(57)【要約】【課題】複数のパラメータの編集作業を行う際に、編集者の負担軽減を実現する仕組みを提供する。【解決手段】複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該露光装置１００の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出部１２２と、算出部１２２で算出されたパラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成部１２３と、表示情報作成部１２３で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてＧＵＩ画像を作成し、作成したＧＵＩ画像を表示機構１５０に表示する処理を行う表示処理部１２１を備える。【選択図】図１
2010239006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置であって、
前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出手段と、
前記算出手段で算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成手段と、
前記表示情報作成手段で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてＧＵＩ画像を作成し、作成したＧＵＩ画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理手段と
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記表示処理手段は、前記ＧＵＩ画像を作成する際に、前記装置反映タイミングの種類ごとに表示方法を変更することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記表示処理手段は、前記装置反映タイミングの種類ごとに、前記パラメータにおけるパラメータ名の背景色を変更することを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記算出手段は、当該情報処理装置の現在の状態を示す現在の装置状態情報、及び、ユーザ仕様に係る情報に基づいて、前記装置反映タイミングを算出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項５】
当該情報処理装置は、露光装置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置の制御方法であって、
前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成ステップと、
前記表示情報作成ステップで作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてＧＵＩ画像を作成し、作成したＧＵＩ画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理ステップと
を有することを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【請求項７】
複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成ステップと、
前記表示情報作成ステップで作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてＧＵＩ画像を作成し、作成したＧＵＩ画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理ステップと
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置及びその制御方法、並びに、当該制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関するものである。特に、本発明は、情報処理装置として、半導体製造工程の露光処理で用いる露光装置に用いて好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
今日の高度情報化社会は、例えば、半導体素子の高集積化の技術によって大きな発展を遂げてきた。この半導体素子の高集積化を進める技術のうちで最も重要な技術の１つは、微細加工技術である。この微細加工技術では、レチクル等の原版に形成された回路パターンを感光性材料（レジスト）が塗布された基板上に焼き付ける露光技術が用いられる。
【０００３】
そして、この露光技術を実現する露光装置では、例えば、以下に示す３種類の制御パラメータセットに従って露光を実施する。
１．ジョブと呼ばれる露光工程ごとのジョブパラメータセット
２．レチクルファイルと呼ばれるレチクルパラメータセット
３．システムファイルと呼ばれるシステムパラメータセット
【０００４】
従来、半導体製造工程（露光工程）で用いる露光装置では、エディタと呼ばれるパラメータセットの編集機能を用いて、露光工程ごとに、各種の計測シーケンスに関するパラメータや、露光量、各種のオフセットなどを、随時、適切な値に変更する編集をしている。
【０００５】
近年、半導体の微細化、複雑化、多様化が進むにしたがって、１台の半導体露光装置あたりに保持する必要のあるパラメータセットの数は、飛躍的に増大し、パラメータの数もますます増加している。そのため、パラメータの編集作業に費やされる時間は、非常に大きくなっている。
