(57)【要約】【課題】軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納用の収納体５１に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部５２を上下方向に並設し、基板支持部５２を、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の支持用回転軸５３を、基板出し入れ方向に並設して構成し、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された連動用回転軸５４を、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって基板支持部５２における複数の支持用回転軸５３の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸５３の夫々と連動連結し、連動用回転軸５４における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体６５を設ける。【選択図】図９
2010010291.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納用の収納体に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部が上下方向に並設され、
前記基板支持部が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体を、基板出し入れ方向に並設して構成され、
基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部における複数の前記支持用回転体の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転体の夫々と連動連結されている基板収納容器であって、
前記連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体が設けられている基板収納容器。
【請求項２】
前記支持用回転体が、その両端部を前記収納体に回転自在に支持される状態で設けられている請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記従動回転体が、前記連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成され、
前記複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向において前記支持用回転体の異なる側の端部に連動連結される状態で前記収容体横幅方向の両側に振り分け配置されている請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記従動回転体が、前記連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成され、
前記複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、前記収納体横幅方向において前記支持用回転体の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で前記収容体横幅方向の一方側に集中配置されている請求項２記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記複数の基板支持部を構成する前記複数の支持用回転体の複数組が、上下方向に隣接する基板支持部の複数の支持用回転体における前記基板出し入れ方向において並び順が同じものを前記基板出し入れ方向において異なる位置となるようにする形態で千鳥足状に配置されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記連動用回転体が、前記支持用回転体に対して磁気式の連係手段にて連動連結されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納用の収納体に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部が上下方向に並設され、前記基板支持部が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体を、基板出し入れ方向に並設して構成され、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部における複数の前記支持用回転体の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転体の夫々と連動連結されている基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板収納容器は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の基板を収納する際に用いられるものであり、上下方向に並設された複数の基板支持部の夫々に基板を載置支持させることにより、複数の基板を積層状態で収納することができるように構成されているものである。
また、かかる基板収納容器は、連動用回転体が複数の基板支持部に対応して複数設けられており、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合は、その基板支持部に対応する連動用回転体を回転させて、その連動用回転体に連動連結された複数の支持用回転体を回転させることによって、出し入れ対象の基板支持部に対して基板を出し入れするように構成されており、複数の基板支持部に対して順不同で基板の出し入れが可能に構成されているものである。
