(57)【要約】【課題】部品を着脱する部品着脱部の位置制御を高精度化できる部品装着装置および多部品装着装置の提供を図る。【解決手段】部品装着装置１Ａに回転駆動部４とスライド駆動部３とベース２と主軸部６と部品着脱部８とスプライン部５とスライダ部７とを備える。また、ベース２の共通ベース２Ａに設けたロータリーブッシュ２Ｊを備える。ベース２は、回転駆動部４とスライド駆動部３とを保持する。主軸部６は、回転駆動部４から伝達されるトルクにより軸回りに回転し、スライド駆動部３から伝達されるスライド力により軸に沿って移動する。部品着脱部８は主軸部６に固定されていて、部品の着脱を行う。スプライン部５はスライド自在に主軸部６を回転駆動部４に連結する。スライダ部７は回転自在に主軸部６をスライド駆動部３に連結する。ロータリーブッシュ２Ｊは、回転自在かつスライド自在に主軸部６をベース２に連結して、ＸＹ面での主軸部６の変位を規制する。【選択図】図２
2010258407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動部とスライド駆動部とを保持するベースと、
前記回転駆動部から伝達されるトルクにより軸回りに回転し、前記スライド駆動部から伝達されるスライド力により軸に沿って移動する主軸部と、
前記主軸部に固定されていて、部品の着脱を行う部品着脱部と、を備える部品装着装置であって、
スライド自在に前記主軸部を前記回転駆動部に連結して、前記トルクを伝達するスプライン部と、
回転自在に前記主軸部を前記スライド駆動部に連結して、前記スライド力を伝達するスライダ部と、
前記ベースに固定され、回転自在かつスライド自在に前記主軸部を前記ベースに連結して、前記主軸部の軸に垂直な方向への前記主軸部の変位を規制する主軸案内部と、
を備える部品装着装置。
【請求項２】
前記スライダ部は、前記スライド駆動部に連結された駆動側連結部、前記主軸部に連結された主軸側連結部、および、前記駆動側連結部と前記主軸側連結部とに連結された弾性体、を備える、請求項１に記載の部品装着装置。
【請求項３】
前記部品着脱部は、前記部品着脱部から前記主軸部および前記主軸側連結部にかけて設けられた吸気路に接続される吸気装置の負圧により部品の着脱を行うものであり、
前記主軸側連結部は、回転自在に前記主軸部に連結されたものである、請求項２に記載の部品装着装置。
【請求項４】
前記主軸部は、その第一端側から第二端側にかけて、前記スプライン部、前記スライダ部、前記主軸案内部、前記部品着脱部、の配置順でそれぞれに連結されている、請求項1〜３のいずれかに記載の部品装着装置。
【請求項５】
前記ベースおよび前記主軸案内部に対して移動自在に設けられる係止部材と、
前記スライド駆動部への電力供給の停止時に、前記スライダ部の位置を規制する位置に、前記係止部材を移動させる係止駆動部と、を備える請求項１〜４のいずれかに記載の部品装着装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の部品装着装置を複数設けた多部品装着装置であって、各部品装着装置の前記主軸案内部を一体のブロックに設けた、多部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電子部品の基板実装などに用いられる部品装着装置および多部品装着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の基板実装などに用いられる部品装着装置として、吸着ノズルを回転自在かつスライド自在に構成した装置が提供されている（例えば特許文献１および特許文献３参照。）。また搬送・測定ヘッドをスライド自在に構成し、ヘッドを把持するコレットとヘッドとの間に設けたスプリングによって、ヘッド先端に作用する衝撃を吸収する装置が提供されている（例えば特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−８８０２４号公報
