(57)【要約】【課題】塵埃の飛散を抑制したクリーンルーム用ロールスクリーンを提供すること。【解決手段】スクリーン２２に外力が加わった場合には、クッションばね３５に嵌め込まれる緩衝部材３７の摺動部３７ｓは案内溝４０内を摺動及び摺動回転する。ここで、緩衝部材３７は、金属よりも摩擦係数の小さい摺動グレードのポリアセタールで形成されているところ、緩衝部材３７と、クッションばね３５もしくは案内溝４０との接触による発塵も少ない。これにより、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを抑制できる。【選択図】図５
2010150840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体に固定されるガイドレールに沿ってスクリーンを昇降して製造物が搬送されるクリーンルームの開閉をするロールスクリーンにおいて、
前記ガイドレールの内部に設けられるとともに、前記スクリーンの幅方向の端部が抜け止め状態で導入されてその昇降を案内するインナーレールと、
前記ガイドレール内に自身の弾性力により係着するとともに前記インナーレールをガイドレール内に弾性的に保持し、前記スクリーンへ加えられる外力に基づく前記インナーレールの変化を許容しつつ前記スクリーンの幅方向に張力を与えるクッションばねと、を備え、
前記クッションばねと前記ガイドレールとの接触部分には合成樹脂からなる緩衝部材が介在されてなるロールスクリーン。
【請求項２】
枠体内でスクリーンを昇降して製造物が搬送されるクリーンルームの開閉をするロールスクリーンにおいて、
前記スクリーンの昇降に連動して伸縮するばねの弾性力によりスクリーンに上下方向の張力を与えるテンションユニットを備え、
前記テンションユニットは箱体で覆われてなるロールスクリーン。
【請求項３】
枠体に固定されるガイドレールに沿ってスクリーンを昇降して製造物が搬送されるクリーンルームの開閉をするロールスクリーンであって、
前記ガイドレールの内部に設けられるとともに、前記スクリーンの幅方向の端部が抜け止め状態で導入されてその昇降を案内するインナーレールと、
前記ガイドレール内に自身の弾性力により係着するとともに前記インナーレールをガイドレール内に弾性的に保持し、前記スクリーンへ加えられる外力に基づく前記インナーレールの変化を許容しつつ前記スクリーンの幅方向に張力を与えるクッションばねと、を備えるばね機構と、
スクリーンの昇降に連動して伸縮するばねの弾性力によりスクリーンに上下方向の張力を与えるテンションユニットと、を有するロールスクリーンにおいて、
前記クッションばねと前記ガイドレールとの間には合成樹脂からなる緩衝部材を介在させる一方で、前記テンションユニットを覆う箱体を設けたロールスクリーン。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のロールスクリーンにおいて、
製造物が搬送されるライン以下に設置されてスクリーンの巻き取り及び巻き出しをする前記箱体としての巻取軸を備え、
前記テンションユニットは前記枠体に固定されるとともに前記巻取軸に対し相対回転可能に挿通される第１の軸部と、
同第１の軸部に対し相対回転可能に連結されるとともに、前記巻取軸と一体回転可能に設けられる第２の軸部と、
前記第１及び第２の軸部に巻き回されて、一端が第１の軸部に連結され、他端が第２の軸部に連結されるコイルばねと、を備え
前記スクリーンの巻き出しの際には、前記巻取軸の回転に伴う前記第２の軸部の回転により蓄勢するコイルばねの弾性力により、前記巻取軸にはスクリーンへの巻き戻し方向への反力が付与されるロールスクリーン。
【請求項５】
請求項２又は３に記載のロールスクリーンにおいて、
モータの駆動を通じて、回転することによりスクリーンを巻き取り及び巻き出しをする巻取軸と、
前記巻取軸の両端部に設けられて同巻取軸と一体回転する一対の駆動プーリと、
前記両駆動プーリの上方に設けられる一対の従動プーリと、
前記両駆動プーリと前記両従動プーリとの間に掛け回される無端状のベルトと、を備え、
前記テンションユニットは前記両ベルトに固定される固定部と、
前記固定部に対して前記スクリーンの昇降方向に変位可能に設けられるとともに、スクリーンの巻取軸と反対側の端部が固定されるウェイトバーが連結される可動部と、
前記固定部と前記可動部との間に介在される緩衝ばねと、を備え、
前記スクリーンの昇降に伴う前記巻取軸のロール径の変化により生じる前記巻取軸の１回転当たりの巻き出しあるいは巻き取り量と、前記スクリーンの上昇量あるいは下降量との差分を、前記スクリーンと一体変位する前記可動部が前記緩衝ばねの弾性力に抗して下降あるいは、上昇することにより吸収されるロールスクリーン。
【請求項６】
請求項１又は３に記載のロールスクリーンにおいて、
前記クッションばねの前記ガイドレールとの接触部分には円形に巻き回される取付部が形成されるとともに、前記緩衝部材には前記取付部の外径よりわずかに小さい内径を有して開口する嵌込部が設けられ、前記緩衝部材は前記嵌込部に嵌め込み状態で固定されるロールスクリーン。
【請求項７】
請求項６に記載のロールスクリーンにおいて、
前記ガイドレール内において前記スクリーンを間に挟んで対向する１対の内側面には、前記緩衝部材を前記スクリーンの昇降方向に摺動案内する案内溝が形成され、前記緩衝部材において前記案内溝の底面との接触部分は円弧状に形成されるロールスクリーン。
【請求項８】
請求項７に記載のロールスクリーンにおいて、
