(57)【要約】      （修正有）【課題】マスク及びマザー基板のアライメントを容易かつ確実に行って生産性を向上させる。【解決手段】マザー基板３２およびマスク３３をパネル表示領域３４とマスク開口部３５とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージ３６と、載置する面に対しテーパー形状の先端部３７が上下駆動するように設けられた２つのマザー基板アライメントピン３８と、マスクに形成したマスクアライメント孔４０にテーパー形状の先端部３９を挿入して位置決めするための少なくとも２つのマスクアライメントピン４１と、ステージの外周部であってマスクの外周部に対応する位置においてマザー基板の厚さと同じ厚さの枠部に設けられたマスクを吸着解除可能なマスク吸着部４３と、ステージのマザー基板に対応する位置に設けられた、マザー基板を吸着解除可能なマザー基板吸着部４４とから構成されたパネル製造装置。【選択図】図６
2010256721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が透明な２枚の基板間に封止した、粒子群として構成した表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルを作製するためのマザー基板に設けられた情報表示用パネルの表示領域に、表示領域に対応した大きさの開口部を有するマスクを介して、表示媒体とする粒子群を配置するために用いる情報表示用パネルの製造装置であって、
マザー基板およびマスクを、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージと、
ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マザー基板をステージに対し位置決めするための少なくとも２つのマザー基板アライメントピンと、
ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マスクに形成したマスクアライメント孔にテーパー形状の先端部を挿入して、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とを位置決めするための少なくとも２つのマスクアライメントピンと、
ステージの外周部であってマスクの外周部に対応する位置において、マザー基板の厚さと同じ厚さの枠部に設けられた、マスクを吸着解除可能なマスク吸着部と、
ステージのマザー基板に対応する位置に設けられた、マザー基板を吸着解除可能なマザー基板吸着部と、
を備えることを特徴とする情報表示用パネルの製造装置。
【請求項２】
マスクのマスクアライメント孔のマスクアライメントピンが進入する側に、マスクアライメントピンの進入をスムーズにするためのガイドを設けたことを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項３】
マスク表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメントピンを設けることを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネルの製造装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの製造装置を使用して、マザー基板の前記情報表示用パネルの表示領域に表示媒体とする粒子群を配置する情報表示用パネルの製造方法において、
マザー基板アライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、
ステージより突出した状態のマザー基板アライメントピンのテーパー形状の先端部間に、マザー基板を搬入する工程と、
マザー基板アライメントピンを下降させることで、マザー基板をステージ上に位置決めし、マザー基板吸着部により、マザー基板をステージ上に吸着固定する工程と、
マスクアライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、
マスクのマスクアライメント孔にマスクアライメントピンが挿入することで、マスクをマスクアライメントピンに装着する工程と、
マスクアライメントピンを下降させることで、マスクをマザー基板上に位置決めし、マスクの吸着部により、マスクをステージの枠部に吸着固定するとともに、マザー基板と接触させる工程と、
表示媒体とする粒子群をマザー基板上の前記情報表示用パネルの表示領域に配置する工程と、
を備えることを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間の隔壁によって仕切られた複数のセル内に封止した、粒子群として構成した表示媒体を移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製するためのマザー基板に設けられた情報表示用パネルに対応する表示領域に、表示領域に対応した大きさの開口部を有するマスクを介して、表示媒体とする粒子群を配置するために用いる情報表示用パネルの製造装置および製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（ＬＣＤ）に代わる情報表示装置として、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率を有する粒子を含んだ粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルが知られている。また、表示媒体とする粒子群を構成する粒子としては、帯電粒子、導電粒子、電荷注入粒子などが提案されている。これらのうち、帯電粒子を移動させる方式で表示を行う情報表示用パネルは表示メモリー性を有することから、電子ペーパーとしての期待が高まっている。
【０００３】
