(57)【要約】【課題】正圧面および／または負圧面の壁の状態を視覚的に判断できる検査方法を提供する。【解決手段】鋳物は、壁内冷却流路の脇の壁部厚さを評価するための壁厚さ点検用形体を有する。厚さは、形体によって形成された開口の有無および／または寸法を観測することによって判断される。鋳物は、形体を形成する部分を含む模型から鋳造される。模型を製造するために、模型形成鋳型が、セラミック供給コアおよび耐熱性金属コア（ＲＭＣ）とともに組み立てられる。組み立てにより、ＲＭＣの入口部分をセラミック供給コアと係合した状態にし、ＲＭＣの出口部分を鋳型と係合した状態にする。模型形成材料は、鋳型内で、セラミック供給コアおよびＲＭＣを少なくとも部分的に覆うように成型される。鋳型は、模型形成材料から取り外される。組み立てにより、ＲＭＣの段付き突起が鋳型の合わせ面と係合する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側壁部から内側壁部を分離する壁内冷却流路を有する部品を検査する方法であって、
前記壁内冷却流路に沿った基準位置を観察し、
前記基準位置にある開孔の寸法を測定し、
測定した前記開孔の寸法に基づいて、前記部品の対応する前記壁部の状態を判断することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記部品には、正圧面および負圧面を有するエアフォイルが含まれ、前記正圧面および負圧面のうちの少なくとも一方は、前記壁内冷却流路を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記方法は複数の前記部品に対して連続的に行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記部品の少なくとも幾つかにとって、前記測定した開孔の寸法は、対応する壁部の製造時の厚さが厚すぎることを示す値であるかまたはその値より小さいことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記部品の少なくとも幾つかにとって、前記測定した開孔の寸法は、対応する壁部の厚さが不十分であることを示すだけ十分に大きいことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記対応する壁部は内側壁部であり、内視鏡によって観察が行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記外側壁部に沿った第１の前記基準位置と、前記内側壁部に沿った第２の前記基準位置と、について観察を行うことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
鋳造模型の製造方法であって、
模型形成鋳型をセラミック供給コアおよび耐熱性金属コアとともに組み立て、この組み立てによって、前記耐熱性金属コアの入口部分を前記セラミック供給コアと係合させ、かつ前記耐熱性金属コアの出口部分を前記鋳型と係合させ、
前記鋳型内で、前記セラミック供給コアおよび耐熱性金属コアを少なくとも部分的に覆うように模型形成材料を成型し、
前記模型形成材料から前記鋳型を取り外す、方法において、
前記組み立てにより、前記耐熱性金属コアの段付き突起が前記鋳型の合わせ面と係合することを特徴とする方法。
【請求項９】
前記段付き突起は、前記入口部分および前記出口部分の中間にあることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記組み立てによりさらに、前記入口部分と前記出口部分との中間にある、前記耐熱性金属コアの第２の段付き突起が前記セラミック供給コアと係合することを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
請求項８に従って鋳造模型を製造し、
前記模型をシェルで覆い、
前記セラミック供給コアおよび耐熱性金属コアを一部シェルに埋め込まれた状態で残すように前記模型形成材料を取り除き、
溶融金属を前記シェルに導入し、
前記シェル、前記セラミック供給コア、および前記耐熱性金属コアを除去することを特徴とする方法。
【請求項１２】
