(57)【要約】【課題】回路基板のテストクーポンに対する検査用プローブの接触を可能としつつ回路基板を確実に固定する。【解決手段】第１方向（矢印Ａの方向）に沿って並設されて回路基板の縁部をそれぞれクランプするクランプ機構（３１ａ〜３１ｃ）を備え、各クランプ機構は、基体部４１と、基体部４１に取り付けられた第１クランプ部４３と、回動可能に基体部４１に支持された本体部４４ａおよび本体部４４ａの中央部位から突出形成された突起部４４ｂを有する第２クランプ部４４とを備えてそれぞれ構成され、本体部４４ａは、第１方向に沿った長さがクランプ機構の第１方向に沿った最大の長さとなり、かつ隣接する他の本体部４４ａと互いに離間した状態で並設可能に構成され、第１クランプ部４３は、第１方向に沿った長さが突起部４４ｂの第１方向に沿った長さと同等に規定されている。【選択図】図２
2010045282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、当該基台に配設されて回路基板を固定する固定部とを備えた回路基板固定装置であって、
前記基台は、前記固定部によって固定された前記回路基板の両面に対する検査用プローブの接触を可能とする略矩形の開口部が形成された基台本体を備えて構成され、
前記固定部は、互いに対向すると共に前記開口部を臨むように前記基台に配設されて前記回路基板における第１縁部および当該第１縁部に対向する第２縁部をそれぞれ固定する第１固定機構および第２固定機構を備えて構成され、
前記第１固定機構は、前記開口部における開口縁部の延在方向に平行な第１方向に沿って前記基台に並設されて前記第１縁部の各箇所をそれぞれクランプする複数のクランプ機構を備えて構成され、
前記各クランプ機構は、前記第１方向に沿って移動可能に前記基台に配設された基体部と、前記開口部の中央部に向けて突出するように前記基体部に取り付けられた第１クランプ部と、前記第１クランプ部に対して接離する向きで回動可能に前記基体部に支持された本体部および当該本体部の前記第１方向における中央部位から前記開口部の中央部に向けて突出形成された突起部を有して前記第１クランプ部の先端部と当該突起部とで前記第１縁部をクランプする第２クランプ部とを備えてそれぞれ構成され、
前記本体部は、前記第１方向に沿った長さが前記クランプ機構の前記第１方向に沿った最大の長さとなり、かつ隣接する他の前記クランプ機構の前記本体部と互いに離間した状態で並設可能に構成され、
前記第１クランプ部は、前記第１方向に沿った長さが前記突起部の当該第１方向に沿った長さと同等に規定されている回路基板固定装置。
【請求項２】
前記第２固定機構は、前記第１方向に沿って前記基台に並設されて前記第２縁部の各箇所をそれぞれクランプする複数の前記クランプ機構を備えて構成されている請求項１記載の回路基板検査装置。
【請求項３】
前記基台は、前記開口部を跨ぐようにして前記第１方向に沿って配設されると共に当該第１方向に直交する第２方向に沿って移動可能に構成された梁部材を備えて構成され、
前記各クランプ機構は、前記梁部材に並設されている請求項１または２記載の回路基板固定装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板を固定する回路基板固定装置、およびその回路基板固定装置を備えて回路基板に対する電気的検査を行う回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板固定装置を備えた回路基板検査装置として、特許２８９９４９２号公報に開示された検査装置が知られている。この検査装置では、プリント基板固定装置（以下、「固定装置」ともいう）によって固定された回路基板（プリント基板）の測定ポイントに対して測定用プローブ（検査用プローブ）を接触させて、回路基板に対する検査が行われる。この場合、固定装置は、基台、可動基台、並びに基台および可動基台にそれぞれ配設された把持装置等を備えて構成されている。また、把持装置は、エアシリンダによって回動させられる伝達軸と、伝達軸のトルク（回動力）がリンクを介して伝達されることによって回動させられる可動爪と、可動爪と共に回路基板の端縁を把持（クランプ）する固定爪とを備えて構成されている。また、可動爪および固定爪は、回路基板の両端縁部の略全長に亘っての把持を可能とするため、長尺に形成されている。
