(57)【要約】【課題】浮上搬送装置１の構成の簡略化を図りつつ、基板Ｗの一部分と浮上ユニット３３等の干渉を極力回避して、基板Ｗの損傷を抑えること。【解決手段】一端部が対応するチャンバー２５に連通するようにそれぞれ接続された複数の接続回路４１と、複数の接続回路４１の他端部が連通するようにそれぞれ接続された共通の検出回路４３と、共通の検出回路４３内の圧力を検出する圧力センサ４７と、圧力センサ４７の検出値に基づいていずれかのファンフィルタユニット３７の異常の有無を判定するファン異常判定部５１と、を備えたこと。【選択図】  図１
2010045072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
支持フレームに設けられ、基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、
前記支持フレームに設けられ、気体を収容する複数のチャンバーと、
各チャンバーにそれぞれ設けられ、内部が対応する前記チャンバーの内部に連通し、頂面に気体を噴出するノズルが形成され、気体の圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットと、
前記チャンバー毎に設けられ、前記チャンバーの内部へ気体を供給するファンと、
一端部が対応する前記チャンバーに連通するようにそれぞれ接続された複数の接続回路と、
複数の前記接続回路の他端部が連通するようにそれぞれ接続された共通の検出回路と、
前記共通の検出回路内の圧力を検出する圧力センサと、
前記圧力センサの検出値に基づいて複数の前記ファンのうちのいずれかの前記ファンの異常の有無を判定するファン異常判定手段と、を備えたことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記ファン異常判定手段によっていずれかの前記ファンに異常有りと判定された場合に、警報を発生する警報発生手段と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
各接続回路の途中にそれぞれ配設され、連通状態と遮断状態に切り替え可能な切替バルブと、を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記ファンは、各チャンバーにそれぞれ設けられかつ前記チャンバーの内部へ清浄化した気体を供給するファンフィルタユニットであることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術として特許文献１に示すものがある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、先行技術に係る浮上搬送装置は、支持フレームを備えており、この支持フレームには、基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。そして、支持フレームには、空気を収容する複数のチャンバーが設けられており、各チャンバーには、空気の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットがそれぞれ設けられている。また、各浮上ユニットの内部は、対応するチャンバーの内部にそれぞれ連通してあって、各浮上ユニットの頂面（上面）には、空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。更に、適宜位置には、複数のチャンバーの内部へ空気を供給するファンが設けられている。
【０００４】
従って、ファンによって複数のチャンバーの内部へ空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから空気をそれぞれ噴出させると共に、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、浮上搬送装置によって基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、浮上搬送装置の浮上性能を十分に発揮させるためには、チャンバー毎にファンを設けることが望ましい。一方、チャンバー毎にファンを設けた場合に、基板の搬送中にいずれかのファンに故障等の異常が生じると、基板の一部分が垂れ下がって浮上ユニット等に干渉し、基板の損傷を招くという問題がある。
【０００６】
なお、いずれかのファンに異常が生じたことを早期に発見するために、チャンバーの内部の圧力を検出する圧力センサをチャンバー毎に設けることも考えられるが、圧力センサの個数が増えて、浮上搬送装置の構成の複雑化を招くことになる。
【０００７】
