(57)【要約】【課題】  複数のコイル状のフィラメントが発光管の内部に配設されたフィラメントランプにおいて、被照射面において均一な放射照度分布を得ることのできるフィラメントランプの提供。【解決手段】  フィラメントランプは、複数のコイル状のフィラメントが順次に並んで配設され、各フィラメントの両端には電力を供給する内部リードが連結され、各フィラメントに独立に給電されるフィラメントランプであって、内部リードは、各フィラメントの端部に形成された被連結部が連結される連結部を有し、各フィラメントにおいては、当該各フィラメントの前記被連結部に隣接した領域に密巻き部が形成されると共に、当該密巻き部に隣接し、かつ、被連結部に対して逆側である領域に、当該密巻き部よりも大きいコイルピッチを有する主発光コイル部が形成されていることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端に封止部が形成された発光管の内部に、複数のコイル状のフィラメントが、各フィラメントが発光管の管軸方向に伸びる状態に順次に並んで配設され、各フィラメントの両端の各々には、電力を供給する内部リードが連結され、各フィラメントにおける内部リードの各々が封止部に配設された複数の金属箔の各々に電気的に接続されて各フィラメントに独立に給電されるフィラメントランプであって、
前記内部リードは、各フィラメントの端部に形成された被連結部が連結される連結部を有し、
前記各フィラメントにおいては、当該各フィラメントの前記被連結部に隣接した領域に密巻き部が形成されると共に、当該密巻き部に隣接し、かつ、被連結部に対して逆側である領域に、当該密巻き部よりも大きいコイルピッチを有する主発光コイル部が形成されていることを特徴とするフィラメントランプ。
【請求項２】
前記密巻き部は、３コイルターン以上のコイルからなることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【請求項３】
前記フィラメントを支持するリング状のアンカーが、当該フィラメントの主発光コイル部のみに設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフィラメントランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィラメントランプに関し、特に、被処理体を加熱処理するために用いられるフィラメントランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ製造工程における、例えば成膜、酸化、不純物拡散、窒化、膜安定化、シリサイド化、結晶化、およびイオン注入活性化などの様々なプロセス、並びに、太陽電池の製造工程における様々なプロセスを行う急速熱処理（以下、「ＲＴＰ：Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａ１  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ」ともいう。）に用いられる加熱処理装置としては、例えば光透過性材料からなる発光管の内部にフィラメントが配設されてなる白熱ランプなどの光源からの光照射によって、被処理体に接触することなくこれを加熱することのできる光照射式の加熱処理装置が広く利用されている（特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
本出願人は、このような光照射式の加熱処理装置の光源として用いられるフィラメントランプとして、以下のような構成を有するものを提案している（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
このフィラメントランプを、図１を参照して説明する。このフィラメントランプは、両端が封止部１２ａ，１２ｂによって気密に封止された直管状の発光管１１内に、タングステン製のコイル状のフィラメント４２，５２，６２が、発光管１１の管軸方向に伸びるよう順次に並んで配置され、各フィラメント４２，５２，６２の両端には、それぞれ給電用の内部リード４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂが連結されている。
【０００５】
各フィラメント４２，５２，６２の内部リード４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂは、それぞれ封止部１２ａまたは封止部１２ｂに延びて個別に金属箔を介して外部リードに電気的に接続されている。
すなわち、各フィラメント４２，５２，６２の一端側の内部リード４１ａ，５１ａ，６１ａは、それぞれ一端側の封止部１２ａに設けられた金属箔１３ａ，１３ｃ，１３ｅを介して一端側の外部リード１８ａ，１８ｃ，１８ｅに電気的に接続されている。
