(57)【要約】【課題】出力トルクを効率よく向上させることができる振動アクチュエータを提供する。【解決手段】振動アクチュエータ１００は、軸部材１１０と、軸部材１１０の軸線Ｌ周りに回転自在なロータ１６０と、ロータ１６０に接して配され、軸部材１１０が挿通されたステータ１２０と、軸線Ｌの方向についてロータ１６０との間でステータ１２０を挟む位置に配されて軸部材１１０が挿通され、ステータ１２０に対して軸線Ｌの周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部１３０と、軸部材１１０が挿通され、ステータ１２０に結合して軸線Ｌの方向についてステータ１２０との間で電気機械変換部１３０を挟む位置に配されて電気機械変換部１３０を挟んで保持する保持部材１７０とを備え、ステータ１２０と保持部材１７０とは、軸線Ｌの方向について電気機械変換部１３０よりも保持部材１７０側で結合される。【選択図】図２
2010017036.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材と、
前記軸部材の軸線周りに回転自在なロータと、
前記ロータに接して配され、前記軸部材が挿通されたステータと、
前記軸線の方向について前記ロータとの間で前記ステータを挟む位置に配されて前記軸部材が挿通され、前記ステータに対して前記軸線の周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、
前記軸部材が挿通され、前記ステータに結合して、前記軸線の方向について前記ステータとの間で前記電気機械変換部を挟んで保持する保持部材と
を備え、
前記ステータと前記保持部材とは、前記軸線の方向について前記電気機械変換部よりも前記保持部材側で結合される振動アクチュエータ。
【請求項２】
前記ステータは、前記ロータと接するステータ本体、および、前記ステータ本体から前記保持部材へ延伸し、前記電気機械変換部を貫通すると共に前記軸部材が挿通され、且つ、前記保持部材と螺合する延伸部を有する請求項１に記載の振動アクチュエータ。
【請求項３】
前記軸部材は前記ステータに相対回転自在に支持されており、
前記軸線の方向について前記ステータとの間で前記ロータを挟む位置に配され、前記軸部材に固定された歯車と、
前記軸線の方向について前記ロータと前記歯車との間に、加圧された状態で挟み込まれた弾性板と
を備える請求項１に記載の振動アクチュエータ。
【請求項４】
前記保持部材に固定された外輪と、当該外輪に回転自在に支持され前記軸部材が挿通された内輪とを有する軸受と、
前記軸線の方向について前記保持部材との間で前記内輪を挟む位置に配されて前記軸部材に固定された挟部材と、
前記軸線の方向について前記内輪と前記挟部材との間に配され、前記軸部材が挿通された環状部材と、
前記軸線の方向について前記環状部材と前記挟部材との間に、弾性圧縮された状態で挟み込まれ、前記環状部材を前記内輪に圧接する弾性体と
を備える請求項１に記載の振動アクチュエータ。
【請求項５】
振動アクチュエータと、
前記振動アクチュエータにより移動される光学部材と、
前記振動アクチュエータと前記光学部材とを収容するレンズ鏡筒と
を備え、
前記振動アクチュエータは、
軸部材と、
前記軸部材の軸線周りに回転自在なロータと、
前記ロータに接して配され、前記軸部材が挿通されたステータと、
前記軸線の方向について前記ロータとの間で前記ステータを挟む位置に配されて前記軸部材が挿通され、前記ステータに対して前記軸線の周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、
前記軸部材が挿通され、前記ステータに結合して、前記軸線の方向について前記ステータとの間で前記電気機械変換部を挟んで保持する保持部材と
を有し、
前記ステータと前記保持部材とは、前記軸線の方向について前記電気機械変換部よりも前記保持部材側で結合されるレンズユニット。
【請求項６】
振動アクチュエータと、
前記振動アクチュエータにより移動される光学部材と、
前記光学部材によって結像された画像を撮像する撮像部と
を備え、
前記振動アクチュエータは、
軸部材と、
前記軸部材の軸線周りに回転自在なロータと、
前記ロータに接して配され、前記軸部材が挿通されたステータと、
