(57)【要約】【課題】真空容器を構成する板材の結合部の気密性を、簡単な構造で向上させる。【解決手段】真空容器1は、金属板2，3が曲げ加工によって所定の形状に折り曲げて形成されて、互いに結合されて内部に閉空間を構成する板材としての２枚で一組の曲げ材20，30を備えている。また、真空容器1は、曲げ材20と曲げ材30との結合部の隙間を封止するシール部材と、曲げ材20，30の両方の内面に当接されて閉空間に配置される立体格子状の構造体5と、を備えている。さらに真空容器1は磁石ユニット70を備えている。磁石ユニット70は、曲げ材20，30を構造体5に固定しつつ、曲げ材20，30同士の結合部に沿ってシール部材4であるＯリングを押圧して結合部の隙間を封止する。【選択図】図１
2010144199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに結合されて内部に閉空間を形成する、一部又は全部が金属からなる複数の板材と、前記板材どうしの結合部を封止するシール部材と、前記閉空間を形成する該板材の内面と前記シール部材とに当接する構造体と、を備える真空容器であって、
前記構造体の全部、または一部は強磁性体からなり、
前記板材が形成する閉空間の外面側に配置される永久磁石と前記構造体との磁気吸着力により前記シール部材を前記板材に押圧することを特徴とする真空容器。
【請求項２】
金属板が折り曲げて形成され、互いに結合されて内部に閉空間を構成する二枚を一組とする板材と、
前記一組の板材の結合部を封止する、閉曲線からなる一本のシール部材と、
前記閉空間を形成する該板材の内面と前記シール部材とに当接する構造体と、を備える真空容器であって、
前記構造体の全部、または一部は強磁性体からなり、
前記板材が形成する閉空間の外面側に配置される永久磁石と前記構造体との磁気吸着力により前記板材を前記シール部材に押圧することを特徴とする真空容器。
【請求項３】
前記板材は多面体からなる前記閉空間を形成し、該板材は前記多面体の辺を形成する折り目に沿って曲げ加工がなされていることを特徴とする、請求項２に記載の真空容器。
【請求項４】
前記シール部材は、前記閉空間を形成する前記一組の板材の内面と前記構造体の一側面との三つの面で挟まれている、請求項２又は３に記載の真空容器。
【請求項５】
前記永久磁石は一つ以上の貫通したネジ穴を設けた金属板と一体となっていて、前記ネジ穴にはネジ穴の深さより長いネジが設置され、前記ネジ穴の深さ方向は前記板材に対して垂直であることを特徴とする、請求項２から４のいずれかに記載の真空容器。
【請求項６】
前記永久磁石が複数備えられており、該複数の永久磁石のうちの二つ以上は強磁性体のヨークで接続されて磁気回路を形成していることを特徴とする、請求項２から５のいずれかに記載の真空容器。
【請求項７】
前記永久磁石を覆うカバーが設置されていることを特徴とする、請求項２から６のいずれかに記載の真空装置。
【請求項８】
請求項２から７のいずれかに記載の真空容器を有し、前記真空容器内において減圧下で被処理物に処理を行う処理室を備える真空処理装置。
【請求項９】
金属板を曲げ加工して、互いに結合されて内部に閉空間を構成する二枚を一組とする板材を形成する第一工程と、
前記板材が結合して形成される閉空間の内面に当接される構造体を配置すると共に、前記一組の板材の結合部を封止する、閉曲線に形成された一本のシール部材を、前記一組の板材の両方の内面と前記構造体の外面との間に、前記結合部にわたって配置する第二工程と、
前記板材の外周部で前記閉空間の外面側に複数の永久磁石を配置して前記シール部材を押圧する第三工程と、
を有する真空容器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶ディスプレイ用基板や半導体ウェハ等を処理する真空処理装置を構成するプロセスチャンバーや搬送チャンバー等の真空容器、真空容器を備える真空処理装置、及び真空容器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイ用基板や半導体ウェハ等に薄膜を形成したり、ドライエッチングや加熱等をしたりする処理は、主に真空中で行われている。また、これらを真空中で処理するための位置合わせや搬送等も同様に真空中で連続的に行われることが多い。これらの処理を行うために、複数の真空容器をゲートバルブで接続した真空処理装置が使用されている（特許文献１）。
