(57)【要約】【課題】スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートおよびその固定シートを使用した静電アクチュエータを提供する。【解決手段】固定シートは、特定の１相または２相の第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段とを備え、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合した構成を有する。【選択図】  図１
2010028953.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、
前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、
前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段とを備え、
前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合したことを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項２】
請求項１に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記多層電極パターンは静電力を移動シートに作用させるための電極線と、各相ごとに電極線を結合する結合線と、結合線に電圧を供給するための結合線の一部分である端子部とから構成され、すべての相の前記端子部を含む結合線が前記第１電極パターンの面に設けられ、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを電気的に短絡したことを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項３】
請求項２に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記第１シートと前記第２シートは絶縁性のプラスチック基材の表面に導電性材料で電極パターンを形成したシートであって、超音波溶着加工により前記第１シートと前記第２シートのプラスチック基材どおしが接合することにより前記電気的な短絡をしたことを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項４】
請求項３に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記超音波溶着加工による接合は前記第１電極パターンの結合線と前記第２電極パターンの結合線の上において、それらの接合線が部分的に破壊されて露出したプラスチック基材どおしの接合であることを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項５】
多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段とを備え、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合した固定シートと、
前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置された移動シートと、
を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電アクチュエータの技術分野に属する。特に、スルーホールを使用することなく配線の干渉を回避した多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートとそれを使用した静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
固定シートに形成された電極線に電圧を印加することによって、固定シートに重ねられた移動シートに静電力を作用させて、固定シートに対して移動シートを移動する静電アクチュエータが周知である。その固定シートには多数の電極線が互いに平行となるように配置しており、各々の電極線には配置の順番に所定の多相の電圧が印加される。多相の電極線は各相ごとに結合線によって結合され、結合線の一部分である端子部から多相の電圧が印加される。多相の電圧は多くの場合には３相であるが４相以上のこともある。特に、３相以上において、電極線と結合線の配線が各相の間において干渉しないようにするためには、スルーホールを使用して両面配線を行うことが一般的である。スルーホールを使用しないで片面だけの配線で済ませるためには、特別な工夫が必要である。
【０００３】
たとえば、図８（Ａ）に示すように、移動子の移動方向に延びる結合線（電極幹線）と、その結合線に直交する電極線（電極支線）からなる各相電極を、電極線が重ならないように、また所定の位相を保持するように配置して３相電極を構成した静電アクチュエータの発明が周知である（特許文献１）。しかしながら、この発明においては、電極線の延長総幅は固定シートの全幅に対して、相当に短いものとならざるを得ない。すなわち、結合線によって占められる幅だけでなく、他相電極によって囲まれた領域に電極線の開き領域が生じている。したがって、この固定シートを使用した静電アクチュエータにおいては、電極線の延長総幅が短い分だけ静電力が小さいという問題がある。
【特許文献１】特開昭６３−１３６９７８
【０００４】
また、図８（Ｂ）に示すように、絶縁体内に電極線（電極）が形成されるた固定子エレメントと、それららの間に配置され絶縁体内に電極線（電極）が形成されるた移動子エレメントが多段に配置された静電アクチュエータにおいて、各々の固定子エレメントには１つの相を除いた２つの相の電極線だけが形成されており、それらが多段に配置されたときに、各々の固定子エレメントにおける電極線が互いに、所定の位相を保持するように、各々の固定子エレメントを配置して３相電極を構成した静電アクチュエータの発明が周知である（特許文献２）。しかしながら、この発明においては、多数の固定子エレメントを使用することが前提であって、使用数が少ないときには各相による静電力が均等とはならないという問題がある。また、各々の固定子エレメントには１つの相を除いた２つの相の電極線だけが形成されている。したがって、この固定シートを使用した静電アクチュエータにおいては、除かれた電極線の分だけ静電力が小さいという問題がある。
