(57)【要約】【課題】ミラー部の傾斜角度を大きくすることが可能な振動ミラー素子を提供する。【解決手段】この振動ミラー素子１０は、光を反射させるミラー部２１と、ミラー部２１に接続され、ミラー部２１を振動可能に支持するねじり変形可能なトーションバー２２（２３）およびバー２４（２５）と、バー２４（２５）と接続される端部５０ｆおよび５０ｇ（６０ｆおよび６０ｇ）を有し、ねじり変形可能なトーションバー２２（２３）およびバー２４（２５）を介してミラー部２１を駆動させるための駆動部５０（６０）とを備え、平面的に見て、駆動部５０（６０）の端部５０ｆおよび５０ｇ（６０ｆおよび６０ｇ）の幅Ｗ４は、駆動部５０（６０）の端部５０ｆおよび５０ｇ（６０ｆおよび６０ｇ）以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を反射させるミラー部と、
前記ミラー部に接続され、前記ミラー部を振動可能に支持するねじり変形可能な梁部と、
前記梁部と接続される接続部を有し、前記ねじり変形可能な梁部を介して前記ミラー部を駆動させるための駆動部とを備え、
平面的に見て、前記駆動部の接続部の幅は、前記駆動部の接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されている、振動ミラー素子。
【請求項２】
前記駆動部の接続部は、前記駆動部の端部に形成されている、請求項１に記載の振動ミラー素子。
【請求項３】
前記梁部は、前記接続部において前記駆動部の長手方向と直交する方向から前記駆動部と接続されており、
前記駆動部の接続部とは反対側の側面は、前記駆動部の長手方向と平行な方向に延びるように形成されている、請求項１または２に記載の振動ミラー素子。
【請求項４】
前記梁部は、前記ミラー部の両側にそれぞれ一方端部側が接続される一対の第１梁部と、前記一対の第１梁部の他方端部側とそれぞれ接続される一対の第２梁部とを含み、
前記駆動部は、前記一対の第２梁部の一方端部とそれぞれ接続される一対の第１接続部を有する第１駆動部と、前記一対の第２梁部の他方端部とそれぞれ接続される一対の第２接続部を有する第２駆動部とを含み、
平面的に見て、前記第１駆動部の一対の第１接続部の幅は、それぞれ、前記第１駆動部の一対の第１接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されているとともに、前記第２駆動部の一対の第２接続部の幅は、それぞれ、前記第２駆動部の一対の第２接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項５】
前記第１駆動部の一対の第１接続部は、それぞれ、前記第１駆動部の両端部に形成されているとともに、前記第２駆動部の一対の第２接続部は、それぞれ、前記第２駆動部の両端部に形成されている、請求項４に記載の振動ミラー素子。
【請求項６】
前記駆動部は、平面的に見て、前記駆動部の長手方向の略中央部近傍に設けられた固定端近傍から前記駆動部の接続部に向かって、連続的または段階的に幅が小さくなるように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【請求項７】
前記駆動部の接続部は、自由端になるように構成されており、
前記駆動部が曲げ変形およびねじり変形することによって、前記駆動部の接続部に接続されている前記梁部は傾斜するとともにねじり変形するように構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動ミラー素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、振動ミラー素子に関し、特に、駆動部を備える振動ミラー素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、駆動部を備える振動ミラー素子などが知られている（たとえば、特許文献１〜７参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、支持部によって両端部を支持され、平面的に見て、両端側から中央部に向かって幅が小さくなるように構成されている駆動アームと、圧電体層を有し、駆動アームの両端側部分の下面にそれぞれ設けられた駆動電極とを備えるアクチュエータが開示されている。このアクチュエータは、駆動電極を駆動アームの両端側部分に設けることによって駆動電極の面積を確保するとともに、駆動アームの両端側から中央部に向かって幅を小さくすることによって、駆動アームを上下方向に撓ませやすくすることができるので、駆動領域を拡大させることができるように構成されている。
【０００４】
上記特許文献２には、平面的に見て、静止部材に固定された固定端から重りが取り付けられた先端の自由端に向かって幅が小さくなるように、二等辺三角形形状に構成されているとともに、一定の厚みになるように構成されている圧電変換振動子が開示されている。この圧電変換振動子は、固定端から自由端に向かって一定の幅を有する場合と比べて、固定端における最大の曲げ応力を圧電変換振動子の全面において均一に生じさせることができるように構成されているので、圧電変換振動子での発生電圧を約２倍にすることができる。なお、特許文献２には、圧電変換振動子を固定端から自由端に向かって幅が小さくなるように形成した場合における、圧電変換振動子の変形形状については記載されていない。
【０００５】
また、上記特許文献３〜７には、ミラー部と、ミラー部に接続される梁部と、梁部と接続され、平面的に見て、一定の幅を有する駆動部とを備える駆動装置などが開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３３３０４８号公報
【特許文献２】特開平１０−１７４４６２号公報
【特許文献３】特許第４０９２２８３号公報
【特許文献４】特開２００７−３１２４６５号公報
【特許文献５】特開２００６−２９３１１６号公報
【特許文献６】特許第３９５６９３３号公報
【特許文献７】特開２００７−１０８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１のアクチュエータを振動ミラー素子に適用した場合においては、ミラー部が駆動アームの中央部に配置されるとともに、駆動アームが上下方向に撓むことにより、ミラー部における光の反射位置を異ならせるように構成されると考えられる。しかしながら、上記特許文献１のアクチュエータを振動ミラー素子に適用した場合において、駆動アームの下面に直接駆動電極が設けられているため、駆動アームおよびミラー部を共振させることができないという不都合があると考えられる。このため、ミラー部の傾斜角度が小さくなるという問題点があると考えられる。
【０００８】
