(57)【要約】【課題】音叉型の圧電振動子用素子を筐体内に設けた圧電振動子において、励振電極に調整膜の削り滓が飛散して付着することによる不良の発生を抑えることができる圧電振動子を提供すること。【解決手段】音叉型の水晶片１１と、励振電極６ａ、６ｂ、６ｃと、周波数調整用の調整膜８と、を備えた水晶振動子用素子１０を筐体２０内に装着して構成される水晶振動子の製造方法において、筐体２０の内部における励振電極６ａ、６ｂ、６ｃが位置する雰囲気と調整膜８が位置する雰囲気との間に、調整膜８の削り滓が飛散することを抑止するための壁面２９を形成し、水晶振動子用素子１０の周波数の調整を行うためにレーザー光により調整膜８を削り取るときに、壁面２９によって飛散した削り滓が励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着してショートすることを防止し、不良の発生を抑制する。【選択図】図１
2010118784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部から互いに平行に２本の振動腕が伸びている音叉型の圧電振動片と、前記振動腕に形成された励振電極と、前記振動腕の先端側に前記励振電極と離間するように形成された周波数調整用の調整膜と、前記基部に形成された引出電極と、を備えた圧電振動子用素子を筐体内に装着して構成される圧電振動子の製造方法において、
前記筐体の内部における前記励振電極が位置する雰囲気と前記調整膜が位置する雰囲気との間に、この調整膜の削り取り時に発生する削り滓が飛散することを抑止するための壁面を形成し、
圧電振動子用素子の周波数の調整を行うためにレーザー光により前記調整膜を削り取ることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
前記壁面は、前記筐体の内壁面から突出させた壁部の前記調整膜側の面であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子の製造方法。
【請求項３】
前記筐体は、圧電振動片における調整膜の形成領域の一面側及び他面側の少なくとも一方と対向する部位が光透過性の材質により構成されると共に、前記調整膜が位置する雰囲気側に前記削り滓排出用の排出口が形成されていること特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動子の製造方法。
【請求項４】
基部から互いに平行に２本の振動腕が伸びている音叉型の圧電素子と、前記振動腕に形成された励振電極と、前記振動腕の先端側に前記励振電極と離間するように形成された周波数調整用の調整膜と、前記基部に形成された引出電極と、を備えた圧電振動子用素子を筐体内に装着して構成された圧電振動子において、
前記筐体の内部における前記励振電極が位置する雰囲気と前記調整膜が位置する雰囲気との間に、調整膜の削り取り時に発生する削り滓が飛散することを抑止するための壁面が形成されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項５】
前記壁面は、前記筐体の内壁面から突出させた壁部の前記調整膜側の面であることを特徴とする請求項４に記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記筐体は、圧電振動片における調整膜の形成領域の一面側及び他面側の少なくとも一方と対向する部位が光透過性の材質により構成されると共に、調整膜が位置する雰囲気側に前記削り滓排出用の排出口が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の圧電振動子。
【請求項７】
請求項４ないし６の何れか一項に記載の圧電振動子と、この圧電振動子が搭載される基板と、前記圧電振動子を発振させるための発振回路と、を備えたことを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば水晶等からなる音叉型の圧電用素子を筐体に収納してなる圧電振動子及びその製造技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動子のひとつに腕時計の歩度を刻む信号源等として採用されている音叉型の水晶振動子がある。音叉型の水晶振動子は、小型、安価でかつ低電力であることから、腕時計のような小型の電子機器に搭載される圧電振動子として非常に有効であり、その使用用途は更に広がろうとしている。この従来の音叉型の水晶振動子の一例を図９に示す。この音叉型の水晶振動子は、図９（ａ）に示す音叉型の水晶振動子用素子１００を、図９（ｂ）に示す筐体１２０に導電性接着剤１２２によって装着することによって構成されている。
