(57)【要約】  【課題】垂直磁気記録のライトヘッドの実効コア幅に影響を与える各部の諸寸法の許容範囲を広くしても、実効コア幅の予測寸法を確度高く求めることにより、最終的な実効コア幅が所定の規格値内に入るように、実効コア幅の予測値を製造工程の早い段階で把握して垂直磁気記録ヘッドの加工を行うことにより、後工程における製造歩留りを向上させることを目的とする。  【解決手段】垂直磁気記録用ライトヘッドの予測実効コア幅を求める方法として、ヘッドの光学的コア幅、ネックハイト、主磁極長、主磁極テーパ角、スロートハイト等を既定として数値を求め、実効コア幅の実測値を目的変数、既定箇所の測定値を独立変数とした重回帰式を用いて求められた目的変数の値を予測実効コア幅とみなし、予測実効コア幅が所定の値になるように測定要素の加工寸法を調整して行う。【選択図】図１
2010040108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの実効コア幅を目的変数、前記ライトヘッドの既定箇所の寸法を独立変数とする重回帰式に対し、予め作成した複数のヘッド完成体から得た前記実効コア幅の実測値と前記寸法の実測値から前記重回帰式の各係数を求める重回帰式決定ステップと、
前記ライトヘッドの所望製造工程における前記既定箇所の寸法を前記重回帰式の前記独立変数の値として得る目的変数の値を、前記ライトヘッドの前記所望製造工程における予測実効コア幅とみなして求める実効コア幅予測ステップと、
前期所望製造工程において前記予測実効コア幅が実効コア幅の規格値を満たすように前記既定箇所の加工を行う加工ステップとを有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの製造方法。
【請求項２】
垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの実効コア幅を目的変数、前記ライトヘッドの既定箇所の寸法を独立変数とする重回帰式に対し、予め作成した複数のヘッド完成体から得た前記実効コア幅の実測値と前記寸法の実測値から前記重回帰式の各係数を求める重回帰式決定ステップと、
前記ライトヘッドの既定箇所の加工前に前記既定箇所の寸法を前記重回帰式の前記独立変数の値として前記重回帰式から得られる目的変数の値を、前記ヘッドの前記加工前における予測実効コア幅とみなして求める第１のステップと、
前記予測実効コア幅が目標値から外れているとき、前記既定箇所を加工することにより前記予測実効コア幅が前記目標値を満たす可能性の有無を前記重回帰式により判定する第２のステップと、
前記可能性が無いと判定された場合には前記第２のステップにおける製造途中の前記ヘッドを不合格とし、前記可能性が有ると判定された場合には前記既定箇所の加工寸法を前記重回帰式をもとに計算する第３のステップと、
前記加工寸法にしたがって前記既定箇所を加工する第４のステップと、
前記加工後の前記既定箇所の寸法を前記重回帰式の前記独立変数の値として前記重回帰式から得られる目的変数の値を、前記ヘッドの前記加工後における予測実効コア幅として求める第５のステップと、
前記予測実効コア幅が前記目標値から外れているとき、前記既定箇所を加工することにより前記予測実効コア幅が前記目標値を満たす可能性の有無を前記重回帰式により判定する第６のステップと、
前記可能性が無いと判定された場合には前記第６のステップにおける製造途中の前記ヘッドを不合格とし、前記可能性が有ると判定された場合には前記既定箇所の加工寸法を前記重回帰式をもとに計算する第７のステップとを有する垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第７のステップにおいて前記可能性が有ると判定された場合には前記第４のステップ以降前記第７のステップを必要に応じ繰り返えすことを特徴とする請求項２記載の垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記重回帰式は、前記独立変数としてライトヘッドにおける光学的コア幅ＷＣＷＵの他に、ネックハイトＮＨ、主磁極長ＭＰＬ、主磁極テーパ角ＭＰθ、スロートハイトＴＨのうち1つ以上を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３記載の垂直磁気記録ヘッドの
ライトヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの製造方法により製造される垂直磁気記録ヘッドを搭載する磁気記憶装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録再生により情報の記録再生を行う磁気記憶装置に用いられる磁気記録ヘッドのうち、特に垂直磁気記録再生ヘッドの記録ヘッド（ライトヘッド）に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子計算機の性能の向上に伴い、磁気記録装置に要求される性能として、ますます高転送レート化、大容量化が求められている。磁気記録装置として、例えば、ハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤと呼ぶ）においては、磁気記録媒体の記録密度を向上するため、磁気記録媒体の磁気記録面に対して磁化方向が平行な面内磁気記録方式から、磁化方向が磁気記録面に対して垂直方向の垂直磁気記録方式の実用化が進んでいる。
