(57)【要約】【課題】本発明は、機能液滴ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の着弾ドットの体積について、信頼性の高い測定結果を得ることができる着弾ドットの体積測定方法を提供することを課題とする。【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１の検査吐出により、検査基板に着弾した着弾ドット１０の体積を、干渉計９９を用いて測定する着弾ドット１０の体積測定方法であって、撥水性の異なる複数種の検査基板１６を用意し、周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドット１０が適正ドーム形状となる複数種の検査基板１６と、の関係を表した湿度−撥水性データ２０に基づいて、測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１の検査基板１６を用いて、検査吐出および着弾ドット１０の体積測定を実施する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により、検査基板に着弾した着弾ドットの体積を、干渉計を用いて測定する着弾ドットの体積測定方法であって、
撥水性の異なる複数種の前記検査基板を用意し、
周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドットが適正ドーム形状となる複数種の前記検査基板と、の関係を表した湿度−撥水性データに基づいて、
測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１の前記検査基板を用いて、前記検査吐出および前記着弾ドットの体積測定を実施することを特徴とする着弾ドットの体積測定方法。
【請求項２】
前記各検査基板の表面には、撥水膜が形成され、
複数種の前記検査基板は、撥水膜の形成時間の長短で種別されていることを特徴とする請求項１に記載の着弾ドットの体積測定方法。
【請求項３】
前記着弾ドットは、複数ショットの前記検査吐出で形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の着弾ドットの体積測定方法。
【請求項４】
前記機能液滴吐出ヘッドにおけるノズル列単位で、前記検査吐出および前記着弾ドットの体積測定を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の着弾ドットの体積測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の着弾ドットの体積を測定する着弾ドットの体積測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の着弾ドットの体積測定方法として、検査基板上に着弾した機能液滴である着弾ドットを、干渉計から成る形態測定装置により形状を計測し、この形状から体積を算出するものが知られている（特許文献１参照）。すなわち、この体積測定方法は、検査基板に対し、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドの多数の吐出ノズルを１つずつ時間間隔をおいて吐出させる吐出工程と、検査基板に対し、形態測定装置を機能液滴吐出ヘッドに後行し且つ主走査方向に同速で相対移動させながら、多数の着弾ドットをそれぞれ形状測定する測定工程と、を備えている。この方法により、各着弾ドットにおいて、着弾から測定までの時間が一定となり、正確且つ効率良く測定を行えるようになっている。
【特許文献１】特開２００８−２０９２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、着弾ドットは、一定時間経過後に測定されることから、各着弾ドットにおける溶媒の蒸散等によって着弾ドットの形状（体積）が変化する。着弾ドットの形状変化は、周囲雰囲気の湿度の影響を受けやすいため、季節変化等によって測定誤差が大きく、正確に体積測定を行うことができないという問題があった。
例えば、低湿度環境下では、着弾ドットが盛り上がり過ぎると共に、ドット縁部がギザギザの形状になってしまい、一方、高湿度環境下では、着弾ドットが拡がり過ぎ、いずれも測定に適したドーム形状にならないという問題があった。これによって、着弾ドットの表面形状を干渉縞として適切に画像取得できず、体積測定において大きな誤差が生じていた。
