(57)【要約】【課題】スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートおよびその固定シートを使用した静電アクチュエータを提供する。【解決手段】固定シートは、特定の１相または２相の第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段とを備え、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを接合した構成を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、
前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、
前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段と、
前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを機械的に圧着する圧着手段と、
を具備することを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項２】
請求項１に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記圧着手段は断面がＵ字形状であって、その断面に垂直な方向を長手方向とし、弾性を有する材料からなり、そのＵ字形状の内側に前記第１シートと前記第２シートとを挟み込んで圧着する圧着手段であることを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項３】
請求項１または２に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記圧着手段の材料は透明なプラスチック材料であることを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記多層電極パターンは静電力を移動シートに作用させるための電極線と、各相ごとに電極線を結合する結合線と、結合線に電圧を供給するための結合線の一部分である端子部とから構成され、すべての相の前記端子部を含む結合線が前記第１電極パターンの面に設けられ、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを電気的に短絡したことを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項５】
請求項４に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを前記圧着手段が圧着することにより前記電気的な短絡をしたことを特徴とする静電アクチュエータの固定シート。
【請求項６】
多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを圧着する圧着手段とを備えた固定シートと、
前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置された移動シートと、
を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電アクチュエータの技術分野に属する。特に、スルーホールを使用することなく配線の干渉を回避した多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートとそれを使用した静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
固定シートに形成された電極線に電圧を印加することによって、固定シートに重ねられた移動シートに静電力を作用させて、固定シートに対して移動シートを移動する静電アクチュエータが周知である。その固定シートには多数の電極線が互いに平行となるように配置しており、各々の電極線には配置の順番に所定の多相の電圧が印加される。多相の電極線は各相ごとに結合線によって結合され、結合線の一部分である端子部から多相の電圧が印加される。多相の電圧は多くの場合には３相であるが４相以上のこともある。特に、３相以上において、電極線と結合線の配線が各相の間において干渉しないようにするためには、スルーホールを使用して両面配線を行うことが一般的である。スルーホールを使用しないで片面だけの配線で済ませるためには、特別な工夫が必要である。
【０００３】
たとえば、図９（Ａ）に示すように、移動子の移動方向に延びる結合線（電極幹線）と、その結合線に直交する電極線（電極支線）からなる各相電極を、電極線が重ならないように、また所定の位相を保持するように配置して３相電極を構成した静電アクチュエータの発明が周知である（特許文献１）。しかしながら、この発明においては、電極線の延長総幅は固定シートの全幅に対して、相当に短いものとならざるを得ない。すなわち、結合線によって占められる幅だけでなく、他相電極によって囲まれた領域に電極線の開き領域が生じている。したがって、この固定シートを使用した静電アクチュエータにおいては、電極線の延長総幅が短い分だけ静電力が小さいという問題がある。
【特許文献１】特開昭６３−１３６９７８
【０００４】
