(57)【要約】【課題】洗浄槽に純水を安定して供給でき、かつ、設備の大型化やコストアップを抑えることができるフープ洗浄乾燥装置を提供する。【解決手段】洗浄槽３に設けられたノズル２７に、フープ洗浄用に純水を収容する水タンク３２をバルブ４６を介して接続し、水タンク３２に水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段５３を接続し、洗浄槽３に、フープ洗浄後に洗浄槽３内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽３内の空気を排出するための排気排水口３４を形成し、排気排水口３４に気液分離器９を介して空気吸引手段４２を接続し、空気吸引手段４２と水タンク３２を同一のケーシング４７内に収容してユニット化したものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フープをフープ本体とドアに分離して収容する洗浄槽と、該洗浄槽に設けられ洗浄槽内のフープ本体とドアに純水又はドライエアを吹き付けるためのノズルとを備えたフープ洗浄乾燥装置において、上記ノズルに、フープ洗浄用に純水を収容する水タンクをバルブを介して接続し、該水タンクに水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段を接続し、上記洗浄槽に、フープ洗浄後に洗浄槽内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽内の空気を排出するための排気排水口を形成し、該排気排水口に気液分離器を介して空気吸引手段を接続し、該空気吸引手段と上記水タンクを同一のケーシング内に収容してユニット化したことを特徴とするフープ洗浄乾燥装置。
【請求項２】
上記空気吸引手段がブロワからなり、上記ケーシングの上面には、ブロワからの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレートが設けられ、該パンチングプレートとブロワの間には、ブロワからの騒音を遮るためのバッフルプレートが設けられた請求項１記載のフープ洗浄乾燥装置。
【請求項３】
所定時間毎に上記水タンクと上記洗浄槽の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽を洗浄し、かつ、洗浄槽と上記気液分離器の間の排水系を洗浄すべく、上記バルブを開くと共に上記空気吸引手段を駆動させる制御装置を備えた請求項１又は２記載のフープ洗浄乾燥装置。
【請求項４】
上記気液分離器が、上記洗浄槽からの排水を水平方向に流す排水管部と、該排水管部から上方に分岐され上記空気吸引手段に接続される気液分離部とを備え、該気液分離部は、円筒状の排気管部と、該排気管部内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板とを有している請求項１〜３のいずれかに記載のフープ洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄槽内のフープに洗浄水を吹き付けてフープを洗浄するフープ洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等は、フープ（FOUP：Ｆront Ｏpenning Ｕnify Ｐod）と称する搬送容器に収容されて搬送される。このフープは、前面部に開口部を有するフープ本体（シェルともいう）と、このフープ本体の開口部に着脱自在に装着されるドア（蓋ともいう）とからなっている。
【０００３】
上記フープは、半導体ウエハ等の汚染源にならないようにするために、定期的に洗浄されることが好ましい。そこで、空のフープをフープ本体とドアに分離して洗浄室（洗浄槽ともいう）内に配置し、これらフープ本体及びドアに洗浄水を吹き付けて洗浄を行い、洗浄後、同洗浄室内でフープ本体及びドアに乾燥空気を吹き付けて乾燥させるようにしたフープ洗浄乾燥装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１０９５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、フープ洗浄乾燥装置は、工場に予め設置されている給水源に配管を介して接続され、この給水源からの純水でフープを洗浄するようになっている。