(57)【要約】【課題】半導体集積回路等の検査対象物と検査用基板とを電気的に安定させて低抵抗で接続可能なコンタクトプローブ及びこれを備えたソケットを提供する。【解決手段】検査対象物５との接続用の第１プランジャー１と、検査用基板６との接続用の第２プランジャー２と、プランジャー１，２を互いに離れる方向に付勢するスプリング３とを備え、プランジャー相互の接点部は、プランジャー２の円筒状部２４の内周にプランジャー１の円柱状部２４が摺動自在に嵌合し、かつ円柱状部２４は弾性変形部１６を有している。弾性変形部１６は円筒状部２４の内周面２５に弾性変形による反力で接触している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物との接続用の第１プランジャーと、検査用基板との接続用の第２プランジャーと、前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングとを備え、
前記第１プランジャーと第２プランジャーとの接点部は、一方のプランジャーの筒状部の内周に他方のプランジャーの柱状部が摺動自在に嵌合した構造であって、かつ前記柱状部は弾性変形部を有していて、前記弾性変形部は前記筒状部の内周面に弾性変形による反力で接触している、コンタクトプローブ。
【請求項２】
請求項１に記載のコンタクトプローブにおいて、前記弾性変形部は両端部に比べて中間部が細くなっている、コンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項２に記載のコンタクトプローブにおいて、前記中間部は連続的に外径を変化させた形状である、コンタクトプローブ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１プランジャーの第２プランジャーに対する相対移動範囲内では、前記弾性変形部の全長が常に前記筒状部の内周に入っている、コンタクトプローブ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１プランジャーの第２プランジャーに対する相対移動範囲内では、前記弾性変形部に続いている外径一定の元径部が常に前記筒状部の内周に入っている、コンタクトプローブ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載のコンタクトプローブを複数本絶縁支持体で支持してなるソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路等の検査に使用するコンタクトプローブ及びこれを備えたソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路等の検査対象物の検査を行う場合において、検査対象物と測定器側の検査用基板とを電気的に接続するためにコンタクトプローブが一般的に使用されている。
【０００３】
従来のコンタクトプローブを図７（Ａ）,（Ｂ）で説明する。図７（Ａ）はコンタクトプローブの全体構成である。図７（Ｂ）はコンタクトプローブの内部接点となる図７（Ａ）の部分Ｑを拡大図示したものである。図７（Ａ）,（Ｂ）のように、この種のコンタクトプローブでは、電気の通過抵抗を抑えるために、半導体集積回路等の検査対象物との接続部品である第１プランジャー６１と、検査用基板との接続部品である第２プランジャー６２とを直接接触させる構造を有している。検査対象物及び検査用基板との接点は、コンタクトプローブの構成部品であるコイルスプリング６３を圧縮して発生するバネ力で第１及び第２プランジャー６１，６２をそれぞれ検査対象物及び検査用基板に押し当て確保するが、コンタクトプローブ内部接点（第１プランジャー６１の円柱状部と第２プランジャー６２の円筒状部との嵌合構造）は、図７（Ｂ）のように円滑に摺動するための隙間（遊び）を持っており、それがために接触状態が安定せず、通過抵抗が不安定であった。同様の構造を有する先行技術文献として下記特許文献１がある。
【０００４】
また、第１プランジャーと第２プランジャーとを接触させる技術として、下記特許文献２があるが、高度な加工技術を要するため、さらに小径になる場合には構成できない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−２７０９６７号公報
