(57)【要約】【課題】描画制御処理部2aの処理が異常終了した場合でも描画を完了させる。【解決手段】描画部1と描画制御部2とＪＯＢ制御部3とショットデータ生成部4と偏向制御部5とステージ制御部6とを有する荷電粒子ビーム描画装置20において、描画制御処理部2aの処理が異常終了した時には、監視処理部12が描画制御処理部2aの処理を再起動し、処理部13,14,15,16に保持されている描画制御処理部2aとＪＯＢ制御部3、ショットデータ生成部4、偏向制御部5およびステージ制御部6との間のそれぞれの最新の通信内容と、描画状態記憶領域11に描画状態情報として保持されているそれらの最新の通信内容とを比較し、処理部13,14,15,16に保持されている最新の通信内容によって、描画状態記憶領域11に保持されている最新の通信内容を訂正し、描画制御処理部2aの処理を再開し、描画を継続する。【選択図】図１
2010118583.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃からの荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、前記偏向器によって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料を載置する可動ステージとを有する描画部と、
描画制御処理部を有する描画制御部と、
ＪＯＢ制御部と、
ショットデータ生成部と、
前記偏向器を制御する偏向制御部と、
前記ステージを制御するステージ制御部とを具備する荷電粒子ビーム描画装置において、
前記描画制御処理部の処理に必要な情報を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持する描画状態記憶領域と、
前記描画制御処理部の処理が存在しているか否かを監視し、前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時に前記描画制御処理部の処理を再起動する監視処理部と、
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を保持するＪＯＢ制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を保持するショットデータ生成通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を保持する偏向制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を保持するステージ制御通信処理部とを設け、
前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時に、前記描画状態記憶領域によって保持されている描画状態情報が消失することなく保持され続けるように、前記描画状態記憶領域を構成し、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正するＪＯＢ制御部最新通信内容訂正手段と、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正するショットデータ生成部最新通信内容訂正手段と、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正する偏向制御部最新通信内容訂正手段と、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正するステージ制御部最新通信内容訂正手段とを設け、
前記描画制御処理部の処理が異常終了する前と前記描画制御処理部の処理が再起動された後とで前記描画制御処理部の処理が継続するように、前記描画制御処理部の処理を再開し、描画を継続することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項２】
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持させると共に、最新の通信内容以前の通信内容を前記ＪＯＢ制御通信処理部から消去し、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を前記ショットデータ生成通信処理部に保持させると共に、最新の通信内容以前の通信内容を前記ショットデータ生成通信処理部から消去し、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を前記偏向制御通信処理部に保持させると共に、最新の通信内容以前の通信内容を前記偏向制御通信処理部から消去し、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を前記ステージ制御通信処理部に保持させると共に、最新の通信内容以前の通信内容を前記ステージ制御通信処理部から消去することを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項３】
前記試料上の描画領域の少なくとも一部を第１ストライプと第２ストライプとによって構成し、
前記第１ストライプの描画の後に前記第２ストライプの描画が行われるように、描画の順序を設定し、
前記第１ストライプの描画の途中に前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった場合には、前記第１ストライプの描画を完了させ、
前記偏向制御部から前記偏向制御通信処理部に第１ストライプの偏向制御の完了ステータスを送信すると共に、前記ステージ制御部から前記ステージ制御通信処理部に第１ストライプのステージ制御の完了ステータスを送信し、
前記描画制御処理部の処理の再起動後には、
前記描画制御処理部が前記偏向制御通信処理部から第１ストライプの偏向制御の完了ステータスを受け取ると共に、前記描画制御処理部が前記ステージ制御通信処理部から第１ストライプのステージ制御の完了ステータスを受け取り、
前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を訂正すると共に、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を訂正し、
前記第２ストライプの描画を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項４】
前記ＪＯＢ制御通信処理部を前記ＪＯＢ制御部に設け、
前記ショットデータ生成通信処理部を前記ショットデータ生成部に設け、
前記偏向制御通信処理部を前記偏向制御部に設け、
前記ステージ制御通信処理部を前記ステージ制御部に設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項５】
荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃からの荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、前記偏向器によって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料を載置する可動ステージとを有する描画部と、
描画制御処理部を有する描画制御部と、
ＪＯＢ制御部と、
ショットデータ生成部と、
前記偏向器を制御する偏向制御部と、
前記ステージを制御するステージ制御部と、
前記描画制御処理部の処理に必要な情報を描画状態情報として保持する描画状態記憶領域と、
前記描画制御処理部の処理が存在しているか否かを監視する監視処理部と、
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の通信を中継するＪＯＢ制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の通信を中継するショットデータ生成通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の通信を中継する偏向制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の通信を中継するステージ制御通信処理部とを具備し、
前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時に、前記描画状態記憶領域によって保持されている描画状態情報が消失することなく保持され続けるように、前記描画状態記憶領域を構成した荷電粒子ビーム描画装置による荷電粒子ビーム描画方法において、
前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時には、
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を前記ショットデータ生成通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を前記偏向制御通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を前記ステージ制御通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時には、
前記監視処理部によって前記描画制御処理部の処理を再起動し、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記描画制御処理部の処理が異常終了する前と前記描画制御処理部の処理が再起動された後とで前記描画制御処理部の処理が継続するように、前記描画制御処理部の処理を再開し、描画を継続することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷電粒子ビーム描画装置および方法に関する。
【０００２】
詳細には、本発明は、例えば、荷電粒子銃と、荷電粒子銃からの荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、偏向器によって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料を載置する可動ステージとを有する描画部を具備する荷電粒子ビーム描画装置および方法に関する。
【０００３】
換言すれば、本発明は、例えばブランク（マスク）、ウエハなどの試料上に目的のパターンを描画するために、試料が載置されたステージを移動させると共に、荷電粒子ビームを偏向して、荷電粒子ビームを試料上に所定の時間照射する荷電粒子ビーム描画装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００４】
従来から、荷電粒子銃と、荷電粒子銃からの荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、偏向器によって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料を載置する可動ステージとを有する描画部を具備する荷電粒子ビーム描画装置が知られている。この種の荷電粒子ビーム描画装置の例としては、例えば特許文献１（特開２００８−１８２０７３号公報の図１）に記載されたものがある。
【０００５】
特許文献１に記載された荷電粒子ビーム描画装置では、試料に所定のパターンを描画するための描画部が設けられている。また、荷電粒子銃（電子銃）と、荷電粒子銃（電子銃）からの荷電粒子ビーム（電子ビーム）を偏向する偏向器と、偏向器によって偏向された荷電粒子ビーム（電子ビーム）による描画が行われる試料を載置する可動ステージとが、描画部に設けられている。
【０００６】
詳細には、特許文献１に記載された荷電粒子ビーム描画装置では、描画部の一部を構成する描画室に、試料が載置された可動ステージが配置されている。更に、描画部の一部を構成する光学鏡筒（電子鏡筒）に、荷電粒子銃（電子銃）と、照明レンズと、第１成形アパーチャと、投影レンズと、偏向器と、第２成形アパーチャと、対物レンズと、偏向器とが配置されている。
【０００７】
更に、特許文献１に記載された荷電粒子ビーム描画装置では、描画制御部と、ショットデータ生成部と、偏向器を制御する偏向制御部と、ステージを制御するステージ制御部とが設けられている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１８２０７３号公報の図１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１には、描画制御部の描画制御処理部のバグによって描画制御処理が異常終了した場合について言及されていない。
【００１０】
詳細には、例えば特許文献１に記載されたような荷電粒子ビーム描画装置では、描画制御部の描画制御処理部のバグによって描画制御処理部の処理が異常終了し、描画制御処理部の処理が存在しなくなった場合に、描画が中断してしまい、描画を完了させることができなかった。
【００１１】
図１２は描画制御部の描画制御処理部のバグによって描画制御処理部の処理が異常終了し、描画制御処理部の処理が存在しなくなった場合に、描画が中断してしまう荷電粒子ビーム描画装置１００の概略的な構成図である。
【００１２】
この荷電粒子ビーム描画装置１００では、図１２に示すように、荷電粒子銃１ｂと、荷電粒子銃１ｂからの荷電粒子ビームを偏向する偏向器１ｆ，１ｉと、偏向器１ｆ，１ｉによって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料３０を載置する可動ステージ１ｊとが、描画部１に設けられている。また、描画部１の一部を構成する描画室１ａに、試料３０が載置された可動ステージ１ｊが配置されている。更に、描画部１の一部を構成する光学鏡筒１ａ’に、荷電粒子銃１ｂと、照明レンズ１ｃと、第１成形アパーチャ１ｄと、投影レンズ１ｅと、偏向器１ｆと、第２成形アパーチャ１ｇと、対物レンズ１ｈと、偏向器１ｉとが配置されている。
【００１３】
更に、この荷電粒子ビーム描画装置１００では、図１２に示すように、描画制御処理部２ａを有する描画制御部２と、ＪＯＢ制御部３と、ショットデータ生成部４と、偏向器１ｆ，１ｉを制御する偏向制御部５と、ステージ１ｊを制御するステージ制御部６とが設けられている。
【００１４】
また、この荷電粒子ビーム描画装置１００では、図１２に示すように、描画制御処理部２ａの処理に必要な情報を描画状態情報として保持する描画状態記憶領域１１’が設けられている。この描画状態記憶領域１１’は、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、描画状態記憶領域１１’に保持されている描画状態情報が消失してしまうように、構成されている。
【００１５】
そのため、この荷電粒子ビーム描画装置１００では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、描画状態記憶領域１１’に保持されている描画状態情報が消失してしまい、その結果、描画制御処理部２ａの処理を再起動して、描画を継続させることができない。
【００１６】
換言すれば、この荷電粒子ビーム描画装置１００では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、描画が中止され、描画を継続できなくなってしまい、その結果、長時間をかけて描画が行われていた試料３０を破棄せざるを得なくなってしまう。
