(57)【要約】【課題】駆動停止時の液漏れを防ぎ、安定した液送を行うマイクロポンプを提供する。【解決手段】マイクロポンプ１は、ポンプ室１１０と、外部からポンプ室１１０に液体を吸入するための吸入口３１１と、振動板１３０と、圧電素子１２０と、磁力作用部５３０を有して吸入口３１１を閉塞または開放可能にするために配置される吸入側逆止弁５００と、吸入側弁座３１０と、鉄芯６１１を有する電磁石６１０とを備える。圧電素子１２０が振動板１３０を振動させるときには、磁力作用部５３０が受ける磁力作用によって、吸入側逆止弁５００を吸入側弁座３１０から離すように電磁石６１０が動作し、圧電素子１２０が振動板１３０を振動させていないときには、磁力作用部５３０が受ける磁力作用によって、吸入側逆止弁５００を吸入側弁座３１０に引きつけて吸入側逆止弁５００が吸入口３１１を閉塞するように固定されるように電磁石６１０が動作する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室と、
外部から前記ポンプ室に液体を吸入するための吸入口と、
前記ポンプ室の容積を変化させるための振動板と、
前記振動板を振動させるための圧電素子と、
磁力の作用を受けるための磁力作用部を有して前記吸入口を閉塞または開放可能にするために配置される弁体と、
前記弁体を保持するための弁座と、
強磁性体によって形成される芯部を有する電磁石とを備え、
前記圧電素子が前記振動板を振動させるときには、前記磁力作用部が受ける磁力作用によって、前記弁体を前記弁座から離すように前記電磁石が動作し、前記圧電素子が前記振動板を振動させていないときには、前記磁力作用部が受ける磁力作用によって、前記弁体を前記弁座に引きつけて前記弁体が前記吸入口を閉塞するように固定されるように前記電磁石が動作する、マイクロポンプ。
【請求項２】
前記磁力作用部は、永久磁石によって形成され、
前記電磁石は、前記圧電素子が前記振動板を振動させるときには、前記磁力作用部と前記芯部との間に斥力が働くように磁界を発生させるように動作し、前記圧電素子が前記振動板を振動させないときには磁界を発生させないように動作する、請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項３】
前記磁力作用部は、強磁性体によって形成され、
前記電磁石は、前記圧電素子が前記振動板を振動させるときには磁界を発生させないように動作し、前記圧電素子が前記振動板を振動させないときには前記磁力作用部と前記芯部との間に引力が働くように磁界を発生させるように動作する、請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項４】
前記磁力作用部は、前記芯部と接触可能な接触部を有し、
前記接触部は、弾性体によって形成されている、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項５】
前記磁力作用部は、前記弁体の内部に埋め込まれている、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的にはマイクロポンプに関し、特定的には微小な流量を吐出するマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、微量の液体を吐出するマイクロポンプには、毎秒１〜２００μＬ程度の液送を行なうものがある。マイクロポンプは、ある程度の流量を確保するように設計される。マイクロポンプを駆動する振動板に用いられる圧電素子のサイズとしては、一般に、直径２０ｍｍ程度以上のものが多く用いられている。電源としては、多くの場合、商用交流電源が使用されている。このようなマイクロポンプの実際の商品の例では、マイクロポンプは、６０Ｈｚ駆動で、１分間あたり３６ｍＬ（ミリリットル）程度（交流電圧の一周期当たり１０μＬ（マイクロリットル）程度）の流量を持つことになる。このようなマイクロポンプは各分野で使用されているが、医療や芳香の分野等において微量な薬品を扱う場合には、管理すべき流量はさらに少なくなり、１μＬ単位の流量を制御することが要求される。そのため、さらにポンプのサイズや振動板を小型化し、超低流量で、かつ、安定した流量を実現することができるポンプが必要となっている。
【０００３】
超低流量のマイクロポンプでは、液送能力が小さく、液タンクがポンプの下方に設けられている場合には、液タンクからポンプに液体を吸い上げることができないという問題が発生する可能性がある。そのため、超低流量のマイクロポンプでは、液タンクをポンプの上方に備えたり、液タンクとポンプを同程度の高さに設けたりすることが多い。
【０００４】
一方、このように、液タンクの方がポンプよりも高い位置にあったり、液タンクとポンプとが同程度の高さにあったりすると、ポンプが駆動停止しているときに液タンク内の液体の圧力がポンプの弁にかかる。この圧力によって、弁の一部が開き、液漏れが発生する場合がある。
【０００５】
そこで、マイクロポンプの駆動停止中の液漏れを防ぐために、弁の硬度を高くしたり、弁の厚みを厚くしたり、弁を弁座に強く押し付けるといった方法がとられている。
【０００６】
図１２は、従来のマイクロポンプが備える弁を弁座に取り付けたときの状態を示す断面図である。また図１３は、従来のマイクロポンプが備える別の弁の全体を示す断面図（Ａ）と、図１３の（Ａ）に示す弁を弁座に取り付けたときの状態を示す断面図（Ｂ）である。
【０００７】
図１２に示すように、従来のマイクロポンプが備える弁９０１は、軸部９２０の一方の端部に形成された平らな弁部９１０と、軸部９２０の他方の端部に形成された突起９２１とから構成されている。弁部９１０の中央には、突出した頂部９１２が形成されている。
【０００８】
弁９０１は、弁座９３０の穴９３２に軸部９２０が挿入されることによって、弁座９３０に取り付けられる。軸部９２０の端部には突起９２１が形成されているので、弁９０１は下方向に抜け落ちることがなく、軸部９２０に支えられている弁部９１０は、上方向に引っ張られる力を受ける。弁部９１０は、上方向に引っ張られる力を受けるので、弁座９３０に形成されている吸入口９３１を下側から閉塞する。
【０００９】
図１３の（Ａ）に示すように、従来のマイクロポンプが備える別の弁９０２は、図１２に示す弁９０１と異なる点としては、弁部９１１は平らに形成されておらず、軸部９２０側に凹面を形成している。図１３の（Ｂ）に示すように、この弁９０２を、弁部９１１の凹面が上側、凸面が下側になるように弁座９３０に取り付けて、下方向から上方向に向けて、圧電素子９５０によって駆動される振動板９４０で押圧する。弁部９１１が下方向から上方向に押圧されることによって、弁部９１１は平らに変形する。変形された弁部９１１は、弾性力によって、弁座９３０に強く押し付けられる。このようにして、弁座９３０に形成されている吸入口９３１を下側から閉塞する。
【００１０】