前記軸線の方向について前記ロータとの間で前記ステータを挟む位置に配されて前記軸部材が挿通され、前記ステータに対して前記軸線の周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、
前記軸部材が挿通され、前記ステータに結合して、前記軸線の方向について前記ステータとの間で前記電気機械変換部を挟んで保持する保持部材と
を有し、
前記ステータと前記保持部材とは、前記軸線の方向について前記電気機械変換部よりも前記保持部材側で結合される撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ、レンズユニット及び撮像装置に関する。本発明は、特に、電気機械変換部によりステータに発生される振動によってロータが回転する振動アクチュエータ、当該アクチュエータを備えるレンズユニット及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一対のステータが、積層型の圧電素子を挟んだ両側に配され、回転軸に固定された一対のロータが、一対のステータを挟んだ両側に配された振動アクチュエータが知られている（例えば、特許文献１参照）。この振動アクチュエータでは、圧電素子が伸縮することにより、一対のステータに回転軸の軸線周りに遷移する振動が発生して該振動により一対のロータが回転される。
【特許文献１】特開２０００−３０８３７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記振動アクチュエータは、ステータを共振周波数で振動させることにより高出力を得る。しかしながら、例えばステータの支持状態が変動することにより、ステータの振動数が変動して共振周波数から外れた場合には出力が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態において、振動アクチュエータは、軸部材と、軸部材の軸線周りに回転自在なロータと、ロータに接して配され、軸部材が挿通されたステータと、軸線の方向についてロータとの間でステータを挟む位置に配されて軸部材が挿通され、ステータに対して軸線の周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、軸部材が挿通され、ステータに結合して、軸線の方向についてステータとの間で電気機械変換部を挟んで保持する保持部材とを備え、ステータと保持部材とは、軸線の方向について電気機械変換部よりも保持部材側で結合される。
【０００５】
また、本発明の第２の形態において、レンズユニットは、振動アクチュエータと、振動アクチュエータにより移動される光学部材と、振動アクチュエータと光学部材とを収容するレンズ鏡筒とを備え、振動アクチュエータは、軸部材と、軸部材の軸線周りに回転自在なロータと、ロータに接して配され、軸部材が挿通されたステータと、軸線の方向についてロータとの間でステータを挟む位置に配されて軸部材が挿通され、ステータに対して軸線の周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、軸部材が挿通され、ステータに結合して、軸線の方向についてステータとの間で電気機械変換部を挟んで保持する保持部材とを有し、ステータと保持部材とは、軸線の方向について電気機械変換部よりも保持部材側で結合される。
【０００６】
本発明の第３の形態において、撮像装置は、振動アクチュエータと、振動アクチュエータにより移動される光学部材と、光学部材によって結像された画像を撮像する撮像部とを備え、振動アクチュエータは、軸部材と、軸部材の軸線周りに回転自在なロータと、ロータに接して配され、軸部材が挿通されたステータと、軸線の方向についてロータとの間でステータを挟む位置に配されて軸部材が挿通され、ステータに対して軸線の周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、軸部材が挿通され、ステータに結合して、軸線の方向についてステータとの間で電気機械変換部を挟んで保持する保持部材とを有し、ステータと保持部材とは、軸線の方向について電気機械変換部よりも保持部材側で結合される。
【０００７】
