(57)【要約】【課題】  たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。【解決手段】  積み上げられた複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体中に置かれた複数枚のウエハＷｆのうち最上位にあるものと対向する位置に、ウエハＷｆを受け取り可能な吸着コンベア２を配置し、最上位にあるウエハＷｆと吸着コンベア２との隙間に液体の流動を発生させることにより、上記隙間の圧力低下を利用して最上位のウエハＷｆを吸着コンベア２へと移動させる。【選択図】  図４
2010245303.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、
流体中に置かれた上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものと対向する位置に、上記ウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段を配置し、
上記最上位にあるウエハと上記ウエハ受け取り手段との隙間に上記流体の流動を発生させることにより、上記隙間の圧力低下を利用して上記最上位のウエハを上記ウエハ受け取り手段へと移動させることを特徴とする、ウエハ搬送方法。
【請求項２】
上記隙間に向けて浮上用ノズルから上記流体を噴出することにより上記流体の流動を発生させる、請求項１に記載のウエハ搬送方法。
【請求項３】
上記ウエハ受け取り手段が上記最上位にあるウエハを受け取る面は、上記最上位にあるウエハに対して傾いており、上記浮上用ノズルは、上記隙間が大である方向から上記流体の流動を発生させる、請求項２に記載のウエハ搬送方法。
【請求項４】
上記ウエハ受け取り手段は、上記ウエハをその面内方向にスライドさせる、請求項２に記載のウエハ搬送方法。
【請求項５】
上記ウエハ受け取り手段として、互いに離間した１対のローラと、上記１対のローラに掛け回されており、複数の孔が設けられた吸着区間を有する１以上の無端ベルトと、上記無端ベルトに囲まれた空間を減圧しうる減圧手段と、を備えた吸着コンベアを用いる、請求項４に記載のウエハ搬送方法。
【請求項６】
上記吸着コンベアは、互いに平行に離間配置された１対の上記無端ベルトを有しており、上記浮上用ノズルによってこれらの無端ベルトどうしの間に上記流体の流動を発生させる、請求項５に記載のウエハ搬送方法。
【請求項７】
上記複数枚のウエハの端面に向けて、分離用ノズルから上記流体を噴出する、請求項１ないし６のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
【請求項８】
上記複数枚のウエハに対して、上記分離用ノズルと同じ側に配置された超音波発生手段から上記流体を媒体として超音波を発生させる、請求項７に記載のウエハ搬送方法。
【請求項９】
積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、
流体中に置かれた上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものと対向する位置に配置され、上記ウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段と、
上記最上位にあるウエハと上記ウエハ受け取り手段との隙間に上記流体の流動を発生させる流動発生手段と、
を備えることを特徴とする、ウエハ搬送装置。
【請求項１０】
上記流動発生手段は、浮上用ノズルである、請求項９に記載のウエハ搬送装置。
【請求項１１】
上記ウエハ受け取り手段が上記最上位にあるウエハを受け取る面は、上記最上位にあるウエハに対して傾いており、
上記浮上用ノズルは、上記隙間が大である方向から上記流体の流動を発生させる姿勢とされている、請求項１０に記載のウエハ搬送装置。
【請求項１２】
上記ウエハ受け取り手段は、上記ウエハをその面内方向にスライドさせる、請求項１１に記載のウエハ搬送装置。
【請求項１３】
上記ウエハ受け取り手段は、互いに離間した１対のローラと、上記１対のローラに掛け回されており、複数の孔が設けられた吸着区間を有する１以上の無端ベルトと、上記無端ベルトに囲まれた空間を減圧しうる減圧手段と、を備えた吸着コンベアである、請求項１２に記載のウエハ搬送装置。
【請求項１４】
上記吸着コンベアは、互いに平行に離間配置された１対の上記無端ベルトを有しており、
上記浮上用ノズルは、上記１対の無端ベルトどうしの間に上記流体の流動を発生させる、請求項１３に記載のウエハ搬送装置。
【請求項１５】
上記複数枚のウエハの端面に向けて上記流体を噴出する分離用ノズルをさらに備える、請求項９ないし１４のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
