(57)【要約】【課題】光学性能を高精度に調整した光学装置を得ること。【解決手段】非磁性材料によって形成され、略円筒形状をなすレンズ鏡胴１０１と、レンズ鏡胴１０１の内周側に設けられ、所定の光学性能を示す有効径部２０２と当該有効径部２０２の外周側に設けられたレンズ余肉部２０３と当該レンズ余肉部２０３に設けられた強磁性体部品３０１とからなるレンズ１０２、１０３、１０４と、を備えたレンズユニット１００を構成した。これにより、レンズ１０２、１０３、１０４に直接触れることなく、レンズ鏡胴１０１内に設けられたレンズ１０２、１０３、１０４の位置や姿勢を調整し、レンズユニット１００における光学性能を調整することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の光学性能を示す有効径部と、
前記有効径部の外周側に設けられた余肉部と、
前記余肉部に設けられた磁性部材と、
を備えたことを特徴とする光学部材。
【請求項２】
非磁性材料によって形成され、略円筒形状をなす鏡胴と、
前記鏡胴の内周側に設けられ、所定の光学性能を示す有効径部と当該有効径部の外周側に設けられた余肉部と当該余肉部に設けられた磁性部材とからなる光学部材と、
を備えたことを特徴とする光学装置。
【請求項３】
非磁性材料によって形成され、略円筒形状をなす鏡胴と、前記鏡胴の内周側に設けられ、所定の光学性能を示す有効径部と当該有効径部の外周側に設けられた余肉部と当該余肉部に設けられた磁性部材とからなる光学部材と、を備えた光学装置の光学性能の調整方法であって、
前記鏡胴の内周側に前記光学部材を挿入する組み立て工程と、
前記磁性部材に対して吸着力を作用させる磁性材料を用いて、前記組み立て工程後の前記光学装置における前記鏡胴の外周側から当該鏡胴内における前記光学部材の位置を調整する調整工程と、
前記調整工程によって位置を調整した前記光学部材の前記鏡胴内における位置を固定する固定工程と、
を含んだことを特徴とする光学性能の調整方法。
【請求項４】
前記調整工程は、干渉計を用いて、前記組み立て工程後の前記光学装置を通過した光の干渉縞の画像と、所定の比較用の干渉縞の画像とのずれが所定の閾値の範囲内となるように前記光学部材の位置を調整することを特徴とする請求項３に記載の光学性能の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レンズなどの光学部材、当該光学部材を備えた光学装置、および、当該光学装置における光学性能の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
さまざまな用途における光学系においては、光学系を構成する各部品の製造誤差が当該光学系の性能を劣化させる原因の一つとなる。この製造誤差を生じさせる原因の一つとして、レンズ面の局所的歪みが挙げられる。たとえば光軸を含む当該光軸に垂直な面内においてレンズなどの光学部材の形状が左右対称である光学系、すなわち対称光学系においては、各レンズ面が球面・非球面であることを問わず、部分歪みが発生することによる各収差への影響が大きい。
【０００３】
従来、たとえば顕微鏡などに用いられる、複数枚のレンズを用いて構成される対物レンズなどを組み立てる際には、各種の干渉計を利用する。干渉計は干渉縞を映し出すモニターを備えており、組み立てに従事する作業者は干渉計のモニターに映し出された干渉縞を観察しながら、複数のレンズが嵌合されている鏡枠に対して、各レンズを１枚１枚回転させる。そして、各レンズが要求される光学性能を得ることができる角度位置に位置した状態で当該各レンズを固定することによって組み立てしているのが現状であった。
【０００４】
「アス」は、光学部材の形状判定をおこなった場合に、方向により曲率に差が生じ、同一光学部材において曲率にばらつきが生じ、球面不良の発生が多くみられる現象であり、たとえば光の干渉縞として可視化される。要求される光学性能を得ることができる角度位置は、たとえばアス１本分の範囲内とされる。
【０００５】
従来、たとえば光学素子を研削・研磨加工用の工具に押し付け、工具の回転と該回転に従属して回転する光学素子の相対運動により光学素子を研削・研磨加工する際に用いる光学素子保持具において、保持具本体の受け面に貼り付けられて光学素子裏面と接触する面となるシート材の大きさを光学素子の径比率で９０〜５０％とし、この光学素子保持具より光学素子を保持して研削あるいは研磨加工することにより、前工程で生じた光学素子の形状変形の影響による自工程での光学素子のアスの発生を防止するようにした技術があった（たとえば、下記特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−７９４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来の技術では、複数のレンズが嵌合されている鏡枠に対して、各レンズを１枚１枚回転させることによって要求される光学性能を得ることができる角度位置を探し出して組み立てているため、組み立て工数がかかり、組み立てコストが増大するという問題があった。また、上述した従来の技術では、組み立て工数がかかるため、大量生産に不向きであるという問題があった。
【０００８】
さらに、上述した従来の技術では、たとえば上述した対物レンズやこのようなレンズを備えたレンズ装置などの光学系を組み立てる組み立て作業をおこなう作業者によって、作業効率や作業結果（完成度の高さ）に個人差が生じてしまうという問題があった。
【０００９】
加えて、上述した従来の技術では、要求される光学性能の範囲から外れているなどの理由によって、一旦光学系を組み立て後に当該光学系の光学性能の再調整をおこないたい場合にも、再調整がしにくいという問題があった。
【００１０】
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、光学性能を高精度に調整した光学装置を得ることができる光学部材、光学装置および光学性能の調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、この発明にかかる光学部材は、所定の光学性能を示す有効径部と、前記有効径部の外周側に設けられた余肉部と、前記余肉部に設けられた磁性部材と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、光学部材に直接触れることなく、当該光学部材の位置や姿勢を調整することができる。
【００１３】
また、この発明にかかる光学装置は、非磁性材料によって形成され、略円筒形状をなす鏡胴と、前記鏡胴の内周側に設けられ、所定の光学性能を示す有効径部と当該有効径部の外周側に設けられた余肉部と当該余肉部に設けられた磁性部材とからなる光学部材と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、光学部材に直接触れることなく、鏡胴内に設けられた光学部材の位置や姿勢を調整し、光学装置における光学性能を調整することができる。
【００１５】
また、この発明にかかる光学性能の調整方法は、非磁性材料によって形成され、略円筒形状をなす鏡胴と、前記鏡胴の内周側に設けられ、所定の光学性能を示す有効径部と当該有効径部の外周側に設けられた余肉部と当該余肉部に設けられた磁性部材とからなる光学部材と、を備えた光学装置の光学性能の調整方法であって、前記鏡胴の内周側に前記光学部材を挿入する組み立て工程と、前記磁性部材に対して吸着力を作用させる磁性材料を用いて、前記組み立て工程後の前記光学装置における前記鏡胴の外周側から当該鏡胴内における前記光学部材の位置を調整する調整工程と、前記調整工程によって位置を調整した前記光学部材の前記鏡胴内における位置を固定する固定工程と、を含んだことを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、光学部材に直接触れることなく、鏡胴内に設けられた光学部材の位置や姿勢を調整し、光学装置における光学性能を調整することができる。