【特許文献２】特開平０８−１８４６４２号公報
【特許文献３】特開２００７−２３４７６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の部品装着装置は、回転アクチュエータの回転を吸着ノズルに伝達するスプライン機構と、リニアアクチュエータのスライド駆動を吸着ノズルに伝達するスライド機構が設けられている。吸着ノズルは主軸部の下端に設けられていて、この主軸部の下端は水平方向にオフセットしてベース部に配置されたリニアガイドに、アームを介して支持されている。このため、リニアガイドやアームのガタにより、吸着ノズルの位置精度が悪化することがある。また、部品を吸着脱する際に吸着ノズルの先端に垂直に作用する装着荷重がモーメント荷重として作用し、リニアガイドやアームが撓むことで吸着ノズルの先端が微小に振れて実装基板への部品装着に位置ずれが生じる虞もある。
【０００５】
特許文献２の装置は、可動コレットから水平方向にオフセットしてベース部に配置された２つの直動ガイドに、支持アームを介して可動コレットが支持されている。このため、２つの直動スライダや支持アームのガタと振れとによって、可動コレットの位置制御を高精度に行うことが困難である。
【０００６】
特許文献３の部品装着装置は、θモータの回転を吸着ノズルに伝達するボイスコイルモータと、Ｚ軸モータの回転によりスライド駆動される垂直Ｚ駆動部とが設けられている。垂直Ｚ駆動部はボールねじとリニアガイドとにより水平面位置が規制される。垂直Ｚ駆動部はボールねじおよびリニアガイドから水平面でオフセット配置されたボールガイド軸受を備え、ボールガイド軸受でノズルシャフトの水平面位置を規制する。ノズルシャフトの下端には吸着ノズルを設けている。このため、ボールねじやリニアガイドのガタつきによって、垂直Ｚ駆動部および吸着ノズルの位置精度が悪化することがある。
【０００７】
そこで本発明は、部品を着脱する部品着脱部の位置制御を高精度化できる部品装着装置および多部品装着装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、ベースと主軸部と部品着脱部とを備える部品装着装置であって、スプライン部とスライダ部と主軸案内部とを備える。ベースは、回転駆動部とスライド駆動部とを保持する。主軸部は、回転駆動部から伝達されるトルクにより軸回りに回転し、スライド駆動部から伝達されるスライド力により軸に沿って移動する。部品着脱部は主軸部に固定されていて、部品の着脱を行う。スプライン部はスライド自在に主軸部を回転駆動部に連結して、トルクを伝達する。スライダ部は回転自在に主軸部をスライド駆動部に連結して、スライド力を伝達する。主軸案内部は、ベースに固定され、回転自在かつスライド自在に主軸部をベースに連結して、主軸部の軸に垂直な方向への主軸部の変位を規制する。
【０００９】
この構成の主軸部は、主軸部への駆動力の伝達を担うスプライン部およびスライダ部と、主軸部の軸に垂直な方向への主軸部の変位を規制する主軸案内部とにより支持される。主軸案内部は主軸部の同軸上でベースに直接設置されるので、主軸部に垂直な面におけるベースを基準とした主軸部の取り付け位置精度を改善できる。また、部品の着脱に伴い作用するモーメント荷重を打ち消す抗力が、主軸案内部から主軸部に直接作用するので、モーメント荷重による主軸部の振れを抑制できる。したがって、この部品装着装置では主軸部および部品着脱部の位置制御を高精度に行える。
