(57)【要約】【課題】部品を実装する生産性の低下を招くことなく、部品の吸着下降前に、部品の傾き計測およびチェックを実施して、部品の破損をなくす。【解決手段】トレイステージ７のトレイ１にセットされている部品２を、吸着ノズル３が設けられた供給ヘッド４を上下方向に駆動する駆動部５と水平回転方向に駆動する駆動部６、およびトレイステージ７をＸＹ水平方向に駆動する駆動部８，９を動作させて、供給カメラ１１の真下に位置させる。部品２の上面で反射した照明光は対物レンズ１０を通過して供給カメラ１１に入射し、供給カメラ１１にて得られた受像信号を画像処理部１２に入力する。画像処理部１２において、部品２の中心点および部品の回転角度を求め、これらのデータを受けてＣＰＵ１７では、その部品中心位置に供給ヘッド４に設けられている吸着ノズル３の先端が一致するように各部をコントロールする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレイ上の部品を吸着するための吸着ノズルを有する供給ヘッド部と、
前記トレイを保持するトレイステージ部と、
前記部品の上面に一定の照射角度で光照射可能な照明部と、
前記部品の上面で反射した反射光を受光するカメラ部と、
前記反射光から得られる面輝度分布
の測定結果に基づいて前記部品の傾きを演算する演算部と、
前記演算部で演算された前記部品の傾きに基づいて前記吸着ノズルを制御する制御部と、を備えたことを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記制御部が、前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値よりも大きい場合に、部品吸着動作を停止させるものであることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記トレイステージ部を傾けるチルト機構を更に備え、
前記制御部が、前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値よりも大きい場合に、前記チルト機構により前記トレイステージ部を傾かせ、前記吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして、前記吸着ノズルにより前記部品を吸着させるものであることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項４】
前記供給ヘッドを傾ける傾斜機構を更に備え、
前記制御部が、前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値よりも大きい場合に、前記傾斜機構により前記供給ヘッドを傾かせ、前記吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして、前記吸着ノズルにより前記部品を吸着させるものであることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項５】
トレイ上の部品の上面で反射した反射光を受光して前記部品の中心が映るように部品をトレイ上にセットした後、一定間隔で前記トレイの傾きを相対的に変えながら、前記部品の上面の反射光の面輝度分布を複数回計測して前記部品の傾きと前記部品の面輝度分布との傾き・輝度分布関係を求め、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品を吸着することを特徴とする部品実装方法。
【請求項６】
前記部品の外形認識を行うと同時に前記面輝度分布の測定を行い、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品の傾きを演算し、演算された前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値より大きい場合に、前記部品の吸着を停止させることを特徴とする請求項５記載の部品実装方法。
【請求項７】
前記部品の外形認識を行うと同時に前記面輝度分布の測定を行い、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品の傾きを演算し、演算された前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値より大きい場合に、前記トレイを保持するトレイステージ部を傾かせ、前記部品を吸着する吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして前記部品を吸着することを特徴とする請求項５記載の部品実装方法。
【請求項８】