【００１７】
このような事態を回避するためには、例えばすべての動作条件を網羅した描画制御処理部２ａのテストを行い、描画制御処理部２ａを改良する手法などが考えられる。しかしながら、このような描画制御処理部２ａのテストには、莫大な時間および労力を必要とし、しかも、そのテストに確認漏れが生じてしまうおそれもある。そのため、この手法は現実的な手法とは言えない。
【００１８】
前記問題点に鑑み、本発明は、描画制御処理部の処理が異常終了して存在しなくなった場合であっても、描画制御処理部の処理を再起動し、描画を継続させて完了させることができる荷電粒子ビーム描画装置および方法を提供することを目的とする。
【００１９】
換言すれば、本発明は、描画制御処理部の処理が異常終了して存在しなくなった場合に描画を継続できなくなってしまい、その結果、長時間をかけて描画が行われていた試料を破棄せざるを得なくなってしまう事態を回避することができる荷電粒子ビーム描画装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の一態様によれば、荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃からの荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、前記偏向器によって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料を載置する可動ステージとを有する描画部と、
描画制御処理部を有する描画制御部と、
ＪＯＢ制御部と、
ショットデータ生成部と、
前記偏向器を制御する偏向制御部と、
前記ステージを制御するステージ制御部とを具備する荷電粒子ビーム描画装置において、
前記描画制御処理部の処理に必要な情報を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として保持する描画状態記憶領域と、
前記描画制御処理部の処理が存在しているか否かを監視し、前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時に前記描画制御処理部の処理を再起動する監視処理部と、
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を保持するＪＯＢ制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を保持するショットデータ生成通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を保持する偏向制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の通信を中継し、前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時に前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を保持するステージ制御通信処理部とを設け、
前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時に、前記描画状態記憶領域によって保持されている描画状態情報が消失することなく保持され続けるように、前記描画状態記憶領域を構成し、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正するＪＯＢ制御部最新通信内容訂正手段と、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正するショットデータ生成部最新通信内容訂正手段と、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正する偏向制御部最新通信内容訂正手段と、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正するステージ制御部最新通信内容訂正手段とを設け、
前記描画制御処理部の処理が異常終了する前と前記描画制御処理部の処理が再起動された後とで前記描画制御処理部の処理が継続するように、前記描画制御処理部の処理を再開し、描画を継続することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置が提供される。
【００２１】
本発明の別の一態様によれば、荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃からの荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、前記偏向器によって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料を載置する可動ステージとを有する描画部と、
描画制御処理部を有する描画制御部と、
ＪＯＢ制御部と、
ショットデータ生成部と、
前記偏向器を制御する偏向制御部と、
前記ステージを制御するステージ制御部と、
前記描画制御処理部の処理に必要な情報を描画状態情報として保持する描画状態記憶領域と、
前記描画制御処理部の処理が存在しているか否かを監視する監視処理部と、
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の通信を中継するＪＯＢ制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の通信を中継するショットデータ生成通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の通信を中継する偏向制御通信処理部と、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の通信を中継するステージ制御通信処理部とを具備し、
前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時に、前記描画状態記憶領域によって保持されている描画状態情報が消失することなく保持され続けるように、前記描画状態記憶領域を構成した荷電粒子ビーム描画装置による荷電粒子ビーム描画方法において、
前記描画制御処理部の処理が正常に行われている時には、
前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を前記ショットデータ生成通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を前記偏向制御通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を前記ステージ制御通信処理部に保持させると共に、前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容を描画状態情報として前記描画状態記憶領域に保持させ、
前記描画制御処理部の処理が異常終了して前記描画制御処理部の処理が存在しなくなった時には、
前記監視処理部によって前記描画制御処理部の処理を再起動し、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記ＪＯＢ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ＪＯＢ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記ショットデータ生成通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ショットデータ生成部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記偏向制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記偏向制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容とを比較し、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容と、前記描画状態記憶領域に描画状態情報として保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容とが異なる場合には、
前記ステージ制御通信処理部に保持されている前記描画制御処理部と前記ステージ制御部との間の最新の通信内容によって、前記描画状態記憶領域に保持されている描画状態情報を訂正し、
前記描画制御処理部の処理が異常終了する前と前記描画制御処理部の処理が再起動された後とで前記描画制御処理部の処理が継続するように、前記描画制御処理部の処理を再開し、描画を継続することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法が提供される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、描画制御処理部の処理が異常終了して存在しなくなった場合であっても、描画制御処理部の処理を再起動し、描画を継続させて完了させることができる。
【００２３】
換言すれば、本発明によれば、描画制御処理部の処理が異常終了して存在しなくなった場合に描画を継続できなくなってしまい、その結果、長時間をかけて描画が行われていた試料を破棄せざるを得なくなってしまう事態を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の荷電粒子ビーム描画装置の第１の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の概略的な構成図である。第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、例えばブランク（マスク）、ウエハなどのような試料３０上に荷電粒子ビームを照射することによって、試料３０上に目的のパターンを描画するための描画部１が設けられている。
【００２５】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、荷電粒子ビームとして例えば電子ビームが用いられるが、第２の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、代わりに、荷電粒子ビームとして例えばイオンビーム等を用いることも可能である。
【００２６】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、荷電粒子銃１ｂと、荷電粒子銃１ｂからの荷電粒子ビームを偏向する偏向器１ｆ，１ｉと、偏向器１ｆ，１ｉによって偏向された荷電粒子ビームによる描画が行われる試料３０を載置する可動ステージ１ｊとが、描画部１に設けられている。
【００２７】
詳細には、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画部１の一部を構成する描画室１ａに、例えば試料３０が載置された可動ステージ１ｊが配置されている。更に、描画部１の一部を構成する光学鏡筒１ａ’に、例えば荷電粒子銃１ｂと、照明レンズ１ｃと、第１成形アパーチャ１ｄと、投影レンズ１ｅと、偏向器１ｆと、第２成形アパーチャ１ｇと、対物レンズ１ｈと、偏向器１ｉとが配置されている。
【００２８】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、例えば、描画制御処理部２ａを有する描画制御部２と、ＪＯＢ制御部３と、ショットデータ生成部４と、偏向器１ｆ，１ｉを制御する偏向制御部５と、ステージ１ｊを制御するステージ制御部６とが設けられている。
【００２９】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａの処理に必要な情報を描画状態情報として保持する描画状態記憶領域１１が設けられている。更に、描画制御処理部２ａの処理が存在しているか否かを監視する監視処理部１２が設けられている。
【００３０】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の通信を中継するＪＯＢ制御通信処理部１３が設けられている。ＪＯＢ制御通信処理部１３では、描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容が保持される。
【００３１】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の通信を中継するショットデータ生成通信処理部１４が設けられている。ショットデータ生成通信処理部１４では、描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容が保持される。
【００３２】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の通信を中継する偏向制御通信処理部１５が設けられている。偏向制御通信処理部１５では、描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容が保持される。
【００３３】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の通信を中継するステージ制御通信処理部１６が設けられている。ステージ制御通信処理部１６では、描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容が保持される。
【００３４】
図２は描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持される情報の内容の一例を示した図である。第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図２に示すように、例えば描画制御処理部２ａに入力された描画条件（描画データ）が、描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持される。また、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布、描画進捗情報などが、描画に必要なパラメータ（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。
【００３５】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図２に示すように、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信された通信内容のうち、最新のものが、ＪＯＢ制御最新送信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した通信内容のうち、最新のものが、ＪＯＢ制御最新受信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。
