(57)【要約】【課題】周囲の吐出ノズルの稼働状態が変動することによって吐出ノズルからの吐出量が変動することを抑制する液状体吐出方法及び液状体吐出装置を提供する。【解決手段】液状体吐出方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、被吐出区画を備える基材と、を相対移動させ、複数の吐出ノズルから選択的に吐出された液状体を被吐出区画に配置する液状体吐出方法であって、被吐出区画の形状及び配設位置に応じて液状体の配置パターンを設定する配置設定工程を有し、配置設定工程では、被吐出区画に液状体を配置可能な吐出ノズルのうち、吐出タイミングごとに使用する吐出ノズルの数を所定の数にする液状体吐出方法である。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、被吐出区画を備える基材と、を相対移動させ、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記被吐出区画に配置する液状体吐出方法であって、
前記被吐出区画の形状及び配設位置に応じて前記液状体の配置パターンを設定する配置設定工程を有し、
前記配置設定工程では、前記被吐出区画に前記液状体を配置可能な吐出ノズルのうち、吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数にすることを特徴とする液状体吐出方法。
【請求項２】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画において、前記吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数にすることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出方法。
【請求項３】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画において、前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出する回数を同一の回数にすることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出方法。
【請求項４】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画において前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出間隔は、前記吐出タイミングの間隔の最小値とすることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項５】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最大になるよう設定することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項６】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最小になるよう設定することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項７】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最多となるように設定することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項８】
前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最少となるように設定することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項９】
前記配置設定工程では、互いに隣り合って配列された前記吐出ノズルを選択し、吐出に使用することを特徴とする、請求項７又は８に記載の液状体吐出方法。
【請求項１０】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、被吐出区画を備える基材とを相対移動させる移動手段と、を備え、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記被吐出区画に配置する液状体吐出装置であって、
前記被吐出区画の形状及び配設位置に応じて前記液状体の配置パターンを設定する配置設定手段を備え、
前記配置設定手段は、前記被吐出区画に前記液状体を配置可能な吐出ノズルのうち、吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数に設定することを特徴とする液状体吐出装置。
【請求項１１】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画において、前記吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数に設定することを特徴とする、請求項１０に記載の液状体吐出装置。
【請求項１２】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画において、前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出する回数を同一の回数に設定することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液状体吐出装置。
【請求項１３】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画において前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出間隔は、前記吐出タイミングの間隔の最小値に設定することを特徴とする、請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１４】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最大になるよう設定することを特徴とする、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１５】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最小になるよう設定することを特徴とする、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１６】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最多となるように設定することを特徴とする、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１７】
前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最少となるように設定することを特徴とする、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１８】
前記配置設定手段は、互いに隣り合って配列された前記吐出ノズルを選択し、吐出に使用することを特徴とする、請求項１６又は１７に記載の液状体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを用いて液状体を吐出する液状体吐出方法、及び液状体を吐出する吐出ノズルを有する液状体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する描画装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置（描画）し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる描画装置は、液滴吐出ヘッドを基板に対して相対移動させながら、液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して、基板上に位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
【０００３】
より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現することが必要になっている。より精密な膜厚を実現するためには、機能膜を形成する区画のそれぞれに、正確な量の液状体を配置することが必要である。正確な量の液状体を配置するためには、それぞれの吐出ノズルから吐出される液状体の吐出量が、設定された吐出量を正確に実現するものであることが必要である。
しかし、多数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドにおいては、近接して形成された吐出ノズルが互いに影響を及ぼしあうことは避け難く、周囲の吐出ノズルが休止しているか、吐出動作を実施しているかによって、吐出量が変動する可能性がある。特許文献１には、印字ヘッド（液滴吐出ヘッド）のノズルの吐出個数に変化がある場合に起る印字品質の悪化を改善するために、印字ヘッドのノズルアレイのインク吐出率に応じて印字ヘッドの各ノズルの駆動素子に供給する駆動パルスを補正するインクジェットプリンタが開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８９７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された装置においては、ノズルアレイインク吐出率を判断し、対応する補正データを取得し、各吐出ノズルごとに印字ヘッドへの駆動信号を補正し、駆動パルスの補正を実施することが必要である。駆動パルスを補正するためには、液状体吐出装置の制御装置が駆動パルスを補正する作業を実施する必要があり、補正作業のための時間を必要とすると共に、補正作業を実施する制御装置の負荷が増大する。描画吐出を効率的に実施するためには、多数の吐出ノズルを備えることが有効であるが、多数の吐出ノズルのそれぞれについて駆動パルスを補正するために、多数の駆動パルスを補正する作業を実施する必要があり、液状体を配置する工程の工程時間が増大する可能性があるという課題があった。同時に、液状体吐出装置の制御装置の負荷も増大するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、被吐出区画を備える基材と、を相対移動させ、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記被吐出区画に配置する液状体吐出方法であって、前記被吐出区画の形状及び配設位置に応じて前記液状体の配置パターンを設定する配置設定工程を有し、前記配置設定工程では、前記被吐出区画に前記液状体を配置可能な吐出ノズルのうち、吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数にすることを特徴とする。
【０００８】