【０００３】
垂直磁気記録再生ヘッドおいても物理的な微細化が進み、ライトヘッドのコア幅が記録特性に大きく影響を及ぼし、製造過程において光学的顕微鏡等の光学的測定方法によって求められるコア幅（以下、光学的コア幅と呼ぶ）とヘッド完成後の実効コア幅（具体的には、例えばヘッド完成後に磁気記録媒体に実際に記録されるトラック幅）を比較したとき、光学的コア幅と実効コア幅との相違が製造歩留りを左右する。
【０００４】
これは、従来、ライトヘッドの製造過程において光学的コア幅とヘッド完成後の実効コア幅との相関をとり、光学的コア幅のデータをもとに実効コア幅を予測していたが、予測の確度をより向上させるためには、光学的コア幅との関係だけでなく、記録ヘッドの他の部分の寸法のバラツキを抑える必要がある。
【０００５】
光学的コア幅以外に実効コア幅に影響を与えるファクタとして、例えばライトヘッドのネックハイト、主磁極長、主磁極テーパ角、スロートハイト等が挙げられる。ライトヘッドのネックハイト、スロートハイト等については、例えば特許文献１に記載されている。
【０００６】
磁気ディスク装置用ヘッドの場合、ライトヘッドの実効コア幅（以下、単に実効コア幅と呼ぶ）は通常、ウエハー完成後、ヘッドスライダに加工した後にヘッドスライダを用いてＨＧＡ組立（ヘッド・ジンバル組立）を行い、磁気記録媒体上に浮上させて所定の信号をライトし、ライトされた信号のトラック幅を例えばリードヘッドで読み取って求める必要がある。すなわち、磁気ディスク装置の動作と同様に、回転磁気媒体上で磁気ヘッドを浮上させてライトしたトラック上の信号を特定のリード素子で読み出して検査を行うヘッドテスタを使用する方法が一般的である。
【０００７】
しかし、ヘッドテスタを使用する方法においては、磁気ヘッドを磁気ディスク装置に組み込む状態と同様なライト用とリード用のプリント配線を備える板バネ状のサスペンションに実装した状態に完成させる必要があり、製造の途中段階における測定ができないという問題がある。
【０００８】
また、光学的コア幅のバラツキ以外に、上記の諸寸法のバラツキも実効コア幅に影響を与えるため、ライトヘッドのウエハー製作・加工段階において、光学的コア幅ＷＣＷＵ、ネックハイトＮＨ、主磁極長ＭＰＬ、主磁極テーパ角ＭＰθ、スロートハイトＴＨ等の諸寸法を直接的あるいは間接的に求め、これらの諸寸法の許容範囲を個々に厳しく規定して工程を進め、１つの寸法でも許容範囲を超えた場合には、ウエハー単位に、あるいはウエハーから切り出したローバー単位に不合格とすることが考えられるが、非効率的である。
【０００９】
磁気ヘッドの製造においては、好ましくは上記諸寸法毎の許容範囲を緩やかに設定し、最終的な実効コア幅を合格寸法内に収められるように、上記諸寸法のどこをどの程度に加工すればよいかを製造工程のできるだけ早い段階で判定できることが望ましい。
【特許文献１】特開２００６−２０９９４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、製造段階において垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの既定箇所における寸法をもとに所望製造工程における確度の高い予測実効コア幅を求めること、および求められた予測実効コア幅が規格値から外れているとき、既定箇所を加工することにより予測実効コア幅が規格値を満たす可能性の有無を判定し、可能性が無いと判定された場合には製造途中の前記ライトヘッドを不合格とする。可能性が有ると判定された場合には既定箇所の加工を進め、再び所望製造工程において予測実効コア幅を求める。予測実効コア幅を目標実効コア幅の規定範囲内となるように加工をくり返し、加工手段が無いと判定した段階で製造途中の前記ライトヘッドを不合格とすることにより、予測実効コア幅の不合格品を後工程に流すことを防止し、製造歩留りを向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの実効コア幅を目的変数、前記ライトヘッドの既定箇所の寸法を独立変数とする重回帰式に対し、予め作成した複数のヘッド完成体から得た前記実効コア幅の実測値と前記寸法の実測値から前記重回帰式の各係数を求める重回帰式決定ステップと、前記ライトヘッドの所望製造工程における前記既定箇所の寸法を前記重回帰式の前記独立変数の値として得る目的変数の値を、前記ライトヘッドの前記所望製造工程における予測実効コア幅とみなして求める実効コア幅予測ステップと、前記所望製造工程において前記予測実効コア幅が実効コア幅の規格値を満たすように前記既定箇所の加工を行う加工ステップとを有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドのライトヘッドの製造方法である。