また、例えば、特開平３−１８７６号公報（特許文献１）に記載の医療用ポンプ装置では、弁に強磁性部を持たせ、弁を着座位置に付勢する磁気手段を備えることによって、ポンプ室内に圧力もしくは吸引力が発生していない間、弁を確実に閉位置に保持している。
【００１１】
また、例えば、特表２００８−５２７２３２号公報（特許文献２）には、バルブ（弁）を磁力に従って作動させるポンプが記載されている。このポンプでは、バルブは、電流が流れるように構成され、入口ポートと出口ポートのまわりには、磁石（例えば永久磁石）が形成されている。バルブに電流を流すことによって、ポートのまわりに形成されている磁石にバルブを引き寄せる磁界および反発する磁界を選択的に生成して、バルブを開閉している。
【特許文献１】特開平３−１８７６号公報
【特許文献２】特表２００８−５２７２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、図１２と図１３に示す弁を備えるマイクロポンプでは、ポンプが駆動停止しているときにタンク内の液体の圧力に耐えるように、常に、吸入口９３１を閉塞する方向に弁部９１０，９１１に力が加えられている。そのため、本来、吸入口９３１を開放しなければならないときにも、吸入口９３１を閉塞する方向に弁部９１０，９１１に力が加えられるので、弁部９１０，９１１にこのような力が加えられていない場合と比較して弁部９１０，９１１の開き度合いが小さくなる。
【００１３】
弁部９１０，９１１の開き度合いが小さくなると、液体中に混入している気泡が吸入口９３１内に入ると、気泡の周囲の液体の表面張力によって液送が困難になることがある。
【００１４】
また、特開平３−１８７６号公報（特許文献１）に記載の医療用ポンプ装置では、プライミングするときには弁を弁座から離間させるが、通常作動中は、磁気手段によって弁が着座位置に付勢されている。そのため、液体中に混入している気泡が吸入口内に入ると、気泡の周囲の液体の表面張力によって液送が困難になることがある。
【００１５】
一方、特表２００８−５２７２３２号公報（特許文献２）に記載のポンプでは、圧電素子の振動に合わせて弁に流す電流の向きを反転させなければ、圧電素子の振動に合わせて弁を開閉することができず、液送することができない。そのため、弁を構成する電磁石は、周波数の高いサイクル動作が必要になる。また、液漏れを防止するためには、ポンプが駆動しているときだけでなく、ポンプが駆動停止しているときにも、電磁石を駆動させて弁に電流を流す必要がある。このように、電磁石を常に駆動させることによって、電磁石の動作音が常に発生し、また、消費電力が増大する。
【００１６】
そこで、この発明の一つの目的は、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することである。また、この発明のもう一つの目的は、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能であり、かつ、動作音の低減と消費電力の低減が可能なマイクロポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明に従ったマイクロポンプは、ポンプ室と、外部からポンプ室に液体を吸入するための吸入口と、ポンプ室の容積を変化させるための振動板と、振動板を振動させるための圧電素子と、磁力の作用を受けるための磁力作用部を有して吸入口を閉塞または開放可能にするために配置される弁体と、弁体を保持するための弁座と、強磁性体によって形成される芯部を有する電磁石とを備える。圧電素子が振動板を振動させるときには、磁力作用部が受ける磁力作用によって、弁体を弁座から離すように電磁石が動作する。圧電素子が振動板を振動させていないときには、磁力作用部が受ける磁力作用によって、弁体を弁座に引きつけて弁体が吸入口を閉塞するように固定されるように電磁石が動作する。
【００１８】
圧電素子が振動板を振動させるときには、磁力作用部が受ける磁力作用によって、弁体を弁座から離すように電磁石が動作することによって、液体中に気泡が混入している場合であっても、液送を行なうことが可能になる。
【００１９】
また、圧電素子が振動体を振動させていないときには、磁力作用部が受ける磁力作用によって、弁体を弁座に引きつけて弁体が吸入口を閉塞するように固定されるように電磁石が動作することによって、マイクロポンプの駆動停止時には液漏れを防ぐことができる。
【００２０】
このようにすることにより、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することができる。
【００２１】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、磁力作用部は、永久磁石によって形成され、電磁石は、圧電素子が振動板を振動させるときには、磁力作用部と芯部との間に斥力が働くように磁界を発生させるように動作し、圧電素子が振動板を振動させないときには磁界を発生させないように動作することが好ましい。
【００２２】
弁体の磁力作用部が永久磁石によって形成され、電磁石の芯部が強磁性体によって形成されているので、電磁石を駆動しないときには、弁体の磁力作用部が電磁石の芯部に引きつけられて、弁体が吸入口を閉塞するように固定される。弁体が吸入口を閉塞するように固定されることによって、液漏れを防ぐことができる。
【００２３】
一方、電磁石を駆動することによって、磁力作用部と芯部との間に斥力が働くように磁界を発生させることができる。磁力作用部と芯部との間に斥力が働くことによって、液体に気泡が含まれていても、安定して液送を行なうことができる。
【００２４】
このように、弁体が吸入口を閉塞するように固定するときには、電磁石を駆動する必要がない。そこで、マイクロポンプの通常動作が停止動作である場合、すなわち、マイクロポンプが通常、液送を停止している場合には、液送を行なうときだけ電磁石を駆動すればよい。
【００２５】
このようにすることにより、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能であり、かつ、動作音の低減と消費電力の低減が可能なマイクロポンプを提供することができる。
【００２６】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、磁力作用部は、強磁性体によって形成され、電磁石は、圧電素子が振動板を振動させるときには磁界を発生させないように動作し、圧電素子が振動板を振動させないときには磁力作用部と芯部との間に引力が働くように磁界を発生させるように動作することが好ましい。
【００２７】
弁体の磁力作用部は強磁性体によって形成されているので、電磁石が磁界を発生させていないときには、弁体の磁力作用部は電磁石の芯部に引き付けられない。したがって、電磁石が駆動されていないときには、弁体は、弁座に引きつけられず、吸入口を閉塞するように固定されない。そのため、液体に気泡が含まれていても、安定して液送を行なうことができる。
