(57)【要約】【課題】２本の粘着ロール体に対して、１本の粘着テープが接触するタイプのクリーンローラ装置を提供すること。【解決手段】クリーンローラ装置１０は、ワーク表面の塵埃を吸着する第１の粘着ロール体４２Ａと、同じく第２の粘着ロール体４２Ｂと、第１の粘着ロール体４２Ａ、第２の粘着ロール体４２Ｂのスライドをガイドする第１のガイド機構９０Ａ、第２のガイド機構９０Ｂと、第１の粘着ロール体４２ＡをワークＷに接離する方向にスライドさせる第１のロール用アクチュエータ７１Ａと、粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂに接触可能であり、それら粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂに付着した塵埃を転写する粘着テープロール５３０を保持する第１のテープ保持部５３１と、第１のテープ保持部５３１および粘着テープロール５３０をワークＷに接離する方向にスライドさせる第１のテープ用アクチュエータ７０Ａと、モータ３０と、を備える。【選択図】図１
2010240603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送しながら上記ワークの表面に付着した塵埃を除去するクリーンローラ装置であって、
上記ワークの表面に付着している塵埃を吸着する第１の粘着ロール体と、
上記ワークの表面に付着している塵埃を吸着すると共に、上記ワークの搬送経路に対して上記第１の粘着ロール体と同じ側に設けられる第２の粘着ロール体と、
上記第１の粘着ロール体を上記ワークに対して接離する方向にスライドさせる第１のガイド機構と、
上記第２の粘着ロール体を、上記第１の粘着ロール体に対して独立した状態で上記ワークに接離する方向にスライドさせる第２のガイド機構と、
上記第１のガイド機構でのガイドにより、上記第１の粘着ロール体を上記ワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第１のロール用アクチュエータと、
上記第１の粘着ロール体および上記第２の粘着ロール体の両方に接触可能である粘着テープロールであって、上記第１の粘着ロール体および上記第２の粘着ロール体に付着した上記塵埃を転写する粘着テープロールを保持する第１のテープ保持部と、
上記第１のテープ保持部およびこの第１のテープ保持部に保持される上記粘着テープロールを上記ワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第１のテープ用アクチュエータと、
上記ワークを搬送する駆動力を与えるモータと、
を具備することを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンローラ装置であって、
前記第１の粘着ロール体に対して前記搬送経路を挟んで反対側に配置されると共に前記第１の粘着ロール体と対向する第３の粘着ロール体と、
前記第２の粘着ロール体に対して前記搬送経路を挟んで反対側に配置されると共に前記第２の粘着ロール体と対向する第４の粘着ロール体と、
上記第３の粘着ロール体および上記第４の粘着ロール体の両方に接触可能である粘着テープロールであって、上記第３の粘着ロール体および上記第４の粘着ロール体に付着した上記塵埃を転写する粘着テープロールを保持する第２のテープ保持部と、
上記第２のテープ保持部およびこの第２のテープ保持部に保持される上記粘着テープロールを前記ワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第２のテープ用アクチュエータと、
を具備することを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のクリーンローラ装置であって、
前記第１のガイド機構および前記第２のガイド機構は、
前記ワークから離間させる向きに立設しているリニアシャフトと、
取付孔を具備すると共に前記第１の粘着ロール体または前記第２の粘着ロール体を回転自在に支持する軸支部を備えるブロック体と、
上記取付孔に取り付けられると共に上記リニアシャフトを内部に挿通させるリニアブッシュと、
上記ブロック体に対して前記ワークから離間させる向きの付勢力を与える付勢手段と、
を備えることを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項４】
請求項２記載のクリーンローラ装置であって、
前記第１のテープ保持部および前記第２のテープ保持部は、支持スライダに軸支されていると共に、
上記支持スライダは、ガイド側板に対して前記ワークに接離する方向にスライド可能に取り付けられていて、このガイド側板は、前記ワークの表面に対して平行かつ当該ワークの搬送方向に対して直交する方向に移動可能であり、
上記ガイド側板には、前記第１のロール用アクチュエータで生じた駆動力を前記第１のガイド機構に伝達させると共に前記第１のロール用アクチュエータおよび前記第１のガイド機構に対して分離した状態の中継ガイドが取り付けられている、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項５】
請求項４記載のクリーンローラ装置であって、
前記支持スライダは、前記第１のテープ用アクチュエータまたは前記第２のテープ用アクチュエータに対して分離して設けられていると共に当該第１のテープ用アクチュエータまたは当該第２のテープ用アクチュエータのロッド部に当接可能な上方突出部を有していることを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のクリーンローラ装置であって、
前記第２のガイド機構でのガイドにより、前記第２の粘着ロール体を前記ワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第２のロール用アクチュエータを備えることを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項７】
請求項６記載のクリーンローラ装置であって、
前記ワークの搬入を検出する第１の基板検出手段と、
上記第１の基板検出手段で前記ワークを検出した後に前記ワークの送り量を検出する送り量検出手段と、
上記送り量検出手段による前記ワークの送り量が第１の規定値となった場合に、前記ワークの搬入側に存在する前記第１の粘着ロール体を駆動させるための前記第１のロール用アクチュエータを駆動させ、前記第１の粘着ロールを前記ワークに接触させるロール用アクチュエータ制御手段と、
上記送り量検出手段による前記ワークの送り量が上記第１の規定値よりも大きな第２の規定値となった場合に、前記第１のテープ用アクチュエータを駆動させ、前記第１の粘着テープロールを前記第１の粘着ロール体および前記第２の粘着ロール体に接触させるテープ用アクチュエータ制御手段と、
を具備し、上記ロール用アクチュエータ制御手段は、前記第１のテープ用アクチュエータ制御手段で前記第１の粘着テープロールを前記第１の粘着ロール体および前記第２の粘着ロール体に接触させるように駆動させた場合に、前記ワークに対して離間する方向に前記第１の粘着ロール体を移動させるように前記第１のロール用アクチュエータを制御する、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項８】
請求項７記載のクリーンローラ装置であって、
前記テープ用アクチュエータ制御手段は、前記送り量検出手段による前記ワークの送り量が前記第２の規定値よりも大きな第３の規定値となった場合に、前記第１のテープ用アクチュエータを駆動させ、前記第１の粘着テープロールを前記第１の粘着ロール体および前記第２の粘着ロール体から離間させる制御を行う、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【請求項９】
