(57)【要約】【課題】レーザのコヒーレント性に起因し発生するスペックルノイズを低減し、光利用効率を高めることのできるレーザ画像投影装置を提供する。【解決手段】レーザのコヒーレント性に起因し発生するスペックルノイズを低減させるため光源1を振動発生手段２で振動させスペックルノーズのパターンを時間的に平均化して低減しつつ、振動発生手段２によって発生する光源1の光軸のズレを補正するようにレンズ５を振動に同期して連続的に移動させ光利用効率を高める。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を発生させる光源と、前記光源を振動させる振動発生手段と、前記光源からの光を入力信号に応じて空間変調し画像を形成する空間変調素子と、前記空間変調素子の素子面の照度を均一に前記光源からの光を照明するため前記光源から入射された光を均斉化して光軸と垂直な出射開口部面で光量分布を均一に変換するインテグレーターと、前記光源からの光を前記インテグレーターに照明するレンズを備えたレーザ画像投影装置において、
前記光源が前記振動発生手段により振動したときに発生する前記インテグレーターへの前記光源からの光の入射位置ズレを、前記レンズを前記光源の振動に追随して振動または、前記光源の振動に同期して連続的に振動させ補正することを特徴とするレーザ画像投影装置。
【請求項２】
前記光源が光軸に対し垂直方向に振動したときに、前記レンズも前記光源に追随して光軸に対して垂直方向に振動または前記光源の振動に同期して連続的に振動し、前記インテグレーターへの前記光源からの光の入射位置ズレを補正することを特徴とする請求項１に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項３】
前記光源が光軸方向に振動したときに、前記レンズも前記光源に追随して光軸方向に振動または前記光源の振動に同期して連続的に振動し、前記インテグレーターへの前記光源からの光の入射位置ズレを補正することを特徴とする請求項１に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項４】
前記レンズが前記光源から発生する光を前記インテグレーターに対し集光またはコリメートすることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のレーザ画像投影装置。
【請求項５】
前記レンズと前記インテグレーター間に拡散素子または拡散手段を配置し前記光源からの光を拡散させた状態で前記インテグレーターに入射させる請求項１に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項６】
前記光源を振動発生手段によって３０Ｈｚ以上で振動させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項７】
レーザ光を発生させる光源と、前記光源からの光を入力信号に応じて空間変調し画像を形成する空間変調素子と、前記空間変調素子の素子面の照度を均一に前記光源からの光を照明するため前記光源から入射された光を均斉化して光軸と垂直な出射開口部面で光量分布を均一に変換するインテグレーターと、前記インテグレーターを振動させる振動発生手段と、光源からの光を前記インテグレーターに照明するレンズと、前記インテグレーターで均斉化された光を屈折させて前記空間変調素子面への照射範囲を調節するリレーレンズを備えたレーザ画像投影装置において、前記インテグレーターが前記振動発生手段により振動したときに発生する前記空間変調素子面への前記インテグレーターからの光の入射位置ズレを、前記リレーレンズを前記インテグレーターの振動に追随して振動または前記光源の振動に同期して連続的に振動させ補正することを特徴とするレーザ画像投影装置。
【請求項８】
前記インテグレーターが光軸に対し垂直方向に振動したときに、前記リレーレンズも前記インテグレーターに追随して光軸に対して垂直方向に振動または前記インテグレーターの振動に同期して連続的に振動し前記空間変調素子の素子面への前記インテグレーターからの光の入射位置ズレを補正することを特徴とする請求項７に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項９】
前記インテグレーターが光軸方向に振動したときに、前記リレーレンズも前記インテグレーターに追随して光軸方向に振動または前記インテグレーターの振動に同期して連続的に振動し前記空間変調素子の素子面への前記インテグレーターからの光の入射位置ズレを補正することを特徴とする請求項７に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項１０】