【００２８】
一方、電磁石を駆動することによって、磁力作用部と芯部との間に引力が働くように磁界を発生させることができる。磁力作用部と芯部との間に引力が働くことによって、弁体の磁力作用部が電磁石の芯部に引きつけられて、弁体が吸入口を閉塞するように固定される。弁体が吸入口を閉塞するように固定されることによって、液漏れを防ぐことができる。
【００２９】
このように、液送時には、電磁石を駆動する必要がない。そこで、マイクロポンプの通常動作が駆動動作である場合、すなわち、マイクロポンプが通常、液送を行なっている場合には、マイクロポンプが駆動停止するときだけ電磁石を駆動すればよい。
【００３０】
このようにすることにより、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能であり、かつ、動作音の低減と消費電力の低減が可能なマイクロポンプを提供することができる。
【００３１】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、磁力作用部は、芯部と接触可能な接触部を有し、接触部は、弾性体によって形成されていることが好ましい。
【００３２】
このようにすることにより、磁力作用部が電磁石の芯部に衝突して音が発生することを防ぐことができる。接触部は弾性体によって形成されているので、接触部が電磁石と接触しても、発生する音を比較的小さくすることができる。
【００３３】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、磁力作用部は、弁体の内部に埋め込まれていることが好ましい。
【００３４】
このようにすることにより、磁力作用部が電磁石の芯部に衝突して音が発生することを防ぐことができる。また、磁力作用部が液体に接触して、腐食等することを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように、この発明の一つの局面によれば、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することができる。また、この発明のもう一つの局面によれば、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能であり、かつ、動作音の低減と消費電力の低減が可能なマイクロポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３７】
（第１実施形態）
図１は、この発明の第１実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。図２は、図１のマイクロポンプに組み込まれたバルブシートを上方向から見た図（Ａ）と、下方向から見た図（Ｂ）である。
【００３８】
図１と図２に示すように、マイクロポンプ１は、主に、液体を収容する液タンク１０１と、液タンク１０１の下に配置される吸入吐出側ケース（ＩＯプレート）２００と、吸入吐出側ケース２００の下に配置されるバルブシート３００と、バルブシート３００の下に配置される振動板側ケース４００（バックプレート）と、バルブシート３００と振動板側ケース４００との間に挟まれる振動板１３０と、振動板１３０を振動させる圧電素子１２０と、振動板１３０とバルブシート３００とによって形成されるポンプ室１１０と、弁体として吸入側逆止弁５００と、吐出側逆止弁７００と、電磁石６１０とを備える。
【００３９】
マイクロポンプ１の上部には、液タンク１０１が配置されており、液タンク１０１の内部には液体１０２が貯留される。液タンク１０１の下部と吸入吐出側ケース２００の上部は開口１０３によって連結されている。
【００４０】
吸入吐出側ケース２００の下に配置されるバルブシート３００には、吸入側逆止弁５００の弁部５２０を配置するための弁座として吸入側弁座３１０と、ポンプ室１１０の内部からポンプ室１１０の外部の吐出管２０２に液体を吐出するための吐出口３２１と、吐出口３２１を閉塞または開放可能に吐出側逆止弁７００を配置するための吐出側弁座３２０が形成されている。
【００４１】
吸入側弁座３１０の下面には、吸入側逆止弁５００の軸部５１０を受容するための穴部３１２が形成されている。吸入側弁座３１０には、穴部３１２を取り囲むようにして複数の吸入口３１１が形成されている。吸入側弁座３１０の上面上には、電磁石６１０が取り付けられている。電磁石６１０の芯部として強磁性体の鉄によって形成される鉄芯６１１は、吸入側弁座３１０の上側から、穴部３１２の内部に挿入されている。
【００４２】
吸入側逆止弁５００は、弁部５２０と軸部５１０と磁力作用部５３０とを含み、軸部５１０を上側に、弁部５２０を下側にして配置される。弁部５２０の下面には、突出した頂部５２１が形成されている。軸部５１０と弁部５２０は、一体化して形成されている。軸部５１０の上端面には、永久磁石によって形成される磁力作用部５３０が取り付けられている。吸入側逆止弁５００は、軸部５１０が穴部３１２に受容されることで吸入側弁座３１０に保持されている。軸部５１０が穴部３１２に受容されると、軸部５１０の上端面の磁力作用部５３０と、電磁石６１０の鉄芯６１１とが対向する。
【００４３】
磁力作用部５３０は、永久磁石として、サマリウム磁石やネオジム磁石などの強力な永久磁石を用いることができる。サマリウム磁石の最大エネルギー積は２５メガガウスエルステッドであり、ネオジム磁石は４０メガガウスエルステッドである。このように、サマリウム磁石やネオジム磁石には、吸入側逆止弁５００を保持するには充分な磁力がある。サマリウム磁石やネオジム磁石の磁力は、フェライト磁石の１０倍以上であるといわれている。
【００４４】
吐出側弁座３２０には、吐出側逆止弁７００の軸部７０２を受容するための凹部３２２と、凹部３２２を取り囲むようにして配置される複数の吐出口３２１が形成されている。
【００４５】
吐出側逆止弁７００は、扁平な弁部７０１を上に向け、棒状の軸部７０２を下に向けて、軸部７０２がバルブシート３００に取り付けられていることによって、ポンプ室１１０に組み込まれている。軸部７０２は、先端がほぼ平らであり、バルブシート３００に形成された吐出側弁座３２０の凹部３２２に受容されて保持されている。吐出側逆止弁７００の弁部７０１の頂部７０３は、吐出管２０２の壁部を形成する吸入吐出側ケース２００の内壁に形成された突起２０１に接している。
【００４６】
吸入側逆止弁５００の弁部５２０を介して液体が吸入され、吐出側逆止弁７００を介して液体が吐出されるまでの空間がポンプ室１１０である。吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁７００はそれぞれ、バルブシート３００に形成された吸入側弁座３１０と吐出側弁座３２０に取り付けられている。ポンプ室１１０の底面は振動板１３０によって形成されている。振動板１３０は、ポンプ室１１０の容積を変化させる。バルブシート３００と振動板１３０は、それぞれ、ポンプ室１１０の上面側の壁と下面側の壁を形成している。振動板１３０の端部は、バルブシート３００と振動板側ケース４００との間に挿入されて固定されている。
