(57)【要約】【課題】ＦＯＵＰに収納された基板に帯電した静電気を充分に除電する。【解決手段】ミニエン装置１を構成するロードポート１０の側板１０２には、ＦＯＵＰ３が装着される位置にＦＯＵＰ連通開口部１０３が形成され、そのＦＯＵＰ連通開口部１０３の近傍には、イオンエア放出口をＦＯＵＰ連通開口部１０３に向けたイオンエア放出ノズル１６が設けられている。ミニエン制御装置１３は、ＦＯＵＰ装着第１００へのＦＯＵＰ３の装着を検知すると、イオナイザ１５を駆動して、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアをＦＯＵＰ連通開口部１０３、つまり、装着されたＦＯＵＰ３の内部に向けて放出させる。そして、所定時間経過後、または、静電電位センサにより検出されるウェーハ３１の静電電位が所定電位以下になったときには、イオナイザ１５の駆動を停止して、イオンエア放出ノズル１６からのイオンエアの放出を停止させる。【選択図】図２
2010165741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の処理を施す基板処理装置に接して設けられ、外気を隔離する筐体と、
前記筐体の内部に設けられて、前記基板を収納した搬送容器から前記基板を取り出し、前記取り出した基板を前記基板処理装置に搬送する搬送ロボットと、
を備えてなるミニエンバイロメント基板搬送装置であって、
前記筐体の側壁の前記搬送容器を装着する部分に、前記搬送容器を装着したとき前記筐体の内部と前記搬送容器の内部とを連通する開口部が設けられ、
前記筐体の内側の前記開口部の近傍に、前記開口部に向けてイオンエアを放出するイオンエア放出手段が設けられたこと
を特徴とするミニエンバイロメント基板搬送装置。
【請求項２】
基板に所定の処理を施す基板処理装置に接して設けられ、外気を隔離する筐体と、
前記筐体に取り付けられ、前記筐体の側壁の一部を構成する側板と、前記基板処理装置の処理対象の基板を収納した搬送容器が装着される搬送容器装着部と、前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器が接する前記側板に形成された開口部と、前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器の横蓋を、前記開口部を通して前記筐体の内部から開閉する搬送容器横蓋開閉機構と、を備えたロードポートと、
前記筐体の内部に設けられ、前記搬送容器横蓋開閉機構により前記搬送容器の横蓋が開放されたとき、前記搬送容器から前記搬送容器に収納された基板を取り出し、前記取り出した基板を前記基板処理装置に搬送する搬送ロボットと、
を備えてなるミニエンバイロメント基板搬送装置であって、
前記ロードポートの側板の前記筐体内側の開口部の近傍に、前記開口部に向けてイオンエアを放出するイオンエア放出手段を備えたこと
を特徴とするミニエンバイロメント基板搬送装置。
【請求項３】
前記イオンエア放出手段におけるイオンエア放出の開始および停止を制御する制御装置を、さらに、備え、
前記制御装置は、前記搬送容器の横蓋の開放を検知したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を開始させ、その後、所定の時間が経過したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を停止させること
を特徴とする請求項２に記載のミニエンバイロメント基板搬送装置。
【請求項４】
前記ロードポートの側板の前記筐体内側の開口部の近傍に設けられ、前記搬送容器内に収納された前記基板に帯電した静電気の電位を検出する静電電位センサと、
前記イオンエア放出手段によるイオンエア放出の開始および停止を制御する制御装置と、
を、さらに、備え、
前記制御装置は、前記搬送容器の横蓋の開放を検知したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を開始させ、その後、前記静電電位センサによって検出される電位が所定の電位以下になったとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を停止させること
を特徴とする請求項２に記載のミニエンバイロメント基板搬送装置。
【請求項５】
基板に所定の処理を施す基板処理装置に接して設けられ、外気を隔離する筐体と、
前記筐体の内部に設けられて、前記基板を収納した搬送容器から前記基板を取り出し、前記取り出した基板を前記基板処理装置に搬送する搬送ロボットと、
を備えてなるミニエンバイロメント基板搬送装置に用いられるロードポートであって、
前記筐体に取り付けられ、前記筐体の側壁の一部を構成する側板と、
前記搬送容器が装着される搬送容器装着部と、
前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器が接する前記側板に形成された開口部と、
前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器の横蓋を、前記開口部を通して前記筐体の内部から開閉する搬送容器横蓋開閉機構と、
前記側板の前記筐体内側の開口部の近傍に、前記開口部に向けてイオンエアを放出するイオンエア放出手段を備えたこと
を特徴とするロードポート。
【請求項６】
前記イオンエア放出手段におけるイオンエア放出の開始および停止を制御する制御装置を、さらに、備え、
