(57)【要約】【課題】試験装置における各チャネルの自己診断を効率よく行う。【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに所定の出力信号を出力する出力回路、および、被試験デバイスの所定の特性を測定する測定回路をそれぞれが有する複数のモジュールと、それぞれのモジュールにおいて、出力回路の出力を測定回路で測定させ、それぞれの測定回路の測定結果に基づいて、それぞれのモジュールを診断する制御部とを備え、それぞれの測定回路は、対応する出力回路の出力を並行して測定し、制御部は、複数のモジュールに対して共通に設けられ、測定回路における測定結果を、モジュール毎に順次読み出す試験装置を提供する。【選択図】図２
2010139442.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに所定の出力信号を出力する出力回路、および、前記被試験デバイスの所定の特性を測定する測定回路をそれぞれが有する複数のモジュールと、
それぞれの前記モジュールにおいて、前記出力回路の出力を前記測定回路で測定させ、それぞれの前記測定回路の測定結果に基づいて、それぞれの前記モジュールを診断する制御部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記測定回路による前記出力回路の出力の測定を、複数の前記モジュールで並行して行う
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記制御部は、複数の前記モジュールに対して共通に設けられ、前記測定回路における測定結果を、前記モジュール毎に順次読み出す
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記制御部は、複数の前記被試験デバイスの特性を並行して測定する場合と同一の制御信号を、それぞれの前記測定回路に並行して与えることで、それぞれの前記測定回路に、対応する前記出力回路の出力を並行して測定させる
請求項２または３に記載の試験装置。
【請求項５】
それぞれの前記モジュールは、前記出力回路の出力端および前記測定回路の入力端に接続される負荷抵抗を有し、
前記制御部は、前記出力回路が出力する前記出力信号の設定値および前記負荷抵抗の抵抗値に基づいて、前記測定回路が測定すべき理想値を算出し、前記測定回路が測定した測定値と、前記理想値とを比較することで前記モジュールを診断する
請求項３または４に記載の試験装置。
【請求項６】
それぞれの前記モジュールは、
前記出力回路および前記測定回路をそれぞれ有する複数のチャネルと、
測定対象の前記チャネルに、前記負荷抵抗を接続する切替スイッチと
を有し、
前記制御部は、それぞれの前記モジュールについて前記測定対象の前記チャネルの診断が終了した場合に、それぞれの前記モジュールについて前記切替スイッチを制御して次に診断すべき前記チャネルを選択し、選択したそれぞれの前記チャネルの前記出力回路の出力を並行して測定させ、それぞれの前記チャネルにおける測定結果を順次読み出して診断する
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
複数の前記モジュールに対して共通に設けられた共通測定器を更に備え、
前記制御部は、いずれかの前記チャネルを不良と判定した場合に、前記共通測定器を用いて当該チャネルの前記出力回路の出力を測定し、当該出力回路を診断する
請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
それぞれの前記モジュールにおける前記出力回路から前記測定回路までの測定経路長は、前記出力回路から前記共通測定器までの測定経路長より短い
請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
前記共通測定器は、前記測定回路より高精度に信号を測定でき、
前記制御部は、それぞれの前記負荷抵抗の抵抗値を、前記共通測定器を用いて予め測定する
請求項７または８に記載の試験装置。
【請求項１０】
被試験デバイスに所定の出力信号を出力する出力回路、および、前記被試験デバイスの所定の特性を測定する測定回路をそれぞれ設けられた複数のモジュールを備える試験装置を診断する診断方法であって、
それぞれの前記モジュールにおいて、前記出力回路の出力を前記測定回路で測定させ、それぞれの前記測定回路の測定結果に基づいて、それぞれの前記モジュールを診断する診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体チップ等の被試験デバイスを試験する試験装置には、被試験デバイスに試験信号を入力する出力回路と、被試験デバイスの応答信号を測定する測定回路とが設けられる。例えば出力回路が、被試験デバイスに所定の動作をさせる試験信号を生成して、測定回路が、被試験デバイスの応答信号を測定することで、被試験デバイスが正常に動作したか否かを判定できる。一般に試験装置は、それぞれ出力回路および測定回路を有する複数の試験チャネルを備える。