【００４７】
圧電素子１２０の下部には、空間が設けられ、圧電素子１２０は上下に振動することができる。バルブシート３００の上部には、吸入吐出側ケース２００が取り付けられており、吸入吐出側ケース２００の内部に吐出管２０２が形成されている。バルブシート３００と吸入吐出側ケース２００との間には８の字Ｏリング３０１が配置されて密閉され、バルブシート３００と振動板側ケース４００との間にはＯリング３０２が配置されて密閉されている。Ｏリング３０２は、バルブシート３００の下面に形成された凹部にはめ込まれている。吸入吐出側ケース２００とバルブシート３００、バルブシート３００と振動板側ケース４００は、それぞれ、ねじ等で互いに密接するようにして固定されている。
【００４８】
吸入側逆止弁５００がマイクロポンプ１に組み込まれると、弁部５２０の周辺部は、吸入側弁座３１０の下面３１３に密着する。弁部５２０の頂部５２１は、振動板１３０に接する。振動板１３０は、弁部５２０の頂部５２１を下方から押圧するようにして、弁部５２０を固定している。弁部５２０の周辺部は、吸入側弁座３１０の下面３１３に密着する。
【００４９】
液タンク１０１内の液体１０２は、開口１０３から吸入口３１１を通ってポンプ室１１０に入る。
【００５０】
圧電素子１２０に交流電圧を印加することによって、交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子１２０が振動する。この圧電素子１２０の振動と連動して、圧電素子１２０に接着されている振動板１３０が振動し、ポンプ室１１０の容積を変化させる。振動板１３０が上下どちらにも変位していないときには、吸入側逆止弁５００の弁部５２０が吸入口３１１を閉じ、吐出側逆止弁７００の弁部７０１が吐出口３２１を閉じている。
【００５１】
図３は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる突起（Ａ）と、吐出側逆止弁（Ｂ）と、吐出側弁座の上面（Ｃ）を示す図である。
【００５２】
図３の（Ａ）に示すように、吐出管２０２（図１）の壁部を形成する吸入吐出側ケース２００（図１）の内壁に形成された突起２０１は、円柱状の部分と円錐台状の部分とを有し、円柱の下面と円錐台の上面を互いに接合した形状である。突起２０１の円錐台状の部分においては、円柱と接合している上面の径が相対的に大きく、下面の径が相対的に小さい。吐出側逆止弁７００がマイクロポンプに組み込まれると、突起２０１の下面が吐出側逆止弁７００の頂部７０３を押圧する。
【００５３】
図３の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁７００は、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい弁部７０１と相対的に断面積が小さい軸部７０２を有し、開いた傘のような形状をしている。吐出側逆止弁７００は、扁平な弁部７０１と棒状の軸部７０２を有し、頂部７０３を含む弁部７０１の上面は平らである。吐出側逆止弁７００は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。
【００５４】
図３の（Ｃ）に示すように、吐出側弁座３２０には、吐出側逆止弁７００の軸部７０２を受容するための凹部３２２と、凹部３２２を取り囲むようにして複数の吐出口３２１が形成されている。
【００５５】
図４は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す断面図である。図４の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図４の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてバルブシートに組み込まれた状態を示す。
【００５６】
吐出側弁座３２０は、バルブシート３００（図１）内に形成されており、吐出側逆止弁７００の軸部７０２を受容するための凹部３２２を有する。吐出側弁座３２０の上面には、凹面３２３が形成されている。凹面３２３は、吐出側逆止弁７００の軸部７０２を受容するための凹部３２２側で凹んだ球の内面のような傾斜に形成されている。
【００５７】
図４の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁７００の軸部７０２が吐出側弁座３２０の凹部３２２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁７００が吐出側弁座３２０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁７００の弁部７０１の中心を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁７００を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁７００の弁部７０１が弾性変形し、弁部７０１においては、吐出側弁座３２０の上面に形成された凹面３２３に沿って、吐出管２０２の突起２０１側に凹面が形成され、吐出側弁座３２０側に軸部７０２を中心にして凸面が形成されて、弁部７０１の周辺部は、吐出側弁座３２０に密着する。
【００５８】
図５は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吸入側逆止弁を軸部に垂直な方向から見たときの断面図（Ａ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動しないときの状態を示す図（Ｂ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動するときの状態を示す図（Ｃ）である。
【００５９】
図５の（Ａ）に示すように、吸入側逆止弁５００は、弁部５２０と軸部５１０と磁力作用部５３０とを有する。吸入側逆止弁５００の弁部５２０と軸部５１０は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。磁力作用部５３０は、永久磁石によって形成されて、軸部５１０の端面に取りつけられている。
【００６０】
軸部５１０は、棒状に形成されている。弁部５２０の径は、軸部５１０の径よりも大きい。弁部５２０は、軸部５１０側の面が凹面状、軸部５１０と反対側の面が凸面状の、開いた傘状に形成されている。弁部５２０には、軸部５１０が突出している面と反対側の面の中央に、弁部５２０から突出した突起として頂部５２１が形成されている。
