(57)【要約】      （修正有）【課題】製造品質の良好な半導体製造装置を指定して製造させることが可能な生産管理システムを提供する。【解決手段】複数の半導体製造装置のうちから選択製造装置を決定し、搬送指示を出力するホストコンピュータと、半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種とランクＡ品種以外のランクＢ品種に分類され、ランクＡ品種の識別子とランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するランクＡ品種ＤＢと、複数の半導体製造装置の各々が工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と各半導体製造装置が製造した半導体製品の品質に基づく品質情報とを各半導体製造装置に対応させて記録する設備号機ＤＢとを具備し、各半導体製造装置のうちで工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能な半導体製造装置のうちから、品質情報に基づいて品質情報が良好な半導体製造装置を選択製造装置として決定する。【選択図】図１
2010045115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体製造装置のうちから選択製造装置を決定し、搬送指示を出力するホストコンピュータと、
前記搬送指示に基づいて、前記選択製造装置へ半導体製品のロットを搬送する搬送制御装置と
を備え、
前記半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種と、前記ランクＡ品種以外の前記ランクＢ品種に分類され、
前記ホストコンピュータは、
前記ランクＡ品種の識別子と、前記ランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するランクＡ品種ＤＢと、
前記複数の半導体製造装置の各々が前記工程条件において前記ランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と、前記各半導体製造装置が製造した前記半導体製品の前記品質に基づく品質情報とを、前記各半導体製造装置に対応させて記録する設備号機ＤＢと
を具備し、
前記各半導体製造装置のうちで前記工程条件において前記ランクＡ品種を製造することが可能な前記半導体製造装置のうちから、前記品質情報に基づいて前記品質情報が良好な半導体製造装置を、前記選択製造装置として決定する
生産管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の生産管理システムであって、
前記品質情報は、前記各半導体製造装置におけるウェハの欠陥数、工程能力指数、歩留り率のうちのいずれか、または複数に基づいており、
前記ホストコンピュータは、前記品質情報にそれぞれ定められた一定の閾値に基づいて、前記各半導体設備装置のうち前記閾値を超える半導体製造装置、あるいは前記品質情報のうちで最も良好な値を示す半導体製造装置を、前記品質良好製造装置と決定する
生産管理システム。
【請求項３】
請求項２に記載の生産管理システムであって、
前記品質情報は、前記各半導体製造装置において統計が採られており、
前記ホストコンピュータは、前記各半導体製造装置から前記品質情報を取得する
生産管理システム。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載の生産管理システムで使用されるホストコンピュータ。
【請求項５】
複数の半導体製造装置のうちから選択製造装置を決定し、搬送指示を出力するステップと、
前記搬送指示に基づいて、前記選択製造装置へ半導体製品のロットを搬送するステップと、
前記半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種と、前記ランクＡ品種以外の前記ランクＢ品種に分類され、
前記ランクＡ品種の識別子と、前記ランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するステップと、
前記複数の半導体製造装置の各々が前記工程条件において前記ランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と、前記各半導体製造装置が製造した前記半導体製品の前記品質に基づく品質情報とを、前記各半導体製造装置に対応させて記録するステップと、
前記各半導体製造装置のうちで前記工程条件において前記ランクＡ品種を製造することが可能な前記半導体製造装置のうちから、前記品質情報に基づいて前記品質情報が良好な半導体製造装置を、前記選択製造装置として決定するステップと
を備える生産管理方法。
【請求項６】
請求項５に記載の生産管理方法であって、
前記品質情報は、前記各半導体製造装置におけるウェハの欠陥数、工程能力指数、歩留り率のうちのいずれか、または複数であり、
選択製造装置として決定するステップは、
前記品質情報にそれぞれ定められた一定の閾値に基づいて、前記各半導体設備装置のうち前記閾値を超えた半導体製造装置、あるいは前記品質情報のうちで最も良好な値を示す半導体製造装置を前記選択製造装置と決定するステップ
を含む生産管理方法。
【請求項７】
