(57)【要約】【課題】ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】１次貼付工程にて第１押圧ヘッド３３によりテープＴの第１接着領域を接着シートＳに貼付し、１次剥離工程にて接着シートＳの端部をウェハＷから剥離してから、２次貼付工程にて第２押圧ヘッド３４によりテープＴの第２接着領域を接着シートＳに貼付し、２次剥離工程にて接着シートＳ全体をウェハＷから剥離することで、接着シートＳを段階的に剥離することができる。従って、ウェハＷの起き上がりに伴う割れを防止して接着シートＳをウェハＷから円滑に剥離することができる。【選択図】図１
2010028061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記貼付手段は、第１押圧ヘッドおよび第２押圧ヘッドを含んだ少なくとも２つの押圧ヘッドを有して構成され、前記第１押圧ヘッドにより前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付し、前記第２押圧ヘッドにより前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、
前記被着体と前記貼付手段とを相対移動させて前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する位置を第１貼付位置および第２貼付位置を含んだ少なくとも２箇所の貼付位置に移動させる貼付位置移動手段とを備え、
前記第１貼付位置において前記貼付手段により前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付し、前記第２貼付位置において前記貼付手段により前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて１次剥離を行い、この１次剥離の後に、前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて２次剥離を行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、
前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記剥離用テープの第１接着領域は、前記被着体の端縁に沿って設けられ、前記第２接着領域は、前記第１接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第１接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項６】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰出す工程と、
前記繰出された剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する１次貼付工程と、
前記１次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する１次剥離工程と、
前記１次剥離工程に続いて、前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する２次貼付工程と、
前記２次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートを剥離する２次剥離工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体チップを小型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという）の裏面を研削して薄くする工程がある。この研削工程においてはウェハの表面（回路が形成された面）に接着シートを接着するとともに、研削工程の後にこの接着シートはウェハから剥離される。そして、このような接着シートの剥離方法としては、剥離用テープを接着シートの端部に接着し、この剥離用テープを引っ張って接着シートをウェハから剥離する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載されたような従来の剥離方法では、接着シートの端部における剥離用テープの接着領域としては、ウェハの外周に沿った周方向の長さと、ウェハの中心に向かう径方向の長さ（特許文献１では、距離ｄであり、ｄ≦３mm）とで規定され、この接着領域は、回路面が形成されることのない余剰領域を基に設定されている。
【０００５】
