(57)【要約】【課題】ＡＣＦテープをハーフカットしたＡＣＦを圧着ヘッドにより圧着する際に有効に加圧力を受承させる。【解決手段】ＡＣＦ貼り付け機構側の取付プレート１０はＸ軸ステージ２４，Ｙ軸ステージ２３及びＺ軸ステージ２２を備えており、また液晶セル１の支持機構であるテーブル２５にもＸ軸ステージ２８と、Ｙ軸ステージ２７及びＺ軸ステージ２６を持たせる構成となし、取付プレート１０にはＡＣＦ９を加圧する圧着ヘッド３７が設けられており、この加圧ヘッド３７を下降させて、液晶セル１に貼り付ける際に、この加圧ヘッド３７の加圧力を受承する支持台３９を備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電極が形成された基板に対して、これら複数の電極をそれぞれ１枚のＡＣＦが貼り付けられる電極群に分割して、複数箇所の貼り付け領域を設定し、これら貼り付け領域毎に個別的にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼り付け装置であって、
Ｙ軸ステージ及びＸ軸ステージに装着したＺ軸ステージに設けられ、台紙テープの剥離層にＡＣＦを積層させたＡＣＦテープを送り出す供給リールと、この供給リールから送り出される前記ＡＣＦテープの前記台紙テープには連続性を持たせ、前記基板の１つの電極群に貼り付けられる長さ分毎にＡＣＦを切断するハーフカット手段と、ＡＣＦの貼り付け始端位置と終端位置との近傍にそれぞれ配置した鍔付きのガイドローラと、これら両ガイドローラ間に昇降可能に設けられ、前記ハーフカット手段により切断されたＡＣＦを前記基板の表面に圧着させる圧着ヘッドとからなる貼り付け機構と、
Ｙ軸ステージ及びＸ軸ステージに装着したＺ軸ステージに設けられ、前記基板を固定的に保持するテーブルと、
前記Ｚ軸ステージに保持された前記基板の圧着領域を下方から支持する支持台と
から構成したことを特徴とするＡＣＦ貼り付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等を構成する基板にドライバ回路等からなる半導体回路装置を搭載するために、この基板にＡＣＦ(Anisotropic Conductive Film)の貼り付け装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置における液晶パネルは、液晶封入空間を形成した上下２枚の透明基板からなる液晶セルに半導体装置を介して印刷回路基板を接続する構成としたものである。ここで、半導体回路装置は液晶パネルを駆動するドライバ回路であって、このドライバ回路はインナ側及びアウタ側の電極を備えており、インナ側の電極は液晶セルを構成する一方の基板に、またアウタ側の電極は印刷回路基板に、それぞれ電気的に接続されるようになっている。ドライバ回路の搭載方式の代表的なものとしては、チップ状のＩＣパッケージを直接液晶セルの基板に搭載すると共に、印刷回路基板を液晶セルに接続するＣＯＧ(Chip On Glass)方式と、フィルム状の基板にドライバ回路を搭載したＴＣＰ(Tape Carrier Package)を液晶セルと印刷回路基板とに接続するＴＡＢ(Tape Automated Bonding)方式とがある。いずれにしろ、液晶セルを構成する一方の基板の表面には、少なくとも２辺に配線パターンが形成されており、この配線パターンとドライバ回路のインナ電極とが電気的に接続されるが、液晶セルの各辺には複数のドライバ回路が搭載されることになる。従って、液晶セルには微小ピッチ間隔で配線パターンが形成されているが、それに搭載される半導体装置毎に所定数の配線パターンが群として形成され、複数の配線群を構成する。従って、液晶セルは、複数の配線群と、相隣接する配線群間の空白領域とを有している。なお、ドライバ回路は印刷回路基板とも接続され、従って印刷回路基板側にも、液晶セル側と同様、所定数の配線からなる配線群が複数群形成されている。なお、印刷回路基板側の配線群を構成する配線の数は、通常、液晶セル側の配線群の配線数より少ない。
【０００３】
