(57)【要約】【課題】トラッキングサーボ制御を実行せずに、サーボパターンの欠陥の有無や、いずれの箇所に欠陥が生じているかを検査する。【解決手段】磁気ディスク１００を検査する際に、磁気ディスク１００を回転させつつ、読み取り幅がサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッド１２を所定の回転半径位置（破線Ｌ１等の各位置）に位置させた状態を維持して少なくとも１回転に亘って磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、磁気ヘッド１２を位置させる回転半径位置を所定量だけ磁気ディスク１００の半径方向で変更するヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行し、信号読み取り処理時において読み取った磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して各位置毎の磁気的信号の信号レベルを特定可能なデータを検査対象データとして生成して、その検査対象データおよび検査用基準データに基づいて磁気ディスク１００を検査する。【選択図】図５
2010040056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の基材における少なくとも一面のサーボパターン領域にサーボパターンが設けられた磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体検査方法であって、
読み取り幅が前記サーボパターンにおけるサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッドを使用して、前記磁気記録媒体を回転させつつ、当該磁気ヘッドを所定の回転半径位置に位置させた状態を維持して当該磁気記録媒体の少なくとも１回転に亘って当該磁気記録媒体から磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、前記磁気ヘッドを位置させる前記回転半径位置を前記磁気記録媒体の半径方向で所定量だけ変更するヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行し、前記信号読み取り処理時において前記各回転半径位置毎に読み取った前記磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して前記少なくとも一面における各位置毎の当該磁気的信号の当該信号レベルを特定可能なデータを検査対象データとして生成して、当該生成した検査対象データおよび検査用基準データに基づいて当該磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体検査方法。
【請求項２】
前記数値化した前記磁気的信号の前記信号レベルが予め規定した複数の信号レベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定して当該特定した信号レベル範囲を示すデータを前記検査対象データとして生成する請求項１記載の磁気記録媒体検査方法。
【請求項３】
前記信号読み取り処理時における前記磁気記録媒体の回転中心と前記サーボパターンのパターン中心との位置ずれに応じて前記検査対象データを補正する請求項１または２記載の磁気記録媒体検査方法。
【請求項４】
前記少なくとも一面における前記各位置に対応する前記磁気的信号の基準の信号レベルを特定可能な基準レベルデータを前記検査用基準データとして用いると共に、前記検査対象データおよび当該基準レベルデータにおける所定の前記各位置にそれぞれ対応する前記信号レベル同士を比較して、当該比較結果が予め規定された基準を満たすときに、当該所定の各位置に対応付けられた前記磁気記録媒体上の所定の領域が良好とする請求項１から３のいずれかに記載の磁気記録媒体検査方法。
【請求項５】
前記少なくとも一面における複数の単位情報領域毎に検査ポイントを規定して、当該規定した各検査ポイントを前記所定の各位置として、対応する前記信号レベル同士を比較する請求項４記載の磁気記録媒体検査方法。
【請求項６】
前記各単位情報領域毎に前記検査ポイントを複数規定して、対応する前記信号レベル同士をそれぞれ比較する請求項５記載の磁気記録媒体検査方法。
【請求項７】
円板状の基材における少なくとも一面のサーボパターン領域にサーボパターンが設けられた磁気記録媒体を検査可能に構成された磁気記録媒体検査システムであって、
前記磁気記録媒体から磁気的信号を読み取る信号読み取り装置と、当該信号読み取り装置によって読み取られた前記磁気的信号に基づく検査対象データおよび検査用基準データに基づいて前記磁気記録媒体を検査する検査装置とを備え、
前記信号読み取り装置は、前記磁気記録媒体を回転させる回転機構と、読み取り幅が前記サーボパターンにおけるサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドを前記磁気記録媒体の半径方向に沿って移動させると共に所定の回転半径位置に位置させた状態を維持するヘッド移動機構と、前記回転機構および前記ヘッド移動機構を制御して前記磁気ヘッドを介して前記磁気記録媒体から前記磁気的信号を読み取る制御部とを備え、
前記制御部は、前記回転機構を制御して前記磁気記録媒体を回転させつつ、前記ヘッド移動機構を制御して、前記磁気ヘッドを所定の前記回転半径位置に位置させた状態を維持して当該磁気記録媒体の少なくとも１回転に亘って当該磁気記録媒体から当該磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、前記磁気ヘッドを位置させる前記回転半径位置を前記磁気記録媒体の前記半径方向で所定量だけ変更させるヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行すると共に、前記信号読み取り処理時において前記各回転半径位置毎に読み取られた前記磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して前記少なくとも一面における各位置毎の当該磁気的信号の当該信号レベルを特定可能なデータを前記検査対象データとして生成して前記検査装置に出力する磁気記録媒体検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体検査方法および磁気記録媒体検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
今日の磁気記録媒体では、高密度記録化に伴い、サーボパターンを構成する単位情報領域（符号の「１」または「０」が１つ存在すると認識される領域）の形成ピッチが小さくなる傾向がある。このため、この種の磁気記録媒体の製造に際しては、サーボパターンの形成不良（パターン不良）が発生し易くなっており、形成したサーボパターンにパターン不良が発生しているか否かを検査する必要が生じている。この場合、この種の磁気記録媒体を検査する方法の一つとして、サーボパターン領域から読み取ったサーボデータに基づくトラッキングサーボ制御を実行しつつ、データ記録トラックに対する検査用データの記録再生処理を実行して、検査用データを正常に記録再生できたとき（トラッキングサーボ制御を正常に実行できたとき）には、サーボパターンが良好に形成された良品の磁気記録媒体であると判定し、検査用データを正常に記録再生できなかったとき（トラッキングサーボ制御を正常に実行できなかったとき：エラーが発生したとき）には、サーボパターンにパターン不良が生じた不良品の磁気記録媒体であると判定する方法が知られている。
【０００３】
しかしながら、上記の検査方法では、例えば、データ記録トラックから検査用データを正常に読み取ることができなかったときに、サーボパターンのうちのいずれのパターン（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）にパターン不良が生じたことに起因してエラーが発生したのかを特定するのが困難となっている。このため、上記の検査方法では、エラー発生時に不良品の磁気記録媒体であると判定することができたとしても、サーボパターンのうちのいずれのパターンにパターン不良が生じているのかを特定するのが困難となっている。また、この種の磁気記録媒体を検査する検査装置のなかには、上記のトラッキングサーボ制御を実行するサーボ機構を備えていない装置も存在し、そのような検査装置では、上記の一連の検査処理を実行すること自体が困難となっている。
【０００４】
一方、特開２００２−１５４２０号公報には、トラッキングサーボ制御を実行することなく、磁気記録媒体の良否を検査する欠陥検査方法が開示されている。具体的には、この欠陥検査方法では、ディスクリート・トラック型磁気ディスク媒体（磁気記録媒体）の欠陥を検査する際に、データ記録トラックのトラックピッチよりも幅広の磁気ヘッドを用いることにより、トラッキングサーボ制御を実行することなく、その良否を検査しようとしている。より具体的には、一例として、まず、４トラック分をカバーする幅の磁気ヘッドを使用して、トラッキングサーボ制御を実行せずに、磁気記録媒体に信号を記録する。次いで、記録した信号を上記の幅広の磁気ヘッドを使用して再生する（信号を読み取る）。続いて、再生信号からそのピークを検出し、予め決められた閾値と比較する。この際に、再生信号のピーク値が閾値以下の値であれば、その再生信号が読み取られた部位に欠陥が生じていると判定する。このように、信号の記録、再生（信号の読み取り）、再生信号におけるピーク値の検出、および検出したピーク値と閾値との比較からなる一連の処理を、磁気ヘッドの幅以下の範囲内で磁気ヘッドを順次移動させつつ、繰り返して実行する。これにより、磁気記録媒体の全域について、欠陥の有無が検査される。
【特許文献１】特開２００２−１５４２０号公報（第２−３頁、第１−６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の欠陥検査方法には、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の欠陥検査方法では、データ記録トラックのトラックピッチよりも幅広の磁気ヘッド（一例として、４つのデータ記録トラックに跨る幅の磁気ヘッド）を使用することにより、検査用信号の記録再生時にトラッキングサーボ制御することなく、磁気記録媒体に欠陥が存在するか否かを検査しようとしている。この場合、従来の欠陥検査方法のように幅広の磁気ヘッドを使用した場合であっても、磁気記録媒体の回転方向に沿って長いデータ記録トラックおよびトラック間凹部（溝）が回転方向で交互に並んでいるだけのデータトラックパターンについては、磁気ヘッドから出力される再生信号に基づいてデータ記録トラックおよびトラック間凹部のいずれかに生じた欠陥をある程度は検出することができると考えられる。しかしながら、幅広の磁気ヘッドを使用した従来の欠陥検査方法には、欠陥の有無を検出できたとしても、検査時に磁気ヘッドの下方を相対的に通過した領域のいずれの箇所に欠陥が生じているのか（４つのデータ記録トラックのうちのいずれのデータ記録トラック（または、トラック間凹部）に欠陥が生じているのか）を特定することができないという問題点が存在する。
【０００６】
また、幅広の磁気ヘッドを使用した従来の欠陥検査方法では、サーボアドレスマーク、アドレスパターンおよびバーストパターン等の複雑なパターンで構成されているサーボパターンについては、欠陥が存在するか否かを検査すること自体が非常に困難となっている。具体的には、一例として、上記のように４つのデータ記録トラックに跨る幅広の磁気ヘッドを使用して、例えばアドレスパターンにパターン不良（欠陥）が生じているか否かを検査する際には、アドレスパターンを構成する非常に小さな単位情報領域が幅広の磁気ヘッドの下方に同時に複数存在する状態において磁気的信号が読み取られることとなる。このため、上記の単位情報領域の一部が欠如した程度のパターン不良や、１つの単位情報領域が欠如した程度のパターン不良が生じたアドレスパターンの読み取り時に出力される再生信号のピーク値と、パターン不良が存在しない正常なアドレスパターンの読み取り時に出力される再生信号のピーク値との差異が極く小さなものとなる。
【０００７】
したがって、この極く小さな差異の有無に基づいてアドレスパターンに欠陥が存在するか否かを検査するためには、再生信号のピーク値と閾値との比較処理時における許容範囲を非常に狭い範囲とする必要が生じ、そのような検査方法では、極く僅かなノイズが再生信号に重畳しただけでも、正常なパターンを不良（欠陥が存在する）と誤判定するおそれがある。また、誤判定を回避すべく、上記の許容範囲を広く規定した場合には、アドレスパターン等の細かく複雑なパターンに欠陥が存在するか否かを検出すること自体が困難となる。さらに、アドレスパターンに欠陥が存在することを検出できたとしても、検査時に磁気ヘッドの下方を相対的に通過した領域のいずれの箇所に欠陥が生じている単位情報領域が存在するのか（４トラック分のアドレスパターンのうちのいずれの箇所に存在するのか）を特定することができないという問題も存在する。
【０００８】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、トラッキングサーボ制御を実行することなく、サーボパターンに欠陥が生じているか否か、およびいずれの箇所に欠陥が生じているかを検査し得る磁気記録媒体検査方法および磁気記録媒体検査システムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、円板状の基材における少なくとも一面のサーボパターン領域にサーボパターンが設けられた磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体検査方法であって、読み取り幅が前記サーボパターンにおけるサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッドを使用して、前記磁気記録媒体を回転させつつ、当該磁気ヘッドを所定の回転半径位置に位置させた状態を維持して当該磁気記録媒体の少なくとも１回転に亘って当該磁気記録媒体から磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、前記磁気ヘッドを位置させる前記回転半径位置を前記磁気記録媒体の半径方向で所定量だけ変更するヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行し、前記信号読み取り処理時において前記各回転半径位置毎に読み取った前記磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して前記少なくとも一面における各位置毎の当該磁気的信号の当該信号レベルを特定可能なデータを検査対象データとして生成して、当該生成した検査対象データおよび検査用基準データに基づいて当該磁気記録媒体を検査する。
