(57)【要約】【課題】例えば半導体基板などを搬送する搬送装置を用いて搬送対象を搬送する場合に、簡易な装置構成で安定的に基板等の搬送対象を搬送する。【解決手段】基板を搬送する搬送装置において、非接触吸着パッド３１が、搬送対象の基板を上面側から非接触状態で吸着する。また、基板位置制御機構３３に設けられた基板押さえ部３３ｂが、非接触吸着パッド３１によって吸着された基板の周縁部を自重により生じる付勢力で押さえることで、基板の水平方向への移動を規制する。【選択図】図２
2010263010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象を上方から非接触状態で吸着する非接触吸着部と、
前記非接触吸着部によって吸着された搬送対象の周縁部を自重により生じる付勢力で押さえる搬送対象押さえ部と、
前記搬送対象押さえ部によって周縁部が押さえられた搬送対象を搬送する搬送対象搬送部と
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記非接触吸着部の中心を挟んで対向するように配設された少なくとも２つの前記搬送対象押さえ部を備え、
各搬送対象押さえ部が、それぞれ自重により反対方向から前記搬送対象の周縁部を押さえることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記各搬送対象押さえ部は、搬送対象押さえ部の対向方向に直交する方向に沿って、それぞれ反対の方向へ所定量だけ位置をずらして配置されていることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
搬送対象を非接触状態で吸着する非接触吸着部と水平方向に移動可能に設けられた搬送対象押さえ部とを有する搬送装置を用いて搬送対象を搬送する搬送方法であって、
前記搬送対象が置かれる載置台の上方から前記非接触吸着部および前記搬送対象押さえ部が降下を開始するステップと、
前記搬送対象押さえ部が前記載置台の上面に接したのちに、当該搬送対象押さえ部が前記載置台の上面からの反力によって前記非接触吸着部から離れる方向へ移動するステップと、
前記搬送対象押さえ部が移動したのちに、前記非接触吸着部が前記搬送対象を上方から吸着するステップと、
前記非接触吸着部によって前記搬送対象が吸着されたのちに、前記非接触吸着部および前記搬送対象押さえ部が上昇を開始するステップと、
前記搬送対象押さえ部が上昇を開始したのちに、当該搬送対象押さえ部が、自重により生じる付勢力で前記搬送対象の周縁部を押さえるステップと、
前記搬送対象押さえ部によって周縁部が押さえられた搬送対象を搬送するステップと
を含んだことを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体基板などを搬送する搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池やフラットパネルディスプレイなどの製造現場では、太陽電池用のウェハや液晶パネル用のガラス板などの基板を搬送するために、非接触吸着パッドを備えた搬送装置が用いられている。非接触吸着パッドは、例えば、基板の平面に平行な方向に圧縮空気を噴出して基板の上方に負圧を発生させることで、基板を非接触状態で吸着する。
【０００３】
非接触吸着パッドによって吸着されると、基板は浮遊した状態となるため、水平方向への移動が可能である。したがって、基板を安定的に搬送するためには、基板の水平方向への移動を規制する必要がある。しかし、製造工程において、基板の上面には各種の加工処理が施されるため、安易に基板に接触することはできない。そのため、基板の表面を損傷させることなく、安定的に基板を搬送することは非常に困難であった。
【０００４】
そこで、例えば、搬送対象の基板を下方から保持する保持ガイドを備えた搬送装置が知られている。具体的には、公知の搬送装置は、非接触吸着パッドの両側に設けられた１対の保持ガイドを備えている。各保持ガイドは、基板側に向かって突起した保持部をそれぞれ有しており、非接触吸着パッドによって基板が吸着されたのちに、それぞれ基板側に移動する。そして、保持パッドが基板側に移動した状態では、保持部が基板の下側に配置されて、保持部によって基板が下方から保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−８３１８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の技術では、保持ガイドを移動させるための大がかりな機構や動力源などが必要になるため、搬送装置の装置構成が複雑になるという課題がある。装置構成が複雑になると、装置のコストが高くなってしまう。また、装置の重量が大きくなるので、装置の動作が遅くなり、その結果、基板を搬送するスピードが落ちてしまう。