【特許文献１】特許２８９９４９２号公報（第２−４頁、第２−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この検査装置の固定装置では、長尺に形成された可動爪および固定爪によって回路基板の両端縁部をその略全長に亘って把持して回路基板を固定している。一方、多層型の回路基板の中には、各層の導体パターンの良否検査に用いられるテストクーポンが回路基板の縁部に形成されているものが存在する。この場合、この種の回路基板に対する検査を行う際には、回路基板を固定した状態で上記のテストクーポンにも検査用プローブを接触させる必要がある。しかしながら、従来の固定装置では、上記したように、可動爪および固定爪によって回路基板の両端縁部をその略全長に亘って把持しているため、テストクーポンに対する検査用プローブの接触が困難となるという問題点が存在する。
【０００４】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、回路基板のテストクーポンに対する検査用プローブの接触を可能としつつ回路基板を確実に固定し得る回路基板固定装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板固定装置は、基台と、当該基台に配設されて回路基板を固定する固定部とを備えた回路基板固定装置であって、前記基台は、前記固定部によって固定された前記回路基板の両面に対する検査用プローブの接触を可能とする略矩形の開口部が形成された基台本体を備えて構成され、前記固定部は、互いに対向すると共に前記開口部を臨むように前記基台に配設されて前記回路基板における第１縁部および当該第１縁部に対向する第２縁部をそれぞれ固定する第１固定機構および第２固定機構を備えて構成され、前記第１固定機構は、前記開口部における開口縁部の延在方向に平行な第１方向に沿って前記基台に並設されて前記第１縁部の各箇所をそれぞれクランプする複数のクランプ機構を備えて構成され、前記各クランプ機構は、前記第１方向に沿って移動可能に前記基台に配設された基体部と、前記開口部の中央部に向けて突出するように前記基体部に取り付けられた第１クランプ部と、前記第１クランプ部に対して接離する向きで回動可能に前記基体部に支持された本体部および当該本体部の前記第１方向における中央部位から前記開口部の中央部に向けて突出形成された突起部を有して前記第１クランプ部の先端部と当該突起部とで前記第１縁部をクランプする第２クランプ部とを備えてそれぞれ構成され、前記本体部は、前記第１方向に沿った長さが前記クランプ機構の前記第１方向に沿った最大の長さとなり、かつ隣接する他の前記クランプ機構の前記本体部と互いに離間した状態で並設可能に構成され、前記第１クランプ部は、前記第１方向に沿った長さが前記突起部の当該第１方向に沿った長さと同等に規定されている。
【０００６】
また、請求項２記載の回路基板固定装置は、請求項１記載の回路基板固定装置において、前記第２固定機構は、前記第１方向に沿って前記基台に並設されて前記第２縁部の各箇所をそれぞれクランプする複数の前記クランプ機構を備えて構成されている。
【０００７】
また、請求項３記載の回路基板固定装置は、請求項１または２記載の回路基板固定装置において、前記基台は、前記開口部を跨ぐようにして前記第１方向に沿って配設されると共に当該第１方向に直交する第２方向に沿って移動可能に構成された梁部材を備えて構成され、前記各クランプ機構は、前記梁部材に並設されている。
【０００８】
また、請求項４記載の回路基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の回路基板固定装置では、第１クランプ部と、本体部および本体部に突出形成された突起部を有する第２クランプ部とを備えて第１方向に沿って移動可能に並設された複数のクランプ機構で第１固定機構が構成され、本体部は、第１方向に沿った長さがクランプ機構の第１方向に沿った最大の長さとなりかつ隣接する他の本体部と互いに離間した状態で並設可能に構成され、第１クランプ部は、第１方向に沿った長さが突起部の第１方向に沿った長さと同等に規定されている。