(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、第２搬送方向へ浮上搬送する搬送時間を短縮すること。【解決手段】各第１方向転換用ローラケース内に第１方向転換用ローラ６３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第２方向転換用ローラケース内に第２方向転換用ローラ７５が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第１方向転換用ローラ６３及び各第２方向転換用ローラ７５の高さ位置が基準の浮上高さ位置よりも低くなっていること。【選択図】図１
2010245336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、
方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記方向転換装置本体に前記第１搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第１方向転換用ローラケース、及び前記第１方向転換用ローラケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第１方向転換用ローラを備え、前記第１方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなって、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第１方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第１方向転換用ローラユニットにおける前記第１方向転換用ローラを回転させる第１方向転換用回転アクチュエータと、
前記方向転換装置本体に前記第２搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第２方向転換用ローラケース、及び前記第２方向転換用ローラケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第２方向転換用ローラを備え、前記第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなって、前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第２方向転換用ローラユニットと、
複数の前記第２方向転換用ローラユニットにおける前記第２方向転換用ローラを回転させる第２方向転換用回転アクチュエータと、を具備したことを特徴とする搬送方向転換装置。
【請求項２】
各第１方向転換用ローラユニットは、前記第１方向転換用ローラケースに形成された第１方向転換用吸引穴から前記第１方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファンを備え、前記第１方向転換用吸引ファンを稼動したり又は前記第１方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることによって前記第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になってあって、
各第２方向転換用ローラユニットは、前記第２方向転換用ローラケースに形成された第２方向転換用吸引穴から前記第２方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファンを備え、前記第２方向転換用吸引ファンを稼動したり又は前記第２方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることによって前記第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを特徴とする請求項１に記載の搬送方向転換装置。
【請求項３】
各第１方向転換用ローラユニットは、前記第１方向転換用ローラケースに形成された第１方向転換用吸引穴から前記第１方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファン、及び前記第１方向転換用ローラケースの前記第１方向転換用吸引穴を開閉する第１方向転換用シャッタを備え、前記第１方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になってあって、
各第２方向転換用ローラユニットは、前記第２方向転換用ローラケースに形成された第２方向転換用吸引穴から前記第２方向転換用ローラケース内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファン、及び前記第２方向転換用ローラケースの前記第２方向転換用吸引穴を開閉する第２方向転換用シャッタを備え、前記第２方向転換用シャッタによる開閉動作によって前記第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっていることを特徴とする請求項１に記載の搬送方向転換装置。
【請求項４】
基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送システムにおいて、
基板を前記第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置と、
前記第１浮上搬送装置の近傍に配設され、基板を前記第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置と、
前記第１浮上搬送装置と前記第２浮上搬送装置との中継領域に配設され、請求項１から請求項３のいずれかの請求項に記載の搬送方向転換装置と、を具備したことを特徴とする浮上搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１浮上搬送装置から例えばガラス基板等の基板を受け取って第２浮上搬送装置へ送り出す際に、基板の搬送方向を第１搬送方向（第１浮上搬送装置の搬送方向）から第１搬送方向に直交する第２搬送方向（第２浮上搬送装置の搬送方向）へ転換する搬送方向転換装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野においては、搬送方向転換装置について種々の開発が行われており、搬送方向転換装置の先行技術として特許文献１に示すものがある。
