(57)【要約】【課題】内燃機関のプラズマ点火装置において、プラズマを発生させるためのチャンバを形成する絶縁体の筒状先端部からの良好な放熱を可能として絶縁体の高温による損傷を抑制する。【解決手段】絶縁体２’の筒状先端部２ａ’により形成されて軸線方向に延在するチャンバ１と、チャンバの基端側に配置された中心電極４と、チャンバの先端側に配置された接地電極３と、絶縁体の外側を覆うと共に接地電極を固定するハウジング７’と、チャンバと気筒内とを連通する噴孔８とを具備するプラズマ点火装置において、絶縁体とハウジングとの間のチャンバに連通する隙間は、筒状先端部の端面２ｂ’に当接する金属製ガスケット９’により密閉される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、前記チャンバの基端側に配置された中心電極と、前記チャンバの先端側に配置された接地電極と、前記絶縁体の外側を覆うと共に前記接地電極を固定するハウジングと、前記チャンバと気筒内とを連通する噴孔とを具備するプラズマ点火装置において、前記絶縁体と前記ハウジングとの間の前記チャンバに連通する隙間は、前記筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケットにより密閉されることを特徴とする内燃機関のプラズマ点火装置。
【請求項２】
前記隙間の前記金属製ガスケットより大気側は少なくとも部分的に金属粉体又は液体により充填されることを特徴とする請求項１に記載の内燃機関のプラズマ点火装置。
【請求項３】
前記ハウジングには前記隙間に連通する充填通路が形成されており、前記充填通路から前記金属粉体又は前記液体を充填することを特徴とする請求項２に記載の内燃機関のプラズマ点火装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関のプラズマ点火装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関において、気筒内全体の均質混合気又は気筒内の一部に存在する混合気を点火装置により確実に着火させなければならない。しかしながら、点火ギャップに火花を発生させる一般的な点火装置は、混合気の一点を着火させるものであり、それほど高い着火性を有してはいない。
【０００３】
着火性に優れた点火装置として、プラズマジェットを噴射するプラズマ点火装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。プラズマ点火装置は、絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、チャンバの基端側に配置された中心電極と、チャンバの先端側に配置された接地電極とを具備し、中心電極と接地電極との間に電圧を印加して発生する放電によってチャンバ内に高温高圧のプラズマを発生させるものである。このようにチャンバ内に発生させたプラズマは、チャンバに連通する噴孔からプラズマジェットとして噴射され、プラズマジェットの断面積に相当する混合気の所定面積を同時に着火させることができる。こうしてプラズマ点火装置は高い着火性を有している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１７７１４２
【特許文献２】特開平０６−９６８３６
【特許文献３】特開２００７−１４１７８６
【特許文献４】特開昭６３−１６７０７７
【特許文献５】特開２００６−２９４２５７
【特許文献６】特開２００８−４５４４９
【特許文献７】特開２００６−１２７８８７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなプラズマ点火装置において、チャンバを形成する絶縁体は、一般的に熱伝達率が低いために、プラズマを発生させる際のチャンバ内の放電によって高温とされた時には高温が維持され易い。それにより、高温が維持されて損傷しないように素早く放熱させることが必要となる。
【０００６】
プラズマ点火装置において絶縁体の外側には金属製のハウジングが設けられており、絶縁体の熱はハウジングへ放熱させることとなる。絶縁体とハウジングとの間の隙間はチャンバと連通するために、この隙間には金属製ガスケットが配置されてチャンバの気密性を確保している。こうして、絶縁体とハウジングとは厳密には金属製ガスケットを介してしか接触しておらず、絶縁体の熱は主に金属製ガスケットを介してハウジングへ放熱されることとなる。
【０００７】
しかしながら、金属製ガスケットは、一般的に、チャンバを形成する絶縁体の筒状先端部から離間して配置されているために、最も高温とされる絶縁体の筒状先端部からハウジングへ素早く放熱させることができず、特に絶縁体の筒状先端部が高温により損傷してしまうことがある。
【０００８】