【０００４】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出された機能液滴の着弾ドットの体積を、精度良く測定することができる着弾ドットの体積測定方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の着弾ドットの体積測定方法は、機能液滴吐出ヘッドの検査吐出により、検査基板に着弾した着弾ドットの体積を、干渉計を用いて測定する着弾ドットの体積測定方法であって、撥水性の異なる複数種の検査基板を用意し、周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドットが適正ドーム形状となる複数種の検査基板と、の関係を表した湿度−撥水性データに基づいて、測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１の検査基板を用いて、検査吐出および着弾ドットの体積測定を実施することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、周囲雰囲気の湿度の高低に係らず、検査基板上の着弾ドットを、干渉計の測定に適した適正ドーム形状とすることができる。このため、干渉計による体積測定において、表面形状を適切に画像取得することができ、着弾ドットの体積測定を精度良く行うことができる。
【０００７】
この場合、各検査基板の表面には、撥水膜が形成され、複数種の検査基板は、撥水膜の形成時間の長短で種別されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、撥水性の異なる複数種の検査基板を、簡単に且つ再現性良く作製することができる。
【０００９】
この場合、着弾ドットは、複数ショットの検査吐出で形成されることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、１ショット中の機能液滴における体積のバラつきによる影響を軽減することができるため、より正確に体積測定を行うことができる。
【００１１】
この場合、機能液滴吐出ヘッドにおけるノズル列単位で、検査吐出および着弾ドットの体積測定を行うことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、各回の吐出から各回の撮像に至る時間が同一になり、機能液滴から気化する溶媒の量を均一化することができ、測定精度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る着弾ドットの体積測定方法について説明する。この着弾ドットの体積測定とは、機能液滴吐出ヘッドの検査システムにおいて、各ノズルの吐出検査で行われる機能液滴吐出量測定を言う。この検査システムは、個別の機能液滴吐出ヘッドに対し、性能検査を行うものである。そこで先ず、検査対象となる機能液滴吐出ヘッドについて説明する。
【００１４】
図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７を有する機能液導入部２と、機能液導入部２の側方に連なる２連のコネクタ４を有するヘッド基板３と、機能液導入部２に連なる２連のポンプ部（図示省略）と、ポンプ部に連なるノズルプレート５と、を備えている。このポンプ部とノズルプレート５とにより、方形のヘッド本体６が構成されている。
【００１５】
ノズルプレート５のノズル面１１には、２列のノズル列１２,１２が相互に平行に列設されており、各ノズル列１２,１２は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル１３で構成されている。１８０個の吐出ノズル１３のうち、両端部に配設された各１０個の吐出ノズル１３は、実際の描画処理に使用しない端部無効ノズルである。言い換えれば端部無効ノズルに挟まれた吐出ノズル１３（端から数えて１１個目から１７０個目までの１６０個）は有効ノズルとなる。
【００１６】