【０００３】
先行技術に係る搬送方向転換装置は、第１浮上搬送装置と第２浮上搬送装置との中継領域に配設されており、方向転換装置本体を具備している。また、方向転換装置本体には、圧縮空気（エア）の圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットが設けられており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。
【０００４】
方向転換装置本体には、複数の方向転換用ローラユニットが配設されており、複数の方向転換用ローラユニットは、第１浮上搬送装置から基板を受け取ったり、第２浮上搬送装置に基板を送り出したりするものである。そして、各方向転換用ローラユニットの具体的な構成は、次のようになる。
【０００５】
即ち、方向転換装置本体には、方向転換用ローラケースが設けられており、この方向転換用ローラケースの上側は、開口されてあって、方向転換用ローラケースの下面には、方向転換用吸引穴が形成されている。また、方向転換用ローラケースの下面には、方向転換用吸引穴から方向転換用ローラケース内の空気を吸引する吸引ファンが設けられており、方向転換用吸引ファンを稼動したり又は方向転換用吸引ファンの稼動状態を停止したりすることにより、方向転換用ローラケースの内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。更に、方向転換用ローラケース内には、基板の裏面を直接的に支持する方向転換用ローラが軸心（方向転換用ローラの軸心）周りに回転可能に設けられており、方向転換用ローラケース内の適宜位置には、方向転換用ローラを回転させる方向転換用回転モータが設けられている。
【０００６】
ここで、具体的な構成は省略するが、方向転換用ローラの高さ位置は、高さ変更アクチュエータの駆動により、基準の浮上高さ位置と同じ支持高さ位置と、この支持高さ位置よりも低い待避高さ位置とに変更可能である。また、方向転換用ローラの姿勢は、姿勢変更アクチュエータの駆動により、軸心（方向転換用ローラの軸心）が第２搬送方向に平行な第１ローラ姿勢と、軸心が第１搬送方向に平行な第２ローラ姿勢とに変更可能である。
【０００７】
従って、各方向転換用ローラの高さ位置を支持高さ位置に、各方向転換用ローラの姿勢を第１ローラ姿勢に保ちつつ、各吸引用ファンを稼動して各方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各方向転換用浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、方向転換用回転モータの駆動により複数の方向転換用ローラを第２搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、複数の方向転換用ローラユニットによって第１浮上搬送装置から基板を受け取ることができる。
【０００８】
複数の方向転換用ローラユニットによって第１浮上搬送装置から基板を受け取った後に、方向転換用回転モータの駆動を停止すると共に、各吸引用ファンの稼動状態を停止して各第２方向転換用ローラケースの内部を負圧状態から常圧状態に切り替える。次に、各高さ変更アクチュエータの駆動により各方向転換用ローラの高さ位置を支持高さ位置から待避高さ位置に変更して、各姿勢変更アクチュエータの駆動により各方向転換用ローラの姿勢を第１ローラ姿勢から第２ローラ姿勢に変更する。更に、各高さ変更アクチュエータの駆動により各方向転換用ローラの高さ位置を待避高さ位置から支持高さ位置に変更して、各吸引用ファンを稼動して各第２方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、方向転換用回転モータの駆動により複数の方向転換用ローラを第１搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、基板の搬送方向を第１搬送方向から第２搬送方向に転換して、複数の方向転換用ローラユニットによって第２浮上搬送装置へ基板を送り出すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−２５４９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、前述のように、先行技術に係る搬送方向転換装置にあっては、複数の方向転換用ローラユニットによって第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから第２浮上搬送装置に送り出す前に、各方向転換用ローラの高さ位置を支持高さ位置から待避高さ位置に変更する動作、各方向転換用ローラの姿勢を第１姿勢から第２姿勢に変更する動作、及び各方向転換用ローラの高さ位置を待避高さ位置から支持高さ位置に変更する動作が必要になる。そのため、基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、第２搬送方向へ浮上搬送する搬送時間（作業時間）が長くなり、基板の浮上搬送に関する作業能率を十分に高めることができないという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の搬送方向転換装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の特徴は、基板を第１搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置において、方向転換装置本体に設けられ、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を基準の浮上高さ位置まで浮上させる複数の浮上ユニットと、前記方向転換装置本体に前記第１搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