(57)【要約】【課題】本発明は、多層光情報記録媒体における保護層から各情報層までの厚みの変動による課題を解決するためになされたもので、光情報記録媒体の作製上のプロセスマージンを考慮しながら、ドライブの記録再生特性も両立する厚み構成を提供することを目的とする。【解決手段】多層光情報記録媒体における保護層表面から各情報層までの厚み変動幅を、半径方向に複数の範囲に分割され、各々の範囲毎に設定された厚みを有する厚み基準線に対して、所定の厚み誤差以下とすることで、厚み変動の影響を実質的に抑制し、良好な記録再生特性を実現する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた複数の情報層と、各々の前記情報層間に設けられた複数の中間層と、保護層が積層されてなり、光学ヘッドを用いて前記保護層側より記録および／または再生する円盤状の光情報記録媒体であって、
前記保護層表面から各々の前記情報層までの厚みの変動幅は、半径方向に複数の範囲に分割され、各々の範囲毎に設定された厚みを有する厚み基準線に対して、所定の厚み誤差以下であることを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項２】
前記範囲は少なくとも２個以上、１６個以下に分割されていることを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体。
【請求項３】
前記範囲のひとつは、半径２３ｍｍから半径２４ｍｍを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の光情報記録媒体。
【請求項４】
前記基板上に設けられた複数の前記情報層と、各々の前記情報層間に設けられた複数の前記中間層と、前記保護層が積層されてなり、前記光学ヘッドを用いて前記保護層側より記録および／または再生する円盤状の光情報記録媒体であって、
前記保護層表面から各々の前記情報層までの厚みの変動幅は、半径方向に複数設けられた厚み基準点を順次結ぶ厚み基準線に対して、所定の厚み誤差以下であることを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項５】
前記厚み基準点は半径方向に少なくとも３個以上、１６個以下であることを特徴とする請求項４に記載の光情報記録媒体。
【請求項６】
前記厚み基準点のひとつは、半径２３ｍｍから半径２４ｍｍの厚み平均値であることを特徴とする請求項４または５に記載の光情報記録媒体。
【請求項７】
前記情報層の層数は３つ以上であることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【請求項８】
前記厚み誤差が±２．５μｍであることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【請求項９】
前記厚み誤差が±２μｍであることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【請求項１０】
前記厚み基準線の情報は、前記光情報記録媒体のインフォメーションエリア内にあらかじめ記録されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【請求項１１】
前記厚み基準線の情報は、前記光情報記録媒体のＢＣＡ領域内にあらかじめ記録されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【請求項１２】
少なくとも波長４００ｎｍ以上、４１０ｎｍ以下のレーザ光源と、ＮＡ０．８５の対物レンズと、球面収差補正手段とを備える前記光学ヘッドを用いて記録および／または再生が行われることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の光情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成された薄膜に、レーザビーム等の高エネルギー光ビームを照射することにより、音声・映像などの情報をデジタル信号として記録再生する光情報記録媒体に関し、特に情報層を多層化することにより大容量の情報記録再生が可能な光情報記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光学的な情報記録方式の研究が進められ、産業用や民生用途に広く使用されるようになった。特にＣＤやＤＶＤなどの高密度に情報を記録することができる光情報記録媒体が普及している。このような光情報記録媒体は、情報信号を表すピットや、記録再生光をトラッキングするための案内溝などの凹凸形状信号が形成された透明基板上に、金属薄膜や、あるいは熱記録が可能な薄膜材料などを積層し、さらにこの金属薄膜や、薄膜材料などを大気中の水分などより保護する樹脂層や透明基板などの保護層を積層することにより構成されている。情報の再生はレーザ光を前記金属薄膜や薄膜材料に照射し、反射光の光量変化を検出することなどによりなされる。
【０００３】
このような光情報記録媒体を製造する方法は一般的に次のようにしてなされる。
【０００４】
例えばＣＤの場合、まず片面に凹凸形状信号パターンを有するスタンパと呼ばれる金型を用い、射出成形などにより片面に情報信号を示す凹凸形状を有する樹脂基板を形成する。その凹凸形状信号上に金属薄膜あるいは薄膜材料などを、蒸着やスパッタリング法などにより形成し、その後紫外線硬化樹脂などをコーティングし保護層を形成することにより作製される。
【０００５】
またＤＶＤの場合、スタンパより厚み約０．６ｍｍの樹脂基板を射出成形などにより形成し、樹脂基板上の凹凸形状に金属薄膜あるいは薄膜材料などを形成したのち、別に準備された厚み約０．６ｍｍの樹脂基板を紫外線硬化樹脂などにより貼り合わせることによって作製される。
【０００６】
さて、このような光情報記録媒体において大容量化に対する要望が高まってきており、それに応じて光情報記録媒体の高密度化が図られてきた。先に述べたＤＶＤなどにおいても大容量化を目的として、凹凸形状信号と金属薄膜や薄膜材料などから形成される信号層が数十μｍの中間層を挟んで２つ構成されている２層構造の光情報記録媒体などが提案されている。
【０００７】