【００１２】
本発明によれば、例えば、薄膜成膜技術によって製造される垂直磁気記録用のライトヘッドに関し、ライトヘッドの主磁極加工前の段階あるいは加工途中の段階においてライトヘッドの予測実効コア幅を求める。そして、予め決めてある規格値と比較し、予測実効コア幅が許容差をもつ規格値内であれば工程を進める。規格値の許容差の範囲内にない場合、予測実効コア幅を求める所定の重回帰式において、既定箇所を更に加工しても予測実効コア幅が規格値内に入る可能性が無いと判断した場合、その段階で製造途中のライトヘッドを不合格と判定する。既定箇所を加工することにより予測実効コア幅が規格値内に入る可能性があれば、予測実効コア幅を求めた式を基に既定箇所のうちどこをどれだけ加工すればよいかを計算によって求め、加工を進める。
【００１３】
さらに、所望する後の工程において再び予測実効コア幅を求め、予測実効コア幅が規格値を満たすための加工しろが無いと判定したとき、製造途中のライトヘッドを不良と判定する。このようにすることにより、製造途中で実効コア幅が規格寸法を満たさないと推定されるライトヘッドを後工程に流さず、後工程における製造歩留りを向上させることができる。
【００１４】
重回帰式決定ステップにおいて、予め作成した複数のヘッド完成体は、例えば製造しようとするタイプ（型格）と同じタイプの複数の製品等（試作品、製品の初期ロット品等）のライトヘッドを組み込んだ垂直磁気記録ヘッド（ライトヘッドとリードヘッドが組み込まれた一体型のもの、またはリードヘッドだけのものを含む。以下同様）であって、磁気記録媒体に浮上させてヘッド単体試験ができるレベルのヘッド完成体であれば足る。これらヘッド完成体の実効コア幅を、これらヘッド完成体によって磁気記録媒体面に書き込ま
れた磁気的信号トラックの幅をもって実効コア幅とみなす。
【００１５】
例えばヘッド完成体により磁気記録媒体に書き込まれた磁気的信号のトラック幅をヘッド単体試験機、偏向顕微鏡、あるいは磁気現像法（磁気記録媒体面の記録パターン観察は、例えば磁性粒子の直径が１０ｎｍ程度を含むコロイド溶液を磁気記録媒体の記録面に塗布し、トラック幅を光学的に測定する方法）等により測定する。そして、ヘッド完成体に組み込まれているライトヘッドの既定部分における寸法の実測値とトラック幅の実測値とを対応させてヘッド完成体毎に記録しておく。さらに、実効コア幅を目的変数、既定部分の寸法を独立変数とする重回帰式にヘッド完成体等毎の実測値を代入し、適用する重回帰式の各係数を求める。
【００１６】
重回帰式は、実効コア幅を目的変数、ライトヘッドの既定箇所の寸法を独立変数の値とした式で表される。本発明において独立変数は、経験的にも実効コア幅と相関の最も強い光学的コア幅ＷＣＷＵの他に、ネックハイトＮＨ、主磁極長ＭＰＬ、主磁極テーパ角ＭＰθ、スロートハイトＴＨのうちの１つ以上を含める。すなわち、独立変数は光学的コア幅ＷＣＷＵと他の４つのうちの１つの計２個から、光学的コア幅ＷＣＷＵと他の４つを含めた計５個のうちのどれかの組をはじめから決めておく。
【００１７】
ここで、重回帰式決定ステップは、後に続くステップの前にその都度新たに行う必要はなく、例えばライトヘッドの製造仕様を変更した場合に新たに行うといったステップであり、ライトヘッドの製造仕様が変更されない限り１回だけ実施し、得られた結果を、後に続くステップにおいて使用するようにして構わない。また、独立変数としてはじめに決めておいた組と異なる他の組に変更した場合も、重回帰式決定ステップを実施し、結果を以下のステップに反映させるようにする。
【発明の効果】
【００１８】
垂直磁気記録再生ヘッドあるいは垂直磁気記録ヘッドにおいて、ライトヘッドの既定箇所の寸法を製造過程において把握することで、例えばローバーの状態において、ライトヘッドの予測実効コア幅を確度高く把握できると共に、既定箇所毎に寸法精度を高く規定することなく、既定箇所間で寸法調整することにより、所定の実効コア幅を得ることが期待できるため、実効コア幅の寸法が揃ったライトヘッドを容易に得ることができる。
【００１９】
さらに、ライトヘッドの予測実効コア幅の寸法をヘッド製造工程の前段階で知ることができるため、後工程における歩留向上、品質精度の向上に大きな役割を果たすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図５は、本発明におけるライトヘッドがリードヘッドと一体に形成されている垂直磁気記録ヘッドの一構成例を示す。図は、磁気ディスク装置に用いられる浮上型の記録再生用ヘッドのライトヘッドを用いて磁気記録ディスクに情報を記録する場合の例を、磁気記録ディスクの媒体面に垂直な面で切断した垂直磁気記録ヘッドの断面図で示す。
