１５の中央には、軸Ｘに沿って連通するネジ穴が設けられ、ネジ穴には雄ネジを備えた連結部材１７が気密的に螺着される。連結部材１７には、軸Ｘに沿って通路１７Ａが形成されるとともに、雄ネジと反対側にチューブ１８が連結される。チューブ１８の内部は通路１７Ａとともに、気体を螺旋流路形成部１２Ｂ内の螺旋流路へと供給するための供給流路１９を構成する。また、ブロック部材１３と連結部材１７の間には、ブロック部材１３の頂面を覆う空間２１が形成され、空間２１は、供給流路１９の一部を構成する。チューブ１８は、ポンプなどの気体供給装置（図示せず）に連結され、気体供給装置から供給流路１９を通って例えば高圧の気体が螺旋流路形成部１２Ｂの螺旋流路へと供給される。
【００２３】
次に、本実施形態に係る接触ワーク支持装置１０の作用について図１を参照して説明する。非接触ワーク支持装置１０は、軸Ｘが略鉛直になるように配置され、かつその底面１１Ａが上方に、頂面１１Ｂが下方に向けられる。そして、支持装置１０は、開口部１２Ｅが、略水平に配置された薄板状のワークＷの下面に対向されて使用されるものである。
【００２４】
本実施形態では、ポンプから供給された高圧気体は、螺旋流路形成部１２Ｂに形成された螺旋流路を通って、縮径部１２Ｃに噴出される。このとき、気体は、螺旋流路に沿って噴出されるので、縮径部１２Ｃの内周面の周方向に沿って螺旋ピッチに対応する軸Ｘ方向の成分を有する流速で噴出される。噴出された気体は、縮径する縮径部１２Ｃの内周面と、ブロック部材１３の突出部１３Ｂの外周面との間の隙間を、螺旋を描きながら流れ、螺旋流形成部１２Ｄに旋回流として放出される。なお、縮径部１２Ｃは、開口部１２Ｅに向かってその径が小さくなるので、気体の回転速度は、縮径部１２Ｃにおいて開口部１２Ｅに向かうに従って上昇し、螺旋流形成部１２Ｄでは安定した旋回気流が形成される。
【００２５】
旋回気流は、螺旋流形成部１２Ｄの内周面の周方向に沿って螺旋状に、開口部１２Ｅに向かって流れ、開口部１２Ｅから上方に噴出する。噴出した旋回気流はワークＷの下面に作用され、これにより、ワークＷが上方に浮上させられる。このとき、旋回気流は、底面１１ＡとワークＷの間の隙間を通して、径方向外側へと螺旋状に流出する。そのため、本実施形態では、ワークＷを上方に浮上させる気体は、ワークＷと、底面１１Ａとの間で層状をなす。
【００２６】
旋回気流に関しさらに詳述すると、旋回流形成部１２Ｄにおける、円筒内での気体の回転速度分布は、略一定となり、中央部で負圧が発生する。このとき、ワークＷの下面と、底面１１Ａとの間における隙間の径方向の圧力分布は、軸Ｘにおいて負圧が最大となるとともに、外側に向かうに従って圧力が上昇し、ハウジング１１の底面１１ＡとワークＷの下面との間の隙間では、正圧側に振れ、その正圧によってワークＷが浮上させられる。なお、本実施形態では、ハウジング１１より外側では、圧力は外気圧へと収斂する。
【００２７】
また、旋回気流によるワークＷの浮揚力は、ワークＷとハウジング１１との間の距離の関数となり、距離が所定の値のときに、ワークＷの重量と浮揚力が釣り合う。なお、この位置は、安定な釣り合い点であり、これ以上距離が近付くと、非接触ワーク支持機構１０は、旋回気流によってワークＷを押し上げ、遠ざかるとワークＷは自重によって押し下げられる。
【００２８】
本実施形態では、開口部１２Ｅから層状に噴出される旋回気流によって、ワークＷが浮上させられるので、ワークＷがガラスや紙等の軽量で薄いものであっても、ワークＷを浮上させる際に、ワークＷが吹き上げられることはない。また、層状に噴出される旋回気流は、粉塵等を吹き上げることがないので、ワークＷ等に粉塵が付着するのを防止することができる。
【００２９】
