(57)【要約】【課題】得られる機能膜にスジムラが発生するのを防止することが可能な機能膜形成方法および液滴吐出装置を提供する。【解決手段】本発明は、液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニット１２を複数備え、複数のキャリッジユニット１２とカラーフィルタ基板Ｐとを相対的に走査させながらカラーフィルタ基板Ｐ上の設定された複数のパネル領域Ａに機能液を吐出させて描画処理を行う機能膜形成方法であり、１つのパネル領域Ａに対して少なくとも１つのキャリッジユニット１２による描画処理を行う。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニットを複数備え、前記複数のキャリッジユニットと基板とを相対的に走査させながら前記基板上に設定された複数の膜形成領域に機能液を吐出させて描画処理を行う機能膜形成方法であって、
前記各膜形成領域に対する前記描画処理を前記キャリッジユニット単位で行う
ことを特徴とする機能膜形成方法。
【請求項２】
１つの前記キャリッジユニットにより複数の前記膜形成領域に対して描画処理を行うことを特徴とする請求項１記載の機能膜形成方法。
【請求項３】
複数の前記基板に対する描画処理を同時に行うこと
を特徴とする請求項１又は２記載の機能膜形成方法。
【請求項４】
前記複数の膜形成領域に対する前記各キャリッジユニットの塗布開始位置を揃えること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の機能膜形成方法。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニットを複数備え、前記複数のキャリッジユニットと基板とを相対的に走査させながら前記基板上に設定された複数の膜形成領域に機能液を吐出させて描画処理を行う吐出手段と、
複数の前記キャリッジユニットの塗布動作を制御することにより、前記キャリッジユニット単位で前記各膜形成領域に対する前記描画処理を行う制御装置と、を備えたこと
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記制御装置は、前記複数の膜形成領域に対する前記各キャリッジユニットの位置制御を行う
ことを特徴とする請求項５記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記複数のキャリッジユニットがその配列方向に独立して移動可能である
ことを特徴とする請求項５又は６記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能膜形成方法および液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法（インクジェット方式）を用いた機能膜形成技術が開発されている。特許文献１および２に記載の液滴吐出装置は、複数の液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したキャリッジユニットがライン状に複数配置してあり、これら複数のキャリッジユニットと基板とを相対的に走査させながら、色材を含む液状体を複数の液滴吐出ヘッドから基板へ向けて吐出させて、基板上の所定領域に液状体（機能液）を配置するようにしている。液状体を配置した後、当該液状体を例えば乾燥させて固化させることにより、基板上の所定の領域に上記色材の機能膜（カラーフィルタ層）が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０７９１５号公報
【特許文献２】特開２００７−２５４７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の液体吐出装置には以下の改善すべき課題がある。
上記した液滴吐出装置では、複数のキャリッジユニットをライン状に隙間なく並べる構成のため、キャリッジユニット間の温度差やキャリッジユニット毎の吐出条件の違いなどから、キャリッジユニット間にインク吐出量の差が生じやすい。このため、得られる機能膜において、キャリッジユニット間のつなぎ目となる部分に濃淡ムラが確認されることがあった。
【０００５】
例えば、カラーフィルタ層を形成する場合、当該カラーフィルタ層にスジムラが発生し、カラーフィルタ層を介して表示される画像の画質低下を招いてしまう。この他にも、例えば有機ＥＬ装置の有機ＥＬ層（発光層や正孔注入層など）を形成する場合には、得られる有機ＥＬ層にスジムラが発生し、発光ムラを引き起こしてしまう。カラーフィルタ層や有機ＥＬ層に限らず、液滴吐出法を用いて得られる他の機能膜についても、同様にスジムラ発生の問題がある。
【０００６】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、得られる機能膜にスジムラが発生するのを防止することが可能な機能膜形成方法および液滴吐出装置を提供することを目的の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の機能膜形成方法は、上記課題を解決するために、液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニットを複数備え、複数のキャリッジユニットと基板とを相対的に走査させながら基板上に設定された複数の膜形成領域に機能液を吐出させて描画処理を行う機能膜形成方法であって、各膜形成領域に対する描画処理を前記キャリッジユニット単位で行うことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、キャリッジユニット単位で各膜形成領域に対する描画処理を行うこととしたので、膜形成領域内に濃淡ムラ（スジムラ）が生じることもなく、それぞれの膜形成領域に均質な機能膜を形成することが出来る。
