(57)【要約】【課題】微細な流路構造が高密度に配置されている複数部材を接着する際に、接着剤の接液面の保護性能及びシール性を向上させる。【解決手段】複数の基板を接着して微細な流路構造が形成される液体流路の接着構造であって、前記複数の基板を接着剤で接着した際、前記基板同士の接合部において、前記基板を接合して形成される流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤を、前記流路内側に露出した接着剤を覆うように塗布して形成された耐液膜塗布部と、前記流路内側における、耐液膜塗布部と、前記耐液膜剤を塗布しない非塗布部との境界部分に設けられた、前記耐液膜剤に対し撥液性を有する撥液部分と、を備えたことを特徴とする液体流路の接着構造を提供することにより前記課題を解決する。【選択図】図４
2010201715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を接着して微細な流路構造が形成される液体流路の接着構造であって、
前記複数の基板を接着剤で接着した際、前記基板同士の接合部において、前記基板を接合して形成される流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤を、前記流路内側に露出した接着剤を覆うように塗布して形成された耐液膜塗布部と、
前記流路内側における、耐液膜塗布部と、前記耐液膜剤を塗布しない非塗布部との境界部分に設けられた、前記耐液膜剤に対し撥液性を有する撥液部分と、
を備えたことを特徴とする液体流路の接着構造。
【請求項２】
前記撥液部分は、撥液剤中に前記液体流路の接着構造部材を沈めて形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体流路の接着構造。
【請求項３】
前記撥液部分は、前記流路内側表面の前記塗布部と前記非塗布部との境界部分に形成された微細な多数の凹凸形状であることを特徴とする請求項１に記載の液体流路の接着構造。
【請求項４】
前記耐液膜剤は、光硬化性の樹脂であり、前記流路内に照射した光によって硬化されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体流路の接着構造。
【請求項５】
前記耐液膜剤は、熱硬化型の樹脂であり、加熱によって硬化されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体流路の接着構造。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の液体流路の接着構造を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項６に記載のインクジェットヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項８】
複数の基板を接着して微細な流路構造を形成する液体流路の接着方法であって、
前記複数の基板を接着剤で接着して該接着剤を硬化し、
前記基板同士の接合部において前記基板を接合して形成される流路内側表面に、該流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤が、前記流路内側に露出した接着剤を覆うように塗布される耐液膜塗布部と、前記耐液膜剤が塗布されない非塗布部との境界部分に、前記耐液膜剤に対し撥液性を有する撥液部分を形成し、
前記耐液膜塗布部に前記耐液膜剤を塗布し、
前記耐液膜剤を硬化させたことを特徴とする液体流路の接着方法。
【請求項９】
前記撥液部分は、撥液剤中に前記液体流路の接着構造部材を沈めて形成されることを特徴とする請求項８に記載の液体流路の接着方法。
【請求項１０】
前記撥液部分は、前記流路内側表面の前記塗布部と前記非塗布部との境界部分に微細な多数の凹凸形状を設けて形成されたことを特徴とする請求項８に記載の液体流路の接着方法。
【請求項１１】
前記耐液膜剤は、光硬化性の樹脂であり、前記流路内に照射した光によって硬化されることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の液体流路の接着方法。
【請求項１２】
前記耐液膜剤は、熱硬化型の樹脂であり、加熱によって硬化されることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の液体流路の接着方法。
【請求項１３】
複数の基板を接着して微細な流路構造を形成する液体流路の接着方法であって、
前記基板の接合部近傍に、前記基板を接合して形成される流路を塞ぐ部材を設け、
前記複数の基板を接着剤で接着して該接着剤を硬化し、
前記流路内側に露出した接着剤を覆い、前記流路を塞ぐ部材にも付着するように前記流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤を塗布し、
前記耐液膜剤を硬化した後、前記流路を塞ぐ部材を除去することを特徴とする液体流路の接着方法。
【請求項１４】
前記流路構造はインクジェットヘッドのインク流路に用いられ、前記流路を塞ぐ部材は前記インクジェットヘッドの構造材を兼ねることを特徴とする請求項１３に記載の液体流路の接着方法。
【請求項１５】
前記流路を塞ぐ部材上にさらに四角錐状の突起を形成し、少なくとも流路構造の光硬化性接着剤もしくは光硬化性耐液膜剤を硬化させるための光を前記四角錐状の突起の斜面に照射し、反射させて光硬化性接着剤もしくは光硬化性耐液膜剤を硬化させることを特徴とする請求項１３または１４に記載の液体流路の接着方法。
【請求項１６】
複数の基板を接着して微細な流路構造を形成する液体流路の接着方法であって、
前記複数の基板を光硬化性接着剤で接着して該接着剤を硬化し、前記基板を接合して形成される流路内に流す液体に対して耐液性を有する光硬化性耐液膜剤を前記基板の接合部において前記流路内に露出する接着剤を覆うように塗布して硬化する際に、
前記光硬化性接着剤または前記光硬化性耐液膜剤を硬化させるための光を前記流路内側の壁面に照射して反射させることにより、前記光硬化性接着剤または前記光硬化性耐液膜剤を硬化させることを特徴とする液体流路の接着方法。
【請求項１７】
前記硬化させるための光を反射させる前記流路内側の壁面は反射率の高い材料でメッキされたことを特徴とする請求項１６に記載の液体流路の接着方法。
【請求項１８】
前記流路内側の壁面に照射する前記硬化させるための光は、略平行光であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の液体流路の接着方法。
【請求項１９】