【０００７】
以上のことから、基板を搬送する搬送装置を用いる場合に、いかにして簡易な装置構成で安定的に基板を搬送するかが重要な課題となっている。なお、ここで説明した課題は、基板を搬送する場合のみならず、各種の搬送対象を搬送する場合にも同様に生ずるものである。
【０００８】
開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、簡易な装置構成で安定的に基板等の搬送対象を搬送することが可能な搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願の開示する搬送装置は、搬送対象を上方から非接触状態で吸着する非接触吸着部と、前記非接触吸着部によって吸着された搬送対象の周縁部を自重により生じる付勢力で押さえる搬送対象押さえ部と、前記搬送対象押さえ部によって周縁部が押さえられた搬送対象を搬送する搬送対象搬送部とを備える。
【００１０】
また、本願の開示する搬送方法は、搬送対象を非接触状態で吸着する非接触吸着部と水平方向に移動可能に設けられた搬送対象押さえ部とを有する搬送装置を用いて搬送対象を搬送する搬送方法であって、前記搬送対象が置かれる載置台の上方から前記非接触吸着部および前記搬送対象押さえ部が降下を開始するステップと、前記搬送対象押さえ部が前記載置台の上面に接したのちに、当該搬送対象押さえ部が前記載置台の上面からの反力によって前記非接触吸着部から離れる方向へ移動するステップと、前記搬送対象押さえ部が移動したのちに、前記非接触吸着部が前記搬送対象を上方から吸着するステップと、前記非接触吸着部によって前記搬送対象が吸着されたのちに、前記非接触吸着部および前記搬送対象押さえ部が上昇を開始するステップと、前記搬送対象押さえ部が上昇を開始したのちに、当該搬送対象押さえ部が、自重により生じる付勢力で前記搬送対象の周縁部を押さえるステップと、前記搬送対象押さえ部によって周縁部が押さえられた搬送対象を搬送するステップとを含む。
【発明の効果】
【００１１】
本願の開示する搬送装置および搬送方法の一つの態様によれば、簡易な装置構成で安定的に基板等の搬送対象を搬送することが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本実施例に係る搬送装置の構成を示す図である。
【図２】図２は、基板保持部の構成を示す図である。
【図３−１】図３−１は、基板位置制御機構の動作を説明するための図（１）である。
【図３−２】図３−２は、基板位置制御機構の動作を説明するための図（２）である。
【図３−３】図３−３は、基板位置制御機構の動作を説明するための図（３）である。
【図３−４】図３−４は、基板位置制御機構の動作を説明するための図（４）である。
【図４−１】図４−１は、基板位置制御機構の作用を説明するための図（１）である。
【図４−２】図４−２は、基板位置制御機構の作用を説明するための図（２）である。
【図４−３】図４−３は、基板位置制御機構の作用を説明するための図（３）である。
【図４−４】図４−４は、基板位置制御機構の作用を説明するための図（４）である。
【図４−５】図４−５は、基板位置制御機構の作用を説明するための図（５）である。
【図５】図５は、基板押さえ部の配置および基板の回転に対する作用を説明するための図である。
【図６】図６は、本実施例に係る搬送装置による基板搬送の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本願の開示する搬送装置および搬送方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に示す実施例によって本発明が限定されるものではない。
【実施例】
【００１４】
まず、本実施例に係る搬送装置の構成について説明する。本実施例に係る搬送装置は、基板に対する加工処理の前後で基板が置かれる基板置き台と、加工処理中に基板が置かれる搬送キャリアとの間で、４角形状に形成された基板を搬送する。図１は、本実施例に係る搬送装置１００の構成を示す図である。図１に示すように、搬送装置１００は、ロボット１０と、搬送ハンド２０とを有する。
【００１５】
