(57)【要約】【課題】吐出量のバラツキが少なく安定的に液状材料を微少量吐出する液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出装置１００は、微少量の液滴を吐出する液体吐出装置であって、液状材料３０が入れられたテーパー状の液体保持管１０の内部を移動し、液体保持管１０の尖端に形成された開口１１に対して先端が出入りする押出針１２０を備え、押出針１２０において先端側の側面部分１２２に、千鳥配置で複数の微小凹部１２３（ディンプル形状の凹凸）が形成されている。【選択図】図１
2010000442.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微少量の液滴を吐出する液体吐出装置であって、
液状材料が入れられたテーパー状の液体保持管の内部を移動し、前記液体保持管の尖端に形成された開口に対して先端が出入りする押出針を備え、
前記押出針において前記先端側の側面部分に凹凸が形成されている
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記側面部分に形成された凹凸が、千鳥配置で形成された複数の微小凸部、および千鳥配置で形成された複数の微小凹部のいずれかである
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記側面部分に形成された凹凸が、前記押出針の外周に沿って突起した環状凸部、および前記押出針の外周に沿って窪んだ環状凹部のいずれかである
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記液状材料にフィラーが含まれ、
前記側面部分に形成された凹凸における凹部の深さまたは凸部の高さが、平均フィラー粒子径以上であり、平均フィラー粒子径の２倍以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記液状材料にフィラーが含まれ、
前記側面部分に形成された凹凸における隣接する凹部の間隔または隣接する凸部の間隔が、平均フィラー粒子径以上である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出装置を使用して、被吐出体に微少量の液滴を吐出する吐出工程を含む
ことを特徴とする液体吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状材料を吐出する液体吐出装置に関し、特に、吐出量のバラツキが少なく安定的に液状材料を微少量吐出する液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液状材料を微少量吐出したいというニーズが様々な分野で高まっている。これに対して、微少液滴吐出装置など色々な技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
例えば、小型・軽量化が進む電子機器では、微小な電極が狭小ピッチで形成された半導体と、微細な配線パターンが形成されたプリント配線板とが使用される。さらに、電極の微小化や配線パターンの微細化等の進展が著しい。そして、微少な電極と微細な配線パターンとを接続するときに使用される液状材料を如何に定量で吐出することができるかが、品質確保におけるポイントとなっている。
【０００４】
一般的に、液状材料を吐出する方法としてディスペンス方式が知られている。ディスペンス方式では、シリンジ内に充填された液状材料を吐出する駆動源として空気を利用している。このため、シリンジ内に充填されている材料の体積に吐出量が依存し、吐出によって材料が減少するにつれて、材料減少の変動に水頭差が追従出来ず、定量で吐出することが困難になる。
【０００５】
ここで、水頭差とは、シリンジ内の液量が変化することに起因して発生する吐出量の変化を意味する。シリンジ内の空間容積が大きくなることで、空気を送り込んだ際にタイムラグが発生し、吐出量が変化する。特に、液状材料を微少量吐出する場合においては、吐出量のバラツキが顕著に現れる。
【０００６】
また、例えば、半田粉が含まれる半田接着剤のように、液状材料にフィラーが含まれる場合には、液状材料に含まれるフィラーの分散性が空気圧によって崩れ、吐出した液状材料の一部に含まれるフィラー量が一定しないという問題がある。
【０００７】
＜液体吐出装置＞
ここで、従来の技術における液体吐出装置について説明する。
図６に示すように、液体吐出装置１は、テーパー状の液体保持管１０の尖端に形成された開口１１から液状材料３０を微少量吐出する装置である。液状材料３０が入れられた液体保持管１０の内部を移動し、開口１１に対して先端２１が出入りする棒状の押出針２０を備える。ここでは、開口１１を下側にして液体保持管１０が配置され、開口１１の下方に僅かな間隙を設けて板状の被吐出体４０が配置されている。押出針２０が手動または自動で上下方向に移動することによって、液状材料３０が被吐出体４０に微少量吐出される。
