(57)【要約】【課題】作業性を損なうことなくロードポート部上のフープの光学式記号を容易に読み取ることができるフープ洗浄装置を提供する。【解決手段】ロードポート部４の載置面１４に光を透過する透過窓１７を形成し、透過窓１７の下方に、ロードポート部４上のフープ３の光学式記号７を透過窓１７越しに読み取る記号読取部１８を設けたものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハを出し入れするためのドアを前面に有し側面又は背面に個体識別用の光学式記号を有するフープを載置するためのロードポート部と、該ロードポート部上のフープの光学式記号からフープの個体識別情報を読み取ると共に該個体識別情報を記憶するフープ管理部と、フープを洗浄する洗浄槽と、上記ロードポート部上のフープを上記洗浄槽に搬送する搬送部とを備えたフープ洗浄装置において、上記ロードポート部の載置面に光を透過する透過窓を形成し、該透過窓の下方に、ロードポート部上のフープの光学式記号を上記透過窓越しに読み取る記号読取部を設けたことを特徴とするフープ洗浄装置。
【請求項２】
上記透過窓の下方に、上記透過窓越しの上記光学式記号を上記記号読取部に向かって反射させる鏡を設けた請求項１記載のフープ洗浄装置。
【請求項３】
上記鏡と上記記号読取部が、上記透過窓の下方に取付フレームを介して角度調節可能に設けられた請求項２記載のフープ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バーコード等の光学式記号を有するフープを洗浄するとき光学式記号からフープの識別情報を読み取ると共にその識別情報を記憶するフープ管理部を有するフープ洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等は、フープ（FOUP：Ｆront Ｏpenning Ｕnify Ｐod）と称する搬送容器に収容されて搬送される。このフープは、前面部に開口部を有するフープ本体（シェルともいう）と、このフープ本体の開口部に着脱自在に装着されるドア（蓋ともいう）とからなっている。
【０００３】
上記フープは、半導体ウエハ等の汚染源にならないようにするために、定期的に洗浄されることが好ましい。そこで、空のフープをフープ本体とドアに分離して洗浄室（洗浄槽ともいう）内に配置し、これらフープ本体及びドアに洗浄水を吹き付けて洗浄を行い、洗浄後、同洗浄室内でフープ本体及びドアに乾燥空気を吹き付けて乾燥させるようにしたフープ洗浄装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、フープは、半導体ウエハの製造ライン等にて複数同時に使用されるものであるため、個体ごとに洗浄の履歴を管理する必要がある。このため、光学式記号たるバーコードを有するフープを用い、バーコードに記録されたフープの個体識別情報をフープ使用時に読み取ると共に洗浄時に読み取り、所定回数使用したフープを確実に洗浄するようにしたシステムも開発されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１０９５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、フープ洗浄時にフープのバーコードから個体識別情報を読み取る場合、フープ洗浄装置に具備されたバーコードリーダ（記号読取部）を作業員が手で持ち、バーコードにバーコードリーダをかざしており、煩雑であるという課題があった。また、バーコードリーダをロードポート部の載置面上に設置し、フープがロードポート部上に置かれたとき自動的にバーコードを読み取るようにすることも考えられたが、バーコードリーダが載置面上に突起することとなり、フープを置く際に邪魔になるという課題があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、作業性を損なうことなくロードポート部上のフープの光学式記号を容易に読み取ることができるフープ洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明は、半導体ウエハを出し入れするためのドアを前面に有し側面又は背面に個体識別用の光学式記号を有するフープを載置するためのロードポート部と、該ロードポート部上のフープの光学式記号からフープの個体識別情報を読み取ると共に該個体識別情報を記憶するフープ管理部と、フープを洗浄する洗浄槽と、上記ロードポート部上のフープを上記洗浄槽に搬送する搬送部とを備えたフープ洗浄装置において、上記ロードポート部の載置面に光を透過する透過窓を形成し、該透過窓の下方に、ロードポート部上のフープの光学式記号を上記透過窓越しに読み取る記号読取部を設けたものである。
