(57)【要約】【課題】アイソレータ本体の通常の除染工程は、ＨＥＰＡフィルタ２０、２４を通さずに行う。【解決手段】アイソレータ本体２とパスボックス４が連結され、連通口６を内部扉８により開閉可能にする。アイソレータ本体２と除染ガス供給装置３８とを除染ガス供給通路４６と除染ガス排出通路５０により接続し循環通路を構成する。アイソレータ本体２への気体流入部１６ａと排出部２２ａにそれぞれＨＥＰＡフィルタを２０、２４設ける。パスボックス４にも、除染ガス供給装置３８との間に往路と復路を有する循環通路を構成する。さらに、アイソレータ本体２に、ＨＥＰＡフィルタを通さずに除染ガスを供給する第２除染ガス供給通路５２を設ける。内部扉８を開き、パスボックス循環通路により除染ガスを循環させるとともに、アイソレータ本体２内に第２除染ガス供給通路５２から除染ガスを供給する。【選択図】図２
2010051351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が無菌状態に維持されるアイソレータ本体と、このアイソレータ本体に接続され、アイソレータ本体内への物品の搬入または搬出を行うパスボックスと、アイソレータ本体の気体流入部および気体流出部にそれぞれ設けられたフィルタ手段と、前記アイソレータ本体内およびパスボックス内に除染ガスを供給する除染ガス供給手段と、前記除染ガス供給手段とアイソレータ本体の気体流入部および気体流出部とをそれぞれ接続する除染ガス供給通路および除染ガス排出通路を有する除染ガス循環通路と、前記除染ガス供給手段と前記パスボックス内とを接続する往路および復路を有するパスボックス循環通路と、アイソレータ本体内とパスボックス内との連通口を開閉する内部開閉手段とを備えたアイソレータシステムにおいて、
前記除染ガス供給手段とアイソレータ本体内とを、前記フィルタ手段を介さずに接続する第２の除染ガス供給通路を設け、
前記内部開閉手段を開放した状態で、前記第２の除染ガス供給通路からアイソレータ本体内に除染ガスを供給し、パスボックス内を通してパスボックス循環通路から除染ガスを排出させてアイソレータ本体内とパスボックス内を除染する第１の除染動作と、
前記除染ガス循環通路によりアイソレータ本体内を通して除染ガスを循環させ、前記フィルタ手段を除染する第２の除染動作とを実行可能に構成したことを特徴とするアイソレータシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部を無菌状態に維持して物品の処理等を行うアイソレータ本体と、このアイソレータ本体に連結されたパスボックスを備えたアイソレータシステムに係り、特に、アイソレータ本体内への気体の流入部および流出部に設けられたフィルタを介して気体の給排を行うアイソレータシステム関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、換気・ろ過回路を備えた気密容器（本発明のアイソレータ本体に相当する）を殺菌する方法が開示されている。この特許文献１に記載された密閉容器は、供給管と吐出管とを有する換気・ろ過回路を設けている。供給管にはファンを設け、フィルタを介して空気を密閉容器内の空間に送風する。供給管内のフィルタの上流側に弁が配置されている。また、吐出管も密閉容器に隣接する部分にフィルタを設け、フィルタの下流側に弁が設けられている。密閉容器の正常な作業条件では、弁が開かれてファンが作動され、密閉容器内の雰囲気の換気は、フィルタを介して行われる。
【０００３】
密閉容器の使用前にこの容器内の作業空間を殺菌しなければならないので、前記密閉容器およびその換気・ろ過回路に殺菌装置が設けられている。殺菌装置は、密閉容器内に殺菌剤を導入するために使用される閉回路を含む。この閉回路は、ブロアと定レベル蒸発器と殺菌剤を蒸発器へ供給するタンクを含んでいる。閉回路の吸入管は、換気・ろ過回路の吐出管のフィルタと弁の間に接続されており、吐出管の近くに電動弁を設けている。また、閉回路の吐出管は、換気・ろ過回路の供給管の弁とフィルタの間に接続され、供給管の近くに電動弁を設けている。
【０００４】
