(57)【要約】【課題】装置を大型化することなく液体の温度上昇を良好に抑えることができる液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法を提供する。【解決手段】ノズル１３に連通する複数の圧力発生室１１と、圧力発生室１１内に圧力変化を生じさせる第１の圧力発生手段２３と、圧力発生室１１の一端側に設けられる第１の液室１８と、圧力発生室１１の他端側に設けられる第２の液室２０と、各圧力発生室間に設けられて第１の液室１８と第２の液室２０とを接続する循環流路２１と、各循環流路に対応して設けられて循環流路２１内に圧力変化を生じさせる第２の圧力発生手段２４と、を具備する液体噴射ヘッド１０と、所定のタイミングで第２の圧力発生手段２４を駆動して循環流路２１内に圧力変化を生じさせ、循環流路２１を介して第１の液室１８及び第２の液室２０内の液体を循環させる循環制御手段と、を具備する構成とする。【選択図】図２
2010201734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、
各圧力発生室に対応して設けられて当該圧力発生室内に液滴を噴射させるための圧力変化を生じさせる第１の圧力発生手段と、
前記圧力発生室の一端側に設けられて各圧力発生室がそれぞれ連通する第１の液室と、
前記圧力発生室の他端側に設けられる第２の液室と、
各圧力発生室間に設けられて前記第１の液室と前記第２の液室とを接続する循環流路と、
各循環流路に対応して設けられて当該循環流路内に圧力変化を生じさせる第２の圧力発生手段と、を具備する液体噴射ヘッドと、
所定のタイミングで前記第２の圧力発生手段を駆動して前記循環流路内に圧力変化を生じさせ、当該循環流路を介して前記第１の液室及び前記第２の液室内の液体を循環させる循環制御手段と、を具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記循環制御手段は、前記第２の圧力発生手段のそれぞれを異なるタイミングで駆動することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記循環制御手段は、前記圧力発生室の並設方向一端側から他端側に向かって前記第２の圧力発生手段のそれぞれを順次駆動させることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記第２の圧力発生手段は、前記循環流路を拡大及び縮小させる方向の駆動が可能に構成されており、
前記循環制御手段は、前記圧力発生室の並設方向中央よりも一端側の前記第２の圧力発生手段と、他端側の前記第２の圧力発生手段とに、それぞれ逆方向の駆動をさせることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記第２の圧力発生手段は、前記循環流路を拡大及び縮小させる方向の駆動が可能に構成されており、
前記循環制御手段は、隣接する前記第２の圧力発生手段にそれぞれ逆方向の駆動をさせることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、
各圧力発生室に対応して設けられて当該圧力発生室内に液滴を噴射させるための圧力変化を生じさせる第１の圧力発生手段と、
前記圧力発生室の一端側に設けられて各圧力発生室がそれぞれ連通する第１の液室と、
前記圧力発生室の他端側に設けられる第２の液室と、
各圧力発生室間に設けられて前記第１の液室と前記第２の液室とを接続する循環流路と、
各循環流路に対応して設けられて当該循環流路内に圧力変化を生じさせる第２の圧力発生手段と、を具備する液体噴射ヘッドの制御方法であって、
所定のタイミングで前記第２の圧力発生手段を駆動して前記循環流路内に圧力変化を生じさせ、当該循環流路を介して前記第１の液室及び前記第２の液室内の液体を循環させることを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法に関し、特に、液滴としてインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置及びインクジェット式記録ヘッドの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられる圧電素子を具備し、この圧電素子の変位によって圧力発生室内に圧力を付与することで、ノズルからインク滴を噴射するものがある。