ロボット１０は、図示していない制御部による制御のもと、基板置き台１と搬送キャリア２との間で搬送ハンド２０を移動する。基板置き台１には、最大で７枚の基板３が同一直線上に並べて置かれる。また、搬送キャリア２には、最大で４９枚の基板３が７行×７列に並べて配置される。
【００１６】
搬送ハンド２０は、搬送対象の基板３を保持する。搬送ハンド２０は、概略矩形平板状に形成されており、上面の中央部がロボット１０によって支持されている。また、搬送ハンド２０の下面には長手方向に沿って７つの基板保持部３０が設けられている。ここで、１つの基板保持部３０によって１枚の基板３が保持される。すなわち、搬送ハンド２０は、同時に最大７枚の基板を搬送することができる。
【００１７】
次に、基板保持部３０の構成について説明する。図２は、基板保持部３０の構成を示す図である。図２は、搬送ハンド２０に設けられている７つの基板保持部３０のうちの１つを示している。図２に示すように、基板保持部３０は、搬送ハンド２０の下面に設けられており、非接触吸着パッド３１と、４つの基板受けガイド部３２と、４つの基板位置制御機構３３とを有する。
【００１８】
非接触吸着パッド３１は、搬送対象の基板３を上面側から非接触状態で吸着する。例えば、非接触吸着パッド３１は、基板３の平面に平行な方向に圧縮空気を噴出して基板３の上方に負圧を発生させることで、基板３を非接触状態で吸着する。なお、以下では、非接触吸着パッド３１を中心にして、非接触吸着パッド３１から水平に離れる方向を「外側方向」と呼び、逆に、非接触吸着パッド３１に水平に近付く方向を「内側方向」と呼ぶ。
【００１９】
基板受けガイド部３２は、非接触吸着パッド３１を４方から囲む位置にそれぞれ設けられている。基板受けガイド部３２は、下方に突起した３つの突起部を有している。そして、基板受けガイド部３２が有する各突起部の先端には、非接触吸着パッド３１の方向に傾斜するテーパー面３２ａと、非接触吸着パッド３１の反対方向に傾斜するテーパー面３２ｂとがそれぞれ形成されている。
【００２０】
基板位置制御機構３３は、基板受けガイド部３２と非接触吸着パッド３１との間にそれぞれ設けられている。基板位置制御機構３３は、軸受け３３ａと、基板押さえ部３３ｂとを有している。
【００２１】
軸受け３３ａは、基板受けガイド部３２の搬送ハンド２０の下面と平行になるように設けられた揺動軸３３ｃの一端を支持している。
【００２２】
基板押さえ部３３ｂは、非接触吸着パッド３１に対する側が揺動軸３３ｃによって軸支されており、揺動軸３３ｃを介して上下に揺動自在となっている。また、基板押さえ部３３ｂにおいて、非接触吸着パッド３１から離れた側の端部には、下方に突起する２つの押さえツメ３３ｄが設けられている。
【００２３】
ここで、下方からの力が加えられていない状態では、基板押さえ部３３ｂは、押さえツメ３３ｄの先端が基板受けガイド部３２の突起部の先端よりも下になる位置まで降下可能になっている。また、基板押さえ部３３ｂが上方に揺動した場合には、押さえツメ３３ｄの先端が外側方向へ移動し、基板押さえ部３３ｂが下方に揺動した場合には、押さえツメ３３ｄの先端が内側方向へ移動する。
【００２４】
次に、基板位置制御機構３３の動作および作用について説明する。図３−１〜３−４は、基板位置制御機構３３の動作を説明するための図である。図４−１〜４−５は、基板位置制御機構３３の作用を説明するための図である。
【００２５】
まず、図３−１は、搬送キャリア２の上面に基板３が置かれ、基板受けガイド部３２が有する突起部の先端が搬送キャリア２の上面に接する位置まで搬送ハンド２０を降下させた状態を示している。図３−１に示すように、搬送ハンド２０を降下させた場合には、押さえツメ３３ｄの先端が搬送キャリア２の上面に接した時点で、基板押さえ部３３ｂが、搬送キャリア２の上面からの反力によって、揺動軸３３ｃを介して上方向へ揺動する。基板押さえ部３３ｂが上方向へ揺動すると、押さえツメ３３ｄは、図４−１に示すように外側方向へ移動する。すなわち、搬送キャリア２が降下することによって、非接触吸着パッド３１を中心にして４つの押さえツメ３３ｄが外側に開く。
【００２６】
続いて、図３−２は、搬送ハンド２０を降下させたうえで、非接触吸着パッド３１が基板３を吸着した状態を示している。図３−２に示すように、非接触吸着パッド３１によって基板３が吸着された場合には、基板受けガイド部３２によって基板３の上方への移動が規制される。具体的には、図４−２に示すように、基板受けガイド部３２の先端に形成されているテーパー面３２ａが基板３の周縁部上端に当接することで、基板３の上面と非接触吸着パッド３１とが離間した状態が保持される。