【００６１】
図５の（Ｂ）に示すように、吸入側逆止弁５００は、弁部５２０が吸入口３１１を閉塞するように、吸入側弁座３１０の下面側から吸入側弁座３１０に配置される。弁部５２０は、吸入口３１１に配置される。磁力作用部５３０が取り付けられた軸部５１０は、穴部３１２に挿入される。
【００６２】
吸入側弁座３１０の上面には、鉄芯６１１を有する電磁石６１０が取り付けられている。鉄芯６１１は、吸入側弁座３１０の上側から、穴部３１２の内部に挿入されている。穴部３１２の内部では、軸部５１０の磁力作用部５３０と、電磁石６１０の鉄芯６１１とが対向する。
【００６３】
電磁石６１０を駆動していないときには、吸入側逆止弁５００の磁力作用部５３０の永久磁石が、電磁石６１０の鉄芯６１１に引き付けられる。そのため、磁力作用部５３０が取り付けられている吸入側逆止弁５００の全体が上方向に引っ張られて、弁部５２０が吸入口３１１を下方向から閉塞するように固定される。このように吸入側逆止弁５００が固定されると、弁部５２０の全体が吸入側弁座３１０の下面に接触する。また、吸入側逆止弁５００の頂部５２１は、吸入側弁座３１０の下方に配置される振動板１３０に接触せず、振動板１３０と吸入側逆止弁５００との間には空間が形成される。
【００６４】
図５の（Ｃ）に示すように、電磁石６１０を駆動させて、鉄芯６１１に、磁力作用部５３０において電磁石６１０の鉄芯６１１に対向している側の極性と同じ極性を帯びさせることができる。このとき、電磁石６１０が生じさせる磁力の強さは、磁力作用部５３０の磁力の強さと同程度か、少し強くする。このようにすることにより、鉄芯６１１と磁力作用部５３０との間に斥力が働き、鉄芯６１１と磁力作用部５３０とが反発する。鉄芯６１１と磁力作用部５３０とが反発すると、吸入側逆止弁５００の全体が下向きに落ちる。下向きに落ちた吸入側逆止弁５００は、吸入側逆止弁５００の下方に配置されている振動板１３０に接して止まる。弁部５２０は、軸部５１０側が凹面の傘状に形成されており、吸入側逆止弁５００が下向きに落ちても、弁部５２０の周辺部は吸入側弁座３１０の下面に接している。
【００６５】
この実施の形態では、例えば、吸入側逆止弁５００の弁部５２０と吐出側逆止弁７００の弁部７０１の直径は５．５ｍｍ、厚さは０．３〜０．５ｍｍとする。圧電素子１２０としては、例えば、直径が１７ｍｍ、厚さ０．４ｍｍの圧電素子１２０を用い、この圧電素子１２０を、直径２４ｍｍ、厚さ０．０９ｍｍの銅板等によって形成される振動板１３０に接着して、マイクロポンプ１に組み込む。マイクロポンプ１の長さは３０ｍｍ、幅は３０ｍｍ、高さは１０ｍｍとする。このようなマイクロポンプ１の液送量は、１〜２００μＬ／秒程度の微小な液送量となる。
【００６６】
以上のように構成されたマイクロポンプ１の動作について説明する。この実施の形態においては、マイクロポンプ１の通常動作は停止動作、すなわち、マイクロポンプ１は、通常、振動板１３０を振動させず、液送を行なわないものとする。
【００６７】
マイクロポンプ１の通常状態では、電磁石６１０は駆動停止される。すなわち、電磁石６１０は、マイクロポンプ１が液送を行なっていないときには駆動停止されている、電磁石６１０が駆動停止されると、電磁石６１０の鉄芯６１１に、吸入側逆止弁５００の磁力作用部５３０が引き付けられ、吸入側逆止弁５００は、図５の（Ｂ）に示す状態になる。
【００６８】
マイクロポンプ１を駆動するときには、電磁石６１０も駆動される。電磁石６１０が駆動されると、吸入側逆止弁５００は、図５の（Ｃ）に示す状態になる。
【００６９】
図６は、この発明の第１実施形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
【００７０】
まず、図６（Ａ）は、ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００７１】
図６（Ａ）に示すように、振動板１３０が下方向に変位すると、ポンプ室１１０の容積が大きくなる。ポンプ室１１０の容積が大きくなると、吸入側逆止弁５００は、図５の（Ｃ）に示す状態から、弁部５２０の周辺部が吸入側弁座３１０の下面から離れて、図６の（Ａ）に示す状態になる。弁部５２０の周辺部が吸入側弁座３１０の下面から離れると、吸入側逆止弁５００の弁部５２０と吸入口３１１との間に隙間ができて、液タンク１０１に溜められている液体１０２（図１）が、開口１０３、すなわち、吸入口３１１を通ってポンプ室１１０内に流入する。このとき、吐出側逆止弁７００の弁部７０１によって吐出口３２１はふさがれており、ポンプ室１１０内に流入した液体が吐出口３２１から流出することはない。
【００７２】
次に、図６（Ｂ）は、ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００７３】
図６（Ｂ）に示すように、振動板１３０が上方向に変位すると、ポンプ室１１０の容積が小さくなる。ポンプ室１１０の容積が小さくなると、弁部５２０と吸入口３１１との間の隙間がふさがれて、液タンク１０１からポンプ室１１０には液体が流入しない。一方、吐出側逆止弁７００と吐出口３２１との間に隙間ができて、ポンプ室１１０内の液体が吐出口３２１から吐出管２０２に流出し、吐出端２０３を通って外部に吐出される。
【００７４】
マイクロポンプ１は、図５の（Ｃ）に示すように振動板１３０の変位がない状態と、図６（Ａ）に示すようにポンプ室１１０の容積を大きくする方向に振動板１３０が変位している状態と、図６（Ｂ）に示すようにポンプ室１１０の容積を小さくする方向に振動板１３０が変位している状態と、を繰り返すことによって、液タンク１０１内の液体１０２をポンプ室１１０内に吸入し、外部に吐出する。
【００７５】
ここまでの例では、振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））から、振動板１３０がポンプ室１１０の容積を大きくする方向に変位した状態（図６（Ａ））に変化し、振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））に戻り、続いて振動板１３０がポンプ室１１０の容積を小さくする方向に変位した状態（図６（Ｂ））に変化し、振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））に戻るまでの一連の動作の場合、すなわち１サイクル動作の場合を示したが、振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））から、振動板１３０がポンプ室１１０の容積を大きくする方向に変位した状態（図６（Ａ））に変化し、振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））に戻る動作、すなわち半サイクル動作でも、マイクロポンプ１による液体の吸入と吐出が可能である。この場合は、１サイクルの半分程度の吐出量となる。同様に振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））から、振動板１３０がポンプ室１１０の容積を小さくする方向に変位した状態（図６（Ｂ））に変化し、振動板１３０の変位が０の状態（図５（Ｃ））に戻る動作、すなわち半サイクル動作でも、マイクロポンプ１による液体の吸入と吐出が可能であり、この場合も１サイクル動作の半分程度の吐出量となる。
