(57)【要約】【課題】液冷媒および蒸気冷媒を含めた冷媒の効率的な循環を促進し冷却効率を高めることができる沸騰冷却装置を提供する。【解決手段】本発明の沸騰冷却装置は、蒸気冷媒を貯留する貯留室（２０）と冷却流体が内部を流れる冷却部（Ｃ１〜Ｃ３）とを有する凝縮器と、発熱体からの受熱により液冷媒を蒸発させる蒸発通路（Ｂ１、Ｂ２）と凝縮器で凝縮された凝縮液を蒸発通路へ還流させる還流通路（Ｒ）とを有する液冷媒槽とを備え、前記貯留室は、冷却部に対して蒸発通路から還流通路に向かう環流方向へ蒸気冷媒を冷却部へ導入させる蒸気導入路（Ｄ１、Ｄ２）を有することを特徴とする。蒸気冷媒が冷却部へ横方向または斜め方向から当たるので、冷却部の表面の液膜が除去され易くなると共に凝縮液が蒸発通路から還流通路へ誘導され易くなり、冷却部の表面での熱交換効率および冷媒の循環効率が高まる。【選択図】図１
2010010204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱を伴う発熱体からの受熱により沸騰し得る液冷媒を収容する液冷媒槽と、
該液冷媒槽の上方に気密に連結され該発熱体からの受熱により該液冷媒が蒸発して上昇し流入した蒸気冷媒を冷却し凝縮させて液冷媒に戻す凝縮器とを備え、
該液冷媒の蒸発と該蒸気冷媒の凝縮の繰り返しにより前記発熱体からの発熱を該凝縮器を介して外部へ移動させる沸騰冷却装置であって、
前記凝縮器は、前記蒸気冷媒を貯留する貯留室と、該貯留室内に配置されると共に冷却流体が内部を流れる冷却部とを有し、
前記液冷媒槽は、前記発熱体からの受熱により前記液冷媒を蒸発させる上下方向に延在する蒸発通路と、該蒸発通路と区画されつつ一部で連通し前記凝縮器で凝縮された凝縮液を該蒸発通路に還流させる還流通路とを有し、
さらに前記貯留室は、前記蒸気通路で発生した蒸気が通る位置に、前記冷却部に向かって傾斜する内壁面を有することを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項２】
前記凝縮器内に配置され、前記還流通路へ向かって傾斜し、前記冷却部から滴下する凝縮液を前記液冷媒槽の還流通路へ導く回収板と、
前記貯留室の壁面の前記回収板と対向する位置に形成され、前記回収板と同じ方向に傾斜した下部誘導壁とをさらに備え、
前記回収板と前記下部誘導壁との間に蒸気導入路が形成され、
前記蒸気導入路は前記蒸発通路に連通し、前記蒸発通路で発生した蒸気は前記蒸気導入路に導入される請求項１に記載の沸騰冷却装置。
【請求項３】
前記蒸気導入路は、出口の開口面積が入口の開口面積よりも絞られている請求項２に記載の沸騰冷却装置。
【請求項４】
前記蒸発通路と前記還流通路の間には、上下方向に延在し、前記蒸発通路と前記還流通路とを区画する仕切部を有するとともに、前記回収板の下部と前記仕切部の上部は接続している請求項３に記載の沸騰冷却装置。
【請求項５】
前記液冷媒槽は、外壁の外側または内側に前記発熱体を取り付ける第１取付部と該第１取付部に対向する第２取付部とを少なくとも有し、
該液冷媒槽の蒸発通路は、該第１取付部に取り付けられた発熱体から受熱する第１蒸発通路と該第２取付部に取り付けられた発熱体から受熱する第２蒸発通路とを少なくとも有し、
該液冷媒槽の還流通路は、該第１蒸発通路と該第２蒸発通路との間に介在している請求項１〜４のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子やその半導体素子を備えるパワーモジュール等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
