(57)【要約】 【課題】  簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供すること。【解決手段】  磁石３１，３２と摺動する固定部材３６に周期構造を形成し、その周期構造を直交する２軸に対して同一となるようにすることで、磁石３１，３２と固定部材３６との間に働く吸引力に、Ｘ−Ｙの２軸に沿った規則性を持たせ、Ｘ−Ｙの直交する２方向へ真直に移動できるように構成する。【選択図】  図１
2010239672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの電気機械変換素子の、各々の変位方向の一端が磁石に固定されてなる駆動体と、該電気機械変換素子の変位方向の他端が固定されている被駆動部材と、該磁石に対して磁力によって吸着可能な固定部材とから構成され、前記電気機械変換素子の伸びと縮みの速度を異ならせて振動させることにより、前記被駆動部材と前記駆動体からなる移動体が前記固定部材に対して移動するアクチュエータであって、
前記固定部材が、前記磁石との摺動面において、直交する２軸に対して同一の周期構造を有していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータを有することを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械変換素子の変位の往復時の速度を異ならせて振動させることで移動部材を移動するためのインパクト式アクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ−Ｙテーブルなどの平面上の位置決め装置としては、ステッピングモータやＡＣサーボモータなどの電磁方式による駆動が一般的に用いられていたが、近年の電子機器の小型化に伴い、アクチュエータとして圧電素子などの電気機械変換素子を駆動方式に用いることで、位置決め装置そのものを小型化しようとする開発が活発に行われている。
【０００３】
たとえば、特許文献１および特許文献２に開示されているように、圧電素子を伸びと縮みの速度を異ならせて振動させることで、被駆動部材を移動させるアクチュエータが知られいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１１０９１９号公報
【特許文献２】特開２００６−８１３４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１および２に開示されている方法においては、駆動部材の長さに被駆動部材の可動範囲が限定され、動作ストロークを大きくできないという問題があった。また、Ｘ−Ｙの２次元に移動可能とするために、固定部材に対して２つの駆動部材と被駆動部材が必要であり、各々を独立して駆動するので、積層して構成する必要があり、同一平面上に設置できないため、駆動装置の厚さを薄くすることが困難であった。
【０００６】
本発明者は、上記に鑑みて、新たに平面上をＸ−Ｙ方向に移動可能で自走可能な駆動機構への適用が好適なアクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置を開発して、移動ストロークを大きくでき、かつ、簡単な構造により同一平面上で駆動させることができるため、装置の低背化が可能な発明を出願している。
【０００７】
図４は、参考例のアクチュエータの基本構成を示す。図４（ａ）は上面方向からの外観平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）の側面図（Ａ４方向矢視図）である。略直方体の磁石６１の直交する２面の各々に、電気機械変換素子としての積層型圧電セラミックによる圧電セラミック素子５１，５２の変位方向の一端を、エポキシ樹脂等を用いて接着してなる駆動体７１と、これと同じ構成の駆動体７２（磁石６２と圧電セラミック素子５３，５４からなる）と、これらの圧電セラミック素子５１，５２，５３，５４の各変位方向の他端がエポキシ樹脂等を用いて接着されている被駆動部材６５と、磁石６１，６２に対して磁力によって吸着可能な固定部材６６とから構成されている。圧電セラミック素子５１，５２，５３，５４の伸びと縮みの速度を異ならせて振動させることにより、被駆動部材６５と駆動体７１，７２からなる移動体７３を、固定部材６６に対して移動させる機構を有している。すなわち、同じ平面に配置された駆動体７１，７２によって、固定部材６６の平面上をＸ−Ｙ方向の２次元に並進移動可能な自走型のアクチュエータ７６である。