このため、この回路基板固定装置では、回路基板の縁部に設けられているテストクーポンに接触させるためのテストクーポン用の検査用プローブと各クランプ部との接触が回避され、かつ回路基板のテストクーポンが各クランプ部によって覆われない状態、つまりテストクーポンに対するテストクーポン用の検査用プローブの接触が可能な状態で回路基板を確実に固定することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の回路基板固定装置によれば、第１方向に沿って基台に並設されて第２縁部の各箇所をそれぞれクランプする複数のクランプ機構を備えて第２固定機構を構成したことにより、第１縁部および第２縁部の双方にテストクーポンが設けられている回路基板を固定する際においても、テストクーポン用の検査用プローブと各クランプ部との接触が回避され、かつ各テストクーポンに対するテストクーポン用の検査用プローブの接触が可能な状態で回路基板を確実に固定することができる。
【００１１】
また、請求項３記載の回路基板固定装置では、開口部を跨ぐようにして第１方向に沿って配設されると共に第２方向に沿って移動可能に構成された梁部材に各クランプ機構が並設されている。このため、この回路基板固定装置によれば、回路基板のサイズ（第２方向に沿った長さ）に合わせて梁部材を移動させることで、テストクーポン用の検査用プローブと各クランプ部との接触を回避し、かつテストクーポンを各クランプ部によって覆わない状態で、幅や長さの異なる複数種類の回路基板を確実に固定することができる。
【００１２】
また、請求項４記載の回路基板検査装置によれば、上記の回路基板固定装置を備えたことにより、テストクーポン用の検査用プローブと第１クランプ部および第２クランプ部との接触を回避し、かつテストクーポンを各両クランプ部によって覆わない状態で回路基板を確実に固定することができるため、回路基板本体およびテストクーポンに対して検査用プローブを確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る回路基板固定装置および回路基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、図１に示す検査装置１の構成について説明する。検査装置１は、本発明に係る回路板検査装置の一例であって、同図に示すように、固定装置２、プロービング装置３ａ，３ｂ（以下、区別しないときには「プロービング装置３」ともいう）、および制御部４を備えて、回路基板１００に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。ここで、回路基板１００は、一例として、図３に示すように、縁部１０１ａ〜１０１ｄ（以下、区別しないときには「縁部１０１」ともいう）および境界部１１１ａ〜１１１ｃを切断することによって完成品となる４つの回路基板本体１１２ａ〜１１２ｄ（以下、区別しないときには「回路基板本体１１２」ともいう）を有する多面取りで多層型の回路基板であって、全体として略長方形に形成されている。この場合、縁部１０１ａには、例えば、各回路基板本体１１２における各層の導体パターン（図示せず）の良否検査に用いられるテストクーポン１１３が設けられている。なお、この例では、縁部１０１ａが本発明における第１縁部に相当し、１０１ｂが本発明における第２縁部に相当する。
【００１５】
固定装置２は、本発明に係る回路基板固定装置の一例であって、図２に示すように、基台本体１１、梁部材１２、第１固定機構１３ａ、第２固定機構１３ｂ（以下、両固定機構１３ａ，１３ｂを区別しないときには、「固定機構１３」ともいう）、コンプレッサ１４（図１参照）および電磁弁１５（同図参照）を備えて構成されている。この場合、基台本体１１および梁部材１２によって本発明における基台が構成される。また、第１固定機構１３ａおよび第２固定機構１３ｂによって本発明における固定部が構成される。
【００１６】
基台本体１１は、図２に示すように、一例として、略長方形の板状に形成されている。また、基台本体１１の中央部には、検査時において回路基板１００の両面に対するプローブユニット２０１のプローブピン２０２（図１参照）の接触を可能とする略矩形の開口部１１ａが形成されている。この場合、開口部１１ａを構成する各開口縁部２１ａ〜２１ｄ（以下、区別しないときには「開口縁部２１」ともいう）のうちの１つ（例えば、開口縁部２１ｂ）には、回路基板１００における縁部１０１ａ〜１０１ｄ（図３参照：以下、区別しないときには「縁部１０１」ともいう）の一面（同図における紙面奥側の面）を支持可能な支持板２２が配設されている。