そして、このような基板収納容器において、従来では、複数の基板支持部に対応して複数設けられた連動用回転体の夫々を各別に駆動回転させるための駆動手段が、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に連動連結される状態で、基板収納用の収納体そのものに装備されており、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合は、その基板支持部に対応する連動用回転体を駆動手段にて回転駆動させることにより、出し入れ対象の基板支持部に対して基板を出し入れするように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−０１５２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の基板収納容器では、複数の連動用回転体を各別に駆動する複数の駆動手段を基板収納用の収納体に備えるものであるから、その基板収納容器の重量化を招くものであった。
そこで、基板収納容器の軽量化を図るために、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に従動ギヤを設け、基板支持部に対して基板の出し入れ作業を行う作業エリアに駆動ギヤとこの駆動ギヤを回転駆動させる駆動手段とを設けておき、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合に、その基板支持部に対応して設けられた連動用回転体の端部に設けられた従動ギヤに駆動ギヤを噛合させ、駆動手段にて駆動ギヤを回転させることにより、その駆動ギヤと噛合した従動ギヤを回転させ、軸状の連動用回転体を回転させ、複数の支持用回転体を回転させて、取り出し対象の基板支持部に対して基板を出し入れするように構成することが考えられるが、駆動ギヤと従動ギヤとの噛合により、塵埃が発生し易いものとなる不利があった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる基板収納容器は、基板収納用の収納体に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部が上下方向に並設され、
前記基板支持部が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体を、基板出し入れ方向に並設して構成され、
基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部における複数の前記支持用回転体の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転体の夫々と連動連結されている基板収納容器であって、
その第１特徴構成は、前記連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体が設けられている点にある。
【０００７】
すなわち、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体が設けられているから、この磁気式の従動回転体を磁気式の駆動回転を用いて回転させることによって、連動用回転体を回転させ、それによって複数の支持用回転体を回転させることにより、基板支持部に対して基板を出し入れすることができる。
説明を加えると、基板支持部に対して基板の出し入れ作業を行う作業エリアに回転駆動される磁気式の駆動回転体を設けておき、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合は、磁気式の駆動回転体を、出し入れ対象の基板支持部に対応する連動用回転体の端部に設けられた磁気式の従動回転体に近接させて、磁気式の駆動回転体を回転駆動させることにより、磁気式の駆動回転体の磁気により非接触で磁気式の従動回転体を回転させることができ、そして、その回転により連動用回転体を回転させ、複数の支持用回転体を回転させるようにして、取り出し対象の基板支持部に対して基板を出し入れすることができる。
そして、このように磁気式の従動回転を磁気式の駆動回転体を用いて非接触にて回転駆動させることできるため、塵埃の発生させることなく、基板支持部の複数の支持用回転体を回転させて、基板を出し入れすることができる。
また、基板収納容器には、連動用回転体の駆動のために、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に磁気式の従動回転体を設けるものであり、磁気式の従動回転体は軽量に構成できるものであるから、基板収納容器の軽量化を図ることができる。
従って、軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
【０００８】
本発明にかかる基板収納容器の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記支持用回転体が、その両端部を前記収納体に回転自在に支持される状態で設けられている点にある。
【０００９】
すなわち、支持用回転体が、その両端部を収納体に回転自在に支持される状態で設けられているから、支持用回転体を両端を支持した状態で安定性よく且つ大きな荷重にも耐えられるように支持することができるため、近年大型化している基板をも基板支持部にて的確に載置支持することができる。
従って、基板支持部にて大型の基板をも的確に載置支持することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
【００１０】