【０００９】
また、キャリッジユニットよりも前記膜形成領域が大きい場合には１つのキャリッジユニットにより複数の前記膜形成領域に対して描画処理を行うことが好ましい。
本発明によれば、１つのキャリッジユニットで複数の膜形成領域に対して描画処理を行うこととしたので、１つのキャリッジユニットで１つの前記膜形成領域を描画するよりも全体のタクトタイムを短縮することができる。また、各膜形成領域に対する描画処理はキャリッジユニット単位で行われることから、同時に処理を行う膜形成領域内に濃淡ムラが生じることもなく、各膜形成領域内に均質な機能膜を形成することが出来る。
【００１０】
また、複数の前記基板に対する描画処理を同時に行うことが好ましい。
本発明によれば、複数の基板に対する描画処理を同時に行うこととしたので、全体のタクトタイムをおとすことなく効率よく処理が行える。
【００１１】
また、前記複数の膜形成領域に対する前記各キャリッジユニットの塗布開始位置を揃えることが好ましい。
本発明によれば、複数の膜形成領域に対するキャリッジユニットの塗布開始位置を揃えることにより、各キャリッジユニットにおけるインク吐出量にバラツキが生じにくくなる。これにより、各キャリッジユニットにおける描画条件（吐出条件）の設定が容易になるとともに、膜形成領域間で均質な機能膜を得ることが出来る。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置は、上記課題を解決するために、液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニットを複数備え、複数のキャリッジユニットと基板とを相対的に走査させながら基板上に設定された複数の膜形成領域に機能液を吐出させて描画処理を行う吐出手段と、複数のキャリッジユニットの塗布動作を制御することにより、キャリッジユニット単位で各膜形成領域に対する描画処理を行う制御装置と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、制御装置により、キャリッジユニット単位で各膜形成領域に対する描画処理を行うこととしたので、膜形成領域内に濃淡ムラ（スジムラ）が生じることもなく、均質な機能膜が得られるようになる。
【００１３】
また、前記制御装置は、前記複数の膜形成領域に対する前記各キャリッジユニットの位置制御を行うことが好ましい。
本発明によれば、同時に描画処理を行う複数の膜形成領域に対する各キャリッジユニットの塗布開始位置を揃えることが出来る。これにより、キャリッジユニット間の吐出パターンが同じになり、描画条件を設定し易い。また、キャリッジユニット間におけるインク吐出量にバラツキが生じにくくなり、膜形成領域間で均質な機能膜を形成することが出来る。
【００１４】
また、前記複数のキャリッジユニットがその配列方向に独立して移動可能である
ことが好ましい。
本発明によれば、基板上の膜形成領域のピッチに合わせてキャリッジユニットを適切な位置に配置することが可能になり、異なる種類の基板にも対応できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態の液滴吐出装置の概略構成図。
【図２】（ａ）ヘッドユニットの概略構成図、（ｂ）キャリッジユニットの概略構成図。
【図３】液滴吐出ヘッドの概略構成図。
【図４】（ａ）カラーフィルタ基板の概略平面図、（ｂ）カラーフィルタ基板の部分拡大平面図。
【図５】カラーフィルタ層の形成方法の説明図。
【図６】第２実施形態のカラーフィルタ層の形成方法の説明図。
【図７】第３実施形態のカラーフィルタ層の形成方法の説明図。
【図８】液晶装置の概略構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係る液滴吐出装置及び機能膜形成方法の一実施形態について説明する。以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００１７】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る第１実施形態の機能膜形成方法および液滴吐出装置について述べる。
まず、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪについて説明する。図１は、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪの概略構成図である。
液滴吐出装置ＩＪは、例えばインクジェット方式によりカラーフィルタ基板Ｐ上にカラーフィルタ材料の液滴（機能液）を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置である。この液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、ヘッドユニット５、ユニット移動手段６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御装置１１、メンテナンスユニット１３及び吐出検査ユニット１４を備えている。
【００１８】
装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルタ基板Ｐを、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。
【００１９】
ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。
【００２０】