【０００３】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、周囲の環境温度の変化等に伴ってインクの増粘や沈降等に起因して、ノズルの目詰まり等の噴射不良が発生するという問題がある。このため、所定のタイミング、例えば、印刷開始時等に、インクジェット式記録ヘッドのノズルからインク滴を噴射させることによって増粘等したインクを排出する、いわゆるフラッシング動作を行うようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、例えば、インクジェット式記録ヘッドとインクタンクとを繋ぐ循環路にポンプを設け、所定のタイミングで、このポンプによってインクジェット式記録ヘッド内のインクを循環路内に循環させるようにしたものがある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１０５６１３号公報
【特許文献２】特開２００６−０８８４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されているようにフラッシング動作を行うことによってノズルの目詰まりといった液滴の噴射不良の発生を抑えることはできる。しかしながら、無駄な液滴を排出することになりランニングコストの増加を招くという問題がある。
【０００７】
また特許文献２に記載されているように、ポンプ等によって液体を循環させるようにすれば、無駄な液体を排出させることなく増粘等を抑えることはできる。しかしながら、装置が大型化してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、装置を大型化することなく液体の温度上昇を良好に抑えることができる液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、各圧力発生室に対応して設けられて当該圧力発生室内に液滴を噴射させるための圧力変化を生じさせる第１の圧力発生手段と、前記圧力発生室の一端側に設けられて各圧力発生室がそれぞれ連通する第１の液室と、前記圧力発生室の他端側に設けられる第２の液室と、各圧力発生室間に設けられて前記第１の液室と前記第２の液室とを接続する循環流路と、各循環流路に対応して設けられて当該循環流路内に圧力変化を生じさせる第２の圧力発生手段と、を具備する液体噴射ヘッドと、所定のタイミングで前記第２の圧力発生手段を駆動して前記循環流路内に圧力変化を生じさせ、当該循環流路を介して前記第１の液室及び前記第２の液室内の液体を循環させる循環制御手段と、を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００１０】
かかる本発明では、所定のタイミングで第１の液室と第２の液室との間で液体を比較的容易に循環させることができる。これにより、周囲の環境温度の変化に伴う液体の温度上昇を抑えて温度を均一化することができ、また液体の沈降を抑えることができる。したがって、ノズルの目詰まり等の噴射不良の発生を抑制することができる。
【００１１】
ここで、前記循環制御手段は、前記第２の圧力発生手段のそれぞれを異なるタイミングで駆動することが好ましい。特に、前記圧力発生室の並設方向一端側から他端側に向かって前記第２の圧力発生手段のそれぞれを順次駆動させることが好ましい。これにより、第１の液室と第２の液室との間で液体をより良好に循環させることができる。
【００１２】
また、前記第２の圧力発生手段は、前記循環流路を拡大及び縮小させる方向の駆動が可能に構成されている場合には、前記循環制御手段は、前記圧力発生室の並設方向中央よりも一端側の前記第２の圧力発生手段と、他端側の前記第２の圧力発生手段とに、それぞれ逆方向の駆動をさせる、或いは隣接する前記第２の圧力発生手段にそれぞれ逆方向の駆動をさせることが好ましい。これにより、第１の液室と第２の液室との間で液体をより良好に循環させることができる。
【００１３】
さらに本発明は、液滴を噴射するノズルに連通する複数の圧力発生室と、各圧力発生室に対応して設けられて当該圧力発生室内に液滴を噴射させるための圧力変化を生じさせる第１の圧力発生手段と、前記圧力発生室の一端側に設けられて各圧力発生室がそれぞれ連通する第１の液室と、前記圧力発生室の他端側に設けられる第２の液室と、各圧力発生室間に設けられて前記第１の液室と前記第２の液室とを接続する循環流路と、各循環流路に対応して設けられて当該循環流路内に圧力変化を生じさせる第２の圧力発生手段と、を具備する液体噴射ヘッドの制御方法であって、所定のタイミングで前記第２の圧力発生手段を駆動して前記循環流路内に圧力変化を生じさせ、当該循環流路を介して前記第１の液室及び前記第２の液室内の液体を循環させることを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法にある。
