(57)【要約】【課題】フィルタの耐圧性を大きくし、装置の大型化を抑え、かつフィルタの寿命を長くできるフィルタユニットおよびそれを用いた気体浄化システムを提供する。【解決手段】原気体ＤＳに含まれた異物Ｄをフィルタモジュール１０により除去するフィルタユニット２であって、フィルタモジュール１０を収納するフィルタケース１２を備え、フィルタケース１２は、下部に原気体ＤＳをフィルタモジュール１０に導入する導入口１４が形成され、上部にフィルタモジュール１０を通過した浄化気体ＣＧを導出する導出口１６が形成され、フィルタモジュール１０は、カートリッジ２２内に上下方向に延びる多数の中空糸膜２０を有し、中空糸膜２０の上端部２０ａが前記カートリッジ２２に固定された固定端であり、下端部２０ｂが自由端である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体に含まれた異物をフィルタモジュールにより除去するフィルタユニットであって、
前記フィルタモジュールを収納するフィルタケースを備え、
前記フィルタケースは、下部に前記気体をフィルタモジュールに導入する導入口が形成され、上部に前記フィルタモジュールを通過した気体を導出する導出口が形成され、
前記フィルタモジュールは、カートリッジ内に上下方向に延びる多数の中空糸膜を有し、前記中空糸膜の上端部が前記カートリッジに固定された固定端であり、下端部が自由端であるフィルタユニット。
【請求項２】
請求項１において、前記フィルタケース内の下部に、前記導入口から導入する気体を旋回させるインペラを有するフィルタユニット。
【請求項３】
請求項２において、前記インペラは、前記フィルタモジュールの下方に配置されてフィルタモジュールの落下を阻止するストッパに設けられているフィルタユニット。
【請求項４】
請求項３において、前記フィルタモジュールが、導電性材料からなるフィルタケースに電気的に接触しているフィルタユニット。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項において、前記中空糸膜の孔径が２μｍ以上であるフィルタユニット。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載のフィルタユニットを用いた気体浄化システムであって、
前記フィルタユニットに導入される気体で前記フィルタモジュールを逆流洗浄する逆洗手段を備えた気体浄化システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガス配管のような気体が流れる通路において、気体中の塵芥を除去するフィルタユニットおよびそれを用いた気体浄化システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えばガス配管のような気体が流れる通路において、老朽した配管から発生する鉄錆や、配管工事中に混入する土砂といったような塵芥を除去するために、気体が流れる通路に目開きが１ｍｍ程度の金属製のストレーナを設け、そこにガス配管内の塵芥を捕集して、気体から塵芥を除去することが一般に行われている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述したような金属製のストレーナを用いた浄化システムでは、比較的大きい異物しか取り除くことができず、例えばガス配管の場合、比較的微細な塵芥がガス計量器内部のギアに付着して、目詰りを引き起こすという問題がある。一方、ガス流量を維持しつつ、微細な塵芥も捕集するために樹脂製のプリーツ型フィルタを用いてろ過すると、圧力損失が大きくなり、フィルタが頻繁に目詰りを起こすので、フィルタの圧力による破損を防止するために、微差圧計によりフィルタの一次側と二次側の微少差圧を常時監視する必要があるうえに、フィルタを通過する気体流量に比べてフィルタ面積を大きくしなければならない。その結果、システムが複雑化・大型化してしまい、システム導入の初期費用が高くなる。また、フィルタが大型で、しかも寿命が短いから頻繁に交換する必要があり、維持管理費用も高くなる。