【００１０】
この場合、本明細書における「サーボトラックのトラックピッチ」とは、「サーボパターンにおける単位情報領域（サーボデータを構成する符号の「１」または「０」が１つ存在すると認識される領域）の半径方向の長さ」を意味する。また、上記の「所定時間間隔で前記磁気的信号の信号レベルを数値化する」との処理には、「所定時間おきに磁気的信号の信号レベルを取得して数値化することによって磁気記録媒体上の各位置のうちの１つの位置に対応する１つの数値（信号レベルを表す値）を取得する」との処理、および「所定時間おきに磁気的信号の信号レベルを取得して数値化すると共に複数の数値に基づいて磁気記録媒体上の各位置のうちの１つの位置に対応する１つの数値（信号レベルを表す値）を取得する」との処理が含まれる。また、上記の「複数の数値に基づいて磁気記録媒体上の各位置のうちの１つの位置に対応する１つの数値を取得する」との処理には、「複数の数値を平均することによって磁気記録媒体上の各位置のうちの１つの位置に対応する１つの数値（信号レベルを表す値）として取得する」との処理、および「複数の数値のうちの最大値や最小値等（所定時間内に出力された磁気的信号の信号レベルの最大値や最小値等の数値）を取得することによって磁気記録媒体上の各位置のうちの１つの位置に対応する１つの数値（信号レベルを表す値）として取得する」との処理をはじめとする各種の処理が含まれる。
【００１１】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、前記数値化した前記磁気的信号の前記信号レベルが予め規定した複数の信号レベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定して当該特定した信号レベル範囲を示すデータを前記検査対象データとして生成する。
【００１２】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、前記信号読み取り処理時における前記磁気記録媒体の回転中心と前記サーボパターンのパターン中心との位置ずれに応じて前記検査対象データを補正する。
【００１３】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、前記少なくとも一面における前記各位置に対応する前記磁気的信号の基準の信号レベルを特定可能な基準レベルデータを前記検査用基準データとして用いると共に、前記検査対象データおよび当該基準レベルデータにおける所定の前記各位置にそれぞれ対応する前記信号レベル同士を比較して、当該比較結果が予め規定された基準を満たすときに、当該所定の各位置に対応付けられた前記磁気記録媒体上の所定の領域が良好とする。
【００１４】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、前記少なくとも一面における複数の単位情報領域毎に検査ポイントを規定して、当該規定した各検査ポイントを前記所定の各位置として、対応する前記信号レベル同士を比較する。
【００１５】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、前記各単位情報領域毎に前記検査ポイントを複数規定して、対応する前記信号レベル同士をそれぞれ比較する。
【００１６】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査システムは、円板状の基材における少なくとも一面のサーボパターン領域にサーボパターンが設けられた磁気記録媒体を検査可能に構成された磁気記録媒体検査システムであって、前記磁気記録媒体から磁気的信号を読み取る信号読み取り装置と、当該信号読み取り装置によって読み取られた前記磁気的信号に基づく検査対象データおよび検査用基準データに基づいて前記磁気記録媒体を検査する検査装置とを備え、前記信号読み取り装置が、前記磁気記録媒体を回転させる回転機構と、読み取り幅が前記サーボパターンにおけるサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドを前記磁気記録媒体の半径方向に沿って移動させると共に所定の回転半径位置に位置させた状態を維持するヘッド移動機構と、前記回転機構および前記ヘッド移動機構を制御して前記磁気ヘッドを介して前記磁気記録媒体から前記磁気的信号を読み取る制御部とを備え、前記制御部が、前記回転機構を制御して前記磁気記録媒体を回転させつつ、前記ヘッド移動機構を制御して、前記磁気ヘッドを所定の前記回転半径位置に位置させた状態を維持して当該磁気記録媒体の少なくとも１回転に亘って当該磁気記録媒体から当該磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、前記磁気ヘッドを位置させる前記回転半径位置を前記磁気記録媒体の前記半径方向で所定量だけ変更させるヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行すると共に、前記信号読み取り処理時において前記各回転半径位置毎に読み取られた前記磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して前記少なくとも一面における各位置毎の当該磁気的信号の当該信号レベルを特定可能なデータを前記検査対象データとして生成して前記検査装置に出力する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る磁気記録媒体検査方法および磁気記録媒体検査システムでは、読み取り幅がサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッドを使用して、磁気記録媒体を回転させつつ、磁気ヘッドを所定の回転半径位置に位置させた状態を維持して磁気記録媒体の少なくとも１回転に亘って磁気記録媒体から磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、磁気ヘッドを位置させる回転半径位置を磁気記録媒体の半径方向で所定量だけ変更するヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行し、信号読み取り処理時において各回転半径位置毎に読み取った磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して磁気記録媒体の少なくとも一面における各位置毎の磁気的信号の信号レベルを特定可能なデータを検査対象データとして生成して、生成した検査対象データと検査用基準データとに基づいて磁気記録媒体を検査する。したがって、本発明に係る磁気記録媒体検査方法および磁気記録媒体検査システムによれば、データ記録トラックのトラックピッチよりも幅広の磁気ヘッドを使用して磁気記録媒体に欠陥が存在するか否かを検査する従来の欠陥検査方法とは異なり、その半径方向の長さがサーボトラックのトラックピッチ以下の小さな領域で構成されたパターンからなるサーボパターンにパターン不良が生じているか否かを確実かつ高精度で検査することができると共に、パターン不良が生じている場合には、そのパターン不良がいずれの箇所に生じているのかを確実に検査することができる。
【００１８】
なお、本発明に係る磁気記録媒体検査方法、および本発明に係る磁気記録媒体検査システムによる「磁気記録媒体の検査」では、具体的には、一例として、Ａ領域およびＢ領域を有するパターンで構成されたサーボパターンの良否を検査する。この場合、連続磁性層に対する磁気的信号の書き込み処理によってサーボパターンを設けた磁気記録媒体（いわゆる「連続磁性層型媒体」）における上記の「Ａ領域」および「Ｂ領域」とは、「検出される磁界の磁気記録媒体の平面方向に沿った向きが互いに相違する領域（長手記録方式）」、または、「検出される磁界の磁気記録媒体の厚み方向に沿った向きが互いに相違する領域（垂直記録方式）」を意味する。また、ディスクリートトラック型の磁気記録媒体のように、磁気的性質の異なる複数種類の領域を有するパターンによってサーボパターンを形成した磁気記録媒体（いわゆる「パターンド媒体」）における上記の「Ａ領域」および「Ｂ領域」とは、「検出される磁界の磁気記録媒体の厚み方向に沿った大きさが互いに相違する領域」または「検出される磁界の磁気記録媒体の厚み方向に沿った向きが互いに相違する領域」を意味する。
【００１９】
また、上記のパターンド媒体における「検出される磁界の磁気記録媒体の厚み方向に沿った大きさが互いに相違する領域」とは、「記録された磁気的信号を読み出し可能に保持するように構成された領域（つまり磁気的信号を読み出し可能に保持する能力を有するように構成された領域）：記録領域」と、「磁気的信号を読み出し可能に保持する上記の能力が記録領域の能力よりも低くなるように構成された領域、または、その能力を実質的に有しないように構成された領域：非記録領域」とを意味する。具体的には、上記の「非記録領域」とは、「磁気的信号を記録した状態において、その領域から検出される磁界が上記の記録領域よりも小さい領域、または、その領域から検出される磁界が実質的には存在しない領域」を意味する。つまり、本発明に係る磁気記録媒体検査方法は、ディスクリートトラック型の磁気記録媒体のようなパターンド媒体であって「検出される磁界の磁気記録媒体の厚み方向に沿った大きさが互いに相違する領域」によってサーボパターンが形成された磁気記録媒体を検査対象とした場合、「円板状の基材における少なくとも一面のサーボパターン領域に記録領域および非記録領域を有するパターンによってサーボパターンが設けられた磁気記録媒体を検査する磁気記録媒体検査方法」を意味する。
【００２０】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査方法によれば、所定時間間隔で数値化した磁気的信号の信号レベルが予め規定した複数の信号レベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定して特定した信号レベル範囲を示すデータを検査対象データとして生成することにより、磁気ヘッドから出力される出力信号（読み取った磁気的信号）の信号レベルを単に数値化して記録したデータを検査対象データとして生成する検査方法とは異なり、検査用基準データとの比較処理を短時間で容易に実行することができる。
【００２１】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体検査方法によれば、信号読み取り処理時における磁気記録媒体の回転中心とサーボパターンのパターン中心との位置ずれに応じて検査対象データを補正することにより、磁気記録媒体の回転中心とパターン中心との位置ずれの影響を含んだ状態の検査対象データと検査用基準データとを比較する方法とは異なり、補正後の検査対象データと検査用基準データとの双方に上記の位置ずれの影響が存在しない状態でパターン不良が存在するか否かを検査することができる。したがって、位置ずれの影響を考慮して比較すべき数値（信号レベル）をその都度特定しつつ比較する煩雑な処理を不要とできる分だけ、パターン不良の有無を短時間で容易に検査することができる。
【００２２】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査方法によれば、上記の少なくとも一面における各位置に対応する磁気的信号の基準の信号レベルを特定可能な基準レベルデータを検査用基準データとして用いると共に、検査対象データおよび基準レベルデータにおける磁気記録媒体上の所定の各位置にそれぞれ対応する信号レベル同士を比較して、比較結果が予め規定された基準を満たすときに、所定の各位置に対応付けられた磁気記録媒体上の所定の領域が良好とすることにより、磁気記録媒体の良否を短時間で容易に検査することができる。
【００２３】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体検査方法によれば、上記の少なくとも一面における複数の単位情報領域毎に検査ポイントを規定して、規定した各検査ポイントを所定の各位置として対応する信号レベル同士を比較することにより、サーボパターンを構成する各単位情報領域が正常に形成されているか否かを高精度で検査することができる。
【００２４】
また、本発明に係る磁気記録媒体検査方法によれば、各単位情報領域毎に検査ポイントを複数規定してこれら複数の検査ポイントに対応する信号レベル同士をそれぞれ比較することにより、単位情報領域が正常に形成されているか否かを一層高精度で検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る磁気記録媒体検査方法および磁気記録媒体検査システムの最良の形態について説明する。
【００２６】
最初に、本発明に係る磁気記録媒体検査システムの一例である磁気ディスク検査システム１の構成について、図面を参照して説明する。
【００２７】
