(57)【要約】【課題】微振動駆動工程においてノズル近傍の液体を良好に撹拌することができ且つ液滴が噴射されてしまうのを防止することができる液体噴射装置の制御方法及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号３０３が一定間隔で連続する駆動電圧信号によって振動板を振動させる駆動方式を有すると共に、この駆動方式によってノズルから液滴を噴射させない程度の圧力変動を圧力室に発生させてノズル近傍の液体を撹拌する微振動駆動工程を有し、微振動駆動工程では、第１のパルス信号３０１を印加後、メニスカスがノズルの外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号３０２の印加を開始する。【選択図】図５
2010000727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通する圧力室と、該圧力室の一方面を構成する振動板と該振動板に対向して配置された対向電極とを具備し、前記振動板と前記対向電極との間に発生させた静電気力で前記振動板を振動させて前記圧力室に圧力変動を発生させ前記ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の制御方法であって、
第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号が一定間隔で連続する駆動電圧信号によって前記振動板を振動させる駆動方式を有すると共に、前記駆動方式によって前記ノズルから液滴を噴射させない程度の圧力変動を前記圧力室に発生させて前記ノズル近傍の液体を撹拌する微振動駆動工程を有し、
該微振動駆動工程では、第１のパルス信号を印加後、メニスカスが前記ノズルの外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号の印加を開始することを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【請求項２】
前記第１のパルス信号と前記第２のパルス信号との間隔が、前記圧力室の固有振動周期をＴｃの５／４倍よりも長く７／４倍よりも短いことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置の制御方法。
【請求項３】
前記第１のパルス信号と前記第２のパルス信号とのそれぞれが、少なくとも前記圧力室を膨張させる膨張工程と前記圧力室を収縮させる収縮工程とで構成されており、第１のパルス信号の印加によってメニスカスが前記ノズルの外側に向かって変位している間に前記膨張工程が終了するタイミングで前記第２のパルス信号を印加することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射装置の制御方法。
【請求項４】
前記駆動電圧パルス信号には、正の電圧変化を生じさせるパルス信号と、負の電圧変化を生じさせるパルス信号とが含まれていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射装置の制御方法。
【請求項５】
ノズルに連通する圧力室と、該圧力室の一方面を構成する振動板と該振動板に対向して配置された対向電極とを具備し、前記振動板と前記対向電極との間に発生させた静電気力で前記振動板を振動させて前記圧力室に圧力変動を発生させ前記ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置であって、
第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号が一定間隔で連続する駆動電圧信号によって前記振動板を振動させる駆動方式を有すると共に、前記駆動方式によって前記ノズルから液滴を噴射させない程度の圧力変動を前記圧力室に発生させて前記ノズル近傍の液体を撹拌する微振動駆動工程が所定のタイミングで実行され、
該微振動駆動工程では第１のパルス信号を印加後、メニスカスが前記ノズルの外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号の印加が開始されるように前記駆動電圧信号の印加のタイミングが設定された設定部を有することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力室の一方面に設けられた振動板と、振動板に対向して配置される対向電極との間に電圧を印加することにより、これらの間に発生する静電気力によって振動板を振動させてノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の制御方法及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリンタ、ファクシミリ、複写機等に用いられるインクジェット式記録装置等の液体噴射装置は、液滴を噴射させるためのメカニズムに応じて各種方式の液体噴射ヘッドを具備するものが知られている。