前記制御装置は、前記搬送容器の横蓋の開放を検知したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を開始させ、その後、所定の時間が経過したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を停止させること
を特徴とする請求項５に記載のロードポート。
【請求項７】
前記開口部の近傍に設けられ、前記搬送容器内に収納された前記基板に帯電した静電気の電位を検出する静電電位センサと、
前記イオンエア放出手段によるイオンエア放出の開始および停止を制御する制御装置と、
を、さらに、備え、
前記制御装置は、前記搬送容器の横蓋の開放を検知したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を開始させ、その後、前記静電電位センサによって検出される電位が所定の電位以下になったとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を停止させること
を特徴とする請求項５に記載のロードポート。
【請求項８】
基板に所定の処理を施す基板処理装置に接して設けられ、外気を隔離する筐体と、
前記筐体に取り付けられ、前記筐体の側壁の一部を構成する側板と、前記基板処理装置の処理対象の基板を収納した搬送容器が装着される搬送容器装着部と、前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器が接する前記側板に形成された開口部と、前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器の横蓋を、前記開口部を通して前記筐体の内部から開閉する搬送容器横蓋開閉機構と、を備えたロードポートと、
前記筐体の内部に設けられ、前記搬送容器横蓋開閉機構により前記搬送容器の横蓋が開放されたとき、前記搬送容器から前記搬送容器に収納された基板を取り出し、前記取り出した基板を前記基板処理装置に搬送する搬送ロボットと、
前記ロードポートの前記筐体内側の側板の開口部の近傍に設けられ、前記開口部に向けてイオンエアを放出するイオンエア放出手段と、
前記イオンエア放出手段によるイオンエア放出の開始および停止を制御する制御装置と、
を備えてなるミニエンバイロメント基板搬送装置における搬送容器内基板の除電方法であって、
前記制御装置は、前記搬送容器の横蓋の開放を検知したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を開始させ、その後、所定の時間が経過したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を停止させること
を特徴とする搬送容器内基板の除電方法。
【請求項９】
基板に所定の処理を施す基板処理装置に接して設けられ、外気を隔離する筐体と、
前記筐体に取り付けられ、前記筐体の側壁の一部を構成する側板と、前記基板処理装置の処理対象の基板を収納した搬送容器が装着される搬送容器装着部と、前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器が接する前記側板に形成された開口部と、前記搬送容器装着部に装着された前記搬送容器の横蓋を、前記開口部を通して前記筐体の内部から開閉する搬送容器横蓋開閉機構と、を備えたロードポートと、
前記筐体の内部に設けられ、前記搬送容器横蓋開閉機構により前記搬送容器の横蓋が開放されたとき、前記搬送容器から前記搬送容器に収納された基板を取り出し、前記取り出した基板を前記基板処理装置に搬送する搬送ロボットと、
前記ロードポートの側板の前記筐体内側の開口部の近傍に設けられ、前記搬送容器内に収納された前記基板に帯電した静電気の電位を検出する静電電位センサと、
前記ロードポートの側板の前記筐体内側の開口部の近傍に設けられ、前記開口部に向けてイオンエアを放出するイオンエア放出手段と、
前記イオンエア放出手段によるイオンエア放出の開始および停止を制御する制御装置と、
を備えてなるミニエンバイロメント基板搬送装置における搬送容器内基板の除電方法であって、
前記制御装置は、前記搬送容器の横蓋の開放を検知したとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を開始させ、その後、前記静電電位センサによって検出される電位が所定の電位以下になったとき、前記イオンエア放出手段に前記イオンエアの放出を停止させること
を特徴とする搬送容器内基板の除電方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェーハなど薄板状の基板を密閉収納する搬送容器から、その搬送容器に収納された基板をクリーン度の高い環境の下で取り出し、その取り出した基板を基板処理装置に搬送するミニエンバイロメント基板搬送装置およびそのロードポート、ならびに、搬送容器内基板の除電方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路は、単結晶シリコンなどからなるウェーハ（基板）に対し、不純物注入、成膜、エッチングなど様々な微細加工処理が施されて製造される。そして、その製造装置（以下、基板処理装置という）は、微細加工処理における製造歩留まりを向上させるために、空気中の塵埃などの浮遊微小粒子の量が所定の量以下になるように管理されたクリーンルームに設置される。