【請求項１６】
上記複数枚のウエハに対して上記分離用ノズルと同じ側に配置され、上記流体を媒体として超音波を発生させる超音波発生手段をさらに備える、請求項１５に記載のウエハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば太陽電池の材料に用いられる半導体ウエハを１枚ずつ搬送するウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０は、半導体ウエハの製造におけるワイヤソー装置を用いた切断工程を示している（たとえば特許文献１参照）。同図に示されたワイヤソー装置Ｘは、４つのガイドローラ９３およびワイヤ９４を備えており、半導体材料９２をウエハ状に切断する装置である。ワイヤ９４は、たとえばメッキが施されたピアノ線であり、４つのガイドローラ９３に掛け回されており、図示された矢印の方向に送られる。半導体材料９２は、たとえばガラスからなる保持部材９１に接着剤によって接合された状態で、ワイヤ９４に押し付けられる。ワイヤ９４が半導体材料９２を超えて保持部材９１に到達すると、半導体材料９２の切断が完了する。この切断により、保持部材９１に各々の端縁が接合された状態で、複数枚のウエハが得られる。
【０００３】
しかしながら、切断を終えた後には、最終的に上記ウエハを１枚１枚分離した状態にする必要がある。この分離作業に先立って、切断粉の洗浄や、保持部材９１からの剥離を目的として、上記ウエハは、洗浄液や接着剤を溶解する溶液に漬けられる。これらの液体によって上記ウエハがウエットの状態になると、となり合う上記ウエハどうしが張り付いてしまいやすい。このようなことでは、上記ウエハを１枚１枚分離した状態とすることは容易ではなく、たとえば作業者が手作業によって上記半導体ウエハを１枚ずつ取り上げるといった作業が強いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１６０４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の側面によって提供されるウエハ搬送方法は、積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、流体中に置かれた上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものと対向する位置に、上記ウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段を配置し、上記最上位にあるウエハと上記ウエハ受け取り手段との隙間に上記流体の流動を発生させることにより、上記隙間の圧力低下を利用して上記最上位のウエハを上記ウエハ受け取り手段へと移動させることを特徴としている。
【０００７】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記隙間に向けて浮上用ノズルから上記流体を噴出することにより上記流体の流動を発生させる。
【０００８】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段が上記最上位にあるウエハを受け取る面は、上記最上位にあるウエハに対して傾いており、上記浮上用ノズルは、上記隙間が大である方向から上記流体の流動を発生させる。
【０００９】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段は、上記ウエハをその面内方向にスライドさせる。
【００１０】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段として、互いに離間した１対のローラと、上記１対のローラに掛け回されており、複数の孔が設けられた吸着区間を有する１以上の無端ベルトと、上記無端ベルトに囲まれた空間を減圧しうる減圧手段と、を備えた吸着コンベアを用いる。
【００１１】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記吸着コンベアは、互いに平行に離間配置された１対の上記無端ベルトを有しており、上記浮上用ノズルによってこれらの無端ベルトどうしの間に上記流体の流動を発生させる。
【００１２】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハの端面に向けて、分離用ノズルから上記流体を噴出する。
【００１３】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハに対して、上記分離用ノズルと同じ側に配置された超音波発生手段から上記流体を媒体として超音波を発生させる。
【００１４】
