(57)【要約】【課題】この発明は、永久磁石のみで可動部の磁路を構成し、可動部の軽量化により慣性を小さくでき、かつ永久磁石の体積を増加して、磁束を増加でき、コイルへの通電電流の増加を抑えて高加速度化を実現できるガルバノスキャナを得る。【解決手段】裏面を半円筒面３ｂとし、半円筒面３ｂの中心軸Ｏが反射ミラー２の反斜面上に位置するように反射ミラー２を保持する樹脂製の保持部材３と、保持部材３に一体に設けられ、保持部材とともに可動部を構成する永久磁石５と、保持部材３を中心軸Ｏ回りに回動自在に支持するベース部材９と、保持部材３の半円筒面３ｂに相対するようにベース部材９に配置されたコア７と、コア７に固着されて、永久磁石５と協働して保持部材３を中心軸Ｏ回りに回動駆動するコイル８と、を備えている。そして、保持部材３が非磁性の樹脂材料で作製され、可動部の磁路が永久磁石５のみで構成されている。【選択図】図３
2010256811.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材を回動駆動して光線を反射或いは回折偏光するガルバノスキャナにおいて、
裏面を円弧面とし、該円弧面の中心軸が上記光学部材の反斜面或いは偏光面上に位置するように該光学部材を保持する保持部材と、
上記保持部材に一体に設けられ、該保持部材とともに可動部を構成する永久磁石と、
上記保持部材を上記中心軸回りに回動自在に支持するベース部材と、
上記保持部材の上記円弧面に相対するように上記ベース部材に配置されたコアと、
上記コアに固着されて、上記永久磁石と協働して上記保持部材を上記中心軸回りに回動駆動するコイルと、を備え、
上記保持部材が非磁性の樹脂材料で作製され、上記可動部の磁路が上記永久磁石のみで構成されていることを特徴とするガルバノスキャナ。
【請求項２】
上記永久磁石は、複数の磁石体に分割構成されていることを特徴とする請求項１記載のガルバノスキャナ。
【請求項３】
上記永久磁石は、上記円弧面側の着磁配向方向と直交する磁石断面積が上記中心軸側の着磁配向方向と直交する磁石断面積より小さく構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のガルバノスキャナ。
【請求項４】
上記永久磁石が、上記保持部材にインサート成形されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のガルバノスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光学部材を回転駆動して光線を反射、或いは回折偏光するガルバノスキャナに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のガルバノスキャナは、下面を半円筒面に形成した永久磁石を反射ミラーを保持する保持部材に取り付け、永久磁石の半円筒面を空気膜により回転可能に支持する空気軸受をベース部材に固定するとともに空気軸受とベース部材との間にコイルを配置し、永久磁石の磁力により保持部材を空気軸受に付勢するように構成されていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−８１５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のガルバノスキャナでは、反射ミラーを保持する保持部材が永久磁石とベース部材とともに磁気回路を構成している。そこで、保持部材が重量の重い磁性材料で作製されることになり、可動部の慣性が増加する。また、保持部材は起磁力をもっていないので、磁束増加には貢献しない。したがって、従来のガルバノスキャナは、高加速度化に対応できなかった。言い換えれば、従来のガルバノスキャナにおいて、高加速度化を実現するには、コイルに流す電流を増加して高トルクを得る必要があった。
しかし、コイルに流す電流を増加すると、コイルジュール損や磁石渦損が大きくなるので、コイルや磁石での発熱量が多くなり、エンコーダの動作温度範囲を逸脱したり、永久磁石が熱減磁し、トルクが低下するという問題が生じる。
