(57)【要約】【課題】溶剤の蒸散や固形成分の濃度にかかわらず、液滴吐出装置からの液滴吐出量を高い精度で計測することのできる液滴吐出量測定方法、および当該液滴吐出量測定方法を利用した有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。【解決手段】固形成分および溶媒を含む機能液を導入したインクジェット方式の液滴吐出装置２により吐出した機能液の液滴Ｍの量を測定するにあたって、検査面１１上に機能液の液滴Ｍを吐出着弾させた後、液滴Ｍから溶剤を蒸散させて固形ドットＤとする。その際、液滴Ｍからの溶剤の蒸散に伴って液滴Ｍを堆積収縮させて液滴Ｍの着弾面積よりも固形ドットＤの面積を狭くする。しかる後に、固形ドットＤを画像認識して固形ドットＤの体積を測定する。【選択図】  図１
2010240503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固形成分および溶媒を含む機能液を導入した液滴吐出装置により吐出した前記機能液の液滴量を測定するための液滴吐出量測定方法であって、
前記液滴吐出装置により検査面上に前記機能液の液滴を吐出着弾させる吐出工程と、
前記検査面上で前記液滴から前記溶剤を蒸散させて固形ドットとする乾燥工程と、
前記固形ドットを画像認識して当該固形ドットの体積を測定する固形ドット体積測定工程と、
を有し、
前記乾燥工程では、前記液滴からの前記溶剤の蒸散に伴って当該液滴を堆積収縮させて前記液滴の着弾面積よりも前記固形ドットの面積を狭くすることを特徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項２】
前記固形ドット体積測定工程では、光干渉式測定装置によって前記固形ドットの体積を測定することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出量測定方法。
【請求項３】
前記乾燥工程において前記液滴から前記溶剤の蒸散に伴って当該液滴を堆積収縮させるにあたっては、前記吐出工程の前に前記検査面の前記機能液に対する撥液性を変化させる撥液化処理を行なっておくことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出量測定方法。
【請求項４】
前記撥液化処理では、前記検査面にフッ素処理及びプラズマ処理を行なうことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出量測定方法。
【請求項５】
前記検査面は樹脂面であることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出量測定方法。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の液滴吐出量測定方法での測定結果に基づいて液滴吐出量を調整した前記液滴吐出装置から前記機能液を吐出して、有機エレクトロルミネッセンス素子の有機機能層を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置により吐出した機能液の液滴量を測定するための液滴吐出量測定方法、および当該液滴吐出量測定方法を利用した有機エレクトロルミネッセンス（Electroluminescence／以下、ＥＬという）装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ装置を製造するにあたっては、液滴吐出装置から機能液を吐出した後、機能液を乾燥させて有機ＥＬ素子の発光層などを形成する方法が提案されている。但し、液滴吐出装置からの機能液の吐出量は、圧力発生素子の特性やノズル開口の状態によって変動する。そこで、液滴吐出装置から検査面に向けて機能液の液滴を吐出し、検査面に着弾した液滴の体積を測定して、その測定結果に基づいて、液滴吐出量の調整を行なうことが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２１４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、図５に示すように、検査面１１上に着弾した液滴Ｍでは、溶媒が蒸散することにより体積が減り続けるため、特許文献１に記載の方法では、着弾時から測定時までの時間の差によって体積に違いが生じてしまう。それ故、特許文献１に記載の方法では、液滴量を正確に測定することができないという問題がある。