【０００３】
水晶振動子用素子１００は、基部１０１と基部１０１から一方向に一定の間隔を空けて平行に伸びる２本（一対）の振動腕１０２とを有している。図中１０５ａ、１０５ｂは振動腕１０２の一面及びその裏面に形成された振動効率を高めると共に電力損失を抑えるための溝部、１０６は溝部１０５ａ、１０５ｂとその周辺領域に、屈曲振動に基づいた音叉振動を励起するための励振電極、１０７は引出電極、１２０ａは筐体１２０に装着して封止する蓋体である。
【０００４】
このような水晶振動子では、振動腕１０２の先端に周波数の調整を行うための調整膜１０８が形成されている。この調整膜１０８は、励振電極１０６から離間するように形成されており、図９（ｃ）に示すように例えばレーザー照射器３０からレーザーが照射されて削り取られ、その厚みや面積が調整される。しかしながら調整膜１０８を削り取る場合、この調整膜１０８の削り滓が飛散して励振電極１０６に付着し、励振電極１０６がショートして水晶振動子が不良品となる虞がある。
【０００５】
この問題に対し、従来次のような解決方法が提案されている。例えば特許文献１には、音叉型の水晶片に励振電極と調整膜とを設け、励振電極と調整膜とを覆うように高融点の飛散防止膜を成膜した水晶振動子用素子が記載されている。この水晶振動子では、調整膜をレーザーによって融解させて削り取り、周波数の調整を行う際に調整膜の飛散が飛散防止膜によって防止される。さらに調整膜が飛散して、励振電極側に飛んだとしても、飛散防止膜上に付着するので励振電極のショートを防止することができる。そして切除した調整膜の削り滓は、飛散防止膜にレーザーによって形成された穴から排出される。しかしながら、水晶振動子用素子に飛散防止膜を形成するため、素子の製造工程が増えると共に素子が一回り大きくなるので水晶振動子そのものが大きくなる。
【０００６】
一方特許文献２には、水晶振動子用素子の振動端が筐体の壁部に衝突して素子が欠けることを防止するために、筐体の上面及び下面に突起部を設け、水晶振動子用素子の先端部以外の上面及び下面がこの突起部と接触するようにした水晶振動子が記載されている。この特許文献２の水晶振動子では、素子となる水晶片の欠けは防止できるが、調整膜の削り滓の付着を防止する点については何も記載されていない。そのため特許文献２の水晶振動子でも、上記問題により不良品となる虞がある。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２２３９９８号公報（段落番号００１９、００２０）
【特許文献２】特開２００３−１３３８８３号公報（段落番号００１１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、音叉型の圧電振動子用素子を筐体内に設けた圧電振動子において、励振電極に調整膜の削り滓が飛散して付着することによる不良の発生を抑えることができる圧電振動子、この圧電振動子を備えた電子部品及びこの圧電振動子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の圧電振動子の製造方法は、
基部から互いに平行に２本の振動腕が伸びている音叉型の圧電振動片と、前記振動腕に形成された励振電極と、前記振動腕の先端側に前記励振電極と離間するように形成された周波数調整用の調整膜と、前記基部に形成された引出電極と、を備えた圧電振動子用素子を筐体内に装着して構成される圧電振動子の製造方法において、
前記筐体の内部における前記励振電極が位置する雰囲気と前記調整膜が位置する雰囲気との間に、この調整膜の削り取り時に発生する削り滓が飛散することを抑止するための壁面を形成し、
圧電振動子用素子の周波数の調整を行うためにレーザー光により前記調整膜を削り取ることを特徴としている。
【００１０】