【００１０】
この発明のスライダ部は、駆動側連結部と主軸側連結部と弾性体とを備えると好適である。駆動側連結部はスライド駆動部に連結される。主軸側連結部は主軸部に連結される。弾性体は駆動側連結部と主軸側連結部とに連結される。この構成により、部品吸着部と主軸部と主軸側連結部とが、駆動側連結部に対して上方に逃げることが可能な構造になる。例えば、スライド駆動部の誤作動などによって部品の搭載高さよりも下方まで駆動側連結部を駆動した場合や、実装基板の部品搭載位置に予期しない異物がある場合などであっても、部品吸着部と主軸部と主軸側連結部とには弾性体のバネ定数で規定される上限荷重までしかかからず、それ以上の荷重がかかると上方に逃げるため、部品吸着部と主軸部と主軸側連結部との破損を防ぐことができる。なお、このような主軸側連結部のみで主軸部に作用するモーメント荷重を支えることは困難である。そこで、主軸側連結部と主軸案内部とを併用することで、主軸部を上方に逃がす機能を備えながら主軸部に作用するモーメント荷重を支えることが可能になる。
【００１１】
この発明の部品装着装置では、部品着脱部は吸気装置の負圧により部品の着脱を行うものであり、主軸側連結部は揺動自在に主軸部に連結されたものであると好適である。吸気装置は、部品着脱部から主軸部および主軸側連結部にかけて設けられた吸気路に接続される。この構成により、部品着脱部に対して揺動自在に連結される主軸側連結部で吸気装置が吸気路に接続され、吸気装置の配管取り回しが容易になる。また、部品着脱部と主軸部と主軸側連結部とは、互いにスライドすることなく連結されるので、それらの隙間からエアが漏れる危険性を低減でき、スライドする構成であっても部品の確実な着脱を実現できる。
【００１２】
この発明の主軸部は、その第一端側から第二端側にかけて、スプライン部、スライダ部、主軸案内部、部品着脱部、の配置順でそれぞれに連結されていると好適である。主軸部には微小振動が生じることがあるが、この構成では、主軸案内部が振動の節となるので、部品着脱部を振幅の小さい節近傍に配置して、部品着脱部の位置精度を高めることができる。
【００１３】
この発明の部品装着装置は、係止部材と係止駆動部とを備えると好適である。係止部材は、ベースおよび主軸案内部に対して移動自在に設けられる。係止駆動部は、スライド駆動部への電力供給の停止時に、スライダ部の位置を規制する位置に、係止部材を移動させる。これにより、スライド駆動部への電極供給の停止時に、部品着脱部が自重によって落下してしまって破損する危険性を低減できる。この構成は、スライダ駆動部がリニアアクチュエータによってスライダ部を駆動させる構成で特に好適であり、スライダ駆動部のサーボOFF時や、非常停止時、瞬時停電時などに、リニアアクチュエータの励磁が切れても、部品着脱部の破損を確実に防止できる。
【００１４】
この発明は、上述の部品装着装置を複数設けた多部品装着装置であって、各部品装着装置の主軸案内部を一体のブロックに設けると好適である。これにより、主軸案内部に支持される各部品装着装置の主軸部を高精度に組み付けて、部品着脱部の位置精度のバラツキを抑制できる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、主軸部への駆動力の伝達を担うスプライン部およびスライダ部と、主軸部の軸に垂直な方向への主軸部の変位を規制する主軸案内部と、によって主軸部は支持される。このため、主軸部の同軸上に主軸案内部を設置することができ、部品を着脱する部品着脱部の位置制御を高精度化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る多部品装着装置の斜視図である。