【０００６】
そして、上述した編集作業に係る負荷の大きな要因の１つとして、編集する大量のパラメータ同士の中に、複雑に関係性を持つものが存在するということがある。即ち、編集作業を行う際に、この複数のパラメータ間の整合性を考慮する作業が大きな負荷となっている。
【０００７】
これに対して、従来、下記の特許文献１に示す、複数のパラメータの値に従って動作する露光装置が提案されている。具体的に、下記の特許文献１には、少なくとも２つのパラメータを共通の式によって定義する機能を有するパラメータ編集システムを備え、パラメータの設定に要する時間を短縮する技術が示されている。従来においては、このような膨大なパラメータの編集作業を効率化する技術がいくつか提案されている。
【０００８】
しかしながら、パラメータの中には、その値を編集したタイミングと、その編集したパラメータの値が実際の露光装置に反映されるタイミングとが異なるものが多数存在する。さらに、露光装置に反映されるタイミングも、パラメータの種類や、そのときの露光装置の状態によって異なる。このようなパラメータ編集の例を、図１３を参照して説明する。
【０００９】
図１３は、一般的なパラメータの編集において、編集のタイミングと、装置に反映されるタイミングとの差異の一例を示す模式図である。図１３には、水平方向に時間軸１３０１を採っている。また、この図１３に示す露光装置には、３つのパラメータＡ，Ｂ，Ｃが存在し、タイミング１３０２の時点で、これらの３つのパラメータが編集されたものとする。
【００１０】
図１３に示す例では、タイミング１３０２の時点で、パラメータＢの値が即座に露光装置に反映されている。これに対して、パラメータＣの値は、装置状態がαからβに変化したタイミング１３０４を契機としてタイミング１３０５の時点で露光装置に反映されている。また、パラメータＡの値は、装置状態がβからγに変化したタイミング１３０６を契機としてタイミング１３０７の時点で露光装置に反映されている。
【００１１】
このような編集タイミングと装置反映タイミングとの差異は、露光装置のメーカーごと、機種ごとの装置仕様や、ユーザ運用形態に伴うユーザ管理者の設定等の要因に依存する。そして、編集者は、このような編集タイミングと装置反映タイミングの差異を想定して考慮しながら、パラメータの編集タイミングを合わせ、適切なパラメータの値を割り出し運用していく必要がある。そのため、編集者は、膨大な仕様書や、運用時の装置動作手順を想定しながら編集作業を行わなければならず、非常に大きな負荷となっている。また、この編集タイミングと装置反映タイミングとの差異の複雑性が、編集できる人間の幅も狭めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−１００６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上述した編集タイミングと装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する改善策の一例について、以下に説明する。
【００１４】
図１４は、図１３に示す編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する改善策の一例を示す模式図である。ここで、図１４には、半導体露光装置のＧＵＩ画面１４００が示されている。
【００１５】
図１４に示す例では、ＧＵＩ画面１４００に存在するパラメータの編集者入力欄１４０１上にマウスカーソル１４０２が移動すると、編集者入力欄１４０１についての解説が、解説ツールチップ１４０３として表示される。この図１４に示す例では、解説ツールチップ１４０３に、このパラメータの値が、半導体露光装置にいつ反映されるのかを示している。
【００１６】
しかしながら、図１４に示す改善策では、編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異を一見して認識することが困難である。また、図１４に示す改善策では、１つの入力情報に関してだけの少ない情報であること、その都度、マウスカーソル１４０２を移動させる手間があること、文字列であるため、情報認識性能が低い等の問題もある。このような理由により、図１４に示す改善策は、膨大なパラメータの編集作業を行うという観点において、編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する効果的な改善策とまでは至っていない。
【００１７】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、複数のパラメータの編集作業を行う際に、編集者の負担軽減を実現する仕組みを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の情報処理装置は、複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置であって、前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出手段と、前記算出手段で算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成手段と、前記表示情報作成手段で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてＧＵＩ画像を作成し、作成したＧＵＩ画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理手段とを有する。