請求項８記載のクリーンローラ装置であって、
前記ワークの搬出を検出する第２の基板検出手段を具備すると共に、
前記モータの駆動を制御するモータ制御手段を具備し、
前記モータ制御手段は、前記ワークの送り量が前記第３の規定値から所定量だけ送られたときに、前記ワークを搬入側に戻すように前記モータの駆動を逆転させる制御を行うと共に、
前記ロール用アクチュエータ制御手段は、前記送り量検出手段による前記ワークの送り量が上記第２の基板検出手段で前記ワークを検出した後に第４の規定値となった場合に、前記第２の粘着ロール体を前記ワークに接触させるように前記第２のロール用アクチュエータを駆動させる制御を行い、
前記テープ用アクチュエータ制御手段は、前記送り量検出手段による前記ワークの送り量が上記第４の規定値よりも大きな第５の規定値となった場合に、前記第１の粘着テープロールを前記第１の粘着ロール体および前記第２の粘着ロール体に接触させるように前記第１のテープ用アクチュエータを駆動させる制御を行い、
さらに前記ロール用アクチュエータ制御手段は、前記第１のテープ用アクチュエータ制御手段で前記第１の粘着テープロールを前記第１の粘着ロール体および前記第２の粘着ロール体に接触させるように駆動させた場合に、前記ワークに対して離間する方向に前記第２の粘着ロール体を移動させるように前記第２のロール用アクチュエータを制御する、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するためのクリーンローラ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンローラ装置の中には、上面側および下面側に、それぞれ２本の粘着ロール体を備えると共に、それら上面側および下面側に位置する２本の粘着ロール体に対して、１本の粘着テープを備えるタイプがある（たとえば、特許文献１参照）。このタイプのクリーンローラ装置においては、１本の粘着ロール体と１本の粘着テープから構成されるユニットを２つ備える構成と比較して、ワークをクリーニングする粘着ロール体の本数は同じでありながら、クリーンローラ装置がワークの搬送方向において必要とする寸法を低減可能となり、当該クリーンローラ装置をコンパクトにすることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０８６９３９号公報（図２、図３等参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のような２本の粘着ロール体に対して１本の粘着テープを備えるタイプのクリーンローラ装置では、たとえば特許文献１のロールスライダ３２ａのように、上側に存在する２本の粘着ロール体を、それぞれが独立する状態で動かすことはできない。すなわち、上側の２本の粘着ロール体は、樹脂製のスライダによって一体的に保持されていて、上側の粘着テープが下降する際に、その押し力を利用して２本の粘着ロール体が同時に下降する構成となっている。
【０００５】
ここで、ワークが薄くて柔らかい場合、ワークに対して除塵を行うと当該ワークが粘着ロール体に巻き付いてしまうことがある。また、ワークの表面にフィルムが貼付されている場合、ワークに対して除塵を行うと粘着ロール体がフィルムを剥がしてしまうことがある。このような不具合を防ぐために、粘着テープが粘着ロール体に対して離間する状態で上方に待機させておき、ワークのうち搬送方向における先端部が搬送方向の下流側に位置する粘着ロール体の下方を通過した後に、粘着テープを下降させて、ワークの除塵を行うようにしている。
【０００６】
しかしながら、このような除塵方法を用いる場合、粘着テープが下降した直後においては、ワークのうち搬送方向における下流側の部位と上流側の部位との間は、下流側に位置する粘着ロール体のみがワークの上面を除塵し、上流側に位置する粘着ロール体はワークの上面を除塵することができない。そのため、ワークの上面における除塵にムラが生じる結果となっている。また、クリーンローラ装置を長期間に亘って使用すると、樹脂製のスライダの部分から塵埃が発生する、という問題も有している。
【０００７】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、２本の粘着ロール体に対して、１本の粘着テープが接触するタイプのクリーンローラ装置において、ワークの除塵ムラを無くすることが可能であるクリーンローラ装置を提供しよう、とするものである。また、粘着ロール体がスライドする部分から塵埃が発生するのを防ぐことが可能なクリーンローラ装置を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の側面は、ワークを搬送しながら上記ワークの表面に付着した塵埃を除去するクリーンローラ装置であって、ワークの表面に付着している塵埃を吸着する第１の粘着ロール体と、ワークの表面に付着している塵埃を吸着すると共に、ワークの搬送経路に対して第１の粘着ロール体と同じ側に設けられる第２の粘着ロール体と、第１の粘着ロール体をワークに対して接離する方向にスライドさせる第１のガイド機構と、第２の粘着ロール体を、第１の粘着ロール体に対して独立した状態でワークに接離する方向にスライドさせる第２のガイド機構と、第１のガイド機構でのガイドにより、第１の粘着ロール体をワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第１のロール用アクチュエータと、第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体の両方に接触可能である粘着テープロールであって、第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体に付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持する第１のテープ保持部と、第１のテープ保持部およびこの第１のテープ保持部に保持される粘着テープロールをワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第１のテープ用アクチュエータと、ワークを搬送する駆動力を与えるモータと、を具備するものである。
【０００９】
また、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、第１の粘着ロール体に対して搬送経路を挟んで反対側に配置されると共に第１の粘着ロール体と対向する第３の粘着ロール体と、第２の粘着ロール体に対して搬送経路を挟んで反対側に配置されると共に第２の粘着ロール体と対向する第４の粘着ロール体と、第３の粘着ロール体および第４の粘着ロール体の両方に接触可能である粘着テープロールであって、第３の粘着ロール体および第４の粘着ロール体に付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持する第２のテープ保持部と、第２のテープ保持部およびこの第２のテープ保持部に保持される粘着テープロールをワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第２のテープ用アクチュエータと、を具備することが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、第１のガイド機構および第２のガイド機構は、ワークから離間させる向きに立設しているリニアシャフトと、取付孔を具備すると共に第１の粘着ロール体または第２の粘着ロール体を回転自在に支持する軸支部を備えるブロック体と、取付孔に取り付けられると共にリニアシャフトを内部に挿通させるリニアブッシュと、ブロック体に対してワークから離間させる向きの付勢力を与える付勢手段と、を備えることが好ましい。
