(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドの駆動部を薄膜型に実現でき、これによりインクジェットヘッドの電気的特性を改善できる、インクジェットヘッド及びその製造方法を提供すること。【解決手段】インクが収容されるチャンバ１１４と、チャンバ１１４の一側に形成され、一面に収容溝２１０が形成されるメンブレイン２１２と、収容溝２１０の内面に形成される下部電極２２１と、収容溝２１０に収容される圧電体３００と、を備えるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【選択図】図１
2010201914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが収容されるチャンバと、
前記チャンバの一側に形成され、一面に収容溝が形成されるメンブレインと、
前記収容溝の内面に形成される下部電極と、
前記収容溝に収容される圧電体と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記圧電体は、前記下部電極の一側が露出するように前記収容溝に収容されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
一端が前記メンブレインの形成されるインクジェットヘッドの一面まで延長されていて、他端が前記下部電極の一側に結合されている連結部をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記圧電体は、前記下部電極の両側が露出するように前記収容溝に収容され、
前記連結部の他端は、前記下部電極の両側にそれぞれ結合されることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記圧電体の上面及び前記連結部の一端は、前記メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面と同一平面上に形成されることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記圧電体上に結合される上部電極と、
前記連結部の一端に結合されるように前記メンブレインが形成されたインクジェットヘッドの一面に形成される接地部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
インクが収容されるチャンバの一側にメンブレインが形成されるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面に収容溝を形成する工程と、
前記収容溝の内面に下部電極を形成する工程と、
前記収容溝に圧電体を載置する工程と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記圧電体を載置する工程は、前記下部電極の一側が露出するように行われ、
前記圧電体を載置する工程の後に、前記下部電極の一側に電気メッキを行って連結部を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記下部電極を形成する工程は、前記メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面に導電性物質を蒸着して行われ、
前記連結部を形成する工程の後に、前記連結部の一端が露出するように、前記圧電体の一面と前記メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面を研磨する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記研磨する工程の後に、
前記圧電体上に上部電極を形成する工程と、
前記連結部の一端に結合されるように前記メンブレインが形成されたインクジェットヘッドの一面に接地部を形成する工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記研磨する工程は、前記圧電体の一面、前記連結部の一端、及び前記メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面が同一平面上に形成されるように行われることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記収容溝を形成する工程が、前記インクジェットヘッドの一面をエッチングして行われることを特徴とする請求項７から１１の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタは、電気的信号を物理的な力に変換して、ノズルを介してインク液滴を吐出することにより印刷が行われる装置である。インクジェットヘッドは、チャンバ、リストリクタ、ノズルなどの多様な部品をそれぞれの層に加工し、これらを互いに接合する方式で作製することができる。
【０００３】
チャンバの一側には駆動部が結合されており、インクジェットヘッドはチャンバ内に収容されるインクに圧力を加えてインクを吐出することになる。ここで、駆動部には、圧電体と、圧電体に電気的に接続する上部電極及び下部電極とが含まれる。
【０００４】
近年、インクジェットヘッド技術は、紙や繊維に印刷する従来のグラフィックインクジェットの産業分野だけではなく、プリント基板、ＬＣＤパネルなどの電子部品製作においても用いられるなど、その適用が拡大されている。
【０００５】
このような状況において、駆動部分はインクの吐出特性を決定する重要な構成要素であり、振動変位が大きくて駆動電圧が低いほど駆動回路の作製が容易となるため、圧電体の薄膜化が求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来技術の問題点に鑑み、本発明は、より薄型化された駆動部を備えたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態によれば、インクが収容されるチャンバと、チャンバの一側に形成され、一面に収容溝が形成されるメンブレインと、収容溝の内面に形成される下部電極と、収容溝に収容される圧電体と、を備えるインクジェットヘッドが提供される。