また、近年デジタルハイビジョン放送の普及に伴い、ＤＶＤよりもさらに高密度でかつ大容量の次世代光情報記録媒体が求められ、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクなどの大容量媒体が提案されている。Ｂｌｕ−ｒａｙディスクでは、ＤＶＤに比べ、凹凸形状で形成される情報層のトラックピッチも狭く、またピットの大きさも小さくなっている。このため情報の記録再生を行うレーザのスポットを情報層上で小さく絞る必要がある。Ｂｌｕ−ｒａｙディスクでは、レーザ光の波長を４０５ｎｍという短波長の青紫レーザを使用し、かつレーザ光を絞り込む対物レンズとして開口数（ＮＡ）が０．８５のものを使用した光学ヘッドを用いレーザ光のスポットを情報層上で小さく絞り込んでいる。しかし、スポットが小さくなるとディスクの傾きによる影響を大きく受けやすくなり、ディスクが少しでも傾くとビームスポットに収差が発生することにより、絞りこんだビームに歪みが生じ、記録再生できなくなるといった課題が生じる。そのためＢｌｕ−ｒａｙディスクではディスクのレーザ入射側の保護層の厚さを０．１ｍｍ程度と薄くすることによってその欠点を補っている。
【０００８】
また、このようにＮＡの高い対物レンズを有する光学ヘッドを用いた記録再生システムでは、ディスク最表面から情報層までの厚み差によって発生する球面収差などの収差が情報層上に絞り込まれるレーザ光の品質に大きく影響を及ぼす。そのため、厚み差によって発生する収差を補正する手段が設けられている。例えば、組み合わせレンズを用いた球面収差補正手段を光学ヘッドに設ける構成や、あるいは液晶を用いた球面収差補正手段を光学ヘッドに設ける構成などが提案されている。
【０００９】
ところで、このＢｌｕ−ｒａｙディスクのような大容量の次世代光情報記録媒体においてもさらなる大容量化を求められており、ＤＶＤの時と同様、情報層の多層化による大容量化もその方式の一つとして提案されている。Ｂｌｕ−ｒａｙディスクで情報層の多層化を図る場合、ディスクの傾きによる影響を少なくするため、レーザ入射側からみて最も奥の情報層は、単層構造媒体と同様、ディスク表面からの距離を０．１ｍｍ程度と薄くする必要がある。そのため、各情報層は０．１ｍｍ程度の厚みの中で数μｍから数十μｍの中間層と呼ばれる透明層を挟んで積層されることになる。
【００１０】
そのためＢｌｕ−ｒａｙディスクを多層構造にする場合、その製造方法は一般的には次のようにしてなされる。一例として情報層が２つある２層光情報記録媒体の製造方法について説明する。片面に凹凸形状からなるピットや案内溝を有する厚み約１．１ｍｍの成形樹脂基板上に金属薄膜や熱記録が可能な薄膜材料などを形成し、第１の情報層を形成する工程と、情報層を隔てる数μｍから数十μｍの厚みを有する中間層を前記基板の情報層上に形成する工程と、その中間層の上に片面にピットや案内溝などの凹凸形状を有するスタンパを押圧することによるピットや案内溝を中間層上に転写する工程と、中間層の上に転写されたピットや案内溝に記録再生するレーザ光の波長に対して、半透明な金属薄膜あるいは熱記録が可能な薄膜材料を形成し、第２の情報層を形成する工程と、第２の情報層を保護する保護層を第２の情報層上に形成する工程とからなる。２層以上に多層化を図る場合は、中間層の形成工程から、第２の情報層の形成工程までの工程を数回繰り返し、複数の情報層を順に積層していくことで可能となる。
【００１１】
このようにして構成されたＢｌｕ−ｒａｙディスクの多層構造媒体では、先に述べたようにディスクの傾きによる影響を少なくするため、全ての情報層は０．１ｍｍ程度の厚みの中に設ける必要がある。そのため、図２に示すように、記録再生光入射側の最表面から最も離れた第１の情報層２０２までの距離が０．１ｍｍ程度に制限され、その他の情報層は、記録再生光入射側に向かって積層される。
【００１２】
このような多層構造媒体としては、２層構造媒体が良く知られているが、今後は３層以上の構造が提案されてきている。
【００１３】
このように情報層が複数ある光情報記録媒体では、記録再生する情報層に記録再生光を合焦した際、その他の情報層などで反射した情報の記録再生に寄与しない一部の光（ここではこの光を迷光と呼ぶ）が、いずれかの情報層を介して多重反射し、記録再生する情報層からの反射光（ここではこの反射光を情報光と呼ぶ）と同一光路で光ヘッドに返ってきた場合、読み出すべき情報光と迷光との干渉により、大きな光量変動が生じる。特に３つ以上の情報層から構成されている多層構造媒体では、このような干渉による問題が顕著に現れる。このような読み出すべき情報光と、多重反射し情報光と同一光路で光ヘッドに返ってくる迷光との干渉による光量変動を、ここでは裏焦点課題と呼ぶことにする。この裏焦点課題を除くために、様々な検討がなされている。
【００１４】
例えば特許文献１には、読み出すべき情報層に合焦した際に、その他の情報層に結像しないように各中間層の厚みを設計した構成を提案している。特にいずれか一つの情報層に対して、奥側のいずれかの情報層までの厚みと、保護層側のいずれかの情報層までの厚みが全て異なる構成を開示している。この構成を実現するために、各中間層の厚みを記録再生光入射側から奥にいくにしたがって、厚くしていく（あるいは薄くしていく）構成を提案しており、読み出すべき情報層に合焦した際に、その他の情報層に結像しないようにしている。
【００１５】
また例えば特許文献２には、３つ以上の情報層を有する多層構造媒体において、各情報層間におけるクロストーク（層間クロストーク）の影響を除くために、各中間層の厚みをそれぞれ異ならせた構成を開示している。特に情報層が４つある４層構造媒体においては、記録再生光入射側からみて一番奥の第１の中間層から、記録再生光入射側に向かって、第２の中間層、第３の中間層と３つの中間層が積層された構造の場合、第２の情報層が最も厚い構成を採用し、迷光が他の情報層上に焦点を結ぶことを防止する構成を開示している。
【特許文献１】特開２００１−１５５３８０号公報
【特許文献２】特開２００４−２１３７２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
特許文献１や特許文献２に開示されている３層以上の光情報記録媒体においては、層間クロストークの影響や、裏焦点課題を解消するために、中間層や保護層の厚み構成について詳述がなされているが、２層光情報記録媒体を含めた多層構造の光情報記録媒体においては、各樹脂層の厚みの変動幅の規定だけではなく、保護層表面から各情報層までの厚みに対する変動幅の規定がさらに重要となってくる。
【００１７】
