(57)【要約】【課題】光走査素子固有の共振により生じるリンギングを抑制して、光の走査品質を向上させることができる光走査装置及び画像表示装置を提供する。【解決手段】コイルと磁石の電磁作用によって反射ミラーを揺動する光走査素子５とこの光走査素子５のコイルに駆動信号を印加する駆動部６とを備え、光走査素子５固有の共振により光走査素子５のコイルにおいて発生する共振成分に同調して当該共振成分の電力を消費する負荷となる同調回路７を設けた。【選択図】図１
2010256415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルの電磁作用によって反射ミラーを揺動する光走査素子と、前記コイルに駆動信号を印加する駆動部と、を備えた光走査装置において、
前記光走査素子固有の共振により前記コイルにおいて発生する共振成分に同調して当該共振成分の電力を消費する負荷となる同調回路を備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記同調回路を前記コイルへ接続するスイッチを備え、
前記駆動部は、前記反射ミラーで光を走査しない無効走査期間においては前記スイッチを短絡状態にして前記同調回路を前記コイルに接続し、前記反射ミラーで光を走査する有効走査期間においては前記スイッチを開放状態にして前記同調回路を前記コイルから切断する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記同調回路には、前記光走査素子の共振周波数への同調度が相対的に高い第１同調回路と、前記同調度が相対的に低い第２同調回路とを含み、
前記駆動部は、前記反射ミラーで光を走査しない無効走査期間においては前記第１同調回路を前記コイルへ接続し、前記反射ミラーで光を走査する有効走査期間においては前記第２同調回路を前記コイルに接続する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記駆動信号中に含まれる前記光走査素子固有の共振周波数の成分を低減する低減手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記同調回路に生じる電流又は電圧に基づいて前記光走査素子の共振状態を検出する共振検出部を備えることを特徴とする請求項４に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記駆動部は、前記共振検出部で検出した前記光走査素子の共振状態に基づいて、前記低減手段を制御することを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記同調回路を前記コイルと電磁結合するように設けたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項８】
前記同調回路を前記駆動部によって駆動される前記コイルに直列に接続したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項９】
画像信号に応じて変調した画像光を出射する光出射部と、請求項１〜８のいずれか１項に記載の光走査装置とを備え、前記光出射部から出射する画像光を前記光走査装置で走査することにより画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
【請求項１０】
前記光走査装置で走査した画像光をユーザの少なくとも一方の眼の網膜に投射する投射光学系を備えたことを特徴とする請求項９に記載の画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置及び画像表示装置に関し、特に、コイルの電磁作用によって反射ミラーを揺動する光走査素子と、前記コイルに駆動信号を印加する駆動部とを備えた光走査装置及び画像表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガルバノミラーなどの光走査素子を用いて光を走査する光走査装置が知られている。
【０００３】
この光走査装置を利用した画像表示装置として、例えば、画像信号に応じた強度のレーザ光（以下、「画像光」という。）を２次元走査して画像を表示する光走査型画像表示装置が知られている。
【０００４】
