(57)【要約】【課題】地球環境に悪影響を及ぼすことなく、且つ、異形銅条の表面を荒らすことなく、その表面を有効に洗浄することができる異形銅条の製造方法を提供すること。【解決手段】圧延や切削等の加工を経て異形断面に成形された異形銅条２の表面を水温６０〜１００℃、水圧０．２〜３ＭＰａの洗浄水を当てて洗浄する、異形銅条の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧延や切削等の加工を経て異形断面に成形された異形銅条の表面を水温６０〜１００℃、水圧０．２〜３ＭＰａの洗浄水を当てて洗浄することを特徴とする異形銅条の製造方法。
【請求項２】
前記方法において、洗浄後の異形銅条の表面を乾燥することを特徴とする請求項１に記載の異形銅条の製造方法。
【請求項３】
前記方法において、洗浄後の洗浄水を油水分離して再利用することを特徴とする請求項１又は２に記載の異形銅条の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体用リードフレーム材として用いられる異形断面を有する異形銅条の製造方法、特に、その洗浄工程に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
長手方向に沿って連続もしくは断続的に板圧の厚い部分を有する、いわゆる異形断面を有する異形銅条は、板圧の厚い部分の存在により放熱性に優れた特長を有する半導体用リードフレーム材として広く実用されている。
【０００３】
この異形銅条の製造方法としては、一般に出発材料である平板状の銅条を圧延や切削等の加工により異形断面に成形する方法が採用されているが、前記加工の際に異形銅条の表面に圧延油や切削油等の加工油が多量に付着するため、前記加工後に洗浄工程を設け、異形銅条の表面から加工油を除去する必要がある。
【０００４】
従来、この洗浄工程においては、加工油を除去するための洗浄剤として洗浄能力の点から実績のある塩素系溶剤や炭化水素系溶剤が主に用いられているが、これらの溶剤には、すでに指摘されているように、地球環境に悪影響を及ぼすという問題点がある。例えば、塩素系溶剤の場合は、成層圏のオゾンを破壊するという問題点があり、炭化水素系溶剤の場合は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）として大気汚染の原因物質のひとつとなるという問題点がある。また、これらの溶剤は、健康衛生面で人体への影響も指摘されており、使用しないことが望ましいとされている。
【０００５】
関連する先行技術として、特許文献１には、従来技術の説明の中で、脱脂等の洗浄目的で被洗浄物を高温高圧水によりスプレー洗浄する方法が記載されており、この中で噴射時の洗浄水を、例えば温度６０℃以上、圧力３０ｋｇ／ｃｍ2以上とすることが記載されている。
【０００６】
また、特許文献２には、機械油等が付着された被洗浄物を温度６０〜８０℃、圧力８〜１２ｋｇ／ｃｍ2の加圧温水により粗洗浄し、ついでアルカリ溶液を用いて洗浄する方法が記載されている。
【０００７】
また、特許文献３には、ブラシロールを用いて被洗浄物表面を洗浄し、被洗浄物表面からゴミ類を浮遊分離させた後、このゴミ類を高圧・高温水スプレーで吹き飛ばす方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平３−２０５８２４号公報
【特許文献２】特開平１−３１９６９３号公報
【特許文献３】特開２０００−３３６４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記したように、洗浄剤として塩素系溶剤や炭化水素系溶剤を用いる従来技術によれば、地球環境に悪影響を及ぼすという問題点がある。例えば、塩素系溶剤の場合は、成層圏のオゾンを破壊するという問題点があり、炭化水素系溶剤の場合は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）として大気汚染の原因物質のひとつとなるという問題点がある。また、これらの溶剤は、健康衛生面で人体への影響も指摘されており、使用しないことが望ましいとされている。
【００１０】
これに対し、特許文献１に記載の洗浄方法は、半導体工業等を中心とする電子工業、光学機器工業等の分野に使用される精密部品を対象に圧力３０ｋｇ／ｃｍ2以上の高圧温水を使用するものであり、洗浄能力は有するものの洗浄水の高圧の程度により洗浄面が荒れるという問題がある。