【００２７】
続いて、図３−３は、非接触吸着パッド３１が基板３を吸着したうえで、搬送ハンド２０が上昇を始めた状態を示している。図３−３に示すように、搬送ハンド２０が上昇を始めた場合には、基板押さえ部３３ｂが、揺動軸３３ｃを介して下方向へ揺動する。基板押さえ部３３ｂが下方向へ揺動すると、押さえツメ３３ｄは、図４−３に示すように内側方向へ移動する。すなわち、搬送キャリア２が上昇することによって、非接触吸着パッド３１を中心にして４つの押さえツメ３３ｄが内側に閉じる。
【００２８】
続いて、図３−４は、非接触吸着パッド３１が基板３を吸着したうえで、搬送ハンド２０をさらに上昇させた状態を示している。図３−４に示すように、搬送ハンド２０をさらに上昇させた場合には、基板押さえ部３３ｂが、基板３の水平方向への移動を規制する。具体的には、図４−４に示すように、基板押さえ部３３ｂの自重により生じる付勢力によって、押さえツメ３３ｄが基板３の周縁部に当接する。押さえツメ３３ｄが基板３の周縁部に当接することで、基板３の水平方向への移動が規制される。
【００２９】
すなわち、図４−４に示す状態では、対向する押さえツメ３３ｄが反対方向から基板３の周縁部に当接することで、基板３の移動方向が４方から規制される。したがって、非接触吸着パッド３１の中心と基板３の中心とが合うように基板３の位置が調整される。そして、図４−５に示すように、搬送ハンド２０をさらに上昇させた場合でも、基板押さえ部３３ｂが基板３の移動規制を続けるので、基板３を安定的に搬送することが可能である。
【００３０】
次に、基板押さえ部３３ｂの配置について詳細に説明する。図５は、基板押さえ部３３ｂの配置および基板３の回転に対する作用を説明するための図である。図５に示すように、基板押さえ部３３ｂは、非接触吸着パッド３１を挟んで対向するようにそれぞれ設けられている。そして、対向して配置された基板押さえ部３３ｂが、それぞれ自重により反対方向から基板３を押さえるようになっている。
【００３１】
ここで、図５に示すように、対向する２対の基板押さえ部３３ｂは、対向方向に直交する方向に沿って、それぞれ反対の方向へ所定量ｄだけ位置をずらして配置されている。具体的には、図５において、上側にある基板押さえ部３３ｂが右側に、右側にある基板押さえ部３３ｂが下側に、下側にある基板押さえ部３３ｂが左側に、左側にある基板押さえ部３３ｂが上側に、それぞれ位置をずらして配置されている。
【００３２】
図５に示すように、各基板押さえ部３３ｂをそれぞれずらして配置することによって、例えば、非接触吸着パッド３１から噴出される圧縮空気によって図５に示す矢印Ａの方向に基板３が回転する場合に、基板３の周縁部のうち回転によって外側方向に出ようとする部分を効率よく押さえることが可能になる。すなわち、基板３の回転を効率よく規制することが可能になる。なお、圧縮空気によって基板３が逆方向に回転する場合には、図５に示した方向とは逆の方向に基板押さえ部３３ｂをずらして配置すればよい。
【００３３】
次に、本実施例に係る搬送装置１００による基板搬送の流れについて説明する。図６は、本実施例に係る搬送装置１００による基板搬送の流れを示すフローチャートである。なお、ここでは、搬送装置１００が、搬送キャリア２から基板３を取り出して基板置き台１に搬送する場合について説明する。
【００３４】
図６に示すように、搬送装置１００では、例えば、搬送キャリア２に置かれた基板３の搬送を開始するよう制御部から指示されると（ステップＳ１０１，Ｙｅｓ）、まず、搬送ハンド２０が、搬送対象の基板３の上方に移動する（ステップＳ１０２）。
【００３５】
搬送対象の基板３の上方に移動すると、搬送ハンド２０は、搬送キャリア２の上面に向かって降下を開始する（ステップＳ１０３）。そして、押さえツメ３３ｄの先端が搬送キャリア２の上面に接したのちに、押さえツメ３３ｄが、搬送キャリア２の上面からの反力によって外側方向へ移動する（ステップＳ１０４）。
【００３６】
続いて、搬送ハンド２０は、基板受けガイド部３２が有する突起部の先端が搬送キャリア２の上面に接した時点で、降下を停止する（ステップＳ１０５）。搬送ハンド２０の降下が停止すると、非接触吸着パッド３１が、搬送キャリア２に置かれている搬送対象の基板３を吸着する（ステップＳ１０６）。
【００３７】
