(57)【要約】【課題】本発明は、第２のスライダの高精度な移動制御を可能とするリニアアクチュエータ、このリニアアクチュエータを備えたステージ装置、及びリニアアクチュエータの駆動方法を提供する。【解決手段】本発明のリニアアクチュエータ７は、基台１０上で移動する第１のスライダ１１と、第１のスライダ１１に固定されるマグネット１３の周囲に配置されたコイル２４を有する第２のスライダと、基台１０に第１のスライダ１１を係止させる第１の係止手段１６，１７と、基台１０に第２のスライダ２１を係止させる第２の係止手段１８とを備え、マグネット１３のたわみ量を考慮してマグネット１３を短くしても、第２のスライダ２１の移動量を十分に確保することができるので、たわみの抑制による第２のスライダ２１のスムーズな移動を実現して、第２のスライダ２１の高精度な移動制御を可能にする。【選択図】図１
2010028999.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台上で移動する第１のスライダと、
前記第１のスライダに固定されると共に、前記第１のスライダの移動方向と同一の方向に延在するマグネットと、
前記マグネットの周囲に配置されたコイルを有する第２のスライダと、
前記基台に前記第１のスライダを係止させる第１の係止手段と、
前記基台に前記第２のスライダを係止させる第２の係止手段とを備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の係止手段は、前記基台に固定されると共に、前記第１のスライダに当接して前記第１のスライダを停止させる第１の作動部を有し、
前記第２の係止手段は、前記基台に固定されると共に、前記第２のスライダに当接して前記第２のスライダを停止させる第２の作動部を有することを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１の係止手段は、前記第１のスライダに固定されると共に、前記基台に当接して前記第１のスライダを停止させる第１の作動部を有し、
前記第２の係止手段は、前記第２のスライダに固定されると共に、前記基台に当接して前記第２のスライダを停止させる第２の作動部を有することを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記基台には、前記第１のスライダの移動方向に延在すると共に、前記第１のスライダ及び前記第２のスライダをガイドするガイド部が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか一項記載のリニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記基台には、前記第１のスライダの移動方向で前記基台の全長にわたって延在するリニアスケールが設けられ、前記第２のスライダは、前記リニアスケールの目盛を検出する位置検出部を有することを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか一項記載のリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項記載のリニアアクチュエータを備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項７】
基台上で移動する第１のスライダと、
前記第１のスライダに固定されると共に、前記第１のスライダの移動方向と同一の方向に延在するマグネットと、
前記マグネットの周囲に配置されたコイルを有する第２のスライダと、
前記基台に前記第１のスライダを係止させる第１の係止手段と、
前記基台に前記第２のスライダを係止させる第２の係止手段とを備えたリニアアクチュエータにおいて、
