(57)【要約】【課題】  酸素ガスと鉄粉との反応を高めるために、塩化ナトリウムや水を使用しているが、万一水が残存していると、作り出した窒素ガスを使用することは不可とされる場合が多かった。【解決手段】  酸素ガスの混在した窒素ガスを、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウム３２５を収納した窒素ガス精製装置３００、４００を通過させるようにした。【選択図】図１
2010095434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素ガスの混在した窒素ガスを、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウム（３２５）を収納した窒素ガス精製装置（３００、４００）を通過させることを特徴とする窒素ガスの精製方法。
【請求項２】
前記窒素ガス精製装置（３００、４００）は、収納されている前記酸化セリウム（３２５）が酸素ガスを吸収出来なくなることに対応して前記酸化セリウム（３２５）を交換することが出来るように、単独でまたは前後の開閉弁（２９０、４１０）を一体にして取付けと取外しを可能にしたことを特徴とする請求項１に記載の窒素ガスの精製方法。
【請求項３】
前記酸化セリウム（３２５）が酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収することが出来る未使用の状態で保管している間に大気中の酸素と反応しないように、前記窒素ガス精製装置（３００、４００）の入口と出口を大気から遮断することを特徴とする請求項２に記載の窒素ガスの精製方法。
【請求項４】
前記酸化セリウム（３２５）が酸素と反応する前後の色の変化を利用することで、前記酸化セリウム（３２５）がこれ以上酸素との反応を行うことが出来ないと判断することが出来るようにしたことを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の窒素ガスの精製方法。
【請求項５】
前記酸化セリウム（３２５）がこれ以上酸素との反応を行うことが出来ないと判断した後に、水素ガスを注入することで酸素ガスを吸収することが出来る状態に再生可能であることを特徴とする請求項４に記載の窒素ガスの精製方法。
【請求項６】
酸素ガスを不純物として含んでいる窒素ガスを貯留する窒素タンク（２２０）と、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する粉状または錠剤状の酸化セリウム（３２５）を収納した窒素ガス精製装置（３００、４００）から構成されていることを特徴とする窒素ガスの精製装置。
【請求項７】
前記窒素ガス精製装置（３００、４００）は、収納されている前記酸化セリウム（３２５）が酸素ガスを吸収出来なくなることに対応して前記酸化セリウム（３２５）を交換することが出来るように単独で取付けと取外しすることが可能であり、前記酸化セリウム（３２５）を収納しているカートリッジ（３１０、４１０）と、保管している時には前記カートリッジ（３１０、４１０）を密閉状態にする目的で上部と下部の両方に位置しているシール機構（３３０、３４０、４３０、４４０）より構成されていることを特徴とする請求項６に記載の窒素ガスの精製装置。
【請求項８】
前記シール機構（３３０、３４０、４３０、４４０）は、前記カートリッジ（３１０、４１０）内に収納されている前記酸化セリウム（３２５）が、使用前の状態で保管している間に大気中の酸素と反応しないよう、前記カートリッジ（３１０、４１０）の入口と出口の両方を大気から遮断可能に構成したものであり、鍔を持った底（３３１ａ、３４１ａ）または底（４３１ａ、４４１ａ）と、小穴（３３１ｇ、３４１ｇ、４３１ｇ、４４１ｇ）を形成して、Ｏリング（３３２、３４２、４３３、４４３）を前記鍔を持った底（３３１ａ、３４１ａ）または底（４３１ａ、４４１ａ）に装着したボディ（３３１、３４１、４３１、４４１）によって、保管した時には前記カートリッジ（３１０、４１０）の入口と出口としての下側と上側の両方の蓋（３１２、３１３、４１２、４１３）に一体に形成されたボス（３１２ａ、３１３ａ、４１２ａ、４１３ａ）と前記Ｏリング（３３２、３４２、４３３、４４３）を接触させて前記カートリッジ（３１０、４１０）内を密閉し、設置した時には前記蓋（３１２、３１３、４１２、４１３）に一体に形成されたボス（３１２ａ、３１３ａ、４１２ａ、４１３ａ）と前記Ｏリング（３３２、３４２、４３３、４４３）を離脱させて前記カートリッジ（３１０、４１０）内を前記小穴（３３１ｇ、３４１ｇ、４３１ｇ、４４１ｇ）によって開放したことを特徴とする請求項７に記載の窒素ガスの精製装置。
【請求項９】
粉状または錠剤状のものの一部が何等かの理由によって粉状になった状態の前記酸化セリウム（３２５）が下流に流出しないように、前記カートリッジ（３１０、４１０）の流体の流れに沿っての断面と且つ下側と上側の両端部との間に各々空間部（３１１ｘ、３１１ｙ、４１１ｘ、４１１ｙ）を形成するように下側と上側の二枚の穴あき板（３２１、３２２、４２１、４２２）をその内側に不織布（３２３、３２４、４２３、４２４）を位置させ、結果として窒素ガスの流れに沿って前記空間部（３１１ｘ、４１１ｘ）と前記穴あき板（３２１、４２１）と前記不織布（３２３、４２３）と前記酸化セリウム（３２５）と前記不織布（３２４、４２４）と前記穴あき板（３２２、４２２）と前記空間部（３１１ｙ、４１１ｙ）の順に位置させ、更に前記窒素ガス精製装置（３００、４００）の下流に異物を除去するプレフィルター（５２０）を設置したことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の窒素ガスの精製装置。
【請求項１０】
前記窒素ガス精製装置（３００、４００）の何れかの場所に来歴を示したシールを貼り付け、前記窒素ガス精製装置（３００、４００）を装着後、装着日の連絡とシールの返送を同時に行うことによって交換の管理をすることを特徴とする請求項６ないし請求項９の何れか１項に記載の窒素ガスの精製装置。
【請求項１１】
