(57)【要約】【課題】外部の交流信号からのノイズが測定に与える影響に関する診断を行うコリオリ式流量計、コリオリ式流量計診断方法を提供する。【解決手段】流体が流れるチューブを所定周波数より高い周波数で共振させ、チューブの振動を電気信号により検出して流体の流量を測定するコリオリ式流量計であって、電気信号に含まれる所定周波数成分を除いた信号成分の周波数及び振幅を検出する第１検出部８１，２１，２３，３２，３３，３４，９３，９５と、電気信号に含まれる所定周波数成分の振幅を検出する第２検出部８１，８３，８５，９４，９６と、所定周波数及び信号成分の周波数の関係と所定周波数成分の振幅及び信号成分の振幅の関係とに基づいて、電気信号の品質の判定を行う判定部９９とを有する。【選択図】図３
2010256226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブを所定周波数より高い周波数で共振させ、前記チューブの振動を電気信号により検出して前記流体の流量を測定するコリオリ式流量計であって、
前記電気信号に含まれる前記所定周波数成分を除いた信号成分の周波数及び振幅を検出する第１検出部と、
前記電気信号に含まれる前記所定周波数成分の振幅を検出する第２検出部と、
前記所定周波数及び前記信号成分の周波数の関係と前記所定周波数成分の振幅及び前記信号成分の振幅の関係とに基づいて、前記電気信号の品質の判定を行う判定部と
を備えるコリオリ式流量計。
【請求項２】
前記判定部は、前記信号成分の周波数が前記所定周波数の高調波に基づく所定の判定周波数範囲内であるという第１条件と、前記信号成分の振幅から前記所定周波数成分の振幅を減算した値が所定の振幅差閾値より小さいという第２条件との少なくともいずれかが成立しない場合、前記電気信号が正常であると判定する、
請求項１に記載のコリオリ式流量計。
【請求項３】
前記判定部は、前記第１条件及び前記第２条件の両方が連続して所定回数成立した場合、前記電気信号が異常であると判定する、
請求項２に記載のコリオリ式流量計。
【請求項４】
前記第１検出部は、前記電気信号に含まれる前記所定周波数成分を減衰して前記信号成分を検出し、
前記第２検出部は、前記電気信号から前記信号成分を減算して前記所定周波数成分を検出する、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のコリオリ式流量計。
【請求項５】
前記所定周波数は、商用電源周波数である、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のコリオリ式流量計。
【請求項６】
流体が流れるチューブを所定周波数より高い周波数で共振させ、前記チューブの振動を電気信号により検出して前記流体の流量を測定するコリオリ式流量計の診断を行うコリオリ式流量計診断方法であって、
前記電気信号に含まれる前記所定周波数成分を除いた信号成分の周波数及び振幅を検出し、
前記電気信号に含まれる前記所定周波数成分の振幅を検出し、
前記所定周波数及び前記信号成分の周波数の関係と前記所定周波数成分の振幅及び前記信号成分の振幅の関係とに基づいて、前記電気信号の品質の判定を行うコリオリ式流量計診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流量を測定するコリオリ式流量計、コリオリ式流量計診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ式流量計は、被測定流体が流れるチューブを振動させ、そのチューブの上流部の振動とそのチューブの下流部の振動との位相差と振動周波数を算出し、位相差と振動周波数に基づいて、被測定流体の質量流量を測定する。なお、振動周波数は、商用電源周波数より高い。
