(57)【要約】【課題】ワークを固定する際に十分な位置精度が得られる真空チャック装置を提供する。【解決手段】支持部２２と、支持部２２の上に設けられ、ワーク４０が載置される吸着部２４と、支持部２２と吸着部２４との間に一体的に設けられたバキュームホール２６と、吸着部２４に形成され、バキュームホール２６に連通する吸着用吸引穴２４ａと、支持部２２に形成され、バキュームホール２６に連通して排気手段２８に接続される排気口２２ａと、バキュームホール２２の屈曲部Ｂを構成する２辺の内壁ラインＷ１，Ｗ２１に沿って吸着部２４に設けられ、バキュームホール２６に連通する位置決め用吸引穴２４ｂと、吸着部２４上の２辺の内壁ラインＷ１，Ｗ２の外側に設けられ、ワーク４０を位置決めするためのガイド部材３０，３２とを含む。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と、
前記支持部の上に設けられ、ワークが載置される吸着部と、
前記支持部と前記吸着部との間に一体的に設けられたバキュームホールと、
前記吸着部に形成され、前記バキュームホールに連通する吸着用吸引穴と、
前記支持部に形成され、前記バキュームホールに連通して排気手段に接続される排気口と、
前記バキュームホールの屈曲部を構成する２辺の内壁ラインに沿って前記吸着部に設けられ、前記バキュームホールに連通する位置決め用吸引穴と、
前記吸着部上の前記２辺の内壁ラインの外側に設けられ、前記ワークを位置決めするためのガイド部材とを有することを特徴とする真空チャック装置。
【請求項２】
前記位置決め用吸引穴は、前記バキュームホールの内壁ラインの上に配置され、前記位置決め用吸引穴内の下に前記内壁ラインが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の真空チャック装置。
【請求項３】
前記位置決め用吸引穴の開口端の内周面と前記バキュームホールの内壁ラインとが接していることを特徴とする請求項１に記載の真空チャック装置。
【請求項４】
前記バキュームホールは四角状であり、
前記位置決め用吸引穴は、前記バキュームホールの一つの頂点を形成する２辺の前記内壁ラインがなす角度の２等分線を対称軸として対称に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空チャック装置。
【請求項５】
前記位置決め用吸引穴が配置された前記バキュームホールの２辺の内壁ラインの外側のみに、前記ガイド部材として複数のガイドピンがそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空チャック装置。
【請求項６】
支持部と、
前記支持部の上に設けられ、ワークが載置される吸着部と、
前記支持部と前記吸着部との間に一体的に設けられたバキュームホールと、
前記吸着部に形成された、前記バキュームホールに連通する吸着用吸引穴であって、前記吸着用吸引穴の上部が下部より前記バキュームホールの内壁ラインの屈曲部側に配置されるように斜め加工された前記吸着用吸引穴と、
前記支持部に形成され、前記バキュームホールに連通して排気手段に接続される排気口と、
前記吸着部上の前記バキュームホールの前記屈曲部を構成する２辺の内壁ラインの外側に設けられ、前記ワークを位置決めするためのガイド部材とを有することを特徴とする真空チャック装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかの真空チャック装置と、
前記ワークを加工する切削工具とを有することを特徴する加工装置。
【請求項８】
前記ワークは、カーボンプレート、塩化ビニルプレート又はアクリルプレートであることを特徴とする請求項７に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空チャック装置及び加工装置に係り、さらに詳しくは、ワークを真空吸着させて固定するための真空チャック装置及びそれを備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プレート材などのワークを加工する加工装置には、ワークを固定するためのチャック装置が備えられている。チャック装置の固定方式としては、バイスなどによってワークの側面を挟んで固定する側面クランプ方式、真空吸着によってワークを固定する真空吸着方式、あるいはそれらを併用する方法がある。
【０００３】