前記酸化セリウム（３２５）が酸素と反応する前後の色の変化を確認する為に、カートリッジ本体（３１１、４１１）を透明の材料にするか、または前記カートリッジ本体（３１１、４１１）及び蓋（３１２、３１３、４１２、４１３）に、透明の材料を使用した透明穴（３１１ｆ、３１１ｇ、３１２ｇ、３１３ｇ、４１１ｆ、４１１ｇ、４１２ｇ、４１３ｇ）を設け、穴あき板（３２１、３２２、４２１、４２２）にのぞき穴（３２１ｇ、３２２ｇ、４２１ｇ、４２２ｇ）を不織布（３２３、３２４、４２３、４２４）にのぞき穴（３２３ｇ、３２４ｇ、４２３ｇ、４２４ｇ）を設けて、前記酸化セリウム（３２５）を目視可能としたことを特徴とする請求項６ないし請求項９の何れか１項に記載の窒素ガスの精製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、窒素ガスの精製方法および装置に関する技術であって、更に詳細に述べるならば、酸素ガスの混在した純度の低い窒素ガスから、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウムを使用して、純度の高い窒素ガスを作り出す技術について述べたものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、窒素ガスの精製方法および装置に関する技術としては、酸素ガスの混在した窒素ガスから、酸素ガスと反応することで酸化鉄にする鉄粉を使用して、純度の高い窒素ガスを作り出す内容のものは有った（例えば、特許文献１参照）。【０００３】  この場合、鉄粉に加えて、触媒として塩化ナトリウムを使用し、更に水を添加すると非常に効果的であるという一面があった。
【特許文献１】特開２００３−１１９００９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかしながら、このような従来の窒素ガスの製造方法および製造装置に関しては以下に示すような課題があった。【０００５】  即ち、酸素ガスと鉄粉との反応を高めるために、塩化ナトリウムや水を使用しているが、万一水が残存していると、作り出した窒素ガスを使用することは不可とされる場合が多かった。【０００６】  そこで、水を完全に除去しようとするとドライヤー等の配置が必要となるが、結果として装置全体がまた作り出された窒素ガスの単価が高額のものになる傾向にあった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  本発明は、酸素ガスの混在した窒素ガスを、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウム３２５を収納した窒素ガス精製装置３００、４００を通過させることを特徴とし、更には、前記窒素ガス精製装置３００、４００は、収納されている前記酸化セリウム３２５が酸素ガスを吸収出来なくなることに対応して前記酸化セリウム３２５を交換することが出来るように、単独でまたは前後の開閉弁２９０、４１０を一体にして取付けと取外しを可能にしたことを特徴とし、更には、前記酸化セリウム３２５が酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収することが出来る未使用の状態で保管している間に大気中の酸素と反応しないように、前記窒素ガス精製装置３００、４００の入口と出口を大気から遮断することを特徴とし、更には、前記酸化セリウム３２５が酸素と反応する前後の色の変化を利用することで、前記酸化セリウム３２５がこれ以上酸素との反応を行うことが出来ないと判断することが出来るようにしたことを特徴とし、更には、前記酸化セリウム３２５がこれ以上酸素との反応を行うことが出来ないと判断した後に、水素ガスを注入することで酸素ガスを吸収することが出来る状態に再生可能であることを特徴とすることによって、上記課題を解決したのである。【０００８】  また、本発明は、酸素ガスを不純物として含んでいる窒素ガスを貯留する窒素タンク２２０と、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する粉状または錠剤状の酸化セリウム３２５を収納した窒素ガス精製装置３００、４００から構成されていることを特徴とし、更には、前記窒素ガス精製装置３００、４００は、収納されている前記酸化セリウム３２５が酸素ガスを吸収出来なくなることに対応して前記酸化セリウム３２５を交換することが出来るように単独で取付けと取外しすることが可能であり、前記酸化セリウム３２５を収納しているカートリッジ３１０、４１０と、保管している時には前記カートリッジ３１０、４１０を密閉状態にする目的で上部と下部の両方に位置しているシール機構３３０、３４０、４３０、４４０より構成されていることを特徴とし、更には、前記シール機構３３０、３４０、４３０、４４０は、前記カートリッジ３１０、４１０内に収納されている前記酸化セリウム３２５が、使用前の状態で保管している間に大気中の酸素と反応しないよう、前記カートリッジ３１０、４１０の入口と出口の両方を大気から遮断可能に構成したものであり、鍔を持った底３３１ａ、３４１ａまたは底４３１ａ、４４１ａと、小穴３３１ｇ、３４１ｇ、４３１ｇ、４４１ｇを形成して、Ｏリング３３２、３４２、４３３、４４３を前記鍔を持った底３３１ａ、３４１ａまたは底４３１ａ、４４１ａに装着したボディ３３１、３４１、４３１、４４１によって、保管した時には前記カートリッジ３１０、４１０の入口と出口としての下側と上側の両方の蓋３１２、３１３、４１２、４１３に一体に形成されたボス３１２ａ、３１３ａ、４１２ａ、４１３ａと前記Ｏリング３３２、３４２、４３３、４４３を接触させて前記カートリッジ３１０、４１０内を密閉し、設置した時には前記蓋３１２、３１３、４１２、４１３に一体に形成されたボス３１２ａ、３１３ａ、４１２ａ、４１３ａと前��Ｏリング３３２、３４２、４３３、４４３を離脱させて前記カートリッジ３１０、４１０内を前記小穴３３１ｇ、３４１ｇ、４３１ｇ、４４１ｇによって開放したことを特徴とし、更には、粉状または錠剤状のものの一部が何等かの理由によって粉状になった状態の前記酸化セリウム３２５が下流に流出しないように、前記カートリッジ３１０、４１０の流体の流れに沿っての断面と且つ下側と上側の両端部との間に各々空間部３１１ｘ、３１１ｙ、４１１ｘ、４１１ｙを形成するように下側と上側の二枚の穴あき板３２１、３２２、４２１、４２２をその内側に不織布３２３、３２４、４２３、４２４を位置させ、結果として窒素ガスの流れに沿って前記空間部３１１ｘ、４１１ｘと前記穴あき板３２１、４２１と前記不織布３２３、４２３と前記酸化セリウム３２５と前