【００１１】
また、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、第１のテープ保持部および第２のテープ保持部は、支持スライダに軸支されていると共に、支持スライダは、ガイド側板に対してワークに接離する方向にスライド可能に取り付けられていて、このガイド側板は、ワークの表面に対して平行かつ当該ワークの搬送方向に対して直交する方向に移動可能であり、ガイド側板には、第１のロール用アクチュエータで生じた駆動力を第１のガイド機構に伝達させると共に第１のロール用アクチュエータおよび第１のガイド機構に対して分離した状態の中継ガイドが取り付けられていることが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、支持スライダは、第１のテープ用アクチュエータまたは第２のテープ用アクチュエータに対して分離して設けられていると共に当該第１のテープ用アクチュエータまたは当該第２のテープ用アクチュエータのロッド部に当接可能な上方突出部を有していることが好ましい。
【００１３】
また、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、第２のガイド機構でのガイドにより、第２の粘着ロール体をワークに対して接離する方向にスライドさせる駆動力を与える第２のロール用アクチュエータを備えることが好ましい。
【００１４】
さらに、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、ワークの搬入を検出する第１の基板検出手段と、第１の基板検出手段でワークを検出した後にワークの送り量を検出する送り量検出手段と、送り量検出手段によるワークの送り量が第１の規定値となった場合に、ワークの搬入側に存在する第１の粘着ロール体を駆動させるための第１のロール用アクチュエータを駆動させ、第１の粘着ロールをワークに接触させるロール用アクチュエータ制御手段と、送り量検出手段によるワークの送り量が第１の規定値よりも大きな第２の規定値となった場合に、第１のテープ用アクチュエータを駆動させ、第１の粘着テープロールを第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体に接触させるテープ用アクチュエータ制御手段と、を具備し、ロール用アクチュエータ制御手段は、第１のテープ用アクチュエータ制御手段で第１の粘着テープロールを第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体に接触させるように駆動させた場合に、ワークに対して離間する方向に第１の粘着ロール体を移動させるように第１のロール用アクチュエータを制御する、ことが好ましい。
【００１５】
また、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、テープ用アクチュエータ制御手段は、送り量検出手段によるワークの送り量が第２の規定値よりも大きな第３の規定値となった場合に、第１のテープ用アクチュエータを駆動させ、第１の粘着テープロールを第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体から離間させる制御を行う、ことが好ましい。
【００１６】
さらに、本発明のクリーンローラ装置の他の側面は、上述の発明において、ワークの搬出を検出する第２の基板検出手段を具備すると共に、モータの駆動を制御するモータ制御手段を具備し、モータ制御手段は、ワークの送り量が第３の規定値から所定量だけ送られたときに、ワークを搬入側に戻すようにモータの駆動を逆転させる制御を行うと共に、ロール用アクチュエータ制御手段は、送り量検出手段によるワークの送り量が第２の基板検出手段でワークを検出した後に第４の規定値となった場合に、第２の粘着ロール体をワークに接触させるように第２のロール用アクチュエータを駆動させる制御を行い、テープ用アクチュエータ制御手段は、送り量検出手段によるワークの送り量が第４の規定値よりも大きな第５の規定値となった場合に、第１の粘着テープロールを第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体に接触させるように第１のテープ用アクチュエータを駆動させる制御を行い、さらにロール用アクチュエータ制御手段は、第１のテープ用アクチュエータ制御手段で第１の粘着テープロールを第１の粘着ロール体および第２の粘着ロール体に接触させるように駆動させた場合に、ワークに対して離間する方向に第２の粘着ロール体を移動させるように第２のロール用アクチュエータを制御する、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、２本の粘着ロール体に対して、１本の粘着テープが接触するタイプのクリーンローラ装置において、ワークの除塵ムラを無くすることが可能となる。また、粘着ロール体がスライドする部分から塵埃が発生するのを防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置の構成を透過的に示す側面図である。
【図２】図１のクリーンローラ装置のうち、ロール用アクチュエータから下粘着ロール体までの構成を簡潔的に示す正面図である。
【図３】図１のクリーンローラ装置のうち、ロール用アクチュエータから下粘着ロール体までの構成を示すと共に上テープユニットを引き出した状態を示す正面図である。
【図４】図１のクリーンローラ装置のうち、ガイド側板および中継ガイドを示す図である。
【図５】図１のクリーンローラ装置のうち、上下ガイド機構の構成を示す図である。
【図６】図１のクリーンローラ装置の概略構成を示すブロック図である。
【図７】図１のクリーンローラ装置の往復動作のうち、第１ステップから第３ステップまでを説明するための図である。
【図８】図１のクリーンローラ装置の往復動作のうち、第４ステップから第６ステップまでを説明するための図である。
【図９】図１のクリーンローラ装置の一方向動作を説明するための図である。
【図１０】従来のクリーンローラ装置の上テープロール体で粘着ロール体を押し込むイメージを示す図である。
【図１１】図１０のＡ部を拡大して示す図である。
【図１２】本発明の変形例に係り、粘着ロールユニット等を２つずつ備えるクリーンローラ装置の構成を透過的に示す側面図である。
【図１３】本発明の変形例に係り、ロール用アクチュエータを上テープユニットの側方に配置した構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
＜クリーンローラ装置の概略構成＞
本実施の形態に係るクリーンローラ装置１０は、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等のワークＷの表面に付着した塵埃を除去するための装置である。具体的には、クリーンローラ装置１０は、ワークＷを図１の左方から右方に向かって搬送しながら、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去するための装置である。
【００２１】
このクリーンローラ装置１０は、フレーム部２０と、不図示の搬送機構と、粘着ロールユニット４０と、上テープユニット５０と、下テープユニット６０と、各種のアクチュエータと、制御部１００（図６参照）と、を主要な構成要素としている。
【００２２】
図１に示すように、フレーム部２０は、金属製の支柱といった構造部材が組み合わされることで構成されており、粘着ロールユニット４０、上テープユニット５０、下テープユニット６０、アクチュエータ７０，７１、中継ガイド８０等といった各種機構を支持可能としている。
【００２３】
