(57)【要約】【課題】薄膜素子の製造方法に関する。【解決手段】本発明は、第１基板上に犠牲層を形成する段階と、上記犠牲層上に薄膜積層体を形成する段階と、上記犠牲層を露出させる分離溝を形成し、上記薄膜積層体を少なくともひとつの薄膜素子に分割する段階と、ドライエッチング工程を利用して上記犠牲層を部分的に除去する段階−ここで、残留した犠牲層領域は上記少なくともひとつの薄膜素子を上記第１基板上に維持させる−と、上記少なくともひとつの薄膜素子上に支持構造物を臨時接合させる段階と、上記支持構造物に接合された少なくともひとつの薄膜素子を上記第１基板から分離させる段階−ここで、上記残留した犠牲層領域は除去される−と、上記支持構造物に接合された少なくともひとつの薄膜素子を第２基板上に接合させる段階と、上記少なくともひとつの薄膜素子から上記支持構造物を分離する段階と、を含む薄膜素子の製造方法を提供する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板上に犠牲層を形成する段階と、
前記犠牲層上に薄膜積層体を形成する段階と、
前記犠牲層を露出させる分離溝を形成して前記薄膜積層体を少なくともひとつの薄膜素子に分割する段階と、
ドライエッチング工程を利用して前記犠牲層を部分的に除去して、残留した前記犠牲層の領域により前記少なくともひとつの薄膜素子を前記第１基板上に維持させる段階と、
前記少なくともひとつの薄膜素子上に支持構造物を臨時に接合させる段階と、
前記残留した前記犠牲層の領域が除去されて、前記支持構造物に接合された前記少なくともひとつの薄膜素子を前記第１基板から分離させる段階と、
前記支持構造物に接合された前記少なくともひとつの薄膜素子を第２基板上に接合させる段階と、
前記少なくともひとつの薄膜素子から前記支持構造物を分離する段階と、を含む薄膜素子の製造方法。
【請求項２】
前記犠牲層は、非晶質シリコンであることを特徴とする請求項１に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項３】
前記ドライエッチング工程は、Ｘｅ２Ｆガスをエッチャントとして利用して行われることを特徴とする請求項２に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項４】
前記犠牲層を形成する段階の前に、前記第１基板の上面に前記第１基板を保護するための絶縁膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項５】
前記薄膜積層体を形成する段階の前に、前記犠牲層上に前記薄膜素子を支持するための絶縁膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項６】
前記絶縁膜は、酸化膜又は窒化膜であることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項７】
前記支持構造物を臨時に接合させる段階は、前記薄膜素子の表面と前記支持構造物の表面が仮付けするように、前記薄膜素子に前記支持構造物を加圧させる段階であることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項８】
前記支持構造物は、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）系又はシリコンラバー系ポリマーであることを特徴とする請求項７に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項９】
前記第１基板から分離させる段階は、前記残留した犠牲層領域が分解されるようにレーザを照射する段階であることを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項１０】
前記第１基板から分離させる段階は、前記残留した犠牲層領域が切断され、前記薄膜素子が前記第１基板から分離されるように物理的な力を印加する段階であることを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項１１】
前記薄膜素子を前記第２基板上に接合させる段階は、接合物質層を利用して前記第２基板上に前記薄膜素子を接合させる段階を含むことを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項１２】
前記第２基板はフレキシブル基板であることを特徴とする請求項１から１１の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【請求項１３】
