(57)【要約】【課題】台形状とした水晶保持端子の形成を容易にした音叉型振動子を提供する。【解決手段】音叉状水晶片２の一対の音叉腕２ｂに形成された励振電極７と電気的に接続して音叉基部２ａの一主面に設けられた一対の引出端子８（ａｂ）を、容器本体１の内壁に設けられて中央溝４によって独立した分割内壁段部の水晶保持端子５（ａｂ）に導電性接着剤９によって固着した音叉型水晶振動子の製造方法において、前記水晶保持端子５（ａｂ）は前記分割段部の形成前の連続内壁段部上に形成された金属膜が前記中央溝４によって前記分割段部とともに同時に分割されてなり、前記水晶保持端子５（ａｂ）は対向する両側辺が底辺を二等分する中心線に対して非対称とするとともに、前記水晶保持端子５（ａｂ）の少なくても上端と前記音叉基部２ａの外側面寄りとなる底辺の一端とを結ぶ一方の側辺は前記底辺に対して９０°より小さい鋭角の傾斜線とした構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
音叉状水晶片の一対の音叉腕に形成された励振電極と電気的に接続して音叉基部の一主面に設けられた一対の引出端子を、容器本体の内壁に設けられて中央溝によって独立した分割内壁段部の水晶保持端子に導電性接着剤によって固着した音叉型水晶振動子の製造方法において、
前記水晶保持端子は前記分割段部の形成前の連続内壁段部上に形成された金属膜が前記中央溝によって前記分割段部とともに同時に分割されてなり、
前記水晶保持端子は対向する両側辺が底辺を二等分する中心線に対して非対称とするとともに、
前記水晶保持端子の少なくても上端と前記音叉基部の外側面寄りとなる底辺の一端とを結ぶ一方の側辺は前記底辺に対して９０°より小さい鋭角の傾斜線としたことを特徴とする音叉型水晶振動子の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記傾斜辺は曲線状とした音叉型水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば表面実装用とした音叉型水晶振動子（以下、音叉型振動子とする）の製造方法を技術分野とし、特に音叉状水晶片の音叉基部が固着される水晶保持端子（バンプ、端子突起物）の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）
音叉型振動子は腕時計を始めとして時計機能を有する各種の電子機器に内蔵される。近年では、セラミック容器内に音叉状水晶片を収容して密閉封入した表面実装型が主流をなす。そして、音叉状水晶片はフォトリソグラフィックやエッチング技術を用いて水晶ウェハから多数の音叉状水晶片を得て量産化される。
【０００３】
（従来技術の一例）
第５図（ａｂ）は一従来例（特許文献１参照）の音叉型振動子を説明する図で、同図（ａ）は音叉型振動子の長辺方向の断面図、同図（ｂ）は短辺（幅）方向の断面図である。
【０００４】
音叉型振動子は積層セラミックからなる凹状とした容器本体１に音叉状水晶片２を収容し、開口端面に金属カバー３を接合して音叉状水晶片２を密閉封入する。容器本体１は底壁１ａ、中間枠１ｂ及び上枠１ｃからなる三層構造とし、中間枠１ｂによる内壁段部を一端側に有する。内壁段部は中央溝４によって分割された分割段部とする。分割段部の表面には水晶保持端子５（ａｂ）を有し、図示しない貫通電極を含む配線路によって外底面の実装端子６（ａｂ）に電気的に接続する。
【０００５】
これらは、各層となるセラミックシート（底壁シート、中間枠シート、上枠シート）にタングステン（Ｗ）やモリブテン（Ｍo）の印刷によって、水晶保持端子５（ａｂ）を含む各電極の下地電極を形成した後、一体的に積層して焼成される。そして、例えば電界メッキによって、Ｎi及びＡuを順次に形成する。そして、その後に各容器本体１に分割される。
【０００６】
ここでの水晶保持端子５（ａｂ）は等脚とした台形状とし、中間枠シートの各分割段部の表面上にそれぞれ別個として印刷の多層塗り等によって下地電極が形成される。但し、水晶保持端子５（ａｂ）は等脚台形の二脚（側辺）が外方に湾曲した曲線状や、上辺を円弧状としたとしても同様の効果を奏する「第６図（ａｂ）」。なお、印刷の多層塗りで形成した場合は厳格には輪郭線は階段状となるが、ここでは直線状や曲線状とする。
【０００７】
音叉状水晶片２は音叉基部２ａから一対の音叉腕２ｂが延出し、結晶軸（ＸＹＺ）の例えばＺ軸が主面に直交したＺカットとし、Ｘ軸を幅、Ｙ軸を長さ、Ｚ軸を厚み方向とする。各音叉腕２ｂの両主面及び両側面には励振電極７を有し（第７図参照）、各音叉腕２ｂの両主面同士及び両側面同士が共通接続し、さらに各音叉腕２ｂの一方の両主面と他方の両側面が、一方の両側面と他方の両側面が図示しない一組の配線路によって共通接続される。一組の配線路は音叉基部２ａの一主面の下部両端側に延出して引出端子８（ａｂ）となる。