【０００８】
ここで、押出針２０は、側面が滑らかである。また、外径Ｃ３が液体保持管１０の開口１１の内径Ｃ１よりも小さく、液体保持管１０の開口１１に対して出入り自在に液体保持管１０の内部に配置されている。
【０００９】
＜吐出工程＞
次に、液体吐出装置１を使用して、被吐出体４０に微少量の液滴を吐出する吐出工程について説明する。
【００１０】
まず、図７（Ａ）〜図７（Ｂ）に示すように、押出針２０が下降し、液体保持管１０の開口１１を通過して、液体保持管１０の内部から押出針２０の先端２１が出る。さらに、押出針２０の先端２１が被吐出体４０に接触するまで、押出針２０が下降する。このとき、押出針２０の先端２１と側面部分２２とに液状材料３０の一部である液状物３１が付着する。
【００１１】
その後、図７（Ｃ）に示すように、押出針２０の先端２１が被吐出体４０に接触すると、押出針２０の先端２１を介して、先端２１と側面部分２２とに付着した液状物３１の一部が被吐出体４０に流れる。
【００１２】
その後、図７（Ｄ）〜図７（Ｅ）に示すように、押出針２０が上昇し、液体保持管１０の開口１１を通過して、液体保持管１０の内部に押出針２０の先端２１が入る。
そして、吐出位置を変えながら、この一連の工程を繰り返すことによって、図８に示されるように、被吐出体４０に液滴５１，５２，・・・などが吐出される。
【特許文献１】特開２００６−３２０７９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、従来の技術における液体吐出装置１では、液状材料を微少量吐出することができても、吐出量にバラツキが生じるという問題がある。この点については、図８に示されるように、液滴５１の径Ｅ１、液滴５２の径Ｅ２などの大きさにバラツキが生じることからも容易に窺える。これは、図６に示されるように、被吐出体４０に液滴５０が吐出されるときに、液状物３１が被吐出体４０の表面に、だれて拡がるからである。
【００１４】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、吐出量のバラツキが少なく安定的に液状材料を微少量吐出する液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明に係わる塗布装置は、下記に示す特徴を備える。
（ＣＬ１）液体吐出装置は、（ａ）微少量の液滴を吐出する液体吐出装置であって、（ｂ）液状材料が入れられたテーパー状の液体保持管の内部を移動し、前記液体保持管の尖端に形成された開口に対して先端が出入りする押出針を備え、（ｃ）前記押出針において前記先端側の側面部分に凹凸が形成されている。
【００１６】
これによって、押出針の側面部分に付着した液状材料の一部である液状物の付着状態を維持することができ、液状物が下方に流動することを抑制することができる。
これは、側面部分が滑らかな押出針よりも、側面部分に凹凸が形成された押出針の方が、液状材料と接触する面積が大きいので、表面張力及び摩擦抵抗が大きくなり、液状材料が吐出方向に流動し難くなるからである。
【００１７】
結果、従来の液体吐出装置よりも本発明の液体吐出装置を使用した方が、吐出量のバラツキが少なく定量で微小な液滴を吐出することができ、液状材料を微少量吐出するにあたって最適である。
【００１８】
さらに、本発明に係わる塗布装置は、下記に示す特徴を備えるとしてもよい。
（ＣＬ２）上記（ＣＬ１）に記載の液体吐出装置は、前記側面部分に形成された凹凸が、千鳥配置で形成された複数の微小凸部、および千鳥配置で形成された複数の微小凹部のいずれかであるとしてもよい。
【００１９】
（ＣＬ３）上記（ＣＬ１）に記載の液体吐出装置は、前記側面部分に形成された凹凸が、前記押出針の外周に沿って突起した環状凸部、および前記押出針の外周に沿って窪んだ環状凹部のいずれかであるとしてもよい。
【００２０】
（ＣＬ４）上記（ＣＬ１）に記載の液体吐出装置は、（ａ）前記液状材料にフィラーが含まれ、（ｂ）前記側面部分に形成された凹凸における凹部の深さまたは凸部の高さが、平均フィラー粒子径以上であり、平均フィラー粒子径の２倍以下であるとしてもよい。
【００２１】
（ＣＬ５）上記（ＣＬ１）に記載の液体吐出装置は、（ａ）前記液状材料にフィラーが含まれ、（ｂ）前記側面部分に形成された凹凸における隣接する凹部の間隔または隣接する凸部の間隔が、平均フィラー粒子径以上であるとしてもよい。
【００２２】