【０００３】
近年では、より高度なクリーン度をより経済的に実現するために、ミニエンバイロメントという概念が導入されている。その概念によれば、より高度なクリーン度を保つ空間を、基板処理装置の内部空間、複数の基板処理装置間をつなぐ基板搬送に係る空間など、できる限り小さな空間に限定しようとするものである。
【０００４】
ミニエンバイロメントの概念を実現した集積回路などの製造工場では、ウェーハを密閉収納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるウェーハの搬送容器や、ＦＯＵＰからウェーハを外気にさらすことなく取り出して基板処理装置内へ搬送するミニエンバイロメント基板搬送装置などが用いられている。
【０００５】
すなわち、そのような集積回路などの製造工場では、処理対象のウェーハは、例えば、２５枚ごとＦＯＵＰに収納されて、ある基板処理装置から他の基板装置へと搬送される。また、基板処理装置に対するウェーハの供給・排出口部分には、外気を隔離する筐体に覆われ、その中に搬送ロボットを備えたミニエンバイロメント基板搬送装置が設けられている。そして、ＦＯＵＰに収納されたウェーハは、その搬送ロボットにより、外気にさらされることなくＦＯＵＰから取り出され、基板処理装置の内部へ搬送される。
【０００６】
ところで、集積回路などを製造する過程にあるウェーハは、その処理過程または搬送過程において、しばしば、静電気が発生し、帯電する。例えば、ＦＯＵＰに収納されたウェーハが帯電していた場合、ミニエンバイロメント基板搬送装置の搬送ロボットがそのロボットハンドでＦＯＵＰ内のウェーハを吸着または把持しようとしたときなどに放電し、その放電により、ウェーハに形成された回路素子が破壊されたり、搬送ロボットが誤動作したり故障したりすることがある。
【０００７】
そこで、従来のミニエンバイロメント基板搬送装置においては、例えば、特許文献１に開示されているように、ミニエンバイロメント基板搬送装置の天井部に設けられたファンフィルタユニットにイオナイザを併設し、イオナイザから放出されるイオン化されたエア（以下、イオンエアという）により、ミニエンバイロメント基板搬送装置内の搬送ロボットやＦＯＵＰ内のウェーハを除電するとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１１８１６１号公報（段落００６４〜段落００６６、図４など）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に開示されているミニエンバイロメント基板搬送装置では、イオナイザが天井部に取付けられているため、イオンエアは、筐体内を、単に、上から下へ流れるだけであった。そのため、イオンエアがＦＯＵＰの内部まで行き渡らず、ＦＯＵＰ内のウェーハ（基板）に帯電した静電気を充分に除電することができないという問題があった。従って、ウェーハ（基板）に帯電した静電気の放電によるウェーハに形成された回路素子の破壊や、搬送ロボットの誤動作や故障を充分には防止できなかった。
【００１０】
以上の従来技術の問題点に鑑み、本発明は、イオンエアを搬送容器（ＦＯＵＰ）内に行き渡らせ、搬送容器内の基板（ウェーハ）に帯電した静電気を充分に除電することが可能なミニエンバイロメント基板搬送装置、ロードポートおよび搬送容器内基板の除電方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明のミニエンバイロメント基板搬送装置では、その筐体の一部を、筐体の外壁の一部となる側板と、基板の搬送容器が装着される搬送容器装着部と、その搬送容器装着部に装着された搬送容器が接する前記側板に形成された開口部と、その開口部を通して搬送容器装着部に装着された搬送容器の横蓋を開閉する搬送容器横蓋開閉機構と、を備えてなるロードポートによって構成し、さらに、そのロードポートの筐体内側の前記側板に形成された開口部の近傍に、その開口部に向けてイオンエアを放出するイオンエア放出手段を備えたものとする。
【００１２】
本発明のミニエンバイロメント基板搬送装置においては、基板を収納した搬送容器がロードポートの搬送容器装着部に装着されたときには、前記搬送容器横蓋開閉機構により、前記側板に形成された開口部を通して、前記搬送容器の横蓋を筐体内側から開放することができる。その場合には、その開口部を通してミニエンバイロメント基板搬送装置の筐体の内部空間と前記搬送容器の内部空間とが連通するので、前記開口部の近傍に設けられたイオンエア放出手段からその開口部に向けてイオンエアを放出することにより、イオンエアを前記搬送容器の内部へ供給することができる。従って、前記搬送容器内に収納された基板の除電を充分に行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板の搬送容器がロードポートの搬送容器装着部に装着されたとき、その搬送容器に収納された基板に帯電した静電気の除電を充分に行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るミニエン装置の概略構造の例を外観斜視図で示した図。
【図２】本発明の実施形態に係るミニエン装置の内部の概略構造の例を側面図で示した図。
【図３】本発明の実施形態に係るミニエン装置の内部の概略構造の例を上面図で示した図。
【図４】本発明の実施形態に係るミニエン装置の筐体に取付けられたロードポートの構造の例を筐体内側からの正面図で示した図。