ここで、図６（Ａ）に示すように、感熱接着性の接着剤を有する剥離用テープＴを用いて接着シート９１を剥離する場合、接着領域９０に接着剤を溶着すると、接着剤は経時とともに硬化する傾向がある。このように硬化した剥離用テープＴを引っ張って接着シート９１の剥離を行うと、図６（Ｂ）に示すように、剥離用テープＴで引っ張られた接着領域９０が面状に同時に起き上がろうとする。その結果、接着領域９０に隣り合うウェハＷの境界部分Ｗ１に作用する応力が大きくなってしまい、境界部分Ｗ１でウェハＷが剥離用テープＴとともに起き上がってしまう。さらに、ウェハＷの起き上がりが大きくなると、場合によってはウェハＷが割れてしまう可能性もあった。なお、ウェハＷが割れたとしても、前述のようにウェハＷの余剰領域に接着領域９０が設けられているので、ウェハＷから半導体チップを製造することには大きな支障はない。
このようなウェハＷの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域９０のウェハＷの中心に向かう径方向の長さ（距離ｄ０）を短くすれば、解消されるが、ウェハＷの全面から接着シート９１を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープＴが接着シート９１から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
【０００６】
本発明は、以上のような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、第１押圧ヘッドおよび第２押圧ヘッドを含んだ少なくとも２つの押圧ヘッドを有して構成され、前記第１押圧ヘッドにより前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付し、前記第２押圧ヘッドにより前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付する、という構成を採用している。
【０００８】
また、本発明のシート剥離装置は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、前記被着体と前記貼付手段とを相対移動させて前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する位置を第１貼付位置および第２貼付位置を含んだ少なくとも２箇所の貼付位置に移動させる貼付位置移動手段とを備え、前記第１貼付位置において前記貼付手段により前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付し、前記第２貼付位置において前記貼付手段により前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付する、という構成を採用することもできる。
【０００９】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて１次剥離を行い、この１次剥離の後に、前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて２次剥離を行うことが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることが好ましい。
【００１１】
また、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープの第１接着領域は、前記被着体の端縁に沿って設けられ、前記第２接着領域は、前記第１接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第１接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることが好ましい。
【００１２】
一方、本発明のシート剥離方法は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記被着体を保持する工程と、前記剥離用テープを繰出す工程と、前記繰出された剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する１次貼付工程と、前記１次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する１次剥離工程と、前記１次剥離工程に続いて、前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する２次貼付工程と、前記２次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートを剥離する２次剥離工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上のような本発明によれば、複数の押圧ヘッドにより複数回に分けて剥離用テープを接着シートに貼付、または、貼付位置移動手段で複数の貼付位置に相対移動させた貼付手段により複数回に分けて剥離用テープを接着シートに貼付することで、剥離用テープを段階的に接着シートに貼付することができる。従って、第１接着領域による接着面積としては、接着シートの端部のみを剥離するのに十分な接着面積に設定しておくことで、この第１接着領域を接着した状態で接着シートの端部を被着体から確実に剥離することができる（１次剥離）。すなわち、被着体の端部における接着面積が相対的に小さい接着状態において、先ず接着シートの端部のみを被着体から剥離することにより、被着体端部の起き上がりを抑制して被着体の起き上がりや割れを防止しつつ、接着シートの端部から確実に剥離することができる。