そこで、本発明は、浮上搬送装置の構成の簡略化を図りつつ、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の特徴は、基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、支持フレームに設けられ、基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記支持フレームに設けられ、気体を収容する複数のチャンバーと、各チャンバーにそれぞれ設けられ、内部が対応する前記チャンバーの内部に連通し、頂面に気体を噴出するノズルが形成され、気体の圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットと、前記チャンバー毎に設けられ、前記チャンバーの内部へ気体を供給するファンと、一端部が対応する前記チャンバーに連通するようにそれぞれ接続された複数の接続回路と、複数の前記接続回路の他端部が連通するようにそれぞれ接続された共通の検出回路と、前記共通の検出回路内の圧力を検出する圧力センサと、前記圧力センサの検出値に基づいて複数の前記ファンのうちのいずれかの前記ファンの異常の有無を判定するファン異常判定手段と、を備えたことを要旨とする。
【０００９】
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「気体」とは、空気、アルゴンガス、窒素ガス等を含む意である。
【００１０】
本発明の特徴によると、各ファンによって対応する前記チャンバーの内部へ空気をそれぞれ供給して、各浮上ユニットのノズルから空気をそれぞれ噴出させると共に、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、前記浮上搬送装置によって基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。ここで、前記チャンバー毎に前記ファンが設けられているため、前記浮上搬送装置の浮上性能を十分に発揮させることができる。
【００１１】
基板の搬送中に、前記圧力センサによって前記共通の検出回路内の圧力を検出する一方、前記ファン異常判定手段によって前記圧力センサの検出値に基づいて複数の前記ファンのうちのいずれかの前記ファンの異常の有無を判定する。これにより、基板の搬送中に、いずれかの前記ファンの異常を早期に発見することができる。ここで、複数の前記接続回路の一端部が対応する前記チャンバーに連通するようにそれぞれ接続され、複数の前記接続回路の他端部が前記共通の検出回路に連通するようにそれぞれ接続されているため、前記圧力センサによって前記共通の検出回路内の圧力を検出することにより、前記圧力センサを前記チャンバー毎に設けなくても、複数の前記チャンバーの内部の圧力を検出することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、前記浮上搬送装置の浮上性能を十分に発揮させた上で、前記圧力センサを前記チャンバー毎に設けなくても、いずれかの前記ファンの異常を早期に発見することができるため、前記浮上搬送装置の構成の簡略化を図りつつ、基板の一部分と前記浮上ユニット等の干渉を極力回避して、基板の損傷を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。
【００１４】
ここで、図１は、本発明の実施形態の要部を示す図、図２は、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図３は、図２におけるIII-III線に沿った図、図４は、図２における矢視部IVを示す図、図５は、図２におけるV-V線に沿った図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１５】
図２から図５に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを浮上させた状態で搬送方向（前後方向）へ搬送する装置であって、前後方向へ延びた支持フレーム３を備えている。また、支持フレーム３は、前後方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９等とからなっている。
【００１６】
支持台５には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送ユニット１１が設けられている。そして、この搬送ユニット１１の具体的な構成は、次のようになる。
【００１７】
即ち、支持台５の左端部付近及び右端部付近には、基板Ｗの端部を支持する回転可能な複数の搬送ローラ（複数の左寄りの搬送ローラ１３と複数の右寄りの搬送ローラ１３）がブラケット１５を介して前後方向に間隔を置いてそれぞれ設けられており、各搬送ローラ１３の回転軸には、ウォームホイール１７がそれぞれ一体的に設けられている。また、支持台５の左端部及び右端部には、前後方向へ延びた駆動軸１９が軸受等を介して回転可能にそれぞれ設けられており、各駆動軸１９は、外周部に、対応関係にあるウォームホイール１７に噛合した複数のウォーム２１をそれぞれ有している。そして、支持台５の前側左部及び前側右部には、対応関係にある駆動軸１９を回転させる搬送モータ２３がそれぞれ設けられており、各搬送モータ２３の出力軸は、対応関係にある駆動軸１９の前端部にカップリング等を介してそれぞれ一体的に連結されている。