前記インテグレーターを振動発生手段によって３０Ｈｚ以上で振動させることを特徴とする請求項７に記載のレーザ画像投影装置。
【請求項１１】
前記光源と前記インテグレーターが1つのユニットとなす構成をもち、振動発生手段でインテグレーターが振動しても前記光源と前記インテグレーターとの位置関係が変化しないことを特徴とする請求項７に記載のレーザ画像投影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ画像投影装置に関するものである。
【０００２】
本発明は、レーザ画像投影装置に関し、より詳細には、レーザ画像投影装置の光照明技術に関する。
【０００３】
本発明は、レーザ画像投影装置に係り、特にレーザのコヒーレント性に起因し発生するスペックルノイズを低減しつつ光源から発せられたレーザ光を高効率で空間変調素子に照明することに好適に利用できるものである。
【背景技術】
【０００４】
近年、画像投影装置において従来のＮＴＳＣ色表現域から色表現域を広げ、より自然色に近づけた画像を表示させたいといったニーズの高まりからｘｖＹＣＣ色表現域といった新しい色表現域の規格も整備されつつある。そのような新しい色再現域の規格に対応するための技術として光の３原色である赤（以後はＲ）、緑（以後はＧ）、青（以後はＢ）の単色の色域の広いレーザ光を光源として用いることが注目されている。以後、光の３原色をＲＧＢと表記する。
【０００５】
しかしながら、単にレーザ光を光源として使用すると、レーザ光のコヒーレント性に起因し発生するスペックルノイズと言われる画像がギラついたり、ランダムな粒状のムラが発生したりし投影画像の品位を低下させる。よって、レーザ画像投影装置においてスペックルノイズの低減手法が重要な技術となっている。
【０００６】
従来のレーザ画像投影装置におけるスペックルノイズを低減させる照明技術は単に、光源、入射される光を入力信号に応じて空間変調し画像を形成する空間変調素子、前記空間変調素子の素子面に照度を均一に前記光源からの光を照明するため前記光源から入射された光を均斉化して光軸と垂直な出射開口部面で光量分布を均一に変換するインテグレーター、または前記光源からのインテグレーターに光を入射させるためのレンズ、インテグレーターで均斉化され出射された光を屈折させて前記空間変調素子面への照射範囲を調節するリレーレンズのいずれかを振動させることを特徴としている（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開２００５−１０７７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記従来の構成では、光源または光学部品のいずれか一つを単に振動発生手段で振動させることでスペックルノイズのパターンを時間的に変化させスペックルノイズを低減する手法のため、例えば光源を振動させスペックルノイズの低減を図る場合の従来の方法での課題点を説明する。光源が振動発生装置の振動で光軸に垂直方向に振動したとすると、光源とインテグレーターの光軸がズレ、光源からの光が十分にインテグレーターの開口部に入らない。従って、インテグレーターへの光量が振動とともに変化するため、空間変調素子の素子面に照明される光量が時間的に変化する。最終的には投影画像の光量変動が発生し投影画像の品質を損なう。
【０００８】
また、光学部品の一つインテグレーターを振動させスペックルノイズの低減を図る場合の従来の方法での課題点を説明する。
【０００９】
インテグレーターは前記したように入射された光を空間変調素子の素子面に照度を均一に照明するため、入射された光を均斉化して光軸と垂直な出射開口部面で光量分布を均一に変換し、インテグレーターで均斉化された光はリレーレンズにより光を入力信号に応じて空間変調し画像を形成する空間変調素子の素子面に照明する。
従って、インテグレーターが振動すると空間変調素子の素子面での照明範囲が変化し、スクリーンに投影したとき空間変調素子の情報の一部が投影表示されないケラレとなり投影画像の品質を損なう。
【００１０】
インテグレーターの振動により空間変調素子の素子面での照明のケラレが発生しないようにするためインテグレーターの出射開口部の面積をインテグレーターが振動してもケラレが発生しない大きさにすれば理論上ケラレは発生しないが、その場合の課題点は、インテグレーターが大きくなることでインテグレーターの出射開口部面上での光量バラつきが発生し空間変調素子の素子面での照度がバラついてしまい、最終的には投影画像に輝度ムラが発生する。
