(57)【要約】【課題】散乱光の検出感度を向上させることができる入射光学系、及びラマン散乱光測定装置を提供する。【解決手段】入射光学系１では、試料Ｓが載置される試料面１１１を有する透光部材１１と、試料面１１１に直交した中心線１４から所定距離以上離して中心線１４に平行にレーザ光（光束）Ｌを反射させる環状ミラー（反射鏡）２１と、環状ミラー２１が反射させたレーザ光Ｌを透光部材１１１内に入射させて試料面１１１で全反射させる集光レンズ（屈曲部材）１２とを備える。環状ミラー２１は、開口部２１２を中心線１４が通る位置に配置されている。試料面１１１でレーザ光Ｌが全反射して発生したエバネッセント光により試料Ｓから発生したラマン散乱光Ｒは、開口部２１２を通って放出される。ラマン散乱光Ｒは、光学部品を通過することなく空間的にレーザ光Ｌと分離されるので、ラマン散乱光Ｒの検出感度が向上する。【選択図】図１
2010156557.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意の試料が接触される平面状の試料面を有する透光部材を備え、前記試料面で全反射が行われるように前記試料面へ光を入射する入射光学系において、
前記透光部材へ光束を入射させるために、前記試料面の法線の内で全反射点を通る所定の法線である中心線から所定距離以上離して前記中心線に平行に光束を反射させる反射鏡と、
該反射鏡が前記中心線に平行に反射させた光束の光路を屈曲させることにより、光束が前記全反射点で全反射するように光束を前記透光部材内に入射させる屈曲部材とを備え、
前記反射鏡は、前記中心線と交差しない位置に配置してあること
を特徴とする入射光学系。
【請求項２】
前記反射鏡は、環状に形成してあり、開口部分を前記中心線が通る位置に配置してあること
を特徴とする請求項１に記載の入射光学系。
【請求項３】
前記屈曲部材は、前記反射鏡が前記中心線に平行に反射させた光束を前記全反射点へ集光させる集光レンズであり、
該集光レンズは、光軸を前記中心線に一致させて配置してあること
を特徴とする請求項１又は２に記載の入射光学系。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一つに記載の入射光学系と、
前記透光部材へ入射させる単波長の光束を発生させる手段と、
前記光束が全反射することにより発生したエバネッセント光が試料に作用することによって発生したラマン散乱光を検出する手段と
を備えることを特徴とするラマン散乱光測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料が接触される試料面で全反射を起こすために試料面へ光を入射する入射光学系に関し、より詳しくは、光の入射により発生した散乱光を高感度で検出することができる入射光学系及びそれを用いたラマン散乱光測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試料を高分解能で観察する方法として、光を全反射することによって発生するエバネッセント光を利用する方法がある。特許文献１には、試料の表面に発生させたエバネッセント光に微小な探針を接近させて散乱光に変換することにより、試料の微小構造を観察することを可能にする近接場顕微鏡が開示されている。また特許文献２には、試料の表面近傍で入射光を全反射させ、エバネッセント光を試料に浸透させ、エバネッセント光が励起光となって試料から発生する蛍光を観察する全反射蛍光顕微鏡が開示されている。また蛍光分析と同様に、ラマン分光分析でも全反射を利用することができる。エバネッセント光が浸透する深さは非常に短いので、全反射を利用することにより、試料表面を選択的に分析することが可能となる。
【０００３】
図５は、全反射を起こすように光を入射する従来の入射光学系の一部を示す模式図である。入射光学系は、ＮＡ（開口数）が大きい集光レンズ６１を備え、表面に試料Ｓが載置されているスライドガラス６４と集光レンズ６１との間にイマージョンオイル６３が満たされている。更に入射光学系はダイクロイックミラー６２を備え、レーザ光Ｌをダイクロイックミラー６２で反射して集光レンズ６１へ入射する構成となっている。レーザ光は、集光レンズ６１の光軸に略平行に、集光レンズ６１の周縁部分に入射され、集光レンズ６１によって屈折され、スライドガラス６４の内部でスライドガラス６４の表面へ入射される。