(57)【要約】【課題】フィルミングが発生し易い季節を予め設定し、この設定した季節ごとにクリーニング条件を変更する制御を用いることにより簡単な構成で感光体寿命に影響を与えずにフィルミング対策を行うことのできる画像形成装置を提供することにある。【解決手段】像担持体１と、該像像担持体１に係合するクリーニング部材１２、１３を備えかつ前記像担持体１をクリーニングするクリーニング手段７と、前記クリーニング部材１２、１３を駆動させるためのクリーニング部材駆動手段２１と、を有する画像形成装置において、制御装置２０からの現時点の月日の情報によって前記クリーニング部材１２、１３の駆動を変更する画像形成装置。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
像担持体と、該像像担持体に係合するクリーニング部材を備えかつ前記像担持体をクリーニングするクリーニング手段と、前記クリーニング部材を駆動させるためのクリーニング部材駆動手段と、を有する画像形成装置において、現時点の月日の情報によって前記クリーニング部材の駆動を変更するように制御する制御装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記クリーニング部材はクリーニングブラシであり、前記制御装置は、現時点の月日の情報によって前記クリーニングブラシの駆動速度を変更することを特徴とする請求項１記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記クリーニング部材はクリーニングブレードであり、前記像担持体に当接している前記クリーニング部材の接触圧を変位させるための接触圧変位手段を有し、前記制御装置は、現時点の月日の情報によって前記クリーニングブレードの前記像担持体に対する接触圧を変更することを特徴とする請求項１記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記制御装置は、現時点の月日の情報によって、前記クリーニングブラシの駆動速度と前記クリーニングブレードの接触圧を同時に変更することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の画像形成装置。
【請求項５】
出力画像の平均画像面積率を検知する面積率検知手段を有し、前記制御装置は、該面積率検知手段によって検知された結果を用いて前記クリーニング部材の動作を制御することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の画像形成装置。
【請求項６】
出力画像の平均画像面積率の検知する面積率検知手段を有し、前記制御装置は、該面積率検知手段によって検知された結果を用いてクリーニング用のダミーパターン作成条件を決定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光体ドラムの表面をクリーニングするクリーニング手段に、例えば、クリーニングブラシ等の回転体、クリーニングブレードなどを用いる画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式のプリンタや複写機等の画像形成装置においては、一般的に感光体等の像担持体を有し、この像担持体をクリーニングするクリーニング装置を有している。
クリーニング装置として、像担持体に付着した残留トナー、トナー塊、紙粉等の異物を像担持体から掻き取るためのブラシ状又はブレード状のクリーニング部材を備えたものが知られている。このようなクリーニング方式において、感光体フィルミングといった問題があることが解かっている。
像担持体に所定の圧力で接触し、像担持体に付着した残留トナー、トナー塊、紙粉等の異物を像担持体から掻き取るためのブレード状のクリーニング部材を備えたものが知られている。このような、ブレード状のクリーニング部材を用いたブレードクリーニング方式においては、クリーニング不良、感光体フィルミングといった問題があることも解かっている。
【０００３】
感光体フィルミングは、異物が像担持体である感光体ドラム表面に付着することによって生じることが知られている。例えば、感光体ドラムとクリーニング部材との接触面付近に滞留したトナー、もしくはトナーと紙粉の混合体の塊が像担持体に押し付けられることにより、感光体ドラムにかかる異物が付着することで発生する。トナー成分が感光体ドラム表面にフィルミングすると、光感度、帯電能力が低下して地肌かぶりや画像濃度低下などを生じ易い。