上述した情報表示用パネルを製造する方法として、マスクを使用する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、情報表示用パネルを構成する基板上において、表示媒体を構成する粒子群の配置不要部分（隔壁が形成されている場合は隔壁形成部以外の部分）に導電性のマスクを、ダミースペーサーを間に介して配置し、基板およびマスクの上方に配置したノズルから表示媒体とする粒子群を噴霧することにより、所定量の粒子群を基板（隔壁が形成されている場合は隔壁で仕切られたセル内）に配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５８２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図９（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ上述したマスクを使用して情報表示用パネルを製造する従来方法の一例を説明するための図である。図９（ａ）〜（ｃ）に従って従来の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明する。まず、図９（ａ）に示すように、槽５１内において、マスク５２を目視でその置き位置を合わせ、ボルト５３で固定架台５４に固定する。次に、図９（ｂ）に示すように、マザー基板５５を、槽５１内のステージ５６上に搬入してアライメントをとって載置する。次に、図９（ｃ）に示すように、ステージ５６を上昇させて、マスク５２とマザー基板５５とを位置決めして接触させる。この状態で、槽５１内において粒子を上方から落下させて、マスク５２の開口部を介してマザー基板５５上の情報表示用パネルの表示領域に粒子群を配置している。
【０００６】
図９（ａ）〜（ｃ）に示す例では、マスク位置合わせにおいて、まず、槽５１内の架台に対してマスク５２の位置を目視にて合わせた後、ボルト５３等で固定する。ボルト等で固定する際にマスク５２の位置ずれが発生しやすく、作業にも時間がかかっていた。また、マスク５２に対してマザー基板のアライメントをとる場合において、上方から噴霧された粒子群が落下してくる槽５１内にアライメント用の光学機器を設置することは困難であり、そのためマザー基板を槽５１内に搬入してステージ上の所定位置に載置することでアライメントをとっていたが、精度のよいアライメントとはなっていなかった。
【０００７】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、マスク及びマザー基板のアライメントを容易かつ確実に行うことができ、目視によるアライメント、固定作業が不要となり、生産性を向上させることができる情報表示用パネルの製造装置および製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の情報表示用パネルの製造装置は、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に封止した、粒子群として構成した表示媒体を移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製するためのマザー基板に設けられた情報表示用パネルの表示領域に、前記表示領域に対応した大きさの開口部を有するマスクを介して、表示媒体とする粒子群を配置するために用いる情報表示用パネルの製造装置であって、マザー基板およびマスクを、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージと、ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マザー基板をステージに対し位置決めするための少なくとも２つのマザー基板アライメントピンと、ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マスクに形成したマスクアライメント孔にテーパー形状の先端部を挿入して、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とを位置決めするための少なくとも２つのマスクアライメントピンと、ステージの外周部であってマスクの外周部に対応する位置において、マザー基板の厚さと同じ厚さの枠部に設けられた、マスクを吸着解除可能なマスク吸着部と、ステージのマザー基板に対応する位置に設けられた、マザー基板を吸着解除可能なマザー基板吸着部と、を備えることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の情報表示用パネルの好適例としては、マスクのマスクアライメント孔のマスクアライメントピンが進入する側に、マスクアライメントピンの進入をスムーズにするためのガイドを設けたこと、マスク表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメントピンを設けること、がある。
【００１０】
本発明の情報表示用パネルの製造方法は、上述した構成の情報表示用パネルの製造装置を使用して、マザー基板上の情報表示用パネルの表示領域に表示媒体とする粒子群を配置する情報表示用パネルの製造方法において、マザー基板アライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、ステージより突出した状態のマザー基板アライメントピンのテーパー形状の先端部間に、マザー基板を搬入する工程と、マザー基板アライメントピンを下降させることで、マザー基板をステージ上に位置決めし、マザー基板吸着部により、マザー基板をステージ上に吸着固定する工程と、マスクアライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、マスクのマスクアライメント孔にマスクアライメントピンが挿入することで、マスクをマスクアライメントピンに装着する工程と、マスクアライメントピンを下降させることで、マスクをマザー基板上に位置決めし、マスクの吸着部により、マスクをステージの枠部に吸着固定するとともに、マザー基板と接触させる工程と、表示媒体とする粒子群をマザー基板上の情報表示用パネルの表示領域に配置する工程と、を備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明情報表示用パネルの製造装置及び製造方法によれば、マザー基板アライメントピン及びマスクアライメントピンを用いてマザー基板及びマスクのアライメントを行うことで、マスク及びマスター基板のアライメントが容易かつ確実に行える。