(57)【要約】【課題】生産性を向上させる印刷装置、及び生産性を向上させる膜の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る印刷装置１００は、被印刷物１を一定方向に移動させる搬送手段を有する搬送部１０と、被印刷物１の上方に設けられる印刷部２０と、被印刷物１の上方であって、印刷部２０の下流側に隣接して設けられる加熱部４０と、印刷部２０の下方に設けられ、被印刷物１の印刷部２０に対向した第１の面１ａと反対の第２の面１ｂ側から被印刷物１を吸着固定する吸着部３０と、を含み、吸着部３０は冷却機能を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷装置
被印刷物を一定方向に移動させる搬送手段を有する搬送部と、
前記被印刷物の上方に設けられる印刷部と、
前記被印刷物の上方であって、前記印刷部の下流側に隣接して設けられる加熱部と、
前記印刷部の下方に設けられ、前記被印刷物の前記印刷部に対向した第１の面と反対の第２の面側から前記被印刷物を吸着固定する吸着部と、
を含み、
前記吸着部は冷却機能を有する、印刷装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記印刷部は、スキージおよびスクリーンマスクを有するスクリーン印刷機からなる、印刷装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記加熱部の下方に設けられ、前記被印刷物の前記第２の面側から前記被印刷物を冷却する冷却部をさらに有する、印刷装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記加熱部は、ハロゲンヒーターである、印刷装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記被印刷物は、樹脂膜からなる樹脂シートと、前記樹脂シートの上に形成されたセラミックグリーンシートとからなる、印刷装置。
【請求項６】
膜の製造方法
搬送部によって、被印刷物を印刷部の印刷位置へ移動させる工程と、
吸着部によって、前記印刷位置における前記被印刷物を吸着固定する工程と、
前記印刷部によって、前記印刷位置における前記被印刷物の第１の面の上に第１の膜を形成する工程と、
前記搬送部によって、前記第１の膜が形成された前記被印刷物を、前記印刷部と隣接した加熱部の加熱位置へ移動させる工程と、
前記加熱部によって、前記加熱位置における前記被印刷物の前記第１の膜を加熱し、第２の膜を形成する工程と、
を含み、
前記吸着部は、冷却機能を有し、
前記第１の膜を形成する工程は、前記吸着部によって前記第２の面側から前記被印刷物を冷却する工程をさらに含む、膜の製造方法。
【請求項７】
請求項６において、
前記第２の膜を形成する工程は、冷却部によって前記第２の面側から前記加熱位置における前記被印刷物を冷却する工程をさらに含む、膜の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７において、
前記被印刷物は、樹脂膜からなる樹脂シートと、前記樹脂シートの上に形成されたセラミックグリーンシートとからなり、
前記第２の膜は、金属膜である、膜の製造方法。
【請求項９】
請求項６ないし８のいずれか１項において、
前記第２の膜を形成する工程は、７０℃以上、１３０℃以下の温度にて行われる、膜の製造方法。
【請求項１０】
請求項６ないし９のいずれか１項において、
前記第２の面を冷却する工程によって、前記被印刷物が室温に保たれる、膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置及び膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばスクリーン印刷機を用いて、配線基板の上にはんだペーストを印刷し膜パターンを形成する方法が知られている（特許文献１）。例えばインクジェットプリンター等の液滴噴射装置に搭載される積層セラミックス型圧電素子の製造工程においては、スクリーン印刷法によってセラミックグリーンシートの上に揮発性の有機成分を含む金属膜を印刷し、その後、乾燥炉へ搬送し、セラミックグリーンシートの上に形成された金属膜を乾燥させることにより、圧電素子の内部電極が形成されている。このような製造工程において、製造工程の時間を短縮することにより生産性を向上させることができる、印刷装置、および膜の製造方法が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２８５２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的の１つは、生産性を向上させる印刷装置を提供することにある。
