(57)【要約】【課題】パターン膜領域の周縁部のパターン膜の欠落を防止する。【解決手段】基材上にパターン膜領域を区画する区画部を形成する区画部形成工程と、前記パターン膜領域の周縁部に向けて前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、前記パターン膜領域の中央部に向けて前記パターン膜の材料となる前記液状体を液滴として吐出する第２吐出工程と、前記液状体を熱乾燥によって固化させて前記パターン膜を形成する本乾燥工程と、を有し、前記第１吐出工程と前記第２吐出工程との間に、前記パターン膜領域に塗布された前記液状体を固化しない程度に乾燥する仮乾燥工程を含む。【選択図】図５
2010005547.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上にパターン膜の領域を区画する区画部を形成する区画部形成工程と、
前記パターン膜領域の周縁部の少なくとも一部に向けて前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、
前記パターン膜領域の中央部に向けて前記パターン膜の材料となる前記液状体を液滴として吐出する第２吐出工程と、
前記液状体を熱乾燥によって固化させて前記パターン膜を形成する本乾燥工程と、を有し、
前記第１吐出工程と前記第２吐出工程との間に、前記パターン膜領域に塗布された前記液状体を固化しない程度に乾燥する仮乾燥工程を含むことを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記仮乾燥工程では、前記液状体が固化しない程度に前記液状体を加熱することを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記仮乾燥工程では、前記第１吐出工程と前記第２吐出工程との間に、前記液状体が固化しない程度に所定期間を空けることを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項４】
請求項２または３に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記第１吐出工程の後に、前記第２吐出工程を行うことを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記第１吐出工程において吐出される液滴の量は、前記第２吐出工程において吐出される液滴の量と比較して少量であることを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法において、
前記区画部形成工程では、
前記パターン膜領域の周縁部に対応する前記区画部の側壁面に親液処理を施す親液処理工程を含むことを特徴とするパターン形成部材の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のパターン形成部材の製造方法よって製造されたパターン形成部材。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン形成部材を備えた電気光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成部材、パターン形成部材の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン形成部材としてのカラーフィルタの製造方法は、例えば、インクジェット法を用いて、ガラス基材等に形成された区画部によって区画された各パターン膜領域内に向けて、パターン膜の材料となる液状体を吐出する製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８１３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、パターン膜領域に向けて液状体を液滴として吐出した際、パターン膜領域の周縁部に塗布された液状体が、パターン膜領域の中央部に塗布された液状体に凝縮されてしまい、パターン膜領域の周縁部に液状体が残らず、パターン膜領域においてパターン膜の欠落が発生してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるパターン形成部材の製造方法は、基材上にパターン膜の領域を区画する区画部を形成する区画部形成工程と、前記パターン膜領域の周縁部の少なくとも一部に向けて前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、前記パターン膜領域の中央部に向けて前記パターン膜の材料となる前記液状体を液滴として吐出する第２吐出工程と、前記液状体を熱乾燥によって固化させて前記パターン膜を形成する本乾燥工程と、を有し、前記第１吐出工程と前記第２吐出工程との間に、前記パターン膜領域に塗布された前記液状体を固化しない程度に乾燥する仮乾燥工程を含むことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、区画部によって区画されたパターン膜領域の周縁部と中央部に向けてそれぞれ液状体を液滴として吐出する（第１吐出工程、第２吐出工程）。ここで、第１吐出工程と第２吐出工程との間に、塗布された液状体を乾燥して粘度を高くする（仮乾燥工程）。そうすると、周縁部に塗布された液状体と中央部に塗布された液状体とが混ざり合っても、互いに引き合って凝縮しようとする力が低減されるので、液状体は塗布された位置で保持されやすくなる。従って、パターン膜領域の周縁部に塗布された液状体は、パターン膜領域の周縁部において塗布された位置に残存し、この状態で本乾燥することにより、色素膜領域の周縁部においてパターン膜を形成し、パターン膜の欠落のないパターン形成部材を製造することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるパターン形成部材の製造方法は、前記仮乾燥工程では、前記液状体が固化しない程度に前記液状体を加熱することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、塗布された液状体を加熱乾燥することにより、液状体の粘度を素早く高めることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるパターン形成部材の製造方法は、前記仮乾燥工程では、前記第１吐出工程と前記第２吐出工程との間に、前記液状体が固化しない程度に所定期間を空けることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、第１吐出工程と第２吐出工程との間に所定の期間をあけることにより、自然乾燥によって液状体の粘度を高めることができる。従って、別に加熱装置等を必要とせず、容易にパターン膜を形成することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかるパターン形成部材の製造方法は、前記第１吐出工程の後に、前記第２吐出工程を行うことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、パターン膜領域の周縁部に塗布された液状体の粘度を中央部に塗布された液状体の粘度よりも高くすることができる。