このため、工場に設置された他の機器が給水源の純水を使用しているときなど、一時的に純水の供給量が低下することがあり、純水を安定して得られないことがあるという課題があった。また、かかる課題を解決するために給水源を強化するのは、設備が大型化し多大な費用がかかるため現実的でなかった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、洗浄槽に純水を安定して供給でき、かつ、設備の大型化やコストアップを抑えることができるフープ洗浄乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、フープをフープ本体とドアに分離して収容する洗浄槽と、該洗浄槽に設けられ洗浄槽内のフープ本体とドアに純水又はドライエアを吹き付けるためのノズルとを備えたフープ洗浄乾燥装置において、上記ノズルに、フープ洗浄用に純水を収容する水タンクをバルブを介して接続し、該水タンクに水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段を接続し、上記洗浄槽に、フープ洗浄後に洗浄槽内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽内の空気を排出するための排気排水口を形成し、該排気排水口に気液分離器を介して空気吸引手段を接続し、該空気吸引手段と上記水タンクを同一のケーシング内に収容してユニット化したものである。
【０００８】
上記空気吸引手段がブロワからなり、上記ケーシングの上面には、ブロワからの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレートが設けられ、該パンチングプレートとブロワの間には、ブロワからの騒音を遮るためのバッフルプレートが設けられるとよい。
【０００９】
また、所定時間毎に上記水タンクと上記洗浄槽の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽を洗浄し、かつ、洗浄槽と上記気液分離器の間の排水系を洗浄すべく、上記バルブを開くと共に上記空気吸引手段を駆動させる制御装置を備えるとよい。
【００１０】
上記気液分離器が、上記洗浄槽からの排水を水平方向に流す排水管部と、該排水管部から上方に分岐され上記空気吸引手段に接続される気液分離部とを備え、該気液分離部は、円筒状の排気管部と、該排気管部内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板とを有しているとよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、洗浄槽に純水を安定して供給でき、かつ、設備の大型化やコストアップを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の好適実施の形態を添付図面を用いて説明する。図１はフープ洗浄乾燥装置の平面図である。図２は、フープ洗浄乾燥装置のタンク・排気ユニットの側面図であり、図３はタンク・排気ユニットの正面図である。図４は、フープ洗浄乾燥装置の気液分離器の平面図であり、図５は気液分離器の側面図であり、図６は気液分離器の正面図である。図７は洗浄槽の側面図であり、図８はフープ洗浄乾燥装置本体の側面図である。
【００１３】
図１及び図８に示すように、フープ洗浄乾燥装置１は、フープ５の洗浄・乾燥を行うフープ洗浄乾燥装置本体２と、フープ洗浄乾燥装置本体２の洗浄槽３に純水を供給すると共に洗浄槽３内の水及び空気を吸引するタンク・排気ユニット４とからなる。
【００１４】
フープ洗浄乾燥装置本体２は、架台６と、架台６の一端側に設けられフープ５の搬入搬出を行うためのロードポート部７と、架台６の他端側に設けられフープ５の洗浄及び乾燥を行う２つの洗浄槽３と、架台６の中央に設けられロードポート部７と洗浄槽３との間でフープ５の搬送を行う搬送ロボット８と、架台６の隅部に設けられ洗浄槽３から排出される水と空気を分離するための気液分離器９とを備えて構成されている。
【００１５】
ロードポート部７は、３ポートすなわち３個のフープ５を載置するようになっている。ロードポート部７は、左の２ポート分のエリアがロード専用となっており、右端の１ポート分のエリアがアンロード専用となっている。
【００１６】
搬送ロボット８は、例えば６軸の回転が可能なアーム１０を有する多関節ロボットからなり、アーム１０の先端部にはフープ本体１１の上部に突設された被把持部１２又はドア１３を選択的に把持可能な把持機構１４が設けられている。