【０００５】
ここに本願発明は、検査面１１上に着弾した液滴Ｍから溶媒を蒸散させて固形ドットＤとした後の体積を画像認識法で測定することを提案するものである。しかしながら、機能液に含まれる固形成分の濃度が１０ｗｔ％未満と極めて低い場合には固形ドットＤの厚さが極めて薄くなってしまうため、固形ドットＤの体積を精度よく測定できないという問題点がある。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、溶剤の蒸散や固形成分の濃度にかかわらず、液滴吐出装置からの液滴吐出量を高い精度で計測することのできる液滴吐出量測定方法、および当該液滴吐出量測定方法を利用した有機ＥＬ装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、固形成分および溶媒を含む機能液を導入した液滴吐出装置により吐出した前記機能液の液滴量を測定するための液滴吐出量測定方法であって、前記液滴吐出装置により検査面上に前記機能液の液滴を吐出着弾させる吐出工程と、前記検査面上で前記液滴から前記溶剤を蒸散させて固形ドットとする乾燥工程と、前記固形ドットを画像認識して当該固形ドットの体積を測定する固形ドット体積測定工程と、を有し、前記乾燥工程では、前記液滴からの前記溶剤の蒸散に伴って当該液滴を堆積収縮させて前記液滴の着弾面積よりも前記固形ドットの面積を狭くすることを特徴とする。
【０００８】
本発明では、液滴吐出装置により吐出した機能液の液滴量を測定するにあたって、検査面上に着弾した液滴の体積ではなく、液滴から溶剤を蒸散させた固形ドットの体積を測定し、かかる固形ドットの体積に基づいて、液滴吐出装置により吐出した機能液の液滴量を判定する。このため、溶媒の蒸散により発生する液滴の体積変化に起因する測定誤差を極力抑えることができる。また、液滴から溶剤を蒸散させる際、液滴を堆積収縮させて液滴の着弾面積よりも固形ドットの面積を狭くする。このため、固形ドットの厚さ寸法が厚いので、固形ドットを画像認識して固形ドットの体積を測定する際の測定精度が高い。それ故、液滴吐出装置からの液滴の吐出量を正確に測定することができる。
【０００９】
本発明において、前記固形ドット体積測定工程では、光干渉式測定装置によって前記固形ドットの体積を測定することが好ましい。かかる方法によれば、非接触で固形ドットの体積を高い精度で計測することができる。
【００１０】
本発明において、前記乾燥工程で前記液滴から前記溶剤の蒸散に伴って当該液滴を堆積収縮させるにあたっては、前記吐出工程の前に前記検査面の前記機能液に対する撥液性を変化させる撥液化処理を行なっておくことが好ましい。かかる構成によれば、液滴から溶剤を蒸散させる際、液滴が確実に堆積収縮するので、液滴の着弾面積よりも固形ドットの面積が狭くなる。それ故、固形ドットの厚さを厚くすることができるので、固形ドットを画像認識して固形ドットの体積を測定する際の測定精度を向上することができる。
【００１１】
本発明において、前記撥液化処理では、前記検査面にフッ素処理及びプラズマ処理を行なうことが好ましい。この場合、前記検査面は樹脂面であることが好ましい。かかる構成によれば、液滴から溶剤を蒸散させる際、液滴が確実に堆積収縮するので、液滴の着弾面積よりも固形ドットの面積が狭くなる。それ故、固形ドットの厚さを厚くすることができるので、固形ドットを画像認識して固形ドットの体積を測定する際の測定精度を向上することができる。
【００１２】
本発明を適用した液滴吐出量測定方法は、有機ＥＬ装置の製造に利用することができる。すなわち、本発明を適用した液滴吐出量測定方法での測定結果に基づいて液滴吐出量を調整した前記液滴吐出装置から前記機能液を吐出して、有機エレクトロルミネッセンス素子の有機機能層を形成する。かかる有機ＥＬ装置は、携帯電話機、テレビ、車載パネル、パーソナルコンピューターやＰＤＡなどの電子機器においてフルカラー表示装置として用いることができる。また、本発明に係る有機ＥＬ装置はプリンターや複写機などの画像形成装置の露光ヘッドとして用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明を適用した液滴吐出量測定方法を示す説明図である。