【図２】図１に示す多部品装着装置の備える部品装着装置の部分断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る多部品装着装置の展開図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る多部品装着装置の展開図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の第１の実施形態に係る多部品装着装置を説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る多部品装着装置１の斜視図である。
【００１９】
多部品装着装置１は４つの部品装着装置１Ａ〜１Ｄで構成していて、部品装着装置１Ａ〜１Ｄはそれぞれベース２とスライド駆動部３と回転駆動部４とスプライン部５と主軸部６とスライダ部７と部品着脱部８とを備える。
【００２０】
ベース２は回転駆動部４とスライド駆動部３と主軸部６とを支持する。ベース２は共通ベース２Ａと個別ベース２Ｂとを備える。共通ベース２Ａは、部品装着装置１Ａ〜１Ｄに共通するブロック部材で構成される。個別ベース２Ｂは、部品装着装置１Ａ〜１Ｄごとに個別部材で構成される。スライド駆動部３は、ボールねじ３Dを用いてモータ３Ａの回転を直線運動に変換し、スライダ部７を介して主軸部６および部品着脱部８をスライド駆動する。スライダ部７は、回転自在に主軸部６をスライド駆動部３に連結する。回転駆動部４は、スプライン部５を介してモータ４Ａの回転を主軸部６に伝達して主軸部６および部品着脱部８を回転駆動する。スプライン部５はスライド自在に主軸部６を回転駆動部４に連結する。主軸部６は、ベース２の共通ベース２Ａに設けられたロータリーブッシュ２Ｊに回転自在かつスライド自在に嵌め込む構成としている。ロータリーブッシュ２Ｊは本発明の主軸案内部に相当する。これにより部品装着装置１Ａ〜１Ｄそれぞれでの主軸部６の取り付け位置精度をバラツキ無く高精度にできる。部品着脱部８は主軸部６の下方端部に設けた吸着ノズルであり、Ｚ軸方向に上下動するとともに水平面で回動する。
【００２１】
この実施形態の多部品装着装置１は、例えば、水平面のＸＹステージ上で電子部品を移動させる移動装置のヘッド部に、共通ベース２Ａで取り付けられる。そして、ＸＹステージ上の部品準備位置に移送された状態で部品着脱部８を降下し、負圧をコントロールすることで部品着脱部８に電子部品を吸着するように駆動される。次に、部品着脱部８を上昇し、部品着脱部８を回転することで電子部品の姿勢をコントロールするように駆動される。そして、ＸＹステージ上の部品実装位置に移送された状態で部品着脱部８を降下し、負圧をコントロールすることで部品着脱部８が電子部品を放すように駆動される。
【００２２】
図２は、部品装着装置１Ａの部分断面の構成を説明する図であり、図中のハッチング箇所は断面を示している。図２（Ａ）は部品着脱部８をＺ軸上限位置に配置した様子を、図２（Ｂ）は部品着脱部８をＺ軸下限位置に配置した様子を、図２（Ａ）は部品着脱部８をＺ軸下限位置に配置した状態から部品着脱部８に対して鉛直上向きの力を与えて部品着脱部８をＺ軸上限位置に移動させた様子を示している。なお説明を省くが、部品装着装置１Ｂ〜１Ｄは部品装着装置１Ａと同じ構成とする。
【００２３】
共通ベース２Ａは、共通背面板２Ｃと共通底板２Ｄとを一体品で構成、または各部材を強固に接続して構成している。個別ベース２Ｂは、個別天板２Ｅと個別背面板２Ｆと個別ボールねじ保持板２Ｇと個別底板２Ｈとを一体品で構成、または各部材を強固に接続して構成している。個別ベース２Ｂは共通ベース２Ａにねじ止め等で取り付けられている。個別天板２Ｅと個別ボールねじ保持板２Ｇと個別底板２Ｈとにはスライド駆動部３の取り付け孔（不図示）を設けていて、個別ボールねじ保持板２Gと、個別底板２Ｈの取り付け孔にはボールねじ３Ｄを回転自在に保持するベアリング（不図示）を設けている。また、個別天板２Ｅと共通底板２Ｄには回転駆動部４および主軸部６の取り付け孔を設けていて、共通底板２Ｄの取り付け孔にはロータリーブッシュ２Ｊを設けている。