発熱量の大きな半導体素子などの発熱体を効率よく冷却でき、冷却装置全体を比較的コンパクトにできる沸騰冷却装置が実用化されつつある。この沸騰冷却装置は、発熱体の発熱を沸点の比較的低い液冷媒へ一時的に伝達し、その伝熱により液冷媒を沸騰、蒸発させて、発熱体の発熱を効率的に移動させることができる。
【０００３】
そして液冷媒の沸騰により気化した冷媒蒸気は、熱交換器の一つである凝縮器で冷却されて再び液冷媒に戻り、発熱体の発熱はその凝縮器を介して沸騰冷却装置外へ移動（放熱）する。このような冷媒の潜熱を利用した熱交換が繰り返し行われることにより、発熱体からの放熱が効率よく継続してなされる。
もっとも、このような沸騰冷却装置のコンパクト化を図るには、ヒートポンプである沸騰冷却装置の冷却効率（動作係数、成績係数）をより一層高めることが必要となる。このような沸騰冷却装置として、例えば下記の特許文献に記載のものがある。
【特許文献１】特開平３−２２９４９３号公報
【特許文献２】特開平１０−１７３１１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、冷却部を伴う凝縮器へ蒸気冷媒をファンで強制的に送る沸騰冷却装置を開示している。もっとも、この沸騰冷却装置では、発熱体が液冷媒槽中に単に浸漬されているだけであり、液冷媒槽内における液冷媒の沸騰や流動を促進して冷却効率を高めることは考慮されていない。
【０００５】
特許文献２では、発熱体からの受熱により液冷媒を沸騰させ蒸発させる蒸発通路を、液冷媒槽の両側に設けると共に、蒸気冷媒を冷却して凝縮させた凝縮液を液冷媒槽へ環流させる還流通路を両蒸発通路の中央に配置した沸騰冷却装置が開示されている。
しかし、この沸騰冷却装置の凝縮器は、蒸気冷媒を凝縮させる凝縮部と、その凝縮部を外部から空冷するフィン部とが交互に積層されたラジエターのような形態となっている。このため、その構造上、凝縮液が凝縮部の内壁面に付着し易く、凝縮液は付着している内壁面を伝って重力により蒸発通路へ逆流し易い。従って、特許文献２で想定されるような内壁面から中央に向かう凝縮液の流れは生じ難い。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、液冷媒および蒸気冷媒を含めた冷媒の効率的な循環を促進しつつ、冷却効率を高めることができる沸騰冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者はこの課題を解決すべく鋭意研究し、試行錯誤を重ねた結果、凝縮器が冷却部を有することを前提に、その冷却部へ導入する蒸気冷媒の方向を工夫することで、冷媒が良好に循環し、冷却効率を高めることができることを思いついた。そしてこの知見を発展させることで、本発明者は以降に述べる種々の発明を完成させるに至った。
【０００８】
〈沸騰冷却装置〉
（１）本発明の沸騰冷却装置は、発熱を伴う発熱体からの受熱により沸騰し得る液冷媒を収容する液冷媒槽と、該液冷媒槽の上方に気密に連結され該発熱体からの受熱により該液冷媒が蒸発して上昇し流入した蒸気冷媒を冷却し凝縮させて液冷媒に戻す凝縮器とを備え、該液冷媒の蒸発と該蒸気冷媒の凝縮の繰り返しにより前記発熱体からの発熱を該凝縮器を介して外部へ移動させる沸騰冷却装置であって、
前記凝縮器は、前記蒸気冷媒を貯留する貯留室と、該貯留室内に配置されると共に冷却流体が内部を流れる冷却部とを有し、
