(57)【要約】【課題】ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】１次剥離工程にて接着シートＳの端部をウェハＷから剥離してから、２次貼付工程にて第２押圧ヘッド３４により剥離用テープＴの第２接着領域を接着シートＳに貼付し、２次剥離工程にて接着シートＳ全体をウェハＷから剥離することで、接着シートＳを段階的に剥離することができる。そして、２次貼付工程では、当て板６０の上面に配置した接着シートＳおよび剥離用テープＴを押圧することで、押圧ヘッド３３からの押圧力を当て板６０で支持することができ、第２接着領域の接着面積を大きく設定することが可能となる。従って、ウェハＷの起き上がりに伴う割れを防止して接着シートＳをウェハＷから円滑に剥離することができる。【選択図】図３
2010028063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、
前記剥離用テープおよび接着シートを挟んで前記貼付手段の反対側から当該貼付手段の押圧力を支持する押圧力支持手段とを備え、
前記貼付手段により前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を前記被着体から剥離する１次剥離を行い、
前記１次剥離で剥離した接着シートと前記被着体との間に前記押圧力支持手段を介在させた状態で、前記貼付手段により前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて２次剥離を行うことを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記押圧力支持手段は、前記被着体の表面から離隔した状態で当該表面に沿って相対移動可能に設けられ、前記２次剥離における前記接着シートと前記被着体との剥離境界にて当該接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え手段としても機能することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、
前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記剥離用テープの第１接着領域は、前記接着シートの端縁に沿って設けられ、前記第２接着領域は、前記第１接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第１接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項５】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰出す工程と、
前記繰出された剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する１次貼付工程と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する１次剥離工程と、
前記剥離した接着シートと前記被着体との間に押圧力支持手段を介在させる工程と、
前記剥離用テープおよび接着シートを挟んで前記押圧力支持手段の反対側から前記剥離用テープを押圧し当該剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付する２次貼付工程と、
前記２次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートを剥離する２次剥離工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体チップを小型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという）の裏面を研削して薄くする工程がある。この研削工程においてはウェハの表面（回路が形成された面）に接着シートを接着するとともに、研削工程の後にこの接着シートはウェハから剥離される。そして、このような接着シートの剥離方法としては、剥離用テープを接着シートの端部に接着し、この剥離用テープを引っ張って接着シートをウェハから剥離する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載されたような従来の剥離方法では、接着シートの端部における剥離用テープの接着領域としては、ウェハの外周に沿った周方向の長さと、ウェハの中心に向かう径方向の長さ（特許文献１では、距離ｄであり、ｄ≦３mm）とで規定され、この接着領域は、回路面が形成されることのない余剰領域を基に設定されている。
【０００５】