【００２１】
図５において、ライトヘッドは、軟磁性体で形成される主磁極１およびトレーリングシールド２と導電性材料で形成される記録用コイル３を備え、リードヘッドは軟磁性体で形成される上部シールド４２と下部シールド４０およびリード素子としてＭＲ素子４１を備える。本構成例においては、これらライトヘッドとリードヘッドは薄膜成膜技術により、例えばシリコン基板（図示省略）上に、下部シールド４１、ＭＲ素子４２、上部シールド４３、記録用コイル３の下側、主磁極１、記録用コイル３の上側、トレーリングシールド２の順に必要に応じて絶縁層を介して積層しながら垂直磁気記録再生用ヘッドを一体として形成する。
【００２２】
ライトヘッドは、トレーリングシールド２の先端部と主磁極１とをほぼ平行に配置し、主磁極１の先端を細幅に形成して先端磁極１ａとし、先端磁極１ａを含む主磁極１とトレーリングシールド２との間を絶縁層を介して電気的に絶縁して離間させた配置としている。
【００２３】
例えば主磁極１、先端磁極１ａ、後端部１ｂは、ＮｉＦｅ等の軟磁性材をめっきにより盛り上げ形成し、絶縁材を兼ねるレジスト（図示省略）をパターニングして記録用コイル３が主磁極１の周りに形成される。図において、ライトヘッドを用いて磁気記録媒体４３に情報を記録するのは、主磁極１の周りに巻き付けるように配置された記録用コイル３で発生した磁束が、主磁極１の先端磁極１ａから磁気記録媒体４３に向かい、記録媒体４３の記録層４３ａを通過し、記録層４３ａの下層に設けられた軟磁性層４３ｂを経由してトレーリングシールド２に戻り、主磁極１の後端部１ｂを通って主磁極１に戻る閉磁路構造をとることによって行われる例を示している。図において、記録用コイル３およびＭＲ素子４１のリード線は図示省略してある。記録用コイルやＭＲ素子が描かれている他の図においても、同様にリード線は図示省略してある。
【００２４】
垂直磁気記録用のライトヘッドにより、磁気記録媒体４３の媒体面に垂直に磁束が通ることで記録層４３ａは媒体面に垂直に磁化され、媒体面に平行に記録層を磁化する方法にくらべて、より高密度に情報を記録することが可能である。
【００２５】
図２は本発明の説明図アを示し、図５に示した本発明における垂直磁気記録ヘッドの一構成例をヘッドスライダ（図示省略）の浮上面側から先端磁極１ａおよびトレーリングシールド２の先端を見た拡大図である。トレーリング方向と書かれた矢印は、ライトヘッドから見て、回転する磁気記録媒体の流出端側（下流側）を示す。
【００２６】
主磁極１の先端に設けられた先端磁極１ａは、端面形状が逆台形状に形成されたタイプのものを例示している。トレーリングシールド２とトレーリングシールド２に近い主磁極１の端面は互いに平行に位置している。光学的コア幅はＷＣＷＵ１ｂで、主磁極長はＭＰＬ１ｃ、先端磁極１ａの逆台形状に形成された側面のテーパ角度はMPθ１ｄでそれぞれ示されている。この例では、MPθ１ｄは図において左右側面において等しいものとしている。
【００２７】
図３は本発明の説明図イを示し、図２におけるＡ−Ａ’断面図である。図は磁気記録媒体４３の表面に垂直な面を切断面としている。記録用コイル３を囲んだ主磁極１とトレーリングシールド２との間の部分は絶縁層を示す。磁気記録媒体４３の右側にヘッドの浮上面が位置しており、主磁極１の先端に設けられた先端磁極１ａおよびトレーリングシールド２が磁気記録媒体４３に対向している。先端磁極１ａの高さＮＨ１ｅをネックハイトと呼ぶ。また、トレーリングシールド２が先端磁極１ａと、或いは先端磁極１ａと主磁極１とに近接して互いにほぼ平行に対向している部分の高さＴＨ２ａをスロートハイトと呼ぶ。
【００２８】
また、図４は本発明の説明図ウを示し、図２におけるＢ−Ｂ’断面図である。ここでは、主磁極１の先端磁極１ａは高さＮＨ１ｅを有し、幅広の主磁極１において先端磁極１ａが形成されている首元の部分はテーパ状となっている。図２乃至図４において、めっきで形成された先端磁極１ａの周囲、ＷＣＷＵ１ｂ、ＭＰＬ１ｃ、ＮＨ１ｅは、例えばイオンミルにより加工して寸法を調整するようになっている。
【００２９】
図７は、垂直磁気記録再生ヘッドの加工工程の一例を示す。
【００３０】
（ａ）ウエハー完成は、アルチックから成るウエハー基板８０上に、多層の薄膜から成る多数の垂直磁気記録再生ヘッドの素子部（リード素子およびライト素子等）８１を、縦横に規則正しく並べて一括して形成された状態を示す。次に、（ｂ）ローバー切り出しの図に示すように、素子部８１の素子の配列の各列をウエハー基板８０と共に棒状の加工ブロックであるローバー８２に切断する。ローバー８２は、図の背面には切断されたウエハー基板８０の一部を有し、その表面にはリード素子およびライト素子８２−３、リード線部８２−４、リード端子部８２−５を備える素子部８１の一部が形成されている。
【００３１】
