(57)【要約】【課題】  中央部に配置されたフィラメントからの放射光の遮断を抑制して被照射面における放射照度分布を高い均一性のものとすることができ、しかも、アンカーによるフィラメント間の短絡が防止されたフィラメントランプの提供。【解決手段】  フィラメントランプは、３つ以上のコイル状のフィラメントが配設され、各フィラメントに独立に給電されるものであって、各封止部の直近に配置されたフィラメントに係る一対の内部リードが共に直近の同一封止部に接続され、中央部のフィラメントに係る内部リードが互いに異なる封止部に接続され、封止部に接続された複数の内部リードに固着されたガラスブリッジが各封止部の付近に配置され、端部側のフィラメントに先端が係止された線状のアンカーが端部側のフィラメントに直近のガラスブリッジによって保持され、発光管の管壁に、線状のアンカーを保持する変形保持部が形成されていることを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端に封止部が形成された発光管の内部に、３つ以上のコイル状のフィラメントが、各フィラメントが発光管の管軸方向に伸びる状態に順次に並んで配設され、各フィラメントの両端の各々には、電力を供給する一対の内部リードが連結され、各フィラメントに係る内部リードの各々が封止部に配設された複数の金属箔の各々に電気的に接続されて各フィラメントに独立に給電されるフィラメントランプであって、
各封止部の直近に配置された端部側のフィラメントに係る一対の内部リードの各々が、共に前記各端部側のフィラメントの直近の同一封止部における金属箔に接続されると共に、
前記端部側のフィラメント以外の中央部のフィラメントに係る一対の内部リードが、各々、互いに異なる封止部における金属箔に接続され、
各封止部における金属箔に接続された複数の内部リードに固着されたガラスブリッジが、各々、当該各封止部の付近に配置され、
前記端部側のフィラメントの各々に先端が係止された線状のアンカーが、各々、当該端部側のフィラメントに直近のガラスブリッジによって保持される状態に設けられ、
前記発光管の管壁に、前記線状のアンカーの直線状部を保持する変形保持部が形成されていることを特徴とするフィラメントランプ。
【請求項２】
前記変形保持部は、発光管における、端部側のフィラメントと当該端部側のフィラメントに直近のガラスブリッジとの間に対応する領域に形成されることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィラメントランプに関し、特に、被処理体を加熱処理するために用いられるフィラメントランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ製造工程における、例えば成膜、酸化、不純物拡散、窒化、膜安定化、シリサイド化、結晶化、およびイオン注入活性化などの様々なプロセス、並びに、太陽電池の製造工程における様々なプロセスを行う急速熱処理（以下、「ＲＴＰ：Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａ１  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ」ともいう。）に用いられる加熱処理装置としては、例えば光透過性材料からなる発光管の内部にフィラメントが配設されてなる白熱ランプなどの光源からの光照射によって、被処理体に接触することなくこれを加熱することのできる光照射式の加熱処理装置が広く利用されている（特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
本出願人は、このような光照射式の加熱処理装置の光源として用いられるフィラメントランプとして、以下のような構成を有するものを提案している（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
このフィラメントランプ７０は、図５に示されるように、両端が封止部７２ａ，７２ｂによって気密に封止された直管状の発光管７１内に、タングステン製のコイル状のフィラメント４２，５２，６２が、発光管７１の管軸方向に伸びるよう順次に並んで配置され、各フィラメント４２，５２，６２の両端には、それぞれ給電用の内部リード４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂが連結されている。