前記第１の係止手段によって前記基台に前記第１のスライダを係止させた状態で、前記第２のスライダを前記第１のスライダの移動方向に移動させ、その後、前記第２の係止手段によって前記基台に前記第２のスライダを係止させた状態で、前記第１のスライダを前記移動方向に移動させることを特徴とするリニアアクチュエータの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の検査用ステージ装置等に組み込まれて利用されるリニアアクチュエータ、このリニアアクチュエータを備えたステージ装置、及びリニアアクチュエータの駆動方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような分野の技術として、特開２００４−１２９４４１号公報がある。この公報に記載された１軸駆動装置は、例えば半導体基板等のワークの表面粗さを測定するための触針を有する表面粗さ測定装置に組み込まれ、ワーク表面に触針が接触した状態でワークを１軸方向に移動させるためのものである。この１軸駆動装置は、非磁性材料からなる固定テーブルと、固定テーブルに両端を支持されると共に、１軸方向に延在する棒状磁石からなる固定子と、固定子の周囲に配置された空芯コイルを有する可動子と、ワークを保持すると共に、可動子に固定された非磁性材料からなる移動テーブルとを備えている。
【特許文献１】特開２００４−１２９４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前述したような１軸駆動装置においては、棒状磁石からなる固定子が長くなれば成る程、自重によって棒状磁石からなる固定子にたわみが生じる場合がある。固定子にたわみが生じると、可動子のスムーズな移動が妨げられるため、可動子の移動制御の精度が低下してしまう。
【０００４】
ここで、固定子にたわみが生じることを抑制するため、固定子の径を太くすることや固定子の全長を短くすることが考えられる。しかしながら、前述したような１軸駆動装置においては、固定子の径を太くすると、固定子の周囲に配置される空芯コイル及び可動子が大型化されるため、駆動装置の小型化が妨げられると共に製造コストが大きく増加してしまう。また、固定子の全長を短くすると、その分、可動子の移動量が制限されるため、駆動装置の汎用性が低下するという問題が生じる。
【０００５】
本発明は、第２のスライダの高精度な移動制御を可能とするリニアアクチュエータ、このリニアアクチュエータを備えたステージ装置、及びリニアアクチュエータの駆動方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のリニアアクチュエータは、基台上で移動する第１のスライダと、第１のスライダに固定されると共に、第１のスライダの移動方向と同一の方向に延在するマグネットと、マグネットの周囲に配置されたコイルを有する第２のスライダと、基台に第１のスライダを係止させる第１の係止手段と、基台に第２のスライダを係止させる第２の係止手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明のリニアアクチュエータによれば、第１のスライダを係止した状態で、第２のスライダを第１のスライダの移動方向に移動させた後、移動した第２のスライダを係止した状態で、第１のスライダを移動させることで、マグネットの長さが短いにもかかわらず、長い基台上で第２のスライダの移動量を確保することが可能となる。これにより、マグネットのたわみ量を考慮してマグネットの長さを選択しても、第２のスライダの移動量を十分に確保することができる。このことは、たわみが生じることを抑制して第２のスライダのスムーズな移動を実現するので、第２のスライダの高精度な移動制御を可能にする。しかも、マグネットを短くできるのでリニアアクチュエータの低コスト化が図られる。さらに、第１のスライダ及び第２のスライダを一組のコイル及びマグネットによって移動させることにより、第１のスライダ及び第２のスライダのそれぞれに駆動部を設けることを不要とし、これによってリニアアクチュエータの構造の簡素化及び低コスト化が図られる。
【０００８】
また、第１の係止手段は、基台に固定されると共に、第１のスライダに当接して第１のスライダを停止させる第１の作動部を有し、第２の係止手段は、基台に固定されると共に、第２のスライダに当接して第２のスライダを停止させる第２の作動部を有すると好適である。このような構成によれば、第１の作動部及び第２の作動部によって、第１のスライダ及び第２のスライダを機械的に停止させることができるので、第１のスライダ及び第２のスライダを確実に停止させることが可能となり、第１のスライダ及び第２のスライダの移動制御の精度向上が図られる。
【０００９】