また本発明の圧電振動子の製造方法では、例えば前記壁面は、前記筐体の内壁面から突出させた壁部の前記調整膜側の面であってもよい。また、本発明の圧電振動子の製造方法では、例えば前記筐体は、圧電振動片における調整膜の形成領域の一面側及び他面側の少なくとも一方と対向する部位が光透過性の材質により構成されると共に、前記調整膜が位置する雰囲気側に前記削り滓排出用の排出口が形成されていてもよい。
【００１１】
本発明の圧電振動子は、
基部から互いに平行に２本の振動腕が伸びている音叉型の圧電素子と、前記振動腕に形成された励振電極と、前記振動腕の先端側に前記励振電極と離間するように形成された周波数調整用の調整膜と、前記基部に形成された引出電極と、を備えた圧電振動子用素子を筐体内に装着して構成された圧電振動子において、
前記筐体の内部における前記励振電極が位置する雰囲気と前記調整膜が位置する雰囲気との間に、調整膜の削り取り時に発生する削り滓が飛散することを抑止するための壁面が形成されていることを特徴としている。
【００１２】
また本発明の圧電振動子では、例えば前記壁面は、前記筐体の内壁面から突出させた壁部の前記調整膜側の面であってよい。また本発明の圧電振動子では、前記筐体は、圧電振動片における調整膜の形成領域の一面側及び他面側の少なくとも一方と対向する部位が光透過性の材質により構成されると共に、調整膜が位置する雰囲気側に前記削り滓排出用の排出口が形成されていてもよい。そして本発明の電子部品は、上記各圧電振動子と、この圧電振動子が搭載される基板と、前記圧電振動子を発振させるための発振回路と、を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、圧電振動子の筐体の内部における励振電極が位置する雰囲気と調整膜が位置する雰囲気との間に、壁部を介在させているため、周波数の調整のために調整膜を削るときに、飛散する削り滓がこの壁部により遮られて励振電極に付着することが低減される。これにより励振電極のショート等による圧電振動子の不良の発生が抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の圧電振動子を水晶振動子に適用した実施形態について図１及び図５を参照して説明する。この水晶振動子は、図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、水晶振動子用素子１０を筐体２０に装着することによって構成される。水晶振動子用素子１０は、図２に示すように略矩形状の基部１と、この基部１から互いに平行に２本の振動腕２が伸びている、本発明の圧電振動片に相当する音叉形状の水晶片１１に、溝部５ａ、５ｂ、励振電極６ａ、６ｂ、６ｃ、引出電極７及び周波数調整用の錘である調整膜８が設けられることによって形成されている。なお図２では、励振電極６ａ、６ｂ、６ｃ、引出電極７及び調整膜８等が形成されている位置を分かり易く示すために、これらを斜線領域で示している。
【００１５】
溝部５ａ、５ｂは、各振動腕２と長手方向に並ぶように設けられ、各々矩形状に形成されている。励振電極６ａ、６ｂは、溝部５ａ、５ｂの内周面に設けられ、励振電極６ｃは、溝部５ａ、５ｂの周辺領域に溝部５ａ、５ｂから一定の間隔を空けて離間するように設けられている。この励振電極６ａ、６ｂ、６ｃは、基部１に形成された引出電極７に接続される。また励振電極８は、振動腕２の先端側に励振電極６ｃから離間して設けられ、例えばＣｒ（クロム）及びＡｕ（金）からなる金属膜で構成されている。
【００１６】
筐体２０は、図１（ａ）、図３（ａ）に示すようにレーザー光が透過可能な例えばホウ珪酸ガラスにより、上面側が開放されている直方体形状に形成されており、その周縁には外壁２０ｂが設けられている。この外壁２０ｂの上面、即ち後述する蓋体２０ａとの接合面には、筐体２０と蓋体２０ａとを陽極接合するときに使用する、例えばアルミニウム等の金属膜３が形成されている。また筐体２０は排出口２４と下側壁部２５とを有している。排出口２４は、筐体２０の底部の、調整膜８の投影領域に形成された調整膜８の削り滓を外部に排出するための、例えば直径１５０μｍの開口である。
【００１７】
下側壁部２５は、筐体２０の底部から筐体上面側に向けて伸びるように形成されており、水晶振動子用素子１０が装着されたときに水晶振動子用素子１０と筐体２０の底面との間の雰囲気を、励振電極６ｃが位置する雰囲気と、調整膜８が位置する雰囲気とに区画分けするように水晶振動子用素子１０と直交して、即ち水晶振動子用素子１０を水平に置いた状態において、垂直となるように形成されている。そして下側壁部２５は、振動している振動腕２とその縁部が接触しないように形成されている。