この液状体吐出方法によれば、吐出タイミングにおいて吐出を実施する吐出ノズルの数が所定の数に設定される。このため、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が、所定の数に定まって、一定になる。これにより、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が異なることに起因する吐出量の変動を排除することが可能となり、吐出量が変動することを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画において、前記吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数にすることが好ましい。
【００１０】
この液状体吐出方法によれば、単一の被吐出区画において、吐出タイミングにおいて吐出を実施する吐出ノズルの数が所定の数に設定される。このため、単一の被吐出区画に対して略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が、所定の数に定まって、一定になる。これにより、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が異なることに起因する吐出量の変動を排除することが可能となり、吐出量が変動することを抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画において、前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出する回数を同一の回数にすることが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出方法によれば、単一の被吐出区画に対して各吐出ノズルが液状体を配置するための吐出の回数が一定になる。被吐出区画の間の部分で吐出を実施しない状態と被吐出区画に向けての一定回数の吐出とを繰り返す規則的な稼働状態となる。これにより、吐出回数が各吐出ノズルごとに異なる場合にくらべて、吐出ノズルの稼働状態を略一定の状態に保つことができる。吐出ノズルは、自身の稼働状態が吐出量に影響を与えるため、稼働状態を略同じ状態に保つことで、稼働状態が異なることに起因する吐出量の変動を抑制することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画において前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出間隔は、前記吐出タイミングの間隔の最小値とすることが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出方法によれば、単一の被吐出区画に対して液状体を吐出する間隔が、吐出タイミングの間隔の最小値となる。すなわち、吐出ノズルは、吐出を実施可能な機会ごとに吐出を実施する連続吐出を実施する。連続吐出を実施する間は、間隔を空けて吐出を実施する場合にくらべて、吐出ノズルの稼働状態を同じ状態に保つことができる。吐出ノズルは、自身の稼働状態が吐出量に影響を与えるため、稼働状態を略同じ状態に保つことで、稼働状態が異なることによる吐出量の変動を抑制することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最大になるよう設定することが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出方法によれば、着弾位置として、所定数の着弾位置における最外周の着弾位置を結んだ多角形の面積が最大になる位置が設定される。これにより、液状体が配置される領域が最大となり、被吐出区画に対する液状体が配置される領域の大きさが最大となるため、配置された液状体が被吐出区画の全面に濡れ広がり易くすることができる。また、被吐出区画に液状体を配置して、当該液状体を濡れ広がらせる対象の領域が被吐出区画より広い場合であっても、当該領域の全面に濡れ広がり易くすることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最小になるよう設定することが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出方法によれば、着弾位置として、所定数の着弾位置における最外周の着弾位置を結んだ多角形の面積が最小になる位置が設定される。これにより、液状体が配置される領域が最小となり、被吐出区画に対する液状体が配置される領域の大きさが最小となるため、被吐出区画の外形の区画位置と着弾位置との距離を平均的に最も大きくすることができる。これによって、液状体を配置する際に、液状体が被吐出区画から外れた位置に着弾する可能性を小さくすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最多となるように設定することが好ましい。
【００２０】
この液状体吐出方法によれば、所定数の着弾位置に着弾させるために使用する吐出ノズルの数が最多となる。吐出ノズルの吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズルごとに異なっている。多くの吐出ノズルを使用することで、それぞれの被吐出区画に配置される液状体の量に及ぼすそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつき量の影響を緩和することができる。これにより、それぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつきに起因する被吐出区画に配置される液状体の量のばらつきを抑制することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最少となるように設定することが好ましい。
【００２２】
この液状体吐出方法によれば、所定数の着弾位置に着弾させるために使用する吐出ノズルの数が最少となる。吐出ノズルの吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズルごとに異なっている。吐出ノズルの吐出量を調整する際は、一定の数の吐出ノズルの組を対象として調整するため、同一組において調整された吐出ノズル間の吐出量はばらつきが小さい可能性が高い。また、近接して形成された吐出ノズル間では、周辺の条件が略同じになる可能性が高いため吐出量の差が小さくなる可能性が高い。使用する吐出ノズルの数が少なくなることで、同一組において調整された吐出ノズルや近接して形成された吐出ノズルを使用する可能性が高くなる。これにより、使用されるそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつきが小さくなる可能性が高いため、それぞれの被吐出区画に配置される液状体の量のばらつきを抑制することができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置設定工程では、互いに隣り合って配列された前記吐出ノズルを選択し、吐出に使用することが好ましい。
【００２４】
この液状体吐出方法によれば、所定数の着弾位置に着弾させるために使用する吐出ノズルが、互いに隣り合って配列された吐出ノズルとなる。吐出ノズルの吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズルごとに異なっている。吐出ノズルの吐出量を調整する際は、一定の数の吐出ノズルの組を対象として調整するため、同一組において調整された吐出ノズル間の吐出量はばらつきが小さい可能性が高い。また、近接して形成された吐出ノズル間では、周辺の条件が略同じになる可能性が高いため吐出量の差が小さくなる可能性が高い。使用する吐出ノズルを互いに隣り合って配列された吐出ノズルとすることで、最も近接して形成された吐出ノズルを使用することになる。また、同一組において調整される可能性も高くなる。これにより、使用されるそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつきが小さくなる可能性が高いため、それぞれの被吐出区画に配置される液状体の量のばらつきを抑制することができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、被吐出区画を備える基材とを相対移動させる移動手段と、を備え、前記複数の吐出ノズルから選択的に吐出された前記液状体を前記被吐出区画に配置する液状体吐出装置であって、前記被吐出区画の形状及び配設位置に応じて前記液状体の配置パターンを設定する配置設定手段を備え、前記配置設定手段は、前記被吐出区画に前記液状体を配置可能な吐出ノズルのうち、吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数に設定することを特徴とする。
【００２６】
この液状体吐出装置によれば、吐出タイミングごとに使用する吐出ノズルの数が所定の数に設定される。このため、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が、所定の数に定まって、一定になる。これにより、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が異なることに起因する吐出量の変動を排除することが可能となり、吐出量が変動することを抑制することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画において、前記吐出タイミングごとに使用する前記吐出ノズルの数を所定の数に設定することが好ましい。
【００２８】
この液状体吐出装置によれば、単一の被吐出区画において、吐出タイミングにおいて吐出を実施する吐出ノズルの数が所定の数に設定される。このため、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が、所定の数に定まって、一定になる。これにより、略同時に吐出を実施する吐出ノズルの数が異なることに起因する吐出量の変動を排除することが可能となり、吐出量が変動することを抑制することができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画において、前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出する回数を同一の回数に設定することが好ましい。
【００３０】
この液状体吐出装置によれば、単一の被吐出区画に対して各吐出ノズルが液状体を配置するための吐出の回数が一定になる。被吐出区画の間の部分で吐出を実施しない状態と被吐出区画に向けての一定回数の吐出とを繰り返す規則的な稼働状態となる。これにより、吐出回数が各吐出ノズルごとに異なる場合にくらべて、吐出ノズルの稼働状態を略一定の状態に保つことができる。吐出ノズルは、自身の稼働状態が吐出量に影響を与えるため、稼働状態を略同じ状態に保つことで、稼働状態が異なることに起因する吐出量の変動を抑制することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画において前記液状体を配置する各吐出ノズルごとの吐出間隔は、前記吐出タイミングの間隔の最小値に設定することが好ましい。
【００３２】
この液状体吐出装置によれば、単一の被吐出区画に対して液状体を吐出する間隔が、吐出タイミングの間隔の最小値となる。すなわち、吐出ノズルは、吐出を実施可能な機会ごとに吐出を実施する連続吐出を実施する。連続吐出を実施する間は、間隔を空けて吐出を実施する場合にくらべて、吐出ノズルの稼働状態を同じ状態に保つことができる。吐出ノズルは、自身の稼働状態が吐出量に影響を与えるため、稼働状態を略同じ状態に保つことで、稼働状態が異なることによる吐出量の変動を抑制することができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最大になるよう設定することが好ましい。
