(57)【要約】【課題】本発明は、複数の裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続する配線シートであって、熱収縮などによる配線シートの変形を抑制し、寸法精度が高い配線シート、この配線シートに裏面電極型太陽電池セルが配置された配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の配線シートは、半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線シートであって、絶縁性基材と、絶縁性基材上に設けられる第１の配線材とを有し、該第１の配線材は、裏面電極型太陽電池セルが配置されるセル配置部を複数備え、該セル配置部のそれぞれは、互いに電気的に絶縁された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを含み、セル配置部間に第１導電型用配線および第２導電型用配線と電気的に絶縁された第２の配線材を有することを特徴とする。【選択図】図３
2010258158.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線シートであって、
前記配線シートは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材上に設けられる第１の配線材とを有し、
前記第１の配線材は、前記裏面電極型太陽電池セルが配置されるセル配置部を複数備え、該セル配置部のそれぞれは、互いに電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
前記セル配置部間に前記第１配線および前記第２配線と電気的に絶縁された第２の配線材を有する配線シート。
【請求項２】
半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための第１の配線材が絶縁性基材上に設けられた配線シートであって、
前記裏面電極型太陽電池セルを配置するセル配置部が、前記絶縁性基材上において第１方向と該第１方向と異なる第２方向とのそれぞれに複数配列されており、
前記セル配置部のそれぞれは、互いに電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
前記第２方向において互いに隣り合うセル配置部のうちの一方のセル配置部の第１配線と他方のセル配置部の第２配線とが電気的に接続されており、
前記第１方向において隣り合うセル配置部間において、いずれか一方のセル配置部の前記第１配線または前記第２配線と一体化された第２の配線材を有する配線シート。
【請求項３】
複数の裏面電極型太陽電池セルを接続した請求項１または２に記載の配線シート。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の配線シートを含む太陽電池モジュール。
【請求項５】
半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルを接続するための第１の配線材が絶縁性基材上に設けられた配線シートとを備えた配線シート付き太陽電池セルであって、
前記第１の配線材は、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極に電気的に接続された第１配線と、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極に電気的に接続された第２配線とを含み、
前記セル配置部間に前記第１配線および前記第２配線と電気的に絶縁された第２の配線材を有する配線シート付き太陽電池セル。
【請求項６】
半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルを接続するための第１の配線材が絶縁性基材上に設けられた配線シートとを備えた配線シート付き太陽電池セルであって、
前記裏面電極型太陽電池セルは、前記絶縁性基材上の前記第１の配線材が設けられる面において第１方向と該第１方向と異なる第２方向とのそれぞれに複数配列されており、
前記第１の配線材は、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極に電気的に接続された第１配線と、前記第２導電型用電極に電気的に接続された第２配線とを含み、
前記第２の方向において互いに隣り合う前記裏面電極型太陽電池セルのうちの一方の裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極に電気的に接続された前記第１配線と、他方の裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極に電気的に接続された前記第２配線とが電気的に接続されており、
前記第１の方向において互いに隣り合う前記裏面電極型太陽電池セル間の配線シートに前記第１配線または前記第２配線と一体化された第２の配線材を有する、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項７】
請求項５または６に記載の配線シート付き太陽電池セルを含む太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線シート、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の太陽電池セルを接続して太陽電池パネルなどの太陽電池モジュールを製造する際に、従来の太陽電池モジュールは、太陽電池セルの両表面のそれぞれにｐ型電極とｎ型電極とが設けられ、各太陽電池セルに接続されたインターコネクタ同士を接続することによって、一般的に全ての太陽電池セルを直列に接続している（たとえば、特許文献１など）。
【０００３】
また、ｐ型電極とｎ型電極とが共に受光面とは反対の裏面に設けられた裏面電極型太陽電池セル同士をインターコネクタを介して接続する方法として、インターコネクタで太陽電池セルと太陽電池セルとが行方向に１枚ずつ接続され、この行方向に接続された太陽電池セルが列方向に複数配列され、列方向の太陽電池セル同士も一般的にすべて直列となるように（場合によっては、並列で繋げられる場合もある）インターコネクタで接続されて太陽電池モジュールが形成される（たとえば特許文献２および特許文献３など）。
【０００４】
一方、図１９に示すように、複数の太陽電池セルを一列で直列に接続した太陽電池ストリングにおいて、複数のセル配置部を有する配線シートに裏面電極型の太陽電池セルを載置して、配線シートにより各太陽電池セル間を電気的に接続する方法が開示されている（たとえば、特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６０−４２８５４号公報
【特許文献２】特開２００５−１１８６９号公報
【特許文献３】特開２００５−１９１４７９号公報
【特許文献４】特開２００５−３４０３６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
