(57)【要約】【課題】基板保持装置において、位置決め時の基板の破損を防ぐとともに、基板を正確に位置決めする。【解決手段】基板Ｓを基準位置に位置決めして収納する基板トレイ２と、基板トレイ２が載置されるホルダと３、基板トレイ２をホルダ３の基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構４と、を備える構成とする。好ましくは、基板トレイ２は、基板Ｓに電気的に接続されるトレイ側給電端子２ａを有し、ホルダ３は、トレイ側給電端子２ａに接続される装置側給電端子５を有し、トレイ位置決め機構４は、基板トレイ２の位置決め、及び、トレイ側給電端子２ａと装置側給電端子５との接続を行う構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を基準位置に位置決めして収納する基板トレイと、
前記基板トレイが載置されるホルダと、
前記基板トレイを前記ホルダの基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構と、
を備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
前記基板トレイは、前記基板に電気的に接続されるトレイ側給電端子を有し、
前記ホルダは、前記トレイ側給電端子に接続される装置側給電端子を有し、
前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの位置決め、及び、前記トレイ側給電端子と前記装置側給電端子との接続を行う、
ことを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材とを有し、
前記複数のトレイ押付部材は、前記基板トレイを前記トレイ用基準部材に対し押付ける基板トレイ押付部材と、その押付方向と交差する方向に前記基板トレイを前記装置側給電端子に対し押付けるトレイ押付部材とを含む、
ことを特徴とする請求項２記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記基板トレイの前記基板保持装置への搬入時の第１の位置と該第１の位置から下方に退避した第２の位置とに移動するストッパを更に備えることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材とを有し、
前記ストッパは、前記第１の位置において前記複数のトレイ用基準部材及び前記複数のトレイ押付部材で区画されるトレイ載置領域に位置し、前記第２の位置において前記トレイ載置領域の外側に位置する、
ことを特徴とする請求項４記載の基板保持装置。
【請求項６】
前記ストッパは、前記第１の位置において立ち上がった状態にあり、前記第１の位置から前記第２の位置に向かって倒れながら移動することを特徴とする請求項４又は請求項５記載の基板保持装置。
【請求項７】
前記ストッパは、前記第１の位置と前記第２の位置との間で上下動することを特徴とする請求項４記載の基板保持装置。
【請求項８】
前記基板トレイが載置される上方の位置と、前記ホルダとの間で前記基板トレイを受け渡す下方の位置とに上下動するリフタを更に備え、
前記ストッパは、前記基板トレイが前記リフタに載置される際に前記第１の位置にあり、前記基板トレイが前記リフタに載置された後に前記第１の位置から前記第２の位置に移動する、
ことを特徴とする請求項４記載の基板保持装置。
【請求項９】
前記ストッパは、前記リフタの下降動作と同時に、前記第１の位置から前記第２の位置に移動することを特徴とする請求項８記載の基板保持装置。
【請求項１０】
前記トレイ位置決め機構は、前記基板トレイの基準位置を規定する複数のトレイ用基準部材と、該複数のトレイ用基準部材に対し前記基板トレイを押付ける複数のトレイ押付部材と、該トレイ押付部材を支持するスライダと、該スライダを移動させるガイドレールとを有することを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項１１】
前記トレイ位置決め機構の前記ガイドレールは、前記複数のトレイ用基準部材及び前記複数のトレイ押付部材で区画されるトレイ載置領域の外側に位置することを特徴とする請求項１０記載の基板保持装置。
【請求項１２】
前記基板トレイは、該基板トレイに対し前記基板を位置決めする基板位置決め機構を有し、
