(57)【要約】【課題】相隣るリード先端部の間隔を精度高くまた簡易に検査することが可能なＩＣリードフレームのリード検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】アイランドと、前記アイランド周囲に放射状に配置される複数のリードを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレーム画像上で、前記リードの先端に沿った多角形の各辺を求め、それぞれの前記辺を前記リードの先端に沿った位置から所定位置まで平行移動させてなる基準直線を求め、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を求め、前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を求め、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める。【選択図】図５
2010171112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査方法であって、
前記アイランド及び前記複数のリードを含むＩＣリードフレーム画像を取得する第１の工程と、
前記ＩＣリードフレーム画像上で、前記リードの先端に沿った多角形の各辺を求める第２の工程と、
それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を求める第３の工程と、
相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を求める第４の工程と、
前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を求める第５の工程と、
前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める第６の工程と、
これらの複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求め、前記最短距離と所定値データとを比較する第７の工程とを含むことを特徴とするＩＣリードフレームのリード検査方法。
【請求項２】
前記第５の工程は、前記基準直線を前記第１の交点を中心として時計方向に所定の角度回転させる工程と、前記基準直線を前記第１の交点を中心として反時計方向に所定の角度回転させる工程とからなることを特徴とする請求項１に記載のＩＣリードフレームのリード検査方法。
【請求項３】
前記第５の工程は、前記第１の交点を通過するとともに、前記基準直線と前記第２側辺との交点からなる第２の交点を含む画素の上下方向の近傍に位置する複数の近傍画素をそれぞれ通過する直線を求める工程からなることを特徴とする請求項１に記載のＩＣリードフレームのリード検査方法。
【請求項４】
枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査装置であって、
前記ＩＣリードフレームに光を照射する照射部と、
前記ＩＣリードフレームの画像を撮像し、その画像データを取得する撮像部と、
前記画像データを処理する処理部と、
前記ＩＣリードフレームの画像を表示する表示部と、
前記処理部に対して、前記表示部に表示された画像上での位置データを入力する入力部とを備え、
前記入力部からの位置データを受け、前記ＩＣリードフレーム画像上で前記リードの先端に沿った多角形の各辺を設定する辺設定手段と、
それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を設定する基準直線設定手段と、
相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を検出する第１の交点検出手段と、
前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を設定する検出直線設定手段と、
前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める直線距離取得手段と、
前記直線距離取得手段により取得した複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求めるとともに、前記最短距離と所定値データとを比較する最短距離取得比較手段とを含むことを特徴とするＩＣリードフレームのリード検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣリードフレームのリード検査方法及びその装置に関し、詳しくはインナーリード先端部の間隔を検査する方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣリードフレームはインナーリード部としてＩＣチップを搭載するアイランドと、ＩＣチップと金ワイヤ等で電気的に接続される複数のリードとを有する。これらのリードどうしの間隔は狭く、特にリード先端部の間隔が最も狭い構造となっている。しかも、リード先端部に、ＩＣチップとリードとを電気的に接続するための金ワイヤ等を圧着させるボンディング領域が配置されている。
【０００３】
したがって、ボンディング工程で金ワイヤをボンディング領域に圧着させるためのツールがリード先端部に触るため、リード先端部が移動するおそれが高い。そうすると、例えばリード先端部に僅かな曲がり等が発生しても相隣るリードが接触しやすくなり、リードどうしが短絡するおそれがあった。昨今のＩＣの高機能化やＩＣパッケージの小型化に伴ってますますリードどうしの間隔が狭くなり、この短絡のおそれが高まっている。
【０００４】