例えば、発熱素子等によって液体を沸騰させ、そのときに生じる気泡圧で液滴を吐出させるものや、液滴が充填された圧力室の容積を、圧電素子の変位によって膨張又は収縮させることでノズルから液滴を吐出させるものなどがある。さらに、例えば、静電気力を利用して圧力室の容積を変化させることで、ノズルから液滴を噴射させるようにした、いわゆる静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッドを具備する液体噴射装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、特許文献１に記載されているように、静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッドには、複数のパルス信号を１セット（駆動電圧パルス信号）として連続的に印加して１ドットの画素の印刷を行うものがある。すなわち、複数の駆動電圧パルス信号を一定間隔で印加することで印刷を実行する駆動方式を採用したものがある。またこのような駆動方式を採用するインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、各駆動電圧パルス信号の設定、すなわち各パルス信号の間隔は、ヘッド毎に個別に調整されることはなく各ヘッドに共通している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−９８８６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、インクジェット式記録ヘッドにおいては、一般的に、インク滴が噴射されない程度に圧力室に圧力変化を生じさせてインクを撹拌してインクの増粘を防止する微振動駆動工程が所定のタイミングで実施されている。上記駆動方式を採用するインクジェット式記録ヘッドでこの微振動駆動工程を実施する場合、通常は、各パルス信号の最大値は印刷時よりも小さくするが印刷時と同様のタイミングで各パルス信号を印加している。
【０００６】
そして、このように各パルス信号を印加して微振動駆動工程を実施すると、微振動駆動工程中にも拘わらずインク滴が噴射されてしまうという問題が生じる虞がある。例えば、圧力室の寸法等のヘッド寸法は、ヘッド間で多少のばらつきがあり、この寸法ばらつきに伴って圧力室の固有振動周期（ヘルムホルツ振動周期）も変化する。このため、圧力室の固有振動周期によっては、各パルス信号で発生するメニスカスの振幅が重ね合わせにより増大し、最終的にはノズルからインク滴として噴射されてしまう虞がある。
【０００７】
このような問題は、勿論、微振動駆動工程におけるパルス信号の最大値を小さくすることで解消されるが、メニスカスの振動も小さくなってしまうためインクを十分に撹拌できなくなる虞があるため好ましくない。またこのような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置だけでなく、インク滴以外の液滴を噴射する他の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置においても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、微振動駆動工程においてノズル近傍の液体を良好に撹拌することができ且つ液滴が噴射されてしまうのを防止することができる液体噴射装置の制御方法及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、ノズルに連通する圧力室と、該圧力室の一方面を構成する振動板と該振動板に対向して配置された対向電極とを具備し、前記振動板と前記対向電極との間に発生させた静電気力で前記振動板を振動させて前記圧力室に圧力変動を発生させ前記ノズルから液滴を噴射する液体噴射装置の制御方法であって、第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号が一定間隔で連続する駆動電圧信号によって前記振動板を振動させる駆動方式を有すると共に、前記駆動方式によって前記ノズルから液滴を噴射させない程度の圧力変動を前記圧力室に発生させて前記ノズル近傍の液体を撹拌する微振動駆動工程を有し、該微振動駆動工程では、第１のパルス信号を印加後、メニスカスが前記ノズルの外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号の印加を開始することを特徴とする液体噴射装置の制御方法にある。
かかる本発明では、微振動駆動工程によってインクを良好に撹拌しつつ、メニスカスの振動の振幅が必要以上に大きくなるのを抑えてインク滴の噴射を防止することができる。
【００１０】
ここで、前記第１のパルス信号と前記第２のパルス信号との間隔が、前記圧力室の固有振動周期をＴｃの５／４倍よりも長く７／４倍よりも短いことが好ましい。これにより、第１のパルス信号によるメニスカスの振動が、第２のパルス信号によるメニスカスの振動によって確実に抑えられる。
【００１１】