また、第１の係止手段は、第１のスライダに固定されると共に、基台に当接して第１のスライダを停止させる第１の作動部を有し、第２の係止手段は、第２のスライダに固定されると共に、基台に当接して第２のスライダを停止させる第２の作動部を有すると好適である。このような構成によれば、第１の作動部及び第２の作動部によってそれぞれ第１のスライダ及び第２のスライダを機械的に停止させることができるので、第１のスライダ及び第２のスライダを確実に停止させることが可能となり、第１のスライダ及び第２のスライダの移動制御の精度向上が図られる。
【００１０】
また、基台には、第１のスライダの移動方向に延在すると共に、第１のスライダ及び第２のスライダをガイドするガイド部が設けられていると好適である。この場合、第１のスライダ及び第２のスライダを共通のガイド部によってガイドできるので、第１のスライダ及び第２のスライダのそれぞれにガイド部を設けることを不要にし、リニアアクチュエータの構造の簡素化と共にリニアアクチュエータの低コスト化が図られる。
【００１１】
また、基台には、第１のスライダの移動方向で基台の全長にわたって延在するリニアスケールが設けられ、第２のスライダは、リニアスケールの目盛を検出する位置検出部を有すると好適である。この場合、位置検出部によってリニアスケールの目盛を検出することで、基台に対する第２のスライダの位置を検出することが可能となる。このことは、検出した第２のスライダの位置に基づいて第２のスライダの移動を制御することによる第２のスライダの移動制御の精度向上を可能にする。
【００１２】
本発明のステージ装置は、前述した本発明のリニアアクチュエータを備えたことを特徴とする。このステージ装置によれば、高精度な移動制御が可能となるリニアアクチュエータを用いることで、ステージ等の高精度な位置制御が可能となる。また、リニアアクチュエータの低コスト化に伴うステージ装置の低コスト化が図られる。
【００１３】
本発明のリニアアクチュエータの駆動方法は、基台上で移動する第１のスライダと、第１のスライダに固定されると共に、第１のスライダの移動方向と同一の方向に延在するマグネットと、マグネットの周囲に配置されたコイルを有する第２のスライダと、基台に第１のスライダを係止させる第１の係止手段と、基台に第２のスライダを係止させる第２の係止手段とを備えたリニアアクチュエータにおいて、第１の係止手段によって基台に第１のスライダを係止させた状態で、第２のスライダを第１のスライダの移動方向に移動させ、その後、第２の係止手段によって基台に第２のスライダを係止させた状態で、第１のスライダを移動方向に移動させることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るリニアアクチュエータの駆動方法によれば、第１の係止手段によって基台に第１のスライダを係止させた状態で、第２のスライダを第１のスライダの移動方向に移動させた後、第２の係止手段によって基台に第２のスライダを係止させた状態で、第１のスライダを移動方向に移動させることにより、マグネットの長さが短いにもかかわらず、長い基台上で第２のスライダの移動量を確保することが可能となる。従って、マグネットのたわみ量を考慮してマグネットの長さを選択しても、第２のスライダの移動量を十分に確保することができる。このことは、たわみが生じることを抑制して第２のスライダのスムーズな移動を実現するので、第２のスライダの高精度な移動制御を可能にする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第２のスライダの高精度な移動制御を可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ本発明に係るリニアアクチュエータを備えたステージ装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１７】
図１に示すように、ステージ装置１は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに用いられる６枚のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）パネル２ａを含むガラス基板２が配置されるＸＹステージ３と、ガラス基板２の上方に配置された検査用カメラ４と、検査用カメラ４をガラス基板２に沿って移動させるアクチュエータシステム５とを有し、検査用カメラ４によってＦＰＤパネル２ａの輝度性能等の検査を行っている。