そのため、ＩＣのパッケージ工程で、例えばボンディング工程より前に、リード先端部に曲がりがないかどうか等のリード先端部の検査が実施されている。従来これらの検査は作業員による目視検査によっていた。しかしながら、目視検査によると作業員の熟練を要するため作業能率が悪くなるという問題や、特にリードどうしの近接などの判定結果は作業員によるバラツキが生じるため検査精度が低下して、安定した検査結果が得られないおそれがあるといった問題があった。
【０００５】
そこで、このような問題を解決するために様々な提案がされている。
例えば、リード先端部の画像を取得しこの画像に基づいてリード先端部の最小間隔を測定する方法がある（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平３−９３２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１によれば、（１）カメラによりリード先端部の輪郭を検出する工程と、（２）検出された輪郭をリードの長さ方向に分割する分割線Ｎ１を求める工程と、（３）次に相隣るリードの上記分割線を分割する分割線Ｎ２を求める工程と、（４）次に上記（３）の工程で求められた分割線Ｎ２から、この分割線Ｎ２の両側方のリード先端部Ｌａの輪郭までの距離をピッチをおいて求める工程と、（５）次に各々のピッチにおける両側方の距離の和の最小値を求める工程と、から成るリードフレームのリード先端部の最小間隔測定方法が開示されている。
【０００８】
しかしながら、特許文献１によれば、リード先端部の幅を略２等分する分割線Ｎ１を求め、さらに相隣るリードの分割線Ｎ１，Ｎ１の間を２等分に分割する分割線Ｎ２を求める方法を含む（特許文献１の図２及び図３参照）。ところが、昨今のリード間隔の極小化に対応したＩＣリードフレームはエッチングによるものが殆どであり、従来のプレスによる扁平な略楕円状のリード先端部（特許文献１の図２〜図４参照）よりもリード先端部の幅が細くまたその先端部は直線部分がない鋭利な形状に形成されている。
【０００９】
そのため、特許文献１によれば、エッチング等によって細く形成されたリード先端部の幅を２等分する分割線Ｎ１を求め、さらに相隣るリードの分割線Ｎ１，Ｎ１の間を２等分に分割する分割線Ｎ２を求めるる作業が困難で煩雑になり、そのため得られた最小間隔の精度も低下するおそれがあるという問題があった。
また、すべてのリードに対して、上述した分割線Ｎ１及び分割線Ｎ２を求める作業は煩雑で、長時間化するおそれがあるという問題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、エッチング等によってリード先端部の幅が細く形成されたリード先端部を有するＩＣリードフレームであっても、相隣るリード先端部の間隔を精度高くまた簡易に検査することが可能なＩＣリードフレームのリード検査方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査方法であって、前記アイランド及び前記複数のリードを含むＩＣリードフレーム画像を取得する第１の工程と、前記ＩＣリードフレーム画像上で、前記リードの先端に沿った多角形の各辺を求める第２の工程と、それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を求める第３の工程と、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を求める第４の工程と、前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を求める第５の工程と、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める第６の工程と、これらの複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求め、前記最短距離と所定値データとを比較する第７の工程とを含む、ＩＣリードフレームのリード検査方法である。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載のＩＣリードフレームのリード検査方法において、前記第５の工程は、前記基準直線を前記第１の交点を中心として時計方向に所定の角度回転させる工程と、前記基準直線を前記第１の交点を中心として反時計方向に所定の角度回転させる工程とからなることを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１に記載のＩＣリードフレームのリード検査方法において、前記第５の工程は、前記第１の交点を通過するとともに、前記基準直線と前記第２側辺との交点からなる第２の交点を含む画素の上下方向の近傍に位置する複数の近傍画素をそれぞれ通過する直線を求める工程からなることを特徴とする。
【００１４】