また前記第１のパルス信号と前記第２のパルス信号とのそれぞれが、少なくとも前記圧力室を膨張させる膨張工程と前記圧力室を収縮させる収縮工程とで構成されており、第１のパルス信号の印加によってメニスカスが前記ノズルの外側に向かって変位している間に前記膨張工程が終了するタイミングで前記第２のパルス信号を印加することが好ましい。これにより、微振動駆動工程中におけるインク滴の噴射をより確実に防止することができる。
【００１２】
さらに前記駆動電圧パルス信号には、正の電圧変化を生じさせるパルス信号と、負の電圧変化を生じさせるパルス信号とが含まれていることが好ましい。これにより、振動板を常に良好に変位させることができる。
【００１３】
また本発明は、ノズルに連通する圧力室と、該圧力室の一方面を構成する振動板と該振動板に対向して配置された対向電極とを具備し、前記振動板と前記対向電極との間に発生させた静電気力で前記振動板を振動させて前記圧力室に圧力変動を発生させ前記ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置であって、第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号が一定間隔で連続する駆動電圧信号によって前記振動板を振動させる駆動方式を有すると共に、前記駆動方式によって前記ノズルから液滴を噴射させない程度の圧力変動を前記圧力室に発生させて前記ノズル近傍の液体を撹拌する微振動駆動工程が所定のタイミングで実行され、該微振動駆動工程では第１のパルス信号を印加後、メニスカスが前記ノズルの外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号の印加が開始されるように前記駆動電圧信号の印加のタイミングが設定された設定部を有することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる本発明では、微振動駆動工程によってインクを良好に撹拌しつつ、メニスカスの振動の振幅が必要以上に大きくなるのを抑えてインク滴の噴射を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。図１に示すように、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置には、インクジェット式記録ヘッド２１０を有するヘッドユニット２００を具備する。ヘッドユニット２００は、インク供給手段を構成するカートリッジ１Ａ及び１Ｂに着脱可能に設けられ、このヘッドユニット２００を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【００１５】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット２００を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００１６】
ここで、インクジェット式記録ヘッド２１０について詳細に説明する。なお、図２は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１７】
図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド２１０は、いわゆる静電駆動方式のヘッドであり、キャビティ基板１０と、このキャビティ基板１０の両面にそれぞれ接合されるノズルプレート２０及び電極基板３０とで構成されている。
【００１８】
キャビティ基板１０は、例えば、面方位（１００）又は（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方面側に開口する圧力室（キャビティ）１１がその幅方向に複数並設されている。また、キャビティ基板１０には、各圧力室１１に共通するインク室となる共通液室である共通インク室１２が形成されており、この共通インク室１２は、後述する供給口２３を介して各圧力室１１に連通されている。また、共通インク室１２の底壁には、共通インク室１２にインクを供給するためのインク供給孔１３が形成されている。また、キャビティ基板１０には、共通インク室１２の外側に、後述する個別電極（対向電極）に接続される個別端子部を露出させるための貫通孔１４が形成されている。なお、この貫通孔１４は、キャビティ基板１０の共通インク室１２とは反対側の端面まで連続的に形成されていてもよい。
【００１９】
各圧力室１１の底壁は、圧力室１１内に圧力変化を生じさせるための振動板として機能すると共に、この振動板を変位させる静電気力を発生させるための共通電極としての役割を兼ねる可撓性電極１５となっている。そして、キャビティ基板１０の貫通孔１４近傍には、ノズルプレート２０の後述する露出孔内に露出されて図示しない駆動配線が接続される共通端子部１６が形成されている。
【００２０】