【００１７】
また、この発明にかかる光学性能の調整方法は、上記の発明において、前記調整工程が、干渉計を用いて、前記組み立て工程後の前記光学装置を通過した光の干渉縞の画像と、所定の比較用の干渉縞の画像とのずれが所定の閾値の範囲内となるように前記光学部材の位置を調整することを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、光学装置の組み立て、当該光学装置における光学性能の調整および光学性能を調整した光学装置における各光学部材の位置の固定を自動化することができる。
【発明の効果】
【００１９】
この発明にかかる光学部材、光学装置および光学性能の調整方法によれば、光学性能を高精度に調整した光学装置を得ることができるという効果を奏する。
【００２０】
この発明にかかる光学部材、光学装置および光学性能の調整方法によれば、光学性能を高精度に調整した光学装置を大量生産することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明にかかる実施の形態のレンズユニットを示す説明図である。
【図２】レンズの基本構成を示す説明図である。
【図３】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その１）である。
【図４】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その２）である。
【図５】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その３）である。
【図６】この発明にかかる実施の形態のレンズユニットにおける光学性能の調整に際して用いる測定装置を示す説明図（その１）である。
【図７】この発明にかかる実施の形態のレンズユニットにおける光学性能の調整に際して用いる測定装置を示す説明図（その２）である。
【図８】この発明にかかる実施の形態のレンズユニットにおける光学性能の調整に際して用いる測定装置を示す説明図（その３）である。
【図９】この発明にかかる実施の形態のレンズユニットにおける光学性能の調整作業を示す説明図である。
【図１０】レンズユニットにおける光学性能の調整作業の流れを示すフローチャートである。
【図１１】レンズユニットにおける光学性能の調整作業をオートメーション化した場合における測定装置の処理手順を示すフローチャートである。
【図１２】従来の測定装置を示す説明図である。
【図１３】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その４）である。
【図１４】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その５）である。
【図１５】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その６）である。
【図１６】この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図（その７）である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる光学部材、光学装置および光学性能の調整方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００２３】
まず、この発明にかかる実施の形態のレンズユニットについて説明する。図１は、この発明にかかる実施の形態のレンズユニットを示す説明図である。図１においては、この発明にかかる実施の形態のレンズユニットを光軸を通り光軸に平行な平面で切断した断面を示している。
【００２４】
図１において、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００は、鏡胴の一例としてのレンズ鏡胴１０１を備えている。レンズ鏡胴１０１は、略円筒形状をなし、非磁性体材料を用いて形成されている。具体的には、レンズ鏡胴１０１は、たとえばアルミニウムやプラスチック材料などの材料を用いて形成することができる。レンズ鏡胴１０１は、表面処理が施されていてもよい。レンズ鏡胴１０１の表面処理は、磁性体を用いるなど、レンズ鏡胴１０１が磁性を帯びるような処理以外なら特に限定するものではない。
【００２５】
レンズ鏡胴１０１の内周側には、光学部材の一例としてのレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４が設けられている。レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、レンズ鏡胴１０１の内周側において、光軸方向にそって隣り合うように設けられている。
【００２６】
光軸方向において、レンズ１０２とレンズ１０３との間には、レンズ間隔調整リング１０５が設けられている。また、光軸方向において、レンズ１０３とレンズ１０４との間には、レンズ間隔調整リング１０６が設けられている。光軸方向において、レンズ１０２に対してレンズ間隔調整リング１０５と反対側には、レンズ押さえリング１０７が設けられている。
【００２７】
レンズ間隔調整リング１０５、レンズ間隔調整リング１０６およびレンズ押さえリング１０７は、光軸Ｃを中心とした略環形状をなす。具体的には、たとえばレンズ間隔調整リング１０５は、レンズ１０２およびレンズ１０３における有効光路から退避した位置に位置づけられる。
【００２８】
また、具体的には、たとえばレンズ間隔調整リング１０６は、レンズ１０３およびレンズ１０４における有効光路から退避した位置に位置づけられる。また、具体的には、たとえばレンズ押さえリング１０７は、レンズ１０２における有効光路から退避した位置に位置づけられる。
【００２９】
レンズユニット１００におけるレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４の固定方法は、たとえばＵＶ接着剤や熱硬化型接着剤などを用いた、二次作業を必要とする固定方法が好ましい。これにより、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４のそれぞれの角度位置を調整して組み立てた後に手戻り処理をおこなう場合にも、当該手戻り処理を容易におこなうことができる。
【００３０】
レンズユニット１００において、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、ＵＶ接着剤や熱硬化型接着剤などを用いた固定方法に代えて、それぞれをたとえばネジ締結によって固定するようにしてもよい。また、レンズユニット１００において、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、それぞれ、たとえばレンズ押さえリング１０７を用いて固定されていてもよい。
【００３１】
さらに、レンズユニット１００において、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、それぞれ、たとえばレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４の外径に施したカシメによって固定されていてもよい。レンズユニット１００におけるレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４の固定方法は、特定の固定方法に限定されるものではなく、公知の各種の固定方法を用いることができる。
【００３２】
