(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドの性能の低下を抑制し、そのインクジェットヘッドを用いてパターンを良好に形成できるパターン形成方法を提供する。【解決手段】パターン形成方法は、インクジェットヘッドの内部流路を形成する部材の表面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、部材の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、内部流路にインクを供給して、内部流路に通じる射出口よりインクを基板に射出して、基板にパターンを形成するパターン形成工程とを含む。【選択図】図３
2010204299.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドの内部流路を形成する部材の表面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記部材の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記内部流路にインクを供給して、前記内部流路に通じる射出口より前記インクを基板に射出して、前記基板にパターンを形成するパターン形成工程と、
を含むパターンの形成方法。
【請求項２】
前記保護膜の表面は、前記内部流路に面する請求項１記載のパターンの形成方法。
【請求項３】
前記部材は、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板を含む請求項１又は２記載のパターンの形成方法。
【請求項４】
前記振動板は、金属板と、前記金属板上に形成された高分子フィルムとを有し、
前記保護膜は、前記高分子フィルム上に形成される請求項３記載のパターンの形成方法。
【請求項５】
前記保護膜の厚みをｔ１、前記振動板の厚みをｔ２としたとき、
０．０２５×ｔ２  ≦  ｔ１  ≦  ０．３７５×ｔ２
の条件を満足する請求項３又は４記載のパターンの形成方法。
【請求項６】
インクジェットヘッドの製造方法であって、
複数の部材を組み立てて、前記インクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッド形成工程と、
前記インクジェットヘッド形成工程で形成された前記インクジェットヘッドの内部流路にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記内部流路に面するインクジェットヘッドの内面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
を含むインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記保護膜形成工程は、
前記内部流路に前記パーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記内部流路に通じる射出口より前記パーヒドロポリシラザン溶液を射出する第１工程と、
前記第１工程の後、前記内部流路に水分をほぼ含まないガスを供給する第２工程と、
前記第２工程の後、前記内部流路に水分を含むガスを供給する第３工程と、
を有する請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記内面は、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板の表面を含む請求項６又は７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
インクジェットヘッドの製造方法であって、
部材の表面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記部材の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記保護膜形成工程で形成された前記保護膜を有する前記部材を少なくとも一つ含む複数の部材を組み立てて、前記インクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッド形成工程と、
を含むインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記保護膜形成工程は、
前記部材の表面に前記パーヒドロポリシラザン溶液を供給する第１工程と、
前記第１工程の後、前記部材の表面に水分をほぼ含まないガスを供給する第２工程と、
前記第２工程の後、前記部材の表面に水分を含むガスを供給する第３工程と、
を有する請求項９記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記部材は、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板を含む請求項９又は１０記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
インクが供給される内部流路と、
前記内部流路に通じ、前記内部流路のインクを射出可能な射出口と、
駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板と、を備え、
前記内部流路に面する内面の少なくとも一部が、パーヒドロポリシラザン溶液より形成された保護膜であるインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記保護膜は、前記振動板に形成されている請求項１２記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
前記保護膜の厚みをｔ１、前記振動板の厚みをｔ２としたとき、
０．０２５×ｔ２  ≦  ｔ１  ≦  ０．３７５×ｔ２
の条件を満足する請求項１３記載のインクジェットヘッド。
【請求項１５】
金属板と、
前記金属板上に形成された高分子フィルムと、
前記高分子フィルム上に形成された保護膜とを有し、
前記保護膜は、パーヒドロポリシラザン溶液より形成されているインクジェットヘッド用振動板。
【請求項１６】
前記保護膜の厚みをｔ１としたとき、
０．１μｍ  ≦  ｔ１  ≦  １．５μｍ