そして、非接触吸着パッド３１が基板３を吸着したのちに、搬送ハンド２０が上昇を開始する（ステップＳ１０７）。続いて、搬送ハンド２０が上昇するとともに、押さえツメ３３ｄが、基板押さえ部３３ｂの自重により内側方向へ移動することで、基板の位置を規制する（ステップＳ１０８）。
【００３８】
そして、搬送ハンド２０が、押さえツメ３３ｄによって基板３の移動が規制された状態で、基板搬送用の高さに達するまで上昇を続け、基板搬送用の高さに達したのちに、基板置き台１まで基板３を搬送する（ステップＳ１０９）。
【００３９】
なお、ここでは、搬送キャリア２から基板３を取り出して基板置き台１に搬送する場合について説明したが、基板置き台１から基板３を取り出して搬送キャリア２に搬送する場合でも、搬送装置１００の動作手順は同様である。
【００４０】
上述してきたように、本実施例では、非接触吸着パッド３１が、搬送対象の基板３を上面側から非接触状態で吸着する。また、基板押さえ部３３ｂが、非接触吸着パッド３１によって吸着された基板３の周縁部を自重により生じる付勢力で押さえることで、基板３の水平方向への移動を規制する。そして、搬送ハンド２０が、基板押さえ部３３ｂによって移動が規制された基板３を搬送する。
【００４１】
すなわち、本実施例では、基板押さえ部３３ｂが自重により基板３を押さえるので、基板３を保持するための大がかりな機構や動力源が不要となっている。したがって、本実施例によれば、簡易な装置構成で安定的に基板３を搬送することが可能である。また、装置構成が簡易であるので、低いコストで装置を実現することができる。また、基板３を保持するための機構や動力源を設ける場合と比べて、装置の重量が小さくなるので、装置の動作が早く、その結果、高速に基板３を搬送することができる。
【００４２】
また、本実施例によれば、基板３は、基板押さえ部３３ｂの自重によって保持されているだけなので、搬送中に水平面内で自由に揺動することができる。したがって、搬送ハンド２０の加減速時に基板３が力を受けて割れたり、応力を受けたりすることを防ぐことができる。
【００４３】
また、本実施例では、４つの基板押さえ部３３ｂが非接触吸着パッド３１の中心を挟んで対向するように配設されている。そして、各基盤押さえ部３３ｂが、それぞれ自重により反対方向から基板３の周縁部を押さえる。したがって、本実施例によれば、基板３の移動方向を規制することが可能である。
【００４４】
また、本実施例では、対向する２対の基板押さえ部３３ｂが、対向方向に直交する方向に沿って、それぞれ反対の方向へ所定量だけ位置をずらして配置されている。したがって、本実施例によれば、基板３の回転を効率よく規制することが可能である。
【００４５】
また、本実施例では、複数の基板押さえ部３３ｂが、非接触吸着パッド３１の中心を多方向から囲むように配設されている。そして、各基盤押さえ部３３ｂが、それぞれ自重により非接触吸着パッド３１の中心に向かう方向へ基板３の周縁部を押さえる。したがって、本実施例によれば、非接触吸着パッド３１の中心と基板３の中心とが合うように基板３の位置を調整することが可能である。
【００４６】
また、本実施例では、基板受けガイド部３２が、非接触吸着パッド３１によって基板３が吸着された場合に、基板３の周縁部上端に当接することで、基板３の上面と非接触吸着パッド３１とが離間した状態を保持する。したがって、本実施例によれば、非接触吸着パッド３１によって基板３の上面が汚染されたり、損傷したりする事態を確実に回避することが可能である。
【００４７】
なお、本実施例では、４角形状に形成された基板を搬送する場合について説明したが、本願の開示する搬送装置および搬送方法は、他の形状に形成された基板を搬送する場合でも同様に適用することが可能である。たとえば、円形状に形成された基板や、４角形以外の多角形状に形成された基板を搬送する場合でも同様に適用することが可能である。
【００４８】
また、本実施例では、非接触吸着パッド３１の４方に４つの基板位置制御機構３３を配置した場合について説明したが、搬送対象の基板の形状に応じて、基板位置制御機構３３の数を変えてもよい。例えば、搬送対象の基板の形状が円形である場合には、３方から基板を押さえることで、基板の水平方向への移動を規制することができる。したがって、例えば、搬送対象の基板の形状が円形である場合には、非接触吸着パッド３１の３方に３つの基板位置制御機構３３を配置してもよい。また、基板位置制御機構３３の数は３つまたは４つに限られるわけではなく、５つ以上であってもよい。
【００４９】
