(57)【要約】【課題】簡単な構造で常に搬送テープに一定の張力をかけることができる。【解決手段】内部に通された搬送テープ上の樹脂を加熱処理する炉体を有する樹脂硬化装置である。前記炉体のテープ入口とテープ出口とを連通する加熱管を備えた。当該加熱管は、前記炉体内に挿入された搬送テープ上の樹脂を加熱処理する複数の水平管部と、隣接する２つの水平管部に接続されて前記搬送テープを折り返す接続部とを備え、当該接続部が、一方の水平管部からの搬送テープを掛け渡して反転させるローラ部と、当該ローラ部に振り子の原理で一定の付勢力をかけて搬送テープに設定値の張力をかける張力設定部とを備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に通された搬送テープ上の樹脂を加熱処理する炉体を有する樹脂硬化装置において、
前記炉体のテープ入口とテープ出口とを連通する加熱管を備え、
当該加熱管が、前記炉体内に挿入された搬送テープ上の樹脂を加熱処理する複数の水平管部と、隣接する２つの水平管部に接続されて前記搬送テープを折り返す接続部とを備え、
当該接続部が、一方の水平管部からの搬送テープを掛け渡して反転させるローラ部と、当該ローラ部に振り子の原理で一定の付勢力をかけて搬送テープに設定値の張力をかける張力設定部とを備えたことを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項２】
請求項１に記載の樹脂硬化装置において、
前記ローラ部が揺動棒部に支持され、
前記張力設定部が、前記揺動棒部を直接回動させる支持棒部と、当該支持棒部に垂下されて前記揺動棒部を回動方向に付勢して前記搬送テープに一定の張力をかけるおもりとを備えて構成されたことを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項３】
請求項２に記載の樹脂硬化装置において、
前記おもりが、前記搬送テープにかける張力の大きさに合わせた重さに調整されることを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項４】
請求項２に記載の樹脂硬化装置において、
前記揺動棒部が、その基端部を回動可能に支持されて、前記おもりによって前記揺動棒部が基端部を中心に回動して前記搬送テープに一定の張力をかけることを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項５】
請求項１に記載の樹脂硬化装置において、
前記張力設定部が、前記揺動棒部を直接回動方向に付勢して前記搬送テープに一定の張力をかけるスプリングを備えて構成されたことを特徴とする樹脂硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状の搬送テープ上の素子を封止した樹脂を加熱して硬化させる樹脂硬化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
帯状のテープ上の素子を封止した樹脂を加熱して硬化させる樹脂硬化装置は一般に知られている。この樹脂硬化装置としては特許文献１がある。この特許文献１の樹脂硬化装置を概説する。
【０００３】
樹脂硬化装置は、図２，３に示すように主に、筐体１と、この筐体１の上に設けられた炉体２とから構成されている。炉体２には、素子３を封止するために樹脂４がこの素子を覆って塗布された搬送テープ５が、炉体２内に供給されるテープ入口６と、搬送テープ５の送り方向を反転させる反転ローラ７，８と、炉体内に配置され樹脂を加熱し硬化させる後述の加熱硬化手段と、搬送テープ５を炉体２外へ排出するテープ出口９とを備えている。
【０００４】
加熱硬化手段は、搬送テープ５が水平に移動する水平搬送路に配置される水平搬送路用発熱体１１，１２，１３と、反転ローラ７，８によって搬送テープ５が折り返される搬送状態変更区域であって反転ローラ７，８から見て下方位置に配置される搬送状態変更部用発熱体１４，１５とを備えて構成され、各発熱体によって搬送テープ５を加熱する。
【０００５】
炉体２の上側には、炉体２内の空気を外部に排出する排気ブロア１６が取り付けられている。
【０００６】
また、前記樹脂硬化装置と同様の装置が、特許文献２及び特許文献３にも記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２４００４８号公報
【特許文献２】特公平８−２５３８号公報
【特許文献３】特開２００１−１２７０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上述した従来の樹脂硬化装置では、搬送テープ５に一定のテンションをかける場合は、反転ローラ７，８を横方向（図炉体２の左右方向）にスライドさせる。反転ローラ７，８を横方向にスライドさせることで、搬送テープ５を張って一定のテンションをかけるようになっている。
【０００９】
しかし、この場合、反転ローラ７，８をスライドさせるためのレール等が必要になり、構造が複雑になる。図２では１つの反転ローラで搬送テープ５を反転させているため、この反転ローラをレールで支持してスライドさせるが、構造が複雑になる。上下に二つの反転ローラを並べて配設した状態では、レールで上下二つの反転ローラを支持する構造はさらに複雑になる。この結果、製造コストも嵩んでしまう。
【００１０】
また、レールで反転ローラをスライドさせる場合、搬送テープ５に常に一定の張力をかけるのが容易でない。