また、螺旋流路を利用して気体をハウジング内に噴出しているため、旋回流の形成が効率的となる。さらに、本実施形態では、縮径を行って旋回流を形成しているため、より効率的に安定した高速な旋回流を形成することができる。
【００３０】
本実施形態では、ブロック部を挿入するだけで、螺旋流路を形成することができ、組立効率が高い。また、縮径部にハウジングの内周面の縮径に合わせて外径が縮径する突出部を配置することで、より効率的に旋回流を発生することができる。
【００３１】
なお、図１で示される支持装置１０では、ブロック部材１３の外周に設けられた凸条１４が１条のときの例を図示したが、凸条１４の数は２条以上でもよい。また、ブロック部材１３の外周面を円筒面のままとして、螺旋流路形成部１２Ｃの内周面に凸条が設けられても良い。なお、図２に、変形例としてのブロック部材１３として外周面に２つの凸条１４Ａ、１４Ｂを備える場合のブロック部材１３の頂面図を示す。なお、螺旋（すなわち、旋回気流）の旋回方向は、右巻きでも左巻きでもよい。
【００３２】
次に、図３、４は、本発明における第２の実施形態に係る非接触ワーク支持装置ユニットを示すものである。本実施形態に係るユニットでは、上記非接触ワーク支持装置１０が複数用いられる。
【００３３】
本ユニットでは、複数の孔が形成されたステージ２７が設けられ、その孔内部に各支持装置１０が取り付けられる。各支持装置１０の底面１１Ａ（すなわち、開口部１２Ｅの端面）は、ステージ２７の上面と同一平面に配置される。本ユニットでは、全ての支持装置１１に対して気体を供給するためのメイン流路３０が設けられる。メイン流路３０は分岐され、各支持装置１０に気体を供給するための供給流路１９（図１参照）となる。
【００３４】
図４に示すように、旋回気流を噴出するための開口部１２Ｅは、ステージ２７上において、偶数列（図３の例では４列）、偶数行（図３の例では４行）で行列状に並べられる。各列において、噴出される旋回気流が左巻きである開口部１２Ｅと、右巻きである開口部１２Ｅが交互に並べられるとともに、各行においても同様に、旋回気流が左巻きである開口部１２Ｅと右巻きである開口部１２Ｅが交互に並べられる。
【００３５】
本実施形態では、左巻きの旋回気流を噴出する開口部１２Ｅと、右巻きの旋回気流を噴出する開口部１２Ｅの数は等しい。したがって、行列状に並べられた開口部１２Ｅから噴出される旋回気流で浮上されるワークＷは、旋回流によるワークＷへのトルクの影響を低減することができ、回転等が生じにくくなる。また、列方向Ｘ（又は行方向Ｙ）において隣接する２つの開口部１２Ｅから噴出される旋回気流は、それら開口部１２Ｅの間で、同一方向に進むため、合成されて大きな気流となるが、そのような気流は、一部がステージ２７の外部に向けて流出される。したがって、開口部１２Ｅから噴出した気体が、ステージ２７上に長く留まることが防止される。
【００３６】
また、本実施形態では、各支持装置１０のハウジング１１より外側（すなわち、ステージ２７とワークＷの間の隙間）でも、圧力は大気圧へと収斂されずに、正圧に保つことができる。さらに、全ての装置１０に対して同一の流路（メイン流路３０）から気体が供給されるので、各支持装置１０に同一の圧力の気体を供給しやすくなる。但し、複数の装置１０に対して気体を供給するメイン流路３０が２つ以上設けられても良く、例えば、行毎に異なるメイン流路３０から気体が供給されても良い。
【００３７】
なお、本実施形態では、ワークＷは、浮上した状態で移動するように構成されても良い。その場合、開口部１２Ｅ（すなわち、支持装置１０）の列方向Ｙにおける数はさらに増やされるとともに、行方向Ｘにおけるステージ２７の両端部に、ワークＷを保持するためのレールが設けられることが好ましい。このような態様によれば、ワークＷはその両端部がレールによって保持された状態で、不図示の駆動装置によって列方向Ｙにスライド移動させられること可能になる。また、各行において、左巻きの旋回気流を噴出する開口部１２Ｅと、右巻きの旋回気流を噴出する開口部１２Ｅの数は等しいので、ワークＷが列方向Ｙに搬送される場合も、旋回流によるワークＷへのトルクの影響を低減することができる。