【００３６】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図２に示すように、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信された通信内容のうち、最新のものが、ショットデータ生成最新送信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。更に、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した通信内容のうち、最新のものが、ショットデータ生成最新受信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。
【００３７】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図２に示すように、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信された通信内容のうち、最新のものが、偏向制御最新送信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した通信内容のうち、最新のものが、偏向制御最新受信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。
【００３８】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図２に示すように、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信された通信内容のうち、最新のものが、ステージ制御最新送信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。更に、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した通信内容のうち、最新のものが、ステージ制御最新受信内容（描画状態情報）として描画状態記憶領域１１に保持される。
【００３９】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ステージ１ｊ上の試料３０に対して描画を行う前の準備工程として、例えば、ＪＯＢ登録が行われ、次いで、描画制御処理部２ａに入力される描画条件（描画データ）が準備されると共に、試料３０が描画室１ａ外から描画室１ａ内のステージ１ｊ上に搬送され、描画が開始される。
【００４０】
図３は描画開始時における第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の通信内容を示した図である。第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、ステージ１ｊ上の試料３０に対する描画開始時に、例えばＪＯＢ制御部３からショットデータ生成部４に対して、ショットデータの生成を開始すべき旨の指示が送られる。その指示には、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要なデータを特定するための情報が含まれる。また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図３に示すように、例えばＪＯＢ制御部３からＪＯＢ制御通信処理部１３を介して描画制御処理部２ａに、描画を開始すべき旨の指示が送られる。更に、描画制御処理部２ａから監視処理部１２に、例えば描画制御処理部２ａのプロセスＩＤ、描画状態記憶領域１１のアドレスなどが通知される。
【００４１】
図４は第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によって試料３０に描画されるレイアウト３０ａの一例を示した図である。第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、偏向制御部５およびステージ制御部６によって、試料３０に対する荷電粒子ビームのショット位置を相対的に移動させることにより、図４に矢印で示すように、まず最初に、例えばストライプＳ１が描画され、次いで、ストライプＳ２、ストライプＳ３の順序で描画される。
【００４２】
図５は正常に描画が行われている時における第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の通信内容を示した図である。
【００４３】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ１の描画開始時および描画中に、例えば描画制御処理部２ａからショットデータ生成通信処理部１４を介してショットデータ生成部４に、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要な情報が要求され、ショットデータ生成部４からショットデータ生成通信処理部１４を介して描画制御処理部２ａに、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要な情報が送られる。
【００４４】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ１の描画開始時に、例えば描画制御処理部２ａから偏向制御部５に対して、偏向器１ｆ，１ｉの制御に必要なパラメータが送られると共に、ショットを開始すべき旨の指示が送られる。更に、例えば描画制御処理部２ａからステージ制御部６に対して、ステージ１ｊの制御に必要なパラメータが送られると共に、ステージ１ｊの移動を開始すべき旨の指示が送られる。
【００４５】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ１の描画中に、描画制御処理部２ａから監視処理部１２に通知された描画制御処理部２ａのプロセスＩＤに基づいて、描画制御処理部２ａの処理が存在しているか否かが監視処理部１２によって監視されている。
【００４６】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図３に示すように、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した最新の通信内容として、レイアウト３０ａの描画開始指示がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、レイアウト３０ａの描画開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００４７】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４に送信した最新の通信内容として、レイアウト３０ａの描画処理に必要な情報を要求した旨がショットデータ生成通信処理部１４に保持されている。また、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、レイアウト３０ａの描画処理に必要な情報を要求した旨が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００４８】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した最新の通信内容として、レイアウト３０ａの描画処理に必要な情報が送られた旨がショットデータ生成通信処理部１４に保持されている。また、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、レイアウト３０ａの描画処理に必要な情報が送られた旨が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００４９】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａが偏向制御部５に送信した最新の通信内容として、ストライプＳ１に関するショット開始指示が偏向制御通信処理部１５に保持されている。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ１に関するショット開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００５０】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがステージ制御部６に送信した最新の通信内容として、ストライプＳ１に関するステージ移動開始指示がステージ制御通信処理部１６に保持されている。また、描画制御処理部２ａがステージ制御部６に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ１に関するステージ移動開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００５１】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ１の描画完了時に、例えば偏向制御部５から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ１の完了ステータスが送られると共に、例えばステージ制御部６から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ１の完了ステータスが送られる。
【００５２】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が完了した時点において、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３に送信した最新の通信内容として、「レイアウト３０ａの描画開始指示受理」がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、「レイアウト３０ａの描画開始指示受理」が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００５３】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が完了した時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した最新の通信内容として、ストライプＳ１の完了ステータスが偏向制御通信処理部１５に保持されている。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ１の完了ステータスが描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００５４】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画が完了した時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した最新の通信内容として、ストライプＳ１の完了ステータスがステージ制御通信処理部１６に保持されている。また、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ１の完了ステータスが描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００５５】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図４に示すように、ストライプＳ２の描画が行われる。
【００５６】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ２の描画開始時および描画中に、例えば描画制御処理部２ａからショットデータ生成通信処理部１４を介してショットデータ生成部４に、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要な情報が要求され、ショットデータ生成部４からショットデータ生成通信処理部１４を介して描画制御処理部２ａに、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要な情報が送られる。
【００５７】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ２の描画開始時に、例えば描画制御処理部２ａから偏向制御部５に対して、偏向器１ｆ，１ｉの制御に必要なパラメータが送られると共に、ショットを開始すべき旨の指示が送られる。更に、例えば描画制御処理部２ａからステージ制御部６に対して、ステージ１ｊの制御に必要なパラメータが送られると共に、ステージ１ｊの移動を開始すべき旨の指示が送られる。
【００５８】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ２の描画中に、描画制御処理部２ａから監視処理部１２に通知された描画制御処理部２ａのプロセスＩＤに基づいて、描画制御処理部２ａの処理が存在しているか否かが監視処理部１２によって監視されている。
【００５９】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図３に示すように、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した最新の通信内容として、レイアウト３０ａの描画開始指示がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、レイアウト３０ａの描画開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６０】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４に送信した最新の通信内容として、描画処理に必要な情報を要求した旨がショットデータ生成通信処理部１４に保持されている。また、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、描画処理に必要な情報を要求した旨が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６１】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した最新の通信内容として、描画処理に必要な情報が送られた旨がショットデータ生成通信処理部１４に保持されている。また、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、描画処理に必要な情報が送られた旨が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６２】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａが偏向制御部５に送信した最新の通信内容として、ストライプＳ２に関するショット開始指示が偏向制御通信処理部１５に保持されている。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ２に関するショット開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６３】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがステージ制御部６に送信した最新の通信内容として、ストライプＳ２に関するステージ移動開始指示がステージ制御通信処理部１６に保持されている。また、描画制御処理部２ａがステージ制御部６に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ２に関するステージ移動開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６４】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ２の描画完了時に、例えば偏向制御部５から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ２の完了ステータスが送られると共に、例えばステージ制御部６から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ２の完了ステータスが送られる。