【図２】本発明を適用した液滴吐出量測定方法で用いる光干渉式測定装置の説明図である。
【図３】本発明を適用した有機ＥＬ装置の画素構成を示す説明図である。
【図４】本発明を適用した有機ＥＬ装置を製造する方法を示す工程断面図である。
【図５】従来および参考例に係る液滴吐出量測定方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明に用いた各図では、各層や各部材を図面上で認識可能とするため、各層や各部材毎に縮尺を相違させてある。
【００１５】
［液滴吐出量測定方法］
（液滴吐出量測定工程および液滴吐出装置の調整工程））
図１は、本発明を適用した液滴吐出量測定方法を示す説明図である。図１（ｃ）に示すように、固形成分および溶媒を含む機能液を導入したインクジェット方式の液滴吐出装置２の複数のノズル開口２１から液滴Ｍを吐出して、後述する有機ＥＬ装置の有機機能層を形成するには、液滴吐出装置２の複数のノズル開口２１から吐出される液滴Ｍの量が均等であることが求められる。そこで、液滴吐出装置２の複数のノズル開口２１から吐出される液滴Ｍの量を測定して、液滴吐出装置２の複数のノズル開口２１の各々に対応するピエゾ素子などの圧力発生素子に対する駆動パルスの駆動電圧などを調整する。
【００１６】
かかる調整を行なうにあたって、本形態では、以下に説明する方法を採用する。まず、図１（ａ）に示すように、アクリル樹脂などの検査板１０を準備した後、検査板１０の一方の面１５の機能液に対する撥液性を高める。本形態では、図１（ｂ）に示すように、検査板１０の一方の面１５に対して、フッ素を含有するガス（例えばＣＦ4、ＳＦ5、ＣＨＦ3など）を用いたプラズマＰを照射するプラズマ処理を行ない、機能液に対する撥液性の高い検査面１１を形成する。
【００１７】
次に、図１（ｃ）に示す吐出工程では、固形成分および溶媒を含む機能液を導入したインクジェット方式の液滴吐出装置２の複数のノズル開口２１から機能液の液滴Ｍを検査面１１に吐出して、検査面１１上に液滴Ｍを着弾させる。その際、検査面１１から外れた位置に機能液の液滴を吐出する捨て吐出を行なってから、機能液の液滴Ｍを検査面１１に吐出する。
【００１８】
次に、図１（ｄ）に示す乾燥工程では、検査面１１上で液滴Ｍから溶剤を蒸散させて固形ドットＤとする。その際、検査面１１は、機能液に対する撥液性が高いので、液滴Ｍからの溶剤の蒸散に伴って液滴Ｍを堆積収縮し、液滴Ｍの着弾面積よりも固形ドットＤの面積が狭くなる。すなわち、検査面１１は、機能液に対する撥液性が高いので、液滴Ｍの接触角は、初期的にも高いが、溶剤の蒸散に伴って液滴Ｍの粘度が上昇すると、さらに濡れ性が低下するので、液滴Ｍからの溶剤の蒸散に伴って液滴Ｍを堆積収縮し、液滴Ｍの着弾面積よりも固形ドットＤの面積が狭くなる。
【００１９】
なお、乾燥工程では、溶媒の蒸散が微量化して固形ドットＤの体積が安定化すればよい。また、乾燥方法は、自然乾燥あるいは強制乾燥のいずれでもよいが、液滴Ｍからの溶剤の蒸散に伴って液滴Ｍを常に確実に堆積収縮させるという観点からすれば、予め設定した乾燥条件で行なうことが好ましい。
【００２０】
次に、図１（ｅ）に示す固形ドット体積測定工程では、固形ドットＤを画像認識して固形ドットＤの体積を測定する。ここで、機能液では、固形成分と溶媒との配合比（固形成分の濃度）が分っているので、固形ドットＤの体積を求めれば、各ノズル開口２１からの液滴の吐出量を求めることができる。それ故、複数のノズル開口２１の各々について液滴Ｍの吐出量を判定し、ルックアップテーブルなどに記憶されている補正データに基づいて、液滴吐出装置２の複数のノズル開口２１の各々に対応するピエゾ素子などの圧力発生素子に対する駆動パルスの駆動電圧などを調整する。しかる後には、再度、上記の液滴吐出量測定工程を行なって、各ノズル開口２１からの液滴の吐出量を検査する。なお、インクジェット方式の液滴吐出装置２としては、圧電振動子の体積変化により液状組成物を吐出させるピエゾジェットの液滴吐出装置の他、圧力発生素子として電気熱変換体を用いた液滴吐出装置が用いられることもある。