従って、本発明の目的は、内燃機関のプラズマ点火装置において、プラズマを発生させるためのチャンバを形成する絶縁体の筒状先端部からの良好な放熱を可能として絶縁体の高温による損傷を抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による請求項１に記載の内燃機関のプラズマ点火装置は、絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、前記チャンバの基端側に配置された中心電極と、前記チャンバの先端側に配置された接地電極と、前記絶縁体の外側を覆うと共に前記接地電極を固定するハウジングと、前記チャンバと気筒内とを連通する噴孔とを具備するプラズマ点火装置において、前記絶縁体と前記ハウジングとの間の前記チャンバに連通する隙間は、前記筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケットにより密閉されることを特徴とする。
【００１０】
本発明による請求項２に記載の内燃機関のプラズマ点火装置は、請求項１に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、前記隙間の前記金属製ガスケットより大気側は少なくとも部分的に金属粉体又は液体により充填されることを特徴とする。
【００１１】
本発明による請求項３に記載の内燃機関のプラズマ点火装置は、請求項２に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、前記ハウジングには前記隙間に連通する充填通路が形成されており、前記充填通路から前記金属粉体又は前記液体を充填することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による請求項１に記載の内燃機関のプラズマ点火装置によれば、絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、チャンバの基端側に配置された中心電極と、チャンバの先端側に配置された接地電極と、絶縁体の外側を覆うと共に接地電極を固定するハウジングと、チャンバと気筒内とを連通する噴孔とを具備するプラズマ点火装置において、絶縁体とハウジングとの間のチャンバに連通する隙間は、筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケットにより密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ内の放電によってチャンバを形成する絶縁体の筒状先端部は高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケットを介して素早くハウジングへ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
【００１３】
本発明による請求項２に記載の内燃機関のプラズマ点火装置によれば、請求項１に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、絶縁体とハウジングとの間の隙間の金属製ガスケットより大気側は少なくとも部分的に金属粉体又は液体により充填されるようになっている。このように充填された金属粉体又は液体は、絶縁体の筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケット以外で絶縁体とハウジングとに密着して絶縁体からハウジングへの良好な熱伝達を可能とし、充填された金属粉体又は液体によっても絶縁体の熱をハウジングへ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷をさらに確実に抑制することができる。
【００１４】
本発明による請求項３に記載の内燃機関のプラズマ点火装置によれば、請求項２に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、ハウジングには隙間に連通する充填通路が形成されており、充填通路から金属粉体又は液体を充填するようになっている。それにより、絶縁体をハウジングへ組み付けた後に絶縁体とハウジングとの間の隙間に充填通路を介して金属粉体又は液体を容易に充填することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図７は一般的なプラズマ点火装置を示す断面図である。同図において、１はプラズマ点火装置の軸線方向に延在するように絶縁体２の筒状先端部２ａにより形成されてプラズマを生成するチャンバであり、チャンバ１の基端側には中心電極４が配置され、チャンバ１の先端側には接地電極３が配置されている。７は絶縁体２の外側を覆うと共に接地電極３を固定する金属製のハウジングである。ハウジング７と接地電極３とは溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。本従来例において、接地電極８はチャンバ１及び気筒内へ対向しており、チャンバ１と気筒内とを連通する噴孔８は、接地電極３に形成されている。
