(57)【要約】【課題】耐久性の高い振動波駆動装置を実現できる振動体の製造方法、及び振動体を提供する。【解決手段】複数の突起部１ａを有する振動体１に電気−機械エネルギー変換素子６を接合した振動子を用いる振動波駆動装置の振動体の製造方法は、第１の工程と第２の工程を有する。第１の工程では、複数の突起部１ａを有する弾性体素材１を製造する。第２の工程では、弾性体素材１の突起部１ａの突出方向と対向する方向の圧力を加えて突起部１ａの少なくとも一部を押しつぶし、互いに隣り合う突起部間の隙間１ｃを減じる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の突起部を有する振動体に電気−機械エネルギー変換素子を接合した振動子を用いる振動波駆動装置の振動体の製造方法であって、
複数の突起部を有する弾性体素材を製造する第１の工程と、
前記弾性体素材の突起部の突出方向と対向する方向の圧力を加えて前記突起部の少なくとも一部を押しつぶし、互いに隣り合う前記突起部間の隙間を減じる第２の工程と、を有する振動波駆動装置の振動体の製造方法。
【請求項２】
前記第２の工程において、前記弾性体素材の突起部の一部であって、前記隙間に面しない側面を拘束して、前記突起部の突出方向と対向する方向の圧力を加えて前記突起部の少なくとも一部を押しつぶす請求項１に記載の振動波駆動装置の振動体の製造方法。
【請求項３】
前記振動体の突起部の先端面の、前記隙間に面する稜線が、前記隙間側にせり出した部分を持つ曲線状となる様に前記突起部を押しつぶす請求項１又は２に記載の振動波駆動装置の振動体の製造方法。
【請求項４】
複数の突起部を有する振動体に電気−機械エネルギー変換素子を接合した振動子を用いる振動波駆動装置の振動体であって、
複数の突起部を有し、互いに隣り合う前記突起部間の隙間を形成する前記突起部の側面が、互いに非平行で隙間側にせり出した部分を含む振動波駆動装置の振動体。
【請求項５】
前記隙間を形成する前記突起部の側面は、曲面の部分を含む請求項４に記載の振動波駆動装置の振動体。
【請求項６】
前記振動体の突起部の先端面の、前記隙間に面する稜線が、前記隙間側にせり出した部分を持つ曲線状である請求項４又は５に記載の振動波駆動装置の振動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の突起部を有する振動波駆動装置用振動体、及び振動波駆動装置用振動体の製造方法に関する。振動波駆動装置は、複数の突起部を有する振動体に電気−機械エネルギー変換素子を接合した振動子と、振動体の突起部に圧接された移動体を備え、超音波モータなどとして用いられる。
【背景技術】
【０００２】
リング状又は円板状の弾性体であって、その一端面に多数の櫛歯状突起部が設けられ、反対面にリング状の圧電素子が貼付された構成の振動子を有する振動波駆動装置が公知である。このタイプの振動波駆動装置の振動子では、放射状に多数の隙間を切ることで多数の突起部を形成している。尚、ここで言う弾性体は、押しつぶす前の部材である本発明における弾性体素材に対応する。
【０００３】
前記隙間の役割は、前記突起部の先端の振動変位を大きくすることである。突起部の先端面は摩擦部になっており、振動子の振動を摩擦力により移動体に伝達する。すなわち、圧電素子等の電気−機械エネルギー変換素子を金属等の弾性体に取付けて構成したステータ（振動子）に進行波振動を発生せしめ、該ステータに圧接したロータ（移動体）に一方向の連続的な機械運動を生ぜしめる。こうした振動子の弾性体を製造する方法の１つとして、プレス加工により、横断面形状が台形状になる様に突起部を成形する例が特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０７‐１３５７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前記製造方法では、突起部の先端が細くなり、移動体との摩擦面が設けられる突起部の先端面の面積が小さくなりやすい。