ここで、図４（Ａ）に示すように、感熱接着性の接着剤を有する剥離用テープＴを用いて接着シート９１を剥離する場合、接着領域９０に接着剤を溶着すると、接着剤は経時とともに硬化する傾向がある。このように硬化した剥離用テープＴを引っ張って接着シート９１の剥離を行うと、図４（Ｂ）に示すように、剥離用テープＴで引っ張られた接着領域９０が面状に同時に起き上がろうとする。その結果、接着領域９０に隣り合うウェハＷの境界部分Ｗ１に作用する応力が大きくなってしまい、境界部分Ｗ１でウェハＷが剥離用テープＴとともに起き上がってしまう。さらに、ウェハＷの起き上がりが大きくなると、場合によってはウェハＷが割れてしまう可能性もあった。なお、ウェハＷが割れたとしても、前述のようにウェハＷの余剰領域に接着領域９０が設けられているので、ウェハＷから半導体チップを製造することには大きな支障はない。
このようなウェハＷの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域９０のウェハＷの中心に向かう径方向の長さ（距離ｄ０）を短くすれば、解消されるが、ウェハＷの全面から接着シート９１を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープＴが接着シート９１から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
【０００６】
本発明は、以上のような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記剥離用テープおよび接着シートを挟んで前記貼付手段の反対側から当該貼付手段の押圧力を支持する押圧力支持手段とを備え、前記貼付手段により前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を前記被着体から剥離する１次剥離を行い、前記１次剥離で剥離した接着シートと前記被着体との間に前記押圧力支持手段を介在させた状態で、前記貼付手段により前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて２次剥離を行う、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記押圧力支持手段は、前記被着体の表面から離隔した状態で当該表面に沿って相対移動可能に設けられ、前記２次剥離における前記接着シートと前記被着体との剥離境界にて当該接着シートを前記被着体に向かって押さえつける押え手段としても機能することが好ましい。
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープの第１接着領域は、前記接着シートの端縁に沿って設けられ、前記第２接着領域は、前記第１接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第１接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート剥離方法は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記被着体を保持する工程と、前記剥離用テープを繰出す工程と、前記繰出された剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する１次貼付工程と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する１次剥離工程と、前記剥離した接着シートと前記被着体との間に押圧力支持手段を介在させる工程と、前記剥離用テープおよび接着シートを挟んで前記押圧力支持手段の反対側から前記剥離用テープを押圧し当該剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付する２次貼付工程と、前記２次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートを剥離する２次剥離工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、接着シートの端部を被着体から剥離してから、剥離した接着シートおよび剥離用テープを押圧力支持手段と貼付手段とで挟んで第２接着領域を貼付し、その後に２次剥離を行うことで、複数回に分けて剥離用テープを接着シートに貼付し、被着体から接着シートを段階的に剥離することができる。従って、第１接着領域による接着面積としては、接着シートの端部のみを剥離するのに十分な接着面積に設定しておくことで、この第１接着領域を接着した状態で接着シートの端部を被着体から確実に剥離することができる（１次剥離）。すなわち、被着体の端部における接着面積が相対的に小さい接着状態において、先ず接着シートの端部のみを被着体から剥離することにより、被着体端部の起き上がりや割れを防止しつつ、接着シートの端部から確実に剥離することができる。
【００１１】
