(57)【要約】【課題】試験塗布部において、テープの主走査方向の端部からテープの下面側への流動性材料の侵入を抑制できる塗布装置を提供する。【解決手段】試験塗布部は、試験塗布用のテープ７１２を載置するテープ台７１１を有する。また、テープ台７１１には、テープ７１２の主走査方向の側辺を下方へ向けて湾曲させる当接部材７１６が設けられている。ノズル部は、有機ＥＬ液を吐出しつつテープ７１２の上方を主走査方向に通過するが、テープ７１２の側辺が湾曲されているため、テープ７１２の側辺からテープ７１２の下面側への有機ＥＬ液の侵入は抑制される。このため、テープ台７１１とテープ７１２との間への有機ＥＬ液の侵入も抑制され、テープの巻き取り不良を防止できる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
基板を載置するステージと、
前記ステージ上に載置された基板の上面に向けて流動性材料を吐出するノズルと、
前記ステージの上面に沿って前記ノズルを主走査方向に移動させる移動機構と、
基板への非塗布時に、主走査方向に移動する前記ノズルから吐出された流動性材料が塗布される試験塗布部と、
を備え、
前記試験塗布部は、
前記ノズルから吐出された流動性材料が塗布される試験塗布面を有するテープと、
前記テープの主走査方向の端部を、下方へ向けて湾曲させる湾曲手段と、
を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置であって、
前記試験塗布部は、前記テープよりも主走査方向の寸法が小さい載置面で前記テープを載置するテープ台を更に有し、
前記湾曲手段は、前記載置面から主走査方向にはみ出した前記テープの側辺を下方へ湾曲させることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項２に記載の塗布装置であって、
前記試験塗布部は、
前記テープ台上の前記テープを、主走査方向に直交する副走査方向に送る送り手段
を更に有することを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の塗布装置であって、
前記湾曲手段は、前記テープの前記側辺に上面側から当接する傾斜面を有する当接部材を含むことを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項４に記載の塗布装置であって、
前記当接部材は、前記テープの前記載置面上に位置する部分の上面を覆うひさし部を更に有することを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の塗布装置であって、
前記湾曲手段は、前記載置面から主走査方向の両側へはみ出した前記テープの両側辺に当接する一対の当接部材を含むことを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
請求項４から請求項６までのいずれかに記載の塗布装置であって、
前記湾曲手段は、前記テープの前記側辺のうち、流動性材料が塗布される領域の両側の部分に当接する一対の当接部材を含むことを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれかに記載の塗布装置であって、
前記試験塗布部に前記ノズルが移動する前に、前記ノズルの先端に形成された液溜まりを除去する除去手段を更に備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれかに記載の塗布装置において、
前記ノズルは、有機ＥＬ表示装置用の発光物質と所定の溶媒とを混合させた有機ＥＬ液、又は、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する正孔輸送材料を、流動性材料として吐出することを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、半導体ウエハ、磁気／光ディスク用のガラス／セラミック基板などの各種基板に流動性材料を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の製造工程では、基板の上面に種々の流動性材料を塗布する塗布装置が使用されている。例えば、有機ＥＬ表示装置の製造工程では、有機ＥＬ表示装置用のガラス基板の上面に有機ＥＬ液を塗布する塗布装置が使用されている。従来の塗布装置は、基板の上面に向けて流動性材料を吐出するノズルと、基板に対してノズルを移動させる移動機構とを備えている。塗布装置は、ノズルから流動性材料を吐出させつつ、基板の上面に沿ってノズルを移動させることにより、基板の上面に流動性材料を塗布する。
【０００３】
