(57)【要約】【課題】ノズル面にダメージを与えることなく良好にクリーニング可能な、液滴吐出装置を提供する。【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面を有し、ノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５の吸引動作後においてノズル面に付着した機能液をノズル面の一端に集める機能液収集手段５Ａと、ノズル面の一端に集めた機能液を回収する機能液回収手段５１と、を備える液滴吐出装置ＩＪである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの吸引動作後において前記ノズル面に付着した前記機能液を当該ノズル面の一端に集める機能液収集手段と、
前記ノズル面の一端に集めた前記機能液を回収する機能液回収手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記機能液収集手段が、前記液滴吐出ヘッドを回転させる回転機構であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記回転機構は、前記複数のノズルの配列方向に沿う軸を回転軸として前記液滴吐出ヘッドを回転させることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記機能液を前記ノズル面の一端に集めた後、前記液滴吐出ヘッドを略水平に保持した状態で、前記機能液回収手段が前記機能液を回収することを特徴とする請求項２又は３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記機能液回収手段が、前記ノズル面をワイプ部材で払拭するワイピング機構であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記ワイプ部材が布からなることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ワイプ部材は、前記機能液が集まっている前記ノズル面の一端側と反対の他端側から前記一端側に向かって当該ノズル面を払拭することを特徴とする請求項５又は６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記機能液収集手段は、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル面に送風する送風機構を含むことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法による成膜技術が注目されている。液滴吐出法によれば、膜の形成材料を含んだ微小なインク滴を所望の位置に配置することが可能である。液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出ヘッドは、液状体の貯留部、貯留部に通じるノズルが形成されたノズルプレート、液状体を加圧してノズルから液滴を押し出すピエゾ素子等を備えている。このような液滴吐出ヘッドにおいては、噴射特性を維持或いは回復させる手段として定期クリーニングが行われている。このような定期クリーニングとして、液滴吐出ヘッドのノズル面にシート部材を押し当てることでノズル面に付着した機能液を除去するワイプ動作がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２７０４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来、ノズル面にシート部材が押し付けられた際、当該シート部材内に吸収されている機能液の分散質（例えば、金属）によってノズル近傍の撥水膜が削り取られるおそれがある。すると、ノズル内から機能液がノズル面に濡れ広がってしまい、飛行曲がり等の吐出特性を低下させる可能性がある。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ノズル面にダメージを与えることなく良好にクリーニング可能な、液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドの吸引動作後において前記ノズル面に付着した前記機能液を当該ノズル面の一端に集める機能液収集手段と、前記ノズル面の一端に集めた前記機能液を回収する機能液回収手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置によれば、吸引動作によってノズル面に付着した機能液の殆どを一端に集めて回収するので、従来のワイピング動作のように機能液の分散質がノズル面に押し付けられることでノズル面に傷がつくのを防止することができる。したがって、ノズル面にダメージを与えることなく液滴吐出ヘッドのクリーニングを行うことができる。
【０００８】
また、上記液滴吐出装置においては、前記機能液収集手段が、前記液滴吐出ヘッドを回転させる回転機構であるのが好ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの回転によりノズル面が傾けられ、重力の作用によりノズル面の一端に機能液を簡便且つ確実に集めることができる。また、液滴吐出ヘッドの回転方向を制御することでノズル面における所望の位置に機能液を集めることができる。