記不織布３２４、４２４と前記穴あき板３２２、４２２と前記空間部３１１ｙ、４１１ｙの順に位置させ、更に前記窒素ガス精製装置３００、４００の下流に異物を除去するプレフィルター５２０を設置したことを特徴とし、更には、前記窒素ガス精製装置３００、４００の何れかの場所に来歴を示したシールを貼り付け、前記窒素ガス精製装置３００、４００を装着後、装着日の連絡とシールの返送を同時に行うことによって交換の管理をすることを特徴とし、更には、前記酸化セリウム３２５が酸素と反応する前後の色の変化を確認する為に、カートリッジ本体３１１、４１１を透明の材料にするか、または前記カートリッジ本体３１１、４１１及び蓋３１２、３１３、４１２、４１３に、透明の材料を使用した透明穴３１１ｆ、３１１ｇ、３１２ｇ、３１３ｇ、４１１ｆ、４１１ｇ、４１２ｇ、４１３ｇを設け、穴あき板３２１、３２２、４２１、４２２にのぞき穴３２１ｇ、３２２ｇ、４２１ｇ、４２２ｇを不織布３２３、３２４、４２３、４２４にのぞき穴３２３ｇ、３２４ｇ、４２３ｇ、４２４ｇを設けて、前記酸化セリウム３２５を目視可能としたことを特徴とすることによって、上記課題を解決したのである。
【発明の効果】
【０００９】  以上の説明から明らかなように、本発明によって、以下に示すような効果をあげることが出来る。【００１０】  第一に、酸素ガスを不純物として含んでいる窒素ガスを貯留する窒素タンクと、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する粉状または錠剤状の酸化セリウムを収納した窒素ガス精製装置から構成されていることで、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収しても水を発生することのない窒素ガス精製装置が可能となった。【００１１】  第二に、窒素ガス精製装置は、収納されている酸化セリウムが酸素ガスを吸収出来なくなることに対応して酸化セリウムを交換することが出来るように、単独でまたは前後の開閉弁を一体にして取付けと取外しを可能にしたことで、劣化した酸化セリウムの交換が容易となった。【００１２】  第三に、酸化セリウムが酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収することが出来る未使用の状態で保管している間に大気中の酸素と反応しないように、窒素ガス精製装置の入口と出口を大気から遮断することで、未使用の状態で窒素ガス精製装置を長期間の間保管することが可能となった。【００１３】  第四に、酸化セリウムが酸素と反応する前後の色の変化を利用することで、酸化セリウムがこれ以上酸素との反応を行うことが出来ないと判断することが出来るようにしたことで、単純な構造によって交換する的確な時期を、容易に判断することが出来るようになった。【００１４】  第五に、酸化セリウムがこれ以上酸素との反応を行うことが出来ないと判断した後に、水素ガスを注入することで酸素ガスを吸収することが出来る状態に再生可能であることで、繰り返して何回も使用することが可能となり、高純度窒素ガスの製造単価を安くすることが可能となった。【００１５】  第六に、粉状または錠剤状のものの一部が何等かの理由によって粉状になった状態の酸化セリウムが下流に流出しないように、カートリッジの流体の流れに沿っての断面と且つ下側と上側の両端部との間に各々空間部を形成するように下側と上側の二枚の穴あき板をその内側に不織布を位置させ、結果として窒素ガスの流れに沿って空間部と穴あき板と不織布と酸化セリウムと不織布と穴あき板と空間部の順に位置させ、更に窒素ガス精製装置の下流に異物を除去するプレフィルターを設置したことで、粉末の酸化セリウムが流出するという懸念は解消された。【００１６】  第七に、窒素ガス精製装置の何れかの場所に来歴を示したシールを貼り付け、窒素ガス精製装置を装着後、装着日の連絡とシールの返送を同時に行うことによって交換の管理をすることで、窒素ガス精製装置の保管することが可能な期間を含めて、理想的な形で管理することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】  以下、本発明の実施の形態を図面と共に詳細に説明する。
ここで、図１は、本願発明の全体を示した図であり、図２は、本願発明の窒素ガス精製装置とその前後の機器を示した図であり、図３は、本願発明の窒素ガス精製装置を保管した時のシール機構を中心とする上部詳細断面図であり、図４は、本願発明の窒素ガス精製装置を設置した時のシール機構を中心とする上部詳細断面図であり、図５は、本願発明の別の窒素ガス精製装置を保管した時のシ−ル機構を中心とする上部詳細断面図であり、図６は、本願発明の別の窒素ガス精製装置を設置した時のシ−ル機構を中心とする上部詳細断面図である。  この場合、図３〜図５の内容は、上下対称となる中での上部詳細断面図を示しているが、（）内の文字は入口の側である下部の符号を意味させている。【００１８】（第一の実施例）
図１、図２、図３、図４に見られるように、３００は窒素ガス精製装置であって、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウム３２５を、その内部に収納している。  尚、酸化セリウム３２５に関しては、粉状のものでも成形した錠剤状のものでも使用することは可能である。【００１９】  ところで、窒素ガス精製装置３００は、カートリッジ３１０とその入口である下部の側に位置しているシール機構３３０とその出口である上部の側に位置しているシール機構３４０から構成されていて、内部に酸化セリウム３２５を収納し、酸化セリウム３２５の前後を不織布３２３、３２４と穴あき板３２１、３２２によって保持している。【００２０】  この場合、シール機構３３０、３４０を構成している理由は、窒素ガス精製装置３００に収納されている酸化セリウム３２５が劣化して酸素ガスを吸収出来なくなることに対応して、水素ガスを送込んだりまたは劣化した酸化セリウム３２５を交換する必要があるが、使用している現場で水素ガスを送り込むことは困難な面があり、水分を発生することの問題と合わせて、更に利便性に配慮し、窒素ガス精製装置３００の取外しと取付けを可能にしている中で、まず窒素ガス精製装置３００を取外し、酸素ガスを吸収することが可能な状態の酸化セリウム３２５を収納した窒素ガス精製装置３００を取付けて設置しようとする中で、結果として酸素ガスを吸収することが出来る状態の窒素ガス精製装置３００を設置するまでの間保管しているのであるが、その際に大気中の酸素と反応しないように、窒素ガス精製装置３００の入口と出口を大気から遮断する目的で構成するようにしたのである。