(57)【要約】【課題】共通のベース上に配列された複数の装着モジュールの各々がそれぞれ分担の電子回路部品を装着する装着システムの設置位置の自由度を向上させる。【解決手段】それぞれ基板搬送保持装置，部品供給装置，装着装置を備えた各装着モジュール１０のモジュール本体１８を、ベッド３６と前後のコラム３８，４０とクラウン４２とを備えたものとし、ベッド３６内に装着モジュールのＣＰＵボックス１２０，制御ボックス１２２，サーボボックス１２４等を収納し、それらが作動に伴って発生する熱により加熱された空気を、後コラム４０内に形成した排気通路１３８を経てクラウン４２の上面から上方へ排出させることにより排熱を行う。複数の装着モジュールを支持するベース内にも電気制御装置や補機を収納し、ベース内の空気もコラムを経て上方へ排出させてもよい。【選択図】図６
2010263069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、それら基板保持装置，部品供給装置および装着装置を保持する本体フレームとを含む電子回路部品装着機であって、
前記本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に当該電子回路部品装着機の電気制御装置が収納され、かつ、当該電子回路部品装着機が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着機。
【請求項２】
それぞれ、(a)回路基板を搬送方向に搬送するとともに停止位置に停止させて保持する基板搬送保持装置と、(b)その基板搬送保持装置の片側に設けられて電子回路部品を供給する部品供給装置と、(c)その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記停止位置において前記基板搬送保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、(d)それら基板搬送保持装置，部品供給装置および装着装置を支持する本体フレームとを含む複数の装着モジュールが、前記搬送方向に並べて配置され、それぞれの前記基板搬送保持装置により直接回路基板の受け渡しを行い、その回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、
前記複数の装着モジュールの各々の本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に各装着モジュールの電気制御装置が収納され、かつ、前記複数の装着モジュールの各々が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着システム。
【請求項３】
前記複数の装着モジュールの各々の前記本体フレームが、前記ベッドに加えて、そのベッドから立ち上がったコラムと、そのコラムにより支持されたクラウンとを含み、前記ベッド内空気排出装置が、前記ベッド内の空気を、前記排気通路としての前記コラムの内部を経て、前記クラウンから上向きに排出するものである請求項２に記載の電子回路部品装着システム。
【請求項４】
前記装着装置が、前記電子回路部品を保持する保持ヘッドと、その保持ヘッドを前記基板搬送保持装置により保持された回路基板の表面に平行なＸＹ座標面の任意の位置へ移動させるＸＹロボットとを含み、そのＸＹロボット周辺の空気を上向きに排出するクラウン内空気排出装置を含む請求項３に記載の電子回路部品装着システム。
【請求項５】
前記複数の装着モジュールの各々が、前記本体フレームの前部と後部との両方に前記コラムを有し、前記ベッド内空気排出装置が後部のコラムの内部を経て前記ベッド内の空気を排出する請求項３または４のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【請求項６】
前記複数の装着モジュールから成る装着モジュール列が、それら装着モジュールの背面において、作業者が入り得ない大きさの隙間を隔てて互いに対向する状態で設置された請求項２ないし５のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【請求項７】
さらに、前記複数の装着モジュールを、それら複数の装着モジュールの並び方向と交差する方向に移動可能に支持するベースを含む請求項２ないし６のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
【請求項８】
回路基板を保持する基板保持装置と、その基板保持装置の両側に設けられてそれぞれ電子回路部品を供給する２つの部品供給装置と、それら部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、それら基板保持装置，部品供給装置および装着装置を保持する本体フレームとを含む電子回路部品装着機であって、
前記本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に当該電子回路部品装着機の電気制御装置が収納され、かつ、当該電子回路部品装着機が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子回路部品を回路基板に装着して電子回路を組み立てる電子回路部品装着機あるいは電子回路部品装着システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子回路部品装着機（以下、特に必要がない場合には装着機と略称する）は、例えば下記特許文献１に記載されているように、回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、それら基板保持装置，部品供給装置および装着装置を保持する本体フレームとを含むように構成される。また、このような電子回路部品装着機を複数台、装着モジュールとして共通のベース上に並べるとともに、その並び方向と直角な方向にベースに対して移動可能とした電子回路部品装着システム（以下、特に必要がない場合には装着システムと略称する）が下記特許文献１に記載されている。
これら装着機や装着モジュールは自動運転可能に構成され、電気制御装置を備えるが、これら電気制御装置の多くは本体フレームのベッド内に配設されることが多い。例えば、ベッド内には、ＣＰＵボックス，制御ボックス，サーボボックス等が配設されるが、これらは作動に伴って相当発熱する。従来は、ベッド内部の空気をベッドの側壁，後壁，底壁等に形成した排気口から側方，後方あるいは下方へ排出することにより、ベッド内部に新たな空気を流入させ、ベッド内部を換気することによって排熱が行われていた。下記特許文献２に記載のものがその一例である。この特許文献２に記載の装着機においては、ベッド内部に、過熱により誤動作の恐れがあるコントローラ，発熱量の多いドライバおよび電磁波を発生させて周辺の機器に悪影響を与える恐れのあるトランスを、それぞれ別個のコントローラ室，ドライバ室およびトランス室に配設し、各室に換気装置を備えて、側方への排気により排熱を行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１１１４２５号公報
【特許文献２】特開２００４−１０４０７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、側方や後方への排気は、装着機の設置場所に制約を与える。例えば、側方へ排気する装着機は、複数の装着機を配列してラインを構成する際、装着機同士を近接させてラインの長さを短くすることを妨げる。また、後方への排気は、装着機を壁際に設置することや、背面が近接する状態で背中合わせに配置することを妨げる。また、前方への排気は作業者に不快感を与え、下方への排気は床面の埃等を巻き上げるため望ましくない。同様な問題は、上記装着システムの装着モジュールにおいても生じる。この場合には、側方への排気は無理であるため、後方へ排気されるのが普通であるが、装着システムを壁際に設置したり、背中合わせに設置したりすることができないのである。このように、従来の装着機や装着システムには未だ改良の余地がある。
本発明は以上の事情を背景として、設置場所の制約が少ないなど、実用性に優れた装着機あるいは装着システムを得ることを課題として為されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そして、本発明によって、回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、それら基板保持装置，部品供給装置および装着装置を保持する本体フレームとを含む電子回路部品装着機であって、本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に当該電子回路部品装着機の電気制御装置が収納され、かつ、ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含む電子回路部品装着機が得られる。
また、それぞれ、(a)回路基板を基板搬送方向に搬送するとともに停止位置に停止させて保持する基板搬送保持装置と、(b)その基板搬送保持装置の片側に設けられて電子回路部品を供給する部品供給装置と、(c)その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記停止位置において基板搬送保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、(d)それら基板搬送保持装置，部品供給装置および装着装置を支持する本体フレームとを含む複数の装着モジュールが、基板搬送方向に並べて配置され、それぞれの基板搬送保持装置により直接回路基板の受け渡しを行い、その回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、複数の装着モジュールの各々の本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に各装着モジュールの電気制御装置が収納され、かつ、複数の装着モジュールの各々が、ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むものが得られる。
