(57)【要約】【課題】バックアップデータの現状を分かりやすく提示し、この提示を用いたデータバックアップにおいて、バックアップデータを記憶するストレージの負荷を軽減する。【解決手段】  本発明に係るシステムは、基板処理装置及び集中管理装置が通信回線を介して接続される基板処理システムであって、前記基板処理装置は、前記集中管理装置に対して、基板処理装置に関する装置情報を送信する送信手段を有し、前記集中管理装置は、前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを、あらかじめ決められた単位で分類し、ツリー形式で表示する表示手段とを有する。【選択図】図６
2010040837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置及び集中管理装置が通信回線を介して接続される基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、前記集中管理装置に対して、基板処理装置に関する装置情報を送信する送信手段を有し、
前記集中管理装置は、
前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、
前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する記憶手段と、
前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを、あらかじめ決められた単位で分類し、ツリー形式で表示する表示手段と
を有する
基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板処理システムは、基板に処理を施す複数の基板処理装置と、この複数の基板処理装置を管理する集中管理装置とで構成される。集中管理装置は、基板処理装置から送信される情報を取得し、この情報のバックアップを自動又は手動で実行する。自動でバックアップを実行する場合には、あらかじめ設定したバックアップ条件にしたがって、基板処理装置からの情報をバックアップする（特許文献１）。手動でバックアップを実行する場合には、ユーザは、端末装置などを介して、バックアップしようとする情報を指定する。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１７７９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、バックアップデータは、バックアップされた日時によって管理されるため、リストアされたバックアップデータと、そうでないバックアップデータとが区別されないなど、ユーザは、バックアップデータの現状を把握しづらく、バックアップしようとする情報も指定しづらい。また、基板処理装置の数が増え、バックアップデータのサイズが大きくなった場合には、バックアップデータを記憶するストレージが圧迫される。
本発明は、上述した課題を解決するためになされるものであり、バックアップデータの現状をユーザにとって視覚的に理解しやすい形式で提示し、この提示を用いたデータバックアップにおいて、バックアップデータを記憶するストレージの負荷を軽減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る基板処理システムは、基板処理装置及び集中管理装置が通信回線を介して接続される基板処理システムであって、前記基板処理装置は、前記集中管理装置に対して、基板処理装置に関する装置情報を送信する送信手段を有し、前記集中管理装置は、前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを、あらかじめ決められた単位で分類し、ツリー形式で表示するツリー形式表示手段とを有する基板処理システム。
【０００６】
好適には、前記集中管理装置は、バックアップデータに、バックアップデータの元データの名称、バックアップされた順序を示す世代番号、及び、元データが編集された編集日時の組み合わせからなる名称を付けて記憶する記憶手段を有する。
【０００７】
好適には、前記集中管理装置は、前記世代番号の最大値及び最小値を設定する設定手段を有する。
【０００８】
好適には、前記集中管理装置は、ツリー形式で表示されたバックアップデータの分類のいずれかを選択する指示を外部から受け入れるバックアップデータ受入手段と、指示されたバックアップデータの分類に含まれるバックアップデータの名称を一覧形式で表示する一覧形式表示手段とを有する。
【０００９】
好適には、前記集中管理装置は、ツリー形式で表示された装置情報の分類のいずれかを選択する指示を外部から受け入れる装置情報受入手段と、前記記憶手段において、指示された分類に含まれる装置情報のバックアップデータが検索されるか否かを判定する第１の判定手段とを有する。
【００１０】
好適には、前記集中管理装置は、前記第１の判定手段によって、指示された分類に含まれる装置情報のバックアップデータが検索されないと判定する場合、この装置情報のバックアップを実行し、バックアップデータに、この装置情報の名称、世代番号の最小値、及び、この装置情報が編集された編集日時の組合せからなる名称を付ける。
