(57)【要約】【課題】特に周期的パターンの最外部における欠陥の検出に際し、特別な処理をすることなく、欠陥を正確に検出する。【解決手段】導体パターン２０，２１の欠陥検出において、最外部パターン２２，２３，２６，２７での周期ピッチを用いた比較検査では、欠陥を検出できない場合がある。このため、最外部パターン２２，２３，２６，２７の外側に、既周期ピッチ離れた位置に、ダミーパターン２４，２５，２８，２９を形成する。これにより、最外部パターン２２に存在する欠陥も、周期ピッチ離れた箇所に存在するダミーパターン２４と比較できるため、正確な欠陥の検出ができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的導体のダミーパターンが、周期的に配列したパターンの周期ピッチ方向の最外部に同一ピッチ間隔を設けて前記パターンを電気的に短絡しない状態で形成されていることを特徴とするパターン形成済基板。
【請求項２】
前記ダミーパターンが前記パターンと同一材料、同一工法で形成されたことを特徴とする請求項１記載のパターン形成済基板。
【請求項３】
前記ダミーパターンに、切断箇所を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のパターン形成済基板。
【請求項４】
前記ダミーパターンに設けた切断箇所が、複数の前記ダミーパターンが交差する箇所であることを特徴とする請求項３記載のパターン形成済基板。
【請求項５】
前記ダミーパターンに設けた切断箇所が、前記ダミーパターンと前記パターンが交わる箇所であることを特徴とする請求項３記載のパターン形成済基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルのような周期的に配列したパターンを有するパターン形成済基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどいわゆるフラットパネルのディスプレイ装置では周期的に配列したパターンが使われる。このパターンの欠陥はそのまま表示の欠陥となるために、表示画素用の電極パターンの欠陥やドライバーとパネル電極との結線用のフレキ配線は組み立てる前によく検査する必要があり厳重に検査される。そして、検査にはパターンの周期性を着目した検査手法が使われる。
【０００３】
従来の周期的に配列したパターンの検査について、図５を参照しながら説明する。図５は検査領域を含む配線部を撮像した画像を示す図である。基板１上にパターンとして、端子部の端子電極パターン部２が端子部の周期ピッチ３で形成され、表示部の表示電極パターン部４が、表示部の周期ピッチ５で形成されている。端子電極パターン部２と表示電極パターン部４は等ピッチで形成されているため、一定ピッチ離れた撮像画素同士を比較検査することで、欠陥検出を実施している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、端子電極パターン部２と表示電極パターン部４を繋ぐ引込み電極パターン部６は、端子部と表示部を繋ぐ配線である。この部分は斜めの配線があり一定のピッチが考えにくいが、従来の検査手法としては、端子電極パターン部２と表示電極パターン部４の周期ピッチ３，５の変化量から任意の場所のピッチを計算することで、それぞれ最適なピッチで比較検査することができる（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
すなわち、ある注目画素Ａ７が欠陥箇所かどうかを判定する場合、注目画素Ａ７から周期ピッチ離れた比較画素Ｂ８および比較画素Ｃ９の２画素の輝度値と比較処理することによって行う。注目画素Ａ７に欠陥がなければ、注目画素Ａ７と比較画素Ｂ８と比較画素Ｃ９の輝度値はほぼ同じになるし、もし欠陥があれば輝度値は大きく異なる。これにより従来の検査手法では輝度値を比較し、その差がある閾値以上であれば欠陥として検出を行っている。
【０００６】
また、注目画素Ａ１０についても、表示部の周期ピッチ５離れた比較画素Ｂ１１および比較画素Ｃ１２の２画素と比較することにより、検査を行っている。
【特許文献１】特開２００６−０２９８７６号公報