【特許文献２】実公平６−２８６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図７に示した従来のコンタクトプローブであると、コンタクトプローブ内部接点の隙間に起因する通過抵抗の不安定性の問題があり、また特許文献２の構造では、高度な加工技術を要するため、半導体集積回路等の検査対象物の電極配列ピッチが小さくなると対応できなくなる問題がある。
【０００７】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、半導体集積回路等の検査対象物と検査用基板とを電気的に安定させて低抵抗で接続可能なコンタクトプローブ及びこれを備えたソケットを提供することにある。
【０００８】
また、もう一つの目的は、コンタクトプローブの製品外径が極めて小径となる場合にも、一般的な加工技術で製作可能なコンタクトプローブ及び及びこれを備えたソケットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明のある態様のコンタクトプローブは、検査対象物との接続用の第１プランジャーと、検査用基板との接続用の第２プランジャーと、前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングとを備え、
前記第１プランジャーと第２プランジャーとの接点部は、一方のプランジャーの筒状部の内周に他方のプランジャーの柱状部が摺動自在に嵌合した構造であって、かつ前記柱状部は弾性変形部を有していて、前記弾性変形部は前記筒状部の内周面に弾性変形による反力で接触していることを特徴としている。
【００１０】
前記態様において、前記弾性変形部は両端部に比べて中間部が細くなっているとよい。また、前記中間部は連続的に外径を変化させた形状であってもよい。
【００１１】
前記態様において、前記第１プランジャーの第２プランジャーに対する相対移動範囲内では、前記弾性変形部の全長が常に前記筒状部の内周に入っているとよい。
【００１２】
前記態様において、前記第１プランジャーの第２プランジャーに対する相対移動範囲内では、前記弾性変形部に続いている外径一定の元径部が常に前記筒状部の内周に入っているとよい。
【００１３】
本発明の別の態様は、ソケットであり、前記コンタクトプローブを複数本絶縁支持体で支持してなることを特徴としている。
【００１４】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、検査対象物との接続用の第１プランジャーと、検査用基板との接続用の第２プランジャーとを有するコンタクトプローブにおいて、一方のプランジャーの筒状部の内周に他方のプランジャーの柱状部が摺動自在に嵌合し、かつ前記柱状部が弾性変形部を有していて、前記弾性変形部は前記筒状部の内周面に弾性変形による反力で接触しているから、常にプランジャー同士の接触（つまりコンタクトプローブ内部接点の接触）が確実に維持される。この結果、電気の通過抵抗を低くし、かつ安定化させ得る。
【００１６】
また、製品外径が極めて小径のコンタクトプローブの作製が、一般的な加工技術で可能であり、ひいては半導体集積回路等の検査対象物の電極配列ピッチが小さい場合にも対応可能なソケットを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】は本発明の第１の実施の形態であって、（Ａ）はソケットを示す正断面図、（Ｂ）はコンタクトプローブの正断面図、（Ｃ）はコンタクトプローブの一方のプランジャー（第１プランジャー）を示す正面図である。
【図２】は第１の実施の形態における第１及び第２プランジャー同士の接点部であって、（Ａ）は弾性変形部に起因する反力を説明する拡大断面図、（Ｂ）は第１及び第２プランジャー間を通過する電流を示す拡大断面図である。
【図３】は本発明の第２の実施の形態における第１及び第２プランジャー同士の接点部の拡大断面図である。
【図４】は本発明の第３の実施の形態における第１及び第２プランジャー同士の接点部の拡大断面図である。