【００１１】
好適には、前記集中管理装置は、前記第１の判定手段によって、指示された分類に含まれる装置情報のバックアップデータが検索されると判定する場合、この装置情報が編集された編集日時が、検索されたバックアップデータの編集日時と一致するか否かを判定する第２の判定手段を有する。
【００１２】
好適には、前記集中管理装置は、前記第２の判定手段によって、装置情報が編集された編集日時が、検索されたバックアップデータの編集日時と一致すると判定する場合、編集日時が一致すると判定されたバックアップデータの世代番号が、前記記憶手段に記憶されたバックアップデータの世代番号の中で最も大きくなるよう、前記記憶手段によって記憶されたバックアップデータの世代番号を更新する。
【００１３】
好適には、前記集中管理装置は、前記第２の判定手段によって、装置情報が編集された編集日時が、検索されたバックアップデータの編集日時とは一致しないと判定する場合、この装置情報のバックアップを実行し、バックアップデータに、この装置情報の名称、前記記憶手段に記憶されたバックアップデータの世代番号の中で最も大きい世代番号に１を加えた世代番号、及び、この装置情報が編集された編集日時の組合せからなる名称を付ける。
【００１４】
好適には、前記集中管理装置は、前記第２の判定手段によって、装置情報が編集された編集日時が、検索されたバックアップデータの編集日時とは一致しないと判定する場合、前記第１の手段によって検索されたバックアップデータの数が、世代番号の設定数を越えるか否かを判定する第３の判定手段を有する。
【００１５】
好適には、前記集中管理装置は、前記第３の判定手段によって、世代番号の設定数を越えると判定する場合、設定数を越えたバックアップデータを、編集日時の昇順で削除する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、バックアップデータの現状をユーザにとって視覚的に理解しやすい形式で提示し、バックアップデータを記憶するストレージの負荷を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムを説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び集中管理装置１２を有する。基板処理装置１０−１〜１０−ｎは、操作パネルとして、操作部１４−１〜１４−ｎを備える。基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び集中管理装置１２は、例えばＬＡＮ，ＷＡＮなどのネットワーク１６を介して、データの送受信が互いに可能になるよう接続されている。なお、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。
【００１８】
基板処理装置１０は、プロセスレシピ等に基づいて基板の処理を実行する。具体的には、プロセスレシピには、基板を処理するための手順が記載されており、基板処理装置１０は、操作部１４上で、プロセスレシピが実行されるよう、装置内の構成要素を制御する。また、基板処理装置１０は、温度情報、圧力情報、ガス情報等を含む基板処理装置１０の状態に関する装置情報を、ネットワーク１６を介して、集中管理装置１２に対して送信する。
【００１９】
集中管理装置１２は、基板処理装置１０から装置情報を受信し、装置情報の保存及びバックアップを行う。なお、集中管理装置１２は、複数の装置によって実現されてもよい。例えば、基板処理装置１０及び集中管理装置１２が配置された場所に、集中管理装置１２の操作インターフェースを提供する端末装置を配置してもよい。
【００２０】
以下、基板処理装置１０及び集中管理装置１２のハードウェア構成を説明する。
図２は、基板処理装置１０及び集中管理装置１２のハードウェア構成を、制御装置１８及び２４を中心に示す図である。
図２に示すように、基板処理装置１０は、操作部１４、ＣＰＵ２０及びメモリ２２などを含む制御装置１８を有する。集中管理装置１２は、ＣＰＵ２６及びメモリ２８などを含む制御装置２４、ＨＤＤ、ＣＤ装置などの記録装置３０、通信装置３２、及び、ＬＣＤ表示装置あるいはＣＲＴ表示装置及びキーボード、タッチパネルなどを含むユーザインタフェース装置（ＵＩ装置）３４を有する。
集中管理装置１２は、例えば、装置情報管理プログラム４（図３を用いて後述）がインストールされたコンピュータであり、通信装置３２などを介して、基板処理装置１０から装置情報を受信し、ＵＩ装置３４などを介して、装置情報をバックアップする指示をユーザから受け取る。
【００２１】
以下、集中管理装置１２の機能を説明する。
図３は、集中管理装置１２によって実行される装置情報管理プログラム４の機能構成を示す図である。
図３に示すように、装置情報管理プログラム４は、通信部４０、装置情報データベース（装置情報ＤＢ）４２、画面生成部４４、ＵＩ部４６、バックアップ実行部４８、及び、バックアップＤＢ５０を有する。装置情報管理プログラム４は、集中管理装置１２のメモリ２８にロードされ、集中管理装置１２で動作する図示しないＯＳ上で実行される。