【００１９】
また、本発明は、上述した情報処理装置の制御方法、及び、当該制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを含む。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、複数のパラメータの編集作業を行う際に、編集者の負担軽減を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施形態（第２の実施形態も含む）に係る露光装置（情報処理装置）の内部構成の一例を示す模式図である。
【図２】本発明の第１の実施形態を示し、図１に示す記憶媒体に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細についての一例を示す模式図である。
【図３】通常のＧＵＩ表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図４】図２に示す全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報の一例を示す模式図である。
【図５】図２に示すユーザ仕様リスト情報の一例を示す模式図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る露光装置（情報処理装置）によるＧＵＩ表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図７】図６のステップＳ２０５の詳細な処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】本発明の第１の実施形態を示し、図１に示す表示機構に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す模式図である。
【図９】本発明の第２の実施形態を示し、図１に示す記憶媒体に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細についての一例を示す模式図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る露光装置（情報処理装置）によるＧＵＩ表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、本発明の第２の実施形態を示し、図１に示す表示機構に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す模式図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態を示し、図１に示す表示機構に表示されたＧＵＩ画面の一例を示す模式図である。
【図１３】一般的なパラメータの編集において、編集のタイミングと、装置に反映されるタイミングとの差異の一例を示す模式図である。
【図１４】図１３に示す編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する改善策の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（実施形態）について説明する。なお、以下に示す本発明の各実施形態の説明においては、本発明に係る情報処理装置として、露光装置（半導体露光装置）を適用した例について説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る露光装置（情報処理装置）の内部構成の一例を示す模式図である。
【００２４】
露光装置１００は、図１に示すように、ＣＰＵ１１０、記憶媒体１２０、ＲＡＭ１３０、入力機構１４０、表示機構１５０、通信機構１６０、及び、システムバス１７０を有して構成されている。
【００２５】
ＣＰＵ１１０は、例えば、記憶媒体１２０に記憶された各種のプログラムや各種の情報を用いて、露光装置１００全体の制御を行う中央処理装置である。
【００２６】
記憶媒体１２０は、例えば、オペレーティングシステム（ＯＳ）やＣＰＵが実行するプログラム、更には本実施形態の説明において既知としている各種のパラメータ等の情報などを記憶する。
【００２７】
記憶媒体１２０は、ＣＰＵ１１０が実行するプログラムであるＧＵＩ表示処理部１２１、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２、及び、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部１２３が記憶されている。また、記憶媒体１２０には、装置内情報１２４が記憶される。
【００２８】
ＧＵＩ表示処理部１２１は、露光装置１００のＧＵＩ画像（ＧＵＩ画面）を構築し、これを表示機構１５０に表示するための処理を行う。パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２は、現在表示されているパラメータが、実際に当該露光装置１００の動作に反映されるタイミングをリアルタイムに算出する。パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部１２３は、ＧＵＩ表示処理部１２１が現在保持するＧＵＩ画像（ＧＵＩ画面）に係る表示情報と、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２の算出結果から、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。装置内情報１２４は、露光装置１００の処理に係る各種の情報である。