【０００８】
図４のアクチュエータ７６は、伸長時と縮小時とで異なる速度で伸縮をするような電圧を圧電セラミック素子５１，５２，５３，５４に印加して伸縮時間の差による摩擦と滑りを利用したインパクト駆動方式を用いている。駆動方法について、図５を使用して詳細に説明する。図５は、参考例のアクチュエータに係る駆動方法を説明するものであり、図５（ａ）は移動状況の簡略図、図５（ｂ）は圧電セラミック素子５１のタイムチャート、図５（ｃ）は圧電セラミック素子５４のタイムチャート、図５（ｄ）は移動体のタイムチャートである。Ｙ方向に移動させる場合について説明する。圧電セラミック素子５１，５４に、図５（ｂ）、図５（ｃ）のタイムチャートのように、ｔ１の時間において駆動電圧を印加すると、図面左下の圧電セラミック素子５１が伸び、右上の圧電セラミック素子５４が縮み、移動体７３はゆっくり＋Ｙ方向に移動する。このとき磁石６１，６２は、固定部材６６と磁力によって吸着された状態で移動しない。また、圧電セラミック素子５１，５４に、図５（ｂ）、図５（ｃ）のタイムチャートのように、ｔ２の時間において駆動電圧を印加すると、左下の圧電セラミック素子５１が縮み、右上の圧電セラミック素子５４が伸びるが、磁石６１，６２と固定部材６６との最大静止摩擦力を超える加速度で圧電セラミック素子５１，５４は急速に変形するため、磁石６１，６２と固定部材６６との間で滑りが生じて、磁石６１，６２は移動するが、移動体７３は−Ｙ方向に移動することはできない。よって、図５（ｄ）に示す移動体７３の移動になる。これを連続的に繰り返せば、移動体７３は、固定部材６６に対して一方向に連続的に移動する。なお、駆動方向を反転させるには、圧電セラミック素子５１，５４に入力する駆動電圧の極性を反対にすれば良い。同様に、圧電セラミック素子５２，５３により、Ｘ方向の移動を行うことができる。
【０００９】
図５では、三角波状の入力電圧（駆動電圧）波形を与えた場合の駆動について説明したが、これは駆動方法の１例であって、各部品形状に応じて周波数を調整した矩形波状の入力電圧（駆動電圧）を入力するようにしても、同様に圧電セラミック素子を振動させることができる。
【００１０】
すなわち、図５に示すアクチュエータの駆動方法においては、Ｙ方向への移動は圧電セラミック素子５１，５４の伸縮方向に一致し、Ｘ方向への移動は圧電セラミック素子５２，５３の伸縮方向に一致する。
【００１１】
図５に示すアクチュエータの駆動方法のＹ方向への移動について詳細に説明する。圧電セラミック素子５１，５４の伸縮は、それぞれ同じ駆動体７１，７２を形成する圧電セラミック素子５２，５３によって拘束されるため、磁石６１，６２の振動方向はＹ軸に沿わずに拘束される向きに傾いてしまう。このときの傾きは磁石６１，６２で同じため（α°とする）、移動体７３の移動方向もＹ軸に対してα°傾いてしまうことになる。Ｘ方向への移動についても、Ｙ方向と同様に、圧電セラミック素子５２，５３の伸縮は、それぞれ同じ駆動体７１，７２を形成する圧電セラミック素子５１，５４によって拘束されるため、磁石６１，６２の振動方向および移動体７３の移動方向はＸ軸に対して、拘束される向きにβ°傾いてしまう。
【００１２】
拘束される向きとは、Ｙ方向への移動の場合は、図４（ａ）のＹ軸に対して反時計回りの方向であり、Ｘ方向への移動の場合は、図４（ａ）のＸ軸に対して時計回りの方向である。すなわち、傾き方向が逆であるから、傾きα，βの大きさが同じであっても、移動体７３においてＸ方向とＹ方向への移動は直交しない。
【００１３】
本発明者らの提案による図４の参考例のアクチュエータは、公知の従来技術と比較して、移動ストロークを大きくでき、かつ、簡単で装置の低背化が可能な構造であるが、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に関しては工夫の余地がある。
【００１４】
この状況にあって、本発明の課題は、簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明では、上記課題を解決するために、固定部材の磁石との摺動面に、直交する２軸に対して同一の周期構造を形成することで、磁石と固定部材との間に働く吸引力を周期的に変化させ、移動体が安定な（磁力が大きくなる）位置をＸ、Ｙ各駆動軸に沿って規則的に形成することで、移動体が傾いて移動することを防いでいる。