なお、上記の発明の概要は、必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１には、一実施形態に係る振動アクチュエータ１００の斜視図である。また、図２は、振動アクチュエータ１００の側断面図である。なお、軸部材１１０の軸方向における駆動出力側を出力側、その反対側を非出力側として説明する。また、軸部材１１０の軸方向から振動アクチュエータ１００を見た場合を平面視、出力軸の径方向から振動アクチュエータ１００を見た場合を側面視として説明する。
【００１０】
これらの図に示すように、振動アクチュエータ１００は、軸部材１１０、ロータ１６０、ステータ１２０、電気機械変換部１３０、配線板１４０、保持部材１７０、弾性体としての付勢部材１５０、歯車１８０、保持部材１７０と協働して付勢部材１５０を挟む挟部材としてのフランジ部１９０を備えている。軸部材１１０は、円柱状に形成されており、軸線Ｌの方向（以下、軸方向という）における出力側にはネジ部１１７が形成され、非出力側にはネジ部１１８が形成される。
【００１１】
ロータ１６０は、軸部材１１０の軸方向の出力側に配される。当該ロータ１６０は、軸心に貫通孔が形成された円盤状、所謂ドーナツ状に形成されており、軸心には軸部材１１０が挿通される。また、ロータ１６０は、ネジ部１１７に螺合しており、さらに、接着される。
【００１２】
ステータ１２０は、軸線Ｌの方向についてロータ１６０より出力側に配されており、軸心には軸部材１１０が挿通される。当該ステータ１２０は、ドーナツ状に形成されてロータ１６０に接したステータ本体１２５、および、当該ステータ本体１２５よりも小径であって、ステータ本体１２５から軸線Ｌの方向に延伸した延伸部２１０を有する。
【００１３】
電気機械変換部１３０も、ドーナツ状に形成される。この電気機械変換部１３０は、軸線Ｌの方向についてロータ１６０とステータ１２０との間に配されており、軸心には軸部材１１０が挿通される。また、配線板１４０は、電気機械変換部１３０より非出力側に配されている。この配線板１４０は、ドーナツ状の電極部１４２と電極部１４２から外径方向へ延伸した配線部１４４とを備える。配線板１４０の一例は、フレキシブルプリント配線板である。電極部１４２の軸心には軸部材１１０が挿通されている。
【００１４】
保持部材１７０は、配線板１４０より非出力側に配される。この保持部材１７０は、円筒状の基部１７２と、当該基部１７２と一体的に形成され、基部１７２の軸方向中央部から外径方向に延出したドーナツ状のフランジ部１７４とを有する。フランジ部１７４の外周縁部には、９０度間隔でＵ字状の締結用穴１７６が形成されており、この締結用穴１７６に挿通されるネジ等の締結具により、フランジ部１７４が、振動アクチュエータ１００を駆動源とする装置に固定される。また、基部１７２の軸心にはネジ穴１７８が形成される。図示の例では、締結用穴１７６がＵ字状である例を示したが、これに代えて、締結用穴１７６を円形をなした穴で構成することができる。また、周面にネジ溝が形成されたネジ穴で締結用穴１７６を構成することができる。
【００１５】
上記ステータ１２０の延伸部２１０は、ステータ１２０の軸心から保持部材１７０に向けて延伸しており、その内部には軸部材１１０が挿通されている。この延伸部２１０における保持部材１７０側の端部にはネジ部２１２が形成されており、このネジ部２１２と保持部材１７０の基部１７２の軸心に存するネジ穴１７８とが螺合する。これにより、ステータ１２０は、電気機械変換部１３０より保持部材１７０側において保持部材１７０と結合される。
【００１６】
電気機械変換部１３０と配線板１４０の電極部１４２とは、ステータ１２０と保持部材１７０とに挟まれて、軸部材１１０の軸方向に締め付けられる。また、ステータ１２０の軸心には軸受１２２が埋設されており、この軸受１２２により軸部材１１０が回転自在に支持される。
【００１７】
また、保持部材１７０の非出力側の端部には、軸線Ｌを中心とする円状の凹部１７９が形成されており、この凹部１７９にはドーナツ状のワッシャ１９１が配される。このワッシャ１９１には軸部材１１０が挿通される。
【００１８】
また、歯車１８０は、ロータ１６０より出力側においてネジ部１１７に螺合しており、さらに、接着される。また、フランジ部１９０は、ネジ部１１８に螺合する。フランジ部１９０とワッシャ１９１との間には、付勢部材１５０が配される。付勢部材１５０の一例は、図示された圧縮コイルバネであって、コイル内には軸部材１１０が挿通され、軸部材１１０の軸方向に伸縮可能となっており、ワッシャ１９１を介して保持部材１７０とフランジ部１９０とにより弾性収縮されている。図示の例では、付勢部材１５０として圧縮コイルバネを用いた例を示したが、圧縮コイルバネに代えて他の弾性体を付勢部材を用いてもよい。また、弾性体の弾性反力を利用してロータ１６０をステータ１２０に向けて付勢することに代えて、付勢部材１５０は、磁力を利用してロータ１６０をステータ１２０に向けて付勢させてもよい。