前記薄膜素子は、薄膜トランジスタ、太陽電池及びバイオセンサのうちいずれかひとつであることを特徴とする請求項１から１２の何れか１項に記載の薄膜素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄膜素子の製造方法に関するもので、特にフレキシブル素子の製造技術として活用可能な薄膜転写工程を利用する薄膜素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、薄膜転写技術は薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と電子素子及び有機 ＥＬ素子のような光学素子等の薄膜素子において広く活用されている。
【０００３】
薄膜転写技術とは、予備基板上に必要な薄膜を形成した後に、永久基板上に転写して所望の薄膜素子を製造する技術を言う。このような薄膜転写技術は、成膜に使用される基板の条件と薄膜素子に使用される基板の条件が異なる場合に非常に有用に使用されることができる。
【０００４】
例えば、半導体の成膜技術のような比較的高温の工程が要求されるが、素子に使用される基板が低い耐熱性を有する又は軟化点及び融点が低い場合、薄膜転写技術は非常に有益に活用されることができる。特に、フレキシブル薄膜素子の場合にも活用の有益性が非常に高い。
【０００５】
従来では、フレキシブル素子の場合柔軟性が要求されるため、主に高分子等のような有機物基板を使用し、その上面に機能部を構成する薄膜を有機薄膜として採用してきたが、有機薄膜として具現された機能部では高性能を保障するのが難しいため、ポリシリコン（Ｐｏｌｙ−Ｓｉ）もしくは酸化物薄膜のような無機物でフレキシブル素子の機能部を構成する必要がある。この場合に、高温の半導体成膜技術が有機物であるフレキシブル基板に直接作用されるのが難しいため、他の予備基板上に半導体のような無機物で形成された薄膜を転写する薄膜転写技術が使用される。
【０００６】
しかし、このような薄膜転写技術は、予備基板と分離される面が永久基板上に転写された薄膜の上面に提供され、このような上面に犠牲層の残留物が存在するため、薄膜素子に及ぼす不利益な影響を防ぐために犠牲層の残留物の除去工程がさらに要求される。
【０００７】
一方、犠牲層を除去する過程において、レーザー照射又はウェットエッチング工程が利用されるが、レーザー照射による場合には、レーザー出力によりかえって薄膜素子の損傷の可能性が大きいという問題がある。
【０００８】
また、ウェットエッチング工程を利用する場合には、薄膜素子の構造物が基板上に粘着される問題が発生するだけでなく、選択性が低い場合には薄膜素子領域を保護するために別途のフォトレジスト工程が要求されるという煩わしさがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためのもので、その目的は全体的な工程を簡素化し転写過程において薄膜素子の特性の変化を最小化することができる薄膜素子の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の技術的課題を達成すべく、本発明は、第１基板上に犠牲層を形成する段階と、上記犠牲層上に薄膜積層体を形成する段階と、上記犠牲層を露出させる分離溝を形成し、上記薄膜積層体を少なくともひとつの薄膜素子に分割する段階と、ドライエッチング工程を利用して上記犠牲層を部分的に除去する段階−ここで、残留した犠牲層領域は上記少なくともひとつの薄膜素子を上記第１基板上に維持させる−と、上記少なくともひとつの薄膜素子上に支持構造物を臨時に接合させる段階と、上記支持構造物に接合された少なくともひとつの薄膜素子を上記第１基板から分離させる段階−ここで、上記残留した犠牲層領域は除去される−と、上記支持構造物に接合された少なくともひとつの薄膜素子を第２基板上に接合させる段階と、上記少なくともひとつの薄膜素子から上記支持構造物を分離する段階と、を含む薄膜素子の製造方法を提供する。
【００１１】
好ましく、上記犠牲層は非晶質シリコンであることができる。この場合に、ドライエッチング工程は、Ｘｅ２Ｆガスをエッチャントとして利用して行われるのが好ましい。
【００１２】
上記犠牲層を形成する段階の前に、上記第１基板の上面に上記第１基板を保護するための絶縁膜を形成する段階をさらに含むことができる。上記薄膜積層体を形成する段階の前に、上記犠牲層上に上記薄膜素子を支持するための絶縁膜を形成する段階をさらに含むことができる。ここで、上記絶縁膜は酸化膜又は 窒化膜であることができる。
【００１３】
好ましく、上記支持構造物を臨時に接合させる段階は、上記薄膜素子の表面と上記支持構造物の表面が仮付けするように上記薄膜に上記支持構造物を加圧させることができる。この場合に、上記支持構造物はポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）系又はシリコンラバー系ポリマーであることができる。