本発明の第２の側面によって提供されるウエハ搬送装置は、積み上げられた複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、流体中に置かれた上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものと対向する位置に配置され、上記ウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段と、上記最上位にあるウエハと上記ウエハ受け取り手段との隙間に上記流体の流動を発生させる流動発生手段と、を備えることを特徴としている。
【００１５】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記流動発生手段は、浮上用ノズルである。
【００１６】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段が上記最上位にあるウエハを受け取る面は、上記最上位にあるウエハに対して傾いており、上記浮上用ノズルは、上記隙間が大である方向から上記流体の流動を発生させる姿勢とされている。
【００１７】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段は、上記ウエハをその面内方向にスライドさせる。
【００１８】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記ウエハ受け取り手段は、互いに離間した１対のローラと、上記１対のローラに掛け回されており、複数の孔が設けられた吸着区間を有する１以上の無端ベルトと、上記無端ベルトに囲まれた空間を減圧しうる減圧手段と、を備えた吸着コンベアである。
【００１９】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記吸着コンベアは、互いに平行に離間配置された１対の上記無端ベルトを有しており、
上記浮上用ノズルは、上記１対の無端ベルトどうしの間に上記流体の流動を発生させる。
【００２０】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハの端面に向けて上記流体を噴出する分離用ノズルをさらに備える。
【００２１】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数枚のウエハに対して上記分離用ノズルと同じ側に配置され、上記流体を媒体として超音波を発生させる超音波発生手段をさらに備える。
【００２２】
このような構成によれば、積み上げられた上記複数枚のウエハは、上記ウエハ受け取り手段によって上記流体内において吸着される。上記流体内においては、その前のたとえば洗浄工程や溶解工程で上記複数枚のウエハが濡れていても、隣り合う上記ウエハ同士が互いに強固に張り付きにくい。そして、上記浮上用ノズルによって生じた流動による圧力低下を利用して最上位に位置する上記ウエハを適切に上記ウエハ受け取り手段へと移動させることができる。流動の発生はごく短い時間で達成できるため、最上位に位置する上記ウエハを上記ウエハ受け取り手段に吸着させるために要する時間を短縮するのに有利である。
【００２３】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るウエハ搬送装置の一例を示す全体概略図である。
【図２】図１に示すウエハ搬送装置を示す要部断面図である。
【図３】図１に示すウエハ搬送装置の吸着コンベアを示す底面図である。
【図４】本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを浮上させる工程を示す要部断面図である。
【図５】本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを吸着する工程を示す要部断面図である。
【図６】本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハをスライドさせる工程を示す要部断面図である。
【図７】本発明に係るウエハ搬送方法において、ウエハを中継コンベアに受け渡す工程を示す要部断面図である。
【図８】本発明に係るウエハ搬送装置の他の例を示す要部平面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う要部断面図である。
【図１０】ワイヤソー装置を用いた半導体材料の切断工程を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。
【００２６】
図１は、本発明に係るウエハ搬送装置の一例を示している。本実施形態のウエハ搬送装置Ａは、ウエハ槽１、吸着コンベア２、ノズル３１、スポンジローラ３２、超音波発生手段４、中継コンベア５、装填コンベア６、およびスタッカ７を備えている。
【００２７】