【００３８】
図５は、本発明における第３の実施形態に係る非接触ワーク支持装置ユニットを示すものである。以下、第３の実施形態について、第２の実施形態との相違点を説明する。
【００３９】
第３の実施形態では、図５から明らかなように、ステージ２７上において、左巻きの旋回気流を噴出する１つの開口部１２Ｅと、右巻きの旋回気流を噴出する１つの開口部１２Ｅとが行方向Ｘに並列されて構成された開口対２４が、列方向Ｙに複数並べられたものである。すなわち、同一列における開口部１２Ｅは、同じ旋回方向を有する旋回気流を噴出する。
【００４０】
本実施形態では、各開口対２４において、一方の開口部１２Ｅから噴出した左巻きの旋回気流と、他方の開口部１２Ｅから噴出した右巻きの旋回気流とが、それら開口部１２Ｅの間で合成され、列方向Ｙに沿って一方向に流れる気流Ｆとなる。本実施形態では、その気流ＦによってワークＷは、列方向Ｙに沿って移動させられるので、別体の駆動装置を用いなくてもワークＷを搬送することができる。
【００４１】
ワークＷの幅（すなわち、行方向Ｘにおける長さ）は、開口対２４を構成する２つの開口部１２Ｅ、１２Ｅの離間距離よりもわずかに長い程度であることが好ましい。ワークＷの幅が長すぎると、気流Ｆと逆方向に流れる気流の影響を受けて、ワークＷの移動速度が遅くなる。
【００４２】
なお、本実施形態では、幅広のワークＷを搬送する場合、開口対２４が列方向Ｙに複数並べられて構成された開口群が、行方向Ｘに、所定距離離間されて、複数並べられても良い。
【００４３】
次に、図６を用いて本発明における第４の実施形態について説明する。上記各実施形態では、旋回気流は、ワークＷの下面に作用されたが、本実施形態では、ワークＷの側面に作用される点において上記各実施形態と相違する。
【００４４】
本実施形態では、ワークＷとしては、比較的厚さが大きいものが使用されるとともに、ワークＷは、コンベヤ３１のコンベヤベルト３２等によって搬送されるものである。非接触ワーク支持装置１０は、コンベヤ３１の両側に設けられ、コンベヤ３１で搬送されるワークＷを両側から挟み込むように配置される。各支持装置１０は、軸Ｘが略水平になって、かつ底面１１Ａ（すなわち、開口部１２Ｅ）が、ワークＷの側面に対向するように配置される。なお、図６では、支持装置１０は、コンベヤ３１の各側に１つずつしか設けられないが、通常、コンベヤの走行方向（図６では紙面に直交する方向）に沿って複数設けられる。
【００４５】
支持装置１０の開口部１２Ｅから噴出された旋回気流は、ワークＷの両側面に作用される。コンベヤによって搬送されるワークＷは、旋回気流がワークＷの側面に作用されることによって、その搬送方向が側方にずれることが防止される。すなわち、本実施形態では、支持装置１０は、コンベヤ３１によって搬送されるワークＷのガイド部材として機能する。
【００４６】
なお、支持装置１０は、ワークＷが近づくと正圧によってワークＷを遠ざけ、ワークＷが遠ざかると負圧により吸引してワークＷを近づける。したがって、本実施形態では、ワークＷをガイドするために旋回気流が用いられることにより、ワークＷをコンベヤベルト３２上の所定位置に配置させやすくなる。
【００４７】
次に、図７を用いて本発明に係る第５の実施形態について説明する。本実施形態は、供給流路１９の内側に、軸Ｘに沿う制御流路４１が設けられる点が上記各実施形態と相違する。以下本実施形態の相違点について説明する。
【００４８】
