(57)【要約】【課題】基板シートの表面に導電性ペーストを塗工する工程の回数を減少させること。【解決手段】印刷装置は、複数の凸部６２ａを有する平板状部材６２と、基板シート６１とを有する基材６０を処理する。印刷装置は、基材６０を保持する印刷定盤３０と、所定のパターンからなる貫通穴２７ａが設けられたスクリーン版２７とを有するスクリーン機構２５と、スクリーン版２７に載置された導電性ペースト７０を貫通穴２７ａを介して基材６０の基板シート６１上に転移させるスキージ２２と、を備えている。スクリーン機構２５の上流側には、基板シート６１に圧力を加えて、該基板シート６１に平板状部材６２の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成する加圧体１１を有する加圧機構１０が配置されている。スキージ２２によって転移される導電性ペースト７０は、加圧機構１０によって形成された基板シート６１の凸部６１ａ上に載置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の凸部を有する平板状部材と、該平板状部材上に載置された基板シートとを有する基材を保持する印刷定盤と、
所定のパターンからなる貫通穴が設けられたスクリーン版と、該スクリーン版を保持する保持部とを有するスクリーン機構と、
前記スクリーン版上で走査し、該スクリーン版に載置された導電性ペーストを前記貫通穴を介して前記基材の前記基板シート上に転移させるスキージと、
前記スクリーン機構の上流側に配置されるとともに、前記基板シートに圧力を加えて、該基板シートに前記平板状部材の凸部に対応する凸部を形成する加圧体を有する加圧機構と、を備え、
前記スキージによって転移される導電性ペーストは、前記加圧機構によって形成された前記基板シートの凸部上に載置されることを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記加圧体は、前記基材の前記基板シートに当接可能であり、回転軸を中心に回転自在なロールからなることを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記加圧体は、前記基材の前記基板シートに当接可能であり、回転軸を中心に回転自在な複数のロールからなり、
一のロールは、他のロールに対して、前記回転軸の延在する方向に直交する方向に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記加圧体は、前記基材の前記基板シートに当接可能であり、回転軸を中心に回転自在な複数のロールからなり、
一のロールは、他のロールに対して、前記回転軸の延在する方向に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記加圧機構は、前記加圧体と前記印刷定盤との間の距離を調整する位置調整機構を有することを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記加圧機構は、前記印刷定盤に保持された前記基材に加わる加圧力を調整する加圧力調整機構を有することを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記加圧機構は、前記加圧体の平行度を調整する平行度調整機構を有することを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項８】
前記印刷定盤は、前記ロールが該印刷定盤に保持された基材に接触した状態で、移動することを特徴とする請求項２に記載の印刷装置。
【請求項９】
前記ロールは、該ロールが前記印刷定盤に保持された基材に接触した状態で、移動して回転することを特徴とする請求項２に記載の印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板シート上に複数の導電性バンプを形成するための印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、銅箔等の基板シートの表面に複数の略円錐状の導電性バンプが形成された導電性バンプ付基板シートと、プリプレグ等の非導電性シート（絶縁シート）とを交互に重ね合わせることにより形成される多層プリント配線板が知られている。このような多層プリント配線板において、基板シートの表面に形成された導電性バンプが絶縁シートを貫通することによって、当該絶縁シートの両側にある基板シート同士が導電性バンプによって電気的に接続されるようになっている（例えば、特許文献１乃至３等参照）。
【０００３】
そして、スクリーン版の表面に圧接されるスキージと、スキージをスクリーン版の表面に接離する方向に移動させる空気圧シリンダと、スキージがスクリーン版の表面に圧接された状態でスキージとスクリーン版とを相対移動させてスキージをスクリーン版に対して摺動させる駆動モータとを備え、スキージがスクリーン版の表面上を摺動することにより、半田ペーストなどの導電性ペーストがスクリーン版の貫通穴から押し出されてプリント基板などの基材の表面に印刷が行われる技術が知られている（特許文献４参照）。