【００１７】
洗浄槽３は、上部が開放された洗浄槽本体１５と、この洗浄槽本体１５の上部に着脱自在に密着される筒状の内蓋１６と、内蓋１６の上部に着脱自在に密着される外蓋１７とから主に構成されている。内蓋１６及び外蓋１７はそれぞれ電動式パワーシリンダ１８、１９により開閉されるようになっている。外蓋１７の内面にはドア１３を吸着保持するためのドア保持部２０が設けられ、外蓋１７の外面にはドア保持部２０を回転させるドア回転機構２１が設けられている。
【００１８】
図７に示すように、洗浄槽本体１５の底部中央部には、固定支軸２２が上下に貫通して設けられ、固定支軸２２の外周には筒状の回転軸２３が回転自在に設けられている。また、洗浄槽本体１５の底部には回転軸２３を外周側から回転自在に支持する軸受筒体２４が固定されており、軸受筒体２４と固定支軸２２とで回転軸２３を回転自在に支持するようになっている。回転軸２３の上端部には径方向外方に延出する回転台２５が設けられ、この回転台２５の先端にはフープ本体１１を開口部を下向きにした状態でその四隅を保持する爪状の保持部２６が上方に突出して設けられている。固定支軸２２には回転軸２３をタイミングベルト７４及びベルト車７５を介して回転駆動する電動機７６が取付金具７７を介して取り付けられており、洗浄時及び乾燥時に保持部２６に保持されたフープ本体１１を回転し得るようになっている。
【００１９】
また、固定支軸２２の上端には、保持部２６に保持されたフープ本体１１の内側を洗浄し乾燥させるための複数のノズル２７を備えた内側洗浄管２８が複数立設されている。固定支軸２２の内部には内側洗浄管２８と連通する供給通路２９が形成されており、供給通路２９には、切替弁３０を介してタンク・排気ユニット４の水タンク３２（図１参照）又はドライエア供給装置（図示せず）のいずれか一方が選択的に接続されるようになっている。また、洗浄槽本体１５の外周部には、フープ本体１１の外側を洗浄し乾燥させるための複数のノズル２７を備えた外側洗浄管３１が立設されており、外側洗浄管３１にも、切替弁３０を介して水タンク３２（図１参照）又はドライエア供給装置（図示せず）のいずれか一方が選択的に接続されるようになっている。
【００２０】
内蓋１６には、内蓋１６と洗浄槽本体１５との境界に位置して上方のドア１３と下方のフープ本体１１を洗浄し、乾燥させるノズル２７を上下に備えた上部洗浄管３３が設けられている。上部洗浄管３３には、切替弁３０を介して水タンク３２又はドライエア供給装置（図示せず）のいずれか一方が選択的に接続されるようになっている。
【００２１】
また、それぞれの洗浄槽本体１５の底部には排気排水口３４が設けられている。図４、図５及び図６に示すように、排気排水口３４には排出用開閉弁３５を介して気液分離器９が接続されている。
【００２２】
気液分離器９は、洗浄槽３からの排水を水平方向に流す排水管部３６と、排水管部３６から上方に分岐され空気吸引手段に接続される気液分離部３７とを備えて構成されている。排水管部３６は、分岐部３８の流路面積よりも出口側の流路面積が小さくなるように出口部３９の流路を絞って形成されており、分岐部３８で水の流速を落として気液分離部３７での水と空気の分離が良好に行われるようになっている。気液分離部３７は、円筒状の排気管部４０と、排気管部４０内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板４１と、排気管部４０の上端部に水平方向に挿入されタンク・排気ユニット４のブロワ４２に後述する吸込支管４３等を介して接続される出口管部４４とを備えて構成される。排気管部４０は、所定長さ鉛直に延びて形成されており、重力により水を落として水と空気を分離させるようになっている。また、排気管部４０の下端部４５は、空気と水との分離が促進されるように内径を絞って形成されている。トラップ板４１は、排気管部４０内に上下に間隔を隔てて複数段に設けられており、各段で空気に含まれるミストを捕捉して落下させるようになっている。また、トラップ板４１は、空気の流れを阻害しないように端部の板厚が徐々に薄くなるように形成されている。出口管部４４は、排気管部４０内に所定長さ没入されており、トラップ板４１により屈曲された空気の流れを更に屈曲させ、気液分離を更に良好に行うようになっている。
【００２３】
