(57)【要約】【課題】バックアップデータの一部を自動的に削除する。【解決手段】  本発明に係る基板処理システムは、基板処理装置及び集中管理装置が通信回線を介して接続される基板処理システムであって、前記基板処理装置は、前記集中管理装置に対して、基板処理装置に関する装置情報を送信する送信手段を有し、前記集中管理装置は、前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する第１の記憶手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の最大値を記憶する第２の記憶手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の状態に応じて、前記第１の記憶手段に記憶されたバックアップデータの一部を削除する削除手段とを有する。【選択図】図３
2010040796.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置及び集中管理装置が通信回線を介して接続される基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、前記集中管理装置に対して、基板処理装置に関する装置情報を送信する送信手段を有し、
前記集中管理装置は、
前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、
前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する第１の記憶手段と、
前記第１の記憶手段のデータ領域の最大値を記憶する第２の記憶手段と、
前記第１の記憶手段のデータ領域の状態に応じて、前記第１の記憶手段に記憶されたバックアップデータの一部を削除する削除手段と
を有する
基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板処理システムは、基板に処理を施す複数の基板処理装置と、この複数の基板処理装置を管理する集中管理装置とで構成される。集中管理装置は、基板処理装置から送信される情報を取得し、この情報をバックアップして記憶媒体に記憶する。このようなバックアップデータが増大することによって、記憶媒体の容量が圧迫される場合には、バックアップデータの一部を、自動又は手動で削除する必要がある。例えば、特許文献１には、あらかじめ設定したバックアップ条件にしたがって、基板処理装置からの情報をバックアップする技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１７７９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述した背景からなされるものであり、バックアップデータの一部を、自動的に削除することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る基板処理システムは、基板処理装置及び集中管理装置が通信回線を介して接続される基板処理システムであって、前記基板処理装置は、前記集中管理装置に対して、基板処理装置に関する装置情報を送信する送信手段を有し、前記集中管理装置は、前記基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する第１の記憶手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の最大値を記憶する第２の記憶手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の状態に応じて、前記第１の記憶手段に記憶されたバックアップデータの一部を削除する削除手段とを有する。
【０００６】
本発明に係る集中管理装置は、通信回線を介して接続される基板処理装置から装置情報を受信する受信手段と、前記装置情報及び装置情報のバックアップデータを記憶する第１の記憶手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の最大値を記憶する第２の記憶手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の状態に応じて、前記第１の記憶手段に記憶されたバックアップデータの一部を削除する削除手段とを有する。
【０００７】