該基板位置決め機構は、前記基板の基準位置を規定する複数の基板用基準部材と、該複数の基板用基準部材に対し前記基板を押付ける複数の基板押付部材と、該基板押付部材を支持するスライダと、該スライダを移動させるガイドレールとを含む、
ことを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項１３】
前記基板位置決め機構の前記ガイドレールは、前記複数の基板用基準部材及び前記複数の基板押付部材で区画される基板収納領域の外側に位置することを特徴とする請求項１２記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬディスプレイその他のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの基板を保持する基板保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、ＦＰＤの製造工程では、薄板状のガラス基板の品質を管理するために各製造工程毎にガラス基板を、ロボットや作業者の手作業により検査装置のステージ上に搬入して検査している。この時、ガラス基板を基準ピンに押し当てて基準位置に位置決めした後、ガラス基板を真空吸着によりステージ上に吸着保持するようにしている。
【０００３】
ところが、ガラス基板をステージ上に載置すると、基板をホルダ上で位置決めする際にステージと基板との間の摩擦によって基板に大きな力を加える必要があり、基板が破損するという問題があった。
【０００４】
この問題を解決するために、ステージ上にボールキャスタを介して保持ステージを載置し、この保持ステージにガラス基板を吸着保持させた後、保持ステージを押付けピンにより基準ピン側に移動させることで、基板を直接的に基準ピンに押し当てて基板の位置決めをする手法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−３１３８１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載されるように保持ステージの一部に基準ピンと接触させる切欠きを形成し、薄くて脆いガラス基板を基準ピンに直接的に押し当てて基板の位置決めを行うと、基準ピンに押し当てられた際に保持ステージの重量によりガラス基板に大きな集中荷重が加わり破損するという新たな問題が生じる。また、作業者の手作業によりガラス基板を保持ステージ上に搬入する場合、薄いガラス基板の両端を手で持って保持ステージ上に置く際に、ガラス基板が大きく撓み破損するおそれがある。
【０００７】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、位置決め時の基板の破損を防ぐことができるとともに、基板を正確に位置決めできる基板保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板保持装置は、基板を基準位置に位置決めして収納する基板トレイと、前記基板トレイが載置されるホルダと、前記基板トレイを前記ホルダの基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、位置決め時の基板の破損を防ぐことができるとともに、基板を正確に位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態に係る、基板トレイが載置された基板保持装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る基板保持装置を示す斜視図（その１）である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る基板保持装置を示す斜視図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態に係る基板保持装置について、図面を参照しながら説明する。
本実施の形態では、基板（有機ＥＬディスプレイ）Ｓの点灯検査工程において基板Ｓを保持する基板保持装置１について説明する。
【００１２】
図１〜図３に示す基板保持装置１は、矩形状の基板Ｓを基準位置に位置決めして収納する収納する基板トレイ２と、基板トレイ２が載置されるホルダ３と、基板トレイ２をホルダ３の基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構４と、装置側給電端子５と、２つのリフタ６，７と、３つのストッパ８，９，１０と、シリンダ１１，１２と、ホルダ用スライダ１３とを備える。