また、従来の塗布装置の中には、ノズルからの流動性材料の吐出状態を確認するために、流動性材料を試験的に塗布する試験塗布部を備えるものがある。試験塗布部を備えた従来の塗布装置については、例えば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２２９５６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の試験塗布部では、テープ吸着部に載置された樹脂テープの上面に、流動性材料が塗布される。しかしながら、ノズルを移動させつつ流動性材料を塗布すると、樹脂テープの端部から樹脂テープの下面側へ流動性材料が侵入し、テープ吸着部と樹脂テープとの間に流動性材料が付着してしまうおそれがあった。特に、ノズルの先端に半乾燥状態の液溜まりが形成されている場合には、当該液溜まりが樹脂テープの下面に付着し易いため、上記の問題がより深刻となる。
【０００６】
樹脂テープの下面に付着した流動性材料は、テープ吸着部に対して樹脂テープを送る際に抵抗となり、樹脂テープの巻き取り不良を発生させるおそれがある。また、樹脂テープの素材によっては、樹脂テープの上面に塗布された流動性材料の状態を計測する際に、樹脂テープの下面に付着した流動性材料による計測誤差が発生する場合もある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、試験塗布部において、テープの主走査方向の端部からテープの下面側への流動性材料の侵入を抑制できる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、基板の上面に流動性材料を塗布する塗布装置であって、基板を載置するステージと、前記ステージ上に載置された基板の上面に向けて流動性材料を吐出するノズルと、前記ステージの上面に沿って前記ノズルを主走査方向に移動させる移動機構と、基板への非塗布時に、主走査方向に移動する前記ノズルから吐出された流動性材料が塗布される試験塗布部と、を備え、前記試験塗布部は、前記ノズルから吐出された流動性材料が塗布される試験塗布面を有するテープと、前記テープの主走査方向の端部を、下方へ向けて湾曲させる湾曲手段と、を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の塗布装置であって、前記試験塗布部は、前記テープよりも主走査方向の寸法が小さい載置面で前記テープを載置するテープ台を更に有し、前記湾曲手段は、前記載置面から主走査方向にはみ出した前記テープの側辺を下方へ湾曲させることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の塗布装置であって、前記試験塗布部は、前記テープ台上の前記テープを、主走査方向に直交する副走査方向に送る送り手段を更に有することを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項２又は請求項３に記載の塗布装置であって、前記湾曲手段は、前記テープの前記側辺に上面側から当接する傾斜面を有する当接部材を含むことを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の塗布装置であって、前記当接部材は、前記テープの前記載置面上に位置する部分の上面を覆うひさし部を更に有することを特徴とする。
【００１３】
請求項６に係る発明は、請求項４又は請求項５に記載の塗布装置であって、前記湾曲手段は、前記載置面から主走査方向の両側へはみ出した前記テープの両側辺に当接する一対の当接部材を含むことを特徴とする。
【００１４】
請求項７に係る発明は、請求項４から請求項６までのいずれかに記載の塗布装置であって、前記湾曲手段は、前記テープの前記側辺のうち、流動性材料が塗布される領域の両側の部分に当接する一対の当接部材を含むことを特徴とする。
【００１５】
請求項８に係る発明は、請求項１から請求項７までのいずれかに記載の塗布装置であって、前記試験塗布部に前記ノズルが移動する前に、前記ノズルの先端に形成された液溜まりを除去する除去手段を更に備えることを特徴とする。
【００１６】
請求項９に係る発明は、請求項１から請求項８までのいずれかに記載の塗布装置において、前記ノズルは、有機ＥＬ表示装置用の発光物質と所定の溶媒とを混合させた有機ＥＬ液、又は、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する正孔輸送材料を、流動性材料として吐出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１〜９に記載の発明によれば、試験塗布部は、テープの主走査方向の端部を、下方へ向けて湾曲させる湾曲手段を有する。このため、テープの主走査方向の端部からテープの下面側へ流動性材料が侵入することを抑制できる。
【００１８】
