(57)【要約】【課題】切削工具を装着する工具取り付けマウントの挟持面だけを平滑な面に修正することができる工具取り付けマウントの修正冶具を提供する。【解決手段】回転スピンドルに装着され切削工具を挟持する環状の挟持面を備えた工具取り付けマウントを具備し、工具取り付けマウント装着された切削工具を回転しつつチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削装置における工具取り付けマウントの修正冶具であって、チャックテーブルに保持される支持基台と、支持基台に固定されたモータと、モータの回転軸に装着され端面が研削面として機能する円柱状の研削砥石とを具備している。【選択図】図５
2010201586.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を切削するする切削手段とを含み、
該切削手段が、該チャックテーブルの保持面と平行に配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に装着された工具取り付けマウントと、該工具取り付けマウントに着脱可能に装着され外周部に切削ブレードが装着された円環状の基台に超音波振動子を配設した切削工具とを具備し、
該工具取り付けマウントが、該切削工具の円環状の基台が嵌合する装着軸部と装着軸部の外周側に設けられ該切削工具の円環状の基台を挟持する環状の挟持面および該環状の挟持面の外周側に配設され該超音波振動子に高周波電圧を印加するための電極端子を備えている、切削装置における工具取り付けマウントの修正冶具であって、
該チャックテーブルに保持される支持基台と、該支持基台に固定されたモータと、該モータの回転軸に装着され端面が研削面として機能する円柱状の研削砥石とを具備し、
該モータは、回転軸が該チャックテーブルの保持面に載置される該支持基台の下面と平行になるように該支持基台に固定されており、
該円柱状の研削砥石の直径は、該工具取り付けマウントの環状の挟持面の幅より大きく該装着軸部の外周面から該電極端子までの径方向距離より小さい値に設定されている、
ことを特徴とする工具取り付けマウントの修正冶具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置の回転スピンドルに切削工具を取り付けるための工具取り付けマウント、更に詳しくは超音波振動素子が配設された切削工具を取り付けるための工具取り付けマウントの挟持面を修正するための修正冶具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。また、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード、CCD等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述したウエーハのストリートに沿った切断は、一般に切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該回転スピンドルに装着された切削ブレードを備えた切削工具および回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を備えたスピンドルユニットを含んでいる。このような切削装置においては、切削工具を２００００〜４００００rpmの回転速度で回転しつつ、切削工具とチャックテーブルに保持された被加工物を相対的に切削送りする。
【０００４】
しかるに、デバイスが形成されるウエーハは、シリコン、サファイヤ、シリコンナイトライド、ガラス、リチウムタンタレート等の脆性硬質材料が用いられており、切削ブレードによって切削すると切断面に欠けが生じてデバイスの品質を低下させるという問題がある。また、サファイヤ等のモース硬度の高いウエーハは、切削ブレードによる切削が不可能ではないにしても非常に困難である。
【０００５】
上述した問題を解消するために、外周部に切削ブレードを装着した円環状の基台に超音波振動子を配設した切削工具を回転スピンドルに取り付けられた工具取り付けマウントに装着し、超音波振動子に高周波電圧を印加することにより、切削工具に超音波振動を付与しつつ切削するようにした切削方法が提案されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００６】
しかるに、切削工具の円環状の基台を工具取り付けマウントの挟持面との間に挟持し、超音波振動子に高周波電圧を印加して切削工具に超音波振動を付与すると、超音波振動により切削工具の円環状の基台を形成するアルミニウム等の金属が微粒子となって工具取り付けマウントの挟持面に強固に固着する。このように工具取り付けマウントの挟持面にアルミニウムの微粒子が固着すると、切削工具を交換して新しい切削工具を工具取り付けマウントに装着する際に工具取り付けマウントの挟持面との密着が悪く、切削工具が回転軸心に対して傾き、回転すると切削ブレードが軸方向にブレルという問題がある。また、工具取り付けマウントもその回転軸心が回転スピンドルの回転軸心と僅かにズレて微小な角度をもって装着されると、工具取り付けマウントに装着された切削工具が回転軸心に対して傾き、回転すると切削ブレードが軸方向にブレルという問題がある。
