(57)【要約】【課題】ＴＡＣフィルム等の難接着性樹脂フィルムの表面処理におけるプロセスウィンドーを広くして処理を容易化し、生産性を安定させる。【解決手段】重合性モノマーをプラズマにより活性化させて難接着性樹脂フィルム１１と結合させる（プラズマ処理工程）。次に、洗浄液５９にて難接着性樹脂フィルム１１を洗浄する（洗浄工程）。重合性モノマーは、好ましくはアクリル酸又はメタクリル酸であり、より好ましくはアクリル酸である。洗浄液５９は、好ましくは９０質量％以上の水を含む水性洗浄液であり、より好ましくは純水又はイオン交換水である、【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
易接着性樹脂フィルムと接着されるべき難接着性樹脂フィルムの表面を処理する方法であって、
重合性モノマーをプラズマにより活性化させて前記難接着性樹脂フィルムと反応させるプラズマ処理工程と、
前記プラズマ処理工程の後、洗浄液にて前記難接着性樹脂フィルムを洗浄する洗浄工程と
を備えたことを特徴とするフィルム表面処理方法。
【請求項２】
前記重合性モノマーが、アクリル酸又はメタクリル酸であることを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面処理方法。
【請求項３】
前記洗浄液が、９０質量％以上の水を含む水性洗浄液であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルムの表面処理方法。
【請求項４】
前記洗浄液が、純水又はイオン交換水であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のフィルム表面処理方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載のフィルム表面処理方法にて処理された難接着性樹脂フィルムと前記易接着性樹脂フィルムとを接着剤にて接着する接着工程を備えたことを特徴とするフィルム接着方法。
【請求項６】
前記洗浄液が接着剤成分を含み、前記洗浄工程と併行して、該洗浄工程に用いた洗浄液の一部を挟んで前記難接着性樹脂フィルムと前記易接着性樹脂フィルムとを貼り合わせることを特徴とする請求項５に記載のフィルム接着方法。
【請求項７】
前記洗浄液が、１０質量％未満のポリビニルアルコールを前記接着剤成分として含むポリビニルアルコール水溶液であることを特徴とする請求項６に記載のフィルム接着方法。
【請求項８】
前記洗浄液が、５質量％未満のポリビニルアルコールを前記接着剤成分として含むポリビニルアルコール水溶液であることを特徴とする請求項６に記載のフィルム接着方法。
【請求項９】
請求項５〜８の何れか１項に記載のフィルム接着方法を用いた偏光板の製造方法であって、前記難接着性樹脂フィルムが、トリアセテートセルロースを主成分として含む保護フィルムであり、前記易接着性樹脂フィルムが、ポリビニルアルコールを主成分として含む偏光フィルムであることを特徴とする偏光板製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、樹脂フィルムの表面を処理する方法及び接着方法並びに偏光板の製造方法に関し、特に、難接着性の樹脂フィルムと易接着性の樹脂フィルムとを接着するに際して上記難接着性樹脂フィルムに対して行なう表面処理方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置には、偏光板が組み込まれている。偏光板は、ポリビニルアルコール（以下、適宜「ＰＶＡ」と称す）を主成分として含む樹脂フィルム（以下、適宜「ＰＶＡフィルム」と称す）からなる偏光フィルムにトリアセテートセルロース（以下、適宜「ＴＡＣ」と称す）を主成分として含む樹脂フィルム（以下、適宜「ＴＡＣフィルム」と称す）からなる保護フィルムを接着剤を用いて接着したものである。接着剤としては、ポリビニルアルコール系やポリエーテル系等の水系接着剤が用いられている。ＰＶＡフィルムは、これら接着剤との接着性が良好であるが、ＴＡＣフィルムは、接着性が良好でない。そこで、一般に、ＴＡＣフィルムは、接着に先立って、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液に漬けられ、鹸化処理される。これにより、ＴＡＣフィルムの表面を加水分解して親水性を高め、接着剤がＴＡＣフィルムに付きやすくしている。
【０００３】
鹸化処理以外の表面処理方法として、例えば特許文献１では、ヘリウムとアルゴンの混合ガスで被処理物の表面を大気圧下でプラズマ処理した後、アクリル酸をスプレーガンによって吹き付け、アクリル酸をグラフト重合させ、被処理物の表面を改質させる方法が提案されている。
【０００４】
特許文献２では、窒素、アルゴン等の不活性ガスと有機系の薄膜形成用ガスとを混合し、この混合ガスを大気圧下でプラズマ放電させて被処理物に供給し、被処理物の親水性を高める方法が提案されている。
【特許文献１】特許第３２９２９２４号公報
【特許文献２】特開２００６−２９９０００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
発明者等は、鋭意研究を行なった結果、ＴＡＣフィルムの表面処理量が過剰になると、かえって接着性が劣ってくるとの知見を得た（後記比較例１、２参照）。このことは、表面処理量を過不足がないよう調節する必要性を示唆している。具体的には、プロセスガスの供給流量、濃度、処理時間等の各種処理条件をそれぞれ好適な範囲内にして処理を実行することになる。したがって、プロセスウィンドーが狭く管理が煩雑である。好適範囲を外れた場合、十分な接着性能を得ることができず、接着済みフィルムを含む偏光板等の最終製品の生産性（良品率等）が不安定になる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ＴＡＣフィルム等の難接着性樹脂フィルムの表面処理におけるプロセスウィンドーを広くして処理を容易化し、ひいては偏光板等の製品の生産性を安定させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
発明者等は、上記課題を解決するために更に研究考察を行なった結果、ＴＡＣフィルム等の難接着性フィルムをプラズマ処理した後、水等でウェット洗浄すると、プラズマ処理の処理量に拘らず、接着強度を安定させ得るとの知見を得た（後記実施例１、２参照）。
すなわち、ＴＡＣフィルム等の難接着性フィルムをプラズマ処理すると、難接着性フィルムの表面に接着性を阻害する物質が現れ、これが過剰処理時の接着性低下の要因になっていると推察される。接着性阻害物質の一例として、難接着性フィルムに含まれる可塑剤のブリード物が挙げられる。この種のブリード物は、難接着性であり、プラズマ処理が過剰になると、難接着性のブリード物の析出量が増え、その結果、接着性の低下を招くと考えられる。一方、この種のブリード物は、水等の洗浄液によって容易に洗い流すことができる。
【０００７】
例えば、一般にＴＡＣフィルムには可塑剤としてリン酸トリフェニル（ＴＰＰ）が１０％程度含有されている。発明者等は、ＴＡＣフィルムに窒素プラズマを照射したとき、ＴＡＣフィルムの表面にＴＰＰに由来すると思われるブリード物が微細な斑状に現れるのを確認した。その後、ＴＡＣフィルムの表面を水で洗浄したところ、上記のブリード物がＴＡＣフィルムの表面から除去されたのを確認した。
【０００８】
上記接着性阻害物質のもう１つの例として、プラズマ処理時の反応によって副次的に生成されるイオン結合性の塩が考えられる。この種の塩として、シアン酸アンモニウム（ＮＨ４ＯＣＮ）、尿素（Ｈ２ＮＣＯＮＨ２)、酢酸アンモニウム（ＣＨ３ＣＯＯＮＨ４)等が挙げられる。発明者等は、プラズマ処理したＴＡＣフィルムをＴＯＦ−ＳＩＭＳ（Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）分析したところ、上記の何れかの塩に由来すると推察されるイオンの発生を確認した。この種の塩は、水等の水性溶媒に容易に溶解する。