【００１６】
本発明によれば、少なくとも２つの電気機械変換素子の、各々の変位方向の一端が磁石に固定されてなる駆動体と、該電気機械変換素子の変位方向の他端が固定されている被駆動部材と、該磁石に対して磁力によって吸着可能な固定部材とから構成され、前記電気機械変換素子の伸びと縮みの速度を異ならせて振動させることにより、前記被駆動部材と前記駆動体からなる移動体が前記固定部材に対して移動するアクチュエータであって、固定部材が磁石との摺動面において直交する２軸方向に同一の周期構造を有していることを特徴とするアクチュエータが得られる。
【００１７】
本発明によれば、上記アクチュエータを有することを特徴とする位置決め装置が得られる。
【００１８】
前記固定部材としては、ＳＵＳ４３０などの磁石に吸着可能で加工性に優れた材料が望ましい。
【００１９】
前記周期構造は、樹脂材料などの非磁性材料に、複数個の固定部材が配置されることで形成されていてもよい。
【００２０】
前記被駆動部材としては、ポリカーボネートや紙ベークなどの密度が低く、加工性に優れた樹脂材料が望ましい。
【００２１】
前記磁石部材としては、ネオジム系、またはサマリウム系の希土類磁石などの強い吸着力が発生可能な磁性材料が望ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明においては、インパクト駆動方式によって、被駆動部材と駆動体からなる移動体が、固定部材に対して移動するが、固定部材の磁石との摺動面において直交する２軸方向に同一の周期構造を形成するため、磁石と固定部材との間に働く吸引力はＸ、Ｙ各駆動軸に沿って規則性を有し、移動体（磁石）はこの規則性に従って移動するため、電気機械変換素子の振動拘束による進行方向の傾きを防ぎ、移動体の直進性と駆動軸の直交性を向上することができる。
【００２３】
さらに、移動体は磁力が最も大きくなる位置で安定しやすいため、Ｘ−Ｙ移動平面において、周期構造の間隔に従って位置決めを行うことができる。
【００２４】
以上のように、本発明により、簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のアクチュエータの基本構成を示す。図１（ａ）は上面方向からの外観平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の側面図（Ａ１方向矢視図）である。
【図２】本発明の実施例と比較例のアクチュエータについて、ＸおよびＹ方向に駆動したときの移動経路を評価した結果である。図２（ａ）は実施例の結果、図２（ｂ）は比較例の結果である。
【図３】本発明の実施例のアクチュエータについて、Ｘ方向に駆動したときの磁石と固定部材との位置関係を示す。図３（ａ）は磁石３１の軌跡３１ａ、図３（ｂ）は最も安定な位置、図３（ｃ）は図３（ｂ）以外の代表的な位置である。
【図４】参考例のアクチュエータの基本構成を示す。図４（ａ）は上面方向からの外観平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）の側面図（Ａ４方向矢視図）である。
【図５】参考例のアクチュエータの駆動方法を説明するもので、図５（ａ）は移動状況の簡略図、図５（ｂ）は圧電セラミック素子５１のタイムチャート、図５（ｃ）は圧電セラミック素子５４のタイムチャート、図５（ｄ）は移動体のタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明のアクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置は、固定部材の磁石との摺動面に、直交する２軸に対して同一の周期構造を形成することで、磁石と固定部材との間に働く吸引力を周期的に変化させ、移動体が安定な（磁力が大きくなる）位置をＸ、Ｙ各駆動軸に沿って規則的に形成することで、移動体が傾いて移動することを防いでいる。
【００２７】
以下、本発明の実施の形態の形態を図面に基づいて、電気機械変換素子の変位の振動が伸縮振動の場合で説明する。
【００２８】
