(57)【要約】【課題】インクジェット装置のノズルヘッドの吐出異常を簡単かつ迅速に検出することで有機ＥＬの製造コストを低減できる塗布方法，及び，有機ＥＬパネル用の基板を提供すること。【解決手段】インクジェットで有機発光材料を含有したインクを塗布し、有機発光層を形成する有機ＥＬパネルの製造方法において、表示領域外に設けられ、パネル基板の有機発光層が形成される側の反対側（基板裏面側）からパネル基板に照射された光を遮光する部分と前記光を透過する部分とからなる検査領域にインクを塗布した後に基板裏面側からインク内の有機発光材料を励起する光を照射する工程と、前記工程により励起された光の光量を測定する工程と、前記測定された光量が所定の値であるかどうかを判定する工程と、前記光量が所定の値であった場合、表示領域に塗布する工程を順次行う。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットで有機発光材料を含有したインクをパネル基板に塗布し、前記基板の一方の面に有機発光層を形成する有機ＥＬパネルの製造方法であって、
前記基板の表示領域外に設けられ、
光を遮光する部分と光を透過する部分とで構成される前記基板の検査領域に前記基板の一方の面側からインクを塗布した後、
前記検査領域に対して、前記基板の一方の面と対向する他方の面側から光を照射し、
前記インクに含まれる有機発光材料から発光される光量を測定した結果、
測定した光量が許容値であった場合には、前記基板の表示領域にインクを塗布すること
を特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項２】
前記光を遮光する部分は、前記光を透過する部分より親インク性を有する請求項１記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項３】
前記光を遮光する部分に溝を設けた請求項１記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項４】
有機ＥＬパネル基板であって、
基板の表示領域外に設けられ、光を遮光する部分と光を透過する部分とで構成される基板の検査領域を有することを特徴とする有機ＥＬパネル基板。
【請求項５】
前記光を遮光する部分と陽極とが同一材料であることを特徴とする請求項４記載の有機ＥＬパネル基板。
【請求項６】
前記光を遮光する部分が前記光を透過する部分より親インク性を有することを特徴とする請求項４記載の有機ＥＬパネル基板。
【請求項７】
前記光を遮光する部分に溝を設けたことを特徴とする請求項４記載の有機ＥＬパネル基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
有機ＥＬの発光層などの光により励起され発光する材料をインクジェットで塗布して形成する電子デバイスの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年インクジェット技術を用いて電子デバイスを製造する方法が注目を集めている。
【０００３】
インクジェット技術による製造は、蒸着技術などに比べ設備構成がシンプルで安価な製造が可能である。またインクジェット技術は直接パターニング技術であるため蒸着技術におけるマスクが不要で大型化が可能である。例えば、表示電子デバイスにおいては、大画面への市場要求が高まり、インクジェット塗布による電子デバイス製造技術への期待は高まっている。
【０００４】
以下、有機ＥＬディスプレイを例に塗布による製造技術について説明する。
【０００５】
図３に有機ＥＬディスプレイの構造を示す。
【０００６】
有機ＥＬディスプレイは基板１、陽極３２、発光層３０１Ｒ〜Ｂ、陰極３３、隔壁３１からなる。基板にはディスプレイを駆動するためのＴＦＴが内蔵されているが、ここでは図示しない。また、陰極の上層には封止膜やカラーフィルターなどが適宜配置されるが図示していない。有機ＥＬディスプレイの場合、発光層としてＲＧＢの３色に対応した３種類があり、それぞれを３０１Ｒ，３０１Ｇ，３０１Ｂで表している。また、隔壁３１は次の製造工程の説明において述べる、インクジェット塗布において各画素に塗布するインクのパターニングに使用される。インクとは、発光層材料を溶媒に溶かした溶液のことを言う。