【図５】は本発明の第４の実施の形態における第１及び第２プランジャー同士の接点部の拡大断面図である。
【図６】は本発明の第５の実施の形態における第１及び第２プランジャー同士の接点部の拡大断面図である。
【図７】は従来のコンタクトプローブであって、（Ａ）はその正断面図、（Ｂ）は第１及び第２プランジャー同士の接点部の拡大断面図である。
【図８】は図７に示した従来のコンタクトプローブの抵抗値特性を示すグラフである。
【図９】は本発明に係る第１の実施の形態のコンタクトプローブの抵抗値特性を示すグラフである。
【図１０】はコンタクトプローブ抵抗値特性の測定方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１９】
図１（Ａ）〜（Ｃ）及び図２（Ａ）,（Ｂ）を用いて本発明の第１の実施の形態を説明する。図２（Ａ）,（Ｂ）はコンタクトプローブの内部接点となる図１（Ｂ）の部分Ｐを拡大図示したものである。これらの図において、コンタクトプローブ１０は、検査対象物５との接続部品である第１プランジャー１と、検査用基板６との接続部品である第２プランジャー２と、両プランジャーを互いに離れる方向に付勢するコイルスプリング３とを有している。検査対象物５は例えば電極が所定間隔で配列された半導体集積回路等であり、図示の場合、電極バンプ５ａが所定間隔で配列されている。検査用基板６は測定器側に接続される電極パッド（図示せず）を所定間隔で有するものである。
【００２０】
図１（Ａ）に示すソケット３０は、コンタクトプローブ１０を複数本平行に配置するための空洞部３２を所定間隔で有する絶縁支持体３１を備え、それらの各空洞部３２にコンタクトプローブ１０を挿入配置したものである。
【００２１】
前記コンタクトプローブ１０の第１プランジャー１は導電性金属体であり、例えばベリリウム銅合金を母材として表面に金メッキを施したものである。この第１プランジャー１は中間部にフランジ部１１が形成されており、これより先端側が先端側本体部１２となっており、反対側はスプリング装着部１３及びこれより延長した摺動円柱状部１４となっている。摺動円柱状部１４は図１（Ｃ）及び図２（Ａ）,（Ｂ）から判るように、スプリング装着部１３よりも小径で一定外径を保ってまっすぐな元径部１５とこの末端側に形成された弾性変形部１６とを有している。弾性変形部１６は弾性を有するように曲げられた曲げ部であり、弾性変形に起因する反力を調整するために両端部１６ａ，１６ｂ（元径部１５と同径）よりも中間部１６ｃの方が細く形成されている。ここでは、中間部１６ｃはテーパー状に細くなった部分を一定径の部分が連結した形状であり、中間部１６ｃを細くしてバネ力をやや弱めている。
【００２２】
前記コンタクトプローブ１０の第２プランジャー２は金合金等の導電性金属体であり、先端側（下端側）が閉じた円筒状であり、円筒状部２４の中間部にフランジ部２１が形成されている。フランジ部２１の先端側は先端側本体部２２となっており、反対側はスプリング装着部２３となっている。
【００２３】
前記第１及び第２プランジャー１，２を互いに離れる方向に付勢するコイルスプリング３はピアノ線、ステンレス線等の一般的な材質で形成されたものであればよい。
【００２４】
図１（Ｃ）に示すように、第１プランジャー１の弾性変形部１６の曲げ量は、摺動円柱状部１４の元径部１５と、第２プランジャー２における円筒状部２４の内周面２５との間の隙間よりも大きく設定されているから、プランジャー１の摺動円柱状部１４はプランジャー２の内周面２５に少なくとも２つの接触部で接触する。従って、図１（Ｂ）のように第１プランジャー１の摺動円柱状部１４を第２プランジャー２の内周面２５の内側に挿入し、弾性変形部１６全体及び元径部１５の一部を内周面２５の内側に位置させて両プランジャー１，２の接点部を構成することで、摺動円柱状部１４が延びる方向において先端側本体部１２側に位置する一方の接触部と、先端側本体部１２とは反対側に位置し且つ内周面２５において前記一方の接触部と径方向に対向する部分を含んだ摺動円柱状部１４が延びる方向と平行な線上に位置する他方の接触部で接触し、図２（Ａ）のように、弾性変形部１６の弾性に基づいて一方の接触部にＦ１、他方の接触部にＦ２の反力が内周面２５に対して働き、摺動円柱状部１４の一部（図２（Ａ）では弾性変形部１６の両端近傍）が内周面２５に弾接することになる。スプリング３は第１プランジャー１のフランジ部１１と第２プランジャー２のフランジ部２１との間に設けられる。つまり、スプリング３の一方の端部はスプリング装着部１３の外周に嵌められ、他方の端部はスプリング装着部２３の外周に嵌められている。