【００１７】
梁部材１２は、図２，４に示すように、全体として長尺の板状に形成されている。また、梁部材１２は、開口縁部２１の１つ（この例では、開口縁部２１ａ）の延在方向に平行な第１方向（図２に示す矢印Ａの方向）に沿って配設されると共に、第１方向に直交する第２方向（同図に示す矢印Ｂの方向）に沿って移動可能に構成されている。具体的には、梁部材１２は、同図に示すように、開口縁部２１ａに直交する開口縁部２１ｃ，２１ｄに沿ってそれぞれ配設されたレール２３ａ，２３ｂ上を移動可能なスライダー２４ａ，２４ｂにその両端部が固定されている。また、梁部材１２には、第１固定機構１３ａの第１クランプ機構３１ａ〜３１ｃ（図２参照：以下、区別しないときには「第１クランプ機構３１」ともいう）の底部を嵌め込み可能な溝１２ａ、および第２クランプ機構３２を固定するための長孔１２ｂが形成されている。
【００１８】
第１固定機構１３ａは、図２に示すように、第２固定機構１３ｂと互いに対向すると共に基台本体１１の開口部１１ａを臨むように配設された３つ（本発明における複数の一例）の第１クランプ機構３１ａ〜３１ｃを備えて構成されている。第１クランプ機構３１は、本発明におけるクランプ機構の一例であって、図２，４，７，８に示すように、基体部４１、エアシリンダ４２、第１クランプ部４３、第２クランプ部４４、スプリング４５ａ，４５ｂ（以下、区別しないときには「スプリング４５」ともいう）を備えて、回路基板１００の縁部１０１ａの３箇所（本発明における各箇所）をそれぞれクランプ可能に構成されている。基体部４１は、図４，７に示すように、その底部が梁部材１２の溝１２ａに嵌め込まれることにより、梁部材１２の長さ方向（図２に示す矢印Ａの方向）に沿って移動可能に梁部材１２に配設（並設）されている。また、基体部４１は、固定ねじ４１ａを締め付けることにより、梁部材１２における長孔１２ｂの下部に配設されたナット４１ｂ（図７参照）に固定ねじ４１ａがねじ込まれて、梁部材１２の長さ方向における任意の位置に固定される。
【００１９】
エアシリンダ４２は、図４，７に示すように、基体部４１に取り付けられて、エアの供給によってロッド４２ａを突出させる。第１クランプ部４３は、図２に示すように、開口部１１ａの中央部Ｃに向けて突出するように基体部４１に取り付けられている。この場合、第１クランプ部４３は、図７，８に示すように、回路基板１００の縁部１０１ａの一面（両図における下側の面）をその先端部４３ａで支持する。また、第１クランプ部４３は、図４に示すように、第１方向（同図に示す矢印Ａの方向）に沿った長さＬ１が、後述する第２クランプ部４４の突起部４４ｂの第１方向に沿った長さＬ３と同等に規定されている。
【００２０】
第２クランプ部４４は、図２，４に示すように、板状の本体部４４ａおよび突起部４４ｂを有して構成されている。本体部４４ａは、一例として、長方形の板状に形成されて、その長さ方向が第１方向と一致するように配置されると共に、第１クランプ部４３に対して接離する向きで回動可能に基体部４１に支持されている。また、本体部４４ａは、第１クランプ部４３に対して近接する向きに、その両端部がスプリング４５によって付勢されている。この場合、この固定装置２では、本体部４４ａは、図２に示すように、第１方向に沿った長さＬ２が第１クランプ機構３１の第１方向沿った最大の長さとなり（つまり、第１クランプ機構３１を構成する他の構成要素の第１方向に沿った長さよりも長く）、かつ隣接する他の第１クランプ機構３１の本体部４４ａと互いに離間した状態で並設可能に（つまり、各第１クランプ機構３１における各本体部４４ａの長さＬ２の合計が、第１方向に沿った第１クランプ機構３１の移動可能な長さよりも短くなるように）構成されている。
【００２１】
突起部４４ｂは、本体部４４ａの長さ方向（第１方向）における中央部位から開口部１１ａの中央部Ｃに向けて突出するようにして、本体部４４ａに一体形成（突出形成）されている。また、突起部４４ｂは、第１方向に沿った長さが本体部４４ａの長さＬ２よりも短い長さＬ３（例えば、長さＬ２の１／３程度の長さ）に規定されている。この場合、第１クランプ機構３１は、図８に示すように、常態（クランプ時）においては、スプリング４５の付勢力によって第２クランプ部４４の突起部４４ｂが回路基板１００の縁部１０１ａの他面（同図における上側の面）を押圧することにより、突起部４４ｂと第１クランプ部４３の先端部４３ａとで縁部１０１ａをクランプする。また、第１クランプ機構３１は、エアシリンダ４２のロッド４２ａが突出したとき（非クランプ時）には、第２クランプ部４４がスプリング４５の付勢力に抗して第１クランプ部４３から離反する向きに回動させられることにより、縁部１０１ａに対する押圧（クランプ）を解除する。