同様に、他端側の内部リード４１ｂ，５１ｂ，６１ｂは、それぞれ他端側の封止部１２ｂに設けられた金属箔１３ｂ，１３ｄ，１３ｆを介して他端側の外部リード１８ｂ，１８ｄ，１８ｆに電気的に接続されている。
【０００６】
そして、各フィラメント４２，５２，６２は、これら各外部リード１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆを介してそれぞれ別個の給電装置２１，２２，２３に接続されていることにより、個別に給電可能とされている。
なお、２５ａ〜２５ｄは、それぞれ各フィラメント４２，５２，６２の内部リード４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａに被嵌された絶縁管であり、他のフィラメント４２，５２，６２に対向する部位に設けられている。
また、１７は、発光管１１の内壁と絶縁管２５ａ〜２５ｄとの間の位置において、発光管１１の管軸方向に並設された環状のアンカーであって、各フィラメント４２，５２，６２は、それぞれ、例えば２個のアンカーによって発光管１１と接触しないよう支持されている。
【０００７】
このような構成のフィラメントランプを用いた光照射式加熱処理装置によれば、複数のフィラメントに対して個別に給電できて各フィラメントの発光等の制御を個別に行うことができる。これにより、例えば熱処理される被処理体上における場所的な温度変化の度合いの分布が被処理体の形状に対して非対称である場合であっても、当該被処理体の特性に応じた所望の放射照度分布で光照射することができる結果、被処理体を全体的に均一に加熱することができる。従って、被処理体における被照射面の全体にわたってある程度高い均一性を有する温度分布を実現することができるという利点を有する。
【０００８】
【特許文献１】特開平７−３７８３３号公報
【特許文献２】特開２００２−２０３８０４号公報
【特許文献３】特開２００６−２７９００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記のフィラメントランプにおいては、隣り合うフィラメント間に形成される非発光部の存在によって被照射面における放射照度分布に不均一な微小領域が生じる、という問題がある。特に、フィラメントランプに備えられたフィラメントと被照射面との離間距離が大きい場合には、被照射面における放射照度分布の不均一な微小領域がさらに拡大されることが判明した。
非発光部の存在によって被照射面における放射照度分布に不均一な微小領域が生じる理由は、以下のように考えられる。
【００１０】
すなわち、まず、上記のフィラメントランプにおいては、個々のフィラメントに対して独立に給電するので、隣り合うフィラメントの端部同士の電位が異なる場合があるために、隣り合うフィラメント間で放電が発生することのない構成とする必要がある。このため、隣り合うフィラメントは、互いに電気的絶縁性が確保されるように数ｍｍ程度の空間を挟んで配置されている。
さらに、各フィラメントの端部に接続される給電用の内部リードは、製作上の理由によりフィラメントを形成する素線の断面積に比べて少なくとも４倍以上もの断面積を有していることから、当該内部リードによって前記フィラメントの端部において発生された熱が奪われる。その結果、その箇所においては所望の高温状態が得られず、低温状態となって他の箇所に比べて放射される光が少なくなる。
このように、隣り合うフィラメント間においては物理的にフィラメントの存在しない空間が必要上形成されており、さらに、各フィラメントの端部に不可避的に光放射強度が低い部分が形成されている。そして、これらによる非発光部、すなわち光放射強度が所望の値よりも低い部分により、放射照度分布に不均一な微小領域が生じるものと考えられる。
【００１１】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、複数のコイル状のフィラメントが発光管の内部に配設されたフィラメントランプにおいて、被照射面において均一な放射照度分布を得ることのできるフィラメントランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のフィラメントランプは、両端に封止部が形成された発光管の内部に、複数のコイル状のフィラメントが、各フィラメントが発光管の管軸方向に伸びる状態に順次に並んで配設され、各フィラメントの両端の各々には、電力を供給する内部リードが連結され、各フィラメントにおける内部リードの各々が封止部に配設された複数の金属箔の各々に電気的に接続されて各フィラメントに独立に給電されるフィラメントランプであって、
前記内部リードは、各フィラメントの端部に形成された被連結部が連結される連結部を有し、