前記殺菌装置を用いて密閉容器内を殺菌する時には、タンク内の殺菌剤を密閉容器内の空間に導入するために閉回路が運転される。換気・ろ過回路の弁を閉じ、閉回路の電動弁を開放して、蒸発器に殺菌剤を供給するとともに、ブロアを運転する。ブロアは、密閉容器内の空間内に含まれる空気を閉回路を介して蒸発器内へ循環させる。
【０００５】
前記特許文献１に記載された発明の構成のように、密閉容器（アイソレータ）内を殺菌する場合に、換気・ろ過回路のフィルタを介して殺菌剤、除染剤を循環させる構成は、広く行われているが、例えば、過酸化水素蒸気のような殺菌剤あるいは除染剤を、フィルタを介してアイソレータ等の密閉容器に導入し、フィルタを介して排出して循環させると、フィルタに吸着されてしまうため、ロスが多く効率が悪くなってしまう。また、フィルタに吸着した除染ガス成分を除去するためにエアレーション時間が長くなってしまうという問題があった。
【０００６】
このような課題を解決するための除染システムが提案されている（特許文献２参照）。この特許文献２に記載された発明は、クリーンルーム内を過酸化水素ガス（除染ガス）により除染するもので、過酸化水素ガス供給管の端部を、クリーンルームの上部を区画する多孔性隔壁板とＨＥＰＡフィルタとの間に形成された挟間隙に配設している。そして、過酸化水素ガス供給管から過酸化水素ガスを吐出し、挟間隙に一時的に過酸化水素ガスを滞留させてから、多孔性隔壁板を介して徐々にクリーンルーム内に過酸化水素ガスが流出するようにしている。
【特許文献１】特開昭６３−２５８７３１号公報（第３−５頁、図１）
【特許文献２】特開２００８−１１３７２７号公報（第４−６頁、図２）
【特許文献３】特開２００６−６８１２２号公報（第２−３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２に記載した発明では、ＨＥＰＡフィルタと多孔性隔壁板との間の間隙に除染ガスを導入し、徐々に多孔性隔壁板を通過させてクリーンルーム内に導入するようにしているが、クリーンルーム内でワークの除染を行った後、上下方向の流通路を通ってＨＥＰＡフィルタの一次側（ＨＥＰＡフィルタを通過する気体の入口側）に循環させるようになっているので、特許文献１と同様に除染ガスがＨＥＰＡフィルタに吸着されてロスを生じるとともに、エアレーションに時間がかかるという問題が発生する。
【０００８】
また、特許文献３に示すように、本発明と同様にアイソレータとパスボックス（この特許文献３では滅菌庫と呼んでいる）を連結した構成のアイソレータシステムがすでに知られているが、このような構成の場合も、前記特許文献１と同様の工程により滅菌あるいは除染を行っているので、同じ問題が発生する。
【０００９】
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、ＨＥＰＡフィルタを通さずにアイソレータ本体内の除染を行えるようにしたアイソレータシステムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、内部が無菌状態に維持されるアイソレータ本体と、このアイソレータ本体に接続され、アイソレータ本体内への物品の搬入または搬出を行うパスボックスと、アイソレータ本体の気体流入部および気体流出部にそれぞれ設けられたフィルタ手段と、前記アイソレータ本体内およびパスボックス内に除染ガスを供給する除染ガス供給手段と、前記除染ガス供給手段とアイソレータ本体の気体流入部および気体流出部とをそれぞれ接続する除染ガス供給通路および除染ガス排出通路を有する除染ガス循環通路と、前記除染ガス供給手段と前記パスボックス内とを接続する往路および復路を有するパスボックス循環通路と、アイソレータ本体内とパスボックス内との連通口を開閉する内部開閉手段とを備えたアイソレータシステムにおいて、前記除染ガス供給手段とアイソレータ本体内とを、前記フィルタ手段を介さずに接続する第２の除染ガス供給通路を設け、前記内部開閉手段を開放した状態で、前記第２の除染ガス供給通路からアイソレータ本体内に除染ガスを供給し、パスボックス内を通してパスボックス循環通路から除染ガスを排出させてアイソレータ本体内とパスボックス内を除染する第１の除染動作と、前記除染