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、フィルタの耐圧性を大きくし、装置の大型化を抑え、かつフィルタの寿命を長くできるフィルタユニットおよびそれを用いた気体浄化システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明に係るフィルタユニットは、気体に含まれた異物をフィルタモジュールにより除去するフィルタユニットであって、前記フィルタモジュールを収納するフィルタケースを備え、前記フィルタケースは、下部に前記気体をフィルタモジュールに導入する導入口が形成され、上部に前記フィルタモジュールを通過した気体を導出する導出口が形成され、前記フィルタモジュールは、カートリッジ内に上下方向に延びる多数の中空糸膜を有し、前記中空糸膜の上端部が前記カートリッジに固定された固定端であり、下端部が自由端である。
【０００６】
この構成によれば、フィルタモジュールとして、中空糸膜を用いているので、フィルタモジュールの耐圧性が向上するから、フィルタの一次側と二次側の差圧を大きくして流量を増大させることで、ろ過面積が小さくて済み、その結果、フィルタユニットを小型化することができる。また、中空糸膜の下端部が自由端となっているので、気体の流れによって自由端が揺動することで、除去された異物が下に落ちるから、フィルタモジュールの目詰りを防ぐことができ、その結果、フィルタモジュールの寿命が長くなる。
【０００７】
本発明において、前記フィルタケース内の下部に、前記導入口から導入する気体を旋回させるインペラを有することが好ましい。この構成によれば、インペラにより気体を旋回させて中空糸膜の揺動を促進させることで、さらに異物が落ちやすくなり、フィルタモジュールの寿命を延ばすことができる。
【０００８】
また、前記インペラは、前記フィルタモジュールの下方に配置されてフィルタモジュールの落下を阻止するストッパに設けられていることが好ましい。この構成によれば、インペラ用の別部材が不要になるので、部品点数を増加させない。
【０００９】
さらに、前記フィルタモジュールが、導電性材料からなるフィルタケースに電気的に接触していることが好ましい。この構成によれば、中空糸膜の摩擦により発生する静電気が、フィルタケースを介してアースとなるフィルタケースに逃がされるので、中空糸膜に付着した異物をより落とし易くできる。
【００１０】
本発明において、前記中空糸膜の孔径が２μｍ以上であることが好ましい。２μｍ以下とすると、圧力損失が大きくなり、ろ過面積が増大してしまうが、２μｍ以上とすれば、ろ過面積を抑え、フィルタユニットを小型化することができる。
【００１１】
本発明に係る気体浄化システムは、上述の本発明のフィルタユニットを用いた気体浄化システムであって、前記フィルタユニットに導入される気体で前記フィルタモジュールを逆流洗浄する逆洗手段を備えている。この構成によれば、逆洗手段により、フィルタモジュールに付着した異物が取り除かれるので、フィルタモジュールの寿命を長くすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のフィルタユニットによれば、気体に含まれた異物を除去するフィルタモジュールとして、中空糸膜を用いているので、フィルタモジュールの耐圧性が向上するから、流量を増大させることによって、ろ過面積が小さくて済み、その結果、フィルタユニットを小型化することができる。また、中空糸膜の下端部が自由端となっているので、除去された異物が下に落ちるから、フィルタモジュールの目詰りを防ぐことができ、その結果、フィルタモジュールの寿命が長くなる。また、本発明の気体浄化システムによれば、フィルタモジュールを逆流洗浄することにより、フィルタモジュールに付着した異物が取り除かれるので、フィルタモジュールの寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る気体浄化システムの系統図である。
【図２】同上気体浄化システムのフィルタモジュールの一部破断した側面図である。
【図３】同上気体浄化システムのストッパの平面図である。