特許文献１には、板状ワークの穴明け装置が開示されており、治具板の交換作業を容易にかつ迅速に行うために、板状ワークを保持して穴明け手段に移送する投入手段に治具板を脱着可能に設けることが記載されている。
【０００４】
特許文献２には、半導体ペレット位置決め装置が開示されており、半導体ペレットを吸着保持する位置決め台と、それに移載された半導体ペレットに自重以外の垂直力を与えることなく半導体ペレットを所定位置に移動させて位置決めする位置決め手段とを備えたことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６１９２４号公報
【特許文献２】特開平７−９４５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
後述する関連技術の欄で説明するように、側面クランプ方式では、ワークのクランプ側が微小に浮いた状態となりやすいので、ワークの基板方向と垂直な穴明け加工を行うことが困難である。
【０００７】
また、真空吸着方式では、ワークを真空吸着する際にワークの位置ずれを低減するためにワーク載置領域の外周側にガイドを設けている。しかしながら、ガイドとワークとの間にクリアランス（隙間）を設ける必要があることから、位置ずれの抑制には限界があり、十分な位置精度を得ることは困難である。
【０００８】
本発明は以上の課題を鑑みて創作されたものであり、ワークを固定する際に十分な位置精度が得られる真空チャック装置及びそれを備えた加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は真空チャック装置に係り、支持部と、前記支持部の上に設けられ、ワークが載置される吸着部と、前記支持部と前記吸着部との間に一体的に設けられたバキュームホールと、前記吸着部に形成され、前記バキュームホールに連通する吸着用吸引穴と、前記支持部に形成され、前記バキュームホールに連通して排気手段に接続される排気口と、前記バキュームホールの屈曲部を構成する２辺の内壁ラインに沿って前記吸着部に設けられ、前記バキュームホールに連通する位置決め用吸引穴と、前記吸着部上の前記２辺の内壁ラインの外側に設けられ、前記ワークを位置決めするためのガイド部材とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明の真空チャック装置では、支持部の上に吸着部が設けられており、それらの間にバキュームホールが一体的に形成されている。吸着部には、バキュームホールに連通する吸着用吸引穴が形成されている。また、支持部にはバキュームホールに連通する排気口が形成されており、排気口は排気手段に接続されている。
【００１１】
さらに、吸着部には、バキュームホールの屈曲部を構成する２辺の内壁ラインに沿ってバキュームホールに連通する位置決め用吸引穴が形成されている。バキュームホールが四角状の場合は、その一角を構成する２本の内壁ラインに沿って位置決め用吸引穴が配置される。また、位置決め用吸引穴が配置されたバキュームホールの２辺の内壁ラインの外側にワークを位置決めするためのガイド部材が設けられている。
【００１２】
本発明では、ガイド部材にワークの２辺を当接させて吸着部の上にワークを配置し、排気手段によってバキュームホール内の空気を減圧することによりワークを吸着部に吸着させる。
【００１３】
このとき、位置決め用吸引穴から空気が排気される際に、ワークをバキュームホールの屈曲部側に移動させる推進力が与えられる。これによって、ワークは基準位置に配置されたガイド部材に完全に当接することにより、高い位置精度で吸着部に固定される。
【００１４】
本発明の真空チャック装置では、ワークが吸着部上で傾くことなく水平に吸着されるので、ワークに位置合わせ用の基準穴を形成する場合、ワークの基板方向に対して垂直に加工することができる。
【００１５】
また、多数のワークを処置する際に、ワークは基準位置に配置されたガイド部材に当接して位置決めされるので、位置精度よく基準穴を形成することができる。
【００１６】
このため、基準穴などが形成された複数のワークを積層して治具として使用する場合、複数のワークが精度よく位置決めされるので、治具として十分に機能させることができる。
【００１７】