【０００３】
ところで、液晶ディスプレイ用基板は、近年益々大型化する傾向にあり、外周部の一辺の長さが３ｍを超える矩形状の基板も現れている。このような大型の基板を真空中で処理するためには、大型の真空容器が必要になる。小型の真空容器の場合には、一つの金属素材の内部を削り出して気密性が優れた真空容器を製造することも可能であった。しかしながら、大型の真空容器の場合には、巨大な金属素材の入手が難しいため、もはや小型の真空容器を製造する方法では大型の真空容器を製造することが困難になっている。
【０００４】
そこで、従来の大型の真空容器は複数の金属の板材を組み合わせて、それぞれを溶接加工によって溶接部で接合することで、機械的強度を確保し気密性が保たれるように形成されていた。
【０００５】
しかしこの方法では、真空容器の重量が重くなるという問題があった。また、溶接加工に起因する問題として熱ひずみが生じることがあり、このため、溶接加工後に二次切削加工が必要であった。また、溶接加工された大型の真空容器は、運搬する際に運搬用車両の許容重量や幅、高さの制限や法律上の制約等を受けるので、運搬が困難な場合があった。
【特許文献１】特開2002-057203号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこでこれらの課題を解決するために、曲げ加工した二枚の金属板を組み合わせて閉空間を構成し、この閉空間の中に強固な構造体を配置し、閉曲線からなる一本のシール部材で金属板の結合部をシールして閉空間の気密を保つ真空容器が、本発明者らによって検討されている。
【０００７】
さらに金属板の結合部の固定方法として、金属板を容器内部にある構造体である支柱にボルトでしっかり固定する方法が検討されている。
【０００８】
図１７及び図１８に、本発明者らが検討した真空容器の外観図と、当該真空容器の結合部の断面図を示す。
【０００９】
これらの図に示すように、二枚の金属板（曲げ材20，30）がそれぞれ、容器内部にある構造体である支柱50にボルト等の締結部材61，62とシール固定板63，64でしっかり固定されている。
【００１０】
しかしながら、このような二枚の金属板の結合部の固定方法には以下の問題があった。すなわち、二枚の金属板を容器内の構造体にボルトで固定することによって、金属板同士の結合部に対応するシール部材4であるＯリングをしっかり潰しているため、真空容器の排気は容易であるが、構造が複雑であった。
【００１１】
真空容器内部の支柱50に容器壁としての金属板（曲げ材20，30）をボルトで固定するために、容器壁にボルトを通す穴20a，30ａを開ける必要があり、穴の周りに別のＯリング65，66を設置して気密を保つ必要があった。このため、二枚の金属板に多数の穴あけ加工とシール面作製加工が必要となり、製造コスト増加と真空性能の信頼性の面で問題があった。
【００１２】
本発明は、上記背景技術が有する問題に鑑み、真空容器を構成する板材の結合部の気密性を、簡単な構造で向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、互いに結合されて内部に閉空間を形成する、一部又は全部が金属からなる複数の板材と、板材どうしの結合部を封止するシール部材と、閉空間を形成する該板材の内面とシール部材とに当接する構造体と、を備える真空容器である。
【００１４】
このような真空容器において、本発明は、構造体の全部、または一部が強磁性体からなり、板材が形成する閉空間の外面側に配置される永久磁石と構造体との磁気吸着力によりシール部材を板材に押圧することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、金属板が折り曲げて形成され、互いに結合されて内部に閉空間を構成する二枚を一組とする板材と、一組の板材の結合部を封止する、閉曲線からなる一本のシール部材と、閉空間を形成する該板材の内面とシール部材とに当接する構造体と、を備える真空容器である。