また、図９（Ｂ）に示すように、絶縁体内に電極線（電極）が形成されるた固定子エレメントと、それららの間に配置され絶縁体内に電極線（電極）が形成されるた移動子エレメントが多段に配置された静電アクチュエータにおいて、各々の固定子エレメントには１つの相を除いた２つの相の電極線だけが形成されており、それらが多段に配置されたときに、各々の固定子エレメントにおける電極線が互いに、所定の位相を保持するように、各々の固定子エレメントを配置して３相電極を構成した静電アクチュエータの発明が周知である（特許文献２）。しかしながら、この発明においては、多数の固定子エレメントを使用することが前提であって、使用数が少ないときには各相による静電力が均等とはならないという問題がある。また、各々の固定子エレメントには１つの相を除いた２つの相の電極線だけが形成されている。したがって、この固定シートを使用した静電アクチュエータにおいては、除かれた電極線の分だけ静電力が小さいという問題がある。
【特許文献２】特開平７−１９４１４７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートおよびその固定シートを使用した静電アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートは、多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを機械的に圧着する圧着手段とを具備するようにしたものである。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記圧着手段は断面がＵ字形状であって、その断面に垂直な方向を長手方向とし、弾性を有する材料からなり、そのＵ字形状の内側に前記第１シートと前記第２シートとを挟み込んで圧着する圧着手段であるようにしたものである。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項１または２に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記圧着手段の材料は透明なプラスチック材料であるようにしたものである。
また、本発明の請求項４に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項１〜３のいずれかに係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記多層電極パターンは静電力を移動シートに作用させるための電極線と、各相ごとに電極線を結合する結合線と、結合線に電圧を供給するための結合線の一部分である端子部とから構成され、すべての相の前記端子部を含む結合線が前記第１電極パターンの面に設けられ、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを電気的に短絡したものである。
また、本発明の請求項５に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項４に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを前記圧着手段が圧着することにより前記電気的な短絡をしたものである。
また、本発明の請求項６に係る静電アクチュエータは多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁手段と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて、前記第１シートと前記第２シートとを圧着する圧着手段とを備えた固定シートと、前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置された移動シートとを具備するようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、第１シートは多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する。また、第２シートは前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する。また、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに絶縁手段は異なる相の電極パターンが短絡しないようにする。また、圧着手段は前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを機械的に圧着する。したがって、静電アクチュエータの固定シートが得られる。この構成から明らかなように、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータの固定シートが提供される。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、請求項１に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記圧着手段は断面がＵ字形状であって、その断面に垂直な方向を長手方向とし、弾性を有する材料からなり、そのＵ字形状の内側に前記第１シートと前記第２シートとを挟み込んで圧着する圧着手段である。すなわち、第１シートと第２シートを合わせたときの１辺につき、その辺の長さに合致する１本の部品（圧着手段）で圧着を済ませることができる。したがって、部品点数を少なくでき、生産性も極めて良好である。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項１または２に係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記圧着手段の材料は透明なプラスチック材料であるようにしたものである。すなわち、透明であるから光透過性の阻害が少なく、プラスチック材料は機械的な特性（弾性的な性質）の選択範囲が広い。したがって、光透過性が重視されるような静電アクチュエータの用途において（たとえば、固定シートにバックライトを併設するとき、等において）、良好な光学的、機械的な特性を有する圧着手段を得ることができる。