【特許文献２】特開平７−１９４１４７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートおよびその固定シートを使用した静電アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートは、多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段とを備え、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合したものである。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記多層電極パターンは静電力を移動シートに作用させるための電極線と、各相ごとに電極線を結合する結合線と、結合線に電圧を供給するための結合線の一部分である端子部とから構成され、すべての相の前記端子部を含む結合線が前記第１電極パターンの面に設けられ、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを電気的に短絡したものである。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項２に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記第１シートと前記第２シートは絶縁性のプラスチック基材の表面に導電性材料で電極パターンを形成したシートであって、超音波溶着加工により前記第１シートと前記第２シートのプラスチック基材どおしが接合することにより前記電気的な短絡をしたものである。
また、本発明の請求項４に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項３に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記超音波溶着加工による接合は前記第１電極パターンの結合線と前記第２電極パターンの結合線の上において、それらの接合線が部分的に破壊されて露出したプラスチック基材どおしの接合であるようにしたものである。
また、本発明の請求項５に係る静電アクチュエータは、多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段とを備え、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合し固定シートと、前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置された移動シートとを具備するようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、第１シートは多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する。また、第２シートは前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する。また、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに絶縁手段は異なる相の電極パターンが短絡しないようにする。したがって、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合することによって静電アクチュエータの固定シートが得られる。この構成から明らかなように、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートが提供される。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記多層電極パターンは静電力を移動シートに作用させるための電極線と、各相ごとに電極線を結合する結合線と、結合線に電圧を供給するための結合線の一部分である端子部とから構成され、すべての相の前記端子部を含む結合線が前記第１電極パターンの面に設けられ、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とが電気的に短絡している。すなわち、すべての相の端子部を含む結合線が１つの電極パターンの面に設けられている。したがって、電源部と静電アクチュエータを電気的に接続するリード線の配線を容易かつ確実に行うことができる。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、請求項２に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記第１シートと前記第２シートは絶縁性のプラスチック基材の表面に導電性材料で電極パターンを形成したシートであって、超音波溶着加工により前記第１シートと前記第２シートのプラスチック基材どおしが接合することにより前記電気的な短絡する。すなわち、超音波溶着加工により接合と短絡が行なわれる。したがって、製造が容易である。
また、本発明の請求項４に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、請求項３に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記超音波溶着加工による接合は前記第１電極パターンの結合線と前記第２電極パターンの結合線の上において、それらの接合線が部分的に破壊されて露出したプラスチック基材どおしの接合である。すなわち、一度の超音波溶着加工により接合と短絡が同時に行なわれる。したがって、製造が容易である。
