(57)【要約】【課題】所要数の加工ヘッドを有し、各加工ヘッドを固定し被加工物を平面内で動かすことによってレーザ光照射位置を制御して加工するレーザ加工装置において、各加工ヘッドのキャリブレーションを簡単に行うことができるようにする。【解決手段】レーザ加工装置(L)は、照準を合わせることができる原点カメラ(7)と、原点カメラに対し移動調整ができる加工テーブル(1)と、加工テーブルに対し位置調整ができる複数の加工ヘッド(8,8a,8b)と、レーザ光の照射点に対し照準を合わせることができる加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)を備え、加工テーブルは、その基準位置を調整する基準となる原点カメラ基準点(5)と、各加工ヘッドの加工テーブルに対する基準位置を調整する基準となる加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)を備えている。【選択図】図１
2010240677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射する一又は二以上の加工ヘッド(8,8a,8b)を有し、加工テーブル(1)を平面内で動かすことによって被加工物を加工するレーザ加工装置であって、
キャリブレーションの原点となり、加工テーブル(1)の基準位置の調整に用いられる原点カメラ(7)と、
レーザ光の光軸と同軸観察が可能であり、加工ヘッド(8,8a,8b)と一体的に動いて加工ヘッド(8,8a,8b)の基準位置の調整に用いられる加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)と、
原点カメラ(7)と加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の撮像を表示するモニター(17)と、
加工テーブル(1)の基準位置の調整及び加工ヘッド(8,8a,8b)の基準位置の調整を含むキャリブレーションの制御を行う制御部(11,12,13,14,15,16)と、
を備えており、
加工テーブル(1)は、原点カメラ(7)の照準に合わせるための原点カメラ基準点(5)と、加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の照準を合わせるための加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)を備えている、
レーザ加工装置。
【請求項２】
加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の撮像に可動照準要素(19)が表示されるようにしてあり、可動照準要素(19)は撮像に対して照準の調整ができる、
請求項１記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
レーザ光を出射する一又は二以上の加工ヘッド(8,8a,8b)を有し、加工テーブル(1)を平面内で動かすことによって被加工物を加工するレーザ加工装置のキャリブレーション方法であって、
（１）加工テーブル(1)側に、調整用のレーザ光照射痕跡(80)を形成するステップ、
（２）加工ヘッド(8,8a,8b)と一体的に動きレーザ光の光軸と同軸観察が可能な加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)で前記レーザ光照射痕跡(80)を撮像し、撮像画面に表示された可動照準要素(19)の照準をレーザ光照射痕跡(80)に合わせるステップ、
（３）加工テーブル(1)を予め記憶されている基準位置に移動させ、加工テーブル(1)の基準位置の調整に用いられる原点カメラ(7)で加工テーブル(1)の原点カメラ基準点(5)を撮像し、撮像画面に表示されている原点カメラ基準点(5)と原点カメラ(7)の照準とのズレ量を計測するステップ、
（４）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに加工テーブル(1)を動かし、原点カメラ(7)の照準に原点カメラ基準点(5)を合わせて、加工テーブル(1)を基準位置に調整するステップ、
（５）加工ヘッド(8,8a,8b)を予め記憶されている基準位置に移動させ、基準位置に調整された加工テーブル(1)の加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)を加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)で撮像し、加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)に対する加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の可動照準要素(19)の照準のズレ量を計測するステップ、
（６）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに、加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の可動照準要素(19)の照準が加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)に合うように加工ヘッド(8,8a,8b)を動かすステップ、
を含む、
レーザ加工装置のキャリブレーション方法。
【請求項４】