前記流路内側の壁面に照射する前記硬化させるための光は、略収束光であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の液体流路の接着方法。
【請求項２０】
前記硬化させるための光を照射し反射させる前記流路内側の壁面は該流路の中心軸を回転軸とする回転放物面であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の液体流路の接着方法。
【請求項２１】
請求項８〜２０のいずれかに記載の液体流路の接着方法を用いてインク流路を製造することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体流路の接着構造及び接着方法並びにインクジェットヘッドに係り、特に、複数の部材を積層して形成されるインクジェットヘッドにおける液体流路の接着構造及び接着方法並びにインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドは複数の部材を接合して形成されているが、部材の接合においては、加えられる温度の制約や接合対象の部材の材質の組み合わせなどの条件から接着剤を用いる場合がある。
【０００３】
しかし、接着剤を用いて各部材間を接合した場合、塗布した接着剤がインクジェットヘッド内の微小な寸法のインク流路等の開口部にはみ出して開口部を狭くしたり、最悪の場合には開口部を塞いでしまったりする虞があった。また、接合部において接着剤が露出した部分があると、例えばインク流路内面等に露出した接着剤の場合、インクによって接着剤が浸食されて劣化し、その結果接着力が低下し、場合によっては接合された部材が剥がれてしまう虞もあった。
【０００４】
これに対して、従来、例えばノズルプレート、プールプレート、供給孔プレート、圧力室プレート、振動プレートとにおけるインク吐出を行わない面に接着剤を塗布して接着剤層を形成する際に、穴又は溝近傍には高粘度の接着剤を塗布し、それ以外の領域には低粘度の接着剤を塗布するようにして、インク流路のシールを確実にし、接着剤のはみ出し量を均一化したものが知られている（例えば、特許文献１等参照）。
【０００５】
また例えば、電極や部材の接合部をパリレン(登録商標)によって被覆してインクによる浸食から保護するようにしたインクジェットヘッドが知られている(例えば、特許文献２等参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１８３８６号公報
【特許文献２】特開２００２−３０７６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載のものでは、インク流路内への接着剤はみ出し防止やシール性向上についての技術が開示されているが、いずれも流路構造の寸法が大きい場合に適用されるものであり、例えば流路の断面の最大長さ(断面が円形なら直径)が１ｍｍ以下であるようなインクジェットヘッドの微細な流路部における接着剤の保護には適してはいない。
【０００８】
具体的には、接着前に部分的に接着剤を紫外線照射して硬化させ流動を防ぐ方法は、該当部分の接着力が低下するため、水分の浸入を防ぐシール性が低下してしまう。すなわち、上記特許文献１に記載のものを適用しようとした場合、寸法が大きな流路構造では問題ないが、流路構造が細かく高密度なものに適用しようとすると、接着面部分も狭くなるため、部分的に接着力、シール性が低下するという問題がある。
【０００９】
また、上記特許文献２に記載のものも、インクジェットヘッドの微細な流路構造を形成する部材の接合部における接着剤の保護について具体的な記載はなく、そのまま適用することはできない。
【００１０】
また、上述したように、インクジェットヘッドを構成するために、各構成部材を接着する必要が生じる場合があるが、その際には接着剤に強度と適度な柔軟性が要求される。強度は当然であるが、柔軟性は、インクジェットヘッドが置かれている環境が変化することによる周囲温度や気圧の変動が原因の変形によって発生する応力によりインクジェットヘッドが破壊しないようにするために必要とされる。
【００１１】
さらに、インクに接する部分に接着を用いる場合は、インク耐性も必要である。インク耐性とは、接着剤そのものがインクの成分の浸入によって変質するなどして劣化し、接着強度が低下することがないように、インクの成分に接していても必要な強度を保持できる性質である。
【００１２】
また、接着を行った場合、接着状態が必ずしも完全でないと、接着剤と被接着物の間の接着界面にインク成分、特に水分が浸入し、接着力を低下させて被接着物を剥離することがある。接着界面への影響は、界面への直接のインクの浸入だけでなく、上述した接着剤に浸入したインク成分が接着界面に達し、接着力を低下させる場合もある。
【００１３】
これら、接着剤の変質、接着界面へのインク成分浸入は、接着剤表面での現象もあるが、インク成分の接着剤への拡散現象による浸入によって起こるものである。拡散速度は物質によって異なるが、接着剤は樹脂であるため、比較的拡散速度が速く、接着剤の変質、インク成分の浸入を完全になくすことはできず、接着剤へ浸入したインクの拡散は経時で進行する現象である。そこでこのインクの浸入を抑える機能が浸透防止剤に求められる。
【００１４】
インクの接着剤への拡散を接着剤の成分の物性で抑えることができれば望ましいが、前述のように接着強度と柔軟性とを両立させることは容易でないという問題がある。
【００１５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、インクジェットヘッド内のインク流路、特に流路断面の最大径が１ｍｍ以下であるような微細な流路構造が高密度に配置されているヘッドを形成する場合等において複数部材間を接着する際に、接着剤の接液面の保護性能及びシール性を向上させることのできる液体流路の接着構造及び接着方法並びにインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の基板を接着して微細な流路構造が形成される液体流路の接着構造であって、前記複数の基板を接着剤で接着した際、前記基板同士の接合部において、前記基板を接合して形成される流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤を、前記流路内側に露出した接着剤を覆うように塗布して形成された耐液膜塗布部と、前記流路内側における、耐液膜塗布部と、前記耐液膜剤を塗布しない非塗布部との境界部分に設けられた、前記耐液膜剤に対し撥液性を有する撥液部分と、を備えたことを特徴とする液体流路の接着構造を提供する。
【００１７】
これにより、耐液膜剤を必要な部分にのみ厚く塗布することができ、例えばインクジェットヘッドにおけるインク流路に露出している接着剤のインク接液面の保護性能及びシール性を向上させることが可能となる。