前記各フィラメントにおいては、当該各フィラメントの前記被連結部に隣接した領域に密巻き部が形成されると共に、当該密巻き部に隣接し、かつ、被連結部に対して逆側である領域に、当該密巻き部よりも大きいコイルピッチを有する主発光コイル部が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
本発明のフィラメントランプにおいては、前記密巻き部は、３コイルターン以上のコイルからなることが好ましい。
【００１４】
また、本発明のフィラメントランプにおいては、前記フィラメントを支持するリング状のアンカーが、当該フィラメントの主発光コイル部のみに設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のフィラメントランプによれば、基本的には、複数のフィラメントに対して個別に給電できて各フィラメントの発光等の制御を個別に行うことができることから、例えば熱処理される被処理体上における場所的な温度変化の度合いの分布が被処理体の形状に対して非対称である場合であっても、当該被処理体の特性に応じた所望の放射照度分布で光を照射することができる。そして、隣り合うフィラメントを両方発光させる場合においても、被照射面における均一な放射照度分布を達成することができ、その結果、被処理体の全体にわたって均一な温度分布を実現することができる。
これは、両フィラメント間に形成される非発光部の両側にコイルピッチの小さい密巻き部が各々形成されているために、当該密巻き部が高温状態とされ、フィラメント間において相互幅射作用が生じる結果、光放射強度の低い非発光部の管軸方向の長さを縮小させることができるためである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明のフィラメントランプの一例における構成の概略を示す説明用模式図、図２は、本発明のフィラメントランプに係る複数のフィラメントの配置パターンおよび構成を簡略化して示す説明用断面図である。
このフィラメントランプ１０は、両端部が溶着されて封止部１２ａ，１２ｂが形成された、例えば石英ガラスなどの光透過性材料からなる直管状の発光管１１を備えてなり、この発光管１１の内部には、複数例えば３つのコイル状のフィラメント４２，５２，６２の各々が、発光管１１の管軸方向に伸びるよう、管軸上に順次に並んだ状態で配設されていると共に、ハロゲンガスが封入されている。
【００１７】
フィラメント４２には、図２に示されるように、その一端部に給電用の内部リード４１ａが連結されると共に、その他端部に給電用の内部リード４１ｂが連結されている。
【００１８】
フィラメント４２に係る一端側の内部リード４１ａは、図２に示されるように、例えば１本の線条材により形成されたものとすることができ、発光管１１の管軸に平行な状態で封止部１２ａに向かう方向に伸びる直線状の内部リード本体部４３ａと、この内部リード本体部４３ａに連続して、この内部リード本体部４３ａに直交する方向（連結されるフィラメント４２の径方向）に伸びる径方向部４４ａと、この径方向部４４ａに連続して、管軸に平行な状態で封止部１２ａに向かう方向に伸びる直線状の連結部４５ａとにより構成されている。
内部リード４１ａの連結部４５ａは、フィラメント４２のコイル内径に適合する外径を有する。
この内部リード４１ａは、別部材を溶接などで接合して一体化したものであってもよい。
【００１９】
また、フィラメント４２に係る他端側の内部リード４１ｂについても、内部リード４１ａと同様の構成とされている。具体的には、発光管１１の管軸に平行な状態で封止部１２ｂに向かう方向に伸びる直線状の内部リード本体部４３ｂと、この内部リード本体部４３ｂに連続して、この内部リード本体部４３ｂに直交する方向に伸びる径方向部４４ｂと、この径方向部４４ｂに連続して、管軸に平行な状態で封止部１２ｂに向かう方向に伸びる直線状の連結部４５ｂとにより構成されている。
【００２０】
そして、フィラメント４２は、その一端部に、一端側に係る内部リード４１ａに連結される被連結部４６ａが形成され、当該被連結部４６ａに隣接した領域に密巻き部４８ａが形成されている。また、その他端部に、他端側に係る内部リード４１ｂに連結される被連結部４６ｂが形成され、当該被連結部４６ｂに隣接した領域に密巻き部４８ｂが形成されている。そして、密巻き部４８ａ，４８ｂの両方に隣接してこれらに挟まれた領域に、当該密巻き部４８ａよりも大きいコイルピッチを有する主発光コイル部４９が形成されている。
すなわち、密巻き部４８ａ，４８ｂおよび主発光コイル部４９においては、密巻き部４８ａ（または密巻き部４８ｂ）のコイルピッチをＰ１とし、主発光コイル部４９のコイルピッチをＰ２とした場合に、Ｐ１＜Ｐ２の関係が成立する。
なお、密巻き部４８ａ，４８ｂおよび主発光コイル部４９により、発光部４７が形成される。
【００２１】
