(57)【要約】【課題】ウエハの凹凸形状面にダイシングテープを凹凸形状に沿って密着性良く貼り付けるウエハのマウント装置を提供する。【解決手段】ウエハ１のマウント装置において、上下一対の上部枠体６と下部枠体７の結合によりその内部を密閉状態になるように構成すると共に、上部枠体６の下面に弾性変形可能な通気性部材を装着して上部枠体６の通気孔９を通して通気性部材１３全域に圧縮空気を導入するようにし、下部枠体７の上面にウエハ１を載置保持するテーブル面２０を形成し、下部枠体７の外周外側全域にダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３を保持するフレーム台２２を設け、通気性部材１３でダイシングテープ４を押下げ後、下部枠体７の押圧で通気性部材１３を弾性変形させながらウエハ１の凹凸形状に沿ってダイシングテープ４を押圧すると共に上下枠体の内部を密閉状態に保持せしめた後、通気性部材１３の全域から圧縮空気を噴射させる。【選択図】図１
2010118584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、
互いに昇降可能に支持された上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、これら上部枠体と下部枠体の結合により、その内部を密閉状態になるように構成するとともに、
上部枠体には、その下面に弾性変形可能な材質からなる通気性部材を装着して、この上部枠体に穿設された通気孔を通して前記通気性部材全域に圧縮空気を導入するように構成し、
前記下部枠体には、その上面にウエハを載置保持するようにテーブル面を形成し、前記下部枠体の外周外側全域にはダイシングテープが貼り付けられたダイシングフレームを保持するフレーム台が設けられており、
前記上部枠体の下降動で前記通気性部材を介してダイシングテープを押し下げ、然る後、下部枠体の上昇動により、通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたことを特徴とするウエハのマウント装置。
【請求項２】
前記通気性部材の押圧面がウエハの中央部から外周に向かってダイシングテープを押圧するように円錐形状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のウエハのマウント装置。
【請求項３】
前記上下一対の上部枠体と下部枠体及びフレーム台とを真空チャンバ内に設け、ウエハのダイシングテープの貼り付けを減圧雰囲気下で行うようにしたことを特徴とする請求項１または２記載のウエハのマウント装置。
【請求項４】
その一面が凹凸形状に形成されたウエハにダイシングテープを押圧して貼り付けることにより、ダイシングテープを介してウエハをダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、
開閉自在な上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、
上部枠体には、圧縮空気を導入する通気孔が設けられ、
下部枠体には、その内部にウエハがマウントされたダイシングフレームを載置するテーブル面を形成し、
ウエハがマウントされたダイシングフレームを前記下部枠体のテーブル面に載置し、上部枠体と下部枠体を閉じて、その内部を密閉状態にせしめた後、前記上部枠体の通気孔を通じて圧縮空気を導入することによりダイシングテープを圧縮空気でウエハに押圧せしめダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿うように貼り付けするようにしたことを特徴とするウエハのマウント装置。
【請求項５】
その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、
互いに昇降可能に支持された上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、これら上部枠体と下部枠体の結合により、その内部を密閉状態になるように構成するとともに、
上部枠体には、その下面に弾性変形可能な材質からなる通気性部材を装着して、この上部枠体に穿設された通気孔を通して前記通気性部材全域に圧縮空気を導入するように構成し、
前記下部枠体には、その上面にダイシングテープが貼り付けられたウエハのウエハ部分を載置保持するようにテーブル面を形成し、前記下部枠体の外周外側全域にはウエハがマウントされたダイシングフレームを保持するフレーム台が設けられており、
ダイシングフレームにマウントされたウエハを前記下部枠体のテーブル面に保持するとともにダイシングフレームをフレーム台に保持し、この後、前記上部枠体の下降動で前記通気性部材を介してダイシングテープを押圧することで通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたことを特徴とするウエハのマウント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置に関する。さらに詳しくは、その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、一般的に半導体の製造工程においては、ウエハのパターン形成面に保護テープを貼り付けた後、前記ウエハの裏面を研削して薄厚化し、その後、保護テープに貼り付けられた状態のウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントし、前記保護テープを剥離テープ等で剥離した後、ダイシングしてチップ化されることが行われている。
【０００３】
ところで、ダイオード、トランジスタ等の単機能半導体（ディスクリート）用のウエハの製造工程においては、裏面に電極を形成するため、ウエハ裏面に金属蒸着等で金属薄膜が形成する工程が行われている。このようにウエハ裏面に金属薄膜を形成するには、スパッタリングや蒸着等の高温での処理が必要であり、表面側に貼り付けられた保護テープは処理温度に耐えることができないため剥離する必要がある。また、低温で処理を行う場合であっても、保護テープに使用されている粘着剤等の不純物の混入の面から保護テープが蒸着等の処理の前に剥離されている。このような単機能半導体用のウエハはその後、ダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされ、ダイシング工程を経てチップ化される。