【００２１】
本形態では、かかる固形ドット体積測定工程において、図２に示す光干渉式測定装置による画像認識によって固形ドットＤの体積を測定する。
【００２２】
（光干渉式測定装置３の構成）
図２は、本発明を適用した液滴吐出量測定方法で用いる光干渉式測定装置（光干渉式体積測定装置）の説明図である。図２に示す光干渉式測定装置３は白色干渉計であり、対象物の表面形状を干渉縞として画像的に取得する。かかる光干渉式測定装置３は、白色光を出射する光源となる白色ＬＥＤ３１と、白色ＬＥＤ３１の照射方向の下流側で白色をフィルタリングする干渉フィルター（バンドパスフィルター）３２とを有している。また、光干渉式測定装置３は、干渉フィルター３２の下流側で白色光を直角に反射する反射鏡３３と、反射鏡３３の下流側で干渉式対物レンズ３４に向けて白色光を直角に反射する一方、固形ドットＤから反射した反射光を透過するビームスプリッター３５とを備えている。ここで、ビームスプリッター３５の下流側には干渉式対物レンズ３４が設けられており、かかる干渉式対物レンズ３４は、ピエゾＺ軸テーブル３６によって、Ｚ軸方向に微少振動する。また、着弾ドットから反射した反射光は、干渉式対物レンズ３４およびビームスプリッター３５を介して撮像カメラ（ＣＣＤカメラ）３７によって受光され、その信号が制御装置３０に送信される。そして、制御装置３０は、撮像カメラ３７から出力された信号に基づいて画像認識を行い、その画像認識に基づいて、固形ドットＤの体積、さらには、各ノズル開口２１からの液滴の吐出量が判定される。すなわち、機能液では、固形成分と溶媒との配合比（固形成分の濃度）が分っているので、固形ドットＤの体積を求めれば、各ノズル開口２１からの液滴の吐出量を求めることができる。
【００２３】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、液滴吐出装置２により吐出した機能液の液滴Ｍの量を測定するにあたって、検査面１１上に着弾した液滴Ｍの体積ではなく、液滴Ｍから溶剤を蒸散させた固形ドットＤの体積を測定し、かかる固形ドットＤの体積に基づいて、液滴吐出装置２により吐出した機能液の液滴量を判定する。このため、溶媒の蒸散により発生する液滴Ｍの体積変化に起因する測定誤差を抑えることができる。また、液滴Ｍから溶剤を蒸散させる際、液滴Ｍを堆積収縮させて液滴Ｍの着弾面積よりも固形ドットＤの面積を狭くする。このため、固形ドットＤの厚さ寸法が厚いので、固形ドットＤを画像認識して固形ドットＤの体積を測定する際の測定精度が高い。それ故、液滴吐出装置２からの液滴Ｍの吐出量を正確に測定することができる。
【００２４】
特に本形態では、固形ドット体積測定工程において光干渉式測定装置３による画像認識によって固形ドットＤの体積を測定するため、非接触で固形ドットＤの体積を高い精度で計測することができる。
【００２５】
また、本形態では、アクリル樹脂などからなる検査板１０の一方の面１５にフッ素を含むガスを用いたプラズマ処理を行なって、撥液性の高い検査面１１を形成する。このため、液滴Ｍから溶剤を蒸散させる際、液滴Ｍが確実に堆積収縮するので、液滴Ｍの着弾面積よりも固形ドットＤの面積を確実に狭くすることができる。それ故、固形ドットＤの厚さを厚くすることができるので、固形ドットＤを画像認識して固形ドットＤの体積を測定する際の測定精度を向上することができる。
【００２６】
［有機ＥＬ装置の製造への適用］
次に、図１および図２を参照して説明した液滴吐出量測定方法での測定結果に基づいて液滴吐出量を調整した液滴吐出装置２から機能液を吐出して、有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法を説明する。
【００２７】
（有機ＥＬ装置の構成）