【０００５】
本発明の目的の１つは、生産性を向上させる膜の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る印刷装置は、
被印刷物を一定方向に移動させる搬送手段を有する搬送部と、
前記被印刷物の上方に設けられる印刷部と、
前記被印刷物の上方であって、前記印刷部の下流側に隣接して設けられる加熱部と、
前記印刷部の下方に設けられ、前記被印刷物の前記印刷部に対向した第１の面と反対の第２の面側から前記被印刷物を吸着固定する吸着部と、
を含み、
前記吸着部は冷却機能を有する。
【０００７】
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下「Ｂ」という）を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。同様に、「下方」という文言は、Ａ下に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ下に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとする。
【０００８】
本発明によれば、生産性を向上させる印刷装置を提供することができる。
【０００９】
（２）本発明に係る印刷装置において、
前記印刷部は、スキージおよびスクリーンマスクを有するスクリーン印刷機からなってもよい。
【００１０】
（３）本発明に係る印刷装置において、
前記加熱部の下方に設けられ、前記被印刷物の前記第２の面側から前記被印刷物を冷却する冷却部をさらに有していてもよい。
【００１１】
（４）本発明に係る印刷装置において、
前記加熱部は、ハロゲンヒーターであってもよい。
【００１２】
（５）本発明に係る印刷装置において、
前記被印刷物は、樹脂膜からなる樹脂シートと、前記樹脂シートの上に形成されたセラミックグリーンシートとからなっていてもよい。
【００１３】
（６）本発明に係る膜の製造方法は、
搬送部によって、被印刷物を印刷部の印刷位置へ移動させる工程と、
吸着部によって、前記印刷位置における前記被印刷物を吸着固定する工程と、
前記印刷部によって、前記印刷位置における前記被印刷物の第１の面の上に第１の膜を形成する工程と、
前記搬送部によって、前記第１の膜が形成された前記被印刷物を、前記印刷部と隣接した加熱部の加熱位置へ移動させる工程と、
前記加熱部によって、前記加熱位置における前記被印刷物の前記第１の膜を加熱し、第２の膜を形成する工程と、
を含み、
前記吸着部は、冷却機能を有し、
前記第１の膜を形成する工程は、前記吸着部によって前記第２の面側から前記被印刷物を冷却する工程をさらに含む。
【００１４】
本発明によれば、生産性を向上させる膜の製造方法を提供することができる。
【００１５】
（７）本発明に係る膜の製造方法において、
前記第２の膜を形成する工程は、冷却部によって前記第２の面側から前記加熱位置における前記被印刷物を冷却する工程をさらに含んでいてもよい。
【００１６】
（８）本発明に係る膜の製造方法において、
前記被印刷物は、樹脂膜からなる樹脂シートと、前記樹脂シートの上に形成されたセラミックグリーンシートとからなり、
前記第２の膜は、金属膜であってもよい。
【００１７】
（９）本発明に係る膜の製造方法において、
前記第２の膜を形成する工程は、７０℃以上、１３０℃以下の温度にて行われてもよい。
【００１８】
（１０）本発明に係る膜の製造方法において、
前記第２の面を冷却する工程によって、前記被印刷物が室温に保たれてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態に係る印刷装置の要部の構成を模式的に示す図。
【図２】本実施形態に係る印刷装置の要部を模式的に示す斜視図。
【図３】本実施形態に係る膜の製造方法を模式的に示す図。
【図４】本実施形態に係る膜の製造方法を模式的に示す図。