なお、本発明は、液体吐出装置として実現されるだけではなく、液体吐出装置を使用して微少量の液滴を吐出する液体吐出方法として実現されるとしてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、押出針の側面部分に凹凸が形成されている。これによって、側面部分に付着した液状材料の一部である液状物の付着状態を維持することができ、液状物が下方に流動することを抑制することができる。
【００２４】
これは、側面部分が滑らかな押出針よりも、側面部分に凹凸が形成された押出針の方が、液状材料と接触する面積が大きいので、表面張力及び摩擦抵抗が大きくなり、液状材料が吐出方向に流動し難くなるからである。
【００２５】
結果、従来の液体吐出装置よりも本発明の液体吐出装置を使用した方が、吐出量のバラツキが少なく定量で微小な液滴を吐出することができ、液状材料を微少量吐出するにあたって最適である。例えば、微少な電極と微細な配線パターンとを接続するように、微小液滴と吐出精度とが要求される用途に適し、接続品質の向上に寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（実施の形態）
以下、本発明に係わる実施の形態について説明する。
＜構成＞
まず、本実施の形態における液体吐出装置の構成について説明する。
【００２７】
図１に示すように、液体吐出装置１００は、テーパー状の液体保持管１０の尖端に形成された開口１１から液状材料３０を微少量吐出する装置である。液状材料３０が入れられた液体保持管１０の内部を移動し、開口１１に対して先端１２１が出入りする棒状の押出針１２０を備える。ここでは、開口１１を下側にして液体保持管１０が配置され、開口１１の下方に僅かな間隙を設けて板状の被吐出体４０が配置されている。押出針１２０が手動または自動で上下方向に移動することによって、液状材料３０が被吐出体４０に微少量吐出される。
【００２８】
＜押出針１２０＞
ここで、押出針１２０は、側面部分１２２に、千鳥配置で複数の微小凹部１２３（ディンプル形状の凹凸）が形成されている。微小凹部１２３が、押出針１２０の側面において、内側に向かって窄む楕円穴部分である。また、外径Ｃ２が液体保持管１０の開口１１の内径Ｃ１よりも小さく、液体保持管１０の開口１１に対して出入り自在に液体保持管１０の内部に配置されている。
【００２９】
＜液状材料３０＞
また、液状材料３０としては、エポキシやアクリル樹脂等、樹脂単体で構成されたものから、樹脂に半田粉が含有された半田接着剤のようにフィラーが樹脂に混合されているものまで、幅広く使用可能である。また、銀粒子等の金属フィラーが混合されたものやシリカ等の無機フィラーが混合されたものも使用可能である。なお、粘度１００Ｐａ・ｓ以下のものが好適である。
【００３０】
＜被吐出体４０＞
また、被吐出体４０としては、ガラス板、ガラス繊維入りエポキシ樹脂の板、セラミック板、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やアクリロニトリルブタジエンスチレン（ＡＢＳ）等の高分子樹脂等の板、さまざまなものが使用可能である。また、それらに銅箔、メッキ等で導電性の回路パターンが形成されている回路基板も使用可能である。
【００３１】
＜吐出工程＞
次に、液体吐出装置１００を使用して、被吐出体４０に微少量の液滴を吐出する吐出工程について説明する。
【００３２】
まず、図２（Ａ）〜図２（Ｂ）に示すように、押出針１２０が下降し、液体保持管１０の開口１１を通過して、液体保持管１０の内部から押出針１２０の先端１２１が出る。さらに、押出針１２０の先端１２１が被吐出体４０に接触するまで、押出針１２０が下降する。このとき、押出針１２０の先端１２１と側面部分１２２とに液状材料３０の一部である液状物１３１が付着する。
【００３３】
その後、図２（Ｃ）に示すように、押出針１２０の先端１２１が被吐出体４０に接触すると、押出針１２０の先端１２１を介して、先端１２１と側面部分１２２とに付着した液状物１３１の一部が被吐出体４０に流れる。
【００３４】
その後、図２（Ｄ）〜図２（Ｅ）に示すように、押出針１２０が上昇し、液体保持管１０の開口１１を通過して、液体保持管１０の内部に押出針１２０の先端１２１が入る。
そして、吐出位置を変えながら、この一連の吐出工程を繰り返すことによって、図３に示すように、被吐出体４０に液滴１５１，１５２，・・・などが吐出される。
【００３５】
なお、押出針１２０の先端１２１が被吐出体４０に接触するまで、液状材料３０の一部である液状物１３１が、下方向に垂れることなく、押出針１２０の側面部分１２２に付着している。これは、例えば、図４（Ａ）に示すように、微小凹部１２３ａの形状・寸法・ピッチに応じた表面張力及び摩擦抵抗が押出針１２０の側面部分１２２に発生し、表面張力及び摩擦抵抗によって生じる力Ｆが液状物１３１ａの付着状態を維持する方へと作用するからである。このため、液体吐出装置１００では、液状物１３１が、被吐出体４０の吐出位置に締まり無く垂れ出すことなく安定した量で吐出される。