この種の光走査型画像表示装置では、画像光を第１の光走査素子の反射ミラーで水平方向に走査し、その水平方向に走査された画像光を第２の光走査素子の反射ミラーで垂直方向に走査を行なうことで、画像を表示する。
【０００５】
例えば、特許文献１に記載の画像表示装置では、第１の光走査素子の反射ミラーを共振モードで揺動させることにより画像光を水平方向に往復走査し、第２の光走査素子の反射ミラーを非共振モードで鋸波状に駆動させることによりその走査された画像光を垂直方向へ走査する。
【０００６】
垂直方向の走査は、このように光走査素子の反射ミラーを鋸波状に駆動することによって行なうものであるが、光走査素子の反射ミラーは弾性のある梁部材を介して固定部材に揺動可能に支持されているため、反射ミラー及び梁部材で決まる固有の共振周波数が存在する。
【０００７】
従って、光走査素子の反射ミラーを駆動する信号波形に光走査素子固有の共振周波数が含まれていると、光走査素子において共振振動（以下、「リンギング」ともいう。）が発生する。そして、この共振振動により反射ミラーの揺動に固有共振の成分が重畳してしまい、光走査を適切に行なうことができない事態が生じる（図４参照。）。
【０００８】
そこで、従来の光走査装置や画像表示装置では、光走査素子の反射ミラーを非共振モードで強制的に駆動する駆動信号であって、鋸波形状の波形（以下、「鋸波形」とする。）信号にノッチフィルタ等によるフィルタリング処理を行なった駆動信号を生成する（特許文献２参照。）ことにより、共振振動を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２７６３９９号公報
【特許文献２】特開２００４−３６１９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、光走査素子固有の共振特性において、そのＱ（クオリティーファクター）値が高い場合には、フィルタを用いて光走査素子のリンギングを抑えることが難しく、そのため、このリンギングによってリニアな走査ができずに画像に明暗模様が出てしまうおそれがある。また、前述した従来の方法では、駆動波形自体は共振を誘起しないものの発生してしまった共振を抑制するのは難しいことから、振動などの外乱によって生じた固有の共振は、共振が収束するのを待つしかないのが現状であった。
【００１１】
そこで、本発明は、光走査素子固有の共振により生じるリンギングを抑制して、光の走査品質を向上させることができる光走査装置及び画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、コイルの電磁作用によって反射ミラーを揺動する光走査素子と、前記コイルに駆動信号を印加する駆動部と、を備えた光走査装置において、前記光走査素子固有の共振により前記コイルにおいて発生する共振成分に同調して当該共振成分の電力を消費する負荷となる同調回路を備えたものである。
【００１３】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光走査装置において、前記同調回路を前記コイルへ接続するスイッチを備え、前記駆動部は、前記反射ミラーで光を走査しない無効走査期間においては前記スイッチを短絡状態にして前記同調回路を前記コイルに接続し、前記反射ミラーで光を走査する有効走査期間においては前記スイッチを開放状態にして前記同調回路を前記コイルから切断する制御を行うものである。
【００１４】
また、請求項３に係る発明は、請求項１に記載の光走査装置において、前記同調回路には、前記光走査素子の共振周波数への同調度が相対的に高い第１同調回路と、前記同調度が相対的に低い第２同調回路とを含み、前記駆動部は、前記反射ミラーで光を走査しない無効走査期間においては前記第１同調回路を前記コイルへ接続し、前記反射ミラーで光を走査する有効走査期間においては前記第２同調回路を前記コイルに接続する制御を行うものである。
【００１５】
また、請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光走査装置において、前記駆動部は、前記駆動信号中に含まれる前記光走査素子固有の共振周波数の成分を低減する低減手段を備えるものである。
【００１６】
