(57)【要約】【課題】大径および小径の両方のウエハが検査可能で、小径のウエハを検査する場合のスループットを向上する。【解決手段】プローブカード24のプローブ25を、ウエハW上に形成された半導体装置の電極に接続して電気的に検査するプローブ検査方法であって、大径のウエハW1を保持可能なウエハチャック16に、複数の小径のウエハW2A,W2B,W2Cを保持するロードステップ101-106と、プローブと複数の小径のウエハに形成された半導体装置の電極との位置関係を検出してアライメントデータを記憶するアライメントステップ107-112と、アライメントデータに基づいて複数の小径のウエハとプローブの位置関係を調整してプローブを電極に接触させた後半導体装置を検査する検査ステップ113-120と、を備える。【選択図】図２
2010219253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタに接続されるプローブカードのプローブを、ウエハ上に形成された半導体装置の電極に接続して電気的に検査するプローブ検査方法であって、
大径のウエハを保持可能なウエハチャックに、複数の小径のウエハを保持するロードステップと、
前記プローブと、前記複数の小径のウエハに形成された前記半導体装置の電極との位置関係を検出してアライメントデータを記憶するアライメントステップと、
前記アライメントデータに基づいて、前記ウエハチャックに保持された前記複数の小径のウエハと前記プローブの位置関係を調整して前記プローブを前記半導体装置の電極に接触させた後、前記半導体装置を検査する検査ステップと、を備えることを特徴とするプローブ検査方法。
【請求項２】
前記ロードステップは、前記ウエハチャックを所定のロード位置に移動した後、前記複数の小径のウエハを、前記ウエハチャックを所定の角度ずつ回転しながら１枚ずつ前記ウエハチャックに載置する請求項１に記載のプローブ検査方法。
【請求項３】
前記ロードステップは、前記小径のウエハを同じ方向で、前記ウエハチャックに載置し、
前記検査ステップは、前記ウエハチャックを所定の検査位置に移動した後、前記ウエハチャックを所定の角度ずつ回転して前記位置関係を調整しながら、前記複数の小径のウエハを１枚ずつ検査する請求項２に記載のプローブ検査方法。
【請求項４】
前記ロードステップは、前記小径のウエハを所定の角度ずつずらした方向で、前記ウエハチャックに載置し、
前記検査ステップは、前記ウエハチャックを所定の検査位置に移動した後、前記ウエハチャックを平行移動して前記位置関係を調整しながら、前記複数の小径のウエハを１枚ずつ検査する請求項２に記載のプローブ検査方法。
【請求項５】
前記ロードステップは、前記複数の小径のウエハを、前記ウエハチャックを回転せずに１枚ずつ同じ方向で前記ウエハチャックに載置し、
前記検査ステップは、前記ウエハチャックを平行移動して前記位置関係を調整しながら、前記複数の小径のウエハを１枚ずつ検査する請求項１に記載のプローブ検査方法。
【請求項６】
前記ロードステップは、前記ウエハの搬送アームが前記ウエハを同じ位置に搬送し、前記ウエハチャックを載置する各小径のウエハの前記ウエハチャック上の載置位置に応じて移動して載置する請求項５に記載のプローブ検査方法。
【請求項７】
前記ロードステップは、前記ウエハチャックを移動せずに、前記ウエハの搬送アームで各小径のウエハを前記ウエハチャック上の載置位置を変えて載置する請求項５に記載のプローブ検査方法。
【請求項８】
前記ウエハチャックは、保持した前記複数の小径のウエハを独立して回転および平行移動可能であり、
前記検査ステップは、前記複数の小径のウエハをそれぞれ回転および平行移動して前記位置関係を調整しながら、前記複数の小径のウエハを同時に検査する請求項１に記載のプローブ検査方法。
【請求項９】
ウエハ上に形成された半導体装置を電気的に検査するため、テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバであって、
前記半導体装置の電極に接触して前記電極を前記テスタの端子に接続するプローブを有するプローブカードの取り付け部と、
大径のウエハおよび複数の小径のウエハを保持するウエハチャックと、を備えるプローバであって、
前記ウエハチャックは、複数の小径のウエハを保持する複数のチャック機構を備え、前記大径のウエハは、前記複数のチャック機構を動作させてチャックされることを特徴とするプローバ。
【請求項１０】
前記複数のチャック機構は、
１個の真空ポンプと、
前記１個の真空ポンプに接続された複数のバルブと、
前記複数のバルブにそれぞれ接続され、前記ウエハチャックに設けられた複数の真空経路および吸着溝と、を備える請求項９に記載のプローバ。
【請求項１１】
前記複数のチャック機構は、
１個の真空ポンプと、
前記１個の真空ポンプに接続された１個のバルブと、
前記１個のバルブにそれぞれ接続され、前記ウエハチャックに設けられた複数の真空経路および吸着溝と、を備え、
載置するウエハの枚数に応じて、前記１個のバルブにより、複数の真空経路および吸着溝に流れる流量を制御する請求項９に記載のプローバ。
【請求項１２】
前記複数のチャック機構に対応して、独立に動作可能な複数組のリフトピンを備え、
前記大径のウエハは、前記複数組のリフトピンによりリフトされる請求項９に記載のプローバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体装置（チップまたはダイ）の電気的な検査を行うプローブ検査方法およびそのためのプローバに関し、特に大径のウエハを保持可能なウエハチャックで複数の小径のウエハを保持して検査を行うプローブ検査方法およびプローバに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、薄い円板状の半導体ウエハに各種の処理を施して、複数のチップ（ダイ）状の半導体装置（デバイス）を形成する。各半導体装置は電気的特性が検査され、その後ダイサーで切り離なされた後、リードフレームなどに固定されて組み立てられる。上記の電気的特性の検査は、プローバとテスタを組み合わせたウエハテストシステムで行われる。プローバは、ウエハをステージに固定し、各チップの電極パッドにプローブカードのプローブを接触させる。テスタは、プローブに接続される端子から、電源および各種の試験信号を供給し、チップの電極に出力される信号をテスタで解析して正常に動作するかを確認する。
【０００３】