レンズユニット１００の組み立てに際して、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、レンズ１０４、レンズ１０３およびレンズ１０２の順番で、レンズ鏡胴１０１における光軸Ｃ方向の一端側から、レンズ鏡胴１０１内に落とし込まれている。レンズ鏡胴１０１においては、レンズ鏡胴１０１内に落とし込まれたレンズ１０４を支持する段差部１０８が設けられている。レンズ鏡胴１０１における光軸方向（光軸Ｃに沿った方向）の一端側からレンズ鏡胴１０１内に落とし込まれたレンズ１０４は、段差部１０８に当接することによってレンズ鏡胴１０１内における位置が決定されている。
【００３３】
レンズ押さえリング１０７の外周面には、レンズ鏡胴１０１の内周面に設けられたネジ山に螺合するネジ山が設けられている（図示を省略する）。レンズ押さえリング１０７は、レンズ押さえリング１０７の外周面に設けられたネジ山とレンズ鏡胴１０１の内周面に設けられたネジ山とを螺合させることによってレンズ鏡胴１０１に対して固定されている。
【００３４】
レンズ鏡胴１０１に対するレンズ押さえリング１０７の位置を固定することによって、レンズユニット１００を構成する各部品１０２〜１０７を、レンズ鏡胴１０１内の所定の位置に位置づけ、レンズ鏡胴１０１からの脱落を防止することができる。
【００３５】
また、レンズ押さえリング１０７をレンズ鏡胴１０１に対して固定することによって、レンズユニット１００を構成する各部品１０２〜１０７のうち光軸方向において隣り合う各部品１０２〜１０７どうしを当接させ、各部品１０２〜１０７の位置を相互に固定することができる。
【００３６】
（レンズの基本構成）
つぎに、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００に用いるレンズ１０２、１０３、１０４を含む、レンズの基本構成について説明する。図２は、レンズの基本構成を示す説明図である。図２において、レンズ２０１は、光軸Ｃを中心とする略円形をなし、有効径部２０２とレンズ余肉部２０３とを備えている。
【００３７】
有効径部２０２は、所定の硝材を用いて形成されている。レンズ２０１（１０２、１０３、１０４）において、有効径部２０２を形成する硝材は種類を問わない。有効径部２０２は、光軸Ｃを中心とする円の内周側（光軸Ｃ側）に設けられ、入射した光を屈折させ、拡散あるいは集束させる。レンズ２０１（１０２、１０３、１０４）の性質は、有効径部２０２における、光軸Ｃ位置におけるレンズ２０１（１０２、１０３、１０４）の厚さ寸法である中心肉厚や、曲率半径などによって決定される。
【００３８】
レンズ余肉部２０３は、有効径部２０２の外周側に設けられ、略環形状をなす。レンズ余肉部２０３の外縁によって、レンズの最外径が決定される。レンズ余肉部２０３の最外径の寸法は、レンズ鏡胴１０１と嵌合する径とされている。
【００３９】
（レンズユニット１００におけるレンズ）
つぎに、この実施の形態におけるレンズユニット１００に用いるレンズについて説明する。図３、図４および図５は、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００に適用可能なレンズの一例を示す説明図である。
【００４０】
図３、図４および図５に示したレンズは、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００に適用可能なレンズの一形状を例示するものであり、有効径部における形状は図３、図４および図５に示した形状に限らない。レンズユニット１００においては、図３、図４および図５に示した形状のレンズに代えて、上記の各種のレンズ１０２、１０３、１０４のような形状をなすものであってもよい。
【００４１】
すなわち、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００においては、有効径部２０２の形状が、図３、図４および図５に示した形状のものに代えて、上記の各種のレンズ１０２、１０３、１０４のような形状であってもよい。以下、図３、図４および図５においては、レンズに符号１０２、１０３、１０４を付して説明する。
【００４２】
この実施の形態におけるレンズユニット１００に用いるレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、磁性を帯びている。レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、図３、図４および図５に示す各種の構成によって磁性を帯びた状態とすることができる。
【００４３】
（レンズの構成（その１））
図３において、この実施の形態におけるレンズユニット１００に用いるレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、たとえば有効径部２０２から退避した位置すなわちレンズ余肉部２０３に強磁性体部品３０１を設け、当該強磁性体部品３０１の磁性によって磁性を帯びるように構成することができる。
【００４４】
強磁性とは、磁力の根本となる電子スピンのうち、隣り合う電子スピンが同一の方向を向いて整列し、全体として大きな磁気モーメントを持つ物質の磁性を示す。具体的には、たとえば鉄、ニッケル、コバルトのような元素が強磁性を示す。強磁性は、小さな磁石の集まりであり、通常時は、電子スピンの方向がランダムな方向を向いているため磁石として振る舞わないが、熱と磁場とをかけながら冷やすことによって小さな磁石がそろった状態となると磁性を示す。
【００４５】
強磁性体部品３０１は、光軸Ｃを中心とする円周方向における１箇所以上に設けられている。強磁性体部品３０１の大きさおよび形状は、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４の有効光路に干渉しない大きさおよび形状であれば特に限定されるものではない。複数の強磁性体部品３０１を設ける場合、各強磁性体部品３０１は、たとえば光軸Ｃを中心とする同一円周上に設けることができる。
【００４６】
具体的には、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４における強磁性体部品３０１は、たとえばレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４におけるレンズ余肉部２０３を外周側から一部切り欠くことによって設けられた逃がし形状部３０２に嵌め込むことによって設けられている。この場合、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４と、強磁性体部品３０１とをアッセンブリした後は、最外径の形状が円形を保つように構成する。
【００４７】
また、具体的には、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４における強磁性体部品３０１は、たとえばレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４におけるレンズ余肉部２０３に設けた切り欠き部（孔、穴、凹部など）３０３に埋め込むことによって設けられていてもよい。レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４においては、レンズに強磁性体を設ける構成に限るものではなく、磁性を示す物質であればマグネットに限らず、その他の物質を用いてもよい。
【００４８】
（レンズの構成（その２））
図４において、この実施の形態におけるレンズユニット１００に用いるレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、たとえばレンズ余肉部２０３の外周にリング状の強磁性体部品４０１を設け、当該リング状の強磁性体部品４０１の磁性によって磁性を帯びるように構成することができる。
【００４９】