太陽電池セル同士を接続する場合、インターコネクタを介した接続でも配線シートによる接続であっても、接続の際にかかる熱などの諸条件により、複数の太陽電池セル同士の相対位置（たとえば隣接する太陽電池セル同士の間隔など）が不変であることが望ましい。しかしながら、特に、上記特許文献４に開示されるような配線シートを用いた太陽電池モジュールの形成においては、配線シートを構成する材料がポリエチレンテレフタレートなどの可撓性および熱伸縮性を有する樹脂材料であり、配線シート全体にわたり熱伸縮特性の差が潜在することがある。このような熱伸縮特性の差は熱処理による配線シートの変形につながり、配線パターンが細線状の場合は変形が電極の接続状態にも影響する虞がある。したがって、熱による配線シートの変形を抑制し、配線シートの配線と太陽電池セルの裏面電極との位置合わせをより精度よく行なう必要がある。
【０００７】
本発明は、上記技術内容に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続する配線シートであって、熱伸縮などによる配線シートの変形を抑制し、寸法精度が高い配線シート、この配線シートに裏面電極型太陽電池セルが配置された配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の配線シートは、半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線シートであって、絶縁性基材と、絶縁性基材上に設けられる第１の配線材とを有し、該第１の配線材は、裏面電極型太陽電池セルが配置されるセル配置部を複数備え、該セル配置部のそれぞれは、互いに電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、セル配置部間に第１配線および第２配線と電気的に絶縁された第２の配線材を有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の配線シートの別の態様は、半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための第１の配線材が絶縁性基材上に設けられた配線シートであって、裏面電極型太陽電池セルを配置するセル配置部が、絶縁性基材上において第１方向と該第１方向と異なる第２方向とのそれぞれに複数配列されており、セル配置部のそれぞれは、互いに電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、第２方向において互いに隣り合うセル配置部のうちの一方のセル配置部の第１配線と他方のセル配置部の第２配線とが電気的に接続されており、第１方向において隣り合うセル配置部間において、いずれか一方のセル配置部の第１配線または第２配線と一体化された第２の配線材を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明は、上記いずれかの配線シートに複数の裏面電極型太陽電池セルを接続した配線シートに関する。また、本発明は、上記いずれかの態様の配線シートを含む太陽電池モジュールに関する。
【００１１】
また、本発明は、配線シート付き太陽電池セルに関し、半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルを接続するための第１の配線材が絶縁性基材上に設けられた配線シートとを備えた配線シート付き太陽電池セルであって、第１の配線材は、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極に電気的に接続された第１配線と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極に電気的に接続された第２配線とを含み、セル配置部間に第１配線および第２配線と電気的に絶縁された第２の配線材を有することを特徴とする。
【００１２】
さらに、本発明は、半導体基板の一方の面側に第１導電型用電極および第２導電型用電極が配置された裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルを接続するための第１の配線材が絶縁性基材上に設けられた配線シートとを備えた配線シート付き太陽電池セルであって、裏面電極型太陽電池セルは、絶縁性基材上の第１の配線材が設けられる面において第１方向と該第１方向と異なる第２方向とのそれぞれに複数配列されており、第１の配線材は、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極に電気的に接続された第１配線と、第２導電型用電極に電気的に接続された第２配線とを含み、第２の方向において互いに隣り合う裏面電極型太陽電池セルのうちの一方の裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極に電気的に接続された第１配線と、他方の裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極に電気的に接続された第２配線とが電気的に接続されており、第１の方向において互いに隣り合う裏面電極型太陽電池セル間の配線シートに第１配線または第２配線と一体化された第２の配線材を有することを特徴とする配線シート付き太陽電池セルに関する。
【００１３】
また、本発明は上記いずれかの配線シート付き太陽電池セルを含む太陽電池モジュールに関する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の配線シートによれば、配線シートを構成する絶縁性基板に裏面電極太陽電池セルを接続するための配線以外の配線材を含むので、配線シートにかかる熱による変形を抑制することができ、太陽電池セルを組み合わせた太陽電池モジュールの形成において、太陽電池セルを所望の位置に正確に配置できることから、より信頼性の高い太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明における配線シート付き太陽電池セルの一例を受光面側から見た模式的な平面図である。
【図２】本発明における裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの配置関係を示す概略図である。
【図３】本発明の配線シートの一例の模式的な平面図である。
【図４】図１および図２に示される裏面電極型太陽電池セルの一例の模式的な断面図である。
【図５】（ａ）は図４に示される裏面電極型太陽電池セルの半導体基板の裏面の一例の模式的な平面図であり、（ｂ）は図４に示される裏面電極型太陽電池セルの半導体基板の裏面の他の一例の模式的な平面図である。
【図６】本発明において、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートのセル配置部との電気的な接続方法を図解する模式的な平面図である。