レーザ光を出射する一又は二以上の加工ヘッド(8,8a,8b)を有し、加工テーブル(1)を平面内で動かすことによって被加工物を加工するレーザ加工装置のキャリブレーションを行うプログラムであって、
キャリブレーションの原点となり、加工テーブル(1)の基準位置の調整に用いられる原点カメラ(7)と、
レーザ光の光軸と同軸観察が可能であり、加工ヘッド(8,8a,8b)と一体的に動いて加工ヘッド(8,8a,8b)の基準位置の調整に用いられる加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)と、
原点カメラ(7)と加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の撮像を表示するモニター(17)と、
加工テーブル(1)の基準位置の調整及び加工ヘッド(8,8a,8b)の基準位置の調整を含むキャリブレーションの制御を行う制御部(11,12,13,14,15,16)と、
を備えており、
加工テーブル(1)は、原点カメラ(7)の照準に合わせるための原点カメラ基準点(5)と、加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の照準を合わせるための加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)を備えているレーザ加工装置において、
（１）加工テーブル(1)側に、調整用のレーザ光照射痕跡(80)を形成するステップ、
（２）加工ヘッド(8,8a,8b)と一体的に動きレーザ光の光軸と同軸観察が可能な加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)で前記レーザ光照射痕跡(80)を撮像し、撮像画面に表示された可動照準要素(19)の照準をレーザ光照射痕跡(80)に合わせるステップ、
（３）加工テーブル(1)を予め記憶されている基準位置に移動させ、加工テーブル(1)の基準位置の調整に用いられる原点カメラ(7)で加工テーブル(1)の原点カメラ基準点(5)を撮像し、撮像画面に表示されている原点カメラ基準点(5)と原点カメラ(7)の照準とのズレ量を計測するステップ、
（４）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに加工テーブル(1)を動かし、原点カメラ(7)の照準に原点カメラ基準点(5)を合わせて、加工テーブル(1)を基準位置に調整するステップ、
（５）加工ヘッド(8,8a,8b)を予め記憶されている基準位置に移動させ、基準位置に調整された加工テーブル(1)の加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)を加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)で撮像し、加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)に対する加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の可動照準要素(19)の照準のズレ量を計測するステップ、
（６）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに、加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の可動照準要素(19)の照準が加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)に合うように加工ヘッド(8,8a,8b)を動かすステップ、
を含んでいる、
キャリブレーションプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置、レーザ加工装置におけるキャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラムに関するものである。更に詳しくは、一又は二以上の加工ヘッドを有し、被加工物を平面内で動かすことによってレーザ光照射位置を制御して加工する構造のレーザ加工装置において、各加工ヘッドのキャリブレーションを簡単に行うことができるレーザ加工装置、そのキャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜成膜ガラス基板等の被加工物（ワーク）に対して各種加工を行うためにレーザ加工装置が使用されている。レーザ加工装置には、加工ヘッドによるレーザ光照射位置の制御を、加工ヘッドを動かさずにガルバノスキャナ等の光学系を駆動することで行う構造のものと、同じく加工ヘッドを動かさずに被加工物を平面内で動かすことで行う構造のものがある。
【０００３】
前者は、例えば被加工物に対する穿孔や切断あるいはマーキング等の加工に用いられ、後者は、例えば薄膜太陽電池やフラットパネルディスプレイなどの製造において、薄膜成膜ガラス基板に特定のパターンを加工する等、きわめて高い加工精度（例えば30μm以下の加工精度許容誤差）を要求される加工に用いられている。
【０００４】
前記いずれのレーザ加工装置も、長期的な稼働あるいは設置場所における振動や温度変動の影響を受けて、次第にレーザ光の照射位置に狂いが生じ、加工精度に悪影響を及ぼすことがあった。