また、搬送機構は、ワークＷを搬送する駆動力を与える部分である。搬送機構としては、図６に図示されるモータ３０と、そのモータ３０からの駆動力を下粘着ロール体４３等の各部へ伝達させる不図示の伝達機構と、外部から搬送されるワークＷを搬送する不図示の搬送ローラと、を有している。なお、モータ３０は、制御部１００の指令により、回転駆動させられる部分である。なお、本実施の形態では、伝達機構として、マグネット式のカップリング部、マグネット式のギヤおよびギヤ輪列を有している。しかしながら、伝達機構は、これらには限られず、マグネット式のカップリング部やマグネット式のギヤに代えて、歯車式のギヤやベルトを用いるようにしても良い。
【００２４】
また、粘着ロールユニット４０は、ワークＷの上面または下面に接触し、除塵を行う部分（ワークＷから塵埃を吸着して除去する部分）に関する構成である。図１および図２に示すように、この粘着ロールユニット４０は、ロール支持部４１と、上粘着ロール体４２と、下粘着ロール体４３と、上下ガイド機構９０と、を備えている。ロール支持部４１は、上粘着ロール体４２、下粘着ロール体４３等を支える部分であり、長手フレーム部４１ａと、短手フレーム部４１ｂと、脚部４１ｃと、軸支部４１ｄとを備えている。長手フレーム部４１ａは、クリーンローラ装置１０のうち幅方向（図２に示すＹ方向；図１に示すＸＺ方向に直交する方向）に沿って延伸している。この長手フレーム部４１ａは、本実施の形態では、Ｘ方向に沿って一対設けられている。また、長手フレーム部４１ａは、上粘着ロール体４２等の回転軸の長さ寸法と同等の長さ寸法を有している。
【００２５】
なお、本実施の形態では、粘着ロールユニット４０は、２つの上粘着ロール体４２と、２つの下粘着ロール体４３とを有していて、それぞれの上粘着ロール体４２および下粘着ロール体４３は、上下方向で対向するように配置されている。
【００２６】
短手フレーム部４１ｂは、図１に示すＸ方向に沿って延伸しており、一対の長手フレーム部４１ａを連結するように設けられている。脚部４１ｃは、長手フレーム部４１ａから下方に向かって突出している。この脚部４１ｃには、ガイドレール４６によってスライドをガイドさせるためのガイド車輪４１ｅが取り付けられている。軸支部４１ｄは、長手フレーム部４１ａから上方に向かって突出している。この軸支部４１ｄは、下粘着ロール体４３を回転自在に軸支するための部分であり、孔部分４１ｄ１を有していて、この孔部分４１ｄ１にベアリング４５が嵌め込まれる。このベアリング４５を介して、軸支部４１ｄは、下粘着ロール体４３の回転軸４３１を回転自在に軸支する。
【００２７】
また、上粘着ロール体４２は、後述する上下ガイド機構９０の存在により、上下方向に移動可能に設けられている。この上粘着ロール体４２は、ワークＷの上面に、後述するロール用アクチュエータ７１または上テープロール体５３から所定の押圧力を付与された状態で接触する。それにより、ワークＷの上面側から塵埃を除去する。同様に、下粘着ロール体４３は、ワークＷの下面に接触して、塵埃を除去する。しかしながら、上述したように、下粘着ロール体４３は、軸支部４１ｄによって回転支持されているため、上下方向に向かう移動を不能としている。
【００２８】
上粘着ロール体４２および下粘着ロール体４３は、回転軸４２１，４３１と、粘着ラバー層４２２，４３２とを有している。粘着ラバー層４２２，４３２は、回転軸４２１，４３１の外側に、所定の長さ範囲に亘って設けられている。この粘着ラバー層４２２，４３２は、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、かかる粘着ラバー層４２２，４３２は、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、この吸着層はシリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れる材質から構成されている。また、吸着層の下層側には、例えばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。
【００２９】
また、上粘着ロール体４２と下粘着ロール体４３とは上下方向（Ｚ方向）で対向するように配置されており、上粘着ロール体４２と下粘着ロール体４３との間をワークＷが通過するように構成されている。図１に示すように、本実施の形態では、２本の上粘着ロール体４２が所定の間隔をあけた状態で前後方向に隣接するように配置されている。同様に、２本の下粘着ロール体４３が前後方向に所定の間隔をあけた状態で隣接するように配置されている。
【００３０】
なお、以下の説明では、必要に応じて、ワークＷの搬入側（図１において左側）の上粘着ロール体４２（第１の粘着ロール体に対応）を、上粘着ロール体４２Ａと称呼する。また、必要に応じて、ワークＷの搬出側（図１において右側）の上粘着ロール体４２（第２の粘着ロール体に対応）を、上粘着ロール体４２Ｂと称呼する。また、必要に応じて、ワークＷの搬入側（図１において左側）の下粘着ロール体４３（第３の粘着ロール体に対応）を、下粘着ロール体４３Ａと称呼する。また、必要に応じて、ワークＷの搬出側（図１において右側）の下粘着ロール体４３（第４の粘着ロール体に対応）を、下粘着ロール体４３Ｂと称呼する。
【００３１】
また、上テープユニット５０は、上テープロール体５３の回転を支持しつつ、当該上テープロール体５３の上下方向へのスライドをガイドする部分である。この上テープユニット５０は、ガイド側板５１と、支持スライダ５２と、上テープロール体５３とを備えている。ガイド側板５１は、上テープロール体５３の両端側に配置されていて、上テープロール体５３の上下方向に沿うスライドをガイドする部分である。また、ガイド側板５１は、フレーム部２０に取り付けられている。このガイド側板５１には、ガイド溝５１ａが形成されている。ガイド溝５１ａは、ガイド側板５１の下端側を突っ切るように形成されている。また、ガイド側板５１の上端側であってＸ方向の両側には、ガイドレール５４によってスライドをガイドさせるためのガイド車輪５１ｂが取り付けられている。
【００３２】
上述のガイド溝５１ａには、支持スライダ５２が嵌め込まれている。支持スライダ５２は、軸支部５２ａと、摺動ガイド部５２ｂと、上方突出部５２ｃとを有している。軸支部５２ａは、上テープロール体５３の回転軸５３２を回転自在に軸支している。また、摺動ガイド部５２ｂは、ガイド溝５１ａに沿った幅方向の移動をガイドする部分である。そのため、摺動ガイド部５２ｂは、ガイド溝５１ａに嵌まり込むフランジを具備している。また、摺動ガイド部５２ｂの一端部（上端部）には、上方突出部５２ｃが連結されている。上方突出部５２ｃは、軸支部５２ａから上方に向かって突出する棒状の部分であり、後述するテープ用アクチュエータ７０Ａが作動する場合には、そのロッド部７０ａが押し当てられるように配置されている。
【００３３】
なお、支持スライダ５２は、不図示の復帰バネに接続されていて、この復帰バネから上方に向かう付勢力を受けている。この付勢力は、上テープロール体５３が支持スライダ５２に取り付けられた状態でも、それらを共に上方に移動させるだけの付勢力となっている。
【００３４】
図３に示すように、上テープロール体５３は、回転保持部５３１（第１のテープ保持部に対応）を有している。回転保持部５３１は、粘着テープロール５３０の両端側を保持しつつ、粘着テープロール５３０を回転させる部分である。また、回転保持部５３１には、回転軸５３２が設けられていて、この回転軸５３２は支持スライダ５２に回転自在に軸支される。また、回転保持部５３１の端部には、略円盤形状のロール保持部５３３が設けられている。ロール保持部５３３は、粘着テープロール５３０が取り付けられる部分である。
【００３５】