リング状の強磁性体部品４０１は、異なるＳ極とＮ極とが交互に配列されるように形成されている。Ｓ極およびＮ極の極数は、任意に設定することができる。リング状の強磁性体部品４０１は、たとえばリング状の強磁性体部品４０１の内周側の一部に、光軸Ｃに向かって突出する突起４０２を設けるとともにレンズ余肉部２０３を外周側から一部切り欠いた切り欠き部４０３を設け、当該切り欠き部４０３に突起４０２を係合させることによってレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４に取り付けられている。
【００５０】
これによって、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４におけるレンズ余肉部２０３に対してリング状の強磁性体部品４０１が回転してしまうことを防止することができる。この場合、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４と、リング状の強磁性体部品４０１とをアッセンブリした後は、最外径の形状が円形を保つように構成する。
【００５１】
（レンズの構成（その３））
図５において、この実施の形態におけるレンズユニット１００に用いるレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４は、たとえばレンズ硝材を用いて形成される有効径部２０２およびレンズ余肉部２０３の周囲に、プラスチックマグネット部５０１を一体成形によって設けることにより、プラスチックマグネット材料が示す磁性によって磁性を帯びるように構成することができる。図５においては、レンズ余肉部２０３の外周側の一部が、プラスチックマグネット部５０１とされている。
【００５２】
プラスチックマグネット部５０１は、素材がプラスチックでできている磁石（プラスチックマグネット材料、プラスチック磁石）によって形成されている。プラスチックマグネット材料（プラスチック磁石）には、磁性素材そのものがプラスチックであるものや、磁性を示す物質を粉末にして混ぜ合わせ、非磁性を示すプラスチックなどと一緒に練ったもの（ボンド磁石）などが存在する。磁性素材そのものがプラスチックであるものとしては、具体的には、たとえばエメラルディンベースのポリアニリン（ＰＡＮｉ）骨格上に電子受容体であるテトラシアノキノジメタン（ＴＣＮＱ）の構造を持たせた磁性ポリマー（ＰＡＮｉＣＮＱ）から作られた非金属の磁石が知られている。
【００５３】
（レンズユニット１００の組み立て方法）
つぎに、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００の組み立て方法について説明する。レンズユニット１００の組み立てに際しては、レンズ鏡胴１０１における光軸方向の一端側から、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４を、レンズ１０４、レンズ１０３およびレンズ１０２の順番で、レンズ鏡胴１０１内に落とし込む。レンズ鏡胴１０１における光軸方向の一端側からレンズ鏡胴１０１内に落とし込まれたレンズ１０４は、段差部１０８に当接することによってレンズ鏡胴１０１内における位置が決定される。
【００５４】
つぎに、レンズ鏡胴１０１における光軸方向の一端側から、レンズ間隔調整リング１０６をレンズ鏡胴１０１内に落とし込み、その後レンズ１０３をレンズ鏡胴１０１内に落とし込む。これにより、光軸方向における、レンズ１０３とレンズ１０４との間に、レンズ間隔調整リング１０６が挟持された状態となる。
【００５５】
そして、レンズ鏡胴１０１における光軸方向の一端側から、レンズ間隔調整リング１０５をレンズ鏡胴１０１内に落とし込み、その後レンズ１０２をレンズ鏡胴１０１内に落とし込む。これにより、光軸方向における、レンズ１０２とレンズ１０３との間に、レンズ間隔調整リング１０５が挟持された状態となる。
【００５６】
その後、レンズ鏡胴１０１における光軸方向の一端側から、レンズ１０２を押さえるようにしてレンズ押さえリング１０７をレンズ鏡胴１０１に取り付ける。レンズ押さえリング１０７は、レンズ押さえリング１０７の外周面に設けられたネジ山とレンズ鏡胴１０１の内周面に設けられたネジ山とを螺合させることによってレンズ鏡胴１０１に対して固定される。このように、レンズ鏡胴１０１に対するレンズ押さえリング１０７の位置を固定することによって、レンズユニット１００を構成する各部品を、レンズ鏡胴１０１内の所定の位置に位置づけることができる。
【００５７】
（光学性能の調整）
つぎに、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整方法について説明する。図６、図７および図８は、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整に際して用いる測定装置を示す説明図である。
【００５８】
図６、図７および図８において、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整に用いる測定装置６０１は、測定台６０２、測定治具６０３、測定治具６０４、反射系６０５、反射系６０６および干渉計８０１を備えている。
【００５９】
測定台６０２は、反射系６０５および反射系６０６に対する、レンズユニット１００の光軸Ｃに直交する方向（Ｘ−Ｙ軸方向）におけるレンズユニット１００の位置を調整する。測定台６０２は、反射系６０５および反射系６０６に対して、Ｘ−Ｙ軸方向に沿って移動可能に設けられている。測定台６０２をＸ−Ｙ軸方向に沿って移動可能とする構成については、公知の各種技術を用いて容易に実現可能であるため説明を省略する。
【００６０】
測定治具６０３は、レンズユニット１００を測定台６０２に固定する。具体的には、測定治具６０３は、たとえばレンズ鏡胴１０１の外径寸法と略同一寸法の内径をなす、略円筒形状の部材によって実現することができる。測定治具６０３は、レンズユニット１００におけるレンズ鏡胴１０１を外周側から保持することによってレンズユニット１００を測定台６０２に固定する。測定治具６０３によって測定台６０２に固定されたレンズユニット１００は、測定治具６０３に設けられた開口部６０３ａおよび測定台６０２に設けられた開口部６０２ａを介して、反射系６０５に対向する。
【００６１】
測定治具６０４は、測定治具６０３および測定治具６０３によって固定されたレンズユニット１００を外周側から覆う略円筒形状をなしている。測定治具６０４の内周面には、光軸方向に向かって突出する一対のアーム部６０７が設けられている。この実施の形態においては、一対（２つ）のアーム部６０７が設けられている測定装置６０１について説明したが、アーム部６０７の数は２つに限るものではない。アーム部６０７は、少なくとも１つ設けられていることが好ましい。
【００６２】
アーム部６０７は、測定台６０２に対して接離する方向（Ｚ軸方向）に沿って移動可能とされ、任意の位置において停止させることが可能な構成とされている。アーム部６０７を測定台６０２に対して接離する方向に沿って移動可能とするとともに任意の位置において停止させることが可能な構成については、公知の各種技術を用いて容易に実現可能であるため説明を省略する。
【００６３】
アーム部６０７において、当該アーム部６０７の先端部（光軸Ｃに近い側の端部）には、強磁性を示す強磁性体部６０７ａが設けられている。強磁性体部６０７ａは、少なくともアーム部６０７の先端に設けられていればよい。あるいは、アーム部６０７は、アーム部６０７全体を強磁性体材料によって形成してもよい。
【００６４】
アーム部６０７は、光軸Ｃを中心とする円周に沿って移動可能とされている。具体的には、アーム部６０７は、たとえば測定治具６０４の軸心を中心として、当該測定治具６０４を測定治具６０３に対して回動させることによって、光軸Ｃを中心とする円周に沿って移動させることができる。