【図５】ロードポートの構造の例を斜視図で示した図。
【図６】ミニエン制御装置の構成の例を示した図。
【図７】ミニエン制御装置によるイオナイザの駆動制御の処理フローの例を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、適宜、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施形態では、ミニエンバイロメント基板搬送装置を「ミニエン装置」と略称する。また、本実施形態では、ミニエン装置の搬送対象となる基板は、集積回路を製造する過程にあるシリコンなどからなるウェーハであるとする。
【００１６】
まず、図１〜図３を用いて、ミニエン装置の概略構造について説明する。ここで、図１は、本発明の実施形態に係るミニエン装置の概略構造の例を外観斜視図で示した図、図２は、同ミニエン装置の内部の概略構造の例を側面図で示した図、図３は、同ミニエン装置の内部の概略構造の例を上面図で示した図ある。
【００１７】
図１、図２および図３に示すように、ミニエン装置１は、その筐体１１の一方の面が基板処理装置２に接するようにして設けられる。ここで、基板処理装置２は、集積回路を製造する過程にあるウェーハ３１に対し、不純物注入、成膜、エッチング、洗浄、検査などの処理を施す装置である。
【００１８】
また、ミニエン装置１の筐体１１の内部には、フィルタファンユニット１２（図３では図示省略）、ミニエン制御装置１３（図２では図示省略）、搬送ロボット１４、イオナイザ１５、イオンエア放出ノズル１６（以上、図１では図示省略）などが設けられている。ここで、フィルタファンユニット１２は、送風ファン１２１と高性能の塵埃フィルタ（図示省略）により構成され、筐体１１の内部に所定のクリーン度を確保した清浄なダウンフローのエアを供給する。
【００１９】
また、ロードポート１０は、通常、基板処理装置２が接する筐体１１の面と対向する面の外壁に取付けられる。筐体１１の外壁部分には、ロードポート１０を取付けるための開口部（図示省略）が設けられており、その開口部は、ロードポート１０が取付けられることによって塞がれる。従って、ロードポート１０は、実質上、筐体１１の外壁の一部を構成することになる。なお、図１では、３つのロードポート１０が取付けられている。
【００２０】
ロードポート１０は、その下部が、ＦＯＵＰ３を装着するためのＦＯＵＰ装着台１００によって構成され、また、その上部が、筐体１１の開口部を塞ぐ側板１０２によって構成されている。
【００２１】
ＦＯＵＰ３は、ウェーハ３１を密閉収納する搬送容器であり、ある基板処理装置２で処理されたウェーハ３１を他の基板処理装置２へ搬送するのに用いられる。ＦＯＵＰ３の外部仕様は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）により標準化されており、それによれば、ＦＯＵＰ３の内部には、ウェーハ３１を、複数枚（例えば、２５枚）収納するためのスロットが設けられ、また、ＦＯＵＰ３の一の側面には、ウェーハ３１を出し入れするための開口部とその開口部を塞ぐための横蓋３０とが設けられている。
【００２２】
ＦＯＵＰ装着台１００には、ＦＯＵＰ３を載置して、固定するＦＯＵＰ固定プレート１０１と、そのＦＯＵＰ固定プレート１０１を側板１０２側に接近または離間させる方向に移動させるプレート移動機構１０４と、が設けられている。
【００２３】
ＦＯＵＰ固定プレート１０１の上面の所定の位置には突起部が形成され、また、ＦＯＵＰ３の底面の所定の位置には前記突起部に係合する凹部が形成されている（図示省略）。従って、ＦＯＵＰ３がＦＯＵＰ固定プレート１０１上に載置されると、互いの突起部および凹部が係合することによって、ＦＯＵＰ３がＦＯＵＰ固定プレート１０１に固定される。なお、このとき、ＦＯＵＰ３は、その横蓋３０が設けられた面が側板１０２に対向するようにＦＯＵＰ固定プレート１０１に載置され、固定される。
【００２４】
ＦＯＵＰ３がＦＯＵＰ固定プレート１０１に載置され、固定されると、プレート移動機構１０４は、ＦＯＵＰ固定プレート１０１を側板１０２の方へ移動させて、ＦＯＵＰ固定プレート１０１上に載置、固定されているＦＯＵＰ３を側板１０２に圧接する。以下、以上のようにしてＦＯＵＰ３を側板１０２に圧接することを、ＦＯＵＰ３をＦＯＵＰ装着台１００に装着するという。
【００２５】
一方、側板１０２には、ＦＯＵＰ３がＦＯＵＰ装着台１００に装着されたとき、ＦＯＵＰ３が接する部分にＦＯＵＰ連通開口部１０３が形成されている。また、ロードポート１０は、ＦＯＵＰ３がＦＯＵＰ装着台１００に装着されていないとき、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を塞いでおくためのポートドア１０５を備えている。
【００２６】
この場合、ＦＯＵＰ３の横蓋３０には横蓋３０を開放するための鍵の鍵穴が設けられ、また、ポートドア１０５の外側には突起状の鍵が設けられている（図示省略）。すなわち、ＦＯＵＰ３が側板１０２に圧接されると、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を塞いでいるポートドア１０５の外側に設けられた突起状の鍵が、ＦＯＵＰ３の横蓋３０に設けられた鍵穴に挿入された状態になり（図示省略）、その鍵によりＦＯＵＰ３の横蓋３０をポートドア１０５側、つまり、筐体１１の内部から開けることができるようにされている。