【００１３】
図１に示すように、基板トレイ２は、装置側給電端子５に接続されるトレイ側給電端子２ａと、基板トレイ２に対し基板Ｓを位置決めする基板位置決め機構（２ｅ〜２ｍ）とを有する。
【００１４】
また、基板トレイ２は、矩形状の開口部２ｂが形成された略矩形枠状を呈する。開口部２ｂには、その短辺方向と平行に複数の基板支持梁２ｃが架設されている。基板支持梁２ｃは、断面が矩形状の棒部材により形成され、その上面に基板Ｓの底面を支持する基板支持ピン２ｄが一定間隔で並設されている。支持ピン２ｄの上端には、低摩擦部材よりなるボールが回転自在に埋めこまれている。支持ピン２ｄは、基板Ｓとの接触摩擦抵抗が小さな部材で形成すれば、先端にボールを埋設しなくても良い。また、基板支持梁２ｃは、低摩擦部よりなる線材であってもよく、この場合には支持ピン２ｄは不要となる。
【００１５】
トレイ側給電端子２ａは、基板トレイ２の短辺側の側面端部から外側に突出するように設けられている。なお、基板Ｓと基板トレイ２とを例えば図示しない配線を介して互いに接続しておくことで、ホルダ３の装置側給電端子５からトレイ側給電端子２ａへ供給される電流を、基板トレイ２から基板Ｓに供給して、基板Ｓの点灯検査を行うことができる。
【００１６】
基板位置決め機構は、基板Ｓの基準位置を規定する例えば円筒ローラや円柱ピンなどの３つの基板用基準部材２ｅ，２ｆ，２ｇと、これら基板用基準部材２ｅ，２ｆ，２ｇに対し基板Ｓを押付ける２つの基板押付部材２ｈ，２ｉと、これら基板押付部材２ｈ，２ｉを移動させる駆動機構とを含んで構成される。駆動機構は、基板押付部材２ｈ，２ｉを支持するスライダ２ｊ，２ｋと、これらスライダ２ｊ，２ｋを開口部２ｂの長辺と短辺に沿って移動させるガイドレール２ｌ，２ｍとを含んで構成される。スライダ２ｊ，２ｋとガイドレール２ｌ，２ｍの一方の組は、リニアモータで構成される。
【００１７】
基板用基準部材２ｅ，２ｆ，２ｇは、開口部２ｂの基準となる２辺に沿うように基板トレイ２の上面に設けられている。３つのうち２つの基板用基準部材２ｅ，２ｆは、トレイ側給電端子２ａ寄りの長辺側（図１の奥側）の基板トレイ２上面に所定の間隔を開けて設けられ、残る１つの基板用基準部材２ｇは、トレイ側給電端子２ａが位置する短辺側（図１の左側）の基板トレイ２上面に設けられている。これら基板用基準部材２ｅ，２ｆ，２ｇは、ガイドレール２ｌ，２ｍ及びスライダ２ｊ，２ｋと干渉しない位置に設けられている。
【００１８】
２つのうち一方の基板押付部材２ｈは、基板用基準部材２ｅ，２ｆが設けられた長辺に対向する長辺側（図１の手前側）のトレイ側給電端子２ａ寄りの端部に設けられ、他方の基板押付部材２ｉは、基板用基準部材２ｇが設けられた短辺と対向する短辺側（図１の右側）のトレイ側給電端子２ａ寄りの端部に設けられている。
【００１９】
ガイドレール２ｌ，２ｍは、本実施の形態ではスライダ２ｊ，２ｋを移動させるリニアガイド等からなり、一方のガイドレール２ｌは、基板用基準部材２ｇが設けられた短辺側（図１の左側）の基板トレイ２上面に短辺の半分以上の長さに亘って設けられ、他方のガイドレール２ｍは、基板用基準部材２ｅ，２ｆが設けられた長辺側（図１の奥側）の基板トレイ２上面に長辺の半分以上の長さに亘って設けられている。
【００２０】
なお、ガイドレール２ｌ，２ｍは、基板用基準部材２ｅ，２ｆ，２ｇ及び基板押付部材２ｈ，２ｉで区画される基板収納領域（図１においては基板Ｓと略同一領域）の外側に配置されている。
【００２１】
作業者が基板トレイ２を手で持つことができるように、基板トレイ２の上面のうち両短辺側には、持ち手部２ｎ，２ｏが設けられている。
ホルダ３は、図２及び図３に示すように、平面視矩形の開口部３ａが形成された矩形枠状を呈する。ホルダ３の上面のうち基板トレイ２が載置される開口部３ａの近傍には、基板トレイ２の裏面との摩擦抵抗を小さくする目的のために、転動自在に支持されたボール３ｂが、ホルダ３の上面から突出するように埋め込まれている。本実施の形態では、基板トレイ２の搬入方向となる各短辺にボール３ｂが４つ、各長辺に１つの計１０個が埋設されている。
【００２２】
トレイ位置決め機構４は、基板トレイ２の基準位置を規定する３つのトレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃと、これらトレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃに対し基板トレイ２を押付ける３つのトレイ押付部材４ｄ，４ｅ，４ｆと、トレイ押付部材４ｄ，４ｅ，４ｆを移動させる駆動機構とを含んで構成される。