本発明にかかる基板収納容器の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記従動回転体が、前記連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成され、前記複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向において前記支持用回転体の異なる側の端部に連動連結される状態で前記収容体横幅方向の両側に振り分け配置されている点にある。
【００１１】
すなわち、従動回転体が、連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成されており、このように構成される従動回転体は連動用回転体よりも大径の円盤状であるため、大きな面積で磁力を受けることができ、しかも、大径であるため小さなトルクにより駆動し易いものとなるのであり、結果的に、連動用回転体を磁力にて駆動させるものの的確に回転駆動させることができるものである。
そして、複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体を、上下方向に隣接するものが収納体横幅方向において支持用回転体の異なる側の端部に連動連結される状態で収容体横幅方向の両側に振り分け配置されているから、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させたとしても、連動用回転体に設けられた従動用回転体同士が干渉することを回避できるため、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させた状態で並設して、同じ高さの収納体でも上下方向に並設する基板支持部の数を増やすことができるので、基板を効率よく収納することができる。また、複数の連動回転体が収納体横幅方向の両側に振り分け配置されているため、基板収納容器の収納体横幅方向の重量バランスを良好なものにすることができる。
従って、連動用回転体を的確に駆動させることができるものでありながらも、基板を効率良く収納することができるのであり、加えて、収納体横幅方向の重量バランスを良好なものにすることができる基板収納容器を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる基板収納容器の第４特徴構成は、第２特徴構成において、前記従動回転体が、前記連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成され、前記複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、前記収納体横幅方向において前記支持用回転体の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で前記収容体横幅方向の一方側に集中配置されている点にある。
【００１３】
すなわち、従動回転体が、連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成されており、このように構成される従動回転体は連動用回転体よりも大径の円盤状であるため、大きな面積で磁力を受けることができ、しかも、大径であるため小さなトルクにより駆動し易いものとなるのであり、結果的に、連動用回転体を磁力にて駆動させるものの的確に回転駆動させることができるものである。
そして、複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、収納体横幅方向において支持用回転体の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で収容体横幅方向の一方側に集中配置されているから、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させたとしても、連動用回転体に設けられた従動用回転体同士が干渉することを回避できるため、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させた状態で並設して、同じ高さの収納体でも上下方向に並設する基板支持部の数を増やすことができるので、基板を効率よく収納することができる。
従って、連動用回転体を的確に駆動させることができるものでありながらも、基板を効率良く収納することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
【００１４】
本発明にかかる基板収納容器の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記複数の基板支持部を構成する前記複数の支持用回転体の複数組が、上下方向に隣接する基板支持部の複数の支持用回転体における前記基板出し入れ方向において並び順が同じものを前記基板出し入れ方向において異なる位置となるようにする形態で千鳥足状に配置されている点にある。
【００１５】
すなわち、複数の基板支持部を構成する複数の支持用回転体の複数組が、上下方向に隣接する基板支持部の複数の支持用回転体における基板出し入れ方向において並び順が同じものを基板出し入れ方向において異なる位置となるようにする形態で千鳥足状に配置されているから、上下方向に隣接する基板支持部を互いに上下方向に近接させたとしても上下方向に隣接する基板支持部における複数の支持用回転体に対して連動用回転軸を連動連結する連係手段同士が干渉することを回避できるため、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させた状態で並設して、同じ高さの収納体でも上下方向に並設する基板支持部の数を増やすことができるので、基板を効率よく収納することができる。
従って、基板を効率良く収納できる基板収納容器を提供することができるに至った。
【００１６】