光情報記録媒体をドライブを用いて記録再生する場合、ドライブはあらかじめ規定されている各情報層の厚みを目指して、球面収差補正などを施した後、各情報層への合焦動作を行う。そして、いずれか一つの情報層に合焦した後、最初に光情報記録媒体の内周部に設けられているインフォメーションエリアの情報を読み取りに行く。このインフォメーションエリアには、この光情報記録媒体を記録再生するにあたって必要な記録条件や、媒体構造の管理情報などが記録されており、この領域にあらかじめ記録されている情報に応じて、光情報記録媒体の記録再生を行う。ただし、インフォメーションエリアに記述されている記録条件はこの光情報記録媒体を記録再生するために必要な標準的な記録条件などが記述されているが、媒体毎の記録膜のばらつきや、媒体構造のばらつき、記録再生するドライブが置かれている環境の差などによって、最適な記録再生条件が変動するため、ドライブは光情報記録媒体がドライブに挿入された後、最適な記録再生条件を特定するために学習動作を行う。学習動作では実際に学習領域に記録再生を行いながら、最適な記録条件を見つけ出す。また学習時における保護層表面から情報層までの厚みが、その情報層を記録再生する際の標準厚みとなるため、半径２３ｍｍから２４ｍｍに設けられているインフォメーションエリアにおける、保護層表面から合焦している情報層までの厚みを、その媒体の標準厚みとしてドライブは認識する。
【００１８】
ドライブでの記録再生動作は、全てこのインフォメーションエリアでの学習後の条件を基本として行われるため、半径を移動した際に、このインフォメーションエリアでの条件から大きくずれが生じると、記録再生品質に影響を及ぼす。光情報記録媒体の厚みに関しても同様で、半径２３ｍｍから半径２４ｍｍの厚み平均値が、その媒体全面における厚みの基準となるため、半径２３ｍｍから半径２４ｍｍでの厚みに対して、異なる半径位置での厚みはある規定の変動幅に収まらないと半径を移動した際に球面収差などが発生してビームの絞り性能が悪化し、安定した記録再生動作に支障をきたすことになる。
【００１９】
例えば２層構造のＢｌｕ−ｒａｙディスクにおいては、半径２３ｍｍから２４ｍｍにおける厚み平均値に対して、媒体面内のいずれの半径においても±２μｍ以内という規定を設けており、この範囲から逸脱する厚み変動が生じると、記録再生特性に支障をきたすことになる。
【００２０】
この光記録媒体が３層、４層と、積層される情報層の数が増えた場合、１層毎の厚みばらつきが蓄積されていくため、保護層から各情報層までの厚みの変動は、２層構造に比べて大きくなってしまうという課題がある。特に、保護層から最も離れた位置にある情報層までの厚みが最も変動が大きくなりやすく、３層以上の光情報記録媒体の大きな課題となっている。
【００２１】
また、光情報記録媒体を記録再生するドライブとしても、半径２３ｍｍから２４ｍｍの領域における厚み平均値に対して、媒体面内の厚み変動が大きくなると球面収差が発生し記録再生特性に大きな影響を及ぼすため、許容される厚み変動は少なければ少ないほど好ましい。それは、記録再生特性を悪化させる要因として、この厚みの変動だけではなく、ドライブ毎のレーザの個体ばらつきや、記録学習時の精度ばらつき、ピックアップの駆動系の誤差成分など様々なものがあり、厚みばらつきに割り当てられるマージンを２層媒体と比べて大きく拡大することは非常に困難である。
【００２２】
本発明は、上記に示す多層光情報記録媒体における保護層から各情報層までの厚みの変動による課題を解決するためになされたもので、光情報記録媒体の作製上のプロセスマージンを考慮しながら、ドライブの記録再生特性も両立する厚み構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明では、多層光情報記録媒体において、作製可能なマージンを有する状態で、ドライブでの良好な記録再生特性を実現する厚み構成を提案する。
【００２４】
具体的には以下の通りである。
【００２５】
基板上に設けられた複数の情報層と、各々の前記情報層間に設けられた複数の中間層と、保護層が積層されてなり、光学ヘッドを用いて前記保護層側より記録および／または再生する円盤状の光情報記録媒体であって、前記保護層表面から各々の前記情報層までの厚みの変動幅は、半径方向に複数の範囲に分割され、各々の範囲毎に設定された厚みを有する厚み基準線に対して、所定の厚み誤差以下であることを特徴とする。
【００２６】
また、前記範囲は２個以上、１６個以下に分割されていてもよい。
【００２７】
前記範囲のひとつは、半径２３ｍｍから半径２４ｍｍを含む領域であってもよい。
【００２８】
前記基板上に設けられた複数の前記情報層と、各々の前記情報層間に設けられた複数の前記中間層と、前記保護層が積層されてなり、前記光学ヘッドを用いて前記保護層側より記録および／または再生する円盤状の光情報記録媒体であって、前記保護層表面から各々の前記情報層までの厚みの変動幅は、半径方向に複数設けられた厚み基準点を順次結ぶ厚み基準線に対して、所定の厚み誤差以下であることを特徴とする。
【００２９】
前記厚み基準点は半径方向に３つ以上、１６個以下であってもよい。
【００３０】
前記厚み基準点のひとつは、半径２３ｍｍから半径２４ｍｍの厚み平均値であってもよい。
【００３１】
前記情報層の層数は３つ以上であってもよい。
【００３２】
前記厚み誤差が±２．５μｍであってもよい。
【００３３】
前記厚み誤差が±２μｍであってもよい。
【００３４】
前記厚み基準線の情報は、前記光情報記録媒体のインフォメーションエリア内にあらかじめ記録されていることを特徴とする。
【００３５】
また、前記厚み基準線の情報は、前記光情報記録媒体のＢＣＡ領域内にあらかじめ記録されていることを特徴とする。
【００３６】
また、少なくとも波長４００ｎｍ以上、４１０ｎｍ以下のレーザ光源と、ＮＡ０．８５の対物レンズと、球面収差補正手段とを備える前記光学ヘッドを用いて記録および／または再生が行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、特に情報層が３つ以上からなる多層光情報記録媒体において、中間層や保護層を作製するために十分なプロセスマージンを有する状態で、ドライブでの記録再生品質を落とすことなく、良好な記録再生特性を実現することを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下に、本発明の各実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００３９】