【０００７】
なお、超音波振動しない切削ブレードを装着する工具取り付けマウントもその回転軸心が回転スピンドルの回転軸心と僅かにズレて微小な角度をもって装着されると、工具取り付けマウントに装着された切削ブレードが回転軸心に対して傾き、回転すると切削ブレードが軸方向にブレルという問題がある。
このような問題を解消するために、工具取り付けマウントの切削ブレードを支持する端面を研削する端面修正冶具が提案されている。（例えば、特許文献２参照。）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１５９８６４号公報
【特許文献２】特開平８−３３９９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
而して、超音波振動用の切削工具を装着する工具取り付けマウントは、切削工具の円環状の基台を挟持する挟持面の外周側に円環状の基台に配設された超音波振動子に高周波電圧を印加するための電極端子が突出して配設されているので、上記特許文献２に開示された端面修正冶具を用いて挟持面を研削すると、端子電極を損傷させてしまうという問題がある。また、上記特許文献２に開示された端面修正冶具は、回転する工具取り付けマウントの端面に研削砥石を押圧する構成であるため、工具取り付けマウントの端面である被研削面に複数の筋状の研削痕が生成され、挟持面が平滑とはならない。
【００１０】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、切削工具を装着する工具取り付けマウントの挟持面だけを平滑な面に修正することができる工具取り付けマウントの修正冶具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を切削するする切削手段とを含み、
該切削手段が、該チャックテーブルの保持面と平行に配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの端部に装着された工具取り付けマウントと、該工具取り付けマウントに着脱可能に装着され外周部に切削ブレードが装着された円環状の基台に超音波振動子を配設した切削工具とを具備し、
該工具取り付けマウントが、該切削工具の円環状の基台が嵌合する装着軸部と装着軸部の外周側に設けられ該切削工具の円環状の基台を挟持する環状の挟持面および該環状の挟持面の外周側に配設され該超音波振動子に高周波電圧を印加するための電極端子を備えている、切削装置における工具取り付けマウントの修正冶具であって、
該チャックテーブルに保持される支持基台と、該支持基台に固定されたモータと、該モータの回転軸に装着され端面が研削面として機能する円柱状の研削砥石とを具備し、
該モータは、回転軸が該チャックテーブルの保持面に載置される該支持基台の下面と平行になるように該支持基台に固定されており、
該円柱状の研削砥石の直径は、該工具取り付けマウントの環状の挟持面の幅より大きく該装着軸部の外周面から該電極端子までの径方向距離より小さい値に設定されている、
ことを特徴とする工具取り付けマウントの修正冶具が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による工具取り付けマウントの修正冶具は上記のように構成されているので、チャックテーブルに支持基台を保持し、支持基台に固定されたモータの回転軸に装着された円柱状の研削砥石の端面により工具取り付けマウントの環状の挟持面を研削するので、工具取り付けマウントの環状の挟持面に固着したアルミニウムの微粒子が研削除去され、挟持面は平滑な面に修正される。なお、円柱状の研削砥石は直径が工具取り付けマウントに設けられた環状の挟持面の幅より大きく装着軸部の外周面から電極端子までの径方向距離より小さい値に設定されているので、環状の挟持面だけが研削され、電極端子の先端が環状の挟持面より突出していても電極端子を損傷させることはない。また、回転スピンドルに装着された工具取り付けマウントを回転するとともに、マウントの修正冶具の円柱状の研削砥石も回転して、円柱状の研削砥石の端面である研削面で工具取り付けマウントに設けられた環状の挟持面を研削するので、環状の挟持面に筋状の研削痕が生成されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に従って構成された工具取り付けマウントの修正冶具を使用するための切削装置の斜視図。
【図２】図１に示す加工装置に装備されるスピンドルユニットの分解斜視図。