請求項６に記載の生産管理方法であって、
前記品質情報は、前記各半導体製造装置において統計が採られており、
前記各半導体製造装置から前記品質情報を取得するステップをさらに備える
生産管理方法。
【請求項８】
複数の半導体製造装置のうちから選択する選択製造装置を決定し、半導体製品のロットの搬送指示を出力するステップと、
前記半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種と、前記ランクＡ品種以外の前記ランクＢ品種に分類され、
前記ランクＡ品種の識別子と、前記ランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するステップと、
前記複数の半導体製造装置の各々が前記工程条件において前記ランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と、前記各半導体製造装置が製造した前記半導体製品の前記品質に基づく品質情報とを、前記各半導体製造装置に対応させて記録するステップと、
前記各半導体製造装置のうちで前記工程条件において前記ランクＡ品種を製造することが可能な前記半導体製造装置のうちから、前記品質情報に基づいて前記品質情報が良好な半導体製造装置を、前記選択製造装置として決定するステップと
を備える生産管理プログラム。
【請求項９】
請求項８に記載の生産管理プログラムであって、
前記品質情報は、前記各半導体製造装置におけるウェハの欠陥数、工程能力指数、歩留り率のうちのいずれか、または複数であり、
選択製造装置として決定するステップは、
前記品質情報にそれぞれ定められた一定の閾値に基づいて、前記各半導体設備装置のうち前記閾値を超えた半導体製造装置、あるいは前記品質情報のうちで最も良好な値を示す半導体製造装置を前記選択製造装置と決定するステップ
を含む生産管理プログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載の生産管理プログラムであって、
前記品質情報は、前記各半導体製造装置において統計が採られており、
前記各半導体製造装置から前記品質情報を取得するステップをさらに備える
生産管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産管理システムに関し、特に半導体製造装置の生産管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
生産管理システムは、半導体製造装置の製造工程における管理・制御を行う。開発されたＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ：以下、半導体製品）は、用途や機能に応じて品名が付与される。生産管理システムは、品名に対応した工程条件や、使用する半導体製造装置の機種・号機を設定する。半導体製造装置は、生産管理システムからの命令に従って、半導体製品の製造作業を行う。半導体製造装置は、通常、同一の工程条件のおいて複数の設備が用意される。これら複数の半導体製造装置は、半導体製品の生産数の増加や、あるいは半導体製造装置の突発的な故障に対応するために用意される。生産管理システムは、これら複数の半導体製造装置のうちから、半導体製品の品名や、仕掛り状況に応じて、製造作業を行う設備を指定する。
【０００３】
生産管理システムに関する関連技術として、次のようなものが開示されている。
【０００４】
特許文献１は、所定の物体を一連の複数の作業工程を経て製造する生産ラインを管理する生産制御システムにおいて、物体の製造作業における基本データとなる製品毎の、及び／又は、当該製品のロット製品工程手順データ毎でのそれぞれの工程において段階的に作業号機指示を用意に設定でき、生産設備である当該作業号機へ的確に使用すべき作業号機の指定を行う事ができる生産制御システムを開示している。特許文献１の生産制御システムは、所定の物体に一連の複数の作業工程を加えて他の物体を製造するに際して、少なくともそれぞれの工程における、作業の種類、使用すべき設備の種類、及び各作業の条件とを含む処理データに従って、少なくとも製品毎あるいは当該製品のロット毎の段階で、上記一連の複数の作業工程の実行順序を設定した工程手順表を作成し、上記工程手順表に記録された上記処理データに従って、所定の作業が順次実行される様に構成された生産制御システムにおいて、所定の作業を所定の種類の作業号機で実行させる為の作業号機指示データを決定する作業号機指示工程が、製品毎の工程手順単位或いは製品ロット毎の工程手順単位の少なくとも何れかの段階における各工程毎に個別に設けられている事を特徴とする。