【発明の効果】
【０００６】
本体フレームの下部を構成するベッドの内部は電気制御装置を収納するのに絶好のスペースであるが、実際に電気制御装置を収納すれば、ベッド内において多量の熱が発生することを避け得ない。電気制御装置の中にはコントローラのように温度が高くなると誤作動を生じ易いものがあるため、ベッドの排熱性を良好にすることは、電気制御装置自体のためにも必要である。さらに、ベッドは本体フレームの基礎を成すものであるため、ベッド自体の温度が高くなれば、本体フレームの熱歪みが大きくなり、装着機あるいは装着システムの電子回路部品の装着精度低下の原因になるため、ベッドの排熱性を良好にすることは精度確保のためにも重要な問題である。
【０００７】
その点、本発明に従えば、ベッド内で発生した熱を良好に装着機あるいは装着システムの外部に排出することができ、電気制御装置の誤作動を防止し、あるいは寿命を延長することができる。しかも、多量の熱を含んだ空気は、上下方向に延びる排気通路を経て本体フレームの上方へ排出されるため、装着機あるいは装着システムを、他の装着機や装着システムあるいは壁に近接させて設置することができ、工場内におけるレイアウトの自由度が向上し、作業スペースの有効利用を図ることが可能となる。また、上方へ排出された空気は比重が小さいため作業スペースの上方に集まり、作業スペース外へ容易に排気することができ、良好な作業環境を維持することが容易となる。
【発明の態様】
【０００８】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、少なくとも、請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」を含むが、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載，従来技術等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【０００９】
なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に相当し、（３）項が請求項２に、（４）項が請求項３に、（６）項が請求項４に、（７）項が請求項５に、（８）項が請求項６に、（９）項が請求項７に、（１３）項が請求項８に、それぞれ相当する。
【００１０】
（１）回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、それら基板保持装置，部品供給装置および装着装置を保持する本体フレームとを含む電子回路部品装着機であって、
前記本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に当該電気部品装着機の電気制御装置が収納され、かつ、当該電子回路部品装着機が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着機。
（２）前記本体フレームが、前記ベッドに加えて、そのベッドから立ち上がったコラムと、そのコラムにより支持されたクラウンとを含み、前記ベッド内空気排出装置が、前記ベッド内の空気を、前記排気通路としての前記コラムの内部を経て、前記クラウンから上向きに排出するものである(1)項に記載の電子回路部品装着機。
コラムはベッドとクラウンとの間において上下方向に延び、重量の増加を抑制しつつ剛性を高めるために中空とされるのが普通であるため、その内部は排気通路として絶好のものである。
（３）それぞれ、(a)回路基板を基板搬送方向に搬送するとともに停止位置に停止させて保持する基板搬送保持装置と、(b)その基板搬送保持装置の片側に設けられて電子回路部品を供給する部品供給装置と、(c)その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記停止位置において前記基板搬送保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、(d)それら基板搬送保持装置，部品供給装置および装着装置を支持する本体フレームとを含む複数の装着モジュールが、前記基板搬送方向に並べて配置され、それぞれの前記基板搬送保持装置により直接回路基板の受け渡しを行い、その回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、
前記複数の装着モジュールの各々の本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に各装着モジュールの電気制御装置が収納され、かつ、前記複数の装着モジュールの各々が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着システム。
複数の装着モジュールは、回路基板の搬送方向においてできる限り近接させて配置することが望ましいため、ベッドの側方への排気が不可能であるため、本発明の効果を特に有効に享受することができる。
（４）前記複数の装着モジュールの各々の前記本体フレームが、前記ベッドに加えて、そのベッドから立ち上がったコラムと、そのコラムにより支持されたクラウンとを含み、前記ベッド内空気排出装置が、前記ベッド内の空気を、前記排気通路としての前記コラムの内部を経て、前記クラウンから上向きに排出するものである(3)項に記載の電子回路部品装着システム。
（５）前記ベッド内空気排出装置が、前記コラムの入口側と出口側との少なくとも一方にファンを備えた(4)項に記載の電子回路部品装着システム。
排気通路は上下方向に延びており、比重の小さい暖かい空気は自然に排気通路内を上昇するため、ファンを設けることは不可欠ではないが、ファンを設けて積極的に空気の流れを生じさせれば、ベッド内に発生する熱を特に良好に排出することができる。
(5)項ないし(8)項に記載の特徴は、前記(1)項または(2)項に記載の電子回路部品装着機にも適用可能である。
（６）前記装着装置が、前記電気部品を保持する保持ヘッドと、その保持ヘッドを前記基板搬送保持装置により保持された回路基板の表面に平行なＸＹ座表面の任意の位置へ移動させるＸＹロボットとを含み、そのＸＹロボット周辺の空気を上向きに排出するクラウン内空気排出装置を含む(4)項または(5)項に記載の電子回路部品装着システム。
ＸＹロボットの駆動源たるリニアモータや回転電動モータも作動に伴って発熱するために、クラウン内部の空気も積極的に上方へ排出することが望ましい。
（７）前記複数の装着モジュールの各々が、前記本体フレームの前部と後部との両方に前記コラムを有し、前記ベッド内空気排出装置が後部のコラムの内部を経て前記ベッド内の空気を排出する(4)項ないし(6)項のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
前部のコラムを排気通路として利用することも可能である。しかし、前部には部品供給装置が設けられ、できる限り多種類の電子回路部品を供給可能とするために幅の広いものとされることが望ましいため、前部のコラムを太くすることが困難であり、その制約のない後部のコラムの方が排気通路に適している。
（８）前記複数の装着モジュールから成る装着モジュール列が、それら装着モジュールの背面において、作業者が入り得ない大きさの隙間を隔てて互いに対向する状態で設置された(3)項ないし(7)項のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
本項の構成を採用すれば、本発明の効果を特に有効に享受することができる。
（９）さらに、前記複数の装着モジュールを、それら複数の装着モジュールの並び方向と交差する方向に移動可能に支持するベースを含む(3)ないし(8)項のいずれかに記載の電子回路部品装着システム。
複数の装着モジュールを回路基板の搬送方向において互いに近接して配列すれば、各装着モジュールの装着装置等、作業スペース内の装置へのアクセスが困難または不可能になる。それに対し、複数の装着モジュールをベースに、それら装着モジュールの並び方向と交差する方向に移動可能に支持させれば、必要に応じて装着モジュールを移動させ、内部の装置へのアクセスを容易に行うことができる。
（１０）前記ベースの内部に前記複数の装着モジュールの運転に必要な補機が配設され、かつ、当該電気部品装着システムが前記ベースの内部の空気をそのベースの外部に排出するベース内空気排出装置を含む(9)項に記載の電子回路部品装着システム。
ベースの内部に、装着モジュールの運転に必要なバキュームポンプ，トランスをはじめとする種々の補機を収納することは望ましいことであるが、これら補機も作動に伴って発熱する。この熱により加熱された空気をベース内空気排出装置により排出することが望ましい。ベース内部に電気制御装置を配設することも可能である。ベースは複数の装着モジュールに共通のものであるため、内部スペースの使用の自由度が大きく、また、複数の装着モジュール用の補機や電気制御装置を一体化することも可能であるため、内部スペースの利用効率を上げることが容易である。
（１１）前記ベース内空気排出装置が、前記ベースの底板に形成された排気口からベース内の空気を排出するものである(10)項に記載の電子回路部品装着システム。