【００１８】
なお、図１に示すように、Ｘ軸及びＹ軸は水平面上で互いに９０度をなし、鉛直方向をＺ軸方向と定め、以下必要な場合にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を用いる。また、ガラス基板２内のＦＰＤパネル２ａは、Ｘ軸方向に２枚、Ｙ軸方向に３枚並ぶように配置されている。
【００１９】
アクチュエータシステム５は、Ｘ軸方向に延在する２本のリニアアクチュエータ（以下、「Ｘ軸アクチュエータ」という）６を有している。Ｘ軸アクチュエータ６は、ＸＹステージ３上のガラス基板２をＹ軸方向で挟むように配置されている。また、各Ｘ軸アクチュエータ６は、Ｘ軸方向に移動する上段スライダ（第２のスライダ）２１をそれぞれ有している。Ｙ軸方向に延在するリニアアクチュエータ（以下、「Ｙ軸アクチュエータ」という）７の一端は、一方の上段スライダ２１に固定され、Ｙ軸アクチュエータ７の他端は、他方の上段スライダ２１に固定されている。Ｙ軸アクチュエータ７には、ガラス基板２に対向するように検査用カメラ４が取り付けられ、Ｙ軸アクチュエータ７は、検査用カメラ４をＹ軸方向に移動させる。
【００２０】
このように構成されたステージ装置１では、Ｘ軸アクチュエータ６によってＹ軸アクチュエータ７をＸ軸方向に移動させ、Ｙ軸アクチュエータ７によって検査用カメラ４をＹ軸方向に移動させることで、検査用カメラ４をガラス基板２に沿ってＸＹ平面内で移動させ、ＦＰＤパネル２ａ内の各画素の品質検査を行う。
【００２１】
次に、Ｘ軸アクチュエータ６の構成について説明する。
【００２２】
図２、図３、及び図４に示すように、Ｘ軸アクチュエータ６は、Ｘ軸方向に延在するフレーム（基台）１０を有している。フレーム１０は、ＸＹステージ３に固定された断面Ｌ字状の部材であり、Ｚ軸方向に突出した突出部１０ａの上面には、断面矩形状のガイドレール１０ｂが設けられている。ガイドレール１０ｂは、フレーム１０の全長にわたってＸ軸方向に延在すると共に、フレーム１０に沿ってＸ軸方向に移動する下段スライダ（第１のスライダ）１１をガイドする。
【００２３】
下段スライダ１１は、Ｘ軸方向に延在する板状の連結部１１ａと、連結板の両端からＹ軸方向に突出する一対のスライダ部１１ｂとを有するコの字状の部材である。前後一対のスライダ部１１ｂの下面には、円筒コロ１２ａを有する断面略コの字状のコロ軸受１２がそれぞれ設けられている（図３参照）。このコロ軸受１２によって下段スライダ１１は、ガイドレール１０ｂに沿ってＸ軸方向に滑動する。
【００２４】
下段スライダ１１のスライダ部１１ｂには、上方に突出する一対の側壁部１１ｃがＸ軸方向で対向するように設けられている。また、前後一対の側壁部１１ｃには、Ｘ軸方向に延在するマグネットシャフト１３の各端部が固定され、このマグネットシャフト１３は、上段スライダ２１をＸ軸方向に貫く軸孔２１ａに挿通されている。また、マグネットシャフト１３は、フレーム１０の全長の約半分の長さを有すると共に、Ｘ軸方向に沿ってＳ極とＮ極とが交互に着磁されている。
【００２５】
上段スライダ２１の下面には、円筒コロ２２ａを有する断面コの字状のコロ軸受２２が設けられている（図５参照）。コロ軸受２２によって、上段スライダ２１はガイドレール１０ｂに沿ってＸ軸方向に滑動する。下段スライダ１１及び上段スライダ２１は共通のガイドレール１０ｂによってガイドされるので、下段スライダ１１及び上段スライダ２１に個別のガイドレールを設けることを不要にし、これによってＸ軸アクチュエータ６の構造の簡素化と共にＸ軸アクチュエータ６の低コスト化が図られる。
【００２６】
図２、図３、及び図５に示すように、上段スライダ２１には、軸孔２１ａの内壁に沿って円筒状の空芯コイル２４が固定されている。空芯コイル２４の中央の空芯部には、マグネットシャフト１３が挿通され、空芯コイル２４の内周面とマグネットシャフト１３の外周面との間には、微小な隙間が形成されている。
【００２７】
