(57)【要約】【課題】本発明は、過電圧保護部品の放電電極を形成する材料を効果的に使用して、過電圧保護部品として高い特性を有しつつ、放電電極の材料の使用量を少なくすることを目的としている。【解決手段】本発明の過電圧保護部品は、基体１の内部に形成された放電部４を介して互いに対向するグランド側の第１の放電電極２と信号側の第２の放電電極３を設け、それぞれの対向面において放電部４と接する領域である、第１の有効電極部５と第２の有効電極部６において、第１の有効電極部５の面積を第２の有効電極部６の面積よりも大きくしたものである。【選択図】図１
2010040242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、
この基体の内部に形成された放電部と、
前記基体の内部に前記放電部と少なくとも一部が接するように設けられた第１の放電電極と、
前記基体の内部に前記放電部と少なくとも一部が接するように、かつ前記放電部を介して少なくとも一部が前記第１の放電電極と対向するように設けられた第２の放電電極と、
前記第２の放電電極と対向している前記第１の放電電極の面内の領域であって、
前記放電部と接している第１の有効電極部と、
前記第１の放電電極と対向している前記第２の放電電極の面内の領域であって、
前記放電部と接している第２の有効電極部と、
グランド側の端子として前記基体の外部に形成された第１の端子と、
信号側の端子として前記基体の外部に形成された第２の端子とを備え、
前記第１の放電電極は前記第１の端子と電気的に接続され、
前記第２の放電電極は前記第２の端子と電気的に接続され、
前記第１の有効電極部の面積が前記第２の有効電極部の面積よりも大きい過電圧保護部品。
【請求項２】
第１の有効電極部の面積が第２の有効電極部の面積の５倍以上である請求項１記載の過電圧保護部品。
【請求項３】
第１の放電電極の厚みが第２の放電電極の厚みよりも厚い請求項１記載の過電圧保護部品。
【請求項４】
第１の端子と第２の端子の判別を行うためのマークが形成された請求項１記載の過電圧保護部品。
【請求項５】
被保護部品が接続される信号側電極と、グランド側電極とを備えた電気回路において、請求項１記載の過電圧保護部品の第２の放電電極が前記信号側電極に電気的に接続され、第１の放電電極が前記グランド側電極に電気的に接続された電気回路。
【請求項６】
請求項１記載の過電圧保護部品の第２の放電電極に静電気を印加することにより、前記第１の放電電極と第２の放電電極との間に電荷を移動させる過電圧保護方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子機器を静電気やサージ等から保護する過電圧保護部品、これを用いた電気回路および過電圧保護方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高性能化が急速に進み、それに伴い電子機器に用いられる電子部品の小型化も急速に進んでいる。しかしながら、その反面、この小型化に伴って電子機器や電子部品の静電気やサージ等の過電圧に対する耐性は低下しており、その対策としてギャップ型の過電圧保護部品等の部品を使用している。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平１−１０２８８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、資源の有効活用が重要視され、また低コスト化を要求されている状況下、放電電極を形成する材料の使用量を削減することは、資源の有効活用の点からも、低コスト化の点からも好ましい。しかし、放電電極を形成する材料の使用量の削減は、放電電極の面積の減少を招く。放電電極の内の放電を行う部分の面積を減少させることは、放電する最大電流を減少させることにもつながり、過電圧からの保護と言う点では制約があった。
【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、過電圧保護部品の放電電極を形成する材料を効果的に使用して、過電圧保護部品として高い特性を有しつつ、放電電極の材料の使用量を少なくすることができることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００７】