（実施の形態１）
図１に本発明の実施の形態１における３層構造光情報記録媒体の構造の一例を示す。検討を行った光情報記録媒体は、外径が約１２０ｍｍ、厚みが約１．２ｍｍである円盤状の光情報記録媒体であり、図１はその断面の一部を示す図となっている。
【００４０】
また、ここでは追記型相変化材料からなる情報層を有する追記型３層構造光情報記録媒体においての検討結果を用いて説明を行う。追記型相変化材料とは、記録再生光の照射による熱によって、光学特性が異なる２つ以上の状態間を取りうる材料のことであり、またその反応が不可逆的に変化しうる材料であることが好ましい。例えば、Ｏ及びＭ（ただし、ＭはＴｅ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｂｉから選ばれる１つまたは複数の元素）を含有する材料などが好ましい。また、それら材料だけでなく誘電体材料なども積層した構造なども好ましい。ただし、情報層に含まれる材料に関しては、この材料だけに限定されるものではない。また、追記型相変化材料にこだわらず、再生専用媒体に用いられるＡｇやＡｌ合金などの金属反射膜などを使用しても本発明の効果には変わりはない。また繰り返し記録を行える相変化材料を使用しても本発明の効果には変わりはない。
【００４１】
樹脂基板１０１は厚み約１．１ｍｍのポリカーボネート製樹脂からなる樹脂基板であり、片面には凹凸形状よりなる案内溝が形成されている。樹脂基板１０１上に、相変化記録材料を含む第１の情報層１０２、紫外線硬化性樹脂からなる第１の中間層１０５（厚みｔ１）、第２の情報層１０３、第２の中間層１０６（厚みｔ２）、第３の情報層１０４、保護層１０７（厚みｔｃ）が順に積層された構造からなる。保護層１０７の外側面を保護層表面１０７ａとする。第２の情報層１０３から第３の情報層１０４は、記録再生光を反射させると共に、記録再生光入射側からみて奥側の情報層に記録再生光を透過させなければならないため、記録再生光に対して半透明な薄膜材料によって構成されている。また、各情報層から光学ヘッドに反射する光量はほぼ同じ程度となるように、各情報層の透過率、反射率が設計されている。そのため、第１の情報層１０２から第３の情報層１０４に向かって、順に透過率が高くなるような材料設計がなされている。
【００４２】
また第１の中間層１０５から第２の中間層１０６は紫外線硬化性樹脂を塗布し、片面に凹凸形状からなる案内溝を有するスタンパを押圧した後硬化させ、スタンパを剥離することでその凹凸形状を表面に転写させることによって形成されている。また保護層１０７も同様に紫外線硬化性樹脂を塗布することによって形成した。中間層および保護層に用いる樹脂材料としては記録再生光の波長に対して略透明であることが好ましい。ここで言う略透明とは、記録再生光の波長に対して９０％以上の透過率を有する樹脂などが好ましい。例えば、波長４０５ｎｍに対して９０％以上の透過率を有する樹脂などが好ましい。
【００４３】
また、この光情報記録媒体を記録再生する光学ヘッドは、波長４０５ｎｍの半導体レーザを光源とし、ＮＡが０．８５の対物レンズ１０８と、組み合わせレンズにより構成されている収差補正手段１１０から構成されている。
【００４４】
図１１は、本発明の実施の形態１における光情報記録媒体１１０１と光ヘッド１１０２の構成の一例を示している。
【００４５】
光源１１０３は、波長が４０５ｎｍの直線偏光の発散ビーム１１０４を出射する。光源１１０３から出射されたビーム１１０４は、焦点距離ｆ１が１８ｍｍのコリメートレンズ１１０５で平行光に変換された後、偏光ビームスプリッタ１１０６を透過し、４分の１波長板１１０７を透過して円偏光に変換された後、焦点距離ｆ２が２ｍｍの対物レンズ１１０８で収束ビームに変換され、光情報記録媒体１１０１に集光される。対物レンズ１１０８の開口はアパーチャ１１０９によって制限され、開口数ＮＡを０．８５としている。また、情報層で球面収差がほぼ０ｍλとなるようにステッピングモータ等で構成される収差補正手段を用いてコリメートレンズ１１０５を光軸方向に調整されている。情報層で反射されたビームは、対物レンズ１１０８、４分の１波長板１１０７を透過して往路とは９０度異なる直線偏光に変換された後、偏光ビームスプリッタ１１０６で反射される。偏光ビームスプリッタ１１０６で反射したビームは、ビーム分割素子である回折格子で０次光のビームと１次光に分割され、焦点距離ｆ３が３０ｍｍの検出レンズ１１１０とシリンドリカルレンズ１１１１とを経て、光検出器１１１２に入射する。光検出器１１１２に入射するビームは、シリンドリカルレンズ１１１１を透過する際、非点収差が付与される。
【００４６】
収差補正手段は、光情報記録媒体の保護層表面から、情報を記録再生する情報層までの厚み差によって発生する球面収差などの収差成分を補正するために、各情報層で発生する収差成分を打ち消すような収差を与える役割を持っている。この光学ヘッドは本来、単層構造媒体の情報層に対して収差が小さくなるような光学設計がなされており、２層構造媒体の記録再生までを考慮し、設計上の最小収差位置は、保護層表面から約８０μｍから９０μｍ程度に設定されている。そのため、最小収差位置より厚みの異なる各情報層に記録再生光を絞り込むときは、収差補正手段によって各情報層にあった収差補正値を設定して補正する必要がある。
【００４７】
なお、光源の半導体レーザの波長４０５ｎｍは、設計上により、また温度・駆動電流の変化によって波長が若干変化するため、４００ｎｍから４１０ｎｍの幅で波長の許容値が設定されている。波長が４００ｎｍから４１０ｎｍの範囲においては、本発明の効果に何ら変化をもたらすものではなく、同一の効果が得られる。
【００４８】
ここで、保護層から各情報層までの厚みの変動について最適な値を検討した。保護層から最も離れた位置に存在する第１の情報層までの厚みの変動が最も大きくなるため、ここでは特に保護層から第１の情報層までの厚みの変動について検討を行った。
【００４９】
