(57)【要約】【課題】  半導体製造装置のソフト自動合わせ。【解決手段】  半導体製造装置において各装置内にバージョン管理ＤＢを持つ。ソフトを更新した場合に管理ＤＢも更新される。予めバージョンを揃えたい装置を登録しておく。バージョン管理ＤＢは登録した装置間で通信を行い自動でバージョン情報を取得する。１台のＤＢが更新された場合に、他の装置ではその更新を検出し自動的に更新された装置からソフトウェアをダウンロードし自動で更新を行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置において、装置の動作を制御するソフトを更新可能であり、ネットワーク上に繋がっていて、ネットワーク上の他装置のバージョン情報から、自動で更新する機能を備えることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
装置内にバージョン管理のためのDB（以降バージョン管理DBとする）を持つ事を特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項３】
ソフト更新した際にバージョン管理DBも更新されることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項４】
他の装置が更新された事を検知する（以後更新とする）装置を登録出来ることを特徴とした請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項５】
バージョン管理DBは登録した装置間で通信を行い自動でバージョンの更新を行うことを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項６】
1台目のソフト更新は、MO、CD、DAT、PC、ネットワークのいずれから出来ることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項７】
1台目のDBが更新された場合に、他装置ではその更新を検出することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項８】
1台目のDBを更新するためには固有のパスワードが必要なことを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項９】
2台目以降を更新するためには固有のパスワードが必要なことを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項１０】
更新されたソフトを自動でダウンロードしてくることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項１１】
自動更新のタイミングをタイマで設定出来ることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項１２】
特許請求第１１項記載のタイマを確認する事を特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１３】
ソフト更新に伴い他の作業が必要な場合はその情報と共にその旨をHOSTへ通知することを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１４】
該当ソフトが実行中でない場合は、更新するソフトをバックアップ後に更新することを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１５】
該当ソフトが実行中の場合は、実行中でなくなってから、更新するソフトをバックアップ後に更新することを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１６】
ソフトを更新した旨をHOSTに通知することを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１７】
更新により再起動が必要な場合は、HOSTにその旨を通知することを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１８】
再起動を選択しなかった場合は定期的にHOSTに通知を続けることを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項１９】
再起動を選択した場合には自動で装置が再起動されることを特徴とする請求項５に記載の自動更新システム。
【請求項２０】
請求項１に記載の半導体製造装置を使用し稼動していることを特徴とする半導体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程に用いる装置では、ソフトを更新する際に、装置1台ずつのソフト更新が必要で有った。新しいソフトが発行されるとオペレータがメディアを持って装置の前に行き、1台ずつソフトを更新していた。
【０００３】