半導体回路装置としてのドライバ回路と、液晶セルなり印刷回路基板なりとを接続するに当っては、微小間隔で形成した多数の電極と配線との間を確実に電気的に接続すると共に、ドライバ回路を固定しなければならない。このために、ＡＣＦが用いられる。ＡＣＦは粘着性のあるバインダ樹脂に微小な導電粒子を均一に分散させたものであり、このＡＣＦを熱圧着することによって、導電粒子を介して電極と配線とが電気的に接続され、かつ加熱によりバインダ樹脂が硬化することによって、ドライバ回路が液晶セルや印刷回路基板に固定される。
【０００４】
従って、例えば液晶セルの一方の基板における配線パターンが設けられている部位にＡＣＦを貼り付けた上でドライバ回路としてのＴＣＰをこの基板にＴＡＢ搭載することになる。ＡＣＦは粘着物質であるから、所定幅を有するＡＣＦが台紙テープに剥離層を介して積層されてＡＣＦテープを構成する。このＡＣＦテープを供給リールに巻回させておき、この供給リールから送り出されて、貼り付け機により基板表面に貼り付けられる。このために、ＡＣＦ貼り付け機には、供給リールの装架部が設けられ、またこの供給リールから供給されるＡＣＦテープを所定の経路を沿って引き回すために、適宜の箇所にガイドローラ等からなるガイド部材が配置される。
【０００５】
基板へのＡＣＦの貼り付けは、基板の１辺における全長にわたって連続的に貼り付ける一括貼りと、各々の配線群毎に分割し、空白領域にはＡＣＦを付着しないように貼り付ける分割貼りとがある。一括貼りは、不必要な空白領域にもＡＣＦが貼り付けられる関係から、材料に無駄が生じることになり、しかも空白領域ではＡＣＦを構成する粘着性のある樹脂と導電粒子とが露出したままになるので、半導体装置の搭載後の処理や加工にとって不都合が生じることもある。従って、分割貼りの方が望ましい。
【０００６】
例えば、特許文献１にＡＣＦの配線群毎の分割貼りを行う方式が開示されている。この特許文献１においては、台紙テープを接合させたままのＡＣＦテープを貼り付け長さ毎に切断して、液晶セルの各配線群を設けた部位に圧着させて、粘着テープを台紙テープ上に貼り付けて、この粘着テープを引き上げることによって、台紙テープをこの粘着テープ側に固着させてＡＣＦから引き剥がすようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−８３１１４号公報
【発明の概要】
【０００８】
前述した特許文献１では、ＡＣＦテープにおける台紙テープのＡＣＦ貼り付け面とは反対側の面に粘着力を作用させて液晶セルから台紙テープを引き剥がすようにするが、台紙テープのＡＣＦ貼り付け面には剥離を容易にする剥離層が設けられていることから、台紙テープを剥離する粘着テープの粘着力を十分強くしておけば、台紙テープを確実にＡＣＦから剥ぎ取ることができる。
【０００９】
この特許文献１の方式では、ＡＣＦテープを所定ピッチ間隔毎に切断して、これらＡＣＦテープの小片を真空吸着により保持した状態で、液晶セルに押圧するようになし、その後に独立して粘着テープを用いた台紙テープの引き剥がしを行うことになる。従って、ＡＣＦテープの液晶セルへの貼り付け後に台紙テープの引き剥がしを行うという工程が必要になり、その分だけ貼り付け工程が複雑になり、かつＡＣＦ貼り付け機の構成も複雑になる等といった不都合が生じる。
【００１０】
ＡＣＦテープをハーフカットして、ＡＣＦのみを切断し、台紙テープを連続状態のまま保持し、このＡＣＦテープを液晶セルに押圧してＡＣＦを貼り付けるようになし、台紙テープを液晶セルから引き上げることによってＡＣＦから台紙テープを剥離して回収する方式を採用すれば、前述した剥離用の粘着テープを用いる必要がなくなるので、工数の削減及び構成の簡略化が図られる。ところで、前述した一括貼りの場合には、ＡＣＦが広い粘着面を有しているので、台紙テープを安定的にＡＣＦから引き剥がすことができる点で有利である。しかしながら、分割貼りのように、狭い範囲分だけ貼り付ける場合には、台紙テープの剥離時に、この台紙テープに作用する引っ張り力でＡＣＦが基板から浮き上がる可能性があることから、貼り付け精度の点で問題がある。