【００２１】  また、不織布３２３、３２４を使用している理由は、酸化セリウム３２５の形状は粉状または錠剤状であるが、粉状のものは当然のこと錠剤状のものに関してもその一部が加圧されている窒素ガスを通過させている中で擦れあう等の理由によって粉状になった場合に、それらが下流に流出するのを防止する為に設けたものである。  更に、穴あき板３２１、３２２を使用している理由は、前述の柔らかい不織布３２３、３２４を保持する為なのである。【００２２】  この場合、不織布３２３、３２４としては、ポリプロピレンやポリスチレン製等のものが考えられ、穴あき板３２１、３２２としては、窒素ガスを流すことが出来るように鉄やステンレスやアルミニューム製の数多くの穴のあいたパンチングプレート等が考えられるが、プラスチックに穴を数多くあけたものでも構わない。  尚、穴あき板３２１、３２２や不織布３２３、３２４は、流出ということを考えると、下流の側にだけ設けると良いことになるのであるが、窒素ガス精製装置３００の上下対象である点に配慮して両側に設けている。【００２３】  そして、窒素ガス精製装置３００は、図２に見られるように、スタンド３５１にバンド３５２，３５３とパッチン錠３５４、３５５によって固定しているが、この方法による固定ということにこだわる必要はない。【００２４】  一方、カートリッジ３１０は、図２に見られるように、筒状で両端に鍔を形成しているカートリッジ本体３１１と、入口の側である下部と出口の側である上部に位置している蓋３１２，３１３と、カートリッジ本体３１１と蓋３１２，３１３との間に位置しているパッキンやＯリングや液体パッキン等のシール材３１４、３１５と、シール材３１４、３１５を含めてカートリッジ本体３１１と蓋３１２，３１３との間を固定する複数本のボルト３１６から構成されている。【００２５】  尚、カートリッジ本体３１１としては、材料として鉄やステンレス製等のものが考えられる。  そして、カートリッジ本体３１１には、下部と上部の両端部から概ね同じ距離の所に、不織布３２３、３２４と穴あき板３２１、３２２を保持する座３１１ａ、３１１ｂを一体に形成している。  従って、カートリッジ３１０の流体の流れに沿っての断面と且つ下側と上側の両端部との間に各々空間部３１１ｘ、３１１ｙを形成するように下側と上側に二枚の穴あき板３２１、３２２を位置させ、穴あき板３２１、３２２と座３１１ａ、３１１ｂの間に不織布３２３、３２４を位置させている。  この場合、座３１１ａ、３１１ｂの数に関しては、上下の各々に等分で三箇所や四箇所等が考えられる。  また、カートリッジ本体３１１と、座３１１ａ、３１１ｂの間は、材料に応じて溶接等によるものが考えられる。【００２６】  但し、不織布３２３、３２４と穴あき板３２１、３２２を保持する座３１１ａ、３１１ｂに関してはこの方式に限定する必要はなく、空間部３１１ｘ、３１１ｙの間隔、不織布３２３、３２４の間隔が所定の値を確保することが出来るという前提で、空間部３１１ｘ、３１１ｙに位置させるカートリッジ本体３１１より小径の二つの円筒、不織布３２３、３２４の間に位置させるカートリッジ本体３１１より小径の一つの円筒を設けることも考えられる。【００２７】  ところで、蓋３１２，３１３としては、材料として鉄やステンレス製等のものが考えられる。  そして、蓋３１２，３１３には、中心に入口の側である下部または出口の側である上部としてのボス３１２ａ、３１３ａを一体に形成している。  また、ボス３１２ａ、３１３ａの内側には、開閉弁２９０、５１０が直接接続することが出来るように雌ネジが形成されている。  更に、ボス３１２ａ、３１３ａの開閉弁２９０、５１０と接続している延長上の反対の側の内側には、Ｏリング３３２、３４２が接するのに効果的な滑らかな面を形成している。【００２８】  そして、酸化セリウム３２５が酸素と反応する前後の色の変化を確認することが出来るように、カートリッジ本体３１１及び蓋３１２、３１３に透明の材料を使用した透明穴３１１ｆ、３１１ｇ、３１２ｇ、３１３ｇを設け、穴あき板３２１、３２２にのぞき穴３２１ｇ、３２２ｇを不織布３２３、３２４にのぞき穴３２３ｇ、３２４ｇを設けて、酸化セリウム３２５を目視することを可能としたのである。【００２９】  更に、シール機構３３０、３４０は、図３、４に見られるように、ボディ３３１、３４１とＯリング３３２、３４２から構成されている。【００３０】  尚、ボディ３３１、３４１は、円筒の形状で底部が奥当りの状態になっていて、更に底部が他の部分より大径になっていて、鍔を持った底３３１ａ、３４１ａを形成しているのである。  また、ボディ３３１、３４１側面の略中央部には、小穴３３１ｇ、３４１ｇを形成していて、ボディ３３１、３４１の内外を連通させているのであ��。【００３１】  従って、これ等によって図３に見られるように、窒素ガス精製装置３００を取外して、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収することが出来る酸化セリウム３２５を収納した後に保管しようとする時には、鍔を持った底３３１ａ、３４１ａの外側にＯリング３３２、３４２を装着させて、ボディ３３１、３４１を移動させることでＯリング３３２、３４２を蓋３１２，３１３を形成しているボス３１２ａ、３１３ａの内側に接するようにすることで、カートリッジ３１０内部を密閉状態にしているのである。  尚、その際にはボス３１２ａ、３１３ａを塞ぐように保護板３９８、３９９を貼り付けることによって外部からの異物がボディ３３１、３４１の上部に進入して付着するのを防いでいる。【００３２】  一方、図４に見られるように、窒素ガス精製装置３００を設置の時には、保護板３９８、３９９を剥がした後に開閉弁２９０、５１０を装着して接続することで、開閉弁２９０、５１０端部の雄ネジが、蓋３１２，３１３を形成しているボス３１２ａ、３１３ａの内側の雌ネジに挿入していき、最終的にはボディ３３１、３４１が押し出される状態となり、ボディ３３１、３４１を形成している鍔を持った底３３１ａ、３４１ａが穴あき板３２１、３２２に接して停止することで、小穴３３１ｇ、３４１ｇによってカートリッジ３１０内部と開閉弁２９０、５１０が連通して開放するようになっているのである。  