の条件を満足する請求項１５記載のインクジェットヘッド用振動板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンの形成方法、インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッド、及びインクジェットヘッド用振動板に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体射出方式の代表例であるインクジェット方式は、民生用プリンタ等に広く利用されており、近年、環境への負荷を低減や、製造コストの抑制を目的としてインクジェット方式の工業応用が検討されている。これは、シリコンやガラス等の工業用基板に対してインクジェット方式により液体を精度よく射出(吐出)し、溶剤を除去することにより、溶質による被膜を形成しようとするものである。具体的にはガラス基板上に形成されたブラックマトリクスのバンク内にＲＧＢの着色インクを射出することで、カラーフィルタの被膜を直接形成する試みがすでになされている。また、ポリイミドインクをインクジェット方式により均一に塗布し、液晶用の配向膜を形成することも行われている。
【０００３】
なお、使用される溶質および溶剤の種類は、工業上の用途に応じて多岐にわたる。例えば、形成すべき被膜の原料となる溶質には、電極材料であるポリシリコン、配線材料である金属化合物、絶縁材料である二酸化ケイ素、フォトレジスト材料である有機物など、多種類の物質が考えられる。また、溶質の溶解性や基材への濡れ広がりなどを確保するために多様な溶剤が複数種類用いられることが普通である。
【０００４】
一般に、インクに用いられる溶剤は粘度が低く溶質を均一に分散しており、基材の表面では均一に濡れ広がって行き渡らせるためにことが求められる。一方で、物質を溶かす性質が高く、長期にわたる接触により液体射出装置（インクジェットヘッド）内に使用される部材を膨潤または溶解することで様々な不具合を発生させる原因となる。たとえば溶解による弊害として、部材成分の一部が溶解して流れることで厚みが薄くなり、形状として部材の機械的な特性が変わることや、特定の成分が抜けることにより柔軟性を失うこと、また逆に強度をなくして柔らかくなりすぎたりすることが特にフィルム形状の部材に現れやすい。また、高分子中にインクの成分が浸透することで部材が膨潤する場合は、部材の厚みや容積、柔軟性、密着性が変化することで影響が生じる。特に部材が溶け出した場合には液体射出装置の寿命が縮むだけでなく、液中に溶け出した物質を含んだ被膜が形成される結果、不純物により所望の膜質を得られないという問題も発生する。
【０００５】
具体的には、前述したポリイミドインクに一般的に用いられる溶剤は非常に極性が高く、インクジェットヘッド内に使用されるゴム部材や接着剤などの樹脂成分を腐食する性質をもつ。このような腐食性の液体がインクの中に高い比率で含まれる場合、振動板に代表されるインクジェットヘッドのインクを射出する部分を構成する部材を膨潤して機械的な物性を変化させるとともに、部材間の接着剤を溶解することで流路の機密性を低下させることで、装置としての信頼性を著しく低下させる。そこで、液体射出装置であるインクジェットヘッドの材料を、耐溶剤性および耐腐食性等の耐液性を有するものに変更することにより、工業応用に対応することが考えられた。ところがインクジェットヘッドは、液体を微少な体積で精密に射出するために機能性有機材料で処理された基板やステンレス製のノズルプレート、ガスなどの混入を防ぐシール性の高い接続用の部材、各部材の接着剤など多種類の部材で構成されており、各々について、各液体に対する耐液性材料を選定するのは、非常に困難であるという問題がある。また耐液性材料を選定しても従来の製造方法を大幅に変更する必要があり、さらに製造方法を変更しても製造技術上の問題点が多く残る。
【０００６】
そのため、下記特許文献に開示されているように、インクジェットヘッドの内面に、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜（耐液膜）を形成する技術が案出されている。しかしながら、保護膜を形成することにより液体射出部分に使用されている部材の機械的な特性が大きく変わる材料は保護膜としては不適切であったり、それ自体は保護膜としての性質があっても均一に欠陥なく保護膜を形成することが難しい材料は結果として溶剤の浸透を防ぐことができず、液体射出装置としての寿命を延命することができない場合も多く、技術上の課題は多い。特に極性の高い溶剤は樹脂成分一般を容易に溶解するため、簡便に形成できる一般的な有機物の膜では数ヶ月に及ぶ溶剤の接触に対して有効な保護膜にならないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−０２５５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
インクジェットヘッドの内面に保護膜を形成することは有効である。そのため、より耐溶剤性、耐腐食性を有する保護膜を形成して、インクジェットヘッドの性能の低下を抑制できる技術の案出が望まれる。
【０００９】
本発明は、耐液性と親液性にすぐれた耐液処理方法を用いて、インクジェットヘッドの性能の低下を長期間抑制し、そのインクジェットヘッドを用いてパターンを良好に形成できるパターン形成方法を提供することを目的とする。また本発明は、耐液性又は親液性に優れたインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。また本発明は、また本発明は、性能の低下が抑制されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。また本発明は、性能の低下が抑制されたインクジェットヘッド用振動板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
【００１１】
本発明の第１の態様に従えば、インクジェットヘッドの内部流路を形成する部材の表面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記部材の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記内部流路にインクを供給して、前記内部流路に通じる射出口より前記インクを基板に射出して、前記基板にパターンを形成するパターン形成工程と、を含むパターンの形成方法が提供される。
【００１２】