本発明にかかる基板収納容器の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記連動用回転体が、前記支持用回転体に対して磁気式の連係手段にて連動連結されている点にある。
【００１７】
すなわち、連動用回転体が、支持用回転体に対して磁気式の連係手段にて連動連結されているから、連動用回転体と支持用回転体とを連動連結することによる塵埃の発生を抑制することができ、もって、さらに塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施の形態〕
図１に示すように、基板処理設備は、基板収納容器２を収納する複数の収納部４を備えた収納棚５と、収納部４と基板入出部６との間で基板収納容器２を搬送するスタッカークレーン８と、基板１に対して処理を行う基板処理装置（図示せず）に基板１を載置搬送する搬送コンベア３と、基板入出部６に位置する基板収納容器２と搬送コンベア３との間で基板１を搬送する基板搬送装置としての基板搬送台車７とが備えられている。
ちなみに、基板収納容器２は、矩形状のガラス基板である基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持するように構成されている。
【００１９】
そして、基板搬送台車７及びスタッカークレーン８は、図外の制御装置にて作動が制御されており、スタッカークレーン８にて、基板１を取り出す又は収納する基板収納容器２を収納部４から基板入出部６に搬送し且つ基板１の取り出し又は収納が終了した基板収納容器２を基板入出部６から収納部４に搬送するように、スタッカークレーン８の作動が制御され、また、基板入出部６に位置する基板収納容器２から取り出された基板１を一枚ずつ搬送コンベア３に搬送し且つ基板処理装置３から受け取った基板１を一枚ずつ基板入出部６に位置する基板収納容器２に収納するように、基板搬送台車７の作動が制御される。
【００２０】
図２示すように、物品処理設備には、クリーン空間１３において浄化空気を天井部より床部に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段２３が設けられており、そのダウンフローのクリーン空間１３内に、搬送コンベア３、収納棚５、基板搬送台車７、及び、スタッカークレーン８が装備されている。
【００２１】
浄化空気通風手段２３について説明を加えると、図４に示すように、浄化空気通風手段２３は、クリーン空間１３の床部が多孔状のグレーティング床１４にて形成され、クリーン空間１３の天井部がＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ１５にて形成されるとともに、グレーティング床１４の下方側に形成された吸気室１６とエアーフィルタ１５の上方側に形成されたチャンバー室１７とが通風ファン１８及びプレフィルタ２１を備えた循環路１９にて連通されており、通風ファン１８にて、クリーン空間１３の空気をグレーティング床１４及び吸気室１６を通して循環路１９に吸気されるとともに、その吸気された空気をプレフィルタ２１、チャンバー室１７及びエアーフィルタ１５を通して浄化空気としてクリーン空間１３内に下向きに噴き出すようにして、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ２１とエアーフィルタ１５とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井部より床部に通風させるように構成されている。そして、循環路１９には、通風ファン１８よりも上流側に外気取入流路２０が接続され、通風ファン１８よりも下流側に排気流路２２が接続されており、浄化空気通風手段２３にて循環されるクリーン空間１３内の空気の一部を外気と交換するように構成されている。
【００２２】
図２及び図３に示すように、収納棚５は、グレーティング床１４上に設けられており、収納棚５には、収納部４が縦横に複数並べて設けられており、収納棚５が備える複数の収納部４のうちの一部が、基板入出部６とされている。
説明を加えると、図２及び図４に示すように、最下段の収納部４のうちの基板処理装置３に対応する収納部４が基板入出部６とされており、基板搬送台車７にて基板入出部６に位置する基板収納容器２に対して収納棚５の背面側を通して基板１の取り出し及び収納が可能に構成されている。
ちなみに、基板入出部６には、基板収納容器２を載置支持するための固定支持台２４が設けられている。
【００２３】
図１〜図３に示すように、スタッカークレーン８は、収納棚５の前方に棚横幅方向に沿って設けられた２本の走行レール２５に沿って走行する走行台車２６と、走行台車２６に立設された一対の昇降マスト２７に昇降自在に案内支持される昇降台２８と、昇降台２８に支持されて収納部４と自己との間で基板収納容器２を移載可能なフォーク式の物品移載装置２９とが備えられており、走行台車２６の走行、昇降台２８の昇降移動及び物品移載装置２９の作動により、基板入出部６としての収納部４と他の収納部４との間で基板収納容器２を搬送するように構成されている。
【００２４】
図１及び図２に示すように、基板搬送台車７は、収納棚５の後方に棚横幅方向に沿って設けられた２本の案内レール３１に沿って走行する台車本体３２と、台車本体３２に立設されたガイドレール３０に昇降自在に案内支持される基板搬送コンベア３３とを備えられており、台車本体３２の走行、基板搬送コンベア３３の昇降移動及び作動により、基板入出部６に位置する基板収納容器２と搬送コンベア３との間で基板１を搬送するように構成されている。
【００２５】