従来例として、下記特許文献１をあげることが出来る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2005-157929号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、以下の問題点が有った。
【０００６】
１）装置の制御ソフトは装置毎に独立して持っていて、装置毎に更新する必要が有る。一般に半導体製造工場では、１つのラインで同じ機種の装置が複数台（多い場合は数十台）稼動している。そのため、修正ソフトが発行されると同じソフトを装置の台数分だけ更新する必要が有り、工数が膨大になる。
【０００７】
２）更新するオペレータによって個人差が有り、更新を失敗する時がある。また、同じオペレータが行ったとしてもソフトの種類が多く、更新する装置が多いとオペレーションミスを誘発しやすい。
【０００８】
３）一部の装置のみ更新した場合には、装置毎にソフトのバージョンが異なり、オペレーション等運用上思わぬトラブルを引き起こす場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の半導体製造装置においては各装置内にバージョン管理DBを持つ。ソフトを更新した場合には管理DBも更新される。予めバージョンを揃えたい装置を登録しておく。バージョン管理DBは登録した装置間で通信を行い自動でバージョン情報を取得する。1台のDBが更新された場合に、他の装置ではその更新を検出し自動的に更新された装置からソフトウェアをダウンロードし自動で更新を行う。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の半導体製造装置においては各装置内にバージョン管理DBを持ち1台のDBが更新された場合に、他の装置ではその更新を検出し自動的に更新された装置からソフトウェアを自動でダウンロードしソフトウェアの更新を行う事が出来る。これまでは露光装置の制御ソフトは装置毎に独立して持っていて、装置毎に更新する必要が有り、修正ソフトが発行されると同じソフトを装置の台数分だけ更新する必要が有り、工数が膨大になっていた。また、更新するオペレータによって個人差が有り、更新を失敗する時があった。更に、同じオペレータが行ったとしてもソフトの種類が多く、更新する装置が多いとオペレーションミスを誘発しやすい上に、一部の装置のみ更新した場合には、装置毎にソフトのバージョンが異なり、オペレーション等運用上思わぬトラブルを引き起こしていた問題が解決された。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施例における半導体製造工場の例で有る。
【図２】本発明の一実施例における1台目の装置の更新例で有る。
【図３】本発明の一実施例におけるバージョン管理DBの情報取得例で有る。
【図４】本発明の一実施例におけるバージョン管理DBの情報取得後の例で有る。装置２のバージョン管理DBが自動でBに更新されている。
【図５】本発明の一実施例における1台目を更新した際のフローの例で有る。
【図６】本発明の一実施例における装置間のバージョン管理DBの情報取得から更新までのフローの例で有る。
【図７】本発明の一実施例における揃える装置の登録例で有る。
【図８】本発明の他の施例における1台目の装置の更新例で有る。
【図９】本発明の他の施例における1台目の装置の更新例で有る。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（実施例１）
図１は、本発明の一実施例における半導体製造工場の例で有る。
【００１３】
図１において、工場内に装置１、装置２、装置３、装置４、装置５が有り、ネットワークで接続されている。１−１〜１−５は各装置内に格納されているDBで有り、バージョン情報、装置固有情報などが保管されている。DBの中でAは本発明におけるバージョン管理DBで有る。バージョン管理DBは１−６〜１−８の様にネットワーク経由で各装置のバージョン管理DBの情報を取得している。図には記載していないが他装置間でも各バージョン管理DBの情報を取得している。
【００１４】
図２において、１台目の装置を更新するために、２−１のオペレータが工場内の装置１でメディアから装置の更新を行っている。
【００１５】
図３において、装置１の更新が終わり１−１のバージョン管理DBが新DBとなる。ここで新バージョン管理DBをBとする。装置２は装置１のバージョン管理DBが新しくなった事を３−１の情報取得で検知する。
【００１６】
図４において、装置２が装置１の更新を検知し、装置２の１−２のバージョン管理DBが新DB、つまりBに更新される。その結果、１−１と１−２のバージョン管理DBは同じとなる。
【００１７】
図５は、1台目を更新した際のフローで有る。
【００１８】
