(57)【要約】【課題】異物を含んだ機能液による不良品の発生を防止することができる、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】媒体保持部２上に保持された媒体Ｐに対してノズルから機能液を吐出する液滴吐出ヘッド５と、媒体保持部２とは異なる位置に設けられ、液滴吐出ヘッド５のノズルから吐出された機能液中の異物の有無を検査する検査部１２と、を備えた液滴吐出装置ＩＪである。検査部１２は、機能液が吐出される第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークと、第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークにおける機能液の吐出面を撮像する撮像部と、を有する。【選択図】図２
2010240545.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体保持部上に保持された媒体に対してノズルから機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記媒体保持部とは異なる位置に設けられ、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルから吐出された前記機能液中の異物の有無を検査する検査部と、を備え、
前記検査部は、前記機能液が吐出される第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークと、該第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークにおける前記機能液の吐出面を撮像する撮像部と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記第１の検査用ワークが樹脂フィルターからなり、前記第２の検査用ワークが金属フィルターからなることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記検査部は、前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークを保持するワーク保持部材と、該ワーク保持部材に前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークを搬出入するための搬出入手段と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ワーク保持部材には、複数の前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークが保持されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークにおける前記機能液の吐出面と反対側に前記機能液を吸収可能な吸収体が設けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記検査部は前記媒体保持部に前記媒体を搬出入するタイミングで駆動することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
媒体保持部上に保持された媒体に対してノズルから機能液を吐出する液滴吐出ヘッドの検査方法であって、
前記媒体保持部の外側の検査領域に設けられる第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークに対して前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルから前記機能液を吐出する第一工程と、
前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークにおける前記機能液の吐出面を撮像する第二工程と、
前記撮像結果に基づいて前記ノズルから吐出される前記機能液中の異物の有無を検出する第三工程と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項８】
前記媒体保持部に前記媒体を搬出入するタイミングで前記第一工程ないし第三工程を実行することを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項９】
前記検査領域に対して前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークを搬出入する工程を有することを特徴とする請求項７又は８に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法による成膜技術が注目されている。液滴吐出法によれば、膜の形成材料を含んだ微小なインク（機能液）を所望の位置に配置することが可能である。液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出ヘッドは、液状体の貯留部、貯留部に通じるノズルが形成されたノズルプレート、液状体を加圧してノズルから液滴を押し出すピエゾ素子等を備えている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２７０４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、インクの内部には、材料の変化によって分散状態が変化することで沈降物が発生する。また、分離析出した樹脂分がヘッド内部に付着することで圧力変動を生じさせ、ノズル間の吐出量にばらつきを生じさせるおそれもある。そこで、インクの供給経路内にフィルターを設置することで異物を除去することが考えられる。
しかしながら、このようなフィルターを設置する場合、構造上の制約からノズル近傍に配置することができず、フィルター及びノズル間の流路で発生した異物はノズルから吐出されてしまうおそれがあった。よって、基板上に異物を含んだインクが吐出されてしまい、大量の不良品を発生させる可能性がある。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、異物を含んだ機能液による不良品の発生を防止することができる、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、媒体保持部上に保持された媒体に対してノズルから機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記媒体保持部とは異なる位置に設けられ、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルから吐出された前記機能液中の異物の有無を検査する検査部と、を備え、前記検査部は、前記機能液が吐出される第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークと、該第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークにおける前記機能液の吐出面を撮像する撮像部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置によれば、第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークにより例えば機能液中の凝集物或いはゲル化物等の異なる異物の有無をそれぞれ検出できる。よって、定期的に検査部による検査を行うことで、異物のない機能液を媒体に吐出することが可能となり、液滴吐出プロセスによる不良品の発生を防止できる。