【００６５】
あるいは、具体的には、アーム部６０７は、たとえば測定治具６０４の内周面に沿って、測定台６０２に対して平行な状態でスライドさせることによって、光軸Ｃを中心とする円周に沿って移動させることができる。光軸Ｃを中心とする円周に沿ってアーム部６０７を移動可能とする構成については、公知の各種技術を用いて容易に実現可能であるため説明を省略する。
【００６６】
反射系６０５および反射系６０６は、それぞれ、測定台６０２に対して接離する方向（Ｚ軸方向）に沿って移動可能とされ、任意の位置において停止させることが可能な構成とされている。反射系６０５および反射系６０６を、それぞれ、測定台６０２に対して接離する方向に沿って移動可能とするとともに任意の位置において停止させることが可能な構成については、公知の各種技術を用いて容易に実現可能であるため説明を省略する。
【００６７】
干渉計８０１は、たとえばトワイマン干渉計などを利用することができる。干渉計８０１は、レンズユニット１００における各レンズの透過波面収差を、干渉縞としてモニターに映し出すことができる。これによって、レンズユニット１００における光学性能の調整に際しては、モニター（図示を省略する）に映し出される干渉縞を確認しながらの作業をおこなうことができる。
【００６８】
干渉計８０１は、光源から出射された光を２つ以上の光（光束）に分割し、各光（光束）が別々の光路を通った後再び重ね合わせるための光学部品を備え、重ね合わせるまでの光源からの光路差により発生する干渉縞を解析することによって被検体（この実施の形態においては、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の表面形状や透過波面形状を求める測定装置６０１とされる。干渉計８０１を構成するためには、光源、光の分割手段、光の重ね合わせ手段、および検出手段が必要となる。
【００６９】
干渉計８０１においては、光源から出射された光束を２つに分割し、一方の波面（光路）に対して他方の波面（光路）がどれだけ違っているかを調べることができる。干渉計８０１において、基準となる波面は参照波面あるいは参照光とされ、参照波面（参照光）を形成するための反射面がある場合にはこれが参照面あるいは基準面とされる。参照波面と被検波面との光路差が波長の整数倍であれば干渉した光は明るくなり、当該光路差が波長の整数倍から波長の半分だけずれていれば干渉光は暗くなる。場所によって光路差が一定でない場合には、明暗の干渉縞が観察される。
【００７０】
干渉計８０１における光源としては、たとえば可干渉性に優れたレーザを用いるのが一般的であるが、特定の目的のために、単色光（低コヒーレンス光源）や白色光源を用いてもよい。干渉計８０１における光の分割手段としては、ハーフミラーなどによる振幅分割を用いることができる。
【００７１】
また、干渉計８０１における光の分割手段としては、ハーフミラーなどによる振幅分割に代えて、波面分割や偏光分割などを用いてもよい。干渉計８０１における光の重ね合わせ手段は、分割手段と同じものを用いることができる。干渉計８０１における検出手段としては、たとえばＣＣＤなどを用いることができる。
【００７２】
この実施の形態における干渉計８０１は、レーザ光源８０２と、拡大系レンズ８０３と、コリメーターレンズ８０４と、ビームスプリッタ８０５と、観察系レンズ８０６と、スクリーン８０７と、を備えている。干渉計８０１は、レーザ光源８０２から出射したレーザ光を、拡大系レンズ８０３、コリメーターレンズ８０４およびビームスプリッタ８０５を介して反射系６０５および反射系６０６に入射させる。そして、反射系６０５および反射系６０６からの反射光を、ふたたびビームスプリッタ８０５を経由させて、観察系レンズ８０６を介してスクリーン８０７に出射する。
【００７３】
コリメーターレンズ８０４は、レーザ光源８０２から拡大系レンズ８０３を介して出射された光束を、平行光に変換する。ビームスプリッタ８０５は、コリメーターレンズ８０４を通過した１つの光束（平行光）を２つの光束に分解するとともに、反射系６０５および反射系６０６を通過した２つの光束を１つの光束に再度重ね合わせて観察系レンズ８０６へ送る。
【００７４】
スクリーン８０７は、たとえば固体撮像素子などによって実現することができる。固体撮像素子は、当該固体撮像素子に入射した光信号を電気信号に変換する。干渉計８０１は、たとえばパーソナルコンピュータに接続されており、固体撮像素子において光信号を変換することによって得られた電気信号を、固体撮像素子からパーソナルコンピュータに出力する。
【００７５】
パーソナルコンピュータには所定の画像処理プログラムがインストールされており、パーソナルコンピュータは当該所定の画像処理プログラムを用いて干渉計８０１の固体撮像素子から出力された電気信号に対する所定の画像処理をおこなって画像データを生成する。光学性能の調整に際してパーソナルコンピュータがおこなう所定の画像処理については、公知の各種の技術を用いて容易に実現可能であるため説明を省略する。
【００７６】
パーソナルコンピュータは、所定の画像処理を施した画像データを、当該パーソナルコンピュータに接続されたモニターに映し出す。パーソナルコンピュータに接続されたモニターには、反射系６０５を通過した光と反射系６０６を通過した光とによって、波面収差の状態を示す干渉縞が映し出される。
【００７７】
図９は、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整作業を示す説明図である。図９において、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整に際しては、まず、測定治具６０３によってレンズユニット１００を測定台６０２に固定する。つぎに、アーム部６０７をＺ軸方向に移動して、調整対象とするレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）の外周側に位置づける。この状態においては、アーム部６０７に設けられた強磁性体部６０７ａと、レンズユニット１００における該当するレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）と、の間に磁気吸着力が発生する。
【００７８】
つぎに、アーム部６０７に設けられた強磁性体部６０７ａと、レンズユニット１００における該当するレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）と、の間に磁気吸着力が発生した状態で、光軸Ｃを中心とする円周に沿ってアーム部６０７を移動（回動）させる。これによって、アーム部６０７との間に発生している磁気吸着力によって、一対のアーム部６０７の間に位置するレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）が、アーム部６０７の回動にともなって、光軸Ｃを中心とする円周に沿って回動する。
【００７９】
これによって、回動されたレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の、光軸Ｃに対する角度位置を調整することができる。そして、このようにして、アーム部６０７のＺ軸方向における位置を変えながら、アーム部６０７を回動させることによって、レンズユニット１００における各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の、光軸Ｃに対する角度位置を調整することができる。
【００８０】
レンズユニット１００における光学性能の調整に際しては、目標性能に到達するあるいは目標性能から所定範囲内の光学性能となるように、該当するレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）を回動させることによって、各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）に存在する部分歪みが相殺されるように、当該レンズの部分歪みの部位を移動することによっておこなうことができる。