【０００３】
被試験デバイスを精度よく試験するには、それぞれの試験チャネルが正常に動作しているかを、定期的に自己診断することが好ましい。従来の試験装置は、比較的に高性能なデジタルボルトメータ（ＤＶＭ）またはデジタルマルチメータ（ＤＭＭ）を用いて、それぞれの試験チャネルが正常に動作しているかを診断する（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２０７０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の試験装置には、ＤＶＭ、ＤＭＭ等が１台しか設けられていない。このため、複数の試験チャネルを診断する場合、試験チャネルを１つずつ順番にＤＶＭに接続して診断を行っていた。このため、多数の試験チャネルを診断する場合に、測定時間が長くなってしまう。また、診断対象の試験チャネルを切り替えるための切替時間も長くなってしまう。更に、試験チャネルからＤＶＭまでの信号経路は比較的に長いので、セットリングタイムが長くなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに所定の出力信号を出力する出力回路、および、被試験デバイスの所定の特性を測定する測定回路をそれぞれが有する複数のモジュールと、それぞれのモジュールにおいて、出力回路の出力を測定回路で測定させ、それぞれの測定回路の測定結果に基づいて、それぞれのモジュールを診断する制御部とを備える試験装置を提供する。
【０００６】
第２の態様においては、被試験デバイスに所定の出力信号を出力する出力回路、および、被試験デバイスの所定の特性を測定する測定回路をそれぞれ設けられた複数のモジュールを備える試験装置を診断する診断方法であって、それぞれのモジュールにおいて、出力回路の出力を測定回路で測定させ、それぞれの測定回路の測定結果に基づいて、それぞれのモジュールを診断する診断方法を提供する。
【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、一つの実施形態に係る試験装置１００の概要を示す図である。試験装置１００は、半導体チップ等の被試験デバイス２００を試験する装置であって、制御部１０および複数のモジュール２０を備える。試験装置１００は、多様なモジュール２０を備えてよい。例えば試験装置１００は、デジタル信号を生成および測定するデジタルモジュール、アナログ信号を生成および測定するアナログモジュール、電源電力を生成する電源モジュール等を備えてよい。以下では、試験装置１００が、複数の電源モジュールを備える例を用いて説明する。
【００１０】
それぞれのモジュール２０は、対応する被試験デバイス２００に所定の出力信号を出力する。ここで出力信号は、電源電力を含む概念である。例えばモジュール２０は、一定電圧の電源電力を被試験デバイス２００に供給してよく、一定電流の電源電力を被試験デバイス２００に供給してもよい。また、モジュール２０は、デジタル信号またはアナログ信号を被試験デバイス２００に供給してもよい。
【００１１】
また、それぞれのモジュール２０は、対応する被試験デバイス２００の所定の特性を測定する。例えばモジュール２０は、一定電圧の電源電力を被試験デバイス２００に供給したときに、被試験デバイス２００に流れる電源電流を測定してよい。またモジュール２０は、一定電流の電源電力を被試験デバイス２００に供給したときに、被試験デバイス２００に印加される電源電圧を測定してもよい。モジュール２０は、測定値が所定の許容範囲に含まれるか否かにより、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。
【００１２】
また他の例では、モジュール２０は、被試験デバイス２００に所定のデジタル信号またはアナログ信号を入力したときに、被試験デバイス２００が出力する応答信号を測定してもよい。モジュール２０は、被試験デバイス２００の応答信号の特性が、所定の仕様を満たすか否かにより、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。
【００１３】
制御部１０は、それぞれのモジュール２０を制御する。例えば制御部１０は、それぞれのモジュール２０が出力する信号の電圧値、電流値、出力タイミング等を制御してよい。また制御部１０は、それぞれのモジュール２０における測定タイミング等を制御してよい。また制御部１０は、それぞれのモジュール２０における測定結果が、所定の許容範囲に含まれるか否かを判定してもよい。このような制御により、被試験デバイス２００を試験できる。