次に、基板搬送コンベア３３について説明を加える。図５に示すように、基板搬送コンベア３３は、台車前後幅方向に沿う軸芯周りに回転可能で且つ電動モータ３４にて回転駆動される駆動用回転軸３５と、台車横幅方向に並設されて台車前後幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の搬送用回転軸３６と、駆動用回転軸３５の回転に伴って台車横幅方向に沿う軸芯周りに回転し且つその回転によって複数の搬送用回転軸３６の夫々を回転させるように、駆動用回転軸３５及び複数の搬送用回転軸３６の夫々に連動連結されている連動出力用回転軸３７と、駆動用回転軸３５の回転に伴って台車横幅方向に沿う軸芯周りに回転するように、駆動用回転軸３５に連動連結されている出力用回転軸３８とを設けて構成されている。尚、連動出力用回転軸３７と出力用回転軸３８とは同じ高さに配設されている。
ちなみに、台車前後幅方向とは、基板搬送台車７の走行方向に沿う方向であり、台車横幅方向とは、台車前後幅方向と直交又は略直交する台車横幅方向に沿う方向であり且つ基板搬送コンベア３３にて基板１が載置搬送される方向である。また、基板搬送台車７が基板入出部６との間で基板１を受け渡す及び受け取るべく基板入出部６に対応する箇所で停止している状態では、台車横幅方向は基板出し入れ方向と同じ方向であり、台車前後幅方向は収納体横幅方向と同じ方向である。
【００２６】
駆動用回転軸３５及び複数の搬送用回転軸３６の夫々は、台車前後幅方向に沿って伸びる状態で配置されており、その両端部が台車横幅方向に沿って伸びる状態で配置された一対のコンベアフレーム３９にて回転自在に支持されている。また、連動出力用回転軸３７は、台車横幅方向に沿って伸びる状態で配置されて一対のコンベアフレーム３９の一方にてその外方側に回転自在に支持されており、出力用回転軸３８は、台車横幅方向に沿って伸びる状態で配置されて一対のコンベアフレーム３９の他方にてその外方側に回転自在に支持されている。
【００２７】
図６及び図７に示すように、連動出力用回転軸３７は、駆動用回転軸３５に対して磁気式の連動出力側連係手段４１にて非接触状態で連動連結され、複数の搬送用回転軸３６は、連動出力用回転軸３７に対して磁気式の搬送側連係手段４２にて非接触状態で連動連結され、出力用回転軸３８は、駆動用回転軸３５に対して磁気式の出力側連係手段４３にて非接触状態で連動連結されている。
【００２８】
説明を加えると、図６〜図８に示すように、複数の搬送用回転軸３６の夫々における台車前後幅方向の一方側端部に磁気式の搬送側従動回転体４７が設けられ、連動出力用回転軸３７における複数の搬送側従動回転体４７に対応する箇所の夫々に、搬送側従動回転体４７に対してその下方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の搬送側駆動回転体４６が設けられており、これら複数の搬送側駆動回転体４６と複数の搬送側従動回転体４７とで搬送側連係手段４２が構成されている。
また、駆動用回転軸３５における台車前後幅方向の一方側端部に磁気式の連動出力側駆動回転体４４が設けられ、連動出力用回転軸３７における連動出力側駆動回転体４４に対応する箇所に、連動出力側駆動回転体４４に対してその上方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の搬送側駆動回転体４６の一つが設けられており、これら連動出力側駆動回転体４４と搬送側駆動回転体４６とで連動出力側連係手段４１が構成されている。尚、連動出力用回転軸３７に設けられた複数の搬送側駆動回転体４６の一つが、連動出力側駆動回転体４４にて回転される連動出力側従動回転体に兼用されている。
また、駆動用回転軸３５における台車前後幅方向の他方側端部に磁気式の出力側駆動回転体４８が設けられ、出力用回転軸３８における出力側駆動回転体４８に対応する箇所に、出力側駆動回転体４８に対してその上方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の出力側従動回転体４９が設けられており、これら出力側駆動回転体４８と出力側従動回転体４９とで出力側連係手段４３が構成されている。
【００２９】
そして、図１２に示すように、連動出力側駆動回転体４４、搬送側駆動回転体４６、搬送側従動回転体４７、出力側駆動回転体４８、及び、出力側従動回転体４９の夫々は、それが設けられた回転軸よりも大径の円筒状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分（Ｓ極の磁極形成部分とＮ極の磁極形成部分）を異なる極性のものが外周面に交互に位置する状態で且つ螺旋状に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
【００３０】
つまり、基板搬送コンベア３３は、電動モータ３４にて駆動用回転軸３５を回転駆動させることによって、この駆動用回転軸３５と連動出力側連係手段４１にて非接触で連動連結されている連動出力用回転軸３７、及び、出力側連係手段４３にて非接触で連動連結されている出力用回転軸３８が回転され、連動出力用回転軸３７と搬送側連係手段４２にて非接触で連動連結されている複数の搬送用回転軸３６が回転するように構成されている。
そして、基板搬送コンベア３３は、複数の搬送用回転軸３６の夫々に複数設けられた搬送用リング状体３６ａにて支持する状態で基板１を載置支持するように構成されており、複数の搬送用回転軸３６が回転することにより、基板１を載置搬送するように構成されている。
【００３１】
連動出力用回転軸３７及び出力用回転軸３８における台車横幅方向の基板収納容器２が存在する側の端部に、磁気式の駆動回転体６４が設けられている。
この磁気式の駆動回転体６４は、それが設けられた回転軸よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分（Ｓ極の磁極形成部分とＮ極の磁極形成部分）を異なる磁極のものが外周面に交互に位置する状態で平坦な円形の外面に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