【０００８】
ここで、圧電体は下部電極の一側が露出するように収容溝に収容されてもよい。また、インクジェットヘッドは、一端がメンブレインの形成されたインクジェットヘッドの一面まで延長され、他端が下部電極の一側に結合される連結部をさらに備えることができ、圧電体は下部電極の両側が露出するように収容溝に収容され、連結部の他端は下部電極の両側にそれぞれ結合されることができる。
【０００９】
そして、圧電体の上面及び連結部の一端は、メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面と同一平面上に形成でき、インクジェットヘッドは、圧電体上の上部電極と、連結部の一端に結合されるようにメンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面に形成される接地部と、をさらに備えることができる。
【００１０】
また、本発明の他の実施形態によれば、インクが収容されるチャンバの一側にメンブレインが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面に収容溝を形成する工程と、収容溝の内面に下部電極を形成する工程と、収容溝に圧電体を載置する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
【００１１】
ここで、圧電体を載置する工程は、下部電極の一側が露出するように行われ、インクジェットヘッドの製造方法は、圧電体を載置する工程の後に、下部電極の一側に電気メッキを行って連結部を形成する工程をさらに含むことができる。
【００１２】
そして、下部電極を形成する工程は、メンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面に導電性物質を蒸着して行われ、インクジェットヘッドの製造方法は、連結部を形成する工程の後に、連結部の一端が露出するように、圧電体の一面とメンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面を研磨する工程をさらに含むことができる。
【００１３】
また、インクジェットヘッドの製造方法は、研磨工程の後に、圧電体上に上部電極を形成する工程と、連結部の一端に結合されるようにメンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面に接地部を形成する工程をさらに含むことができる。
【００１４】
ここで、研磨工程は、圧電体の一面、連結部の一端、及びメンブレインが形成されるインクジェットヘッドの一面が同一平面上に形成されるように行われる。一方、収容溝を形成する工程は、インクジェットヘッドの一面をエッチングして行われる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の実施形態によれば、インクジェットヘッドの駆動部を薄膜型に実現することができ、これによりインクジェットヘッドの電気的特性を改善することができる。
【００１６】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドを示す側断面図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドを示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドを示す平面図である。
【図４】図４は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法の順序を示すフローチャートである。
【図５】図５は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドを示す断面図である。
【図６】図６は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの収容溝を示す正断面図である。
【図７】図７は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの収容溝を示す側断面図である。
【図８】図８は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの収容溝を示す平面図である。
【図９】図９は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの下部電極層を示す側断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの下部電極層を示す平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの圧電体を示す側断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの圧電体を示す平面図である。
【図１３】図１３は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの連結部層を示す側断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの連結部層を示す平面図である。
【図１５】図１５は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの研磨された圧電体を示す側断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの研磨された圧電体を示す平面図である。
【図１７】図１７は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの上部電極及び接地部を示す側断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッドの上部電極及び接地部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施形態を有することができるため、本願では特定の実施形態のみを図面に例示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。