【００１４】
かかる本発明では、所定のタイミングで第１の液室と第２の液室との間で液体を比較的容易に循環させることができる。これにより、周囲の環境温度の変化に伴う液体の温度上昇を抑えて温度を均一化することができ、また液体の沈降を抑えることができる。したがって、ノズルの目詰まり等の噴射不良の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】実施形態１に係る流路形成基板を示す平面図である。
【図４】実施形態１に係る記録装置の構成を示すブロック図である。
【図５】実施形態１に係る第２の圧電素子の駆動状態を示す断面図である。
【図６】実施形態１に係る循環動作のインクの流れを模式的に示す図である。
【図７】実施形態２に係る第２の圧電素子の駆動状態を示す断面図である。
【図８】実施形態２に係る循環動作のインクの流れを模式的に示す図である。
【図９】実施形態３に係る第２の圧電素子の駆動状態を示す断面図である。
【図１０】実施形態３に係る循環動作のインクの流れを模式的に示す図である。
【図１１】実施形態３に係る循環動作のインクの流れを模式的に示す図である。
【図１２】他の実施形態に係る循環流路の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１に示すように、実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を有する記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００１７】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿ってプラテン８が設けられている。また、このプラテン８の近傍には排紙ローラー９が設けられ、図示しない紙送りモーターの駆動力により回転できるようになっており、給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送されるようになっている。
【００１８】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ３がキャリッジ軸５に沿って移動されると共に記録ヘッドユニット（記録ヘッド）１Ａ，１Ｂによってインクが噴射されて記録シートＳに印刷される。
【００１９】
図２に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例となるインクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１が並設された流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５と、振動板１５上に設けられる圧電素子１６とを有する。
【００２０】
流路形成基板１２には、図２及び図３に示すように、各圧力発生室１１が隔壁１７によって区画されてその幅方向に複数並設されている。また流路形成基板１２の圧力発生室１１の長手方向一端側には、第１の液室であるリザーバー１８が流路形成基板１２を貫通して設けられている。そして、各圧力発生室１１とリザーバー１８とは、それぞれインク供給路１９を介して接続されている。このインク供給路１９は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバー１８から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。
【００２１】
一方、流路形成基板１２の圧力発生室１１の長手方向他端部側には、第２の液室である循環液室２０が設けられている。この循環液室２０とリザーバー１８とは流路形成基板１２に形成される複数の循環流路２１によってそれぞれ連通している。これら循環流路２１は、本実施形態では、並設された圧力発生室１１の列の両外側と、各圧力発生室１１の間とにそれぞれ設けられている。なお各循環流路２１は、リザーバー１８と循環液室２０との間に略一定幅で形成されている。例えば、本実施形態では、各循環流路２１は、圧力発生室１１と略同一の幅で形成されている。
【００２２】
また圧力発生室１１は、本実施形態では、流路形成基板１２を貫通することなく形成されており、圧力発生室１１のリザーバー１８とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通してノズル１３に連通するノズル連通路２２が形成されている。
【００２３】