ヘッドユニット５は、複数のキャリッジユニット１２を備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、各キャリッジユニット１２に設けられた複数の液滴吐出ヘッド（図示略）のノズルからカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッドは、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッドはキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッドはチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッドはチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッドはチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。
【００２１】
ユニット移動手段６は、装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジユニット１２のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジユニット１２をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００２２】
チューブ７は、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０と各キャリッジユニット１２における液滴吐出ヘッドとを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。チューブ７は各キャリッジユニット１２に接続されているが、図１においては見やすくするために他のキャリッジユニット１２に接続されたチューブ７の図示を省略してある。
【００２３】
第１タンク８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッドにカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッドにカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク１０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッドにカラーフィルタ材料を供給する。
【００２４】
制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、ユニット移動手段６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッドの駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッドによる液滴吐出動作、ワークステージ２の移動によるカラーフィルタ基板Ｐの位置決め動作、キャリッジユニット１２の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルタ基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。
【００２５】
メンテナンスユニット１３および吐出検査ユニット１４は、装置架台１の側縁部に沿って配置されている。メンテナンスユニット１３は、液滴吐出ヘッド１５のノズルの目詰まり等を解消するキャッピング機構あるいはノズル形成面を払拭するワイピング機構等によって構成されている。吐出検査ユニット１４は、液滴吐出ヘッドにおける吐出精度測定および液滴重量測定等を行い、その結果を制御装置１１へ出力する。制御装置１１は、吐出検査ユニット１４からの情報に基づいてメンテナンス処理の実施の要否等を決定する。
【００２６】
（ヘッドユニット）
図２（ａ）は、ヘッドユニット５の概略構成図、図２（ｂ）はキャリッジユニット１２の概略構成図である。
【００２７】
ヘッドユニット５は、図２（ａ）に示すように副走査方向（Ｘ軸方向）に配列された４つのキャリッジユニット１２から構成されており、さらに各キャリッジユニット１２は、図２（ｂ）に示すように７つの液滴吐出ヘッド１５とこれら液滴吐出ヘッド１５を支持するキャリッジ１６とから構成されている。これら４つのキャリッジユニット１２は、制御装置１１によりその配列方向に対して個別に移動可能とされている。描画処理を行う際には、制御装置１１がユニット移動手段６（図１）に各キャリッジユニット１２の位置制御信号を出力して、各キャリッジユニット１２とカラーフィルタ基板Ｐ上に設定された複数のパネル領域Ａ（後述する）との位置合わせを行う。
【００２８】
ここで、本実施形態では４つのキャリッジユニット１２及び７つの液滴吐出ヘッド１５を備える構成としたが、これらキャリッジユニット１２及び液滴吐出ヘッド１５の数は上述した数に限ったものではなくカラーフィルタ基板Ｐの大きさ等に応じて適宜変更が可能である。
【００２９】
なお、図２において各液滴吐出ヘッド１５が副走査方向（Ｘ軸方向）に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド１５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためであってその傾き度合いは適宜設定されるものとする。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド１５を斜めに設ける必要はない。
【００３０】
（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド１５の概略構成図である。図３（ａ）は液滴吐出ヘッド１５をワークステージ２側から見た平面図、図３（ｂ）は液滴吐出ヘッド１５の部分斜視図、図３（ｃ）は液滴吐出ヘッド１５の１ノズル分の部分断面図である。
【００３１】