図３は、本発明を適用した有機ＥＬ装置の画素構成を示す説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）は各々、本発明を適用した有機ＥＬ装置の複数の画素の平面図および断面図である。なお、図３（ａ）の右側には、図３（ｂ）のＡ−Ａ′線で切断した様子を示し、図３（ａ）の左側には、図３（ｂ）のＢ−Ｂ′線で切断した様子を示してある。また、図３（ｂ）には、後述する隔壁の形成領域については右上がりの斜線および右下がりの斜線を付した領域として示してある。
【００２８】
図３（ａ）、（ｂ）に示す有機ＥＬ装置１００は、カラー表示装置であり、各画素１１５は各々、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）に対応し、本形態では、複数の画素１１５が、対応する色（Ｒ）、（Ｇ）、（Ｂ）毎に直線的に配列されたストライプ配列が採用されている。かかる有機ＥＬ装置１００では、素子基板を構成するガラス基板などからなる基板１２０（有機ＥＬ装置用基板）上にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、感光性樹脂などからなる複数の絶縁膜１２１、１２２、１２３が形成されており、かかる絶縁膜１２１、１２２、１２３の層間などを利用して、薄膜トランジスター１０６、１０７、保持容量１３３、走査線１６３、データ線１６４、共通給電線１６５が形成されている。
【００２９】
また、絶縁膜１２３上には、ＩＴＯ（酸化インジウム−スズ／Indium Tin Oxide）などからなる光透過性の画素電極１１１が形成され、この画素電極１１１は、絶縁膜１２３のコンタクトホールを介して薄膜トランジスター１０７に電気的に接続されている。従って、画素電極１１１は、薄膜トランジスター１０７を介して共通給電線１６５に電気的に接続したとき、共通給電線１６５から駆動電流が流れ込む。
【００３０】
各画素１１５には、陽極層としての画素電極１１１と、有機機能層１１３と、陰極層としての共通電極層１１２がこの順に積層された有機ＥＬ素子１１０が形成されている。有機機能層１１３は、画素電極１１１上に積層された正孔注入層１１３ａと、この正孔注入層１１３ａの上層側に形成された発光層１１３ｂとを備えている。発光層１１３ｂは、正孔注入層１１３ａの側から注入される正孔と、共通電極層１１２の側から注入される電子とが結合して発光する領域としての機能を担っており、各画素１１５が赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のいずれの色に対応するかは、発光層１１３ｂを構成する有機材料の種類によって規定されている。本形態では、正孔注入層１１３ａが、正孔を発光層１１３ｂに輸送する正孔輸送層としての機能も担っている。なお、各画素１１５は赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）に対応しているが、各色の画素１１５において、有機ＥＬ素子１１０を構成する発光層１１３ｂの組成などが相違し、その他の構成は共通である。
【００３１】
本形態の有機ＥＬ装置１００は、基板１２０とは反対側に向けて光を出射するトップエミッション型である。このため、共通電極層１１２は、例えば、薄いカルシウム層とＩＴＯ層などからなる光透過性電極層として構成されている。かかるトップエミッション型の有機ＥＬ装置１００の場合、画素電極１１１に対して下層側は、画素電極１１１の略全体と重なるようにアルミニウム膜などからなる光反射層（図示せず）が形成される。有機ＥＬ装置１００は、基板１２０側に向けて光を出射するボトムエミッション型として構成される場合もある。なお、基板１２０の素子形成面側には、水や酸素の侵入を防ぐことによって、陰極層あるいは機能層の酸化を防止する封止樹脂（図示せず）が形成され、さらに封止基板（図示せず）が貼られることがある。
【００３２】
本形態では、隣り合う画素１１５の境界領域には、画素電極１１１の周縁部を取り囲むように、感光性樹脂からなる隔壁１１６が形成されており、かかる隔壁１１６は、データ線１６４の延在方向に延在する第１隔壁部分１１６ａと、走査線１６３の延在方向に延在する第２隔壁部分１１６ｂとからなる。第１隔壁部分１１６ａおよび第２隔壁部分１１６ｂは、いずれも同一材料により形成され、感光性のアクリル樹脂から形成されている。