本発明の第１の態様によれば、インクジェットヘッドの内部流路を形成する部材の表面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給することによって、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜を形成することができる。したがって、その保護膜が形成されたインクジェットヘッドの内部流路にインクを供給した場合でも、インクジェットヘッドの性能の低下を抑制できる。また、高密度なシリカで構成された保護膜はインクに対して親和性が高いため、流路内におけるインクの置換などが非常にスムーズに行われるため使用時の安定が高く、インクを排出してクリーニングするなどのメンテナンスも容易である。したがって、そのインクジェットヘッドを用いて基板にパターンを良好に形成することができる。
【００１３】
本発明の第１の態様において、前記保護膜の表面が、前記内部流路に面するようにすることが好ましい。内部流路のインクと接触する部材の表面が保護膜によって形成されることで、インクジェットヘッドの性能を長期間維持することができる。
【００１４】
本発明の第１の態様において、前記部材が、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板である場合、その振動板の表面に保護膜を形成することによって、インクと接触する振動板の表面の劣化を抑制することができる。したがって、インクジェットヘッドの性能を長期間維持することができ、インクを長期間良好に射出することができる。
【００１５】
本発明の第１の態様において、前記振動板が、金属板と、前記金属板上に形成された高分子フィルムとを有する場合、前記保護膜が、前記高分子フィルム上に形成されることによって、その高分子フィルムの溶解や膨潤といった劣化を抑制することができる。インクと高分子フィルムとが接触した場合、インクの物性によっては、高分子フィルムがダメージを受ける可能性が高い。高分子フィルム上にフィルムの機械特性を大きく変えない範囲で保護膜を形成することによって、振動板の性能への影響を最小限に抑えつつインクと高分子フィルムとの接触を抑制することができる。したがって、振動板の性能を長期間維持することができる。
【００１６】
本発明の第１の態様において、前記保護膜の厚みをｔ１、前記振動板の厚みをｔ２としたとき、
０．０２５×ｔ２  ≦  ｔ１  ≦  ０．３７５×ｔ２
の条件を満足することが好ましい。振動板に対して保護膜が薄すぎると、振動板の表面を十分に保護することができず、微少な保護膜の欠陥を貫通して下層の高分子フィルムにダメージが発生する。一方、振動板に対して保護膜が厚すぎると、振動版の剛性が変化することで良好に振動することが困難となり、非常に微細な液体を微少なエネルギー供給によって射出する場合や非常に高い振動数で液体を射出する場合など、条件によっては射出口からインクが良好に射出されなくなる場合もある。また、射出できたとしても、通常の射出条件に対して非常に大きな補正を行う必要性が生じる。振動板に対して保護膜を最適な厚みに調整することによって、インクに対する振動板の耐溶剤性、耐腐食性を維持しつつ、振動板を良好に振動させることができる。
【００１７】
本発明の第２の態様に従えば、インクジェットヘッドの製造方法であって、複数の部材を組み立てて、前記インクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッド形成工程と、前記インクジェットヘッド形成工程で形成された前記インクジェットヘッドの内部流路にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記内部流路に面するインクジェットヘッドの内面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
【００１８】
本発明の第２の態様によれば、インクジェットヘッドを組み立てた後、そのインクジェットヘッドの内部流路にパーヒドロポリシラザン溶液を供給することによって、内部流路に面するインクジェットヘッドの内面だけに、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜を形成することができる。したがって、その保護膜が形成されたインクジェットヘッドの内部流路にインクを供給した場合でも、インクジェットヘッドの性能の低下を抑制できる。
【００１９】
本発明の第２の態様において、前記保護膜形成工程は、前記内部流路に前記パーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記内部流路に通じる射出口より前記パーヒドロポリシラザン溶液を射出する第１工程と、前記第１工程の後、前記内部流路に水分をほぼ含まないガスを供給する第２工程と、前記第２工程の後、前記内部流路に水分を含むガスを供給する第３工程と、を有することが好ましい。第１工程によってパーヒドロポリシラザン溶液の膜を内面に形成した後、第２工程を実行することによって、その膜を乾燥させることができる。その後、第３工程を実行することによって、シリカ膜からなる保護膜を内面に形成することができる。
【００２０】
本発明の第２の態様において、前記内面が、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板の表面である場合、その振動板の表面に保護膜を形成することによって、インクと接触する振動板の表面の劣化を抑制することができる。したがって、インクジェットヘッドの性能を長期間維持することができ、インクを長期間良好に射出することができる。
【００２１】
本発明の第３の態様に従えば、インクジェットヘッドの製造方法であって、部材の表面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、前記部材の表面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記保護膜形成工程で形成された前記保護膜を有する前記部材を少なくとも一つ含む複数の部材を組み立てて、前記インクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッド形成工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
【００２２】
本発明の第３の態様によれば、インクジェットヘッドを組み立てる前に、インクジェットヘッドを構成する複数の部材のうち、少なくとも一つの部材にパーヒドロポリシラザン溶液を供給することによって、その部材の表面に、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜を形成することができる。そして、その保護膜を有する部材を少なくとも一つ含む複数の部材を組み立てることによって、性能の低下が抑制されるインクジェットヘッドを製造することができる。
【００２３】