【０００７】
有機ＥＬの発光層の原料としては、ポリフルオレン系、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系、アルコキシベンゼン、アルキルベンゼンなどの高分子材料が挙げられ、溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキシルベンゼン等の単独または混合溶媒が挙げられる。また、図３に示すディスプレイの場合には、隔壁３１を形成しているので、塗布されたインクは所望の画素領域に留まり、混色することなく高品位なディスプレイを実現できる。このとき、隔壁はフッ素を含む樹脂が使用され撥インク性を有していることが好ましい場合がある。このように構成された有機ＥＬデバイスは、陰極からの電子と陽極からの正孔が発光層内で結合し発光することで、ディスプレイとしての機能を果たす。
【０００８】
また、図４は有機ＥＬディスプレイの有機発光層の高さでの断面図である。有機発光層の高さの断面を示している。ＲＧＢともピクセル状にパターニングしてある例を示している。それぞれのピクセル（「画素」とも言う）を発光させることでテレビ等の表示装置として機能することができる。このピクセルが形成されている領域を表示領域という。
【０００９】
次に、従来の有機ＥＬディスプレイの製造方法について説明する。
【００１０】
まず、フォトリソグラフィの技術を用いて基板上に陽極が作成される。次に、フォトリソグラフィの技術を用いて隔壁が作成される。その後、インクジェット印刷法によりＲＧＢの発光層のインクが塗布される。塗布されたインクは、塗布工程及び次の工程で乾燥され、発光層のパターンが形成される。更にその後、発光層の上にスパッタリングなどの方法で陰極が形成される。
【００１１】
以下、インクジェットによるインクの塗布について説明する。
【００１２】
図１にインクジェット装置の構成を示す。構成要素は基板搬送ステージ２、ノズルヘッド１０、ノズルヘッド取り付け支柱、インク配送配管３、インクタンク４、インク用ポンプ５、ノズルヘッド昇降機構（図示せず）、制御部（図示せず）である。
【００１３】
次に、各要素の動作を説明する。インクはインクタンク４からインク用ポンプ５によってインク配送配管３を通ってノズルヘッド１０に送り込まれる。図２に示すように、ノズルヘッド１０はインク配管が接続されるインク導入口１３、導入されたインクを各ノズル穴に分配するマニホールド部１２、ノズル穴１１、圧電素子１４、振動板１５、インク室１６からなる。インクはマニホールド部１２から複数のインク室１６に供給される。
【００１４】
それぞれのインク室には圧電素子１４と振動板１５が設置されている。このとき、圧電素子１４に制御部の信号により電圧が印加されると、圧電素子１４が収縮し振動板１５が変形する。その結果、インク室１６内の圧力が高くなり、ノズル穴１１よりインクの液滴が吐出される。ノズルヘッド１０には複数のノズル穴１１が開いており、複数のピクセルに同時にインクを吐出し塗布する。
【００１５】
基板１とノズルヘッド１０のノズル穴１１の距離は、ノズル昇降機構により５００μｍ〜１０００μｍのギャップに調整され、ノズル穴１１から吐出されたインクは、図１（ａ），（ｂ）に示した搬送ステージの動きによって、搬送された基板１に塗布される。ステージの位置を検出し、吐出タイミングを制御することでピクセルパターンの塗布を行う。
【００１６】
このようなインクジェット装置において、液滴の吐出はノズル穴１１の周辺のインクの乾燥状態やインクの濡れ残り状態に対して非常に敏感であり、製造装置周辺の僅かな環境変化で、液滴の不吐出や飛行曲がりが生ずる場合が多い。特に、有機ＥＬのインクは乾燥しやすいため、このような傾向が顕著である。ノズルヘッド１０の液滴の不吐出が生じると、有機ＥＬパネルとしてはドット抜け不良となる。また、液滴の飛行曲がりが生じると、液滴の着弾位置が目標の着弾位置（正規の着弾位置）から、有機ＥＬパネルとしては、ドットずれ不良や混色不良となる。このため、製品の品質を確保するべく、ドット抜けやドットずれが生じた場合には、これを検出して液滴吐出ヘッドにクリーニングやノズル吸引等の回復処理を施したりする必要がある。
【００１７】