また、本発明の請求項４に係る静電アクチュエータの固定シートによれば、請求項１〜３のいずれかに係る静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記多層電極パターンは静電力を移動シートに作用させるための電極線と、各相ごとに電極線を結合する結合線と、結合線に電圧を供給するための結合線の一部分である端子部とから構成され、すべての相の前記端子部を含む結合線が前記第１電極パターンの面に設けられ、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを電気的に短絡している。すなわち、すべての相の端子部を含む結合線が１つの電極パターンの面に設けられている。したがって、電源部と静電アクチュエータを電気的に接続するリード線の配線を容易かつ確実に行うことができる。
また、本発明の請求項５に係る静電アクチュエータの固定シートは、請求項４に記載の静電アクチュエータの固定シートにおいて、前記第２電極パターンの結合線と、前記第１電極パターンの対応する相の前記端子部を含む結合線とを前記圧着手段が圧着することにより前記電気的な短絡をしたものである。したがって、電気的な短絡は圧着により高い信頼性で確保される。
また、本発明の請求項６に係る静電アクチュエータによれば、第１シートは多相電圧が印加される多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する。また、第２シートは前記第１電極パターンに含まれなかった多相電極パターンにおける１相または２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する。また、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに絶縁手段は異なる相の電極パターンが短絡しないようにする。また、圧着手段は前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを機械的に圧着する。すなわち、固定シートが得られる。さらに、移動シートが前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置されている。したがって、この構成から明らかなように、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な３相以上の多相電極パターンを有する静電アクチュエータが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の静電アクチュエータは固定シートと移動シートを組み合わせたものである。固定シートについては特徴的な構成を有する。一方、移動シートについては周知のものを使用することができ本発明においては限定されない。したがって、主として本発明の固定シートについて説明する。本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける構成の一例を図１〜図５に示す。図１は本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける絶縁手段および第１電極パターンを含む第１シートの構成を示す図である。図２は本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第２電極パターンを含む第２シートの構成を示す図である。図３は本発明の静電アクチュエータの固定シートの構成を示す図である。図４は本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第１シートと第２シートの各箇所の断面を示す図である。図５は本発明の静電アクチュエータの固定シートの断面を示す図である。図１〜図５において、１は第１シート、２は第２シート、３は絶縁手段、４は固定シート、１０は第１基材、１１は第１電極パターン、２０は第２基材、２１は第２電極パターン、１１１〜１１６は電極線（Ｕ相）、１２１は結合線（Ｕ相）、１３１は端子部（Ｕ相）、２１１〜２１６は電極線（Ｖ相）、２２１は結合線（Ｖ相）、２３１は端子部（Ｖ相）、３１１〜３１６は電極線（Ｗ相）、３２１，３２２は結合線（Ｗ相）、３３１は端子部（Ｗ相）である。
【０００９】
第１シート１は、プラスチックフィルム等のシートである第１基材１０の片面に第１電極パターン１１を形成したシートである。第１電極パターン１１は多相電圧が印加される固定シートの多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む電極パターンである。第１電極パターン１１は、図１に示す一例においては、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相からなる３相交流におけるＵ相、Ｖ相の電極パターンのすべてを有する。また、Ｗ相の電極パターンの一部を有する。これらの電極パターンはさらにその細部から構成され、図１に一例を示すように、電極線（Ｕ相）１１１〜１１６と、結合線（Ｕ相）１２１と、端子部（Ｕ相）１３１と、電極線（Ｖ相）２１１〜２１６と、結合線（Ｖ相）２２１と、端子部（Ｖ相）２３１とを有している。また、結合線（Ｗ相）３２２と、端子部（Ｗ相）３３２とを有している。
【００１０】