【００１６】
このような真空容器において、本発明は、構造体の全部、または一部は強磁性体からなり、板材が形成する閉空間の外面側に配置される永久磁石と前記構造体との磁気吸着力により板材をシール部材に押圧することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、真空容器を構成する金属板を締結するボルト等を使用することなく、金属板同士の結合部に対応するシール部材をしっかり潰すことができるため、真空容器の排気が容易になり、真空性能の信頼性が向上する。また、構造が簡単なため製造コストの低減が可能になる。また、真空容器の製造が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１に、本発明の一実施形態の真空容器を示す。本実施形態では、六面体の真空容器の一例を示す。図２に、図１の真空容器の分解斜視図を示す。
【００２０】
図１及び図２に示すように、真空容器1は、金属板2，3が曲げ加工によって所定の形状に折り曲げて形成されて、互いに結合されて内部に閉空間を構成する板材としての二枚で一組の曲げ材20，30を備えている。また、真空容器1は、曲げ材20と曲げ材30との結合部の隙間を封止するシール部材4と、曲げ材20，30の両方の内面に当接されて閉空間に配置される立体格子状の構造体5と、を備えている。さらに真空容器1は永久磁石等を有する磁石ユニット70を備えている。磁石ユニット70は、曲げ材20，30を構造体5に固定するとともに、曲げ材20，30同士の結合部を封止するために結合部に沿ってシール部材4であるＯリングを押圧する。
【００２１】
なお、曲げ材20，30の材料としては、少なくとも材質として機械的強度と加工性とを合わせ持ち、二枚の曲げ材を組み合わせることで、一つの閉空間を構成することが可能な材料によって形成されていればよい。
【００２２】
曲げ材20及び曲げ材30は、それぞれ一枚の例えば、比較的薄肉の板材であるが、所望の機械的強度を備えた金属板2，3が曲げ加工されることによって形成されている。曲げ材20と曲げ材30との結合部分は、閉曲線（一続きの曲線）に形成された一本のシール部材4で気密に封止され、二つの曲げ材20及び曲げ材30とで囲まれた空間が真空容器1となる。真空容器1における気密性は、二つの曲げ材20及び曲げ材30と、閉曲線に形成された一本のシール部材4と、によって保たれる。
【００２３】
本実施形態の構成の場合、真空容器1は、六面体をなし、所望の剛性を有する構造体5を備えている。本実施形態における構造体5は、六面体の各面の辺に対応する部分に支柱50を配置して、これら１２本の支柱50を一体化したような立体格子状に形成されている。構造体5は、一組の曲げ材20と曲げ材30とで囲まれた真空中に配置されており、真空容器1にかかる大気圧をさらに補強するために支え、真空容器1の変形を抑制する。
【００２４】
以下、図３を参照して真空容器1を構成する曲げ材について、図4及び図5を参照して構造体5についてそれぞれ説明する。また、図６を参照してシール部材4について、図７を参照して一組の曲げ材20，30間の結合構造についてそれぞれ説明する。さらに、図８から図１４を参照して磁石ユニットについて説明する。
【００２５】
まず、図３を参照して、真空容器1を構成する曲げ材について説明する。
【００２６】
図３に示すように、例えば、一枚の平板状の長方形の金属板2，3を、長手方向に対してコ字状（Ｕ字状）になるようにそれぞれ曲げ加工することで、一組の曲げ材20及び曲げ材30がそれぞれ形成される。
【００２７】
曲げ材20及び曲げ材30は、コ字状に折り曲げられた内側が、真空容器1の真空側となり、真空容器1の内面を構成する。曲げ材20には、２箇所に折り曲げ部21が形成されている。曲げ材20にも同様に、２箇所に折り曲げ部31が形成されている。
【００２８】