尚、窒素ガス精製装置３００と開閉弁２９０、５１０の部分出一体に取外すことで、シール機構３３０、３４０を設けないで、開閉弁２９０、５１０をシール機構の代わりとすることも考えられる。【００３３】  さて、この窒素ガス精製装置３００を含めた全体の構成を示すと、図１に見られるように、先ずコンプレッサー１１０が圧縮空気を作り出し、作り出された圧縮空気は、圧縮空気配管９０１と、手動によって開閉することが可能な開閉弁１２０と、圧縮空気配管９０２と、大きい異物を分離することが出来るプレフィルター１４０と、圧縮空気配管９０３と、小さいい異物を分離することが出来るミクロミストフィルター１５０と、圧縮空気配管９０４と、匂いや色を分離することが出来る活性炭フィルター１６０と、圧縮空気配管９０５を経由して窒素ガス発生装置２１０に送り込むようになっている。  尚、圧縮空気配管９０２に於いては、圧力計１３０によってその部分の圧力を測定可能となっている。ところで、最近のコンプレッサー１１０は圧縮空気を乾燥させるドライヤーを設置しているものもあり、設置されていないものに関しては、コンプレッサー１１０の下流に設けるということも考えられる。【００３４】この場合、窒素ガス発生装置２１０に関しては、図１に於いては、ＰＳＡ方式によるものを示しているが、膜分離方式によるものも考えられる。  但し、窒素ガスの発生装置２１０に関しては、膜分離方式またはＰＳＡ方式に限定する必要はなく、圧縮空気を使用しないでボンベに貯留された窒素ガスを使用するということも考えられる。  当然のことながら、ボンベに貯留されたガスを使用する場合には、圧縮空気配管９０５に接続する必要性は無く、以下に示す窒素タンク２２０が窒素ガス発生装置２１０に該当しているとも言える。【００３５】  ところで、ＰＳＡ方式は、Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ、の略称を意味していて、圧縮空気を活性炭の一種である吸着材に通し、高圧力下で特定のガスを吸着し、低圧力下で特定のガスを吐き出す、という吸着材の特性を利用して、圧縮空気から酸素等を吸着することで窒素を分離する方式である。  この場合、ヒートレス・ドライヤと同様の原理をもっていて、装置は二筒式で膜分離式よりも大型となり、電磁弁などのメンテナンス負荷もかかる。  尚、窒素純度で見た場合には通常９９〜９９．９９９９％程度であった。【００３６】  一方、膜分離方式は、圧縮空気を中空糸状の高分子膜である中空糸膜内に送り込んで、圧縮空気に含まれている各ガス成分の膜への透過量の差を利用して窒素を分離する方式である。  この場合、ＰＳＡ方式よりも小型でメンテナンス負荷も小さい反面、窒素純度で見た場合には９５〜９９．９％程度であるため、高純度のニーズには適しなかった。【００３７】  尚、中空糸膜は、ポリエステル製で何千ものストロー状の中空糸が束ねられたものより形成され、中空糸の内部に圧縮空気を通すことで、それぞれのガスが固有に持っている中空糸の膜の透過スピードの違いを利用し、空気中に最も多く含まれている窒素ガスを残存させている。【００３８】  そして、圧縮空気を構成しているガスが中空糸の膜を透過するスピードとしては、速く放出するガスと放出しにくいガスがあり、残ったガスが窒素ガスということになるのである。  特に、中空糸の膜がポリエステル製の場合には、水蒸気が一番透過しやすく、以下水素やヘリウムが続き、更に炭酸ガスと一酸化炭素が続き、最後に酸素とアルゴンと窒素が一番透過しにくく、その中でも窒素ガスが一番透過しにくいガスということで残存するのである。【００３９】  ここで、温度が変化しない場合には、圧縮空気の圧力と時間、即ち流量によって、発生する窒素ガスの純度は左右される。  尚、中空糸の膜としては、ポリエステルの他に、ポリオレフィンやポリプロピレン等の樹脂も考えられる。【００４０】  そこで、窒素ガス精製装置２１０によって分離した窒素ガスは、窒素ガス配管９１１と、窒素ガスを貯留する窒素タンク２２０と、窒素ガス配管９１２と、窒素ガスの流れる速度を計る流量計２５０と、窒素ガス配管９１３と、手動によって開閉することが可能な開閉弁２６０と、窒素ガス配管９１４と、手動によって開閉することが可能な開閉弁２９０経由して窒素ガス精製装置３００に低純度窒素ガス８０１を送り込むようになっている。この場合、窒素タンク２２０に於いては圧力計２３０によってその部分の圧力を測定可能となっていて、窒素ガス配管９１２に於いては、酸素濃度計２４０によってその部分の酸素濃度を測定可能となっている。【００４１】  更に、窒素ガス精製装置３００によって精製された高純度の窒素ガスは、高純度窒素ガス配管９１５と、大きい異物を分離することが出来るプレフィルター５２０と、高純度窒素ガス配管９１６と、小さいい異物を分離することが出来るミクロミストフィルター５３０と、高純度窒素ガス配管９１７と、高純度の窒素ガスを貯留するタンク５４０と、高純度窒素ガス配管９１８と、窒素ガスの流れる速度を計る流量計５７０と、高純度窒素ガス配管９１９と、手動によって開閉することが可能な開閉弁５８０を経由して高純度窒素ガス８０２を送り出すことが出来るようになっている。  この場合、タンク５４０に於いては圧力計５５０によってその部分の圧力を測定可能となっていて、高純度窒素ガス配管９１８に於いては、酸素濃度計５６０によってその部分の酸素濃度を測定することが可能となっている。【００４２】  ところで、窒素ガス精製装置３００の何れかの場所に、再生（製造）番号、再生（製造）年月日、保管期間、最終の確認者氏名等の来歴を示したシールを貼り付け、窒素ガス精製装置３００を装着後、装着日の連絡とシールの返送を同時に行うことによって交換の管理を行なうことが可能となっている。【００４３】  ここで、第一実施例の応用例として、カートリッジ本体３１１を透明のプラスチック製とすることも考えられる。  但し、プラスチック製ということで、カートリッジ本体３１１に鍔を形成することは困難であり、カートリッジ本体３１１の筒状の端面を直接蓋３１２、３１３にシール材３１４、３１５を介して接することになる。  この場合には、蓋３１２、３１３とカートリッジ本体３１１は、通しボルトとナットで接続することになる。この事によって、カートリッジ本体３１１の側面よりカートリッジ本体３１１の内部を目視で確認することが出来るので、前述の鉄製等で形成した透明穴やのぞき穴を形成する必要はない。