【０００４】
このような従来の技術を用いて、銀ペースト、半田ペーストなどの導電性ペーストを基板シートの表面に印刷する方法について、以下、図１１および図１２を用いて説明する。
【０００５】
まず、図１１に示すような平板状の基板シート８０を印刷定盤９０上に載置し、この平板状の基板シート８０の上方にわずかな距離を隔ててスクリーン版９２を設置する。また、図１２に示すようにスクリーン版９２には、基板シート８０に導電性バンプ８２が形成されるべき位置に対応して複数の貫通穴９２ａが形成されている。そして、図１１および図１２に示すように、スキージ９６により導電性ペースト９８の塗工を行い、この際に図１２に示すようにスキージ９６がスクリーン版９２を下方に押圧してこのスクリーン版９２と基板シート８０とを当接させることにより、導電性ペースト９８がスクリーン版９２の貫通穴９２ａを通過して平板状の基板シート８０上に付着する。
【０００６】
その後、基板シート８０の乾燥を行うことにより、図１３に示すように基板シート８０上の導電性ペースト９８が硬化して略円錐状の導電性バンプ８２が形成されることとなる。
【０００７】
ここで、基板シート８０に形成される導電性バンプ８２は、当該基板シート８０の厚さ方向（図１３の上下方向）において絶縁シート（図示せず）を貫通させるのに十分な高さが必要とされる。また、多層プリント配線板のファインピッチ化を行う場合には、略円錐状の導電性バンプ８２について、同じ高さであっても底面積が小さくなるような形状、すなわちいわゆるアスペクト比の高い略円錐状とする必要がある。
【特許文献１】特許第３１６７８４０号
【特許文献２】特開２００４−６５７７号公報
【特許文献３】特開２００２−３０５３７６号公報
【特許文献４】特開平１１−４８４４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の導電性バンプ付基板シートの製造方法においては、平板状の基板シート８０上に導電性バンプ８２を形成するにあたり、スクリーン印刷工程１回あたりの基板シート８０に付着する導電性ペースト９８の量はスクリーン版９２の貫通穴９２ａにより定められる。このため、導電性ペースト９８の量が十分ではなく、１回のスクリーン印刷工程では導電性バンプ８２の高さが絶縁シートを貫通させるのに十分な高さに達しない場合が多い。
【０００９】
より具体的には、導電性バンプ８２により絶縁シートを貫通させる際には、図１３（ｄ）に示すような高さを有する略円錐状の導電性バンプ８２が求められる。ここで、図１３（ａ）−（ｄ）は、従来の方法により基板シート８０に導電性バンプ８２が形成される過程を示す図であって、図１３（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はそれぞれ、１回目、２回目、３回目および４回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプ８２の形状を示している。このため、この例では、図１１に示すようなスクリーン印刷工程を４回繰り返して行うことが必要とされる。
【００１０】
しかしながら、スクリーン印刷工程を１回行うたびに基板シート８０の乾燥工程およびＣＣＤカメラ等によるスクリーン版９２の位置合わせ工程が必要となり、十分な高さの導電性バンプ８２が形成されるまでこれらの工程も何度も繰り返す必要があった。また、スクリーン印刷工程を繰り返し行うと、スクリーン印刷工程実行回数をａ、１回のスクリーン印刷工程において不良が発生する割合をｂとしたときに、歩留まり率は（１−ｂ）ａ≒１−ａ×ｂとなり、スクリーン印刷工程の実行回数が増えれば増えるほど導電性バンプ付基板シートの製造における歩留まり率が低下するという問題があった。
【００１１】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基板シートの表面に導電性ペーストを塗工する工程の回数を減少させることができ、ひいては、導電性バンプ付基板の製造時間を短縮することができるとともに、導電性ペーストの使用量を減少させることができ、しかも導電性バンプ付基板シートの製造における歩留まり率を高くすることができる印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明による印刷装置は、
複数の凸部を有する平板状部材と、該平板状部材上に載置された基板シートとを有する基材を保持する印刷定盤と、
所定のパターンからなる貫通穴が設けられたスクリーン版と、該スクリーン版を保持する保持部とを有するスクリーン機構と、
前記スクリーン版上で走査し、該スクリーン版に載置された導電性ペーストを前記貫通穴を介して前記基材の前記基板シート上に転移させるスキージと、
前記スクリーン機構の上流側に配置されるとともに、前記基板シートに圧力を加えて、該基板シートに前記平板状部材の凸部に対応する凸部を形成する加圧体を有する加圧機構と、を備え、