【００２４】
スライド駆動部３は、モータ３Ａとモータ回転軸３Ｂとカップリング３Ｃとボールねじ３Ｄとボールねじナット部３Ｅとを備える。カップリング３Ｃはモータ回転軸３Ｂとボールねじ３Ｄとを連結する。モータ３Ａは、モータ回転軸３Ｂとボールねじ３Ｄとカップリング３Ｃとを回転させる。ボールねじナット部３Ｅはボールねじ３Ｄに螺合し、後述するスライダ部７に連結されている。したがって、ボールねじナット部３Ｅはスライダ部７から回動が規制され、ボールねじ３Ｄが回転するとボールねじ３Ｄに沿ってスライドすることになる。
【００２５】
回転駆動部４は、モータ４Ａとモータ回転軸４Ｂとカップリング４Ｃとを備える。カップリング４Ｃはモータ回転軸４Ｂとスプライン部５のスプライン軸５Ａとを連結する。モータ４Ａは、モータ回転軸４Ｂとスプライン軸５Ａとカップリング４Ｃとを回転させる。
【００２６】
スプライン部５はスプライン軸５Ａとスリーブ５Ｂとカップリング５Ｃとを備える。カップリング５Ｃは、スリーブ５Ｂと主軸部６とを連結する。スプライン軸５Ａとスリーブ５Ｂとはそれぞれ軸方向に溝が切られていて、それぞれの溝に共通するスプラインボールが嵌め込まれている。したがって、スプライン軸５Ａの回転に連動してスリーブ５Ｂは回転する。また、スプライン部５のスリーブ５Ｂは、図２（Ａ）に示すようにスプライン軸５Ａの上端に位置する状態から、図２（Ｂ）に示すようにスプライン軸５Ａの下端に位置する状態まで、スライド自在である。
【００２７】
主軸部６は、その内部に、軸に沿って吸気路６Ａが形成されている。また、外周面が共通底板２Ｄのロータリーブッシュ２Ｊに回転自在かつスライド自在に支持されていて、スプライン部５のカップリング５Ｃを介してスリーブ５Ｂに連結されている。このため、主軸部６はスライド自在なスリーブ５Ｂから伝達されるトルクによりモータ４Ａの回転に連動して回転する。部品着脱部８は、主軸部６の下端に連結されていて、主軸部６の回転に連動して回転する。
【００２８】
スライダ部７は、軸側スライダ７Ａと駆動側スライダ７Ｂと引っ張りバネ７Ｃとを備える。軸側スライダ７Ａが本発明の主軸側連結部であり、駆動側スライダ７Ｂが本発明の駆動側連結部である。
【００２９】
軸側スライダ７Ａはカップリング５Ｃと駆動側スライダ７Ｂとの間に配置されていて、吸気口７Ｄと２つの軸受け７Ｅとを備える。吸気口７Ｄは図示しない吸気装置の配管に接続される。軸受け７Ｅは、軸受け内環部が主軸部６に嵌合して主軸部６を回転自在に保持し、軸受け外環部が引っ張りバネ７Ｃに接続されている。また、２つの軸受け７Ｅは軸側スライダ７Ａの軸方向両端に設けられていて、それぞれの軸方向内側にシーリングを設けることで主軸部６の外周に環状の気密空間を形成するようにしている。この気密空間には吸気口７Ｄが連通するとともに、主軸部６における吸気路６Ａが露出する。軸側スライダ７Ａは主軸部６にスライドすることなく回転自在に連結されているので、その連結位置からエアが漏れる危険性が小さい。したがって、この軸側スライダ７Ａに吸気口７Ｄを設けることで、吸気路６Ａの気密性を高めることができる。
【００３０】
駆動側スライダ７Ｂは前述のボールねじナット部３Ｅに連結されていて、ロータリーブッシュ７Ｆを備える。ロータリーブッシュ７Ｆは主軸部６を回転自在かつスライド自在に保持する。
【００３１】