（１２）前記ベース内空気排出装置が、前記ベース内の空気を、前記複数の装着モジュールの少なくとも一部のものの前記排気通路を経て前記クラウンから上向きに排出するものである(10)項に記載の電子回路部品装着システム。
（１３）回路基板を保持する基板保持装置と、その回路基板保持装置の両側に設けられてそれぞれ電子回路部品を供給する２つの部品供給装置と、それら部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、それら基板保持装置，部品供給装置および装着装置を保持する本体フレームとを含む電子回路部品装着機であって、
前記本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に当該電子回路部品装着機の電気制御装置が収納され、かつ、当該電子回路部品装着機が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着機。
上記装着装置は２つの部品供給装置に対して１つ設けられるのみでもよいが、２つの部品供給装置の各々に対して装着装置が１つずつ設けられることが望ましい。
（１４）前記本体フレームが、前記ベッドに加えて、そのベッドの前記基板保持装置の両側の部分からそれぞれ立ち上がった第１コラムおよび第２コラムと、それら第１，第２コラムにより支持されたクラウンとを含み、前記ベッド内空気排出装置が、前記ベッド内の空気を、前記排気通路としての前記第１コラムと前記第２コラムとの少なくとも一方を経て、前記クラウンから上向きに排出するものである(13)項に記載の電子回路部品装着機。
（１５）前記基板保持装置，前記２つの部品供給装置および前記装着装置を１ユニットとして、２ユニットが、前記基板保持装置が横に並ぶ状態で配設され、前記本体フレームが、前記ユニットに共通のベッドと、前記２ユニットの間の位置において、前記基板保持装置の並び方向と直交する方向に延びるクラウンと、前記ベッドからそれぞれ立ち上がり前記クラウンの両端部をそれぞれ支持する第１コラムおよび第２コラムとを含み、それら第１，第２コラムの少なくとも一方の内部が前記排気通路とされた(13)項に記載の電子回路部品装着機。
（１６）それぞれ、(a)回路基板を基板搬送方向に搬送するとともに停止位置に停止させて保持する基板搬送保持装置と、(b)その基板搬送保持装置の片側に設けられて電子回路部品を供給する部品供給装置と、(c)その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記停止位置において前記基板搬送保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置と、(d)それら基板搬送保持装置，部品供給装置および装着装置を支持する本体フレームとを含む複数の装着モジュールが、前記基板搬送方向に並べて配置され、それぞれの前記基板搬送保持装置により直接回路基板の受け渡しを行い、その回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、
前記複数の装着モジュールの各々の本体フレームがベッドを含み、そのベッド内に各装着モジュールの電気制御装置が収納され、かつ、前記複数の装着モジュールの各々が、前記ベッド内の空気を上下方向に延びる排気通路を経て前記本体フレームの上面から上向きに排出するベッド内空気排出装置を含むことを特徴とする電子回路部品装着システム。
本項の複数の装着モジュールの各々を、上記(14)項または(15)項に記載の電子回路部品装着機と同様の構成とすることが可能である。
（２０）回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置とを含む電子回路部品装着機であって、
前記基板保持装置が、
前記回路基板の背面を支持する複数のバックアップ部材と、
それらバックアップ部材を支持するバックアッププレートと、
そのバックアッププレートを着脱可能に支持する支持台と、
前記バックアッププレートに設けられ、そのバックアッププレートの着脱時に作業者によって持たれる取っ手と
を含む電子回路部品装着機。
(20)項ないし(26)項の各々の電子回路部品装着機を、前記(3)項ないし(12)項，(16)項のいずれかに記載の装着モジュールとすることも可能である。
（２１）前記取っ手が、前記バックアッププレートに、そのバックアッププレートの表面に平行な回動軸線のまわりに回動可能に取り付けられた(20)項に記載の電子回路部品装着機。
（２２）前記取っ手が、前記バックアッププレートの表面から突出しない収納姿勢と、前記バックアッププレートの表面から突出した起立姿勢とに回動可能である(20)項または(21)項に記載の電子回路部品装着機。
（２３）前記取っ手が、位置決め突起を、前記収納姿勢にある状態では、前記支持台に設けられた位置決め凹部に嵌入して前記バックアッププレートを前記支持台に対して位置決めし、前記起立姿勢にある状態では、前記位置決め凹部から離脱する状態で備えた(22)項に記載の電子回路部品装着機。
（２４）前記取っ手が、押離し突起を、前記収納姿勢にある状態では前記支持台から離間しており、前記起立姿勢にされるのに伴って前記支持台に当接してその支持台から前記バックアッププレートを押し離す状態で備えた(22)項または(23)項に記載の電子回路部品装着機。
（２５）前記支持台が、その支持台の支持面に平行な方向に互いに隔たって設けられた第１位置決め部および第２位置決め部を備え、前記バックアッププレートが、それら第１位置決め部および第２位置決め部にそれぞれ対応する第３位置決め部および第４位置決め部を備え、第３位置決め部が前記第１位置決め部と係合するとともに、前記第２位置決め部と前記第４位置決め部との一方が、それら第２位置決め部と第４位置決め部との他方に設けられた係合凹部にスナップアクションで係合し、前記第３位置決め部を前記第１位置決め部に押し付けるとともに、前記バックアッププレートを前記支持台の前記支持面に押し付ける弾性係合突部を備えた(20)項ないし(23)項のいずれかに記載の電子回路部品装着機。
（２６）前記支持台が、その支持台の支持面に平行な方向に互いに隔たって設けられた第１位置決め部および第２位置決め部を備え、前記バックアッププレートが、それら第１位置決め部および第２位置決め部にそれぞれ対応する第３位置決め部および第４位置決め部を備え、第３位置決め部が前記第１位置決め部と係合するとともに、前記第２位置決め部と前記第４位置決め部との一方が、それら第２位置決め部と第４位置決め部との他方に設けられた係合凹部にスナップアクションで係合し、一方、第４位置決め部が第２位置決め部に形成された係合凹部にスナップアクションで係合し、前記第３位置決め部を前記第１位置決め部に押し付けるとともに、前記バックアッププレートを前記支持台の前記支持面に押し付ける弾性係合突部を備え、かつ、前記取っ手が、押離し突起を、前記収納姿勢にある状態では前記支持台から離間しており、前記起立姿勢にされるのに伴って前記支持台に当接してその支持台から前記バックアッププレートを、前記弾性係合突部の前記係合凹部との係合力に打ち勝って押し離す状態で備えた(20)項ないし(23)項のいずれかに記載の電子回路部品装着機。
（３０）回路基板を基板搬送方向に搬送する基板コンベヤと、その基板コンベヤに沿って互いに隣接して並べられた複数の装着モジュールと、それら複数の装着モジュールに共通に設けられてそれら複数の装着モジュールを着脱可能に支持するベースとを含み、前記複数の装着モジュールの各々が、回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置とを含み、それら複数の装着モジュールの各々が前記基板コンベヤにより搬入される回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、
前記ベースが、
そのベースの底部の水平方向に互いに隔たった３箇所以上にそれぞれ設けられ、そのベースの高さを調節する３つ以上のレベリング装置と、
それら３つ以上のレベリング装置のうちの少なくとも１つに近接した前記ベースの壁部に、当該ベースの内側から前記レベリング装置の操作を行うことを可能とする大きさで形成された開口と
を備えたことを特徴とする電子回路部品装着システム。
上記ベースの壁部は、側壁部と底壁部との一方でも、両方でもよい。後者の場合は側壁部と底壁部とに跨って１つの開口を形成しても、側壁部と底壁部とにそれぞれ開口を形成してもよい。
（３１）回路基板を基板搬送方向に搬送する基板コンベヤと、その基板コンベヤに沿って互いに隣接して並べられた複数の装着モジュールと、それら複数の装着モジュールに共通に設けられてそれら複数の装着モジュールを支持するベースとを含み、前記複数の装着モジュールの各々が、回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置とを含み、それら複数の装着モジュールの各々が前記基板コンベヤにより搬入される回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、
前記ベースが四角形の平面視形状を有し、かつ、その四角形の４つの辺の少なくとも１つに対応する位置に、それぞれ機械加工された、鉛直な位置決め基準面と水平な位置決め基準面とを有することを特徴とする電子回路部品装着システム。