【００３４】
この液状体吐出装置によれば、着弾位置として、所定数の着弾位置における最外周の着弾位置を結んだ多角形の面積が最大になる位置が設定される。これにより、液状体が配置される領域が最大となり、被吐出区画に対する液状体が配置される領域の大きさが最大となるため、配置された液状体が被吐出区画の全面に濡れ広がり易くすることができる。また、被吐出区画に液状体を配置して、当該液状体を濡れ広がらせる対象の領域が被吐出区画より広い場合であっても、当該領域の全面に濡れ広がり易くすることができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、前記液状体を着弾させる着弾位置の最外周を結んだ形状の面積が最小になるよう設定することが好ましい。
【００３６】
この液状体吐出装置によれば、着弾位置として、所定数の着弾位置における最外周の着弾位置を結んだ多角形の面積が最小になる位置が設定される。これにより、液状体が配置される領域が最小となり、被吐出区画に対する液状体が配置される領域の大きさが最小となるため、被吐出区画の外形の区画位置と着弾位置との距離を平均的に最も大きくすることができる。これによって、液状体を配置する際に、液状体が被吐出区画から外れた位置に着弾する可能性を小さくすることができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最多となるように設定することが好ましい。
【００３８】
この液状体吐出装置によれば、所定数の着弾位置に着弾させるために使用する吐出ノズルの数が最多となる。吐出ノズルの吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズルごとに異なっている。多くの吐出ノズルを使用することで、それぞれの被吐出区画に配置される液状体の量に及ぼすそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつき量の影響を緩和することができる。これにより、それぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつきに起因する被吐出区画に配置される液状体の量のばらつきを抑制することができる。
【００３９】
［適用例１７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、単一の前記被吐出区画の前記配置パターンは、吐出に使用する前記吐出ノズルの数が最少となるように設定することが好ましい。
【００４０】
この液状体吐出装置によれば、所定数の着弾位置に着弾させるために使用する吐出ノズルの数が最少となる。吐出ノズルの吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズルごとに異なっている。吐出ノズルの吐出量を調整する際は、一定の数の吐出ノズルの組を対象として調整するため、同一組において調整された吐出ノズル間の吐出量はばらつきが小さい可能性が高い。また、近接して形成された吐出ノズル間では、周辺の条件が略同じになる可能性が高いため吐出量の差が小さくなる可能性が高い。使用する吐出ノズルの数が少なくなることで、同一組において調整された吐出ノズルや近接して形成された吐出ノズルを使用する可能性が高くなる。これにより、使用されるそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつきが小さくなる可能性が高いため、それぞれの被吐出区画に配置される液状体の量のばらつきを抑制することができる。
【００４１】
［適用例１８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置設定手段は、互いに隣り合って配列された前記吐出ノズルを選択し、吐出に使用することが好ましい。
【００４２】
この液状体吐出装置によれば、所定数の着弾位置に着弾させるために使用する吐出ノズルが、互いに隣り合って配列された吐出ノズルとなる。吐出ノズルの吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズルごとに異なっている。吐出ノズルの吐出量を調整する際は、一定の数の吐出ノズルの組を対象として調整するため、同一組において調整された吐出ノズル間の吐出量はばらつきが小さい可能性が高い。また、近接して形成された吐出ノズル間では、周辺の条件が略同じになる可能性が高いため吐出量の差が小さくなる可能性が高い。使用する吐出ノズルを互いに隣り合って配列された吐出ノズルとすることで、最も近接して形成された吐出ノズルを使用することになる。また、同一組において調整される可能性も高くなる。これにより、使用されるそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつきが小さくなる可能性が高いため、それぞれの被吐出区画に配置される液状体の量のばらつきを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、液状体吐出方法、及び液状体吐出装置の好適な実施の形態について、吐出ヘッドの一実施形態としてのインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を例に、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００４４】
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状の材料を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料を加熱することがないため、材料の組成などへの影響が少なく、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。
【００４５】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４６】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有している。機能液供給部４は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド１７の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００４７】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１７に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００４８】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸テーブル１２（図４参照）によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３を、Ｘ軸テーブル１１（図４参照）によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４９】
このように、液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００５０】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。
【００５１】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給部４から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７４が構成されている。
【００５２】
ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。
【００５３】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。
【００５４】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００５５】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００５６】
圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００５７】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板５４（図６（ｂ）参照）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。
【００５８】
吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００５９】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００６０】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート６１と、キャリッジプレート６１に搭載された６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図３は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００６１】
一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置する位置に、位置決めされている。仮に、ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２を構成している。
【００６２】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【００６３】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ４ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ７ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００６４】
入出力インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。
【００６５】
ヘッドドライバ１７ｄには、ヘッド機構部２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータと、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、アライメントカメラを移動するためのカメラ移動モータや、ワーク載置台２３のθ駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワーク２０とを相対移動させてワーク２０の任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワーク２０上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００６６】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンス装置部５を構成する保守ユニット５Ａの吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。