【００７６】
このように、マイクロポンプ１の吸入側逆止弁５００は、マイクロポンプ１が液送停止している時には、磁力作用部５３０が電磁石６１０の鉄芯６１１に引き付けられることによって弁部５２０の全体が吸入側弁座３１０に接触し、吸入口３１１を閉塞するように固定されている。一方、マイクロポンプ１が液送を行なう時には、電磁石６１０が駆動され、磁力作用部５３０が鉄芯６１１と反発して、吸入側逆止弁５００が吸入側弁座３１０から離れるように力を受ける。マイクロポンプ１が液送を行なう時に吸入側逆止弁５００が吸入側弁座３１０から離れるように力を受けるので、弁を常に着座位置に付勢する従来のポンプと比較して、弁部５２０と吸入側弁座３１０との間が開きやすい。したがって、液体に気泡が含まれていても、気泡が吸入口３１１を通過しやすく、スムーズな液送が可能になる。
【００７７】
マイクロポンプ１が液送を終了し、振動板１３０の振動を停止する通常動作に戻るときには、電磁石６１０も駆動停止される。電磁石６１０が駆動停止されると、鉄芯６１１と磁力作用部５３０との間に斥力が働かなくなる。磁力作用部５３０は永久磁石によって形成されているので、電磁石６１０が駆動停止されると、磁力作用部５３０が鉄芯６１１に引き付けられて、吸入側逆止弁５００は、図５の（Ｂ）に示す状態になる。
【００７８】
このように、マイクロポンプ１においては、吸入側逆止弁５００の開閉自体を電磁石６１０の磁力の作用によって行なうのではなく、弁部５２０が吸入口３１１を閉塞または開放する動作を電磁石６１０の磁力の作用によって補助する。このようにすることにより、電磁石６１０の動作を最小限に抑えることができるので、消費電力や動作音を低減することができる。
【００７９】
以上のように、第１実施形態のマイクロポンプ１においては、磁力作用部５３０は、永久磁石によって形成され、電磁石６１０は、圧電素子１２０が振動板１３０を振動させるときには、磁力作用部５３０と鉄芯６１１との間に斥力が働くように磁界を発生させ、圧電素子１２０が振動板１３０を振動させないときには磁界を発生させないように動作する。
【００８０】
吸入側逆止弁５００の磁力作用部５３０が永久磁石によって形成され、電磁石６１０の鉄芯６１１が鉄によって形成されているので、電磁石６１０を駆動しないときには、吸入側逆止弁５００の磁力作用部５３０が電磁石６１０の鉄芯６１１に引きつけられて、吸入側逆止弁５００が吸入口３１１を閉塞するように固定される。吸入側逆止弁５００が吸入口３１１を閉塞するように固定されることによって、液漏れを防ぐことができる。
【００８１】
一方、電磁石６１０を駆動することによって、磁力作用部５３０と鉄芯６１１との間に斥力が働くように磁界を発生させることができる。磁力作用部５３０と鉄芯６１１との間に斥力が働くことによって、液体に気泡が含まれていても、安定して液送を行なうことができる。
【００８２】
このように、吸入側逆止弁５００が吸入口３１１を閉塞するように固定するときには、電磁石６１０を駆動する必要がない。そこで、マイクロポンプ１の通常動作が停止動作である場合、すなわち、マイクロポンプ１が通常、液送を停止している場合には、液送を行なうときだけ電磁石６１０を駆動すればよい。
【００８３】
このようにすることにより、マイクロポンプ１の駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能であり、かつ、動作音の低減と消費電力の低減が可能なマイクロポンプ１を提供することができる。
【００８４】
図７は、第１実施形態のマイクロポンプにおける電磁石の別の配置を示す図である。
【００８５】
図７に示すように、電磁石６１０は、吸入側弁座３１０の上面上に配置されず、例えば、吸入吐出側ケース２００の内部に埋め込まれるように配置されてもよい。電磁石６１０の鉄芯６１１は、吸入側弁座３１０の穴部３１２の内部に挿入されている。
【００８６】
このように、鉄芯６１１が、吸入側逆止弁５００の磁力作用部５３０に磁力の作用を及ぼすことが可能であるように配置されていれば、電磁石６１０はどこに配置されていてもよい。
【００８７】
なお、鉄芯６１１や磁力作用部５３０には、メッキなどの腐食防止処理が施されていることが好ましい。
【００８８】
図８は、第１実施形態のマイクロポンプにおける吸入側逆止弁の磁力作用部の別の形態を示す図である。
【００８９】
図８に示すように、永久磁石によって形成される磁力作用部５３０の周囲に、ヨークとよばれる鉄枠５３１を設けてもよい。このような鉄枠５３１を設けることによって、電磁石６１０の鉄芯６１１と磁力作用部５３０との吸着力をさらに高めることができる。
【００９０】
ただし、鉄枠５３１の極性と、磁力作用部５３０の極性とは逆になることに留意する必要がある。例えば、磁力作用部５３０がＮ極、鉄枠５３１がＳ極になる。
【００９１】
（第２実施形態）
この発明の第２実施形態に係るマイクロポンプは、第１実施形態のマイクロポンプと異なる点としては、通常動作が駆動動作、すなわち、第２実施形態のマイクロポンプは、通常、振動板１３０（図１）を振動させて、液送を行なうものとする。
【００９２】
図９は、この発明の第２実施形態のマイクロポンプに用いられる吸入側逆止弁を軸部に垂直な方向から見たときの断面図（Ａ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動しないときの状態を示す図（Ｂ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動するときの状態を示す図（Ｃ）である。
【００９３】
図９の（Ａ）に示すように、吸入側逆止弁５０１は、弁部５２０と軸部５１０と磁力作用部５４０とを有する。吸入側逆止弁５０１の弁部５２０と軸部５１０は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。磁力作用部５４０は、強磁性体である鉄によって形成されて、軸部５１０の端面に取りつけられている。
【００９４】
軸部５１０は、棒状に形成されている。弁部５２０の径は、軸部５１０の径よりも大きい。弁部５２０は、軸部５１０側の面が凹面状、軸部５１０と反対側の面が凸面状の、開いた傘状に形成されている。弁部５２０には、軸部５１０が突出している面と反対側の面の中央に、弁部５２０から突出した突起として頂部５２１が形成されている。
【００９５】