引っ張りバネ７Ｃは、軸側スライダ７Ａと駆動側スライダ７Ｂとに接続していて、それぞれの間に引っ張りの力を付与する。軸側スライダ７Ａには上下方向に溝が形成されており、駆動側スライダ７Ｂには、上方向に突出するピン（不図示）が設けられている。この溝とピンとが勘合することで、軸側スライダ７Ａは駆動側スライダ７Ｂに対して上下方向に移動可能で，且つ回転が規制された構成となる。
【００３２】
このスライダ部７では、駆動側スライダ７Ｂはボールねじナット部３ＥにＺ軸位置が規制される。引っ張りバネ７Ｃは、弾性力により軸側スライダ７ＡのＺ軸位置を規制する。軸側スライダ７Ａは主軸部６のＺ軸位置を規制する。引っ張りバネ７Ｃのバネ定数は、スライダ部７の移動に伴って慣性力が作用しても、駆動側スライダ７Ｂと軸側スライダ７Ａとが離れることがないように設定されている。軸側スライダ７ＡのＺ軸位置は、引っ張りバネ７Ｃから作用する弾性力と、駆動側スライダ７Ｂに接触して付与される抗力と、主軸部６から作用する力と、によって定まる。このため、スライダ部７は主軸部６にボールねじナット部３Ｅからのスライド力を伝達し、モータ３Ａの回転に連動してスライドする。
【００３３】
なお、部品着脱部８が電子部品を吸着脱する際に部品着脱部８にはＺ軸方向に反力が作用する。このような力がバネ定数により規定される閾値を超えなければ、図２（Ａ）および図２（Ｂ）に示すように駆動側スライダ７Ｂと軸側スライダ７Ａとは互いに接触した状態を維持してスライドする。一方、その力が閾値を超えれば、図２（Ｃ）に示すように駆動側スライダ７Ｂと軸側スライダ７Ａとが離間した状態となる。このため、部品着脱部８にＺ軸方向の力がかかっても、軸側スライダ７Ａが上方に逃げることで部品着脱部８や主軸部６スライダ部７の破損が回避できる。
【００３４】
以上の構成の部品装着装置１Ａでは、共通底板２Ｄのロータリーブッシュ２Ｊと、駆動側スライダ７Ｂのロータリーブッシュ７Ｆと、スプライン部５のカップリング５Ｃとが主軸部６の水平面における位置を規制する。ロータリーブッシュ７Ｆは駆動側スライダ７Ｂとスライド駆動部３と個別ベース２Ｂとを介して共通ベース２Ａに連結されていて、カップリング５Ｃはスプライン部５と回転駆動部４と個別ベース２Ｂとを介して共通ベース２Ａに連結されている。一方、ロータリーブッシュ２Ｊは共通ベース２Ａに直接連結されている。このため、ロータリーブッシュ２Ｊは、共通ベース２Ａを基準とした水平面における取り付け位置精度がロータリーブッシュ７Ｆやカップリング５Ｃに比較して優れ、部品着脱部８の水平方向の位置精度は、ロータリーブッシュ７Ｆやカップリング５Ｃよりも、主軸案内部であるロータリーブッシュ２Ｊによって定まる。これにより、本構成では主軸を回転駆動させる機構やスライド駆動させる機構の影響を除いて部品着脱部の位置精度を定めることができ、それらの機構によって主軸を支持する従来の装置（特許文献１〜３）に比較して、主軸部６および部品着脱部８の位置制御を高精度に行える。また、部品の着脱に伴い作用するモーメント荷重を打ち消す抗力が、共通ベース２Ａに固定されたロータリーブッシュ２Ｊから主軸部６に直接作用するので、モーメント荷重による主軸部６の振れを抑制できる。このため、部品装着装置１Ａでは主軸部６および部品着脱部８の位置制御を極めて高精度に行える。
【００３５】
なお、主軸部６には微小振動が生じることがあるが、ロータリーブッシュ２Ｊが振動の節となるので、部品着脱部８を振幅の小さい節近傍に配置して、部品着脱部８の位置精度を高めることができる。
【００３６】
また、本実施形態では、スライダ部７にもロータリーブッシュ７Ｆを設けているが、このロータリーブッシュ７Ｆを設けることで、主軸部６のＸＹ面における位置を規制するロータリーブッシュ２Ｊの効果を補助することができる。