次に、図２ないし図４を参照して、上述した機能液滴吐出ヘッド１の検査システムについて説明する。この検査システムは、ガラス基板１６と、機能液滴吐出ヘッド１をセットし、ガラス基板１６上に機能液滴を検査吐出する吐出検査装置３１（図２）と、ガラス基板１６上に着弾した機能液滴を撮像して検査、測定する着弾ドット撮像装置１８（図３）とを備えている。ユーザは、吐出検査装置３１上にて、機能液滴吐出ヘッド１の各種吐出検査、測定（飛行曲がり検査や、駆動電圧測定、機能液滴の飛行速度測定等）を行うと共に、ガラス基板１６への液滴着弾を行い、その後、ガラス基板１６を着弾ドット撮像装置１８にセットして、ガラス基板１６上の着弾ドット１０を撮像し、検査（厳密には体積測定）する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１の性能を検査する。
【００１７】
吐出検査装置３１は、機台３２と、機台３２上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査するヘッド検査装置３３と、同様に機台３２上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１の機能維持および回復を行うメンテナンス装置３４と、を有しておりチャンバ３５内に収容されている。また、チャンバ３５外には、制御装置２６が備えられており、機能液滴吐出ヘッド１、ヘッド検査装置３３およびメンテナンス装置３４を統括的に制御する。吐出検査装置３１は、機能液滴吐出ヘッド１を１つずつ検査すべく、メンテナンス装置３４により機能液滴吐出ヘッド１の機能維持・回復を行いながら、ヘッド検査装置３３により機能液を吐出して、機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する。
【００１８】
メンテナンス装置３４は、吐出ノズル１３における機能液の増粘や目詰まりによる吐出不良を解消する吸引装置３６と、吸引装置３６と並ぶように配設され、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１１を払拭するワイピング装置３７と、を有している。
【００１９】
吸引装置３６は、機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１１に密接すると共に、Ｒ・Ｇ・Ｂ色に対応した３つのキャップ４１と、吸引チューブ（図示省略）を介して３つのキャップ４１に接続されたイジェクター（図示省略）と、を有している。吸引装置３６は、各キャップ４１を機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１１に密接させ、イジェクターにより吸引を行なうことで、吐出ノズル１３の目詰まり等による吐出不良を解消する。
【００２０】
ワイピング装置３７は、ノズル面１１に当接するワイピングシート４２と、ワイピングシート４２を繰り出すと共に巻き取るシート送り機構（図示省略）と、を有している。ワイピング装置３７は、ワイピングシート４２を吐出ノズル１３のノズル面１１に押し当て、吐出ノズル１３をＸＹテーブル５２によりＹ軸方向に前後させることで、吸引処理後の機能液滴吐出ヘッド１のノズル面１１を払拭する。
【００２１】
ヘッド検査装置３３は、１の機能液滴吐出ヘッド１が工具レスでセットされるヘッドホルダ５１を有し、機能液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させるＸＹテーブル５２と、供給チューブ（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド１に機能液を供給する機能液供給ユニット５３と、主に吐出された機能液の飛行曲がりや飛行速度を検査する飛行検査ユニット５４と、吐出された機能液の吐出重量を測定する吐出量測定ユニット５５と、ガラス基板１６を載置するターゲットステージ５６と、ガラス基板１６を仮置きする仮置きステージ４４と、を備えている。機能液供給ユニット５３は、ＸＹテーブル５２に付設され、飛行検査ユニット５４、吐出量測定ユニット５５およびターゲットステージ５６は、ＸＹテーブル５２によりＸ軸方向に移動する機能液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の下方に臨むよう、機台３２上に並べて配設されている。
【００２２】
ヘッド検査装置３３により機能液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する場合は、機能液供給ユニット５３から機能液滴吐出ヘッド１に機能液を供給しつつ、ＸＹテーブル５２により機能液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させて、飛行検査ユニット５４、吐出量測定ユニット５５、およびターゲットステージ５６にそれぞれ臨ませて、各検査を行う。
