(57)【要約】【課題】円筒型圧電素子の伸縮により流体をパルス状に噴射する流体噴射を提供する。【解決手段】流体噴射装置１０は、流体流動方向に沿って配設され、且つ径方向に伸縮する複数の円筒型圧電素子６０〜６４と、円筒型圧電素子６０〜６４の伸縮に追従して径方向に変形可能な薄肉管３０と、薄肉管３０の内周または外周に設けられる流体流路７０と、流体流路７０の流体流動方向の上流側に連通する流体供給口４４と下流側に連通する流体噴射口４５と、流体供給口４４に連通する流体供給手段と、が備えられ、円筒型圧電素子６０〜６４のいくつかを選択的に伸縮させることにより、薄肉管３０を変形させて前記流体流路７０の閉鎖と開放を繰り返し、流体噴射口４５から液体を噴射させる。【選択図】図１
2010263982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体流動方向に沿って配設され、且つ径方向に伸縮する複数の円筒型圧電素子と、
前記複数の円筒型圧電素子の伸縮に追従して径方向に変形可能な薄肉管と、
前記薄肉管の内周または外周に設けられる流体流路と、
前記流体流路の流体流動方向の上流側に連通する流体供給口と下流側に連通する流体噴射口と、
前記流体供給口に連通する流体供給手段と、が備えられ、
前記複数の円筒型圧電素子のいくつかを選択的に伸縮させることにより、前記薄肉管を変形させて前記流体流路の閉鎖と開放を繰り返し、前記流体噴射口から流体を噴射させることを特徴とする流体噴射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の流体噴射装置において、
前記薄肉管の外周部に前記複数の円筒型圧電素子が挿着され、
前記流体流路が、前記薄肉管の内周面と、前記薄肉管の内側に配設される軸状の流路形成部材の外周面と、によって形成され、
前記薄肉管が、前記複数の円筒型圧電素子の伸縮に追従して、前記流体流路を閉鎖または開放することを特徴とする流体噴射装置。
【請求項３】
請求項１に記載の流体噴射装置において、
前記薄肉管の内周部に前記複数の円筒型圧電素子が挿着され、
前記流体流路が、前記薄肉管の外周面と、前記薄肉管の外側に配設される剛性を有する管状の流路形成部材の内周面と、によって形成され、
前記複数の円筒型圧電素子の伸縮に追従して、前記流体流路が閉鎖または開放されることを特徴とする流体噴射装置。
【請求項４】
請求項１に記載の流体噴射装置において、
前記複数の円筒型圧電素子が、第１圧電素子群と第２圧電素子群とを有し、
前記薄肉管が、第１薄肉管と前記第１薄肉管の内側に挿入される第２薄肉管とを有し、
前記流体流路が、前記第１薄肉管の内周面と前記第２薄肉管の外周面とによって形成され、
前記第１薄肉管の外周部に前記第１圧電素子群が挿着され、前記第２薄肉管の内周部に前記第２圧電素子群が挿着され、
前記第１圧電素子群と前記第２圧電素子群の伸縮に追従して、前記流体流路が閉鎖または開放されることを特徴とする流体噴射装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の流体噴射装置において、
前記複数の円筒型圧電素子の伸縮量が多段階で制御されることを特徴とする流体噴射装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の流体噴射装置において、
前記複数の円筒型圧電素子が、前記流体供給口に近い位置から前記流体噴射口に近い位置に向かって前記流体流路を開放状態から順次閉塞し、流体を噴射することを特徴とする流体噴射装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の流体噴射装置において、
前記流体供給手段から前記流体流路に流体を加圧供給し、
前記複数の円筒型圧電素子のうち、前記流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子のみを駆動し、前記流体流路の開放と閉鎖を繰り返して、流体をパルス状に噴射することを特徴とする流体噴射装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の流体噴射装置において、
前記流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子を駆動して流体流路を閉鎖し、前記流体流路が流体で充填された状態で、前記流体供給口に最も近い円筒型圧電素子を駆動して前記流体流路を閉鎖し、その直後、中間にある他の円筒型圧電素子を駆動して流体流路を閉鎖すると共に、前記流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子の電荷を除去して形状を初期状態に復帰させて前記流体流路を開放し、流体を噴射することを特徴とする流体噴射装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の流体噴射装置において、
前記複数の円筒型圧電素子のうち、前記流体噴射口に近い円筒型圧電素子が前記流体流路を閉鎖し、他の円筒型圧電素子は前記流体流路を開放して前記流体流路が流体で充填されたタイミングで、前記流体供給口に近い円筒型圧電素子を駆動して前記流体流路を閉鎖した後、前記流体流路を開放している円筒型圧電素子を前記流体供給口に近い位置から前記流体噴射口に近い位置に向かって順次閉鎖していき、前記複数の円筒型圧電素子の全てが前記流体流路を閉鎖するタイミングで、前記流体噴射口に近い円筒型圧電素子が前記流体流路を開放して流体を噴射することを特徴とする流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒型圧電素子の伸縮により流体を噴射する流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体を送液するポンプとして平面伸縮素子を用いた扁平型ポンプが提案されている。