密巻き部４８ａ，４８ｂのコイルピッチは、例えばそれぞれ１１０〜１５０％の範囲であることが好ましく、また、そのコイルターン数は３コイルターン以上であることが好ましく、特に好ましくは１０コイルターン以上である。密巻き部４８ａ，４８ｂのコイルターン数が１０コイルターン以上であることにより、当該密巻き部４８ａ，４８ｂを確実に高温状態にすることができる。
また、主発光コイル部４９のコイルピッチは、密巻き部４８ａ，４８ｂのコイルピッチより大きければ特に限定されないが、例えば１３０〜２００％であることが好ましい。主発光コイル部４９のコイルピッチは全長にわたって一様であることが好ましい。
また、被連結部４６ａ，４６ｂのコイルピッチは、それぞれ密巻き部４８ａ，４８ｂのコイルピッチと比べて大きくても小さくてもよい。
【００２２】
また、フィラメント５２，６２についても、フィラメント４２と同一の構成とされており、図１において、５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂは密巻き部、５９，６９は主発光コイル部であり、図２において、５６ａ，５６ｂは被連結部、５７は発光部である。
【００２３】
このフィラメント４２においては、図２に示されるように、当該フィラメント４２の被連結部４６ａを内部リード４１ａの連結部４５ａに対して接続することにより、当該連結部４５ａがフィラメント４２の一端部における内部空間内に挿入されてその外周面がフィラメント４２の被連結部４６ａの内面に当接する状態で配置されている。これにより、内部リード４１ａとフィラメント４２との連結が達成されている。
また、他端部に係る内部リード４１ｂについても同様にして、連結部４５ｂがフィラメント４２の被連結部４６ｂの内面に当接する状態で配置されることにより、内部リード４１ｂとフィラメント４２との連結が達成されている。
以上により、フィラメント４２が内部リード４１ａ，４１ｂに固定されている。
このフィラメント４２の内部リード４１ａ，４１ｂへの固定においては、必要に応じて、フィラメント４２の被連結部４６ａと内部リード４１ａの連結部４５ａ、並びにフィラメント４２の被連結部４６ｂと内部リード４１ｂの連結部４５ｂの溶接処理やプレス加工などを行ってもよい。
【００２４】
このフィラメントランプ１０においては、フィラメント５２，６２についても、フィラメント４２と同様に、その一端部に給電用の内部リード５１ａ（６１ａ）が連結されると共に、その他端部に給電用の内部リード５１ｂ（６１ｂ）が連結されている。
なお、図２において、５３ａ，５３ｂは内部リード本体部、５４ａ，５４ｂは径方向部、５５ａ，５５ｂは連結部である。
【００２５】
このフィラメントランプ１０は、各フィラメント４２，５２，６２に、それぞれ独立に給電される構成とされている。
具体的には、フィラメント４２，５２，６２に係る内部リード４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂの各々が封止部１２ａまたは封止部１２ｂに配設された複数の金属箔の各々に対して電気的に接続されている。
すなわち、フィラメント４２に係る一端側の内部リード４１ａが発光管１１の管軸に沿って伸び、当該発光管１１の一端側の封止部１２ａに気密に埋設された金属箔１３ａを介して外部リード１８ａに電気的に接続されている。また、他端側の内部リード４１ｂが発光管１１の他端側の封止部１２ｂに気密に埋設された金属箔１３ｂを介して外部リード１８ｂに電気的に接続されている。また、フィラメント５２に係る一端側の内部リード５１ａが発光管１１の管軸に沿って伸び、当該発光管１１の一端側の封止部１２ａに気密に埋設された金属箔１３ｃを介して外部リード１８ｃに電気的に接続されている。また、他端側の内部リード５１ｂが発光管１１の他端側の封止部１２ｂに気密に埋設された金属箔１３ｄを介して外部リード１８ｄに電気的に接続されている。また、フィラメント６２に係る一端側の内部リード６１ａが発光管１１の管軸に沿って伸び、当該発光管１１の一端側の封止部１２ａに気密に埋設された金属箔１３ｅを介して外部リード１８ｅに電気的に接続されている。そして、他端側の内部リード６１ｂが発光管１１の他端側の封止部１２ｂに気密に埋設された金属箔１３ｆを介して外部リード１８ｆに電気的に接続されている。
【００２６】
このフィラメントランプ１０においては、一のフィラメントに係る内部リードの、他のフィラメントおよびそれに連結された内部リードと対向する箇所に、例えば石英などの絶縁材料からなる絶縁管が設けられている。絶縁管が設けられていることにより、フィラメントに取り付けられた後述するアンカー１７と、内部リードとが接触して電気的に短絡することを確実に防止することができる。
具体的には、図２に示すように、フィラメント４２に係る他端側の内部リード４１ｂには、フィラメント５２およびフィラメント６２と対向する箇所に、絶縁管２５ａが設けられている。また、フィラメント５２に係る一端側の内部リード５１ａには、フィラメント４２と対向する箇所に、絶縁管２５ｂが設けられており、他端側の内部リード５１ｂには、フィラメント６２と対向する箇所に、絶縁管２５ｃが設けられている。さらに、フィラメント６２に係る一端側の内部リード６１ａには、フィラメント４２およびフィラメント５２と対向する箇所に、絶縁管２５ｄが設けられている。