第１方向転換用ローラケース、及び前記第１方向転換用ローラケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第１方向転換用ローラを備え、前記第１方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなって、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取る複数の第１方向転換用ローラユニットと、複数の前記第１方向転換用ローラユニットにおける前記第１方向転換用ローラを回転させる第１方向転換用回転アクチュエータと、前記方向転換装置本体に前記第２搬送方向に沿って配設され、上側が開口されかつ内部が負圧状態と常圧状態とに切り替え可能な第２方向転換用ローラケース、及び前記第２方向転換用ローラケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられかつ基板の裏面を支持する第２方向転換用ローラを備え、前記第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなって、前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出す複数の第２方向転換用ローラユニットと、複数の前記第２方向転換用ローラユニットにおける前記第２方向転換用ローラを回転させる第２方向転換用回転アクチュエータと、を具備したことを要旨とする。
【００１３】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、同様に、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に配設されたことを含む意である。また、「支持する」とは、直接的に支持することの他に、間接的に支持することも含む意であって、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。
【００１４】
第１の特徴によると、各第２方向転換用ローラケースの内部を常圧状態に保ちつつ、各第１方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記第１方向転換用回転アクチュエータの駆動により複数の前記第１方向転換用ローラを前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と前記第２方向転換用ローラとの間に隙間を形成する一方、基板の裏面と前記第１方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、複数の前記第１方向転換用ローラユニットによって前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ることができる。
【００１５】
複数の前記第１方向転換用ローラユニットによって基板を受け取った後に、前記第１方向転換用回転アクチュエータの駆動を停止すると共に、各第２方向転換用ローラケースの内部を常圧状態から負圧状態に、各第１方向転換用ローラケースの内部を負圧状態から常圧状態にそれぞれ切り替える。そして、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記第２方向転換用回転アクチュエータの駆動により複数の前記第２方向転換用ローラを前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板の裏面と前記第１方向転換用ローラとの間に隙間を形成する一方、基板の裏面と前記第２方向転換用ローラとの接触圧を十分に確保しつつ、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向に転換して、複数の前記第２方向転換用ローラユニットによって前記第２浮上搬送装置へ基板を送り出すことができる。
【００１６】
要するに、各第１方向転換用ローラケース内に前記第１方向転換用ローラが前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第２方向転換用ローラケース内に前記第２方向転換用ローラが前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第１方向転換用ローラ及び各第２方向転換用ローラの高さ位置が前記基準の浮上高さ位置よりも低くなっているため、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの高さ位置を変更したり、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの姿勢を変更したりすることなく、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから前記第２浮上搬送装置に送り出すことができる。
【００１７】
本発明の第２の特徴は、基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送システムにおいて、基板を前記第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置と、前記第１浮上搬送装置の近傍に配設され、基板を前記第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置と、前記第１浮上搬送装置と前記第２浮上搬送装置との中継領域に配設され、第１の特徴からなる搬送方向転換装置と、を具備したことを要旨とする。
【００１８】
ここで、前記第１浮上搬送装置又は前記第２浮上搬送装置の構成の中に前記搬送方向転換装置が含まれていても構わない。
【００１９】