（３２）回路基板を基板搬送方向に搬送する基板コンベヤと、その基板コンベヤに沿って互いに隣接して並べられた複数の装着モジュールと、それら複数の装着モジュールに共通に設けられてそれら複数の装着モジュールをそれら複数の装着モジュールの並び方向と直交する方向に個別に移動可能に支持するベースとを含み、前記複数の装着モジュールの各々が、回路基板を保持する基板保持装置と、電子回路部品を供給する部品供給装置と、その部品供給装置から電子回路部品を受け取って前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する装着装置とを含み、それら複数の装着モジュールの各々が前記基板コンベヤにより搬入される回路基板にそれぞれ分担の電子回路部品を装着する電気部品装着システムであって、
前記互いに隣接して並べられた複数の装着モジュールの間の複数の隙間の少なくとも１つに、前記基板コンベヤによる回路基板の搬送を許容しつつ、両側の装着モジュールの側方へ開いた開口を覆う状態で配設された仕切板と、
前記ベースに設けられ、前記仕切板を前記隙間に沿って移動可能に案内する仕切板ガイドと、
前記仕切板を前記ベースに固定する仕切板固定装置と
を含むことを特徴とする電子回路部品装着システム。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】請求可能発明の一実施形態である装着システムの外観を示す斜視図である。
【図２】上記装着システムの構成要素である装着モジュールの構成を一部のカバーを除去して示す斜視図である。
【図３】上記装着モジュールにおける装着装置を取り出して示す斜視図である。
【図４】上記装着装置の構成要素である装着ヘッドの２例を示す斜視図である。
【図５】上記装着ヘッドの１例の内部構造を示す斜視図である。
【図６】上記装着モジュールのモジュール本体を、一部のカバーを除去して示す側面図である。
【図７】上記モジュール本体を、一部のカバーを除去して示す背面図である。
【図８】上記装着システムのベースの内部を概念的に示す斜視図である。
【図９】上記装着システムの別のベースの内部を概念的に示す斜視図である。
【図１０】請求可能発明の別の実施形態である装着モジュールにおける加熱された空気の排出を説明するための一部断面側面図である。
【図１１】図１０の装着モジュールにおける接続装置を示す一部断面側面図である。
【図１２】上記装着システムが２セット、背面が互いに近接して対向する状態で設置された状態を概略的に示す平面図である。
【図１３】上記装着モジュールとは別の装着モジュールを示す図６に相当する図である。
【図１４】図１３に示す装着モジュールが複数配列されて構成された装着システムを概略的に示す平面図である。
【図１５】上記装着モジュールとは別の装着モジュールを、一部を除去して示す斜視図である。
【図１６】図１５の装着モジュールの要部を取り出して示す平面図である。
【図１７】図２に示した装着モジュールの基板保持装置の一部であるバックアッププレートおよび支持台とその周辺を示す平面図である。
【図１８】上記バックアッププレートおよび支持台を下方から見た状態を示す斜視図である。
【図１９】上記バックアッププレートおよび支持台の一部を拡大して示す正面断面図である。
【図２０】図１９に示した部分の別の状態を示す正面断面図である。
【図２１】上記バックアッププレートおよび支持台の図１９に示した一部とは別の部分を拡大して示す正面断面図である。
【図２２】図２１に示した部分の別の状態を示す正面断面図である。
【図２３】図１２に示した装着システム２セットの設置時におけるレベル出し作業を説明するための図である。
【図２４】図２１の装着システムにおけるレベリング装置を示す正面断面図である。
【図２５】図２１の装着システムにおける位置決め基準部を示す正面図である。
【図２６】図２１の装着システムにおける仕切版のガイドレールを示す正面図である。
【図２７】上記仕切版を示す図であり、(a)は上記仕切板の斜視図、(b)は(a)の一部拡大図、(c)は(b)の一部拡大図である。
【図２８】図２１の装着システムにおいて使用される作業床を示す平面図である。
【図２９】上記作業床の正面図である。
【図３０】図２１の装着システムにおいて使用される移動補助具を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、請求可能発明の実施形態を、上記各図を参照しつつ説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載した態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１３】
図１に、装着システムの外観を示す。本装着システムは、複数の装着モジュール１０の２台ずつが、それぞれ共通で一体のベース１２上に、互いに隣接して横並びに配列されて固定されたものが、さらに複数横並びに配列されることにより構成されている。複数の装着モジュール１０はそれぞれ、請求可能発明の一実施形態である電子回路部品装着機に相当し、回路基板への電子回路部品の装着を分担し、並行して行う。
【００１４】
装着モジュール１０については、例えば、特開２００４−１０４０７５公報に詳細に記載されており、本請求可能発明に関係する部分以外の部分については簡単に説明する。
各装着モジュール１０はそれぞれ、図２に示すように、本体フレームとしてのモジュール本体１８，基板搬送装置２０，基板保持装置２２，部品供給装置２４，装着装置２６，基準マーク撮像装置２８（図３参照），部品撮像装置３０および電気制御装置３２を備えている。
【００１５】
モジュール本体１８は、図２に示すように、前後方向に長いベッド３６と、そのベッド３６の前端部および後端部からそれぞれ立ち上がった２本ずつの前コラム３８および後コラム４０と、それら４本のコラム３８，４０に支持されたクラウン４２とを備えている。クラウン４２は、強度部材であるビーム４４とそのビーム４４の上方を覆うカバー４６とを備えている。
【００１６】
基板搬送装置２０は、図２に示すように、２つの基板コンベヤ５４，５６を備え、ベッド３６の、装着モジュール１０の前後方向の中央部に設けられ、回路基板５７を複数の装着モジュール１０が並ぶ方向と平行な方向であって、水平な方向に搬送する。基板保持装置２２は２つの基板コンベヤ５４，５６の各々について設けられ、後述するように、それぞれ回路基板５７を下方から支持する支持部材および回路基板５７の搬送方向に平行な両側縁部をそれぞれクランプするクランプ部材を備え、回路基板５７をその電子回路部品が装着される装着面が水平となる姿勢で保持する。基板搬送装置２０による回路基板５７の搬送方向をＸ軸方向、基板保持装置２２に保持された回路基板５７の装着面に平行な平面である、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。
【００１７】
部品供給装置２４は、ベッド３６の基板搬送装置２０に対してＹ軸方向の一方の側であって、装着モジュール１０の前面側に設けられている。部品供給装置２４は、例えば、部品フィーダの一種であるテープフィーダ（以後、フィーダと略称する）５８により電子回路部品を供給するものとされ、複数のフィーダ５８と、それらフィーダ５８が取り付けられるフィーダ支持台（図示省略）とを含む。複数のフィーダ５８はそれぞれ、多数の電子回路部品をテープにより保持した状態で供給し、それぞれ異なる種類の電子回路部品を保持した複数のフィーダ５８が、各々の部品供給部がＸ軸方向に沿って並ぶ状態でフィーダ支持台に取り付けられる。部品供給装置はトレイによって電子回路部品を供給する装置としてもよい。
【００１８】
装着装置２６は、図２および図３に示すように、装着ヘッド６０（６０ａ，６０ｂ）と、その装着ヘッド６０を移動させるヘッド移動装置６２とを備えている。ヘッド移動装置６２は、図３に示すように、Ｘ軸方向移動装置６４およびＹ軸方向移動装置６６を備えている。Ｙ軸方向移動装置６６は、モジュール本体１８を構成するクラウン４２に、部品供給装置２４の部品供給部と基板保持装置２２とに跨って設けられたリニアモータ７０を備え、可動部材としてのＹ軸スライド７２をＹ軸方向の任意の位置へ移動させる。Ｘ軸方向移動装置６４はＹ軸スライド７２上に設けられ、Ｙ軸スライド７２に対してＸ軸方向に移動させられるとともに、互いにＸ軸方向に相対移動させられる第１，第２Ｘ軸スライド７４，７６と、それらスライド７４，７６をそれぞれ、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸スライド移動装置７８（図３には第１Ｘ軸スライド７４を移動させる移動装置のみが図示されている）とを備えている。２つのＸ軸スライド移動装置はそれぞれ、例えば、駆動源たる電動回転モータの一種であるサーボモータと、ボールねじおよびナットを含む送りねじ機構とを含むものとされ、Ｘ軸スライド７４，７６をＸ軸方向の任意の位置へ移動させる。
【００１９】
装着ヘッド６０は、第２Ｘ軸スライド７６に着脱自在に搭載され、ヘッド移動装置６２により、部品供給装置２４の部品供給部と基板保持装置２２とに跨る移動領域である装着作業領域内の任意の位置へ移動させられる。装着ヘッド６０は、部品保持具の一種である吸着ノズル８６（８６ａ，８６ｂ）によって電子回路部品を保持するものとされており、吸着ノズル８６を保持し、保持具保持部を構成するノズルホルダの数を異にする複数種類の装着ヘッド６０が用意され、電子回路部品が装着される回路基板５７の種類に応じて選択的に第２Ｘ軸スライド７６に取り付けられる。
【００２０】
例えば、図４(a)に示す装着ヘッド６０ａはノズルホルダ８８ａを１つ備え、吸着ノズル８６ａが１つ保持され、図４(b)に示す装着ヘッド６０ｂはノズルホルダ８８ｂを複数、例えば３個以上（図示の例では１２個）備え、吸着ノズル８６ｂが最大１２個保持され得る。吸着ノズル８６は吸着管９０および背景形成板９２を備え、吸着管９０の部品吸着面の直径と、平面視の形状が円形を成す背景形成板９２の直径との少なくとも一方を異にする複数種類の吸着ノズル８６があり、吸着する電子回路部品の種類に応じて使い分けられる。吸着ノズル８６ａは吸着ノズル８６ｂより部品吸着面および背景形成板９２ａの各直径が大きく、大形の電子回路部品の装着に使用される。