また、本発明の請求項５に係る静電アクチュエータによれば、第１シートは多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する。また、第２シートは前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する。また、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに絶縁手段は異なる相の電極パターンが短絡しないようにする。すなわち、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合することによって固定シートが得られる。さらに、移動シートが前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置されている。したがって、この構成から明らかなように、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の静電アクチュエータは固定シートと移動シートを組み合わせたものである。固定シートについては特徴的な構成を有する。一方、移動シートについては周知のものを使用することができ本発明においては限定されない。したがって、主として本発明の固定シートについて説明する。本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける構成の一例を図１〜図５に示す。図１は本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける絶縁手段および第１電極パターンを含む第１シートの構成を示す図である。図２は本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第２電極パターンを含む第２シートの構成を示す図である。図３は本発明の静電アクチュエータの固定シートの構成を示す図である。図４は本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第１シートと第２シートの各箇所の断面を示す図である。図５は本発明の静電アクチュエータの固定シートの断面を示す図である。図１〜図５において、１は第１シート、２は第２シート、３は絶縁手段、４は固定シート、１０は第１基材、１１は第１電極パターン、２０は第２基材、２１は第２電極パターン、１１１〜１１６は電極線（Ｕ相）、１２１は結合線（Ｕ相）、１３１は端子部（Ｕ相）、２１１〜２１６は電極線（Ｖ相）、２２１は結合線（Ｖ相）、２３１は端子部（Ｖ相）、３１１〜３１６は電極線（Ｗ相）、３２１，３２２は結合線（Ｗ相）、３３１は端子部（Ｗ相）である。
【０００９】
第１シート１は、プラスチックフィルム等のシートである第１基材１０の片面に第１電極パターン１１を形成したシートである。第１電極パターン１１は多相電圧が印加される固定シートの多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む電極パターンである。第１電極パターン１１は、図１に示す一例においては、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相からなる３相交流におけるＵ相、Ｖ相の電極パターンのすべてを有する。また、Ｗ相の電極パターンの一部を有する。これらの電極パターンはさらにその細部から構成され、図１に一例を示すように、電極線（Ｕ相）１１１〜１１６と、結合線（Ｕ相）１２１と、端子部（Ｕ相）１３１と、電極線（Ｖ相）２１１〜２１６と、結合線（Ｖ相）２２１と、端子部（Ｖ相）２３１とを有している。また、結合線（Ｗ相）３２２と、端子部（Ｗ相）３３２とを有している。
【００１０】
電極線（Ｕ相）１１１〜１１６は静電力を移動シートに作用させるためのＵ相の電圧が印加される電極線である。電極線（Ｕ相）は、１１１〜１１６だけでなく必要に応じて多数本が配置される。結合線（Ｕ相）１２１は電極線（Ｕ相）１１１〜１１６を結合する結合線である。電極線（Ｕ相）１１１〜１１６は、その端部において２本を１組として結合しているが、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線（Ｕ相）１２１に含まれる。端子部（Ｕ相）１３１は結合線（Ｕ相）１２１にＵ相の電圧を供給するための結合線の一部分であり、リード線、コネクタ等を取り付ける第１シートの部分である。
電極線（Ｖ相）２１１〜２１６は静電力を移動シートに作用させるためのＶ相の電圧が印加される電極線である。電極線（Ｖ相）は、２１１〜２１６だけでなく必要に応じて多数本が配置される。結合線（Ｖ相）２２１は電極線（Ｖ相）２１１〜２１６を結合する結合線である。電極線（Ｖ相）２１１〜２１６は、その端部において２本を１組として結合しているが、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線（Ｖ相）２２１に含まれる。端子部（Ｖ相）２３１は結合線（Ｖ相）２２１にＶ相の電圧を供給するための結合線の一部分であり、リード線、コネクタ等を取り付ける第１シートの部分である。
結合線（Ｗ相）３２２は結合線（Ｗ相）３２１（図２参照）と対向して電気的に短絡するための結合線である。端子部（Ｗ相）３３２は結合線にＷ相の電圧を供給するための結合線の一部分であり、リード線、コネクタ等を取り付ける第１シート１の部分である。
【００１１】
図１においてＡで示す位置の第１シート１の断面は、図４（Ａ）に示されている。図４（Ａ）に示すように、第１シート１のＡで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に結合線２２１と、結合線３２２と、電極線１１５とが形成されている。また、結合線２２１を電気的に絶縁するシート（フィルム）状の絶縁手段３も第１基材１０の表面に形成されている。
また、図１においてＢで示す位置の第１シート１の断面は、図４（Ｂ）に示されている。図４（Ｂ）に示すように、第１シート１のＢで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に端子部１３１と、端子部２３１、端子部３３１が形成されている。