【００２３】
機能液供給ユニット５３は、Ｒ・Ｇ・Ｂ色の機能液をそれぞれ貯留する３つの機能液タンク６１を有しており、各機能液タンク６１は、機能液滴吐出ヘッド１より上方に配設され、セットした機能液滴吐出ヘッド１に応じて選択的に使用される。このため、機能液は、各機能液タンク６１から各供給チューブを介して機能液滴吐出ヘッド１へ供給される。
【００２４】
吐出量測定ユニット５５は、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液を受ける容器６２と、容器６２内の機能液の重量を測定する電子天秤６３と、を備えている。吐出量測定ユニット５５により機能液の吐出量（吐出重量）を測定する場合は、ノズル列１２単位で数万発の機能液を吐出し、電子天秤６３によりその機能液の吐出重量を測定する。機能液の吐出重量が測定されると、測定された吐出重量から、吐出ノズル１３あたりの吐出量（吐出重量）を、吐出回数と吐出に用いた吐出ノズル１３の数とで除算して算出する。なお、吐出重量の測定は、機能液滴吐出ヘッド１の２つのノズル列１２において、ノズル列１２毎（ノズル列１２単位）に行われる。
【００２５】
ターゲットステージ５６は、体積測定用のガラス基板１６を載置するものであり、ガラス基板１６に対して、機能液滴吐出ヘッド１により液滴が吐出される。そして、後述するように、ガラス基板１６は、着弾した液滴を自然乾燥させた後、別体の着弾ドット撮像装置１８に移送され、着弾した液滴の個々の吐出量（体積）が測定される。
【００２６】
飛行検査ユニット５４は、パルス光源であるパルスレーザを有する照明部６５と、照明部６５に対向して配置され、パルスレーザによるパルス光を受光する顕微鏡カメラ６６と、機能液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液を受ける機能液受け部６７と、を備えている。飛行曲がりやドット抜けの検査を行う場合、照明部６５と顕微鏡カメラ６６を駆動させた状態で機能液を吐出する。吐出された機能液は、照明部６５と顕微鏡カメラ６６との間のパルスレーザを遮って、機能液受け部６７に着弾する。そして、飛行検査ユニット５４により高速度撮影された撮影結果に基づいて、飛行速度が計測されると共に、飛行曲がりがあるか否か、また吐出抜けがあるか否かを検査する。
【００２７】
制御装置２６は、各種ドライバを有する駆動部（図示省略）と、各部に接続され、吐出検査装置３１全体の制御を行う制御部（図示省略）とを備えている。制御部は、各部からの各種データを入力すると共に、ハードディスクに記憶されたプログラムに従って処理した結果を、駆動部を介して各部に出力する。これにより、吐出検査装置３１全体が制御され、各種処理が行われる。
【００２８】
次に、図３を参照して、着弾ドット撮像装置１８について説明する。この装置は、具体的には、非接触３次元表面形状粗さ測定機であり、スキャンニング白色光干渉方式によって着弾ドット１０の体積を測定する。
着弾ドット撮像装置１８は、設置台９５と、ガラス基板１６を固定するセットテーブル９６と、設置台９５上に配設され、セットテーブル９６をＸＹ方向で移動自在に支持する撮像ＸＹテーブル９７と、セットテーブル９６を跨ぐように設置台９５上に配設された撮像フレーム９８と、撮像フレーム９８によりセットテーブル９６（ガラス基板１６）の上方に配設された白色干渉計（画像認識手段）９９と、を備えている。撮像ＸＹテーブル９７により、ガラス基板１６をＸＹ方向で動かして、ガラス基板１６上に着弾した着弾ドット１０を白色干渉計９９に１つずつ臨ませていき、全着弾ドット１０の形状を測定する。
【００２９】
図４に示すように、白色干渉計９９は、白色光を照射する光源となる白色ＬＥＤ１０１と、白色ＬＥＤ１０１の照射方向の下流側に設けられ、白色をフィルタリングする干渉フィルタ（バンドパスフィルタ）１０２と、干渉フィルタ１０２の下流側に設けられ、白色光を直角に反射する反射鏡１０３と、反射鏡１０３の下流側に設けられ、後述する干渉式対物レンズ（ミラウ型）１０４に向けて白色光を直角に反射する一方、撮像対象物（着弾ドット１０）から反射した反射光を透過するビームスプリッタ１０５と、ビームスプリッタ１０５の下流側に設けられた干渉式対物レンズ１０４と、干渉式対物レンズ１０４をＺ軸方向に微少振動させるピエゾＺ軸テーブル１０６と、着弾ドット１０から反射した反射光を干渉式対物レンズ１０４およびビームスプリッタ１０５を介して撮像する撮像カメラ（ＣＣＤカメラ）１０７と、を備えている。