また、目視によるマスクアライメント、固定作業が不要になり、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成の一例を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成の他の例を示す図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成のさらに他の例を示す図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成のさらに他の例を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は本発明の対象となる情報表示用パネルの原理的構成のさらに他の例を示す図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を説明するために側面および上面から見た図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）はそれぞれマザー基板およびマスクとマザー基板アライメントピンおよびマスクアライメントピンとの関係、および、マザー基板アライメントピンにおけるテーパー形状の先端部の作用を説明するための図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれマスクを使用して情報表示用パネルを製造する従来方法の一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
まず、本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの一例として、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルについて説明する。本発明の製造装置および製造方法によって作製する前記情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間の空間に封入した光学的反射率を有する帯電性粒子を含んだ粒子群として構成された表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１４】
本発明の製造装置および製造方法によって作製する前記帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図４（ａ）、（ｂ）および図５（ａ）〜（ｄ）に基づき説明する。
【００１５】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１にマトリックス状に設けた電極５（ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）付き画素電極）と基板２に設けた電極６（共通電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を行うか、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示をアクティブ駆動方式でドットマトリックス表示している。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１６】
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）とが対向直交交差して形成するマトリックス配置された画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示をパッシブ駆動方式でドットマトリックス表示している。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１７】
図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、３個のセル（ピクセル）で表示単位（１ドット）を構成するカラー表示の例を示している。図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、表示媒体としてはセル２１−１〜２１−３の全てに白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを配置し、第１のセル２１−１の観察者側に赤色カラーフィルター２２Ｒを設け、第２のセル２１−２の観察者側に緑色カラーフィルター２２Ｇを設け、第３のセル２１−３の観察者側に青色カラーフィルター２２Ｂを設け、第１のセル２１−１、第２のセル２１−２および第３のセル２１−３の３個のセル（ピクセル）で表示単位（１ドット）を構成している。本例では、カラー表示を行う際に、図３（ａ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて白色表示媒体３Ｗを移動すると、観察者に対し白色ドット表示を行うことができ、図３（ｂ）に示すように、観察者側に、第１セル２１−１〜第３のセル２１−３の全てにおいて黒色表示媒体３Ｂを移動すると、観察者に対し黒色ドット表示を行うことができる。ピクセルごとに配置した表示媒体の移動のさせ方で、多色カラー表示を行うことができる。なお、図３（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。
【００１８】
図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した１種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５と少なくとも表面が黒色の電極６との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と平行方向に移動させる。そして、図４（ａ）に示すように、白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色表示（ドット表示）を行うか、あるいは、図４（ｂ）に示すように、黒色電極６の色を観察者に視認させて黒色表示（ドット表示）を行っている。なお、図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、手前にある隔壁は省略している。
【００１９】
