(57)【要約】【課題】良好な化成処理性を有する接合部を形成することが可能であるレーザブレージング方法を、提供する。【解決手段】母材である鋼板１０，１２の合わせ面Ｉに沿って供給されるろう材であるＣｕ−Ｓｉ系の溶融材料５０を、合わせ面Ｉに沿って移動するレーザ光Ｌによって溶解し、鋼板１０，１２を接合する際、溶融材料５０の供給部位よりレーザ光Ｌの移動方向側に位置する鋼板１０，１２の一部を、レーザ光によって直接溶融させることによって、鋼板由来の鉄成分を含有する接合部６０を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
母材である鋼板の合わせ面に沿って供給されるろう材であるＣｕ−Ｓｉ系の溶融材料を、前記合わせ面に沿って移動するレーザ光によって溶解し、前記鋼板を接合する際、前記溶融材料の供給部位より前記レーザ光の移動方向側に位置する前記鋼板の一部を、前記レーザ光によって直接溶融させることによって、鋼板由来の鉄成分を含有する接合部を形成することを特徴とするレーザブレージング方法。
【請求項２】
前記レーザ光のスポット径を拡大することによって、前記鋼板の一部を溶融することを特徴とする請求項１に記載のレーザブレージング方法。
【請求項３】
前記レーザ光による投入熱量を増加させることによって、前記鋼板の一部を溶融することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のレーザブレージング方法。
【請求項４】
前記鋼板の表面に直交する垂線と前記レーザ光との間の角度によって定義されるレーザ光照射角度を、前進角となるように傾斜させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザブレージング方法。
【請求項５】
前記鋼板の合わせ面には、隙間が配置されており、
前記溶融材料を、前記レーザ光によって溶解し、前記鋼板を接合する際、前記レーザ光を、前記隙間を経由して板間に導入することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザブレージング方法。
【請求項６】
前記溶融材料は、鉄成分を含有する被覆層を有しており、
前記溶融材料を、前記レーザ光によって溶解し、前記鋼板を接合する際、被覆層由来の鉄成分を含有する接合部を形成することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のレーザブレージング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザブレージング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用鋼板の接合に、レーザブレージング方法が適用されている（例えば、特許文献１参照。）。レーザブレージング方法においては、突合わせあるいは重ね合せられた鋼板の合わせ面に沿って供給されるワイヤに、レーザ光を照射することで、鋼板を接合している。ワイヤは、強度、ビード外観および価格などを考慮して、Ｃｕ−Ｓｉ系が適用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２２５７８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、Ｃｕ−Ｓｉ系のワイヤは、銅含有量が多いため、化成処理性に問題を有する。例えば、接合された自動車用鋼板は、化成処理が施された後で、塗装されるが、前記接合部は、化成皮膜の形成されないため、塗装不良が発生する虞がある。一方、前記接合部をシールし、塗装不良の発生を抑制する場合、製造コストが上昇する問題が生じる。
【０００５】