前記部品の外形認識を行うと同時に前記面輝度分布の測定を行い、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品の傾きを演算し、演算された前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値より大きい場合に、前記部品を吸着する吸着ノズルを傾かせ、前記吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして前記部品を吸着することを特徴とする請求項５記載の部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体のベアチップ，電子回路のパッケージなどの電子部品および電子部品以外の部品を対象ワークに装着するための部品装着装置および部品装着方法に係り、特に部品供給部における部品装着時の部品取り出し技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図６は従来の部品装着装置の概略構成図である。
【０００３】
図６において、一定間隔に仕切られたエリアを設けたトレイ１０１にＩＣやガラスなどの部品１０２がマトリックス状に配列されている。その部品１０２を吸着してピックアップするため、吸着ノズル１０３を有する供給ヘッド１０４には、上下方向に駆動する駆動部１０５と水平回転方向に駆動する駆動部１０６とが設けられ、トレイ１０１を保持するトレイステージ１０７には、ＸＹ水平方向に駆動する駆動部１０８，１０９が設けられている。
【０００４】
そして、トレイ１０１上に載置された部品１０２の上面で反射した照明光が対物レンズ１１０を通過して供給カメラ１１１に入射し、供給カメラ１１１における受像信号が画像処理部１１２に入力するようになっており、画像処理部１１２で部品１０２の中心点および部品１０２の回転角度を求める。そして、部品中心位置に、供給ヘッド１０４に設けられている吸着ノズル１０３の先端が一致するように、トレイステージ１０７を水平方向に駆動する駆動部１０８，１０９を移動させると同時に、部品１０２の回転角度になるように、水平回転方向に駆動する駆動部１０６により供給ヘッド１０４を移動させた後、供給ヘッド１０４を上下方向に駆動する駆動部１０５により、吸着ノズル１０３が部品１０２を吸着することが可能な吸着位置まで下降して、部品１０２を吸着する。
【０００５】
トレイ１０１の上面に部品１０２の下面全部が接触してセットされ、このトレイ１０１に部品１０２をセットした状態を供給カメラ１１１で認識する。本例では、図６に示すように、部品１０２に対して斜光照明１１３により４方向から光を照射して、供給された部品１０２を照明して部品１０２の外形の認識を実施している。
【０００６】
一定間隔に仕切られたエリアを設けたトレイ１０１に部品１０２を搭載する際、従来ではトレイ１０１の上面に部品１０２の下面全部が接触するように搭載されていたが、トレイ１０１上のゴミなどが部品１０２に付着することなどにより品質不良が多くなっている。
【０００７】
この品質不良を低減するために、ある一定間隔に仕切られたエリア内の４方向の隅に段差を設けて、トレイ１０１の上面に部品１０２の下面全部が接触しないように、４方向の段差の上に部品１０２を搭載することにより、トレイ１０１と部品１０２とが接触する面を少なくしてゴミなどの付着を少なくする取り組みが最近実施されている。
【０００８】
しかし、前記取り組みが実施されると、ある一定間隔に仕切られたエリア内の４方向に設けられた段差の一部に、部品１０２の一部だけが乗り上げて部品１０２が傾いた状態になることが発生する。トレイ１０１の一定間隔に仕切られたエリア内で部品１０２が傾いている状態で供給ヘッド１０４が下降して部品１０２を吸着すると、供給ヘッド１０４の先端に設けられている吸着ノズル１０３で部品１０２を破損してしまうことがある。
【０００９】
半導体チップの位置決め方法に関する先行技術として、特許文献１に、半導体チップを光学装置で撮像し，この撮像信号を画像処理して半導体チップをピックアップする位置と半導体チップのセット位置との相対的位置ずれ量を検出することにより、予備位置決めを高精度に、かつ自動で行えるようにした構成が記載されている。
【００１０】
特許文献１に記載の構成は、光学装置の光源から出射された照明光が、集光レンズを介して予備位置決め機構のＸＹθテ−ブルの上面のトレイに載置された半導体チップを照射し、この半導体チップで正反射した照明光が対物レンズを通過してＩＴＶカメラに入射するようにし、ＩＴＶカメラに入射した撮像信号を画像処理部に入力するものである。
【００１１】