【０００８】
これらは、フォトエッチングやエッチング技術を用いて、電極形成を含んで多数の音叉状水晶片２が図示しない水晶ウェハに一体的に形成される。そして、水晶ウェハから個々の音叉状水晶片２に分割される。その後、音叉基部２ａの引出端子８（ａｂ）は台形状とした水晶保持端子５（ａｂ）に導電性接着剤９によって固着し、電気的・機械的に接続する。
【０００９】
金属カバー３は例えばコバールを母材として、容器本体１の開口端面に設けられた図示しないシームリングに一対のローラ電極を用いてシーム溶接する。但し、シーム溶接に限らず、電子ビームや、カバーを金属や絶縁体としたガラス封止や樹脂封止であってもよく、密閉度を充分にする接合であれば適用できる。
【００１０】
このようなものでは、水晶保持端子５（ａｂ）を例えば台形状とするので、中央先端部の上面が引出端子８（ａｂ）に密接して点的に接合し、中央部から外周部にかけて間隔が除々に大きくなって緩やかに接合する。これにより、導電性接着剤９との接着強度を維持するとともに応力歪みによる振動周波数の変化を抑止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−２１１７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成の音叉型振動子では、音叉状水晶片２の外形寸法が小さくなるほど、第８図（幅方向の断面図）に示したように分割段部の水晶保持端子５（ａｂ）も小さくなる。このため、特に台形状とした水晶保持端子５（ａｂ）の中央先端部が音叉基部２ａの両端側となる規定の位置に形成することが困難になる問題があった。
【００１３】
これらの場合、音叉状水晶片２の外形寸法が小さいほど、一枚の水晶ウェハからの取り分が増えるこことから生産性を向上させる。したがって、既存の容器本体１（例えば平面外形が3.2×1.5ｍｍ）を使用した場合でも、また、音叉型振動子の小型化として容器本体１をこれより小さくした場合のいずれでも同様の問題を生ずる。
【００１４】
（発明の目的）
本発明は円弧状を含む台形状とした水晶保持端子の形成を容易にした音叉型振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、特許請求の範囲（請求項１）に示したように、音叉状水晶片の一対の音叉腕に形成された励振電極と電気的に接続して音叉基部の一主面に設けられた一対の引出端子を、容器本体の内壁に設けられて中央溝によって独立した分割内壁段部の水晶保持端子に導電性接着剤によって固着した音叉型水晶振動子の製造方法において、前記水晶保持端子は前記分割段部の形成前の連続内壁段部上に形成された金属膜が前記中央溝によって前記分割段部とともに同時に分割されてなり、前記水晶保持端子は対向する両側辺が底辺を二等分する中心線に対して非対称とするとともに、前記水晶保持端子の少なくても上端と前記音叉基部の外側面寄りとなる底辺の一端とを結ぶ一方の側辺は前記底辺に対して９０°より小さい鋭角の傾斜線とした構成とする。
【発明の効果】
【００１６】
このような構成であれば、水晶保持端子は予め連続した内壁段部に形成された保持端子用金属膜を内壁段部とともに中央溝によって分割して形成するので、水晶保持端子が小さくなっても保持端子用金属膜を大きく形成できる。したがって、水晶保持端子を個々に形成するよりも、保持端子用金属膜を分割した水晶保持端子の位置精度を高められる。
【００１７】
そして、水晶保持端子における音叉基部の外側面寄りの側辺は傾斜辺とするので、水晶保持端子の上端側は音叉基部の引出端子にて導電性接着剤によって密着して固着強度は高まり、底辺側になるほど緩やかになる。したがって、従来例と同様に固着強度を維持し、応力歪みによる振動周波数の変化を防止する。
【００１８】
（実施態様項）
本発明の請求項２では、請求項１において、前記傾斜辺は曲線状とする。これにより、上端側からの密着度を直線状とした場合よりも緩やかにできるので、固着強度と応力歪みによる周波数変化を微細に制御できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態を説明する音叉型振動子の幅方向の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の製造工程を示す音叉型振動子の模式的な断面図である。
【図３】本発明の一実施形態の製造工程を説明するセラミックシート（中間枠層）の平面図である。
【図４】本発明の他例の製造工程例を示す音叉型振動子の模式的な断面図である。
【図５】従来例を説明する図で、第５図は音叉型振動子の図で、同（ａ）は音叉型振動子の長辺方向の断面図、同図（ｂ）は短辺（幅）方向の断面図である。
【図６】従来例を説明する水晶保持端子の断面図である。
