(57)【要約】【課題】現像装置において、遮断部材から基板の裏面までの距離が適切な値であるか否かを容易に判断できるようにする。【解決手段】この現像装置は、ステージ５０、ノズル２００、遮断部材１２０、及び測定部を備える。ステージ５０は、基板１０を載置する。ステージ５０は基板１０より平面形状が小さい。ノズル２００は、ステージ５０に載置された基板１０の表面に薬液を吐出する。遮断部材１２０は、基板１０の裏面側に配置され、薬液が基板１０の裏面に付着することを抑制する。測定部３００は、遮断部材１２０と基板１０の距離ｄを測定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を載置するステージと、
前記基板の表面に薬液を吐出するノズルと、
前記基板の裏面側に配置され、前記薬液が前記基板の裏面に付着することを抑制する遮断部材と、
前記遮断部材と前記基板の距離を測定する測定部と、
を備える現像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の現像装置において、
前記ノズルからの前記薬液の吐出を制御するノズル制御部を備え、
前記ノズル制御部は、前記測定部により測定された前記距離が基準から外れているときに、前記ノズルに前記薬液の吐出を行わせない現像装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の現像装置において、
前記測定部の測定結果に基づいて前記ステージ及び前記遮断部材の少なくとも一方を移動させることにより、前記距離を制御する距離制御部を備える現像装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の現像装置において、
前記測定部は、
前記遮断部材に対して一体的に取り付けられており、
前記基板に向けて光を照射し、前記基板からの反射光を受光することにより前記距離を測定する現像装置。
【請求項５】
基板を載置するステージと、
前記基板の表面に薬液を吐出するノズルと、
前記ノズルからの前記薬液の吐出を制御するノズル制御部と、
前記基板の裏面側に配置され、前記薬液が前記基板の裏面に付着することを抑制する遮断部材と、
を備える現像装置を用いた現像方法であって、
前記遮断部材と前記基板の距離を測定する測定部を設け、
前記測定部により測定された前記距離が基準から外れているときに、前記ノズル制御部は、前記ノズルに前記薬液の吐出を行わせない現像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に現像液などの薬液を塗布する現像装置及び現像方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程には、基板上に現像液やリンス剤等の薬液を塗布してレジスト膜を現像する現像装置が用いられる。この装置は、基板をステージ上に載置し、ステージ及び基板を回転させつつ薬液を基板の表面に吐出することにより、遠心力を利用して基板の表面の全面に薬液を塗布するものである。そしてステージの周辺には、薬液の飛散を抑制するために、カップが設けられている（特許文献１〜３）。
【０００３】
また、基板の裏面側に薬液が回り込むと、基板を搬送するときにトラブルが生じる可能性がある。そこで、基板の裏面の近くに、薬液が基板の裏面側に付着することを抑制する遮断部材を設けることがある（特許文献１，３）。
【特許文献１】特開２００１−１１０７１４号公報
【特許文献２】特開２００１−３３２４８６号公報
【特許文献３】特開２０００−３０６８０４号公報
【特許文献４】特開２００５−０７７９４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、遮断部材を設けても、遮断部材から基板の裏面までの距離が適切な値になっていない場合には、基板の裏面に薬液が付着することがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によれば、基板を載置するステージと、
前記基板の表面に薬液を吐出するノズルと、
前記基板の裏面側に配置され、前記薬液が前記基板の裏面に付着することを抑制する遮断部材と、
前記遮断部材と前記基板の距離を測定する測定部と、
を備える現像装置が提供される。
【０００６】
本発明によれば、遮断部材と基板の距離を測定する測定部を設けたため、遮断部材から基板までの距離が適切な値であるか否かを容易に判断することができる。
【０００７】
本発明によれば、基板を載置するステージと、
前記基板の表面に薬液を吐出するノズルと、
前記ノズルからの前記薬液の吐出を制御するノズル制御部と、
前記基板の裏面側に配置され、前記薬液が前記基板の裏面に付着することを抑制する遮断部材と、
を備える現像装置を用いた現像方法であって、
前記遮断部材と前記基板の距離を測定する測定部を設け、