【００２９】
ＲＡＭ１３０は、記憶媒体１２０からロードされたプログラムや各種の情報を一時的に記憶するエリアを備えるとともに、ＣＰＵ１１０が各種の処理を行うために必要とするワークエリアを備えるランダム・アクセス・メモリである。
【００３０】
入力機構１４０は、ユーザの操作を受けて、情報を入力するポインティングデバイスやキーボードなどの入力デバイスである。
【００３１】
表示機構１５０は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、各種の情報を表示するディスプレイ等の表示デバイスである。
【００３２】
通信機構１６０は、露光装置１００と外部装置との間で行われる各種の情報の送受信を司るものである。
【００３３】
システムバス１７０は、ＣＰＵ１１０と、記憶媒体１２０、ＲＡＭ１３０、入力機構１４０、表示機構１５０及び通信機構１６０とを相互に通信可能に接続するためのバスである。
【００３４】
次に、図１に示す記憶媒体１２０に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細について説明する。
【００３５】
図２は、本発明の第１の実施形態を示し、図１に示す記憶媒体１２０に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細についての一例を示す模式図である。ここで、図２において、図１と同様の機能の構成については、同じ符号を付している。また、図２においては、図１に示す記憶媒体１２０を「記憶媒体１２０−１」とし、図１に示すパラメータ値装置反映タイミング算出部１２２を「パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１」として説明を行う。
【００３６】
図２のパラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１には、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１が保持されている。また、図２には、図１の装置内情報１２４として、装置設定中パラメータ値情報１２４１、ユーザ仕様リスト情報１２４２及び現在の装置状態情報１２４３が存在している。
【００３７】
まず、通常のＧＵＩ表示処理について説明する。
図３は、通常のＧＵＩ表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
【００３８】
ここで、記憶媒体１２０−１には、現在、露光装置１００内に設定されている、装置設定中パラメータ値情報１２４１、ユーザごとのカスタマイズ設定情報であるユーザ仕様リスト情報１２４２、及び、現在の装置状態情報１２４３が保持されている。ここで、装置設定中パラメータ値情報１２４１には、現在、露光装置１００内に設定されている複数のパラメータに係るパラメータ値情報が記憶されている。また、表示機構１５０には、所定のＧＵＩ画面が表示されている。
【００３９】
まず、ステップＳ１０１において、ＣＰＵ１１０は、入力機構１４０から、ユーザによるＧＵＩ操作を受け付け、ユーザによりＧＵＩ操作がなされた場合、これを検知する。
【００４０】
続いて、ステップＳ１０２において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ＧＵＩ操作に応じて表示機構１５０に表示されているＧＵＩ画面の画面遷移や情報の編集を行い、装置内情報１２４（１２４１〜１２４３等）の更新を行う。
【００４１】
続いて、ステップＳ１０３において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、表示するＧＵＩ画面に必要なパラメータに係る情報を装置内情報１２４（１２４１〜１２４３等）から取得する。
【００４２】
続いて、ステップＳ１０４において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ１０３で取得した情報に基づいてＧＵＩ画像を作成する。
【００４３】
続いて、ステップＳ１０５において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ１０４で作成したＧＵＩ画像を表示機構１５０に送信する。これにより、表示機構１５０には、ステップＳ１０４で作成されたＧＵＩ画像に基づく新たなＧＵＩ画面が表示される。
【００４４】
次に、上述した内容を踏まえた上で、図２を用いて、本発明の第１の実施形態に係るＧＵＩ表示処理の制御方法について説明する。
【００４５】
まず、本実施形態で取り扱う、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１、装置設定中パラメータ値情報１２４１、ユーザ仕様リスト情報１２４２、及び、現在の装置状態情報１２４３について説明する。
【００４６】
＜全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１＞