図１は、ウエハテストシステムの概略構成を示す図である。ウエハテストシステムは、プローバ１０とテスタ３０とで構成される。図示のように、プローバ１０は、ウエハＷを保持するウエハチャック１６と、ウエハチャック１６をＺ軸方向に移動すると共にＺ軸を中心として回転するＺ軸移動・回転部１５と、プローブの位置を検出するプローブ位置検出カメラ１８と、プローブ位置検出カメラ１８をＺ軸方向に移動するカメラ移動機構１７と、Ｚ軸移動・回転部１５及びカメラ移動機構１７を支持してＸ軸方向に移動する（Ｘ軸）移動台１４と、Ｘ軸移動台１４を支持してＹ軸方向に移動するＹ軸移動台１３と、Ｙ軸移動台１３を支持する移動ベース１２と、移動ベース１２を支持する基台１１と、基台１１に支持される支柱１９及び２０と、支柱１９及び２０に支持されるヘッドステージ２１と、図示していない支柱に設けられたウエハアライメントカメラ２２と、ヘッドステージ２１に設けられたカードホルダ２３と、を有する。カードホルダ２３には、プローブカード２４が取り付けられる。移動・回転機構については広く知られているので、ここでは説明を省略する。プローブカード２４は、検査するデバイスの電極配置に応じて配置されたプローブ２５を有し、検査するデバイスに応じて交換される。プローブ位置検出カメラ１８はプローブの配置及び高さ位置を検出し、ウエハアライメントカメラ２２はウエハＷ上の半導体装置（チップまたはダイ）の電極パッドの位置を検出する。
【０００４】
テスタ３０は、テスタ本体３１と、テスタ本体３１に設けられたコンタクトリング３２とを有する。プローブカード２５には各プローブに接続される端子が設けられており、コンタクトリング３２はこの端子に接触するように配置されたコンタクトを有する。テスタ本体３１は、図示していない支持機構により、プローバ１０に対して保持される。
【０００５】
検査を行う場合には、プローブ位置検出カメラ１８がプローブ２５の下に位置するように、移動台１４を移動させ、カメラ移動機構１７でプローブ位置検出カメラ１８をＺ軸方向に移動して焦点を合わせ、プローブ位置検出カメラ１８でプローブ２５の先端位置を検出する。プローブ２５の先端の水平面内の位置（Ｘ及びＹ座標）はカメラの座標により検出され、垂直方向の位置はカメラの焦点位置で検出される。このプローブ２５の先端位置の検出は、プローブカード２４を交換した時にはかならず行う必要があり、プローブカード２４を交換しない時でも所定個数のチップを測定するごとに適宜行われる。なお、プローブカード２４には、数千本以上ものプローブ２５が設けられており、すべてのプローブ２５の先端位置を検出せずに、通常は特定のプローブの先端位置を検出する。
【０００６】
次に、図１において破線で示すように、ウエハチャック１６に検査するウエハＷを保持した状態で、ウエハＷがウエハアライメントカメラ２２の下に位置するように、Ｘ軸移動台１４を移動させ、ウエハＷ上の半導体チップの電極パッドの位置を検出する。１チップのすべての電極パッドの位置を検出する必要はなく、いくつかの電極パッドの位置を検出すればよい。また、ウエハＷ上のすべてのチップの電極パッドを検出する必要はなく、いくつかのチップの電極パッドの位置が検出される。
【０００７】
次に、上記のようにして検出したプローブ２５の配列及び電極パッドの配列に基づいて、プローブ２５の配列方向と電極パッドの配列方向が一致するように、Ｚ軸移動・回転部１５によりウエハチャック１６を回転した後、検査するチップの電極パッドがプローブ２５の下に位置するようにウエハチャック１６をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動し、Ｚ軸移動・回転部１５によりウエハチャック１６をＺ軸方向に上昇させて、電極パッドをプローブ２５に接触させて上昇を停止する。この状態でテスタ３０から電源及び信号を供給して検査を行う。
【０００８】
プローバについては、特許文献１などに記載されており、広く知られているので、これ以上の説明は省略する。
【０００９】
半導体製造における進歩は、高集積化とウエハ直径の拡大による効率向上という２つの流れがあり、現在主流のφ３００ｍｍウエハからより大口径のφ４５０ｍｍのウエハへの移行が計画されている。
【００１０】
φ３００ｍｍウエハまでのプローバは、一部の特殊な仕様のものを除き、基本的には過去の小さいサイズのウエハ用プローバと同様の機構、同様のレイアウトで構成されていた。
【００１１】
しかし、φ４５０ｍｍウエハ用のプローバにおいては、今までのレイアウトを踏襲すると、プローバが大きくなり過ぎるという問題点が無視できないほど大きくなるため、プローバにおける移動ストロークを制限した一括コンタクトなどが主流になってくると考えられる。また、一括コンタクトは、検査効率の向上の観点からも、今後主流になると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−０３９７５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
半導体製造においては、製造および検査の効率向上によるコストダウンが強く要望されている。そのために、上記のような高集積化やウエハ直径の拡大が図られている。これは１ロットの半導体装置の生産個数を増大させる。
【００１４】
一方、半導体製造においては、各種用途に適した半導体装置のカスタマイズ化も図られており、多品種少量生産を効率よく行えるようにすることも要望されている。
【００１５】
ウエハ直径の拡大と多品種少量生産は、生じる影響が逆の方向に作用するものであり、これらの要望をいかに整合させて生産効率を向上させるかが大きな課題であった。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するため、本発明のプローブ検査方法は、ウエハ直径の拡大と多品種少量生産の要望を整合するため、大径のウエハを検査可能にすると共に、同じプローバで小径のウエハを検査する場合に、大径のウエハを保持可能なウエハチャックに、複数の小径のウエハを保持して、ウエハチャックに保持した複数の小径のウエハを連続してまたは同時に検査する。
【００１７】
すなわち、本発明のプローブ検査方法は、テスタに接続されるプローブカードのプローブを、ウエハ上に形成された半導体装置の電極に接続して電気的に検査するプローブ検査方法であって、大径のウエハを保持可能なウエハチャックに、複数の小径のウエハを保持するロードステップと、プローブと、複数の小径のウエハに形成された半導体装置の電極との位置関係を検出してアライメントデータを記憶するアライメントステップと、アライメントデータに基づいて、ウエハチャックに保持された複数の小径のウエハとプローブの位置関係を調整してプローブを半導体装置の電極に接触させた後、半導体装置を検査する検査ステップと、を備えることを特徴とする。
【００１８】