【００６７】
検査ドライバ７ｄには、検査ユニット７が有する吐出検査ユニット１８や、重量測定ユニット１９などが接続されている。検査ドライバ７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８を駆動して、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。また、重量測定ユニット１９を駆動して、液滴吐出ヘッド１７から吐出される液状体の液滴の重量である吐出重量の測定を実施させる。なお、本実施形態における吐出重量は、液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の重量である。液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の大きさ（体積）は、吐出量と表記する。吐出重量と吐出量とは、同じ量を重量又は体積で表す場合のそれぞれの呼称である。
【００６８】
給液ドライバ４ｄには、機能液供給部４が接続されている。給液ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って機能液供給部４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを有する検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【００６９】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００７０】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図５に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００７１】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワーク２０などの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。
【００７２】
シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワーク２０などの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングは、例えば液滴吐出ヘッド１７におけるノズル列７８Ａごとに共通であり、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、略同時に機能液の液滴が吐出される。
【００７３】
＜駆動波形＞
次に、圧電素子５９に印加する駆動信号（ＣＯＭ）の駆動波形、及び当該駆動波形の駆動信号を印加された圧電素子５９の動作による吐出動作について、図６を参照して説明する。図６は、駆動波形の基本波形及び駆動波形に対応した圧電素子の動作を示す図である。図６（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図であり、図６（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図である。
【００７４】
図６（ａ）に示すように、駆動信号を印加する前の待機状態では、圧電素子５９には一定の電圧が印加されている（図６（ａ）のＡ）。この電圧を中間電位と表記する。描画を実施する際は、描画開始前に、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げ、描画終了後に、グランドレベルに戻す。
図６（ｂ）に示すように、圧電素子５９を中間電位に維持した待機状態では、圧電素子５９がわずかに縮んで振動板５２が圧電素子５９の側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓んでいる（図６（ｂ）のＡ）。
【００７５】
駆動周期の最初の工程は、圧電素子５９に印加する電圧を、中間電位から始まって、高電位に引き上げる（昇圧、図６（ａ）のＢ）。圧電素子５９に印加される電圧が高くなることで、圧電素子５９がさらに縮んで、振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、可撓性を有する材料で形成された振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される（給液、図６（ｂ）のＢ）。この工程を、昇圧給液工程と表記する。昇圧給液工程では、吐出ノズル７８から空気が圧力室に入り込まないように、圧電素子５９をゆっくり変位させる。圧電素子５９に印加される高電位の電圧が、液滴吐出ヘッド１７を駆動するために印加される駆動電圧に相当する。
【００７６】
上述したように、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、略同時に機能液の液滴が吐出される。したがって、振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られるタイミングも、ノズル列７８Ａを構成する全ての吐出ノズル７８において略同一のタイミングである。また、圧力室５８を形成する振動板５２は、ノズル列７８Ａを構成する全ての吐出ノズル７８において共通である。このため、隣のノズル列７８Ａや近接する位置のノズル列７８Ａが吐出を実施するか否かによって、振動板５２のそれぞれの圧力室５８を形成する部分が圧力室５８の反対側に撓む形状や撓み量が微妙に変動する可能性がある。すなわち吐出ノズル７８からの吐出量が微妙に変動する可能性がある。
【００７７】
昇圧給液工程後、圧電素子５９に印加する電圧を高電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出前待機状態と表記する（図６（ａ）のＣ）。圧電素子５９を構成する圧電材料は、電圧変化が終了した後でも機械的な振動が残留しているため、その機械振動が収まるまで待機する工程が、吐出前待機状態である。
【００７８】
機械振動が収まる時間だけ吐出前待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させる（図６（ａ）のＤ）。圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させることによって、圧電素子５９の変位が一気に零になり、圧力室５８は急激に狭くなり、圧力室５８の内部に充填されていた機能液が、吐出ノズル７８から吐出される（図６（ｂ）のＤ）。この工程を、降圧吐出工程と表記する。
高電位の電圧値によって、圧電素子５９が縮む量が異なるため、圧力室５８の容積が増加する量も異なる。このため、当該高電位の電圧値を変えることによって、圧力室５８に充填されて吐出される機能液の量、すなわち液滴吐出ヘッド１７からの吐出量を調整することができる。
【００７９】
上述したように、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８からは、設計上は、同時に機能液の液滴が吐出される。したがって、圧電素子５９に印加する電圧を高電位に引き上げるタイミングも、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８において略同一のタイミングである。このため、ノズル列７８Ａ吐出を実施する吐出ノズル７８の数によって、それぞれの圧電素子５９に印加される高電位の電圧値が、僅かではあるが変動する可能性がある。すなわち、吐出ノズル７８からの吐出量が、僅かではあるが変動する可能性がある。
【００８０】
降圧吐出工程の次に、圧電素子５９に印加する電圧を低電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出後待機状態と表記する（図６（ａ）のＥ）。圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ低電位状態を維持する工程が、吐出後待機状態である。
圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ吐出後待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げて（図６（ａ）のＦ）、再び待機状態（中間電位）にする。
【００８１】
＜着弾位置＞
次に、吐出ノズル７８と、それぞれの吐出ノズル７８から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について説明する。図７は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図７（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図７（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図７（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図７に示した矢印ａの方向に、ワーク２０に対して吐出ノズル７８を相対移動させながら、任意の位置において液状体の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００８２】
図７（ａ）に示すように、ノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
図７（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点８１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円８１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列７８Ａの全部の吐出ノズル７８から、図７（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。
図７（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル７８から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円８１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点８１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度（移動距離／移動時間）と、吐出ノズル７８の最小吐出間隔（時間）との積である。
吐出ノズル７８の最小吐出間隔は、上述したラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力される間隔である。
図７（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円８１Ａが連なる直線がＸ軸方向に並列した着弾面が形成される。図７（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点８１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