請求項１に記載の発明は、基体と、この基体の内部に形成された放電部と、前記基体の内部に前記放電部と少なくとも一部が接するように設けられた第１の放電電極と、前記基体の内部に前記放電部と少なくとも一部が接するように、かつ前記放電部を介して少なくとも一部が前記第１の放電電極と対向するように設けられた第２の放電電極と、前記第２の放電電極と対向している前記第１の放電電極の面内の領域であって、前記放電部と接している第１の有効電極部と、前記第１の放電電極と対向している前記第２の放電電極の面内の領域であって、前記放電部と接している第２の有効電極部と、グランド側の端子として前記基体の外部に形成された第１の端子と、信号側の端子として前記基体の外部に形成された第２の端子とを備え、前記第１の放電電極は前記第１の端子と電気的に接続され、前記第２の放電電極は前記第２の端子と電気的に接続され、前記第１の有効電極部の面積が前記第２の有効電極部の面積よりも大きいものである。
【０００８】
この構成によれば、前記第１の有効電極部の面積を前記第２の有効電極部の面積よりも大きい構成にすることによって、高い特性を有することができるという作用効果を有するものである。
【０００９】
この作用効果について、以下、補足的に説明をする。
【００１０】
過電圧保護部品の性能を向上させる一つの手段として、放電電流を大きくする方法がある。放電電流が大きくなれば、静電気などによる過電圧の降下も速く進み、これにより正常な状態への復帰も早く行うことができるという効果を奏することができる。
【００１１】
そこで、発明者らは部品の性能向上を図るため、放電電流に注目し、各種実験及び研究の結果、放電電流を大きくするには電子を供給する側の電極を大きくすることで、放電電流が増加することを見出した。これは、電極面積を増やし、電子の供給を促進させることで、放電がしやすくなるためと考えられる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、特に、第１の有効電極部の面積が第２の有効電極部の面積の５倍以上であるもので、この構成によれば、第１の有効電極部の面積が大きいことにより、電子の供給能力を促進させ、放電能力を向上することで高い特性を有することが可能になるという作用効果を有するものである。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、特に、第１の放電電極の厚みが第２の放電電極の厚みよりも厚いもので、この構成によれば、第１の放電電極の厚みを厚くすることで請求項２の作用効果を説明したのと同様に、高い特性を有することが可能になるという作用効果を有するものである。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、特に、第１の端子と第２の端子の判別を行うためのマークが形成されたもので、この構成によれば、いずれの端子が第１の端子および第２の端子であるかの判別が可能になるという作用効果を有するものである。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、特に、被保護部品が接続される信号側電極と、グランド側電極とを備えた電気回路において、請求項１記載の過電圧保護部品の第２の放電電極が前記信号側電極に電気的に接続され、第１の放電電極が前記グランド側電極に電気的に接続されたものである。
【００１６】
この構成によれば、グランドと接続される側の第１の有効電極部の面積を被保護部品と接続される側の第２の有効電極部の面積よりも大きい構成にすることによって、高い特性を有することができるという作用効果を有するものである。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、特に、請求項１記載の過電圧保護部品の第２の放電電極に静電気を印加することにより、前記第１の放電電極と第２の放電電極との間に電荷を移動させるものである。
【００１８】
この方法によれば、グランドと接続される側の第１の有効電極部の面積を静電気が印加される側の第２の有効電極部の面積よりも大きい構成にすることによって高い特性を有することができるという作用効果を有するものである。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明の過電圧保護部品、これを用いた電気回路および過電圧保護方法は、第１の有効電極部の面積が第２の有効電極部の面積よりも大きいものであり、放電電極の材料の使用量を少なくしつつ過電圧保護部品としての高い特性を備えるという優れた効果を有するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の請求項１〜２、および請求項４〜６に記載の発明について説明する。