【００８１】
各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の部分歪み方向を調整し、目標性能へ到達させた後は、レンズ鏡胴１０１に対する各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）の位置を固定する。レンズ鏡胴１０１に対する各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）の位置の固定は、公知の各種の技術を用いて容易に実現可能であるため説明を省略する。
【００８２】
レンズユニット１００における各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の光軸Ｃに対する角度位置は、たとえばモニターに映し出される干渉縞の画像が、所定の閾値のアスクセに見合うかどうか（ＯＫかＮＧか）を、調整作業をおこなう作業者が判断することによっておこなうことができる（図１０を参照）。
【００８３】
図１０は、レンズユニット１００における光学性能の調整作業の流れを示すフローチャートである。図１０において、レンズユニット１００における光学性能の調整作業、すなわち、レンズユニット１００における各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の光軸Ｃに対する角度位置の調整作業に際しては、まず、モニターに干渉縞を表示させる（ステップＳ１００１）。
【００８４】
つぎに、モニターに表示された干渉縞に基づいて、レンズユニット１００の光学性能が求める性能であるかどうかを判断する（ステップＳ１００２）。ステップＳ１００２においては、たとえば調整作業をおこなう作業者が目視によって判断することができる。
【００８５】
そして、レンズユニット１００の光学性能が求める性能である場合（ステップＳ１００２：Ｙｅｓ）は、レンズユニット１００における光学性能の調整作業を終了する。一方、レンズユニット１００の光学性能が求める性能ではない場合（ステップＳ１００２：Ｎｏ）は、上述したようにして、再度、レンズユニット１００におけるレンズを回転させる（ステップＳ１００３）。
【００８６】
再度、レンズユニット１００におけるレンズを回転させた後は、ステップＳ１００１へ進み、モニターに干渉縞を表示させ、その後、モニターに表示された干渉縞に基づいて、レンズユニット１００の光学性能が求める性能であるかどうかを判断する作業を、レンズユニット１００の光学性能が求める性能となるまで繰り返す。
【００８７】
また、この発明にかかる実施の形態のレンズユニット１００においては、レンズユニット１００の組み立て、および、組み立て後のレンズユニット１００における各レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の光軸Ｃに対する角度位置の調整作業（光学性能の調整作業）を、オートメーション化することが可能となる。
【００８８】
具体的には、オートメーション化は、たとえば上記の測定装置６０１における測定治具６０４を、通常干渉計８０１でレンズ（レンズ１０２、レンズ１０３あるいはレンズ１０４）を検査するときに使用するレンズマウント治具と一体に構成する。そして、上記の測定装置６０１においてレンズを回転させるべく構成したアーム部６０７が、上下方向の駆動、および、光軸Ｃ中心に回転するように構成する。このとき、アーム部６０７の上下駆動と回転の最小分解能は、公知である駆動ユニットにより適時設定すればよい。
【００８９】
つぎに、干渉計８０１と接続したパーソナルコンピュータを通して、モニターにおいて観察されるモニター画像に基づいて、あらかじめ設けた閾値に対するＯＫあるいはＮＧの判定のための比較演算をおこなう。この比較演算は、たとえば干渉計８０１により得られる干渉縞のデジタル画像などに基づいてあらかじめ設定された閾値に対し、ＯＫ／ＮＧの比較演算をおこなう所定の画像処理プログラムをパーソナルコンピュータ内部にインストールしておくことによって実現することができる。
【００９０】
この比較演算の結果、判定結果がＯＫならばレンズユニット１００における各レンズをＯＫ判定した状態で固定する。一方、比較演算の結果、判定結果がＮＧならば再度レンズを回転させ、同じ比較演算を再度おこなって、ＯＫ／ＮＧの判断を再度おこなう。判定結果がＮＧ（ＮＧ判定）である場合に再度レンズを回転させる最小分解能については、測定治具６０４側にエンコーダを設け、このエンコーダを利用して角度位置を制御することによって調整することができる。
【００９１】
あるいは、判定結果がＮＧ（ＮＧ判定）である場合に再度レンズを回転させる最小分解能については、上記比較演算をおこなう画像処理プログラムを実行し、レンズを回転しながら常時得られる画像データをリアルタイムで処理し、角度回転角を制御するようにしてもよい。
【００９２】
オートメーション化においては、固定方法の内容により異なるが、たとえば接着固定ならば、ディスペンサーをロボットにて位置決めと塗布量管理しつつ制御することによって、レンズの固定までをオートメーション化することが可能となる。なお、固定方法が異なる場合にも、適宜、位置決めと塗布量管理するロボットに代えて所定のロボットを設置することによってオートメーション化することが可能となる。
【００９３】
（オートメーション化した場合における測定装置６０１の処理手順）
図１１は、レンズユニット１００における光学性能の調整作業をオートメーション化した場合における測定装置６０１の処理手順を示すフローチャートである。図１１のフローチャートにおいて、まず、レンズ角度位置調整を開始すると、モニターに干渉縞の画像を表示するとともに、干渉計８０１よりデジタル画像データをパーソナルコンピュータに送信する（ステップＳ１１０１）。
【００９４】
つぎに、干渉計８０１よりパーソナルコンピュータに送信したデジタル画像データ（取得した画像）を用いて比較演算をおこなう（ステップＳ１１０２）。ステップＳ１１０２においては、干渉計８０１よりパーソナルコンピュータに送信したデジタル画像データ（取得した画像）と、閾値として利用する干渉縞画像データと、を照合することによって比較演算をおこなう。閾値として利用する干渉縞画像データは、パーソナルコンピュータにおける所定のメモリに記憶されている。
【００９５】
そして、ステップＳ１１０２における比較演算の結果に基づいて、レンズユニット１００の光学性能が求める性能であるかどうかを判断する（ステップＳ１１０３）。レンズユニット１００の光学性能が求める性能である場合（ステップＳ１１０３：Ｙｅｓ）は、一連の処理を終了し、レンズユニット１００における光学性能の調整作業を終了する。
【００９６】
一方、ステップＳ１１０３において、レンズユニット１００の光学性能が求める性能ではない場合（ステップＳ１１０３：Ｎｏ）は、上述したようにして、再度、レンズユニット１００におけるレンズを自動で回転させ（ステップＳ１１０４）、ステップＳ１１０１へ戻る。図１１のフローチャートに示した処理は、レンズユニット１００の光学性能が求める性能となるまで繰り返す。
【００９７】
（従来の測定装置１２０１）
図１２は、従来の測定装置１２０１を示す説明図である。図１２において、従来の測定装置１２０１は、測定台６０２、測定治具６０３、反射系６０５、反射系６０６および干渉計８０１を備えている。従来の測定装置１２０１を用いた、レンズユニット１００における光学性能の調整作業に際しては、まず、レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４など、レンズユニット１００を構成する各部品がレンズ鏡胴１０１内に落とし込まれ、組み立てがほぼ完了した状態のレンズユニット１００を測定治具６０３によって固定する。