このため、例えば温度環境が変化した場合や一定期間毎に、レーザ光照射部を有するレーザ光学系及び被加工物を保持するテーブル駆動系の初期位置のキャリブレーション（較正）等を行う必要があった。これらの作業は、旧来、高度な技術を有する熟練した作業者によって行われてきたが、近年においては、これらキャリブレーション作業の一部を自動化したレーザ加工装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
特許文献１に開示された従来のレーザ加工装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光を対象面上でスキャンする、ガルバノミラーとその駆動系とを備えたガルバノスキャナと、対象面をガルバノスキャナを介して観察できるカメラと、ガルバノスキャナに対するレーザ光用のキャリブレーションテーブルと、ガルバノスキャナに対するカメラ用のキャリブレーションテーブルを有するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２６４７８９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のレーザ加工装置には次のような課題があった。
すなわち、レーザ加工装置は、レーザ光用のキャリブレーションテーブルとカメラ用のキャリブレーションテーブルが、いずれもガルバノスキャナに対してキャリブレーションを行うようになっており、加工ヘッドのレーザ照射位置の制御をガルバノスキャナを駆動して行うタイプに特化したものである。
【０００８】
このため、このキャリブレーション方法及び装置は、前記加工ヘッドを動かさずに被加工物を平面内で動かすことでレーザ光照射位置を制御する構造のレーザ加工装置には採用できなかった。
【０００９】
本発明は、加工ヘッドを動かさずに加工テーブルを平面内で動かすことによってレーザ光照射位置を制御して被加工物を加工する構造のレーザ加工装置において、加工テーブル及び加工ヘッドを基準位置に調整するキャリブレーションを簡単に行うことができるレーザ加工装置、そのキャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明が講じた手段は次のとおりである。
【００１１】
本発明は、レーザ光を出射する一又は二以上の加工ヘッドを有し、加工テーブルを平面内で動かすことによって被加工物を加工するレーザ加工装置であって、
キャリブレーションの原点となり、加工テーブルの基準位置の調整に用いられる原点カメラと、
レーザ光の光軸と同軸観察が可能であり、加工ヘッドと一体的に動いて加工ヘッドの基準位置の調整に用いられる加工ヘッドカメラと、
原点カメラと加工ヘッドカメラの撮像を表示するモニターと、
加工テーブルの基準位置の調整及び加工ヘッドの基準位置の調整を含むキャリブレーションの制御を行う制御部と、
を備えており、
加工テーブルは、原点カメラの照準に合わせるための原点カメラ基準点と、加工ヘッドカメラの照準を合わせるための加工ヘッドカメラ基準点を備えている、レーザ加工装置である。
【００１２】
本発明は、加工ヘッドカメラの撮像に可動照準要素が表示されるようにしてあり、可動照準要素は撮像に対して照準の調整ができる、前記レーザ加工装置である。
【００１３】
本発明は、レーザ光を出射する一又は二以上の加工ヘッドを有し、加工テーブルを平面内で動かすことによって被加工物を加工するレーザ加工装置のキャリブレーション方法であって、
（１）加工テーブル側に、調整用のレーザ光照射痕跡を形成するステップ、
（２）加工ヘッドと一体的に動きレーザ光の光軸と同軸観察が可能な加工ヘッドカメラで前記レーザ光照射痕跡を撮像し、撮像画面に表示された可動照準要素の照準をレーザ光照射痕跡に合わせるステップ、
（３）加工テーブルを予め記憶されている基準位置に移動させ、加工テーブルの基準位置の調整に用いられる原点カメラで加工テーブルの原点カメラ基準点を撮像し、撮像画面に表示されている原点カメラ基準点と原点カメラの照準とのズレ量を計測するステップ、
（４）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに加工テーブルを動かし、原点カメラの照準に原点カメラ基準点を合わせて、加工テーブルを基準位置に調整するステップ、
（５）加工ヘッドを予め記憶されている基準位置に移動させ、基準位置に調整された加工テーブルの加工ヘッドカメラ基準点を加工ヘッドカメラで撮像し、加工ヘッドカメラ基準点に対する加工ヘッドカメラの可動照準要素の照準のズレ量を計測するステップ、
（６）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに、加工ヘッドカメラの可動照準要素の照準が加工ヘッドカメラ基準点に合うように加工ヘッドを動かすステップ、
を含む、レーザ加工装置のキャリブレーション方法である。
【００１４】
本発明は、レーザ光を出射する一又は二以上の加工ヘッドを有し、加工テーブルを平面内で動かすことによって被加工物を加工するレーザ加工装置のキャリブレーションを行うプログラムであって、
キャリブレーションの原点となり、加工テーブルの基準位置の調整に用いられる原点カメラと、
レーザ光の光軸と同軸観察が可能であり、加工ヘッドと一体的に動いて加工ヘッドの基準位置の調整に用いられる加工ヘッドカメラと、
原点カメラと加工ヘッドカメラの撮像を表示するモニターと、
加工テーブルの基準位置の調整及び加工ヘッドの基準位置の調整を含むキャリブレーションの制御を行う制御部と、
を備えており、
加工テーブルは、原点カメラの照準に合わせるための原点カメラ基準点と、加工ヘッドカメラの照準を合わせるための加工ヘッドカメラ基準点を備えているレーザ加工装置において、