図７（ｄ）に示したそれぞれの着弾点８１の位置について、液滴を配置するか否かを定めることによって、機能液を配置する位置を規定する配置表が形成される。当該配置表を配置マップと表記する。
【００８３】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図８参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図８を参照して説明する。図８は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図８に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００８４】
図８に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参照）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。
【００８５】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００８６】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００８７】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００８８】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００８９】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【００９０】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９１】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図９を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図９（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図９（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。
【００９２】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図９（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【００９３】
図９（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。
【００９４】
＜カラーフィルタ膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）などの配列について、図１０を参照して説明する。図１０は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
【００９５】
図１０に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。
【００９６】
３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。
【００９７】
ストライプ配列は、図１０（ａ）又は図１０（ｄ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、又は青色フィルタ膜４０５Ｂになる配列である。赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂは、フィルタ層４０８におけるフィルタ膜４０５である。赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂは、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂにおいて、ＴＦＴ素子２１５などが形成されている部分を覆う遮光部４０４Ａが形成されたことによって一部が欠けた形状のフィルタ膜である。赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂは、隔壁４０４及び遮光部４０４Ａによって区画されてドット・マトリクス状に並んだフィルタ膜領域４０６（図１５参照）を色材で埋めることによって形成される。
【００９８】
モザイク配列は、図１０（ｂ）又は図１０（ｅ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５又はフィルタ膜４１５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５又はフィルタ膜４１５が３色となる配列である。赤色フィルタ膜４１５Ｒ、緑色フィルタ膜４１５Ｇ、及び青色フィルタ膜４１５Ｂは、フィルタ層４１８におけるフィルタ膜４１５であって、略方形状の４角が面取りされた８角形の平面形状のフィルタ膜である。赤色フィルタ膜４１５Ｒ、緑色フィルタ膜４１５Ｇ、及び青色フィルタ膜４１５Ｂは、隔壁４１４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだフィルタ膜領域をそれぞれの色材で埋めることによって形成される。
【００９９】
デルタ配列は、図１０（ｃ）又は図１０（ｆ）に示したように、フィルタ膜２０５又はフィルタ膜４２５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５又はフィルタ膜４２５が異なる色となる配色である。赤色フィルタ膜４２５Ｒ、緑色フィルタ膜４２５Ｇ、及び青色フィルタ膜４２５Ｂは、フィルタ層４２８におけるフィルタ膜４２５であって、略６角形の平面形状のフィルタ膜である。赤色フィルタ膜４２５Ｒ、緑色フィルタ膜４２５Ｇ、及び青色フィルタ膜４２５Ｂは、隔壁４２４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだフィルタ膜領域をそれぞれの色材で埋めることによって形成される。
【０１００】
図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、又は（ｆ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５、フィルタ膜４０５、フィルタ膜４１５、及びフィルタ膜４２５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。同様に、赤色フィルタ膜４０５Ｒ、緑色フィルタ膜４０５Ｇ、及び青色フィルタ膜４０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜４０５の組で、絵素フィルタ４５４を形成している。また、赤色フィルタ膜４１５Ｒ、緑色フィルタ膜４１５Ｇ、及び青色フィルタ膜４１５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜４１５の組で、絵素フィルタ４６４を形成しており、赤色フィルタ膜４２５Ｒ、緑色フィルタ膜４２５Ｇ、及び青色フィルタ膜４２５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜４２５の組で、絵素フィルタ４７４を形成している。
絵素フィルタ２５４などの一つの絵素フィルタにおける、赤色フィルタ膜（赤色フィルタ膜２０５Ｒ）、緑色フィルタ膜（緑色フィルタ膜２０５Ｇ）、及び青色フィルタ膜（青色フィルタ膜２０５Ｂ）のいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させること、及び通過させる光の光量を調整することにより、フルカラー表示を行う。
【０１０１】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【０１０２】
図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。
【０１０３】
次に、図１１のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液をそれぞれ充填して、当該機能液を乾燥させることによって形成する。
【０１０４】
より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
【０１０５】
同様にして、図１２（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１２（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
【０１０６】
次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【０１０７】
次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
【０１０８】
図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１０９】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１１０】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１１１】
次に、図１１のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１１２】
＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、フィルタ膜領域２２５などの、マザー対向基板におけるＣＦ層のフィルタ膜に機能液を配置するための工程について、図１４、及び図１５を参照して説明する。図１４は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。図１５は、フィルタ膜領域と吐出ノズルと着弾可能位置と配置マップとの関係を示す説明図である。図１５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１１３】
図１４のステップＳ２１では、機能液を配置して描画する画像の描画画像情報を取得する。例えば、マザー対向基板における、上述したフィルタ膜４０５を形成する領域であるフィルタ膜領域４０６の形状及び配置位置を取得する。図１５（ａ）は、フィルタ膜領域と吐出ノズルとの対応を示す説明図である。
図１５（ａ）に示した着弾点領域４０６ａは、フィルタ膜領域４０６に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。一般的に、機械は、完全に同一の動作を繰り返すことは不可能であり、一定の範囲のばらつきの中でのみ、同一の動作を繰り返すことができる。液滴吐出装置１が正常に機能していても完全になくすることはできない着弾位置のばらつき（以降、当該ばらつきの範囲を、「固有着弾位置精度」と表記する。）、及び機能液の液滴の大きさを考慮して、着弾点領域４０６ａは、フィルタ膜領域４０６より小さく設定されている。着弾点領域４０６ａは、着弾点８１の位置を当該着弾点領域４０６ａ内に設定すれば、実際の着弾点８１の位置が固有着弾位置精度の範囲でずれても、フィルタ膜領域４０６から液滴が外れない領域である。着弾点領域４０６ａが、被吐出区画に相当する。
【０１１４】