【００１８】
また筐体２０における長手方向の一方の側部には、取り付け電極２１が筐体２０の左右に１つずつ計２つ設けられている。取り付け電極２１は、筐体２０の底部に設けられた、絶縁体で形成されている載置部２１ａの上面に設けられており、載置部２１ａの内部の図示しない電極を介して筐体２０の底部に設けられている外部電極２３と電気的に接続されている。なお図１（ｂ）及び図３は、図１（ａ）の矢視Ａ−Ａの断面を示し、説明の便宜上水晶振動子用素子１０の記載を簡略化している。
【００１９】
筐体２０の上面側には、筐体２０を封止するための蓋体２０ａが取り付けられる。蓋体２０ａは、筐体２０と同じくレーザー光が透過可能な例えばホウ珪酸ガラスにより形成されている。また蓋体２０ａは、上側壁部２６を有している。上側壁部２６は、図１（ｂ）、図３（ａ）に示すように、蓋体２０ａから筐体下面側に向けて伸びるように形成されており、水晶振動子用素子１０が装着されたときに水晶振動子用素子１０と蓋体２０ａとの間の雰囲気を、励振電極６ｃが位置する雰囲気と、調整膜８が位置する雰囲気とに区画分けするように水晶振動子用素子１０と直交して、即ち水晶振動子用素子１０を水平に置いた状態において、垂直となるように形成されている。
【００２０】
また上側壁部２６は、振動している振動腕２とその縁部が接触しないように形成されている。そして水晶振動子が組み立てられると、筐体２０の内部に下側壁部２５と上側壁部２６によって、振動腕２が通過しかつ振動腕２の振動を阻害しない形状の通過領域２８を有する１枚の壁部２７が形成される。本実施形態では、壁部２７の調整膜８が位置する雰囲気側の壁面２９が本発明の壁面に相当する（後述する図４（ｃ）参照）。
【００２１】
次に水晶振動子用素子１０、筐体２０及び蓋体２０ａの製造方法について簡単に説明する。まず水晶振動子用素子１０の製造方法について説明すると、圧電基板である水晶ウェハに金属膜及びレジストパターンを積層し、ウェットエッチングを利用して溝を備えた音叉形状である水晶片１１を多数形成する。しかる後、この水晶片１１に励振電極６ａ、６ｂ、６ｃ、引出電極７及び調整膜８をパターニングにより形成し、ダイシングによってウェハＷを分断して各水晶振動子用素子１０に個片化する。
【００２２】
一方、筐体２０及び蓋体２０ａは、ガラスの基体にエッチングマスクを形成してエッチングを行うことにより形成される。筐体２０では、まず下側壁部２５の形成領域のガラスを残した状態で外壁２０ｂを形成し、しかる後排出口２４と下側壁部２５とに対応するエッチングマスクを形成してエッチングを行い、排出口２４と下側壁部２５を形成する。そして外壁２０ｂの上部に記述の金属膜３を成膜する。また蓋体２０ａでは、上側壁部２６に対応するエッチングマスクを形成してエッチングを行い上側壁部２６が形成される。なお本実施形態では、筐体２０及び蓋体２０ａはホウ珪酸ガラスによって形成されているが、本発明の実施の形態としては、筐体の材質はレーザー光が透過可能な物質であればよく、例えば、ソーダガラスや水晶でもよい。また水晶から筐体と蓋体を形成する場合には、筐体と蓋体とを水晶基板から形成し、水晶振動子用素子が形成される水晶基板と重ね合わせることによって水晶振動子を形成するようにしてもよい。
【００２３】
次に水晶振動子の製造方法について図３、図４を参照して説明する。個片化された水晶振動子用素子１０は、図３（ｂ）、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、引出電極７と取り付け電極２１とが導電性接着剤２２によって電気的に接続されることにより、筐体２０に底面と平行に装着され、次いで図３（ｂ）、図４（ｃ）に示すように筐体２０の上面側を蓋体２０ａによって封止し、外壁２０ｂの上面に成膜された金属膜３に直流電流を一定時間印加して、蓋体２０ａと筐体２０とを陽極接合する。
【００２４】