また、請求項５に係る発明は、請求項４に記載の光走査装置において、前記同調回路に生じる電流又は電圧に基づいて前記光走査素子の共振状態を検出する共振検出部を備えるものである。
【００１７】
また、請求項６に係る発明は、請求項５に記載の光走査装置において、前記駆動部は、前記共振検出部で検出した前記光走査素子の共振状態に基づいて、前記低減手段を制御するものである。
【００１８】
また、請求項７に係る発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の光走査装置において、前記同調回路を前記コイルと電磁結合するように設けたものである。
【００１９】
また、請求項８に係る発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の光走査装置において、前記同調回路を前記駆動部によって駆動される前記コイルに直列に接続したものである。
【００２０】
また、請求項９に係る発明は、画像信号に応じて変調した画像光を出射する光出射部と、請求項１〜８のいずれか１項に記載の光走査装置とを備え、前記光出射部から出射する画像光を前記光走査装置で走査することにより画像を表示することを特徴とする画像表示装置である。
【００２１】
また、請求項９に係る発明は、請求項９に記載の画像装置において、前記光走査装置で走査した画像光をユーザの少なくとも一方の眼の網膜に投射する投射光学系を備えたものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、光走査素子固有の共振により生じるリンギングを抑制して、光走査の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係る光走査装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る光走査素子の構成を示す図である。
【図３】図２に示す光走査素子を駆動させるための駆動信号の波形を示す図である。
【図４】光走査素子の反射部に生じるリンギングの説明図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る光走査装置の同調回路の説明図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る光走査装置の構成を示す図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る画像表示装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、本発明のいくつかの実施形態について図面に基づいて説明する。以下の説明では、本発明の一実施形態に係る光走査装置及びこの光走査装置を適用した画像表示装置について説明する。
【００２５】
［１．光走査装置］
まず、本発明の一実施形態に係る光走査装置について図面を参照して説明する。
【００２６】
図１に示すように、光走査装置１は、当該光走査装置１全体を制御し、画像信号Ｓに応じた画像変調信号Ｓａを出力する制御部２と、この制御部２から出力される画像変調信号Ｓａに基づき画像信号Ｓに応じた強度のレーザ光（以下、「画像光」ともいう。）を出射する光出射部３と、この光出射部３から出射されたレーザ光を走査する光走査部４とを備えている。
【００２７】
光走査部４は、ガルバノミラーなどの光走査素子（偏向素子）５とこの光走査素子５を駆動させるための駆動信号Ｓ１を生成する駆動部６などを含んでおり、制御部２から入力される制御信号（同期信号、パラメータ調整信号、ＯＮ／ＯＦＦ信号など）に基づいて動作する。
【００２８】
光走査素子５は、コイル１５の電磁作用によって反射ミラー５ｂ（偏向面）を非共振モードで強制的に揺動（回転）することができる電磁駆動方式の光走査素子（光スキャナ）である。
【００２９】
図２（ａ）に光走査素子５の模式的な斜視図を示し、図２（ｂ）は光走査素子５の模式的な背面図を示す。
【００３０】
同図に示すように、光走査素子５の反射部５ａは四角形状を有し、その表面に反射ミラー５ｂが形成されている。反射部５ａは２辺に連結する支持部１２により支持され、支持部１２は枠１１に連結して支持されている。つまり、反射部５ａは２つの支持部１２を介して枠１１に揺動可能に支持されている。
【００３１】