前記測定部により測定された前記距離が基準から外れているときに、前記ノズル制御部は、前記ノズルに前記薬液の吐出を行わせない現像方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、遮断部材から基板の裏面までの距離が適切な値であるか否かを容易に判断することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
図１は、第１の実施形態における現像装置の構成を示す断面図である。この現像装置は、ステージ５０、ノズル２００、遮断部材１２０、及び測定部を備える。ステージ５０は、基板１０を載置する。ステージ５０は基板１０より平面形状が小さい。ノズル２００は、ステージ５０に載置された基板１０の表面に現像液やリンス剤などの薬液を吐出する。遮断部材１２０は、基板１０の裏面側に配置され、薬液が基板１０の裏面に付着することを抑制する。測定部３００は、遮断部材１２０と基板１０の距離ｄを測定する。以下、詳細に説明する。
【００１１】
ステージ５０は、基板１０を吸着し、また回転機構５２によって回転する。ステージ５０が回転することにより基板１０も回転し、これにより、ノズル２００から吐出された薬液が遠心力により基板１０の全面上に広がる。そして余分な薬液は、遠心力によって基板１０の縁から排出される。
【００１２】
ステージ５０の外側にはカップ１００が設けられている。カップ１００は、基板１０の縁から排出された薬液が飛散することを防止する。カップ１００の一部は裏面被覆部材１１０となっている。裏面被覆部材１１０は、ステージ５０の裏面、基板１０の裏面、及びステージ５０の支持軸５４を覆い、これらに薬液が付着することを抑制する。そして裏面被覆部材１１０の上面に、リング状の遮断部材１２０が取り付けられている。
【００１３】
測定部３００は、裏面被覆部材１１０のうち基板１０の裏面（すなわち基板１０の裏面のうちステージ５０から食み出している部分）と対向する部分に取り付けられている。このようにして測定部３００は、裏面被覆部材１１０を介して遮断部材１２０に対して一体的に取り付けられている。本実施形態において測定部３００は、基板１０の裏面に向けて光を照射し、基板１０の裏面からの反射光を受光することにより、基板１０と遮断部材１２０の距離ｄを測定する。ただし、測定部３００の測定原理はこれに限定されない。
【００１４】
測定部３００の測定値は、演算部３１０に出力される。演算部３１０は、測定値が基準の範囲内にあるか否かを判断する。演算部３１０は、測定値が基準を外れているとき（例えば測定値が基準値超のとき）、警報出力部３２０及びノズル制御部３３０に指令を出力する。
【００１５】
警報出力部３２０は、演算部３１０から指令が入力されると、警報を出力する。警報の出力は、警報音の出力やライトの点灯をであっても良いし、表示部（図示せず）に警報表示を行うことであっても良い。
【００１６】
ノズル制御部３３０は、ノズル２００からの薬液の吐出を制御する。例えばノズル制御部３３０は、演算部３１０から指令が入力されると、ノズル２００からの薬液の吐出を行わない。例えばノズル制御部３３０は、ノズル２００から薬液を吐出しているときに演算部３１０から指令が入力されると、ノズル２００からの薬液の吐出を中断する。
【００１７】
なお、測定部３００が測定した距離は、正確には測定部３００から基板１０の裏面までの距離である。そこで演算部３１０は、測定部３００の測定値を、測定部３００から遮断部材１２０の上端までの上下方向の距離で補正する（例えば測定値から前記した上下方向の距離を引く）ことにより、基板１０と遮断部材１２０の距離ｄを算出してもよい。
【００１８】
図２は、基板１０、ステージ５０、及び測定部３００の相対位置を示す平面図である。基板１０は、例えばシリコンウェハなどの半導体ウェハであり、円形である。ステージ５０の平面形状も円形であるが、その径は基板１０より小さい。そして測定部３００は、基板１０及びステージ５０と同心である円周上に、一定角度ごとに配置されている。本図に示す例では、測定部３００は９０°間隔で配置されているが、１２０°間隔で配置されていてもよい。
【００１９】
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。本実施形態によれば、測定部３００が遮断部材１２０と基板１０の距離ｄを測定するため、測定部３００の測定結果を用いることにより、遮断部材１２０から基板１０の裏面までの距離ｄが適切な値であるか否かを容易に判断することができる。
【００２０】
また、ノズル制御部３３０は、測定部３００により測定された距離ｄが基準を外れているときには薬液の吐出を行わない。従って、薬液が基板１０の裏面に付着する可能性があるときに薬液の吐出が行われることを抑制できる。従って、薬液が基板１０の裏面に付着することを抑制でき、基板１０の搬送時にトラブルが生じることを抑制できる。
【００２１】