【図５】本実施形態に係る膜の製造方法を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、本発明を適用した実施形態の一例について図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。本発明は、以下の実施形態およびその変形例を自由に組み合わせたものを含むものとする。
【００２１】
１．  印刷装置
以下、図面を参照して、本実施形態に係る印刷装置について説明する。
【００２２】
図１は、本実施形態に係る印刷装置の要部の構成を模式的に示す図である。図２は、本実施形態に係る印刷装置の要部を模式的に示す斜視図である。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態に係る印刷装置１００（図１の破線内部）は、被印刷物１を一定方向に移動させる搬送手段を有する搬送部１０と、被印刷物１の上方に設けられる印刷部２０と、被印刷物１の上方であって、印刷部２０の下流側に隣接して設けられる加熱部４０と、印刷部２０の下方に設けられ、被印刷物１の印刷部２０に対向した第１の面１ａと反対の第２の面１ｂ側から被印刷物１を吸着固定する吸着部３０と、を含む。
【００２４】
被印刷物１は、後述される印刷部２０によって印刷される物である。被印刷物１は、図１に示すように、印刷部２０に対向した第１の面１ａと、第１の面１ａと反対の第２の面１ｂを有する。被印刷物１の材質および形状は、印刷部２０によって印刷され得る限り、特に限定されない。例えば、被印刷物１は、シート状物であってもよいし、プレート状の基板であってもよい。具体的には、被印刷物１は、図１に示すように、セラミックス粒子を含む膜であるセラミックグリーンシート２（以下、「グリーンシート２」とも言う）を有していてもよい。被印刷物１は、図１に示すように、グリーンシート２の下方に樹脂からなる樹脂シート３を含んでいてもよい。つまりは、被印刷物１は、積層構造であってもよいし、図示はしないが、単層構造であってもよい。また、被印刷物１は、プリント配線基板であってもよい。また、被印刷物１は、シリコン基板であってもよい。また、図示はされないが、被印刷物１の両端は、巻き取りロールに接続していてもよく、上流側の被印刷物１の一端は、巻き取りロールから巻きだされて、下流側の被印刷物１の他端は、巻き取られていてもよい。
【００２５】
なお、本発明におけるグリーンシート２とは、セラミックス粒子を含むスラリーを公知の成膜技術によって成膜したシート状物であってもよい。グリーンシート２に含まれるセラミックス粒子は、例えば、焼成され、結晶化することにより、圧電特性を奏するものであってもよい。また、グリーンシート２を作製するためのスラリーには、セラミックス粒子と、該セラミックス粒子を分散させることができる公知のバインダー、有機溶剤、可塑剤、分散媒等が含まれていてもよい。
【００２６】
搬送部１０は、図１に示すように、被印刷物１を一定方向（例えば、図１の矢印Ａの示す方向）に移動させる搬送手段を有している。搬送部１０は、前述の搬送手段を有していれば、特に限定されない。例えば、搬送部１０は、図１に示すように、テンションローラーであってもよい。また、搬送部１０は、図１に示すように、被印刷物１の第２の面１ｂで被印刷物１を支持し、例えば自転することによって、被印刷物１を搬送してもよい。
【００２７】
印刷部２０は、図１に示すように、被印刷物１の上方に設けられる。印刷部２０は、被印刷物１に膜を形成することができ得るかぎり、特に限定されない。図２は、本実施形態に係る印刷装置の要部を模式的に示す斜視図であるため、印刷部２０の要部以外の構成は、便宜的に省略されている。例えば、印刷部２０は、公知のスクリーン印刷機であってもよい。印刷部２０が公知のスクリーン印刷機からなる場合、図２に示すように、印刷部２０は、スキージ２１と、例えば金属からなるスクリーンマスク２２と、を含んでいてもよい。図示されないが、支持部材や、弾性部材等の公知のスクリーン印刷機に必要な部材を含んでいてもよい。印刷部２０が、スクリーン印刷機である場合、スクリーンマスク２２は、所望の形状の膜を形成することができる開口パターン２２ａを有している。スクリーンマスク２２の一面側に、被印刷物１の第１の面１ａが配置される。スクリーンマスク２２の他面側でスキージ２１を移動させることにより後述される印刷用インク６０をスクリーンマスク２２の他面に押し付けることができる。これによって、開口パターン２２ａを通して被印刷物１の第１の面１ａの上に所望の形状の膜を形成することができる。また、図示はされないが、印刷部２０は、例えば、回路パターン等を形成するために用いられる公知の印刷機であってもよい。具体的には、パッド印刷機、ホットスタンプ印刷機、インクジェット印刷機等であってもよい（図示せず）。