（１）加工テーブル側に、調整用のレーザ光照射痕跡を形成するステップ、
（２）加工ヘッドと一体的に動きレーザ光の光軸と同軸観察が可能な加工ヘッドカメラで前記レーザ光照射痕跡を撮像し、撮像画面に表示された可動照準要素の照準をレーザ光照射痕跡に合わせるステップ、
（３）加工テーブルを予め記憶されている基準位置に移動させ、加工テーブルの基準位置の調整に用いられる原点カメラで加工テーブルの原点カメラ基準点を撮像し、撮像画面に表示されている原点カメラ基準点と原点カメラの照準とのズレ量を計測するステップ、
（４）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに加工テーブルを動かし、原点カメラの照準に原点カメラ基準点を合わせて、加工テーブルを基準位置に調整するステップ、
（５）加工ヘッドを予め記憶されている基準位置に移動させ、基準位置に調整された加工テーブルの加工ヘッドカメラ基準点を加工ヘッドカメラで撮像し、加工ヘッドカメラ基準点に対する加工ヘッドカメラの可動照準要素の照準のズレ量を計測するステップ、
（６）ズレ量が生じている場合は、得られた計測値をもとに、加工ヘッドカメラの可動照準要素の照準が加工ヘッドカメラ基準点に合うように加工ヘッドを動かすステップ、
を含んでいる、
キャリブレーションプログラムである。
【００１５】
原点カメラ基準点は、通常は加工ヘッドカメラ基準点とは別に設けられているが、これに限定するものではなく、加工ヘッドカメラ基準点のいずれかと共用する構造とすることもできる。
【００１６】
（作用）
本発明に係るレーザ加工装置の作用を説明する。なお、ここでは、説明で使用する各構成要件に、後述する実施の形態において各部に付与した符号を対応させて付与するが、この符号は、特許請求の範囲の各請求項に記載した符号と同様に、あくまで内容の理解を容易にするためであって、各構成要件の意味を上記各部に限定するものではない。
【００１７】
（１）加工テーブル(1)にはレーザ加工において保持する薄膜成膜ガラス基板の代わりにダミー基板(4)を保持する。そして、ダミー基板(4)の任意の位置に加工ヘッド(8,8a,8b)からレーザ光を出射して、ダミー基板(4)上の照射部にできた点状の照射痕跡の中心位置を計測し、この計測値をもとに照準要素を動かして照準を照射痕跡に合わせ、照射痕跡に対する照準要素の調整を行う。なお、ダミー基板を使用せず、例えば被加工物である基板を保持し、その基板の加工に支障のないスペースを利用したり、加工テーブルそのものに専用のスペースを設ける等、他の方法を採用して前記工程を行うこともできる。
【００１８】
（２）次に、加工テーブル(1)の位置を一旦調整前の基準位置に設定する。この位置において、原点カメラ(7)によって加工テーブル(1)の原点カメラ基準点(5)を撮像し、照準要素の照準に対する原点カメラ基準点(5)のズレ量を計測する。この計測値をもとに加工テーブル(1)を平面内で動かして原点カメラ基準点(5)が照準要素の照準に合うようにし、加工テーブル(1)の位置を基準位置に調整する。
【００１９】
（３）さらに、各加工ヘッド(8,8a,8b)及び加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)の加工テーブル(1)に対する平面内の位置を一旦調整前の基準位置に設定する。この位置において、加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)によって加工テーブル(1)の加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)を撮像し、照準要素の照準に対する加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)のズレ量を計測する。この計測値をもとに各加工ヘッド(8,8a,8b)及び加工ヘッドカメラ(9,9a,9b)を動かして加工ヘッドカメラ基準点(6,6a,6b)が照準要素の照準に合うようにし、各加工ヘッド(8,8a,8b)の位置を加工テーブル(1)に対する基準位置に調整する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、一又は二以上の加工ヘッドを有し、加工テーブルを平面内で動かすことによってレーザ光照射位置を制御して被加工物を加工する構造のレーザ加工装置において、加工テーブル及び加工ヘッドを基準位置に調整するキャリブレーションを簡単に行うことができるレーザ加工装置、そのキャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るレーザ加工装置の一実施の形態を示す説明図。
【図２】レーザ加工装置におけるキャリブレーションの手順を示し、（ａ）は加工ヘッドによりレーザ光をダミー基板に出射している状態を示す斜視図、（ｂ）は加工ヘッドにより出射されたレーザ光の照射点に対し照準を合わせている状態を示す説明図。
【図３】レーザ加工装置におけるキャリブレーションの手順を示し、（ａ）は加工テーブルを基準位置に移動させ、原点カメラの視野内にガラススケールの原点カメラ基準点を位置させた状態を示す斜視図、（ｂ）は加工テーブルの位置を基準位置に調整している状態を示す説明図。
【図４】レーザ加工装置におけるキャリブレーションの手順を示し、（ａ）は加工ヘッドを基準位置に移動させ、加工ヘッドカメラの視野内に加工ヘッドカメラ基準点を位置させた状態を示す斜視図、（ｂ）は加工ヘッドの位置を加工テーブルに対する基準位置に調整している状態を示す説明図。