【００２２】
通信部４０は、基板処理装置１０との間の通信に必要な通信処理を行う。具体的には、通信部４０は、基板処理装置１０から送信される装置情報を、通信装置３２を介して取得し、装置情報ＤＢ４２に記憶する。なお、装置情報ＤＢ４２に記憶された装置情報は、あらかじめ決められた単位（例えば、フォルダなど）で分類される（以下、装置情報のバックアップデータについても同様）。
【００２３】
画面生成部４４は、装置情報ＤＢ４２及びバックアップＤＢ５０を参照して、装置情報ＤＢ４２に記憶された装置情報及びバックアップＤＢ５０に記憶されたバックアップデータをユーザにとって視覚的に理解しやすい形式で表示する管理画面の画面構成を生成し、ＵＩ部４６に対して出力する。なお、管理画面については、後で詳述する。
【００２４】
ＵＩ部４６は、画面生成部４４から入力された管理画面の画面構成を、ＵＩ装置３４のＣＴＲ表示装置に表示する。また、ＵＩ部４６は、ＵＩ装置３４のキーボード等を介して、装置情報をバックアップする指示をユーザから受け取り、バックアップ実行部４８に対して出力する。
【００２５】
バックアップ実行部４８は、ＵＩ部４６から入力されたバックアップ指示に基づいてバックアップを実行し、バックアップした装置情報をバックアップＤＢ５０に記憶する。なお、バックアップを実行する手順は、後で詳述する。
【００２６】
バックアップＤＢ５０は、バックアップした装置情報を、バックアップした装置情報の元データの名称、バックアップされた順序を示す世代番号、及び、元データの編集日時の組み合わせからなる名称によって一意に区別して記憶する。
【００２７】
以下、集中管理装置１０を用いて、基板処理装置１２に関する情報を閲覧する処理を説明する。
図４及び図５は、画面生成部４４で生成される管理画面５を例示する図である。
図４及び図５に例示するように、管理画面５は、元データツリー表示部５４及びバックアップデータツリー表示部５６を含むツリー表示部５２、及び、バックアップデータ一覧表示部５８から構成される。
【００２８】
元データツリー表示部５４は、基板処理装置１０から送信されて装置情報ＤＢ４２に記憶された装置情報を、フォルダなどによって分類されたツリー形式で表示する。バックアップデータツリー表示部５６は、基板処理装置１０からの装置情報のうち、バックアップされた装置情報を、フォルダなどによって分類されたツリー形式で表示する。バックアップデータ一覧表示部５８は、バックアップされた装置情報の名称を、元データの名称のアルファベット順及び世代番号の昇順で、一覧形式で表示する。なお、バックアップされた装置情報がリストアされた場合などには、必ずしも、世代番号の順序及び元データの編集日時の順序が一致するとは限らない。
【００２９】
図４及び図５に例示するように、基板処理システムにおいて、装置'ＥＱ００１'及び'ＥＱ００２'に関する情報が記憶される。さらに、装置'ＥＱ００１'に関する情報は、'Ｍａｉｎ Ｒｅｃｉｐｅ'、'Ｓｕｂ Ｒｅｃｉｐｅ'に関する情報及び'ＰＭＣ Ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ'に関する情報に分類され、さらに、'Ｍａｉｎ Ｒｅｃｉｐｅ'に関する情報は、'ＲｅｃｉｐｅＡ'に関する情報及び'ＲｅｃｉｐｅＢ'に関する情報に分類されている。
【００３０】
図４は、元データツリー表示部５４において、基板処理装置１０からの装置情報のうち、'ＲｅｃｉｐｅＡ'に関する情報が、ユーザによって指定される場合の一例である。後述するように、装置情報の分類がユーザによって指定されることによって、この分類に含まれる装置情報をバックアップする処理が開始される。
図５は、バックアップデータツリー表示部５６において、バックアップされた装置情報のうち、'Ｍａｉｎ Ｒｅｃｉｐｅ'に関する情報が、ユーザによって指定され、'ＲｅｃｉｐｅＡ'のバックアップデータ及び'ＲｅｃｉｐｅＢ'のバックアップデータが、一覧形式で表示される場合の一例である。図５に例示するように、１０世代分の'ＲｅｃｉｐｅＡ'のバックアップデータ及び３世代分の'ＲｅｃｉｐｅＢ'のバックアップデータが表示されている。
【００３１】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行されるバックアップ処理（Ｓ１０）の動作を説明する。
図６は、集中管理装置１０で実行されるバックアップ処理の動作を示すフローチャートである。
図６に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、装置情報管理プログラム４のバックアップ実行部４８は、ユーザがＵＩ装置３４を介して装置情報の分類を指定したか否かを判定する。バックアップ実行部４８は、ユーザが装置情報の分類を指定したと判定した場合には、ステップ１０２（Ｓ１０２）の処理に進み、そうでない場合にはバックアップ処理を終了する。