電極線（Ｕ相）１１１〜１１６は静電力を移動シートに作用させるためのＵ相の電圧が印加される電極線である。電極線（Ｕ相）は、１１１〜１１６だけでなく必要に応じて多数本が配置される。結合線（Ｕ相）１２１は電極線（Ｕ相）１１１〜１１６を結合する結合線である。電極線（Ｕ相）１１１〜１１６は、その端部において２本を１組として結合しているが、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線（Ｕ相）１２１に含まれる。端子部（Ｕ相）１３１は結合線（Ｕ相）１２１にＵ相の電圧を供給するための結合線の一部分であり、リード線、コネクタ等を取り付ける第１シートの部分である。
電極線（Ｖ相）２１１〜２１６は静電力を移動シートに作用させるためのＶ相の電圧が印加される電極線である。電極線（Ｖ相）は、２１１〜２１６だけでなく必要に応じて多数本が配置される。結合線（Ｖ相）２２１は電極線（Ｖ相）２１１〜２１６を結合する結合線である。電極線（Ｖ相）２１１〜２１６は、その端部において２本を１組として結合しているが、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線（Ｖ相）２２１に含まれる。端子部（Ｖ相）２３１は結合線（Ｖ相）２２１にＶ相の電圧を供給するための結合線の一部分であり、リード線、コネクタ等を取り付ける第１シートの部分である。
結合線（Ｗ相）３２２は結合線（Ｗ相）３２１（図２参照）と対向して電気的に短絡するための結合線である。端子部（Ｗ相）３３２は結合線にＷ相の電圧を供給するための結合線の一部分であり、リード線、コネクタ等を取り付ける第１シート１の部分である。
【００１１】
図１においてＡで示す位置の第１シート１の断面は、図４（Ａ）に示されている。図４（Ａ）に示すように、第１シート１のＡで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に結合線２２１と、結合線３２２と、電極線１１５とが形成されている。また、結合線２２１を電気的に絶縁するシート（フィルム）状の絶縁手段３も第１基材１０の表面に形成されている。
また、図１においてＢで示す位置の第１シート１の断面は、図４（Ｂ）に示されている。図４（Ｂ）に示すように、第１シート１のＢで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に端子部１３１と、端子部２３１、端子部３３１が形成されている。
【００１２】
第２シート２は、プラスチックフィルム等のシートである第２基材１０の片面に第２電極パターン２１を形成したシートである。第２電極パターン２１は多相電圧が印加される固定シートの多相電極パターンにおける特定の１相または２相の電極パターンを含む電極パターンである。第２電極パターン２１は、図２に示す一例においては、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相からなる３相交流におけるＷ相の電極パターンのすべてを有する。第２電極パターン２０はさらにその細部から構成され、図２に一例を示すように、電極線（Ｗ相）３１１〜３１６と、結合線（Ｗ相）３２１とを有している。なお、第２シート２においては、端子部（Ｗ相）は備えていない。
【００１３】
図２においてＣで示す位置の第２シート２の断面は、図４（Ｃ）に示されている。図４（Ｃ）に示すように、第２シート２のＣで示す位置の断面には、第２基材２０の下表面に結合線３２１と、電極線３１３とが形成されている。
また、図１においてＤで示す位置の第２シート２の断面は、図４（Ｄ）に示されている。図４（Ｄ）に示すように、第２シート２のＤで示す位置の断面には、第２基材２０の下表面に結合線３２１が形成されている。
【００１４】
電極線（Ｗ相）３１１〜３１６は静電力を移動シートに作用させるためのＷ相の電圧が印加される電極線である。電極線（Ｗ相）は、３１１〜３１６だけでなく必要に応じて多数本が配置される。結合線（Ｗ相）３２１は電極線（Ｗ相）３１１〜３１６を結合する結合線である。
図１に示した結合線（Ｗ相）３２２は結合線（Ｗ相）３２１と対向して電気的に短絡するための結合線である。結合線（Ｗ相）３２１は結合線（Ｗ相）３２２と電気的に短絡することによって、図１に示した端子部（Ｗ相）３３１から電圧の供給を受けることができる。
【００１５】
絶縁手段３は、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにするための絶縁手段である。絶縁手段３は、図１に示す一例において、電極線（Ｖ相）２１１〜２１６の端部において２本を１組として結合する部分を含む結合線（Ｖ相）２２１の表面と、結合線（Ｗ相）３２２の表面とを含む矩形領域を被覆して電気的な絶縁性が得られるようにする絶縁手段である。このような絶縁手段３は該当する領域をプラスチックフィルム等のシートを貼り付けて被覆することによって第１シート１に備えることができる。図１に示す一例においては絶縁手段３を第１シート１に備えたが、絶縁手段３を第２シート２に備えても同様の作用効果を得ることができる。
【００１６】
この絶縁手段３、および第１基材と第２基材には、プラスチックフィルム等の絶縁性材料を使用することができる。プラスチックフィルムとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、等を使用することができる。また、これらのフィルムを含む多層フィルム、これらのフィルムとの複合材料、等を使用することができる。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムは好適である。
【００１７】