ガス循環通路によりアイソレータ本体内を通して除染ガスを循環させ、前記フィルタ手段を除染する第２の除染動作とを実行可能に構成したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のアイソレータシステムは、フィルタ手段が設けられているアイソレータ本体の気体流入部と気体流出部を通さずに、除染ガス供給手段からアイソレータ本体内に除染ガスを供給する第２の除染ガス供給通路を設けたことにより、除染ガスがフィルタに吸着されてロスを生じることがなく、また、フィルタに吸着された除染ガスを除去するためのエアレーションに時間を掛ける必要もないという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
内部が無菌状態に維持されるアイソレータ本体と、このアイソレータ本体内に物品を搬入搬出するパスボックスと、これらアイソレータ本体とパスボックスとの間の連通口を開閉する内部開閉手段と、除染ガス供給手段からアイソレータ本体の気体流入部を通ってアイソレータ本体内に除染ガスを供給する除染ガス供給通路および気体流出部から前記除染ガス供給手段に還流させる除染ガス排出通路を有する除染ガス循環通路と、前記アイソレータ本体の気体流入部および流出部にそれぞれ設けられたフィルタ手段と、パスボックスと前記除染ガス供給手段とを接続する往路と復路を有するパスボックス循環通路とを備えており、さらに、前記除染ガス供給手段とアイソレータ本体内とを、前記フィルタ手段を介さずに接続する第２の除染ガス供給通路を設け、第１の除染動作では、前記内部開閉手段を開放してアイソレータ本体内とパスボックス内とを連通した状態で、前記パスボックス循環通路によって除染ガスを循環させるとともに、前記第２除染ガス供給通路からアイソレータ本体内に除染ガスを供給して、アイソレータ本体内とパスボックスとの除染を行い、第２の除染動作では、前記除染ガス循環通路によりフィルタを通してアイソレータ本体内に除染ガスを循環させるようにしたので、アイソレータ本体内の除染を、フィルタを通さずに実施することを可能にするという目的を達成する。
【実施例１】
【００１３】
以下、図面に示す実施例により本発明を説明する。図１は本発明の一実施例に係るアイソレータシステムの全体の構成を示す回路図である。図において、２はアイソレータ本体であり、内部を無菌状態に維持して、その内部に収容された物品の処理を行う。このアイソレータ本体２には、内部で処理をする物品を外部から搬入し、また、外部へ搬出するためのパスボックス４が連結されている。パスボックス４は、アイソレータ本体２の一方の側壁２ａ（図１の右側の側壁）の下部寄りに取り付けられている。これら両チャンバー２、４が連結された壁面２ａを貫通して、物品の受け渡しや気体の流通を行う開口部（連通口６）が形成されており、この連通口６を開閉する開閉手段としての扉８（内部扉）が設けられている（この内部扉８が、請求項１に記載した内部開閉手段を構成している）。また。パスボックス４の他方の壁面４ａ（図１の右側の壁面）には、このパスボックス４内へ物品を搬入し、また、搬出するための開口部１０が設けられており、この開口部１０が、外部扉１２（外部開閉手段）によって開閉される。
【００１４】
アイソレータ本体２には、前面側の壁面２ｂに一対のグローブ１４が取り付けられており、作業者がこのグローブ１４を介してアイソレータ本体２内に手を挿入して、アイソレータ本体２内に収容された物品の処理を行う。
【００１５】
前記アイソレータ本体２の天面２ｃ上に気体供給室１６が設けられており、この気体供給室１６内に複数の給気ファン１８が設置されている。これらの給気ファン１８は、アイソレータ本体２内に気体を均等に送り込めるように複数個配置されており、圧力センサ１９の検出結果に基づいてアイソレータ本体２を所定の陽圧に維持するようになっている。給気ファン１８が設置された気体供給室１６の下面側の、アイソレータ本体２の内部への気体流入部１６ａに、ＨＥＰＡフィルタ２０が取り付けられている。給気ファン１８によって外部からアイソレータ本体２内に送られる気体は、このＨＥＰＡフィルタ２０を通過して浄化される。また、アイソレータ本体内２には、拡散ファン２１が設けられており、アイソレータ本体２内に供給された過酸化水素蒸気を拡散させてすみずみまで行き渡らせるようにしている。