【図７】本発明において、配線シートと裏面電極型太陽電池セルとを電気的に接続した状態を図６のＶＩＩ−ＶＩＩに沿った方向の断面図により模式的に示した図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図９】図３の破線部分の第１の配線材と第２の配線材との位置関係を示す一例の模式的な平面図である。
【図１０】図３の破線部分に対応する部分の、第１の配線材と第２の配線材との位置関係を示す他の一例の模式的な平面図である。
【図１１】絶縁性基材における第２の配線材の形態の一例を示す模式的な平面図である。
【図１２】絶縁性基材における第２の配線材の形態の他の一例を示す模式的な平面図である。
【図１３】絶縁性基材における第２の配線材の形態の他の一例を示す模式的な平面図である。
【図１４】絶縁性基材における第２の配線材の形態の他の一例を示す模式的な平面図である。
【図１５】絶縁性基材における第２の配線材の形態の他の一例を示す模式的な平面図である。
【図１６】本実施の形態３の配線シートの一例の模式的な平面図である。
【図１７】本実施の形態４の配線シートの一例の模式的な平面図である。
【図１８】本実施の形態５の配線シートの一例の模式的な平面図である。
【図１９】従来の一列で構成された配線シートの模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は同一部分または相当部分を表すものとする。また、以下では、太陽電池セルを設置するためのセル配置部（太陽電池セルが設置される配線シート上の配線部分）が単数または複数配列された構成を配線シート、配線シートに単数の太陽電池セルを配置、または配線シートに複数の太陽電池セルを第１方向および該第１方向と異なる第２方向にそれぞれ複数マトリクス状に配列した構成を配線シート付き太陽電池セルとして説明する。
【００１７】
本発明において、上記第１方向と上記第２方向とは、たとえば、第１方向と第２方向とが直交して、マトリクス状に配列した形状が矩形となる場合や、第１方向と第２方向とが交差して、マトリクス状に配列した形状が平行四辺形や菱形となる場合が例示される。その他、また上記特定の方向は直線状に限られず、円弧状の一部に沿って配列したような場合も含まれる。このように、本発明において、上記第１方向と第２方向とは特に限定されず、それぞれの方向に沿った直線が交差する関係にあればよい。また、上記矩形や平行四辺形などの形状が、配線シートの一部に含まれていればよく、たとえば、矩形および平行四辺形の両方の形状が含まれる場合や、これらの形状の一部が単独でまたは組み合わされて含まれる場合も、後述のように隣接するセルが配線により特定の電気的な接続を形成していれば本発明の態様に含まれる。
【００１８】
＜実施の形態１＞
（配線シート付き太陽電池セル）
図１に、本発明の配線シート付き太陽電池セルの一例を受光面側から見た模式的な平面図を示す。ここで、配線シート付き太陽電池セル１００は、絶縁性基板１１の表面上の第１の配線材１６によって裏面電極型太陽電池セル２０の複数が電気的に接続されることにより構成されている。また、図１に示す配線シートは、絶縁性基板１１の表面上に第１の配線材１６が設けられることにより、太陽電池セルを配置するためのセル配置部が第１方向と該第１方向と異なる第２方向とにそれぞれ複数配列された構成を有している。なお、図１においては、第１方向と第２方向とは直交しているが、上記のように第１方向と第２方向とは必ずしも直交するものではない。また、このように第１方向と第２方向とが直交する場合は、第１方向を列方向、第２方向を行方向と表現することもできる。
【００１９】
以上のような構成の図１に示される配線シート付き太陽電池セル１００においては、複数の裏面電極型太陽電池セル２０は、絶縁性基板１１の表面上において、通電経路が蛇行するようにして電気的に直列に接続されることになる。
【００２０】
上記裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの配置関係を図２に示す。図２は、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００の列の一部に相当する。図２に示されるように、配線シート１０の第１の配線材１６は各セル配置部において互いに絶縁された第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを含む。第１導電型用配線（第１配線ということがある）は、後述する裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極を電気的に接続するための配線であり、第２導電型用配線（第２配線ということがある）は、第２導電型用電極を電気的に接続するための配線である。、これらの第１導電型用配線と第２導電型用配線とは、第１方向に沿って交互に配列された交互配列部を含むことがある。図２においては、第１導電型用配線１２の櫛歯に相当する部分と第２導電型用配線１３の櫛歯に相当する部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるように第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３がそれぞれ配置されている。その結果、櫛形状の第１導電型用配線１２の櫛歯に相当する部分と櫛形状の第２導電型用配線１３の櫛歯に相当する部分とはそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置されている交互配列部が形成されている。また、図２において交互配列部の第１方向に沿った両端部の一方には、第１導電型用配線１２が配置され、他端には第２導電型用配線１３が配置されている。
【００２１】
そして、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上においては、櫛歯に相当する部分が噛み合わさるように所定の間隔をあけて配置され、第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との組み合わせからなるセル配置部１９が絶縁性基材１１の表面の一方向に並べられている。ここで、図２においては、図１に示す配線シート付き太陽電池セルの一部を示しており、セル配置部１９が３つで構成されているが、これに限られるものではなく、図１に示すように、セル配置部１９は、絶縁性基材１１の表面に隣接して配置されている他のセル配置部１９と電気的に接続されていてもよい。
【００２２】
そして、図２に示される構成の配線シート１０の表面上に裏面電極型太陽電池セル２０を設置することによって図１に示す配線シート付き太陽電池セルを作製することができる。本発明は、このような裏面電極型太陽電池セル２０を配置し、後の太陽電池モジュールの製造工程を経ても寸法精度が維持される配線シートに関する。以下に、本発明の配線シートについて説明する。
【００２３】
（配線シート）
図３に本実施の形態１の配線シートの配線材形状の模式的な平面図を示す。本発明の配線シート１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の表面上に設置された第１の配線材１６とを有する。
【００２４】