前記液冷媒槽は、前記発熱体からの受熱により前記液冷媒を蒸発させる上下方向に延在する蒸発通路と、該蒸発通路と区画されつつ一部で連通し前記凝縮器で凝縮された凝縮液を該蒸発通路に還流させる還流通路とを有し、
さらに前記貯留室は、前記蒸気通路で発生した蒸気が通る位置に、前記冷却部に向かって傾斜する内壁面を有することを特徴とする。
【０００９】
（２）本発明の沸騰冷却装置によれば、先ず、液冷媒槽が蒸発通路と還流通路とに区画されており、液冷媒の循環が還流通路から蒸発通路に向かう一方向になり易い。
次に、蒸気冷媒は凝縮器の冷却部に当たり、冷却、凝縮されて凝縮液となるが、この際、蒸気冷媒はその冷却部に対して特定方向から当たる。つまり、蒸気冷媒は、鉛直下方から鉛直上方へ自然上昇して冷却部に当たるのではなく、冷却部に向かって傾斜する内壁面に誘導され、例えば、液冷媒槽の蒸発通路から還流通路へ向かう環流方向で当たる。なお、この環流方向で当たる場合、環流方向はは鉛直方向成分に対して少なからず水平方向成分をもつから、蒸気冷媒は、いわば、冷却部に対して横方向または斜め方向に当たることになる。
【００１０】
いずれにしろ本発明によれば、冷却部に付着した凝縮液は、冷却部の鉛直下方域からやや環流方向よりに流れ易くなる。また、その付近から滴下して液冷媒槽の還流通路へも回収され易くなる。この結果、少なくとも蒸気冷媒が当たる冷却部の表面では、熱交換を阻害する凝縮液の液膜の形成が抑制され、冷却部と蒸気冷媒との間で継続的にかつ安定した熱交換が可能となる。
また、蒸気冷媒が冷却部に向かって流れているため、冷却部から滴下した凝縮液は自ずと液冷媒槽の還流通路へ流れ易くなる。例えば、蒸気冷媒が環流方向へ流れる場合であれば、液冷媒槽と凝縮器との間で蒸発通路→冷却部→還流通路→蒸発通路という適正な冷媒の流れが促進され易くなって、凝縮液が蒸発通路へ滴下等して逆流することも抑制される。
なお、本明細書でいう冷却部に向かう方向（例えば、環流方向）は、水平方向である必要はなく、下斜め方向、上斜め方向さらには上から下に向かう上下方向をも含み得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
発明の実施形態を挙げて本発明をより詳しく説明する。本発明の沸騰冷却装置は、上述した構成に加えて、次に列挙する中から任意に選択した一つまたは二つ以上の構成がさらに付加され得る。また選択される構成は、重畳的かつ任意的に付加可能である。なお、本明細書で説明するいずれの実施形態が最良であるか否かは、対象、要求性能等によって異なることを断っておく。
【００１２】
〈液冷媒槽〉
本発明の液冷媒槽は液冷媒を収容する容体であり、その容体の内部が区画されることで蒸発通路と還流通路が形成される。
（１）本発明に係る液冷媒は特に限定されないが、例えば、水、アルコール、フロロカーボン、フロン等がある。発熱体の発熱量、沸騰冷却装置のサイズ、冷却効率などに応じて、沸騰、気化および液化を生じ易いものが選択される。
【００１３】
（２）蒸発通路は、液冷媒槽の外壁の外側または内側に取り付けられた発熱体の発熱を、液冷媒に伝熱させて、液冷媒を沸騰、蒸発（気化）させる部分である。実質的には沸騰させられた液冷媒中に発生した気泡（蒸気冷媒）が下方から上方へ移動する蒸気通路からなる。
【００１４】
（３）還流通路は、蒸発通路の液冷媒の上面から蒸発した蒸気冷媒が凝縮器の冷却部で冷却されて凝縮した凝縮液を、前記蒸発通路へ還流させる部分であり、いわば凝縮液が上方から下方へ移動する通路である。