【００６５】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が完了した時点において、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３に送信した最新の通信内容として、「レイアウト３０ａの描画開始指示受理」がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、「レイアウト３０ａの描画開始指示受理」が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６６】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が完了した時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した最新の通信内容として、ストライプＳ２の完了ステータスが偏向制御通信処理部１５に保持されている。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ２の完了ステータスが描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６７】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ２の描画が完了した時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した最新の通信内容として、ストライプＳ２の完了ステータスがステージ制御通信処理部１６に保持されている。また、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ２の完了ステータスが描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００６８】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図４に示すように、ストライプＳ３の描画が行われる。
【００６９】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ３の描画開始時および描画中に、例えば描画制御処理部２ａからショットデータ生成通信処理部１４を介してショットデータ生成部４に、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要な情報が要求され、ショットデータ生成部４からショットデータ生成通信処理部１４を介して描画制御処理部２ａに、例えば描画番号、ストライプ情報、ストライプ内描画時間分布などのような描画処理に必要な情報が送られる。
【００７０】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ３の描画開始時に、例えば描画制御処理部２ａから偏向制御部５に対して、偏向器１ｆ，１ｉの制御に必要なパラメータが送られると共に、ショットを開始すべき旨の指示が送られる。更に、例えば描画制御処理部２ａからステージ制御部６に対して、ステージ１ｊの制御に必要なパラメータが送られると共に、ステージ１ｊの移動を開始すべき旨の指示が送られる。
【００７１】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ３の描画中に、描画制御処理部２ａから監視処理部１２に通知された描画制御処理部２ａのプロセスＩＤに基づいて、描画制御処理部２ａの処理が存在しているか否かが監視処理部１２によって監視されている。
【００７２】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図３に示すように、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した最新の通信内容として、レイアウト３０ａの描画開始指示がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、レイアウト３０ａの描画開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００７３】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４に送信した最新の通信内容として、描画処理に必要な情報を要求した旨がショットデータ生成通信処理部１４に保持されている。また、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、描画処理に必要な情報を要求した旨が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００７４】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した最新の通信内容として、描画処理に必要な情報が送られた旨がショットデータ生成通信処理部１４に保持されている。また、描画制御処理部２ａがショットデータ生成部４から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、描画処理に必要な情報が送られた旨が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００７５】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａが偏向制御部５に送信した最新の通信内容として、ストライプＳ３に関するショット開始指示が偏向制御通信処理部１５に保持されている。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ３に関するショット開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００７６】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が行われている途中の時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがステージ制御部６に送信した最新の通信内容として、ストライプＳ３に関するステージ移動開始指示がステージ制御通信処理部１６に保持されている。また、描画制御処理部２ａがステージ制御部６に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ３に関するステージ移動開始指示が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００７７】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１、図４および図５に示すように、例えばストライプＳ３の描画完了時に、例えば偏向制御部５から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ３の完了ステータスが送られると共に、例えばステージ制御部６から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ３の完了ステータスが送られる。更に、例えば描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に対してレイアウト３０ａの描画が完了した旨の通知が送られる。
【００７８】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が完了した時点において、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３に送信した最新の通信内容として、レイアウト３０ａの描画完了通知がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている。また、描画制御処理部２ａがＪＯＢ制御部３に送信した最新の通信内容（描画状態情報）として、レイアウト３０ａの描画完了通知が描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００７９】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が完了した時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した最新の通信内容として、ストライプＳ３の完了ステータスが偏向制御通信処理部１５に保持されている。また、描画制御処理部２ａが偏向制御部５から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ３の完了ステータスが描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００８０】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ３の描画が完了した時点において、図１、図２および図５に示すように、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した最新の通信内容として、ストライプＳ３の完了ステータスがステージ制御通信処理部１６に保持されている。また、描画制御処理部２ａがステージ制御部６から受信した最新の通信内容（描画状態情報）として、ストライプＳ３の完了ステータスが描画状態記憶領域１１に保持されている。
【００８１】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図４に示すように、例えばストライプＳ１の描画開始からストライプＳ３の描画完了まで描画制御処理部２ａの処理が正常に行われる場合には、上述したような動作になる。
【００８２】
ところで、描画制御処理部２ａは非常に複雑に構成されているため、描画制御処理部２ａのバグによって、例えばストライプＳ１の描画開始からストライプＳ３の描画完了までの間にエラーが発生し、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまう場合がある。
【００８３】
このような事態を回避するためには、例えばすべての動作条件を網羅した描画制御処理部２ａのテストを行い、描画制御処理部２ａを改良する手法などが考えられる。しかしながら、このような描画制御処理部２ａのテストには、莫大な時間および労力を必要とし、しかも、そのテストに確認漏れが生じてしまうおそれもある。そのため、この手法は現実的な手法とは言えない。
【００８４】
この点に鑑み、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えばストライプＳ１の描画開始からストライプＳ３の描画完了まで（レイアウト３０ａの描画開始から描画完了まで）の間にエラーが発生し、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ストライプＳ３の描画が完了するまで描画を継続するために、後述するような処理が行われる。
【００８５】
具体的には、例えばストライプＳ２の描画の途中に（詳細には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で）描画制御処理部２ａの処理にエラーが発生し、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなる場合について説明する。
【００８６】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、描画状態記憶領域１１に保持されている描画状態情報が消失することなく保持され続けるように、描画状態記憶領域１１が構成されている。
【００８７】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容が消失することなく保持され続けるように、ＪＯＢ制御通信処理部１３が構成されている。
【００８８】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容が消失することなく保持され続けるように、ショットデータ生成通信処理部１４が構成されている。
【００８９】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容が消失することなく保持され続けるように、偏向制御通信処理部１５が構成されている。
【００９０】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった時に、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容が消失することなく保持され続けるように、ステージ制御通信処理部１６が構成されている。
【００９１】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図４および図５に示すように、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点において、既に、例えば描画制御処理部２ａから偏向制御部５に対して、ストライプＳ２を描画するための偏向器１ｆ，１ｉの制御に必要なパラメータが送られており、ショットを開始すべき旨の指示も送られている。更に、既に、例えば描画制御処理部２ａからステージ制御部６に対して、ストライプＳ２を描画するためのステージ１ｊの制御に必要なパラメータが送られており、ステージ１ｊの移動を開始すべき旨の指示も送られている。
【００９２】
従って、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理にエラーが発生し、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合であっても、描画制御処理部２ａの処理が正常な場合と同様に、図１、図４および図５に示すように、ストライプＳ２の描画が続行され、ストライプＳ２の描画が完了せしめられる。