【０００９】
本発明に係るフィルム表面処理方法は、上記の知見に基づいてなされたものであり、易接着性樹脂フィルムと接着されるべき難接着性樹脂フィルムの表面を処理する方法であって、
重合性モノマーをプラズマにより活性化させて前記難接着性樹脂フィルムと反応させるプラズマ処理工程と、
前記プラズマ処理工程の後、洗浄液にて前記難接着性樹脂フィルムを洗浄する洗浄工程と
を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、プラズマ処理工程において過処理であった場合でも洗浄によって接着性を回復でき、処理量に拘らず安定した接着強度を得ることができる。したがって、プラズマ処理工程におけるプロセスウィンドーを広くでき、プロセスガスの供給流量、濃度、処理時間等の各種処理条件を厳密に調節する必要がなく、表面処理を容易に行なうことができる。処理品質を安定させることができ、ひいては接着済みフィルムを含む製品の生産性を安定させることができる。
【００１０】
難接着性樹脂フィルムとは、該フィルムと接着される相手側のフィルムよりも接着剤に対する接着性が相対的に低いフィルムをいう。易接着性樹脂フィルムとは、該フィルムと接着される相手側のフィルムよりも接着剤に対する接着性が相対的に高いフィルムをいう。同一のフィルムが、接着される相手側のフィルムに応じて、難接着性樹脂フィルムになることもあり、易接着性樹脂フィルムになることもある。
【００１１】
難接着性樹脂フィルムは、非極性樹脂フィルムであることが好ましい。
難接着性樹脂フィルムの主成分としては、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、シクロオレフィン重合体（ＣＯＰ）、シクロオレフィン共重合体（ＣＯＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリイミド（ＰＩ）等が挙げられる。
【００１２】
前記易接着性樹脂フィルムの主成分としては、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）が挙げられる。
【００１３】
重合性モノマーとしては、不飽和結合及び所定の官能基を有するモノマーが挙げられる。所定の官能基は、水酸基、カルボキシル基、アセチル基、グリシジル基、エポキシ基、炭素数１〜１０のエステル基、スルホン基、アルデヒド基から選択されることが好ましく、特に、カルボキシル基や水酸基等の親水基が好ましい。
【００１４】
不飽和結合及び水酸基を有するモノマーとしては、メタクリル酸エチレングリコール、アリルアルコール、メタクリル酸ヒドロキシエチル等が挙げられる。
不飽和結合及びカルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マイレン酸、２−メタクリロイルプロピオン酸等が挙げられる。
不飽和結合及びアセチル基を有するモノマーとしては、酢酸ビニル等が挙げられる。
不飽和結合及びグリシジル基を有するモノマーとしては、メタクリル酸グリシジル等が挙げられる。
不飽和結合及びエステル基を有するモノマーとしては、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ｔ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ｔ−ブチル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸２−エチル等が挙げられる。
不飽和結合及びアルデヒド基を有するモノマーとしては、アクリルアルデヒド、クロトンアルデヒド等が挙げられる。
【００１５】
好ましくは、前記重合性モノマーは、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を有するモノマーである。かかるモノマーとして、アクリル酸（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＨ）、メタクリル酸（ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＨ）が挙げられる。
【００１６】
前記重合性モノマーは、キャリアガスによって搬送することにしてもよい。キャリアガスは、好ましくは窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスから選択される。経済性の観点からは、キャリアガスとして窒素を用いるのが好ましい。
アクリル酸やメタクリル酸等の重合性モノマーの多くは、常温常圧で液相である。そのような重合性モノマーは、不活性ガス等のキャリアガス中に気化させ、重合性モノマー蒸気とキャリアガスの混合ガスからなる重合性モノマー含有ガスを得るとよい。重合性モノマーをキャリアガス中に気化させる方法としては、重合性モノマー液の液面上の飽和蒸気をキャリアガスで押し出す方法、重合性モノマー液中にキャリアガスをバブリングする方法、重合性モノマー液を加熱して蒸発を促進させる方法等が挙げられる。押し出しと加熱、又はバブリングと加熱を併用してもよい。
【００１７】
加熱して気化させる場合、加熱器の負担を考慮し、重合性モノマーは、沸点が３００℃以下のものを選択するのが好ましい。また、重合性モノマーは、加熱により分解（化学変化）しないものを選択するのが好ましい。
【００１８】
プラズマ処理工程においては、重合性モノマーの活性化のためプラズマを用いる。例えば、一対の電極間に電界を印加して放電を生成するとともに、この電極間の放電空間にプラズマ生成用ガスを導入し、プラズマを生成する。プラズマ生成用ガスとしては、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスを用いるのが好ましい。このプラズマにより重合性モノマーが活性化される。重合性モノマーの活性化は、重合性モノマーの開裂、重合、分解を含む。活性化した重合性モノマーが難接着性樹脂フィルムと反応する。例えば、難接着性樹脂フィルムの表面のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｈ等の結合がプラズマガスとの接触やプラズマ光の照射によって切断され、この結合切断部に重合性モノマーの重合物がグラフト重合すると考えられる。或いは、結合切断部に重合性モノマーから分解した官能基が結合すると考えられる。これにより、難接着性樹脂フィルムの表面に接着性促進層が形成されると考えられる。また、上述したように、併せて接着性阻害物質が生成されるものと推察される。
【００１９】
プラズマ処理工程において、重合性モノマー蒸気とプラズマ生成用ガスの混合ガスを放電空間に導入するとともに難接着性樹脂フィルムに接触させてもよい。この場合、重合性モノマー蒸気が、放電空間で直接的に活性化される。或いは、重合性モノマー蒸気を含むガスを難接着性樹脂フィルムに供給して難接着性樹脂フィルムの表面上に担持（凝縮等）させ、その後、上記重合性モノマー含有ガスとは別のプラズマ生成用ガスをプラズマ化し、難接着性樹脂フィルムの上記重合性モノマーが担持された部分に接触させてもよい。或いは、プラズマ生成用ガスをプラズマ化して難接着性樹脂フィルムに接触させ、その後、重合性モノマーを上記難接着性樹脂フィルムの上記プラズマ接触部分に接触させてもよい。プラズマ生成用ガスと、重合性モノマー蒸気のキャリアガスとが、同一成分（例えば窒素）で構成されてもよく、キャリアガスがプラズマ生成用ガスを兼ねていてもよい。
【００２０】
プラズマ処理工程において、難接着性フィルム温度が、室温以上であることが好ましい。ここで、室温とは、一般に２０〜２５℃であり、より一般的には２５℃である。