【００１９】
以下、本発明によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。添付図面を参照して説明するに当たって、同一または対応する構成要素は同一の図面番号を付し、これに対する重複説明は省略する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１００を示す側断面図であり、図２は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１００を示す断面図であり、図３は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１００を示す平面図である。
【００２１】
図１から図３に示すように、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１００は、インクが収容されるチャンバ１１４と、チャンバ１１４の一側に形成され、一面に収容溝２１０が形成されるメンブレイン２１２と、収容溝２１０の内面に形成される下部電極２２１と、収容溝２１０に収容される圧電体３００と、を備えることにより、インクジェットヘッド１００の駆動部６００を薄膜型に実現することができ、これによりインクジェットヘッド１００の電気的特性を改善することができる。
【００２２】
図１に示すように、チャンバ１１４はインクジェットヘッド１００の内部に形成され、インクが収容される空間を提供する。チャンバ１１４の下側にはノズル１１２が形成され、チャンバ１１４に収容されているインクは、ノズル１１２を介してインクジェットヘッド１００の外部に吐出される。
【００２３】
チャンバ１１４は、リストリクタ１１６を介してインクが貯留されるリザーバ１１８に連結され、リザーバ１１８からインクの供給を受ける。図２に示すように、チャンバ１１４は複数形成でき、リザーバ１１８は複数のチャンバ１１４に連結されて、それぞれのチャンバ１１４にインクを供給することができる。
【００２４】
リザーバ１１８の一側にはインクジェットヘッド１００の外部からインクの供給を受ける流入口（図示せず）が形成できる。リストリクタ１１６は、チャンバ１１４とリザーバ１１８との間に介在し、リザーバ１１８内のインクがチャンバ１１４に供給される通路を提供する。
【００２５】
チャンバ１１４におけるノズル１１２と対向する側にはメンブレイン２１２が形成される。メンブレイン２１２は、駆動部６００によって発生した振動をチャンバ１１４に伝達する振動板としての役割を果たす。
【００２６】
駆動部６００は、圧電体３００と、圧電体３００に電気的に接続して圧電体３００の下面に結合される下部電極２２１と、圧電体３００の上面に結合される上部電極５１０と、を含むことができる。
【００２７】
駆動部６００が動作すると、メンブレイン２１２の形態が変化してチャンバ１１４内部の容積が変化し、これによりチャンバ１１４に収容されているインクがノズル１１２を介して吐出される。
【００２８】
メンブレイン２１２の上面には、収容溝２１０が形成される。収容溝２１０は、後述する圧電体３００及び下部電極２２１を収容できる空間を提供する。収容溝２１０はメンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面に、圧電体３００を収容できる構造に形成されており、インクジェットヘッド１００の一面と圧電体３００を共に研磨することにより圧電体３００の厚さを調節できる構造を有する。
【００２９】
したがって、より薄型化された圧電体３００を備えたインクジェットヘッド１００の実現が容易となり、図２に示すように、圧電体３００の両側を支持しているため、圧電体３００とインクジェットヘッド１００の一面を研磨する工程において、圧電体３００とインクジェットヘッド１００との位置合わせがなされる。
【００３０】
下部電極２２１は、収容溝２１０の内面に形成される。下部電極２２１は、図２に示すように、互いに分離される複数の圧電体３００に共通に電気的に接続させることもできる。下部電極２２１は収容溝２１０の底面及び側面に沿って形成され、圧電体３００の底面と接している。
【００３１】
図３に示すように、収容溝２１０は全体的にインクジェットヘッド１００の両側に延長される形態を有する。収容溝２１０の両端は、下部電極２２１の両側、すなわち収容溝２１０の前後方向に延長されるように形成され、この中、後方に延長される部分（図１及び図３のＡ部分）により下部電極２２１の一側が露出する空間が提供される。
【００３２】
連結部４０１は、下部電極２２１と接地部５２０との間を電気的に接続するように、その一端はメンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面まで延長され、他端は下部電極２２１のうちの圧電体３００でカバーされない下部電極２２１の一側に結合される。
【００３３】
連結部４０１は、収容溝２１０の両端の前後方向に延長される部分に収容溝２１０の内壁に沿って形成されてもよい。連結部４０１は導電性金属からなり、下部電極２２１との電気的な接続は、インクジェットヘッド１００の一面上に形成される接地部５２０により可能となる。
【００３４】
接地部５２０は、下部電極２２１と電気的に接続し、圧電体３００と外部接地電極とを電気的に接続可能とする部分である。すなわち、接地部５２０は、収容溝２１０に収容される圧電体３００と下部電極２２１との電気的な接続を形成する方法を提供する。そして、圧電体３００の上面の高さとメンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面の高さとが同じであれば、それぞれの圧電体３００に電気的な接続を提供するようにそれぞれの圧電体３００上に形成される上部電極５１０と接地部５２０とを同時に形成できるので、製造工程の短縮及び収率向上を図ることができる。