別の観点から言えば、突起部間の隙間の周方向の幅が広くなりやすい。そのため、摩擦面の面圧が大きくなって、摩擦部の摩耗が増大しやすく、駆動装置の耐久性の点で改良の余地がある。一方、切削加工などにより前記弾性体の突起部を製造する場合であっても、突起部間の前記隙間の周方向の幅は余り狭くできない。なぜなら、隙間の周方向の幅を狭くする為にフライスカッターや砥石工具を薄くすると、これが破損してしまう可能性が大きくなるからである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明は、突起部を加圧して当該突起部の少なくとも一部を塑性的に押しつぶすことで、同時に突起部間の隙間の幅を狭くできる振動体の製造方法、及び振動体を提供する。より詳しくは、複数の突起部を有する振動体に電気−機械エネルギー変換素子を接合した振動子を用いる振動波駆動装置の振動体の本発明の製造方法は、第１の工程と第２の工程を有する。第１の工程では、複数の突起部を有する弾性体素材を製造する。第２の工程では、前記弾性体素材の突起部の突出方向と対向する方向（突出方向と反対の方向）の圧力を加えて前記突起部の少なくとも一部を押しつぶし、互いに隣り合う突起部間の隙間を減じる。
【０００７】
また、複数の突起部を有する振動体に電気−機械エネルギー変換素子を接合した振動子を用いる振動波駆動装置の本発明の振動体は、複数の突起部を有し、互いに隣り合う突起部間の隙間を形成する突起部の側面が、互いに非平行で隙間側にせり出した部分を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、突起部を加圧して塑性的に押しつぶすと言う簡単な方法により、前記隙間の幅を減じることができるので、耐久性の高い振動波駆動装置を実現できる振動体を製造することができる。隙間の幅を減じられると言うことは、摩擦面が設けられる突起部の先端面の面積を広くできることを意味する。これにより、摩擦面の面圧が小さくなって、突起部の摩耗を低下でき、耐久性を高められる。ここで、押しつぶす前の弾性体素材の突起部自体は、プレス加工、鍛造加工、切削加工などの種々の方法で形成できる。この場合、切削加工においては、隙間の幅をあまり狭くする必要がないので、フライスカッターの刃の厚さや砥石工具の砥石の厚さをあまり薄くする必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）は振動波駆動装置の斜視図、（ｂ）は本発明の第１の実施例により製造された振動体の一部の斜視図、（ｃ）は鍛造加工で製造した弾性体素材の斜視図、（ｄ）は本実施例の製造方法を示す図。
【図２】（ａ）は直線駆動する形式の振動波駆動装置の斜視図、（ｂ）は第２の実施例の製造方法を示す図。
【図３】（ａ）は第３の実施例の製造方法（前段階）を示す図、（ｂ）は本実施例の製造方法（製造中）を示す図、（ｃ）は本実施例の製造方法により製造した振動体の一部の斜視図、（ｄ）は振動体の突起部の稜線が移動体の摩擦部に接触する様子を説明する図。
【図４】（ａ）は第４の実施例の製造方法を示す図、（ｂ）は本実施例の製造方法により製造した振動体の一部の斜視図。
【図５】（ａ）は第５の実施例の製造方法を示す図、（ｂ）は本実施例の製造方法により製造した振動体の一部の斜視図。
【図６】（ａ）は第６の実施例の製造方法で用いる弾性体素材の一部の図、（ｂ）は本実施例の製造方法で用いる他の弾性体素材の一部の図。
【図７】（ａ）は第７の実施例で用いる弾性体素材の一部の図、（ｂ）は本実施例の製造方法により製造した振動体の一部の図。