これら２箇所の折り曲げ部21，31は、短手方向に平行な直線に沿って曲げられた直線状の折り目である。そして、折り曲げ部21，31は、真空容器1の閉空間を構成する六面体の一辺を形成している。尚、閉空間を構成するための真空容器の形は、六面体に限られず、例えば三つ以上の側面と二つの底面とで構成された多面体であってもよい。
【００２９】
本実施形態では、折り曲げ部21，31が直角に曲げ加工されている。また、折り曲げ部21，31は、曲げ加工の曲率半径が１００ｍｍから３００ｍｍ程度をなし、断面円弧状をなしている。なお、この曲率半径が小さい場合には、金属板2，3を曲げ加工するときに、金属板2，3の表面に凹凸が生じてしまうので好ましくない。
【００３０】
後述するが、一組の曲げ材20と曲げ材30とを組み合わせて結合されてなる真空容器1の気密性は、真空容器1を構成する曲げ材20，30の表面状態と、Ｏリング等のシール部材4（図２参照）とによって保たれる。
【００３１】
そのため、曲げ材20，30と、シール部材4とが接触する箇所における曲げ材20，30の表面は、滑らかに形成される必要がある。このため、折り曲げ部21，31の曲げ加工の曲率半径は大きくした方が、曲げ材20，30の表面に凹凸が生じるのが抑えられるので、シール部材4との接触性がよい。
【００３２】
曲げ材20および曲げ材30のそれぞれ四つの角部22，32も同様に、曲率半径が１００ｍｍから３００ｍｍ程度をなし、円弧状に切り取り加工されている。これは曲げ材20と曲げ材30と結合したときに、角部22，32と組み合わさる他方の曲げ材の折り曲げ部21や31の曲げ加工の曲率半径に合わせるためである。
【００３３】
真空容器1には、通常、内部に対する基板の搬送用や、各種機器を取り付けるための開口部9が設けられている。本実施形態では、曲げ材30における対向する２つの平面部に矩形状の開口部9がそれぞれ形成された構成を採っている。この開口部9には、他の真空容器や機器、又は蓋が取り付けられ、最終的には真空容器1の内部の気密性が保たれる。
【００３４】
曲げ材20，30の材質としては非磁性材料の金属が好ましく、例えばアルミニウムや非磁性のステンレス等の金属材料が用いられる。曲げ材20，30の厚さとしては０．１ｍｍから３ｍｍ程度が好ましい。この程度の厚さに曲げ材が形成された場合、容易に曲げ加工を行うことができ、また曲げ加工部分の表面を滑らかに形成することができる。曲げ材が厚すぎる場合には、曲げ加工によって曲げ加工部分の表面に凹凸が生じてしまい、真空容器1内を封止することが困難になる。一方、曲げ材が薄すぎる場合には、真空容器1内を真空排気したときに曲げ材に変形が生じたり、Ｏリング等のシール部材4を確実に押し潰すことができなくなったりして、真空容器1内を封止することが困難になる。
【００３５】
曲げ材20，30の材質として強磁性体材料の金属を用いた場合、後述する磁石ユニット70の構造体5への磁気吸着力が減少し好ましくない。ただし、曲げ材20，30の厚さが十分薄い場合は磁気吸着力は若干弱くなるが吸着は可能であり、強磁性体材料を使用することも可能である。
【００３６】
次に、図４に構造体5の構成例を示す。
【００３７】
本実施形態において、構造体5は、六面体の各面の辺に相当する位置にある１２本の支柱50から構成されている。支柱50は剛性を有する金属材料であり、全部または一部が強磁性体材料によって形成されている。強磁性体材料としては例えばＳＵＳ４３０や鉄等が使用される。ここでは全部が強磁性体材料からできている例を示すが、一部が強磁性体材料からできている例は後述する。
【００３８】
各支柱50は、それぞれが図示しない締結ボルトで固定されており、真空容器1が受ける大気圧に抗して支えられる機械的強度をもって組み立てられている。各支柱50は、すべて真空容器1の内部に配置されるため、気密性を保つための工夫を施す必要はない。したがって、構造体5は、支柱50同士を溶接加工したり、各支柱50にシール面を形成したりする必要もない。
【００３９】
構造体5の外形形状は、二つの曲げ材20，30を組み合わせることによって形成される、真空容器1の内面形状に対応して形成されている。したがって、構造体5をなす六面体が有する十二の辺のうちで、四つの辺には真空容器1の内面形状に一致する曲面が形成されている。つまり、構造体5には、曲げ材20，30の各折り曲げ部21，31に対応する各角部に、これら折り曲げ部21，31に対応する曲面がそれぞれ形成されている。
