(57)【要約】【課題】フィルタ吹出面近傍において、任意（希望）位置で整流作用を調整可能なフィルタ装置一体型の均一な風速分布のフィルタ装置を提供することを目的とする。【解決手段】チャンバー５上部に吸込口１を有し、送風機４をチャンバー５に内蔵し、送風機４の下流側にフィルタ７を配接し、フィルタ７の折り込みと直交し、間隔を保持しているスペーサー９の間隔とほぼ同じ間隔で配列された長穴形状の多孔板８をフィルタ７の折り込み方向と直交して配置し、かつ多孔板８の孔の位置がフィルタ７のスペーサー９下方に位置されることにより、乱流が少なく風速分布の均一なフィルタ装置が得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ等間隔で折り込まれ、折込間隔を保持するスペーサーを折込方向と直交する方向にほぼ等間隔に設けた折込フィルタと、前記スペーサーの間隔とほぼ同じ間隔で配列された複数の長穴形状の多孔を有した多孔板とで構成され、この多孔板は、前記多孔が前記フィルタの折込み方向と直交する状態で前記フィルタの吹出側に設けられたことを特徴とするフィルタ装置。
【請求項２】
前記折込フィルタの吹出側に形状を保持するための外枠を設け、前記外枠の対向する２辺に接合するようにレール状のスライドガイドが設けられ、前記多孔板は、前記スライドガイド上に保持される請求項１記載のフィルタ装置。
【請求項３】
前記スライドガイドを複数段設け、前記多孔板を複数装着されることを特徴とする請求項２記載のフィルタ装置。
【請求項４】
前記多孔板の一部にスライド位置の目盛表示を設けた請求項２または３に記載のフィルタ装置。
【請求項５】
前記フィルタと前記外枠との間隔を設け、スライド用ボルトを複数装着した請求項２〜４いずれかひとつに記載のフィルタ装置。
【請求項６】
前記スライド用ボルトの先端部に抜け防止用のピンを挿入したことを特徴とする請求項５に記載のフィルタ装置。
【請求項７】
前記スライド用ボルトの頭部をハンドルとしたことを特徴とする請求項５または６に記載のフィルタ装置。
【請求項８】
前記外枠の一部に前記多孔板の位置決めボルトを設けたことを特徴とする請求項１〜７に記載のフィルタ装置。
【請求項９】
前記多孔板の片側に、手で出し入れし易くするための取っ手を装着させたことを特徴とする請求項１〜８に記載のフィルタ装置。
【請求項１０】
請求項１〜９いずれかに記載のフィルタ装置を搭載したファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるフィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のフィルタ装置において、乱流防止用にフィルタ折込み間隔とほぼ同じ間隔で直交する方向に整流板を有した整流部を吹出側に設ける構成としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−２９０５１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、フィルタ部の折り目には、折り目ピッチをほぼ等間隔で保持するためのスペーサーが複数列折り目と直交して配設されており、フィルタを通過する気体は、この複数列のスペーサーにより乱流となり、吹出面における風速分布が乱れる場合があった。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、フィルタ吹出面近傍において整流板によりフィルタのスペーサー通過時に生じる乱流を改善し、整流板を位置調整できるフィルタ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフィルタ装置は上記目的を達成するために、ほぼ等間隔で折り込まれ、折込間隔を保持するスペーサーを折込方向と直交する方向にほぼ等間隔に設けた折込フィルタと、前記スペーサーの間隔とほぼ同じ間隔で配列された複数の長穴形状の多孔を有した多孔板とで構成され、この多孔板は、前記多孔が前記フィルタの折込み方向と直交する状態で前記フィルタの吹出側に設けたものである。
【０００７】
また他の手段は、前記折込フィルタの吹出側に形状を保持するための外枠を設け、前記外枠の対向する２辺に接合するようにレール状のスライドガイドが設けられ、前記多孔板は、前記スライドガイド上に保持されたものである。
【０００８】
また他の手段は、前記スライドガイドを複数段設け、前記多孔板を複数装着されたものである。
【０００９】
また他の手段は、多孔板の一部にスライド位置の目盛表示を設けたものである。
【００１０】
また他の手段は、前記フィルタと前記外枠との間隔を設け、スライド用ボルトを複数装着したものである。
【００１１】
また他の手段は、前記スライド用ボルトの先端部に抜け防止用のピンを挿入したものである。
【００１２】
また他の手段は、前記スライド用ボルトの頭部をハンドルとしたものである。