【００２３】
この駆動機構は、３つのうち２つのトレイ押付部材４ｄ，４ｅを支持し基板トレイ２と略平行な面内に延びるアーム部を有するスライダ４ｇ，４ｈと、これらスライダ４ｇ，４ｈを開口部３ａの長辺と短辺に沿って移動させるガイドレール４ｉ，４ｊと、スライダ４ｇ，４ｈが初期位置（トレイ押付部材４ｄ，４ｅの押付け方向と反対方向に退避した図１〜図３に示す状態）にあるか否かを検出するセンサ４ｋ，４ｌとを有する。本実施の形態では、トレイ押付部材４ｆとトレイ用基準部材４ｃを用いてトレイ側給電端子２ａを装置側給電端子５に対し挿抜する。
【００２４】
３つのうち２つのトレイ用基準部材４ａ，４ｂは、装置側給電端子２ａ寄りの長辺側（図１の奥側）のホルダ３上面に設けられ、残る１つのトレイ用基準部材４ｃは、装置側給電端子５が位置する短辺側（図１〜図３の左側）のホルダ３上面に設けられている。
【００２５】
３つのうち２つのトレイ押付部材４ｄ，４ｅは、トレイ用基準部材４ａ，４ｂが設けられた長辺と対向する長辺側（図１〜図３の手前側）の両端に設けられ、残る１つのトレイ押付部材４ｆは、トレイ用基準部材４ｃが設けられた短辺と対向する短辺側（図１〜図３の右側）に装置側給電端子５と対向するように設けられている。
【００２６】
アーム部を兼ねるスライダ４ｇ，４ｈとガイドレール４ｉ，４ｊは、一方の組がリニアモータで構成されている。一方のガイドレール４ｉは、トレイ用基準部材４ｃが設けられた短辺側（図１〜図３の左側）のホルダ３上面に設けられ、他方のガイドレール４ｊは、ガイドレール４ｉが設けられた短辺と対向する短辺側（図１〜図３の右側）のホルダ３上面に設けられている。
【００２７】
なお、ガイドレール４ｉ，４ｊは、トレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃ及びトレイ押付部材４ｄ，４ｅ，４ｆで区画されるトレイ載置領域（図１〜図３においては基板トレイ２と略同一領域）の外側に配置されている。また、ガイドレール４ｉ，４ｊは、トレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃ及びトレイ押付部材４ｄ，４ｅ，４ｆが最も外側に位置する際のトレイ載置領域すなわち最大時のトレイ載置領域のうち、ガイドレール４ｉ，４ｊと平行する開口部３ａの辺に沿って設けられている。本実施の形態では、ガイドレール４ｉ，４ｊは、開口部３ａの辺（短辺）の長さの３分の１の長さに亘って設けられている。ガイドレール４ｉ，４ｊの長さは、ホルダ３上に載置される最大サイズの基板トレイの長さから最小サイズの基板トレイの長さを引いた長さより若干長めであればよい。
【００２８】
図３に示すように、リフタ６，７は、ホルダ３の短辺方向に延び基板トレイ２が載置される棒状の載置部６ａ，７ａと、この載置部６ａ，７ａ及び図示しない駆動部に接続されて載置部６ａ，７ａを上下動させるアーム部６ｂ，７ｂとを有する。
【００２９】
載置部６ａ，７ａは、基板トレイ２が載置される上方の位置と、ホルダ３との間で基板トレイ２を受け渡す下方の位置とに上下動する。なお、図３に示す状態の載置部６ａ，７ａは、ホルダ３との間で基板トレイ２を受け渡す位置よりも更に下方に退避している。
【００３０】
詳しくは後述するが、載置部６ａ，７ａは、基板トレイ２のホルダ３への搬入時には、ホルダ３の上面より上方に突出した基板トレイ２の受け渡し位置に停止し、例えば作業者の手により基板トレイ２が載置される。その後、載置部６ａ，７ａを下降させて基板ホルダ３上に基板トレイ２を載置する。また、載置部６ａ，７ａは、基板トレイ２のホルダ３からの搬出時には、上昇して基板ホルダ３から基板トレイ２を受取り、更に基板トレイ２の受け渡し位置まで上昇して停止し、例えば作業者の手により基板保持装置１から基板トレイ２を搬出させる。
【００３１】
なお、載置部６ａ，７ａの少なくとも上面（基板トレイ２との当接面）を低摩擦素材からなるようにすることで、載置部６ａ，７ａ上で基板トレイ２をスライドさせて、後述するストッパ８，９，１０に対し基板トレイ２を簡単に当接させることができる。
【００３２】
ストッパ８，９は、トレイ用基準部材４ａ，４ｂの基準点よりも内側に前進した第１の位置（Ｐ１）と、トレイ用基準部材４ａ，４ｂの基準点よりも外側に後退した第２の位置（Ｐ２）とに移動する。