第１の配線材１６は、各セル配置部において互いに絶縁された第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを含む。上述のように、第１導電型用配線は、後述する裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極を電気的に接続するための配線であり、第２導電型用配線は、第２導電型用電極を電気的に接続するための配線である。図３においては、第１導電型用配線１２の櫛歯に相当する部分と第２導電型用配線１３の櫛歯に相当する部分とがそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置されている。
【００２５】
そして、絶縁性基材１１の表面上において、１つの裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極と第２導電型用電極にそれぞれ接続される第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との組み合わせからなるセル配置部が絶縁性基材１１の表面の第２方向に並べられて構成されている。ここで、それぞれの第２方向に並べられた第１の配線材１６は、絶縁性基材１１の表面の第２方向に隣接して並べられた第１の配線材１６と、配線シートの第２方向の端部のセル配置部において電気的に接続されている。図３においては、上記１つの裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極に接続される第１導電型用配線１２と第２導電型用電極に接続される第２導電型用配線１３との組み合わせからなるセル配置部が、３行４列配置されていることになる。
【００２６】
本発明の配線シートにおいては、第２方向または第１方向に隣接する太陽電池セルを接続できるように第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とが組み合わされた配線パターンであれば、そのパターンは特に限定されないが、以下の説明においては、上記配線シート１０の第２方向の端部のセル配置部であって、第１方向に隣り合う裏面電極型太陽電池セルに対応する配線が、一方の裏面電極型太陽電池セルに対応する第１導電型用配線と他方の裏面電極型太陽電池セルに対応する第２導電型用配線とが電気的に接続されるパターンを有する場合について説明する。
【００２７】
図３において、第１方向に隣り合う２つの裏面電極型太陽電池セルに対応する配線は、いずれも図３に向かって左端の太陽電池セルの第２導電型用電極に対応する位置に第２導電型用配線１３が配置され、向かって右端に第１導電型用配線１２が配置されるパターンを有する。そして、上記第１方向に隣り合う２つの裏面電極型太陽電池セルに対応する配線においては、一方の裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極を接続するための第２導電型用配線１３と他方の裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極を接続するための第１導電型用配線１２とが、この順で並ぶパターンが形成されている。
【００２８】
上記配線形状を有する配線シートにおいて、第１方向に隣り合う太陽電池セルを直列に接続するには、たとえば、上記第２導電型用配線と第１導電型用配線とを、第２方向の端部において配線部１８により接合すればよい。この場合、第２導電型用配線と第１導電型用配線の少なくとも一部が配線部１８により電気的に接続されればよく、図３に示すように第１方向に隣り合う第２導電型用配線と第１導電型用配線とが第２方向にわたり全面で接続されている態様としてもよい。
【００２９】
上記接続部１８は、接続部１８が隣接する第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを電気的に接続するように形成することができるものであればその形状等は特に限定されず、また、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３などの第１の配線材１６と別々に分けて形成されてもよく、第１の配線材１６と一体化されて形成されてもよい。
【００３０】
ここで、絶縁性基材１１の材質としては、電気絶縁性の材質であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：polyethylene terephthalate）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ：polyethylene naphthalate）、ポリイミド（ＰＩ、polyimide）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：polyphenylene sulfide））、およびポリビニルフルオライド（ＰＶＦ：polyvinyl fluoride）からなる群から選択される少なくとも１種の樹脂を含む材質を用いることができる。上記絶縁性基材１１の材質のなかでも、ＰＥＴ、ＰＥＮまたはＰＩを用いる場合は、後述の第２の配線材を設けることによる効果が大きい。
【００３１】
また、絶縁性基材１１の厚さは特に限定されず、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。なお、絶縁性基材１１は、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【００３２】
また、第１の配線材１６である第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の材質としては、電気導電性の材質のものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば、銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。
【００３３】
また、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さもそれぞれ特に限定されず、たとえば５μｍ以上７５μｍ以下とすることができる。
【００３４】
また、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形状も、上記のように隣接する列間における第１導電型用配線と第２導電型用配線との配置関係を満足する限り、それぞれ上述した形状に限定されず、適宜設定することができるものであることは言うまでもない。
【００３５】
また、第１導電型用配線１２の少なくとも一部の表面および／または第２導電型用配線１３の少なくとも一部の表面には、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂはんだ、およびＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む電気導電性物質を設置してもよい。この場合には、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３と後述する裏面電極型太陽電池セル２０の電極との電気的接続を良好なものとし、第１導電型用配線１２および／または第２導電型用配線１３の耐候性を向上させることができる傾向にある。