【００１３】
また他の手段は、前記外枠の一部に前記多孔板の位置決めボルトを設けたものである。
【００１４】
また他の手段は、前記多孔板の片側に、手で出し入れし易くするための取っ手を装着させたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、フィルタ吹出面近傍において、整流板の作用によりフィルタ通過時における乱流を改善することが可能であるという効果のフィルタ装置が得られる。
【００１６】
また、必要に応じて移動がスムースで簡単に位置変更できるという効果が得られる。
【００１７】
また、上下設置で複数段の多孔板開口部重なりを利用して、任意の開口面積及び設置位置を調整できるという効果が得られる。
【００１８】
また、スライド量を細かく設定でき、調整位置を視覚で確認できるという効果が得られる。
【００１９】
また、スライド枠位置が、上下方向へ任意の位置に調整できるという効果が得られる。
【００２０】
また、スライド用ボルトの回転し過ぎを防止し、スライド枠の脱落を防止するという効果が得られる。
【００２１】
また、工具を使うことなく手動で回転させられるという効果が得られる。
【００２２】
また、多孔板を任意の位置に固定できるという効果が得られる。
【００２３】
また、多孔板の移動作業がスムースかつ容易にできるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態１のフィルタ装置の（ａ）縦断面図、（ｂ）下面図、（ｃ）風速分布図、（ｄ）風速分布図
【図２】本発明の実施の形態１の外枠Ａの部分詳細図
【図３】本発明の実施の形態１の外枠Ｂの部分詳細図
【図４】本発明の実施の形態１のスライド用ボルトの部品詳細図
【図５】本発明の実施の形態１のハンドルを設けたスライド用ボルトの部品詳細図
【図６】本発明の実施の形態１の外枠の部分詳細図
【図７】本発明の実施の形態１の多孔板の部品詳細図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の請求項１記載の発明は、ほぼ等間隔で折り込まれ、折込間隔を保持するスペーサーを折込方向と直交する方向にほぼ等間隔に設けた折込フィルタと、前記スペーサーの間隔とほぼ同じ間隔で配列された複数の長穴形状の多孔を有した多孔板とで構成され、この多孔板は、前記多孔が前記フィルタの折込み方向と直交する状態で前記フィルタの吹出側に設けられたものであり、フィルタ吹出面近傍において、整流板の作用によりフィルタ通過時における乱流を改善することが可能であるという作用を有する。
【００２６】
また、本発明の請求項２記載の発明は、前記折込フィルタの吹出側に形状を保持するための外枠を設け、前記外枠の対向する２辺に接合するようにレール状のスライドガイドが設けられ、前記多孔板は、前記スライドガイド上に保持されたものであり、必要に応じて移動がスムースで簡単に位置変更できるという作用を有する。
【００２７】
また、本発明の請求項３記載の発明は、前記スライドガイドを複数段設け、前記多孔板を複数装着されたものであり、上下設置で複数段の多孔板開口部重なりを利用して、任意の開口面積及び設置位置を調整できるという作用を有する。
【００２８】
また、本発明の請求項４記載の発明は、多孔板の一部にスライド位置の目盛表示を設けたものであり、スライド量を細かく設定でき、調整位置を視覚で確認できるという作用を有する。
【００２９】
また、本発明の請求項５記載の発明は、前記フィルタと前記外枠との間隔を設け、スライド用ボルトを複数装着したものであり、外枠位置が、上下方向へ任意の位置に調整できるという作用を有する。
【００３０】
また、本発明の請求項６記載の発明は、前記スライド用ボルトの先端部に抜け防止用のピンを挿入したものであり、スライド用ボルトの回転し過ぎを防止し、外枠の脱落を防止するという作用を有する。
【００３１】
また、本発明の請求項７記載の発明は、前記スライド用ボルトの頭部をハンドルとしたものであり、工具を使うことなく手動で回転させられるという作用を有する。
【００３２】
また、本発明の請求項８記載の発明は、前記外枠の一部に前記多孔板の位置決めボルトを設けたものであり、多孔板を任意の位置に固定できるという作用を有する。
【００３３】
また、本発明の請求項９記載の発明は、前記多孔板の片側に、手で出し入れし易くするための取っ手を装着させたものであり、多孔板の移動作業がスムースかつ容易にできるという作用を有する。
【００３４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３５】