プローバで、大径のウエハと共に小径のウエハを検査可能にすることにより、ウエハ直径の拡大と多品種少量生産の両方の要望に対処できるが、小径のウエハを検査する場合に１枚ずつ検査していたのでは小径のウエハの検査におけるスループットは向上しない。
【００１９】
プローバにおけるスループットには、ウエハチャックの動作時間、アライメントカメラおよびプローブカメラで取得した画像の画像処理による形状認識時間、位置精度維持のための補正位置測定時間などが影響するが、各種動作を行う位置にウエハカセットを移動する時間も影響する。例えば、ウエハチャックは、ウエハカセットとの間でウエハを搬送する（ロード・アンロード）する位置、アライメントカメラおよびプローブカメラで画像を取得する位置、プローブと電極を接触させる位置などに移動する必要があり、これらのウエハチャックの移動時間も大きく影響する。
【００２０】
本発明によれば、ウエハチャックに複数の小径のウエハを載置するため、各位置への移動は１回でよいため、ウエハチャックの移動時間を大幅に短縮してスループットを向上できる。
【００２１】
本発明のプローブ検査方法で、大径のウエハについての動作は基本的には従来例と同じである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、１ロット当たりの生産量が多い場合には大径のウエハを使用し、多品種少量生産の場合には小径のウエハを使用することで、ウエハ直径の拡大と多品種少量生産の両方の要望に応えることができ、しかも小径のウエハを使用する場合にはウエハチャックに複数枚のウエハを保持して検査を行うため、スループットが向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】プローバとテスタでウエハ上の半導体装置（チップ）を検査するウエハテストシステムの基本構成を示す図である。
【図２】本発明において、ウエハチャック上に保持されるウエハを示す図である。
【図３】１組の同心円状の吸着溝を有するウエハチャックに複数枚のウエハを保持した状態を示す図である。
【図４】実施形態のプローバの真空吸着機構の吸着溝を示す図である。
【図５】実施形態のプローバのリフトピン機構を示す図である。
【図６】実施形態のプローバのリフトピン機構における動作状態を説明する図である。
【図７】実施形態のプローバにおいて、ウエハチャックに保持したウエハの電極をプローブカードのプローブに接触させた状態を示す図である。
【図８】第１実施形態における測定動作を説明する図である。
【図９】第１実施形態における測定動作を示すフローチャートである。
【図１０】第２実施形態における測定動作を説明する図である。
【図１１】第２実施形態における測定動作を示すフローチャートである。
【図１２】第３実施形態におけるウエハのウエハチャックへの受け渡しを説明する図である。
【図１３】第３実施形態において、３組のリフトピンが同時に動作する場合の搬送アームの形状を説明する図である。
【図１４】正方形の載置面を有するウエハチャックを使用する第３実施形態の変形例を示す図である。
【図１５】第３実施形態の変形例におけるウエハのウエハチャックへの受け渡しの別の例を説明する図である。
【図１６】第４実施形態のプローバの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
実施形態のプローバは、図１に示した構成に類似した構成を備える。ここでは、従来例のプローバと異なることについてのみ説明する。
【００２５】
図２は、実施形態のプローバのウエハチャック１６に、φ４５０ｍｍのウエハＷ１を載置した場合と、φ２００ｍｍのウエハＷ２を載置した場合と、を示す。ウエハＷ１は破線で、ウエハＷ２は実線で示される。図２の（Ａ）は、φ４５０ｍｍのウエハＷ１を載置可能な円形の載置面を有するウエハチャック１６にφ２００ｍｍのウエハＷ２を３枚載置した場合を示す。図２の（Ｂ）は、φ４５０ｍｍのウエハＷ１を載置可能な正方形の載置面を有するウエハチャック１６’にφ２００ｍｍのウエハＷ２を４枚載置した場合を示す。以下の説明では、図２の（Ａ）の円形の載置面を有するウエハチャック１６に３枚の小径のウエハを載置する場合を例として説明するが、図２の（Ｂ）のウエハチャックや、６角形の載置面を有するウエハチャックについても、以下の説明は同様に有効である。
【００２６】
図２に示すように、φ４５０ｍｍのウエハＷ１を載置できるウエハチャックであれば、複数枚のφ２００ｍｍのウエハを載置可能である。なお、大径および小径のウエハのサイズはこの例に限定されるものではない。
【００２７】
大径のウエハの測定動作は、従来例と同じであるので、以下の説明は、複数の小径のウエハについてのみ行う。
【００２８】
実施形態においては、ウエハの保持は真空吸着で行われるが、これに限定されるものではなく、例えば静電吸着などを利用することも可能である。
【００２９】
図３は、従来例のウエハチャック１６の載置面に設けられた真空吸着用の溝４１を示す図である。溝４１は、複数の同心円の溝である。３枚の小径のウエハＷ２を載置すると、図３に示すように、ウエハＷ２が載置されない溝４１の部分が存在する。この部分から真空ポンプに周囲の気体（空気など）が吸い込まれ、吸着力を低下させる。しかし、真空ポンプなどの吸引力に余裕があれば、従来例の真空吸着用の溝４１であっても、３枚の小径のウエハＷ２を吸着して保持することが可能である。したがって、従来例の真空吸着機構をそのまま使用することも可能である。
【００３０】
図４の（Ａ）および（Ｂ）は、実施形態のウエハチャック１６の載置面に設けられた真空吸着用の溝４１を示す図である。図４の（Ａ）および（Ｂ）に示すように、ウエハチャック１６の載置面に、３枚の小径のウエハＷ２の載置位置に対応して、３組の同心円の溝４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃが設けられる。したがって、３枚の小径のウエハを３組の溝４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃに対応して載置すれば、小径のウエハが載置されない溝４１の部分は存在しない。
【００３１】
３組の溝４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃは、図４の（Ａ）に示すように、３つの独立した真空経路および３個のバルブ４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃを介して共通の真空ポンプ４３に接続する。この構成であれば、３組の溝４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃに独立に吸引力を印加することができる。