【０００５】
各フィラメント４２，５２，６２の内部リード４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂは、それぞれ封止部７２ａまたは封止部７２ｂに延びて個別に金属箔を介して外部リードに電気的に接続されている。
すなわち、各フィラメント４２，５２，６２の一端側の内部リード４１ａ，５１ａ，６１ａは、それぞれ一端側の封止部７２ａに設けられた金属箔７９ａ，７９ｃ，７９ｅを介して、一端側の外部リード７８ａ，７８ｃ，７８ｅに電気的に接続されている。
同様に、他端側の内部リード４１ｂ，５１ｂ，６１ｂは、それぞれ他端側の封止部７２ｂに設けられた金属箔７９ｂ，７９ｄ，７９ｆを介して、他端側の外部リード７８ｂ，７８ｄ，７８ｆに電気的に接続されている。
【０００６】
そして、各フィラメント４２，５２，６２は、これら各外部リード７８ａ，７８ｂ，７８ｃ，７８ｄ，７８ｅ，７８ｆを介してそれぞれ別個の給電装置７３ａ，７３ｂ，７３ｃに接続されていることにより、個別に給電可能とされている。
なお、７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄは、それぞれ各フィラメント４２，５２，６２の内部リード４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａに被嵌された絶縁管で、それぞれ他のフィラメント４２，５２，６２に対向する部位に設けられている。
また、７７は、発光管７１の内壁と絶縁管７５ａ〜７５ｄとの間の位置において、発光管７１の管軸方向に並設された環状のアンカーであって、各フィラメント４２，５２，６２は、それぞれ、例えば２個のアンカーによって発光管７１と接触しないよう支持されている。
【０００７】
このような構成のフィラメントランプを用いた光照射式加熱処理装置によれば、複数のフィラメントに対して個別に給電できて各フィラメントの発光等の制御を個別に行うことができることから、例えば熱処理される被処理体上における場所的な温度変化の度合いの分布が被処理体の形状に対して非対称である場合であっても、当該被処理体の特性に応じた所望の放射照度分布で光照射することができる結果、被処理体を均一に加熱することができ、従って、被処理体における被照射面の全体にわたって均一な温度分布を実現することができるという利点を有する。
【０００８】
しかしながら、上記のフィラメントランプにおいては、各フィラメント４２，５２，６２と内部リード４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂとの間の放電を防止するための絶縁管７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄが被嵌されているので、当該各フィラメント４２，５２，６２からの放射光がこの絶縁管７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄによって遮られることによって被処理体の被照射面における放射照度分布が均一にならないことがあり、その結果、その温度分布を均一にすることができない、という問題があった。
とりわけ、被処理体の中央部に対応する直上の位置に配置された中央部のフィラメントからの放射光が絶縁管７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄによって遮られる場合は、放射照度分布の均一性に多大な悪影響を及ぼす。
上記のフィラメントランプが、例え内部リードが絶縁管によって被嵌されていないものであった場合であっても、内部リードによって放射光が遮られるという同様な不具合が発生すると考えられる。
【０００９】
【特許文献１】特開平７−３７８３３号公報
【特許文献２】特開２００２−２０３８０４号公報
【特許文献３】特開２００６−２７９００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、３つ以上のコイル状のフィラメントが発光管の内部に配設されたフィラメントランプにおいて、発光管の管軸方向における中央部に配置されたフィラメントからの放射光の遮断を抑制することにより被処理体の被照射面における放射照度分布を高い均一性のものとすることができ、しかも、アンカーによるフィラメント間の短絡が防止されたフィラメントランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のフィラメントランプは、両端に封止部が形成された発光管の内部に、３つ以上のコイル状のフィラメントが、各フィラメントが発光管の管軸方向に伸びる状態に順次に並んで配設され、各フィラメントの両端の各々には、電力を供給する一対の内部リードが連結され、各フィラメントに係る内部リードの各々が封止部に配設された複数の金属箔の各々に電気的に接続されて各フィラメントに独立に給電されるフィラメントランプであって、