【００１６】
接地電極３及び中心電極４は、耐熱性と高い導電性とを有する金属、例えば、ステンレス等の鉄系金属、ニッケル系金属、又は、イリジウム系金属又はイリジウム合金とすることができる。中心電極４に対して接地電極３を絶縁するための絶縁体２の材質は、セラミックス（例えばアルミナセラミックス）とすることが好ましい。５は中心電極４へ電圧を印加するための導体（例えばニッケル）であり、６は導体５と中心電極４とを電気的に接続するための導電性接着剤である。
【００１７】
図８は図１のプラズマ点火装置のチャンバ１近傍の拡大図であり、図６は図１の点火装置の電源制御回路である。図６において、１０は電子制御装置ＥＣＵにより制御されるトランジスタであり、１１は第一バッテリであり、１２は点火コイルである。また、１３はコンデンサであり、１４は第二バッテリ１５の制御回路である。
【００１８】
このように構成された電源制御回路において、ＥＣＵは、先ず、トランジスタ１０のスイッチングによって第一バッテリ１１の電圧を点火コイル１２により増幅して中心電極４と接地電極３との間に印加する。こうして、中心電極４と接地電極３との間に作用する高電圧によって、図８にＳ１で示すように、中心電極４の接地電極側端面４ａの外周角部と接地電極３の中心電極側端面３ａの内周角部３ｂ（噴孔８により形成される）との間において、絶縁体２の筒状先端部２ａ内面上に沿面放電が発生し、チャンバ１内の沿面放電近傍のガス（混合気）をプラズマ化させる。
【００１９】
こうして、チャンバ１内のガスの一部がプラズマ化されてイオン及び電子が生成されると同時にコンデンサに蓄えられた電圧が放出され、図８にＳ２で示すように、中心電極４の接地電極側端面４ａの中央部と接地電極３の中心電極側端面３ａの内周角部３ｂとの間において、チャンバ１内に気中放電が発生する。制御回路は気中放電が持続するようにだけ比較的低い第二バッテリ１５の電圧を中心電極４と接地電極３との間に印加するが、比較的大きな電流を流すことができる。
【００２０】
こうして、気中放電によってチャンバ１内のガスの大部分がプラズマ化されると、チャンバ１内のガスは高温高圧となってプラズマジェットとして噴孔８から噴射され、気筒内の混合気を良好に着火させる。
【００２１】
チャンバ１内のガスをプラズマ化させる際に、気中放電に比較して沿面放電の方が低い電圧で発生させることができる。しかしながら、沿面放電だけでチャンバ１内のガスの大部分をプラズマ化させることは、絶縁体２の側壁内面上で長い時間沿面放電を持続させなければならないために効率的ではなく、チャンバ１内に気中放電を発生させることが必要とされる。前述のように、沿面放電により一部のガスをプラズマ化させることにより気中放電を発生させるのに必要な電圧を低くすることができる。こうして、最初に沿面放電を発生させ、次いで気中放電を発生させることにより、それほど高電圧を必要とすることなくチャンバ１内のガスの大部分をプラズマ化させることができる。
【００２２】
ところで、プラズマを発生するチャンバ１を形成する絶縁体２の筒状先端部２ａは、チャンバ１内の沿面放電を僅かな時間としても温度上昇し、その後の気中放電によりチャンバ１内で発生させたプラズマからの受熱もあって高温となり、素早く放熱させないと、高温が維持されて損傷することがある。もちろん、このような沿面放電と気中放電との組み合わせに限らず、沿面放電だけによって又は気中放電だけによってチャンバ１内にプラズマを発生させる場合にも、絶縁体２の筒状先端部２ａは高温となる。
【００２３】
ところで、プラズマ点火装置において、絶縁体２と一体的なハウジング７及び接地電極３との間には隙間が存在し、この隙間はチャンバ１に連通するために金属ガスケットにより密閉しなければならない。図７に示す一般的なプラズマ点火装置では、この金属ガスケット９は、絶縁体２の筒状先端部２ａから離間した切頭円錐面（テーパ面）に配置されている。
【００２４】
こうして、一般的なプラズマ点火装置では、絶縁体２とハウジング７とは厳密には金属ガスケット９を介してしか接触しておらず、絶縁体２の筒状先端部２ａの熱はハウジング７へ放熱させるしかないが、筒状先端部２ａから離間する金属ガスケット９を介してでは、熱伝達率の低い絶縁体２においては、筒状先端部２ａの熱を素早く放熱させることができず、筒状先端部２ａは高温により損傷する可能性が極めて高くなる。
【００２５】
図１は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第一実施形態を示す図７と同様な断面図である。図７との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態において、絶縁体２’と一体的なハウジング７’及び接地電極３との間の隙間を密閉するための金属ガスケット９’は、絶縁体２’の筒状先端部２ａ’の端面２ｂ’に当接するように位置している。本実施形態において、金属ガスケット９’は、銅、金、銀、アルミニウム、又は、これらの内のいずれかを含む合金等の良熱伝導性で低硬度の金属から形成され、絶縁体２’の筒状先端部２ａ’の端面２ｂ’とハウジング７’に一体の接地電極３の中心電極側端面３ａとの間に配置されている。