【００１４】
また制御部１０は、それぞれのモジュール２０に自己診断を実行させる。この場合、制御部１０は、それぞれのモジュール２０の内部におけるスイッチ等を予め制御することで、モジュール２０に被試験デバイス２００を試験させるか、または、自己診断を実行させるかを切り替えてよい。
【００１５】
図２は、それぞれのモジュール２０の構成例を示す図である。本例では1つのモジュール２０の構成を示すが、他のモジュール２０も同一の構成を有してよい。モジュール２０は、複数のチャネル４０、診断負荷部３０、および、複数の切替スイッチ２２、２４、２６、２７、２８、２９を有する。
【００１６】
それぞれのチャネル４０は同一の機能および構成を有して、それぞれが被試験デバイス２００の異なるピンに電源電力を供給してよい。また、それぞれのチャネル４０には、被試験デバイス２００の近傍において検出された電源電圧がフィードバックされる。例えばそれぞれのチャネル４０は、Ｆｏｒｃｅピンを介して被試験デバイス２００に電源電力を供給して、Ｓｅｎｃｅピンを介して電源電圧がフィードバックされてよい。ＦｏｒｃｅピンおよびＳｅｎｃｅピンは、チャネル４０ごとに設けられてよい。
【００１７】
それぞれのチャネル４０は、ＤＡＣ４２、パワーアンプ４４、電流検出部４６、および、ＡＤＣ５４を有する。ＤＡＣ４２およびパワーアンプ４４は、被試験デバイス２００に所定の出力信号を出力する出力回路として機能する。本例では、ＤＡＣ４２は、制御部１０等から与えられる設定値Ｄｉｎに応じた電圧を出力する。パワーアンプ４４は、ＤＡＣ４２が出力する電圧に応じた電源電力を出力する。また、パワーアンプ４４は、Ｓｅｎｃｅ端子から電源電圧がフィードバックされ、当該電源電圧が、ＤＡＣ４２から与えられる電圧と一致するように、自己の出力電圧を調整してよい。つまり、本例における出力回路は、一定電圧の電源電力を出力する。
【００１８】
電流検出部４６およびＡＤＣ５４は、被試験デバイス２００の所定の特性を測定する測定回路として機能する。電流検出部４６は、パワーアンプ４４の出力端と、Ｆｏｒｃｅ端子との間に設けられ、パワーアンプ４４が出力する電源電流を検出する。ＡＤＣ５４は、電流検出部４６が検出した電流値をデジタル値に変換して制御部１０に出力する。つまり、本例における測定回路は、電圧印加電流測定（ＶＳＩＭ）試験において電源電流を測定する。
【００１９】
電流検出部４６は、複数の電流検出抵抗４８、複数の切替スイッチ５０、および、差動回路５２を有する。切替スイッチ５０は、パワーアンプ４４およびＦｏｒｃｅ端子の間に、それぞれの電流検出抵抗４８を接続するか否かを制御する。それぞれの切替スイッチ５０を制御することで、パワーアンプ４４およびＦｏｒｃｅ端子の間に接続される電流検出抵抗４８の合成抵抗値を調整できる。これにより、電源電流の測定レンジを調整することができる。
【００２０】
差動回路５２は、切替スイッチ５０により選択された複数の電流検出抵抗４８による合成抵抗の、両端の電位差を出力する。当該合成抵抗の抵抗値は、切替スイッチ５０の状態から求めることができるので、制御部１０は、当該抵抗値および電位差から、当該合成抵抗に流れる電源電流を求めることができる。
【００２１】
診断負荷部３０は、複数のチャネル４０に対して共通に設けられ、各チャネルの自己診断に用いられる。診断負荷部３０は、それぞれのチャネル４０における出力回路の出力端および測定回路の入力端と、接地電位との間に直列に接続される負荷抵抗３４を有する。また、診断負荷部３０は、複数の電流検出抵抗４８に対応して、抵抗値がそれぞれ異なる複数の負荷抵抗３４と、複数の切替スイッチ３２とを有してよい。
【００２２】
切替スイッチ３２は、電流検出部４６における合成抵抗値に応じた負荷抵抗３４を選択して、出力回路の出力端および測定回路の入力端に接続する。例えば切替スイッチ３２は、電流検出部４６における合成抵抗と、負荷抵抗３４との合成抵抗値が、予め定められた値より大きくなるように、負荷抵抗３４を選択してよい。これにより、自己診断時において、電流検出部４６に過大な電流が流れることを防ぐことができる。次に、それぞれのモジュール２０の自己診断を行う場合の処理を説明する。
【００２３】
図３は、モジュール２０の自己診断を行う場合の処理例を示すフローチャートである。まず制御部１０は、各モジュール２０における診断対象のチャネル４０に対して、設定値Ｄｉｎおよび測定レンジを設定する（Ｓ３００）。上述したように、測定レンジは、電流検出部４６における抵抗値を制御することで設定できる。
【００２４】
次に、制御部１０は、診断負荷部３０における負荷抵抗３４を選択する（Ｓ３０２）。上述したように、制御部１０は、切替スイッチ３２を制御することで、負荷抵抗３４を選択することができる。