【００１９】
また、ロータ１６０には非出力側に、円環状の接触子１６２が外周に沿って形成されている。接触子１６２は、ロータ１６０から非出力側へ突出している。
【００２０】
ここで、付勢部材１５０が軸部材１１０の軸方向に弾性収縮していることにより、フランジ部１９０には、非出力側への付勢力が作用する一方、ワッシャ１９１には、出力側への付勢力が作用している。このため、軸部材１１０が非出力側へ付勢されることによって、ロータ１６０に形成された接触子１６２が、ステータ１２０に圧接される。
【００２１】
図３は、電気機械変換部１３０の分解斜視図である。この図に示すように、電気機械変換部１３０は、軸部材１１０の軸方向に積層された複数の電気機械変換素子層１３８を備える。電気機械変換素子層１３８の各々は、圧電材料板１３６と、圧電材料板１３６の表面に形成された複数の電極１３２、１３３、１３４、１３５とを備える。
【００２２】
電極１３２、１３３、１３４、１３５は、略セクタ状の同形状とされており、軸線Ｌの周りに等間隔で配置される。また、同符号が付された電極の全体同士が軸方向に重なり合うように、電気機械変換素子層１３８が積層されており、各電極は、電気機械変換部１３０の側面に形成された導線により、配線板１４０の電極に導通される。また、圧電材料板１３６の電極形成面の裏側にはグランド電極が形成されており、各層のグランド電極は、電気機械変換部１３０の側面に形成された導線により、配線板１４０のグランド電極に導通される。
【００２３】
圧電材料板１３６は、駆動電圧を印加された場合に伸張する圧電材料を含んでいる。具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電材料を含んでいる。なお、多くの圧電材料は脆いので、りん青銅等の高弾性金属材料で補強することが好ましい。また、上記電極は、ニッケル、金等の電極材料を用いて、鍍金、スパッタ、蒸着、厚膜印刷等の方法で、圧電材料の表面に直接に形成すればよい。
【００２４】
次に、本実施形態における作用について説明する。図４Ａ〜図４Ｄには、ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を誇張して示した斜視図である。図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃ及び図４Ｄの相互の間に記入された矢印は、一対のステータ１２０及び一対の電気機械変換部１３０の状態が遷移することを示すと共に、状態の遷移が循環して一対のステータ１２０及び一対の電気機械変換部１３０が周期的に動作することを示す。
【００２５】
電極１３２、１３３、１３４、１３５のいずれかに対して駆動電圧が印加された場合、電気機械変換部１３０の軸方向の長さは、駆動電圧が印加された電極１３２、１３３、１３４、１３５に対応する部位で増加する。一方、駆動電圧が印加されていない電極１３２、１３３、１３４、１３５に対応する部位では、電気機械変換部１３０の軸方向の長さは変化しない。ステータ１２０は、電気機械変換部１３０の軸方向の長さが増加した部位において持ち上げられる。これにより、ステータ１２０は傾斜する。
【００２６】
電極１３２、１３３、１３４、１３５に対して順次駆動電圧が印加されると、電極１３２、１３３、１３４、１３５に対応する部位で、電気機械変換部１３０の軸方向の長さが順次増加する。例えば、電極１３２、１３３、１３４、１３５に対して、１／４πずつ位相が異なる交流電圧が印加される。これにより、一対のステータ１２０の傾斜方向が、軸心周りの一方向へと遷移していくと共に、当該方向へ遷移する振動が発生する。ステータ１２０には、共振周波数の振動を発生させる。
【００２７】
ロータ１６０は、付勢部材１５０によって付勢されて、ステータ１２０に対して定常的に当接している。このため、ロータ１６０は、傾斜方向を周回させつつ揺動する出力側のステータ１２０から摩擦駆動力及び軸周りに遷移する共振を受けて回転する。
【００２８】
