(57)【要約】【課題】ターボ分子ポンプのロータの温度上昇を抑制すること。【解決手段】ターボ分子ポンプ１００は、ロータ翼３ｂを回転させて吸気口７Ａから吸入した気体を排気口１１Ａから排出する。ロータ本体３ａの吸気口７Ａに面した部分に無電解ニッケルメッキ層を形成し、且つ複数のロータ翼３ｂの表面、ロータ円筒部３ｃの表面、ロータ本体３ａの内周面および外周面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層を形成する。黒色ニッケルメッキ層は、熱輻射率が高いので、ロータからその周辺部材への放熱を促進する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底円筒状のロータ本体から径方向に突出し、回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼、および前記複数のロータ翼と交互に配設される複数のステータ翼を有するタービン翼部と、
前記複数のステータ翼の各々を前記回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めするためのスペーサと、
吸気口を有し、前記タービン翼部を収納するケーシングと、
排気口を有するベースとを備え、
前記ロータ本体の前記吸気口に向いた底面に無電解ニッケルメッキ層が形成され、且つ前記複数のロータ翼の表面、前記ロータ本体の内周面および前記ロータ本体の外周面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層が形成されたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記複数のロータ翼の前記排気口の側に設けられるロータ円筒部、および前記ロータ円筒部の内周面に近接して対向配置されるネジステータを有するネジ溝ポンプ部を備え、
前記ベースは、前記ロータ本体の内周面および前記ロータ円筒部の内周面に対向する面を有し、
前記複数のロータ翼の表面、前記ロータ本体の内周面、前記ロータ本体の外周面および前記ロータ円筒部の表面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層が形成されたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記複数のステータ翼、前記ネジステータ、前記スペーサおよび前記ベースの少なくとも一つの表面であって、前記複数のロータ翼、前記ロータ本体および前記ロータ円筒部のいずれかに対向する面に、黒色ニッケルメッキ層が形成されたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記複数のロータ翼の表面、前記ロータ本体の表面および前記ロータ円筒部の表面の全てに黒色ニッケルメッキ層が形成され、
前記ロータ本体に対向するように前記吸気口に配置された保護部材をさらに備え、
前記保護部材は、前記ロータ本体の底面に対向する領域が遮蔽板で、それ以外の領域がメッシュで構成されたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置、分析装置などの中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用されるターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプは、ドライエッチングやＣＶＤ等を行うプロセスチャンバ内のガスを排気して所定の高真空を形成する手段として用いられる。チャンバ内に腐食性ガスを導入してエッチングする場合、ターボ分子ポンプの吸気口側に接続されたチャンバ、ＡＰＣバルブなどに反応生成物が凝着するのを防ぐために、ヒータなどの加熱手段を設けて加熱している。
【０００３】
ロータは高速回転するため、比強度に優れたアルミニウム合金で製作され、また、ステータ翼、スペーサ、ベースなどもアルミニウム合金で製作されることが多い。磁気軸受を用いたターボ分子ポンプの場合、ロータは非接触で浮上しているため伝導による熱伝達はなく、また、真空であるため対流による熱伝達もない。ロータの熱は、輻射による熱伝達によってのみ放出される。
【０００４】
