(57)【要約】【課題】ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】第１押圧部３５１と第２押圧部３５２との間に可折領域形成部３５５が形成された押圧ヘッド３３を用い、貼付工程にて剥離用テープを接着シートに貼付することで、剥離工程にて、可折領域Ｒ４を折り曲げつつ接着シートを被着体から剥離することができる。従って、接着領域全体が同時に起き上がるような剥離状態が回避でき、接着シートの端部から順に剥離することができることで、被着体端部の起き上がりを抑制して被着体の変形を防止しつつ、接着シートを円滑に剥離することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記貼付手段は、前記剥離用テープを前記接着シートに押圧する押圧ヘッドを有して構成され、前記押圧ヘッドは、前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付する第１押圧部と、前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付する第２押圧部と、前記第１接着領域と第２接着領域とに渡って可折領域を形成する可折領域形成部とを少なくとも有して構成されることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記第１押圧部の外端縁が前記接着シートの外端縁に沿った形状を有して前記押圧ヘッドが形成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記剥離用テープは、感熱接着性の接着シートであって、
前記貼付手段は、前記押圧ヘッドを加熱する加熱手段を有して構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記押圧ヘッドの可折領域形成部は、前記剥離用テープの第３接着領域を前記接着シートに貼付する第３押圧部と、当該剥離用テープを前記接着シートに貼付しない非貼付部とを有して構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項５】
表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰出す工程と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して第１、第２の接着領域および可折領域に分けて前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させ、前記第１接着領域に続いて前記可折領域を折り曲げ後、前記第２接着領域を順次剥離する工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付されたシートを剥離するシート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体チップを小型化するために半導体ウェハ（以下単にウェハという）の裏面を研削して薄くする工程がある。この研削工程においてはウェハの表面（回路が形成された面）に接着シートを接着するとともに、研削工程の後にこの接着シートはウェハから剥離される。そして、このような接着シートの剥離方法としては、剥離用テープを接着シートの端部に接着し、この剥離用テープを引っ張って接着シートをウェハから剥離する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載されたような従来の剥離方法では、接着シートの端部における剥離用テープの接着領域としては、ウェハの外周に沿った周方向の長さと、ウェハの中心に向かう径方向の長さ（特許文献１では、距離ｄであり、ｄ≦３mm）とで規定され、この接着領域は、回路面が形成されることのない余剰領域を基に設定されている。
【０００５】
ここで、図７（Ａ）に示すように、感熱接着性の接着剤を有する剥離用テープＴを用いて接着シート９１を剥離する場合、接着領域９０に接着剤を溶着すると、接着剤は経時とともに硬化する傾向がある。このように硬化した剥離用テープＴを引っ張って接着シート９１の剥離を行うと、図７（Ｂ）に示すように、剥離用テープＴで引っ張られた接着領域９０が面状に同時に起き上がろうとする。その結果、接着領域９０に隣り合うウェハＷの境界部分Ｗ１に作用する応力が大きくなってしまい、境界部分Ｗ１でウェハＷが剥離用テープＴとともに起き上がってしまう。さらに、ウェハＷの起き上がりが大きくなると、場合によってはウェハＷが割れてしまう可能性もあった。なお、ウェハＷが割れたとしても、前述のようにウェハＷの余剰領域に接着領域９０が設けられているので、ウェハＷから半導体チップを製造することには大きな支障はない。