プラズマ処理工程において、重合性モノマー蒸気の吹出し温度より難接着性フィルムの温度が５℃以上低温であることが好ましく、１０℃以上低温であることがより好ましい。これにより、重合性モノマーを難接着性樹脂フィルムに確実に担持（凝縮等）させることができ、ひいては重合性モノマーの重合物を難接着性樹脂フィルムの表面分子に確実に結合させることができる。
重合性モノマー含有ガスの温度は、重合性モノマーの引火点未満であることが好ましい。ちなみに、アクリル酸の引火点は、５４℃である。メタクリル酸の引火点は、７７℃である。また、アクリル酸の発火点は、３６０℃である。メタクリル酸の発火点は、３６０℃である。
【００２１】
前記放電空間の酸素濃度（体積濃度）は、０〜３０００ｐｐｍであることが好ましく、２０００ｐｐｍ以下であることがより好ましい。これにより、十分な接着強度を得ることができる。
【００２２】
プラズマ処理工程は、大気圧近傍の圧力下で行なうのが好ましい。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。
プラズマ処理工程は、真空下で行なうことにしてもよい。
【００２３】
洗浄工程において、前記洗浄液は、好ましくは９０質量％以上の水を含む水性洗浄液であり、より好ましくは純水又はイオン交換水である。
水性洗浄液は、流動性が高く、難接着性樹脂フィルムの表面から接着性阻害物質を確実に除去できる。水性洗浄液として純水又はイオン交換水を用いることにより、処理コストを安価にでき、かつ接着性阻害物質がイオン性の塩からなる場合、これを容易に溶解させることができる。
【００２４】
本発明に係るフィルム接着方法は、上記フィルム表面処理方法にて処理された難接着性樹脂フィルムと前記易接着性樹脂フィルムとを接着剤にて接着する接着工程を備えたことを特徴とする。
上記フィルム表面処理方法を経た難接着性樹脂フィルムは、接着性が確実に向上されており、易接着性樹脂フィルムと確実に接着させることができる。
【００２５】
前記接着剤としては、特に限定はなく、ポリビニルアルコール水溶液、ポリビニルブチラール溶液等を主成分とするポリビニルアルコール系の接着剤液、ブチルアクリレートなどを主成分とするビニル系重合系ラテックス、ポリオレフィン系ポリオール等を主成分とするオレフィン水性接着剤、ポリエーテル系接着剤等が挙げられるが、ポリビニルアルコール水溶液を主成分とするポリビニルアルコール系接着剤を用いるのがより好ましい。難接着性樹脂フィルムを偏光板等の光学フィルムとして用いる場合、接着剤は透明であることが好ましい。透明な接着剤としては、水系接着剤を用いることができる。
【００２６】
前記洗浄工程の後、前記接着工程を実行することにしてもよい。この場合、洗浄工程と接着工程の間に、洗浄液を除く脱液工程を介在させてもよい。
前記洗浄液が接着剤成分を含み、前記洗浄工程と併行して、該洗浄工程に用いた洗浄液の一部を挟んで前記難接着性樹脂フィルムと前記易接着性樹脂フィルムとを貼り合わせることにしてもよい。これによって、これら２つフィルムの間に挟まれた洗浄液中の接着剤成分によって２つのフィルムを接着できる。したがって、洗浄工程と接着工程を同時併行して行なうことができる。よって、工程数を削減でき、作業時間を短縮できる。
【００２７】
前記洗浄液が、１０質量％未満のポリビニルアルコールを前記接着剤成分として含むポリビニルアルコール水溶液であることが好ましい。
前記洗浄液が、５質量％未満のポリビニルアルコールを前記接着剤成分として含むポリビニルアルコール水溶液であることがより好ましい。
【００２８】
本発明に係る偏光板製造方法は、上記フィルム接着方法を用いた偏光板の製造方法であって、前記難接着性樹脂フィルムが、トリアセテートセルロースを主成分として含む保護フィルムであり、前記易接着性樹脂フィルムが、ポリビニルアルコールを主成分として含む偏光フィルムであることを特徴とする。
上記表面処理方法を採用することによって接着性を確保でき、ひいては偏光板の生産性を安定させることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、プラズマ処理工程におけるプロセスウィンドーを広くでき、処理条件の設定を容易に行なうことができる。処理量に拘らず安定した接着強度を得ることができ、処理品質を安定させることができ、さらには偏光板等の製品の生産性を安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
図６は、本発明の実施形態に係る表面処理方法を利用して作製された液晶ディスプレイ用の偏光板１０を示したものである。図６（ａ）に示すように、偏光板１０は、偏光フィルム１２と、この偏光フィルム１２の両面に積層された一対の保護フィルム１１とを有している。
【００３１】
保護フィルム１１は、トリアセテートセルロース（ＴＡＣ）を主成分とするＴＡＣフィルムにて構成されている。ＴＡＣフィルム１１のトリアセテートセルロースの含有量は９０質量％以上である。ＴＡＣフィルム１１には、更にリン酸トリフェニル（ＴＰＰ）、リン酸エステルなどの可塑剤を３〜１０質量％程度含有していてもよく、紫外線吸収剤を含有していてもよい。ＴＡＣフィルム１１の厚さには、特に限定がなく、例えば数十μｍ〜百数十μｍである。ＴＡＣフィルム１１の製造方法は特に限定がなく、例えばキャスト法で製造される。
【００３２】
偏光フィルム１２は、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を主成分とするＰＶＡフィルム１２にて構成されている。
【００３３】
ＴＡＣフィルム１１とＰＶＡフィルム１２は、接着剤１３により接着されている。接着剤１３としては、特に限定はないが、光学フィルム１０に適用されることを考慮し、透明な水系接着剤を用いることが好ましい。水系接着剤として、ポリビニルアルコール水溶液、ポリビニルブチラール溶液等を主成分とするポリビニルアルコール系の接着剤液、ブチルアクリレートなどを主成分とするビニル系重合系ラテックス、ポリオレフィン系ポリオール等を主成分とするオレフィン水性接着剤、ポリエーテル系接着剤等が挙げられる。接着剤１３としては、ポリビニルアルコール水溶液を主成分とするポリビニルアルコール系接着剤を用いるのがより好ましい。
【００３４】
図６（ｂ）に示す偏光板１０では、一方のＴＡＣフィルム１１の表側面（ＰＶＡフィルム１２との接着面とは反対側の面）に、機能層としてハードコート層１４が積層されている。ハードコート層１４に代えて、ＡＲ層、その他の機能層が積層されていてもよい。
【００３５】
ＴＡＣフィルム１１は、接着剤１３との接着性が低く、難接着性樹脂フィルムを構成する。ＰＶＡフィルム１２は、接着剤１３との接着性が高く、易接着性樹脂フィルムを構成する。難接着性のＴＡＣフィルム１１は、易接着性のＰＶＡフィルム１２との接着に際し、接着性向上のための表面処理が施される。
【００３６】
図１は、上記の表面処理に用いる表面処理装置１を示したものである。表面処理装置１は、プラズマ処理部２と、プロセスガス供給系３と、洗浄部５とを備えている。プラズマ処理部２は、一対の電極２１Ｒ，２２Ｒを含む。これら電極２１Ｒ，２２Ｒは、ロール状（円筒状）をなし、左右に対向している。
【００３７】
一方のロール電極２１Ｒが、電源２３の高圧端子に接続されている。他方のロール電極２２Ｒが、電気的に接地されている。電源２３からの電圧供給により電極２１Ｒ，２２Ｒ間に電界が形成され、ロール電極２１Ｒ，２２Ｒどうし間の最も狭くなった部分の周辺の空間２０ａがほぼ大気圧の放電空間になる。電源２３からの電圧及び電極２１Ｒ，２２Ｒ間の電界は例えばパルス状になっている。パルスの立ち上がり時間及び／又は立ち下がり時間は、１０μｓ以下であるのが好ましく、電界強度は、１０〜１０００ｋＶ／ｃｍであるのが好ましく、周波数は、０．５〜１００ｋＨｚであるのが好ましい。印加電圧及び電界は、パルス状の間欠波に限られず、正弦波等の連続波であってもよい。