ウエハ槽１は、鉛直方向上方が開口する容器状とされており、複数枚のウエハＷｆを、所定の液体Ｌｑに浸した状態で収容するためのものである。複数枚のウエハＷｆは、鉛直方向に積み上げられた状態で液体Ｌｑ内につけられている。液体Ｌｑは、たとえば水に適量の界面活性剤が混入されたものである。これらウエハＷｆの枚数は、たとえば１０００枚程度である。ウエハＷｆの寸法の一例を挙げると、外形が１５６ｍｍ角であって、厚さが０．１４〜０．１８ｍｍである。複数枚のウエハＷｆは、その最上位に位置するものの上面が液体Ｌｑの液面Ｌｓと平行となるように積み上げられている。
【００２８】
複数枚のウエハＷｆは、たとえばウエハ槽１の図中左方において積み上げられた後に、コンベア８２によってウエハ槽１の図中右方部分に送られてくる。送られてきた複数枚のウエハＷｆは、たとえばリフタ８１によって昇降可能にハンドリングされる。リフタ８１は、たとえばサーボモータ（図示略）によって、少なくともウエハＷｆの１枚分の厚さに相当する精度で昇降自在とされている。
【００２９】
吸着コンベア２は、本発明で言うウエハ受け取り手段の一例に相当し、ウエハ槽１内においてその下方部分が液体Ｌｑに漬かる位置に設けられている。図２に示すように、吸着コンベア２は、１対のローラ２１、１対の無端ベルト２２、およびバキュームボックス２３を備えている。
【００３０】
１対のローラ２１は、互いに離間して平行配置されており、少なくともいずれかがサーボモータ（図示略）などの駆動源に連結されている。
【００３１】
１対の無端ベルト２２は、環状とされたたとえばゴム製の帯状ベルトであり、１対のローラ２１に掛け回されている。図３に示すように、１対の無端ベルト２２は、互いに平行に離間配置されている。図２および図３に示すように、各無端ベルト２２のうちその周回方向の一部分である吸着区間２２ａには、複数の孔２２ｂが形成されている。各孔２２ｂは、無端ベルト２２をその厚さ方向に貫通しており、液体Ｌｑや空気が通過可能となっている。本実施形態においては、吸着区間２２ａの周回方向寸法は、ウエハＷｆの周回方向寸法とほぼ同じとされている。
【００３２】
バキュームボックス２３は、無端ベルト２２内の空間に配置されており、断面矩形状のたとえばＳＵＳ製の箱である。バキュームボックス２３の高さ方向寸法は、無端ベルト２２の内側どうしの間隔とほぼ同じとなっている。このため、バキュームボックス２３の上下面に沿って、無端ベルト２２が摺動する。バキュームボックス２３は、３つの区画室２３１，２３２，２３３を有する。これらの区画室２３１，２３２，２３３は、１対のローラ２１が離間する方向に沿って並べられている。バキュームボックス２３には、複数の孔２３ｂが形成されている。複数の孔２３ｂは、バキュームボックス２３の下側部分に設けられており、本実施形態においては、バキュームボックス２３の下側部分のほぼ全面に設けられている。区画室２３１，２３２，２３３には、それぞれ吸気口２３ａが設けられている。
【００３３】
図２によく現れているように、吸着コンベア２は、複数枚のウエハＷｆのうち最上位に位置するものの上面に対して若干傾いた姿勢とされている。より具体的には、吸着コンベア２の右端が左端よりも最上位に位置するウエハＷｆの上面から離間している。
【００３４】
吸気口２３ａには、ホース２４、バルブユニット２７、脱水槽２５を介してポンプ２６が接続されている。ホース２４は、たとえば樹脂からなる可撓性を有する配管部品である。バルブユニット２７は、区画室２３１，２３２，２３３ののうちいずれをポンプ２６と接続するかを切替可能とされている。脱水槽２５は、バキュームボックス２３を介して吸引した空気から液体Ｌｑを分離するためのものである。ポンプ２６は、吸着コンベア２によってウエハＷｆを吸着することが可能な程度に、無端ベルト２２に収容された格好となっているバキュームボックス２３内の空間を減圧するための減圧源である。
【００３５】
ノズル３１は、液体Ｌｑが吐出される部品であり、液体Ｌｑの噴流を生じさせる。ノズル３１には、配管（図示略）を介して吐出ポンプ（図示略）が接続されている。本実施形態においては、図２に示すように、ノズル３１は、最上位に位置するウエハＷｆと吸着コンベア２との間の隙間に向けて図中右方から噴流を発生させる姿勢で設けられている。ノズル３１によって発生する噴流は、上下方向が薄い扁平断面形状を有している。また、図３に示すように、この噴流は、およそ４５°程度の広がり角度で広がりながら進行する。ノズル３１から吐出される液体Ｌｑの流量は、たとえば９Ｌ／ｍｉｎ程度である。
【００３６】
スポンジローラ３２は、表面部分がスポンジからなるローラである。スポンジローラ３２は、吸着コンベア２の直下において、積み上げられた複数枚のウエハＷｆに対して図中右方に配置されている。スポンジローラ３２は、図示しないたとえばモータに連結されており、回転可能とされている。本実施形態においては、スポンジローラ３２は、ブラケットによって吸着コンベア２に対して固定されている。
【００３７】