【００４０】
図５に、構造体5の他の構成例として、真空容器1の任意の面における支柱50の配置例を示す。
【００４１】
図４に示した構造体5では、支柱50が、六面体の辺の部分だけに配置されていたので、曲げ材20，30における、支柱50によって内面が支持されていない部分では大気圧によって変形が生じる可能性がある。真空容器1に生じた変形が大きくなると、閉空間の気密性を保てなくなったり、破損したりするおそれがある。
【００４２】
そのため、真空容器1の内壁を構成する曲げ材20，30の変形を更に小さく抑えるために、構造体5を構成する支柱50が、図５（ａ）に示すように柵状に配置されたり、図５（ｂ）に示すように格子状に配置されたりする構成が好ましい。また、図５（ｃ）に示すように、支柱50で囲まれた少なくとも一つの面を平板材51で覆うように構成することで、真空容器1の内壁の変形が極めて小さく抑えられる。
【００４３】
ただし、一方で、支柱50の個数を増やしたり、支柱50で囲まれた面を平板材51で覆ったりすることで、真空容器1の重量が増え、製造コストもかさんでしまう。そのため、真空容器1の変形が許容できる範囲で、構造体5を構成する支柱50の個数をなるべく少なく設定することが望ましい。
【００４４】
図６に、シール部材4の一例としてＯリングの斜視図を示す。シール部材4は、ゴム材によって形成されたＯリングであり、断面円形状の一続きの環状に形成されたものが用いられる。図２及び図６に示すように、シール部材4は、二つの曲げ材20，30の結合部がなす形状と同じ形状に形成されており、二つの曲げ材20，30の結合部にわたって封止する。
【００４５】
図７に、本実施形態の曲げ材20，30の結合状態を説明するための断面図を示す。
【００４６】
シール部材4は、三つの面、すなわち支柱50の一の側面と、曲げ材20及び曲げ材30の内面とで挟まれている。支柱50は、シール部材4と当接する面が、真空容器1の内壁、つまり曲げ材20，30の内面に対して４５°の角度をなすように加工されており、本実施形態では、シール部材4を囲む三つの面がなす断面形状が直角二等辺三角形となるように構成されている。
【００４７】
ここで、シール部材4と曲げ材20との間の位置、及びシール部材4と曲げ材30との間の位置にシール部4aがある。シール部材4と支柱50との間の位置は、シール部ではなく、支柱50はシール部材4を支持する機能のみを有している。このシール部4aによって真空容器1の結合部の全域にわたって封止することによって、真空容器1の内部は気密性が良好に保たれる。
【００４８】
曲げ材20，30の大気側の面の外周部には磁石ユニット70が配置されている。磁石ユニット70は、曲げ材20，30の結合部の全域にわたって、シール部材4を押圧し、かつ、曲げ材20，30を支柱50に対して押し当てることによって固定する。
【００４９】
磁石ユニット70は、永久磁石からなる磁石71と、強磁性体材料からなるヨーク72と、シール固定板73と、カバー74と、有して構成されている。
【００５０】
磁石71は永久磁石であり、磁極の方向を支柱50側に向けて支柱50との間に吸引力を生じさせている。磁石材料にはフェライト磁石やネオジウム磁石などが使用できる。フェライト磁石は磁力が弱いので小型の真空容器に適している。大型の真空容器ではシール部材4であるＯリングの径も太くなるため、それをしっかり潰すために磁石71は強力なネオジウム磁石が適している。
【００５１】
磁石71はシール固定板73に固定されている。シール固定板73は剛性のある非磁性材料からなる金属でできていて、例えばアルミニウムや非磁性のステンレスなどが使用される。シール固定板73は剛性を保つためにある程度の厚さを必要とするが、磁石71の吸引力を大きくするために磁石71と支柱50との間隔を小さくする必要があり、磁石71を設置する部分に磁石71の形状の穴を形成して穴の中に磁石71を固定している。このとき、磁石71を固定している部分のシール固定板73の厚さaは１ｍｍ程度である。この程度であれば磁石71と支柱50間の磁力は十分に大きくなり曲げ材の固定は問題ない。