また、位置決め用吸引穴が配置されたバキュームホールの２辺の内壁ラインの外側のみにガイド部材を配置することにより、その２辺の内壁ラインの対向側の領域をフリーにすることができる。これにより、一つの真空チャック治具に異なる大きさのワークを配置できるようになり、低コスト化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明では、ワークを固定する際に十分な位置精度が得られるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１（ａ）及び（ｂ）は関連技術の第１のチャック装置（側面クランプ方式）を示す側面図及び平面図である。
【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は関連技術の第２のチャック装置（真空吸着方式）を示す側面図及び平面図である。
【図３】図３は図２（ｂ）のワークが右上方向に位置ずれして吸着された例を示す平面図である。
【図４】図４（ａ）及び（ｂ）は本発明の第１実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図であり、図４（ａ）は図４（ｂ）のＩ−Ｉに沿った断面図に相当する。
【図５】図５は図４（ａ）及び（ｂ）の真空チャック装置にワークが吸着された様子を示す断面図及び平面図であり、図５（ａ）は図５（ｂ）のＩＩ−ＩＩに沿った断面図に相当する。
【図６】図６は本発明の第１実施形態の真空チャック装置に配置できるワークの大きさのバリエーションを示す平面図である。
【図７】図７（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図であり、図７（ａ）は図７（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図に相当する。
【図８】図８（ａ）及び（ｂ）は本発明の第３実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図であり、図８（ａ）は図８（ｂ）のＩＶ−ＩＶに沿った断面図に相当する。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００２１】
（関連技術）
本発明の実施形態を説明する前に、本発明に関連する関連技術の問題点について説明する。図１（ａ）及び（ｂ）には、関連技術の第１のチャック装置（側面クランプ方式）が示されている。図１（ａ）は、図１（ｂ）を前方からみた側面図に相当する。
【００２２】
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、関連技術の第１のチャック装置（側面クランプ方式）は、加工装置（不図示）の取り付けベース１００の上に設けられた固定治具２００を備えている。固定治具２００の表面にはワーク３００が載置される四角状のワーク載置領域Ａが画定されている。
【００２３】
固定治具２００のワーク載置領域Ａの外周外側において、上側及び右側には固定治具２００に固定された固定ガイド４００ａ，４００ｂがそれぞれ設けられている。また、下側及び左側には水平方向に移動できるように配置された移動ガイド４００ｃ，４００ｄがそれぞれ設けられている。
【００２４】
２つの移動ガイド４００ｃ，４００ｄの近傍には、それらをワーク３００側に押して移動させるエアシリンダ５００がそれぞれ配置されている。
【００２５】
ワーク３００を固定治具２００のワーク載置領域Ａに固定する際には、まず、移動ガイド４００ｃ，４００ｄをワーク載置領域Ａの外側に移動させ、ワーク載置領域Ａにワーク３００を配置する。そして、エアシリンダ５００を水平方向に移動させて移動ガイド４００ｃ，４００ｄをワーク３００側に押すことにより、ワーク３００が移動ガイド４００ｃ，４００ｄと固定ガイド４００ａ，４００ｂとの間に挟まれて固定される。
【００２６】
ここで、エアシリンダ５００を水平方向に移動させるとき、エアシリンダ５００は上下方向（垂直方向）に動作クリアランス（ガタツキ）を有することから、ワーク３００の移動ガイド４００ｃ，４００ｄ側が上側に微小に浮上した状態で固定されることが多い。
【００２７】
このため、ワーク３００にそれを貫通する基準穴を形成する際に、ワーク３００が傾いた状態で加工されることになるので、ワーク３００の基板方向と垂直な内面を有する基準穴を形成できなくなる。
【００２８】
基準穴などが形成された複数のワーク３００を積層して治具として使用する場合、積層されたワーク２００の基準穴にガイドピンを挿入して位置決めされる。このとき、基準穴がワーク３００の基板方向に対して非垂直に形成されていると、複数のワーク３００間で位置ずれが発生し、治具として十分に機能しなくなる問題がある。