請求項４の発明は、枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査装置であって、前記ＩＣリードフレームに光を照射する照射部と、前記ＩＣリードフレームの画像を撮像し、その画像データを取得する撮像部と、前記画像データを処理する処理部と、前記ＩＣリードフレームの画像を表示する表示部と、前記処理部に対して、前記表示部に表示された画像上での位置データを入力する入力部とを備え、前記入力部からの位置データを受け、前記ＩＣリードフレーム画像上で前記リードの先端に沿った多角形の各辺を設定する辺設定手段と、それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を設定する基準直線設定手段と、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を検出する第１の交点検出手段と、前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を設定する検出直線設定手段と、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める直線距離取得手段と、前記直線距離取得手段により取得した複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求めるとともに、前記最短距離と所定値データとを比較する最短距離取得比較手段とを含む、ＩＣリードフレームのリード検査装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査方法であって、前記アイランド及び前記複数のリードを含むＩＣリードフレーム画像を取得する第１の工程と、前記ＩＣリードフレーム画像上で、前記リードの先端に沿った多角形の各辺を求める第２の工程と、それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を求める第３の工程と、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を求める第４の工程と、前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を求める第５の工程と、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める第６の工程と、これらの複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求め、前記最短距離と所定値データとを比較する第７の工程とを含む構成であるから、第１の交点と第２側辺と間の最短距離を求めることにより、エッチング等によってリード先端部の幅が細く形成されたリード先端部を有するＩＣリードフレームであっても、相隣るリード先端部の間隔を精度高く検査することが可能なＩＣリードフレームのリード検査方法を提供できる。
【００１６】
また、前記第５の工程は、前記基準直線を前記第１の交点を中心として時計方向に所定の角度回転させる工程と、前記基準直線を前記第１の交点を中心として反時計方向に所定の角度回転させる工程とからなる構成であるから、この所定の角度を調節することにより、第１の交点を中心として相隣るリード先端部を通過する検出直線を確実にかつ効率よく求めることができる。
【００１７】
また、前記第５の工程は、前記第１の交点を通過するとともに、前記基準直線と前記第２側辺との交点からなる第２の交点を含む画素の上下方向の近傍に位置する複数の近傍画素をそれぞれ通過する直線を求める工程からなる構成であるから、複数の近傍画素の中から所定の画素を選択することにより、第１の交点を中心としたリード先端部を通過する検出直線を確実でより簡単に求めることができる。
【００１８】
また、枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形状が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査装置であって、前記ＩＣリードフレームに光を照射する照射部と、前記ＩＣリードフレームの画像を撮像し、その画像データを取得する撮像部と、前記画像データを処理する処理部と、前記ＩＣリードフレームの画像を表示する表示部と、前記処理部に対して、前記表示部に表示された画像上での位置データを入力する入力部とを備え、前記入力部からの位置データを受け、前記ＩＣリードフレーム画像上で前記リードの先端に沿った多角形の各辺を設定する辺設定手段と、それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を設定する基準直線設定手段と、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を検出する第１の交点検出手段と、前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を設定する検出直線設定手段と、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める直線距離取得手段と、前記直線距離取得手段により取得した複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求めるとともに、前記最短距離と所定値データとを比較する最短距離取得比較手段とを含む構成であるから、第１の交点と第２側辺と間の最短距離を求めることにより、エッチング等によってリード先端部の幅が細く形成されたリード先端部を有するＩＣリードフレームであっても、相隣るリード先端部の間隔を精度高く検査することが可能なＩＣリードフレームのリード検査装置を提供できる。また、作業者は、ＩＣリードフレームの画像上での位置データを、入力部を介して処理部に入力すれば済むので、作業者に対する負担も少ないとともに相隣るリードどうしの先端部の間隔を簡易に検査することが可能なＩＣリードフレームのリード検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態におけるＩＣリードフレームの平面説明図である。
【図２】本実施形態におけるＩＣリードフレームのリード先端を説明する拡大平面図である。
【図３】本実施形態のＩＣリードフレーム検査装置の概略構成図である。
【図４】本実施形態におけるＩＣリードフレームの平面画像を示す。
【図５】本実施形態のＩＣリードフレームのリード検査方法の説明図である。（実施例１）