【０００５】
この発明は、このような課題を解決するためになされたものであって、永久磁石のみで可動部の磁路を構成し、保持部材を軽量の非磁性材料により作製できるようにし、可動部の軽量化により慣性を小さくでき、かつ永久磁石の体積を増加して、磁束を増加でき、コイルへの通電電流の増加を抑えて高加速度化を実現できるガルバノスキャナを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係るガルバノスキャナは、裏面を円弧面とし、該円弧面の中心軸が光学部材の反斜面或いは偏光面上に位置するように該光学部材を保持する保持部材と、上記保持部材に一体に設けられ、該保持部材とともに可動部を構成する永久磁石と、上記保持部材を上記中心軸回りに回動自在に支持するベース部材と、上記保持部材の上記円弧面に相対するように上記ベース部材に配置されたコアと、上記コアに固着されて、上記永久磁石と協働して上記保持部材を上記中心軸回りに回動駆動するコイルと、を備え、上記保持部材が非磁性の樹脂材料で作製され、上記可動部の磁路が上記永久磁石のみで構成されている。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、光学部材を保持する可動部における磁路が永久磁石のみで構成されているので、磁石体積が増加し、磁束量が増大し、トルクを大きくすることができる。さらに、保持部材が樹脂材料で作製されているので、保持部材の軽量化が図られ、可動部の慣性を小さくできる。したがって、可動部の慣性当たりのトルク（トルク／可動部慣性）が増大し、損失の大きな増加なしに高い加速度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナを示す斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの構成を説明する分解斜視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。
【図４】この発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの構成を示す横断面図である。
【図５】この発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す横断面図である。
【図６】この発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの構成を示す横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明のガルバノスキャナの好適な実施の形態につき図面を用いて説明する。
【００１０】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナを示す斜視図、図２はこの発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの構成を説明する分解斜視図、図３は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。
【００１１】
図１乃至図３において、ガルバノスキャナ１は、光学部材としての反射ミラー２と、裏面が半円筒面３ｂに形成され、半円筒面３ｂの中心軸Ｏが反射ミラー２の反射面上に位置するように反射ミラー２をミラー搭載面３ａに保持する保持部材３と、保持部材３に一体に設けられた永久磁石５と、保持部材３を半円筒面３ｂの中心軸Ｏ回りに回動自在に支持するベース部材９と、内周面を保持部材３の半円筒面３ｂより大きな曲率半径を有する半円筒面とする半円筒体に作製され、内周面の中心軸が中心軸Ｏに一致するように、保持部材３の半円筒面３ｂに対向してベース部材９に保持された圧粉鉄心からなるコア７と、コア７の内周面上に配設され、永久磁石５と協働して保持部材３を半円筒面３ｂの中心軸Ｏ回りに回動駆動するコイル８と、を備えている。ここで、半円筒面とは、中心角を１８０°する円弧を、その中心を中心軸に一致させて中心軸の軸方向に集合してできる曲面（円弧面）である。