【００３２】
次に、基板収納容器２について説明を加える。
図９〜図１１に示すように、基板収納用の収納体５１に、基板１を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部５２が上下方向に並設され、前記基板支持部５２が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体としての支持用回転軸５３を、基板出し入れ方向に並設して構成され、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体としての連動用回転軸５４が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部５２における複数の前記支持用回転軸５３の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸５３の夫々と連動連結されている。
前記支持用回転軸５３は、収納体横幅方向に沿って伸びる状態で配置されており、その両端部を前記収納体５１に回転自在に支持される状態で設けられている。
【００３３】
基板収納用の収納体５１は、上下一対の矩形フレーム５６と、それら上下一対の矩形フレーム５６の間に設けられた基板支持部設置用の複数の支持フレーム５７とを備えて構成されている。複数の支持フレーム５７の夫々は、上端部が上側の矩形フレーム５６に連結され且つ下端部が下側の矩形フレーム５６に連結されて上下方向に沿って伸びる状態で配設されており、収納体５１における収納体横幅方向の両端部夫々において、１つの基板支持部５２に設けられた複数の支持用回転軸５３と同じ数だけの支持フレーム５７が、基板出し入れ方向に並設されている。
【００３４】
支持用回転軸５３は、その両端部を支持フレーム５７に回転自在に支持される状態で基板出し入れ方向に複数並設されており、基板出し入れ方向に並設された複数の支持用回転軸５３の組が、上下方向に複数組並設されている。
このように基板出し入れ方向に並設された複数の支持用回転軸５３の組にて一つの基板支持部５２が構成されており、複数組の支持用回転軸５３を上下方向に並設することにより、複数の基板支持部５２が上下方向に並設されている。
ちなみに、各組における複数の支持用回転軸５３は夫々異なる支持フレーム５７に回転自在に支持されており、複数の基板支持部５２における基板出し入れ方向において並び順が同じものは夫々同じ支持フレーム５７に支持されている。
【００３５】
複数の基板支持部５２のうちの下から奇数段目の基板支持部５２を、下から偶数段目の基板支持部５２に対して、基板出し入れ方向にずらした状態で設けることにより、前記複数の基板支持部５２を構成する前記複数の支持用回転軸５３の複数組が、上下方向に隣接する基板支持部５２の複数の支持用回転軸５３における前記基板出し入れ方向において並び順が同じものを前記基板出し入れ方向において異なる位置となるようにする形態で千鳥足状に配置されている。
【００３６】
連動用回転軸５４は、複数の基板支持部５２に対応して複数設けられており、これら前記複数の基板支持部５２に対する複数の連動用回転軸５４は、上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向において前記支持用回転軸５３の異なる側の端部に連動連結される状態で前記収容体横幅方向の両側に振り分け配置されている。
説明を加えると、複数の基板支持部５２のうちの下から奇数段目の基板支持部５２に対して設けられた奇数段目用の連動用回転軸５４は、収納体横幅方向の一方側に設けられた複数の支持フレーム５７にてその外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸５３の夫々における収納体横幅方向の一方側端部に連動連結され、また、下から偶数段目の基板支持部５２に対して設けられた偶数段目用の連動用回転軸５４は、収納体横幅方向の他方側に設けられた複数の支持フレーム５７にてその外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸５３の夫々における収納体横幅方向の他方側端部に連動連結されている。
【００３７】
前記連動用回転軸５４が、前記支持用回転軸５３に対して磁気式の連係手段としての収納側連係手段５８にて連動連結されている。
説明を加えると、複数の支持用回転軸５３の夫々における収納体横幅方向の一方側端部又は他方側端部に磁気式の収納側従動回転体５９が設けられ、連動用回転軸５４における収納側従動回転体５９に対応する箇所に、収納側従動回転体５９に対してその下方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の収納側駆動回転体６０が設けられており、これら収納側従動回転体５９と収納側駆動回転体６０とで収納側連係手段５８が構成されている。
そして、図１２に示すように、収納側従動回転体５９及び収納側駆動回転体６０の夫々は、連動出力側駆動回転体４４等と同様に、それが設けられた回転軸よりも大径の円筒状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分（Ｓ極の磁極形成部分とＮ極の磁極形成部分）を異なる極性のものが外周面に交互に位置する状態で且つ螺旋状に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
【００３８】
基板収納容器２における奇数段目用の連動用回転軸５４が、基板搬送コンベア３３における連動出力用回転軸３７に対して磁気式の一方側連係手段６２にて連動連結可能に構成されており、偶数段目用の連動用回転軸５４が、基板搬送コンベア３３における出力用回転軸３８に対して磁気式の他方側連係手段６３にて連係連結可能に構成されている。
