(57)【要約】【課題】製造が容易で、そして軸体を高精度で直線移動及び／又は回転移動させることができる回転軸受付き直動軸受を提供すること。【解決手段】筒体（１１）の内部に軸体（１２）を非回転にて滑動可能に収容してなる直動軸受（１３）、および筒体の周囲に筒体の長さ方向に沿って互いに間隔をあけて装着された二以上の回転軸受（１４）からなる回転軸受付き直動軸受であって、上記筒体の外周面の直径が筒体の長さ方向に一定であって、そして上記各回転軸受が、筒体の上記外周面に形成された周溝（１１ａ）と、この周溝に配置された複数の転動体（１５）と、各転動体の一部を外周側に突き出させた状態で回転可能に保持している環状転動体保持器（１６）と、この保持器から突き出された各転動体部分を収容している周溝（１７ａ）を内周面に備える環状体（１７）とから構成されていることを特徴とする回転軸受付き直動軸受。【選択図】図１
2010112554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒体の内部に軸体を非回転にて滑動可能に収容してなる直動軸受、および筒体の周囲に該筒体の長さ方向に沿って互いに間隔をあけて装着された二以上の回転軸受からなる回転軸受付き直動軸受であって、
上記筒体の外周面の直径が該筒体の長さ方向に一定であって、そして上記各回転軸受が、筒体の上記外周面に形成された周溝と、該周溝に配置された複数の転動体と、各転動体の一部を外周側に突き出させた状態で回転可能に保持している環状転動体保持器と、該転動体保持器から突き出された各転動体部分を収容している周溝を内周面に備える環状体とから構成されていることを特徴とする回転軸受付き直動軸受。
【請求項２】
各回転軸受の環状体が互いに連結されて外筒を構成している請求項１に記載の回転軸受付き直動軸受。
【請求項３】
環状体の内周面の直径と筒体の外周面の直径との差が、転動体の直径の１．２〜１．９５倍の範囲内の長さにある請求項１もしくは２のうちのいずれかの項に記載の回転軸受付き直動軸受。
【請求項４】
各回転軸受の環状転動体保持器が、上記各転動体を保持する複数の透孔が形成された上記筒体と同軸に配置された周壁を備えていて、一方の回転軸受の転動体保持器の周壁には、その各透孔から他方の回転軸受の側の端面に到達する複数のスリットが形成されていて、前記他方の回転軸受の転動体保持器の周壁には、その各透孔から前記一方の回転軸受の側の端面に到達する複数のスリットが形成されていて、そして各転動体保持器の各スリットの幅が転動体の直径の０．７〜０．９５倍の範囲内の長さにある請求項１乃至３のうちのいずれかの項に記載の回転軸受付き直動軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品をプリント配線板の表面に装着する電子部品装着装置の部品として有利に用いることができる回転軸受付き直動軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プリント配線板の上方に、下端に電子部品を吸着させたノズルを備える軸体を配置して、この軸体を電子部品が所定の角度で配置されるように周方向に回転移動させ、次いで前記軸体を下方に（プリント配線板の側に）直線移動（滑動）させることにより、電子部品を所定の角度でプリント配線板の表面の所定の位置に装着する電子部品装着装置が知られている。
【０００３】
上記軸体の直線移動と回転移動とを実現するため、直動軸受と回転軸受とが組み合わされた構成の回転軸受付き直動軸受が用いられている。
【０００４】
特許文献１には、ボールねじ溝とボールスプライン溝とを有するボールねじ軸（軸体）に、ボールねじナットとボールスプラインナット（筒体）とが複数のボールを介して嵌め合わされた構成のボールねじ装置が開示されている。
【０００５】
上記筒体の内部には軸体が筒体に対して非回転にて滑動可能に収容されている。この軸体を収容する筒体は直動軸受として機能する。筒体の周囲には筒体の長さ方向に互いに間隔をあけて一対の周溝が形成されている。筒体の周囲には、各周溝に配置された複数のボールを介して、上記各ボールを収容する一対の周溝を内周面に備えるハウジングが嵌め合わされている。筒体はハウジングの内部に回転可能に支持されている。この筒体の一対の周溝、周溝に配置された複数のボール、およびハウジングは回転軸受として機能する。
【０００６】