【００２１】
装着ヘッド６０ａにおいてノズルホルダ８８ａは、図示は省略するが、ヘッド本体に軸線方向であって鉛直方向に移動可能かつ自身の軸線まわりに回転可能に設けられ、ヘッド本体に設けられた移動装置である昇降装置および回転装置により昇降および回転させられる。装着ヘッド６０ｂは、図５に示すように、ヘッド本体９６に鉛直な回転軸線のまわりに回転可能に設けられた回転体１００と、回転体１００を正逆両方向に任意の角度回転させる回転体回転装置１０２とを備えた回転型ヘッドである。回転体１００には、その回転軸線を中心とする一円周上に適宜の間隔、図示の装着ヘッド６０ｂでは等角度を隔てた１２の位置にそれぞれ、ノズルホルダ８８ｂが回転体１００の回転軸線に平行な方向に相対移動可能かつ自身の軸線まわりに回転可能に設けられ、それぞれ回転体１００からの突出端部（装着ヘッド６０が第二Ｘ軸スライド７６に取り付けられた状態では下端部）において吸着ノズル８６ｂを着脱可能に保持する。
【００２２】
１２個のノズルホルダ８８ｂは、回転体１００の回転により、回転体１００の回転軸線のまわりに旋回させられ、１２個の停止位置の１つである部品吸着装着位置へ順次移動させられ、ヘッド本体９６の部品吸着装着位置に対応する位置に設けられた移動装置である昇降装置１０４によって昇降させられる。ノズルホルダ８８ｂはさらに、ヘッド本体９６に設けられたホルダ回転装置１０６により、自身の軸線まわりに回転させられる。なお、前記基準マーク撮像装置２８は、図３に示すように、第二Ｘ軸スライド７６に搭載され、ヘッド移動装置６２により装着ヘッド６０と共に移動させられる。
【００２３】
前記電気制御装置３２の大半はベッド３６のベッド内室１１８に収納されており、一部が後述するようにベース１２内部に収納されている。ベッド内室１１８には、図６に示すように、それぞれＣＰＵ，制御盤，サーボコントローラが収納されたＣＰＵボックス１２０，コントローラボックス１２２，サーボボックス１２４等が収納されている。ＣＰＵ，制御盤，サーボコントローラはいずれも作動に伴って熱を発生させるため、各ボックス１２０，１２２，１２４にはそれぞれ排気装置（図示省略）が設けられ、内部の加熱された空気がボックス外に、すなわちベッド内室１１８に排出される。ベッド内室１１８には強度確保等の必要に応じて複数の仕切壁１２６が設けられるているが、これら仕切壁１２６には開口が設けられ、ベッド内室１１８での空気の流れを妨げないようにされている。
【００２４】
ベッド内室１１８へ排出された空気は、図６および図７に示すように、ベッド３６の後端部の上壁に形成された２つの排気口１２８にそれぞれ設けられた２つのファン１３０によってベッド３６の上方へ排出される。ベッド３６の上面にはコラム支持台１３２が設けられ、そのコラム支持台１３２から２本の後コラム４０が立ち上がらされている。図６においては、内部構造を理解し易くするために、ベッド３６およびコラム支持台１３２のサイドカバー１３３が外され、図７においてはバックカバー１３４が外された状態が示されているが、実際には、コラム支持台１３２の両側方および後方への開口が閉塞されるとともに、後コラム４０の後方への開口も閉塞されており、コラム支持台１３２および後コラム４０の内部には、コラム支持台１３２の上壁に形成された連通口１３６によって互いに連通し、上下方向に延びる排気通路１３８が形成されている。
【００２５】
前述のように、前コラム３８と後コラム４０とによりビーム４４が支持されているが、ビーム４４の後端部は中間部より幅が広くされて、２本の後コラム４０の上壁に形成された連通口１４６により、上記２本の排気通路１３８の各々と連なる排気通路１４８を形成している。ビーム４４の後端部の上壁には排気口１５２が形成され、これら排気口１５２を経て、排気通路１４８内の空気がファン１５４により上方へ排出される。
【００２６】
一方、ビーム４４の内部には前記Ｙ軸方向移動装置６６のリニアモータ７０が配設されるとともに、ビーム４４の下方にはＸ軸スライド移動装置７８が配設されている。これらリニアモータ７０およびＸ軸スライド移動装置７８の駆動源（例えば、回転電動モータ）も作動に伴って熱を発生させる。これらの熱により加熱された空気は上昇し、主としてビーム４４に受けられ、一部はカバー４６に受けられる。ビーム４４に受けられた空気は、ビーム４４の前記後端部に隣接する位置に形成された排気口に設けられたファン１５６により上方へ排出される。
【００２７】
上記ファン１５４およびファン１５６により上方へ排出された空気は、カバー４６に設けられた排気口１６２からカバー４６の外部、すなわち装着モジュール１０の外部へ排出される。この際、前記カバー４６によって受けられた空気も、ファン１５４，１５６により排出される空気と共に、外部に排出される。
本実施形態においては、ファン１３０，１５４，排気通路１３８，排気口１６２等によってベッド内空気排出装置が構成され、ファン１５６および排気口１６２によってクラウン内空気排出装置が構成されている。
なお、後コラム４０の内部は、装着装置２６等への電気配線やエア配管用のスペースとしても好適な部分であり、本実施形態においては、２本の後コラム４０の両方が排気通路および配線，配管スペースとして利用されているが、２本の後コラム４０の一方を排気通路専用とし、他方を配線，配管スペース専用とすることも可能である。
【００２８】
前述のように、電気制御装置３２の一部は、図８に代表的に示すバキュームポンプ１６６や、装着モジュール１０をベース１２に対して予め定められた位置に位置決めして固定する位置決め固定装置をはじめとする、装着モジュール１０の運転のために必要な種々の補機と共に、ベース１２内部のベース内室１６８に収納されている。例えば、ＣＰＵ，制御盤が収納されたＣＰＵボックス１７０，制御ボックス１７２等が収納されているのである。これらも作動に伴って熱を発生させるが、本実施形態においては、この熱は、ベース１２の底壁に形成された、図示を省略する排気口からファンによって下方へ排出される。
なお、上記位置決め固定装置としては、例えば、装着モジュール１０に設けられた位置決め穴と、ベース１２に軸方向に移動可能に保持された位置決めピンおよびそれを軸方向に移動させて位置決め穴に嵌入，離脱させるエアシリンダとの組合わせを採用することができる。
【００２９】
上記ベース１２は、図１に示した装着モジュール１０を２台ずつ支持するものである。これら２台の装着モジュール１０は互いに近接して配置され、各装着モジュール１０の基板搬送装置２０間において、仲介の基板搬送装置を介することなく、直接回路基板５７の受け渡しを行い得るようにされている。そのため、万一、装着モジュール１０の内部において点検、整備等の作業者による作業が必要になった場合に、図１に示す作動位置に整列させられたままでは、それら作業を行うことができない。そのため、ベース１２上にはガイドレール１７８が設けられ、各装着モジュール１０には複数の車輪１８０（図６，７参照）が設けられ、各装着モジュールを互いに独立に前方へ引き出して作業を行い得るようにされている。補助の台車を使用すれば、装着モジュール１０をベース１２から取り外し、別の装着モジュール１０と交換したり、配置換えを行うことも可能である。なお、図８においては、ベース１２の中央部の２本のガイドレール１７８およびそれの支持部材が除去されている。
【００３０】
図８に示したベース１２は、２台の装着モジュール１０を支持するものであるが、図９に示すように、４台の装着モジュール１０を支持可能なベース１８４も準備されており、ベース１２と共に、あるいはベース１２に代えて使用することが可能である。このベース１８４は、ベース内室１８６内の空間利用の自由度が高いためにスペース効率がよく、図９に示すように、ベース１２においては外部に設置されるトランス１９０も、ＣＰＵボックス１９２，制御ボックス１９４と共に、ベース内室１８６内に収納され得る。本ベース１８４においても排気は下方へ行われる。
また、装着モジュールも、図１に示した寸法のもののみならず、図示は省略するが、幅が２倍の装着モジュールも準備されている。この装着モジュールは、大形の電気部品を供給するフィーダ５８や、トレイ型の部品供給装置の使用に適している。
【００３１】
なお、以上の説明において、加熱された空気の排出のみについて説明し、補給のための空気の吸入については説明しなかったが、これは、本実施形態においては、ベッド３６にもベース１２にも適度の隙間が形成されており、それら隙間から充分な量の空気が吸入されるからである。しかし、必要に応じて、吸気口を設け、あるいは吸気口とともに吸気用のファンを設けることも可能であり、それらを設ければ、ベッド３６およびベース１２の冷却性能を向上させることができる。また、ＣＰＵ等、特に温度の影響を受け易いものの近傍に吸気口やファンを設ければ、冷却の目的を一層良好に果たすことができる。
【００３２】
別の実施形態を図１０に示す。本実施形態においては、ベース２００のベース内室２０２で発生させられた熱も上方へ排熱される点において、上記実施形態とは異なっている。すなわち、ベース２００の上壁に接続装置２０４と排気用のファン２０６が設けられ、ベース内室２０２の空気がベース２００の上方へ排出されるようになっているのである。この上方へ排出された空気は、ベッド３６から排気口２１０およびファン２１２により排出される空気と共に、コラム２１４内の排気通路２１６を経て、排気口２１８およびファン２２０により上方へ排出される。この排出された空気が、ビーム４４の内部からファン２２２により排出された空気と共に、カバー４６の排気口１６２から装着モジュール１０の外部へ排出されることは、前記実施形態と同様である。