【００３０】
白色干渉計９９は、対象物の表面形状を干渉縞として画像的に取得するものである。白色干渉計９９による形状測定結果（撮像カメラ１０７による撮像結果）は、制御装置２６に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各着弾ドット１０の体積、さらに言えば、機能液滴吐出ヘッド１の各吐出ノズル１３の吐出量が検査される。
【００３１】
次に、本実施形態における着弾ドット１０の体積測定方法について説明する。先ず、着弾ドット１０の体積測定に先立ち、周囲雰囲気の湿度とガラス基板１６の撥水性との関係について説明する。
【００３２】
上述したように、ガラス基板１６に着弾された機能液滴の形状は、湿度が高い場合は、液滴が拡がり過ぎることによって適正なドーム形状（図５（ａ））を為さない。具体的には、ガラス基板１６上の機能液滴の接触角θが極端に小さくなってしまう（図５（ｂ））。一方、湿度が低い場合は、液滴が盛り上がり過ぎることによって適正なドーム形状を為さず、着弾ドット１０の縁部にフレア（ギザギザ形状）が生じやすい。具体的には、ガラス基板１６上の機能液滴の接触角θが極端に大きくなってしまう（図５（ｃ））。このように、液滴が適正なドーム形状を為さない場合、表面形状を適切に画像認識できず、白色干渉計９９による測定精度が低くなる。
【００３３】
また、着弾した機能液滴（着弾ドット１０）の体積測定は、一定時間乾燥し、安定化させた後に行われる。ここで、一定時間とは、着弾ドット１０が、その溶媒の蒸散が微量化する乾燥安定状態になるまでの時間であり、乾燥安定状態への移行は、自然乾燥によるものとする。加熱装置を有し、加熱乾燥により着弾ドット１０を乾燥させて乾燥安定状態への移行を早めるような構成でもよいが、加熱等による急激な乾燥では、乾燥安定状態になっても蒸散が安定しない。すなわち、自然乾燥により着弾ドット１０を乾燥させることにより、蒸散が安定し、より正確な体積測定を行うことができる。このとき、溶媒の蒸散速度は雰囲気湿度によって変化する。
したがって、雰囲気湿度が着弾ドット１０の測定精度に与える影響は大きい。そこで、表面改質処理（プラズマ処理）によって異なる撥水性を示す数種のガラス基板１６を用意し、各ガラス基板１６に着弾させた機能液滴を、複数の異なる湿度条件下で、室温で一定時間自然乾燥させ、着弾ドット１０の形状を観察した。
【００３４】
先ず、ガラス基板１６に撥水性処理を行い、撥水性の異なる複数種のガラス基板１６を用意した。撥水性処理とは、例えばフッ化メタンを処理ガスとするフッ化プラズマ処理である。ここで、プラズマ処理の処理スピード（Ｔａｂｌｅスピード）、すなわち撥水膜の形成時間を変えることによって、複数種のガラス基板１６（Ｔａｂｌｅスピード１０ｍｍ／ｓ，１５ｍｍ／ｓ，２０ｍｍ／ｓ，２５ｍｍ／ｓ，３０ｍｍ／ｓ，３５ｍｍ／ｓ）を作製した。なお、ここで、Ｔａｂｌｅスピードをガラス水準とし、ガラス水準が低いほど撥水性処理の時間が長い（撥水性が高い）ことを示す。
続いて、ガラス基板１６に着弾させた機能液滴（着弾ドット１０）を約３０分自然乾燥して安定化させた後、顕微鏡（レンズ倍率３０００倍，ＬＥＤ照明使用）を用いて形状を観察した。この結果について、画像認識に適したドーム形状は○、着弾ドット１０の縁部に多少ギザギザ形状（フレア）が発生した場合は△、ギザギザ形状が発生した場合は×として、評価した（図６）。また、隣接する着弾ドット１０がつながったり、視野から外れたりした場合には、形状認識不可能とした。
【００３５】
図６に示す結果（湿度−撥水性データ２０）によると、着弾ドット１０は、周囲雰囲気の湿度が高い（８０％）場合には、撥水性の高い（ガラス水準１０，１５）ガラス基板１６を用いると、撮像に適したドーム形状を示した。また、周囲雰囲気の湿度が低い（１０％，３０％）場合には、撥水性の低い（ガラス水準３０，３５）ガラス基板１６を用いることによって、着弾ドット１０が適正なドーム形状を示した。
以上の結果から、雰囲気湿度に対して適した撥水性を有するガラス基板１６を選択することによって、雰囲気湿度の高低に係らず、着弾ドット１０が常に適正ドーム形状を為すことが判明した。
【００３６】
次に、着弾ドット１０の体積測定について説明する。