【００１６】
アイソレータ本体２の、前記パスボックス４が取り付けられている壁面２ａと逆の側壁２ｄ（図１の左側の壁面）の下部に、気体排出室２２が設けられている。アイソレータ本体２の内部から気体排出室２２へ気体が流出する部分（気体流出部２２ａ）にＨＥＰＡフィルタ２４が取り付けられており、アイソレータ本体２内から気体排出室２２に排出される気体は、このＨＥＰＡフィルタ２４によって浄化される。
【００１７】
前記気体供給室１６には、エア供給通路２６が接続されており、給気ファン１８の作動によって、このエア供給通路２６から前記ＨＥＰＡフィルタ２０を介してアイソレータ本体２内に外部のエアを導入することができる。また、気体排出室２２には、エア排出通路２８が接続されており、前記給気ファン１８の作動によって、アイソレータ本体２内に導入されたエアをこのエア排出通路２８から外部に排出することができる。エア供給通路２６とエア排出通路２８には、それぞれ触媒３０、３２が設けられている。後に説明する除染ガスが含まれたエアがエア排出通路２８から排出される際に、このエア排出通路２８に設けられた触媒３２によって分解されて無毒化される。また、エア供給通路２６の入口側開口と、エア排出通路２８の出口側開口にはそれぞれ蓋３４、３６が取り付けられるようになっており、エアの給排時にはこの蓋３４、３６を外し、エアを給排しないときには蓋３４、３６を取り付けて各通路２６、２８を封止するようになっている。なお、この実施例では、エア供給通路２６およびエア排出通路２８には、開閉が制御されるバルブを設けず、蓋３４、３６によって封止するようにしているが、人為的ミスにより蓋３４、３６を閉じ忘れることがあっても、触媒３０、３２によって分解され無毒化されるため、アイソレータ本体２内の除染ガスが含まれた有害な気体が外部に漏れ出ることはない。
【００１８】
アイソレータ本体２の気体供給室１６に、蒸発器からなる除染ガス供給装置３８が接続されている。この除染ガス供給装置３８には、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）等の除染用の薬剤を貯留したタンク４０が接続されており、除染材供給通路４２に設けたポンプ４４によってこのタンク４０から一定量ずつ過酸化水素溶液が供給される。除染ガス供給装置３８に供給された過酸化水素溶液は、この除染ガス供給装置３８内で蒸発して除染ガスとしての過酸化水素蒸気となる。除染ガス供給装置３８の吐出側に接続された除染ガス供給通路４６（以下、第１除染ガス供給通路と呼ぶ）が前記気体供給室１６に接続されており、除染ガス供給装置３８で生成された過酸化水素蒸気が、気体供給室１６内の給気ファン１８の作動によって、第１除染ガス供給通路４６から気体供給室１６内に導入され、気体導入部１６ａのＨＥＰＡフィルタ２０を介して、アイソレータ本体２内に供給される。この第１除染ガス供給通路４６には開閉バルブ４８が設けられており、第１除染ガス供給通路４６の連通遮断をすることにより、過酸化水素蒸気の供給停止を行うようになっている。
【００１９】
また、気体排出室２４には、アイソレータ本体２内から過酸化水素蒸気を排出する除染ガス排出通路５０が接続されている。この除染ガス排出通路５０は、前記除染ガス供給装置３８の戻り側に接続されており、気体排出室２４寄りに開閉バルブ５１が設けられている。前記除染ガス供給装置３８、第１除染ガス供給通路４６、気体供給室１６、ＨＥＰＡフィルタ２０、アイソレータ本体２、ＨＥＰＡフィルタ２４、気体排出室２２および除染ガス排出通路５０により除染ガス循環通路が形成されている。
【００２０】