【００１８】
また、請求項２に示すように、前記撥液部分は、撥液剤中に前記液体流路の接着構造部材を沈めて形成されることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項３に示すように、前記撥液部分は、前記流路内側表面の前記塗布部と前記非塗布部との境界部分に形成された微細な多数の凹凸形状であることを特徴とする。
【００２０】
これにより、撥液部分を設けることにより、耐液膜剤を必要な部分にのみ厚く塗布することができる。
【００２１】
また、請求項４に示すように、前記耐液膜剤は、光硬化性の樹脂であり、前記流路内に照射した光によって硬化されることを特徴とする。
【００２２】
また、請求項５に示すように、前記耐液膜剤は、熱硬化型の樹脂であり、加熱によって硬化されることを特徴とする。
【００２３】
このように、耐液膜剤として様々なものを用いることができる。
【００２４】
また、同様に前記目的を達成するために、請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の液体流路の接着構造を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドを提供する。
【００２５】
これにより、インク流路に露出している接着剤のインク接液面の保護性能及びシール性を向上させた高信頼性を有するインクジェットヘッドを得ることができる。
【００２６】
また、同様に前記目的を達成するために、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のインクジェットヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置を提供する。
【００２７】
これにより、高信頼性を有するインクジェット記録装置を得ることができる。
【００２８】
また、同様に前記目的を達成するために、請求項８に記載の発明は、複数の基板を接着して微細な流路構造を形成する液体流路の接着方法であって、前記複数の基板を接着剤で接着して該接着剤を硬化し、前記基板同士の接合部において前記基板を接合して形成される流路内側表面に、該流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤が、前記流路内側に露出した接着剤を覆うように塗布される耐液膜塗布部と、前記耐液膜剤が塗布されない非塗布部との境界部分に、前記耐液膜剤に対し撥液性を有する撥液部分を形成し、前記耐液膜塗布部に前記耐液膜剤を塗布し、前記耐液膜剤を硬化させたことを特徴とする液体流路の接着方法を提供する。
【００２９】
これにより、耐液膜剤を必要な部分にのみ厚く塗布することができ、例えばインクジェットヘッドにおけるインク流路に露出している接着剤のインク接液面の保護性能及びシール性を向上させることが可能となる。
【００３０】
また、請求項９に示すように、前記撥液部分は、撥液剤中に前記液体流路の接着構造部材を沈めて形成されることを特徴とする。
【００３１】
また、請求項１０に示すように、前記撥液部分は、前記流路内側表面の前記塗布部と前記非塗布部との境界部分に微細な多数の凹凸形状を設けて形成されたことを特徴とする。
【００３２】
また、請求項１１に示すように、前記耐液膜剤は、光硬化性の樹脂であり、前記流路内に照射した光によって硬化されることを特徴とする。
【００３３】
また、請求項１２に示すように、前記耐液膜剤は、熱硬化型の樹脂であり、加熱によって硬化されることを特徴とする。
【００３４】
また、同様に前記目的を達成するために、請求項１３に記載の発明は、複数の基板を接着して微細な流路構造を形成する液体流路の接着方法であって、前記基板の接合部近傍に、前記基板を接合して形成される流路を塞ぐ部材を設け、前記複数の基板を接着剤で接着して該接着剤を硬化し、前記流路内側に露出した接着剤を覆い、前記流路を塞ぐ部材にも付着するように前記流路内に流す液体に対して耐液性を有する耐液膜剤を塗布し、前記耐液膜剤を硬化した後、前記流路を塞ぐ部材を除去することを特徴とする液体流路の接着方法を提供する。
【００３５】
これにより、微小構造に耐液膜剤を塗布する際、意図しない部分に耐液膜剤が付着するのを防止することができる。
【００３６】
また、請求項１４に示すように、前記流路構造はインクジェットヘッドのインク流路に用いられ、前記流路を塞ぐ部材は前記インクジェットヘッドの構造材を兼ねることを特徴とする。
【００３７】
これにより、不要な部分に耐液膜剤が付着することなく、インクジェットとしての信頼性を高め、その特性を安定させることができる。
【００３８】
さらに、前記流路を塞ぐ部材は前記インクジェットヘッドの構造材を兼ねているため、部品点数を増やすことなく、製造方法も複雑にならずに済むため、少ないコストで実現可能である。
【００３９】
また、請求項１５に示すように、前記流路を塞ぐ部材上にさらに四角錐状の突起を形成し、少なくとも流路構造の光硬化性接着剤もしくは光硬化性耐液膜剤を硬化させるための光を前記四角錐状の突起の斜面に照射し、反射させて光硬化性接着剤もしくは光硬化性耐液膜剤を硬化させることを特徴とする。
【００４０】
これにより、微細な流路構造において、接着剤、耐液膜剤を確実に硬化させることができる。
【００４１】
また、同様に前記目的を達成するために、請求項１６に記載の発明は、複数の基板を接着して微細な流路構造を形成する液体流路の接着方法であって、前記複数の基板を光硬化性接着剤で接着して該接着剤を硬化し、前記基板を接合して形成される流路内に流す液体に対して耐液性を有する光硬化性耐液膜剤を前記基板の接合部において前記流路内に露出する接着剤を覆うように塗布して硬化する際に、前記光硬化性接着剤または前記光硬化性耐液膜剤を硬化させるための光を前記流路内側の壁面に照射して反射させることにより、前記光硬化性接着剤または前記光硬化性耐液膜剤を硬化させることを特徴とする液体流路の接着方法を提供する。
【００４２】
これにより、微細な流路構造において、接着剤、耐液膜剤を確実に硬化させることができる。
【００４３】
また、請求項１７に示すように、前記硬化させるための光を反射させる前記流路内側の壁面は反射率の高い材料でメッキされたことを特徴とする。
【００４４】
これにより、反射率を高め硬化効率を向上させることができる。
【００４５】
また、請求項１８に示すように、前記流路内側の壁面に照射する前記硬化させるための光は、略平行光であることを特徴とする。
【００４６】
これにより、平行光を照射しているため、接着対象の流路部が複数ある場合にも、流路内壁の接着剤端面全周を硬化させるために、接着対象と光源を流路の中心軸に平行な軸の周りに相対的に回転させることで単一の光で各流路部の全周を硬化させることができる。