従来、ドットずれやドット抜けを検出する方法として、特許文献１にあるように、被検査物上に並べて形成された複数のドットの電子画像を撮像し、該電子画像を画像処理することにより隣接するドットの間隔を測定し、該測定値を正規値と比較することによりドットの位置ずれを検出する方法が提案されている。
【００１８】
また、他の検出方法として、入射した光を導いて通過させ、通過する光を着弾した液滴との界面から放射する光導層を有する検査基板に対し、光を照射する投光部と、投光部により照射され光導層を通過した光を受光する受光部とを備えた装置を使用し、受光部により受光した光の強度変化に基づいて、検査基板に対する液滴の着弾異常の発生を判断する方法が特許文献２に開示されている。
【特許文献１】特開２００５−０１４２１６号公報
【特許文献２】特開２００７−１７５６１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、特許文献１においては、画像認識装置が必要で検査装置が高価であり、検査コストが高くなり、ひいては製品コストが高くなるという問題があった。また、画像認識装置を基板に対して走査する必要があり、検査に時間がかかるという問題があった。
【００２０】
また、特許文献２においては専用の検査用基板を使用するため、その分検査コストが高くなり、ひいては製品コストが高くなるという問題があった。また、光学系と信号処理系が複雑でその分でも検査コストが高くなるという問題があった。更に、専用の検査基板を使用するため、検査基板から製品基板に切り替える間にノズルの状態が変化し、検査ではＯＫと判定されたものの製品ではＮＧとなり、歩留まりが低くなるという問題があった。特に、有機ＥＬのインクは乾燥しやすいためこのような問題が顕著である。
【００２１】
本発明は前記従来技術の問題に鑑みなされたもので、インクジェット装置のノズルヘッドの吐出異常を簡単かつ迅速に検出することで、有機ＥＬの製造コストを低減できる塗布方法及び有機ＥＬパネル用の基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本願の第１発明は、『インクジェットで有機発光材料を含有したインクをパネル基板に塗布し、前記基板の一方の面に有機発光層を形成する有機ＥＬパネルの製造方法であって、前記基板の表示領域外に設けられ、光を遮光する部分と光を透過する部分とで構成される前記基板の検査領域に前記基板の一方の面側からインクを塗布した後、前記検査領域に対して、前記基板の一方の面と対向する他方の面側から光を照射し、前記インクに含まれる有機発光材料から発光される光量を測定した結果、測定した光量が許容値であった場合には、前記基板の表示領域にインクを塗布する』有機ＥＬパネルの製造方法である。
【００２３】
また、このとき、光を遮光する部分は、前記光を透過する部分より親インク性を有すると好適である。更に、光を遮光する部分に溝を設けても良い。
【００２４】
また、本願の第２発明は、『有機ＥＬパネル基板であって、基板の表示領域外に設けられ、光を遮光する部分と光を透過する部分とで構成される基板の検査領域を有する』有機ＥＬパネル基板である。
【００２５】
このとき、光を遮光する部分と陽極とが同一材料であると好適である。また、光を遮光する部分が前記光を透過する部分より親インク性を有すると良い。更に、光を遮光する部分に溝を設けても好適である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によると、正規の位置の吐出されたインク液滴に対してはパネル基板の有機発光層が形成される側の反対側（基板裏面側）からパネルに照射された光があたり、所定の励起光を発光する。一方、異常のあるノズルから吐出され正規の位置に着弾しなかったインク液滴には光が当たらず発光しない。この光量の差によって正規位置に着弾しなかったインク液滴の存在を検出するので、画像認識装置やその駆動系または複雑な光学系を用いることなく、安価に短時間でノズルの異常を検出できる。
【００２７】
このとき製品基板の検査領域を使用するので、専用の検査基板を用いる必要がなく、安価に、また検査直後に塗布できるので歩留まりも向上できる。このように本発明によるとインクジェット装置のノズルヘッドの吐出異常を簡単かつ迅速に検出することができる。その結果、有機ＥＬパネルの製造コストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２９】