【００１４】
そして、第２接着領域の接着面積、または第２接着領域以降の接着領域の接着面積を、接着シート全体を剥離するために必要とされる接着面積以上に設定しておくことで、接着シート全体を被着体から剥離することができる。また、この全体剥離（２次剥離）に際しては、前記１次剥離によって接着シートの端部が剥離された状態となっているので、接着面積が大きくなって面状に同時に起き上がっても被着体に何ら影響を与えることはなく、相対的に大きな張力が必要な被着体中間部であっても、接着領域はその引っ張り力に抵抗することができるので、被着体の起き上がりを防止しつつ、接着シート全体を被着体から確実に剥離することができる。
以上のような本発明のシート剥離装置およびシート剥離方法によれば、段階的に剥離用テープを接着シートに貼付して剥離することで、被着体の起き上がりを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
【００１５】
さらに、剥離用テープが感熱接着性の接着テープであれば、感圧接着性の接着テープに比較して高い接着力が得られるため、各接着領域の接着面積を小さくすることができ、被着体の起き上がりをさらに抑制することができる。そして、感熱接着性の接着テープを用いることで、所定の接着領域（第１接着領域や第２接着領域）のみを正確に接着することができるうえ、常温で接着力がないため、感圧接着性の接着テープを採用したときのように装置各所に非接着処理を施すといった装置の構成に注意を払う必要がなくなる。
【００１６】
また、剥離用テープの第１接着領域を被着体の端縁に沿って設け、第２接着領域を第１接着領域よりも被着体の中央寄りに、かつ第１接着領域よりも広く設けることで、接着シートの端部を確実に剥離してから接着シート全体を剥離することができ、被着体の起き上がりをさらに効果的に防止することができる。この際、第２接着領域の接着面積としては、第１接着領域の接着面積よりも大きく、被着体がウェハの場合にその回路面が形成されることのない余剰領域を超えないことが好ましい。
さらに、１次剥離においては、第２接着領域を超えた領域までを剥離しておくことが好ましい。このようにすることで２次剥離において、第２接着領域の接着部分が面状に起き上がっても、被着体に何ら影響を与えることなく接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
【００１８】
〔第１実施形態〕
図１は、第１実施形態に係るシート剥離装置１を示す側面図である。
図１において、シート剥離装置１は、被着体としてのウェハＷの表面に貼付された接着シートＳを剥離用テープであるテープＴを用いて剥離する装置であって、ウェハＷを保持する保持手段であるテーブル１０と、テープＴを繰出す繰出手段である繰出ユニット２０と、繰出されたテープＴを接着シートＳに貼付する貼付手段である貼付ユニット３０と、ウェハＷとテープＴとを相対移動させる移動手段４０とを備えて構成されている。なお、ウェハＷはダイシングテープＤを介してリングフレーム１２と一体化されている。
【００１９】
テーブル１０は、図示しない吸引口を介してウェハＷを吸着保持する平板状のテーブル本体１１からなり、リングフレーム１２と一体化されたウェハＷをダイシングテープＤ側から吸着保持可能に構成されている。
【００２０】
繰出ユニット２０は、図示しない離脱装置に支持されて上下移動可能に設けられた繰出ユニット本体２１と、この繰出ユニット本体２１に設けられた支持ローラ２２およびガイドローラ２３，２４と、繰出ユニット本体２１下部に設けられてテープＴを下方から支持するテープ支持部２５と、テープＴを把持する把持爪２７を含むチャック部材２８と、テープ支持部２５の上方に設けられて繰り出されたテープＴを切断するテープ切断部２６とを備えて構成されている。テープ支持部２５は、繰出ユニット本体２１に固定されるブッシュ２５１と、このブッシュ２５１に進退自在に支持されるロッド２５２と、このロッド２５２の先端に固定されるとともにカッター溝２５５を有するテープ受け板２５３と、テープ受け板２５３をブッシュ２５１から突出する方向に付勢するコイルばね２５４とを有して構成されている。テープ切断部２６は、テープＴを切断するカッター刃２６１と、テープＴを切断する際にカッター刃２６１を上下駆動させて当該カッター刃２６１をカッター溝２５５内に案内する上下用シリンダ２６２と、カッター刃２６１を図１中紙面直交方向に駆動してテープＴを切断する切断用シリンダ２６３とを有して構成されている。テープＴは、感熱接着性の接着テープであり、ロール状に巻取られた状態で支持ローラ２２に支持されている。