このようなウェハＷの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域９０のウェハＷの中心に向かう径方向の長さ（距離ｄ０）を短くすれば、解消されるが、ウェハＷの全面から接着シート９１を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープＴが接着シート９１から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
【０００６】
本発明は、以上のような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウェハ等の被着体の起き上がりや割れを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、前記貼付手段は、前記剥離用テープを前記接着シートに押圧する押圧ヘッドを有して構成され、前記押圧ヘッドは、前記剥離用テープの第１接着領域を前記接着シートに貼付する第１押圧部と、前記剥離用テープの第２接着領域を前記接着シートに貼付する第２押圧部と、前記第１接着領域と第２接着領域とに渡って可折領域を形成する可折領域形成部とを少なくとも有して構成されている。
【０００８】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記第１押圧部の外端縁が前記接着シートの外端縁に沿った形状を有して前記押圧ヘッドが形成されていることが好ましい。
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記剥離用テープは、感熱接着性の接着シートであって、前記貼付手段は、前記押圧ヘッドを加熱する加熱手段を有して構成されていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記押圧ヘッドの可折領域形成部は、前記剥離用テープの第３接着領域を前記接着シートに貼付する第３押圧部と、当該剥離用テープを前記接着シートに貼付しない非貼付部とを有して構成されていることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート剥離方法は、表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記被着体を保持する工程と、前記剥離用テープを繰出す工程と、前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して第１、第２の接着領域および可折領域に分けて前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させ、前記第１接着領域に続いて前記可折領域を折り曲げ後、前記第２接着領域を順次剥離する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、押圧ヘッドの第１および第２の押圧部により剥離用テープの第１および第２の接着領域を接着シートに貼付し、可折領域形成部により可折領域を形成することで、剥離用テープを引っ張って接着シートを被着体から剥離する際に可折領域が折れ曲がり、接着領域全体が同時に起き上がるような剥離状態が回避できる。従って、被着体端部の起き上がりを抑制して被着体の起き上がりや割れを防止しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
【００１１】
この際、第１押圧部の外端縁が接着シートの外端縁に沿った形状を有していれば、第１接着領域を接着シートの外端縁に沿って形成することができ、接着シートを端部から確実に剥離することができる。
さらに、剥離用テープが感熱接着性の接着テープであれば、感圧接着性の接着テープに比較して高い接着力が得られるため、各接着領域の接着面積を小さくすることができ、被着体の起き上がりをさらに抑制することができる。そして、感熱接着性の接着テープを用いることで、所定の接着領域（第１、第２の接着領域）のみを正確に接着することができるうえ、常温で接着力がないため、感圧接着性の接着テープを採用したときのように装置各所に非接着処理を施すといった装置の構成に注意を払う必要がなくなる。
【００１２】
また、押圧ヘッドの可折領域形成が第３押圧部と非貼付部とを有して構成されていれば、第３接着領域の接着面積を相対的に小さくすることにより、剥離の際に可折領域が確実に折れ曲がるようにすることができる。なお、非貼付部としては、剥離用テープに当接しないように凹んで形成された非当接部でもよく、また、剥離用テープに当接するとしても第１〜第３押圧部よりも押圧力が小さくなるように構成すればよい。さらに、剥離用テープが感熱接着性の接着シートであれば、非貼付部としては、剥離用テープを加熱しない非加熱部であってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態に係るシート剥離装置１を示す側面図である。図２は、シート剥離装置１の要部側面図である。