以上の工程により水晶振動子用素子１０を備えた水晶振動子が形成されると、次にこの水晶振動子を、図示しない周波数調整用の治具に装着すると共に、図示しない真空チャンバーの内部に挿入し、真空雰囲気の中で水晶振動子用素子１０を発振させて、その周波数を計測しながら所望の周波数となるように調整膜８をレーザー切削機３０により削り取っていく。調整膜８は、例えば所定の大きさのブロックが島状に配置されて構成され、計測周波数と設定周波数との差分に応じたブロック数だけブロックを消去することにより行われる。このブロックの消去作業は、レーザー切削機３０と治具とを平面上を相対的に移動させる移動機構に対して制御部が、計測周波数と設定周波数との差分に応じて制御信号を出力し、これにより調整膜８の消去すべきブロックに順次レーザー光が照射されることにより行われる。
【００２５】
調整膜８を削り取る工程では、振動腕２の表面２ａ若しくは裏面２ｂのどちらか一方の調整膜８のみを削り取ることができるだけでなく、振動腕２の表面２ａ及び裏面２ｂ両面の調整膜８を一度に削り取ることができ、どちらかを選択して作業を行う。どちらか一方の調整膜８例えば振動腕２の表面２ａの調整膜８のみを削り取る場合、図５（ａ）に示すように振動腕２の表面２ａの調整膜８のみが削り取ることができるようにレーザー切削機３０のレーザー光を生成するモジュールを、波長の短いレーザー光を生成するモジュールに変更すると共に、レーザー光の焦点深度の微調整を行う。そしてレーザー光を表面２ａの調整膜８の形成位置に集束させる。これによりレーザー光は、蓋体２０ａを透過し、表面２ａの調整膜８を削り取るように照射することができる。このときレーザー光の焦点深度を、レーザー光の熱が裏面２ｂの調整膜８に伝達されないように調整して、レーザー光が振動腕２を透過して裏面２ｂの調整膜８を削り取らないようにすることができ、これにより表面２ａの調整膜８のみを削り取ることができる。
【００２６】
一方、振動腕２の表面２ａ及び裏面２ｂ両面の調整膜８を削り取る場合、レーザー光の焦点深度を、レーザー光の熱が裏面２ｂの調整膜８に伝達されるように調整して、レーザー光が振動腕２を透過して裏面２ｂの調整膜８を削り取ることができるように調整するか、レーザー光を生成するモジュールを、波長の長いレーザー光を生成するモジュールに変更して、レーザー切削機３０のレーザー光を、例えば表面２ａ若しく裏面２ｂの調整膜８の形成位置に集束させる。これによりレーザー光は、蓋体２０ａを透過し、表面２ａの調整膜８を削り取り、さらに振動腕２を透過して裏面２ｂの調整膜８を削り取るように照射されるので、表面２ａ及び裏面２ｂの調整膜８を一度に削り取ることができる。なお裏面２ｂの調整膜８のみ削り取る場合には、水晶振動子を反転させ、裏面２ｂの調整膜８に直接レーザー光を照射すればよい。
【００２７】
調整膜８を削り取る工程を行うと、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、調整膜８の一部は蒸散し、一部は表面２ａ及び裏面２ｂから固形物若しくは液状のまま飛散する。飛散した削り滓のうち励振電極６ａ、６ｂ、６ｃが位置する雰囲気側に飛散した削り滓は、壁面２９があるためこの壁面２９に衝突して、調整膜８が位置する雰囲気側に落下し、筐体２０内の調整膜８が位置する雰囲気側に調整膜８の削り滓が蓄積する。
【００２８】
この蒸散した金属膜８や削り滓は、排出口２４から筐体２０の外部へと排出される。金属膜８を削り取る工程は、真空チャンバー内で行われているため、筐体２０の内部の雰囲気は常に排出口２４を介して真空チャンバーの図示しない真空ポンプにより吸引されていることになる。この蒸散した金属膜８や削り滓は、真空ポンプの吸引力によって排出口２４を介して外部へと排出されることになる。これにより周波数調整後の水晶振動子に削り滓が付着して不良となる確率を低くすることができる。以上の工程を経て、所望の周波数の水晶振動子が製造され、この後排出口２４を封止してから、腕時計等の電子部品に装着される。
【００２９】
以上本実施形態によれば、水晶振動子の筐体２０の内部における励振電極６ａ、６ｂ、６ｃが位置する雰囲気と調整膜８が位置する雰囲気との間に、壁面２９を介在させているため、周波数の調整のために調整膜８を削るときに、飛散する削り滓がこの壁面２９により遮られて励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着することが低減される。これにより励振電極６ａ、６ｂ、６ｃのショート等による水晶振動子の不良の発生が抑制される。
【００３０】