【００２９】
図２（ａ）及び（ｂ）には、関連技術の第２のチャック装置（真空吸着方式）が示されている。図２（ａ）は図２（ｂ）を前方からみた側面図に相当する。
【００３０】
図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、関連技術の第２のチャック装置（真空吸着方式）は、加工装置（不図示）の取り付けベース１００の上に設けられた真空チャック治具２２０を備えている。真空チャック治具２２０の表面にはワーク３００（透視的に表示）を載置するための四角状のワーク裁置領域Ａが画定されている。真空チャック治具２２０の内部にはバキュームホール２４０が一体的に構成されている。
【００３１】
バキュームホール２４０の上側の真空チャック治具２２０には、バキュームホール２４０に連通する複数の吸引穴２２０ａが設けられている。また、バキュームホール２４０の下側の真空チャック治具２２０にはバキュームホール２４０に連通する排気口２２０ｂが設けられており、排気口２２０ｂから真空ポンプによってバキュームホール２４０内の空気が外部に排気される。
【００３２】
真空チャック治具２２０のワーク載置領域Ａの外周外側にはワーク３００を位置決めするための８つのガイドピン２６０が設けられている。そして、真空チャック治具２２０のワーク載置領域Ａにワーク３００が配置される。
【００３３】
ここで、図２（ｂ）に示すように、ワーク３００の外形寸法はある程度のばらつきが生じるため、ワーク３００とガイドピン２６０との間にクリアランスＣ（隙間）が設けられるようにガイドピン２６０を配置する必要がある。
【００３４】
その後に、真空ポンプによって排気口２２０ｂからバキュームホール２４０内の空気を外部に排気して減圧することにより、ワーク３００を真空チャック治具２２０に吸着させる。
【００３５】
このとき、ワーク３００とガイドピン２６０との間にはクリアアランスＣが生じているため、ワーク３００が任意のガイドピン２６０側に移動し、ガイドピン２６０がストッパとなってワーク３００が固定される。
【００３６】
図３には、図２（ｂ）のワーク３００が右上方向に移動して吸着された例が示されており、上側及び右側のガイドピン２６０に当接することによって位置決めされる。
【００３７】
多数のワーク３００を処理する際に、ワーク３００は吸着される際に最大でクリアアランスＣ分だけ任意の方向に移動する。このため、多数のワーク３００の間で基準穴が相互にずれて形成されることになり、基準穴を十分な位置精度で形成することは困難である。なお、ガイドピン２６０を設けない場合は、さらに位置ずれが大きくなることはいうまでもない。
【００３８】
また、第１のチャック装置（側面クランプ方式）と第２のチャック装置（真空吸着方式）とを併用する場合は、両者のデメリットが緩和されるものの、エアシリンダ５００の押圧力と真空吸着力の調整が難しく、要求スペック内に位置ずれを抑えることは困難を極める。
【００３９】
また、特に上記した第２のチャック装置（真空吸着方式）では、ワーク載置領域Ａの四辺にガイドピン２６０を配置する必要があることから、外形が異なるワーク３００ごとにそれに対応する大きさの真空チャック治具２２０を用意する必要があり、製造コストの上昇を招く問題がある。
【００４０】
以下に説明する本発明の本実施形態のチャック装置は、前述した不具合を解消することができる。
【００４１】
（第１の実施の形態）
図４（ａ）及び（ｂ）は本発明の第１実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図であり、図４（ａ）は図４（ｂ）のＩ−Ｉに沿った断面図である。
【００４２】
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１実施形態の真空チャック装置１は、加工装置（不図示）の取り付けベース１０の上に設けられた真空チャック治具２０を備えている。真空チャック治具２０は、支持部２２とその上に設けられた吸着部２４とによって構成される。
【００４３】
支持部２２にはその上面側に凹部２１が形成されており、支持部２２の上に板状の吸着部２４が設けられている。これにより、真空チャック治具２０の内部には、くり抜かれて中空となった四角状のバキュームホール２６が一体的に構成されている。あるいは、板状の支持部２２の上に、下面側に凹部が形成された吸着部２４を設けることによりバキュームホール２６を構成してもよい。