【図４】同上フィルタモジュールの中空糸膜の斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る気体浄化システムの概略系統図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る気体浄化システムの概略系統図である。
【図７】同上気体浄化システムの逆流洗浄時の系統図である。
【図８】同上システムのフィルタモジュールの中空糸膜の斜視図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る気体浄化システムの概略系統図である。
【図１０】同上システムの第１のフィルタユニットを逆流洗浄する時の系統図である。
【図１１】同上システムの第２のフィルタユニットを逆流洗浄する時の系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る気体浄化システムを示す系統図である。気体浄化システム１は、気体に含まれた異物Ｄ（図４）を除去するフィルタユニット２と、フィルタユニット２に異物Ｄを含んだ気体（以下「原気体ＤＧ」という。）を導入する導入通路４と、フィルタユニット２で異物Ｄを除去された気体（以下「浄化気体ＣＧ」という。）を導出する導出通路６と、フィルタユニット２の下方に位置するダストボックス８とを有している。導入通路４および導出通路６は配管からなり、導入通路４におけるフィルタユニット２の近傍、導出通路６におけるフィルタユニット２の近傍、およびダストボックス８の直前には、それぞれ第１から第３の開閉弁（ＯＮ−ＯＦＦ弁）Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３が設けられている。
【００１５】
導入通路４とフィルタユニット２との間、より具体的には、第１の開閉弁Ｖ１とフィルタユニット２との間に、３つの接続口５１〜５３を有するＴ形の接続管５が設けられ、接続管５の相対向する第１および第２の接続口５１，５２の一方５１（図１の上側）に、フィルタユニット２が接続され、他方５２（図１の下側）に、ダストボックス８が第３の弁Ｖ３を介して接続されている。第１の開閉弁Ｖ１は、第１および第２の接続口５１，５２の中心を結んだ線と直交する方向に開口した第３の接続口５３に接続されている。
【００１６】
フィルタユニット２は、異物Ｄを除去する３本のフィルタモジュール１０と、３本のフィルタモジュール１０を収納する筒状の単一のフィルタケース１２とを備えている。フィルタケース１２は、導電性材料、例えば鋼製であり、その下部に原気体ＤＧをフィルタモジュール１０に導入する導入口１４が形成され、上部周壁にフィルタモジュール１０を通過した浄化気体ＣＧを導出する導出口１６が形成されている。導入口１４の下流側には、フィルタケース１２におけるフィルタモジュール１０を収納したケース本体部分よりも通路面積の小さい入口通路１５が形成されている。導入口１４および導出口１６に、導入通路４および導出通路６がそれぞれ接続される。フィルタユニット２の上部は、フィルタモジュール１０を交換できるように、開口部１８が形成されており、開口部１８は、フィルタユニット２に着脱自在に取り付けられる蓋部１９によって塞がれている。
【００１７】
図２に示すように、各フィルタモジュール１０は、軸心が上下方向を向いた中空円筒形状のカートリッジ２２内に上下方向に延びる多数の中空糸膜２０を収納したものである。本実施形態では、カートリッジ２２は樹脂としているが、これに限定されない。カートリッジ２２は、下端部が開放されて、フィルタユニット２の導入口１４（図１）に向かう開口２２ａとなっており、この開口２２ａから気体を内部に導入できるようにしている。また周壁２２ｂには複数の気体導入孔２２ｃが形成され、ここからも気体が内部に導入される。カートリッジ２２の上部には肩部２２ｄが形成され、周壁２２ｂと同芯状に周壁２２ｂより小径の口部２２ｅが連設されている。口部２２ｅの外周には、Ｏリングのようなシール部材２３が設けられ、図１に示すように、口部２２ｅが上方に向かって開口した状態で、フィルタケース１２の上部、具体的には、導出口１６の若干下方に設けられたモジュール取付部材２１に口部２２ｅを嵌合して、フィルタモジュール１０をフィルタケース１２に支持している。