【００２６】
それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ１内の放電によってチャンバ１を形成する絶縁体２’の筒状先端部２ａ’は高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット９’を介して素早くハウジング７’へ放熱させることができ、絶縁体２’の高温による損傷を十分に抑制することができる。チャンバ１内の沿面放電及び気中放電において、接地電極３は電子が集合するために中心電極４より高温となる。それにより、絶縁体２’の筒状先端部２ａ’においても、基端側（中心電極４側）より先端側（接地電極３側）がより高温となるために、金属製ガスケット９’を絶縁体２’の筒状先端部２ａ’の端面２ｂ’に当接させることは絶縁体２の放熱によって非常に有利である。
【００２７】
また、絶縁体２’とハウジング７’との間の隙間の金属製ガスケット９’より大気側に連通するように、ハウジング７’には充填通路７ａ’が形成されており、充填通路７ａ’から絶縁体２’とハウジング７’との間の隙間に、金属ガスケット９’と同様な金属又はナトリウムの粉体Ｍが充填されている。このように充填される金属粉体Ｍは、絶縁体２’の筒状先端部２ａ’の端面２ｂ’に当接する金属製ガスケット９’以外で絶縁体２’とハウジング７’とに密着して絶縁体２’からハウジング７’への良好な熱伝達を可能とし、充填された金属粉体Ｍによっても絶縁体２’の熱をハウジング７’へ放熱させることができるために、絶縁体２’の筒状先端部２ａ’の高温による損傷をさらに確実に抑制することができる。
【００２８】
このようにハウジング７’に充填通路７ａ’を形成することにより、絶縁体２’をハウジング７’へ組み付けた後に絶縁体２’とハウジング７’との間の隙間に金属粉体Ｍを充填することができ、金属粉体Ｍの充填が容易となる。また、金属粉体Ｍは、絶縁体２’とハウジング７’との間の隙間の金属製ガスケット９’より大気側において、少なくとも部分的に充填されれば良い。絶縁体２’をハウジング７’へ組み付けた後において絶縁体２’とハウジング７’との間の隙間には空気が存在するが、金属粉体Ｍの充填時には、この空気は、プラズマ点火装置の上部に設けられた空間において圧縮されるようにするか、又は、プラズマ点火装置の上部から抜くようにしても良い。
【００２９】
また、本実施形態のように、複数の充填通路７ａ’が形成されている場合（例えば、直径方向に対向して二つの充填通路７ａ’が形成されている場合）には、複数の充填通路７ａ’から同時に金属粉体Ｍを充填するようにしても良いが、一つの充填通路７ａ’を空気抜きのために利用することができ、この場合において、空気抜きのための充填通路７ａ’から空気ではなく金属粉体Ｍが押し出されれば、金属粉体Ｍの充填が完了したとして充填を終了することができる。
【００３０】
絶縁体２’とハウジング７’との間の隙間の金属製ガスケット９’より大気側へは、金属粉体ではなく、液体アンモニア又はメタノールのような液体を充填するようにしても良く、これら液体も金属粉体と同様に絶縁体２’とハウジング７とに密着して絶縁体２’からハウジング７’への放熱を可能とする。
【００３１】
ところで、図１において、２０はシリンダヘッドであり、本プラズマ点火装置は、ハウジング７’のネジ部７ｂ’によってシリンダヘッド２０の取付穴に螺合される。この際には、取付穴とハウジング７’との間の隙間は、気筒内へ連通するために密閉しなければならない。そのための金属ガスケット２１は、例えば、ネジ部７ｂ’より気筒内側において、プラズマ点火装置のハウジング７’外面に形成された切頭円錐面７ｃ’と、この切頭円錐面７ｃ’と対向するシリンダヘッド２０の取付穴の切頭円錐面２０ａとの間に配置されている。
【００３２】
本実施形態においては、ハウジング７’外面の切頭円錐面７ｃ’に前述の充填通路７ａ’が形成され、金属粉体Ｍの充填後には、充填通路７ａを塞ぐための銅溶射が行われている。この銅溶射を切頭円錐面７ｃ’上にリング状に行った後に、表面を機械加工して仕上げることにより、銅溶射部を金属ガスケット２１として利用することができる。
【００３３】
図２は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第二実施形態を示すチャンバ１近傍の拡大断面図である。第一実施形態との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態においても、絶縁体とハウジング７００との間のチャンバ１に連通する隙間は、絶縁体の筒状先端部２００ａの端面２００ｂに当接する金属製ガスケット９００により密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ１内の放電によってチャンバ１を形成する絶縁体の筒状先端部２００ａは高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット９００を介して素早くハウジング７００へ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