【００３３】
上記接続装置２０４は、装着モジュール１０のベース２０２に対する相対移動を許容しつつ、ベース内室２０２から排出される空気をコラム２１４へ導くために設けられている。接続装置２０４は、案内装置により昇降可能に案内され、エアシリンダ（複動シリンダでもよいが、スプリングにより上昇位置へ付勢された単動アクチュエータが好適である）等のアクチューエタにより昇降させられるものとすることも可能である。しかし、図示の実施形態においては、アクチュエータなしで接続状態と離間状態とを取り得るものとされている。
【００３４】
接続装置２０４は、図１１に示すように、接続状態において互いに密着する固定継手部２２４と可動継手部材２２６とを備えている。固定継手部２２４は、後方の部分ほど高くなる向きに傾斜させられた状態で、モジュール１０の後端部に設けられている。この固定継手部２２４は、モジュール１０の底部に形成された凹部内に設けられている。一方、可動継手部材２２６は、ベース２００の上面より高い位置に、固定継手部２２４の傾斜に応じた向きに傾斜した姿勢で設けられている。可動継手部材２２６は、ベース２００の上面に設けられたブラケット２２８に、支持軸２３０により回動可能に保持されている。
【００３５】
可動継手部材２２６とブラケット２２８との一方に設けらた軸受け穴（図示の例では可動継手部材２２６の軸受穴）は、上下方向に長い長穴２３２とされており、可動継手部材２２６の回動とともに、限られた距離の上下動が可能な状態でブラケット２２８に保持されている。ただし、ブラケット２２８は、支持軸２３０の軸線に平行な方向に隔たって２つ設けられており、長穴２３２の幅は支持軸２３０の直径より僅かに大きくされているのみであるため、可動継手部材２２６の必要以上の移動は防止されている。また、可動継手部材２２６とベース２００とは、伸縮可能なベローズ２３４により接続されている。このベローズ２３４は、自由状態では、可動継手部材２２６を図１１に示す接続位置より僅かに高い位置に保持するとともに、固定継手部材２２４により可動継手部材２２６が押し下げられた場合には、図１１の接続位置へ移動することを許容する形状および弾性変形能を有している。したがって、装着モジュール１０が後退端位置まで後退させられるとき、可動継手部材２２６は固定継手部２２４に密着する状態となるが、本実施形態においては、さらに気密性を良好にするために、固定継手部材２２４と可動継手部材２２６との一方（図示の例では可動継手部材２２６）に、シール部材２３６が設けられる。
本実施形態においては、接続装置２０４およびファン２０６が、排気通路２１６，ファン２２０，排気口１６２等を含むベース内空気排出装置と共同で、ベース内空気排出装置を構成している。
なお、ベース２００は、前記ベース１２と同様に上向きの大きな開口を備えて、内部の装置に対するアクセスが容易とされているが、装着モジュール１０が作動位置に位置する状態では、この開口が装着モジュール１０によってほぼ閉塞され、ベース２００と装着モジュール１０との狭い隙間から空気が吸入される。しかし、上記上向きの開口をカバーにより閉塞し、ベース２００の所望の箇所に空気吸入口を形成すれば、ベース２００内に好ましい空気の流れを生じさせたり、フィルタを設けてベース２００内への埃の侵入を抑制したりすることができる。
【００３６】
以上説明した実施形態の装着モジュール１０は、いずれも背面から後方へ排気する部分がないため、例えば、図１２に示すように、複数のベース１２（１８４，２００）を並べ、それらベース１２の上に複数（例えば４つ）の装着モジュール１０あるいは幅が２倍の装着モジュール２４０を複数台（例えば２台）並べて構成した２ラインの装着システム２４２，２４４を背中合わせに、すなわち背面２４６同士において互いに対向し、かつ、背面２４６間の隙間を作業者の身体が入り得ない大きさ（１５０ｍｍ以下であることが望ましく、１００ｍｍ以下，８０ｍｍ以下であることがさらに望ましい）として設置することが可能となる。また、一方の装着システム、例えば、装着システム２４２を、装着システム２４４の代わりに壁に背面２４６を近接させた配置することも可能である。スペース効率の観点からは、背面２４６同士、あるいは背面２４６と壁とを密着させることが特に望ましい。
【００３７】
以上説明した装着モジュールは、基板搬送装置２０の片側、すなわち前側のみに部品供給装置２４を備えたものであったが、図１３に示すように、基板搬送装置２０の両側に部品供給装置２５０，２５２を備え、２つの装着装置２５４，２５６によって、それぞれの部品供給装置２５０，２５２から電子回路部品を受け取り、同じ回路基板５７に装着する形態の装着モジュール２５８とすることも可能である。この形態の装着モジュール２５８においても、例えば、図１３に示すように、部品供給装置２５０，２５２と基板搬送装置２０との間の位置においてベッド２６０の両側部から立ち上がる２本ずつの第１コラム２６２，２６４の内部を排気通路とし、ベッド２６０内の加熱された空気（ベース内の加熱された空気と共にでもよい）をファン２６８，２７０によりクラウン２７１の上面に設けた排気口２７２，２７４からから上方へ排出させるのである。このように構成した装着モジュール２５８を、図１４に示すように、互いに近接させて複数配列することにより装着システムを構成することができる。
【００３８】
さらに、上記装着モジュール２５８を図１５，１６に示す形態の装着モジュール２８０に変更することも可能である。この装着モジュール２８０は、２台の上記装着モジュール２５８を合体させた構成を有する。すなわち、それぞれ部品供給装置２５０，２５２と装着装置２５２，２５４とを備えて装着モジュール２５８と類似の構成を有する２つの装着ユニット２８６，２８８が、モジュール本体２９０を共有させられているのである。モジュール本体２９０は、ベッド２９２と、そのベッド２９２のＸ軸方向の中央部でありかつＹ軸方向の両端部である部分から立ち上がった第１コラム２９４および第２コラム２９６と、それら第１，第２コラムに支持されたクラウン２９８とを備えている。ベッド２９２には、４つの部品供給装置２５０，２５２を収容するための４つの凹部３００が形成されているが、互いに隣接する凹部３００の間の部分から第１，第２コラム２９４，２９６が立ち上がらされているのである。見方を変えれば、ベッド２９２は平面視で矩形を成す単純な形状を有し、第１，第２コラム２９４，２９６はベッドの底壁と同じ高さの位置から立ち上がっており、それらコラム２９４、２９６が下部においてベッド２９２と一体化されていると考えることもできる。
【００３９】
いずれにしても、ベッド２９２の内部に形成されたベッド内室には、前述の各実施形態と同様に装着モジュール２８０の電気制御装置３０１が収納されており、これらが作動に伴って発生する熱が、ベッド内室の空気を第１，第２コラム２９４，２９６内部の排気通路およびクラウン２９８の内部空間を経て、クラウン２９８の上面に開口した排気口３０２から、ファン３０４によって上方へ排出される。ベッド２９２および第１，第２コラム２９４，２９６の内部にも必要に応じてファンが設けられるが図示および説明を省略する。また、複数の装着モジュール２８０が図示を省略する共通のベースに、個別にＹ軸方向に移動可能に支持され、そのベース内のベース内室にも、電気制御装置や補機が配設され、それらが発生させる熱を含んだ空気も、上記第１，第２コラム２９４，２９６を経て上方へ排出される。
【００４０】
クラウン２９８の内側には、前記装着装置２５４，２５６の各一部を構成するＹ軸方向移動装置３１０のＹ軸スライド３１２をＹ軸方向に移動させる２つのリニアモータ３１４が配設されている。これら２つのリニアモータ３１４の発生する熱を含んだ空気も、上記排気口３０２およびファン３０４により外部へ排出されるとともに、クラウン２９８の中央部に設けられた排気口３１６とファン３１８とにより外部へ排出される。さらに、各Ｙ軸スライド３１２に沿ってＸ軸スライド３２０を移動させる回転電動モータ（図示せず）も熱を発生させるが、この熱をはじめ、装着モジュール２８０の作業空間内において照明装置等により発生させられる熱を含んだ空気も、排気口３１６およびファン３１８により外部へ排出される。
【００４１】
以上説明した装着モジュール１０，２４０，２５８，２８０はいずれも、複数のものが共通のベース上に互いに近接して配列され、装着システムを構成するものであるが、これらモジュール１０，２４０，２５８，２８０と類似の構成を備えて個別に設置され、中間に設置される基板搬送装置を介して互いに、あるいは、はんだ印刷機，印刷検査機，電子回路検査機，リフロー炉等の対回路基板作業機と、回路基板の受渡しを行う電子回路部品装着機とすることも可能である。
【００４２】
前述の装着モジュール１０およびベース１２を有する装着システムは、前述の冷却ないし放熱に関する特徴以外にも種々の特徴を備えている。以下、それら特徴について順次説明する。
まず、前記基板保持装置２２の特徴について説明する。基板保持装置２２は、前記基板搬送装置２０によって、モジュール１０内へ搬送された回路基板５７の背面である下面を、下方から支持する基板バックアッププ装置と、回路基板５７の側縁部を把持して固定する基板固定装置とを備えているが、そのうち、基板バックアップ装置に特徴を有している。
【００４３】