【図５】キャリブレーションを行う制御の全体の流れを示すフローチャート。
【図６】加工ヘッドにより出射されたレーザ光の照射点に対し照準を合わせる際の制御の流れを示すフローチャート。
【図７】加工テーブルの位置を基準位置に調整する際の制御の流れを示すフローチャート。
【図８】各加工ヘッドの位置を加工テーブルに対する基準位置に調整する際の制御の流れを示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明を図面に示した実施の形態に基づき詳細に説明する。
【実施例】
【００２３】
図１を参照する。
【００２４】
レーザ加工装置Ｌは、レーザ光学系とテーブル駆動系を備え、それぞれに機構部を有する。レーザ光学系は後述する加工ヘッド８、８ａ、８ｂを備え、テーブル駆動系は後述する移動機構部２によって駆動される加工テーブル１を備えている。
【００２５】
レーザ加工装置Ｌは、加工ヘッド８、８ａ、８ｂを動かさずに加工テーブル１に搭載した被加工物を平面内で動かすことでレーザ加工を行うものであり、加工テーブル１の初期位置を基準位置に調整する作業と、加工テーブル１に対する加工ヘッド８、８ａ、８ｂの位置を基準位置に調整する作業を行うことで装置全体のキャリブレーションを行うことができるものである。
【００２６】
テーブル駆動系は、前記したように加工テーブル１を備えている。加工テーブル１は平面視長方形状で水平に設けられており、移動機構部２によって駆動される。移動機構部２は、サーボモータ（図示省略）を備え、加工テーブル１をＸ軸、Ｙ軸の二次元的に位置を制御しながら水平方向に移動させることができる構造である。
【００２７】
加工テーブル１は、被加工物である薄膜成膜ガラス基板（図には表れていない）を保持する保持手段（図示省略）を備えている。また、加工テーブル１の上面には、加工テーブル１を初期位置に戻したときに、原点カメラ７、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂの下方にくる一辺に沿うように板状のガラススケール３が固定されている。ガラススケール３は、低熱膨張性の酸化物セラミックスガラスで形成されている。
【００２８】
ガラススケール３には、原点カメラ７で撮像される原点カメラ基準点５が長手方向において一端寄りの一箇所に設けられている。
また、ガラススケール３には、後述する各加工ヘッド８、８ａ、８ｂの加工テーブル１に対する基準位置に調整する基準となる加工ヘッドカメラ基準点６、６ａ、６ｂが設けられている。各基準点５、６、６ａ、６ｂは、それぞれ十字状に表されており、ガラススケール３の長手方向に等間隔で一直線上に並設されている。
【００２９】
加工テーブル１の上方には、加工テーブル１が移動する平面と所要間隔をおいて原点カメラ７が設けられている。原点カメラ７は、レーザ加工装置Ｌの装置躯体（図示省略）に固定されており、駆動機構を有しておらず、固定位置において不動である。原点カメラ７は、加工テーブル１へ向け垂直方向を撮像することができる。照準要素であるクロスカーソル１９ａは、原点カメラ７の撮像画面１８ａ内に表示され、後述する加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂの可動照準要素であるクロスカーソル１９とは相違して、撮像画面１８ａ内で固定である。なお、原点カメラ７は、加工テーブル１の位置を基準位置に調整する際に使用するカメラである。
【００３０】
また、加工テーブル１の上方には、加工テーブル１が移動する平面と所要間隔をおいて、三台の加工ヘッド８、８ａ、８ｂが設けられている。加工ヘッド８、８ａ、８ｂは、装置躯体に取り付けられている。各加工ヘッド８、８ａ、８ｂは、加工テーブル１へ向け垂直方向にレーザ光を出射することができる。なお、加工ヘッドの数は三台に限定されるものではなく、装置によって適宜決められるものである。
【００３１】
各加工ヘッド８、８ａ、８ｂには、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂにより出射されたレーザ光の照射点に対しクロスカーソル１９によって照準を合わせることができる加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂが設けられている。各加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂは、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂの位置を加工テーブル１に対する基準位置に調整する際に使用するカメラである。
【００３２】
加工ヘッド８、８ａ、８ｂと加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂは、光学系を介在させることにより光学的に同軸光路上に設定されており、加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂにより、加工ヘッド８、８ａ、８ｂから出射されるレーザ光の照射点が観察できる、いわゆる同軸観察ができるようにしている。なお、加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂは、加工ヘッド８、８ａ、８ｂを基準位置に調整する際には加工ヘッドカメラ基準点６、６ａ、６ｂを観察する。
【００３３】