図１、図２及び図３に示すように、タンク・排気ユニット４は、供給用開閉弁４６及び切替弁３０を介してノズル２７に接続される水タンク３２と、気液分離器９を介して洗浄槽３の排気排水口３４に接続される空気吸引手段たるブロワ４２と、ブロワ４２と水タンク３２を収容するケーシング４７とを備えて構成されている。
【００２４】
水タンク３２は、フープ洗浄用に純水を収容する洗浄専用のタンクであり、工場の既設の給水源４８から純水を得て貯留するようになっている。すなわち、水タンク３２は補給管４９を介して給水源４８に接続されており、水タンク３２は、給水源４８と洗浄槽３との間に介設されるバッファタンクとして機能するようになっている。水タンク３２は、上下に長く形成されており、底部を基台５０を介してケーシング４７に固定されると共に上端部を固定金具５１を介してケーシング４７に固定されている。また、水タンク３２の上端部には、給水源４８に補給管４９を介して接続される純水導入口５２が設けられると共に、送風機等の圧気供給手段５３に圧気供給管５４を介して接続される圧気導入口５５が設けられている。水タンク３２の底部には、水タンク３２内の純水を洗浄槽３に送り出すための送出口５６が設けられている。水タンク３２の容量は、２つの洗浄槽３を同時に洗浄できるサイズに設定されている。例えば、１つのフープ５を洗浄するために必要な純水が３０リットルである場合、６０リットルに若干の予備を足した７０リットルに設定される。水タンク３２の内面には、特殊なテフロン（登録商標）がコーティングされており、洗浄後の水に含まれる不純物や水垢等の汚れが付着し難いようになっている。
【００２５】
また、水タンク３２と補給管４９には、水タンク３２の水位を常に一定にするための水位保持装置５７が設けられている。水位保持装置５７は、補給管４９に設けられた補給用開閉弁５８と、水タンク３２に設けられ水位を検出する水位検出センサ５９と、水位検出センサ５９と補給用開閉弁５８に接続され水位検出センサ５９で検出される水位が所定値に満たないとき補給用開閉弁５８を開く第一制御装置６０とを備えて構成される。
【００２６】
ブロワ４２は、後述する分岐ボックス６１を介してそれぞれの気液分離器９に吸込側を接続されると共に工場の既設の排気路（図示せず）に吐出側を接続されており、洗浄槽３内でフープ５を洗浄した後で駆動することで洗浄槽３内から水を吸い出し、洗浄槽３内でフープ５を乾燥させるときに駆動することで洗浄槽３内を負圧にしてフープ５の乾燥を促進するようになっている。
【００２７】
ケーシング４７は、箱形に形成されており、四隅に高さ調節自在な支持脚６２を有する。ケーシング４７は、水タンク３２とブロワ４２を水平方向に並べて収容するようになっている。また、ブロワ４２の直上に位置されるケーシング４７の上面には、ブロワ４２からの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレート６３が設けられており、パンチングプレート６３とブロワ４２の間には、ブロワ４２からの騒音を遮るためのバッフルプレート６４が設けられている。具体的には、バッフルプレート６４は、パンチングプレート６３の下方に所定間隔を隔てて配置される邪魔板部６５と、邪魔板部６５の両側から上方に延びる取付ブラケット部６６とを有し、パンチングプレート６３の両側の上面に取付ブラケット部６６の上端を取り付けられることでパンチングプレート６３に臨んで配置されるようになっている。
【００２８】
ケーシング４７の前面には、ブロワ４２の吸込側に接続される吸込管６７と、ブロワ４２の吐出側に接続される吐出管６８と、一方の洗浄槽３のノズル２７に純水を供給するための第一給水管６９と、他方の洗浄槽３のノズル２７に純水を供給するための第二給水管７０とがそれぞれケーシング４７外に延びて設けられている。吸込管６７は、箱状に形成された分岐ボックス６１を介して２系統の吸込支管４３に分岐されている。一方の吸込支管４３は、一方の洗浄槽３に接続された気液分離器９の出口管部４４に接続されており、他方の吸込支管４３は、他方の洗浄槽３に接続された気液分離器９の出口管部４４に接続されている。また、分岐ボックス６１は、ケーシング４７の上面に取付フレーム７１を介して前方に突出するように取り付けられており、底部に吸込管６７と吸込支管４３をそれぞれ接続するようになっている。
【００２９】
ケーシング４７の底部には、結露等によりケーシング４７内に溜まった水を外部に排出するためのドレン管７２が接続されている。ドレン管７２の先端には、ドレン管７２を開閉するためのコック７３が設けられており、適宜コック７３を開くことでケーシング４７内に溜まった水を排出できるようになっている。
