(57)【要約】【課題】ウェーハを保持する際に、ウェーハに対する損傷を抑えることができるようにする。【解決手段】ウェーハＷの外周の一部を保持可能なウェーハ保持溝１３、１１が形成されたウェーハ保持体１２、１１を複数有し、ウェーハ保持体１２が複数連結された保持体列を有し、保持体列の複数のウェーハ保持体１２(１２ａ、１２ｂ)が、その隣のウェーハ保持体１２（１２ｂ、１２ｃ）に対してウェーハＷを保持する側に屈曲することにより、ウェーハＷの外周を半周よりも広範囲な部分において保持可能な状態となるようにウェーハ保持治具３を構成する。【選択図】図１
2010010432.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するウェーハ保持治具であって、
前記ウェーハの外周の一部を保持可能なウェーハ保持溝が形成されたウェーハ保持体を複数有し、
前記ウェーハ保持体が複数連結された保持体列を有し、
前記保持体列の複数の第１の前記ウェーハ保持体が、その隣の第２の前記ウェーハ保持体に対して前記ウェーハを保持する側に屈曲することにより、前記ウェーハの外周を半周よりも広範囲な部分において保持可能な状態となる
ウェーハ保持治具。
【請求項２】
少なくとも１以上の前記第１のウェーハ保持体と、前記第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第１の平面同士が平面接触することにより、前記第１のウェーハ保持体と前記第２のウェーハ保持体との屈曲状態を規定可能である
請求項１に記載のウェーハ保持治具。
【請求項３】
少なくとも１以上の前記第１のウェーハ保持体と、前記第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第１の平面同士が平面接触するように、前記第１又は第２のウェーハ保持体の一方を他方に引っ張るための第１の引張部材を更に有する
請求項２に記載のウェーハ保持治具。
【請求項４】
前記第１のウェーハ保持体と、前記第２のウェーハ保持体とは、回動可能に接続されている
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のウェーハ保持治具。
【請求項５】
前記第１及び第２のウェーハ保持体は、前記ウェーハ保持溝が直線状に伸びて形成されており、
少なくとも１以上の前記第１のウェーハ保持体と、前記第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第２の平面同士が平面接触することにより、双方の前記ウェーハ保持溝が一直線上に並ぶように規定可能である
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のウェーハ保持治具。
【請求項６】
少なくとも１以上の前記第１のウェーハ保持体と、前記第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第２の平面同士が平面接触するように、前記第１又は第２のウェーハ保持体の一方を他方に引っ張るための第２の引張部材を更に有する
請求項５に記載のウェーハ保持治具。
【請求項７】
前記保持体列の一端側の複数の前記ウェーハ保持体と、他端側の複数の前記ウェーハ保持体とは、前記ウェーハ保持溝が直線状に伸びて形成されており、
前記一端側の複数の前記ウェーハ保持体と、前記他端側の複数の前記ウェーハ保持体とは、前記ウェーハの直径と略同じ幅の間隔を持って、互いの前記ウェーハ保持溝が平行となるように規定可能である
請求項５又は請求項６に記載のウェーハ保持治具。
【請求項８】
前記ウェーハ保持体は、前記ウェーハを保持する側の最外面が、前記ウェーハを保持した際に前記ウェーハの中心に対して凹状となるように形成されている
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載のウェーハ保持治具。
【請求項９】
ウェーハを保持するウェーハ保持治具を備え、前記ウェーハ保持治具により保持したウェーハに関する所定の処理を実行するウェーハ処理装置であって、
前記ウェーハ保持治具を移動させる駆動部を更に備え、
前記ウェーハ保持治具は、
前記ウェーハの外周の一部を保持可能なウェーハ保持溝が形成されたウェーハ保持体を複数有し、
前記ウェーハ保持体が複数連結された保持体列を有し、