好適には、前記削除手段は、前記第１の記憶手段における１日当たりの使用済みデータ領域を計算する計算手段と、１日当たりの使用済みデータ領域が、前記第１の記憶手段の未使用データ領域を越えるか否かを判定する判定手段とをさらに有し、前記判定手段は、１日当たりの使用済みデータ領域が前記第１の記憶手段の未使用データ領域を越えると判定する場合、１日当たりの使用済みデータ領域が前記第１の記憶手段の未使用データ領域を越えなくなるまで、前記第１の記憶手段から、前記第１の記憶手段に記憶されたバックアップデータを削除する。
【０００８】
好適には、前記削除手段は、前記第１の記憶手段における１日当たりの使用済みデータ領域を計算する第１の計算手段と、前記第１の記憶手段のデータ領域の最大値を、１日当たりの使用済みデータ領域で除して、前記第１の記憶手段に装置情報を格納できる最大日数であるデータ保持期間を計算する第２の計算手段とをさらに有し、前記第１の記憶手段から、データ保持期間を越えたバックアップデータを削除する。
【０００９】
好適には、前記第２の記憶手段は、データ保持期間の最大値をさらに記憶し、前記削除手段は、前記第１の記憶手段における１日当たりの使用済みデータ領域を計算する第１の計算手段と、データ保持期間の最大値までに、前記第１の記憶手段の未使用データ領域がゼロになるか否かを判定する判定手段と、前記判定手段の判定結果に応じて、データ保持期間を新たに計算する第２の計算手段とを有し、前記第１の記憶手段から、第２の計算手段によって計算されたデータ保持期間を越えたバックアップデータを削除する。
【００１０】
好適には、前記第２の記憶手段は、データ保持期間の最大値及び前記第１の記憶手段のディスク容量の最大値をさらに記憶し、前記削除手段は、前記第１の記憶手段における使用済みデータ領域が、前記第１の記憶手段のデータ領域の最大値を越えるか否か、及び、前記第１の記憶手段における使用済みディスク容量が、前記第１の記憶手段のディスク容量の最大値を越えるか否かを判定する第１の判定手段と、前記判定手段の判定結果に応じて、前記第１の記憶手段における１日当たりの使用済みデータ領域を計算する第１の計算手段と、データ保持期間の最大値までに、前記第１の記憶手段の未使用データ領域がゼロになるか否かを判定する第２の判定手段と、前記判定手段の判定結果に応じて、データ保持期間を新たに計算する第２の計算手段とを有し、前記第１の記憶手段から、第２の計算手段によって計算されたデータ保持期間を越えたバックアップデータを削除する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、バックアップデータの一部を、自動的に削除することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムを説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び集中管理装置１２を有する。基板処理装置１０−１〜１０−ｎは、操作パネルとして、操作部１４−１〜１４−ｎを備える。基板処理装置１０−１〜１０−ｎ及び集中管理装置１２は、例えばＬＡＮ，ＷＡＮなどのネットワーク１６を介して、データの送受信が互いに可能になるよう接続されている。なお、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。
【００１３】
基板処理装置１０は、プロセスレシピ等に基づいて基板の処理を実行する。具体的には、プロセスレシピには、基板を処理するための手順が記載されており、基板処理装置１０は、操作部１４上で、プロセスレシピが実行されるよう、装置内の構成要素を制御する。また、基板処理装置１０は、温度情報、圧力情報、ガス情報等を含む基板処理装置１０の状態に関する装置情報を、ネットワーク１６を介して、集中管理装置１２に対して送信する。
集中管理装置１２は、基板処理装置１０から装置情報を受信し、装置情報の保存及びバックアップを行う。
【００１４】
以下、基板処理装置１０及び集中管理装置１２のハードウェア構成を説明する。
図２は、基板処理装置１０及び集中管理装置１２のハードウェア構成を、制御装置１８，２４を中心に示す図である。
図２に示すように、基板処理装置１０は、操作部１４、ＣＰＵ２０及びメモリ２２などを含む制御装置１８を有する。集中管理装置１２は、ＣＰＵ２６及びメモリ２８などを含む制御装置２４、ＨＤＤ、ＣＤ装置などの記録装置３０、ＬＣＤ表示装置あるいはＣＲＴ表示装置及びキーボード、タッチパネルなどを含むユーザインタフェース装置（ＵＩ装置）３２、及び、通信装置３４を有する。