【００１１】
さらに、インテグレーターの開口部を大きくすることで出射開口部面上での光束密度が下がるため空間変調素子の素子面上での光束密度も下がり投影画像が暗くなる。
【００１２】
また、空間変調素子の素子面で光が通過しない部分にもインテグレーターからの光が当たるため、空間変調素子の温度が上昇し熱的ダメージの要因となったり、空間変調素子の素子面以外での反射光による迷光になったりと問題が発生する。
さらに、インテグレーターが大きくなることでインテグレーター自身のコストＵＰ、及びインテグレーターからの光を空間変調素子に照明するリレーレンズも大きくなるため光学ユニットが大きくなる。
【００１３】
インテグレーテーが大きくなると振動させる振動発生手段も大きくなるため光学ユニットの振動が、筐体に伝わりセット全体が振動してしまう。
【００１４】
以上のように、スペックル対策をする際に光源及びインテグレーターを振動させることで上記のような課題を有していた。
【００１５】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、光源が振動した場合、光源とインテグレーター間のレンズを振動させ光源からの光をインテグレーターの中心部に照明するように補正し、またインテグレーターの振動に対し、リレーレンズを振動させ光軸を常に補正し空間変調素子の素子面への照明範囲、光量を一定にする。
【００１６】
このように光源及びインテグレーターが振動することにより光学部品間のセンター軸の関係がズレるため発生する光軸ズレを補正し、投影画像のケラレ及び光量変動をなくしかつ、スペックルノイズを低減させるレーザ画像投影装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記従来の課題を解決するために、本発明のレーザ画像投影装置は、レーザ光を発生させる光源と、前記光源を振動させる振動発生手段と、前記光源からの光を入力信号に応じて空間変調し画像を形成する空間変調素子と、前記空間変調素子の素子面の照度を均一に前記光源からの光を照明するため前記光源から入射された光を均斉化して光軸と垂直な出射開口部面で光量分布を均一に変換するインテグレーターと、前記光源からの光を前記インテグレーターに照明するレンズを備えたレーザ画像投影装置において、前記光源が前記振動発生手段により振動したときに発生する前記インテグレーターへの前記光源からの光の入射位置ズレを、前記レンズを振動させ補正することを特徴としたものである。
【００１８】
さらに、レーザ画像投影装置において、前記光源が光軸に対し垂直方向に振動したときに前記レンズも前記光源に追随して光軸に対して垂直方向に振動し、前記インテグレーターへの前記光源からの光の入射位置ズレを補正することを特徴としたものである。
【００１９】
また、前記光源が光軸方向に振動したときに、前記レンズも前記光源に追随して光軸方向に振動または前記光源の振動に同期して連続的に振動し、前記インテグレーターへの前記光源からの光の入射位置ズレを補正することを特徴としたものである。
さらに、前記レンズは前記光源から発生する光を前記インテグレーターに対し集光またはコリメートすることを特徴としたものである。
【００２０】
さらに、前記レンズと前記インテグレーター間に拡散素子または拡散手段を配置し前記光源からの光を拡散させた状態で前記インテグレーターに入射させることを特徴としたものである。
【００２１】
さらに、レーザのスペックルを低減させるためには人間の目が視認できる以上のスピードで前記光源を振動発生手段によって振動させる必要があり、振動の周期を３０Ｈｚ以上で振動させることを特徴としたものである。
【００２２】
また、本発明はレーザ光を発生させる光源と、前記光源からの光を入力信号に応じて空間変調し画像を形成する空間変調素子と、前記空間変調素子の素子面の照度を均一に前記光源からの光を照明するため前記光源から入射された光を均斉化して光軸と垂直な出射開口部面で光量分布を均一に変換するインテグレーターと、前記インテグレーターを振動させる振動発生手段と、光源からの光を前記インテグレーターに照明するレンズと、前記インテグレーターで均斉化された光を屈折させて前記空間変調素子面への照射範囲を調節するリレーレンズを備えたレーザ画像投影装置において、前記インテグレーターが前記振動発生手段により振動したときに発生する前記空間変調素子面への前記インテグレーターからの光の入射位置ズレを、前記リレーレンズを振動させ補正することを特徴としたものである。
【００２３】