前記保持体列の複数の第１の前記ウェーハ保持体が、その隣の第２の前記ウェーハ保持体に対して前記ウェーハを保持する側に屈曲することにより、前記ウェーハの外周を半周よりも広範囲な部分において保持可能な状態となる
ウェーハ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを保持するウェーハ保持治具、及びそれを備えたウェーハ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハは、インゴットから、スライス、面取り、ラッピング又は両頭研削、エッチング、鏡面研磨、洗浄等の各工程を経て作製される。これら各工程において、或いは、各工程間においては、処理対象のウェーハがウェーハ保持治具により保持されて、所定の処理、搬送等がされる。また、これら工程間や、工程後において、ウェーハをウェーハ保持治具により保持して外観検査等の検査が行われることもある。
【０００３】
ウェーハ保持治具としては、例えば、ウェーハの表面又は裏面に接触してウェーハを保持するものが知られている。このようなウェーハ保持治具によると、ウェーハの表面又は裏面に接触するので、表面又は裏面にキズを発生させたり、或いは汚れを付着させたりする虞がある。
【０００４】
これに対して、ウェーハの外周を保持することにより、ウェーハの表面又は裏面へのキズの発生を防止することのできるウェーハ保持具が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−６１９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されたウェーハ保持具によると、ウェーハの表面又は裏面へのキズの発生を防止することができる。しかしながら、ウェーハを保持するための保持体を円弧状に移動させる必要があり、その際には、保持体がウェーハの外周の広範囲を擦ることとなり、ウェーハにキズをつけてしまう虞がある。また、保持体がウェーハの外周を擦ることにより、ウェーハの一部が剥がれてウェーハの平面上に付着してしまう虞もある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、ウェーハを保持する際に、ウェーハに対する損傷の発生を抑えることのできる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的達成のため、本発明の第１の観点に係るウェーハ保持治具は、ウェーハを保持するウェーハ保持治具であって、ウェーハの外周の一部を保持可能なウェーハ保持溝が形成されたウェーハ保持体を複数有し、ウェーハ保持体が複数連結された保持体列を有し、保持体列の複数の第１のウェーハ保持体が、その隣の第２のウェーハ保持体に対してウェーハを保持する側に屈曲することにより、ウェーハの外周を半周よりも広範囲な部分において保持可能な状態となる。係るウェーハ保持治具によると、ウェーハ保持体を、その隣のウェーハ保持体に対してウェーハを保持する側に屈曲することにより、ウェーハを保持することができるので、ウェーハを保持する際に外周を擦ることを防止することができる。
【０００９】
上記ウェーハ保持治具において、少なくとも１以上の第１のウェーハ保持体と、第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第１の平面同士が平面接触することにより、第１のウェーハ保持体と第２のウェーハ保持体との屈曲状態を規定可能であるようにしてもよい。係るウェーハ保持治具によると、第１の平面同士を平面接触させることによりウェーハ保持体の屈曲状態を適切に規定することができ、ウェーハへの無駄な力の発生を低減することができる。
【００１０】
また、上記ウェーハ保持治具において、第１のウェーハ保持体と、第２のウェーハ保持体とは、回動可能に接続されていてもよい。係るウェーハ保持治具によると、ウェーハ保持体同士を直接連結させることができるとともに、適切にウェーハ保持体を回転させることができる。
【００１１】
また、上記ウェーハ保持治具において、少なくとも１以上の第１のウェーハ保持体と、第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第１の平面同士が平面接触するように、第１又は第２のウェーハ保持体の一方を他方に引っ張るための第１の引張部材を更に有するようにしてもよい。係る構成によると、第１の引張部材によりウェーハ保持体同士を引っ張って、ウェーハ保持体を隣のウェーハ保持体に対して屈曲させることができる。