全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１は、ＧＵＩ画面から露光装置内の認識可能な全てのパラメータのそれぞれについて、装置反映タイミングをリスト形式で保持するものである。
【００４７】
図４は、図２に示す全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１の一例を示す模式図である。図４に示す例では、各パラメータについて、パラメータ名４０１、及び、装置反映タイミング４０２が定められている。
【００４８】
例えば、パラメータ名４０１がパラメータＡ（４１１）については、装置反映タイミング４０２として、装置再起動、ＧＵＩ再起動、ロット、ウェハ、即時（待機状態に限り）というタイミング４１２で露光装置１００の動作に反映されることを示している。このように、装置反映タイミング４０２とは、露光装置１００の状態変化のタイミングや、処理実行単位を示すものである。また、装置反映タイミング４０２の関係性は、静的に決まっているものでも、運用時に変更可能な動的なものでも実現可能であるが、露光装置１００の仕様に依存する部分が大きく、本例では、静的に定義されているものとする。また、本例では、最も早く露光装置に反映されるタイミングが、即時（待機状態に限り）であり、以降、ウェハ、ロット、ＧＵＩ再起動、装置再起動の順に遅い更新タイミングとなっているものとする。
【００４９】
＜装置設定中パラメータ値情報１２４１＞
装置設定中パラメータ値情報１２４１は、露光装置１００内の全てのパラメータ、及び、その値を保持するものである。
【００５０】
＜ユーザ仕様リスト情報１２４２＞
ユーザ仕様リスト情報１２４２は、パラメータ名における本来の装置反映タイミング４０２に対し、ユーザの運用等の仕様上の都合のために、更に制約を加える形で露光装置１００に設定された、ユーザ定義の装置反映タイミングのリスト情報である。
【００５１】
図５は、図２に示すユーザ仕様リスト情報１２４２の一例を示す模式図である。図５に示す例では、各パラメータについて、図４のパラメータ名４０１に対応するパラメータ名５０１、及び、ユーザ定義装置反映タイミング５０２が定められている。
【００５２】
例えば、パラメータ名５０１がパラメータＡ（５１１）については、ユーザ定義装置反映タイミング５０２として、装置再起動、ＧＵＩ再起動、ウェハ、即時（待機状態に限り）というタイミング５１２で露光装置１００の動作に反映されることを示している。即ち、本例のユーザ定義装置反映タイミング５１２は、図４に示す本来の装置反映タイミング４１２に対して、ウェハのタイミングをあえて禁止する、ユーザ側の制約が加えられている。
【００５３】
＜現在の装置状態情報１２４３＞
現在の装置状態情報１２４３は、現在の露光装置１００の状態を示すものであり、例えば、ウェハ露光中状態や待機状態などの情報である。
【００５４】
次に、本実施形態のＧＵＩ表示処理について説明する。
図６は、本発明の第１の実施形態に係る露光装置（情報処理装置）によるＧＵＩ表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
【００５５】
まず、ステップＳ２０１において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、表示するＧＵＩ画面に必要なパラメータに係る情報を装置内情報１２４（１２４１〜１２４３等）から取得する。
【００５６】
続いて、ステップＳ２０２において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ２０１で取得した情報に基づいてＧＵＩ画像を作成する。ここまでの処理は、図３のステップＳ１０３及びＳ１０４の処理と同様である。
【００５７】
続いて、ステップＳ２０３において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、装置設定中パラメータ値情報１２４１に基づいて、ステップＳ２０２で作成したＧＵＩ画像に含まれる現在表示中のパラメータのリスト情報をパラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１に送信する。
【００５８】
続いて、ステップＳ２０４において、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ユーザ仕様リスト情報１２４２及び現在の装置状態情報１２４３を取得する。
【００５９】
続いて、ステップＳ２０５において、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ２０３及びＳ２０４で取得した情報と、内部に保持する全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１を用いて、現在表示中のパラメータが実際に露光装置１００の動作に反映される装置反映タイミングを算出し、当該パラメータと当該装置反映タイミングのリスト情報を作成する。
【００６０】
ここで、図６のステップＳ２０５の詳細な処理手順について説明する。
図７は、図６のステップＳ２０５の詳細な処理手順の一例を示すフローチャートである。
【００６１】
ここで、図７のフローチャートの説明にあたって、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１は、図４に示すものとし、ユーザ仕様リスト情報１２４２は、図５に示すものとする。また、現在の露光装置１００の状態をウェハ露光中状態とし、ステップＳ２０３で得られた現在表示中のパラメータは、図４及び図５におけるパラメータＡであるものとする。