【００５２】
シール固定板73はシール部材4をしっかり潰すため、曲げ材20，30の外周の端から、支柱50の曲げ材20，30に接している面の領域に渡って設置されている。磁石71の吸引力はシール固定板73によって伝えられ、シール部材4を潰している。本実施形態ではシール固定板73でシール部材4を潰す例を示しているが、シール固定板73が無い場合でも磁石71がシール固定板73と同等の大きさを持っていれば磁石71だけでシール部材4を潰すことは可能である。ただし、磁石71を複数個並べたときに隣接する磁石71同士が磁力でくっつくなど取り扱いが困難なため、シール固定板73を備えない構成は小型の真空容器で且つ弱い磁石の場合にのみ適用できる。
【００５３】
カバー74は、真空容器1に磁石ユニット70を設置した後に強力な磁力の磁石71がむき出しであると危険なため、設置されている。カバー74の材質は非磁性体の金属やアクリルなどの樹脂でもよく、磁石71やヨーク72とある程度の間隔を開けて設置される。ヨーク72については後述する。
【００５４】
図８から図１０に磁石ユニット70の詳細な構成を示す。
【００５５】
図８は磁石ユニット70の斜視図である。磁石ユニット70は2つの磁石71と、磁石71間をつなぐ強磁性体材料からなるヨーク72と、シール固定板73と、ネジ75と、から構成されている。また、取り扱いの安全上、磁石71とヨーク72とを囲うようにカバー74を取り付けた例を図９に示す。なお、図１に示す磁石ユニット70には、内部構成がわかりやすいように、カバー74が設置されていないものを示している。
【００５６】
図１０は磁石ユニット70を真空容器1に設置したときの図７のＡ−Ａ断面を示している。
【００５７】
二つの磁石71は支柱50に向けてそれぞれ反対の磁極を向けている。これら二つの磁石71における支柱50側とは反対側の面がヨーク72によって接続されている。このときの磁力線76の様子を図１０に示しているが、磁力線76はほとんど、強磁性体であるヨーク72と支柱50の中のみを通っている。このような磁気回路にすると、一つの磁石を支柱50に吸着させた場合より磁束密度が大きくなり磁力が強くなり好ましい。
【００５８】
シール固定板73には二つの貫通したネジ穴77が開けられていて、そこにネジ穴77の深さより長いネジ75が設置されている。このネジ75は磁石ユニット70を真空容器1から取り外すときに使用する。
【００５９】
通常は磁石ユニット70は真空容器1の外面に固定されていて、図１０に示すようにネジ75はネジ穴77の中を貫通しておらずネジ穴77の途中で停まっているか、あるいはネジ75をネジ穴77から引き抜いて取り外しておく。真空容器1の組み立ての際には組み立て手順の都合や調整のために真空容器1に設置された磁石ユニット70を取り外す必要が生じる場合がある。このような場合にネジ75をネジ穴77の奥へ挿入してネジ先端をネジ穴77から突出させることでシール固定板73を曲げ材20から遠ざける。これによって容易に磁石ユニット70を取り外せる。ただし、弱い磁石を使用している場合はこのような機構を使用しなくても手で直接取り外すことも可能である。その場合はネジ75は必要ない。
【００６０】
図１１に金属板2(曲げ材20)の曲げ加工をした部分（図３に示した折り曲げ部21）に円弧状の磁石ユニット70Aを設置した例の断面を示す。図１２に金属板3(曲げ材30)の角部（図３に示した角部32）に円弧状の磁石ユニット70Bを設置した例の正面図を示す。
【００６１】
磁石ユニット70A及び70Bは、設置する箇所の曲げ材の面形状に対応して、形状を変えているが、基本的な構造は図７から図１０と同じである。
【００６２】
以上説明した真空容器1の構成部品については、以下に示すような変更を適宜加えることができる。
【００６３】