【００３２】
なお、図４の（Ｂ）に示すように、３組の溝４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃを、最後が共通である真空経路および１個のバルブ４２を介して真空ポンプ４３に接続してもよい。この場合、載置する小径のウエハの枚数が少ない時には、ウエハが載置されない溝の部分が存在し、吸引力が低下するので、３枚のウエハが載置される場合に比べて、真空ポンプ４３の吸引力を増加させるか、またはバルブ４２の絞りなどにより流量を増加させるように制御する。
【００３３】
大径のウエハＷ１を保持する時には、３組の溝４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃに同時に吸引力が印加される。
【００３４】
図５は、実施形態のリフトピン機構の構成を示す図であり、（Ａ）が上面図を、（Ｂ）が側面図を示す。リフトピンは、３本の上下動するピンである。ウエハのロードステップでは、搬送アームは、ウエハを保持してウエハチャックの上方に移動し、ウエハの吸着を停止する。これにより、ウエハは、搬送アームに載置された状態になる。この状態で、リフトピンが上昇してウエハをさらに上昇させると、ウエハは３本のリフトピンに支持され、搬送アームから離れた状態になるので、搬送アームは、ウエハチャックの上方から退避する。次に、リフトピンが降下すると、ウエハはウエハチャック上に載置された状態になる。この状態でウエハを吸着する。ウエハのアンロードステップは、ロードステップの逆の動作であり、ウエハチャック１６が吸着を解除した後、リフトピンが上昇して、ウエハが上方に移動する。この状態で、搬送アームがウエハの下に移動し、リフトピンが降下するとウエハは搬送アーム上に載置されるので、同時に搬送アームはウエハを吸着する。搬送アームはウエハをウエハチャックの上方から退避して回収する。
【００３５】
図５に示すように、実施形態では、３枚の小径のウエハＷ２の載置位置に対応して、３個のリフトピン機構が設けられる。各リフトピン機構は、３本のリフトピン５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃをそれぞれ有する。３本のリフトピン５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃは、それぞれ１個のベース部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃに取り付けられている。ベース部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃは、摺動穴５３Ａ（図示せず）、５３Ｂ、５３Ｃ内を移動可能に支持された摺動部材５４Ａ（図示せず）、５４Ｂ、５４Ｃに支持されている。摺動部材５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃには、摺動穴５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃの外部に伸びる延長部材５５Ａ（図６に示す）、５５Ｂ、５５Ｃが取り付けられている。このように、ベース部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃは、上下方向に移動可能に支持されている。なお、図示していないが、ベース部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃは、下方に付勢されている。回転・移動機構５８は、回転移動部材５６が取り付けられた軸５７を任意の角度に回転可能であると共に上下方向に移動可能である。
【００３６】
図６は、回転移動部材５６と、延長部材５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃの先端と位置関係を示す図である。
【００３７】
図６に示すように、延長部材５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃは、同一半径の円周を３等分した点に位置する。回転移動部材５６は、４本のアーム５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃおよび５７を有する。３本のアーム５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃは、円を３等分した方向に伸び、先端は延長部材５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃの位置する半径より若干長く伸びている。１本のアーム５７は、アーム５６Ａと５６Ｃの間を２等分した方向に伸び、長さは他のアームと同じである。したがって、図６の（Ａ）に示す状態では、３本のアーム５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃの先端は、延長部材５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃの下に位置する。また、その状態から６０度回転すると、図６の（Ｂ）に示すように、アーム５７の先端が延長部材５５Ｃの下に位置し、３本のアーム５６Ａ、５６Ｂ、５６Ｃの先端の上には延長部材が無い状態になる。また、図６の（Ｂ）状態から回転移動部材５６が１２０度回転すると、アーム５７の先端が延長部材５５Ｂの下に位置する状態になり、更に回転移動部材５６が１２０度回転すると、アーム５７の先端が延長部材５５Ａの下に位置する状態になる。
【００３８】
したがって、回転移動部材５６が図６の（Ａ）の回転位置にある状態で、回転・移動機構５８が軸５７を上下動すると、３個のリフトピン機構が同時に上下動して、３組のリフトピン５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃが上下動する。また、回転移動部材５６が図６の（Ｂ）の回転位置にある状態で、回転・移動機構５８が軸５７を上下動すると、３本のリフトピン５１Ｃが上下動する。さらに、回転移動部材５６が図６の（Ｂ）の回転位置から１２０度回転した状態で回転・移動機構５８が軸５７を上下動すると、３本のリフトピン５１Ｂが上下動し、回転移動部材５６が図６の（Ｂ）の回転位置から２４０度回転した状態で回転・移動機構５８が軸５７を上下動すると、３本のリフトピン５１Ａが上下動する。
【００３９】