【００２７】
そこで、ロードポート１０は、筐体１１の内側からＦＯＵＰ３の横蓋３０の開閉を実現する機構として、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構（図示省略）を備えている。後記にて説明するように、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構は、ＦＯＵＰ３の横蓋３０とポートドア１０５とを併せた形で開閉することになるが、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構により、ＦＯＵＰ３の横蓋３０およびポートドア１０５が開放されると、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を通して、ＦＯＵＰ３の内部空間とミニエン装置１の筐体１１の内部空間とは、連通した空間となる。
【００２８】
なお、図３を参照すると、右側のロードポート１０では、ＦＯＵＰ３が装着されず、ポートドア１０５が閉じられた様子が、中央のロードポート１０では、ＦＯＵＰ３が装着され、ＦＯＵＰ３の横蓋３０およびポートドア１０５が開放された様子が、左側のロードポート１０では、ＦＯＵＰ３が装着され、ＦＯＵＰ３の横蓋３０およびポートドア１０５が閉じられた様子が、それぞれ描かれている。
【００２９】
搬送ロボット１４は、ウェーハ３１を裏面から吸着して保持、または、ウェーハ３１の縁を把持するロボットハンド１４１を備え、そのロボットハンド１４１は、水平面内で回転および伸縮が自在、かつ、上下方向に昇降自在に構成されている。さらに、搬送ロボット１４は、ロードポート１０が取付けられた筐体１１の壁面に平行に、筐体１１の床に設けられたロボット走行軌道１４２を備え、ロボットハンド１４１の支持体は、ロボット走行軌道１４２上を自在に移動することができる。
【００３０】
従って、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構により、ＦＯＵＰ３の横蓋３０およびポートドア１０５が開放されたときには、搬送ロボット１４は、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を通して、ロボットハンド１４１をＦＯＵＰ３の内部へ挿入し、ロボットハンド１４１でウェーハ３１を自在に吸着または把持することができる。
【００３１】
そこで、搬送ロボット１４は、ロボットハンド１４１をＦＯＵＰ３の内部に挿入して、ウェーハ３１を吸着または把持し、ＦＯＵＰ３から取り出し、さらに、その取り出したウェーハ３１を基板処理装置２に設けられた基板受渡台２１に搬送する。搬送ロボット１４は、その一方で、基板受渡台２１に載置された処理済みのウェーハ３１を、ロボットハンド１４１により吸着または把持して、搬送し、ＦＯＵＰ３の中へ収納する。
【００３２】
本実施形態では、筐体１１の内側に当たるロードポート１０は、イオナイザ１５およびイオンエア放出ノズル１６が取り付けられている。ここで、イオナイザ１５は、例えば、エアポンプと放電針とを備え、エアポンプで生成した圧縮空気の雰囲気の下で放電針に高電圧を印加することにより圧縮空気をイオン化し、そのイオン化した圧縮空気（以下、イオンエアという）をイオンエア放出ノズル１６から放出する。
【００３３】
このとき、イオンエア放出ノズル１６は、そのイオンエア放出口がＦＯＵＰ連通開口部１０３を向くようにして、ＦＯＵＰ連通開口部１０３の近傍に設けられている。従って、イオンエア放出ノズル１６から放出されたイオンエアは、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を通して、ＦＯＵＰ３の内部に供給される。その結果、イオンエアがＦＯＵＰ３の内部に行き渡るので、ＦＯＵＰ３に収納されたウェーハ３１の静電気がよく除電される。
【００３４】
続いて、図４および図５を用いて、本発明の実施形態に係るロードポート１０の構造について、詳しく説明する。ここで、図４は、ミニエン装置１の筐体１１に取付けられたロードポート１０の構造の例を筐体１１内側からの正面図で示した図、図５は、ロードポート１０の構造の例を斜視図で示した図である。なお、以下の説明は、前記した説明と一部重複する。
【００３５】
図４に示すように、ミニエン装置１の筐体１１の側壁の、ロードポート１０が取付けられる位置には、事前に、ロードポート取付け開口部１１１が設けられており、ロードポート１０は、そのロードポート取付け開口部１１１を塞ぐように筐体１１に取付けられる。また、ロードポート１０の側板１０２には、ＦＯＵＰ連通開口部１０３が形成され、そのＦＯＵＰ連通開口部１０３は、通常は、ロードポート１０のポートドア１０５によって塞がれている。
【００３６】
なお、図４のロードポート１０は、ポートドア１０５が開放され、さらに、下方の退避位置にスライドされた状態を描いたものである。前記したように、ＦＯＵＰ３の横蓋３０は、ポートドア１０５と併せて開放されるので、図４では、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を通してＦＯＵＰ３内に収納されたウェーハ３１が見えているように描かれている。ここで、ポートドア１０５の退避位置は、搬送ロボット１４のロボットハンド１４１がＦＯＵＰ３からウェーハ３１を出し入れするに際して、障害にならない位置に設定されるものとする。