【０００９】
また、上記液滴吐出装置においては、前記回転機構は、前記複数のノズルの配列方向に沿う軸を回転軸として前記液滴吐出ヘッドを回転させるのが好ましい。
この構成によれば、機能液の移動方向とノズル列の延在方向とが一致しないため、ノズル面上を流れる機能液が他のノズルのメニスカスに与える影響を抑えることができる。
【００１０】
また、上記液滴吐出装置においては、前記機能液を前記ノズル面の一端に集めた後、前記液滴吐出ヘッドを略水平に保持した状態で、前記機能液回収手段が前記機能液を回収するのが好ましい。
この構成によれば、ノズル面が略水平状態とされるので各ノズルに水頭差が生じない状態で機能液が回収されるので、各ノズルのメニスカスに不具合を与えることがない。
【００１１】
また、上記液滴吐出装置においては、前記機能液回収手段が、前記ノズル面をワイプ部材で払拭するワイピング機構であるのが好ましい。
この構成によれば、ワイプ部材によりノズル面を払拭することで機能液を簡便且つ確実に回収することができる。
さらに、前記ワイプ部材が布からなるのがより望ましい。
このようにすれば、ノズル面に付着している機能液が布に吸収されることでノズル面に集まっている機能液を確実に回収できる。
【００１２】
また、上記液滴吐出装置においては、前記ワイプ部材は、前記機能液が集まっている前記ノズル面の一端側と反対の他端側から前記一端側に向かって当該ノズル面を払拭するのが好ましい。
この構成によれば、他端側から一端側に向かうワイプ部材によってノズル面における機能液の残渣を確実に除去できる。また、ワイプ部材が他端側に集まっている機能液をノズル内に押し込むことがないため、ワイプ動作によってメニスカスが破壊されてしまうのを防止することができる。
【００１３】
また、上記液滴吐出装置においては、前記機能液収集手段は、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル面に送風する送風機構を含むのが好ましい。
この構成によれば、ノズル面への送風することで機能液をノズル面の一端により良好に集めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】クリーニングユニットの概略構成を示す図である。
【図４】吸引動作後の機能液が付着したノズル面を示す図である。
【図５】クリーニングユニットの動作説明図である。
【図６】第２の実施形態に係るクリーニングユニットの概略構成を示す図である。
【図７】本実施形態に係るクリーニングユニットの動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。
【００１６】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう液状体は、固形分を分散媒（溶媒）に分散（溶解）させた分散液（溶液）等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルター材料や、ＵＶインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。
【００１７】
本実施形態では、前記のような液状体を膜材料に用いる液滴吐出装置として、カラーフィルター基板（吐出対象物）の所定領域上にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置を説明する。なお、以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図１におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００１８】
図１に示されるように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御装置１１、及びクリーニングユニット１２を備えている。
【００１９】
装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルター基板Ｐ（以下、基板Ｐと称す）を、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。
【００２０】
キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。具体的に液滴吐出ヘッド５は回転駆動機構５Ａを介してキャリッジ４に搭載されている。回転駆動機構５Ａは液滴吐出ヘッド５を回転可能に保持するものである。なお、回転駆動機構５Ａは制御装置１１と電気的に接続されている。これにより、液滴吐出ヘッド５は後述するノズル面（下面）をＸＹ平面に対して傾斜させることが可能となっている。
【００２１】
液滴吐出ヘッド５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５にはチューブ７が連結されている。液滴吐出ヘッド５は、Ｒ（赤）に対応するノズルにチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルター材料が供給され、Ｇ（緑）に対応するノズルにチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルター材料が供給され、Ｂ（青）に対応するノズルにチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルター材料が供給されるようになっている。