【０００４】
しかし最近の携帯機器の小型化の要請からウエハの厚みは１００μｍを切り、５０μｍ以下のものも使用されるようになってきており、上記のように保護テープを剥離したウエハは取扱いが非常に困難になってきている。
【０００５】
そこで、ウエハの反りや欠けを防止し、取扱いを容易にすべく、ウエハ裏面の外周にリング状のリブを残し、内周部分が研削された凹凸形状のウエハも出てきている（例えば特許文献１）。
【０００６】
本方法によればウエハの外周のリング状のリブは内周部分の厚みに比べ厚く構成されており、外周部分の欠けやウエハの反りを防止できるとともに取扱いが容易となる。
【０００７】
上記のウエハの形成方法について、図２４（ａ）乃至（ｇ）及び図２５に基づいて説明する。
【０００８】
図２４（ａ）のように、まず、表面に回路パターンが形成されたウエハ１が準備され、続いて図２４（ｂ）のようにウエハ１のパターン形成面に保護テープが貼り付けられる。
【０００９】
続いて図２４（ｃ）のように表面に保護テープ２が貼り付けられたウエハ１の裏面の外周にリング状のリブを残して内周部分が所定の厚みに研削され、外周リブ６２と仕上げ研磨面６１が形成された凹凸形状のウエハ１が形成される。
【００１０】
図２５のように、内周部分の研削は、通常、粗めの砥石でウエハ１の内周部分をある程度研削して粗削りした後、目の細かい砥石で仕上げ研磨が行われる。このため、ウエハ１の内周研削部分には研削途中での砥石の変更により、粗削り面６３（厚みｄ２は１００μｍ程度、幅Ｌ２は０．５〜０．８ｍｍ程度）と仕上げ研磨面６１（厚みｄ３は例えば５０μｍ）が形成される。なお、リング状に形成された外周リブ６２の厚みｄ１は例えば７２５μｍであり、幅Ｌ１は例えば２．５ｍｍである。また、保護テープ２の厚みは例えば１３０μｍである。
【００１１】
続いて図２４（ｄ）のように保護テープ２が剥離テープ等で剥離され、図２４（ｅ）のようにウエハ１裏面の凹凸形状面に蒸着又はスパッタリング等で金属膜６０が形成され、続いて図２４（ｆ）のように金属膜６０が形成されたウエハ１は再度パターン形成面に保護テープ２が貼り付けられ、図２４（ｇ）のようにウエハ１はダイシングテープ４を介してダイシングフレーム３にマウントされる。前記マウントされたウエハ１は表面の保護テープ２が剥離され、ダイシング工程に供される。
【００１２】
上記ダイシングフレームへのウエハのマウントは、ウエハの凹凸形状面に対して貼り付けを行なう必要があり、例えば図２３（ａ）及び（ｂ）のように行われている。
【００１３】
図２３（ａ）のように貼付テーブル４１上にウエハ１をその凹凸形状面を上にして載置保持しておき、貼付テーブル４１の外周外側全域に設けられたフレーム台４２上にダイシングテープ４の貼り付けられたダイシングフレーム３を傾斜状態で保持する。
【００１４】
次に図示矢印のように貼付ローラ４４でダイシングテープ４をウエハ１に押圧していくことでフレーム台４２が上方に付勢されたバネ４５に抗して水平となるように揺動し、ダイシングテープ４がウエハ１に貼り付けられる。水平状態となったフレーム台４２は、適宜な機構で水平状態で固定される。
【００１５】
図２３（ｂ）のようにウエハ１がダイシングフレーム３にマウントされ、貼付ローラ４４が初期位置に復帰する。
【００１６】
このように、ウエハを凹凸形状面が上面となるように貼付テーブル上に保持し、貼付ローラでダイシングテープをウエハに押圧しながら貼り付ける方法では、ウエハの内周研削面を完全には押圧できず、特に外周リブを残して、内周部分が研削されたウエハでは外周リブと内周研削部分との境界で気泡が発生する問題があった。
【００１７】
そこで、これを解決すべく、外周リブを残して、内周部分が研削されたウエハに真空中で前記外周リブの内側に内嵌する部材でダイシングテープをウエハに押圧して貼り付けたり、ウエハの内周研削部の中央から外側に向けてブラシでらせん状にダイシングテープを押圧して貼り付けることが行なわれている（例えば特許文献２）。
【００１８】
また、上記以外にも配線の取り回しを簡素化させるために裏面にバンプ電極を設けたウエハにダイシングテープを貼り付けてダイシングフレームにマウントし、その後、ダイシングすることも行なわれている。
【特許文献１】特開平５−１２１３８４号公報
【特許文献２】特開２００８−４２０１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかし、上記特許文献２の内嵌部材でのダイシングテープの押圧は、ウエハの外周リブの内径に合わせて、内嵌部材が内嵌できるように内嵌部材の大きさを精密に調整しなければならず、内嵌部材が外周リブの内径より若干小さく形成されているので、ウエハ内周研削部と外周リブとの境界部分を完全には押圧できずに気泡が発生する問題がある。
【００２０】
また、内嵌部材が外周リブの内径より大きく形成されている場合は、内嵌部材と外周リブとが干渉し、ウエハが破損したり、気泡が発生したりする問題がある。
【００２１】
また、内嵌部材とウエハ内周研削部が同一径であっても、内嵌時に精密な位置決めが必要であり、制御が複雑となったり、図２５のように内周研削部と外周リブ６２との境界部分には内周研削時に発生する粗削り面６３と仕上げ研磨面６１との段差があり、ダイシングテープを全体に均一に押圧することができない問題がある。
【００２２】
さらに、ブラシでウエハ内周研削部の中央から外側に向けてらせん状に押圧する方法は、らせん運動により順次外側に向けて押圧されていくため、ダイシングテープが回転方向に引き伸ばされてダイシングテープにしわが入る問題もある。
【００２３】
また、ダイシングテープをウエハの凹凸形状に沿って貼り付けるには、押圧部材の表面がその剛性に負けない程度の硬度が必要であり、特にダイシングテープはウエハを支持するだけの剛性を有しているため、これに打ち勝つ程度の硬度が必要となる。
【００２４】
しかし、上記特許文献２のように内嵌部材の硬度を高めると、ウエハとの接触時にウエハを破損したり、また、位置決め精度が悪いとウエハの外周リブと接触してウエハを破損する場合がある。
【００２５】