なお、ここで言う厚みの値は、共焦点光学系を有する厚み測定器で測定した値を用いている。この測定器は、波長４０５ｎｍの光源と対物レンズとアクチュエータをもつ光ヘッドでビームを光情報記録媒体に向かって絞込み、光情報記録媒体から反射してくる光を、前段にピンホールを設けた光検出器で受光する構成となっている。光情報記録媒体における界面でビームが焦点を結んだとき、光検出器表面にも焦点を結ぶ光学設計がなされており、光情報記録媒体の界面に焦点を結んだときのみ、光検出器前段に設けられたピンホールを光が透過し、光情報記録媒体の界面以外で焦点を結んだ場合は、ピンホールで光の大部分が遮られることになる。これにより光検出器で検出される光強度を測定すれば、光情報記録媒体の界面にビームの焦点が結ばれているかどうかの判断ができる。この光ヘッドをアクチュエータで光情報記録媒体に向かって入射される光軸方向に移動させながら、各情報層で焦点を結ばせ、それぞれ焦点が合った位置をアクチュエータの移動距離から換算し、それぞれの厚みの結果とする。なお、この測定器は中間層、あるいは保護層の波長４０５ｎｍに対する屈折率ｎを１．６とした場合に正確な厚みが測定されるように校正されており、中間層や保護層を形成する材料の屈折率ｎの値によっては、光学的な厚みが変化する。本発明の実施の形態１で説明する各厚みの値は屈折率ｎを１．６に換算した場合の厚みのことを意味する。
【００５０】
屈折率ｎを１．６に換算した場合の厚みとは、上記厚み測定器を用い、各樹脂層の屈折率ｎを１．６と設定した場合の測定データを意味する。この厚み測定器で樹脂層の厚みを測定した場合、波長４０５ｎｍでの樹脂の屈折率ｎ、実厚みｄ（μｍ）とすると、屈折率の設定を１．６とした場合の測定データは、１．６×ｄ／ｎが出力されることになる。この明細書中の厚みの値とは全てこの厚み測定器（この厚み測定条件下）での値を意味している。そのため、明細書中の厚みの議論は、実厚みｄについてのものではない。
【００５１】
次に３層光情報記録媒体の製造方法について説明を行う。
【００５２】
多層のＢｌｕ−ｒａｙディスクの製造方法は一般的には次のようにしてなされる。一例として２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクの製造方法について説明する。
【００５３】
図３は情報記録媒体の成形樹脂基板を作製するための金属金型であるスタンパの作製工程を示している。まずガラス盤あるいはシリコンウェハなどからなる原盤３０１上にフォトレジスト等の感光材料を塗布して感光膜３０２を作製し、レーザ光や電子線などの露光ビーム３０３を用いて、ピットあるいは案内溝等のパターンの露光を行う（図３ａ）。それによって、露光部３０４からなる潜像を形成する（図３ｂ）。その後アルカリ現像液などにより露光部３０４を除去すると原盤３０１上に感光材により凹凸状のパターン３０５が形成された記録原盤３０６を得る（図３ｃ）。この記録原盤３０６の表面にスパッタリング法や蒸着法などを用いて導電性の薄膜３０７を形成する（図３ｄ）。この導電性薄膜３０７を電極として金属メッキなどにより金属板３０８を形成する（図３ｅ）。次に感光膜３０２と導電性薄膜３０７の界面で、導電膜３０７と金属板３０８を剥離し、導電膜３０７表面に残留する感光材を除去材などで取り除き、成形機に合わせた内外径に打ち抜き成形を行うことによって、樹脂基板の成形用の金属金型である金属スタンパ３０９が作製される（図３ｆ）。
【００５４】
次に、金属スタンパ３０９を用いて射出成形法などによる樹脂成形方法により、樹脂基板が成形される。基板材料としては成形性に優れたポリカーボネートなどの材料が用いられることが多い。その後、スピンコート法などを用いた樹脂層の形成工程などを用いて、樹脂層の積層を行う。
【００５５】
図４は、スピンコート法を用いた樹脂中間層、および保護層の作製工程からなる２層ディスクの作製工程を示す図である。
【００５６】
片面に凹凸形状からなるピットや案内溝により形成された第１の情報面を有する厚み約１．１ｍｍの成形樹脂基板４０１が金属スタンパを用いた射出成形法などの樹脂成形法により形成され、この第１の情報面上に金属薄膜や熱記録が可能な薄膜材料などをスパッタリング法や蒸着法などにより形成し、第１の情報層４０２を形成する。この第１の情報層が形成された成形樹脂基板４０１を回転ステージ４０３上に真空吸着などの方法により固定する（図４ａ）。回転ステージ４０３に固定された成形樹脂基板４０１上の第１の情報記録層４０２には、ディスペンサーによって放射線硬化性樹脂Ａ４０４が所望の半径上に同心円状に塗布され（図４ｂ）、回転ステージ４０３をスピン回転させることにより放射線硬化性樹脂Ａ４０４の延伸を行い、樹脂層４０６を形成する（図４ｃ）。このとき樹脂層４０６の厚みは、放射線硬化性樹脂Ａ４０４の粘度やスピン回転の回転数、および回転時間、スピン回転をさせている周囲の雰囲気（たとえば、温度や湿度など）を任意に設定することにより、所望の厚みに制御することができる。スピン回転停止後、樹脂層４０６は放射線照射機４０５の放射線照射によって硬化される。
【００５７】
次に、第２の情報面を形成するための転写スタンパ４０７を図３ｆに示したような金属スタンパを用いて射出成形法により形成する。この転写スタンパ４０７を回転ステージ４０８上に真空吸着などにより固定する。回転ステージ４０８に固定された転写スタンパ４０７上にディスペンサーによって放射線硬化性樹脂Ｂ４０９が所望の半径上に同心円状に塗布され（図４ｄ）、回転ステージ４０８をスピン回転させることにより放射線硬化性樹脂Ｂ４０９の延伸を行い、樹脂層４１１を形成する（図４ｅ）。樹脂層４１１の厚みは先程説明したように所望の厚みに制御することができる。スピン回転停止後、樹脂層４１１は放射線照射機４１０の放射線照射によって硬化される。
【００５８】
次にこのようにしてそれぞれ樹脂層４０６、４１１が形成された成形樹脂基板４０１と転写スタンパ４０７は、回転ステージ４１３上で、それぞれの樹脂層４０５、４１１が対向するように放射線硬化性樹脂Ｃ４１２を介して重ねあわされ（図４ｆ）、一体化させた状態で回転ステージ４１３をスピン回転することによって、放射線硬化性樹脂Ｃは延伸され、所望の厚みに制御された樹脂層４１４が形成された後に放射線照射機４１５によって放射線を照射し硬化させる（図４ｇ）。放射線硬化性樹脂Ｃ４１２によって成形樹脂基板４０１と転写スタンパ４０７が一体化された後、転写スタンパ４０７と樹脂層４１１との界面で転写スタンパ４０７を剥離することによって成形樹脂基板４０１の上に第２の情報面が形成される（図４ｈ）。この第２の情報面上に金属薄膜や熱記録が可能な薄膜材料などをスパッタリング法や蒸着法などにより形成することで第２の情報層４１６を形成した後、放射線硬化性樹脂Ｄを同様のスピンコート法により塗布、放射線硬化することによって保護層４１７を形成する（図４ｉ）。場合によっては、保護層の上から、傷や指紋の付着などによる保護層表面の欠陥を予防するためのハードコート層などを形成することもある。このようにして２層Ｂｌｕ−ｒａｙディスクが完成する。なお、ここで用いられている放射線硬化性樹脂Ａ４０４は第１の情報記録層４０２や樹脂層４１４との接着性が良好な材料を用いており、また放射線硬化性樹脂Ｂ４１１は転写スタンパ４０７との剥離性が良好で、かつ樹脂層４１４との接着性が良好なものを用いている。また、これら放射線硬化性樹脂Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄは記録再生光の波長に対して略透明なものを用いている。
