(57)【要約】【課題】優れた冷却能力を有する積層型冷却器を提供すること。【解決手段】複数の電子部品６を両面から冷却するための積層型冷却器。積層型冷却器は、冷却媒体を流通させる冷媒流路２１を設けた複数の冷却管２と、複数の冷却管２を連通する連通部とを有している。冷却管２は、中間プレート２６によって積層方向に仕切られた複数の冷媒流路２１を有する。複数の冷媒流路２１の少なくとも一つには、積層方向に重ねた複数のインナフィン７を配設してある。互いに重ねられたインナフィン７の間には、両者に接触する平板状の中間フィン２５が介在している。【選択図】図１
2010010418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電子部品を両面から冷却するための積層型冷却器であって、
該積層型冷却器は、冷却媒体を流通させる冷媒流路を設けた複数の冷却管と、該複数の冷却管を連通する連通部とを有しており、
上記冷却管は、中間プレートによって積層方向に仕切られた複数の上記冷媒流路を有し、
該複数の冷媒流路の少なくとも一つには、積層方向に重ねた複数のインナフィンを配設してあり、
互いに重ねられた上記インナフィンの間には、両者に接触する平板状の中間フィンが介在していることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項２】
請求項１において、上記中間フィンには、貫通孔が形成されていることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記中間フィンには、厚み方向に突出した突出部が形成されていることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、上記インナフィンは、上記冷却管の長手方向に直交する断面の形状が連続した凹凸形状となっており、上記中間フィンを介して互いに重ねられた上記インナフィンは、一方のインナフィンの上記凹凸形状の凸部と、他方のインナフィンの凹部とが互いに対向配置されていることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において、１枚の上記中間フィンと該中間フィンに隣接する２枚の上記インナフィンとは、１枚の金属板を折り返してなることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において、上記インナフィンは、上記積層方向に直交する断面の形状が、上記冷却管の長手方向と平行なストレートフィンであることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項において、上記インナフィンは、上記積層方向に直交する断面の形状が波型形状となるウェーブフィンであることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項８】
複数の電子部品を両面から冷却するための積層型冷却器であって、
該積層型冷却器は、冷却媒体を流通させる冷媒流路を設けた複数の冷却管と、該複数の冷却管を連通する連通部とを有しており、
上記冷却管は、上記冷媒流路中に積層方向に重ねた複数のインナフィンを配設してなり、
該複数のインナフィンのうち、少なくとも一つのインナフィンは、積層方向に直交する断面の形状が波型形状となるウェーブフィンであり、
積層方向に隣接した上記インナフィンは、積層方向から見たときに互いの形状が重なり合わないように配設されていることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項９】
請求項８において、上記冷却管に配置された複数の上記インナフィンは、すべて上記ウェーブフィンからなることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項１０】
請求項８又は９において、上記冷却管には、上記ウェーブフィンが複数枚隣接配置されており、互いに積層方向に隣接した上記ウェーブフィンは、互いの山部と谷部とが、上記冷却管の長手方向の同じ位置に配置されていることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項１１】