また、特許文献２のようにブラシを中央部から外周に向けてらせん状に押圧して貼り付ける場合は、ブラシをダイシングテープの剛性に打ち勝つ硬度とすると、ダイシングテープを傷つけたり、ウエハの外周リブを破損したりする問題がある。逆に、ウエハの凹凸形状に追従するように内嵌部材又はブラシを柔軟にすればダイシングテープの剛性に負け、ウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを密着させることが困難となる問題がある。
【００２６】
このため、ウエハ内周研削部と外周リブとの高低差により、ダイシングテープが完全には密着しておらず、内周研削部と外周リブの境界部分での接着不良により、ダイシング時にチップが飛散する問題がある。また、ダイシングテープの剛性に打ち勝つように接着を行わなければ、経時的にダイシングテープがその剛性により剥がれ、気泡が広がっていく問題がある。
【００２７】
上記は特許文献２のように内嵌部材を加熱してダイシングテープを軟化させて貼り付けた場合においても、内嵌部材とウエハの凹凸を完全に密着させることが困難であるので、このままダイシングを行なうと、チップがダイシングテープから剥離して飛散する問題がある。
【００２８】
そこで本発明の目的は、凹凸形状に形成されたウエハの凹凸形状面に沿ってしわや気泡無くダイシングテープを貼り付けるとともに、経時的にもダイシングテープが剥がれないようにし、ダイシング時にチップを飛散させないウエハのマウント装置を提供することにある。
【００２９】
また、ウエハ裏面にバンプ電極等が設けられた凹凸形状のウエハの凹凸形状に沿って埋め込み良くダイシングテープを貼り付け、ダイシング時にチップを飛散させないウエハのマウント装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
そこで請求項１の発明は、その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、互いに昇降可能に支持された上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、これら上部枠体と下部枠体の結合により、その内部を密閉状態になるように構成するとともに、上部枠体には、その下面に弾性変形可能な材質からなる通気性部材を装着して、この上部枠体に穿設された通気孔を通して前記通気性部材全域に圧縮空気を導入するように構成し、前記下部枠体には、その上面にウエハを載置保持するようにテーブル面を形成し、前記下部枠体の外周外側全域にはダイシングテープが貼り付けられたダイシングフレームを保持するフレーム台が設けられており、前記上部枠体の下降動で前記通気性部材を介してダイシングテープを押し下げ、然る後、下部枠体の上昇動により、通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたウエハのマウント装置である。
【００３１】
また、請求項２の発明は、請求項１記載の発明において、前記通気性部材の押圧面がウエハの中央部から外周に向かってダイシングテープを押圧するように円錐形状に形成されているウエハのマウント装置である。
【００３２】
また、請求項３の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記上下一対の上部枠体と下部枠体及びフレーム台とを真空チャンバ内に設け、ウエハのダイシングテープの貼り付けを減圧雰囲気下で行うようにしたウエハのマウント装置である。
【００３３】
また、請求項４の発明は、その一面が凹凸形状に形成されたウエハにダイシングテープを押圧して貼り付けることにより、ダイシングテープを介してウエハをダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、開閉自在な上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、上部枠体には、圧縮空気を導入する通気孔が設けられ、下部枠体には、その内部にウエハがマウントされたダイシングフレームを載置するテーブル面を形成し、ウエハがマウントされたダイシングフレームを前記下部枠体のテーブル面に載置し、上部枠体と下部枠体を閉じて、その内部を密閉状態にせしめた後、前記上部枠体の通気孔を通じて圧縮空気を導入することによりダイシングテープを圧縮空気でウエハに押圧せしめダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿うように貼り付けするようにしたウエハのマウント装置である。
【００３４】
また、請求項５の発明は、その一面が凹凸形状に形成されたウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントするウエハのマウント装置において、互いに昇降可能に支持された上下一対の上部枠体と下部枠体とからなり、これら上部枠体と下部枠体の結合により、その内部を密閉状態になるように構成するとともに、上部枠体には、その下面に弾性変形可能な材質からなる通気性部材を装着して、この上部枠体に穿設された通気孔を通して前記通気性部材全域に圧縮空気を導入するように構成し、前記下部枠体には、その上面にダイシングテープが貼り付けられたウエハのウエハ部分を載置保持するようにテーブル面を形成し、前記下部枠体の外周外側全域にはウエハがマウントされたダイシングフレームを保持するフレーム台が設けられており、ダイシングフレームにマウントされたウエハを前記下部枠体のテーブル面に保持するとともにダイシングフレームをフレーム台に保持し、この後、前記上部枠体の下降動で前記通気性部材を介してダイシングテープを押圧することで通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたウエハのマウント装置である。
【発明の効果】
【００３５】
ウエハのマウント装置において、上部枠体の下面に装着された弾性変形可能な材質からなる通気性部材で、ダイシングテープを押し下げるとともに下部枠体でウエハを前記ダイシングテープに押圧することで通気性部材をウエハの凹凸形状に沿って弾性変形させながら、上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持した後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射するようにしたので、通気性部材がウエハの凹凸形状に沿って弾性変形した状態でさらにダイシングテープの剛性に負けない圧縮空気による加圧力でダイシングテープが押圧されるので、ウエハの凹凸形状に沿って密着して貼り付けることができ、全体にしわや気泡を発生することなくダイシングフレームにウエハをマウントすることができる。