（実施の形態１）
図５（ａ），（ｂ）に、本発明実施の形態１に関わる有機ＥＬパネル基板を示す。
【００３０】
図４に示す従来の有機ＥＬパネル基板と比較して、表示領域外に設けられ、パネル基板の有機発光層が形成される側の反対側（基板裏面側）からパネル基板に照射された光を遮光する部分と、光を透過する部分とからなる検査領域４１を有する点が異なる。
【００３１】
検査領域４１は表示領域の塗り始めの位置に設けられる。
【００３２】
図５（ａ）は、図４に対応する有機発光層の高さでの断面図である。但し、有機ＥＬ層を塗布する直前の状態を表している。図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ´‘断面図である。
【００３３】
検査領域４１は基板裏面側からパネル基板に照射された光Ｌを遮光する遮光領域４１１（以下「遮光領域」とも言う）と、光を透過する透過領域４１２（以下「透過領域」とも言う）とからなる。光を透過する領域は吐出検査時にインク液滴が正規の位置に着弾した際の大きさとほぼ同じ大きさに形成する。液滴の大きさが１〜３ｐｌであれば、光を透過する透過領域４１２は直径１０〜３０μｍの円形である。遮光領域４１１は陽極３２を構成する層の１つを使用して形成される。
【００３４】
このようにして遮光領域４１１を形成すれば、陽極のパターニング時に陽極のピクセルパターンと同時に遮光領域４１１及び透過領域４１２を形成できるので、検査領域を形成するために、新たな製造工程を増やす必要がないという長所がある。なお、遮光領域の具体的な材料としては、銀、パラジウム、銅の合金が使用される。
【００３５】
次に、基板を使用して吐出検査をする塗布装置を、図６を用いて説明する。
【００３６】
図６において図１と同じ番号は同じ構成要素を示す。基板搬送ステージ２には、基板の検査領域４１に対応して基板裏面より光を照射するための穴２１が開いている。穴２１の下方には、光照射装置５１と光学フィルタ５２が配置されており、光照射装置５１から照射された光から光学フィルタ５２により特定の波長が選択され穴２１を通って基板の検査領域４１の裏面に照射される。
【００３７】
また、基板の表側にはノズルヘッド１０の近傍で、光照射装置５１と光学フィルタ５２に対応する位置に、光学フィルタ５３と光量計５４が配置されている。光照射装置５１としては水銀ランプなどのＵＶ光源を使用する。このとき、光学フィルタ５２としては、３６５ｎｍの波長を透過する光学フィルタを使用する。また、光学フィルタ５３としては、５２５ｎｍの波長を透過する光学フィルタを使用する。光量計５４としては、フォトダイオードを使用する。
【００３８】
次に本発明の塗布方法について説明する。
【００３９】
図７（ａ）に示すように搬送ステージ２によって基板を搬送し、検査領域４１をノズル直下に移動させ、各ノズルよりインク液滴６０をテスト吐出する。次に、図７（ｂ）に示すように、検査領域４１を光量計５４の直下に移動させる。このとき、光照射装置側から波長３６５ｎｍの光Ｌが穴２１を通過し、テスト領域４１に塗布されたインク液滴６０に照射される。照射された光Ｌは、インクの発光材料を励起し、インクの発光材料からの波長５２５ｎｍの励起光が放射される。この発光量を光量計５４で計測する。
【００４０】
図８（ａ）にノズルに吐出異常がない場合のテスト吐出後の検査領域４１の平面図を示す。検査領域４１に赤色発光層３０１Ｒ用のインクをテスト吐出した後の状態を示す。
【００４１】
吐出異常がない場合には、全てのインク液滴は検査領域４１の透過領域４１２内に収まる。それ故、インク液滴からの励起光の発光量は、吐出信号を受けたすべてのノズルから吐出したインク液滴からの発光量となる。図８（ａ）においては、３滴分の発光量となる。
【００４２】
図８（ｂ）にノズルに飛行曲がりの吐出異常がある場合のテスト吐出後の検査領域４１の平面図を示す。飛行曲がりの吐出異常があるノズルから吐出された液滴は図８（ｂ）の符号６１のごとく、透過領域４１２からはみ出す。それ故、インク液滴からの励起光の発光量は、吐出信号を受けた全てのノズルから吐出したインク液滴からの発光量に満たなくなる。図８（Ｂ）においては、３滴分の発光量にならず、およそ２．５滴分の発光量となる。