図１および図２において、シート剥離装置１は、被着体としてのウェハＷの表面に貼付された接着シートＳを剥離用テープであるテープＴを用いて剥離する装置であって、ウェハＷを保持する保持手段であるテーブル１０と、テープＴを繰出す繰出手段である繰出ユニット２０と、繰出されたテープＴを接着シートＳに貼付する貼付手段である貼付ユニット３０と、ウェハＷとテープＴとを相対移動させる移動手段４０とを備えて構成されている。なお、ウェハＷはダイシングテープＤを介してリングフレーム１２と一体化されている。
【００１４】
テーブル１０は、図示しない吸引口を介してウェハＷを吸着保持する平板状のテーブル本体１１からなり、リングフレーム１２と一体化されたウェハＷをダイシングテープＤ側から吸着保持可能に構成されている。
【００１５】
繰出ユニット２０は、図示しない離脱装置に支持されて上下移動可能に設けられた繰出ユニット本体２１と、この繰出ユニット本体２１に設けられる支持ローラ２２およびガイドローラ２３，２４と、繰出ユニット本体２１下部に設けられてテープＴを下方から支持するテープ支持部２５と、テープＴを把持する把持爪２７を含むチャック部材２８と、テープ支持部２５の上方に設けられて繰り出されたテープＴを切断するテープ切断部２６とを備えて構成されている。テープ支持部２５は、繰出ユニット本体２１に固定されるブッシュ２５１と、このブッシュ２５１に進退自在に支持されるロッド２５２と、このロッド２５２の先端に固定されるとともにカッター溝２５５を有するテープ受け板２５３と、テープ受け板２５３をブッシュ２５１から突出する方向に付勢するコイルばね２５４とを有して構成されている。テープ切断部２６は、テープＴを切断するカッター刃２６１と、テープＴを切断する際にカッター刃２６１を上下駆動させて当該カッター刃２６１をカッター溝２５５内に案内する上下用シリンダ２６２と、カッター刃２６１を図１中紙面直交方向に駆動してテープＴを切断する切断用シリンダ２６３とを有して構成されている。テープＴは、感熱接着性の接着テープであり、ロール状に巻取られた状態で支持ローラ２２に支持されている。
【００１６】
貼付ユニット３０は、図示しないユニット支持部に支持されて図１中繰出ユニット２０の左側に設けられている。この貼付ユニット３０は、ユニット支持部に連結される押圧用モータ３１と、この押圧用モータ３１の出力軸３２の下端部に設けられる押圧ヘッド３３とを備えて構成されている。押圧ヘッド３３は、押圧用モータ３１の駆動により下方に向かって押し下げられるようになっている。また、押圧ヘッド３３には、加熱手段としてのヒータ３４が内蔵されており、このヒータ３４によって、押圧ヘッド先端部３５が加熱されるようになっている。このような貼付ユニット３０では、図２に示すように、押圧ヘッド先端部３５がテープＴを加熱して押圧することで、テープＴの感熱性接着剤層を溶融させて当該テープＴを接着シートＳに溶着するように構成されている。
【００１７】
ここで、押圧ヘッド３３の構造について図３および図４も参照して説明する。
押圧ヘッド３３の押圧ヘッド先端部３５は、接着シートＳの外縁に沿った平面視略円弧状に形成され、その円弧の外周側に設けられる第１押圧部３５１と、円弧の内周側に設けられる第２押圧部３５２と、これら第１および第２の押圧部３５１，３５２間に設けられる第３押圧部３５３および非押圧部３５４とを有して構成されている。すなわち、第１押圧部３５１は、その外端縁がウェハＷの外周縁に沿った形状を有して形成され、この第１押圧部３５１と所定間隔を隔てて剥離方向（図４に符号Ａで示す方向）に離隔して第２押圧部３５２が形成されている。なお、複数の第３押圧部３５３および非押圧部３５４によって本実施形態の可折領域形成部３５５が構成される。
【００１８】
第３押圧部３５３と非押圧部３５４とは、第１押圧部３５１と第２押圧部３５２とを掛け渡すように設けられ、非押圧部３５４は、押圧部３５１，３５２，３５３に対して凹んで形成されている。これらの非押圧部３５４は、図２に示す貼付工程時にテープＴに当接しないようになっており、このような押圧ヘッド３３でテープＴを接着シートＳに押圧して加熱することで、図４(Ａ)に示すようなテープＴの接着領域（第１〜第３の接着領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３）と、接着シートＳに貼付しない非接着領域Ｎとが形成されるようになっている。
【００１９】
図４(Ａ)において、テープＴと接着シートＳとが接着される第１接着領域Ｒ１は、接着シートＳの外周端縁に沿って形成され、第２接着領域Ｒ２は、第１接着領域Ｒ１よりも剥離方向Ａに沿ってウェハＷの中心寄りに形成される。第３接着領域Ｒ３は、第１接着領域Ｒ１と第２接着領域Ｒ２とを連結して剥離方向Ａに沿って延びるとともに、非接着領域Ｎは、第１接着領域Ｒ１と第２接着領域Ｒ２との間で、隣り合う第３接着領域Ｒ３に挟まれた位置に形成される。これにより、第３接着領域Ｒ３および非接着領域Ｎによって本実施形態の可折領域Ｒ４が構成されている。なお、可折領域Ｒ４を折り曲げつつ当該可折領域Ｒ４における接着シートＳをウェハＷから剥離するためには、第１および第２の接着領域Ｒ１，Ｒ２の接着面積よりも第３接着領域Ｒ３の接着面積が小さくなるように設定し、この第３接着領域Ｒ３を含んだ可折領域Ｒ４の剛性が第１および第２の接着領域Ｒ１，Ｒ２よりも相対的に小さくなるように設定されていればよい。