セラミック供給コアと、
前記セラミック供給コアに嵌合した耐熱性金属コアと、
前記セラミック供給コアおよび耐熱性金属コアを少なくとも部分的に覆う犠牲模型材料と、
を有する鋳造模型であって、
前記耐熱性金属コアは、前記セラミック供給コアに嵌合した入口部分および前記犠牲模型材料から突出した出口部分と、前記入口部分と前記出口部分との間に延びる本体部分と、突出した段付き部分と、を有することを特徴とする鋳造模型。
【請求項１３】
前記段付き部分は、前記入口部分と前記出口部分との中間にある前記本体部分から突出することを特徴とする請求項１２に記載の模型。
【請求項１４】
前記犠牲模型材料は正圧面および負圧面を規定することを特徴とする、エアフォイル模型である請求項１２に記載の模型。
【請求項１５】
前記段付き中間部分の末端は、前記犠牲模型材料から突出することを特徴とする請求項１２に記載の模型。
【請求項１６】
前記段付き中間部分の末端は、前記犠牲模型材料の表面と同一平面上にあることを特徴とする請求項１２に記載の模型。
【請求項１７】
第１の前記段付き中間部分は、前記セラミック供給コアから離れる方向に突出し、
第２の前記段付き中間部分は、前記セラミック供給コアに向かって突出することを特徴とする請求項１２に記載の模型。
【請求項１８】
前記耐熱性金属コアは、前記犠牲模型材料の正圧面に沿うことを特徴とする請求項１２に記載のエアフォイル模型。
【請求項１９】
セラミック供給コアと、
前記セラミック供給コアに嵌合した耐熱性金属コアと、
を有し、前記耐熱性金属コアは、このコアを覆う鋳造鋳物内に壁厚さ点検用特徴部を設ける手段を有することを特徴とする鋳造コアアセンブリ。
【請求項２０】
前記耐熱性金属コアは、切断し、曲げたシートからなることを特徴とする請求項１９に記載のコアアセンブリ。
【請求項２１】
内側壁部と外側壁部との両方に厚さ点検用特徴部を設けることを特徴とする請求項１９に記載のアセンブリ。
【請求項２２】
前記手段は、前記耐熱性金属コアの主要部分と一体で形成されることを特徴とする請求項１９に記載のアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ガスタービンエンジンに関する。より詳細には、本開示は、ガスタービンエンジンのブレードおよびベーン用の冷却エアフォイルの鋳造に関する。
【背景技術】
【０００２】
インベストメント鋳造は、複雑な形状の金属部品、特に、中空部品を形成するのに一般的に使用される技術であり、超合金製のガスタービンエンジン部品の製造で使用される。本発明は、特に、超合金製の鋳物の製造に関して説明するが、当然のことながら、本発明はそれに限定されるものではない。
【０００３】
ガスタービンエンジンは、航空機の推進、電力生成、および船舶の推進に広く使用されている。ガスタービンエンジンの応用分野では、効率が最大の目標である。ガスタービンエンジンの効率は、より高い温度で作動させることにより改善させることができるが、タービン部の現状の動作温度は、タービン部品で使用する超合金材料の融点を超えている。このため、空気冷却が一般的に実施されている。冷却は、エンジンのコンプレッサ部から、冷却されるタービン部品内の流路に比較的低温の空気を流すことによって行われる。そのような冷却には、エンジン効率に対応したコストが伴う。したがって、所与の量の冷却空気から得られる冷却利益を最大限にする、改良した特定の冷却を提供することが強く望まれている。これは、精細かつ正確に配置された冷却流路部を使用することによって達成することができる。
【０００４】
冷却流路部は、鋳造コア上に鋳造することができる。セラミック鋳造コアは、セラミック粉末とバインダ材料の混合物を硬化鋼の鋳型に射出して、その混合物を成型することにより形成することができる。鋳型から取り外した後、未焼結コアを熱で後処理して、バインダを除去し、これを焼いて、セラミック粉末同士を焼結する。冷却形体（ｆｅａｔｕｒｅ）の精細化傾向により、コア製造技術に負担がかかっている。精細な形体は製造が困難なことがあり、かつ／または製造されても脆弱性を示すことがある。本発明の譲受人に譲渡された、シャーらによる特許文献１、ビールスらによる特許文献２、クーニャらによる特許文献３、スナイダらによる特許文献４、ヴァーナらによる特許文献５、およびアルバートらによる特許文献６、サンテラらによる特許文献７（これらの特許の開示は、詳細に説明したのと同様に、参照することによって本明細書に組み込むものとする）は、セラミックと耐熱性金属コアの組み合わせ体の使用を開示している。