さらに、レーザ画像投影装置において、前記インテグレーターが光軸に対し垂直方向に振動したときに前記リレーレンズも前記インテグレーターに追随して光軸に対して垂直方向に振動し前記空間変調素子の素子面への前記インテグレーターからの光の入射位置ズレを補正することを特徴としたものである。
【００２４】
また、前記インテグレーターが光軸方向に振動したときに前記リレーレンズも前記インテグレーターに追随して光軸方向に振動または前記インテグレーターの振動に同期して連続的に振動し前記空間変調素子の素子面への前記インテグレーターからの光の入射位置ズレを補正することを特徴としたものである。
【００２５】
さらに、レーザ光のスペックルノイズを低減させるためには人間の目が視認できる以上のスピードで前記インテグレーターを振動発生手段によって振動させる必要があり、振動の周期を３０Ｈｚ以上で振動させることを特徴としたものである。
【００２６】
さらに、前記光源と前記インテグレーターが1つのユニットとなす構成をもち、振動発生手段でインテグレーターが振動しても前記光源と前記インテグレーターとの位置関係が変化しないことを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００２７】
本発明のレーザ画像投影装置によれば、光源またはインテグレーターを振動発生手段で振動させることでレーザのコヒーレント性に起因し発生するスペックルパターンを時間的に変化させスペックルノイズを低減し、前記光源またはインテグレーターの振動による光軸の変化に伴う投影画像のケラレ、光量変動のような投影画像の品質の低下を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明のレーザ画像投影装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【００２９】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における光源1を振動させスペックルノイズを低減させるレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図を示す。
【００３０】
画像投影装置はＲ、Ｇ、Ｂの三色の色合成で成り立っているが、本発明の構成はＲ、Ｇ、Ｂともに同様の構成、機能を有するためその１か所を代表例とし図１を用いて説明する。
【００３１】
図１において、光源1に回転バランスがアンバランス状態のモーターのような振動発生手段２を取り付け、振動発生手段２を振動させることでその振動を光源1に伝えて光源１を振動させる。そのときに、光源１の振動方向を規制する少なくとも１個以上のガイド３と振動幅を制限するバネ４設け、光源１の光軸に対して垂直方向または光軸と同方向（光軸に同方向の振動した場合の図は省略）にランダムな移動量振動させる。
振動発生手段２はボイスコイルモーター、圧電素子、カム機構としても同等の振動発生手段となり、光源１を振動させることができる。（図省略）
光源１の振動量を正確に定量化するために加速度センサー７を光源１に取り付け光源１の振動を常に検出する。加速度センサーは加速度、すなわち単位時間当たりの速度変化を検出するための回路素子で機械式センサー、または半導体を用いて検出した加速度を静電容量に変換するセンサーチップと静電容量を電圧に変換する信号処理ASICで構成されるか、またはピエゾ抵抗効果などが用いられる。
【００３２】
図２は本発明の実施の形態１における図１の振動発生手段２が振動し光源１を光軸方向に対して垂直に振動させスペックルノイズを低減させる場合のレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図を示す。
【００３３】
図２のように光源１が振動発生装置２の振動で光軸に垂直方向の図中のＡ方向にＡ量振動すると、レンズ５を加速度センサー７から検出された光源１の移動量情報を元にボイスコイルモーター８と呼ばれる磁場の中を流れる電流をコントロールして力の働く量を制御するモーターで光源１の振動方向と同じＡ方向に光軸を補正する適切な補正移動量のＢ量分を瞬時動かして光軸をインテグレーター６のセンターに補正することで前記に書いたようなインテグレーター６の開口径からはみ出すケラレ光をなくしインテグレーター６の出射口からの光量を常に一定にすることにより、リレーレンズ９を介して空間変調素子１０の表面に照射する光量が一定となる。
【００３４】
但し、レンズ５の構成によっては補正に最適な移動方向は光源１の移動方向と同方向でない場合もある。
【００３５】