【０００３】
関連する技術に、コリオリ式流量計に関する信号処理技術がある（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１８１０６９号公報
【特許文献２】特開２００３−１３０７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、コリオリ式流量計が外部の交流信号（例えば、商用電源周波数とその高調波）からのノイズを受け、振動周波数と高調波の周波数が一致すると、ノイズをチューブの振動として誤検出し、コリオリ式質量流量計で算出された位相差と振動周波数に誤差が生じ、質量流量に測定誤差が生じる場合がある。
【０００６】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、外部の交流信号からのノイズが測定に与える影響に関する診断を行うコリオリ式流量計、コリオリ式流量計診断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するため、本発明の一態様は、流体が流れるチューブを所定周波数より高い周波数で共振させ、チューブの振動を電気信号により検出して流体の流量を測定するコリオリ式流量計であって、電気信号に含まれる所定周波数成分を除いた信号成分の周波数及び振幅を検出する第１検出部と、電気信号に含まれる所定周波数成分の振幅を検出する第２検出部と、所定周波数及び信号成分の周波数の関係と所定周波数成分の振幅及び信号成分の振幅の関係とに基づいて、電気信号の品質の判定を行う判定部とを有する。
【０００８】
また、本発明の一態様は、流体が流れるチューブを所定周波数より高い周波数で共振させ、チューブの振動を電気信号により検出して流体の流量を測定するコリオリ式流量計の診断を行うコリオリ式流量計診断方法であって、電気信号に含まれる所定周波数成分を除いた信号成分の周波数及び振幅を検出し、電気信号に含まれる所定周波数成分の振幅を検出し、所定周波数及び信号成分の周波数の関係と所定周波数成分の振幅及び信号成分の振幅の関係とに基づいて、電気信号の品質の判定を行う。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るコリオリ式流量計、コリオリ式流量計診断方法によれば、交流電源からのノイズが測定に与える影響に関する診断を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】コリオリ質量流量計の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図２】検出部の機械的構成の一例を示す構造図である。
【図３】電源ノイズ診断機能の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図４】ノッチフィルタのゲインの周波数特性の一例を示す周波数特性図である。
【図５】帯域通過処理部のゲインの周波数特性の一例を示す周波数特性図である。
【図６】電源ノイズ診断処理の動作の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
本実施の形態においては、本発明のコリオリ式流量計を適用したコリオリ質量流量計の例について説明する。
【００１３】
本実施の形態のコリオリ質量流量計の構成について以下に説明する。
【００１４】
図１は、コリオリ質量流量計の電気的構成の一例を示すブロック図である。このコリオリ質量流量計は、検出部１、変換部２を有する。
【００１５】