【００１１】
本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、簡単な構造で常に搬送テープに一定の張力をかけることができることができる樹脂硬化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
かかる課題を解決するために、本願発明に係る樹脂硬化装置は、内部に通された搬送テープ上の樹脂を加熱処理する炉体を有する樹脂硬化装置において、前記炉体のテープ入口とテープ出口とを連通する加熱管を備え、当該加熱管が、前記炉体内に挿入された搬送テープ上の樹脂を加熱処理する複数の水平管部と、隣接する２つの水平管部に接続されて前記搬送テープを折り返す接続部とを備え、当該接続部が、一方の水平管部からの搬送テープを掛け渡して反転させるローラ部と、当該ローラ部に振り子の原理で一定の付勢力をかけて搬送テープに設定値の張力をかける張力設定部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
張力設定部によって、搬送テープを掛け渡して反転させるローラ部に振り子の原理で一定の付勢力をかけて搬送テープに設定値の張力をかけるため、搬送テープを常に設定値の張力で張ることができ、熱源との距離を正確に保て、正確な加熱処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る加熱管の最下段水平管部を示す正面断面図である。
【図２】従来の樹脂硬化装置を示す正面断面図である。
【図３】従来の樹脂硬化装置を示す側面図である。
【図４】本発明の実施形態にかかる加熱管を示す正面図である。
【図５】本発明の実施形態にかかる最下段水平管部の側面断面図である。
【図６】本発明の実施形態にかかる反転ローラを示す正面図である。
【図７】本発明の実施形態にかかる中段水平管部のテープ用レール部を示す正面断面図である。
【図８】本発明の実施形態にかかる正面扉を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施形態にかかる正面扉を示す側面図である。
【図１０】第１変形例を示す正面図である。
【図１１】第２変形例を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施形態に係る温度測定装置について説明する。図１は本実施形態に係る加熱管の最下段水平管部を示す正面断面図、図４は加熱管を示す正面図、図５は最下段水平管部の側面断面図、図６は反転ローラを示す正面図、図７は中段水平管部のテープ用レール部を示す正面断面図、図８は正面扉を示す斜視図、図９は正面扉を示す側面図である。
【００１６】
本実施形態に係る樹脂硬化装置の全体構成は、上述した従来の樹脂硬化装置とほぼ同様であるため、同一部材には同一符号を付して、ここではその説明を省略する。本発明の樹脂硬化装置は、炉体２内の改良に関するものである。このため、本実施形態では炉体２内の構造を中心に説明する。
【００１７】
本実施形態に係る樹脂硬化装置の炉体２には、図４に示すように、１本の加熱管２１が装着されている。この加熱管２１は、炉体２のテープ入口６とテープ出口９とを接続して、外部から挿入された搬送テープ５を内部に通して搬送テープ５上の樹脂４を加熱処理した後、テープ出口９から外部に排出する。
【００１８】
加熱管２１は、２回折り返して３段に構成している。即ち、３段に積層した加熱炉となっている。この加熱管２１は、５つのユニットから構成されている。具体的には加熱管２１は、テープ入口６から挿入された搬送テープ５の樹脂４を最初に加熱処理する最下段水平管部２２と、最下段水平管部２２内の搬送テープ５を折り返して中段水平管部２４に通す下部接続部２３と、最下段水平管部２２に続いて樹脂４を加熱処理する中段水平管部２４と、中段水平管部２４内の搬送テープ５を折り返して上段水平管部２６に通す上部接続部２５と、中段水平管部２４に続いて樹脂４を加熱処理する上段水平管部２６とから構成されている。これら５つのユニットは、ネジ等によって互いに着脱可能に構成されている。炉体２内には、最下段水平管部２２と中段水平管部２４と上段水平管部２６とが炉体２側のフレームに固定され、下部接続部２３と上部接続部２５は、最下段水平管部２２等に連結されることで固定されている。なお、ここでは加熱管２１を３段に構成したが、炉体２の寸法や加熱工程の長さ等の諸条件に応じて、４段以上に構成する場合もある。
【００１９】
最下段水平管部２２は、図１，５に示すように、保温筒３０と、テープ用レール部３１と、加熱板３２と、引出用レール３３と、フィルタ３４とから構成されている。なお、図１においては、異なる幅の２種類の搬送テープ５をレール部に通した状態を示しているが、実際の加熱処理では、２種類の搬送テープ５のうちのいずれか一方のみが通されることになる。図７においても同様である。
【００２０】
保温筒３０は、閉ざされた搬送テープ５の加熱空間を形成するための部材である。保温筒３０は、筒状の断熱材で構成され、その一方がテープ入口６に接続されて、内部にテープ用レール部３１と加熱板３２とを収納している。これにより、保温筒３０は、その内部のみが加熱されて、テープ入口６から挿入された搬送テープ５及び樹脂４が置かれた環境を設定の温度に維持する。保温筒３０は、下側筒部３０Ａと、上側筒部３０Ｂとからなり、下側筒部３０Ａにテープ用レール部３１と加熱板３２とが取り付けられている。
【００２１】
