(57)【要約】【課題】機能液を貯留、乾燥して形成される発光層を有する有機ＥＬ表示装置において、前記機能液を配置する配置領域の底面に周期的に凹部がある場合でも、厚さの均一性に優れた発光層を形成する技術を提供する。【解決手段】ガラス基板１１上に形成され、陽極１４を含み、かつ複数のコンタクトホール１８を有する下部構造体と、前記下部構造体上における複数のコンタクトホール１８を含む配置領域の周囲に形成された隔壁１７と、前記配置領域上の隣接するコンタクトホール１８間に形成された１つ以上の突起部３０とを備え、さらに、電界発光可能な有機材料を含む機能液を配置し乾燥することで前記配置領域上の突起部３０で除外された部分に一体的に発光層が形成され、前記発光層上に陰極を含む上部構造体が形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成され、陽極および陰極のうちの一方を含み、かつ複数の凹部を有する下部構造体と、
前記下部構造体上における複数の前記凹部を含む配置領域の周囲に形成された隔壁と、
前記配置領域上の隣接する前記凹部間に形成された１つ以上の突起部と、
前記配置領域上の前記突起部で除外された部分に一体的に形成され、電界発光可能な有機材料を含む発光層と、
前記発光層上に形成され、前記陽極および前記陰極のうちの他方を含む上部構造体と
を備える有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項２】
前記突起部は、前記下部構造体の前記発光層へ電荷を供給する部分から５００ｎｍ以下の高さに設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項３】
前記下部構造体内には薄膜トランジスタが形成され、
前記凹部において、前記陽極および前記陰極のうちの前記一方と前記薄膜トランジスタとが接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項４】
前記突起部は、絶縁体で構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項５】
複数の凹部を有する基部と、
前記基部上における複数の前記凹部を含む配置領域の周囲に形成された隔壁と、
前記配置領域上の隣接する前記凹部間に形成された１つ以上の突起部と、
前記配置領域上の前記突起部で除外された部分に一体的に形成された機能膜と
を備える装置。
【請求項６】
基板上に、陽極および陰極のうちの一方を含み、かつ複数の凹部を有する下部構造体を形成する工程と、
前記下部構造体上における複数の前記凹部を含む配置領域の周囲に隔壁を形成する工程と、
前記配置領域上の隣接する前記凹部間に１つ以上の突起部を形成する工程と、
前記配置領域上の前記突起部で除外された部分に、電界発光可能な有機材料を含む機能液を一体的に配置する工程と、
前記機能液を乾燥することで、発光層を形成する工程と、
前記発光層上に、前記陽極および前記陰極のうちの他方を含む上部構造体を形成する工程と
を含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項７】
複数の凹部を有する基部を形成する工程と、
前記基部上における複数の前記凹部を含む配置領域の周囲に隔壁を形成する工程と、
前記配置領域上の隣接する前記凹部間に１つ以上の突起部を形成する工程と、
前記配置領域上の前記突起部で除外された部分に、機能液を一体的に配置する工程と、
前記機能液を乾燥することで、機能膜を形成する工程と
を含む成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置、その製造方法、および成膜方法に関し、特に、機能液の塗布および乾燥によって形成された発光層を有する有機エレクトロルミネッセンス表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置は、有機化合物の電界発光現象を利用した発光表示装置であり、携帯電話機などに用いられる小型の表示装置として実用化されている。
【０００３】
有機ＥＬ表示装置は、画素ごとに独立に発光制御可能な複数の有機ＥＬ素子を基板上に配置して構成される。典型的な有機ＥＬ表示装置は、基板上に、駆動回路、陽極、発光機能層、陰極を積層することで作製される。発光機能層には、有機化合物からなる発光層とともに、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層、正孔注入層などの複数の機能層のうちの１つ以上が積層される。