反射部５ａの揺動軸９に平行な２辺に近接して永久磁石１３が設置されている。永久磁石１３の磁界は、静止状態の反射部５ａの反射ミラー５ｂに平行で、揺動軸９に直行する方向である。反射部５ａの反射ミラー５ｂと反対側の裏面にはコイル１５が形成されている。コイル１５の電極は２つの支持部１２を介して外部に接続する。この構成により、コイル１５に電流を流すとコイル１５にその電流の大きさに応じたローレンツ力が働くので、その電流を周期的に変化させることでコイル１５を含む反射部５ａは、揺動軸９を中心として揺動することとなる。従って、電流の大きさ（振幅）を制御することにより、反射部５ａの揺動角を制御することができる。
【００３２】
この光走査素子５のコイル１５には、図３に示すような周期的に連続する鋸波形の駆動信号Ｓ１が印加され、これにより、コイル１５に鋸波形の電流が流れて反射部５ａが鋸波状に揺動する。
【００３３】
この光走査素子５の反射部５ａは弾性のある支持部１２を介して枠１１に揺動可能に支持されているため、反射部５ａ及び支持部１２で決まる固有の共振モードが存在する。なお、この固有の共振モードに基づく共振振動を固有共振振動（以下、「リンギング」ともいう。）といい、その固有共振振動の周波数のことを固有共振周波数ということとする。
【００３４】
従って、光走査素子５の反射ミラー５ｂを駆動する信号波形に光走査素子５固有の共振周波数（以下、「共振周波数ｆｒ」という。）の成分が含まれていると、光走査素子５において固有共振振動が発生し易い。そして、この固有共振振動が発生してしまうと、図４に示すように、反射ミラー５ｂの鋸波状の揺動に当該鋸波よりもより高周波のリンギングの成分が重畳してしまい、光走査を適切に行なうことができない事態が生じる。
【００３５】
そこで、本実施形態に係る光走査装置１では、光走査素子５によって駆動されるコイル１５と駆動部６との間に、光走査素子５固有の共振によりコイル１５において発生する共振成分に同調して当該共振成分の電力を消費する負荷となる同調回路７を設けている。
【００３６】
すなわち、光走査素子５固有の共振により反射部５ａにはリンギングが生じ、このリンギングによりコイル１５には固有共振の成分が重畳することになるが、上記のようにコイル１５に発生する固有共振の成分に同調して負荷となる同調回路７を設けることで、反射部５ａに生じるリンギングを抑制している。
【００３７】
この同調回路７は、図５に示すように、抵抗Ｒ、コンデンサＣ及びコイルＬが並列に接続された並列共振回路で構成しており、図６に示すように、その共振周波数（同調周波数でもある）ｆ０が光走査素子５固有の共振周波数ｆｒに一致するように各素子Ｒ，Ｃ，Ｌの定数が設定されている。
【００３８】
そのため、光走査素子５のリンギングによりコイル１５に生じる固有共振の成分はそのほとんどが同調回路７で消費されることになり、コイル１５の固有共振の成分が低減され、これにより光走査の品質を向上させることができる。
【００３９】
また、光出射部３から画像信号Ｓに応じたレーザ光が出射されないとき（以下、「無効走査期間」とする。）に、コイル１５へ印加される信号の波形（以下、「駆動波形」という。）には固有共振の成分を含む高周波成分が多いため、よりリンギングが発生しやすいことから、図７に示すように、駆動部６によって駆動されるコイル１５に同調回路７を直列に接続するスイッチＳｗ１を設けるようにしてもよい。なお、画像信号Ｓに基づいて、ユーザに視認可能に画像表示を行う期間が有効走査（有効表示）期間にあたり、それ以外は無効走査（無効表示）期間にあたるものとする。従って、表示終了位置から表示開始位置まで急速に戻す期間のことを帰線消去期間というが、これも無効表示期間の一例であり、また、光量調整のための所定光量のレーザ光が出射され走査される期間などもユーザが視認できないように走査光が遮蔽されていれば、無効走査期間にあたるといえる。
【００４０】
この場合、図８に示すように、駆動部６は、無効走査期間で、Ｓｗ１をＯＮ（短絡状態）とすることで同調回路７を駆動部６によって駆動されるコイル１５に直列に接続して、コイル１５に発生する固有共振成分のみを同調回路７で同調し消費させて、コイル１５に発生する固有共振成分を低減する。これにより、無効走査期間で固有共振成分を低減することができ、有効走査期間の始めから固有共振成分を低減して光走査の品質を向上させることができる。一方、光出射部３から出射されるレーザ光を走査するタイミング（有効走査期間）では、Ｓｗ１をＯＦＦ（開放状態）とすることで同調回路７を回路から切断して不要な電力消費を抑えるとともに有効走査期間の駆動波形の歪みを抑える。