【００２５】
次に、制御部１０は、各モジュール２０における診断対象のチャネル４０に対して、出力回路の出力端および測定回路の入力端を、診断負荷部３０に接続する。上述したように、制御部１０は、切替スイッチ２２および２４をオフ状態に制御して、切替スイッチ２６および切替スイッチ２８をオン状態に制御することで、出力回路の出力端および測定回路の入力端を、診断負荷部３０に接続してよい（Ｓ３０４）。
【００２６】
次に、各モジュール２０の診断対象のチャネル４０における測定回路は、パワーアンプ４４から診断負荷部３０に流れる電流を測定する（Ｓ３０６）。上述したように、電流検出部４６は、電流検出抵抗４８の両端の電位差から、電流を検出することができる。
【００２７】
本例の診断処理では、それぞれのモジュール２０において、診断対象のチャネル４０に設けた測定回路を用いて、当該チャネル４０の出力回路の出力を測定する。このため、それぞれのモジュール２０の診断対象のチャネル４０では、それぞれの測定回路が、対応する出力回路の出力を並行して測定できる。図３に示した例では、Ｓ３００からＳ３０６までの処理を、各モジュール２０において並行して実行する。このため、測定時間を短縮することができる。
【００２８】
次に、制御部１０は、診断対象のチャネル４０における測定結果を、それぞれのモジュール２０ごとに順次読み出して、Ｓ３０８からＳ３１２の処理を、モジュール２０ごとに順次実行する。それぞれのチャネル４０には、測定結果を保持するバッファメモリが設けられてよい。
【００２９】
まず制御部１０は、チャネル４０に設定した設定値Ｄｉｎ、および、選択した負荷抵抗３４の抵抗値に基づいて、測定回路が測定すべき電流の理想値を算出する（Ｓ３０８）。例えば制御部１０は、設定値Ｄｉｎを負荷抵抗３４の抵抗値で除算した値を、当該理想値としてよい。
【００３０】
なお、それぞれの負荷抵抗３４の抵抗値は、予め測定されていることが好ましい。例えば、制御部１０は、試験装置１００に設けられる高性能な共通測定器（例えばＤＶＭまたはＤＭＭ）を用いて、それぞれの負荷抵抗３４の抵抗値を予め測定してよい。この場合、制御部１０は、切替スイッチ２６、２７、２８、２９をオン状態に制御してよい。
【００３１】
次に、制御部１０は、算出した理想値に誤差成分を加減算する（Ｓ３１０）。当該誤差は、ＤＡＣ４２における設定値Ｄｉｎに対する出力電圧の誤差、および、ＡＤＣ５４における測定誤差であってよい。制御部１０は、これらの誤差として想定される最悪値が予め与えられ、上述した理想値に当該最悪値を加減算してよい。
【００３２】
次に、制御部１０は、誤差が加味された理想値と、Ｓ３０６において測定した測定値とを比較する（Ｓ３１２）。制御部１０は、当該測定値および当該理想値の差が、予め定められた範囲内であるとき、当該チャネル４０が正常に動作していると診断してよい。
【００３３】
次に、制御部１０は、全てのモジュール２０について、選択されたチャネル４０の診断を行ったか否かを判定する（Ｓ３１４）。まだ診断を行っていないモジュール２０がある場合、制御部１０は、次のモジュール２０について、Ｓ３０８からＳ３１２の処理を繰り返す。
【００３４】
Ｓ３１４において、全てのモジュール２０について、選択されたチャネル４０の診断を行ったと判定した場合、制御部１０は、それぞれのモジュール２０について、全てのチャネル４０の診断を行ったか否かを判定する（Ｓ３１６）。まだ診断を行っていないチャネル４０がある場合、制御部１０は、それぞれのモジュール２０について、診断対象のチャネル４０を変更する。上述したように、制御部１０は、切替スイッチ２６および２８を制御することで、診断対象のチャネル４０を変更してよい。
【００３５】
そして、制御部１０は、Ｓ３００からの処理を繰り返す。つまり、制御部１０は、それぞれのモジュール２０について測定対象のチャネル４０の診断が終了した場合に、それぞれのモジュール２０について切替スイッチを制御して次に診断すべきチャネル４０を選択する。そして、選択したそれぞれのチャネル４０の出力回路の出力を並行して測定させ（Ｓ３００〜Ｓ３０６）、それぞれのチャネル４０における測定結果を順次読み出して診断する（Ｓ３０８〜Ｓ３１４）。
【００３６】
Ｓ３１６において、全てのチャネル４０の診断を行ったと判定した場合、制御部１０は、自己診断の処理を終了する。以上のような処理により、全てのモジュール２０における全てのチャネル４０について自己診断を行うことができる。そして、Ｓ３００からＳ３０６の処理は、複数のモジュール２０において並行して行うことができるので、自己診断の時間を短くすることができる。特に、モジュール２０の個数が増加しても、測定時間の増大を防ぐことができる。
【００３７】