すなわち、パターン膜が欠落しやすいパターン膜領域の周縁部に対する液状体の粘度を高め、液状体を周縁部に残存させることにより、確実に周縁部にパターン膜を形成することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかるパターン形成部材の製造方法では、前記第１吐出工程において吐出される液滴の量は、前記第２吐出工程において吐出される液滴の量と比較して少量であることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、パターン膜領域の周縁部に塗布された液状体の量を少量にすることにより、パターン膜領域の周縁部に塗布された液状体の粘度を速やかに高めることができる。そして、これにより、加工工数を短縮させることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかるパターン形成部材の製造方法は、前記区画部形成工程では、前記パターン膜領域の周縁部に対応する前記区画部の側壁面に親液処理を施す親液処理工程を含むことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、パターン膜領域の周縁部に塗布された液状体の濡れ性を向上させることができる。
【００１８】
［適用例７］本適用例にかかるパターン形成部材は、上記のパターン形成部材の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００１９】
これによれば、パターン膜に欠陥のない高品位のパターン形成部材を提供することができる。この場合、パターン形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬの部材、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の部材等がこれに該当する。
【００２０】
［適用例８］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン形成部材を備えたことを特徴とする。
【００２１】
このような電気光学装置によれば、信頼性の高いパターン形成部材を備えることができる。この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００２２】
［適用例９］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２３】
このような電子機器によれば、信頼性の高い電気光学装置を搭載することができる。この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００２５】
（パターン形成部材の構成）
まず、パターン形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン形成部材としてのカラーフィルタの構成について説明する。図１は、カラーフィルタの構成を示し、図１（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２６】
図１（ａ），（ｂ）において、カラーフィルタ１は、基材１０と、基材１０の上に形成された区画部１１と、区画部１１によって区画されたパターン膜領域としての色素膜領域１６と、色素膜領域１６に形成されたパターン膜としての色素膜１４と、区画部１１と色素膜１４の上に形成された保護膜１８等で構成されている。
【００２７】
基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
【００２８】
（液滴吐出装置の構成）
次に、カラーフィルタ１の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。図２は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００２９】
図２において、液滴吐出装置３０は、色素膜１４の材料となる液状体を液滴として吐出するヘッド部５０を有するヘッド機構部３２と、ヘッド部５０から吐出された液滴の吐出対象である基材１０を載置するワーク機構部３３と、基材１０に塗布された液状体を加熱するための加熱装置としてのヒータ９０と、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４と、ヘッド部５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３６等を備えている。
【００３０】
液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２のヘッド部５０から連通して液状体を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３６が備えられている。
【００３１】
ヘッド機構部３２は、液状体を吐出するヘッド部５０と、ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ５４等を備えている。
【００３２】
ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、基材１０を載置している載置台６１と、載置台６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ６４等を備えている。
【００３３】
これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、ヘッド部５０の移動について説明する。ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１は、Ｙ軸ガイド５３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ５１からＹ軸リニアモータ５４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ５４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ５１がＹ軸ガイド５３に沿って任意の位置に移動する。同様に、載置台６１に搭載された基材１０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００３４】
このように、ヘッド部５０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にある基材１０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動する基材１０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部５０とを相対的に制御することにより、基材１０上に液状体を吐出することができる。
【００３５】
ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４は、タンク７５と、ポンプ７４と、タンク７５からポンプ７４を経てヘッド部５０までを接続する流路チューブ７９とを備えている。