図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ１〜Ｎ１８０を備えている。図３（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド１５に設けるノズル列は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ１６内に配置する液滴吐出ヘッド１５の数も任意に変更可能である。
【００３２】
図３（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０aが設けられた振動板２０と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して圧電素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０が配置されている。圧電素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０は、例えばピエゾ素子である。
【００３３】
液溜まり２２には、材料供給孔２０aを介して供給される液状のカラーフィルタ材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４aを介して、液溜まり２２からカラーフィルタ材料が導入されるようになっている。
【００３４】
図３（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺ１は、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺ１が配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺ１と一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。従って、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり２２から供給口２４aを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺ１への駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺ１と振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮ１からカラーフィルタ基板Ｐに向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。
【００３５】
図４（ａ）は、機能液の吐出対象物であるカラーフィルタ基板Ｐの概略平面図、図４（ｂ）は、カラーフィルタ基板Ｐの部分拡大平面図である。
図４（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルタ基板Ｐの表面には複数のパネル領域Ａ（膜形成領域）が設定されている。各パネル領域Ａは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルタ基板として提供される。各パネル領域Ａの内部には、図４（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸが設けられている。画素ＰＸは各パネル領域Ａ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルタ層ＣＦ（機能膜）が形成される。
【００３６】
（カラーフィルタ層の形成方法）
次に、本発明に係る機能膜形成方法の一例としてカラーフィルタ層の形成方法について説明する。図５は、液滴吐出ヘッド１５を用いてカラーフィルタ基板Ｐ上にカラーフィルタ層ＣＦを形成する際の説明図である。
【００３７】
以下の説明では、Ｘ方向をカラーフィルタ基板Ｐの主走査方向（スキャン方向）とし、Ｙ方向をカラーフィルタ基板Ｐの副走査方向（フィード方向）と規定する。そして、Ｘ方向とＹ方向とは水平面内において互いに直交するものとする。さらに、Ｘ方向とＹ方向とからなるＸＹ平面に対して垂直方向、すなわちヘッドユニット５の高さ方向をＸ方向規定している。
【００３８】
まず、図５に示すようにＹ方向を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（Ｘ方向）を副走査方向として、ヘッドユニット５をカラーフィルタ基板Ｐ上に配置する。本実施形態では、１つのパネル領域Ａに対して１つのキャリッジユニット１２により描画を行う。そのため、制御装置１１により、カラーフィルタ基板Ｐ上に設定された複数のパネル領域Ａのピッチに合わせて各キャリッジユニット１２を適切な位置に配置しておく。ここでは、各キャリッジユニット１２を、対応する各パネル領域Ａの左端（例えば、図中左側の端部側）に配置して各パネル領域Ａに対するキャリッジユニット１２の位置合わせを行い、同時に描画を行なう複数のパネル領域Ａに対して、各キャリッジユニット１２の描画開始位置を揃えておくようにする。各キャリッジユニット１２は、パネル領域Ａのピッチに応じて互いに所定間隔をおいて配置され、この状態で位置決めされる。
【００３９】
そして、カラーフィルタ基板Ｐをヘッドユニット５に対して主走査方向（矢印Ａ１方向）及び副走査方向（矢印Ａ２方向）に相対的に移動（走査）させながら、キャリッジユニット１２における液滴吐出ヘッド１５の複数のノズルから着色材料を含む液状体（カラーフィルタ材料）を吐出させ、パネル領域Ａ内の各画素ＰＸにカラーフィルタ層ＣＦを形成する。このとき、複数のキャリッジユニット１２を有するヘッドユニット５とカラーフィルタ基板Ｐとを相対的に所定の方向へ複数回走査させながら、カラーフィルタ基板Ｐ上のパネル領域Ａに液滴を吐出させる。
【００４０】