本実施例に係るアイソレータシステムには、除染ガス供給装置３８からアイソレータ本体２内に除染ガスを供給する前記第１除染ガス供給通路４６に加えて、第２除染ガス供給通路５２が設けられている。この第２除染ガス供給通路５２は、前記気体供給室１６と別の位置の、ＨＥＰＡフィルタ２０を通過せずにアイソレータ本体２内に過酸化水素蒸気を供給できる箇所に接続されている。特に、この実施例では、気体排出室２２が一方の壁面２ｄの下部に設けられているので、第２除染ガス供給通路５２は、この壁面２ｄと逆側の壁面２ａの上部に接続されている。第２除染ガス供給通路５２のアイソレータ本体２への接続部に給気ファン５４が設けられており、この給気ファン５４の作動によってアイソレータ本体２内に除染ガス（過酸化水素蒸気）を供給することができる。また、第２除染ガス供給通路５４には開閉バルブ５６が設けられており、この開閉バルブ５６の開閉によって第２除染ガス供給通路５４を連通遮断して過酸化水素蒸気の供給停止を行う。
【００２１】
前記パスボックス４内にも、外部のエアを供給し排出できるようになっている。パスボックス４の天面４ｂに気体供給室５８が設けられており、この気体供給室５８内に給気ファン６０が設置されるとともに、下面側のパスボックス４内への気体流入部にＨＥＰＡフィルタ６２が配置されている。この気体供給室５８にエア供給通路６４が接続されており、前記給気ファン６０の作動によって外部のエアをＨＥＰＡフィルタ６２を介してパスボックス４内に供給することができるようになっており、圧力センサ６５の検出結果に基づいてパスボックス４内を所定の陽圧に維持するようになっている。また、パスボックス４の下面側に、気体流出部が設けられ、この気体流出部にＨＥＰＡフィルタ６６が設置されている。この気体流出部にもエア排出通路６８が接続されており、前記給気ファン６０によって外部からパスボックス４内に供給されたエアが、このエア排出通路６８から外部に排出される。エア供給通路６４およびエア排出通路６８には、それぞれ触媒７０、７２が設けられている。パスボックス４内の除染ガス（過酸化水素蒸気）を含んだ気体がエア排出通路６８から外部に排出される場合には、触媒７２によって除染ガスを分解し無毒化して排出する。エア供給通路６４の入口側の開口部およびエア排出通路６８の出口側の開口部に、それぞれ蓋７４、７６が取り付けられるようになっており、パスボックス４内にエアを供給、排出する際にはこの蓋７４、７６を外し、エアの供給排出を行わないときには、各開口部に蓋７４、７６を装着して各エア通路６４、６８を封止する。なお、この実施例では、エア供給通路６４側にも触媒７２が設けられており、アイソレータ本体２と同様に、エア供給通路６４およびエア排出通路６８には、開閉が制御されるバルブを設けず、蓋７４、７６によって封止するようにしているが、人為的ミスにより蓋７４、７６を閉じ忘れることがあっても、触媒７０、７２によって分解され無毒化されるため、パスボックス４内の除染ガスが含まれた有害な気体が外部に漏れ出ることはない。
【００２２】
さらに、パスボックス４内にも、除染ガスを供給、排出できるようになっている。前記除染ガス供給装置３８の吐出側と、エア供給通路６４の触媒７０よりも気体供給室５８寄りとを、第１除染ガス供給通路７８によって接続している。この第１除染ガス供給通路７８には開閉バルブ８０が設けられている。また、エア排出通路６８のＨＥＰＡフィルタ６６と触媒７２の間と、前記アイソレータ本体２からの除染ガス排出通路５０との間を第１除染ガス排出通路８２によって接続している。この第１除染ガス排出通路８２には開閉バルブ８３が設けられている。
【００２３】
さらに、パスボックス４には、ＨＥＰＡフィルタ６２、６６を介して除染ガスを給排する循環通路と別に、ＨＥＰＡフィルタ６２、６６を通さずに除染ガスを給排するパスボックス循環通路が設けられている。この循環通路は、除染ガス供給装置３８の吐出側とパスボックス４の天面４ｂの気体供給室５８以外の部分とを第２除染ガス供給通路８４によって接続するとともに、パスボックス４の壁面４ａの開口部１０以外の部分と、アイソレータ本体２からの除染ガス排出通路５０とを第２除染ガス排出通路８６によって接続する。前記第２除染ガス供給通路８４とこの第２除染ガス排出通路８６には、開閉バルブ８８、９０を設けてある。また、第２除染ガス供給通路８４のパスボックス４内部側には給気ファン９２が設けられており、この給気ファン９２の作動によって、除染ガス供給装置３８とパスボックス４との間で、除染ガスを循環させることができる。このように、除染ガス供給装置３８，除染ガス供給装置３８からパスボックス４内へ除染ガスを供給する往路としての第２除染ガス供給通路４、パスボックス４、パスボックス４内から除染ガス供給装置３８へ除染ガスを排出する復路としての第２除染ガス排出通路８６およびアイソレータ本体２からの除染ガス排出通路５０により、パスボックス４に除染ガスを給排するパスボックス循環通路が形成されている。