【００２２】
第２固定機構１３ｂは、第１固定機構１３ａと互いに対向すると共に基台本体１１の開口部１１ａを臨むように配設された２つの第２クランプ機構３２ａ，３２ｂ（以下、区別しないときには「第２クランプ機構３２」ともいう）を備えて構成されている。第２クランプ機構３２は、図２に示すように、基体部５１、エアシリンダ５２、クランプ部５３、スプリング５４ａ，５４ｂ（以下、区別しないときには「スプリング５４」ともいう）を備えて、回路基板１００の縁部１０１ｂ（縁部１０１ａに対向する縁部１０１）をクランプ可能に構成されている。基体部５１は、支持板２２に固定されている。エアシリンダ５２は、基体部５１に取り付けられて、エアの供給によってロッド５２ａを突出させる。
【００２３】
クランプ部５３は、その支持板２２に対して接離する向きで回動可能に基体部５１に取り付けられている。また、クランプ部５３は、支持板２２に対して近接する向きに、その両端部がスプリング５４によって付勢されている。この場合、第２クランプ機構３２は、常態（クランプ時）においては、スプリング５４の付勢力によってクランプ部５３の先端部５３ａが回路基板１００の縁部１０１ｂの他面を押圧することにより、先端部５３ａと支持板２２の先端部２２ａとで縁部１０１ｂをクランプする。また、第２クランプ機構３２は、エアシリンダ５２のロッド５２ａが突出したとき（非クランプ時）には、クランプ部５３がスプリング５４の付勢力に抗して支持板２２から離反する向きに回動させられることにより、縁部１０１ｂのクランプを解除する。
【００２４】
コンプレッサ１４は、エア（圧縮空気）を供給する。電磁弁１５は、制御部４の制御に従って作動して、第１クランプ機構３１のエアカプラ４２ｂ（図４参照）、および第２クランプ機構３２のエアカプラ５２ｂ（図２参照）に接続された図外のエアチューブを介して、コンプレッサ１４からのエアを各エアシリンダ４２，５２に供給すると共に、その供給停止を行う。
【００２５】
プロービング装置３ａ，３ｂは、図１に示すように、制御部４の制御に従い、プローブユニット２０１を回路基板１００に向けてそれぞれ移動させることにより、プローブユニット２０１のプローブピン２０２（本発明における検査用プローブ）を、回路基板１００における各回路基板本体１１２の両面に形成されている導体パターン、および回路基板１００の縁部１０１ａに成形されているテストクーポン１１３に接触させる。ここで、このプローブユニット２０１は、回路基板１００専用のプローブユニット２０１であって、複数のプローブピン２０２を備えて治具型に構成されている。この場合、このプローブユニット２０１は、図５に示すように、回路基板１００の各回路基板本体１１２に形成されている各導体パターン（図示せず）だけでなく、縁部１０１ａに設けられているテストクーポン１１３にもプローブピン２０２を接触させることを可能とするため、平面視形状が回路基板本体１１２よりもやや大きい略矩形の基体部２０１ａと、基体部２０１ａから突出する突出部２０１ｂとを有すると共に、各導体パターンに接触させられるプローブピン２０２が基体部２０１ａに配設され、テストクーポン１１３に接触させられるプローブピン２０２が突出部２０１ｂに配設されて構成されている。
【００２６】
制御部４は、電磁弁１５を制御して各エアシリンダ４２，５２に対するエアの供給および供給停止を行わせる。また、制御部４は、プロービング装置３によるプローブユニット２０１の移動を制御する。さらに、制御部４は、本発明における検査部として機能し、プローブユニット２０１を介して入力した電気信号に基づいて回路基板１００についての所定の電気的検査を実行する。
【００２７】
次に、検査装置１を用いて回路基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。
【００２８】