緩衝部材は摺動グレードのポリアセタールで形成されたロールスクリーン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルームの間仕切りとして使用されるロールスクリーンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーン度の異なるクリーンルーム間で、製造物を搬送装置により搬送する製造ラインでは、クリーンルーム間をロールスクリーンで緩やかに気密を保持する状態で仕切り、そのロールスクリーンを開放することにより、製造物をクリーンルーム間で搬送可能としたものがある。このような製造ラインでは、クリーン度の高い第１のクリーンルームの気圧がクリーン度の低い第２のクリーンルームの気圧より僅かに高く保持される。そして、製造物の搬送時にロールスクリーンを開放すると、第１のクリーンルームから第２のクリーンルームに向かって空気が流れるようにして、第１のクリーンルームの空気清浄度を確保するようになっている。ロールスクリーンとして例えば特許文献１に示した構成が知られている。すなわち、図１３に示すように、ロールスクリーン１００は枠体１０５の下方において左右に架け渡された巻取軸１０６がモータ１１０の駆動により回転することで、スクリーン１０７の巻き出し及び巻き取りがされる。巻取軸１０６の両端部には、それぞれ同巻取軸１０６と同一軸周りに回転する駆動プーリ１０８が設けられて、その上方には従動プーリ１０９が設けられている。駆動プーリ１０８と従動プーリ１０９との間にはタイミングベルト１１１が掛け回されている。両タイミングベルト１１１にはスクリーン１０７の張力を調整するテンションユニット１１２が固定されて、両テンションユニット１１２はウェイトバー１１４を支持している。ウェイトバー１１４には巻取軸１０６から巻き出されたスクリーン１０７の上端が固定されている。巻取軸１０６が回転した際には、巻取軸１０６がスクリーン１０７を巻き取り又は巻き出すとともに、駆動プーリ１０８の回転を通じてタイミングベルト１１１が上下方向に変位することにより、ウェイトバー１１４は昇降する。
【０００３】
一方、スクリーン１０７の幅方向の両端部は、左右の枠体１０５に固定されるガイドレール１１５に内包されるインナーレール１１６によって昇降が案内される。くわしくは、図１４に示されるように、内方に開口するガイドレール１１５は、ウェイトバー１１４の可動範囲、すなわち従動プーリ１０９及び駆動プーリ１０８間の略全域に亘って設けられる。ガイドレール１１５のスクリーン１０７を挟みこむ両内側面には上下方向に延びる案内溝１１８が形成されている。インナーレール１１６にはクッションばね１２０が設けられている。クッションばね１２０は単一の金属線材からなり、その中央部が内方に開口した凹状に折り曲げられることによりインナーレール１１６を把持する把持部１２０ｂが形成され、この把持部１２０ｂの両側部が巻き回されることによりコイルばね部１２０ｃが形成されている。また、クッションばね１２０はその両端が略一周巻き曲げられることにより、接触部１２０ａが形成され、これら接触部１２０ａは両案内溝１１８に嵌め込まれている。インナーレール１１６は金属材料により中空の筒状に形成されるとともに、内方に開口し、且つ上下方向へ延びる開口部１１６ｈを有する。当該開口部１１６ｈにはスクリーン１０７の幅方向の端部が挿入される。スクリーン１０７の端部には、同端部のインナーレール１１６からの抜けを防止するファスナー１２２が設けられている。ここで、例えばスクリーン１０７に前後、内外方向の力が加わった場合には、インナーレール１１６はクッションばね１２０を弾性変形させつつ、力が加えられた方向に変位する。このように、インナーレール１１６が変位可能に設けられることで、スクリーン１０７に対して破断につながるほどの外力が加わること、ひいてはスクリーン１０７が破断して発塵することが抑制される（特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００８−１０１３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
当該ロールスクリーン１００において、スクリーン１０７に外力が加わってクッションばね１２０が弾性変形した場合には、クッションばね１２０の接触部１２０ａは案内溝１１８内をわずかに摺動して変位する。この摺動に基づく摩擦によって、接触部１２０ａ又は案内溝１１８が削られて発塵することがある。この塵埃がガイドレール１１５の外部に飛散して、クリーンルーム内の空気清浄度を低下させることが懸念されていた。この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、塵埃の飛散を抑制したクリーンルーム用ロールスクリーンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について説明する。
請求項１に記載の発明は、枠体に固定されるガイドレールに沿ってスクリーンを昇降して製造物が搬送されるクリーンルームの開閉をするロールスクリーンにおいて、前記ガイドレールの内部に設けられるとともに、前記スクリーンの幅方向の端部が抜け止め状態で導入されてその昇降を案内するインナーレールと、前記ガイドレール内に自身の弾性力により係着するとともに前記インナーレールをガイドレール内に弾性的に保持し、前記スクリーンへ加えられる外力に基づく前記インナーレールの変化を許容しつつ前記スクリーンの幅方向に張力を与えるクッションばねと、を備え、前記クッションばねと前記ガイドレールとの接触部分には合成樹脂からなる緩衝部材が介在されてなることをその要旨としている。
【０００６】
同構成によれば、クッションばねとガイドレールとの接触部分には合成樹脂からなる緩衝部材が設けられている。このため、スクリーンに外力が加わりクッションばねが伸縮したときには、クッションばねは緩衝部材を介してガイドレールを摺動することになる。ここで、合成樹脂は金属等に比べて摩擦係数が小さいため、緩衝部材と、クッションばねもしくはガイドレールとの接触による発塵も少ない。これにより、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを抑制できる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、枠体内でスクリーンを昇降して製造物が搬送されるクリーンルームの開閉をするロールスクリーンにおいて、前記スクリーンの昇降に連動して伸縮するばねの弾性力によりスクリーンに上下方向の張力を与えるテンションユニットを備え、前記テンションユニットは箱体で覆われてなることをその要旨としている。