入射光学系は、スライドガラス６４の表面への入射角が臨界角以上となるように構成されており、レーザ光Ｌはスライドガラス６４の表面で内部全反射し、再び集光レンズ６１の周縁部分を通って集光レンズ６１外へ出射し、ダイクロイックミラー６２で反射される。レーザ光Ｌが内部全反射することにより、スライドガラス６４の表面でエバネッセント光が発生し、スライドガラス６４の表面に載置された試料Ｓにエバネッセント光が浸透する。エバネッセント光と試料Ｓとの相互作用により、例えばラマン散乱光Ｒが発生する。発生したラマン散乱光Ｒは、集光レンズ６１の光軸に沿って出射し、ダイクロイックミラー６２を通過し、ミラー６５で反射され、光検出器６６で検出される。このような入射光学系を用いることにより、ラマン分光分析でも、試料Ｓの表面を選択的に分析することができる。
【特許文献１】特開２００４−１０１４２４号公報
【特許文献２】特開２００２−２３６２５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のように、全反射を起こすように光を入射してラマン分光分析を行うための入射光学系では、励起用のレーザ光Ｌをダイクロイックミラー６２で反射させ、ラマン散乱光Ｒはダイクロイックミラー６２を通過させることによって、ラマン散乱光Ｒを測定可能にしている。ところが、ダイクロイックミラー６２で反射させるべき励起用のレーザ光Ｌと、ダイクロイックミラー６２を通過させるべきラマン散乱光Ｒとでは、波長が近いので、両者を分離する効率が悪いという問題がある。またラマン散乱光Ｒは強度が微弱であり、ダイクロイックミラー６２を通過することによって更にラマン散乱光Ｒが減衰するので、検出感度が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ダイクロイックミラーを使わずに励起光と散乱光とを分離することによって、散乱光の検出感度を向上させることができる入射光学系、及び該入射光学系を用いたラマン散乱光測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る入射光学系は、任意の試料が接触される平面状の試料面を有する透光部材を備え、前記試料面で全反射が行われるように前記試料面へ光を入射する入射光学系において、前記透光部材へ光束を入射させるために、前記試料面の法線の内で全反射点を通る所定の法線である中心線から所定距離以上離して前記中心線に平行に光束を反射させる反射鏡と、該反射鏡が前記中心線に平行に反射させた光束の光路を屈曲させることにより、光束が前記全反射点で全反射するように光束を前記透光部材内に入射させる屈曲部材とを備え、前記反射鏡は、前記中心線と交差しない位置に配置してあることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る入射光学系は、前記反射鏡は、環状に形成してあり、開口部分を前記中心線が通る位置に配置してあることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る入射光学系は、前記屈曲部材は、前記反射鏡が前記中心線に平行に反射させた光束を前記全反射点へ集光させる集光レンズであり、該集光レンズは、光軸を前記中心線に一致させて配置してあることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るラマン散乱光測定装置は、本発明に係る入射光学系と、前記透光部材へ入射させる単波長の光束を発生させる手段と、前記光束が全反射することにより発生したエバネッセント光が試料に作用することによって発生したラマン散乱光を検出する手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明においては、ラマン散乱光測定装置で用いることができる入射光学系は、試料が接触する平面状の試料面を有する透光部材と、試料面に直交した中心線から所定距離以上離して中心線に平行に光束を反射させる反射鏡と、光束を屈曲させて、試料面で全反射するように透光部材内に光束を入射させる屈曲部材とを備える。反射鏡は、中心線に交差しない位置に配置してあり、中心線に沿って透光部材から放出されたラマン散乱光は反射鏡に妨げられない。
【００１１】
また本発明においては、入射光学系は、環状の反射鏡を備え、反射鏡の開口部分を中心線が通るように反射鏡が配置されている。
【００１２】