請求項８〜１０のいずれか一項において、上記冷却管には、上記インナフィンが３枚以上積層方向に配設されていることを特徴とする積層型冷却器。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれか一項において、積層方向に互いに隣接した２枚の上記インナフィンは、１枚の金属板を折り返してなることを特徴とする積層型冷却器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の電子部品を両面から冷却するための積層型冷却器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、図１３にその一部を示すごとく、半導体素子を内蔵した半導体モジュール９１の放熱を行うために、該半導体モジュール９１を両面から挟持するように冷却管９２を配設してなる積層型冷却器９がある（特許文献１）。
この積層型冷却器９においては、上記半導体モジュール９１と上記冷却管９２とが交互に積層された構成となっている（図３参照）。そして、積層された複数の冷却管９２は、連通部によって連通され、冷却媒体が各冷却管９２に流通するよう構成されている。
【０００３】
上記積層型冷却器９の冷却管９２は、積層方向に２つに分割された冷媒流路を有している。これにより、冷却管９２の一方の面に接触配置された半導体モジュール９１と他方の面に接触配置された半導体モジュール９１との間の発熱量が異なる場合に、両者の熱の影響を互いに受けることを防ぐことができる。
また、各冷媒流路９２１にそれぞれ断面凹凸形状のインナフィン９７を配設してなる。これにより、冷却媒体と冷却管９２との伝熱面積を大きくして、放熱効率の向上を図っている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５２８８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、近年のインバータ等の小型化、高性能化に伴い、各半導体モジュール９１の発熱密度が大きくなる傾向にあり、より冷却性能に優れた積層型冷却器が求められている。
インナフィン９７による伝熱面積の拡大という観点では、冷媒流路９２１中にインナフィン９７がなるべく密に配設されていることが好ましいが、配設密度が高すぎると、目詰まり等によって冷却媒体の流通抵抗が大きくなりすぎて、却って冷却効率が低下してしまうという問題がある。それゆえ、冷却媒体の流通抵抗と伝熱面積とが適度なバランスとなるよう設計することにより、冷却効率の向上を図ることが考えられる。そこで、発明者らは、冷媒流路９２１がインナフィン７によって区切られる小流路９２３の断面が直径０．９ｍｍの円以上の大きさであれば、流通抵抗が低下し難いことを見出した。
【０００６】
これに対して、従来の積層型冷却器９は、冷媒流路９２１がインナフィン７によって区切られる小流路９２３は、積層方向の高さＬ３が大きく、例えばＬ３＝１．８９ｍｍとした積層型冷却器９が用いられている。その分、伝熱面積を大きくする余地があり、冷却効率の向上を図る余地がある。
【０００７】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、優れた冷却能力を有する積層型冷却器を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、複数の電子部品を両面から冷却するための積層型冷却器であって、
該積層型冷却器は、冷却媒体を流通させる冷媒流路を設けた複数の冷却管と、該複数の冷却管を連通する連通部とを有しており、
上記冷却管は、中間プレートによって積層方向に仕切られた複数の上記冷媒流路を有し、
該複数の冷媒流路の少なくとも一つには、積層方向に重ねた複数のインナフィンを配設してあり、
互いに重ねられた上記インナフィンの間には、両者に接触する平板状の中間フィンが介在していることを特徴とする積層型冷却器にある（請求項１）。
【０００９】