【特許文献１】米国特許第６，６３７，５００号明細書
【特許文献２】米国特許第６，９２９，０５４号明細書
【特許文献３】米国特許第７，０１４，４２４号明細書
【特許文献４】米国特許第７，１３４，４７５号明細書
【特許文献５】米国特許第７，２１６，６８９号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２００６／０２３９８１９号明細書
【特許文献７】米国特許出願公開第２００７／００４４９３４号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
正圧面および／または負圧面の壁の状態を視覚的に判断することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の１つの態様は、壁内冷却流路を有する部品の検査方法に関する。壁内冷却流路は、外部壁部から内部壁部を分離する。壁内冷却流路に沿った基準位置を観察する。基準位置にある開孔の寸法を測定する。測定した寸法に基づき、対応する壁部の状態を判断する。
【０００７】
この方法は、複数の前記部品に対して連続的に行うことができる。これらの部品は、それぞれ正圧面および負圧面を有する複数の冷却エアフォイルとすることができる。この方法は、各部品の壁部の両面に対して行うことができる。この方法は、各部品の複数の壁内流路に対して行うことができる。この方法は、各部品の複数の壁に対して行うことができる。
【０００８】
本開示の他の態様は、鋳造模型の製造方法に関する。模型形成鋳型が、セラミック供給コアおよび耐熱性金属コア（ＲＭＣ）とともに組み立てられる。この組み立てステップによって、ＲＭＣの入口部分がセラミック供給コアと係合された状態になり、ＲＭＣの出口部分が鋳型と係合された状態になる。鋳型内でセラミック供給コアおよびＲＭＣを少なくとも部分的に覆うように模型形成材料を成型する。鋳型を模型形成材料から切り離す。組み立てにより、ＲＭＣの段付き突起が鋳型の合わせ面と係合する。段付き突起は、入口部分と出口部分との中間に位置することができる。
【０００９】
本開示の別の態様は、鋳造模型に関する。模型は、セラミック供給コアと、このセラミック供給コアに嵌合する耐熱性金属コア（ＲＭＣ）と、を有し、犠牲模型材料が、セラミック供給コアとＲＭＣとを少なくとも部分的に覆うように成型される。犠牲模型材料は、正圧面および負圧面を規定する。ＲＭＣは、セラミック供給コアに嵌合する入口部と、犠牲模型材料から突出する出口部とを有する。段の付いた中間部分は、本体部分から突出する。
【００１０】
本開示の別の態様は、セラミック供給コアおよび耐熱性金属コア（ＲＭＣ）を備えた鋳造コアアセンブリに関する。ＲＭＣは、セラミック供給コアに嵌合され、コアを覆う鋳造した鋳物に壁厚さ点検用特徴部を設けるための手段を有する。
【００１１】
１つまたは複数の実施形態の詳細が添付の図面に示され、以下に説明される。本明細書および図面から、さらに特許請求の範囲から、他の特徴、目的、および利点が明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
各種図面内の同じ参照番号および符号は同じ要素を表す。
【００１３】
図１は、エアフォイル２２、取り付け用根部２４、およびプラットフォーム２６を有するガスタービンエンジンブレード２０を示している。例示的なエアフォイル、根部、およびプラットフォームは、（例えば、ニッケルまたはコバルトを基本とした超合金からなる）一体の鋳物として形成することができる。例示的な根部２４は、プラットフォーム２６の裏面３２で内側端部２８から外側端部３０に延びている。根部２４は、ディスク内の相補的なスロット（図示せず）に取り付けるために、入り組んだ、いわゆるもみの木外形をなしている。
【００１４】
