(57)【要約】      （修正有）【課題】低い周波数領域の特性評価を行う場合等においても広いスペースを必要とすることのないよう、小型化を図る。【解決手段】インピーダンス変換用チューナ１０５の伝送線路１００Ａを、帯状の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂと、これらの間に配置された中心導体１０２とから形成し、この伝送線路１００Ａを、略Ｃ字状に湾曲させて曲がり構造部５０Ａを有するものとした。また、伝送線路の曲がり構造部は、伝送線路を螺旋状としたり、ジグザグ状とすることでも実現できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに間隔を隔てて対向した一対の帯状の平行接地導体と前記平行接地導体の間に配置された中心導体とから構成されるスラブ型の伝送線路と、
前記伝送線路を構成する一対の前記平行接地導体の間に挿入されて、前記平行接地導体が連続する方向に沿ってスライド可能とされた一以上の金属片からなるスラグと、
前記伝送線路の一方の端部と他方の端部にそれぞれ設けられた端子と、を備え、
前記伝送線路は、前記一方の端部と前記他方の端部との間において、前記一方の端部と前記他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対して湾曲または曲折した曲がり構造部を有することを特徴とするインピーダンス変換用チューナ。
【請求項２】
前記曲がり構造部は、円形または円形の一部を含む曲線状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインピーダンス変換用チューナ。
【請求項３】
前記曲がり構造部は、前記一方の端部と前記他方の端部とを直線的に結ぶ軸線の周囲を螺旋状に湾曲して形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインピーダンス変換用チューナ。
【請求項４】
前記曲がり構造部は、前記一方の端部と前記他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対し、一方の側と他方の側とに交互に突出するよう屈曲または湾曲形成されたジグザグ状とされていることを特徴とする請求項１に記載のインピーダンス変換用チューナ。
【請求項５】
前記曲がり構造部は、前記一方の端部と前記他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対して交差する方向に、直線状に延びる部分を有することを特徴とする請求項４に記載のインピーダンス変換用チューナ。
【請求項６】
被測定デバイスの電気的特性を調べるのに使用されるロードプル測定系であって、
ソース側測定系と、ロード側測定系とを備え、
前記ソース側測定系は、基本波周波数信号を供給する信号源と、前記信号源から供給された信号のインピーダンス調整機能を有するソース側測定用チューナと、を備え、
前記ロード側測定系は、前記被測定デバイスの出力信号のインピーダンス調整機能を有するロード側測定用チューナと、前記被測定デバイスから発生する基本波および高次高調波成分を測定するスペクトラムアナライザと、を備え、
前記ソース側測定用チューナおよび前記ロード側測定用チューナは、それぞれ、
互いに間隔を隔てて対向した一対の帯状の平行接地導体と前記平行接地導体の間に配置された中心導体とから構成されるスラブ型の伝送線路と、
前記伝送線路を構成する一対の前記平行接地導体の間に挿入されて、前記平行接地導体が連続する方向に沿ってスライド可能とされた一以上の金属片からなるスラグと、
前記伝送線路の一方の端部と他方の端部にそれぞれ設けられた端子と、を備え、
前記伝送線路は、前記一方の端部と前記他方の端部との間において、前記一方の端部と前記他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対して湾曲または曲折した曲がり構造部を有することを特徴とするロードプル測定系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波半導体素子やデバイスならびにマイクロ波回路についての入力インピーダンスおよび出力インピーダンスを変化させて、高周波トランジスタの出力・効率・歪み特性の負荷依存性や入力電力依存性等の電気的特性を調べるロードプル測定またはソースプル測定に使用されるインピーダンス変換用チューナ、およびそれを用いたロードプル測定系に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロ波技術の分野において、マイクロ波半導体素子やデバイスならびにマイクロ波回路についての測定あるいは設計技術が著しく進展している。マイクロ波半導体素子やデバイスの特性を評価して回路設計に有効に活用するために、これらの特性を精度よく測定する技術がますます重要になっている。
【０００３】