【００３６】
次に、ヘッド部５０に備えられた吐出ヘッドの構造について説明する。図３は、吐出ヘッドの構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００３７】
図３（ａ）において、吐出ヘッド１１０は、振動板１１４と、ノズルプレート１１５を備えている。振動板１１４とノズルプレート１１５との間には、液溜まり１１６が配置され、孔１１８を介して供給される液状体が常に充填されるようになっている。また、振動板１１４と、ノズルプレート１１５との間には、複数の隔壁１１２が位置している。そして、振動板１１４と、ノズルプレート１１５と、一対の隔壁１１２とによって囲まれた部分がキャビティ１１１である。キャビティ１１１は、ノズル１２０に対応して設けられているため、キャビティ１１１の数とノズル１２０の数とは同じである。キャビティ１１１には、一対の隔壁１１２間に位置する供給口１１７を介して、液溜まり１１６から液状体が供給される。
【００３８】
図３（ｂ）に示すように、振動板１１４上には、それぞれのキャビティ１１１に対応して振動子１１３が取り付けられている。振動子１１３は、ピエゾ素子１１３ｃと、ピエゾ素子１１３ｃを挟む一対の電極１１３ａ、１１３ｂを有する。この一対の電極１１３ａ、１１３ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１２０から液状体が液滴１２１となって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子１１３の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴１２１として吐出することができる。
【００３９】
図２に戻り、次に、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモータ８３とを備えている。これにより、メンテモータ８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１がヘッド部５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿ってヘッド部５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００４０】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット８６は、液滴吐出装置３０が稼動していない時に、吐出ヘッド１１０に密着してキャッピングし、液状体が乾燥してノズル１２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット８７は、液状体の連続吐出後やキャッピング時にノズル１２０に付着した液状体などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット８８は、液滴吐出装置３０の稼動開始時や基材１０への加工前に、ノズル１２０から吐出される液状体を受け、ノズル１２０の吐出状態を常に良好な状態にする。
【００４１】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時や基材１０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド１１０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００４２】
これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。
【００４３】
ヒータ９０は、Ｘ軸ガイド６３上に配置され、載置台６１に載置された基材１０を覆う程度の大きさを有している。ヒータ９０は、例えば、赤外線ランプを備え、基材１０に塗布された液状体を加熱することができる。なお、他の加熱方法として、熱風を液状体に吹き付ける方法等も採用することができる。
【００４４】
次に、以上述べた構成を制御する制御部３６の構成について説明する。図４は、制御部３６の構成を示すブロック図である。制御部３６は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００４５】
駆動部１４０は、ヘッドドライバ１４１、モータドライバ１４２、ポンプドライバ１４３、メンテドライバ１４５及びヒータドライバ１４６から構成されている。モータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材１０、ヘッド部５０の移動を制御する。さらに、メンテモータ８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ１４１は、吐出ヘッド１１０からの液状体の吐出を制御し、モータドライバ１４２の制御と同調して、基材１０上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバ１４３は、液状体の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、吐出ヘッド１１０への供給を最適に制御する。そして、メンテドライバ１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御する。また、ヒータドライバ１４６は、ヒータ９０の駆動を制御する。
【００４６】
（パターン形成部材の製造方法）
次に、パターン形成部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、パターン形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。
【００４７】
図５（ａ）の区画部形成工程では、基材１０の上に区画部１１を形成する。区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法によって形成される。区画部１１の形成によって区画された領域は色素膜１４が形成される色素膜領域１６となる。
【００４８】
また、色素膜領域１６の基材１０の表面と区画部１１の側壁面１１ａに親液処理を施す（親液処理工程）。親液処理は、例えば、酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって行うことができる。また、区画部１１の頂部１１ｂに撥液処理を施す撥液処理工程を設けてもよい。撥液処理は、例えば、ＣＦ4プラズマ等で処理することができる。なお、本実施形態における親液処理とは、色素膜１４の材料となる液状体に対して親液効果を有する親液処理のことを言い、また、撥液処理とは、色素膜１４の材料となる液状体に対して撥液効果を有する撥液処理のことを言う。
【００４９】
図５（ｂ）の第１吐出工程では、吐出ヘッド１１０から色素膜領域１６の周縁部（仮想着弾ポイントＰ１）に向けて液状体１３ａを液滴１２１として吐出して、基材１０の面に液状体１２ａを付着させる。吐出される液滴１２１は比較的小さいドットで吐出され、色素膜領域１６の周縁部に塗布された液状体１２ａの液状体の量は比較的少ないものとする。塗布された液状体１２ａは、基材１０の面と区画部１１の側壁面１１ａに施された親液効果により色素膜領域１６の周縁部において濡れ広がり、色素膜領域１６の周縁部の基材１０の面は液状体１２ａによって覆われる。