本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、良好な化成処理性を有する接合部を形成することが可能であるレーザブレージング方法を、提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明は、母材である鋼板の合わせ面に沿って供給されるろう材であるＣｕ−Ｓｉ系の溶融材料を、前記合わせ面に沿って移動するレーザ光によって溶解し、前記鋼板を接合するレーザブレージング方法である。当該方法においては、前記溶融材料の供給部位より前記レーザ光の移動方向側に位置する前記鋼板の一部を、前記レーザ光によって直接溶融させることによって、鋼板由来の鉄成分を含有する接合部を形成する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、銅含有量が多いＣｕ−Ｓｉ系の溶融材料を、ろう材として適用しても、接合部は、鋼板由来の鉄成分を含有するため、化成皮膜を形成することが可能である。つまり、良好な化成処理性を有する接合部を形成することが可能であるレーザブレージング方法を、提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係るレーザブレージング装置を説明するための斜視図である。
【図２】実施の形態１に係るレーザブレージング装置を説明するための側面図である。
【図３】実施の形態１に係るレーザブレージング方法を説明するための平面図である。
【図４】実施の形態１に係るビードを説明するための断面図である。
【図５】実施の形態１に係る化成処理反応における鉄挙動の説明図である。
【図６】実施の形態１に変形例１を説明するための平面図である。
【図７】実施の形態１に変形例２を説明するためのグラフである。
【図８】実施の形態１に変形例３を説明するための斜視図である。
【図９】実施の形態１に変形例３を説明するための平面図である。
【図１０】実施の形態１に変形例４を説明するための断面図である。
【図１１】実施の形態１に変形例５を説明するための断面図である。
【図１２】実施の形態２に係るレーザブレージング方法を説明するための斜視図である。
【図１３】実施の形態２に係るレーザブレージング方法を説明するための平面図である。
【図１４】実施の形態２に係るビードを説明するための断面図である。
【図１５】実施の形態２に係る変形例１を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１０】
図１および図２は、実施の形態１に係るレーザブレージング装置を説明するための斜視図および側面図である。
【００１１】
実施の形態１に係るレーザブレージング装置１００は、加工ヘッド１１０、発振器１２０、ワイヤ供給部１３０、ロボットアーム１４０および制御装置１５０を有しており、突合わされたワーク（母材である鋼板）１０，１２の合わせ面Ｉに沿って供給されるワイヤ（溶融材料）５０に、レーザ光Ｌを照射することで、ワーク１０，１２を接合し、突合わせ継手（拝み継手）を形成するために使用される。ワーク１０，１２は、自動車車体のフードやドアパネルなどの車体パネルを形成する部品であり、亜鉛めっき鋼板からなる。ワイヤ５０は、Ｃｕ−Ｓｉ系のろう材であり、ビード（接合部）６０を形成する。
【００１２】
なお、レーザ光Ｌの出力やスポット径は、後述するように、ワーク１０，１２およびワイヤ５０の構成などを考慮し、ワーク由来（鋼板由来）の鉄成分を含有するビード６０を形成するように、設定される。そのため、形成されるビード６０は、銅含有量が多いＣｕ−Ｓｉ系の溶融材料を、ろう材として適用されていても良好な化成処理性を有する。
【００１３】
加工ヘッド１１０は、コリメーションレンズ、集光レンズ、プリズム等を有する光学系が内蔵されており、発振器１２０からのレーザ光Ｌを、ワイヤ５０に照射するために使用され、また、ワイヤ供給部１３０およびロボットアーム１４０を取り付けるためのブラケット１１２を有する。
【００１４】
発振器１２０は、例えば、ＹＡＧレーザが適用され、光学系、電源、制御系、冷却ガス循環系等を内蔵しており、発生させたレーザ光Ｌを、導光部材である光ファイバーケーブル１２２を介して加工ヘッド１１０に供給するために使用される。制御系には、例えば、電力を変更することで発振出力を調整する出力調整ユニットが配置されている。発振器１２０は、半導体レーザなどの他の固体レーザや、炭酸ガスレーザ等のガスレーザを、適宜適用することも可能である。
【００１５】