マイクロ波半導体素子である高周波デバイス、例えば高周波トランジスタ素子の電気的測定として、その入出力端子にチューナを接続し、チューナのインピーダンスを変化させることにより、高周波トランジスタの出力・効率・歪み特性の負荷依存性や入力電力依存性等の電気的特性を調べる方法が、ロードプル測定法またはソースプル測定法として知られている。
【０００４】
ロードプル測定装置の代表的な機械的チューナとして、スラグチューナと呼ばれるインピーダンス変換用チューナがある。このようなインピーダンス変換用チューナは、主として平行接地導体と中心導体から構成されるスラブ型伝送線路と、金属片（スラグ）と、同軸端子とによって構築されている。伝送線路は直線状に伸びる帯状で、スラグは伝送線路に沿って直線上に配置されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
例えば、特許文献１に記載されたインピーダンス変換用チューナや、Focus Microwave社(http://www.focus-microwaves.com/)製の製品名iMPT-1808TC、iMPT-808-TCといったインピーダンス変換用チューナは、図５に簡易的に示すような構造を備えている。すなわち、一定間隔を隔てて互いに平行に接地された帯状の平行接地導体１ａ、１ｂと、これら平行接地導体１ａ、１ｂの間のほぼ中心に配置された中心導体２とから、スラブ型の伝送線路５が構成されている。そして、スラグ３ａ〜３ｃが、伝送線路５の平行接地導体１ａ、１ｂの間に、中心導体２の軸線に直交する方向から挿入されている。また、伝送線路５の両端部には、同軸端子４ａ、４ｂが設けられ、一方が入力端子、他方が出力端子となる。このようなインピーダンス変換用チューナは、スラグ３ａ〜３ｃの位置を機械的に制御することでインピーダンス変換を行う構造を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２６４３７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記したようなインピーダンス変換用チューナは、周波数領域に関係なく伝送線路を直線状に構築していたために、低い周波数領域の特性評価を行う場合に使用される伝送線路長が長くなり、チューナが大型化してしまうという問題点があった。
ロードプル測定法による測定系を構築するためには、ロード側測定用チューナとソース側測定用チューナの二つのチューナを用いる必要がある。このため、チューナが大型化すると測定系を設置するために広いスペースが必要となってしまう。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、低い周波数領域の特性評価を行う場合等においても広いスペースを必要とすることのないよう、小型化を図ることのできるインピーダンス変換用チューナ、ロードプル測定系を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる目的のもと、本発明のインピーダンス変換用チューナは、互いに間隔を隔てて対向した一対の帯状の平行接地導体と平行接地導体の間に配置された中心導体とから構成されるスラブ型の伝送線路と、伝送線路を構成する一対の平行接地導体の間に挿入されて、平行接地導体が連続する方向に沿ってスライド可能とされた一以上の金属片からなるスラグと、伝送線路の一方の端部と他方の端部にそれぞれ設けられた端子と、を備え、伝送線路は、一方の端部と他方の端部との間において、一方の端部と他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対して湾曲または曲折した曲がり構造部を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明のロードプル測定系は、被測定デバイスの電気的特性を調べるのに使用されるロードプル測定系であって、ソース側測定系と、ロード側測定系とを備え、ソース側測定系は、基本波周波数信号を供給する信号源と、信号源から供給された信号のインピーダンス調整機能を有するソース側測定用チューナと、を備え、ロード側測定系は、被測定デバイスの出力信号のインピーダンス調整機能を有するロード側測定用チューナと、被測定デバイスから発生する基本波および高次高調波成分を測定するスペクトラムアナライザと、を備え、ソース側測定用チューナおよびロード側測定用チューナは、互いに間隔を隔てて対向した一対の帯状の平行接地導体と平行接地導体の間に配置された中心導体とから構成されるスラブ型の伝送線路と、伝送線路を構成する一対の平行接地導体の間に挿入されて、平行接地導体が連続する方向に沿ってスライド可能とされた一以上の金属片からなるスラグと、伝送線路の一方の端部と他方の端部にそれぞれ設けられた端子と、を備え、伝送線路は、一方の端部と他方の端部との間において、一方の端部と他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対して湾曲または曲折した曲がり構造部を有することを特徴とすることもできる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、伝送線路が、一方の端部と他方の端部との間において、一方の端部と他方の端部とを直線的に結ぶ方向に対して、湾曲または曲折した曲がり構造部を有することで、従来の直線状の伝送線路を備えたインピーダンス変換用チューナに比較して小型化を図ることができる。