【００２７】
また、このフィラメントランプ１０においては、発光管１１の内壁と絶縁管との間の位置において、発光管１１の管軸方向に並設された複数の環状のアンカー１７が設けられており、各フィラメント４２，５２，６２は、それぞれ、例えば２個のアンカーによって発光管１１と接触しないよう支持されている。
アンカー１７は、フィラメントランプ１０を作製するに際して、複数のフィラメントを発光管１１内に容易に挿入して配設することができる程度の弾性を有する。
【００２８】
このアンカー１７は、それぞれ、各フィラメント４２，５２，６２の主発光コイル部に設けられていることが好ましい。特に、主発光コイル部４９，５９，６９の密巻き部４８ａ，４８ｂ，５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂとの境界から、１０コイルターン以上離間した位置に設けられていることが好ましい。このように構成することにより、密巻き部４８ａ，４８ｂ，５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂにおいて発生された熱が当該アンカー１７によって奪われることがなく、当該密巻き部４８ａ，４８ｂ，５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂを十分な高温状態とすることができる。
【００２９】
上記構成のフィラメントランプ１０は、第１の給電装置２１、第２の給電装置２２、第３の給電装置２３に接続されている。詳細には、フィラメント４２と電気的に接続された外部リード１８ａおよび外部リード１８ｂの間に第１の給電装置２１が接続され、フィラメント５２と電気的に接続された外部リード１８ｃおよび外部リード１８ｄの間に第２の給電装置２２が接続され、フィラメント６２と電気的に接続された外部リード１８ｅおよび外部リード１８ｆの間に第３の給電装置２３が接続されている。
【００３０】
このフィラメントランプ１０は、各フィラメント４２，５２，６２に個別の給電装置２１，２２，２３が接続されているので、各フィラメント４２，５２，６２に個別に電力を給電することにより、各フィラメント４２，５２，６２の点灯制御を個別に行うことができる。
【００３１】
フィラメントランプにおけるフィラメントおよび内部リードの寸法例を挙げると、フィラメントの全長が各８１ｍｍ、外径（２次コイル径）が１．３ｍｍ、コイル素線の断面積が０．０５ｍｍ2 、被連結部の全長が各３ｍｍ、密巻き部の全長が各５ｍｍ、コイルピッチＰ１が１２０％、密巻き部のコイルターン数が１６、主発光コイル部の全長が６５ｍｍ、コイルピッチＰ２が１５０％、発光部の全長が７５ｍｍ、内部リードを構成する線状材の外径が０．８ｍｍ、断面積が０．５ｍｍ2 であり、隣り合うフィラメント間の離間距離が５ｍｍである。
【００３２】
以下、本発明のフィラメントランプについて行った実験例について説明する。
【００３３】
〔実験例１〕
フィラメントランプの寸法を下記（１）〜（３）の通りにし、図１および図２に従ってフィラメントランプ〔Ａ〕を製作し、これを点灯させてフィラメントランプから離間した被照射面における光強度分布を測定した。結果を図３に示す。
（１）フィラメント
・発光部の全長：７５ｍｍ
・外径（２次コイル径）：１．３ｍｍ
・コイル素線の断面積：０．０５ｍｍ2 
・被連結部の全長：各３ｍｍ
・密巻き部の全長：各５ｍｍ
・密巻き部のコイルピッチＰ１：１２０％
・密巻き部のコイルターン数：１６
・主発光コイル部の全長：６５ｍｍ
・主発光コイル部のコイルピッチＰ２：１５０％
（２）内部リード
・線状材の外径：０．８ｍｍ
・線状材の断面積が０．５ｍｍ2 
（３）フィラメント間の離間距離
・離間距離：各５ｍｍ
【００３４】
〔比較実験例１〕
上記の実験例１において、密巻き部を設けず、主発光コイル部の全長を７５ｍｍに変更したことの他は同様にして、比較用のフィラメントランプ〔Ｂ〕を作製し、これを点灯させてフィラメントランプから離間した被照射面における光強度分布を測定した。結果を図３に示す。
【００３５】
図３（ａ），（ｂ）は、それぞれフィラメントランプ〔Ａ〕およびフィラメントランプ〔Ｂ〕の光強度分布を示すグラフ、図３（ｃ），（ｄ）は、それぞれ図３（ａ），（ｂ）のα部分およびβ部分の拡大図、図３（ｅ），（ｆ）は、それぞれα部分およびβ部分に対応するフィラメントの構造と、当該α部分およびβ部分に係るフィラメントの構造から理論的に導かれる温度分布の模式図である。
【００３６】