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記冷却管は、上記複数の冷媒流路の少なくとも一つに、積層方向に重ねた複数のインナフィンを配設してあり、互いに重ねられた上記インナフィンの間には上記中間フィンが介在している。これにより、この冷媒流路における冷却媒体とインナフィンとの間の伝熱面積を大きくすることができる。その結果、電子部品の冷却効率を向上させることができる。
【００１０】
以上のごとく、本発明によれば、優れた冷却能力を有する積層型冷却器を提供することができる。
【００１１】
第２の発明は、複数の電子部品を両面から冷却するための積層型冷却器であって、
該積層型冷却器は、冷却媒体を流通させる冷媒流路を設けた複数の冷却管と、該複数の冷却管を連通する連通部とを有しており、
上記冷却管は、上記冷媒流路中に積層方向に重ねた複数のインナフィンを配設してなり、
該複数のインナフィンのうち、少なくとも一つのインナフィンは、積層方向に直交する断面の形状が波型形状となるウェーブフィンであり、
積層方向に隣接した上記インナフィンは、積層方向から見たときに互いの形状が重なり合わないように配設されていることを特徴とする積層型冷却器にある（請求項８）。
【００１２】
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記冷却管は、上記冷媒流路中に積層方向に重ねた複数のインナフィンを配設してなり、複数のインナフィンのうち少なくとも一つのインナフィンは上記ウェーブフィンである。ウェーブインナフィンは、冷媒流路における長手方向の長さが同じストレートのインナフィンよりも、その表面積が大きくなる。それゆえ、ウェーブフィンを設けたことにより、冷却媒体との接触面積が大きくなる。すなわち、冷却媒体からの冷却管の伝熱面積を大きくすることができ、伝熱効率を向上させることができる。その結果、電子部品の冷却効率を向上させることができる。
【００１３】
また、ウェーブフィンを設けたことにより、冷媒流路を流れる冷却媒体の少なくとも一部は、冷却管をまっすぐに進むのではなく、ウェーブフィンに沿うように蛇行しながら進むこととなる。それゆえ、冷媒流路において冷却媒体が混合されやすくなり、冷却効率をより向上させることができる。
【００１４】
また、ウェーブフィンは、上記第１の発明（請求項１）における中間フィンを用いなくても、積層方向に隣接する他のインナフィンとの間に空間を確保しやすい。そのため、上記中間フィンを設ける必要がない分、それぞれのインナフィンの間の冷媒流路間を冷却媒体が移動し、互いに混合しあうことが可能となるため、一層冷却効率を向上させることができる。
【００１５】
以上のごとく、本発明によれば、優れた冷却能力を有する積層型冷却器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
第１の発明（請求項１）及び第２の発明（請求項８）において、上記電子部品は、例えば、ＩＧＢＴ等の半導体素子とダイオードとを内蔵した半導体モジュールとすることができる。そして、該半導体モジュールは、自動車用インバータ、産業機器のモータ駆動インバータ、ビル空調用のエアコンインバータ等に用いるものとすることができる。
また、上記電子部品として、上記半導体モジュール以外にも、例えば、パワートランジスタ、パワーＦＥＴ、ＩＧＢＴ等を用いることもできる。
【００１７】
また、上記冷却媒体としては、例えば、エチレングリコール系の不凍液が混入した水、水やアンモニア等の自然冷媒、フロリナート等のフッ化炭素系冷媒、ＨＣＦＣ１２３、ＨＦＣ１３４ａ等のフロン系冷媒、メタノール、アルコール等のアルコール系冷媒、アセトン等のケトン系冷媒などを用いることができる。
また、本明細書において、「積層方向」とは、複数の上記電子部品と複数の上記冷却管とが積層された方向をいう。
【００１８】
また、第１の発明（請求項１）において、上記冷却管における複数の上記冷媒流路のすべてに、複数のインナフィンを積層配置してあることが好ましい。この場合には、冷却管の全体にわたって伝熱面積を大きくすることができ、積層型冷却器の冷却能力を一層向上させることができる。
【００１９】
上記中間フィンには、貫通孔が形成されていることが好ましい（請求項２）。