【００４７】
また、請求項１９に示すように、前記流路内側の壁面に照射する前記硬化させるための光は、略収束光であることを特徴とする。
【００４８】
このように光を集光したため、照度の高い光を照射したい部分にのみ照射することができ、効率的に硬化させることができる。
【００４９】
また、請求項２０に示すように、前記硬化させるための光を照射し反射させる前記流路内側の壁面は該流路の中心軸を回転軸とする回転放物面であることを特徴とする。ここで照射している光は、略平行光である。
【００５０】
これにより、略平行光を照射しているため、接着対象の流路部が複数ある場合にも、流路内壁の接着剤端面全周を硬化させるために、接着対象と光源を流路の中心軸に平行な軸の周りに相対的に回転させることで単一の光で各流路部の全周を硬化させることができる。さらに、前記流路内側の壁面は該流路の中心軸を回転軸とする回転放物面であるため、略平行光を集光することができて、照度の高い光を照射したい部分にのみ当てるように光をその１点に収束させることができる。
【００５１】
また、同様に前記目的を達成するために、請求項２１に記載の発明は、請求項８〜２０のいずれかに記載の液体流路の接着方法を用いてインク流路を製造することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【００５２】
これにより、信頼性に優れたインクジェットヘッドを製造することができる。
【発明の効果】
【００５３】
以上説明したように、本発明によれば、耐液膜剤を必要な部分にのみ厚く塗布することができ、例えばインクジェットヘッドにおけるインク流路に露出している接着剤のインク接液面の保護性能及びシール性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る液体流路の接着構造を備えたインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置の一実施形態を模式的に示す構成図である。
【図２】ヘッド本体の平面透視図である。
【図３】圧力室ユニットの概略構成を示す縦断面図である。
【図４】図３のインク導入口部分を拡大した液体流路の接着構造の第１の実施形態を示す拡大断面図である。
【図５】液体流路の接着構造の第２の実施形態を示すインク導入口部分の拡大断面図である。
【図６】液体流路の接着構造の第３の実施形態を説明するためのインク導入口部分の拡大断面図である。
【図７】液体流路の接着構造の第４の実施形態を説明するためのインク導入口部分を拡大して示すものであり、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）はインク導入口の内部のみを示す斜視透視図である。
【図８】液体流路の接着構造の第５の実施形態を説明するためのインク導入口部分を拡大して示すものであり、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）はインク導入口の内部のみを示す斜視透視図である。
【図９】液体流路の接着構造の第６の実施形態を説明するためのインク導入口部分を拡大して示すものであり、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）はインク導入口の内部のみを示す斜視透視図である。
【図１０】液体流路の接着構造の第７の実施形態を説明するためのインク導入口部分の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る液体流路の接着構造及び接着方法並びにインクジェットヘッドについて詳細に説明する。
【００５６】
図１は、本発明に係る液体流路の接着構造を備えたインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置の一実施形態を模式的に示す構成図である。
【００５７】
図１に示すように、この画像形成装置としてのインクジェット記録装置１００は、主として、記録媒体１２２を給紙する給紙部１１０と、給紙部１１０から給紙された記録媒体１２２の記録面に所定の処理液を付与する処理液付与部１１２と、処理液が付与された記録媒体１２２の記録面にインク滴を打滴して画像を描画する印字部１１４と、画像が描画された記録媒体１２２の記録面を乾燥させる乾燥部１１６と、記録面に形成された画像を定着させる定着部１１８と、画像が記録された記録媒体１２２を回収する排紙部１２０とで構成されている。
【００５８】
給紙部１１０は、記録媒体１２２を格納するマガジン１４０を備えており、このマガジン１４０から記録媒体１２２が１枚ずつ給紙トレイ１５０に給紙される。給紙トレイ１５０に給紙された記録媒体１２２は、渡し胴１５２を介して処理液付与部１１２の処理液ドラム１５４に受け渡される。
【００５９】
処理液ドラム１５４は、渡し胴１５２から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第１の中間搬送ドラム１２４に受け渡す。処理液付与部１１２では、この処理液ドラム１５４によって回転搬送される記録媒体１２２に対して所定の処理液を一定の厚みで付与する。処理液の付与は、処理液付与装置１５６によって行われ、処理液付与装置１５６は、例えば、表面に処理液が付与された塗布ローラを記録媒体１２２の記録面に当接させて、処理液を付与する。処理液が付与された記録媒体１２２は、さらにドライヤ１５８とヒータ１６０で乾燥されたのち、第１の中間搬送ドラム１２４に受け渡される。
【００６０】
なお、この処理液付与部１１２で付与される処理液は、後段の印字部１１４で付与されるインク中の色材（顔料又は染料）を凝集又は増粘させる成分を含有する処理液である。このような処理液をインクの打滴前に付与することにより、ブリーディング等を防止でき、高品質な画像を印字することが可能になる。
【００６１】
第１の中間搬送ドラム１２４は、処理液ドラム１５４から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、印字部１１４の印字ドラム１７０に受け渡す。
【００６２】
印字ドラム１７０は、第１の中間搬送ドラム１２４から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第２の中間搬送ドラム１２６に受け渡す。印字部１１４では、この印字ドラム１７０によって回転搬送される記録媒体１２２に対して、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色のインクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋからインク滴を打滴して、画像を印字する。