また、上記特許文献２には、圧電変換振動子の変形形状については記載されていないため、上記特許文献２に記載の圧電変換振動子を振動ミラー素子に適用した場合においては、ミラー部が圧電変換振動子の先端部の重りに代えて配置されるとともに、圧電変換振動子に電圧を印加することによって、圧電変換振動子を変形させるように構成されると考えられる。これにより、圧電変換振動子の変形によって、ミラー部を傾斜させることが可能である。しかしながら、上記特許文献２の圧電変換振動子を振動ミラー素子に適用した場合において、圧電変換振動子の先端部に直接ミラー部が設けられているため、ミラー部を共振させることができないという不都合があると考えられる。このため、ミラー部の傾斜角度が小さくなるという問題点があると考えられる。
【０００９】
また、上記特許文献３〜７に記載の駆動装置などでは、平面的に見て、駆動部が一定の幅を有するため、主に駆動部を上下方向に撓ませることしかすることができないという不都合があると考えられる。このため、駆動部においてねじり変形が発生しないため、ミラー部の傾斜角度が小さくなるという問題点がある。
【００１０】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ミラー部の傾斜角度を大きくすることが可能な振動ミラー素子を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【００１１】
この発明の一の局面による振動ミラー素子は、光を反射させるミラー部と、ミラー部に接続され、ミラー部を振動可能に支持するねじり変形可能な梁部と、梁部と接続される接続部を有し、ねじり変形可能な梁部を介してミラー部を駆動させるための駆動部とを備え、平面的に見て、駆動部の接続部の幅は、駆動部の接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されている。
【００１２】
この一の局面による振動ミラー素子では、上記のように、駆動部の接続部の幅を、駆動部の接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成することによって、幅が小さい駆動部の接続部において、長手方向と直交する方向の撓みによるねじり変形が起こりやすくなるので、接続部に梁部が接続された状態で駆動部が変形する場合に、接続部のねじり変形量を大きくすることができる。これにより、駆動部の接続部に接続された梁部を大きく傾斜およびねじり変形させることができるので、梁部に接続されたミラー部の傾斜角度を大きくすることができる。また、駆動部の上に直接ミラー部が配置されていないとともに、梁部の上に直接駆動部が配置されていないので、ミラー部を共振させることができる。これによって、ミラー部の傾斜角度をより大きくすることができる。
【００１３】
上記一の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部の接続部は、駆動部の端部に形成されている。このように構成すれば、駆動部の端部においては、端部以外の部分よりも基準部からの撓み変形量が大きくなるので、接続部を端部に設けることにより、ミラー部の傾斜角度をより大きくすることができる。
【００１４】
上記一の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、梁部は、接続部において駆動部の長手方向と直交する方向から駆動部と接続されており、駆動部の接続部とは反対側の側面は、駆動部の長手方向と平行な方向に延びるように形成されている。このように構成すれば、駆動部の接続部の幅が駆動部の接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように、駆動部の接続部側の側面は、駆動部の長手方向に沿って傾斜する。これにより、接続部を梁部とは反対側に撓ませるようにねじり変形させることができるので、ミラー部の傾斜角度をさらに大きくすることができる。
【００１５】
上記一の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、梁部は、ミラー部の両側にそれぞれ一方端部側が接続される一対の第１梁部と、一対の第１梁部の他方端部側とそれぞれ接続される一対の第２梁部とを含み、駆動部は、一対の第２梁部の一方端部とそれぞれ接続される一対の第１接続部を有する第１駆動部と、一対の第２梁部の他方端部とそれぞれ接続される一対の第２接続部を有する第２駆動部とを含み、平面的に見て、第１駆動部の一対の第１接続部の幅は、それぞれ、第１駆動部の一対の第１接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されているとともに、第２駆動部の一対の第２接続部の幅は、それぞれ、第２駆動部の一対の第２接続部以外の部分の幅よりも小さくなるように構成されている。このように構成すれば、第１駆動部および第２駆動部が変形することによって、一対の第２梁部および一対の第１梁部を介して、ミラー部を傾斜させることができるので、ミラー部を傾斜させる方向を交互に変化させることにより、ミラー部を振動させることができる。また、幅が小さい第１駆動部の一対の第１接続部および第２駆動部の一対の第２接続部において、それぞれ、長手方向と直交する方向の撓みによるねじり変形が起こりやすくなるので、一対の第１接続部および一対の第２接続部に一対の第２梁部がそれぞれ接続された状態で第１駆動部および第２駆動部がそれぞれ変形する場合に、一対の第１接続部および一対の第２接続部のねじり変形量を大きくすることができる。これにより、第１駆動部の一対の第１接続部および第２駆動部の一対の第２接続部にそれぞれ接続された一対の第２梁部を大きく傾斜およびねじり変形させることができるので、一対の第２梁部と接続されている一対の第１梁部に接続されたミラー部の傾斜角度を大きくすることができる。
【００１６】
この場合、好ましくは、第１駆動部の一対の第１接続部は、それぞれ、第１駆動部の両端部に形成されているとともに、第２駆動部の一対の第２接続部は、それぞれ、第２駆動部の両端部に形成されている。このように構成すれば、第１駆動部および第２駆動部の両端部においては、それぞれ、両端部以外の部分よりも基準部からの撓み変形量が大きくなるので、一対の第１接続部および一対の第２接続部をそれぞれの両端部に設けることにより、ミラー部の傾斜角度をより大きくすることができる。
【００１７】
上記一の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部は、平面的に見て、駆動部の長手方向の略中央部近傍に設けられた固定端近傍から駆動部の接続部に向かって、連続的または段階的に幅が小さくなるように構成されている。このように構成すれば、駆動部の固定端の幅を大きくすることができるので、駆動部を固定した状態で安定的に駆動部を駆動させることができる。また、駆動部の固定端を、駆動部の長手方向の略中央部近傍に設けることによって、接続部が両端部にある場合において、固定端と両接続部との距離を同一にすることができるので、両接続部における変形量を同一にすることができる。これにより、駆動部の両端部の変形量が異なることに起因して、梁部に加えられる変形量が異なることを抑制することができるので、梁部の破損を抑制することができる。