説明を加えると、前記連動用回転軸５４における基板出し入れ方向の基板搬送台車存在側の端部に、磁気式の従動回転体６５が設けられており、連動出力用回転軸３７に設けられた駆動回転体６４と奇数段目用の連動用回転軸５４に設けられた従動回転体６５とで一方側連係手段６２が構成され、出力用回転軸３８に設けられた駆動回転体６４と偶数段目用の連動用回転軸５４に設けられた従動回転体６５とで他方側連係手段６３が構成されている。
磁気式の従動回転体６５は、駆動回転体６４と同様に、前記連動用回転軸５４よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の２種の磁極形成部分（Ｓ極の磁極形成部分とＮ極の磁極形成部分）を異なる磁極のものが交互に位置する状態で平坦な円形の外面に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
ちなみに、複数の従動回転体６５の夫々は、上下方向に隣接するものと収納体横幅方向に一部が重複した状態で設けられている。
【００３９】
そして、基板収納容器２を収納棚５の基板入出部６に移載し、基板搬送台車７を基板入出部６に対応する箇所に停止させている状態において、基板搬送コンベア３３を昇降移動させることにより、連動出力用回転軸３７に設けられた２つの駆動回転体６４のどちらかと基板収納容器２に設けられた複数の従動回転体６５のいずれかとが近接することによって、連動出力用回転軸３７が複数の奇数段目用の連動用回転軸５４のいずれかと連動連結する、又は、出力用回転軸３８が複数の偶数段目用の連動用回転軸５４のいずれかと連動連結するように構成されている。
つまり、連動出力用回転軸３７に設けられた駆動回転体６４と出力用回転軸３８に設けられた駆動回転体６４とは同じ高さに設けられており、複数の連動用回転軸５４に設けられた複数の従動回転体６５は、収納体における収納体横幅方向の一方側と他方側とに交互に且つ夫々が異なる高さとなるように設けられているため、連動出力用回転軸３７が複数の奇数段目用の連動用回転軸５４のいずれかと連動連結している状態では、出力用回転軸３８は複数の偶数段目用の連動用回転軸５４のいずれにも連動連結していない状態となり、出力用回転軸３８が複数の偶数段目用の連動用回転軸５４のいずれかと連動連結している状態では、連動出力用回転軸３７は複数の奇数段目用の連動用回転軸５４のいずれにも連動連結しない状態となるものであり、一方側連係手段６２と他方側連係手段６３とのうちのいずれか一方で連動連結され、両方で同時に連動連結されないように構成されている。
【００４０】
そして、基板収納容器２は、連動用回転軸５４のいずれかが基板搬送コンベア３３の連動出力用回転軸３７又は出力用回転軸３８と連動連結されている状態において、電動モータ３４にて連動出力用回転軸３７及び出力用回転軸３８が回転されると、連動出力用回転軸３７と一方側連係手段６２にて非接触にて連動連結されている又は出力用回転軸３８と他方側連係手段６３にて非接触にて連動連結されている１本の連動用回転軸５４が回転し、この連動用回転軸５４と収納側連係手段５８にて非接触で連動連結されている複数の支持用回転軸５３が回転するように構成されている。
そして、基板支持部５２は、複数の支持用回転軸５３の夫々に複数設けられた支持用リング状体５３ａにて支持する状態で基板１を載置支持するように構成されており、複数の搬送用回転軸３６が回転することにより、基板１を載置搬送するように構成されている。
【００４１】
つまり、図１３に示すように、基板収納容器２を収納棚５の基板入出部６に移載し、基板搬送台車７を基板入出部６に対応する箇所に停止させている状態において、基板搬送コンベア３３を昇降移動させることにより、基板搬送コンベア３３と基板収納容器２における基板出し入れ対象となる一つの基板支持部５２とが非接触で連動連結し、基板搬送コンベア３３に設けた電動モータ３４を正逆に駆動させることによって、基板搬送コンベア３３における複数の搬送用回転軸３６並びに基板出し入れ対象の基板支持部５２における複数の支持用回転軸５３が正逆に回転することによって、基板収納容器２から基板搬送コンベア３３に基板１を１枚取り出すことができ、また、基板搬送コンベア３３から基板収納容器２に基板１を１枚収納することができるように構成されている。
【００４２】
〔第２実施の形態〕
以下、本発明に係る第２実施形態を図面に基づいて説明するが、この第２実施形態は、基板搬送コンベア３３及び基板収納容器２の構成が異なる以外は上記の第１実施形態と同様であるので、第１実施形態と同じ構成要素や同じ作用を有する構成要素については、同じ符号を付すことにより説明を省略し、主として、第１実施形態と異なる構成を説明する。
【００４３】
基板搬送コンベア３３について説明すると、図１４及び図１５に示すように、出力用回転軸３８は、台車前後幅方向に沿って伸びる状態で配置されて一対のコンベアフレーム３９の一方にて連動出力用回転軸３７よりも外方側に回転自在に支持されている。
そして、出力用回転軸３８における連動出力側駆動回転体４４に対応する箇所に、連動出力側駆動回転体４４に対してその上方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の出力側従動回転体４９が設けられており、これら駆動出力側駆動回転体４４と出力側従動回転体４９とで出力側連係手段４３が構成されている。
【００４４】
基板収納容器２について説明すると、図１６及び図１７に示すように、前記複数の基板支持部５２に対する複数の連動用回転軸５４が、前記収納体横幅方向において前記支持用回転軸５３の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で前記収容体横幅方向の一方側に集中配置されている。