図１３は磁石ユニット70の第一の変形例で、磁石71が四つの場合のものである。四つの磁石71は端から順番に磁極の向きが交互に反転していて、それらの磁石71が全ての磁石71を跨いでいるヨーク72で接続されている。このような磁気回路における一つ一つの磁石の磁気吸着力は磁石71が二つの場合と変わらない。この場合は一つあたりの磁石ユニット70が長くなり、大型の真空容器の組み立ての場合は磁石ユニット70の個数が少なくなって組み立てが容易である。このように複数の磁石を並べる場合、四つ以上の磁石71からなる磁石ユニットも可能である。
【００６４】
図１４は磁石ユニット70の第二の変形例で、磁石71が一つの場合のものである。この場合はヨークは必要ない。磁石が一つの場合は二つの場合より磁石の磁気吸着力は弱くなるため、小型の真空容器に適している。磁石が弱い場合は磁石ユニット取り外し用のネジ75は無くてもよい。
【００６５】
また、上述した形態では支柱50の全部が強磁性体材料で構成されていた（図７）が、一部が強磁性体材料で構成されていてもよい。この場合の例を図１５に示す。図１５に示される支柱50は磁石ユニット70の磁石71に近接する面の一部だけが強磁性体材料の磁性体板80で構成され、その他の部分は非磁性体材料で構成されている。磁性体板80の厚さは５ｍｍから１０ｍｍ程度あれば磁石の磁気吸着力は十分であり問題ない。磁性体板80は支柱50に図示していないボルトなどで固定されてもよいし溶接で固定されてもよい。このように支柱50を構成することで支柱50の材質に関する制約がなくなり都合がよい場合がある。
【００６６】
次に、真空容器1の製造方法について説明する。
【００６７】
図１及び図２から分かるように、真空容器1の製造方法は、構造体5を配置すると共に、シール部材4を曲げ材20，30の内面と構造体5の外面との間に、曲げ材20及び30間の結合箇所にわたって配置する工程と、曲げ材20，30の外周部で大気側の面に磁石ユニット70を設置することによって曲げ材20，30を構造体5に固定するとともにシール部材4を押圧して曲げ材20及び30を結合する工程と、を有している。
【００６８】
上述したような形態の真空容器１によれば、次のような効果を奏する。
【００６９】
比較的薄い金属板からなる一組の曲げ材20，30によって真空容器1を構成しているので、真空容器の軽量化が図られ、従来のような大型の金属素材を使用せずに真空容器を製造することが可能になる。このため、本実施形態によれば、真空容器の材料コストを低減することができる。
【００７０】
また、一組の曲げ材20及び30間の結合箇所を閉曲線に形成された一本のシール部材4で封止するにあたって、容器内の構造体である支柱50と曲げ材20，30とを固定する手段に磁石ユニット70の磁気吸着力を使用したので、真空容器の製造工程で溶接加工を用いる必要がない。このため、容易に製造することができると共に、組み立てる前の状態で運搬することが可能になり、真空容器の運搬時の取り扱いを容易にすることができる。
【００７１】
また、Ｏリングであるシール部材4を磁石ユニット70の磁気吸着力によってしっかり潰すことで気密性が保てるため、真空容器の排気が容易になり、真空性能の信頼性が向上する。また、構造が簡単なため製造コストの低減が可能になる。
【００７２】
また、上述したような形態の真空容器1は、チャンバー内で所定の真空処理を実施する真空処理装置に適用することができる。図１６に、本実施形態の真空容器1を備える真空処理装置の一例を示す。
【００７３】
図１６に示すように、真空処理装置は、例えば、枚葉式の真空処理装置であって、第一スパッタリング用の真空処理室（Ｐｒｏ１）42及び第二スパッタリング用の真空処理室（Ｐｒｏ２）43を備えている。また、この真空処理装置は、搬送機構を備えるセパレーション室（Ｓｅｐ）40と、加熱・冷却室（Ｈ／Ｃ）41とを備えている。これら各室40，41，42，43は、本実施形態の真空容器1を使用して構成されており、セパレーション室40にそれぞれ隣接して配置されている。
【００７４】
また、真空処理装置は、ロード室（Ｌ）44とセパレーション室40との間、セパレーション室40と加熱・冷却室41との間、各真空処理室42及び43とセパレーション室40との間には、仕切弁（ゲートバルブ）46がそれぞれ設けられている。真空処理装置は、減圧下である真空中で処理を行う被処理物としての基板45の搬入及び搬出を行うことができるように、それぞれ仕切弁（ゲートバルブ）46で仕切られ、各室で独立に真空を維持できるように構成されている。