【０００４】
このような構成において、陽極および陰極から正孔輸送層などを介して発光層へ電荷が注入され、注入された電荷が発光層内で再結合することによって、発光が生じる。発光層は、均一な膜厚で形成されることが重要である。なぜなら、発光層の厚さが不均一であると、発光面内での電流分布が不均一となって輝度むらが生じ、また、薄い部分への電流集中による装置寿命の低下の原因となるからである。
【０００５】
発光層は、例えば、発光層となるべき有機化合物を含む機能液を基板に塗布し、乾燥させることで形成される。機能液の貯留および乾燥によって形成される機能膜は、有機ＥＬ表示装置の発光層に限らず、各種の装置に利用されており、厚さの均一性に優れた機能膜を形成するための種々の技術が検討されている。
【０００６】
例えば、特許文献１は、基板上に隔壁を形成し、隔壁で画素ごとに区切られた空間（液体受容部と呼ばれる）に機能膜となるべき機能液を貯留、乾燥させて機能膜を形成する製造方法を開示している。機能液は、例えばインクジェット法により、液体受容部に配置される。
【０００７】
この製造方法では、機能液の乾燥速度に着目して、表示装置として有効な画素に対応する領域である有効領域の外周部（非有効領域と呼ばれる）にまで複数の液体受容部をドット状に設け、有効領域から遠い液体受容部ほど多くの量の機能液を貯留する。これにより、有効領域の境界近傍における機能液の乾燥速度が緩和され、有効領域の全体で機能液の乾燥速度が均一になる。その結果、有効領域の全体で厚さの均一性に優れた機能膜が形成されるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−１０３３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
画素ごとに区切られた液体受容部を用いる従来の機能膜の製造方法では、液体受容部の寸法の精度や機能液の吐出量の精度によっては、画素が微細化するほど、個々の液体受容部に貯留される機能液の深さのばらつきが大きくなり、結果として機能膜の出来上がり厚さの画素ごとのばらつきが大きくなる。
【００１０】
この問題に対して、発明者らは、関連する特許出願である特願２００８−０００６９８号で、同一色で発光すべき複数の画素をライン状に配列し、これらの画素に連続して１つの液体受容部を設ける構成を提案している。そのような構成において、液体受容部に、電界発光可能な有機材料を含む機能液を配置し乾燥することで、発光層が形成される。複数の画素に沿ってライン状に延びる隔壁は、その形状から、ラインバンクと称されることがある。
【００１１】
以下、ラインバンクを持つ有機ＥＬ表示装置の典型的な構成と課題について説明する。
図７は、ラインバンクを持つ有機ＥＬ表示装置の、製造途中における構成の典型的な一例を示す部分斜視図である。なお、図７は、説明のための模式図であり、各部の大きさの比は不同に描かれている。
【００１２】
図７に示される有機ＥＬ表示装置９は、ガラス基板１１上に、駆動回路層１２、平坦化層１３、陽極１４、画素規制層１５、正孔注入層１６をこの順に積層してなる下部構造体と、下部構造体上に形成された隔壁１７とを備える。
【００１３】
隔壁１７は、異なる色で発光すべき画素を区切る位置にライン状に設けられる。隣接する２つの隔壁１７は図外で接続され、下部構造体を底とし隔壁１７を堰堤とする液体受容部を形成する。
【００１４】
液体受容部には、インクジェット法により、電界発光可能な有機材料を含む機能液が配置される。機能液の流動性のために、液体受容部内で機能液の液面の高さが統一されることにより、配置される機能液の深さが各画素で統一される。その結果、機能膜である発光層の出来上がり厚さの画素ごとのばらつきが軽減される。
【００１５】
このようにして、ラインバンクを持つ有機ＥＬ表示装置では発光層の出来上がり厚さの均一化が図られる。
【００１６】
しかしながら、発明者らは、このように構成される有機ＥＬ表示装置９において、発光領域１９の中のコンタクトホール１８の近傍で発光輝度が強まることに気付いた。この現象は、発光領域１９の中のコンタクトホール１８の近傍で、発光層２０が薄くなっていることを示している。
【００１７】
図８は、この現象を説明するためのＣＣ’断面図である。図８の点線は、形成される発光層２０の上面の位置を示している。
【００１８】
コンタクトホール１８に溜まった機能液が乾燥して体積を失うことで、発光領域１９上にある機能液がコンタクトホール１８へ流れ込む。その結果、図８に示すように、発光層２０の出来上がり厚さが、発光領域１９のコンタクトホール１８の近傍で薄くなると考えられる。