【００１１】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ＡＣＦテープをハーフカットしたＡＣＦを圧着ヘッドにより圧着する際に有効に加圧力を受承させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前述した目的を達成するために、本発明は、複数の電極が形成された基板に対して、これら複数の電極をそれぞれ１枚のＡＣＦが貼り付けられる電極群に分割して、複数箇所の貼り付け領域を設定し、これら貼り付け領域毎に個別的にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼り付け装置であって、Ｙ軸ステージ及びＸ軸ステージに装着したＺ軸ステージに設けられ、台紙テープの剥離層にＡＣＦを積層させたＡＣＦテープを送り出す供給リールと、この供給リールから送り出される前記ＡＣＦテープの前記台紙テープには連続性を持たせ、前記基板の１つの電極群に貼り付けられる長さ分毎にＡＣＦを切断するハーフカット手段と、ＡＣＦの貼り付け始端位置と終端位置との近傍にそれぞれ配置した鍔付きのガイドローラと、これら両ガイドローラ間に昇降可能に設けられ、前記ハーフカット手段により切断されたＡＣＦを前記基板の表面に圧着させる圧着ヘッドとからなる貼り付け機構と、Ｙ軸ステージ及びＸ軸ステージに装着したＺ軸ステージに設けられ、前記基板を固定的に保持するテーブルと、前記Ｚ軸ステージに保持された前記基板の圧着領域を下方から支持する支持台とから構成したことをその特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
以上によって、圧着ヘッドでＡＣＦテープを基板に圧着する動作と圧着後の台紙テープの剥離との動作を繰り返すだけで、ＡＣＦを基板に対して有効に加圧することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ＡＣＦが貼り付けられる基板としての液晶セルと、この基板に搭載されるドライバ回路とを示す要部外観図である。
【図２】ＡＣＦ貼り付け機の概略構成を示す正面図である。
【図３】図２の右側面図である。
【図４】水平送りローラの構成説明図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】カッタユニットの構成説明図である。
【図７】ハーフカット工程を示す説明図である。
【図８】ＡＣＦテープ下降状態を示す説明図である。
【図９】圧着工程を示す説明図である。
【図１０】圧着ブロックの引き上げ状態を示す説明図である。
【図１１】台紙テープのＡＣＦからの剥離を行う動作の説明図である。
【図１２】図１１のＹ−Ｙ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図１にＡＣＦが貼り付けられる基板の一例として液晶セルを示し、またＡＣＦを介して搭載される半導体装置の一例として、基板にＴＡＢ搭載されるＴＣＰからなるドライバ回路を示す。なお、基板は液晶セルだけでなく、印刷回路基板等であっても良く、またこの基板に搭載されるのはドライバ回路に限らず、ＡＣＦを介して電気的に接続されるものであれば良い。
【００１６】
図１において、１は液晶セルであって、この液晶セル１は、共にガラス薄板からなる下基板２と上基板３とで構成され、両基板２，３間には液晶が封入される。下基板２は、その少なくとも２辺において、上基板３から所定幅分だけ張り出しており、この張り出し部２ａにフィルム基板４ａに集積回路素子４ｂを実装したドライバ回路４が複数枚搭載される。
【００１７】