【００３６】
また、通気性部材の押圧面がウエハの中央部から外周に向かってダイシングテープを押圧するように円錐形状に形成しておけばウエハの中央部から外側に向けて順次押圧することができ、ダイシングテープの貼り付け面に気泡やしわが入らない。
【００３７】
さらに上部枠体と下部枠体とフレーム台とを真空チャンバ内に設け、ウエハのダイシングテープの貼り付けを減圧雰囲気下で行うようにすれば、ダイシングテープをウエハに押圧する際にさらに気泡やしわの発生が起こり難くなる。
【００３８】
また、上記のような構成を採用することで、通気性部材にウエハの凹凸形状に沿って変形して押圧する柔軟性とダイシングテープの剛性に打ち勝つ押込み力を発生でき、各種の凹凸形状を有するウエハをダイシングフレームに埋め込み性良くマウントすることができる。
【００３９】
また、従来から行われている貼付ローラやブラシ、内嵌部材等でウエハにダイシングテープを押圧して貼り付けた後、ウエハがマウントされたダイシングフレームを、上部枠体と下部枠体で形成される密閉室に収納し、この状態での通気孔を通じて圧縮空気を導入することによりダイシングテープを圧縮空気でウエハに押圧せしめ、ダイシングテープをウエハの凹凸形状に沿うように貼り付けするようにすれば、従来装置で完全に貼り付けることができなかったダイシングテープを圧縮空気で凹凸形状に沿ってさらに押圧することができ、ウエハの凹凸形状に沿ったマウントを行うことができる。また、従来のウエハのマウント装置を利用でき、コストをかけずにウエハをダイシングフレームに精度良くマウントできる。
【００４０】
また、従来から行われている貼付ローラやブラシ、内嵌部材等でウエハにダイシングテープを押圧して貼り付けた後、ダイシングフレームにマウントされたウエハを下部枠体のテーブル面に保持するとともにダイシングフレームをフレーム台に保持し、この後、前記上部枠体で前記通気性部材を介してダイシングテープを押圧することで通気性部材を弾性変形させながら該下部枠体のテーブル面に保持されたウエハの凹凸形状に沿ってダイシングテープを押圧するとともに、これら上下枠体の結合により、その内部を密閉状態に保持せしめた後、上部枠体の通気孔から圧縮空気を導入し、この導入された圧縮空気を通気性部材の全域から噴射せしめることにより、ダイシングテープをウエハの凹凸面の形状に沿って貼り付けるようにしたので、さらにダイシングテープの密着性良くウエハの凹凸面の形状に沿ってウエハをマウントできる。
【００４１】
また、外周リブを残して内周部が研削されたウエハに適用する際にウエハの内周研削面より大径で外周リブに達するまでの径に通気性部材を形成しておけば、内嵌させる場合のように位置決め精度を高める必要がなく、また、柔軟性のある通気性部材を使用しているのでウエハを破損することもない。
【００４２】
さらに、また、回転方向への力を付与せずにダイシングフレームにマウントするのでダイシングテープにしわや気泡を発生させることなくマウントできる。
【００４３】
また、ダイシングテープの剛性に打ち勝つように押圧しているので、貼り付け後の経時的なダイシングテープのウエハからの剥がれが発生し難く、ダイシング工程に供するまでの時間の制限が少なくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下に本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置について図１乃至図８に基づいて説明する。なお、図１乃至図２５は理解が容易なようにウエハ、ダイシングフレーム、保護テープ、ダイシングテープの形状、厚みについてやや誇張して描いてある。また、従来例に示した符号と共通するものについては同一の番号を付してある。
【００４５】
図１は第１の実施形態に係るウエハのマウント装置５の縦断正面図であり、その上部にはダイシングテープ４をウエハに押圧する上部枠体６が、下部にはウエハ１の凹凸形状に形成されたダイシングテープの貼り付け面を上面にして保持する下部枠体７が、その下部枠体７の外周外側全域にダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３を保持するフレーム台２２が設けられている。
【００４６】
前記上部枠体６は、図示しない機台上に立設された支柱に支持枠１５を固定して設け、この支持枠１５に取り付けられた昇降シリンダ１６と上下にスライド可能なガイド１７に接続されており、この昇降シリンダ１６の作用により、上部枠体６は上端位置からダイシングテープ４を押し下げるまでの位置への昇降が自在になっている。前記上部枠体６は、円形状でその内周部分が凹状に形成された保持枠８と、弾性変形可能な部材からなる円形状の通気性部材１３と、前記通気性部材１３を接着等により固定支持する支持板１２とから構成され、前記支持板１２に固定支持された通気性部材１３が保持枠８の凹状部に接着等により内嵌固定されている。
【００４７】
また、前記保持枠８には、図２及び図３のように、内部に通気孔９が前記凹状部分に向けて十字状に穿設され、通気性部材１３を支持する支持板１２の５箇所に設けられた開孔２９を介して通気性部材１３に連通するように形成されている。また、前記保持枠８の側面には通気孔９に圧縮空気を導入する通気パイプ１０が設けられ、その一端には図示しないバルブと圧縮空気を送出するポンプが接続されている。また、前記保持枠８には、圧縮空気及び通気性部材１３を加熱するヒータ１１が前記通気性部材１３とほぼ同径に埋設されている。また、前記保持枠８に装着された通気性部材１３の外周にはゴムリング等のシール１４が設けられている。
【００４８】
上記通気性部材１３は、発泡ポリウレタン等の柔軟な弾性部材をウエハ１の凹凸形状に沿って弾性変形させる面から好ましく用いることができ、且つ通気性を有するように各セルが連通したものを好ましく用いることができる。
【００４９】