ワイヤ供給部１３０は、例えば、サーボモータによって回転する一対のガイドローラを有しており、ワイヤリール１３２に巻回されたワイヤ５０の供給速度を制御し、ワーク１０，１２の合わせ面Ｉに沿って供給するために使用される。また、ワイヤ供給部１３０は、ブラケット１１２を介して加工ヘッド１１０に連結されており、ワイヤ５０の供給角度を調整することが可能である。なお、供給角度は、ワーク表面に対する傾斜角度およびワーク１０，１２の合わせ面Ｉの延長方向に対する交差角度によって定義される。
【００１６】
ロボットアーム１４０は、多関節（多軸）式であり、加工ヘッド１１０およびワイヤ供給部１３０を、自律動作によりワーク１０，１２の合わせ面Ｉに沿って所定の経路を移動させるために使用され、加工ヘッド１１０からのレーザ光Ｌの照射角度およびブレージング速度を調整自在に、設定されている。なお、照射角度は、ワーク表面に直交する垂線とレーザ光Ｌとの間の角度によって定義される。なお、加工ヘッド１１０およびワイヤ供給部１３０の移動手段は、ロボットアーム１４０に限定されない。
【００１７】
制御装置１５０は、例えば、中央演算処理装置や記憶装置などを有するプログラマブルコントローラからなり、加工ヘッド１１０、発振器１２０、ワイヤ供給部１３０およびロボットアーム１４０を、一体的に制御するために使用される。
【００１８】
なお、アルゴンガス等のシールドガス（アシストガス）を供給する機構を配置し、ブレージング時における酸化皮膜の生成を抑制したり、冷却機構を設けて、ブレージング時における発熱を吸収したりすることも好ましい。なお、符号Ｓは、レーザスポットを示している。
【００１９】
次に、実施の形態１に係るレーザブレージング方法を説明する。
【００２０】
図３は、実施の形態１に係るレーザブレージング方法を説明するための平面図、図４は、実施の形態１に係るビードを説明するための断面図、図５は、実施の形態１に係る化成処理反応における鉄挙動の説明図である。
【００２１】
実施の形態１に係るレーザブレージング方法においては、まず、亜鉛めっき鋼板からなるワーク１０，１２を位置決めし、突合わすことで、継手となる合わせ面Ｉを形成する。制御装置１５０は、加工ヘッド１１０、発振器１２０、ワイヤ供給部１３０およびロボットアーム１４０を、一体的に制御し、レーザブレージングを開始させる。
【００２２】
ワイヤ供給部１３０は、ワイヤリール１３２に巻回されたＣｕ−Ｓｉ系のワイヤ５０を引き出す。ロボットアーム１４０は、加工ヘッド１１０およびワイヤ供給部１３０を、自律動作によりワーク１０，１２の合わせ面Ｉに沿って移動させる。したがって、ワイヤ５０は、ワーク１０，１２の合わせ面Ｉに沿って供給されることになる。
【００２３】
一方、発振器１２０は、発生させたレーザ光を、光ファイバーケーブル１２２を介して加工ヘッド１１０に供給する。加工ヘッド１１０は、発振器１２０からのレーザ光Ｌを、照射する。加工ヘッド１１０は、ロボットアーム１４０によってワイヤ供給部１３０と一体的に駆動されているため、レーザ光Ｌは、合わせ面Ｉに沿って移動しながら、ワーク１０，１２の合わせ面Ｉに沿って供給されているワイヤ５０を溶解する（図３参照）。
【００２４】
この際、ワイヤ５０の供給部位よりレーザ光Ｌの移動方向側に位置するワーク１０，１２の一部１４を、レーザ光Ｌによって直接溶融させることによって、鋼板由来の鉄成分を含有するビード６０（図４参照）を形成し、ワーク１０，１２が接合される。ビード６０は、銅含有量が多いＣｕ−Ｓｉ系のワイヤ５０を、ろう材として適用しても、鋼板由来の鉄成分を含有するため、化成皮膜を形成することが可能である。
【００２５】
そして、レーザブレージングを継続し、ワーク１０，１２の合わせ面Ｉの接合が完了し、突合わせ継手が形成されると、加工ヘッド１１０、発振器１２０およびワイヤ供給部１３０は、稼動を停止し、ロボットアーム１４０は、退避位置に復帰する。
【００２６】
なお、突合わせ継手が形成されたワーク１０，１２は、塗装前に良好な耐食性を持つ塗装下地層を形成するために、例えば、ディップ方式や連続スプレー方式が適用され、脱脂洗浄処理および化成処理が施される。
【００２７】
脱脂洗浄処理においては、防錆力、下塗り塗料との関連、量産性などの観点から、例えば、エマルジョン系やアルカリ系の脱脂剤、リン酸亜鉛系化成剤が利用される。
【００２８】