【００３３】
隔壁１１６は画素電極１１１からみて上方に大きく突出している。このように構成した隔壁１１６は、有機機能層１１３（正孔注入層１１３ａおよび発光層１１３ｂ）を形成するのにインクジェット法（液体吐出法）を用いる際、塗布される液状組成物の塗布領域を規定するものであり、有機機能層１１３は、隔壁１１６により形成された凹部内に形成されている。隔壁１１６の表面は、有機機能層１１３を形成する際に用いる液状組成物に対する撥液性が付与されており、液状組成物の表面張力によって、有機機能層１１３が凹部から外側にはみ出すことを防止し、かつ、有機機能層１１３の膜厚ばらつきを防止している。ここで、液状組成物は、水性であると油性であるとを問わない。また、液状組成物については、流動性を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。また、液体材料に含まれる固体物質は融点以上に加熱されて溶解されたものでも、溶媒中に微粒子として分散させたものでもよく、溶媒の他に染料や顔料その他の機能性材料を添加したものであってもよい。
【００３４】
なお、本形態の有機ＥＬ装置１００は、基板１２０とは反対側に向けて光を出射するトップエミッション型である。このため、共通電極層１１２については厚い金属膜等、遮光性の導電膜を用いることができず、共通電極層１１２単体では抵抗が高い。そこで、本形態では、隔壁１１６に対して上層側に重なる領域には、共通電極層１１２の上面あるいは下面に接する補助配線層１２が形成されており、本形態において、補助配線層１２は、共通電極層１１２の下面に接している。
【００３５】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
図４は、本発明を適用した有機ＥＬ装置１００を製造する方法を示す工程断面図である。本形態の有機ＥＬ装置１００を製造するには、まず、図４（ａ）に示すように、基板１２０に対して、周知の半導体プロセスを利用して、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、感光性樹脂などからなる複数の絶縁膜１２１、１２２、１２３の層間に薄膜トランジスター１０６、１０７、保持容量１３３、走査線１６３、データ線１６４、共通給電線１６５などを形成する。次に、画素電極形成工程において、絶縁膜１２３上にＩＴＯ膜を形成した後、フォトリソグラフィ技術を用いてＩＴＯ膜をパターニングし、画素電極１１１を形成する。次に、大気雰囲気中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ処理）を行い、画素電極１１１、および絶縁膜１２３のうち、画素電極１１１から露出している部分に親液性を付与する。
【００３６】
次に、隔壁形成工程において、感光性のアクリル樹脂を塗布した後、露光、現像し、有機機能層１１３の形成場所を囲むように、感光性のアクリル樹脂により、高さが例えば１〜２μｍの隔壁１１６を形成する。その際、第１隔壁部分１１６ａおよび第２隔壁部分１１６ｂは同時に形成される。隔壁１１６については、アクリル樹脂の他、ポリイミド樹脂などの絶縁性有機材料で形成してもよく、ポリシラザンなどの絶縁性無機材料で形成してもよい。隔壁１１６の表面に対して撥液化処理を行い、隔壁１１６の表面に対して、有機機能層１１３を形成するための液状組成物に対する撥液性を付与する。このような撥液性を付与するためには、例えば、隔壁１１６の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素系化合物としては、例えばＣＦ4、ＳＦ5、ＣＨＦ3などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。
【００３７】