【００３６】
また、第１導電型用配線１２の少なくとも一部の表面および／または第２導電型用配線１３の少なくとも一部の表面には、たとえば黒化処理などの表面処理を施してもよい。
【００３７】
なお、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３もそれぞれ、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【００３８】
本発明の配線シート１０は、さらに絶縁性基材１１のセル配置部が設けられる面内に第２の配線材１５を有する。該第２の配線材は、第１の配線材が設けられる領域以外に設けられる。本実施の形態１においては、第１方向に隣り合うセル配置部間にいずれのセル配置部の第１導電型配線および第２導電型配線とも電気的に絶縁された第２の配線材を有する。具体的には図３に示すように、第２の配線材１５が、第１方向に隣り合う裏面電極型太陽電池セルに対応するセル配置部間であって、第１の配線材１６と接触しない位置に設けられることを特徴とする。
【００３９】
本発明の配線シート１０を構成する絶縁性基材１１は熱により伸縮する傾向があり、第１の配線材１６は熱により膨張し、一度膨張した形状を維持するので、このような材料の熱による伸縮差に起因して第１の配線材１６の有無により絶縁性基材１１に部分的に寸法歪みが発生し、上記セル配置部の配列が所望の位置からずれる虞がある。したがって、太陽電池セルを配線シートに配置する工程において配線シートと太陽電池セルの裏面電極との位置合わせを精度よく行なうためには、位置を確認する工程を追加する必要がある等、製造効率の低下が懸念される。また、第１の配線材１６が設けられる領域以外の領域においては絶縁性基材１１が物理的に薄くなり、熱による伸縮のストレスがこのように薄い部分に集中してしまい、配線シートの部分的な歪みにより第１方向に隣接する太陽電池セルに対応する配線同士が接触して短絡することが懸念される。一方、本発明の配線シートは、上記第２の配線材１５を有することによって、該部材の熱特性の向上や、該部材を設けることによる配線シートの絶縁性基材の厚みの増大により、配線シート全体の熱伸縮差が略均一なものとなり、寸法精度が良好に維持される。
【００４０】
第２の配線材１５としては、後述の第１の配線材１６を構成する材質と同様の材質を採用することができ、たとえば、導電性の材料である銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。また、絶縁性の材料により構成してもよく、製造工程の熱処理温度に対する耐熱性を有する材料としてたとえば、ＰＥＮ、ＰＩ、ＰＥＴなどを用いることができる。これらの材料は第２の配線材１５を設ける位置により、すなわち、太陽電池セル間の電気的接続の要否により導電性または絶縁性を選択して用いる。
【００４１】
なお、この第２の配線材１５が、セル配置部および接続部のいずれにも接触しない本実施の形態１においては、導電性および絶縁性のいずれの材料も用いることができる。
【００４２】
以下に、図３に示される構成の配線シート１０の製造方法の一例について説明する。まず、たとえばＰＥＴフィルムなどの絶縁性基材１１を用意し、その絶縁性基材１１の一方の表面の全面にたとえば金属箔または金属プレートなどの電気導電性物質を貼り合わせる。
【００４３】
次に、絶縁性基材１１の表面に貼り合わされた電気導電性物質の一部をフォトエッチングなどにより除去して電気導電性物質をパターニングすることによって、絶縁性基材１１の表面上にパターニングされた電気導電性物質からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３から構成された第１の配線材１６を形成する。
【００４４】
また、上記第２の配線材１５は、上記第１の配線材１６と同様の材料を用いる場合、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形成の際に、フォトエッチングなどによりパターニングして形成することができる。以上により、図３に示される構成の配線シート１０を作製することができる。
【００４５】
ここで、上記接続部１８の材質としては、電気導電性の材質のものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば、銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。
【００４６】
また、接続部１８の厚さは特に限定されず、たとえば５μｍ以上７５μｍ以下とすることができる。
【００４７】
また、接続部１８の形状も上述した形状に限定されず、適宜設定することができるものであることは言うまでもない。
【００４８】
また、接続部１８の少なくとも一部の表面にも、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂはんだ、およびＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む電気導電性物質を設置してもよい。この場合には、接続部１８の電気的接続を良好なものとし、接続部１８の耐候性を向上させることができる傾向にある。
【００４９】
また、接続部１８の少なくとも一部の表面にも、たとえば黒化処理などの表面処理を施してもよい。また、接続部１８は、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【００５０】
（裏面電極型太陽電池セル）
図４に、図１および図２に示される裏面電極型太陽電池セル２０の一例の模式的な断面図を示す。図４に示される裏面電極型太陽電池セル２０は、たとえばｎ型またはｐ型の導電型を有するシリコン基板などの半導体基板２１と、裏面電極型太陽電池セル２０の受光面となる半導体基板２１の凹凸表面上に形成された反射防止膜２７と、裏面電極型太陽電池セル２０の裏面となる半導体基板２１の裏面に形成されたパッシベーション膜２６とを有している。
【００５１】
また、半導体基板２１の裏面には、第１導電型不純物が拡散して形成された第１導電型不純物拡散領域２２と第２導電型不純物が拡散して形成された第２導電型不純物拡散領域２３とが所定の間隔を空けて交互に形成されているとともに、半導体基板２１の裏面のパッシベーション膜２６に設けられたコンタクトホールを通して第１導電型不純物拡散領域２２に接する第１導電型用電極２４および第２導電型不純物拡散領域２３に接する第２導電型用電極２５がそれぞれ設けられている。上記第１導電型または第２導電型がｎ型の場合は不純物としてたとえばリンなどを用い、ｐ型の場合はたとえばボロンなどを不純物として用いればよい。
【００５２】