検査に先立ち、検査対象の回路基板１００のサイズに合わせて、固定装置２における各第１クランプ機構３１の位置合わせを行う。この位置合わせでは、まず、第２方向（図２に示す矢印Ｂの方向）での各第１クランプ機構３１の位置合わせ（第１クランプ機構３１と第２クランプ機構３２との間の長さ調整）を行う。具体的には、図６に示すように、支持板２２の先端部２２ａから各第１クランプ機構３１における第１クランプ部４３の先端部４３ａまでの長さが回路基板１００における縁部１０１ａ，１０１ｂ間の長さよりもやや長くなるように、スライダー２４ａ，２４ｂ（梁部材１２）を例えば同図に示す矢印Ｂ１の向きに移動させる。次いで、図外の固定ねじを締め込むことによって各スライダー２４ａ，２４ｂを固定する。これにより、各先端部４３ａ，先端部２２ａによる縁部１０１ａ，縁部１０１ｂの支持が可能な位置に各第１クランプ機構３１が位置合わせされる。
【００２９】
続いて、第１方向（図２における矢印Ａの方向）での各第１クランプ機構３１の位置合わせ（各第１クランプ機構３１同士の間隔の調整）を行う。具体的には、各第１クランプ機構３１の固定ねじ４１ａ（図４参照）を弛めて基体部４１（第１クランプ機構３１）を移動可能な状態として、次いで、各第１クランプ機構３１を第１方向に移動させる。具体的には、図６に示すように、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂと第１クランプ部４３および第２クランプ部４４（以下、第１クランプ部４３および第２クランプ部４４を合わせて「クランプ部４３，４４」ともいう）との接触（衝突）が回避され、かつ回路基板１００のテストクーポン１１３が各クランプ部４３，４４によって覆われない位置（以下、この位置を「プロービング位置」ともいう）に各第１クランプ機構３１を移動させる。この場合、この固定装置２では、上記したように、第２クランプ部４４の本体部４４ａが、隣接する他の本体部４４ａと互いに離間した状態で並設可能に構成され、かつ第２クランプ部４４に突出形成された突起部４４ｂの長さＬ３および第１クランプ部４３の先端部４３ａの長さＬ１が、本体部４４ａの長さＬ２の１／３程度の狭幅の長さに規定されている（図４，６参照）。このため、この固定装置２では、上記したプロービング位置に各第１クランプ機構３１を位置合わせすることが可能となっている。続いて、固定ねじ４１ａを締め付けることにより、各第１クランプ機構３１を固定する。以上により、第１クランプ機構３１の位置合わせが完了する。
【００３０】
次に、図外の操作部を用いて検査開始の操作を行う。これに応じて、制御部４が、電磁弁１５を制御して、第１クランプ機構３１のエアシリンダ４２および第２クランプ機構３２のエアシリンダ５２に対してコンプレッサ１４からのエアを供給させる。この際に、各第１クランプ機構３１では、図７に示すように、エアシリンダ４２のロッド４２ａが突出して第２クランプ部４４がスプリング４５の付勢力に抗して回動させられ、これによって第２クランプ部４４の突起部４４ｂが第１クランプ部４３の先端部から離反する。同様にして、第２クランプ機構３２においても、エアシリンダ５２のロッド５２ａの突出によってクランプ部５３が回動させられてその先端部５３ａが支持板２２の先端部２２ａから離反する。
【００３１】
次いで、図６に示すように、各第１クランプ部４３の先端部４３ａによって回路基板１００の縁部１０１ａが支持され、支持板２２の先端部２２ａによって回路基板１００の縁部１０１ｂが支持されるように回路基板１００を載置する。続いて、制御部４が、電磁弁１５を制御して、エアシリンダ４２，５２に対するエアの供給を停止させる。この際に、各第１クランプ機構３１では、図８に示すように、エアシリンダ４２のロッド４２ａの突出が解除されて、それに伴ってスプリング４５の付勢力によって第２クランプ部４４が回動し、突起部４４ｂによって回路基板１００の縁部１０１ａが押圧される。同様にして、第２クランプ機構３２においても、エアシリンダ５２におけるロッド５２ａの突出解除に伴ってクランプ部５３が回動させられてその先端部５３ａが回路基板１００の縁部１０１ｂを押圧する。これにより、回路基板１００の縁部１０１ａ，１０１ｂが第１クランプ機構３１および第２クランプ機構３２によってそれぞれクランプされて、回路基板１００が固定される。
【００３２】