前記スキージによって転移される導電性ペーストが、前記加圧機構によって形成された前記基板シートの凸部上に載置される。
【００１３】
本発明による印刷装置において、
前記加圧体は、前記基材の前記基板シートに当接可能であり、回転軸を中心に回転自在なロールからなることが好ましい。
【００１４】
本発明による印刷装置において、
前記加圧体は、前記基材の前記基板シートに当接可能であり、回転軸を中心に回転自在な複数のロールからなり、
一のロールは、他のロールに対して、前記回転軸の延在する方向に直交する方向に配置されていることが好ましい。
【００１５】
本発明による印刷装置において、
前記加圧体は、前記基材の前記基板シートに当接可能であり、回転軸を中心に回転自在な複数のロールからなり、
一のロールは、他のロールに対して、前記回転軸の延在する方向に配置されていることが好ましい。
【００１６】
本発明による印刷装置において、
前記加圧機構は、前記加圧体と前記印刷定盤との間の距離を調整する位置調整機構を有することが好ましい。
【００１７】
本発明による印刷装置において、
前記加圧機構は、前記印刷定盤に保持された前記基材に加わる加圧力を調整する加圧力調整機構を有することが好ましい。
【００１８】
本発明による印刷装置において、
前記加圧機構は、前記加圧体の平行度を調整する平行度調整機構を有することが好ましい。
【００１９】
本発明による印刷装置において、
前記印刷定盤は、前記ロールが該印刷定盤に保持された基材に接触した状態で、移動することが好ましい。
【００２０】
本発明による印刷装置において、
前記ロールは、該ロールが前記印刷定盤に保持された基材に接触した状態で、移動して回転することが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、基板シートの表面に導電性ペーストを塗工する工程の回数を減少させることができる。このため、導電性バンプ付基板の製造時間を短縮することができるとともに、導電性ペーストの使用量を減少させることができ、しかも導電性バンプ付基板シートの製造における歩留まり率を高くすることができる。
【００２２】
また、本発明によれば、スクリーン機構の上流側に、基板シートに圧力を加えて当該基板シートに平板状部材の凸部に対応する凸部を形成する加圧体を有する加圧機構が配置されている。このため、基板シートに平板状部材の複数の凸部に対応する凸部を形成する際に、エンボス装置やプレス装置のような専用装置を用いる必要がない。また、専用装置で基板シートに平板状部材の複数の凸部に対応する凸部を形成した後、この専用装置から基材を取り外す必要もない。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
第１の実施の形態
以下、本発明に係る印刷装置の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図７（ａ）（ｂ）は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００２４】
図１に示すように、印刷装置によって処理される基材６０は、複数の凸部６２ａを有する平板状部材６２と、この平板状部材６２上に載置された基板シート（例えば、金属箔）６１とを有している。
【００２５】
また、図１に示すように、印刷装置は、基材６０を吸引孔（図示せず）からの吸引力によって保持する印刷定盤３０と、所定のパターンからなる複数の貫通穴２７ａが設けられたメタルマスクなどのスクリーン版２７と、このスクリーン版２７を保持する保持部２６とを有するスクリーン機構２５と、スクリーン版２７上で走査し、スクリーン版２７に載置された銀ペーストや半田ペーストなどの導電性ペースト７０を貫通穴２７ａを介して基材６０の基板シート６１上に転移させるスキージ２２と、を備えている。なお、上述したスキージ２２と、このスキージ２２を案内するガイド部材２１とからスキージ機構２０が構成されている。
【００２６】
また、図１に示すように、スクリーン機構２５の上流側には、基板シート６１に圧力を加えて、基板シート６１に平板状部材６２の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成するロール（加圧体）１１を有する加圧機構１０が配置されている。このロール１１としては、シリコンゴム、ウレタンゴムなどのゴムロールや、鉄、ＳＵＳなどの金属ロールを使用することができる。なお、スキージ機構２０によって転移される導電性ペースト７０は、加圧機構１０によって形成された基板シート６１の凸部６１ａ上に載置されるように構成されている。
【００２７】
このうち、ロール１１は、回転軸１２を中心に回転自在となっている。また、このロール１１は、上下方向に移動可能となっており、下方位置に位置する際には、基材６０の基板シート６１に当接可能となっている（図２参照）。また、印刷定盤３０の下方にはガイド部材３１が配置されている。そして、この印刷定盤３０は、このガイド部材３１に沿って水平方向に移動可能となり、ロール１１が印刷定盤３０に保持された基材６０に接触した状態で移動するようになっている。