集中管理装置１２は、例えば、第１の監視プログラム４（図３を用いて後述）や第２の監視プログラム５（図５を用いて後述）がインストールされたコンピュータであり、ＵＩ装置３２などを介して、第１の監視プログラム４や第２の監視プログラム５で使用されるパラメータをユーザから受け取り、通信装置３４などを介して、基板処理装置１０から装置情報を受信する。
【００１５】
以下、集中管理装置１２の機能を説明する。
図３は、集中管理装置１２によって実行される第１の監視プログラム４の機能構成を示す図である。
図３に示すように、第１の監視プログラム４は、入力部４０、パラメータデータベース（パラメータＤＢ）４２、通信部４４、装置情報ＤＢ４６、及び、監視部４８を有する。第１の監視プログラム４は、集中管理装置１２のメモリ２８にロードされ、集中管理装置１２で動作する図示しないＯＳ上で実行される（第２の監視プログラム５についても同様）。
【００１６】
入力部４０は、ＵＩ装置３２のキーボード等を介して、ユーザから、監視部４８が装置情報ＤＢ４６を監視する間隔、閾値としての装置情報ＤＢ４６の最大使用データ領域及び最大使用ディスク容量、データ保持期間の上限値（後で詳述）、及び、データ保持期間を更新する間隔（後で詳述）などの入力を受け付け、受け付けた情報をパラメータＤＢ４２に記憶する。なお、パラメータＤＢ４２は、情報をファイル単位で記憶するファイルシステムとして実現されてもかまわない（装置情報データベース４６についても同様）。また、監視部４８が装置情報ＤＢ４６を監視する間隔は、データ保持期間を更新する間隔と同じであってもかまわないし、そうでなくともかまわない。
【００１７】
通信部４４は、基板処理装置１０との間の通信に必要な通信処理を行う。具体的には、通信部４４は、基板処理装置１０から送信される装置情報を、通信装置３４を介して取得し、装置情報ＤＢ４６に格納する。
監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、装置情報ＤＢ４６を監視する。なお、具体的な監視方法については、後で詳述する。
【００１８】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行される第１の監視処理（Ｓ１０）の動作を説明する。
図４は、集中管理装置１２で実行される第１の監視処理の動作を示すフローチャートである。
図４に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、第１の監視プログラム４の通信部４４は、基板処理装置１０から装置情報を受信し、ステップ１０２（Ｓ１０２）の処理に進む。
【００１９】
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、第１の監視プログラム４の監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定された監視間隔を取得し、第１の監視プログラム４が実行されてから経過した時間ｔが、監視間隔を越えているか否かを判定する。監視部４８は、ｔが監視間隔を越えていると判定する場合には、ステップ１０４（Ｓ１０４）の処理に進む。監視部４８は、ｔが監視間隔を越えるまで、ステップ１０４（Ｓ１０４）の処理に進まない。
【００２０】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６において装置情報が格納されているデータ領域の値を取得し、パラメータＤＢ４２であらかじめ設定された閾値を越えているか否かを判定する。監視部４８は、すでに使用されたデータ領域の値が閾値を越えていると判定する場合には、ステップ１０６（Ｓ１０６）の処理に進む。一方、すでに使用されたデータ領域の値が閾値を越えていないと判定する場合には、監視部４８は、監視処理を終了する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６に格納されている装置情報から、最も古い装置情報を削除し、第１の監視プログラム４を終了する。
【００２１】
図５は、集中管理装置１２によって実行される第２の監視プログラム５の機能構成を示す図である。
図５に示すように、第２の監視プログラム５は、入力部４０、パラメータＤＢ４２、通信部４４、装置情報ＤＢ４６、監視部４８、及び、メール送信部５０を有する。