感光体フィルミングの発生には使用環境との相関があり、とくに高温高湿となる夏季に発生し易く、冬季には発生しにくいことが知られている。このような感光体フィルミングを防止するために、従来から様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１乃至３参照）。
【０００４】
特許文献１には、作像実行時以外にドラムを空回転させることでクリーニング効率を上げる技術が開示されている。また、特許文献２には、クリーニングブレードの摩擦力を検知してクリーニング条件を制御する技術が開示されている。さらに、特許文献３には、湿度や１ジョブあたりの出力枚数や画像面積率などの検知結果を用いてクリーニング条件を変更する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００７−１０１９０９公報
【特許文献２】特開２００５−２０２０２６公報
【特許文献３】特開２００３−０４３８９０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、感光体のクリーニング性を向上させるために空回転時間を増やしたり、摩擦力を大きくすると、感光体の膜の削れ量が大きくなり、感光体寿命低下という副作用がある。また、湿度センサや温度センサからの結果をフィードバックする方法は有効であるが、装置構成が複雑になる恐れがある。
そこで、本発明の目的は、上述した実情を考慮して、フィルミングが発生し易い季節を予め設定し、この設定した季節ごとにクリーニング条件を変更する制御を用いることにより簡単な構成で感光体寿命に影響を与えずにフィルミング対策を行うことのできる画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、像担持体と、該像像担持体に係合するクリーニング部材を備えかつ前記像担持体をクリーニングするクリーニング手段と、前記クリーニング部材を駆動させるためのクリーニング部材駆動手段と、を有する画像形成装置において、現時点の月日の情報によって前記クリーニング部材の駆動を変更するように制御する制御装置を備えたことを特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、前記クリーニング部材はクリーニングブラシであり、前記制御装置は、現時点の月日の情報によって前記クリーニングブラシの駆動速度を変更する請求項１記載の画像形成装置を特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、前記クリーニング部材がクリーニングブレードであり、前記像担持体に当接している前記クリーニング部材の接触圧を変位させるための接触圧変位手段を有し、前記制御装置は、現時点の月日の情報によって前記クリーニングブレードの前記像担持体に対する接触圧を変更する請求項１記載の画像形成装置を特徴とする。
【０００７】
また、請求項４に記載の発明は、前記制御装置が、現時点の月日の情報によって、前記クリーニングブラシの駆動速度と前記クリーニングブレードの接触圧を同時に変更する請求項１乃至３のいずれか１項記載の画像形成装置を特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、出力画像の平均画像面積率を検知する面積率検知手段を有し、前記制御装置は、該面積率検知手段によって検知された結果を用いて前記クリーニング部材の動作を制御する請求項１乃至４のいずれか１項記載の画像形成装置を特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、出力画像の平均画像面積率の検知する面積率検知手段を有し、前記制御装置は、該面積率検知手段によって検知された結果を用いてクリーニング用のダミーパターン作成条件を決定する請求項１乃至５のいずれか１項記載の画像形成装置を特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、環境条件や使用条件などが画像流れ或いはフィルミングを生じ易い条件であっても、クリーニングブラシによる感光体ドラムの十分な研磨効果を維持し、画像流れ、フィルミングを防止でき、フィルミングが発生し易い時期のみクリーニングブラシの条件を変更して摺擦及び研磨力を向上させることで、感光体ドラムの寿命低下への影響を小さくしつつフィルミングの防止効果が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明が適用される画像形成装置の一例の作像部を示す概略構成図である。まず、基本的な構成について説明する。