特許文献２には、前記のボールねじ装置と同様の構成のボールねじ装置が開示されている。特許文献２のボールねじ装置のボールスプラインナット（筒体）には、その内周面から外周面の内輪溝（周溝）に通じる転動体挿入孔が形成されている。各々のボールは、筒体の内周面側から上記転動体挿入孔に挿入され、この挿入孔を通って筒体の外周面の周溝に配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開平４−９７１５０号公報（第１図）
【特許文献２】実開平４−１１０２５５号公報（第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記各文献の装置では、回転軸受に支持された直動軸受を回転移動することにより、直動軸受の筒体に収容された軸体を回転移動させることができる。しかしながら、直動軸受の回転移動に伴って、筒体の各周溝に配置された複数のボールが周溝の長さ方向に回転しながら移動（転動）すると、周溝の内部にて互いに隣接するボールが接触する。各ボールは周溝の内部で互いに同じ向きに回転するため、両者のボールの接触部においては、各ボールの表面が互いに逆向きに移動しながら強く擦り合わされる。このため前記接触によるボールの摩耗、このボールの摩耗による軸体の直線移動及び／又は回転移動の精度の低下が問題になることがある。
【０００９】
本発明の課題は、製造が容易で、そして軸体を高精度で直線移動及び／又は回転移動させることができる回転軸受付き直動軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、筒体の内部に軸体を非回転にて滑動可能に収容してなる直動軸受、および筒体の周囲に筒体の長さ方向に沿って互いに間隔をあけて装着された二以上の回転軸受からなる回転軸受付き直動軸受であって、上記筒体の外周面の直径が筒体の長さ方向に一定であって、そして上記各回転軸受が、筒体の上記外周面に形成された周溝と、この周溝に配置された複数の転動体と、各転動体の一部を外周側に突き出させた状態で回転可能に保持している環状転動体保持器と、この転動体保持器から突き出された各転動体部分を収容している周溝を内周面に備える環状体とから構成されていることを特徴とする回転軸受付き直動軸受にある。
【００１１】
本発明の回転軸受付き直動軸受の好ましい態様は、次の通りである。
（１）各回転軸受の環状体が互いに連結されて外筒を構成している。
（２）環状体の内周面の直径と筒体の外周面の直径との差が、転動体の直径の１．２〜１．９５倍の範囲内の長さにある。
（３）各回転軸受の環状転動体保持器が、上記各転動体を保持する複数の透孔が形成された上記筒体と同軸に配置された周壁を備えていて、一方の回転軸受の転動体保持器の周壁には、その各透孔から他方の回転軸受の側の端面に到達する複数のスリットが形成されていて、前記他方の回転軸受の転動体保持器の周壁には、その各透孔から前記一方の回転軸受の側の端面に到達する複数のスリットが形成されていて、そして各転動体保持器の各スリットの幅が転動体の直径の０．７〜０．９５倍の範囲内の長さにある。
【００１２】
なお、本明細書で云う前記「筒体の外周面の直径が筒体の長さ方向に一定である」とは、例えば、安全性の確保のために行なわれる筒体の端部の面取りにより生じる筒体の外周面の直径の変動、筒体を製造する際の機械加工により必然的に生じる微細な凹凸に基づく筒体の外周面の直径の変動、筒体の通常の製造誤差（筒体の外周面の直径の±１％以下）に基づく筒体の外周面の直径の変動、あるいは回転軸受付き直動軸受の機能とは無関係に筒体の外周面に形成した凹凸に基づく筒体の外周面の直径の変動を排除することを意味するものではない。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の回転軸受付き直動軸受では、回転軸受の各々の転動体が環状転動体保持器に保持されているため、筒体の各周溝の内部にて互いに隣接するボールの接触が防止される。このため、ボールの接触（衝突）によるボールの摩耗、このボールの摩耗による軸体の直線移動及び／又は回転移動の精度の低下が抑制される。また、本発明の回転軸受付き直動軸受は、その筒体の外周面の直径が筒体の長さ方向に一定とされている。このため筒体を極めて容易に作製することができる。そして、この筒体の外周面に周溝を形成し、この周溝を利用して筒体の周囲に回転軸受を装着することにより、本発明の回転軸受付き直動軸受を極めて容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の回転軸受付き直動軸受の構成例を示す一部切り欠き正面図である。