【００３４】
本実施形態においても、ハウジング７００と接地電極３００とは、溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。本実施形態において、接地電極３００はチャンバ１に対向するが気筒内には対向しておらず、ハウジング７００は気筒内に対向しているがチャンバ１に対向しておらず、それにより、チャンバ１と気筒内とを連通する噴孔８００は、接地電極３００とハウジング７００とを貫通して形成される。
【００３５】
本実施形態においては、絶縁体の筒状先端部２００ａの端面２００ｂは、接地電極３００だけでなくハウジング７００とも対向しており、金属製ガスケット９００は、絶縁体の筒状先端部２００ａの端面２００ｂとハウジング７００との間に配置されている。第一実施形態においては、絶縁体の筒状先端部２ａ’の熱は、金属製ガスケット９’から接地電極３を介してハウジング７’へ放熱されるが、チャンバ１内の放電によって接地電極３も高温となるために、接地電極３は自身の熱をハウジング７’へ放熱してから絶縁体の筒状先端部２ａ’の放熱を実施することとなり、筒状先端部２ａ’の放熱が僅かに遅くなってしまう。
【００３６】
これに対して本実施形態では、絶縁体の筒状先端部２００ａの熱は、金属製ガスケット９００から接地電極３００を介することなく直接的にハウジング７００へ放熱させることができ、第一実施形態に比較して、筒状先端部２００ａからのより早い放熱が可能となって、さらに筒状先端部２００ａが高温に維持され難くすることができる。
【００３７】
図３は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第三実施形態を示すチャンバ１近傍の拡大断面図である。第一実施形態との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態においても、絶縁体とハウジング７０１との間のチャンバ１に連通する隙間は、絶縁体の筒状先端部２０１ａの端面２０１ｂに当接する金属製ガスケット９０１により密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ１内の放電によってチャンバ１を形成する絶縁体の筒状先端部２０１ａは高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット９０１を介して素早くハウジング７０１へ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
【００３８】
本実施形態においても、ハウジング７０１と接地電極３０１とは、溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。本実施形態において、接地電極３０１はチャンバ１に対向するが気筒内には対向しておらず、ハウジング７０１は気筒内に対向しているがチャンバ１に対向しておらず、それにより、チャンバ１と気筒内とを連通する噴孔８０１は、接地電極３０１とハウジング７０１とを貫通して形成される。
【００３９】
本実施形態においては、絶縁体の筒状先端部２０１ａの端面２０１ｂは、ハウジング７０１とだけ対向しており、金属製ガスケット９０１は、絶縁体の筒状先端部２０１ａの端面２０１ｂとハウジング７０１との間に配置されている。それにより、第二実施形態と同様に、絶縁体の筒状先端部２０１ａの熱は、金属製ガスケット９０１から直接的にハウジング７０１へ放熱させることができ、筒状先端部２０１ａからのより早い放熱が可能となって、さらに筒状先端部２０１ａが高温に維持され難くすることができる。
【００４０】
本実施形態において、接地電極３０１の中心電極側端面は、絶縁体の筒状先端部２０１ａに対向しておらず、中心電極側端面の外周角部３０１ｂが筒状先端部２０１ａの内面近傍に位置するために、プラズマ生成のための沿面放電に利用され、また、中心電極側端面の内周角部３０１ｃがプラズマ生成のための気中放電に利用されるために、一つの角部が沿面放電と気中放電とに利用されて激しく消耗することを防止することができる。
【００４１】
また、本実施形態において、金属製ガスケット９０１が当接する筒状先端部２０１ａの端面２０１ｂは、中心軸線に対して傾斜する傾斜面、すなわち、切頭円錐面であり、それにより、金属製ガスケット９０１は、絶縁体の筒状先端部２０１ａにより押圧されるだけで中心位置決めされる。本実施形態において、筒状先端部２０１ａには、中心軸線に対して直交する僅かな幅の端面も有しており、このように、本発明においては、絶縁体の筒状先端部の端面とは、中心軸線に交差する先端側面を意図しており、複数の面から構成されることもある。