入力部４０は、前述した第１の監視プログラム４の監視部４８が受け付ける情報のほか、メール送信部５０がメールを送信するメールアドレスの入力を受け付け、受け付けた情報をパラメータＤＢ４２に記憶する。
【００２２】
メール送信部５０は、監視部４８による監視結果に応じて、メールサーバ（図示せず）を介し、あらかじめ設定されたメールアドレス宛にメールを送信する。なお、メール送信部５０がメールを送信する条件及びメールのメッセージは、後で詳述する。また、メールサーバは、基板処理装置１０が設置される場所（例えば、クリーンルームなど）と同じ場所に設置されてもかまわないし、異なる場所に設置されてもかまわない。
【００２３】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行される第２の監視処理（Ｓ２０）の動作を説明する。
図６は、集中管理装置１２で実行される第２の監視処理の動作を示すフローチャートである。
図６に示すように、ステップ２００〜２０４（Ｓ２００〜２０４）において、第２の監視プログラム５は、前述したステップ１００〜１０４（Ｓ１００〜１０４）と同じ処理を行う。
ステップ２０６（Ｓ２０６）において、第２の監視プログラム５のメール送信部５０は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定されたメールアドレスを取得する。メール送信部５０は、このメールアドレスを宛先として、装置情報ＤＢ４６において、使用済みデータ領域の値が閾値を越えていることを通知する。
【００２４】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行される第３の監視処理（Ｓ３０）の動作を説明する。
図７は、集中管理装置１２で実行される第３の監視処理の動作を示すフローチャートである。
図７に示すように、ステップ３００，３０２（Ｓ３００，３０２）において、第１の監視プログラム４は、前述したステップ１００，１０２（Ｓ１００，１０２）と同じ処理を行う。
【００２５】
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、第１の監視プログラム４の監視部４８は、装置情報ＤＢ４６において、１日に使用したデータ領域の値を算出し、ステップ３０６（Ｓ３０６）の処理に進む。なお、１日当たりの使用済みデータ領域の値を算出する処理は、後で詳述する。
ステップ３０６（Ｓ３０６）において、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６の未使用データ領域の値を取得し、ステップ３０４（Ｓ３０４）で算出した１日当たりの使用済みデータ領域の値と大小を比較する。監視部４８が、１日当たりの使用済みデータ領域の値が、未使用データ領域の値よりも大きいと判定する場合には、ステップ３０８（Ｓ３０８）の処理に進む。一方、そうでない場合には、監視部４８は、第１の監視プログラム４を終了する。
【００２６】
ステップ３０８（Ｓ３０８）において、監視部４８は、１日当たりの使用済みデータ領域の値が、未使用データ領域の値よりも小さくなるまで、装置情報ＤＢ４６から、格納されている装置情報を古い順に削除し、第１の監視プログラム４を終了する。
以上、集中管理装置１２で実行される第３の監視処理を、前述した第１の監視プログラム４の構成要素に対応付けて説明した。この第３の監視処理において、第２の監視プログラム５と同様、あらかじめメールアドレスを設定しておき、ステップ３０８（Ｓ３０８）において装置情報を削除した後、このメールアドレス宛に、装置情報を削除したことを通知してもかまわない（以下、第４〜６の監視処理について同様）。
【００２７】
以下、１日当たりの使用済みデータ領域の値を算出する処理を説明する。
図８は、監視部４８が、装置情報ＤＢ４６において、１日に使用されたデータ領域の値を算出する処理を説明するための図である。
図８に示すように、装置情報ＤＢ４６の全データ領域が１００ＧＢ（うち使用済みデータ領域は９０ＧＢ）であり、装置情報ＤＢ４６には、２００７年６月１日から２００７年７月３０日までの６０日間にわたって装置情報が格納されている。
このとき、１日当たりの使用済みデータ領域の値（１．５ＧＢ／日）は、使用済みデータ領域の値（９０ＧＢ）を、データ格納期間（６０日）で除することによって算出される。