【００１８】
フィルタケース１２は、フィルタモジュール１０の下方に配置されてフィルタモジュール１０の落下を阻止するストッパ２８を有している。ストッパ２８は導電性材料、例えば鋼製であり、このストッパ２８には、図３に示すように、導入口１４からの原気体ＤＧを上下軸心周りに旋回させる固定羽根である３つのインペラ３０が形成されている。より具体的には、インペラ３０は、図１に示す３本のフィルタモジュール１０それぞれの真下に３つ形成されている。インペラ３０は板材からなり、インペラ３０の翼端部３０ａ，３０ｂで板面が原気体ＤＧの流れ方向Ｆと平行で、インペラ３０の中央部３０ｃで板面が原気体ＤＧの流れ方向Ｆと直交するように、短冊状の板材を１８０°ねじった形状である。
【００１９】
図２に示すように、フィルタモジュール１０の周壁２２ｂに、柔軟な金属板または金属のような導電性材料からなるアース片２２ｆがねじ体２２ｇによって取り付けられており、このアース片２２ｆがストッパ２８に接触して（図１）、間接的にフィルタモジュール１０をフィルタケース１２に電気的に接触させている。アース片２２ｆは直接フィルタケース１２に接触させてもよい。インペラ３０の数は３つに限られず、例えばフィルタモジュール１０の中空部に１つ設けてもよい。インペラ３０は、これを通過する流体に乱流を起こさせるような形状であればよく、図３の形状に限定されない。本実施形態では、ストッパ２８にインペラ３０を設けているが、フィルタモジュール１０の入口通路１５（図１）に設けてもよい。その場合は、本実施形態に比べてインペラ３０の数を抑えることができる。
【００２０】
中空糸膜２０は、上端部２０ａがカートリッジ２２に固定された固定端を形成し、下端部２０ｂがカートリッジ２２に固定されない自由端を形成している。具体的には、中空糸膜２０の上端部２０ａにおいて、多数の中空糸膜２０を束にして、中空糸膜２０，２０間をエポキシ樹脂のような接着性樹脂からなる固定部材２４により固定し、この固定部材２４をカートリッジ２２の肩部２２ｄ近傍の内周に嵌合している。上端部２０ａは固定部材２４を貫通して上方に開口している。下端部２０ｂにおいては、図４に示すように、各中空糸膜２０の中空部２０ｃの開口端が、エポキシ樹脂のような樹脂からなるシール部材２６により閉塞されており、各中空糸膜２０の下端部２０ｂ、２０ｂ同士および下端部２０ｂとカートリッジ２２とは互いに固定されていない。
【００２１】
本実施形態では、中空糸膜２０はポリスルホン（ＰＳ）コーティングのポリビニルアルコール（ＰＶＡ）製であるが、これに限定されない、また、中空糸膜２０は外径ｄ１が１．２ｍｍの中空糸からなり、膜の孔径ｄ２を２．５μｍとしているが、中空糸の外径ｄ１、膜の孔径ｄ２のいずれもこれに限定されない。膜の孔径ｄ２は、好ましくは、１〜１０μｍであり、より好ましくは、２〜７μｍである。
【００２２】
中空糸膜２０は外圧方式のろ過膜である。すなわち、フィルタケース１２の導入口１４（図１）から、カートリッジ２２の下端の開口２２ａおよび気体導入孔２２ｃを通ってカートリッジ内に導入された原気体ＤＧは、中空糸膜２０の外壁２０ｄを通過して、中空部２０ｃに進入する。その際、膜の孔径ｄ２よりも大きな異物Ｄは、外壁２０ｄを通過できずに外壁面に付着する。中空糸膜２０の下端部２０ｂは閉塞されているので、中空部２０ｃに進入した浄化気体ＣＧは、上端部２０ａへ向かって流れ、カートリッジ２２の口部２２ｅを経由して、フィルタケース１２の導出口１６（図１）から導出される。中空糸膜２０の外壁２０ｄに付着した異物Ｄは、落下してダストボックス８の手前の第３の開閉弁Ｖ３（図１）の上側に溜まり、第３の開閉弁Ｖ３を適宜のタイミングで開放することにより、溜まった異物Ｄがダストボックス８に収集される。
【００２３】