なお、第２の特徴においても、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの高さ位置を変更したり、前記第１方向転換用ローラ及び前記第２方向転換用ローラの姿勢を変更したりすることなく、前記第１浮上搬送装置から基板を受け取ってから前記第２浮上搬送装置に送り出すことができるため、基板を前記第１搬送方向へ浮上搬送して、前記第２搬送方向へ浮上搬送する搬送時間を短縮することができ、基板の浮上搬送に関する作業能率を十分に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る浮上搬送システムの平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る搬送方向転換装置の平面図である。
【図３】図２におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図２におけるIV-IV線に沿った断面図である。
【図５】図１におけるV-V線に沿った断面図である。
【図６】図１におけるVI-VI線に沿った断面図である。
【図７】本発明の実施形態の変形例に係る搬送方向転換装置の断面図であって、図２におけるIII-III線に沿った断面図に相当する図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例に係る搬送方向転換装置の断面図であって、図２におけるIII-III線に沿った断面図に相当する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００２３】
図１に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送システム１は、クリーン搬送の分野で用いられ、例えばガラス基板等の基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１（本発明の実施形態にあっては、左右方向）へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）して、第１搬送方向Ｄ１に対して直交する第２搬送方向Ｄ２（本発明の実施形態にあっては、前後方向）へ浮上搬送するシステムである。そして、浮上搬送システム１について概説すると、次のようになる。
【００２４】
即ち、浮上搬送システム１は、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ浮上搬送する第１浮上搬送装置３を具備しており、この第１浮上搬送装置３の近傍には、基板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ浮上搬送する第２浮上搬送装置５が配設されている。そして、第１浮上搬送装置３の下流側（搬出側）と第２浮上搬送装置５の上流側（搬入側）との中継領域（中間領域）には、搬送方向転換装置７が配設されており、この搬送方向転換装置７は、第１浮上搬送装置３から基板Ｗを受け取って第２浮上搬送装置５へ基板Ｗを送り出す際に、基板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２へ転換するものである。
【００２５】
浮上搬送システム１の第１浮上搬送装置３の具体的な構成は、次のようになる。
【００２６】
即ち、図１及び図５に示すように、第１浮上搬送装置３は、第１搬送方向Ｄ１へ延びた第１搬送装置本体９を具備しており、この第１搬送装置本体９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。また、第１搬送装置本体９には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数のチャンバー１１が第１搬送方向Ｄ１に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されており（各列の下流側のチャンバー１１のみを図示）、各チャンバー１１の下面には、チャンバー１１内に圧縮空気を供給する供給ファン１３（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられている。
【００２７】
各チャンバー１１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを基準の浮上高さ位置ＬＰまで浮上させる中空状の浮上ユニット１５が設けられており、換言すれば、第１搬送装置本体９には、複数の浮上ユニット１５が複数のチャンバー１１を介して設けられている。ここで、各浮上ユニット１５の内部は、チャンバー１１に連通してあって、各浮上ユニット１５は、チャンバー１１を介して供給ファン１３に接続されている。そして、各浮上ユニット１５の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル１５ｎが浮上ユニット１５の平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット１５の上面と基板Ｗの裏面との間に略均一な圧力の圧力溜まり層（空気溜まり層）Ｔを生成するため、各ノズル１５ｎは、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１５の上面に垂直な方向）に対してユニット中心側（浮上ユニット１５の中心側）へ傾斜するようになっている。
【００２８】
なお、枠状のノズル１５ｎが浮上ユニット１５の平面視形状に沿って形成されるの代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが浮上ユニット１５の平面視形状に沿って形成されるようにしても構わない。
【００２９】
第１搬送装置本体９には、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ搬送する複数の第１搬送用ローラユニット１７が第１搬送方向Ｄ１に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている（各列の下流側の第１搬送用ローラユニット１７のみを図示）。そして、各第１搬送用ローラユニット１７の具体的な構成は、次のようになる。
【００３０】