【０００８】
また、上記液滴吐出装置においては、前記第１の検査用ワークが樹脂フィルターからなり、前記第２の検査用ワークが金属フィルターからなるのが好ましい。
この構成によれば、樹脂フィルターからなる第１の検査用ワークに機能液中に異物として含まれる凝集物のみを残すことができ、金属フィルターからなる第２の検査用ワークに機能液中に異物として含まれるゲル化物を残すことができる。
【０００９】
また、上記液滴吐出装置においては、前記検査部は、前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークを保持するワーク保持部材と、該ワーク保持部材に前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークを搬出入するための搬出入手段と、を有するのが好ましい。
この構成によれば、ワーク保持部材における第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークを定期的に交換することができる。よって、常に良好な状態に保たれたワークに対して機能液を吐出することができ、精度の良い検査を行うことができる。
【００１０】
また、上記液滴吐出装置においては、前記ワーク保持部材には、複数の前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークが保持されているのが好ましい。
この構成によれば、複数の第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークを備えるので、機能液の異物検査を連続的に行うことができ、ワークの交換作業の頻度を少なくすることができる。
【００１１】
また、上記液滴吐出装置においては、前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークにおける前記機能液の吐出面と反対側に前記機能液を吸収可能な吸収体が設けられるのが好ましい。
この構成によれば、第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークに吐出された機能液が吸収体により確実に回収することができる。よって、検査時に吐出された機能液により装置内が汚れることを防止できる。
【００１２】
また、上記液滴吐出装置においては、前記検査部は前記媒体保持部に前記媒体を搬出入するタイミングで駆動するのが好ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから媒体に機能液を吐出できない時間を有効利用することでインクの異物混入検査が行われるようになる。
【００１３】
本発明の液滴吐出ヘッドの検査方法は、媒体保持部上に保持された媒体に対してノズルから機能液を吐出する液滴吐出ヘッドの検査方法であって、前記媒体保持部の外側の検査領域に設けられる第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークに対して液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を吐出する第一工程と、前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークにおける前記機能液の吐出面を撮像する第二工程と、前記撮像結果に基づいて前記ノズルから吐出される前記機能液中の異物の有無を検出する第三工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の液滴吐出ヘッドの検査方法によれば、第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークにより例えば機能液中の凝集物或いはゲル化物等の異なる異物の有無をそれぞれ検出することができる。よって、定期的なタイミングで上記検査を行うことで、異物のない機能液を媒体に吐出することが可能となり、液滴吐出プロセスによる不良品の発生を未然に防止することができる。
【００１５】
また、上記液滴吐出ヘッドの検査方法においては、前記媒体保持部に前記媒体を搬出入するタイミングで前記第一工程ないし第三工程を実行するのが好ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドによる媒体への吐出を行わない時間を有効利用することで液滴吐出ヘッドの検査を行うことができる。
【００１６】
また、上記液滴吐出ヘッドの検査方法においては、前記検査領域に対して前記第１の検査用ワーク及び前記第２の検査用ワークを搬出入する工程を有するのが好ましい。
この構成によれば、第１の検査用ワーク及び第２の検査用ワークを定期的に交換する構成が可能となる。よって、常に良好な状態に保たれたワークに対して機能液を吐出することができ、精度の良い検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】描画システムの平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの概略構成図である。
【図４】検査ユニットの概略構成を示す図である。
【図５】フィルター保持部の断面構成を示す図である。
【図６】液滴吐出ヘッドの検査工程の説明図である。
【図７】樹脂フィルター上に機能液を吐出した状態を説明する図である。
【図８】金属フィルター上に機能液を吐出した状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。
【００１９】
本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置の製造ラインに組み込まれた描画システム内に設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、基板上に機能液滴による成膜部（例えば、カラーフィルター）を形成するものである。そこで、まず、本液滴吐出装置を備えた描画システムについて簡単に説明する。なお、以下に説明する基板のサイズ等の値は概数である。