【図８】（ａ）は第８の実施例で用いる弾性体素材の一部の図、（ｂ）は本実施例の製造方法により製造した振動体の一部の図、（ｃ）は本実施例の製造方法の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について説明する。複数の突起部を有する振動体に電気−機械エネルギー変換素子を接合した振動子を用いる振動波駆動装置の本発明の振動体の製造方法及び振動体において重要なことは、弾性体素材の突起部の少なくとも一部を押しつぶし、互いに隣り合う突起部間の隙間を減じることである。この考え方に基づき、本発明の振動体の製造方法及び振動体の基本的な形態は、課題を解決するための手段のところで述べた様な工程或いは構成を有する。この基本的な形態を基に、以下に述べる様なより具体的な実施形態が可能である。
【００１１】
振動体の製造方法の第２の工程において、弾性体素材の突起部の一部であって、隙間に面しない側面を拘束して、突起部の突出方向と対向する方向（突出方向と反対の方向）の圧力を加えて前記突起部の少なくとも一部を押しつぶす様にしてもよい。後述の第３、第４、第５の実施例はこの様になっている。勿論、直線状の図２に示す第２の実施例にこの方法を適用することもできる。この場合も、隙間に面しない突起部の両側面を拘束すればよい。ここで本発明における「拘束」とは、上記突起部の少なくとも一部を押しつぶす際に、隙間に面しない突起部の両側面の形状の変形又は当該面の方向への変形が生起しないように変形を抑制することを意味する。この際、隙間に面しない突起部の両側面の形状の変形又は当該面の方向への変形とは、全く変形が起きないように拘束することが理想的ではあるが、設計の許容範囲内（例えば、寸法上許容される範囲や他の機械特性に悪影響を与えない範囲）であれば変形を許容する。また、振動体の突起部の先端面の、隙間に面する稜線が、隙間側にせり出した部分を持つ曲線状である様にすることもできる。図１（ｂ）、図３（ｃ）、図４（ｂ）の例はその様になっている。また、隙間を形成する突起部の側面が、曲面の部分を含む様にもできる。図１（ｂ）、図３（ｃ）、図４（ｂ）、図７（ｂ）の例はその様になっている。
【００１２】
互いに隣り合う突起部間の隙間には、互いに同一形状でない隙間がある様にもできる。図８（ｂ）の例はその様になっている。また、弾性体素材の突起部の先端面は、複数の突起部における先端部によって決まる平面と非平行な面を有する様にもできる。図６の例はその様になっている。この非平行な面は曲面とすることもできる。図６（ｂ）の例はその様になっている。また、弾性体素材の突起部において、互いに高さの異なる突起部がある様にもできる。図８（ａ）の例はその様になっている。振動体の突起部において、互いに高さの異なる突起部がある様にもできる。図２（ａ）の例はその様になっている。また、振動体の突起部において、押しつぶされた量が他の突起部とは異なる突起部を有する様にもできる。図２（ｂ）、図８（ｂ）の例はその様になっている。また、振動体は円環状または円板状であって、振動体の突起部における隙間に面する稜線を半径方向から傾ける様にもできる。図５（ｂ）の例はその様になっている。
【００１３】
上記具体的な実施形態から分かる様に、本発明の振動体の製造方法で、突起部の側面が互いに非平行で隙間側にせり出した部分を含んで突起部の先端面が拡がった振動体としては、押し方や弾性体素材の突起部の形状を工夫することで様々なものを作製できる。以下、本発明の実施例を図に沿って説明する。
【００１４】
（第１の実施例）
図１を用いて、振動波駆動装置の振動体及びその製造方法の第１の実施例を説明する。図１（ａ）は本実施例の振動体を使用した振動波駆動装置の斜視図である。隙間１ｃの描き方は、後述の図３（ｃ）の振動体を使用した様になっているが、図１（ｂ）の振動体を使用した場合も、隙間１ｃの形状が異なるのみで、全体的には図１（ａ）に示す様なものとなる。図１（ａ）において、振動体１の基底部１ｂの下面には圧電素子（電気−機械変換素子）６が分割されて貼付されている。こうして振動波駆動装置の振動子が構成される。振動子上の移動体４には、摩擦部４ａが外周部に設けられ、振動子の振動エネルギーは摩擦部４ａを介して移動体４に伝えられる。出力軸５と移動体４は一体化しているので、移動体４の移動と共に出力軸５は回転する。
【００１５】