化成処理においては、鉄や亜鉛との相性が良いリン酸亜鉛処理液が適用される。リン酸亜鉛処理液は、例えば、リン酸、第１リン酸亜鉛を主体として、促進剤として酸化剤（硝酸、亜硝酸塩、塩素酸塩など）、還元剤、金属塩などを含んでいる。
【００２９】
リン酸亜鉛処理液を用いた化成処理においては、図５に示されるように、ワーク１０，１２表面の鉄は、リン酸亜鉛処理液に浸漬されることにより、遊離のリン酸によってエッチングを受けて溶解する。そして、溶解による鉄イオンと処理液中のリン酸イオンとが反応し、Ｆｅ２Ｏ３を含有する皮膜を形成する。つまり、イオン交換による析出反応(化学的反応)で化成被膜が形成される。この際、ワーク１０，１２のビード６０は、銅含有量が多いＣｕ−Ｓｉ系のワイヤ５０をろう材として形成されているが、鋼板由来の鉄成分を含有するため、その表面にも、化成皮膜が同様に形成される。そのため、塗装不良の発生が抑制され、かつ、ビード６０をシールすることが不要であり、製造コストの上昇を避けることができる。
【００３０】
塗装処理は、例えば、下塗り工程、中塗り工程および上塗り工程を有する。下塗り工程においては、電着塗装や粉体塗装によって、下塗り塗膜が形成される。下塗り塗膜は、例えば、塗膜の防錆性を向上させる機能を有する。中塗り工程および上塗り工程においては、エアスプレーやエアレススプレーや静電塗装によって、中塗り塗膜および上塗り塗膜が、それぞれ形成される。中塗り塗膜は、例えば、下塗り塗膜の欠陥を補うと共に上塗り仕上がりの外観向上のための表面調整の機能を有する。上塗り塗膜は、例えば、美観の付与と環境に対する耐久性（耐候性、耐薬品性、耐磨耗性など）を付与する機能を有する。
【００３１】
図６は、実施の形態１に変形例１を説明するための平面図である。
【００３２】
母材であるワーク１０，１２は、レーザスポットＳの径Ｄを拡大することによって、容易に溶融することも可能である。これは、図６に示されるように、ワーク１０，１２におけるレーザ光Ｌが直接照射される範囲が拡大するためである。径Ｄの拡大は、レーザ光焦点をワーク表面から離間させ、あるいは、レーザ光の集光条件を変更することによって、達成することが可能である。
【００３３】
レーザ光焦点のワーク表面からの離間は、例えば、ロボットアーム１４０のプログラムを変更し、加工ヘッド１１０とワーク１０，１２との間の離間距離を調整することで可能である。レーザ光の集光条件は、例えば、加工ヘッド１１０の光学系を調整することで変更することが可能である。
【００３４】
なお、レーザ出力を３ｋＷ、ブレージング速度を３ｍ／ｍｉｎ、ワイヤ径を１ｍｍ、ワイヤ供給速度を４．２ｍ／ｍｉｎとする条件において、母材溶融は、レーザスポット径が３ｍｍ以上（ワイヤ径に対して３倍以上）において、発生した。したがって、レーザスポット径は、上記値が好ましい。
【００３５】
図７は、実施の形態１に変形例２を説明するためのグラフであり、レーザ出力、レーザスポット径および母材溶融との関係を示している。
【００３６】
母材であるワーク１０，１２は、レーザ光による投入熱量を増加させることによって、容易に溶融することも可能である。投入熱量の増加は、発振器１２０の出力調整ユニットを調整してレーザ出力を増加させ、あるいは、ロボットアーム１４０のプログラムを変更してブレージング速度を低下させることによって、達成することが可能である。
【００３７】
例えば、レーザスポット径を２ｍｍ、ブレージング速度を３ｍ／ｍｉｎ、ワイヤ径を１ｍｍ、ワイヤ供給速度を４．２ｍ／ｍｉｎとする条件において、レーザ出力が３ｋＷである場合、母材溶融は生じないが、４ｋＷ（母材溶融が生じないレーザ出力の１．３倍）以上である場合、母材溶融が発生する。したがって、レーザ出力は、上記値が好ましい。なお、ブレージング速度の場合、２ｍ／ｍｉｎ以下に低下させることが好ましい。この場合、投入熱量が１．３倍以上となるため、母材溶融を容易に発生させることが可能である。
【００３８】
図８および図９は、実施の形態１に変形例３を説明するための斜視図および平面図である。
【００３９】
ワーク表面に直交する垂線Ｐとレーザ光Ｌとの間の角度によって定義されるレーザ光Ｌの照射角度θＬは、前進角となるように傾斜させることも好ましい。この場合、レーザスポットＳの形状が楕円（図９参照）となり、レーザ光Ｌの一部が、ビード６０の前方の広い範囲に照射される。そのため、ワイヤ５０の供給部位よりレーザ光Ｌの移動方向側に位置するワーク１０，１２の一部１４を、容易に溶融させることが可能である。