【００３８】
ロール電極２１Ｒ，２２Ｒは、被処理物であるＴＡＣフィルム１１の支持手段及び搬送手段としての機能を兼ねている。連続シート状のＴＡＣフィルム１１が、２つのロール電極２１Ｒ，２２Ｒに跨り、各ロール電極２１Ｒ，２２Ｒの上側の周面に例えば半周程度掛け回されている。ロール電極２１Ｒ，２２Ｒどうしの間のＴＡＣフィルム１１は、放電空間２０ａに通されて下方へ延出され、一対の折り返しロール２７，２７に掛け回されて折り返されている。２つのロール電極２１Ｒ，２２Ｒの回転により、ＴＡＣフィルム１１が、一方向（右方向）に搬送される。
【００３９】
各ロール電極２１Ｒ，２２Ｒの内部にフィルム温度調節手段２８が組み込まれている。フィルム温度調節手段２８は、温調路により構成されている。所定温度の温調媒体が、ロール電極２１Ｒ，２２Ｒ内の温調路を流通する。温調媒体として例えば水が用いられる。これによって、ロール電極２１Ｒ，２２Ｒの温度を調節でき、更にはＴＡＣフィルム１１のロール電極２１Ｒ，２２Ｒに接する部分の温度を調節することができる。ＴＡＣフィルム１１の温度は、室温以上であることが好ましい。ここで、室温とは、一般に２０〜２５℃であり、より一般的には２５℃である。
【００４０】
次に、プロセスガス供給系３について説明する。
プロセスガス供給系３は、重合性モノマー供給源３０と、不活性ガス供給源３１を備えている。重合性モノマー供給源３０は、恒温容器（恒温槽）で構成されている。恒温容器３０内に、表面処理の反応成分として重合性モノマーが蓄えられている。重合性モノマーは、不飽和結合及び所定の官能基を有することが好ましく、親水性を有することがより好ましい。重合性モノマーとして、アクリル酸又はメタクリル酸を用いることが更に好ましい。ここでは、重合性モノマーとして、アクリル酸（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＨ）が用いられている。アクリル酸は、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を有する親水性の重合性モノマーである。アクリル酸は液体の状態で恒温容器３０内に収容されている。図１において、液体アクリル酸を符号「Ａｃ」で示す。恒温容器３０内の液体アクリル酸Ａｃの液面より上側の部分には、液体アクリル酸Ａｃから気化したアクリル酸の飽和蒸気が存在している。
【００４１】
恒温容器３０には気化手段として加熱器３２が組み込まれている。容器２０内の液体アクリル酸Ａｃが加熱器３２によって加熱されて気化される。液体アクリル酸Ａｃの加熱温度によってアクリル酸の気化量を調節することができる。アクリル酸Ａｃの加熱温度は、アクリル酸蒸気が爆発性であることを考慮し、１５０℃以下にすることが好ましく、アクリル酸の引火点（５４℃）未満にすることがより好ましく、室温（２５℃）〜８０℃程度が更に好ましく、引火点を考慮すると室温（２５℃）〜５０℃程度が一層好ましい。室温近傍でもアクリル酸の気化量が必要量を満たす場合には、加熱器３２を省略してもよい。
【００４２】
不活性ガス供給源３１には、不活性ガスが充填されている。不活性ガスは、重合性モノマー蒸気を搬送するキャリアガスとしての役割と、放電空間２０ａ内にプラズマを生成するためのプラズマ生成用ガスとしての役割を担っている。ここでは、不活性ガスとして、窒素ガスが用いられているが、窒素ガス以外に、アルゴン、ヘリウム等の他の不活性ガスを用いてもよい。
キャリアガスないしはプラズマ生成用ガスとして、空気等の酸素ガスを含むものは、重合性モノマーの反応性を阻害するため、望ましくない。
【００４３】
不活性ガス供給源３１から不活性ガス供給路３３が延びている。不活性ガス供給路３３が、プラズマ生成用ガス路３４とキャリア路３５に分岐している。これら路３４，３５には、流量調節手段３４ｖ，３５ｖがそれぞれ設けられている。流量調節手段３４ｖ，３５ｖは、マスフローコントローラや流量制御弁等にて構成されている。これら流量調節手段３４ｖ，３５ｖによって、不活性ガスの各路３４，３５への分流比が調節される。
【００４４】
キャリア路３５が、恒温容器３０に接続されている。キャリア路３５の先端部は、恒温容器３０の内部に差し入れられて開口され、かつアクリル酸Ａｃの液面より上側の部分に位置している。
キャリア路３５の先端部をアクリル酸Ａｃの液の内部まで延ばし、アクリル酸Ａｃ内で窒素ガスをバブリングさせてもよい。
【００４５】
恒温容器３０の上側部から重合性モノマー蒸気路３６が延びている。重合性モノマー蒸気路３６にプラズマ生成用ガス路３４が合流している。これら路３４，３６の合流部からプロセスガス路３７がプラズマ処理部２へ延びている。重合性モノマー蒸気路３６及びプロセスガス路３７にはガス温調手段３８が設けられている。ガス温調手段３８は、例えばリボンヒータにて構成され、重合性モノマー蒸気路３６及びプロセスガス路３７を構成する管の外周を全長にわたって覆っている。ガス温調手段３８によって、重合性モノマー蒸気路３６及びプロセスガス路３７を通過するガスの温度を調節できる。
【００４６】
プロセスガス路３７の先端部にプロセスガスノズル３９が設けられている。プロセスガスノズル３９は、一対のロール電極２１Ｒ，２２Ｒの間の上側部分に配置されている。プロセスガスノズル３９の先端の開口は、下へ向けられ、放電空間２０ａに臨んでいる。プロセスガスノズル３９の先端部は、下に向かうにしたがって細くなり、ロール電極２１Ｒ，２２Ｒの間の次第に狭くなる部分に差し入れられている。
【００４７】
詳細な図示は省略するが、プロセスガスノズル３９は、図１の紙面と直交する方向にＴＡＣフィルム１１の幅とほぼ同じかそれより長く延びている。プロセスガスノズル３９の内部には、プロセスガス供給路３７からのガスを該プロセスガスノズル３９の長手方向（図１の紙面直交方向）に均一に分散させる整流路が形成されている。この整流路にプロセスガスノズル３９の先端の吹出し口が連なっている。プロセスガスノズル３９の吹出し口は、図１の紙面と直交する方向に延びるスリット状になっている。プロセスガスノズル３９の吹出し口が、図１の紙面と直交する方向に間隔を置いて配置された多数の小孔状になっていてもよい。
【００４８】
さらに、プロセスガスノズル３９の内部には、温調路（図示省略）が形成されている。温調路に所定温度の温調媒体が通される。温調媒体として例えば水が用いられる。温調媒体によってプロセスガスノズル３９の構造体を所定温度に維持でき、ひいてはプロセスガスノズル３９内を通過するガスの温度を調節でき、ひいてはプロセスガスノズル３９から吹き出されるガスの温度を調節できる。
【００４９】
プラズマ処理部２より下流側（図１において右側）のＴＡＣフィルム１１の搬送路上に洗浄部５と、脱液部６が設けられている。洗浄部５は、洗浄液供給源５０と、洗浄液噴霧ノズル５２とを有している。供給源５０の洗浄液５９が、供給路５１を経て噴霧ノズル５２に供給される。噴霧ノズル５２は、洗浄液５９をＴＡＣフィルム１１に向けて噴霧する。
【００５０】
洗浄液５９としては、水分を例えば９０％以上含む水系洗浄液を用いるのが好ましく、純水やイオン交換水等の不純物やイオンを含まない実質１００％の水を用いることがより好ましい。ここでは、洗浄液５９としてイオン交換水が用いられている。ここで、イオン交換水は、水道水や工業用水をフィルタに通してきれいにした水である。
【００５１】
ＴＡＣフィルム１１の搬送方向に沿って洗浄部５の下流側に脱液部６が設けられている。脱液部６は、脱液用ガス供給源６０と、脱液ノズル６２とを有している。脱液用ガス供給源６０は、脱液用ガスとして例えば窒素ガスを加圧して蓄えている。供給源６０の圧縮窒素ガスが、供給路６１を経て脱液ノズル６２からＴＡＣフィルム１１に噴射される。脱液用ガスとして窒素ガスに代えて、空気等の他のガスを用いてもよい。脱液用ガスは、乾燥ガスであることが好ましい。不活性ガス供給源３１が、脱液用ガス供給源６０を兼ねていてもよい。
【００５２】