自然落下せずに中空糸膜２０に付着したままの異物Ｄを取り除くには、図１の第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を閉止し、フィルタユニット２の蓋部１９を取り外し、フィルタケース１２からフィルタモジュール１０を取り出して、フィルタモジュール１０を軽く叩くなどして物理的な衝撃を与えることにより、異物Ｄが中空糸膜２０から取り除かれる。その後、フィルタモジュール１０をフィルタケース１２内に戻し、蓋部１９を取り付け、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を開くことで再使用できる。このように中空糸膜２０を繰り返し使用することで、フィルタモジュール１０の寿命を延ばすことができる
【００２４】
上記構成において、フィルタモジュール１０として、中空糸膜２０を用いているので、フィルタモジュール１０の耐圧性が向上するから、フィルタモジュール１０の一次側と二次側の差圧を大きくして流量を増大させることで、ろ過面積が小さくて済み、その結果、フィルタユニット２を小型化することができる。また、中空糸膜２０の下端部２０ｂが自由端となっているので、原気体ＤＧの流れによって自由端が揺動することで、除去された異物Ｄが下に落ちるから、フィルタモジュール１０の目詰りを防ぐことができ、その結果、フィルタモジュール１０の寿命が長くなる。
【００２５】
さらに、フィルタケース１２内の下部に、導入口１４から導入する気体ＤＳを旋回させるインペラ３０を有するので、インペラ３０により原気体ＤＳを旋回させて中空糸膜２０が揺動することで、異物Ｄが一層落ちやすくなり、フィルタモジュール１０の目詰まりを抑制して、寿命を延ばすことができる。インペラ３０をストッパ２８に設けることで、フィルタケース１２にインペラ３０を容易に形成することができる。また、フィルタケース１２およびストッパ２８が導電性材料からなり、フィルタモジュール１０がアース片２２ｆを介してストッパ２８に接触しているので、中空糸膜２０の摩擦により発生する静電気を、アースとなるフィルタケース１２に逃がすことができるから、異物Ｄが中空糸膜２０から一層脱落し易くなる。
【００２６】
中空糸膜２０の孔径が１μｍ未満であると、圧力損失が大きくなり、ろ過面積が増大してしまうが、孔径を２μｍ以上、具体的には、２．５μｍとしているので、ろ過面積を抑え、フィルタユニット２を小型化することができる。
【００２７】
図５は、第２実施形態に係る気体浄化システムを示す系統図である。第２実施形態は、例えば都市ガスのように、気体の供給を止めることができないケースに用いられるもので、上述のフィルタユニットを２つ並列に配置し、導入通路４を２つに分岐させた分岐導入通路４０Ａ，４０Ｂを、それぞれ第１および第２のフィルタユニット２Ａ，２Ｂに接続し、分岐導入通路４０Ａ，４０Ｂにそれぞれ、第１の開閉弁Ｖ１Ａ，Ｖ１Ｂを設けている。また、第１および第２のフィルタユニット２Ａ，２Ｂからの分岐導出通路６０Ａ，６０Ｂにそれぞれ、第２の開閉弁Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂを設けている。分岐導出通路６０Ａ，６０Ｂは集合して導出通路６となる。
【００２８】
第２実施形態によれば、第１の開閉弁Ｖ１Ａ，Ｖ１Ｂおよび第２の開閉弁Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂを切り換えることで、第１および第２のフィルタユニット２Ａ，２Ｂのうち使用する方を選択できるので、未使用のフィルタユニットからフィルタモジュール１０を取り出して、上述のように、衝撃を与えることでフィルタモジュール１０に付着した異物Ｄを取り除くことができる。これにより、フィルタモジュール１０の寿命を延ばすことができるうえに、気体の供給を止めることなく、フィルタモジュール１０の清掃または交換を行うことができる。
【００２９】
図６は、第３実施形態に係る気体浄化システムを示す系統図である。第３実施形態も、第２実施形態と同様に、気体の供給を止めることができないケースに用いられるものであるが、第３実施形態では、フィルタユニット２に導入される原気体ＤＳでフィルタモジュール１０を逆流洗浄している。つまり、導入通路４における第１の開閉弁Ｖ１の上流側と、導出通路６における第２の開閉弁Ｖ２の上流側との間が、逆洗用導入通路３５により接続され、逆洗用導入通路３５における導入通路４および導出通路６の接続部付近に、それぞれ第１の切換弁３１および第２の切換弁３２が設けられている。また、導入通路４における第１の開閉弁Ｖ１の下流側と、導出通路６における第２の開閉弁Ｖ２の下流側との間が、逆洗用導出通路３６により接続され、逆洗用導入通路３６における導入通路４および導出通路６の接続部付近に、それぞれ第３の切換弁３３、第４の切換弁３４が設けられている。さらに、逆洗用導入通路３４における第３の切換弁３３と第４の切換弁３４との間に、逆洗用フィルタ３８が設けられている。