特に、請求項２に記載の発明によれば、テープ台とテープとの間に流動性材料が侵入することを抑制できる。
【００１９】
特に、請求項３に記載の発明によれば、テープの流動性材料が塗布される部分を変更できる。
【００２０】
特に、請求項４に記載の発明によれば、テープの側辺を容易に湾曲させることができる。
【００２１】
特に、請求項５に記載の発明によれば、載置面上におけるテープの浮きを防止できる。
【００２２】
特に、請求項６に記載の発明によれば、テープの両側辺において、テープの下面側への流動性材料の侵入を抑制できる。
【００２３】
特に、請求項７に記載の発明によれば、当接部材に流動性材料が付着することを防止しつつ、テープの側辺の流動性材料が塗布される部分を、良好に湾曲させることができる。
【００２４】
特に、請求項８に記載の発明によれば、ノズルの先端から液溜まりを除去できるため、テープの下面側への流動性材料の侵入をより確実に防止できる。
【００２５】
特に、請求項９に記載の発明によれば、テープの下面側へ有機ＥＬ液又は正孔輸送材料が侵入することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】塗布装置の上面図である。
【図２】塗布装置の上面図である。
【図３】塗布装置を図１のIII−III位置から見た断面図である。
【図４】塗布装置を図２のIV−IV位置から見た断面図である。
【図５】ノズル部付近の詳細な構成を示した図である。
【図６】テープユニットの縦断面図である。
【図７】テープユニットの縦断面図である。
【図８】当接部材およびその近傍の拡大縦断面図である。
【図９】テープユニットの水平断面図である
【図１０】制御部と装置内の各部との間の接続構成を示したブロック図である。
【図１１】基板に対する塗布処理の流れを示したフローチャートである。
【図１２】試験塗布時の動作の流れを示したフローチャートである。
【図１３】変形例に係るテープユニットの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の説明において参照される各図には、各部材の位置関係や動作方向を明確化するために、共通のＸＹＺ直交座標系が付されている。
【００２８】
＜１．塗布装置の構成＞
図１および図２は、本発明の一実施形態に係る塗布装置１の上面図である。図１は、基板９に対して塗布処理を行うときの状態を示している。また、図２は、ノズル部３０が試験塗布部７０に対して試験塗布を行うときの状態を示している。また、図３は、塗布装置１を図１のIII−III位置から見た断面図である。図４は、塗布装置１を図２のIV−IV位置から見た断面図である。
【００２９】
この塗布装置１は、有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、矩形のガラス基板（以下、単に「基板」という。）９の上面に有機ＥＬ液を塗布するための装置である。図１〜図４に示したように、塗布装置１は、主として、ステージ１０、ステージ移動機構２０、ノズル部３０、ノズル移動機構４０、待機ポッド５０、回収トレイ６０、試験塗布部７０、撮影部８０、および制御部９０を備えている。
【００３０】
ステージ１０は、平板状の外形を有し、その上面に基板９を水平姿勢に載置して保持する保持部である。ステージ１０の上面には、複数の吸引孔（図示省略）が形成されている。このため、ステージ１０上に基板９を載置したときには、吸引孔の吸引圧により基板９はステージ１０の上面に固定保持される。ステージ１０上に載置される基板９の上面には、有機ＥＬ液が塗布される位置に予め多数本の平行な溝９ａが形成されている。基板９は、これらの溝９ａが主走査方向（Ｘ軸方向）を向くようにステージ１０上に載置される。
【００３１】
また、ステージ１０の上方には、基板９の−Ｘ側および＋Ｘ側の側部を覆うマスク板１１，１２が配置されている。マスク板１１，１２は、後述するノズル部３０から吐出される有機ＥＬ液が、基板９の−Ｘ側および＋Ｘ側の側部に塗布されることを防止し、主走査方向に関して有機ＥＬ液の塗布範囲を規定する役割を果たす。マスク板１１，１２は、所定の接続部材（図示省略）を介してステージ１０又は基板９に固定的に取り付けられている。
【００３２】
ステージ移動機構２０は、ステージ１０を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるための機構である。ステージ移動機構２０は、床面上に副走査方向に沿って延設された一対のガイドレール２１と、ステージ１０の下面側に固設された一対の移動子２２とを有している。一対の移動子２２は、例えば、リニアモータの駆動力により、ガイドレール２１上を副走査方向に摺動可能となっている。ステージ１０上に基板９を載置した状態で、ステージ移動機構２０を動作させると、ステージ１０、マスク板１１，１２、および基板９が、一体として副走査方向に移動する。