【図３】図１に示す加工装置に装備されるスピンドルユニットの要部断面図。
【図４】本発明に従って構成された工具取り付けマウントの修正冶具の斜視図。
【図５】図４に示す工具取り付けマウントの修正冶具を用いて実施する工具取り付けマウントに設けられた環状の挟持面を修正する状態を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に従って構成された工具取り付けマウントの修正冶具の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【００１５】
図１には、本発明に従って構成された工具取り付けマウントの修正冶具を使用するための切削装置の斜視図が示されている。
図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２内には、被加工物を保持するチャックテーブル３が切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル３は、吸着チャック支持台３１と、該吸着チャック支持台３１上に配設された吸着チャック３２を具備しており、該吸着チャック３２の上面である保持面上に被加工物を図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル３は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。なお、チャックテーブル３１には、被加工物として後述するウエーハを保護テープを介して支持する支持フレームを固定するためのクランプ３３が配設されている。このように構成されたチャックテーブル３は、図示しない切削送り手段によって、矢印Ｘで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
【００１６】
図示の実施形態における切削装置は、切削手段としてのスピンドルユニット４を具備している。このスピンドルユニット４は、図示しない移動基台に装着され上記矢印Ｘで示す切削送り方向と直交する矢印Ｙで示す割り出し方向および矢印Ｚで示す切り込み方向に移動調整されるスピンドルハウジング４１と、該スピンドルハウジング４１に回転自在に支持されチャックテーブル３１の上面である保持面と平行に配設された回転スピンドル４２と、該回転スピンドル４２の先端部に装着された切削工具４３とを具備している。
【００１７】
この切削工具４３およびその取付け構造について、図２および図３を参照して説明する。切削工具４３は、アルミニウムによって形成され中心部に嵌合穴４３１aを備えた円環状の基台４３１と、該円環状の基台４３１の外周部側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合して装着した切削ブレード４３２とからなっている。円環状の基台４３１の両側面には、環状の電極４３３と環状の超音波振動子４３４が配設されている。環状の超音波振動子４３４は、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、リチウムタンタレート等の圧電セラミックスによって形成されており、環状の電極４３３と電気的に接続されている。
【００１８】
上述したように構成された切削工具４３は、図３に示すように切削装置のスピンドルハウジング４１に回転自在に支持された回転スピンドル４２に装着される工具取り付けマウント５と、該工具取り付けマウント５に螺合する挟持ナット６とによって挟持され固定される。工具取り付けマウント５は、図２および図３に示すように円環状のフランジ部５１と、該フランジ部５１の中心部から側方に突出して形成された円筒状の装着部５２とからなっている。フランジ部５１における装着部５２側の側面には、径方向中央部に切削工具４３の円環状の基台４３１を挟持する環状の挟持面５１１が形成されている。また、装着部５２には、軸方向に貫通する嵌合穴５２１が形成されており、先端部外周面に雄ネジ５２２が形成されている。なお、嵌合穴５２１の内周面は、回転スピンドル４２の先端部に形成されたテーパー面４２１と対応するテーパー面に形成されている。このように構成された工具取り付けマウント５は、図３に示すように嵌合穴５２１を回転スピンドル４２の先端部に形成されたテーパー面４２１に嵌合し、回転スピンドル４２の先端部外周面に形成された雄ネジ４２２に固定ナット６０を螺合することにより、回転スピンドル４２に装着される。このようにして、回転スピンドル４２に装着された工具取り付けマウント５の装着部５２に切削工具４３の円環状の基台４３１に設けられた嵌合穴４３１aを嵌合し、装着部５２の先端部外周面に形成された雄ネジ５２２に挟持ナット６を螺合することにより、切削工具４３は円環状の基台４３１が工具取り付けマウント５のフランジ部５１に設けられた環状の挟持面５１１と挟持ナット６によって挟持固定される。
【００１９】