【００２０】
なお、第１〜第３の接着領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３および非接着領域Ｎとしては、図４(Ｂ)に示すように、第３接着領域Ｒ３が平面視略三角形状に形成されていてもよく、この第３接着領域Ｒ３は、第１接着領域Ｒ１に沿った底辺と第２接着領域Ｒ２に接する頂点とを有した略二等辺三角形となっている。すなわち、第１〜第３の接着領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３および非接着領域Ｎの形状および接着面積としては、接着シートＳを剥離するときに第３接着領域Ｒ３が折れ曲がることができる程度の剛性を有して形成されればよく、ウェハＷの径寸法や接着シートＳの接着強度などに応じて適宜に設定することができる。
【００２１】
移動手段４０は、図１中繰出ユニット２０の紙面奥側に設けられた単軸ロボット４１とそのスライダ４２と、テーブル本体１１の下方に設けられた単軸ロボット４３とそのスライダ４４とから構成されている。スライダ４２は、チャック部材２８が取り付けられて図１中左右方向に移動可能とされるとともに、スライダ４４は、テーブル本体１１が取り付けられて図１中左右方向に移動可能とされる。これにより、チャック部材２８が接着シートＳに貼付されたテープＴを把持してウェハＷとの相対移動を可能とし、当該ウェハＷから接着シートＳを剥離することができるようになっている。
【００２２】
次に、本実施形態における接着シートＳの剥離方法として、シート剥離装置１の動作を図５、図６も参照して説明する。
ウェハＷから接着シートＳを剥離する手順としては、先ず、図１に示すように、ウェハＷがテーブル１０の所定位置に保持されるとともに、シート剥離装置１の各部が初期位置設定された状態において、テープ切断部２６および貼付ユニット３０が上方に移動して退避してから、単軸ロボット４１を介してチャック部材２８が繰出ユニット２０に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪２７がテープ受け板２５３に当接すると、テープ受け板２５３をブッシュ２５１方向に押し込み、テープＴの先端を上下の把持爪２７間に受け入れる。そして、チャック部材２８は、把持爪２７を閉じてテープＴの先端を把持するとともに、テープＴを把持したままで繰出ユニット２０から離れる方向に移動し、テープＴを所定長さ引き出して停止する。
【００２３】
次に、図２に示すように、チャック部材２８とテープ受け板２５３との間にテープＴが掛け渡された状態において、貼付ユニット３０は、押圧用モータ３１を作動させて押圧ヘッド３３を押し下げ、押圧ヘッド先端部３５でテープＴの中間部を下降させて接着シートＳに押圧する。この際、押圧ヘッド先端部３５は、ヒータ３４により加熱され、第１〜第３の押圧部３５１，３５２，３５３でテープＴの第１〜第３の接着領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を接着シートＳに貼付する（貼付工程）。この際、非押圧部３５４がテープＴに当接しないことで、接着シートＳに接着されない非接着領域Ｎが形成される。その後、テープ切断部２６は、上下用シリンダ２６２によってカッター刃２６１をカッター溝２５５内に下降させ、切断用シリンダ２６３を駆動してカッター刃２６１によってテープＴを切断する。
【００２４】
次に、図５(Ａ)に示すように、繰出ユニット本体２１、テープ切断部２６および貼付ユニット３０が上方に退避した状態において、単軸ロボット４１は、テープＴの先端を把持した状態のチャック部材２８を剥離方向Ａ（図の右方向）に移動させるとともに、単軸ロボット４３は、テーブル１０を剥離方向Ａと反対方向に移動させる。このように単軸ロボット４１および単軸ロボット４３によってテープＴとウェハＷとが互いに反対方向に移動し、テープＴを介して接着シートＳを引っ張ることで、接着シートＳを順次ウェハＷから剥離していき、接着シートＳ全体を剥離することとなる。
この剥離動作において、先ず初めに、図５(Ｂ)に示すように、接着シートＳは、第１接着領域Ｒ１が剥離方向Ａに引っ張られて剥離した瞬間に、可折領域Ｒ４で折れ曲がり、ウェハＷを起き上がらせることなくその端部が剥離される。その後も剥離動作が継続され、図６(Ａ)に示すように、第２接着領域Ｒ２を引っ張って図６(Ｂ)に示すように、接着シートＳをウェハＷから剥離し、テープＴは第１、第２接着領域Ｒ１，Ｒ２および第３接着領域Ｒ３の一部で確実に接着シートＳを保持して当該接着シートＳ全体をウェハＷから剥離する。この後、剥離した接着シートＳが接着されたテープＴをチャック部材２８から回収するとともに、接着シートＳを剥離したウェハＷを適宜な搬送装置でテーブル１０から搬出し、シート剥離装置１の各部を初期位置に復帰させて接着シートＳの剥離手順が完了する。