そして、押圧力支持手段と貼付手段とによって接着シートおよび剥離用テープを挟み込んだ状態で第２接着領域を貼付することで、第２接着領域の接着面積を大きく設定でき、ウェハの回路素子の位置に関わらず、接着シート全体を剥離するために必要とされる接着面積を容易に確保することができる。すなわち、被着体に貼付した状態の接着シートに対して剥離用テープを押圧する場合には、被着体自体に押圧力が影響しないように、できるだけ被着体の外周部に接着領域を設ける必要があるのに対して、押圧力支持手段を用いることで、貼付手段からの押圧力が被着体に作用しないようにできるため、剥離用テープにおける任意の広い範囲に第２接着領域を設定することが可能となる。従って、剥離用テープにおける第２接着領域の位置や接着面積が設定しやすくなって、任意の被着体に対しても接着面積が確保できることから、例えば、被着体としてのウェハ外形が大型化されて接着シートの剥離に大きな力が必要となったとしても、接着領域不足による剥離不良の発生を抑制して確実にウェハＷから接着シートを剥離することができる。また、この全体剥離（２次剥離）に際しては、前記１次剥離によって接着シートの端部が剥離された状態となっているので、接着面積が大きくなって面状に同時に起き上がっても被着体に何ら影響を与えることはなく、相対的に大きな張力が必要な被着体中間部であっても、接着領域はその引っ張り力に抵抗することができるので、被着体の起き上がりを防止しつつ、接着シート全体を被着体から確実に剥離することができる。
以上のような本発明のシート剥離装置およびシート剥離方法によれば、段階的に剥離用テープを接着シートに貼付して剥離することで、被着体の起き上がりを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
【００１２】
さらに、剥離用テープが感熱接着性の接着シートであれば、感圧接着性の接着テープに比較して高い接着力が得られるため、各接着領域の接着面積を小さくすることができ、被着体の起き上がりをさらに抑制することができる。そして、感熱接着性の接着テープを用いることで、所定の接着領域（第１接着領域や第２接着領域）のみを正確に接着することができるうえ、常温で接着力がないため、感圧接着性の接着テープを採用したときのように装置各所に非接着処理を施すといった装置の構成に注意を払う必要がなくなる。
また、剥離用テープの第１接着領域を接着シートの端縁に沿って設け、第２接着領域を第１接着領域よりも被着体の中央寄りに、かつ第１接着領域よりも広く設けることで、接着シートの端部を確実に剥離してから接着シート全体を剥離することができ、被着体の起き上がりをさらに効果的に防止することができる。
【００１３】
また、押圧力支持手段が被着体の表面に沿って相対移動可能とし、押え手段としても機能する構成とすれば、この押え手段を剥離境界の接着シートに当接させることで、接着シートが立ち上がるのを押さえ込むことができ、剥離角度を所定角度に保つとともに、被着体の浮き上がりを効果的に防止することができる。すなわち、剥離境界において、接着シートと被着体とのなす剥離角度α（図３(Ｂ)参照）が鈍角であるほど、被着体の浮き上がりを防止しつつ接着シートを円滑に剥離できることが知られているが、この剥離境界における接着シートの立ち上がりを押さえる手段としても押圧力支持手段を機能させることで、前記した２次貼付の効果に加えて、全体剥離においても被着体の起き上がりを抑制して円滑な接着シートの剥離を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、実施形態に係るシート剥離装置１を示す側面図である。
図１において、シート剥離装置１は、被着体としてのウェハＷの表面に貼付された接着シートＳを剥離用テープであるテープＴを用いて剥離する装置であって、ウェハＷを保持する保持手段であるテーブル１０と、テープＴを繰出す繰出手段である繰出ユニット２０と、繰出されたテープＴを接着シートＳに貼付する貼付手段である貼付ユニット３０と、ウェハＷとテープＴとを相対移動させる移動手段４０とを備えて構成されている。また、移動されるウェハＷの上方には、押圧力支持手段として機能するとともに、押え手段としても機能する当て板６０が設けられている。なお、ウェハＷはダイシングテープＤを介してリングフレーム１２と一体化されている。
【００１５】
テーブル１０は、図示しない吸引口を介してウェハＷを吸着保持する平板状のテーブル本体１１からなり、リングフレーム１２と一体化されたウェハＷをダイシングテープＤ側から吸着保持可能に構成されている。
【００１６】
繰出ユニット２０は、図示しない離脱装置に支持されて上下移動可能に設けられた繰出ユニット本体２１と、この繰出ユニット本体２１に設けられた支持ローラ２２およびガイドローラ２３，２４と、繰出ユニット本体２１下部に設けられてテープＴを下方から支持するテープ支持部２５と、テープＴを把持する把持爪２７を含むチャック部材２８と、テープ支持部２５の上方に設けられて繰り出されたテープＴを切断するテープ切断部２６とを備えて構成されている。テープ支持部２５は、繰出ユニット本体２１に固定されるブッシュ２５１と、このブッシュ２５１に進退自在に支持されるロッド２５２と、このロッド２５２の先端に固定されるとともにカッター溝２５５を有するテープ受け板２５３と、テープ受け板２５３をブッシュ２５１から突出する方向に付勢するコイルばね２５４とを有して構成されている。テープ切断部２６は、テープＴを切断するカッター刃２６１と、テープＴを切断する際にカッター刃２６１を上下駆動させて当該カッター刃２６１をカッター溝２５５内に案内する上下用シリンダ２６２と、カッター刃２６１を図１中紙面直交方向に駆動してテープＴを切断する切断用シリンダ２６３とを有して構成されている。テープＴは、感熱接着性の接着テープであり、ロール状に巻取られた状態で支持ローラ２２に支持されている。