本発明の第３の態様において、前記保護膜形成工程は、前記部材の表面に前記パーヒドロポリシラザン溶液を供給する第１工程と、前記第１工程の後、前記部材の表面に水分をほぼ含まないガスを供給する第２工程と、前記第２工程の後、前記部材の表面に水分を含むガスを供給する第３工程と、を有することが好ましい。第１工程によってパーヒドロポリシラザン溶液の膜を部材の表面に形成した後、第２工程を実行することによって、その膜を乾燥させることができる。その後、第３工程を実行することによって、シリカ膜からなる保護膜を部材の表面に形成することができる。
【００２４】
本発明の第３の態様において、前記部材が、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板である場合、その振動板の表面に保護膜を形成することによって、インクと接触する振動板の表面の劣化を抑制することができる。したがって、インクジェットヘッドの性能を長期間維持することができ、インクを長期間良好に射出することができる。
【００２５】
本発明の第４の態様に従えば、インクが供給される内部流路と、前記内部流路に通じ、前記内部流路のインクを射出可能な射出口と、駆動素子の駆動力で変形して、前記射出口に面する前記内部流路の少なくとも一部の空間の圧力を変化させて、前記射出口より前記インクを射出させる振動板と、を備え、前記内部流路に面する内面の少なくとも一部が、パーヒドロポリシラザン溶液より形成された保護膜であるインクジェットヘッドが提供される。
【００２６】
本発明の第４の態様によれば、内部流路に面するインクジェットヘッドの内面に、パーヒドロポリシラザン溶液より形成された、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜が配置されるので、そのインクジェットヘッドの内部流路にインクを供給した場合でも、インクジェットヘッドの性能の低下を抑制できる。
【００２７】
本発明の第４の態様において、前記保護膜が、前記振動板に形成されることによって、インクと接触する振動板の表面の劣化を抑制することができる。したがって、インクジェットヘッドの性能を長期間維持することができ、インクを長期間良好に射出することができる。
【００２８】
本発明の第４の態様において、前記保護膜の厚みをｔ１、前記振動板の厚みをｔ２としたとき、
０．０２５×ｔ２  ≦  ｔ１  ≦  ０．３７５×ｔ２
の条件を満足することが好ましい。振動板に対して保護膜が薄すぎると、振動板の表面を十分に保護することができなくなる可能性がある。一方、振動板に対して保護膜が厚すぎると、振動板が良好に振動することが困難となり、射出口からインクが良好に射出されなくなる可能性がある。振動板に対して保護膜を最適な厚みに調整することによって、インクに対する振動板の耐溶剤性、耐腐食性を維持しつつ、振動板を良好に振動させることができる。
【００２９】
本発明の第５の態様に従えば、金属板と、前記金属板上に形成された高分子フィルムと、前記高分子フィルム上に形成された保護膜とを有し、前記保護膜は、パーヒドロポリシラザン溶液より形成されているインクジェットヘッド用振動板が提供される。
【００３０】
本発明の第５の態様によれば、振動板の表面が、パーヒドロポリシラザン溶液より形成された、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜で形成されるので、そのインクジェットヘッドの振動板にインクを供給した場合でも、インクジェットヘッドの性能の低下を抑制できる。また、振動板が、金属板と、金属板上に形成された高分子フィルムとを有する場合、保護膜が、高分子フィルム上に形成されることによって、その高分子フィルムの劣化を抑制することができる。インクと高分子フィルムとが接触した場合、インクの物性によっては、高分子フィルムがダメージを受ける可能性が高い。高分子フィルム上に保護膜を形成することによって、インクと高分子フィルムとの接触を抑制することができる。したがって、振動板の性能を長期間維持することができる。
【００３１】
本発明の第５の態様において、前記保護膜の厚みをｔ１としたとき、
０．１μｍ  ≦  ｔ１  ≦  １．５μｍ
の条件を満足することが好ましい。保護膜が薄すぎると、振動板の表面を十分に保護することができなくなる可能性がある。一方、保護膜が厚すぎると、振動板が良好に振動することが困難となり、射出口からインクが良好に射出されなくなる可能性がある。保護膜を最適な厚みに調整することによって、インクに対する振動板の耐溶剤性、耐腐食性を維持しつつ、振動板を良好に振動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第１実施形態に係るインクジェットヘッドの一例を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る振動板の一例を示す図である。
【図３】第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】第１実施形態に係るパターンの形成方法の一例を示す模式図である。
【図５】第２実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図６】インクジェットヘッドの評価試験の条件を示す図である。
【図７】インクジェットヘッドの評価試験の結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００３４】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッド１００の一例を示す図である。図１において、インクジェットヘッド１００は、振動板６を含み、インクタンク等のインク供給源２００からインクが供給される内部流路２０の少なくとも一部を形成する流路ユニット１と、振動板６に力を与えることができる駆動ユニット２と、流路ユニット１及び駆動ユニット２を保持するヘッドホルダ３とを備えている。
【００３５】
本実施形態において、内部流路２０は、ヘッドホルダ３の内部に形成され、インク供給源２００からのインクが供給される供給流路１８と、流路ユニット１の内部に形成され、供給流路１８からのインクが供給されるリザーバ１１と、流路ユニット１の内部に形成され、インク供給口１０を介してリザーバ１１からのインクが供給される圧力発生室８とを含む。
【００３６】
流路ユニット１は、ノズルプレート４と、流路形成基板５と、振動板６とを有する。ノズルプレート４と流路形成基板５と振動板６とは積層されている。
【００３７】