下側筒部３０Ａは、その断面が四角形皿状に形成され、その両側上端部が内側に折り曲げられてフランジ部３０Ｃが形成されている。このフランジ部３０Ｃに取付金具３０Ｄを介して加熱板３２が取り付けられている。フランジ部３０Ｃの上側には、テープ用レール部３１を支持するための支持板３０Ｉが取り付けられている。
【００２２】
上側筒部３０Ｂは、断面が逆さまの四角形皿状に形成され、下側筒部３０Ａに着脱可能に取り付けられている。上側筒部３０Ｂは肉厚の断熱材で構成され、加熱室３０Ｅ内の熱が外部に極力漏れないようにしている。上側筒部３０Ｂは、メンテナンス時に下側筒部３０Ａから取り外される。
【００２３】
テープ用レール部３１は、加熱管２１内に搬送テープ５を通す際に、当該搬送テープ５を支持して案内するための装置である。このテープ用レール部３１は、複数の異なる幅のテープを支持できるように、複数のレール部から構成されている。即ち、テープ用レール部３１は、複数のテープ幅に合わせた複数のレール部を積層して構成されている。ここでは、２段構造の例を示している。即ち、テープ用レール部３１は、狭い幅のテープを支持する狭幅テープ用レール部３６と、広い幅のテープを支持する広幅テープ用レール部３７と、これらの間を設定間隔に支持するレール部間スペーサ３８とから構成されて、２段構造になっている。
【００２４】
狭幅テープ用レール部３６は、下側を覆う下板３９と、上側を覆う上板４０と、これらの間に設けられたスペーサ４１とから構成されている。これらの部材は、搬送テープ５の両側に位置して左右対称に一対ずつ設けられている。
【００２５】
下板３９は、搬送テープ５をその下側から直接支持するための部材である。下板３９は、水平板部３９Ａと、傾斜板部３９Ｂと、テープ支持用突部３９Ｃとから構成されている。
【００２６】
水平板部３９Ａは、スペーサ４１と当接して下板３９全体を支持するための板材である。水平板部３９Ａは、テープ用レール部３１の全長と同じ長さの平坦な帯状に形成され、水平に配設されている。一対の水平板部３９Ａの互いの内側端の間隔は、搬送テープ５の幅よりも狭く設定されて、搬送テープ５の幅方向両端部をその下側から支持するようになっている。この水平板部３９Ａの上側面にスペーサ４１が当接される。
【００２７】
傾斜板部３９Ｂは、搬送テープ５が撓んだときにその下側から支持するための部材である。傾斜板部３９Ｂは水平板部３９Ａと一体的に取り付けられている。傾斜板部３９Ｂは、水平板部３９Ａの内側端から下方へ傾斜させて設けられている。傾斜板部３９Ｂの傾斜角度は、搬送テープ５の撓み得る限度に合わせて設定されている。ここでは、傾斜板部３９Ｂは、水平板部３９Ａから３０度傾斜させて形成されている。
【００２８】
テープ支持用突部３９Ｃは、搬送テープ５の幅方向両端部の下側面に直接当接して搬送テープ５を支持するための部材である。テープ支持用突部３９Ｃは、一対の水平板部３９Ａの内側端又は水平板部３９Ａと傾斜板部３９Ｂの境界部に設けられている。テープ支持用突部３９Ｃは、この内側端又は境界部に、下板３９の全長に亘って設けられている。テープ支持用突部３９Ｃは、水平板部３９Ａの内側端等に一列に並んだ複数の突起で構成されている。テープ支持用突部３９Ｃを突起で構成することで、搬送テープ５の幅方向両端部をその長手方向に一列に点接触で支持するようになっている。点接触で支持することで、小さい摩擦抵抗で搬送テープ５をスムーズに搬送する。
【００２９】
上板４０は、上面板部４０Ａと側面板部４０Ｂとから構成されている。上面板部４０Ａは、下板３９に直接支持された搬送テープ５をその上方から間接的に支持するための部材である。上面板部４０Ａは、下板３９の上方に設定間隔を空けて設けられ、搬送テープ５の上方を覆って搬送テープ５が狭幅テープ用レール部３６から脱落しないように間接的に支持している。上面板部４０Ａは、平坦な帯状に形成され、下板３９の水平板部３９Ａの上側にスペーサ４１を挟んで設けられている。一対の上面板部４０Ａは、その内側の間隔が、搬送テープ５の幅よりも僅かに狭くなる寸法に設定されている。具体的には、上面板部４０Ａは、下板３９の水平板部３９Ａとほぼ同じ寸法に設定されている。これにより、一対の上面板部４０Ａが、搬送テープ５の幅方向両端部を覆ってその上側を間接的に支持している。
【００３０】
側面板部４０Ｂは、上面板部４０Ａに一体的に設けられ、上面板部４０Ａの外側端部から下方へ垂下して形成されている。側面板部４０Ｂは、後述するレール部間スペーサ３８及び広幅テープ用レール部３７を覆う寸法に設定されている。これにより、一対の側面板部４０Ｂが、テープ用レール部３１の両側を覆って、狭幅テープ用レール部３６自身、レール部間スペーサ３８及び広幅テープ用レール部３７を保護している。
【００３１】
スペーサ４１は、下板３９と上板４０との間を設定間隔に保つと共に、搬送テープ５を規制するための部材である。スペーサ４１は、所定の厚さを有して構成され、下板３９と上板４０との間隔を、例えば２ｍｍ程度に保っている。この下板３９と上板４０との間隔は、搬送テープ５の厚さや遊び等を考慮して設定される。一対のスペーサ４１の間隔は、これらの間に挿入される搬送テープ５の幅に合わせて設定される。即ち、一対のスペーサ４１の間隔は、搬送テープ５の幅よりも少し広い程度に設定される。この一対のスペーサ４１によって、搬送テープ５の長手方向（搬送方向）への移動を許容すると共に、幅方向（横方向）へのズレを抑えている。
【００３２】