【００１７】
貼付ユニット３０は、図示しないユニット支持部に支持されて図１中繰出ユニット２０の左側に設けられている。この貼付ユニット３０は、ユニット支持部に連結される押圧用モータ３１と、この押圧用モータ３１の出力軸３２の下端部に設けられる単一の押圧ヘッド３３と、加熱手段としてのヒータ３４とを備えて構成されている。押圧ヘッド３３は、押圧用モータ３１の駆動により下方に向かって押し下げられるようになっており、押圧ヘッド３３下端の押圧面部３３１がテープＴに当接し、このテープＴを接着シートＳに押圧して貼付するようになっている。
【００１８】
移動手段４０は、図１中繰出ユニット２０の紙面奥側に設けられた単軸ロボット４１とそのスライダ４２と、テーブル本体１１の下方に設けられた単軸ロボット４３とそのスライダ４４とから構成されている。スライダ４２は、チャック部材２８が取り付けられて図１中左右方向に移動可能とされるとともに、スライダ４４は、テーブル本体１１が取り付けられて図１中左右方向に移動可能とされる。これにより、チャック部材２８が接着シートＳに貼付されたテープＴを把持してウェハＷとの相対移動を可能とし、当該ウェハＷから接着シートＳを剥離することができるようになっている。
【００１９】
当て板６０は、ウェハＷの直径よりも若干大きな長さ寸法を有した金属板材から構成され、ウェハＷの表面から所定距離（例えば、数mm）だけ上方に離れた位置に設けられている。この当て板６０は、単軸ロボット６３のスライダ６１に上下動部材６２を介して支持されており、ウェハＷの表面上方にて図1中左右移動されるとともに、上下動部材６２によって上下位置調節されるようになっている。そして、当て板６０は、図３(Ａ)に示す２次貼付工程（後述）において、接着シートＳとウェハＷとの間に入り込んで押圧ヘッド３３の押圧力を支持する押圧力支持手段として機能するとともに、図３(Ｂ)に示す２次剥離工程（後述）において、接着シートＳとウェハＷとの剥離境界ＲＰにて接着シートＳをウェハＷに向かって押さえつける押え手段としても機能するようになっている。なお、当て板６０としては、２次貼付工程や２次剥離工程において接着シートＳと接着しないように、金属板材の表面にフッ素樹脂加工が施されたものが好適である。
【００２０】
次に、本実施形態における接着シートＳの剥離方法として、シート剥離装置１の動作を図２、図３も参照して説明する。
ウェハＷから接着シートＳを剥離する手順としては、先ず、図１に示すように、ウェハＷがテーブル１０の所定位置に保持されるとともに、シート剥離装置１の各部が初期位置設定された状態において、テープ切断部２６および貼付ユニット３０が上方に移動して退避してから、単軸ロボット４１を介してチャック部材２８が繰出ユニット２０に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪２７がテープ受け板２５３に当接すると、テープ受け板２５３をブッシュ２５１方向に押し込み、テープＴの先端を上下の把持爪２７間に受け入れる。そして、チャック部材２８は、把持爪２７を閉じてテープＴの先端を把持するとともに、テープＴを把持したままで繰出ユニット２０から離れる方向に移動し、テープＴを所定長さ引き出して停止する。
【００２１】
次に、図２(Ａ)に示すように、チャック部２８とテープ受け板２５３との間にテープＴが掛け渡されるとともに、押圧ヘッド３３が第１貼付位置に位置した状態において、貼付ユニット３０は、押圧用モータ３１を作動させて押圧ヘッド３３を押し下げ、押圧面部３３１でテープＴの中間部を下降させて接着シートＳに押圧する。この際、押圧面部３３１は、ヒータ３４により加熱され、テープＴの第１接着領域を接着シートＳに貼付する（１次貼付工程）。その後、テープ切断部２６は、上下用シリンダ２６２によってカッター刃２６１をカッター溝２５５内に下降させ、切断用シリンダ２６３を駆動してカッター刃２６１によってテープＴを切断する。この１次貼付工程において接着されるテープＴの第１接着領域は、ウェハＷの外周端縁に沿った領域であり、ウェハＷの中心に向かう方向における第１接着領域の貼付幅としては、例えば約１mmに設定されている。そして、第１接着領域の接着面積としては、以下の１次剥離工程にて接着シートＳの端部をウェハＷから剥離するのに十分なものであればよく、ウェハＷの径寸法や接着シートＳの接着強度などに応じて適宜に設定することができる。なお、剥離方向とは、図１中右側へ向かう方向とする。
【００２２】