【００２５】
図１（Ｂ）に示すように、第１プランジャー１、第２プランジャー２及びスプリング３の三者を一体的に組み立ててコンタクトプローブ１０を構成したものを、図１（Ａ）の絶縁支持体３１の空洞部３２に挿入配置する。空洞部３２の開口側摺動支持部３３，３４は第１及び第２プランジャー１，２の先端側本体部１２，２２をそれぞれ摺動自在に支持（嵌合）する。空洞部３２の開口側摺動支持部３３，３４を除く中間部３５はフランジ部１１，２１及びスプリング３が自由に動ける内周径となっている。なお、絶縁支持体３１はコンタクトプローブ１０を空洞部３２内に組み込むために、複数層に分割できる構造となっている（図示省略）。
【００２６】
なお、例えば、コンタクトプローブ１０の製品外径φ１は０.３ｍｍ、円筒状部２４の外径φ２は０.２ｍｍ、内径φ３は０.１２ｍｍである。また、元径部１５の外径φ４は０.１ｍｍである。さらに、第１プランジャー１の弾性変形部の曲げ量は、摺動円柱状部１４の元径部１５と、第２プランジャー２における円筒状部２４の内周面２５との間の隙間０.０２ｍｍ（φ３−φ４）よりも大きく設定されている。
【００２７】
第１の実施の形態において、元径部１５及び／又は弾性変形部１６の先端側本体部１２側に位置する両端部の一方１６ｂと内周面２５との接触部が一方の接触部を構成し、両端部の他方１６ａと内周面２５との接触部が他方の接触部を構成している。
【００２８】
図１（Ａ）のように組み立てられたソケット３０を使用して検査を行う場合、ソケット３０は検査用基板６上に位置決め載置され、この結果、第２プランジャー２の先端側本体部２２が検査用基板６の電極パッドに弾接する。
【００２９】
半導体集積回路等の検査対象物５が無い状態では、第１プランジャー１はフランジ部１１が開口側摺動支持部３３で規制されるまで突出方向に移動しており、先端側本体部１２の突出量は最大となっている。検査対象物５がソケット３０の絶縁支持体３１に対して所定の間隔で対向配置されることにより、先端側本体部１２は後退してスプリング３は圧縮され、その結果、先端側本体部１２は検査対象物５の電極バンプ５ａに弾接する。
【００３０】
図１（Ｃ）及び図２（Ａ）で説明した通り、第１プランジャー１の弾性変形部１６の曲げ量は、摺動円柱状部１４の元径部１５と第２プランジャー２の内周面２５との間の隙間よりも大きく設定されているから、両プランジャー１，２の接点部において、弾性変形部１６の弾性に基づく反力Ｆ１，Ｆ２が内周面２５に対して働き、摺動円柱状部１４の一部２が内周面２５に弾接することになる。従って、両プランジャー１，２の接点部は常に低抵抗で安定した抵抗値に保たれることになる。
【００３１】
図２（Ｂ）はコンタクトプローブ１０内の内部電気経路であり、第１プランジャー１を通過する電流Ｅ１は、一方の接触部を介して電流Ｅ２となって第２プランジャー２を通過し、他方の接触部を介して電流Ｅ３となって第２プランジャー２を通過する。逆に、第２プランジャー２を通過する電流Ｅ２，Ｅ３は電流Ｅ１となって第１プランジャー１を通過する。
【００３２】
図８は、図７に示した従来のコンタクトプローブの抵抗値特性であって、１０本のコンタクトプローブの試料の測定結果である。測定方法は、図１０に示すように、定電圧電源に接続された電極間にコンタクトプローブを挟み、コンタクトプローブ使用長を変化させてコンタクトプローブ通過抵抗を測定した（コンタクトプローブに流れる電流から求める）。図８の測定結果では、各試料間のばらつきが大きく、抵抗値が高い。また、コンタクトプローブ使用長を変化させたときの抵抗値の変動も大きいことが判る。
【００３３】