チャンバ、ＡＰＣバルブなどの上流側機器からの熱によりロータが高温となり、ロータ翼の温度が高いまま高速回転させるとクリープ変形などを促進してしまうという問題がある。そのため、熱がロータへ伝わるのを抑制するとともに、ロータの熱をステータやスペーサなどの周辺の部材に効率よく伝達する必要がある。ロータ翼とステータ翼の間で熱放射による熱交換を促進するために、ロータ翼およびステータ翼の排気口に近い段部を熱放射率の高いセラミック表面とし、それ以外の段部を金属表面としたターボ分子ポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特許２５２７３９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のターボ分子ポンプでは、セラミック表面を有するロータ翼からセラミック表面を有するステータ翼への熱伝達が効果的に行われるが、セラミック表面ではない金属表面部分は、熱伝達が効率よく行われず、また、腐食性ガスによる腐食も生じ易いという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）請求項１によるターボ分子ポンプは、有底円筒状のロータ本体から径方向に突出し、回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼、および複数のロータ翼と交互に配設される複数のステータ翼を有するタービン翼部と、複数のステータ翼の各々を回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めするためのスペーサと、吸気口を有し、タービン翼部を収納するケーシングと、排気口を有するベースとを備え、ロータ本体の吸気口に向いた底面に無電解ニッケルメッキ層が形成され、且つ複数のロータ翼の表面、ロータ本体の内周面およびロータ本体の外周面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層が形成されたことを特徴とする。
（２）請求項２の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、複数のロータ翼の排気口の側に設けられるロータ円筒部、およびロータ円筒部の内周面に近接して対向配置されるネジステータを有するネジ溝ポンプ部を備え、ベースは、ロータ本体の内周面およびロータ円筒部の内周面に対向する面を有し、複数のロータ翼の表面、ロータ本体の内周面、ロータ本体の外周面およびロータ円筒部の表面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層が形成されたことを特徴とする。
（３）請求項３の発明は、請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、複数のステータ翼、ネジステータ、スペーサおよびベースの少なくとも一つの表面であって、複数のロータ翼、ロータ本体およびロータ円筒部のいずれかに対向する面に、黒色ニッケルメッキ層が形成されたことを特徴とする。
（４）請求項４の発明は、請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、複数のロータ翼の表面、ロータ本体の表面およびロータ円筒部の表面の全てに黒色ニッケルメッキ層が形成され、ロータ本体に対向するように吸気口に配置された保護部材をさらに備え、保護部材は、ロータ本体の底面に対向する領域を遮蔽板で、それ以外の領域をメッシュで構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のターボ分子ポンプによれば、ロータ本体の吸気口に向いた底面に無電解ニッケルメッキ層を設け、且つ複数のロータ翼の表面、ロータ本体の内周面および外周面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層を設けているので、ロータと上流側機器との熱移動を低減し、ロータの熱をステータやスペーサなどの周辺の部材に効率よく伝達できるとともに、耐食性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態によるターボ分子ポンプについて、図１〜５を参照しながら説明する。
〈第１の実施の形態〉
図１は、本発明の第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの構成を模式的に示す図である。図１（ａ）はターボ分子ポンプの上面図、図１（ｂ）はターボ分子ポンプの縦断面図である。