【図６】本実施形態のＩＣリードフレームのリード検査方法の説明図である。（実施例２）
【図７】本実施形態に係るＩＣリードフレームのリード検査方法の効果を補足するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について説明する。
本実施形態のＩＣリードフレームのリード検査装置は、枠部と、前記枠部の略中心に配置されＩＣチップを搭載する平面視四角形状のアイランドと、前記アイランドの四隅のそれぞれから前記枠部に延設され前記アイランドを前記枠部に連結する吊りリードと、前記アイランド周囲に放射状に配置され、先端部に前記ＩＣチップの電極との間で配線を行うボンディング領域を備える複数のリードとを有し、しかも前記リードの先端に沿った形が多角形状に形成されてなるＩＣリードフレームのリード先端の間隔を検査するＩＣリードフレームのリード検査装置であって、前記ＩＣリードフレームに光を照射する照射部と、前記ＩＣリードフレームの画像を撮像し、その画像データを取得する撮像部と、前記画像データを処理する処理部と、前記ＩＣリードフレームの画像を表示する表示部と、前記処理部に対して、前記表示部に表示された画像上での位置データを入力する入力部とを備え、前記入力部からの位置データを受け、前記ＩＣリードフレーム画像上で前記リードの先端に沿った多角形の各辺を設定する辺設定手段と、それぞれの前記辺を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を設定する基準直線設定手段と、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と前記基準直線との交点からなる第１の交点を検出する第１の交点検出手段と、前記第１の交点を通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を設定する検出直線設定手段と、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める直線距離取得手段と、前記直線距離取得手段により取得した複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求めるとともに、前記最短距離と所定値データとを比較する最短距離取得比較手段とを含むものである。
【００２１】
以下、本発明の好適な実施形態の例について、図を用いて説明する。
先ず、本実施形態で検査されるＩＣリードフレーム１０の例について図１、図２及び図４を用いて説明する。
図１は、本実施形態のＩＣリードフレーム１０を説明する平面説明図である。図２は、ＩＣリードフレーム１０のリード先端を説明する拡大平面図である。図４は、後述する表示部６０に表示されるＩＣリードフレーム１０の画像１７を示す。
【００２２】
ＩＣリードフレーム１０は、図１に示すように、例えば一辺が略３ｃｍ〜５ｃｍ程度の大きさの矩形状の枠部１２と、枠部１２の略中心に配置されＩＣチップ（図示せず）を搭載する平面視四角形状のアイランド１４と、アイランド１４の四隅のそれぞれから枠部１２に延設されアイランド１４を枠部１２に連結する吊りリード１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄと、アイランド１４周囲に放射状に配置される複数のリード１８とを備える。本実施形態のＩＣリードフレーム１０は、例えばＣｕ材をエッチングすることにより形成される。
【００２３】
それぞれのリード１８は、図２に示すように、例えば略８０μｍ〜２００μｍの幅を有する細長い薄板でその先端２９が略Ｖ字状に形成される長尺薄板よりなる。そして、図２に示すように、その先端部２４にボンディング領域２０を備える。このボンディング領域２０は、前記ＩＣチップの電極との間で配線を行う際に、配線としての例えば金ワイヤ（図示せず）の一端が圧着される領域である。本実施形態において、ボンディング領域２０の中央２３は、リードの先端から例えば略０．５ｍｍの位置に配置される。
【００２４】
本実施形態のＩＣリードフレーム１０は、上述したリード１８が、図１に示すように、アイランド１４の略中央を中心とした放射状に配置される。しかもリード１８の先端２９に沿った形状１３は、図１及び図４に示すように、多角形状に形成されてなる。具体的には、このリード１８の先端２９に沿った形状１３は、図４に示すように、アイランド１４の各辺の略中央に離隔対向する位置に配置されたリードの先端（例えばリードの先端Ｈ）及び各吊りリード１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄのアイランド１４近傍に各頂点を有する略正八角形状となっている。
いいかえると、アイランド１４の各辺に対向するリードの先端列の形状は、アイランド１４の各辺の略中央に離隔対向する位置に配置されたリードの先端を頂点とした略「く」の字状に形成される（図４参照）。
リード１８の先端２９に沿った形状は、本実施形態における略正八角形状に限るものではなく、例えば各吊りリード１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄのアイランド１４近傍に各頂点を有する略四角形状や略六角形状であってもよい。
また、上述したように、リード１８は、アイランド１４の略中央を中心とした放射状に配置されるので、多ピン化等によってリードの本数が増加するに従って、相隣るリードどうしの長手方向が平行に近づく（図２参照）。
なお、ＩＣリードフレーム１０の先端部２４には、図２に示すように、金ワイヤとの圧着強度を高めるために例えばメッキ領域２２が設けられている。また、図１及び図４では、タイバは省略されている。
【００２５】