図１に示すように、磁気ディスク検査システム１は、信号読み取り装置２および情報処理装置３を備え、本発明に係る磁気記録媒体検査方法に従って磁気ディスク１００（図２〜４参照）の良否を検査可能に構成されている。この場合、磁気ディスク１００は、本発明における磁気記録媒体の一例であるディスクリートトラック型のパターンド媒体であって、磁気ヘッドやモータなどと共に筐体内に収容されて磁気記録装置（ハードディスクドライブ：図示せず）を構成する。この磁気ディスク１００は、図２に示すように、軟磁性層１０２、中間層１０３および磁性層１０４がガラス基板１０１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１０４に形成された各凸部１１１および各凹部１１２によってデータトラックパターンおよびサーボパターン等の凹凸パターン１１０が形成されて、垂直記録方式による記録データの記録が可能に構成されている。
【００２８】
この場合、この磁気ディスク１００では、凹凸パターン１１０の各凸部１１１が、その基端部から突端部まで磁性材料（磁性層１０４）で形成されている。また、凹凸パターン１１０の各凹部１１２内には、非磁性材料１０５が埋め込まれ、これにより、磁気ディスク１００の表面が平坦化されている。さらに、この磁気ディスク１００では、各凹部１１２内に埋め込まれた（隣り合う凸部１１１，１１１の間に埋め込まれた）非磁性材料１０５の表面、および磁性層１０４の表面（凸部１１１の突端部）を覆うようにして、保護層１０６が形成されている。また、保護層１０６の表面には、磁気ヘッドおよび磁気ディスク１００の双方の傷付きを回避するための潤滑剤が塗布されている。なお、同図では、磁気ディスク１００の一面側だけを図示しているが、実際には、磁気ディスク１００の両面に上記の各層が形成されて凹凸パターン１１０が形成されている。以下、本発明についての理解を容易とするために、磁気ディスク１００の一面側だけに各層（凹凸パターン１１０）が形成されているものとして説明する。
【００２９】
また、図３に示すように、この磁気ディスク１００は、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓが回転方向（矢印Ｒａ１の向き）で交互に並んで設けられて、図４に示すように、データトラックパターン領域Ａｔ内に上記の凹凸パターン１１０によってデータトラックパターンが形成されると共に、サーボパターン領域Ａｓ内に上記の凹凸パターン１１０によってサーボパターンが形成されている。なお、図４に示すように、本明細書では、回転方向において並ぶ２つのデータトラックパターン領域Ａｔ，Ａｔによって挟まれた領域（１つのデータトラックパターン領域Ａｔにおける回転方向に対して下流側の端部から、他の１つのデータトラックパターン領域Ａｔにおける回転方向に対して上流側の端部までの間の領域）をサーボパターン領域Ａｓとする。また、データトラックパターン領域Ａｔにおける回転方向側の端部は、そのデータトラックパターン領域に形成された複数のデータ記録トラック（凸部１１１）における回転方向側の各端部を連結した仮想線分（この例では、図３に示す矢印Ｒｃ１と平行な円弧状の線分）と一致しているものとする。さらに、この磁気ディスク１００では、上記の各データトラックパターン領域Ａｔおよび各サーボパターン領域Ａｓからなる情報領域であって環状の領域（以下、「環状領域Ａｒ」ともいう）よりも外周側の外周領域Ａｏ、および環状領域Ａｒよりも内周側の内周領域Ａｉには、凹凸パターン１１０が形成されることなく、一例として、その全域が凹凸パターン１１０における凸部１１１と同様に構成されている。
【００３０】
また、この磁気ディスク１００は、ハードディスクドライブに搭載された状態において角速度一定で回転させられる。したがって、図３に示すように、この磁気ディスク１００では、単位時間当たりに磁気ヘッドの下方を通過させられる磁気ディスク１００上の長さに比例して、磁気ディスク１００の回転方向に沿ったデータトラックパターン領域Ａｔの長さ、および回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓの長さがサーボパターンやデータトラックパターンのパターン中心Ｏｐ（サーボパターンの中心とデータトラックパターンの中心とが一致している例）から離間するほど長くなるように（データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓがその内周側領域よりも外周側領域ほど幅広となるように）規定されている。この結果、データトラックパターン領域Ａｔ内に形成されたデータ記録トラック（凸部１１１）における突端面の回転方向に沿った長さ、およびデータトラックパターン領域Ａｔ内に形成されたトラック間凹部（凹部１１２）における開口部の回転方向に沿った長さや、サーボパターン領域Ａｓ内に形成されたサーボパターン用の各凸部１１１における突端面の回転方向に沿った基準の長さ、およびサーボパターン用の各凹部１１２の回転方向に沿った基準の開口長（隣り合う２つの凸部１１１の対向する側面における突端面側の端部間の長さ：例えば、単位信号長に対応する長さ）は、磁気ディスク１００の内周側領域よりも外周側領域ほど長くなっている。
【００３１】
また、図４に示すように、データトラックパターン領域Ａｔ内のデータトラックパターン（凹凸パターン１１０）は、所定の配列ピッチで互いに分割された同心円状（または、螺旋状）の数多くのデータ記録用トラックを構成する複数の凸部１１１（磁気ディスク１００の回転方向に沿って連続的に形成されて回転方向に長い帯状の凸部１１１）と、トラック間凹部を構成する複数の凹部１１２（各凸部１１１の間の凹部１１２）とを備えて構成されている。この場合、データトラックパターン領域Ａｔ内の各凸部１１１は、半径方向（矢印Ｒｂ１の向き）に沿った形成ピッチ（すなわち、データ記録トラックのトラックピッチ：以下、「データトラックピッチＴｐｄ」ともいう）や、半径方向の長さ（すなわち、データ記録トラックの半径方向の長さ）が磁気ディスク１００の内周部から外周部までの全域において互いにほぼ等しくなるように形成されている。また、データトラックパターン領域Ａｔ内の各凹部１１２（トラック間凹部を構成する凹部１１２）は、半径方向（矢印Ｒｂ１の向き）に沿った形成ピッチや、半径方向の長さ（すなわち、トラック間凹部の半径方向の長さ）が磁気ディスク１００の内周部から外周部までの全域において互いにほぼ等しくなるように形成されている。
【００３２】
なお、本発明における磁気記録媒体は、この磁気ディスク１００のように「回転方向に沿って連続的に形成されて回転方向に長い帯状のデータ記録トラックを有するデータトラックパターンを備えた磁気ディスク」に限定されず、「凹凸パターンの凹部によって磁気記録媒体における半径方向および回転方向の両方向に対して分離された記録要素としての凸部（少なくとも突端部が記録材料で形成された凸部）が同心円状または螺旋状に配列して構成されたデータ記録トラックを有するデータトラックパターンを備えたパターンド媒体」がこれに含まれる。
【００３３】
また、サーボパターン領域Ａｓには、一例として、プリアンブルパターン領域Ａｐ、サーボアドレスマーク領域Ａｍ、アドレスパターン領域Ａａおよびバーストパターン領域Ａｂなどの各種の領域が回転方向において並んで規定されて、各領域内にトラッキングサーボ制御用の各種サーボパターンを構成する複数の凸部１１１および複数の凹部１１２を有する凹凸パターン１１０（サーボパターン）が形成されている。この場合、この磁気ディスク１００では、バーストパターン領域Ａｂ内に形成されたバーストパターンやアドレスパターン領域Ａａ内に形成されたアドレスパターンによって規定されるサーボトラックのトラックピッチ（すなわち、バーストパターンやアドレスパターンを構成する凹凸パターン１１０の各凸部１１１のうちの１つ（単位情報領域）の半径方向に沿った長さ：以下、「サーボトラックピッチＴｐｓ」ともいう）が磁気ディスク１００の内周部から外周部までの全域において互いにほぼ等しくなり、かつ、そのサーボトラックピッチＴｐｓが上記のデータトラックパターン領域Ａｔ内の各凸部１１１の形成ピッチ（データトラックピッチＴｐｄ）と等しくなるように形成されている。なお、上記の各領域内に形成されているサーボパターンの機能については公知のため、その説明を省略する。また、上記の各サーボパターンは、実際には、磁気ディスク１００の内周側領域や外周側領域において各凸部１１１や各凹部１１２にスキュー角が付与されているが、本発明についての理解を容易とするために、このスキュー角についての詳細な説明および図示を省略する。
【００３４】
一方、信号読み取り装置２は、本発明における信号読み取り装置の一例であって、図１に示すように、モータ１１、磁気ヘッド１２、アクチュエータ１３、検出部１４および制御部１５を備えている。モータ１１は、本発明における回転機構に相当し、制御部１５から出力される制御信号Ｓ１に従って検査対象の磁気ディスク１００を回転させる。この場合、モータ１１は、一例として、磁気ディスク１００の１回転につき１回のインデックス信号Ｓｉ（回転検出用の基準信号）を制御部１５に出力する。具体的には、図５に示すように、モータ１１は、検査対象の磁気ディスク１００を矢印Ｒａ２の向きに回転させると共に、一例として、同図に示す磁気ディスク１００上の太線Ｌ０の部位が矢印Ｓの位置を通過する際に、上記のインデックス信号Ｓｉを１回出力する。
【００３５】
磁気ヘッド１２は、本発明における磁気ヘッドの一例であって、この信号読み取り装置２では、一例として、その磁気的信号の読み取り幅が検査対象の磁気ディスク１００における上記のサーボトラックピッチＴｐｓに対して３／４程度の長さ（本発明における「読み取り幅がサーボトラックのトラックピッチ以下」の一例）のものが採用されている。この磁気ヘッド１２は、後述する検査処理時においてモータ１１によって回転させられている磁気ディスク１００の上方に位置させられた際に磁気ディスク１００から磁気的信号を読み取り、その信号レベルに応じた出力信号Ｓ３を検出部１４に出力する。この場合、上記の磁気ディスク１００のようにサーボトラックピッチＴｐｓがデータトラックピッチＴｐｄと等しい磁気記録媒体を検査対象とする場合においては、本発明における「読み取り幅が前記サーボパターンにおけるサーボトラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッド（例えば上記の磁気ヘッド１２）」は、すなわち、「読み取り幅がデータトラックパターンにおけるデータ記録トラックのトラックピッチ以下の磁気ヘッド」であるともいえる。
【００３６】
アクチュエータ１３は、本発明におけるヘッド移動機構に相当し、制御部１５から出力される制御信号Ｓ２に従って、磁気ヘッド１２（アーム１２ａ）を図３，５に示す矢印Ｒｃ２の向きに回動させることにより、磁気ディスク１００の外周および内周の間で磁気ヘッド１２を移動させる。この場合、この信号読み取り装置２では、アクチュエータ１３がアーム１２ａを回動させることによって磁気ヘッド１２を磁気ディスク１００の外周および内周間で移動させる構成を採用しているため、結果として、磁気ヘッド１２は、図３，５に示す矢印Ｒｃ２のように円弧状の軌跡（つまり磁気ディスク１００の半径方向に沿った移動軌跡）で磁気ディスク１００を移動させられることとなる。また、アクチュエータ１３は、制御部１５の制御に従って、磁気ヘッド１２を所定の回転半径位置に位置させた状態を維持可能に（図５に示す磁気ディスク１００の回転中心Ｏｒから磁気ヘッド１２までの距離を一定に維持可能に）構成されている。検出部１４は、磁気ヘッド１２から出力された出力信号Ｓ３に対する各種の信号処理（ノイズ除去処理や信号増幅処理など）を実行して、磁気ヘッド１２によって磁気ディスク１００から読み取られた磁気的信号の信号レベルに対応する検出信号Ｓ４を所定時間間隔で生成して（所定のサンプリング周期で生成して）制御部１５に出力する（本発明における「所定時間間隔で磁気的信号の信号レベルを数値化する」との処理の一部）。
【００３７】
制御部１５は、上記の検出部１４、および後述する情報処理装置３の制御部２３と相俟って本発明における制御部を構成する。この制御部１５は、信号読み取り装置２を総括的に制御する。具体的には、制御部１５は、後述するようにして情報処理装置３から出力される制御信号Ｓ０に従って、磁気ディスク１００から磁気的信号を読み取る処理を開始する。より具体的には、制御部１５は、モータ１１に制御信号Ｓ１を出力することによって検査対象の磁気ディスク１００を角速度一定の条件を満たすように回転させると共に、モータ１１から出力されるインデックス信号Ｓｉに応じてアクチュエータ１３に制御信号Ｓ２を出力することによって磁気ヘッド１２を磁気ディスク１００の例えば外周から内周に向けて順次移動させる。また、制御部１５は、検出部１４から出力される検出信号Ｓ４に基づき、磁気ヘッド１２によって磁気ディスク１００上の各部位から読み取られた磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化したレベル信号Ｓ５をインデックス信号Ｓｉの出力タイミングに関連付けて（本発明における「所定時間間隔で磁気的信号の信号レベルを数値化する」との処理の他の一部）情報処理装置３に出力する。
【００３８】
また、情報処理装置３は、本発明における検査装置に相当し、この磁気ディスク検査システム１では、一例として、パーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、情報処理装置３は、操作部２１、表示部２２、制御部２３および記憶部２４を備えている。操作部２１は、キーボードと、マウス等のポインティングデバイスを備えて、これらの操作に応じた操作信号を制御部２３に出力する。表示部２２は、記憶部２４の制御に従って磁気ディスク１００についての検査処理画面や検査結果表画面など（図示せず）を表示する。制御部２３は、上記したように、信号読み取り装置２における検出部１４や制御部１５と相俟って本発明における制御部を構成し、信号読み取り装置２から出力されたレベル信号Ｓ５に対する各種のデータ処置（画像生成処理：本発明における「所定時間間隔で磁気的信号の信号レベルを数値化する」との処理のさらに他の一部）および生成した画像データに対する各種のデータ処置（画像補正処理：本発明における「所定時間間隔で磁気的信号の信号レベルを数値化する」との処理のさらに他の一部）や、磁気ディスク１００の良否を検査する検査処理などを実行する。
【００３９】