【００３３】
ノズル部３０は、ステージ１０上に載置された基板９の上面に向けて、有機ＥＬ液を吐出する吐出部である。ノズル部３０は、赤色用、緑色用、および青色用の有機ＥＬ液を吐出する３つのノズル３１，３２，３３を有している。なお、有機ＥＬ液は、発光物質と所定の溶媒とを混合させた液体であり、本発明の流動性材料の一例となっている。
【００３４】
図５は、ノズル部３０付近の詳細な構成を示した図である。図５に示したように、各ノズル３１，３２，３３の下端部には、微小な（例えば、直径５〜７０μｍ程度の）吐出孔３１ａ，３２ａ，３３ａが形成されている。また、各ノズル３１，３２，３３にはそれぞれ配管３１ｂ，３２ｂ，３３ｂが接続されており、配管３１ｂ，３２ｂ，３３ｂの上流側の端部には、それぞれ赤色用、緑色用、および青色の有機ＥＬ液を供給するための有機ＥＬ液供給源３１ｃ，３２ｃ，３３ｃが接続されている。また、配管３１ｂ，３２ｂ，３３ｂの経路途中には、それぞれバルブ３１ｄ，３２ｄ，３３ｄが介挿されている。
【００３５】
バルブ３１ｄ，３２ｄ，３３ｄを開放すると、有機ＥＬ液供給源３１ｃ，３２ｃ，３３ｃから配管３１ｂ，３２ｂ，３３ｂを介して各ノズル３１，３２，３３に有機ＥＬ液が供給され、各ノズル３１，３２，３３の吐出孔３１ａ，３２ａ，３３ａから下方へ向けて赤色用、緑色用、および青色用の有機ＥＬ液が吐出される。各ノズル３１，３２，３３から吐出された有機ＥＬ液は、各ノズル３１，３２，３３の下方において細い（例えば、直径１００μｍ程度の）液柱を形成する。
【００３６】
ノズル部３０の３つのノズル３１，３２，３３は、図１および図２に示したように、主走査方向に所定の間隔（例えば、数ｍｍピッチ）で配列される一方、副走査方向の位置も少しずつずらして配置されている。各ノズル３１，３２，３３の副走査方向の位置の違いは、処理対象となる基板９の上面に形成された溝９ａのピッチ幅に対応している。このため、ノズル部３０は、３つのノズル３１，３２，３３から同時に有機ＥＬ液を吐出することにより、基板９上の隣り合う３本の溝に対して、同時に有機ＥＬを塗布することができる。
【００３７】
このように、この塗布装置１は、３つのノズル３１，３２，３３を使用して基板９上に３列ずつ有機ＥＬ液を塗布することができる。このため、基板９の上面に効率よく有機ＥＬ液を塗布することができる。また、３つのノズル３１，３２，３３の主走査方向および副走査方向の位置をいずれも相違させていることにより、各ノズル３１，３２，３３自体を極端に小型化することなく、狭小な間隔で有機ＥＬ液を塗布することができる。
【００３８】
ノズル移動機構４０は、ノズル部３０を主走査方向に移動させるための機構である。図１および図２に示したように、ノズル移動機構４０は、ノズル部３０を支持するための支持部４１と、支持部４１を主走査方向に移動させるための移動部４２とを有している。移動部４２は、例えば、モータとボールねじとを組み合わせた機構や、あるいは、リニアモータを利用した機構により構成される。ノズル移動機構４０は、待機ポッド５０の上方位置と＋Ｘ側の回収トレイ６０の上方位置との間の任意の位置の間で、ノズル部３０を主走査方向に移動させることができる。
【００３９】
待機ポッド５０は、ステージ１０の−Ｘ側の側方において、ノズル部３０を洗浄しつつ待機させるための部位である。図１および図２に示したように、待機ポッド５０には、３つの開口部５１，５２，５３が形成されている。待機ポッド５０の上方位置にノズル部３０を移動させると、３つの開口部５１，５２，５３の上方に３つのノズル３１，３２，３３がそれぞれ配置される。待機ポッド５０は、３つの開口部５１，５２，５３から各ノズル３１，３２，３３に洗浄液を供給するとともに、供給後の洗浄液を吸引することにより、各ノズル３１，３２，３３の吐出孔３１ａ，３２ａ，３３ａを洗浄する。
【００４０】
ノズル部３０の３つのノズル３１，３２，３３は、正常時には、有機ＥＬ液を液柱状に吐出する。しかしながら、乾燥等により、各ノズル３１，３２，３３の先端に有機ＥＬ液の液溜まり（半乾燥状態の液滴）が付着した状態となる場合がある。待機ポッド５０は、上記の洗浄を行うことにより、各ノズル３１，３２，３３から液溜まりを除去することができる。
【００４１】
回収トレイ６０は、ステージ１０の＋Ｘ側および−Ｘ側の側方においてノズル部３０から吐出された有機ＥＬ液を回収するための容器である。回収トレイ６０は、ステージ１０の−Ｘ側（ステージ１０と待機ポッド５０との間）およびステージ１０の＋Ｘ側において、ノズル部３０の移動経路の下方となる位置に配置されている。また、回収トレイ６０は、上記のマスク板１１，１２と主走査方向に関して部分的に重複するように配置されている。このため、ステージ１０の側方においてノズル部３０から吐出される有機ＥＬ液は、マスク板１１，１２および回収トレイ６０に連続的に回収される。