ここで、ｎ型またはｐ型の導電型を有する半導体基板２１の裏面には、第１導電型不純物拡散領域２２または第２導電型不純物拡散領域２３と半導体基板２１内部との界面において複数のｐｎ接合が形成されることになる。半導体基板２１がｎ型またはｐ型のいずれの導電型を有していても、第１導電型不純物拡散領域２２および第２導電型不純物拡散領域２３はそれぞれ半導体基板２１内部と接合していることから、第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５はそれぞれ半導体基板２１の裏面に形成された複数のｐｎ接合にそれぞれ対応する電極となる。なお、半導体基板２１の導電型を問わず、近接する第１導電型不純物拡散領域２２と第２導電型不純物拡散領域２３との接触によりｐｎ接合が形成されてもよい。
【００５３】
図５（ａ）に、図４に示される裏面電極型太陽電池セル２０の半導体基板２１の裏面の一例の模式的な平面図を示す。図５（ａ）に示すように、第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５はそれぞれ同一方向に伸長する帯状に形成されており、半導体基板２１の裏面において上記の伸長方向と直交する方向にそれぞれ１本ずつ交互に配置されている。この交互に配置される第１導電型用電極と第２導電型用電極とは、図５（ａ）に示すように帯状の長さ方向に凹凸を有する配置としてもよいし、図５（ｂ）の図４に示される裏面電極型太陽電池セル２０の半導体基板２１の裏面の他の一例の模式的な平面図に示されるように、帯状の両端が揃うように配置してもよい。
【００５４】
ここで、裏面電極型太陽電池セル２０の裏面の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５のそれぞれの形状および配置は、図５（ａ）、図５（ｂ）に示す構成に限定されず、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３と対応してそれぞれ電気的に接続可能な形状および配置であればよい。
【００５５】
上記半導体基板２１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型の導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板などを用いることができる。また、第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５としてはそれぞれ、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができる。パッシベーション膜２６としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができる。上記反射防止膜２７としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができる。
【００５６】
なお、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板２１の一方の表面（裏面）のみに第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal Wrap Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面と反対側の裏面から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
【００５７】
上述した裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５はそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との組み合わせからなるセル配置部と、たとえば図６の模式的平面図および図７の模式的断面図に示すように電気的に接続されることになる。なお、図７は、配線シート１０と裏面電極型太陽電池セル２０とを電気的に接続した状態を図６のＶＩＩ−ＶＩＩに沿った方向の断面により模式的に示した図である。
【００５８】
すなわち、図６および図７に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４の櫛形状の櫛歯に相当する部分と配線シート１０の第１導電型用配線１２の櫛形状の櫛歯に相当する部分とが重ね合わされて接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５の櫛形状の櫛歯に相当する部分と配線シート１０の第２導電型用配線１３の櫛形状の櫛歯に相当する部分とが重ね合わされて接続されることによって、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００が作製されることになる。
【００５９】
（配線シート付き太陽電池セルの製造方法）
配線シート付き太陽電池セル１００の製造方法の一例を上記図１および図２を用いて説明する。ここで、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００は、図２に示される構成の配線シート１０の表面上のセル配置部に裏面電極型太陽電池セル２０を設置することによって作製することができる。そして、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４は配線シート１０の第１導電型用配線１２と電気的に接続され、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５は配線シート１０の第２導電型用配線１３と電気的に接続されることになる。
【００６０】
以上のように、上記本発明の配線シートにより裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続することによって、たとえば図１に示される構成の配線シート付き太陽電池セルが作製される。この配線シート付き太陽電池セル１００においては、複数の裏面電極型太陽電池セル２０が、絶縁性基板１１の表面上において、電気的に直列に接続されることになる。
【００６１】
（太陽電池モジュール）
図８（ａ）および図８（ｂ）に、本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例を図解する模式的な断面図を示す。以下、図８（ａ）および図８（ｂ）を参照して、上述のようにして作製された配線シート付き太陽電池セルを用いた本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例について説明する。
【００６２】
まず、図８（ａ）に示すように、配線シート付き太陽電池セルの裏面電極型太陽電池セル側に第１の透明樹脂３１ａを備えた透明基板３３を設置するとともに、配線シート付き太陽電池セルの配線シート側に第２の透明樹脂３１ｂを備えた裏面保護シート３２を設置する。ここで、配線シート付き太陽電池セルとしては、上述のようにして複数の太陽電池セルを電気的に接続して作製された配線シート付き太陽電池セルの他、複数の分割された配線シート付き太陽電池セルを電気的に接続して作製された配線シート付き太陽電池セルを用いてもよい。