即ち、第１搬送装置本体９には、第１搬送用ローラケース１９が設けられており、この第１搬送用ローラケース１９の上側は、開口（開放）されてあって、第１搬送用ローラケース１９の下面には、第１搬送用吸引穴１９ｈが形成されている。また、第１搬送用ローラケース１９の下面には、第１搬送用吸引穴１９ｈから第１搬送用ローラケース１９内の空気を吸引する第１搬送用吸引ファン２１が設けられており、第１搬送用吸引ファン２１を稼動したり又は第１搬送用吸引ファン２１の稼動状態を停止したりすることにより、第１搬送用ローラケース１９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。
【００３１】
第１搬送用ローラケース１９内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第１搬送用ローラ２３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、この第１搬送用ローラ２３は、第１搬送用ローラケース１９の最上部に対して上方向へ突出しており、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰは、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第１搬送用ローラケース１９の適宜位置には、第１搬送用ローラ２３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる第１搬送用回転モータ（第１搬送用回転アクチュエータの一例）２５が設けられており、この第１搬送用回転モータ２５の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第１搬送用連動機構２７を介して第１搬送用ローラ２３の回転軸に連動連結してある。
【００３２】
なお、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰを基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くする代わりに、基準の浮上高さ位置ＬＰと同じにしても構わなく、第１搬送用ローラユニット１７の一部を構成する第１搬送用回転モータ２５を省略して、第１搬送装置本体９の適宜位置に複数の第１搬送用ローラユニット１７における第１搬送用ローラ２３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる別の第１搬送用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。
【００３３】
浮上搬送システム１の第２浮上搬送装置５の具体的な構成は、次のようになる。
【００３４】
即ち、図１及び図６に示すように、第１浮上搬送装置３の近傍には、第２搬送方向Ｄ２へ延びた第２搬送装置本体２９が配設されており、この第２搬送装置本体２９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。また、第２搬送装置本体２９には、圧縮空気を収容する複数のチャンバー３１が第２搬送方向Ｄ２に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されており（各列の上流側のチャンバー３１のみを図示）、各チャンバー３１の下面には、チャンバー３１内に圧縮空気を供給する供給ファン３３（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられている。
【００３５】
各チャンバー３１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを基準の浮上高さ位置ＬＰまで浮上させる中空状の浮上ユニット３５が設けられており、換言すれば、第２搬送装置本体２９には、複数の浮上ユニット３５が複数のチャンバー３１を介して設けられている。ここで、各浮上ユニット３５の内部は、チャンバー３１に連通してあって、各浮上ユニット３５は、チャンバー３１を介して供給ファン３３に接続されている。そして、各浮上ユニット３５の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル３５ｎが浮上ユニット３５の平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット３５のノズル３５ｎは、浮上ユニット１５のノズル１５ｎと略同じ構成を有している。
【００３６】
第２搬送装置本体２９には、基板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ搬送する複数の第２搬送用ローラユニット３７が第２搬送方向Ｄ２に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている（各列の上流側の第２搬送用ローラユニット３７のみを図示）。そして、各第２搬送用ローラユニット３７の具体的な構成は、次のようになる。
【００３７】
即ち、第２搬送装置本体２９には、第２搬送用ローラケース３９が設けられており、この第２搬送用ローラケース３９の上側は、開口されてあって、第２搬送用ローラケース３９の下面には、第２搬送用吸引穴３９ｈが形成されている。また、第２搬送用ローラケース３９の下面には、第２搬送用吸引穴３９ｈから第２搬送用ローラケース３９内の空気を吸引する第２搬送用吸引ファン４１が設けられており、第２搬送用吸引ファン４１を稼動したり又は第２搬送用吸引ファン４１の稼動状態を停止したりすることにより、第２搬送用ローラケース３９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。
【００３８】