エアフォイル２２は、プラットフォームの外側面３６にある内側端部３４から外側端部３８に延びている。例示的な外側端部３８は自由端である。別の実施例のブレードは外側シュラウドを有することができる。別の実施例のエアフォイルは、固定したベーンとして構成することができる。
【００１５】
エアフォイル２２は、前縁部４０から後縁部４２に延びる外部／外側空力面を有する。エアフォイルは、正圧側（面）４４および負圧側（面）４６を有する。
【００１６】
エアフォイル２２は、冷却流路システム５０によって冷却される。流路システム５０は、根部２４内に１つまたは複数の入口５４から延びる１つまたは複数の主流路部５２を有する。例示的な流路網５０は、複数の翼幅方向流路脚部（例えば、供給流路）６０Ａ〜６０Ｇ（図２）を有する。例示的な流路脚部を設けると、正圧面壁６２および負圧面壁６４が残る。正圧面壁６２および負圧面壁６４は、隣接する供給流路脚部対を分離する多数の分割壁６６によって連結することができる。供給流路脚部は、１つまたは複数の組み合わせで、順番にまたは別の方法で連結された１つまたは複数の共通流路から別れた流路または脚部とすることができる。
【００１７】
正圧面壁６２および負圧面壁６４の一方または両方は、１つまたは複数の壁冷却流路（壁内流路）７０によって冷却することができる。例示的な壁冷却流路は、１つまたは複数の供給流路脚部にある入口（ポート）７２と、翼幅方向と流れ方向に延びるスロット状の主要部７４と、対応する正圧面４４または負圧面４６への出口（ポート）７６と、を有する。それぞれの入口終端部７８および出口終端部７９は、一方を入口および出口、他方を主要部７４としてその間に延びる。
【００１８】
このような壁冷却流路７０は、周知のまたは開発中の耐熱性金属コア（ＲＭＣ）を使用して鋳造することができる。壁冷却流路７０はそれぞれ、この対応する正圧面壁６２または負圧面壁６４の内側セクション／部分８０をこの壁の外側セクション／部分８２から分離する。内側部８０は通常、流路脚部を流れる低温の冷却空気に直接さらされていて、一般に「冷却壁」と呼ばれる。外側部８２は通常、エンジンコア流路の高温ガスにさらされていて、一般に「高温壁」と呼ばれる。壁の全体厚さは、ＴWとして示されている。ＴW（図３）は、冷却壁厚さＴC、壁冷却流路厚さＴP、および高温壁厚さＴHの合計に等しい。ＴW、ＴC、ＴP、およびＴHは、エアフォイルに沿った特定の位置に対して相対的にまたは絶対的に変化することができる。
【００１９】
（例えば、正圧面壁および／または負圧面壁の）壁の状態を視覚的に判断することが望まれている。具体的には、壁厚さＴC、ＴHが指定された限度内であることを検証することが望まれている。例えば、使用中の腐食により、厚さＴHが許容できる最小値より薄くなることがある。それに加えて、またはその代わりに、ＴC、ＴH、またはその両方に対して、製造時の（例えば、鋳放しの）厚さを検証することができる。
【００２０】
厚さを点検する例示的な手段には、壁冷却流路の、内側壁部への延長部（例えば、分岐部または凹部）９０と、外側壁部への別の延長部９２と、がある。例示的な延長部は、壁冷却流路の主要部７４から出ている。
【００２１】
実施に当たっては、延長部９０、９２が両方とも含まれていないものがあってもよい。
【００２２】
例示的な延長部９０、９２は、対応する壁部６２、６４を貫通する名目上の貫通延長部である。「名目上」という用語は、通常の状況（例えば、厚さが過剰でない場合）においてのみ、貫通延長部であり得る可能性を考慮したものである。厚さが過剰である場合においては、貫通延長部が貫通していないことは、壁厚さが厚すぎることを示す。例示的な延長部は、段付きの断面を有する（例えば、延長部の近接部分９４は、少なくとも１つの寸法において、末端部分９６よりも大きい断面を有する）。通常、末端部分９６は、対応する面（すなわち、外側面（正圧面４４または負圧面４６）または内側面１００）に通じている。したがって、通常（延長部が存在する基準位置にある）その面を観察すると、末端部９６の断面によって特徴付けられた開孔が見える。末端部分９６が実際上摩耗しているか、または製造上の不具合により、同様に壁部の厚さが薄くなっている場合に、検査を行うと、近接部分の断面が見え、それによって、厚さが不十分であることを示し、部品が不合格になる（例えば、廃棄されるかまたは修理されることになる）。