流路形成基板１２の一方面側にはノズルプレート１４が接合されている。そして上述のように各ノズル１３が流路形成基板１２に設けられたノズル連通路２２を介して各圧力発生室１１と連通している。また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合され、各圧力発生室１１及び循環流路２１はこの振動板１５によって封止されている。そしてこの振動板１５上には圧電素子１６が、その先端部を当接させた状態で固定されている。
【００２４】
圧電素子１６は、第１の圧力発生手段である第１の圧電素子２３と、第２の圧力発生手段である第２の圧電素子２４とを含む。第１の圧電素子２３は、各圧力発生室１１に対応して設けられて各圧力発生室１１内にインク滴を噴射するための圧力変化を生じさせる。第２の圧電素子２４は、各循環流路２１に対応して設けられて循環流路２１内に圧力変化を生じさせる。
【００２５】
これら第１の圧電素子２３と第２の圧電素子２４とを含む圧電素子１６は、圧電体層２５と個別内部電極２６及び共通内部電極２７とが交互に積層され、圧電変形に寄与しない不活性領域が固定基板２８に固着されている。また圧電素子１６の不活性領域には、駆動ＩＣ２９が搭載された駆動配線３０が接続されている。
【００２６】
また振動板１５上には、圧電素子１６が固定基板２８に固定された状態で収容される収容部３１を有するヘッドケース３２が固定されている。圧電素子１６の先端が当接する振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜３３と、この弾性膜３３を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板３４との複合板で形成されており、弾性膜３３側が流路形成基板１２に接合されている。また振動板１５の各圧力発生室１１及び循環流路２１に対向する領域内には、第１及び第２の圧電素子２３，２４の先端部が当接する島部３５が設けられている。すなわち振動板１５の各圧力発生室１１及び循環流路２１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部３６が形成されて、この薄肉部３６の内側にそれぞれ島部３５が設けられている。
【００２７】
なお振動板１５のリザーバー１８に対向する領域には、薄肉部３６と同様に、支持板３４が除去されて実質的に弾性膜３３のみで構成されるコンプライアンス部３７が設けられている。ヘッドケース３２のコンプライアンス部３７に対向する部分には、コンプライアンス部３７の変形を許容する空間である空間部３８が形成されている。
【００２８】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、第１の圧電素子２３及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル１３からインク滴を噴射させる印刷動作が実行される。具体的には、第１の圧電素子２３に電圧を印加して第１の圧電素子２３を収縮させると、振動板１５が第１の圧電素子２３と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。そして、ノズル１３に至るまで内部にインクが満たされた状態で、駆動ＩＣ２９からの記録信号に従い、第１の圧電素子２３に印加していた電圧を解除する。これにより、第１の圧電素子２３が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル１３からインク滴が噴射される。
【００２９】
一方、所定のタイミングで第２の圧電素子２４に電圧を印加して第２の圧電素子２４と共に振動板１５を撓み変形させることにより循環流路２１内に圧力変化を生じさせ、この循環流路２１を介して第１の液室であるリザーバー１８及び第２の液室である循環液室２０内のインクを循環させる循環動作が実行される。この循環動作は、例えば、印刷開始前等の所定のタイミングで実行される。
【００３０】
このような循環動作が実行されることで、外部の環境温度が変化した場合でもリザーバー１８、循環液室２０、循環流路２１等の流路内のインクの温度（粘度）の均一化を図ることができる。また、従来から行われているフラッシング動作を実行する必要がなくなるため、インクの消費量も抑えることができランニングコストの低減を図ることができる。
【００３１】