この還流通路の下部と蒸発通路の下部とは連通路などを介して連通している。このため、蒸発通路で加熱された液冷媒が上昇すると共に、還流通路で冷却された液冷媒（凝縮液）が下降することで、還流通路から蒸発通路への流れが自然と生じる。
【００１５】
（４）本発明の沸騰冷却装置では、少なくとも蒸発通路と還流通路とが一つずつあるが、それぞれ複数でも良いし、両者が同数である必要もない。それらの配置は、蒸発通路と還流通路とが層状に配置されたものでも良いし、中央に設けた還流通路の周囲を蒸発通路が囲むように配置されたものでも良いし、一角に設けた還流通路の半周囲を蒸発通路がかぎ型（Ｌ字型）に囲むように配置されたもの等でもよい。
【００１６】
この際、例えば、液冷媒槽が、外壁の外側または内側に発熱体を取り付ける第１取付部と第２取付部とを少なくとも有し、該液冷媒槽の蒸発通路は、該第１取付部に取り付けられた発熱体から受熱する第１蒸発通路と該第２取付部に取り付けられた発熱体から受熱する第２蒸発通路とを少なくとも有し、還流通路は、該第１取付部との間に該第１蒸発通路が介在していると共に該第２取付部との間に該第２蒸発通路が介在していると好適である。
液冷媒槽の内部をこのような配置にすることで、発熱体と還流通路との間には蒸発通路が介在するようになり、蒸発通路が熱伝達の緩衝域となって、還流通路の液冷媒が発熱体により加熱されることが抑制される。
例えば、前記蒸発通路と前記還流通路の間には、上下方向に延在し、前記蒸発通路と前記還流通路とを区画する仕切部を有するとともに、前記回収板の下部と前記仕切部の上部は接続していると好適である。
【００１７】
さらにより具体的には、液冷媒槽が、前記第１蒸発通路および前記第２蒸発通路を該液冷媒槽の対向する外壁側に区画すると共に該第１蒸発通路および該第２蒸発通路との間に前記還流通路を区画し、下部で該還流通路から該第１蒸発通路へ連通すると共に該還流通路から該第２蒸発通路へ連通する仕切部を有すると好ましい。
この場合、第１蒸発通路、第２蒸発通路および還流通路の形態に応じて、液冷媒槽内部を仕切る適当な長さの仕切部（例えば、板材）を設けるだけで、冷却効率に優れる簡易に液冷媒槽を形成することが可能となる。
【００１８】
〈凝縮器〉
本発明の凝縮器は、発熱体からの受熱により液冷媒が蒸発してできた蒸気冷媒を凝縮させて凝縮液（液冷媒）にすることで、冷媒との間で熱交換するものである。より具体的には、本発明の凝縮器は、液冷媒槽の蒸発通路から上昇し流入してきた蒸気冷媒が貯まる貯留室と、その蒸気冷媒を冷却する冷却部とからなる。
【００１９】
（１）貯留室は、液冷媒槽の上方に気密に連結され、蒸気冷媒を貯留する空間を形成する。
本発明の貯留室は、貯留室を配置された冷却部へ蒸気冷媒を導入させる蒸気導入路を有する。この蒸気導入路の作用効果は前述した通りであるが、この蒸気導入路は、さらに、出口の開口面積が入口の開口面積よりも絞られていると好ましい。
これにより、冷却部に向けて流れる蒸気冷媒の流速が高まり、単位時間あたりの冷却部と蒸気冷媒との熱交換効率が高まる。また、冷却部の表面に凝縮液の液膜が蒸気流によって形成され難くなり、蒸気冷媒と冷却部との間の熱伝達性が向上する。
【００２０】
入口形状や出口形状は問わないが、入口の形状は液冷媒槽の蒸発通路の上部開口部の形状に適合していることが好ましい。また、出口部分では、蒸気冷媒の流速が高まるため、角張った形状よりも周囲が滑らかな丸みのある形状の方が好ましい。これにより、蒸発通路から冷却部へスムーズに蒸気冷媒が流れ易くなり、蒸気導入路の出口部分における蒸気冷媒の流速も高まり易い。同様に、蒸気冷媒のスムーズな流れを形成する上で、入口から出口に至る蒸気導入路の断面形状が滑らかに変化しているとが好ましい。