【００４３】
図８（ｃ）にノズルに不吐出の吐出異常がある場合のテスト吐出後の検査領域４１の平面図を示す。この場合、不吐出ノズルに対応する透過領域４１２にインク液滴は塗布されない。それ故、インク液滴からの励起光の発光量は、吐出信号を受けた全てのノズルから吐出したインク液滴からの発光量に満たなくなる。図８（ｂ）においては、３滴分の発光量にならず、２滴分の発光量となる。
【００４４】
本発明の塗布方法の次の工程では、上記のような透過領域４１２からのインク液滴からの発光量を光量計５４で測定し、吐出信号を受けた全てのノズルから吐出したインク液滴に相当する発光量となっているかどうかを制御部１８で判定する。図８の場合、図８（ａ）の如く、３滴分の発光量となっているかを判定する。判定の結果、３滴分の発光量になっていれば、表示領域に塗布する。
【００４５】
図８（ｂ），（ｃ）の如く、発光量が３滴分に満たなければ、ノズルクリーニング等の処置を行う。ノズルクリーニング等の処置の後、再びテスト吐出をして異常吐出がないことを確認できれば、表示領域に塗布する。そのため検査領域には図９のごとく各ノズルに対応して複数の透過領域４１２を設けておくことが望ましい。
【００４６】
正規の位置の吐出されたインク液滴に対しては、パネル基板の有機発光層が形成される側の反対側（基板裏面側）からパネル基板に照射された光が当たり、所定の励起光を発光する。一方、異常のあるノズルから吐出され正規の位置に着弾しなかったインク液滴には光が当たらず発光しない。この光量の差によって、正規位置に着弾しなかったインク液滴の存在を検出するので、画像認識装置やその駆動系、又は、複雑な光学系を用いることなく、安価に短時間でノズルの異常を検出できる。
【００４７】
このとき製品基板の検査領域を使用するので、専用の検査基板を用いる必要がなく、安価に、また検査直後に塗布できるので歩留まりも向上できる。このように本発明によるとインクジェット装置のノズルヘッドの吐出異常を簡単かつ迅速に検出することができる。
【００４８】
その結果、有機ＥＬパネルの製造コストを低減できる。
【００４９】
上記実施の形態では、検査領域４１へのテスト吐出ではインク液滴は１滴であったが、２滴以上吐出しても良い。着弾位置精度がさほど厳しくない場合は、より多い液滴数の塗布で検査する方が、インク液滴からの発光量が大きく、感度が低い安価な光量計で検査できるという点で望ましい。
【００５０】
上記実施の形態の説明では、赤色発光層のインクを塗布する工程を例に説明したが、赤色発光層を塗布した後に、緑色発光層、青色発光層と順次塗布していく工程においても上記塗布方法を使用する。その際、インク内の発光材料を励起させるための光が基板の裏面から照射されているので、先に塗布された発光層に照射されることがなく、先の塗布した発光層にダメージを与えることはない。例えば、赤色発光層を塗布した後に、緑色発光層の吐出検査をする際の照射光が赤色発光層に当たりダメージを及ぼすということはない。このように有機ＥＬパネル基板に複数回塗布する場合、インク内の発光材料を励起させるための光を基板裏面から照射することが望ましい。
【００５１】
（実施の形態２）
前述した実施の形態１では、基板１上に形成する陽極３２のうち光を透過しない一層を使用して遮光領域４１１を形成したが、基板１にＴＦＴ等の駆動回路を形成する際の配線材料のパターニングを使用して遮光領域４１１を形成しても良い。
【００５２】
陽極側から光を取り出すタイプの、所謂、ボトムエミッション構造の有機ＥＬパネルにおいては、陽極に遮光性の層が含まれないため、このように基板１内に検査領域を作り込むのが好ましい。
【００５３】
図１０を用いて、この形態について説明する。図１０（ａ）は、実施の形態１の図５（ａ）に相当する図である。
【００５４】
図５（ａ）では、陽極３２のうち光を透過しない一層を使用して遮光領域４１１を形成したが、図１０（ａ）ではＴＦＴ等の駆動回路を形成する際の信号線４２１のパターニングを使用して、遮光領域４１１を形成している。信号線４２１が遮光部となるように、信号線４２１の間が透過部となるように信号線をパターニングしている。すなわち、信号線４２１の間が、塗布領域の延長線上にあるよう、また信号線４２１の間隔がインク液滴着弾後の直径よりやや大きめにパターニングしてある。
【００５５】