広幅テープ用レール部３７の基本的な構成は、上述した狭幅テープ用レール部３６と同様である。即ち、広幅テープ用レール部３７は、下板４３と、上板４４と、スペーサ４５とから構成されている。これらは幅の広い搬送テープ５の寸法に合わせて設定され、その両側に一対ずつ設けられている。
【００３３】
下板４３は、搬送テープ５をその下側から直接支持するための部材で、水平板部４３Ａと、傾斜板部４３Ｂと、テープ支持用突部４３Ｃとから構成されている。これらの部材は、基本的な構成は狭幅テープ用レール部３６の下板３９の水平板部３９Ａ、傾斜板部３９Ｂ及びテープ支持用突部３９Ｃと同様であるが、その寸法は、幅の広い搬送テープ５に合わせて設定されている。即ち、各部材の間隔を、狭幅テープ用レール部３６の各部材に比べて広くして、幅の広い搬送テープ５に合わせている。
【００３４】
上板４４は、下板４３に直接支持された搬送テープ５をその上方から間接的に支持するための部材で、下板４３の上方に設定間隔を空けて設けられ、搬送テープ５の上方を覆って搬送テープ５が広幅テープ用レール部３７から脱落しないように間接的に支持している。上板４４は、狭幅テープ用レール部３６の上板４０の上面板部４０Ａと同様に構成されている。
【００３５】
スペーサ４５は、下板４３と上板４４との間を設定間隔に保つと共に、幅の広い搬送テープ５を規制するための部材で、所定の厚さを有して構成されている。一対のスペーサ４５の間隔は、幅の広い搬送テープ５に合わせて設定される。
【００３６】
レール部間スペーサ３８は、狭幅テープ用レール部３６と広幅テープ用レール部３７との間を設定間隔に維持するための部材である。レール部間スペーサ３８の厚さは、保温筒３０の内径や加熱板３２との間隔等を考慮して設定されている。
【００３７】
これら狭幅テープ用レール部３６、広幅テープ用レール部３７及びレール部間スペーサ３８は、通しボルト４６で一体的に固定されている。この通しボルト４６は、広幅テープ用レール部３７等の全長に亘って一定間隔毎に複数本設けられている。さらに、通しボルト４６は、保温筒３０の下側筒部３０Ａの支持板３０Ｉに取り付けられて、テープ用レール部３１を下側筒部３０Ａに固定している。
【００３８】
加熱板３２は、搬送テープ５の樹脂４を加熱するための熱源である。加熱板３２は、電熱線等を用いて板状に構成され、テープ用レール部３１の下側に配設されている。加熱板３２は、テープ用レール部３１の全長とほぼ同じ長さの１枚の板材（電熱線の板材等）又はほぼ同じ長さになるように組み合わせた複数枚の板材（電熱線の板材等）で構成されている。これにより、テープ用レール部３１に配設された搬送テープ５を設定温度で加熱するようになっている。板状の加熱板３２はその上下両側面から発熱する。このため、加熱板３２のうち搬送テープ５に面する側が、輻射熱と、空気を介した熱伝導とによる加熱で、搬送テープ５と反対側が、空気を介した熱伝導による加熱で、搬送テープ５（樹脂４）全体が設定温度になるように加熱する。
【００３９】
加熱板３２は、各段ともテープの下側に設けられ、１段目及び３段目と、２段目とが反対面を加熱する。
【００４０】
さらに、加熱板３２は、保温筒３０の内部を上下に分割している。具体的には、保温筒３０の下側筒部３０Ａのフランジ部３０Ｃに取付金具３０Ｄを介して加熱板３２が取り付けられることで、加熱板３２を境にして、保温筒３０の内部を上下に分割している。これにより、保温筒３０のうち加熱板３２の上部が加熱室３０Ｅ、下部が予熱室３０Ｆとなっている。加熱室３０Ｅにテープ用レール部３１が配設されている。予熱室３０Ｆは空洞になっており、この空洞の予熱室３０Ｆを空気が流れる間に加熱板３２によって加熱されて、加熱室３０Ｅに流入するようになっている。下側筒部３０Ａのうちフィルタ３４の近傍の下側には、炉体２内の空気が予熱室３０Ｆに流入する入口３０Ｇ（図５参照）が設けられている。予熱室３０Ｆのうち入口３０Ｇと反対側（図５の左側）の端部に位置する加熱板３２には、予熱室３０Ｆで予熱された空気が加熱室３０Ｅに流入する出口３０Ｈが設けられている。この予熱室３０Ｆは、保温筒３０内に流入する炉体２内の空気を加熱することで、加熱室３０Ｅ内に流入する空気を予め加熱すると共に、保温筒３０内の熱が外部に伝わって炉体２内を無駄に加熱するのを防止している。即ち、炉体２内の冷却と喚起を同時に行っている。
【００４１】
引出用レール３３は、最下段水平管部２２を、メンテナンスのために、炉体２内から外部に引き出すための装置である。引出用レール３３は、図４，５に示すように、レール部３３Ａと、スライダ３３Ｂとから構成されている。レール部３３Ａは、炉体２の骨組みであるフレーム２Ａに取り付けられている。さらに、レール部３３Ａは、最下段水平管部２２の出し入れ方向に配設されている。スライダ３３Ｂは、最下段水平管部２２の下側面に取り付けられ、レール部３３Ａにスライド可能に支持されている。これにより、メンテナンスの際に、最下段水平管部２２を炉体２から外部に、作業者が手で引き出すことができるようになっている。
【００４２】
フィルタ３４は、加熱管２１内の異物をろ過するための装置である。
【００４３】
このフィルタ３４は、箱部３４Ａと、濾材３４Ｂとから構成されている。箱部３４Ａは、保温筒３０の下流側端部の加熱室３０Ｅを拡大して形成されている。この箱部３４Ａは、排気ブロア１６に配管３４Ｃで接続され、加熱管２１内の空気が炉体２の外部に排出されるようになっている。
【００４４】