【００１０】
ターボ分子ポンプ１００は、タービン翼排気部１およびネジ溝ポンプ部２を備えている。ロータ３は、片側に底を有する円筒状のロータ本体３ａと、ロータ本体３ａから径方向に突出して複数段に形成されたロータ翼（回転翼）３ｂと、複数のロータ翼３ｂの下流側に設けられるロータ円筒部３ｃと、回転軸３ｄとを有する。複数段に形成されたステータ翼（固定翼）４は、スペーサ５によって多段のロータ翼３ｂと交互に数ｍｍの隙間を保って配置されている。タービン翼排気部１は、ロータ翼３ｂおよびステータ翼４を有し、ケーシング６に収納されている。ケーシング６の上方には、吸気口７Ａを有する吸気口フランジ７が設けられている。吸気口フランジ７には、ロータ本体３ａの底面、つまり上面３Ａに対向するように配置されたネット状の保護部材１０が取り付けられている。保護部材１０は、主として、吸気口７Ａからターボ分子ポンプ１００内に異物が侵入するのを阻止するために設けられるので、各々のメッシュの開口１０Ａの寸法は非常に小さい。
【００１１】
ロータ円筒部３ｃと近接してネジ溝が加工されたネジステータ７が配置されている。ネジ溝加工は、ネジステータ７の代わりにロータ円筒部３ｃに施されていてもよい。ネジ溝ポンプ部２は、ロータ円筒部３ｃおよびネジステータ８を有し、ベース９の上方に配置されている。ベース９の側方には、排気口１１Ａを有する排気口フランジ１１が設けられている。ベース９は、ケーシング６と気密を保って接続されている。
【００１２】
ベース９には、さらに、ロータ３を回転軸３ｄ廻りに回転させるモータ１２と、上下一対のラジアル磁気軸受１３および１４と、スラスト磁気軸受１５とが配設されている。ラジアル磁気軸受１３は、ラジアル電磁石１３ａおよびラジアルセンサ１３ｂを有し、ラジアル磁気軸受１４は、ラジアル電磁石１４ａおよびラジアルセンサ１４ｂを有する。スラスト磁気軸受１５は、スラスト電磁石１５ａ、スラストセンサ１５ｂを有する。ロータ３は、これらのラジアル磁気軸受１３，１４およびスラスト磁気軸受１５によって非接触で支持されている。なお、ラジアル磁気軸受１３，１４の近傍には、それぞれ保護ベアリング１６，１７が配設されている。
【００１３】
このように構成されたターボ分子ポンプ１００において、吸気口フランジ７は、不図示のプロセスチャンバに配設されたチャンバ側フランジにボルト穴７ａを貫通するボルト（不図示）により気密を保って取り付けられている。
【００１４】
ターボ分子ポンプ１００は、上流側のプロセスチャンバからのガスを吸気口７Ａから取り入れ、排気口フランジ１１の排気口１１Ａから下流側の外部へ排気し、プロセスチャンバ内を所定の高真空とする。すなわち、ロータ３が数万ｒｐｍの回転数で高速回転することにより、吸気口７Ａから取り入れられたガスは、多段に形成されたロータ翼３ｂとステータ翼５との隙間を通り、この隙間と連通しているネジ溝加工された隙間を通りながら圧縮され、排気口１１Ａからポンプ外部へ排出される。なお、ターボ分子ポンプには、上記構成とは異なり、下流側にネジ溝ポンプ部を設けない全翼型のターボ分子ポンプもある。
【００１５】
ところで、例えば半導体製造工程では、塩素や硫化フッ素等を含む反応生成物が装置内壁に凝縮、堆積するのを防止するために、プロセスチャンバ内やチャンバ側フランジを９０〜１２０℃程度に加熱して反応生成物の昇華点以上に保っている。この熱が輻射によりロータ翼３ｂへ伝達されると、高速回転するロータ翼３ｂのクリープ変形が促進され、ロータ３の寿命を短くするという問題がある。本実施の形態は、ロータ３の熱をステータ４やスペーサ５などの周辺の部材に効率よく伝達してロータ３の温度を下げるとともに、ロータ３と上流側機器との熱移動を低減するものであり、以下、図２および図３を用いて詳しく説明する。
【００１６】
図２は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。図３は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプのロータに形成されるメッキ層の構造を模式的に示す部分断面図であり、図３（ａ）は無電解ニッケルメッキ層、図３（ｂ）は黒色ニッケルメッキ層である。なお、図２および３では、図１と同じ構成部品には同一符号を付し、説明を省略する。
【００１７】