【００９３】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば偏向制御部５から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ２の完了ステータスが送られると共に、例えばステージ制御部６から描画制御処理部２ａに対してストライプＳ２の完了ステータスが送られる。
【００９４】
ところで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了しているため、ストライプＳ２の描画が続行されてストライプＳ２の描画が完了した時に、描画制御処理部２ａの処理が既に存在しなくなっている。
【００９５】
その結果、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ストライプＳ２の描画が続行されてストライプＳ２の描画が完了した時に、偏向制御部５から描画制御処理部２ａに送信されたストライプＳ２の完了ステータスが、描画制御処理部２ａに受信されていない。そのため、描画状態記憶領域１１では、偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの通信内容が、最新のもの（ストライプＳ２の完了ステータス）に更新されていない。
【００９６】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理の異常終了後、ストライプＳ２の描画が完了した時点において、偏向制御通信処理部１５に保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａの最新への通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっているのに対し、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっていない。
【００９７】
同様に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ストライプＳ２の描画が続行されてストライプＳ２の描画が完了した時に、ステージ制御部６から描画制御処理部２ａに送信されたストライプＳ２の完了ステータスが、描画制御処理部２ａに受信されていない。そのため、描画状態記憶領域１１では、ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの通信内容が、最新のもの（ストライプＳ２の完了ステータス）に更新されていない。
【００９８】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理の異常終了後、ストライプＳ２の描画が完了した時点において、ステージ制御通信処理部１６に保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっているのに対し、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっていない。
【００９９】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ストライプＳ２の描画の続行に並行して、監視処理部１２によって描画制御処理部２ａの処理が再起動される。
【０１００】
図６は描画制御処理部２ａの処理の再起動時における第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の通信内容を示した図である。第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理にエラーが発生し、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなる場合に、図６に示すように、監視処理部１２によって描画制御処理部２ａの処理が再起動される。更に、描画制御処理部２ａの新しいプロセスＩＤが描画制御処理部２ａから監視処理部１２に通知される。また、描画制御処理部２ａから監視処理部１２に描画状態記憶領域１１のアドレスが要求され、監視処理部１２から描画制御処理部２ａに描画状態記憶領域１１のアドレスが通知される。
【０１０１】
上述したように、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了した後、ストライプＳ２の描画が続行される場合には、例えばストライプＳ２の描画が完了した時点において、偏向制御通信処理部１５に保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａの最新への通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっているのに対し、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっていない。また、例えばストライプＳ２の描画が完了した時点において、ステージ制御通信処理部１６に保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａの最新への通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっているのに対し、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が「ストライプＳ２の完了ステータス」になっていない。
【０１０２】
この点に鑑み、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が再起動された後、ストライプＳ３の描画を開始する前に、ＪＯＢ制御通信処理部１３、ショットデータ生成通信処理部１４、偏向制御通信処理部１５およびステージ制御通信処理部１６に保持されている最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている最新の通信内容との整合性のチェックが行われる。
【０１０３】
図７は描画制御処理部２ａの処理の再起動後に第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の最新の通信内容の整合性のチェックが行われている様子を示した図である。
【０１０４】
具体的には、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容について、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御通信処理部１３に問い合わせが行われ、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容が、ＪＯＢ制御通信処理部１３から描画制御処理部２ａに通知される。
【０１０５】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容が、描画制御処理部２ａによって取得される。
【０１０６】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容とが、描画制御処理部２ａによって比較される。
【０１０７】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容とが異なる場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容によって、描画状態記憶領域１１に保持されている描画状態情報が訂正される。
【０１０８】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容と、ＪＯＢ制御部３の最新の状態とが常に一致している。
【０１０９】
同様に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容について、描画制御処理部２ａからショットデータ生成通信処理部１４に問い合わせが行われ、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容が、ショットデータ生成通信処理部１４から描画制御処理部２ａに通知される。
【０１１０】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容が、描画制御処理部２ａによって取得される。
【０１１１】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容とが、描画制御処理部２ａによって比較される。
【０１１２】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容とが異なる場合には、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容によって、描画状態記憶領域１１に保持されている描画状態情報が訂正される。
【０１１３】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容と、ショットデータ生成部４の最新の状態とが常に一致している。
【０１１４】
同様に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容について、描画制御処理部２ａから偏向制御通信処理部１５に問い合わせが行われ、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容が、偏向制御通信処理部１５から描画制御処理部２ａに通知される。
【０１１５】
具体的には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合には、偏向制御通信処理部１５に保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容として、「ストライプＳ２の完了ステータス」が偏向制御通信処理部１５から描画制御処理部２ａに通知される。
【０１１６】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容が、描画制御処理部２ａによって取得される。
【０１１７】
具体的には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合には、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が、「ストライプＳ２の完了ステータス」になっていない。
【０１１８】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容とが、描画制御処理部２ａによって比較される。
【０１１９】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容とが異なる場合には、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容によって、描画状態記憶領域１１に保持されている描画状態情報が訂正される。
【０１２０】
具体的には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合には、偏向制御通信処理部１５に保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ストライプＳ２の完了ステータス」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が訂正される。
【０１２１】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容と、偏向制御部５の最新の状態とが常に一致している。
【０１２２】
同様に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容について、描画制御処理部２ａからステージ制御通信処理部１６に問い合わせが行われ、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容が、ステージ制御通信処理部１６から描画制御処理部２ａに通知される。
【０１２３】
具体的には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合には、ステージ制御通信処理部１６に保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容として、「ストライプＳ２の完了ステータス」がステージ制御通信処理部１６から描画制御処理部２ａに通知される。
【０１２４】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容が、描画制御処理部２ａによって取得される。
【０１２５】
具体的には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合には、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が、「ストライプＳ２の完了ステータス」になっていない。
【０１２６】
次いで、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容とが、描画制御処理部２ａによって比較される。
【０１２７】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図７に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容とが異なる場合には、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容によって、描画状態記憶領域１１に保持されている描画状態情報が訂正される。
【０１２８】
具体的には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合には、ステージ制御通信処理部１６に保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ストライプＳ２の完了ステータス」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容が訂正される。
【０１２９】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容と、ステージ制御部６の最新の状態とが常に一致している。
【０１３０】
それにより、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了する前と、描画制御処理部２ａの処理が再起動された後とで、描画制御処理部２ａの処理が継続することになる。
【０１３１】
具体的には、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合と、描画制御処理部２ａの処理が異常終了することなく、ストライプＳ２の描画が完了した場合とで、ストライプＳ３の描画開始時における描画状態記憶領域１１の「ＪＯＢ制御最新送信内容」、「ＪＯＢ制御最新受信内容」、「ショットデータ生成最新送信内容」、「ショットデータ生成最新受信内容」、「偏向制御最新送信内容」、「偏向制御最新受信内容」、「ステージ制御最新送信内容」および「ステージ制御最新受信内容」（図２参照）が完全に一致することになる。