濾材３４Ｂは、箱部３４Ａ内に充填されて、加熱管２１内の異物を濾し取る。濾材３４Ｂは、主に樹脂４から発生したアウトガス中の粘性の高い異物を濾し取る。濾材３４Ｂとしては、濾し取る対象に合わせて材料を選択する。ここでは、粘性の高い異物に合わせて金網を用いる。排気ブロア１６で加熱管２１内の空気が引かれる際に、最下段水平管部２２の加熱室３０Ｅ、下部接続部２３、中段水平管部２４、上部接続部２５、上段水平管部２６内の空気が引かれて、アウトガスが効率的に外部に排出される。
【００４５】
下部接続部２３は、最下段水平管部２２と中段水平管部２４とを接続する装置である。下部接続部２３は、図４，６に示すように、反転ローラ５１と、保温カバー５２とから構成されている。
【００４６】
反転ローラ５１は、最下段水平管部２２内を通された搬送テープ５を、一定のテンションをかけた状態で反転させて中段水平管部２４に通すための装置である。反転ローラ５１は、搬送テープ５が掛け渡された状態で、振り子の原理によって搬送テープ５に一定のテンションをかけている。具体的には、反転ローラ５１は、揺動棒部５４と、下側ローラ部５５と、上側ローラ部５６と、張力設定部５７とから構成されている。
【００４７】
揺動棒部５４は、下側ローラ部５５及び上側ローラ部５６を支持して揺動するための棒材である。この揺動棒部５４は、その基端部が炉体２側に軸支された回転軸５８によって保温カバー５２に回動可能に支持されて、上端部が左右（搬送テープ５の長手方向に沿う方向）に揺動するように構成されている。
【００４８】
下側ローラ部５５及び上側ローラ部５６は、搬送テープ５をその移動を許容して反転させるためのローラである。下側ローラ部５５及び上側ローラ部５６は、揺動棒部５４に設定間隔をあけてそれぞれ取り付けられている。この下側ローラ部５５と上側ローラ部５６の間隔は、最下段水平管部２２内の搬送テープ５の位置と、中段水平管部２４内の搬送テープ５の位置とに合わせて設定される。
【００４９】
張力設定部５７は、下側ローラ部５５及び上側ローラ部５６に一定の付勢力をかけて、搬送テープ５に設定値の張力をかけるための装置である。張力設定部５７は、支持棒部６０と、おもり６１とから構成されている。
【００５０】
支持棒部６０は、揺動棒部５４を直接回動させるための棒材である。支持棒部６０は、縦方向に配設された揺動棒部５４の中間位置から水平方向に延出して設けられている。おもり６１は、支持棒部６０を介して揺動棒部５４に回動方向へ一定の付勢力をかけるための部材である。揺動棒部５４に一定の付勢力をかけることで、搬送テープ５に一定のテンションをかけている。
【００５１】
おもり６１は、支持棒部６０の先端部に垂下されている。このおもり６１は、搬送テープ５にかけるテンションの大きさに合わせた重さに調整される。これにより、搬送テープ５に常に一定のテンションがかかるようになっている。
【００５２】
保温カバー５２は、反転ローラ５１を覆って放熱を防ぎ、この部分での温度低下を防止するための部材である。保温カバー５２は、その内部に反転ローラ５１を収納した状態で、最下段水平管部２２と中段水平管部２４とにそれぞれ取り付けられて、これら最下段水平管部２２と中段水平管部２４とを連通している。
【００５３】
中段水平管部２４は、図４，７に示すように、最下段水平管部２２とほぼ同様の構成を有している。具体的には、中段水平管部２４は、保温筒６３と、テープ用レール部６４と、加熱板(図示せず)とから構成されている。なお、最下段水平管部２２の引出用レール３３とフィルタ３４は設けられていない。
【００５４】
保温筒６３は、閉ざされた搬送テープ５の加熱空間を形成するための部材である。保温筒６３は、最下段水平管部２２の保温筒３０とほぼ同様の構成を有している。即ち、保温筒６３は、筒状の断熱材で構成され、その内部にテープ用レール部６４と加熱板とを収納している。保温筒６３は、最下段水平管部２２の保温筒３０と同様に、下側筒部(図示せず)と、上側筒部６３Ａとからなり、下側筒部にテープ用レール部６４と加熱板とが取り付けられている。これら下側筒部及び上側筒部６３Ａは、最下段水平管部２２の下側筒部３０Ａ及び上側筒部３０Ｂと同様の構成を有している。加熱板も、最下段水平管部２２の加熱板３２と同様の構成を有している。
【００５５】
テープ用レール部６４は、図７に示すように、狭幅テープ用レール部３６と広幅テープ用レール部３７とが上下逆になっている以外は、最下段水平管部２２のテープ用レール部３１と同様である。
【００５６】
この中段水平管部２４は、その上流側端部が下部接続部２３に接続され、下流側端部が上部接続部２５に接続されている。これにより、最下段水平管部２２で加熱された搬送テープ５が、上下反転した状態で中段水平管部２４に流入して、この中段水平管部２４内で加熱されて上部接続部２５に流出する。
【００５７】
なお、保温筒６３の下部（最下段水平管部２２の保温筒３０の下部の予熱室３０Ｆに対応する空間）は、最下段水平管部２２の入口３０Ｇ及び出口３０Ｈを設けた予熱室３０Ｆと異なり、空気の流れない断熱空間となっている。この空間は、最下段水平管部２２の予熱室３０Ｆと同様の予熱室としても良い。最も熱効率の良い態様になるように、断熱空間にしたり、予熱室にしたりする。
【００５８】
上部接続部２５は、下部接続部２３とほぼ同様の構成を有している。具体的には、上部接続部２５は、図４に示すように、中段水平管部２４と上段水平管部２６とを接続する装置である。上部接続部２５は、下部接続部２３と同様に、反転ローラ(図示せず)と、保温カバー６６とから構成されている。
【００５９】