【００５０】
図５（ｃ）の仮乾燥工程では、第１吐出工程が終了した後、液状体１２ａが固化しない程度に液状体１２ａを乾燥して、粘度が高くなった液状体１２ｂを形成する。本実施形態では、ヒータ９０を用いて熱乾燥する。なお、この仮乾燥工程では、液状体１２ａの粘度をやや高めることを目的とした工程であり、後に吐出される液滴１２１（液状体１３ａ）と容易に凝縮しない程度（容易に相溶しない程度）に粘度が高まるようにヒータ９０の加熱温度や加熱時間を任意に設定する。なお、本実施形態では、色素膜領域１６の周縁部に塗布された液状体１２ａは比較的少量なので、加熱温度を低く、また、加熱処理時間を比較的短くすることができる。なお、仮乾燥する方法は、ヒータ９０による加熱に限定されず、例えば、減圧（真空）乾燥であってもよい。
【００５１】
図５（ｄ）の第２吐出工程では、吐出ヘッド１１０から色素膜領域１６の中央部（仮想着弾ポイントＰ２）に向けて液状体１３ａを液滴１２１として吐出して、基材１０の面に液状体１３ａを付着させる。吐出される液滴１２１は比較的大きいドットで吐出し、色素膜領域１６の中央部に塗布された液状体１３ａの液状体の量は比較的多いものとする。
【００５２】
第２吐出工程において、液滴１２１が吐出されると、粘度が高い液状体１２ｂと液状体１３ａとが互いに混ざり合うことになる。ここで、液状体１２ｂは、加熱処理されているので、液状体１３ａに比べ粘度が高くなっている。このため、液状体１２ｂと液状体１３ａとが混ざり合っても、液状体１２ｂは、液状体１３ａ側に引きずられることなく、色素膜領域１６の周縁部に保持される。
【００５３】
図５（ｅ）の本乾燥工程では、液状体１２ｂ，１３ａを固化して色素膜１４を形成する。本乾燥工程において液状体１２ｂ，１３ａとが相溶しながら硬化し、最終的に固化された色素膜１４が形成される。
【００５４】
その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。
【００５５】
以上、上記の製造方法によって、カラーフィルタ１が形成される。
【００５６】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図６は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００５７】
図６において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１と、カラーフィルタ１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００５８】
カラーフィルタ１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００５９】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００６０】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図７は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図７において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００６１】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６２】
（１）まず、色素膜領域１６の周縁部に向けて液滴１２１を吐出して、当該周縁部に液状体１２ａを塗布した。そして、塗布された液状体１２ａを加熱して粘度を高くした（液状体１２ｂの形成）。これにより、その後に塗布された液状体１３ａと混じりあっても、周縁部に塗布された液状体１２ｂは、液状体１３ａに引きずり込まれて凝縮することなく、周縁部において残存する。従って、色素膜領域１６の周縁部に色素膜１４を形成することができ、色素膜１４の欠落が無いカラーフィルタ１を製造することができる。
【００６３】
（２）色素膜領域１６の周縁部に塗布された液状体１２ａは比較的少量なので、速やかに液状体１２ａの粘度を高めることができる。
【００６４】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００６５】
（変形例１）上記の実施形態では、第１吐出工程と第２吐出工程との間に、仮乾燥工程として液状体１２ａをヒータ９０によって加熱したが、これに限定されない。例えば、第１吐出工程と第２吐出工程との間に、所定期間を空けるようにしてもよい。このようにしても、自然乾燥によって液状体１２ａの粘度を高めることができる。さらに、この場合には、当該所定期間に他の吐出作業等を行うことが可能となるので、吐出作業性を向上させることができる。
【００６６】
（変形例２）上記の実施形態では、第１吐出工程の後に第２吐出工程を実施したが、これに限定されず、第２吐出工程の後に第１吐出工程を実施してもよい。この場合において、第２吐出工程において塗布された液状体の粘度を高めた後に、第１吐出工程を実施すればよい。このようにしても、凝縮する力が低減されるので、色素膜領域１６の周縁部に塗布された液状体を当該周縁部に残存しつつ色素膜１４を形成することができる。
【００６７】
（変形例３）上記の実施形態では、パターン形成部材としてカラーフィルタ１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Electro-Luminescence）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】カラーフィルタの構造を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図３】ヘッドの構造を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。
【図４】液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図５】カラーフィルタの製造方法を示す工程図。
【図６】液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図７】テレビ受像機の斜視図。
【符号の説明】
【００６９】
１…パターン形成部材としてのカラーフィルタ、１０…基材、１１…区画部、１１ａ…区画部の側壁面、１１ｂ…区画部の頂部、１２ａ，１２ｂ，１３ａ…液状体、１４…パターン膜としての色素膜、１６…パターン膜領域としての色素膜領域、３０…液滴吐出装置、９０…ヒータ、１１０…吐出ヘッド、１２１…液滴、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機。
【図１】
2010005547.tif 000003
【図２】
2010005547.tif 000004
【図３】
2010005547.tif 000005
【図４】
2010005547.tif 000006
【図５】
2010005547.tif 000007
【図６】
2010005547.tif 000008
【図７】
2010005547.tif 000009