【００９８】
そして、干渉計８０１によってモニターに映し出される干渉縞に基づいて、レンズユニット１００における光学性能が目標性能に到達しているか否かを、作業者が目視によって判断する。判断の結果、レンズユニット１００における光学性能が目標性能に到達していない場合には、測定治具６０３からレンズユニット１００を下ろし、下ろしたレンズユニット１００のレンズ鏡胴１０１内に設けられた各光学部品を再度組み立て直す。その後、組み立て直したレンズユニット１００を、再度、測定治具６０３にセットして、レンズユニット１００における光学性能が目標性能に到達しているか否かを、作業者が目視によって判断する。この作業は、レンズユニット１００における光学性能が目標性能に到達するまで繰り返す。
【００９９】
上述したように、この実施の形態においては、以下の効果を得ることができる。すなわち、この実施の形態においては、レンズ位置調整時における、レンズ面への完全非接触を可能とすることができる。これによって、たとえば面ダレしやすく、レンズユニット１００における光学性能に大きく影響を与えるレンズに触れずに、当該レンズユニット１００における光学性能を調整することができるので、レンズユニット１００における光学性能の調整精度の向上を図ることができる。
【０１００】
また、この実施の形態においては、一旦レンズユニット１００を組み立てた後は、レンズ鏡胴１０１からレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４を取り外す必要がないので、組み立て工数の削減を図ることができる。これによって、レンズユニット１００の組み立てコストの削減を図ることができる。
【０１０１】
また、この実施の形態においては、組み立て工数の削減を図ることができるので、大量生産が可能となり、従来のレンズユニット１００などの従来の製品の製造コストを大幅に低下させることができる。レンズユニット１００においては、レンズ枚数が少なくなければ（複数枚ある場合には）、レンズ鏡胴１０１へレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４のすべてを落とし込んだ後に、各レンズの角度位置を調整することも可能となる。
【０１０２】
上述したように、この実施の形態においては、レンズユニット１００、レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）、測定装置６０１を用いて、干渉計８０１を使って透過波面収差を観察しながら各レンズの部分歪みを調整できることをポイントの一つとしている。また、この実施の形態においては、レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の有効径部２０２より外径部に、磁性体要素を設けたことをポイントの一つとしている。レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の有効径部２０２より外径部に設けられる磁性体要素は、レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）を構成する硝材と別体であってもよいし、一体であってもよいことをポイントの一つとしている。
【０１０３】
また、この実施の形態においては、レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の磁性体要素と磁気吸着力を利用してレンズを回転させるべく、測定治具６０４のアーム部６０７に強磁性体を設けたことをポイントの一つとしている。
【０１０４】
そして、この実施の形態においては、強磁性体を設けたアーム部６０７は鏡胴と同芯をなす円弧に沿って移動可能であることをポイントの一つとしている。また、この実施の形態においては、測定装置６０１におけるアーム部６０７は、上下方向および回転方向に駆動自在であることをポイントの一つとしている。上下方向および回転方向におけるアーム部６０７の動作は自動化（オートメーション化）が可能であり、アーム部６０７を動作させるための駆動方法は公知技術を用いて実現可能であることをポイントの一つとしている。アーム部６０７の、回転および上下方向の駆動における最小分解能は、アーム部６０７を動作させるための公知技術によって決定される。
【０１０５】
また、この実施の形態においては、レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）の外径が円形状であることをポイントの一つとしている。また、この実施の形態においては、レンズ鏡胴１０１が非磁性体であることをポイントの一つとしている。さらに、この実施の形態においては、レンズユニット１００のレンズ鏡胴１０１内における各レンズの固定方法は問わないことをポイントの一つとしている。
【０１０６】
また、この実施の形態においては、レンズユニット１００の組み立てに際して、レンズ（レンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４）などの光学部品をすべてレンズ鏡胴１０１内に落とし込んだ後も、レンズユニット１００の光学性能の調整が可能であることをポイントの一つとしている。
【０１０７】
また、この実施の形態においては、レンズユニット１００の組み立ての自動化（オートメーション化）が可能であることをポイントの一つとしている。また、この実施の形態においては、自動化（オートメーション化）した場合、所定の画像処理プログラムを用いて、干渉計８０１から得られるデジタル画像についてのＯＫ／ＮＧを判別する演算手段をもち、ＮＧ判定がでたらその情報を元に再度レンズを調整でき、ＯＫ判定ならば、レンズの固定の工程へ移ることをポイントの一つとしている。
【０１０８】
上述した実施の形態においては、有効径部２０２の外周側に設けられ略円形の外縁形状をなす形状をなすレンズ余肉部２０３によって、この発明にかかる余肉部を実現するようにしたが余肉部の形状はこれに限るものではない。すなわち余肉部は、有効径部２０２の全周を覆う形状に限るものではない。
【０１０９】
リング状の強磁性体部品４０１やプラスチックマグネット部５０１のように有効径部２０２の全周を覆う形状の磁性部材とは異なり、強磁性体部品３０１のように有効径部２０２の外周における一部に設けられた磁性部材とする場合、たとえばレンズ玉の重さ、余肉部に設ける磁性部材の大きさ、たとえばレンズ鏡胴１０１などの鏡胴からの距離などを調整することによって、鏡胴の外側からの磁力の大きさを均等にすることが可能な構成であればよい。
【０１１０】
なお、強磁性体部品３０１のように有効径部２０２の外周における一部に設けられた磁性部材とする場合、磁性部材は、たとえばレンズ１０２、１０３、１０４における光軸を中心とする同一円周上における少なくとも等間隔の２箇所（１８０度間隔）に配置する、あるいは、３箇所（１２０度間隔）に配置することが好ましい。また、調整作業に際しての磁力は距離の二乗に比例して減衰するため、有効径部２０２の外周において磁性部材を複数配置する場合は、吸着作業をおこなう鏡胴側からの磁性部材までの距離が各磁性部材において等しいことが望ましい。
【０１１１】
レンズ１０２、１０３、１０４は、レンズ鏡胴１０１に対して光軸を中心として回転可能な形状であればよい。具体的には、レンズ１０２、１０３、１０４は、たとえばレンズ余肉部２０３が有効径部２０２の全周を覆うような略円形で、レンズ鏡胴１０１の内周側にレンズ１０２、１０３、１０４の全周がほぼ当接するような構成とすることができる。
【０１１２】