【００２４】
以上の構成に係るアイソレータシステムの作動について説明する。先ず、運転の開始前にアイソレータ本体２の内部およびパスボックス４の内部を、これらアイソレータ本体２およびパスボックス４の気体流入部１６ａと気体流出部２２ａ（パスボックス４側は符号無し）にそれぞれ設けられているＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６を介して除染を行う。この場合には、アイソレータ本体２にエアを給排するエア供給通路２６および排出通路２８の開口部と、パスボックス４にエアを給排するエア供給通路６４および排出通路６８の開口部に蓋３４、３６、７４、７６を装着する。また、アイソレータ本体２にＨＥＰＡフィルタ２０を介さずに除染ガスを供給する第２除染ガス供給通路５２の開閉バルブ５６、パスボックス４にＨＥＰＡフィルタ６０、６６を介さずに除染ガスを給排する第２除染ガス供給通路８４および第２除染ガス排出通路８６の開閉バルブ８８、９０を閉じる。そして、アイソレータ本体２にＨＥＰＡフィルタ２０、２４を介してガスを給排する第１除染ガス供給通路４６および除染ガス排出通路５０と、パスボックス４にＨＥＰＡフィルタ６２、６６を介してガスを給排する第１除染ガス供給通路７８および第１除染ガス排出通路８２に設けられている開閉バルブ８０、８３を開放する。さらに、内部扉８を開放してアイソレータ本体２とパスボックス４との間の連通口６を開放する（図２に示す状態）。
【００２５】
この状態で、除染ガス供給装置３８を作動させ、過酸化水素タンク４０内の過酸化水素溶液をポンプ４４を駆動して除染ガス供給装置３８に送って蒸発させるとともに、アイソレータ本体２の気体供給室１６内に設置されている給気ファン１８と、パスボックス４の気体供給室５８内に設置されている給気ファン６０を運転する。過酸化水素溶液が蒸発して生成された過酸化水素蒸気が、アイソレータ本体２の第１除染ガス供給通路４６から気体供給室１６に入り、ＨＥＰＡフィルタ２０を通過してアイソレータ本体２内に導入される。ＨＥＰＡフィルタ２０を通過してアイソレータ本体２内部を除染した過酸化水素蒸気は、拡散ファン２１により隅々まで行き渡り気体排出室２２のＨＥＰＡフィルタ２４を通って除染ガス排出通路５０から、除染ガス供給装置３８の吸入側に還流する。パスボックス４側でも同様に、除染ガス供給装置３８によって生成された過酸化水素蒸気が、第１除染ガス供給通路７８から気体供給室５８に送られ、気体流入部のＨＥＰＡフィルタ６２を通過してパスボックス４内に入り、さらに、流出部のＨＥＰＡフィルタ６６を通って、第１除染ガス排出通路８２から除染ガス供給装置３８の吸入側に還流する。このようにして、アイソレータ本体２内とパスボックス４内、およびこれら両チャンバー２、４の入口側と出口側のＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６を除染する。なお、ここで説明した除染動作が、請求項１に記載した第２の除染動作である。
【００２６】
このように、アイソレータ本体２やパスボックス４等の除染を行う際に、本実施例装置では、エア供給通路２６、６４とエア排出通路２８、６８の除染ガスの洩れをバルブによって制御するのではなく、触媒３０、３２、７０、７２を設置しておき、洩れた場合でも除染ガスを分解して無毒化した後排出するようにしている。従って、エア供給通路２６、６４側にも触媒３０、７０を設置している。
【００２７】