【００３０】
つぎに、このシステムの動作について説明する。通常の気体浄化時には、第１および第２の開閉弁Ｖ１，Ｖ２を開き、第３の開閉弁Ｖ３および第１〜４の切替弁３１〜３４を閉じた状態で、原気体ＤＧである都市ガスは矢印Ａ１で示す方向に流れている。逆流洗浄を行う際には、図７に示すように、第１〜３の弁Ｖ１〜３を閉じ、第１〜４の切替弁３１〜３４を開いた状態にする。これにより、ガスは矢印Ａ２で示す方向、すなわちフィルタモジュール内１０を気体浄化時とは逆方向に流れる。
【００３１】
第１実施形態の図３で説明したように、気体浄化時に導入気体ＤＧから除去された異物Ｄは、中空糸膜２０の外壁２０ｄに付着する。逆流洗浄時には、図８に矢印Ａ３で示すように、気体浄化時とは逆向き、すなわち中空糸膜２０の中空部２０ｃから外壁２０ｄに向かって気体が流れるので、この気体の流れによって、外壁２０ｄに付着した異物Ｄが取り除かれ、図７の気体の流れＡ２に乗ってフィルタモジュール１０の下部から排出される。排出された異物Ｄは、逆洗用フィルタ３８により捕捉され、クリーンな浄化気体ＣＧとして導出通路６に導出される。逆流洗浄が完了したら、各弁を通常の気体浄化時の状態に戻して、気体の浄化を継続する。逆洗用フィルタ３８としては、中空糸膜フィルタ、プリーツ型膜フィルタ、平膜フィルタなど種々のフィルタを使用できる。
【００３２】
この第３実施形態によれば、第２実施形態と同様に、気体の供給を止めることなく、フィルタモジュール１０の清掃を行うことができ、フィルタモジュール１０を繰り返し使用することで、フィルタモジュール１０の寿命を延ばすことができる。さらに、逆流洗浄により清掃を行うので、フィルタユニット２は一基でよく、しかも清掃時にフィルタユニット２の蓋部１９を外してフィルタモジュール１０を取り出す必要もないので、容易にフィルタモジュール１０の清掃を行うことができる。
【００３３】
図９は、第４実施形態に係る気体浄化システムを示す系統図である。第４実施形態も、第２および第３実施形態と同様に、気体の供給を止めることができないケースに用いられるものである。第４実施形態は、図５の第２実施形態のように第１および第２フィルタユニット２Ａ，２Ｂを選択的に使用し、さらに、図６〜８の第３実施形態と同様に、第１および第２フィルタユニット２Ａ，２Ｂに導入される原気体ＤＳでフィルタモジュール１０を逆流洗浄している。つまり、図６の導入通路４における分岐導入通路４０Ａ，４０Ｂよりも上流側に、第１の切換弁４１を設け、導入通路４における該第１の切換弁４１の上流側と、分岐導出通路６０Ａ，６０Ｂにおける第２の開閉弁Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂの上流側との間が、それぞれ逆洗用導入通路４４Ａ，４４Ｂによって接続され、逆洗用導入通路４４Ａ，４４Ｂにそれぞれ第２の切換弁４２、第３の切換弁４３が設けられている。本実施形態では、逆洗用導入通路４４Ａ，４４Ｂは、導入通路４に接続された共通部と、この共通部から分岐して分岐導出通路６０Ａ，６０Ｂに接続される２つの分岐部とを有している。
【００３４】
つぎに、このシステムの動作について説明する。第１のフィルタユニット２Ａを用いて気体を浄化する時は、第１のフィルタユニット２Ａ用の第１，２の開閉弁Ｖ１Ａ，Ｖ２Ａおよび第１の切換弁４１を開き、第２のフィルタユニット２Ｂ用の第１〜３の開閉弁Ｖ１Ｂ〜３Ｂおよび第２，第３の切換弁４２，４３を閉じる。この状態で、ガスは矢印Ａ１ａで示す方向に流れ、第１のフィルタユニット２Ａにより浄化される。第２のフィルタユニット２Ｂを用いて気体を浄化する時は、第２のフィルタユニット２Ｂ用の第１，２の開閉弁Ｖ１Ｂ，Ｖ２Ｂおよび第１の切換弁４１を開き、第１のフィルタユニット２Ａ用の第１〜３の開閉弁Ｖ１Ａ〜３Ａおよび第２，第３の切換弁４２，４３を閉じる。この状態で、ガスは矢印Ａ１ｂで示す方向に流れ、第２のフィルタユニット２Ｂにより浄化される。