【００４０】
なお、レーザ出力を３ｋＷ、レーザスポット径を２ｍｍ、ブレージング速度を３ｍ／ｍｉｎ、ワイヤ径を１ｍｍ、ワイヤ供給速度を４．２ｍ／ｍｉｎとする条件において、母材溶融は、照射角度θＬが４０°以上の前進角において、発生した。したがって、照射角度θＬは、上記値が好ましい。
【００４１】
図１０は、実施の形態１に変形例４を説明するための断面図である。
【００４２】
ワーク１０，１２の合わせ面Ｉには、隙間Ｃを配置することも好ましい。この場合、ワイヤ５０をレーザ光Ｌによって溶解し、ワーク１０，１２を接合する際、レーザ光Ｌが、隙間Ｃを経由して板間に導入される。これにより、母材であるワーク１０，１２が付加的に加熱されるため、その溶融が容易となる。
【００４３】
なお、レーザ出力を３ｋＷ、レーザスポット径を２ｍｍ、ブレージング速度を３ｍ／ｍｉｎ、ワイヤ径を１ｍｍ、ワイヤ供給速度を４．２ｍ／ｍｉｎとする条件において、母材溶融は、隙間Ｃの幅が０．４ｍｍ以上（ワイヤ径に対して０．４倍以上）において、発生した。したがって、隙間Ｃの幅は、上記値が好ましい。
【００４４】
図１１は、実施の形態１に変形例５を説明するための断面図である。
【００４５】
ワイヤ５０は、鉄めっき層（鉄成分を有する被覆層）５２を有することも好ましい。この場合、ワイヤ５０をレーザ光によって溶解し、ワークを接合する際、鉄めっき層由来の鉄成分を含有するビードが形成される。これにより、ビードは、ワーク由来の鉄成分に加え、鉄めっき層由来の鉄成分を含有することとなるため、母材であるワークの溶融量を減少させても、良好な化成処理性を維持することができる。したがって、投入熱量を減少させることによって、レーザブレージングに起因するひずみを抑制しかつレーザブレージング速度を向上させることが可能である。なお、鉄めっき量としては、ワイヤ重量の５％以上が好ましい。
【００４６】
以上のように、実施の形態１においては、ワークを接合し、突合わせ継手を形成することが可能であり、そのビードは、銅含有量が多いＣｕ−Ｓｉ系のワイヤを、ろう材として適用しても、鋼板由来の鉄成分を含有する。そのため、化成皮膜を形成することが可能であり、ビードをシールすることなく、塗装不良の発生を抑制し、製造コストの上昇を避けることができる。つまり、良好な化成処理性を有するビードを形成することが可能であるレーザブレージング方法を、提供することができる。
【００４７】
また、レーザ光焦点をワーク表面から離間させ、あるいは、レーザ光の集光条件を変更することによって、レーザスポット径を拡大させ、ワークの溶融を達成する場合、ワークにおけるレーザ光が直接照射される範囲が拡大するため、ワークの溶融が容易となる。レーザスポット径は、ワイヤ径に対して３倍以上が好ましい。
【００４８】
レーザ出力を増加させ、あるいは、ブレージング速度を低下させることによって、レーザ光による投入熱量を増加させ、ワークの溶融を達成する場合、投入熱量が増えるため、ワークの溶融が容易となる。投入熱量は、ワイヤ溶融（ワークの接合）が生じるが母材溶融は生じない場合の１．３倍以上が好ましい。
【００４９】
レーザ光の照射角度を、前進角となるように傾斜させる場合、レーザ光の一部がビードの前方の広い範囲に照射されるため、ワイヤの供給部位よりレーザ光の移動方向側に位置するワークの一部を、容易に溶融させることが可能である。前進角は、４０°以上が好ましい。
【００５０】
ワークの合わせ面に、隙間を配置する場合、レーザ光が、隙間を経由して板間に導入され、母材であるワークが付加的に加熱されるため、その溶融が容易となる。隙間の幅は、ワイヤ径に対して０．４倍以上が好ましい。
【００５１】
ワイヤに、鉄めっき層を設ける場合、ビードは、ワーク由来の鉄成分に加え、鉄めっき層由来の鉄成分を含有することとなるため、ワークの溶融量を減少させても、良好な化成処理性を維持することができる。したがって、投入熱量を減少させることによって、レーザブレージングに起因するひずみを抑制しかつレーザブレージング速度を向上させることが可能である。鉄めっき量としては、ワイヤ重量の５％以上が好ましい。