また、本実施例では、基板受けガイド部３２の数と基板位置制御機構３３の数とが同数である場合について説明したが、基板受けガイド部３２と基板位置制御機構３３とはそれぞれ別の役割を担うものであるので、両部の数は必ずしも同一でなくてもよい。例えば、基板位置制御機構３３は、非接触吸着パッド３１の４方に１つずつ、すなわち４つ設け、基板受けガイド部３２は、非接触吸着パッド３１の４方それぞれに２つずつ、すなわち８つ設けるようにしてもよい。
【００５０】
以上の各実施例を含む実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【００５１】
（付記１）搬送対象を上方から非接触状態で吸着する非接触吸着部と、
前記非接触吸着部によって吸着された搬送対象の周縁部を自重により生じる付勢力で押さえる搬送対象押さえ部と、
前記搬送対象押さえ部によって周縁部が押さえられた搬送対象を搬送する搬送対象搬送部と
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【００５２】
（付記２）前記非接触吸着部の中心を挟んで対向するように配設された少なくとも２つの前記搬送対象押さえ部を備え、
各搬送対象押さえ部が、それぞれ自重により反対方向から前記搬送対象の周縁部を押さえることを特徴とする付記１に記載の搬送装置。
【００５３】
（付記３）前記各搬送対象押さえ部は、搬送対象押さえ部の対向方向に直交する方向に沿って、それぞれ反対の方向へ所定量だけ位置をずらして配置されていることを特徴とする付記２に記載の搬送装置。
【００５４】
（付記４）前記非接触吸着部の中心を多方向から囲むように配設された複数の前記搬送対象押さえ部を備え、
各搬送対象押さえ部が、それぞれ自重により前記非接触吸着部の中心に向かう方向へ前記搬送対象の周縁部を押さえることを特徴とする付記１、２または３に記載の搬送装置。
【００５５】
（付記５）前記非接触吸着部によって前記搬送対象が吸着された場合に、当該搬送対象の周縁部上端に当接することで、当該搬送対象の上面と前記非接触吸着部とが離間した状態を保持する搬送対象受けガイド部をさらに備えたことを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の搬送装置。
【００５６】
（付記６）搬送対象を非接触状態で吸着する非接触吸着部と水平方向に移動可能に設けられた搬送対象押さえ部とを有する搬送装置を用いて搬送対象を搬送する搬送方法であって、
前記搬送対象が置かれる載置台の上方から前記非接触吸着部および前記搬送対象押さえ部が降下を開始するステップと、
前記搬送対象押さえ部が前記載置台の上面に接したのちに、当該搬送対象押さえ部が前記載置台の上面からの反力によって前記非接触吸着部から離れる方向へ移動するステップと、
前記搬送対象押さえ部が移動したのちに、前記非接触吸着部が前記搬送対象を上方から吸着するステップと、
前記非接触吸着部によって前記搬送対象が吸着されたのちに、前記非接触吸着部および前記搬送対象押さえ部が上昇を開始するステップと、
前記搬送対象押さえ部が上昇を開始したのちに、当該搬送対象押さえ部が、自重により生じる付勢力で前記搬送対象の周縁部を押さえるステップと、
前記搬送対象押さえ部によって周縁部が押さえられた搬送対象を搬送するステップと
を含んだことを特徴とする搬送方法。
【符号の説明】
【００５７】
１    基板置き台
２    搬送キャリア
３    基板
１０    ロボット
２０    搬送ハンド
３０    基板保持部
３１    非接触吸着パッド
３２    基板受けガイド部
３２ａ，３２ｂ    テーパー面
３３    基板位置制御機構
３３ａ    軸受け
３３ｂ    基板押さえ部
３３ｃ    揺動軸
３３ｄ    押さえツメ
１００    搬送装置
【図１】
2010263010.tif 000003
【図２】
2010263010.tif 000004
【図３−１】
2010263010.tif 000005
【図３−２】
2010263010.tif 000006
【図３−３】
2010263010.tif 000007
【図３−４】
2010263010.tif 000008
【図４−１】
2010263010.tif 000009
【図４−２】
2010263010.tif 000010
【図４−３】
2010263010.tif 000011
【図４−４】
2010263010.tif 000012
【図４−５】
2010263010.tif 000013
【図５】
2010263010.tif 000014
【図６】
2010263010.tif 000015