【００１９】
機能膜の出来上がり厚さが凹部の近傍で薄くなる現象は、発光層に限らず、底面に凹部がある液体受容部に機能液を貯留し乾燥させることで形成されるあらゆる機能膜（例えば、カラーフィルタ膜）に共通する問題である。また、そのような現象は、コンタクトホール１８に限らず、画素とは無関係に設けられた凹部によっても一般的に引き起こされる。
【００２０】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、機能液を液体受容部に配置し乾燥して形成される機能膜を有する装置、特にそのような機能膜として発光層を有する有機ＥＬ表示装置において、前記液体受容部の底面に凹部がある場合でも厚さの均一性に優れた機能膜を形成可能にする技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上述した課題を解決するために、本発明の有機ＥＬ表示装置は、基板上に形成され、陽極および陰極のうちの一方を含み、かつ複数の凹部を有する下部構造体と、前記下部構造体上における複数の前記凹部を含む配置領域の周囲に形成された隔壁と、前記配置領域上の隣接する前記凹部間に形成された１つ以上の突起部と、前記配置領域上の前記突起部で除外された部分に一体的に形成され、電界発光可能な有機材料を含む発光層と、前記発光層上に形成され、前記陽極および前記陰極のうちの他方を含む上部構造体とを備える。
【００２２】
このような構成によれば、前記有機材料を含む機能液を前記配置領域に配置し乾燥することによって前記発光層が形成される場合に、前記突起部が邪魔になることで、前記凹部へ流れ込む前記機能液の量を減らすことができる。
【００２３】
その結果、より多くの前記機能液が前記凹部の外に残留することになるので、前記発光層の出来上がり厚さが前記凹部の近傍で薄くなる問題が緩和され、厚さの均一性に優れた前記発光層を形成することが可能になる。
【００２４】
また、前記突起部は、前記下部構造体の前記発光層へ電荷を供給する部分から５００ｎｍ以下の高さに設けられることが望ましい。
【００２５】
このような構成によれば、前記突起部は、前記機能液が前記凹部へ流れ込む動きを邪魔しながらも、前記発光層の出来上がり厚さの均一性を損なわない程度に前記機能液の流動を許すので、発光層の厚さの均一化を図る上で有効である。
【００２６】
また、前記下部構造体内には薄膜トランジスタが形成され、前記凹部において、前記陽極および前記陰極のうちの前記一方と前記薄膜トランジスタとが接続されていてもよい。
【００２７】
このような構成は、アクティブマトリックス型の有機ＥＬ表示装置に適する。
また、前記突起部は、絶縁体で構成されていてもよい。
【００２８】
このような構成によれば、前記発光層の断面積が絶縁体である前記突起部のために減少することで、前記発光層の前記突起部の両側の間で流れる電流が削減されるので、前記突起部の両側に独立に駆動される別々の発光領域を設ける場合に、一方の発光領域の駆動電流が他方の発光領域の発光に及ぼす影響を低減する上で好適である。
【００２９】
なお、本発明は、このような有機ＥＬ表示装置として実現することができるだけでなく、機能膜を備える装置、有機ＥＬ表示装置の製造方法、および成膜方法として実現することもできる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係る有機ＥＬ表示装置は、基板上に形成され、陽極および陰極のうちの一方を含み、かつ複数の凹部を有する下部構造体と、前記下部構造体上における複数の前記凹部を含む配置領域の周囲に形成された隔壁と、前記配置領域上の隣接する前記凹部間に形成された１つ以上の突起部とを備えるので、前記有機材料を含む機能液を前記配置領域に配置し乾燥することによって発光層を形成する場合に、前記突起部が邪魔になることで、前記凹部へ流れ込む前記機能液の量を減らすことができる。
【００３１】
その結果、より多くの前記機能液が前記凹部の外に残留することになるので、前記発光層の出来上がり厚さが前記凹部の近傍で薄くなる問題が緩和され、厚さの均一性に優れた前記発光層を形成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施の形態における有機ＥＬ表示装置の構成の一例を示す部分斜視図
【図２】実施の形態における有機ＥＬ表示装置のＡＡ’断面図
【図３】実施の形態における有機ＥＬ表示装置のＢＢ’断面図
【図４】実施の形態における有機ＥＬ表示装置の製造工程図
【図５】突起部の形状の他の例を示す部分斜視図