【０００８】
同構成によれば、ばねの弾性力によりスクリーンに張力を与えるテンションユニットは箱体で覆われている。これにより、ばねの伸縮にともなう発塵が外部、すなわちクリーンルーム内に飛散することを抑制することができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、枠体に固定されるガイドレールに沿ってスクリーンを昇降して製造物が搬送されるクリーンルームの開閉をするロールスクリーンであって、前記ガイドレールの内部に設けられるとともに、前記スクリーンの幅方向の端部が抜け止め状態で導入されてその昇降を案内するインナーレールと、前記ガイドレール内に自身の弾性力により係着するとともに前記インナーレールをガイドレール内に弾性的に保持し、前記スクリーンへ加えられる外力に基づく前記インナーレールの変化を許容しつつ前記スクリーンの幅方向に張力を与えるクッションばねと、を備えるばね機構と、スクリーンの昇降に連動して伸縮するばねの弾性力によりスクリーンに上下方向の張力を与えるテンションユニットと、を有するロールスクリーンにおいて、前記クッションばねと前記ガイドレールとの間には合成樹脂からなる緩衝部材を介在させる一方で、前記テンションユニットを覆う箱体を設けたことをその要旨としている。
【００１０】
同構成によれば、クッションばねと前記ガイドレールとの接触部分には合成樹脂からなる緩衝部材が設けられている。このため、スクリーンに外力が加わりクッションばねが伸縮したときには、クッションばねは緩衝部材を介してガイドレールを摺動することになる。ここで、合成樹脂は金属等に比べて摩擦係数が小さいため、緩衝部材と、クッションばねもしくはガイドレールとの接触による発塵も少ない。また、上記構成によれば、ばねの弾性力によりスクリーンに張力を与えるテンションユニットは箱体で覆われている。これらにより、塵埃がクリーンルーム内に飛散することをいっそう抑制できる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載のロールスクリーンにおいて、製造物が搬送されるライン以下に設置されてスクリーンの巻き取り及び巻き出しをする前記箱体としての巻取軸を備え、前記テンションユニットは前記枠体に固定されるとともに前記巻取軸に対し相対回転可能に挿通される第１の軸部と、同第１の軸部に対し相対回転可能に連結されるとともに、前記巻取軸と一体回転可能に設けられる第２の軸部と、前記第１及び第２の軸部に巻き回されて、一端が第１の軸部に連結され、他端が第２の軸部に連結されるコイルばねと、を備え前記スクリーンの巻き出しの際には、前記巻取軸の回転に伴う前記第２の軸部の回転により蓄勢するコイルばねの弾性力により、前記巻取軸にはスクリーンへの巻き戻し方向への反力が付与されることをその要旨としている。
【００１２】
同構成によれば、テンションユニットは箱体としての巻取軸内、すなわち製造物が搬送されるライン以下に設けられている。ここで、一般的にクリーンルーム内では天井から床面に向かって空気が流されている。このため、テンションユニットのコイルばねが伸縮する際に生じる塵埃が巻取軸からクリーンルーム内に飛散した場合であっても、塵埃が製造物に付着することを防止できる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項２又は３に記載のロールスクリーンにおいて、モータの駆動を通じて、回転することによりスクリーンを巻き取り及び巻き出しをする巻取軸と、前記巻取軸の両端部に設けられて同巻取軸と一体回転する一対の駆動プーリと、前記両駆動プーリの上方に設けられる一対の従動プーリと、前記両駆動プーリと前記両従動プーリとの間に掛け回される無端状のベルトと、を備え、前記テンションユニットは前記両ベルトに固定される固定部と、前記固定部に対して前記スクリーンの昇降方向に変位可能に設けられるとともに、スクリーンの巻取軸と反対側の端部が固定されるウェイトバーが連結される可動部と、前記固定部と前記可動部との間に介在される緩衝ばねと、を備え、前記スクリーンの昇降に伴う前記巻取軸のロール径の変化により生じる前記巻取軸の１回転当たりの巻き出しあるいは巻き取り量と、前記スクリーンの上昇量あるいは下降量との差分を、前記スクリーンと一体変位する前記可動部が前記緩衝ばねの弾性力に抗して下降あるいは、上昇することにより吸収されることをその要旨としている。
【００１４】
同構成によれば、巻取軸とその両端部に形成されるプーリとは同一軸上に形成されている。このため、巻取軸とは別にプーリを駆動する軸を設ける必要がなくロールスクリーンをコンパクトに構成することができる。また、この場合には、スクリーンの昇降に伴い巻取軸に巻き回されたスクリーンのロール径が変化する。このため、スクリーンの巻き出し量あるいは巻き取り量と、スクリーンの昇降量との間には差が生じる。本発明によれば、この差分をテンションユニットにより吸収することができる。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１又は３に記載のロールスクリーンにおいて、前記クッションばねの前記ガイドレールとの接触部分には円形に巻き回される取付部が形成されるとともに、前記緩衝部材には前記取付部の外径よりわずかに小さい内径を有して開口する嵌込部が設けられ、前記緩衝部材は前記嵌込部に嵌め込み状態で固定されることをその要旨としている。
【００１６】
同構成によれば、緩衝部材を取り付ける際には、その嵌込部の開口部をクッションばねの取付部に挿入する。このとき、開口部で取付部は圧縮されて、嵌込部に進入する。進入した後には、取付部は弾性力によりもとの外径に戻るため、嵌込部内に固定される。緩衝部材は取付部に挿入した方向と反対方向に引っ張ることで取り外し可能である。このように、緩衝部材を取り外し可能に設けることで、容易に緩衝部材による発塵防止の効果を得ることができる。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のロールスクリーンにおいて、前記ガイドレール内において前記スクリーンを間に挟んで対向する１対の内側面には、前記緩衝部材を前記スクリーンの昇降方向に摺動案内する案内溝が形成され、前記緩衝部材において前記案内溝の底面との接触部分は円弧状に形成されることをその要旨としている。