【００１２】
ここで、ガルバノスキャナ１の各構成について、具体的に説明する。
反射ミラー２は、矩形平板状に作製され、表面が反射面となる。
保持部材３は、上面を平坦なミラー搭載面３ａとし、裏面を半円筒面３ｂとする非磁性の樹脂成型体である。そして、一対の回転軸４が、その軸心を半円筒面３ｂの中心軸Ｏに一致するように、ミラー搭載面３ａを挟んで相対して保持部材３に一体にモールド成形されている。
【００１３】
永久磁石５は、長さ方向と直交する断面を所定厚みの円弧形とする湾曲した短冊状に作製され、着磁配向方向６を断面円弧形の周方向とするネオジウム焼結磁石である。この永久磁石５は、長さ方向を半円筒面３ｂの中心軸Ｏと平行にして、断面円弧形の外周面を半円筒面３ｂの中心軸Ｏに向けて、かつ断面円弧形の両側面を半円筒面３ｂと面一にして、保持部材３に一体にモールド成形されている。永久磁石５は、保持部材３の中心軸Ｏの方向の中央位置で、中心軸Ｏに直交する平面に対して対称、かつ保持部材３の半円筒面３ｂの中心角の二等分線により構成される平面に対して対称となるように保持部材３に配設されている。そして、永久磁石５の外周面が半円筒面３ｂの一部を構成する。
【００１４】
コイル８は、導線を所定回巻回して作製され、平行な一対の直線部８ａ，８ｂの両端部を円弧部でそれぞれ連結してなるレーストラック状に成形された平板状コイルである。
ベース部材９は、例えば、銅などの良熱伝導材料で直方体に作製され、コア７の外周面と同等の曲率半径を有する半円筒面を内周面１０ａとする凹部１０が上面に凹設されている。また、一対の転がり軸受１１が、その軸心を凹部１０の内周面１０ａの中心軸に一致させて、凹部１０を挟んで相対するようにベース部材９に装着されている。さらに、流入ポート１２と排出ポート１３とがベース部材９の内部に形成された冷却水流路１４の両端に接続されている。
【００１５】
このように構成されたガルバノスキャナ１を組み立てるには、まず、保持部材３がモールド成形される。この時、回転軸４と永久磁石５とが保持部材３にインサートモールドされる。ついで、反射ミラー２を保持部材３のミラー搭載面３ａに接着剤などを用いて固着し、可動部を作製する。また、コア７の外周面を凹部１０の内周面１０ａに接着剤などを用いて固着し、コア７を凹部１０に収納保持する。ついで、コイル８の直線部８ａ，８ｂの長さ方向をコア７の軸方向（内周面１０ａの中心軸の軸方向）に平行として、コア７の内周面に接し、かつ内周面に沿って湾曲させて、接着剤などを用いてコイル８をコア７に固着し、固定部を作製する。
そして、回転軸４が転がり軸受１１に支持され、保持部材３が中心軸Ｏ回りに回動自在にベース部材９に取り付けられ、ガルバノスキャナ１が組み立てられる。なお、保持部材３の半円筒面３ｂとコア７の内周面との間の隙間は、０．５ｍｍ程度に調整されている。
【００１６】
つぎに、このように構成されたガルバノスキャナ１の動作について説明する。
ガルバノスキャナ１では、永久磁石５が長さ方向を中心軸Ｏと平行にして、外周面を中心軸Ｏに向けて、かつ両側面を半円筒面３ｂと面一にして、保持部材３に一体にモールド成形されている。さらに、永久磁石５の着磁配向方向６が断面円弧形の周方向に一致している。これにより、永久磁石５はコア７とともに、図３中矢印で示されるような磁気回路Ｍを構成する。そこで、永久磁石５の磁束が、その一端から空隙を介してコイル８の直線部８ａを通過してコア７に入り、コア７内を周方向の他側に流れ、ついでコイル８の直線部８ｂを通過し、空隙を介して永久磁石５の周方向の他側に戻るように流れる。
【００１７】
ここで、コア７の内周面に配設されたコイル８の直線部８ａ，８ｂの長さ方向がコア７の軸方向に一致しているので、磁束は、導線にほぼ直交するようにコイル８を鎖交する。そこで、コイル８の導線に電流を流すことで、電流の向きと磁束の向きとに直交する方向にローレンツ力が発生する。そして、直線部８ａ，８ｂにおける電流の向きが逆向きとなっているので、直線部８ａ，８ｂで発生するローレンツ力は中心軸Ｏ回りに同じ方向の力となる。このローレンツ力が保持部材３の駆動トルクとして作用し、保持部材３（可動部）が中心軸Ｏ回りに回動する。そして、コイル８の導線に流す電流の向きを変えることで、中心軸Ｏ回りの保持部材３（可動部）の回動方向が変えられる。