上記構成のフィルム表面処理装置１を用いて、ＴＡＣフィルム１１を表面処理し、更には偏光板１０を製造する方法を説明する。
［プロセスガス供給工程］
不活性ガス供給源３１の窒素ガスを、不活性ガス供給路３３からプラズマ生成用ガス路３４とキャリア路３５に分配する。分配比を流量調節手段３４ｖ，３５ｖにて調節する。プラズマ生成用ガス路３４に分流された窒素ガスが、恒温容器３０に導入され、恒温容器３０内の液体アクリル酸の液面より上側のアクリル酸蒸気を重合性モノマー蒸気路３６に押し出す。プロセスガス路３７において、重合性モノマー蒸気路３６からのガス（窒素＋アクリル酸蒸気）とプラズマ生成用ガス路３４からの窒素ガスとが混合され、プロセスガスが生成される。プロセスガス（アクリル酸＋窒素）中のアクリル酸の濃度は、２％以下であることが好ましく、１％程度がより好ましい。プロセスガスの濃度は、窒素ガスの２つの路３４，３５への分配比、加熱器３２によるアクリル酸の加熱温度によって調節できる。このプロセスガスが、プロセスガス路３７を経てプロセスガスノズル３９に送られる。プロセスガスが、プロセスガスノズル３９においてＴＡＣフィルム１１の幅方向（図１の紙面直交方向）に均一化されたうえで、放電空間２０ａへ吹き出される。
【００５３】
［プラズマ処理工程］
電源２３からの電圧供給によって、電極２１Ｒ，２２Ｒ間に大気圧放電を形成し、電極間空間２０ａを放電空間にする。これにより、プロセスガス中の窒素がプラズマ化され、かつアクリル酸蒸気が活性化され、アクリル酸とＴＡＣフィルム１１の表面分子とが反応して化学的に結合する。例えば、アクリル酸の活性化は、二重結合の開裂、重合等を含む。また、ＴＡＣフィルム１１への窒素プラズマの接触や、窒素プラズマからの紫外線（３３７ｎｍ）の照射によって、ＴＡＣフィルム１１の表面分子のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｈ等の結合が切断される。この結合切断部にアクリル酸の重合物が結合（グラフト重合）し、或いはアクリル酸から分解したＣＯＯＨ基等が結合すると考えられる。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面に接着性促進層が形成される。
【００５４】
一方、ＴＡＣフィルム１１へのプラズマ照射によって、ＴＡＣフィルム１１内の可塑剤がＴＡＣフィルム１１の表面に滲み出し、固形微粒子状のブリード物になる。また、ＴＡＣフィルム１１へのプラズマ照射によって、イオン性の塩が生成される。これらブリード物及び塩は、接着性阻害物になる。
【００５５】
［温調工程］
さらに、ガス温調手段３８によって重合性モノマー蒸気路３６及びプロセスガス路３７を通過中のガスの温度を所望になるよう調節する。かつプロセスガスノズル３９内の温調路によってプロセスガスノズル３９を通過中のプロセスガスの温度を所望になるよう調節する。これにより、プロセスガスが、プロセスガスノズル３９から吹き出される時の温度（以下「吹出し温度」と称す）を設定温度にすることができる。吹出し温度の上限は、ＴＡＣフィルム１１が膨潤等の熱変形を来たさない範囲で設定するのが好ましい。ＴＡＣフィルム１１が膨潤等の熱変形を来たさない限界温度は、処理条件等にも依るが、例えば８０℃前後である。吹出し温度の下限は、ガス路３６，３７及びノズル３９内での結露を防止する観点から室温以上であることが好ましい。吹出し温度は、３５℃〜８０℃程度であることが好ましく、４０℃〜５０℃程度がより好ましい。
【００５６】
併せて、フィルム温度調節手段２８によって、ＴＡＣフィルム１１のロール電極２１Ｒ，２２Ｒと接触する部分の温度（以下「フィルム温度」と称す）をプロセスガスの吹出し温度より低い所望の温度に維持する。好ましくは、フィルム温度が、吹出し温度より５℃以上低くなるようにする。より好ましくは、フィルム温度が、吹出し温度より１０℃以上低くなるようにする。この温度調節により、アクリル酸をＴＡＣフィルム１１の表面に確実に凝縮（担持）させることができ、ひいてはアクリル酸のグラフト重合物を含む接着性促進層をＴＡＣフィルム１１の表面に確実に形成することができる。
【００５７】
［搬送工程］
上記のプロセスガス供給工程及びプラズマ処理工程と併行して、ロール電極２１Ｒ，２２Ｒを図１において時計回りに継続的に回転させ、ＴＡＣフィルム１１を右方向に送る。ＴＡＣフィルム１１の各ポイント（被処理箇所）は、ロール電極２１Ｒに掛け回された後、ロール電極２１Ｒから離れる直前に放電空間２０ａを通過し、折り返しロール２７，２７で折り返した後、ロール電極２２Ｒに掛けられつつ再び放電空間２０ａを通過する。ＴＡＣフィルム１１の各ポイント（被処理箇所）は、放電空間２０ａを通過する度にプラズマ処理される。したがって、１つの放電空間２０ａでＴＡＣフィルム１１を２回表面処理できる。
【００５８】
［洗浄工程］
その後、ＴＡＣフィルム１１を洗浄部５へ送り、イオン交換水からなる洗浄液５９を噴霧ノズル５２からＴＡＣフィルム１１に噴霧する。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面の接着性阻害物質を洗い流すことができる。ＴＡＣフィルム１１中の可塑剤に由来するブリード物は、洗浄液５９の流動によってＴＡＣフィルム１１の表面から容易に除去できる。イオン性の塩はイオン交換水に容易に溶解し、これによってＴＡＣフィルム１１の表面から容易に除去できる。
【００５９】
［脱液（水切り）工程］  
その後、ＴＡＣフィルム１１を脱液部６へ送り、圧縮窒素ガスを脱液ノズル６２からＴＡＣフィルム１１に吹き付ける。この圧縮窒素ガスの勢いによって、接着性阻害物質を洗い流した後のＴＡＣフィルム１１に表面を水切り（脱液）できる。
【００６０】
［接着工程］
以上のようにして表面処理された難接着性樹脂のＴＡＣフィルム１１を接着剤１３によって易接着性樹脂のＰＶＡフィルム１２と接着する。これにより、偏光板１０を得ることができる。接着に先立ち、ＴＡＣフィルム１１に上記表面処理を施しておくことによって、ＴＡＣフィルム１１の接着性を高めることができ、ＴＡＣフィルム１１をＰＶＡフィルム１２にしっかりと接着できる。これにより、偏光板１０の生産性（良品率等）を安定させることができる。
【００６１】
次に、本発明の他の実施形態に係る表面処理装置について説明する。以下の実施形態において第１の実施形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
洗浄工程は、種々の方法及び装置により行うことができる。図２は、洗浄部５の変形例に係る実施形態を示したものである。
図２（ａ）に示す洗浄部５には、洗浄容器５３が設けられている。洗浄容器５３にイオン交換水等の洗浄液５９が蓄えられている。ＴＡＣフィルム１１が容器５３の洗浄液５９中に通される。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面の接着性阻害物質を除去できる。容器５３の洗浄液は、常時供給及び排出を行なってもよく、ある期間ごとに取り替えてもよい。
【００６２】
図２（ｂ）に示す洗浄部５には、スポンジロール５４と、転写ロール５５と、洗浄液供給ノズル５６が設けられている。供給ノズル５６が洗浄液供給源５０に接続されている。供給ノズル５６は、洗浄液供給源５０からの洗浄液５９をスポンジロール５４に滴下する。したがって、スポンジロール５４は、洗浄液を含んでいる。スポンジロール５４は、ＴＡＣフィルム１１に押し当てられ、ＴＡＣフィルム１１の移動に伴なって回転する。ＴＡＣフィルム１１とスポンジロール５４の接触部分において、ＴＡＣフィルム１１の表面の接着性阻害物質がスポンジロール５４中の洗浄液に移る。
【００６３】
スポンジロール５４に転写ロール５５が押し当てられ、スポンジロール５４の回転に伴なって転写ロール５５が回転する。上記接着性阻害物質が、スポンジロール５４から転写ロール５５に移り、除去される。
【００６４】