また、上記通気性部材１３の大きさは、ウエハ１の凹凸形状をした貼り付け面を覆うことができるものを好ましく使用でき、通気性部材１３の形状は、ダイシングテープ４を押圧する表面が平坦なものや中央が凸になるようにアールが付いたもの、また円錐形上の中央部が突出したもの等、ウエハ１の凹凸形状面に沿って弾性変形するものであれば特に制限無く使用できる。なお、この弾性変形も完全にウエハ１の凹凸形状面に沿って弾性変形するものでなくともある程度凹凸形状面に沿って弾性変形するものであれば、その後の通気性部材１３を通じた圧縮空気の導入でダイシングテープ４が押圧されて凹凸面の形状に倣って変形するので問題なく使用できる。また、中央が凸になるようにアールが付いたものや円錐形状の中央部が突出したものを使用すれば、ダイシングテープ４をウエハ１に押圧する際に中央部から外周に向かって順次押圧することができるので気泡の発生やしわを防止する面で好ましい。
【００５０】
次に下部枠体７について図１に基づいて説明する。
【００５１】
下部枠体７は、上面にウエハ１を載置して保持するように円形で凹状のテーブル面２０が形成され、下部枠体７の内部にはテーブル面２０とほぼ同径にヒータ２１が埋設されている。前記下部枠体７は、図示しない機台上に設けられた支持枠１８上に設けられ、下部枠体７の下方は支持枠１８に対して昇降可能にガイド２８が接続されている。
【００５２】
前記ガイド２８は支持板２７上に固定され、この支持板２７にはナット部材２６がボールネジ２５と螺合するように設けられている。前記ボールネジ２５は、支持枠１８の下方に設けられた固定枠２３に固定されたモータ２４の軸と接続されており、このモータ２４を駆動することで下部枠体７は支持板２７を通じて支持枠１８に対して昇降自在になっている。また下部枠体７は、ダイシングテープ４を押し下げた下降端に位置する上部枠体６に向けて上昇し、ダイシングテープ４を挟持して上部枠体６と結合するようになっている。
【００５３】
また、支持枠１８上には、前記下部枠体７の外周外側全域に下部枠体７を取り囲むようにダイシングフレーム３を吸着または適宜な固定手段で固定するようにフレーム台２２が設けられており、ダイシングテープ４の貼り付けられたダイシングフレーム３をそのダイシングテープ４の粘着面が下方となるように固定するようになっている。
【００５４】
以上が本発明の第１の実施形態の構成であり、次に第１の実施形態のウエハのマウント動作について図４乃至図９並びに図１８に基づいて説明する。
【００５５】
図４のように上部枠体６は上昇位置に位置し、下部枠体７は下降位置に位置しており、この状態で下部枠体７のテーブル面２０上に図示しない適宜の搬送手段でウエハ１の凹凸形状面を上にしてテーブル面２０上に搬送する。
【００５６】
次にダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３を図示しない適宜な搬送手段によりダイシングテープ４の粘着面がウエハ１の貼り付け面と対向するようにフレーム台上に搬送する。なお、ウエハ１及びダイシングフレーム３は、予め適宜な位置決め手段で位置決めしておけば良い。
【００５７】
図５のように搬送されたウエハ１を下部枠体７のテーブル面２０上にその上面がテーブル面２０の外周上面とほぼ一致するように載置保持し、ヒータ２１でウエハ１を加熱する。上記ウエハ１の保持は適宜吸着等で固定するようにしても良い。なお、ヒータ２１での加熱はダイシングテープ４の特性に応じて加熱温度を調節でき、加熱しないこともできる。また、ダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３はダイシングテープ４の粘着面とウエハ１が接しない程度の間隔を開けてフレーム台２２に吸着や固定爪等の適宜手段で載置固定する。
【００５８】
図６及び図１８（ａ）のようにヒータ１１で加熱された上部枠体６を昇降シリンダ１６の作用で下降させ、上部枠体６の下面に取り付けられた通気性部材１３をダイシングテープ４の非粘着面側から押圧し、ダイシングテープ４を押し下げる。
このダイシングテープ４の押し下げによって、加熱や貼り付け時の張力等によって発生するダイシングテープ４の弛みやしわが伸ばされ、ダイシングテープ４が張った状態となる。このことにより、ダイシングテープ４がウエハ１と接触する際にしわや気泡が発生しない。なお、上記ヒータ１１での加熱はダイシングテープ４の特性に合わせ適宜加熱温度を調節したり、ヒータ１１を使用せずに行っても良い。
【００５９】
次に図７、図１８（ｂ）のように下部枠体７をモータ２４の駆動で上昇させてウエハ１の凹凸形状面をダイシングテープ４に押圧することで通気性部材１３をウエハ１の凹凸形状に沿って弾性変形させるとともに上部枠体６のシール１４と下部枠体７の外周上面とでダイシングテープ４を挟持することで上部枠体６と下部枠体７とを結合させてその内部を密閉状態に保持せしめる。なお、通気性部材１３の弾性変形は、図１８（ｂ）のようにウエハ１の凹凸形状に完全に沿ったものでなくとも、ダイシングテープ４をウエハ１に押圧でき、ある程度ウエハ１の凹凸形状に沿って変形すれば良い。
【００６０】
図７及び図１８（ｃ）のように前記通気性部材１３をウエハ１の凹凸形状に沿って弾性変形させた状態で、圧縮空気（例えば０．１〜０．５ＭＰａの加圧力）を通気性パイプ１０を通じて上部枠体７の通気孔９に導入し、圧縮空気を支持板１２の開孔２９から通気性部材１３に送出して通気性部材１３の全域からダイシングテープ４に向けて圧縮空気を噴射させる。これによって通気性部材１３を通じて噴射される圧縮空気の加圧力がダイシングテープ４の剛性に打ち勝ってダイシングテープ４をウエハ１の凹凸形状に沿ってさらに押込み、ウエハ１の凹凸形状に沿ってダイシングテープ４が密着する。この圧縮空気を導入して加圧する時間は３０秒から９０秒程度が好ましく、密着度合と量産性の面から６０秒程度がより好ましい（この時間はダイシングテープ４の材質やウエハ１の凹凸形状、量産性を加味して上記に限定されずに適宜選択できる）。
【００６１】
なお、上記はウエハ１の凹凸形状としてウエハ１の外周にリング状の外周リブ６２を残し、その内周部分を研削したものを使用したが、図１９（ａ）乃至（ｃ）のようにウエハ１の裏面にバンプ３８が設けられた凹凸形状を有するウエハやＭＥＭＳ（マイクロエレクトロメカニカルシステム）の基板など各種の凹凸形状を有する基板やウエハに適用できる。
【００６２】
また、上記はダイシングテープ４を上部枠体６で押し下げた後、下部枠体７を押し上げてマウントするようにしたが、ダイシングテープ４の押し下げと下部枠体７の押し上げは連続的な動作で行なっても良い。