【００４４】  本発明による、窒素ガスの精製方法および装置は前述したように構成されており、以下にその動作について説明する。【００４５】  一般的に、窒素ガスの発生装置２１０としては、安価に窒素ガスを製造する装置として膜分離方式またはＰＳＡ方式が考えられるが、純度が低いという欠点があり、この場合純度の低い原因となっている酸素を如何に取り除くかが課題となっていて、本願発明に於いては、圧縮空気より分離した純度の低い窒素ガスから、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウム３２５を使用して、高純度窒素ガス８０２を作り出す窒素ガス精製装置３００を示しているのである。【００４６】  この場合、先ずコンプレッサー１１０を作動させることで圧縮空気を作り出し、圧縮空気配管９０１と開閉弁１２０と圧縮空気配管９０２とプレフィルター１４０と圧縮空気配管９０３とミクロミストフィルター１５０と圧縮空気配管９０４と活性炭フィルター１６０を経由することで綺麗な圧縮空気とし、更に圧縮空気配管９０５を経由して窒素ガス発生装置２１０に送り込むようになっている。【００４７】  そこで、圧縮空気が窒素ガス発生装置２１０に送り込まれることで圧縮空気より分離された窒素ガスは、窒素ガス配管９１１を経由して一旦窒素タンク２２０に貯留され、更に窒素ガス配管９１２と流量計２５０と窒素ガス配管９１３と開閉弁２６０と窒素ガス配管９１４と開閉弁２９０を経由して低純度度窒素ガス８０１が窒素ガス精製装置３００に送り込まれる。【００４８】  ところで、窒素ガス精製装置３００に於いては、図４に見られるように、開閉弁２９０からの低純度窒素ガス８０１は、ボディ３３１を形成している鍔を持った底３３１ａに突き当たり、ボディ３３１を形成している小穴３３１ｇを通り、空間部３１１ｘと���あき板３２１と不織布３２３と酸化セリウム３２５の収納している場所を通過することで高純度窒素ガス８０２となって、更に不織布３２４と穴あき板３２２と空間部３１１ｙを経由して、ボディ３４１を形成している小穴３４１ｇを通り、ボディ３４１から開閉弁５１０に流出するようになっている。  特に、不織布３２４は粉末の酸化セリウム３２５が下流の方に流出しないように設けたのである。【００４９】  ここで、窒素ガスに含まれている酸素ガスは、酸化セリウム３２５と［数１］に見られる反応によって吸収されるのである。  この場合、ＣｅＯ２が酸化セリウム３２５の正規の構造であり、ＣｅＯ２−ｘは、正規の構造から何個（ｘ個）かの酸素が欠落（欠損）したことを示している。  即ち、［数１］は、ｘ個の酸素欠損を持つ酸化セリウム３２５が、外部よりｘ個の酸素原子（Ｏ２／２）を取り込んで酸化セリウム３２５になることを示している。【００５０】
【数１】
2010095434.tif 000003
【００５１】  この場合、酸化セリウム系脱酸素剤は、酸素吸収前は黒であり、酸素吸収後には黄色になる特質をもっている。  この性質を利用するために、蓋３１２、３１３とカートリッジ本体３１１に透明穴３１２ｇ、３１３ｇ、３１１ｆ、３１１ｇを設け、穴あき板３２１、３２２と不織布３２３、３２４にのぞき穴３２１ｇ、３２２ｇ、３２３ｇ、３２４ｇを設けることで、外部より内部に収納されている酸化セリウム３２５の色の変化を確認することが可能となっているのである。  当然のことながら、シール材３１４、３１５にも必要な部分には穴はあいている。  但し、カートリッジ本体３１１として透明の材料を使用している場合には、側面より色の変化を目視で確認できるので、透明穴やのぞき穴を配慮する必要はない。【００５２】  更に、開閉弁５１０からの高純度窒素ガス８０２は、高純度窒素ガス配管９１５とプレフィルター５２０と高純度窒素ガス配管９１６とミクロミストフィルター５３０によって、粉末の酸化セリウム３２５を除去し、高純度窒素ガス配管９１７とタンク５４０と高純度窒素ガス配管９１８と流量計５７０と高純度窒素ガス配管９１９と開閉弁５８０を経由して高純度窒素ガス８０２を使用可能となっているのである。【００５３】  尚、本願発明に於いて、ＰＳＡ方式による装置の場合には、低純度窒素ガス８０１としては９９．９９％の窒素ガスが酸化セリウム３２５を経由することで、高濃度窒素ガス８０２としては９９．９９９％のものを作り出すことが可能となっているのである。【００５４】  ところで、本願装置を使用している中で、高濃度窒素ガス８０２の純度が意図した純度より低下してきた場合には、酸化セリウム３２５が酸素ガスを吸収出来なくなるまで劣化した状態になったと言う事が出来る。  そこで、酸素ガスを吸収出来なくなる劣化した状態になった酸化セリウム３２５を交換するために、窒素ガス精製装置２１０を取外し、下記の再生を行った後に、図３に見られるように、シール機構３３０、３４０であるＯリング３３２、３４２を装着したボディ３３１、３４１を、Ｏリング３３２、３４２が蓋３１２、３１３を形成しているボス３１２ａ、３１３ａと接した状態にして、更にボス３１２ａ、３１３ａの表面に保護紙３９８、３９９を張付けて保管することになる。【００５５】  当然の事ながら、取外した窒素ガス精製装置２１０に代えて保管している窒素ガス精製装置２１０を取付けることになるが、その際には保護紙３９８、３９９を剥がし、ボディ３３１、３４１を移動させてＯリング３３２、３４２がボス３１２ａ、３１３ａから外れた状態に位置させることになる。  それによって、図４に見られるように、小穴３３１ｇ、３４１ｇがカートリッジ３１０内部と開閉弁２９０、５１０の間を連通することが可能な状態に位置することになる。【００５６】  そして、［数２］に見られる水素ガスとの反応によって酸化セリウム３２５を再生することが可能となっているのである。  この場合、［数２］に見られるように、水の発生はあるが、酸化セリウム３２５を窒素ガス精製装置２１０の外に取出して反応を行うことが出来るので、この場合は乾燥等の処置も容易に出来ると言うことは出来る。【００５７】
【数２】
2010095434.tif 000004