【００２８】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００２９】
まず、印刷定盤３０によって、複数の凸部６２ａを有する平板状部材６２と、平板状部材６２上に載置された基板シート６１とを有する基材６０が保持される。このとき、基材６０の印刷定盤３０に対する位置は、例えば基材６０に設けられたアライメントマークをＣＣＤカメラ（図示せず）によって確認することによって、決定される。なお、基材６０は、平板状部材６２が下方に位置し、基板シート６１が上方に位置するようにして、印刷定盤３０上に載置される（図１参照）。
【００３０】
次に、印刷定盤３０が、ガイド部材３１に沿って水平方向（図２の右側）に向かって移動される（図２参照）。なお、後述する工程は、このようにして印刷定盤３０がガイド部材３１に沿って移動されている間に行われる。
【００３１】
次に、ロール１１は、下方に移動して下方位置に位置する。そして、印刷定盤３０がガイド部材３１に沿って水平方向（図２の矢印方向）に移動することによって、ロール１１が印刷定盤３０に保持された基材６０に接触して当該基材６０を押圧した状態で、印刷定盤３０が移動することとなる（図２参照）。このとき、ロール１１は回転軸１２を中心として回転する（図２参照）。
【００３２】
そして、このロール１１によって、基板シート６１に圧力が加えられて、基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａが形成される（図２および図３参照）。
【００３３】
このように、本実施の形態によれば、スクリーン機構２５の上流側に、基板シート６１に圧力を加えて、基板シート６１に平板状部材６２の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成するロール１１を有する加圧機構１０が配置されているので（図２参照）、基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成する際に、エンボス装置やプレス装置のような専用装置を用いる必要がない。また、専用装置で基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成した後、この専用装置から基材６０を取り外す必要もない。
【００３４】
上述のように、基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａが形成されると、スキージ２２がガイド部材２１に沿ってスクリーン版２７上で走査され、スクリーン版２７に載置された導電性ペースト７０が、貫通穴２７ａを介して基材６０の基板シート６１上に転移される（図３および図４参照）。ここで、スキージ機構２０のスキージ２２によって転移される導電性ペースト７０は、ロール１１によって形成された基板シート６１の凸部６１ａ上に載置される。このとき、ロール１１は、上方に移動して上方位置に位置することとなる（図３参照）。
【００３５】
このように、スキージ機構２０によって転移される導電性ペースト７０が、ロール１１によって形成された基板シート６１の凸部６１ａ上に載置されることとなるので、スキージ機構２０のスキージ２２によって導電性ペースト７０を基板シート６１上に一回転移させるだけで、導電性バンプの高さを十分なものにすることができる。
【００３６】
このため、基板シート６２の表面に導電性ペースト７０を塗工する工程の回数を減少させることができ、例えば、導電性ペースト７０を塗工する工程の回数を一回にすることができる。このため、導電性バンプ付基板の製造時間を短縮することができる。また、導電性ペースト７０の使用量を減少させることもできる。さらに、導電性バンプ付基板シートの製造における歩留まり率を高くすることもできる。
【００３７】
上述のように、導電性ペースト７０が基板シート６１の凸部６１ａ上に載置されると、印刷定盤３０は水平方向（図５の左側）に移動し、初期位置に戻ることとなる（図５参照）。このとき、スキージ機構２０も初期位置に戻る（図５参照）。
【００３８】
次に、基板シート６１は平板状部材６２から剥離される。その後、基板シート６１が乾燥され、基板シート６１の各凸部６１ａに付着した導電性ペースト７０が硬化される。この結果、基板シート６１上に略円錐状の導電性バンプが形成されることとなる。なお、導電性ペースト７０が紫外線硬化性の材料からなる場合には、乾燥させる代わりに紫外線を照射することによって硬化させてもよい。
【００３９】
上述のように、本実施の形態によれば、基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成する際に、エンボス装置やプレス装置のような専用装置を用いる必要がない。この結果、基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成し、当該基板シート６１の凸部６１ａ上に導電性ペースト７０を転移させる工程までを、インラインで製造することができる（図１乃至図５参照）。