【００２３】
延長部９０、９２は、対応する突起１２０、１２２（図４および図５）によって耐熱性金属コア（ＲＭＣ）１２４から鋳造することができる。典型的な鋳造法には、ＲＭＣが模型形成鋳型内で供給コア（例えば、セラミック供給コア）に取り付けられるインベストメント鋳造法がある。犠牲模型材料（例えば、ワックス）が、鋳型内で供給コアおよびＲＭＣを少なくとも部分的に覆うように成型されて、模型の正圧面および負圧面を規定する。鋳型要素を分解し、模型を鋳型から取り出す。（例えば、多段スタッコ法によって）模型をシェルで覆うことができる。（例えば、脱ろうで）犠牲模型材料を除去して、ブレードまたはベーンを鋳造する空洞を残すことができる。溶融金属をこの空洞に導入し、冷却して凝固させる。（例えば、機械的手段によって）シェルを除去することができる。（例えば、化学的手段によって）コアを除去して、未加工の鋳物を残すことができる。鋳物を機械加工し、処理し、かつ／または被覆することができる。
【００２４】
壁冷却流路を形成する例示的なＲＭＣ１２４は、対応する側壁の形状と一致するように、フラットまたはオフフラット（ｏｆｆ−ｆｌａｔ）にもできる本体部分１２６を有する。入口端部分１２８（図４）は、主要部分１２６に対して角度をなして突出することができる。入口端部分の末端１３０は、供給コア１３６の対応する脚部１３２に嵌合することができる。入口端部分の近接部分１４０は、壁冷却流路への入り口開孔／ポート７２を鋳造する。同様に、出口端部分１４４は、入口端部分とは反対側で（例えば、本体部分の下流端で）本体部分に対して角度をなして突出することができる。出口端部分の末端１４６は、犠牲模型材料１５２から突出して、模型形成鋳型の鋳型要素１５０に入るように配置することができ、それにより、シェル１５４に埋め込まれるようになる（図６）。出口端部分の近接部分１５６（図６）は、対応する正圧面または負圧面への出口穴／ポート７６を鋳造する。
【００２５】
例示的な延長部９０、９２は、ＲＭＣの流れ方向中間部分（すなわち、主要部７４の入口端と出口端の中間にある）として形成されている。
【００２６】
例示的なＲＭＣは、（例えば、切断および成形し、次いで被覆することによって）板材から形成される。シートの第１の面は、本体部分１２６の外側面を形成し、シートの第２の面は、本体部分１２６の内側面を形成する。
【００２７】
例示的な製造工程には、突起１２０、１２２を別に形成し、次いで、それらをＲＭＣの残りの部分に取り付けることが含まれる。これは、例えば、突起の断面形状の選択の幅をより大きくすることができる。例えば、突起は、段付きの直円柱として形成することができる。直径／断面が大きい突起のベース部分２００は、機械的な嵌め合い（例えば、円筒体の垂れ下がった突起２０２が本体部分の開孔２０４に嵌合する）および／または冶金学的取り付け（例えば、溶接、ろう付けなど）などによって、ＲＭＣ本体部分に固定することができる。取り付けた後、（必要ならば）ＲＭＣを被覆することができる。
【００２８】
例示的な段付き直円柱突起では、ベース部分２００は、延長部の近接部分９４を鋳造する。突起の中間部分２１０は、末端部分９６を鋳造する。ショルダ２１２は、中間部分２１０をベース部分２００から分ける。中間部分２１０は末端２１４を有する。例示的な末端２１４は、中間部分２１０を末端部分２１６から分ける。末端部分２１６は端部２１８に延びる。
【００２９】
突起は、供給コア１３６および鋳型要素１５０内にそれぞれある対応するコンパートメント２２０、２２２に嵌合する。例示的な実施例においては、これらのコンパートメント２２０、２２２は段付きとされ、ベース部分は突起末端部分２１６を捕捉し、外側部分は突起中間部分２１０の端部を捕捉する。外側／外部突起１２２の場合、鋳型コンパートメント２２２に受け入れられた末端部分２１６および中間部分２１０の端部は、成型後に犠牲模型材料から突出して、シェル１５４に形成された対応するコンパートメント２２８に埋め込まれるようになる。
【００３０】