【図７】従来例を説明する音叉状水晶片の正面図である。
【図８】従来例の問題点を説明する音叉型振動子の幅方向の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態を第１図（音叉型振動子の断面図）、第２図（模式的な同断面図による製造工程）、及び第３図（中間枠シート１Ｂの平面図）によって説明する。
【００２１】
音叉型振動子は前述したように積層セラミックからなる凹状とした容器本体１の中央溝４によって独立した分割段部の水晶保持端子５（ａｂ）に、一対の音叉腕２ｂの励振電極７から延出した音叉基部２ａの一主面の引出端子８（ａｂ）を導電性接着剤９によって固着し、シーム溶接とした金属カバー３によって密閉封入してなる（前第５図参照）。音叉型振動子（容器本体１）の平面外形は前述のように3.2×1.5ｍｍとし、音叉状水晶片２の同外形は2.3×0.35ｍｍとして容器本体１よりも格段に小さくし、生産性を高めたものとする。
【００２２】
ここでは、特許請求の範囲（請求項１）でも記載するように、分割段部の水晶保持端子５（ａｂ）は底辺を二等分する中心線に対して非対称とした形状とする。この例では、等脚台形を垂直方向に二分した台形状とする（第１図）。すなわち、音叉基部２ａの外周寄りの一辺を底辺に対して９０°よりも小さい鋭角とした斜辺とし、中央溝４寄りの他辺を垂線とする台形状とする。
【００２３】
これらは、等脚台形とした保持端子用金属膜５′を中央溝４が形成される前の連続した内壁段部に形成する「第２図（ａ）」。そして、保持端子用金属膜５′の表面上から内壁段部の下面に至る中央溝４を設け、分割段部とともに水晶保持端子５（ｂ）を形成する「第２図（ｂ）」。
【００２４】
具体的に言えば、第３図に示したように、先ず、分割段部（内壁段部）となるセラミックシートの平板状とした中間枠シート１Ｂに印刷によって保持端子用金属膜５′の下地電極（ＷやＭo）を形成する。そして、保持端子用金属膜５′を含めて打ち抜き棒によって中央溝４を有する開口枠１０を設ける。
【００２５】
次に、図示しない底壁シート及び上枠シートを積層して焼成し、電解液中にてＮi及びＡuを表面に露出した下地電極上に順次にメッキする。最後に、例えばシーム溶接用の金属リングを開口端面に設けて、縦横の切断線（Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ）に沿って個々の容器本体１に分割する。
【００２６】
このような構成であれば、効果の欄でも記載するように、水晶保持端子５（ａｂ）は予め連続した内壁段部即ち平板状の中間枠シート１Ｂに形成された保持端子用金属膜５′を中央溝４によって内壁段部とともに分割して形成する。したがって、音叉状水晶片２の外形の例えば生産性の向上による小型化に伴い、水晶保持端子５（ａｂ）が小さくなっても保持端子用金属膜５′を大きく形成できる。これにより、水晶保持端子５（ａｂ）を個々に形成するよりも、保持端子用金属膜５′を分割した水晶保持端子５（ａｂ）の位置精度を高められる。
【００２７】
そして、水晶保持端子５（ａｂ）における音叉基部２ａの外側面寄りとした一方の側辺は傾斜辺とする。したがって、水晶保持端子５（ａｂ）の上端側は音叉基部２ａの引出端子８（ａｂ）にて導電性接着剤９によって密着して固着強度は高まり、底辺側になるほど緩やかになる。これにより、従来例と同様に固着強度を維持して、応力歪みによる振動周波数の変化を防止する。
【００２８】
（他の事項）
上記実施形態では水晶保持端子５（ａｂ）台形状として説明したが、例えば第４図に示したように、連続した内壁段部上に円弧状の保持端子用金属膜５′を設け、中央溝４によって内壁段部とともに分割してもよい。この場合、各水晶保持端子５（ａｂ）は上端側から除々に厚みが小さくなる曲面状となる。これにより、導電性接着剤９は上端側を最小厚みとして連続的に厚みが大きくなるので、台形状とした場合と同様の効果を奏する。
【００２９】
また、容器本体１の大きさは既存の外形（3.2×1.5ｍｍ）として生産性を向上させる場合を例として説明したが、音叉型振動子（即ち容器本体１）の小型化に伴って音叉状水晶片２が小さくなった場合でも同様に適用できることは勿論である。
【符号の説明】
【００３０】
１  容器本体、２  音叉状水晶片、３  カバー、４  中央溝、５  水晶保持端子、６  実装端子、７  励振電極、８  引出端子、９  導電性接着剤、１０  開口部。
【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図７】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図８】
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