【００１８】
つぎに、ガルバノスキャナ１を用いたレーザ加工について説明する。
まず、Ｘ軸方向用とＹ軸方向用との２つガルバノスキャナ１が、レーザ加工機（図示せず）のレーザ光線の経路に配置される。そして、ガルバノスキャナ１のそれぞれに設けられたロータリエンコーダ（図示せず）の出力に基づいて制御回路（図示せず）により反射ミラー２の回動角度が制御される。これにより、レーザ光線の反射方向が変えられ、レーザ光線の被加工物への入射位置が制御される。
【００１９】
そして、エポキシ基板の穴加工を例にとると、ガルバノスキャナ１は、加速→減速→静止→加速→減速・・・を繰り返し、レーザ光線のエポキシ基板上での照射位置を変えながら、穴を１つずつ順番に開口することになる。なお、静止中に穴加工する。また、コイル８に流す電流は、加速時は増加方向となり、減速時は減少方向となり、静止時はゼロとなるが、実際には、静止時間が短いため、連続加工時には、電流波形は正弦波に近い波形となる。そして、制御回路が回転位置の制御を安定して行えるよう、コイル８に流す電流波形は、主に正弦波に制御周波数のＮ倍調波（Ｎ＝１，２，・・・）の高調波を重畳した波形となる。例えば、２，０００ｐｏｉｎｔｓ／ｓｅｃの速度の穴加工を制御周波数１００ｋＨｚで行う場合、コイル８に流す電流波形は、２，０００Ｈｚの正弦波に１００×ＮｋＨｚの高調波群が重畳された波形となる。
【００２０】
このとき、コイル８でのジュール損Ｗｃｕは、コイル抵抗をＲ、電流実効値をＩとすると、Ｗｃｕ＝Ｒ×Ｉ２となる。また、ネオジウム焼結磁石は高抵抗であるが導電性を有しているので、コイル８に流れる電流の作る磁束変化に対応した渦電流が永久磁石５の内部に流れ、渦電流損が発生する。これらの２つの損失は、コイル８に流れる電流の大きさに比例して大きくなるので、高加速時には、損失が大きくなる。
そして、冷却水が流入ポート１２から冷却水流路１４に供給され、永久磁石５やコイル８からベース部材９に伝達された熱を吸熱し、排出ポート１３から排出される。
【００２１】
この実施の形態１によれば、可動部の磁路が永久磁石５のみで構成されているので、可動部の主部である保持部材３を鉄などの重い磁性材料で作製する必要がない。つまり、保持部材３を樹脂などの軽量の部材で作製でき、可動部の軽量化が図られ、可動部の慣性が小さくなる。また、永久磁石５の容積を増やすことができ、永久磁石５の発生する磁束量を増大できる。そこで、コイル８に流す電流を増やすことなく可動部の慣性当たりのトルクを増大でき、損失を抑えて高加速化が実現される。そして、損失が抑えられるので、永久磁石５やコイル８での発熱が抑えられ、エンコーダの動作温度範囲を逸脱したり、永久磁石５が熱減磁したりする不具合が未然に回避される。
【００２２】
また、ベース部材９が銅などの良熱伝導材で作製され、かつ冷却水流路１４がベース部材９の内部に形成されている。そこで、永久磁石５やコイル８での発熱は、ベース部材９に伝達され、冷却水流路１４内を流れる冷却水に放熱されるので、永久磁石５やコイル８の過度の温度上昇が抑えられる。これにより、永久磁石５やコイル８の温度を上昇させることなくコイル８に流す電流を増大でき、トルクが増大し、高加速度化が図られる。
【００２３】
実施の形態２．
図４はこの発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの構成を示す横断面図である。なお、横断面図とは中心軸Ｏと直交する平面における断面図である。
【００２４】
図４において、永久磁石５Ａは、それぞれネオジウム焼結磁石で作製され、断面等脚台形の角柱に形成された第１磁石体２１と、第１磁石体２１と等しい長さを有し、平行な二辺と斜辺と円弧辺とからなる断面擬似台形の角柱に形成された第２および第３磁石体２２，２３と、から構成されている。そして、第２および第３磁石体２２，２３は、断面擬似台形の斜辺で構成される一方の側面を、断面等脚台形の斜辺で構成される第１磁石体２１の側面と同一形状の平坦面に、円弧辺で構成される他方の側面を、保持部材３の半円筒面３ｂと同じ曲率半径の曲面に形成されている。第１磁石体２１の着磁配向方向６は、断面等脚台形の平行な二辺に平行な方向である。第２磁石体２２は、断面擬似台形の平行な二辺に平行、かつ断面擬似台形の斜辺から円弧辺に向かう方向である。第３磁石体２３は、断面擬似台形の平行な二辺に平行、かつ断面擬似台形の円弧辺から斜辺に向かう方向である。