図１５に示した網目は、網目のＸ軸方向が最小着弾距離ｄであり、網目のＹ軸方向がノズルピッチＰの１／２であり、それぞれの網目にそれぞれ１個の着弾点８１が対応する。＃６５から＃７８は、吐出ノズル７８にそれぞれ付けられた番号を示している。なお、上述したように、液滴吐出ヘッド１７は２列のノズル列７８Ａを備えており、奇数番号の吐出ノズル７８と偶数番号の吐出ノズル７８とはそれぞれ異なるノズル列７８Ａを構成している。したがって、Ｘ軸方向における同じ位置に着弾させる場合、奇数番号の吐出ノズル７８と偶数番号の吐出ノズル７８とでは、吐出時点が必ず異なっているが、以下の説明においては、それぞれのノズル列７８Ａごとに説明して説明が煩雑になることを抑制するために、吐出ノズル７８は１列に配列しているものとして説明する。
【０１１５】
図１５（ｂ）は、着弾点領域に対応する着弾可能点を示す説明図である。図１５（ｂ）に示した着弾可能点８２は、液滴吐出装置１を用いて着弾点領域４０６ａに機能液の液滴を着弾させる際に、着弾点８１として設定することが可能な位置を示している。＃６６から＃７７で示した吐出ノズル７８のそれぞれと、Ｙ軸方向において同じ位置にあり、Ｘ軸方向に配列している着弾可能点８２が、当該吐出ノズル７８から吐出した液滴を配置することが可能な位置を示している。Ｘ軸方向において同じ位置にあり、Ｙ軸方向に配列している着弾可能点８２には、それぞれの吐出ノズル７８から同じ時点で液滴を吐出することによって着弾させることができる。
図１５（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１を用いて、液滴吐出ヘッド１７のフィルタ膜領域４０６に対する一回の相対移動の間に、着弾点領域４０６ａに機能液を配置可能な着弾可能点８２は、４５個所である。Ｙ軸方向に並ぶ着弾可能点８２は、同一の吐出タイミングで複数の吐出ノズル７８から吐出した液滴を配置することが可能な位置を示している。フィルタ膜領域が方形状ではない場合には、図１５（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に並ぶ着弾可能点８２の数が各吐出タイミングごとに変動する。方形状以外の形状とは、Ｙ軸方向の幅が変動する形状を指しており、台形や菱形、４つ以外の角を有する形状、円形や楕円形あるいは一部だけに円弧を含む形状、などを挙げることができる。
【０１１６】
次に、図１４のステップＳ２２では、描画画像情報に基づいて配置マップを生成する。図１５（ｃ）は、フィルタ膜領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１５（ｃ）に示した配置点８１ａが、図１５（ｂ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１５（ｃ）に示した配置点８１ａに機能液を着弾させる配置マップは、＃６６から＃７４の吐出ノズル７８のそれぞれが、４回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域４０６に機能液を配置する構成となっている。
【０１１７】
図１５（ｃ）に白丸で示した否配置点８３ａが、図１５（ｂ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択されなかった位置を示している。＃７５，＃７６，＃７７の吐出ノズル７８は、着弾点領域４０６ａに機能液の液滴を着弾させることが可能であるが、着弾点領域４０６ａにおける図１５（ｃ）に示した配置点８１ａに向けて吐出させる配置マップは、＃７５，＃７６，＃７７の吐出ノズル７８には吐出させない構成となっている。
＃７５，＃７６，＃７７の吐出ノズル７８は、液滴吐出ヘッド１７のフィルタ膜領域４０６に対する一回の相対移動の間に一個所の着弾点領域４０６ａに着弾させられるのは３回のみである。このため、＃７５，＃７６，＃７７の吐出ノズル７８から着弾点領域４０６ａに吐出させると、＃６６から＃７４の９個の吐出ノズル７８が略同時に吐出する場合と、＃６６から＃７７の１２個の吐出ノズル７８が略同時に吐出する場合が混在する。
一回の相対移動の間に一個所の着弾点領域４０６ａに着弾させられる回数が４回である＃６６から＃７４の吐出ノズル７８を用いて、各吐出ノズル７８が４回吐出して着弾点領域４０６ａに機能液の液滴を着弾させる構成とすることで、着弾点領域４０６ａに向けて吐出する際の、略同時に吐出を実施する吐出ノズル７８の数を一定にしている。
【０１１８】
図１５（ｄ）は、フィルタ膜領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１５（ｄ）は、図１５（ｃ）に示した配置マップの例とは異なる配置マップの例を示している。図１５（ｄ）に示した配置点８１ａに機能液を着弾させる配置マップは、＃６６から＃７７の吐出ノズル７８のそれぞれが、３回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域４０６に機能液を配置する構成となっている。
＃６６から＃７４の吐出ノズル７８は、一回の相対移動の間に着弾点領域４０６ａに着弾させられる回数が４回であるが、図１５（ｄ）に示した否配置点８３ａに着弾させる吐出は実施させないことで、一個所の着弾点領域４０６ａに向けて３回の吐出を実施させる構成となっている。＃７５，＃７６，＃７７の吐出ノズル７８が、着弾点領域４０６ａに機能液の液滴を着弾させることが可能である３回の吐出時点に合わせて、＃６６から＃７４の吐出ノズル７８にも３回の吐出を実施させることによって、着弾点領域４０６ａに向けて吐出する際の吐出を実施する吐出ノズル７８の数を一定の１２個にしている。
【０１１９】
＃６６から＃７４の吐出ノズル７８を用いて、各吐出ノズル７８が一個所の着弾点領域４０６ａに対して４回の吐出を実施する（機能液の液滴を着弾させる）場合と、＃６６から＃７７の吐出ノズル７８を用いて、各吐出ノズル７８が一個所の着弾点領域４０６ａに対して３回の吐出を実施する場合とのいずれも、着弾点領域４０６ａに向けて吐出する際の、略同時に吐出を実施する吐出ノズル７８の数が一定である。このため、略同時に吐出を実施する吐出ノズル７８の数が異なることによって吐出量が変動することを抑制することができる。
【０１２０】
吐出を実施する吐出ノズル７８が一回の相対移動の間に一個所の着弾点領域４０６ａに向けて吐出する回数が一定の３回又は４回である。このとき吐出ノズル７８の稼働状態は、隔壁などの部分で吐出を実施しない状態と着弾点領域４０６ａに向けての３回又は４回の吐出とを繰り返す規則的な稼働状態となる。一方、吐出ノズル７８ごとに吐出回数が異なる場合には、各吐出ノズル７８の稼働状態は、着弾点領域４０６ａに対してどの位置に液滴を配置するかによって異なる稼働状態となり、互いに異なり様々な稼働状態の吐出ノズル７８が混在した状態となる。したがって、吐出ノズル７８が一回の相対移動の間に一個所の着弾点領域４０６ａに向けて吐出する回数を一定にすることで、それぞれの吐出ノズル７８の吐出数が異なる場合にくらべて、各吐出ノズル７８の稼働状態が異なることによって吐出量が変動することを抑制することができる。
【０１２１】
＃６６から＃７４の吐出ノズル７８を用いて、各吐出ノズル７８が４回吐出して着弾点領域４０６ａに機能液の液滴を着弾させる場合と、＃６６から＃７７の吐出ノズル７８を用いて、各吐出ノズル７８が３回吐出して着弾点領域４０６ａに機能液の液滴を着弾させる場合とで、着弾点領域４０６ａに着弾する液滴の数は同一である。当該数の液滴を着弾させることで、フィルタ膜領域４０６に必要且つ充分な量の機能液を充填するためには、図６を参照して説明した駆動電圧を調整することによって、一滴あたりの吐出量を適切な量に調整する。
【０１２２】
次に、図１４のステップＳ２３では、ステップＳ２２で生成された配置マップに基づいて、描画吐出を実施する。図１５（ｃ）又は図１５（ｄ）に示した配置マップに基づいて描画吐出を実施すると、着弾点領域４０６ａの範囲に収まる配置点８１ａに固有着弾位置精度の範囲で一致する着弾点８１は、フィルタ膜領域４０６の範囲に収まる。図１５（ｃ）又は図１５（ｄ）に示した配置点８１ａに着弾した機能液の液滴が濡れ広がることによって、フィルタ膜領域４０６の全面に機能液が配置される。当該機能液を乾燥させることによって、図１５（ａ）に示したフィルタ膜領域４０６の全面を埋める膜状のフィルタ膜４０５が形成される。
【０１２３】
ステップＳ２３の次に、ステップＳ２４では、描画吐出を実施する対象として別のマザー対向基板などがあり、描画吐出をさらに継続するか否かを判定する。描画吐出を継続する場合（ステップＳ２４でＹＥＳ）には、ステップＳ２５に進む。
ステップＳ２５では、次に描画吐出を実施する対象の描画画像がステップＳ２１で取得した画像情報の描画画像と同一であるか否かを判定する。
次に描画吐出を実施する描画画像が同一である場合（ステップＳ２５でＹＥＳ）には、ステップＳ２５の次にステップＳ２３に進み、ステップＳ２３及びステップＳ２４を繰り返す。次に描画吐出を実施する描画画像が異なる場合（ステップＳ２５でＮＯ）には、ステップＳ２５の次にステップＳ２１に進み、ステップＳ２１からステップＳ２４を繰り返す。
【０１２４】
描画吐出を継続しない場合（ステップＳ２４でＮＯ）には、ステップＳ２４を終了して、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、マザー対向基板におけるフィルタ膜領域４０６などに機能液を配置する工程を終了する。
【０１２５】
＜フィルタ膜領域に対応する配置マップ例１＞
次に、上述したフィルタ膜領域とは形状が異なるフィルタ膜領域に対応する配置マップの例について、図１６を参照して説明する。図１６は、フィルタ膜領域と吐出ノズルと着弾可能位置と配置マップとの関係を示す説明図である。図１６に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１２６】
図１６（ａ）は、フィルタ膜領域の形状と吐出ノズルとの対応を示す説明図である。図１６（ａ）に示した着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、及び着弾点領域４５９ａは、フィルタ膜領域４５６、フィルタ膜領域４５７、フィルタ膜領域４５８、又はフィルタ膜領域４５９に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、及び着弾点領域４５９ａは、上述した固有着弾位置精度及び機能液の液滴の大きさを考慮して、フィルタ膜領域４５６、フィルタ膜領域４５７、フィルタ膜領域４５８、又はフィルタ膜領域４５９より小さく設定されている。
フィルタ膜領域４５６、フィルタ膜領域４５７、フィルタ膜領域４５８、及びフィルタ膜領域４５９は、それぞれの画素を駆動するための駆動素子などが形成されている部分を覆う遮光部が形成されたことによって一部が欠けた形状のフィルタ膜を形成する領域である。
図１６に示した網目は、網目のＸ軸方向が最小着弾距離ｄであり、網目のＹ軸方向がノズルピッチＰの１／２であり、それぞれの網目にそれぞれ１個の着弾点８１が対応する。＃５０から＃８０は、吐出ノズル７８にそれぞれ付けられた番号を示している。
【０１２７】