【００２８】
印刷部２０によって被印刷物１に印刷される印刷用インク６０は、有機溶剤を含むインクであってもよい。例えば、金属膜を形成するための導電ペーストであってもよい。つまりは、印刷用インク６０は、半田ペーストであってもよい。また、印刷用インク６０は、樹脂膜を形成するための樹脂ペーストであってもよい。また、印刷用インク６０は、セラミックス膜を形成するためのセラミックスペーストであってもよい。
【００２９】
図２に示すように、印刷用インク６０を用い、印刷部２０によって被印刷物１の第１の面１ｂの上に、第１の膜６１を形成することができる。詳細は後述される。
【００３０】
吸着部３０は、図１に示すように、印刷部２０の下方に設けられ、被印刷物１の第２の面１ｂ側から被印刷物１を吸着固定することができる。吸着部３０の形状および構成は、被印刷物１を吸着固定することができ得る限り、特に限定されない。図１に示すように、吸着部３０は、被印刷物１の第２の面１ｂに対向するステージ３１を有していてもよい。例えば、吸着部３０は、図示されないが、第２の面１ｂに対向するステージ面３１において、吸着管である孔を有するエアチャック装置からなっていてもよい。
【００３１】
また、吸着部３０は、冷却機能を有していてもよい。例えば、吸着部３０は、少なくともステージ３１の表面が、金属から形成されてなり、ステージ３１が図示されない冷却機構に接続されていてもよい。例えば、少なくともステージ３１が、温度調節が可能な、公知の水冷式冷却装置に接続されていてもよい。これによって、吸着装置３０は、被印刷物１を吸着固定しながら、被印刷物１の第２の面１ｂより、被印刷物１を冷却することができる。吸着部３０によって、被印刷物１のグリーンシート２および樹脂シート３が、例えば室温に保たれてもよい。具体的には、被印刷物１のグリーンシート２および樹脂シート３が２０℃以上、３０℃以下に保たれてもよい。
【００３２】
加熱部４０は、図１に示すように、被印刷物１の上方であって、印刷部２０の下流側に隣接して設けられる。加熱部４０の形状および構成は、被印刷物１の第１の面１ａに熱エネルギーを与えることができ得る限り、特に限定されない。印刷部２０に隣接して設けられる加熱部４０とは、必ずしも加熱部４０が、印刷部２０に接触している必要はなく、離間して配置されていてもよい。しかしながら、加熱部４０が離間している場合であっても、被印刷物１が印刷部２０において印刷される印刷工程の後、実質的にはインクが印刷された被印刷物１を印刷工程から連続して加熱することができるように配置されていればよい。言い換えれば、被印刷物１は、実質的に印刷部２０によって印刷された直後に、加熱部４０によって加熱されることができる。加熱部４０は、図２に示すように、熱エネルギーを放射できる熱源４１を含む。例えば、熱源４１は、赤外線を放射できるものであってもよいし、紫外線を放射できるものであってもよい。具体的には、熱源４１は、ハロゲンヒーターであってもよい。熱源４１がハロゲンヒーターである場合、図２に示すように、赤外線４２を一方向に放射することができる。図２に示すように、ハロゲンヒーターを熱源４１として用いることで、被印刷物１の第１の面１ａの第１の膜６１が形成された領域のみを選択的に加熱することができる。これによって、第１の膜６１に含まれる有機成分が揮発し、第２の膜６２を形成することができる。詳細は後述される。また、図示はされないが、印刷部２０と加熱部４０との間に、熱を遮断することができる熱遮断部を設けてもよい。これにより、加熱部４０の熱エネルギーが、加熱部４０に隣接して配置される印刷部２０と、印刷部２０により印刷される印刷用インク６０に影響を与えることを防ぎ、印刷部２０の印刷の品質をより安定化することができる。
【００３３】
冷却部５０は、図１に示すように、加熱部４０の下方に設けられ、被印刷物１の第２の面１ｂ側から被印刷物１を冷却してもよい。冷却部５０の形状および構成は、被印刷物１を冷却することができ得る限り、特に限定されない。冷却部５０は、例えば、公知の冷水式冷却装置であってもよい。また、冷却部５０は、金属からなり、温度調節が可能な、公知の水冷式冷却装置に接続されていてもよい。これによって、冷却部５０は、被印刷物１の第２の面１ｂより、被印刷物１を冷却することができる。冷却部５０によって、被印刷物１のグリーンシート２および樹脂シート３が室温に保たれてもよい。また、図示はされないが、冷却部５０は、吸着部３０であってもよい。言い換えれば、吸着部３０が、印刷部２０および加熱部４０の下方に連続して配置され、加熱部４０の下方においても、吸着部３０が被印刷物１を室温に保つように冷却してもよい。