【００６３】
各インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、所定の隙間をもって印字ドラム１７０に対向して配置されており、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの順で印字ドラム１７０の回転方向上流側から配置されている。また、各インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、ラインヘッドで構成されており、記録媒体１２２の記録幅に対応して形成されている。
【００６４】
各インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋでインクが打滴された記録媒体１２２は、印字ドラム１７０から第２の中間搬送ドラム１２６に受け渡される。第２の中間搬送ドラム１２６は、印字ドラム１７０から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、乾燥部１１６の乾燥ドラム１７６に受け渡す。
【００６５】
乾燥ドラム１７６は、第２の中間搬送ドラム１２６から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第３の中間搬送ドラム１２８に受け渡す。乾燥部１１６では、この乾燥ドラム１７６によって回転搬送される記録媒体１２２を第１、第２のヒータ１７８、１８２、及び、ドライヤ１８０によって乾燥させる。
【００６６】
乾燥された記録媒体１２２は、乾燥ドラム１７６から第３の中間搬送ドラム１２８に受け渡される。第３の中間搬送ドラム１２８は、乾燥ドラム１７６から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、定着部１１８の定着ドラム１８４に受け渡す。
【００６７】
定着ドラム１８４は、第３の中間搬送ドラム１２８から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、排紙部１２０のコンベア１９６に受け渡す。定着部１１８では、この定着ドラム１８４によって回転搬送される記録媒体１２２に対して、第１、第２の定着ローラ１８６、１８８で加熱、加圧して、印字された画像を定着させる。
【００６８】
画像が定着された記録媒体１２２は、定着ドラム１８４から排紙部１２０のコンベア１９６に受け渡される。コンベア１９６は、定着ドラム１８４から記録媒体１２２を受け取り、排紙部１２０に備えられた排紙トレイ１９２に搬送し、排紙トレイ１９２に回収する。
【００６９】
以上のように構成されたインクジェット記録装置１００によれば、印字部１１４において、各インクジェットヘッドから安定したインクの吐出ができるので、安定した画像の形成が可能となる。
【００７０】
次に、印字部１１４に配置されるインクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋの構造について説明する。なお、インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号１２によってインクヘッド（ヘッド本体）を示す。
【００７１】
図２は、ヘッド本体１２の平面透視図である。図２に示すように、ヘッド本体１２には、インクに圧力を付与してノズル（不図示）から液滴として吐出させる圧力室ユニット２０が、所定の配列パターン（本実施形態では千鳥格子状のパターン）に従って２次元的に配列され、さらに各圧力室ユニット２０にインクを供給するためのインク流路が高密度に配置されている。
【００７２】
圧力室ユニット２０は、インクを液滴として吐出するノズル２２と、インクを貯留し、貯留したインクに圧力を付与してノズル２２から液滴として吐出させる圧力室２４と、圧力室２４にインクを導入（供給）するインク導入（供給）口２６（流路）とを備えて構成されている。本実施形態では、図２に示すように、圧力室２４の平面形状が正方形状に形成されており、その対角線の一方の端にノズル２２、他方の端にインク導入口２６が形成されている。インクは、図示しない共通流路からインク導入口２６を介して圧力室２４に導入され、圧力室２４で圧力が付与されて、ノズル２２から液滴として吐出される。
【００７３】
図３は、圧力室ユニット２０の概略構成を示す縦断面図である。シリコン基板（圧力室プレート）２５中に圧力室２４が形成され、各圧力室２４の天面（天井面）は、共通の振動板２８で構成されている。振動板２８の上には、各圧力室２４に対応して、圧電素子３０が配置されている。各圧電素子３０は、その上面に形成された個別電極３２と、共通電極として機能する振動板２８との間に電圧を印加することにより変形する。そして、圧電素子３０が変形することにより、対応する圧力室２４の天面（振動板２８）が変形し、ノズル２２からインク滴が吐出される。すなわち、圧力室２４の天面が圧力室２４側に変形することにより、圧力室２４の容積が減少し、この結果、圧力室２４内のインクに圧力が加わり、ノズル２２からインク滴が吐出される。
【００７４】
各圧電素子３０の上側には、各圧電素子３０の自由な駆動を確保し、保護するための共通のカバー３４が設けられている。また、カバー３４の上側には、各圧力室２４にインクを供給するための共通流路３６が形成されている。各圧力室２４は、それぞれインク導入口２６を介して共通流路３６と連通されている。インクをノズル２２から吐出された圧力室２４は、元に戻る際、インク導入口２６を介して共通流路３６から新しいインクが供給される。
【００７５】
本発明は、微細なインク流路等を有する流路構造を接着によって形成する際、接着の機能とシールの機能をそれぞれ別の材料に分離した構成をとることにより、接着強度とシール性の２つの性能を両立させるものである。
【００７６】
そこで、ここでは図３に示すような、圧電素子３０等が形成された圧力室２４等からなる下側の部材に対してカバー３４等からなる上側の部材を接合する場合を例にとって本発明に係る液体流路の接着構造及び接着方法について説明することとする。
【００７７】
図３において、圧力室２４等からなる下側の部材とカバー３４等からなる上側の部材は図に符号Ｐで示す面で接合される。
【００７８】
上述したように、ヘッド本体１２には、圧力室ユニット２０及びインク流路等が高密度に配置されているため、接着面Ｐにおいて接着面部分が比較的狭くなっている。
【００７９】
接着剤は、狭い接着面積で長期の寿命を保証することが必要であるため、接合強度を保つ接着剤と、インク成分が接着剤に触れるのを防止するための浸透防止剤（耐液膜剤）とにそれぞれ接着の機能とシールの機能を分離する。接着剤は、紫外線もしくは加熱によって酸が発生し硬化する接着剤を用いることとする。