また、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂは、各加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂとそれぞれ一体となって調整機構部１０、１０ａ、１０ｂによって水平方向における位置の調整を行うことができる。各調整機構部１０、１０ａ、１０ｂは、サーボモータを備え、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂをそれぞれ独立してＸ軸、Ｙ軸の二次元的に移動させることができるものである。
【００３４】
前記レーザ光学系とテーブル駆動系の動きは制御部（符号省略）で制御され、制御部は記憶部１２を有する主制御１１を備えている。主制御１１には、後述する移動機構部制御装置１３、レーザ制御装置１４、調整機構部制御装置１５及びカメラ制御装置１６が接続され、それぞれより情報を収集して解析し各装置に指令を出す。
なお、記憶部１２には、前記各基準点５、６、６ａ、６ｂの位置情報及び薄膜成膜ガラス基板上での加工位置情報等が格納されている。
【００３５】
移動機構部制御装置１３は、主制御１１により制御され、キャリブレーション及び加工の際に移動機構部２のサーボモータを制御して加工テーブル１の移動を行うものである。
レーザ制御装置１４は、主制御１１により制御され、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂのレーザ光の出射のＯＮ／ＯＦＦ制御を行うものである。
【００３６】
調整機構部制御装置１５は、主制御１１により制御され、キャリブレーションの際に調整機構部１０、１０ａ、１０ｂの各サーボモータを制御して各加工ヘッド８、８ａ、８ｂをＸ軸、Ｙ軸の二次元的方向に移動させるものである。
【００３７】
カメラ制御装置１６は、主制御１１により制御され、原点カメラ７及び各加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂの画像処理（例えば、計測等）及びクロスカーソル１９の制御（例えば、クロスカーソル１９の交点をレーザ光照射跡８０に合わせる等）を行うものである。モニタ１７には、クロスカーソル１９ａが表示された原点カメラ７の撮像画面１８ａまたはクロスカーソル１９が表示された各加工ヘッドカメラ９、９ａ、９ｂの撮像画面１８が表示される。
【００３８】
（作用）
図１ないし図４を参照して、レーザ加工装置Ｌの作用を説明する。なお、キャリブレーションを行う制御の流れについては、図５ないし図８を参照して説明する。
【００３９】
ステップＳ１：キャリブレーション用のダミー基板４（捨て基板とも言われる）を保持手段によって加工テーブル１にセットする。なお、キャリブレーションが終了し、レーザ加工を行う際には、ダミー基板４は被加工物である薄膜成膜ガラス基板に付け替えられる。
【００４０】
〔 図５（Ａ）〕
ステップＳ２：セットされたダミー基板４の所要の位置に対しレーザ光を照射可能にする位置へ加工テーブル１を移動させる。
【００４１】
ステップＳ３：ダミー基板４の所要の位置に加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）からレーザ光を出射する（図２（ａ）参照）。
【００４２】
ステップＳ４：レーザ光照射跡８０の中心の位置を計測する。なお、この中心位置の計測は撮像画面１８内の画素で座標を読み取ることで行われる（位置の計測については、以下も同様に行われる）。
【００４３】
ステップＳ５：撮像画面１８内に表示されたクロスカーソル１９を動かしてその交点をレーザ光照射跡８０の中心の座標に合わせることにより、レーザ光照射跡８０に対するクロスカーソル１９の位置の調整を行う（図２（ｂ）参照）。
【００４４】
このクロスカーソル１９の設定は、加工ヘッド８の終了後、加工ヘッド８ａ、８ｂについて順次同様に行う。
なお、前記ステップＳ２〜Ｓ５のさらに詳しい流れについては、図６を参照して後述する。
【００４５】
〔 図５（Ｂ）〕
ステップＳ６：加工テーブル１を記憶部１２に記憶されている位置データをもとに原点カメラ基準点５の基準位置（調整を行う前の予め記憶されている基準位置）へ移動させ、原点カメラ基準点５が原点カメラ７の視野内に入るようにする（図３（ａ）参照）。
【００４６】
ステップＳ７：原点カメラ７によって加工テーブル１の原点カメラ基準点５を撮像し、原点カメラ基準点５とクロスカーソル１９ａとのズレ量ｇ１を計測する（図３（ｂ）参照）。
【００４７】
ステップＳ８：前記計測値をもとに加工テーブル１をズレ量ｇ１の分だけ移動させ、加工テーブル１に設けられている原点カメラ基準点５がクロスカーソル１９ａの交点に合うようにし、加工テーブル１の位置の調整を行う（図３（ｂ）参照）。
【００４８】
ステップＳ９：原点カメラ基準点５の調整後の位置情報を、加工テーブル１の新たな基準位置として主制御１１の記憶部１２に記憶する。
なお、前記ステップＳ６〜Ｓ９のさらに詳しい流れについては、図７を参照して後述する。
【００４９】
〔 図５（Ｃ）〕
ステップＳ１０：加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）を記憶部１２に記憶されている位置データをもとに加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）の基準位置（調整を行う前の予め記憶されている基準位置）へ移動させ、加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）が加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）の視野内に入るようにする（図４（ａ）参照）。