以上説明したように、実施形態のリフトピン機構は、３組のリフトピンを同時に上下動することも、３組のリフトピンを独立して上下動することも可能である。大径のウエハＷ１を載置する時には、３組のリフトピンを同時に上下動し、小径のウエハＷ２を載置する時には、３組のリフトピンをそれぞれ別々に上下動する。
【００４０】
図７は、実施形態で使用するプローブカード２４を示す図であり、（Ａ）が上面図を、（Ｂ）が側面図である。図７に示すように、プローブカード２４は、小径のウエハＷ２を一括コンタクトする本数のプローブ２５を有する。プローブ２５は、プローブカード２４に設けられたプローブホルダ２６に保持されている。ウエハＷ２Ｃを検査する時には、図７に示すように、複数のプローブ２５をウエハＷ２Ｃの電極に一括して接触させる。これにより、ウエハＷ２Ｃの半導体チップを同時に検査できる。ウエハＷ２Ｃの検査が終了した後は、ウエハチャック１６を一旦降下させた後、ウエハＷ２Ａがプローブ２５の下に位置するように移動し、ウエハチャック１６の回転角度および平行移動位置を微調整した後、ウエハチャック１６を上昇してウエハＷ２Ａの電極を複数のプローブ２５に一括して接触させる。この状態でウエハＷ２Ａの検査を行う。以下、ウエハＷ２Ｂについても同様に検査を行う。なお、検査するウエハの順番は、任意に決める。
【００４１】
なお、小径のウエハＷ２を複数回のコンタクトで検査することも可能である。この場合には、φ４５０ｍｍ内に小径のウエハＷ２の領域のみを測定範囲とするマップを作成してコンタクトおよび検査を行う。この場合、プローブが、検査対象の小径のウエハに隣接するウエハに接触しないようなプローブの配置にすることが望ましい。
【００４２】
以上、実施形態の各部の構成を説明した。次に、実施形態における測定動作を説明するが、測定動作には各種の構成があり得る。
【００４３】
図８は第１実施形態における測定動作を説明する図であり、図９は第１実施形態における測定動作を示すフローチャートである。
【００４４】
ステップ１０１では、変数ｎに３を代入する。
【００４５】
ステップ１０２では、搬送アームでウエハＷ２Ａを所定の方向に保持する。図８ではウエハの方向を矢印で示す。
【００４６】
ステップ１０３では、ウエハチャック１６のウエハＷ２Ａを保持する部分（吸着溝４１Ａの形成された部分）が、図８の（Ａ）に示す位置するように移動した後、搬送アームでウエハＷ２Ａをその部分の上方に移動し、リフトピン５１Ａを上昇し、搬送アームを回避させた後、リフトピン５１Ａを降下させ、ウエハＷ２Ａをウエハチャック１６に吸着する。
【００４７】
ステップ１０４では、変数ｎを１減じる。
【００４８】
ステップ１０５では、変数ｎが０であるかを判定し、０であればステップ１０７に進み、０でなければステップ１０６に進む。
【００４９】
ステップ１０６では、ウエハチャック１６を１２０度回転して、ステップ１０２に戻る。したがって、ウエハチャック１６は、図８の（Ｂ）に示すように、ウエハＷ２Ａを吸着した状態で、ウエハＷ２Ａがウエハの受け渡し位置から１２０度回転した状態である。この回転角度は、載置する小径のウエハの枚数が３枚であるためで、４枚であれば９０度になる。
【００５０】
ステップ１０２に戻ってさらにステップ１０３を実行することにより、図８の（Ｂ）に示すように、矢印の向きのウエハＷ２Ｂが受け渡し位置に搬送されて吸着される。さらにもう一度この動作が繰り返され、ウエハチャック１６には３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃが円周を３等分した位置に載置され、各ウエハの方向を示す矢印はウエハチャック１６の回転中心に向かう方向を示す。
【００５１】
ステップ１０７では、アライメント位置に移動し、ウエハチャック１６をアライメント方向に回転する。アライメント位置およびアライメント方向は、例えば、図８の（Ｄ）でのウエハＷ２Ａの位置およびウエハＷ２Ａの方向が矢印で示す方向である。言い換えれば、図８の（Ｄ）のウエハＷ２Ａがアライメントカメラ２２で観察できる状態である。なお、アライメント方向は、後述するコンタクト時のウエハの方向と一致することが望ましい。
【００５２】
ステップ１０８では、変数ｎに３を代入する。
【００５３】
ステップ１０９では、ウエハＷ２Ａのアライメント動作を行い、ウエハＷ２Ａの電極をプローブ２５に接触させるためのウエハチャック１６の回転角度および平行移動量（座標位置）を算出してアライメント値として記憶する。
【００５４】
ステップ１１０では、変数ｎを１減じる。
【００５５】
ステップ１１１では、変数ｎが０であるかを判定し、０であればステップ１１３に進み、０でなければステップ１１２に進む。
【００５６】
ステップ１１２では、ウエハチャック１６を１２０度回転して、ステップ１０９に戻る。したがって、ウエハチャック１６は、図８の（Ｅ）に示すように、ウエハＷ２Ｂがアライメント位置およびアライメント方向にある状態になる。
【００５７】
以下、ウエハＷ２Ｂについて、アライメント動作を行いウエハＷ２Ｂのアライメント値を記憶する。さらに、図８の（Ｆ）に示すように回転して、ウエハＷ２Ｃについて、アライメント動作を行いウエハＷ２Ｃのアライメント値を記憶し、ステップ１１３に進むことになる。
【００５８】
図８の（Ｄ）から（Ｆ）は、アライメント位置をコンタクト位置とすれば、以下のコンタクトおよび測定動作でも同じである。
【００５９】
ステップ１１３では、図８の（Ｄ）に示すように、ウエハチャック１６をコンタクト位置に、すなわちウエハＷ２Ａがプローブカード２４の直下に位置するように移動する。
【００６０】
ステップ１１４では、変数ｎに３を代入する。
【００６１】
ステップ１１５では、ウエハチャック１６を、記憶してあるウエハＷ２Ａのアライメント値に対応する座標位置および回転角度に移動および回転する。この状態は、ウエハＷ２Ａの電極がプローブカード２４のプローブ２５の真下に位置する。ここでは、ウエハＷ２Ａの方向は矢印で示す方向であり、プローブカード２４のプローブ２５の配列方向もこの矢印で示す方向に一致している。
【００６２】
ステップ１１６では、ウエハチャック１６を上昇して、ウエハＷ２Ａの電極をプローブ２５に接触させる。
【００６３】
ステップ１１７で、ウエハＷ２Ａに形成された半導体チップの電気的な検査、すなわちウエハテストを行う。
【００６４】
ステップ１１８では、変数ｎを１減じる。
【００６５】
ステップ１１９では、変数ｎが０であるかを判定し、０であればステップ１２１に進み、０でなければステップ１２０に進む。
【００６６】
ステップ１２０では、ウエハチャック１６を１２０度回転して、ステップ１１５に戻る。したがって、ウエハチャック１６は、図８の（Ｅ）に示すように、ウエハＷ２Ｂがコンタクト位置にある状態になる。