図１６（ｂ）は、着弾点領域に対応する着弾可能点を示す説明図である。図１６（ｂ）に示した着弾可能点８２は、液滴吐出装置１を用いて着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、及び着弾点領域４５９ａに機能液の液滴を着弾させる際に、着弾点８１として設定することが可能な位置を示している。＃５０から＃８０で示した吐出ノズル７８のそれぞれと、Ｙ軸方向において同じ位置にあり、Ｘ軸方向に配列している着弾可能点８２が、当該吐出ノズル７８から吐出した液滴を配置することが可能な位置を示している。図１６（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１を用いて、液滴吐出ヘッド１７のフィルタ膜領域４０６に対する一回の相対移動の間に、着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、又は着弾点領域４５９ａに機能液を配置可能な着弾可能点８２は、４４個所である。着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、及び着弾点領域４５９ａが、被吐出区画に相当する。
【０１２８】
図１６（ｃ）は、フィルタ膜領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１６（ｃ）に示した配置点８１ａが、図１６（ｂ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１６（ｃ）に示した配置点８１ａに機能液を着弾させる配置マップは、＃５１から＃５９及び＃７０から＃７８の吐出ノズル７８のそれぞれが、４回吐出を実施して、一個所のフィルタ膜領域４５６、フィルタ膜領域４５７、フィルタ膜領域４５８、又はフィルタ膜領域４５９に機能液を配置する構成となっている。
【０１２９】
図１６（ｃ）に白丸で示した否配置点８３ａが、図１６（ｂ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択されなかった位置を示している。＃６０から＃６３及び＃６６から＃６９の吐出ノズル７８は、着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、又は着弾点領域４５９ａに機能液の液滴を着弾させることが可能である。しかし、図１６（ｃ）に示した、着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、又は着弾点領域４５９ａにおける配置点８１ａに向けて吐出させる配置マップは、＃６０から＃６３及び＃６６から＃６９の吐出ノズル７８には吐出させない構成となっている。
＃６０から＃６３及び＃６６から＃６９の吐出ノズル７８は、液滴吐出ヘッド１７のフィルタ膜領域４５６などに対する一回の相対移動の間に着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、又は着弾点領域４５９ａに着弾させられるのは２回のみである。このため、＃６０から＃６３及び＃６６から＃６９の吐出ノズル７８から着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、又は着弾点領域４５９ａに吐出させると、＃５１から＃５９及び＃７０から＃７８の１８個の吐出ノズル７８が略同時に吐出する場合と、＃５１から＃６３及び＃６６から＃７８の２６個の吐出ノズル７８が略同時に吐出する場合とが混在する。
【０１３０】
図１６（ｃ）に示した配置マップでは、一回の相対移動の間に着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、又は着弾点領域４５９ａに着弾させられる回数が４回である＃５１から＃５９及び＃７０から＃７８の吐出ノズル７８を用いて、各吐出ノズル７８が４回の吐出を実施して着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、及び着弾点領域４５９ａに機能液の液滴を着弾させる構成となっている。これにより、着弾点領域４５６ａ、着弾点領域４５７ａ、着弾点領域４５８ａ、及び着弾点領域４５９ａに向けて吐出する際における、略同時に吐出を実施する吐出ノズル７８の数を一定にしている。
なお、図１０を参照して説明したように、３色カラーフィルタなど多色のカラーフィルタにおいては、同色のフィルタ膜がＸ軸方向及びＹ軸方向の両方向においてで隣り合うことはないが、図１６では、間を省略して、隣り合うフィルタ膜領域に同一の機能液を配置する配置マップを示している。
【０１３１】
＜フィルタ膜領域に対応する配置マップ例２＞
次に、上述したフィルタ膜領域とは形状が異なるフィルタ膜領域における着弾点領域に対応する配置マップの例について、図１７を参照して説明する。図１７は、着弾点領域と着弾可能位置と配置マップとの関係を示す説明図である。図１７に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。したがって、Ｘ軸方向が主走査方向であり、Ｙ軸方向が、吐出ノズル７８の配列方向である。
【０１３２】
図１７（ａ）は、着弾点領域と着弾可能点とを示す説明図である。図１７（ａ）に示した着弾点領域４１６ａは、上述したフィルタ膜４１５を形成するためのフィルタ膜領域４１６に機能液を充填するために、機能液の液滴を着弾させる際の着弾点８１の位置が設定される領域である。
上述したように、Ｙ軸方向において同じ位置にあり、Ｘ軸方向に配列している着弾可能点８２には、同一の吐出ノズル７８から吐出した液滴を配置することが可能である。Ｘ軸方向において同じ位置にあり、Ｙ軸方向に配列している着弾可能点８２には、それぞれの吐出ノズル７８から同じ時点で液滴を吐出することによって着弾させることができる。
着弾点領域４１６ａには、８４個所の着弾可能点８２が存在する。着弾点領域４１６ａが、被吐出区画に相当する。
【０１３３】
図１７（ｂ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｂ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１７（ｂ）に示した配置マップでは、６４個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｂ）に示した配置マップは、着弾点領域４１６ａに向けて、略同時に吐出を実施すると共に、各吐出ノズル７８の吐出回数が同一となる条件の下で、配置点８１ａが最多となる構成である。配置点８１ａを多くすることによって、それぞれの液滴の大きさを調整することでフィルタ膜領域４１６に配置する機能液の量を調整する場合の、配置量の調整可能な範囲を広くすることができる。
【０１３４】
図１７（ｃ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｃ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１７（ｃ）に示した配置マップでは、４８個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｃ）に示した配置マップは、４８個所の着弾可能点８２を配置点８１ａとして選択し、着弾点領域４１６ａに向けて、略同時に吐出を実施すると共に、各吐出ノズル７８の吐出回数が同一となる条件の下で、吐出を実施する吐出ノズル７８が最多となる構成である。
吐出ノズル７８の吐出量は、規格の範囲内でばらついており、各吐出ノズル７８ごとに僅かに異なっている。多くの吐出ノズル７８を使用することで、それぞれのフィルタ膜領域４１６に配置される機能液の量に及ぼすそれぞれの吐出ノズルの吐出量のばらつき量の影響を緩和することができる。
【０１３５】
図１７（ｄ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｄ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１７（ｄ）に示した配置マップでは、図１７（ｃ）に示した配置マップと同様に４８個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｄ）に示した配置マップは、４８個所の着弾可能点８２を配置点８１ａとして選択し、着弾点領域４１６ａに向けて、略同時に吐出を実施すると共に、各吐出ノズル７８が連続して実施する吐出回数が同一となる条件の下で、吐出を実施する吐出ノズル７８が最少となる構成である。
液滴吐出ヘッド１７において吐出ノズル７８の吐出量は、近接して形成された吐出ノズル間では、周辺の条件が略同じになる可能性が高いため、吐出量のばらつきが生じ難い。使用する吐出ノズル７８の数を少なくすることで、近接して形成された吐出ノズル７８を使用する可能性が高くなる。これにより、使用されるそれぞれの吐出ノズル７８の吐出量のばらつきが小さくなる可能性が高いため、それぞれのフィルタ膜領域４１６に配置される機能液の量のばらつきを抑制することができる。
【０１３６】
図１７（ｅ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｅ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１７（ｅ）に示した配置マップでは、図１７（ｃ）又は図１７（ｄ）に示した配置マップと同様に、４８個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｅ）に示した配置マップは、４８個所の着弾可能点８２を配置点８１ａとして選択し、着弾点領域４１６ａに向けて、略同時に吐出を実施すると共に、各吐出ノズル７８の吐出回数が同一となる条件の下で、吐出を実施する吐出ノズル７８が最少となる構成である。さらに、図１７（ｅ）に示した配置マップは、略同時に吐出を実施すると共に、各吐出ノズル７８が連続して実施する吐出回数が同一となる条件の下で、配置点８１ａが位置する領域の最外周に位置する配置点８１ａを結んだ線に囲まれる範囲の面積が最大となる構成である。
したがって、機能液の液滴が配置される領域が最大となり、フィルタ膜領域４１６に対する機能液が配置される領域の大きさが最大となる。このため、配置された機能液がフィルタ膜領域４１６の全面に濡れ広がり易くすることができる。
【０１３７】
図１７（ｆ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｆ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。
図１７（ｆ）に示した配置マップでは、図１７（ｃ）、図１７（ｄ）、又は図１７（ｅ）に示した配置マップと同様に４８個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｆ）に示した配置マップは、４８個所の着弾可能点８２を配置点８１ａとして選択し、略同時に吐出を実施すると共に、各吐出ノズル７８が連続して実施する吐出回数が同一となる条件の下で、配置点８１ａが位置する領域の最外周に位置する配置点８１ａを結んだ線に囲まれる範囲の面積が最小となる構成である。
したがって、機能液が配置される領域が最小となり、フィルタ膜領域４１６に対する機能液が配置される領域の大きさが最小となるため、フィルタ膜領域４１６を形成する隔壁と配置点８１ａとの距離を平均的に最も大きくすることができる。これにより、機能液を配置する際に、機能液が配置点８１ａから外れた位置に着弾する可能性を小さくすることができる。
【０１３８】