検出部１は、上流側コイル５１ａ、下流側コイル５１ｂ、ドライブコイル５３、ＲＴＤ（Resistance Temperature Detector：測温抵抗体）５４を有する。変換部２は、入力アンプ６１ａ，６１ｂ、Ａ／Ｄコンバータ６４ａ，６４ｂ，６９、デジタル信号処理回路６５、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６６、ドライブ回路６７、ＲＴＤ駆動回路６８、出力回路７０，７１、表示器７２を有する。
【００１６】
ここで、外部の交流信号は、交流電源とする。コリオリ質量流量計は、交流電源からの電源ノイズの影響を受ける。この交流電源の電源周波数ｆp（所定周波数）は、商用電源周波数であり、例えば５０Ｈｚや６０Ｈｚである。
【００１７】
図２は、検出部１の機械的構成の一例を示す構造図である。測定チューブ５５は、上流側の支持部材５６と下流側の支持部材５７とにより支持される。
【００１８】
上流側コイル５１ａ、下流側コイル５１ｂ、ドライブコイル５３、測温抵抗体５４は、被測定流体を流す測定チューブ５５の外壁に接してそれぞれ設けられる。上流側コイル５１ａは、測定チューブ５５上且つ支持部材５６，５７間で、支持部材５６近傍である上流部に設けられ、上流部の振動を電気信号に変換する。下流側コイル５１ｂは、測定チューブ５５上且つ支持部材５６，５７間で、支持部材５７近傍である下流部に設けられ、下流部の振動を電気信号に変換する。ドライブコイル５３は、測定チューブ５５の中央部に設けられ、ドライブ回路６７により駆動されて測定チューブ５５を加振する。加振された測定チューブ５５は、共振周波数（固有周波数）で共振する。ＲＴＤ５４は、測定チューブ５５上且つ支持部材５６，５７の外側に設けられ、ＲＴＤ駆動回路６８により駆動されて温度を電圧降下に変換する。
【００１９】
ここで、測定チューブ５５の共振周波数は、電源周波数ｆpより高いとする。Ａ／Ｄコンバータ６４ａ，６４ｂのサンプル周期をＴとする。
【００２０】
入力アンプ６１ａは、上流側コイル５１ａの出力信号を増幅する。入力アンプ６１ｂは、下流側コイル５１ｂの出力信号を増幅する。Ａ／Ｄコンバータ６４ａは、入力アンプ６１ａの出力信号をデジタル信号へ変換する。Ａ／Ｄコンバータ６４ｂは、入力アンプ６１
ｂの出力信号をデジタル信号へ変換する。デジタル信号処理回路６５は、Ａ／Ｄコンバータ６４ａ，６４ｂの出力信号に対するデジタル信号処理を行う。ドライブ回路６７は、入力アンプ６１ａの出力信号に基づいて上流側コイル５１ａの出力信号の振幅を一定に保って、ドライブコイル５３を共振周波数で駆動する。ＲＴＤ駆動回路６８は、ＲＴＤ５４を駆動する。Ａ／Ｄコンバータ６９は、ＲＴＤ５４の出力信号をデジタル信号へ変換する。
【００２１】
ＣＰＵ６６は、デジタル信号処理回路６５の出力信号とＡ／Ｄコンバータ６９の出力信号とに基づいて、警告の出力、測定値の算出等を行う。測定値は、例えば測定チューブ５５を流れる被測定流体の密度及び質量流量である。
【００２２】
デジタル信号処理回路６５及びＣＰＵ６６は更に、電源ノイズ診断機能を有する。
【００２３】
出力回路７０，７１は、ＣＰＵ６６により算出された測定値に応じた電流または電圧を出力する。表示器７２は、ＣＰＵ６６からの指示に従って、アラームやワーニングメッセージ（警告）、測定値を表示する。
【００２４】
電源ノイズ診断機能の機能構成について以下に説明する。
【００２５】
図３は、電源ノイズ診断機能の機能構成の一例を示すブロック図である。デジタル信号処理回路６５は、ＬＰＦ（Low Pass Filter）２０，２６、ノッチフィルタ８１，８２、減算部８３、複素信号変換部２１，２７，８５、位相演算部２３，２９、位相差演算部３０、時間遅れ要素３２、周波数演算部３３、振幅演算部９３，９４、平均化演算部３１，３４，９５，９６を有する。電源ノイズ診断処理に関し、ＣＰＵ６６は、判定部９９を有する。
【００２６】