【００２１】
このような観点から、貯留室は、蒸発通路から蒸気導入路の出口までの途中に蒸気導入路を流れる蒸気冷媒の淀みを抑制する淀抑止部を有すると好ましい。蒸気導入路中に断面や方向が急変する部分等があると、蒸気冷媒は渦を生じてその部分に淀みが形成され易くなる。このような状況になると、蒸気冷媒が蒸気導入路中をスムーズに流れ難くなり、ひいては蒸気冷媒の発生や凝縮に影響し得る。そこで、貯留室中に蒸気冷媒の淀みを抑制する淀抑止部が形成されていると好ましい。この淀抑止部は貯留室中に別途設けても良いが、貯留室の外形自体を工夫して、その外壁が淀抑止部を兼ねるようにしても良い。
【００２２】
同様のことは、蒸気導入路を出た蒸気冷媒の流れについてもいえる。もっとも、蒸気導入路を出た後の蒸気冷媒は、単にスムーズに流れることよりも、蒸気冷媒が冷却部に適切に当たることが重要である。例えば、冷却部が複数並列している場合であれば、蒸気冷媒が各冷却部にできるだけ均等に分配されるように拡散されると好ましい。
そこで、貯留室は、蒸気導入路の出口から出た蒸気冷媒の淀みを単に抑制するのみならず、蒸気導入路の出口から出た蒸気冷媒をさらに冷却部へ拡散させ誘導する拡散誘導部を有すると好ましい。この拡散誘導部も淀抑止部と同様に、貯留室中に別途設けても良いが、貯留室の筐体形状などを工夫して、その外壁が拡散誘導部を兼ねるようにすると効率的である。
【００２３】
（２）冷却部は貯留室内に配置されておれば足りる。冷却部の内部を流れる冷却流体は、気体でも液体でも良い。気体であれば大気（空気）でもよい。液体であれば水等の冷却液を用いることができる。
冷却部は、貯留室の天井部を凹まして冷却通路を形成した構造でも良い。もっとも、冷却部の代表例は冷却管である。この冷却管は、例えば、貯留室内を気密に貫くと共に前記液冷媒とは異なる冷却流体が内部を環流するパイプである。このような貯留室を貫く冷却管は、一本でも複数本でも良いし、直線上でも蛇行していても良いし、また、太くても細くても、さらには配置に応じて冷却管の太さが異なっていてもよい。さらに、貯留室内に収容される冷却管の周囲にはフィンが設けてあっても良い。
冷却管の内部を流れる冷却流体は、その種類は問わないが、水などが代表的である。冷却流体は、冷却管内を充填した状態で流れる必要はなく、冷凍機の膨張室（エバポレータ）のように気相と液相とが混在する状態であってもよい。
【００２４】
（３）本発明の凝縮器は、冷却管から滴下する凝縮液を回収して液冷媒槽の還流通路へ導く回収部を有すると好ましい。この回収部を設けることで、冷媒が蒸発通路→凝縮器→還流通路のように、効率的に循環するようになり、液冷媒槽のサイズや蒸発通路および還流通路の配置などにあまり影響されることなく、凝縮器のサイズや配管などの形態を決定することができ、沸騰冷却装置全体の設計自由度が高くなる。このため、沸騰冷却装置を取り付ける発熱機器の形態などに応じつつ、コンパクトで高効率な沸騰冷却装置とすることも可能となる。
【００２５】
この回収部は、例えば、冷却管の大きさに応じて冷却管の下方に開口する上部開口部と、漏斗状またはすり鉢状に絞られて、滴下した凝縮液を還流通路へ誘導する誘導部と、還流通路の上方に開口する下部開口部とからなる。