【特許文献１】特開平９−２６０２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、半導体製造装置は、製造する半導体製品の品質に、一定のゆらぎが存在する。半導体製品は、品種に応じて、品質に一定のばらつきを許容するものと、品質のばらつきを一定程度に抑えた高品質を要求されるものがある。ところが、従来の生産管理システムは、作業の種類、設備の種類、作業条件に基づいて、半導体製品の製造を行う半導体製造装置を指定する。また、従来の生産管理システムは、複数の半導体製造装置で製造可能となった場合、半導体製造装置毎の仕掛り状態によって、製造を行う設備を指定する。つまり、生産管理システムは、高品質を要求される品種（以下、ランクＡ品種）も、ランクＡ品種以外の品種（以下、ランクＢ品種）も、半導体製造装置の工程条件設定に問題がなければ、各設備の仕掛り状況によって、製造対象物を各設備へ振り分けて製造を行う。そのため、ランクＡ品種は、故障ではないが製造品質が他の半導体製造装置より劣る設備で製造が行われる可能性が有る。このような場合、ランクＡ品種であっても、品質のばらつきを一定程度に抑えることができず、高品質な半導体製品とはならない場合があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下に、（発明を実施するための最良の形態）で使用される番号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号は、（特許請求の範囲）の記載と（発明を実施するための最良の形態）との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号を、（特許請求の範囲）に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【０００７】
本発明の生産管理システムは、複数の半導体製造装置（５１〜５４）のうちから選択製造装置を決定し、搬送指示を出力するホストコンピュータ（３０）と、搬送指示に基づいて、選択製造装置へ半導体製品のロットを搬送する搬送制御装置（４０）とを備え、半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種と、ランクＡ品種以外のランクＢ品種に分類され、ホストコンピュータ（３０）は、ランクＡ品種の識別子と、ランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するランクＡ品種ＤＢ（１００）と、複数の半導体製造装置（５１〜５４）の各々が工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と、各半導体製造装置（５１〜５４）が製造した半導体製品の品質に基づく品質情報とを、各半導体製造装置（５１〜５４）に対応させて記録する設備号機ＤＢ（１１０）とを具備し、各半導体製造装置（５１〜５４）のうちで工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能な半導体製造装置のうちから、品質情報に基づいて品質情報が良好な半導体製造装置を、選択製造装置として決定する。
【０００８】
本発明のホストコンピュータは、上述の生産管理システムで使用される。
【０００９】
本発明の生産管理方法は、複数の半導体製造装置のうちから選択製造装置を決定し、搬送指示を出力するステップ（Ｓ４０、Ｓ１３０）と、搬送指示に基づいて、選択製造装置へ半導体製品のロットを搬送するステップ（Ｓ５０、Ｓ１４０）と、半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種と、ランクＡ品種以外のランクＢ品種に分類され、ランクＡ品種の識別子と、ランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するステップ（Ｓ１０、Ｓ１００）と、複数の半導体製造装置の各々が工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と、各半導体製造装置が製造した半導体製品の品質に基づく品質情報とを、各半導体製造装置に対応させて記録するステップ（Ｓ２０、Ｓ１１０）と、各半導体製造装置のうちで工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能な半導体製造装置のうちから、品質情報に基づいて品質情報が良好な半導体製造装置を、選択製造装置として決定するステップ（Ｓ３０、Ｓ１２０）とを備える。
【００１０】
本発明の生産管理プログラムは、複数の半導体製造装置のうちから選択する選択製造装置を決定し、半導体製品のロットの搬送指示を出力するステップ（Ｓ４０、Ｓ１３０）と、半導体製品は、品質のばらつきを一定以下に抑えるべきランクＡ品種と、ランクＡ品種以外のランクＢ品種に分類され、ランクＡ品種の識別子と、ランクＡ品種の工程条件とを対応させて記憶するステップ（Ｓ１０、Ｓ１００）と、複数の半導体製造装置の各々が工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能であるか否かを示す情報と、各半導体製造装置が製造した半導体製品の品質に基づく品質情報とを、各半導体製造装置に対応させて記録するステップ（Ｓ２０、Ｓ１１０）と、各半導体製造装置のうちで工程条件においてランクＡ品種を製造することが可能な半導体製造装置のうちから、品質情報に基づいて品質情報が良好な半導体製造装置を、選択製造装置として決定するステップ（Ｓ３０、Ｓ１２０）とを備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高品質を求められる半導体製品を、当該半導体製品を製造することが可能な複数の半導体製造装置のうちから、半導体製品製造品質の良好な半導体製造装置を指定して製造させることが可能な生産管理システムを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の実施形態による生産管理システムを、以下に説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