【００１２】
第２シート２は、プラスチックフィルム等のシートである第２基材１０の片面に第２電極パターン２１を形成したシートである。第２電極パターン２１は多相電圧が印加される固定シートの多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む電極パターンである。第２電極パターン２１は、図２に示す一例においては、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相からなる３相交流におけるＷ相の電極パターンのすべてを有する。第２電極パターン２０はさらにその細部から構成され、図２に一例を示すように、電極線（Ｗ相）３１１〜３１６と、結合線（Ｗ相）３２１とを有している。なお、第２シート２においては、端子部（Ｗ相）は備えていない。
【００１３】
図２においてＣで示す位置の第２シート２の断面は、図４（Ｃ）に示されている。図４（Ｃ）に示すように、第２シート２のＣで示す位置の断面には、第２基材２０の下表面に結合線３２１と、電極線３１３とが形成されている。
また、図１においてＤで示す位置の第２シート２の断面は、図４（Ｄ）に示されている。図４（Ｄ）に示すように、第２シート２のＤで示す位置の断面には、第２基材２０の下表面に結合線３２１が形成されている。
【００１４】
電極線（Ｗ相）３１１〜３１６は静電力を移動シートに作用させるためのＷ相の電圧が印加される電極線である。電極線（Ｗ相）は、３１１〜３１６だけでなく必要に応じて多数本が配置される。結合線（Ｗ相）３２１は電極線（Ｗ相）３１１〜３１６を結合する結合線である。電極線（Ｗ相）３１１〜３１６は、その端部において２本を１組として結合しているが、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線（Ｗ相）３２１に含まれる。
図１に示した結合線（Ｗ相）３２２は結合線（Ｗ相）３２１と対向して電気的に短絡するための結合線である。結合線（Ｗ相）３２１は結合線（Ｗ相）３２２と電気的に短絡することによって、図１に示した端子部（Ｗ相）３３１から電圧の供給を受けることができる。
【００１５】
絶縁手段３は、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにするための絶縁手段である。絶縁手段３は、図１に示す一例において、電極線（Ｖ相）２１１〜２１６の端部において２本を１組として結合する部分を含む結合線（Ｖ相）２２１の表面と、結合線（Ｗ相）３２２の表面とを含む矩形領域を被覆して電気的な絶縁性が得られるようにする絶縁手段である。このような絶縁手段３は該当する領域をプラスチックフィルム等のシートを貼り付けて被覆することによって第１シート１に備えることができる。図１に示す一例においては絶縁手段３を第１シート１に備えたが、絶縁手段３を第２シート２に備えても同様の作用効果を得ることができる。
【００１６】
この絶縁手段３、および第１基材と第２基材には、プラスチックフィルム等の絶縁性材料を使用することができる。絶縁性材料としては特に制限はないが、第１基材、第２基材については後述する超音波溶着加工にも適した絶縁材料が好適である。プラスチックフィルムとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、等を使用することができる。また、これらのフィルムを含む多層フィルム、これらのフィルムとの複合材料、等を使用することができる。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムは好適である。
【００１７】
また、第１電極パターン１１、第２電極パターン２１の電極には、金属箔等の導電性材料を使用することができる。銅貼フィルムの銅箔面にエッチングレジストのパターンを形成してエッチングすることにより銅箔をパターン化することができる。また、バックライトを透過させる等のために、透明電極を必要とするときには、透明電極を形成する周知の方法によって電極を形成することができる。たとえば、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）を使用しスパッタリング、蒸着、等により基材に成膜しエッチングによりパターン化する、またはＩＴＯペーストをインキとし基材にスクリーン印刷して焼成する、等により透明電極を得ることができる。
【００１８】
本発明の静電アクチュエータの固定シート４は上述した第１シート１と、第２シート２と、絶縁手段３とを組み合わせたものである。すなわち、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせて、絶縁手段３が備えられている第１シート１と、第２シート２とを接合した固定シートである。
固定シート４においては、図３に示すように、電極線（Ｕ相）１１１〜１１６と、電極線（Ｖ相）２１１〜２１６と、電極線（Ｗ相）３１１〜３１６とは互いに平行であって、等間隔に配置される。また、第１シート１の結合線３２１と第２シート２の結合線３２２は重なり合っている。固定シート４が、第１シート１と第２シート２がそのような配置関係を有するように、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせ接合した固定シートである。
【００１９】
図３においてＥで示す位置の固定シート４の断面は、図５（Ｅ）に示されている。図５（Ｅ）に示すように、固定シート４のＥで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に結合線３２２と、結合線２２１とが形成されている。また、第２基材２０の下表面に結合線３２１と、電極線３１３とが形成されている。結合線３２１と結合線３２２とは重ね合わせの状態となっていて電気的に短絡している。なお、図５（Ｅ）において結合線２２１が２箇所に示されている。その理由は、電極線２１３と２１４は、その端部において２本を１組として結合しているが（図１参照）、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線２２１に含まれることによる。