これにより、軸部材１１０が、一対のロータ１６０と一体で回転することから、軸部材１１０に回転不能に結合された歯車１８０が回転する。よって、モータ駆動力が出力される。
【００２９】
本実施形態では、ステータ１２０のステータ本体１２５と一体で形成された延伸部２１０を保持部材１７０に螺合させることにより、ステータ１２０が、軸線Ｌの方向における電気機械変換部１３０より保持部材１７０側において保持部材１７０に結合している。
【００３０】
すなわち、ステータ１２０と保持部材１７０とは、ステータ本体１２５と電気機械変換部１３０とが当接している領域から軸線Ｌの方向に離れた位置で結合している。よって、本実施形態によれば、ステータ１２０が電気機械変換部１３０から駆動されて変形する影響が、ネジ部２１２とネジ穴１７８との締結力に及ぶことを防ぐことができ、延伸部２１０と保持部材１７０との締結の緩みを最大限抑制できる。
【００３１】
また、本実施形態では、ステータ１２０と保持部材１７０とが電気機械変換部１３０を挟んで固定している。これにより、電気機械変換部１３０をステータ本体１２５に確実に当接させて、駆動力を効率よく伝達することができる。
【００３２】
次に、他の実施形態について説明する。なお、上記実施形態と同様の構成には同一の符号を付して説明は省略する。
【００３３】
図５は、他の実施形態に係る振動アクチュエータ２００の斜視図である。また、図６は、振動アクチュエータ２００の側断面図である。これらの図に示すように、振動アクチュエータ２００では、ロータ１６０の軸心に円柱状のナット２３０が回転可能に嵌合している。このナット２３０は、軸部材１１０のネジ部１１７に螺合しており、ロータ１６０は、ナット２３０を介して軸部材１１０に回転可能に支持される。
【００３４】
また、歯車１８０には、軸線Ｌと直交する方向にネジ穴１８２が形成されており、ネジ穴１８２には固定ネジ１８４が螺合している。この固定ネジ１８４の先端部は、軸部材１１０のネジ部１１７に圧接している。このため、軸部材１１０が回転したときに、ネジ部１１７と固定ネジ１８４との先端部に摩擦力が生じ、当該摩擦力により歯車１８０が軸部材１１０に追従して回転する。
【００３５】
また、振動アクチュエータ２００では、ロータ１６０と歯車１８０との間に、ドーナツ状の弾性板２２０が配される。弾性板２２０は、ゴムで形成された厚み方向に弾性変形可能な板材であって、ロータ１６０と歯車１８０とにより加圧され、弾性的に圧縮された状態で挟み込まれる。
【００３６】
このため、ステータ１２０の振動によりロータ１６０が回転されたときには、ロータ１６０と弾性板２２０との間、及び弾性板２２０と歯車１８０との間に回転方向への摩擦力が生じ、当該摩擦力により、弾性板２２０がロータ１６０に、歯車１８０が弾性板２２０に追従して回転する。よって、ロータ１６０、弾性板２２０、歯車１８０、及び歯車１８０と螺合した軸部材１１０が一体となって回転する。
【００３７】
また、保持部材１７０の非出力端部には、軸受２４０が埋設される。軸受２４０は、ボールベアリングであって、保持部材１７０に固定された外輪２４２と、外輪２４２に回転自在に支持された内輪２４４とを備える。内輪２４４には軸部材１１０が相対回転可能に挿通される。
【００３８】
また、軸線Ｌの方向について軸受２４０とフランジ部１９０との間には、ドーナツ状のワッシャ２５０が配される。ワッシャ２５０には軸部材１１０が挿通される。また、ワッシャ２５０の中央部は、軸受２４０の側に向けて肉厚化されており、当該中央部は、付勢部材１５０により内輪２４４に圧接される。
【００３９】
このため、ステータ１２０の振動によりロータ１６０、弾性板２２０、歯車１８０、及び軸部材１１０が一体となって回転されたときには、ワッシャ２５０の中央部と内輪２４４との間に回転方向への摩擦力が生じ、当該摩擦力により、内輪２４４がワッシャ２５０に追従して回転する。よって、ロータ１６０、弾性板２２０、歯車１８０、軸部材１１０、フランジ部１９０、付勢部材１５０、ワッシャ２５０、及び内輪２４４が一体となって回転する。
【００４０】
以上により、歯車１８０とフランジ部１９０については軸部材１１０に螺合させるものの、これらの間に存するロータ１６０、内輪２４４、ワッシャ２５０については、軸部材１１０との螺合もしくは接着又はキー結合を要しない。よって、組立性を向上できると共に、軸部材１１０とロータ１６０、内輪２４４、ワッシャ２５０との結合構造を簡素化できる。