【００７５】
そして、ロード室44に搬送された基板45は、ロード室44が不図示の排気系によって所定圧力まで真空排気された後、セパレーション室40に搬送される。続いて、基板45は、所望の成膜処理を行うために、このセパレーション室40から、各種プロセスに応じて加熱・冷却室41、各真空処理室42、43に送られる。真空処理の終了後、基板45は、セパレーション室40を介してアンロード（ＵＬ）室44から搬出される。
【００７６】
なお、上述した実施形態では、真空処理装置としてスパッタリングによる成膜装置を一例として挙げたが、成膜装置としてスパッタリング方式に限定されるものではない。本実施形態の真空処理装置は、例えば化学的蒸着法等の成膜方法による成膜装置に採用することが可能であり、また、エッチング装置等の処理装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の一実施形態の真空容器の外観図。
【図２】図１における磁石ユニットを除いた真空容器の分解斜視図。
【図３】図１における一組の曲げ材を説明する図。
【図４】図１における構造体を説明する図。
【図５】図１における構造体を構成する支柱の配置例を示す図。
【図６】図１におけるシール部材であるＯリングを示す図。
【図７】図１における曲げ材間の結合部の断面図。
【図８】図１における磁石ユニットの、カバーを外した状態の外観図。
【図９】図８の磁石ユニットにカバーを取り付けた状態を示す図。
【図１０】図７のＡ−Ａ断面図。
【図１１】図１における曲げ材の折り曲げ部に対応して設置される磁石ユニットの断面図。
【図１２】図１における曲げ材の角部に対応して設置される磁石ユニットの正面図。
【図１３】図１における磁石ユニットの第一変形例（磁石が四つの場合）を示す断面図。
【図１４】図１における磁石ユニットの第二変形例（磁石が一つの場合）を示す断面図。
【図１５】図１における構造体を構成する支柱の変形例を示す支柱断面図。
【図１６】本発明の一実施形態の真空容器が適用された真空処理装置の一例を示す図。
【図１７】本発明が解決しようとする課題を有する、本発明者らが検討した真空容器の外観図。
【図１８】図１７における曲げ材間の結合部の断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１    真空容器
2、3    金属板
4    シール部材
4a    シール部
5    構造体
20、30    曲げ材
21、31    折り曲げ部
22、32
50    支柱
51    平板材
70、70A、70B    磁石ユニット
71    磁石
72    ヨーク
73    シール固定板
74    カバー
75    ネジ
76    磁力線
77    ネジ穴
80    磁性体板
【図１】
2010144199.tif 000003
【図２】
2010144199.tif 000004
【図３】
2010144199.tif 000005
【図４】
2010144199.tif 000006
【図５】
2010144199.tif 000007
【図６】
2010144199.tif 000008
【図７】
2010144199.tif 000009
【図８】
2010144199.tif 000010
【図９】
2010144199.tif 000011
【図１０】
2010144199.tif 000012
【図１１】
2010144199.tif 000013
【図１２】
2010144199.tif 000014
【図１３】
2010144199.tif 000015
【図１４】
2010144199.tif 000016
【図１５】
2010144199.tif 000017
【図１６】
2010144199.tif 000018
【図１７】
2010144199.tif 000019
【図１８】
2010144199.tif 000020