また、図１においてＦで示す位置の第２シート２の断面は、図５（Ｆ）に示されている。図５（Ｆ）に示すように、第２シート２のＦで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に結合線３２２と、結合線２２１と、結合線１２１とが形成されている。また、第２基材２０の下表面に結合線３２１が形成されている。結合線３２１と結合線３２２とは重ね合わせの状態となっていて電気的に短絡している。
【００２０】
固定シート４は、上述したように、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせて、第１シート１と第２シート２とを接合したものである。次に、この接合方法について説明する。
固定シート４においては、第１基材１と第２基材２とを機械的に接合する箇所が存在する。また、固定シート４においては、結合線３２１と結合線３２２を電気的に短絡する箇所とが存在する。第１基材１と第２基材２とを機械的に接合する方法としては、たとえば、接着剤を使用して接合する周知の方法を適用することができる。また、結合線３２１と結合線３２２を電気的に短絡する方法としては、強接触状態でなくても印加電圧が高いので導通を得ることができるが、たとえば、導電性ペースト等を導電性のクッション材として結合線３２１と結合線３２２との接触面に適用する方法は、高い信頼性が得られ好適である。
【００２１】
また、第１基材１と第２基材２の材料としてはプラスチック材料を使用すると好適であるが、そのときには、超音波溶着加工により第１基材１と第２基材２どおしを接合することができる。超音波溶着加工は、２つの被溶着材料を重ね合わせて、接合しようとする箇所にプレス圧と超音波振動を加えて溶着固定する加工である。超音波溶着加工装置は、超音波発信源と、その振動を伝達する超音波ホーンと、その圧着面において被溶着材料を挟んで所定のプレス圧で圧着するため圧着機構とを有している。
超音波溶着加工により接合する箇所としては、固定シート４において第１基材１と第２基材２の表面が直接対面する箇所をその箇所とすることができる。このようなプラスチック材料どおしの超音波溶着加工は一般的に行われている。また、第１電極パターンの結合線と第２電極パターンの結合線の上において、それらの結合線が部分的に破壊されて露出したプラスチック基材どおしをその箇所とすることができる。第１電極パターンの結合線と第２電極パターンの結合線は薄膜であるため超音波溶着加工を行なったときには破壊される。
接合箇所が後者の場合には第１電極パターンの結合線と第２電極パターンの結合線は電気的に短絡する。固定シート４における結合線３２１と結合線３２２は、そのように電気的に短絡する箇所である。
【００２２】
電極が形成されたシートを超音波溶着加工により接合した部分の断面の一例を図６に示す。図６に示すように、溶着加工箇所においては、２枚のプラスチック基材である第１基材と第２基材が溶着により機械的に接合して一体化している。また、その溶着箇所において第１基材に形成された第１Ｗ相電極と第２基材に形成された第２Ｗ相電極とが電気的に短絡している。
また、第１基材に形成されたＶ相電極は絶縁材料によって被覆されているため、第２基材に形成された第１Ｗ相電極に対して電気的に絶縁している。
このように、超音波溶着加工を適用することにより接合と短絡が同時に行なわれ、効率の良い加工を行なうことができる。
【００２３】
２つに別れた電極を他の電極と干渉しないように電気的に短絡する方法の比較例を図７に示す。図７（Ａ）は基材にスルーホールを設けて短絡する方法を示す。図７（Ｂ）は絶縁材料で被覆した上にブリッジ電極を形成し短絡する方法を示す。これらの図７に示す方法は、従来より知られている方法であるが、上述の超音波溶着加工と比較して、加工に要する工数が多く、製造コストのかかる方法である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第１電極パターンを含む第１シートの構成を示す図である。
【図２】。本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける絶縁手段および第２電極パターンを含む第２シートの構成を示す図である。
【図３】本発明の静電アクチュエータの固定シートの構成を示す図である。
【図４】本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第１シートと第２シー各箇所の断面を示す図である。
【図５】本発明の静電アクチュエータの固定シートの断面を示す図である。
【図６】電極が形成されたシートを超音波溶着加工により接合した部分の断面の一例を６示す図である
【図７】２つに別れた電極を他の電極と干渉しないように電気的に短絡する方法の比較例を示す図である。
【図８】従来の静電アクチュエータの固定シートにおける電極パターンの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  第１シート
２  第２シート
３  絶縁手段
４  固定シート
１０  第１基材
１１  第１電極パターン
２０  第２基材
２１  第２電極パターン
１１１〜１１６  電極線（Ｕ相）
１２１  結合線（Ｕ相）
１３１  端子部（Ｕ相）
２１１〜２１６  電極線（Ｖ相）
２２１  結合線（Ｖ相）
２３１  端子部（Ｖ相）
３１１〜２１６  電極線（Ｗ相）
３２１，３２２  結合線（Ｗ相）
３３１  端子部（Ｗ相）
【図１】
2010028953.tif 000003
【図２】
2010028953.tif 000004
【図３】
2010028953.tif 000005
【図４】
2010028953.tif 000006
【図５】
2010028953.tif 000007
【図６】
2010028953.tif 000008
【図７】
2010028953.tif 000009
【図８】
2010028953.tif 000010