【００２２】
キャリッジ移動装置６は、例えば装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００２３】
制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動による基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴を吐出する。また、制御装置１１は後述する液滴吐出ヘッド５のメンテナンス時に回転駆動機構（機能液収集手段）５Ａを駆動させることで液滴吐出ヘッド５の保持姿勢を変化させるようになっている。これにより、液滴吐出ヘッド５のノズル面に付着した機能液がノズル面の一端に集められることができる。
【００２４】
クリーニングユニット１２は、キャリッジ４に保持された液滴吐出ヘッド５に対するメンテナンスとして後述の吸引動作によってノズル面に付着した機能液を除去する処理を行うためのものである。
【００２５】
クリーニングユニット１２は、液滴吐出ヘッド５におけるホームポジションに配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置ＩＪが吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ４が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド５から基板Ｐ上に液滴を吐出する際のキャリッジ４の位置を吐出ポジションと呼ぶ。なお、クリーニングユニット１２は、制御装置１１からの制御信号により駆動されるようになっている。
【００２６】
なお、ホームポジションには、クリーニングユニット１２の他に、液滴吐出ヘッド５に当接することでノズル内からインクを排出させるキャッピング部（図３参照）と、液滴吐出ヘッド５のノズルからインクを噴射するフラッシング動作を行うフラッシング部（不図示）とが設けられている。キャッピング部は、ノズル面に当接することでノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作時に用いられるものである。フラッシング部は、メニスカスを整えるべく、ノズルから液滴を吐出した廃液を回収するためのものである。
【００２７】
図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の１つのノズル列に対応する部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。
【００２８】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮからなるノズル列ＮＡ、ＮＢ、ＮＣを備えている。ノズル列ＮＡにおけるノズルＮは、第１タンク８から供給されるＲ用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。また、ノズル列ＮＢにおけるノズルＮは、第２タンク９から供給されるＧ用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。また、ノズル列ＮＣにおけるノズルＮは、第３タンク１０から供給されるＢ用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティー（液室）２４とを備えている。なお、ノズルプレート２１の表面は、複数のノズルＮが形成されたノズル面２１ａを構成している。ノズルプレート２１は、例えばＳＵＳから構成されるものであり、ノズル面２１ａに撥水処理膜が形成されている。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。
【００３０】
リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティー２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティー２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
【００３１】
図２（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティー２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティー２４の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティー２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティー２４も元の容積に戻ることから、キャビティー２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮから基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。
【００３２】