上段スライダ２１の側面には、上段スライダ２１の移動に追従して配線２６を案内するケーブルキャリア２５が接続されている。ケーブルキャリア２５内の配線２６は空芯コイル２４に流す電流を制御する制御装置（図示せず）に接続されている。
【００２８】
フレーム１０の突出部１０ａの側面には、フレーム１０の全長にわたってＸ軸方向に延在するリニアスケール１４が設けられている。また、上段スライダ２１の下面には、リニアスケール１４に対向するようにスケールヘッド（位置検出部）２７が設けられている。スケールヘッド２７は、リニアスケール１４に光を照射するための発光素子とリニアスケール１４に反射された光を受光する受光素子とを有し、リニアスケール１４の目盛を光学的に検知することで、フレーム１０に対する上段スライダ２１の位置を検出している。これにより、Ｘ軸アクチュエータ６では、検出した上段スライダ２１の位置に基づいて上段スライダ２１の移動制御を行うことが可能になるので、上段スライダ２１の移動制御の精度向上が図られる。
【００２９】
フレーム１０の両端には、下段スライダ１１の位置を検知するためのリミットスイッチ１５がそれぞれ設けられている（図３参照）。リミットスイッチ１５は、例えば可倒レバーを有する接触式のリミットスイッチであり、フレーム１０に沿って移動する下段スライダ１１によって可倒レバーが倒されることで、下段スライダ１１の到来を検知する。
【００３０】
図２、図３、及び図４に示すように、フレーム１０の両端部の側面には、下段スライダ１１をフレーム１０に係止させるためのピストンロッド（第１の作動部）１６ａ，１７ａをそれぞれ有する下段スライダ用サーボシリンダ（第１の係止手段）１６，１７が固定されている。
【００３１】
下段スライダ用サーボシリンダ１６，１７のピストンロッド１６ａ，１７ａを上方向に突出させ、ピストンロッド１６ａ，１７ａの先端部を下段スライダ１１の両端部の下面に形成された四角錘形状の凹部１１ｄの内壁に当接させることによって、下段スライダ１１をフレーム１０に対して停止させる。
【００３２】
図２、図３、及び図５に示すように、フレーム１０の中央部の側面には、上段スライダ２１をフレーム１０に係止させるためのピストンロッド（第２の作動部）１８ａを有する上段スライダ用サーボシリンダ（第２の係止手段）１８が固定されている。上段スライダ用サーボシリンダ１８のピストンロッド１８ａを上方向に突出させ、ピストンロッド１８ａの先端部を上段スライダ２１の下面に形成された四角錘形状の凹部２１ｂの内壁に当接させることによって、上段スライダ２１をフレーム１０に対して停止させる。なお、このような下段スライダ用サーボシリンダ１６，１７及び上段スライダ用サーボシリンダ１８としては、例えば、株式会社ＩＡＩ製のマイクロシリンダＲＣＬがある。
【００３３】
続いて、前述したＸ軸アクチュエータ６の駆動方法について図６を参照して説明する。なお、図中、下段スライダ１１の凹部１１ｄ及び上段スライダ２１の凹部２１ｂにおいて、白抜きの円は、ピストンロッド１６，１７，１８が凹部１１ｄ，２１ｂに挿し込まれていない状態を示し、黒塗りの円は、ピストンロッド１６，１７，１８が凹部１１ｄ，２１ｂに差し込まれている状態を示している。
【００３４】
まず、下段スライダ用サーボシリンダ１６によって、ピストンロッド１６ａの先端部を下段スライダ１１の凹部１１ｄの内壁に当接させて下段スライダ１１をフレーム１０に対して停止させる（図６（ａ）参照）。この状態で、マグネットシャフト１３と空芯コイル２４との間に発生させた反発力により、上段スライダ２１を矢印Ａの方向（下段スライダ１１の移動方向）に移動させる（図６（ｂ）参照）。
【００３５】
次に、スケールヘッド２７によって上段スライダ２１がフレーム２０略中央の停止位置に至ったことが検知されると、上段スライダ用サーボシリンダ１８によって、ピストンロッド１８ａの先端部を上段スライダ２１の凹部２１ｂの内壁に当接させることで上段スライダ２１をフレーム１０に対して停止させ、その後、下段スライダ１１を矢印Ａの方向に移動させる（図６（ｃ）参照）。
【００３６】
そして、リミットスイッチ１５によって下段スライダ１１がフレーム１０の端部に至ったことが検知されると、下段スライダ用サーボシリンダ１７によって下段スライダ１１をフレーム１０に対して停止させ、その後、上段スライダ２１を矢印Ａの方向に移動させる（図６（ｄ）参照）。その後、前述したＸ軸アクチュエータ６の駆動の手順を逆に行うことにより、下段スライダ１１及び上段スライダ２１を図６（ａ）に示す初期位置に戻すことができる。