【００３２】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、バックアップ実行部４８は、バックアップＤＢ５０において、ステップ１００（Ｓ１００）で指定された分類に含まれる装置情報のバックアップデータが検索されるか否かを判定する。バックアップ実行部４８は、バックアップデータを検索した場合には、ステップ１０４（ステップ１０４）の処理に進み、そうでない場合には、ステップ１０６（Ｓ１０６）の処理に進む。
【００３３】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１００（Ｓ１００）で指定された分類に含まれる装置情報の編集日時、及び、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータの名称に含まれる編集日時を取得し、ステップ１０８（Ｓ１０８）の処理に進む。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１００（Ｓ１００）で指定された分類に含まれる装置情報をバックアップする。バックアップ実行部４８は、この装置情報の名称、世代番号０、及び、この装置情報の編集日時の組合せからなる名称を付けたバックアップデータをバックアップＤＢ５０に保存し、バックアップ処理を終了する。
【００３４】
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１０４（Ｓ１０４）で取得した編集日時が一致するか否かを判定する。具体的には、バックアップ実行部４８は、ステップ１００（Ｓ１００）で指定された分類に含まれる装置情報の編集日時が、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータの名称に含まれる編集日時のいずれかと一致するか否かを判定する。バックアップ実行部４８は、一致すると判定した場合には、ステップ１１０（Ｓ１１０）の処理に進み、そうでない場合には、ステップ１１２（Ｓ１１２）の処理に進む。
【００３５】
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータの名称に含まれる世代番号を更新し、バックアップ処理を終了する。具体的には、バックアップ実行部４８は、ステップ１０８（Ｓ１０８）で一致すると判定されたバックアップデータの名称に含まれる世代番号が、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータの名称に含まれる世代番号の中で、最も大きくなるように世代番号を更新する。
【００３６】
ステップ１１２（Ｓ１１２）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータの数が、あらかじめユーザによって設定された世代管理の最大数を越えているか否かを判定する。バックアップ実行部４８は、最大数を超えていると判定した場合には、ステップ１１４（Ｓ１１４）の処理に進み、そうでない場合には、ステップ１１８（Ｓ１１８）の処理に進む。
ステップ１１４（Ｓ１１４）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータのうち、世代管理の最大数を越えた数のバックアップデータを、世代番号が小さいものから順に削除し、ステップ１１６（Ｓ１１６）の処理に進む。
【００３７】
ステップ１１６（Ｓ１１６）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１１４（Ｓ１１４）の処理後のバックアップデータの名称に含まれる世代番号が、０から始まる昇順になるように世代番号を更新し、ステップ１１８（Ｓ１１８）の処理に進む。
ステップ１１８（Ｓ１１８）において、バックアップ実行部４８は、ステップ１００（Ｓ１００）で指定された分類に含まれる装置情報をバックアップし、この装置情報の名称、この装置情報の世代番号（世代管理の最大数から１を減じた数、又は、ステップ１０２（Ｓ１０２）で検索されたバックアップデータの名称に含まれる世代番号の最大数に１を加えた数）、及び、この装置情報の編集日時の組合せからなる名称を付けたバックアップデータをバックアップＤＢ５０に保存し、バックアップ処理を終了する。
【００３８】
以下、集中管理装置１０を用いて、基板処理装置１２に関する情報を閲覧する処理を説明する。
図７は、画面生成部４４で生成される管理画面５のうち、バックアップデータ一覧表示部５８を例示する図である。なお、網掛部は、バックアップ処理後に、バックアップデータ一覧表示部５８の表示が変更されたことを示す。
以下、ユーザは、世代管理の最大数３をあらかじめ設定し、管理画面５において、編集日時が'２００７年６月２５日１３時４５分３０秒'である'ＲｅｃｉｐｅＡ'に関する装置情報を指定したとして説明する。
【００３９】
図７（Ａ）は、バックアップ実行部４８が、ステップ１０２（Ｓ１０２）において、バックアップしようとする装置情報が過去にバックアップされていないと判定した場合の例である。図７（Ａ）に例示するように、バックアップ処理前のバックアップデータ一覧表示部５８には何も表示されず、バックアップ処理後のバックアップデータ一覧表示部５８には、バックアップする情報の分類名である'ＲｅｃｉｐｅＡ'、世代番号'０'、及び、バックアップする情報の編集日時を示す'２００７０６２５１３４５３０'の組合せからなる名称が表示される。