【００３７】
次に、本発明の第２の実施形態に係る多部品装着装置を説明する。以下の説明では第１の実施形態と同じ構成に同じ符号を付して説明を省く。
【００３８】
図３は、本実施形態に係る多部品装着装置の構成を説明する図である。図３（Ａ）は正面図であり、図３（Ｂ）は部分斜視図であり、図３（Ｃ），３（Ｄ）は側面断面図である。
【００３９】
この多部品装着装置は、係止駆動部１０と係止部材１１とスライド駆動部１３と共通底板１２Ｄとを備える。
【００４０】
スライド駆動部１３はリニアスライダ機構を構成し、リニアガイド１３Ｄとリニア可動子１３Ｅとを備える。リニアガイド１３Ｄは、その両端がベース２に支持される。リニア可動子１３Ｅはスライダ部７を介して主軸部６および部品着脱部８に連結されていて、リニアガイド１３Ｄに沿ってスライドする。このスライド駆動部１３の駆動により、主軸部６および部品着脱部８はスライドする。
【００４１】
共通底板１２Ｄは、その正面および上面に向いて開口する凹部１２Ｋと、上面に開口するガイド穴（不図示）とを備える。
【００４２】
係止駆動部１０はシリンダ本体１０Ａとシリンダ可動部１０Ｂとを備える。シリンダ可動部１０Ｂは、共通底板１２Ｄの上面よりも上方に突出し、シリンダ本体１０Ａに上下動自在に保持される。シリンダ本体１０Ａは共通底板１２Ｄの凹部１２Ｋの内側に設けられ、図示しない内室と電磁弁とを内部に備える。内室は圧縮気体が導入されることで、シリンダ可動部１０Ｂを押し出して上方に上昇させる。電磁弁は、内室への圧縮気体の導入口に設けられ、スライド駆動部１３への電力の供給時に弁が閉じ、電力の供給停止時に弁が開いて内室へ圧縮気体を導入する。
【００４３】
係止部材１１は、係止板部１１Ａおよびブッシュ部１１Ｂを備える。ブッシュ部１１Ｂは、その下端が共通底板１２Ｄのガイド穴（不図示）に挿入され、共通底板１２Ｄに対して上下動自在に保持される。また、その上端が係止板部１１Ａの下面に接合される。係止板部１１Ａは、駆動側スライダ７Ｂの直下に先端が到達するように設けられていて、スライド駆動部１３への電力の供給時に共通底板１２Ｄに近接して配置され、電力の供給停止時に係止駆動部１０によって押し上げられて、駆動側スライダ７Ｂの下側端部に当接する。
【００４４】
リニアスライダのサーボOFF時や、非常停止時、瞬時停電時などには、リニアスライダの励磁が切れる。リニアスライダの励磁が切れた場合に、本実施形態ではシリンダ本体１０Ａに設ける電磁弁が開き、圧縮空気がシリンダ本体１０Ａの内室に導入されて、シリンダ可動部１０Ｂが上昇する。これにより、係止部材１１が上昇して駆動側スライダ７Ｂに接触して、駆動側スライダ７Ｂの位置を規制する。したがって、部品着脱部８が落下して破損することを防止できる。
【００４５】
なお本実施形態では、複数のシリンダ可動部１０Ｂと複数のブッシュ部１１Ｂとを、装置の左右方向に伸びる直線上に一列に並ぶように配列している。この構成を採用することにより、係止部材１１の上下動に際してシリンダ可動部１０Ｂやブッシュ部１１Ｂに曲げトルクが作用することを防ぎ、係止部材１１の上下動をスムーズに行えるようにしている。
【００４６】
また、本実施形態では、係止駆動部１０を共通底板１２Ｄの凹部１２Ｋに備えるので、係止駆動部１０の付設による装置サイズの増大を抑えられる。
【００４７】
次に、本発明の第３の実施形態に係る多部品装着装置を説明する。以下の説明では上述の実施形態と同じ構成に同じ符号を付して説明を省く。
【００４８】
図４は、本実施形態に係る多部品装着装置の構成を説明する図である。図４（Ａ）は正面図であり、図４（Ｂ）は上面断面図であり、図４（Ｃ），４（Ｄ）は側面図である。
【００４９】