ここで、デジタル信号処理回路６５における電源ノイズ診断機能内の各機能は、ソフトウェアにより実現される。この場合、デジタル信号処理回路６５は、例えばＤＳＰ（Digital Signal Processor）で実現され、電源ノイズ診断処理の各機能を有するソフトウェアを実行する。判定部９９は、ソフトウェアにより実現される。ＣＰＵ６６は、判定部９９の機能を有するソフトウェアを実行する。デジタル信号処理回路６５における電源ノイズ診断機能内の各機能は、ハードウェアにより実現されても良い。この場合、デジタル信号処理回路６５は、例えばＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）で実現される。
【００２７】
ＬＰＦ２０は、Ａ／Ｄコンバータ６４ａの出力信号から、測定チューブ５５の共振周波数より十分高い不要な成分を除去する。同様に、ＬＰＦ２６は、Ａ／Ｄコンバータ６４ｂの出力信号から、測定チューブ５５の共振周波数より十分高い不要な成分を除去する。
【００２８】
ノッチフィルタ８１は、ＬＰＦ２０の出力信号から電源周波数ｆpを中心とする狭い帯域（例えば電源周波数ｆp±数Ｈｚ）の成分を除去する。同様に、ノッチフィルタ８２は、ＬＰＦ２６の出力信号から電源周波数ｆpを中心とする狭い帯域の成分を除去する。図４は、ノッチフィルタ８１，８２のゲインの周波数特性の一例を示す周波数特性図である。この図において、横軸は周波数を表し、縦軸はゲインを表す。ノッチフィルタ８１，８２のゲインの周波数特性は、電源周波数ｆpを中心とする細い谷（溝）の形状を有する。従って、ノッチフィルタ８１，８２は、電源周波数ｆp成分を減衰させ、電源周波数ｆpから離れた周波数成分を一様に通過させる。
【００２９】
このノッチフィルタ８１，８２によれば、上流側コイル５１ａ及び下流側コイル５１ｂの出力信号から電源周波数ｆp成分を除去することができる。
【００３０】
電源ノイズ診断機能は、ノッチフィルタ８１，８２以後に３つの系統ＲＡ，ＲＢ，ＲＣ
を有する。ＲＡは、ノッチフィルタ８１から、複素信号変換部２１を通る経路である。ＲＢは、ノッチフィルタ８２から、複素信号変換部２７を通る経路である。ＲＣは、ノッチフィルタ８１から、減算部８３を経て、複素信号変換部８５を通る経路である。
【００３１】
複素信号変換部２１，２７，８５はそれぞれ、入力信号の実数部と虚数部を生成する。この虚数部の生成には、ヒルベルト変換を用いる。
【００３２】
ＲＡ，ＲＢに関する構成について以下に説明する。
【００３３】
複素信号変換部２１は、ＦＩＲ（Finite Impulse Response）フィルタ２１ａ，２１ｂを有する。ノッチフィルタ８１の出力信号は、ＦＩＲフィルタ２１ａ，２１ｂへ入力される。ＦＩＲフィルタ２１ａは、入力信号と同相の出力信号を出力する同相デジタルフィルタである。ＦＩＲフィルタ２１ａの出力信号ＤA4は、Ａ0・ｓｉｎ（ω0ｔ0）と表すことができる。ＦＩＲフィルタ２１ｂは、入力信号と９０°異なる位相の出力信号を出力する異相デジタルフィルタである。ＦＩＲフィルタ２１ｂの出力信号ＤA5は、Ａ0・ｃｏｓ（ω0ｔ0）と表すことができる。ここで、現在時刻をｔ０、ＦＩＲフィルタ２１ａ，２１ｂの出力信号の振幅をＡ0、ＦＩＲフィルタ２１ａ，２１ｂの出力信号の角速度をω0とする。
【００３４】
複素信号変換部２７は、同相デジタルフィルタであるＦＩＲフィルタ２７ａ、異相デジタルフィルタであるＦＩＲフィルタ２７ｂを有する。ノッチフィルタ８２の出力信号は、ＦＩＲフィルタ２７ａ，２７ｂへ入力される。ＦＩＲフィルタ２７ａの出力信号ＤB4は、Ａ0・ｓｉｎ（ω0ｔ0＋ΔΦ）と表すことができる。ＦＩＲフィルタ２７ｂの出力信号ＤB5は、Ａ0・ｃｏｓ（ω0ｔ0＋ΔΦ）と表すことができる。ここで、ノッチフィルタ８１の出力信号に対するノッチフィルタ８２の出力信号の位相差をΔΦとする。