続いて、クリーニングユニット１２の構成について説明する。図３はクリーニングユニット１２の概略構成を示す図である。
クリーニングユニット１２は、図３に示すように、液滴吐出ヘッド５に対して吸引動作を行うキャッピング部５０と、キャッピング部５０による吸引動作によってノズル面２１ａに付着した機能液を回収する機能液回収手段としてのワイピング部（ワイピング機構）５１と、を含んでいる。
【００３３】
キャッピング部５０は、全ノズルＮを囲んだ状態にノズル面２１ａに当接する枠状のキャップ部材５２と、キャップ部材５２とノズル面２１ａとの間をシールするシール部材５３と、キャップ部材５２内に設けられた吸収材５４とを備えている。また、キャップ部材５２の下面には貫通孔５２ａが設けられており、この貫通孔５２ａにはチューブＴを介して吸引ポンプＰが接続されている。これにより、キャッピング部５０は、シール部材５３によってシールされたノズル面２１ａとキャップ部材５２内の雰囲気を減圧することで、ノズルＮから機能液を強制的に排出させる吸引動作を行うことができる。
【００３４】
また、吸収材５４は、機能液を保持可能（吸収可能）なスポンジ状部材、あるいは多孔部材等で形成されている。本実施形態においては、吸収材５４は、例えばフェルトなどの不織布により構成されている。
【００３５】
ワイピング部５１は、ローラー部材５５と、このローラー部材５５の外周面５５ａに設けられた例えば不織布等の布からなるワイプ部材５６と、を備えている。これにより、ワイピング部５１を大型化することなく、必要十分なワイプ部材５６の長さを確保している。なお、不織布としてはノズル面２１ａとの接触によってケバやゴミを生じさせないものを用いるのが好ましい。
【００３６】
続いて、液滴吐出装置ＩＪの動作を説明しつつ、本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪの作用について述べる。なお、以下では本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪの特徴的構成であるクリーニングユニット１２の動作を中心に説明する。
【００３７】
液滴吐出装置ＩＪはノズルの吐出特性を維持するためにメンテナンス動作を行う。まず、液滴吐出装置ＩＪは、キャリッジ４をホームポジションに配置されているクリーニングユニット１２の上方まで移動する。そして、キャッピング部５０のキャップ部材５２とノズル面２１ａとをシール部材５３を介して密着させ、吸引ポンプＰを駆動する。これにより、ノズル近傍を負圧状態とすることができ、ノズルから機能液をキャップ部材５２内に強制的排出させることができる。吸引処理の終了後、ノズル面２１ａからキャップ部材５２を離間させる。
【００３８】
吸引処理の終了後、ノズル面２１ａには図４に示すようにノズルＮから排出された機能液が付着している。続いて、制御装置１１は回転駆動機構５Ａを駆動し、液滴吐出ヘッド５を回転させる。具体的に本実施形態では、図５（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド５がノズル列ＮＡ，ＮＢ，ＮＣの配列方向に沿う軸、すなわち図２（ａ）中におけるＹ軸と平行な軸を回転軸として回転する。このとき、ノズル面２１ａに付着している機能液が、図５（ｂ）に示すように重力の働きによりノズル面２１ａの長辺の一端６０Ａに集められ、一端６０Ａに液溜り６１が生じる。本実施形態では、液滴吐出ヘッド５をＹ軸周りに９０°回転させるようにしたが、液滴吐出ヘッド５の回転角度としては機能液をノズル面２１ａの一端に集めることができれば、９０°以下であってもよい。
【００３９】
このようにＹ軸を回転軸として液滴吐出ヘッド５を回転させるため、機能液の移動方向とノズル列の延在方向とが一致しないため、ノズル面２１ａを流れる機能液が他のノズルのメニスカスに及ぼす影響を抑えることができる。また、ノズル面２１ａの短辺方向に沿って機能液が移動するため、ノズル面２１ａの長辺方向に沿って機能液を移動させる場合に比べて時間を短縮できる。また、回転駆動機構５Ａにより液滴吐出ヘッド５の回転方向を適宜変更することで、ノズル面２１ａの所望の位置に機能液を集めることができる。
【００４０】
ノズル面２１ａの一端に機能液を集めた後、制御装置１１は回転駆動機構５Ａを駆動させ、図５（ｃ）に示すように液滴吐出ヘッド５を逆方向に回転させることで略水平状態に戻す。このように液滴吐出ヘッド５を略水平状態とすることでノズル面２１ａが水平状態とされる。よって、各ノズルＮ内の機能液に水頭差が生じない状態となっている。
【００４１】
続いて、制御装置１１は、図５（ｄ）に示すようにワイプ部材５６とノズル面２１ａとを接触させた状態でローラー部材５５を回転駆動する。このとき、ローラー部材５５を一方向に沿って移動するとともに液滴吐出ヘッド５を他方向（ローラー部材５５の移動方向と反対方向）に移動する。
【００４２】