その後、ローバー８２の単位で一括して浮上面（垂直磁気記録再生ヘッドとして完成後に磁気記録媒体の表面に対向して浮上する面。（ｂ）ローバー切り出しの図において、リード素子およびライト素子８２−３の先端に近い底面）をラッピングにより形成する。その後、ローバー８２を各素子部毎に境界部８２−１にて切断分離し、（ｃ）スライダ切り出しに示すような個片のスライダ８２−２に加工する。
【００３２】
このような製造工程において、図２乃至図５に示した本発明に係るライトヘッドの主磁極１およびこれと一体に形成される先端磁極１ａ、さらにはトレーリングシールド２の形状と寸法については、主にウエハー完成までの工程およびローバー切り出し後の浮上面のラップ工程に依存する。
【００３３】
図２乃至図５において、図２に示す光学的コア幅のＷＣＷＵ１ｂ、主磁極長のＭＰＬ１ｃ、主磁極テーパ角のＭＰθ１ｄ、また、図３に示すスロートハイトのＴＨ２ａ、ネックハイトのＮＨ１ｅ（ＮＨ１ｅは図４においてその詳細を示す）のうち、まず、光学的コア幅のＷＣＷＵ１ｂ、ネックハイトのＮＨ１ｅ、主磁極長のＭＰＬ１ｃの３つの既定箇所の実測や計算等によって求められた数値から、確度の高い予測実効コア幅を求める方法を説明する。
【００３４】
垂直磁気記録ヘッドの製造過程において、ライトヘッドの予測実効コア幅を求める方法として、本発明においては、例えば、ライトヘッドの光学的コア幅ＷＣＷＵ１ｂと、ネックハイトＮＨ１ｅと、主磁極長ＭＰＬ１ｃとを３つの既定箇所として決めて、光学的顕微鏡により、実測、あるいは他の関係する部分の実測寸法をもとに計算によって得られた寸法を基に、ライトヘッドの予測実効コア幅を数値として求める。
【００３５】
実効コア幅ＷＣＷＥを目的変数、３つの既定箇所の測定値を独立変数とした場合、独立変数を、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬの３つを選び、統計学において一般に知られた重回帰分析に用いられる回帰式であるＷＣＷＥ３＝ｂ１・ＷＣＷＵ＋ｂ２・ＮＨ＋ｂ３・ＭＰＬ＋ｂ０を本願発明における重回帰式として用いる。ここにおいて、ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ０は係数とする。
【００３６】
本願発明においては、この他に、独立変数として、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＭＰθの４つを選んだ場合には、重回帰式としては、ＷＣＷＥ４＝ｃ１・ＷＣＷＵ＋ｃ２・ＮＨ＋ｃ３・ＭＰＬ＋ｃ４・ＭＰθ＋ｃ０を用い、ｃ１、ｃ２、ｃ３、ｃ４、ｃ０は係数とする。同様に、独立変数として、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＭＰθ、ＴＨの５つを選んだ場合には、重回帰式としては、ＷＣＷＥ５＝ｅ１・ＷＣＷＵ＋ｅ２・ＮＨ＋ｅ３・ＭＰＬ＋ｅ４・ＭＰθ＋ｅ５・ＴＨ＋ｅ０を用い、ｅ１、ｅ２、ｅ３、ｅ４、ｅ５、ｃ０は係数とする。このように、独立変数として選択する種類、数によって、重回帰式はそれぞれ異なる。本願発明において、独立変数として、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＭＰθ、ＴＨの５つを選んだ理由は、前もって、これらの値が実効コア幅に相関があることを、経験的に、また統計学的な分析により把握していることによる。
【００３７】
説明のため、以下、差し支えのない限り、独立変数としてＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬの３
つとした重回帰式、ＷＣＷＥ３＝ｂ１・ＷＣＷＵ＋ｂ２・ＮＨ＋ｂ３・ＭＰＬ＋ｂ０を用いることにする。
【００３８】
あらかじめ同じタイプ（型格）の複数の製品等（例えば試作品、製品の初期ロット品）のライトヘッドにおいて実測した３つの既定箇所と実効コア幅の実測値から係数ｂ１、ｂ２、ｂ３およびｂ０を算出する。以下に係数ｂ１、ｂ２、ｂ３およびｂ０の求め方を示す。
【００３９】
例えば、実効コア幅の実測値と３つの既定箇所の測定値を、１００個とか２００個のライトヘッドにおいて求めておく。１００個とか２００個の数により、係数ｂ１、ｂ２、ｂ３およびｂ０は変わるので、予め１００個なら１００個と決めておき、同じタイプ（型格）の複数の製品等（例えば試作品、製品の初期ロット品）のライトヘッドから抽出する。これらを、前述のように、ウエハー完成後、ヘッドスライダに加工した後のヘッドスライダを用いてＨＧＡ組立（ヘッド・ジンバル組立）を行い、ヘッドテスタを使用して所定の磁気記録媒体上に浮上させ、所定の信号をライトする。各々のライトヘッドでライトされた信号のトラック幅を例えば所定のリードヘッドで読み取り、これらを各々のライトヘッドの実効コア幅とみなして記録（紙に記録あるいはコンピュータに記憶）しておく。
【００４０】