【００４０】
また、上述のように、専用装置で基板シート６１に平板状部材６２の複数の凸部６２ａに対応する凸部６１ａを形成した後、この専用装置から基材６０を取り外す必要がなくなるので、連続して、当該基板シート６１の凸部６１ａ上に導電性ペースト７０を転移させることができる（図１乃至図５参照）。このため、導電性バンプ付基板シートの生産効率を向上させることができる。
【００４１】
ところで、上記では、印刷定盤３０が、ロール１１が印刷定盤３０に保持された基材６０に接触した状態で、移動する態様を用いて説明した（図２および図３参照）。しかしながら、これに限ることなく、印刷定盤３０ではなくロール１１が、印刷定盤３０に保持された基材６０に接触した状態で、水平方向に移動するようにしてもよい（図６参照）。
【００４２】
また、本実施の形態において、加圧機構１０は、図７（ａ）に示すように、ロール１１と印刷定盤３０との間の距離を調整するレギュレータ（位置調整機構）４１を有していてもよい。加圧機構１０がこのようなレギュレータ４１を有することによって、ロール１１と印刷定盤３０との間の距離を調整することができ、ひいては、基材６０に加わる圧力を調整することができる。なお、このようなレギュレータ４１としては、エアシリンダ、サーボモータ、ステッピングモータなどを用いることができる。
【００４３】
また、本実施の形態において、加圧機構１０は、図７（ｂ）に示すように、印刷定盤３０に保持された基材６０に加わる加圧力を調整する加圧モータ（加圧力調整機構）４２を有していてもよい。加圧機構１０がこのような加圧モータ４２を有することによって、基材６０に加わる圧力を適宜調整することができ、例えば、加圧機構１０のロール１１によって基材６０を押圧している際に、処理される基材６０の箇所に応じて圧力を変化させることができる。このため、基板シート６１に、平板状部材６２の凸部６２ａに対応した凸部６１ａをより確実に形成することができる。
【００４４】
なお、ロール１１は、その表面が平板状部材６２の複数の凸部６２ａが嵌め込まれる凹部を有していてもよい。このような構成によって、基板シート６１に、平板状部材６２の凸部６２ａに対応した凸部６１ａをより確実に形成することができる。
【００４５】
また、上記では、加圧体としてロール１１を有する加圧機構１０を用いて説明したが、これに限られることなく、加圧機構１０は平プレスのようなものからなってもよい。しかしながら、加圧体としてロール１１を用いた方が、印刷装置の製造コストを低く抑えることができるし、また、加圧機構１０が加圧モータ（加圧力調整機構）４２（図７（ｂ）参照）を有している場合などには、処理される基材６０の箇所に応じて圧力を変化させることもできるので、好ましい。
【００４６】
第２の実施の形態
次に、図８および図９により、本発明の第２の実施の形態について説明する。図８および図９に示す第２の実施の形態は、基材６０の基板シート６１に当接可能であり、回転軸１２を中心に回転自在な複数のロール１１から加圧体が構成されているものであり、その他の構成は図１乃至図７（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図８は、本実施の形態による印刷装置の加圧機構１０の一例を示す概略側方図であり、図９は、本実施の形態による印刷装置の加圧機構１０の別の例を示す概略正面図である。
【００４７】
図８に示す態様では、一方のロール１１ａが、他方のロール１１ｂに対して、回転軸１２の延在する方向に直交する方向（図８の左右方向）に配置されている。このため、一方のロール１１ａをゴムロールとして他方のロール１１ｂを金属ロールとしたり、一方のロール１１ａと他方のロール１１ｂとを異なる種類のゴムロールとしたり、一方のロール１１ａと他方のロール１１ｂとを異なるゴム硬度からなるゴムロールとしたりすることができる。この結果、処理される基材６０に合わせて、基材６０の基板シート６１に加わる圧力を適宜調整することができる。この結果、基板シート６１に、平板状部材６２の凸部６２ａに対応した凸部６１ａをより確実に形成することができる。
【００４８】
また、図９に示す態様では、回転軸１２を中心に回転自在なロール１１が複数個設けられている。そして、一のロール１１が、他のロール１１に対して、回転軸（図示せず）の延在する方向（図９の矢印方向）に配置されている。このため、処理される基材６０の箇所に合わせて、ロール１１を、ゴムロールとしたり、金属ロールとしたり、ゴム硬度の高いゴムロールとしたり、ゴム硬度の低いゴムロールとしたりすることができる。この結果、基板シート６１の処理される箇所に合わせて、加わる圧力を適宜調整することができる。
【００４９】