【０１３２】
その結果、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合であっても、描画制御処理部２ａの処理が異常終了しない場合と全く同様に、描画制御処理部２ａの処理を再開し、描画を継続することができる。
【０１３３】
具体的には、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動された場合であっても、描画制御処理部２ａの処理が異常終了することなく、ストライプＳ２の描画が完了した場合と全く同様に、描画制御処理部２ａの処理を再開し、ストライプＳ３の描画を開始することができる。
【０１３４】
換言すれば、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、描画制御処理部２ａの処理が異常終了し、その後、描画制御処理部２ａの処理が再起動され、描画が完了した場合と、描画制御処理部２ａの処理が異常終了することなく描画が完了した場合とで、全く同一の描画結果を試料３０上に残すことができる。
【０１３５】
つまり、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して存在しなくなった場合であっても、描画制御処理部２ａの処理を再起動し、描画を継続させて完了させることができる。
【０１３６】
すなわち、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して存在しなくなった場合に描画を継続できなくなってしまい、その結果、長時間をかけて描画が行われていた試料３０を破棄せざるを得なくなってしまう事態を回避することができる。
【０１３７】
ところで、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかは、描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間で通信が行われたタイミングと、その通信内容によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新されたタイミングと、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなるタイミングとの相互の関係に基づく。
【０１３８】
図８はＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【０１３９】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ａ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に情報が送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」とが一致する。
【０１４０】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ａ）に示すように、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合にも、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」とが一致する。
【０１４１】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ａ）に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」と、ＪＯＢ制御部３の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１４２】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｂ）に示すように、まず最初に、ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」とが一致する。
【０１４３】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｂ）に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、ＪＯＢ制御部３の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１４４】
一方、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｃ）に示すように、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に情報が送信できなかった場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」とが異なってしまう。
【０１４５】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｃ）に矢印で示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」とが異なる場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」が訂正される。
【０１４６】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｃ）に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」と、ＪＯＢ制御部３の最新の状態「描画制御処理部２ａから未受信」とが常に一致している。
【０１４７】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｄ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報を更新することができなかった場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」とが異なってしまう。
【０１４８】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｄ）に矢印で示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」とが異なる場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に未送信」が訂正される。
【０１４９】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｄ）に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからＪＯＢ制御部３に送信済み」と、ＪＯＢ制御部３の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１５０】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｅ）に示すように、ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａに情報が応答送信される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなっている場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０１５１】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｅ）に示すように、まず最初に、ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０１５２】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｅ）に矢印で示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なる場合には、ＪＯＢ制御通信処理部１３によって保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答未受信」が訂正される。
【０１５３】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図８（Ｅ）に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されているＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ＪＯＢ制御部３から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、ＪＯＢ制御部３の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１５４】
同様に、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかは、描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間で通信が行われたタイミングと、その通信内容によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新されたタイミングと、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなるタイミングとの相互の関係に基づく。
【０１５５】
図９はショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【０１５６】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ａ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に情報が送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」とが一致する。
【０１５７】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ａ）に示すように、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合にも、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」とが一致する。
【０１５８】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ａ）に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」と、ショットデータ生成部４の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１５９】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｂ）に示すように、まず最初に、ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」とが一致する。
【０１６０】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｂ）に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、ショットデータ生成部４の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１６１】
一方、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｃ）に示すように、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に情報が送信できなかった場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」とが異なってしまう。
【０１６２】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｃ）に矢印で示すように、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」とが異なる場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」が訂正される。
【０１６３】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｃ）に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」と、ショットデータ生成部４の最新の状態「描画制御処理部２ａから未受信」とが常に一致している。
【０１６４】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｄ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報を更新することができなかった場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」とが異なってしまう。
【０１６５】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｄ）に矢印で示すように、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」とが異なる場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に未送信」が訂正される。
【０１６６】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｄ）に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからショットデータ生成部４に送信済み」と、ショットデータ生成部４の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１６７】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｅ）に示すように、ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａに情報が応答送信される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなっている場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０１６８】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｅ）に示すように、まず最初に、ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０１６９】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｅ）に矢印で示すように、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なる場合には、ショットデータ生成通信処理部１４によって保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答未受信」が訂正される。