なお、本明細書における「画像データ」との用語は、その画像データの画像がいずれかの時点において具現化される（表示装置による表示や印刷装置による印刷が行われる）ことを前提としたデータを意図したものではなく、実際には画像として具現化されることのないデータであっても、そのデータ構造が画像データと同様のデータについては「画像データ」であるとする。より具体的には、複数の点（画像データにおける画素）に対応付けられた所定の値（画像データにおける画素値）をそれぞれ記録したデータ（画像データにおけるピクセルデータ）と、上記の各点の配置を規定したデータ（画像データにおけるヘッダ情報等：縦横両方向のそれぞれの点の数を記録した情報）とを有するデータについては、画像として具現化するか否かを問わず、「画像データ」であるとする。
【００４０】
この場合、制御部２３は、信号読み取り装置２から出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて、磁気ヘッド１２によって磁気ディスク１００から読み取られた磁気的信号の信号レベルを示す数値を画素値に変換すると共に、変換した画素値をその磁気的信号が読み取られた磁気ディスク１００上の位置に対応させて順次記録することによって画像３０（磁気像：図７参照）の画像データＤ３０（本発明における「検査対象データ」の一例）を生成する処理（本発明における「円板状の基材における少なくとも一面の各位置毎の磁気的信号の信号レベルを特定可能なデータを検査対象データとして生成する」との処理の一例）を実行する。この場合、制御部２３は、一例として、検出部１４が５サンプリング周期内に出力する５つの検出信号Ｓ４に対応する５つのレベル信号Ｓ５を平均して１つの信号レベルを演算し、演算結果を上記の「信号レベルを示す数値」として画素値に変換する処理を実行する。なお、本発明はこれに限定されず、制御部２３が１つのレベル信号Ｓ５につき１つの画素を生成する処理方法（本発明における「円板状の基材における少なくとも一面の各位置毎の磁気的信号の信号レベルを特定可能なデータを検査対象データとして生成する」との処理の他の一例）を採用することもできる。
【００４１】
また、この磁気ディスク検査システム１では、制御部２３が、一例として、上記の磁気的信号の信号レベル（上記の「５つのレベル信号Ｓ５を平均した１つの信号レベル」）が２５６段階のレベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定し（本発明における「磁気的信号の信号レベルが予め規定した複数の信号レベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定する」との処理の一例）、特定したレベル範囲の値を階調値に対応させて２５６階調のグレースケール画像を上記の画像３０（画像データＤ３０：図７参照）として生成する（本発明における「特定した信号レベル範囲を示すデータを検査対象データとして生成する」との処理の一例）。なお、この制御部２３による上記の各種データ処理については、後に詳細に説明する。
【００４２】
記憶部２４は、本発明における検査用基準データとしての基準レベルデータに相当する画像データＤ７０を記憶すると共に、制御部２３によって生成される画像データＤ３０〜Ｄ６０を一時的に記憶する。この場合、画像データＤ７０は、一例として、上記の磁気ディスク１００を製造する際に使用するインプリント処理用のスタンパー（図示せず）を製作するためのパターンデータに基づいて生成されている。具体的には、画像データＤ７０は、図１１に示す画像７０の画像データであって、電子ビーム露光装置によってスタンパー製作用原盤上の樹脂層に描画する描画パターン（一例として、上記の凹凸パターン１１０における凹部１１２の平面パターンに対応するパターン：図示せず）についての描画用データに基づいてモノクロ画像データとして生成されている。
【００４３】
次に、磁気ディスク検査システム１による磁気ディスク１００の検査方法について、図面を参照して説明する。
【００４４】
まず、一例として、図示しない磁化装置を用いて検査対象の磁気ディスク１００の全域（外周領域Ａｏ、環状領域Ａｒおよび内周領域Ａｉのすべての領域）をＤＣ着磁処理する。次いで、検査対象の磁気ディスク１００を信号読み取り装置２のモータ１１に取り付ける。この際には、図５に示すように、サーボパターン領域Ａｓに形成された凹凸パターン１１０（サーボパターン）やデータトラックパターン領域Ａｔに形成された凹凸パターン１１０（データトラックパターン）のパターン中心Ｏｐと、モータ１１による磁気ディスク１００の回転中心Ｏｒ（モータ１１における回転軸の中心）との間に極く僅かな位置ずれが生じた状態（回転中心Ｏｒに対してパターン中心Ｏｐが偏心した状態）となる。なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとのずれ量を誇張して大きくずらして図示すると共に、上記の外周領域Ａｏや内周領域Ａｉを誇張して実際の磁気ディスク１００よりも広く（環状領域Ａｒを誇張して実際の磁気ディスク１００よりも狭く）図示している。続いて、情報処理装置３の操作部２１を操作して検査処理の開始を指示する。この際に、情報処理装置３では、制御部２３が操作部２１からの操作信号に応じて信号読み取り装置２に信号読み取りを開始する旨の制御信号Ｓ０を出力する。これに応じて、信号読み取り装置２では、制御部１５が磁気的信号を読み取る処理を開始する。
【００４５】
具体的には、制御部１５は、まず、モータ１１に制御信号Ｓ１を出力することにより、磁気ディスク１００を矢印Ｒａ２の向きに角速度一定の条件で回転させる。この際に、モータ１１は、前述したように、磁気ディスク１００の１回転当りに１回（磁気ディスク１００における太線Ｌ０で示す部位が矢印Ｓの位置を通過する毎に１回）の時間間隔でインデックス信号Ｓｉを制御部１５に出力する。次いで、制御部１５は、一例として、磁気ディスク１００の外周側の回転半径位置から内周側の回転半径位置に向かって磁気ディスク１００から磁気的信号を順次読み取る処理を開始する。具体的には、制御部１５は、アクチュエータ１３に制御信号Ｓ２を出力することにより、一例として、図５，６に破線Ｌ１で示す回転半径位置（磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒが通過せずに外周領域Ａｏだけが通過する回転半径位置）に磁気ヘッド１２を移動させ、その状態（破線Ｌ１で示す回転半径位置に位置させた状態）を維持させる。なお、図５，６では、前述した環状領域Ａｒを網線で塗り潰して図示している。これに応じて、磁気ヘッド１２は、破線Ｌ１の回転半径位置において磁気ディスク１００から読み取った磁気的信号を出力信号Ｓ３として検出部１４に出力する。
【００４６】
一方、検出部１４は、磁気ヘッド１２から出力された出力信号Ｓ３に基づき、磁気ヘッド１２によって磁気ディスク１００から読み取られた磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して検出信号Ｓ４として制御部１５に出力する。また、制御部１５は、検出部１４から出力された検出信号Ｓ４を信号処理すると共に、モータ１１からインデックス信号Ｓｉが出力されてから次のインデックス信号Ｓｉが出力されるまでの間（すなわち、磁気ディスク１００が１回転させられる間）に処理した信号をレベル信号Ｓ５として情報処理装置３に順次出力する。この場合、破線Ｌ１で示す回転半径位置に磁気ヘッド１２が位置させられた状態では、上記したように、磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒ（データトラックパターン領域Ａｔやサーボパターン領域Ａｓ）が通過せずに、外周領域Ａｏだけが通過することとなる。また、前述したように、外周領域Ａｏや内周領域Ａｉは、環状領域Ａｒ内の凹凸パターン１１０における凸部１１１と同様に構成されているため、上記したように磁気ディスク１００の全域がＤＣ着磁された状態であるので、この外周領域Ａｏから読み取られる磁気的信号が無信号として認識されて、対応する出力信号Ｓ３が磁気ヘッド１２から出力されることとなる。したがって、磁気ヘッド１２が破線Ｌ１に位置させられた状態においては、制御部１５から情報処理装置３に無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が磁気ディスク１００の１回転に亘って連続して出力される。以上により、この回転半径位置における「信号読み取り処理」が完了する。
【００４７】
また、情報処理装置３では、制御部２３が、信号読み取り装置２（制御部１５）から出力されたレベル信号Ｓ５に基づいて画像３０（画像データＤ３０）を生成する処理を開始する。具体的には、制御部２３は、まず、信号読み取り装置２からのレベル信号Ｓ５の各値に基づいて演算した信号レベル（この例では、５つのレベル信号Ｓ５を平均した信号レベル）が２５６段階のレベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定する。また、制御部２３は、特定したレベル範囲の値を階調値に対応させて２５６階調のグレースケールの画像３０（画像データＤ３０）における最上部の一行を構成する各画素の画素値を順次規定する。
【００４８】
この場合、この磁気ディスク検査システム１では、一例として、特定されたレベル範囲が低いほど階調値が高い（白色に近い）画素値として規定して画像３０（画像データＤ３０）を生成する。また、この磁気ディスク検査システム１では、画像３０（画像データＤ３０）の生成に際してレベル信号Ｓ５に基づいて特定される信号レベルが予め規定された値よりも低いときには、どれだけ低い信号レベルであっても、上記の２５６段階のレベル範囲のうちの２５６段階目のレベル範囲（最も高い階調値）に属すると特定すると共に、特定される信号レベルが予め規定された値よりも高いときには、どれだけ高い信号レベルであっても、上記の２５６段階のレベル範囲のうちの１段階目のレベル範囲（最も低い階調値）に属すると特定する方法が採用されている。したがって、磁気ヘッド１２が破線Ｌ１に位置させられている状態においては、制御部２３は、図７に示すように、信号読み取り装置２から出力される信号レベルが「０」のレベル信号Ｓ５に対応させて、画像３０（画像データＤ３０）の最上部の一行を構成する各画素の画素値を最も高い階調値（すなわち、白色）としてそれぞれ規定する。なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、磁気ヘッド１２の下方を通過した位置を示す破線Ｌ１〜Ｌ６を画像３０上に図示しているが、実際の画像３０には、これらの破線Ｌ１〜Ｌ６は存在しない。
【００４９】
一方、信号読み取り装置２では、モータ１１からインデックス信号Ｓｉが出力された際、つまり磁気ヘッド１２を破線Ｌ１に位置させた状態において磁気ディスク１００の１回転に亘って磁気的信号の読み取りが完了した際（本発明における「信号読み取り処理」が完了した際）に、制御部１５が、アクチュエータ１３に制御信号Ｓ２を出力することにより、上記の破線Ｌ１で示す回転半径位置に対して、前述したサーボトラックピッチＴｐｓの１／９だけ（本発明における「所定量」の一例）内周側に磁気ヘッド１２を移動させ（ヘッド位置変更処理時に磁気ヘッド１２を移動させる量が、サーボトラックピッチＴｐｓ以下であって、かつ、磁気ヘッド１２の磁気的信号の読み取り幅以下である例）、その状態を維持させる（本発明における「ヘッド位置変更処理」）。この際には、一例として、磁気ヘッド１２を破線Ｌ１で示す回転半径位置に位置させたときと同様にして、信号読み取り装置２（制御部１５）から情報処理装置３に無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が磁気ディスク１００の１回転に亘って連続して出力される。これにより、情報処理装置３では、画像３０（画像データＤ３０）の２行目を構成する各画素の画素値が１行目を構成する各画素と同様に最も高い階調値（すなわち、白色）としてそれぞれ規定される。
【００５０】
さらに、モータ１１からインデックス信号Ｓｉが出力された際（磁気ヘッド１２を破線Ｌ１に対してサーボトラックピッチＴｐｓの１／９だけ内周側に位置させた状態において磁気ディスク１００の１回転に亘って磁気的信号の読み取りが完了した際）に、制御部１５が、アクチュエータ１３に制御信号Ｓ２を出力することにより、サーボトラックピッチＴｐｓの１／９だけさらに内周側に磁気ヘッド１２を移動させ、その状態を維持させる。この際にも、信号読み取り装置２（制御部１５）から情報処理装置３に無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が磁気ディスク１００の１回転に亘って連続して出力され、これに応じて、情報処理装置３では、画像３０（画像データＤ３０）の３行目を構成する各画素の画素値が１行目や２行目を構成する各画素と同様に最も高い階調値（すなわち、白色）としてそれぞれ規定される。このように、本発明における信号読み取り処理およびヘッド位置変更処理を交互に繰り返して実行することにより、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏだけが通過する状態においては、情報処理装置３によって、対応する各画素の画素値が最も高い階調値（白色）として規定される。
【００５１】
一方、本発明における信号読み取り処理およびヘッド位置変更処理を交互に繰り返して実行することにより、磁気ヘッド１２が図５，６に破線Ｌ２で示す回転半径位置に位置させられた状態においては、磁気ディスク１００の回転に伴い、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏおよび環状領域Ａｒが交互に通過することとなる。この際に、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏが通過しているときには、例えば磁気ヘッド１２が破線Ｌ１で示す回転半径位置に位置させられているときと同様にして、信号読み取り装置２（制御部１５）から情報処理装置３に無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が連続して出力される。したがって、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏが通過しているときには、情報処理装置３では、そのレベル信号Ｓ５に基づいて生成される各画素（すなわち、外周領域Ａｏ内の各位置に対応する画素）の画素値が最も高い階調値（すなわち、白色）としてそれぞれ規定される。