図１に示すように、感光体ドラム（像担持体）１の周囲には、帯電器２、露光装置３、現像装置４、転写手段としてのベルト転写装置５、反射型フォトセンサ６、クリーニング装置７、除電ランプ８等が配設されている。  
現像装置４は図示していないトナーホッパを有しており、このトナーホッパから図示していないトナー補給ローラを介してトナーが現像装置４へ補給される。補給されたトナーは現像装置４内で攪拌ローラ９によってキャリアと混合攪拌される。
現像装置４には現像ローラ１０が備えられ、この現像ローラ１０には現像バイアスが印加される。さらに、現像装置４には透磁率センサであるトナー濃度センサ１１が配置されている。そして、転写装置５は感光体ドラム１に対して接離可能に設けられている。
【００１０】
画像形成時、感光体ドラム１の表面は帯電器２によって所定の電位に均一に帯電される。その感光体ドラム１の帯電面は露光装置３からの照射光によって露光され静電潜像が形成される。そして、現像装置４から現像ローラ１０により感光体ドラム１の静電潜像にトナーが付与されてトナー像が形成される。
そのトナー像は、転写装置５によって、図示しない給紙部から搬送された記録紙上に転写される。さらに、トナー像が転写された記録紙は図示してない定着装置へ送られ、トナー像が記録紙上に熱及び圧力によって定着された後、画像形成装置外の排紙部へ排出される。
また、感光体ドラム１上に残留したトナーは、感光体ドラム１に常時接触するクリーニング装置７により除去され、さらに、感光体ドラム１上の静電潜像が除電ランプ８からの照射光を受けて消去され、感光体ドラム１は初期状態に戻される。
【００１１】
図２は感光体ドラムとクリーニング装置とを示す概略図である。ここで、本発明の特徴を説明する前に、図１に示したクリーニング装置７について図２を参照して説明する。
感光体ドラム１表面からトナーを完全に除去するためのクリーニング装置７のクリーニングブレード１３の上流側に、ブラシ状のローラ部材１２を設けて感光体ドラム１よりも速い周速で、感光体ドラム１の回転方向の順方向に回転させたり、従動回転させたりして感光体ドラム１表面を摺擦及び研磨することによって、上述した画像流れ現象やフィルミング現象の発生を防止している。
ところで、一般的にフィルミングは夏季等の高温高湿下で発生率が高く、冬季は発生率が低いという傾向が見られる。また、クリーニング部へのトナーの入力が少ない低画像面積率の出力時にもフィルミングが発生し易いことが知られている。
フィルミングが発生し易い季節のみ感光体ドラム１表面の摺擦及び研磨力を上げてフィルミングを抑制し、フィルミングの発生が少ない季節では通常の条件に戻すことで、感光体ドラム１の寿命の低下の抑制とフィルミング発生の抑制を同時に解決できる。
本発明による画像形成装置は、フィルミングが発生し易い予め登録された季節のみにクリーニングブラシ１２の駆動速度を上げて感光体ドラム１表面の摺擦及び研磨力を向上させることを特徴としている。
感光体表ドラム１面の摺擦及び研磨力を向上させると感光体ドラム１の膜の削れ量も大きくなるが、これを任意のフィルミングが発生し易い期間のみに適用させることで感光体ドラム１の寿命の低下の抑制とフィルミング発生の抑制を同時に解決することができる。
【００１２】
図３は本発明による画像形成装置の像担持体及びクリーニング装置の制御回路を示す簡略ブロック図である。図３において、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭを含む制御装置２０には、像担持体である感光体ドラム１、クリーニング装置７のクリーニングブラシ１２、クリーニングブレード１３、クリーニング装置７の駆動手段２１が接続されている。
また、制御装置２０には、感光体ドラム１とクリーニングブレード１３との接触圧を変位する接触圧変位手段２２、クリーニングブラシ１２の駆動速度変更手段２３、日付設定手段２４、面積率検知手段２５、ダミーパターン作成手段２６が接続されている。
【００１３】
図４は画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第１の実施の形態を示すフローチャートである。以下で、この第１の実施の形態の制御フローを図１乃至図４を参照して説明する。
電源投入時、日付のチェックを行う（Ｓ１）。例えば、５月１日〜９月３０日までをフィルミングが発生し易い季節と事前に登録したとする。今日の日付が上述した設定期間内かどうかを判断する（Ｓ２）。