超音波発生手段４は、たとえばウエハ槽１の壁面付近に配置されており、超音波を生じうる加振源を有している。超音波発生手段４からの超音波は、液体Ｌｑを媒体として積み上げられた複数枚のウエハＷｆの最上位のものや、吸着コンベア２、スポンジローラ３２に作用する。
【００３８】
中継コンベア５は、吸着コンベア２の下流側において、液面Ｌｓの上方に配置されている。中継コンベア５は、後述する手順によって吸着されたウエハＷｆを吸着コンベア２から受け渡される。
【００３９】
装填コンベア６は、中継コンベア５の下流側に配置されている。装填コンベア６は、中継コンベア５から受け取ったウエハＷｆを、スタッカ７へと装填するのに用いられる。
【００４０】
スタッカ７は、複数枚のウエハＷｆを１枚ずつ格納するためのものであり、鉛直方向に互いに平行に配列された複数のポケット７１を有している。装填コンベア６からウエハＷｆが送られてくると、このウエハＷｆがあるポケット７１に装填される。すると、図示しない昇降手段によってスタッカ７はポケット７１の一段分だけ上昇される。これにより、次のウエハＷｆを装填可能な状態となる。
【００４１】
次に、本発明に係るウエハ搬送方法の一例について、図４〜図７を参照しつつ以下に説明する。
【００４２】
まず、図４に示すように、無端ベルト２２の吸着区間２２ａを、積み上げられたウエハＷｆの直上に位置させる。吸着区間２２ａがこの位置にあるときは、バキュームボックス２３の複数の孔２３ｂのうち区画室２３１，２３２に設けられものが、吸着区間２２ａと重なっている。また、このときバルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３１，２３２とポンプ２６とを接続し、区画室２３３とポンプ２６とを遮断する。これとともに、ポンプ２６を駆動させ、区画室２３１，２３２の内圧を負圧とする。そして、ノズル３１から液体Ｌｑを吐出することにより、最上位のウエハＷｆと吸着コンベア２との隙間に噴流を発生させる。図３に示すように、この噴流は、主に１対の無端ベルト２２の間に広がっていく。
【００４３】
上記噴流の発生により、最上位のウエハＷｆと吸着コンベア２との隙間の圧力が急激に低下する。この圧力低下により、図５に示すように、最上位にあるウエハＷｆが上方に引き寄せられる。そして、このウエハＷｆが吸着区間２２ａに吸着される。
【００４４】
次いで、図６に示すように、ローラ２１を駆動することにより無端ベルト２２を反時計回りに周回させる。これにより、吸着されたウエハＷｆが図中右方にスライドされる。このとき、超音波発生手段４から超音波を発生させておく。また、スポンジローラ３２を反時計回りに回転させておく。すると、スライドするウエハＷｆは、その先端から順にスポンジローラ３２の上方をこれに接しながら通過する。これにより、ウエハＷｆにはスライド方向と反対方向に向けて抵抗力が付与される。仮に、最上位に位置していたウエハＷｆとその直下にあったウエハＷｆとが、誤って２枚取りされた場合、この抵抗力によって下方のウエハＷｆを取り除くことができる。超音波をウエハＷｆに作用すれば、２枚のウエハＷｆを分離するのに有利である。さらに、液体Ｌｑに混入された界面活性剤は、２枚のウエハＷｆどうしの間に液体Ｌｑが侵入することを好適に促進する。
【００４５】
無端ベルト２２が周回すると、吸着区間２２ａが区画室２３１，２３２と重なる位置から区画室２３２，２３３と重なる位置へと移動する。このときには、図６によく表れているように、バルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３２，２３３とポンプ２６とを接続し、区画室２３１とポンプ２６とを遮断する。これにより、区画室２３２，２３３の内圧が負圧となり、区画室２３１はその内圧が強い負圧となる状態から解除される。
【００４６】
次いで、図７に示すように、さらに無端ベルト２２を周回させる。すると、吸着されたウエハＷｆは、さらに右方へとスライドし、中継コンベア５へと受け渡される。図示された状態においては、吸着区間２２ａは区画室２３３のみと重なっている。このときには、バルブユニット２７を切り替えることにより、区画室２３３とポンプ２６とを接続し、区画室２３１，２３２とポンプとを遮断する。
【００４７】
この後は、中継コンベア５、装填コンベア６を経由して、ウエハＷｆがスタッカ７に装填される。一方、吸着コンベア２は、無端ベルト２２をさらに周回させるとともに、バルブユニット２７を切り替えることにより、再び図４に示す状態となる。リフタ８１が積み上げられた複数枚のウエハＷｆを、その一枚分の厚さに相当する高さだけ上昇させることにより、次のウエハＷｆを吸着可能な状態となる。以上に述べた工程を順次繰り返すことにより、積み上げられた複数枚のウエハＷｆを１枚ずつ搬送し、スタッカ７へと装填できる。
【００４８】