図７は、高温壁８２が過剰に薄く、それに対して、冷却壁８０が許容できる（例えば、公称の／標準の）厚さである第１の状況を示している。例えば、高温壁８２は、不十分な厚さで鋳造されたのかもしれない。あるいは、高温壁は、末端部分９６より下になる程度までに、外側面（例えば、図７では負圧面４６）に沿って浸食された可能性もある。そのような場合、寸法が大きい方の近接部分９４が外観検査で見える。したがって、近接部分は、対応する部分８０または部分８２の最小許容厚さ（ＴCまたはＴH）を表す高さＨPで形成することができる。同じ寸法で示されているが、ＨPともう一方の寸法は、２つの突起間で異なっていてもよい。
【００３１】
図８は、高温壁８２が過剰に厚い状況を示している。対応する延長部９２の端部部分２６０は、突起末端部分２１６によって鋳造され、標準の延長部末端部分９６の断面とは区別できる特に小さい断面の開口／開孔を残している。突起中間部分２１０は、中間部分の末端２１４での全突起高さが、対応する壁の最大許容厚さＴHまたはＴCに一致するような厚さとすることができる。
【００３２】
図９は、冷却壁８０が過剰に薄い状況を示している。これは（例えば、入口５４および対応する供給流路に挿入された）内視鏡３００を使用して観察することができる。
【００３３】
図１０は、冷却壁８０が過剰に厚い状況を示している。
【００３４】
延長部が内側壁部および外側壁部の両方に沿って設けられている状況では、延長部は、漏れ流れ（例えば、供給流路から内側壁延長部を通り、外側壁延長部から出る漏れ流れ）が起こる機会をなくすかまたは制限するように配置することができる。１つの実施例では、複数の壁冷却流路がある。壁冷却流路のうちの１つまたは複数は、内側壁延長部９０のみを有し、一方、他の壁冷却流路のうちの１つまたは複数は、外側壁延長部９２のみを有する。所与の壁冷却流路が、１つまたは複数の内側壁延長部９０と、１つまたは複数の外側壁延長部９２と、の両方を有する状況では、それぞれの延長部を、翼幅方向および／または流れ方向に互いにずらすことにより、漏れ流れを制限することができる。
【００３５】
代替の製造方法では、同じ工程で同じシートから突起を形成することができる。例えば、突起４００、４０２（図１１）は、シートを平らにしたまま、段付き断面（１方向のみの段付き）を有するように切断（例えば、レーザカット）することができる。次いで、突起を曲げて、本体部分との共有平面から局所的に外すことができる。図１１の実施例では、突起４００、４０２は、開孔４０４に沿ってＲＭＣ本体部分とともに形成されている。これは、突起がＲＭＣの隣接する部分と一体で形成される（例えば、ＲＭＣの主要部分と一体で形成されるか、または、基本的に、ＲＭＣの残りの部分と一体で形成される）のを可能にする。
【００３６】
上記原理は、既存のコア／工程／部品の構成の再設計に適用することができる。例えば、簡単に取り替えできる、既存のエアフォイルの代替品を作るために、既存のコア構成に突起を増設することができる。しかし、白紙の状態の工学技術やより広範囲な再設計に適用することもできる。
【００３７】
１つまたは複数の実施形態を説明した。それにもかかわらず、様々な修正が可能であるのは当然のことである。例えば、所与の部品構成の再設計を実施する場合に、既存の構成の細部および／または既存の製造装置の細部が、特定の実施の細部に影響を及ぼし得る。したがって、他の実施形態も添付の請求項の範囲内である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】ガスタービンエンジンブレードの図である。
【図２】線２−２に沿って切り取った図１のブレードの断面図である。
【図３】図２のブレードの拡大図である。
【図４】図１のブレードの流路を鋳造するための耐熱性金属コアの図である。
【図５】模型形成鋳型内の模型の断面図である。
【図６】図５の模型から形成されたシェルの断面図である。
【図７】第１の摩耗したまたは不具合のあるエアフォイルの断面図である。
【図８】第２の不具合のあるエアフォイルの断面図である。
【図９】第３の不具合のあるエアフォイルの図である。
【図１０】第４の不具合のあるエアフォイルの断面図である。
【図１１】代替の耐熱性金属コアの断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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