【００１８】
上記一の局面による振動ミラー素子において、好ましくは、駆動部の接続部は、自由端になるように構成されており、駆動部が曲げ変形およびねじり変形することによって、駆動部の接続部に接続されている梁部は傾斜するとともにねじり変形するように構成されている。このように構成すれば、駆動部の梁部との接続部が自由端になるので、接続部の変形量をより大きくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態による振動ミラー素子の全体構成を示した斜視図である。図２〜図６は、図１に示した本発明の一実施形態による振動ミラー素子の詳細な構成を示した図である。まず、図１〜図６を参照して、本発明の一実施形態による振動ミラー素子１０の構成について説明する。
【００２１】
本発明の一実施形態による振動ミラー素子１０は、図１および図２に示すように、基板２０と、基板２０上に配置された圧電素子３０および４０とから構成されている。この基板２０は、図２に示すように、光を反射させるミラー部２１と、同一の形状を有するトーションバー２２および２３と、同一の形状を有するバー２４および２５と、Ｘ１方向側に形成された可動部２６と、可動部２６と同一の形状を有し、Ｘ２方向側に形成された可動部２７とを含む。また、トーションバー２２およびバー２４は、ミラー部２１のＹ１方向側に形成されているとともに、トーションバー２３およびバー２５は、ミラー部２１のＹ２方向側に形成されている。また、基板２０は、可動部２６のＸ１方向側および可動部２７のＸ２方向側に、それぞれ、固定部２８および２９をさらに含んでいる。また、図３〜図５に示すように、基板２０は、Ｚ方向に約６０μｍの厚みｔ１を有する。なお、トーションバー２２および２３は、それぞれ、本発明の「第１梁部」および「梁部」の一例であり、バー２４および２５は、それぞれ、本発明の「第２梁部」および「梁部」の一例である。
【００２２】
また、図２に示すように、基板２０のミラー部２１は、平面的に見て、約１．０ｍｍの直径の円形状を有している。このミラー部２１は、ミラー部２１の中心を通るＹ方向に延びる線上のＹ１方向側においてトーションバー２２のＹ２方向側の端部２２ａと接続されているとともに、Ｙ２方向側においてトーションバー２３のＹ１方向側の端部２３ａと接続されている。また、ミラー部２１は、トーションバー２２および２３によってＡ方向およびＢ方向（図１参照）に傾斜されるとともに、トーションバー２２および２３に振動可能なように支持されている。また、トーションバー２２および２３は、ねじり変形可能なように構成されているとともに、ミラー部２１と共に共振可能なように構成されている。これにより、ミラー部２１は、共振によってバー２４および２５の傾斜角度以上に傾斜するように構成されている。この結果、レーザー光などをミラー部２１に向かって照射すると、ミラー部２１の傾斜角度に応じて反射光の反射角度も変化するように構成されている。また、トーションバー２２および２３は、それぞれ、Ｙ方向に約１．９ｍｍの長さＬ１を有するとともに、Ｘ方向に約１５０μｍの幅Ｗ１を有する。ここで、トーションバー２２および２３のＹ方向の長さＬ１は、約１．４ｍｍ以上約１．９ｍｍ以下であればよく、トーションバー２２および２３のＸ方向の幅Ｗ１は、約１００μｍ以上約２５０μｍ以下であればよい。
【００２３】
また、バー２４は、平面的に見て、バー２４のＸ方向の中央部２４ａにおいて、トーションバー２２のＹ１方向側の端部２２ｂと垂直に接続されている。また、バー２５は、平面的に見て、バー２５のＸ方向の中央部２５ａにおいて、トーションバー２３のＹ２方向側の端部２３ｂと垂直に接続されている。このバー２４および２５は、図３に示すように、それぞれ、Ｘ方向に約１．９ｍｍの長さＬ２を有するとともに、図２に示すように、Ｙ方向に約１００μｍの幅Ｗ２を有する。ここで、バー２４および２５のＸ方向の長さＬ２は、約１．５ｍｍ以上約２．２ｍｍ以下であればよく、バー２４および２５のＹ方向の幅Ｗ２の長さは、約１００μｍ以上約２５０μｍ以下であればよい。また、バー２４および２５は、可動部２６および２７（後述する駆動部５０および６０）の変形により、Ｘ方向に傾斜可能であるとともにねじり変形可能なように構成されている。
【００２４】
また、図２に示すように、可動部２６および２７は、長手方向であるＹ方向に延びるように形成されている。また、図４に示すように、可動部２６および２７（図２参照）は、それぞれ、Ｙ方向に約５．０ｍｍの長さＬ３を有する。なお、可動部２６および２７におけるＹ方向の長さＬ３は、約４．０ｍｍ以上約６．０ｍｍ以下であればよい。
【００２５】
また、本実施形態では、図２に示すように、バー２４のＸ１方向側の端部２４ｂおよびバー２５のＸ１方向側の端部２５ｂは、平面的に見て、それぞれ、可動部２６のＹ１方向側の端部２６ａおよびＹ２方向側の端部２６ｂと垂直に接続されている。また、バー２４のＸ２方向側の端部２４ｃおよびバー２５のＸ２方向側の端部２５ｃは、平面的に見て、それぞれ、可動部２７のＹ１方向側の端部２７ａおよびＹ２方向側の端部２７ｂと垂直に接続されている。これにより、可動部２６および２７のＹ１方向側の端部２６ａおよび２７ａにそれぞれバー２４が接続されているとともに、可動部２６および２７のＹ２方向側の端部２６ｂおよび２７ｂにそれぞれバー２５が接続されている。また、バー２４および２５は、それぞれ、可動部２６および２７の長手方向と直交する（Ｘ方向）ように接続されている。
【００２６】
ここで、本実施形態では、可動部２６のＸ１方向側の側面部２６ｃは、直線状にＹ方向に延びるように形成されているとともに、Ｘ２方向側の側面部２６ｄは、中央部２６ｅから可動部２６の端部２６ａおよび２６ｂに向かって連続的にＸ１方向に傾斜するように形成されている。また、可動部２６は、中央部２６ｅを境として、Ｙ１方向側とＹ２方向側とが鏡像対称になるように構成されている。つまり、可動部２６は、中央部２６ｅから端部２６ａおよび２６ｂに向かって幅が小さくなるように構成されている。また、端部２６ａのＸ方向の幅は、端部２６ｂにおけるＸ方向の幅と同一になるとともに、可動部２６のＸ方向の幅において最も幅が小さくなるように構成されている。また、図５に示すように、中央部２６ｅにおけるＸ方向の幅Ｗ３は、約５００μｍの長さを有するとともに、図３に示すように、可動部２６の端部２６ａおよび２６ｂ（図２参照）におけるＸ方向の幅Ｗ４は、それぞれ、約１５０μｍの長さを有する。
【００２７】