【００５０】
ステップＳ１１：加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）によって加工テーブル１の加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）を撮像し、撮像画面１８内の加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）とクロスカーソル１９の交点のズレ量ｇ２を計測する（図４（ｂ）参照）。
【００５１】
ステップＳ１２：前記計測値をもとに加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）をズレ量ｇ２の分だけ移動させ、加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）の撮像画面１８内に表示されたクロスカーソル１９の交点が加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）に合うようにし、加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）の位置の調整を行う（図４（ｂ）参照）。
【００５２】
ステップＳ１３：加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）の調整後の位置情報を加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）の新たな基準位置として主制御１１の記憶部１２に記憶する。
なお、加工ヘッド８ａ、８ｂの調整については、加工ヘッド８の調整が終了した後、順次同様に行う。
また、前記ステップＳ１０〜Ｓ１３のさらに詳しい流れについては、図８を参照して後述する。
【００５３】
前記のように各ステップＳ１〜Ｓ１３を行うことにより、レーザ加工装置Ｌにおいて、加工テーブル１及び加工ヘッド８、８ａ、８ｂを基準位置に復帰させるキャリブレーションを行うことができる。
【００５４】
図６を参照し、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂにより出射されたレーザ光の照射跡８０に対し照準を合わせる調整を行う際の制御の流れ（図５（Ａ）：前記ステップＳ２〜Ｓ５）をさらに詳細に説明する。なお、この調整は、加工ヘッド８の後、加工ヘッド８ａ、８ｂについて順次同様に行う。
【００５５】
ステップＳ１０１：セットされたダミー基板４の所要の位置に対しレーザ光を照射可能にする加工テーブル１の位置データを主制御１１の記憶部１２から取得する。
【００５６】
ステップＳ１０２：主制御１１が前記レーザ光の照射が可能な位置へ加工テーブル１を移動させる指令を出す。
【００５７】
ステップＳ１０３：前記位置データをもとに移動機構部２によって加工テーブル１を移動させる。
【００５８】
ステップＳ１０４：主制御１１が加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）にレーザ光を１ショット出射させる指令を出す。
【００５９】
ステップＳ１０５：加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）からダミー基板４の所要位置へ向けレーザ光を出射する。
【００６０】
ステップＳ１０６：主制御１１がクロスカーソル１９を設定する指令を出す。
【００６１】
ステップＳ１０７：加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）でレーザ光照射跡８０を撮像し、ダミー基板４におけるレーザ光照射跡８０の中心の位置を計測する。
【００６２】
ステップＳ１０８：前記計測値をもとに加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）の撮像画面１８内に表示されたクロスカーソル１９を動かして、その交点をレーザ光照射跡８０の中心の座標に合わせることにより、レーザ光照射跡８０に対するクロスカーソル１９の位置の調整を行い（図２（ｂ）参照）、この位置をクロスカーソル１９の新たな位置として設定する。
【００６３】
ステップＳ１０９：最後の加工ヘッド８ｂにおけるクロスカーソル１９の調整であるかどうかを検出し、最後の加工ヘッド８ｂでなければステップＳ１０１に戻って次の加工ヘッド８ａまたは８ｂにおけるクロスカーソル１９の調整を開始し、最後の加工ヘッド８ｂであれば終了する。
【００６４】
次に、図７を参照し、加工テーブル１の位置を基準位置に調整する際の制御の流れ（前記ステップＳ６〜Ｓ９）をさらに詳細に説明する。
【００６５】
ステップＳ２０１：原点カメラ基準点５の位置データ（調整前の位置データ）を主制御１１の記憶部１２から取得する。
【００６６】
ステップＳ２０２：原点カメラ基準点５が初期位置にくるように、主制御１１が加工テーブル１を移動させる指令を出す。
【００６７】
ステップＳ２０３：前記位置データをもとに、移動機構部２によって加工テーブル１を移動させる。
【００６８】
ステップＳ２０４：主制御１１が原点カメラ基準点５と原点カメラ７の撮像画面１８ａ内に表示されたクロスカーソル１９ａとのズレ量を計測する指令を出す。
【００６９】
ステップＳ２０５：原点カメラ７によって加工テーブル１の原点カメラ基準点５を撮像し、原点カメラ基準点５の中心の位置を計測する。