【００２８】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行される第４の監視処理（Ｓ４０）の動作を説明する。
図９は、集中管理装置１２で実行される第４の監視処理の動作を示すフローチャートである。
図９に示すように、第１の監視プログラム４は、ステップ４００，４０２（Ｓ４００，４０２）において、前述したステップ１００，１０２（Ｓ１００，１０２）と同じ処理を行い、ステップ４０４（Ｓ４０４）において、前述したステップ３０４（Ｓ３０４）と同じ処理を行う。
【００２９】
ステップ４０６（Ｓ４０６）において、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６に装置情報を格納できる最大日数であるデータ保持期間を算出し、ステップ４０８（Ｓ４０８）の処理に進む。具体的には、監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定された装置情報ＤＢ４６の最大使用データ領域の値（又は、装置情報ＤＢ４６の全データ領域の値）を取得し、この値をステップ４０４（Ｓ４０４）で算出した１日当たりの使用済みデータ領域の値で除することによって、データ保持期間を算出する。
ステップ４０８（Ｓ４０８）において、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６に格納された装置情報のうち、データ保持期間を経過した装置情報を古い順に削除する。
【００３０】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行される第５の監視処理（Ｓ５０）の動作を説明する。
図１０は、集中管理装置１２で実行される第５の監視処理の動作を示すフローチャートである。
図１０に示すように、第１の監視プログラム４は、ステップ５００（Ｓ５００）において、前述したステップ１００（Ｓ１００）と同じ処理を行い、ステップ５０２，５０４（Ｓ５０２，５０４）において、前述したステップ４０４，４０６（Ｓ４０４，４０６）と同じ処理を行う。
【００３１】
ステップ５０６〜５２２（Ｓ５０６〜５２２）において、監視部４８は、あらかじめ設定された更新間隔で、ステップ５０４（Ｓ５０４）で算出されたデータ保持期間を更新する。
ステップ５０６（Ｓ５０６）において、監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定された更新間隔を取得し、ステップ５０４（Ｓ５０４）の処理が実行されてから経過した時間Ｔが、この更新間隔を越えているか否かを判定する。監視部４８は、Ｔが更新間隔を越えていると判定する場合には、ステップ５０８（Ｓ５０８）の処理に進む。監視部４８は、Ｔが更新間隔を越えるまで、ステップ５０８（Ｓ５０８）の処理に進まない。
【００３２】
ステップ５０８（Ｓ５０８）において、監視部４８は、ステップ５０２（Ｓ５０２）と同じ方法によって、１日当たりの使用済みデータ領域の値を新たに算出し、ステップ５１０（Ｓ５１０）の処理に進む。
ステップ５１０（Ｓ５１０）において、監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定されたデータ保持期間の上限値を取得し、この値及びステップ５０８（Ｓ５０８）で新たに算出した１日当たりの使用済みデータ領域の値を用いて、装置情報ＤＢ４６がデータ保持期間の上限値までにフルになるか否かを判定する。具体的には、監視部４８は、データ格納期間からデータ保持期間の上限値までの期間に使用することが予測されるデータ領域の値が、装置情報ＤＢ４６の未使用データ領域の値を越える場合には、装置情報ＤＢ４６がフルになると判定し、ステップ５１２（Ｓ５１２）の処理に進み、そうでない場合には、装置情報ＤＢ４６はフルにならないと判定し、ステップ５１４（Ｓ５１４）の処理に進む。
【００３３】
例えば、データ保持期間の上限値が９０日に設定され、装置情報ＤＢ４６（１００ＧＢ）のうち９０ＧＢを６０日間で使用した場合を例に、フルになることを説明する（例１）。
この場合、監視部４８は、データ格納期間からデータ保持期間の上限値までの期間（９０日−６０日＝３０日）に、１日当たりの使用済みデータ領域（９０ＧＢ÷６０日＝１．５ＧＢ／日）を乗じることによって、これから使用することが予測されるデータ領域（４５ＧＢ）を算出する。監視部４８は、このデータ領域の値（４５ＧＢ）は、未使用データ領域の値（１００ＧＢ−９０ＧＢ＝１０ＧＢ）を越えているから、装置情報ＤＢ４６はフルになると判定する。