【００２０】
図１は、描画システムの平面模式図である。図１に示すように、描画システムＳは、導入されたカラーフィルター形成用基板Ｐ（以下、基板Ｐと称する）上にＲＧＢ３色の着色層を形成してカラーフィルターを製造するものである。描画システムＳは、着色層を形成するための液滴吐出装置ＩＪと、液滴吐出装置ＩＪに並設され、基板Ｐを搬出入する搬出入装置１９と、各装置に接続され、描画システムＳ全体を制御する制御部３０とを備えている。また、液滴吐出装置ＩＪは、チャンバ装置３４に収容されている。チャンバ装置３４は、いわゆるサーマルチャンバであり、一定の温度条件で基板Ｐに対する液滴吐出が行われるように、液滴吐出装置ＩＪ全体を温度管理下で収容している。チャンバ装置３４は、液滴吐出装置ＩＪ全体を直接収容するボックス状のチャンバ本体３１と、チャンバ本体３１内の温度が一定となるように温度管理を行う空気調和機器１５と、これを制御する制御盤（図示省略）とを備えている。さらに、図示しないが、チャンバ本体３１の右側面前方には、ワーク搬入・搬出開口となる開閉扉が形成されており、液滴吐出装置ＩＪに基板Ｐを導入する場合等には、開閉扉を介してチャンバ本体３１に収容された液滴吐出装置ＩＪにアクセスできるようになっている。
【００２１】
搬出入装置１９は、基板Ｐを移載するロボットアーム１３を備えており、このロボットアーム１３を介して、描画前の基板Ｐを描画システムＳ内に搬入してこれを液滴吐出装置ＩＪに導入すると共に、描画後の基板Ｐを液滴吐出装置ＩＪから回収してこれを描画システムＳ外に搬出する。
【００２２】
続いて、上記描画システムＳ内に設置される液滴吐出装置について説明する。図２は本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう液状体は、固形分を分散媒（溶媒）に分散（溶解）させた分散液（溶液）等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルター材料や、ＵＶインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。
【００２３】
本実施形態では、前記のような液状体を膜材料に用いる液滴吐出装置として、基板（媒体）の所定領域上にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置を説明する。なお、以下の説明においては、図２中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図２におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ（媒体保持部）２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図２中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００２４】
図２に示されるように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御装置１１、及び検査ユニット（検査部）１２を備えている。なお、制御装置１１は描画システムＳにおける制御部３０に対して電気的に接続されている。
【００２５】
装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送される基板Ｐを、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。
【００２６】
キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、液滴吐出ヘッド５は、Ｒ（赤）に対応するノズルにチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルター材料が供給され、Ｇ（緑）に対応するノズルにチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルター材料が供給され、Ｂ（青）に対応するノズルにチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルター材料が供給されるようになっている。
【００２７】
キャリッジ移動装置６は、例えば装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００２８】
制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動による基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴を吐出する。
【００２９】
検査ユニット１２は、液滴吐出ヘッド５のノズルから吐出された機能液中の異物の有無を検査するものである。なお、検査ユニット１２の構成詳細については後述する。
検査ユニット１２は、液滴吐出ヘッド５におけるホームポジション（検査領域）に配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置ＩＪが吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ４が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド５から基板Ｐ上に液滴を吐出する際のキャリッジ４の位置を吐出ポジション（吐出領域）と呼ぶ。
【００３０】
また、ホームポジションには、検査ユニット１２の他に、液滴吐出ヘッド５に当接することでノズル内からインクを排出させるキャッピング部（図示略）と、液滴吐出ヘッド５のノズルからインクを噴射するフラッシング動作を行うフラッシング部（不図示）とが設けられている。キャッピング部は、ノズル面に当接することでノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作時に用いられるものである。フラッシング部は、メニスカスを整えるべく、ノズルから液滴を吐出した廃液を回収するためのものである。
【００３１】
図３は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図３（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図３（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の１つのノズル列に対応する部分斜視図、図３（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。
【００３２】