着弾ドット１０の体積測定開始にあたり、オペレータは、複数のガラス基板１６から雰囲気湿度に適した撥水性を有するガラス基板（検査基板）１６を選択して、セットテーブル９６にセットする。このガラス基板１６の選択については、上述の結果に基づいて制御装置２６内に雰囲気湿度と撥水性に関する制御テーブルが用意されている。制御装置２６は、雰囲気湿度を測定し、この制御テーブルに倣って適切な撥水性を有するガラス基板１６をオペレータに知らせる。
図７（ａ）に示すように、セットテーブル９６にセットされたガラス基板１６に対し、機能液滴吐出ヘッド１を臨ませて、検査吐出が行われる。具体的には、全吐出ノズル１３のうち端部無効ノズルを除いた有効ノズルから同位置に機能液を連続で複数ショット吐出させ、Ｙ軸方向にスライドさせながら、ノズル列１２単位でガラス基板１６に吐出する。なお、図７（ｂ）は、模式図であるため、着弾ドット１０の数は実際の数とは異なる。
なお、本実施形態では、１ショット中の機能液滴における体積のバラつきによる影響を軽減するために、複数ショットの機能液滴にて着弾ドット１０を形成した。
【００３７】
ガラス基板１６に機能液滴が検査吐出されたら、ガラス基板１６を仮置きステージ４４に載置して、一定時間待機する。この一定時間とは、上述した通り、着弾ドット１０が、その溶媒の蒸散が微量化する乾燥安定状態になるまでの時間である。なお、この時間は、制御装置２６により記憶されている。制御装置２６に組み込まれた計時機構（計時手段）により、着弾吐出がされた時間から、例えば６０分間経ったと判断されると、待機を終了する。なお、待機を終了すると表記したが、アラーム等でユーザに対し待機時間終了を知らせることを意味する。ユーザは、これにより待機時間終了を知り、次の動作を行う。
【００３８】
次に、着弾ドット撮像装置１８のセットテーブル９６にガラス基板１６をセットして、各着弾ドット１０の体積測定を行う（図３）。各着弾ドット１０は、上述した白色干渉計９９により形状が画像認識され、その画像認識に基づいて、各着弾ドット１０の体積の体積測定が行われる。各着弾ドット１０の体積から、各吐出ノズル１３における吐出量が算定される。この着弾ドット撮像装置１８による体積測定は、機能液滴吐出ヘッド１におけるノズル列１２単位で、着弾ドット１０の体積測定を連続して行う。
着弾ドット１０は、雰囲気湿度に応じて適切な撥水性を有するガラス基板１６を用いることによって、画像認識に適したドーム形状となる。これによって、測定誤差を極力抑えることができるため、各着弾ドット１０の体積が各吐出ノズル１３の吐出量に強く反映される。
【００３９】
以上の構成によれば、撥水性の異なる複数種のガラス基板１６を用意し、周囲雰囲気の湿度と、測定のための着弾ドット１０が適正ドーム形状となる複数種のガラス基板１６との関係を表した湿度−撥水性データ２０に基づいて、測定した周囲雰囲気の湿度に応じた１のガラス基板１６を用いて、検査吐出および着弾ドット１０の体積測定を実施することにより、周囲雰囲気の湿度の影響による着弾ドット１０体積の測定誤差を極力抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】機能液滴吐出ヘッドを示した外観斜視図である。
【図２】吐出検査装置を模式的に示した平面図である。
【図３】着弾ドット撮像装置を模式的に示した側面図である。
【図４】白色干渉計を模式的に示した断面図である。
【図５】ガラス基板上の着弾ドットが、（ａ）適正ドーム形状、（ｂ）９０°以下の接触角、（ｃ）９０°以上の接触角、により略半球を為している状態を示す模式図である。
【図６】雰囲気湿度とガラス基板との湿度―撥水性の関係を示す表である。
【図７】吐出検査装置における、検査吐出を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…機能液滴吐出ヘッド  １０…着弾ドット  １２…ノズル列  １３…吐出ノズル  １６…ガラス基板  ２０…湿度−撥水性データ  ２６…制御装置  ９９…白色干渉計
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010139294.tif 000005
【図４】
2010139294.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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