【００３７】
次に、図４および図５に新たに示すように、ロードポート１０は、ＦＯＵＰ３の横蓋３０およびポートドア１０５を開閉するＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６を備えている。すなわち、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６は、ポートドア１０５を支持するとともに、ＦＯＵＰ装着台１００にＦＯＵＰ３が装着されていないときには、ポートドア１０５をＦＯＵＰ連通開口部１０３の側板１０２に圧接して、ＦＯＵＰ連通開口部１０３を塞ぐ。また、ＦＯＵＰ装着台１００にＦＯＵＰ３が装着されたときには、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６は、ＦＯＵＰ３の横蓋３０の鍵を開錠するとともに、ポートドア１０５が横蓋３０を支持した状態で、そのポートドア１０５および横蓋３０を側板１０２から離れる方向に移動させ、さらに、下方の退避位置まで移動させる。その結果、ＦＯＵＰ３の内部空間と筐体１１の内部空間とが連通する。
【００３８】
また、ロードポート１０の両脇には、イオナイザ１５が取付けられ、さらに、イオナイザ１５により発生させたイオンエアを放出するイオンエア放出ノズル１６がＦＯＵＰ連通開口部１０３の両脇近傍に設けられている。このとき、イオンエア放出ノズル１６には、複数のイオンエア放出口がＦＯＵＰ連通開口部１０３に向けて設けられているので、イオンエア放出ノズル１６から放出されるイオンエアをＦＯＵＰ３内に行き渡らせることができる。
【００３９】
なお、イオナイザ１５およびイオンエア放出ノズル１６は、ポートドア１０５が側板１０２から離れ、下方の退避位置へ移動するとき、その移動の障害にならない位置に設けられるものとする。
【００４０】
さらに、図４および図５に示すように、ポートドア１０５の上部位置には、静電電位センサ１７が取付けられている。静電電位センサ１７は、ＦＯＵＰ３の横蓋３０およびポートドア１０５が開放され、ポートドア１０５が所定の退避位置に移動したとき、ＦＯＵＰ３に収納されたウェーハ３１に帯電した静電気の電位を、静電誘導の原理により測定する。
【００４１】
なお、ここでは、静電電位センサ１７をポートドア１０５の上部位置に取付けるとしているが、その取付け位置は、ＦＯＵＰ連通開口部１０３の近傍で、搬送ロボット１４のロボットハンド１４１がＦＯＵＰ３からウェーハ３１を出し入れするに際して、障害にならない位置であればどこであってもよい。
【００４２】
次に、ミニエン装置１におけるイオナイザ１５の駆動方法について説明する。ここで、図６は、ミニエン制御装置１３の構成の例を示した図、図７は、ミニエン制御装置１３によるイオナイザ１５の駆動制御の処理フローの例を示した図である。
【００４３】
図６に示すように、本実施形態に係るミニエン制御装置１３は、制御の中枢となるＣＰＵ（Central Processing Unit）１３１、集積回路のＲＡＭ（Random Access Memory）やハードディスク装置などからなる記憶部１３２、イオナイザ駆動部１５１や静電電位センサ１７などに接続される入出力ＩＦ（Interface）部１３３、搬送ロボット制御部１４０やロードポート制御部１０７に接続される通信部１３４などを含んで構成される。
【００４４】
ここで、イオナイザ駆動部１５１は、イオナイザ１５に含まれて構成され、入出力ＩＦ部１３３から供給される信号に従って、イオナイザ駆動のオン・オフを制御する。すなわち、イオナイザ駆動部１５１は、イオナイザ駆動のオン信号を受信したときには、エアポンプを駆動し、放電針に高電圧を印加することにより、イオンエアを生成する。また、イオナイザ駆動のオフ信号を受信したときには、エアポンプの駆動の放電針への高電圧の印加を停止することにより、イオンエアの生成を停止する。
【００４５】
搬送ロボット制御部１４０は、搬送ロボット１４に含まれて構成され、通信部１３４から送信される所定のフォーマットのメッセージまたはデータに基づき、適宜、ロボットハンド１４１などを駆動制御するとともに、ロボットハンド１４１などの位置情報や制御状態を示すデータなどを通信部１３４へ送信する。同様に、ロードポート制御部１０７は、ロードポート１０に含まれて構成され、通信部１３４から送信される所定のフォーマットのメッセージまたはデータに基づき、適宜、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６などを駆動制御するとともに、その駆動状態を示すデータなどを通信部１３４へ送信する。
【００４６】
なお、通信部１３４と搬送ロボット制御部１４０またはロードポート制御部１０７との間の通信仕様は、例えば、イーサネット（登録商標）などの有線通信であってもよく、また、ブルートゥース（登録商標）などの無線通信仕様であってもよい。また、通信部１３４と入出力ＩＦ部１３３とを、とくに区別せず、いずれも同じ通信部１３４または入出力ＩＦ部１３３であってもよい。
【００４７】
記憶部１３２には、搬送ロボット１４、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６、イオナイザ１５などを制御する様々なプログラムおよびデータが格納されている。ＣＰＵ１３１は、そのプログラムおよびデータを記憶部１３２から読み出して実行することによって、搬送ロボット１４、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６、イオナイザ１５などに事前に付与された所定の機能を実現する。