また本発明においては、入射光学系は、光軸が中心線に一致した集光レンズを屈曲部材として備え、集光レンズは、反射鏡が反射した光束を透光部材の被試料面に集光させる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にあっては、反射鏡が励起光である光束を反射させる一方で、試料から発生して中心線に沿って放出されたラマン散乱光は反射鏡で妨げられずに通過し、ラマン散乱光が測定可能になる。光束とラマン散乱光とは、光学部品を用いずに空間的に分離されるので、本発明では、両者を効率的に分離することが可能となる。また分離時には、ラマン散乱光は光学部品を通過しないので、本発明ではラマン散乱光の検出感度を向上させることが可能となる等、本発明は優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る本発明の入射光学系を含むラマン散乱光測定装置の構造を示す概略図である。本発明の入射光学系１は、試料Ｓを載置される透光部材１１と、集光レンズ（屈曲部材）１２と、環状ミラー（反射鏡）２１とを備えている。透光部材１１は、透光性の材料を平板状に形成してなり、試料Ｓが載置される平板状の試料面１１１を有する。集光レンズ１２は、光軸に平行に入射された光を集光させる凸レンズであり、集光レンズ１２は、試料面１１１を正面とした透光部材１１の背面側に、光軸の延長線が試料面１１１に直交するように配置されている。また透光部材１１と集光レンズ１２との間の空間にはイマージョンオイル１３が満たされている。透光部材１１、集光レンズ１２及びイマージョンオイル１３の屈折率は略同一であり、開口数が１．４以上の値になるように屈折率及び集光レンズ１２の形状が定められている。更に集光レンズ１２は、光軸に平行に入射された光が集光する焦点が試料面１１１上に位置するような位置に配置されている。試料面１１１の法線の内、集光レンズ１２の焦点を通る法線を中心線１４とする。このように、集光レンズ１２の光軸は中心線１４に一致する。なお、本発明ではイマージョンオイル１３に代えて他の液浸材を用いてもよい。また焦点が試料面１１１上に位置するように構成できるのであれば、集光レンズ１２が透光部材１１に接触し、イマージョンオイル１３が省かれた構成であってもよい。
【００１５】
図２は、環状ミラー２１の形状を示す模式図であり、図２（ａ）は環状ミラー２１の正面図を示す。環状ミラー２１は、平板環状に形成されており、反射面２１１を有し、開口部２１２が形成されている。反射面２１１と開口部２１２とは同心状になっている。環状ミラー２１は、反射面２１１が集光レンズ１２に対向し、開口部２１２の中心を中心線１４が通る位置に配置されている。図２（ｂ）は、環状ミラー２１を集光レンズ１２側から見た図を示す。ラマン散乱光測定装置は、レーザ光（光束）Ｌを発光するレーザ光源３１を備えており、環状ミラー２１は、レーザ光源３１からのレーザ光Ｌを中心線１４に平行に反射させるように、中心線１４に対する傾きが定められている。
【００１６】
環状ミラー２１により中心線１４に平行に反射されたレーザ光Ｌは、まず集光レンズ１２へ入射される。集光レンズ１２の光軸に一致する中心線１４が開口部２１２の中央を通るように環状ミラー２１が配置されているので、レーザ光Ｌは、開口部２１２の半径に応じた所定の距離以上中心線１４から離れて反射される。環状ミラー２１で反射されたレーザ光Ｌは、光軸から離れた集光レンズ１２の周縁部に入射される。レーザ光Ｌは、更に、集光レンズ１２で屈折され、透光部材１１内へ入射される。集光レンズ１２の光軸に平行に入射された光が集光する焦点が試料面１１１上に位置しているので、透光部材１１内へ入射されたレーザ光Ｌは透光部材１１内において試料面１１１で反射する。レーザ光Ｌの試料面１１１に対する入射角が臨界角以上である場合は、レーザ光Ｌは試料面１１１で内部全反射する。臨界角は透光部材１１の屈折率によって定まっている。本発明の入射光学系１は、レーザ光Ｌが試料面１１１で内部全反射するように構成されている。具体的には、集光レンズ１２へのレーザ光Ｌの入射位置と試料面１１１上の焦点とを通る直線の試料面１１１に対する入射角が臨界角以上となるような位置に、透光部材１１、集光レンズ１２及び環状ミラー（反射鏡）２１が配置されている。試料面１１１上の焦点はレーザ光Ｌが内部全反射する全反射点となり、中心線１４は、試料面１１１の法線の内で全反射点を通る法線となる。
【００１７】
試料Ｓは、試料面１１１上の中心線１４が通る位置に載置される。レーザ光Ｌが試料面１１１で内部全反射する際には、全反射点でエバネッセント光が発生する。発生したエバネッセント光は、試料面１１１に接触した試料Ｓ内に浸透し、エバネッセント光と試料Ｓとの相互作用によりラマン散乱光Ｒが発生する。エバネッセント光は全反射点で発生するので、試料面１１１上の全反射点に接触した試料Ｓの部分からラマン散乱光Ｒが発生する。