はじめに、本発明の第１実施形態について説明を行う。
【００１４】
［構成の説明］
まず、第１実施形態の構成の説明を行う。図１は、本実施形態における生産管理システムの構成を示している。本実施形態の生産管理システムは、事務所端末１０と、製造現場端末２０と、ホストコンピュータ３０と、搬送制御装置４０と、半導体製造装置（以下、設備号機）５１〜５４を備える。
【００１５】
はじめに、事務所端末１０と製造現場端末２０の説明を行う。事務所端末１０と製造現場端末２０は、ホストコンピュータ３０へデータ入力を行うための入力端末である。生産管理システムの管理者（以下、管理者）は、事務所端末１０を使用して、ホストコンピュータ３０へ、ランクＡ品種の登録と、工程条件コードの登録を行う。また、製造現場の現場担当者（以下、現場担当者）は、製造現場端末２０を使用して、ホストコンピュータ３０へ、設備号機５１〜５４のうち製造品質を良好な状態に保っている設備号機（以下、品質良好設備号機）の登録を行う。
【００１６】
事務所端末１０と製造現場端末２０は、パーソナルコンピュータ（以下、ＰＣ）である。そのため、事務所端末１０と製造現場端末２０は、図示されない、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）やＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）のような記憶装置により構成され、事務所端末１０と製造現場端末２０の機能を実現するための処理用プログラムやデータを記録する記憶部と、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）やＲＡＭ（Ｒｏｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）から構成され、記憶部に記憶されたプログラムを実行することにより事務所端末１０と製造現場端末２０の機能を実現する処理部と、キーボードやマウスから構成され、管理者や現場担当者が入力を行うために使用する入力部と、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）で構成され、入力画面１または入力画面５を表示する表示部と、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）ポートで構成され、ホストコンピュータ３０とデータ通信を行う通信部とを備える。なお、本実施形態では、事務所端末１０と製造現場端末２０は、それぞれ別に構成されている。これを、事務所端末１０と製造現場端末２０の機能を備える一つのＰＣで構成しても良い。また、それぞれの入力作業を行う人間も、管理者や現場担当者に限定はしない。
【００１７】
図２は、管理者が、事務所端末１０において、ランクＡ品種の品名と工程条件コードの設定を行う入力画面１である。入力画面１は、事務所端末１０の記憶部に記憶された処理用プログラムを、処理部が実行することによって、表示部へ表示される。入力画面１は、ランクＡ品種名の入力欄２と、工程条件コードの入力欄３と、登録ボタン４を含んでいる。管理者は、事務所端末１０の入力部から、ランクＡ品種名を入力欄２へ、工程条件コードを入力欄３へ入力する。管理者は、入力が完了すると登録ボタン４を押下する。事務所端末１０の処理部は、登録ボタン４が押下されると、入力されたランクＡ品種登録データを、通信部を介してホストコンピュータ３０へ送信する。これによって、ランクＡ品種名と工程条件コードとが、ホストコンピュータ３０へ登録される。なお、ランクＡ品種名と、工程条件コードは、管理者によって予め決定されている。
【００１８】
なお、ランクＡ品種は、前述のとおり、品質が一定以上の高品質である必要がある半導体製品である。ここで、高品質を求められる半導体製品の具体的な例は、自動車の電子制御等に用いられる車載品等を指す。
【００１９】
また、工程条件とは、その工程で作業する際の作業条件（温度、膜厚、ガスの種類等）の指定と作業環境（作業可能な設備号機）の指定の事であり、工程条件コード配下にこれらのデータを指定する。
【００２０】
図３は、現場担当者が、設備号機５１〜５４のうち品質良好設備号機の設定を行う入力画面５である。入力画面５は、製造現場端末２０に記憶部に記憶された処理用プログラムを、処理部が実行することによって、表示部へ表示される。入力画面５は、設備号機コードの入力欄６と登録ボタン７を含んでいる。現場担当者は、製造現場端末２０の入力部から、設備号機コードを入力欄６へ入力する。現場担当者は、入力が完了すると登録ボタン７を押下する。製造現場端末２０の処理部は、登録ボタン７を押下されると、入力された品質良好設備号機登録データを、通信部を介してホストコンピュータ３０へ送信する。これによって、設備号機コードが、ホストコンピュータ３０へ登録される。
【００２１】