したがって、特に、低い周波数領域の特性評価を行う場合において、伝送線路の線路長が長くなっても、インピーダンス変換用チューナが大型化してしまうのを抑えることが可能となり、このインピーダンス変換用チューナを用いてロードプル測定系等の測定系を組むのに必要なスペースを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態におけるロードプル測定系の概略構成図である。
【図２】第１の実施形態におけるインピーダンス変換用チューナを示す図であり、（ａ）は伝送線路が連続する方向に沿った断面図、（ｂ）は伝送線路が連続する方向に直交する方向の断面図、（ｃ）は伝送線路を上面から見た断面図である。
【図３】第２の実施形態におけるインピーダンス変換用チューナを示す図であり、（ａ）は伝送線路が連続する方向に沿った断面図、（ｂ）は伝送線路が連続する方向に直交する方向の断面図である。
【図４】第３の実施形態におけるインピーダンス変換用チューナを示す図であり、（ａ）は一対の平行接地導体を結ぶ方向の断面図、（ｂ）は、（ａ）は伝送線路が連続する方向の断面図、（ｃ）は伝送線路が連続する方向に直交する方向の断面図である。
【図５】従来のスラブ型の伝送線路の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいてこの発明を詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１、図２は、本発明にかかるインピーダンス変換用チューナの第１実施形態を示すものである。本実施形態では、本発明で提案したインピーダンス変換チューナの例として、ロードプル測定系を例に挙げる。
図１に示すように、ロードプル測定系は、ソース側測定用チューナ１０ａを有するソース側測定系２００と、ロード側測定用チューナ１０ｂを有するロード側測定系３００と、から構成されている。
【００１３】
ソース側測定系２００は、基本波周波数信号を供給する信号源１１と、信号源１１からの信号を一定の割合で分岐する方向性結合器１３と、方向性結合器１３により分岐された信号の信号レベルを測定することで信号源１１からの出力をモニターするパワーメータ１２と、被測定デバイスＤからの反射波が信号源１１に影響を及ぼすのを防ぐアイソレータ１４と、被測定デバイスＤへのバイアス供給に用いるバイアスティー１５と、入力信号のインピーダンス調整機能を有するソース側測定用チューナ１０ａと、を含んで構成されている。
【００１４】
一方、ロード側測定系３００は、被測定デバイスＤの出力信号のインピーダンス調整機能を有するロード側測定用チューナ１０ｂと、被測定デバイスＤの出力端子へのバイアス供給に用いるバイアスティー１７と、被測定デバイスＤから発生する基本波および二次および三次等の高次高調波成分を測定するスペクトラムアナライザ１８と、を備える。
【００１５】
このようなロードプル測定系のロード側測定用チューナ１０ｂおよびソース側測定用チューナ１０ａは、目的とする周波数においてそのインピーダンスを各々機械的に変化させることにより、実際に入出力信号レベルにおいて、ソース側（信号源側）、ロード側（負荷側）のインピーダンスを変化させる。このようにインピーダンスを変化させたときの、出力・効率・歪み特性の負荷依存性や入力電力依存性等の電気的特性をパワーメータ１２やスペクトラムアナライザ１８で調べる方法が、ロードプルまたはソースプル測定である。
【００１６】
次に、上記したようなロードプル測定系のロード側測定用チューナ１０ｂおよびソース側測定用チューナ１０ａとして用いることのできる、本発明のインピーダンス変換用チューナ１０５について説明する。
図２に示すように、一定間隔を隔てて互いに平行に設置された一対の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂと、これら平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間のほぼ中心に配置された中心導体１０２とから、スラブ型の伝送線路１００Ａが構成されている。