【００８０】
ここで示す例ではインクジェットヘッド構造材にシリコンを用いているため、シリコンへの接着性が良いＳＵ８を接着剤に用いているが、これに限定されるものではない。例えばこの他に、熱硬化型のエポキシ接着剤、２液混合型のエポキシ接着剤、光硬化型の接着剤あるいはアクリル接着剤など様々なものが適用可能である。
【００８１】
各構造材は、それぞれの部材に必要な流路を加工した後、接合される。本実施形態では、シリコンを用いているため、シリコン同士の接合で、他に耐熱性に問題のある部材がない場合は１０００℃程度に加熱、加圧して熱拡散接合を行う。
【００８２】
しかし、インクジェットヘッドのアクチュエータである圧電素子３０や電気配線を形成した後は、熱拡散接合を用いると、圧電素子３０の劣化や電気配線材料の拡散が起こってインクジェットヘッドの特性が低下し、場合によっては故障してしまうため、この場合は、接着剤による接合を行うようにしているものである。同様に、シリコンと樹脂などの異種材料の接合にも接着剤を用いている。
【００８３】
以下では、これら接着剤を用いて接合を行う微細流路部分に絞って説明する。
【００８４】
図４は、液体流路の接着構造の第１の実施形態を示す、図３のインク導入口２６部分を拡大した拡大断面図である。
【００８５】
図４に示すように、圧力室２４が形成された圧力室プレート２５からなる下側の部材とカバー３４等からなる上側の部材が接着剤４０によって接合されている。圧力室プレート２５及びカバー３４はそれぞれ一つの部材のように表現されているが、実際はそれぞれ複数枚の板状の部材を積層して形成されている。なお、図４においては、図３の振動板２８は表示を省略している。
【００８６】
図３からもわかるように、圧電素子３０や図示を省略した配線は、図４の接着剤４０のごく近傍にまで存在しており、その部分では接着することができないため、接着面積が限られている。
【００８７】
図４に示すように、下側の部材である圧力室プレート２５と上側の部材であるカバー３４とを接着剤４０によって接合した後、インク導入口２６側に露出した接着剤４０の部分に浸透防止剤（耐液膜剤）４２を付着させて露出している接着剤４０を覆い、インク導入口２６にインクが導入されても接着剤４０にインクが触れないようにする。
【００８８】
このとき図４に示すように、浸透防止剤４２は、インク導入口２６内に露出している接着剤４０の部分に盛り上げるように厚く塗布され、その後、上からＵＶ光を照射して硬化される。
【００８９】
また、浸透防止剤４２を塗布するとき、浸透防止剤４２が必要な部分に厚く塗れるようにするとともに、インク導入口２６内の浸透防止剤４２が付いてほしくない部分に浸透防止剤４２が着かないように、浸透防止剤塗布部（耐液膜塗布部）を挟むように、撥液部分を形成しておく。このようにすることで浸透防止剤４２が塗布される位置を限定できるとともに、撥液性により浸透防止剤４２が広がらないため厚塗りができ、浸透防止効果を増すとともに、浸透防止剤４２を硬化させる際にＵＶ光を照射する場合にＵＶ光を浸透防止剤４２に効率良く当てることができる。
【００９０】
ここで用いる浸透防止剤は、流路部材及び接着剤に充分密着する必要があるため、結果的に塗れ広がりやすい材料となる。しかし、塗れ広がりやすい材料では、浸透防止剤の厚みを確保することが難しく、また上述したようにＵＶ光を照射して硬化させる際にＵＶ光が当たり難い。
【００９１】
そこで、本実施形態では、上述したように、浸透防止剤４２が塗布される部分を、その上下の撥液部分で規制し、浸透防止剤４２が撥液部分まで広がることがないようにしている。これにより、図４に示すように、流路内に凸になる量を安定的に大きくすることができ、液体の浸透距離（浸透防止剤４２の厚み）を長くしてシール性を向上させることができるとともに、ＵＶ光が当たる面積を大きくすることができ、浸透防止剤４２を完全に硬化させることができる。
【００９２】
次に、本実施形態における液体流路の接着方法について説明する。
【００９３】
まず、接合する下側の部材である圧力室プレート２５と上側の部材であるカバー３４とをプラズマ洗浄によって洗浄し、表面にシランカップリング剤を蒸着する。なお、前にも述べたように、圧力室プレート２５及びカバー３４の実際に接合される部分はそれぞれ板状の部材である。
【００９４】
次に、下の部材（圧力室プレート２５）に接着剤４０を塗布する。そして下の部材に上の部材を貼り合わせ、治具で固定し加熱して硬化させる。
【００９５】
次に、インク導入口２６内の浸透防止剤４２を塗布する部分の上下に撥液剤を塗布する。これは、上述したように、次に行う浸透防止剤４２の塗布範囲を規制するために行うものである。撥液剤は、浸透防止剤４２が塗れ広がり難い表面エネルギーのものを選択することが好ましい。具体的には、サイトップなどのフッ素樹脂材料が好適に使用可能である。
【００９６】
撥液剤を塗布する方法としては、様々な方法が考えられるが、例えば、撥液剤を入れたバット（平たい皿）に接着剤４０で接合した流路部材（接合された上の部材及び下の部材）を浮かせ、撥液材が流路内の必要な高さに達するように調整して、流路部材を沈める。その際、撥液材の表面張力によって流路内の液面高さが変わるので、これを考慮して沈める深さを制御する。これを流路部材の表面、裏面についてそれぞれ行う。
【００９７】
また、撥液剤を塗布する代わりに撥液剤塗布部分に相当する範囲の流路部材表面に微細な凹凸構造を形成し、これによって撥液性を持たせてもよい。この凹凸形状は、例えば縦横それぞれ２μ程度の断面が四角形に形成される。この場合は、流路部材がシリコンの場合はエッチングによって流路方向に平行な筋状の凹凸を形成する。エッチングは、各部材に対して、撥液面が必要な深さまで行い、撥液面が不要な残りの流路は反対面からエッチングして凹凸形状無しで形成する。
【００９８】
次に、インク導入口２６内に露出している接着剤４０端面を覆うように、シール性を有する浸透防止剤４２を塗布する。塗布は、ディスペンサーによって行う。
【００９９】
次に、インク導入口２６上部からＵＶ光を照射し、浸透防止剤４２を硬化させる。ディスペンサーで塗布した浸透防止剤４２は、流路内面に凸になって出ているので、インク導入口２６上部からＵＶ光を照射して硬化させることができる。
【０１００】
なお、撥液剤は、浸透防止剤４２を硬化させた後に除去しても良い。例えば、使用するインクが上記撥液剤に対して塗れ広がり難い場合は、撥液剤を除去した方が良い。
【０１０１】
このように第１の実施形態においては、微小面積に浸透防止剤を塗布する際に、塗布する部分を限定する撥液性の部分を設けるようにしたため、浸透防止剤を必要な部分にのみ厚く塗布することができ、浸透防止効果を高めることができる。またさらに、浸透防止剤を厚く塗布することができるので、ＵＶ光等の硬化光を照射した際に、効率良く浸透防止剤を硬化させることができる。