流路形成基板５は、内部流路２０の一部を構成するリザーバ１１と、複数の圧力発生室８と、リザーバ１１からのインクを圧力発生室８に供給可能なインク供給口１０とを有する。ノズルプレート４は、圧力発生室８に通じる射出口９を有する。射出口９は、圧力発生室８のインクを射出可能である。
【００３８】
振動板６は、アイランド部１２と、圧力発生室８の少なくとも一部を形成するダイヤフラム部１３と、リザーバ１１の少なくとも一部を形成するダイヤフラム部１４とを有する。ダイヤフラム部１３及びダイヤフラム部１４は、弾性変形可能である。
【００３９】
駆動ユニット２は、複数の圧電素子７を有する。圧電素子７の先端は、振動板６のアイランド部１２に接触している。
【００４０】
振動板６は、圧電素子７の駆動力で変形して、射出口９に面する圧力発生室８の圧力を変化させて、射出口９よりインクを射出させる。圧電動子７の伸縮により、インクが満たされた圧力発生室８の圧力が変化することによって、圧力発生室８のインクが、射出口９より射出される。
【００４１】
本実施形態においては、ヘッドホルダ３に形成された供給流路１８の内面３Ｓが、内部流路２０（供給流路１８）に面している。また、振動板６の下面（−Ｚ側を向く面）６Ｓが、内部流路２０（リザーバ１１，圧力発生室８）に面している。内面３Ｓ、及び下面６Ｓは、内部流路２０のインクと接触する。
【００４２】
また、振動板６は、下面６Ｓの逆向きの上面６Ｔを有する。上面６Ｔは、内部流路２０に面しておらず、内部流路２０のインクとほぼ接触しない。
【００４３】
図２は、振動板６を示す斜視図である。本実施形態において、振動板６は、金属板１５と、金属板１５の下面（−Ｚ側を向く面）に形成された高分子フィルム１６と、高分子フィルム１６の下面（−Ｚ側を向く面）に形成された保護膜３０とを有する。本実施形態において、振動板６の下面６Ｓは、保護膜３０の下面（表面）によって形成されている。
【００４４】
ダイヤフラム部１３，１４は、高分子フィルム１６及びその高分子フィルム１６の下面に形成された保護膜３０によって形成される。
【００４５】
金属板１５は、剛性が高く、かつエッチングが可能な材料で形成されている。本実施形態において、金属板１５は、ステンレス鋼で形成されている。本実施形態において、金属板１５は、ステンレス鋼を、一方向に圧延することによって形成される。
【００４６】
高分子フィルム１６は、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂製である。なお、高分子フィルム１６が、ＰＰＳ樹脂以外の合成樹脂を含んでいてもよい。例えば、高分子フィルム１６が、複数の合成樹脂製のフィルムを積層（ラミネート）したものでもよい。本実施形態において、高分子フィルム１６は、金属板１５に対して、熱溶着の手法または熱硬化の接着剤によって接続されている。
【００４７】
以下の説明において、金属板１５と、その金属板１５の下面に形成された高分子フィルム１６とを合わせて適宜、ベース板１９、と称する。
【００４８】
保護膜３０は、パーヒドロポリシラザン溶液より形成されている。本実施形態においては、ベース板１９（高分子フィルム１６）の下面に、パーヒドロポリシラザン溶液を供給して、溶液の膜をベース板１９の下面に形成した後、その溶液の膜に対して所定の処理を施すことによって、ベース板１９の下面に保護膜３０が形成される。本実施形態において、保護膜３０は、シリカ膜（二酸化珪素の膜）である。
【００４９】
本実施形態においては、保護膜３０の厚みをｔ１としたとき、
０．１μｍ  ≦  ｔ１  ≦  １．５μｍ    …（１）
の条件を満足するように、保護膜３０が形成される。
【００５０】
本実施形態において、ベース板１９の厚みｔ２は、約４μｍである。したがって、保護膜３０の厚みをｔ１、ベース板の厚みをｔ２としたとき、
０．０２５×ｔ２  ≦  ｔ１  ≦  ０．３７５×ｔ２    …（２）
の条件を満足する。
【００５１】
このように、本実施形態においては、保護膜３０が、圧力発生室８に面するように、ベース板１９の下面に形成される。すなわち、本実施形態においては、保護膜３０の表面（下面）は、内部流路２０（圧力発生室８）に面している。
【００５２】
なお、本実施形態においては、金属板１５の下面に高分子フィルム１６が形成され、その高分子フィルム１６の下面に保護膜３０が形成されており、振動板６の上面６Ｔが、金属板１５によって形成されているが、例えば、金属板１５の上面に高分子フィルム１６が形成され、その高分子フィルム１６の上面に保護膜３０が形成されてもよい。すなわち、振動板６の上面６Ｔ及び下面６Ｓの両方が、保護膜３０で形成されてもよい。
【００５３】
次に、インクジェットヘッド１００の製造方法の一例について、図３のフローチャートを参照しながら説明する。
【００５４】
まず、振動板６の製造方法について説明する。ステンレス鋼が圧延され、所定の大きさ及び形状に切断されることによって、金属板１５が形成される。なお、本実施形態においては、図２に示すように、金属板１５の所定位置に、位置決め用の貫通孔１７、１７が形成される。その後、ダイヤフラム部１３、１４を形成すべき領域がエッチングされて、アイランド部１２が形成される。なお、ステンレス鋼を圧延し、その圧延された金属板をエッチングして、アイランド部１２を形成した後、所定の大きさ及び形状に切断することによって、金属板１５が形成されてもよい。
【００５５】
金属板１５が形成された後、その金属板１５の下面に、高分子フィルム１６が配置される。金属板１５の下面に、熱溶着の手法によって、高分子フィルム１６が配置される。熱硬化の接着剤を用いて金属板と高分子フィルムを積層する場合は、両者を張り合わせた後に１００℃以下の温度で硬化を促進する。たとえば、７０℃のオーブンなどで１〜６時間加熱することで金属板と高分子フィルムはしっかりと接続される。
これにより、ベース板１９が製造される。
【００５６】
なお、高分子フィルム１６にアニール処理を施した後、その高分子フィルム１６と金属板１５との接着作業を行うことによって、金属板１５との接着作業時に高分子フィルム１６が加熱された場合でも、その高分子フィルム１６の収縮を抑制することができる。したがって、ベース板１９の反りの発生を抑えることができる。
【００５７】
次に、ベース板１９（高分子フィルム１６）の下面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、ベース板１９の下面に保護膜３０を形成する保護膜形成工程ＳＡ１が実行される。
【００５８】
保護膜形成工程ＳＡ１は、ベース板１９の下面にパーヒドロポリシラザン溶液を供給する第１工程ＳＡ１１と、第１工程ＳＡ１１の後、ベース板１９の下面に水分をほぼ含まないガスを供給する第２工程ＳＡ１２と、第２工程ＳＡ１２の後、ベース板１９の下面に水分を含むガスを供給する第３工程ＳＡ１３とを有する。