説明を加えると、複数の基板支持部５２のうちの下から奇数段目の基板支持部５２に対して設けられた奇数段目用の連動用回転軸５４は、収納体横幅方向の一方側に設けられた複数の支持フレーム５７にてその外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸５３の夫々における収納体横幅方向の一方側端部に連動連結され、また、下から偶数段目の基板支持部５２に対して設けられた偶数段目用の連動用回転軸５４は、収納体横幅方向の一方側に設けられた複数の支持フレーム５７にて奇数段目用の連動用回転軸５４よりもさらに外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸５３の夫々における収納体横幅方向の一方側端部に連動連結されている。
【００４５】
〔別実施の形態〕
（１）  上記第１実施の形態では、複数の基板支持部５２に対する複数の連動用回転軸５４を、複数の基板支持部５２に対する上下方向に隣接するものが収納体横幅方向において支持用回転軸５３の異なる側の端部に連動連結される状態で収容体横幅方向の両側に振り分け配置し、上記第２実施の形態では、複数の基板支持部５２に対する複数の連動用回転軸５４を、収納体横幅方向において支持用回転軸５３の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で収容体横幅方向の一方側に集中配置したが、複数の基板支持部５２に対する複数の連動用回転軸５４を、収納体横幅方向において支持用回転軸５３の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが収納体横幅方向に同じ位置となるように一列に配置した状態で収容体横幅方向の一方側に集中配置してもよい。
尚、上記実施の形態では、複数の基板支持部５２に対する複数の連動用回転軸５４を、収容体横幅方向の両側に振り分け配置する又は千鳥足状配置して２列に並べたが、３列以上に並べてもよい。
【００４６】
（２）  上記第１及び第２実施の形態では、複数の基板支持部５２を構成する複数の支持用回転軸５３の複数組を、上下方向に隣接する基板支持部５２の複数の支持用回転軸５３における基板出し入れ方向において並び順が同じものを基板出し入れ方向において異なる位置となるようにする形態で千鳥足状に配置したが、複数の基板支持部５２を構成する複数の支持用回転軸５３の複数組を、上下方向に隣接する基板支持部５２の複数の支持用回転軸５３における基板出し入れ方向において並び順が同じものを基板出し入れ方向において同じ位置となるようにする形態で上下方向に一列に並べて配置してもよい。また、３列以上に並べてもよい。
【００４７】
（３）  上記第１及び第２実施の形態では、連動用回転軸５４を支持用回転軸５３に連動連結する連係手段を磁気式の連係手段５８としたが、連動用回転軸５４を支持用回転軸５３に連動連結する連係手段をギヤを咬合させるギヤ式の連係手段としてもよい。
【００４８】
（４）  上記第１及び第２実施の形態では、支持用回転体５３を、その両端部を収納体５１に回転自在に支持される状態で設けたが、支持用回転体５３を、その一端部を収納体５１に回転自在に支持される状態で設けてもよい。
【００４９】
（５）  上記第１及び第２実施の形態では、基板搬送装置を、台車本体３２と基板搬送コンベア３３とを備えた基板搬送台車７としたが、基板搬送装置を、床部に固定した固定フレームとこの固定フレームに対して昇降自在に設けられた基板搬送コンベアとを備えて構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】基板処理設備の平面図
【図２】基板処理設備の正面図
【図３】基板処理設備の側面図
【図４】基板搬送コンベアと基板収納容器との斜視図
【図５】基板搬送コンベアの斜視図
【図６】基板搬送コンベアの横断正面図
【図７】基板搬送コンベアと基板収納容器とを一方側で連動連結した状態を示す図
【図８】基板搬送コンベアと基板収納容器とを他方側で連動連結した状態を示す図
【図９】基板収納容器の斜視図
【図１０】基板収納容器の正面図
【図１１】基板収納容器の側面図
【図１２】回転軸を連動連結する概略図
【図１３】基板を搬送している状態を示す作用図
【図１４】第２実施形態における基板搬送コンベアの横断正面図
【図１５】第２実施の形態における基板搬送コンベアと基板収納容器とを連動連結した状態を示す図
【図１６】第２実施の形態における基板収納容器の正面図
【図１７】第２実施の形態における基板収納容器の側面図
【符号の説明】
【００５１】
１    基板
５１    収納体
５２    基板支持部
５３    支持用回転軸
５４    連動用回転軸
５８    磁気式の連係手段
６５    磁気式の従動回転体
【図１】
2010010291.tif 000003
【図２】
2010010291.tif 000004
【図３】
2010010291.tif 000005
【図４】
2010010291.tif 000006
【図５】
2010010291.tif 000007
【図６】
2010010291.tif 000008
【図７】
2010010291.tif 000009
【図８】
2010010291.tif 000010
【図９】
2010010291.tif 000011
【図１０】
2010010291.tif 000012
【図１１】
2010010291.tif 000013
【図１２】
2010010291.tif 000014
【図１３】
2010010291.tif 000015
【図１４】
2010010291.tif 000016
【図１５】
2010010291.tif 000017
【図１６】
2010010291.tif 000018
【図１７】
2010010291.tif 000019