図９は、本発明の第１の実施の形態の抵抗値特性であって、１０本のコンタクトプローブの試料の測定結果である。測定方法は図８の場合と同じである。図９の測定結果では、各試料間のばらつきが小さく、抵抗値が低い。また、コンタクトプローブ使用長を変化させたときの抵抗値の変動も小さいことが判る。
【００３４】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００３５】
(1) 第２プランジャー２の円筒状部２４の内周に第１プランジャー１の摺動円柱状部１４が摺動自在に嵌合し、かつ摺動円柱状部１４が弾性変形部１６を有していて、弾性変形部１６は円筒状部２４の内周面２５に弾性変形による反力Ｆ１，Ｆ２（図２（Ａ）参照）で接触しているから、常にプランジャー同士の接触（換言すれば、コンタクトプローブ内部接点の接触）が確実に維持される。この結果、電気の通過抵抗を低下させ、かつ安定化させることができる。
【００３６】
(2) コンタクトプローブ１０は、製品外径が極めて小径であっても一般的な加工技術で製造可能である。このため半導体集積回路等の検査対象物５の電極配列ピッチが小さい場合（例えば配列ピッチが０.４ｍｍ程度）にも対応可能なソケット３０を実現できる。
【００３７】
(3) 第１プランジャー１の弾性変形部１６はその両端部１６ａ，１６ｂに比べて中間部１６ｃが細くなっているため、摺動円柱状部１４の外径に関係なく適正なバネ特性を得ることができる。換言すれば、弾性変形部１６のバネ力（つまり反力Ｆ１，Ｆ２）を適切値に設定しやすい。これは中間部１６ｃを細くすることでバネ力を弱め、仮に曲げ変位量が過大であっても摺動性を確保可能だからである。バネ力を適切値に設定することで、弾性変形部１６と内周面２５間の摺動を円滑に維持できる。また、第１プランジャー１の末端部となる弾性変形部１６の端部１６ａの他方の接触部にかかる部分は元径部１５と同径であるから、弾性変形部１６の端部１６ａが中間部１６ｃと同じ細さの場合よりも弾性変形部１６の曲げ変位量が少なくて済む。
【００３８】
(4) 第１及び第２プランジャー１，２の相対移動範囲は、絶縁支持体３１における空洞部３２の中間部３５の長さによって定まるが、第１プランジャー１の第２プランジャー２に対する相対移動範囲内では、弾性変形部１６の全長と、弾性変形部１６に続いている外径一定の元径部１５の一部、要するに一方及び他方の接触部、が常に円筒状部２４の内周に入っている。このため、コンタクトプローブ１０及びソケット３０の組立時に、誤って弾性変形部１６の変形量を変化させてしまうこと等の不都合を発生させることを防止できる。また、ソケット３０に組み付ける前の、単にスプリング３をそれぞれスプリング装着部１３，２３に嵌め込んだだけでスプリング３が収縮されていない状態（仮組み状態）において、一方及び他方の接触部が円筒状部２４の内周に入っているように構成すれば、仮組み状態で搬送するときに誤って弾性変形部１６の変形量を変化させてしまうこと等の不都合を発生させることを防止できる。
【００３９】
図３は本発明の第２の実施の形態における第１及び第２プランジャー１，２同士の接点部の構成を示し、弾性変形部４１が第１プランジャー１の元径部１５と同径で形成されている。そして、元径部１５の一部と、弾性変形部４１の端部４１ａ、つまり第１プランジャー１の摺動円柱状部１４の末端部において、第２プランジャー２の円筒状部２４の内周面２５に弾接している。なお、その他の構成は前述した第１の実施の形態と同様である。
【００４０】
この場合、第１プランジャー１の摺動円柱状部１４に対する曲げ加工のみで弾性変形部４１を形成可能な利点があるが、バネ力を適切値とするために、弾性変形部４１の曲げ変位量が過大にならないようにする。
【００４１】
図４は本発明の第３の実施の形態における第１及び第２プランジャー１，２同士の接点部の構成を示し、弾性変形部４２が第１プランジャー１の元径部１５と同径で形成されている。そして、元径部１５の一部と、弾性変形部４２の中間部４２ａ、つまり第１プランジャー１の摺動円柱状部１４の末端寄り位置と、摺動円柱状部１４の末端部（弾性変形部４２の端部）とにおいて、第２プランジャー２の円筒状部２４の内周面２５に弾接している。なお、その他の構成は前述した第１の実施の形態と同様である。
【００４２】