この場合には、上記貫通孔を通じて、冷却媒体が中間フィンを挟んで隣り合う冷媒流路間を移動することが可能となり、冷却効率を向上させることができる。
【００２０】
また、上記中間フィンには、厚み方向に突出した突出部が形成されていることが好ましい（請求項３）。
この場合には、上記突出部において、冷却媒体の流れを乱すことができる。これにより、部分的な温度差が生じた冷却媒体を混合することができ、より冷却効率を向上させることができる。
【００２１】
また、上記インナフィンは、上記冷却管の長手方向に直交する断面の形状が連続した凹凸形状となっており、上記中間フィンを介して互いに重ねられた上記インナフィンは、一方のインナフィンの上記凹凸形状の凸部と、他方のインナフィンの凹部とが互いに対向配置されていることが好ましい（請求項４）。
この場合には、冷却媒体とインナフィンとの間の伝熱面積を向上させることができると共に、冷却管の積層方向の耐荷重強度を向上させることができる。
【００２２】
また、１枚の上記中間フィンと該中間フィンに隣接する２枚の上記インナフィンは、１枚の金属板を折り返してなることが好ましい（請求項５）。
この場合には、上記冷却管の生産性を向上させることができる。
【００２３】
また、上記インナフィンは、上記積層方向に直交する断面の形状が、上記冷却管の長手方向と平行なストレートフィンとすることができる（請求項６）。
この場合には、容易かつ確実に、冷却媒体とインナフィンとの伝熱面積を充分に確保することができる。
【００２４】
また、上記インナフィンは、上記積層方向に直交する断面の形状が波型形状となるウェーブフィンであることが好ましい（請求項７）。
この場合には、冷却媒体とインナフィンとの間の伝熱面積をさらに大きくすることができると共に、冷却媒体の流れを蛇行させることができる。これにより、電子部品の冷却効率を効果的に向上させることができる。
【００２５】
次に、第２の発明（請求項８）において、上記冷却管に配置された複数の上記インナフィンは、すべて上記ウェーブフィンからなることが好ましい（請求項９）。
この場合には、より一層伝熱面積の拡大と、冷却媒体の乱流の形成や混合を図ることができ、電子部品の冷却効率を向上させることができる。
【００２６】
また、上記冷却管には、上記ウェーブフィンが複数枚隣接配置されており、互いに積層方向に隣接した上記ウェーブフィンは、互いの山部と谷部とが、上記冷却管の長手方向の同じ位置に配置されていることが好ましい（請求項１０）。
この場合には、一方のウェーブフィンに沿って流れる冷却媒体と、他方のウェーブフィンに沿って流れる冷却媒体とが、互いに反対向きの蛇行の仕方をすることとなるため、効果的に電子部品の冷却効率を向上させることができる。また、冷却媒体との伝熱面積を大きくすることができる。さらには、冷却管の積層方向の耐荷重強度を向上させることができる。
【００２７】
また、上記冷却管には、上記インナフィンが３枚以上積層方向に配設されていることが好ましい（請求項１１）。
この場合には、より一層、冷却媒体とインナフィンとの伝熱面積を向上させることができ、冷却効率を向上させることができる。
【００２８】
また、積層方向に互いに隣接した２枚の上記インナフィンは、１枚の金属板を折り返してなることが好ましい（請求項１２）。
この場合には、上記冷却管の生産性を向上させることができる。
【実施例】
【００２９】
（実施例１）
本発明の実施例にかかる積層型冷却器につき、図１〜図５を用いて説明する。
本例の積層型冷却器１は、複数の電子部品６を両面から冷却する。
積層型冷却器１は、図３に示すごとく、冷却媒体５を流通させる冷媒流路２１を設けた複数の冷却管２と、該複数の冷却管２を連通する連通部３とを有する。
【００３０】
冷却管２は、中間プレート２６によって積層方向に仕切られた２つの冷媒流路２１を有する。各冷媒流路２１には、積層方向に重ねた複数のインナフィン７を配設してなる。隣り合うインナフィン７の間には、両者に接触する平板状の中間フィン２５が介在している。
【００３１】