【００５９】
第１工程ＳＡ１１では、濃度が１〜５％のパーヒドロポリシラザン溶液を、ベース板１９の下面に吹き付ける処理が実行される。本実施形態においては、パーヒドロポリシラザン溶液の溶剤として、例えばキシレンが用いられる。このとき、水分が存在するとパーヒドロポリシラザン溶液に不要な反応が起こるため、水分がない周辺環境において吹きつけ作業を行う。なお、ベース板１９の下面のみならず、ベース板１９の上面にも、パーヒドロポリシラザン溶液を吹き付けてもよい。また、パーヒドロポリシラザン溶液を満たした容器を用意し、その容器内のパーヒドロポリシラザン溶液にベース板１９を浸漬してもよい。
【００６０】
以上により、ベース板１９の下面（下面及び上面）に、パーヒドロポリシラザン溶液の膜が形成される。
【００６１】
第２工程ＳＡ１２では、パーヒドロポリシラザン溶液の膜を乾燥する処理が実行される。本実施形態においては、ベース板１９に形成されたパーヒドロポリシラザン溶液の膜に、水分をほぼ含まない（ドライな）ガスを供給することによって、パーヒドロポリシラザン溶液の膜を乾燥する。本実施形態においては、ドライな窒素ガスが供給される。なお、ドライなエアが供給されてもよい。
【００６２】
これにより、パーヒドロポリシラザン溶液の膜から液体成分が除去され、ベース板１９に乾燥された膜（乾燥膜）が形成される。
【００６３】
第３工程ＳＡ１３では、乾燥膜をシリカ膜（保護膜３０）に変化させるための処理が実行される。本実施形態においては、ベース板１９に形成された乾燥膜に、水分を含む（ウエットな）ガスを供給することによって、乾燥膜をシリカ膜に変化させる。例えば、水分を５〜９０％含むエアに乾燥膜を晒すことによって、短時間で緻密なシリカ膜を形成することができる。このように、第３工程ＳＡ１３を実行することによって、乾燥膜を効率良くシリカ膜に変化させることができる。
【００６４】
なお、第３工程ＳＡ１３の後、ベース板１９を加熱することでシリカ膜への反応を加速してもよい。例えば、保護膜３０が形成された振動板６を、例えば１００℃程度に加熱することによって、シリカ膜の緻密性を高めることができる。なお、第３工程ＳＡ１３の後の加熱処理の時間は、例えば数時間から２４時間程度である。また、第３工程ＳＡ１３及びその後の加熱処理を複数回繰り返すことによって、シリカ膜の緻密性をより一層高めることができる。なお、ＰＰＳからなる高分子フィルム１６は、耐熱性が高いので、加熱処理を実行しても、性能を維持できる。
【００６５】
以上により、ベース板１９（高分子フィルム１６）の下面に、シリカ膜からなる保護膜３０が形成され、本実施形態に係る振動板６が製造される。
【００６６】
次に、保護膜３０を有する振動板６が流路形成基板５の上面に接続され、ノズルプレート４が流路形成基板５の下面に接続される。なお、振動板６と流路形成基板５とノズルプレート４とを積層する際、貫通孔１７を用いて、それら振動板６と流路形成基板５とノズルプレート４との位置決めを実行することができる。以上により、流路ユニット１が製造される。
【００６７】
次に、流路ユニット１、駆動ユニット２、及びヘッドホルダ３を組み立てて、インクジェットヘッド１００を形成するインクジェットヘッド形成工程ＳＡ２が実行される。例えば、エポキシ樹脂等を含む接着剤を用いて、それら流路ユニット１と駆動ユニット２とヘッドホルダ３とが接続され、組み立てられる。
【００６８】
以上により、インクジェットヘッド１００が製造される。
【００６９】
次に、インクジェットヘッド１００を用いて基板Ｐにパターンを形成する方法の一例について説明する。本実施形態においては、一例として、配向膜形成用材料及び溶剤を含むインクをインクジェットヘッド１００の内部流路２０に供給して、その内部流路２０に通じる射出口９よりインクを基板Ｐに射出して、基板Ｐに配向膜（配向膜パターン）を形成する場合について説明する。
【００７０】
本実施形態において、インクに含まれる配向膜形成用材料は、合成樹脂を含む固体（固形分）である。配向膜形成用材料として、例えばポリイミドを用いることができる。なお、配向膜形成用材料として、例えば、ポリアミック酸、ポリアミック酸エステル、ポリエステル、ポリアミド、ポリシロキサン、セルロース誘導体、ポリアセタール、ポリスチレン誘導体、ポリ（スチレン−フェニルマレイミド）誘導体、ポリ（メタ）アクリレート等を用いることもできる。
【００７１】
本実施形態において、インクに含まれる溶剤は、Ｎ−メチル−２−ピロリドンと、γ−ブチロラクトンと、ブチルセロソルブとの少なくとも一つを含む。本実施形態においては、溶剤として、それらＮ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、及びブチルセロソルブの全てが用いられている。以下の説明において、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを適宜、ＮＭＰ、と称し、γ−ブチロラクトンを適宜、ＧＢＬ、と称し、ブチルセロソルブを適宜、ＢＣ、と称する。
【００７２】
図４は、インクジェットヘッド１００の射出口９より基板Ｐにインクを射出して、基板Ｐに配向膜を形成している状態の一例を示す図である。本実施形態においては、内部流路２０（圧力発生室８）に面する振動板６の下面６Ｓが、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜３０で形成されているので、振動板６の劣化を抑制することができる。
【００７３】
以上説明したように、本実施形態によれば、インクジェットヘッド１００の内部流路２０に面する振動板６の下面６Ｓが、耐溶剤性、耐腐食性が高い、パーヒドロポリシラザン溶液からなる保護膜３０で形成されているので、内部流路２０にインクを供給した場合でも、インクジェットヘッド１００の性能の低下を抑制できる。したがって、そのインクジェットヘッド１００を用いて基板Ｐに配向膜パターンを良好に形成することができる。
【００７４】
振動板６は、金属板１５と、金属板１５上に形成された高分子フィルム１６とを有しており、その高分子フィルム１６上に保護膜３０が形成されることによって、内部流路２０９にインクが供給された場合でも、その高分子フィルム１６の劣化を抑制することができる。インクと高分子フィルム１６とが接触した場合、インクの物性によっては、高分子フィルム１６がダメージを受ける可能性が高い。本実施形態においては、インクの溶剤に、極性及び溶解性が高い、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、及びブチルセロソルブが用いられている。それら溶剤と高分子フィルム１６が接触すると、高分子フィルム１６が大きなダメージを受ける可能性が高い。高分子フィルム１６がダメージを受けた場合、例えば振動板６が良好に振動せず、インクの射出不良（吐出不良）が発生する可能性がある。