【００１８】
なお、２本の駆動軸１９を２つ搬送モータ２３で回転させる代わりに、１つの搬送モータで回転させるようにしても構わない。また、複数の搬送ローラ１３及び搬送モータ２３等を備えた搬送ユニット１１の代わりに、基板Ｗの端部を把持しかつ前後方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送ユニット等を用いても構わない。
【００１９】
支持台５には、左右方向（搬送方向に直交する搬送幅方向）へ延びかつ空気を収容する複数のチャンバー２５が前後方向へ間隔を置いて設けられている。また、各チャンバー２５の上面には、複数の貫通穴２７が左右に２列並ぶようにそれぞれ形成されており、各チャンバー２５の下面には、空気を取入れ可能な一対の取入口２９がそれぞれ形成されている。なお、前後方向に隣接関係にあるチャンバー２５の間には、左右方向へ延びかつ床Ｂ側に連通した開口部３１が形成されている。
【００２０】
各チャンバー２５における各貫通穴２７の周縁部には、空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる浮上ユニット３３がそれぞれ設けられており、各浮上ユニット３３の内部は、対応するチャンバー２５の内部に連通してある。また、各浮上ユニット３３の頂面（上面）には、空気を噴出するスリット状のノズル３５が形成されており、各ノズル３５は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、鉛直方向に対してユニット中心側（浮上ユニット３３の中心側）へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。更に、各浮上ユニット３３の側面視形状（図３参照）及び正面視形状（図４参照）は、それぞれＴ字形状になっている。なお、各浮上ユニット３３の頂面にスリット状のノズル３５が形成されるの代わりに、穴状の複数のノズルが形成されるようにしても構わない。
【００２１】
各チャンバー２５における各取入口２９近傍には、対応するチャンバー２５の内部へ清浄化した空気を供給するファンフィルタユニット（ファンの一例）３７がブラケット３９を介してそれぞれ設けられている。なお、ファンフィルタユニット３７の代わりに、フィルタ機能を有していないファンを用いても構わなく、チャンバー２５毎にファンが設けられてあれば、ファンの設置箇所はチャンバー２５でなくもよい。
【００２２】
続いて、本発明の実施形態の要部について説明する。
【００２３】
図１に示すように、浮上搬送装置１は、複数の接続回路４１を備えており、複数の接続回路４１の一端部は、対応するチャンバー２５の内部に連通するようにそれぞれ接続されている。また、複数の接続回路４１の他端部には、共通の検出回路４３が連通するようにそれぞれ接続されており、各接続回路４１の途中には、連通状態と遮断状態に切り替え可能なソレノイド切替バルブ４５がそれぞれ配設されている。そして、共通の検出回路４３の途中には、共通の検出回路４３内の圧力を検出する圧力センサ４７が配設されている。なお、ソレノイド切替バルブ４５の代わりに手動式切替バルブ等を用いても構わない。
【００２４】
支持フレーム３の近傍には、コントローラ４９が配設されており、このコントローラ４９は、制御プログラム等を記憶するメモリと、制御プログラムを実行するＣＰＵとを有してあって、前述の圧力センサ４７が電気的に接続されている。また、コントローラ４９のＣＰＵは、圧力センサ４７の検出値に基づいて複数のファンフィルタユニット３７のうちのいずれかのファンフィルタユニット３７の故障等の異常の有無を判定するファン異常判定部５１としての機能を有している。なお、ファンフィルタユニット３７の異常には、フィルタの目詰まりも含まれる。
【００２５】
コントローラ４９には、警報音発生器５３が電気的に接続されており、警報音発生器５３は、コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によっていずれかのファンフィルタユニット３７に異常有りと判定された場合に、警報音を発生するものである。また、コントローラ４９には、警報ランプ５５が電気的に接続されており、警報ランプ５５は、コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によっていずれかのファンフィルタユニット３７に異常有りと判定された場合に、所定の色に点灯するものである。なお、警報音発生器５３及び警報ランプ５５は、警報を発生する警報発生器の一例であって、警報音発生器５３及び警報ランプ５５に代えて別の警報発生器を用いたり、警報音発生器５３と警報ランプ５５のうちいずれかを省略したりしても構わない。
【００２６】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００２７】