図３は、プラズマ処理部２の電極構造の変形例に係る第２実施形態を示したものである。同図のプラズマ処理部２の電極構造は、上下に対をなす平行平板電極２１，２２にて構成されている。上側の平板電極２１に電源２３が接続されている。下側の平板電極２２が電気的に接地されている。これら上下の電極２１，２２どうし間に放電空間２０ａが形成される。下側の接地電極２２上に枚葉状のＴＡＣフィルム１１が載置されている。接地電極２２は、被処理フィルムを支持するステージを兼ねている。
【００６５】
上側電極２１の一側部（図３において左）にプロセスガスノズル３９が配置されている。プロセスガスノズル３９は、プロセスガス（アクリル酸蒸気＋窒素）を放電空間２０ａに導入する。このプロセスガスが、放電空間２０ａでプラズマ化されてＴＡＣフィルム１１に接触する。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面がプラズマ処理される。
【００６６】
上側電極２１のプロセスガスノズル３９側とは反対側（図３において右）に吸引ノズル４２が設けられている。吸引ノズル４２は、吸引路４１を介して排気手段４０に連なっている。排気手段４０は、排気ポンプや除害機構を含む。放電空間２０ａを通過した処理済みガスが、吸引ノズル４２に吸い込まれ、排気手段４０から排出される。
【００６７】
なお、第２実施形態のプロセスガス供給系３にはガス路３４，３５，３６（図１）が無い。不活性ガス供給路３３が分岐せずにそのまま恒温容器３０に接続されている。プロセスガス路３７の上流端が恒温容器３０に直接連なっている。
【００６８】
下側の電極２２には移動機構２６が接続されている。移動機構２６によって、電極２２ひいてはＴＡＣフィルム１１が上側の電極２１に対し左右に相対移動される。これにより、ＴＡＣフィルム１１の全体を処理できる。移動機構２６を上側電極２１に接続し、上側電極２１をＴＡＣフィルム１１に対し移動させることにしてもよい。
【００６９】
図３の形態では、枚葉状のＴＡＣフィルム１１をプラズマ処理部２にてプラズマ処理した後、電極２２から取り出し、別途設けた洗浄部にて洗浄する。枚葉状のＴＡＣフィルム１１の洗浄は、洗浄液噴霧ノズル５２（図１）にて行なってもよく、洗浄液容器５３（図２（ａ））にて行なってもよく、スポンジロール５４（図２（ｂ））にて行なってもよい。
【００７０】
図４は、プロセスガス供給系３の変形例に係る実施形態を示したものである。この実施形態では、プラズマ生成用ガス（窒素）の供給ラインと重合性モノマー蒸気含有ガス（アクリル酸蒸気＋窒素）の供給ラインとが分かれている。
【００７１】
不活性ガス供給路３３から分岐したプラズマ生成用ガス路３４が、重合性モノマー蒸気路３６と合流することなく、プラズマ処理部２へ延びている。プラズマ生成用ガス路３４の先端部にプラズマ生成用ガスノズル３９Ｘが連なっている。ノズル３９Ｘの先端部が、放電空間２０ａに臨んでいる。ノズル３９Ｘの形状、構造、配置は、第１実施形態（図１）のプロセスガスノズル３９と略同じである。但し、プラズマ生成用ガスノズル３９Ｘには、内部に温調路が設けられていない。また、プラズマ生成用ガス路３４には、ガス温調手段３８が設けられていない。
【００７２】
恒温容器３０から重合性モノマー蒸気路３６が引き出されている。重合性モノマー蒸気路３６は、プラズマ生成用ガス路３４と合流することなく、プラズマ処理部２へ延びている。重合性モノマー蒸気路３６の先端部に重合性モノマー含有ガスノズル３９Ｙが連なっている。ノズル３９Ｙは、ＴＡＣフィルム１１の搬送方向に沿ってプラズマ生成用ガスノズル３９Ｘより少し上流側に離れ、ロール電極２１Ｒの放電空間２０ａより少し上側の周面と対向するように配置されている。
【００７３】
放電空間２０ａを含むロール電極２１Ｒ，２２Ｒの互いに対向する部分が、チャンバー８にて囲まれている。プラズマ生成用ガスノズル３９Ｘ及び重合性モノマー含有ガスノズル３９Ｙの少なくとも先端部が、チャンバー８内に収容されている。置換ガス供給源８０が、置換ガス供給路８１を介してチャンバー８に接続されている。置換ガス供給源８０は、不活性ガスとして窒素を蓄えている。さらに、チャンバー８は、置換用吸引路８３を介して置換用排気手段８２に接続されている。吸引路８３の基端部は、プラズマ生成用ガスノズル３９Ｘと重合性モノマー含有ガスノズル３９Ｙの間に配置されている。
【００７４】
この実施形態では、窒素にてキャリアされたアクリル酸蒸気が、重合性モノマー蒸気路３６を経て、重合性モノマー含有ガスノズル３９Ｙから噴き出される。このアクリル酸蒸気が、ＴＡＣフィルム１１に接触して担持（凝縮）され、ＴＡＣフィルム１１の表面にアクリル酸凝縮層が形成される。続いて、ＴＡＣフィルム１１のアクリル酸凝縮部分が放電空間２０ａに送られる。放電空間２０ａでは、プラズマ生成用ガス路３４を経た窒素がプラズマ生成用ガスノズル３９Ｘから吹き出されてプラズマ化される。このプラズマ化された窒素が、ＴＡＣフィルム１１に接触し、ＴＡＣフィルム１１に担持されたアクリル酸を活性化させる。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面にアクリル酸のグラフト重合物等からなる接着促進層を形成できる。
【００７５】
また、置換ガス供給源８０の窒素が、供給路８１を経てチャンバー８に導入される。かつ、チャンバー８内のガスが、吸引路８３を経て置換用排気手段８２から排出される。これにより、チャンバー８内の雰囲気ガスを、常時窒素に置換できる。特に、重合性モノマー含有ガスノズル３９Ｙの先端部から放電空間２０ａまでの間のＴＡＣフィルム１１の周辺の空間の雰囲気ガスを、常時、窒素に置換できる。これによって、ＴＡＣフィルム１１に担持されたアクリル酸が空気中の酸素や水分等と接触するのを防止でき、凝縮アクリル酸が変質するのを防止できる。また、放電空間２０ａにアクリル酸蒸気や空気等の不純物が入るのを防止でき、安定で良好なプラズマを確実に生成できる。これにより、ＴＡＣフィルム１１の表面に接着促進層を確実に形成できる。さらに、凝縮しなかったアクリル酸蒸気をＴＡＣフィルム１１の周辺空間から確実に除去でき、置換用排気手段８２から排出できる。したがって、アクリル酸蒸気が装置１の周囲に拡散するのを防止でき、周辺部材が腐蝕するのを防止できる。
【００７６】
図５は、プラズマ処理工程後の洗浄工程及び接着工程の実施方法の変形例を示したものである。
ＰＶＡフィルム１２が、鉛直に垂れ、一対の押し当てロール７２，７２の間に通されている。ＰＶＡフィルム１２は、下方に搬送される。
【００７７】
プラズマ処理工程を終えた２つのＴＡＣフィルム１１，１１が、ＰＶＡフィルム１２の左右の両側からそれぞれＰＶＡフィルム１２に接近するように斜め下に延び、押し当てロール７２とＰＶＡフィルム１２との間に通されている。これらＴＡＣフィルム１１のプラズマ処理された被処理面は、ＰＶＡフィルム１２の側に向けられている。一対の押し当てロール７２，７２が、３つのフィルム１１，１２，１１を挟み付けている。
【００７８】
洗浄液供給源５０Ａの洗浄液５９Ａには、接着剤成分が含有されている。ここでは、接着剤成分として、例えばポリビニルアルコールが用いられている。洗浄液５９Ａとして、ポリビニルアルコール水溶液が用いられている。洗浄液のポリビニルアルコール濃度は、好ましくは１０質量％未満であり、より好ましくは５質量％未満である。洗浄液５９Ａの接着剤成分（ポリビニルアルコール）を除いた残部は水である。したがって、洗浄液５９Ａの粘度は十分に小さい。
【００７９】
洗浄液供給源５０Ａから洗浄液供給路５１が延びている。洗浄液供給路５１は、２つに分岐し、左右の各ＴＡＣフィルム１１とＰＶＡフィルム１２との間の三角になった空間にそれぞれ差し入れられている。供給路５１の各分岐路の先端部に洗浄液ノズル５２Ａが設けられている。洗浄液ノズル５２Ａの先端の開口は、下方のＴＡＣフィルム１１に向けられている。
【００８０】