この場合に、制御装置２０のＲＡＭに内蔵されている日付データのチェックにより今日の日付が設定期間内であると認識されると、クリーニングブラシ１２の駆動条件を設定期間用条件に変更する（Ｓ３）。これによりクリーニングブラシ１２の回転速度が予め設定された設定期間用の速度に切り換わる。
また、ステップ（Ｓ２）で、今日の日付が設定期間内でないと認識されると、クリーニングブラシ１２の駆動条件をデフォルト値に設定する（Ｓ４）。クリーニングブラシ１２の回転速度の設定値は事前に任意に変更することが可能である。以降、クリーニングブラシ１２の回転速度は設定期間用条件で駆動する。
制御装置２０に内蔵されている月日のデータを用い、感光体フィルミングが発生し易い夏季の間だけクリーニングブラシ１２の速度を変更することで、感光体ドラム１の寿命への影響を抑えつつ感光体フィルミングの発生を防止する。フィルミングが発生する期間は手動でも常時設定が可能であり、ユーザーが任意に設定できる。
【００１４】
図５は画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第２の実施の形態を示すフローチャートである。以下で、この第２の実施の形態の制御フローを図１乃至３及び図５を参照して説明する。
第２の実施の形態の画像形成装置は、予め登録されたフィルミングが発生し易い季節のみクリーニングブレード１３の接触力を強くし摩擦力を上げて感光体表面の摺擦・研磨力を向上させることを特徴としている。
電源投入時、日付のチェックを行う（Ｓ１１）。第１の実施の形態の場合と同じ用に、例えば、５月１日〜９月３０日までをフィルミングが発生し易い季節と事前に登録したとする。今日の日付が上述した設定期間内かどうかを判断する（Ｓ１２）。
この場合に、制御装置２０のＲＡＭに内蔵されている日付データのチェックにより今日の日付が設定期間内であると認識されると、クリーニングブレード１３の駆動条件を設定期間用条件に変更する（Ｓ１３）。これによりクリーニングブレード１３の感光体ドラム１に対する接触圧が予め設定された設定期間用の接触圧に切り換わる。
【００１５】
また、ステップ（Ｓ１２）で、今日の日付が設定期間内でないと認識されると、クリーニングブレード１３の駆動条件をデフォルト値に設定する（Ｓ１４）。クリーニングブレード１３の接触圧の設定値は事前に任意に変更することが可能である。以降、クリーニングブレード１３の接触圧は設定期間用条件で駆動する。フィルミングが発生する期間は手動でもいつでも設定が可能であり、ユーザーが任意に設定できる。
感光体ドラム１の表面の摺擦及び研磨力を向上させると、感光体ドラム１の膜の削れ量も大きくなるが、これを任意のフィルミングが発生し易い期間のみに適用させることで感光体ドラム１寿命の低下の抑制とフィルミング発生の抑制を同時に解決することができる。
このように、制御装置２０に内蔵されている月日のデータを用い、フィルミングが発生し易い時期、例えば、夏季の間のみクリーニングブレード１３の条件を変更して摺擦及び研磨力を向上させることで、感光体ドラム１の寿命低下への影響を小さくしつつフィルミングの防止効果が期待できる。
【００１６】
図６は画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第３の実施の形態を示すフローチャートである。以下で、この第３の実施の形態の制御フローを図１乃至３及び図６を参照して説明する。
画像形成装置のこの第３の実施の形態の制御フローでは、予め登録されたフィルミングが発生し易い季節のみクリーニングブラシ１２とクリーニングブレード１３の両方の条件を同時に変更することを特徴としている。
クリーニングブラシ１２及びクリーニングブレード１３の条件は事前に設定する。すなわち、図６において、ステップ（Ｓ２１）乃至（Ｓ２４）の制御フローは第１及び第２の実施の形態の場合と同じである。従って、これらについての説明は省略する。
感光体ドラム１ではフィルミングの他にもメダカなどの様々な障害が発生する。しかしながら、クリーニングブラシ１２やクリーニングブレード１３を単独で条件変更すると、或る不具合には効果があるがその副作用として他の不具合が発生するといったケースもある。
これを防止するため、クリーニングブラシ１２とクリーニングブレード１３の両方の条件を同時に変更し、最適な組み合わせでクリーニングを行うことが望ましい。
【００１７】
制御装置２０内蔵されている月日のデータを用い、感光体フィルミングが発生し易い夏季の間だけクリーニングブラシ１２の駆動速度をクリーニングブレード１３の接触圧とともに変更することで、感光体ドラム１の寿命への影響やメダカの発生などを抑えつつ感光体フィルミングの発生を防止することができる。