【００４１】
また、図９及び図１０に示すように、同調回路７として、光走査素子５の共振周波数ｆｒへの同調度が相対的に高い第１同調回路７ａと、同調度が相対的に低い第２同調回路７ｂとを含むようにしてもよい。
【００４２】
この場合、図８に示すタイミングと同様に、駆動部６は、Ｓｗ２を制御し、無効走査期間においては第１同調回路７ａをコイル１５へ接続し、有効走査期間においては第２同調回路７ｂをコイル１５に接続する制御を行う。このようにすることで、無効走査期間では、同調度が相対的に高い第１同調回路７ａを接続することでコイル１５に発生する固有共振成分を同調回路７ａで同調し消費させてコイル１５の固有共振成分を相対的に低減することができる。一方、有効走査期間では、駆動信号Ｓ１中の固有共振の成分を含む高周波成分は少ないので同調度が相対的に低い第２同調回路７ｂを接続することで駆動波形の歪みを抑えることができる。
【００４３】
なお、光走査素子５が無効走査期間と有効走査期間とで異なる共振振動をするような場合には、第１同調回路７ａと第２同調回路７ｂとで同調する周波数を異なるように設定することもできる。
【００４４】
また、抵抗Ｒ（Ｒａ，Ｒｂ）に代えて又は抵抗Ｒと直列に、スピーカなどを接続するようにすることで、負荷として電力消費させて共振抑制を行わせるだけでなく、リンギングが大きいときにはその共振周波数ｆｒに応じた音が出力されるため、共振の強弱を容易に把握することができる。また、抵抗Ｒと直列に発光ダイオードなどを接続することにより、同様に負荷として電力消費させて共振抑制を行わせるだけでなく、リンギングが大きいときにはその共振周波数ｆｒに応じた強度の光を出力させるため、この場合も同様に、共振の強弱を容易に把握することができる。
【００４５】
上述においては、同調回路７をコイル１５に直列に接続するようにしたが、図１１に示すように、コイル１５と電磁結合させるような同調回路７’としてもよい。
【００４６】
すなわち、図１１に示す同調回路７’は、抵抗Ｒ’、コンデンサＣ’及びコイルＬ’を直列に接続した直列共振回路であり、反射部５ａにおいてコイル１５と磁気結合するコイルＬ’に抵抗Ｒ’及びコンデンサＣ’を接続することによって形成される。
【００４７】
この同調回路７’は、図１２に示すように、その共振周波数ｆ０が光走査素子５固有の共振周波数ｆｒに一致するように各素子Ｒ’，Ｃ’，Ｌ’の定数が設定されている。
【００４８】
なお、上述の同調回路７と同様に、スイッチを設け、有効走査期間において、この同調回路７’のコイル１５に対する電磁的結合を切断したり弱めたりしてもてもよく、同調度の異なる複数の同調回路７’を設けるようにしてもよい。
【００４９】
上述においては、同調回路７，７’により、光走査素子５のリンギングを抑制するようにしたが、さらに駆動部６において、駆動信号Ｓ１中の光走査素子５固有の共振周波数ｆｒの成分を低減する低減手段を設けてこの低減手段により共振周波数ｆｒの成分を低減した信号を駆動信号Ｓ１として出力するようにしてもよい。
【００５０】
図１３に、低減手段として光走査素子５固有の共振周波数ｆｒ成分を低減するフィルタ部２２を設けた駆動部６’を示す。
【００５１】
この駆動部６’では、駆動信号生成器２１で生成した駆動信号Ｓ１１がフィルタ部２２に入力され、共振周波数ｆｒ成分が低減された駆動信号Ｓ１を出力するようにしている。このフィルタ部２２は、光走査素子５固有の共振周波数ｆｒを減衰域の中心周波数ｆoとしたノッチフィルタ或いはカットオフ周波数を共振周波数ｆｒよりも低くしたローパスフィルタが設けられており、かかるフィルタにより共振周波数ｆｒ成分を低減している。
【００５２】
この駆動部６’では、同調回路７に生じる電流又は電圧に基づいて光走査素子５の共振状態を検出する共振検出部２３を備えており、この共振検出部２３は、光走査素子５の共振状態に基づいてフィルタ部２２のフィルタ機能をオン／オフする。
【００５３】
すなわち、共振検出部２３は、同調回路７に生じる電流又は電圧が所定値以下のとき、コイル１５に発生する固有共振の成分の同調回路７による減衰が不十分であると判定し、フィルタ部２２のフィルタ機能をオンにする。これにより、駆動信号生成器２１で生成した駆動信号Ｓ１１はフィルタ部２２により共振周波数ｆｒ成分が低減された駆動信号Ｓ１として、光走査素子５へ出力される。