【００２１】
図１は本発明の実施の形態１における過電圧保護部品の正面断面図、図２は同過電圧保護部品の上面方向からの平面断面図、図３は同過電圧保護部品の底面方向からの平面断面図、図４は同過電圧保護部品の右側面断面図、図５は同過電圧保護部品の平面図である。
【００２２】
基体１は絶縁体からなり、略直方体の形状を有する。基体１は内部で放電が生じても損傷がないことが求められ、耐熱、対熱衝撃に優れたセラミックなどを材料とすることが好ましい。第１の放電電極２は基体１の内部に設けられた電極である。第１の放電電極２には放電が生じるため、耐熱性に優れた材質で形成するのが好ましく、例えばタングステンを用いるのがよい。第２の放電電極３も、第１の放電電極２と同様に基体１の内部に設けられた電極であり、耐熱性に優れた材質で形成するのが好ましく、例えばタングステンを用いるのがよい。
【００２３】
放電部４は基体１の内部に形成されており、通常の使用状態では絶縁体とみなすことができるものであるが、過電圧が印加された場合に放電することにより導通するものである。放電部４は、本実施の形態においては空洞の構造にしている。この放電部４は第１の放電電極２の少なくとも一部と接しており、同様に第２の放電電極３の少なくとも一部とも接している。そして、この放電部４を介して、第１の放電電極２の少なくとも一部と第２の放電電極３の少なくとも一部とが互いに対向している。
【００２４】
第１の有効電極部５は、第１の放電電極２の表面の一部の領域であり、第１の放電電極２において第２の放電電極３と対向している面で放電部４と接している領域が該当する。具体的には、第１の放電電極２において第２の放電電極３と対向している面は図１の第１の放電電極２の下面であり、そしてこの下面で放電部４と接している領域は、図１の符号５を付した破線で囲んだ部分であり、この領域が第１の有効電極部５である。
【００２５】
同様に第２の有効電極部６は、第２の放電電極３の表面の一部の領域であり、第２の放電電極３において第１の放電電極２と対向している面で放電部４と接している領域が該当する。具体的には、第２の放電電極３において第１の放電電極２と対向している面は図１の第２の放電電極３の上面であり、そしてこの上面で放電部４と接している領域は、図１の符号６を付した破線で囲んだ部分であり、この領域が第２の有効電極部６である。
【００２６】
そして、第１の有効電極部５の面積は、第２の有効電極部６の面積よりも大きくなるように形成している。好ましくは、第１の有効電極部５の面積が第２の有効電極部６の面積の５倍以上にすることである。
【００２７】
第１の端子７および第２の端子８は、ともに基体１に設けられた導体からなる端子である。第１の端子７および第２の端子８の材質は導電性に優れた銅を主成分とするものなどを用いることができる。また、第１の端子７および第２の端子８は一層からなるものではなく、銅の層の表面にニッケルめっき層を形成し、さらに半田めっき層または錫めっき層を形成する構成にすることができる。この第１の端子７はグランド側の端子であり、第２の端子８は信号側の端子である。
【００２８】
ビア導体９は、第１の放電電極２と物理的に接続しており、引出導体１０はこのビア導体９と第１の端子７に物理的に接続している。これらのビア導体９および引出導体１０を介して第１の放電電極２は第１の端子７と電気的に接続している。
【００２９】
同様にビア導体１１は、第２の放電電極３と物理的に接続しており、引出導体１２はこのビア導体１１と第２の端子８に物理的に接続しており、これらのビア導体１１および引出導体１２を介して第２の放電電極３は第２の端子８と電気的に接続している。
【００３０】
ビア導体９、引出導体１０、ビア導体１１および引出導体１２はいずれも良導体が好ましく、たとえば銅を主成分とする導体で形成することができる。ただし、第１の放電電極２および第２の放電電極３を印刷工法によりタングステンで形成する場合には、タングステンを焼成する温度が高いことを考慮して、ビア導体９、引出導体１０、ビア導体１１および引出導体１２には、タングステンと銅の組合せや、タングステンとニッケルの組み合わせなどを使用することが好ましい。
【００３１】
マーク１３は基体１に形成されたマークであり、いずれの端子が第１の端子７あるいは第２の端子８であるかを示すものである。本実施の形態においては、第１の端子７に近い方にマーク１３を形成しているが、第２の端子８に近い方にマーク１３を形成する構成にしてもよい。
【００３２】