また、警報出力部３２０は、測定部３００により測定された距離ｄが基準を外れているときには警報を出力する。従って、現像装置のオペレータは、遮断部材１２０から基板１０の裏面までの距離ｄが基準を外れたことをすぐに認識することができる。これにより、基板１０の搬送時にトラブルが生じることを抑制できる。
【００２２】
図３は、第２の実施形態に係る現像装置の構成を示す断面図である。この現像装置は、距離制御機構３４０及び距離制御部３５０を備える点を除いて、第１の実施形態と同様の構成である。距離制御機構３４０は、ステージ５０及び遮断部材１２０の少なくとも一方を移動させる。距離制御部３５０は、測定部３００の測定結果に基づいて距離制御機構３４０を制御することにより、基板１０の裏面から遮断部材１２０までの距離ｄを制御する。具体的には、距離制御部３５０は、測定部３００の測定結果に基づいて距離制御機構３４０を制御することにより、基板１０の裏面から遮断部材１２０までの距離ｄが基準を満たすようにする。
【００２３】
図３に示す例において、距離制御機構３４０は、裏面被覆部材１１０の下方に位置しており、裏面被覆部材１１０を上下させることにより、基板１０の裏面から遮断部材１２０までの距離ｄを制御する。なお距離制御機構３４０は、裏面被覆部材１１０から独立している支持部材１３０によって支持されている。
【００２４】
図４は、基板１０、ステージ５０、測定部３００、及び距離制御機構３４０の相対位置を示す平面図である。基板１０、ステージ５０、及び測定部３００の相対位置は、第１の実施形態と同様である。また距離制御機構３４０は、基板１０及びステージ５０と同心である円周上に、一定角度ごとに、かつ測定部３００と重ならないように配置されている。本図に示す例では、測定部３００及び距離制御機構３４０は９０°間隔で配置されているが、１２０°間隔で配置されていてもよい。
【００２５】
図５は、距離制御機構３４０の構成を示す断面図である。距離制御機構３４０は、タコジェネレータ付のモータ３４１を有している。モータ３４１で生じた回転力は、カップリング３４２を介してリードスクリュー３４３に伝達される。リードスクリュー３４３は、上下方向に延伸している。リードスクリュー３４３の上端には雌ネジが設けられているが、この雌ネジは、支持部材３４４の下部の外面に設けられた雄ネジに螺合している。すなわちモータ３４１がリードスクリュー３４３を回転させると、支持部材３４４が上下に移動する。支持部材３４４の上端は裏面被覆部材１１０の下面に当接しているため、モータ３４１を回転させることにより、裏面被覆部材１１０を上下させることができる。そして距離制御部３５０は、モータ３４１の回転方向及び回転量を制御することにより、基板１０の裏面から遮断部材１２０までの距離ｄが基準を満たすようにすることができる。
【００２６】
またリードスクリュー３４３は筐体３４５内に回転可能な状態で収容されている。筐体３４５の外周にはバネ３４６の一端が取り付けられている。バネ３４６の他端は裏面被覆部材１１０の下面に取り付けられている。バネ３４６は、筐体３４５すなわち距離制御機構３４０を裏面被覆部材１１０に近づける方向に付勢している。このため、支持部材３４４が下方に移動すると、裏面被覆部材１１０はすぐに下方に移動することができる。
【００２７】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、距離制御部３５０を設けているため、測定部３００の測定結果を距離制御部３５０にフィードバックさせることにより、基板１０の裏面から遮断部材１２０までの距離ｄが基準を満たすようにすることができる。
【００２８】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１の実施形態における現像装置の構成を示す断面図である。
【図２】基板、ステージ、及び測定部の相対位置を示す平面図である。
【図３】第２の実施形態における現像装置の構成を示す断面図である。
【図４】基板、ステージ、測定部、及び距離制御機構の相対位置を示す平面図である。
【図５】距離制御機構の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０ 基板
５０ ステージ
５２ 回転機構
５４ 支持軸
１００ カップ
１１０ 裏面被覆部材
１２０ 遮断部材
１３０ 支持部材
２００ ノズル
３００ 測定部
３１０ 演算部
３２０ 警報出力部
３３０ ノズル制御部
３４０ 距離制御機構
３４１ モータ
３４２ カップリング
３４３ リードスクリュー
３４４ 支持部材
３４５ 筐体
３４６ バネ
３５０ 距離制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2010118514.tif 000006
【図５】
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