【図６】突起部の形状の他の例を示す部分斜視図
【図７】従来の有機ＥＬ表示装置の構成の一例を示す部分斜視図
【図８】従来の有機ＥＬ表示装置のＣＣ’断面図
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００３４】
（構成）
図１は、本発明の実施の形態に係るラインバンクを持つ有機ＥＬ表示装置の、製造の１つの段階における構成の一例を示す部分斜視図である。なお、図１は、説明のための模式図であり、各部の大きさの比は不同に描かれている。
【００３５】
図２および図３は、それぞれ、有機ＥＬ表示装置１のＡＡ’断面図およびＢＢ’断面図である。
【００３６】
有機ＥＬ表示装置１は、ガラス基板１１上に、駆動回路層１２、平坦化層１３、陽極１４、画素規制層１５、正孔注入層１６をこの順に積層してなる下部構造体と、下部構造体上に形成された隔壁１７および突起部３０を備える。
【００３７】
有機ＥＬ表示装置１は、従来技術の項で説明した有機ＥＬ表示装置９と比べて、隣接するコンタクトホール１８の間に突起部３０を有している点で異なる。
【００３８】
陽極１４は、画素ごとに分割され、コンタクトホール１８において、駆動回路層１２に設けられる画素ごとの駆動用の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と接続される。
【００３９】
画素規制層１５は絶縁膜であり、陽極１４上の所定の範囲に開口が設けられる。画素規制層１５は、発光が生じる発光領域１９を開口に対応する部分のみに制限する。
【００４０】
隣接する２つの隔壁１７は、複数のコンタクトホール１８を含む配置領域を囲むように図外で接続され、下部構造体を底とし隔壁１７を堰堤とする液体受容部を形成する。
【００４１】
この後さらに、下部構造体上の隔壁１７で囲まれた配置領域に電界発光可能な有機材料を含む機能液を貯留し乾燥することで、前記配置領域上の突起部３０で除外された部分に一体的に、発光層が形成される。発光層上に陰極を含む上部構造体が形成される。
【００４２】
有機ＥＬ表示装置１では、突起部３０を設けたことにより、機能液は、突起部３０が邪魔になってコンタクトホール１８へ流れ込みにくくなる。その結果、コンタクトホール１８へ流れ込む機能液の量が減少し、発光領域１９上に残留する機能液の量が増加する。
【００４３】
図２の点線は、突起部３０がある場合に形成される発光層２０の上面の位置を示している。図８の突起部３０がない場合と比べて、発光領域１９のコンタクトホール１８の近傍部分における厚さの減少が緩和される。
【００４４】
ここで、突起部３０は、発光領域１９における正孔注入層１６から５００ｎｍ以下の高さに設けられることが望ましい。突起部３０がこの程度の高さであれば、突起部３０は前記機能液がコンタクトホール１８へ流れ込む動きを邪魔しながらも、発光層２０の出来上がり厚さの均一性を損なわない程度に前記機能液の流動を許すので、発光層２０の厚さの均一化を図る上で有効である。なお、前記突起部の高さは画素の開口サイズ、発光層を構成する各層の厚み、及び材料などによって適宜選定されるものであり、前記高さはその実施態様の一例である。
【００４５】
また、突起部３０は、液体受容部内で機能液の液面の高さが統一されることを妨げないように、機能液が配置される初期の液面の高さにおいて液体受容部内で行き来できる形状に設けられる。
【００４６】
（製造方法）
以下では、有機ＥＬ表示装置１の製造方法の一例について説明する。
【００４７】
図４（Ａ）〜図４（Ｄ）は、製造のいくつかの段階における有機ＥＬ表示装置１の構成を示す断面図である。図４（Ａ）、図４（Ｂ１）、図４（Ｃ）、および図４（Ｄ）は、有機ＥＬ表示装置１のＡＡ’断面に対応する。図４（Ｂ２）は、有機ＥＬ表示装置１のＢＢ’断面に対応する。
【００４８】
まず、ガラス基板１１の表面に半導体を薄膜状に堆積することにより駆動回路層１２を形成する。形成された駆動回路層１２内に、画素ごとのＴＦＴなどの素子を含む駆動回路を作り込む。
【００４９】
絶縁性の有機材料からなる平坦化層１３を駆動回路層１２上に形成する。形成された平坦化層１３にドライエッチングによりコンタクトホール１８を形成する。
【００５０】
金属をスパッタリングにより蒸着することにより陽極１４を形成する。形成された陽極１４をドライエッチングにより画素ごとに分割する。画素ごとに分割された陽極１４は、コンタクトホール１８において、駆動回路層１２内に作り込まれた画素ごとのＴＦＴ（図示せず）と電気的に接続される。
【００５１】