各封止部の直近に配置された端部側のフィラメントに係る一対の内部リードの各々が、共に前記各端部側のフィラメントの直近の同一封止部における金属箔に接続されると共に、
前記端部側のフィラメント以外の中央部のフィラメントに係る一対の内部リードが、各々、互いに異なる封止部における金属箔に接続され、
各封止部における金属箔に接続された複数の内部リードに固着されたガラスブリッジが、各々、当該各封止部の付近に配置され、
前記端部側のフィラメントの各々に先端が係止された線状のアンカーが、各々、当該端部側のフィラメントに直近のガラスブリッジによって保持される状態に設けられ、
前記発光管の管壁に、前記線状のアンカーの直線状部を保持する変形保持部が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のフィラメントランプにおいては、前記変形保持部は、発光管における、端部側のフィラメントと当該端部側のフィラメントに直近のガラスブリッジとの間に対応する領域に形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のフィラメントランプによれば、基本的に、両端の各封止部の直近に配置されたフィラメントに係る内部リードの各々を同一の封止部に延設させた構成を有するために、中央部に配置されたフィラメントの近傍に延在される内部リードの数が低減され、この内部リードまたはこれに被嵌される絶縁管による放射光の遮断を低減させることができて中央部に配置されたフィラメントからの放射光を高い効率で利用することができる。従って、被処理体の被照射面において高い均一性の放射照度分布が得られる。しかも、端部側のフィラメントを保持する線状のアンカーがガラスブリッジに保持されると共に発光管に形成された変形保持部によっても保持されて固定されるために、前記フィラメントの周方向に回転することが防止されて、他のフィラメントに係る内部リードに接触することが防止される。その結果、フィラメント間の短絡が確実に防止される。なお、端部側のフィラメントを保持する線状のアンカーは、ガラスブリッジのみに保持された状態においては前記端部側のフィラメントの中心軸を回転軸として当該フィラメントの周方向に回転してしまうおそれがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明のフィラメントランプの一例における構成の概略を示す説明用斜視図、図２は、図１のフィラメントランプにおける複数のフィラメントの配置パターンおよび構成を簡略化して示す説明用平面図である。
このフィラメントランプ１０は、両端部が溶着されて封止部１２ａ，１２ｂが形成された、例えば石英ガラスなどの光透過性材料からなる直管状の発光管１１を備えている。この発光管１１の内部には、複数例えば３つのフィラメント２４，２５，２６が発光管１１の管軸方向に並列状態、すなわち、具体的には後述するフィラメント２４，２５，２６の各々が、発光管１１の管軸方向に伸びる状態に管軸上に順次に並んだ状態で配設されていると共にハロゲンガスが封入されている。
【００１５】
フィラメント２４には、その一端部に給電用の内部リード２４ａが連結されると共に、その他端部に給電用の内部リード２４ｂが連結されている。
また、フィラメント２５，２６についても、フィラメント２４と同様に、その一端部に給電用の内部リード２５ａ（２６ａ）が連結されると共に、その他端部に給電用の内部リード２５ｂ（２６ｂ）が連結されている。
【００１６】
このフィラメントランプ１０は、フィラメント２４，２５，２６に係る内部リード２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂの各々が封止部１２ａまたは封止部１２ｂに配設された複数の金属箔の各々に対して電気的に接続されている。