【００３３】
具体的には、ストッパ８，９は、リフタ６，７が上昇し基板トレイ２をホルダ３に搬入する際に、基板トレイ２がトレイ用基準部材４ａ，４ｂを乗り越えることなくホルダ３のトレイ載置領域に載置されるように、第１の位置（Ｐ１）まで前進する。ストッパ１０は、トレイ押付部材４ｆより内側に設けられている。リフタ６，７上に載置された基板トレイ２をストッパ８，９，１０に当て付けることによりトレイ載置領域に位置決めする。
【００３４】
なお、ストッパ８，９は、リフタ６，７の下降動作時に基板トレイ２がストッパ８，９との当接面を摺動するのを抑えるために、リフタ６，７の下降動作に同期して第１の位置（Ｐ１）から第２の位置（Ｐ２）に後退する。また、ストッパ１０も、リフタ６，７の下降動作時に基板トレイ２がストッパ１０との当接面を摺動するのを抑えるために、リフタ６，７の下降動作に同期して下降する。
【００３５】
また、ストッパ８，９，１０は、例えば、顕微鏡その他の検査部などとの干渉を回避するために、基板トレイ２がホルダ３の所定位置に載置された後に、基板Ｓの載置面よりも下側に退避させることが望ましい。
【００３６】
３つのうち２つのストッパ８，９は、トレイ用基準部材４ａ，４ｂが設けられたホルダ３の長辺側（図１〜３の奥側）で且つトレイ用基準部材４ａ，４ｂの近傍に配置され、残る１つのストッパ８は、トレイ押付部材４ｆが設けられたホルダ３の短辺側（図１〜図３の右側）に配置されている。
【００３７】
ストッパ８，９は、略直方体形状を呈し、第１の位置（Ｐ１）においてトレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃ及びトレイ押付部材４ｄ，４ｅ，４ｆで区画されるトレイ載置領域内に位置し、第２の位置（Ｐ２）においてトレイ載置領域の外側に位置する。具体的には、ストッパ８，９は、第１の位置（Ｐ１）において立ち上がった状態にあり、シリンダ（駆動部）１１，１２の駆動によって、第１の位置（Ｐ１）から第２の位置（Ｐ２）に向かって倒れながら下方に退避する。
【００３８】
ストッパ１０は、例えば円筒ローラや円柱ピンであり、図示しない駆動部の駆動によって、ホルダ３の上面から突出した第１の位置（Ｐ１）と、ホルダ３の上面より下降した第２の位置（Ｐ２）との間で上下動する。
【００３９】
ホルダ用スライダ１３は、ホルダ３の底面の４つ角に設けられ、例えば検査装置や搬送装置の架台上に平行に設けられた一対のガイドレール１４（一部のみ図示）に沿って移動する。本実施の形態では、一方のホルダ用スライダ１３が一方のガイドレール１４を自走するリニアモータで構成される。他方のホルダ用スライダ１３は、他方のガイドレール１４上をホルダ３に追従して移動する。
【００４０】
以下、基板保持装置１の動作について、上述の構成の説明と重複する部分を適宜省略しながら説明する。
まず、基板Ｓが基板位置決め機構２ｅ〜２ｍによって位置決めされて収納された基板トレイ２は、例えば、作業者により持ち手部２ｎ，２ｏを掴まれて基板保持装置１上に搬入される。
【００４１】
この基板トレイが搬入されるときのリフタ６，７は、載置部６ａ，７ａがホルダ３の開口部３ａから上方に突出した位置に待機し、作業者により運ばれてきた基板トレイ２が載置部６ａ，７ａ上に載置される。また、ストッパ８，９，１０は、リフタ６，７上の基板トレイ２が当接可能な第１の位置（Ｐ１）にあり、基板トレイ２は、例えば作業者に押されることでリフタ６，７の載置部６ａ，７ａ上をスライドして、ストッパ８，９，１０に当接して大まかに位置決めされる。
【００４２】
次に、リフタ６，７が下降して基板トレイ２がホルダ３上に載置される。なお、リフタ６，７の下降動作と同時に、ストッパ８，９，１０が第１の位置（Ｐ１）から第２の位置（Ｐ２）に退避する。
【００４３】
ホルダ３上に基板トレイ２が載置されたことが図示しないセンサにより検出されると、２つのトレイ押付部材４ｄ，４ｅが２つのトレイ用基準部材４ａ，４ｂに対し基板トレイ２を押付ける。基板トレイ２をトレイ用基準部材４ａ，４ｂに押付けた状態で、その押付方向と交差する方向からトレイ押付部材４ｆが基板トレイ２を装置側給電端子５及びトレイ用基準部材４ｃに対し押付ける。これにより、基板トレイ２のトレイ側給電端子２ａが装置側給電端子５に接続されると共に、基板トレイ２が３つのトレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃに当て付けられて位置決めが完了する。