【００２５】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、第１〜第３の接着領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を接着シートＳに貼付し、第３接着領域Ｒ３を折り曲げつつ接着シートＳをウェハＷから剥離することで、接着シートＳが面状に起き上がるような剥離状態が回避でき、接着シートＳをウェハＷから円滑に剥離することができる。
さらに、押圧ヘッド３３に非押圧部３５４が設けられたことで、非接着領域Ｎを形成可能とし可折領域Ｒ４を簡単に折り曲がるようにすることができる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２７】
例えば、前記実施形態では、被着体が半導体ウェハである場合を示したが、被着体は半導体ウェハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウエハや化合物ウエハ等が例示でき、この被着体に貼付された接着シート（シート、フィルム、テープ等）を剥離する剥離装置や剥離方法にも本発明を適用することができる。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の接着シートであるテープＴを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートＳを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。
また、前記実施形態のシート剥離装置１において、本願発明の要部ではない部分に関しては、それらの説明を省略または簡略したが、省略した構成や動作としては、前記特許文献１に開示されたものが利用可能であるとともに、必ずしも特許文献１に開示された形態に限定されるものではなく、各部の機能に応じて適宜な改変を加えたものを用いてもよい。
【００２８】
また、押圧ヘッドとしては、第１〜第３の押圧部の他に第４以上の押圧部が設けられたものでもよく、押圧ヘッドとして、前記第２押圧部３５２よりも被着体の中心側に第４押圧部が形成され、これら第２押圧部と第４押圧部との間に第２の可折領域形成部３５５が形成されたものであってもよい。
【００２９】
さらに、前記実施形態では、繰出手段として、剥離用テープをロール状に巻取り支持する支持ローラ２２やガイドローラ２３，２４を有した繰出ユニット２０で構成されていたが、このような構成に限定されない。すなわち、繰出手段としては、ロール状の剥離用テープを繰り出すものに限らず、剥離用テープを適宜な長さにカット枚葉のテープを採用してもよい。
また、前記実施形態では、ウェハＷとテープＴとの両方を移動させて相対移動させる移動手段４０を構成したが、これに限らず、ウェハＷとテープＴとのいずれか一方のみを移動させるように移動手段４０を構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態に係るシート剥離装置を示す側面図。
【図２】図１のシート剥離装置の動作説明図。
【図３】図１のシート剥離装置における押圧ヘッドの斜視図。
【図４】(Ａ)，(Ｂ)は、剥離用テープの接着領域を説明する図。
【図５】(Ａ)，(Ｂ)は、図２に続くシート剥離装置の動作説明図。
【図６】(Ａ)，(Ｂ)は、図５に続くシート剥離装置の動作説明図。
【図７】(Ａ)，(Ｂ)は、従来の不具合例を示す説明図。
【符号の説明】
【００３１】
１        シート剥離装置
１０      テーブル（保持手段）
２０      繰出ユニット（繰出手段）
３０      貼付ユニット（貼付手段）
３３      押圧ヘッド
３４      ヒータ（加熱手段）
４０      移動手段
３５１    第１押圧部
３５２    第２押圧部
３５３    第３押圧部
３５４    非押圧部（非貼付部）
３５５    可折領域形成部
Ｒ１      第１接着領域
Ｒ２      第２接着領域
Ｒ３      第３接着領域
Ｒ４      可折領域
Ｓ        接着シート
Ｔ        テープ（剥離用テープ）
Ｗ        ウェハ（被着体）
【図１】
2010028062.tif 000003
【図２】
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【図３】
2010028062.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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