中間プレート２６は、冷却管２の長手方向の全体にわたって形成されている。ただし、連通部３を形成する部分に対応する位置においては、中間プレート２６に開口部が形成されている。この中間プレート２６により、冷却管２１の一方の面に接触配置された電子部品６と他方の面に接触配置された電子部品６との間の発熱量が異なる場合に、両者の熱の影響を互いに受けることを防ぐことができる。
【００３２】
中間フィン２５は、図４に示すごとく、冷却管３の長手方向の２個所において、互いに間隔をあけて配置してある。そして、この中間フィン２５の配置されている部分と同じ領域に、インナフィン７が配設されている。
インナフィン７が配設されている領域は、上記電子部品６と冷却管２とが接触する領域を含み、それよりも広い領域である。
【００３３】
また、図１、図２に示すごとく、インナフィン７は、冷却管２の長手方向に直交する断面の形状が連続した凹凸形状となっている。そして、中間フィン２５を介して隣り合うインナフィン７は、一方のインナフィン７の凹凸形状の凸部７４と、他方のインナフィン７の凹部７５とが互いに対向配置されている。すなわち、隣り合うインナフィン７の凹凸形状は、互いに逆位相となっている。
また、図４に示すごとく、インナフィン７は、積層方向に直交する断面の形状が、冷却管２の長手方向と平行なストレートフィンである。
【００３４】
また、図２に示すごとく、冷媒流路２１がインナフィン７によって区切られる小流路２１１は、積層方向の高さをＬ１、積層方向及び長手方向に直交する方向の幅をＬ２としたとき、Ｌ１及びＬ２のいずれもが０．９ｍｍ以上である。Ｌ１とＬ２との少なくとも一方が０．９ｍｍ未満となると、目詰まりを防止することが困難となるためである。ここで、Ｌ２は、小流路２１１における積層方向の中央位置において測定される幅である。
【００３５】
また、１枚の中間フィン２５と中間フィン２５に隣接する２枚の上記インナフィン７とは、一体物として構成されており、図５に示すごとく、１枚の金属板７０を折り返してなる。すなわち、長方形状の１枚の金属板７０を、一対の平行な辺に平行な２つの直線を境にして３つの領域に分け、その中央領域７０１以外の端部領域７０２を、波型にプレス成形する。このとき、二つの端部領域７０２に形成する波型形状は、中央領域７０１の平板部を基準に、互いに反対面側に突出するようにする。
【００３６】
そして、中央領域７０１と端部領域７０２との間の境界線にて、金属板７０を折り畳む（矢印Ｓ）。このとき、端部領域７０２に形成した凹凸形状の突出側と反対側の面が、中央領域７０１に対して対向するように折り畳む。
これにより、上記中央領域７０１が中間フィン２５となり、端部領域７０２がインナフィン７となる。
【００３７】
金属板７０はアルミニウムからなると共にその両面にろう材を配したブレージングシートからなる。そして、上記のごとく金属板７０を三つ折りに折り畳んだ後、熱をかけることにより、インナフィン７と中間フィン２５との間をろう付け接合する。
また、図１に示すごとく、この中間フィン２５と一対のインナフィン７との積層体を、冷却管２の外殻を構成する外殻プレート２２と中間プレート２６とに挟持させる。外殻プレート２２及び中間プレート２６はアルミニウムからなる。ただし、本例の場合には、これらは上記金属板７０のようなブレージングシートとする必要はない。
【００３８】
中間フィン２５と一対のインナフィン７との積層体は、図４に示すごとく、一つの冷却管２の長手方向の二か所において、積層方向に２個配置される。そして、図１に示すごとく、冷却管２の外殻プレート２２と中間プレート２６との間に、上記積層体がそれぞれ配置されることとなる。
【００３９】
また、隣り合う冷却管２を連通する連通部３は、上記外殻プレート２２の一部によって構成される。すなわち、外殻プレート２２は、その長手方向の両端部付近に設けた開口部と、開口部の外周部分を積層方向へ突出させた開口突出部３１とを有する。この開口突出部３１を隣り合う冷却管２の間で嵌合させることにより、連通部３を構成している。
【００４０】
また、積層方向の一端に配された冷却管２における長手方向の両端部付近には、冷却媒体５を積層型冷却器１に導入するための冷媒導入口４１と、冷却媒体５を積層型冷却器１から排出するための冷媒排出口４２とがそれぞれ接続されている。
【００４１】