【００３６】
＜寸法・間隔＞
ここで、微小凹部１２３の寸法と、隣接する微小凹部１２３の間隔とについて説明する。
【００３７】
例えば、液状材料３０にフィラーが含まれる場合には、微小凹部１２３の寸法と、隣接する微小凹部１２３の間隔とが限定される。ここでは、一例として、液状材料３０が半田ペーストであるとする。この場合においては、微小凹部１２３に半田粒子（フィラー粒子）が入り込むために、微小凹部１２３の口径・深さが半田粒子（フィラー粒子径）の大きさ以上である必要がある。このため、微小凹部１２３の口径・深さとして、少なくとも、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）に相当する長さが必要である。
【００３８】
ただし、微小凹部１２３の深さが大きすぎても、側面部分１２２に付着される液状被膜１３１ｂの量が多くなりすぎて、吐出量のバラツキが大きくなるので好ましくない。これは、図４（Ｂ）に示すように、微小凹部１２３ｂの深さが大きくなるにつれて、表面張力及び摩擦抵抗が大きくなり、表面張力及び摩擦抵抗によって生じる力Ｆも大きくなる。大きくなった力Ｆによって、多くの液状物１３１ｂの付着状態が維持されるからである。このため、微小凹部１２３ｂの深さが、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）以上であり、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）の２倍以下であることが好適である。
【００３９】
また、図４（Ｃ）に示すように、隣接する微小凹部１２３ｃの間隔が狭いほど、液状物１３１ｃの表面が均一になるが、微小凹部１２３ｃの口径が平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）以上である必要がある。このため、隣接する微小凹部１２３ｃの間隔として、少なくとも平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）に相当する長さが必要である。
【００４０】
すなわち、微小凹部１２３の深さが、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）以上であり、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）の２倍以下である。隣接する微小凹部１２３ｃの間隔が、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）以上である。微小凹部１２３の口径が、平均半田粒子径（平均フィラー粒子径）以上である。
【００４１】
＜事例＞
次に、具体的な事例について説明する。ここでは、図１に示す液体吐出装置１００を使用した場合に対して、バラツキ測定と流動観察とを行った。
【００４２】
ここでは、一例として、液体保持管１０の尖端に形成された開口１１の内径Ｃ１をφ３５０μｍとした。押出針１２０の外径Ｃ２をφ３００μｍとした。また、微小凹部１２３の深さを７５μｍとし、微小凹部１２３の口径を１５０μｍとした。隣接する微小凹部１２３の間隔を５００μｍとした。
【００４３】
液状材料３０としては、ビスフェノールＡからなる熱硬化型エポキシ樹脂に平均半田粒子径４０μｍの半田粒子を混合し、常温での粘度が２０Ｐａ・ｓのものを使用した。被吐出体４０としては、ガラス板を使用した。
【００４４】
なお、微小凹部１２３の深さが平均半田粒子径の２倍以下である条件を満たしている。
＜バラツキ測定＞
まず、バラツキ測定については、下記（手順１）〜（手順３）に従って行った。
【００４５】
（手順１）まず、図１に示す液体吐出装置１００を使用して、被吐出体４０に微少量の液滴を５００点吐出した。このとき、図３に示すように、液滴１５１，１５２，・・・が被吐出体４０に付着した。
【００４６】
（手順２）次に、被吐出体４０に付着した５００点の液滴に対して直径を測定した。具体的には、液滴１５１，１５２，・・・の直径Ｄ１，Ｄ２，・・・を光学測長顕微鏡で測定した。
【００４７】
（手順３）次に、測定した結果から、液滴の直径について平均値と標準偏差とを算出した。算出した結果、直径の平均値がφ３８０μｍであり、直径の標準偏差が１０であった。
【００４８】
＜流動観察＞
次に、流動観察については、図２（Ｃ）に示す工程において、液状物１３１の流動挙動を、マイクロスコープを使用して観察した。観察した結果、液状物１３１が被吐出体４０の吐出位置に締まり無く垂れ出す様子は観察されなかった。
【００４９】
＜比較例＞