また、図９に示すように、各ロールはその高さ位置を調整するための高さ調整機構１９に連結されている。このため、高さ調整機構１９によって、処理される基材６０の箇所に合わせて、ロール１１の高さも調整することができる。この結果、やはり、基板シート６１の処理される箇所に合わせて、加わる圧力を適宜調整することができる。
【００５０】
これらのことより、図９に示す態様でも、基板シート６１に、平板状部材６２の凸部６２ａに対応した凸部６１ａをより確実に形成することができる。
【００５１】
ところで、図８に示す態様と、図９に示す態様とを組み合わせてもよい。すなわち、一方のロールを、他方のロールに対して、回転軸の延在する方向に直交する方向に配置し（図８参照）、かつ、一のロールを、他のロールに対して、回転軸の延在する方向に配置してもよい（図９参照）。
【００５２】
このような構成によって、基板シート６１に、平板状部材６２の凸部６２ａに対応した凸部６１ａをさらに確実に形成することができる。
【００５３】
第３の実施の形態
次に、図１０により、本発明の第３の実施の形態について説明する。図１０に示す第３の実施の形態は、加圧機構１０が、回転軸１２’の軸方向に延在するロール１１’と、このロール１１’の平行度を調整する平行度調整機構１５とを有するものであり、その他の構成は図１乃至図７（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１０は、本実施の形態による印刷装置の加圧機構を示す概略正面図である。
【００５４】
図１０に示すように、ロール１１’は回転軸１２’に連結され、この回転軸１２’は把持部４５によって把持されている。また、この把持部４５は連結棒４６に固定されている。そして、この連結棒４６に、エアシリンダやモータなどからなる平行度調整部１６ａ，１６ｂが連結されている。そして、一対の平行度調整部１６ａ，１６から、平行度調整機構１５が構成されている。
【００５５】
ここで、平行度調整機構１５によって連結棒４６の上下位置を調整することによって、ロール１１’の上下方向の平行度を調整することができ、ロール１１’の水平状態を維持することができる。すなわち、ロール１１’によって、基材６０の基板シート６１の押圧を何度か繰り返すとロール１１’が水平な状態からずれることがあるが、本実施の形態のような平行度調整機構１５を設けることによって、このような水平な状態からのずれを修正することができる。この結果、ロール１１’の幅方向において均一に加圧することができる。
【００５６】
より具体的には、図１０において、ロール１１’の右側が左側よりも下方位置にずれてしまった場合には、一の平行度調整部１６ａによって連結棒４６を下方に移動させるか、または、他の平行度調整部１６ｂによって連結部４６を上方に移動させればよい。なお、平行度を調整するために、隙間ゲージ（図示せず）や、圧力測定器（図示せず）などを用いてもよい。
【００５７】
ところで、上記では、第２の実施の形態および第３の実施の形態を別個に説明したが、これに限られることなく、これら第２の実施の形態および第３の実施の形態を組合せてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１の実施の形態による印刷装置を側方から見た概略側方図。
【図２】図１に示した状態から進んだ状態にある印刷装置を示した概略側方図。
【図３】図２に示した状態から進んだ状態にある印刷装置を示した概略側方図。
【図４】図３に示した状態から進んだ状態にある印刷装置を示した概略側方図。
【図５】図４に示した状態から進んだ状態にある印刷装置を示した概略側方図。
【図６】本発明の第１の実施の形態の変形例による印刷装置を側方から見た概略側方図。
【図７】本発明の第１の実施の形態による印刷装置の加圧機構が、位置調整機構を有する態様と、加圧力調整機構を有する態様を示す概略側方図。
【図８】本発明の第２の実施の形態による印刷装置の加圧機構の一例を示す概略側方図。
【図９】本発明の第２の実施の形態による印刷装置の加圧機構の別の例を示す概略正面図。
【図１０】本発明の第３の実施の形態による印刷装置の加圧機構を示す概略正面図。
【図１１】基板シートに導電性バンプを形成する従来の方法を示す側面図。
【図１２】図１１の部分拡大側面図。
【図１３】従来の方法により基板シートに導電性バンプが形成される過程を示す図。
【符号の説明】
【００５９】
１０    加圧機構
１１，１１’  ロール（加圧体）
１２，１２’回転軸
１５    平行度調整機構
２０    スキージ機構
２２    スキージ
２５    スクリーン機構
２６    保持部
２７    スクリーン版
２７ａ  貫通穴
３０    印刷定盤
６０    基材
４１    位置調整機構
４２    加圧力調整機構
６１    基板シート
６１ａ  凸部
６２    平板状部材
６２ａ  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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