【００４４】
この後、装置側給電端子５からトレイ側給電端子２ａへ供給される電流を、基板トレイ２から基板Ｓに供給して、基板Ｓを点灯させ点灯検査を行う。
基板Ｓの点灯検査時には、ホルダ用スライダ１３をガイドレール１４に沿って駆動させてホルダ３を一方向に移動させることで、顕微鏡などのミクロ検査装置あるいは作業者による目視観察を行うことが可能となる。なお、基板保持装置１を固定し、ミクロ検査装置をＸＹ方向に移動させて検査を行う場合には、ホルダ用スライダ１３やガイドレール１４は不要になる。
【００４５】
検査が終了して基板トレイ２をホルダ３から取り外す際には、まず、基板押付部材４ｆ（図１〜図３の右側）を、基板トレイ２を押付ける位置から後退させる。そして、基板用基準部材４ｃ（図１〜図３の左側）を前進させて基板トレイ２を押して装置側給電端子５から基板トレイ２のトレイ側給電端子２ａを切り離す。また、スライダ４ｇ，４ｈ（図１〜図３の手前側）をガイドレール４ｉ，４ｊに沿って後退させて、基板押付部材４ｄ，４ｅを、基板トレイ２を押付ける位置から退避させる。そして、基板用基準部材４ａ，４ｂ（図１〜図３の奥側）により基板トレイ２を押付けて基板トレイ２を前方に寄せる。
【００４６】
このように基板位置決め機構４による位置決めが解除されると、図２に示すリフタ６，７が下方の退避位置から上昇して基板ホルダ３から基板トレイ２を受取り、更に上昇して載置部６ａ，７ａがホルダ３の開口部３ａから上方に突出した状態で、例えば作業者の手により基板保持装置１から基板トレイ２を搬出させる。
【００４７】
以上説明した本実施の形態では、基板保持装置１は、基板Ｓを基準位置に位置決めして収納する基板トレイ２が載置されるホルダ３と、基板トレイ２をホルダ３の基準位置に位置決めするトレイ位置決め機構４とを備える。そのため、基板トレイ２に基板Ｓを収納し、この基板トレイ２をトレイ位置決め機構４によりホルダ３に対し位置決めするため、基板Ｓにトレイ位置決め機構４が直接触れることなく位置決めすることが可能になり、位置決め時の基板Ｓの破損を防ぐことができる。更には、基板Ｓを基板トレイ２に収納することにより、基板トレイ２に収納したまま作業者の手による薄くて撓みやすい基板を安全に搬送することができるとともに、搬送時等に基板Ｓに大きな負荷が加わらないため破損しづらくなり、基板Ｓの破損を有効に防ぐことができる。
【００４８】
また、本実施の形態では、トレイ位置決め機構４は、基板トレイ２のトレイ側給電端子２ａと装置側給電端子５とを接続する。更には、トレイ押付部材４ｄ，４ｅが基板トレイ２をトレイ用基準部材４ａ，４ｂに対し押付けた状態で、その押付方向と交差する方向にトレイ押付部材４ｆが基板トレイ２を装置側給電端子５に対し押付ける。これらの構成により、基板トレイ２の位置決め動作によって、装置側給電端子５にトレイ側給電端子２ａを確実に接続させることができる。
【００４９】
また、本実施の形態では、ストッパ８，９，１０は、基板トレイ２が載置されたホルダ３の上面より下方に退避するため、顕微鏡などのミクロ検査部がストッパ８，９，１０に干渉することなく安全に基板を検査することができる。
【００５０】
また、本実施の形態では、ストッパ８，９は、基板トレイ２の搬入時において、複数のトレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃより若干前方の位置まで前進させ、基板トレイ２の位置決時においてトレイ載置領域の外側に後退させる。このような構成により、基板トレイ２をホルダ３上に搬入する際に、基板トレイ２の移動がストッパ８，９により規制されるため、トレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃ等への基板トレイ２の乗り上げを防止することができる。
【００５１】
また、本実施の形態では、ストッパ８，９は、リフタ６,７の下降動作に同期して倒れながら後退すると共に、ストッパ１０は、基板トレイ２の下降動作に追従して下降するため、基板トレイ２がストッパ８，９，１０に摺接することなく、基板トレイ２をホルダ３に対して受け渡すことが可能になり、擦れによる発塵を防止することができる。
【００５２】