（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のフィルタ装置には、羽根車２とモーター３からなる送風機４が箱形状のチャンバー５に内蔵されている。送風機４は、モーター３を中心に支持し、チャンバー５より支持される形状としたサポート６により固定されている。送風機４の吹出側となる下方にはフィルタ７が設けられている。フィルタ７は、塵埃を捕集する不織布をジャバラ状に折り込んだものである。フィルタ７の吹出側には折り目ピッチをほぼ等間隔で保持するためのスペーサー９が複数列折り目と直交して配列されている。フィルタ７の下方にはフィルタ７の折り目と直交し、スペーサー９の間隔Ｐ１とほぼ同じ間隔Ｐ２で配列された複数の長穴形状の多孔を有した多孔板８を配接する。この多孔板８はフィルタ７のスペーサー９と平行で、かつ多孔板８の孔の位置がフィルタ７のスペーサー９下方に設置されるように設計されている。
【００３６】
上記構成において、送風機４を運転することによって、吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバー５内に送り込まれる。その送風機４から吹出された気流はフィルタ７を通過する。フィルタ７を通過した時点での風速分布は、水平位置Ｚ１に対して図１（ｃ）に示すようにスペーサー９下方では風速が低く乱流となり、波形の分布となる。しかし、多孔板８を気体が通過する際に多孔板８の孔部の抵抗差により図１（ｄ）に示すような風速分布に整流されて下方に流れていくことができる。
【００３７】
次に、多孔板８の取り付けについて詳細に説明する。図２および図３はフィルタ７の下方を示している。
【００３８】
図２に示すように、フィルタ７の吹出側となる下方には、対辺が内側にＬ型に曲げられ、それに直交する辺の上部は平板で繋がれたフィルタ７の外枠に接合するように設けられた箱型形状の外枠Ａ１１を設け、ボルト１２で固定される。外枠Ａ１１の向かい合ったＬ型の一対の辺の内側には、レール状のスライドガイド１０が設けられ、この一対のスライドガイド１０上を渡り、多孔板８が挿入される。
【００３９】
上記構成において、フィルタ７の通過後の乱流を多孔板８を移動することにより、整流作用を調整することができる。
【００４０】
また図３に示すように、レール状のスライドガイド１０が複数段設けられ、この複数段のスライドガイド１０上を渡り、多孔板８を複数挿入してもよい。
【００４１】
この場合には、フィルタ７の通過後の乱流を多孔板８を複数移動することにより、開口面積の調整および整流作用を調整することができる。
【００４２】
また、多孔板８に目盛２２を貼り付けることを特徴とすることにより、多孔板８のスライド量を細かく調整することができ、調整位置を視覚で確認することができる。
【００４３】
また、フィルタ７と外枠Ｂ２１との間隔を設け、スライド用ボルト２３で間隔を調整することを特徴とすることにより、フィルタ７通過後の多孔板８までの整流位置を任意に設定することができる。
【００４４】
次に、図４および図５を用いて、スライドガイド１０を固定する方法について説明する。図４に示すように、スライドガイド１０を固定するスライド用ボルト２３の先端部に固定ピン３１を設ける。このような構成によれば、スライド用ボルト２３を回転させ外枠Ｂ２１が下降した時に固定ピン３１に引っ掛かり、脱落するのを防止できる。
【００４５】
また、図５に示すように、スライド用ボルト２３の頭部にハンドル４１を設けてもよい。このような構成によれば、工具を使うこと無くスライド用ボルト２３を回転させることができ、フィルタ７と外枠Ｂ２１の高さ調整が短時間で作業することができる。
【００４６】
また、図６に示すように、外枠Ｂ２１に多孔板８を固定する位置決めボルト５１を設けることにより、多孔板８を任意位置に固定でき、ずれ防止することができる。
【００４７】
また、図７に示すように、多孔板８に一辺に取っ手６１を設けることにより、多孔板８を確実かつスムースに移動することが可能となり、作業性が向上する。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
フィルタ吹出面での乱流を上下方向や水平方向に調整しながら整流することにより最善の風速分布改善が可能となり、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とし、均一な風速分布を必要とするクリーンルームや製造装置に適用できる。
【符号の説明】
【００４９】
１    吸込口
２    羽根車
３    モーター
４    送風機
５    チャンバー
６    サポート
７    フィルタ
８    多孔板
９    スペーサー
１０  スライドガイド
１１  外枠Ａ
１２  ボルト
２１  外枠Ｂ
２２  目盛
２３  スライド用ボルト
３１  固定ピン
４１  ハンドル
５１  位置決めボルト
６１  取っ手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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