【００３５】
第１のフィルタユニット２Ａの逆流洗浄を行う際には、図１０に示すように、第１の切換弁４１と、第１のフィルタユニット２Ａの第２，３の開閉弁Ｖ２Ａ，Ｖ３Ａと、第２のフィルタユニット２Ｂの第３の開閉弁Ｖ３Ｂとを閉じ、第１のフィルタユニット２Ａ用の第２の切換弁４２と、第２のフィルタユニット２Ｂ用の第１および第２の開閉弁Ｖ１Ｂ，Ｖ２Ｂと、第１のフィルタユニット２Ａの第１の開閉弁Ｖ１Ａとを開いた状態にする。これにより、ガスは矢印Ａ２ａで示す方向、すなわち第１のフィルタユニット２Ａのフィルタモジュール内１０を気体浄化時とは逆方向に流れる。逆流洗浄時には、第３実施形態の図８で説明したように、逆向きの気体の流れによって、中空糸膜２０の外壁２０ｄに付着した異物Ｄは取り除かれる。除去された異物Ｄは、気体の流れに乗って、図８の第２のフィルタユニット２Ｂにより捕捉され、クリーンな気体として、分岐導出通路６０Ｂを経て導出通路６に導出される。逆流洗浄が完了したのち、各弁を通常の気体浄化時の状態に戻して、気体の浄化を継続する。
【００３６】
第２のフィルタユニット２Ｂの逆流洗浄を行う際には、図１１に示すように、第１の切換弁４１と、第２のフィルタユニット２Ｂ用の第２，３の開閉弁Ｖ２Ｂ，Ｖ３Ｂと、第１のフィルタユニット２Ａ用の第３の開閉弁Ｖ３Ａとを閉じ、第２のフィルタユニット２Ｂ用の第３の切換弁４３と，第１のフィルタユニット２Ａ用の第１および第２の開閉弁Ｖ１Ａ，Ｖ２Ａと、第２のフィルタユニット２Ｂ用の第１の開閉弁Ｖ１Ｂとを開いた状態にする。これにより、ガスは矢印Ａ２ｂで示す方向に流れる。逆流洗浄時には、上述のように、逆向きの気体の流れによって、フィルタモジュール１０に付着した異物Ｄが取り除かれ、除去された異物Ｄは、気体の流れに乗って、第１フィルタユニット２Ａにより捕捉され、クリーンな気体として、分岐導出通路６０Ａを経て導出通路６に導出される。逆流洗浄が完了したのち、各弁を通常の気体浄化時の状態に戻して、気体の浄化を継続する。
【００３７】
この第４実施形態によれば、第２および第３実施形態と同様に、気体の供給を止めることなく、中空糸膜２０の清掃を行うことができ、中空糸膜２０を繰り返し使用することで、フィルタモジュール１０の寿命を延ばすことができる。また、第３実施形態と同様に、清掃時にフィルタユニット２Ａ，２Ｂの蓋部１９を外してフィルタモジュール１０を取り出す必要もないので、容易にフィルタモジュール１０の清掃を行うことができる。さらに、フィルタユニットを２基設けたことにより、一方のフィルタユニット２Ａまたは２Ｂが故障した場合であっても、他方のフィルタユニット２Ｂまたは２Ａを用いて気体浄化機能を維持することができるので、システムの信頼性が向上するうえに、一方のフィルタモジュール１０から取り除いた異物Ｄを、他方のフィルタモジュール１０で捕捉するように逆流洗浄を行うので、第３実施形態のような逆洗用フィルタ３８を省略できる。
【００３８】
以上のとおり、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。したがって、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００３９】
１  気体浄化システム
２  フィルタユニット
１０  フィルタモジュール
１２  フィルタケース
１４  導入口
１６  導出口
２０  中空糸膜
２０ａ  上端部
２０ｂ  下端部
２２  カートリッジ
２８  ストッパ
３０  インペラ
Ｄ  異物
ＤＧ  原気体
ＣＧ  浄化気体
【図１】
2010240571.tif 000003
【図２】
2010240571.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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