【００２１】
貼付ユニット３０は、図示しないユニット支持部に支持されて図１中繰出ユニット２０の左側に設けられている。この貼付ユニット３０は、ユニット支持部に連結される押圧用モータ３１と、この押圧用モータ３１の出力軸３２の下端部に設けられる第１押圧ヘッド３３および第２押圧ヘッド３４とを備えて構成されている。第１および第２の押圧ヘッド３３，３４は、押圧用モータ３１の駆動により下方に向かって押し下げられるようになっている。また、第１押圧ヘッド３３は、第２押圧ヘッド３４に固定される進退支持部３３１と、この進退支持部３３１に内蔵されるばね（不図示）と、進退支持部３３１から下方に突出してばねで付勢される第１ヘッド先端部３３２とを有して構成されている。さらに、第２押圧ヘッド３４側には、加熱手段としてのヒータ３５が内蔵されており、このヒータ３５によって、第１ヘッド先端部３３２下端の第１ヘッド押圧面部３３３および第２押圧ヘッド３４下端の第２ヘッド押圧面部３４１が加熱されるようになっている。
【００２２】
また、貼付ユニット３０において、第１ヘッド押圧面部３３３は、第２ヘッド押圧面部３４１よりも下方に位置して設けられるとともに、第１ヘッド押圧面部３３３の面積は、第２ヘッド押圧面部３４１の先端面積に対して１／３程度の大きさに形成されている。そして、押圧用モータ３１によって第１および第２の押圧ヘッド３３，３４が押し下げられた際、第１ヘッド押圧面部３３３が第２ヘッド押圧面部３４１よりも先にテープＴに当接するとともに、このテープＴを下方の接着シートＳに押圧し、さらに押圧用モータ３１で押し下げることで、第１ヘッド先端部３３２が進退支持部３３１内に没入して後退し、第２ヘッド押圧面部３４１がテープＴに当接するとともに、このテープＴを接着シートＳに押圧するように構成されている。このような貼付ユニット３０では、第１押圧ヘッド３３の第１ヘッド押圧面部３３３がテープＴを加熱して押圧することで、後述するテープＴの第１接着領域Ｒ１を接着シートＳに貼付し、第２押圧ヘッド３４の第２ヘッド押圧面部３４１がテープＴを加熱して押圧することで、後述するテープＴの第２接着領域Ｒ２を接着シートＳに貼付するようになっている。
【００２３】
移動手段４０は、図１中繰出ユニット２０の紙面奥側に設けられた単軸ロボット４１とそのスライダ４２と、テーブル本体１１の下方に設けられた単軸ロボット４３とそのスライダ４４とから構成されている。スライダ４２は、チャック部材２８が取り付けられて図１中左右方向に移動可能とされるとともに、スライダ４４は、テーブル本体１１が取り付けられて図１中左右方向に移動可能とされる。これにより、チャック部材２８が接着シートＳに貼付されたテープＴを把持してウェハＷとの相対移動を可能とし、当該ウェハＷから接着シートＳを剥離することができるようになっている。
【００２４】
次に、本実施形態における接着シートＳの剥離方法として、シート剥離装置１の動作を図２〜図４も参照して説明する。
ウェハＷから接着シートＳを剥離する手順としては、先ず、図１に示すように、ウェハＷがテーブル１０の所定位置に保持されるとともに、シート剥離装置１の各部が初期位置設定された状態において、テープ切断部２６および貼付ユニット３０が上方に移動して退避してから、単軸ロボット４１を介してチャック部材２８が繰出ユニット２０に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪２７がテープ受け板２５３に当接すると、テープ受け板２５３をブッシュ２５１方向に押し込み、テープＴの先端を上下の把持爪２７間に受け入れる。そして、チャック部材２８は、把持爪２７を閉じてテープＴの先端を把持するとともに、テープＴを把持したままで繰出ユニット２０から離れる方向に移動し、テープＴを所定長さ引き出して停止する。
【００２５】
次に、図２(Ａ)に示すように、チャック部材２８とテープ受け板２５３との間にテープＴが掛け渡された状態において、貼付ユニット３０は、押圧用モータ３１を作動させて第１および第２の押圧ヘッド３３，３４を押し下げ、第１押圧ヘッド３３の第１ヘッド押圧面部３３３でテープＴの中間部を下降させて接着シートＳに押圧する。この際、第１ヘッド押圧面部３３３は、ヒータ３５により加熱され、テープＴの第１接着領域Ｒ１を接着シートＳに貼付する（１次貼付工程）。その後、テープ切断部２６は、上下用シリンダ２６２によってカッター刃２６１をカッター溝２５５内に下降させ、切断用シリンダ２６３を駆動してカッター刃２６１によってテープＴを切断する。
【００２６】
この１次貼付工程において接着される第１接着領域Ｒ１は、図４(Ａ)に示すように、接着シートＳの外周端縁に沿った領域であり、剥離方向に沿った方向（ウェハＷの中心に向かう方向）における第１接着領域Ｒ１の貼付幅ｒ１が約１mmに設定され、剥離方向と直交する方向（ウェハＷの外周端縁に沿った方向）における第１接着領域Ｒ１の貼付長ｂ１がテープＴの幅寸法よりも小さく設定されている。すなわち、第１押圧ヘッド３３の第１ヘッド押圧面部３３３の形状は、貼付幅ｒ１および貼付長ｂ１に対応した形状とされ、この第１ヘッド押圧面部３３３でテープＴを押圧することで、所定の接着面積を有した第１接着領域Ｒ１が形成されるようになっている。なお、剥離方向とは、図１中右側へ向かう方向とする。