本実施形態において、インピーダンス変換用チューナ１０５は、全体として略円形をなしており、これに伴い、伝送線路１００Ａは略Ｃ字状の曲がり構造部５０Ａを有している。すなわち、帯状の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂは、略Ｃ字状に湾曲して連続し、その厚さ方向に所定寸法の間隙を隔てて対向配置されている。中心導体１０２は、これら平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間において、平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの幅方向の中心に沿って、同様に略Ｃ字状に湾曲しながら連続するよう配置されている。このような平行接地導体１０１ａ、１０１ｂと中心導体１０２とにより、略Ｃ字状の曲がり構造部５０Ａが形成されている。
【００１７】
伝送線路１００Ａの両端部１００ａ、１００ｂは、一定の間隔を隔てて対向し、一方の端部１００ａに同軸端子１０４ａが設けられて入力端子または出力端子とされ、他方の端部１００ｂに同軸端子１０４ｂが設けられて出力端子または入力端子とされる。
【００１８】
平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの幅方向の一方の側、本実施形態においては、略Ｃ字状に湾曲した平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの外周側に、一つ以上の金属片からなるスラグ１０３（本実施形態では三つのスラグ１０３ａ〜１０３ｃ）が設けられている。これらのスラグ１０３ａ〜１０３ｃは、略Ｃ字状に湾曲した平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間に、その外周側から内周側に向けて挿入されて設けられている。
【００１９】
このようなインピーダンス変換用チューナ１０５は、スラグ１０３を、伝送線路１００Ａが連続する方向、および伝送線路１００Ａを構成する中心導体１０２の軸線に直交する方向に沿って中心導体１０２に接近・離間する方向の位置を変化させることによって、任意のインピーダンスを生成している。
同軸端子１０４ａが入力端子の場合、同軸端子１０４ａからスラグ１０３までの距離を調整することで、被測定デバイスＤの出力端子からの電気角を変化させ、中心導体１０２からスラグ１０３までの距離を調整することによって、被測定デバイスＤの出力端子から見たインピーダンスに対応した反射係数の絶対値を変化させる。
【００２０】
上述したようなインピーダンス変換用チューナ１０５によれば、電磁界特性を損ねることなくスラブ式の伝送線路１００Ａの構築が可能であり、伝送線路１００Ａが略Ｃ字状に湾曲形成されているので、従来の直線状の伝送線路１０を備えたインピーダンス変換用チューナ１０５に比較し、例えば１／３程度までの小型化を図ることができる。
したがって、特に、低い周波数領域の特性評価を行う場合において伝送線路１００Ａの線路長が長くなっても、インピーダンス変換用チューナ１０５が大型化してしまうのを抑えることが可能となる。これにより、図１に示したようなロードプル測定系を構築する場合において、ソース側測定用チューナ１０ａおよびロード側測定用チューナ１０ｂの二つのチューナを用いる必要があっても、測定系を組むスペースを減少させることができる。
【００２１】
なお、上記実施形態では、伝送線路１００Ａを略Ｃ字状に湾曲した曲がり構造部５０Ａにより形成するようにしたが、曲がり構造部５０Ａは、伝送線路１００Ａの一部のみとすることも可能である。すなわち、曲がり構造部５０Ａ以外は、伝送線路１００Ａの一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に延在するように設けるのである。このような構成であっても、曲がり構造部５０Ａを設けることで伝送線路１００Ａの線路長を稼ぐことが可能であり、上記と同様の効果が得られる。
また、曲がり構造部５０Ａは、略Ｃ字状に限るものではなく、長円形状、楕円形状等の他、三角形状、四角形状等の多角形状とすることもできる。
【００２２】
（第２実施形態）
次に、本発明に係るインピーダンス変換用チューナの第２の実施形態について説明する。
第２の実施形態におけるインピーダンス変換用チューナ１０５は、上記第１の実施形態と主たる構成は同一であり、伝送線路１００Ｂの構造（形状）のみが異なる。そこで、以下の説明においては、上記第１の実施形態と共通する構成については同符号を付してその説明を省略する。
図３に示すように、インピーダンス変換用チューナ１０５は、一定間隔を隔てて互いに平行に設置された一対の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂと、これら平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間のほぼ中心に配置された中心導体１０２とから、スラブ型の伝送線路１００Ｂが構成されている。
【００２３】