【００１２】
また、上記ウェーハ保持治具において、第１及び第２のウェーハ保持体は、ウェーハ保持溝が直線状に伸びて形成されており、少なくとも１以上の第１のウェーハ保持体と、第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第２の平面同士が平面接触することにより、双方のウェーハ保持溝が一直線上に並ぶように規定可能であるようにしてもよい。係るウェーハ保持治具によると、第２の平面同士を平面接触させることによりウェーハ保持体のウェーハ保持溝を一直線上に並ぶようにすることができる。このため、例えば、ウェーハ保持体を屈曲させる前に、ウェーハを位置すべき所定の位置に容易に配置することができる。
【００１３】
また、上記ウェーハ保持治具において、少なくとも１以上の第１のウェーハ保持体と、第２のウェーハ保持体との、少なくとも一部の第２の平面同士が平面接触するように、第１又は第２のウェーハ保持体の一方を他方に引っ張るための第２の引張部材を更に有するようにしてもよい。係る構成によると、第２の引張部材によりウェーハ保持体同士を引っ張って、ウェーハ保持体と隣のウェーハ保持体とのウェーハ保持溝を容易に一直線上に並べることができる。
【００１４】
また、上記ウェーハ保持治具において、保持体列の一端側の複数のウェーハ保持体と、他端側の複数のウェーハ保持体とは、ウェーハ保持溝が直線状に伸びて形成されており、一端側の複数のウェーハ保持体と、他端側の複数のウェーハ保持体とは、ウェーハの直径と略同じ幅の間隔を持って、互いのウェーハ保持溝が平行となるように規定可能であるようにしてもよい。係るウェーハ保持治具によると、保持対象のウェーハを、これら両端のウェーハ保持体にはさまれる位置に容易に配置することができ、その後、ウェーハを適切に保持することができる。
【００１５】
また、上記ウェーハ保持治具において、ウェーハ保持体は、ウェーハを保持する側の最外面が、ウェーハを保持した際にウェーハの中心に対して凹状となるように形成されていてもよい。係るウェーハ保持治具によると、ウェーハ保持体のウェーハを保持する側の最外面が、ウェーハを保持した際にウェーハの中心に対して凹状となっているので、ウェーハを表面又は裏面から観察することのできる領域を広くすることができる。
【００１６】
上記目的達成のため、本発明の第２の観点に係るウェーハ処理装置は、ウェーハを保持するウェーハ保持治具を備え、ウェーハ保持治具により保持したウェーハに関する所定の処理を実行するウェーハ処理装置であって、ウェーハ保持治具を移動させる駆動部を更に備え、ウェーハ保持治具は、ウェーハの外周の一部を保持可能なウェーハ保持溝が形成されたウェーハ保持体を複数有し、ウェーハ保持体が複数連結された保持体列を有し、保持体列の複数の第１のウェーハ保持体が、その隣の第２のウェーハ保持体に対してウェーハを保持する側に屈曲することにより、ウェーハの外周を半周よりも広範囲な部分において保持可能な状態となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている諸要素及びその組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１８】
まず、本発明の一実施形態に係るウェーハ処理装置について説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係るウェーハ処理装置の構成図であり、図２は、本発明の一実施形態に係る被連結ウェーハ保持体の構成図である。図１は、ウェーハ処理装置の上面外略図であり、図２Ａは、ウェーハを開放する状態（開放状態）における被連結ウェーハ保持体の一部の斜視図であり、図２Ｂは、被連結ウェーハ保持体の略中央における横断面図である。
【００２０】