【００３５】
位相演算部２３は、ＲＡの位相θA2＝ｔａｎ-1（ＤA4／ＤA5）を算出する。位相演算部２９は、ＲＢの位相θB2＝ｔａｎ-1（ＤB4／ＤB5）を算出する。
【００３６】
位相差演算部３０は、ＲＡとＲＢの位相差θA2−θB2を算出する。平均化演算部３１は、位相差演算部３０の出力信号を平均化して位相差θ2とする。ここで、位相差θ2は、上述のΔΦに対応する。
【００３７】
時間遅れ要素３２は、１サンプル前に算出した位相θA2を位相θA2’とする。周波数演算部３３は、所定周波数成分を除いた信号の周波数（θA2−θA2’）／２πＴを算出する。平均化演算部３４は、周波数演算部３３の出力信号を平均化して基本周波数ｆeとする。
【００３８】
振幅演算部９３は、振幅（ＤA42＋ＤA52）1/2を算出する。平均化演算部９５は、振幅演算部９３の出力信号を平均化して振幅Ａ0とする。
【００３９】
振幅演算部９３によれば、上流側コイル５１ａの出力信号から所定周波数成分を除いた信号の振幅を測定することができる。
【００４０】
ＲＣに関する構成について以下に説明する。
【００４１】
減算部８３は、ＬＰＦ２０の出力信号からノッチフィルタ８１の出力信号を減算する。ここで、ノッチフィルタ８１と減算部８３を帯域通過処理部とする。図５は、帯域通過処理部のゲインの周波数特性の一例を示す周波数特性図である。この図において、横軸は周波数を表し、縦軸はゲインを表す。帯域通過処理部のゲインの周波数特性は、電源周波数
ｆpを中心とする細い山の形状を有する。従って、帯域通過処理部は、電源周波数ｆp成分を通過させ、電源周波数ｆpから離れた周波数成分を一様に減衰させる。
【００４２】
ノッチフィルタ８１及び減算部８３によれば、上流側コイル５１ａの出力信号に含まれる電源ノイズの基本波成分を抽出することができる。
【００４３】
複素信号変換部８５は、同相デジタルフィルタであるＦＩＲフィルタ８５ａ、異相デジタルフィルタであるＦＩＲフィルタ８５ｂを有する。減算部８３の出力信号は、ＦＩＲフィルタ８５ａ，８５ｂへ入力される。ＦＩＲフィルタ８５ａの出力信号ＤC4は、Ａ1・ｓｉｎ（ω1ｔ0）と表すことができる。ＦＩＲフィルタ８５ｂの出力信号ＤC5は、Ａ1・ｃｏｓ（ω1ｔ0）と表すことができる。ここで、ＦＩＲフィルタ８５ａ，８５ｂの出力信号の振幅をＡ1、ＦＩＲフィルタ８５ａ，８５ｂの出力信号の角速度をω1とする。
【００４４】
振幅演算部９４は、振幅（ＤC42＋ＤC52）1/2を算出する。平均化演算部９６は、振幅演算部９４の出力信号を平均化して振幅Ａ1とする。
【００４５】
振幅演算部９４によれば、上流側コイル５１ａの出力信号における電源ノイズの基本波成分の振幅を測定することができる。
【００４６】
以上に示されたデジタル信号処理回路６５によれば、ＲＡは、測定チューブ５５の上流部で検出された信号のうち、電源周波数ｆp成分が除去された信号に対する演算を行う。ＲＢは、測定チューブ５５の下流部で検出された信号のうち、電源周波数ｆp成分が除去された信号に対する演算を行う。ＲＣは、測定チューブ５５の上流部で検出された信号のうち、電源周波数ｆp成分の信号に対する演算を行う。
【００４７】
デジタル信号処理回路６５により算出された位相差θ2、基本周波数ｆe、振幅Ａ0，Ａ1は、ＣＰＵ６６へ入力される。判定部９９は、基本周波数ｆe、振幅Ａ0，Ａ1に基づいて電源ノイズ診断処理を実行する。
【００４８】
電源ノイズ診断処理の動作について以下に説明する。
【００４９】