【００５２】
これに対して、磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒが通過しているときには、磁気ヘッド１２の下方を通過するデータトラックパターンやサーボパターンに応じて、各種信号レベルのレベル信号Ｓ５が信号読み取り装置２（制御部１５）から出力される。具体的には、環状領域Ａｒのうちのデータトラックパターン領域Ａｔに形成されているデータトラックパターンは、磁気ディスク１００の回転方向に沿って長い凸部１１１および回転方向に沿って長い凹部１１２が磁気ディスク１００の半径方向で交互に並んで形成された凹凸パターン１１０で構成されている。この場合、上記したように、パターン中心Ｏｐが回転中心Ｏｒに対して偏心した状態で磁気ディスク１００がモータ１１に取り付けられているため、磁気ヘッド１２が破線Ｌ２で示す回転半径位置に位置させられた状態においては、上記の偏心量に応じて磁気ヘッド１２の下方を凸部１１１および凹部１１２が交互に通過することとなる。しかしながら、凸部１１１が回転方向（矢印Ｒａ２の方向）に沿って長いため、データトラックパターンを構成する凸部１１１が磁気ヘッド１２の下方を通過している時間が比較的長くなる結果、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏが通過しているときと同様にして、信号読み取り装置２（制御部１５）から無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が出力されることとなる。
【００５３】
また、データトラックパターンを構成する凹部１１２が磁気ヘッド１２の下方を通過している状態においては、磁気ヘッド１２の下方にＤＣ着磁された磁性層１０４が存在しないため、結果として、信号読み取り装置２（制御部１５）から無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が出力される。このように、磁気ヘッド１２の下方をデータトラックパターン領域Ａｔが通過している際には、制御部１５から無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が出力される。したがって、磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒのうちのデータトラックパターン領域Ａｔが通過している際には、信号読み取り装置２から出力されるレベル信号Ｓ５に応じて、情報処理装置３では、そのレベル信号Ｓ５に基づいて生成される各画素（すなわち、データトラックパターン領域Ａｔ内の各位置に対応する画素）の画素値が最も高い階調値（すなわち、白色）として規定される。なお、実際には、磁気ヘッド１２の下方を凹部１１２が通過している状態から凸部１１１が通過している状態に移行した瞬間に極く短時間だけ磁気的信号有りと検出される信号や、磁気的信号の読み取りに際して出力信号Ｓ３に重畳したノイズなどに応じて、所定レベルのレベル信号Ｓ５が信号読み取り装置２（制御部１５）から出力される。したがって、これらの出力信号Ｓ３が出力された時点における磁気ヘッド１２の位置に対応する画素は、その画素値がレベル信号Ｓ５の信号レベルに基づいて演算される信号レベルに応じた階調値に規定される。
【００５４】
一方、サーボパターン領域Ａｓに形成されているサーボパターンは、磁気ディスク１００の回転方向に沿った長さが相違する各種の凸部１１１および凹部１１２を有する凹凸パターン１１０で構成されている。したがって、その全域が凸部１１１と同様に構成された外周領域Ａｏや、磁気ディスク１００の回転方向に沿って長い凸部１１１および凹部１１２が形成されたデータトラックパターン領域Ａｔが磁気ヘッド１２の下方を通過しているときとは異なり、サーボパターンを構成する凸部１１１が磁気ヘッド１２の下方を通過している際には、磁気ヘッド１２によって磁気ディスク１００から磁気的信号が読み取られて、各凸部１１１の回転方向の長さに応じた時間に亘ってハイレベルの出力信号Ｓ３が磁気ヘッド１２から出力される。この結果、検出部１４によって磁気的信号有りとの検出信号Ｓ４（出力信号Ｓ３に基づいて特定した信号レベルを示す信号）が所定時間間隔で出力されて、制御部１５（信号読み取り装置２）から、検出された磁気的信号の信号レベルを示すレベル信号Ｓ５が出力される。また、サーボパターンを構成する凹部１１２が磁気ヘッド１２の下方を通過している際には、磁気ヘッド１２の下方にＤＣ着磁された磁性層１０４が存在しないため、信号読み取り装置２（制御部１５）から無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が出力される。このように、磁気ヘッド１２の下方をサーボパターン領域Ａｓが通過しているときには、サーボパターンを構成する凹凸パターン１１０の凸部１１１および凹部１１２の通過に対応して、所定レベルのレベル信号Ｓ５、および信号レベルが「０」のレベル信号Ｓ５が交互に出力される。
【００５５】
これに伴い、情報処理装置３では、制御部２３が、信号読み取り装置２から出力されたレベル信号Ｓ５に基づいて画像３０（画像データＤ３０）における所定行数目を構成する各画素の画素値を規定する処理を実行する。この際に、制御部２３は、信号レベルが「０」のレベル信号Ｓ５に基づいて生成される画素（すなわち、サーボパターンを構成する凹部１１２に対応する画素）については、その画素値を最も高い階調値（すなわち、白色）としてそれぞれ規定する。また、所定レベルのレベル信号Ｓ５に基づいて生成される画素（すなわち、サーボパターンを構成する凸部１１１に対応する画素）については、その画素値をレベル信号Ｓ５の信号レベルに応じて低い階調値（すなわち、黒色または黒色に近い画素値）としてそれぞれ規定する。この結果、画像３０では、サーボパターンを構成する凸部１１１に対応する画素の画素値（階調値）は低く、サーボパターンを構成する凹部１１２に対応する画素の画素値（階調値）は高いグレースケールのパターンとして所定の１行分の各画素が描画される。なお、サーボパターンを構成する凹凸パターン１１０が非常に細かいパターンのため、図７および後に参照する図８〜１１では、サーボパターンに対応する領域の全体を黒色で塗り潰し、結果として、サーボパターンに対応する部位が黒色の斜め太線で図示されている。しかしながら、実際の画像３０等では、サーボパターンに対応する上記の黒色の太線の幅内に、凸部１１１に対応する黒色の画素と、凹部１１２に対応する白色の画素とが交互に並んだ状態となっている。
【００５６】
また、本発明における信号読み取り処理およびヘッド位置変更処理を交互に繰り返して実行することにより、磁気ヘッド１２が図５，６に破線Ｌ３または破線Ｌ４で示す回転半径位置に位置させられた状態においては、磁気ディスク１００の回転に伴い、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏや内周領域Ａｉが通過することなく、環状領域Ａｒだけが通過することとなる。この際に、磁気ヘッド１２の下方をデータトラックパターン領域Ａｔが通過しているときには、磁気ヘッド１２が上記の破線Ｌ２の回転半径位置に位置させされた状態においてデータトラックパターン領域Ａｔが磁気ヘッド１２の下方を通過したときと同様にして、信号読み取り装置２の制御部１５から無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が出力される。したがって、磁気ヘッド１２の下方をデータトラックパターン領域Ａｔが通過している際には、信号読み取り装置２から出力されるレベル信号Ｓ５に応じて、情報処理装置３では、そのレベル信号Ｓ５に基づいて生成される各画素（すなわち、データトラックパターン領域Ａｔ内の各位置に対応する各画素）の画素値が最も高い階調値（すなわち、白色）として規定される。一方、磁気ヘッド１２の下方をサーボパターン領域Ａｓが通過しているときには、磁気ヘッド１２が上記の破線Ｌ２の回転半径位置に位置させされた状態においてサーボパターン領域Ａｓが磁気ヘッド１２の下方を通過したときと同様にして、サーボパターンを構成する凹凸パターン１１０に応じて、所定レベルのレベル信号Ｓ５、および信号レベルが「０」のレベル信号Ｓ５が交互に出力される。この結果、画像３０では、サーボパターンを構成する凸部１１１に対応する画素の画素値（階調値）は低く、サーボパターンを構成する凹部１１２に対応する画素の画素値（階調値）は高いグレースケールのパターンとして所定の１行分の各画素が描画される。
【００５７】
さらに、本発明における信号読み取り処理およびヘッド位置変更処理を交互に繰り返して実行することにより、磁気ヘッド１２が図５，６に破線Ｌ５で示す回転半径位置に位置させられた状態においては、磁気ディスク１００の回転に伴い、磁気ヘッド１２の下方を内周領域Ａｉおよび環状領域Ａｒが交互に通過することとなる。この際に、磁気ヘッド１２の下方を内周領域Ａｉが通過しているときには、例えば磁気ヘッド１２が破線Ｌ２で示す回転半径位置に位置させられた状態において磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏが通過しているときと同様にして、信号読み取り装置２（制御部１５）から情報処理装置３に無信号（信号レベルが「０」）のレベル信号Ｓ５が連続して出力される。したがって、磁気ヘッド１２の下方を内周領域Ａｉが通過している際に出力されるレベル信号Ｓ５に応じて、情報処理装置３では、そのレベル信号Ｓ５に基づいて生成される各画素（すなわち、内周領域Ａｉ内の各位置に対応する各画素）の画素値が最も高い階調値（すなわち、白色）として規定される。
【００５８】
これに対して、磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒが通過しているときには、例えば磁気ヘッド１２が破線Ｌ２で示す回転半径位置に位置させられた状態において磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒが通過しているときと同様にして、磁気ヘッド１２の下方を通過するデータトラックパターンやサーボパターンに応じて、各種信号レベルのレベル信号Ｓ５が信号読み取り装置２（制御部１５）から出力される。この結果、情報処理装置３では、上記したように、データトラックパターン領域Ａｔが磁気ヘッド１２の下方を通過している際に出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて生成される画素（すなわち、データトラックパターン領域Ａｔ内の各位置に対応する画素）については、その画素値が最も高い階調値（すなわち、白色）として規定される。また、サーボパターン領域Ａｓが磁気ヘッド１２の下方を通過している際に出力されるレベル信号Ｓ５に対応する画素については、その画素値が最も高い階調値（すなわち、白色）、または、信号レベルに応じて低い階調値（すなわち、黒色または黒色に近い色）として規定される。この結果、画像３０では、サーボパターンを構成する凸部１１１に対応する画素の画素値（階調値）は低く、サーボパターンを構成する凹部１１２に対応する画素の画素値（階調値）は高いグレースケールのパターンとして所定の１行分の各画素が描画される。
【００５９】
また、本発明における信号読み取り処理およびヘッド位置変更処理を交互に繰り返して実行することにより、磁気ヘッド１２が図５，６に破線Ｌ６で示す回転半径位置に位置させられた状態においては、磁気ディスク１００の回転に伴い、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏおよび環状領域Ａｒが通過することなく、内周領域Ａｉだけが通過することとなる。この際には、磁気ヘッド１２が破線Ｌ１で示す回転半径位置に位置させられた状態において外周領域Ａｏが磁気ヘッド１２の下方を通過しているときと同様にして、磁気ディスク１００の１回転に亘って信号読み取り装置２から信号レベルが「０」のレベル信号Ｓ５が出力される。したがって、情報処理装置３では、そのレベル信号Ｓ５に基づいて生成される１行分の各画素（すなわち、外周領域Ａｏ内の各位置に対応する１行分の各画素）の画素値（階調値）が最も高い値としてそれぞれ規定される。以上により、磁気ディスク１００の外周側から内周側まで、本発明における信号読み取り処理およびヘッド位置変更処理を交互に実行することにより、磁気ディスク１００の検査時における磁気的信号の読み取り処理が完了する。
【００６０】
このように、磁気ディスク１００の外周側の所定の回転半径位置（この例では、図５，６において破線Ｌ１で示す回転半径位置）から、内周側の所定の回転半径位置（この例では、図５，６において破線Ｌ６で示す回転半径位置）まで、磁気ディスク１００の１回転に亘って磁気ディスク１００から磁気的信号を読み取る（読み取った磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化したレベル信号Ｓ５を情報処理装置３に出力する）信号読み取り処理と、磁気ヘッド１２をサーボトラックピッチＴｐｓの１／９だけ内周側に移動させるヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行することにより、図７に示すように、磁気ディスク１００の外周側から内周側までの各位置からそれぞれ読み取った磁気的信号の信号レベルに対応して画素値（階調値）が相違する画像３０（画像データＤ３０）が生成されて情報処理装置３の記憶部２４に記憶される。
【００６１】