図９の（Ｂ）に示すように、吸入側逆止弁５０１は、弁部５２０が吸入口３１１を閉塞するように、吸入側弁座３１０の下面側から吸入側弁座３１０に配置される。弁部５２０は、吸入口３１１に配置される。磁力作用部５４０が取り付けられた軸部５１０は、穴部３１２に挿入される。
【００９６】
吸入側弁座３１０の上面には、鉄芯６１１を有する電磁石６１０が取り付けられている。鉄芯６１１は、吸入側弁座３１０の上側から、穴部３１２の内部に挿入されている。穴部３１２の内部では、軸部５１０の磁力作用部５４０と、電磁石６１０の鉄芯６１１とが対向する。
【００９７】
電磁石６１０の鉄芯６１１は、７５０℃以上の高温で焼きなまされ、磁性を帯びないように処理されている。
【００９８】
電磁石６１０を駆動していないときには、強磁性体によって形成されている磁力作用部５４０と電磁石６１０の鉄芯６１１との間には引力が働かないので、吸入側逆止弁５０１は、吸入側弁座３１０の下方に配置されている振動板１３０の上面に接触した状態で、軸部５１０が吸入側弁座３１０の穴部３１２に保持される。弁部５２０の周辺部は、吸入側弁座３１０の下面に接触している。
【００９９】
図９の（Ｃ）に示すように、電磁石６１０を駆動させると、鉄芯６１１に、磁力作用部５４０において電磁石６１０の鉄芯６１１に対向している側の極性と反対の極性を帯びさせることができる。鉄芯６１１に、磁力作用部５４０において電磁石６１０の鉄芯６１１に対向している側の極性と反対の極性を帯びさせると、吸入側逆止弁５０１の磁力作用部５４０の永久磁石が、電磁石６１０の鉄芯６１１に引き付けられる。そのため、磁力作用部５４０が取り付けられている吸入側逆止弁５０１の全体が上方向に引っ張られて、弁部５２０が吸入口３１１を下方向から閉塞するように固定される。このように吸入側逆止弁５０１が固定されると、吸入側逆止弁５００の全体が吸入側弁座３１０の下面３１３に接触する。また、吸入側逆止弁５０１の頂部５２１は、吸入側弁座３１０の下方に配置される振動板１３０に接触せず、振動板１３０と吸入側逆止弁５０１との間には空間が形成される。
【０１００】
第２実施形態のマイクロポンプの通常状態では、電磁石６１０は駆動停止される。すなわち、電磁石６１０は、第２実施形態のマイクロポンプが液送を行なっているときには駆動停止されている、電磁石６１０が駆動停止されると、電磁石６１０の鉄芯６１１に、吸入側逆止弁５０１の磁力作用部５３０が引き付けられないので、吸入側逆止弁５０１は、図９の（Ｂ）に示す状態になる。
【０１０１】
第２実施形態のマイクロポンプを駆動停止するときには、電磁石６１０が駆動される。電磁石６１０が駆動されると、吸入側逆止弁５０１は、図９の（Ｃ）に示す状態になる。
【０１０２】
なお、磁力作用部５４０は、強磁性体の他、電磁石６１０が駆動停止しているときに、吸入側逆止弁５０１と電磁石６１０の鉄芯６１１とを引き付けないような弱い永久磁石によって形成されていてもよい。磁力作用部５４０が弱い永久磁石によって形成されている場合には、電磁石６１０を駆動停止していても磁力作用部５４０と鉄芯６１１とが磁力の作用によって付着することがあるが、付着力は弱く、弁部５２０の動きを阻害しない。
【０１０３】
以上のように、第２実施形態のマイクロポンプにおいては、磁力作用部５４０は、鉄によって形成され、電磁石６１０は、圧電素子１２０が振動板１３０を振動させるときには磁界を発生させないように動作し、圧電素子１２０が振動板１３０を振動させないときには磁力作用部５４０と鉄芯６１１との間に引力が働くように磁界を発生させるように動作する。
【０１０４】
吸入側逆止弁５０１の磁力作用部５４０は鉄によって形成されているので、電磁石６１０が磁界を発生させていないときには、吸入側逆止弁５０１の磁力作用部５４０は電磁石６１０の鉄芯６１１に引き付けられない。したがって、電磁石６１０が駆動されていないときには、吸入側逆止弁５０１は、吸入側弁座３１０に引きつけられず、吸入口３１１を閉塞するように固定されない。そのため、液体に気泡が含まれていても、安定して液送を行なうことができる。
【０１０５】
一方、電磁石６１０を駆動することによって、磁力作用部５４０と鉄芯６１１との間に引力が働くように磁界を発生させることができる。磁力作用部５４０と鉄芯６１１との間に引力が働くことによって、吸入側逆止弁５０１の磁力作用部５４０が電磁石６１０の鉄芯６１１に引きつけられて、吸入側逆止弁５０１が吸入口３１１を閉塞するように固定される。吸入側逆止弁５００が吸入口３１１を閉塞するように固定されることによって、液漏れを防ぐことができる。
【０１０６】
このように、液送時には、電磁石６１０を駆動する必要がない。そこで、マイクロポンプの通常動作が駆動動作である場合、すなわち、マイクロポンプが通常、液送を行なっている場合には、マイクロポンプが駆動停止するときだけ電磁石６１０を駆動すればよい。
【０１０７】
このようにすることにより、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能であり、かつ、動作音の低減と消費電力の低減が可能なマイクロポンプを提供することができる。
【０１０８】
第２実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプと同様である。
【０１０９】
この発明の第１実施形態と第２実施形態とを総合すると、マイクロポンプは、ポンプ室１１０と、外部からポンプ室１１０に液体を吸入するための吸入口３１１と、ポンプ室１１０の容積を変化させるための振動板１３０と、振動板１３０を振動させるための圧電素子１２０と、磁力の作用を受けるための磁力作用部５３０（第１実施形態）または磁力作用部５４０（第２実施形態）を有して吸入口３１１を閉塞または開放可能にするために配置される吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）と、吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）を保持するための吸入側弁座３１０と、鉄によって形成される鉄芯６１１を有する電磁石６１０とを備える。圧電素子１２０が振動板１３０を振動させるときには、磁力作用部５３０（第１実施形態）または磁力作用部５４０（第２実施形態）が受ける磁力作用によって、吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）を吸入側弁座３１０から離すように電磁石６１０が動作する。圧電素子１２０が振動板１３０を振動させていないときには、磁力作用部５３０（第１実施形態）または磁力作用部５４０（第２実施形態）が受ける磁力作用によって、吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）を吸入側弁座３１０に引きつけて吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）が吸入口３１１を閉塞するように固定されるように電磁石６１０が動作する。