【００１８】
同構成によれば、クッションばねに取り付けられる緩衝部材において、案内溝の底面との接触部分は円弧状となっている。このため、スクリーンに外力が加わることで、ガイドレール内のクッションばねが変位した場合には、同クッションばねに嵌め込まれて固定される緩衝部材は案内溝の底面に対して摺動回転することができる。すなわち、緩衝部材が回転することで、クッションばねに加わる力が緩和される。これにより、クッションばねの変形が抑制され、ひいては、変形したクッションばねがガイドレールに接触することによる発塵を防止することができる。
【００１９】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のロールスクリーンにおいて、緩衝部材は摺動グレードのポリアセタールで形成されたことをその要旨としている。
同構成によれば、緩衝部材は摺動グレードのポリアセタールで形成される。このため、緩衝部材がガイドレールに摺動することによる摩擦係数を低減することで、さらに発塵を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、塵埃の飛散を抑制したクリーンルーム用ロールスクリーンを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明を具体化した第一の実施形態について図１〜図７を参照しつつ説明する。
図１に示す製造ライン１では、製造物２が第１のクリーンルーム３ａから第２のクリーンルーム３ｂを経て第３のクリーンルーム３ｃに搬送される。第１のクリーンルーム３ａ及び第２のクリーンルーム３ｂは、第１のロールスクリーン４ａで、第２のクリーンルーム３ｂ及び第３のクリーンルーム３ｃは、第２のロールスクリーン４ｂで仕切られている。そして、製造物２が第１のクリーンルーム３ａから第２のクリーンルーム３ｂに搬送されるとき第１のロールスクリーン４ａが開放され、製造物２が第２のクリーンルーム３ｂから第３のクリーンルーム３ｃに搬送されるとき第２のロールスクリーン４ｂが開放される。ここで、第１〜第３のクリーンルーム３ａ〜３ｃには天井面６に設けられる各供給口６ａから浄化された空気が供給され、供給された空気は床面５に設けられる各排気口５ａから排出される。これら供給口６ａ及び排気口５ａにより各クリーンルーム３ａ〜３ｃの気圧は調整される。くわしくは、より高い空気清浄度を保つべく第１のクリーンルーム３ａ及び第３のクリーンルーム３ｃの気圧は、第２のクリーンルーム３ｂより僅かに高い気圧に維持される。これにより、第１のロールスクリーン４ａ又は第２のロールスクリーン４ｂが開放された際に、第２のクリーンルーム３ｂの塵埃が第１のクリーンルーム３ａ又は第３のクリーンルーム３ｃに流れ込むことを抑制できる。
【００２２】
次に、第１のロールスクリーン４ａの構成について説明する。第２のロールスクリーン４ｂは第１のロールスクリーン４ａと同一構成のため説明を割愛する。
図１に示すように、第１のロールスクリーン４ａは、床面５と天井面６との間に設けられる枠体７に支持されている。くわしくは、図２に示すように、枠体７は床面５から直立する一対の縦枠８ａ，８ｂの上端部間が上枠９で連結され、縦枠８ａ，８ｂの下部は下枠１０で連結される。また、その下枠１０の上方であって縦枠８ａ，８ｂ間にはそれらに設けられる軸受１１を介して円柱状の巻取軸１２が回転可能に支持されている。また、巻取軸１２の両端付近には、同巻取軸１２と一体回転する駆動プーリ１３ａ，１３ｂが設けられている。また、巻取軸１２の図２の左端付近において、巻取軸１２の駆動プーリ１３ａの内側には、巻取軸１２と一体回転する第１の従動プーリ１４が設けられている。縦枠８ａには、駆動源であるモータ４５が設けられて、その出力軸２０が第１の従動プーリ１４の垂直下方に位置している。そして、モータ４５の出力軸２０と第１の従動プーリ１４には、無端状の第１のタイミングベルト１５が上下方向に掛け回されている。モータ４５の回転力を第１のタイミングベルト１５を介して巻取軸１２に伝達される。
【００２３】
前記縦枠８ａ，８ｂの上端部において、前記駆動プーリ１３ａ，１３ｂの上方に設けられるプーリ支持部１９ａ，１９ｂには、第２の従動プーリ１６ａ，１６ｂが前記巻取軸１２と同一回転方向に回転可能に支持されている。第２の従動プーリ１６ａ，１６ｂと駆動プーリ１３ａ，１３ｂとの間には無端状の第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂがそれぞれ掛け回されている。第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂは、駆動プーリ１３ａ，１３ｂの回転にともない駆動プーリ１３ａ，１３ｂと第２の従動プーリ１６ａ，１６ｂとの間を周回する。すなわち、駆動プーリ１３ａ，１３ｂの駆動に伴い、図２の第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの後側（紙面方向）に位置する部分、及び第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの前側に位置する部分はそれぞれ反対方向に上下動する。
【００２４】
（テンションユニット）