この扁平型ポンプは、２枚の可撓性フィルムの両端を接着し、この両接着部の間を開閉可能な流路とし、この可撓性フィルム上に流路と直交する方向に、自由状態ではそれぞれこの流路を閉じるストリップ状の平面伸縮素子を複数個配置して、このストリップ状の平面伸縮素子を整列方向に順番に伸縮することで、各平面伸縮素子直下の流路を順番に開くように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、蠕動運動アクチュエーターの開口内部に伸縮自在の筒状体を配置し、蠕動運動アクチュエーターにおいて、任意の位相差をもって電圧印加を行い、蠕動運動を行わせると、筒状体がその運動にあわせて伸縮することにより送液されるというものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、環状の可撓性伸縮押体に、作動油または高圧空気を供給して作動体のくびれ部が移動するように複数の可撓性伸縮押体の容積を順次変化させる蠕動運動により、作動体内部の流体を圧送する蠕動ポンプというものも知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２５６６８３号公報
【特許文献２】特開２００８−２３６９５０号公報
【特許文献３】特開平５−５４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１では可撓性フィルムを、特許文献２では蠕動運動アクチュエーターを流体の搬送体として用いている。これらはいずれも搬送体を平面方向に変形させる構造のため、流体の逆流が発生しやすく、流体の搬送流量、搬送速度等の搬送能力の低下が考えられる。
【０００７】
また、搬送体を可撓性材料で構成しているため、流体流路内を高圧にする場合には、搬送体が内部圧力によって外側に変形して、流体を押し出す圧力が十分に得られず、液滴をパルス状に高速噴射することは困難である。
【０００８】
また、特許文献３では、作動油または高圧空気を供給して作動体のくびれ部が移動することにより流体を搬送するため、可撓性伸縮押体を高速駆動させることはできない。さらに作動体を閉鎖しきることは困難であり、流体の逆流も考えられる。これらのことから、作動体内部の流体流路の圧力を高め、液滴をパルス状に高速噴射することはできないという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１０】
［適用例１］本適用例に係る流体噴射装置は、流体流動方向に沿って配設され、且つ径方向に伸縮する複数の円筒型圧電素子と、前記複数の円筒型圧電素子の伸縮に追従して径方向に変形可能な薄肉管と、前記薄肉管の内周または外周に設けられる流体流路と、前記流体流路の流体流動方向の上流側に連通する流体供給口と下流側に連通する流体噴射口と、前記流体供給口に連通する流体供給手段と、が備えられ、前記複数の円筒型圧電素子のいくつかを選択的に伸縮させることにより、前記薄肉管を変形させて前記流体流路の閉鎖と開放を繰り返し、前記流体噴射口から流体を噴射させることを特徴とする。
【００１１】
本適用例の流体噴射装置は、複数の円筒型圧電素子を流体流動方向に配設し、円筒型圧電素子を伸長または収縮して薄肉管を押圧して流体流路を閉鎖し流体流路内の圧力を高めてから流体流路を開放し、流体を噴射させる。
【００１２】
このことから、流体供給口側の流体流路の閉鎖により流体の逆流を抑制し、流体流路内の圧力を十分高めてから流体噴射口を開放するため、流体の搬送能力を低下させずに、液滴をパルス状に高速噴射することができる。
【００１３】
また、円筒型圧電素子は電圧印加による伸縮の応答性また制御性が高い。そこで、複数の円筒型圧電素子の一つ一つについて選択的に電圧印加することで、互いの伸縮タイミング、伸縮量の制御が可能であり、流体の流量、流動速度及び噴射速度を制御可能な流体噴射装置を実現できる。
【００１４】
［適用例２］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記薄肉管の外周部に前記複数の円筒型圧電素子が挿着され、前記流体流路が、前記薄肉管の内周面と、前記薄肉管の内側に配設される軸状の流路形成部材の外周面と、によって形成され、前記薄肉管が、前記複数の円筒型圧電素子の伸縮に追従して、前記流体流路を閉鎖または開放することが好ましい。
【００１５】
このような構成によれば、剛性を有する流路形成部材に薄肉管を押圧するため、流体流路を確実に閉鎖することが可能で、流体の逆流を抑制し、流体流路内の圧力を高めることができ、液滴をパルス状に高速噴射することができる。
【００１６】
また、円筒型圧電素子の円筒内側に薄肉管、薄肉管の内側に流路形成部材を配設することにより、細い円筒状の流体噴射装置を提供できる。
【００１７】
［適用例３］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記薄肉管の内周部に前記複数の円筒型圧電素子が挿着され、前記流体流路が、前記薄肉管の外周面と、前記薄肉管の外側に配設される剛性を有する管状の流路形成部材の内周面と、によって形成され、前記複数の円筒型圧電素子の伸縮に追従して、前記流体流路が閉鎖または開放されることが好ましい。
【００１８】
このような構成によれば、前述した適用例２と同様に、剛性を有する流路形成部材に薄肉管を押圧するため、流体流路を確実に閉鎖することが可能で、流体の逆流を抑制し、流体流路内の圧力を高めることができ、液滴をパルス状に高速噴射することができる。
【００１９】
また、流体流路は、薄肉管の外周面と薄肉管の外側に配設される剛性を有する管状の流路形成部材の内周面との空間によって形成されるため、圧電素子の伸縮量が前述した適用例２と同じであっても、流体流路の断面積が大きくなるため流体流動量を増加させることができる。
【００２０】
［適用例４］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記複数の円筒型圧電素子が、第１圧電素子群と第２圧電素子群とを有し、前記薄肉管が、第１薄肉管と前記第１薄肉管の内側に挿入される第２薄肉管とを有し、前記流体流路が、前記第１薄肉管の内周面と前記第２薄肉管の外周面とによって形成され、前記第１薄肉管の外周部に前記第１圧電素子群が挿着され、前記第２薄肉管の内周部に前記第２圧電素子群が挿着され、前記第１圧電素子群と前記第２圧電素子群の伸縮に追従して、前記流体流路が閉鎖または開放されることが好ましい。