また、本実施形態では、可動部２７のＸ２方向側の側面部２７ｃは、直線状にＹ方向に延びるように形成されているとともに、Ｘ１方向側の側面部２７ｄは、中央部２７ｅから可動部２７の端部２７ａおよび２７ｂに向かって連続的にＸ２方向に傾斜するように形成されている。また、可動部２７は、中央部２７ｅを境として、Ｙ１方向側とＹ２方向側とが鏡像対称になるように構成されている。つまり、可動部２７は、中央部２７ｅから端部２７ａおよび２７ｂに向かって幅が小さくなるように構成されている。また、端部２７ａのＸ方向の幅は、端部２７ｂにおけるＸ方向の幅と同一になるとともに、可動部２７のＸ方向の幅において最も幅が小さくなるように構成されている。また、図５に示すように、中央部２７ｅにおけるＸ方向の幅Ｗ３は、約５００μｍの長さを有するとともに、図３に示すように、可動部２７の端部２７ａおよび２７ｂ（図２参照）におけるＸ方向の幅Ｗ４は、それぞれ、約１５０μｍの長さを有する。
【００２８】
なお、可動部２６の中央部２６ｅにおけるＸ方向の幅Ｗ３と可動部２７の中央部２７ｅのＸ方向の幅Ｗ３とは、それぞれ、約５００μｍ以上約９００μｍ以下の長さであればよく、可動部２６の端部２６ａおよび２６ｂにおけるＸ方向の幅Ｗ４と可動部２７の端部２７ａおよび２７ｂにおけるＸ方向の幅Ｗ４とは、それぞれ、約１５０μｍ以上約３００μｍ以下の長さであればよい。
【００２９】
また、図２に示すように、可動部２６の中央部２６ｅのＸ１方向側の側面部２６ｃには、Ｘ１方向に突出する固定部２８が形成されている。また、可動部２７の中央部２７ｅのＸ２方向側の側面部２７ｃには、Ｘ２方向に突出する固定部２９が形成されている。この固定部２８および２９は、それぞれ、ミラー部２１のＸ１方向側およびＸ２方向側に位置するとともに、ミラー部２１の中心からＸ方向に延びる線上に固定部２８および２９の中心が位置するように構成されている。また、ミラー部２１の中心からＸ方向に延びる線上には、可動部２６の中央部２６ｅおよび可動部２７の中央部２７ｅが位置するように構成されている。
【００３０】
また、固定部２８および２９は、それぞれ、図示しない基台に紫外線硬化接着剤などによって固定されており、可動部２６および２７（駆動部５０および６０）が凹形状または凸形状に変形することによって振動する際に、固定端として機能するように構成されているとともに、駆動部５０の後述する中央部５０ｅの近傍および駆動部６０の後述する中央部６０ｅの近傍に設けられている。
【００３１】
また、図３および図５に示すように、基板２０の可動部２６および２７の上面上には、それぞれ、圧電素子３０および４０が形成されている。この可動部２６と圧電素子３０とによって、駆動部５０が形成されているとともに、可動部２７と圧電素子４０とによって、駆動部６０が形成されている。具体的には、図６に示すように、基板２０の可動部２６および２７の上面上には、Ｚ方向に約１２０ｎｍの厚みｔ２を有する下部電極７０が形成されている。また、下部電極７０は、可動部２６および２７の上面上のみでなく基板２０の全面に渡って形成されている。これにより、圧電素子３０および４０の下部電極７０への配線処理を、基板２０の任意の部分に対して行うことが可能なように構成されている。また、下部電極７０は、図１に示すように、固定部２９の上面において、端子８０によって外部と電気的に接続されている。
【００３２】
また、可動部２６および２７の上面の下部電極７０の上面上には、それぞれ、Ｚ方向に約３μｍの厚みｔ３を有する圧電体５０ａおよび６０ａが形成されている。この圧電体５０ａおよび６０ａは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなり、膜厚方向（Ｚ方向）に分極されることによって、電圧を印加されるとＹ方向（図４参照）に伸縮するように構成されている。
【００３３】
また、圧電体５０ａおよび６０ａの上面上には、それぞれ、Ｚ方向に約５００ｎｍの厚みｔ４を有する上部電極５０ｂおよび６０ｂが形成されている。この下部電極７０と圧電体５０ａと上部電極５０ｂとによって、振動ミラー素子１０のＸ１方向側（図３参照）に圧電素子３０が形成されているとともに、可動部２６と圧電素子３０とによって、駆動部５０が形成されている。また、下部電極７０と圧電体６０ａと上部電極６０ｂとによって、振動ミラー素子１０のＸ２方向側（図３参照）に圧電素子４０が形成されているとともに、可動部２７と圧電素子４０とによって、駆動部６０が形成されている。また、図１に示すように、上部電極５０ｂおよび６０ｂは、それぞれ、端子９０によって外部と電気的に接続されている。なお、駆動部５０は、本発明の「第１駆動部」の一例であり、駆動部６０は、本発明の「第２駆動部」の一例である。
【００３４】
また、本実施形態では、図２に示すように、平面的に見て、駆動部５０および６０は、可動部２６および２７と同一の形状を有する。つまり、駆動部５０のＸ１方向側の側面部５０ｃは、直線状にＹ方向に延びるように形成されているとともに、Ｘ２方向側の側面部５０ｄは、中央部５０ｅから端部５０ｆおよび５０ｇに向かってＸ１方向に連続的に傾斜するように形成されている。すなわち、駆動部５０は、中央部５０ｅから端部５０ｆおよび５０ｇに向かって幅が小さくなるように構成されている。また、端部５０ｆのＸ方向の幅は、端部５０ｇにおけるＸ方向の幅と同一になるとともに、駆動部５０において最も幅が小さくなるように構成されている。なお、側面部５０ｃは、本発明の「側面」の一例である。
【００３５】
また、駆動部６０のＸ２方向側の側面部６０ｃは、直線状にＹ方向に延びるように形成されているとともに、Ｘ１方向側の側面部６０ｄは、中央部６０ｅから端部６０ｆおよび６０ｇに向かってＸ２方向に連続的に傾斜するように形成されている。すなわち、駆動部６０は、中央部６０ｅから端部６０ｆおよび６０ｇに向かって幅が小さくなるように構成されている。また、端部６０ｆのＸ方向の幅は、端部６０ｇにおけるＸ方向の幅と同一になるとともに、駆動部６０において最も幅が小さくなるように構成されている。なお、側面部６０ｃは、本発明の「側面」の一例である。
【００３６】
また、本実施形態では、可動部２６および２７のＹ１方向側の端部２６ａおよび２７ａにそれぞれ対応する端部５０ｆおよび６０ｆにそれぞれバー２４が接続されているとともに、可動部２６および２７のＹ２方向側の端部２６ｂおよび２７ｂにそれぞれ対応する端部５０ｇおよび６０ｇにそれぞれバー２５が接続されている。なお、端部５０ｆおよび５０ｇは、それぞれ、本発明の「第１接続部」および「接続部」の一例であり、端部６０ｆおよび６０ｇは、それぞれ、本発明の「第２接続部」および「接続部」の一例である。
【００３７】
また、駆動部５０の中央部５０ｅの近傍および駆動部６０の後述する中央部６０ｅの近傍にそれぞれ設けられている固定部２８および２９によって、中央部５０ｅおよび６０ｅは、それぞれ、駆動部５０および６０の固定端となるように構成されている。