また、比較例として、図６に示す液体吐出装置１を使用した場合に対しても、バラツキ測定と流動観察とを行った。
【００５０】
ここでは、一例として、押出針２０の外径Ｃ３をφ３００μｍとした。また、押出針２０の側面部分２２に凹凸が形成されていない。なお、これらの点を除いては、上記の事例と条件を同じとした。
【００５１】
＜バラツキ測定＞
まず、バラツキ測定については、下記（手順１）〜（手順３）に従って行った。
（手順１）まず、図６に示す液体吐出装置１を使用して、被吐出体４０に微少量の液滴を５００点吐出した。このとき、図８に示すように、液滴５１，５２，・・・が被吐出体４０に付着した。
【００５２】
（手順２）次に、被吐出体４０に付着した５００点の液滴に対して直径を測定した。具体的には、液滴５１，５２，・・・の直径Ｅ１，Ｅ２，・・・も光学測長顕微鏡で測定した。
【００５３】
（手順３）次に、測定した結果から、液滴の直径について平均値と標準偏差とを算出した。算出した結果、直径の平均値がφ４３０μｍであり、直径の標準偏差が２７であった。
【００５４】
＜流動観察＞
次に、流動観察については、図７（Ｃ）に示す工程において、液状物３１の流動挙動を、マイクロスコープを使用して観察した。観察した結果、図６に示すように、液状物３１が被吐出体４０の吐出位置に締まり無く垂れ出す様子が観察された。
【００５５】
＜結論＞
これらの結果から、下記のことが窺える。
（１）液体吐出装置１００を使用した場合においては、直径の平均値がφ３８０μｍであった。液体吐出装置１を使用した場合においては、直径の平均値がφ４３０μｍであった。これから、液体吐出装置１よりも液体吐出装置１００を使用した方が、直径の平均値が小さい液滴を吐出することができる。
【００５６】
（２）液体吐出装置１００を使用した場合においては、直径の標準偏差が１０であった。これは、直径の平均値の２．６％に相当する。液体吐出装置１を使用した場合においては、直径の標準偏差が２７であった。これは、直径の平均値の６．２％に相当する。液体吐出装置１００を使用した場合においては、液体吐出装置１を使用した場合の１／２以下に直径の標準偏差が抑えられた。これから、液体吐出装置１よりも液体吐出装置１００を使用した方が、吐出量のバラツキが少なく安定的に液滴を吐出することができる。
【００５７】
（３）液体吐出装置１００を使用した場合においては、液状物１３１が被吐出体４０の吐出位置に締まり無く垂れ出す様子は観察されなかった。液体吐出装置１を使用した場合においては、液状物３１が被吐出体４０の吐出位置に締まり無く垂れ出す様子が観察された。これから、液体吐出装置１よりも液体吐出装置１００を使用した方が、液状材料３０が吐出方向に流動し難いので、液状材料３０が被吐出体４０に流れ出すことを抑えることができ、安定的に液滴を吐出することができる。
【００５８】
＜まとめ＞
以上、本実施の形態によれば、押出針１２０の側面部分１２２にディンプル形状の凹凸が形成されている。これによって、側面部分１２２に付着した液状材料３０の一部である液状物１３１の付着状態を維持することができ、液状物１３１が下方に流動することを抑制することができる。
【００５９】
これは、側面部分２２が滑らかな押出針２０よりも、側面部分１２２にディンプル形状の凹凸が形成された押出針１２０の方が、液状材料３０と接触する面積が大きいので、表面張力及び摩擦抵抗が大きくなり、液状材料３０が吐出方向に流動し難くなるからである。
【００６０】
結果、液体吐出装置１よりも液体吐出装置１００を使用した方が、吐出量のバラツキが少なく定量で微小な液滴を吐出することができ、液状材料を微少量吐出するにあたって最適である。例えば、微少な電極と微細な配線パターンとを接続するように、微小液滴と吐出精度とが要求される用途に適し、接続品質の向上に寄与する。
【００６１】
（その他）
＜変形例１＞
なお、押出針１２０の代わりに、図５（Ａ）に示す押出針１６０ａを使用するとしてもよい。ここでは、側面部分１６２ａに形成された凹凸の形をわかりやすくするために、押出針１６０ａの先端１６１ａ側を一部除去した状態で示している。
【００６２】
ここで、押出針１６０ａは、側面部分１６２ａに、押出針１６０ａの軸方向に並ぶ配置で複数の環状凹部１６３ａが形成されている。環状凹部１６３ａが、押出針１６０ａの側面において、押出針１６０ｃの外周に沿って窪んだ溝部分である。環状凹部１６３ａの深さが、平均フィラー粒子径以上であり、平均フィラー粒子径の２倍以下である。隣接する環状凹部１６３ａの間隔が、平均フィラー粒子径以上である。また、環状凹部１６３ａにフィラー粒子が入り込むために、環状凹部１６３ａの溝幅が、平均フィラー粒子径以上である。
【００６３】
＜変形例２＞