【００６２】
図６のステップＳ２０５の処理では、まず、図７のステップＳ３０１において、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１は、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報１２２１から、現在表示中のパラメータに係る情報のリストを抽出する。具体的に、本例では、現在表示中のパラメータに係る情報として、パラメータＡのパラメータ名とともに、図４に示す装置反映タイミング４１２（装置再起動、ＧＵＩ再起動、ロット、ウェハ、即時（待機状態に限り））が抽出される。
【００６３】
続いて、ステップＳ３０２において、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１は、ステップＳ３０１で抽出した現在表示中のパラメータに係る情報のリストの装置反映タイミングに対して、ユーザ仕様リスト情報１２４２に基づくユーザ仕様を反映する。具体的に本例では、図５に示すユーザ定義装置反映タイミング５１２、即ち、図４に示す装置反映タイミング４１２に対して、ウェハのタイミングを除いた４つの装置反映タイミングをパラメータＡの装置反映タイミングと設定する。より詳細に、パラメータＡの装置反映タイミングとして、装置再起動、ＧＵＩ再起動、ロット及び即時（待機状態に限り）の４つの装置反映タイミングが設定される。
【００６４】
続いて、ステップＳ３０３において、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−１は、ステップＳ３０２で設定した装置反映タイミングに対して、現在の装置状態情報１２４３に基づく現在の露光装置１００の状態を反映する。
【００６５】
具体的に本例では、現在の露光装置１００の状態は、ウェハ露光中の状態である。この場合、ユーザ定義装置反映タイミング５１２の４つの装置反映タイミングについて、即時（待機状態に限り）が最も早い装置反映タイミングとなるが、待機状態に限るという条件を満たないため、ＧＵＩ画面に表示する装置反映タイミングとはならない。そこで、ユーザ定義装置反映タイミング５１２の４つの装置反映タイミングにおいて、次に早いロットがＧＵＩ画面に表示する装置反映タイミングとして設定される。なお、図４に示す装置反映タイミング４１２では、即時（待機状態に限り）の次のタイミングはウェハであるが、このウェハのタイミングは、図５に示すユーザ定義装置反映タイミング５１２では除かれているため、ステップＳ３０２の処理で既に除外されている。
【００６６】
以上のステップＳ３０１〜Ｓ３０３の処理を経ることで、図６のステップＳ２０５の処理がなされる。
【００６７】
ここで、再び、図６の説明に戻る。
ステップＳ２０５の処理が終了すると、ステップＳ２０６に進む。
ステップＳ２０６に進むと、まず、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部１２３は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ＧＵＩ表示処理部１２１が現在保持するＧＵＩ画像に係る表示情報と、ステップＳ２０５で作成された現在表示中のパラメータとその装置反映タイミングのリスト情報に基づいて、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。次いで、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ２０２で作成したＧＵＩ画像に対して、前記パラメータ値装置反映タイミング表示情報に基づく装置反映タイミング情報を付加して、表示対象のＧＵＩ画像を作成する。なお、ここで付加される装置反映タイミング情報は、現在表示中のパラメータにおける最速の装置反映タイミング情報である。
【００６８】
続いて、ステップＳ２０７において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ２０６で作成したＧＵＩ画像を表示機構１５０に送信する。これにより、表示機構１５０には、ステップＳ２０７で作成されたＧＵＩ画像に基づく新たなＧＵＩ画面が表示される。その後、図６のフローチャートにおける処理を終了する。
【００６９】
図８は、本発明の第１の実施形態を示し、図１に示す表示機構１５０に表示されたＧＵＩ画面８００の一例を示す模式図である。このＧＵＩ画面８００は、ステップＳ２０８の処理を経て表示機構１５０に表示されたものである。
【００７０】
図８には、編集対象のパラメータとして、複数のパラメータ８１１〜８１４、８２１、８２２及び８３１が示されている。そして、図８に示す例では、パラメータ８１１〜８１４の装置反映タイミングが制御側リセット８１０のタイミングであることを示している。また、パラメータ８２１〜８２２の装置反映タイミングが次回レチクル搬送８２０のタイミングであることを示し、パラメータ８３１の装置反映タイミングがＧＵＩ再起動８３０のタイミングであることを示している。このように、本実施形態では、装置反映タイミングの種類ごとに、ＧＵＩ画面における表示方法（例えば背景色）を変更して、ユーザが一見して編集対象のパラメータにおける装置反映タイミングが把握できるようにしている。
【００７１】