【００７５】
本実施形態においては、高分子フィルム１６上に、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜３０が形成されているので、インクと高分子フィルム１６との接触を抑制することができる。したがって、振動板６の性能を長期間維持することができる。
【００７６】
また、本実施形態においては、保護膜ｔ１の厚みが、上述の式（１），（２）の少なくとも一方を満たすように定められているので、振動板６の耐溶剤性、耐腐食性を維持しつつ、振動板６を良好に振動させることができる。
【００７７】
例えば、保護膜３０が薄すぎると、振動板６（ベース板１９）の表面を十分に保護することができなくなる可能性がある。一方、保護膜３０が厚すぎると、振動板６が良好に振動することが困難となり、射出口９からインクが良好に射出されなくなる可能性がある。
【００７８】
本実施形態においては、保護膜３０が最適な厚みに調整されているので、振動板６の耐溶剤性、耐腐食性を維持しつつ、振動板６を良好に振動させることができる。
【００７９】
また、本実施形態においては、インクジェットヘッド１００を組み立てる前に、インクジェットヘッド１００を構成する部材の一つであるベース板１９にパーヒドロポリシラザン溶液を供給することによって、そのベース板１９の表面に、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜３０を円滑に形成することができる。そして、その保護膜３０を有する振動板６を含む複数の部材（ヘッドホルダ３等）を組み立てることによって、性能の低下が抑制されるインクジェットヘッド１００を製造することができる。
【００８０】
なお、本実施形態においては、リザーバ１１及び圧力発生室８に面する振動板６の下面６Ｓが、保護膜３０で形成されている場合を例にして説明したが、例えば供給流路１８に面する内面３Ｓが保護膜３０で形成されてもよい。
【００８１】
なお、本実施形態においては、インクジェットヘッド１００のうち、内部流路２０に面する下面６Ｓ等が、保護膜３０によって形成される場合を例にして説明したが、内部流路２０に面しない部分が保護膜３０で形成されてもよい。例えば、振動板６の上面６Ｔが、保護膜３０で形成されてもよい。あるいは、例えば流路形成基板５に接続される振動板６の接続面６Ａ（図１参照）、流路形成基板５に接続されるノズルプレート４の接続面４Ａ（図１参照）等が、保護膜３０で形成されてもよい。また、流路形成基板５の表面の少なくとも一部が、保護膜３０で形成されてもよい。
【００８２】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００８３】
上述の第１実施形態においては、インクジェットヘッド１００を組み立てる前に、インクジェットヘッド１００を構成する部材の表面に保護膜３０を形成した後、それら部材を組み立てる場合を例にして説明した。本実施形態の特徴的な部分は、インクジェットヘッド１００を組み立てた後、そのインクジェットヘッド１００の内部流路２０にパーヒドロポリシラザン溶液を供給することによって、内部流路２０に面するインクジェットヘッド１００の内面（下面６Ｓ、内面３Ｓ等）に、耐溶剤性、耐腐食性が高い保護膜３０を形成する点にある。
【００８４】
図５は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド１００の製造方法の一例を示すフローチャートである。図５に示すように、本実施形態においては、流路ユニット１，駆動ユニット２，及びヘッドホルダ３を含む複数の部材を組み立てて、インクジェットヘッド１００を形成するインクジェットヘッド形成工程ＳＢ１と、インクジェットヘッド形成工程ＳＢ１で形成されたインクジェットヘッド１００の内部流路２０にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、内部流路２０に面するインクジェットヘッド１００の内面（下面６Ｓ，内面３Ｓ等）に保護膜３０を形成する保護膜形成工程ＳＢ２とを経て、インクジェットヘッド１００が製造される。
【００８５】
本実施形態において、保護膜形成工程ＳＢ２は、内部流路２０にパーヒドロポリシラザン溶液を供給して、内部流路２０に通じる射出口９よりパーヒドロポリシラザン溶液を射出する第１工程ＳＢ２１と、第１工程ＳＢ２１の後、内部流路２０に水分をほぼ含まないガス（例えばドライな窒素ガス、ドライなエア）を供給する第２工程ＳＢ２２と、第２工程ＳＢ２２の後、内部流路３０に水分を含むガス（例えばウエットなエア）を供給する第３工程ＳＢ２３とを含む。これにより、緻密な保護膜３０を効率良く形成することができる。
【００８６】
本実施形態においては、保護膜形成工程ＳＢ２として、濃度が３％未満のパーヒドロポリシラザン溶液を、ポンプ等を用いて内部流路２０内で循環させ、循環後、ドライな窒素ガス、あるいはドライなエアを内部流路２０に供給して、パーヒドロポリシラザン溶液の膜を乾燥させる。十分に乾燥して乾燥膜を形成した後、内部流路２０に水分を５〜９０％含むエアを供給することによって、乾燥膜をシリカ膜（保護膜３０）に効率良く変化させることができる。
【００８７】
本実施形態においては、インクジェットヘッド１００を組み立てた後に、内部流路２０にパーヒドロポリシラザン溶液を供給しているので、流路ユニット１と駆動ユニット２とヘッドホルダ３とを接着しているエポキシ樹脂等を含む接着剤の劣化を抑制することができる。
【００８８】
なお、インクジェットヘッド１００を組み立てて、保護膜３０を形成した後（第３工程ＳＢ２３の後）、そのインクジェットヘッド１００を、約６０℃で６時間から数日間、加熱処理することによって、保護膜３０の性能をより一層高めることができる。
【００８９】
＜実施例＞
次に、保護膜３０の効果を確認するために行った評価試験及びその結果について説明する。図６は、評価対象の振動板の各条件を示し、図７は、図６に示す各条件の振動板で評価試験を行った結果を示す。
【００９０】
（評価対象）
図６及び図７中、実施例１〜９は、本願発明に係る保護膜３０をベース板１９の下面及び上面の少なくとも一方に形成したものである。本実施例では、９種類の振動板を用意した。
【００９１】
