(57)【要約】【課題】可動子が軽量で応答性が良い三相交流式可動磁石型リニアモータを提供する。【解決手段】三相交流式可動磁石型リニアモータ２において、三相の各電流が印加されるコイルユニット３６は、非磁性材料からなるコイル保持壁２４に取付けられ、マグネット構成体８ａ，ｂは、移動可能に案内され移動方向に平行な取付け面が形成された非磁性材料からなる可動ベース体６と、可動ベース体の移動方向に間隔を有して並べられ、固定子側２４に対向するようにＮ極及びＳ極が交互に着磁され間隔をおいて取付けられた複数の主マグネット４０,４２と、各主マグネットを前記移動方向に夫々挟むように配設された複数の補助マグネット４４とを備え、各補助マグネットは、各主マグネットと対向する側の磁極が、主マグネットが前記固定子側２４のコアレスコイル３０,３２,３４に対向する側の磁極と同じになるよう配置されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動方向に沿って複数の磁石が並べられたマグネット構成体を有する可動子側と、夫々１２０度ずつ位相のずれたｕ相、ｖ相及びｗ相の電流が印加される３つのコアレスコイルが並べられたコイルユニットが前記マグネット構成体の移動方向に並行に配列された固定子側とが、互いに磁気的空隙を介して対向するように配置された三相交流式可動磁石型リニアモータにおいて、
前記コイルユニットは、非磁性材料からなるコイル保持壁に取付けられ、
前記マグネット構成体は、移動可能に案内され移動方向に平行な取付け面が形成された非磁性材料からなる可動ベース体と、該可動ベース体の移動方向に間隔を有して並べられ、前記固定子側に対向するようにＮ極及びＳ極が交互に着磁され間隔をおいて取付けられた複数の主マグネットと、各前記主マグネットを前記移動方向に夫々挟むように配設された複数の補助マグネットとを備え、
各前記補助マグネットは、各前記主マグネットと対向する側の磁極が、前記主マグネットが前記固定子側のコアレスコイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されていることを特徴とする三相交流式可動磁石型リニアモータ。
【請求項２】
請求項１において、前記マグネット構成体の移動方向に平行な各前記コアレスコイルの全幅は、印加される電流位相の２４０度に対応し、
１つの前記コイルユニットの前記幅は、印加される電流位相の７２０度に対応し、
各前記コアレスコイルの各巻線部分の前記移動方向に平行な巻幅が印加される電流位相の６０度に対応し、
１つのコアレスコイルの前記移動方向に対となった巻線相互の間隔が、印加される電流位相の１２０度に対応し、
前記マグネット構成体における隣同士の一対の主マグネットとその間の補助マグネットとの前記移動方向の合計幅は、印加される電流位相の２４０度に対応すること
を特徴とする三相交流式可動磁石型リニアモータ。
【請求項３】
請求項１において、前記コイルユニットは、各前記コアレスコイルが、ｕ相、ｗ相、ｖ相の電流が印加される順に、かつｕ相が印加されるコアレスコイルの前記移動方向に対となった巻線相互の間に他の２相が印加されるコイルの一方の巻線部分を夫々配置することにより互いに近接するよう配列され、
１つの前記コイルユニットの全幅は、印加される電流位相の３６０度に対応するものであることを特徴とする三相交流式可動磁石型リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば工作機械、電気部品実装装置或いは半導体関連装置などの各種産業機械に使われる三相交流式リニアモータに関し、特に界磁を可動子とし、電機子を固定子として構成する三相交流式可動磁石型リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁石の方を可動子とし電機子（コアレスコイル）を固定子とする三相交流式可動磁石型リニアモータとして、特許文献１に記載されるものが知られている。これは、固定子として、駆動コイル、センサ及び通電制御回路を備える第１のコイルユニットと、駆動コイル及び通電制御回路を備えセンサを備えない第２のコイルユニットとを、前後方向位置を合致させて並列に配置するとともに、可動子として、第１及び第２コイルユニットに対応する２組の永久磁石を前後方向位置を合致させて並列に配置し、第１のコイルユニットのセンサから第１及び第２のコイルユニットの各通電制御回路に通電許可信号を出力する一方、第１のコイルユニットのセンサからの検出信号により、第１及び第２のコイルユニットの各通電制御回路を介して第１及び第２のコイルユニットの各駆動コイルへ通電するようにしたものである。可動子の永久磁石に発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に準ずるものである。（ただし、フレミングの左手の法則は駆動コイルに対して適用されるが、ここでは駆動コイルが固定のため、永久磁石に駆動コイルに作用する力の反力としての推力が発生する。）