また、第１接着領域Ｒ１としては、図４(Ｂ)に示すように、点付けのような形状であってもよく、この場合には、第１ヘッド先端部３３２は、細長棒状に形成されている。すなわち、第１接着領域Ｒ１の形状および接着面積としては、以下の１次剥離工程にて接着シートＳの端部をウェハＷから剥離するのに十分なものであればよく、ウェハＷの径寸法や接着シートＳの接着強度などに応じて適宜に設定することができる。
【００２７】
次に、図２(Ｂ)に示すように、繰出ユニット本体２１、テープ切断部２６および貼付ユニット３０が上方に退避した状態において、単軸ロボット４１は、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材２８を剥離方向に移動させ、テープＴによって第１接着領域Ｒ１を引っ張ることで、接着シートＳの端部をウェハＷから剥離する（１次剥離工程）。この際、接着シートＳの端部は、ウェハＷの外周端縁から剥離距離ｄだけ剥離されるように、単軸ロボット４１におけるチャック部材２８の移動量が設定されており、この剥離距離ｄとしては、約５mmに設定されている。従って、後述する第２接着領域Ｒ２をウェハＷの中央寄りに超えた範囲まで、１次剥離工程にて接着シートＳの端部が剥離されることとなる。そして、接着シートＳの端部を剥離した後に、チャック部材２８は、剥離方向と反対方向（図の左方向）に移動し、初期位置まで戻って停止する。
【００２８】
次に、図３(Ａ)に示すように、初期位置に戻ったチャック部材２８で把持したテープＴによって接着シートＳの端部をウェハＷ表面側に沿わせた状態において、貼付ユニット３０は、押圧用モータ３１を作動させて第１および第２の押圧ヘッド３３，３４を押し下げ、第２押圧ヘッド３４の第２ヘッド押圧面部３４１でテープＴを接着シートＳに押圧する。この際、第１ヘッド先端部３３２は、進退支持部３３１に内蔵されるばねの付勢力に抗して上方に後退するようになっている。そして、第２ヘッド押圧面部３４１は、ヒータ３５により加熱され、テープＴの第２接着領域Ｒ２を接着シートＳに貼付する（２次貼付工程）。
【００２９】
この２次貼付工程において接着される第２接着領域Ｒ２は、図４(Ａ)，(Ｂ)に示すように、第１接着領域Ｒ１よりもウェハＷの中央寄りに位置するとともに、第１接着領域Ｒ１よりも広い接着面積を有して形成される。そして、第２接着領域Ｒ２は、剥離方向に沿った方向における貼付幅ｒ２が約３mmに設定され、剥離方向と直交する方向における貼付長ｂ２がテープＴの幅寸法と略同一に設定されている。すなわち、第２押圧ヘッド３４の第２ヘッド押圧面部３４１の形状は、貼付幅ｒ２および貼付長ｂ２に対応した平板状とされ、この第２ヘッド押圧面部３４１でテープＴを押圧することで、以下の２次剥離工程においてテープＴ全体をウェハＷから剥離するのに十分な接着面積を有した第２接着領域Ｒ２が形成されるようになっている。
【００３０】
次に、図３(Ｂ)に示すように、貼付ユニット３０が上方に退避した状態において、単軸ロボット４１は、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材２８を剥離方向に移動させ、単軸ロボット４３は、テーブル１０を剥離方向と反対方向に移動させる。このように単軸ロボット４１および単軸ロボット４３によってテープＴとウェハＷとが互いに反対方向に移動し、テープＴによって接着シートＳを引っ張ることで、接着シートＳを順次ウェハＷから剥離していき、接着シートＳ全体を剥離する（２次剥離工程）。この後、剥離した接着シートＳが接着されたテープＴをチャック部材２８から離脱させて回収するとともに、接着シートＳを剥離したウェハＷを適宜な搬送装置でテーブル１０から搬出し、シート剥離装置１の各部を初期位置に復帰させて接着シートＳの剥離手順が完了する。
【００３１】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、第１押圧ヘッド３３および第２押圧ヘッド３４により２回に分けてテープＴを接着シートＳに貼付し、１次剥離工程および２次剥離工程にて接着シートＳをウェハＷから剥離することで、テープＴとともにウェハＷが起き上がることを抑制することができ、接着シートＳを端部から確実に剥離することができる。
さらに、１次剥離工程で先に接着シートＳの端部を剥離しているため、２次剥離工程においてウェハＷが起き上がって割れてしまうことを確実に防止することができる。
【００３２】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図５に基づいて説明する。