【００５４】
一方、共振検出部２３は、同調回路７に生じる電流又は電圧が所定値以上のとき、コイル１５に発生する固有共振の成分の同調回路７による減衰が十分であると判定し、フィルタ部２２のフィルタ機能をオフにする。これにより、コイル１５に生じる共振周波数ｆｒ成分を所定範囲内に減衰させるとともに、フィルタ機能により駆動波形の歪みが生じるのを必要最小限に抑えることができ、光走査の品質を向上させることができる。
【００５５】
以上のように本実施形態に係る光走査装置１では、光走査素子５固有の共振によりコイル１５において発生する共振成分に同調して当該共振成分の電力を消費する負荷となる同調回路７，７’を設けており、これにより、光走査素子５固有の共振により生じるリンギングを抑制して、光走査の品質を向上させることができる。
【００５６】
［２．画像表示装置］
次に、光走査装置を備えた画像表示装置について説明する。
【００５７】
図１４に示すように、本実施形態に係る画像表示装置１００は、制御部２５、光出射部２６、光走査装置２７、接眼光学系２８を有している。
【００５８】
制御部２５は、外部からの画像信号Ｓが入力され、それに基づいて各色の画像変調信号Ｓａを画像処理手段により生成して光出射部２６へ出力する。光出射部２６は制御部２５から入力される画像変調信号Ｓａに応じた強度の各色のレーザ光（以下、「画像光」という。）を出射する。
【００５９】
一方、光走査装置２７は、光出射部２６から出射された画像光を水平方向Ｘと垂直方向Ｙとに２次元走査する。そして、このように２次元走査された画像光は接眼光学系２８（投射光学系）を介して、ユーザの眼７０の瞳孔に収束するように入射され、これにより画像信号Ｓに応じて出射される画像光が２次元走査されて形成される画像が網膜上に投影される。
【００６０】
光走査装置２７は、水平方向Ｘに反射ミラーを揺動可能な光走査素子３０と、垂直方向Ｙに反射ミラーを揺動可能な光走査素子５０とを有している。光走査素子３０は水平駆動部３１から出力される駆動信号によってその反射ミラーが揺動し、光走査素子５０は垂直駆動部５１から出力される駆動信号によってその反射ミラーが揺動する。  
【００６１】
この光走査装置２７にも上記光走査装置１と同様に同調回路５２が設けられており、これにより光走査素子５０固有の共振振動がそれぞれ低減されるため、ユーザの網膜に投影される画像の品質を向上させることができる。なお、同調回路５２の配置、機能及びバリエーションについては、上記光走査装置１の実施形態で説明した同調回路７，７’と同様であり、ここでは説明を省略する。なお、光走査素子３０と光走査素子５０との間には光走査素子３０で走査したレーザ光を光走査素子５０の反射ミラーに収束させるリレー光学系４０が設けられている。
【００６２】
ここでは、画像信号Ｓに基づく画像変調信号Ｓａに応じた強度のレーザ光を光走査装置により走査して、ユーザの少なくとも一方の網膜に画像を投影し、画像を表示する網膜走査型画像表示装置を例に挙げて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、画像情報に基づく画像変調信号Ｓａに応じた強度のレーザ光を走査部により走査することによって、投影対象となるスクリーン上に画像を投影表示するスクリーン走査型画像表示装置等、レーザ光を走査して画像を表示する他の画像表示装置に対しても適用することができる。
【００６３】
また、上述においては、同調回路のＯＮ／ＯＦＦや同調特性の切り替えを急速に行う例を示したが、無効走査期間内で緩やかに特性が変化する等構成であっても良いし、また、特性が予め規定された所定の変化をするよう構成しても良い。
【００６４】
以上、本発明の実施の形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。
【００６５】
本発明を、上述してきた実施形態を通して説明したが、本実施形態の光走査装置及び画像表示装置によれば、以下の効果が期待できる。
【００６６】