上記冷媒導入口４１から導入された冷却媒体５は、上記連通部３を通って一方の端部から各冷却管２に流入し、それぞれの冷媒流路２１内を他方の端部に向かって流れる。そして、冷却媒体５は、該端部に形成された上記連通部３を通って、上記冷媒排出口４２から排出される。
このように、冷却媒体５が冷媒流路２１を流通する間に、電子部品６との間で熱交換を行って、該電子部品６を冷却する。
【００４２】
電子部品６は、ＩＧＢＴ等の半導体素子とダイオードとを内蔵した半導体モジュールである。そして、該半導体モジュールは、自動車用インバータの一部を構成する。
また、上記冷却媒体５としては、エチレングリコール系の不凍液が混入した水を用いる。
また、電子部品６は、冷却管２に直接接触させた状態で配設することができる。ただし、場合によっては、電子部品６と冷却管２との間に、セラミック等の絶縁板や、熱伝導性グリス等を介在させることもできる。
【００４３】
次に、本例の作用効果につき説明する。
上記冷却管２は、各冷媒流路２１に、積層方向に重ねた複数のインナフィン７を配設してあり、互いに重ねられたインナフィン７の間には中間フィン２５が介在している。これにより、この冷媒流路２１における冷却媒体とインナフィン７との間の伝熱面積を大きくすることができる。その結果、電子部品６の冷却効率を向上させることができる。
【００４４】
実際に、図２に示すＬ１、Ｌ２の寸法をいずれも０．９ｍｍとした本例の積層型冷却器１を作製した。
一方、図１３に示す上述した従来の積層型冷却器９をも作製した。この積層型冷却器９において冷媒流路２１がインナフィン７によって区切られる小流路２１１は、積層方向の高さをＬ３、積層方向及び長手方向に直交する方向の幅をＬ４としたとき、Ｌ３＝１．８９ｍｍであり、Ｌ４＝０．９ｍｍである。
この状態で両者を比較すると、本例の積層型冷却器１におけるインナフィン７の伝熱面積は従来に比べて約４０％向上し、熱抵抗を約２０％低減することができた。
【００４５】
また、インナフィン７は、冷却管２の長手方向に直交する断面の形状が凹凸形状となっており、中間フィン２５を介して隣り合うインナフィン７は、一方のインナフィン７の波型形状の凸部７４と、他方のインナフィン７の凹部７５とが互いに対向配置されている。そのため、冷却媒体５とインナフィン７との間の伝熱面積を向上させることができると共に、冷却管２の積層方向の耐荷重強度を向上させることができる。
【００４６】
また、図５に示すごとく、１枚の中間フィン２５と該中間フィン２５に隣接する２枚のインナフィン７は、１枚の金属板７０を折り返してなる。そのため、冷却管２の生産性を向上させることができる。すなわち、これらの構成部材を一つの部品として供給することができるため、組み付け作業性を大きく向上させることができる。
【００４７】
以上のごとく、本例によれば、優れた冷却能力を有する積層型冷却器を提供することができる。
【００４８】
（実施例２）
本例は、図６に示すごとく、中間フィン２５に貫通孔２５２を設けた例である。
上記貫通孔２５２は、冷却管２の長手方向に対して斜めに複数形成されている。
図６に示すごとく、貫通孔２５２は、金属板７０の中央領域７０１に設けてある。そして、この金属板７０を、上記実施例１と同様の方法で折り畳み、中間フィン２５とその両面に接触配置される一対のインナフィン７との積層体を形成する。
その他は、実施例１と同様である。
【００４９】
本例の場合には、上記貫通孔２５２を通じて、冷却媒体５が中間フィン２５を挟んで隣り合う冷媒流路２１間を移動することが可能となり、冷却効率を向上させることができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００５０】
（実施例３）
本例は、図７、図８に示すごとく、中間フィン２５に、厚み方向に突出した突出部２５３を形成した例である。
突出部２５３の形状やその形成の仕方は、種々考えられる。
例えば、図７に示す突出部２５３は、中間フィン２５の一部を切り曲げすることによって突出させている。この場合は、切り曲げの結果、中間フィン２５の一部に貫通孔も形成される。
また、図８に示す突出部２５３は、中間フィン２５の一部を厚み方向に盛り上げて、ディンプル状に形成している。
その他は、実施例１と同様である。