図３を参照して説明を続けると、工具取り付けマウント５を構成するフランジ部５１の外周部には、後述する電圧印加手段による交流電圧を上記切削工具４３の円環状の基台４３１に配設された超音波振動子４３４に環状の電極４３３を介して印加するための電極端子７が配設されている。この電極端子７は、電極板７１との間に配設されたコイルスプリング７２によって図３において左方に押圧されており、その先端が切削工具４３の円環状の基台４３１に配設された環状の電極４３３と接触するようになっている。
【００２０】
図示の実施形態における切削手段としてのスピンドルユニット４は、上記超音波振動子４３４に交流電圧を印加する電圧印加手段８を具備している。電圧印加手段８は、工具取り付けマウント５に配設された受電手段８１と、該受電手段８１と対向して配設されスピンドルハウジング４１の先端面に装着された給電手段８２を具備している。受電手段８１は、工具取り付けマウント５のフランジ部５１における上記挟持面５１１と反対側の面、即ちスピンドルハウジング４１と対向する面に形成された嵌合凹部５１２に嵌合され環状の溝８１１aを備えたローター側コア８１１と、該ローター側コア８１１の環状の溝８１１a内に配設された受電コイル８１２とからなっている。このように構成された受電手段８１の受電コイル８１２は、上記電極板７１に接続されている。
【００２１】
上記給電手段８２は、受電手段８１と対向する面に環状の溝８２１aを備えたステータ側コア８２１と、該ステータ側コア８２１の環状の溝８２１a内に配設された給電コイル８２２とからなっている。なお、ステータ側コア８２１は、スピンドルハウジング４１の先端面に取付けボルト８２３によって装着される。このように構成された給電手段８２の給電コイル８２２は、電気配線８２４、８２５を介して交流電源８３に接続されている。なお、図示の実施形態における電圧印加手段８は、交流電源の周波数を変換する周波数変換器８４を備えている。以上のように構成された、受電手段８１と給電手段８２は、ロータリートランスを構成する。
【００２２】
図２および図３に示すスピンドルユニット４は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。交流電源８３から周波数変換器８４によって所定の周波数に変換された交流電圧が給電手段８２の給電コイル８２２に印加されると、回転する受電手段８１の受電コイル８１２、電極板７１、コイルスプリング７２、電極端子７、環状の電極４３３を介して超音波振動子４３４に所定周波数の交流電圧が印加される。この結果、超音波振動子４３４は、径方向に繰り返し変位して超音波振動する。従って、超音波振動子４３４を装着した切削工具４３の円環状の基台４３１も径方向に超音波振動し、円環状の基台４３１に装着された切削ブレード４３２が径方向に超音波振動する。
【００２３】
図１に戻って説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記チャックテーブル３上に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削ブレード４３によって切削すべき領域を検出するための撮像手段１２を具備している。この撮像手段１２は、顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなっている。また、切削装置は、撮像手段１２によって撮像された画像を表示する表示手段１３を具備している。
【００２４】
上記装置ハウジング２におけるカセット載置領域１４aには、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル１４が配設されている。このカセット載置テーブル１４は、図示しない昇降手段によって上下方向に移動可能に構成されている。カセット載置テーブル１４上には、被加工物Wを収容するカセット１５が載置される。カセット１５に収容される被加工物Wは、ウエーハの表面に格子状のストリートが形成されており、この格子状のストリートによって区画された複数の矩形領域にコンデンサーやLEDや回路等のデバイスが形成されている。このように形成された被加工物Wは、環状のフレームFに装着された保護テープTの表面に裏面が貼着された状態でカセット１５に収容される。
【００２５】
また、図示の実施形態における切削装置は、カセット載置テーブル１４上に載置されたカセット１５に収容されている被加工物W（環状のフレームFに保護テープTを介して支持されている状態）を仮置きテーブル１６に搬出するとともに仮置きテーブル１６に搬送された加工後の被加工物Wをカセット１５に搬入する搬出・搬入手段１７と、仮置きテーブル１６に搬出された被加工物Wを上記チャックテーブル３上に搬送する第１の搬送手段１８と、チャックテーブル３上で切削加工された被加工物Wを洗浄する洗浄手段１９と、チャックテーブル３上で切削加工された被加工物Wを洗浄手段１９へ搬送する第２の搬送手段２０を具備している。