また、第１電極パターン１１、第２電極パターン２１の電極には、金属箔等の導電性材料を使用することができる。銅貼フィルムの銅箔面にエッチングレジストのパターンを形成してエッチングすることにより銅箔をパターン化することができる。また、バックライトを透過させる等のために、透明電極を必要とするときには、透明電極を形成する周知の方法によって電極を形成することができる。たとえば、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）を使用しスパッタリング、蒸着、等により基材に成膜しエッチングによりパターン化する、またはＩＴＯペーストをインキとし基材にスクリーン印刷して焼成する、等により透明電極を得ることができる。
【００１８】
本発明の静電アクチュエータの固定シート４は上述した第１シート１と、第２シート２と、絶縁手段３とを組み合わせたものである。すなわち、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせて、絶縁手段３が備えられている第１シート１と、第２シート２とを接合した固定シートである。
固定シート４においては、図３に示すように、電極線（Ｕ相）１１１〜１１６と、電極線（Ｖ相）２１１〜２１６と、電極線（Ｗ相）３１１〜３１６とは互いに平行であって、等間隔に配置される。また、第１シート１の結合線３２１と第２シート２の結合線３２２は重なり合っている。固定シート４が、第１シート１と第２シート２がそのような配置関係を有するように、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせ接合した固定シートである。
【００１９】
図３においてＥで示す位置の固定シート４の断面は、図５（Ｅ）に示されている。図５（Ｅ）に示すように、固定シート４のＥで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に結合線３２２と、結合線２２１とが形成されている。また、第２基材２０の下表面に結合線３２１と、電極線３１３とが形成されている。結合線３２１と結合線３２２とは重ね合わせの状態となっていて電気的に短絡している。なお、図５（Ｅ）において結合線２２１が２箇所に示されている。その理由は、電極線２１３と２１４は、その端部において２本を１組として結合しているが（図１参照）、その結合を行う部分（近辺を含む部分）は結合線２２１に含まれることによる。
また、図３においてＦで示す位置の固定シート４の断面は、図５（Ｆ）に示されている。図５（Ｆ）に示すように、第２シート２のＦで示す位置の断面には、第１基材１０の上表面に結合線３２２と、結合線２２１と、結合線１２１とが形成されている。また、第２基材２０の下表面に結合線３２１が形成されている。結合線３２１と結合線３２２とは重ね合わせの状態となっていて電気的に短絡している。
【００２０】
固定シート４は、上述したように、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とを合わせて、第１シート１と第２シート２とを接合したものである。次に、この接合方法について説明する。
固定シート４においては、第１基材１と第２基材２とを機械的に接合する箇所が存在する。また、固定シート４においては、結合線３２１と結合線３２２を電気的に短絡する箇所とが存在する。第１基材１と第２基材２とを機械的に接合する方法としては、たとえば、接着剤を使用して接合する周知の方法を適用することができる。また、結合線３２１と結合線３２２を電気的に短絡する方法としては、強接触状態でなくても印加電圧が高いので導通を得ることができるが、たとえば、導電性ペースト等を導電性のクッション材として結合線３２１と結合線３２２との接触面に適用する方法は、高い信頼性が得られ好適である。接触状態が良くないときには放電が発生し電極が破壊されることがある。
【００２１】
本発明においては、圧着手段を用いて第１基材１と第２基材２とを機械的に接合する。また、圧着手段を用いて結合線３２１と結合線３２２を電気的に短絡する箇所とが存在する。本発明における圧着手段の構成の一例を説明図として図６に示す。また、本発明における圧着手段の構成の一例を断面図として図７に示す。図６、図７において、１は第１シート、２は第２シート、４は圧着手段、３２１、３３１は結合線である。
図６に示す圧着手段４は断面がＵ字形状であって、その断面に垂直な方向を長手方向とし、弾性を有する材料からなり、そのＵ字形状の内側に第１シートと第２シートとを挟み込んで圧着する圧着手段の一例である。この図６に示すような複数枚のシートを挟み込む圧着手段４のことを、シートクランプと呼ぶこともある。この図６に示す圧着手段は、複数枚のシートをそれらの特定の一辺のにおいて挟み込む形状（断面形状）を有している。また、それらの特定の一辺の全体において挟み込むことができるように、圧着手段４の長手方向の長さはシートの辺の長さと概略一致している。
なお、配線の電気抵抗が充分低い、あるいは接触安定性が高い場合は、長手方向の長さは端子付近の短い範囲のみを圧着しても良い。
【００２２】
図６に示す圧着手段４は、その断面の形状は長手方向のどの場所においても同一である。図６に示す一例において、圧着手段４の断面は完全なＵ字形状ではなく、概略としてＵ字形状となっている。ここで、Ｕ字形状とは、Ｕ字形状の内側の部分のように第１シートと第２シートを両側から挟み込む２つの押圧部分と、それら２つの押圧部分に挟み込む力を（弾性力）を作用させる負勢部分とを有する形状のことである。すなわち、そのような形状の代表名として、ここではＵ字形状という呼び名を使用する。したがって、たとえば断面形状がＵ字よりもΣ字（またはコ字）に近い場合であっても、また文字で表現できない形状であっても、ここではＵ字形状に含まれる。したがって、図６に示す圧着手段４は機能を示す具体的な一例であって、第１シートと第２シートとを挟み込んで圧着する機能を有するものは本発明の圧着手段として適用することができる。