この場合、生成された画像３０（画像データＤ３０）では、その縦方向が磁気ディスク１００上の回転半径位置に対応させられると共に、その横方向がインデックス信号Ｓｉの出力時点からの経過時間に対応させられている。したがって、後に実行する検査用基準データとしての画像７０（画像データＤ７０：図１０参照）との比較処理を容易とするために、生成した画像３０（画像データＤ３０）の横方向を回転中心周りの角度位置に対応させるようにして補正するデータ処理を実行して、図８に示す画像４０（画像データＤ４０）を生成する。この場合、上記の画像３０（画像データＤ３０）には、信号読み取り装置２による磁気的信号の読み取り時における回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとのずれ（偏心）に起因する歪みが存在している。したがって、この画像３０（画像データＤ３０）に基づいて生成された画像４０（画像データＤ４０：本発明における「検査対象データ」の他の一例：具体的には、本発明における「検査対象データ」の一例である画像データＤ３０に基づいて生成される検査対象データ）には、上記の画像３０（画像データＤ３０）と同様にして、環状領域Ａｒに対応する帯状の領域（環状領域Ａｒにおける最外周のパターン半径位置を示す一点鎖線Ｌｏと、環状領域Ａｒにおける最内周のパターン半径位置を示す一点鎖線Ｌｉとの間の帯状の領域）が上下方向においてそれぞれ蛇行するようにして歪みが生じている。
【００６２】
このため、制御部２３は、生成した画像データＤ４０に対するデータ処理を実行して上記の歪みを補正すると共に（画像補正処理）、外周領域Ａｏおよび内周領域Ａｉから読み取られた磁気的信号に基づいて生成される画素（すなわち、外周領域Ａｏおよび内周領域Ａｉ内の各位置に対応する各画素）を削除して、図９に示す画像５０（画像データＤ５０）を生成する（本発明における「信号読み取り処理時における磁気記録媒体の回転中心とサーボパターンのパターン中心との位置ずれに応じて検査対象データを補正する」との処理の一例）。具体的には、制御部２３は、生成した画像４０（画像データＤ４０）に対するデータ処理を実行して、上記の一点鎖線Ｌｏおよび一点鎖線Ｌｉの少なくとも一方（一例として、一点鎖線Ｌｏ）を検出する。この際に、制御部２３は、まず、磁気ヘッド１２の下方をサーボパターン領域Ａｓが通過している際に出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて生成される各画素（すなわち、サーボパターン領域Ａｓ内の各位置に対応する各画素が左右方向で並んでいる領域であって、その階調値が高い画素（白色の画素）と階調値が低い画素（黒色の画素）とが混在している領域）と、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏが通過している際に出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて生成される各画素（すなわち、外周領域Ａｏ内の各位置に対応する各画素が左右方向で並んでいる領域であって、その階調値が高い画素（白色の画素）が連続している領域）とが上下方向で隣り合っている部位（以下、「境界部分」ともいう）を特定する。この際には、磁気ディスク１００に形成されたサーボパターン領域Ａｓの数だけ境界部分が特定される。具体的には、磁気ディスク１００上にサーボパターン領域Ａｓが例えば２００カ所規定されている場合には、２００カ所の境界部分が特定される。
【００６３】
次いで、制御部２３は、特定した各境界部分のすべてを通過する線分（各境界部分を結ぶ線分）を上記の一点鎖線Ｌｉとして特定する。続いて、制御部２３は、特定した一点鎖線Ｌｉの蛇行状態に基づき、上記の回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとのずれ（偏心）に起因する画像４０の歪みを補正する。また、制御部２３は、上記の歪みの補正と併せて、磁気ヘッド１２の下方を外周領域Ａｏや内周領域Ａｉが通過している際に出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて生成される画素（すなわち、外周領域Ａｏおよび内周領域Ａｉ内の各位置に対応する各画素）を特定して削除する（画素を消去する）。これにより、図９に示すように、磁気ヘッド１２の下方を環状領域Ａｒが通過している際に出力されたレベル信号Ｓ５に基づいて生成された画素（すなわち、環状領域Ａｒ内の各位置に対応する各画素）だけで構成された画像５０（画像データＤ５０：本発明における「検査対象データ」のさらに他の一例：具体的には、本発明における「検査対象データ」の一例である上記の画像データＤ４０に基づいて生成された検査対象データ）が生成される。この場合、この画像５０（画像データＤ５０）では、上記の一点鎖線Ｌｏや一点鎖線Ｌｉが画像の上辺および下辺に対応している。また、この画像５０（画像データＤ５０）では、上記の歪みが補正されたことで磁気的信号の読み取り時における回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとのずれ（偏心）の影響が排除され、これにより、その縦方向が磁気ディスク１００上のサーボパターンやデータトラックパターンのパターン半径位置に対応させられると共に、その横方向がパターン中心周りの角度位置に対応させられた状態となっている。
【００６４】
次いで、制御部２３は、後に実行する検査用基準データとしての画像７０（画像データＤ７０：図１１参照）との比較処理を一層容易とするために、２５６階調のグレースケールの画像５０（画像データＤ５０）を黒色および白色の２値化画像（モノクロ画像）に補正する。この際には、前述したように出力信号Ｓ３に重畳したノイズ等に対応して所定レベルの階調値に規定された画素が白色の画素として補正されるように、２値化処理時の閾値を予め規定しておく。なお、この２値化処理に代えて、例えば上記の画像３０（画像データＤ３０）の生成に際してモノクロ２値の画像（画像データ）を生成する方法（本発明における「予め規定した複数の信号レベル範囲」が２つの信号レベル範囲の例）を採用することもできる。続いて、制御部２３は、２値化した画像５０（画像データＤ５０）に対する解析処理を実行して、一例として、磁気ディスク１００の環状領域Ａｒにおける最内周側のゼロセクタに対応する画素（一例として、図９に示す位置Ｐ０の画像）を特定する。次いで、制御部２３は、検出した画素（この例では、位置Ｐ０の画素）が画像の左下角部に位置するように画像５０（画像データＤ５０）を横方向にスクロールさせて、図１０に示すように、画像６０（画像データＤ６０：本発明における「検査対象データ」のさらに他の一例：具体的には、本発明における「検査対象データ」の一例である上記の画像データＤ５０に基づいて生成された検査対象データ）を生成する。
【００６５】
次いで、生成した画像６０（画像データＤ６０）と、検査用基準データとしての画像７０（画像データＤ７０）とに基づいて、検査対象の磁気ディスク１００におけるサーボパターンの良否を検査する。この場合、この磁気ディスク検査システム１では、検査対象データに相当する画像６０（画像データＤ６０）の基となった画像３０（画像データＤ３０）の生成に際して、磁気ヘッド１２をサーボトラックピッチＴｐｓに対して１／９の間隔で磁気ディスク１００上を移動させつつ磁気的信号を読み取る処理を実行している。したがって、図１２，１３に示すように、この画像３０（画像データＤ３０）に基づいて生成される画像６０（画像データＤ６０）上におけるパターン半径方向の９画素分の長さは、磁気ディスク１００におけるサーボトラックピッチＴｐｓに対応する長さとなる。このため、この画像６０（画像データＤ６０）では、１つの単位情報領域Ａ６０のパターン半径方向に沿った長さが９画素分となっている。
【００６６】
なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、１つの単位情報領域Ａ６０に対応させる画素数を縦横それぞれ９画素としているが、この１つの単位情報領域Ａ６０に対応させる横方向の画素数は、信号読み取り装置２における検出部１４の分解能（検出部１４が磁気的信号の信号レベルを数値化する時間間隔）や、信号読み取り処理時における磁気ディスク１００の回転速度などに応じて、９画素以外の複数画素となることもある。また、本発明における検査用基準データとしての基準レベルデータに相当する画像７０（画像データＤ７０）では、上記の画像６０（画像データＤ６０）と同様にして、１トラックピッチ（サーボトラックピッチＴｐｓ）が縦方向で並ぶ９つの画素に対応させられて、１つの単位情報領域Ａ７０に対応させられる画素数が縦横それぞれ９画素となっている。
【００６７】
また、図１２に示すように、この磁気ディスク検査システム１では、画像７０（画像データＤ７０）上の１つの単位情報領域Ａ７０を構成する各画素（一例として、スキュー角が０°の部位においては、縦横それぞれ９画素の計８１画素）のうちの５つの画素の位置に検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅ（本発明における「各単位情報領域毎の複数の位置」が５つの例：以下、区別しないときには「検査ポイントＰ」ともいう）をそれぞれ規定して、この検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅの画素の画素値と、検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅに対応する画像６０（画像データＤ６０）上の各検査ポイントＰ６０ａ〜Ｐ６０ｅの画素の画素値とを比較して（「互いに対応する位置の信号レベルを比較する」との処理の一例）、比較結果が予め規定された基準を満たすときに、その検査ポイントＰ６０ａ〜Ｐ６０ｅ，Ｐ７０ａ〜Ｐ７０ｅに対応する単位情報領域にサーボパターンが正常に形成されていると検査する方法（各検査ポイントＰに対応する磁気ディスク１００上の領域が良好と判定する方法）を採用している。
【００６８】
なお、図１２では、スキュー角が付与されていない（スキュー角が０°である）パターン半径位置（この例では、磁気ディスク１００における環状領域Ａｒの最内周部）における単位情報領域Ａ６０，Ａ７０を図示しているため、単位情報領域Ａ６０，Ａ７０が縦横それぞれ９画素の正方形となっている。一方、図１３に示すように、スキュー角が付与されたパターン半径位置（この例では、例えば、磁気ディスク１００における環状領域Ａｒの中周部や外周部）においては、単位情報領域Ａ６０，Ａ７０を構成する各画素のうちの上側の領域（同図の例では、横９画素×縦４画素の３６画素）と、単位情報領域Ａ６０，Ａ７０を構成する各画素のうちの下側の領域（同図の例では、横９画素×縦５画素の４５画素）とが上下方向で位置ずれした状態（略平行四辺形状）となる。したがって、スキュー角が付与されたパターン半径位置の単位情報領域Ａ７０では、検査ポイントＰ７０ａと検査ポイントＰ７０ｄとをスキュー角に応じて左右方向に位置ずれさせるように規定すると共に、検査ポイントＰ７０ｂと検査ポイントＰ７０ｅとをスキュー角に応じて左右方向に位置ずれさせるように規定して画像６０（画像データＤ６０）上の対応する検査ポイントＰとを比較するのが好ましい。
【００６９】
この場合、図１５に示す画像７０（画像データＤ７０）における単位情報領域Ａ７１については、その単位情報領域Ａ７１内の検査ポイントＰ７１ａ〜Ｐ７１ｅの画素の画素値と、図１４に示す画像６０（画像データＤ６０）における単位情報領域Ａ６１内の検査ポイントＰ６１ａ〜Ｐ６１ｅの画素の画素値とを比較することにより、凸部１１１が形成されているべき検査ポイントＰに凸部１１１が形成され、凹部１１２が形成されているべき検査ポイントＰに凹部１１２が形成されているかを検査する。なお、図１４では、その画素値が黒色の値の画素を右下がりの斜線で塗り潰して図示すると共に、その画素値が白色の値の画素を白色で図示している。この場合、画像６０において黒色の値の画素値となっている画素は、検査対象の磁気ディスク１００において、その画素に対応する部位に凹凸パターン１１０における凸部１１１が形成されている旨（所定レベルの磁気的信号が検出された旨）を示している。また、画像６０において白色の値の画素値となっている画素は、検査対象の磁気ディスク１００において、その画素に対応する部位に凹凸パターン１１０における凹部１１２が形成されている旨（レベル０の磁気的信号が検出された旨）を示している。一方、図１５では、その画素値が黒色の値の画素を左下がりの斜線で塗り潰して図示すると共に、その画素値が白色の値の画素を白色で図示している。この場合、画像７０において黒色の値の画素値となっている画素は、良品の磁気ディスク１００において、その画素に対応する部位に凹凸パターン１１０の凸部１１１が形成されている旨（所定レベルの磁気的信号が検出されるべきである旨）を示している。また、画像７０において白色の値の画素値となっている画素は、良品の磁気ディスク１００において、その画素に対応する部位に凹凸パターン１１０における凹部１１２が形成されている旨（レベル０の磁気的信号が検出されるべきである旨）を示している。
【００７０】
また、図１５に示すように、画像７０における単位情報領域Ａ７１内の各検査ポイントＰ７１ａ〜Ｐ７１ｅの各画素は、その画素値が黒色の値となっている。これに対して、図１４に示すように、単位情報領域Ａ７１内の各検査ポイントＰ７１ａ〜Ｐ７１ｅに対応する画像６０上の単位情報領域Ａ６１内の各検査ポイントＰ６１ａ〜Ｐ６１ｅの各画素は、その画素値が黒色の値となっている。したがって、制御部２３は、画像６０における検査ポイントＰ６１ａ〜Ｐ６１ｅに対応する磁気ディスク１００上の各位置（すなわち、検査ポイントＰ６１ａ〜Ｐ６１ｅを含む単位情報領域であって、良品の磁気ディスク１００では、凸部１１１が形成されている領域）に凸部１１１が正常に形成されていると判定し、その判定結果を記憶部２４に記憶させる。一方、図１５に示すように、画像７０における単位情報領域Ａ７２内の各検査ポイントＰ７２ａ〜Ｐ７２ｅの各画素は、その画素値が白色の値となっている。これに対して、図１４に示すように、単位情報領域Ａ７２内の各検査ポイントＰ７２ａ〜Ｐ７２ｅに対応する画像６０上の単位情報領域Ａ６２内の各検査ポイントＰ６２ａ〜Ｐ６２ｅの各画素は、その画素値が白色の値となっている。したがって、制御部２３は、画像６０における検査ポイントＰ６２ａ〜Ｐ６２ｅに対応する磁気ディスク１００上の各位置（すなわち、検査ポイントＰ６２ａ〜Ｐ６２ｅを含む単位情報領域であって、良品の磁気ディスク１００では、凹部１１２が形成されている領域）に凹部１１２が正常に形成されていると判定し、その判定結果を記憶部２４に記憶させる。