【図２】図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した回転軸受付き直動軸受１０の拡大断面図である。
【図３】図２に示す環状転動体保持器１６を図の手前側から見た図である。
【図４】図３に記入した切断線IV−IV線に沿って切断した環状転動体保持器１６の断面図である。
【図５】図１の回転軸受付き直動軸受１０の使用の態様を示す図である。
【図６】本発明の回転軸受付き直動軸受の別の構成例を示す一部切り欠き正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の回転軸受付き直動軸受を添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の回転軸受付き直動軸受の構成例を示す一部切り欠き正面図である。図２は、図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した回転軸受付き直動軸受１０の拡大断面図である。図３は、図２に示す環状転動体保持器１６を図の手前側から見た図である。そして図４は、図３に記入した切断線IV−IV線に沿って切断した環状転動体保持器１６の断面図である。
【００１６】
図１〜図４に示す回転軸受付き直動軸受１０は、筒体１１の内部に軸体１２を非回転にて滑動可能に収容してなる直動軸受１３、および筒体１１の周囲に筒体１１の長さ方向に沿って互いに間隔をあけて装着された二個の回転軸受１４から構成されている。そして、この回転軸受付き直動軸受１０は、上記筒体１１の外周面の直径が筒体１１の長さ方向に一定であって、各回転軸受１４が、筒体１１の外周面に形成された周溝１１ａと、周溝１１ａに配置された複数の転動体１５と、各転動体１５の一部を外周側に突き出させた状態で回転可能に保持している環状転動体保持器１６と、保持器１６から突き出された各転動体部分を収容している周溝１７ａを内周面に備える環状体１７とから構成されていることに特徴がある。
【００１７】
本発明の回転軸受付き直動軸受１０では、前記のように直動軸受１３の筒体１１の外周面の直径が筒体１１の長さ方向に一定とされている。このため筒体１１を極めて容易に作製することができる。そして、この筒体１１の外周面に周溝１１ａを形成し、この周溝１１ａを利用して筒体１１の周囲に回転軸受１４を装着することにより、回転軸受付き直動軸受１０を極めて容易に製造することができる。
【００１８】
筒体１１の内周面には、各々筒体１１の長さ方向に延びる複数本の溝２１が形成されている。そして軸体１２の外周面には、各々筒体１１の各溝２１と対向する位置にて軸体１２の長さ方向に延びる複数本の溝２２が形成されている。そして、筒体の溝２１と、この溝２１と対向する軸体の溝２２との間には、溝の長さ方向に沿って複数の球体２５が配置されている。
【００１９】
筒体１１、軸体１２、および球体２５は、例えば、鋼や銅合金に代表される金属材料から形成される。
【００２０】
筒体１１と軸体１２との間には、互いに隣接する球体２５の接触（衝突）を防止するため筒状転動体保持器２６が配設されている。筒状転動体保持器２６は、複数の透孔２６ａを備えており、そして各々の透孔２６ａの内部に、前記の球体２５を回転可能な状態にて保持している。
【００２１】
筒状転動体保持器２６は、例えば、金属材料や樹脂材料から形成される。金属材料としては、機械加工による透孔２６ａの形成が容易な金属材料、例えば、真鍮やステンレス鋼を用いることが好ましい。樹脂材料としては、機械的強度の大きな樹脂材料、例えば、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）樹脂、あるいはポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂を用いることが好ましい。
【００２２】
また、軸体１２が直線移動したときに、筒状転動体保持器２６が球体２５と共に筒体１１の外に出ないように、筒体１１の各々の端部の内周面に形成された周溝１１ｂには、スナップリング（止め輪）２７が嵌め合わされている。
【００２３】