【００１４】
必要に応じて、上記第１基板から分離させる段階は、上記残留した犠牲層領域が分解されるようにレーザを照射する段階であることができる。これと異なり、上記第１基板から分離させる段階は、上記残留した犠牲層領域が切断され、上記薄膜素子が上記第１基板から分離されるように物理的な力を印加する段階であることができる。
【００１５】
好ましく、上記薄膜素子を上記第２基板上に接合させる段階は、接合物質層を利用して上記第２基板上に上記薄膜素子を接合させる段階を含むことができる。
【００１６】
好ましい実施形態において、上記第２基板はフレキシブル基板であることができる。上記薄膜素子は薄膜トランジスタ、太陽電池及びバイオセンサのうち いずれかひとつであることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、薄膜又は薄膜パターンが永久基板に接合される面を剥離された面として提供することによって犠牲層の残留物を除去する工程を省略することができ、残留物による問題を解決することができる。
【００１８】
また、配線及び半導体工程を通して薄膜素子を製造した後、犠牲層を除去して所望の基板（例、フレキシブル基板）に転写させる過程において、薄膜構造物と基板の粘着問題及びレーザー照射による全体的な素子特性の変化を最小化することができる。
【００１９】
加えて、支持構造物を利用した接合面の変更過程が別途の接合層を利用せず、ファンデルワールス（Ｖａｎ  ｄｅｒ  Ｗａｌｌｓ）力のような物質界面の作用で容易に実現されることができるため、全体的な工程を単純化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（ａ）から（ｃ）は、本発明の一実施形態による薄膜素子の製造方法のうち被転写体形成過程を説明するための工程断面図である。
【図２】（ａ）から（ｄ）は図１（ｃ）に図示された薄膜素子の形成過程の一例を説明するための工程断面図である。
【図３】（ａ）から（ｅ）は本発明の一実施形態による薄膜素子の製造方法のうち被転写体の転写過程を説明するための工程断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施形態を説明する。 
【００２２】
図１（ａ）から図１（ｃ）は、本発明の一実施形態による薄膜素子の製造方法のうち被転写体の形成過程を説明するための工程断面図である。
【００２３】
図１（ａ）に図示されたように、第１基板１１を備える。本工程のような上記第１基板１１の上面に、後続犠牲層の除去工程において上記第１基板１１を保護するための絶縁膜１２をさらに形成することができる。上記絶縁膜１２はＳｉＯ２のような酸化膜又はＳｉＮｘのような窒化膜であることができる。
【００２４】
上記第１基板１１は特定の機能の素子を形成するための薄膜を形成するのに適した基板であることができる。例えば、所望の薄膜が半導体又は金属である場合、これを成長するために一般的に高温の成膜工程が要求されるため、耐熱性を有し、かつ所望の成長面条件を満足させることができる物質から成る。
【００２５】
例えば、薄膜素子の分離工程においてレーザーリフトオフ工程が利用される場合、上記第１基板１１の物質の選択にさらに要求される。即ち、上記第１基板１１はレーザーが透過されることができるように、上記レーザービームの波長に該当するエネルギーより大きいバンドギャップを有する物質からなることができる。このような第１基板１１としては好ましく透明基板を使用することができ、これに限定されないが、サファイア（ｓａｐｐｈｉｒｅ）、石英（ｑｕａｒｔｚ）、ガラス（ｇｌａｓｓ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミネート（ＬａＡｌＯ３）、溶融シリカ、ジルコニアのうち選択されたひとつの基板であることができる。
【００２６】
続いて、図１（ｂ）に図示されたように、上記絶縁膜１２が形成された第１基板１１上に犠牲層１３を形成する。
【００２７】
本発明に採用された犠牲層１３は、ドライエッチング工程により薄膜素子の構成物質と高い選択性を有し、エッチングされることができる物質であれば有用に使用されることができる。好ましい犠牲層１３としては非晶質シリコン（α−Ｓｉ）が使用されることができる。非晶質シリコンは通常の半導体物質と電極物質と選択性が高いＸｅＦ２ガスにより容易にエッチングされることができる。
【００２８】
さらに、必要に応じて上記犠牲層１３はレーザにより分解可能な物質であることができる。これは後続工程において一部残留領域をレーザで除去する必要がある場合に該当する。
【００２９】
次に、図１（ｃ）に図示されたように、上記犠牲層１３上に少なくともひとつの薄膜素子１５を形成することができる。
【００３０】