ウェーハ処理装置１は、例えば、ウェーハＷを観察する処理におけるウェーハＷの姿勢を変更させるために用いられる。ウェーハ処理装置１は、ウェーハＷを保持するウェーハ保持治具３と、ウェーハ保持治具３を保持して駆動制御する駆動制御部２とを有する。駆動制御部２は、ウェーハ保持治具３によるウェーハＷの保持動作や開放動作を制御する。具体的には、駆動制御部２は、ワイヤ調整部２２に対してワイヤ２０、２１の巻き取り及び引き出しを制御する。また、駆動制御部２は、ウェーハ保持治具３の直線移動、ウェーハＷの平面に平行な面内での回転移動、ウェーハＷの平面と平行な面上の軸を中心とした回転移動等を制御する。ウェーハ保持治具３は、駆動制御部２に接続される基部ウェーハ保持体１０（ウェーハ保持体の一例）と、基部ウェーハ保持体１０に連結される複数の被連結ウェーハ保持体１２（ウェーハ保持体の一例）と、被連結ウェーハ保持体１２を回動移動等させるとともに連結させるための保持用ワイヤ２０及び開放用ワイヤ２１と、保持用ワイヤ２０及び開放用ワイヤ２１の巻き取り、又は引き出しを行うワイヤ調整部２２とを有する。
【００２１】
基部ウェーハ保持体１０は、保持対象のウェーハＷの中心Ｗｏを通る面での断面が略Ｖ字状のウェーハ保持溝１１を有する。ウェーハ保持溝１１は、ウェーハＷの外周に沿うように、ウェーハ中心Ｗｏを中心とする中心角が１８０度以下となる円弧状に形成されている。また、基部ウェーハ保持体１０には、複数（例えば、３つ）の被連結ウェーハ保持体１２が２組連結されており、２組の複数の被連結ウェーハ保持体１２と、基部ウェーハ保持体１０とによって、保持体列が形成されている。また、基部ウェーハ保持体１０においては、被連結ウェーハ保持体１２とワイヤ調整部２２との間の保持ワイヤ２０及び開放ワイヤ２１の経路が形成されている。
【００２２】
被連結ウェーハ保持体１２は、所定の長手方向に伸びる形状をしており、図２Ｂに示すように、ウェーハＷを保持する側に略Ｖ字状のウェーハ保持溝１３が形成されている。ウェーハ保持溝１３は、図２Ａに示すように長手方向に直線状に伸びている。被連結ウェーハ保持体１２の基部ウェーハ保持体１０側（基部側という)には、長手方向に略垂直な平面である基部側面１８が形成されている。一方、被連結ウェーハ保持体１２の先端側には、屈曲時規定面１６と、開放時規定面１７とが形成されている。なお、保持体列の最先端部分となる２つの被連結ウェーハ保持体１２ａにおいては、屈曲時規定面１６及び開放時規定面１７に代えて、最先端の被連結ウェーハ保持体１２（１２ａ）同士が、ウェーハ保持時に、平面接触することのできる最先端側面１９（図１参照）が形成されている。
【００２３】
屈曲時規定面１６は、ウェーハＷを保持する側（ウェーハ保持側）に傾斜した平面として形成されている。屈曲時規定面１６の傾斜は、屈曲時規定面１６が、隣に連結される被連結ウェーハ保持体１２の基部側面１８と平面接触すると、隣の被連結ウェーハ保持体１２のウェーハ保持溝１３の一部が保持対象のウェーハＷの外周と接触可能な位置にくるように形成されている。開放時規定面１７は、被連結ウェーハ保持体１２の長手方向と略垂直な平面に形成されている。この開放時規定面１７によると、隣に連結される被連結ウェーハ保持体１２の基部側面１８と平面接触すると、被連結ウェーハ保持体１２と、隣の被連結ウェーハ保持体１２とのウェーハ保持溝１３とが、略一直線上に並ぶようになる。
【００２４】
本実施形態では、各先端側（図１の右の先端側と左の先端側）の複数（例えば、３つ）の被連結ウェーハ保持体１２のウェーハ保持溝１３が略一直線上に並ぶようになっており、更に、各先端側のウェーハ保持溝１３が、ウェーハＷの略直径の幅を隔てて平行に並ぶようになっている。被連結ウェーハ保持体１２の内部のウェーハ保持側には、長手方向に伸びる２組の貫通孔１４が形成され、ウェーハ保持側から離れた内部にも、長手方向に伸びる２組の貫通孔１５が形成されている。貫通孔１４は、屈曲時規定面１６を貫通する位置に形成され、貫通孔１５は、開放時規定面１７を貫通する位置に形成されている。
【００２５】
貫通孔１４には、保持用ワイヤ２０が通され、貫通孔１５には、開放用ワイヤ２１が通されるようになっている。本実施形態では、保持用ワイヤ２０は、左右のそれぞれのウェーハ保持体の組毎に、ワイヤ調整部２２から基部ウェーハ保持体１０を通り、基部側の被連結ウェーハ保持体１２から順番に一方の貫通孔１４を通り、最先端の被連結ウェーハ保持体１２（１２ａ）の最先端に至り、更に、最先端の被連結ウェーハ保持体１２の他方の貫通孔１４を通り、最先端側の被連結ウェーハ保持体１２から順番に他方の貫通孔１４を通り、基部ウェーハ保持体１０を通り、ワイヤ調整部２２に至るようになっている。
【００２６】