本実施形態において、インピーダンス変換用チューナ１０５は、全体として螺旋状をなしており、これに伴い、伝送線路１００Ｂは、その一方の端部１００ａから他方の端部１００ｂに向けて、仮想の中心軸Ｃの周りに一定半径の曲率半径で湾曲しながら、中心軸Ｃに沿った方向に連続する、いわゆる螺旋状の曲がり構造部５０Ｂを有している。すなわち、帯状の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂは、螺旋状に湾曲して連続し、その厚さ方向に所定寸法の間隙を隔てて対向配置されている。中心導体１０２は、これら平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間において、平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの幅方向の中心に沿って、同様に螺旋状に湾曲しながら連続するよう配置されている。
【００２４】
平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの幅方向の一方の側に、一つ以上の金属片からなるスラグ１０３（本実施形態では三つのスラグ１０３ａ〜１０３ｃ）が設けられ、これらのスラグ１０３ａ〜１０３ｃは、螺旋状に湾曲した平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間に挿入されて設けられている。これらのスラグ１０３ａ〜１０３ｃは、その位置を伝送線路１００Ｂが連続する方向、および伝送線路１００Ｂを構成する中心導体１０２の軸線に直交する方向に沿って中心導体１０２に接近・離間する方向にスライド移動させて機械的に制御することでインピーダンス変換を行う構造を有している。
【００２５】
上述したような構成によれば、電磁界特性を損ねることなくスラブ式の伝送線路１００Ｂの構築が可能であり、インピーダンス変換用チューナ１０５の小型化を図ることができ、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
ここで、伝送線路１００Ｂを螺旋状とすることで、第１の実施形態の構成に比較し、伝送線路１００Ｂを短くすることが可能になり、インピーダンス変換用チューナ１０５のさらなる小型化を実現することができる。
すなわち、伝送線路１００Ｂは、線路長を長くする場合、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとの間隔を一定にしながらも、伝送線路１００Ｂを螺旋状に巻くときのピッチを小さくしたり、中心軸Ｃに対する曲率半径を大きくすることで、その線路長を確保できる。これにより、特に、低い周波数領域の特性評価を行う場合において伝送線路１００Ｃの線路長を長くしても、インピーダンス変換用チューナ１０５が大型化してしまうのを抑えることが可能となる。
【００２６】
本実施形態においても、上記第一の実施形態と同様、曲がり構造部５０Ｂは、伝送線路１００Ｂの一部のみとすることも可能である。すなわち、曲がり構造部５０Ｂ以外は、伝送線路１００Ｂの一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に延在するように設けるのである。このような構成であっても、曲がり構造部５０ＢＡを設けることで伝送線路１００Ｂの線路長を稼ぐことが可能であり、上記と同様の効果が得られる。
また、曲がり構造部５０Ｂは、中心軸Ｃに直交する方向から見たときに円形となるような螺旋状に限らず、中心軸Ｃに直交する方向から見たときの形状が、長円形状、楕円形状等の他、三角形状、四角形状等の多角形状とすることもできる。
【００２７】
（第３実施形態）
次に、本発明に係るインピーダンス変換用チューナの第３の実施形態について説明する。
第３の実施形態におけるインピーダンス変換用チューナ１０５は、上記第１の実施形態と主たる構成は同一であり、伝送線路１００Ｃの構造（形状）のみが異なる。そこで、以下の説明においては、上記第１の実施形態と共通する構成については同符号を付してその説明を省略する。
図４に示すように、インピーダンス変換用チューナ１０５は、一定間隔を隔てて互いに平行に設置された一対の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂと、これら平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間のほぼ中心に配置された中心導体１０２とから、スラブ型の伝送線路１００Ｃが構成されている。
【００２８】
本実施形態において、インピーダンス変換用チューナ１０５は、全体としてジグザグ状をなしており、これに伴い、伝送線路１００Ｃは、ジグザグ状に屈曲させた曲がり構造部５０Ｃを有している。すなわち、帯状の平行接地導体１０１ａ、１０１ｂは、その厚さ方向に所定寸法の間隙を隔てて対向配置され、伝送線路１００Ｃの一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向を挟んで、一方の側と他方の側とに交互に延びるよう、ジグザグ状に形成されている。詳しくは、伝送線路１００Ｃは、一方の端部１００ａから他方の端部１００ｂに向けて一定長連続した後、屈曲部Ｃ１において直角に屈曲し、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に対し交差（直交）する方向に向けて直線的に延びて連続する。