そして、前記画像処理部において、半導体チップの重心が計算されて中心が求められ、この中心と光軸とのずれ量が算出され、この算出値がコンピユ−タを介してＸＹテ−ブルの駆動部に出力されて、半導体チップをピックアップする位置と半導体チップのセット位置とを一致させる構成になっている。
【特許文献１】特開昭６１−４４３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、前記従来の構成では、部品を実装する生産性の低下を招くことなく、部品の傾きを計測する手段が構成されていないため、部品の吸着下降前に、部品の傾き計測およびチェックができないため、部品を破損させてしまうという課題がある。
【００１３】
本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、部品を実装する生産性の低下を招くことなく、部品の吸着下降前に、部品の傾き計測およびチェックを実施して、部品の破損をなくすようにした部品実装装置および部品実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の部品実装装置に係る発明は、トレイ上の部品を吸着するための吸着ノズルを有する供給ヘッド部と、前記トレイを保持するトレイステージ部と、前記部品の上面に一定の照射角度で光照射可能な照明部と、前記部品の上面で反射した反射光を受光するカメラ部と、前記反射光から得られる面輝度分布の測定結果に基づいて前記部品の傾きを演算する演算部と、前記演算部で演算された前記部品の傾きに基づいて前記吸着ノズルを制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の部品実装装置において、前記制御部が、前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値よりも大きい場合に、部品吸着動作を停止させるものであることを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１記載の部品実装装置において、前記トレイステージ部を傾けるチルト機構を更に備え、前記制御部が、前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値よりも大きい場合に、前記チルト機構により前記トレイステージ部を傾かせ、前記吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして、前記吸着ノズルにより前記部品を吸着させるものであることを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項１記載の部品実装装置において、前記供給ヘッドを傾ける傾斜機構を更に備え、前記制御部が、前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値よりも大きい場合に、前記傾斜機構により前記供給ヘッドを傾かせ、前記吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして、前記吸着ノズルにより前記部品を吸着させるものであることを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の部品実装方法に係る発明は、トレイ上の部品の上面で反射した反射光を受光して前記部品の中心が映るように部品をトレイ上にセットした後、一定間隔で前記トレイの傾きを相対的に変えながら、前記部品の上面の反射光の面輝度分布を複数回計測して前記部品の傾きと前記部品の面輝度分布との傾き・輝度分布関係を求め、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品を吸着することを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項５記載の部品実装方法において、前記部品の外形認識を行うと同時に前記面輝度分布の測定を行い、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品の傾きを演算し、演算された前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値より大きい場合に、前記部品の吸着を停止させることを特徴とする。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、請求項５記載の部品実装方法において、前記部品の外形認識を行うと同時に前記面輝度分布の測定を行い、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品の傾きを演算し、演算された前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値より大きい場合に、前記トレイを保持するトレイステージ部を傾かせ、前記部品を吸着する吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして前記部品を吸着することを特徴とする。