前記のように、筒体１１の溝２１と軸体１２の溝２２との間には球体２５が配置されているため、軸体１２は、筒体１１の内部にて周方向に回転することはできない。その一方で、軸体１２の長さ方向に力が加わると、各々の球体２５が、筒体１１の溝２１と軸体１２の溝２２との間にて溝の長さ方向に沿って転動するため、軸体１２は、筒体１１の内部にて長さ方向に滑動（直線移動）することができる。
【００２４】
直動軸受としては、筒体の内部に軸体が非回転にて滑動可能に収容されている公知の直動軸受（一般に、直動案内装置と呼ばれることもある）を用いることができる。
【００２５】
このような直動軸受の例としては、筒体及び軸体の対向面の一方の面に長さ方向に沿って溝を形成し、そして他方の面に前記溝と嵌め合いとなる突起を形成することにより前記の筒体と軸体とを係合させ、これにより軸体を周方向に非回転とし、そして長さ方向に滑動可能とした直動軸受が挙げられる。
【００２６】
別の例としては、筒体及び軸体の対向面の各々に長さ方向に沿って溝を形成し、そして筒体の溝と軸体の溝との間に複数の転動体を配置することにより前記の筒体と軸体とを転動体を介して係合させ、これにより軸体を周方向に非回転とし、そして長さ方向に滑動可能とした直動軸受（代表例、図１に示す直動軸受１３）が挙げられる。
【００２７】
更に別の例としては、軸体の外周面に長さ方向に沿って溝を形成し、この溝に複数の転動体を配置することにより前記の軸体を長さ方向に滑動可能とし、その一方で、前記の複数の転動体を筒体と軸体との間にて循環させる軌道を持つ筒状転動体保持器を筒体の内部に固定することにより前記の筒体と軸体とを筒状転動体保持器、そして転動体を介して係合させ、これにより軸体を周方向に非回転とした直動軸受が挙げられる。
【００２８】
直動軸受の構成は周知であるため、これ以上の説明は省略する。
【００２９】
前記のように、本発明の回転軸受付き直動軸受１０の各回転軸受１４は、筒体１１の外周面に形成された周溝１１ａと、周溝１１ａに配置された複数の転動体（球体）１５と、各転動体１５の一部分を外周側に突き出させた状態で回転可能に保持している環状転動体保持器１６と、保持器１６から突き出された各転動体部分を収容している周溝１７ａを内周面に備える環状体１７とから構成されている。
【００３０】
そして、例えば、前記の直動軸受１３の軸体１２を周方向に回転させると、この軸体１２を非回転の状態にて収容している筒体１１もまた周方向に回転する。筒体１１の回転に伴い、各々の回転軸受１４の複数の転動体１５が筒体１１の周溝１１ａに沿って転動する。このため、直動軸受１３は、二個の回転軸受１４に支持された状態で円滑に回転することができる。上記回転軸受１４の転動体としては、ころ（ローラー）を用いることもできる。
【００３１】
各回転軸受１４の環状体１７と筒体１１との間には、環状転動体保持器１６が配設されている。環状転動体保持器１６は、図３及び図４に示すように複数の透孔１６ａを備えており、そして各透孔１６ａの内部に前記転動体１５を回転可能な状態で保持している。このため、互いに隣接する転動体１５の接触が防止される。従って、転動体１５の摩耗が抑制され、直動軸受１３の筒体１１が複数の転動体１５を介して環状体１７に緊密に支持されるため、直動軸受１３の筒体１１に収容された軸体１２の高精度での回転移動が実現される。更には、環状体１７と筒体１１との軸方向への相対的な微動の発生が抑制されるため、直動軸受１３の筒体１１に収容された軸体１２の高精度での直線移動が実現される。
【００３２】
図１〜図４に示すように、環状転動体保持器１６は、上記各転動体１５を保持する複数の透孔１６ａが形成された上記筒体１１と同軸に配置された周壁１６ｂを備えていて、一方（図１にて上側）の回転軸受１４の転動体保持器１６の周壁１６ｂには、その各透孔１６ａから他方（図１にて下側）の回転軸受１４の側の端面に到達する複数のスリット１６ｃが形成されていて、前記他方（下側）の回転軸受１４の転動体保持器１６の周壁１６ｂには、その各透孔１６ａから前記一方（上側）の回転軸受１４の側の端面に到達する複数のスリット１６ｃが形成されていて、そして各転動体保持器１６の各スリット１６ｃの幅（Ｗ1）が転動体１５の直径（図２：Ｄ3）の０．７〜０．９５倍の範囲内の長さにあることが好ましい。なお、転動体として、ころ（ローラー）を用いる場合、前記の「転動体の直径」とは、ころの中心軸に垂直な断面における直径（但し、ころの直径が軸方向に変動する場合には最大の直径）を意味する。