【００２３】
図６（Ａ）は圧着手段４によって第１シートと第２シートとを機械的に圧着する前の状態、すなわち圧着手段を適用する前の状態を示している。また、図６（Ｂ）は圧着手段４によって第１シートと第２シートとを機械的に圧着した状態、すなわち圧着手段を適用した状態を示している。図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示すように、第１電極パターン１１の面と第２電極パターン２１の面とが向かい合うように、第１シート１と第２シート２とを重ね合わせて、圧着手段４のＵ字形状の内側に差し込むという簡単な方法で、第１シート１と第２シート２とを接合することができる。
図６（Ｂ）に示すように、圧着が完了した状態においては、第１シート１と第２シート２の挟み込まれた一辺は、その方向が圧着手段４の長手方向と一致している。第１シート１と第２シート２の外形が直線の辺を組み合わせた形状であるならば、たとえば矩形であるならば、すべての辺を圧着手段４によって圧着することができる。すべての辺を圧着手段４によって圧着することにより、第１シート１と第２シート２とを圧着固定して一体化することができる。また、挟み込む側にだけ開口部を有する圧着手段４によって周囲が覆われることにより、第１シート１と第２シート２とを重ね合わせた隙間から塵埃等の物質の侵入を防ぐことができる。したがって、動作環境が良くない場所で静電アクチュエータを使用するときにおいても、その動作の信頼性を確保することができる。
【００２４】
圧着手段４による圧着部分は、第１シート１と第２シート２の辺の部分であるが、それら両者の辺の部分にともに電極が存在するときには、それらの電極どおしが圧着されることになる。そのような圧着部分の断面図を図７に示すように、第２電極パターン２１の結合線３２１と、第１電極パターン１１の対応する相の結合線３２２とを圧着手段４が圧着する。これにより、結合線３２１と結合線３２２との間で電気的な短絡がなされることになる。第１電極パターン１１の結合線３２２は端子部３３１を含む。したがって、第２電極パターン２１へ電力を供給するための端子部を第１電極パターン１１が設けられた側の表面に設けることができる。すなわち、端子部１３１、端子部３３１とともに端子部３３１が第１基材１０の同一表面に設けられる。
【００２５】
圧着手段４に適用する材料としては、第１シート１と第２シート２の挟み込んで圧着することが可能なバネ弾性を必要とする。したがって、炭素鋼、クロムバナジウム鋼、シリコンクロム鋼、ベリリウム銅、りん青銅、等の金属材料、熱硬化樹脂、熱可塑性樹脂、繊維強化樹脂、等のプラスチック材料を使用することができる。特に、透明なプラスチック材料を圧着手段４の材料として使用することができ、そのときには、透明であるから光透過性の阻害が少なく、機械的な特性（弾性的な性質）の選択範囲が広く、電気的な絶縁性が容易に得られる。したがって、光透過性が重視されるような静電アクチュエータの用途において（たとえば、固定シートにバックライトを併設するとき、等において）、良好な光学的、機械的、電気的な特性を得ることができる。
【００２６】
２つに別れた電極を他の電極と干渉しないように電気的に短絡する方法の比較例を図８に示す。図８（Ａ）は基材にスルーホールを設けて短絡する方法を示す。図８（Ｂ）は絶縁材料で被覆した上にブリッジ電極を形成し短絡する方法を示す。これらの図８に示す方法は、従来より知られている方法であるが、上述の圧着手段を用いる方法と比較して、加工に要する工数が多く、製造コストのかかる方法である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第１電極パターンを含む第１シートの構成を示す図である。
【図２】。本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける絶縁手段および第２電極パターンを含む第２シートの構成を示す図である。
【図３】本発明の静電アクチュエータの固定シートの構成を示す図である。
【図４】本発明の静電アクチュエータの固定シートにおける第１シートと第２シー各箇所の断面を示す図である。
【図５】本発明の静電アクチュエータの固定シートの断面を示す図である。
【図６】本発明における圧着手段の構成の一例を示す説明図である。
【図７】本発明における圧着手段の構成の一例を断面図として示す図である。
【図８】２つに別れた電極を他の電極と干渉しないように電気的に短絡する方法の比較例を示す図である。
【図９】従来の静電アクチュエータの固定シートにおける電極パターンの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  第１シート
２  第２シート
３  絶縁手段
４  固定シート
１０  第１基材
１１  第１電極パターン
２０  第２基材
２１  第２電極パターン
１１１〜１１６  電極線（Ｕ相）
１２１  結合線（Ｕ相）
１３１  端子部（Ｕ相）
２１１〜２１６  電極線（Ｖ相）
２２１  結合線（Ｖ相）
２３１  端子部（Ｖ相）
３１１〜２１６  電極線（Ｗ相）
３２１，３２２  結合線（Ｗ相）
３３１  端子部（Ｗ相）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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