【０００３】
このように、第１及び第２のコイルユニットを並列に配置し、それぞれに対向する２組の永久磁石を並列させて配置することによって、可動子の長さを増加させないことでストロークを減少させずに推力を増加させるものである。
【特許文献１】特開２００４−１６６３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献１の技術では、複数の永久磁石はマグネットヨークに固定されているため、可動子の質量が大きくなり応答性が悪いという不具合があった。また、可動磁石からの磁束が金属を横切ると、渦電流が発生して可動子の推力を減少させるという普遍的な問題も考慮する必要があった。
【０００５】
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたものであり、可動子が軽量で応答性が良い三相交流式可動磁石型リニアモータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、請求項１に係る発明の構成上の特徴は、移動方向に沿って複数の磁石が並べられたマグネット構成体を有する可動子側と、夫々１２０度ずつ電流位相のずれたｕ相、ｖ相及びｗ相の電流が印加される３つのコアレスコイルが並べられたコイルユニットが前記マグネット構成体の移動方向に並行に配列された固定子側とが、互いに磁気的空隙を介して対向するように配置された三相交流式可動磁石型リニアモータにおいて、コイルユニットが取付けられるコイル保持壁を非磁性材料とするとともに、前記マグネット構成体は、移動可能に案内され移動方向に平行な取付け面が形成された非磁性材料からなる可動ベース体と、該可動ベース体の移動方向に間隔を有して並べられ、前記固定子側に対向するようにＮ極及びＳ極が交互に着磁され間隔をおいて取付けられた複数の主マグネットと、各前記主マグネットを前記移動方向に夫々挟むように配設された複数の補助マグネットとを備え、各前記補助マグネットは、各前記主マグネットと対向する側の磁極が、前記主マグネットが前記固定子側のコアレスコイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されていることである。
【０００７】
請求項２に係る発明の構成上の特徴は、請求項１において、前記マグネット構成体の移動方向に平行な各前記コアレスコイルの全幅は、印加される電流位相の２４０度に対応し、１つの前記コイルユニットの前記幅は、印加される電流位相の７２０度に対応し、各前記コアレスコイルの各巻線部分の前記移動方向に平行な巻幅が印加される電流位相の６０度に対応し、１つのコアレスコイルの前記移動方向に対となった巻線相互の間隔が、印加される電流位相の１２０度に対応し、前記マグネット構成体における隣同士の一対の主マグネットとその間の補助マグネットとの前記移動方向の合計幅は、印加される電流位相の２４０度に対応することである。
【０００８】
請求項３に係る発明の構成上の特徴は、請求項１において、前記コイルユニットは、各前記コアレスコイルが、ｕ相、ｗ相、ｖ相の電流が印加される順に、かつｕ相が印加されるコアレスコイルの前記移動方向に対となった巻線相互の間に他の２相が印加されるコイルの一方の巻線部分を夫々配置することにより互いに近接するよう配列され、１つの前記コイルユニットの全幅は、印加される電流位相の３６０度に対応するものであることである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に係る発明によると、補助マグネットによって、主マグネットの磁力線の方向を偏向させることができるので、磁力線の遺漏を防止してマグネットヨークを省略させることができる。そのため、マグネットヨークに代えて低密度の非磁性材料を用いることにより可動子の軽量化により高応答化を図ることができる。
【００１０】
請求項２に係る発明によると、１２０度ずつ位相のずれた三相交流電源を使用して、各電流相のピーク毎に１２０度分又は２４０度分可動子を移動させてコアレスコイルと主マグネットに対向させ、同じ移動方向であるなら電流の向きを変える必要がないので、簡単な電流制御で極めて滑らかに可動子を移動させることができる。
【００１１】
請求項３に係る発明によると、各コアレスコイルを互いに近接するよう配列することで、１つのコイルユニットの全幅を印加される電流位相の３６０度に対応するものとすることができ、単に直列に各コアレスコイルを並べた場合に比べて、コイルユニットを取り付ける同じスペースで２つ分のコイルユニットを配置できるので、それぞれに同電流を印加することにより、同じスペースを使用したコイルユニットにより２倍の推力を得ることができる。また、コイルユニット部分が省スペースとなり、リニアモータ全体のコンパクト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係る三相交流式可動磁石型リニアモータの第１の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図１は三相交流式可動磁石型リニアモータ２の構造を断面で示した正面からの概念図であり、図２は同断面で示す側面からの概念図である。前記リニアモータ２は、固定子側の一次側要素と、一次側要素に対して相対移動可な可動子側の二次側要素とから構成されている。
