(57)【要約】【課題】各画素領域へのインク塗布量を効果的に均一化させることができるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】一画素領域２７に複数ノズル９からインクを塗布していくことによりカラーフィルタを製造する。塗布目標量に基づきノズル毎に標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、各ノズルから標準液滴数だけ前記インクを吐出し、吐出されたインク総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量、計測された標準インク量および目標量に基づき、ノズル毎に液滴数を算出するステップと、が実施される。算出された液滴数により各ノズルからインクを吐出する。【選択図】図１１
2010204189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行いながら、前記基板上の一つの画素領域に対して複数のノズルを用いて着色層形成用のインクを塗布していくことによりカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記一つの画素領域に塗布すべき前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、
ノズル毎に予め計測された一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、前記ノズル毎に設定する液滴量設定ステップと、
前記目標量を考慮して、前記複数のノズルの各々に対して標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、
前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、
前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記一つの画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する液滴数算出ステップと、
前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して最終的に設定された液滴数だけ前記インクを前記一つの画素領域に吐出する吐出ステップと、を備える
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記一つの画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定される
ことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記一つの画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、すべて、１以上に設定される
ことを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記一つの画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、同一の値に設定される
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記複数のノズルの各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定して、前記複数のノズルの各々から前記標準液滴数だけ吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が設定される
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値である
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、当該ノズルから所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値である
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量をノズル毎に計測するステップを、さらに備える
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
前記算出されたノズル毎の液滴数を修正された標準液滴数として用い、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対応する前記修正された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を修正標準インク量として計測する修正標準インク量計測ステップと、
前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された修正標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記修正標準液滴数をさらに増減させて、前記一つの画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する修正液滴数算出ステップと、をさらに備え、
前記吐出ステップにおいて、前記修正液滴数算出ステップにおいて算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出される
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記修正標準インク量計測ステップおよび前記修正液滴数算出ステップが、複数回繰り返して実施され、
前記吐出ステップにおいて、最後に実施された前記修正液滴数算出ステップで算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出される
ことを特徴とする請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記目標量、前記液滴量および前記標準インク量が、インクの重量、インクの体積、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における平均膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における最大膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の色度、並びに、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層での輝度のうちの少なくともいずれか一つとして、計測または算出される
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行いながら、前記基板上の画素領域に対して複数のノズルを用いて着色層形成用のインクを塗布していくことにより表示装置を製造する表示装置の製造方法であって、
前記画素領域に塗布すべき前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、
ノズル毎に予め計測された一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、前記ノズル毎に設定する液滴量設定ステップと、
前記目標量を考慮して、前記複数のノズルの各々に対して標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、
前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、
前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する液滴数算出ステップと、
前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して最終的に設定された液滴数だけ前記インクを前記一つの画素領域に吐出する吐出ステップと、を備える
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定される
ことを特徴とする請求項１２に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、すべて、１以上に設定される
ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、同一の値に設定される
ことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記複数のノズルの各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定して、前記複数のノズルの各々から前記標準液滴数だけ吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が設定される
ことを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値である
ことを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、当該ノズルから所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値である
ことを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１９】
一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量をノズル毎に計測するステップを、さらに備える
ことを特徴とする請求項１２乃至１８のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記算出されたノズル毎の液滴数を修正された標準液滴数として用い、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対応する前記修正された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を修正標準インク量として計測する修正標準インク量計測ステップと、
前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された修正標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記修正標準液滴数をさらに増減させて、前記一つの画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する修正液滴数算出ステップと、をさらに備え、
前記吐出ステップにおいて、前記修正液滴数算出ステップにおいて算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出される
ことを特徴とする請求項１２乃至１９のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２１】
前記修正標準インク量計測ステップおよび前記修正液滴数算出ステップが、複数回繰り返して実施され、
前記吐出ステップにおいて、最後に実施された前記修正液滴数算出ステップで算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出される
ことを特徴とする請求項２０に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２２】
前記目標量、前記液滴量および前記標準インク量が、インクの重量、インクの体積、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における平均膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における最大膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の色度、並びに、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層での輝度のうちの少なくともいずれか一つとして、計測または算出される
ことを特徴とする請求項１２乃至２１のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法
【請求項２３】
複数のノズルを有するインクジェットヘッドを複数の所定領域を含む塗布領域に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行いながら、前記塗布領域上の一つの所定領域に対して複数のノズルを用いて着色層形成用のインクを塗布していく塗布方法であって、
前記一つの塗布領域に塗布すべき前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、
ノズル毎に予め計測された一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、前記ノズル毎に設定する液滴量設定ステップと、