ここで、第１圧電素子群と第２圧電素子群のそれぞれの円筒型圧電素子は、流体流路を挟んで互いに対向する位置に配設されている。
【００２１】
このようにすれば、流体流路が第１薄肉管と第２薄肉管とによって形成される構造であっても、第１圧電素子群と第２圧電素子群とを互いに対向するよう伸縮することによって流体流路を確実に閉鎖または開放することができる。
【００２２】
また、流体流路は、第１薄肉管と第２薄肉管との空間によって形成されるため、第１圧電素子群または第２圧電素子群のどちらか一方を有する前述の適用例に対して、円筒型圧電素子の伸縮量を小さくすることができ、円筒型圧電素子に印加する電圧を低減させることができることから、円筒型圧電素子の耐久性を向上させることができる。
【００２３】
さらに、円筒型圧電素子の伸縮量を前述した適用例１、適用例２と同じにする場合は、流体流路の断面積を大きくし、流体流動量を増加させることができる。
【００２４】
［適用例５］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記複数の円筒型圧電素子の伸縮量が多段階で制御されることが好ましい。
【００２５】
ここで、伸縮量の多段階制御とは、例えば、円筒型圧電素子に電圧印加しない収縮状態と、電圧印加による最大伸長状態との間に、その中間の電圧印加による中間伸長状態の３段階以上の状態に制御することを意味する。
【００２６】
このようにすれば、円筒型圧電素子の駆動電圧を多段階に制御することにより、一つの円筒型圧電素子による流体搬送体積を可変できる。そのことから、流体供給手段（例えば、ポンプ）から流体を流体流路に供給する流体搬送体積にあわせて、円筒型圧電素子による流体搬送体積と供給する流体搬送体積の釣り合いをとることができる。
【００２７】
また、多段階制御により、各円筒型圧電素子それぞれの印加する電圧の変化量が少なく、単位時間当たりの円筒型圧電素子の変位量を小さくすることができるので、円筒型圧電素子の耐久性を向上させることができる。
【００２８】
［適用例６］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記複数の円筒型圧電素子が、前記流体供給口に近い位置から前記流体噴射口に近い位置に向かって前記流体流路を開放状態から順次閉塞し、流体を噴射することが好ましい。
【００２９】
このような円筒型圧電素子の駆動を蠕動駆動と呼ぶ。このように、円筒型圧電素子を流体供給口側から流体噴射口に向かって蠕動駆動する場合、流体流路を流体供給口側から閉鎖していくため、流体供給口より下流の円筒型圧電素子を駆動して流体流路を閉鎖（加圧）しても、流体の逆流がない。また、円筒型圧電素子の駆動周波数を、流体流路内の流速（音速）よりも遅くなるように設定することで、液体をパルス状に噴射することができる。
【００３０】
［適用例７］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記流体供給手段から前記流体流路に流体を加圧供給し、前記複数の円筒型圧電素子のうち、前記流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子のみを駆動し、前記流体流路の開放と閉鎖を繰り返して、流体をパルス状に噴射することが望ましい。
【００３１】
このようにすれば、流体供給手段（ポンプ）により流体を流体流路に加圧供給して、流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子を駆動して流体流路を開閉することで、液体をパルス状に噴射することができる。
【００３２】
流体の噴射速度は、流体供給手段の供給圧力に依存するが、複数の円筒型圧電素子の駆動制御が単純化できるという効果がある。
【００３３】
［適用例８］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子を駆動して流体流路を閉鎖し、前記流体流路が流体で充填された状態で、前記流体供給口に最も近い円筒型圧電素子を駆動して前記流体流路を閉鎖し、その直後、中間にある他の円筒型圧電素子を駆動して流体流路を閉鎖すると共に、前記流体噴射口に最も近い円筒型圧電素子の電荷を除去して形状を初期状態に復帰させて前記流体流路を開放し、流体を噴射することが望ましい。
【００３４】
流体噴射口に近い位置と流体供給口に近い位置を閉鎖し、流体流路をほぼ密閉状態にした後、他の円筒型圧電素子を駆動して流体流路を圧閉する。このようにすれば、流体流路内の圧力を高めることができるので、パルス状の液滴をより高速噴射させることができる。
【００３５】
［適用例９］上記適用例に係る流体噴射装置は、前記複数の円筒型圧電素子のうち、前記流体噴射口に近い円筒型圧電素子が前記流体流路を閉鎖し、他の円筒型圧電素子は前記流体流路を開放して前記流体流路が流体で充填されたタイミングで、前記流体供給口に近い円筒型圧電素子を駆動して前記流体流路を閉鎖した後、前記流体流路を開放している円筒型圧電素子を前記流体供給口に近い位置から前記流体噴射口に近い位置に向かって順次閉鎖していき、前記複数の円筒型圧電素子の全てが前記流体流路を閉鎖するタイミングで、前記流体噴射口に近い円筒型圧電素子が前記流体流路を開放して流体を噴射することが望ましい。
【００３６】
流体噴射口に近い位置と流体供給口に近い位置を閉鎖し、流体流路をほぼ密閉状態にした後、他の円筒型圧電素子を蠕動駆動して流体流路を圧閉し、流体噴射口に近い円筒型圧電素子を駆動して流体噴射口を開放する。このようにすれば、流体流路内の圧力を高めることができるので、より高速なパルス状の液滴を噴射させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】実施形態１に係る流体噴射装置を示し、（ａ）は側面断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示す正面断面図。