図１は本発明のアクチュエータの基本構成を示す。図１（ａ）は上面方向からの外観平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の側面図（Ａ１方向矢視図）である。図１においても、図４のアクチュエータと同様に、直方体の磁石３１の直交する２面の各々に、電気機械変換素子としての圧電セラミック素子１１，１２の変位方向の一端を、エポキシ樹脂等を用いて接着してなる駆動体４１と、これと同じ構成の駆動体４２（磁石３２と圧電セラミック素子１３，１４からなる）と、これらの圧電セラミック素子１１，１２，１３，１４の変位方向の他端がエポキシ樹脂等を用いて接着されている被駆動部材３５と、磁石３１，３２に対して磁力によって吸着可能な固定部材３６とから構成され、圧電セラミック素子１１，１２，１３，１４の伸びと縮みの速度を異ならせて振動させることにより、被駆動部材３５と駆動体４１，４２からなる移動体４３を固定部材３６に対して移動させる機構を有している。但し、本実施の形態では、固定部材３６は、移動体４３の各駆動軸Ｘ、Ｙに対して同一の周期構造となるように、基底部材３７の上面にエポキシ樹脂等を用いて接着することで形成されている。すなわち、同じ平面に配置された、駆動体４１，４２によって、基底部材３７上の固定部材３６の平面上をＸ−Ｙ方向の２次元に並進移動可能な自走型アクチュエータ４６である。
【００２９】
圧電セラミック素子１１，１２，１３，１４は、同じ形状であり、かつ、所定の電圧に対する変位量も同じであると良い。所定の変位を発生できれば材質や構造を適宜選択できるものであるが、小型で駆動電圧を小さくできることから積層型圧電セラミックを用いるものとする。
【００３０】
磁石３１，３２は、同じ材質からなり、同じ形状で、同じ表面粗さと同じ吸着力を有することが望ましい。又、磁石３１，３２は、直方体の例を示したが、固定部材３６に安定して吸着できる底面を有し、２つの圧電セラミック素子を接続できる形状であれば良い。磁石３１，３２の材質は特に限定されないが、強い吸着力が発生可能なネオジウム系またはサマリウム系の希土類磁石とすることが好ましい。
【００３１】
被駆動部材３５としては、ポリカーボネートや紙ベークなどの密度が低く、加工性に優れた樹脂材料が望ましい。
【００３２】
固定部材３６としては、正方形の磁性体を２次元的にマス目状に並べたが、磁気的な同期構造であれば、例えば、８角形や円形であっても良い。また、固定部材３６としては、ＳＵＳ４３０などの磁石に吸着可能で加工性に優れた材料が望ましい。
【００３３】
被駆動部材３５と固定部材３６は直接、接触していないことが望ましい。被駆動部材３５と固定部材３６を接触させるように構成することでも、本発明の効果は得られるが、移動時の摩擦力の増加による速度低下が生じやすくなる。
【００３４】
図１に示したように駆動体は２個である必要はなく、例えば、移動体の４角に１個ずつというように構成してもよい。変位のモードを伸縮モードで説明したが、例えば、伸縮モードに限らずに円弧状の圧電素子の両端を接続して曲げモードを用いれば接続間の距離を変位できる。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例を挙げ、本発明のアクチュエータについて、図面を参照して具体的に固定部材３６が正方形で、電気機械変換素子の変位の振動が伸縮振動の場合で説明する。
【００３６】
本発明の実施の形態に係る実施例のアクチュエータ４６について説明する。アクチュエータ４６の構造は実施の形態で説明した図１と同様である。圧電セラミック素子１１，１２，１３，１４として、断面寸法が縦０．９ｍｍ×横０．９ｍｍ、高さ１．４ｍｍ の圧電積層型セラミックを準備した。これらの圧電セラミック素子の変位発生方向は、積層方向である。磁石３１，３２として、断面寸法が縦１．０ｍｍ×横１．０ｍｍ、高さ１．３ｍｍのネオジム系希土類磁石を準備した。圧電セラミック素子１１，１２の各変位発生方向の一方の端面側に対して、作製後に被駆動部材３５と固定部材３６が接触しないような位置に磁石３１と熱硬化性エポキシ樹脂で接着して、駆動体４１とした。駆動体４２については、圧電セラミック素子１３，１４と磁石３２により、駆動体４１と同様にして作製した。
【００３７】