【００７１】
また、制御部２３は、画像７０における検査ポイントＰ７３ａ〜Ｐ７３ｅを含む単位情報領域Ａ７３については、検査ポイントＰ７３ａ〜Ｐ７３ｅの画素の画素値と、画像６０における単位情報領域Ａ６３内の検査ポイントＰ６３ａ〜Ｐ６３ｅの画素の画素値と対比することにより、凸部１１１が正常に形成されていると判定し、その判定結果を記憶部２４に記憶させる。同様にして、画像７０における検査ポイントＰ７４ａ〜Ｐ７４ｅを含む単位情報領域Ａ７４については、検査ポイントＰ７４ａ〜Ｐ７４ｅの画素の画素値と、画像６０における単位情報領域Ａ６４内の検査ポイントＰ６４ａ〜Ｐ６４ｅの画素の画素値と対比することにより、凹部１１２が正常に形成されていると判定し、その判定結果を記憶部２４に記憶させる。なお、実際には、単位情報領域Ａ６３，Ａ７３（検査ポイントＰ６３ａ〜Ｐ６３ｅ，Ｐ７３ａ〜Ｐ７３ｅ）についての検査が完了した後に、その右側に設定されている各単位情報領域Ａ（各検査ポイントＰ）についての検査処理を実行してから、上記の単位情報領域Ａ６４，７４（検査ポイントＰ６４ａ〜Ｐ６４ｅ，Ｐ７４ａ〜Ｐ７４ｅ）の左側に位置する各単位情報領域Ａ（各検査ポイントＰ）についての検査処理が実行されるが、本発明についての理解を容易とするために、図１４，１５に図示する単位情報領域Ａ６１〜Ａ６６，Ａ７１〜Ａ７６内の各検査ポイントＰに対する検査処理についてのみ説明する。
【００７２】
一方、図１５に示すように、画像７０における単位情報領域Ａ７５内の各検査ポイントＰ７５ａ〜Ｐ７５ｅの各画素は、その画素値が黒色の値となっている。これに対して、図１４に示すように、この単位情報領域Ａ７５内の各検査ポイントＰ７５ａ〜Ｐ７５ｅに対応する画像６０上の単位情報領域Ａ６５内の各検査ポイントＰの各画素は、検査ポイントＰ６５ｂ〜Ｐ６５ｅの画素の画素値が黒色の値となっているものの、検査ポイントＰ６５ａの画素の画素値は、白色の値となっている。したがって、制御部２３は、画像６０における検査ポイントＰ６５ｂ〜Ｐ６５ｅに対応する磁気ディスク１００上の各位置には凸部１１１が形成されているものの、この検査ポイントＰ６５ｂ〜Ｐ６５ｅと同様にして凸部１１１が形成されているべき検査ポイントＰ６５ａに対応する磁気ディスク１００上の各位置には凹部１１２が形成されていると判別する。この際には、この検査ポイントＰ６５ａを含む単位情報領域Ａ６５（図１４に矢印Ｘ１で示す部位に対応する部位）にパターン不良が生じていると判定し、その判定結果を記憶部２４に記憶させる。
【００７３】
また、図１５に示すように、画像７０における単位情報領域Ａ７６内の各検査ポイントＰ７６ａ〜Ｐ７６ｅの各画素は、その画素値が白色の値となっている。これに対して、図１４に示すように、この単位情報領域Ａ７６内の各検査ポイントＰ７６ａ〜Ｐ７６ｅに対応する画像６０上の単位情報領域Ａ６６内の各検査ポイントＰの各画素は、検査ポイントＰ６６ｂ〜Ｐ６６ｅの画素の画素値が白色の値となっているものの、検査ポイントＰ６６ａの画素の画素値は、黒色の値となっている。したがって、制御部２３は、画像６０における検査ポイントＰ６６ｂ〜Ｐ６６ｅに対応する磁気ディスク１００上の各位置には凹部１１２が形成されているものの、この検査ポイントＰ６６ｂ〜Ｐ６６ｅと同様にして凹部１１２が形成されているべき検査ポイントＰ６６ａに対応する磁気ディスク１００上の各位置には凸部１１１が形成されていると判別する。この際には、この検査ポイントＰ６６ａを含む単位情報領域Ａ６６（図１４に矢印Ｘ２で示す部位に対応する部位）にパターン不良が生じていると判定し、その判定結果を記憶部２４に記憶させる。
【００７４】
この後、他の検査ポイントＰ（単位情報領域Ａ）についても、上記の一連の検査処理と同様の手順に従って、検査対象の磁気ディスク１００に凸部１１１または凹部１１２が正常に形成されているか否かを検査する。また、すべての検査ポイントＰ（すべての単位情報領域Ａ）についての検査処理が完了したときに、制御部２３は、一例として、凸部１１１や凹部１１２の形成不良（パターン不良）の箇所に応じた数が、予め規定された基準値以下か否かに基づき、形成不良の数が基準値以下のときには、上記の画像６０（画像データＤ６０）の基となった検査対象の磁気ディスク１００が良品であると判定し、形成不良の数が基準値を超えているときには、上記の画像６０（画像データＤ６０）の基となった検査対象の磁気ディスク１００が不良品であると判定する。以上により、１枚の磁気ディスク１００についての良否検査が完了する。
【００７５】
この場合、上記の例では、画像７０内の１つの単位情報領域Ａ７０内に５つの検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅを規定して、すべての検査ポイントＰの画素の画素値が画像６０における対応する検査ポイントＰ６０ａ〜Ｐ６０ｅの画素の画素値と一致するときに、その単位情報領域Ａ６０に凸部１１１や凹部１１２が正常に形成されていると検査する構成を採用している。しかしながら、本発明はこれに限定されず、１つの単位情報領域Ａ７０内に規定する検査ポイントＰの数は、検査の目的、使用する磁気ヘッドの磁気的読み取り幅、アクチュエータ１３の能力（ヘッド送りのピッチ）に応じて適宜規定することができる。具体的には、一例として、検査に要する時間を短縮するには、例えば、画像７０における各単位情報領域Ａ７０内の検査ポイントＰ７０ｃの画素の画素値と、画像６０における各単位情報領域Ａ６０内の検査ポイントＰ６０ｃの画素の画素値とを比較して、両画素値が一致したときには、その単位情報領域Ａ６０に凸部１１１や凹部１１２が正常に形成されていると検査する構成（１つの単位情報領域Ａ７０内に１つの検査ポイントＰを規定して検査する構成）を採用することができる。このような構成を採用することにより、各単位情報領域Ａに対応する磁気ディスク１００上の各領域に凸部１１１や凹部１１２が正常に形成されているか否かを短時間で検査することができる。
【００７６】
また、例えば、１つの単位情報領域Ａ７０内に規定する検査ポイントＰの数は５つに限定されず、任意の複数の数の検査ポイントＰを規定し、各検査ポイントＰの画素の画素値と、画像６０における対応する各検査ポイントＰの画素の画素値とを比較して、両画素値が一致したときには、その単位情報領域Ａ６０に凸部１１１や凹部１１２が正常に形成されていると検査する構成を採用することができる。この場合、単位情報領域Ａ７０内のすべての画素について検査ポイントＰをそれぞれ規定し、すべての検査ポイントＰ（すなわち、すべての画素）について、画像６０における対応する各検査ポイントＰの画素（すなわち、すべての画素）の画素値を比較する構成を採用することもできる。
【００７７】
このように、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法では、磁気的信号の読み取り幅がサーボトラックピッチＴｐｓ以下（この例では、サーボトラックピッチＴｐｓの３／４程度）の磁気ヘッド１２を使用して、磁気ディスク１００を回転させつつ、磁気ヘッド１２を所定の回転半径位置に位置させた状態を維持して磁気ディスク１００の少なくとも１回転に亘って磁気ディスク１００から磁気的信号を読み取る信号読み取り処理と、磁気ヘッド１２を位置させる回転半径位置を磁気ディスク１００の半径方向で所定量（この例では、磁気ヘッド１２の読み取り幅と等しいサーボトラックピッチＴｐｓの１／９）だけ変更するヘッド位置変更処理とを交互に繰り返して実行し、本発明における信号読み取り処理時において各回転半径位置毎に読み取った磁気的信号の信号レベルを所定時間間隔で数値化して磁気ディスク１００の少なくとも一面における各位置毎の磁気的信号の信号レベルを特定可能なデータ（この例では、信号レベルを画素値として数値化した画像データＤ３０に基づいて生成した画像データＤ６０）を本発明における検査対象データとして生成して、生成した検査対象データと検査用基準データ（この例では、画像データＤ７０）とに基づいて磁気ディスク１００を検査する。
【００７８】
したがって、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法によれば、データ記録トラックのトラックピッチよりも幅広の磁気ヘッドを使用して磁気記録媒体に欠陥が存在するか否かを検査する従来の欠陥検査方法とは異なり、その半径方向の長さがサーボトラックピッチＴｐｓ以下の小さな凸部１１１や凹部１１２を有する凹凸パターン１１０で構成されたサーボパターンにパターン不良が生じているか否かを確実かつ高精度で検査することができると共に、パターン不良が生じている場合には、そのパターン不良がいずれの箇所に生じているのかを確実に検査することができる。
【００７９】
また、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法によれば、所定時間間隔で数値化した磁気的信号の信号レベルが予め規定した複数の信号レベル範囲（この例では、２５６段階または２段階）のうちのいずれの範囲（いずれの階調値）に属するかを特定して特定した信号レベル範囲を示すデータ（この例では、信号レベルを画素値に対応させた２５６階調または２階調のグレースケールの画像データＤ３０、および画像データＤ３０に基づいて生成される画像データＤ４０，Ｄ５０，Ｄ６０）を本発明における検査対象データとして生成することにより、磁気ヘッド１２から出力される出力信号Ｓ３のに基づいて特定される信号レベルを単に数値化して記録したデータを本発明における検査対象データとして生成する検査方法とは異なり、本発明における検査用基準データとの比較処理を短時間で容易に実行することができる。
【００８０】
さらに、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法によれば、本発明における信号読み取り処理時の磁気ディスク１００の回転中心Ｏｒとサーボパターンやデータトラックパターンのパターン中心Ｏｐとの位置ずれに応じて（位置ずれに起因する画像の歪みに応じて）画像データ（この例では、上記の画像データＤ３０に基づいて生成した画像データＤ４０）を補正することにより、回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとの位置ずれの影響を含んだ状態（位置ずれに起因する歪みが存在した状態）の画像データＤ４０と検査用基準データとしての画像データＤ７０とを比較する方法とは異なり、補正後の画像データ（この例では、補正後の画像データＤ５０に基づいて生成した画像データＤ６０）と画像データＤ７０との双方に位置ずれの影響（上記の歪み）が存在しない状態でパターン不良が存在するか否かを検査することができる。したがって、位置ずれの影響（歪みの存在）を考慮して比較すべき画素値をその都度特定しつつ（比較すべき画素値の画素の位置をその都度特定しつつ）比較する煩雑な処理を不要とできる分だけ、パターン不良の有無を短時間で容易に検査することができる。
【００８１】
また、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法によれば、磁気ディスク１００の少なくとも一面における各位置に対応する磁気的信号の基準の信号レベル（この例では、基準の信号レベルに対応する画素値）を特定可能な基準レベルデータ（この例では、画像データＤ７０）を本発明における検査用基準データとしての基準レベルデータとして用いると共に、本発明における検査対象データ（この例では、画像データＤ６０）および本発明における基準レベルデータ（この例では、画像データＤ７０）における磁気ディスク１００上の所定の各位置にそれぞれ対応する位置の信号レベル同士（この例では、対応する検査ポイントＰ６０ａ〜Ｐ６０ｅ，Ｐ７０ａ〜Ｐ７０ｅの各画素の画素値同士）を比較して、比較結果が予め規定された基準を満たすときに、上記の所定の各位置に対応付けられた磁気記録媒体上の所定の領域が良好とすることにより、磁気ディスク１００の良否を短時間で容易に検査することができる。
【００８２】
さらに、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法によれば、磁気ディスク１００の少なくとも一面における複数の単位情報領域毎に検査ポイントＰを規定して、規定した各検査ポイントＰを本発明における所定の各位置として対応する信号レベル同士（この例では、画像７０における各単位情報領域Ａ内の各検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅの画素の画素値、および画像６０における各単位情報領域Ａ内の各検査ポイントＰ６０ａ〜Ｐ６０ｅの画素の画素値）を比較することにより、サーボパターンを構成する各単位情報領域に凸部１１１や凹部１１２が正常に形成されているか否かを高精度で検査することができる。
【００８３】
また、この磁気ディスク検査システム１、および磁気ディスク検査システム１による磁気記録媒体検査方法によれば、各単位情報領域毎に複数の検査ポイントＰ（この例では、各単位情報領域Ａ内の５つの検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅ）を規定してこれら複数の検査ポイントＰに対応する信号レベル同士をそれぞれ比較することにより、単位情報領域Ａが正常に形成されているか否かを一層高精度で検査することができる。
【００８４】
なお、本発明は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、磁気ディスク１００におけるサーボパターンの良否を検査する方法について説明したが、サーボパターンの良否を検査して良好と検査した磁気ディスク１００に対して、その磁気ディスク１００におけるデータトラックパターンの良否を検査することもできる。具体的には、一例として、サーボパターンの良否検査において正常（良品）と検査された磁気ディスク１００について、ＡＣ着磁装置（ＡＣイレース装置）によってデータトラックパターン領域Ａｔ内の各凸部１１１（データ記録トラック）を対象とするＡＣ着磁処理を実行することにより、回転方向に沿って長いデータトラックパターン用の凸部１１１についても、サーボパターン領域Ａｓ内の凸部１１１と同様にして、磁気ヘッド１２によって磁気的信号の読み取りが可能となる。この場合、ＡＣ着磁処理を実行したデータトラックパターン用の凸部については、磁界の方向が交互に相違する複数の磁化領域として磁気的信号が読み取られる。また、磁気ディスク１００の全域をＤＣ着磁処理した後に、サーボパターン領域Ａｓからサーボデータを読み取り、そのサーボデータを利用してデータトラックパターン領域Ａｔ内の各凸部１１１を選択的にＡＣ着磁処理して、その後に、サーボパターン領域Ａｓおよびデータトラックパターン領域Ａｔの双方について本発明に係る磁気記録媒体検査方法に従って検査することもできる。