【０００９】
上記透過窓の下方に、上記透過窓越しの上記光学式記号を上記記号読取部に向かって反射させる鏡を設けるとよい。
【００１０】
また、上記鏡と上記記号読取部は、上記透過窓の下方に取付フレームを介して角度調節可能に設けられるとよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、作業性を損なうことなくロードポート部上のフープの光学式記号を容易に読み取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の好適実施の形態を添付図面を用いて説明する。
【００１３】
図１はフープ洗浄装置の側面図であり、図２はフープ洗浄装置のロードポート部の側面図であり、図３はロードポート部に設けた記号読取部の側面図である。図４はフープ洗浄装置の平面図であり、図５はロードポート部の平面図である。図６はフープ洗浄装置の正面図である。
【００１４】
図１、図４、図６及び図７に示すように、フープ洗浄装置１は、架台２と、架台２の前端側に設けられフープ３の搬入搬出を行うためのロードポート部４と、架台２の後端側に設けられフープの洗浄及び乾燥を行う２つの洗浄槽５と、架台２の中央に設けられロードポート部４と洗浄槽５との間でフープ３を搬送する搬送ロボット（搬送部）６と、ロードポート部４に載置されたフープ３の光学式記号７（図６参照）からフープ３の個体識別情報を読み取ると共に個体識別情報を記憶するフープ管理部８（図７参照）とを備えて構成されている。
【００１５】
ロードポート部４は、ポートすなわち３個のフープ３を載置するようになっている。ロードポート部４は、左の２ポート分のエリアがロード専用となっており、右端の１ポート分のエリアがアンロード専用となっている。
【００１６】
図１、図２及び図５に示すように、ロードポート部４は、架台２に前方に張り出して設けられた棚部９と、棚部９上に設けられた載置台１０とを備えて構成されている。載置台１０は、棚部９に固定され上下に伸縮自在な脚部１１と、脚部１１上に設けられフープ３を載置するための複数の台座１２と、脚部１１上に設けられ複数の台座１２の周りを囲むように配置されるサブ板１３とを備えて構成されている。台座１２は、フープ３を載置するための載置面１４を有する。台座１２には、載置されるフープ３の位置決めをするための位置決めピン１５が載置面１４の上方に突出して複数設けられると共に、載置面１４上にフープ３が載置されているか否かを検出し、かつ、フープ３の傾きを検出するためのセンサ１６が前後左右に間隔を隔てて複数設けられている。また、載置面１４の前部には、光を透過する透過窓１７が形成され、後述するフープ管理部８の記号読取部１８が透過窓１７越しに載置面１４の下方からフープ３の光学式記号７を読み取れるようになっている。透過窓１７は載置面１４の前部に孔１９を形成し、この孔１９をガラス又はアクリルなどの透明な板材２０で塞いで形成されている。光学式記号７は、バーコードからなり、フープ３の背面２１の下部に設けられている。サブ板１３には、ロードポート部４上の状態等を示すための各種インジケータ２２が設けられている。
【００１７】
図１及び図４に示すように、搬送ロボット６は、例えば６軸の回転が可能なアーム２３を有する多関節ロボットからなり、アーム２３の先端部にはフープ本体２４の上部に突設された被把持部２５又はドア２６を選択的に把持可能な把持機構２７が設けられている。
【００１８】