【００５８】  尚、この様な再生の作業は、先ず収納されている酸化セリウム３２５が劣化して酸素ガスを吸収出来なくなった窒素ガス精製装置３００を取外し、その後に収納されている酸化セリウム３２５が酸素ガスを吸収することが可能な窒素ガス精製装置３００を設置し、最後に取外した窒素ガス精製装置３００を定められたサービスステーションに送り、再生の処理を行うことになる。  再生に際しては、酸化セリウム３２５として酸素ガスを吸収することが可能なものを収納し、ボディ３３１、３４１を移動させることでＯリング３３２、３４２を蓋３１２，３１３を形成しているボス３１２ａ、３１３ａの内側に接することで、カートリッジ３１０内部を密閉状態にし、保護紙３９８、３９９を張付けた状態で、サービスステーションに場合によっては客先の所に保管しているのである。【００５９】  一方、この様に再生の完了した窒素ガス精製装置３００は、宅急便等で客先に送られ、再度装着されて使用されることになる。【００６０】（第二の実施例）
図１、図５、図６に見られるように、４００は窒素ガス精製装置であって、図２に類似する形で、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウム３２５を、窒素ガス精製装置４００の内部に収納している。  尚、酸化セリウム３２５に関しては、粉状のものでも成形した錠剤状のものでも使用することは可能である。【００６１】  ところで、窒素ガス精製装置４００は、カートリッジ４１０とその入口である下部の側に位置しているシール機構４３０とその出口である上部の側に位置しているシール機構４４０から構成されていて、内部に酸化セリウム３２５を収納し、酸化セリウム３２５の前後を不織布４２３、４２４と穴あき板４２１、４２２によって保持している。【００６２】  この場合、シール機構４３０、４４０を構成している理由は、第一の実施例と同じ内容になるので省略する。【００６３】また、不織布４２３、４２４を使用している理由は、第一の実施例と同じ内容になるので省略する。【００６４】  一方、カートリッジ４１０は、全体を具体的には図示していないが第一の実施例の図２を参考にして示すと、筒状で両端に鍔を形成しているカートリッジ本体４１１と、入口の側である下部と出口の側である上部に位置している蓋４１２，４１３と、カートリッジ本体４１１と蓋４１２，４１３との間に位置しているパッキンやＯリングや液体パッキン等のシール材４１４、４１５と、シール材４１４、４１５を含めてカートリッジ本体４１１と蓋４１２，４１３との間を固定する複数本のボルトから構成されている。  ところで、鍔を形成していない透明のカートリッジ本体４１１の発想に関しては、第一の実施例と同じに考えられる。【００６５】  尚、カートリッジ本体４１１としては、材料としては鉄やステンレス製等のものが考えられる。  そして、カートリッジ本体４１１には、下部と上部の両端部から概ね同じ距離の所に、不織布４２３、４２４と穴あき板４２１、４２２を保持する座を（位置としては、図２の座３１１ａ、３１１ｂを考えると良い）一体に形成している。  従って、カートリッジ４１０の流体の流れに沿っての断面と且つ下側と上側の両端部との間に各々空間部４１１ｘ、４１１ｙを形成するように下側と上側に二枚の穴あき板４２１、４２２を位置させ、穴あき板４２１、４２２と座４１１ａ、４１１ｂの間に不織布４２３、４２４を位置させている。  この場合、座の数に関しては、上下の各々に等分で三箇所や四箇所等が考えられる。  また、カートリッジ本体４１１と、座の間は、材料に応じて溶接等によるものが考えられる。【００６６】  ところで、蓋４１２，４１３としては、材料としては鉄やステンレス製等のものが考えられる。  そして、蓋４１２，４１３には、中心に入口の側である下部または出口の側である上部としてのボス４１２ａ、４１３ａを一体に形成している。  また、ボス４１２ａ、４１３ａの内側には、シール機構４３０、４４０のボディ４３１、４４１を接続することが出来るように雌ネジが形成されている。  更に、ボス４１２ａ、４１３ａのボディ４３１、４４１と接続している延長上の反対の側の縮径した内側には、Ｏリング４３２、４３３、４４２、４４３が接するのに効果的な滑らかな面を形成している。【００６７��  そして、酸化セリウム３２５が酸素と反応する前後の色の変化を確認することが出来るように、カートリッジ本体４１１及び蓋４１２、４１３に透明の材料を使用した透明穴４１１ｆ、４１１ｇ、４１２ｇ、４１３ｇを設け、穴あき板４２１、４２２にのぞき穴４２１ｇ、４２２ｇを不織布４２３、４２４にのぞき穴４２３ｇ、４２４ｇを設けて、酸化セリウム３２５を目視することを可能としたのである。【００６８】  更に、シール機構４３０、４４０は、図５、６に見られるように、ボディ４３１、４４１とＯリング４３２、４３３、４４２、４４３から構成されている。【００６９】  尚、ボディ４３１、４４１は、外側が階段で円筒状のものを重ねたような形状で、底部が奥当りの状態になっていて底４３１ａ、４４１ａを形成しているのである。  また、ボディ４３１、４４１側面の底部には、小穴４３１ｇ、４４１ｇを形成していて、その外側にはリング状に溝が形成されていて、ボディ３３１、３４１の内外を連通させているのである。  更に、底４３１ａ、４４１ａと反対側には、開閉弁２９０，５１０が螺合によって接続されるようになっている。【００７０】  従って、これ等によって図５に見られるように、開閉弁２９０，５１０と一体に窒素ガス精製装置４００を取外して、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収することが出来る酸化セリウム３２５を収納した後に保管しようとする時には、底４３１ａ、４４１ａの外側にＯリング４３２、４３３、４４２、４４３を装着して、ボディ４３１、４４１を移動させてＯリング４３２、４３３、４４２、４４３を蓋４１２，４１３を形成しているボス４１２ａ、４１３ａの内側に接することで、カートリッジ４１０内部を密閉状態にしているのである。【００７１】  この場合、保管の状態としては、底４３１ａ、４４１ａの外側にＯリング４３２、４３３、４４２、４４３の両方を装着してボディ４３１、４４１を移動させることでボス４１２ａ、４１３ａの上部とボディ４３１、４４１の間に空間が出来ることになるが、この空間に二つ割りの間座４９８、４９９を挟んでテープで固定してＯリング４３２、４３３、４４２、４４３の位置を保持して、ボディ４３１、４４１が移動することを防止して、更に開閉弁２９０，５１０を一体に攻勢して閉の状態にして、二重に密閉状態を確保しているのである。  尚、保管に際しては、開閉弁２９０，５１０を一体に構成しないということも考えられる。