図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮからなるノズル列ＮＡ、ＮＢ、ＮＣを備えている。ノズル列ＮＡにおけるノズルＮは、第１タンク８から供給されるＲ用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。また、ノズル列ＮＢにおけるノズルＮは、第２タンク９から供給されるＧ用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。また、ノズル列ＮＣにおけるノズルＮは、第３タンク１０から供給されるＢ用カラーフィルター材料が吐出されるノズルである。
【００３３】
図３（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティー（液室）２４とを備えている。なお、ノズルプレート２１の表面は、複数のノズルＮが形成されたノズル面２１ａを構成している。ノズルプレート２１は、例えばＳＵＳから構成されるものであり、ノズル面２１ａに撥水処理膜が形成されている。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。
【００３４】
リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティー２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティー２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
【００３５】
図３（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティー２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティー２４の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティー２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティー２４も元の容積に戻ることから、キャビティー２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮから基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。
【００３６】
ところで、機能液は経時的に分散状態が変化することで凝集物やゲル化物等の異物が生じる。このような異物が生じた機能液をノズルＮから基板Ｐに吐出すると、生成されるカラーフィルターが不良となってしまう。そこで、本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪは、このような機能液中に含まれる異物の有無を検査する検査ユニット１２を備えている。
【００３７】
ここで、検査ユニット１２の構成について説明する。図４は検査ユニット１２の概略構成を示す図である。検査ユニット１２は、図４に示されるように、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから機能液を吐出するための第１の検査用ワークとして用いる樹脂フィルター５１と、第２の検査用ワークとして用いる金属フィルター５２と、これら樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２における機能液の吐出面を撮像する撮像カメラ（撮像手段）５９と、を備えている。さらに、検査ユニット１２は、樹脂フィルター５１と金属フィルター５２とを保持するフィルター保持部（ワーク保持部材）５３と、該フィルター保持部５３に樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２を搬出入する搬出入装置（搬出入手段）５４とを備えている。これにより、検査ユニット１２は、樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２を定期的に交換可能とされている。
【００３８】
フィルター保持部５３には、樹脂フィルター５１を設置するための第１のスペースＳ１と、金属フィルター５２を設置するための第２のスペースＳ２とが設けられている。本実施形態では、第１のスペースＳ１及び第２のスペースＳ２が２個ずつ設けられている。
【００３９】
図５（ａ）は図４のＡ−Ａ´線矢視によるフィルター保持部５３の断面構成を示し、図５（ｂ）は図４のＢ−Ｂ´線矢視によるフィルター保持部５３の断面構成を示す図である。図５に示されるように、フィルター保持部５３には凹部５６、５７が形成されており、これら凹部５６，５７に樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２の上面がフィルター保持部５３の上面と面一状態で収容されている。さらに、凹部５６、５７の底面には、吸収体５８，５８を収容するための凹み５６ａ、５７ａが形成されており、この凹み５６ａ、５７ａ内に収容された吸収体５８，５８の上面が凹部５６、５７の底面と面一となっている。これにより、樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２は、側端部のみがフィルター保持部５３により支持されるとともに、それぞれの裏面に吸収体５８，５８が接触した状態となっている。吸収体５８，５８は、機能液を保持可能（吸収可能）なスポンジ状部材、あるいは多孔部材等で形成されている。本実施形態においては、吸収体５８，５８は、例えばフェルトなどの不織布により構成されている。
【００４０】
樹脂フィルター５１は、樹脂繊維等を編み込むことで構成されたメッシュ状のフィルターであり、メッシュ部の網目の大きさが約５μｍ程度とされている。
また、金属フィルター５２は、例えばＳＵＳ等の金属製薄板から構成されるものであり、正方形状の貫通穴５２ａが複数形成されたメッシュ状のフィルターであり（図８参照）、メッシュ部の網目の大きさが約１０μｍ程度とされている。
【００４１】
撮像カメラ５９は、樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２における機能液の吐出面を撮像し、この画像を制御装置１１に送信する。制御装置１１は、この画像に基づいてノズルＮから吐出される機能液中に異物（凝集物及びゲル化物）が含まれているか否かを検出し、ユーザーに機能液に異物が含まれている旨を通知可能となっている。
【００４２】
上記搬出入装置５４は、樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２を移載するロボットアーム５５を備えており、このロボットアーム５５を介して、検査前の新しい樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２をフィルター保持部５３に搬入すると共に、所定回数の検査後の樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２をフィルター保持部５３から回収してこれを検査ユニット１２外に搬出可能となっている。この構成により、樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２における定期的な交換を簡便に行うことができるようになっている。