基板バックアップ装置４００は、図１７に示すように、平面視において、基板搬送装置２０を構成する固定レール４０２および可動レール４０４の間の位置に配設され、両レール４０２，４０４に沿って周回させられる２本のコンベヤベルトに支持され、搬入された回路基板を下方から図示しないバックアップピン等のバックアップ部材により背後からバックアップするものであるが、本実施形態においては、通常複数であるバックアップ部材を支持するバックアッププレート４１０が、図１８に示す支持台４１２と別体とされ、支持台４１２に対して着脱可能とされている。支持台４１２は図示を省略する昇降装置によって昇降させられ、軽量化のためにアルミニウム合金製とされているが、バックアッププレート４１０は、バックアップ部材を磁石により着脱可能に取り付ける必要上、鋼製とされている。
【００４４】
支持台４１２は、図１９，２０に示すように、基板搬送装置２０の搬送方向に平行なＸ軸方向に互いに隔たった第１位置決め部および第２位置決め部を備えている。第１位置決め部は、本実施形態においては、支持台４１２の一側面に形成された、下方の部分ほど支持台４１２の中央部に近くなる向きに傾斜させられた傾斜面４１４により構成され、第２位置決め部は、支持台４１２の反対側の側面に形成されたＶ字形の係合溝４１６により構成されている。一方、バックアッププレート４１０には、第３位置決め部および第４位置決め部が設けられている。第３位置決め部は、バックアッププレート４１０の下面より下方の位置において、バックアッププレート４１０の一側面に平行に延びるリブ４１８に、前記傾斜面４１４に対応する傾斜を有して形成された傾斜面４２０により構成され、第４係合部は、バックアッププレート４１０の下面より下方の位置において、バックアッププレート４１０の対応する側面に平行に延びるブ４２２に、そのリブの長手方向に間隔をおいて取り付けられた複数のボールプランジャ４２４の群により構成されている。
【００４５】
ボールプランジャ４２４は、外周面に雄ねじが形成された本体４２６内に、ボール４２８が、それの一部が外部に突出するが離脱は不能に配設されるとともに、スプリングにより突出する向きに付勢されたものであり、そのボール４２８が前記Ｖ字形の係合溝４１６に係合させられる。ボール４２８は、係合溝４１６の下方の部分ほど支持台４１２の中央部に近くなる向きに傾斜させられた溝側面に係合するため、斜面の効果により、リブ４２２を水平方向に関しては支持台４１２から離間する向きに、鉛直方向に関しては下向きに付勢し、結局バックアッププレート４１０のリブ４２２が設けられた側の端部を下向きに付勢する。
【００４６】
そのため、バックアッププレート４１０は、図１９において、左方へ付勢され、前記傾斜面４２０が傾斜面４１４に押し付けられ、斜面の効果により、バックアッププレート４１０のリブ４１８が設けられた側の端部を下方へ付勢する。結局、バックアッププレート４１０の被支持面たる下面４３０が、支持台３１２の支持面たる上面４３２に押し付けられて、バックアッププレート４１０上下方向の位置決めが行われるとともに、傾斜面４２０の傾斜面４１４への密着によりＸ軸方向の位置決めが行われる。
【００４７】
バックアッププレート４１０は、上記のようにして支持台４１２に固定されるため、バックアッププレート４１０を支持台４１２から取り外すためには、ボールプランジャ４２４のボール４２８をスプリングの付勢力に抗して本体４２６内へ押し込むことが必要であり、かなりの力が必要である。また、バックアッププレート４１０は前述のように鋼製であるため重量も相当大きくなる。これらは、バックアッププレート４１０に、磁石の磁力により取り付けられるバックアップ部材が取り外される際に、バックアッププレート４１０に加えられる力に抗して、バックアッププレート４１０を支持台４１２に安定に保持させる上では有益なのであるが、バックアッププレート４１０の取外し作業を困難にする。特に、本実施形態においては、図１７，１８に示すように、バックアッププレート４１０の両側部に近接して、基板搬送装置２０の搬送幅を回路基板５７の幅に合わせて変更するためのねじ軸４４０や、２本のコンベヤベルトを同期させて駆動するための六角シャフト４４２が存在するため、これらが邪魔になってバックアッププレート４１０の取外し作業が一層困難になる。
【００４８】
この困難を軽減するために、バックアッププレート４１０の両側部には、図１７に示す取っ手４４８、４４９が設けられている。これら取っ手４４８、４４９はバックアッププレート４１０に、取付軸４５０によって、Ｙ軸方向に平行な回動軸線のまわりに回動可能に取り付けられ、ばね部材であるねじりコイルスプリング４５２により、図１９に示す収納姿勢に保たれている。取っ手４４８，４４９は収納姿勢においては、バックアッププレート４１０の上面から上方へ突出せず、邪魔にならないようにされているが、作業者が、ねじりコイルスプリング４５２の弾性力に抗して、図２０に示す起立姿勢まで回動させることができ、その起立姿勢の取っ手４４８，４４９を掴んでバックアッププレート４１０を持ち上げ得るようにされている。
【００４９】
しかも、上記取っ手４４８の回動が、バックアッププレート４１０の支持台４１２に対するＹ軸方向の位置決めと、バックアッププレート４１０の支持台４１２からの押離しとに利用されている。
まず、位置決めについて説明する。取っ手４４８は図１７に示すように、２つのアーム部４６０，４６２とそれらを連結する連結部４６４とを備えて全体としてコの字形を成しているが、図２１に示すように、一方のアーム部４６０の基端部から位置決め突起４６６が、取っ手４４８が収納姿勢にある状態で下方へ延び出すように形成されている。そして、この位置決め突起４６６が、支持台４１２に形成された位置決め凹部としての位置決め溝４６８に嵌入して、バックアッププレート４１０の支持台４１２に対するＹ軸方向の位置決めを行う。そして、取っ手４４８が図２２に示す起立姿勢に回動させられるのに伴って、位置決め溝４６８から離脱して位置決めを解除する。
【００５０】
他方のアーム部４６２の基端部からは、図１９に示すように、押離し突起４７０が、取っ手４４８収納姿勢にある状態では、アーム部４６２とは反対向きに延び出すように形成されている。この押離し突起４７０は通常はバックアッププレート４１０に形成された切欠内に収容されているが、取っ手４４８が図２０に示す起立姿勢に回動させられるのに伴って下方へ回動し、支持台４１２に当接して支持台４１２を下方へ押し、支持台４１２から反力によりバックアッププレート４１０を支持台４１２から押し離す。押離し突起４７０はアーム部４６２に比較して短いため、連結部４６４からアーム部４６２の自由端部に加えられる操作力が倍力された大きな力で、バックアッププレート４１０を支持台４１２から押し離す。取っ手４４８が収納姿勢から起立姿勢へ回動させられるのに伴って押離しが行われるため、押し離しのために特別な操作を行う必要がなく、バックアッププレート４１０の支持台４１２からの取外し作業が単純で済む利点がある。しかも、上記位置決め突起４６６および押離し突起４７０は、取っ手４４８のアーム部４６０，４６２と一体に形成されているため、構造も単純であり、製造コストを低減させることができる。
【００５１】
前述の装着モジュール１０およびベース１２を有する装着システムにおいても、通常の生産機械と同様に、ベース１２の下面と床面との間隔を調節し、ベース１２を水平に設置するためのレベリング装置４８０が、図２３に示すように、水平面内において互いに距離を隔てて複数設けられている。一方、本装着システムは、前述のように、各装着モジュール１０の背面が、別の装着システムの装着モジュール１０の背面と、狭い隙間を隔てたのみで対向する状態で配置される得ることを重要な特長としている。そして、この特長の効果を享受する場合に、上記複数のレベリング装置４８０の中に、操作が困難となるものが生じる。以下、この困難を軽減するためのいくつかの工夫を説明する。
【００５２】
上記工夫の一つは、図２４に示すように、レベリング装置４８０が予め組立体とし得ることである。すなわち、レベリング装置４８０は、ベース１２の底壁４８２の雌ねじ穴に螺合される調節ボルト４８４、その調節ボルト４８４を任意螺合位置で底壁４８２に固定するためのロックナット４８６，および調節ボルト４８４の頭部の球面を受ける円錐面を備えたシート４８８を含んでいるが、シート４８８を小ねじ４９０およびリテーナ４９１により、調節ボルト４８４に結合しておけるようにされているのである。ただし、リテーナ４９１が小ねじ４９０により調節ボルト４８４に強く締め付けられた状態においても、シート４８８の調節ボルト４８４に対する限られた量の相対移動が許容されるように、シート４８６に形成されたリテーナ４９１の収容凹部４９２がやや大きく形成されている。
【００５３】
このように構成されたレベリング装置４８０は、シート４８８が調節ボルト４８４から離脱することがないため、レベル出し作業を容易に行い得るのであるが、図２３における下側のラインの中央のベース１２のレベル出し作業が行われる際には、すでに、上側のラインを構成するベース１２および装着モジュール１０と、下側のラインの左端のベース１２および装着モジュール１０が設置されているため、レベリング装置４８０の操作、特に上側のラインおよび左側のベース１２および装着モジュール１０に近い位置のレベリング装置４８０の操作が困難なのである。それに対し、本実施形態のベース１２には、底壁４８２に開口４９４が形成されている。開口４９４は、上記レベリング装置４８０に隣接する位置に、作業者の手や工具を容易に挿入し得る大きさで形成されている。したがって、作業者はこの開口４９４からレベリング装置４８０のレベル出し作業を容易に行うことができる。
【００５４】