【００３０】
また、搬送ロボット８、電動式パワーシリンダ１８、１９、ドア回転機構２１、フープ本体１１を回転させるための電動機７６、排出用開閉弁３５、供給用開閉弁４６及びブロワ４２は、第二制御装置７８に接続されており、それぞれ第二制御装置７８でコントロールされるようになっている。また特に、第二制御装置７８は所定時間毎に排出用開閉弁３５及び供給用開閉弁４６を開くと共に、ブロワ４２を駆動するようになっており、所定時間毎に水タンク３２と洗浄槽３の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽３を洗浄し、かつ、洗浄槽３と気液分離器９の間の排水系を洗浄するようになっている。なお、上記所定時間は、第二制御装置の書き換え可能な記憶媒体に記憶されており、ユーザが任意に設定できるようになっている。
【００３１】
次に本実施の形態の作用を述べる。
【００３２】
フープ５を洗浄する場合、搬送ロボット８はロードポート部７上のフープ５を把持し、洗浄槽３内に搬入する。このとき、フープ５はフープ本体１１とドア１３とに分割され、フープ本体１１が洗浄槽本体１５内の保持部２６上にセットされ、ドア１３が外蓋１７のドア保持部２０に吸着保持される。この後、水タンク３２側の流路がノズル２７側の流路に接続されてドライエア供給装置側の流路が閉じるように切替弁３０が切り替えられ、供給用開閉弁４６が開かれ、回転軸２３とドア回転機構２１が駆動される。これにより、水タンク３２内の純水が水タンク３２内の圧気によって押し出されてノズル２７から吹き出ると共に、フープ本体１１とドア１３がそれぞれ縦軸回りに回転され、フープ本体１１とドア１３が洗浄される。
【００３３】
フープ本体１１とドア１３の洗浄が終了したら、排出用開閉弁３５が開かれ、ブロワ４２が駆動されて洗浄槽３内の水が排水される。ブロワ４２が駆動されることにより気液分離器９の気液分離部３７内が負圧となり、水タンク３２内の水が空気と共に気液分離器９の排水管部３６内に吸い込まれる。排水管部３６内に吸い込まれた水と空気は、分岐部３８で分離される。具体的には、空気は排気管部４０に吸い込まれ、水は排気管部４０への流入をトラップ板４１により遮られ、自重により落下し、排水管部３６の下流側に流れる。また、排気管部４０には出口管部４４が没入されて流路がラビリンス状に屈曲されているため、たとえ水しぶきがトラップ板４１を越えて上昇したとしても出口管部４４内に到達することはない。出口管部４４を通過した空気は、ブロワ４２に吸い込まれ、排水管部３６を通過した水は、工場の既設の排水路（図示せず）に排水される。
【００３４】
このようにして洗浄槽３内の水が排水されたら、水タンク３２側の流路が閉じてドライエア供給装置側の流路がノズル２７側の流路に接続されるように切替弁３０が切り替えられ、ドライエア供給装置が駆動されて洗浄槽３内にドライエアが供給され、フープ本体１１とドア１３が乾燥される。またこのとき、フープ本体１１とドア１３は洗浄時よりも高速で回転され、フープ本体１１とドア１３に付着した水滴が遠心力で飛ばされると共に、ブロワ４２が駆動されて洗浄槽３内が負圧になる。これにより、フープ本体１１とドア１３は短時間で確実に乾燥される。
【００３５】
この後、内蓋１６と外蓋１７が開かれ、搬送ロボット８がフープ本体１１とドア１３を洗浄槽３外に搬出し、ロードポート部７に戻す。
【００３６】
また、水タンク３２への純水の供給は、工場の既設の給水源４８から行う。具体的には、水位検出センサ５９で検出される水タンク３２の水位が所定値に満たないとき、第一制御装置６０が補給用開閉弁５８を開いて水タンク３２に純水を補給する。すなわち、フープ洗浄開始と同時に水タンク３２への純水の補給が開始され、洗浄、排水、乾燥の各工程と並行して水タンク３２への純水の補給が行われる。このため、給水源４８からの純水の供給が多少不安定であっても純水を迅速に補給することができ、水タンク３２内の水位を速やかに回復することができる。
【００３７】
また、フープ５の洗浄を行わない間、第二制御装置７８は、所定時間毎に供給用開閉弁４６及び排出用開閉弁３５を開くと共に、ブロワ４２を駆動する。これにより、水タンク３２と洗浄槽３の間の給水系と、洗浄槽３と、洗浄槽３と気液分離器９の間の排水系とに純水が循環され、洗浄される。給水系、洗浄槽３及び排水系にバクテリア等が発生するのを防ぐことができる。