【００６３】
上記のバンプ３８を有するウエハ１の場合も図１９（ａ）のようにダイシングテープ４を通気性部材１３で押圧して押し下げる。次に図１９（ｂ）のように下部枠体６を押し上げてダイシングテープ４を挟持しながら上部枠体６と下部枠体７とを結合させてその内部を密閉状態にせしめるとともに通気性部材１３をウエハ１の凹凸形状に沿って弾性変形させる。
【００６４】
この状態で図１９（ｃ）のように圧縮空気を通気孔９を通じて導入することで通気性部材１３からその全域に圧縮空気を噴射させ、ダイシングテープ４をウエハ１のバンプ３８の形状に沿って押圧して密着させる。
【００６５】
この後、図８のように圧縮空気の通気を停止し大気解放した後、上部枠体６を昇降シリンダ１６の作用で上昇させて下部枠体７との結合を解除させる。
【００６６】
図９のように図示しない適宜の搬送手段により、ウエハ１のマウントが完了したダイシングフレーム３を取り出し、次のダイシング工程に供する。
【００６７】
以上が本発明の第１のウエハのマウント装置の実施形態であり、次に第２のウエハのマウント装置の実施形態について図１０乃至図１７に基づいて説明する。なお、同一部材については、第１の実施形態の符号と同じものを使用している。
【００６８】
図１０は、本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の縦断正面図であり、上部枠体６と下部枠体７の構成は第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００６９】
上部枠体６を取り囲むように上チャンバ３０ａが設けられ、この上チャンバ３０ａは、支持板３６に設けられた昇降シリンダ３７に支持され、前記支持板３６が図示しない機台上に立設された同じく図示しない支柱に固定されることにより、上チャンバ３０ａが支持板３６に対して後述する下チャンバ３０ｂと合わさるまでの昇降が可能になっている。
【００７０】
また、前記上チャンバ３０ａの上部には支持枠３４が立設され、その支持板３４の上部に２連の昇降シリンダ３５、３５が設けられており、この昇降シリンダ３５、３５のシリンダ軸が中央部に開口を持つドーナツ状の支持板３３に固定されることで支持板３３は昇降可能になっている。
【００７１】
また、前記上チャンバ３０ａにはガイド３２が取り付けられ、このガイド３２の軸が上部枠体６と接続されており、このガイド３２の軸の上端が前記支持板３３に固定されることで、上部枠体６は昇降シリンダ３５、３５の作用により支持板３３とともに上チャンバ３０ａに対して昇降するようになっている。
【００７２】
また、上チャンバ３０ａには真空アダプタ３１が設けられて図示しない適宜の真空ポンプと接続されており、上チャンバ３０ａと下チャンバ３０ｂと合わさって真空室を形成し、その内部を前記真空アダプタ３１を通じて減圧雰囲気にすることが可能になっている。また、上チャンバ３０ａには外部から圧縮空気を上部枠体６に導入する通気パイプ１０が設けられている。
【００７３】
前記下チャンバ３０ｂは、上チャンバ３０ｂと対向するように設けられ、その内部に下部枠体７が下チャンバ３０ｂに対して第１の実施形態同様に昇降動可能に設けられている。また、下部枠体７の外周外側全域に下部枠体７を取り囲むようにフレーム台２２が固定して設けられている。
【００７４】
以上が、第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の実施形態であり、第１の実施形態のウエハのマウント装置を上チャンバ３０ａと下チャンバ３０ｂの内部に収めた構成となっている。
【００７５】
次に第２の実施形態に係るウエハのマウント装置のマウント動作について図１１乃至図１７に基づいて説明する。
【００７６】
図１１のように上チャンバ３０ａが開放した状態で下部枠体７のテーブル面２０上に位置決めされたウエハ１を図示しない適宜な搬送手段で搬送し、テーブル面２０上にウエハ１を載置保持する。また、ダイシングテープ４の貼り付けられたダイシングフレーム３を図示しない適宜な手段でフレーム台２２上に搬送し、ダイシングテープ４の粘着面とウエハ１の凹凸形状面が対向するようにするとともにウエハ１とダイシングテープ４が接着しない程度の間隔を開けてダイシングフレーム３をフレーム台２２に適宜手段で固定する。
【００７７】
図１２のように上チャンバ３０ａを昇降シリンダ３７の作用で下降させて、下チャンバ３０ｂと結合させて真空室を形成するとともに、図示しない真空ポンプの作用で真空アダプタ３１から排気し、真空室内を減圧雰囲気（例えば１００〜１０００Ｐａ）にするとともにヒータ２１でウエハ１を加熱する。このヒータ２１での加熱はダイシングテープ４の材質に応じて適宜加熱温度を調節でき、加熱せずに行うようにしても良い。
【００７８】
次に図１３及び図１８（ａ）のように減圧雰囲気を保った状態で上部枠体６を昇降シリンダ３５、３５の作用で下降させ、適宜、ヒータ１１で加熱しながら通気性部材１３でダイシングテープ４を押圧して押し下げる。
【００７９】
図１４、図１８（ｂ）及び（ｃ）のように下部枠体７をモータ２４の駆動で上昇させてウエハ１をダイシングテープ４に押圧して通気性部材１３をウエハ１の凹凸形状面に沿って弾性変形させるとともに通気性パイプ１０から圧縮空気（例えば０．１〜０．５ＭＰａの加圧力）を導入して、通気孔９及び支持板１２の開孔２９を通じて通気性部材１３の全域からダイシングテープ４に向けて圧縮空気を噴射させる。この圧縮空気を導入して加圧する時間は第１の実施形態と同様にすれば良い。
【００８０】
これによって通気性部材１３の弾性力がその後の加圧空気の噴射によりダイシングテープ４の剛性に打ち勝ってダイシングテープ４をウエハ１の凹凸形状に沿ってさらに押込み、ウエハ１の凹凸形状とダイシングテープ４が密着する。また、減圧雰囲気下でダイシングテープ４とウエハ１を貼り合わせるようにしているので気泡の発生がない。
【００８１】
図１５のように圧縮空気の通気を停止し大気開放した後、真空アダプタ３１から大気を導入して減圧雰囲気を解除する。
【００８２】
続いて図１６のように昇降シリンダ３７の作用で上チャンバ３０ａを上昇させ、図１７のように図示しない適宜の搬送機構でウエハ１がマウントされたダイシングフレーム４を次のダイシング工程に供する。
【００８３】