具体的には、主走査方向（矢印Ａ１方向）にカラーフィルタ基板Ｐを走査させながら、各キャリッジユニット１２から液滴を吐出させて対応するパネル領域Ａの所定範囲に対して描画を行った後、副走査方向（矢印Ｂ１方向）に各キャリッジユニット１２を移動（走査）させ、副走査方向（矢印Ａ２方向）にカラーフィルタ基板Ｐを走査させながら各パネル領域Ａの残りの範囲に液滴の塗布を行う。すなわち本実施形態では、１つのパネル領域Ａに関して、１つのキャリッジユニット１２によるスキャン動作を複数回行うことによって液滴を塗布することとする。
そして、１つのパネル領域Ａの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域Ａの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域Ａ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルタ層ＣＦを形成する。
【００４１】
なお、パネル領域Ａの大きさによって走査回数が異なるため、予めパネル領域Ａと同一領域でのキャリッジユニット１２によるスキャン動作回数を試験的に求めておくことが好ましい。
【００４２】
カラーフィルタ層ＣＦは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図５に示す液状体の吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ材料を吐出する液滴吐出ヘッド１５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。
そして、これらの液滴吐出ヘッド１５を順次に用いて１つのカラーフィルタ基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルタ層ＣＦの配列を形成する。
【００４３】
また、メンテナンスおよび吐出検査時には、ヘッドユニット５の各キャリッジユニット１２を互いに集合させ、４つ同時にメンテナンス処理および吐出検査を行う。メンテナンス処理および吐出検査は、カラーフィルタ基板Ｐ毎あるいはメンテナンスが必要になった場合に適宜実施することが好ましい。
【００４４】
本実施形態の液滴吐出装置ＩＪおよびこれを用いたカラーフィルタ層ＣＦの形成方法によれば、以下に示すような有効な効果が得られる。
上述したカラーフィルタ層ＣＦの製造方法では、１つのパネル領域Ａに対して１つのキャリッジユニット１２で描画処理（液滴塗布動作）を行っている。つまり、キャリッジユニット単位で各パネル領域Ａに対して描画処理を行うこととしたので、各パネル領域Ａ毎に均質な機能膜を形成することができる。
従来では、１つのパネル領域に対して複数のキャリッジユニットにて描画を行っていたため、キャリッジユニット毎の吐出条件の違いなどから、キャリッジユニット間にインク吐出量の差が生じやすくパネル領域内に濃淡ムラ（スジムラ）が確認されることがあった。
そこで、本実施形態ではパネル領域Ａ毎に１つのキャリッジユニット１２を対応させて描画を行うこととした。これにより、パネル領域Ａ内に濃淡ムラ（スジムラ）が生じることもなく均質なカラーフィルタ層ＣＦが得られるようになる。
【００４５】
また、各パネル領域Ａにおけるキャリッジユニット１２の描画開始位置を揃えたことで、キャリッジユニット１２間の吐出パターンが同じになり、描画条件（吐出条件）を設定し易い。このため、各キャリッジユニット１２におけるインク吐出量にバラツキが生じにくくなり、各パネル領域Ａでのインク使用量も略同一量になることから、パネル領域Ａ間でカラーフィルタ層ＣＦの膜厚を均一にすることができる。
また、各キャリッジユニット１２に対する吐出パターンが同一であることから、制御装置１１におけるメモリも少なく出来るという利点もある。
【００４６】
（第２実施形態）
次に、本発明の機能膜形成方法に係るカラーフィルタの形成方法の第２実施形態について図６を用いて説明する。図６は、第２実施形態のカラーフィルタ層ＣＦを形成方法の説明図である。以下の説明では、先の実施形態と共通な箇所の説明は省略し、説明に用いる各図面において、図１〜図５と共通の構成要素には同一の符号を付すものとする。
【００４７】
本実施形態では、カラーフィルタ基板Ｐ上の各パネル領域Ａに対して個々のキャリッジユニット１２の方が大きくなっている。すなわち、図６に示すように、１つのキャリッジユニット１２における液滴の塗布範囲がパネル領域Ａよりも大きいことから、１つのパネル領域Ａに関する各キャリッジユニット１２のスキャン動作は１回で済むこととなる。
【００４８】
本実施形態では、カラーフィルタ基板Ｐをヘッドユニット５に対して主走査方向に走査させながら、各キャリッジユニット１２における複数の液滴吐出ヘッド１５から液滴を吐出させて、カラーフィルタ基板Ｐの走査方向に並ぶ複数のパネル領域Ａの各画素ＰＸに対してカラーフィルタ層ＣＦを形成する。このようにして、まずＮ列のパネル領域Ａに対して描画を行った後、各キャリッジユニット１２を副走査方向（矢印Ｂ１方向）へ移動させ、副走査方向にカラーフィルタ基板Ｐを走査させながら今度はＭ列のパネル領域Ａに対して描画を行う。
このように、カラーフィルタ基板Ｐの走査方向に並ぶ複数のパネル領域Ａに対して、キャリッジユニット１２における１回のスキャン動作によってカラーフィルタ層ＣＦを形成することが出来る。
【００４９】
（第３実施形態）
次に、本発明の機能膜形成方法に係るカラーフィルタの形成方法の第３実施形態について図７を用いて説明する。図７は、第３実施形態のカラーフィルタ層ＣＦを形成方法の説明図である。以下の説明では、先の実施形態と共通な箇所の説明は省略し、説明に用いる各図面において、図１〜図５と共通の構成要素には同一の符号を付すものとする。
【００５０】