前記目標量を考慮して、前記複数のノズルの各々に対して標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、
前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、
前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記一つの所定領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する液滴数算出ステップと、
前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して最終的に設定された液滴数だけ前記インクを前記一つの所定領域に吐出する吐出ステップと、を備える
ことを特徴とする塗布方法。
【請求項２４】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記一つの所定領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定される
ことを特徴とする請求項２３に記載の塗布方法。
【請求項２５】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記一つの所定領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、すべて、１以上に設定される
ことを特徴とする請求項２３または２４に記載の塗布方法。
【請求項２６】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記一つの所定領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、同一の値に設定される
ことを特徴とする請求項２３乃至２５のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項２７】
前記標準液滴数設定ステップにおいて、
前記複数のノズルの各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定して、前記複数のノズルの各々から前記標準液滴数だけ吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が設定される
ことを特徴とする請求項２３乃至２６のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項２８】
前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値である
ことを特徴とする請求項２３乃至２７のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項２９】
前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、当該ノズルから所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値である
ことを特徴とする請求項２３乃至２７のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項３０】
一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量をノズル毎に計測するステップを、さらに備える
ことを特徴とする請求項２３乃至２９のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項３１】
前記算出されたノズル毎の液滴数を修正された標準液滴数として用い、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対応する前記修正された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を修正標準インク量として計測する修正標準インク量計測ステップと、
前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された修正標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記修正標準液滴数をさらに増減させて、前記一つの所定領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する修正液滴数算出ステップと、をさらに備え、
前記吐出ステップにおいて、前記修正液滴数算出ステップにおいて算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出される
ことを特徴とする請求項２３乃至３０のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項３２】
前記修正標準インク量計測ステップおよび前記修正液滴数算出ステップが、複数回繰り返して実施され、
前記吐出ステップにおいて、最後に実施された前記修正液滴数算出ステップで算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出される
ことを特徴とする請求項３１に記載の塗布方法。
【請求項３３】
前記目標量、前記液滴量および前記標準インク量が、インクの重量、インクの体積、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における平均膜厚、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における最大膜厚、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層の色度、並びに、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層での輝度のうちの少なくともいずれか一つとして、計測または算出される
ことを特徴とする請求項２３乃至３２のいずれか一項に記載の塗布方法。
【請求項３４】
隣り合う二つの所定領域が、その端部において、互いに重なり合うようにして、前記複数の所定領域が前記塗布領域内に配置されている
ことを特徴とする請求項２３乃至３３のいずれか一項に記載の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造方法、表示装置の製造方法および塗布方法に関する。詳細には、インクジェット方式によるカラーフィルタの製造方法、表示装置の製造方法、塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータや携帯電話の普及に伴い、高精細かつ軽薄な表示装置が要望されている。表示装置は、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイパネル）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  Ｄｉｓｐｌａｙ）である。これらの表示装置には、構成部材として、いわゆるカラーフィルタが組み込まれ得る。
【０００３】
カラーフィルタにおける着色層の形成方法として、インクジェット法、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法が知られている。例えば、特許文献１に開示されているように、インクジェット法では、基板上にパターン形成されたインク受容層に、あるいは、基板上に遮光部により画設された開口部に、インクを塗布することによって、着色層が形成される。
【０００４】
インクジェット法を用いて着色層を形成した場合、画素領域へのインク塗布量がばらつき、画素領域間（着色層間）で色度や輝度が異なってしまうという不具合が生じることがある。このような不具合を解消するため、各画素領域へ塗布されるインク総量を揃えるための研究がなされている。有効な対策として、一つの画素領域に対し、一つのノズルからだけでなく、複数のノズルからインクを塗布する塗布方法（いわゆる、「分散」塗布方法）が、知られている（例えば、特許文献２および特許文献３）。この方法によれば、各ノズルから吐出される一液滴あたりの液滴量のバラツキに起因したインク塗布量の相違を分散させて緩和することができる。
【特許文献１】特開２００７−１７８９５６号公報
【特許文献２】特開２００２−２２１６１７号公報
【特許文献３】特許第３１５９９１９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、各画素領域へのインク塗布を複数のノズルを用いて行う上述の方法によれば、確かに画素領域へのインク塗布量のバラツキを抑制することができるが、今後の市場の要求を鑑みると、バラツキ抑制の程度が十分であるとは言えない。
【０００６】
このような状況下において鋭意研究を重ねたところ、本発明者は、各ノズルから吐出される一液滴あたりの液滴量の相違に起因したインク塗布量のバラツキを効果的に解消し得る方法を見出した。具体的には、一液滴分の液滴量をノズル毎に予め計測しておき、この計測結果に基づいて、一つの画素領域へインクを塗布する複数のノズルからの液滴数をノズル毎に設定する。このような方法によれば、各ノズルから吐出される一液滴あたりの液滴量の相違に起因したインク塗布量のバラツキをより効果的に抑制し、各画素領域へのインク塗布量を効果的に均一化させることができる。
【０００７】
そして、本発明は、本発明者が発明したカラーフィルタの製造方法に対するさらなる改良である。すなわち、本発明は、各画素領域へのインク塗布量を効果的に均一化させることができるカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、各画素領域へのインク塗布量を効果的に均一化させることができる表示装置の製造方法を提供することを目的とする。さらに、本発明は、各所定領域へのインク塗布量を効果的に均一化させることができる塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、鋭意研究を重ねた結果として、連続して吐出される液滴数が少ない場合に各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が大きく変動し得ることの悪影響を排除し得るようにして、各ノズルから吐出されるインクの滴滴数を設定することにより、各画素領域へのインク塗布量を効果的に均一化させることができることを見出した。
【０００９】
本発明によるカラーフィルタの製造方法は、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行いながら、前記基板上の一つの画素領域に対して複数のノズルを用いて着色層形成用のインクを塗布していくことによりカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、前記一つの画素領域に塗布すべき前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、ノズル毎に予め計測された一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、前記ノズル毎に設定する液滴量設定ステップと、前記目標量を考慮して、前記複数のノズルの各々に対して標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記一つの画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する液滴数算出ステップと、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して最終的に設定された液滴数だけ前記インクを前記一つの画素領域に吐出する吐出ステップと、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明によるカラーフィルタの製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記一つの画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定されてもよい。
【００１１】
また、本発明によるカラーフィルタの製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記一つの画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、すべて、１以上に設定されてもよい。
【００１２】
さらに、本発明によるカラーフィルタの製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記一つの画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、同一の値に設定されてもよい。
【００１３】
さらに、本発明によるカラーフィルタの製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記複数のノズルの各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定して、前記複数のノズルの各々から前記標準液滴数だけ吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が設定されてもよい。