なお、本実施形態において、設備号機５１〜５４のうち品質良好設備号機は、現場担当者が予め統計を行う品質に関する統計情報（以下、品質情報）に基づいて決定される。品質良好設備号機であるか否かの判断は、ウェハの欠陥数、工程能力指数、歩留り率といった品質情報に基づいて行う。例えば、ウェハの欠陥数は、各設備号機５１〜５４において、製造したウェハの欠陥数が一定の閾値以下であるかに基づいて判断を行う。また、工程能力指数は、各設備号機５１〜５４で製造したウェハの成膜膜圧、配線寸法、電気的特性などの工程内管理特性に基づいて、工程能力指数が一定閾値以上であるかに基づいて判断を行う。さらに、歩留り率は、各設備号機５１〜５４で製造されたウェハのテスト結果が良好であって、歩留まり率が一定閾値以上であるかといった情報に基づいて判断を行う。あるいは、これらの品質情報を複数組み合わせて判断を行っても良いし、各品質情報に基づいて優先順位を設定し、優先順位順に判断を行っても良い。
【００２２】
次に、ホストコンピュータ３０の説明を行う。ホストコンピュータ３０は、ランクＡ品種を製造可能な作業号機のうち、品質良好設備号機を決定して、搬送制御装置４０へ品質良好設備号機を通知する。ホストコンピュータ３０は、事務所端末１０から送信された、工程条件コードとランクＡ品種名を入力する。また、ホストコンピュータ３０は、製造現場端末２０から品質良好設備号機の設備号機コードを入力する。ホストコンピュータ３０は、ある工程条件においてランクＡ品種を製造可能な作業号機のうちから、品質良好設備号機を決定する。ホストコンピュータ３０は、品質良好設備号機によりランクＡ品種を製造するように、搬送制御装置４０へ搬送指示を送信する。
【００２３】
ホストコンピュータ３０は、図示されない、ＲＯＭやＨＤＤのような記憶装置により構成され、ホストコンピュータ３０の機能を実現するための処理用プログラムやデータを記録する記憶部と、ＣＰＵやＲＡＭから構成され、記憶部に記憶されたプログラムを実行することによりホストコンピュータ３０の機能を実現する処理部と、キーボードやマウスから構成され、管理者が設定を入力するために使用する入力部と、ＬＣＤで構成され設定画面を表示する表示部と、ＬＡＮポートで構成され、事務所端末１０、製造現場端末２０、及び搬送制御装置４０とデータ通信を行う通信部とを備える。
【００２４】
記憶部は、ランクＡ品種名データベース（以下、ランクＡ品種ＤＢ）１００と、設備号機データベース（以下、設備号機ＤＢ）１１０とを備える。
【００２５】
図４は、ランクＡ品種ＤＢ１００を示している。ランクＡ品種ＤＢ１００は、工程条件コード欄１０１、ランクＡ品種名欄１０２とを備える。
最上位に記録されているデータを参考に説明を行うと、最上位のデータは、工程条件「ＸＹＺ０１」において品種名「ＡＢＣ−１２３４５」はランクＡ品種である事を示している。つまり、品種名「ＡＢＣ−１２３４５」は、高品質を要求されているということである。同様に、他の工程条件コードに対応して、ランクＡ品種名が記録されている。
工程条件コード欄１０１とランクＡ品種名欄１０２は、事務所端末１０が送信するデータに基づいて記録される。すなわち、ホストコンピュータ３０の処理部は、通信部を介して、事務所端末１０から送信されるランクＡ品種登録データを受信する。ホストコンピュータ３０の処理部は、ランクＡ品種登録データに含まれる、ランクＡ品種と、対応する工程条件を、記憶部のランクＡ品種ＤＢ１００へ記録する。このようにして、ランクＡ品種と、対応する工程条件が、ランクＡ品種ＤＢ１００へ記録される。
【００２６】
次に、図５は、設備号機ＤＢ１１０を示している。設備号機ＤＢ１１０は、設備号機名欄１１１と、設備号機コード欄１１２と、ランクＡ品種可否欄１１３と、ランクＢ品種可否欄１１４と、状態フラグ欄１１５とを備える。
設備号機名欄１１１と、設備号機コード欄１１２と、ランクＡ品種可否欄１１３と、ランクＢ品種可否欄１１４は、管理者によって、予めホストコンピュータ３０へ登録されている。すなわち、管理者は、ホストコンピュータ３０の入力部から設備号機名欄１１１と、設備号機コード欄１１２と、ランクＡ品種可否欄１１３と、ランクＢ品種可否欄１１４を入力する。コストコンピュータ３０の処理部は、入力された設備号機名欄１１１と、設備号機コード欄１１２と、ランクＡ品種可否欄１１３と、ランクＢ品種可否欄１１４を、記憶部の設備号機ＤＢ１１０へ記録する。このようにして、設備号機名欄１１１と、設備号機コード欄１１２と、ランクＡ品種可否欄１１３と、ランクＢ品種可否欄１１４は、管理者によって、予め記憶部の設備号機ＤＢ１１０へ記録されている。
また、状態フラグ欄１１５は、製造現場端末２０が送信するデータに基づいて記録される。すなわち、ホストコンピュータ３０の処理部は、通信部を介して、製造現場端末２０から送信される品質良好設備号機登録データを受信する。ホストコンピュータ３０の処理部は、品質良好設備号機登録データに含まれる、設備号機コードに基づいて、設備号機コードに対応する状態フラグ欄１１５へフラグを記録する。このようにして、品質良好設備号機が、設備号機ＤＢ１１０へ記録される。
【００２７】
設備号機名欄１１１は、設備号機５１〜５４までに一意に割り当てた名称を記録している。本実施形態において、設備号機５１〜５４は、それぞれ、「１号機」〜「４号機」までの名称が割り当てられている。設備号機コード欄１１２は、設備号機５１〜５４までにユニークに割り当てられた識別番号である。ランクＡ品種可否欄１１３は、設備号機５１〜５４が、ランクＡ品種を製造可能であるか否かが記録されている。ランクＢ品種欄１１４は、設備号機５１〜５４が、ランクＢ品種を製造可能であるか否かが記録されている。状態フラグ欄１１５は、設備号機５１〜５４のうち品質良好設備号機であるか否かを示している。