上記薄膜素子１５は、半導体又はポリシリコンのような無機物であるか、金属であることができ、上記薄膜素子を構成する各層１５ａ、１５ｂ、１５ｃの形成工程としてはスパッタリング、蒸発法、ＣＶＤのような公知の成膜技術が活用され、素子領域を形成するためにリソグラフィーを利用した選択的エッチング工程が使用されることができる。特に、本工程で図示されたように、素子領域を分割するための分離溝の形成工程において、犠牲層１３がドライエッチングされることができるように犠牲層を部分的に露出させる。
【００３１】
このような工程を通して、本実施形態による薄膜素子の製造方法に要求される被転写体である薄膜素子を備えることができる。本発明に採用される薄膜素子１５は薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、太陽電池及びバイオセンサのうちいずれかひとつであることができる。図２（ａ）から図２（ｄ）は図１（ｃ）に図示された薄膜素子の形成過程の一例を説明するための工程断面図である。
【００３２】
先ず、図２（ａ）に図示されたように、上記犠牲層１３上に下部電極１５ａ、圧電層１５ｂ、上部電極１５ｃが順次に形成された薄膜積層体１５'を提供し、その上に第１フォトレジストＰ１を形成する。
【００３３】
上記下部電極１５ａはＴｉ／ＰＴ層をスパッタを利用して蒸着することができ、圧電層１５ｂはゾルゲル法でコーティングして形成することができる。続いて上記上部電極１５ｃはＰｔをスパッタを利用して蒸着する。次に、上部電極１５ｃと圧電層１５ｂが除去される領域が露出されるように上記第１フォトレジストパターンＰ１を形成する。
【００３４】
本実施形態においては図示されていないが、必要に応じて下部電極１５ａを形成するための素子を形成するための絶縁膜（未図示）を形成することができる。
【００３５】
続いて、図２（ｂ）に図示されたように、第１フォトレジストパターンＰ１を利用して上部電極１５ｃ及び圧電層１５ｂを選択的に除去する。このような除去工程は下部電極１５ａ物質に対する低いエッチング率を有するエッチャントガスを利用したドライエッチング工程で行われることができる。
【００３６】
次に、図２（ｃ）に図示されたように、下部電極１５ａが除去される領域ｅ１が露出されるように第２フォトレジストＰ２を形成し、続いて下部電極１５ａに対するドライエッチング工程を適用して下部電極１５ａを選択的に除去する。このような下部電極１５ａの除去工程を通して複数の薄膜素子１５を形成することができるだけでなく、犠牲層１３の露出領域ｅ２を提供することができる。
【００３７】
図３（ａ）から図３（ｅ）は、本発明の一実施形態による薄膜素子の製造方法のうち被転写体の転写過程を説明するための工程断面図である。
【００３８】
図３（ａ）に図示されたように、ドライエッチング工程を利用して上記犠牲層１３を部分的に除去し、一部犠牲層領域１３'を残留させる。
【００３９】
ここで、残留した犠牲層領域１３'は、後続工程において薄膜素子１５を上記第１基板１１上に維持させることができる。より具体的に、上記残留した犠牲層領域１３'は、支持構造物との臨時の接合工程（図３（ｂ）参照）を行う過程において薄膜素子１５を上記第１基板１１上に維持させ、分離工程（図３（ｃ））において容易に除去される程度に残留させる。
【００４０】
先で説明したように、本工程ではドライエッチング工程を利用する。好ましい犠牲層１３物質である非晶質シリコン（α−Ｓｉ）の場合、通常の半導体物質と電極物質とＸｅＦ２ガスにより高い選択性で容易にエッチングされることができる。この場合、高い選択性を有するため薄膜素子１５を安定して保護することができるだけでなく、従来のウェットエッチング工程のような薄膜素子１５が第１基板１１と粘着する問題を解決することができる。
【００４１】
続いて、図３（ｂ）に図示されたように、上記薄膜素子１５上に支持構造物１７を臨時接合させる。
【００４２】
上記支持構造物１７は第２基板（永久基板）に薄膜素子１５を転写する前まで使用される臨時の支持体である。上記薄膜素子１５の上面に支持構造物１７を密着させることによって仮付けさせることができる。ここで使用される"仮付け"という用語は、少なくとも転写工程まで薄膜素子１５を支持／取り扱いできる程度の接合力が維持されながら転写される第２基板との接合力より弱い接合状態を意味するものと理解することができる。
【００４３】
即ち、"仮付け"工程は、接着剤のような付加的な手段又は高温の熱処理工程による融接を利用しない接合を意味する。好ましい例としては、上記仮付け工程は薄膜素子１５と支持構造物１７のなめらかな表面を互いに密着させ、ファンデルワールス力で互いに臨時接合される状態であることができる。このような仮付け工程は常温で低い圧力条件でも十分に行われることができる。
【００４４】