図５(Ａ)には、シート剥離装置１Ａの動作のうちの１次貼付工程が示され、図５(Ｂ)には、２次貼付工程が示されている。
本実施形態のシート剥離装置１Ａでは、貼付手段としての貼付ユニット６０の構成が単一の押圧ヘッド６４からなることが前記第１実施形態と相違するものの、その他の構成は、前記シート剥離装置１と略同様である。
【００３３】
このような構成のシート剥離装置１Ａは、図５(Ａ)に示すように、押圧ヘッド６４の押圧面部６４１がウェハＷの外周縁から外側にはみ出してテープＴを接着シートＳの端部に押圧する第１貼付位置と、図５(Ｂ)に示すように、押圧面部６４１全体がウェハＷの外周縁よりも内側でテープＴを接着シートＳに押圧する第２貼付位置との間を左右移動できるように構成されている。この場合、移動手段４０が貼付位置移動手段としても機能する。そして、第１貼付位置において、押圧ヘッド６４を押し下げて押圧面部６４１でテープＴを接着シートＳに押圧することで、前記第１接着領域Ｒ１と略同様の第１接着領域が接着シートＳに貼付されるようになっている。また、第２貼付位置において、押圧ヘッド６４でテープＴを接着シートＳに押圧することで、前記第２接着領域Ｒ２と略同様の第２接着領域が接着シートＳに貼付されるようになっている。これにより、第１接着領域よりも広い接着面積を有する第２接着領域を形成することができる。
【００３４】
以上のような本実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３６】
例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウエハや化合物ウエハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シート（シート、フィルム、テープ等）を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の接着テープであるテープＴを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートＳを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。
【００３７】
また、前記実施形態では、剥離用テープＴを接着シートＳに貼付する工程としては、１次および２次の貼付工程を有し、接着シートＳをウェハＷから剥離する工程としては、１次および２次の剥離工程を有した剥離方法（剥離装置）を示したが、これに限らず、貼付工程および剥離工程をそれぞれ３回以上実施するもの、つまり３次以上の貼付工程および剥離工程を有したものであってもよい。この際、前記第１実施形態のように複数の押圧ヘッドを有して貼付手段を構成する場合には、貼付工程を行う回数に合わせた押圧ヘッドを設けてもよく、また、前記第２実施形態のように適宜な貼付位置に移動可能なように貼付位置移動手段を制御すればよい。
【００３８】
さらに、前記実施形態では、繰出手段として、帯状のテープＴを供給するように図示、説明したが、テープＴは帯状のものに限らず、例えば、テープＴを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。
また、前記実施形態では、ウェハＷとテープＴとの両方を移動させて相対移動させる移動手段４０を構成したが、これに限らず、ウェハＷとテープＴとのいずれか一方のみを移動させるように移動手段４０を構成してもよい。また、ウェハＷとテープＴとを相対移動させるのは、１次剥離工程および２次剥離工程の両方であってもよいし、いずれか一方であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１実施形態に係るシート剥離装置を示す側面図。
【図２】(Ａ)，(Ｂ)は、図１のシート剥離装置の動作説明図。
【図３】(Ａ)，(Ｂ)は、図１のシート剥離装置の動作説明図。
【図４】(Ａ)，(Ｂ)は、剥離用テープの接着領域の説明図。
【図５】(Ａ)，(Ｂ)は、第２実施形態に係るシート剥離装置の動作説明図。
【図６】(Ａ)，(Ｂ)は、従来の不具合例を示す説明図。
【符号の説明】
【００４０】
１，１Ａ    シート剥離装置
１０        テーブル（保持手段）
２０        繰出ユニット（繰出手段）
３０，６０  貼付ユニット（貼付手段）
３３        第１押圧ヘッド
３４        第２押圧ヘッド
３５        ヒータ（加熱手段）
４０        移動手段（貼付位置移動手段）
６４        押圧ヘッド
Ｒ１        第１接着領域
Ｒ２        第２接着領域
Ｓ          接着シート
Ｔ          テープ（剥離用テープ）
Ｗ          ウェハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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