図５（ａ）〜（ｄ）に示す例では、まず、図５（ａ）、（ｃ）に示すように、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した、光学的反射率および帯電特性の異なる少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１の外側に設けた外部電界形成手段７と基板２の外側に設けた外部電界形成手段８との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図５（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を行うか、あるいは、図５（ｄ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を行っている。なお、図５（ａ）〜（ｄ）において、手前にある隔壁は省略している。また、基板１の内側には導電部材９を設けるとともに、基板２の内側には導電部材１０を設けている。これら導電部材は設けなくてもよい。
【００２０】
図６（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を説明するために側面および上面から見た図である。図６（ａ）、（ｂ）に示す例において、本発明の情報表示用パネルの製造装置は、槽３１内に、マザー基板３２およびマスク３３を、マザー基板３２上の情報表示用パネルの表示領域３４とマスク３３の開口部３５とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージ３６と、ステージ３６のマザー基板３２およびマスク３３を載置する面に対し、テーパー形状の先端部３７が上下駆動するように設けられた、マザー基板３２をステージ３６に対し位置決めするための少なくとも２つのマザー基板アライメントピン３８と、ステージ３６のマザー基板３２およびマスク３３を載置する面に対し、テーパー形状の先端部３９が上下駆動するように設けられた、マスク３３に形成したマスクアライメント孔４０にテーパー形状の先端部３９を挿入して、マザー基板３２上の情報表示用パネルの表示領域３４とマスク３３の開口部３５とを位置決めするための少なくとも２つのマスクアライメントピン４１と、ステージ３６の外周部であってマスク３３の外周部に対応する位置において、マザー基板３２の厚さと同じ厚さの枠部４２に設けられた、マスク３３を吸着解除可能なマスク吸着部４３と、ステージ３６のマザー基板３２に対応する位置に設けられた、マザー基板３２を吸着解除可能なマザー基板吸着部４４と、を備えて形成されている。なお、図面をわかりやすくするために、図６（ｂ）に示す例では、図６（ａ）に示す例のうち、マザー基板３２、マスク３３、ステージ３６、マスク吸着部４３、マザー基板吸着部４４のみを示している。
【００２１】
本発明の情報表示用パネルの製造装置では、図６（ａ）、（ｂ）に示す例に加えて、マスク３３のマスクアライメント孔４０のマスクアライメントピン４１が進入する側に、マスクアライメントピンの進入をスムーズにするためのガイドを設けることもできる。また、マスク３３の表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメントピンを設けることもできる。さらに、マスク３３を吸着解除可能なマスク吸着部４３、および、マザー基板３２を吸着解除可能なマザー基板吸着部４４、としては、吸着解除の動作を好適に行うことができる点で、真空吸着機構を用いることが好ましい。
【００２２】
図７（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図７（ａ）〜（ｄ）に示す例において、図６（ａ）、（ｂ）に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図７（ａ）〜（ｄ）に示す例では、図６（ａ）、（ｂ）に示す例に加えて、ステージ２６に対し上下駆動が可能なマザー基板昇降部４５を設け、外部から槽３１内に搬入されるマザー基板３２をマザー基板昇降部４５に配置させている。また、マスクアライメント孔４０の周囲のステージ３６に面する側において、マスクアライメントピン４１の進入をスムーズにするために、ガイド４６を設けている。
【００２３】
図７（ａ）〜（ｄ）に示す例に従って、本発明の情報表示用パネルの製造方法におけるマザー基板３２及びマスク３３のステージ３６上へのセットについて、以下説明する。
【００２４】
まず、図７（ａ）に示すように、ステージ３６に対して、マザー基板アライメントピン３８およびマザー基板昇降部４５を、ステージ３６より所定の高さまで突出した状態にセットする。その状態で、槽３１外でアライメントしたマザー基板３２を、マザー基板昇降部４５上に配置する。次に、図７（ｂ）に示すように、マザー基板昇降部４５を下降させて、ステージ３６より突出した状態の２つのマザー基板アライメントピン３８のテーパー形状の先端部３７内に、マザー基板３２を搬入し、マザー基板アライメントピン３８をステージ３６の表面より下側まで下降させることで、マザー基板３２をステージ３６上に位置決めし、さらに、マザー基板吸着部４４により、マザー基板３２をステージ３６上に吸着固定する。この際、２つのマザー基板アライメントピン３８のテーパー形状の先端部３７により、マザー基板３２がセルフアライメントされ、ステージ３６の所定位置にマザー基板３２を配置することができる。
【００２５】
次に、図７（ｃ）に示すように、マスクアライメントピン４１をステージ３６より所定の高さまで突出した状態にセットする。その状態で、マスク３３のマスクアライメント孔４０にガイド４６を介してマスクアライメントピン４１を挿入することで、マスク３３をマスクアライメントピン４１に装着する。次に、図７（ｄ）に示すように、マスクアライメントピン４１を下降させることで、マスク３３をマザー基板３２上に位置決めし、マスク吸着部４３により、マスク３３をステージ３６の枠部４２に吸着固定するとともに、マザー基板３２に対しマスク３３を接触させる。図７（ｄ）に示す状態で、表示媒体とする粒子群をマザー基板３２上の情報表示用パネルの表示領域３４に配置する。この際、マスクアライメントピン４１のテーパー形状の先端部３９およびガイド４６の作用により、マスクアライメントピン４１がマスクアライメント孔４０に容易に装着することができるとともに、マスクアライメントピン４１をマスクアライメント孔４０に挿入することで、マスク３３のステージ３６およびマザー基板３２に対する位置決めを達成できる。