【００６３】
次に、第１の透明樹脂３１ａを配線シート付き太陽電池セルの各裏面電極型太陽電池セルに圧着させるとともに、第２の透明樹脂３１ｂを配線シート付き太陽電池セルの配線シートに圧着させた状態で加熱処理することによって、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとを一体化させて硬化させる。これにより、図８（ｂ）に示すように、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとが一体化してなる封止材３１中に上記の配線シート付き太陽電池セルが封止されてなる本発明の太陽電池モジュールの一例が作製される。
【００６４】
図８（ｂ）に示す太陽電池モジュールにおいては、封止材３１の伸縮力によって裏面電極型太陽電池セルが配線シートに強く圧着され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極２４と配線シートの第１導電型用配線１２との圧着および裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極２５と配線シートの第２導電型用配線１３との圧着がそれぞれ強化されて、個々の裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との間に良好な電気的接続が得られることになる。
【００６５】
ここで、配線シート付き太陽電池セルを封止材３１中に封止するための圧着および加熱処理は、たとえばラミネータと呼ばれる真空圧着および加熱処理を行なう装置などを用いて行なうことができる。たとえばラミネータにより第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂを熱変形させ、第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂを熱硬化させることにより、これらの透明樹脂が一体化されて封止材３１が形成され、封止材３１中に上記の配線シート付き太陽電池セルが包み込まれるようにして封止されることになる。
【００６６】
なお、真空圧着とは、大気圧よりも減圧した雰囲気下で圧着させる処理のことである。ここで、圧着方法として真空圧着を用いた場合には、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとの間に空隙が形成されにくくなり、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとを一体化して形成された封止材３１中に気泡が残留しにくくなる傾向にある点で好ましい。また、真空圧着を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の均一な圧着力の確保に有利となる傾向にもある。
【００６７】
ここで、透明基板３３としては、太陽光に対して透明な基板であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ガラス基板などを用いることができる。
【００６８】
また、第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂとしては、太陽光に対して透明な樹脂を特に限定なく用いることができ、なかでも、エチレンビニルアセテート樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、オレフィン系樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂およびゴム系樹脂からなる群から選択された少なくとも１種の透明樹脂を用いることが好ましい。この場合には、封止材３１が耐候性に優れるとともに、太陽光の透過性が高くなるため、太陽電池モジュールの出力（特に、短絡電流または動作時電流）を大きく損なうことなく十分な強度で透明基板３３に固着させることができる。これにより、太陽電池モジュールの長期信頼性を確保することができる傾向にある。
【００６９】
なお、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとはそれぞれ同一種類の透明樹脂を用いてもよく、異なる種類の透明樹脂を用いてもよい。
【００７０】
また、上記の配線シート付き太陽電池セルを封止材３１中に封止する際の加熱処理は、たとえば、第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂがそれぞれエチレンビニルアセテート樹脂からなる場合には、たとえば１００℃以上２００℃以下の温度に第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂをそれぞれ加熱することにより行なうことができる。
【００７１】
また、裏面保護シート３２としては、封止材３１の裏面を保護することができるものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば従来から用いられているＰＥＴなどの耐候性フィルムを用いることができる。
【００７２】
また、封止材３１中への水蒸気や酸素の透過を十分に抑制して長期的な信頼性を確保する観点から、裏面保護シート３２は、たとえばアルミニウムなどの金属フィルムを含んでいても良い。
【００７３】
また、太陽電池モジュールの端面などの裏面保護シート３２を密着させることが難しい部分にはたとえばブチルゴムテープなどの水分透過防止テープを用いて完全に密着させることもできる。
【００７４】
また、上記のようにして作製された本発明の太陽電池モジュールの一例においては、たとえばアルミニウム合金などからなるフレームが太陽電池モジュールの外周を取り囲むようにして取り付けられていてもよい。
【００７５】
なお、本発明の配線シート、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールはそれぞれ上記の構成に限定されず、様々な構成にすることができることは言うまでもない。
【００７６】
第２の配線材１５の形状について、図９および図１０に図３の破線部分の配線パターンと第２の配線材との位置関係を示す一例の模式的な平面図すなわち、配線シートの第２方向の端部であって第１方向に隣接する太陽電池セルに対応するセル配置部における配線材および上記第２の配線材の配置の例を示す。上記第２の配線材１５は、配線シートの第２方向端部において図３および図９に示すように棒状の第２の配線材１５ａとしてもよく、また、たとえば図１０に示すように、第１方向に隣接する太陽電池セルに対応する配線材の第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３の領域以外を埋めるようにＬ字型の第２の配線材１５ｂを形成してもよい。
【００７７】
また、本発明の配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールにおいて、太陽電池セルおよび配線シートの電気的接続はそれぞれ、全て直列の場合について説明したが、直列、並列、または直列と並列とを組み合わせた電気的接続としてもよい。