【図２】実施形態１に係る流体噴射装置の他の実施例１を示す正面断面図。
【図３】実施形態１係る流体噴射装置の他の実施例２を示し、（ａ）は図１のＡ−Ａ切断面、（ｂ）は（ａ）の正面断面図。
【図４】実施形態１に係る円筒型圧電素子の駆動電極の構成及び配線構造を示す説明斜視図。
【図５】図４の配線説明図。
【図６】他の実施例における円筒型圧電素子の駆動電極の構成及び配線構造を示す説明斜視図。
【図７】図６の配線説明図。
【図８】円筒型圧電素子の伸縮作用の１例を模式的に示す斜視図。
【図９】実施形態２に係る流体噴射装置を示す側面断面図。
【図１０】図９のＢ−Ｂ切断面を示す断面図。
【図１１】実施形態３に係る流体噴射装置を示す断面図。
【図１２】図１１のＣ−Ｃ切断面を示す断面図。
【図１３】実施形態４に係る流体噴射装置の駆動作用の１例を示す断面説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
また、本発明による流体噴射装置は、インク等を用いた描画、細密な物体及び構造物の洗浄、手術用メス等様々に採用可能であるが、以下に説明する実施の形態では、血管内に挿入し血栓等を除去する目的で用いるカテーテルの先端に設置することに適した流体噴射装置、あるいは生体組織を切開または切除することに好適な流体噴射装置を例示して説明する。従って、実施の形態にて用いる流体は、水または生理食塩水であり、以降、これら流体を総称して液体と表す。
（実施形態１）
【００３９】
図１は、実施形態１に係る流体噴射装置を示し、（ａ）は側面断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ切断面を示す正面断面図である。図１（ａ），（ｂ）において、流体噴射装置１０は、液体の流動方向（図中、矢印で示す）に沿って配設される円筒型圧電素子６０〜６４と、円筒型圧電素子６０〜６４が外周部に挿着される薄肉管３０と、薄肉管３０を保持する軸状の流路形成部材４０と、円筒型圧電素子６０〜６４の外周部が固着される剛性を有する管部材２０とから構成されている。
【００４０】
なお、本実施形態では、５個の円筒型圧電素子を用いた構成を例示しているが、円筒型圧電素子の数は５個に限らず配設可能な範囲で増やすことも、以降説明する駆動方法に対応して減らすことも可能である（但し、最低３個）。
【００４１】
流路形成部材４０には、断面が円形の軸部４１と、軸部４１の先端部１１方向に流体噴射口４５、基端部１２方向に流体供給口４４が開設されている。また、流路形成部材４０の両端部は、軸部４１よりも直径が大きい薄肉管保持部４２，４３が形成されている。
【００４２】
薄肉管３０は、薄肉管保持部４２，４３に圧入されている。流路形成部材４０の軸部４１の外周面と薄肉管３０の内周面とによって形成される空間が流体流路７０である。
【００４３】
流路形成部材４０には、流体流路７０と流体噴射口４５とを連通する接続流路７２と、流体流路７０と流体供給口４４とを連通する接続流路７１とが穿設されている。
【００４４】
薄肉管３０の両端部それぞれには、固定リング５１，５２が圧入され、さらに、固定リング５１，５２には管部材２０が圧入されている。
【００４５】
円筒型圧電素子６０〜６４は、ほぼ等間隔で薄肉管３０に挿着され、外周部は、接着剤９０によって管部材２０の内周面に固着される。図１（ａ）に円筒型圧電素子６０〜６４の管部材２０との固定構造の１例を示す。なお、円筒型圧電素子６０を例示して説明する。
【００４６】
接着剤９０は、円筒型圧電素子６０の厚さ（幅）方向中央部（図１（ａ）、参照）に、円筒型圧電素子６０の厚さよりも小さい幅で、外周面のほぼ均等位置４箇所に設けられる。これは、円筒型圧電素子６０の伸縮を妨げないように考慮しているためである。従って、このような構成では、接着剤９０は、高硬度接着剤を用いることができる。
【００４７】
なお、円筒型圧電素子６０〜６４の固着構造は、上述に限らず次に示す構造を採用することができる。円筒型圧電素子６０を例示して説明する。
図２は、実施形態１の他の実施例１を示す正面断面図である（図１のＡ−Ａ切断面位置に相当）。接着剤９０は、円筒型圧電素子６０の厚さ方向中央部に、円筒型圧電素子６０の厚さよりも小さい幅で、外周面の全周にわったって設けられている。このような構成では、接着剤９０は、高硬度接着剤または弾性を有する接着剤のどちらでもよい。
【００４８】
図３は、実施形態１の他の実施例２を示し、（ａ）は図１のＡ−Ａ切断面、（ｂ）は（ａ）の正面断面図である。接着剤９０は、円筒型圧電素子６０の外周面の全体に設けられている。このような構成では、接着剤９０は弾性を有する接着剤を用いる。
【００４９】
なお、円筒型圧電素子６０〜６４の管部材２０への固定は、それぞれの位置がずれない程度の強度があればよい。また、円筒型圧電素子６０〜６４と薄肉管３０とは、固定する必要はなく、円筒型圧電素子の伸縮によって流体流路７０を閉鎖または開放できればよいが、密接されていることが好ましい。
【００５０】
続いて、円筒型圧電素子の駆動電極の構成及び配線構造について図面を参照して説明する。
図４は、本実施形態に係る円筒型圧電素子の駆動電極の構成及び配線構造を示す説明斜視図、図５は配線説明図である。図４、図５において、各円筒型圧電素子の外周面には駆動電極１００が設けられている。
【００５１】
そして、駆動電極１００は、回路基板８０に形成されるリード電極に接続されている。具体的には、リード電極８１は円筒型圧電素子６０の駆動電極１００に、リード電極８２は円筒型圧電素子６１の駆動電極１００に、リード電極８３は円筒型圧電素子６２の駆動電極１００に、リード電極８４は円筒型圧電素子６３の駆動電極１００に、リード電極８５は円筒型圧電素子６４の駆動電極１００に接続されている。そして、これらリード電極８１〜８５のそれぞれは、制御回路部１１０のスイッチ１１１〜１１５に接続され、複数の円筒型圧電素子の一つ一つを単独で駆動制御できる構成としている。
【００５２】