具体的に本実施形態では、図５（ｄ）に示すように、ワイプ部材５６が、ノズル面２１ａの一端６０Ａ側と反対の他端６０Ｂ側から一端６０Ａ側に向かってノズル面２１ａを払拭する。これにより、他端６０Ｂ側から一端６０Ａ側に向かうワイプ部材５６によってノズル面２１ａにおける機能液の残渣を確実に除去することができる。さらに、ワイプ部材５６は他端６０Ｂ側から一端６０Ａ側に向かうため、一端６０Ａに付着している液溜り６１を吸収したワイプ部材５６がノズルを通過することがないので、液溜り６１の一部がノズル内に押し込まれることでメニスカスが破壊されるといった不具合の発生を防止することができる。また、上述のように液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａが水平状態となっているので、各ノズルＮに水頭差が生じない状態でワイピング動作を行うことができ、各ノズルＮのメニスカスに不具合を与えることが無い。
【００４３】
本実施形態によれば、吸引動作によってノズル面２１ａに付着した機能液の殆どを、液滴吐出ヘッド５を回転させることでノズル面２１ａの一端６０Ａに集めた後、ワイプ部材５６によって機能液の残渣をノズル面２１ａの他端６０Ｂ側から回収するので、ワイプ部材５６に含まれている機能液の分散質（顔料）がノズル面２１ａに押し付けられることでノズル面を傷つけるといった不具合が生じるのを防止できる。したがって、ノズル面２１ａにダメージを与えることなく液滴吐出ヘッド５のクリーニングを行うことができる。すなわち、ノズル面２１ａに形成されている撥水処理膜、特にノズル開口端の近傍にダメージを及ぼすのを防止できる。したがって、撥水処理膜に傷がつくことでノズル面２１ａに機能液が濡れ拡がり、飛行曲がり等の吐出不良が生じるのを防止しつつ、ノズル面２１ａのクリーニングを良好に行うことができる。また、ノズル面２１ａの撥水処理膜の耐久性が向上し、結果的に液滴吐出ヘッド５の寿命を延ばすこともできる。
【００４４】
（第２の実施形態）
続いて、第２の実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態と第１の実施形態とは、クリーニングユニットの構成が異なる点である。なお、第１の実施形態と共通の構成及び部材については同一の符号を付し、その説明については省略若しくは簡略する。
【００４５】
図６は本実施形態に係るクリーニングユニット１２０の概略構成を示す図である。
クリーニングユニット１２０は、図６に示すように、液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａに機能液を集める機能液収集手段として回転駆動機構５Ａとともに、ノズル面２１ａに送風する送風機構７０を備えている。送風機構７０はノズル面２１ａに対してエアーを吹き付けるようになっている。
【００４６】
続いて、本実施形態に係る液滴吐出装置の動作について説明する。なお、キャッピング部５０による吸引動作は第１の実施形態と同様であるため、その説明を省略するものとする。
【００４７】
吸引処理の終了後、制御装置１１は回転駆動機構５Ａを駆動し、液滴吐出ヘッド５を回転させる。具体的に本実施形態では、図７に示すように液滴吐出ヘッド５がノズル列ＮＡ，ＮＢ，ＮＣの配列方向に沿う軸、すなわち図２（ａ）中におけるＹ軸と平行な軸を回転軸として回転する。このとき、液滴吐出ヘッド５におけるノズル面２１ａの他端６０Ｂ側に配置された送風機構７０の噴出し孔７０ａからノズル面２１ａの一端６０Ａ側に向けてエアーを吹き付ける。これにより、ノズル面２１ａに付着している機能液を重力及びエアーの力によってノズル面２１ａの長辺の一端６０Ａに良好に集めることができ、一端６０Ａに液溜り６１を良好に生じさせることができる。
【００４８】
このように本実施形態においては、機能液収集手段として送風機構７０を備えることで第１の実施形態に比べて液滴吐出ヘッド５の回転角度が小さい場合においても、ノズル面２１ａの一端６０Ａに機能液を集めることができる。よって、液滴吐出ヘッド５の回転角を抑えることができ、ワイピング動作時に第１の実施形態に比べて液滴吐出ヘッド５を短い時間で略水平状態に戻すことができる。また、第１の実施形態と同様、撥水処理膜に傷がつくことでノズル面２１ａに機能液が濡れ拡がり、飛行曲がり等の吐出不良が生じるのを防止し、ノズル面２１ａのクリーニングを良好に行うことができる。
【００４９】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更可能である。例えば、上述の実施形態においてはキャリッジ４に液滴吐出ヘッド５が一つのみ搭載された例について説明したが、キャリッジ４に複数の液滴吐出ヘッド５が搭載される場合についても本発明は適用可能である。この場合、キャリッジ４自体を回転させることで複数の液滴吐出ヘッド５のそれぞれのノズル面２１ａを傾けるようにしてもよい。
【００５０】
また、第２の実施形態においては、回転駆動機構５Ａの補助として送風機構７０を用いる場合について説明したが、ノズル面２１ａに付着している機能液を一端に集めることのできるエアー圧が得られる送風機構７０のみを機能液収集手段として備えるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
Ｎ…ノズル、６０Ａ…一端、６０Ｂ…他端、５…液滴吐出ヘッド、５Ａ…回転駆動機構（機能液収集手段）、１２，１２０…クリーニングユニット、２１ａ…ノズル面、５１…ワイピング部（ワイピング機構）、５６…ワイプ部材、７０…送風機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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