以上が、本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の実施形態である。
【００８４】
次に第３の実施形態に係るウエハのマウント装置について図２０、図２２及び図２３に基づいて説明する。
【００８５】
第３の実施形態は、従来のウエハのマウント装置を利用しながら、さらにウエハ１の凹凸形状面に沿って密着性良くウエハ１をマウントするものである。
【００８６】
従来のウエハのマウント装置は、例えば、背景技術で説明した図２３のような装置が利用できる。
【００８７】
また、別のウエハのマウント装置について以下に説明する図２２のような装置も利用できる。
【００８８】
図２２（ａ）のように図示しない適宜な開閉機構で開閉自在な上チャンバ５２ａと下チャンバ５２ｂが設けられ、この上部チャンバ５２ａにはモータ５１で回転可能でウエハ１の外周リブと内周研削部分の境界の凹凸形状に沿って弾性変形する弾性ローラ５８が設けられている。この弾性ローラ５８は、適宜円周方向に複数配置すれば良い。
【００８９】
また、下部チャンバ５２ｂの内部には円形の貼付テーブル５５が設けられ、その上面でウエハ１を載置保持するようになっており、この貼付テーブル５５は適宜の機構で昇降可能になっている。
【００９０】
また、ダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３を載置固定するフレーム台５３が貼付テーブル５５の外周外側全域に設けられ、シリンダ５６により昇降可能になっている。
【００９１】
次に、上記のウエハのマウント装置の動作について説明すると、図２２（ａ）のように貼付テーブル５５にウエハ１を載置し、ダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３をフレーム台５３に載置固定するとともに上チャンバ５２ａを閉じて下チャンバ５２ｂとで真空室を形成し、その内部を真空アダプタ５７を通じて減圧雰囲気にする。
【００９２】
図２２（ｂ）のように貼付テーブル５５及びフレーム台５３を上昇させて弾性ローラ５８をウエハ１の外周リブと内周研削部とに跨るように押圧して弾性ローラ５８を凹凸部分の形状に沿って弾性変形させる。この状態でモータ５１を駆動させて弾性ローラ５８を回転させ、ウエハ１の外周部分全体を押圧してダイシングテープ４を貼り付ける。
【００９３】
この後、図示しないが減圧状態を解除し、真空アダプタ５７から大気を導入してウエハ１の内周研削部も大気による押圧でダイシングテープ４を密着させる。このようにしてダイシングフレーム３にマウントされたウエハ１は、本発明の第３の実施形態に係るウエハのマウント装置に供される。
【００９４】
図２０は、本発明の第３の実施形態に係るウエハのマウント装置であり、図２０（ａ）のように図示しない適宜の駆動手段で昇降可能な上部枠体４７ａとこの上部枠体４７ａと合わさって結合することにより密閉室を形成する下部枠体４７ｂとから構成されている。
【００９５】
前記上部枠体４７ａは、通気パイプ５０が設けられ、図示しない圧縮ポンプと接続されて圧縮空気の通気が可能になっている。
【００９６】
また、前記下部枠体４７ｂは、前記ウエハ１のマウントされたダイシングフレーム３を載置して保持するテーブル面４８が形成されている。なお、理解が容易なように図示誇張してあるためテーブル面４８のウエハ１の載置面が凹状に形成されているが、載置面に上記マウント済みダイシングフレーム３が平坦に載置できるように構成すれば良い。また、下部枠体４７ｂの上部枠体４７ａと結合する部分にはシール４９が設けられている。
【００９７】
次に本発明の第３の実施形態について説明する。
【００９８】
図２０（ａ）のように開放状態の下部枠体４７ｂのテーブル面４８上に適宜の手段でマウントされたウエハ１のマウント済みダイシングフレーム３をそのダイシングテープ４が上面となるように載置する。
【００９９】
図２０（ｂ）のように上部枠体４７ａを閉じて密閉室を形成する。
【０１００】
図２０（ｃ）のように前記密閉室内に通気パイプ５０を通じて圧縮空気（例えば０．１〜０．５ＭＰａ）を導入し、その圧縮空気をダイシングテープ４に向けて噴射させてダイシングテープ４をウエハ１の凹凸形状に沿って押圧する。このようにすることで、従来のマウント装置を有効利用し、且つ、従来のマウント装置で不十分であったダイシングテープ４の貼り付けをさらに精度良くウエハ１の凹凸形状に沿って密着させて貼り付けることが可能となる。また、適宜ウエハ１や圧縮空気を加熱するようにしても良い。
【０１０１】
以上が本発明の第３の実施形態であり、次に第４の実施形態に係るウエハのマウント装置について図２１に基づいて説明する。
【０１０２】
上記第３の実施形態のように図２３のような従来のウエハのマウント装置でダイシングテープ４をウエハ１に貼り付けてマウントした後、第１の実施形態のウエハのマウント装置を適用してダイシングテープ４をウエハ１の凹凸形状に沿って押圧して貼り付けるものであり、共通部分には同一の符号を付して説明は省略する。
【０１０３】
図２１（ａ）のように上部枠体６を上昇位置に位置させるとともに、下部枠体７を上昇位置に位置させて、ウエハ１がマウントされたダイシングフレーム３をフレーム台２２に載置固定した際に、ダイシングフレーム３の上面と、下部枠体７の外周上面とがほぼ面一になるようにしておく。この状態で、ウエハ１がマウントされたダイシングフレーム３をフレーム台２２に載置固定するとともにウエハ１を下部枠体７のテーブル面２０上に載置保持する。
【０１０４】
図２１（ｂ）のように上部枠体６を昇降シリンダ１６の作用で下降させ、通気性部材１３でダイシングテープ４をウエハ１に押圧して、通気性部材１３をウエハ１の凹凸形状に沿って弾性変形させるとともに上部枠体６と下部枠体７とをダイシングテープ４を挟持しながら結合させ、密閉状態を形成する。この時、適宜ヒータ１１及びヒータ２１で加熱を行っても良い。
【０１０５】
図２１（ｃ）のように上部枠体６と下部枠体７とで密閉状態を保持せしめながら、通気性パイプ１０を通じて上部枠体６に圧縮空気を導入し、通気性部材１３の全域に圧縮空気を噴射せしめて、ダイシングテープ４をウエハ１の凹凸形状に沿って押圧する。
【０１０６】