【００１４】
さらに、本発明によるカラーフィルタの製造方法では、前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量が、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値であってもよい。あるいは、本発明によるカラーフィルタの製造方法では、前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量が、当該ノズルから所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値であってもよい。
【００１５】
さらに、本発明によるカラーフィルタの製造方法が、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量をノズル毎に計測するステップを、さらに備えるようにしてもよい。
【００１６】
本発明によるカラーフィルタの製造方法が、前記算出されたノズル毎の液滴数を修正された標準液滴数として用い、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対応する前記修正された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を修正標準インク量として計測する修正標準インク量計測ステップと、前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された修正標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記修正標準液滴数をさらに増減させて、前記一つの画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する修正液滴数算出ステップと、をさらに備え、前記吐出ステップにおいて、前記修正液滴数算出ステップにおいて算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出されるようにしてもよい。このような本発明によるカラーフィルタの製造方法において、前記修正標準インク量計測ステップおよび前記修正液滴数算出ステップが、複数回繰り返して実施され、前記吐出ステップにおいて、最後に実施された前記修正液滴数算出ステップで算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出されてもよい。
【００１７】
さらに、本発明によるカラーフィルタの製造方法において、前記目標量、前記液滴量および前記標準インク量が、インクの重量、インクの体積、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における平均膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における最大膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の色度、並びに、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層での輝度のうちの少なくともいずれか一つとして、計測または算出されてもよい。
【００１８】
本発明による表示装置の製造方法は、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行いながら、前記基板上の画素領域に対して複数のノズルを用いて着色層形成用のインクを塗布していくことにより表示装置を製造する表示装置の製造方法であって、前記画素領域に塗布すべき前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、ノズル毎に予め計測された一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、前記ノズル毎に設定する液滴量設定ステップと、前記目標量を考慮して、前記複数のノズルの各々に対して標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する液滴数算出ステップと、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して最終的に設定された液滴数だけ前記インクを前記一つの画素領域に吐出する吐出ステップと、を備えることを特徴とする。
【００１９】
本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定されてもよい。
【００２０】
また、本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、すべて、１以上に設定されてもよい。
【００２１】
さらに、本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記画素領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、同一の値に設定されてもよい。
【００２２】
さらに、本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記複数のノズルの各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定して、前記複数のノズルの各々から前記標準液滴数だけ吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が設定されてもよい。
【００２３】
さらに、本発明による表示装置の製造方法では、前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量が、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値であってもよい。あるいは、本発明による表示装置の製造方法では、前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量が、当該ノズルから所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値であってもよい。
【００２４】
さらに、本発明による表示装置の製造方法が、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量をノズル毎に計測するステップを、さらに備えるようにしてもよい。
【００２５】
さらに、本発明による表示装置の製造方法が、前記算出されたノズル毎の液滴数を修正された標準液滴数として用い、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対応する前記修正された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を修正標準インク量として計測する修正標準インク量計測ステップと、前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された修正標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記修正標準液滴数をさらに増減させて、前記一つの画素領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する修正液滴数算出ステップと、をさらに備え、前記吐出ステップにおいて、前記修正液滴数算出ステップにおいて算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出されてもよい。このような本発明による表示装置の製造方法において、前記修正標準インク量計測ステップおよび前記修正液滴数算出ステップが、複数回繰り返して実施され、前記吐出ステップにおいて、最後に実施された前記修正液滴数算出ステップで算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出されてもよい。
【００２６】
さらに、本発明による表示装置の製造方法において、前記目標量、前記液滴量および前記標準インク量が、インクの重量、インクの体積、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における平均膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における最大膜厚、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層の色度、並びに、前記一つの画素領域に塗布されたインクからなる着色層での輝度のうちの少なくともいずれか一つとして、計測または算出されてもよい。
【００２７】
本発明による塗布方法は、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを複数の所定領域を含む塗布領域に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行いながら、前記塗布領域上の一つの所定領域に対して複数のノズルを用いて着色層形成用のインクを塗布していく塗布方法であって、前記一つの塗布領域に塗布すべき前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、ノズル毎に予め計測された一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、前記ノズル毎に設定する液滴量設定ステップと、前記目標量を考慮して、前記複数のノズルの各々に対して標準液滴数を設定する標準液滴数設定ステップと、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を標準インク量として計測する標準インク量計測ステップと、前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記一つの所定領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する液滴数算出ステップと、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対して最終的に設定された液滴数だけ前記インクを前記一つの所定領域に吐出する吐出ステップと、を備えることを特徴とする。
【００２８】
本発明による塗布方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記一つの所定領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定されてもよい。
【００２９】
また、本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記一つの所定領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、すべて、１以上に設定されてもよい。
【００３０】
さらに、本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記一つの所定領域に対して前記インクを塗布する前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が、同一の値に設定されてもよい。
【００３１】
さらに、本発明による表示装置の製造方法の前記標準液滴数設定ステップにおいて、前記複数のノズルの各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定して、前記複数のノズルの各々から前記標準液滴数だけ吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対する標準液滴数が設定されてもよい。
【００３２】
さらに、本発明による表示装置の製造方法では、前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量が、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が当該ノズルから所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値であってもよい。あるいは、本発明による表示装置の製造方法では、前記液滴量設定ステップにおいて前記ノズル毎に設定される一液滴分の液滴量は、当該ノズルから所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量として、予め計測された値であってもよい。
【００３３】
さらに、本発明による表示装置の製造方法が、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量をノズル毎に計測するステップを、さらに備えるようにしてもよい。
【００３４】