ポリビニルアルコール水溶液からなる洗浄液５９Ａが、各洗浄液ノズル５２Ａから下方に吐出され、ＴＡＣフィルム１１に注がれる。これによって、ＴＡＣフィルム１１の接着性阻害物質を洗い流して除去することができる。その後、洗浄液５９Ａは、各ＴＡＣフィルム１１とＰＶＡフィルム１２との間の三角形の空間の図５において紙面手前側の開口と紙面奥側の開口からこぼれ、排出される。
【００８１】
一部の洗浄液５９Ａは、ＴＡＣフィルム１１及びＰＶＡフィルム１２の間に残留する。この残留洗浄液５９Ａを挟んでＴＡＣフィルム１１とＰＶＡフィルム１２とが一対の押し当てロール７２，７２によって互いに押し当てられる。したがって、残留洗浄液中の接着剤成分によって、ＴＡＣフィルム１１とＰＶＡフィルム１２を接着することができる。ＰＶＡフィルム１２の両面にＴＡＣフィルム１１を接着することができる。ＴＡＣフィルム１１から接着性阻害物質が除去されているため十分な接着強度を得ることができる。
この実施形態によれば、洗浄と接着を同一工程で行なうことができるため、工程数を削減でき、処理時間を短縮することができる。
【００８２】
本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の改変をなすことができる。
例えば、表面処理工程に供される難接着性樹脂フィルムとしては、ＴＡＣフィルムに限らず、ＣＯＰ、ＰＰ、ＰＥ、ＰＥＴ等の種々の樹脂からなるフィルムを用いることができる。
【００８３】
プラズマ処理工程に用いる重合性モノマーとして、アクリル酸に代えて、メタクリル酸等の他の親水性の重合性モノマーを用いてもよい。
【００８４】
重合性モノマー蒸気含有ガスの吹出しノズルと、プラズマ生成用ガスの吹出しノズルとが別々にし、かつ重合性モノマー蒸気含有ガスの吹出しノズルを、プラズマ生成用ガスの吹出しノズルよりもフィルム搬送方向の下流側に配置し、難接着性樹脂フィルム１１にプラズマ照射した後に重合性モノマー蒸気含有ガスを吹き付けることにしてもよい。
【００８５】
プラズマ処理部の電極構造は、実施形態のものに限られず、種々の構造を採用できる。例えば、平板電極とロール電極を組み合わせ構造でもよく、凹曲面を有する電極とロール電極を組み合わせた構造でもよい。
実施形態のプラズマ処理部は、被処理フィルム１１を電極間の放電空間２０ａ内に入れてプラズマを直接照射する所謂ダイレクト式のプラズマ処理装置であったが、本発明は、被処理フィルム１１を放電空間２０ａの内部には入れず、放電空間２０ａで生成したプラズマガスを放電空間２０ａの外部の被処理フィルム１１に吹き付ける所謂リモート式のプラズマ処理装置にも適用できる。
実施形態のプラズマ処理部は、大気圧近傍下でプラズマ処理を行なう大気圧プラズマ処理装置であったが、本発明は、真空下でプラズマ処理を行なう真空プラズマ処理装置にも適用できる。
【００８６】
洗浄工程は、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）に示した態様に限られず、他の洗浄方法にて行なってもよい。
【００８７】
洗浄後の脱液工程として、難接着性樹脂フィルムをヒータで加熱し乾燥させることにしてもよい。ヒータとして、輻射ヒータ、電熱ヒータ、温風ヒータ等を用いることができる。
脱液工程として、スポンジや不織布などの吸水性部材を例えばロール状にして難接着性樹脂フィルムに接触させ、洗浄液を吸水性部材に吸い取らせるようにしてもよい。
脱液工程として、洗浄後の難接着性樹脂フィルムを静置して自然乾燥させてもよい。
洗浄後の脱液工程を省略してもよい。
【００８８】
複数の実施形態（変形例）を互いに組み合わせてもよい。例えば、第１実施形態（図１）のプロセスガス供給系３を、第２実施形態（図３）と同様にガス路３４，３５，３６を省き、不活性ガス供給路３３の下流端を恒温容器３０に直接接続し、プロセスガス路３７の上流端を恒温容器３０に直接連ねた構造にしてもよい。第２実施形態（図３）のプロセスガス供給系３を、第１実施形態（図１）と同様にガス路３４，３５，３６を有する構造にしてもよい。第２実施形態（図３）のプロセスガス供給系３を、第３実施形態（図４）と同様に、プラズマ生成用ガス路３４と重合性モノマー蒸気路３６が合流せず、プラズマ生成用ガスノズル３９Ｘと重合性モノマー含有ガスノズル３０Ｙが別々に設けられた構造にしてもよい。上側電極２１の左右両側にプラズマ生成用ガスノズル３９Ｘを一対配置し、これらプラズマ生成用ガスノズル３９Ｘの更に左右の外側に重合性モノマー含有ガスノズル３９Ｙを配置し、フィルム１１が右へ相対移動方向するときは、左側のノズル３９Ｘ，３９Ｙからそれぞれガスを吹出し、フィルム１１が左へ相対移動方向するときは、右側のノズル３９Ｘ，３９Ｙからそれぞれガスを吹出すことにしてもよい。
【００８９】
難接着性樹脂フィルム１１の表面処理方法及び表面処理装置は、偏光板の製造以外の用途に適用してもよい。
【実施例１】
【００９０】
以下に実施例を説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
図１に示すロール電極構造のプラズマ処理部２及びプロセスガス供給系３を用いて、プラズマ処理工程を実行した。処理対象の難接着性樹脂フィルム１１として、株式会社フジ写真フィルム製のＴＡＣフィルム（フジタック；登録商標）を用いた。このＴＡＣフィルムには可塑剤としてリン酸トリフェニルが１０％前後添加されていると考えられる。その他の処理条件は以下の通り。
ＴＡＣフィルムの搬送速度：８ｍ／ｍｉｎ
供給電力：１４４９Ｗ（２１０Ｖ、６．５Ａの直流を交流変換）
ロール電極２１Ｒ，２２Ｒ間の最も狭くなった部分のギャップ：１ｍｍ
ロール電極２１Ｒ，２２Ｒ間の電圧：Ｖｐｐ＝１３．２ｋＶ
不活性ガス（プラズマ生成用ガス及びキャリアガス）：窒素ガス
重合性モノマー：アクリル酸
恒温槽３０内の液体アクリル酸の温度：４０℃
配管３６，３７の設定温度：４５℃
プロセスガスの吹出し温度：４０℃
ＴＡＣフィルム温度：２５℃
プロセスガス流量：５０Ｌ／ｍｉｎ
プラズマ生成用ガス路３４とキャリア路３５の分配流量：以下の３通り
（ａ）プラズマ生成用ガス路３４：  ４０Ｌ／ｍｉｎ
キャリア路３５：            １０Ｌ／ｍｉｎ
（ｂ）プラズマ生成用ガス路３４：  ３０Ｌ／ｍｉｎ
キャリア路３５：            ２０Ｌ／ｍｉｎ
（ｃ）プラズマ生成用ガス路３４：  ２０Ｌ／ｍｉｎ
キャリア路３５：            ３０Ｌ／ｍｉｎ
プラズマ生成用ガス路３４に対するキャリア路３５への分配流量が大きくなるにしたがって、プロセスガス中のアクリル酸濃度が高くなる。したがって、処理度は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に増大する。
【００９１】
上記のようにしてプラズマ処理したＴＡＣフィルムを水槽内のイオン交換水中に漬けて少し動かし、洗浄工程を行った。洗浄後、ＴＡＣフィルムを水槽から取り出した。
【００９２】
上記のＴＡＣフィルムを幅２５ｍｍの帯状に切り取り、複数枚のＴＡＣフィルム試料片を得た。ＴＡＣフィルム試料片は、ＴＡＣフィルムの幅方向の一端側と他端側からそれぞれ採取した。そして、ＰＶＡフィルムの試料片の両面にＴＡＣフィルム試料片を接着し、図６（ａ）に示す偏光板１０と同じ断面構造の偏光板試料を作製した。接着剤として、以下の成分を含むポリビニルアルコール系水性接着剤を用いた。
株式会社クラレ製クラレポバールＰＶＡ２１７を水に溶解した２０％水溶液：  ９５．０ｗｔ％以上
メタノール：  ５．０ｗｔ％未満
酢酸メチル：  １．０ｗｔ％未満
【００９３】
上記の接着剤を８０℃５分間乾燥工程を経て硬化させた後、偏光板試料片の接着強度（材破強度）を浮動ローラ法（ＪＩＳ  Ｋ６８５４）により測定した。
【００９４】
比較例１として、洗浄工程を省いた点を除き、実施例１と同じ方法で偏光板試料を作成し、その接着強度を実施例１と同一の方法により測定した。
【００９５】