従って、第２基板に薄膜素子１５を転写させた後に、薄膜素子から支持構造物１７は容易に分離されることができ、上記支持構造物１７との分離後にも薄膜素子１５の分離された面に対する清潔状態を保障することができる。
【００４５】
このようなファンデルワールス力による仮付けをより容易に実現するために、上記支持構造物１７はポリジメチルシロキサン（ｐｏｌｙ  ｄｉｍｅｔｈｙｌ  ｓｉｌｏｘａｎｅ：ＰＤＭＳ）、シリコンラバー系の高分子物質のような物質を使用するものが好ましい。勿論、このような物質に限定されず、類似した界面作用を通して上述された仮付けが容易な物質であれば好ましく採用されることができる。
【００４６】
本発明は上述の仮付けに限定されず、転写に必要な水準の弱い接合力のみを提供することができる接着剤のような他の手段を付加的に利用することもできる。
【００４７】
次に、図３（ｃ）に図示されたように、上記支持構造物１７に接合された薄膜素子１５を上記第１基板１１から分離させる。
【００４８】
本工程において上記残留した犠牲層領域は除去されることができる。本実施形態では、上記第１基板１１から上記薄膜素子１５が完全に分離されるように上記残留犠牲層領域１３'をレーザを利用して除去する工程で例示されている。先の工程においてドライエッチング工程を通して犠牲層１３は殆ど除去されたため、本工程では非常に少ない面積の残留した犠牲層領域１３'に限ってレーザー照射が要求される。従って、レーザー照射により薄膜素子が損傷され得る危険を大きく減少させることができる。
【００４９】
これと異なり、上記残留した犠牲層領域１３'に対する別途の除去工程を追加せず、物理的な力を利用して上記薄膜素子１５を上記第１基板１１から分離させることによって残留した犠牲層領域１３'は機械的に破損（例、切断）され除去されることができる。
【００５０】
続いて、図３（ｄ）に図示されたように、上記支持構造物１７に接合された薄膜素子１５を第２基板２１上に接合させる。
【００５１】
本明細書において使用される"第２基板"又は"永久基板"という用語は、転写体として提供される基板であって薄膜素子を構成する基板に該当する。本工程において、上記薄膜素子１５と第２基板２１は、上記支持構造物１７と薄膜素子１５の臨時接合の強度より高い接合力を有するように接合される。このために、本実施形態のように、上記薄膜素子１５と上記第２基板２１の接合は別途の接合物質層２２を利用することができる。
【００５２】
このような工程は、薄膜素子１５と支持構造物１７の接合力より強い接合力を有する前駆体を含む接合物質を上記第２基板２１上に薄い厚さで塗布した後に薄膜素子１５を接合させることができる。
【００５３】
一方、上記犠牲層１３は完全に除去されず微細な残留物が薄膜素子１５の分離された表面に残ることがあるが、上記薄膜素子１５の分離面が直接第２基板２１に接しず、臨時支持体である支持構造物１７に仮付けされた後に、残留物が存在することのできる分離面が上記第２基板２１と接合するようになる。従って、犠牲層の残留物で汚染された表面に対する問題を解決することができる。
【００５４】
図３（ｅ）に図示されたように、上記薄膜素子１５から上記支持構造物１７を分離する。
【００５５】
先で説明したように、薄膜素子１５と第２基板２１が接合物質層２２により 高い接合力を有するため、相対的に低い接合力を有する支持構造物１７とは容易に分離されることができる。特に、ファンデルワールス力で互いに仮付けされた状態であれば、支持構造物１７との分離により得られた薄膜素子１５の分離面は非常に清潔な状態を維持することができる。
【００５６】
本薄膜転写技術は、多様な薄膜素子に使用されることができる。より具体的に、半導体の成膜技術のような比較的高温の工程が要求されるが、素子に使用される基板が低い耐熱性を有する、又は軟化点及び融点が低い場合に、薄膜転写技術は非常に有益に活用されることができる。特に、フレキシブル薄膜素子の場合にも活用の有益性が非常に大きい。
【００５７】
この場合、第２基板は高分子物質から成るフレキシブル基板であることができ、薄膜はポリシリコンのような無機物又は金属薄膜の素子で、例えば薄膜トランジスタ、太陽電池及びバイオセンサのうちいずれかひとつであることができる。
【００５８】
本発明は上述した実施形態及び添付の図面により限定されるものではなく、添付の請求範囲により限定される。従って、請求範囲に記載された本発明の技術的思想を外れない範囲内で多様な形態の置換、変形及び変更が可能であることは当技術分野の通常の知識を有する者には自明であり、これも添付の請求範囲に記載された技術的思想に属する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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