【００１３】
この三相交流式可動磁石型リニアモータ２は、図１に示すように、例えば非磁性体であるアルミ合金製からなる中空箱型形状の可動ベース体としてのマグネット保持ベース６と、マグネット保持ベース６の両側面に取り付けられた永久磁石からなる複数のマグネット構成体８と、マグネット保持ベース６の両端開口部に夫々取付けられた図略の支持部と、からなる可動子１４を備え、この可動子１４によりリニアモータ２の二次側要素を構成している。この可動子１４の一方の支持部（図略）の端部（先端側端部）には、例えば工作物を高精度に切削加工するバイト等を保持する工具保持装置（図略）が取り付けられている。
【００１４】
また、三相交流式可動磁石型リニアモータ２は、前記可動子１４が相対移動するもので、かつ固定設置された非磁性体からなる図略の支持台を備えている。この支持台には、可動子１４の両端の支持部（図略）を油の静圧力によってＸ軸方向（可動子１４の移動方向）に摺動のみ可能に支持する流体軸受（図略）と、マグネット保持ベース６の下方及び側面（取付け面）７を囲むように配設された例えば非磁性体であるアルミ合金製のコイル保持壁２４が設けられている。コイル保持壁２４には、可動子１４の両側面に夫々対向する平壁部２０と該平壁部２０を繋ぐ底壁部２２とを備えている。コイル保持壁２４の平壁部２０の内壁面に、図２に示すように、各マグネット構成体８に夫々対向して取り付けられたコアレスコイルとしての各相コイル３０，３２，３４が設けられている。各相コイル３０，３２，３４は、例えばガラスエポキシからなる被巻回部２９に平角線により略矩形状に複数巻回されて形成される。また、被巻回部２９に接触するコイル保持部２７を樹脂製とすることで、金属を磁界が横切ることによって発生する渦電流を抑制している。また、底壁部２２には図略のリニア型位置センサが設けられ、可動子１４の支持台に対する相対的な移動位置を検出するようになっている。また、各相コイル３０，３２，３４とコイル保持壁２４との間には、例えばガラスエポキシ等による非常に薄い絶縁板（図略）が挿入されて電気的絶縁が図られている。また、コイル保持壁２４は、図４に示すように、冷却パイプ２８が内臓され、冷却パイプ２８の中には図略のポンプにより冷媒（例えば冷却水）が循環される。各相コイル３０，３２，３４は、電流の位相が１２０度ずつずれたｕ相、ｖ相、ｗ相の各相の電流が、それぞれ印加されるコイルが、可動子１４の移動方向にＵ相コイル３０、Ｗ相コイル３２、Ｖ相コイル３４の順で並べられて、コイルユニット３６が構成されている（図２参照）。
【００１５】
図３に示される各相コイル３０，３２，３４の前記移動方向の全幅Ｗｃは、図５に示す電流位相の略２４０度分に対応し、巻回されているコイルの該移動方向の巻幅Ｗｍは、同電流位相の６０度分に対応するよう構成されている。これは以下の理由による。各相コイル３０，３２，３４に印加される電流が、図５に示されるように、三相交流であるため、例えば或る磁極に対向したＵ相コイル３０は、三回の移動により同コイルが次の磁極に対向する。即ち、電流位相が３６０度変わる毎に磁石の磁場も３６０度移動していく。なお、コイルの巻幅Ｗｍは、６０度に対応するものに限定されるものでなく、例えば７０度、５５度等でもよい。
【００１６】
なお、各相コイル３０，３２，３４を取り付けたコイル保持壁２４によって、リニアモータ２の一次側要素（固定子側）を構成している。また、各相コイル３０，３２，３４は、それぞれ図略の三相交流電源の各相に連結される電流制御回路（図略）に接続され、電流制御回路は前記リニア型位置センサからの信号が図略の制御装置（ＣＰＵ）からの信号によって、交流電源からの電流値が制御されるようになっている。電流制御回路として、例えばＩＧＢＴ（Ｉｎｅｒｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等のスイッチング素子から構成される市販のアンプでよい。
【００１７】