本実施例では、振動体１は円環状であり、振動体には放射状に複数の隙間１ｃが形成されている。隙間１ｃは、円板状のフライスカッターや砥石工具を用いて作られてもよいし、プレス加工や鍛造加工などで作られてもよい。前者の場合、振動体のブランク又は前記工具を放射方向に移動させて隙間を形成するので、隙間１ｃの幅は一定であり、また突起部１ａの先端面における放射方向の稜線は直線状になる。この様に、切削や研削などで隙間を形成する場合は振動体の突起形状及び隙間形状には事実上の制約が生じる。従来は、こうした振動体をそのまま用いることが多かった。本実施例では、こうしたものを弾性体素材１（実施例の説明では、押しつぶし加工後の振動体と加工前の弾性体素材は基本的に同様な構造を有するので、同符号１で示す。）として、これに押しつぶし加工を施してもよい。これにより、上記制約を軽減することができる。一方、鍛造加工などで製造した弾性体素材１は、図１（ｃ）に示す様なものとなる。この弾性体素材１の突起部１ａは、その横断面形状が台形状になっていて、隙間１ｃの幅は上部が広がっている。本実施例では、こうした弾性体素材に以下の様な加工を施すものとする。
【００１６】
図１（ｄ）は、図１（ｃ）に示す弾性体素材１を、互いに平行な平面を持ったポンチ２とダイ３の間に挟み、突起部１ａの突出方向と対向する方向の圧力を加えてプレス機械により押しつぶす様子を示している。図１（ｄ）の工程を経る結果、鍛造加工で製造した図１（ｃ）の弾性体素材１の突起部１ａが塑性的に押しつぶされて、図１（ｂ）に示す様にその先端面１ａ１が拡がる。特に、突起部１ａの半径方向の位置では、その中央部付近が最も拡がる。すなわち、突起部先端面１ａ１の略放射方向の稜線１ａ２は、その中央部が隙間１ｃ側にせり出した曲線状になる。先端面１ａ１のこうした拡がりが生じる理由は、平面（金型）と接触する部分に摩擦力があり、突起部先端面の中心（四角形ならその対角線の交点）から離れたところ（つまり四角形の角部）は拡がり難くなるからである。
【００１７】
本実施例では、弾性体素材１には鍛造加工品を用いており、金型から容易に離型できる様にするために突起部１ａは半径方向から見ると台形形状になっている。すなわち、突起部１ａの先端部における外周部１ａ３の幅が、突起部１ａの根元部における外周部１ａ４の幅より狭くなっている。それでも、本実施例の製造方法を実施することにより、隣り合う突起部１ａ間の隙間１ｃすなわち周方向の隙間幅は減じられる。
【００１８】
本実施例により以下の様な効果が奏される。まず、摩擦面が設けられる突起部の先端面の面積が拡がっているので、摩擦面の面圧が小さくなって、耐久性を高められる。また、突起部の先端面１ａ１の略放射方向の稜線１ａ２が曲線であるので、振動波駆動時において稜線は移動体４の摩擦面と滑らかに接触、離脱を繰り返す。すなわち、稜線１ａ２の一部から徐々に移動体４側の摩擦面に接触していく。稜線１ａ２が突起部１ａの振動変形方向（周方向のたわみ）とは直交していないため、稜線の一部から徐々に移動体４側の摩擦面に接触していくからである。これにより、本実施例の振動体を用いる振動波駆動装置では、移動体４の動きムラ（ワウフラ）の低減が図れる。
【００１９】
また、フライスカッターや砥石工具などを用いて周方向幅の狭い隙間を形成する必要がなくなるので、加工時間が大幅に短縮できる。更に、振動の拡大量を同一にした振動体で比較した場合、隙間が狭くなって突起部の質量が増大するので、振動エネルギーが大きくなり、外部の負荷変動に対して振動振幅の変化が小さくなる。このことは、振動波駆動装置で言えば、移動体４の移動ムラが小さくなることにつながる。
【００２０】
（第２の実施例）
図２を用いて第２の実施例を説明する。本実施例では、振動体１と圧電素子６から成る直線状振動子が、振動波駆動装置の移動体４を直線的に駆動する。突起部１ａの先端面上に移動体４を載せ、振動体４をその長手方向に移動させる。この形式の振動波駆動装置は前述の円環状振動子とは異なり、全ての突起部１ａの先端部が同一の振動形態を示す様には出来ない。そのため、最も有効な振動変位を発生する部分を摩擦部として用いる。すなわち、本実施例では、図２（ａ）に示す様に、移動体４の表面と接触するのは、他より高い２個の突起部１ａの先端部（同図で灰色で示す部分）のみとなっている。