次いで、制御部４は、プロービング装置３ａ，３ｂを制御することにより、回路基板１００における１つの回路基板本体１１２（例えば、図６に示す回路基板本体１１２ａ）の両面に向けて各プローブユニット２０１をそれぞれ移動させて、回路基板本体１１２ａの導体パターンにプローブピン２０２を接触（プロービング）させる。この場合、上記したプロービング位置に各第１クランプ機構３１が位置合わせされているため、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂと各クランプ部４３，４４との接触を回避しつつ、プローブユニット２０１の基体部２０１ａに配設されているプローブピン２０２を回路基板本体１１２ａの導体パターンに確実に接触させることが可能となっている。続いて、制御部４は、プローブユニット２０１を介して入力した電気信号に基づいて所定の電気的検査を実行する。
【００３３】
次いで、制御部４は、プロービング装置３ａ，３ｂを制御して、回路基板本体１１２ａに隣接する次の回路基板本体１１２（この例では、図６に示す回路基板本体１１２ｂ）の両面に向けて各プローブユニット２０１を移動させる。この場合、上記したプロービング位置に各第１クランプ機構３１が位置合わせされているため、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂと各クランプ部４３，４４との接触を回避しつつ、プローブユニット２０１の基体部２０１ａに配設されているプローブピン２０２を回路基板本体１１２ｂの導体パターンに確実に接触させることが可能なことに加えて、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂに配設されているプローブピン２０２をテストクーポン１１３に確実に接触させることが可能となっている。続いて、制御部４は、プローブユニット２０１を介して入力した電気信号に基づいて所定の電気的検査を実行する。
【００３４】
次いで、制御部４は、上記した各制御を行って回路基板本体１１２ｃ，１１２ｄの各導体パターンＰに対するプローブユニット２０１（プローブピン２０２）のプロービングを行うと共に、プローブユニット２０１を介して入力した電気信号に基づいて所定の電気的検査を実行する。続いて、各回路基板本体１１２ａ〜１１２ｄについての検査を終了したときには、制御部４は、電磁弁１５を制御して、各クランプ機構３１，３２の各エアシリンダ４２，５２にエアを供給させる。この際に、エアシリンダ４２のロッド４２ａの突出によって第２クランプ部４４が回動させられて、その突起部４４ｂが回路基板１００の縁部１０１ａから離反する。また、エアシリンダ５２のロッド５２ａの突出によってクランプ部５３が回動させられてその先端部５３ａが回路基板１００の縁部１０１ｂから離反する。次いで、検査の終了した回路基板１００を固定装置２から取り出し、続いて、他の回路基板１００を載置して上記と同様にして検査を実行する。
【００３５】
このように、この固定装置２では、第１クランプ部４３と、本体部４４ａおよび本体部４４ａに突出形成された突起部４４ｂを有する第２クランプ部４４とを備えて第１方向に沿って移動可能に並設された３つの第１クランプ機構３１で第１固定機構１３ａが構成され、本体部４４は、長さＬ１が第１クランプ機構３１の第１方向に沿った最大の長さとなりかつ隣接する他の本体部４４と互いに離間した状態で並設可能に構成され、第１クランプ部４３は、長さＬ１が突起部４４ｂの長さＬ３と同等に規定されている。このため、この回路基板固定装置では、回路基板の縁部に設けられているテストクーポンに接触させるためのテストクーポン用の検査用プローブと各クランプ部との接触が回避され、かつ回路基板のテストクーポンが各クランプ部によって覆われない状態、つまりテストクーポンに対するテストクーポン用の検査用プローブの接触が可能な状態で回路基板を確実に固定することができる。このため、この固定装置２では、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂと各クランプ部４３，４４との接触が回避され、かつ回路基板１００のテストクーポン１１３が各クランプ部４３，４４によって覆われない状態、つまりテストクーポン１１３に対するプローブピン２０２の接触が可能な状態で回路基板１００を確実に固定することができる。
【００３６】