【００５９】
また、ここでは３種類の放射線硬化性樹脂を用いた樹脂中間層の作製工程について説明を行ったが、転写スタンパの材料の選定などにより放射線硬化性樹脂との剥離性などを制御することにより、放射線硬化性樹脂の種類を減らしたより簡易な方法もある。
【００６０】
また、ここではスピンコート法による樹脂中間層の作製工程について説明を行ったが、樹脂層形成の工法はスピンコート法に限らず、例えば、スクリーン印刷工法、オフセット印刷工法、インクジェット工法など異なる工法によって形成を行ったとしても本発明の効果に変わりはない。
【００６１】
次に、保護層表面から各情報層までの厚みに対してどの程度の変動幅が生じるかを調べた。従来の単層構造および２層構造のＢｌｕ−ｒａｙディスクでは、保護層表面から、光学ヘッドからもっとも奥に位置する第１の情報層までの厚みは、両者とも１００μｍである。本実施の形態１における３層構造の光情報記録媒体においても、第１の情報層までの厚みは１００μｍにすることが好ましい。これは、光情報記録媒体がドライブに挿入された際、最初に合焦する情報層が第１の情報層であり、この厚みを単層構造、２層構造媒体と同じ厚みにしておくことで、互換性を確保することが可能となる。また、ドライブは光情報記録媒体が挿入された際、１００μｍの位置でビームがもっとも絞り込まれるようにあらかじめ収差補正手段によって、球面収差補正をおこなってから、実際の合焦動作を行う。もし、１００μｍの位置でビームがもっとも絞り込まれるように収差補正を行った状態で、合焦動作に入った場合に、実際の第１の情報層の厚みが１００μｍからずれていた場合は、合焦に用いるフォーカス誤差信号の振幅のレベルが低下するため、合焦動作に失敗する可能性が高くなる。
【００６２】
実際に保護層表面から第１の情報層までの厚みを１００μｍの前後で変化させた場合に、第１の情報層への合焦動作が安定して行える範囲を調べると、１００μｍ±６μｍの範囲内であれば問題なく合焦が可能であった。±６μｍ以上厚みがずれてしまうとフォーカス誤差信号のレベルが半分以下に低下してしまい、安定した合焦動作が困難であった。
【００６３】
第２の情報層、第３の情報層に関しても同様で、ドライブは各情報層に対して切り替え動作を行う際、保護層表面から各情報層の厚みの中心値に合わせて、収差補正を行ったのち、層の切り替え動作を行うため、第２の情報層、第３の情報層についても保護層の表面からの厚みのねらいに対して±６μｍ以上厚みがずれると安定した合焦動作が困難となる。
【００６４】
このように第１の中間層、第２の中間層、保護層を積層することで作製した３層光情報記録媒体の保護層表面から各情報層までの厚みがどのように変動するのかを調べた。
【００６５】
単層構造や２層構造と樹脂層そのものの厚みは同じ１００μｍであるが、樹脂層の積層数を増やせば増やすほど、媒体全面における厚み変動は拡大する。それは、各中間層や保護層を個別に作製するため、面内の厚み変動の分布の違いが積層される度に蓄積されていくためである。
【００６６】
図５に３層光情報記録媒体における第１の中間層、第２の中間層の厚み分布の一例を示す。この図は横軸に光情報記録媒体の半径を示し、縦軸は各中間層の厚みを示している。また、横軸の各半径毎の一つの目盛内は、その半径の１周分のデータを示している。第１の中間層、第２の中間層は溝形状の転写のため、転写スタンパを貼り合せた後、それを剥離することで形成される。面内の厚み分布は、作製する媒体毎にそれぞれ異なるが、図５の厚み分布のように、最内周部や、最外周部は特に厚みの変動が大きくなる。内周部は、中周部に比べ、薄くなる傾向がある。これは樹脂を塗布後、樹脂の端面が内周側に流動していくことで薄くなることや、転写スタンパを貼り合せた際に端面の樹脂が転写スタンパに押されて薄くなることが影響している。
【００６７】
また、最外周部も同様で端面の樹脂の流動と、転写スタンパに押されることによる影響で薄くなる傾向がある。また、最外周部では、中間層樹脂の硬化前にベース基板と転写スタンパの反りが平行でない場合、その両基板の反りの不均一さによって、それに挟まれる樹脂層の厚み分布が影響を受ける。図５に示す第1の中間層の最外周の厚みが若干厚くなっているのはその影響である。
【００６８】
この厚み分布の傾向は、樹脂を塗布した後に、転写スタンパを貼り合せることによって生じる現象であり、本発明の実施の形態１ではスピンコート法による中間層形成工法について説明を行ったが、工法はスピンコート法に限らず、スクリーン印刷工法、オフセット印刷工法、インクジェット工法など、他の工法によって中間層を形成したとしても同じような厚み分布の傾向を示すため、本発明の効果に変わりはない。
【００６９】
図５は、３層光情報記録媒体の１サンプルの厚み分布の結果であるが、それ以外のサンプルにおいても、媒体の周内変動などは各々異なるが、最内周部や最外周部においては、上記の理由で同じように薄くなる傾向が現れる。そのため、第１の中間層、第２の中間層は半径方向の分布はほぼ同じような傾向を示すため、３層、４層と情報層の積層数が増えるにつれて、同じような半径方向の分布を有する中間層が積層されることになり、この径方向の分布は蓄積されていくことになる。
【００７０】
次に、３層光情報記録媒体の保護層表面から第１の情報層までの厚みの分布について調べた。図６に３層光情報記録媒体の保護層表面から第１の情報層までの厚み分布の一例を示す。図５に示した中間層が積層されることにより、保護層表面から第１の情報層までの厚みの分布は半径方向の分布が蓄積され、中周の厚みに対して内周部、外周部の厚みがより薄くなる傾向が大きくなっているのが分かる。３層光情報記録媒体を１００枚試作を行った結果、保護層表面から第１の情報層までの厚みの分布を、半径２３ｍｍから２４ｍｍまでの厚み平均値に対して、面内で最も厚みが異なる部分を厚みばらつきとして選択すると、図８に示すように厚みばらつきは約±３μｍ程度生じることが分かった。