一方、円筒型圧電素子の外周面に設けられる駆動電極１００に対向して設けられる他方の駆動電極は、薄肉管３０に密接されており、金属製の薄肉管３０を共通電極として上述の制御回路部１１０内においてＧＮＤ（グランド）１０１に接地されている。
【００５３】
また、回路基板８０は、管部材２０の内周面に穿設された凹部内（図１、参照）に配設され、制御回路部１１０まで延在される。
【００５４】
なお、円筒型圧電素子６０〜６４の駆動電極は、外周面及び内周面に設ける構成の他に、両側面に設けることが可能である。
図６は他の実施例における円筒型圧電素子の駆動電極の構成及び配線構造を示す説明斜視図、図７は配線説明図である。図６、図７において、各円筒型圧電素子の対向する両側面にはそれぞれ、駆動電極１０２，１０３が設けられている。
【００５５】
そして、駆動電極１０３は、回路基板８０に形成されるリード電極に接続されている。具体的には、リード電極８１は円筒型圧電素子６０の駆動電極１０３に、リード電極８２は円筒型圧電素子６１の駆動電極１０３に、リード電極８３は円筒型圧電素子６２の駆動電極１０３に、リード電極８４は円筒型圧電素子６３の駆動電極１０３に、リード電極８５は円筒型圧電素子６４の駆動電極１０３に接続されている。
【００５６】
そして、これらリード電極８１〜８５のそれぞれは、制御回路部１１０内のスイッチ１１１〜１１５に接続され、複数の円筒型圧電素子の一つ一つを単独で駆動制御できる構成としている。
【００５７】
一方、駆動電極１０２は、回路基板８６に形成されるリード電極１８１に接続されて共通電極とし、上述の制御回路部内においてＧＮＤ（グランド）１０１に接地されている。
【００５８】
回路基板８０，８６は、管部材２０の内周面に穿設された凹部内（図示は省略）に配設され、制御回路部１１０まで延在される。なお、回路基板８０，８６を一枚の回路基板に集約してもよい。また、回路基板８０，８６は、管部材２０の内周面に沿って配設されるため、できるだけ薄いものがよく、フレキシブル基板を用いることがより好ましい。
【００５９】
続いて、円筒型圧電素子の伸縮作用について説明する。
図８は、円筒型圧電素子の伸縮作用の１例を模式的に示す斜視図である。円筒型圧電素子６０を例示して説明する。図８は、図４、図５にて説明した駆動電極の構成により駆動電圧を印加する場合を示している。
【００６０】
図８（ａ）は、電圧印加しない場合（電荷を除去した場）の円筒型圧電素子を示している。ここで、前述した円筒型圧電素子の駆動電極に電圧を印加すると、（ｂ）に示すように円筒型圧電素子は幅方向（図示高さ方向）に伸長する。
【００６１】
円筒型圧電素子は、電圧印加によって体積が変化しない範囲で変位するため、径方向には縮小する。このことにより、薄肉管３０は円筒型圧電素子の径方向の収縮に追従して変形（つぶされる）し、流体流路７０を閉塞する。従って、流体流路７０の隙間は、円筒型圧電素子の収縮量と同等か小さくしておく。
また、各円筒型圧電素子と薄肉管３０とは、円筒型圧電素子の伸長作用を妨げないため、固定せずに接触させた状態にしておくことがより好ましく前述した固定構造が採用される。
【００６２】
また、図６、図７にて説明した駆動電極の場合は、図示は省略するが円筒型圧電素子の対向する側面に設けられる駆動電極に電圧印加すると、円筒型圧電素子は径方向に伸長し、幅方向には収縮する。そして、電荷を除去すれば初期形状に復帰する。
【００６３】
次に、本実施形態の流体噴射装置の流体噴射作用について図１を参照して説明する。流体噴射装置における流体噴射は、複数の円筒型圧電素子を選択的に駆動制御して流体を噴射させるが、その組み合わせの代表例を以下の実施例として説明する。
（実施例１）
【００６４】
まず、流体噴射作用の実施例１について説明する。実施例１では、以下のように円筒型圧電素子６０〜６４の駆動を制御して液体を噴射させる。流体供給口４４から流体供給手段（ポンプ）により一定の圧力で流体流路７０に液体を供給する。流体流路７０が液体で充填されたタイミングで、流体供給口４４に最も近い位置の円筒型圧電素子６４から順次流体噴射口４５に最も近い位置の円筒型圧電素子６０まで駆動し流体流路７０を閉塞していく。つまり、複数の円筒型圧電素子を流体供給口４４から流体噴射口４５に至る間において蠕動運動させる。すると円筒型圧電素子の伸縮に追従して流体流路７０が閉鎖されていく。
【００６５】
円筒型圧電素子６０により流体流路７０を閉鎖した直後に、液体が流体噴射口４５から噴射される。そして、円筒型圧電素子６０〜６４の電荷を除去して流体流路７０に液体を再び供給する。従って、円筒型圧電素子の駆動周波数は、流体流路７０内の流速（音速）よりも遅くなるように設定される。
【００６６】
なお、流体噴射後、流体供給口４４に最も近い位置の円筒型圧電素子６４から順次流体噴射口４５に最も近い位置に向かって流体流路７０を開放していっても、一括して開放してもよい。
【００６７】
このように、円筒型圧電素子を流体供給口側から流体噴射口に向かって蠕動駆動する場合、流体流路を流体供給口側から閉鎖していくため、流体供給口より下流の円筒型圧電素子を駆動して流体流路を閉鎖（加圧）しても、流体の逆流がない。また、円筒型圧電素子の駆動周波数を、流体流路７０内の流速（音速）よりも遅くなるように設定することで、液体をパルス状に噴射することができる。
（実施例２）
【００６８】
次に、流体噴射作用の実施例２について説明する。実施例２では、以下のように円筒型圧電素子６０〜６４の駆動を制御して液体を噴射させる。流体噴射口４５に最も近い円筒型圧電素子６０により流体流路７０を閉鎖し、他の円筒型圧電素子は流体流路７０を開放して流体供給手段（ポンプ）から流体流路７０に流体を加圧供給する。流体流路７０が液体で充填されたタイミングで、円筒型圧電素子６０の電荷を除去することにより円筒型圧電素子６０が初期形状に復帰して流体流路７０を開放し、流体を流体噴射口４５から噴射する。
【００６９】
そして、流体噴射後、再び円筒型圧電素子６０を駆動し流体流路７０を閉塞する。円筒型圧電素子６０の閉塞、開放を短時間で行い、この間、流体供給手段より液体を加圧供給することでパルス状に液滴を噴射させることができる。
（実施例３）
【００７０】