各ファンフィルタユニット３７によって対応するチャンバー２５の内部に清浄化した空気をそれぞれ供給することにより、各浮上ユニット３３のノズル３５から清浄化した空気をそれぞれ噴出させる。また、２つの搬送モータ２３の駆動により２本の駆動軸１９を同期して回転させることにより、ウォームホイール１７とウォーム２１の噛合作用によって複数の左寄りの搬送ローラ１３及び複数の右寄りの搬送ローラ１３を回転させる。これにより、浮上搬送装置１によって基板Ｗを浮上させた状態で前後方向（前方向又は後方向）へ搬送することができる（浮上搬送装置１の一般的な作用）。
【００２８】
基板Ｗの搬送中に、圧力センサ４７によって共通の検出回路４３内の圧力を検出する一方、コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によって圧力センサ４７の検出値に基づいて複数のファンフィルタユニット３７のうちのいずれかのファンフィルタユニット３７の異常の有無を判定する。そして、コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によっていずれかのファンフィルタユニット３７に異常有りと判定された場合に、警報音発生器５３が警報音を発生すると共に、警報ランプ５５が所定の色に点灯する。これにより、基板Ｗの搬送中に、いずれかのファンフィルタユニット３７の異常を早期に発見することができる。ここで、複数の接続回路４１の一端部が対応するチャンバー２５に連通するようにそれぞれ接続され、複数の接続回路４１の他端部が共通の検出回路４３に連通するようにそれぞれ接続されているため、圧力センサ４７によって共通の検出回路４３内の圧力を検出することにより、圧力センサ４７をチャンバー２５毎に設けなくても、複数のチャンバー２５の内部の圧力を検出することができる。
【００２９】
コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によっていずれかのファンフィルタユニット３７に異常有りと判定された後に、一旦全てのソレノイド切替バルブ４５を連通状態から遮断状態に切り替える。そして、各ソレノイド切替バルブ４５を遮断状態から連通状態に順次切り替えて、コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によって圧力センサ４７の検出値に基づいて各ソレノイド切替バルブ４５に対応するファンフィルタユニット３７の異常の有無を判定する。これにより、異常のあるファンフィルタユニット３７が少なくともどのチャンバー２５に設けられたものか特定することができる。
【００３０】
従って、本発明の実施形態によれば、浮上搬送装置１の浮上性能を十分に発揮させた上で、圧力センサ４７をチャンバー２５毎に設けなくても、いずれかのファンフィルタユニット３７の異常を早期に発見することができるため、浮上搬送装置１の構成の簡略化を図りつつ、基板Ｗの一部分と浮上ユニット３３等の干渉を極力回避して、基板Ｗの損傷を抑えることができる。
【００３１】
また、異常のあるファンフィルタユニット３７が少なくともどのチャンバー２５に設けられたものか特定することができるため、ファンフィルタユニット３７の点検作業の能率が向上する。
【００３２】
本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、次のように種々の態様で実施可能である。
【００３３】
即ち、チャンバー２５を小型化して、各チャンバー２５に１つの浮上ユニット３３が設けられるようにしたり、複数のチャンバー２５からなるチャンバーブロック毎に１つの圧力センサ４７を備えるようにしたりしても構わない。また、コントローラ４９のＣＰＵ（ファン異常判定部５１）によっていずれかのファンフィルタユニット３７に異常有りと判定された場合に、２つの搬送モータ２３の駆動を停止するようにしても構わない。なお、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態の要部を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図３】図２におけるIII-III線に沿った図である。
【図４】図２における矢視部IVを示す図である。
【図５】図２におけるV-V線に沿った図である。
【符号の説明】
【００３５】
１          浮上搬送装置
３          支持フレーム
１１          搬送ユニット
２５          チャンバー
３３          浮上ユニット
３５          ノズル
３７          ファンフィルタユニット
４１          接続回路
４３          検出回路
４５          ソレノイド切替バルブ
４７          圧力センサ
４９          コントローラ
５１          ファン異常判定部
５３          警報音発生器
５５          警報ランプ
【図１】
2010045072.tif 000003
【図２】
2010045072.tif 000004
【図３】
2010045072.tif 000005
【図４】
2010045072.tif 000006
【図５】
2010045072.tif 000007