さらに、本発明による表示装置の製造方法が、前記算出されたノズル毎の液滴数を修正された標準液滴数として用い、前記複数のノズルの各々から当該ノズルに対応する前記修正された標準液滴数だけ前記インクを吐出し、前記複数のノズルから吐出された前記インクの総量を修正標準インク量として計測する修正標準インク量計測ステップと、前記ノズル毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、前記計測された修正標準インク量と、前記目標量と、を考慮し、前記複数のノズルから吐出される前記インクの総量が前記目標量となるように、前記複数のノズルの各々に対して設定された前記修正標準液滴数をさらに増減させて、前記一つの所定領域へ吐出すべき前記インクの液滴数を前記複数のノズルの各々に対して算出する修正液滴数算出ステップと、をさらに備え、前記吐出ステップにおいて、前記修正液滴数算出ステップにおいて算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出されてもよい。このような本発明による塗布方法において、前記修正標準インク量計測ステップおよび前記修正液滴数算出ステップが、複数回繰り返して実施され、前記吐出ステップにおいて、最後に実施された前記修正液滴数算出ステップで算出された液滴数だけ、前記複数のノズルの各々から前記インクが吐出されてもよい。
【００３５】
さらに、本発明による表示装置の製造方法において、前記目標量、前記液滴量および前記標準インク量が、インクの重量、インクの体積、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における平均膜厚、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域内における最大膜厚、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層の色度、並びに、前記一つの所定領域に塗布されたインクからなる着色層での輝度のうちの少なくともいずれか一つとして、計測または算出されてもよい。
【００３６】
さらに、本発明による表示装置の製造方法において、隣り合う二つの所定領域が、その端部において、互いに重なり合うようにして、前記複数の所定領域が前記塗布領域内に配置されていてもよい。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、画素領域等の所定領域毎へのインク塗布量をより均一化させることができる。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るカラーフィルタ製造装置及びカラーフィルタ製造方法の一実施の形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。
【００３９】
（１．カラーフィルタ製造装置１の構成）
最初に、図１を参照しながら、カラーフィルタ製造装置１の構成について説明する。図１は、カラーフィルタ製造装置１の構成図である。カラーフィルタ製造装置１は、制御部２、基板３が載置される吸着テーブル４、インクジェットヘッド５、移動部（駆動部）６、アライメントカメラ７、液滴数設定部１０から構成される。カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５のノズル９からインクを吐出することにより、基板３に対してインクをパターニングして塗布し、カラーフィルタを製造する装置である。
【００４０】
基板３は、ガラス基板やフィルム基板である。吸着テーブル４は、基板３を吸着して固定するテーブルである。基板３の吸着は、例えば、吸着テーブル４と基板３との間の空気を吸引して、吸着テーブル４と基板３との間の空間を減圧あるいは真空にすることにより、実施される。なお、吸着テーブルには、空気を吸引するための小孔（図示せず）が設けられている。吸着の際には、吸着テーブル４と基板３との間の空気の吸引が、当該孔を介して、真空ポンプ（図示せず）等の手段によって行われる。
【００４１】
インクジェットヘッド５は、着色剤等を含むインクを吐出する装置である。インクジェットヘッド５は、基板３上に形成されたインク受容層、あるいは、遮光部２５によって画設された開口部に、インクを塗布するようになる。移動部（駆動部）６は、吸着テーブル４およびインクジェットヘッド５の移動および位置決めを行う装置である。なお、吸着テーブル４およびインクジェットヘッド５を移動させるための移動機構として、汎用のガイド機構や移動用アクチュエータ等を用いることができる。具体的には、移動用アクチュエータとして、ステップモータ、サーボモータ、リニアモータ等を用いることができ、ガイド機構として、直線移動機構、エアースライド等を用いることができる。また、アライメントカメラ７は、基板３の位置座標を検出するために、基板３の所定箇所（基板３上に形成されるアライメントマーク等）を撮像するカメラして構成されている。
【００４２】
液滴数設定部１０は、インクジェットヘッド５のノズル９毎に吐出するインクの液滴数を設定するように構成されている。液滴数設定部１０は、塗布情報設定部１１、ノズル情報設定部１２、液滴数情報算出部１３、記憶部１４を有する。記憶部１４には、塗布情報１５、ノズル情報１６、標準液滴数情報１７、標準塗布情報１８および液滴数情報１９が保持されるようになる。塗布情報設定部１１は、塗布情報１５を作成して記憶部１４に記録する。塗布情報１５については後述する。ノズル情報設定部１２は、ノズル情報１６を作成して記憶部１４に記録する。ノズル情報１６については後述する。液滴数情報算出部１３は、塗布情報１５に基づいて標準液滴数情報１７を算出して記憶部１４に記録する。また、液滴数情報算出部１３は、塗布情報１５、ノズル情報１６、標準液滴数情報１７および標準塗布情報１８に基づいて、液滴数情報１９を算出して記憶部１４に記録する。標準液滴数情報１７、標準塗布情報１８および液滴数情報１９については後述する。
【００４３】
（２．塗布方法）
次に、図２乃至図４を参照しながら、カラーフィルタ製造装置１による塗布方法について説明する。図２は、インクジェットヘッド５のノズル番号およびノズル数の関係を示す図である。図３は、インクジェットヘッド５による基板３のスキャン（走査）方法を説明するための図である。
【００４４】
インクジェットヘッド５は、ノズルＮｏ．１（ノズル番号１）〜ノズルＮｏ．Ｎ（ノズル番号Ｎ）までのＮ個のノズル９を有している。これらのＮ個のノズル９は、走査時における基板３に対する相対移動方向に直交する方向に一列に並べて配列されている。インクジェットヘッド５は、基板３の同一の画素列に対して複数回のスキャンを行う。スキャン回数およびスキャン間のインクジェットヘッド５の移動量は、分散数Ｂによって決定される。ここで、分散数とは、一つの画素領域（インクを塗布されるべき一つの所定領域）２５へのインクの塗布をいくつのノズル９に分散させて実行するかを表す数値である。すなわち、分散数がＢの場合には、一つの画素領域２７にインクを塗布すべきノズル９がＢ個割り当てられることを意味する。
【００４５】
図３に示すように、インクジェットヘッド５は、一方向についてスキャンを終了すると、Ｎ／Ｂ個のノズル分だけ、ノズル列方向に移動する。その後、インクジェットヘッド５は、それまでとは逆の方向に次のスキャンを行う。図示する例においては、最終的に、同一の画素列に対し、分散数Ｂの回数分だけスキャンが行われる。図３に示すように、第１スキャン〜第４スキャンでは、それぞれ、インクジェットヘッド５−１〜インクジェットヘッド５−４の位置から矢印方向にスキャンが行われる。
【００４６】
図４は、インクジェットヘッド５のグループ３１とノズル番号３２との関係を示す図である。インクジェットヘッド５のＮ個のノズル９は、いずれかのグループに分類される。同一のグループ３１には、同一の画素領域（本実施の形態においては、同一の画素列）２５にインクを塗布するようになるノズル９が属している。各グループには、分散数Ｂの数だけノズル９が割り当てられている。インクジェットヘッド５のノズル列方向の移動量に相当するＮ／Ｂ個間隔で同一グループのノズル９が割り当てられるようになる。具体的には、第１グループには、ノズル番号１、１＋Ｎ／Ｂ、１＋２Ｎ／Ｂ、…、１＋（Ｂ−１）Ｎ／ＢのＢ個のノズル９が割り当てられるようになる。また、第２グループには、ノズル番号２、２＋Ｎ／Ｂ、２＋２Ｎ／Ｂ、…、２＋（Ｂ−１）Ｎ／ＢのＢ個のノズル９が割り当てられる。さらに、第Ｎ／Ｂグループには、ノズル番号Ｎ／Ｂ、２Ｎ／Ｂ、３Ｎ／Ｂ、…、ＮのＢ個のノズル９が割り当てられるようになる。この結果、同一の画素列に属する各画素領域２７に対しては、同一グループに属するノズル９からインクが吐出されるようになる。
【００４７】
（３．塗布情報１５、ノズル情報１６、液滴数情報１７）
次に、図５〜図９を参照しながら、塗布情報１５、ノズル情報１６、液滴数情報１７について説明する。なお、以下の説明では、色Ｒ（ＲＥＤ）、色Ｇ（ＧＲＥＥＮ）、色Ｂ（ＢＬＵＥ）のうち、色Ｒ（ＲＥＤ）のインクを塗布する場合について説明するが、色Ｇ（ＧＲＥＥＮ）および色Ｂ（ＢＬＵＥ）に対しても同様の説明が当てはまり得る。また、理解を容易化するために、以下においては、インクジェットヘッド５のノズル９の数をＮ＝２０とし、分散数をＢ＝４とし、グループ数を（Ｎ／Ｂ）＝（２０／４）＝５とした例について説明する。
【００４８】
（３−１．インクジェットヘッド５）
図５は、インクジェットヘッド５を示す図である。図５のインクジェットヘッド５は、着色層形成用のインクとして色Ｒ（ＲＥＤ）のインクを吐出するインクジェットヘッドである。図５のインクジェットヘッド５は、ノズルＮｏ．１からノズルＮｏ．２０までの２０個のノズル９と、インク供給部２１と、を有している。インク供給部２１は、インクが充填されるチャンバ、インクをノズル９に供給するためインク配管、ノズル毎にインク吐出量を制御する吐出量制御部等から構成される。吐出量制御部は、例えば、ノズル毎に設けられたピエゾ素子の印加電圧を制御することによりインク吐出量を制御し得るように構成されている。
【００４９】
（３−２．カラーフィルタ２３）
図６は、基板３にインクが塗布されて形成されたカラーフィルタ２３を示す図である。基板３には遮光部２５が形成されている。遮光部２５によって複数の画素領域２７が画設されている。図６のカラーフィルタ２３において、画素列２９−１、２９−２、・・・、２９−５には、色Ｒのインクが塗布されている。画素列２９−１は、画素領域Ｒ０１、Ｒ１１、Ｒ２１、・・・、Ｒ５１、・・・を含み、画素列２９−２は、画素領域Ｒ０２、Ｒ１２、Ｒ２２、・・・、Ｒ５２、・・・を含み、画素列２９−３は、画素領域Ｒ０３、Ｒ１３、Ｒ２３、・・・、Ｒ５３、・・・を含み、画素列２９−４は、画素領域Ｒ０４、Ｒ１４、Ｒ２４、・・・、Ｒ５４、・・・を含み、画素列２９−５は、画素領域Ｒ０５、Ｒ１５、Ｒ２５、・・・、Ｒ５５、・・・を含む。画素列２９−１、２９−２、・・・、２９−５の各画素領域には、それぞれ、第１グループ（ノズルＮｏ．０１、Ｎｏ．０６、Ｎｏ．１１、Ｎｏ．１６）、第２グループ（ノズルＮｏ．０２、Ｎｏ．０７、Ｎｏ．１２、Ｎｏ．１７）、・・・、第５グループ（ノズルＮｏ．０５、Ｎｏ．１０、Ｎｏ．１５、Ｎｏ．２０）に属する４つのノズル９からインクが吐出される。
【００５０】
（３−３．塗布情報１５）
図７は、塗布情報１５を示す図である。塗布情報１５は、塗布量や塗布方法に関する情報である。塗布情報１５は、画素領域内重量［Ｗ］３３、画素領域内平均膜厚［Ｄ］３４、画素領域内色度［Ｙ］３５、画素領域内液滴数３６、分散数［Ｂ］３７などの項目を有している。画素領域内重量［Ｗ］３３は、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、当該画素領域２７内に吐出されたインクの総重量として、示しており、例えば、「１０００ｎｇ」となる。画素領域内平均膜厚［Ｄ］３４は、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における平均膜厚として、示しており、例えば、「２．００μｍ」となる。なお、平均膜厚は、例えば、電子顕微鏡を用いて対象となる画素領域内に形成された着色層の厚さ（高さ）を当該画素領域内の各位置において計測し、さらに、計測された厚さ（高さ）の平均値をとることによって、算出され得る。画素領域内色度［Ｙ］３５は、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の色度として、示しており、例えば、「０．６６００」となる。なお、本件における色度は、光源にＣ光源を用いたときのｘｙＹ表色系による色座標ｘまたはｙの計測より求められる値とする。画素領域内液滴数３４は、ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量がノズル９の仕様に基づいて期待される液滴量、つまり、ノズル９の仕様通りの液滴量であると仮定して、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、ノズル９から吐出されるべきインクの液滴数として、示しており、例えば、「４０滴」となる。分散数［Ｂ］３５は、上述したように本例において、同一の画素列に対するスキャン回数（塗布回数、重ね塗り回数）に相当し、例えば、「４」となる。
【００５１】