ＳｉＯ2、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ、Ａｌ2Ｏ3、ＡｌＮなどの絶縁性の無機材料、またはポリイミド樹脂などの絶縁性の有機材料からなる画素規制層１５を陽極１４上に形成する。形成された画素規制層１５に、ドライエッチングにより開口を設ける。
【００５２】
ここまでの工程で、図４（Ａ）に示す構造が形成される。
次に、ポリチオフェン系のＰＥＤＯＴ：ＰＳＳなどの有機材料からなる正孔注入層１６を、スピンコート、インクジェット、ノズルコートなどの方法で形成する。正孔注入層１６は、酸化モリブデンなどの無機物をスパッタリングにより蒸着することで形成してもよい。
【００５３】
正孔注入層１６上に感光性のポリイミド樹脂をスピンコートにより塗布し、フォトリソグラフィー処理することにより隔壁１７を形成する。
【００５４】
隔壁１７の形成後かつ機能液の配置前までに、突起部３０を形成する。突起部３０は、感光性のポリイミド樹脂をスピンコートにより塗布し、フォトリソグラフィー処理することにより形成される。図１に示されるように、突起部３０は隣接するコンタクトホール１８の間に形成される。
【００５５】
ここまでの工程で、図４（Ｂ１）および図４（Ｂ２）に示す構造が形成される。
次に、電界発光可能な有機材料であるポリフェニレンビニレン（以下ＰＰＶと表す）およびその誘導体、またはポリフルオレンおよびその誘導体を含む機能液を、インクジェット法などにより、隔壁１７で囲まれた配置領域に配置し、乾燥させることで発光層２０を形成する。
【００５６】
前述したように、機能液は、突起部３０に邪魔されることでコンタクトホール１８へ流れ込みにくくなっていることから発光領域１９に大量に残留し、その結果、厚さの均一性に優れた発光層２０が形成される。
【００５７】
ここまでの工程で、図４（Ｃ）に示す構造が形成される。
次に、遷移金属の酸化物からなる電子輸送層２１を、ドライプロセスにより形成する。
【００５８】
そして、Ｂａ、Ａｌなどの仕事関数の小さい金属を用いた光透過性の高い超薄膜を形成し、その上部にＩＴＯ、ＩＺＯなどの透光性材料からなる導電膜を積層することで、陰極２２を形成する。
【００５９】
ここまでの工程で、図４（Ｄ）に示す構造が形成される。
最後にガラスフリットなどを用いて封止をして完成する。
【００６０】
（突起部の他の具体例）
先に、突起部３０は、液体受容部内で機能液の液面の高さが統一されることを妨げないように、機能液が配置される初期の液面の高さにおいて液体受容部内で行き来できる形状に設けられることを述べた。
【００６１】
図５および図６は、そのような条件を満たす突起部３０の形状の他の具体例を示す部分斜視図である。
【００６２】
図５の有機ＥＬ表示装置２に示すように、突起部３０は、機能液が配置される初期の液面の高さよりも低い高さで配置領域を横断するように設けられてもよい。
【００６３】
また、図６の有機ＥＬ表示装置３に示すように、突起部３０は、隔壁１７と一体的に設けられ、機能液が行き来できる隙間を有していてもよい。
【００６４】
図５および図６の例では、隣接するコンタクトホール１８の間に複数の突起部３０が設けられているが、隣接するコンタクトホール１８の間に１つの突起部３０を設けてもよい。すなわち、突起部３０の周期とコンタクトホール１８の周期とは同じであってもよい。
【００６５】
その場合に、突起部３０を、１つの画素領域内において、同じ画素のコンタクトホール１８と発光領域１９との間に設けるのが望ましい。
【００６６】
発光領域１９上の機能液の多くは、近接した位置に設けられる同じ画素のコンタクトホール１８へ流れ込むと考えられる。
【００６７】
そのため、隣接するコンタクトホール１８間に１つの突起部３０を設ける場合は、隣接する画素領域を区切る位置において隣接する画素のコンタクトホール１８と発光領域１９との間に突起部３０を形成するよりも、１つの画素領域内において同じ画素のコンタクトホール１８と発光領域１９との間に突起部３０を形成したほうが、発光層２０の出来上がり厚さを均一化する上で有利である。
【００６８】
なお、図５に示される例では、突起部３０は隔壁１７とともにコンタクトホール１８を完全に囲っているが、突起部３０は機能液がコンタクトホール１８へ流れ込む動きを邪魔できればよいため、必ずしもコンタクトホール１８を完全に囲う必要はない。突起部３０をどこにどのような大きさで配置するかは、機能液の粘度などの特性に応じて設計されるべき事項である。
【００６９】
また、図５および図６の例では、配置領域の幅の中央にコンタクトホール１８が描かれているが、必ずしもコンタクトホール１８は配置領域の幅の中央に配置される必要はない。