【００４４】
支持板２２及び吸着部２４はステンレスなどの金属から形成される。
【００４５】
バキュームホール２６の上に配置された吸着部２４には、バキュームホール２６に連通して厚み方向に貫通する複数の吸着用吸引穴２４ａが形成されている。吸着用吸引穴２４ａの径は、例えば１０ｍｍ程度である。
【００４６】
また、バキュームホール２６の下に配置された支持部２２には、バキュームホール２６に連通して厚み方向に貫通する排気口２２ａが設けられている。排気口２２ａには真空ポンプ２８（排気手段）が接続されており、真空ポンプ２８によってバキュームホール２６内の空気が排気されて減圧される。
【００４７】
さらには、図４（ｂ）に示すように、四角状のバキュームホール２６の４辺の内壁ラインにおいて交点Ｂで交差する上側内壁ラインＷ１及び右側内壁ラインＷ２に注目すると、交点Ｂから左側に延在する上側内壁ラインＷ１上の吸着部２４の部分に位置決め用吸引穴２４ｂが並んで形成されている。また、同様に、交点Ｂから下側に延在する右側内壁ラインＷ２上の吸着部２４の部分に位置決め用吸引穴２４ｂが並んで形成されている。
【００４８】
本実施形態では、上側及び下側内壁ラインＷ１，Ｗ２が交差して屈曲部が構成される。
【００４９】
位置決め用吸引穴２４ｂは、バキュームホール２６側の内側部分のみがバキュームホール２６に連通しており、外側部分には支持部２２の上面が配置されている。つまり、位置決め用吸引穴２４ｂを上からみると（図４（ｂ））、位置決め用吸引穴２４ｂ内の下にバキュームホール２６の内壁ラインＷ１，Ｗ２が配置されている。
【００５０】
位置決め用吸引穴２４ｂの径は、吸着用吸引穴２４ａの径（１０ｍｍ程度）と同等又はそれ以下に設定される。
【００５１】
図４（ｂ）の例では、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の交点Ｂに小径の位置決め用吸引穴２４ｂが配置されており、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の上に小径及び大径の４つの位置決め用吸引穴２４ｂがそれぞれ配置されている。また、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２が交差して構成される三角領域には（バキュームホール２６の右上領域）には、吸着用吸引穴２４ａ同士の間に小径の位置決め用吸引穴２４ｂが配置されている。
【００５２】
上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２上及びその近傍に配置された位置決め用吸引穴２４ｂは、交差する２辺の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２から構成される三角領域の中心線を対称軸ＡＳとして対称になって配置されている。
【００５３】
つまり、対称軸ＡＳは、バキュームホール２６の一つの頂点（交点）を形成する２辺の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２がなす角度の２等分線である。さらに具体的には、対称軸ＡＳは、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２からそれぞれ４５°内側にずれてそれらの交点Ｂから内側に延在するラインである。
【００５４】
なお、位置決め用吸引穴２４ｂは、対称軸ＡＳに対して完全に対称になるように配置することが好ましいが、対称性が多少ずれていてもよい。また、バキュームホール２６の内側には必ずしも位置決め用吸引穴２４ｂを配置しなくてもよい。また、位置決め用吸引穴２４ｂの形状、個数、配置位置は任意に設定することができる。
【００５５】
このようにして、本実施形態では、四角状のバキュームホール２６の一角を構成する上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２に沿って吸着部２４に位置決め用吸引穴２４ｂが並んで配置されている。
【００５６】
さらに、吸着部２４上においてバキュームホール２６の上側内壁ラインＷ１の外側には、ワークの縦方向の位置を決めるための２つの第１ガイドピン３０（ガイド部材）が取り付けられている。２つの第１ガイドピン３０は、それらの内側に引かれるライン３０Ｌがバキュームホール２６の上側内壁ラインＷ１と平行になるように配置される。