なお、粘着テープロール５３０は、巻芯筒（図示省略）に粘着テープを多数巻回させたものであるが、粘着テープは、巻回の内側が粘着面となっており、この粘着面が粘着ラバー層４２２で吸着されている塵埃を保持可能となっている。そのため、粘着面の塵埃に対する粘着力は、粘着ラバー層４２２の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。なお、粘着テープは、例えば紙、プラスチック等の基材に対して、例えばゴム系、アクリル系等の粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成することによって構成されている。
【００３６】
また、下テープユニット６０は、上述の上テープユニット５０と同様の構成を有しており、ガイド側板６１と、支持スライダ６２と、下テープロール体６３とを備えている。また、下テープロール体６３は、粘着テープロール６３０、回転保持部６３１（第２のテープ保持部に対応）を有している。ただし、下テープユニット６０は、下テープロール体６３の自重により下方に移動可能であるため、復帰バネは設けられていない。それ以外は、同様の構成であるため、構成の説明の詳細については省略する。
【００３７】
上テープユニット５０よりも上方のフレーム部２０には、テープ用アクチュエータ７０Ａ（第１のテープ用アクチュエータ）が取り付けられている。テープ用アクチュエータ７０Ａは、例えば空気圧によってロッド部７０ａを上下方向に作動させるものであり、制御部１００によって、その作動が制御されている。このテープ用アクチュエータ７０Ａは、復帰バネの弾性力に抗しながら、支持スライダ５２および上テープロール体５３を下方に押し下げて、粘着テープロール５３０を所定の押圧力で粘着ラバー層４２２に接触させることを可能としている。また、下テープユニット６０よりも下方のフレーム部２０には、上述のテープ用アクチュエータ７０Ａと同様のテープ用アクチュエータ７０Ｂ（第２のテープ用アクチュエータに対応）が取り付けられている。なお、そのテープ用アクチュエータ７０Ｂは、下テープロール体６３および支持スライダ６２を下方側から持ち上げるように作動するが、それ以外の機能は、テープ用アクチュエータ７０Ａと同様であるため、詳細についての説明は省略する。
【００３８】
また、上テープユニット５０よりも上方のフレーム部２０には、ロール用アクチュエータ７１が取り付けられている。ロール用アクチュエータ７１は、例えば空気圧によってロッド部７１ａを上下方向に作動させるものであり、制御部１００によって、その作動が制御されている。このロール用アクチュエータ７１は、反発バネ８３，９５の弾性力に抗しながら、上粘着ロール体４２を下粘着ロール体４３に向けて押し込むだけの力を与え、ワークＷが上粘着ロール体４２の粘着ラバー層４２２と接触する場合には、粘着ラバー層４２２に塵埃を吸着させるだけの付勢力を与える。
【００３９】
なお、以下の説明においては、必要に応じて、上粘着ロール体４２Ａを上下方向にスライドさせる駆動力を与えるロール用アクチュエータ７１をロール用アクチュエータ７１Ａと称呼する。また、必要に応じて、上粘着ロール体４２Ｂを上下方向にスライドさせる駆動力を与えるロール用アクチュエータ７１をロール用アクチュエータ７１Ｂと称呼する。
【００４０】
また、ガイド側板５１には、中継ガイド８０が取り付けられている。中継ガイド８０は、図２〜図４に示すように、ガイド筒部８１と、押し込みロッド８２と、反発バネ８３とを有している。ガイド筒部８１は、筒孔（図示省略）を有する、筒状に形成されている部分であり、その筒孔は上下方向に沿って延伸している。この筒孔には、押し込みロッド８２が挿通される。押し込みロッド８２は、シャフト部８２ａと、抜け止め部８２ｂとを有している。シャフト部８２ａは、シャフト状の部分であり、筒孔に挿通可能となっている。また、抜け止め部８２ｂは、シャフト部８２ａの両端側に設けられている、シャフト部８２ａよりも大径の部分である。この抜け止め部８２ｂの存在により、シャフト部８２ａが筒孔から抜けてしまうのが防止される。なお、一対の抜け止め部８２ｂのうち、いずれか一方側をナットとし、シャフト部８２ａの両端側のうちいずれか一端側にネジ溝を形成するのが好ましい。
【００４１】
また、ガイド筒部８１の上端面と、上方側に位置する抜け止め部８２ｂとの間には、反発バネ８３が介在する。図２〜図４に示すように、反発バネ８３は、シャフト部８２ａが上方に向かう向きの付勢力を与える。この付勢力により、下方の抜け止め部８２ｂは、ガイド筒部８１の下端面に接触する状態となる。また、下方の抜け止め部８２ｂがガイド筒部８１の下端面に接触している状態においては、抜け止め部８２ｂの上端側は、非作動時のロール用アクチュエータ７１のロッド部７１ａの下端に対して、所定の隙間を有する配置となっている。しかしながら、ロール用アクチュエータ７１が作動してロッド部７１ａが押し出されると、抜け止め部８２ｂの上端にロッド部７１ａの下端が接触して、押し込みロッド８２を下方に向けて押し出すことが可能となっている。また、下方の抜け止め部８２ｂの下端側は、後述するブロック体９２の上端に対して、所定の隙間を有する配置となっている。そして、押し込みロッド８２が下方に向けて押し出されると、下方の抜け止め部８２ｂの下端側は、ブロック体９２の上端に対して当接することを容易としている。
【００４２】
また、図２、図５等に示すように、ロール支持部４１の短手フレーム部４１ｂには、上下ガイド機構９０が取り付けられている。この上下ガイド機構９０は、リニアシャフト９１と、ブロック体９２と、リニアブッシュ９３と、を具備している。これらのうち、リニアシャフト９１は、図５に示すように、短手フレーム部４１ｂから上方に向かって突出している。なお、本実施の形態では、リニアシャフト９１は、上粘着ロール体４２の個数に対応して、２つ設けられている。また、上粘着ロール体４２と下粘着ロール体４３とが、上下方向で対向する位置となるように、リニアシャフト９１の取付位置が定められている。なお、リニアシャフト９１の下端側の付け根は、当該リニアシャフト９１よりも大径に設けられている。また、リニアシャフト９１の上端側には、例えばネジ式の抜け止め部材９６が設けられ、ブロック体９２がリニアシャフト９１から抜けるのを防止している。
【００４３】
また、ブロック体９２は、軸受部９２ａと、ステージ部９２ｂとを有している。軸受部９２ａは、Ｙ方向に沿うように軸受孔９２ｃを有していて、この軸受孔９２ｃにはベアリング９４が嵌め込まれる。そして、このベアリング９４を介して、上粘着ロール体４２の回転軸４２１を回転自在に支持可能となっている。また、ステージ部９２ｂは、軸受部９２ａからＹ方向の端部側に向かって延伸している。このステージ部９２ｂの端部側には、上下方向に沿うように取付孔９２ｄが設けられている。
【００４４】
この取付孔９２ｄには、リニアブッシュ９３が取り付けられている。リニアブッシュ９３は、例えば、円筒状を為す金属製の部材であり、その円筒状の内筒側にボールが配置されている、いわゆるリニアボールベアリングである。このリニアブッシュ９３の内筒側には、リニアシャフト９１が挿通されている。そのため、ブロック体９２および上粘着ロール体４２は、このリニアシャフト９１に沿って滑らかに上下動することが可能となっている。また、リニアシャフト９１の付け根と取付孔９２ｄの周縁（ステージ部９２ｂ）との間には、反発バネ９５が配置されている。反発バネ９５は、上述の反発バネ８３と同様に、ブロック体９２が上方に向かう向きの付勢力を与える。この付勢力により、上粘着ロール体４２の粘着ラバー層４２２は、下粘着ロール体４３の粘着ラバー層４３２に対して接触する向きに移動する。
【００４５】
なお、以下の説明では、必要に応じて、ワークＷの搬入側（図１において左側）の上下ガイド機構９０（第１のガイド機構に対応）を、上下ガイド機構９０Ａと称呼する。また、必要に応じて、ワークＷの搬出側（図１において右側）の上下ガイド機構９０（第２のガイド機構に対応）を、上下ガイド機構９０Ｂと称呼する。
【００４６】