ここで、インクジェット式記録装置Ｉは、図４のブロック図に示すように、記録ヘッド１０の駆動、特に記録ヘッド１０を構成する第１の圧電素子２３及び第２の圧電素子２４の駆動を制御する駆動制御部５０を有する。またこの駆動制御部５０は、所定のタイミングで第２の圧電素子２４を駆動して上述した循環動作を実行させる循環制御手段５１を具備する。この循環制御手段５１は、例えば、印刷開始前等の所定のタイミングで、複数の循環流路２１に対応して設けられた各第２の圧電素子２４の駆動を個別に制御することで、複数の循環流路２１を介してリザーバー１８及び循環液室２０内のインクを循環させる循環動作を実行する。
【００３２】
以下、このような循環制御手段５１による循環動作時の第２の圧電素子２４の駆動方法について説明する。
【００３３】
例えば、本実施形態では、第２の圧力発生手段である第２の圧電素子２４は、上述のように循環流路２１の一方面を構成する振動板１５上に設けられており、印加する電圧を調整することによって循環流路２１の容積を拡大及び縮小させる方向の駆動が可能である。すなわち、第２の圧電素子２４を収縮させることで循環流路２１の容積は拡大され、第２の圧電素子２４を膨張させることで循環流路２１の容積が縮小される。そして、本実施形態では、循環動作が開始されると、循環制御手段５１は、図５に示すように、隣接する各循環流路２１Ａ，２１Ｂに対応する第２の圧電素子２４Ａ，２４Ｂを、それぞれ逆方向の駆動をさせる。すなわち、循環制御手段５１は、図５（ａ）に示すように、隣接する一方の循環流路２１Ａに対応する第２の圧電素子２４Ａを膨張させると共に、他方の循環流路２１Ｂに対応する第２の圧電素子２４Ｂを収縮させる。このような第２の圧電素子２４の駆動により、図６（ａ）にインクの流れを矢印で示すように、各循環流路２１Ａには、リザーバー１８及び循環液室２０に向かうインクの流れが生じ、各循環流路２１Ｂにはリザーバー１８及び循環液室２０からインクが流れ込む方向のインクの流れが生じることになる。
【００３４】
また逆に、図５（ｂ）に示すように、一方の第２の圧電素子２４Ａを収縮させた場合には、他方の第２の圧電素子２４Ｂを膨張させる。このような第２の圧電素子２４の駆動により、図６（ｂ）にインクの流れを矢印で示すように、各循環流路２１Ａにはリザーバー１８及び循環液室２０からインクが流れ込む方向のインクの流れが生じ、各循環流路２１Ｂには、リザーバー１８及び循環液室２０に向かうインクの流れが生じることになる。
【００３５】
このような第２の圧電素子２４Ａ，２４Ｂの駆動を繰り返すことにより、循環流路２１を介してリザーバー１８及び循環液室２０内のインクが循環（撹拌）され、リザーバー１８、循環液室２０、循環流路２１等のインク流路内のインクの温度が均一化され、またインクの沈降も抑えられる。したがって、その後第１の圧電素子２３を駆動して印刷動作を実行することで、各ノズル１３から良好にインク滴を噴射させることができる。すなわち、上述のような循環動作を実行することで、常に高品質印刷を実現することができる。
【００３６】
さらに本発明では、圧電素子によって流路内のインクを循環させるようにしているため、ポンプ等によってインクを循環させる従来の構造にくらべて装置の大幅な小型化を図ることもできる。
【００３７】
（実施形態２）
本実施形態は、循環動作における第２の圧電素子の駆動方法の他の例である。すなわち、循環制御手段５１が、循環動作時に、圧力発生室の並設方向中央よりも一端側の第２の圧電素子と、他端側の第２の圧電素子とに、それぞれ逆方向の駆動をさせるようにした例である。
【００３８】
具体的には、図７（ａ）に示すように、循環制御手段５１は、圧力発生室１１の並設方向中央部よりも一端側の循環流路２１Ｃに対応する第２の圧電素子２４Ｃを膨張させると共に、圧力発生室１１の並設方向中央部よりも他端側の循環流路２１Ｄに対応する第２の圧電素子２４Ｄを収縮させる。このような第２の圧電素子２４Ｃ，２４Ｄの駆動により、図８（ａ）にインクの流れを矢印で示すように、各循環流路２１Ｃには、リザーバー１８及び循環液室２０に向かうインクの流れが生じ、各循環流路２１Ｄにはリザーバー１８及び循環液室２０からインクが流れ込む方向のインクの流れが生じることになる。
【００３９】
また逆に、図７（ｂ）に示すように、一端側の第２の圧電素子２４Ｃを収縮させた場合には、他方側の第２の圧電素子２４Ｂを膨張させる。このような第２の圧電素子２４の駆動により、図８（ｂ）にインクの流れを矢印で示すように、各循環流路２１Ｃにはリザーバー１８及び循環液室２０からインクが流れ込む方向のインクの流れが生じ、各循環流路２１Ｄにはリザーバー１８及び循環液室２０に向かうインクの流れが生じることになる。
【００４０】