この場合も、第１プランジャー１の摺動円柱状部１４に対する曲げ加工のみで弾性変形部４２を形成可能な利点があるが、バネ力を適切値とするために、弾性変形部４２の曲げ変位量が過大にならないようにする。
【００４３】
図５は本発明の第４の実施の形態における第１及び第２プランジャー１，２同士の接点部の構成を示し、弾性変形部５１が第１プランジャー１の元径部１５よりも細い径で形成されている。そして、元径部１５の一部と、弾性変形部５１の中間部５１ａ、つまり第１プランジャー１の摺動円柱状部１４の末端寄り位置と、摺動円柱状部１４の末端部（弾性変形部５１の端部）とにおいて、第２プランジャー２の円筒状部２４の内周面２５に弾接している。なお、その他の構成は前述した第１の実施の形態と同様である。
【００４４】
この場合、摺動円柱状部１４の元径部１５に比較して弾性変形部５１を細くしているため、バネ力を適切値に設定することが容易となる。すなわち、弾性変形部５１が細くなるため、バネ力は弱くなり、仮に弾性変形部５１の曲げ変位量が過大であっても内周面２５に対して円滑な摺動が可能である。
【００４５】
図６は本発明の第５の実施の形態における第１及び第２プランジャー１，２同士の接点部の構成を示し、弾性変形部５２は、その両端部５２ａ，５２ｂ（元径部１５と同径）に比べて、中間部５２ｃが連続的に外径を変化させることによってなだらかに細くなっている。そして、元径部１５及び／又は弾性変形部５２の先端側本体部１２側に位置する両端部の一方５２ｂと、弾性変形部５２の端部５２ａ、つまり第１プランジャー１の摺動円柱状部１４の末端部とにおいて、第２プランジャー２の円筒状部２４の内周面２５に弾接している。なお、その他の構成は前述した第１の実施の形態と同様である。
【００４６】
この場合、摺動円柱状部１４の元径部１５に比較して弾性変形部５２の中間部５２ｃを細くしているため、バネ力を適切値に設定することが容易となる。すなわち、弾性変形部５２の中間部５２ｃが細くなるため、バネ力は弱くなり、仮に弾性変形部５２の曲げ変位量が過大であっても内周面２５に対して円滑な摺動が可能である。また、摺動円柱状部１４の末端部となる弾性変形部５２の端部５２ａは元径部１５と同径の太さとしているため、弾性変形部５２の曲げ変位量は、第４の実施の形態の全体的に細い弾性変形部５１に比較して少なくてよく、この点でも円滑な摺動性を確保することが容易となる。
【００４７】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４８】
各実施の形態では、検査対象物５との接続部品である第１プランジャー１が摺動円柱状部１４を有し、検査用基板６との接続部品である第２プランジャー２が円筒状部２４を有するものとしたが、逆に第１プランジャー１に円筒状部を形成し、これに摺動自在に嵌合する摺動円柱状部を第２プランジャー２に形成し、摺動円柱状部に弾性変形部を形成してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１，６１  第１プランジャー
２，６２  第２プランジャー
３，６３  スプリング
５  検査対象物
６  検査用基板
１０  コンタクトプローブ
１１，２１  フランジ部
１２，２２  先端側本体部
１３，２３  スプリング装着部
１４  摺動円柱状部
１５  元径部
１６，４１，４２，５１，５２  弾性変形部
２４  円筒状部
２５  内周面
３０  ソケット
３１  絶縁支持体
３２  空洞部
【図１】
2010256251.tif 000003
【図２】
2010256251.tif 000004
【図３】
2010256251.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010256251.tif 000007
【図６】
2010256251.tif 000008
【図７】
2010256251.tif 000009
【図８】
2010256251.tif 000010
【図９】
2010256251.tif 000011
【図１０】
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