図１７（ｇ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｇ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１７（ｇ）に示した配置マップでは、図１７（ｃ）から図１７（ｆ）に示した配置マップと同様に４８個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｇ）に示した配置マップは、４８個所の着弾可能点８２を配置点８１ａとして選択し、略同時に吐出を実施する吐出ノズル７８の数が同一となる条件の下で、配置点８１ａが位置する領域の最外周に位置する配置点８１ａを結んだ線に囲まれる範囲の面積が最大となる構成である。
したがって、機能液の液滴が配置される領域が最大となり、フィルタ膜領域４１６に対する機能液が配置される領域の大きさが最大となる。このため、配置された機能液がフィルタ膜領域４１６の全面に濡れ広がり易くすることができる。図１７（ｅ）に示した配置例に対して、吐出ノズル７８がフィルタ膜領域４１６に向けて実施する吐出回数が同一ではない点で異なり、機能液の液滴が配置される領域がさらに広くなっている。
【０１３９】
図１７（ｈ）は、着弾点領域と配置マップとの対応を示す説明図である。図１７（ｈ）に示した配置点８１ａが、図１７（ａ）に示した着弾可能点８２の中で液滴を配置する位置として選択された位置を示している。図１７（ｈ）に示した配置マップでは、図１７（ｃ）から図１７（ｇ）に示した配置マップと同様に４８個所の配置点８１ａが設定されている。図１７（ｈ）に示した配置マップは、４８個所の着弾可能点８２を配置点８１ａとして選択し、略同時に吐出を実施する吐出ノズル７８の数が同一となると共に、各吐出ノズル７８の吐出回数が同一となる条件の下で、配置点８１ａが位置する領域の最外周に位置する配置点８１ａを結んだ線に囲まれる範囲の面積が最大となる構成である。
したがって、機能液の液滴が配置される領域が最大となり、フィルタ膜領域４１６に対する機能液が配置される領域の大きさが最大となる。このため、配置された機能液がフィルタ膜領域４１６の全面に濡れ広がり易くすることができる。図１７（ｅ）に示した配置例に対して、吐出ノズル７８がフィルタ膜領域４１６に向けて実施する吐出が連続していない点で異なり、機能液の液滴が配置される領域がさらに広くなっている。
【０１４０】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１４１】
（変形例１）前記実施形態においては、フィルタ膜領域４０６などに充分な機能液を配置するための走査の回数は規定していないが、走査回数は一回でも複数回であってもよい。複数回実施する各走査において吐出する液滴の配置マップは、各走査ごとにそれぞれ異ならせてもよい。例えば１回目の走査において、実施形態で説明した図１５（ｃ）に示した配置マップに従って吐出を実施し、２回目の走査において、図１５（ｄ）に示した配置マップに従って吐出を実施とすることで、フィルタ膜領域４５６などの区画内に、より均等に機能液を配置することができる。
【０１４２】
（変形例２）前記実施形態においては、フィルタ膜領域４０６などの膜形成領域ごとに、同時に吐出する吐出ノズル７８の数が一定であった。しかし、全ての膜形成領域において同時に吐出する吐出ノズルの数が均一であることは必須ではない。例えば、主走査方向において膜形成領域ごとに当該一定の数が異なる構成であってもよい。
【０１４３】
（変形例３）前記実施形態においては、フィルタ膜領域４０６などの膜形成領域ごとに、同時に吐出する吐出ノズル７８の数が一定であった。しかし、単独の膜形成領域において同時に吐出する吐出ノズルの数が一定であることは必須ではない。吐出ノズルの配列方向に配列する複数の膜形成領域において、同時に吐出する吐出ノズルの数が一定である構成であってもよい。
【０１４４】
（変形例４）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。
【０１４５】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１を副走査方向に移動させるＹ軸テーブル１２を備えていたが、液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動させることは必須ではない。液滴吐出装置は、被吐出物の全幅に吐出可能な吐出ノズル列を備える構成であってもよい。
【０１４６】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１は６個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、６個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。
【０１４７】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１組のヘッドユニット２１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは１組に限らない。液滴吐出装置は、何組のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【０１４８】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。上述した配置点の配列方法を適用する吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。
【０１４９】
（変形例９）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５などを形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置にも適用できる。有機ＥＬ表示装置を製造する際に上述した液滴吐出装置を用いて形成する機能膜は、有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。
【０１５０】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００について説明した。しかし、描画対象物は電気光学装置に限らない。上述した液状体吐出装置及び液状体吐出方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な加工対象物を加工するための製造装置、及び製造方法として利用できる。例えば、導電性材料からなる配線を有する配線基板を製造するために液状の導電材料を吐出する配線導電膜の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ又は半導体装置の配線導電膜を製造するために液状の導電材料を吐出する半導体ウェハ又は半導体装置の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ又は半導体装置の絶縁層を形成するために液状の絶縁材料を吐出する半導体ウェハ又は半導体装置の加工方法又は加工装置などとして、利用することもできる。
【０１５１】
（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２３を主走査方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット２１を副走査方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、配置ヘッドとしての液滴吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動をマザー基板を移動させることで実施することも、副走査方向の相対移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドとマザー基板との主走査方向の相対移動を、吐出ヘッドを主走査方向に移動させることで実施してもよい。吐出ヘッドとマザー基板との副走査方向の相対移動を、マザー基板を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向及び副走査方向の相対移動を、吐出ヘッド、又はマザー基板のどちらか一方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘッド、又はマザー基板の両方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。
【０１５２】
（変形例１２）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタを用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であったが、駆動素子はＴＦＴ素子に限らない。他の駆動素子、例えば薄膜ダイオード（ＴＦＤ（Thin Film Diode））を備える液晶装置であってもよい。液晶の配向方式は、垂直配向であっても、水平配向であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１５３】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図５】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図６】（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図。（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図。
【図７】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図８】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図９】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図１０】３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。
【図１１】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１２】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１３】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１４】機能液を配置する工程を示すフローチャート。
【図１５】フィルタ膜領域と吐出ノズルと着弾可能位置と配置マップとの関係を示す説明図。
【図１６】フィルタ膜領域と吐出ノズルと着弾可能位置と配置マップとの関係を示す説明図。
【図１７】着弾点領域と着弾可能位置と配置マップとの関係を示す説明図。
【符号の説明】
【０１５４】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、８１…着弾点、８１Ａ…着弾円、８１ａ…配置点、８２…着弾可能点、８３ａ…否配置点、２００…液晶表示パネル、２０４，４０４，４１４，４２４…隔壁、２０５，４０５，４１５，４２５…フィルタ膜、２２５，４０６，４１６，４５６，４５７，４５８，４５９…フィルタ膜領域、４０４Ａ…遮光部、４０６ａ，４１６ａ，４５６ａ，４５７ａ，４５８ａ，４５９ａ…着弾点領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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