なお、押出針１２０の代わりに、図５（Ｂ）に示す押出針１６０ｂを使用するとしてもよい。ここでは、側面部分１６２ｂに形成された凹凸の形をわかりやすくするために、押出針１６０ｂの先端１６１ｂ側を一部除去した状態で示している。
【００６４】
ここで、押出針１６０ｂは、側面部分１６２ｂに、千鳥配置で複数の微小凸部１６３ｂが形成されている。微小凸部１６３ｂが、押出針１６０ｂの側面において、外側に突起した直方体部分である。微小凸部１６３ｂの高さが、平均フィラー粒子径以上であり、平均フィラー粒子径の２倍以下である。隣接する微小凸部１６３ｂの間隔が、平均フィラー粒子径以上である。また、隣接する微小凸部１６３ｂの隙間にフィラー粒子が入り込むために、隣接する微小凸部１６３ｂの隙間が、平均フィラー粒子径以上である。
【００６５】
＜変形例３＞
なお、押出針１２０の代わりに、図５（Ｃ）に示す押出針１６０ｃを使用するとしてもよい。ここでは、側面部分１６２ｃに形成された凹凸の形をわかりやすくするために、押出針１６０ｃの先端１６１ｃ側を一部除去した状態で示している。
【００６６】
ここで、押出針１６０ｃは、側面部分１６２ｃに、押出針１６０ｃの軸方向に並ぶ配置で複数の環状凸部１６３ｃが形成されている。環状凸部１６３ｃが、押出針１６０ｃの側面において、押出針１６０ｃの外周に沿って突起した帯部分である。環状凸部１６３ｃの高さが、平均フィラー粒子径以上であり、平均フィラー粒子径の２倍以下である。隣接する環状凸部１６３ｃの間隔が、平均フィラー粒子径以上である。また、隣接する環状凸部１６３ｃの隙間にフィラー粒子が入り込むために、隣接する環状凸部１６３ｃの隙間が、平均フィラー粒子径以上である。
【００６７】
なお、押出針１２０は、樹脂製である場合には、射出成形、削り出し加工などによって形成されるとしてもよいし、金属製である場合には、ダイカスト、プレス加工、削り出し加工などによって形成されるとしてもよい。また、押出針１６０ａ〜１６０ｃについても、押出針１２０と同様に形成されるとしてもよい。
【００６８】
なお、本発明は、上記の内容に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、液状材料を吐出する液体吐出装置などとして、特に、吐出量のバラツキが少なく安定的に液状材料を微少量吐出する液体吐出装置などとして利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】実施の形態における液体吐出装置の要部を示す断面図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｅ）は、実施の形態における液体吐出装置による吐出工程を示す図である。
【図３】実施の形態における液体吐出装置を使用して液状材料を吐出した後の被吐出体を示す平面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は、実施の形態における押出針の側面部分に形成された微小凹部の寸法と、隣接する微小凹部の間隔とを変化させた場合における液状物の様子を示す図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は、実施の形態における液体吐出装置に備わる押出針の変形例を示す図である。
【図６】従来の技術における液体吐出装置の要部を示す断面図である。
【図７】（Ａ）〜（Ｅ）は、従来の技術における液体吐出装置による吐出工程を示す図である。
【図８】従来の技術における液体吐出装置を使用して液状材料を吐出した後の被吐出体を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  液体吐出装置
１０  液体保持管
２０  押出針
２１  先端
２２  側面部分
３０  液状材料
３１  液状物
４０  被吐出体
５０，５１，５２  液滴
１００  液体吐出装置
１２０  押出針
１２１  先端
１２２  側面部分
１２３，１２３ａ，１２３ｂ，１２３ｃ  微小凹部
１３１，１３１ａ，１３１ｂ，１３１ｃ  液状物
１５０，１５１，１５２  液滴
１６０ａ  押出針
１６１ａ  先端部
１６２ａ  側面部
１６３ａ  環状凹部
１６０ｂ  押出針
１６１ｂ  先端部
１６２ｂ  側面部
１６３ｂ  微小凸部
１６０ｃ  押出針
１６１ｃ  先端部
１６２ｃ  側面部
１６３ｃ  環状凸部
【図１】
2010000442.tif 000003
【図２】
2010000442.tif 000004
【図３】
2010000442.tif 000005
【図４】
2010000442.tif 000006
【図５】
2010000442.tif 000007
【図６】
2010000442.tif 000008
【図７】
2010000442.tif 000009
【図８】
2010000442.tif 000010