図２を参照すると、ロータ本体３ａの上面３Ａ（粗いハッチングで表示）、すなわちロータ本体３ａの吸気口に向いた面には無電解ニッケルメッキ層が設けられている。また、ロータ翼３ｂの表面、ロータ円筒部３ｃの表面、ロータ本体３ａの内周面３Ｂおよびロータ本体３ａの外周面３Ｃ（以上、細かいハッチングで表示）には、黒色ニッケルメッキ層が設けられている。なお、図２では、ロータ翼３ｂの表面、ロータ円筒部３ｃの表面、ロータ本体３ａの内周面３Ｂおよびロータ本体３ａの外周面３Ｃのすべてに黒色ニッケルメッキ層が形成されていることを示しているが、上記の面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層が形成されていればよい。
【００１８】
図３（ａ）は、ロータ本体３ａの上面３Ａに形成された無電解ニッケルメッキ層の構造を示す。ロータ３をアルミニウム合金で製作し、アルミニウム合金の母材Ｍ上に無電解メッキ法でＮｉ−Ｐ（ニッケル−リン）層１０１を形成する。無電解ニッケルメッキ層は、Ｎｉ−Ｐ層１０１の１層であり、その熱輻射率は０．１１と低い値である。ここで、熱輻射率とは、輻射による熱伝達特性を表す係数であり、値が大きいほど熱は伝達され易くなる。黒体の熱輻射率は１である。
【００１９】
図３（ｂ）は、黒色ニッケルメッキ層の構造を示す。先ず、アルミニウム合金の母材Ｍ上に無電解メッキ法でＮｉ−Ｐ層１０１を形成し、次に、Ｎｉ−Ｐ層１０１を下地として無電解メッキ法でＮｉ−Ｐ層１０２を形成する。Ｎｉ−Ｐ層１０２は黒色化処理をするためのメッキ層であり、このＮｉ−Ｐ層１０２の表面をエッチング処理して黒色酸化皮膜１０３を形成する。したがって、黒色ニッケルメッキ層は、Ｎｉ−Ｐ層１０１と黒色酸化皮膜１０３が形成されたＮｉ−Ｐ層１０２との２層構造であり、その熱輻射率は０．６５〜０．７３と高い値を示す。
【００２０】
また、耐蝕性の観点からは、ニッケルはアルミニウム合金に比べて耐蝕性が優れている。したがって、アルミニウム合金に無電解ニッケルメッキ層あるいは黒色ニッケルメッキ層を形成することにより耐蝕性が向上する。
【００２１】
ロータ３にメッキを施す処理工程としては、例えば、先ず、ロータ３の全面にＮｉ−Ｐ層１０１を形成し、次に、ロータ本体３ａの上面３Ａと必要に応じて所定の面をマスキングして、それ以外の面にＮｉ−Ｐ層１０２と黒色酸化皮膜１０３を形成する。無電解ニッケルメッキ層と黒色ニッケルメッキ層との境界は、ロータ３の上面にあるので、Ｏリングをシールとして使う汎用的なマスキング部品を使用でき、マスキング作業を容易に行うことができる。
【００２２】
本実施の形態によるターボ分子ポンプ１００は以下の作用効果を奏する。
（１）ロータ本体３ａの上面３Ａに熱輻射率の低い無電解ニッケルメッキ層を設けたので、プロセスチャンバなどの上流側装置から輻射される熱を反射して遮断し、ロータ３へ伝達される熱量を低減でき、ロータ３の温度上昇を抑制できる。
また、ターボ分子ポンプ１００は、電子顕微鏡や露光装置の排気にも用いられる。この場合は、プロセスチャンバやバルブなどを加熱しないので、高速回転で熱が発生するロータ３の方がプロセスチャンバやバルブなどよりも高温となり、ロータ３の熱が輻射によって上流側のチャンバ内に流入し、その輻射熱が電子線やレーザに悪影響を及ぼす恐れがある。しかし、本実施の形態のターボ分子ポンプ１００では、熱輻射率の低い無電解ニッケルメッキ層によりプロセスチャンバなどの上流側装置へ輻射する熱量を低減できるので、上流側装置へ悪影響を及ぼす恐れがない。
【００２３】
（２）ロータ翼３ｂの表面、ロータ円筒部３ｃの表面、ロータ本体３ａの内周面３Ｂおよびロータ本体３ａの外周面３Ｃのうち少なくとも一つに熱輻射率の高い黒色ニッケルメッキ層を設けたので、ロータ３からステータ翼４、スペーサ５などの周辺部材へ効率よく放熱させることができ、ロータ３の温度上昇を抑制できる。特に、高速回転するロータ翼３ｂの温度を低く抑えることにより、クリープ変形が生じ難くなり、ロータの寿命を長くすることができる。
【００２４】
（３）上記（１）、（２）のように無電解ニッケルメッキ層と黒色ニッケルメッキ層を設けたので、ロータ３の温度上昇抑制に加えてロータ３の耐蝕性も向上する。特に、ロータ３の全面に無電解ニッケルメッキ層または黒色ニッケルメッキ層を設けた場合は、必ずＮｉ−Ｐ層１０１がロータ３の表面を覆っているので耐蝕性がより高くなる。