また、図６に示すように、クリーンローラ装置１０のワークＷの搬送経路における入口近傍、および出口近傍には、基板検出センサＷＳ１（第１の基板検出手段に対応）、および基板検出センサＷＳ２（第２の基板検出手段に対応）がそれぞれ設けられている。基板検出センサＷＳ１，ＷＳ２は、ワークＷのクリーンローラ装置１０への搬入、またはワークＷの搬出を検出するセンサであり、例えば反射型の光学センサを用いている。また、クリーンローラ装置１０は、ロータリスケール（図示省略）およびロータリセンサＲＳを備えるロータリエンコーダ（送り量検出手段に対応）を具備している。そのため、基板検出センサＷＳ１，ＷＳ２でワークＷを検出して、所定の送り量となると、ロール用アクチュエータ７１および／またはテープ用アクチュエータ７０を作動させることを可能としている。
【００４７】
＜クリーンローラ装置１０の制御部１００の構成＞
また、図６に示すように、クリーンローラ装置１０は、制御部１００を具備している。制御部１００は、ロール用アクチュエータ制御手段（主としてロール用アクチュエータ制御部１４０）、テープ用アクチュエータ制御手段（主としてテープ用アクチュエータ制御部１３０）、およびモータ制御手段（主としてモータ制御部１２０）に対応する。この制御部１００は、主制御部１１０と、モータ制御部１２０と、テープ用アクチュエータ制御部１３０と、ロール用アクチュエータ制御部１４０と、モータドライバ１５０と、テープ用アクチュエータドライバ１６０と、ロール用アクチュエータドライバ１７０と、を具備している。主制御部１１０は、クリーンローラ装置１０の全体の制御を司る部分であり、上述の基板検出センサＷＳ１，ＷＳ２からの検出信号、ロータリセンサＲＳからの検出信号が入力されると共に、不図示の操作パネル等からの指令、またはクリーンローラ装置１０に接続される不図示のコンピュータ等からの指令が入力される。そして、入力された指令に基づいて、モータ制御部１２０、テープ用アクチュエータ制御部１３０、および／またはロール用アクチュエータ制御部１４０に対して、所定の駆動指令に関する信号を出力する。
【００４８】
モータ制御部１２０は、不図示の速度調整ツマミの操作に基づいて、モータ３０に印加する電力を制御する指令を、モータドライバ１５０側に与える。そして、モータドライバ１５０では、モータ３０に所定の電力を与えて、モータ３０を回転駆動させる。また、モータ制御部１２０には、ロータリセンサＲＳからの検出信号が供給され、モータ３０の回転数が、速度調整ツマミによって与えられる回転数を保持するように、フィードバック制御を行うように構成しても良い。
【００４９】
なお、フィードバック制御としては、比例制御（Ｐ制御）、ＰＩ制御、ＰＩＤ制御を行うようにしても良い。
【００５０】
また、テープ用アクチュエータ制御部１３０は、テープ用アクチュエータ７０に与える電力を制御する指令をテープ用アクチュエータドライバ１６０側に与え、テープ用アクチュエータ７０を所定の加圧力で作動させる。また、ロール用アクチュエータ制御部１４０は、ロール用アクチュエータ７１に与える電力を制御する指令をロール用アクチュエータドライバ１７０側に与え、ロール用アクチュエータ７１を所定の加圧力で作動させる。また、テープ用アクチュエータ制御部１３０および／またはロール用アクチュエータ制御部１４０には、基板検出センサＷＳ１，ＷＳ２、ロータリセンサＲＳ等からの検出信号が入力され、テープ用アクチュエータ制御部１３０および／またはロール用アクチュエータ制御部１４０では、これらの検出信号に基づいて、ロール用アクチュエータ７１、および／またはテープ用アクチュエータ７０の作動をそれぞれ制御する。
【００５１】
また、モータドライバ１５０は、モータ制御部１２０からの制御信号に基づいて、所定の電力を、モータ３０に出力する。また、テープ用アクチュエータドライバ１６０は、テープ用アクチュエータ制御部１３０からの制御信号に基づいて、テープ用アクチュエータ７０の電気的な作動部分に対して所定の操作量に対応する電力を出力する。また、ロール用アクチュエータドライバ１７０は、ロール用アクチュエータ制御部１４０からの制御信号に基づいて、ロール用アクチュエータ７１の電気的な作動部分に対して所定の操作量に対応する電力を出力する。なお、テープ用アクチュエータ７０および／またはロール用アクチュエータ７１は、制御部１００で制御可能な電気的な作動部分を有するものであれば、電気式、エア式、または液圧式のいずれの方式を用いても良い。
【００５２】
＜動作について＞
以上のような構成を有するクリーンローラ装置１０の動作について、図７および図８に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明においては、２つの動作（往復動作と一方向動作）について説明する。
【００５３】
（１．往復動作）
第１ステップ：モータ３０の作動により搬送ローラが回転させられて、ワークＷが所定の位置に到達したことを基板検出センサＷＳ１で検出すると、ロール用アクチュエータ制御部１４０は、ロータリセンサＲＳからの検出信号をカウントする。そして、ワークＷの搬送先端の送り量が、上粘着ロール体４２Ａと下粘着ロール体４３Ａの間の位置に差し掛かった場合（第１位置（第１の規定値に対応）；下粘着ロール体４３ＡではなくワークＷの上面に上粘着ロール体４２Ａが丁度当たるタイミング）のカウント値に対応する場合、ロール用アクチュエータ制御部１４０は、ロール用アクチュエータドライバ１７０を介して、ロール用アクチュエータ７１Ａを作動させる。すると、ロッド部７１ａが押し出され、反発バネ８３，９５の付勢力に抗しながら押し込みロッド８２を押し込む。そして、押し込みロッド８２がブロック体９２を下方に押し込むことで、上粘着ロール体４２Ａも下粘着ロール体４３Ａに向かって移動する。
【００５４】
そして、上粘着ロール体４２Ａと下粘着ロール体４３Ａの突き合わせ位置にワークＷが差し掛かると、ワークＷの上面に上粘着ロール体４２Ａの粘着ラバー層４２２が接触すると共に、ワークＷの下面に下粘着ロール体４３Ａの粘着ラバー層４３２が接触する。それにより、第１段階目の除塵が為される。
【００５５】
第２ステップ：さらなるモータ３０の駆動により、ワークＷが進行すると、テープ用アクチュエータ制御部１３０でのカウント値が、図７においてワークＷの搬送先端が上粘着ロール体４２Ｂと下粘着ロール体４３Ｂの間の位置に差し掛かる状態（第２位置（第２の規定値に対応）；下粘着ロール体４３ＢではなくワークＷの上面に上粘着ロール体４２Ｂが丁度当たるタイミング）となる。すると、テープ用アクチュエータ制御部１３０は、テープ用アクチュエータドライバ１６０を介してテープ用アクチュエータ７０Ａを作動させる。すると、ロッド部７０ａが押し出され、上方突出部５２ｃの上端を押し込む。それにより、支持スライダ５２が下方に向かって移動させられると共に、この支持スライダ５２に軸支されている上テープロール体５３も下方に向かって押し込まれる。そして、粘着テープロール５３０は、上粘着ロール体４２Ｂを下方に向かって押し込む。それにより、上粘着ロール体４２Ｂは、ワークＷの上面に移動し、上粘着ロール体４２Ｂの粘着ラバー層４２２がワークＷに接触する。その段階で、上テープロール体５３は、上粘着ロール体４２Ａにも接触する。
【００５６】
ここで、上テープロール体５３がテープ用アクチュエータ７０Ａで下方に移動させられるのと同時に、下テープロール体６３もテープ用アクチュエータ７０Ｂで上方に向かって移動させられる。それにより、下テープロール体６３は、下粘着ロール体４３Ａと、下粘着ロール体４３Ｂに対して、同時に接触する。
【００５７】