ただし、ベース１２内に収納すべき機器の都合等により、底壁４８２に開口４９４を形成することが望ましくない、あるいは不可能な場合もあり、その場合に備えて、図２３に示すように、特殊なスパナ５００が準備されている。このスパナ５００は、通常のラチェット式スパナのハンドル部に中空の付加ハンドルを着脱可能とすることにより、通常のスパナに比較してハンドル５０２が著しく長くされ、かつ、必要な剛性を確保しつつ軽量化が図られている。また、スパナ５００の先端部を支持して移動する小形の支持台車が準備されている。この支持台車は、スパナ５００の先端部を、回動操作は可能であるが脱落は防止された状態に支持する支持台と、その支持台を支持する３つ以上（実際は４つ）のキャスタとを備え、ベース１２の底面と床面との間のスペースに進入可能な寸法とされている。支持台にスパナ５００の先端部を支持させ、ハンドル５０２を押せば、スパナ５００の先端部を調節ボルト４８４の頭部やロックナット４８６に容易に係合させることができる。また、スパナ５００はラチェット式であるため、調節ボルト４８４の頭部やロックナット４８６に係合させたままで往復回動操作を行えば、調節ボルト４８４やロックナット４８６を締めたり、緩めたりすることができ、図２３に示すように、未だベース１２が設置されていない側のスペースから比較的容易に調節ボルト４８４およびロックナット４８６の操作を行うことができる。
【００５５】
また、ベース１２の前面には、図２５に示すように、他の部分より前方へ突出した位置決め基準部５１２が設けられている。この位置決め基準部５１２は、ベース１２の加工基準面、例えば、前記ガイドレール１７８が取り付けられるガイドレール取付面に対する相対位置が精度良く機械加工された水平位置決め基準面５１４および鉛直位置決め基準面５１６を備えている。互いに隣接するベース１２の一方について通常の方法でレベル出し作業を行った後、それに隣接するベース１２のレベル出し作業を行う際、両ベース１２の水平位置決め基準面５１４および鉛直位置決め基準面５１６に跨って定規を当て、両基準面５１４，５１６と定規との間に隙間が丁度なくなるように、後から設置するベース１２のレベル出し作業を行えば、レベル出し作業を容易に行うことができる。水平位置決め基準面と鉛直位置決め基準面とをそれぞれ別個の位置決め基準部（例えば、前面に形成される位置決め基準部と上面に形成される位置決め基準部）に形成することも可能である。
【００５６】
また、ベース１２には、図２３に示すように、配列された複数の装着モジュール１０間の複数の隙間のうちの少なくとも一部、図示の例では一つ置きの隙間に、仕切板５２０が設けられている。本装着システムは、複数の装着モジュール１０のうちの１つが前方へ引き出された状態でも、いくつかの装着モジュール１０においては電子回路部品の装着作業が続行されるようにされている。しかし、各装着モジュール１０は点検，整備の容易化のために、側方へ開いた大きな開口が形成されているため、１つの装着モジュール１０が引き出された状態では、装着作業を続行している装着モジュール１０内へ手を入れ、装着装置２６等の作動装置に触れることが可能となる。これは望ましいことではないため、仕切板５２０が設けられ、上記側方への大きな開口を覆うようにされている。したがって、仕切板５２０の片側の装着モジュール１０が引き出された状態でも、その仕切板５２０の反対側の装着モジュール１０には支障なく装着作業を続行させることができる。
【００５７】
しかしながら、上記仕切板５２０が、ベース１２のレベル出し作業等、ベース１２に対する作業の邪魔になる場合がある。そこで、本実施形態においては、ベース１２に図２６に示すガイドレール５２２が設けられ、このガイドレール５２２に沿って仕切板５２０を邪魔にならない位置へ容易に移動させ得るようにされている。また、仕切板５２０は、図２７に示す仕切板固定装置５２４によりベース１２に固定されるのであるが、この仕切板固定装置５２４の固定操作および固定解除操作の容易化が図られている。仕切板固定装置５２４は、図２３および図２７(a)に示すように、ベース１２に固定の柱５２５に図２７(b)に示すボルト５２６により固定されるものとされているが、ボルト５２６のボルト穴が図２７(c)に示すようにＵ字形の切欠５２８とされており、ボルト５２６を取り外さなくても、緩めるのみで固定を解除し得るようにされている。また、仕切板５２０のボルト５２６に隣接する部分に開口５３０が形成されており、作業者は、仕切板５２０のボルト５２６とは反対側からでも、開口５３０を通して、ボルト５２６の回転操作を行うことができる。したがって、必要に応じて、仕切板５２０を邪魔にならない位置へ移動させ、レベル出し作業をはじめ、ベース１２に対する作業を容易に行うことができる。
【００５８】
本実施形態においては、ベース１２に対する作業を一層容易にするために、図２８に示す作業床５４０が準備されている。作業床５４０は軽量化のために木製で、すのこ状とされている。複数の床板５４２が間隔をあけて並べられ、２本の桟５４４により互いに連結されているのであり、図２９に示すように、２本の桟５４４が２本のガイドレール１７８の外側に位置し、それら２本のガイドレール１７８の互いに反対側の側面に係合することにより、作業床５４０がベース１２に対してずれることを防止するずれ防止部としての機能も果たすようにされている。２本の桟５４４を２本のガイドレール１７８の互いに対向する側面に係合させることも可能である。また、ずれ防止用の係合突部をリブとすることも不可欠ではなく、例えば、２本で１組の係合突起を各ガイドレール１７８に係合可能に設けることも可能である。さらに、ベース１２のガイドレール１７８以外の部分と係合してずれを防止する係合突部あるいは係合凹部とすることも可能である。
上記作業床５４０をベース１２上に載置し、その上に足で乗り、あるいは腹這いになって乗れば、レベル出し作業等、ベース１２に対する作業が容易となる。
【００５９】
ベース１２は、隣接するベース１２に対して予め定められた位置に設置することが必要であるが、重量の大きいベース１２を微小量移動させることは容易ではない。そのため、本実施形態においては、図３０に示す移動補助具５５０が準備されている。移動補助具５５０は、短い頭部５５２と長い柄部５５４とを備えてＬ字形に曲がった工具で、頭部５５２と柄部５５４との境界部である支点部５５６を床面５５８に支持させ、頭部５５２をベース１２の底面５６０に接触させた状態で、柄部５５４を矢印５６２で示すように下方へ回動させることにより、頭部５５２の回動に伴う頭部先端の上向きの運動成分５６４によりベース１２を押し上げつつ、頭部先端の水平方向の運動成分５６６によりベース１２を水平方向に移動させる道具である。柄部５５４の回動操作時に、頭部５５２が倒れることを防止するために、支点部５５６はある程度の幅を有する形状とすることが望ましい。
【符号の説明】
【００６０】
１０：装着モジュール    １２：ベース    １８：モジュール本体    ２０：基板搬送装置    ２２：基板保持装置    ２４：部品供給装置    ２６：装着装置    ３２：電気制御装置    ３６：ベッド    ３８：前コラム    ４０：後コラム    ４２：クラウン    ４４：ビーム    ４６：カバー    ５４、５６：基板コンベヤ    ５７：回路基板    ５８：テープフィーダ（フィーダ）    ６０ａ，ｂ：装着ヘッド    ６２：ヘッド移動装置    ６４：Ｘ軸方向移動装置    ６６：Ｙ軸方向移動装置    ７０：リニアモータ    ７２：Ｙ軸スライド    ７４：第１Ｘ軸スライド    ７６：第２Ｘ軸スライド    ７８：Ｘ軸スライド移動装置    ８６：吸着ノズル    １１８：ベッド内室    １２０：ＣＰＵボックス    １２２：制御ボックス    １２４：サーボボックス    １２８：排気口    １３０：ファン    １３２：コラム支持台    １３４：バックカバー    １３６：連通口    １３８：排気通路    １４６：連通口    １４８：排気通路    １５２：排気口    １５４、１５６：ファン    １６２：排気口    １６６：バキュームポンプ    １７０：ＣＰＵボックス    １７２：制御ボックス    １７８：ガイドレール    １８０：車輪    １８４：ベース    １８６：ベース内室    １９０：トランス    １９２：ＣＰＵボックス    １９４：制御ボックス    ２００：ベース    ２０２：ベース内室    ２０４：接続装置    ２０６：ファン    ２１０：排気口    ２１２：ファン    ２１４：コラム    ２１６：排気通路    ２１８：排気口    ２２０，２２２：ファン    ２２４：固定継手部    ２２６：可動継手部材    ２２８：ブラケット    ２３０：支持軸    ２３２：長穴    ２３４：ベローズ    ２３６：シール部材    ２４０：装着モジュール    ２４２，２４４：装着システム    ２４６：背面    ２５０、２５２：部品供給装置    ２５４，２５６：装着装置    ２５８：装着モジュール    ２６０：ベッド    ２６２：第１コラム    ２６４：第２コラム    ２６６：ベース    ２６８，２７０：ファン    ２７０：クラウン    ２７２，２７４：排気口    ２８０：装着モジュール    ２８６，２８８：装着ユニット    ２９０：モジュール本体    ２９２：ベッド    ２９４：第１コラム    ２９６：第２コラム    ２９８：クラウン    ３０１：電気制御装置    ３０２：排気口    ３０４：ファン    ３１０：Ｙ軸方向移動装置    ３１２：Ｙ軸スライド    ３１４：リニアモータ    ３１６：排気口    ３１８：ファン    ３２０：Ｘ軸スライド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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