（１）コイル１５の電磁作用によって反射ミラーを揺動する光走査素子５，５０と、コイル１５に駆動信号Ｓ１を印加する駆動部６，６’ ，５１とを備え、光走査素子５，５０固有の共振によりコイル１５において発生する共振成分に同調して当該共振成分の電力を消費する負荷となる同調回路７，７’ ，５２を備えているので、光走査素子５，５０の反射ミラーに生じるリンギングを抑制することができ、光走査の品質を向上させることができる。
【００６７】
（２）また、同調回路７，７’，５２をコイル１５へ接続するスイッチＳｗ１を備え、駆動部６，６’ ，５１は、反射ミラーで光を走査しない無効走査期間においてはスイッチＳｗ１を短絡状態にして同調回路７，７’ ，５２をコイル１５に接続し、反射ミラーで光を走査する有効走査期間においてはスイッチＳｗ１を開放状態にして同調回路７，７’ ，５２をコイル１５から切断する制御を行うので、無効走査期間においては、コイル１５に発生する固有共振成分を同調回路７，７’ ，５２で消費させてコイル１５に発生する固有共振の成分を低減することができる一方、有効走査期間では同調回路７，７’ ，５２を回路から切断して不要な電力消費を抑えるとともに有効走査期間の駆動波形の歪みを抑えることができる。
【００６８】
（３）また、同調回路７，７’ ，５２には、光走査素子５，５０の共振周波数ｆｒへの同調度が相対的に高い第１同調回路７ａと、同調度が相対的に低い第２同調回路７ｂとを含み、駆動部６，６’，５１は、反射ミラーで光を走査しない無効走査期間においては第１同調回路７ａをコイル１５へ接続し、反射ミラーで光を走査する有効走査期間においては第２同調回路７ｂをコイル１５に接続する制御を行うので、無効走査期間では、同調度が相対的に高い第１同調回路７ａを接続することでコイル１５に発生する固有共振の成分を同調回路７ａで消費させてコイル１５に発生する固有共振の成分を低減する。一方、有効走査期間では、同調度が相対的に低い第２同調回路７ｂを接続することで電力消費を抑えるとともに有効走査期間の駆動波形の歪みを抑えることができる。
【００６９】
（４）また、駆動部６，６’，５１は、駆動信号Ｓ１中に含まれる光走査素子５，５０の共振周波数ｆｒを低減するフィルタ部２２（低減手段）を備えているので、同調回路７，７’，５２によるコイル１５に発生する固有共振の成分の減衰が不十分であった場合にでも、共振周波数ｆｒ成分が低減された駆動信号Ｓ１を光走査素子５，５０に入力することができるため、光走査素子５，５０の反射部に生じるリンギングを抑制することができ、光走査の品質を向上させることができる。
【００７０】
（５）同調回路７，７’ ，５２に生じる電流又は電圧に基づいて光走査素子５，５０の共振状態を検出する共振検出部２３を備えているので、例えば、共振検出部２３で検出した光走査素子５，５０の共振状態に応じて報知を行うことにより、光走査素子５，５０の共振状態を容易に把握することが可能となる。
【００７１】
（６）また、駆動部６，６’，５１は、共振検出部２３で検出した光走査素子５，５０の共振状態に基づいて、フィルタ部２２（低減手段）を制御するので、有効走査期間の駆動波形の歪みを抑えつつコイル１５に生じる共振周波数ｆｒ成分を所定範囲内に減衰させることができ、光走査の品質を向上させることができる。
【００７２】
（７）同調回路７，７’ ，５２を駆動部６，６’とは切り離してコイル１５と電磁結合するように設けたので、固有共振の成分のみに同調し駆動部６，６’には影響を与えない負荷となり、電力消費を抑えるのに有効である。また、同調回路７，７’ ，５２と駆動部６，６’ ，５１とを絶縁したい場合などにも有効となる。
【００７３】
（８）同調回路７，７’ ，５２を駆動部６，６，５１によって駆動されるコイル１５に直列に接続したので、同調回路７，７’ ，５２と駆動部６，６’ ，５１とを絶縁しなくてよい場合に、別途電磁結合用のコイルなどを設ける必要がなく構成が複雑にならず及びコスト面でも有効となる。
【符号の説明】
【００７４】
１，２７  光走査装置
２，２５  制御部
３，２６  光出射部
４  光走査部
５，３０，５０  光走査素子
６，６’，３０，５０  駆動部
７，７’，７ａ，７ｂ  同調回路
３１  水平駆動回路
５１  垂直駆動回路
７０  眼
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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