本実施形態では、ＧＵＩ画面に表示される全パラメータに対して、実際に露光装置１００の動作に反映される装置反映タイミングの情報を付加したＧＵＩの提供が可能となる。これにより、露光装置１００の膨大なパラメータについて、パラメータごとに異なる複雑な編集タイミングと実際の露光装置への反映タイミングとの差異を、ＧＵＩ画面を一見するだけで把握することができる。即ち、本実施形態によれば、複数の膨大なパラメータの編集作業を行う際に、編集者が１つ１つのパラメータの装置反映タイミングを調査する必要を回避することが可能であり、編集者の負担軽減を実現することができる。
【００７２】
（第２の実施形態）
まず、本発明の第２の実施形態について説明する。
第２の実施形態の係る露光装置の内部構成は、図１に示す第１の実施形態の係る露光装置１００の内部構成と同様である。
【００７３】
図９は、本発明の第２の実施形態を示し、図１に示す記憶媒体１２０に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細についての一例を示す模式図である。ここで、図９において、図１及び図２と同様の機能の構成については、同じ符号を付している。また、図９においては、図１に示す記憶媒体１２０を「記憶媒体１２０−２」とし、図１に示すパラメータ値装置反映タイミング算出部１２２を「パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−２」として説明を行う。
【００７４】
図２に示す記憶媒体１２０−１と図９に示す記憶媒体１２０−２とを比較すると、図９に示すパラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−２には、全パラメータと装置反映タイミングの現在のリスト情報１２２２が追加されて構成されている。この全パラメータと装置反映タイミングの現在のリスト情報１２２２には、全パラメータに対するリアルタイムな装置反映タイミングのリストが保持されている。
【００７５】
次に、本実施形態のＧＵＩ表示処理について説明する。
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る露光装置（情報処理装置）によるＧＵＩ表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。ここで、図１０には、第１の実施形態に係るＧＵＩ表示処理の制御方法における処理と異なる部分について示している。
【００７６】
また、図１１は、本発明の第２の実施形態を示し、図１に示す表示機構１５０に表示されたＧＵＩ画面１１００の一例を示す模式図である。この図１１を用いながら、図１０に示すフローチャートの処理の説明を行う。
【００７７】
まず、ステップＳ４０１において、ＣＰＵ１１０は、マウスやキーボード等からなる入力機構１４０から、ユーザによるパラメータＧＵＩボタンの操作を受け付け、ユーザによりパラメータＧＵＩボタンの操作がなされた場合、これを検知する。具体的に、ＣＰＵ１１０は、パラメータＧＵＩボタンとして、図１１のＧＵＩ画面１１００上の同反映タイミングリスト表示ボタン１１０１の操作を受け付ける。そして、ＣＰＵ１１０は、ユーザにより同反映タイミングリスト表示ボタン１１０１が操作されたパラメータ名を取得する。
【００７８】
続いて、ステップＳ４０２において、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−２は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ４０１で取得されたパラメータ名に基づき、全パラメータと装置反映タイミングの現在のリスト情報１２２２を検索する。そして、パラメータ値装置反映タイミング算出部１２２−２は、当該パラメータ名における現在の装置反映タイミングを取得する。
【００７９】
続いて、ステップＳ４０３において、まず、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部１２３は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、当該パラメータ名及び対応する装置反映タイミング、全パラメータと装置反映タイミングの現在のリストの情報に基づいて、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。次いで、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、当該パラメータ値装置反映タイミング表示情報に基づく同反映タイミングダイアログを含むＧＵＩ画像を作成する。
【００８０】
続いて、ステップＳ４０４において、ＧＵＩ表示処理部１２１は、ＣＰＵ１１０の制御に従って、ステップＳ４０３で作成したＧＵＩ画像を表示機構１５０に送信する。これにより、表示機構１５０には、ステップＳ４０３で作成された、同反映タイミングダイアログを含むＧＵＩ画像に基づく新たなＧＵＩ画面が表示される。その後、図１０のフローチャートにおける処理を終了する。
【００８１】
図１２は、本発明の第２の実施形態を示し、図１に示す表示機構１５０に表示されたＧＵＩ画面１２００の一例を示す模式図である。この図１２に示すＧＵＩ画面１２００は、ステップＳ４０４の処理を経て表示機構１５０に表示されたものであり、図１１に示すＧＵＩ画面１１００に対して、同反映タイミングダイアログ１２０１を追加したものである。
【００８２】