【００４２】
図４は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第四実施形態を示すチャンバ１近傍の拡大断面図であり、図５は絶縁体の筒状先端部の断面平面図である。第一実施形態との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態においても、絶縁体とハウジング７０２との間のチャンバ１に連通する隙間は、絶縁体の筒状先端部２０２ａの端面２０２ｂに当接する金属製ガスケット９０２により密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ１内の放電によってチャンバ１を形成する絶縁体の筒状先端部２０２ａは高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット９０２を介して素早くハウジング７０２へ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
【００４３】
本実施形態においても、ハウジング７０２と接地電極３０２とは、溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。図５に示すように、接地電極３０２は、中心電極側端面が十字形を有し、チャンバ１に対向するハウジング７０２の一部分に配置されている。チャンバ１と気筒内とを連通する四つの噴孔８０２は、接地電極３０２を避けてチャンバ１及び気筒内へ対向するハウジング７０２の一部分を貫通して形成されている。
【００４４】
本実施形態においては、絶縁体の筒状先端部２０２ａの端面２０２ｂは、ハウジング７０２とだけ対向しており、金属製ガスケット９０２は、絶縁体の筒状先端部２０２ａの端面２０２ｂとハウジング７０２との間に配置されている。それにより、第二実施形態と同様に、絶縁体の筒状先端部２０２ａの熱は、金属製ガスケット９０２から直接的にハウジング７０２へ放熱させることができ、筒状先端部２０２ａからのより早い放熱が可能となって、さらに筒状先端部２０２ａが高温に維持され難くすることができる。
【００４５】
本実施形態において、接地電極３０２の中心電極側端面は、絶縁体の筒状先端部２０２ａに対向しておらず、四つの周囲角部３０２ｂが筒状先端部２０２ａの内面近傍に位置するために、プラズマ生成のための沿面放電に利用され、また、四つのＬ字角部３０２ｃがプラズマ生成のための気中放電に利用されるために、一つの角部が沿面放電と気中放電とに利用されて激しく消耗することを防止することができる。
【００４６】
また、本実施形態においても、金属製ガスケット９０２が当接する筒状先端部２０２ａの端面２０２ｂは、中心軸線に対して傾斜する傾斜面、すなわち、切頭円錐面であり、それにより、金属製ガスケット９０１は、筒状先端部２０２ａにより押圧されるだけで中心位置決めされる。本実施形態において、高温高圧のプラズマが噴出される噴孔８０２は、ハウジング７０２に形成されており、プラズマは接地電極３０２内を通過しないために、接地電極３０２がプラズマの通過により高温となって溶損するようなことはない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明によるプラズマ点火装置の第一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明によるプラズマ点火装置の第二実施形態を示すチャンバ近傍の拡大図である。
【図３】本発明によるプラズマ点火装置の第三実施形態を示すチャンバ近傍の拡大図である。
【図４】本発明によるプラズマ点火装置の第四実施形態を示すチャンバ近傍の拡大図である。
【図５】図４のプラズマ点火装置の筒状先端部の断面平面図である。
【図６】プラズマ点火装置の電源制御回路である。
【図７】従来のプラズマ点火装置の断面図である。
【図８】図７のプラズマ点火装置のチャンバ近傍の拡大図である。
【符号の説明】
【００４８】
１    チャンバ
２、２’    絶縁体
２ａ、２ａ’、２００ａ，２０１ａ、２０２ａ    筒状先端部
３、３’、３００、３０１、３０２    接地電極
４    中心電極
８、８００、８０１、８０２    噴孔
９、９’、９００、９０１、９０２    金属製ガスケット
【図１】
2010118185.tif 000003
【図２】
2010118185.tif 000004
【図３】
2010118185.tif 000005
【図４】
2010118185.tif 000006
【図５】
2010118185.tif 000007
【図６】
2010118185.tif 000008
【図７】
2010118185.tif 000009
【図８】
2010118185.tif 000010