【００３８】
また、本実施形態では、駆動部５０および６０は、それぞれ、上部電極５０ｂおよび６０ｂ（図６参照）と下部電極７０（図６参照）とに電圧を印加することによって、固定部２８および２９近傍の中央部５０ｅおよび６０ｅを固定端とするとともに、駆動部５０および６０のＹ１方向側の端部５０ｆおよび６０ｆとＹ２方向側の端部５０ｇおよび６０ｇとを自由端として、Ｚ方向（図４参照）に凹形状および凸形状に変形可能なように構成されている。具体的には、上部電極５０ｂおよび６０ｂと下部電極７０とに圧電体５０ａおよび６０ａが収縮するような電圧を印加すると、可動部２６および２７の上面に配置されている圧電体５０ａおよび６０ａは、自由端である端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇが上方に反るように変形するように構成されている。これにより、駆動部５０および６０は、固定端である中央部５０ｅおよび６０ｅが自由端である端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇよりも下方に位置して、凹形状に変形するように構成されている。
【００３９】
また、上部電極５０ｂおよび６０ｂと下部電極７０とに圧電体５０ａおよび６０ａが伸長するような電圧を印加すると、可動部２６および２７の上面に配置されている圧電体５０ａおよび６０ａは、自由端である端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇが下方に反るように変形するように構成されている。これにより、駆動部５０および６０は、固定端である中央部５０ｅおよび６０ｅが自由端である端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇよりも上方に位置して、凸形状に変形するように構成されている。
【００４０】
ここで、本実施形態では、駆動部５０は、中央部５０ｅから端部５０ｆおよび５０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成されているので、図３に示すように、駆動部５０が凹形状に変形している際には、駆動部５０の端部５０ｆおよび５０ｇ（図２参照）にはＣ方向への力が加えられることにより、Ｃ方向にねじられるように構成されている。また、駆動部５０が凸形状に変形している際には、駆動部５０の端部５０ｆおよび５０ｇにはＤ方向への力が加えられることにより、Ｄ方向にねじられるように構成されている。
【００４１】
また、本実施形態では、図２に示すように、駆動部６０は、中央部６０ｅから端部６０ｆおよび６０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成されているので、図３に示すように、駆動部６０が凹形状に変形している際には、駆動部６０の端部６０ｆおよび６０ｇ（図２参照）にはＥ方向への力が加えられることにより、Ｅ方向にねじられるように構成されている。また、駆動部６０が凸形状に変形している際には、駆動部６０の端部６０ｆおよび６０ｇにはＦ方向への力が加えられることにより、Ｆ方向にねじられるように構成されている。
【００４２】
また、上部電極５０ｂおよび６０ｂと下部電極７０とに印加される電圧の波形は、主に正弦波になるように構成されている。これにより、駆動部５０および６０は、変形していない状態から、凹形状に変形した後に、再度変形していない状態に戻り、その後凸形状に変形するという振動運動を繰り返すように構成されている。また、駆動部５０の上部電極５０ｂと下部電極７０とに印加される電圧Ｖ１の位相と、駆動部６０の上部電極６０ｂと下部電極７０とに印加される電圧Ｖ２の位相とは、反転するように構成されている。また、正弦波の電圧Ｖ１およびＶ２の周波数と、ミラー部２１とトーションバー２２および２３と駆動部５０および６０との共振周波数とは略一致するように構成されている。これにより、ミラー部２１とトーションバー２２および２３とが共振するので、バー２４および２５の傾斜角度よりも大きい角度で、ミラー部２１をＡ方向およびＢ方向（図１参照）に振動運動させることが可能である。
【００４３】
図７〜図１２は、図１に示した一実施形態による振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。次に、図６〜図１２を参照して、本発明の一実施形態による振動ミラー素子１０の駆動動作を説明する。
【００４４】
図６に示すように、上部電極５０ｂと下部電極７０とに圧電体５０ａが伸長するような電圧Ｖ１（８Ｖ）を印加するとともに、上部電極６０ｂと下部電極７０とに圧電体６０ａが収縮するような電圧Ｖ２（８Ｖ）を印加すると、図７および図８に示すように、駆動部５０は、固定端である中央部５０ｅが自由端である端部５０ｆおよび５０ｇよりも上方に位置して凸形状に変形するとともに、駆動部６０は、固定端である中央部６０ｅが自由端である端部６０ｆおよび６０ｇよりも下方に位置して凹形状に変形する。
【００４５】
ここで、本実施形態では、駆動部５０は、それぞれ、中央部５０ｅから端部５０ｆおよび５０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成されているとともに、駆動部６０は、それぞれ、中央部６０ｅから端部６０ｆおよび６０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成されていることによって、図９に示すように、駆動部５０の端部５０ｆおよび５０ｇは、さらにＤ方向にねじられるとともに、駆動部６０の端部６０ｆおよび６０ｇは、さらにＥ方向にねじられる。
【００４６】
これにより、図７に示すように、駆動部５０の下部に位置する可動部２６の端部２６ａおよび２６ｂは、駆動部６０の下部に位置する可動部２７の端部２７ａおよび２７ｂに比べて下方に位置するので、バー２４および２５は、それぞれ、可動部２７側から可動部２６側に向かって（Ｘ１方向）下方に傾斜するとともに、Ａ方向にねじり変形する。そして、バー２４および２５の傾斜に伴って、トーションバー２２および２３は、可動部２７側から可動部２６側に向かって（Ｘ１方向）下方に傾斜するような状態になる。さらに、ミラー部２１とトーションバー２２および２３との共振周波数と、正弦波の電圧Ｖ１およびＶ２の周波数とを略一致させていることにより、ミラー部２１とトーションバー２２および２３と駆動部５０および６０とは共振する（共振周波数約２１ｋＨｚ）ので、バー２４および２５の傾斜角度よりも大きい角度で、トーションバー２２および２３にはＡ方向にねじられるような力が加えられる。これにより、ミラー部２１はＡ方向に最大約１０°傾斜する。
【００４７】