また、図１０（ｂ）に図１０（ａ）の符号４２に対応する部分を示すが、図１０（ｂ）の符号４２２のように信号線から突き出した部分によって、ほぼ囲まれた部分４２２を設け、その部分を光透過部とすると、信号線方向の吐出異常も検査することができる。また、インク一滴あたり着弾後の直径が大きいときは、図１０（ｃ）のように、配線の一部に間隔の広い部分４２３を設けるのが良い。このようなパターンであると検査に必要な部分のみ配線が細くなるので、全体を細くする場合に比べ断線の可能性を低減できる。なお、前述の説明では、信号線のみを使用して検査領域を形成したが、信号線とは別の層にある配線と合わせて検査領域を形成しても良い。
【００５６】
図１０（ｄ）に信号線４２１と走査線４２２を使用して検査領域を形成する例を示す。
【００５７】
このように検査領域を形成すると、透過部分を遮光部分で完全に囲めるので高精度な検査が可能となる。
【００５８】
また、上記実施の形態１および２では陽極３２のうち光を透過しない層を使用して、検査領域４１を形成する方法や基板１内の配線層を使用して検査領域４１を形成する方法について述べたが、それらの層のパターニング精度が所望の精度に達しないときは、別途検査領域を形成するフォトリソ工程を追加しても良い。
【００５９】
より高精細な有機ＥＬパネルを製造する際は、一滴あたりのインク液滴量を少なくして製造するので、このように精度の高いフォトリソ工程を増やし、検査領域４１を作成するのが望ましい。
【００６０】
（実施の形態３）
図１１を用いて実施の形態３について説明する。
【００６１】
実施の形態３は、遮光部が透過部より親インク性を持つことを特徴とする。
【００６２】
図１１（ａ）は、実施の形態１で説明した図５（ａ）の４１に対応する部分の拡大図で、図５（ａ）に比べ、透過部４１２が撥インク性を持つ隔壁３１と同じ材料で埋められている点が異なる。
【００６３】
図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡ−Ａ’断面図であり、図５（ｂ）の４１部に対応している。図１１（ｂ）は、図５（ｂ）と比べ透過部４１２が撥インク性を持つ隔壁３１と同じ材料で埋められている点が異なる。
【００６４】
このような構成とすることで、正規の着弾位置からずれたインク液滴は濡れ性の違いによって遮光部へと引き込まれるため、わずかな着弾位置のずれからでも大きな発光量の差を得ることができる。その結果、吐出異常の検出精度を上げることができる。上記のように透過部４１２を隔壁３１と同じ材料で構成する方法であると、隔壁の形成工程にて透過部に撥インク製を付与できるので新たな工程が必要なく製造コストを上げることなく本発明の効果が得られる。
【００６５】
しかしながら、隔壁形成工程のパターニング精度が透過部の撥インク化に不十分であれば、別途プラズマ処理や濡れ性可変の感光性膜を使用し透過部の撥インク性を遮光部より高くしてもよい。
【００６６】
（実施の形態４）
図１２を用いて実施の形態４について説明する。
【００６７】
実施の形態４は、光を遮光する部分に毛管現象を発生させうる溝を設けたことを特徴とする。
【００６８】
図１２（ａ）は、実施の形態１で説明した図５（ａ）の４１に対応する部分の拡大図で、図５（ａ）に比べ、光を遮光する遮光領域４１１に毛管現象を発生させうる溝４３１を設けた点が異なる。
【００６９】
図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＡ−Ａ’断面図であり、図５（ｂ）の４１部に対応している。図１２（ｂ）は図５（ｂ）と比べ光を遮光する遮光領域４１１に毛管現象を発生させうる溝４３１を設けた点が異なる。溝の幅は１〜１０μｍ、長さは１０〜５０μｍ、深さは０．０１〜０．５μｍである。
【００７０】
このような構成とすることで、正規の着弾位置からずれたインク液滴は毛管現象によって遮光部へと引き込まれるため、わずかな着弾位置のずれからでも大きな発光量の差を得ることができる。その結果、吐出異常の検出精度を上げることができる。また、図１２（ｃ）（ｄ）に示すような２層構成にして、溝４３２を設けてもよい。
【００７１】
図１２（ｃ）は、実施の形態１で説明した図５（ａ）の４１に対応する部分の拡大図で、図１２（ｄ）は図１２（ｃ）のＡ−Ａ’断面図である。