【００２１】
請求項８に記載の発明は、請求項５記載の部品実装方法において、前記部品の外形認識を行うと同時に前記面輝度分布の測定を行い、求めた前記傾き・輝度分布関係に基づいて前記部品の傾きを演算し、演算された前記部品の傾きが部品毎にあらかじめ設定されている部品傾き閾値より大きい場合に、前記部品を吸着する吸着ノズルを傾かせ、前記吸着ノズルの先端面と前記部品の上面とを平行状態にして前記部品を吸着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、部品の吸着下降前に、部品の傾き計測およびチェックを実施することができるため、供給ヘッド先端の吸着ノズルによる部品の破損などの不具合の発生を防ぐことができる。特に、部品供給時に実施される部品外形認識と同時に並行して供給部品の面輝度分布から部品の傾き計測を実施し、供給部品がデータ入力部で入力される部品傾き許容値の閾値以上傾いていた場合は、供給部品をピックアップする動作を停止させるか、あるいは供給部品を保持しているトレイステージを部品傾き分傾斜させた後、取り出すことによって、現在の生産性（タクト）を低下することなく、供給ヘッド先端の吸着ノズルにおける部品の破損をなくすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における部品実装装置の概略構成図、図２は本実施の形態における光学系の構成図であって、１はトレイ、２は部品、３は吸着ノズル、４は供給ヘッド、５は供給ヘッド上下駆動部、６は供給ヘッド水平回転駆動部、７はトレイステージ、８はトレイステージ水平Ｘ方向駆動部、９はトレイステージ水平Ｙ方向駆動部、１０は対物レンズ、１１は供給カメラ、１２は画像処理部、１３はトレイ段差、１４は光源、１５はハーフミラー、１６は本体制御データ保存部、１７は前記各部をコントロールする制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理ユニット）を示す。
【００２５】
本実施の形態の構成，動作について、図３に示す工程フローを参照して説明する。
【００２６】
本実施の形態では、一定間隔に仕切られたエリアを設けたトレイ１にＩＣやガラスなどの部品２がマトリックス状に配列されている。その部品２を吸着してピックアップするため、吸着ノズル３が設けられた供給ヘッド４を上下方向に駆動する供給ヘッド上下駆動部５と水平回転方向に駆動する供給ヘッド水平回転駆動部６、およびトレイ１を保持しているトレイステージ７を互いに直交するＸＹ水平方向に駆動するトレイステージ水平Ｘ方向駆動部８とトレイステージ水平Ｙ方向駆動部９が設けられている。
【００２７】
前記各駆動部５，６，８，９により、トレイステージ７にセットされている部品２を供給カメラ１１の真下に位置するようにする（Ｓ１）。部品２の上面で反射した照明光は対物レンズ１０を通過して供給カメラ１１に入光し、供給カメラ１１への入光にて得られた受像信号を画像処理部１２に入力する（Ｓ２）。
【００２８】
後で詳述するが、概略として演算部としての機能を有する画像処理部１２において、部品２の中心点および部品の回転角度を求め（Ｓ３）、これらのデータを受けてＣＰＵ１７では、部品中心位置に供給ヘッド４に設けられた吸着ノズル３の先端が一致するように、トレイステージ水平Ｘ，Ｙ方向駆動部８，９をそれぞれ移動させると同時に（Ｓ９）、部品２と同じ回転角度になるように供給ヘッド水平回転駆動部６を移動させた後（Ｓ１０）、供給ヘッド４の供給ヘッド上下駆動部５により部品２を吸着可能な吸着位置まで下降して、吸着ノズル３により部品２を吸着させる（Ｓ１１）。その後、供給ヘッド４を上昇させる（Ｓ１２）。
【００２９】
トレイ１の形状は、図１に示すように、トレイ上面に部品２の下面全部が接触しないように、ある一定間隔に仕切られたエリア内の４方向の隅に段差１３を設け、その４方向の段差１３の上に部品２を搭載し、極力、トレイ１と部品２との接触する面を少なくしてゴミなどの付着を少なくする構成になっている。
【００３０】
また、本実施の形態は、部品２の外形認識と同時に部品２の傾きをチェックし、部品２の傾きを検出して（Ｓ４）、その検出した角度補正を実施した後、部品２を吸着する構成になっている。
【００３１】