一方、図６に示すように、上部電極５０ｂと下部電極７０とに圧電体５０ａが収縮するような電圧Ｖ１（８Ｖ）を印加するとともに、上部電極６０ｂと下部電極７０とに圧電体６０ａが伸長するような電圧Ｖ２（８Ｖ）を印加すると、図１０および図１１に示すように、駆動部５０は、固定端である中央部５０ｅが自由端である端部５０ｆおよび５０ｇよりも下方に位置して凹形状に変形するとともに、駆動部６０は、固定端である中央部６０ｅが自由端である端部６０ｆおよび６０ｇよりも上方に位置して凸形状に変形する。
【００４８】
ここで、本実施形態では、駆動部５０は、それぞれ、中央部５０ｅから端部５０ｆおよび５０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成されているとともに、駆動部６０は、それぞれ、中央部６０ｅから端部６０ｆおよび６０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成されていることによって、図１２に示すように、駆動部５０の端部５０ｆおよび５０ｇは、さらにＣ方向にねじられるとともに、駆動部６０の端部６０ｆおよび６０ｇは、さらにＦ方向にねじられる。
【００４９】
これにより、図１０に示すように、駆動部５０の下部に位置する可動部２６の端部２６ａおよび２６ｂは、駆動部６０の下部に位置する可動部２７の端部２７ａおよび２７ｂに比べて上方に位置するので、バー２４および２５は、それぞれ、可動部２６側から可動部２７側に向かって（Ｘ２方向）下方に傾斜するとともに、Ｂ方向にねじり変形する。そして、バー２４および２５の傾斜に伴って、トーションバー２２および２３は、可動部２６側から可動部２７側に向かって（Ｘ２方向）下方に傾斜するような状態になる。さらに、ミラー部２１とトーションバー２２および２３との共振周波数と、正弦波の電圧Ｖ１およびＶ２の周波数とを略一致させていることにより、ミラー部２１とトーションバー２２および２３とは共振する（共振周波数約２１ｋＨｚ）ので、バー２４および２５の傾斜角度よりも大きい角度で、トーションバー２２および２３にはＢ方向にねじられるような力が加えられる。これにより、ミラー部２１はＢ方向に最大約１０°傾斜する。
【００５０】
また、上部電極５０ｂおよび６０ｂと下部電極７０とに印加される電圧の波形は、主に正弦波になるように構成されているため、駆動部５０および６０は、変形していない状態から、凹形状に変形された後に、再度変形していない状態に戻り、その後凸形状に変形するという振動運動を繰り返す。この結果、正弦波の電圧Ｖ１（８Ｖ）が駆動部５０の上部電極５０ｂと下部電極７０とに印加されるとともに、電圧Ｖ１（８Ｖ）の位相と反転した位相を有する正弦波の電圧Ｖ２（８Ｖ）が駆動部６０の上部電極６０ｂと下部電極７０とに印加されることによって、駆動部５０および６０と、バー２４および２５と、トーションバー２２および２３との変形を介して、トーションバー２２および２３に振動可能に支持されているミラー部２１は、Ａ方向およびＢ方向に最大約１０°の傾斜角度で振動運動を繰り返す。これにより、振動ミラー素子１０は、ミラー部２１に照射されたレーザー光などの反射光を一次元的に走査させることが可能になる。
【００５１】
本実施形態では、上記のように、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇの幅Ｗ４が、それぞれ、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇ以外の部分の幅よりも小さくなるように構成することによって、幅Ｗ４が小さい駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇにおいて、長手方向と直交する方向の撓みによるねじり変形が起こりやすくなるので、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇにバー２４および２５が接続された状態で駆動部５０および６０が変形する場合に、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇのねじり変形量を大きくすることができる。これにより、駆動部５０および６０に接続されたバー２４および２５を大きく傾斜およびねじり変形させることができるので、トーションバー２２および２３の傾斜角度とミラー部２１の傾斜角度とを大きくすることができる。また、駆動部５０および６０の上に直接ミラー部２１が配置されていないとともに、バー２４および２５の上に直接駆動部５０および６０が配置されていないので、ミラー部２１を共振させることができる。これによって、ミラー部２１の傾斜角度をより大きくすることができる。また、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇにおいては、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇ以外の部分よりも基準部からの撓み変形量が大きくなるので、接続部を端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇに設けることにより、ミラー部２１の傾斜角度をより大きくすることができる。また、駆動部５０および６０が変形することによって、バー２４および２５とトーションバー２２および２３とを介して、ミラー部２１を傾斜させることができるので、ミラー部２１を傾斜させる方向を交互に変化させることにより、ミラー部２１を振動させることができる。
【００５２】
本実施形態では、上記のように、バー２４および２５を、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇにおいて駆動部５０および６０の長手方向と直交する方向（Ｘ方向）から駆動部５０および６０と接続するとともに、駆動部５０および６０の側面部５０ｃおよび６０ｃを、Ｙ方向に延びるように形成することによって、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇの幅Ｗ４が駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇ以外の部分の幅よりも小さくなるように、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇ側の側面は、駆動部５０および６０の長手方向（Ｙ方向）に沿って傾斜する。これにより、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇをバー２４および２５とは反対側に撓ませるようにねじり変形させることができるので、ミラー部２１の傾斜および共振をさらに大きくすることができる。
【００５３】