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０と同様に、面方位（１００）又は（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、各圧力室１１に連通する複数のノズル２１が形成されている。そして、このノズルプレート２０は、キャビティ基板１０の開口面側に接合され、圧力室１１及び共通インク室１２の一方の面を画成している。また、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０とは反対側の面には、ノズル２１に対応する領域に渡って厚さ方向の一部を除去したノズル段差部２２が形成されている。
【００２１】
ここで、各ノズル２１は、インク滴が噴射される面側に設けられてノズル段差部２２内に開口する略円形の小径部２１ａと、小径部２１ａよりも大きい内径を有し小径部２１ａと圧力室１１とを連通する大径部２１ｂとからなる。そして、全てのノズル２１（小径部２１ａ）は、ノズル段差部２２内に開口しており、本実施形態では、ノズル段差部２２内のノズルプレート２０の表面がノズル面となる。
【００２２】
また、このノズルプレート２０のキャビティ基板１０との接合面には、圧力室１１と共通インク室１２との境界に対応する領域に、これら各圧力室１１と共通インク室１２とを連通する供給口２３が形成されている。供給口２３は、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０側に設けられた凹部により形成されている。また、ノズルプレート２０には、共通インク室１２の外側に対応する位置に、キャビティ基板１０の貫通孔１４に連通し、後述する個別端子部と共に共通端子部１６を露出させる露出孔２４が形成されている。なお、この露出孔２４は、貫通孔１４と同様に、共通インク室１２とは反対側の端面まで連続的に形成されていてもよい。
【００２３】
また、ノズルプレート２０の表面、本実施形態では、ノズル段差部２２内には、例えば、フッ素含有シランカップリング化合物等からなる撥水撥油性材料からなる撥水撥油膜２５が形成されている。これにより、ノズルプレート２０の表面（ノズル面）へのインク液滴の付着を抑えている。
【００２４】
一方、電極基板３０は、シリコン単結晶基板に近い熱膨張率を有する材料、例えば、ホウ珪酸ガラス等のガラス基板からなり、キャビティ基板１０の可撓性電極１５側の面に接合されている。この電極基板３０の可撓性電極１５に対向する領域には、各圧力室１１に対応して溝３１が形成されている。また、電極基板３０には、キャビティ基板１０のインク供給孔１３に対応する位置には、インク供給孔１３に連通するインク導入孔３２が形成されている。そして、図示しないインクタンクからこのインク導入孔３２及びインク供給孔１３を介して共通インク室１２にインクが導入されるようになっている。
【００２５】
また、各溝３１には、振動板である可撓性電極１５を変位させる静電気力を発生させるための個別電極（対向電極）３３が、可撓性電極１５との間に所定の間隔を確保した状態でそれぞれ配置されている。また、溝３１内には、キャビティ基板１０の貫通孔１４に対向する領域に、図示しない駆動配線が接続される個別端子部３４が形成されており、この個別端子部３４と各個別電極３３とはリード電極３５によって接続されている。
【００２６】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッド２１０の動作を制御する駆動制御部について図４を参照して説明する。なお、図４は、駆動制御部の電気的な構成を示す概略図である。
【００２７】
駆動制御部１００は、パーソナルコンピュータ等の外部装置１１０から印刷情報を受け取って、装置全体の制御を行うＣＰＵ１２１を備えたインクジェット制御部１２０と、インクジェット制御部１２０及びインクジェット式記録ヘッド２１０を備えたヘッドユニット２００に駆動電源を供給する電源部１３０とによって構成されている。また、インクジェット式記録ヘッド２１０に搭載されたドライバＩＣ１４１と、このドライバＩＣ１４１に接続された駆動パルス発生部１４２とからなる電圧パルス発生部１４０を具備する。なお、駆動パルス発生部１４２をインクジェット制御部１２０内に構成しても構わない。
【００２８】
電圧パルス発生部１４０は、振動板を撓み変形させるための駆動電圧信号を可撓性電極１５と個別電極３３とに印加するものである。
【００２９】
図４に示すように、ＣＰＵ１２１には、内部バスを介してＲＡＭ１２２、ＲＯＭ１２３、キャラクタジェネレータ１２４及び論理ゲートアレイ１２５が接続されている。ＣＰＵ１２１は、ＲＡＭ１２２の記憶領域を作業領域として用い、ＲＯＭ１２３内に格納されている制御プログラムを実行して、キャラクタジェネレータ１２４から発生するキャラクタ情報に基づき、インクジェット式記録ヘッド２１０を駆動するための制御信号を生成する。
【００３０】
生成された制御信号は、論理ゲートアレイ１２５及びこれに接続された駆動パルス発生部１４２を介して、印刷情報などに対応した所定の駆動制御信号となって、コネクタ１５０を経由してインクジェット式記録ヘッド２１０のドライバＩＣ１４１に供給される。
【００３１】