次に、有機機能層形成工程を行う。それには、まず、正孔注入層形成工程において、図４（ｂ）に示す吐出工程では、基板１２０の上面を上に向けた状態で、液滴吐出装置から正孔注入層形成液（液状組成物）の液滴Ｍａを、隔壁１１６で囲まれた凹部内に吐出する。正孔注入層形成液としては、例えば、ポリオレフィン誘導体である３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（導電性高分子材料）と、ポリスチレンスルホン酸（ドーパント）とを溶媒に分散させた溶液を用いる。このような正孔注入層形成液としては、溶媒として水単独を用い、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸を水に分散させたものを用いる。但し、正孔注入層形成液の液滴Ｍａをノズル開口から安定した状態に吐出するために、正孔注入層形成液の粘度などを調整する必要がある場合には、ポリスチレンスルホン酸および３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンを分散させる溶媒として、水に有機溶剤を配合した混合溶媒を用い、有機溶剤により正孔注入層形成液の性質を最適化する。このような混合溶媒に使用可能な有機溶剤としては、アルコール類、エーテル類、グリコールモノエーテル類、ラクトン類、オキサゾリジノン類、カーボネート類、ニトリル類、アミド類、スルホン類などが挙げられる。
【００３８】
次に、乾燥工程において、大気圧以下、例えば１０-4〜１０-6パスカル（Ｐａ）程度の減圧雰囲気中で減圧乾燥を行い、正孔注入層形成材料中の溶媒を蒸発させる。その結果、図４（ｃ）に示すように、画素電極１１１上に、正孔注入層１１３ａが約１０〜１００ｎｍの膜厚で形成される。
【００３９】
次に、発光層形成工程では、図４（ｄ）に示す吐出工程において、基板１２０の上面を上に向けた状態で、液滴吐出装置から発光層形成液（液状組成物）の液滴Ｍｂを、隔壁１１６で囲まれた凹部内に吐出する。発光材料としては、例えば分子量が１０００以上の高分子材料が用いられる。具体的には、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドンなどをドープしたものが用いられる。このような高分子材料としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、例えば特開平１１−４０３５８号公報に示される有機ＥＬ素子用組成物、すなわち共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも１種の蛍光色素とを含んでなる有機ＥＬ素子用組成物も、発光層形成材料として使用可能である。このような発光材料を溶解あるいは分散する有機溶媒としては、非極性溶媒が好適とされ、特に発光層１１３ｂが正孔注入層１１３ａの上に形成されることから、この正孔注入層１１３ａに対して不溶なものが用いられることが好ましい。具体的には、キシレン、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼンなどが好適に用いられる。なお、発光層形成液の吐出による発光層１１３ｂの形成は、赤色の発色光を発光する発光層１１３ｂ（Ｒ）の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層１１３ｂ（Ｇ）の形成材料、青色の発色光を発光する発光層１１３ｂ（Ｂ）の形成材料を、それぞれ対応する画素１１５に吐出し塗布することによって行う。
【００４０】
次に、乾燥工程では、大気圧以下、例えば１０-4〜１０-6パスカル（Ｐａ）程度の減圧雰囲気中で減圧乾燥を行い、発光層形成材料中の溶媒を蒸発させる。その結果、図４（ｅ）に示すように、正孔注入層１１３ａ上に固形の発光層１１３ｂが形成される。これにより、正孔注入層１１３ａおよび発光層１１３ｂからなる有機機能層１１３が形成される。
【００４１】
しかる後には、図３に示すように、補助配線層１２および共通電極層１１２を形成する。その後、封止を行なえば、有機ＥＬ素子１１０を各画素１１５に備えた有機ＥＬ装置１００が完成する。
【符号の説明】
【００４２】
２  液滴吐出装置
３  光干渉式測定装置
１０  検査板
１１  検査面
２１  ノズル開口
Ｄ  固形ドット
Ｍ  液滴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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