事前に設定したフィルミングが発生し易い時期に、画像形成装置が自動的に事前に設定されたクリーニングブラシ１２及びクリーニングブレード１３の条件に切り換える制御を行うのは第１及び第２の実施の形態と同じである。
本発明の画像形成装置では、さらに、出力画像面積率の検知結果も用いてクリーニング条件を変更することを特徴としている。一般的に画像面積率が低い出力が連続して行われるとフィルミングが発生し易いことが知られている。フィルミングが発生し易い季節に低画像面積率の出力が連続して行われると、フィルミングの発生に対してはさらに悪い方向となる。
【００１８】
図６の制御フローに示すように、事前に画像面積率の計算タイミングを設定する。このタイミングは、例えば、通紙枚数や感光体ドラムの駆動距離などで規定する。
画像面積率の計算タイミングかどうかを判断し（Ｓ２５）、計算タイミングならば、以前に画像面積率を計算した時点からの平均画像面積率Ａａｖｇ［％］が計算される（Ｓ２６）。
事前に設定されている閾値Ａｔｈと平均画像面積率Ａａｖｇの値の比較を行い（Ｓ２７）、Ａａｖｇ＜Ａｔｈと判定された時は、低画像面積率の出力が多くなされている状態と判定し、低画像面積率出力時用のクリーニング条件に切り換えられる（Ｓ２８）。
Ａａｖｇ≧Ａｔｈと判定された時は、もし先のクリーニング条件が低画像面積率出力時用に切り換わっていた場合は、設定期間内用のクリーニング条件に再度切り換えられる（Ｓ２９）。先のクリーニング条件が設定期間内用クリーニング条件であれば、条件切り換えは行われない（Ｓ３０）。
出力画像の平均画像面積率の検知する面積率検知手段２５を有し、この面積率検知手段２５によって検知された結果を用いてクリーニング装置７のクリーニング部材（クリーニングブラシ１２、クリーニングブレード１３）の動作を制御する。
このように、出力画像の面積率の検知結果を用いることで、フィルミングの発生に対してさらに悪条件となった際の対応も可能となる。出力画像面積率の検知結果を用い、低画像面積率の連続出力といったフィルミングが発生し易い出力モード時にクリーニング条件を変更することでフィルミングの発生を防止することができる。
【００１９】
さらに、本発明の画像形成装置は、クリーニング用のダミートナーパターンを形成し、クリーニング性を高めることを特徴としている。感光体ドラム１の膜の削れ量やクリーニングブレード１３の接触力が強すぎるあまり、ブレード鳴きやビビリ、ブレードめくれなどの事象を考慮すると、クリーニングブラシ１２やクリーニングブレード１３による摺擦及び研磨力の向上にも限界がある。
そのため、クリーニング装置７の補助としてクリーニング用のダミーパターンの作成はよく行われることである。また、ダミーパターンの作成は感光体ドラム１表面の紙粉の除去性にも有利である。しかしながら、ダミーパターンの作成によりトナーイールドの低下という不具合もある。
本発明の画像形成装置では、クリーニングブラシ１２やクリーニングブレード１３の補助として、フィルミングが発生し易い期間に限り、ダミーパターン作成手段２６によってクリーニング用のダミーパターンを作成する制御が自動で行われることを特徴としている。
期間限定であるためトナーイールド低下への影響も小さくしつつフィルミングの防止の効果が期待できる。なお、ダミーパターンの本数や形状は事前に設定でき、作成間隔も事前に設定できる。
例えば、感光体ドラム１の長さ方向に幅３ｍｍのダミーパターンを５本、１０枚出力ごとに作成するような設定を行えば、コピー１０枚ごとにダミーパターンの作成が行われる。
【００２０】
図７は画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第４の実施の形態を示すフローチャートである。以下で、この第４の実施の形態の制御フローを図１乃至３及び図７を参照して説明する。
図７において、電源投入時に日付チェックが行われ、もし設定期間内であるならば、クリーニング条件を切り換えるのは、上述した第１、第２及び第３の実施の形態と同じである。すなわち、ステップ（Ｓ３１）乃至（Ｓ３４）は上述した第１、第２及び第３の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
この第４の実施の形態の制御フローでは、ステップ（Ｓ３３）の切り換えに続いてダミーパターン作成モードがオンとなる（Ｓ３５）。ここで、クリーニング条件の切り換えはクリーニングブラシ１２のみ、クリーニングブレード１３のみ、クリーニングブラシ１２とクリーニングブレード１３同時の３モードを事前の設定により選ぶことができる。