【０１０２】
次に、液体流路の接着構造の第２の実施形態について説明する。
【０１０３】
図５に、液体流路の接着構造の第２の実施形態を説明するためのインク導入口２６部分の拡大断面図を示す。
【０１０４】
この第２の実施形態は、浸透防止剤を保護が必要な接着剤部分にのみ塗布でき、流路のより奥の部分には入り込まないように浸透防止剤が流れ込むのを確実に防止するものである。
【０１０５】
流路（インク導入口２６）のより奥の部分には、圧力室２４やノズル２２などの流路構造があり、ここに浸透防止剤４２が入り込むと、これが詰まり、不吐出や気泡の付着による異常吐出などの不良の原因となるため、浸透防止剤４２が必要な部分にのみ塗布できるということは重要である。
【０１０６】
すなわち、図５に示すように、本第２実施形態においては、接着剤保護の浸透防止層を形成する流路（インク導入口２６）に、突き当たりとなる薄いシリコンの層２７を設ける。このシリコンの層２７の流路部分の前後は他の部材はなく、容易に貫通できる構造となっている。このシリコンの層２７は、ヘッド全体に存在するように形成しても良く、例えばインク吐出を行うアクチュエータの振動板２８で兼用するようにしてもよい。
【０１０７】
図５に示すように、この突き当たりの層（シリコンの層２７）が流路を塞いでいる状態で流路を構成する下の部材（圧力室プレート２５）と上の部材（カバー３４）とを接着し、その後、スプレーコート等の方法を用いて浸透防止剤４２を流路内に塗布する。すると図に斜めハッチングで示すように、流路（インク導入口２６）内に浸透防止剤４２が塗布される。
【０１０８】
その後、上からＵＶ光を照射して浸透防止剤４２を硬化する。ここに示す例では、ＵＶ光で浸透防止剤４２を硬化させているが、加熱で硬化する浸透防止剤の場合には、加熱処理を行って硬化させる。
【０１０９】
浸透防止剤４２が硬化した後、突き当たり層（シリコンの層２７）を除去する。このシリコンの層２７を除去する方法は特に限定はされず、例えば下面からシリコンをエッチング処理によって除去してもよいし、サンドブラストによって除去するようにしてもよい。
【０１１０】
本実施形態によれば、突き当たりとなる層より奥の流路には浸透防止剤を混入させることなく、接着剤保護が必要な部分にのみ浸透防止剤を塗布し、硬化させることができる。
【０１１１】
このように、第２の実施形態によれば、浸透防止剤を塗布する流路部分を塞ぐように、塗布する部分を限定する規制部材を設け、塗布、硬化後にこの規制部材を除去するようにしたため、微小構造に浸透防止剤を塗布する際に、意図しない部分に浸透防止剤が付くことを防止でき、インクジェットヘッドとしての信頼性を高め、特性を安定させることができる。
【０１１２】
次に、液体流路の接着構造の第３の実施形態について説明する。
【０１１３】
図６に、液体流路の接着構造の第３の実施形態を説明するためのインク導入口２６部分の拡大断面図を示す。
【０１１４】
本第３実施形態は、図６に示すように、上で述べた第２実施形態の突き当たりの層（シリコンの層２７）上のインク導入口２６の中央にシリコンの四角錐のピラミッド状の突起２９を形成したものである。
【０１１５】
そして、このピラミッド状の突起２９の側面２９ａを鏡として用い、インク導入口２６の上部から照射されるＵＶ光をこの側面２９ａで反射して、接着剤４０あるいは浸透防止剤４２に照射させて、これらを硬化させるようにしたものである。
【０１１６】
このようなピラミッド状の突起２９の四角錐形状は、シリコン材料をウエットエッチングする際に、結晶面による異方性エッチングを利用して容易に形成することができる。具体的には、ＫＯＨによるシリコンの（１，０，０）面を用いた異方性エッチングであり、一般的に知られたエッチング方法である。この場合、極端な異方性エッチングにより５４．７４°の角度を持った（１，１，１）面が現れる。
【０１１７】
このピラミッド状の突起２９の側面２９ａを鏡として用い、接着剤硬化用のＵＶ光をインク導入口２６の上方から照射し、この側面２９ａで反射して流路内面方向にＵＶ光の方向を変えて接着剤４０に照射する。さらに、図６（ａ）に示すようにインク導入口２６に露出した接着剤４０を覆うように浸透防止剤４２を塗布し、浸透防止剤硬化用のＵＶ光をインク導入口２６の上方から照射し、側面２９ａで反射して浸透防止剤４２に照射する。
【０１１８】
これにより、本実施形態によれば、接着剤及び浸透防止剤をより確実に硬化させることができる。
【０１１９】
そして、ＵＶ光によって接着剤４０及び浸透防止剤４２を硬化させた後、上記第２の実施形態と同様の方法で突き当り層（シリコンの層２７）をピラミッド状の突起２９と共に除去する。
【０１２０】
なお、図６においては円筒形の流路を示しているが、本実施形態の方法は、浸透防止剤を塗布する流路断面が四角形の場合にも適用可能である。
【０１２１】
このように第３の実施形態の方法でも流路の接液面近傍のＵＶ光硬化接着剤をより確実に硬化させることができるが、以下説明する実施形態は、他の構成、方法でＵＶ光硬化接着剤をより一層確実に硬化させるものである。
【０１２２】
以下述べる各実施形態は、ＵＶ光硬化接着剤をより確実に硬化させる点に関して説明しているが、上述した第１の実施形態と同様の方法で塗布した浸透防止剤の硬化に対しても適用可能である。
【０１２３】
なお、流路の接液面近傍のＵＶ光硬化接着剤をより確実に硬化させることにより、接着剤のインクに対する耐性を向上させることができるので、以下の各実施形態は、インクジェットヘッドの信頼性、寿命向上にも有効である。
【０１２４】
まず、第４の実施形態について説明する。
【０１２５】
図７に、液体流路の接着構造の第４の実施形態を説明するためのインク導入口２６部分を拡大して示す。図７（ａ）は拡大断面図であり、図７（ｂ）はインク導入口２６の内部のみを示す斜視透視図である。
【０１２６】
この第４の実施形態は、貼り合わせた後にＵＶ光が当てにくい部分にＵＶ硬化の接着剤を使う場合に、特に流路の接液側の接着剤をより硬化重合が進むようにするためにＵＶ光を照射する方法である。
【０１２７】
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、この実施形態においては、平行光であるＵＶ光を斜めにインク導入口２６に入射して、インク導入口２６の内側の側壁２６ａで反射し、流路(インク導入口２６)内の接着剤端面に照射する。側壁２６ａは、シリコン部材をエッチングして形成されており、エッチング面のままでもＵＶ光を反射し、流路入口より奥まった位置の接着剤４０にＵＶ光を到達させる。
【０１２８】