なお、図５では、工程条件「ＸＹＺ０１」に関する設備号機５１〜５４の状態を記録している。このように、ホストコンピュータ３０は、工程条件毎に、対応する設備号機５１〜５４の状態を記録している。
【００２８】
図５を参照して説明すると、「１号機（設備号機５１）」は、設備号機コード「ＡＢＣ５６７」を割り当てられており、ランクＡ品種およびランクＢ品種ともに製造する事ができない。つまり、「１号機（設備号機５１）」は、状態が悪く、あるいは故障などにより、工程条件「ＸＹＺ０１」の製造作業を行うことができない。次に、「２号機（設備号機５２）」は、設備号機コード「ＢＦＧ４５３」を割り当てられており、ランクＡ品種は製造することができないが、ランクＢ品種は製造することが可能である。つまり、「２号機（設備号機５２）」は、ランクＡ品種の製造作業を行えるほど状態がよくないといえる。次に、「３号機（設備号機５３）」は、設備号機コード「ＪＫＧ６８２」を割り当てられており、ランクＡ品種およびランクＢ品種を共に製造を行うことが可能である。また、「４号機（設備号機５４）」は、設備号機コード「ＰＱＲ１０１」を割り当てられており、「３号機（設備号機５３）」と同様に、ランクＡ品種およびランクＢ品種を共に製造を行うことが可能である。
ここで、先に図３を用いて説明を行ったように、現場担当者が、製造現場端末２０の入力画面５から、設備号機コード「ＰＱＲ１０１」を品質良好設備号機として登録を行う。ホストコンピュータ３０の処理部は、品質良好設備号機登録データを、通信部を介して受信し、記憶部の設備号機ＤＢ１１０へ記録する。設備号機コード「ＰＱＲ１０１」は、設備号機名「４号機（設備号機５４）」に対応している。ホストコンピュータ３０の処理部は、設備号機ＤＢ１１０から設備号機コードに対応するレコードを特定し、当該レコードの状態フラグ欄１１５へ、品質良好設備号機のフラグを記録する。このようにして、図５のように「４号機（設備号機５４）」の状態フラグ欄１１５に「○」が記入される。
ホストコンピュータ３０の処理部は、状態フラグ欄１１５の記録状態を参照して、ランクＡ品種を製造可能設備号機のうちから、当該工程条件のランクＡ品種を製造する品質良好設備号機を決定する。本実施形態の場合、ホストコンピュータ３０の処理部は、設備号機ＤＢ１１０を検索して、ランクＡ品種を製造可能な「３号機（設備号機５３）」および「４号機（設備号機５４）」のうち、状態フラグ欄１１５に「○」フラグの記録されている「４号機（設備号機５４）」にランクＡ品種を製造させることを決定する。なお、ランクＢ品種については、製造可能である設備号機である「２号機（設備号機５２）」、「３号機（設備号機５３）」、および「４号機（設備号機５４）」のうち、仕掛りの少ない設備号機を指定して、製造を行う。このようにして、ホストコンピュータ３０は、当該工程条件における品質良好設備号機を決定して、品質良好設備号機によりランクＡ品種を生産するよう、搬送制御装置４０へ搬送指示を送信する。
【００２９】
次に、搬送制御装置４０の説明を行う。搬送制御装置４０は、ホストコンピュータ３０から受信する搬送指示に基づいて、設備号機５１〜５４のうちの品質良好設備号機へ、ランクＡ品種のロットを搬送する。
【００３０】
次に、設備号機５１〜５４の説明を行う。設備号機５１〜５４は、搬送制御装置４０から搬送されたロットの製造作業を行う。なお、本実施形態では、設備号機５１〜５４までの４機を用いて説明を行っているが、より多くの（あるいは少ない）設備号機によって半導体製品の製造が行われる場合がある。
【００３１】
以上が、本実施形態における生産管理システムの構成の説明である。
【００３２】
［動作方法の説明］
次に、図６を用いて、本実施形態における生産管理システムの動作方法の説明を行う。図６は、本実施形態の生産管理システムの動作フローを示している。
【００３３】
（ステップＳ１０）
管理者は、事務所端末１０を使用して、ランクＡ品種と、ランクＡ品種に対応する工程条件の登録を行う。なお、本実施形態において、ランクＡ品種と、ランクＡ品種に対応する工程条件は、予め管理者によって決定される。事務所端末１０は、ランクＡ品種登録データをホストコンピュータ３０へ送信する。ホストコンピュータ３０は、ランクＡ品種登録データを受信する。ホストコンピュータ３０は、ランクＡ品種登録データに含まれる、ランクＡ品種と、対応する工程条件を、ランクＡ品種ＤＢ１００へ登録する。
【００３４】
（ステップＳ２０）
現場担当者は、製造現場端末２０を使用して、品質良好設備号機の登録を行う。なお、本実施形態において、品質良好設備号機は、設備号機５１〜５４の統計情報に基づいて、予め現場担当者によって決定される。製造現場端末２０は、品質良好設備号機登録データを、ホストコンピュータ３０へ送信する。ホストコンピュータ３０は、品質良好設備号機登録データに含まれる、品質良好設備号機を、設備号機ＤＢ１１０へ記録する。
【００３５】
（ステップＳ３０）
ホストコンピュータ３０は、ある工程条件におけるランクＡ品種を、ランクＡ品種ＤＢ１００から特定する。ホストコンピュータ３０は、設備号機ＤＢ１１０を参照して、ランクＡ品種を製造できる設備号機５１〜５４のうちから、品質良好設備号機を特定する。
【００３６】
（ステップＳ４０）