図６中、「フィルム処理」とは、上述の第１実施形態で説明したような、インクジェットヘッド１００を組み立てる前に、ベース板１９の下面及び上面の少なくとも一方に、保護膜３０を形成した場合である。「流路処理」とは、上述の第２実施形態で説明したような、インクジェットヘッド１００を組み立てた後、そのインクジェットヘッド１００の内部流路２０にパーヒドロポリシラザン溶液を供給することによって、内部流路２０に面するベース板１９の下面に、保護膜３０を形成した場合である。
【００９２】
また、図６中、「下面」は、内部流路２０に面するベース板１９の下面であって、その下面に形成された保護膜３０（あるいは比較例の各種の膜）は、内部流路２０に供給されるインクと接触する。一方、図６中、「上面」は、ベース板１９の上面であって、その上面に形成された保護膜３０は、内部流路２０に供給されるインクと接触しない。
【００９３】
フィルム処理、及び流路処理の少なくとも一方に基づいてベース板１９を処理して、ベース板１９に、実施例１〜９に示すように、異なる厚み（膜厚）を有する保護膜３０を、ベース板１９の下面及び上面の少なくとも一方に形成して、保護膜３０の条件が互いに異なる９種類の振動板を作成した。
【００９４】
比較例１として、保護膜３０が設けられていない振動板（すなわちベース板１９のみ）を用意した。
【００９５】
比較例２として、ＣＶＤ法に基づいてベース板１９上にシリカ膜が形成された振動板を用意した。ＣＶＤ法によるシリカ膜の形成方法として、例えば、室温で形成後１００℃で３０分間アニールする。
【００９６】
比較例３として、ＣＶＤ法に基づいてベース板１９上にパリレン膜（パラキシレン膜）が形成された振動板を用意した。成膜条件は、
モノマー：Di-p-xylylene、
気化炉の温度：１５０℃、
分解炉の温度：７００℃、
成膜時間：１時間、
とした。
【００９７】
比較例４として、シリコーンアルコキシオリゴマーをベース板１９に塗布して、そのシリコーンアルコキシオリゴマー膜が形成された振動板を用意した。成膜条件は、濃度が約１％のシリコーンアルコキシオリゴマー溶液（溶剤：キシレン）を用いてベース板１９を流路処理した。その後、内部流路２０にドライなエアを約１時間供給して乾燥させた。さらにその後、インクジェットヘッド１００を６０℃で約１時間加熱して乾燥させた。
【００９８】
比較例５として、厚みが非常に薄い保護膜３０を有する振動板を用意した。
【００９９】
（評価試験）
上述の各条件の振動板を有するインクジェットヘッド１００で、１０００時間（約４０日間）、射出口９よりインクを射出し続けた。その後、各インクジェットヘッド１００から再度インクを複数回射出して、その射出される、
（項目１）インクの速度の変動
（項目２）インクの飛行曲がり
（項目３）振動数補正
について評価試験を行った。
【０１００】
ここで、項目１の「速度のバラツキの変動」とは、インクの速度の平均値に対するバラツキ具合である。項目２の「インクの飛行曲がり」とは、射出口９から射出されたインクの、基板Ｐ上における目標位置に対するズレ量である。項目３の「振動数補正」とは、射出口９の射出動作を安定させるために、振動板の振動数を補正するときの、その補正に必要な圧電素子７に印加する電圧の値及び振動数（波形）である。
【０１０１】
そして、項目１〜３について評価試験を行い、各項目の判定を行った。
【０１０２】
項目１について、以下のＡ〜Ｅ判定のいずれに該当するかを評価した。
Ａ判定：速度のバラツキが±２％未満
Ｂ判定：速度のバラツキが±２〜５％
Ｃ判定：速度のバラツキが±５〜１０％
Ｄ判定：速度のバラツキが±１０〜２０％
Ｅ判定：速度のバラツキが±２０％以上、またはインクを射出しない射出口が発生
【０１０３】
項目２について、以下のＡ〜Ｅ判定のいずれに該当するかを評価した。
Ａ判定：飛行曲がりが５μｍ未満
Ｂ判定：飛行曲がりが５〜１０μｍ
Ｃ判定：飛行曲がりが１０〜２０μｍ
Ｄ判定：飛行曲がりが２０〜３０μｍ
Ｅ判定：飛行曲がりが３０〜４０μｍ
【０１０４】
項目３について、以下のＡ〜Ｅ判定のいずれに該当するかを評価した。
Ａ判定：電圧による振動数補正が２Ｖ以下
Ｂ判定：電圧による振動数補正が２〜５Ｖ必要
Ｃ判定：電圧による振動数補正が５Ｖ以上、または電圧の波形を補正しても安定動作が難しい
【０１０５】
（評価結果）
図７に評価結果を示す。実施例１〜９に示すように、保護膜３０の厚み（膜厚）を、０．１μｍ以上、１．５μｍ以下とすることによって、射出口９からインクをほぼ満足できる状態で射出できることが確認できた。
【０１０６】
より好ましくは、保護膜３０の厚みｔ１が、０．１μｍ以上、１．０μｍ以下とすることが好ましい。
【０１０７】
一方、比較例１〜４に示すように、本願発明に係る保護膜３０とは異なる保護膜を有する振動板を用いてインクを射出した場合、満足な状態でインクを射出することができなかった。これは、本願発明に係る保護膜３０とは異なる保護膜では、インクに含まれる溶剤（Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、及びブチルセロソルブの少なくとも一つ）に対する耐溶剤性、耐腐食性が十分でないことが原因の一つと考えられる。
【０１０８】
また、比較例５に示すように、パーヒドロポリシラザン溶液からなる保護膜３０であっても、その保護膜３０の厚みが薄すぎると、満足な状態でインクを射出することができなかった。これは、保護膜３０が薄すぎる場合、十分な保護機能が得られず、インクに含まれる溶剤によって、高分子フィルム１６がダメージを受けたことが原因の一つと考えられる。
【０１０９】
また、保護膜３０の厚みが厚すぎる場合（１．５μｍ以上である場合）でも、満足な状態でインクを射出することができなかった。これは、保護膜３０の保護機能は発揮されるものの、振動板６（高分子フィルム１６，ダイヤフラム部）の振動を妨げてしまうことが原因の一つと考えられる。
【０１１０】
以上説明したように、本願発明に係る保護膜３０を、最適な厚みでベース板１９に形成することによって、満足な状態で射出口９からインクを射出できることが確認できた。
【符号の説明】
【０１１１】
１…流路ユニット、２…駆動ユニット、３…ヘッドホルダ、３Ｓ…内面、６…振動板、６Ｓ…下面、６Ｔ…上面、８…圧力発生室、１０…インク供給口、１１…リザーバ、１５…金属板、１６…高分子フィルム、１８…供給流路、１９…ベース板、２０…内部流路、３０…保護膜、１００…インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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