【００１８】
試料Ｓの試料面１１１に接した部分で発生したラマン散乱光Ｒは、試料面１１１から透光部材１１内へ進入し、透光部材１１、イマージョンオイル１３及び集光レンズ１２内を通過して集光レンズ１２外へ放出される。ラマン散乱光Ｒは中心線１４上にある全反射点の近傍で発生し、また集光レンズ１２の光軸は中心線１４に一致するので、ラマン散乱光Ｒは、中心線１４に沿って集光レンズ１２外へ放出される。中心線１４に沿ったラマン散乱光Ｒは、環状ミラー２１で反射されたレーザ光Ｌと平行になり、レーザ光Ｌの迷光が混ざり難い。中心線１４は環状ミラー２１の開口部２１２を通っているので、中心線１４に沿ったラマン散乱光Ｒは、環状ミラー２１の開口部２１２を通過する。
【００１９】
ラマン散乱光測定装置は、環状ミラー２１の開口部２１２を通過したラマン散乱光Ｒを通過させるレイリーカットフィルタ３２、レンズ３３及び分光器３４を備える。レイリーカットフィルタ３２は、レーザ光源３１が発光するレーザ光Ｌと同波長のレイリー散乱光をラマン散乱光Ｒから除去し、レンズ３３は、ラマン散乱光Ｒを集光して分光器３４へ入射させる。
【００２０】
またラマン散乱光測定装置は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）光センサ又は光電子増倍管を用いてなる光検出器３５を備える。分光器３４は、入射したラマン散乱光Ｒを分光し、光検出器３５は、分光器３４が分光したラマン散乱光Ｒを検出する。ラマン散乱光測定装置は、更に、光検出器３５が接続されたコンピュータ４を備える。光検出器３５は、検出したラマン散乱光Ｒの光量に対応する電気信号をコンピュータ４へ入力する。なお、光検出器３５は、その他の光センサを用いてなる構成であってもよい。
【００２１】
コンピュータ４は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の汎用コンピュータを用いて構成されている。コンピュータ４は、分光器３４が接続されており、分光器３４へ必要な制御信号を送信することにより、分光器３４が入射されたラマン散乱光Ｒの中から取り出すラマン散乱光Ｒの波長を制御する処理を行う。光検出器３５は、分光器３４が取り出したラマン散乱光Ｒを検出し、検出したラマン散乱光Ｒの光量を示す電気信号をコンピュータ４へ入力する。コンピュータ４は、光検出器３５からの電気信号を受け付け、分光器３４が取り出したラマン散乱光Ｒの波長をラマンシフトに変換し、ラマンシフトと光検出器３５が検出したラマン散乱光Ｒの光量とを関連付けて記憶する。またコンピュータ４は、分光器３４が取り出すラマン散乱光Ｒの波長を変化させながら光検出器３５からの電気信号を順次受け付け、各ラマンシフトに対応するラマン散乱光Ｒの光量を記憶することにより、ラマンスペクトルを取得する処理を行う。
【００２２】
本発明では、光軸が中心線１４に一致した高ＮＡの集光レンズ１２を用いることにより、中心線１４から離れた周縁部に中心線１４に平行に入射されたレーザ光Ｌを集光して透光部材１１の試料面１１１で内部全反射させ、更に中心線１４に沿ったラマン散乱光Ｒを通過させる。また環状ミラー２１を利用することにより、レーザ光Ｌを反射面２１１で中心線１４に平行に反射する一方で、中心線１４に沿ったラマン散乱光Ｒは開口部２１２を通過させる。このように、本発明では、環状ミラー２１が励起光であるレーザ光Ｌを反射させる一方でラマン散乱光Ｒを通過させることにより、ラマン散乱光Ｒを測定可能にしている。レーザ光Ｌとラマン散乱光Ｒとは、ダイクロイックミラー等の光学部品によって波長の違いに応じて分離されるのではなく、空間的に分離されるので、本発明では、両者を効率的に分離することが可能である。また分離時には、ラマン散乱光Ｒは開口部２１２内の空間を通過するだけであり、光学部品を通過しないので、本発明では、分離によってラマン散乱光Ｒが減衰することがなく、ラマン散乱光Ｒの検出感度を向上させることができる。
【００２３】