ホストコンピュータ３０は、品質良好設備号機により、ランクＡ品種を製造するよう、搬送制御装置４０へ、搬送指示を送信する。なお、ホストコンピュータ３０は、工程条件毎に、ランクＡ品種の特定と、品質良好設備号機の特定を行い、搬送制御装置４０へ搬送指示を送信する。
【００３７】
（ステップＳ５０）
搬送制御装置４０は、ホストコンピュータ３０から搬送指示を受信する。搬送制御装置４０は、搬送指示に基づいて、設備号機５１〜５４のうちの品質良好設備号機へ、ランクＡ品種のロットを搬送する。設備号機５１〜５４のうちの品質良好設備号機は、搬送制御装置４０から搬送されたロットの製造作業を行う。
【００３８】
以上が、第１実施形態における生産管理システムの動作方法の説明である。
【００３９】
ここまで、第１実施形態の生産管理システムの説明を行ってきた。本実施形態の生産管理システムによれば、ホストコンピュータ３０は、事務所管理端末１０から登録された工程条件毎のランクＡ品種を、製造現場端末２０から登録された品質良好設備号機で製造を行うよう搬送制御装置４０へ搬送指示を送信する。このように構成することによって、ランクＡ品種を製造可能な設備号機５１〜５４のうちから、半導体製品製造品質状態のよい品質良好設備号機を指定することが可能となる。そのため、ランクＡ品種を、ランクＡ品種を製造可能な号機のうちで、さらに状態の良い設備号機によって製造を行うことが可能となる。
【００４０】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明を行う。
【００４１】
［構成の説明］
まず、第２実施形態の構成の説明を行う。図７は、本実施形態における生産管理システムの構成を示している。本実施形態の生産管理システムは、ほぼ第１実施形態と同様である。そのため、第１実施形態と異なる部分を中心に説明を行う。また、第１実施形態と同様の構成には、同様の符号を用いて説明を行う。
【００４２】
本実施形態の生産管理システムは、第１実施形態と同様に、事務所端末１０と、ホストコンピュータ３０と、搬送制御システム４０と、作業号機５１〜５４を備える。一方、本実施形態の生産管理システムは、製造現場端末２０を備えていないことが第１実施形態と異なる。また、本実施形態におけるホストコンピュータ３０は、製造号機５１〜５４から品質情報を取得する。本実施形態における設備号機５１〜５４は、品質情報の統計処理を行う。品質情報とは、第１実施形態において説明を行った、ウェハの欠陥数、工程能力指数、歩留り率といった情報である。各設備号機５１〜５４は、それぞれの設備号機５１〜５４で製造を行った半導体製品に関する品質情報の統計を採って、ホストコンピュータ３０へ出力する。ホストコンピュータ３０は、設備号機５１〜５４から品質情報を取得して、設備号機ＤＢ１１０へ記録する。ホストコンピュータ３０は、設備号機５１〜５４から取得する品質情報に基づいて、品質良好設備号機を特定する。このようにすることで、現場担当者は、製造現場端末２０を使用して品質良好設備号機を入力する必要がなくなる。
なお、事務所端末１０と、搬送制御システム４０と、作業号機５１〜５４は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４３】
図８は、本実施形態における設備号機ＤＢ１１０を示している。設備号機ＤＢ１１０は、第１実施形態と同様に、製造装置名欄１１１と、製造装置コード欄１１２と、ランクＡ品種可否欄１１３と、ランクＢ品種欄１１４と、状態フラグ欄１１５とを備える。本実施形態の設備号機ＤＢ１１０における状態フラグ欄１１５は、設備号機５１〜５４から取得した品質情報を記録している。図８を参照すると、状態フラグ欄１１５は、設備号機５１〜５４における工程能力指数［Ｃｐｋ］を記録している。ホストコンピュータ３０は、この品質情報である工程能力指数に基づいて、品質良好設備号機を特定する。例えば、図８の場合であれば、４号機（設備号機５４）が、最も工程能力指数が高い。そのため、ホストコンピュータ３０は、４号機（設備号機５４）を品質良好設備号機と特定し、ランクＡ品種を４号機（設備号機５４）で製造するように搬送制御装置４０へ指示を行う。
【００４４】
なお、状態フラグ欄１１５が、記録する品質情報は、工程能力指数に限らない。前述したように、ウェハの欠陥数や、歩留り率といった値を品質情報として記録しても良いし、複数の品質情報を記録してもよい。同様に、ホストコンピュータ３０は、工程能力指数に基づいて、品質良好設備号機を特定することに限定はしない。ホストコンピュータ３０は、他の品質情報に基づいて品質良好設備号機を特定しても良いし、複数の品質情報に基づいて、品質良好設備号機を特定しても良い。また、品質良好設備号機は、上述したように、品質情報が最も良好な設備号機としても良いし、品質情報に対する一定の閾値を設けて、当該閾値を超える（あるいは、下回る）設備号機としても良い。さらに、これらの場合に、品質良好設備号機を１台のみ決定する方法に限らず、複数台を選択して決定し、優先順位をつけて半導体製品の製造を行う方法としてもよい。これらの特定方法は、予め管理者、現場担当者によって、ホストコンピュータ３０へ登録しておく。
また、本実施形態では、設備号機５１〜５４が、品質情報の統計を採っているが、これを、別の測定装置を用いて、品質情報の統計を取得して、ホストコンピュータ３０へ品質情報を出力してもよい。なお、図示しないが、本実施形態におけるランクＡ品種ＤＢ１００は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４５】