【００１１】
また、特許文献２に記載の洗浄方法は、アルカリ溶液を用いるアルカリ洗浄を前提とするものであり、洗浄工程が複雑になると共にアルカリ溶液の廃液処理の問題がある。
【００１２】
また、特許文献３に記載の洗浄方法は、ブラシロールを併用するものであり、洗浄工程が複雑になると共に洗浄水の高圧の程度により洗浄面が荒れるという問題がある。
【００１３】
したがって、本発明の目的は、地球環境に悪影響を及ぼすことなく、且つ、異形銅条の表面を荒らすことなく、その表面を効果的に洗浄することができる異形銅条の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、圧延や切削等の加工を経て異形断面に成形された異形銅条の表面を水温６０〜１００℃、水圧０．２〜３ＭＰａの洗浄水を当てて洗浄することを特徴とする異形銅条の製造方法を提供する。
【００１５】
上記において、洗浄水の水温を６０〜１００℃としたのは、６０℃未満例えば４０℃程度では洗浄力が不足するからであり、好適な水温は８０〜１００℃である。また、洗浄水の水圧を０．２〜３ＭＰａとしたのは、０．２未満では洗浄力が不足し、３ＭＰａを超える場合は異形銅条の表面が荒れるからである。このほかにも、洗浄水の水圧について３ＭＰａを超える場合は、洗浄工程で異形銅条が変形する危険性が高まる、静電気の発生が増加する（静電気対策が必要となる）、洗浄水を供給する高圧ポンプのシールの劣化速度が速まる、洗浄ノズルの磨耗速度が速まる、洗浄水の使用量が増加し、コスト増を招くなどの不利がある。なお、洗浄水には、必要により界面活性剤や防錆剤などを添加してもよい。
【００１６】
この異形銅条の製造方法によれば、上記構成の採用により、特に異形銅条の表面を水温６０〜１００℃、水圧０．２〜３ＭＰａの洗浄水を当てて洗浄することにより、塩素系溶剤や炭化水素系溶剤を用いないので、地球環境に悪影響を及ぼすことなく、すなわちオゾン層の破壊や大気汚染の問題を生じることなく、且つ、低圧の温水を洗浄水として用いることで、異形銅条の表面を荒らすことなく、その表面を効果的に洗浄することができる。
【００１７】
請求項２の発明は、前記方法において、洗浄後の異形銅条の表面を乾燥することを特徴とする請求項１に記載の異形銅条の製造方法を提供する。
【００１８】
この異形銅条の製造方法によれば、上記効果に加えて、洗浄後の異形銅条の表面を乾燥することにより、異形銅条の表面から水分を速やかに除去し、これにより異形銅条の製造を効率的に行うことができる。なお、乾燥を速やかに行うためには、エアーや窒素ガスを吹き付けて乾燥することが望ましく、窒素ガスを用いる場合は、酸化し易い銅金属からなる異形銅条の表面の酸化を効果的に防ぐことができる。
【００１９】
請求項３の発明は、前記方法において、洗浄後の洗浄水を油水分離して再利用することを特徴とする請求項１又は２に記載の異形銅条の製造方法を提供する。
【００２０】
この異形銅条の製造方法によれば、上記効果に加えて、洗浄後の洗浄水を油水分離して再利用することにより、洗浄水の長寿命化を図ることができると共に洗浄水の使用量を低減し、その廃液量を削減することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の異形銅条の製造方法によれば、地球環境に悪影響を及ぼすことなく、且つ、異形銅条の表面を荒らすことなく、その表面を効果的に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る異形銅条の製造方法に用いる洗浄・矯正装置の概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２４】
図１は本発明の一実施の形態に係る異形銅条の製造方法に用いる洗浄・矯正装置の概略説明図である。同図において、１は圧延や切削等の加工を経て異形断面に成形されコイル状に巻回された異形銅条２を次工程に向けて連続的に繰り出すアンコイラ、３は前記アンコイラ１から繰り出された異形銅条２の表面に水温６０〜１００℃、水圧０．２〜３ＭＰａの洗浄水を当てて洗浄する洗浄工程、４は前記洗浄工程３の下方に設けられ、洗浄後の洗浄水を油水分離して再利用する油水分離装置、５は前記洗浄工程３を通して洗浄された異形銅条２の表面をエアー叉は窒素ガスを吹き付けて乾燥し水分を除去する乾燥工程、６は前記各工程を通して微妙に変形された異形銅条２の形状を矯正ロール装置７により矯正する矯正工程、８は前記各工程を通して洗浄・矯正された異形銅条２を再びコイル状に巻き取るリコイラである。なお、洗浄工程３では、異形銅条２に向けて多数の洗浄ノズルが配置される。