具体的には、発光管１１の一端側の封止部１２ａの直近に配置された端部側のフィラメント２４に係る一対の内部リード２４ａ，２４ｂが、共に、同一の封止部１２ａに気密に埋設された金属箔１９ａ，１９ｂにそれぞれ接続され、発光管１１の他端側の封止部１２ｂの直近に配置された端部側のフィラメント２６に係る一対の内部リード２６ａ，２６ｂが、共に、同一の封止部１２ｂに気密に埋設された金属箔１９ｅ，１９ｆにそれぞれ接続されると共に、前記中央部のフィラメント２５に係る一対の内部リード２５ａ，２５ｂが、互いに異なる方向に延在し、一端側の封止部１２ａに気密に埋設された金属箔１９ｃ、および他端側の封止部１２ｂに気密に埋設された金属箔１９ｄに、それぞれ接続されている。
【００１７】
上記のような構成とすることにより、中央部のフィラメント２５の近傍には他のフィラメント２４，２６に係る内部リード２４ａ，２４ｂ，２６ａ，２６ｂが延在することがなく、被処理体の直上に位置するフィラメント２５からの照射光が内部リード２４ａ，２４ｂ，２６ａ，２６ｂやこれに被嵌される絶縁管によって遮られることがなく、均一性の高い放射照度分布が得られる。
なお、両端の封止部１２ａ，１２ｂの近傍に位置するフィラメント２４，２６の近傍を延在する内部リードの本数に関しては、従来技術と同数であるが、これらのフィラメント２４，２６は一般に被処理体を載置する載置台の周辺のガードリングに対応することになり、内部リードまたはこれに被嵌される絶縁管により放射光が遮られた場合にも、全体として被処理体への放射照度分布の均一性への影響は少ない。
【００１８】
このフィラメントランプ１０は、各フィラメント２４，２５，２６に、それぞれ独立に給電される構成とされている。
すなわち、各フィラメント２４，２５，２６に係る内部リード２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂが金属箔１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆを介して、それぞれ外部リード１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆに電気的に接続されている。そして、フィラメント２４と電気的に接続された外部リード１８ａおよび１８ｂの間に第１の給電装置（図示せず）が接続され、フィラメント２５と電気的に接続された外部リード１８ｃおよび１８ｄの間に第２の給電装置（図示せず）が接続され、フィラメント２６と電気的に接続された外部リード１８ｅおよび１８ｆの間に第３の給電装置（図示せず）が接続されている。
【００１９】
このフィラメントランプ１０は、電源部によって給電されることにより点灯駆動されるが、各フィラメント２４，２５，２６に個別の給電装置が接続されているので、各フィラメント２４，２５，２６に個別に電力を給電することにより、各フィラメント２４，２５，２６の点灯制御を個別に行うことができる。
【００２０】
また、発光管１１の封止部１２ａ，１２ｂの近傍には、ガラスブリッジ３３ａ，３３ｂがそれぞれ配置されている。このガラスブリッジ３３ａ，３３ｂは、図３に示されるように、一対の円柱状のガラス部材３２，３２からなる。
ガラスブリッジ３３ａ，３３ｂは、それぞれ当該ガラスブリッジ３３ａ，３３ｂに延在される内部リードなどの線状部材に、当該線状部材を一対のガラス部材３２，３２に狭持させた状態でこれらガラス部材３２，３２を固着させた状態とされている。
一端側のガラスブリッジ３３ａに狭持される線状部材は、具体的には、一端側の封止部１２ａに延設される内部リード２４ａ，２４ｂ，２５ａ、並びに後記に詳述する一端側のフィラメント２４を支持する線状アンカー３４，３５である。また、他端側のガラスブリッジ３３ａ，３３ｂに狭持される線状部材は、具体的には、他端側の封止部１２ｂに延設される内部リード２５ｂ，２６ａ，２６ｂ、並びに後記に詳述する他端側のフィラメント２６を支持する線状アンカー３７，３８である。
【００２１】
このフィラメントランプ１０においては、一端側のフィラメント２４が、当該フィラメント２４が発光管１１と接触しないよう、例えば２個の線状アンカー３４，３５によって支持されており、他端側のフィラメント２６が、当該フィラメント２６が発光管１１と接触しないよう、例えば２個の線状アンカー３７，３８によって支持されている。
【００２２】