前述の実効コア幅の測定の前あるいは後に、光学的顕微鏡等により実測、あるいは関係する箇所の実測によって得られた寸法を基に計算によって求めた、上記の製品等のライトヘッドにおける各々のＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬの数値を上記の各々のライトヘッドの実効コア幅と対応させて記録しておく。
【００４１】
そして、上記の重回帰式、ＷＣＷＥ３＝ｂ１・ＷＣＷＵ＋ｂ２・ＮＨ＋ｂ３・ＭＰＬ＋ｂ０において、上記の各々のライトヘッドの実効コア幅とこれに対応するＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬの数値の１００組のデータをそれぞれ代入した１００組の式から、統計学的に係数ｂ１、ｂ２、ｂ３およびｂ０の値を得る。
【００４２】
本発明においては、係数の決定された前述の重回帰式に、ライトヘッドの所望製造工程において、独立変数として選んだ既定箇所の寸法を代入して得られる目的変数ＷＣＷＥ３に相当する値を、ライトヘッドの前記所望製造工程における予測実効コア幅とみなしている。独立変数を上述の５つとして選んだ場合には、係数の決定された５つの独立変数を持つ重回帰式について、ライトヘッドの所望製造工程における５つの既定箇所の寸法を代入して得られる目的変数ＷＣＷＥ５に相当する値を、ライトヘッドの前記所望製造工程における予測実効コア幅とみなす。
【００４３】
図６は、本発明による重回帰式の係数等の説明図である。
【００４４】
図においては、実効コア幅を目的変数、５つの既定箇所の測定値を独立変数とした重回帰式、ＷＣＷＥ５＝ｅ１・ＷＣＷＵ＋ｅ２・ＮＨ＋ｅ３・ＭＰＬ＋ｅ４・ＭＰθ＋ｅ５・ＴＨ＋ｅ０を例として用いている。予め、量産ロットに先行して試作された複数のヘッドの測定結果により求められた各係数および各既定箇所の目標値（ここでは設計値の中央値とする）が表形式で示されている。ここで、５つの独立変数、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＭＰθ、ＴＨが独立変数の欄に、５つの独立変数に対する目標値が目標値の欄に、各係数が係数の欄に記載されている。各係数は前述の説明のとおり、複数の製品等の垂直磁気ヘッドから抽出した所定数のライトヘッドにおいて測定した、所定箇所の寸法の実測値とヘッド単体試験機におけるトラック幅の実測値をもとに、統計学的に係数ｅ１、ｅ２、ｅ３、ｅ４、ｅ５およびｅ０を求めた。
【００４５】
また、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＴＨの目標値の単位はμｍ、ＭＰθの単位は角度を表
す度であり、得られるＷＣＷＥ５はμｍで表されるようになっている。これらの数値を代入すると、
ＷＣＷＥ５＝（１．３）・０．１０７＋（−０．２５）・０．１３＋（０．２２）・０．２２＋（０．００３）・８０＋（−０．１）・０．１３＋（−０．２５１）＝０．１３９１−０．０３２５＋０．０４８４＋０．２４−０．０１３−０．２５１＝０．１３１
すなわち、５つの独立変数の値がすべて設計値の中央値の場合、予測実効コア幅はＷＣＷＥ５＝０．１３１μｍとなる。この数値を各５つの独立変数が各設計値の中央値である場合の予測実効コア幅とみなす。ちなみに、この量産ロットを含む量産品全体における実効コア幅規格値は、０．１２３μｍ以上０．１４０μｍ以下としていた。この実効コア幅規格値の単純平均値は０．１３１５μｍであるから、この値と上記のＷＣＷＥ５＝０．１３１μｍとを比較したとき、この量産ロットにおける実効コア幅の目標値と、実効コア幅規格値の単純平均値とのずれは少ないとみることもできる。このように、本実施例における量産ロットにおいて、５つの独立変数の目標値をそれぞれの設計値の中央値とし、本実施例における上記の予測実効コア幅の求め方は簡便で現実的な方法と思われる。
【００４６】
つぎに、上記の重回帰式をもちいて、所望製造工程におけるライトヘッドの予測実効コア幅の算出と、算出結果をもとにした既定箇所の加工寸法の算出手順を、図１に沿って説明する。図１は本発明によるフローの一例を示す。ここでは、ライトヘッド製造工程における、図2乃至図４において説明した主磁極１の先端に設ける先端磁極１ａの加工手順を
例に説明する。  
【００４７】
この例では、既定箇所は光学的コア幅ＷＣＷＵ、ネックハイトＮＨ、主磁極長ＭＰＬ、主磁極テーパ角ＭＰθおよびスロートハイトＴＨの５つとする。
【００４８】
まず、イオンミル加工前の予測実効コア幅の算出を行う。例えば、ネックハイトＮＨについては実測値が求められる場合には実測値を、その他の光学的コア幅ＷＣＷＵ、主磁極長ＭＰＬ、スロートハイトＴＨは目標値である設計値の中央値を用いざるを得ない場合には目標値を、上述の係数が決定された重回帰式、ＷＣＷＥ５＝１．３・ＷＣＷＵ−０．２５・ＮＨ＋０．２２・ＭＰＬ＋０．００３・ＭＰθ−０．１・ＴＨ−０．２５１に代入する。もちろん目標値を代入することは極力避け、寸法を直接実測できない場合には関係するたの部分の寸法を実測して計算値であっても求めてこれを代入することが望ましい。