【００３４】
以上のいずれかの構成により、本実施形態に係る印刷装置１００の構成とすることができる。
【００３５】
本実施形態に係る印刷装置１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００３６】
本実施形態に係る印刷装置１００によれば、被印刷物１が吸着部３０または冷却部５０によって冷却され、例えば室温に保たれるため、印刷工程および加熱工程において被印刷物１の品質を安定化することができる。例えば、被印刷物１が、セラミック粒子を含む膜からなるグリーンシート２と樹脂シート３からなる場合、グリーンシート２および樹脂シート３が熱によって変性することがあるが、冷却機能を有した吸着部３０または冷却部５０によって、グリーンシート２および樹脂シート３を冷却することができるため、熱による変性を防ぐことができる。詳細は後述される。
【００３７】
また、加熱部４０による加熱工程中においても被印刷物１の樹脂シート３を冷却部５０によって冷却することができるため、加熱工程後の被印刷物１を巻き取りする場合に巻き取りやすくなり、加熱工程直後の被印刷物１の取り扱い性が向上する。
【００３８】
また、本実施形態に係る印刷装置１００によれば、印刷部２０と加熱部４０とが隣接して配置されるため、印刷工程と加熱工程との間の搬送時間が、実質的に最小限に短縮することができる。これにより、製造ラインの生産性を向上させることができる。また、本実施形態に係る印刷装置１００によれば、被印刷物１に印刷された第１の膜６１が吸着部３０によって冷却されることから、第１の膜６１の濡れ性を一定に保つことができる。言い換えれば、吸着部３０によって被印刷物１の第２の面が冷却されることにより第１の膜６１からの有機成分の揮発を低減し、第１の膜６１の有機溶剤の残留割合を一定に保つことができる。これにより、第１の膜６１を乾燥させて形成される第２の膜６２の品質が安定し、製造ラインの歩留まりを向上させることができる。以下に詳細を説明する。
【００３９】
通常の印刷装置を用いた製造ラインの場合、印刷ラインにて被印刷物１に第１の膜６１を印刷後、印刷用インク６０からなる第１の膜６１に含まれる有機溶剤を揮発させるために、例えば乾燥炉の加熱ラインまで搬送する必要がある。つまりは、実質的には印刷工程と加熱工程の間に、搬送等のための時間が必要となる。また、印刷工程と加熱工程とが別ラインである場合、搬送等に必要となる時間を規格化し、一定時間とすることは難しい。また、印刷工程と加熱工程が同一ラインであり、一定速度の搬送装置により搬送した場合であっても、通常の製造ラインでは、様々な要因によってラインが一時停止する場合があるため、搬送に必要となる時間を規格化し、一定時間とすることは難しい。前述のように、印刷用インク６０は有機溶剤を含み、該有機溶剤は、常時揮発するものであるから、印刷されて加熱されるまでの時間が一定でない場合、加熱工程直前の印刷用インク６０に残留している有機溶剤の割合は一定とはならない。しかしながら、実際の製造ラインにおいては、乾燥炉の温度および加熱時間等の条件は一定となっているために、加熱工程後の印刷用インク６０の濡れ性に個体差が発生し、例えば、過剰に加熱される場合など、製造ラインの歩留まりが低下する。
【００４０】
これに対し、本実施形態に係る印刷装置１００によれば、印刷部２０と、印刷部２０と隣接して設けられる加熱部４０とを有しているため、印刷工程と加熱工程との間の搬送の時間が実質的に最小限となる。つまりは、印刷工程から加熱工程までの時間を最小限に短縮することができるため、製造ラインの生産性が向上する。
【００４１】
また、例えば、別の乾燥ラインへ搬送する工程が無くなるため、印刷工程から加熱工程までの時間を一定時間に規格化することができる。これによれば、加熱工程前の第１の膜６１における有機溶剤の残留割合を一定にすることができ、第１の膜６１が過剰に加熱される場合等を防ぐことができるため、第２の膜６２の品質が向上し、製造ラインの歩留まりを向上させることができる。
【００４２】