【００４８】
イオナイザ駆動制御処理は、図７に示すように、イオナイザ１５の駆動の開始および停止を制御する処理である。ＣＰＵ１３１は、ＦＯＵＰ３の横蓋３０の開放を検知すると（ステップＳ１１）、イオナイザ１５の駆動を開始する（ステップＳ１２）。
【００４９】
ここで、ＣＰＵ１３１は、ロードポート制御部１０７から送信される「横蓋の開放完了」のメッセージを、通信部１３４を介して受信することによって、ＦＯＵＰ３の横蓋３０の開放を検知する。なお、ロードポート制御部１０７は、ＦＯＵＰ横蓋開閉機構１０６がＦＯＵＰ３の横蓋３０とポートドア１０５とを併せて所定の退避位置まで移動し終えたとき、「横蓋の開放完了」のメッセージを通信部１３４へ送信する。
【００５０】
また、ＣＰＵ１３１がイオナイザ１５の駆動を開始するときには、ＣＰＵ１３１は、入出力ＩＦ部１３３を介してイオナイザ駆動部１５１へ、イオナイザ１５の駆動を指示する信号を送信する。イオナイザ駆動部１５１は、その信号を受信すると、イオナイザ１５のエアポンプを駆動するとともに、放電針に高電圧を印加する。その結果、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアが放出される。
【００５１】
次に、ＣＰＵ１３１は、イオナイザ１５の駆動の制御モードが時間制御であるか否かを判定する（ステップＳ１３）。ここで、イオナイザ１５の駆動の制御モードには、時間制御と電位制御とがあるものとし、その制御モードの設定は、ミニエン制御装置１３に設けられたボタンやスイッチなどを用いて事前に行われているものとする。
【００５２】
そこで、その制御モードが時間制御であった場合には（ステップＳ１３でＹｅｓ）、ＣＰＵ１３１は、自らが内蔵する経過タイマに所定の時間を設定する（ステップＳ１４）。ここで、所定の時間とは、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアを放出したとき、ＦＯＵＰ３に収納されたウェーハ３１に帯電した静電気が除電されるまでの時間をいい、あらかじめ、実験的に求められた時間である。
【００５３】
次に、ＣＰＵ１３１は、タイマに設定された設定時間が経過したか否かを判定し（ステップＳ１５）、経過していない場合には（ステップＳ１５でＮｏ）、経過するまで待ち、経過した場合には（ステップＳ１５でＹｅｓ）、イオナイザ１５の駆動を停止する（ステップＳ１８）。
【００５４】
なお、ＣＰＵ１３１がイオナイザ１５の駆動を停止するときには、ＣＰＵ１３１は、入出力ＩＦ部１３３を介してイオナイザ駆動部１５１へ、イオナイザ１５の駆動停止を指示する信号を送信する。イオナイザ駆動部１５１は、その信号を受信すると、イオナイザ１５のエアポンプの駆動および放電針への高電圧の印加を停止する。その結果、イオンエア放出ノズル１６からのイオンエアの放出が停止される。
【００５５】
一方、イオナイザ１５の駆動の制御モードが時間制御でなかった場合（ステップＳ１３でＮｏ）、つまり、電位制御であった場合には、ＣＰＵ１３１は、入出力ＩＦ部１３３を介して静電電位センサ１７から、静電電位センサ１７が検出した電位を取得し（ステップＳ１６）、その電位が所定の閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１７）。その判定の結果、その電位が所定の閾値以下でなかった場合には（ステップＳ１７でＮｏ）、ウェーハ３１に帯電した静電気の電位が高いことを意味するので、ステップＳ１６へ戻って、再度、静電電位センサ１７から電位を取得する。
【００５６】
一方、静電電位センサ１７から取得した電位が所定の閾値以下であった場合には（ステップＳ１７でＹｅｓ）、ウェーハ３１に帯電した静電気は除電されたものと判定し、イオナイザ１５の駆動を停止して（ステップＳ１８）、イオンエア放出ノズル１６からのイオンエアの放出を停止させる。
【００５７】
以上、本実施形態によれば、イオンエア放出ノズル１６をＦＯＵＰ連通開口部１０３の近傍に設け、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアをそのＦＯＵＰ連通開口部１０３に向けて、つまり、ＦＯＵＰ３の内部に向けて放出するようにしたので、イオンエアがＦＯＵＰ３の内部に行き渡るようになり、ＦＯＵＰ３に収納されたウェーハ３１の静電気を充分に除電することができる。
【００５８】
従って、ウェーハ３１に帯電した静電気の放電によるウェーハに形成された回路素子の破壊や、搬送ロボット１４の誤動作・故障を防止することができるようになるので、ウェーハ３１に形成される集積回路などの製造歩留まりや、搬送ロボット１４の動作の信頼性を向上させることができる。
【００５９】
また、本実施形態によれば、イオナイザ１５が常にイオンエアを生成し、イオンエア放出ノズル１６から常にイオンエアを放出するのではなく、ミニエン制御装置１３による制御により、イオナイザ１５を駆動する期間を、ＦＯＵＰ３の横蓋３０が開放されてから、所定の時間が経過するまでの期間、または、静電電位センサ１７によって検出されるＦＯＵＰ３に収納されたウェーハ３１の静電気の電位が所定の電位以下になるまでの期間に制限している。従って、イオナイザ１５が駆動される時間は、常に駆動される場合に比べ、大幅に短縮される。