【００６７】
以下、ウエハＷ２Ｂについて、ウエハテストを行い、図８の（Ｆ）に示すように回転して、ウエハＷ２Ｃについて、ウエハテストを行い、ステップ１２１に進むことになる。
【００６８】
ステップ１２１では、ステップ１０１から１０６と類似の動作を行って、検査済みのウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃを回収する。
【００６９】
以上第１実施形態の測定動作を説明したが、各種の変形例が可能である。以下の実施形態で、変形例を説明する。
【００７０】
図１０は第２実施形態における測定動作を説明する図であり、図１１は第２実施形態における測定動作を示すフローチャートである。
【００７１】
ステップ２０１では、変数ｎに３を代入する。
【００７２】
ステップ２０２では、搬送アームでウエハＷ２Ａを、図１０の（Ａ）において矢印で示す所定の方向に保持する。
【００７３】
ステップ２０３では、ウエハチャック１６のウエハＷ２Ａを保持する部分（溝４１Ａの形成された部分）が、図１０の（Ａ）に示す位置するように移動した後、搬送アーム搬送した図示の方向のウエハＷ２Ａをウエハチャック１６に吸着する。
【００７４】
ステップ２０４では、変数ｎを１減じる。
【００７５】
ステップ２０５では、変数ｎが０であるかを判定し、０であればステップ２０７に進み、０でなければステップ２０６に進む。
【００７６】
ステップ２０６では、ウエハチャック１６を１２０度回転して、ステップ２０２に戻る。したがって、ウエハチャック１６に吸着されたウエハＷ２Ａは、図１０の（Ｂ）に示すように、図１０の（Ａ）の状態から１２０度回転した状態である。
【００７７】
ステップ２０２に戻ってさらにステップ２０３を実行することにより、図１０の（Ｂ）に示すように、矢印の向きのウエハＷ２Ｂが受け渡し位置に搬送されて吸着される。吸着されるウエハＷ２Ｂは、既にウエハチャック１６に吸着されているウエハＷ２Ａと同じほぼ方向である。ウエハの方向を変えるには、ウエハカセットから取り出したウエハを一時的に保持する置き台を設け、置き台を回転可能にする。
【００７８】
さらにもう一度この動作が繰り返され、ウエハチャック１６には３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃが円周を３等分した位置に載置され、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃは、ほぼ同じ方向である。したがって、アライメント動作およびコンタクト動作は、ウエハチャック１６を微調整のために回転するだけで、ウエハチャック１６の平行移動のみで行うことができる。
【００７９】
ステップ２０７では、変数ｎに３を代入する。
【００８０】
ステップ２０８では、ウエハＷ２Ａがアライメント位置になるようにウエハチャックを移動する。
【００８１】
ステップ２０９では、ウエハＷ２Ａのアライメント動作を行い、ウエハＷ２Ａの電極をプローブ２５に接触させるためのウエハチャック１６の回転角度および平行移動量（座標位置）を算出してアライメント値として記憶する。上記のように、３枚のウエハはすべてほぼ同じ方向を向いているが、搬送アームで搬送されるウエハの方向および位置を正確に制御することはできず、ウエハチャック１６に吸着する時にも若干のずれが発生するため、コンタクト動作を行うにはアライメント動作を行ってアライメント値を求め、アライメント値に基づいて正確な角度および位置調整を行う必要がある。
【００８２】
ステップ２１０では、変数ｎを１減じる。
【００８３】
ステップ２１１では、変数ｎが０であるかを判定し、０であればステップ２１２に進み、０でなければステップ２０８に戻る。
【００８４】
以下、ウエハＷ２ＢおよびＷ２Ｃについて、アライメント動作を行いウエハＷ２ＢおよびＷ２Ｃのアライメント値を記憶し、ステップ２１２に進む。ここで、ウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃは、ほぼ同じ方向を向いているため、第１実施形態で行ったようなウエハチャック１６の１２０度の回転を行う必要はなく、従来と同様にウエハチャック１６の平行移動のみでアライメント動作が行える。
【００８５】
ステップ２１２では、ウエハチャック１６をコンタクト位置に、すなわちウエハＷ２Ａがプローブカード２４の直下に位置するように移動する。
【００８６】
ステップ２１３では、変数ｎに３を代入する。
【００８７】
ステップ２１４では、ウエハチャック１６を、記憶してあるウエハＷ２Ａのアライメント値に対応する座標位置に移動し、アライメント値に対応する微小角度の調整を行うように回転する。この場合も、ウエハチャック１６が大きく回転することはない。
【００８８】
ステップ２１５では、ウエハチャック１６を上昇して、ウエハＷ２Ａの電極をプローブ２５に接触させる。
【００８９】
ステップ２１６で、ウエハＷ２Ａに形成された半導体チップの電気的な検査、すなわちウエハテストを行う。
【００９０】
ステップ２１７では、変数ｎを１減じる。
【００９１】
ステップ２１８では、変数ｎが０であるかを判定し、０であればステップ２１９に進み、０でなければステップ２１４戻る。
【００９２】
以下、ウエハＷ２ＢおよびＷ２Ｃについて、ウエハテストを行う。この間に、ウエハチャック１６が大きく回転することはない。
【００９３】
ステップ２１９では、ステップ２０１から２０６と類似の動作を行って、検査済みのウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃを回収する。
【００９４】
図１２は、第３実施形態における測定動作を説明する図である。第１および第２実施形態では、ウエハのウエハチャック１６への搬送および吸着は、ウエハチャック１６を１２０度ずつ回転して行った。第３実施形態では、ウエハチャック１６を回転せずに、ウエハのウエハチャック１６への搬送および吸着を行う。
【００９５】
ウエハチャック１６のウエハＷ２Ａを保持する部分が、図１２の（Ａ）において一点鎖線で示す位置になるように移動した後、搬送アームで搬送した図示の方向のウエハＷ２Ａをウエハチャック１６に吸着する。
【００９６】
さらに、ウエハチャック１６のウエハＷ２Ｂを保持する部分が、図１２の（Ｂ）において一点鎖線で示す位置になるように移動した後、搬送アームで搬送した図示の方向のウエハＷ２Ｂをウエハチャック１６に吸着する。図１２の（Ｂ）において一点鎖線で示す位置は、図１２の（Ａ）において一点鎖線で示す位置と同じである。言い換えれば、ウエハの受け渡し位置は同じである。したがって、搬送アームの動作は同じである。