【００２５】
第１乃至第３磁石体２１〜２３は、第１磁石体２１の断面等脚台形の平行な二辺のうちの長辺で構成される底面を中心軸Ｏに向け、第２および第３磁石体２２，２３の一方の側面を第１磁石体２１の両側面に突き合わせた状態で、保持部材３にインサート成形されている。そして、第２および第３磁石体２２，２３の他方の側面が、保持部材３の半円筒面３ｂと面一になっている。そして、第１磁石体２１は、着磁配向方向６が第３磁石体２３から第２磁石体２２に向かうようになっている。さらに、第１乃至第３磁石体２１〜２３の着磁配向方向６と直交する断面積は等しくなっている。
【００２６】
このように保持部材３にインサート成形された永久磁石５Ａは、保持部材３の中心軸Ｏの方向の中央位置で、中心軸Ｏに直交する平面に対して対称、かつ保持部材３の半円筒面３ｂの中心角の二等分線により構成される平面に対して対称となっている。
なお、この実施の形態２では、永久磁石５に代えて永久磁石５Ａを用いている点を除いて、上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００２７】
このように構成されたガルバノスキャナ１Ａにおいても、上記実施の形態１によるガルバノスキャナ１と同様に動作する。
したがって、この実施の形態２においても、上記実施の形態１と同様の効果を奏する。
この実施の形態２では、永久磁石５Ａが磁路方向に３つに分割されているので、永久磁石５Ａの内部に流れる渦電流の経路が分断され、渦電流損が低減される。
第１乃至第３磁石体２１〜２３が断面等脚台形或いは断面擬似台形の角柱に作製されているので、第１乃至第３磁石体２１〜２３の作製が容易となる。
また、第１乃至第３磁石体２１〜２３の着磁配向方向６が断面等脚台形或いは断面擬似台形の平行な二辺に平行な方向となっているので、第１乃至第３磁石体２１〜２３の着磁配向処理が容易となる。
【００２８】
実施の形態３．
図５はこの発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す横断面図である。
【００２９】
図５において、永久磁石５Ｂは、それぞれネオジウム焼結磁石で作製され、断面等脚台形の角柱に形成された第１磁石体３１と、第１磁石体３１と等しい長さを有し、相対する底辺および円弧辺と相対する一対の側辺とからなる断面擬似四角形の角柱に形成された第２乃至第５磁石体３２〜３５と、から構成されている。そして、第１磁石体２１の着磁配向方向６は、断面等脚台形の平行な二辺に平行、かつ他方の斜辺から一方の斜辺に向かう方向である。
【００３０】
第２および第３磁石体３２，３３は、断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士が接するように配置された時に、断面擬似四角形の底辺で構成される両底面で構成される面形状が、断面等脚台形の一方の斜辺で構成される第１磁石体３１の一方の側面と同一形状となり、断面擬似四角形の円弧辺で構成される両頂面で構成される面形状が、保持部材３の半円筒面３ｂと同じ曲率半径の曲面に形成されている。また、第２および第３磁石体３４，３５は、それぞれ断面擬似四角形の両側辺で構成される側面間の間隔が底面から頂面に向かって漸次狭くなるように形成されている。さらに、第２および第３磁石体３２，３３の着磁配向方向６は、断面擬似四角形の他方の側辺と平行、かつ底辺から円弧辺に向かう方向である。
【００３１】