【００４９】
上述の重回帰式において、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＴＨの単位はμｍであり、ＭＰθの単位は度とする。ここで、各独立変数に、上記の値を代入し、得られたＷＣＷＥ５の値が、実効コア幅の規格値０．１２３μｍ以上０．１４０μｍ以下を満たすように余裕を持たせて、例えば予測実効コア幅の目標値＝０．１３１μｍ、規格値＝０．１３１±０．００７μｍと決めておく。そして、各独立変数の値についても、各々の目標値を中心に現実的でラフな許容差を設定しておく（Ｓ１０１）。
【００５０】
得られた予測実効コア幅の値が規格値の上限である０．１３８μｍを超えて０．１４０μｍであった場合は、＋の係数をもつＷＣＷＵ、ＭＰＬ、ＭＰθがより小さい値となり、−の係数をもつＮＨ、ＴＨがより大きい値となる現実的な加工寸法を決める。具体的には、ＷＣＷＵ、ＭＰＬ、ＭＰθの値が小さくなるように、そしてＮＨ、ＴＨは加工せずにそのままとする。ＷＣＷＵ、ＭＰＬ、ＭＰθの値はそれぞれの目標値である０．１０７μｍ、０．２２μｍ、８０度に近づける加工しろが残っている部分を加工するようにする。例えば、ＷＣＷＵが０．１０７μｍになるように加工することにより、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内になると上記の重回帰式から計算されれば、イオンミル加工により、ＷＣＷＵが０．１０７μｍになるように加工することに決める。
【００５１】
得られた予測実効コア幅の値が規格値のＷＣＷＥ５＝０．１３１±０．００７μｍ以内
であれば、ＷＣＷＵ、ＮＨ、ＭＰＬ、ＭＰθ、ＴＨが変化する加工は行わない。
【００５２】
得られた予測実効コア幅の値が規格値の下限である０．１２４μｍを超えて０．１２０μｍであった場合は、＋の係数をもつＷＣＷＵ、ＭＰＬ、ＭＰθがより大きい値となり、−の係数をもつＮＨ、ＴＨがより小さい値となる現実的な加工寸法を決める。具体的には、ＷＣＷＵ、ＭＰＬ、ＭＰθの値はそのままに、そしてＮＨ、ＴＨの値が小さくなるように加工するように決める。ＮＨ、ＴＨの値を各々の目標値とする加工しろがあれば、ＮＨ、ＴＨの値を目標値にまでなるように加工し、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内になると上記の重回帰式から判定されれば、ＮＨ、ＴＨの値を目標値にまでなるように加工するように決める。ＮＨ、ＴＨの値を目標値にまでなるように加工しても、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内にならず、しかも、各々の規格値の限度まで小さくなるように加工しても、やはり、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内にならないと上記の重回帰式から判定されれば、この段階において製造途中のライトヘッドを不合格とする（Ｓ１０２）。
【００５３】
上記の重回帰式から計算される結果が、加工することにより、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内にできる可能性があると判定され、さらに、複数個所を加工せずとも１箇所の部分を加工すれば予測実効コア幅の値が目標値を満たすのであれば、加工箇所が少なくなるような加工寸法の算出を行っても構わない。ここでは、他のイオンミル加工条件は一定とする（Ｓ１０３）。
【００５４】
上記で算出された加工寸法をもとに、イオンミル加工、あるいはＣＭＰ加工（化学的機械的ポリシング加工）を行う（Ｓ１０４）。
【００５５】
そして、前記の加工後に、主磁極１の先端磁極１ａにおける光学的コア幅ＷＣＷＵ、主磁極テーパ角ＭＰθ、また、ネックハイトＮＨが実測できた場合には実測値を用いて、主磁極長ＭＰＬとスロートハイトＴＨについては目標値を用いざるを得ない場合には目標値を用いて予測実効コア幅を求める（Ｓ１０５）。予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内に入っていれば次の工程へ、入っていなければ、Ｓ１０２においても説明した手順により、各々の規格値の限度まで小さくなるように加工しても、やはり、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内にならないと上記の重回帰式から判定されれば、この段階において製造途中のライトヘッドを不合格とし、さらに加工しろがあり、予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内になるような加工条件が残されているかどうかを、上記の重回帰式から判定する（Ｓ１０６）。
【００５６】
予測実効コア幅の値が０．１３１±０．００７μｍの範囲内になるような加工条件が残されている製造途中のライトヘッドの加工寸法を算出し、Ｓ１０４へ工程を戻す（Ｓ１０７）。