【００２６】
以上のように構成された切削装置の作動について、簡単に説明する。
カセット載置テーブル１４上に載置されたカセット１５の所定位置に収容されている被加工物Wは、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル１４が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段１７が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物Wを仮置きテーブル１６上に搬出する。仮置きテーブル１６に搬出された被加工物Wは、第１の搬送手段１８の旋回動作によって上記チャックテーブル３上に搬送される。チャックテーブル３上に被加工物Wが載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物Wをチャックテーブル３上に吸引保持する。また、被加工物Wを保護テープTを介して支持する環状のフレームFは、上記クランプ３３によって固定される。このようにして被加工物Wを保持したチャックテーブル３は、撮像手段１２の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３が撮像手段１２の直下に位置付けられると、撮像手段１２によって被加工物Wに形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット４を割り出し方向である矢印Ｙ方向に移動調節してストリートと切削工具４３の切削ブレード４３２との精密位置合わせ作業が行われる。
【００２７】
その後、切削工具４３を矢印Ｚで示す方向に所定量切り込み送りし所定の方向に回転させつつ、被加工物Wを吸引保持したチャックテーブル３を切削送り方向である矢印Ｘで示す方向（切削工具４３の回転軸と直交する方向）に所定の切削送り速度で移動することにより、チャックテーブル３上に保持された半導体ウエーハWは切削工具４３の切削ブレード４３２により所定のストリートに沿って切断される。この切断工程においては、上記電圧印加手段８が作動され、上述したように切削工具４３の円環状の基台４３１に配設された超音波振動子４３４に高周波電圧が印加される。この結果、超音波振動子４３４が径方向に超音波振動せしめられ、該超音波振動子４３４が配設された切削工具４３の円環状の基台４３１も径方向に超音波振動し、円環状の基台４３１に装着された切削ブレード４３２が径方向に超音波振動するので、切削ブレード４３２による切削抵抗が減少するため、ウエーハWがサファイヤ等の難削材であっても容易に切削することができる。
【００２８】
上述したように、被加工物Wを所定のストリートに沿って切断したら、チャックテーブル３を矢印Ｙで示す方向にストリートの間隔だけ割り出し送りし、上記切断作業を実施する。そして、被加工物Wの所定方向に延在するストリートの全てに沿って切断作業を実施したならば、チャックテーブル３を９０度回転させて、被加工物Wの所定方向と直交する方向に延在するストリートに沿って切断作業を実行することにより、被加工物Wに格子状に形成された全てのストリートが切断されて個々のデバイスに分割される。なお、分割された個々のデバイスは、保護テープTの作用によってバラバラにはならず、環状のフレームFに支持されたウエーハの状態が維持されている。
【００２９】
上述したように被加工物Wのストリートに沿って切断作業が終了したら、被加工物Wを保持したチャックテーブル３は最初に被加工物Wを吸引保持した位置に戻される。そして、被加工物Wの吸引保持を解除する。次に、被加工物Wは第２の搬送手段２０によって洗浄手段１９に搬送される。第２の搬送手段２０に搬送された被加工物Wは、ここで洗浄および乾燥される。このようにして洗浄および乾燥された被加工物Wは、第１の搬送手段１８によって仮置きテーブル１６に搬出される。そして、被加工物Wは、搬出・搬入手段１７によってカセット１５の所定位置に収納される。
【００３０】
以上のように、切削工具４３の円環状の基台４３１に超音波振動を付与して切断作業を遂行すると、超音波振動により円環状の基台４３１を形成するアルミニウムが微粒子となって工具取り付けマウント５の挟持面５１１に強固に固着する。このように工具取り付けマウント５の挟持面５１１にアルミニウムの微粒子が固着すると、切削工具４３を交換して新しい切削工具を工具取り付けマウント５に装着する際に、工具取り付けマウント５の挟持面５１１との密着が悪く、切削工具４３が回転軸心に対して傾き、回転すると切削ブレード４３２が軸方向にブレルという問題がある。従って、アルミニウムの微粒子が固着した工具取り付けマウント５の挟持面５１１を平滑な面に修正する必要がある。以下、工具取り付けマウント５の挟持面５１１を修正するための工具取り付けマウントの修正冶具について、図４を参照して説明する。
【００３１】