【００３４】
さらに、例えば、データ保持期間の上限値が９０日に設定され、装置情報ＤＢ４６（１００ＧＢ）のうち８０ＧＢを８０日間で使用した場合を例に、フルにならないことを説明する（例２）。
この場合、監視部４８は、データ格納期間からデータ保持期間の上限値までの期間（９０日−８０日＝１０日）に、１日当たりの使用済みデータ領域（８０ＧＢ÷８０日＝１ＧＢ／日）を乗じることによって、これから使用することが予測されるデータ領域（１０ＧＢ）を算出する。監視部４８は、このデータ領域の値（１０ＧＢ）は、未使用データ領域の値（１００ＧＢ−８０ＧＢ＝２０ＧＢ）を越えていないから、装置情報ＤＢ４６はフルにならないと判定する。
【００３５】
ステップ５１２（Ｓ５１２）において、監視部４８は、新たにデータ保持期間を算出し、ステップ５１６（Ｓ５１６）の処理に進む。具体的には、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６の未使用データ領域の値を、ステップ５０８（Ｓ５０８）で新たに算出した１日当たりの使用済みデータ領域の値で除した値にデータ格納期間を加え、新たなデータ保持期間とする。
上記の例１では、監視部４８は、未使用データ領域の値（１００ＧＢ−９０ＧＢ＝１０ＧＢ）を、１日当たりの使用済みデータ領域の値（９０ＧＢ÷６０日＝１．５ＧＢ／日）で除した値（６．６日）にデータ格納期間（６０日）を加え、新たなデータ保持期間（６６日）を算出する。
【００３６】
ステップ５１４（Ｓ５１４）において、監視部４８は、あらかじめ設定されたデータ保持期間の上限値を、新たなデータ保持期間として、ステップ５２２（Ｓ５２２）の処理に進む。
上記の例２では、監視部４８は、データ保持期間の上限値（９０日）を、新たなデータ保持期間とする。
【００３７】
ステップ５１６（Ｓ５１６）において、監視部４８は、ステップ５１２（Ｓ５１２）において新たに算出したデータ保持期間以後、新たに１日当たりの使用済みデータ領域の値を算出し、この値が、装置情報ＤＢ４６の未使用データ領域の値を越えるか否かを判定する。監視部４８は、１日当たりの使用済みデータ領域の値が装置情報ＤＢ４６の未使用領域の値を越えていると判定する場合には、ステップ５１８（Ｓ５１８）の処理に進み、そうでない場合には、ステップ５２０（Ｓ５２０）の処理に進む。
【００３８】
例えば、データ保持期間が３０日であり、この日に、すでに、装置情報ＤＢ４６（６０ＧＢ）のうち５９ＧＢを使用している場合を例に、１日当たりの使用済みデータ領域の値が装置情報ＤＢ４６の未使用領域の値を越えていることを説明する（例３）。
この場合、監視部４８は、１日当たりの使用済みデータ領域の値（５９ＧＢ÷３０日＝１．９６ＧＢ／日）及び装置情報ＤＢ４６の未使用領域（６０ＧＢ−５９ＧＢ＝１ＧＢ）を算出し、１日当たりの使用済みデータ領域の値が装置情報ＤＢ４６の未使用領域の値を越えていると判定する。
【００３９】
例えば、データ保持期間が６０日であり、この日に、すでに、装置情報ＤＢ４６（１００ＧＢ）のうち７２ＧＢを使用している場合を例に、１日当たりの使用済みデータ領域の値が装置情報ＤＢ４６の未使用領域の値を越えていないことを説明する（例４）。
この場合、監視部４８は、１日当たりの使用済みデータ領域の値（７２ＧＢ÷６０日＝１．２ＧＢ／日）及び装置情報ＤＢ４６の未使用領域（１００ＧＢ−７２ＧＢ＝２８ＧＢ）を算出し、１日当たりの使用済みデータ領域の値が装置情報ＤＢ４６の未使用領域の値を越えていないと判定する。
【００４０】
ステップ５１８（Ｓ５１８）において、監視部４８は、データ格納期間から１を減じた値を、新たなデータ保持期間として、ステップ５２２（Ｓ５２２）の処理に進む。なお、１を減じるのは、翌日のデータを格納するデータ領域を確保するためである。
上記の例３では、監視部４８は、データ格納期間（３０日）から１を減じた値（２９日）を、新たなデータ保持期間とする。
【００４１】
ステップ５２０（Ｓ５２０）において、監視部４８は、新たにデータ保持期間を算出し、ステップ５２２（Ｓ５２２）の処理に進む。具体的には、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６の未使用データ領域の値を、ステップ５０８（Ｓ５０８）で新たに算出した１日当たりの使用済みデータ領域の値で除した値にデータ格納期間を加え、新たなデータ保持期間とする。