第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの後側に位置する部分には、テンションユニット１８ａ，１８ｂが装着されている。図３に示すように、テンションユニット１８ａ，１８ｂの固定部２１には上方に延びる１対の軸部２３が固定され、これら軸部２３には可動部３３が上下動可能に挿通されている。そして、可動部３３及び固定部２１間であって両軸部２３の外周には緩衝ばね２４が装着されている。緩衝ばね２４は若干圧縮された状態で可動部３３を支持している。可動部３３及び固定部２１の中央付近にはそれぞれ第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂが上下方向に挿通される第１挿通孔３３ｈ及び第２挿通孔２１ｈが設けられる。第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂは、可動部３３及び固定部２１間において、固定部２１の第２挿通孔２１ｈの縁部に設けられる筒状の保持部２５ａに保持される。保持部２５ａは、前方に開口部２５ｈを有していて、第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂを収容した状態で、開口部２５ｈは押込部２５ｂによって閉じられる。そして、押込部２５ｂの外側から挿通されるねじ２７により締結されることで、第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂに対してテンションユニット１８ａ，１８ｂは固定される。ここで、可動部３３が下方に変位したときに、保持部２５ａ及び押込部２５ｂが可動部３３の下面に衝突しないように第１挿通孔３３ｈは第２挿通孔２１ｈに比べて大径となっている。
【００２５】
また、図２及び図４に示すように、可動部３３の前面には、内方に延びる連結部材２８ａ，２８ｂが固定されていて、連結部材２８ａ，２８ｂの間にはウェイトバー２９が固定されている。ウェイトバー２９にはスクリーン２２の上端部が取着され、そのスクリーン２２の下部は前記巻取軸１２に巻着されている。
【００２６】
（ガイドレール）
スクリーン２２の幅方向における両端部は、図２に示すように、両縦枠８ａ，８ｂに設けられるガイドレール３０内に案内されている。ここで、両縦枠８ａ，８ｂにそれぞれ設けられるガイドレール３０及びその内部構成は左右の向きが異なる点を除き同様であるので、縦枠８ｂに設けられるガイドレール３０及びその内部構成についてのみ説明する。
【００２７】
図５に示すように、例えばアルミからなるガイドレール３０は、縦枠８ｂの内側面にボルト３５が螺合されて固定されるレール支持部材３１に支持されている。詳しくは、レール支持部材３１はテンションユニット１８ｂを後方から囲うＬ字状に形成され、その内面には内方に開口する開口部３０ｈを有するガイドレール３０が固定される。ガイドレール３０は、図１に示すように、上下方向においてウェイトバー２９の可動範囲すなわち第２の従動プーリ１６ｂ及び駆動プーリ１３ｂ間の略全域に亘って設けられる。
【００２８】
図５に戻って、ガイドレール３０内には、クッションばね３５上下方向に変位可能に支持されている。クッションばね３５は、例えば単一の鋼材からなり、その中央部が凹状に折り曲げられて把持部３５ｇが形成され、当該把持部３５ｇにはインナーレール２６が把持されている。把持部３５ｇの両側部は巻き回されてコイルばね部３５ｃが形成される。クッションばね３５は、ガイドレール３０の内部であって内外方向に延びる中心線を中心に図５の線対称となる位置に設けられる。また、クッションばね３５には、図６に示すように、両コイルばね部３５ｃから内上方へ斜めに延びる延出部３５ｅが形成される。延出部３５ｅの端部には外側に略一周巻き曲げられることにより取付部３５ｔが形成されている。なお、クッションばね３５と、インナーレール２６とでばね機構を構成する。
【００２９】
取付部３５ｔには、摺動グレードのポリアセタールからなる緩衝部材３７が装着される。緩衝部材３７は、図６及び図７に示すように、円板状の摺動部３７ｓと、その中央に設けられた円柱状の嵌込部３７ｉとからなる。嵌込部３７ｉの周面には、取付部３５ｔの外径よりわずかに小さい開口部３７ｈが設けられている。そして、取付部３５ｔに緩衝部材３７を取り付ける際には、緩衝部材３７の開口部３７ｈを取付部３５ｔに挿入する。このとき、開口部３７ｈで取付部３５ｔは圧縮され縮径し、嵌込部３７ｉ内に進入する。進入した後には、取付部３５ｔは弾性力によりもとの外直径に戻るため、嵌込部３７ｉ内に固定される。また、緩衝部材３７は前記挿入した方向と反対方向に緩衝部材３７を引っ張ることで取り外し可能である。
【００３０】
図５の一点鎖線の円中に示すように、ガイドレール３０の前後方向において対向する２つの内面には外側に開口する案内溝４０が形成されている。図６に示すように、案内溝４０は上下方向に延設されている。案内溝４０には、クッションばね３５に装着された緩衝部材３７の摺動部３７ｓが摺動可能に嵌め込まれている。緩衝部材３７は、クッションばね３５の弾性力により摺動部３７ｓの嵌込部３７ｉと反対側の面がガイドレール３０の前後方向に対向する面に接触した状態、且つ摺動部３７ｓの一部が案内溝４０に嵌め込まれた位置に保持される。この状態において、摺動部３７ｓの円周面３７ｅは案内溝４０の当接面４０ｔに接触している。図５に示すように、クッションばね３５（正確には把持部３５ｇ）には上下方向に延びる四角筒状のインナーレール２６が連結されている。すなわち、直方状のインナーレール２６には外側に突出した突出部２６ｔが形成されている。当該突出部２６ｔはクッションばね３５の把持部３５ｇにより把持されている。また、インナーレール２６には内方からスクリーン２２の幅方向の端部が挿入されている。そしてスクリーン２２の端部には、同端部のインナーレール２６からの抜けを防止するファスナー４１が設けられている。このファスナー４１はスクリーン２２とともに、インナーレール２６内を上下動する。
【００３１】
次にロールスクリーン４ａの動作について説明する。
図２に示すように、スクリーン２２の上昇時には、モータ４５の駆動により巻取軸１２はスクリーン２２を巻き出すα方向に回転する。この巻取軸１２の回転に伴い第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの前側の部分は下方、後側の部分は上方に変位する。第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの後側の部分に固定されるテンションユニット１８ａ，１８ｂは連結部材２８ａ，２８ｂ及びウェイトバー２９とともに上昇する。このとき、ウェイトバー２９は、自身に固定されているスクリーン２２の上端部を介して、巻取軸１２の回転により巻き出されたスクリーン２２を引っ張り上げる。