また、吸着部３０が、冷却機能を有していることにより、製造ラインが何らかの要因によって停止し、被印刷物１に対して加熱処理が行えない場合であっても、第１の膜６１を冷却することができるため、停止時間中における第１の膜６１からの有機成分の揮発を抑えることができる。これによって、第２の膜６２の品質を安定化することができ、製造ラインの歩留まりを向上させることができる。
【００４３】
以上によって、本実施形態に係る印刷装置１００によれば、生産性を向上させる印刷装置を提供することができる。
【００４４】
２．  膜の製造方法
以下に、図面を参照して、本実施形態に係る膜の製造方法について説明する。
【００４５】
図３〜図５は、本実施形態に係る膜の製造方法を説明するための図である。
【００４６】
本実施形態に係る膜の製造方法は、図３〜図５に示すように、搬送部１０によって、被印刷物１を印刷部２０の印刷位置２０ａへ移動させる工程と、吸着部３０によって、印刷位置２０ａにおける被印刷物１を吸着固定する工程と、印刷部２０によって、印刷位置２０ａにおける被印刷物１の第１の面１ａの上に第１の膜６１を形成する工程と、搬送部１０によって、第１の膜６１が形成された被印刷物１を、印刷部２０と隣接した加熱部４０の加熱位置４０ａへ移動させる工程と、加熱部４０によって、加熱位置４０ａにおける被印刷物１の第１の膜６１を加熱し、第２の膜６２を形成する工程と、を含み、吸着部３０は、冷却機能を有し、第１の膜６１を形成する工程は、吸着部３０によって第２の面１ｂ側から被印刷物１を冷却する工程をさらに含む。
【００４７】
まず、図３に示すように、搬送部２０によって、被印刷物１を印刷部２０の下方の位置である印刷位置２０ａへ移動させる。印刷位置２０ａとは、印刷部２０の下方であって、印刷部２０が印刷することができる位置であれば、特に限定されるものではない。印刷位置２０ａに移動した被印刷物１は、印刷位置２０ａの下方に配置された吸着部３０によってステージ３１の上に吸着固定される。
【００４８】
次に、印刷位置２０ａにおける被印刷物１の第１の面１ａの上に第１の膜６１を形成する。印刷部２０が公知のスクリーン印刷機である場合、図４（Ａ）に示すように、吸着部３０のステージ３１の上に吸着固定された被印刷物１の第１の面１ａの上に開口パターン２２ａを有したスクリーンマスク２２が配置される。図４（Ａ）に示すように、スクリーンマスク２２の一面側に、被印刷物１の第１の面１ａが配置される。図４（Ａ）に示すように、スクリーンマスク２２の他面側に、印刷用インク６０が塗布された後、他面側でスキージ２１を移動させることにより印刷用インク６０をスクリーンマスク２２の他面に押し付けることができる。これによって、図４（Ｂ）に示すように、開口パターン２２ａを通して被印刷物１の第１の面１ａの上に所望の形状の第１の膜６１を形成することができる。
【００４９】
ここで、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、吸着部３０は、上述のように、冷却機能を有しているため、印刷位置２０ａにおける被印刷物１の第２の面１ｂ側から被印刷物１を冷却することができる。被印刷物１は、吸着部３０により冷却され、室温に保たれてもよい。具体的には、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、被印刷物１および印刷部２０によって形成された第１の膜６１を冷却し、室温に保つことによって、被印刷物１に対した熱による影響を防ぎ、かつ、印刷用インク６０によって形成された第１の膜６１に含まれる有機溶剤の揮発を防ぐことができる。
【００５０】
次に、図３に示すように、搬送部２０によって、第１の膜６１が形成された被印刷物１を、印刷部２０の下流側に隣接して配置される加熱部４０の下方の加熱位置４０ａへ移動させる。加熱位置４０ａは、印刷位置２０ａの下流側に隣接した位置である。
【００５１】
図５に示すように、加熱位置４０ａにおける被印刷物１の第１の膜６１を加熱し、第２の膜６２を形成する。例えば、加熱位置４０ａにおける被印刷物１の第１の面１ａの上に形成された第１の膜６１は、図示されない熱源４１からの赤外線４２よって加熱され、第１の膜６１に含まれる有機溶剤が揮発することにより、第２の膜６２が形成されてもよい。第２の膜６２を形成する工程において、熱源４１はハロゲンランプであってもよい。また、熱源４１のハロゲンランプは、７０℃以上、１３０℃以下の温度に設定されてもよい。印刷用インク６０が導電ペーストである場合、第２の膜６２は、金属膜であってもよい。つまりは、グリーンシート２および樹脂シート３からなる被印刷物１の第１の面１ａの上に形成された配線パターンであってもよい。好適には、第２の膜６２は、例えば、積層圧電セラミックス用のグリーンシート２の上に形成され、所望の形状を有した内部電極パターンであってもよい。