また、開放用ワイヤ２１は、ワイヤ調整部２２から基部ウェーハ保持体１０を通り、基部側の被連結ウェーハ保持体１２から順番に一方の貫通孔１５を通り、最先端の被連結ウェーハ保持体１２（１２ａ）の最先端に至り、更に、最先端の被連結ウェーハ保持体１２の他方の貫通孔１５を通り、最先端側の被連結ウェーハ保持体１２から順番に他方の貫通孔１５を通り、基部ウェーハ保持体１０を通り、ワイヤ調整部２２に至るようになっている。このように、保持用ワイヤ２０及び開放用ワイヤ２１が各被連結ウェーハ保持体１２を通されているので、これら被連結ウェーハ保持体１２が連結されることとなる。
【００２７】
このような構成により、開放用ワイヤ２１を自由に引き出せるようにした状態で、被連結ウェーハ保持体１２の両方（２本）の保持用ワイヤ２０を巻き取るようにすると、ワイヤ調整部２２から最先端の被連結ウェーハ保持体１２までの保持用ワイヤ２０の長さが短くなるので、先端側の被連結ウェーハ保持体１２の基部側面１８と、基部側の被連結ウェーハ保持体１２の屈曲時規定面１６とが面接触するようになり、先端側の被連結ウェーハ保持体１２が、その隣の基部側の被連結ウェーハ保持体１２に対してウェーハ保持側に屈曲することとなる。なお、面接触すると、それ以上屈曲することがないので、ウェーハＷに対して更なる負荷が加えられることがない。
【００２８】
一方、保持用ワイヤ２０を自由に引き出せるようにした状態で、被連結ウェーハ保持体１２の両方(２本)の開放用ワイヤ２１を巻き取るようにすると、ワイヤ供給部２２から最先端の被連結ウェーハ保持体１２までの開放用ワイヤ２１の長さが短くなるので、先端側の被連結ウェーハ保持体１２の基部側面１８と、基部側の被連結ウェーハ保持体１２の開放時規定面１７とが面接触するようになり、先端側の被連結ウェーハ保持体１２が、その隣の基部側の被連結ウェーハ保持体１２に対して直線上に並ぶようになる。
【００２９】
次に、ウェーハ処理装置１による処理について説明する。
【００３０】
まず、駆動制御部２がワイヤ調整部２２を制御することにより、基部ウェーハ保持体１０に連結された左側の組及び右側の組の複数の被連結ウェーハ保持体１２を図１に示すような開放状態とする。すなわち、駆動制御部２がワイヤ調整部２２により、保持用ワイヤ２０を自由にした状態で、開放用ワイヤ２１を巻き取ることにより、各組の複数の被連結ウェーハ保持体１２をそれぞれのウェーハ保持溝１３が直線上に並ぶようにし、各組同士のウェーハ保持溝１３がウェーハＷの直径と略同じ幅を持って平行になるようにする。
【００３１】
次いで、駆動制御部２がウェーハ保持治具３を、所定の位置に載置されている保持対象のウェーハＷに対して、ウェーハ保持治具３の開放側（図１の上側）を向けて略直線的に移動させる。これにより、保持対象のウェーハＷが、ウェーハ保持治具３の被連結ウェーハ保持体１２の直線上に並ぶウェーハ保持溝１３に沿って、基部ウェーハ保持体１０のウェーハ保持溝１１に接触する位置までくることとなる。なお、この処理においては、ウェーハＷは、ウェーハ保持溝１３とは、ウェーハＷの外周のごく限られた狭い範囲（例えば、図１ではウェーハＷの左右の最先端部分の近傍の範囲）しか接触する可能性がないので、ウェーハＷに対するキズの発生を低減することができる。このため、ウェーハＷから剥がれた異物がウェーハＷへ付着することも低減することができる。
【００３２】
次いで、駆動制御部２が、ワイヤ調整部２２を制御することにより、複数の被連結ウェーハ保持体１２を図１に示す保持状態にする。すなわち、駆動制御部２がワイヤ調整部２２により、開放用ワイヤ２１を自由にした状態で、保持用ワイヤ２０を巻き取ることにより、先端側の被連結ウェーハ保持体１２の基部側面１８と、基部側の被連結ウェーハ保持体１２の屈曲時規定面１６とを面接触させて、先端側の被連結ウェーハ保持体１２が、その隣の基部側の被連結ウェーハ保持体１２に対してウェーハ保持側に屈曲させて、保持対象のウェーハＷの広範囲にな部分おいて、ウェーハ保持体１２のウェーハ保持溝１３がウェーハＷの外周に接触するようにする。この後、保持用ワイヤ２０を固定しておくことにより、ウェーハＷを保持した状態を維持することができる。
【００３３】
次いで、駆動制御部２が、ウェーハ保持治具３を移動、回転等させることにより、例えば、ウェーハＷの外観検査等の所定の処理を実行可能にする。なお、所定の処理後においては、ウェーハＷを載置すべき所定の位置にウェーハ保持治具３を搬送させ、複数の被連結ウェーハ保持体１２を開放状態とし、ウェーハ保持治具３を後退させることにより、ウェーハＷを所定の位置に載置させることができる。
【００３４】
次に、ウェーハ処理装置の第１変形例について説明する。
【００３５】