次に、図２(Ｂ)に示すように、繰出ユニット本体２１、テープ切断部２６および貼付ユニット３０が上方に退避した状態において、単軸ロボット４１は、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材２８を剥離方向に移動させ、テープＴを介して第１接着領域を引っ張ることで、接着シートＳの端部をウェハＷから剥離する（１次剥離工程）。この際、接着シートＳの端部は、ウェハＷの外周端縁から剥離距離ｄだけ剥離されるように、単軸ロボット４１におけるチャック部材２８の移動量が設定されており、この剥離距離ｄとしては、例えば約１５mmに設定されている。従って、後述する第２接着領域をウェハＷの中央寄りに超えた範囲まで、この１次剥離工程にて接着シートＳの端部が剥離されることとなる。そして、接着シートＳの端部を剥離した後に、当て板６０は、上下動部材６２で適宜な高さ位置に調節された状態で、図２(Ｂ)に示されるように、その右端縁が接着シートＳの剥離境界ＲＰの左方近傍に相対移動される（当て板移動工程）。
【００２３】
次に、図３(Ａ)に示すように、チャック部材２８は、剥離方向と反対方向に移動し、剥離した接着シートＳの端部およびテープＴを当て板６０の上面に載置して停止する（逆移動工程）。この際、単軸ロボット４３を介してテーブル１０を図の左方向に移動させることで、押圧ヘッド３３を第２貼付位置に移動させる。このように接着シートＳおよびテープＴが当て板６０の上面に載置された状態において、貼付ユニット３０は、押圧用モータ３１を作動させて押圧ヘッド３３を押し下げ、押圧面部３３１でテープＴを当て板６０側へ押圧する（押圧工程）。すなわち、テープＴおよび接着シートＳを押圧ヘッド３３と当て板６０とで挟み込み、押圧ヘッド３３からの押圧力を当て板６０で支持することで、押圧力がウェハＷに作用しなくなり、当て板６０が押圧力支持手段として機能するようになっている。この際、押圧面部３３１は、ヒータ３４により加熱され、テープＴの第２接着領域を接着シートＳに貼付する。以上のような当て板移動工程、逆移動工程および押圧工程によって、本発明のシート剥離方法における２次貼付工程が構成されている。
【００２４】
以上の２次貼付工程において接着されるテープＴの第２接着領域は、第１接着領域よりもウェハＷの中央寄りに位置するとともに、第１接着領域よりも広い接着面積を有して形成され、剥離方向に沿った方向における第２接着領域の貼付幅は、例えば約１０mmに設定されている。すなわち、第２接着領域の接着面積としては、以下の２次剥離工程において接着シートＳ全体をウェハＷから剥離するのに十分な面積であればよく、ウェハＷの径寸法や接着シートＳの接着強度などに応じて適宜に設定することができるが、少なくとも前記第１接着領域の接着面積よりも大きく設定されていることが好ましい。
【００２５】
次に、図３(Ｂ)に示すように、貼付ユニット３０が上方に退避した状態において、単軸ロボット４１は、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材２８を剥離方向に移動させ、単軸ロボット４３は、テーブル１０を剥離方向と反対方向に移動させる。このように単軸ロボット４１および単軸ロボット４３によってテープＴとウェハＷとが互いに反対方向に移動（相対移動）し、テープＴによって第２接着領域を引っ張ることで、接着シートＳを順次ウェハＷから剥離していく（２次剥離工程）。この際、当て板６０は、上下動部材６２で適宜な高さ位置に調節されてウェハＷとの間隔を保持した状態で図３の右方向に移動し、接着シートＳをウェハＷに向かって押さえる。すなわち、当て板６０は、単軸ロボット４１および単軸ロボット４３による相対移動に対して１／２の移動速度でウェハＷに対して相対移動し、接着シートＳとウェハＷとの剥離境界ＲＰの上方に位置したままで接着シートＳに当接する。従って、当て板６０は、図３(Ｂ)に示すように、接着シートＳを下方に押圧することで、剥離角度αを鈍角に保つとともに、ウェハＷの浮き上がりを防止する押え手段として機能するようになっている。このようにして接着シートＳ全体をウェハＷから剥離した後に、剥離した接着シートＳが接着されたテープＴをチャック部材２８から離脱させて回収するとともに、接着シートＳを剥離したウェハＷを適宜な搬送装置でテーブル１０から搬出し、シート剥離装置１の各部を初期位置に復帰させて接着シートＳの剥離手順が完了する。
【００２６】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、１次剥離工程にて剥離した接着シートＳとウェハＷとの間に当て板６０を配置した状態で、２次貼付工程にてテープＴの第２接着領域を接着シートＳに貼付することで、押圧ヘッド３３からの押圧力がウェハＷに作用しないようにできるため、第２接着領域の接着面積を大きく設定することが可能となる。従って、２次剥離工程において必要とされる接着面積が容易に確保できることから、ウェハＷの外形が大型化されて接着シートＳの剥離に大きな力が必要となったとしても、接着領域が不足してテープＴが接着シートＳから外れてしまうといった剥離不良を抑制し、確実にウェハＷから接着シートＳを剥離することができる。
さらに、１次剥離工程で先に接着シートＳの端部を剥離しているため、２次剥離工程においてウェハＷが起き上がって割れてしまうことを確実に防止することができる。