このような第２の圧電素子２４Ｃ，２４Ｄの駆動を繰り返すことによっても、実施形態１の場合と同様に、循環流路２１を介してリザーバー１８及び循環液室２０内のインクが循環（撹拌）され、リザーバー１８、循環液室２０、循環流路２１等のインク流路内のインクの温度が均一化され、またインクの沈降も抑えられる。
【００４１】
（実施形態３）
本実施形態は、循環動作における第２の圧電素子の駆動方法の他の例である。すなわち、図９〜図１１に示すように、循環制御手段５１が、循環動作時に、第２の圧電素子２４のそれぞれを異なるタイミングで駆動するようにした例である。なお、図９〜図１２では、駆動中の第２の圧電素子２４にハッチングを施している。
【００４２】
具体的には、まず図９（ａ）〜（ｄ）に示すように、循環制御手段５１が、圧力発生室１１の並設方向一端側（図中左側）から他端側（図中右側）に向かって、第２の圧電素子２４のそれぞれを順次駆動させる。このとき、循環制御手段５１は、本実施形態では、各第２の圧電素子２４をそれぞれ膨張させている。つまり、対応する循環流路２１の容積を収縮させている。
【００４３】
このように各第２の圧電素子２４を順次駆動させることにより、図１０及び図１１にインクの流れを矢印で示すように、駆動させた第２の圧電素子２４に対応する循環流路２１にはリザーバー１８及び循環液室２０に向かうインクの流れが生じ、このインクの流れによって他の循環流路２１にはリザーバー１８及び循環液室２０からインクが流れ込む方向のインクの流れが生じる。
【００４４】
このような第２の圧電素子２４の駆動を繰り返すことによっても、上述の実施形態の場合と同様に、循環流路２１を介してリザーバー１８及び循環液室２０内のインクが循環（撹拌）され、リザーバー１８、循環液室２０、循環流路２１等のインク流路内のインクの温度が均一化され、またインクの沈降も抑えられる。
【００４５】
なお本実施形態では、圧力発生室１１の並設方向一端側から第２の圧電素子２４を順次駆動させて循環動作を実行するようにしたが、第２の圧電素子２４を異なるタイミングで駆動すれば、駆動順序自体は特に限定されるものではない。また本実施形態では、各第２の圧電素子２４を膨張させるようにしたが、勿論、各第２の圧電素子２４を収縮させるようにしてもよい。
【００４６】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではない。例えば、第２の圧電素子２４を同時に同じ方向に変形させることで循環動作を行うこともできる。ただし、この場合には、例えば、図１２に示すように、第２の圧電素子２４が配されている各循環流路２１に加えて、第２の圧電素子２４が配されていない循環流路２１Ｅをさらに設けておくことが好ましい。これにより、上述した実施形態の場合と同様に、流路内のインクを良好に循環（撹拌）させることができる。勿論、このような循環流路２１Ｅを設けない場合でも、一部の第２の圧電素子２４を駆動させないようにしても、流路内のインクを良好に循環させることができる。
【００４７】
また上述の実施形態では、圧力発生手段として、圧電体層と個別内部電極及び共通内部電極とが交互に積層された構成された圧電素子を例示したが、圧電素子の構成は特に限定されるものではない。さらに、圧力発生手段は、圧電素子に限定されず、例えば、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーター等であってもよい。
【００４８】
また、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッドがキャリッジに搭載されて主走査方向に移動するタイプのインクジェット式記録装置を例示したが、本発明は、他のタイプのインクジェット式記録装置にも適用することができる。例えば、固定された複数のインクジェット式記録ヘッドを有し、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００４９】
さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５０】
１０  記録ヘッド、  １１  圧力発生室、  １２  流路形成基板、  １３  ノズル、  １４  ノズルプレート、  １５  振動板、  １８  リザーバー、  ２０  循環液室、  ２１  循環流路、  ２３  第１の圧電素子、  ２４  第２の圧電素子、  ２９  駆動ＩＣ、  ３０  駆動配線、  ３２  ヘッドケース、  ５０  駆動制御部、  ５１  循環制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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