【００７１】
しかしながら、半径２３ｍｍから２４ｍｍの厚み平均値に対して、面内での厚みばらつきが±３μｍ生じると、媒体の記録再生特性に影響を及ぼす可能性が出てくる。図９に３層光情報記録媒体の第１の情報層の記録パワーマージンを示した。設定記録パワー１００％が最適条件での記録で７Ｘ１０-−５と良好なエラーレートが得られているが、記録パワーが約１２％低下するとエラーレートが基準となるエラーレート４．２ｘ１０−３をオーバーしてしまう。最適な記録条件が得られる半径２３ｍｍから２４ｍｍの厚み平均値に対して、厚みがずれると、球面収差が発生し、ビームの絞り性能が悪化する。厚みが３μｍ変動すると、このパワーマージン１２％のうち、約５％を消費してしまうことになる。ドライブでは、レーザの波長ばらつきや、装置の置かれている環境条件、記録学習の精度ばらつきなどによって容易にこのパワーマージンを消費していくため、パワーマージン１２％のこの媒体においては、この厚みばらつき３μｍは非常に影響度が大きい。厚みばらつき以外の、記録再生特性に影響を及ぼす項目を考慮すると、厚みばらつきは±２．５μｍ程度に収まることが望ましい。
【００７２】
また、従来の２層光情報記録媒体における厚みばらつき規定値である±２μｍ以内に収まると、従来の２層光情報記録媒体を記録再生するドライブと同じ性能を有するドライブでも記録再生品質を落とすことなく動作することが可能となり、さらに好ましい。
【００７３】
また、ここでは第１の情報層について記述したが、その他の各情報層においても、記録パワーマージンとして少なくとも１０％以上のパワーマージンが必要であり、第１の情報層以外の情報層においても同様の厚みばらつきの実力が必要となる。
【００７４】
そこで、本発明の実施の形態１では、厚みの基準を半径２３ｍｍから２４ｍｍの厚み平均値だけではなく、半径方向に複数の厚み基準点を設け、それをつなぐ直線を厚み基準線として設定することで、ドライブでのパワーマージンの消費を抑制した。
【００７５】
図７に本実施の形態１で設定した厚み基準線の一例を示す。ここでは、半径２３ｍｍ、２８ｍｍ、４８ｍｍ、５３ｍｍ、５８ｍｍに厚み基準点を設け、それを順次つなぐ直線を厚み基準線とした。この厚み基準直線からの厚みばらつきを１００枚の試作から調べると、図８に示すように従来の半径２３ｍｍから２４ｍｍまでの厚み平均値を基準にする考え方に比べ厚みばらつきが小さくなっていることが分かる。この厚み基準線に応じて記録再生するドライブの球面収差補正を実施することによって、媒体の製造上は何も変わらなくても、ドライブでのパワーマージン消費を抑制することが可能となる。
【００７６】
本発明の実施の形態１では厚み基準点を２３ｍｍ、２８ｍｍ、４８ｍｍ、５３ｍｍ、５８ｍｍの５点を設定したが、厚み基準点の設定方法はこれに限るものではない。少なくとも３点の厚み基準点を設けることで発明の効果が期待できる。例えば、図１０に示すとおり、半径２３ｍｍ、４３ｍｍ、５８ｍｍの３点を結ぶ厚み基準線を設定した場合は、図８で説明した５点を結ぶ厚み基準線では±２μｍ以内の厚み変動に抑制できる媒体は約９８％の歩留まりで実現できるが、３点を結ぶ厚み基準直線では約９５％とやや効果は落ちるが十分な製造歩留まりを確保することが可能である。また、±２．５μｍ以内の厚み変動を実現できる歩留まりとしては、ほぼ１００％に近い歩留まりが期待できる。
【００７７】
また、半径方向に複数の範囲に領域を分割し、各々の範囲毎に厚みの異なる厚み基準線を設けて、所定の厚み誤差以下にする構成をとっても、本発明の効果が期待できる。
【００７８】
図１２にこの厚み基準線の一例を示す。
【００７９】
ここでは、半径２３ｍｍから２４ｍｍの厚み平均値を含め、半径方向に４つの範囲に分割し、それぞれの範囲で異なる厚み基準を設けた厚み基準線を設定した。それぞれの範囲は、半径２３ｍｍから２８ｍｍの第1領域と、半径２８ｍｍから５０ｍｍの第２領域と、半径５０ｍｍから５６ｍｍの第３領域と、半径５６ｍｍから５８．５ｍｍの第４領域の4つの範囲で設定を行った。
【００８０】
各範囲内の厚み基準値は、あらかじめ試作により求めたそれぞれの範囲内の複数の媒体の厚み平均値から設定を行った。
【００８１】
この厚み基準線に対する厚み誤差を考えると、図１３に示すような分布を形成する。厚み誤差を±２μｍ以内で製造歩留まりを求めると、約９７％の高い歩留まりが実現できる。
【００８２】
また、図１２では範囲を４つの領域に分割したが、例えば、半径２３ｍｍから半径５０ｍｍまでをひとつの範囲、半径５０ｍｍから５８．５ｍｍまでをひとつの範囲として、媒体内を２つの範囲に分割しても、厚み基準線に対して±２μｍ以内の厚み誤差を実現する製造歩留まりは約９５％と高い歩留まりを実現できる。
【００８３】
また、この媒体を記録再生するドライブは媒体毎に設定された厚み基準線を読み取る必要がある。そこで、本発明の実施の形態１では、媒体のインフォメーションエリアにあらかじめこの厚み基準線の情報を記録しておき、ドライブが媒体の管理情報を読み取る際に厚み基準線の情報をドライブが認識する構成をとった。
【００８４】
媒体のインフォメーションエリアに厚み基準線の情報を記録するためには、あらかじめ原盤に溝パターンを形成する際に、厚み基準線の情報をあわせて記録しておく必要があるが、厚みの分布の形状は転写スタンパを貼り合せて溝転写をする工程を経ることで、ほぼ同じ分布を取ることが分かっているため、あらかじめ原盤作製時に管理情報として記録することは可能である。また、インフォメーションエリア内に厚み基準線の情報を記録するための最大のビット数として４ビット程度が限界であり、設定できる範囲の分割数は１６個までが最大となる。
【００８５】
ドライブは記録再生する際は、この厚み基準線に沿うように、半径を移動する毎に球面収差補正を実施することによって従来の厚みばらつき±２μｍ以内の媒体に対するものと同等の品質をもった記録再生をすることが可能となる。
【００８６】
また、ここでは厚み基準直線の情報をインフォメーションエリアに記録しておいたが、ＢＣＡ（Ｂｕｒｓｔ  Ｃｕｔｔｉｎｇ  Ａｒｅａ）に記録しても同様の効果が得られる。
【００８７】