一端側の線状アンカー３４，３５は、図３に示されるように、１本の線条材により形成されている。具体的には、まず、発光管１１の管軸に平行な方向に直線状部３４ｖ，３５ｖが伸びている。この直線状部３４ｖ，３５ｖに連続して、当該直線状部３４ｖ，３５ｖに直交する方向（発光管１１の径方向）に径方向部３４ｗ，３５ｗが伸びている。この径方向部３４ｗ，３５ｗに連続して、管軸に平行な方向に直線状の被保持部３４ｘ，３５ｘが伸びている。さらに、この被保持部３４ｘ，３５ｘに連続して、当該被保持部３４ｘ，３５ｘに直交する方向に、その先端にリング状のフック部３４ｚ，３５ｚが形成された係止部３４ｙ，３５ｙが伸びている。
そして、直線状部３４ｖ，３５ｖの一端部がガラスブリッジ３３ａによって狭持され、フック部３４ｚ，３５ｚがフィラメント２４に係止されると共に、被保持部３４ｘ，３５ｘが後述する変形保持部１４，１５によって保持される状態とされている。
【００２３】
そして、線状アンカー３４，３５は、その先端のフック部３４ｚ，３５ｚがフィラメント２４を構成するコイル素線の周囲に巻き付ける状態に係止され、直線状部３４ｖ，３５ｖが一端側のガラスブリッジ３３ａによって狭持されると共に、後記に詳述する変形保持部１４，１５によって被保持部３４ｘ，３５ｘが周方向に回転不能に保持されることにより、固定されている。
線状アンカー３４，３５のフィラメント２４への係止は、例えば、当該線状アンカー３４，３５を構成する線状材の先端部分をフィラメント２４を構成するコイル素線の周囲に巻付けた状態において、当該線状材の先端部分をニッパーなどの冶具を用いて締め付けることなどによって達成することができる。
一端側のフィラメント２４において、線状アンカー３４，３５の係止部３４ｙ，３５ｙは、それぞれ、例えば当該フィラメント２４を長手方向（発光管１１の管軸方向）に約３等分する位置に係止されている。
【００２４】
このフィラメントランプ１０においては、フィラメント２４を支持する線状アンカー３４，３５を周方向に回転不能に保持する変形保持部１４，１５が形成されている。
具体的には、この変形保持部１４（１５）は、図４にも示されるように、発光管１１の径方向内方に向けて陥没された状態に形成された２つの凸所１４ｒ，１４ｓ（１５ｒ，１５ｓ）を有しており、線状アンカー３４（３５）は、２つの凸所１４ｒ，１４ｓ（１５ｒ，１５ｓ）間に形成された凹所１４ｔ（１５ｔ）に保持される。
２つの凸所１４ｒ，１４ｓ（１５ｒ，１５ｓ）の高さ（陥没の深さ）は、その間に形成される凹所１４ｔ（１５ｔ）が、当該凹所１４ｔ（１５ｔ）に線状アンカー３４（３５）の被保持部３４ｘ（３５ｘ）が保持されたときに周方向に回転される力が作用されても当該凹所１４ｔ（１５ｔ）から線状アンカー３４（３５）が離脱されない深さを有すればよい。
【００２５】
変形保持部１４，１５の各凸所１４ｒ，１４ｓ，１５ｒ，１５ｓは、発光管１１における、一端側のフィラメント２４と当該フィラメント２４に直近のガラスブリッジ３３ａとの間に対応する領域Ａ（図２参照）に形成されることが好ましい。
フィラメント２４に対応する領域に凸所が設けられた場合は、当該凸所のレンズ効果によってフィラメント２４からの放射光が屈折するために、被処理体の被処理面における放射照度分布に悪影響を与えるおそれがある。
【００２６】
変形保持部１４，１５を形成する各凸所１４ｒ，１４ｓ，１５ｒ，１５ｓは、発光管１１内を負圧にした状態において、当該発光管１１の外表面をバーナーで加熱して縮径させることにより、形成することができる。
【００２７】
他端側の線状アンカー３７，３８についても、一端側のアンカー３４，３５と同様の構成を有し、発光管１１に、線状アンカー３４，３５に係る変形保持部１４，１５と同様の構成を有する変形保持部１６，１７が形成されており、同様にして固定されて他端側のフィラメント２６を支持している。
【００２８】
また、このフィラメントランプ１０のフィラメント２５においては、発光管１１の管軸方向に複数の環状アンカー３６が並設されており、当該フィラメント２５は、例えば４個の環状アンカー３６によって発光管１１と接触しないよう支持されている。
この環状アンカー３６は、フィラメントランプ１０を作製するに際して、複数のフィラメントを発光管１１内に容易に挿入して配設することができる程度の弾性を有する。
【００２９】