反転ローラは、中段水平管部２４内を通された搬送テープ５を、一定のテンションをかけた状態で反転させて上段水平管部２６に通すための装置である。反転ローラは、搬送テープ５が掛け渡された状態で、振り子の原理によって搬送テープ５に一定のテンションをかけている。具体的には、反転ローラは、下部接続部２３の反転ローラ５１と同様に、揺動棒部、下側ローラ部、上側ローラ部及び張力設定部(いずれも図示せず)とから構成されている。これらの部材は、下部接続部２３の反転ローラ５１の各部材と同様であって、左右対称の構成になっている。
【００６０】
上段水平管部２６は、中段水平管部２４とほぼ同様の構成を有している。具体的には、上段水平管部２６は、保温筒６７と、テープ用レール部(図示せず)と、加熱板(図示せず)とから構成されている。これらの部材は、最下段水平管部２２の保温筒３０、テープ用レール部３１及び加熱板３２と同様である。
【００６１】
この上段水平管部２６は、その上流側端部が上部接続部２５に接続され、下流側端部が炉体２のテープ出口９に接続されている。これにより、中段水平管部２４で加熱された搬送テープ５が、上下反転した状態で上段水平管部２６に通されて、この上段水平管部２６内で加熱されてテープ出口９から炉体２の外部に搬出する。上段水平管部２６内の下部空間は、中段水平管部２４と同様に、最も熱効率の良い態様になるように、断熱空間にしたり、予熱室にしたりする。
【００６２】
正面扉７１は、炉体２を開閉するための扉である。正面扉７１は、図８，９に示すように、炉体２の扉解放時に省スペース化が図れるように、下方向スライド式を採用している。具体的には、正面扉７１は、扉板７２と、水平スライド機構７３と、垂直スライド機構７４とから構成されている。扉板７２は、炉体２の前面を覆う板材である。扉板７２は、炉体２の前面の全体を覆う大きさに設定され、扉板７２を下方へずらすことで炉体２の前面全体を開放できるようになっている。
【００６３】
水平スライド機構７３は、扉板７２を支持して水平方向（炉体２に対する前後方向）に僅かにずらすための機構である。水平スライド機構７３によって扉板７２が水平にずらされて、扉板７２を閉めたり開いたりする。水平スライド機構７３は、水平スライド棒７６と、水平スライド支持ブロック７７とから構成されている。水平スライド棒７６は、扉板７２の裏面に一体的に設けられ、この扉板７２を支持している。水平スライド棒７６は、扉板７２の裏面の４つの角に近い４箇所の位置にそれぞれ設けられている。水平スライド支持ブロック７７は、水平スライド棒７６をスライド可能に支持する部材である。
【００６４】
水平スライド棒７６が水平スライド支持ブロック７７によって水平方向にスライドすることで、扉板７２が炉体２に対して前後方向にずれるようになっている。水平スライド支持ブロック７７は、垂直スライド機構７４に取り付けられている。
【００６５】
垂直スライド機構７４は、扉板７２を垂直方向にずらすための機構である。垂直スライド機構７４によって扉板７２を下方へずらすことで、炉体２内を開放してメンテナンス等を行い、扉板７２を上方へずらすことで炉体２内を閉じる。垂直スライド機構７４は、垂直スライド棒７８と、垂直スライドブロック７９とから構成されている。垂直スライド棒７８は、炉体２側に平行に２本取り付けられている。この垂直スライド棒７８は、水平スライド機構７３の水平スライド棒７６の間隔に合わせて配設されている。垂直スライド棒７８は、垂直スライドブロック７９をスライド可能に支持している。垂直スライドブロック７９は、水平スライド支持ブロック７７を支持して垂直方向にスライドするための部材である。垂直スライドブロック７９は、水平スライド支持ブロック７７及び水平スライド棒７６を介して扉板７２を垂直方向にスライド可能に支持している。
【００６６】
このように、扉板７２と、水平スライド機構７３と、垂直スライド機構７４とからなる正面扉７１は、水平方向の移動が少なくて垂直方向にずれることで、炉体２を開閉する。
【００６７】
以上のように構成された樹脂硬化装置は、次のようにして使用される。
【００６８】
素子３を封止した樹脂４を表面に備えた搬送テープ５が、テープ入口６から炉体２内に挿入されると、搬送テープ５は加熱管２１に通される。加熱管２１では、まず最下段水平管部２２のテープ用レール部３１の狭幅テープ用レール部３６か広幅テープ用レール部３７に挿入される。
【００６９】
搬送テープ５がこのテープ用レール部３１に支持されて移動する間に、加熱室３０Ｅ内で樹脂４が加熱処理される。このとき、保温筒３０で覆われた加熱室３０Ｅ内は、設定温度になるように調整されている。具体的には、加熱板３２の上側に位置する加熱室３０Ｅが、加熱板３２の輻射熱と、空気を介した熱伝導とによって搬送テープ５の樹脂４を加熱する。さらに、排気ブロア１６でフィルタ３４の部分から加熱管２１内が吸引される際に、炉体２内の空気が入口３０Ｇから予熱室３０Ｆに流入してこの予熱室３０Ｆで暖められて、出口３０Ｈから加熱室３０Ｅに流入する。これにより、加熱室３０Ｅが設定温度に保たれ、周囲の加熱された空気と輻射熱で樹脂４が効率的に加熱される。
【００７０】
下部接続部２３では、最下段水平管部２２からの搬送テープ５が反転されて中段水平管部２４のテープ用レール部６４に通される。さらに、ここでは、おもり６１で下側ローラ部５５、上側ローラ部５６が付勢されて、搬送テープ５に一定のテンションがかけられている。これにより、搬送テープ５が撓むことなく加熱板３２と一定の距離をおいて各レール部内を通されて、樹脂４が設定温度で加熱処理される。下部接続部２３では、反転ローラ５１が保温カバー５２で覆われているため、この下部接続部２３の部分で温度が低下するのを防いで、搬送テープ５の樹脂４が冷えないようにしている。