ワークＷの上面に上粘着ロール体４２Ｂの粘着ラバー層４２２が接触すると共に、ワークＷの下面に下粘着ロール体４３Ｂの粘着ラバー層４３２が接触するため、第２段階目の除塵が為される。ここで、ワークＷの第２段階目の除塵を開始してから直ぐに、ロール用アクチュエータ７１Ａの作動を停止させ、ロッド部７１ａを上方に移動させる。それにより、押し込みロッド８２は反発バネ８３，９５の付勢力によって上方に移動させられ、ブロック体９２を下方に向けて押している状態が解除される。しかしながら、上粘着ロール体４２Ａは、上粘着ロール体４２Ｂと共に、上テープロール体５３によって下方に向けて押し込まれている。そのため、上粘着ロール体４２Ａは、引き続きワークＷの上面の除塵を行う。
【００５８】
第３ステップ：さらなるモータ３０の駆動により、ワークＷが進行して、テープ用アクチュエータ制御部１３０でのカウント値が、ワークＷの搬送後端が上粘着ロール体４２Ｂと下粘着ロール体４３Ｂの間の位置を通過した位置（第３位置；第３の規定値に対応）となる。すると、テープ用アクチュエータ制御部１３０は、テープ用アクチュエータドライバ１６０を介してテープ用アクチュエータ７０Ａを作動させ、ロッド部７０ａを上方に移動させる。それにより、上テープロール体５３は、復帰バネの付勢力によって上方に移動させられる。このため、上粘着ロール体４２Ａおよび上粘着ロール体４２Ｂは、押し付ける力が何等存在しない状態となる。それにより、２つの上粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂは、反発バネ８３，９５の付勢力によって、上方に移動させられ、２つの下粘着ロール体４３に対してワークＷを通過させるのに十分な隙間を有する状態で離間する。同じく、テープ用アクチュエータ制御部１３０は、テープ用アクチュエータドライバ１６０を介してテープ用アクチュエータ７０Ｂを作動させ、ロッド部７０ａを下方に移動させる。それにより、下テープロール体６３は、下方に移動させられ、２つの下粘着ロール体４３に対して下テープロール体６３が接触しない状態となる。
【００５９】
なお、ワークＷが第３位置に到達して程なくして、モータ制御部１２０は、モータ３０の駆動を停止させる。
【００６０】
第４ステップ：モータ３０が第３位置に到達した後に停止させられると、モータ制御部１２０は、モータ３０を逆転駆動させる。それにより、ワークＷは、第１〜第３ステップとは逆側に向かう移動を開始する。その後の第４ステップの動作は、上述の第１ステップと類似している。しかしながら、第４ステップでは、第１位置に代えて、第４位置（第４の規定値に対応）とする必要があり、その第４位置とは、基板検出センサＷＳ２でワークＷの搬送先端（図８において左側の端部）を検出した後、ロール用アクチュエータ制御部１４０におけるロータリセンサＲＳからの検出信号のカウント値が、上粘着ロール体４２Ｂと下粘着ロール体４３Ｂの間の位置に差し掛かった場合に対応する。このとき、ロール用アクチュエータ制御部１４０は、ロール用アクチュエータドライバ１７０を介してロール用アクチュエータ７１Ｂを作動させる。それにより、上粘着ロール体４２Ｂが下粘着ロール体４３Ｂに向かって移動する。それにより、ワークＷの上面が上粘着ロール体４２Ｂの粘着ラバー層４２２に接触し、ワークＷに対する除塵が為される。
【００６１】
第５ステップ：第５ステップは、上述の第２ステップと類似しているが、上述の第２位置に代えて、第５位置とする必要があり、その第５位置とは、テープ用アクチュエータ制御部１３０でのカウント値が、図８においてワークＷの搬送先端が上粘着ロール体４２Ａと下粘着ロール体４３Ａの間の位置に差し掛かった場合に対応する。また、ワークＷに対する第５ステップの除塵を開始してから直ぐに、ロール用アクチュエータ７１Ｂの作動を停止させ、ロッド部７１ａを上方に移動させる。その他の動作は、上述の第２ステップと同様であるため、その説明は省略する。
【００６２】
第６ステップ：第６ステップは、上述の第３ステップと類似しているが、上述の第３位置に代えて、第６位置とする必要があり、その第６位置とは、テープ用アクチュエータ制御部１３０でのカウント値が、図８においてワークＷの搬送後端が上粘着ロール体４２Ａと下粘着ロール体４３Ａの間の位置を通過した位置に対応する。その他の動作は、上述の第３ステップと同様であるため、その説明は省略する。なお、ワークＷが第６位置に到達して程なくして、モータ制御部１２０は、モータ３０の駆動を停止させる。
【００６３】
（２．一方向動作）
続いて、一方向動作に関して説明する。一方向動作は、基本的には、上述の往復動作の中の第１ステップ、第２ステップ、および第３ステップを実行する（図９参照）。それらの各ステップに関しては、既に説明してあるので、その詳細についての説明は省略する。なお、図９の第１ステップ〜第３ステップにおいては、ロール用アクチュエータ７１Ｂを作動させることがない。
【００６４】
＜効果＞
以上のような構成を有するクリーンローラ装置１０によれば、上下ガイド機構９０は、２つの上粘着ロール体４２を、それぞれ独立した状態で、上下方向にスライドさせることが可能となる。また、ロール用アクチュエータ７１Ａは、上粘着ロール体４２Ａをスライドさせるための駆動力を与え、ロール用アクチュエータ７１Ｂは、上粘着ロール体４２Ｂをスライドさせるための駆動力を与える。そのため、ワークＷの上面における除塵にムラが生じるのを防止可能となる。
【００６５】
すなわち、図１０および図１１の従来例に示すように、ワークＷのうち搬送方向における先端部が搬送方向の下流側に位置する粘着ロール体の下方を通過した後に、粘着テープを下降させる除塵方法を用いる場合、ワークＷのうち搬送方向における下流側の部位と上流側の部位との間の領域Ｐは、下流側に位置する粘着ロール体のみがワークの上面を除塵し、上流側に位置する粘着ロール体はワークＷの上面を除塵することができない。そのため、ワークの上面における除塵にムラが生じる結果となっているが、本実施の形態の発明を適用する場合、このような除塵のムラが発生するのを防止可能となる。
【００６６】
また、テープ用アクチュエータ７０、ロール用アクチュエータ７１、押し込みロッド８２およびブロック体９２は、互いに常時接触しない構成となっている。このため、粘着ロールユニット４０、上テープユニット５０、および下テープユニット６０を個別に引き出すことが可能となり、メンテナンスを良好に行うことが可能となる。
【００６７】
また、本実施の形態では、テープ用アクチュエータ７０Ａおよびロール用アクチュエータ７１は、上テープユニット５０よりも上方側に設けられている。そのため、テープ用アクチュエータ７０Ａおよび／またはロール用アクチュエータ７１を、例えば上テープユニット５０または上粘着ロール体４２に対して、Ｘ方向にずれる側に配置する場合と比較して、クリーンローラ装置１０のＸ方向における寸法をコンパクトにすることが可能となり、クリーンローラ装置１０の小型化を図ることが可能となる。
【００６８】
また、本実施の形態では、下粘着ロール体４３、下テープユニット６０およびテープ用アクチュエータ７０Ｂを備えている。このため、ワークＷの下面側に対しても、良好に除塵することが可能となっている。
【００６９】
さらに、本実施の形態では、上下ガイド機構９０は、リニアブッシュ９３を具備し、このリニアブッシュ９３はリニアシャフト９１を内部に挿通させている。このため、上粘着ロール体４２の上下方向へのスライドが滑らかなものとなる。また、リニアブッシュ９３を用いているため、従来のように樹脂製のスライダの部分から塵埃が発生する、という不具合が発生するのを防止でき、クリーンローラ装置１０を長期間に亘って使用しても、塵埃が発生するのを効果的に低減可能となる。また、本実施の形態では、ブロック体９２は反発バネ９５の付勢力によって上方に向かう付勢力が与えられているため、上テープロール体５３が上方に移動すると、上粘着ロール体４２を上方に退避させることが可能となる。そして、上粘着ロール体４２の退避状態では、ワークＷを良好に通過させることが可能となる。
【００７０】