これらの駆動体４１，４２を、図１に示す配置で、被駆動部材３５にエポキシ樹脂を用いて接着して移動体４３とした。被駆動部材３５は、紙ベーク製で、縦２２ｍｍ×横２２ｍｍ×厚さ２．０ｍｍの矩形の平板から、駆動体４１，４２を配置する部分として対角上の６ｍｍ×６ｍｍの部分を矩形に切り取った形状にした。被駆動部材３５は、矩形の平板から駆動体４１，４２を配置する部分として、対角上の部分を矩形に切り取った形状にしているが、被駆動部材３５は、駆動体４１，４２が接続できる形状であれば、矩形の平板とは限らない。
【００３８】
固定部材３６として、磁石に吸着可能なＳＵＳ４３０の小片（縦１．０ｍｍ×横１．０ｍｍ×厚さ０．１ｍｍ）を複数枚準備し、隣接する固定部材３６の小片同士の間隔が０．１５ｍｍになるように、基底部材３７の上面にエポキシ系の瞬間接着剤を用いて貼り付けた。基底部材３７は、紙ベーク性で、縦４０ｍｍ×横４０ｍｍ×厚さ５．０ｍｍの矩形の平板である。
【００３９】
移動体４３は、磁石３１，３２の磁力によって固定部材３６に吸着しており、圧電セラミック素子１１に伸びと縮みの速度を異ならせるような駆動電圧を印加し、同時に、圧電セラミック素子１４に圧電セラミック素子１１と伸びと縮みの速度が反転するように駆動電圧を印加することで、移動体４３は基底部材３７に対して、図１のＹ方向へと移動する。同様に、圧電セラミック素子１２と圧電セラミック素子１３に伸びと縮みの速度が反転するように駆動電圧を印加すると、移動体４３は基底部材３７に対して、図１のＸ方向に移動する。すなわち、本実施例のアクチュエータ４６の駆動方法は、段落〔０００８〕にて記述した参考例の駆動方法と同じである。
【００４０】
また、図４に記載の参考例のアクチュエータとの比較のために、図４の構造のアクチュエータについても同様に作製し、比較例とした。なお、圧電セラミック素子、磁石、被駆動部材のいずれについても、上記の実施例と同じ形状および特性を有するものを使用した。固定部材６６としては、磁石に吸着可能なＳＵＳ４３０製の平板（４０ｍｍ×４０ｍｍ×５．０ｍｍ）を用いた。なお、比較例のアクチュエータ７６の駆動方法については、段落〔０００８〕にて記述したため割愛する。
【００４１】
本発明の実施例および比較例のアクチュエータを作製し、ＸおよびＹ方向に駆動した場合の移動経路を測定した。移動経路の測定は、三脚で固定したデジタルカメラを用いて０．５秒おきに移動の様子を撮影し、撮影した写真から各時間における移動体の中心位置を読み取ることで行った。なお、駆動には、実施例および比較例のいずれにおいても、印加電圧８Ｖｐ−ｐ、駆動周波数３０ｋＨｚのノコギリ波を使用した。
【００４２】
図２は、本発明の実施例および比較例のアクチュエータについて、ＸおよびＹ方向に駆動した場合の移動経路を評価した結果を示す。図２（ａ）は実施例の結果、図２（ｂ）は比較例の結果である。
【００４３】
図２（ａ）に示すとおり、本発明の実施例においては、移動体４３のＸ方向への移動はＸ軸に沿っており、Ｙ方向への移動もＹ軸に沿っていた。一方、図２（ｂ）に示すとおり、比較例においては、移動体７３のＸ方向への移動はＸ軸から３°傾いており、Ｙ方向への移動もＹ軸から３°傾いていた。すなわち、本発明の実施例は比較例に対して、Ｘ軸とＹ軸それぞれの真直性が向上している。また、Ｘ軸とＹ軸の直交性についても、比較例の９６°に対して、本発明の実施例においては９０°であり、大幅に向上している。
【００４４】
図３は、本発明の実施例のアクチュエータについて、Ｘ方向に駆動した場合の磁石と固定部材の位置関係を示す。図３（ａ）は磁石３１の軌跡３１ａ、図３（ｂ）は最も安定な位置、図３（ｃ）は図３（ｂ）以外の代表的な位置である。
【００４５】
図３（ａ）に示すとおり、磁石３１は固定部材３６が形成する周期構造に沿って移動していた。この理由を以下に説明する。図３（ｂ）に示すとおり、磁石３１は、固定部材３６の構成要素である４つのＳＵＳ４３０の固定部材３６の小片に対して均等に接触するときに磁力が最大となるため、最も安定である。この位置は、磁石３１がＸ−Ｙ方向のいずれかに移動しようとした場合に、どちらの駆動方向に対しても（磁石３１との接触部において）同一の周期構造となっている。一方、図３（ｃ）に示す位置では、磁石３１は２つのＳＵＳ４３０小片と接触している。これらの２つの接触部分は同じ面積であり、Ｘ軸に対しては平行に、Ｙ軸に対しては垂直に配置されている。すなわち、この位置から、磁石３１がＸ方向に移動する場合には、ＳＵＳ小片との接触面積は、２つの接触部分同士で変わらないが、Ｙ方向に移動する場合には、進行方向前方の接触部では大きく、進行方向後方の接触部では小さくなる。