【００２１】
弾性体素材１は、例えば、ステンレスを引抜き加工して作製した異形材をその長手方向（引抜き方向）と直角方向で切断し、これに突起部１ａを形成して製造する。弾性体素材１の突起部１ａを押しつぶす加工は、例えば、次の様に行う。図２（ｂ）は、突起部１ａの高さが同じ弾性体素材１を用い、外ダイ３ｂにより弾性体素材１の外側面を拘束して下ダイ３ａとポンチ２との間で突起部１ａを押しつぶす様子を示す。この場合、下ダイ３ａの上面に２個所凹部３ａａを設けて、押しつぶした後に、２個の突起部が他よりも高くなる様にする。初めから２個の突起部が他よりも高い弾性体素材１を用いて振動体１を作製してもよい。
【００２２】
本実施例で、他の突起部（図２では９個の突起部１ａのうち７個）を移動体４に接触しないにも係らず設けているのは以下の効果が期待できるからである。すなわち、移動体４に接触する２個の突起部のみを設ける場合と比較すると、振動エネルギーが増大するため、負荷変動に対する移動体４の速度変化を低減できる。また、突起部の数に応じた一定の振動モード（駆動用振動モード）が加振しやすくなって、不要振動による騒音発生を低減することができる。
【００２３】
また、同一のスペースにおいて、突起部が質量になるため（よって、突起部の数が増えれば質量が増す）、駆動用の振動周波数を低減できることになる。このことは、入力できるエネルギーが同じならば、振動振幅を大きくできることを意味する。そのため、突起部の摩擦面に吸着する水分の影響や摩擦面の平面精度の影響を受けにくくなって、振動波駆動装置の品質、性能が向上する。更に、摩擦面での接触圧力を得るために移動体４を振動体１側に押し付ける手段が必要であるが、この時、該手段を磁力に依った場合、突起部が多数存在することで磁力が増大する。よって、同じ押し付け力を得るためには、小さな磁石を用いればよいことになる。
【００２４】
本実施例によっても、突起部を加圧して塑性的に押しつぶすと言う簡単な方法により、移動体に接触する突起部の先端面を拡大できるので、耐久性の高い振動波駆動装置を実現できる振動体を製造することができる。
【００２５】
（第３の実施例）
図３は本発明の第３の実施例を説明する図である。図３（ａ）は、切削、研削、鍛造加工などで製造した弾性体素材１を、プレス機械に取り付けられた下ダイ３ａ、外ダイ３ｂ、スペーサ３ｃ、補強リング３ｄ、ノックアウト３ｅからなるダイ３に挿入する直前の様子を示す。図３（ｂ）は挿入後の様子を示し、この状態で、ポンチ２により弾性体素材１を上下から加圧して押しつぶす加工が実行される。
【００２６】
弾性体素材１の外径は外ダイ３ｂの内径と略等しくなっているので、弾性体素材１はその外周面が拘束される。そのため、突起部１ａの外周側の側面は拡げられることなく、突起部が上下方向に押しつぶされる。本実施例では、弾性体素材１の基底部１ｂの外周面も拘束しているので、その部分の直径も増大しない。しかし、弾性体素材１の基底部１ｂの外周面は拘束しないで、突起部１ａの外周部のみを拘束してもよい。
【００２７】
弾性体素材１から本実施例によって製造された振動体１の一部を図３（ｃ）に示す。第１の実施例の場合とは異なり、突起部の先端面１ａ１の形状は、外周に行くほど周方向に拡がっている。つまり、突起部間の隙間１ｃは、内周側よりも外周側が狭くなる。本実施例では、弾性体素材１の内周は拘束されないので、突起部の先端面１ａ１は周方向に拡がるとともに、半径方向内方にも拡がる傾向にある。
【００２８】