また、モジュール２０に設けられる測定回路を用いて、各モジュール２０の出力回路の出力を測定できるので、それぞれのチャネル４０を共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭに順次接続せずに、自己診断を行うことができる。このため、接続切り替えの時間を短縮することができる。
【００３８】
また、モジュール２０における出力回路および測定回路の間の測定経路長は、出力回路から共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭまでの測定経路長より短い。このため、セットリング時間を短くすることができる。
【００３９】
また、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭは、各チャネル４０の測定回路より高精度に信号を測定できる。そして、それぞれの負荷抵抗３４の抵抗値を、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭを用いて予め測定するので、負荷抵抗３４の抵抗値を精度よく測定することができる。この高精度で測定した抵抗値を、前述の理想値の算出に使用することで、理想値に加減算する誤差成分を最小にすることができる。なお、負荷抵抗３４は、複数のチャネル４０に対して共通に設けられるので、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭを用いて負荷抵抗３４の抵抗値を予め測定しても、測定時間はそれほど増加しない。
【００４０】
なお、制御部１０は、試験装置１００が複数の被試験デバイス２００の特性を並行して測定する場合と同一の制御信号を、それぞれのチャネル４０の出力回路および測定回路に並行して与えることで、それぞれの測定回路に、対応する出力回路の出力を並行して測定させてよい。つまり、制御部１０は、試験装置１００が有する、複数の被試験デバイス２００を同時測定する機能を用いて、各モジュール２０の診断を行ってよい。上述した制御信号とは、例えば、それぞれのモジュール２０が出力する信号の電圧値、電流値、出力タイミング等を制御する信号、それぞれのモジュール２０における測定タイミング等を制御する信号、それぞれのモジュール２０における測定結果を読み出す信号等であってよい。
【００４１】
図４は、チャネル４０の他の構成例を示す図である。図２においては、電圧印加電流測定を行うチャネル４０の構成を説明したが、本例のチャネル４０は、電流印加電圧測定を行う。また、本例ではＤＡＣ４２、パワーアンプ４４、および、電流検出部４６が出力回路として機能し、ＡＤＣ５４が測定回路として機能する。
【００４２】
この場合、ＤＡＣ４２には、チャネル４０から出力すべき電源電流の値が設定される。また、パワーアンプ４４には、電流検出部４６における電流検出結果がフィードバックされる。パワーアンプ４４は、電流検出部４６が出力する電圧が、ＤＡＣ４２が出力する電圧と一致するように、自己の出力電圧を制御する。これにより、チャネル４０から出力される電源電流を、一定の値に制御することができる。
【００４３】
また、ＡＤＣ５４には、Ｓｅｎｃｅ端子から、被試験デバイス２００の近傍において検出された電源電圧が与えられる。このような構成により、電源電流を一定にして電源電圧を測定する、電流印加電圧測定を行うことができる。次に、チャネル４０が本例の構成を有する場合の、自己診断の処理を説明する。
【００４４】
図５は、モジュール２０の自己診断を行う場合の、他の処理例を示すフローチャートである。本例においても、図３に関連して説明した処理と同様の処理を行う。ただし、図３におけるＳ３０６の電流測定の処理に代えて、本例ではＡＤＣ５４により、電源電圧を測定する（Ｓ３０７）。なお、自己診断を行う場合、Ｓｅｎｃｅ端子およびＦｏｒｃｅ端子は、電気的に接続されることが好ましい。例えば、それぞれのモジュール２０は、Ｓｅｎｃｅ端子およびＦｏｒｃｅ端子を接続するか否かを切り替える切替スイッチを有してよい。また、各モジュール２０に対して、被試験デバイス２００に代えて、Ｓｅｎｃｅ端子およびＦｏｒｃｅ端子を電気的に接続する診断用ボードを接続してもよい。
【００４５】
それぞれのモジュール２０におけるＳ３００からＳ３０７の処理が終了した場合、制御部１０は、Ｓ３０９からＳ３１４において、それぞれのモジュール２０を順次診断する。Ｓ３０９からＳ３１６の処理は、図３に関連して説明したＳ３０８からＳ３１４の処理と同様であってよい。ただし、Ｓ３０８の理想電流値算出の処理に代えて、本例では理想電圧値を算出する（Ｓ３０９）。制御部１０は、ＤＡＣ４２への設定値Ｄｉｎと、選択した負荷抵抗３４の抵抗値とを乗算した値を、理想電圧値として算出してよい。
【００４６】