【００３５】
また、上部電極５１０を厚膜形態で形成すると、それぞれの上部電極５１０にワイヤを用いて電気的に接続させる場合、上部電極５１０の全てに亘って温度を均一に上昇させることができるため、ワイヤと上部電極５１０との間の構造的な結合力を向上させて、それらの間の電気的接続の信頼性を向上させることができる。
【００３６】
図４は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の製造方法の順序を示すフローチャートである。図４に示すように、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の製造方法は、インクジェットヘッド１００の一面に圧電体３００が収容される構造を形成して、より薄型化された駆動部６００を備えたインクジェットヘッド１００の製造方法を提供することができる。
【００３７】
図５は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００を示す断面図である。図５に示すように、先ず、駆動部６００が形成されていないインクジェットヘッド１００を用意する。
【００３８】
インクジェットヘッド１００の内部にはインクを収容するチャンバ１１４が形成され、チャンバ１１４の下側にはインクを吐出するノズル１１２が形成される。ノズル１１２の他側、すなわちインクジェットヘッド１００の一面は、後にメンブレイン２１２が形成される部分であって、シリコンウェハ２００が形成される。
【００３９】
図６は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の収容溝２１０を示す断面図であり、図７は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の収容溝２１０を示す側断面図であり、図８は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の収容溝２１０を示す平面図である。
【００４０】
メンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面をエッチングしてインクジェットヘッド１００の一面に収容溝２１０を形成する（図４のステップＳ１００）。図６に示すように、インクジェットヘッド１００には複数のチャンバ１１４を並べて形成でき、収容溝２１０は複数のチャンバ１１４を並べて配置される方向に延長することができる。
【００４１】
収容溝２１０は、インクジェットヘッド１００の一面を形成するシリコンウェハ２００を湿式エッチングすることで形成することができる。収容溝２１０の両端には、インクジェットヘッド１００の前後方向に拡張する部分が形成されてもよく、この部分は図７に示すように、収容溝２１０の側壁が傾斜するように形成されてもよい。
【００４２】
収容溝２１０の底面はチャンバ１１４をカバーしており、収容溝２１０の底面は圧電体３００により発生した振動をチャンバ１１４に伝達するメンブレイン２１２としての機能を果たすことができる。収容溝２１０の形成工程において、エッチングされるシリコンウェハ２００の厚さを調節することにより、メンブレイン２１２の厚さを決定することができる。
【００４３】
図９は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の下部電極層２２０を示す側断面図であり、図１０は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の下部電極層２２０を示す平面図である。
【００４４】
図９及び図１０に示すように、メンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面に導電性物質を蒸着して収容溝２１０の内面に下部電極層２２０を形成することができる（図４のステップＳ２００）。
【００４５】
下部電極層２２０はインクジェットヘッド１００の一面の全体に亘って形成でき、収容溝２１０の底面及び側面にも形成できる。下部電極層２２０は、例えば白金（Ｐｔ）とチタニウム（Ｔｉ）を含んで形成される。
【００４６】
図１１は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の圧電体３００を示す側断面図であり、図１２は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の圧電体３００を示す平面図である。
【００４７】
図１１及び図１２に示すように、下部電極２２１の一側２２２が露出するように収容溝２１０に圧電体３００を載置する（図４のステップＳ３００）。圧電体３００は、圧電物質がバインダと共に焼結されたバルク形態であってもよい。
【００４８】
圧電体３００の両端の、インクジェットヘッド１００の前後方向に拡張される部分から、収容溝２１０の底面に形成される下部電極層２２０の一側２２２が露出することになる。圧電体３００を収容溝２１０の底面に載置する際に、圧電体３００と収容溝２１０の底面との間に接着層を介在してもよい。
【００４９】
一方、収容溝２１０の内壁は、メンブレイン２１２上に結合される圧電体３００の配置がずれない範囲内で圧電体３００の外壁との間に間隔を有することができ、これにより、圧電体３００の外壁を支持して圧電体３００とメンブレイン２１２との間の位置合わせを改善させることができる。
【００５０】
図１３は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の連結部層４００を示す側断面図であり、図１４は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の連結部層４００を示す平面図である。
【００５１】
図１３及び図１４に示すように、下部電極２２１の一側に電気メッキを行って連結部層４００を形成する（図４のステップＳ４００）。インクジェットヘッド１００の一面には、圧電体３００が載置された部分を除き、下部電極層２２０が形成されており、この下部電極層２２０をシード層にしてインクジェットヘッド１００の一面に電気メッキを行うことができる。