以上の構成を備えた本実施の形態における過電圧保護部品の製造方法について、図面を用いて以下に説明する。
【００３３】
図６は同過電圧保護部品の分解斜視図である。但し、第１の端子７および第２の端子８は省略している。図７〜図１０は、いずれも本発明の実施の形態１における過電圧保護部品の製造工程の説明図であり、図７（ａ）は絶縁シート供給工程の説明図、図７（ｂ）は引出電極形成工程の説明図、図７（ｃ）はビア導体形成工程の説明図、図８（ａ）は第２の放電電極形成工程の説明図、図８（ｂ）は放電空間工程の説明図、図８（ｃ）は放電部形成工程の説明図、図９（ａ）は第１の放電電極形成工程の説明図、図９（ｂ）はビア導体形成工程の説明図、図９（ｃ）は引出電極形成工程の説明図、図１０（ａ）はマーク形成工程の説明図、図１０（ｂ）はバレル研磨工程の説明図、図１０（ｃ）は端子形成工程の説明図である。
【００３４】
図７（ａ）に示す絶縁シート供給工程では、未焼成のセラミックシートである絶縁シート１４を供給する。
【００３５】
図７（ｂ）に示す引出電極形成工程では、絶縁シート１４上に引出導体１２を形成する。この引出導体１２は、例えば導電性に優れたペースト状の物質を印刷することで得られる。なお、印刷で形成する場合には、通常、焼成が必要となるが、この焼成は、他の印刷や塗布によって形成された構成要素と同時に、後に焼成するようにすると、工程の合理化を図ることができる。
【００３６】
図７（ｃ）に示すビア導体形成工程では、予め略中央に貫通孔が形成された未焼成のセラミックシートである絶縁シート１５の貫通孔にビア導体１１となる導電性のペーストが塗布されたものを絶縁シート１４および引出導体１２の上面に積層する。
【００３７】
図８（ａ）に示す第２の放電電極形成工程では、絶縁シート１５の上面の一部およびビア導体１１の上面に、第２の放電電極３を形成する。この形成法は、ペースト状の物質を用いて印刷によって行うこともできるし、めっき工法によりあらかじめ第２の放電電極３の形状に導体を形成し、これを絶縁シート１５の上面の一部およびビア導体１１の上面に転写させることでもできる。このとき、第２の放電電極３が、ビア導体１１と物理的に接触するように形成する。また、第２の放電電極３は、耐熱性に優れた物質で形成することが好ましく、その好例としては、タングステンが挙げられる。
【００３８】
図８（ｂ）に示す放電空間工程では、中央部に長方形の開口部を有する絶縁シート１６を絶縁シート１５の上面に積層する。この絶縁シート１６は、絶縁体からなる長方形のシートの中央部に開口部を形成して得ることができるし、中央部に開口部が形成されたシート形状になるように絶縁材料を印刷して得ることもできる。
【００３９】
図８（ｃ）に示す放電部形成工程では、絶縁シート１６の開口部に放電部形成剤１７を印刷により充填する。本実施の形態における過電圧保護部品の場合、放電部４は空洞であるので、放電部形成剤１７としてアクリル樹脂を用いている。このアクリル樹脂は後の焼成工程において蒸発するため放電部４としての空洞を容易に形成することができる。アクリル樹脂としては、アクリルビーズを用いることが空洞部を形成する上で好ましい。
【００４０】
図９（ａ）に示す第１の放電電極形成工程では、放電部形成剤１７の上面の一部に第１の放電電極２を形成する。この形成法は、第２の放電電極３を形成するときと同様に、ペースト状の物質を用いて印刷によって行うこともできるし、めっき工法により形成した導体を転写させることでもできる。第１の放電電極２は、耐熱性に優れた物質で形成することが好ましく、例えば、タングステンを用いることができる。
【００４１】
図９（ｂ）に示すビア導体形成工程では、予め略中央に貫通孔が形成された未焼成のセラミックシートである絶縁シート１８の貫通孔に、ビア導体９となる導電性のペーストを塗布しておき、この絶縁シート１８を絶縁シート１６、放電部形成剤１７および第１の放電電極２の上面に積層する。このとき、ビア導体９と第１の放電電極２とが物理的に接触するように形成する。
【００４２】
図９（ｃ）に示す引出電極形成工程では、絶縁シート１８の上面の一部およびビア導体９の上面に引出導体１０を形成する。この引出導体１０も、引出導体１２と同様に、例えば導電性に優れたペースト状の物質を印刷することで得られる。また、引出導体１０はビア導体９と物理的に接触するように形成する。
【００４３】