ここで、凝縮器（特に貯留室内）に形成される回収部の下部と、液冷媒槽内に形成される仕切部の上部とを接続させ、さらには一体とすることで、蒸気冷媒が蒸発通路から漏れなく冷却管へ誘導されると共に凝縮液が漏れなく還流通路へ回収される。また、回収部と仕切部とを一体化して、一部材をロウ付け等することで沸騰冷却装置を製造した場合、その製造コストの削減にもなる。
【００２６】
また、この回収部を前記蒸気導入路の形成要素として兼用することで、コンパクトで高効率な沸騰冷却装置を低コストで製造することが可能となる。従って、蒸気導入路の少なくとも一部が回収部（例えば、前記誘導部の外壁面）と前記淀抑止部とにより形成されると好ましい。
【００２７】
より具体的には、本発明の沸騰冷却装置が、前記凝縮器内に配置され、前記還流通路へ向かって傾斜し、前記冷却部から滴下する凝縮液を前記液冷媒槽の還流通路へ導く回収板と、前記貯留室の壁面の前記回収板と対向する位置に形成され、前記回収板と同じ方向に傾斜した下部誘導壁とをさらに備え、前記回収板と前記下部誘導壁との間に蒸気導入路が形成され、前記蒸気導入路は前記蒸発通路に連通し、前記蒸発通路で発生した蒸気は前記蒸気導入路に導入されると好適である。
【実施例】
【００２８】
実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
〈基本実施例〉
本発明に係る一実施例である沸騰冷却装置Ｆを図１に示す。沸騰冷却装置Ｆは、液冷媒槽１と凝縮器２とからなる。
液冷媒槽１は、略直方体状の金属製の筐体１０と、筐体１０内に上下方向に並列して設けた仕切板１５、１６（仕切部）とからなる。筐体１０の両側の外壁面には取付部１１（第１取付部）と取付部１２（第２取付部）がそれぞれ設けられており、半導体素子を備えたパワーモジュールＨ１、Ｈ２（発熱体）が取付部１１、１２にそれぞれ取り付けられる。
【００２９】
仕切板１５、１６により筐体１０内は、薄い直方体状の３つの領域に区画され、両側に蒸発通路Ｂ１、Ｂ２（第１蒸発通路、第２蒸発通路）が形成され、その中央に還流通路Ｒが形成される。仕切板１５、１６は筐体１０の側壁にロウ付けされて固定されるが、筐体１０の底壁には接合されていない。このため、蒸発通路Ｂ１、Ｂ２と還流通路Ｒとはそれぞれ連通可能となっている。
凝縮器２は、有底略六角形柱状の金属製の筐体２０（貯留室）と、筐体２０内に下方から上方に拡幅した１組の回収板２５、２６（回収部）と、筐体２０を紙面の手前から奥に向かう方向に貫く３本の冷却管Ｃ１〜３とからなる。なお、冷却管Ｃ１〜Ｃ３内は、放熱器（ラジエター等）で冷却された冷却水が循環ポンプによって継続的に循環している。
【００３０】
筐体２０の内部空間が、蒸発通路Ｂ１、Ｂ２から蒸発した蒸気冷媒が貯留される貯留室となる。この筐体２０は下部誘導壁２１、２２を備え、この下部誘導壁２１、２２と回収板２５、２６との協調により、蒸気冷媒の蒸気導入路Ｄ１、Ｄ２が形成される。なお、蒸気導入路Ｄ１、Ｄ２の出口の開口面積は、入口の開口面積（蒸発通路Ｂ１、Ｂ２の上部開口面積）よりも狭く絞られている。
【００３１】
この蒸気導入路Ｄ１、Ｄ２の出口で流速を高めた蒸気冷媒は、略直立する中間誘導壁２７、２８に誘導されて、筐体２０の上方に設けられた冷却管Ｃ１〜Ｃ３へ斜め下方から当たり冷却される。加えて筐体２０は上部誘導壁２３、２４（拡散誘導部）を有するので、蒸気冷媒はさらに冷却管Ｃ１〜Ｃ３の上方にも誘導される。これにより、蒸気冷媒は直近の冷却管のみならず隣接した他の冷却管へも拡散分配もされ得る。例えば、蒸気導入路Ｄ１の出口を出た流速の高められた蒸気冷媒は、中間誘導壁２７および上部誘導壁２３により斜め下方から冷却管Ｃ１へ当たると共に冷却管Ｃ２、Ｃ３へも分配、拡散される。このように蒸気冷媒が環流方向（蒸発通路Ｂ１、Ｂ２から凝縮部２を経由して還流通路Ｒへ向かう方向）へスムーズに流れることで、良好な冷媒循環が得られ、流速の高い蒸気冷媒が少なくとも直近の冷却管へ当たることで、冷却管の表面に付着した凝縮液の液膜が除去され、また、蒸気冷媒が他の冷却管へも分散されることで、蒸気冷媒と冷却管Ｃ１〜Ｃ３との間でスムーズな熱交換がなされる。