制御流路４１は、例えば、供給流路１９の所定の位置で供給流路１９の外側へと出され、その端部に制御弁４２が設けられる。制御弁４２の開閉は、例えば図示しない制御装置により制御される。本実施形態では、ブロック部材１３の中心には、軸Ｘに沿ってブロック部材１３を貫通する穴１３Ｄが形成される。制御流路４１は、連結部材１７の通路１７Ａ及び空間２１を通り抜け、穴１３Ｄに気密的に嵌入される。すなわち、制御弁４２が開かれると、旋回流形成部１２Ｄの中心は、制御流路４１を介して、ハウジング外部と連通される。
【００４９】
本実施形態では、制御弁４２が開かれると、旋回流形成部１２Ｄは、制御流路４１を通して外部と連通されるため、旋回流形成部１２Ｄの中心部における圧力は外気圧により上昇し、ワークの浮揚力が上昇する。したがって、制御弁２０の開閉を制御することにより、ワークＷの支持状態を制御することが可能になる。
【００５０】
図８は、非接触ワーク支持装置１０の変形例を示すものである。以下本変形例について説明するが、本変形例では、図１に示す部材と同一の機能を有する部材については、同一符号を付してその説明を省略する。なお、本変形例の非接触ワーク支持装置１０は、第２の実施形態のように、複数の支持装置１０が使用される非接触ワーク支持装置ユニットに適用されるときの例を示したものである。
【００５１】
図１で例示した非接触ワーク支持装置１０では、パイプ１８、固定部材１５、及び連結部材１７は別部材として設けられたが、本実施形態では、これらは接続管５０として一体に形成される。接続管５０は、その内部に供給流路１９を構成する通路５０Ａが、軸Ｘに沿って形成される。接続管５０は、一端側に雄ネジを備え、連結部１２Ａの内周面に形成された雌ネジに螺合され、ハウジング１１に連結される。なお、接続管５０には、螺合作業のためにナット部５０Ｂが一体的に設けられる。また、接続管５０と連結部１２Ａの内周面の間には、気密のためのシール部材（ゴムパッキングなど）５１が介挿される。
【００５２】
接続管５０の他端は、メイン流路３０を分岐させるためのＴ字継手５１の分岐管５２に連結され、これにより、供給流路１９がメイン流路３０に接続される。ここで、接続管５０と分岐管５２の連結は、例えば分岐管５２内に接続管５０を圧入して、接続管５０の外周面に設けられた環状の爪５３を、分岐管５２の内周面に形成された環状の溝に引っ掛けることにより行われる。本変形例では、２組の溝と爪により接続管５０とＴ字継手５１の連結が行われ、接続管５０はＴ字継手５１に、軸Ｘ周りに回転自在に一体化される。また、接続管５０の外周面と分岐管５２の内周面の間には、気密のためのシール部材５５が介挿される。さらに、本変形例では、縮径部１２Ｃの内周面は、円筒形状をなす部分が省略されて、円筒軸Ｘに沿って漸次縮径する部分のみから構成される。
【００５３】
本変形では、接続管５０が用いられたことによって、非接触ワーク支持装置１０の部品点数を減らすことができ、供給流路１９をメイン流路３０に簡単な構成で接続することができる。また、ハウジングに連結される接続管は、Ｔ字継手に回転自在に係合されているためハウジングの連結作業が行いやすく、連結後もＴ字継手がハウジングに対して自在に回転することもできる。
【符号の説明】
【００５４】
１０  非接触ワーク支持装置
１１  ハウジング
１２  空洞
１２Ｂ  螺旋流路形成部
１２Ｃ  縮径部
１２Ｄ  螺旋流形成部
１２Ｅ  開口部
１３  ブロック部材
２４  開口対
３１  コンベヤ
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010254463.tif 000009
【図８】
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