【００５７】
また、吸着部２４上においてバキュームホール２６の右側内壁ラインＷ２の外側には、ワークの横方向の位置を決めるための２つの第２ガイドピン３２（ガイド部材）が取り付けられている。２つの第２ガイドピン３２は、それらの内側に引かれるライン３２Ｌがバキュームホール２６の右側内壁ラインＷ２と平行になるように配置される。
【００５８】
このようにして、吸着部２４上において、バキュームホール２６の４辺の内壁ラインのうち、位置決め用吸引穴２４ｂが並んで配置された上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の外側のみに第１、第２ガイドピン３０，３２がそれぞれ配置されている。
【００５９】
このようにすることにより、後述するように、第１、第２ガイドピン３０，３２の対向側の領域がフリーな状態となるので、一つの真空チャック治具１に異なる大きさのワークを配置できるようになる。
【００６０】
ガイド部材として、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の外側に２つのガイドピン３０をそれぞれ配置したが、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２と平行に長手状のガイド板を配置してもよい。また、第１、第２ガイドピン３０，３２の本数はそれぞれ任意（複数）に設定することができる。
【００６１】
次に、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、四角状のワーク４０の上側の側面Ｓ１及び右側の側面Ｓ２を第１ガイドピン３０と第２ガイドピン３２にそれぞれ当接させた状態で、ワーク４０を真空チャック治具２０の上に配置する。図５（ｂ）では、ワーク４０が透視的に描かれている。
【００６２】
さらに、真空ポンプ２８によってバキュームホール２６、吸着用吸引穴２４ａ及び位置決め用吸引穴２４ｂ内の空気を排気して減圧することにより、ワーク４０を真空チャック治具２０の吸着部２４に吸着させる。
【００６３】
このとき、バキュームホール２６の右側内壁ラインＷ２上に配置された位置決め用吸引穴２４ｂでは、穴内からバキュームホール２６の内側（図５（ｂ）では左側（矢印参照））に空気が排気される。
【００６４】
従って、ワーク４０を配置して吸着させると、ワーク４０に右側に動く推進力が与えられる。また、同様に、バキュームホール２６の上側内壁ラインＷ１上に配置された位置決め用吸引穴２４ｂでは、穴内からバキュームホール２６の内側（図５（ｂ）では下側（矢印参照））に空気が排気される。これにより、ワーク４０を配置して吸着させると、ワーク４０に上側に動く推進力が与えられる。
【００６５】
これにより、結果的には、ワーク４０には右側（横方向）に動く推進力と上側（縦方向）に動く推進力とが合成された推進力がかけられることになる。このとき、前述したように、上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の上に配置された位置決め用吸引穴２４ｂは対称となって配置されているので、ワーク４０には、水平方向から４５°程度上側に傾いた斜め上方向に動く推進力が与えられる（図５（ｂ））。
【００６６】
位置決め用吸引穴２４ｂからのワーク４０への推進力は排気口２２ａの位置に影響される。このため、強い推進力を得る必要がある場合は、位置決め用吸引穴２４ｂが配置されたバキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１、Ｗ２で構成される三角領域（位置決め用吸引穴２４ｂの近傍）に排気口２２ａを設けることが好ましい（図５（ａ））。
【００６７】
ワーク４０の上側及び右側には、第１、第２ガイドピン３０，３２がそれぞれ配置されているので、第１、第２ガイドピン３０，３２がワーク４０の移動を阻止するストッパとして機能する。
【００６８】
第１、第２ガイドピン３０，３２は、ワーク４０を配置するための所望の基準位置に設けられるので、第１、第２ガイドピン３０，３２に当接して固定されたワーク４０は高い位置精度で所望の位置に配置される。
【００６９】
しかも、ワーク４０が第１、第２ガイドピン３０，３２とクリアランス（隙間）が生じた状態で配置されるとしても、位置決め用吸引穴２４ｂから空気を排気する際の推進力によって、ワーク４０が第１、第２ガイドピン３０，３２側に移動してそれらに当接することで所望の位置に固定される。