【００５２】
このとき、収容溝２１０の内部に形成される連結部層４００の厚さと、後の工程で研磨された圧電体３００が有する厚さとが同じになるように電気メッキを行うことができる。これにより、収容溝２１０の両端の、インクジェットヘッドの前後方向に拡張された部分を導電性物質で充填することができる。
【００５３】
図１５は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の研磨された圧電体３００を示す側断面図であり、図１６は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の研磨された圧電体３００を示す平面図である。
【００５４】
図１５及び図１６に示すように、圧電体３００の一面、連結部４０１の一端、及びメンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面が同一平面をなすように、圧電体３００の一面、連結部４０１の一端、及びメンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面を研磨する（図４のステップＳ５００）。
【００５５】
研磨工程は、圧電体３００の最終厚さを形成するために行われ、このとき、インクジェットヘッド１００の一面に形成されている下部電極層２２０と連結部層４００は、収容溝２１０内に形成された部分を除き、除去できる。
【００５６】
したがって、収容溝２１０の内部に残存する下部電極層２２０は、圧電体３００に電気的な接続を形成するように圧電体３００の底面に結合される下部電極２２１を形成することができる。
【００５７】
そして、収容溝２１０の内部に残存する連結部層４００は、下部電極層２２０と電気的に接続するように、下部電極２２１の一側に結合される連結部４０１を形成することができる。連結部４０１はインクジェットヘッド１００の一面に露出するように形成される。
【００５８】
結果的に、連結部４０１は収容溝２１０に収容される圧電体３００と下部電極２２１との電気的接続をインクジェットヘッド１００の一面に延長させる媒介となる。そして圧電体３００の研磨工程において、収容溝２１０の内壁が圧電体３００の外壁を支持しているため、研磨工程中に発生し得る圧電体３００の外壁崩壊を防止することができる。
【００５９】
一方、研磨工程により、圧電体３００の厚さを必要な厚さに調節できるため、より薄型化された圧電体３００を備えた駆動部６００を有するインクジェットヘッド１００を製造することができる。
【００６０】
図１７は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の上部電極５１０及び接地部５２０を示す側断面図であり、図１８は、本発明の他の一実施形態によるインクジェットヘッド１００の上部電極５１０及び接地部５２０を示す平面図である。
【００６１】
図１７及び図１８に示すように、圧電体３００上に上部電極５１０を形成し（図４のステップＳ６００）、連結部４０１の一端に結合されるように、メンブレイン２１２が形成されるインクジェットヘッド１００の一面に接地部５２０を形成する（図４のステップＳ７００）。
【００６２】
上部電極５１０は、圧電体３００を電気的に接続させるために圧電体３００の上面に結合することができ、例えば、圧電体３００上に導電性物質をパターニングまたは蒸着することで、上部電極５１０を形成可能であり、厚膜形態で形成してもよい。
【００６３】
厚膜形態の上部電極５１０は、上部電極５１０の電気的接続によって上部電極５１０の全てにわたって均一に温度を上昇させることができ、これにより、上部電極５１０上にワイヤを結合する工程において、鉛のワイヤ先端の拡散性を向上させて、ワイヤと上部電極５１０との間の構造的結合力を向上させることで、さらに電気的接続の信頼性を高めることができる。
【００６４】
接地部５２０は、連結部４０１により下部電極２２１に電気的な接続を提供でき、インクジェットヘッド１００が外部接地電極と接続できる部分である。接地部５２０は、上部電極５１０と同様に、導電性物質をパターニングまたは蒸着することで形成できる。
【００６５】
また、圧電体３００の上面、連結部４０１の一端、及びインクジェットヘッド１００の一面が同一平面上に形成されるため、上部電極５１０を形成する工程（図４中のステップＳ６００）と接地部５２０を形成する工程（図４中のステップＳ７００）とが一つの工程で同時に行われることができる。したがって、全体の工程数を短縮させ、製造工程の収率を向上させることができる。
【００６６】
その後、図２及び図３に示すように、圧電体３００と上部電極５１０はそれぞれのチャンバ１１４の位置に応じて切断され、それぞれのチャンバ１１４に対応する駆動部６００を形成することができる。
【００６７】
以上、本発明について実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。実施形態には、多様な変更または改良を加えることが可能である。その様な変更または改良を加えた形態も、本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００６８】
１００  インクジェットヘッド
１１４  チャンバ
２００  シリコンウェハ
２１０  収容溝
２１２  メンブレイン
２２１  下部電極
４０１  連結部
５２０  接地部
【図１】
2010201914.tif 000003
【図２】
2010201914.tif 000004
【図３】
2010201914.tif 000005
【図４】
2010201914.tif 000006
【図５】
2010201914.tif 000007
【図６】
2010201914.tif 000008
【図７】
2010201914.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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