なお、塗布情報１５が、画素領域内重量［Ｗ］３３、画素領域内平均膜厚［Ｄ］３４および画素領域内色度［Ｙ］３５に加えて、あるいは、画素領域内重量［Ｗ］３３、画素領域内平均膜厚［Ｄ］３４および画素領域内色度［Ｙ］３５の少なくともいずれか一つに代えて、体積に関する情報（画素領域内体積）、最大膜厚に関する情報（画素領域内最大膜厚）、および、輝度に関する情報（画素領域内輝度）等を有するようにしてもよい。ここで、体積に関する情報（画素領域内体積）は、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、当該画素領域２７内に吐出されたインクの総体積として、示した情報である。最大膜厚に関する情報（画素領域内最大膜厚）は、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の最大膜厚として、示した情報である。輝度に関する情報（画素領域内輝度）は、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層での輝度として、示した情報である。なお、本件における輝度は、光源にＣ光源を用いたときのｘｙＹ表色系による色座標Ｙの計測より求められる値とする。
【００５２】
（３−４．ノズル情報１６）
図８は、ノズル情報１６を示す図である。ノズル情報１６は、インクジェットヘッド５のノズル９に関する情報である。ノズル情報１６は、ノズル番号３８、液滴重量［Ｗ／滴］３９、平均膜厚変化量［ΔＤ／滴］４０、色度変化量［ΔＹ／滴］４１、グループ４２、塗布画素領域４３等の項目を有している。ノズル番号３８は、インクジェットヘッド５に含まれる各ノズル９を識別するための識別子を示し、例えば、「Ｎｏ．１」等で表される。液滴重量［Ｗ／滴］３９は、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、重量として、示しており、例えば、「Ｗ０１（ｎｇ／滴）」となる。平均膜厚変化量 ［ΔＤ／滴］４０は、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の平均膜厚の変化量として、示しており、例えば、「Ｄ０１（μｍ／滴）」となる。色度変化量［ΔＹ／滴］４１は、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の色度の変化量として、示しており、例えば、「Ｙ０１（／滴）」である。グループ４２は、各ノズル９が属するグループを示しており、例えば、「第１グループ」である。なお、ノズル番号３８とグループ４２との関係は、図４のノズル番号３２とグループ３１との関係と同様となっている。塗布画素領域［Ｒ］４３は、ノズル毎に塗布対象の画素領域２７を示しており、例えば、「画素列２９−１（Ｒ０１、Ｒ１１、Ｒ２１、・・・）」となっている。
【００５３】
なお、ノズル情報１６が、液滴重量［Ｗ／滴］３９、平均膜厚変化量［ΔＤ／滴］４０および色度変化量［ΔＹ／滴］４１に加えて、あるいは、液滴重量［Ｗ／滴］３９、平均膜厚変化量［ΔＤ／滴］４０および色度変化量［ΔＹ／滴］４１の少なくともいずれか一つに代えて、体積に関する情報（液滴体積）、最大膜厚に関する情報（最大膜厚変化量）、および、輝度に関する情報（輝度変化量）等を有するようにしてもよい。ここで、体積に関する情報（液滴体積）は、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、体積として、示した情報である。最大膜厚に関する情報（最大膜厚変化量）は、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の最大膜厚の変化量として、示した情報である。輝度に関する情報（輝度変化量）は、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の輝度の変化量として、示した情報である。
【００５４】
（３−５．標準液滴数情報１７）
図９は、標準液滴数に関する情報１７を示す図である。標準液滴数情報１７は、複数のノズル９の各々に対して設定された標準液滴数を示す情報である。各画素領域２７（各画素列）に対してインク吐出するノズル９が走査毎に変更される本例においては、図９に示すように、走査毎（スキャン毎）および画素領域２７毎に、ノズル９および当該ノズル９から吐出されるインクの液滴数（標準滴滴数）が設定されている。図９に示す例においては、画素領域Ｒ０１には、第１スキャンにおいてノズルＮｏ．１から１０滴のインクが吐出され、第２スキャンにおいてノズルＮｏ．６から１０滴のインクが吐出され、第３スキャンにおいてノズルＮｏ．１１から１０滴のインクが吐出され、第４スキャンにおいてノズルＮｏ．１６から１０滴のインクが吐出される。
【００５５】
（３−６．標準塗布情報１８）
図１０は、標準塗布情報１８を示す図である。標準塗布情報１８は、一つの画素領域２７に対してインクを吐出する複数のノズル９の各々から当該ノズル９に対して設定された標準液滴数だけインクを吐出した場合での、一つの画素領域２７に対してインクを吐出する複数のノズル９から吐出されたインクの総量（標準インク量）に関する情報である。標準塗布情報１８は、塗布画素領域［Ｒ］４３、重量［Ｗｒ／画素］４４、平均膜厚［Ｄｒ／画素］４５、および、色度［Ｙｒ／画素］４６等の項目を有している。重量［Ｗｒ／画素］４４は、標準インク量を総重量として示しており、例えば、「Ｗｒ０１（ｎｇ／画素）」となる。平均膜厚［Ｄｒ／画素］４５は、標準インク量のインクが一つの画素領域２７内に吐出されたとして、標準インク量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における平均膜厚として、示しており、例えば、「Ｄｒ０１（μｍ／画素）」となる。色度４６［Ｙｒ／画素］は、標準インク量のインクが画素領域２７内に吐出されたとして、標準インク量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の色度として、示しており、例えば、「Ｙｒ（／画素）」となる。
【００５６】
なお、標準塗布情報１８が、重量［Ｗｒ／画素］４４、平均膜厚［Ｄｒ／画素］４５および色度［Ｙｒ／画素］４６に加えて、あるいは、重量［Ｗｒ／画素］４４、平均膜厚［Ｄｒ／画素］４５および色度 ［Ｙｒ／画素］４６の少なくともいずれか一つに代えて、体積に関する情報、最大膜厚に関する情報、および、輝度に関する情報等を有するようにしてもよい。ここで、体積に関する情報は、標準インク量を総体積として示した情報である。最大膜厚に関する情報は、標準インク量のインクが一つの画素領域２７内の吐出されたとして、標準インク量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における最大膜厚として、示した情報である。輝度に関する情報は、標準インク量のインクが一つの画素領域２７内の吐出されたとして、標準インク量を、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の輝度として、示した情報である。
【００５７】
（３−７．液滴数情報１９）
図１１は、液滴数情報１９を示す図である。液滴数情報１９は、複数のノズル９の各々に対して設定された液滴数を示す情報である。各画素領域２７（各画素列）に対してインク吐出するノズル９が走査毎に変更される本例においては、図１１に示すように、走査毎（スキャン毎）および画素領域２７毎に、ノズル９および当該ノズル９から吐出されるインクの液滴数（標準滴滴数）が設定されている。図１１に示す例においては、画素領域Ｒ０１には、第１スキャンにおいてノズルＮｏ．１から９滴のインクが吐出され、第２スキャンにおいてノズルＮｏ．６から９滴のインクが吐出され、第３スキャンにおいてノズルＮｏ．１１から１０滴のインクが吐出され、第４スキャンにおいてノズルＮｏ．１６から１２滴のインクが吐出される。液滴数情報１９は、詳しくは後述するように、塗布情報１５、ノズル情報１６、標準液滴数情報１７および標準塗布情報１８に基づいて算出される。
【００５８】
（４．カラーフィルタ製造装置１の動作）
次に、図１２及び図１３を参照しながら、カラーフィルタ製造装置１の動作の一例について説明する。図１２は、カラーフィルタ製造装置１の動作を示すフローチャートである。
【００５９】
まず、ステップＳ１００１として、操作者からの操作指示によって、塗布情報１５（図７参照）がカラーフィルタ製造装置１の記憶部１４に設定される。塗布情報１５は、上述したように、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量に関する情報であり、例えば、当該目標を重量で表した画素領域内重量［Ｗ］３３が含まれる。なお、一つのの画素領域２７に塗布するインクの目標量は、製造されるべきカラーフィルタの製品規格等から決定される。また、数種類のカラーフィルタに関する塗布情報１５が予め登録されており、記録された複数種類の塗布情報１５のうちのいずれか一つが操作者によって選択され、選択された塗布情報１５が記憶部１４に設定されるようにしてもよい。
【００６０】
次に、ステップＳ１００２として、操作者からの操作指示によって、ノズル情報１６（図８参照）がカラーフィルタ製造装置１の記憶部１４に設定される。ノズル情報１６は、上述したように、一回の吐出で吐出される一液滴分の液滴量に関する情報であり、例えば、当該液滴量を重量で表した液滴重量［Ｗ／滴］３９が含まれる。
【００６１】
上述したように、ノズル９から連続してインクを吐出する場合、吐出されるインクの一液滴分の液滴量は吐出初期において大きく変動し得り、その後、一液滴分の液滴量は安定するようになる。そして、記憶部１４に設定されるノズル情報１６におけるノズル９毎の液滴量は、液滴量が大きく変動し得る吐出初期を経過した後に吐出される一液滴分の液滴量として計測されていることが好ましい。
【００６２】
なお、この液滴情報として設定される情報、すなわち、ノズル９から吐出される一液滴分の液滴量に関する情報は、別途の工程により、ノズル９毎に予め計測される。一例として、対象となるノズル９から所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の総重量を計測し、計測値から一液滴分の平均液滴量を算出することによって、ノズル９毎に設定される一液滴分の液滴量を求めることができる。この計測方法においては、例えば、電子天秤等の測定機器を用いて連続して吐出された複数液滴のインクの総重量を計測することによって、一液滴分の液滴量を、重量として計測することができる。また、ここでいう「所定の回数」とは、例えば３であって、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る吐出初期における吐出回数以上の回数を意味している。実際には、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る吐出初期における吐出回数を大きく超える１０万発分の液滴の総重量を計測することによって、一液滴分の液滴量を計測することができる。
【００６３】
また、別の計測方法として、撥インク基板上の一つの画素領域に計測対象となるノズルからインク液滴を実際に吐出し、一液滴分の液滴量を計測することもできる。このような計測方法によれば、一液滴分の液滴量を、吐出されたインクの重量としてだけでなく、吐出されたインクの体積、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における平均膜厚、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における最大膜厚、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の色度、あるいは、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層での輝度として計測することができる。
【００６４】
基板３上の画素領域２７に実際にインクを吐出して一液滴分の液滴量を計測する方法の一例として、液滴が当該ノズル９から所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量を計測することにより、一液滴分の液滴量を求めることができる。具体的には、一つの画素領域２７に９液滴だけ吐出した場合における当該画素領域２７に塗布されたインクの総量と、一つの画素領域２７に１０液滴だけ吐出した場合における当該画素領域２７に塗布されたインクの総量と、の差から一液滴分の液滴量を計測することができる。あるいは、他の例として、液滴が当該ノズル９から所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量を計測することにより、一液滴分の液滴量を求めることもできる。具体的には、一つの画素領域２７に９液滴だけ吐出した場合における当該画素領域２７に塗布されたインクの総量と、一つの画素領域２７に１１液滴だけ吐出した場合における当該画素領域２７に塗布されたインクの総量と、の差から一液滴分の液滴量を計測することができる。上述したように、基板３の画素領域２７に塗布されたインクの総量は、重量としてだけでなく、体積として、インクからなる着色層の平均膜厚として、インクからなる着色層の最大膜厚として、インクからなる着色層の色度として、あるいは、インクからなる着色層の輝度として、計測され得る。また、この計測方法における「所定の回数」とは、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る吐出初期における吐出回数以上の回数を意味しており、とりわけ、標準液滴数の近傍の値であることがさらに好ましい。