【００４２】
試験塗布部７０は、基板９への非塗布時に、ノズル部３０からの有機ＥＬ液の吐出状態を確認するために、試験的に有機ＥＬ液が塗布される部位である。試験塗布部７０は、ステージ１０の＋Ｙ側に配置された２つのテープユニット７１を有している。２つのテープユニット７１は、主走査方向に離間するとともに、副走査方向のほぼ同じ位置に配置されている。各テープユニット７１は、接続部材７２を介してステージ１０に固定されている。
【００４３】
図６および図７は、それぞれ、ＹＺ平面およびＸＺ平面に沿ったテープユニット７１の縦断面図である。図６は、図７中のVI−VI位置から見た縦断面図に相当し、図７は、図６中のVII−VII位置から見た縦断面図に相当する。図６及び図７に示したように、テープユニット７１は、主として、テープ台７１１、テープ７１２、テープ送り機構７１３、およびハウジング７１４を有している。
【００４４】
テープ７１２は、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）等の樹脂により形成された帯状部材である。試験塗布時には、テープ７１２のテープ台７１１上に位置する部分の上面７１２ａに、有機ＥＬ液が塗布される。すなわち、テープ７１２のテープ台７１１上に位置する部分の上面７１２ａが、有機ＥＬ液を試験的に塗布するための試験塗布面となる。
【００４５】
テープ送り機構７１３は、テープ７１２の＋Ｙ側の端部が接続されたドラム状の繰り出し部７１３ａと、テープ７１２の−Ｙ側の端部が接続されたドラム状の巻き取り部７１３ｂとを有している。テープ送り機構７１３は、繰り出し部７１３ａと巻き取り部７１３ｂとを回転させることにより、テープ台７１１上において、テープ７１２を−Ｙ側に送ることができる。これにより、テープ７１２のテープ台７１１上に位置する部分が変更される。
【００４６】
テープ台７１１の上面７１１ａには、テープ７１２を真空吸着する吸引孔（図示省略）が形成されている。テープ台７１１は、試験塗布時には、吸引孔に負圧を発生させることにより、その上面７１１ａにテープ７１２を吸着させる。テープ台７１１の上面７１１ａに吸着されたテープ７１２の上面７１２ａは、ステージ１０上に載置された基板９の上面と略同一の高さとなる。また、テープ送り機構７１３によりテープ７１２を送るときには、テープ台７１１の上面７１１ａに対するテープ７１２の吸着が解除される。
【００４７】
ハウジング７１４は、テープ台７１１、テープ７１２、およびテープ送り機構７１３を内部に収容する筐体である。ハウジング７１４は、テープ台７１１の上方に開口７１４ａを有する。ハウジング７１４の上方位置においてノズル３１，３２，３３から吐出された有機ＥＬ液は、開口７１４ａを介して、テープ台７１１上のテープ７１２の上面に塗布される。また、図７に示したように、テープ台７１１の＋Ｘ側及び−Ｘ側には、試験用回収トレイ７３が設けられている。試験塗布時に、テープ７１２の＋Ｙ側および−Ｙ側の側方においてノズル部３０から吐出された有機ＥＬ液は、試験用回収トレイ７３に回収される。
【００４８】
ハウジング７１４は、接続部材７２を介してステージ１０に固定されている。また、ハウジング７１４の下面には、スライダ７１５が固定されている。スライダ７１５は、副走査方向に摺動可能な状態で、ガイドレール２１に取り付けられている。上記のステージ移動機構２０を動作させると、ステージ１０とともに、一対のテープユニット７１、一対の接続部材７２、および試験用回収トレイ７３も、一体として副走査方向に移動する。
【００４９】
図７に示したように、テープ台７１１の上面７１１ａの主走査方向の寸法ｄ１は、テープ７１２の主走査方向の寸法ｄ２よりも小さい。そして、テープ台７１１には、テープ台７１１の上面７１１ａから主走査方向にはみ出したテープ７１２の側辺を、下方へ向けて湾曲させる当接部材７１６が設けられている。
【００５０】
図８は、当接部材７１６およびその近傍のＸＺ平面に沿った拡大縦断面図である。図８に示したように、当接部材７１６は、Ｘ軸およびＺ軸に対して斜め方向のびる傾斜部７１６ａと、傾斜部７１６ａの上端部からテープ台７１１の内側へ向けて水平にのびるひさし部７１６ｂとを有している。
【００５１】
傾斜部７１６ａは、テープ台７１１の上面７１１ａから主走査方向にはみ出したテープ７１２の側辺７１２ｂに、上面側から当接する傾斜面７１６ｃを有する。傾斜部７１６ａの傾斜面７１６ｃがテープ７１２の側辺７１２ｂに当接することにより、テープ７１２の側辺７１２ｂは下方へ向けて湾曲する。水平面に対する傾斜面７１６ｃの角度θは、例えば１００°〜１５０°程度とすればよい。ひさし部７１６ｂは、テープ７１２のテープ台７１１の上面７１１ａに載置される部分の上面を覆うことにより、テープ７１２の中央部分が、テープ台７１１の上面７１１ａから浮いてしまうことを防止する。