【００３２】
なお、本実施例の蒸気導入路Ｄ１、Ｄ２は、下部誘導壁２１、２２と回収板２５、２６とにより形成され得るが、それに加えて中間誘導壁２７、２８および上部誘導壁２３、２４によって蒸気導入路Ｄ１、Ｄ２が形成されると考えても良い。
【００３３】
〈変形実施例〉
上述した基本実施例を部分的に変更した変形実施例を図３〜６に示す。なお、図３〜６に示した変形実施例について、図１に示した基本実施例から変更されていない部分には、図１と同じ符号を付した。
（１）図３に示した沸騰冷却装置Ｆ２は、沸騰冷却装置Ｆの凝縮器２を凝縮器２２０へ変更したものである。凝縮器２に対する凝縮器２２０の変更点は、凝縮器２の中間誘導壁２７、２８を省略したところである。
【００３４】
（２）図４に示した沸騰冷却装置Ｆ３は、沸騰冷却装置Ｆの凝縮器２を凝縮器３２０へ変更したものである。凝縮器２に対する凝縮器３２０の変更点は、凝縮器２の上部誘導壁２３、２４の形状が平面状から湾曲状に変更したところである。
【００３５】
（３）図５に示した沸騰冷却装置Ｆ４は、沸騰冷却装置Ｆの凝縮器２を凝縮器４２０へ変更したものである。凝縮器２に対する凝縮器４２０の変更点は、凝縮器２の下部誘導壁２１、２２を省略したところである。
【００３６】
（４）図６に示した沸騰冷却装置Ｆ５は、沸騰冷却装置Ｆの凝縮器２を凝縮器５２０へ変更したものである。凝縮器２に対する凝縮器５２０の変更点は、凝縮器２の内部に設けていた回収板２５、２６を省略し、液冷媒槽１の筐体１０の外側壁と凝縮器２の筐体２０の外側壁とを連続平面状に構成したところである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の基本実施例である沸騰冷却装置の縦断面図である。
【図２】その沸騰冷却装置の正面図である。
【図３】本発明の第１変形実施例である沸騰冷却装置の縦断面図である。
【図４】本発明の第２変形実施例である沸騰冷却装置の縦断面図である。
【図５】本発明の第３変形実施例である沸騰冷却装置の縦断面図である。
【図６】本発明の第４変形実施例である沸騰冷却装置の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１            液冷媒槽
２            凝縮器
１５、１６    仕切板（仕切部）
２５、２６    回収板（回収部）
Ｂ１、Ｂ２    蒸発通路
Ｃ１〜Ｃ３    冷却管（冷却部）
Ｄ１、Ｄ２    蒸気導入路
Ｈ１、Ｈ２    パワーモジュール（発熱体）
Ｆ            沸騰冷却装置
Ｒ            還流通路
Ｍ            液冷媒
【図１】
2010010204.tif 000003
【図２】
2010010204.tif 000004
【図３】
2010010204.tif 000005
【図４】
2010010204.tif 000006
【図５】
2010010204.tif 000007
【図６】
2010010204.tif 000008