【００３２】
ここで、巻取軸１２の回転毎時において、駆動プーリ１３ａ，１３ｂの回転量、すなわちウェイトバー２９の上昇量は常に一定であるのに対して、スクリーン２２の巻き出し量は変化する。くわしくは、スクリーン２２が巻取軸１２から巻き出されるにつれて、巻取軸１２に巻かれたスクリーン２２の外径が小さくなるので、巻取軸１２の１回転当たりの巻き出し量は減少する。このスクリーン２２の巻き出し量とウェイトバー２９の上昇量の差分を吸収するためにテンションユニット１８ａ，１８ｂは設けられている。
【００３３】
すなわち、ウェイトバー２９が図２に示す下限位置にあるとき、図３に示すようにテンションユニット１８ａ，１８ｂの可動部３３はボックス５０内において上方の初期位置にある。この状態からウェイトバー２９が上昇するにつれて、ウェイトバー２９の上昇量に対してスクリーン２２の巻き出し量は減少する。このとき、スクリーン２２には、その上下に引っ張られる張力が発生する。当該張力により、可動部３３は緩衝ばね２４の弾性力に抗して下方に変位する。このように、張力が所定値以上となったときに、可動部３３は緩衝ばね２４からの弾性力を受けつつ変位することでスクリーン２２の張力を調節している。そして、ウェイトバー２９が上限位置となったときに、可動部３３は緩衝ばね２４が最も圧縮される図２で示す圧縮位置となる。
【００３４】
スクリーン２２の下降時には、モータ４５の駆動により巻取軸１２はスクリーン２２を巻き込むβ方向に回転する。このとき、第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの後側の部分は下方に変位することで、それらに固定されるテンションユニット１８ａ，１８ｂは連結部材２８ａ，２８ｂ及びウェイトバー２９とともに下降する。下降時においては前記上昇時とは反対に、可動部３３は緩衝ばね２４の弾性力により圧縮位置から初期位置へ戻っていく。このように、緩衝ばね２４はスクリーン２２の昇降に伴い伸縮を繰り返す。
【００３５】
ところで、上述したように各クリーンルーム３ａ〜３ｃの気圧は空気清浄度を保つべく異なる値に設定される。この各クリーンルーム３ａ〜３ｃの気圧差に基づいて、各クリーンルーム３ａ〜３ｃを仕切る第１のロールスクリーン４ａ及び第２のロールスクリーン４ｂには外力が加わる。ここで、例えば、スクリーン２２に内方への力が加わった場合には、インナーレール２６はクッションばね３５の両延出部３５ｅが弾性変形することで、スクリーン２２とともに内方に変位する。このとき、クッションばね３５に嵌め込まれて固定される緩衝部材３７の摺動部３７ｓは案内溝４０内をわずかに図６に矢印で示される右方向に回転しつつ上方に変位する。
【００３６】
次にスクリーン２２に後方への力が加わった場合には、インナーレール２６は後側のコイルばね部３５ｃが圧縮、前側のコイルばね部３５ｃが伸張することで、スクリーン２２とともに後方に変位する。また、スクリーン２２が後方に変位するのにともない、スクリーン２２の両端には後方への力に加えて内方への力が発生する。このとき、コイルばね部３５ｃから所定角度の傾斜をもって案内溝４０方向に向かっていた後側の延出部３５ｅは床面５に対して直立する方向に変位する。これによっても、緩衝部材３７の摺動部３７ｓは案内溝４０内をわずかに右方向に回転しつつ上方に変位する。この状態においては、前側の緩衝部材３７は案内溝４０内の後面に引っ掛かっているため、案内溝４０から外れることはない。また、スクリーン２２に前方への力が加わった場合にも、クッションばね３５及び緩衝部材３７はそれぞれ前述した後方への力が加わった場合の動作方向と反対の態様で同様に動作する。
【００３７】
このように、インナーレール２６が変位する際には、緩衝部材３７は案内溝４０に沿って摺動あるいは摺動回転する。ここで、緩衝部材３７は、金属よりも摩擦係数の小さい摺動グレードのポリアセタールで形成されているところ、これにより、緩衝部材３７と案内溝４０との摩擦による発塵を抑制できる。また、摺動部３７ｓの円周面３７ｅは回転可能に案内溝４０の当接面４０ｔに当接している。これにより、インナーレール２６の変位に対してクッションばね３５に取付固定される緩衝部材３７が回転することで、クッションばね３５に対して例えば破断につながるほどの力が加わることを抑制できる。さらに、クッションばね３５の取付部３５ｔに緩衝部材３７が取り付けられる際に、円周面３７ｅの周面方向に取付位置の誤差が生じた場合であれ、円周面３７ｅは当接面４０ｔに対し同一接触態様にて接触する。
【００３８】
以上、説明した実施形態によれば、以下の作用効果を奏することができる。
（１）スクリーン２２に外力が加わった場合には、クッションばね３５に嵌め込まれる緩衝部材３７の摺動部３７ｓは案内溝４０内を摺動及び摺動回転する。ここで、緩衝部材３７は、金属よりも摩擦係数の小さい摺動グレードのポリアセタールで形成されているところ、緩衝部材３７と、クッションばね３５もしくは案内溝４０との接触による発塵も少ない。これにより、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを抑制できる。また、緩衝部材３７は、摩擦係数が小さいため金属等と比べ、特に案内溝４０との摺動によって生じるノイズも小さい。
【００３９】
（２）クッションばね３５の取付部３５ｔに緩衝部材３７を取り付ける際には、緩衝部材３７の開口部３７ｈを取付部３５ｔに挿入することで、開口部３７ｈで取付部３５ｔは圧縮され縮径し、嵌込部３７ｉ内に進入する。進入した後には、取付部３５ｔは弾性力によりもとの外直径に戻るため、嵌込部３７ｉ内に固定される。また、緩衝部材３７は前記挿入した方向と反対方向に緩衝部材３７を引っ張ることで取り外し可能である。このように、緩衝部材３７を取り外し可能に設けることで、容易に緩衝部材３７による発塵防止の効果を得ることができる。
【００４０】