【００４１】
図７は、振動アクチュエータ１００を備える撮像装置７００の概略構成を示す側断面図である。この図に示すように、撮像装置７００は、光学部材４２０と、レンズ鏡筒４３０と、振動アクチュエータ１００と、撮像部５００と、制御部５５０と、を備える。レンズ鏡筒４３０は光学部材４２０を収容する。
【００４２】
振動アクチュエータ１００は、光学部材４２０を移動させる。撮像部５００は、光学部材４２０によって結像された画像を撮像する。制御部５５０は、振動アクチュエータ１００および撮像部５００を制御する。
【００４３】
また、撮像装置７００は、光学部材４２０、レンズ鏡筒４３０、及び振動アクチュエータ１００を備えるレンズユニット４１０と、ボディ４６０を含む。レンズユニット４１０は、マウント４５０を介して、ボディ４６０に対して着脱自在に装着される。
【００４４】
光学部材４２０は、図中で左側にあたる入射端から順次配列された、フロントレンズ４２２、コンペンセータレンズ４２４、フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８を含む。フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８の間には、アイリスユニット４４０が配置される。
【００４５】
振動アクチュエータ１００は、光軸方向についてレンズ鏡筒４３０の中程にあって相対的に小径なフォーカシングレンズ４２６の下方に配置される。これにより、レンズ鏡筒４３０の径を拡大することなく、振動アクチュエータ１００はレンズ鏡筒４３０内に収容される。振動アクチュエータ１００は、例えばギア列を介してフォーカシングレンズ４２６を光軸方向に前進または後退させる。
【００４６】
ボディ４６０は、メインミラー５４０、ペンタプリズム４７０、接眼系４９０を含む光学部材を収容する。メインミラー５４０は、レンズユニット４１０を介して入射した入射光の光路上に傾斜して配置される待機位置と、入射光を避けて上昇する撮影位置（図中に点線で示す）との間を移動する。
【００４７】
待機位置にあるメインミラー５４０は、入射光の大半を、上方に配置されたペンタプリズム４７０に導く。ペンタプリズム４７０は、入射光の鏡映を接眼系４９０に向かって出射するので、フォーカシングスクリーンの映像を接眼系４９０から正像として見ることができる。入射光の残りは、ペンタプリズム４７０により測光ユニット４８０に導かれる。測光ユニット４８０は、入射光の強度およびその分布等を測定する。
【００４８】
なお、ペンタプリズム４７０および接眼系４９０の間には、ファインダ液晶４９４に形成された表示画像を、フォーカシングスクリーンの映像に重ねるハーフミラー４９２が配置される。表示画像は、ペンタプリズム４７０から投影された画像に重ねて表示される。
【００４９】
また、メインミラー５４０は、入射光の入射面に対する裏面にサブミラー５４２を有する。サブミラー５４２は、メインミラー５４０を透過した入射光の一部を、下方に配置された測距ユニット５３０に導く。これにより、メインミラー５４０が待機位置にある場合は、測距ユニット５３０が被写体までの距離を測定する。なお、メインミラー５４０が撮影位置に移動した場合は、サブミラー５４２も入射光の光路から退避する。
【００５０】
更に、入射光に対してメインミラー５４０の後方には、シャッタ５２０、光学フィルタ５１０および撮像部５００が順次配置される。シャッタ５２０が開放される場合、その直前にメインミラー５４０が撮影位置に移動するので、入射光は直進して撮像部５００に入射される。これにより、入射光の形成する画像が電気信号に変換される。これにより、撮像部５００は、レンズユニット４１０によって結像された画像を撮像する。
【００５１】
撮像装置７００において、レンズユニット４１０とボディ４６０とは電気的にも結合されている。従って、例えば、ボディ４６０側の測距ユニット５３０が検出した被写体までの距離の情報に応じて振動アクチュエータ１００の回転を制御することにより、オートフォーカス機構を形成できる。また、測距ユニット５３０が振動アクチュエータ１００の動作量を参照することにより、フォーカスエイド機構を形成することもできる。振動アクチュエータ１００および撮像部５００は、制御部５５０により上記の通り制御される。
【００５２】