具体的には、図２に示すように、部品サイズが６ｍｍ程度である裏面が鏡面体のＩＣチップやガラスなどの部品２を、エリア８ｍｍ程度に仕切られているトレイ１の各エリアに裏面が上面となるようにセットし、そのトレイ１をトレイステージ７にセットする。このようにトレイ１にセットされた部品２の上面で反射した照明光は、対物レンズ１０を通過して供給カメラ１１に入射する。供給カメラ１１における受像信号を画像処理部１２に入力して、画像処理部１２で部品２の外形認識および傾きチェックを行う。
【００３２】
部品の傾きチェックの原理について説明する。
【００３３】
図４に示すように、照射角度が−Ａ°〜Ａ°の照明光を連続して対象部品面を照射するように、パワーＬＥＤ素子を搭載した照射角度±Ａ°の面発光パワーＬＥＤ１８を配置することにより、部品２の上面である鏡面に、照射角度が−Ａ°〜Ａ°の照明光を連続して照射する構成にする。
【００３４】
本例では、対象部品サイズ６×６ｍｍを含む８×８ｍｍのトレイ１の各エリア面を、照射角度が−１０度〜１０度の照明光を連続して照射するように、照射角度±１０度の面発光パワーＬＥＤ１８を配置し、部品２の上面である鏡面に照射角度−１０°〜１０°の照明光が連続して照射される構成にし、部品２の上面である鏡面で反射される全ての照明光を、対物レンズ３を通して供給カメラ１１の画像受像部に入る構成にする。さらに、対物レンズ２のレンズ系を、部品２の上面が鏡面体のため部品傾きが０度の場合で、部品２の上面に照射角度が−１０°〜１０°の照明光を一様に照射したときに、その反射される全ての照明光を対物レンズ１０で受け取れるレンズ径にする。
【００３５】
これにより、部品２が任意の角度に傾いたときに、部品２上面の鏡面に照射角度−１０°〜１０°の照明光を一様に照射した反射光が、その反射光の一部が対物レンズ１０を通らないようして、供給カメラ１１の画像受像部に入る光量が減らし、部品傾きが０度の場合と比較して暗くなることを利用して、部品２の傾き角度を測定することができる。
【００３６】
次に、前記原理を構成する光学系の構成について説明する。まず、対物レンズ１０の径の求める方法について説明する。例えば、８×８ｍｍエリアの照射エリアに対して、６×６ｍｍの部品２の傾きが計測できる最小の部品の傾きの最小検定角度を２°と設定したときに、対物レンズ径の求める場合、８×８ｍｍエリアを照射角度−１０°〜１０°の照明光を一様に照射したとき、部品２の上面の鏡面で反射される全ての照明光を対物レンズ１０で受け取れる最小のレンズ径は、対物レンズ１０から部品２上面までのワークディスタンスをＷＤとした場合、下式（１）が成り立つ。
【００３７】
照射エリア＋２×ＷＤ×Ｔａｎ（照射角度）・・・・式（１）
本例の場合、８ｍｍ＋２×ＷＤ×Ｔａｎ（１０°）が成り立つ。また、最小検定角度を２°と設定した場合、部品２上面の鏡面に照射角度−１０°〜１０°の照明光を一様に照射し、部品２の最小検定角度を２°以上傾けた場合、部品上面の鏡面での反射光が対物レンズ１０を通らないようにするためには、下式（２）の式が成り立たなければならない。
【００３８】
照射エリア＋ＷＤ×Ｔａｎ（照射角度）＜ＷＤ×Ｔａｎ（照射角度＋最小検定角度×２）・・・・式（２）
本例の場合、８ｍｍ＋ＷＤ×Ｔａｎ（１０°）＜ＷＤ×Ｔａｎ（１０°＋２°×２）が成り立つ最小のＷＤを求めると、１０９．５８７５ｍｍである。ＷＤを１１０ｍｍとすれば、対物レンズ径は、前記式（１）より８ｍｍ＋２×１１０×Ｔａｎ（１０°）＝４６．７９ｍｍとなる。
【００３９】
照射エリアを８×８としたとき、前記式（２）を満たす照射角度とＷＤと、また前記式（１）から求められるレンズ径の関係は（表１）に示すようになる。
【００４０】
【表１】
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表１より、１０°の照射角のＬＥＤ光源を設定した場合、レンズ径は約４７ｍｍとなり、照射角が１０°よりも大きくなると、レンズ径が大きくなるため、構成が難しくなることが分る。一方、ＬＥＤの照射角の小さくなればなるほど実現性がないため、現在最適な設定として照射角１０°、ＷＤを１１０ｍｍ、レンズ径を４６．７９ｍｍと設定した。
【００４１】
次に、対象照射エリアに一定の照射角度で照明光が一様に照射する構成について説明する。例えば、８×８ｍｍエリアを照射角度−１０°〜１０°の角度で照明光を一様に照射する構成について説明する。
【００４２】
光源として、直径２４ｍｍのパワーＬＥＤ素子を搭載した照射角度±１０度の面発光パワーＬＥＤ１８を設ける。光源１４を横方向から照射させて、４５°に設置されたハーフミラー１５を通して真下方向の部品２に光を照射できる構成とする。対象照明エリアを照明光が一様に一定の照射角で照射するためには、光源１４から、部品２上面までの距離をＬＷＤ（ライトワークディスタンス）としたとき、下式（３）の式を満たすＬＷＤにする必要がある。
【００４３】
２×ＬＷＤ×Ｔａｎ（照射角度）＋照明エリア＝光源直径・・・・式（３）