【００６５】
なお、各ノズル９から吐出される一液滴分の液滴量を計測する際には、計測対象となるノズル以外のノズルからも、カラーフィルターを実際に製造する場合の塗布動作と同様にして、インクが吐出されることが望ましい。隣接ノズルからのインクの吐出の有無に起因した一液滴分の液滴量の変動、いわゆるクロストーク現象による影響を排除するためである。したがって、計測ノズル以外のノズルからのインクの吐出は、カラーフィルタを実際に製造する際における吐出と可能な限り同一であることが好ましい。
【００６６】
ところで、これらのステップＳ１００１およびステップＳ１００２のうちのステップＳ１００２が先に実施されるようにしてもよいし、あるいは、これらのステップＳ１００１およびステップＳ１００２が並行して実施されるようにしてもよい。
【００６７】
その後、ステップＳ１００３として、標準液滴数情報１７（図９参照）がカラーフィルタ製造装置１の記憶部１４に設定される。標準液滴数情報１７は、上述したように、複数のノズル９の各々に対して設定された標準液滴数［Ｆｒ］を示す情報である。標準液滴数情報１７は、塗布情報１５の一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量に基づき、操作者により又は液滴数情報算出部１３により設定される。
【００６８】
このような標準液滴数情報１７の標準液滴数は、塗布情報１５として記録された一つの画素領域２７に吐出すべきインクの目標量（例えば、画素領域内重量［Ｗ］）に基づいて決定される。また、一つの画素領域２７に対し、一つのノズル９からだけでなく、複数のノズル９からインクを塗布する従来の塗布方法（いわゆる、背景技術の欄で説明した「分散」塗布方法）において、各ノズル９から吐出される液滴数を決定する方法と同様にして、標準液滴数をノズル９毎に決定することもできる。
【００６９】
具体的には、複数のノズル９の各々から吐出されるインクの一液滴の液滴量が当該ノズル９の仕様（製品規格）に基づいて予想される液滴量、つまり、当該ノズル９の仕様（製品規格）通りの液滴量であると仮定して、複数のノズル９の各々から標準液滴数だけ吐出されるインクの総量が目標量と一致するように、複数のノズル９の各々に対する標準液滴数を設定することができる。
【００７０】
この際、各ノズル９に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定されることが好ましい。ここでいう予め設定された値とは、吐出開始時におけるインクの液滴量のばらつきを考慮して決定される値である。一例として、ノズル９から連続して吐出されるインクの一液滴分の液滴量が安定すると一般的に考えられている４以上に、標準液滴数を設定することが好ましい。すなわち、一液滴分の液滴量が安定するようになるまで液滴がノズル９から吐出されるように、標準液滴数を設定することが好ましい。また、各ノズル９に対する標準液滴数が、すべて、０以外に、つまり１以上に設定されることが好ましい。さらに、各ノズル９に対する標準液滴数が互いに同一であることが好ましい。
【００７１】
図示する具体例においては、塗布情報１５（図７参照）の画素領域内液滴数が示すように、ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量がノズル９の仕様に基づいて期待される液滴量であると仮定すると、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量が、ノズル９から吐出される４０液滴分のインクに相当する。また、分散数が４であり、四つのノズル９を用いて一つの画素領域２７内にインクを塗布していく。そして、各ノズルの標準液滴数がすべて１０となっており、上述した全ての条件を満たしている。
【００７２】
次に、ステップＳ１００４として、操作者の操作指示によって、標準塗布情報１８（図１０参照）が、カラーフィルタ製造装置１の記憶部１４に設定される。標準塗布情報１８は、上述したように、一つの画素領域２７にインクを吐出する複数のノズル９の各々から当該ノズル９に対して設定された標準液滴数だけインクを吐出した場合における、複数のノズル９から吐出されたインクの総量（標準インク量）に関する情報であり、例えば、当該標準インク量を重量で表した重量［Ｗｒ／画素］が含まれる。
【００７３】
標準塗布情報１８を記憶部１４に設定するにあたり、標準インク量が予め実測される。具体的には、標準液滴数情報１７で設定された情報に従い、一つの画素領域２７にインクを塗布する複数のノズル９の各々から、当該ノズル９に対して設定された標準液滴数だけインクを吐出する。そして、吐出されたインクの総重量を計測し、得られた計測値を、標準塗布情報１８における「重量［Ｗｒ／画素］」として、記憶部１４に設定する。この計測方法においては、電子天秤等の測定機器を用いて吐出されたインクの総重量を計測することができ、この場合、インクは必ずしも基板３上に吐出される必要はない。
【００７４】
ただし、別の計測方法として、撥インク基板上の一つの画素領域に、対象となる複数のノズルの各々から、当該ノズルに対して設定された標準液滴数だけインクを実際に吐出し、一つの画素領域２７内に塗布されたインクの総量を計測するようにしてもよい。このような計測方法によれば、インクの総量（標準インク量）を、吐出されたインクの体積、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における平均膜厚、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における最大膜厚、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の色度、あるいは、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層での輝度として計測することができる。
【００７５】
なお、図示する例においては、同一の画素列２９−１、２９−２、・・・、２９−５に含まれる各画素領域２７に対しては、同一のノズル９が用いてインクが吐出され、且つ、各ノズル９に対しては同一の標準液滴数が設定されている（図９参照）。したがって、図１０に示すように、同一画素列に属する画素領域２７に対する標準インク量は同一の値として設定されるようになる。この標準インク量は、一回の計測値としてもよいし、あるいは、複数回計測した平均値としてもよい。一例として、実際に基板３上の各画素領域２７へノズル９からインク吐出して標準インク量を計測する場合には、一つの画素領域２７に塗布されたインクの総量のみを計測するようにしてもよいし、同一画素列に含まれる二以上の画素領域２７に塗布されたインクの総量の計測値の平均をとるようにしてもよい。
【００７６】
なお、標準インク量を計測する際には、計測対象となるノズル以外のノズルからも、カラーフィルタを実際に製造する場合の塗布動作と同様にして、インクが吐出されることが望ましい。隣接ノズルからのインクの吐出の有無に起因した一液滴分の液滴量の変動、いわゆるクロストーク現象による影響を解消するためである。したがって、計測ノズル以外のノズルからのインクの吐出は、カラーフィルタを実際に製造する際における吐出と可能な限り同一であることが好ましい。
【００７７】
その後、ステップＳ１００５として、カラーフィルタ製造装置１は、塗布情報１５およびノズル情報１６に基づいて、画素領域［Ｒ］の塗布に用いる複数のノズル［Ｎ］および当該ノズル［Ｎ］のインク１滴当たりの液滴重量［Ｗ／滴］３９を読み出す。
【００７８】
次に、ステップＳ１００６として、ノズル９毎に予め設定された一液滴分の液滴量（例えば、ノズル情報部１６の液滴重量［Ｗ／滴］３９）と、計測された標準インク量（例えば、標準塗布情報１８の重量［Ｗｒ／画素］４４）と、一つの画素領域２７に塗布すべき目標量（例えば、塗布情報１５の画素領域内重量［Ｗ］３３）と、を考慮し、一つの画素領域２７にインクを塗布する複数のノズル９から吐出されるインクの総量が目標量と一致するように、一つの画素領域［Ｒ］へ吐出すべきインクの液滴数［Ｆ］を複数のノズルの各々［Ｎ］に対して算出する。算出された液滴数は、記憶部１４の液滴数情報１９として記録される。
【００７９】
液滴数の算出は、液滴数情報算出部１３により実施され得る。まず、一つの画素領域２７内へ塗布すべきインクの目標量と、標準インク量と、を対比し、標準インク量と目標量との差を算出する。この標準インク量と目標量との差を埋めるように、複数のノズルの各々［Ｎ］に対して設定された標準液滴数［Ｆｒ］を増減させる。
【００８０】
具体例としては、画素領域Ｒ０１について、
Ｗ［ｎｇ］−Ｗｒ０１［ｎｇ／画素］
＝｛Ｗ０１［ｎｇ／滴］×（Ｆ０１［滴］−Ｆｒ０１［滴］）｝
＋｛Ｗ０６［ｎｇ／滴］×（Ｆ０６［滴］−Ｆｒ０６［滴］）｝
＋｛Ｗ１１［ｎｇ／滴］×（Ｆ１１［滴］−Ｆｒ１１［滴］）｝
＋｛Ｗ１６［ｎｇ／滴］×（Ｆ１６［滴］−Ｆｒ１６［滴］）｝
として、上式を満たすノズルＮｏ．１の液滴数Ｆ０１、ノズルＮｏ．６の液滴数Ｆ０６、ノズルＮｏ．１１の液滴数Ｆ１１、ノズルＮｏ．１６の液滴数Ｆ１６が算出される。
【００８１】
同様にして、画素領域Ｒ０２について、
Ｗ［ｎｇ］−Ｗｒ０２［ｎｇ／画素］
＝｛Ｗ０２［ｎｇ／滴］×（Ｆ０２［滴］−Ｆｒ０２［滴］）｝
＋｛Ｗ０７［ｎｇ／滴］×（Ｆ０７［滴］−Ｆｒ０７［滴］）｝
＋｛Ｗ１２［ｎｇ／滴］×（Ｆ１２［滴］−Ｆｒ１２［滴］）｝
＋｛Ｗ１７［ｎｇ／滴］×（Ｆ１７［滴］−Ｆｒ１７［滴］）｝
として、上式を満たすノズルＮｏ．２の液滴数Ｆ０２、ノズルＮｏ．７の液滴数Ｆ０７、ノズルＮｏ．１２の液滴数Ｆ１２、ノズルＮｏ．１７の液滴数Ｆ１７が算出される。さらに、画素領域Ｒ０３以降についても同様にして、液滴数がノズル９毎に設定されていく。
【００８２】
その後、ステップＳ１００７として、カラーフィルタ製造装置１の液滴数算出部１３が、以上のようにして算出された液滴数［Ｆ］に基づいて、液滴数情報１９を作成して記憶部１４に保存する。
【００８３】
次に、ステップＳ１００８として、カラーフィルタ製造装置１は、液滴数情報１９に基づいて、スキャン毎及び画素領域２７毎に、使用するノズル［Ｎ］および当該ノズル［Ｎ］によって塗布するインクの液滴数［Ｆ］を設定して、基板３に対して塗布を行う。すなわち液滴数情報１９に基づき、複数のノズル［Ｎ］の各々から当該ノズルに対して設定された液滴数だけインクを画素領域［Ｒ］へ吐出していく。
【００８４】
なお、以上の説明は、色Ｒ（ＲＥＤ）についてなされてきたが、色Ｇ（ＧＲＥＥＮ）や色Ｂ（ＢＬＵＥ）の画素領域２７に対しても同様の処理が実行される。
【００８５】
その後、インク塗布完了後の基板３は、所定の後工程を施された後、ステップＳ１００９として検査される。検査処理にてＮＧ（不合格）と判定された場合には、ステップＳ１０１０として、標準液滴数情報１７が再設定される。具体的には、標準液滴数情報１７の標準液滴数［Ｆｒ］が、対応するノズル［Ｎ］の液滴数［Ｆ］として液滴数情報１９に設定されている液滴数に置き換えられる。
【００８６】
標準液滴数情報１７が再設定された場合には、複数のノズル９の各々から当該ノズル９に対して設定された修正後の標準液滴数だけインクを吐出し、複数のノズル９から吐出されたインクの総量を修正標準インク量として計測される。そして、計測値が標準塗布情報として設定される。つまり、修正された標準液滴数情報１７に基づいて、上述したステップＳ１００５が再度実行される。
【００８７】
なお、ステップＳ１００９での検査において、一つの画素領域２７にインクを塗布する複数のノズル９から当該ノズルに設定された液滴数（修正された標準液滴数の相当）だけ吐出した際における吐出されたインクの総量が計測されている場合には、当該計測値を、修正された標準液滴数情報１７として、標準液滴数情報１７に設定するようにしてもよい。
【００８８】
その後、ノズル９毎に予め設定された一液滴分の液滴量と、計測された修正標準インク量と、目標量と、を考慮して、複数のノズル９から吐出されるインクの総量が目標量となるように、複数のノズル９の各々に対して設定された修正標準液滴数をさらに増減させて、一つの画素領域２７へ吐出すべき前記インクの液滴数が複数のノズル９の各々に対して再度算出される。そして、算出された液滴数が液滴数情報１９として設定され、さらに、修正された液滴数情報１９に基づいて基板３上の画素領域２７へインクが塗布される。つまり、修正された標準塗布情報１８および液滴数情報１９に基づいて、上述したステップＳ１００５，Ｓ１００６，Ｓ１００７およびＳ１００８が実行される。
【００８９】
以上のステップを経て、カラーフィルタ製造装置１は、１つの画素領域２７に塗布するインクの目標量である画素領域内重量［Ｗ］３３、インク一滴当たりの液滴重量［Ｗ／滴］３９および重量［Ｗｒ／画素］４４に基づいて、各画素領域２７の塗布に用いる複数のノズル［Ｎ］と液滴数［Ｆ］との組み合わせを示す液滴数情報１９を算出し、この液滴数情報１９に基づいて画素領域［Ｒ］毎に使用するノズル［Ｎ］および液滴数［Ｆ］を設定して基板３の各画素領域２７にインクを塗布する。