図４に示す工具取り付けマウントの修正冶具９は、円盤状に支持基台９１と、該支持基台９１の上面に固定されたモータ９２と、該モータ９２の回転軸９２１に装着された円柱状の研削砥石９３とからなっている。円盤状の支持基台９１は、セラミックスや金属材によって上面と下面が平行に形成されている。モータ９２は、支持基台９１の上面に回転軸９２１が支持基台９１の上面および下面と平行になるように配設され、接着剤によって固定される。従って、支持基台９１の下面が上記チャックテーブル３の吸着チャック３２の上面である保持面に保持された状態においては、モータ９２の回転軸９２１はチャックテーブル３１の吸着チャック３２の上面である保持面と平行になる。モータ９２の回転軸９２１に装着された円柱状の研削砥石９３は、直径が工具取り付けマウント５に設けられた環状の挟持面５１１の幅より大きく上記装着軸部５２の外周面からフランジ部５１の外周部に配設された電極端子７までの径方向距離より小さい値に設定されている。このように形成された円柱状の研削砥石９３は、その端面９３１が研削面として機能する。
【００３２】
図示の実施形態における工具取り付けマウントの修正冶具９は以上のように構成されており、以下工具取り付けマウント５の挟持面５１１を修正する作業について、図５を参照して説明する。
【００３３】
工具取り付けマウント５の挟持面５１１の修正作業は、先ず上記チャックテーブル３１上に工具取り付けマウントの修正冶具９の支持基台９１を載置し、図示しない吸引手段を作動して工具取り付けマウントの修正冶具９をチャックテーブル３上に吸引保持する。次に、チャックテーブル３１をスピンドルユニット４の下側に移動し、図５に示すようにチャックテーブル３１に保持された工具取り付けマウントの修正冶具９を構成する円柱状の研削砥石９３の端面９３１を工具取り付けマウント５に設けられた環状の挟持面５１１と対向する位置に位置付ける。そして、モータ９２を駆動して円柱状の研削砥石９３を矢印９３aで示す方向に例えば３０００rpmの回転速度で回転せしめ、スピンドルユニット４の回転スピンドル４２を矢印４２aで示す方向に例えば６００rpmの回転速度で回転して工具取り付けマウント５を回転せしめるとともに、図示しない割り出し送り手段を作動してスピンドルユニット４を工具取り付けマウントの修正冶具９側に移動し、工具取り付けマウント５に設けられた環状の挟持面５１１を円柱状の研削砥石９３の端面９３１である研削面に接触せしめる。このとき、上記交流電圧が給電手段８２は作動させない。この結果、工具取り付けマウント５の挟持面５１１に固着しているアルミニウムの微粒子が研削除去され、挟持面５１１は平滑な面に修正される。なお、円柱状の研削砥石９３は直径が工具取り付けマウント５に設けられた環状の挟持面５１１の幅より大きく上記装着軸部５２の外周面からフランジ部５１の外周部に配設された電極端子７までの径方向距離より小さい値に設定されているので、環状の挟持面５１１だけが研削され、電極端子７の先端が環状の挟持面５１１より突出していても電極端子７を損傷させることはない。このように、回転スピンドル４２に装着された工具取り付けマウント５を回転するとともに、マウントの修正冶具９の円柱状の研削砥石９３も回転して、円柱状の研削砥石９３の端面９３１である研削面で工具取り付けマウント５に設けられた環状の挟持面５１１を研削するので、環状の挟持面５１１に筋状の研削痕が生成されることはない。
【００３４】
なお、上記工具取り付けマウントの修正冶具９は、新しい工具取り付けマウント５を回転スピンドル４２に取り付けた際における挟持面５１１の修正にも用いることができる。即ち、新しい工具取り付けマウント５を回転スピンドル４２に取り付けた際に、工具取り付けマウント５の回転軸心が回転スピンドル４２の回転軸心と僅かにズレて微小な角度をもって装着される場合があり、この状態で工具取り付けマウント５に切削工具４３を取り付けると切削工具４３が回転軸心に対して傾き、回転すると切削ブレード４３２が軸方向にブレルという問題がある。この問題を解消するために上記工具取り付けマウントの修正冶具９を用いて上述した修正作業を実施し、工具取り付けマウント５の挟持面５１１を研削することにより、工具取り付けマウント５に取り付けられる切削工具４３のブレを修正することができる。
【符号の説明】
【００３５】
２：装置ハウジング
３：チャックテーブル
４：スピンドルユニット
４２：回転スピンドル
４３：切削工具
４３１：円環状の基台
４３２：切削ブレード
４３３：電極
４３４：超音波振動子
５：工具取り付けマウント
５１：フランジ部
５１１：環状の挟持面
５２：装着部
７：電極端子
８：電圧印加手段
９：工具取り付けマウントの修正冶具
９１：円盤状に支持基台
９２：モータ
９３：円柱状の研削砥石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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