【００７１】
中段水平管部２４では、最下段水平管部２２と同様にして、中段水平管部２４での設定温度で加熱処理される。上部接続部２５では、下部接続部２３と同様にして、搬送テープ５に一定のテンションがかけられると共に、この上部接続部２５の部分で温度が低下して搬送テープ５の樹脂４が冷えないようにしている。上段水平管部２６でも最下段水平管部２２と同様にして、上段水平管部２６での設定温度で加熱処理される。なお、最下段水平管部２２と中段水平管部２４と上段水平管部２６とで、加熱する設定温度がそれぞれ異なる場合と同じ場合があり、それぞれの設定温度で加熱処理される。
【００７２】
この加熱工程において、特に最下段水平管部２２でアウトガスが発生しやすいが、このガスは、フィルタ３４を介して排気ブロア１６で吸引されて、炉体２の外部に排気される。フィルタ３４で吸引される際に、異物は濾材３４Ｂで濾し取られる。
【００７３】
上段水平管部２６を通過した搬送テープ５は、テープ出口９から炉体２の外部に排出され、外部の巻き取りローラに巻き取られたり、下流側の処理工程に送られたりする。
【００７４】
一方、メンテナンスを行うときは、正面扉７１の扉板７２を水平スライド機構７３によって手前に引いて炉体２から外して、垂直スライド機構７４で扉板７２を下方へずらす。これにより、樹脂硬化装置全体の重心移動がほとんどない状態で、炉体２内を開放することができる。
【００７５】
次いで、最下段水平管部２２をメンテナンスするときは、最下段水平管部２２を炉体２側に固定している部分を外すと共に、最下段水平管部２２と下部接続部２３とを外して、引出用レール３３で最下段水平管部２２を炉体２の外部に引き出す。引き出した最下段水平管部２２から、保温筒３０の下側筒部３０Ａを上側筒部３０Ｂから外してテープ用レール部３１を開く。メンテナンス終了後は、上側筒部３０Ｂを下側筒部３０Ａに取り付けて、最下段水平管部２２を炉体２内へ押し戻して、下部接続部２３と連結し、メンテナンスを終了する。
【００７６】
下部接続部２３をメンテナンスするときは、下部接続部２３を最下段水平管部２２と中段水平管部２４とから外して炉体２から外部に取り出す。または、下部接続部２３の保温カバー５２を取り外して、反転ローラ５１のメンテナンスを行う。
【００７７】
中段水平管部２４及び上段水平管部２６については、必要に応じて炉体２から取り出す。即ち、中段水平管部２４の場合は、下部接続部２３と上部接続部２５を外して中段水平管部２４を炉体２側から取り外し、炉体２の外部に取り出す。取り出す必要がない場合は、保温筒６３の下側筒部を取り外して内部のメンテナンスを行う。
【００７８】
上部接続部２５をメンテナンスするときは、前記下部接続部２３と同様にして行う。
【００７９】
上段水平管部２６をメンテナンスするときは、前記中段水平管部２４と同様にして行う。
【００８０】
以上のように、張力設定部５７によって、搬送テープ５を掛け渡して反転させる下側ローラ部５５、上側ローラ部５６に振り子の原理で一定の付勢力をかけて搬送テープ５に設定値の張力をかけるため、搬送テープ５を常に設定値の張力で張ることができる。これにより、加熱板３２との距離を正確に保て、正確な加熱処理を行うことができる。
【００８１】
加熱管２１を、最下段水平管部２２、下部接続部２３、中段水平管部２４、上部接続部２５及び上段水平管部２６の５つのユニットに分けて、個別にメンテナンスを行うことができるようにしたため、メンテナンス時の作業性が向上する。各ユニットの組立性、メンテナンス性が向上する。
【００８２】
テープ用レール部３１を狭幅テープ用レール部３６と広幅テープ用レール部３７とから構成したため、２種類の幅の搬送テープ５を、部品交換なしに用いることができる。これにより、搬送テープ５の樹脂４の熱硬化処理作業の効率化を図ることができる。
【００８３】
炉体２内に加熱管２１を設け、保温筒３０及び保温カバー５２等によって、加熱管２１の内部だけを加熱して、炉体２内には極力熱を放出しないようにしているため、熱効率が向上する。さらに、炉体２内を無駄に加熱しないため、内部の部品の熱による問題を防止することができる。
【００８４】
正面扉７１は、水平方向の移動が少なくて垂直方向にずれることで、炉体２を開閉するため、省スペースでかつ重心の移動も少なく、安定して開閉することができる。
【００８５】
前記テープ用レール部３１等が、搬送テープ５の下側を覆う下板３９等と、搬送テープ５の上側を覆う上板４０等と、これらの間に設けられたスペーサ４１等とから構成され、これらの部材が、搬送テープ５の両側に位置して左右対称に一対ずつ設けられて、搬送テープ５を幅方向両側から支持するため、横ずれを抑えてスムーズに搬送することができる。
【００８６】
下板３９等が、搬送テープ５が撓んだときにその下側から支持する傾斜板部３９Ｂ等を設けたので、搬送テープ５が撓んでも、確実に支持することができる。
【００８７】
さらに、搬送テープ５の幅方向両端部の下側面に直接当接して搬送テープ５を支持するテープ支持用突部３９Ｃを備えたので、搬送テープ５に点接触して摩擦抵抗を低減し、スムーズに搬送することができる。
【００８８】