第４および第５磁石体３４，３５は、断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士が接するように配置された時に、断面擬似四角形の底辺で構成される両底面で構成される面形状が、断面等脚台形の他方の斜辺で構成される第１磁石体３１の他方の側面と同一形状となり、断面擬似四角形の円弧辺で構成される両頂面で構成される面形状が、保持部材３の半円筒面３ｂと同じ曲率半径の曲面に形成されている。また、４２および第５磁石体３４，３５は、それぞれ断面擬似四角形の両側辺で構成される側面間の間隔が底面から頂面に向かって漸次狭くなるように形成されている。さらに、第４および第５磁石体３４，３５の着磁配向方向６は、断面擬似四角形の他方の側辺と平行、かつ円弧辺から底辺に向かう方向である。
【００３２】
第１乃至第５磁石体３１〜３５は、第１磁石体３１の断面等脚台形の平行な二辺のうちの長辺で構成される底面を中心軸Ｏに向け、第２および第３磁石体３２，３３の断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士を密接させて、両底面を第１磁石体３１の一方の側面に突き合わせ、さらに第４および第５磁石体３４，３５の断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士を密接させて、両底面を第１磁石体３１の他方の側面に突き合わせた状態で、保持部材３にインサート成形されている。そして、第２乃至第５磁石体３２〜３５の頂面が、保持部材３の半円筒面３ｂと面一になっている。
【００３３】
このように保持部材３にインサート成形された永久磁石５Ｂは、保持部材３の中心軸Ｏの方向の中央位置で、中心軸Ｏに直交する平面に対して対称、かつ保持部材３の半円筒面３ｂの中心角の二等分線により構成される平面に対して対称となっている。
なお、この実施の形態３では、永久磁石５Ａに代えて永久磁石５Ｂを用いている点を除いて、上記実施の形態２と同様に構成されている。
【００３４】
このように構成されたガルバノスキャナ１Ｂにおいても、上記実施の形態２によるガルバノスキャナ１Ａと同様に動作する。
したがって、この実施の形態３においても、上記実施の形態２と同様の効果を奏する。
この実施の形態３では、第１磁石体３１の一方の側辺に接して配置される第２および第３永久磁石３２，３３の磁石体対の磁路断面積が、中心軸Ｏに向かって漸次大きくなっている。同様に、第１磁石体３１の他方の側辺に接して配置される第４および第５永久磁石３４，３５の磁石体対の磁路断面積が、中心軸Ｏに向かって漸次大きくなっている。これにより、永久磁石５Ｂの重心が中心軸Ｏに近づき、慣性が小さくなるので、可動部の慣性当たりのトルクを増大でき、高加速度を得やすい。
【００３５】
実施の形態４．
図６はこの発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの構成を示す横断面図である。
【００３６】
図６において、永久磁石５Ｃは、それぞれネオジウム焼結磁石で作製され、相対する底辺および円弧辺と相対する一対の側辺とからなる断面擬似四角形の角柱に形成された第１乃至第４磁石体４１〜４４から構成されている。
【００３７】
第１および第２磁石体４１，４２は、断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士が接するように配置された時に、断面擬似四角形の底辺で構成される両底面が直交し、断面擬似四角形の円弧辺で構成される両頂面で構成される面形状が、保持部材３の半円筒面３ｂと同じ曲率半径の曲面に形成されている。また、第１および第２磁石体４１，４２は、それぞれ断面擬似四角形の両側辺で構成される側面間の間隔が底面から頂面に向かって漸次狭くなるように形成されている。さらに、第１および第２磁石体４１，４２の着磁配向方向６は、断面擬似四角形の他方の側辺と平行、かつ底辺から円弧辺に向かう方向である。
【００３８】