【００７０】
ワーク４０を吸着させる際のワーク４０の移動距離は５０〜１００μｍである。
【００７１】
なお、本実施形態では、四角状のバキュームホール２６の右上側の角領域側に位置決め用吸引穴２４ｂ及びガイドピン３０，３２を配置したが、他の角領域に同様に配置してもよいことはもちろんである。
【００７２】
また、本実施形態では、四角状のバキュームホール２６を例示したが、バキュームホールの屈曲部を構成する２辺の内壁ラインに沿って吸着部に位置決め用吸引穴を形成すればよい。従って、バキュームホール２６は四角状以外に、四隅が丸まった楕円形や三角形などであってもよい。
【００７３】
図５（ａ）に示すように、本実施形態の加工装置は、取り付けベース１０に設けられた真空チャック装置１とドリルやエンドミルなどの切削工具５０とを備える。そして、真空チャック装置１の上に固定されたワーク４０（カーボンプレートなど）が切削工具５０によって加工されて基準穴や凹部などが形成される。
【００７４】
本実施形態の真空チャック装置１では、ワーク４０が真空チャック治具２０上で傾くことなく水平に固定されるので、ワーク４０を貫通する基準穴を形成する場合、ワーク４０の基板方向に対して垂直に加工することができる。
【００７５】
また、多数のワーク４０を処置する際に、ワーク４０は第１、第２ガイドピン３０，３２に当接して位置決めされるので、位置精度よく基準穴を形成することができる。
【００７６】
このため、基準穴などが形成された複数のワークを積層して治具として使用する場合、積層されたワークの基準穴にガイドピンを挿入する際に、複数のワークが精度よく位置決めされるので、治具として十分に機能させることができる。
【００７７】
本実施形態では、真空チャック装置１を切削用途の加工装置に採用する例を示したが、ワークを固定して処理する各種装置に採用することができる。ワーク４０としては、カーボンプレートの他に、塩化ビニルプレート、アクリルプレートなどを好適に使用することができる。
【００７８】
前述したように、本実施形態の真空チャック装置１では、ワーク４０の上側及び右側のみに第１、第２ガイドピン３０，３２を設けるようにしている。このため、ワーク４０の下側及び左側は、フリーな状態となっているので、関連技術と違って大きさの異なるワーク４０を１つの真空チャック装置１で処理することができる。
【００７９】
つまり、図６に例示するように、本実施形態では、図５（ｂ）で示した大きさのワーク４０（第１ワーク）の他に、第１ワーク４０より縦方向の幅が大きな第２ワーク４０ａ、第１ワーク４０より縦横方向の幅が大きな第３ワーク４０ｂ、さらには第３ワーク４０ｂより縦方向の幅が大きな第４ワーク４０ｃを処理することが可能になる。
【００８０】
真空チャック治具２０の面積、バキュームホール２６の面積及び吸着用吸引口２４ａの配置場所を調整することにより、各種の大きさのワークを１つの真空チャック治具２０で処理することが可能になる。
【００８１】
本願発明者は、前述した関連技術の第２のチャック装置（真空吸着方式）と本実施形態の真空チャック装置１を使用して、３２枚のカーボンプレートに基準穴を実際に形成し、それらの間で位置精度を比較した。
【００８２】
その結果によれば、関連技術の第２のチャック装置を使用する場合、位置ずれは０．０５〜０．２ｍｍであった。これに対して、本実施形態の真空チャック装置１を使用する場合、位置ずれを０．０１６〜−０．０１８ｍｍ（絶対値平均：０．００５ｍｍ）に抑えることができ、位置精度を格段に改善できることが確認された。
【００８３】
（第２の実施の形態）
図７（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図である。第２実施形態では、第１実施形態の図４（ａ）及び（ｂ）と同一要素には同一符号を付してその説明を省略する。
【００８４】
図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、第２実施形態の真空チャック装置１ａでは、真空チャック治具２０の吸着部２４に形成される位置決め用吸引穴２４ｂは、バキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の内側に沿って配置される。
【００８５】