また、具体的には、レンズ１０２、１０３、１０４は、たとえばレンズ１０２、１０３、１０４における光軸を中心とする同一円周上における少なくとも等間隔の３箇所（１２０度間隔）が、レンズ鏡胴１０１の内周側に当接可能な構成であってもよい。この場合、レンズ１０２、１０３、１０４におけるレンズ鏡胴１０１の内周側に当接可能な部分以外の部分においては、余肉部が設けられていてもよく、余肉部が設けられていなくてもよい。
【０１１３】
図１３、図１４、図１５および図１６は、この実施の形態におけるレンズユニットに適用可能なレンズの一例を示す説明図である。図１３、図１４、図１５および図１６においては、上述した実施の形態と同一部分は同一符号で示し、説明を省略する。
【０１１４】
以上説明したように、この実施の形態においては、光学部材の一例としてのレンズ１０２、１０３、１０４は、所定の光学性能を示す有効径部２０２と、有効径部２０２の外周側に設けられたレンズ余肉部（余肉部）２０３と、レンズ余肉部２０３に設けられた磁性部材の一例としての強磁性体部品３０１と、を備えたことを特徴としている。
【０１１５】
また、この実施の形態においては、光学部材の一例としてのレンズ１０２、１０３、１０４は、所定の光学性能を示す有効径部２０２と、有効径部２０２の外周側に設けられたレンズ余肉部（余肉部）２０３と、レンズ余肉部２０３に設けられた磁性部材の一例としてのリング状の強磁性体部品４０１と、を備えたことを特徴としている。
【０１１６】
また、この実施の形態においては、光学部材の一例としてのレンズ１０２、１０３、１０４は、所定の光学性能を示す有効径部２０２と、有効径部２０２の外周側に設けられたレンズ余肉部（余肉部）２０３と、レンズ余肉部２０３に設けられた磁性部材の一例としてのプラスチックマグネット部５０１と、を備えたことを特徴としている。
【０１１７】
この実施の形態のレンズ１０２、１０３、１０４によれば、レンズ１０２、１０３、１０４に直接触れることなく、当該レンズ１０２、１０３、１０４の位置や姿勢を調整することができる。これによって、たとえばレンズ１０２、１０３、１０４のサイズが小さい場合にも、当該レンズ１０２、１０３、１０４の位置や姿勢を高精度に調整することができる。
【０１１８】
また、この実施の形態においては、光学装置の一例としてのレンズユニット１００が、非磁性材料によって形成され、略円筒形状をなすレンズ鏡胴（鏡胴）１０１と、レンズ鏡胴１０１の内周側に設けられ、所定の光学性能を示す有効径部２０２と当該有効径部２０２の外周側に設けられたレンズ余肉部２０３と当該レンズ余肉部２０３に設けられた強磁性体部品３０１、リング状の強磁性体部品４０１あるいはプラスチックマグネット部５０１とからなるレンズ１０２、１０３、１０４と、を備えたことを特徴とする。
【０１１９】
この実施の形態のレンズユニット１００によれば、レンズ１０２、１０３、１０４に直接触れることなく、レンズ鏡胴１０１内に設けられたレンズ１０２、１０３、１０４の位置や姿勢を調整し、レンズユニット１００における光学性能を調整することができる。これによって、レンズ１０２、１０３、１０４の面ダレしやすさにかかわらず、光学性能を高精度に調整したレンズユニット１００を得ることができる。
【０１２０】
また、この実施の形態のレンズユニット１００によれば、レンズ鏡胴１０１内にレンズ１０２、１０３、１０４を落とし込んだ後は、以降、レンズ鏡胴１０１からレンズ１０２、レンズ１０３およびレンズ１０４を取り外す必要がないので、組み立て工数の削減を図ることができる。これによって、レンズユニット１００の組み立てコストの削減を図ることができ、大量生産に適したレンズユニット１００を提供することができる。
【０１２１】
また、この実施の形態においては、レンズユニット１００における光学性能の調整に際して、レンズ鏡胴１０１の内周側に、強磁性体部品３０１、リング状の強磁性体部品４０１あるいはプラスチックマグネット部５０１を備えたレンズ１０２、１０３、１０４を挿入することによってレンズユニット１００を組み立て、プラスチックマグネット部５０１に対して吸着力を作用させる磁性材料を用いて、組み立てられたレンズユニット１００におけるレンズ鏡胴１０１の外周側から当該レンズ鏡胴１０１内におけるレンズ１０２、１０３、１０４の位置を調整し、位置を調整したレンズ１０２、１０３、１０４のレンズ鏡胴１０１内における位置を固定するようにしたことを特徴としている。
【０１２２】
この実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整方法によれば、レンズ１０２、１０３、１０４に直接触れることなく、レンズ鏡胴１０１内に設けられたレンズ１０２、１０３、１０４の位置や姿勢を調整し、レンズユニット１００における光学性能を調整することができる。
【０１２３】
また、この実施の形態においては、レンズユニット１００における光学性能の調整に際して、干渉計８０１を用いて、組み立てられたレンズユニット１００を通過した光の干渉縞の画像と、所定の比較用の干渉縞の画像とのずれが所定の閾値の範囲内となるようにレンズ１０２、１０３、１０４の位置を調整することを特徴としている。
【０１２４】
この実施の形態のレンズユニット１００における光学性能の調整方法によれば、レンズユニット１００の組み立て、当該レンズユニット１００における光学性能の調整および光学性能を調整したレンズユニット１００における各レンズ１０２、１０３、１０４の位置の固定を自動化することができる。
【０１２５】
これによって、レンズユニット１００の製造作業をおこなう作業者の能力に左右されることなく、光学性能を揃えたレンズユニット１００を製造することができるので、レンズユニット１００を大量生産することができる。そして、大量生産することによって、レンズユニット１００の製造コストの低減を図ることができる。
【０１２６】
このように、この実施の形態のレンズ１０２、１０３、１０４、レンズユニット１００およびレンズユニット１００における光学性能の調整方法によれば、レンズユニット１００を必要とするすべての機器に置いて、複数枚のレンズ１０２、１０３、１０４から構成された光学系において、各レンズ面における波面収差の状態を観察しつつ、それぞれのレンズ面における局所的歪みをレンズ玉を回転させつつ調整し、最終的には一定の目標性能に到達させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１２７】
以上のように、この発明にかかる光学部材、光学装置および光学性能の調整方法は、鏡胴内に設けられるレンズを備えた光学装置、当該光学装置に用いられる光学部材、当該光学装置における光学性能の調整方法に有用であり、特に、面ダレしやすいレンズなどの光学部材を備えた光学装置あるいはサイズの小さいレンズなどの光学部材を備えた光学装置、当該光学装置に用いられる光学部材、当該光学装置における光学性能の調整方法に適している。
【符号の説明】
【０１２８】
１００  レンズユニット
１０１  レンズ鏡胴
１０２、１０３、１０４  レンズ
【図１】
2010256599.tif 000003
【図２】
2010256599.tif 000004
【図３】
2010256599.tif 000005
【図４】
2010256599.tif 000006
【図５】
2010256599.tif 000007
【図６】
2010256599.tif 000008
【図７】
2010256599.tif 000009
【図８】
2010256599.tif 000010
【図９】
2010256599.tif 000011
【図１０】
2010256599.tif 000012
【図１１】
2010256599.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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