第２搬送用ローラケース３９内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第２搬送用ローラ４３が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、第２搬送用ローラ４３は、第２搬送用ローラケース３９の最上部に対して上方向へ突出しており、第２搬送用ローラ４３の高さ位置ＳＰは、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰと同じであって、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第２搬送用ローラケース３９の適宜位置には、第２搬送用ローラ４３を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる第２搬送用回転モータ（第２搬送用回転アクチュエータの一例）４５が設けられており、この第２搬送用回転モータ４５の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第２搬送用連動機構４７を介して第２搬送用ローラ４３の回転軸に連動連結してある。
【００３９】
なお、第２搬送用ローラ４３の高さ位置ＳＰを基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くする代わりに、基準の浮上高さ位置ＬＰと同じにしても構わなく、第２搬送用ローラユニット３７の一部を構成する第２搬送用回転モータ４５を省略して、第２搬送装置本体２９の適宜位置に複数の第２搬送用ローラユニット３７における第２搬送用ローラ４３を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる別の第２搬送用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。
【００４０】
浮上搬送システム１の搬送方向転換装置７の具体的な構成は、次のようになる。
【００４１】
即ち、図１から図４に示すように、第１浮上搬送装置３と第２浮上搬送装置５の中継領域には、方向転換装置本体４９が配設されており、この方向転換装置本体４９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。また、方向転換装置本体４９には、圧縮空気を収容する複数（本発明の実施形態にあっては、４つ）のチャンバー５１が略均等に配設されており、各チャンバー５１の下面には、チャンバー５１内に圧縮空気を供給する供給ファン５３（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられている。
【００４２】
各チャンバー５１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを基準の浮上高さ位置ＬＰまで浮上させる中空状の浮上ユニット５５が設けられており、換言すれば、方向転換装置本体４９には、複数の浮上ユニット５５が複数のチャンバー５１を介して設けられている。ここで、各浮上ユニット５５の内部は、チャンバー５１に連通してあって、各浮上ユニット５５は、チャンバー５１を介して供給ファン５３に接続されている。そして、各浮上ユニット５５の上面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル５５ｎが浮上ユニット５５の平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット５５のノズル５５ｎは、浮上ユニット１５のノズル１５ｎと略同じ構成を有している。
【００４３】
方向転換装置本体４９には、第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取る複数の第１方向転換用ローラユニット５７が第１搬送方向Ｄ１に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている。そして、各第１方向転換用ローラユニット５７の具体的な構成は、次のようになる。
【００４４】
即ち、方向転換装置本体４９には、第１方向転換用ローラケース５９が設けられており、この第１方向転換用ローラケース５９の上側は、開口されてあって、第１方向転換用ローラケース５９の下面には、第１方向転換用吸引穴５９ｈが形成されている。また、第１方向転換用ローラケース５９の下面には、第１方向転換用吸引穴５９ｈから第１方向転換用ローラケース５９内の空気を吸引する第１方向転換用吸引ファン６１が設けられており、第１方向転換用吸引ファン６１を稼動したり又は第１方向転換用吸引ファン６１の稼動状態を停止したりすることにより、第１方向転換用ローラケース５９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。
【００４５】
第１方向転換用ローラケース５９内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第１方向転換用ローラ６３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、第１方向転換用ローラ６３は、第１方向転換用ローラケース５９の最上部に対して上方向へ突出しており、第１方向転換用ローラ６３の高さ位置ＳＰは、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰと同じであって、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第１方向転換用ローラケース５９の適宜位置には、第１方向転換用ローラ６３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる第１方向転換用回転モータ（第１方向転換用回転アクチュエータの一例）６５が設けられており、この第１方向転換用回転モータ６５の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第１方向転換用連動機構６７を介して第１方向転換用ローラ６３の回転軸に連動連結してある。
【００４６】
なお、第１方向転換用ローラユニット５７の一部を構成する第１方向転換用回転モータ６５を省略して、方向転換装置本体４９の適宜位置に複数の第１方向転換用ローラユニット５７における第１方向転換用ローラ６３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる別の第１方向転換用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。
【００４７】