なお、本実施の形態のラマン散乱光測定装置は、環状ミラー２１で反射されるレーザ光Ｌが中心線１４に平行である状態を保ちながら、環状ミラー２１へ入射されるレーザ光Ｌの光路を移動させる機構を備えた形態であってもよい。この形態では、ラマン散乱光測定装置は、環状ミラー２１へ入射されるレーザ光Ｌの光路を平行移動させる構成となっている。環状ミラー２１へ入射されるレーザ光Ｌの光路が平行移動したとしても、環状ミラー２１で反射されたレーザ光Ｌは、中心線１４に平行であり、集光レンズ１２で集光されて透光部材１１内へ入射され、試料面１１１で反射する。ラマン散乱光測定装置は、環状ミラー２１へ入射されるレーザ光Ｌの光路が移動可能な範囲を、レーザ光Ｌの試料面１１１に対する入射角が臨界角以上になる範囲内に限定する構成となっている。従って、透光部材１１へ入射されたレーザ光Ｌは試料面１１１で全反射する。環状ミラー２１へ入射されるレーザ光Ｌの光路が平行移動することにより、レーザ光Ｌが集光レンズ１２へ入射される位置が変化するので、レーザ光Ｌの試料面１１１に対する入射角が臨界角以上の範囲内で変化する。レーザ光Ｌの入射角が変化することにより、全反射により発生するエバネッセント光が試料Ｓに浸透する深さが変化し、試料Ｓ内でラマン散乱光Ｒが発生する部分の深さが変化する。従って、試料Ｓの表面からの深さが異なった部分からのラマン散乱光Ｒを測定することができ、試料Ｓ内の深さ方向の物質分布等、試料Ｓを深さ方向に分析することが可能となる。
【００２４】
（実施の形態２）
実施の形態２では、環状ミラー以外のミラーを用いた形態を示す。図３は、実施の形態２に係る本発明の入射光学系を含むラマン散乱光測定装置の構造を示す概略図である。本実施の形態に係る入射光学系１は、環状ミラーの代わりに二つのエッジミラー（反射鏡）２２，２３を備えてなる。エッジミラー２２，２３は、部材を切断した切断面に反射膜を蒸着した構造であり、反射面の面積は集光レンズ１２の投影面積よりも小さくなっている。エッジミラー２２は、レーザ光源３１からのレーザ光Ｌを中心線１４に平行に反射させて集光レンズ１２に入射させる位置に配置されている。エッジミラー２３は、試料面１１１での全反射後に集光レンズ１２から出射された中心線１４に平行なレーザ光Ｌを反射させる位置に配置されている。またエッジミラー２２，２３は、中心線１４が通る位置を避けて配置されている。エッジミラー２２で反射されるレーザ光Ｌは、エッジミラー２２の中心線１４からの距離に応じた所定の距離以上中心線１４から離れて反射される。ラマン散乱光測定装置のその他の構成は実施の形態１と同様であり、対応する部分に同符号を付してその説明を省略する。
【００２５】
本実施の形態でも、エッジミラー２２，２３を用いて、集光レンズ１２の周縁部に中心線１４に平行にレーザ光Ｌを入射させ、レーザ光Ｌを透光部材１１の試料面１１１で内部全反射させ、試料面１１１に載置された試料Ｓからラマン散乱光Ｒを発生させることができる。レーザ光Ｌはエッジミラー２２で中心線１４に平行に反射される一方で、中心線１４に沿ったラマン散乱光Ｒは、エッジミラー２２，２３が存在していない空間を通過する。このように、本実施の形態では、エッジミラー２２が励起光であるレーザ光Ｌを反射させる一方で、ラマン散乱光Ｒを通過させることにより、ラマン散乱光Ｒを測定可能にしている。レーザ光Ｌとラマン散乱光Ｒとは、空間的に分離されるので、本発明では、両者を効率的に分離することが可能である。また分離時には、ラマン散乱光Ｒは光学部品を通過しないので、本発明ではラマン散乱光Ｒの検出感度を向上させることができる。
【００２６】
なお、本発明の構成は、エッジミラー２２，２３を用いた構成に限るものではなく、中心線１４が通る位置を避けた構成であれば、エッジミラー２２，２３の位置にその他のミラーを配置した構成であってもよい。
【００２７】
（実施の形態３）
実施の形態３では、集光レンズを用いない形態を示す。図４は、実施の形態３に係る本発明の入射光学系を含むラマン散乱光測定装置の構造を示す概略図である。本実施の形態に係る入射光学系１は、集光レンズを備えておらず、角錐台の形状に形成された透光部材５１を備えてなる。透光部材５１は、角錐台の底面を試料面５１１とし、試料面５１１に平行な頂面５１２と、試料面５１１に対して鋭角に傾いた側面５１３とを有する形状になっている。環状ミラー２１は、試料面５１１及び頂面５１２の法線に平行にレーザ光Ｌを反射させるように配置されている。また入射光学系１は、環状ミラー２１が反射させたレーザ光Ｌを、側面５１３に直交するように反射させ、透光部材５１内へ入射させるミラー（屈曲部材）５２を備える。試料面５１１の法線の内、透光部材５１内へ入射されたレーザ光Ｌが試料面５１１で反射する反射点を通る法線を中心線１４とする。即ち、環状ミラー２１は、中心線１４に平行にレーザ光Ｌを反射させる。更に入射光学系１は、側面５１３に直交して透光部材５１から出射したレーザ光Ｌを中心線１４に平行に反射させるミラー５３を備える。