次に、本実施形態のウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置Ａの作用について説明する。
【００４９】
複数枚のウエハＷｆは、たとえばワイヤソーを用いた切断工程の後に、洗浄工程や接着剤の溶解工程を経るために濡れた状態となる。これらの濡れたウエハＷｆを大気中におくと、互いに張り付いてしまい、１枚ずつに分離することは困難である。本実施形態によれば、積み上げられた複数枚のウエハＷｆは、まず吸着コンベア２によって液体Ｌｑ内において吸着された後に、スライドされる。液体Ｌｑ内においては、その前の洗浄工程や溶解工程で複数枚のウエハＷｆが濡れていても、隣り合うウエハＷｆが互いに強固に張り付きにくい。そして、ノズル３１によって生じた噴流による圧力低下を利用して最上位に位置するウエハＷｆを適切に吸着コンベア２へと移動させることができる。噴流の発生はごく短い時間で達成できるため、最上位に位置するウエハＷｆを吸着コンベア２に吸着させるために要する時間を短縮するのに有利である。
【００５０】
吸着コンベア２を用いれば、吸着したウエハＷｆを積み上げられた複数枚のウエハＷｆの直上からスムーズに退避させることができる。このとき、複数枚のウエハＷｆが大きく乱されるおそれが少ない。
【００５１】
ノズル３１からの噴流は、１対の無端ベルト２２の間に向けられている。無端ベルト２２の吸着区間２１ａには、孔２２ｂに液体Ｌｑを吸い込む流れが存在する。この吸い込む流れとノズル３１からの噴流とが不当に干渉しあうことを回避可能である。これは、最上位のウエハＷｆを噴流による減圧で浮上させることと、浮上してきたウエハＷｆを吸着することとを確実に行うのに適している。
【００５２】
区画室２３１，２３２，２３３のうち吸着区間２２ａと重ならないものを、順次ポンプ２６に対して遮断することにより、吸着区間２２ａ以外の部分によって吸着したいウエハＷｆ以外のウエハＷｆを誤って吸着してしまうことを防止することができる。
【００５３】
図８および図９は、本発明に係るウエハ搬送装置の他の例を示している。同図に示す構成は、分離用の２つのノズル４１と２つの超音波発生手段４とをさらに備えている点が、上述した実施形態と異なっており、その他の構成については上述した実施形態と同様であり図示を省略している。
【００５４】
ノズル４１は、図中矢印で示された最上位のウエハＷｆが搬送される方向に対して、両側方に設けられている。ノズル４１の高さ方向位置は、積み上げられた複数枚のウエハＷｆのうち最上位のものから数枚分と同じくらいの高さである。ノズル４１からの噴流は、複数枚のウエハＷｆのうち最上位のものから数枚分の端面に向かって吐出される。２つの超音波発生手段４は、複数枚のウエハＷｆに対してノズル４１と同じ側に設けられており、複数枚のウエハＷｆの端面に向けて超音波を発生する。
【００５５】
このような実施形態によれば、最上位のウエハＷｆと２枚目のウエハＷｆとが仮に密着状態であっても、超音波発生手段４からの超音波およびノズル４１からの噴流によってこれらの間に液体Ｌｑを浸透させることが可能である。この浸透により、最上位のウエハＷｆと２枚目のウエハＷｆとの分離を促進できる。したがって、最上位のウエハＷｆが上述したノズル３１の噴流によって浮上させられるときに、２枚目のウエハが最上位のウエハに張り付いた状態で誤って浮上させられることを防止することができる。
【００５６】
本発明に係るウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
【符号の説明】
【００５７】
Ａ      ウエハ搬送装置
Ｌｑ    液体
Ｌｓ    液面
Ｗｆ    ウエハ
１      ウエハ槽
２      吸着コンベア（ウエハ受け取り手段）
４      超音波発生手段
５      中継コンベア
６      装填コンベア
７      スタッカ
２１    ローラ
２２    無端ベルト
２２ａ  吸着区間
２２ｂ  孔
２３    バキュームボックス
２３１，２３２，２３３  区画室
２３ａ  吸気口
２３ｂ  孔
２４    ホース
２５    脱水槽
２６    ポンプ
２７    バルブユニット
３１    （浮上用）ノズル
３２    スポンジローラ
４１    （分離用）ノズル
７１    ポケット
８１    リフタ
８２    コンベア
【図１】
2010245303.tif 000003
【図２】
2010245303.tif 000004
【図３】
2010245303.tif 000005
【図４】
2010245303.tif 000006
【図５】
2010245303.tif 000007
【図６】
2010245303.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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