光情報記録媒体の各情報層は、リードイン領域、データ領域、リードアウト領域から構成されている。リードイン領域には光情報記録媒体の基本情報を記録してあるコントロールデータを有しており、その構成は以下のようになる。
【００８８】
リードイン領域は半径約２４ｍｍより内側に位置しており、２１から２２．２ｍｍにＢＣＡ（Ｂｕｒｓｔ  Ｃｕｔｔｉｎｇ  Ａｒｅａ）と呼ばれる媒体固有のユニークＩＤが記録されている。これはレーザなどによる熱照射を所望のパターンで同心円状に並べるように行っていくことにより、バーコード状のデータを情報面を焼き切ることにより形成したものである。半径２２．２から２３．１ｍｍが初期記録領域と呼ばれ、情報層を記録する記録パワーなどの情報や、記録パルスのパターンの推奨値、記録線速などの基本条件や、あるいはコピープロテクションに用いる情報などを、ＨＦＭ  ＧＲＯＯＶＥと呼ばれるスパイラル状に形成された案内溝をウォブルさせることによって予め記録してある。この初期記録領域は書き換え不可な再生専用情報であり、媒体の出荷時に予め設けられたものである。
【００８９】
また、リードイン領域には半径２３．１から２４ｍｍにテスト記録を行う学習領域およびディフェクトマネジメント領域（ＤＭＡ；Ｄｅｆｅｃｔ  Ｍａｎｅｇｅｍｅｎｔ  Ａｒｅａ）が設けられている。学習領域は、ドライブに光情報記録媒体が挿入された起動時や、あるいは動作中に温度変動などの外乱による条件変化が大きく生じた場合に、記録パワーや記録パルスパターンなどの変動分を調整するために、テスト記録を行うことでキャリブレーションを行うために用いられる領域である。また、ディフェクトマネジメント領域はディスク上のディフェクト情報を管理しておくための領域である。
【００９０】
半径２４．０から５８．０ｍｍまでがデータ領域と呼ばれる。データ領域は、実際にユーザが希望するデータが書き込まれる領域である。
【００９１】
半径５８．０から５８．５ｍｍはリードアウト領域と呼ばれる。リードアウト領域は、リードイン領域と同様のディフェクトマネジメント領域が設けられたり、また、シークの際、オーバーランしてもよいようにバッファエリアとして用いられる。なお記録再生の終了領域としての意味でのリードアウトは、多層構造媒体の場合は、情報層ごとに記録再生する方向が異なる場合があるため、内周側になる場合もある。
【００９２】
ＢＣＡに厚み基準線の情報を記録する際は、媒体が出来上がった後に実際の厚み分布を測定した後、媒体にその情報を後から追記できるメリットがある。そのため、媒体製造時に厚み分布を各々の媒体に対して測定して、その測定結果に応じて、媒体毎に異なる厚み基準線を設けることが可能となり、より精度良い記録再生が実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
本発明の光情報記録媒体は、情報層が３つからなる３層光情報記録媒体において、中間層や保護層を作製するために十分なプロセスマージンを有する状態で、製造することが可能で、かつドライブの記録再生品質を落とすことなく安定した記録再生を可能とする。本発明は、高品質な信号を記録再生することが可能である大容量な多層光情報記録媒体に利用することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施の形態１の多層光情報記録媒体の構造の一例を示す図
【図２】多層構造の光情報記録媒体の一例を示す図
【図３】スタンパの作製工程を示す図
【図４】２層媒体の作製工程を示す図
【図５】３層媒体の中間層の厚み分布の一例を示す図
【図６】３層媒体の保護層表面から第１の情報層までの厚み分布の一例を示す図
【図７】本発明の実施の形態１の厚み基準線の一例を示す図
【図８】厚みばらつきの分布を示す図
【図９】第１の情報層の記録パワーマージンを示す図
【図１０】本発明の実施の形態１の厚み基準直線の一例を示す図
【図１１】光情報記録媒体と光ヘッドの構成の一例を示す図
【図１２】本発明の実施の形態１の厚み基準線の一例を示す図
【図１３】厚みばらつきの分布を示す図
【符号の説明】
【００９５】
１０１    基板
１０２    第１の情報層
１０３    第２の情報層
１０４    第３の情報層
１０５    第１の中間層
１０６    第２の中間層
１０７    保護層
１０７ａ    保護層表面
１０８    対物レンズ
１０９    記録再生光
１１０    収差補正手段
２０１    基板
２０２    第１の情報層
２０３    第２の情報層
２０４    第３の情報層
２０５    第Ｎの情報層
２０６    対物レンズ
２０７    記録再生光
３０１    原盤
３０２    感光膜
３０３    露光ビーム
３０４    露光部
３０５    凹凸パターン
３０６    記録原盤
３０７    導電性薄膜
３０８    金属板
３０９    金属スタンパ
４０１    成形樹脂基板
４０２    第1の情報層
４０３    回転ステージ
４０４    放射線硬化性樹脂Ａ
４０５    放射線照射機
４０６    樹脂層
４０７    転写スタンパ
４０８    回転ステージ
４０９    放射線硬化性樹脂Ｂ
４１０    放射線照射機
４１１    樹脂層
４１２    放射線硬化性樹脂Ｃ
４１３    回転ステージ
４１４    樹脂層
４１５    放射線照射機
４１６    第2の情報層
４１７    保護層
１１０１    光情報記録媒体
１１０２    光ヘッド
１１０３    光源
１１０４    記録再生光
１１０５    コリメートレンズ
１１０６    偏光ビームスプリッタ
１１０７    ４分の１波長板
１１０８    対物レンズ
１１０９    アパーチャ
１１１０    検出レンズ
１１１１    シリンドリカルレンズ
１１１２    光検出器
【図１】
2010118114.tif 000003
【図２】
2010118114.tif 000004
【図３】
2010118114.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010118114.tif 000009
【図８】
2010118114.tif 000010
【図９】
2010118114.tif 000011
【図１０】
2010118114.tif 000012
【図１１】
2010118114.tif 000013
【図１２】
2010118114.tif 000014
【図１３】
2010118114.tif 000015