ここで、上述したように、振動アクチュエータ１００のモータ出力を効率よく高めることができる。よって、オートフォーカス機構の駆動力を効率よく高めることができるので、省電力化すると共に、高駆動力でオートフォーカス機構を駆動することが可能となる。
【００５３】
なお、振動アクチュエータ１００によりフォーカシングレンズ４２６を移動させる場合について例示したが、アイリスユニット４４０の開閉、ズームレンズのバリエータレンズの移動等を振動アクチュエータ１００で駆動できることはいうまでもない。この場合も、電気信号を介して測光ユニット４８０、ファインダ液晶４９４等と情報を参照し合うことにより、振動アクチュエータ１００は、露出の自動化、シーンモードの実行、ブラケット撮影の実行等に寄与する。また、本実施形態では、振動アクチュエータ１００を備える撮像装置７００を例に取って説明したが、振動アクチュエータ１００に替えて、振動アクチュエータ２００を備えてもよい。
【００５４】
以上のように、振動アクチュエータ１００、２００は、撮影機、双眼鏡等の光学系において、合焦機構、ズーム機構、手振れ補正機構等の駆動に好適に使用できる。さらに、精密ステージ、より具体的には電子ビーム描画装置、検査装置用各種ステージ、バイオテクノロジ用セルインジェクタの移動機構、核磁気共鳴装置の移動ベッド等の動力源に使用されうるが、用途がこれらに限られないことはいうまでもない。
【００５５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】一実施形態に係る振動アクチュエータ１００の斜視図である。
【図２】一実施形態に係る振動アクチュエータ１００の側断面図である。
【図３】電気機械変換部１３０の分解斜視図である。
【図４Ａ】ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を説明する斜視図である。
【図４Ｂ】ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を説明する斜視図である。
【図４Ｃ】ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を説明する斜視図である。
【図４Ｄ】ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を説明する斜視図である。
【図５】他の実施形態に係る振動アクチュエータ２００の斜視図である。
【図６】他の実施形態に係る振動アクチュエータ２００を側断面図である。
【図７】撮像装置７００の概略構成を示す側断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１００  振動アクチュエータ、１１０  軸部材、１１７  ネジ部、１１８  ネジ部、１２０  ステータ、１２２  軸受、１２５  ステータ本体、１３０  電気機械変換部、１３２  電極、１３３  電極、１３４  電極、１３５  電極、１３６  圧電材料板、１３８  電気機械変換素子層、１４０  配線板、１４２  電極部、１４４  配線部、１５０  付勢部材、１６０  ロータ、１６２  接触子、１７０  保持部材、１７２  基部、１７４  フランジ部、１７６  締結用穴、１７８  ネジ穴、１７９  凹部、１８０  歯車、１８２  ネジ穴、１８４  固定ネジ、１９０  フランジ部、１９１  ワッシャ、２００  振動アクチュエータ、２１０  延伸部、２１２  ネジ部、２２０  弾性板、２３０  ナット、２４０  軸受、２４２  外輪、２４４  内輪、２５０  ワッシャ、４１０  レンズユニット、４２０  光学部材、４２２  フロントレンズ、４２４  コンペンセータレンズ、４２６  フォーカシングレンズ、４２８  メインレンズ、４３０  鏡筒、４４０  アイリスユニット、４５０  マウント、４６０  ボディ、４７０  ペンタプリズム、４８０  測光ユニット、４９０  接眼系、４９２  ハーフミラー、４９４  ファインダ液晶、５００  撮像部、５１０  光学フィルタ、５２０  シャッタ、５３０  測距ユニット、５４０  メインミラー、５４２  サブミラー、５５０  制御部、７００  撮像装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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