【特許文献２】特開２００２−２５９９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の導体パターン検査では、パターン上の注目画素Ａ１３に存在する欠陥は、比較画素Ｃ１５だけでなく、パターンが存在しない比較画素Ｂ１４の基板部とも比較する。そのため、図６に示すように、比較時に、輝度差が生じず、検出できない場合がある。同様に、パターン上の注目画素Ａ１６に存在する欠陥も、比較画素Ｃ１８だけでなく、パターンが存在しない比較画素Ｂ１７の基板部と比較するため、検出できない場合が存在する。すなわち、周期的パターンの最外部（パネル最外周部のパターン等）は、パターンが存在しない領域と比較するために、検出できない欠陥や、欠陥でない領域を欠陥として検出してしまうという問題点があり、周期的パターンの最外部のみ異なった取り扱いの処理を行わなければならなかった。
【０００８】
本発明は、前記従来の問題を解決するものであり、周期性を利用して欠陥を検出する従来の検査手法における、周期的パターンの最外部にて検出できない欠陥や、欠陥でない領域を欠陥として検出されてしまうことを防止し、欠陥を正確に検出することが可能なパターン形成済基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載したパターン形成済基板は、電気的導体のダミーパターンが、周期的に配列したパターンの周期ピッチ方向の最外部に同一ピッチ間隔でダミーパターンを設けて前記パターンを電気的に短絡しない状態で形成されていることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２〜５に記載したパターン形成済基板は、請求項１のパターン形成済基板において、ダミーパターンがパターンと同一材料、同一工法で形成されたこと、また、ダミーパターンが電気的導体であって、パターンを電気的に短絡しないように切断箇所を設けたこと、また、ダミーパターンに設けた切断の箇所を定義したことを特徴とする。
【００１１】
前記基板によれば、パネルに周期的に配列したパターンを検査する際、周期的パターンの最外部において、特別な処理をすることなく正確に検査することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、周期的に配列したパターンをその最外部において特別の処理をすることなく検査できるパターン形成済基板が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における周期的に配列したパターンを示す図である。ここで、前記従来例を示す図５において説明した構成要件に対応し同等のものには同一の符号を付して示し、以下の各図においても同様とする。
【００１５】
図１において、パネルに周期的に配列した電極パターンのうち本来必要な部位は導体パターン２０，２１である。導体パターン２０，２１は、端子部の導体パターンを周期ピッチ３で繰り返している端子電極パターン部２と、表示部の導体パターンを周期ピッチ５で繰り返している表示電極パターン部４と、表示電極パターン部４から端子電極パターン部２へと周期ピッチ５から周期ピッチ３へと線形的に周期ピッチが変化する引込み電極パターン部６からなる。
【００１６】
導体パターン２０，２１において、周期的パターンの最外部となる最外部パターン２２，２３，２６，２７は、前述したように、周期ピッチを用いた比較検査では、欠陥を検出できない場合がある。そのため、本実施の形態では、最外部パターン２２，２３，２６，２７の外側に、それぞれのパターン部で周期ピッチ離れた位置に、ダミーパターン２４，２５，２８，２９を形成している。このようにパターン形成することで、図２に示すような、最外部パターン２２に存在する欠陥部３１も、引込み電極パターン部６での周期ピッチと同じ周期ピッチ３２離れた箇所に存在するダミーパターン２４と比較できるため、正確な欠陥の検出が可能である。
【００１７】
ここで述べられたダミーパターン２４，２５，２８，２９は導体パターン２０，２１と同一材料、同一工法で作られていることが望ましい。すなわち、導体パターン２０，２１の形成時に同時に作成する。これにより、検査に当たってのダミーパターン２４，２５，２８，２９の特性（光学的特性等）が導体パターン２０，２１と同じになり、また、形成条件による各パターンの変化（細りや太り）も同一とすることができる。また、パターンの線幅は、５０〜１００μｍが一般的であるが、画面サイズ・画面の精細度、点灯方式により、様々な線幅寸法が存在する。
【００１８】
なお、図１のダミーパターン短絡箇所３０については、実施の形態２にて説明する。
【００１９】
（実施の形態２）