【００９０】
なお、前記カラーフィルタ製造装置１の動作に関する以上の説明および図１２のフローチャートにおいては、画素領域内重量［Ｗ］３３、インク一滴当たりの液滴重量［Ｗ／滴］３９および重量 ［Ｗｒ／画素］４４に基づいて、画素領域［Ｒ］毎に使用するノズル［Ｎ］の液滴数［Ｆ］を算出する例を示したが、これに限られず、画素領域内重量 ［Ｗ］３３を画素領域内平均膜厚［Ｄ］３４または画素領域内色度［Ｙ］３５に、インク一滴当たりの液滴重量［Ｗ／滴］３９を膜厚変化量［ΔＤ/滴］４０または色度変化量［ΔＹ/滴］４１に、重量［Ｗｒ／画素］４４を平均膜厚［Ｄｒ／画素］４５または色度［Ｙｒ／画素］４６に、それぞれ置き換えて液滴数［Ｆ］を算出するようにしてもよい。さらには、一つの画素領域２７に塗布すべきインクの目標量、ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量および標準インク量を、吐出されたインクの重量に代えて、インクの体積、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域２７内における最大膜厚、あるいは、一つの画素領域２７に塗布されたインクからなる着色層での輝度で表して、液滴数［Ｆ］を算出することもできる。
【００９１】
図１３は、色Ｒのインクが塗布された基板３の断面図である。図１３は、基板３に塗布された色Ｒのインクの液滴数を画素領域２７毎およびノズル９毎に示している。画素領域Ｒ０１、画素領域Ｒ０２、画素領域Ｒ０３、画素領域Ｒ０４、画素領域Ｒ０５は、それぞれ、スキャン毎に異なるノズル９によってインクが塗布される。画素領域Ｒ０１、画素領域Ｒ０２、画素領域Ｒ０３、画素領域Ｒ０４、画素領域Ｒ０５には、それぞれ、第１グループの４つのノズル９、第２グループの４つのノズル９、第３グループの４つのノズル９、第４グループの４つのノズル９、第５グループの４つのノズル９によって４回のスキャンが行われてインクが塗布される。スキャン毎、画素領域２７毎、ノズル９毎に塗布されるインクの液滴数が異なるが、最終的には各画素領域２７には同一の画素領域内重量３３［Ｗ］のインクが塗布されるので、各画素領域２７の着色層形状や厚さは均一となる。この場合、カラーフィルタの色合いや反射外観を向上させることができる。また、表示装置を形成する際に封入される液晶の層厚に相当するギャップが均一となり、表示装置の品質を向上させることができる。
【００９２】
なお、同一仕様のノズル９間においても、各ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量は異なる。したがって、一つの画素領域２７に対して一つのノズル９を用いてインクを塗布するとともに、インクを吐出するノズル９が画素領域２７間において異なれば、各ノズル９から同一液滴数だけインクを吐出した場合に、当該画素領域２７間において、塗布されたインクの総量は異なってしまう。
【００９３】
これに対して、本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１においては、一つの画素領域２７に対して複数回のスキャンを行い、各スキャン毎に異なる複数のノズル９から液滴を吐出するようになっている。つまり、本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１においては、一つの画素領域２７に対して異なる複数のノズル９から、当該画素領域２７に対してインクを塗布するようになっている。このように、一つの画素領域２７へインクを塗布するノズル９を分散させることにより、各ノズル９が吐出する液滴の液滴量の相違に起因した各画素領域２７に塗布されたインク総量のばらつきを、効果的に均一化させることができる。
【００９４】
また、一つの画素領域２７に対して一つのノズル９のみからインクが吐出される場合、当該画素領域２７に塗布されるインク総量の調整は、ノズル９から吐出されるインクの液滴数の増減によって実施される。したがって、インク総量の調整可能な最小量は、ノズル９から吐出されるインク一液滴分の液滴量となる。しかしながら、一つの画素領域２７に塗布するインクの目標量を１０００ｎｇとする場合、画素領域２７毎に均一な塗布量とするためには、各画素領域２７における実際のインク塗布量を目標量±３ｎｇ（９９７ｎｇ〜１００３ｎｇ）程度に制御することが望ましい。ただし、一つの画素領域２７に対して、一液滴当たりのインク量が２０ｎｇ程度の単一のノズル９からインク吐出を行う場合には、±２０ｎｇの整数倍程度で画素領域２７におけるインク塗布量を調整することしかできない。このため、画素領域２７毎の塗布量を十分に均一化させることができない。
【００９５】
これに対して、本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１においては、一つの画素領域２７に対して複数のノズル９を用いて着色層形成用のインクを塗布するようになっている。また、各ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が、予め計測されている。そして、複数のノズル９のうちの一つのノズル９から吐出されるインクの液滴数を一回分だけ増加させるとともに、他のノズル９から吐出されるインクの液滴数を一回分だけ減少させることにより、一つのノズル９から吐出される一液滴分の液滴量（例えば、２１ｎｇ）と、他のノズル９から吐出される一液滴分の液滴量（例えば、１９ｎｇ）と、の差に相当するインク量（２ｎｇ＝２１ｎｇ−１９ｎｇ）だけ、当該画素領域２７に塗布される総インク量を増減させることができる。したがって、本実施の形態によれば、各ノズル９が吐出する一液滴の液滴量の差に相当する量で、一つの画素領域２７へのインクの塗布量を調整していくことができる。すなわち、各ノズル９が吐出する液滴の液滴量の相違に起因した画素領域２７のインク塗布量のばらつきを、理論的には、解消することができる。
【００９６】
さらに、上述してきたように、ノズル９から連続してインクを吐出する場合、吐出されるインクの一液滴分の液滴量は変動することがある。また、変動挙動はノズル９間で異なる。ただし、典型的には、図１３に示すように、インクの一液滴分の液滴量は、吐出初期において大きく変動し、吐出回数が一定の回数、例えば３回を超えると、安定するようになる。したがって、本実施の形態において、各ノズル９から吐出されるインクの液滴数を、所定回数以上、例えば、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る３回を超える４回以上に設定することにより、各画素領域２７へのインクの塗布量を期待した通りに均一化させることができる。
【００９７】
さらに、各ノズル９から吐出される液滴数を算出する方法として、一つの画素に塗布すべきインクの目標量に到達するように、各ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量の計測値を積算していく算出方法が考えられる。しかしながら、図１４に示すように、各ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が吐出初期において大きく変動し得る。したがって、ノズル９によっては、この吐出初期における一液滴分の液滴量が、予め準備された当該ノズル９から吐出されるインクの一液滴分の液滴量の計測値から、大きく異なってしまう可能性がある。このため、このようなノズル９を用いてインクを塗布される画素領域２７については、塗布された総インク量が目標量とは異なってしまう可能性がある。この結果、各画素領域２７へのインクの塗布量がばらついてしまう可能性もある。
【００９８】
一方、本実施の形態においては、複数のノズル９の各々が当該ノズル９に対応する標準液滴数だけインクを吐出した場合における塗布インク総量に相当する標準インク量と、一つの画素に塗布すべきインクの目標量と、各ノズル９から吐出される一液滴分の液滴量と、に基づいて、一つの画素領域２７へ吐出すべきインクの液滴数を複数のノズル９の各々に対して算出するようになっている。すなわち、インクの総量が目標量と標準インク量との差を０とするように、複数のノズル９の各々に対して設定された標準液滴数を増減させることによって、一つの画素領域２７へ吐出すべきインクの液滴数を複数のノズル９の各々に対して算出することができる。このような算出方法によれば、上述した各ノズル９から吐出されるインク一液滴分の液滴量の計測値を積算していく算出方法と比較して、吐出初期における液滴の液滴量および予め計測された液滴の液滴量計測値の差の影響を受けにくくなる。これにより、本実施の形態によれば、各画素領域２７に塗布されるインク総量を目標量に精度良く近づけることが可能となる。この結果、インクの塗布量を画素領域２７間において効果的に均一化させることができる。
【００９９】
とりわけ、標準液滴数および最終的に算出される液滴数の少なくとも一方が、予め設定された値以上に設定されることが好ましい。具体的には、ノズル９から連続して吐出されるインクの一液滴分の液滴量が安定すると一般的に考えられている４以上に、標準液滴数および最終的に算出される液滴数が設定されることが好ましい。この場合、各画素領域２７に塗布されるインク総量を目標量により精度良く近づけることが可能となり、また、インクの塗布量を画素領域２７間においてより効果的に均一化させることができる。
【０１００】
さらに、標準液滴数および最終的に算出される液滴数の少なくとも一方が、０以外に、つまり１以上に設定されることが好ましい。また、各ノズル９に対して設定される標準液滴数が同一となっていることが好ましく、同様に、各ノズル９に対して最終的に設定される標準液滴数が同一となっていることが好ましい。これらの場合、いわゆるクロストーク現象の発生機会を低減し、各画素領域２７に塗布されるインク総量を目標量により精度良く近づけることが可能となるとともに、インクの塗布量を画素領域２７間においてより効果的に均一化させることができる。
【０１０１】
また、予め計測される各ノズル９からのインク一液滴分の液滴量は、液滴量が大きく変動し得る吐出初期を超えた吐出回数において吐出されるインクの液滴に対する液滴量であることが好ましい。このような液滴量は、例えば、液滴が当該ノズル９から所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量、または、液滴が前記ノズル９から所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量を計測することによって得られる。ここで、所定の回数とは、ノズル９から連続して吐出されるインクの一液滴分の液滴量が安定すると一般的に考えられている４以上とすることができる。また、このような液滴量は、ノズル９から所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の平均液滴量を計測することによっても得られる。この場合での所定の回数とは、ノズル９から連続して吐出されるインクの一液滴分の液滴量が安定すると一般的に考えられている吐出回数を超えることが最低条件となる。理想的には、吐出初期におけるインク液滴の液滴量バラツキを吸収することができるよう、前記所定の回数を、液滴量が安定すると一般的に考えられている吐出回数を大きく超える回数、例えば１０万回に設定することが好ましい。
【０１０２】
さらに、上述した方法によれば、基板３の一つの画素領域２７に塗布される総インク量の精度を向上させるために、標準液滴数の設定、標準インク量の計測および液滴数の算出を、繰り返し実行するようになっている。この方法によれば、各画素領域２７に塗布されるインク総量を目標量に極めて精度良く近づけることが可能となり、結果として、インクの塗布量を画素領域２７間において極めて効果的に均一化させることができる。実際に、本発明者が、実験を行ったところ、液滴数の算出を一度行った後に、算出された液滴数を標準液滴数として用いて液滴数の算出をさらに２度繰り返すことにより、各画素領域２７に塗布されるインク総量を目標量に極めて精度良く近づけることができた。具体的には、一液滴分の液滴量が２０ｎｇ程度に設定された４つのノズル９を用いて一つの画素領域２７に平均膜厚が２．００μｍとなるようにインクを塗布しようとする場合に、一つの画素領域２７への平均膜厚を目標量（２．００μｍ）±０．００５μｍとすることができた。
【０１０３】
（５．長尺ヘッド）
次に、図１５乃至図１９を参照しながら、本実施形態に係る長尺ヘッドを用いたインクの塗布について説明する。
【０１０４】
図１５は、複数のインクジェットヘッドの配置を示す図である。一般に、複数のインクジェットヘッドを用いてインクを塗布する場合、図１５に示すように、複数のインクジェットヘッド５１，５２が、千鳥状に、言い換えると、走査方向に互いにずれた位置に配置される。インクジェットヘッド５１のノズル間隔５３およびインクジェットヘッド５２のノズル間隔５４は同一である。さらに、インクジェットヘッド５１の最もインクジェットヘッド５２側のノズル９と、インクジェットヘッド５２の最もインクジェットヘッド５１側のノズル９と、のノズル間隔（ヘッド間ノズル間隔）は、インクジェットヘッド５１のノズル間隔５３およびインクジェットヘッド５２のノズル間隔５４と同一になっている。このように複数のインクジェットヘッドを用いた場合、一回の走査でインク塗布することが可能となる基板３上の領域が拡大されるため、カラーフィルタの生産性を向上させることができる。