図３の結果から、本発明に係るフィラメントランプ〔Ａ〕においては、フィラメント（４２，５２）に係る光強度分布について、それぞれ、密巻き部（４８ｂ，５８ａ）に対応する領域１Ａにおいて主発光コイル部（４９，５９）に対応する領域１Ｃよりも高い光強度を示すことが確認された。一方、比較用のフィラメントランプ〔Ｂ〕においては、主発光コイル部よりも高い光強度を示す領域が存在しないことが確認された。
また、光強度分布において、本発明に係るフィラメントランプ〔Ａ〕は、密巻き部に係る領域の光強度のグラフの傾き２Ａが、比較用のフィラメントランプ〔Ｂ〕に係る光強度のグラフの傾き２Ｂよりも急であり、また、密巻き部に係る領域の光強度の最高値３Ａが比較用のフィラメントランプ〔Ｂ〕に係る光強度の最高値３Ｂよりも１０％程度高く、さらに、フィラメント間の領域における光強度の最低値と、前記光強度の最高値との落差４Ａが、比較用のフィラメントランプ〔Ｂ〕に係る落差４Ｂよりも小さいことが確認された。
そして、本発明に係るフィラメントランプ〔Ａ〕の非発光部の長さは、図３中のＬＡおよびＬＢを指標とすることができるところ、以上の結果より、比較用のフィラメントランプ〔Ｂ〕に係る非発光部よりもその長さが小さいことが判明した。
【００３７】
以上のようなフィラメントランプ１０によれば、基本的には、複数のフィラメント４２，５２，６２に対して個別に給電できて各フィラメント４２，５２，６２の発光等の制御を個別に行うことができることから、例えば熱処理される被処理体上における場所的な温度変化の度合いの分布が被処理体の形状に対して非対称である場合であっても、当該被処理体の特性に応じた所望の放射照度分布で光を照射することができる。そして、隣り合うフィラメント４２，５２またはフィラメント５２，６２を両方発光させる場合においても、被照射面における均一な放射照度分布を達成することができ、その結果、被処理体の全体にわたって均一な温度分布を実現することができる。
この理由は、以下の通りである。すなわち、フィラメント４２，５２間またはフィラメント５２，６２間に形成される非発光部の両側にコイルピッチの小さい密巻き部４８ａ，４８ｂ，５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂが各々形成されている。このために、当該密巻き部４８ａ，４８ｂ，５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂが高温状態とされ、フィラメント４２，５２間またはフィラメント５２，６２間において相互幅射作用が生じる結果、光放射強度の低い非発光部の管軸方向の長さを縮小させることができるためである。
【００３８】
以上、本発明のフィラメントランプの実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００３９】
例えば、密巻き部は、そのコイルピッチが必ずしも一様である必要はなく、コイルピッチの平均値が主発光コイル部のコイルピッチよりも小さければ、被連結部から主発光コイル部に向かうに従ってコイルピッチが徐々に大きくなるよう構成することもできる。
【００４０】
また例えば、本発明のフィラメントランプにおいては、フィラメントの数は限定されるものではなく、目的に応じて適宜に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のフィラメントランプの一例における構成の概略を示す説明用模式図である。
【図２】複数のフィラメントの配置パターンおよび構成を簡略化して示す説明用断面図である。
【図３】実験例１および比較実験例１の結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４２】
１０  フィラメントランプ
１１  発光管
１２ａ，１２ｂ  封止部
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ  金属箔
１７  アンカー
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆ  外部リード
２１，２２，２３  給電装置
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ  絶縁管
４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂ  内部リード
４２，５２，６２  フィラメント
４３ａ，４３ｂ，５３ａ，５３ｂ  内部リード本体部
４４ａ，４４ｂ，５４ａ，５４ｂ  径方向部
４５ａ，４５ｂ，５５ａ，５５ｂ  連結部
４６ａ，４６ｂ，５６ａ，５６ｂ  被連結部
４７，５７  発光部
４８ａ，４８ｂ，５８ａ，５８ｂ，６８ａ，６８ｂ  密巻き部
４９，５９，６９  主発光コイル部
【図１】
2010040229.tif 000003
【図２】
2010040229.tif 000004
【図３】
2010040229.tif 000005