(57)【要約】【課題】メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御することによって、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能とし、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減する。【解決手段】メインチャンバー上に撮像手段を設置し、この撮像手段によってプローバーフレーム上に設けたアライメントマークを撮像することによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置制御を可能とするものである。メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御可能とすることで、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能し、これによって、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減する。【選択図】図１
2010256092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＦＴ基板の電極とプローバーフレームのプローバピンとを接触させることにより基板検査を行うＴＦＴ基板検査装置であって、
プローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する第１の撮像手段と、
ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第２の撮像手段と、
前記プローバーフレームのアライメントを制御するプローバーフレーム制御手段と、
前記ＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御するステージ制御手段とを備え、
前記プローバーフレーム制御手段は、前記第１の撮像手段によるアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームのアライメントを制御し、
前記ステージ制御手段は、前記第２の撮像手段によるアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御することを特徴とする、ＴＦＴ基板検査装置。
【請求項２】
前記第１の撮像手段および前記第２の撮像手段は、前記プローバーフレームおよび前記ステージを内部に備えるメインチャンバーに対して所定位置に設置することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴ基板検査装置。
【請求項３】
前記第１の撮像手段および前記第２の撮像手段は、前記メインチャンバーに設置することを特徴とする、請求項２に記載のＴＦＴ基板検査装置。
【請求項４】
前記第１の撮像手段と前記第２の撮像手段は、撮像画像範囲内にプローバーフレーム上のアライメントマークとＴＦＴ基板上のアライメントマークとを撮像する一つの撮像手段であることを特徴とする、請求項２又は３に記載のＴＦＴ基板検査装置。
【請求項５】
前記第１の撮像手段は、前記プローバーフレームおよび前記ステージを内部に備えるメインチャンバーに対して所定位置に設置し、
前記第２の撮像手段は、前記プローバーフレームに設置することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴ基板検査装置。
【請求項６】
前記第１の撮像手段は、前記メインチャンバーに対して固定した位置に設置することを特徴とする、請求項５に記載のＴＦＴ基板検査装置。
【請求項７】
プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行うＴＦＴ基板の位置合わせを行う方法であって、
メインチャンバーからプローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像によるプローバーフレーム上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対するプローバーフレームのアライメントを制御する工程と、
メインチャンバーからＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像によるＴＦＴ基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対するステージの移動を制御する工程とを備え、
アライメントされたプローバーフレームに対してＴＦＴ基板を位置合わせすることを特徴とするＴＦＴ基板の位置合わせ方法。
【請求項８】
プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行うＴＦＴ基板の位置合わせを行う方法であって、
メインチャンバーからプローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像によるプローバーフレーム上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対するプローバーフレームのアライメントを制御する工程と、
プローバーフレームからＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像によるＴＦＴ基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対するステージの移動を制御する工程とを備え、
アライメントされたプローバーフレームに対してＴＦＴ基板を位置合わせすることを特徴とするＴＦＴ基板の位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴアレイ検査装置及びＴＦＴ基板の位置合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）をアレイ状に配列した構成として例えば液晶基板があり、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等に用いられている。
【０００３】
ＴＦＴ基板の検査方法として、プローバーを用いたものが知られている。このプローバーによるＴＦＴ基板の検査では、ＴＦＴ基板をステージ上に載置し、ＴＦＴ基板の各電極にプローバーが有するプローブピンを接触させ、このプローブピンを介してＴＦＴ基板の回路に通電し、断線や短絡等の検査を行う。
【０００４】
このプローバーを用いたＴＦＴ基板検査では、ＴＦＴ基板上の電極とプローブピンとを正確に接触させることが重要であり、検査前の段階において、ステージ上に載置したＴＦＴ基板をプローバーフレームのプローブピンに対して正確に位置合わせさせておく必要がある。
【０００５】
従来、ＴＦＴ基板に設けた位置認識用のマークを検出することによって、ＴＦＴ基板とプローバーフレームとの位置合わせを行うプローブ装置が知られている（特許文献１、２参照）。
【０００６】
このプローブ装置では、基板をステージ上に載置し、この基板の表面に設けた位置認識用にアライメントマークをＣＣＤカメラで検出し、この検出信号に基づいて基板とプローバーフレームとの相対位置を認識し、基板とプローバーフレームとの位置ずれを補正する移動量を求め、この移動量に基づいてステージを移動させて、基板をプローバーフレームに位置合わせしている。
【０００７】
ＣＣＤカメラ等の撮像手段は、プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせが正確に行われている状態においてＴＦＴ基板に設けられたアライメントマークが撮像範囲内となるような所定位置に固定される。
【０００８】
この位置において、撮像手段によってアライメントマークを撮像する。撮像されたアライメントマークの像位置は撮像手段に対するＴＦＴ基板の位置を表しており、位置合わせされたときに得られる像との位置ずれを求めることによって、ＴＦＴ基板の撮像手段の設置位置に対する位置ずれを知ることができる。ここで、撮像手段を検査装置の本体側のメインチャンバーに固定しプローバーフレームに対して所定位置とすることによって、求めた位置ずれをプローバーフレームに対するＴＦＴ基板の位置ずれとして求める。
【０００９】
この位置ずれを補正するようにステージを移動させることによって、プローバーフレームに対するＴＦＴ基板の位置合わせを行う。
【００１０】
図７〜図９は従来のＴＦＴアレイ検査装置によるプローバーフレームと基板との位置合わせを説明するための図である。
【００１１】
図７は従来のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を示し、ＴＦＴアレイ検査装置の検査を行うメインチャンバーの構成のみを示し、図８は従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明するためのフローチャートを示し、図９は従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明する動作図を示している。
【００１２】
図７において、ＴＦＴアレイ検査装置１０１は、メインチャンバー１０３（以下、ＭＣと云う）内に、基板１１０を載置してＸＹＺ方向に移動可能とするステージ１０６と、ステージ１０６上に載置された基板１１０と接触させて基板に検査信号を印加するプローバーフレーム１０７と、基板１１０上に設けられたアライメントマーク１１９を撮像する撮像手段１０９を備える。撮像手段１０９はメインチャンバー１０３に固定される。
【００１３】
ゲート１０４を開放し、基板１１０をロードロック室１０２（以下ＬＬ室という）に搬入した後(S100)、ゲート１０４を閉じてＬＬ室１０２内を真空排気する（S101）（図９（ａ））。ＬＬ室１０２内を真空状態とした後、ゲート１０５を開放して基板１１０をＭＣ１０３内に搬入する(S102)（図９（ｂ））。
【００１４】
ＭＣ１０３内において、撮像手段１０９で基板上のアライメントマーク１１９を撮像し、ＭＣ１０３に対して基板１１０をアライメントする(S103)。アライメントによって得られたＭＣ１０３に対する基板１１０の位置ずれ量に基づいて、基板１１０をプローバーフレーム１０７に対して移動する（S104）（図９（ｃ））。
【００１５】
基板１１０をプローバーフレーム１０７に対して位置合わせした後、ステージ１０６をＺ方向に移動させて、基板１１０をプローバーフレーム１０７に接触させ(S105) （図９（ｄ））、プローバーフレーム１０７のプローブピン（図示していない）を通して基板１１０に検査信号を印加して、基板のＴＦＴアレイ検査を行う（S106）（図９（ｅ））。