【００５２】
このように、本実施形態のテープ台７１１には、テープ７１２の側辺７１２ｂを下方へ向けて湾曲させる当接部材７１６が設けられている。試験塗布時には、ノズル部３１が有機ＥＬ液を吐出しつつテープ７１２の上方を通過するが、テープ７１２の側辺７１２ｂが下方へ向けて湾曲されているため、テープ７１２の側辺７１２ｂからテープ７１２の下面側への有機ＥＬ液の侵入は抑制される。このため、テープ台７１１とテープ７１２との間への有機ＥＬ液の侵入も抑制され、テープの巻き取り不良を防止できる。
【００５３】
当接部材７１６は、例えば、アルミニウム等の金属材料により形成することができる。但し、当接部材７１６は、テープ７１２より高い剛性を有するものであれば、他の材料により形成されていてもよい。
【００５４】
図９は、図６中のIX−IX位置から見たテープユニット７１の水平断面図である。図９に示したように、当接部材７１６は、テープ台７１１の＋Ｘ側の端部と、−Ｘ側の端部とに、２つずつ設けられている。＋Ｘ側の端部に設けられた２つの当接部材７１６は、テープ台７１１の上面７１１ａから＋Ｘ側にはみ出したテープ７１２の側辺７１２ｂに当接する。また、−Ｘ側の端部に設けられた２つの当接部材７１６は、テープ台７１１の上面７１１ａから−Ｘ側にはみ出したテープ７１２の側辺７１２ｂに当接する。これにより、テープ７１２の両側辺７１２ｂが下方へ湾曲される。このため、テープ７１２の両側辺７１２ｂからテープ７１２の下面側への有機ＥＬ液の侵入が抑制される。
【００５５】
図９に示したように、テープ台７１１の＋Ｘ側の端部に設けられた２つの当接部材７１６は、有機ＥＬ液が塗布される領域７１２ｃの＋Ｙ側および−Ｙ側に配置されている。また、テープ台７１１の−Ｘ側の端部に設けられた２つの当接部材７１６も、有機ＥＬ液が塗布される領域７１２ｃの＋Ｙ側および−Ｙ側に配置されている。このため、４つの当接部材７１６は、テープ７１２の側辺７１２ｂのうち、有機ＥＬ液が塗布される領域７１２ｃの両側の部分に当接する。従って、当接部材７１６自体に有機ＥＬ液が付着することを防止しつつ、テープ７１２の両側辺７１２ｂを湾曲させることができる。
【００５６】
図１〜図４に戻る。撮影部８０は、試験塗布後のテープ７１２の上面７１２ａを撮影するための機構である。撮影部８０は、図２の状態において、一対のテープユニット７１の上方に位置する一対のカメラ８１を有している。本実施形態では、一対のカメラ８１は、ステージ１０や試験塗布部７０とともに移動しない定位置に固定されている。一対のカメラ８１は、テープユニット７１の上方位置からテープ７１２の上面７１２ａを撮影する。一対のカメラ８１により取得された画像データは、制御部９０に送信され、有機ＥＬ液の塗布状態（塗布の有無、塗布幅、塗布ピッチなど）を分析するために使用される。
【００５７】
制御部９０は、塗布装置１内の各部を動作制御するための処理部である。図１０は、制御部９０と塗布装置１内の各部との間の接続構成を示したブロック図である。図１０に示したように、制御部９０は、上記のステージ移動機構２０、バルブ３１ｄ，３２ｄ，３３ｄ、ノズル移動機構４０、待機ポッド５０、一対のテープユニット７１、および一対のカメラ８１と電気的に接続されており、これらの動作を制御する。制御部９０は、例えばＣＰＵやメモリを有するコンピュータによって構成され、コンピュータにインストールされたプログラムおよびユーザからの操作入力に従ってコンピュータが動作することにより、上記各部の動作制御を行う。
【００５８】
＜２．塗布装置の動作＞
＜２−１．基板に対する塗布処理時の動作＞
続いて、上記の塗布装置１を使用して基板９の上面に有機ＥＬ液を塗布するときの動作について、図１１のフローチャートを参照しつつ説明する。
【００５９】
この塗布装置１において基板９に対する塗布処理を行うときには、まず、作業者は、ステージ１０の上面に基板９を載置する（ステップＳ１１）。基板９は、その上面に形成された複数の溝９ａが主走査方向を向くように、ステージ１０上に載置される。そして、塗布装置１の制御部９０において作業者が所定のスタート操作を行うと、制御部９０による装置各部の動作制御が開始される。
【００６０】
塗布装置１は、まず、ステージ移動機構２０を動作させて、ステージ１０をスタート位置（図１の位置）に移動させる（ステップＳ１２）。これにより、基板９上の最初に有機ＥＬ液が塗布される３本の溝９ａが、ノズル部３０の移動経路の下方に位置する状態となる。
【００６１】
塗布装置１のノズル部３０は、予め待機ポッド５０の上方位置で待機している。上記のスタート操作が行われると、まず、待機ポッド５０の３つの開口部５１，５２，５３から各ノズル３１，３２，３３に対する洗浄液の供給と、供給後の洗浄液の吸引とが行われる。これにより、各ノズル３１，３２，３３の吐出孔３１ａ，３２ａ，３３ａおよびその周囲が洗浄される（ステップＳ１３）。