【００２５】
通常、異形銅条を洗浄する場合は、洗浄工程の後で異形銅条の形状を矯正する必要があるが、上記洗浄・矯正装置によれば、洗浄工程３と矯正工程６が同一製造ラインに連続して設けられているため、異形銅条の製造を効率的に行うことができる。
【実施例】
【００２６】
次に、本発明の実施例及び比較例を説明する。
【００２７】
（実施例１）
図１に示される洗浄・矯正装置を用いて、前工程で圧延や切削等の加工を経て異形断面に成形された異形銅条の表面を水温１００℃、水圧３ＭＰａの洗浄水を当てて洗浄した。この後、洗浄後の異形銅条の表面を詳細に観察した結果、その表面の残油量は１ｍｇ／ｍ2と少なく、表面状態は良好（荒れていない）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００２８】
（実施例２）
水温８０℃、水圧３ＭＰａの洗浄水を用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は２ｍｇ／ｍ2と少なく、表面状態は良好（荒れていない）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００２９】
（実施例３）
水温６０℃、水圧３ＭＰａの洗浄水を用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は３ｍｇ／ｍ2と少なく、表面状態は良好（荒れていない）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００３０】
（比較例１）
水温４０℃、水圧３ＭＰａの洗浄水を用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は８ｍｇ／ｍ2と多く、表面状態は良好（荒れていない）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００３１】
（比較例２）
水温２０℃、水圧３ＭＰａの洗浄水を用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は１１ｍｇ／ｍ2と多く、表面状態は良好（荒れていない）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００３２】
（比較例３）
水温９０℃で、水圧を実質負荷しない洗浄水を用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は７ｍｇ／ｍ2と多く、表面状態は良好（荒れていない）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００３３】
（比較例４）
水温８０℃、水圧２０ＭＰａの洗浄水を用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は１ｍｇ／ｍ2と少なく、表面状態は不良（荒れが発生）であった。また、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の発生はゼロであった。
【００３４】
（比較例５）
洗浄水を用いず、洗浄水に代わる洗浄剤として炭化水素系溶剤のｎ−デカンを用いる以外は、実施例１と同じ方法により洗浄した。洗浄後の異形銅条の表面の観察結果は、残油量は１ｍｇ／ｍ2と少なく、表面状態は良好（荒れていない）であった。しかし、ｎ−デカンの３０％が揮発した。
【００３５】
以上の実施結果を整理すると、表１の通りである。この表１より、異形銅条に対する洗浄水としては、水温６０〜１００℃、水圧０．２〜３ＭＰａの洗浄水を用いることがきわめて適正であることが分かる。
【００３６】
【表１】
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【符号の説明】
【００３７】
１  アンコイラ
２  異形銅条
３  洗浄工程
４  油水分離装置
５  乾燥工程
６  矯正工程
７  矯正ロール装置
８  リコイラ
【図１】
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