図７の構成は、側壁２６ａが円筒面であるので、円筒の中心軸に垂直な面内(水平方向)に対して集光性を有し、照射したＵＶ光の強度を上げることができる。
【０１２９】
なお、シリコン部材をエッチングして形成した流路側壁は、エッチング面のままでもよいが、アルミや銀等の反射率の高い材料でメッキして鏡面にすることが望ましい。また、このメッキは使用するインクに浸食される部材であれば後の工程で除去する。
【０１３０】
また、図７は、円筒形の流路に適用しているが、この方法は、浸透防止剤を塗布する流路断面が四角形の場合にも適用可能である。四角形の場合は、円筒形の場合に対し、水平方向の集光性はなくなり、広い範囲に照射されることになる。
【０１３１】
次に、第５の実施形態について説明する。
【０１３２】
図８に、液体流路の接着構造の第５の実施形態を説明するためのインク導入口２６部分を拡大して示す。図８（ａ）は拡大断面図であり、図８（ｂ）はインク導入口２６の内部のみを示す斜視透視図である。
【０１３３】
この第５の実施形態は、上述した第４の実施形態における平行光であるＵＶ光を斜めに入射させてインク導入口２６内側の側壁２６ａで反射させていたものを、図８に示すように、入射光を上下方向に集光した光として、ＵＶ光を照射したい部位に集中させ、前記第４の実施形態よりもさらにＵＶ光の強度を上げている点が異なっている。
【０１３４】
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、インク導入口２６の斜め上方から上下方向に集光した光を入射させて、インク導入口２６内側の側壁２６ａで反射させ、反対側の側壁に露出した接着剤４０に照射するようにする。
【０１３５】
このように光を上下に集光したため、光を照射したい部分にのみ照射することができ、効率的に接着剤４０を硬化させることができる。
【０１３６】
なお、この第５の実施形態も、前述した第４の実施形態と同様に、流路断面が四角形の場合も適用できるが、水平方向の集光性はなくなり、広い範囲に照射されることとなる。
【０１３７】
第４及び第５の実施形態においては、流路内壁の接着剤端面全周を硬化させるため、ヘッドと光源を流路の中心軸に平行な軸の周りに相対的に回転させることで、流路内壁に沿った全周を硬化させることができる。
【０１３８】
しかし、第５の実施形態においては、ＵＶ光を集光しているため、それぞれの位置でＵＶ光の集光度合いが変わるので、ヘッドとＵＶ光の相対的な位置が各接着部で平均化されるように、ヘッドと光源を相対的に回転させる際に、ヘッドと光源の距離を変更するか、ＵＶ光源の光学系を調整して集光位置を変更するようにする。
【０１３９】
次に、第６の実施形態について説明する。
【０１４０】
図９に、液体流路の接着構造の第６の実施形態を説明するためのインク導入口２６部分を拡大して示す。図９（ａ）は拡大断面図であり、図９（ｂ）はインク導入口２６の内部のみを示す斜視透視図である。
【０１４１】
第６の実施形態は、ＵＶ光の照射部分は前述した第４の実施形態における平行光であるＵＶ光を斜めに入射させて側壁２６ａで反射させていたものと同様であるが、本実施形態においては、インク導入口２６の側壁２６ａを回転放物面に形成する。側壁２６ａを回転放物面に形成したことにより、照射するＵＶ光が平行光であるため、側壁２６ａでの反射光は１点に収束する。
【０１４２】
図９では、収束位置（焦点）を接着剤表面よりやや接着剤内側に設定しているので、反射光は１点に収束する前のやや広がった状態で、接着剤４０の厚み全体に照射されるとともに、入射光の角度誤差や回転放物面の製作誤差などがあっても、接着剤４０にＵＶ光を確実に照射することができる。
【０１４３】
また、この第６の実施形態は、前述した第４の実施形態と同様に平行光を照射しているため、接着対象のヘッド流路部が複数ある場合にも、流路内壁の接着剤端面全周を硬化させるために、ヘッドと光源を流路の中心軸に平行な軸の周りに相対的に回転させることで、単一のＵＶ光で各流路部の全周を硬化させることができる。
【０１４４】
なお、接着対象のヘッド流路部が複数ある場合に、おのおのに対して、集光したＵＶ光を同時に平行光として照射し、ヘッドと光源を流路の中心軸に平行な軸の周りに相対的に回転させて全周を硬化させるようにしてもよい。
【０１４５】
この第６の実施形態も、前述した第４の実施形態と同様に、流路断面が四角形の場合でも適用できるが、水平方向の集光性はなくなり、広い範囲に照射される。
【０１４６】
次に、第７の実施形態について説明する。
【０１４７】
図１０に、液体流路の接着構造の第７の実施形態を説明するためのインク導入口２６部分を拡大して示す。
【０１４８】
第７の実施形態においては、図１０に示すように、接着剤４０を硬化させるＵＶ光を照射する直前に、流路（インク導入口２６）内に液微粒子３１を噴霧してから、ＵＶ光を照射する。すると、液微粒子３１によりＵＶ光が拡散されて接着剤４０を硬化する。
【０１４９】
なお、微粒子化する液は、接着剤硬化を促進する液にするとより効果がある。例えば、ＳＵ８は酸により硬化反応が進行するので、酸の溶液がこの目的に合致する。霧化された微粒子３１の一部は接着剤表面に付着し、浸透して接着剤４０の硬化を促進する働きをする。
【０１５０】
このように、第３の実施形態から第７の実施形態においては、ＵＶ光を照射しにくい微小部位にＵＶ光を照射するための反射部材を備えるようにしたため、微細な流路構造において接着剤、浸透防止剤を確実に硬化させることができる。
【０１５１】
以上、本発明の液体流路の接着構造及び接着方法並びにインクジェットヘッドについて詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【０１５２】
１２…インクヘッド、２０…圧力室ユニット、２２…ノズル、２４…圧力室、２５…圧力室プレート、２６…インク導入口（流路）、２７…シリコンの層（突き当たり層）、２８…振動板、２９…ピラミッド状の突起、３０…圧電素子、３４…カバー、４０…接着剤、４２…浸透防止剤、１００…インクジェット記録装置、１１０…給紙部、１１２…処理液付与部、１１４…印字部、１１６…乾燥部、１１８…定着部、１２０…排紙部
【図１】
2010201715.tif 000003
【図２】
2010201715.tif 000004
【図３】
2010201715.tif 000005
【図４】
2010201715.tif 000006
【図５】
2010201715.tif 000007
【図６】
2010201715.tif 000008
【図７】
2010201715.tif 000009
【図８】
2010201715.tif 000010
【図９】
2010201715.tif 000011
【図１０】
2010201715.tif 000012