また、本実施の形態では、リフタ６，７は、基板トレイ２が載置される上方の位置と、ホルダ３との間で基板トレイ２を受け渡す下方の位置とに上下動し、ストッパ８，９，１０は、基板トレイ２がリフタ６，７に載置される際に基板トレイ２の上面よりも突出して設けられるため、トレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃ等への基板トレイ２の乗り上げを有効に防止することができる。
【００５３】
また、本実施の形態では、トレイ位置決め機構４は、トレイ押付部材４ｄ，４ｅを支持するスライダ４ｇ，４ｈをガイドレール４ｉ，４ｊに沿って移動可能に設けることで、スライダ４ｇ，４ｈを任意の位置に移動させ可動範囲を広げることが可能になり、複数サイズの基板トレイ２をホルダ３に対し容易に位置決めすることができる。
【００５４】
また、本実施の形態では、基板トレイ用の基板位置決め機構は、基板押付部材２ｈ，２ｉを支持するスライダ２ｊ，２ｋをガイドレール２ｌ，２ｍに沿って移動可能に設けることで、スライダ２ｊ、２ｋを任意の位置に移動させ可動範囲を広げることが可能になり、複数サイズの基板Ｓを基板トレイ２に対し容易に位置決めすることができる。
【００５５】
また、本実施の形態では、ガイドレール２ｌ，２ｍは、複数の基板用基準部材２ｅ，２ｆ，２ｇ及び複数の基板押付部材２ｈ，２ｉで区画される基板収納領域の外側に位置するため、基板Ｓの検査時において、ガイドレール２ｌ，２ｍ及びスライダ２ｊ，２ｋがミクロ検査部の移動の妨げとなるのを防ぐことができる。
【００５６】
また、本実施の形態では、基板トレイ２を略矩形枠状に形成し、その開口部２ｂに複数の基板支持梁２ｃを架設して基板Ｓを水平に支持する構成とすることで、基板Ｓの裏面との摩擦抵抗を小さくできるため、小さな押圧力により基板Ｓを基板用基準部材２ｅ,２ｆ、２ｇに押し当てて位置決めすることができる。また、基板Ｓを位置決めした基板トレイ２をホルダ３上に載置させて、基板トレイ２の枠部を押してトレイ用基準部材に押し当てて位置決めすることで、重量のある基板トレイ２の位置決めの際に基板Ｓに接触することなく安全にホルダ３上に基板Ｓを位置決めすることができる。更に、基板トレイ２の上とホルダ３の上で位置決めすることで、ホルダ３に対して基板Ｓを精度よく位置決めすることができる。
【００５７】
なお、本実施の形態では、トレイ位置決め機構４によって基板トレイ２のトレイ側給電端子２ａを挿抜する例について説明したが、給電端子を有さない基板トレイ２の場合にも、トレイ位置決め機構４は、トレイ用基準部材４ａ，４ｂ，４ｃ、トレイ押付部材４ｄ，４ｅ，４ｆなどを用いて基板トレイ２を基準位置に位置決めする。
【００５８】
また、本実施の形態では、基板トレイ２及びホルダ３の中央に開口部２ａ，３ｂが形成される例について説明したが、透過照明を用いた検査を行わない場合などには開口部２ａ，３ｂを設けなくともよい。
【００５９】
また、本実施の形態では、基板トレイ２に持ち手部２ｎ，２ｏを設け、作業者が手で基板トレイ２を搬送する例について説明したが、搬送ローラ、搬送ロボット等の搬送手段が基板トレイ２を搬送するようにしてもよい。
【００６０】
また、本実施の形態では、基板Ｓを有機ＥＬディスプレイとして説明したが、液晶ディスプレイその他のフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板等を保持するのにも基板保持装置１を用いることができる。
【符号の説明】
【００６１】
１       基板保持装置
２      基板トレイ
２ａ      トレイ側給電端子
２ｂ      開口部
２ｃ      基板支持梁
２ｄ      基板支持ピン
２ｅ，２ｆ，２ｇ      基板用基準部材
２ｈ，２ｉ      基板押付部材
２ｊ，２ｋ      スライダ
２ｌ，２ｍ      ガイドレール
２ｎ，２ｏ      持ち手部
３      ホルダ
３ａ      開口部
３ｂ      ボール
４      トレイ位置決め機構
４ａ，４ｂ，４ｃ      トレイ用基準部材
４ｄ，４ｅ，４ｆ      トレイ押付部材
４ｇ，４ｈ      スライダ
４ｉ，４ｊ      ガイドレール
４ｋ，４ｌ      センサ
５      装置側給電端子
６，７      リフタ
６ａ，７ａ      載置部
６ｂ，７ｂ      アーム部
８，９，１０      ストッパ
１１，１２      シリンダ
１３      ホルダ用スライダ
１４      ガイドレール
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010263146.tif 000005