第３および第４磁石体４３，４４は、断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士が接するように配置された時に、断面擬似四角形の底辺で構成される両底面が直交し、断面擬似四角形の円弧辺で構成される両頂面で構成される面形状が、保持部材３の半円筒面３ｂと同じ曲率半径の曲面に形成されている。また、第３および第４磁石体４３，４４は、それぞれ断面擬似四角形の両側辺で構成される側面間の間隔が底面から頂面に向かって漸次狭くなるように形成されている。さらに、第３および第４磁石体４３，４４の着磁配向方向６は、断面擬似四角形の他方の側辺と平行、かつ円弧辺から底辺に向かう方向である。
【００３９】
第１乃至第４磁石体４１〜４４は、第１および第２磁石体４１，４２の断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士を密接させ、第３および第４磁石体４３，４４の断面擬似四角形の一方の側辺で構成される側面同士を密接させ、さらに第２および第４磁石体４２，４４の底面同士を突き合わせた状態で、保持部材３にインサート成形されている。そして、第１乃至第４磁石体４１〜４４の頂面が、保持部材３の半円筒面３ｂと面一になっている。さらに、第１および第３磁石体４１，４３の底面がミラー搭載面３ａと面一になっている。
【００４０】
このように保持部材３にインサート成形された永久磁石５Ｃは、保持部材３の中心軸Ｏの方向の中央位置で、中心軸Ｏに直交する平面に対して対称、かつ保持部材３の半円筒面３ｂの中心角の二等分線により構成される平面に対して対称となっている。
なお、この実施の形態４では、永久磁石５Ｂに代えて永久磁石５Ｃを用いている点を除いて、上記実施の形態３と同様に構成されている。
【００４１】
このように構成されたガルバノスキャナ１Ｃにおいても、上記実施の形態３によるガルバノスキャナ１Ｂと同様に動作する。
したがって、この実施の形態４においても、上記実施の形態３と同様の効果を奏する。
この実施の形態４では、永久磁石５Ｃが第１乃至第４磁石体４１〜４４により構成されているので、上記実施の形態３に比べて、磁石体の個数を減らすことができ、組立性を向上させることができる。
【００４２】
なお、上記各実施の形態では、光学部材として反射ミラーを用いるものとしているが、光学部材は反射ミラーに限定されるものではなく、例えば回折格子でもよい。この場合、回折格子は、中心軸Ｏがその偏光面上に位置するように保持部材に保持される。
また、上記各実施の形態では、コアが圧粉鉄心で作製されているものとしているが、コアが磁性材料で作製されていればよく、例えば磁性鋼板を積層一体化してなる積層鉄心でもよい。
【００４３】
また、上記各実施の形態では、保持部材の裏面やコアの内周面などが、中心角を１８０°とする円弧を、その中心を中心軸に一致させて中心軸の軸方向に集合してできる半円筒面に構成されているものとしているが、保持部材の裏面やコアの内周面などは必ずしも半円筒面（円弧面）とする必要はなく、例えば、中心角を１６０°や２００°とする円弧を、その中心を中心軸に一致させて中心軸の軸方向に集合してできる円弧面としてもよい。
【００４４】
また、上記各実施の形態では、可動部がベース部材に設けられた転がり軸受に回動自在に支持されているものとしているが、軸受は転がり軸受に限定されるものではなく、可動部は中心軸Ｏ回りに回動可能にベース部材に支持されていればよく、例えば空気軸受でもよい。
また、上記各実施の形態では、コイルがコアの内周面上に配設されているものとしているが、コアの内周面にコイル収納凹部を凹設し、コイルをコイル収納凹部内に収納するようにしてもよい。
また、上記各実施の形態では、永久磁石がネオジウム焼結磁石で作製されているものとしているが、永久磁石はネオジウム焼結磁石に限定される必要はなく、例えばサマリウム系焼結磁石でもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ  ガルバノスキャナ、２  反射ミラー（光学部材）、３  保持部材（可動部）、３ｂ  半円筒面（円弧面）、５，５Ａ，５Ｂ，５Ｃ  永久磁石（可動部）、７  コア、８  コイル、Ｏ  中心軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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