（３）クッションばね３５に取り付けられる緩衝部材３７において、案内溝４０の当接面４０ｔとの接触部分は円弧状に形成されている。このため、スクリーン２２に外力が加わることで、クッションばね３５が変位した場合には、同クッションばね３５に嵌め込まれて固定される緩衝部材３７は案内溝４０の当接面４０ｔに対して摺動回転することができる。すなわち、緩衝部材３７が回転することで、クッションばね３５に加わる力が緩和される。これにより、クッションばね３５の変形が抑制され、ひいては、変形したクッションばね３５がガイドレール３０に接触することによる発塵を防止することができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態について、図８及び図９を参照しつつ説明する。
この実施形態のロールスクリーンは、図１等に示す第１の実施形態のロールスクリーンとほぼ同様の構成を備えている。以下、第１の実施形態との相違点についてテンションユニット１８ａ，１８ｂの動作を交えて説明する。
【００４２】
図８に示すように、テンションユニット１８ａ，１８ｂは、塵埃の飛散を防止するボックスで覆われている。直方状のボックス５０の底面は第１の実施形態におけるテンションユニット１８ａ，１８ｂの固定部２１にボルト４９によって締結されている。また、ボックス５０の上面及び下面にはそれぞれ第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂが挿通される第１開口部５０ｈ及び第２開口部５０ａが設けられている。また、図９に示すように、ボックス５０の側壁にはテンションユニット１８ａ，１８ｂの可動部３３に連結される連結部材２８ａ，２８ｂが挿通される第３開口部５０ｓが設けられている。第３開口部５０ｓは上下方向へ延び、連結部材２８ａ、２８ｂは第３開口部５０ｓに沿って上下に変位可能とされている。
【００４３】
さて、前述したように、緩衝ばね２４はスクリーン２２の昇降にともない伸縮を繰り返す。この緩衝ばね２４の伸縮時において、例えば、緩衝ばね２４がその内部に挿通される軸部２３に接触することにより塵埃が発生し、これが飛散することがある。この場合にも、緩衝ばね２４及び軸部２３を含むテンションユニット１８ａ，１８ｂはボックス５０で覆われているため、塵埃がボックス５０の外部に飛散することを抑制でき、クリーンルーム３ａ〜３ｃ内の空気清浄度を保つことができる。
【００４４】
以上、説明した実施形態によれば、第１の実施形態の（１）〜（３）の作用効果に加え以下の作用効果を奏することができる。
（１）緩衝ばね２４及び軸部２３を含むテンションユニット１８ａ，１８ｂはボックス５０で覆われているため、塵埃がボックス５０の外部に飛散することを抑制でき、いっそうクリーンルーム３ａ〜３ｃ内の空気清浄度を保つことができる。
【００４５】
（第３の実施形態）
以下、本発明の第３の実施形態について、図１０〜図１２を参照しつつ説明する。
この実施形態ではテンションユニットの構成の点で上記第１の実施形態と主に異なっている。このため、本実施形態のロールスクリーンにおいては、第１及び第２の実施形態と異なりウェイトバー２９の上昇量と巻取軸１２による巻き出し及び巻取量の差は生じない。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００４６】
図１０及び図１１に示すように、モータ４５の外側に延びる第１出力軸６１には駆動プーリ１３ａが連結されるとともに、モータ４５の内側に延びる第２出力軸６２には縦枠８ｂに軸受を介して支持される駆動軸６５に連結されている。駆動軸６５の縦枠８ｂ側には駆動プーリ１３ｂが一体回転可能に設けられている。両駆動プーリ１３ａ，１３ｂはその上方に設けられる第２の従動プーリ１６ａ，１６ｂとの間に第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂが掛け回されている。モータ４５の上部であって両縦枠８ａ，８ｂ間には、巻取軸１２が回転可能に設けられている。巻取軸１２の両端部は、第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂのベルト間に挿通されている。また、スクリーン２２の上端が連結されるウェイトバー２９はその両端に設けられる連結部材２８ａを介して第２のタイミングベルト１７ａ，１７ｂに連結されている。巻取軸１２には、図１２に示すように、その外形をなす筒状のパイプ６３の左側面から略円柱状の軸部２３が挿通される。くわしくは、軸部２３は、縦枠８ａに固定支持される第１軸部６４と、同第１軸部６４に対して回転可能に設けられる第２軸部６７と、からなる。第１軸部６４は、その図１２の左端がパイプ６３の左側面から突出し、この突出する部分は縦枠８ａに固定されている。また、図１２の一点鎖線円中に示すように、パイプ６３の内部において、第１軸部６４の右側面には円柱状の挿入部７５が形成されている。一方、第２軸部６７の左端部には挿入部７５に対し摺動回転可能に嵌め合わされる筒状の開口受部６７ｈが形成されている。第１軸部６４の挿入部７５は、第２軸部６７の開口受部６７ｈに嵌め合わされて一体の円柱形状となる。なお、第１軸部６４に対して第２軸部６７は、例えばベアリングを介して回転可能としてもよい。また、第２軸部６７の右側面には、パイプ６３と一体回転する連結部７７が固定されている。さらに、軸部２３の外周にはコイルばね７３が装着されている。そして、コイルばね７３の両端部は第１軸部６４及び第２軸部６７の外周面にそれぞれ螺入される第１ねじ７０ａ及び第２ねじ７０ｂに係着している。パイプ６３の回転力は連結部７７を介して第２軸部６７に伝達され、同第２軸部６７は、第１軸部６４に対し相対回転する。すなわち第１ねじ７０ａに対して第２ねじ７０ｂが相対回転することにより、第１ねじ７０ａ及び第２ねじ７０ｂに係着されているコイルばね７３は、弾性力を蓄勢しつつ捻り回される。この弾性力は、巻取軸１２に対してスクリーン２２の巻き出しへの巻き戻し方向に働く反力として付与される。
【００４７】
次に、本実施形態にかかるロールスクリーンの動作について説明する。