以上が本発明の実施形態であるが、適宜発明の範囲内で変更することができる。例えば、本発明の第１及び第２の実施形態では上部枠体６及び下部枠体７を昇降可能に設けたが、上部枠体６を固定しておき、フレーム台２２と下部枠体７とを昇降可能に構成しても良く、相対的な動作で同一の作用効果が得られれば適用可能である。また、各実施形態においてウエハ１に保護テープ２が貼り付けられたものを用いたが、保護テープ２が貼り付けられていないウエハ１にも同様に適用でき、この場合は、ウエハ１を載置するテーブル面に保護シートを敷設するなどすれば良い。
【０１０７】
また、第４の実施形態において定型のマウントウエハを使用する場合は、下部枠体７を適宜位置で固定しておいても良い。
【０１０８】
また、上部枠体６のヒータ１１による加熱や下部枠体７のヒータ２１による加熱は、適用するダイシングテープ４の特性に応じて加熱温度を変更したり、ヒータ１１、ヒータ２１を使用せずに貼り付けたりすることも可能である。
【０１０９】
また、前記の各実施形態においては、円形状のウエハを前提に記載したが、通気性部材１３の形状等を変更すれば矩形状の各種基板等に利用することができる。また、通気性部材１３の厚みも各種基板の凹凸の深さに合わせて適宜に選択すれば良い。
【０１１０】
なお、マウント後のウエハ１から保護テープ２の剥離を行なう際は、ウエハ１の内周研削部分がダイシングテープ４を介して凹面となっているので、内周研削面の部分を凸状になったテーブルで保持したり、内外周が独立して制御できるテーブルで外周リブと内周研削面を保持したりあるいはエアの圧力で内周研削面部分を保持するなど、適宜な手段で保持して行なえば良い。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の縦断正面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る上部枠体部分の部分断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の縦断正面図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１７】本発明の第２の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図１８】（ａ）乃至（ｃ）は第１及び第２の実施形態に係る要部拡大説明図である。
【図１９】（ａ）乃至（ｃ）は第１及び第２の実施形態をバンプウエハに適用した場合の要部拡大説明図である。
【図２０】（ａ）乃至（ｃ）は第３の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図２１】（ａ）乃至（ｃ）は第４の実施形態に係るウエハのマウント装置の動作説明図である。
【図２２】（ａ）及び（ｂ）はウエハのマウント装置の一実施形態を表す説明図である。
【図２３】（ａ）及び（ｂ）は従来のウエハへのダイシングテープの貼り付けの一例を表す説明図である。
【図２４】（ａ）乃至（ｇ）は外周リブが設けられ内周が研削された従来のウエハの製造工程の一例を示す説明図である。
【図２５】外周リブが設けられ内周が研削された従来のウエハの要部拡大断面図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１    ウエハ
２    保護テープ
３    ダイシングフレーム
４    ダイシングテープ
５    マウント装置
６    上部枠体
７    下部枠体
８    保持枠
９    通気孔
１０    通気パイプ
１１    ヒータ
１２    支持板
１３    通気性部材
１４    シール
１５    支持枠
１６    昇降シリンダ
１７    ガイド
１８    支持枠
２０    テーブル面
２１    ヒータ
２２    フレーム台
２３    固定枠
２４    モータ
２５    ボールネジ
２６    ナット部材
２７    支持板
２８    ガイド
２９    開孔
３０ａ  上チャンバ
３０ｂ  下チャンバ
３１    真空アダプタ
３２    ガイド
３３    支持板
３４    支持枠
３５    昇降シリンダ
３６    支持板
３７    昇降シリンダ
３８    バンプ
３９    マウント装置
４０    機台
４１    貼付テーブル
４２    フレーム台
４３    揺動軸
４４    貼付ローラ
４５    バネ
４７ａ  上部枠体
４７ｂ  下部枠体
４８    テーブル面
４９    シール
５０    通気パイプ
５１    モータ
５２ａ  上チャンバ
５２ｂ  下チャンバ
５３    フレーム台
５４    ヒータ
５５    貼付テーブル
５６    シリンダ
５７    真空アダプタ
５８    弾性ローラ
６０    金属膜
６１    仕上研磨面
６２    外周リブ
６３    粗削り面
【図１】
2010118584.tif 000003
【図２】
2010118584.tif 000004
【図３】
2010118584.tif 000005
【図４】
2010118584.tif 000006
【図５】
2010118584.tif 000007
【図６】
2010118584.tif 000008
【図７】
2010118584.tif 000009
【図８】
2010118584.tif 000010
【図９】
2010118584.tif 000011
【図１０】
2010118584.tif 000012
【図１１】
2010118584.tif 000013
【図１２】
2010118584.tif 000014
【図１３】
2010118584.tif 000015
【図１４】
2010118584.tif 000016
【図１５】
2010118584.tif 000017
【図１６】
2010118584.tif 000018
【図１７】
2010118584.tif 000019
【図１８】
2010118584.tif 000020
【図１９】
2010118584.tif 000021
【図２０】
2010118584.tif 000022
【図２１】
2010118584.tif 000023
【図２２】
2010118584.tif 000024
【図２３】
2010118584.tif 000025
【図２４】
2010118584.tif 000026
【図２５】
2010118584.tif 000027