上記図１で説明したようにインテグレーター６の出射面での光均一性の向上、スペックルの原因であるレーザ光のコヒーレント性をより低減させるためスリガラスを代表とするような拡散板、複眼レンズ状のレンズアレー、フォログラムをレンズ５とインテグレーター６の間に配置又はそれらの部品を揺動、回転させてもよい。
【００３６】
また、光源１の振動の周期は３０Ｈｚ以上で振動させることで、人間の目の網膜で結像した画像のスペックルノイズのパターンを時間的に変化させ、目の残像現象を利用し平均化して簡易的にスペックルを視認できなくする。
【００３７】
以上のように、実施の形態１においては振動する光源１の移動量を加速度センサー７で検知しレンズ５を動かすことによりスペックルを低減しつつ、光源１から発せられた光をインテグレーター６へケラレなく入射させることができる。
【００３８】
また、インテグレーター６へケラレなく光が入射されたためインテグレーター６より出射される光を空間変調素子１８素子面に均一に入射させることができ、ケラレ、光量変化のない画像が投射レンズによりスクリーンに画像投影される。
【００３９】
（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２におけるインテグレーター１２を振動させスペックルノイズを低減させるレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図を示す。
【００４０】
光源１１とインテグレーター１２の位置関係が変化し、なおかつインテグレーター１２が振動し空間変調素子１８に対し位置変化する実施例の場合、まず光源１１とインテグレーター１２を実施の形態１のようにズレ補正し、おのおのの位置ズレを調整した後にインテグレーター１２と空間変調素子１８のズレ調整を行うが、今回は前記請求項１の光源１１とインテグレーター１２の位置関係が変化しない場合における実施例を、図３を用いて説明する。画像投影装置はＲ、Ｇ、Ｂの三色の色合成で成り立っているが、本発明の構成はＲ、Ｇ、Ｂともに同様の構成、機能を有するためその１か所を代表例とし説明する。
【００４１】
実施の形態１と同様にインテグレーター１２を振動させスペックルノイズを低減させる手段として、回転バランスがアンバランス状態のモーターのような振動発生手段１３をインテグレーター１２に取り付け、振動発生手段１３を振動させることでその振動をインテグレーター１２に伝えてインテグレーター１２を振動させる。空間変調素子１８から照明側を見ると光源１１が振動するのも、インテグレーター１２が振動するのもスペックルパターンが時間的に変化するため同様のスペックル対策の効果が得られる。
【００４２】
振動発生手段１３を振動させるときに、インテグレーター１２の振動方向を規制する少なくとも１個以上のガイド１４と、振動幅を制限するバネ１５設けインテグレーター１２の光軸に対して垂直方向または光軸と同方向（図省略）にランダムな移動量振動させる。
【００４３】
振動発生手段２はボイスコイルモーター、圧電素子、カム機構としても同等の振動発生手段となり、インテグレーター１２を振動させることができる。（図省略）
インテグレーター１２の振動量を正確に定量化するために上記実施の形態１で説明したような加速度センサー１６をインテグレーター１２に取り付けインテグレーター１２の振動を常に検出する。
【００４４】
図４は発明の実施の形態２における図３の振動発生手段が振動しインテグレーターを光軸方向に対して垂直に振動させスペックルノイズを低減させる場合のレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図を示す。    
【００４５】
図４のようにインテグレーター１２の移動量を加速度センサー１６で常に検出し、検出した移動量情報を元に実施の形態１で説明したボイスコイルモーター１９でインテグレーター１２と同方向にリレーレンズ１７を移動させ光軸を空間変調素子１８の素子面のセンターに補正することでケラレなく空間変調素子１８の素子面を一定の光量で照明することができ、上記で説明したようなインテグレーターを振動させるデメリットを解決した。
【００４６】
但し、リレーレンズ１７の構成によっては補正に最適な移動方向はインテグレーター１２の移動方向と同方向でない場合もある。
【００４７】
インテグレーター１２の振動の周期は３０Ｈｚ以上で振動させることで、人間の目の網膜で結像した画像のスペックルノイズのパターンを時間的に変化させ、目の残像現象を利用し平均化して簡易的にスペックルを視認できなくする。
【００４８】
以上のように、実施の形態２においては振動するインテグレーター１２の移動量を加速度センサー１６で検知しリレーレンズ１７を動かすことによりインテグレーター１２より出射される光を空間変調素子１８素子面にケラレなく均一に入射させることができケラレ、光量変化のない画像が投射レンズによりスクリーンに画像投影される。