同反映タイミングダイアログ１２０１は、装置反映タイミングごとにタブ分けされたシートで構成されており、ステップＳ４０２で算出された現在の装置反映タイミングのシートが表示された状態で、同じタイミングで反映されるパラメータの一覧が表示される。また、図１２に示すＧＵＩ画面１２００では、現在選択中（現在編集中）パラメータ１２０２としてパラメータＥにカーソルが当てられている様子が示されている。
【００８３】
（本発明の他の実施形態）
前述した本発明の各実施形態に係る露光装置（情報処理装置）の制御方法を示す図６、図７及び図１０の各ステップは、コンピュータのＣＰＵ（１１０）が記憶媒体（１２０）に記憶されているプログラムを実行することによって実現できる。このプログラム及び当該プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は本発明に含まれる。
【００８４】
また、本発明は、例えば、システム、装置、方法、プログラム若しくは記憶媒体等としての実施形態も可能であり、具体的には、複数の機器から構成されるシステムに適用してもよいし、また、１つの機器からなる装置に適用してもよい。
【００８５】
なお、本発明は、前述した各実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラム（実施形態では図６、図７及び図１０に示すフローチャートに対応したプログラム）を、システム或いは装置に直接、或いは遠隔から供給するものを含む。そして、そのシステム或いは装置のコンピュータが前記供給されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される場合も本発明に含まれる。
【００８６】
したがって、本発明の機能処理をコンピュータで実現するために、前記コンピュータにインストールされるプログラムコード自体も本発明を実現するものである。つまり、本発明は、本発明の機能処理を実現するためのコンピュータプログラム自体も含まれる。
【００８７】
その場合、プログラムの機能を有していれば、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラム、ＯＳに供給するスクリプトデータ等の形態であってもよい。
【００８８】
プログラムを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＭＯ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷなどがある。また、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−Ｒ）などもある。
【００８９】
その他、プログラムの供給方法としては、クライアントコンピュータのブラウザを用いてインターネットのホームページに接続する。そして、前記ホームページから本発明のコンピュータプログラムそのもの、若しくは圧縮され自動インストール機能を含むファイルをハードディスク等の記録媒体にダウンロードすることによっても供給できる。
【００９０】
また、本発明のプログラムを構成するプログラムコードを複数のファイルに分割し、それぞれのファイルを異なるホームページからダウンロードすることによっても実現可能である。つまり、本発明の機能処理をコンピュータで実現するためのプログラムファイルを複数のユーザに対してダウンロードさせるＷＷＷサーバも、本発明に含まれるものである。
【００９１】
また、本発明のプログラムを暗号化してＣＤ−ＲＯＭ等の記憶媒体に格納してユーザに配布し、所定の条件をクリアしたユーザに対し、インターネットを介してホームページから暗号化を解く鍵情報をダウンロードさせる。そして、ダウンロードした鍵情報を使用することにより暗号化されたプログラムを実行してコンピュータにインストールさせて実現することも可能である。
【００９２】
また、コンピュータが、読み出したプログラムを実行することによって、前述した各実施形態の機能が実現される。その他、そのプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳなどが、実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によっても前述した各実施形態の機能が実現され得る。
【００９３】
さらに、記録媒体から読み出されたプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれる。その後、そのプログラムの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によっても前述した各実施形態の機能が実現される。
【００９４】
なお、前述した各実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。即ち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１００：露光装置（情報処理装置）、１１０：ＣＰＵ、１２０：記憶媒体、１２１：ＧＵＩ表示処理部、１２２：パラメータ値装置反映タイミング算出部、１２３：パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部、１２４：装置内情報、１３０：ＲＡＭ、１４０：入力機構、１５０：表示機構、１６０：通信機構、１７０：システムバス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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