【００６０】
一般に、イオナイザ１５の放電針は、高電圧が印加されるために、その印加時間に比例して消耗する。従って、その放電針には所定の寿命があるが、本実施形態では、その高電圧印加時間が短縮されるので、その寿命が延びることになる。その結果、本実施形態のミニエン装置１では、所定期間（例えば、１年間）内にイオナイザ１５の放電針を交換する回数を低減することができる。これは、ミニエン装置１の保守コストを低減することができることを意味している。
【００６１】
なお、本実施形態では、イオナイザ１５を駆動して、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアを放出するので、天井からの清浄な空気のダウンフローが乱され、搬送ロボット１４や床などから塵埃が巻き上げ易くなる。その塵埃は、ウェーハ３１に形成される集積回路などの製造歩留まりの低下の原因となる。しかしながら、本実施形態では、ミニエン制御装置１３による制御により、イオナイザ１５を駆動する期間、つまり、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアを放出する期間を、ウェーハ３１に帯電した静電気が除電される期間に制限しているので、塵埃の巻き上げの影響を最小に抑えることが実現されていることになる。
【００６２】
続いて、以上に説明した実施形態についての変形例について説明する。
【００６３】
以上に説明した実施形態では、ミニエン制御装置１３が図７に示したイオナイザ１５の駆動制御を行うとしたが、ロードポート制御部１０７がイオナイザ１５の駆動制御を行うとしてもよい。ロードポート制御部１０７は、通常、ＣＰＵと記憶部とを備えたマイクロプロッセサなどを含んで構成されているので、そのＣＰＵに、図７に相当するイオナイザ１５の駆動制御を行わせるようにすることは容易である。
【００６４】
また、この場合には、図５などに示したように、イオナイザ１５、イオンエア放出ノズル１６および静電電位センサ１７をロードポート１０に取付けておくものとする。すなわち、ロードポート１０が、イオナイザ１５、イオンエア放出ノズル１６および静電電位センサ１７を含んだ構成であるとする。
【００６５】
このようにロードポート１０を構成すると、そのロードポート１０の構成だけにより、前記した実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、ミニエン装置１の筐体１１、ミニエン制御装置１３、搬送ロボット１４などが従来から市販されているものであっても、そのロードポートを本実施形態の変形例のロードポート１０に取り替えれば、前記した実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６６】
また、逆の変形例として、イオナイザ１５、イオンエア放出ノズル１６および静電電位センサ１７をロードポート１０に取付けるのではなく、筐体１１の側壁に取付けるようにしてもよい（図示省略）。この場合には、イオナイザ１５の駆動制御は、前記した実施形態と同様に、ミニエン制御装置１３によって行うことになる。
【００６７】
このような実施形態の変形例のミニエン装置１では、そのロードポート１０を従来から市販されているロードポートに取り替えても、前記した実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
なお、以上に説明した実施形態およびその変形例では、ミニエン装置１において搬送ロボット１４により搬送される基板は、集積回路などを製造する過程にあるシリコンのウェーハであるとしたが、それに限定されず、基板が製造途上にある液晶表示基板や有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示基板などであってもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１      ミニエン装置
２      基板処理装置
３      ＦＯＵＰ
１０    ロードポート
１１    筐体
１２    フィルタファンユニット
１３    ミニエン制御装置
１４    搬送ロボット
１５    イオナイザ
１６    イオンエア放出ノズル
１７    静電電位センサ
２１    基板受渡台
３０    横蓋
３１    ウェーハ
１００  ＦＯＵＰ装着台
１０１  ＦＯＵＰ固定プレート
１０２  側板
１０３  ＦＯＵＰ連通開口部
１０４  プレート移動機構
１０５  ポートドア
１０６  ＦＯＵＰ横蓋開閉機構
１０７  ロードポート制御部
１１１  ロードポート取付け開口部
１２１  送風ファン
１３１  ＣＰＵ
１３２  記憶部
１３３  入出力ＩＦ部
１３４  通信部
１４０  搬送ロボット制御部
１４１  ロボットハンド
１４２  ロボット走行軌道
１５１  イオナイザ駆動部
【図１】
2010165741.tif 000003
【図２】
2010165741.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010165741.tif 000006
【図５】
2010165741.tif 000007
【図６】
2010165741.tif 000008
【図７】
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