下基板２の張り出し部２ａには、両基板２，３が重ね合わせられた部位に形成されているＴＦＴ(Thin Film Transistor)から引き出された所定数の配線が設けられており、これらの配線は、図中に符号５で示したように、ドライバ回路４の搭載部毎に所定数の配線が群として形成されている。そして、各配線群５の左右両側にはアライメントマーク６が形成されている。従って、相隣接する配線群５，５間には所定幅を有する空白領域が形成されている。一方、ドライバ回路４には、これら配線群５を構成する各配線と電気的に接続される複数の電極が設けられており、配線群５と接続される電極群は符号７で示されている。また、ドライバ回路４にも、電極群７の左右両側にアライメントマーク８が形成されており、ドライバ回路４が液晶セル１に搭載される際には、これらアライメントマーク６，８を基準として電極群７を構成する各電極と配線群５を構成する各配線とが一致するように位置調整がなされる。
【００１８】
ドライバ回路４はＡＣＦ９を介して液晶セル１に搭載される。ＡＣＦ９は、周知のように、接着機能を有するバインダ樹脂に微小な導電粒子を多数分散させたものであり、ドライバ回路４と液晶セル１との間でＡＣＦ９を加熱及び加圧することによって、導電粒子を介して配線群５を構成する各配線と電極群７を構成する各電極とが電気的に導通状態となり、かつバインダ樹脂が熱硬化することによって、ドライバ回路４を液晶セル１に固着させることになる。ここで、ＡＣＦ９は下基板２の張り出し部２ａに設けた配線群５の位置毎に分割され、長さＬ分毎に貼り付けられる。これによって、ＡＣＦ９を無駄なく使用することができ、しかも貼り付けられたＡＣＦ９はほぼ完全にドライバ回路４により覆われることになる。
【００１９】
図２及び図３に下基板２の張り出し部２ａにＡＣＦ９を貼り付けるための貼り付け機の概略構成を示す。図中において、１０はＡＣＦ９の液晶セル１への貼り付け機構が装着されている取付プレートであって、この取付プレート１０には供給リール１１が着脱可能に装着されている。後述するように、ＡＣＦ９は台紙テープ１２の剥離層上に積層されてＡＣＦテープ１３を構成し、このＡＣＦテープ１３が供給リール１１に巻回されている。このＡＣＦテープ１３は、取付プレート１０に装着したローラ１４〜１７からなる走行経路に沿って走行ガイドされるようになっている。さらに、１８は駆動用ローラであり、ＡＣＦ９を液晶セル１に貼り付けた後の台紙テープ１２を挟持して、排出部１９に送り込むように駆動される。
【００２０】
ローラ１４，１５は、ＡＣＦテープ１３のフィーダ用のガイドローラであり、ガイドローラ１５はスイングアーム２０に装着されており、このスイングアーム２０は回動軸２１を中心として揺動するようになっている。回動軸２１にはモータ等からなる駆動手段（図示せず）が接続されて、スイングアーム２０を矢印Ｆ方向に揺動させることによって、供給リール１１から少なくとも１回の貼り付け分、つまり図１に示した長さＬ分のＡＣＦテープ１３が送り出されて、ローラ１４，１５間に供給される。その結果、ＡＣＦテープ１３を送る際に作用する反力が常に一定となり、供給リール１１の巻回量の差により送り力に対する抵抗が変動することはない。
【００２１】
ローラ１６，１７は、図４及び図５に示したように、ＡＣＦテープ１３を、その走行経路において、水平方向にガイドし、ＡＣＦ９の液晶セル１への１回分の貼り付け長さを規定するための水平ガイドローラであり、水平ガイドローラ１７がＡＣＦ９の貼り付け始端位置を、また水平ガイドローラ１６はＡＣＦ９の貼り付け終端位置を規定するものであって、これらによってＡＣＦ９の貼り付け領域が設定される。これら水平ガイドローラ１６，１７は、円筒部１６ａ，１７ａの両側部に鍔部１６ｂ，１７ｂを形成したものであり、この鍔部１６ｂ，１７ｂの円筒部１６ａ，１７ａから突出する部位の高さはＡＣＦテープ１３における台紙テープ１２の厚み分とほぼ同じか、それより僅かに大きい寸法となっている。
【００２２】
従って、水平ガイドローラ１６，１７間でＡＣＦ９が液晶セル１に貼り付けられ、台紙テープ１２から分離される。また、水平ガイドローラ１７より下流側の位置で、ＡＣＦ９が剥離された後の台紙テープ１２が回収される。そして、水平ガイドローラ１６，１７により区画されているＡＣＦ９の貼り付け領域より下流側の位置に駆動用ローラ１８が設けられており、この駆動用ローラ１８は駆動ローラ１８ａとピンチローラ１８ｂとからなり、台紙テープ１２はこれら駆動ローラ１８ａとピンチローラ１８ｂとの間に挟持されるようになっている。そして、駆動ローラ１８ａを回転駆動することによって、ＡＣＦテープ１３を長さＬ分毎にピッチ送りがなされることになる。