ドライバＩＣ１４１は、インクジェット式記録ヘッド２１０に搭載されて、供給された駆動制御信号と電源部１３０から供給される駆動電圧及び論理ゲートアレイ１２５から伝送された制御信号に基づきインクジェット式記録ヘッド２１０の駆動すべきノズル２１に対応する個別電極３３と可撓性電極１５との間に所定の駆動電圧信号を所定のタイミングで印加する。
【００３２】
また、インクジェット式記録ヘッド２１０には、設定部１５１が設けられている。設定部１５１には、詳しくは後述するが、微振動駆動工程における駆動電圧信号を構成するパルス信号の印加のタイミングが設定されている。なお、本実施形態では、設定部１５１に、各パルス信号のパルス電圧及び印加時間であるパルス幅等も設定されている。
【００３３】
そして、ＣＰＵ１２１は、設定部１５１に設定された設定値に基づいて電圧パルス発生部１４０を制御して、インクジェット式記録ヘッド２１０に駆動電圧信号を印加させる。
【００３４】
このような駆動制御部１００によってインクジェット式記録ヘッド２１０の個別電極３３と可撓性電極１５との間に所定電圧が印加されると、これら個別電極３３と可撓性電極１５との隙間に発生する静電気力によって可撓性電極（振動板）１５が個別電極３３側に撓み変形して圧力室１１の容積が拡大し、電圧印加を解除すると可撓性電極１５が元の状態に復帰して圧力室１１の容積が収縮する。
【００３５】
そして印刷処理を実行する際には、このとき発生する圧力室１１内の圧力変化によってノズル２１からインク滴が噴射される。またインクジェット式記録ヘッド２１０では、所定のタイミングで、ノズル２１近傍のインクに振動を励起させる微振動駆動工程が実行され、ノズル２１近傍のインクを撹拌してインクの増粘及び乾燥を防止している。このような微振動駆動工程が実施される場合には、インク滴が噴射されない程度に圧力室１１内のインクに圧力が付与されるようになっている。
【００３６】
以下、この微振動駆動工程において可撓性電極１５と個別電極３３との間に印加される駆動電圧信号について、図５及び図６を参照して説明する。なお、図５は、本発明の一実施形態に係る駆動電圧信号を示す波形図及びメニスカスの変位を示す図であり、図６は従来技術に係る駆動電圧信号を示す波形図及びメニスカスの変位を示す図である。
【００３７】
本実施形態に係るインクジェット式記録装置では、一定時間内に複数回、例えば、本実施形態では２回、インク滴を噴射させて１ドットの画素の印刷を行う駆動方式が採用されている。この駆動方式は、印刷処理を実行する時だけでなく微振動駆動工程においても採用されている。
【００３８】
本発明に係る駆動電圧信号は、第１〜第ｎの少なくとも２つ以上のパルス信号を含む駆動電圧パルス信号が一定間隔で連続して構成されている。本実施形態に係る駆動電圧信号は、例えば、図５に示すように、第１のパルス信号３０１及び第２のパルス信号３０２を有する複数の駆動電圧パルス信号３０３で構成されている。また、本実施形態に係る第１及び第２のパルス信号３０１，３０２はそれぞれ台形波となっており、充電要素３０４、保持要素３０５、放電要素３０６の各信号要素からなる。すなわち、各パルス信号を印加することにより、まず充電要素３０４によって圧力室１１が膨張し（膨張工程）、保持要素３０５によって圧力室１１の膨張状態が保持され（保持工程）、その後、放電要素３０６によって圧力室１１が収縮する（収縮工程）。勿論、第１及び第２のパルス信号３０１，３０２には、保持要素３０５が含まれていなくてもよい。
【００３９】
なお本実施形態では、各駆動電圧信号パルスが、負の電圧変化を生じさせる第１のパルス信号３０１と、この第１のパルス信号３０１と連続して正の電圧変化を生じさせる第２のパルス信号３０２とで構成されている。「連続して」とは、第１のパルス信号３０１の後には他のパルス信号を形成せずに第２のパルス信号３０２が配置されることを言う。このように駆動電圧信号パルスが正負の電圧変化を生じさせるパルス信号を含むことで、可撓性電極１５と個別電極３３との間に静電気が溜まり過ぎて振動板の変位が十分に得られないといった問題の発生を防止することができる。
【００４０】
ここで、各駆動電圧パルス信号３０３の間隔は、各インクジェット式記録ヘッド２１０において共通する値に設定されているが、各駆動電圧パルス信号３０３を構成する第２のパルス信号３０２を印加するタイミングは、各インクジェット式記録ヘッド２１０の寸法に応じて個別に設定されている。具体的には、第２のパルス信号３０２の印加の開始時期が、第１のパルス信号３０１を印加後、メニスカスがノズル２１の外側（インク噴射方向）に向かって変位しているタイミングとなるように設定されている。
【００４１】
メニスカスの振動周期は、圧力室１１の固有振動周期Ｔｃによって決まり、圧力室１１の固有振動周期Ｔｃは、ノズル２１のイナータンスをＬｎ、インク供給口２３のイナータンスをＬｉ、振動板１５のコンプライアンスをＣｖ、インクのコンプライアンスをＣｉｎｋとしたとき、下記式（１）により表される値である。
Ｔｃ＝２π√〔（ＣＶ＋Ｃｉｎｋ）×Ｌｎ×Ｌｉ〕／（Ｌｎ＋Ｌｉ）    （１）
【００４２】