【００８５】
また、磁気ディスク１００の１回転に亘って磁気的信号を読み取って、その際に信号読み取り装置２から出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて検査対象データの基となる画像データＤ３０（画像３０）を生成する例について説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、２回転以上の任意の複数回転に亘って磁気的信号を読み取って、その際に信号読み取り装置２から出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて、磁気ディスク１００の各位置から読み取られた磁気的信号の信号レベルの平均値を算出し、算出した平均値に基づいて、検査対象データの基となる画像データＤ３０（画像３０）を生成する方法を採用することもできる。このような方法を採用することにより、磁気ディスク１００から磁気的信号を読み取る際に重畳したノイズ等の影響を十分に小さくすることができるため、検査対象の磁気ディスク１００についての正確な検査対象データを取得することができる。
【００８６】
さらに、信号読み取り装置２による磁気的信号の読み取り処理と、情報処理装置３による画像データＤ３０の生成処理とを並行して実行する検査方法について説明したが、本発明は、これに限定されない。具体的には、一例として、磁気ディスク１００の全域に対する磁気的信号の読み取り処理を完了するまで、信号読み取り装置２内の所定の記憶領域（図示せず）、または、情報処理装置３の記憶部２４に上記のレベル信号Ｓ５を記憶させておき、全域に対する磁気的信号の読み取り処理を完了した後に、記憶させておいた各レベル信号Ｓ５に基づいて、上記の画像データＤ３０（画像３０）を生成する処理（磁気的信号の信号レベルが予め規定した複数の信号レベル範囲のうちのいずれの範囲に属するかを特定してその信号レベル範囲を示すデータを検査対象データとして生成する処理）を実行する検査方法を採用することができる。このような検査方法を採用した場合においても、上記の磁気ディスク検査システム１による検査方法と同様にして、磁気的読み取り幅が十分に狭い磁気ヘッド１２を用いて読み取った磁気的信号に基づいて磁気ディスク１００を検査することにより、その半径方向の長さがサーボトラックピッチＴｐｓ以下の小さな凸部１１１や凹部１１２を有する凹凸パターン１１０で構成されたサーボパターンにパターン不良が生じているか否かを確実に検査することができる。
【００８７】
また、信号読み取り装置２による磁気的信号の読み取り処理、および情報処理装置３による画像データＤ３０の生成処理が完了した後に、その画像データＤ３０に基づいて生成した画像データＤ４０を対象として、回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとの位置ずれに起因する画像の歪みを補正する処理を実行して画像データＤ５０を生成する例について説明したが、本発明に係る検査方法はこれに限定されない。具体的には、一例として、上記の画像データＤ３０の生成に際して、図７に示す一点鎖線Ｌｏと重なる各画素のすべてについて画素値を特定した時点において、上記の画像４０（画像データＤ４０）に対する歪みの補正処理時と同様にして、回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとの位置ずれに起因する歪み（すなわち、上記の一点鎖線Ｌｏのうねり）を検出する。次いで、検出した歪み（うねり）に応じて、その時点以前に画素値を特定した各画素からなる画像を補正すると共に、その後に出力されるレベル信号Ｓ５に基づいて生成される画素については、歪みが生じないように位置を変更して画素値を記録する方法、すなわち、回転中心Ｏｒとパターン中心Ｏｐとの位置ずれの影響を考慮して歪みを補正しつつ画像データを生成する（画像を描画する）方法を採用することもできる。このような方法を採用することにより、検査時間を一層短縮することができる。
【００８８】
さらに、本発明における検査対象データとして画像データ（この例では、画像データＤ３０〜Ｄ６０）を生成する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。具体的には、一例として、信号読み取り装置２（磁気ヘッド１２）によって磁気ディスク１００の各部から読み取った磁気的信号の信号レベルとして、出力信号Ｓ３の電圧値を数値化して記録することで本発明における検査対象データを生成する検査方法等を採用することができる。同様にして、本発明における検査用基準データ（基準レベルデータ）についても、上記の画像データＤ７０のような画像データに限定されるものではなく、磁気ディスク１００の各部において検出されるべき磁気的信号の大きさを上記の出力信号Ｓ３の電圧値に置き換えたデータ等を検査用基準データとして使用することができる。
【００８９】
また、本発明における「ヘッド位置変更処理」に際してサーボトラックピッチＴｐｓの１／９（磁気ヘッド１２の磁気的信号の読み取り幅である「サーボトラックピッチＴｐｓの３／４の長さ」よりも短い長さの一例）だけ磁気ヘッド１２を移動させる例について説明したが、本発明はこれに限定されず、磁気ヘッド１２を移動させる量は、「サーボトラックピッチＴｐｓ」や「磁気ヘッド１２の磁気的信号の読み取り幅」とは無関係に任意に規定することができる。この場合、磁気ヘッド１２の信号読み取り幅を超える任意の距離だけ磁気ヘッドを移動させる方法を採用することにより、磁気ディスク１００の検査を短時間で完了することができ、磁気ヘッド１２の信号読み取り幅を下回る任意の距離だけ磁気ヘッドを移動させる方法を採用することで、磁気ディスク１００を詳細に検査することができる。
【００９０】
また、本発明における信号読み取り処理時における磁気ディスク１００の回転速度、検出部１４のサンプリングレート、および各レベル信号Ｓ５を平均して１つの信号レベルを演算する対象のレベル信号Ｓ５の数（つまり、平均値として算出するための各信号レベルに対応するサンプリング周期）を変更することで、上記の画像データＤ３０〜Ｄ６０における横方向の画素数（すなわち、磁気ディスク１００における周方向の各位置に対応する画素の数）を変更することができる。また、本発明における信号読み取り処理時において磁気ヘッド１２を移動させる量（ヘッド送り量）を変更することで、上記の画像データＤ３０〜Ｄ６０における縦方向の画素数（すなわち、磁気ディスク１００におけるパターン半径方向の各位置に対応する画素の数）を変更することができる。
【００９１】
また、上記の例では、凹凸パターン１１０によってデータトラックパターンやサーボパターンが構成されたディスクリートトラック型の磁気ディスク１００（記録領域および非記録領域を有するパターンによってサーボパターンが形成されたパターンド媒体）を検査対象の磁気記録媒体とした例について説明したが、本発明に係る磁気記録媒体検査方法および磁気記録媒体検査システムの検査対象（本発明における磁気記録媒体）はこれに限定されず、「検出される磁界の磁気記録媒体の厚み方向に沿った向きが互いに相違する領域」によってサーボパターンが形成されたパターンド媒体（図示せず）や、連続磁性層型の磁気ディスク（図示せず）を検査対象とすることができる。
【００９２】
この場合、磁界の向きが相違する領域によってサーボパターンが形成されたパターンド媒体は、一例として、以下の製造方法によって製造される。まず、形成すべきサーボパターンに応じて、磁性材料の層における所望の領域を選択的に変質させることにより、保磁力が互いに相違する領域を形成する。具体的には、一例として、上記の磁気ディスク１００におけるサーボパターン領域Ａｓ内の各凹部１１２に対応する領域を変質させることにより、保磁力が大きい領域（凸部１１１に対応する領域）と、保磁力が小さい領域（凹部１１２に対応する領域）とを形成する。次いで、その磁気記録媒体の全域に対して、上記の「保磁力が大きい領域」の保磁力よりも大きな外部磁場を印加してＤＣ着磁する。この際には、磁性材料の層の全域が印加した磁場に応じて同一方向の磁界が検出される状態に磁化される。続いて、その磁気記録媒体の全域に対して、上記の「保磁力が大きい領域」の保磁力と「保磁力が小さい領域」の保磁力との中間の大きさであって上記の外部磁場とは逆向きの外部磁場を印加してＤＣ着磁する。この際に、「保磁力が大きい領域」については、最初に印加した外部磁場によってＤＣ着磁された状態を維持すると共に、「保磁力が小さい領域」については、その後に印加した外部磁場によってＤＣ着磁された状態となる。これにより、検出される磁界の向きが相違する２種類の領域が形成されてサーボパターンが形成される。したがって、上記の磁気ディスク１００を検査対象とする一連の検査処理と同様にして、磁界の向きが相違する各領域（上記の例における凸部１１１や凹部１１２に対応する各領域）についての検査対象データ（例えば、磁化像）を生成して、検査用基準データと比較することにより、そのサーボパターンの良否を検査することができる。
【００９３】
一方、連続磁性層型の磁気ディスクにおいては、上記の磁気ディスク１００における凸部１１１に対応する「磁界の向きが所定の方向の領域」と、磁気ディスク１００における凹部１１２に対応する「磁界の向きが所定の方向とは相違する方向の領域」とを有する磁化パターンによってサーボパターン領域にサーボパターンが設けられている。したがって、上記の磁気ディスク１００を検査対象とする一連の検査処理と同様にして、磁界の向きが相違する各領域（上記の例における凸部１１１や凹部１１２に対応する各領域）についての検査対象データ（例えば、磁化像）を生成して、検査用基準データと比較することにより、そのサーボパターンの良否を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】磁気ディスク検査システム１の構成を示すブロック図である。
【図２】磁気ディスク１００の断面図である。
【図３】磁気ディスク１００の平面図である。
【図４】データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓに形成された凹凸パターン１１０（データトラックパターン、サーボパターン）の平面図である。
【図５】磁気ディスク検査システム１による検査処理時の磁気ディスク１００、モータ１１による回転中心Ｏｒ、および磁気ヘッド１２の相互の位置関係について説明するための説明図である。
【図６】磁気ヘッド１２が位置させられる回転半径位置と磁気ディスク１００の外周領域Ａｏ、環状領域Ａｒおよび内周領域Ａｉとの関係について説明するための説明図である。
【図７】画像３０の図である。
【図８】画像４０の図である。
【図９】画像５０の図である。
【図１０】画像６０の図である。
【図１１】画像７０の図である。
【図１２】スキュー角が付与されていないパターン半径位置における単位情報領域Ａ７０（Ａ６０）と検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅ（Ｐ６０ａ〜Ｐ６０ｅ）との関係について説明するための説明図である。
【図１３】スキュー角が付与されたパターン半径位置における単位情報領域Ａ７０（Ａ６０）と検査ポイントＰ７０ａ〜Ｐ７０ｅ（Ｐ６０ａ〜Ｐ６０ｅ）との関係について説明するための説明図である。
【図１４】画像６０における単位情報領域Ａ６１〜Ａ６６近傍の拡大図である。
【図１５】画像７０における単位情報領域Ａ７１〜Ａ７６近傍の拡大図である。
【符号の説明】
【００９５】
１  磁気ディスク検査システム
２  信号読み取り装置
３  情報処理装置
１１  モータ
１２  磁気ヘッド
１３  アクチュエータ
１４  検出部
１５，２３  制御部
２４  記憶部
３０〜７０  画像
１００  磁気ディスク
１０４  磁性層
１０５  非磁性材料
１１０  凹凸パターン
１１１  凸部
１１２  凹部
Ａ６０〜Ａ６６，Ａ７０〜Ａ７６  単位情報領域
Ａｓ  サーボパターン領域
Ａｔ  データトラックパターン領域
Ｄ３０〜Ｄ７０  画像データ
Ｏｐ  パターン中心
Ｏｒ  回転中心
Ｐ６０ａ〜Ｐ６０ｅ，Ｐ６１ａ〜Ｐ６１ｅ，Ｐ６２ａ〜Ｐ６２ｅ，Ｐ６３ａ〜Ｐ６３ｅ，Ｐ６４ａ〜Ｐ６４ｅ，Ｐ６５ａ〜Ｐ６５ｅ，Ｐ６６ａ〜Ｐ６６ｅ，Ｐ７０ａ〜Ｐ７０ｅ，Ｐ７１ａ〜Ｐ７１ｅ，Ｐ７２ａ〜Ｐ７２ｅ，Ｐ７３ａ〜Ｐ７３ｅ，Ｐ７４ａ〜Ｐ７４ｅ，Ｐ７５ａ〜Ｐ７５ｅ，Ｐ７６ａ〜Ｐ７６ｅ  検査ポイント
Ｓ３  出力信号
Ｓ４  検出信号
Ｓ５  レベル信号
Ｓｉ  インデックス信号
Ｔｐｄ  データトラックピッチ
Ｔｐｓ  サーボトラックピッチ
【図１】
2010040056.tif 000003
【図２】
2010040056.tif 000004
【図３】
2010040056.tif 000005
【図４】
2010040056.tif 000006
【図５】
2010040056.tif 000007
【図６】
2010040056.tif 000008
【図７】
2010040056.tif 000009
【図８】
2010040056.tif 000010
【図９】
2010040056.tif 000011
【図１０】
2010040056.tif 000012
【図１１】
2010040056.tif 000013
【図１２】
2010040056.tif 000014
【図１３】
2010040056.tif 000015
【図１４】
2010040056.tif 000016
【図１５】
2010040056.tif 000017