【００２３】
図３から明らかなように、取付プレート１０はＺ軸ステージ２２に装着されており、このＺ軸ステージ２２はＹ軸ステージ２３に装着され、さらにＹ軸ステージ２３はＸ軸ステージ２４に装着されている。従って、ＡＣＦテープ１３の引き回し経路における水平ガイドローラ１６−１７間により規定されるＡＣＦ９の貼り付け部のＸ，Ｙ方向、つまり水平面での位置はＹ軸ステージ２３及びＸ軸ステージ２４により調整を行うことができ、またＺ軸ステージ２２を作動させることによって、貼り付け機構を装着した取付プレート１０全体を昇降駆動できるようになっている。なお、これらＺ軸，Ｙ軸及びＸ軸の各ステージ２２〜２４は、従来から周知の構成のものを使用することができるものであるから、それらについての詳細な説明は省略する。
【００２４】
また、液晶セル１はテーブル２５上に載置されて、真空吸着により固定的に保持されている。そして、このテーブル２５には、ＡＣＦ９の貼り付け機側と同様に、Ｚ軸ステージ２６，Ｙ軸ステージ２７及びＸ軸ステージ２８が設けられている。なお、テーブル２５は水平回転方向の位置調整ステージ（θステージ）や、傾き方向の調整ステージ（チルトステージ）等を設けるようにしても良い。また、液晶セル１が装着されているテーブル２５をピッチ送りさせるようにしているが、液晶セル１へのＡＣＦ９の貼り付け領域毎のピッチ送りを貼り付け機側のＸ軸ステージ２４を駆動することにより行うようにすることもできる。
【００２５】
前述した各ステージのいずれかまたは全てを駆動することによって、ＡＣＦ９の貼り付け機と液晶セル１との間で位置調整を行った上で、ＡＣＦテープ１３を液晶セル１の所定の位置に圧着させて、ＡＣＦ９を下基板２の張り出し部２ａに設けた配線群５の位置に貼り付けて、台紙テープ１２が回収される。このために、ＡＣＦテープ１３において、台紙テープ１２は連続性を保持させるようになし、ＡＣＦ９を貼り付け長さＬ毎に切断する、所謂ハーフカットが行われる。このために、ＡＣＦテープ１３の走行経路において、水平ガイドローラ１６の位置より僅かに下流側の位置にハーフカット手段としてのカッタユニット３０が設けられており、このカッタユニット３０は取付プレート１０に水平方向に移動可能に装着されている。このカッタユニット３０は、図６に示したように、カッタ３１とカッタ受け３２とを備え、カッタ受け３２はスライダ３３に固定的に保持されており、カッタ３１は、同図に矢印で示したように、軸３４を中心としてカッタ受け３２に近接・離間する方向に回動可能となっている。そして、常時にはカッタ３１に作用するばね３５の付勢力によりカッタ受け３２から離間した状態に保持されており、押動ローラ３６によって、ばね３５に抗する方向にカッタ３１を押動して、カッタ受け３２に近接する方向に揺動変位させるようになっている。そして、カッタ３１がカッタ受け３２に最も近接した位置では、その間にＡＣＦテープ１３の台紙テープ１２の厚みと同じか、それより僅かに短い間隔が形成されるようになっている。これによって、ＡＣＦ９のみをハーフカットすることができるようになる。
【００２６】
さらに、ＡＣＦ９を下基板２における張り出し部２ａに貼り付けるために、ＡＣＦテープ１３は、水平ガイドローラ１６，１７間の位置で、圧着ヘッド３７により上部から所定の加圧力で押圧されるようになっている。圧着ヘッド３７は取付プレート１０に、昇降駆動手段３８により昇降可能に装着されており、この昇降駆動手段３８によってＡＣＦテープ１３を液晶セル１に対して所定の加圧力を作用させるようにしている。また、この圧着ヘッド３７には図示しないヒータが内蔵されている。従って、圧着ヘッド３７はＡＣＦテープ１３を液晶セル１に熱圧着させることになる。ただし、加熱の度合いはＡＣＦ９のバインダ樹脂が軟化する程度の比較的低いものとする。そして、圧着ヘッド３７は、ＡＣＦテープ１３の幅を十分カバーできる幅寸法を有し、かつ長さ方向の寸法はＡＣＦ９の貼り付け長さＬを有するものである。なお、圧着ヘッド３７は直接ＡＣＦテープ１３に接触するのではなく、その間に図示しない保護シートが介装されるようになっている。そして、この圧着ヘッド３７によるＡＣＦテープ１３の液晶セル１への圧着時に、この液晶セル１における圧着領域を下方から支持する支持台３９が設けられている。