その後、屈曲部Ｃ２において直角に屈曲し、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に向けて直線的に延びる。さらに、屈曲部Ｃ３において直角に屈曲し、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ軸線に交差する方向に、この軸線を挟んで反対側に向けて延びて連続する。この後は、屈曲部Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６で同様に直交する方向に屈曲し、他方の端部１００ｂへと至る。つまり、伝送線路１００Ｃは、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に直線状に延びる部分１００ｘと、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に対して交差（直交）する方向に、直線状に延びる部分１００ｙと、を交互に有する。
中心導体１０２は、これら平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間において、平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの幅方向の中心に沿って、同様にジグザグ状に屈曲しながら連続するよう配置されている。
【００２９】
平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの幅方向の一方の側に、一つ以上の金属片からなるスラグ１０３（本実施形態では三つのスラグ１０３ａ〜１０３ｃ）が設けられ、これらのスラグ１０３ａ〜１０３ｃは、平行接地導体１０１ａ、１０１ｂの間に挿入されて設けられている。これらのスラグ１０３ａ〜１０３ｃは、その位置を伝送線路１００Ｃが連続する方向、および伝送線路１００Ｃを構成する中心導体１０２の軸線に直交する方向に沿って中心導体１０２に接近・離間する方向にスライド移動させて機械的に制御することでインピーダンス変換を行う構造を有している。
【００３０】
上述したような構成によれば、電磁界特性を損ねることなくスラブ式の伝送線路１００Ｃの構築が可能であり、インピーダンス変換用チューナ１０５の小型化を図ることができ、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
ここで、伝送線路１００Ｃをジグザグ状とすることで、上記第１の実施形態の構成に比較し、伝送線路１００Ｃを、必要な長さを確保しつつ小型化することができ、インピーダンス変換用チューナ１０５のさらなる小型化を実現することができる。
このような伝送線路１００Ｃは、線路長を長くする場合、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとの間隔を一定にしながらも、一方の端部１００ａと他方の端部１００ｂとを結ぶ方向に対し直交する方向に突出する寸法を大きくすることでその線路長を確保できる。これにより、特に、低い周波数領域の特性評価を行う場合において伝送線路１００Ｃの線路長を長くしても、インピーダンス変換用チューナ１０５が大型化してしまうのを抑えることが可能となる。
【００３１】
なお、上記第３の実施形態では、伝送線路１００Ｃの曲がり構造部５０Ｃを、ジグザグ状に屈曲させたが、これに代えてジグザグ状に湾曲させることも可能である。
【００３２】
（その他の実施形態）
なお、本発明のインピーダンス変換用チューナ１０５は、図面を参照して説明した上述の各実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例とすることを含む。
【符号の説明】
【００３３】
１０ａ  ソース側測定用チューナ
１０ｂ  ロード側測定用チューナ
１１  信号源
１２  パワーメータ
１３  方向性結合器
１４  アイソレータ
１５  バイアスティー
１７  バイアスティー
１８  スペクトラムアナライザ
５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ  曲がり構造部
１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ  伝送線路
１０１ａ、１０１ｂ  平行接地導体
１０２  中心導体
１０３、１０３ａ〜１０３ｃ  スラグ
１０４ａ、１０４ｂ  同軸端子
１０５  インピーダンス変換用チューナ
２００  ソース側測定系
３００  ロード側測定系
【図１】
2010204052.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2010204052.tif 000006
【図５】
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