【０１７０】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図９（Ｅ）に示すように、ショットデータ生成通信処理部１４に保持されているショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ショットデータ生成部４から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、ショットデータ生成部４の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１７１】
同様に、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかは、描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間で通信が行われたタイミングと、その通信内容によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新されたタイミングと、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなるタイミングとの相互の関係に基づく。
【０１７２】
図１０は偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【０１７３】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ａ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に情報が送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」とが一致する。
【０１７４】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ａ）に示すように、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合にも、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」とが一致する。
【０１７５】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ａ）に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」と、偏向制御部５の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１７６】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｂ）に示すように、まず最初に、偏向制御部５から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、偏向制御通信処理部１５によって保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」とが一致する。
【０１７７】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｂ）に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、偏向制御部５の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１７８】
一方、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｃ）に示すように、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に情報が送信できなかった場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」とが異なってしまう。
【０１７９】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｃ）に矢印で示すように、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」とが異なる場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」が訂正される。
【０１８０】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｃ）に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」と、偏向制御部５の最新の状態「描画制御処理部２ａから未受信」とが常に一致している。
【０１８１】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｄ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａから偏向制御部５に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報を更新することができなかった場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」とが異なってしまう。
【０１８２】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｄ）に矢印で示すように、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」とが異なる場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に未送信」が訂正される。
【０１８３】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｄ）に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａから偏向制御部５への最新の通信内容「描画制御処理部２ａから偏向制御部５に送信済み」と、偏向制御部５の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１８４】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｅ）に示すように、偏向制御部５から描画制御処理部２ａに情報が応答送信される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなっている場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０１８５】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｅ）に示すように、まず最初に、偏向制御部５から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０１８６】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｅ）に矢印で示すように、偏向制御通信処理部１５によって保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なる場合には、偏向制御通信処理部１５によって保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答未受信」が訂正される。
【０１８７】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１０（Ｅ）に示すように、偏向制御通信処理部１５に保持されている偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「偏向制御部５から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、偏向制御部５の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１８８】
同様に、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかは、描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間で通信が行われたタイミングと、その通信内容によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新されたタイミングと、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなるタイミングとの相互の関係に基づく。
【０１８９】
図１１はステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【０１９０】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ａ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に情報が送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」とが一致する。
【０１９１】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ａ）に示すように、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合にも、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」とが一致する。
【０１９２】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ａ）に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」と、ステージ制御部６の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０１９３】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｂ）に示すように、まず最初に、ステージ制御部６から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ステージ制御通信処理部１６によって保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」とが一致する。
【０１９４】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｂ）に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている偏向制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、ステージ制御部６の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０１９５】
一方、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｃ）に示すように、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に情報が送信される前に、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に情報が送信できなかった場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」とが異なってしまう。
【０１９６】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｃ）に矢印で示すように、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」とが異なる場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」が訂正される。
【０１９７】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｃ）に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」と、ステージ制御部６の最新の状態「描画制御処理部２ａから未受信」とが常に一致している。
【０１９８】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｄ）に示すように、まず最初に、描画制御処理部２ａからステージ制御部６に情報が送信され、次いで、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなってしまい、その結果、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報を更新することができなかった場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」とが異なってしまう。
【０１９９】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｄ）に矢印で示すように、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」とが異なる場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に未送信」が訂正される。
【０２００】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｄ）に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａからステージ制御部６への最新の通信内容「描画制御処理部２ａからステージ制御部６に送信済み」と、ステージ制御部６の最新の状態「描画制御処理部２ａから受信済み」とが常に一致している。
【０２０１】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｅ）に示すように、ステージ制御部６から描画制御処理部２ａに情報が応答送信される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなっている場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０２０２】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｅ）に示すように、まず最初に、ステージ制御部６から描画制御処理部２ａに情報が応答送信され、次いで、その情報によって描画状態記憶領域１１の描画状態情報が更新される前に、描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なってしまう。