図６は、電源ノイズ診断処理の動作の一例を示すフローチャートである。この電源ノイズ診断処理のフローは、判定部９９により定期的に実行される。まず、判定部９９は、デジタル信号処理回路６５により算出された基本周波数ｆeが所定の判定周波数範囲内であるか否かの判定を行う（第１条件）（Ｓ１１）。判定周波数範囲は、電源周波数の高調波の周波数を中心周波数とする狭い帯域を少なくとも１つ有する。中心周波数は、主に奇数次高調波とする。判定周波数範囲は、例えば３ｆp±数Ｈｚである。
【００５０】
基本周波数ｆeが所定の判定周波数範囲内でない場合（Ｓ１１，Ｎｏ）、判定部９９は、Ｓ３１へ移行する。
【００５１】
基本周波数ｆeが所定の判定周波数範囲内である場合（Ｓ１１，Ｙｅｓ）、判定部９９は、振幅差ΔＡ＝Ａ0−Ａ1を算出する（Ｓ１２）。
【００５２】
次に、判定部９９は、振幅差ΔＡが所定の振幅差閾値より小さいか否かの判定を行う（第２条件）（Ｓ１３）。ここでは、振幅差閾値を０とする。つまり、判定部９９は、振幅Ａ0が振幅Ａ1より小さいか否かの判定を行う。
【００５３】
振幅差ΔＡが所定の振幅差閾値より小さい場合（Ｓ１３，Ｙｅｓ）、すなわちＳ１１とＳ１３の両方が成立した場合、判定部９９は、正常カウンタをクリアする（Ｓ２１）。次
に、判定部９９は、異常カウンタをカウントアップする（Ｓ２２）。次に、判定部９９は、異常カウンタが所定の異常閾値を超えたか否かの判定を行う（Ｓ２３）。ここで、異常閾値は例えば、５である。
【００５４】
異常カウンタが異常閾値を超えた場合（Ｓ２３，Ｙｅｓ）、すなわちＳ１１（第１条件）とＳ１３（第２条件）の両方が連続して５回成立した場合、判定部９９は、状態が異常状態であると判定して、異常出力を行う（Ｓ２４）。ここで、異常出力は、出力回路７０，７１にアラーム出力又はワーニング出力を出力させること、或いは、表示器７２にアラーム表示又はワーニング表示を表示させること、である。
【００５５】
異常カウンタが異常閾値を超えていない場合（Ｓ２３，Ｎｏ）、判定部９９は、現在の状態を維持し（Ｓ２５）、このフローを終了させる。
【００５６】
振幅差ΔＡが所定の振幅差閾値をより小さくない場合（Ｓ１３，Ｎｏ）、又は基本周波数ｆeが所定の判定周波数範囲内でない場合（Ｓ１１，Ｎｏ）、すなわちＳ１１とＳ１３との少なくともいずれかが成立しない場合、判定部９９は、異常カウンタをクリアする（Ｓ３１）。次に、判定部９９は、正常カウンタをカウントアップする（Ｓ３２）。次に、判定部９９は、正常カウンタが所定の正常閾値を超えたか否かの判定を行う（Ｓ３３）。ここで、正常閾値は例えば、５である。
【００５７】
正常カウンタが正常閾値を超えた場合（Ｓ３３，Ｙｅｓ）、すなわちＳ１１とＳ１３の少なくともいずれかが成立しないことが連続して５回成立した場合、判定部９９は、状態が正常状態であると判定して、通常出力を行い（Ｓ３４）、このフローを終了させる。ここで、通常出力は、出力回路７０，７１に測定値を出力させること、或いは、表示器７２に測定値を表示させること、である。
【００５８】
正常カウンタが正常閾値を超えていない場合（Ｓ３３，Ｎｏ）、判定部９９は、現在の状態を維持し（Ｓ３５）、このフローを終了させる。
【００５９】
この電源ノイズ診断処理は、電源の波形の周波数特性を用いている。電源の時間特性が矩形波に近い場合、その周波数特性は基本波の他に奇数次高調波を有する。更に、電源の高調波の次数が高くなるほど、その次数の高調波の振幅は小さくなる。このような電源に基づく電源ノイズにおいても、高調波の振幅は、基本波の振幅より小さい。
【００６０】
この性質により、基本周波数ｆeが電源の高調波の近傍であり、且つ電源ノイズの基本波の振幅Ａ1が基本周波数ｆeの振幅Ａ0以上である場合、上流側コイル５１ａ及び下流側コイル５１ｂにより検出された信号は、電源ノイズの影響が支配的であると判定される。更に、この判定が異常閾値の回数より多く連続する場合（Ｓ２３、Ｙｅｓ）、異常状態と判定される。異常状態において、判定部９９は、現在のコリオリ質量流量計の電源ノイズ環境が測定に適した環境でないことを、ユーザに通知する。