【００７８】
（作用）
以上のように、本発明においては、配線シートを構成する絶縁性基材上に上記第２の配線材を有するので、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの製造工程における熱等の処理により、太陽電池セルの位置ずれが起こることが無く、配線シートの配線材と裏面電極型太陽電池せるの各電極との接触を良好なものとすることができる。
【００７９】
＜実施の形態２＞
本実施の形態２は、上記実施の形態１における上記第２の配線材が、複数の部材の複合体として形成される以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は省略する。
【００８０】
図１１〜図１５に、図９に示される第２の配線材の形態の例を示す模式的な平面図を示す。
【００８１】
上記第２の配線材１５は、図１１に示すように、第１方向に平行に配列された短冊状の第２の配線材１５ｃの複合体とすることができる。また、図１２に示すように、第２方向に垂直な短冊状の第２の配線材１５ｄの複合体とすることができる。さらに、図１１および図１２の形態を組み合わせて、図１３に示すように第２方向に平行に配列された短冊状の第２の配線材１５ｆと、第２方向に垂直な短冊状の第２の配線材１５ｅとの複合体としてもよい。また、図１３に示す形態において、これらの部材は第１方向に平行な場合に限られず、図１４に示すように、上記短冊が第２方向に対して傾いた形態の第２の配線材１５ｇおよび第２の配線材１５ｈとの複合体としてもよい。さらにまた、上記部材は棒状の部材の複合に限られず、図１５に示すように、湾曲した形状の第２の配線材１５ｉの複合体としてもよい。これらの複合体は例示にすぎず、上記形態を組み合わせて、たとえば、図１５に示す湾曲した形状の第２の配線材１５ｉと図１２に示す第２方向に垂直な短冊状の第２の配線材１５ｄとの複合体なども本発明に含まれる。
【００８２】
上記種々の第２の配線材１５は、上記絶縁性基材において部分的な熱伸縮差が生じることにより配線シートの一部が歪むことを抑制する場合に効果的である。上記各部材の形状は、絶縁性基材の熱伸縮特性に合わせて選択することができ、第１方向に伸縮する場合は、たとえば図１２に示す形態の複合体を用いることで、第１方向の伸縮を抑制すればよい。
【００８３】
＜実施の形態３＞
本実施の形態３は、上記第２の配線材が、セル配置部すなわち第１の配線材１６と一体化して形成される以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は省略する。
【００８４】
図１６に示すように、本実施の形態３においては、上記第２の配線材１５が、第１方向において隣り合うセル配置部間において、いずれか一方のセル配置部の第１配線または第２配線と一体化された形態であり、いずれか一方のセル配置部の第１配線または第２配線の一部の配線幅がその他の配線幅よりも大きくなるように形成される。この場合、上記第２の配線材１５は、第１の配線材１６と同一の材質として、配線材を形成する際に同時に絶縁性基材１１上に形成することができる。
【００８５】
本実施の形態３においても、各部材を上記実施の形態２に記載の複合体として形成することができる。
【００８６】
＜実施の形態４＞
本実施の形態４は、セル配置部間に第１配線および第２配線と電気的に絶縁された第２の配線材を有する場合であって、上記第２の配線材が、２行２列の４つの太陽電池セルに対応するセル配置部に囲まれた領域であって、第１の配線材１６と接触しない位置に設けられる以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は省略する。
【００８７】
図１７に示すように、上記第２の配線材１５を、２行２列の４つの太陽電池セルに対応するセル配置部に囲まれた領域に設ける場合は、実施の形態１のように第１方向に隣接する太陽電池セルに対応するセル配置部間の全体にわたり形成される場合に比べて、上記部材による第１方向に隣接する太陽電池セル間の電位差への影響を抑制できるので好ましい。特に、第２の配線材１５が導電性の材質の場合は、本実施の形態４によれば上記電位差に与える影響は考慮する必要がないので好ましい。
【００８８】
また、本実施の形態４においても、各部材を上記実施の形態２に記載の複合体として形成することができる。
【００８９】
＜実施の形態５＞
本実施の形態５は、上記第２の配線材が、上記配線材の接続部と接触するように形成される以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は省略する。
【００９０】
本実施の形態５においては、図１８に示すように、第２の配線材１５が第１方向に隣接する太陽電池セルに対応するセル配置部間の全体にわたり形成され、かつ第１の配線材１６の接続部１８と接触するように形成される。この場合、上記実施の形態３と同様、第２の配線材１５が、接続部１８を同一の材質として、接続部を形成する際に同時に絶縁性基材１１上に形成することができる。また、接続部１８を第１の配線材１６と一体化させて同一の材質により形成すれば、上記第２の配線材１５と第１の配線材１６と接続部１８とを１の工程で形成することが可能となり、好ましい。
【００９１】
本実施の形態５においても、各部材を上記実施の形態２に記載の複合体として形成することができる。
【００９２】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、上述の各実施の形態の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
【００９３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明によれば、寸法精度が高く、太陽電池モジュールの出力効率および製造効率を向上させることができる配線シート、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１０  配線シート、１１  絶縁性基板、１２  第１導電型用配線、１３  第２導電型用配線、１５，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，１５ｅ，１５ｆ，１５ｇ，１５ｈ，１５ｉ  第２の配線材、１６  第１の配線材、１８  接続部、１９  セル配置部、２０  裏面電極型太陽電池セル、２１  半導体基板、２２  第１導電型不純物拡散領域、２３  第２導電型不純物拡散領域、２４  第１導電型用電極、２５  第２導電型用電極、２６  パッシベーション膜、２７  反射防止膜、３１  封止材、３１ａ  第１の透明樹脂、３１ｂ  第２の透明樹脂、３２  裏面保護シート、３３  透明基板、１００  配線シート付き太陽電池セル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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