【００１６】
検査が終了した後、ゲート１０５を開いて基板１１０をＭＣ１０３からＬＬ室１０２に搬出し(S107)、ゲート１０５を閉じた後、ＬＬ室１０２を大気圧に戻す（S108）。ゲート１０４を開いて、基板１１０をＬＬ室１０２から搬出する(S109) （図９（ｆ））。検査を続行して他の基板を検査する場合(S110)には、S100に戻って処理を繰り返す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特公平８−１７１９４号
【特許文献２】特開２００５−２７４６８６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
従来のＴＦＴアレイ検査装置では、検査装置の本体側であるメインチャンバーと基板とのアライメントのみが行われ、プローバーフレームはメインチャンバーに対して固定されており、その設置精度は高いものではない。その結果、基板のメインチャンバーに対するアライメントのみでは、プローバーフレームに対して基板を正しく合わせることが難しいため、基板位置がプローバーフレームの位置に合うように、基板を載置したステージを駆動することが必要である。
【００１９】
図７において、符号ｂはメインチャンバー１０３に対する基板１１０のアライメントを示し、符号ｃはプローバーフレーム１０７に対するステージ１０６による基板１１０の位置合わせ動作を示している。従来のＴＦＴアレイ検査装置では、撮像手段１０９によって基板１１０上に設けられたアライメントマーク１１９を撮像することで、メインチャンバー１０３に対して基板１１０はアライメントされるが、プローバーフレーム１０７はメインチャンバー１０３に固定されたままであるため、基板１１０をプローバーフレーム１０７に対して移動させる必要がある。
【００２０】
従来のＴＦＴアレイ検査装置では、上記したように、検査装置本体に対して基板をアライメントするのみであるため、基板とプローバーフレームとの位置合わせは、検査装置本体に固定されたプローバーフレームとの位置合わせによって相対的に行うに過ぎない。
【００２１】
したがって、プローバーフレームに対するステージ駆動が不調であるときには、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせが困難となり、基板電極とプローブピンとの接触不良が発生する要因となっている。
【００２２】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御することによって、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能とすることを目的とし、これによって、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、メインチャンバー上に撮像手段を設置し、この撮像手段によってプローバーフレーム上に設けたアライメントマークを撮像することによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置制御を可能とするものである。メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御可能とすることで、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能し、これによって、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減する。
【００２４】
本発明は、ＴＦＴ基板検査装置の形態、およびＴＦＴ基板の位置合わせ方法の形態とすることができる。
【００２５】
本発明の装置の形態によるＴＦＴ基板検査装置は、ＴＦＴ基板の電極とプローバーフレームのプローバピンとを接触させることにより基板検査を行うＴＦＴ基板検査装置であり、撮像手段と制御手段とを備える。
【００２６】
撮像手段は、プローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する第１の撮像手段と、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第２の撮像手段とを備える。
【００２７】
第１の撮像手段は、プローバーフレーム上のアライメントマークを撮像し得る位置に設け、撮像した画像中のアライメントマークの位置に基づいてプローバーフレームの位置を取得する。
【００２８】
第２の撮像手段は、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像し得る位置に設け、撮像した画像中のアライメントマークの位置に基づいて基板の位置を取得する。
【００２９】
撮像画像で得られるプローバーフレームの位置および基板の位置は、各アライメントマークを撮像する撮像手段が設定された部位を基準とするものである。
【００３０】
制御手段は、プローバーフレームのアライメントを制御するプローバーフレーム制御手段と、ＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御するステージ制御手段とを備える。
【００３１】