図３は、本発明の第１変形例に係るウェーハ処理装置の構成図であり、図４は、本発明の第１変形例に係る被連結ウェーハ保持体の構成図である。
【００３６】
第１変形例に係るウェーハ処理装置１は、図１に示すウェーハ処理装置１のウェーハ保持治具３に代えてウェーハ保持治具３１を備えるようにしたものであり、具体的には、被連結ウェーハ保持体１２を、被連結ウェーハ保持体３２に代えたものである。なお、被連結ウェーハ保持体１２と同様な機能部分については、同様な符号を付すこととし、ここでは、差異を中心に説明する。
【００３７】
被連結ウェーハ保持体３２には、最先端の被連結ウェーハ保持体３２ａと、最も基部側の被連結ウェーハ保持体３２ｃと、中間部分の被連結ウェーハ保持体３２ｂとの３つの種類がある。なお、右側の組の被連結ウェーハ保持体３１と左側の組の被連結ウェーハ保持体３１とは、線対称の形状となる。
【００３８】
被連結ウェーハ保持体３２ｂは、先端側に、ウェーハＷの平面に垂直な方向（図３では、奥行き方向）の軸を中心とする部分円柱（中心角が３６０度以下の円柱）形状の２つの先端側連結部３３を有し、基部側に、ウェーハＷの平面に垂直な方向（図３では、奥行き方向）の軸を中心とする部分円柱（中心角が３６０度以下の円柱）形状の基部側連結部３５を有する。先端側連結部３３と基部側連結部３５の略中心には、連結するためのピン部材を挿入するための連結孔３４、３６が穿設されている。また、被連結ウェーハ保持体３２ｂは、先端側の前記２つの先端側連結部３３の間に、隣の被連結ウェーハ保持体３２の基部側連結部３５と回動可能に接触する曲面が形成された連結対応部３８を有し、基部側に、隣の被連結ウェーハ保持体３２の２つの先端側連結部３３を回動可能に接触する曲面が形成された連結対応部３７を有する。
【００３９】
２つの被連結ウェーハ保持体３２を連結した場合には、連結している部分においては、２つの先端側連結部３３の一方の平面と、基部側連結部３５の２つの平面とが接触するようになっている。この様な構成によって、基部側の被連結ウェーハ保持体１２により、先端側の被連結ウェーハ保持体１２が支持されることとなり、先端側の被連結ウェーハ保持体１２がウェーハＷの重み等によりたわむことを適切に防止することができる。また、それぞれの連結孔３４，３６には、ピン部材が挿入されており、被連結ウェーハ保持体３２がピン部材を中心に回動可能となっている。
【００４０】
最先端の被連結ウェーハ保持体３２ａは、中間部分の被連結ウェーハ保持体３２ｂにおいて、先端側の構成が図１に示す先端側の被連結ウェーハ保持体１２ａと同様になっている。また、基部側の被連結ウェーハ保持体３２ｃは、中間部分の被連結ウェーハ保持体３２ｂにおいて、基部側の構成が図１に示す基部側の被連結ウェーハ保持体１２ｃと同様になっている。
【００４１】
次に、本発明の第２変形例に係るウェーハ処理装置１を説明する。
【００４２】
図５は、本発明の第２変形例に係るウェーハ処理装置の構成図である。
【００４３】
第２変形例に係るウェーハ処理装置１は、図１に示すウェーハ処理装置１のウェーハ保持治具３に代えてウェーハ保持治具４１を備えるようにしたものであり、具体的には、被連結ウェーハ保持体１２を、被連結ウェーハ保持体４２に代えたものである。なお、被連結ウェーハ保持体１２と同様な機能部分については、同様な符号を付すこととし、ここでは、差異を中心に説明する。
【００４４】
被連結ウェーハ保持体４２は、被連結ウェーハ保持体１２において、ウェーハＷを保持した際に、所定のウェーハ観察方向（図１の図面手前方向又は、奥行き方向）から、ウェーハＷの平面（表面又は裏面）を塞ぐ部分、すなわち、ウェーハ保持側面の最外部を、ウェーハ保持側面４３に示すようにウェーハＷの中心Ｗｏに対して凹状（例えば、ウェーハＷを保持する際のウェーハＷの同心円状）となるように形成することにより、ウェーハ観察方向からウェーハＷの平面を塞ぐ部分の面積を減少させている。ここで、図５の領域Ｒが、図１に比してウェーハＷの平面を塞ぐ部分が減少した領域を示している。この結果、ウェーハＷの平面をより広範囲に観察することができる。