【００６１】
上述の電源ノイズ診断処理によれば、異常状態を通知されたユーザは、コリオリ質量流量計による測定を中止し、電源ノイズの対策を講じることができる。
【００６２】
上述の電源ノイズ診断処理によれば、Ｓ２３及びＳ３３の処理によって異常状態及び正常状態へすぐに遷移させないようにすることにより、安定した状態を出力することができる。異常閾値及び正常閾値は、予めユーザにより任意の値に設定されることができる。
【００６３】
振幅演算部９３，９４はそれぞれ、振幅Ａ0，Ａ1の代わりに振幅の自乗値Ａ02，Ａ12を算出しても良い。この場合、Ｓ１２，Ｓ１３は、振幅の自乗値Ａ02，Ａ12を用いる演算を
行う。
【００６４】
ドライブ回路６７により駆動されたドライブコイル５３の駆動周波数を基本周波数ｆeとしても良い。
【００６５】
デジタル信号処理回路６５がＦＦＴ（Fast Fourier Transform）等の時間周波数変換機能を有し、ノッチフィルタ８１の出力から周波数軸上のピーク成分（主成分）を求め、そのピーク成分の周波数を基本周波数ｆeとし、そのピーク成分の振幅をＡ0としても良い。
【００６６】
第１検出部は、実施の形態におけるノッチフィルタ８１、複素信号変換部２１、位相演算部２３、時間遅れ要素３２、周波数演算部３３、平均化演算部３４、振幅演算部９３、平均化演算部９５に対応する。第２検出部は、実施の形態におけるノッチフィルタ８１、減算部８３、複素信号変換部８５、振幅演算部９４、平均化演算部９６に対応する。
【００６７】
信号成分は、実施の形態におけるノッチフィルタ８１の出力に対応する。所定周波数成分は、実施の形態における減算部８３の出力に対応する。所定周波数は、実施の形態における電源周波数ｆpに対応する。信号成分の周波数は、実施の形態における基本周波数ｆeに対応する。信号成分の振幅は、実施の形態における振幅Ａ0に対応する。所定周波数成分の振幅は、実施の形態における振幅Ａ1に対応する。所定の周波数範囲は、実施の形態における判定周波数範囲に対応する。
【００６８】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他の様々な形で実施することができる。そのため、前述の実施の形態は、あらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、何ら拘束されない。更に、特許請求の範囲の均等範囲に属する全ての変形、様々な改良、代替および改質は、全て本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００６９】
１  検出部
２  変換部
２０，２６  ＬＰＦ
２１，２７，８５  複素信号変換部
２１ａ，２１ｂ，２７ａ，２７ｂ，８５ａ，８５ｂ  ＦＩＲフィルタ
２３，２９  位相演算部
３０  位相差演算部
３１，３４，９５，９６  平均化演算部
３２  時間遅れ要素
３３  周波数演算部
５１ａ  上流側コイル
５１ｂ  下流側コイル
５３  ドライブコイル
５４  ＲＴＤ
５５  測定チューブ
５６，５７  支持部材
６１ａ，６１ｂ  入力アンプ
６４ａ，６４ｂ，６９  Ａ／Ｄコンバータ
６５  デジタル信号処理回路
６６  ＣＰＵ
６７  ドライブ回路
６８  ＲＴＤ駆動回路
７０，７１  出力回路
７２  表示器
８１，８２  ノッチフィルタ
８３  減算部
９３，９４  振幅演算部
９９  判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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