プローバーフレーム制御手段は、第１の撮像手段によるアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームのアライメント位置を制御する。一方、ステージ制御手段は、第２の撮像手段によるアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御する。
【００３２】
装置の第１の形態では、第１の撮像手段および第２の撮像手段を、プローバーフレームおよびステージを内部に備えるメインチャンバーに対して所定位置に設置する。これによって、第１の撮像手段で撮像されたアライメントマークによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を求めることができ、また、第２の撮像手段で撮像されたアライメントマークによって、メインチャンバーに対するＴＦＴ基板の位置を求めることができる。
【００３３】
第１の撮像手段および第２の撮像手段を設置する所定位置は、メインチャンバーに対して位置関係が定められた位置であり、メインチャンバー自体の他に、メインチャンバーに設けられた部位とすることができる。
【００３４】
第１の撮像手段と第２の撮像手段は、別個の撮像手段で構成する他に、一つの撮像手段で構成することができる。一つの撮像手段とする場合には、撮像手段の撮像画像範囲内にプローバーフレーム上のアライメントマークとＴＦＴ基板上のアライメントマークとを撮像する。
【００３５】
装置の第２の形態では、第１の撮像手段を、プローバーフレームおよびステージを内部に備えるメインチャンバーに対して所定位置に設置し、第２の撮像手段を、プローバーフレームに設置する。これによって、第１の撮像手段で撮像されたアライメントマークによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を求めることができ、また、第２の撮像手段で撮像されたアライメントマークによって、プローバーフレームに対するＴＦＴ基板の位置を求めることができる。
【００３６】
第１の撮像手段を設置する所定位置は、メインチャンバーに対して位置関係が定められた位置であり、メインチャンバー自体の他に、メインチャンバーに設けられた部位とすることができる。
【００３７】
装置の第１の形態および第２の形態の何れの形態においても、第１の撮像手段を、メインチャンバーに対して所定位置に設置することによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を求めることができ、このプローバーフレームの位置に基づいてメインチャンバーに対するプローバーフレームの位置制御を行うことができる。
【００３８】
本発明の方法の形態によるＴＦＴ基板の位置合わせ方法は、プローバーフレームとＴＦＴ基板との位置合わせを行う方法であり、撮像工程と制御工程とを備える。
【００３９】
撮像工程は、プローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する第１の撮像工程と、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第２の撮像工程とを備える。
【００４０】
第１の撮像工程は、プローバーフレーム上のアライメントマークを撮像し、撮像した画像中のアライメントマークの位置に基づいてプローバーフレームの位置を取得する。
【００４１】
第２の撮像工程は、ＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像し、撮像した画像中のアライメントマークの位置に基づいて基板の位置を取得する。撮像画像で得られるプローバーフレームの位置および基板の位置は、各アライメントマークを撮像する撮像手段が設定された部位を基準とするものである。
【００４２】
制御工程は、プローバーフレームのアライメントを制御するプローバーフレームの制御工程と、ＴＦＴ基板を載置するステージの移動を制御するステージの制御工程とを備える。
【００４３】
プローバーフレーム制御工程は、第１の撮像工程で撮像したアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームのアライメントを制御する。一方、ステージ制御工程は、第２の撮像工程で撮像したアライメントマークの画像位置に基づいてステージの移動を制御する。
【００４４】
方法の第１の形態は、メインチャンバーからプローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する第１の撮像工程と、撮像によるプローバーフレーム上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対するプローバーフレームのアライメントを制御するプローバーフレーム制御工程と、メインチャンバーからＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第２の撮像工程と、撮像によるＴＦＴ基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対するステージの移動を制御するステージ制御工程とを備え、アライメントされたプローバーフレームに対してＴＦＴ基板を位置合わせする。
【００４５】