また、多角筒状のマグネット保持ベース６は、実施形態においては４つの平面壁により４角筒状に構成され、図１及び図２に示すように、垂直壁３８の両側面（取付け面）７には第１及び第２のマグネット構成体８ａ、８ｂが、夫々取り付けられている。マグネット構成体８ａ、８ｂは、主マグネットとしての第１及び第２の永久磁石４０,４２と補助マグネットとしての補助磁石４４とから構成される。第１及び第２の永久磁石４０,４２は、例えば希土類より直方体形状に形成され、これらの永久磁石４０，４２は着磁方向（単体の磁石において対応する反対の極の中心を結ぶ線の方向）が、前記Ｘ軸方向に直角な方向となるよう配置されている。そして、図３に示すように、マグネット保持ベース６には、固定子側である各相コイル３０，３２，３４に対向するようにＮ極及びＳ極が交互に着磁され、例えば第１の永久磁石４０の外側がＮ極、内側がＳ極に、第２の永久磁石の外側がＳ極、内側がＮ極になるよう配設されている。また、第１の永久磁石４０と第２の永久磁石４２との間には補助磁石４４が、着磁方向を前記Ｘ軸方向に平行にして配設されている（言い換えれば、補助磁石４４は、第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２を挟むように配列されている）。各補助磁石４４は、第１の永久磁石に対向する側の磁極が、第１の永久磁石４０が各相コイル３０，３２，３４に対向する側の磁極であるＮ極と同じ極に、また、第２の永久磁石に対向する側の磁極が、第２の永久磁石４２が各相コイル３０，３２，３４に対向する側の磁極であるＳ極と同じ極になるよう配置されている。このように補助磁石４４を配置することにより、マグネット保持ベース側への磁束の漏洩を防止するとともに、各相コイル３０，３２，３４を横切る磁束数を増加させて、大きな推力を発揮させるようになっている。さらにはヨークレス化を実現させて、可動子１４の軽量化を図るとともに、固定子側もヨークレスとしているので、全体の軽量化も同時に図っている。なお、図３のａは磁石の磁場分布を示している。
【００１８】
次に、上記のように構成された三相交流式可動磁石型リニアモータ２の作動について、以下に説明する。このリニアモータ２においては、図５に示すような、１２０度ずつ位相のずれた三相交流の電流が印加される。まず、直流励磁で位相合わせを行うことにより、ｕ相、ｖ相及びｗ相の電流が流れる各相コイル３０，３２，３４を、図６に示す可動子１４の第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２に対向させ、図５に示す《1》の時点のタイミングで、電流が印加される。このときの電流位相を９０度とする。Ｕ相コイル３０にマグネット保持ベース６から見て時計回りに電流を流れ、Ｕ相コイル３０に対向する第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２は補助磁石４４により、磁束の漏洩が防止されるとともに磁束数が増加される。そして、対向する第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２とＵ相コイル３０との間で、フレミングの左手の法則に従いＵ相コイル３０には先端部側（図６において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図６において右側への推力が加わり可動子１４を右側へ移動させる。この移動位置は、リニア型位置センサ（図略）により検出され、検出位置の信号がＣＰＵに送られて、前記ＩＧＢＴ等により通電量が定められて可動子１４の移動量が制御される。
【００１９】
次に、前記推力によって、図７に示すように、電流位相の２１０度に対応する位置まで可動子１４は移動し、Ｖ相コイル３２が第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２に対向して、図５に示す《3》の時点でのタイミングで電流が印加される。上記と同様にフレミングの左手の法則に従いＶ相コイル３２には先端部側（図７において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図７において右側への推力が加わる。
【００２０】
次に、前記推力によって、図８に示すように、電流位相の３３０度に対応する位置まで可動子１４は移動し、Ｗ相コイル３４が第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２に対向して、図５に示す《5》の時点でのタイミングで電流が印加される。上記と同様にフレミングの左手の法則に従いＷ相コイル３４には先端部側（図８において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図８において右側への推力が加わる。
【００２１】
次に、前記推力によって、図９に示すように、電流位相の４５０度に対応する位置まで可動子１４は移動し、Ｕ相コイル３０が第２の永久磁石４２及び第１の永久磁石４０に夫々対向して、図５に示す《7》の時点でのタイミングで電流が印加される。Ｕ相コイル３０にマグネット保持ベース６から見て時計回りに電流を流れ、上記と同様にフレミングの左手の法則に従いＵ相コイル３０には先端部側（図９において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図９において右側への推力が加わる。          