上記の例４では、監視部４８は、未使用データ領域の値（１００ＧＢ−７２ＧＢ＝２８ＧＢ）を、１日当たりの使用済みデータ領域の値（７２ＧＢ÷６０日＝１．２ＧＢ／日）で除した値（２３日）にデータ格納期間（６０日）を加え、新たなデータ保持期間（８３日）を算出する。
【００４２】
ステップ５２２（Ｓ５２２）において、監視部４８は、装置情報ＤＢ４６に格納された装置情報のうち、ステップ５１４，５１８，５２０のいずれかで算出されたデータ保持期間を経過した装置情報を古い順に削除する。
【００４３】
以下、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行される第６の監視処理（Ｓ６０）の動作を説明する。
図１１は、集中管理装置１２で実行される第６の監視処理の動作を示すフローチャートである。
図１１に示すように、第１の監視プログラム４は、ステップ６００〜６０６（Ｓ６００〜６０６）において、前述したステップ５００〜５０６（Ｓ５００〜５０６）と同じ処理を行う。
【００４４】
ステップ６０８（Ｓ６０８）において、監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定された閾値を取得し、装置情報ＤＢ４６の使用済みデータ領域の値が閾値を越えていると判定する場合には、ステップ６１０（Ｓ６１０）の処理に進み、そうでない場合には、監視処理を終了する。
ステップ６１０（Ｓ６１０）において、監視部４８は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定された閾値を取得し、装置情報ＤＢ４６の使用済みディスク容量の値が閾値を越えていると判定する場合には、ステップ６１２（Ｓ６１２）の処理に進み、そうでない場合には、監視処理を終了する。
【００４５】
ステップ６１２（Ｓ６１２）において、メール送信部５０は、パラメータＤＢ４２を参照して、あらかじめ設定されたメールアドレスを取得する。メール送信部５０は、このメールアドレスを宛先として、装置情報ＤＢ４６において、使用済みデータ領域及びディスク容量の値がともに閾値を越えていることを通知する。
ステップ６１４〜６２８（Ｓ６１４〜６２８）において、監視部４８は、前述したステップ５０８〜５２２（Ｓ５０８〜５２２）と同じ処理を行う。
【００４６】
以上説明したように、本発明に係る基板処理システム１において、集中管理装置１２は、基板処理装置１０からの装置情報を格納する装置情報ＤＢ４６の使用状態に応じて、これに格納された装置情報の一部を削除することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。
【図２】基板処理装置及び集中管理装置のハードウェア構成を、制御装置を中心に示す図である。
【図３】集中管理装置によって実行される第１の監視プログラムの機能構成を示す図である。
【図４】集中管理装置で実行される第１の監視処理の動作を示すフローチャートである。
【図５】集中管理装置によって実行される第２の監視プログラムの機能構成を示す図である。
【図６】集中管理装置で実行される第２の監視処理の動作を示すフローチャートである。
【図７】集中管理装置で実行される第３の監視処理の動作を示すフローチャートである。
【図８】監視部が、装置情報ＤＢにおいて、１日当たり使用済みデータ領域の値を算出する処理を説明するための図である。
【図９】集中管理装置で実行される第４の監視処理の動作を示すフローチャートである。
【図１０】集中管理装置で実行される第５の監視処理の動作を示すフローチャートである。
【図１１】集中管理装置で実行される第６の監視処理の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４８】
１    基板処理システム
４    監視プログラム
１０  基板処理装置
１２  集中管理装置
１４  操作部
１６  ネットワーク
１８  制御装置
２０  ＣＰＵ
２２  メモリ
２４  制御装置
２６  ＣＰＵ
２８  メモリ
３０  記録装置
３２  ＵＩ装置
３４  通信装置
４０  入力部
４２  パラメータＤＢ
４４  通信部
４６  装置情報ＤＢ
４８  監視部
５０  メール送信部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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