【０２０３】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｅ）に矢印で示すように、ステージ制御通信処理部１６によって保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答未受信」とが異なる場合には、ステージ制御通信処理部１６によって保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」によって、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答未受信」が訂正される。
【０２０４】
なお、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、例えば、図１１（Ｅ）に示すように、ステージ制御通信処理部１６に保持されているステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの最新の通信内容「ステージ制御部６から描画制御処理部２ａへの応答受信済み」と、ステージ制御部６の最新の状態「描画制御処理部２ａに応答送信済み」とが常に一致している。
【０２０５】
詳細には、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容がＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容がＪＯＢ制御通信処理部１３から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、最新の通信内容以前の通信内容がＪＯＢ制御通信処理部１３から消去されない場合よりも、ＪＯＢ制御通信処理部１３に必要な記憶容量を小さく抑えることができると共に、ＪＯＢ制御通信処理部１３の機能をシンプルし、ＪＯＢ制御通信処理部１３の信頼性を向上させることができる。
【０２０６】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容がショットデータ生成通信処理部１４に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容がショットデータ生成通信処理部１４から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、最新の通信内容以前の通信内容がショットデータ生成通信処理部１４から消去されない場合よりも、ショットデータ生成通信処理部１４に必要な記憶容量を小さく抑えることができると共に、ショットデータ生成通信処理部１４の機能をシンプルし、ショットデータ生成通信処理部１４の信頼性を向上させることができる。
【０２０７】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容が偏向制御通信処理部１５に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容が偏向制御通信処理部１５から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、最新の通信内容以前の通信内容が偏向制御通信処理部１５から消去されない場合よりも、偏向制御通信処理部１５に必要な記憶容量を小さく抑えることができると共に、偏向制御通信処理部１５の機能をシンプルし、偏向制御通信処理部１５の信頼性を向上させることができる。
【０２０８】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容がステージ制御通信処理部１６に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容がステージ制御通信処理部１６から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、最新の通信内容以前の通信内容がステージ制御通信処理部１６から消去されない場合よりも、ステージ制御通信処理部１６に必要な記憶容量を小さく抑えることができると共に、ステージ制御通信処理部１６の機能をシンプルし、ステージ制御通信処理部１６の信頼性を向上させることができる。
【０２０９】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容（図２中の「ＪＯＢ制御最新送信内容」および「ＪＯＢ制御最新受信内容」）が、描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去されない場合よりも、描画状態記憶領域１１に必要な記憶容量を小さく抑えることができる。
【０２１０】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容（図２中の「ショットデータ生成最新送信内容」および「ショットデータ生成最新受信内容」）が、描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去されない場合よりも、描画状態記憶領域１１に必要な記憶容量を小さく抑えることができる。
【０２１１】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容（図２中の「偏向制御最新送信内容」および「偏向制御最新受信内容」）が、描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持させると共に、最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去されない場合よりも、描画状態記憶領域１１に必要な記憶容量を小さく抑えることができる。
【０２１２】
更に、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図２に示すように、描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容（図２中の「ステージ制御最新送信内容」および「ステージ制御最新受信内容」）が、描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持されると共に、最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去される。そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容以前の通信内容が描画状態記憶領域１１から消去されない場合よりも、描画状態記憶領域１１に必要な記憶容量を小さく抑えることができる。
【０２１３】
また、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図４に示すように、例えばストライプＳ２の描画の途中に（詳細には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で）描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ストライプＳ２の描画が中断されることなく完了せしめられる。
【０２１４】
つまり、仮に、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ストライプＳ２の描画が中断され、次いで、描画制御処理部２ａの処理の再起動後に、図４中の位置ＰからストライプＳ２の描画が再開されると、図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了した場合と、図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了しなかった場合とで、図４中の位置Ｐにおける描画状態が異なってしまう。
【０２１５】
この点に鑑み、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１および図４に示すように、例えばストライプＳ２の描画の途中に（詳細には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で）描画制御処理部２ａの処理が異常終了して描画制御処理部２ａの処理が存在しなくなった場合に、ストライプＳ２の描画が中断されることなく完了せしめられる。
【０２１６】
そのため、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了した場合と、図４中の位置Ｐが描画されている時点で描画制御処理部２ａの処理が異常終了しなかった場合とで、図４中の位置Ｐにおける描画状態を同一にすることができる。
【０２１７】
詳細には、第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、例えばストライプＳ２の描画の途中に（詳細には、例えば図４中の位置Ｐが描画されている時点で）描画制御処理部２ａの処理が異常終了した場合であっても、ストライプＳ２の描画の途中に描画制御処理部２ａの処理が異常終了しなかった場合と同様のストライプＳ２を描画することができる。
【０２１８】
第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、図１に示すように、ＪＯＢ制御通信処理部１３、ショットデータ生成通信処理部１４、偏向制御通信処理部１５およびステージ制御通信処理部１６が描画制御部２に設けられているが、第３の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０では、代わりに、ＪＯＢ制御通信処理部１３をＪＯＢ制御部３に設け、ショットデータ生成通信処理部１４をショットデータ生成部４に設け、偏向制御通信処理部１５を偏向制御部５に設け、ステージ制御通信処理部１６をステージ制御部６に設けることも可能である。第３の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によれば、ＪＯＢ制御通信処理部１３、ショットデータ生成通信処理部１４、偏向制御通信処理部１５およびステージ制御通信処理部１６が描画制御部２に設けられる場合よりも、非常に複雑な処理が行われる描画制御処理部２ａを有する描画制御部２の負担を軽減することができる。
【０２１９】
第４の実施形態では、上述した第１から第３の実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２２０】
【図１】第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の概略的な構成図である。
【図２】描画状態情報として描画状態記憶領域１１に保持される情報の内容の一例を示した図である。
【図３】描画開始時における第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の通信内容を示した図である。
【図４】第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０によって試料３０に描画されるレイアウト３０ａの一例を示した図である。
【図５】正常に描画が行われている時における第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の通信内容を示した図である。
【図６】描画制御処理部２ａの処理の再起動時における第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の通信内容を示した図である。
【図７】描画制御処理部２ａの処理の再起動後に第１の実施形態の荷電粒子ビーム描画装置２０の最新の通信内容の整合性のチェックが行われている様子を示した図である。
【図８】ＪＯＢ制御通信処理部１３に保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとＪＯＢ制御部３との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【図９】ショットデータ生成通信処理部１４に保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとショットデータ生成部４との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【図１０】偏向制御通信処理部１５に保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａと偏向制御部５との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【図１１】ステージ制御通信処理部１６に保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容と、描画状態記憶領域１１に描画状態情報として保持されている描画制御処理部２ａとステージ制御部６との間の最新の通信内容とが、一致するか、あるいは、異なるかについて説明するための図である。
【図１２】描画制御部の描画制御処理部のバグによって描画制御処理部の処理が異常終了し、描画制御処理部の処理が存在しなくなった場合に、描画が中断してしまう荷電粒子ビーム描画装置１００の概略的な構成図である。
【符号の説明】
【０２２１】
１            描画部
１ｂ          荷電粒子銃
１ｆ，１ｉ    偏向器
１ｊ          ステージ
２            描画制御部
２ａ          描画制御処理部
３            ＪＯＢ制御部
４            ショットデータ生成部
５            偏向制御部
６            ステージ制御部
１１          描画状態記憶領域
１２          監視処理部
１３          ＪＯＢ制御通信処理部
１４          ショットデータ生成通信処理部
１５          偏向制御通信処理部
１６          ステージ制御通信処理部
２０          荷電粒子ビーム描画装置
３０          試料
【図１】
2010118583.tif 000003
【図２】
2010118583.tif 000004
【図３】
2010118583.tif 000005
【図４】
2010118583.tif 000006
【図５】
2010118583.tif 000007
【図６】
2010118583.tif 000008
【図７】
2010118583.tif 000009
【図８】
2010118583.tif 000010
【図９】
2010118583.tif 000011
【図１０】
2010118583.tif 000012
【図１１】
2010118583.tif 000013
【図１２】
2010118583.tif 000014