次に、流体噴射作用の実施例３について説明する。実施例３では、以下のように円筒型圧電素子６０〜６４の駆動を制御して液体を噴射させる。流体噴射口４５に最も近い円筒型圧電素子６０を駆動して流体流路７０を閉鎖し、流体流路７０が液体で充填された状態で、流体供給口４４に最も近い円筒型圧電素子６４を駆動して流体流路７０を閉鎖する。その直後、中間にある他の円筒型圧電素子６１〜６３を駆動して流体流路７０を閉鎖すると共に、円筒型圧電素子６０の電荷を除去して形状を初期状態に復帰させて流体流路７０を開放することで液体を噴射する。
【００７１】
そして、円筒型圧電素子６０を再び駆動して流体流路７０を閉鎖した後、他の円筒型圧電素子６１〜６４の電荷を除去して初期状態に復帰させて流体流路７０を開放し、流体流路７０に液体を充填させる。そして、円筒型圧電素子６４を駆動して流体流路７０を閉鎖する。
このような動作を１サイクルとして繰り返すことにより、パルス状に液滴を噴射させることができる。
（実施例４）
【００７２】
次に、流体噴射作用の実施例４について説明する。実施例４では、以下のように円筒型圧電素子６０〜６４の駆動制御をして液体を噴射させる。まず、円筒型圧電素子６０〜６４のうち、流体噴射口４５に最も近い円筒型圧電素子６０を駆動して流体流路７０を閉鎖して他の円筒型圧電素子６１〜６４は流体流路７０を開放する。流体流路７０が液体で充填されたタイミングで、流体供給口４４に最も近い円筒型圧電素子６４を駆動して流体流路７０を閉鎖した後、流体流路７０を開放していた円筒型圧電素子６１〜６３を駆動して流体供給口４４に近い位置から流体噴射口４５に向かって順次閉鎖していき、円筒型圧電素子６１〜６３が流体流路７０を閉鎖（圧閉）するタイミングで、円筒型圧電素子６０の電荷を除去して流体流路７０を開放して流体噴射口４５から流体を噴射する。
【００７３】
そして、流体噴射後、円筒型圧電素子６０を駆動して流体流路７０を再び閉鎖する。その後、円筒型圧電素子６１〜６４の電荷を除去して流体流路７０を開放して液体で流体流路を充填する。このような動作を１サイクルとして繰り返すことによりパルス状に液滴を噴射することができる。
【００７４】
なお、円筒型圧電素子６０と円筒型圧電素子６４とを駆動して流体流路７０を閉鎖した後、円筒型圧電素子６１〜６３を一括して駆動して流体流路７０を加圧するように制御してもよい。このような場合は、円筒型圧電素子６１〜６３を一体化して長尺の円筒型圧電素子としてもよい。
【００７５】
従って、上述した実施形態１によれば、円筒型圧電素子６０〜６４を流体流動方向に沿って配設し、円筒型圧電素子６０〜６４のうちのいくつかを選択的に伸長または収縮して薄肉管３０を押圧して流体流路７０を閉鎖し流体流路７０内の圧力を高めてから流体流路７０を開放し、液体を噴射させる。
【００７６】
円筒型圧電素子は電圧印加による伸縮の応答性また制御性が高い。そこで、円筒型圧電素子６０〜６４の一つ一つについて選択的に電圧印加と電荷除去を行うことで、互いの伸縮タイミング、伸縮量の制御が可能であり、液体の流量、流動速度及び噴射速度を制御可能な流体噴射装置を実現できる。
【００７７】
また、薄肉管３０の外周部に円筒型圧電素子６０〜６４を挿着し、流体流路７０を、薄肉管３０の内周面と、軸状の流路形成部材４０（軸部４１）の外周面と、によって形成している。このような構成にすれば、剛性を有する流路形成部材４０に薄肉管を押圧するため、流体流路７０を確実に閉鎖することが可能で、液体の逆流を抑制し、流体流路７０内の圧力を高めることができ、液滴をパルス状に高速噴射することができる。
【００７８】
また、円筒型圧電素子６０〜６４の円筒内側に薄肉管３０、薄肉管３０の内側に流路形成部材４０を配設することにより、細い円筒状の流体噴射装置１０を提供できる。
【００７９】
また、流体噴射作用の実施例１によれば、流体供給口４４から流体噴射口４５に至る間において複数の円筒型圧電素子６０〜６４の蠕動運動により流体流路７０を閉鎖していき、液体を流体噴射口から噴射する。
【００８０】
このようにすれば、円筒型圧電素子を流体供給口４４側から流体噴射口４５側に向かって蠕動駆動する場合、流体流路７０を流体供給口４４側から閉鎖していくため、流体噴射口４５より下流の円筒型圧電素子を駆動して流体流路７０を閉鎖（加圧）しても、流体の逆流がない。また、円筒型圧電素子の駆動周波数を、流体流路７０内の流速（音速）よりも遅くなるように設定することで、液体をパルス状に噴射することができる。
【００８１】
また、流体噴射作用の実施例２によれば、流体供給手段（ポンプ）により液体を流体流路７０に加圧供給して、流体噴射口４５に最も近い円筒型圧電素子６０を駆動して流体流路を開閉することで、液体をパルス状に噴射する。
【００８２】
このようにすれば、液体の噴射速度は、流体供給手段（ポンプ）の加圧供給に依存するが、円筒型圧電素子６０〜６４の駆動制御が単純化できるという効果がある。
【００８３】
なお、このように円筒型圧電素子の駆動制御を行う場合、円筒型圧電素子６１〜６３を１個にまとめて長尺の円筒型圧電素子とすることが可能で、構造を簡単にすることができる。
【００８４】
また、流体噴射作用の実施例３によれば、流体噴射口４５に最も近い円筒型圧電素子６０と流体供給口４４に最も近い円筒型圧電素子６４とを駆動し流体流路７０を閉鎖し、流体流路７０をほぼ密閉状態にした後、他の円筒型圧電素子を駆動して流体流路７０を閉鎖（圧閉）する。このようにすれば、流体流路７０内の圧力を高めることができるので、パルス状の液滴をより高速に噴射させることができる。
【００８５】
また、流体噴射作用の実施例４によれば、流体噴射口４５に最も近い円筒型圧電素子６０と流体供給口４４に最も近い円筒型圧電素子６４を駆動して流体流路７０を閉鎖し、流体流路７０をほぼ密閉状態にした後、他の円筒型圧電素子を蠕動駆動して流体流路を圧閉し、流体噴射口４５から液滴を噴射する。このようにすれば、流体流路７０内の圧力を一層高めることができるので、パルス状の液滴をより高速に噴射させることができる。
（実施形態２）
【００８６】