図１０（ａ）に示すマーク形成工程では、未焼成のセラミックシートである絶縁シート１９の上面に、過電圧保護部品の方向性、即ちいずれの端子が第１の端子７であるかを識別することができるようなマーク１３を形成しておき、この絶縁シート１９を引出導体１０および絶縁シート１８の上面に積層する。このマーク１３は印刷して形成することもできるし、絶縁シート１９の表面に凹凸をつけることで形成することもできる。
【００４４】
このマーク形成工程の後に、焼成工程を行う。この焼成工程により、未焼成のセラミックシートである絶縁シート１４、１５、１６、１８および１９が一体的に固まり基体１になる。また、基体１内で導電性ペーストなどを用いて印刷または塗布により形成した導体も、この焼成工程で硬化する。
【００４５】
図１０（ｂ）に示すバレル研磨工程では、基体１の頂点を丸めてＲ形状にするものである。
【００４６】
図１０（ｃ）に示す端子形成工程では、導電性ペーストを基体１の互いに対向する端面にそれぞれ塗布し、焼成後に電解めっきにより、ニッケルめっき層、さらにスズめっき層を形成して、第１の端子７および第２の端子８を形成する。このとき、第１の端子７は引出導体１０と、第２の端子８は引出導体１２とそれぞれ物理的に接触するように形成する。
【００４７】
以上、過電圧保護部品の製造方法について簡単に説明したが、上記の製造方法に限られず、様々な方法をとることができる。
【００４８】
例えば、一つ一つの過電圧保護部品毎に絶縁シート等を積層するのではなく、一つの大きな絶縁シートから複数の過電圧保護部品を製造するようにすることもできる。この場合は、マーク形成工程までは大きな絶縁シートを用い、マーク形成工程後に個片に分割すればよい。
【００４９】
以上のように構成され、製造された過電圧保護部品の使用方法および動作について、以下に説明をする。
【００５０】
過電圧保護部品は、被保護部品（図示せず）が接続されている信号線（図示せず）とグランド線（図示せず）との間に接続させて使用される。本実施の形態における過電圧保護部品においては、第１の端子７をグランド側の電極に接続し、第２の端子８の端子を信号側の電極になるように接続して使用することができる。通常の使用状態においては、放電部４が絶縁体として機能するので、第１の端子７と第２の端子８間に電気は流れない。しかし、信号線に過電圧が印加されると第１の放電電極２と第２の放電電極３間に放電が生じるので、信号線に印加された過電圧成分が過電圧保護部品を通ってグランドに流れ、これにより被保護部品を過電圧から保護することができる。
【００５１】
図１１は本発明における実施の形態１の過電圧保護部品のバリエーションの正面断面図である。このバリエーションの過電圧保護部品は、第１の放電電極２が第１の端子７と接続し、第２の放電電極３が第２の端子８と接続する構成になっている。このような場合においても、第１の有効電極部５は第１の放電電極２の表面の中で第２の放電電極３と対向している面内で、放電部４と接触している領域であり、第２の有効電極部６においても同様であり、それぞれ図１１において破線で囲んでいる部分がこれらに該当する。
【００５２】
そして、第１の有効電極部５の面積と第２の有効電極部６の面積との関係も、前者が後者より大きくなるような構成にしている。好ましくは、第１の有効電極部５の面積が第２の有効電極部６の面積の５倍以上とすることである。これにより、放電電流を増加させることができる。
【００５３】
以上のように、本実施の形態の過電圧保護部品は、基体１と、この基体１の内部に形成された放電部４と、基体１の内部に放電部４と少なくとも一部が接するように設けられた第１の放電電極２と、基体１の内部に放電部４と少なくとも一部が接するように、かつ放電部４を介して少なくとも一部が第１の放電電極２と対向するように設けられた第２の放電電極３と、第２の放電電極３と対向している第１の放電電極２の面内の領域であって、放電部４と接している第１の有効電極部５と、第１の放電電極２と対向している第２の放電電極３の面内の領域であって、放電部４と接している第２の有効電極部６と、グランド側の端子として基体１の外部に形成された第１の端子７と、信号側の端子として基体１の外部に形成された第２の端子８とを備え、第１の放電電極２は第１の端子７と電気的に接続され、第２の放電電極３は第２の端子８と電気的に接続され、第１の有効電極部５の面積が第２の有効電極部６の面積よりも大きいもので、第１の有効電極部５の面積を第２の有効電極部６の面積よりも大きい構成にすることによって高い特性を有することができるものである。
【００５４】
また、第１の有効電極部５の面積が第２の有効電極部６の面積の５倍以上であるので、より多く電子供給作用を促進することができる。