図１０に示すように、ウェイトバー２９が下限位置にあるとき、すなわちスクリーン２２が巻取軸１２に完全に巻き取られている状態にあるときには、巻取軸１２には初期巻き力のみ発生している。モータ４５が駆動すると、ウェイトバー２９が上昇して、スクリーン２２が上方に引っ張られる。これによりパイプ６３はスクリーンを巻き出すα方向に回動する。これにともない、パイプ６３内部の連結部７７及び第２軸部６７はα方向に回動する。このとき、第１軸部６４及びその第１ねじ７０ａは回動しないため、コイルばね７３はα方向に捻り回されることになる。したがって、コイルばね７３はその回転量に応じた反力を蓄勢し、巻き出されたスクリーン２２には、巻き戻し方向の反力に基づく張力がはたらく。
【００４８】
本構成において、コイルばね７３が捻り回されたときには、例えばコイルばね７３が軸部２３に接触して発塵することがある。この場合においても軸部２３及びコイルばね７３は閉じられた空間であるパイプ６３内に設けられているため、塵埃が外部に飛散することを抑制できる。また、塵埃が外部に飛散した場合であっても、テンションユニットを兼用する巻取軸１２はウェイトバー２９の下限位置よりも下に設けられている。クリーンルーム３ａ〜３ｃにおいて、天井面６に設けられる供給口６ａから床面５に設けられる排気口５ａに向かって空気は流れているため、パイプ６３外に飛散した塵埃がウェイトバー２９の下限位置よりも上を通過する製造物２に付着することを防止できる。
【００４９】
以上、説明した実施形態によれば、第２の実施形態の（１）の作用効果に加え以下の作用効果を奏することができる。
（１）コイルばね７３が軸部２３に接触して発塵した場合においても、軸部２３及びコイルばね７３は閉じられた空間であるパイプ６３内に設けられているため、第２の実施形態と同様に塵埃が外部に飛散することを抑制できる。また、塵埃が外部に飛散した場合であっても、テンションユニットを兼用する巻取軸１２はウェイトバー２９の下限位置よりも下に設けられているため、パイプ６３外に飛散した塵埃がウェイトバー２９の下限位置よりも上を通過する製造物２に付着することを防止できる。
【００５０】
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
・第１〜第３の実施形態では、緩衝部材３７は摺動グレードのポリアセタール樹脂で形成したが、他の合成樹脂材料で形成してもよい。この場合であれ、緩衝部材３７が案内溝４０に摺動するときの摩擦抵抗は、クッションばね３５とガイドレール３０とを接触させるようにした場合に比べて小さくなり、発塵を抑制することができる。
【００５１】
・第１〜第３の実施形態では、緩衝部材３７は円形で形成したが、緩衝部材３７の少なくとも案内溝４０の当接面４０ｔとの接触部分を円弧状に形成すればよい。この場合にも、円形とした場合と同様に緩衝部材３７の周面方向の取付位置誤差が許容される。また、緩衝部材３７は円弧状を有さない例えば角形等であってもよい。
【００５２】
・第１〜第３の実施形態では、緩衝部材３７はクッションばね３５の取付部３５ｔに対して取り外し可能に設けられている。しかしこれに限らず、緩衝部材３７を取付部３５ｔに固定して設けてもよい。この場合には取付部３５ｔを巻き返して形成する必要はない。また、案内溝４０側に緩衝部材を設けてもよく、この場合には、例えば、合成樹脂製の摺動面を案内溝４０に取り付ける等して形成する。
【００５３】
・第２の実施形態では、ボックス５０の下面とテンションユニット１８ａ，１８ｂの固定部２１とはボルト４９で締結した。しかし、これに限らず、固定部２１とボックス５０の下面を一体で形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】クリーンルームに配置されるロールスクリーンの側面図。
【図２】第１の実施形態におけるロールスクリーンの正面図。
【図３】第１の実施形態におけるテンションユニットの正面図。
【図４】第１の実施形態におけるロールスクリーンの上面図。
【図５】第１の実施形態におけるガイドレールの要部断面図。
【図６】図５のＡ−Ａ線の断面図。
【図７】図６のＢ−Ｂ線の断面図。
【図８】第２の実施形態におけるテンションユニットの正面図。
【図９】第２の実施形態におけるテンションユニットの斜視図。
【図１０】第３の実施形態におけるロールスクリーンの正面図。
【図１１】図１０の矢印Ｃで示した要部正面図。
【図１２】第３の実施形態における巻取軸の内部構成を示す正面図。
【図１３】従来のロールスクリーンの正面図。
【図１４】従来のガイドレールの要部断面図。
【符号の説明】
【００５５】
１…製造ライン、２…製造物、３ａ〜３ｃ…第１〜第３のクリーンルーム、４ａ〜４ｃ…第１〜第３のロールスクリーン、７…枠体、１２…巻取軸、１３ａ，１３ｂ…駆動プーリ、１４…第１の従動プーリ、１５…第１のタイミングベルト、１６ａ，１６ｂ…第２の従動プーリ、１７ａ，１７ｂ…第２のタイミングベルト、２２…スクリーン、２６…インナーレール、２９…ウェイトバー、３０…ガイドレール、３５…クッションばね、３５ｔ…取付部、３７…緩衝部材、３７ｅ…円周面、３７ｉ…嵌込部、３７ｓ…摺動部、４０…案内溝、５０…ボックス（箱体）、６４…第１軸部、６７…第２軸部、７３…コイルばね。
【図１】
2010150840.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010150840.tif 000009
【図８】
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【図９】
2010150840.tif 000011
【図１０】
2010150840.tif 000012
【図１１】
2010150840.tif 000013
【図１２】
2010150840.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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