【００７２】  一方、図６に見られるように、窒素ガス精製装置４００を設置の時には、二つ割りの間座４９８、４９９を取外してボディ４３１、４４１をボス４１２ａ、４１３ａにねじ込むことによってこれ以上ねじ込むことが出来ない所まで挿入し、その後窒素ガス配管９１１と高濃度窒素ガス配管９１５を接続することで、小穴４３１ｇ、４４１ｇによってカートリッジ４１０内部と開閉弁２９０、５１０が連通するようになっているのである。  この場合、底４３１ａ、４４１ａが穴あき板４２１、４２２をほんの少し押付ける状態が望ましい位置関係にあるということが出来る。【００７３】  本発明による、窒素ガスの精製方法および装置は前述したように構成されており、以下にその動作について説明する。【００７４】  第二の実施例の��作に関しては、窒素ガス精製装置４００の動作を除いては、第一の実施例の動作とほぼ同じであるので詳細は省略する。  この場合、窒素ガス精製装置４００の動作に関しては、相違のある点に関しては、記載の通りである。  特に、窒素ガス精製装置４００の何れかの場所に、再生（製造）番号、再生（製造）年月日、保管期間、最終の確認者氏名等の来歴を示したシールを貼り付け、窒素ガス精製装置４００を装着後、装着日の連絡とシールの返送を同時に行うことによって交換の管理を行なうことが可能となっている。
【産業上の利用可能性】
【００７５】  この発明は、窒素ガスの精製方法および装置に関する技術であって、更に詳細に述べるならば、比較的安く作り出すことが出来る酸素ガスの混在した純度の低い窒素ガスから、酸素ガスと反応することで酸素ガスを吸収する酸化セリウムを使用して、純度の高い窒素ガスを作り出す技術について述べたものであり、特にこの発明に於いては、水の使用しないことに大きな意味をもっているのであり、水の嫌う半導体製造装置に関しては、特に有効であると言える。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】  本願発明の全体を示した図
【図２】  本願発明の窒素ガス精製装置とその前後の機器を示した図
【図３】  本願発明の窒素ガス精製装置を保管した時のシ−ル機構を中心とする上部詳細断面図
【図４】  本願発明の窒素ガス精製装置を設置した時のシール機構を中心とする上部詳細断面図
【図５】  本願発明の別の窒素ガス精製装置を保管した時のシール機構を中心とする上部詳細断面図
【図６】  本願発明の別の窒素ガス精製装置を設置した時のシール機構を中心とする上部詳細断面図
【符号の説明】
【００７７】１１０・・・・・コンプレッサー
１２０・・・・・開閉弁
１３０・・・・・圧力計
１４０・・・・・プレフィルター
１５０・・・・・ミクロミストフィルター
１６０・・・・・活性炭フィルター
２１０・・・・・窒素ガス発生装置
２２０・・・・・窒素タンク
２３０・・・・・圧力計
２４０・・・・・酸素濃度計
２５０・・・・・流量計
２６０・・・・・開閉弁
２９０・・・・・開閉弁
３００・・・・・窒素ガス精製装置
３１０・・・・・カートリッジ
３１１・・・・・カートリッジ本体
３１１ａ・・・・座
３１１ｂ・・・・座
３１１ｆ・・・・透明穴
３１１ｇ・・・・透明穴
３１１ｘ・・・・空間部
３１１ｙ・・・・空間部
３１２・・・・・蓋
３１２ａ・・・・ボス
３１２ｇ・・・・透明穴
３１３・・・・・蓋
３１３ａ・・・・ボス
３１３ｇ・・・・透明穴
３１４・・・・・シール材
３１５・・・・・シール材
３１６・・・・・ボルト
３２１・・・・・穴あき板
３２１ｇ・・・・のぞき穴
３２２・・・・・穴あき板
３２２ｇ・・・・のぞき穴
３２３・・・・・不織布
３２３ｇ・・・・のぞき穴
３２４・・・・・不織布
３２４ｇ・・・・のぞき穴
３２５・・・・・酸化セリウム
３３０・・・・・シール機構
３３１・・・・・ボディ
３３１ａ・・・・鍔を持った底
３３１ｇ・・・・小穴
３３２・・・・・Ｏリング
３４０・・・・・シール機構
３４１・・・・・ボディ
３４１ａ・・・・鍔を持った底
３４１ｇ・・・・小穴
３４２・・・・・Ｏリング
３５１・・・・・スタンド
３５２・・・・・バンド
３５３・・・・・バンド
３５４・・・・・パッチン錠
３５５・・・・・パッチン錠
３９８・・・・・保護紙
３９９・・・・・保護紙
４００・・・・・窒素ガス精製装置
４１０・・・・・カートリッジ
４１１・・・・・カートリッジ本体
４１１ｆ・・・・透明穴
４１１ｇ・・・・透明穴
４１１ｘ・・・・空間部
４１１ｙ・・・・空間部
４１２・・・・・蓋
４１２ａ・・・・ボス
４１２ｇ・・・・透明穴
４１３・・・・・蓋
４１３ａ・・・・ボス
４１３ｇ・・・・透明穴
４１４・・・・・シール材
４１５・・・・・シール材
４２１・・・・・穴あき板
４２１ｇ・・・・のぞき穴
４２２・・・・・穴あき板
４２２ｇ・・・・のぞき穴
４２３・・・・・不織布
４２３ｇ・・・・のぞき穴
４２４・・・・・不織布
４２４ｇ・・・・のぞき穴
４３０・・・・・シール機構
４３１・・・・・ボディ
４３１ａ・・・・底
４３１ｇ・・・・小穴
４３２・・・・・Ｏリング
４３３・・・・・Ｏリング
４４０・・・・・シール機構
４４１・・・・・ボディ
４４１ａ・・・・底
４４１ｇ・・・・小穴
４４２・・・・・Ｏリング
４４３・・・・・Ｏリング
４９８・・・・・間座
４９９・・・・・間座
５１０・・・・・開閉弁
５２０・・・・・プレフィルター
５３０・・・・・ミクロミストフィルター
５４０・・・・・タンク
５５０・・・・・圧力計
５６０・・・・・酸素濃度計
５７０・・・・・流量計
５８０・・・・・開閉弁
８０１・・・・・低純度度窒素ガス
８０２・・・・・高純度窒素ガス
９０１・・・・・圧縮空気配管
９０２・・・・・圧縮空気配管
９０３・・・・・圧縮空気配管
９０４・・・・・圧縮空気配管
９０５・・・・・圧縮空気配管
９１１・・・・・窒素ガス配管
９１２・・・・・窒素ガス配管
９１３・・・・・窒素ガス配管
９１４・・・・・窒素ガス配管
９１５・・・・・高純度窒素ガス配管
９１６・・・・・高純度窒素ガス配管
９１７・・・・・高純度窒素ガス配管
９１８・・・・・高純度窒素ガス配管
９１９・・・・・高純度窒素ガス配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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