従来、ロータ上面およびロータ翼の上流側（吸気口側）１段目の面に無電解ニッケルメッキを施し、それ以外のロータ翼の面には、無電解ニッケルメッキの下層と高熱放射率粒子分散型無電解ニッケルメッキの上層からなる二層構造のメッキ（複合メッキ）を施したターボ分子ポンプが知られている（例えば、特開２０００−１６１２８６号公報）。しかし、複合メッキの粒子分散型無電解ニッケルメッキ層は、黒色ニッケルメッキ層ほど熱輻射率が高くはない。また、無電解ニッケルメッキ層と複合メッキ層との境界は、上流側１段目のロータ翼と２段目のロータ翼との翼根元リブ部または円筒部分となり、ロータ翼の先端面から深い位置にあるので特殊なマスキングを要する。本実施の形態のターボ分子ポンプ１００では、上述したように一般的なマスキングで済む。
【００２５】
〈第２の実施の形態〉
図４は、本発明の第２の実施の形態によるターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。図４では、図１および２と同じ構成部品には同一符号を付し、説明を省略する。この第２の実施の形態のターボ分子ポンプ２００は、第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１００と構成上は同じであるので、相違点を以下説明する。
【００２６】
ターボ分子ポンプ２００では、ロータ３の表面にメッキ層を形成することに加えて、ステータ翼４、スペーサ５、ネジステータ８およびベース９のうちの少なくとも一つの表面であって、ロータ３に対向する面に黒色ニッケルメッキ層を形成している。
【００２７】
図４に示されるように、ターボ分子ポンプ２００では、ステータ翼４、スペーサ５、ネジステータ８およびベース９の面９Ａにも黒色ニッケルメッキ層が設けられている。この黒色ニッケルメッキ層の構造は、前述した図３（ｂ）に示したものと同じである。なお、図４では、ステータ翼４、スペーサ５、ネジステータ８およびベース９のすべてに黒色ニッケルメッキ層が形成されていることを示しているが、これらの構成部品の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層が形成されていてもよい。また、これらの構成部品のロータ３に対向する面に黒色ニッケルメッキ層が形成されているだけでもよい。例えば、図４に示されるように、ベース９の全面ではなく、ロータ３に対向する面９Ａのみに黒色ニッケルメッキ層を設けてもよい。
【００２８】
前述したように、黒色ニッケルメッキ層は高い熱輻射率を有するので、ロータ３の表面にメッキ層を形成することに加えて、ステータ翼４、スペーサ５、ネジステータ８およびベース９にも黒色ニッケルメッキ層を形成することにより、温度の高いロータ３は放熱し易くなり、温度の低いステータ翼４、スペーサ５などのロータ周辺の部材は吸熱し易くなる。したがって、ターボ分子ポンプ２００では、ロータ３からステータ翼４、スペーサ５などの周辺部材への熱伝達は、ターボ分子ポンプ１００よりもさらに効率よく行われる。
【００２９】
〈第３の実施の形態〉
図５は、本発明の第３の実施の形態によるターボ分子ポンプの構成を模式的に示す図である。図５（ａ）はターボ分子ポンプの上面図、図５（ｂ）はターボ分子ポンプの縦断面図である。図５では、図１と同じ構成部品には同一符号を付し、説明を省略する。この第３の実施の形態のターボ分子ポンプ３００は、第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１００または第２の実施の形態のターボ分子ポンプ２００と基本構成は同じであるので、相違点を以下説明する。
【００３０】
ターボ分子ポンプ３００がターボ分子ポンプ１００，２００と異なる点は、保護部材２０が図１に示した保護部材１０と異なることである。保護部材１０は、吸気口７Ａの全面積にわたって細かい開口１０Ａを有するメッシュで構成されている。一方、図５に示す保護部材２０は、周辺部分は開口２０Ａを有するメッシュ２０ａであるが、中央部分には遮蔽部材としての円板２０ｂが配置されている。すなわち、保護部材２０は、外周リブ２０ｃの内側に、メッシュ２０ａ、円板２０ｂが順に配設された構造を有する。円板２０ｂの直径は、排気作用を低下させない範囲の寸法であり、例えば、無電解ニッケルメッキ層が設けられるロータ本体３ａの上面３Ａに対応する大きさである。
【００３１】