つまり、位置決め用吸引穴２４ｂの開口端の内周面とバキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２とが接している。言い換えると、位置決め用吸引穴２４ｂは、その外側の内壁の下にバキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２が配置されて形成される。
【００８６】
位置決め用吸引穴２４ｂの形状は、好適には、ワークの推進力を高くするために楕円形に設定される。この場合は、位置決め用吸引穴２４ｂの長手方向の内壁がバキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２と同一面を構成するように配置される。
【００８７】
そして、第１実施形態と同様に、バキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２で構成される三角領域の２等分線（中心線）を対称軸ＡＳとして、位置決め用吸引穴２４ｂが対称になって配置される。
【００８８】
第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、真空チャック治具２０の上にワークを配置し、真空ポンプ２８によりバキュームホール２６内を減圧する際に、位置決め用吸引穴２４ｂの作用によって斜め上方向にワークを移動させる推進力が発生する。これにより、ワークを第１、第２ガイドピン３０，３２に当接させて位置決めすることができる。
【００８９】
（第３の実施の形態）
図８（ａ）及び（ｂ）は本発明の第３実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図である。第３実施形態では、第１実施形態の図４（ａ）及び（ｂ）と同一要素には同一符号を付してその説明を省略する。
【００９０】
第３実施形態では、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、真空チャック治具２０の吸着部２４に形成される吸着用吸引穴２４ａは、バキュームホール２６の上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２のいずれかに対して内側に４５°〜６０°で傾いてそれらの交点Ｂから内側に延在するラインＬの延在方向（矢印の方向）に向かって斜め加工されている。
【００９１】
つまり、吸着用吸引穴２４ａの上部ＴＰが下部ＢＰより上側及び右側内壁ラインＷ１、Ｗ２の交点Ｂ（内壁ラインの屈曲部）側に配置されるように斜め加工されていればよい。言い換えると、バキュームホール２６の内壁ラインの屈曲部（図８（ｂ）の例では右上の交点Ｂ）側に動くような推進力がワーク４０に与えられるようにすればよい。
【００９２】
さらに、交点Ｂ（屈曲部）を構成する上側及び右側内壁ラインＷ１，Ｗ２の外側にそれらと平行に第１、第２ガイドピン３０，３２がそれぞれ配置されている。
【００９３】
第３実施形態では、第１、第２実施形態で説明した位置決め用吸引穴が省略され、吸着用吸引穴２４ａを斜め加工して形成することにより、吸着用吸引穴２４ａが位置決め用吸引穴の機能を兼ね備えるようにしている。
【００９４】
第３実施形態では、支持部２２に設けられる排気口２２ａは、ワーク４０への推進力を強くするために吸着用吸引穴２４ａの斜め加工の方向の端部（図８（ａ）、図８（ｂ）では左下側（不図示））に設けられることが好ましい。
【００９５】
これにより、第１実施形態と同様に、真空チャック治具２０の上にワーク４０を配置し、真空ポンプ２８によりバキュームホール２６内を減圧する際に、吸着用吸引穴２４ａから排気される空気は斜め下方向に排気される。これにより、ワーク４０を斜め上方向に移動させる推進力が発生し、ワーク４０の２辺を第１、第２ガイドピン３０，３２に当接させて位置決めすることができる。
【符号の説明】
【００９６】
１，１ａ，１ｂ…真空チャック装置、１０…取り付けベース、２０…真空チャック治具、２１…凹部、２２…支持部、２２ａ…排気口、２４…吸着部、２４ａ…吸着用吸引穴、２４ｂ…位置決め用吸引穴、２６…バキュームホール、２８…真空ポンプ、３０…第１ガイドピン、３２…第２ガイドピン、４０，４０ａ，４０ｂ，４０ｃ…ワーク、５０…切削工具、ＡＳ…対称軸、Ｗ１…上側内壁ライン、Ｗ２…右側内壁ライン、Ｌ，３０Ｌ，３２Ｌ…ライン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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