このため、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッド２１０を製造する際に、個別に圧力室１１の固有振動周期Ｔｃを測定し、その測定結果に基づいて第２のパルス信号３０２の印加の開始時期を設定部１５１に設定している。
【００４３】
そして、第２のパルス信号３０２の印加の開始時期は、つまり第１のパルス信号３０１と第２のパルス信号３０２との間隔ｋＰｗｉは、５／４Ｔｃよりも長く７／４Ｔｃよりも短く設定されていることが好ましい。これにより、第２のパルス信号３０２の印加の開始時期は、メニスカスがノズル２１の外側に向かって変位しているタイミングとなる。
【００４４】
このように微振動駆動工程において第２のパルス信号３０２を所定のタイミングで印加することにより、インクを良好に撹拌しつつインク滴の誤噴射を防止することができる。
【００４５】
具体的には、図５に示すように、まず第１のパルス信号３０１によってインク滴が噴射されない程度で比較的大きい振幅の振動をメニスカスに発生させる。これによりインクが良好に撹拌される。そして、第２のパルス信号３０２を印加することで第１のパルス信号３０１によって生じたメニスカスの振動とは逆向きの振動を発生させる。これによりメニスカスの振動が減衰する。したがって、微振動駆動工程中にノズル２１からインク滴が噴射されることなく、且つノズル近傍のインクを良好に撹拌することができる。
【００４６】
一方、図６に示すように、第２のパルス信号４０２を、メニスカスがノズルの内側（インク噴射方向とは反対方向）に向かって変位しているタイミングで印加した場合には、第１のパルス信号４０１によるメニスカスの振動と第２のパルス信号４０２によるメニスカスの振動が重なり合ってメニスカスの振幅が増大し、最終的にはノズルからインク滴が噴射されてしまう虞がある。例えば、図６に示す例では、２つ目の駆動電圧パルス信号４０３の印加中にノズルからインク滴が噴射されてしまっている。
【００４７】
また本実施形態では第１及び第２のパルス信号３０１，３０２は充電要素３０４と放電要素３０６とを含む台形波となっているため、充填要素（膨張工程）３０４には所定期間Ｐｗｃが必要となる。もちろん、これら第１及び第２のパルス信号３０１，３０２は、台形波ではなく膨張工程と収縮工程で構成される三角波を用いても良い。このため、第２のパルス信号３０２の印加のタイミングは、印加の開始時期と共に充電要素３０４の終了時期が、メニスカスがノズル２１の外側に向かって変位している間に設定されていることが好ましい。これにより、メニスカスの振動をより確実に減衰させてインク滴（インクミスト）が噴射されるのを防止することができる。
【００４８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の例では、駆動電圧信号を構成する駆動電圧パルス信号３０３が第１のパルス信号３０１と第２のパルス信号３０２とからなる例を説明したが、駆動電圧パルス信号は、第１〜第ｎのパルス信号からなるものであればよく、例えば、第１〜第３の三つのパルス信号からなるものであってもよい。この場合でも、メニスカスがノズル２１の外側に向かって変位しているタイミングで第２のパルス信号３０２の印加を開始することで、インク滴を噴射させることなくノズル２１近傍のインクを良好に撹拌することができる。
【００４９】
さらに、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドとしてインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般に適用することができるものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図２】一実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】一実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】一実施形態に係る駆動制御部の概略図である。
【図５】一実施形態に係る駆動電圧信号及びメニスカス変位を示す図である。
【図６】従来技術に係る駆動電圧信号及びメニスカス変位を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  キャビティ基板、  １１  圧力室、  １２  共通インク室、  １４  貫通孔、  １５  可撓性電極、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ２２  ノズル段差部、  ２３  供給口、  ２４  露出孔、  ３０  電極基板、  ３１  溝、  ３３  個別電極、  １００  駆動制御部、  １５１  設定部、  ２００  ヘッドユニット、  ２１０  インクジェット式記録ヘッド
【図１】
2010000727.tif 000003
【図２】
2010000727.tif 000004
【図３】
2010000727.tif 000005
【図４】
2010000727.tif 000006
【図５】
2010000727.tif 000007
【図６】
2010000727.tif 000008