方法の第２の形態は、メインチャンバーからプローバーフレーム上のアライメントマークを撮像する第１の撮像工程と、撮像によるプローバーフレーム上のアライメントマークの画像位置に基づいてメインチャンバーに対するプローバーフレームのアライメントを制御するプローバーフレーム制御工程と、プローバーフレームからＴＦＴ基板上のアライメントマークを撮像する第２の撮像工程と、撮像によるＴＦＴ基板上のアライメントマークの画像位置に基づいてプローバーフレームに対するステージの移動を制御するステージ制御工程とを備え、アライメントされたプローバーフレームに対してＴＦＴ基板を位置合わせする。
【００４６】
方法の第１の形態および第２の形態の何れの形態においても、第１の工程でメインチャンバーからプローバーフレーム上のアライメントマークを撮像することによって、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を求めることができ、このプローバーフレームの位置に基づいてメインチャンバーに対するプローバーフレームの位置制御を行うことができる。
【００４７】
本願発明の態様によれば、基板をプローバーフレームに接触させた状態において、メインチャンバーからプローバーフレーム上のアライメントマークを撮像し、得られたプローバーフレーム上のアライメントマークの画像位置に基づいて基板とプローバーフレームとを回転させ、これによって、基板上を走査する電子線のスキャンのＸＹ方向と基板のＸＹ方向と合わせることができる。
【発明の効果】
【００４８】
以上説明したように、本発明によれば、メインチャンバーに対するプローバーフレームの位置を制御することによって、基板の電極とプローバーフレームのプローブピンとの正確な位置合わせを可能とすることができる。
【００４９】
また、本発明によれば、基板電極とプローブピンとの接触不良を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の形態および第２の形態の概略を説明するための図である。
【図２】本発明の第１の形態の動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の第１の形態の動作を説明するための動作図である。
【図４】本発明の第１の形態の動作を説明するための動作図である。
【図５】本発明の第２の形態の動作を説明するための動作図である。
【図６】本発明の第２の形態の動作を説明するための動作図である。
【図７】従来のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を示す図である。
【図８】従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】従来のＴＦＴアレイ検査装置の動作を説明する動作図である。
【発明を実施するための形態】
【００５１】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。以下、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例について、図１〜図６を用いて説明する。図１〜４は第１の形態の構成例を説明するための図であり、図４〜図６は第２の形態の構成例を説明するための図である。
【００５２】
図１は本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の形態および第２の形態の概略を説明するための図であり、図１（ａ）はＴＦＴアレイ検査装置の第１の形態を示し、図１（ｂ）はＴＦＴアレイ検査装置の第２の形態を示している。
【００５３】
［第１の形態］
はじめに、本発明の第１の形態について説明する。
図１（ａ）において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、メインチャンバー３内に、基板１０を載置してＸＹＺ方向に移動可能とするステージ６と、ステージ６上に載置された基板１０と接触させて基板１０に検査信号を印加するプローバーフレーム７と、プローバーフレーム７上に設けられたアライメントマーク１８を撮像する第１の撮像手段８と、基板１０上に設けられたアライメントマーク１９を撮像する第２の撮像手段９を備える。なお、第１の撮像手段８と第２の撮像手段９は同一の一つの撮像手段としてもよい。
【００５４】
第１の撮像手段８および第２の撮像手段９は、メインチャンバー３自体、あるいは、メインチャンバー３に対して所定位置に設けられた部位に取り付けられる。これによって、第１の撮像手段８が撮像するアライメントマーク１８の画像および第２の撮像手段９が撮像するアライメントマーク１９の画像から得られる位置は、メインチャンバー３を基準位置とすることができる。
【００５５】
位置検出手段１１は、第１の撮像手段８が撮像したプローバーフレーム７のアライメントマーク１８の撮像画像、および第２の撮像手段９が撮像した基板１０のアライメントマーク１９の撮像画像を入力して、メインチャンバー３を基準位置とするアライメントマーク１８，１９の位置を検出し、プローバーフレーム７および基板１０の位置を検出する。
【００５６】
プローバーフレーム制御手段１２は、位置検出手段１１からプローバーフレーム７の位置情報を取得し、メインチャンバー３に対するプローバーフレーム７のアライメントを行う。一方、ステージ制御手段１３は、位置検出手段１１から基板１０の位置情報を取得し、メインチャンバー３に対して基板１０を位置合わせする。
【００５７】