以上のようなフィラメントランプ１０によれば、基本的に、両端の各封止部１２ａ，１２ｂの直近に配置されたフィラメント２４，２６に係る内部リード２４ａ，２４ｂ，２６ａ，２６ｂの各々を同一の封止部１２ａ，１２ｂに延設させた構成を有するために、中央部に配置されたフィラメント２５の近傍に延在される内部リードの数が低減され、この内部リードまたはこれに被嵌される絶縁管による放射光の遮断を低減させることができて中央部に配置されたフィラメント２５からの放射光を高い効率で利用することができる。従って、被処理体の被照射面において高い均一性の放射照度分布が得られる。しかも、端部側のフィラメント２４，２６を保持する線状アンカー３４，３５，３７，３８がガラスブリッジ３３ａ，３３ｂに保持されると共に発光管１１に形成された変形保持部１４，１５，１６，１７によっても保持されて固定されるために、前記フィラメント２４，２６の周方向に回転することが防止されて、他のフィラメント２５に係る内部リードに接触することが防止される。その結果、フィラメント２４，２５間またはフィラメント２５，２６間の短絡が確実に防止される。なお、端部側のフィラメント２４，２６を保持する線状アンカー３４，３５，３７，３８は、ガラスブリッジ３３ａ，３３ｂのみに保持された状態においては前記端部側のフィラメント２４，２６の中心軸を回転軸として当該フィラメント２４，２６の周方向に回転してしまうおそれがある。
【００３０】
以上、本発明のフィラメントランプの実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００３１】
例えば、フィラメントに係る内部リードにおける他のフィラメントおよび内部リードと対向する箇所に、例えば石英などの絶縁材料からなる絶縁管を被嵌させた構成とすることができる。絶縁管が設けられていることにより、フィラメントに取り付けられたアンカーと内部リードとが接触して電気的に短絡することを確実に防止することができる。
また例えば、本発明のフィラメントランプにおいては、フィラメントの数は限定されるものではなく、目的に応じて適宜に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明のフィラメントランプの一例における構成の概略を示す説明用斜視図である。
【図２】図１のフィラメントランプにおける複数のフィラメントの配置パターンおよび構成を簡略化して示す説明用平面図である。
【図３】図１のフィラメントランプに係る部分説明図である。
【図４】図１のフィラメントランプに係るＸ−Ｘ線断面図である。
【図５】従来のフィラメントランプの構成の概略を示す説明用図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０  フィラメントランプ
１１  発光管
１２ａ，１２ｂ  封止部
１４，１５，１６，１７  変形保持部
１４ｒ，１４ｓ，１５ｒ，１５ｓ  凸所
１４ｔ，１５ｔ  凹所
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆ  外部リード
１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆ  金属箔
２４，２５，２６  フィラメント
２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂ  内部リード
３２  ガラス部材
３３ａ，３３ｂ  ガラスブリッジ
３４，３５，３７，３８  線状アンカー
３４ｖ，３５ｖ  直線状部
３４ｗ，３５ｗ  径方向部
３４ｘ，３５ｘ  被保持部
３４ｙ，３５ｙ  係止部
３４ｚ，３５ｚ  フック部
３６  環状アンカー
４１ａ，４１ｂ，５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂ  内部リード
４２，５２，６２  フィラメント
７０  フィラメントランプ
７１  発光管
７２ａ，７２ｂ  封止部
７３ａ，７３ｂ，７３ｃ  給電装置
７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄ  絶縁管
７７  アンカー
７８ａ，７８ｂ，７８ｃ，７８ｄ，７８ｅ，７８ｆ  外部リード
７９ａ，７９ｂ，７９ｃ，７９ｄ，７９ｅ，７９ｆ  金属箔
【図１】
2010040230.tif 000003
【図２】
2010040230.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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