【００９７】
さらに、ウエハチャック１６のウエハＷ２Ｃを保持する部分が、図１２の（Ｃ）において一点鎖線で示す位置になるように移動した後、搬送アーム搬送した図示の方向のウエハＷ２Ｃをウエハチャック１６に吸着する。図１２の（Ｃ）において一点鎖線で示す位置も、図１２の（Ａ）および（Ｂ）において一点鎖線で示す位置と同じである。
【００９８】
以上の動作により、第２実施形態と同様に、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃが、円周を３等分した位置に、同じ方向で吸着される。後のアライメント動作およびコンタクト動作は第２実施例と同じである。
【００９９】
第３実施形態では、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃの受け渡し位置は同じであり、ウエハチャック１６の各ウエハを保持する部分が受け渡し位置になるようにウエハチャック１６を移動した。しかし、搬送アームがウエハの受け渡し位置を変えられるように構成して、ウエハチャック１６を固定して、搬送アームが各ウエハをウエハチャック１６上の所定位置に搬送するようにしてもよい。搬送アームがウエハの受け渡し位置を変えるには、搬送アームのベースを平行移動機能上に設けることなどが考えられる。また、３関節以上の多関節の搬送アームを使用する場合、制御は複雑になるが、ウエハの方向を維持しながら受け渡し位置を変えることが可能である。
【０１００】
以上説明した第３実施形態では、３組のリフトピンは、独立に上下動可能であるとして説明した。しかし、第３実施形態では、３組のリフトピンが同時に上下動する場合でも、ウエハの受け渡しが可能である。図１３は、その動作を説明する図である。図１３に示すように、３組のリフトピンがすべて上昇しているとする。この状態で、搬送アーム６１は、ウエハＷ２Ａを吸着口６２で吸着してリフトピン５１Ａの上方に移動する。この状態で、搬送アーム６１は、ウエハＷ２Ａの吸着を停止して降下する。これによりリフトピン５１ＡにウエハＷ２Ａが載置される。次に、搬送アーム６１は、リフトピン５１Ｂの上方が受け渡し位置になるように移動し、上記と同様の動作で、ウエハＷ２Ｂをリフトピン５１Ｂの上方に移動して載置する。さらに、搬送アーム６１は、リフトピン５１Ｃの上方が受け渡し位置になるように移動し、上記と同様の動作で、ウエハＷ２Ｃをリフトピン５１Ｃの上方に移動して載置する。次に３組のリフトピンが同時に降下して、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃをウエハチャック１６上に載置して吸着する。
【０１０１】
ここで、搬送アーム６１は、ウエハＷ２ＡまたはＷ２Ｂを、リフトピン５１Ａまたは５１Ｂに載置するために降下した時に、リフトピン５１Ｃに衝突しないような図１３に示すような形状であることが要求される。３組のリフトピンが同時に上下動すればよく、独立に上下動する必要がなければ、リフトピン機構がその分簡単にできる。
【０１０２】
第１から第３実施形態では、円形の載置面を有するウエハチャック１６に３枚の小径のウエハを載置する場合を説明したが、図２の（Ｂ）に示すように、正方形の載置面を有するウエハチャック１６’に３枚の小穴のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃ、Ｗ２Ｄを載置することも可能である。
【０１０３】
この場合、左側の２組のリフトピン５１Ａ、５１Ｂが同時に上下動し、右側の２組のリフトピン５１Ｃ、５１Ｄが同時に上下動し、左側の２組と右側の２組のリフトピンが独立に動作可能であれば、ウエハの受け渡しが可能である。図１４の（Ａ）および（Ｂ）は、その動作を説明する図である。図１４に示すように、右側の２組のリフトピンが降下していると、搬送アーム６１はその上を自由に移動可能であり、左側の２組のリフトピン５１Ａ、５１ＢにウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂを載置しまたは回収することができる。右側の２組のリフトピン５１Ｃ、５１ＤにウエハＷ２Ｃ、Ｗ２Ｄを載置しまたは回収することは、左側の２組のリフトピン５１Ａ、５１Ｂの状態に影響されない。図１４の（Ｂ）は、ウエハチャック１６’の右側にウエハＷ２Ｃ、Ｗ２Ｄが保持された状態で、搬送アーム６１に保持したウエハＷ２Ｂを、１組のリフトピン５１Ｂ上に載置した状態を示す。
【０１０４】
また、上記のように、左側の２組のリフトピン５１Ａ、５１Ｂが同時に上下動し、右側の２組のリフトピン５１Ｃ、５１Ｄが同時に上下動する場合、２枚のウエハＷ２ＡとＷ２ＢまたはＷ２ＣとＷ２Ｄを同時に受け渡すことも可能である。図１５の（Ａ）および（Ｂ）は、その場合の構成および動作を説明する図である。図示のように、２枚のウエハを一時的に載置する置き台６２を設ける。置き台６２は、ウエハの載置面の中央が凹部になっており、内部に搬送アームの先端が挿入可能である。搬送アーム６１’は、先端が２つに枝分かれしており、２枚のウエハを同時に保持可能である。
【０１０５】
２枚のウエハＷ２ＡとＷ２Ｂは、ウエハカセットから取り出され、あらかじめ置き台６２上に載置されている。搬送アーム６１’は、先端が置き台６２の凹部に挿入される位置に移動され、上昇して２枚のウエハＷ２ＡとＷ２Ｂを吸着して保持する。搬送アーム６１’は、所定の高さまで上昇した後、ウエハチャック１６’の左側まで移動する。その状態で、２組のリフトピン５１Ａと５１Ｂが上昇して、２枚のウエハＷ２ＡとＷ２Ｂは２組のリフトピン５１Ａと５１Ｂに載置される。次に、搬送アーム６１’は、ウエハチャック１６’の外に退避し、２組のリフトピン５１Ａと５１Ｂが降下して、２枚のウエハＷ２ＡとＷ２Ｂはウエハチャック１６’上に載置され吸着される。２枚のウエハＷ２ＣとＷ２Ｄの受け渡しについても同様である。
【０１０６】
また、検査済みのウエハの回収は上記と逆の動作を行えばよい。
【０１０７】
なお、２枚のウエハＷ２ＡとＷ２Ｂおよび２枚のウエハＷ２ＣとＷ２Ｄを続けて受け渡すには、置き台６２を２組設けて、搬送アームが４枚のウエハを続けて保持できるようにすることが望ましい。また、回収した検査済みウエハも一旦置き台６２に載置した後ウエハカセットに戻す必要があるが、回収動作が完了して検査済みウエハをウエハカセットに戻した後、次に検査するウエハを置き台６２に載置したのでは、この動作に多くの時間を要する。そこで、回収した検査済みウエハを一時的に載置する置き台６２をさらに設けることが望ましい。
【０１０８】
また、上記のように置き台６２を複数設ける場合には、それらを上下に設けることで、接地スペースを低減できる。
【０１０９】