また、本実施の形態では、ガイド側板５１には、中継ガイド８０という、上粘着ロール体４２を押し込むための部材が設けられているため、上粘着ロール体４２を下方に向かう駆動力を伝達可能となる。加えて、ガイド側板５１は、Ｙ方向に沿って移動可能に設けられているため、上テープロール体５３をＹ方向に引き出して、粘着テープロール５３０を容易に交換することが可能となる。
【００７１】
さらに、本実施の形態では、支持スライダ５２には、テープ用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂに対して分離している上方突出部５２ｃが設けられている。そのため、上テープロール体５３をＹ方向に引き出し、粘着テープロール５３０を交換可能でありながらも、上テープロール体５３，６３を良好に下方に押し出すことが可能となる。
【００７２】
また、本実施の形態では、上述の第１位置となった場合に上粘着ロール体４２Ａを下方に移動させるようにロール用アクチュエータ７１Ａを駆動させ、第２位置となった場合にテープ用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂを駆動させ、その駆動後ほどなくして上粘着ロール体４２Ａを上方に移動させるようにロール用アクチュエータ７１Ａを駆動させている。このため、図１０、図１１に示すような塵埃が一度しか除去されない領域Ｐが発生するのを防ぐことが可能となる。また、ワークＷの搬送の先端が上粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂと下粘着ロール体４３Ａ，４３Ｂの対向部分を通過した後に、ワークＷの上面に対して、確実に上粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂを接触させることが可能となる。それにより、ワークＷが薄くて柔らかい場合でも、ワークＷが上粘着ロール体４２に巻き付いてしまうのを防ぐことが可能となる。また、ワークＷの表面にフィルムが貼付されている場合、上粘着ロール体４２がフィルムを剥がしてしまうのを防ぐことが可能となる。
【００７３】
また、本実施の形態では、上述の第３位置となった場合に、テープ用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂを駆動させ、粘着テープロール５３０，６３０を上粘着ロール体４２および下粘着ロール体４３から離間させるようにしている。このため、ワークＷの除塵が不必要なときには、粘着テープロール５３０，６３０を退避させることで、粘着ロールユニット４０、上テープユニット５０、および下テープユニット６０を個別に引き出し可能となり、メンテナンスを良好に行うことが可能となる。
【００７４】
さらに、本実施の形態のうち、往復動作では、上述の第４ステップ、第５ステップおよび第６ステップも実行される。そのため、ワークＷから塵埃を一層良好に除去可能となる。
【００７５】
また、上述の実施の形態のうち、一方向動作においては、テープ用アクチュエータ７０Ａによって上テープロール体５３が押し込まれる力を利用して、上粘着ロール体４２Ｂを下方に移動させることが可能となっている。このため、ロール用アクチュエータ７１Ａのみを有する構成でも、上粘着ロール体４２Ａと上粘着ロール体４２Ｂとを独立して作動させることが可能となる。
【００７６】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の形態に限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。
【００７７】
上述の実施の形態では、クリーンローラ装置１０は、粘着ロールユニット４０、上テープユニット５０、下テープユニット６０を１つずつ備え、テープ用アクチュエータ７０Ａ、テープ用アクチュエータ７０Ｂ、ロール用アクチュエータ７１Ａ、ロール用アクチュエータ７１Ｂをそれぞれ１つずつ備える構成となっている。しかしながら、図１２に示すように、これらを２つずつ備える構成を採用しても良く、またこれらを３つ以上採用する構成を採用しても良い。
【００７８】
また、上述の実施の形態では、ロール用アクチュエータ７１Ａ，７１Ｂを、上テープユニット５０よりも上方側に配置している。しかしながら、図１３に示すように、ロール用アクチュエータ７１を、上テープユニット５０の側方に配置する構成を採用しても良い。このように構成する場合、中継ガイド８０を省略することが可能となる。
【００７９】
さらに、上述の実施の形態では、上下ガイド機構９０は、リニアシャフト９１およびリニアブッシュ９３を備えている。しかしながら、上述のリニアシャフト９１および／またはリニアブッシュ９３の材質を樹脂製に変更するようにしても良い。また、上下ガイド機構９０は、金属製のスライダ部品を用いて構成するようにしても良い。
【００８０】
また、上述の実施の形態における上下ガイド機構９０に代えて、ブロック体にスライダ機能を持たせるようにして、このスライダ機能を有するブロック体によって上粘着ロール体４２を上下方向にスライドさせるようにしても良い。
【００８１】
さらに、上述の実施の形態では、テープ用アクチュエータ７０およびロール用アクチュエータ７１として、エア式のアクチュエータを用いるようにしている。しかしながら、エア式のアクチュエータに代えて液圧方式のアクチュエータを用いるようにしても良く、電気式のアクチュエータを用いるようにしても良く、また、モータの駆動力を利用する方式を用いるようにしても良い。
【００８２】
また、上述の実施の形態において、上粘着ロール体４２の軸受部９２ａと、下粘着ロール体４３の軸受部４１ｄとの間に、スペーサを介在させても良い。このスペーサは、粘着ラバー層４２２と粘着ラバー層４３２との間に、ワークＷの厚み寸法より小さな隙間が形成されるようにするためのものである。そのため、上粘着ロール体４２と下粘着ロール体４３との間にワークＷが存在しない場合、スペーサの存在により、粘着ラバー層４２２が粘着ラバー層４３２に接触しない状態となる。それによって、粘着ラバー層４２２と粘着ラバー層４３２とが必要以上に押し付けられるのを防止可能となり、粘着ラバー層４２２，４３２の良好な接着性を維持可能となる。一方、上粘着ロール体４２と下粘着ロール体４３との間にワークＷが存在する場合、ワークＷの上面に粘着ラバー層４２２が接触すると共に、ワークＷの下面に粘着ラバー層４３２が接触し、良好な除塵が可能となる。
【符号の説明】
【００８３】
１０…クリーンローラ装置
２０…フレーム部
３０…モータ
４０…粘着ロールユニット
４１…ロール支持部
４２（４２Ａ）…上粘着ロール体（第１の粘着ロール体に対応）
４２（４２Ｂ）…上粘着ロール体（第２の粘着ロール体に対応）
４３（４３Ａ）…下粘着ロール体（第３の粘着ロール体に対応）
４３（４３Ｂ）…下粘着ロール体（第３の粘着ロール体に対応）
５０…上テープユニット
６０…下テープユニット
７０Ａ…テープ用アクチュエータ（第１のテープ用アクチュエータに対応）
７０Ｂ…テープ用アクチュエータ（第２のテープ用アクチュエータに対応）
７１（７１Ａ）…ロール用アクチュエータ（第１のロール用アクチュエータに対応）
７１（７１Ｂ）…ロール用アクチュエータ（第２のロール用アクチュエータに対応）
８０…中継ガイド
９０…上下ガイド機構
９０Ａ…上下ガイド機構（第１のガイド機構に対応）
９０Ｂ…上下ガイド機構（第２のガイド機構に対応）
１００…制御部
１１０…主制御部
１２０…モータ制御部
１３０…アクチュエータ制御部
４２２，４３２…粘着ラバー層
５３０，６３０…粘着テープロール
５３１…回転保持部（第１のテープ保持部に対応）
６３１…回転保持部（第２のテープ保持部に対応）
Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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