その後、アイソレータ本体２とパスボックス４内のエアレーションを行い、除染ガスを除去する。このときには、アイソレータ本体２とパスボックス４の除染ガス供給配管４６、５２、７８、８４と除染ガス排出配管５０、８２、８６の開閉バルブ４８、５６、８０、８８、５１、８３、９０をすべて閉じ、アイソレータ本体２とパスボックス４との間の内部扉８を開放したままにしておく。そして、前記アイソレータ本体２とパスボックス４およびこれらのＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６の除染を行っている際に取り付けてあった各エア供給配管２６、６４およびエア排出配管２８、６８の開口部の蓋３４、７４、３６、７６を人手によりはずす。この状態にして、アイソレータ本体２の気体供給室１６内の給気ファン１８と、パスボックス４の気体供給室５８内の給気ファン６０を運転する。すると、外部のエアが、アイソレータ本体２のエア供給配管２６から気体供給室１６、流入部１６ａのＨＥＰＡフィルタ２０を通ってアイソレータ本体２内に入り、気体排出室２２のＨＥＰＡフィルタ２４を通り、さらに、触媒３２を通過して、エア中に含まれている過酸化水素成分が分解された後、エア排出配管２８の出口側開口部から排出される。また、パスボックス４もエア供給配管６４から気体供給室５８に入り、ＨＥＰＡフィルタ６０を通ってパスボックス４内に流入した後、排出側のＨＥＰＡフィルタ６６からエア排出配管６８に入り、触媒７２を通過してエア中に含まれている過酸化水素成分が分解された後、出口側開口部から排出される。
【００２８】
以上の工程で、この実施例に係るアイソレータシステムの、アイソレータ本体２、パスボックス４およびＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６を含めた全体の除染と、除染後のエアレーションを行った後、このアイソレータシステムを使用して、アイソレータ本体２の内部に搬入した物品の処理を行う。先ず、アイソレータ本体２内で処理を行う物品をパスボックス４内に搬入する。このときには、アイソレータ本体２とパスボックス４との間の内部扉８を閉鎖して（図１に示す状態）、これら両チャンバー２、４を遮断した後、パスボックス４の外部扉１２を開放して処理する物品を搬入する。その後、外部扉１２を閉じてパスボックス４内を密閉する。
【００２９】
次に、パスボックス４内に搬入した物品の除染を行う。このときには、ＨＥＰＡフィルタ６２、６６が設けられている第１除染ガス供給通路７８と第１除染ガス排出通路８２の開閉バルブ８０、８３を閉めて、第２除染ガス供給通路８４と第２除染ガス排出通路８６の開閉バルブ８８、９０を開放する。この状態で第２除染ガス供給通路８４の給気ファン９２を運転して、除染ガス供給装置３８から過酸化水素蒸気をパスボックス４内に導入する。パスボックス４内に導入された過酸化水素蒸気によって物品が除染された後、この蒸気は、第２除染ガス排出通路８６から排出されて除染ガス供給装置３８の吸入側に還流する。このように通常運転時の除染は、ＨＥＰＡフィルタ６２、６６を通さずにパスボックス循環通路により除染ガスを循環させて行うので、過酸化水素蒸気がＨＥＰＡフィルタ６２、６６に吸着されてロスとなることがなく、その後の、エアレーションに長時間要することもない。
【００３０】
パスボックス４内で処理する物品の除染を行った後、そのままエアレーションを行う。前記パスボックス４内での除染を行った際に開放していた第２除染ガス供給通路８４の開閉バルブ８８と第２除染ガス排出通路８６の開閉バルブ９０を閉じ、エア供給通路６４の入口側開口部の蓋７４とエア排出通路６８の出口側開口部の蓋７６を外して、気体供給室５８内の給気ファン６０を運転する。エア供給通路６４からＨＥＰＡフィルタ６２を通ってパスボックス４内に供給されたエアが、排出側のＨＥＰＡフィルタ６６を通り、触媒７２によって過酸化水素が分解された後、エア排出通路６８の出口側開口部から外部に排出される。
【００３１】
前記のようにパスボックス４内で除染およびエアレーションを行った後、アイソレータ本体２とパスボックス４との間の内部扉８を開放して、パスボックス４内の物品をアイソレータ本体２の内部に搬入する。その後、内部扉８を閉じてアイソレータ本体２の内部を密閉した状態でその物品の処理を行う。
【００３２】