【００２２】
なお、《1》《3》《5》《7》の位相で可動子１４が停止するように説明したが、これらが連続動作となっていることはいうまでもない。
【００２３】
上記構成の三相交流式可動磁石型リニアモータ２によると、補助磁石４４によって、第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２の磁力線の方向を偏向させることができるので、磁力線の遺漏を防止してマグネットヨークを省略させることができる。そのため、マグネットヨークに代えて低密度の非磁性材料を用いることにより可動子１４の軽量化によりリニアモータの高応答化を図ることができる。
【００２４】
また、１２０度ずつ位相のずれた三相交流電源を使用して、各電流相のピーク毎に１２０度分又は２４０度分可動子１４を移動させて各相コイル３０，３２，３４に第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２を対向させ、同じ移動方向であるなら電流の向きを変える必要がないので、簡単な電流制御で極めて滑らかに可動子１４を移動させることができる。
【００２５】
なお、移動開始時点と同じ位置にある振幅の電流が流れるような説明になっているが、時間に対する電流値がサインカーブとなるように電流の振幅値が制御されていることはもちろんである。
【００２６】
また、各相コイル３０，３２，３４に通電されてリニアモータ２が駆動される際に、駆動電流によって発熱が生じるが、コイル保持壁２４に設けられた冷却パイプ２８には前記ポンプから冷媒（冷水）が送られて、効率よく発熱を除去することができる。
【００２７】
次に、本発明に係る三相交流式可動磁石型リニアモータの第２の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。本実施形態の三相交流式可動磁石型リニアモータ５２では、ｕ相、ｖ相、ｗ相の各相コイル６０，６２，６４が、図１０に示すように、重ねあわされて構成されている点において第１の実施形態と相違する。重ね合わせるコイルの巻き形状は、例えば図１１に示すように、Ｕ相コイル６０において長手方向の両端部を山形に湾曲させ、Ｖ相コイル６２においては長手方向の両端部を谷形に湾曲させ、Ｗ相コイル６４においては長手方向に前記二つの相コイル６０，６２より長く形成して長手方向の端部が、二つの相コイル６０，６２の端部に接触しないように組み合わせるように構成されている。この場合、Ｗ相コイル６４については電流位相で１８０度ずらした位置に配置するので、逆向きの電流を流しーＷとしている。また、第１の実施形態のＸ軸方向のコイルユニットの全幅Ｗｃと同じスペース（印加される電流位相の７２０度に対応）で、第１のコイルユニット５４及び第２のコイルユニット５６の二つを直列させて設けている。その他の構成については、第１の実施形態と同様なので、同じ符号を付与して説明を省略する。
【００２８】
次に、上記のように構成された三相交流式可動磁石型リニアモータ５２の作動について、以下に説明する。このリニアモータ５２においては第１の実施形態と同様に、図５に示す１２０度ずつ位相のずれた三相交流の電流が印加される。但し、説明を簡略化するため、第１のコイルユニット５４及び第２のコイルユニット５６には夫々同位相で別の電源から流れる電流が印加されるものとする。まず、位相合わせを行うことにより、ｕ相、ｖ相及びｗ相の電流が流れる各相コイル６０，６２，６４を、図１２に示す可動子１４の第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２に対向させる。図１２では図５に示す《1》の時点のタイミングで、電流が印加される。なお、このときの電流位相を９０度とする。第１及び第２のコイルユニット５４，５６において、Ｕ相コイル６０にマグネット保持ベース６から見て時計回りに電流が流れ、Ｕ相コイル６０に対向する第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２は補助磁石４４により、磁束の漏洩が防止されるとともに磁束数が増加される。そして、対向する第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２とＵ相コイル３０との間で、フレミングの左手の法則に従いＵ相コイル６０には先端部側（図１２において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図１２において右側への推力が加わる。
【００２９】
次に、前記推力によって、図１３に示すように、電流位相の２１０度に対応する位置まで可動子１４は移動し、Ｖ相コイル６２が第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２に対向して、図５に示す《3》の時点でのタイミングで電流が印加される。上記と同様に第１及び第２のコイルユニット５４，５６において、フレミングの左手の法則に従いＶ相コイル６２には先端部側（図１３において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図１３において右側への推力が加わる。