【０１１０】
圧電素子１２０が振動板１３０を振動させるときには、磁力作用部５３０（第１実施形態）または磁力作用部５４０（第２実施形態）が受ける磁力作用によって、吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）を吸入側弁座３１０から離すように電磁石６１０が動作することによって、液体中に気泡が混入している場合であっても、液送を行なうことが可能になる。
【０１１１】
また、圧電素子１２０が振動体を振動させていないときには、磁力作用部５３０（第１実施形態）または磁力作用部５４０（第２実施形態）が受ける磁力作用によって、吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）を吸入側弁座３１０に引きつけて吸入側逆止弁５００（第１実施形態）または吸入側逆止弁５０１（第２実施形態）が吸入口３１１を閉塞するように固定されるように電磁石６１０が動作することによって、マイクロポンプの駆動停止時には液漏れを防ぐことができる。
【０１１２】
このようにすることにより、マイクロポンプの駆動停止時の液漏れを防ぐとともに、液体中に気泡が含まれていても安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することができる。
【０１１３】
（第３実施形態）
図１０は、この発明の第３実施形態のマイクロポンプが備える吸入側逆止弁と吸入側弁座の周辺を示す断面図である。
【０１１４】
図１０に示すように、第３実施形態のマイクロポンプが備える吸入側逆止弁５０２は、軸部５１０の端面に磁力作用部５３０が配置され、磁力作用部５３０において電磁石６１０の鉄芯６１１と接触する部分には、接触部としてゴムシート５５０が配置されている。磁力作用部５３０と鉄芯６１１との間の磁力の作用を妨げないために、ゴムシート５５０の厚みは、１ｍｍ程度以下であることが好ましい。
【０１１５】
以上のように、第３実施形態のマイクロポンプにおいては、磁力作用部５３０は、鉄芯６１１と接触可能な接触部を有し、接触部は、ゴムシート５５０によって形成されている。
【０１１６】
このようにすることにより、磁力作用部５３０が電磁石６１０の鉄芯６１１に衝突して音が発生することを防ぐことができる。接触部はゴムシート５５０によって形成されているので、接触部が電磁石６１０と接触しても、発生する音を比較的小さくすることができる。
【０１１７】
第３実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプと同様である。
【０１１８】
（第４実施形態）
図１１は、この発明の第４実施形態のマイクロポンプが備える吸入側逆止弁と吸入側弁座の周辺を示す断面図である。
【０１１９】
図１１に示すように、第４実施形態のマイクロポンプが備える吸入側逆止弁５０３においては、軸部５１０の内部に磁力作用部５３０が埋め込まれている。磁力作用部５３０と鉄芯６１１との間の磁力の作用を妨げないために、磁力作用部５３０の軸部５１０の上面からの深さは、１ｍｍ程度以下であることが好ましい。
【０１２０】
以上のように、第４実施形態のマイクロポンプにおいては、磁力作用部５３０は、吸入側逆止弁５０３の内部に埋め込まれている。
【０１２１】
このようにすることにより、磁力作用部５３０が電磁石６１０の鉄芯６１１に衝突して音が発生することを防ぐことができる。また、磁力作用部５３０が液体に接触して、腐食等することを防ぐことができる。
【０１２２】
第４実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプと同様である。
【０１２３】
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】この発明の第１実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【図２】図１のマイクロポンプに組み込まれたバルブシートを上方向から見た図（Ａ）と、下方向から見た図（Ｂ）である。
【図３】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる突起（Ａ）と、吐出側逆止弁（Ｂ）と、吐出側弁座の上面（Ｃ）を示す図である。
【図４】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す断面図である。
【図５】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吸入側逆止弁を軸部に垂直な方向から見たときの断面図（Ａ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動しないときの状態を示す図（Ｂ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動するときの状態を示す図（Ｃ）である。
【図６】この発明の第１実施形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
【図７】第１実施形態のマイクロポンプにおける電磁石の別の配置を示す図である。
【図８】第１実施形態のマイクロポンプにおける吸入側逆止弁の磁力作用部の別の形態を示す図である。
【図９】この発明の第２実施形態のマイクロポンプに用いられる吸入側逆止弁を軸部に垂直な方向から見たときの断面図（Ａ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動しないときの状態を示す図（Ｂ）と、吸入側逆止弁を弁座に取り付けて、電磁石を駆動するときの状態を示す図（Ｃ）である。
【図１０】この発明の第３実施形態のマイクロポンプが備える吸入側逆止弁と吸入側弁座の周辺を示す断面図である。
【図１１】この発明の第４実施形態のマイクロポンプが備える吸入側逆止弁と吸入側弁座の周辺を示す断面図である。
【図１２】従来のマイクロポンプが備える弁を弁座に取り付けたときの状態を示す断面図である。
【図１３】従来のマイクロポンプが備える別の弁の全体を示す断面図（Ａ）と、図１３の（Ａ）に示す弁を弁座に取り付けたときの状態を示す断面図（Ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２５】
１：マイクロポンプ、１２０：圧電素子、１３０：振動板、３１０：吸入側弁座、３１１：吸入口、５００，５０１，５０２，５０３：吸入側逆止弁、５３０，５４０：磁力作用部、５５０：ゴムシート、６１０：電磁石、６１１：鉄芯。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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