【００３３】
環状転動体保持器１６は、環状体１７の周溝１７ａと筒体１１の周溝１１ａとの間に複数の転動体１５を配置したのち、環状体１７の一方の端部の側から環状体１７と筒体１１との間に挿入される。環状転動体保持器１６を環状体１７と筒体１１との間に挿入する際に、各々の転動体１５が透孔１６ａの内部に収容される。
【００３４】
図３及び図４に示すように、環状転動体保持器１６の各スリット１６ｃの透孔１６ａの側とは逆側の端部の幅（Ｗ2）は、前記の幅（Ｗ1）よりも拡大されていることが好ましい。これにより、前記端部から転動体１５がスリット１６ｃに進入し易くなるため、環状転動体保持器１６の透孔１６ａの内部に転動体１５を収容することが更に容易になる。スリット１６ｃの透孔１６ａの側とは逆側の端部の幅（Ｗ2）は、前記の幅（Ｗ1）の１．０５〜２倍（特に、１．０５〜１．５倍）の範囲内にあることが好ましい。
【００３５】
環状転動体保持器１６の周壁１６ｂのスリット１６ｃが形成されている側とは逆側の端部には、この端部周縁から内周側に延びる環状の突出部１６ｄが備えられていることが好ましい。これにより、環状転動体保持器１６の機械的強度が大きくなる。
【００３６】
回転軸受１４の環状体１７及び転動体１５は、直動軸受１３の筒体１１及び球体２５の場合と同様に、例えば、鋼や銅合金に代表される金属材料から形成される。環状転動体保持器１６は、筒状転動体保持器２６の場合と同様に金属材料や樹脂材料から形成される。
【００３７】
環状体１７の内周面の直径（図２：Ｄ1）と筒体１１の外周面の直径（図２：Ｄ2）との差は、転動体１５の直径（図２：Ｄ3）の１．２〜１．９５倍の範囲内の長さにあることが好ましい。これにより、環状体１７を筒体１１の径方向に移動させることによって、環状体１７と筒体１１との間に大きな隙間が形成される。この隙間から、上記複数の転動体１５を環状体１７と筒体１１との間に容易に挿入することが可能になる。
【００３８】
環状体１７の内周面の直径と筒体１１の外周面の直径との差が転動体１５の直径の１．２倍以上の長さであると、上記隙間が大きくなるため転動体１５の挿入が容易である。その一方で、環状体１７の内周面の直径と筒体１１の外周面の直径との差が転動体１５の直径の１．９５倍以下であると、環状体１７及び筒体１１の各々の周溝の深さを十分に大きくすることができるため、両周溝の間からの転動体１５の脱落の発生が抑制される。
【００３９】
環状体１７の内周面の直径と筒体１１の外周面の直径との差は、転動体１５の直径の１．３〜１．８倍の範囲内の長さにあることが好ましく、１．３〜１．７倍の範囲内にあることが更に好ましく、１．３〜１．６倍の範囲内にあることが特に好ましい。
【００４０】
本発明の回転軸受付き直動軸受１０では、回転軸受１４の複数の転動体１５の軌道として、直動軸受１３の筒体１１の外周面に形成された周溝１１ａを利用している。このような周溝１１ａは、例えば、旋盤や円筒研削盤などを用いた機械加工により、周溝１１ａの中心軸（すなわち回転軸受１４の中心軸）と、筒体１１の中心軸（すなわち直動軸受１３の中心軸）とを正確に一致させた状態で形成することが容易である。そして、この筒体１１の外周面の周溝１１ａに複数の転動体１５を配置して回転軸受１４を組み立てることにより、回転軸受１４の中心軸を直動軸受１３の中心軸と容易に一致させることができる。このため、本発明の回転軸受付き直動軸受１０は、組み立ての精度を考慮することなく、軸体１２の高精度での直線移動及び／又は回転移動を安定に実現することができる。
【００４１】
また、回転軸受付き直動軸受１０は、回転軸受１４の複数の転動体１５の軌道として、直動軸受１３の筒体１１の外周面に形成された周溝１１ａを利用するため、その直径方向のサイズを小さくすることが容易である。
【００４２】
なお、直動軸受１３の筒体１１の周囲に装着する回転軸受の数は、二個以上である限り特に制限はないが、組み立てが容易であることから二〜四個の範囲内にあることが好ましく、二個であることが特に好ましい。
【００４３】
図５は、図１の回転軸受付き直動軸受１０の使用の態様を示す図である。図５には、電子部品をプリント配線板の表面に装着する装置の要部が示されている。
【００４４】