また、この固定装置２では、開口部１１ａを跨ぐようにして第１方向に沿って配設されると共に第２方向に沿って移動可能に構成された梁部材１２に各第１クランプ機構３１が並設されている。このため、この固定装置２によれば、回路基板１００のサイズ（第２方向に沿った長さ）に合わせて梁部材１２を移動させることで、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂと各クランプ部４３，４４との接触を回避し、かつテストクーポン１１３を各クランプ部４３，４４によって覆わない状態で、幅や長さの異なる複数種類の回路基板１００を確実に固定することができる。
【００３７】
また、この検査装置１によれば、上記の固定装置２を備えたことにより、プローブユニット２０１におけるテストクーポン１１３用の突出部２０１ｂと各クランプ部４３，４４との接触を回避し、かつテストクーポン１１３を各クランプ部４３，４４によって覆わない状態で回路基板１００を確実に固定することができるため、回路基板本体１１２およびテストクーポン１１３に対してプローブユニット２０１のプローブピン２０２を確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。
【００３８】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、第２クランプ機構３２を備えて構成した第２固定機構１３ｂを例に挙げて説明したが、第２クランプ機構３２に代えて、第１クランプ機構３１と同じ構成の複数のクランプ機構を備えて第２固定機構１３ｂを構成することもできる。この構成によれば、互いに対向する２つの縁部１０１（上記の例では、縁部１０１ａ，１０１ｂ）にテストクーポン１１３が設けられている回路基板１００を固定する際においても、プローブユニット２０１の突出部２０１ｂと各クランプ部４３，４４との接触が回避され、かつテストクーポン１１３に対するプローブピン２０２の接触が可能な状態で回路基板１００を確実に固定することができる。
【００３９】
また、３つの第１クランプ機構３１を備えた例について上記したが、第１クランプ機構３１の数は３つに限定されず、２つまたは４つ以上の任意の数に規定することができる。また、２つのプロービング装置３ａ，３ｂを備えて回路基板１００の両面にプローブユニット２０１をプロービングさせる例について上記したが、プロービング装置を１つだけ備えた構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】固定装置２の平面図である。
【図３】回路基板１００の平面図である。
【図４】第１クランプ機構３１ａおよび梁部材１２の斜視図である。
【図５】プローブユニット２０１の構成を説明するための説明図であって、左図はプローブユニット２０１単体の上面図であり、右図は回路基板上にプローブユニット２０１を仮想的に載置したときの上面図である。
【図６】検査装置１の使用方法を説明するための説明図である。
【図７】第１クランプ機構３１ａの動作を説明するための第１の説明図である。
【図８】第１クランプ機構３１ａの動作を説明するための第２の説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  検査装置
２  固定装置
３ａ，３ｂ  プロービング装置
４  制御部
１１  基台本体
１１ａ  開口部
１２  梁部材
１３ａ  第１固定機構
１３ｂ  第２固定機構
２１ａ〜２１ｄ  開口縁部
２３ａ，２３ｂ  レール
２４ａ，２４ｂ  スライダー
３１  第１クランプ機構
４１  基体部
４３  第１クランプ部
４４  第２クランプ部
４４ａ  本体部
４４ｂ  突起部
１００  回路基板
１０１ａ〜１０１ｄ縁部
２０２  プローブピン
２０１  プローブユニット
Ｃ  中央部
Ｌ１〜Ｌ３  長さ
【図１】
2010045282.tif 000003
【図２】
2010045282.tif 000004
【図３】
2010045282.tif 000005
【図４】
2010045282.tif 000006
【図５】
2010045282.tif 000007
【図６】
2010045282.tif 000008
【図７】
2010045282.tif 000009
【図８】
2010045282.tif 000010