以上が、本実施形態における生産管理システムの構成の説明である。
【００４６】
［動作方法の説明］
次に、図９を用いて、本実施形態における生産管理システムの動作方法の説明を行う。図９は、本実施形態の生産管理システムの動作フローを示している。
【００４７】
（ステップＳ１００）
管理者は、事務所端末１０を使用して、ランクＡ品種と、ランクＡ品種に対応する工程条件の登録を行う。本ステップは、前述のステップＳ１０と同様である。
【００４８】
（ステップＳ１１０）
各設備号機５１〜５４は、品質情報の統計を取得する。設備号機５１〜５４は、ホストコンピュータ３０へ品質情報を送信する。ホストコンピュータ３０は、設備号機５１〜５４から品質情報を取得して、設備号機ＤＢ１１０へ記録する。なお、設備号機５１〜５４における品質情報を、別の測定装置によって統計を採って、ホストコンピュータ３０へ送信する場合がある。
【００４９】
（ステップＳ１２０）
ホストコンピュータ３０は、設備号機ＤＢ１１０の状態フラグ欄１１５に記録された品質情報を参照して、ランクＡ品種を製造できる設備号機のうちから、品質良好設備号機を特定する。なお、状態フラグ欄１１５は、複数の品質情報を記録している場合がある。その場合に、ホストコンピュータ３０は、複数の品質情報に基づいて、品質良好設備号機を特定する場合がある。
【００５０】
（ステップＳ１３０）
ホストコンピュータ３０は、品質良好設備号機により、ランクＡ品種を製造するよう、搬送制御装置４０へ、搬送指示を送信する。なお、ホストコンピュータ３０は、工程条件毎に、品質良好設備号機の特定を行い、搬送制御装置４０へ搬送指示を送信する。
【００５１】
（ステップＳ１４０）
搬送制御装置４０は、ホストコンピュータ３０から搬送指示を受信する。搬送制御装置４０は、搬送指示に基づいて、設備号機５１〜５４のうちの品質良好設備号機へ、ランクＡ品種のロットを搬送する。次に、設備号機５１〜５４の説明を行う。設備号機５１〜５４は、搬送制御装置４０から搬送されたロットの製造作業を行う。
【００５２】
以上が、第２実施形態における生産管理システムの動作方法の説明である。
【００５３】
ここまで、第２実施形態の生産管理システムの説明を行ってきた。本実施形態の生産管理システムによれば、設備号機５１〜５４は、各設備号機５１〜５４における品質情報の統計を取得して、ホストコンピュータ３０へ送信する。ホストコンピュータ３０は、設備号機５１〜５４の品質情報を設備号機ＤＢ１１０へ記録して、品質情報に基づいて、品質良好設備号機を特定する。ホストコンピュータ３０は、ランクＡ品種を品質良好設備号機で製造を行うよう搬送制御装置４０へ搬送指示を送信する。このように構成することによって、ホストコンピュータ３０は、品質情報をリアルタイムに反映することができるため、より適格に品質良好設備号機の特定を行うことができる。また、現場担当者は、品質良好設備号機の登録を行わなくともよくなるため省力化が図れる。
【００５４】
以上、実施の形態を参照して本発明を説明してきたが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更を行うことができる。また、各実施形態は、独立して実現するに限らない。各実施形態は、相互に組み合わせて実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】第１実施形態における生産管理システムの構成を示す図である。
【図２】ランクＡ品種の品名と工程条件コードの設定を行う入力画面１を示す図である。
【図３】品質良好設備号機の設定を行う入力画面５を示す図である。
【図４】ランクＡ品種ＤＢ１００を示す図である。
【図５】第１実施形態における設備号機ＤＢ１１０を示す図である。
【図６】第１実施形態における生産管理システムの動作フローである。
【図７】第２実施形態における生産管理システムの構成を示す図である。
【図８】第２実施形態における設備号機ＤＢ１１０を示す図である。
【図９】第２実施形態の生産管理システムの動作フローである。
【符号の説明】
【００５６】
１  入力画面
２  入力欄
３  入力欄
４  登録ボタン
５  入力画面
６  入力欄
７  登録ボタン
１０  事務所端末
２０  製造現場端末
３０  ホストコンピュータ
４０  搬送制御装置
５１  設備号機（１号機）
５２  設備号機（２号機）
５３  設備号機（３号機）
５４  設備号機（４号機）
１００  ランクＡ品種ＤＢ
１０１  工程条件コード欄１０１
１０２  ランクＡ品種名１０２
１１０  設備号機ＤＢ
１１１  設備号機名欄
１１２  設備号機コード欄
１１３  ランクＡ品種可否欄
１１４  ランクＢ品種可否欄
１１５  状態フラグ欄
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010045115.tif 000009
【図８】
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【図９】
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