【００７０】
以上説明した有機ＥＬ表示装置によれば、発光層２０となる、有機材料を含む機能液を配置領域に配置した場合に、突起部３０が邪魔になることで、コンタクトホール１８へ流れ込む前記機能液の量を減らすことができる。
【００７１】
より多くの前記機能液がコンタクトホール１８の外に残留することになるので、発光層２０の出来上がり厚さがコンタクトホール１８の近傍で薄くなる問題が緩和され、厚さの均一性に優れた発光層２０を形成することが可能になる。
【００７２】
その結果、隣接するコンタクトホール１８間で生じる発光輝度むらが低減され、高品質な表示が可能な有機ＥＬ表示装置が実現される。
【００７３】
以上、本発明の有機ＥＬ表示装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものも本発明の範囲内に含まれる。
【００７４】
実施の形態では、突起部を用いて有機ＥＬ表示装置において厚さの均一性に優れた発光層を形成する例について説明したが、本発明の突起部は、発光層に限らず、底面に凹部がある液体受容部に機能液を貯留し乾燥させることで形成されるあらゆる機能膜の成膜に共通に適用できる。
【００７５】
例えば、実施の形態の有機ＥＬ表示装置１に正孔輸送層を成膜する場合にも、前述したような突起部が正孔輸送層の出来上がり厚さを均一化するうえで役立つ。
【００７６】
正孔輸送層は、有機ＥＬ表示装置１では示されていない機能層であり、一般には、正孔注入層１６と発光層２０との間に正孔輸送性の材料により設けられ、正孔注入層１６から発光層２０まで正孔を輸送する。
【００７７】
正孔輸送層の材料は、機能液を配置し乾燥することで成膜できる材料であれば、高分子材料でも低分子材料であってもよい。上層である発光層２０を形成する際に、発光層２０に溶出しにくいよう、架橋剤を含むことが好ましい。正孔輸送性の材料の例としてはフルオレン部位とトリアリールアミン部位を含む共重合体や低分子量のトリアリールアミン誘導体を用いることができる。架橋剤の例としては、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどを用いることができる。
【００７８】
正孔輸送層となる機能液を配置する方法としては、特に限定されるものではないが、インクジェット法に代表されるノズルジェット法や、ディスペンサー法を用いることができる。この場合、インクジェット法は、インク化した有機成膜材料である機能液を、ノズルから噴射することにより正孔注入層１６上へ配置する。
【００７９】
配置された機能液が乾燥することにより正孔輸送層が形成されることは、実施の形態で説明した発光層２０が形成される場合と同一である。正孔輸送層の場合も、発光層２０の場合と同様、機能液は、突起部３０に邪魔されることでコンタクトホール１８へ流れ込みにくくなっていることから発光領域１９に大量に残留し、その結果、厚さの均一性に優れた正孔輸送層が形成される。
【００８０】
また、上記説明したような突起部は、例えば、機能液の配置および乾燥によって、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）表示装置の蛍光膜を成膜する場合にも、蛍光膜の出来上がり厚さの均一化に寄与するものである。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明の有機ＥＬ表示装置は、携帯電話機、テレビ、パーソナルコンピュータなどのあらゆる表示装置として利用できる。
【符号の説明】
【００８２】
１、２、３、９    有機ＥＬ表示装置
１１    ガラス基板
１２    駆動回路層
１３    平坦化層
１４    陽極
１５    画素規制層
１６    正孔注入層
１７    隔壁
１８    コンタクトホール
１９    発光領域
２０    発光層
２１    電子輸送層
２２    陰極
３０    突起部
【図１】
2010267416.tif 000003
【図２】
2010267416.tif 000004
【図３】
2010267416.tif 000005
【図４】
2010267416.tif 000006
【図５】
2010267416.tif 000007
【図６】
2010267416.tif 000008
【図７】
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【図８】
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