【００６２】
ノズル３１，３２，３３の洗浄が終了すると、次に、塗布装置１は、各ノズル３１，３２，３３からの有機ＥＬ液の吐出を開始する（ステップＳ１４）。具体的には、バルブ３１ｄ，３２ｄ，３３ｄが開放されることより、有機ＥＬ液供給源３１ｃ，３２ｃ，３３ｃから配管３１ｂ，３２ｂ，３３ｂを介して各ノズル３１，３２，３３へ、赤色用、緑色用、および青色用の有機ＥＬ液が供給される。そして、各ノズル３１，３２，３３の吐出孔３１ａ，３２ａ，３３ａから有機ＥＬ液が吐出される。
【００６３】
続いて、塗布装置１は、ノズル移動機構４０を動作させることにより、ノズル部３０を＋Ｘ側へ移動させる。ノズル部３０は、各ノズル３１，３２，３３から有機ＥＬ液を吐出しつつ、基板９の上面に沿って移動する。これにより、基板９上の３本の溝９ａ上に有機ＥＬが塗布される。塗布装置１は、ノズル部３０を＋Ｘ側のマスク板１２の上部まで移動させると、次に、３つのノズル３１，３２，３３の塗布幅分（すなわち、溝９ａの３列分）だけステージ１０および基板９を副走査方向に移動させる。そして、引き続きノズル３１，３２，３３から有機ＥＬ液を吐出しつつ、ノズル部３０を−Ｘ側へ移動させる。これにより、基板９上の次の３本の溝９ａ上に有機ＥＬ液が塗布される。
【００６４】
このように、塗布装置１は、ノズル部３０の塗布幅分だけ基板９を副走査方向にずらしながら、主走査方向への有機ＥＬ液の塗布を所定回数繰り返し、基板９上の全ての溝９ａ上に有機ＥＬ液を塗布する（ステップＳ１５）。
【００６５】
基板９への有機ＥＬ液の塗布が完了すると、塗布装置１は、ノズル部３０からの有機ＥＬ液の吐出を停止させ、ノズル部３０を待機ポッド５０の上方位置へ戻す。その後、作業者は、塗布処理後の基板９をステージ１０から取り外す。
【００６６】
＜２−２．試験塗布時の動作＞
続いて、塗布装置１の試験塗布時の動作について、図１２のフローチャートを参照しつつ説明する。なお、この試験塗布は、基板９に対する塗布処理の前後において、ノズル部３０からの有機ＥＬ液の吐出状態を確認するために、実行される処理である。
【００６７】
試験塗布を行うときには、まず、ステージ移動機構２０を動作させて、試験塗布部７０がノズル部３０の移動経路の下方に位置する状態（図２の状態）とする（ステップＳ２１）。また、各テープユニット７１は、テープ７１２の未使用の部分がテープ台７１１上に位置するようにテープ７１２を送り、テープ台７１１の上面７１１ａにテープ７１２を吸着させる（ステップＳ２２）。
【００６８】
次に、待機ポッド５０上で待機するノズル部３０の洗浄が行われる（ステップＳ２３）。ここでは、待機ポッド５０の３つの開口部５１，５２，５３から各ノズル３１，３２，３３に対する洗浄液の供給と、供給後の洗浄液の吸引とが行われる。これにより、テープ７１２の下面側に侵入し易い有機ＥＬ液の液溜まりを、各ノズル３１，３２，３３の先端から予め除去しておく。
【００６９】
ノズル３１，３２，３３の洗浄が終了すると、ノズル部３０は、各ノズル３１，３２，３３からの有機ＥＬ液の吐出を開始する（ステップＳ２４）。具体的には、バルブ３１ｄ，３２ｄ，３３ｄが開放されることより、有機ＥＬ液供給源３１ｃ，３２ｃ，３３ｃから配管３１ｂ，３２ｂ，３３ｂを介して各ノズル３１，３２，３３へ、赤色用、緑色用、および青色用の有機ＥＬ液が供給される。そして、各ノズル３１，３２，３３の吐出孔３１ａ，３２ａ，３３ａから有機ＥＬ液が吐出される。
【００７０】
続いて、塗布装置１は、ノズル移動機構４０を動作させて、ノズル部３０を＋Ｘ側へ移動させる。ノズル部３０は、各ノズル３１，３２，３３から有機ＥＬ液を吐出しつつ、一対のテープユニット７１の上方位置を経て、＋Ｘ側の回収トレイ６０の上方位置まで移動する。これにより、一対のテープユニット７１の各テープ７１２の上面７１２ａに、有機ＥＬ液が塗布され、テープ７１２の上面７１２ａに３本の有機ＥＬ液のラインが形成される（ステップＳ２５）。また、テープ７１２以外の位置において吐出された有機ＥＬ液は、回収トレイ６０や試験用回収トレイ７３に回収される。
【００７１】
ステップＳ２５では、ノズル部３０は、有機ＥＬ液を吐出しつつ、テープ７１２の上方を主走査方向に通過する。しかしながら、テープ７１２の主走査方向の側辺７１２ｂは、当接部材７１６により下方へ向けて湾曲されている。このため、テープ７１２の側辺７１２ｂからテープ７１２の下面側への有機ＥＬ液の侵入は抑制される。
【００７２】