この多部品装着装置は、係止駆動部２０と係止部材２１とスライド駆動部１３と共通底板２Ｄと共通背面板２２Ｃとガイドレール２２Ｋとを備える。
【００５０】
係止駆動部２０はシリンダ本体２０Ａとシリンダ可動部２０Ｂとを備える。シリンダ可動部２０Ｂは、共通底板２Ｄの上面よりも上方に突出し、シリンダ本体２０Ａに上下動自在に保持される。シリンダ本体２０Ａは共通底板２Ｄの側面に取り付けられ、図示しない内室と電磁弁とを内部に備える。内室は圧縮気体が導入されることで、シリンダ可動部２０Ｂを押し出して上方に上昇させる。電磁弁は、内室への圧縮気体の導入口に設けられ、スライド駆動部１３への電力の供給時に弁が閉じ、電力の供給停止時に弁が開いて内室に圧縮気体を導入する。
【００５１】
ガイドレール２２Ｋは共通背面板２２Ｃ前面の左右両端に取り付けられる。
【００５２】
係止部材２１は、係止板部２１Ａおよびガイド部２１Ｂを備える。ガイド部２１Ｂは、その背面側にガイドレール２２Ｋが取り付けられて、上下動自在に保持される。また、ガイド部２１Ｂの前面側に係止板部２１Ａが接合される。係止板部２１Ａは、前述のリニアガイド１３Ｄを迂回する切り欠きが設けられた平板であり、前述のリニア可動子１３Ｅの直下に先端が到達するように設けられている。そして、スライド駆動部１３への電力の供給時に共通底板２Ｄに近接して配置され、電力の供給停止時に係止駆動部２０によって押し上げられ、リニア可動子１３Ｅの下側端部に当接する。
【００５３】
したがって本実施形態では、リニアスライダの励磁が切れた場合にシリンダ本体２０Ａに設ける電磁弁が開き、圧縮空気がシリンダ本体２０Ａの内室に導入されて、シリンダ可動部２０Ｂが上昇する。これにより、係止部材２１が上昇してリニア可動子１３Ｅに接触して、リニア可動子１３Ｅの位置を規制する。したがって、部品着脱部８が落下して破損することを確実に防止できる。
【００５４】
なお、本実施形態では、複数のシリンダ可動部２０Ｂと複数のリニアガイド１３Ｄとを、装置の左右方向に伸びる直線上に一列に並ぶように配列する。この構成を採用することにより、電力の供給停止時にリニア可動子１３Ｅが落下する際に、係止部材２１に係るリニア可動子１３Ｅを係止駆動部２０で支持し、ガイド部２１Ｂとガイドレール２２Ｋとの連結部に過大なトルクが作用することを防ぎ、ガイド部２１Ｂとガイドレール２２Ｋとの連結が解けないようにしている。
【符号の説明】
【００５５】
１…多部品装着装置
１Ａ〜１Ｄ…部品装着装置
２…ベース
２Ａ…共通ベース
２Ｂ…個別ベース
２Ｃ，２２Ｃ…共通背面板
２２Ｋ…ガイドレール
２Ｄ，１２Ｄ…共通底板
１２Ｋ…凹部
２Ｅ…個別天板
２Ｆ…個別背面板
２Ｇ…ボールねじ保持板
２Ｈ…個別底板
２Ｊ…ロータリーブッシュ
３，１３…スライド駆動部
３Ａ…モータ
３Ｂ…モータ回転軸
３Ｃ…カップリング
３Ｄ…ボールねじ
３Ｅ…ボールねじナット部
１３Ｄ…リニアガイド
１３Ｅ…リニア可動子
４…回転駆動部
４Ａ…モータ
４Ｂ…モータ回転軸
４Ｃ…カップリング
５…スプライン部
５Ａ…スプライン軸
５Ｂ…スリーブ
５Ｃ…カップリング
６…主軸部
６Ａ…吸気路
７…スライダ部
７Ａ…軸側スライダ
７Ｂ…駆動側スライダ
７Ｃ…引っ張りバネ
７Ｄ…吸気口
７Ｅ…軸受け
７Ｆ…ロータリーブッシュ
８…部品着脱部
１０，２０…係止駆動部
１０Ａ，２０Ａ…シリンダ本体
１０Ｂ，２０Ｂ…シリンダ可動部
１１，２１…係止部材
１１Ａ，２１Ａ…係止板部
１１Ｂ…ブッシュ部
２１Ｂ…ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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