本実施形態では、上記のように、駆動部５０および６０を、それぞれ、平面的に見て、固定部２８および２９近傍の中央部５０ｅおよび６０ｅから端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇに向かって、連続的に幅が小さくなるように構成することによって、駆動部５０および６０の中央部５０ｅおよび６０ｅの幅Ｗ３を大きくすることができるので、駆動部５０および６０を固定した状態で安定的に駆動部５０および６０を駆動させることができる。また、中央部５０ｅと端部５０ｆとの距離と中央部５０ｅと端部５０ｇとの距離とを同一にすることができるとともに、中央部６０ｅと端部６０ｆとの距離と中央部６０ｅと端部６０ｇとの距離とを同一にすることができるので、端部５０ｆと端部５０ｇとにおける変形量を同一にすることができるとともに、端部６０ｆと端部６０ｇとにおける変形量を同一にすることができる。これにより、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇの変形量が異なることに起因して、バー２４および２５に加えられる変形量が異なることを抑制することができるので、バー２４および２５の破損を抑制することができる。
【００５４】
本実施形態では、上記のように、駆動部５０および６０のバー２４および２５との接続部である端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇを、自由端になるように構成するとともに、駆動部５０および６０が曲げ変形およびねじり変形することによって、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇに接続されているバー２４および２５を傾斜するとともにねじり変形するように構成することによって、端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇの変形量をより大きくすることができる。
【００５５】
図１３〜図１６は、本発明の一実施形態の効果を確認するために行ったシミュレーションにおける振動ミラー素子を示す図である。次に、上記した本発明の実施形態の効果を確認するために行ったシミュレーションについて図２、図６および図１３〜図１６を参照して説明する。
【００５６】
このシミュレーションでは、実施例１、実施例２および比較例１について検討した。実施例１は、図２に示す本発明の一実施形態における振動ミラー素子１０に対応する。また、実施例２では、図１３に示す振動ミラー素子１１の駆動部１５０および１６０のＹ方向の長さＬ４をそれぞれ６．０ｍｍにするとともに、トーションバー１２２および１２３のＹ方向の長さＬ５をそれぞれ２．４ｍｍにした。さらに、駆動部１５０の側面部１５０ｄおよび駆動部１６０の側面部１６０ｄの傾斜を変化させることによって、駆動部１５０および１６０とバー１２４および１２５との接続部である、端部１５０ｆおよび１５０ｇにおけるＸ方向の幅Ｗ５と駆動部１６０の端部１６０ｆおよび１６０ｇにおけるＸ方向の幅Ｗ５とを、それぞれ、２５０μｍにした。
【００５７】
また、比較例１では、図１４に示す振動ミラー素子１２の駆動部２５０の中央部５０ｅにおけるＸ方向の幅Ｗ３と端部２５０ｆおよび２５０ｇにおけるＸ方向の幅Ｗ３とを同一の幅（５００μｍ）にするとともに、駆動部２６０の中央部６０ｅのＸ方向の幅Ｗ３と端部２６０ｆおよび２６０ｇにおけるＸ方向の幅Ｗ３とを同一の幅（５００μｍ）にすることによって、平面的に見て、駆動部２５０および２６０がＹ方向に延びる長方形形状を有するようにした。また、実施例２および比較例１において、変化させたパラメータ以外の構造は、実施例１と同一になるように設定した。
【００５８】
上記した図２に示した実施例１と、図１３に示した実施例２と、図１４に示した比較例１とにおける、上部電極と下部電極とに印加される電圧を８Ｖにした場合の、ミラー部の傾斜角度と共振周波数とに関してシミュレーションを行った結果を説明する。ここで、ミラー部の傾斜角度は、Ａ方向に傾斜している場合には−の値になるとともに、Ｂ方向に傾斜している場合には＋の値になるように設定されている。
【００５９】
図２に示した実施例１におけるシミュレーションでは、ミラー部の傾斜角度は、−１０．９度から＋１０．９度になるとともに、共振周波数は、２１９５０Ｈｚになった。また、図１３に示した実施例２におけるシミュレーションでは、ミラー部の傾斜角度は、−１１．４度から＋１１．４度になるとともに、共振周波数は、１６９００Ｈｚになった。また、図１４に示した比較例１におけるシミュレーションでは、ミラー部の傾斜角度は、−６．６度から＋６．６度になるとともに、共振周波数は、２１１８０Ｈｚになった。
【００６０】
上記のようなシミュレーションの結果から、実施例１と実施例２とを比較すると、実施例２のように、駆動部の面積を大きくすることによって、ミラー部の傾斜角度は若干大きくなることが分かった。これは、駆動部の駆動力が駆動部の面積に依存しているからであると考えられる。また、実施例２のように、駆動部の端部の幅を大きくすることによって、共振周波数は小さくなることが分かった。これは、端部の幅が大きくなることにより、端部がねじり変形しにくくなったからであると考えられる。また、実施例２のように、駆動部の長手方向の長さを大きくすることによって、共振周波数は小さくなることが分かった。これは、駆動部における振幅が大きくなることにより、駆動部における振動の周波数が小さくなるからであると考えられる。
【００６１】
また、実施例１と比較例１とを比較すると、実施例１にように、中央部から両端部側に向かって連続的に駆動部の幅を小さくすることによって、ミラー部の傾斜角度は大きくなることが分かった。これは、図１５に示すように、比較例１のように駆動部が一定の幅を有する長方形形状を有するような場合においては、駆動部の端部はほとんどねじられていないことによって、駆動部の端部と接続されているバーの傾きは、駆動部の長手方向の撓みに略依存する一方、図１６に示すように、実施例１のように駆動部の幅が中央部から端部に向かって小さくなるように構成されている場合においては、駆動部の端部はバーをより傾斜させる方向にねじられることによって、駆動部の端部と接続されているバーの傾きは、駆動部の長手方向の撓みと端部のねじり変形とに依存するからであると考えられる。
【００６２】
ここで、本発明の振動ミラー素子では、ミラー部の傾斜角度と共振周波数との両方が大きくなることが、ミラー部に照射されたレーザー光などの反射光を一次元的に走査させる際の、走査範囲の拡大と走査速度の向上との点から好ましい。すなわち、本発明の一実施形態における振動ミラー素子１０に対応する実施例１が、ミラー部の傾斜角度と共振周波数との両方を大きくすることができるので最適であると考えられる。
【００６３】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００６４】