２つの接触部分の面積に差が生じると、磁石３１と固定部材３６の間には復元力が働くため、図３（ｃ）に示す位置において、Ｘ方向への移動は可能だが、Ｙ方向への移動は、磁力による復元力のため困難である。すなわち、圧電セラミック素子１２，１３の振動が拘束されることで移動体４３の進行方向（Ｘ方向）に傾きが発生しても、Ｘ軸に沿った駆動が可能になる。なお、図３（ｂ）の位置からは、Ｘ−Ｙのいずれの方向にも移動できるが、移動体４３をＸ軸方向に駆動させているときのＹ方向への傾きはわずかであるため、すぐに図３（ｃ）に示される位置と類似した（Ｘ方向への移動に対しては線対称であるが、Ｙ方向への移動に対しては線対称ではなくなる）位置関係となり、Ｘ軸に沿って駆動する。
【００４６】
Ｙ方向への移動については、Ｘ方向への移動と比較して移動方向が９０度異なるだけで、動作上の原理は同一であるため、割愛する。Ｘ−Ｙ２軸の移動をあわせると、移動体４３は、図３（ｂ）に代表されるような、磁石３１が、固定部材３６の構成要素である４つのＳＵＳ４３０の固定部材３６の小片に均一に接触している位置を基点としてＸ−Ｙ方向へ移動する、すなわち、Ｘ−Ｙ移動平面において、固定部材３６が形成する周期構造の間隔に従って位置決めを行うことができる、といえる。
【００４７】
以上、説明したように、本発明によれば、固定部材の磁石との摺動面に周期構造を形成し、その周期構造を直交する２軸に対して同一となるようにすることで、磁石と固定部材との間に働く吸引力に、Ｘ−Ｙの２軸に沿った規則性を持たせることができるため、この規則性に従って移動する本発明のアクチュエータは、真直性と直交性に優れたＸ−Ｙ２軸駆動が可能となる。
【００４８】
以上述べたことから、本発明では、比較例に対してはＸ、Ｙ軸の真直性と直交性が良好であり、簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能な自走式アクチュエータまたは該アクチュエータを用いた位置決め装置を得ることができる。
【００４９】
なお、本発明は上記の実施の形態や実施例に限定されるものではないことは言うまでもなく、固定部材の材質、形状、寸法などは他の部分の形状や重量に応じて変更することができる。例えば、固定部材における周期構造については、上記の実施例のように非磁性材料に貼付けて凸部とするのではなく、埋め込みやインサート成型によって、基底部材と同一平面となるように形成することも可能であり、上記の比較例に示すような固定部材の上面に、ダイシング等によって溝を切ることで形成することもできる。また、アクチュエータや該アクチュエータを用いた位置決め装置の用途に応じて、圧電素子や磁石の構造や形状、材質、被駆動部材の材料、形状、寸法などを選択、設計することができる。
【００５０】
以上、実施例を用いて、この発明の実施の形態を説明したが、この発明は、これらの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更があっても本発明に含まれる。すなわち、当業者であれば、当然なしえるであろう各種変形、修正もまた本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
上記した実施の形態では、本発明の各アクチュエータはＸ−Ｙテーブルなどの平面上の位置決め装置に適用可能である旨説明したが、本発明は、何等、これに限定されることなく、位置決めを行う必要があるすべての構造に適用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１１，１２，１３，１４    圧電セラミック素子
３１，３２    磁石
３１ａ    磁石３１の軌跡
３５    被駆動部材
３６    固定部材
３７    基底部材
４１，４２    駆動体
４３    移動体
４６    アクチュエータ
５１，５２，５３，５４    圧電セラミック素子
６１，６２    磁石
６５    被駆動部材
６６    固定部材
７１，７２    駆動体
７３    移動体
７６    アクチュエータ
【図１】
2010239672.tif 000003
【図２】
2010239672.tif 000004
【図３】
2010239672.tif 000005
【図４】
2010239672.tif 000006
【図５】
2010239672.tif 000007