ダミーパターン作成モードがオン時は、ダミーパターン作成タイミングかどうかを判断し（Ｓ３６）、ダミーパターン作成タイミングになるとダミーパターンが作成される（Ｓ３７）。
【００２１】
図８は画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第５の実施の形態を示すフローチャートである。以下で、この第５の実施の形態の制御フローを図１乃至３及び図８を参照して説明する。
本発明の画像形成装置では、平均画像面積率を検知する面積率検知手段による画像面積率の検知結果からダミーパターン作成モードオンへの切り換えも可能である。
図８において、電源投入時に日付チェックが行われ、もし設定期間内であるならば、クリーニング条件を切り換えるのは、上述した第１、第２及び第３の実施の形態と同じである。すなわち、ステップ（Ｓ４１）乃至（Ｓ４４）は上述した第１、第２及び第３の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
【００２２】
電源投入時はクリーニング条件の変更しか行われない。画像面積率の計算タイミングならば、以前に画像面積率を計算した時点からの平均画像面積率Ａａｖｇ［％］が計算される（Ｓ４５）。
事前に設定されている閾値Ａｔｈと平均画像面積率Ａａｖｇの値の比較し（Ｓ４６）、Ａａｖｇ＜Ａｔｈならば、低画像面積率の出力が多くなされている状態と判定する。次いで、ダミーパターン作成をオンに切り換える（Ｓ４７）。
次に、ダミーパターン作成タイミングかどうかを判断し（Ｓ４８）、作成タイミングならば、ダミーパターンを作成する（Ｓ４９）。ステップ（Ｓ４８）で作成タイミングでないならば、そのまま終了する。
このように、出力画像の平均画像面積率の検知する面積率検知手段２５を有し、この面積率検知手段２５によって検知された結果を用いてクリーニング用のダミーパターン作成条件を決定する制御を有する。
本実施の形態では、クリーニングブラシ１２とクリーニングブレード１３の条件変更に加え、よりフィルミングが発生し易い環境となった時のみダミーパターンを作成するため、トナーイールド低下への影響を小さくし、また、クリーニング部材による感光体ドラム１表面へのダメージを軽減しつつフィルミングの防止効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明が適用される画像形成装置の一例の作像部を示す概略構成図である。
【図２】感光体ドラムとクリーニング装置とを示す概略図である。
【図３】本発明による画像形成装置の像担持体及びクリーニング装置の制御回路を示す簡略ブロック図である。
【図４】画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第１の実施の形態を示すフローチャートである。
【図５】画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第２の実施の形態を示すフローチャートである。
【図６】画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第３の実施の形態を示すフローチャートである。
【図７】画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第４の実施の形態を示すフローチャートである。
【図８】画像形成装置のクリーニング装置の本発明による制御フローの第５の実施の形態を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２４】
Ａ  画像形成装置、１  像担持体（感光体ドラム）、４  現像装置、７  クリーニング手段（クリーニング装置）、１２  クリーニングブラシ、１３  クリーニングブレード、２０  制御装置、２１  駆動手段、２２  クリーニングブレード接触圧変位手段、２３  クリーニングブラシ駆動速度変更手段、２４  日付設定手段、２５  面積率検知手段、２６  ダミーパターン作成手段
【図１】
2010139762.tif 000003
【図２】
2010139762.tif 000004
【図３】
2010139762.tif 000005
【図４】
2010139762.tif 000006
【図５】
2010139762.tif 000007
【図６】
2010139762.tif 000008
【図７】
2010139762.tif 000009
【図８】
2010139762.tif 000010