【００２７】
また、当て板６０が２次貼付工程において押圧力支持手段として機能するとともに、２次剥離工程において接着シートＳの押え手段としても機能することで、同一の当て板６０によって複数の機能を果たすことができ、装置全体の部品点数を削減できるとともに駆動機構を単純化することができ、シート剥離装置１の構造を簡単化することができる。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウエハや化合物ウエハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シート（シート、フィルム、テープ等）を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の接着テープであるテープＴを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートＳを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。
また、前記実施形態のシート剥離装置１において、本願発明の要部ではない部分に関しては、それらの説明を省略または簡略したが、省略した構成や動作としては、前記特許文献１に開示されたものが利用可能である。ただし、必ずしも特許文献１に開示された形態に限定されるものではなく、各部の機能に応じて適宜な改変を加えたものを用いてもよい。
【００３０】
また、前記実施形態では、剥離用テープＴを接着シートＳに貼付する工程としては、１次および２次の貼付工程を有し、接着シートＳをウェハＷから剥離する工程としては、１次および２次の剥離工程を有した剥離方法（剥離装置）を示したが、これに限らず、３次以上の貼付工程および剥離工程を有したものであってもよい。この際、前記実施形態の２次剥離工程では適宜な剥離位置まで接着シートを剥離した後に、再び当て板移動工程、逆移動工程および押圧工程を行って３次貼付工程を実行し、その後に前記２次剥離工程と同様の３次剥離工程を実行すればよく、これと同様に４次以降の貼付工程および剥離工程を実行するようにしてもよい。
【００３１】
さらに、前記実施形態では、繰出手段として、帯状のテープＴを供給するように図示、説明したが、テープＴは帯状のものに限らず、例えば、テープＴを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。
また、前記実施形態では、ウェハＷとテープＴとの両方を移動させて相対移動させる移動手段４０を構成したが、これに限らず、ウェハＷとテープＴとのいずれか一方のみを移動させるように移動手段４０を構成してもよい。また、ウェハＷとテープＴとを相対移動させるのは、１次剥離工程および２次剥離工程の両方であってもよいし、いずれか一方であってもよい。
【００３２】
また、前記実施形態では、当て板６０によって、押圧力支持手段および押え手段の両方の機能が兼用されていたが、これに限らず、押圧力支持手段と押え手段とがそれぞれ独立した部品によって構成されていてもよい。このような構成としては、例えば、前記貼付ユニット３０に、前記押圧ヘッド３３の他に第２押圧ヘッドと、この第２押圧ヘッドと対向する対向部とを設けておき、これらの第２押圧ヘッドと対向部とで接着シートの端部および剥離用テープを挟持するような構成であってもよい。すなわち、対向部によって押圧力支持手段が構成され、第２押圧ヘッドと対向部とで接着シートの端部および剥離用テープを挟持して押圧することで、剥離用テープの第２接着領域を接着シートの端部に貼付する構成であり、この場合には、対向部は、前記当て板６０のようにウェハＷと接着シートＳとの間に挿入される必要がなく、１次剥離工程で剥離した接着シートの端部を適宜な位置で挟持可能に構成されていればよい。さらに、当て板６０で構成した押え手段は、本発明に必須の構成ではなく、省略可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態に係るシート剥離装置を示す側面図。
【図２】(Ａ)，(Ｂ)は、図１のシート剥離装置の動作説明図。
【図３】(Ａ)，(Ｂ)は、図２に続くシート剥離装置の動作説明図。
【図４】(Ａ)，(Ｂ)は、従来の不具合例を示す説明図。
【符号の説明】
【００３４】
１        シート剥離装置
１０      テーブル（保持手段）
２０      繰出ユニット（繰出手段）
３０      貼付ユニット（貼付手段）
３３      押圧ヘッド
３４      ヒータ（加熱手段）
４０      移動手段
６０      当て板（押圧力支持手段、押え手段）
ＲＰ      剥離境界
Ｓ        接着シート
Ｔ        テープ（剥離用テープ）
Ｗ        ウェハ（被着体）
【図１】
2010028063.tif 000003
【図２】
2010028063.tif 000004
【図３】
2010028063.tif 000005
【図４】
2010028063.tif 000006