本実施の形態２は、前述の実施の形態１に従い図１に示したダミーパターン２４，２５，２８，２９を形成した場合、ダミーパターン短絡箇所３０のように、ダミーパターン２５，２８同士が交差、短絡する場合があり、さらにダミーパターン２５，２８を介して最外部パターン２３，２６が短絡することもある。このようなダミーパターン２５，２８同士の短絡が問題となる場合は、図３に示すように、ダミーパターン２５，２８同士で短絡した部分を、切断部３３を設けて切断したダミーパターン２５，２８を形成することで、ダミーパターン２５，２８の短絡による製品性能への影響をなくすことが可能である。
【００２０】
ただし、本実施の形態２の切断部３３は、パターンの周期性から逸脱した領域となるため、欠陥として検出される可能性があり、最終的な欠陥情報から除去する等の施策が必要となる。
【００２１】
（実施の形態３）
本実施の形態３は、前述の実施の形態２に示したダミーパターン短絡箇所を切断するために設けた切断部３３ではなく、最外部パターン２３，２６とダミーパターン２５，２８との短絡を防止するための切断位置として、図４に示すように、最外部パターン２３とダミーパターン２８が交わって短絡する箇所に切断部３４、および最外部パターン２６とダミーパターン２５が交わって短絡する箇所に切断部３５を設けても同様の効果は得られる。
【００２２】
本実施の形態の構成とすることで、ダミーパターン２５，２８が細く、図３の切断部３３を設けることが困難な場合や、引込み電極パターン部でのパターンの傾斜角度が急峻な場合にも対応可能である。
【００２３】
なお、本実施の形態では、ダミーパターン２５，２８は短絡しているが、このダミーパターンの短絡は、製品性能への影響はほとんどない。
【００２４】
（実施の形態４）
本実施の形態４は、前述の実施の形態２，３で示したダミーパターンの形成によりパターンの短絡することを防止するために設ける切断箇所のサイズについて具体的な数値を用いて説明する。本発明の目的である、光学的に欠陥として検出されないレベルまで十分小さくし、かつプロセス上安定して形成できるレベルまで十分大きいサイズについて考察する。
【００２５】
このようにした場合には、実施の形態２で述べたような、最終的に除去しなければならない欠陥情報も出てくることはない。例えば、１０μｍ以上の欠陥を検出する検査の場合、幅１〜２μｍの切断サイズであれば、欠陥としては検出されない。
【００２６】
以上に説明したように、本発明の各実施の形態によれば、周期性を利用して欠陥を検出する従来の検査手法では、周期的パターンの最外部にて検出できない欠陥が存在する場合や、欠陥でない領域を欠陥として検出する場合があったが、このような検出をすることなく、欠陥を正確に検出することができる。
【００２７】
なお、本発明の実施の形態では、ダミーパターンに切断箇所を設けてパターンが短絡しないようにしたが、切断箇所を設ける代わりに絶縁体を設けるなど、電気的に絶縁できるようにすれば同様の効果を得られる。しかしながら、実際にパターンを塗布することを考えると、切断箇所を設けることが一番手間をかけずに行うことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明に係るパターン形成済基板は、周期的に配列したパターンを周期的パターンの最外部で特別の処理をすることなく検査でき、ディスプレイパネルのような周期的に配列したパターンを有する基板として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態１における周期的に配列したパターンを示す図
【図２】本実施の形態１における周期的に配列したパターンの欠陥部を示す図
【図３】本発明の実施の形態２における周期的に配列したパターンの切断部を示す図
【図４】本発明の実施の形態３における周期的に配列したパターンの切断部を示す図
【図５】従来の検査領域を含む配線部を撮像した画像を示す図
【図６】従来の最外部の検査領域の配線部を撮像した画像を示す図
【符号の説明】
【００３０】
１  基板
２  端子電極パターン部
３，５，３２  周期ピッチ
４  表示電極パターン部
６  引込み電極パターン部
７，１０，１３，１６  注目画素Ａ
８，１１，１４，１７  比較画素Ｂ
９，１２，１５，１８  比較画素Ｃ
２０，２１  導体パターン
２２，２３，２６，２７  最外部パターン
２４，２５，２８，２９  ダミーパターン
３０  ダミーパターン短絡箇所
３１  欠陥部
３３，３４，３５  切断部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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