続いて、実施形態２に係る流体噴射装置について図面を参照して説明する。実施形態２は、前述した実施形態１に対して、薄肉管の内周部に複数の円筒型圧電素子が挿着され、円筒型圧電素子の伸縮によって流体流路を閉塞または開放することに特徴を有する。従って、実施形態１との相違箇所を中心に説明する。
【００８７】
図９は、実施形態２に係る流体噴射装置を示す側面断面図、図１０は図９のＢ−Ｂ切断面を示す正面断面図である。図９、図１０において、流体噴射装置１０は、液体の流動方向に沿って配設される円筒型圧電素子６５〜６９と、円筒型圧電素子６５〜６９が内周部に挿着され剛性を有する薄肉管１３０と、薄肉管１３０を保持する軸状の圧電素子保持部材１４０と、円筒型圧電素子６５〜６９の外周部が固着される剛性を有する管部材１２０とから構成される。
【００８８】
圧電素子保持部材１４０には、断面が円形の軸部１４１と、軸部１４１の基端部１２方向の端面に開設される流体供給口４４と、流体供給口４４方向端部に形成される薄肉管保持部１４２と、管部材保持部１４３とが形成されている。
【００８９】
また、先端部１１方向には、固定リング５３が軸部１４１に圧入されている。固定リング５３には、管部材保持部５４と薄肉管保持部５５とが形成され、端面には、流体噴射口４５が開設されている。
【００９０】
円筒型圧電素子６５〜６９は、圧電素子保持部材１４０の軸部１４１に接着固定されている。なお、円筒型圧電素子６５〜６９の軸部１４１との固定構造は、円筒型圧電素子６５〜６９の内周面と軸部１４１とが接着剤９０で固定されるものであるが、前述した実施形態１（図２、図３、参照）と同じ考え方の固定構造を適用することができる。
【００９１】
薄肉管１３０は、圧電素子保持部材１４０の薄肉管保持部１４２と固定リング５３の薄肉管保持部５５とに圧入されている。この際、薄肉管１３０の内周面と円筒型圧電素子６５〜６９の外周面は密接される。また、管部材１２０は圧電素子保持部材１４０の管部材保持部１４３と固定リング５３の管部材保持部５４とに圧入されている。
【００９２】
薄肉管１３０の外周面と管部材１２０内周面とによって形成される空間が流体流路７０である。従って、本実施形態では、管部材１２０が流路形成部材である。
【００９３】
圧電素子保持部材１４０には、流体流路７０と流体噴射口４５とを連通する接続流路７２と、流体流路７０と流体供給口４４とを連通する接続流路７１とが穿設されている。
【００９４】
このように構成された流体噴射装置１０は、円筒型圧電素子６５〜６９が配設される空間が密閉されているため、円筒型圧電素子６５〜６９に水分が付着することにより駆動電極間リーク電流が増加することに起因する絶縁破壊や、圧電特性が劣化することを防止できる。
【００９５】
また、管部材保持部１４３の一部は基端部１２よりも突設されており、この突設部にチューブ（例えば、カテーテル）１５０が接続されている。また、チューブ１５０は流体供給手段としてのポンプ（図示せず）に接続されている。
【００９６】
さらに、本実施形態における円筒型圧電素子６５〜６９には、前述した実施形態１（図６、図７、参照）と同様な駆動電極が形成され、回路基板のリード電極に接続されている。また、二つの回路基板は管部材１２０の内周面に穿設される凹部内に配設されている。
【００９７】
ここで、本実施形態では、円筒型圧電素子の伸縮駆動は、駆動電極の印加によって幅方向（つまり、厚さ方向）に収縮し、径方向に伸長するよう制御される。このことによって、電圧印加に伴い円筒型圧電素子の外径が伸長し、それに追従して薄肉管１３０を変形させて流体流路７０を閉鎖し、電荷を除去することで円筒型圧電素子の外径が縮小（初期形状に復帰）することで流体流路７０が開放される。
【００９８】
本実施形態における流体噴射作用は、前述した実施形態１の実施例１〜実施例４にて説明した円筒型圧電素子の駆動制御を踏襲することができるので説明を省略する。
【００９９】
従って、上述した実施形態２によれば、前述した実施形態１と同様に、剛性を有する流路形成部材（管部材１２０）に薄肉管１３０を押圧するため、流体流路７０を確実に閉鎖することが可能で、流体の逆流を抑制し、流体流路７０内の圧力を高めることができ、液滴をパルス状に高速噴射することができる。
【０１００】
また、流体流路７０は、薄肉管１３０の外周面と、薄肉管１３０の外周側に配設される流路形成部材（管部材１２０）の内周面との空間によって形成されるため、円筒型圧電素子の伸縮量が前述した実施形態１と同じであっても、流体流路７０の断面積が大きくなるため流体流動量を増加させることができる。
（実施形態３）
【０１０１】
続いて、実施形態３に係る流体噴射装置について図面を参照して説明する。実施形態３は、複数の円筒型圧電素子が、第１圧電素子群と第２圧電素子群との径方向の二重構造を有し、第１圧電素子群と第２圧電素子群両方の伸縮によって流体流路を閉鎖または開放することを特徴とする。つまり、前述した実施形態１（図１、参照）と実施形態２（図９、参照）との組み合わせの構成であって、共通機能要素には同じ符号を付して説明する。
【０１０２】
図１１は、実施形態３に係る流体噴射装置を示す側面断面図、図１２は図１１のＣ−Ｃ切断面を示す正面断面図である。図１１、図１２において、複数の円筒型圧電素子が、第１圧電素子群と第２圧電素子群とから構成されている。第１圧電素子群は円筒型圧電素子６０〜６４からなり、第２圧電素子群は円筒型圧電素子６５〜６９から構成される。
【０１０３】
円筒型圧電素子６０〜６４は、第１薄肉管としての薄肉管３０の外周面に挿着され、外周部が管部材２０の内周面に接着剤９０で固定されている。
【０１０４】
また、円筒型圧電素子６５〜６９は、第２薄肉管としての薄肉管１３０の内周面に挿着され、内周部が圧電素子保持部材１４０の軸部１４１に接着剤９０で固定されている。
【０１０５】
圧電素子保持部材１４０は、軸部１４１と、軸部１４１の基端部１２方向の端面に開設される流体供給口４４と、流体供給口４４方向端部に形成される薄肉管保持部１４２と薄肉管保持部１４５とから構成されている。
【０１０６】
また、先端部１１方向には、固定リング５３が軸部１４１に圧入されている。固定リング５３には、薄肉管保持部５６と薄肉管保持部５５とが形成され、端面には、流体噴射口４５が開設されている。