【００５１】
本例の場合には、上記突出部２５３において、冷却媒体５の流れを乱すことができる。これにより、部分的な温度差が生じた冷却媒体５を混合することができ、より冷却効率を向上させることができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００５２】
（実施例４）
本例は、図９に示すごとく、中間フィン２５とその両面側のインナフィン７との積層体を、１枚の金属板７０によって形成するにあたり、その形成方法を変更した例である。
すなわち、本例における金属板７０は、５つの領域に分割され、一つの中央領域７０３と、その両脇の中間領域７０４と、両端の端部領域７０５とを有する。そして、中央領域７０３及び一対の端部領域７０５に、インナフィン７を設けている。また、一対の中間領域７０４は平板状となっている。
【００５３】
そして、中央領域７０３と中間領域７０４との間の境界線において、一対の中間領域７０４を中央領域７０３に対して同じ面側に重ねるように折り畳むと共に、中間領域７０４と端部領域７０５との境界線において、一対の端部領域７０５が中間領域７０４を挟んで中央領域７０３の同じ面側に重なるように折り畳む。
これにより、実施例１と同様の構造の、一般中間フィン２５と一対のインナフィン７とからなる積層体を得ることができる。
その他は、実施例１と同様であり、同様の作用効果を得ることができる。
【００５４】
（実施例５）
本例は、図１０、図１１に示すごとく、インナフィン７として、積層方向に直交する断面の形状が波型形状となるウェーブフィンを用いた例である。
図１０に示すごとく、積層方向に互いに隣接するインナフィン７は、積層方向から見たときに互いの形状が重なり合わないように配設されている。
【００５５】
積層方向に隣接する２つのインナフィン７の間には、実施例１における中間フィン２５に対応するものは配設されておらず、一対のインナフィン７が直接接触している。そして、一対のインナフィン７の積層体が、実施例１における、中間フィン２５とその両面側に配される一対のインナフィン７との積層体の代わりに、冷却管２における冷媒流路２１（図１、図４）に配置される。すなわち、一対のインナフィン７からなる積層体は、一つの冷却管２の長手方向の二か所において、積層方向に２個配置される。具体的には、冷却管２の外殻プレート２２と中間プレート２６との間の各冷媒流路２１に、上記積層体がそれぞれ配置されることとなる。
【００５６】
冷却管２に配置された複数のインナフィン７は、すべてウェーブフィンからなり、積層方向に互いに隣接するウェーブフィンは、互いの山部７１と谷部７２とが、冷却管２の長手方向の同じ位置に配置されている。すなわち、互いに逆位相となるような形状となっている。そして、山部７１と谷部７２との中間位置において、インナフィン７同士が重なりあっている。また、一方のインナフィン７の山部７１及び谷部７２と、他方のインナフィン７の谷部７２及び山部７１とが互いに重なる。
これは、インナフィン７によって区切られる小流路２１１の流路幅Ｄ（冷却管２の長手方向の幅）を、インナフィン７のウェーブの振幅と同等としていることによる。
【００５７】
また、隣り合う２枚のインナフィン７は、図１１に示すごとく、１枚の金属板７０を折り返してなる。すなわち、１枚の金属板７０を、第１領域７０６と第２領域７０７との２つの領域に分け、それぞれに、平面視において同位相の波形状となるように、凹凸を形成する。そして、第１領域７０６と第２領域７０７とを両者の境界線において折り畳み（矢印Ｓ）、図１０に示すような２枚のインナフィン７の積層体を形成する。
その他は、実施例１と同様である。
【００５８】
次に、本例の作用効果につき説明する。
上記冷却管２は、冷媒流路２１中に積層方向に重ねた複数のインナフィン７を配設してなり、複数のインナフィン７はウェーブフィンである。ウェーブフィンは、冷媒流路２１における長手方向の長さが同じストレートのインナフィンよりも、その表面積が大きくなる。それゆえ、ウェーブフィンを設けたことにより、冷却媒体との接触面積が大きくなる。すなわち、冷却媒体からの冷却管２の伝熱面積を大きくすることができ、伝熱効率を向上させることができる。その結果、電子部品６の冷却効率を向上させることができる。