たとえば、上記実施形態では、駆動部５０および６０を、それぞれ、中央部５０ｅおよび６０ｅから端部５０ｆ（５０ｇ）および６０ｆ（６０ｇ）に向かって、連続的に幅が小さくなるように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、図１７に示す第１変形例の振動ミラー素子１３のように、駆動部３５０および３６０の側面部３５０ｄおよび３６０ｄを、段階的に変形させることによって、中央部３５０ｅおよび３６０ｅから端部３５０ｆ（３５０ｇ）および３６０ｆ（３６０ｇ）に向かって、段階的に幅が小さくなるように構成してもよい。この際、段の数は特に限定されない。
【００６５】
また、上記実施形態では、振動ミラー素子１０のミラー部２１がＡ方向およびＢ方向のみ（１次元的）に傾斜させた例を示したが、本発明はこれに限らず、振動ミラー素子のミラー部を２次元的に傾斜させてもよい。たとえば、図１８に示す第２変形例のように、振動ミラー素子１４を、上記実施形態における振動ミラー素子１０の一対の固定部を一対のトーションバー４２２および４２３とするとともに、一対のトーションバー４２２および４２３の端部が、それぞれ、一対のバー４２４および４２５のそれぞれの中央部と垂直に接続するように構成してもよい。そして、一対のバー４２４および４２５の両端部を、それぞれ、駆動部５０および６０と類似の形状を有する一対の駆動部４５０および４６０と垂直に接続されるように構成するとともに、一対の固定部４２８および４２９によって図示しない基台に固定する。これによって、ミラー部２１をＡ方向およびＢ方向とＩ方向およびＪ方向との２次元的に傾斜させるとともに振動させることが可能になる。
【００６６】
また、上記実施形態では、圧電体５０ａおよび６０ａが、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる例を示したが、本発明はこれに限らず、圧電体は、ＰＺＴ以外の鉛、チタンおよびジルコニウムを主成分とした酸化物からなる圧電材料や、他の圧電材料により形成されていてもよい。たとえば、圧電体には、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛（（Ｐｂ、Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、ニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂＯ３）などの圧電材料を用いてもよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、駆動部５０および６０とバー２４および２５とを、駆動部５０および６０の端部５０ｆ、５０ｇ、６０ｆおよび６０ｇにおいて接続した例を示したが、本発明はこれに限らず、駆動部とバーとを駆動部の端部以外の位置において接続してもよい。
【００６８】
また、上記実施形態では、本発明の「梁部」がトーションバー２２および２３とバー２４および２５とからなる例を示したが、本発明はこれに限らず、「梁部」をトーションバーまたはバーのいずれか一方からなるように構成してもよい。
【００６９】
また、上記実施形態では、駆動部５０および６０を、それぞれ、圧電素子３０および４０により駆動させた例を示したが、本発明はこれに限らず、駆動部は、圧電素子以外の駆動源によって駆動されてもよい。
【００７０】
また、上記実施形態では、ミラー部２１は、平面的に見て、円形の平板形状を有している例を示したが、本発明はこれに限らず、ミラー部は、平面的に見て、正方形形状や長方形形状を有していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の一実施形態による振動ミラー素子の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による振動ミラー素子の全体構成を示す平面図である。
【図３】図２に示した振動ミラー素子の１０００−１０００線に沿った断面図である。
【図４】図２に示した振動ミラー素子の２０００−２０００線に沿った断面図である。
【図５】図２に示した振動ミラー素子の３０００−３０００線に沿った断面図である。
【図６】図３〜図５に示した振動ミラー素子の圧電素子近傍を示す拡大断面図である。
【図７】本発明の一実施形態による振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。
【図８】図７のＧ方向から見た振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。
【図９】図７のＨ方向から見た振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。
【図１０】本発明の一実施形態による振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。
【図１１】図１０のＧ方向から見た振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。
【図１２】図１０のＨ方向から見た振動ミラー素子の駆動方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施例２による振動ミラー素子の全体構成を示す平面図である。
【図１４】本発明の比較例１による振動ミラー素子の全体構成を示す平面図である。
【図１５】本発明の比較例１による振動ミラー素子の駆動状態を説明するための図である。
【図１６】本発明の実施例１および実施例２による振動ミラー素子の駆動状態を説明するための図である。
【図１７】本発明の第１変形例による振動ミラー素子の全体構成を示す平面図である。
【図１８】本発明の第２変形例による振動ミラー素子の全体構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０、１１、１３、１４  振動ミラー素子
２１  ミラー部
２２、２３、１２２、１２３、４２２、４２３  トーションバー（第１梁部、梁部）
２４、２５、１２４、１２５、４２４、４２５  バー（第２梁部、梁部）
２８、２９、４２８、４２９  固定部
５０、１５０、３５０、４５０  駆動部（第１駆動部）
５０ｃ、６０ｃ  側面部（側面）
５０ｅ、６０ｅ、３５０ｅ、３６０ｅ  駆動部の中央部（固定端）
５０ｆ、５０ｇ、１５０ｆ、１５０ｇ、３５０ｆ、３５０ｇ  端部（第１接続部、接続部）
６０、１６０、３６０、４６０  駆動部（第２駆動部）
６０ｆ、６０ｇ、１６０ｆ、１６０ｇ、３６０ｆ、３６０ｇ  端部（第２接続部、接続部）
Ｗ４  幅
【図１】
2010139977.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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