図５に関連して説明した処理により、電流印加電圧測定を行うチャネル４０の診断を、効率よく行うことができる。なお、チャネル４０が他の構成を有する場合であっても、同様の処理により、各チャネル４０の診断を行うことができる。例えばチャネル４０は、電圧印加電圧測定を行う構成を有してよい。この場合も、図３および図５に関連して説明した処理と同様の方法で、各チャネル４０の診断を効率よく行うことができる。
【００４７】
電圧印加電流測定および電流印加電圧測定は、図２および図４に示したように、同一の回路構成を用いて行うことができる。それぞれのチャネル４０は、それぞれの回路間の接続を切り替える切替スイッチを更に有してよい。制御部１０は、これらの切替スイッチを制御することで、それぞれのチャネル４０を、図２または図４のいずれかの回路に構成してよい。また、電圧印加電圧測定を行う場合、電流検出部４６を用いずに、Ｓｅｎｃｅ端子をＡＤＣ５４およびパワーアンプ４４の負側入力端子のそれぞれに接続してよい。
【００４８】
図６は、試験装置１００の診断の他の処理例を示すフローチャートである。本例の制御部１０は、それぞれのチャネル４０を、電流印加電圧測定（ＩＳＶＭ）を行う構成、電圧印加電流測定（ＶＳＩＭ）を行う構成、電圧印加電圧測定（ＶＳＶＭ）を行う構成、のそれぞれに設定して、それぞれの構成において図３および図５に関連して説明した自己診断を行う（Ｓ４００からＳ４０４）。
【００４９】
そして、制御部１０は、いずれかの自己診断において、いずれかのチャネル４０にエラーが生じたか否かを判定する（Ｓ４０６）。いずれのチャネル４０にもエラーが生じなかった場合、制御部１０は、試験装置１００の自己診断を終了する。
【００５０】
いずれかのチャネル４０にエラーが生じた場合、制御部１０は、当該チャネル４０を共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭに接続して診断を行う（Ｓ４０８）。例えば制御部１０は、図２に関連して説明した切替スイッチ２６、２７、２８、２９をオン状態として、出力回路の出力を、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭを用いて測定する。制御部１０は、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭにおける測定値が、設定値Ｄｉｎに対して許容範囲外の誤差を有する場合、出力回路が異常であると判定する。また、制御部１０は、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭにおける測定値が、設定値Ｄｉｎに対して許容範囲内の誤差を有する場合、出力回路は正常であるので、測定回路に異常が生じていると判定する。
【００５１】
このような処理により、出力回路または測定回路のいずれが異常であるかを特定することができる。また、図３または図５に関連して説明した自己診断の処理においても同様に、制御部１０は、いずれかのチャネル４０を不良と判定した場合に、共通測定器ＤＶＭ／ＤＭＭを用いて当該チャネル４０の出力回路の出力を測定して、当該出力回路を診断してよい。
【００５２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。例えば、実施の形態においては、電源モジュールの自己診断を例として説明したが、他の試験モジュールの自己診断についても、同様に行ってよい。
【００５３】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】１つの実施形態に係る試験装置１００の概要を示す図である。
【図２】それぞれのモジュール２０の構成例を示す図である。
【図３】モジュール２０の自己診断を行う場合の処理例を示すフローチャートである。
【図４】チャネル４０の他の構成例を示す図である。
【図５】モジュール２０の自己診断を行う場合の、他の処理例を示すフローチャートである。
【図６】試験装置１００の診断の他の処理例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５５】
１０・・・制御部、２０・・・モジュール、２２、２４、２６、２７、２８、２９、３２、５０・・・切替スイッチ、３０・・・診断負荷部、３４・・・負荷抵抗、４０・・・チャネル、４２・・・ＤＡＣ、４４・・・パワーアンプ、４６・・・電流検出部、４８・・・電流検出抵抗、５２・・・差動回路、５４・・・ＡＤＣ、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス
【図１】
2010139442.tif 000003
【図２】
2010139442.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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