【００３７】
以上のように、Ｘ軸アクチュエータ６によれば、フレーム１０よりマグネットシャフト１３の長さが短いにもかかわらず、フレーム１０上で上段スライダ２１の移動量を確保することが可能となる。従って、マグネットシャフト１３のたわみ量を考慮してマグネットシャフト１３を短くしても、フレーム１０上での上段スライダ２１の移動量を十分に確保することができる。このことは、マグネットシャフト１３にたわみが生じることを抑制して、上段スライダ２１のスムーズな移動を実現するので、上段スライダ２１の高精度な移動制御を可能にする。しかも、マグネットシャフト１３を短くすることでＸ軸アクチュエータ６の低コスト化が図られる。
【００３８】
また、下段スライダ１１と上段スライダ２１とのいずれか一方をフレーム１０上で停止させておくことで、下段スライダ１１及び上段スライダ２１は相対的に駆動し、それぞれに駆動部を設ける必要がないので、Ｘ軸アクチュエータ６の構造の簡素化及び低コスト化が図られる。
【００３９】
さらに、このＸ軸アクチュエータ６では、下段スライダ用サーボシリンダ１６，１７及び上段スライダ用サーボシリンダ１８によって、下段スライダ１１及び上段スライダ２１を機械的に停止させているので、下段スライダ１１及び上段スライダ２１を確実に停止させることができ、下段スライダ１１及び上段スライダ２１の移動制御の精度向上が図られる。
【００４０】
また、このようなＸ軸アクチュエータ６を有するステージ装置１では、高精度な検査用カメラ４の位置制御を可能にし、Ｘ軸アクチュエータ６の低コスト化に伴うステージ装置１の低コスト化が図られる。
【００４１】
さらに、ステージ装置１では、Ｘ軸アクチュエータ６において、下段スライダ１１内における上段スライダ２１の移動量（マグネットシャフト１３の全長に相当）をガラス基板２内のＦＰＤパネル２ａの横幅（Ｘ軸方向の長さ）より長くすることで、検査カメラ４によって６枚のＦＰＤパネル２ａを検査するにあたり、１枚のＦＰＤパネル２ａに対して下段スライダ１１を１度移動させるだけで、１枚のＦＰＤパネル２ａ全体の検査が可能となる。従って、効率的にＦＰＤパネル２ａの検査を行うことができると共に、検査用カメラ４のＸ軸方向の高精度な移動制御が可能となる。
【００４２】
また、ステージ装置１では、Ｘ軸アクチュエータ６のリニアスケール１４及びスケールヘッド２７によって、上段スライダ２１の位置すなわち検査カメラ４のＸ軸方向の位置を検出することができるので、検査カメラ４を所定のピッチ（例えば、検査カメラ４の撮像範囲）で精度良く送ることが可能になる。
【００４３】
なお、Ｙ軸アクチュエータ７も、Ｘ軸アクチュエータ６と同様の構成及び機能を有していてもよい。この場合、上段スライダの移動量がＦＰＤパネル２ａの縦幅（Ｙ軸方向の長さ）より長くすると共に、Ｙ軸方向に３枚設けられているＦＰＤパネル２ａに対応する３箇所の停止位置で下段スライダが停止できるように構成されることで、ＦＰＤパネル２ａの検査効率の向上が図られる。
【００４４】
本発明は、前述した実施形態に限定されないことは言うまでもない。例えば、フレーム１０の全長は、マグネット１３の全長の２倍以上（例えば、３倍、４倍）の長さであってもよい。この場合、Ｘ軸アクチュエータ６は、前述した駆動方法のように下段スライダ１１と上段スライダ２１とを交互に移動させることで、上段スライダ２１の非常に大きな移動量を確保することが可能となる。
【００４５】
また、上段スライダ２１における空芯コイル２４は、その空芯部がマグネットシャフト１３に挿通される態様（いわゆるシャフトモータ）に限られず、マグネットシャフト１３の上や下などに配置されていてもよく、またコイルの数は１つであっても２つ以上であってもよい。
【００４６】
また、第１サーボシリンダ１６，１７を、下段スライダ１１に固定し、フレーム１０に形成された複数の凹部内にピストンロッド１６ａ，１７ａの先端を選択的に挿し込んで、を突出させ、ピストンロッド１６ａ，１７ａの先端部をフレーム１０の凹部の内壁に当接させることで、下段スライダ１１をフレーム１０に対して停止させる態様であってもよい。同様に、第２サーボシリンダ１８を、上段スライダ２１に固定し、ピストンロッド１８ａの先端部をフレーム１０の凹部の内壁に当接させることで、上段スライダ２１をフレーム１０に対して停止させる態様であってもよい。