また、ハーフミラー１５の寸法は、下式（４）式で求められる。
【００４４】
光源直径×√２＋２×ＬＷＤ×Ｔａｎ（照射角）・・・・式（４）
本例の場合、照射角度が−１０°〜１０°の角度で、８×８ｍｍエリア上面を照明光が一様に照射するためには、光源１４から部品２上面までのＬＷＤ（ライトワークディスタンス）は、２×ＬＷＤ×Ｔａｎ（１０°）＋照明エリア８ｍｍ＝光源直径２４ｍｍの式を満たすＬＷＤにする必要がある。
【００４５】
この場合、ＬＷＤ（ライトワークディスタンス）は、４５．３７ｍｍとなる。また、ハーフミラー１５の寸法は、光源１４の直径２４ｍｍとして、２４ｍｍ×√２＋２×４５．３７×Ｔａｎ（１０°）＝４９．９１ｍｍとして構成する。以上より光源１４、部品２、対物レンズ１０の光学系の構成は図２に示した数値となる。
【００４６】
次に、部品２の傾きと部品２上面の面輝度分布との関係を、あらかじめ求めた上で、部品２の面輝度分布を計測することにより部品２の傾きを求める方法について説明する。
【００４７】
先ず、部品２の傾きと照度の関係を図５に示すグラフのように測定により事前に求めておく。そして、部品２の外形認識を行うと同時に、対象の部品２上面の鏡面の面輝度分布を測定して部品の傾きを求める。
【００４８】
そして、図３に示すように、ＣＰＵ１７では、演算された部品傾き（Ｓ４）と、本装置にて使用可能な部品毎に設定可能なデータとして設定されている部品傾き閾値とを比較して、部品傾きが大きいとき（Ｓ５）、チルト機構などのトレイステージ傾き補正手段を具備していない装置の場合には（Ｓ６の“なし”の場合）、本装置における動作の要部を停止させる（Ｓ７）、あるいはチルト機構などのトレイステージ傾き補正手段を具備している装置の場合（Ｓ６の“あり”の場合）、計測した結果の部品傾き角度分だけトレイ１を保持しているチルト機構を備えたトレイステージ７を傾かせ、吸着ノズル３の先端面と部品２の上面を平行状態にして（Ｓ８）、既述したステップ（Ｓ９）〜（Ｓ１１）にて部品２を吸着させ、部品吸着後、供給ヘッド４を上昇させて移動する（Ｓ１２）。
【００４９】
本実施の形態では、部品２の上面の鏡面状態についても部品毎に異なるため、部品傾きと面輝度分布との関係を求めるためのキャリブレーション機能を搭載している。キャリブレーション機能として、トレイ１を保持しているトレイステージ７にチルト機構を設け、そのトレイ１に部品２をセットし、供給カメラ１１に部品２が映るようにトレイステージ７を移動させた上で、ある一定間隔でトレイ１の傾き、すなわち部品２の傾きを変えながら、その都度、部品２上面の面輝度分布を計測して、部品２の傾きと部品２の面輝度分布との関係を求める構成を採用している。
【００５０】
そして、求めた結果を対象部品データとして、本体制御データ保存部１６に保存する。生産時には、生産対象部品が選択された際、その選択した生産対象部品毎に本体制御データ保存部１６に保存した対象部品の面輝度分布と部品の傾きとの関係を、本体制御データ保存部１６から読み出して、対象部品２上面の面輝度分布を測定して部品２の傾きを求める。
【００５１】
なお、本実施の形態では、トレイステージ７をチルト機構で傾ける場合について説明したが、トレイステージ７の代わりに、供給ヘッド４を傾斜機構により相対的に傾けても同様の効果を奏することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、部品を対象ワークに装着する部品装着装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】実施の形態１における部品実装装置の概略構成図
【図２】実施の形態１における光学系の構成例の構成図
【図３】実施の形態１における部品装着の動作工程に係るフローチャート
【図４】実施の形態１における対象部品面への照射方法の説明図
【図５】実施の形態１における部品の傾きと照度の関係を示すグラフ
【図６】従来の部品装着装置の概略構成図
【符号の説明】
【００５４】
１  トレイ
２  部品
３  吸着ノズル
４  供給ヘッド
５  供給ヘッド上下駆動部
６  供給ヘッド水平回転駆動部
７  トレイステージ
８  トレイステージ水平Ｘ方向駆動部
９  トレイステージ水平Ｙ方向駆動部
１０  対物レンズ
１１  供給カメラ
１２  画像処理部
１３  トレイ段差
１４  光源
１５  ハーフミラー
１６  本体制御データ保存部
１７  ＣＰＵ（中央演算処理ユニット）
１８  面発光パワーＬＥＤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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