【００２８】
透光部材５１は、側面５１３に直交して内部に入射されたレーザ光Ｌが試料面５１１で全反射するように構成されている。具体的には、側面５１３に直交する直線の試料面５１１に対する入射角が臨界角以上となるように、透光部材５１が形成されている。即ち、中心線１４は、試料面５１１の法線の内、試料面５１１でレーザ光Ｌが内部全反射する全反射点を通る法線である。ラマン散乱光測定装置のその他の構成は実施の形態１と同様であり、対応する部分に同符号を付してその説明を省略する。レーザ光Ｌが試料面５１１で内部全反射することにより、試料面５１１でエバネッセント光が発生し、試料面５１１に載置された試料Ｓでラマン散乱光Ｒが発生する。発生したラマン散乱光Ｒは、試料面５１１から透光部材５１内へ進入し、中心線１４に沿って頂面５１２から放出され、環状ミラー２１の開口部２１２を通過し、分光器３４及び光検出器３５で検出される。
【００２９】
本実施の形態においても、中心線１４に平行なレーザ光Ｌをミラー５２で反射させて透光部材５１内へ入射させ、レーザ光Ｌを透光部材５１の試料面５１１で内部全反射させ、試料面５１１に載置された試料Ｓからラマン散乱光Ｒを発生させることができる。中心線１４に沿って透光部材５１の頂面５１２から放出されたラマン散乱光Ｒは、環状ミラー２１の開口部２１２を通過する。このように、本実施の形態でも、環状ミラー２１が励起光であるレーザ光Ｌを反射させる一方でラマン散乱光Ｒを通過させることにより、ラマン散乱光Ｒを測定可能にしている。レーザ光Ｌとラマン散乱光Ｒとは、空間的に分離されるので、本発明では、両者を効率的に分離することが可能である。また分離時には、ラマン散乱光Ｒは光学部品を通過しないので、本発明ではラマン散乱光Ｒの検出感度を向上させることができる。
【００３０】
なお、本実施の形態においては、環状ミラー２１を用いた形態を示したが、これに限るものではなく、本発明は、環状ミラー２１の代わりにエッジミラーを備えた形態であってもよい。
【００３１】
また以上の実施の形態１〜３においては、試料Ｓを透光部材の試料面に載置する形態を示したが、本発明の構成は、透光部材の試料面が天側になる構成に限るものではない。本発明の構成は、透光部材の試料面で発生するエバネッセント光が試料Ｓに浸透できるように試料Ｓが試料面に接触する構成であればよい。例えば、本発明の入射光学系は、透光部材の試料面を天側以外の方向に向け、試料Ｓを試料面に面着させる構成であってもよい。
【００３２】
また以上の実施の形態１〜３においては、本発明の入射光学系１はラマン散乱光測定装置を構成する構成物であるとしたが、これに限るものではない。本発明の入射光学系は、光が試料面で全反射することによって試料Ｓを分析できる方法であれば、ラマン効果以外の現象を測定する測定装置で利用してもよい。例えば、フォトルミネセンス又は蛍光を測定する装置に本発明の入射光学系１を組み込んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施の形態１に係る本発明の入射光学系を含むラマン散乱光測定装置の構造を示す概略図である。
【図２】環状ミラーの形状を示す模式図である。
【図３】実施の形態２に係る本発明の入射光学系を含むラマン散乱光測定装置の構造を示す概略図である。
【図４】実施の形態３に係る本発明の入射光学系を含むラマン散乱光測定装置の構造を示す概略図である。
【図５】全反射を起こすように光を入射する従来の入射光学系の一部を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３４】
１１、５１  透光部材
１１１、５１１  試料面
１２  集光レンズ
１４  中心線
２１  環状ミラー（反射鏡）
２１２  開口部
２２、２３  エッジミラー（反射鏡）
３１  レーザ光源
３４  分光器
３５  光検出器
４  コンピュータ
５２  ミラー（屈曲部材）
Ｌ  レーザ光
Ｒ  ラマン散乱光
Ｓ  試料
【図１】
2010156557.tif 000003
【図２】
2010156557.tif 000004
【図３】
2010156557.tif 000005
【図４】
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【図５】
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