【００５２】
次に、実施の形態２を説明する。
【００５３】
図１２および図１３は、実施の形態２に係るレーザブレージング方法を説明するための斜視図および平面図、図１４は、実施の形態２に係るビードを説明するための断面図である。
【００５４】
実施の形態２は、形成される継手の構成に関し、実施の形態１と概して異なっており、ワーク２０，２２は、重ね合わされた状態で接合され、重ね隅肉継手を形成する。つまり、実施の形態２に係るレーザブレージング方法においては、重ね合わされたワーク２０，２２の合わせ面Ｉに沿って供給されるＣｕ−Ｓｉ系のワイヤ５０を、合わせ面Ｉに沿って移動するレーザ光Ｌによって溶解し、ワーク２０，２２を接合する際、ワイヤ５０の供給部位よりレーザ光Ｌの移動方向側に位置するワーク２０，２２の一部２４を、レーザ光Ｌによって直接溶融させることによって、図１４に示されるように、ワーク由来の鉄成分を含有するビード６２を形成する。
【００５５】
したがって、銅含有量が多いＣｕ−Ｓｉ系のワイヤを、ろう材として適用しても、ビード６２は、鋼板由来の鉄成分を含有するため、化成皮膜を形成することが可能であり、ビード６２をシールすることなく、塗装不良の発生を抑制し、製造コストの上昇を避けることができる。
【００５６】
図１５は、実施の形態２に係る変形例１を説明するための断面図である。
【００５７】
ワーク２０，２２の合わせ面Ｉは、実施の形態１に係る変形例４と同様に、隙間Ｃを配置することも好ましい。この場合、レーザ光Ｌが、隙間Ｃを経由して板間に導入され、母材であるワーク２０，２２が付加的に加熱されるため、その溶融が容易となる。
【００５８】
以上のように、実施の形態２においては、重ね合わされたワークを接合し、重ね隅肉継手を形成することが可能である。また、ワークの合わせ面には、隙間を配置する場合、レーザ光が、隙間を経由して板間に導入され、ワークが付加的に加熱されため、その溶融が容易となる。
【００５９】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲で種々改変することができる。例えば、実施の形態１に係る変形例１〜３および５を、実施の形態２に適用することが可能である。
【００６０】
ワークは、自動車車体のフードやドアパネルなどの車体パネルを形成する部品に限定されない。また、ワークを構成する鋼板は、亜鉛めっき鋼板以外を適用することも可能である。さらに、ワークを接合して形成される継手は、突合わせ継手（拝み継手）および重ね隅肉継手に限定されない。
【符号の説明】
【００６１】
１０，１２，２０，２２  ワーク（母材である鋼板）、
１４，２４  ワークの一部、
５０  ワイヤ（溶融材料）、
５２  鉄めっき層（鉄成分を有する被覆層）、
６０，６２  ビード（接合部）、
１００  レーザブレージング装置、
１１０  加工ヘッド、
１１２  ブラケット、
１２０  発振器、
１２２  光ファイバーケーブル、
１３０  ワイヤ供給部、
１３２  ワイヤリール、
１４０  ロボットアーム、
１５０  制御装置、
Ｃ  隙間、
Ｄ  レーザスポット径、
Ｉ  合わせ面、
Ｌ  レーザ光、
Ｐ  垂線、
Ｓ  レーザスポット、
θＬ  照射角度。
【図１】
2010201434.tif 000003
【図２】
2010201434.tif 000004
【図３】
2010201434.tif 000005
【図４】
2010201434.tif 000006
【図５】
2010201434.tif 000007
【図６】
2010201434.tif 000008
【図７】
2010201434.tif 000009
【図８】
2010201434.tif 000010
【図９】
2010201434.tif 000011
【図１０】
2010201434.tif 000012
【図１１】
2010201434.tif 000013
【図１２】
2010201434.tif 000014
【図１３】
2010201434.tif 000015
【図１４】
2010201434.tif 000016
【図１５】
2010201434.tif 000017