【００３０】
次に、前記推力によって、図１４に示すように、さらに電流位相の３３０度に対応する位置まで可動子１４は移動し、第１及び第２のコイルユニット５４，５６において、Ｗ相コイル６４が第２永久磁石４２及び第１の永久磁石４０に対向して、図５に示す《5》の時点でのタイミングで電流が印加される。この場合、Ｗ相コイル６４には、マグネット保持ベース６から見て反時計回りに電流が流れ、フレミングの左手の法則に従いＷ相コイル６４には先端部側（図１４において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図１４において右側への推力が加わる。
【００３１】
次に、前記推力によって、図１５に示すように、さらに電流位相の４５０度に対応する位置まで可動子１４は移動し、第１及び第２のコイルユニット５４，５６において、Ｕ相コイル６０が第１の永久磁石４０及び第２の永久磁石４２に夫々対向して、図５に示す《7》の時点でのタイミングで電流が印加される。Ｕ相コイル６０にマグネット保持ベース６から見て時計回りに電流を流れ、上記と同様にフレミングの左手の法則に従いＵ相コイル６０には先端部側（図１５において左側）への力が生じ、マグネット構成体８ａにはその反作用として図１５において右側への推力が加わる。
【００３２】
上記三相交流式可動磁石型リニアモータ５２によると、１つのコイルユニット５４の全幅を印加される電流位相の３６０度に対応するものとすることができ、第１実施形態のコイルユニット３６を取り付ける同じスペースで２つ分のコイルユニット５４，５６を配置できるので、それぞれに同電流を印加することにより、２倍の推力を得ることができる。また、同時に省スペース化も可能であるので、装置全体のコンパクト化を図ることができる。
【００３３】
なお、上記実施例においては、可動子１４が一方向のみに移動する場合について作動を説明したが、これに限定されず、例えば前記ＩＧＢＴにより、電流の向きや電流量を変えることによって、可動子を逆向きに移動させたり、可動子の移動スピードを変えたりすることを、容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る三相交流式可動磁石型リニアモータの正面からの断面図。
【図２】一部に断面を含む同上面図。
【図３】第１の実施形態におけるコアレスコイルとマグネット構成体の配置状態を示す図。
【図４】同IV-IV断面図。
【図５】コアレスコイルに印加される三相交流電流を示す図。
【図６】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図７】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図８】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図９】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図１０】第２の実施形態におけるコイルユニットの概念図。
【図１１】同コイルユニットに組み合わせる各コアレスコイルの概形状を示す図。
【図１２】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図１３】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図１４】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【図１５】同コイルユニット（固定子）に対するマグネット構成体（可動子）の相対移動を示す図。
【符号の説明】
【００３５】
２…三相交流式可動磁石型リニアモータ、６…可動ベース体（マグネット保持ベース）、８ａ,８ｂ…マグネット構成体、１４…可動子、２４…固定子（コイル保持壁）、３０…コアレスコイル（Ｕ相コイル）、３２…コアレスコイル（Ｖ相コイル）、３４…コアレスコイル（Ｗ相コイル）、３６…コイルユニット、４０…主マグネット（第１の永久磁石）、４２…主マグネット（第２の永久磁石）、４４…補助マグネット（補助磁石）、５２…三相交流式可動磁石型リニアモータ、５４…第１のコイルユニット、５６…第２のコイルユニッ、６０…コアレスコイル（Ｕ相コイル）、６２…コアレスコイル（Ｖ相コイル）、６４…コアレスコイル（Ｗ相コイル）、Ｗｃ…全幅、Ｗｍ…巻幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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