【００５２】
また、図５に示すように、第２の膜６２を形成する工程は、冷却部５０によって加熱位置４０ａにおける被印刷物１の第２の面１ｂ側から被印刷物を冷却し、被印刷物１を室温に保つ工程を含んでいてもよい。例えば、図５に示すように、加熱位置４０ａの下方に配置された冷却部５０が、被印刷物１の第２の面１ｂより、被印刷物１を冷却してもよい。これにより、グリーンシート２に残留する有機成分の揮発を低減し、樹脂シート３に対する加熱の影響を低減することができる。また、図示はされないが、冷却部５０は、吸着部３０であってもよい。
【００５３】
本実施形態に係る膜の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
【００５４】
本実施形態に係る膜の製造方法によれば、被印刷物１が吸着部３０または冷却部５０によって冷却され、例えば室温に保たれるため、第１の膜６１を形成する工程および第２の膜６２を形成する工程において被印刷物１の性質が熱等により変性することを防ぐことができる。例えば、被印刷物１が、積層圧電セラミックス用のグリーンシート２と樹脂シート３からなる場合、グリーンシート２と樹脂シート３が熱によって変性することがある。しかしながら、本実施形態に係る膜の製造方法によれば、上述のように、グリーンシート２と樹脂シート３の熱による変性を防ぐことができる。
【００５５】
また、冷却部５０によって加熱工程中においても被印刷物１を冷却することにより、第２の膜６２を形成する工程の後、被印刷物１を巻き取りする場合に巻き取りやすくなり、第２の膜６２を形成する工程直後の被印刷物１の取り扱い性が向上する。
【００５６】
また、本実施形態に係る膜の製造方法によれば、加熱部４０が、印刷部２０に隣接して配置されているため、第１の膜６１を形成する工程と第２の膜６２を形成する工程との間の搬送時間が実質的に最小限となり、製造ラインの生産性を向上させることができる。
【００５７】
また、本実施形態に係る膜の製造方法によれば、第１の膜６１を形成する工程において、吸着部３０により形成される第１の膜６１を冷却して、第１の膜６１の濡れ性を一定に保つことができる。これにより、第１の膜６１より形成される第２の膜６２の品質が向上し、製造ラインの歩留まりを向上させることができる。
【００５８】
また、印刷位置２０ａと加熱位置４０ａとが隣接しているため、例えば別ラインの乾燥ラインへ搬送する必要がないため、第１の膜６１を形成する工程から第２の膜６２を形成する工程までの工程時間を一定にし規格化することができる。これによれば、第２の膜６２を形成する工程の前の第１の膜６１における有機溶剤の残留割合を一定にすることができ、過剰に加熱される場合等を防ぐことができるため、第２の膜６２の品質が向上し、製造ラインの歩留まりを向上させることができる。
【００５９】
また、吸着部３０が、冷却機能を有していることにより、製造ラインが何らかの要因によって停止し、被印刷物１を加熱位置４０ａへ搬送し、加熱処理が行えない場合であっても、第１の膜６１を冷却することができるため、停止時間中における第１の膜６１からの有機成分の揮発を抑えることができる。これによって、第２の膜６２の品質を安定化することができ、製造ラインの歩留まりを向上させることができる。
【００６０】
以上によって、本実施形態に係る膜の製造方法によれば、生産性を向上させる膜の製造方法を提供することができる。
【００６１】
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００６２】
１  被印刷物、１ａ  第１の面、１ｂ  第２の面、２  セラミックグリーンシート、３  樹脂シート、１０  搬送部、２０  印刷部、２０ａ  印刷位置、２１  スキージ、２２  スクリーンマスク、２２ａ  開口パターン、３０  吸着部、３１  ステージ、４０  加熱部、４０ａ  加熱位置、４１  熱源、４２  赤外線、５０  冷却部、６０  印刷用インク、６１  第１の膜、６２  第２の膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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