また本実施形態では、壁部２７によって物理的に調整膜８の削り滓が励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着することを防止している。そのため壁部２７の通過領域２８の近傍まで励振電極６ａ、６ｂ、６ｃと調整膜８とを形成しても、調整膜８の削り滓が励振電極６ａ、６ｂ、６ｃに付着することを防止できる。このため調整膜８の形成可能面積を広くすることができ、調整膜８の厚さを薄くしてより細かく周波数の調整を行うことができる。このため例えば、調整膜８の形成領域の一部、例えば振動腕２の表面２ａ及び裏面２ｂの一方に、あるいは振動腕２の先端に近い局所的な領域に膜厚の大きい調整膜８を形成して粗調整領域とし、他の領域の調整膜８の膜厚を粗調整領域よりも薄くして微調整領域とすることもできる。
【００３１】
なお本実施形態では、筐体２０の底部に排出口２４を設けているが、本発明の実施の形態としては、例えば調整膜の削り量が少ない等の理由で、筐体の内部に調整膜の削り滓が残留しても良い場合には、排出口を設けなくともよい。この場合、筐体に水晶振動子用素子を装着し、蓋体で封止するときに筐体内部を真空雰囲気にすることができ、その状態でレーザー切削機による調整膜の削り取りを行うことが可能となる。そして排出口を封止する工程を削減することが可能となる。
【００３２】
［他の実施形態］
本発明の実施の他の形態である図６に示す水晶振動子は、筐体２２０、蓋体２２０ａ、水晶振動子用素子２１０を有し、この水晶振動子用素子２１０を筐体２２０装着し、蓋体２２０ａを取り付けて筐体２２０を封止することにより構成される。この水晶振動子は、筐体２２０に排出口２４が形成されていない点、蓋体２２０ａに上側壁部２６が形成されていない点、調整膜２０８の形状が調整膜８とは異なる点以外は第１の実施形態の水晶振動子と同形状をしている。
【００３３】
この水晶振動子では、蓋体２２０ａに上側壁部が形成されていないため、水晶振動子を構成した場合、図６（ｂ）、６（ｃ）に示すように筐体２２０の内部の励振電極２０６ｃが位置する雰囲気と調整膜２０８が位置する雰囲気との間には、下側壁部２２５のみが形成される。そのためこの水晶振動子では、図６（ｃ）に示すように第１の実施形態では上側壁部２６によって塞がれていた筐体２２０内の上方領域が開放され、励振電極２０６ｃが位置する雰囲気と調整膜２０８が位置する雰囲気とが繋がることになる。
【００３４】
そのためこの水晶振動子では、調整膜２０８の削り滓が飛散して励振電極２０６ｃが位置する雰囲気側に侵入し、励振電極２０６ｃに付着することを防止するために、表面２０２ａ側の調整膜２０８の削り滓が飛散しても、励振電極２０６ｃに到達しないように励振電極２０６ｃと調整膜２０８との距離を、例えば５０μｍ離して設けている（図７（ａ）参照）。なお振動腕２０２の裏面２０２ｂ及び側面の調整膜２０８は、第１の実施形態と同様に形成されている。
【００３５】
このような水晶振動子の周波数の調整を行う場合、筐体２２０には、排出口２４が形成されていないため、蒸散した調整膜８や削り滓等を外部に排出する必要がある場合には蓋体２２０ａを封止する前、即ち筐体２２０の上面が開放されている間に周波数の調整を行う。表面２０２ａの調整膜２０８を削り取る場合、調整膜２０８の削り滓は励振電極２０６ｃが位置する雰囲気側に侵入するが、削り滓は励振電極２０６ｃに到達する前に振動腕２０２及び筐体２２０の底部に落下する。一方裏面２０２ｂに形成されている調整膜２０８の削り滓は、図７（ｂ）に示すように下側壁部２２５の壁面２２９に衝突して、第１の実施形態と同様調整膜２０８が位置する雰囲気側に落下する。
【００３６】
そして蒸散した金属膜８や削り滓は、金属膜８を削り取る工程が真空チャンバー内で行われていることから、図７（ｃ）に示すように筐体２０の上面から真空ポンプにより吸引されて外部へと排出される。その後、図６に示すように蓋体２２０ａを取り付ける。以上の工程を経て本実施形態では水晶振動子を製造する。
【００３７】
なお本実施形態の周波数の調整方法としては、例えば図７（ｄ）に示すように、筐体２２０を反転させ、開放された上面を下方に向けた状態で、筐体２２０の底部からレーザー切削機３０による削り取りを行うこともできる。このように筐体２２０を反転させた場合、調整膜２０８の削り滓は自重によって落下すると共に吸引されて開放されている上面から筐体２２０の外部へと排出されることになるので、筐体２２０の内部に調整膜２０８の削り滓が蓄積することがなくなり、排出工程を簡略化することが可能となる。