図５に示すように、回転軸受付き直動軸受１０は、例えば、支柱５１に固定された筒状の容器５２の内部に収容固定された状態にて用いられる。この筒状容器５２は、本体５２ａと、本体５２ａの上部にネジ止め可能な蓋５２ｂとから構成されている。本体５２ａの内側には、各々の回転軸受１４の環状体１７の揺動を防止する筒状のスペーサ５３が嵌め合わされている。
【００４５】
回転軸受付き直動軸受１０の軸体１２の上端部には、排気管５４を軸体１２の透孔（図１：１２ａ）に接続する接続部材５５が固定されている。排気管５４及び接続部材５５の気体通路５５ａを介して、軸体１２の透孔の内部をポンプなどで排気することにより、軸体１２の下端部に電子部品を吸着させることができる。この軸体１２の下端部には、電子部品を吸着するノズルを付設することもできる。なお、ノズルに排気管が接続され、ノズル単独で電子部品の吸着が可能である場合には、軸体１２に透孔（図１：１２ａ）を設ける必要はない。
【００４６】
軸体１２の上端部には、前記の接続部材５５を介して、回転駆動装置５６ａが接続されている。そして回転駆動装置５６ａを作動させ、軸体１２（すなわち直動軸受１３の全体）を回転させることにより、軸体１２の下端部に吸着した電子部品を所定の角度で回転させることができる。
【００４７】
また、回転駆動装置５６ａは、支柱５１に設置された回転駆動装置５６ｂに送りねじ５７を介して接続されている。送りねじ５７は、ねじ軸５７ａとナット５７ｂとから構成されている。そして回転駆動装置５６ｂを作動させ、送りねじ５７のナット５７ｂを、ナット５７ｂに固定された回転駆動装置５６ａ及び軸体１２と共に上下方向に移動させることにより、軸体１２の下端部に吸着した電子部品を昇降させることができる。
【００４８】
従って、回転軸受付き直動軸受１０の軸体１２の下端部に電子部品を吸着させ、例えば、この軸体１２を電子部品が所定の角度で配置されるように回転させ、次いで下降させることにより、電子部品をプリント配線板の表面に装着することができる。
【００４９】
なお、直動軸受１３の筒体１１の上端部に筒状の接続部品を付設し、この筒状接続部品を回転させることにより、筒状接続部品に接続された筒体１１を軸体１２と共に回転させることもできる。すなわち、軸体１２を回転させる回転駆動装置を筒状接続部品を介して筒体１１に、そして軸体１２を直線移動させる送りねじ及び回転駆動装置（あるいは直動駆動装置）を軸体１２に、それぞれ独立に接続することもできる。
【００５０】
図６は、本発明の回転軸受付き直動軸受の別の構成例を示す一部切り欠き正面図である。
【００５１】
図６の回転軸受付き直動軸受６０の構成は、直動軸受１３の筒体１１の周囲に装着された各々の回転軸受１４の環状体が互いに連結されて外筒６７を構成していること以外は図１の直動軸受１０と同様である。
【００５２】
回転軸受付き直動軸受６０は、その外筒６７が揺動し難いため、軸体１２を更に高精度にて直線移動及び／又は回転させることができる。
【符号の説明】
【００５３】
１０  回転軸受付き直動軸受
１１  筒体
１１ａ、１１ｂ  周溝
１２  軸体
１２ａ  透孔
１３  直動軸受
１４  回転軸受
１５  転動体
１６  環状転動体保持器
１６ａ  透孔
１６ｂ  周壁
１６ｃ  スリット
１６ｄ  環状の突出部
１７  環状体
１７ａ  周溝
２１  筒体１１の溝
２２  軸体１２の溝
２５  球体
２６  筒状転動体保持器
２６ａ  透孔
２７  スナップリング
５１  支柱
５２  筒状の容器
５２ａ  本体
５２ｂ  蓋
５３  筒状のスペーサ
５４  排気管
５５  接続部材
５５ａ  気体通路
５６ａ、５６ｂ  回転駆動装置
５７  送りねじ
５７ａ  ねじ軸
５７ｂ  ナット
６０  回転軸受付き直動軸受
６７  外筒
Ｄ1  環状体１７の内周面の直径
Ｄ2  筒体１１の外周面の直径
Ｄ3  転動体１５の直径
Ｗ1  スリット１６ｃの幅
Ｗ2  スリット１６ｃの透孔１６ａの側とは逆側の端部の幅
【図１】
2010112554.tif 000003
【図２】
2010112554.tif 000004
【図３】
2010112554.tif 000005
【図４】
2010112554.tif 000006
【図５】
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【図６】
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