一般に、単純な矩形断面の円環部材を平行平面同士の金型により押しつぶす時、材料は中心方向（つまり内側の孔を小さくする方向）よりも外側放射方向に塑性流動する傾向がある。本実施例では、その塑性流動を拘束して、外周部の周方向隙間幅を効果的に狭めることが可能になる。この点に関して、外周面を拘束しないで弾性体素材１を押しつぶして成形した図１（ｂ）の振動体１においては、その基底部１ｂの直径よりも、突起部の先端部１ａ３における外周部の半径方向寸法は大きくなる。
【００２９】
振動波駆動装置の振動体では、高トルク化を意図して、移動体４との接触位置（摩擦部）はなるべく外周部になる様に設計することが多い。その点、本実施例では、摩擦部を望ましい位置（つまり外周部）にした場合に、その面圧を低くできる。
【００３０】
また、本実施例でも、突起部の先端面１ａ１の略放射方向の稜線１ａ２は、初め直線であったものが曲線状に変化している。よって、この稜線により、本実施例の振動体を用いる振動波駆動装置においても、移動体の動きムラの低減が図れる。これについては、前記稜線が直線の場合でも、その方向が放射方向（半径方向）からずれていれば同様の作用がある。図３（ｄ）はこの現象と効果を説明する図である。稜線が突起部の振動変形方向（周方向のたわみ）と直交する場合、移動体４が左側に移動するとして、突起部１ａの先端面の放射方向（移動体の移動方向と直交する方向）の稜線はほぼ同時に移動体側の摩擦部に接触する。これに対して、本発明による突起部の押しつぶし工程を施せば、他の加工方法では実現困難である曲線状の稜線や、振動体の中心を通らない（放射方向からずれている）稜線を容易に形成できる。振動体の中心を通らない稜線を形成する方法については、第５、第６の実施例で説明する。
【００３１】
（第４の実施例）
図４を用いて第４の実施例を説明する。図４（ｂ）は、弾性体素材を用いて本実施例の製造工程を経て成形した振動体１の一部を示す。図４（ａ）に示す様に、本実施例では、外ダイ３ｂの内周面はその一部にテーパが設けられ、このテーパ部に弾性体素材１の突起部１ａの外周部が接触して押しつぶし成形が実行される。すなわち、図４（ｂ）の符号で説明すると、振動体の突起部１ａの外周部において、突起部の先端部における外周部１ａ３の半径方向の寸法が、突起部の根元部における外周部１ａ４の半径方向の寸法より小さくなる様に押しつぶされる。
【００３２】
これにより、突起部１ａは半径方向内方側に押しつぶされると同時に、上下方向に押しつぶされる。そのため、弾性体素材１における隙間１ｃの周方向幅は外周側で著しく狭められる。作製された振動体１において、突起部１ａの周方向断面（横断面）は台形形状をしている。本実施例では、前記第３の実施例による効果を更に顕著にすることができる。
【００３３】
（第５の実施例）
図５を用いて第５の実施例を説明する。図５（ａ）は本実施例の成形の様子を示している。本実施例では、外ダイ３ｂの内径部にテーパが設けられているほか、下ダイ３ａは段付きになっていて、この段の外径部の側面にもテーパが設けられる。そのため、振動体１は、外径部分と同時に内径部分にもテーパ部ができる。すなわち、振動体１の突起部１ａの内周部分においても、突起部１ａの先端部における内周部の半径方向の寸法が、突起部１ａの根元部における内周部の半径方向の寸法より大きくなる様に押しつぶされる。
【００３４】
図５（ｂ）は本実施例により製造した振動体１を示す。内径側及び外径側の前記テーパの量を調整することにより、突起部間の隙間１ｃ（周方向隙間幅）を狭くかつ均一（平行）に近づけられる。例えば、図４（ｂ）では内径側の周方向隙間幅は比較的広かったが、内径側にも上記の如くテーパを成形することで隙間１ｃ全体を狭めることが可能になる。こうして、摩擦部の半径方向の幅が広い移動体１を用いる振動波駆動装置、つまり摩擦部が内径側に拡がった設計の振動波駆動装置においても、更に摩擦面の低面圧化を達成できる。本実施例でも、前記第３の実施例による効果を更に顕著にすることができる。
【００３５】
（第６の実施例）