結果を表１に示す。
【表１】
2010150373.tif 000003
表１において、処理条件（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、上記キャリア路３５とプラズマ生成用ガス路３４の分配流量を示し、処理度に対応する。上述したように、処理度は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に高くなる。各処理条件（ａ）〜（ｃ）において接着強度データが２つあるのは、ＴＡＣフィルムの幅方向の一端側から採取した試料片と幅方向の他端側から採取した試料片についてそれぞれ接着強度を測定したことによる。
【００９６】
表１から明らかなように、プラズマ処理後に洗浄しない場合（比較例１）、処理度が大きくなると、接着強度が顕著に低下した。これは、処理度が大きくなるにしたがって、接着阻害物質の生成量が多くなるためと推察される。これに対し、プラズマ処理後に洗浄した場合（実施例１）、処理度が大きくなっても、ほぼ同程度の接着強度を維持できた。洗浄により接着阻害物質を除去できたためと推察される。よって、プラズマ処理工程における処理条件をシビアに設定しなくても、その後、洗浄工程を実行することにより良好な接着強度を得ることができ、生産性を安定させることができることが確認された。
【００９７】
なお、ＴＡＣフィルム１１のプラズマ処理前の初期接触角（対水）は、６０°であった。プラズマ処理後のＴＡＣフィルム１１の接触角は、実施例１及び比較例１の何れの処理条件（ａ）〜（ｃ）でも１０°になり、親水性が高まった。実施例１において、洗浄工程後のＴＡＣフィルム１１の接触角は、何れの処理条件（ａ）〜（ｃ）でも６０°になり、親水性が低下した。このことは、親水性と接着性が強い相関関係にないことを示している。
【実施例２】
【００９８】
図３に示す平行平板電極構造のプラズマ処理部２及びプロセスガス供給系３を用いて、実施例１と同種のＴＡＣフィルムに対しプラズマ処理工程を実行した。処理条件は以下の通り。
供給電力：４２９Ｗ（１１０Ｖ、３．９Ａの直流を交流変換）
平板電極２１，２２間のギャップ：１ｍｍ
平板電極２１，２２間の電圧：Ｖｐｐ＝１２ｋＶ
不活性ガス（プラズマ生成用ガス及びキャリアガス）：窒素ガス
重合性モノマー：アクリル酸
プロセスガス流量：１０Ｌ／ｍｉｎ
恒温槽３０内の液体アクリル酸の温度：５０℃
配管３６，３７の温度：５０℃
プロセスガスの吹出し温度：３７℃
ＴＡＣフィルムの温度：２５℃
ステージ２２のスキャン回数：２回
ステージ２２の搬送速度：以下の３通り
（ｄ）  １０ｍ／ｍｉｎ
（ｅ）    ５ｍ／ｍｉｎ
（ｆ）    １ｍ／ｍｉｎ
ステージ２２の搬送速度が遅くなるほど、ＴＡＣフィルムがプラズマに晒される時間が増える。したがって、処理度は、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）の順に大きくなる。なお、１スキャンは、ステージ２２を左から右、または右から左に１回だけ移動させることをいう。したがって、スキャン回数２回とは、ステージ２２を一往復させることをいう。
【００９９】
上記のようにしてプラズマ処理したＴＡＣフィルムを水槽内のイオン交換水中に漬けて少し動かし、洗浄工程を行った。洗浄後、ＴＡＣフィルムを水槽から取り出した。
【０１００】
上記のＴＡＣフィルムを幅２５ｍｍの帯状に切り取り、複数枚のＴＡＣフィルム試料片を得た。そして、実施例１と同一の接着剤を用い、ＰＶＡフィルムの試料片の両面にＴＡＣフィルム試料片を接着し、図６（ａ）に示す偏光板１０と同じ断面構造の偏光板試料を作製した。偏光板試料は、３つの条件（ｄ）〜（ｆ）ごとに５つずつ作成した。そして、偏光板試料の接着強度（材破強度）を浮動ローラ法（ＪＩＳ  Ｋ６８５４）により測定した。
【０１０１】
比較例２として、洗浄工程を省いた点を除き、実施例２と同じ方法で偏光板試料を作成し、その接着強度を実施例２と同一の方法により測定した。
【０１０２】
結果を表２に示す。なお、同表の各測定値は、５つの偏光板試料の測定結果の平均をとったものである。
【表２】
2010150373.tif 000004
【０１０３】
表２から明らかなように、比較例２の洗浄無しの場合、処理度が大きくなると、接着強度が顕著に低下した。処理度が大きくなるにしたがって、接着阻害物質の生成量が多くなるためと推察される。これに対し、実施例２の洗浄工程有りの場合、処理度が大きくなっても、接着強度が低下することはなく、むしろ接着強度が高まった。これは、処理度の増大に伴なって接着促進層が確実に形成され、かつ洗浄により接着阻害物質を除去できたためと推察される。よって、プラズマ処理工程における処理条件をシビアに設定しなくても、その後、洗浄工程を実行することにより良好な接着強度を得ることができ、生産性を安定させることができることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図２（ａ）】洗浄部の変形例を示す正面図である。
【図２（ｂ）】洗浄部の他の変形例を示す正面図である。
【図３】プラズマ処理部及びプロセスガス供給系の変形例に係る第２実施形態の表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図４】プラズマ処理部及びプロセスガス供給系の変形例に係る第３実施形態の表面処理装置を概略的に示す正面図である。
【図５】洗浄工程と接着工程を併行して行う実施形態を示す解説正面図である。
【図６】（ａ）は、偏光板の断面図であり、（ｂ）は、ハードコード層付きの偏光板の断面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１      プラズマ表面処理装置
１０    偏光板
１１    ＴＡＣフィルム（難接着性樹脂フィルム）
１２    ＰＶＡフィルム（易接着性樹脂フィルム）
１３    接着剤
１４    ハードコート層
２      プラズマ処理部
２０ａ  放電空間
２１，２２    平板電極
２１Ｒ，２２Ｒ  ロール電極
２６    移動機構
２７    折り返しロール
２８    フィルム温度調節手段
３      プロセスガス供給系
３０    恒温容器（重合性モノマー供給源）
３１    不活性ガス供給源
３２    加熱器
３３    不活性ガス供給路
３４    プラズマ生成用ガス路
３４ｖ  流量調節手段
３５    キャリア路
３５ｖ  流量調節手段
３６    重合性モノマー蒸気路
３７    プロセスガス路
３８    ガス温調手段
３９    プロセスガスノズル
３９Ｘ  プラズマ生成用ガスノズル
３９Ｙ  重合性モノマー含有ガスノズル
４０    排気手段
４１    吸引路
４２    吸引ノズル
５      洗浄部
５０    洗浄液供給源
５１    洗浄液供給路
５２    洗浄液噴霧ノズル
５２Ａ  接着剤成分含有洗浄液ノズル
５３    洗浄液容器
５４    スポンジロール
５５    転写ロール
５６    洗浄液供給ノズル
５９    イオン交換水（洗浄液）
５９Ａ  ポリビニルアルコール水溶液（接着剤成分含有洗浄液）
６      脱液部
６０    脱液用ガス供給源
６１    脱液用ガス供給路
６２    脱液ノズル
７２    押し当てロール
８    チャンバー
８０    置換ガス供給源
８１    置換ガス供給路
８２    置換用排気手段
８３    置換用吸引路
【図１】
2010150373.tif 000005
【図２（ａ）】
2010150373.tif 000006
【図２（ｂ）】
2010150373.tif 000007
【図３】
2010150373.tif 000008
【図４】
2010150373.tif 000009
【図５】
2010150373.tif 000010
【図６】
2010150373.tif 000011