【００４０】
図７（Ｂ）は、バックアップ実行部４８が、ステップ１０８（Ｓ１０８）において、バックアップしようとする装置情報の編集日時が、過去のバックアップデータの編集日時のいずれかと一致すると判定された場合の例である。図７（Ｂ）に例示するように、バックアップ処理後のバックアップデータ一覧表示部５８において、バックアップしようとする装置情報と編集日時が一致するバックアップデータ'ＲｅｃｉｐｅＡ＿１＿２００７０６２５１３４５３０'の世代番号が、表示されるバックアップデータの世代番号の中で最も大きくなるよう更新されて表示され、残りのバックアップデータの世代番号が、これに整合するよう更新されて表示される。
【００４１】
図７（Ｃ）は、バックアップ実行部４８が、ステップ１０８（Ｓ１０８）において、バックアップしようとする装置情報の編集日時が、過去のバックアップデータの編集日時のいずれとも一致しないと判定された場合の例である。図７（Ｃ）に例示するように、バックアップ処理後のバックアップデータ一覧表示部５８において、最も古いバックアップデータ'ＲｅｃｉｐｅＡ＿０＿２００７０１０１１２５８４５'が削除され、残りのバックアップデータの世代番号は、これに整合するよう更新されて表示される。さらに、バックアップしようとする装置情報の分類名である'ＲｅｃｉｐｅＡ'、世代管理の最大数３から１を減じた世代番号'２'、及び、バックアップする情報の編集日時を示す'２００７０６２５１３４５３０'の組合せからなる名称が表示される。
【００４２】
以上説明したように、本発明に係る基板処理システムを構成する集中管理装置１２は、バックアップデータの元データの編集履歴及びバックアップデータのバックアップ履歴を対応付けて管理することによって、バックアップデータの現状をユーザにとって視覚的に理解しやすい形式で提示する。また、同一の編集日時のバックアップデータが記憶されないようにし、バックアップデータを適宜削除することによって、バックアップデータを記憶するストレージの負荷を軽減する。
【００４３】
なお、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０、集中管理装置１２及び端末装置などは、同じ場所（例えば、クリーンルームなど）に設置されてもよいし、異なる場所に設置されてもよい。
また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、他の基板処理装置である露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置などにも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び、金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。さらに、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、アニール処理、酸化処理、窒化処理及び拡散処理等を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。
【図２】基板処理装置及び集中管理装置のハードウェア構成を、制御装置を中心に示す図である。
【図３】集中管理装置によって実行される装置情報管理プログラムの機能構成を示す図である。
【図４】画面生成部で生成される管理画面を例示する図である。
【図５】画面生成部で生成される管理画面を例示する図である。
【図６】集中管理装置で実行されるバックアップ処理の動作を示すフローチャートである。
【図７】バックアップデータ一覧表示部を例示する図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    基板処理システム
４    装置情報管理プログラム
５    管理画面
１０  基板処理装置
１２  集中管理装置
１４  操作部
１６  ネットワーク
１８  制御装置
２０  ＣＰＵ
２２  メモリ
２４  制御装置
２６  ＣＰＵ
２８  メモリ
３０  記録装置
３２  通信装置
３４  ＵＩ装置
４０  通信部
４２  装置情報ＤＢ
４４  画面生成部
４６  ＵＩ部
４８  バックアップ実行部
５０  バックアップＤＢ
５２  ツリー表示部
５４  元データツリー表示部
５６  バックアップデータツリー表示部
５８  バックアップデータ一覧表示部
【図１】
2010040837.tif 000003
【図２】
2010040837.tif 000004
【図３】
2010040837.tif 000005
【図４】
2010040837.tif 000006
【図５】
2010040837.tif 000007
【図６】
2010040837.tif 000008
【図７】
2010040837.tif 000009