(1)で更新用メディアを用い装置の更新を行う。メディアの例としては、MO、CD、DAT、PCなどが上げられる。次に(2)で更新用メディア固有のパスワード入力を求められる。これは、例えばライセンス管理、違法インストールを避ける目的で有る。パスワードを入力しない場合、パスワードが正しくない場合は、これを終了する。正しいパスワードを入力した場合は(3)に進み、装置のバージョンアップ中フラグをONする。これは、例えば更新中の状態で他装置とのバージョン管理DBの情報取得を行わないためのフラグで有る。更新中フラグを立てたら実際の更新を行う。更新により他の作業（ハードの改修、設定の変更など）が必要な場合は(6)で先に作業を行う。その後(7)で装置を立ち上げ、(8)でバージョンアップ中フラグを解除する。
【００１９】
図６は、装置間のバージョン管理DBの情報取得から更新までのシーケンス例で有る。
【００２０】
図７は、揃えたい装置の登録例で有る。
【００２１】
処理が開始すると(1)にて揃えたい装置の確認を行う。処理開始するタイミングはカスタマイズ出来る。
【００２２】
揃えたい装置は図７で予め登録しておく事が出来る。図７で装置名、IPアドレスを登録しておく。例えばA〜Cまでの３台有った場合には順次バージョン管理DBの情報取得を行う。全装置のバージョン管理DBの情報取得が終わっていたら終了する。装置が他に有る場合は、該当する装置にネットワーク経由で接続を行う。(2)で該当装置のバージョンアップ中フラグがONになっている場合は、(1)に戻り、他装置の確認をする。フラグがONという事は該当の装置は更新中で有るのでバージョン管理DBの情報取得は行わないためで有る。バージョンアップフラグがOFFの場合は、該当装置の情報を取得する。バージョン情報が同じ場合は(1)に戻り、他装置の確認をする。バージョン情報が異なる場合は次のシーケンスに進む。該当装置より該当ソフトを自動でダウンロードして保存しておく。(3)で更新以外にも作業が必要な場合はHOSTに通知し、別作業が可能になってから更新作業を続行する。これは更新に伴いハード改修などが必要な場合が有るからである。更新以外の作業が必要ない場合は次の装置の自動更新に進む。タイマフラグを確認し、(4)でタイマが来るまで待つ。これは2台目以降を更新する時は1台目の稼動状況を様子見したいケースが有るためである。例えば１週間と設定すれば、1週間後に自動更新作業を続行する。タイマの設定が来たら、更新するソフトの実行状態を確認する。(5)で実行中の場合は実行で無くなるまで待つ。
【００２３】
該当ソフトが実行中でない場合は、まず該当ソフトをバックアップする。問題発生時に元に戻せるようにするためで有る。次に自動で該当ソフトを更新する。更に自動更新した旨をHOSTに通知する。(6)で更新に伴い再起動が必要ない場合はここで更新を終了する。再起動が必要な場合は、次に進みHOSTに再起動が必要な旨を通知する。稼動中に自動で再起動する事は不都合なためで有る。再起動がOKで有れば、(7)においてHOST側で再起動を選択し、装置を自動で再起動する。稼動中のため再起動を選択しない場合は、(8)で再起動が必要な旨をHOST側に定期的に通知を行う。これは再起動するまで継続する。装置が稼動中で無くなりHOST側で再起動を選択した場合、自動で再起動が行われる。
【００２４】
（実施例２）
本発明における1台目更新の他の実施例を図８、図９に示す。
【００２５】
図８の例では、工場内に装置１、装置２、装置３、装置４、装置５が有り、ネットワークで接続されている。また、ネットワーク上に８−１のサーバ及び８−２のオペレータがいる。８−２のオペレータが８−１のサーバ内に更新用ソフトをインストールする。装置がサーバからバージョン管理DBの情報を取得し、自動更新することが出来る。
【００２６】
図９の例では、工場内に装置１、装置２、装置３、装置４、装置５が有り、ネットワークで接続されている。また、ネットワーク上に９−１のPC及び９−２のオペレータがいる。９−２のオペレータが９−１のPC経由で装置１に接続し装置１のソフトを更新することが出来る。
【符号の説明】
【００２７】
装置１〜装置５は工場内のネットワークで接続されている。
【００２８】
１−１〜１−５は装置内でソフトを保管しているDB。
【００２９】
Aは本発明のバージョン管理DBで有る。
【００３０】
１−６〜１−８はネットワーク経由で各バージョン管理DBの情報を取得している。
【００３１】
２−１はオペレータで有り、装置１を更新している。
【００３２】
Bは本発明のバージョン管理DBで有るが、AとBでソフトが異なるため、装置２が装置１のバージョン管理DBの情報を取得している。
【００３３】
８−１はネットワークに接続されているサーバ。
【００３４】
８−２はオペレータで有る。
【００３５】
オペレータが８−１のサーバに更新用のソフトをインストールしている。
【００３６】
９−１はネットワークに接続されているPC。
【００３７】
９−２はオペレータで有る。オペレータが９−１のPC経由で装置１に接続し、装置１のソフトを更新している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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