【０１０７】
円筒型圧電素子６５〜６９は、圧電素子保持部材１４０の軸部１４１に接着固定されている。なお、円筒型圧電素子６５〜６９の軸部１４１との固定構造は、第２実施形態に準じ、また、円筒型圧電素子６０〜６４は、管部材２０の内周面に接着固定されており、その固定構造は実施形態１に準ずるので説明を省略する。
【０１０８】
薄肉管１３０は、圧電素子保持部材１４０の薄肉管保持部１４２と固定リング５３の薄肉管保持部５５とに圧入されている。この際、薄肉管１３０の内周面と円筒型圧電素子６５〜６９の外周面は密接される。
【０１０９】
薄肉管３０は、圧電素子保持部材１４０の薄肉管保持部１４５と、固定リング５３の薄肉管保持部５６に圧入されている。この際、薄肉管３０の外周面と円筒型圧電素子６０〜６４の内周面は密接される。
【０１１０】
薄肉管３０の両端外周部には、固定リング５１，５２が圧入され、この固定リング５１，５２に管部材２０が圧入されている。
【０１１１】
このような構成により、薄肉管３０の内部に薄肉管１３０が挿入された形態となり、薄肉管３０の内周面と薄肉管１３０の外周面とによって流体流路７０が形成される。従って、薄肉管３０と薄肉管１３０とは、互いに対向する薄肉管に対して流路形成部材である。
【０１１２】
なお、円筒型圧電素子６０〜６４と、円筒型圧電素子６５〜６９とは、それぞれが互いに対向する位置に配設されている。
【０１１３】
また、薄肉管保持部１４５は基端部１２よりも突設されており、この突設部にチューブ（例えば、カテーテル）１５０が接続されている。また、チューブ１５０は流体供給手段としてのポンプ（図示せず）に接続されている。
【０１１４】
本実施形態では、円筒型圧電素子６０〜６４は、図５にて説明した円筒型圧電素子の外周面及び内周面に駆動電極を設けており、電圧印加によって薄肉管３０を内側に変形させる。また、円筒型圧電素子６５〜６９は、図７にて説明した円筒型圧電素子の両側面に駆動電極を設けており、薄肉管１３０を外側に変形させて流体流路７０を閉鎖する。そして電荷を除去することにより流体流路７０を開放する。
【０１１５】
なお、本実施形態における流体噴射作用は、前述した実施形態１の実施例１〜実施例４にて説明した円筒型圧電素子の駆動制御を踏襲することができるので説明を省略する。
【０１１６】
従って、本実施形態によれば、流体流路７０が薄肉管３０と薄肉管１３０とによって形成される構造であっても、第１圧電素子群（円筒型圧電素子６０〜６４）と第２圧電素子群（円筒型圧電素子６５〜６９）によって流体流路７０を確実に閉鎖または開放することができる。
【０１１７】
また、流体流路７０は、薄肉管３０と薄肉管１３０との空間によって形成される。従って、第１圧電素子群または第２圧電素子群のどちらか一方を有する前述した実施形態１、実施形態２に対して、円筒型圧電素子の伸縮量を小さくすることができ、円筒型圧電素子に印加する電圧を低減させることができ、円筒型圧電素子の耐久性を向上させることができる。
【０１１８】
さらに、円筒型圧電素子の伸縮量を前述した実施形態１及び実施形態２と同じにする場合は、流体流路７０の断面積を大きくし、流体流動量を増加させることができる。
（実施形態４）
【０１１９】
続いて、実施形態４に係る流体噴射装置について図面を参照して説明する。実施形態４は、前述した実施形態１〜実施形態３が、円筒型圧電素子の伸縮量を閉鎖及び開放の２値としていることに対して、電圧印加しない状態と、電圧印加による最大伸長状態との間の中間伸長状態を有することを特徴とする。
【０１２０】
なお、本実施形態は、実施形態１〜実施形態３のいずれの構成についても適用可能であるが、実施形態１を例示して説明する。
図１３は、実施形態４に係る流体噴射装置の駆動作用の１例を示す断面説明図である。円筒型圧電素子６０〜６４を流体供給側から流体噴射側に蠕動駆動する場合を例示して説明する。
【０１２１】
ここで、円筒型圧電素子６４は電圧印加されていない状態を示し（肉厚Ｈ１）、円筒型圧電素子６１，６２は最大電圧を印加した状態、つまり、最大伸長状態を示している（肉厚Ｈ３）。そして、円筒型圧電素子６０，６３は中間電圧を印加した中間伸長状態を示している（肉厚Ｈ２）。
【０１２２】
円筒型圧電素子を流体供給側から、流体流路７０を全開放、中間開放、閉鎖というように徐々に印加する電圧を変化させる。このように円筒型圧電素子６０〜６４を蠕動駆動して、液体の供給、流体流路の閉鎖、流体噴射のサイクルを繰り返す。
【０１２３】
この際、円筒型圧電素子６０、６３は、次の状態（全閉鎖または全開放）に移行するまで電圧を印加しておく（ホールド状態と表すことがある）。そして、例えば、円筒型圧電素子６０を全開放または全閉鎖させる場合には、中間電圧から最大電圧の差分の印加をすればよく、逆に全開放する場合には、中間電圧から電荷を除去すればよい。なお、印加電圧は、３段階制御に限らず４段階以上に細かく制御することが可能である。
【０１２４】
このようにすれば、円筒型圧電素子６０〜６４それぞれの駆動電圧を多段階に制御することにより、一つの円筒型圧電素子による流体搬送体積を可変できることから、流体供給手段（例えば、ポンプ）から流体を流体流路に供給する流体搬送体積にあわせて、一つの円筒型圧電素子による流体搬送体積と供給する流体搬送体積の釣り合いをとることができる。
【０１２５】
また、多段階制御により、各円筒型圧電素子それぞれの印加する電圧の変化量が少なく、単位時間当たりの円筒型圧電素子の変位量を小さくすることができるので、円筒型圧電素子の耐久性を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１２６】
１０…流体噴射装置、３０…薄肉管、４４…流体供給口、４５…流体噴射口、６０〜６４…円筒型圧電素子、７０…流体流路。
【図１】
2010263982.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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