方向転換装置本体４９には、第２浮上搬送装置５の上流側へ基板Ｗを送り出す複数の第２方向転換用ローラユニット６９が第２搬送方向Ｄ２に沿って列状（本発明の実施形態にあっては、２列）に配設されている。そして、各第２方向転換用ローラユニット６９の具体的な構成は、次のようになる。
【００４８】
即ち、方向転換装置本体４９には、第２方向転換用ローラケース７１が設けられており、この第２方向転換用ローラケース７１の上側は、開口されてあって、第２方向転換用ローラケース７１の下面には、第２方向転換用吸引穴７１ｈが形成されている。また、第２方向転換用ローラケース７１の下面には、第２方向転換用吸引穴７１ｈから第２方向転換用ローラケース７１内の空気を吸引する第２方向転換用吸引ファン７３が設けられており、第２方向転換用吸引ファン７３を稼動したり又は第２方向転換用吸引ファン７３の稼動状態を停止したりすることにより、第２方向転換用ローラケース７１の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。
【００４９】
第２方向転換用ローラケース７１内には、基板Ｗの裏面を直接的に支持する第２方向転換用ローラ７５が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、第２方向転換用ローラ７５は、第２方向転換用ローラケース７１の最上部に対して上方向へ突出しており、第２方向転換用ローラ７５の高さ位置ＳＰは、第１搬送用ローラ２３の高さ位置ＳＰと同じであって、基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっている。そして、第２方向転換用ローラケース７１の適宜位置には、第２方向転換用ローラ７５を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる第２方向転換用回転モータ（第２方向転換用回転アクチュエータの一例）７７が設けられており、この第２方向転換用回転モータ７７の出力軸は、一対のプーリ及びタイミングベルトからなる第２方向転換用連動機構７９を介して第２方向転換用ローラ７５の回転軸に連動連結してある。
【００５０】
なお、第２方向転換用ローラユニット６９の一部を構成する第２方向転換用回転モータ７７を省略して、方向転換装置本体４９の適宜位置に複数の第２方向転換用ローラユニット６９における第２方向転換用ローラ７５を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる別の第２方向転換用回転モータ等が設けられるようにしても構わない。
【００５１】
方向転換装置本体４９の右側の適宜位置には、反射型光電センサ８１が設けられており、この反射型光電センサ８１は、投光した信号光の反射を監視することにより、複数の第１方向転換用ローラユニット５７によって第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取ったことを検出するものである。また、反射型光電センサ８１は、第１方向転換用吸引ファン６１、第１方向転換用回転モータ６５、第２方向転換用吸引ファン７３、及び第２方向転換用回転モータ７７等を制御するコントローラ（図示省略）に電気的に接続されている。
【００５２】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５３】
各供給ファン１３を稼動して各浮上ユニット１５のノズル１５ｎから圧縮空気を噴出させる。また、各第１搬送用吸引ファン２１を稼動して各第１搬送用ローラケース１９の内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、各第１搬送用回転モータ２５の駆動により各第１搬送用ローラ２３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の第１搬送用ローラ２３との接触圧を十分に確保しつつ、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ浮上搬送することができる。
【００５４】
基板Ｗが第１浮上搬送装置３の下流側の所定位置を通過する前に、各第２方向転換用ローラケース７１の内部を常圧状態に保ちつつ、各第１方向転換用吸引ファン６１を稼動して各第１方向転換用ローラケース５９の内部を常圧状態から負圧状態に切り替える。そして、各供給ファン５３を稼動して各浮上ユニット５５のノズル５５ｎから圧縮空気を噴出させつつ、各第１方向転換用回転モータ６５の駆動により各第１方向転換用ローラ６３を第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と第２方向転換用ローラ７５との間に隙間（図３参照）を形成する一方、基板Ｗの裏面と第１方向転換用ローラ６３との接触圧を十分に確保しつつ、複数の第１方向転換用ローラユニット５７によって第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取ることができる。
【００５５】
複数の第１方向転換用ローラユニット５７によって基板Ｗを受け取った後に（換言すれば、反射型光電センサ８１から検出信号が出力されると）、第１方向転換用回転モータ６５の駆動を停止すると共に、各第２方向転換用吸引ファン７３を稼動して各第２方向転換用ローラケース７１の内部を常圧状態から負圧状態に、各第１方向転換用吸引ファン６１の稼動状態を停止して各第１方向転換用ローラケース５９の内部を負圧状態から常圧状態にそれぞれ切り替える。そして、各浮上ユニット５５のノズル５５ｎから圧縮空気を噴出させつつ、第２方向転換用回転モータ７７の駆動により複数の第２方向転換用ローラ７５を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と第１方向転換用ローラ６３との間に隙間（図４参照）を形成する一方、基板Ｗの裏面と第２方向転換用ローラ７５との接触圧を十分に確保しつつ、基板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２に転換して、複数の第２方向転換用ローラユニット６９によって第２浮上搬送装置５の上流側へ基板Ｗを送り出すことができる。