【００７２】
溝４３２の直径は透過部の直径より５〜３０μｍ大きく、深さは０．０１〜０．５μｍである。２層構成なのでパネル基板の製造工程は複雑になるが、このような構成とすることで、インク液滴が正規の着弾位置からどちらの方向にずれようと毛管現象によって確実に遮光部へと引き込まれるため、わずかな着弾位置のずれからでも大きな発光量の差を得ることができる。その結果、吐出異常の検出精度を上げることができる。
【００７３】
（実施の形態５）
図１３を用いて実施の形態５について説明する。図６と同じ符号は、同じ構成要素を表わす。
【００７４】
図１３は、図６と比べて光量計５４の側にも、検査領域４１に塗布されたインクの発光材料を励起させる光Ｌ２を照射するための光源５６と光学フィルタ５５を有する点が異なる。このように構成することによって、吐出異常が検出された時、それが不吐出なのか飛行曲がりなのかを判定することができ、それぞれに対して適切な処置ができる。
【００７５】
以下、その方法を説明する。
【００７６】
まず、光源５６をＯＦＦ、光源５１をＯＮしてＬ１だけを使用して吐出異常を検出する。例えば、３つのノズル穴に吐出信号を印加したにも関わらず、光量計５４において２つのノズル穴から吐出されたインクの分しか励起光が検出されない場合、吐出異常と判断される。しかし、この段階では異常が不吐出によるものか、飛行曲がりによるものかは判断できない。
【００７７】
次に、光源５１をＯＦＦ、光源５６をＯＮにしてＬ２を塗布領域に吐出されインクに照射し、励起光の光量を光量計５４で測定する。このとき、光量計５４において２つのノズル穴から吐出されたインクの分しか励起光が検出された場合は、不吐出と判断される。不吐出は気泡や異物が原因であるので、ノズル吸引によって回復できる。
【００７８】
そうではなく、光量計５４において３つのノズル穴から吐出されたインクの分の励起光が検出され場合は飛行曲がりと判断される。飛行曲がりはノズル表面で増粘したインが原因であるので、ワイピングによって回復できる。
【００７９】
以上のように本実施例によれば、吐出異常に的確に対応できるので、異常からの復帰が早く生産性を向上でき、有機ＥＬディスプレイの製造コストを低減できる。本実施例は最初の色を塗布する時や紫外線に対する耐性が高いインクを使用する場合に特に有効である。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
インクジェット装置を使用した、有機ＥＬパネル等の電子デバイス製造に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】インクジェット装置を示す図
【図２】インクジェット装置のノズルヘッドを示す図
【図３】有機ＥＬデバイスの構造図
【図４】有機ＥＬデバイスの有機発光層の高さでの断面図
【図５】本発明の実施の形態１の有機ＥＬパネル基板の概念図
【図６】本発明の実施の形態１の有機ＥＬパネル製造装置の概念図
【図７】本発明の実施の形態１の有機ＥＬパネル製造方法の説明図
【図８】本発明の実施の形態１の有機ＥＬパネル製造方法の説明図
【図９】本発明の実施の形態１の有機ＥＬパネル製造方法の説明図
【図１０】本発明の実施の形態２の有機ＥＬパネル基板の概念図
【図１１】本発明の実施の形態３の有機ＥＬパネル基板の概念図
【図１２】本発明の実施の形態４の有機ＥＬパネル基板の概念図
【図１３】本発明の実施の形態５の有機ＥＬパネル製造方法の説明図
【符号の説明】
【００８２】
１      基板
２      基板搬送ステージ
３      インク配送配管
４      インクタンク
５      インク用ポンプ
１０    ノズルヘッド
１１    ノズル穴
１８    制御部
２１    穴
３１    隔壁
３２    陽極
３３    陰極
４１    検査領域
５１    光源
５２，５３  光学フィルタ
５４    光量計
３０１Ｒ〜Ｂ  発光層
４０１Ｒ，４０１Ｇ，４０３Ｂ  塗布されたインク
４１１  遮光部（遮光領域）
４１２  透過部（透過領域）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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