【００４３】
続いて、液滴吐出装置ＩＪの動作として、本発明の特徴部分である検査ユニット１２を用いた液滴吐出ヘッドの検査方法について説明する。
液滴吐出装置ＩＪの制御装置１１は、搬出入装置１９のロボットアーム１３による基板Ｐの搬出入時のタイミングで、キャリッジ移動装置６によりキャリッジ４を検査ユニット１２の上方に移動させ、検査ユニット１２を駆動する。このように基板Ｐに機能液を吐出できない時間を有効利用することで液滴吐出ヘッド５の検査を行うようにしている。
【００４４】
そして、図６（ａ）に示すように、フィルター保持部５３内の樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２に対して液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮから機能液Ｘを吐出する（第一工程）。
【００４５】
そして、図６（ｂ）に示すように、撮像カメラ５９により樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２における機能液の吐出面を撮像する（第二工程）。このとき、撮像カメラ５９により撮像された画像は、制御装置１１内の不図示の記録部内に画像データとして記録される。
【００４６】
具体的には、ノズルＮから樹脂フィルター５１上に吐出された機能液が凝集物（異物）を含まない場合、機能液Ｘは樹脂フィルター５１のメッシュ部を通り抜けることで吸収体５８に吸収される。すなわち、撮像された画像により凝集物が確認されることがない。
【００４７】
一方、ノズルＮから吐出された機能液Ｘに凝集物Ｇ１が含まれる場合、図７（ａ）、（ｂ）に示されるように凝集物Ｇ１の直径は一般的にメッシュ部５１ａの大きさ（５μｍ）よりも大きいため、凝集物Ｇ１はメッシュ部５１ａを通り抜けることができず、樹脂フィルター５１上に残る。凝集物Ｇ１は有色であるため、撮像された画像により容易に確認することができる。
【００４８】
制御装置１１は、撮像カメラ５９により撮像した画像に基づいてノズルＮから吐出される機能液Ｘ中に異物（凝集物Ｇ１）が含まれているか否かを検出し、ユーザーに機能液Ｘに異物が含まれている旨を通知する（第三工程）。なお、制御装置１１が画像を不図示のモニターに表示し、必要に応じてユーザーがモニターの画像を目視観察することで異物（凝集物Ｇ１）の有無を直接判断するようにしてもよい。
【００４９】
また、ノズルＮから金属フィルター５２上に吐出された機能液Ｘがゲル化物（異物）を含まない場合、機能液Ｘは金属フィルター５２の貫通穴５２ａを通り抜けることで吸収体５８に吸収される。すなわち、撮像された画像によりゲル化物が確認されることがない。
【００５０】
一方、ノズルＮから吐出された機能液Ｘにゲル化物Ｇ２が含まれる場合、図８（ａ），（ｂ）に示されるように機能液Ｘのみがメッシュ部を構成する貫通穴５２ａを通り抜け、機能液Ｘに比べて粘度が高いゲル化物Ｇ２は貫通穴５２ａを通り抜けることができず金属フィルター５２上に残る。ゲル化物Ｇ２は、白濁しているため、撮像された画像により容易に確認することができる。
【００５１】
制御装置１１は、撮像カメラ５９により撮像した画像に基づいてノズルＮから吐出される機能液Ｘ中に異物（ゲル化物Ｇ２）が含まれているか否かを検出し、ユーザーに機能液Ｘに異物が含まれている旨を通知する（第三工程）。なお、制御装置１１が画像を不図示のモニターに表示し、必要に応じてユーザーがモニターの画像を目視観察することで異物（ゲル化物Ｇ２）の有無を直接判断するようにしてもよい。
【００５２】
以上述べたように本実施形態によれば、樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２を用いることで機能液Ｘ中に異物として含まれる凝集物Ｇ１或いはゲル化物Ｇ２の有無を簡便且つ確実に検出することができる。よって、ノズルＮから吐出される機能液Ｘが異物を含むことが検出された場合、ユーザーは機能液Ｘを供給する第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０を交換することで、基板Ｐに異物を含む機能液Ｘが吐出されてしまうことで、不良品が多量に製造されてしまうのを未然に防止することができる。
【００５３】
また、本実施形態の検査ユニット１２は、搬出入装置５４により所定回数の検査後の樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２をフィルター保持部５３から回収してこれを検査ユニット１２外に搬出する。そして、検査前の新しい樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２をフィルター保持部５３に搬入する。このように搬出入装置５４によって樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２の定期的な交換作業を簡便に行うことができる。
【００５４】
また、本実施形態においては、フィルター保持部５３に樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２が複数（２個）設けられているので、機能液の異物検査を連続的に行うことが可能となり、フィルターの交換作業の頻度を少なくすることができる。
【００５５】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態では、フィルター保持部５３に樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２を２個ずつ配置するようにしたが、これらフィルターの数はこれに限定されない。また、機能液の種類によって発生しやすい異物に応じて、例えば樹脂フィルター５１及び金属フィルター５２の一方を他方よりも多く配置するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
ＩＪ…液滴吐出装置、Ｎ…ノズル、Ｐ…基板（媒体）、２…ワークステージ（媒体保持部）、５…液滴吐出ヘッド、１２…検査ユニット（検査部）、５１…樹脂フィルター（第１の検査用ワーク）、５２…金属フィルター（第２の検査用ワーク）、５３…フィルター保持部（ワーク保持部材）、５８…吸収体、５９…撮像カメラ（撮像手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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