【００２７】
本実施の形態は以上のように構成されるものであって、次にＡＣＦ９の貼り付け動作の手順について、図７乃至図１２を参照して説明する。而して、このＡＣＦ９の貼り付け動作の手順は、図３に示した制御装置４０により制御されるようになっている。
【００２８】
まず、図７に示したのは、ＡＣＦテープ１３のハーフカット工程である。取付プレート１０を上昇位置に保持し、テーブル２５上に設置されている液晶セル１における配線群５にＡＣＦ９が貼り付けられるべき位置に配置する。このときに、先行する配線群５には既にＡＣＦ９が貼り付けられているものとする。従って、駆動用ローラ１８を構成する駆動ローラ１８ａとピンチローラ１８ｂとの間には、既にＡＣＦ９の貼り付けが終了し、このＡＣＦ９が剥離された台紙テープ１２が挟持されており、ＡＣＦ９が積層されているＡＣＦテープ１３の端部は配線群５の貼り付け始端位置に対応している。なお、供給リール１１から最初にＡＣＦ９を貼り付ける場合には、ＡＣＦテープ１３の先端にはリーダテープが連結されているので、このリーダテープとＡＣＦテープ１３との境界部が貼り付け始端位置と対面することになる。従って、この場合では、駆動用ローラ１８を構成する駆動ローラ１８ａとピンチローラ１８ｂとの間にはリーダテープが挟持されており、ＡＣＦ９が挟み込まれるようなことはない。
【００２９】
この状態で、当該配線群５における貼り付け終端位置にハーフカットを入れるために、カッタユニット３０を作動させる。カッタユニット３０は取付プレート１０の表面（供給リール１１等が装着されている面）から後方に退避した位置に配置されており、この位置から前進する。このときには、カッタ３１はカッタ受け３２から離間した位置に保持されている。このカッタユニット３０のスライダ３３が前進することによって、カッタ受け３２はＡＣＦテープ１３の台紙テープ１２の上面に当接するようになる。そして、スライダ３３が最前進した後に、押動ローラ３６が前進することによって、カッタ３１がばね３５に抗して軸３４の軸回りに回動することによって、ＡＣＦテープ１３におけるＡＣＦ９の面に当接し、このＡＣＦ９が切り込まれる。このときには、台紙テープ１２は切断されることがなく、連続性を保っている。このようにしてＡＣＦテープ１３がハーフカットされると、カッタユニット３０が取付プレート１０側に退避する。
【００３０】
以上のようにしてＡＣＦテープ１３のハーフカットが行われると、このハーフカットされた位置が貼り付け終端位置であり、前回ＡＣＦ９を貼り付けた端部が貼り付け始端位置となり、水平ガイドローラ１７は貼り付け始端位置に、また水平ガイドローラ１６は貼り付け終端位置に配置されている。この状態で、図８に示したように、Ｚ軸ステージ２２を作動させて、取付プレート１０を下降させる。この取付プレート１０の最下降位置は、水平ガイドローラ１６，１７間に位置するＡＣＦテープ１３のＡＣＦ９の面が液晶セル１の下基板２における張り出し部２ａと僅かな隙間、例えば１乃至数ｍｍ程度離間した位置となるように設定する。
【００３１】
次いで、図９に示したように、圧着ヘッド３７を下降させて、ＡＣＦテープ１３を下基板２に圧着する。これが圧着工程である。このときには、圧着ヘッド３７は所定温度まで加熱されていることが望ましい。そして、昇降駆動手段３８により設定した所定荷重がＡＣＦテープ１３に作用することになる。ここで、ＡＣＦテープ１３における貼り付け始端位置から終端位置までの間には均等な加圧力が作用し、しかもハーフカットされた貼り付け終端位置より基端側には圧着ヘッド３７による加圧力が作用しない。なお、このときには、液晶セル１の下基板２における張り出し部２ａのうち、少なくともＡＣＦ９が貼り付けられる位置の下面は支持台３９に当接しており、これによって有効に加圧力を受承することになる。