【０１０５】
しかしながら、インクジェットヘッド５１およびインクジェットヘッド５２は千鳥状に配置されるので、インクジェットヘッド５１，５２を配置するために必要となるスペースが大型化してしまう。また、インクジェットヘッド５１およびインクジェットヘッド５２のぞれぞれから同時にインクを吐出した場合、二つのインク液滴の着弾位置は、塗布方向（走査方向）にずれる。このため、インクジェットヘッド５１からのインクの吐出タイミングと、インクジェットヘッド５２からのインクの吐出タイミングと、を調整する必要が生じる。
【０１０６】
図１６乃至図１８には、それぞれ、異なる態様の長尺ヘッド６０，７０，８０が示されている。図１６に示された長尺ヘッド６０は、インクジェットヘッド６１の部材（本体）の右端およびインクジェットヘッド６２の部材（本体）の左端を切り取って、インクジェットヘッド６１，６２同士を互いに連結したものである。インクジェットヘッド６１のノズル間隔６３、インクジェットヘッド６２のノズル間隔６４、並びに、インクジェットヘッド６１の最もインクジェットヘッド６２側のノズル９とインクジェットヘッド６２の最もインクジェットヘッド６１側のノズル９とのノズル間隔（ヘッド間ノズル間隔）６５は、互いに同一長となっている。連結位置６６に位置するノズル９については、インク供給部２１の設置スペースを設けることができない。したがって、連結位置６６に位置するノズル９は使用不可能となる。この結果、図１６に示された従来のカラーフィルタ製造装置に対して長尺ヘッド６０を用いた場合、特定の画素領域２７に割り当てられた長尺ヘッド６０内の複数のノズル９に、インクを塗布することができないノズル９が含まれ得るようになる。
【０１０７】
図１７に示された長尺ヘッド７０は、インクジェットヘッド７１の右端のノズル位置およびインクジェットヘッド７２の左端のノズル位置で切り取って連結したものである。ヘッド間ノズル間隔７５は、インクジェットヘッド７１のノズル間隔７３およびインクジェットヘッド７２のノズル間隔７４の２倍となっている。連結位置７６には、インクを吐出することができないノズル９が位置するようになる。したがって、図１７に示された従来のカラーフィルタ製造装置に対して長尺ヘッド７０を用いた場合、特定の画素領域２７に割り当てられた長尺ヘッド７０内の複数のノズル９に、インクを塗布することができないノズル９が含まれ得るようになる。
【０１０８】
図１８に示された長尺ヘッド８０は、インクジェットヘッド８１の右端とインクジェットヘッド８２の左端とを連結したものである。ヘッド間ノズル間隔８５は、インクジェットヘッド８１のノズル間隔８３およびインクジェットヘッド８２のノズル間隔８４の整数倍（例えば、２倍）である。連結位置には、ヘッド間ノズル間隔８５を調整するための部材を設けてもよい。連結位置８６には、ノズル９が存在しない。したがって、図１８に示された従来のカラーフィルタ製造装置に対して長尺ヘッド８０を用いた場合、長尺ヘッド８０が基板３上を移動している際に、インクを塗布することができな画素領域２７が生じてしまう。
【０１０９】
図１９は、長尺ヘッドについて算出された液滴数情報９０を示す図である。本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１においては、インクの液滴数が、スキャン毎および画素領域２７毎およびノズル９毎に設定される。そこで、カラーフィルタ製造装置１は、図１２のステップＳ１００７の処理において、上記の長尺ヘッド６０あるいは長尺ヘッド７０あるいは長尺ヘッド８０について、各画素領域２７の塗布に用いるノズル［Ｎ］と液滴数［Ｆ］との組み合わせ算出する際に、使用不能なノズルについて又は実質的にノズルが存在しない位置に対応するノズルについては「０滴」として液滴数情報９０を算出する。例えば、インクジェットヘッド５の両端のノズルＮｏ．１およびノズルＮｏ．２０が使用不能である又は当該ノズルに対応する位置にノズルが存在しない場合、カラーフィルタ製造装置１は、液滴数データ９１「ノズルＮｏ．１：０滴」および液滴数データ９２「ノズルＮｏ．２０：０滴」として液滴数情報９０を算出する。同様に、各画素領域２７の塗布に用いるノズル［Ｎ］と標準液滴数［Ｆｒ］との組み合わせ算出する際にも、使用不能なノズルについて又は実質的にノズルが存在しない位置に対応するノズルについては「０滴」として標準液滴数情報を算出することができる。
【０１１０】
このように、カラーフィルタ製造装置１は、複数のインクジェットヘッドを連結した長尺ヘッドを用いて、同一の画素領域２７に対して複数回のスキャンを行って異なるノズル９からインクを塗布する場合、使用不能なノズル９から吐出されるインクの液滴数を「０滴」とし、残りのノズル９から吐出するインクの液滴数を調整することにより、各画素領域２７に塗布されるインク量を均一にすることができる。また、長尺ヘッドを用いることにより生産性を向上させることができる。また、複数のインクジェットヘッドを千鳥状に配置することに代えて長尺ヘッドを用いることにより、塗布方向のインク着弾位置が一致するので塗布タイミングを調整する必要がない。また、連結位置近傍の使用不能なノズルやノズルが存在しない場所に対応するノズル番号のノズルに対してだけでなく、ノズルの目詰まり等によって使用不能になったノズル等に対しても、インクの液滴数を「０滴」とすることができる。したがって、長尺ヘッドに含まれる一部のノズルが使用不能となった場合等であっても、当該長尺ヘッドを交換することなく継続使用することができ、維持管理負担を軽減することができる
（６．表示装置１０１の製造）
図２０は、表示装置１０１を示す図である。ここでは、表示装置１０１として液晶ディスプレイパネルを例に挙げて説明する。基板１０２は、カラーフィルタ製造装置１により製造されたカラーフィルタである。基板１０２には、液晶封入空間を確保するためのスペーサ１０６が形成される。基板１０３は、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等のアレイ基板である。基板１０２と基板１０３とを貼り合わせ、基板の周辺部分にシール材１０４を設け、基板間に液晶１０７を封入することにより、表示装置１０１が製造される。
【０１１１】
（７．変形例）
上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。
【０１１２】
例えば、上述した実施の形態においては、一つの画素領域２７に対し、インクジェットヘッド５のスキャン毎に異なるノズルからインクが塗布される例を示したが、これに限られない。インクジェットヘッド５が基板３に対して相対移動（スキャン）する際に、基板３上の一つの画素領域２７に対して、インクジェットヘッド５に含まれる複数のノズルが対面する場合には、一回のスキャン中に、一つ画素領域２７に対して複数のノズルからインクが吐出されるようにしてもよい。上述した実施の形態において、インクジェットヘッド５の基板３に対する相対移動方向が、平面視長方形形状からなる画素領域２７の長手方向と平行になっている例を示したが、これに限られず、図２１に示すように、インクジェットヘッド５の基板３に対する相対移動方向が、平面視長方形形状からなる画素領域２７の長手方向に直交するように構成すれば、インクジェットヘッド５が基板３に対して相対移動（スキャン）する際に、基板３上の一つの画素領域２７に対して、インクジェットヘッド５に含まれる複数のノズル９が対面するようになる。図２１に示す例によれば、一回のスキャン中に、一つの画素領域２７に対して複数（四つ）のノズル９からインクを塗布することができる。一つの画素領域２７にインクを塗布する複数のノズル９の各々に対して、上述した方法により、滴滴数を算出することができる。算出された液滴数でインクを吐出していくことにより、各画素領域２７に塗布されるインク総量を目標量に精度良く近づけることが可能となり、また、インクの塗布量を画素領域２７間において均一化させることができる。なお、図２１に示す例においては、分散数は４となっている。
【０１１３】
また、上述した実施の形態においては、基板３上の複数の画素領域２７の各々にインクを塗布して液晶表示装置用のカラーフィルタの着色層を形成する例を示したが、これに限られず、上述した塗布方法を用いて、基板３上に設定された複数の所定領域（例えば、１μｍ四方）の各々にインクを塗布するようしてもよい。このような塗布方法によれば、塗布対象となる塗布領域の全領域がいずれかの所定領域に属している場合に、インクからなる膜を基板３上に形成することができる。一例として、液晶を挟むポリイミド等の配向膜をアレイ基板やカラーフィルタの表面にインクジェット方式によって形成する場合に、本実施形態による塗布方法を適用することができる。なお、塗布領域全体を排他的に分割して所定領域を設定した場合には、塗布むら等の欠陥が発生することがある。この対策として、隣接する所定領域については当該所定領域の端部が重なり合うようにすることが好ましい。所定領域が隣接する他の所定領域と端部において重なり合っている場合、重なり合っている端部について、インクを重ね塗りすることになり、これにより、塗布むら等の欠陥の発生を防止することができる。
【０１１４】
以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかるカラーフィルタ製造装置および製造方法の好適な一実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】カラーフィルタ製造装置の構成図。
【図２】インクジェットヘッドのノズル番号及びノズル数の関係を示す図。
【図３】インクジェットヘッドによる基板のスキャン（走査）を示す図。
【図４】インクジェットヘッドのグループとノズル番号との関係を示す図。
【図５】インクジェットヘッドを示す図。
【図６】基板にインクが塗布されて形成されたカラーフィルタを示す図。
【図７】塗布情報を示す図。
【図８】ノズル情報を示す図。
【図９】標準液滴数情報を示す図。
【図１０】標準塗布情報を示す図。
【図１１】液滴数情報を示す図。
【図１２】カラーフィルタ製造装置の動作を示すフローチャート。
【図１３】色Ｒのインクが塗布された基板の断面図。
【図１４】吐出回数に応じたインク一液滴分の液滴量のばらつきを示すグラフ。
【図１５】複数のインクジェットヘッドの配置を示す図。
【図１６】長尺ヘッドの一例を示す図。
【図１７】長尺ヘッドの他の例を示す図。
【図１８】長尺ヘッドのさらに他の例を示す図。
【図１９】長尺ヘッドについて算出された液滴数情報を示す図。
【図２０】表示装置を示す図。
【図２１】図６に対応する図であって、塗布方法の変形例を説明するための図。
【符号の説明】
【０１１６】
１  カラーフィルタ製造装置
２  制御部
３  基板
４  吸着テーブル
５  インクジェットヘッド
６  移動部（駆動部）
７  アライメントカメラ
９  ノズル
１０  液滴数設定部
１１  塗布情報設定部
１２  ノズル情報設定部
１３  液滴数情報設定部
１４  記憶部
１５  塗布情報
１６  ノズル情報
１７  標準液滴数情報
１８  標準塗布情報
１９、９０  液滴数情報
２１  インク供給部
２３  カラーフィルタ
２５  遮光部
２７  画素領域
２９−１、２９−２、・・・、２９−５、・・・  画素列
３１、４２  グループ
３３  画素領域内重量［Ｗ］
３４  画素領域内平均膜厚［Ｄ］
３５  画素領域内色度［Ｙ］
３６  画素領域内液滴数
３７  分散数［Ｂ］
３８  ノズル番号（ノズル識別子）
３９  液滴重量［Ｗ／滴］
４０  膜厚変化量［ΔＤ／滴］
４１  色度変化量［ΔＹ／滴］
４３  塗布画素領域［Ｒ］
４４  重量［Ｗｒ／画素］
４５  平均膜厚［Ｄｒ／画素］
４６  色度［Ｙｒ／画素］
５１、５２、６１、６２、７１、７２、８１、８２  インクジェットヘッド
６０、７０、８０  長尺ヘッド
６６、７６、８６  連結位置
１０１  表示装置
１０２  カラーフィルタ基板
１０３  アレイ基板
【図１】
2010204189.tif 000003
【図２】
2010204189.tif 000004
【図３】
2010204189.tif 000005
【図４】
2010204189.tif 000006
【図５】
2010204189.tif 000007
【図６】
2010204189.tif 000008
【図７】
2010204189.tif 000009
【図８】
2010204189.tif 000010
【図９】
2010204189.tif 000011
【図１０】
2010204189.tif 000012
【図１１】
2010204189.tif 000013
【図１２】
2010204189.tif 000014
【図１３】
2010204189.tif 000015
【図１４】
2010204189.tif 000016
【図１５】
2010204189.tif 000017
【図１６】
2010204189.tif 000018
【図１７】
2010204189.tif 000019
【図１８】
2010204189.tif 000020
【図１９】
2010204189.tif 000021
【図２０】
2010204189.tif 000022
【図２１】
2010204189.tif 000023