【００４５】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明したが、本発明は上述した実施形態に限られず、他の様々な態様に適用可能である。例えば、上記実施形態において、保持用ワイヤ２０と、開放用ワイヤ２１との２系統のワイヤを備えるようにしていたが、本発明はこれに限られず、例えば、保持用ワイヤ２０のみを備えるようにしてもよい。この場合においては、保持用ワイヤ２０の一部を最先端の被連結ウェーハ保持体１２に固定するようにし、ウェーハ保持時には、保持用ワイヤ２０を巻き取り、開放時には、保持用ワイヤ２０を引き出すことにより、被連結ウェーハ保持体１２をウェーハ保持側から遠ざかるように回動させるようにすればよい。ここで、ワイヤとしては、伸縮、たわみが起こり難い材質のものを使用するようにしてもよい。
【００４６】
また、上記実施形態では、基部ウェーハ保持体１０に対して２組の被連結ウェーハ保持体を備えるようにしていたが、一組の被連結ウェーハ保持体のみを備えるようにしてもよい。また、上記実施形態では、被連結ウェーハ保持体として、一組に３個備えるようにしていたが、本発明はこれに限られず、各組の被連結ウェーハ保持体の個数は任意の数であってよい。なお、被連結ウェーハ保持体の個数は、例えば、被連結ウェーハ保持体の材質や、保持対象のウェーハの加重等を考慮して決定すればよい。例えば、被連結ウェーハ保持体の数を増やすと、ウェーハを保持する箇所を増加させることができ、各箇所でのウェーハに係る加重を抑えることができるので、各箇所での荷重を抑えることを考慮する場合には、被連結ウェーハ保持体１２の数を増やすようにすればよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、開放状態において、基部ウェーハ保持部１０に接続された２組の複数の被連結ウェーハ保持部１２のウェーハ保持溝１３がウェーハＷの直径と同じ幅を持って平行となるようにしていたが、本発明はこれに限られず、各組同士のウェーハ保持溝１３の幅が平行でなくても、ウェーハＷを基部ウェーハ保持部１０のウェーハ保持溝１１に保持させるようにすることができればよい。また、上記実施形態では、被連結ウェーハ保持体１２と、基部ウェーハ保持体１０とにより、ウェーハＷの略全周に分布して保持するようにしていたが、半周よりも広い範囲に分布した部分により保持するようにしてもよく、要は、ウェーハの外周を半周よりも広範囲な部分において保持するようにすればよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、先端部分が単に接触するようにしていたが、例えば、一方の組の最先端部分と、他方の組の最先端部分とがかみ合うようにしてもよい。このようにすると、より確実にウェーハを保持することができる。また、上記実施形態では、各ワイヤを最先端の被連結ウェーハ保持部で折り返してワイヤ調整部２２にまで至るようにしていたが、本発明はこれに限られず、最先端の被連結ウェーハ保持体において、ワイヤを固定させるようにしてもよい。また、ワイヤによりウェーハ保持体を引っ張るようにしていたが、ワイヤに限られず、板状の部材であってもよく、要は、引っ張ることのできる引張部材であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係るウェーハ処理装置の構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る被連結ウェーハ保持体の構成図である。
【図３】本発明の第１変形例に係るウェーハ処理装置の構成図である。
【図４】本発明の第１変形例に係る被連結ウェーハ保持体の構成図である。
【図５】本発明の第２変形例に係るウェーハ処理装置の構成図である。
【符号の説明】
【００５０】
１、  ウェーハ処理装置、２  駆動制御部、３，３１，４１  ウェーハ保持治具、１０  基部ウェーハ保持体、１１  ウェーハ保持溝、１２，３２，４２  被連結ウェーハ保持体、１３  ウェーハ保持溝、１４、１５  貫通孔、１６  屈曲時規定面、１７  開放時規定面、１８  基部側面、１９  最先端側面、２０  保持用ワイヤ、２１  開放用ワイヤ、２２  ワイヤ調整部、３２  被連結ウェーハ保持面、３３  先端側連結部、３４  連結孔、３５  基部側連結部、３６  連結孔、３７，３８  連結対応部、４３  ウェーハ保持側面、Ｗ  ウェーハ、Ｗｅ  ウェーハ外周面取面。
【図１】
2010010432.tif 000003
【図２】
2010010432.tif 000004
【図３】
2010010432.tif 000005
【図４】
2010010432.tif 000006
【図５】
2010010432.tif 000007