【００３２】
ここで、ＡＣＦテープ１３が下基板２に極めて接近した位置まで取付プレート１０を下降させた後に圧着ヘッド３７を作動させるので、この間に水平ガイドローラ１６，１７間のＡＣＦテープ１３は殆ど移動することがなく、圧着ヘッド３７はＡＣＦテープ１３に対して、そのＡＣＦ９の貼り付け領域の全長にわたって確実に、しかも均一に加圧力が作用することになり、かつそれ以外の部位には加圧力が作用することはない。また、圧着ヘッド３７の作動によって、ＡＣＦテープ１３に張力の変化が生じることはない。
【００３３】
このようにしてＡＣＦ９が下基板２に圧着されると、図１０に示したように、圧着ヘッド３７を上昇させて、ＡＣＦテープ１３に対する加圧力を解除する。ＡＣＦ９は下基板２に貼り付けられているが、このＡＣＦ９にはなお台紙テープ１２が積層されたままとなっている。そこで、図１１に示したように、取付プレート１０を上昇させて、台紙テープ１２をＡＣＦ９から剥離させる。このときに、台紙テープ１２を真っ直ぐ上方に持ち上げるようにすると、ＡＣＦ９を下基板２から浮き上がらせる方向、つまり下基板２から剥離させる方向の力が作用して、圧着したＡＣＦ９が下基板２から捲れたり、部分的に浮き上がったりする可能性がある。
【００３４】
台紙テープ１２の剥離時に、ＡＣＦ９が浮き上がるのを防止するために、圧着が終了して、圧着ヘッド３７がＡＣＦテープ１３から離間した後に、Ｚ軸ステージ２２を作動させて、取付プレート１０を上昇させて、台紙テープ１２を剥離する台紙剥離工程の際に、このＺ軸ステージ２２と共にＹ軸ステージ２３も駆動して、図１２に矢印で示したように、ＡＣＦテープ１３の幅方向において、斜め上方に引き上げるように動作させる。これによって、台紙テープ１２はＡＣＦ９から擦り切られるようにして剥離される。そして、このときには、台紙テープ１２には、水平ガイドローラ１６，１７への巻回部に対して横方向にずらそうとする力が作用するが、これら水平ガイドローラ１６，１７には鍔部１６ｂ，１７ｂが形成されているので、台紙テープ１２が円筒部１６ａ，１７ａへの巻回部で横ずれを起こして、水平ガイドローラ１６，１７から脱落することがなく、これら水平ガイドローラ１６，１７の動きに伴って台紙テープ１２が斜め上方に移動する。この結果、台紙テープ１２の剥離時にＡＣＦ９を下基板２から浮き上がらせる方向の力が抑制されることになり、圧着ヘッド３７による加圧によりＡＣＦ９が下基板２に密着した状態に保持される。
【００３５】
以上により１つの配線群５に対してＡＣＦ９の貼り付けが行なわれたことになる。そこで、駆動用ローラ１８を作動させて、ＡＣＦテープ１３を１ピッチ分だけ送り、また、Ｚ軸ステージ２６によりテーブル２５上の液晶セル１を上昇させて、支持台３９から離間させ、次いでＸ軸ステージ２８を作動させて、液晶セル１を１ピッチ分移動させた後に、液晶セル１を再び支持台３９に当接させる。この状態から、ＡＣＦ９のハーフカット、圧着ヘッド３７による圧着、取付プレート１０を斜め上方に引き上げることによる台紙テープ１２の剥離を繰り返す。これにより、下基板２の張り出し部２ａに複数設けた配線群５の位置に限定して、ＡＣＦ９の貼り付けを順次円滑かつ迅速に行うことができる。
【符号の説明】
【００３６】
１  液晶セル      ２  下基板
２ａ  張り出し部      ３  上基板
４  ドライバ回路      ５  配線群
９  ＡＣＦ      １０  取付プレート
１１  供給リール      １２  台紙テープ
１３  ＡＣＦテープ
１６，１７  水平ガイドローラ
１６ａ，１７ａ  円筒部
１６ｂ，１７ｂ  鍔部
２２  Ｚ軸ステージ
２３  Ｙ軸ステージ
２４  Ｘ軸ステージ
３０  カッタユニット
３１  カッタ      ３２  カッタ受け
３７  圧着ヘッド      ３８  昇降駆動手段
４０  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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