【００２６】
図７（ａ）〜（ｄ）に示す例では、マザー基板昇降部４５とマザー基板アライメントピン３８のテーパー形状の先端部との作用により、マザー基板３２をステージ３６に対し位置決めしてセットできるとともに、マスクアライメントピン４１とマスクアライメント孔４０との作用により、マスク３３をステージ３６に対し位置決めしてセットできる。その結果、マザー基板３２上の情報表示用パネルの表示領域３４に対するマスク３３の開口部３５の位置決めを、簡単に達成することができる。
【００２７】
図８（ａ）、（ｂ）はそれぞれマザー基板およびマスクとマザー基板アライメントピンおよびマスクアライメントピンとの関係、および、マザー基板アライメントピンにおけるテーパー形状の先端部の作用を説明するための図である。上述した本発明において、マザー基板アライメントピン３８の先端部３７、および、マスクアライメントピン４１の先端部３９、をそれぞれテーパー形状とする理由は以下の通りである。すなわち、マザー基板アライメントピン３８の先端部３７およびマスクアライメントピン４１の先端部３９がテーパー形状でない場合は、図８（ａ）にその一例示すように、マザー基板３２およびマスク３３がズレると、マザー基板アライメントピン３８およびマスクアライメントピン４１にマザー基板３２およびマスク３３が正しく装着されない場合がある。これに対し、マザー基板アライメントピン３８の先端部３７がテーパー形状の場合は、図８（ｂ）にその一例を示すように、マザー基板３２が多少ズレても、正しい位置に落ち着いて装着することができる。マスクアライメントピン４１のテーパー形状の先端部３９も同様の作用を有する。そのため、マザー基板３２およびマスク３３の搬入にそれほど精度を要求しない利点がある。
【００２８】
また、本発明において、マザー基板アライメントピン３８の個数を少なくとも２個としたのは、マザー基板３２の支持はマザー基板昇降部４５により行っており、マザー基板アライメントピン３８は、単に、マザー基板３２の位置決めのうち、外部からアライメント調整されある程度位置決めを成された状態で搬入されるマザー基板３２の最終的なズレを解消して位置決めをするだけであるため、少なくとも２個あれば十分であるためである。また、マスクアライメントピン４１の個数を少なくとも２個としてのは、マスク３３のマスクアライメントピン４１による支持位置決めを、マスク３３のマスクアライメント孔４０にマスクアライメントピン４１を挿入して行っているため、少なくとも２個あれば十分であるためである。
【００２９】
上述したようにして、マザー基板３２上の情報表示用パネルの表示領域３４にマスク３３を利用して表示媒体とする粒子群を配置した後は、マスク吸着部４３による吸引を解除し、マスク３３とマザー基板３２との接触を解除する。次に、マスクアライメントピン４１を上昇させてマスク３３をマザー基板３２の上方に退避させた後、マザー基板吸着部４４による吸引を解除する。その後、マザー基板昇降部４５を上昇させてマザー基板３２を上昇させるとともに、図示しないマジックハンドのような搬入・搬出手段により、マザー基板３２を槽３１外に搬出して、表示媒体とする粒子群の配置工程を終了する。
【００３０】
なお、マスク３３の表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメント孔４０を設けることが好ましい。また、クリーニング領域内にマザー基板アライメントピン３８およびマスクアライメントピン４１などのアライメント機構を設置する場合は、クリーニング時に各アライメントピンを下降させることが好ましい。さらに、マスクアライメントを妨げないように、マスク３３は上下左右０〜１０ｍｍの動き代を持って固定することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants ）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（電子取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板やホワイトボード等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ（Point Of Presence 、Point Of Purchase advertising ）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、外部電界形成手段を用いて表示書換えを行う、いわゆるリライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
【００３２】
なお、本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、外部電界形成手段を用いた外部電界駆動方式など、種々のタイプの駆動方式が適用できる。
【符号の説明】
【００３３】
１、２  基板
３Ｗ  白色表示媒体（白色粒子群）
３Ｂ  黒色表示媒体（黒色粒子群）
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
４  隔壁
５、６  電極
７，８  外部電界形成手段
９，１０  導電部材
２１−１  第１のセル
２１−２  第２のセル
２１−３  第３のセル
２２Ｒ  赤色カラーフィルター
２２Ｇ  緑色カラーフィルター
２２Ｂ  青色カラーフィルター
３１  槽
３２  マザー基板
３３  マスク
３４  情報表示用パネルの表示領域
３５  開口部
３６  ステージ
３７、３９  先端部
３８  マザー基板アライメントピン
４０  マスクアライメント孔
４１  マスクアライメントピン
４２  枠部
４３  マスク吸着部
４４  マザー基板吸着部
４５  マザー基板昇降部
４６  ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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