【００４７】
また、第１サーボシリンダ１６，１７及び第２サーボシリンダ１８のピストンロッド先端に摩擦係数の高いゴムなどからなるパッド部を設け、これらのパッドを下段スライダ１１及び上段スライダ２１の底面に押し付けることで、摩擦により下段スライダ１１及び上段スライダ２１をフレーム１０に対して停止させる態様であってもよい。
【００４８】
また、下段スライダ１１及び上段スライダ２１は、ガイドレール１０ｂを把持することで下段スライダ１１及び上段スライダ２１をフレーム１０に対して停止させるためのリニアクランプを、コロ軸受１２，２２に代えて備えていてもよい。この場合、第１サーボシリンダ１６，１７及び第２サーボシリンダ１８が不要となり、Ｘ軸アクチュエータ６の構造の簡素化及び低コスト化が図られる。なお、このようなリニアクランプとしては、例えば、鍋屋バイテック会社製のリニアクランパ・ズィー（商標名）がある。また、下段スライダ１１及び上段スライダ２１は、コロ軸受１２，２２に換えて、静圧軸受を備えていてもよい。
【００４９】
また、下段スライダ１１及び上段スライダ２１をフレーム１０に係止させるための係止手段として、電磁石を利用してもよい。この場合、フレーム１０と、下段スライダ１１及び上段スライダ２１とに電磁石を設ける態様であってもよく、フレーム１０に電磁石を設け、下段スライダ１１及び上段スライダ２１に強磁性の磁性体部を設ける態様であってもよい。また、下段スライダ１１及び上段スライダ２１に電磁石を設け、フレーム１０に強磁性の磁性体部を設ける態様であってもよい。
【００５０】
また、リニアスケール１４は、光学式ではなく磁気式のものを用いてもよい。この場合、リニアスケール１４に形成された磁気格子縞が目盛に相当する。また、上段スライダ２１の位置は、リニアスケール１４及びスケールヘッド２７ではなく、レーザ干渉計等によってフレーム１０の端部と上段スライダ２１との距離を測定されることで検出されてもよく、空芯コイル２４への通電量に基づいた演算処理によって算出されてもよい。
【００５１】
また、下段スライダ１１は、リニアスケール１４の目盛から下段スライダ１１の位置を検出する下段スライダ用スケールヘッドを有していてもよい。また、下段スライダ１１の位置は、その他レーザ干渉計や空芯コイル２４への通電量に基づいた演算処理によって検出されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係るステージ装置の一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１に示すＸ軸アクチュエータを示す平面図である。
【図３】Ｘ軸アクチュエータを示す側面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】Ｘ軸アクチュエータの駆動を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…ステージ装置、２…ガラス基板、２ａ…ＦＰＤパネル、３…ＸＹステージ、４…検査用カメラ、５…アクチュエータシステム、６…Ｘ軸アクチュエータ（リニアアクチュエータ）、７…Ｙ軸アクチュエータ（リニアアクチュエータ）、１０…フレーム（基台）、１０ｂ…ガイドレール、１１…下段スライダ（第１のスライダ）、１３…マグネットシャフト、１４…リニアスケール、１５…リミットスイッチ、１６，１７…第１サーボシリンダ（第１の係止手段）、１６ａ，１７ａ…ピストンロッド（第１の作動部）、１８…第２サーボシリンダ（第２の係止手段）、１８ａ…ピストンロッド（第２の作動部）、２１…上段スライダ（第２のスライダ）、２４…空芯コイル、２７…スケールヘッド（位置検出部）。
【図１】
2010028999.tif 000003
【図２】
2010028999.tif 000004
【図３】
2010028999.tif 000005
【図４】
2010028999.tif 000006
【図５】
2010028999.tif 000007
【図６】
2010028999.tif 000008