【００３８】
このように、洗浄槽３内のノズル２７に、フープ洗浄用に純水を収容する水タンク３２をバルブたる供給用開閉弁４６を介して接続し、水タンク３２に水圧送用の圧気を供給するための圧気供給手段５３を接続し、洗浄槽３に、フープ洗浄後に洗浄槽３内の水を排出すると共に、フープ乾燥時に洗浄槽３内の空気を排出するための排気排水口３４を形成し、排気排水口３４に気液分離器９を介して空気吸引手段たるブロワ４２を接続し、ブロワ４２と水タンク３２を同一のケーシング４７内に収容してユニット化したため、洗浄槽３に純水を安定して供給でき、かつ、給水源４８等の設備の大型化やコストアップを抑えることができる。
【００３９】
ケーシング４７の上面には、空気吸引手段たるブロワ４２からの熱気を放出するための穴を有するパンチングプレート６３が設けられ、パンチングプレート６３とブロワ４２の間には、ブロワ４２からの騒音を遮るためのバッフルプレート６４が設けられるものとしたため、ブロワ４２からの熱気と共に騒音が外部に漏れ出るのを抑えることができる。
【００４０】
また、所定時間毎に水タンク３２と洗浄槽３の間の給水系を洗浄すると共に、洗浄槽３を洗浄し、かつ、洗浄槽３と気液分離器９の間の排水系を洗浄すべく、供給用開閉弁４６及び排出用開閉弁３５を開くと共に空気吸引手段たるブロワ４２を駆動させる第二制御装置７８を備えたため、フープ５の洗浄を行わない間に給水系、洗浄槽３及び排水系にバクテリア等が発生するのを防ぐことができる。
【００４１】
気液分離器９が、洗浄槽３からの排水を水平方向に流す排水管部３６と、排水管部３６から上方に分岐され空気吸引手段たるブロワ４２に接続される気液分離部３７とを備え、気液分離部３７が、円筒状の排気管部４０と、排気管部４０内に流路を一部遮るように設けられたトラップ板４１とを備えて構成されるものとしたため、吸引される空気と水を簡易な構造で確実に分離することができる。
【００４２】
なお、フープ洗浄乾燥装置本体２は、２つの洗浄槽３を具備するものとしたが、洗浄槽３の数は単数であってもよく３つ以上の複数であってもよい。
【００４３】
ロードポート部７は、３個のフープ５を載置するものとしたが、これに限るものではない。ロードポート部７は、１つ又は複数のフープ５を載置するものとしてもよい。
【００４４】
空気吸引手段はブロワ４２からなるものとしたが、洗浄槽３内を負圧にできる装置であればブロワ４２に限るものではない。
【００４５】
また、第一制御装置６０と第二制御装置７８は、一つの制御装置に統合し、それぞれの機能を１つの制御装置でなし得るようにしてもよい。
【００４６】
排出用開閉弁３５は必要に応じて省略してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の好適実施の形態を示すフープ洗浄乾燥装置の平面図である。
【図２】フープ洗浄乾燥装置のタンク・排気ユニットの側面図である。
【図３】図２の正面図である。
【図４】フープ洗浄乾燥装置の気液分離器の平面図である。
【図５】図４の側面図である。
【図６】図４の正面図である。
【図７】フープ洗浄乾燥装置の洗浄槽の側面図である。
【図８】フープ洗浄乾燥装置の要部側面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  フープ洗浄乾燥装置
３  洗浄槽
５  フープ
９  気液分離器
１１  フープ本体
１３  ドア
２７  ノズル
３２  水タンク
３４  排気排水口
３６  排水管部
３７  気液分離部
４０  排気管部
４１  トラップ板
４２  ブロワ（空気吸引手段）
４６  供給用開閉弁（バルブ）
４７  ケーシング
５３  圧気供給手段
６３  パンチングプレート
６４  バッフルプレート
７８  第二制御装置（制御装置）
【図１】
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【図２】
2010045174.tif 000004
【図３】
2010045174.tif 000005
【図４】
2010045174.tif 000006
【図５】
2010045174.tif 000007
【図６】
2010045174.tif 000008
【図７】
2010045174.tif 000009
【図８】
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