このアイソレータシステムを使用した後、あるいは使用を始める前等に、アイソレータ本体２とパスボックス４の除染を行う必要がある。ところが前述したようにＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６を通して除染を行うと、除染ガス（この実施例では過酸化水素蒸気）がＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６に吸着されてしまいロスが大きく、しかも、その後のエアレーションに長い時間がかかってしまうので、本実施例では、ＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６を通して行う除染は、例えば１週間に１回等定期的に行い、通常の運転時においては、ＨＥＰＡフィルタ２０、２４、６２、６６を通さずに除染を行うようにした。
【００３３】
このときには、図２に示すように、アイソレータ本体２とパスボックス４との間の内部扉８を開放する。そして、アイソレータ本体２にＨＥＰＡフィルタ２０、２４を介して除染ガスを給排する第１除染ガス供給通路４６および除染ガス排出通路５０と、パスボックス４にＨＥＰＡフィルタ６２、６６を介して除染ガスを給排する第１除染ガス供給通路７８および第１除染ガス排出通路８２に設けられている開閉バルブ４８、５１、８０、８３を閉鎖する。さらに、アイソレータ本体２にＨＥＰＡフィルタ２０を通さずに除染ガスを供給する第２除染ガス供給通路５２の開閉バルブ５６と、パスボックス４にＨＥＰＡフィルタ６２、６６を通さず除染ガスを供給排出する第２除染ガス供給通路８４および第２除染ガス排出通路８６のバルブ８８、９０を開放する。この状態で、各第２除染ガス供給通路５２、８４の給気ファン５４、９２および拡散ファン２１を運転する。アイソレータ本体２の第２除染ガス供給通路５２からアイソレータ本体２内に供給された過酸化水素蒸気は、アイソレータ本体２内の除染を行った後、アイソレータ本体２とパスボックス４との間の連通口６からパスボックス４内に流入し、パスボックス４内を通して第２除染ガス排出通路８６から排出される。また、パスボックス４の第２除染ガス供給通路８４からパスボックス４内に供給された過酸化水素蒸気は、パスボックス４内を除染した後、前記アイソレータ本体２から流入した過酸化水素蒸気とともに、第２除染ガス排出通路８６から排出されて除染ガス供給装置３８の吸入側に還流する。このように本実施例の構成では、除染剤の無駄やエアレーションに長時間を要することなく、日常的な作業において、アイソレータ本体２内やパスボックス４内等の重要なエリアを除染することができる。なお、ここで説明した除染動作が、請求項１に記載した第１の除染動作である。本発明に係るアイソレータシステムでは、以上説明した内容のとおり、第２除染ガス供給通路５２からからアイソレータ本体２内に除染ガスを供給し、パスボックス４内を通してパスボックス循環通路から除染ガスを排出させる第１の除染動作と、除染ガス循環通路によりアイソレータ本体２内を通して除染ガスを循環させる第２の除染動作とを実行可能に構成している。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】アイソレータシステムの全体の構成を示す回路図である。（実施例１）
【図２】前記アイソレータシステムの異なる状態を示す回路図である。
【符号の説明】
【００３５】
２    アイソレータ本体
４    パスボックス
６    連通口
８    内部開閉手段（内部扉）
１６    気体供給室
１６ａ  気体流入部
２０    フィルタ手段（ＨＥＰＡフィルタ）
２２    気体排出室
２２ａ  気体流出部
２４    フィルタ手段（ＨＥＰＡフィルタ）
３８    除染ガス供給手段
４６    除染ガス供給通路（第１除染ガス供給通路）
５０    除染ガス排出通路
５２    第２除染ガス供給通路
６２    フィルタ手段（ＨＥＰＡフィルタ）
６６    フィルタ手段（ＨＥＰＡフィルタ）
７８    往路（第１除染ガス供給通路）
８２    復路（第１除染ガス排出通路）
８４    往路（第２除染ガス供給通路）
８６    復路（第２除染ガス排出通路）
【図１】
2010051351.tif 000003
【図２】
2010051351.tif 000004