【００７０】
ステップＳ２０６：原点カメラ基準点５と、原点カメラ７の撮像画面１８ａ内に表示されたクロスカーソル１９ａとのズレ量ｇ１を計測する。
【００７１】
ステップＳ２０７：前記ズレ量ｇ１を主制御１１の記憶部１２に書込む。
【００７２】
ステップＳ２０８：記憶部１２に記憶した前記ズレ量ｇ１を参照し、ズレ量ｇ１を調整した原点カメラ基準点５の新しい位置を計算する。
【００７３】
ステップＳ２０９：原点カメラ基準点５が調整後の新しい位置にくるように主制御１１が加工テーブル１を移動させる指令を出す。
【００７４】
ステップＳ２１０：前記計算値をもとに、移動機構部２によって加工テーブル１を移動させ、クロスカーソル１９ａの交点に原点カメラ基準点５の中心を合わせる。
【００７５】
ステップＳ２１１：原点カメラ基準点５の調整後の新しい位置を加工テーブル１の位置として記憶部１２に記憶する。
【００７６】
そして、図８を参照し、各加工ヘッド８、８ａ、８ｂの位置を加工テーブル１に対する基準位置に調整する際の制御の流れ（前記ステップＳ１０〜Ｓ１３）をさらに詳細に説明する。なお、この調整は、加工ヘッド８の後、加工ヘッド８ａ、８ｂについて順次同様に行う。
【００７７】
ステップＳ３０１：加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）の位置データ（調整前の位置）を主制御１１の記憶部１２から取得する。
【００７８】
ステップＳ３０２：加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）が初期位置へくるように、主制御１１が加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）を移動させる指令を出す。
【００７９】
ステップＳ３０３：前記位置データをもとに、調整機構部１０（１０ａ、１０ｂ）によって加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）を移動させる。
【００８０】
ステップＳ３０４：主制御１１が加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）と加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）の撮像画面１８内に表示されたクロスカーソル１９とのズレ量を計測する指令を出す。
【００８１】
ステップＳ３０５：加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）によって加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）を撮像し、加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）の中心の位置を計測する。
【００８２】
ステップＳ３０６：加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）と、加工ヘッドカメラ９（９ａ、９ｂ）の撮像画面１８内に表示されたクロスカーソル１９のズレ量ｇ２を計算する。
【００８３】
ステップＳ３０７：前記ズレ量ｇ２を主制御１１の記憶部１２に書込む。
【００８４】
ステップＳ３０８：記憶部１２に記憶した前記ズレ量ｇ２を参照し、ズレ量ｇ２を調整したクロスカーソル１９の新しい位置を計算する。
【００８５】
ステップＳ３０９：クロスカーソル１９が調整後の新しい位置にくるように主制御１１が加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）を新しい位置へ移動させる指令を出す。
【００８６】
ステップＳ３１０：前記計算値をもとに、調整機構部１０（１０ａ、１０ｂ）によって加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）を移動させることにより、クロスカーソル１９の交点を加工ヘッドカメラ基準点６（６ａ、６ｂ）に合わせる。
【００８７】
ステップＳ３１１：クロスカーソル１９の調整後の新しい位置を加工ヘッド８（８ａ、８ｂ）の位置として記憶部１２に記憶する。
【００８８】
ステップＳ３１２：最後の加工ヘッド８ｂの調整であるかどうかを検出し、最後の加工ヘッド８ｂでなければステップＳ３０１に戻って次の加工ヘッド８ａまたは８ｂの調整を開始し、最後の加工ヘッド８ｂであれば終了する。
【００８９】
なお、本明細書で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。
【符号の説明】
【００９０】
Ｌ  レーザ加工装置
１  加工テーブル
２  移動機構部
３  ガラススケール
４  ダミー基板
５  原点カメラ基準点
６、６ａ、６ｂ  加工ヘッドカメラ基準点
７  原点カメラ
８、８ａ、８ｂ  加工ヘッド
８０  レーザ光照射跡
９、９ａ、９ｂ  加工ヘッドカメラ
１０、１０ａ、１０ｂ  調整機構部
１１  主制御
１２  記憶部
１３  移動機構部制御装置
１４  レーザ制御装置
１５  調整機構部制御装置
１６  カメラ制御装置
１７  モニタ
１８、１８ａ  撮像画面
１９、１９ａ  クロスカーソル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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