【００５７】
以上のようにして、最終的には、不合格品と合格品とを判定し、合格品を次工程に流す（Ｓ１０８）。
【００５８】
上記のように、本発明に示すような重回帰式を用いることにより、ライトヘッドの製造過程において、所望の工程における予測実効コア幅を確認することができ、また、独立変数に指定した既定箇所の寸法を個々ではなく、独立変数全体の状況をみて加工できる自由度をもたせることができる。
【００５９】
なお、ライトヘッドの製造過程において、独立変数に指定した既定箇所の寸寸法測定は、例えば、ローバーの切り出し前でも、ローバーの切り出し後でも構わない。また、所望する工程における独立変数の値を、実測値の代わりに、他部分の実測値から計算された値
、目標値（設計上の中央値等）としても加工寸法の算出が可能である。さらに、実測値の代わりに、他部分の実測値から計算された値や目標値を、ある工程において使用したとしても加工が進んだ後の工程においては、実測値を用いることができるようになるので、確度の高い実効コア幅の予測を行うことができる。
【００６０】
以上のように、本発明によれば、ライトヘッド製造工程において、実効コア幅を精度よく予測でき、さらに製造工程の中で複数回にわたり、実効コア幅の予測を行いながらライトヘッド加工工程を行うことにより加工歩留りをより向上させることができるとともに、各部の寸法精度を個々に厳しく規定するのではなく、予測実効コア幅をもとに、加工対象箇所、寸法精度に自由度をもたせることができる。本発明は、主磁極に対して、副磁極（トレーリングシールド）をもたないタイプ、先端磁極をもたない主磁極、主磁極あるいは先端磁極の側面に主磁極テーパ角をもたないといったライトヘッドについても適用できることは言うまでもない。
【００６１】
図８は、本発明のライトヘッドを搭載した磁気ディスク装置例を示す。図８において磁気ディスク装置のベース９０には、垂直磁気記録媒体であるディスク９５を回転支持するスピンドルモータ（図示省略）が取り付けられ、ディスク９５はスピンドルモータのディスク回転軸９６に固定されている。また、ディスク９５へ情報を書き込み、読み出しを行う記録再生ヘッドにおいてライトヘッドとして垂直記録再生ヘッド（図示省略）がスライダ９１に組み込まれている（図示省略）。
【００６２】
スライダ９１は、例えば、ステンレス製のバネ鋼の板を加工したサスペンション９２に取り付けられ、さらに、サスペンション９２は金属製のアーム９３の先端部に取り付けられている。ここで、サスペンション９２には、記録／再生素子との信号のやり取りを中継する図示されていないＦＰＣがサスペンション９２の表面に接着層を介して強固に貼り付けられ一体化されている。
【００６３】
アーム９３は、アーム９３を左右に揺動させるアクチュエータ９４の回転軸９４−２に固定され、サスペンション９２の取り付けられたアーム９３の先端部と回転軸９４−２に関して反対側の後端には、図示されていないコイルが取り付けられている。磁気回路９４−１から生じる磁界の中をアーム９３のコイルに電流が流れることにより、アーム９３は回転軸９４−２を中心に、流れる電流の方向によって左右に揺動し、スライダ９１に組み込まれているヘッドをディスク９５の表面にポジショニングしている。
【００６４】
ベース９０の裏面に実装されている回路基板（図示省略）へはアクチュエータ９４からＦＰＣ９４−３が接続されており、制御信号や駆動電流を送受している。さらに、外部の機器との接続のためのコネクタ部９７がベース９０に設けられている。磁気ディスク装置の上部を覆うカバーは説明のため省略してある。歩留りのよい製造コストの安い垂直磁気記録ヘッドを搭載することにより、製造コストの安い磁気記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明によるフローの一例
【図２】本発明の説明図ア
【図３】本発明の説明図イ
【図４】本発明の説明図ウ
【図５】本発明における垂直磁気記録ヘッドの一構成例
【図６】本発明による重回帰式の係数等の説明図
【図７】垂直磁気記録再生ヘッドの加工工程の一例
【図８】本発明によるライトヘッドを搭載した磁気ディスク装置例
【符号の説明】
【００６６】
１      主磁極
１ａ    先端磁極
２      トレーリングシールド
３      記録用コイル
４０    下部シールド
４１    ＭＲ素子
４２    上部シールド
４３    磁気記録媒体
８０    ウエハー基板
８１    素子部
８２    ローバー
９０   ベース
９１   スライダ
９２   サスペンション
９３   アーム
９４   アクチュエータ
９５   ディスク
９６   ディスク回転軸
９７   コネクタ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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