図１（ａ）において、符号Ａはメインチャンバー３に対するプローバーフレーム７のアライメントを示し、符号Ｂはメインチャンバー３に対する基板１０のアライメントを示し、符号Ｃはプローバーフレーム７に対するステージ６による基板１０の位置合わせ動作を示している。
【００５８】
本発明の第１の形態では、第１の撮像手段８によってプローバーフレーム７上に設けられたアライメントマーク１８を撮像することで、メインチャンバー３に対してプローバーフレーム７をアライメントし、また、第２の撮像手段９によって基板１０上に設けられたアライメントマーク１９を撮像することで、メインチャンバー３に対して基板１０をアライメントする。これらのアライメントマークによって、プローバーフレーム７に対する基板１０の位置合わせを、メインチャンバーを基準位置として行うことができる。
【００５９】
次に、本発明の第１の形態の動作について、図２のフローチャートおよび図３、図４の動作図を用いて説明する。
【００６０】
はじめに、メインチャンバー３に設けた第１の撮像手段８によってプローバーフレーム７上に設けたアライメントマーク１８を撮像する。位置検出手段１１は、第１の撮像手段８からの撮像画像に基づいてプローバーフレーム７の位置を検出する。プローバーフレーム制御手段１２は、位置検出手段１１が検出したプローバーフレーム７の位置に基づいて、メインチャンバー３に対してプローバーフレーム７をアライメントする（S1）。
【００６１】
ゲート４を開放し、基板１０をロードロック室２に搬入した後(S2)、ゲート４を閉じてロードロック室２内を真空排気する（S3）（図３（ａ））。ロードロック室２内を真空状態とした後、ゲート５を開放して基板１０をメインチャンバー３内に搬入する(S4)（図３（ｂ））。
【００６２】
メインチャンバー３内において、第２の撮像手段９で基板１０上のアライメントマーク１９を撮像し、メインチャンバー３に対して基板１０をアライメントする(S5)。ステージ制御手段１３は、アライメントによって得られたメインチャンバー３に対する基板１０の位置ずれ量に基づいて、ステージ６を駆動して基板１０をプローバーフレーム７に対して移動する（S6）（図３（ｃ））。
【００６３】
基板１０をプローバーフレーム７に対して位置合わせした後、ステージ６あるいはプローバーフレーム７をＺ方向に移動させて、基板１０をプローバーフレーム７に接触させる(S7) （図３（ｄ））。
【００６４】
メインチャンバー３に設けた第１の撮像手段８によるプローバーフレーム７上のアライメントマーク１８の撮像、あるいは第２の撮像手段９による基板１０上のアライメントマーク１９の撮像によって、メインチャンバー３に対する基板およびプローバーフレームの位置を検出し、ステージ６を駆動して基板１０とプローバーフレーム７とを一体で回転させ、基板１０上を電子線が走査するＸＹ方向と、基板１０のＸＹ方向とを合わせる(S8)（図４（ａ））。
【００６５】
プローバーフレーム７から基板１０に検査信号を印加して基板検査を行う（S9）（図４（ｂ））。
【００６６】
検査が終了した後、ゲート５を開いて基板１０をメインチャンバー３からロードロック室２に搬出し(S10)、ゲート５を閉じた後、ロードロック室２を大気圧に戻す（S11）。ゲート４を開いて、基板１０をロードロック室２から搬出する(S12) （図４（ｃ））。検査を続行して他の基板を検査する場合(S13)には、S2に戻って処理を繰り返す。
【００６７】
［第２の形態］
次に、本発明の第２の形態について説明する。
図１（ｂ）において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、メインチャンバー３内に、基板１０を載置してＸＹＺ方向に移動可能とするステージ６と、ステージ６上に載置された基板１０と接触させて基板１０に検査信号を印加するプローバーフレーム７と、プローバーフレーム７上に設けられたアライメントマーク１８を撮像する第１の撮像手段８と、基板１０上に設けられたアライメントマーク１９を撮像する第２の撮像手段９を備える。
【００６８】
第１の撮像手段８はメインチャンバー３自体、あるいは、メインチャンバー３に対して所定位置に設けられた部位に取り付けられる。一方、第２の撮像手段９は、プローバーフレーム７に対して所定位置に設けられた部位に取り付けられる。これによって、第１の撮像手段８が撮像するアライメントマーク１８の画像から得られる位置は、メインチャンバー３を基準位置とする位置とすることができ、一方、第２の撮像手段９が撮像するアライメントマーク１９の画像から得られる位置は、プローバーフレーム７を基準位置とする位置とすることができる。
【００６９】
位置検出手段１１は、第１の撮像手段８が撮像したプローバーフレーム７のアライメントマーク１８の撮像画像、および第２の撮像手段９が撮像した基板１０のアライメントマーク１９の撮像画像を入力して、メインチャンバー３を基準位置とするアライメントマーク１８の位置、およびプローバーフレーム７を基準位置とするアライメントマーク１９の位置を検出し、プローバーフレーム７および基板１０の位置を検出する。
【００７０】
プローバーフレーム制御手段１２は、位置検出手段１１からプローバーフレーム７の位置情報を取得し、メインチャンバー３に対するプローバーフレーム７のアライメントを行う。一方、ステージ制御手段１３は、位置検出手段１１から基板１０の位置情報を取得し、メインチャンバー３に対して基板１０を位置合わせする。
【００７１】