本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、図１のＹ方向に配列された８つのキャリッジユニット１２から構成されたヘッドユニット５を備えている。キャリッジユニット１２の数を増加させたことで、複数のカラーフィルタ基板Ｐに対して同時に描画処理を行えることとなる。ここでは、キャリッジユニット１２の数を倍増させたことから、２枚のカラーフィルタ基板Ｐに対する処理が可能である。
【００５１】
第１実施形態の方法では、１つのパネル領域Ａに対して１つのキャリッジユニット１２で処理を行うこととしたので、カラーフィルタ基板Ｐが大型でパネル領域Ａが大きい場合にはその処理時間に時間がかかる場合があるが、かかる場合でも、本実施形態のような構成とすることで、複数のカラーフィルタ基板Ｐに対して同時に描画処理を行うことが可能となり、全体のタクトタイムを落とさずにカラーフィルタ層ＣＦの形成処理を効率よく行える。このように、複数のキャリッジユニット１２を有効に活用することで生産性を高めることが出来る。
【００５２】
図８は、本発明の機能膜形成方法を採用して形成したカラーフィルタ基板を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶手段６２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。
【００５３】
液晶手段６２０は、上述した各実施形態によって得られたカラーフィルタ基板Ｐ上に第１電極６２３，第１配向膜６２４を形成してなるカラーフィルタ６００を備えている。
この液晶手段６２０は、上記カラーフィルタ６００、ガラス基板等からなる対向基板６２１、及びこれらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層６２２により概略構成されており、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置している。
【００５４】
なお、図示していないが、対向基板６２１およびカラーフィルタ６００の外面（液晶層６２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板６２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５５】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層側）には、長尺な短冊状の第１電極６２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６２３のカラーフィルタ６００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜６２４が形成されている。
【００５６】
一方、対向基板６２１におけるカラーフィルタ６００と対向する面には、カラーフィルタ６００の第１電極６２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極６２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極６２６の液晶層６２２側の面を覆うように第２配向膜６２７が形成されている。これらの第１電極６２３および第２電極６２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５７】
液晶層６２２内に設けられたスペーサ６２８は、液晶層６２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材６２９は液晶層６２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極６２３の一端部は引き回し配線６２３ａとしてシール材６２９の外側まで延在している。
そして、第１電極６２３と第２電極６２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ６００に、第１電極６２３のパターニングおよび第１配向膜６２４の塗布を行ってカラーフィルタ６００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板６２１に、第２電極６２６のパターニングおよび第２配向膜６２７の塗布を行って対向基板６２１側の部分を作成する。その後、対向基板６２１側の部分にスペーサ６２８およびシール材６２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材６２９の注入口から液晶層６２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００５９】
ここで、第１配向膜６２４及び第２配向膜６２７の塗布を上記した液滴吐出装置ＩＪで行うことも可能である。これにより、均質な配向膜６２４，６２７となる。
【００６０】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６１】
例えば、本発明の機能膜形成方法および液滴吐出装置を用いて、有機ＥＬパネルの発光層を形成してもよい。これにより、均質な発光層が得られるので、表示装置全体の性能および品質を高めることが出来る。また、その他、金属配線形成、レジスト形成及び光拡散媒体形成等にも適用できる。上記した液滴吐出装置を各種のデバイスの製造に用いることにより、各種のデバイスを効率よく製造することができる。
【符号の説明】
【００６２】
ＩＪ…液滴吐出装置、１１…制御装置、１２…キャリッジユニット、１５…液滴吐出ヘッド、Ａ…パネル領域（膜形成領域）、ＣＦ…カラーフィルタ層（機能膜）、Ｐ…カラーフィルタ基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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