洗浄槽５は、上部が開放された洗浄槽本体２８と、この洗浄槽本体２８の上部に着脱自在に密着される筒状の内蓋２９と、内蓋２９の上部に着脱自在に密着される外蓋３０とから主に構成されている。内蓋２９及び外蓋３０はそれぞれ電動式パワーシリンダ３１、３２により開閉されるようになっている。外蓋３０の内面にはドア２６を吸着保持するためのドア保持部３３が設けられ、外蓋３０の外面にはドア保持部３３を回転させるドア回転機構３４が設けられている。
【００１９】
図３、図５及び図７に示すように、フープ管理部８は、透過窓１７の下方のロードポート部４に取付フレーム３５を介して設けられ光学式記号７を読み取るための記号読取部１８と、記号読取部１８にケーブル３６を介して接続された制御装置３７と、制御装置３７にケーブル３８を介して接続され記号読取部１８からの個体識別情報、個体識別情報を受信した時刻及び洗浄を示す情報を相互に関連づけて記憶する記憶媒体３９とを備えて構成されている。記号読取部１８はバーコードリーダからなる。
【００２０】
図３に示すように、取付フレーム３５は、ロードポート部４の台座１２に取り付けられた固定フレーム部４０と、固定フレーム部４０に左右に延びる軸ピン４１を介して回動可能に設けられ記号読取部１８を保持する可動フレーム部４２とからなる。可動フレーム部４２は、上下に延びる板状に形成されており、下端を後方に向けるように上下の中間部を屈曲されている。また、可動フレーム部４２は、屈曲部４７より上方の上部４３を軸ピン４１で回動可能に支持されている。可動フレーム部４２の屈曲部４７より下方の下部４４には、側方に突出するガイドピン４５が設けられている。ガイドピン４５は、固定フレーム部４０に前後に延びて形成されたガイド孔４６内に挿入されており、ガイド孔４６の前後の端部に当接することで可動フレーム部４２の回動範囲を規制するようになっている。また、可動フレーム部４２の下部４４の後面には、記号読取部１８が受光面４８を上方に向けて取り付けられている。可動フレーム部４２の上部４３の後面には、透過窓１７越しにフープ３から入射される光学式記号７の像を記号読取部１８に向かって反射させるための鏡４９が取り付けられており、透過窓１７越しの光学式記号７が鏡４９を介して記号読取部１８に送られるようになっている。
【００２１】
次に本実施の形態の作用を述べる。
【００２２】
フープ３を洗浄するとき、洗浄すべきフープ３を台座１２上に載置する。このとき、位置決めピン１５が予めフープ３の底面に形成された凹部（図示せず）に嵌るように載置する。また、台座１２の載置面１４は平坦であるため台座１２上にフープ３を容易に正しい姿勢で載置することができる。フープ３が台座１２上に載置されると、台座１２に設けられたセンサ１６がフープ３の存在を検出すると共に傾きを検出する。フープ３が傾いている場合、インジケータ２２にその旨を表示して作業者にフープ３の載置姿勢の修正を求め、フープ３が正しい姿勢で載置されている場合、フープ３の背面２１の光学式記号７が透過窓１７下方の鏡４９を介して記号読取部１８の受光面４８に投影される。このため、作業者が記号読取部１８を直接操作する必要がなく、台座１２上にフープ３を載置するだけで光学式記号７を読み取ることができる。記号読取部１８は受光面４８に投影された光学式記号７からフープ３の個体識別情報を読み取り、個体識別情報を制御装置３７に送る。制御装置３７は、受信した個体識別情報と、情報受信時刻と、洗浄を示す情報とを相互に関連づけた履歴データを作成し、この履歴データを記憶媒体３９の過去の履歴データに追加記録する。具体的には、洗浄を示す情報は、個体識別情報の送信元の記号読取部１８を特定する情報であってもよく、予め定めた洗浄を示すコードであってもよい。
【００２３】
履歴データが正しく記録されたら、搬送ロボット６が起動され、台座１２上のフープ３は搬送ロボット６により洗浄槽５内に搬送され、洗浄される。洗浄されたフープ３は搬送ロボット６によりロードポート部４の右端の台座１２上に載置され、使用に供される。
【００２４】
フープ３を使用するときには、図示しないフープ使用機器に具備された記号読取部５０によりフープ３の光学式記号７が読み取られ、フープ３の個体識別情報に対応する履歴データが参照される。フープ３を最後に洗浄したとき以降のフープ使用回数が所定回数を超える場合、フープ３は再度フープ洗浄装置１に送られて上述のように洗浄される。上記フープ使用回数が所定回数以下の場合、使用した旨の履歴データが記憶媒体３９に追加記録され、フープ３が使用に供される。