【００５５】
そしてまた、第１の端子７と第２の端子８の判別を行うためのマーク１３が形成されたので、いずれの端子が第１の端子７および第２の端子８であるかの判別が可能になる。
【００５６】
さらに、被保護部品が接続される信号側電極と、グランド側電極とを備えた電気回路において、過電圧保護部品の第１の放電電極２がグランド側電極に電気的に接続され、第２の放電電極３が信号側電極に電気的に接続されたものであり、グランドと接続される側の第１の有効電極部５の面積を被保護部品と接続される側の第２の有効電極部６の面積よりも大きい構成にすることによって高い特性を有することができる。
【００５７】
さらにまた、第２の放電電極３に静電気を印加することにより、第１の放電電極２と第２の放電電極３との間に電荷を移動させるもので、静電気が印加される側の第２の有効電極部６の面積よりグランドと接続される側の第１の有効電極部５の面積を大きい構成にすることによって高い特性を有することができる。
【００５８】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に、請求項３に記載の発明について説明する。
【００５９】
図１２は本発明の実施の形態２における過電圧保護部品の正面断面図である。図中の符号は実施の形態１と同様の構成要素を示している。
【００６０】
実施の形態２の過電圧保護部品が実施の形態１の過電圧保護部品と異なる点は、第１の放電電極２の厚みが第２の放電電極３の厚みより厚くなるような構成になっていることである。これは、第１の放電電極２の厚みを厚くすることで第１の放電電極２の電子供給作用を促進させることができるので、放電能力を向上することができる。
【００６１】
このような構成にしても実施の形態１の過電圧保護部品と同様の作用効果を有することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明にかかる過電圧保護部品、これを用いた電気回路および過電圧保護部品の使用方法は、高い特性を有することができるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態１における過電圧保護部品の正面断面図
【図２】同過電圧保護部品の上面方向からの平面断面図
【図３】同過電圧保護部品の底面方向からの平面断面図
【図４】同過電圧保護部品の右側面断面図
【図５】同過電圧保護部品の平面図
【図６】同過電圧保護部品の分解斜視図
【図７】（ａ）同過電圧保護部品の絶縁シート供給工程の説明図、（ｂ）同過電圧保護部品の引出電極形成工程の説明図、（ｃ）同過電圧保護部品のビア導体形成工程の説明図
【図８】（ａ）同過電圧保護部品の第２の放電電極形成工程の説明図、（ｂ）同過電圧保護部品の放電空間工程の説明図、（ｃ）同過電圧保護部品の放電部形成工程の説明図
【図９】（ａ）同過電圧保護部品の第１の放電電極形成工程の説明図、（ｂ）同過電圧保護部品のビア導体形成工程の説明図、（ｃ）同過電圧保護部品の引出電極形成工程の説明図
【図１０】（ａ）同過電圧保護部品のマーク形成工程の説明図、（ｂ）同過電圧保護部品のバレル研磨工程の説明図、（ｃ）同過電圧保護部品の端子形成工程の説明図
【図１１】同過電圧保護部品のバリエーションの正面断面図
【図１２】本発明の実施の形態２における過電圧保護部品の正面断面図
【符号の説明】
【００６４】
１  基体
２  第１の放電電極
３  第２の放電電極
４  放電部
５  第１の有効電極部
６  第２の有効電極部
７  第１の端子
８  第２の端子
９  ビア導体
１０  引出導体
１１  ビア導体
１２  引出導体
１３  マーク
１４  絶縁シート
１５  絶縁シート
１６  絶縁シート
１７  放電部形成剤
１８  絶縁シート
１９  絶縁シート
【図１】
2010040242.tif 000003
【図２】
2010040242.tif 000004
【図３】
2010040242.tif 000005
【図４】
2010040242.tif 000006
【図５】
2010040242.tif 000007
【図６】
2010040242.tif 000008
【図７】
2010040242.tif 000009
【図８】
2010040242.tif 000010
【図９】
2010040242.tif 000011
【図１０】
2010040242.tif 000012
【図１１】
2010040242.tif 000013
【図１２】
2010040242.tif 000014