図１（ｂ）において、符号Ａはメインチャンバー３に対するプローバーフレーム７のアライメントを示し、符号Ｃはプローバーフレーム７に対するステージ６による基板１０の位置合わせを示している。
【００７２】
本発明の第２の形態では、第１の撮像手段８によってプローバーフレーム７上に設けられたアライメントマーク１８を撮像することで、メインチャンバー３に対してプローバーフレーム７をアライメントし、また、第２の撮像手段９によって基板１０上に設けられたアライメントマーク１９を撮像することで、プローバーフレーム７に対して基板１０をアライメントする。これらのアライメントマークによって、プローバーフレーム７に対する基板１０の位置合わせを、メインチャンバーを基準位置として行うことができる。
【００７３】
次に、本発明の第２の形態の動作について、図２のフローチャートおよび図５、図６の動作図を用いて説明する。
【００７４】
はじめに、メインチャンバー３に設けた第１の撮像手段８によってプローバーフレーム７上に設けたアライメントマーク１８を撮像する。位置検出手段１１は、第１の撮像手段８からの撮像画像に基づいてプローバーフレーム７の位置を検出する。プローバーフレーム制御手段１２は、位置検出手段１１が検出したプローバーフレーム７の位置に基づいて、メインチャンバー３に対してプローバーフレーム７をアライメントする（S1）。
【００７５】
ゲート４を開放し、基板１０をロードロック室２に搬入した後(S2)、ゲート４を閉じてロードロック室２内を真空排気する（S3）（図５（ａ））。ロードロック室２内を真空状態とした後、ゲート５を開放して基板１０をメインチャンバー３内に搬入する（S4)（図５（ｂ））。
【００７６】
メインチャンバー３内において、第２の撮像手段９で基板１０上のアライメントマーク１９を撮像し、プローバーフレーム７に対して基板１０をアライメントする（S5)。ステージ制御手段１３は、アライメントによって得られたメインチャンバー３に対する基板１０の位置ずれ量に基づいて、ステージ６を駆動して基板１０をプローバーフレーム７に対して移動する（S6）（図５（ｃ））。
【００７７】
基板１０をプローバーフレーム７に対して位置合わせした後、ステージ６あるいはプローバーフレーム７をＺ方向に移動させて、基板１０をプローバーフレーム７に接触させる(S7) （図５（ｄ））。
【００７８】
メインチャンバー３に設けた第１の撮像手段８によるプローバーフレーム７上のアライメントマーク１８の撮像によって、メインチャンバー３に対する基板およびプローバーフレームの位置を検出し、ステージ６を駆動して基板１０とプローバーフレーム７とを一体で回転させ、基板１０上を電子線が走査するＸＹ方向と、基板１０のＸＹ方向とを合わせる(S8)（図６（ａ））。
【００７９】
プローバーフレーム７から基板１０に検査信号を印加して基板検査を行う（S9）（図６（ｂ））。
【００８０】
検査が終了した後、ゲート５を開いて基板１０をメインチャンバー３からロードロック室２に搬出し(S10)、ゲート５を閉じた後、ロードロック室２を大気圧に戻す（S11）。ゲート４を開いて、基板１０をロードロック室２から搬出する(S12) （図６（ｃ））。検査を続行して他の基板を検査する場合(S13)には、S2に戻って処理を繰り返す。
【００８１】
本発明の形態によれば、プローバーフレームのメインチャンバーに対する位置を制御することができるため、基板とプローバーフレームとの間の接触状態を安定させることができ、これによって、接触不良による基板の歩留まり低下や、欠陥の検出漏れの率の増加を抑制することができ、接触不良を修正するために要する処理時間の増加を抑えることができる。
【００８２】
なお、本発明は前記各実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨に基づいて種々変形することが可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置およびＴＦＴ基板の検査方法は、液晶基板に限らず、半導体基板に適用することができる。
【符号の説明】
【００８４】
１    ＴＦＴアレイ検査装置
２    ロードロック室
３    メインチャンバー
４    ゲート
５    ゲート
６    ステージ
７    プローバーフレーム
８    第１の撮像手段
９    第２の撮像手段
１０    基板
１１    位置検出手段
１２    プローバーフレーム制御手段
１３    ステージ制御手段
１８，１９    アライメントマーク
１０１    アレイ検査装置
１０２    ロードロック室
１０３    メインチャンバー
１０４    ゲート
１０５    ゲート
１０６    ステージ
１０７    プローバーフレーム
１０９    撮像手段
１１０    基板
１１９    アライメントマーク
【図２】
2010256092.tif 000003
【図８】
2010256092.tif 000004
【図１】
2010256092.tif 000005
【図３】
2010256092.tif 000006
【図４】
2010256092.tif 000007
【図５】
2010256092.tif 000008
【図６】
2010256092.tif 000009
【図７】
2010256092.tif 000010
【図９】
2010256092.tif 000011