【００４９】
実施形態１及び２において加速度センサーでガイド方向のみの光学部品の振動を常に検出するとしたが、近年、加速度センサーの振動検出能力の向上、ボイスコイルモーターの応答速度、移動精度の向上などによりガイドをなくしても、光軸と垂直方向でガイドの振動方向を含む２次元平面内であれば加速度センサーをおのおの前記２次元平面内で直行する方向に配置することでガイドをなくし光学部品を２次元的に振動させ、光軸補正させることが可能である。同様に、光軸に対し水平に振動させる場合もガイドの振動方向を含み光軸に水平な２次元平面内で光軸補正が可能である。
【００５０】
また、上記の光軸に対して垂直方向、水平方向の光軸補正を組み合わせると３次元的な複雑な振動に対しても光軸補正が可能である。
【００５１】
なお、実施形態１及び２において空間変調素子に液晶表示素子を用いたＬＣＤプロジェクターの光学ユニットで説明したが、ＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅ）をＲＧＢ色それぞれに使用した３板式ＤＬＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）及び１枚のＤＭＤにＲＧＢ色の光を周期的に照射し、その照射周期にあわせＲＧＢ色用の画像を空間変調する単板式ＤＬＰでもよい。また、ＤＭＤの代わりにＬＣＯＳ（反射型液晶表示素子）を用いても同様に本発明の効果が得られる。
【００５２】
また、実施形態１及び２においてインテグレーターは中実の立方体ガラスに光開口部及び光出射部以外に金属及び誘電体の光反射膜を蒸着したロットインテグレーターでも、表面に金属及び誘電体の光反射膜を蒸着した板状のガラスを光開口部及び光出射部以外を開口させトンネル状に組み合わせたライトトンネルインテグレーター、または、２枚１対で構成されおのおの複数のレンズを複眼状に組み合わせ、その複眼状の１つ１つのレンズから出射された光を空間変調素子面で重畳されるフライアイレンズインテグレーターでも同様に本発明の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明にかかるレーザ画像投影装置は、レーザのコヒーレント性に起因し発生するスペックルノイズを低減させるため光学部品を振動させつつ、最適な照明の確保することを有し、光源にレーザ光を用いた画像投影装置等として有用である。
【００５４】
本発明にかかるレーザ画像投影装置は、レーザのコヒーレント性に起因し発生するスペックルノイズを低減させるため光学部品を振動させつつ最適な照明の確保が必要な、光源にレーザ光を用いた画像投影装置等の用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態１における光源を振動させスペックルノイズを低減させるレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図
【図２】本発明の実施の形態１における図１の振動発生手段が振動し光源を光軸方向にして垂直に振動させスペックルノイズを低減させる場合のレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図
【図３】本発明の実施の形態２におけるインテグレーターを振動させスペックルノイズを低減させるレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図
【図４】本発明の実施の形態２における図３の振動発生手段が振動しインテグレーターを光軸方向に対して垂直に振動させスペックルノイズを低減させる場合のレーザ画像投影装置の光学ユニットの概略図
【符号の説明】
【００５６】
１      光源
２      振動発生手段
３      ガイド
４      バネ
５      レンズ
６      インテグレーター
７      加速度センサー
８      ボイスコイルモーター
９      リレーレンズ
１０    空間変調素子
１１    光源
１２    インテグレーター
１３    振動発生手段
１４    ガイド
１５    バネ
１６    加速度センサー
１７    リレーレンズ
１８    空間変調素子
１９    ボイスコイルモーター
【図１】
2010044309.tif 000003
【図２】
2010044309.tif 000004
【図３】
2010044309.tif 000005
【図４】
2010044309.tif 000006