【００５６】
複数の第２方向転換用ローラユニット６９によって第２浮上搬送装置５の上流側へ基板Ｗを送り出す前又は送り出す際に、各供給ファン３３を稼動して各浮上ユニット３５のノズル３５ｎから圧縮空気を噴出させる。また、各第２搬送用吸引ファン４１を稼動して各第２搬送用ローラケース３９の内部を常圧状態から負圧状態に適宜に切り替えると共に、各第２搬送用回転モータ４５の駆動により各第２搬送用ローラ４３を第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の第２搬送用ローラ４３との接触圧を十分に確保しつつ、基板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ浮上搬送することができる。
【００５７】
要するに、各第１方向転換用ローラケース５９内に第１方向転換用ローラ６３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第２方向転換用ローラケース７１内に第２方向転換用ローラ７５が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第１方向転換用ローラ６３及び各第２方向転換用ローラ７５の高さ位置が基準の浮上高さ位置ＬＰよりも低くなっているため、第１方向転換用ローラ６３及び第２方向転換用ローラ７５の高さ位置を変更したり、第１方向転換用ローラ６３及び第２方向転換用ローラ７５の姿勢を変更したりすることなく、第１浮上搬送装置３の下流側から基板Ｗを受け取ってから第２浮上搬送装置５の上流側に送り出すことができる。
【００５８】
従って、本発明の実施形態によれば、基板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ浮上搬送して、第２搬送方向Ｄ２へ浮上搬送する搬送時間を短縮することができ、基板Ｗの浮上搬送に関する作業能率を十分に高めることができる。
【００５９】
（変形例）
本発明の実施形態の変形例について図７及び図８を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００６０】
図７及び図８に示すように、各第１方向転換用ローラケース５９には、第１方向転換用ローラケース５９の第１方向転換用吸引穴５９ｈを開閉する第１方向転換用シャッタ８３が設けられている。また、各第１方向転換用ローラケース５９の適宜位置には、第１方向転換用シャッタ８３の開閉動作（開放方向へ移動）させるロッドレス型の第１方向転換用開閉シリンダ（第１方向転換用開閉アクチュエータの一例）８５が設けられており、各第１方向転換用開閉シリンダ８５は、開閉方向へ移動可能な可動子８７を備えてあって、各第１方向転換用開閉シリンダ８５における可動子８７は、第１方向転換用シャッタ８３の適宜位置に連結してある。そして、第１方向転換用シャッタ８３による開閉動作によって、第１方向転換用ローラケース５９の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。
【００６１】
同様に、各第２方向転換用ローラケース７１には、第２方向転換用ローラケース７１の第２方向転換用吸引穴７１ｈを開閉する第２方向転換用シャッタ８９が設けられている。また、各第２方向転換用ローラケース７１の適宜位置には、第２方向転換用シャッタ８９の開閉動作させるロッドレス型の第２方向転換用開閉シリンダ（第２方向転換用開閉アクチュエータの一例）９１が設けられており、各第２方向転換用開閉シリンダ９１は、開閉方向へ移動可能な可動子９３を備えてあって、各第２方向転換用開閉シリンダ９１における可動子８７は、第２方向転換用シャッタ８９の適宜位置に連結してある。そして、第２方向転換用シャッタ８９による開閉動作によって、第２方向転換用ローラケース７１の内部を負圧状態と常圧状態とに切り替え可能になっている。
【００６２】
ここで、本発明の実施形態の変形例においても、前述の本発明の実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏する。
【００６３】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００６４】
Ｄ１    第１搬送方向
Ｄ２    第２搬送方向
ＬＰ    基準の浮上高さ位置
ＳＰ    浮上ユニットの高さ位置
Ｗ      基板
１      浮上搬送システム
３      第１浮上搬送装置
５      第２浮上搬送装置
７      搬送方向転換装置
９      第１搬送装置本体
１５      浮上ユニット
１５ｎ    ノズル
１７      第１搬送用ローラユニット
１９      第１搬送用ローラケース
２３      第１搬送用ローラ
２５      第１搬送用回転モータ
２９      第２搬送装置本体
３５      浮上ユニット
３５ｎ    ノズル
３７      第２搬送用ローラユニット
３９      第２搬送用ローラケース
４３      第２搬送用ローラ
４５      第２搬送用回転モータ
４９      方向転換装置本体
５５      浮上ユニット
５５ｎ    ノズル
５７      第１方向転換用ローラユニット
５９      第１方向転換用ローラケース
５９ｈ    第１方向転換用吸引穴
６１      第１方向転換用吸引ファン
６３      第１方向転換用ローラ
６５      第１方向転換用回転モータ
６９      第２方向転換用ローラユニット
７１      第２方向転換用ローラケース
７１ｈ    第２方向転換用吸引穴
７３      第２方向転換用吸引ファン
７５      第２方向転換用ローラ
７７      第２方向転換用回転モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2010245336.tif 000007
【図６】
2010245336.tif 000008
【図７】
2010245336.tif 000009
【図８】
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