その後、撮影部８０は、一対のカメラ８１により各テープ７１２の上面を撮影する（ステップＳ２６）。撮影により取得された画像データは、各カメラ８１から制御部９０に送信され、有機ＥＬ液の塗布状態を分析するために使用される。具体的には、塗布装置１は、各カメラ８１において取得した画像データに基づいて、有機ＥＬ液の塗布ピッチの計測・調整、有機ＥＬ液が液柱状に吐出されているか否かの確認、基板９の溝９ａの方向に対するノズル部３０の移動方向の調整等を行う。
【００７３】
＜３．変形例＞
以上、本発明の主たる実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。
【００７４】
上記の実施形態では、テープ７１２の主走査方向の端部を湾曲させるための湾曲手段として、当接部材７１６が設けられていたが、他の方法によりテープ７１２の端部を湾曲させてもよい。例えば、テープ７１２の端部に上面側からローラを当接させることにより、テープ７１２の端部を湾曲させるようにしてもよい。また、テープ７１２の端部を下面側から吸引することにより、テープ７１２の端部を湾曲させるようにしてもよい。また、テープ７１２の端部を、粘着性の部材で固定することにより、下方へ向けて湾曲させるようにしてもよい。なお、上記の実施形態の当接部材７１６は、テープ７１２の端部を、他の部材に固定することなく、容易に湾曲させることができる点で好ましい。
【００７５】
また、上記の実施形態では、テープユニット７１において、テープ７１２は副走査方向に送られていたが、図１３のテープユニット７４のように、テープ７４２を主走査方向に送るようにしてもよい。図１３の例では、テープ台７４１の＋Ｘ側と−Ｘ側とにおいて、一対のローラ７４３，７４４によりテープ７４２が下方へ湾曲されている。すなわち、図１３の例では、一対のローラ７４３，７４４が、テープ７４２の主走査方向の端部を下方へ湾曲させる湾曲手段となっている。このような構成でも、試験塗布時に、テープ７４２の端部からテープ７４２下面側へ有機ＥＬ液が侵入することを抑制できる。
【００７６】
また、上記の実施形態では、ノズル３１，３２，３３の先端に形成された液溜まりを、待機ポッド５０の洗浄で除去していたが、他の方法により液溜まりを除去するようにしてもよい。例えば、ノズル部３０の移動経路の下方に、待機ポッド５０とは別に洗浄機構や吸引機構を設けてもよい。また、ノズル３１，３２，３３の先端に形成された液溜まりを掻き落とすスクレイパーを、ノズル部３０の移動経路の下方に設けてもよい。
【００７７】
また、上記の例では、ノズル部３０の３つのノズル３１，３２，３３から、赤色用、緑色用、および青色用の有機ＥＬ液が吐出されていたが、３つのノズル３１，３２，３３は、同色用の有機ＥＬ液を吐出するものであってもよい。また、上記の例では、１つのノズル部３０に３つのノズル３１，３２，３３が搭載されていたが、ノズル部３０に搭載されるノズルの数は、１つや２つであってもよく、４つ以上であってもよい。
【００７８】
また、上記の例では、基板９の上面に多数本の平行な溝９ａが形成されていたが、本発明の基板塗布装置は、このような溝が形成されていない基板に対して塗布処理を行うものであってもよい。
【００７９】
また、上記の塗布装置１は、有機ＥＬ表示装置の発光層を形成する有機ＥＬ材料を基板９の上面に塗布するための装置であったが、本発明の塗布装置は、他の流動性材料を基板の上面に塗布するものであってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する正孔輸送材料を基板の上面に塗布するための装置であってもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１    塗布装置
９    基板
１０  ステージ
２０  ステージ移動機構
３０  ノズル部
３１，３２，３３  ノズル
４０  ノズル移動機構
５０  待機ポッド
６０  回収トレイ
７０  試験塗布部
７１，７２  テープユニット
８０  撮影部
９０  制御部
７１１  テープ台
７１２  テープ
７１３  送り機構
７１４  ハウジング
７１５  スライダ
７１６  当接部材
７１６ａ  傾斜部
７１６ｂ  ひさし部
【図１】
2010240511.tif 000003
【図２】
2010240511.tif 000004
【図３】
2010240511.tif 000005
【図４】
2010240511.tif 000006
【図５】
2010240511.tif 000007
【図６】
2010240511.tif 000008
【図７】
2010240511.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010240511.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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