上記の第１から第３実施形態およびその変形例では、図７で説明したように、電極がプローブに接触して検査されるのは１枚の小径のウエハである。これに対して、複数枚の小径のウエハの電極をプローブに接触させて、同時に複数枚の小径のウエハの半導体チップを検査することも可能である。次に説明する第４実施形態では、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃが同時に検査される。
【０１１０】
図１６は、第４実施形態のプローバのウエハチャックの構成を示す図であり、（Ａ）がウエハチャック７０と検査対象の３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃとの位置関係を示す図であり、（Ｂ）が断面図である。
【０１１１】
図１６の（Ｂ）に示すように、ウエハチャック７０は、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃを吸着するサブチャック７０Ａ（図示せず）、７０Ｂ、７０Ｃと、サブチャック７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃを微小量回転するサブ回転機構７２Ａ（図示せず）、７２Ｂ、７２Ｃと、サブ回転機構７２Ａ（図示せず）、７２Ｂ、７２Ｃを微小量移動するサブ移動機構７３Ａ（図示せず）、７３Ｂ、７３Ｃと、を有する。ウエハチャック７０は、回転機構７３により大きな角度回転可能であり、移動機構７４により大きな距離移動可能である。図１６では図１に示したほかの部材は図示を省略している。
【０１１２】
前述のように、ウエハは、ある程度の方向誤差および位置誤差でウエハチャックに保持することができる。サブ回転機構７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃおよびサブ移動機構７３Ａ、７３Ｂ、７３Ｃは、この誤差を調整できる回転範囲および移動範囲を有すればよく、たとえば、圧電素子などを利用した回転量および移動量は小さいが簡易な機構が使用できる。
【０１１３】
プローブカード２４’は、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃを同時に検査する専用のものである。プローブカード２４’のプローブ２５は、サブチャック７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃに保持される３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃに応じて、３組２５Ａ（図示せず）、２５Ｂ、２５Ｃが作成される。例えば、図８で説明した第１実施形態の方法でウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃがサブチャック７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃに保持されるのであれば、３組のプローブ２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃは、１２０度で回転対称である。また、図１０または図１２で説明した第２または第３実施形態の方法でウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃがサブチャック７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃに保持されるのであれば、３組のプローブ２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃは平行移動することにより一致する。
【０１１４】
第１から第３実施例と同様に、アライメント動作を行い、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃのアライメント値を求める。そして、回転機構７３および移動機構７４によりウエハチャック７０がプローブカード２４’の下に移動し、概略の方向および位置を調整する。その上で、サブ回転機構７２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃおよびサブ移動機構７３Ａ、７３Ｂ、７３Ｃにより、３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃの電極が、３組のプローブに一致するように、回転および位置を独立且つ精密に調整する。そして、回転機構７３または移動機構７４によりウエハチャック７０を上昇して３枚のウエハＷ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃの電極をプローブ２５に同時に接触させる。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明は、大径のウエハを保持するウエハチャックで、複数枚の小径のウエハを保持できるプローバに適用可能である。
【符号の説明】
【０１１６】
１６    ウエハチャック
１８    プローブ位置検出カメラ
２２    ウエハアライメントカメラ
２４    プローブカード
２６    プローブ
Ｗ１    大径のウエハ
Ｗ２、Ｗ２Ａ、Ｗ２Ｂ、Ｗ２Ｃ    小径のウエハ
４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ    吸着溝
５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃ    リフトピン
【図１】
2010219253.tif 000003
【図２】
2010219253.tif 000004
【図３】
2010219253.tif 000005
【図４】
2010219253.tif 000006
【図５】
2010219253.tif 000007
【図６】
2010219253.tif 000008
【図７】
2010219253.tif 000009
【図８】
2010219253.tif 000010
【図９】
2010219253.tif 000011
【図１０】
2010219253.tif 000012
【図１１】
2010219253.tif 000013
【図１２】
2010219253.tif 000014
【図１３】
2010219253.tif 000015
【図１４】
2010219253.tif 000016
【図１５】
2010219253.tif 000017
【図１６】
2010219253.tif 000018