炉体２のテープ入口６とテープ出口９とを連通する加熱管２１を備え、この加熱管２１内のみを加熱するようにしたため、搬送テープ５の樹脂４を効率的に加熱することができると共に、炉体２内の加熱管２１以外の部品に対する熱の問題を解消することができる。
【００８９】
加熱管２１を、最下段水平管部２２と、下部接続部２３と、中段水平管部２４と、上部接続部２５と、上段水平管部２６とから構成してこれらをユニット化し、最下段水平管部２２を炉体２の外部に引き出す引出用レール３３を備えたので、個々にメンテナンスを行うことができ、メンテナンスの作業性が大幅に向上する。
【００９０】
最下段水平管部２２にフィルタ３４を備えたので、加熱管２１内のアウトガスを効率的に吸引して外部に排出することができると共に、アウトガスに含まれる異物を濾し取って、周囲への付着を防止することができる。
【００９１】
加熱管２１が、閉ざされた搬送テープ５の加熱空間を形成するため、搬送テープ５の樹脂４を効率的に熱処理することができる。
【００９２】
保温筒３０が、その内部に加熱板３２を収納されて２つの部屋に分割されて加熱室３０Ｅと予熱室３０Ｆを形成しているため、予熱室３０Ｆで暖められた空気が加熱室３０Ｅに流入して、これまで外部に放出していた加熱板３２から予熱室３０Ｆ側に伝わる熱を効率的に使うことができ、熱効率が向上する。
【００９３】
加熱板３２が、輻射熱で搬送テープ５を加熱するため、熱伝導による加熱と相まって、効率的に搬送テープ５の樹脂４を加熱することができる。
【００９４】
炉体２の正面扉７１を、扉板７２と、水平スライド機構７３と、垂直スライド機構７４とから構成して、炉体２の前面に僅かに扉板７２を引き出して下方へずらすため、省スペースでかつ重心の移動も少なく、安定して開閉することができる。
【００９５】
以上の各構成要素の組み合わせによって、全体として樹脂硬化処理の作業性を大幅に向上させることができる。
【００９６】
［変形例］
（１）前記各実施形態では、テープ支持用突部３９Ｃを設けて、搬送テープ５を点接触で支持するようにしたが、テープ支持用突部３９Ｃの代わりに、下板３９の長手方向に凸条を設けて、搬送テープ５を線接触で支持するようにしてもよい。小さい接触面積で搬送テープ５を支持できれば、摩擦抵抗が小さくなって、搬送テープ５をスムーズに搬送することができる。
【００９７】
（２）前記実施形態では、張力設定部５７をおもり６１を用いて構成したが、スプリング等の他の付勢手段を用いても良い。例えば、図１０に示すように、揺動棒部５４をスプリング８１で付勢しても良い。これにより、搬送テープ５に常に一定のテンションをかけることができる。揺動棒部５４に紐をつけ、この紐をプーリで垂下したおもりで引っ張って一定のテンションをかけるようにしてもよい。
【００９８】
（３）前記実施形態では、テープ用レール部３１を、狭幅テープ用レール部３６と広幅テープ用レール部３７の２段構造にしたが、狭い幅のテープ及び広い幅のテープに対応するレール部を３段以上積層して構成してもよい。使用する搬送テープ５の種類に応じて３段以上積層しておけば、部品交換をしなくて、全ての搬送テープ５に対応することができ、作業性が大幅に向上する。
【００９９】
（４）前記実施形態では、テープ支持用突部３９Ｃを用いて搬送テープ５を支持したが、図１１に示すように、ボールチェーンレール８２を設けても良い。このボールチェーンレール８２は、ボール支持板８３にその全長に亘ってボール８４をチェーン状に複数配設して構成されている。これによっても、搬送テープ５を点接触で支持することができ、小さい摩擦抵抗で、搬送テープ５をスムーズに搬送することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明は、帯状の搬送テープ上の樹脂を加熱して硬化させる樹脂硬化装置全般に適用することができる。
【符号の説明】
【０１０１】
１：筐体、２：炉体、３：素子、４：樹脂、５：搬送テープ、６：テープ入口、７，８：反転ローラ、９：テープ出口、２１：加熱管、２２：最下段水平管部、２３：下部接続部、２４：中段水平管部、２５：上部接続部、２６：上段水平管部、３０：保温筒、３１：テープ用レール部、３２：加熱板、３３：引出用レール、３４：フィルタ、３６：狭幅テープ用レール部、３７：広幅テープ用レール部、３８：レール部間スペーサ、３９：下板、３９Ａ：水平板部、３９Ｂ：傾斜板部、３９Ｃ：テープ支持用突部、４０：上板、４１：スペーサ、４３：下板、４４：上板、４５：スペーサ、４６：通しボルト、５１：反転ローラ、５２：保温カバー、５４：揺動棒部、５５：下側ローラ部、５６：上側ローラ部、５７：張力設定部、５８：回転軸、６０：支持棒部、６１：おもり、６３：保温筒、６４：テープ用レール部、７１：正面扉、７２：扉板、７３：水平スライド機構、７４：垂直スライド機構、７６：水平スライド棒、７７：水平スライド支持ブロック、７８：垂直スライド棒、７９：垂直スライドブロック、８１：スプリング、８２：ボールチェーンレール。
【図１】
2010240983.tif 000003
【図２】
2010240983.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2010240983.tif 000008
【図７】
2010240983.tif 000009
【図８】
2010240983.tif 000010
【図９】
2010240983.tif 000011
【図１０】
2010240983.tif 000012
【図１１】
2010240983.tif 000013