【００２５】
また、工場等にフープ洗浄装置１を新規に設置する場合等、フープ３の光学式記号７の取付位置に応じて記号読取部１８の取付角度を調節する必要がある場合、取付フレーム３５の可動フレーム部４２を軸ピン４１を中心として適宜回動させて記号読取部１８と鏡４９の角度を調節する。鏡４９と記号読取部１８を一括して回動させることができ、容易に角度調節できる。
【００２６】
このように、ロードポート部４の載置面１４に光を透過する透過窓１７を形成し、透過窓１７の下方のロードポート部４に、ロードポート部４上のフープ３の光学式記号７を透過窓１７越しに読み取る記号読取部１８を設けたため、ロードポート部４の台座１２上を平坦に保ったままロードポート部４に記号読取部１８を設置することができ、作業性を損なうことなくロードポート部４上のフープ３の光学式記号７を容易に読み取ることができる。
【００２７】
また、透過窓１７の下方のロードポート部４に、透過窓１７越しの光学式記号７を記号読取部１８に向かって反射させる鏡４９を設けたため、記号読取部１８の設置位置を自由に設定でき、記号読取部１８を設置するためにロードポート部４が大型化するのを防ぐことができる。
【００２８】
鏡４９と記号読取部１８が、透過窓１７の下方のロードポート部４に取付フレーム３５を介して角度調節可能に設けられるものとしたため、記号読取部１８と鏡４９の取付角度を容易に調節することができ、光学式記号７の取付位置が異なる複数種類のフープ３に容易に対応することができる。特に使用されるフープ３はユーザによって異なるため、フープ洗浄装置１を新規に工場に設置する場合には、設置作業を短時間で容易に行うことができる。
【００２９】
なお、透過窓１７は、載置面１４の前部に孔１９を形成し、この孔１９をガラス又はアクリルなどの透明な板材２０で塞いで形成されるものとしたが、これに限るものではない。透明な板材２０を省略してもよい。すなわち、透過窓１７は載置面１４の前部に孔１９を形成してなるものとしてもよい。
【００３０】
記号読取部１８はロードポート部４に取付フレーム３５を介して設けるものとしたが、ロードポート部４に直接取り付けてもよい。
【００３１】
また、載置面１４の下方のロードポート部４に記号読取部１８を、その受光面４８を載置面１４上のフープ３の光学式記号７に直接向けて設置できる場合、鏡４９を省略してもよい。
【００３２】
光学式記号７はバーコードからなるものとしたが、バーコード以外のコードからなるものとしてもよい。この場合、記号読取部１８もそのコードに対応したコードリーダからなるものにするとよい。
【００３３】
また、光学式記号７がフープ３の背面２１に設けられる場合について述べたが、側面に光学式記号７が設けられるフープ（図示せず）を取り扱う場合、載置面１４の側部に透過窓１７を形成し、透過窓１７の下方のロードポート部４に透過窓１７越しに光学式記号７を読み取る記号読取部１８を設けるとよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の好適実施の形態を示すフープ洗浄装置の側面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】図２の要部拡大図である。
【図４】図１の平面図である。
【図５】図４の要部拡大図である。
【図６】図１の正面図である。
【図７】フープ洗浄装置のフープ管理部の概略説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  フープ洗浄装置
３  フープ
４  ロードポート部
５  洗浄槽
６  搬送ロボット（搬送部）
７  光学式記号
８  フープ管理部
１４  載置面
１７  透過窓
１８  記号読取部
２１  背面
２６  ドア
３５  取付フレーム
４９  鏡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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