図６を用いて第６の実施例を説明する。図６（ａ）は、突起部１ａを形成した円環状弾性体素材１をその中心軸を含む断面で見た図（周方向に見た右側半分の断面図）である。本実施例の弾性体素材１では、突起部１ａの先端部によって決まる平面（換言すれば、弾性体素材１をその突起部１ａを下にして平面上に置いて安定した時、その平面のこと）とは平行ではない平面（図６（ａ）中の突起部の先端面の斜面）を設けた。この弾性体素材の突起部１ａを、第１の実施例の様に平行平面同士で押しつぶすと、外周側（図６（ａ）において右側）が多くつぶれるので、押しつぶした後は、図３（ｃ）の様に、外周側の周方向隙間幅が狭い振動体１が成形できる。この効果は前述した通りである。
【００３６】
また、図６（ｂ）の様に、突起部１ａの先端面が平面ではなく曲面になっていてもよい。これら先端面の形状を工夫し、押しつぶす方法、量を調整すれば、前述した突起部先端面１ａ１の稜線１ａ２を任意の形状にでき、また隙間１ｃの形状、幅についても望ましいものが得られる。
【００３７】
（第７の実施例）
図７を用いて第７の実施例を説明する。図７（ａ）は、弾性体素材１の一部について、その外周側から中心方向（半径方向）に見た図である。突起部（図７では隣り合う２個のみ示す）の先端部はその両側で突出しており、中央付近は凹んでいる。この弾性体素材の突起部１ａを押しつぶすと、図７（ｂ）に示す様に、隙間１ｃの周方向幅は突起部１ａの根元付近よりも先端部付近で狭くなる。すなわち、突起部１ａの先端部付近は、隙間１ｃ側にせり出した庇の様な形状になる。この様な形状の実現は、他の加工方法では事実上困難である。
【００３８】
本実施例の振動体を用いる振動波駆動装置では、稜線１ａ２の部分の剛性が低下するので、移動体４側の摩擦部に対して滑らかに振動体１の接触、離脱が生じる様になる。このことは前述した様に、移動体４の回転ムラの低減や騒音の低下につながる。
【００３９】
（第８の実施例）
図８を用いて第８の実施例を説明する。図８（ａ）は、円環状弾性体素材１の一部をその外周側から中心方向に見た図であって、高さが異なる突起部１ａを示している。予めこの様な弾性体素材を鍛造加工などにより製造しておけば、その後、本発明による製造方法を用いることで、図８（ｂ）の様に隙間１ｃの周方向幅がそれぞれ異なる振動体１が簡単に製造できる。他の製造方法で同じ様な振動体を製造しようとすれば、例えば、厚さの異なるカッターを数種類用意しておき、隙間加工ごとにカッターの種類を変更させて加工するという、極めて煩雑な工程を強いられることになる。
【００４０】
図８（ｂ）に示す振動体１は次の方法で製造することもできる。図８（ｃ）は、同じ高さの突起部１ａを持つ弾性体素材１をポンチ２と下ダイ３ａの間に挟んで突起部１ａを押しつぶす製造工程を示している。この場合、ポンチ２の下面にはその周方法にうねり（アンジュレーション）を設け、突起部ごとに押しつぶす量を変えている。その結果、振動体１としては、前述したものと同様に隙間１ｃの周方向幅がそれぞれ異なるものが製造できる。この状態では突起部１ａの高さが揃っていないので、その後、突起部の先端は平面研削加工やラップ加工により同じ高さとする。
【００４１】
本実施例の振動体を用いる振動波駆動装置では、振動体１の隙間１ｃの幅が異なるので次の様な効果が奏される。すなわち、移動体４の摩擦部に突起部先端面１ａ１の稜線１ａ２が接触し、その時、移動体４にいわゆる打撃を与えるが、そのタイミングが等間隔ではなくなるので、打撃も滑らかになり、回転ムラの低減や騒音低下につながる。等間隔であると、突起部の数に応じた（すなわち突起数の整数倍の）加振力が移動体に加わるので、好ましくない現象（いわゆる鳴きの発生など）が生じる場合もあるが、本実施例ではこうした現象が軽減される。
【符号の説明】
【００４２】
１    振動体又は弾性体素材
１ａ  突起部
１ｃ  突起部間の隙間
６  電気−機械変換素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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