【００５９】
また、ウェーブフィンを設けたことにより、冷媒流路２１を流れる冷却媒体は、冷却管２をまっすぐに進むのではなく、ウェーブフィンに沿うように蛇行しながら進むこととなる。それゆえ、冷媒流路２１において冷却媒体５が混合されやすくなり、冷却効率をより向上させることができる。
【００６０】
また、ウェーブフィンは、上記実施例１において示した中間フィン２５を用いなくても、積層方向に隣接する他のインナフィン７との間に空間を確保しやすい。そのため、中間フィン２５を設ける必要がない分、それぞれのインナフィン７の間の冷媒流路２１間を冷却媒体が移動し、互いに混合しあうことが可能となるため、一層冷却効率を向上させることができる。
【００６１】
また、冷却管２には、ウェーブフィンが複数枚隣接配置されており、互いに隣り合う上記ウェーブフィンは、互いの山部７１と谷部７２とが、冷却管２の長手方向の同じ位置に配置されている。そのため、一方のウェーブフィンに沿って流れる冷却媒体５と、他方のウェーブフィンに沿って流れる冷却媒体５とが、互いに反対向きの蛇行の仕方をすることとなるため、効果的に電子部品６の冷却効率を向上させることができる。
また、積層方向の耐荷重強度を向上させることができる。
【００６２】
また、冷却管２には、インナフィン７が４枚積層方向に配設されているため、より一層、冷却媒体５とインナフィン７との伝熱面積を向上させることができ、冷却効率を向上させることができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００６３】
（実施例６）
本例は、図１２に示すごとく、ストレートフィン７ｓとウェーブフィン７ｗとを組み合わせた例である。
すなわち、積層方向に隣り合うインナフィン７の組み合わせとして、ストレートフィン７ｓとウェーブフィン７ｗとの組み合わせを採用している。
ストレートフィン７ｓにより形成される小流路２１１の幅と、ウェーブフィン７ｗにより形成される小流路２１１の幅と、ウェーブフィン７ｗの波の振幅とは同等となるように形成されている。
その他は、実施例１と同様である。
本例の場合にも、実施例５に準じた作用効果を奏することができる。
【００６４】
なお、上記実施例１〜６においては、一対のインナフィン７、あるいは１枚の一般中間フィン２５と一対のインナフィン７とを、１枚の金属板７０を折り畳むことにより形成する例を示したが、これらの構成要素は、互いに独立した複数の金属板を接合して組み立てることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】実施例１における、積層型冷却器の一部の断面図であり、図３のＡ−Ａ線矢視断面図。
【図２】実施例１における、冷却管の一部の断面図。
【図３】実施例１における、積層型冷却器の平面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線矢視断面図。
【図５】実施例１における、金属板の断面図及び平面図。
【図６】実施例２における、金属板の断面図及び平面図。
【図７】実施例３における、切り曲げによる突出部を設けた中間フィン及びインナフィンの断面図。
【図８】実施例３における、盛り上げによる突出部を設けた中間フィン及びインナフィンの断面図。
【図９】実施例４における、金属板を折り曲げる過程を説明する断面説明図。
【図１０】実施例５における、一対のインナフィンの断面図及び平面図。
【図１１】実施例５における、一対のインナフィンを形成するための金属板の断面図及び平面図。
【図１２】実施例６における、一対のインナフィンの断面図及び平面図。
【図１３】従来例における、積層型冷却器の一部の断面図。
【符号の説明】
【００６６】
１  積層型冷却器
２  冷却管
２１  冷媒流路
２５  中間フィン
２６  中間プレート
３  連通部
５  冷却媒体
６  電子部品
７  インナフィン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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