【００３８】
上述した実施形態の水晶振動子であっても、第１の実施形態と同様、調整膜２０８を切除して周波数の調整を行う際に、飛散する削り滓が壁面２２９に衝突して励振電極側２０６ａ、２０６ｂ、２０６ｃが位置する雰囲気側へと飛散しないため、励振電極２０６ａ、２０６ｂ、２０６ｃに調整膜２０８の削り滓が付着することを防止して水晶振動子の周波数の調整を行うことができる。なお図７（ａ）に示すような実施形態では、レーザー切削機３０のレーザー光を、筐体２２０を透過させずに照射することができるので、このような実施形態においては筐体をレーザー光が透過可能な素材で構成しなくともよい。
【００３９】
また本発明の実施形態としては、例えば図８に示すような形態であってもよい。この水晶振動子は、筐体３２０に下側充填部３２５が設けられ、蓋体３２０ａに上側充填部３２６が設けられている。この下側充填部３２５と上側充填部３２６とは、水晶振動子用素子３１０が筐体３２０に装着された際に、励振電極３０６ａ、３０６ｂ、３０６ｃが位置する雰囲気側の空間を水晶振動子用素子３１０の振動を阻害しないように埋めて、励振電極３０６ａ、３０６ｂ、３０６ｃが位置する雰囲気の体積を可能な限り小さくするように形成されている。このように壁部の代わりに下側充填部３２５と上側充填部３２６を設けたとしても、下側充填部３２５と上側充填部３２６の側面が、本発明の壁面に相当する壁面３２９となり、この壁面３２９によって飛散する削り滓が、励振電極３０６ａ、３０６ｂ、３０６ｃに付着することを防止することができる。従ってこのような水晶振動子においても、第１の実施形態と同様に水晶振動子の周波数の調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本実施形態の水晶振動子の構成を説明するための説明図である。
【図２】本実施形態の水晶振動子用素子の斜視図である。
【図３】本実施形態の水晶振動子の製造工程について説明するための第１の説明図である。
【図４】本実施形態の水晶振動子の製造工程について説明するための第２の説明図である。
【図５】本実施形態の水晶振動子の周波数の調整について説明するための説明図である。
【図６】他の実施形態の水晶振動子の構成を説明するための説明図である。
【図７】他の実施形態の水晶振動子の周波数の調整について説明するための説明図である。
【図８】他の実施形態の水晶振動子の構成を説明するための説明図である。
【図９】従来の音叉型の水晶振動子について説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  基部
２  振動腕
２ａ  表面
２ｂ  裏面
５ａ、５ｂ  溝部
６ａ、６ｂ、６ｃ  励振電極
７  引出電極
８  調整膜
１０  水晶振動子用素子
１１  水晶片
２０  筐体
２０ａ  蓋体
２４  排出口
２５  下側壁部
２６  上側壁部
２７  壁部
２８  通過領域
２９  壁面
【図１】
2010118784.tif 000003
【図２】
2010118784.tif 000004
【図３】
2010118784.tif 000005
【図４】
2010118784.tif 000006
【図５】
2010118784.tif 000007
【図６】
2010118784.tif 000008
【図７】
2010118784.tif 000009
【図８】
2010118784.tif 000010
【図９】
2010118784.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月3日(2008.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2010118784.tif 000012
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2010118784.tif 000013
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2010118784.tif 000014
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2010118784.tif 000015