保護部材２０は、吸気口７Ａからターボ分子ポンプ３００内に異物が侵入するのを阻止する働きとともに、プロセスチャンバなどの上流側機器からロータ３へ輻射される熱を反射して遮断したり、反対にロータ３から上流側機器へ輻射される熱を遮断する働きがある。そのため、保護部材２０の表面には、反射率を高めるために鏡面仕上げ加工を施すことが望ましい。保護部材２０は、ステンレス鋼で作製され、鏡面仕上げには機械的研磨や電解研磨が用いられる。また、鏡面に仕上げるために、ニッケル膜をコーティングしてもよい。保護部材２０の全表面に鏡面仕上げ加工を施すことが最も望ましいが、加工の都合上、円板２０ｂの表面のみでもよい。このように、保護部材２０には円板２０ｂが設けられているので、図１に示した保護部材１０よりも輻射される熱を遮断する作用が大きい。もちろん、このターボ分子ポンプ３００においても、第１および第２の実施の形態で説明した理論が適用でき、ターボ分子ポンプ１００，２００と同様の作用効果を奏する。特に、ターボ分子ポンプ３００においては、複数のロータ翼３ｂの表面、ロータ本体３ａの表面およびロータ円筒部３ｃの表面の全てに黒色ニッケルメッキ層が形成されているので、ロータ３からの放熱という点では、部分的に黒色ニッケルメッキ層を設けるよりも有効である。
【００３２】
次に、第１〜第３の実施の形態の変形例について説明する。
図３（ｂ）に示されるように、黒色ニッケルメッキ層は、Ｎｉ−Ｐ層１０１と黒色酸化皮膜１０３を有するＮｉ−Ｐ層１０２との２層構造であるが、上層のＮｉ−Ｐ層１０２を省略し、Ｎｉ−Ｐ層１０１に黒色酸化皮膜１０３を形成してもよい。この場合は、Ｎｉ−Ｐ層１０１のみの一層であるので、無電解メッキ処理工程を１つ省略することができ、製造上のメリットがある。
【００３３】
本発明は、その特徴を損なわない限り、以上説明した実施の形態に何ら限定されない。例えば、ロータ３に黒色ニッケルメッキ層を部分的に設ける場合、ロータ翼３ｂ、ロータ円筒部３ｃ、ロータ本体３ａのうち温度が高い構成部品に設ける方が効果的である。通常、ロータ翼３ｂは、プロセスチャンバなどの上流側機器から輻射熱を受け易い位置にあるので、放熱の点から言えば、ロータ翼３ｂを優先するのが望ましい。同様に、ロータ３の周辺部品に黒色ニッケルメッキ層を設ける場合は、ロータ翼３ｂに近接して配置されるステータ翼４を優先するのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す図である。図１（ａ）はターボ分子ポンプの上面図、図１（ｂ）はターボ分子ポンプの縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプのロータに形成されるメッキ層の構造を模式的に示す部分断面図であり、図３（ａ）は無電解ニッケルメッキ層、図３（ｂ）は黒色ニッケルメッキ層を示す。
【図４】第２の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す部分縦断面図である。
【図５】第３の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す図である。図５（ａ）はターボ分子ポンプの上面図、図５（ｂ）はターボ分子ポンプの縦断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１：タービン翼排気部                ２：ネジ溝ポンプ部
３：ロータ                          ３ａ：ロータ本体
３ｂ：ロータ翼                      ３ｃ：ロータ円筒部
４：ステータ翼                      ５：スペーサ
６：ケーシング                      ７：吸気口フランジ
８：ネジステータ                    ９：ベース
１０，２０：保護部材                １１：排気口フランジ
２０ａ：メッシュ                    ２０ｂ：円板
１００，２００，３００：ターボ分子ポンプ
１０１，１０２：Ｎｉ−Ｐ層          １０３：黒色酸化皮膜
【図１】
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【図２】
2010112202.tif 000004
【図３】
2010112202.tif 000005
【図４】
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【図５】
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