次に、本実施形態のＩＣリードフレームのリード検査装置５０について図３を用いて説明する。図３は、本実施形態のＩＣリードフレームのリード検査装置５０を示す概略構成図である。
本実施形態のＩＣリードフレームのリード検査装置５０は、図３に示すように、照射部５２と、撮像部５６と、処理部５７と、表示部６０と、入力部６４と、ステージ５４等を備える。
まず、照射部５２は、例えばＬＥＤランプを備える照明装置よりなり、図３に示すように、上方に向けて光を照射する。
次に、撮像部５６は、例えばＣＣＤを備えるデジタルカメラよりなり、図３に示すように、照射部５２の上方に配置される。
次に、ステージ５４は、ＩＣリードフレーム１０の面を略水平にした状態でＩＣリードフレーム１０を支持する台である。ステージ５４は、例えば水平方向に移動可能なＸＹステージで構成され、照射部５２からの光を通過させる貫通孔（図示せず）を備えている。そして、ステージ５４は、図３に示すように、照射部５２と撮像部５６との間に配置される。
【００２６】
照射部５２は、ＩＣリードフレーム１０の面に略直交方向の光をＩＣリードフレーム１０の下方からＩＣリードフレーム１０に向けて照射する。一方、撮像部５６は、照射部５２からの光がＩＣリードフレーム１０のリード間を通過した光を受けてＩＣリードフレーム１０の画像を撮像し、その画像データを取得する。その際、照射部５２と、撮像部５６と、ＩＣリードフレーム１０との位置関係は、撮像部５６にＩＣリードフレーム１０のシルエット画像を結像するように構成されている。すなわち、撮像部５６はＩＣリードフレーム１０の略平面画像を取得可能な構成となっている。そして、撮像部５６は、当該画像データを後述する処理部５７に送信する。
【００２７】
次に、処理部５７は、図３に示すように、画像データ等の処理を実行するＣＰＵ５８と、画像データや後述する所定値データ等を保存するメモリ或いはハードディスク等の記憶部５９を備え、前記画像データを処理する。ＣＰＵ５８は、ＲＯＭ（図示せず）等に保存されたプログラムによって処理を実行し、後述する辺設定手段、基準直線設定手段、第１の交点検出手段、検出直線設定手段、直線距離取得比較手段として機能する。
【００２８】
次に、表示部６０は、図３に示すように、例えばモニター装置よりなり、ＣＰＵ５８からの指示によりＩＣリードフレーム１０の画像１７等を表示する（図４参照）。
次に、入力部６４は、図３に示すように、例えばマウス６２やキーボード６３を備える。マウス６２は、表示部６０に表示された画像上における位置をＣＰＵ５８に対して指示する。具体的には、表示部６０には、その画像上での位置に対応するポインタ（図示せず）が表示される。そして、当該ポインタはマウス６２の移動に連動しつつ、前記画像上で移動し、マウス６２をクリックすることで当該ポインタの座標からなる位置データを処理部５７に対して入力する構成となっている。
【実施例１】
【００２９】
次に、上記のＩＣリードフレームのリード検査装置５０による、ＩＣリードフレーム１０のリード検査方法の第１実施例について、主に図４及び図５を用いて説明する。図４（ａ）は、主に第２の工程の説明図であり、図４（ｂ）は、主に第３の工程の説明図である。図５は、本実施形態の第１実施例に係るＩＣリードフレームのリード検査方法を説明する拡大説明図である。
【００３０】
先ず、第１の工程において、撮像部５６を介して、アイランド１４及び複数のリード１８を含むＩＣリードフレーム画像を取得し、その画像１７を表示部６０に表示させる（図４参照）。その際、ＣＰＵ５８は、画像表示手段として機能し、撮像部５６からの画像データを受けて表示部６０にＩＣリードフレーム１０の画像１７を表示させる。
【００３１】
次に、第２の工程において、ＩＣリードフレーム画像１７上で、リード１８の先端２９に沿った多角形である略正八角形の各辺を求める。
アイランド１４の所定の辺３４に対向配置された複数のリードを例にとって説明すると、図４ａに示すように、辺３４の中央部に対向配置されるリードの先端Ｈと吊りリード１６ａの隣のリードの先端Ｉとを連結する直線ＨＩを求める。このようにして求めた、直線ＨＩを吊りリード１６ａまで延長した直線が、略正八角形の一つの辺３０ａ（図４（ａ）参照）を構成する。
次に、図４ａに示すように、上述したリードの先端Ｈと吊りリード１６ｂの隣のリードのリードの先端Ｊとを連結する直線ＨＪを求める。この直線ＨＪを吊りリード１６ｂまで延長した直線が、略正八角形の前記辺３０ａに連続する辺３０ｂを構成する。上述したと同様の手順によって、図４（ａ）に示す残りの辺３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂを求めることができる。
なお、リード１８の先端に沿った多角形が、例えば各吊りリード１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄのアイランド１４近傍に各頂点を有する略四角形の場合、当該略四角形の各辺はアイランド１４の各辺に略平行な直線となる。
【００３２】
その際、ＣＰＵ５８は、入力部としてのマウス６２からの位置データを受け、ＩＣリードフレーム１０画像上でリードの先端に沿った略正八角形の各辺を設定する辺設定手段として機能する。  
具体的には、作業者がマウス６２を移動させ、ＩＣリードフレーム画像１７上でポインタを上述したリードの先端Ｈに略位置させてクリックすると、リードの先端Ｈの座標データが位置データとして処理部５７に入力される。次にマウス６２を移動させてポインタを上述したリードの先端Ｉに略位置させてクリックすると、リードの先端Ｉの位置データが処理部５７に入力される。このようにして、入力部としてのマウス６２からの位置データを受けたＣＰＵ５８は、直線ＨＩを吊りリード１６ａまで延長した直線のデータを前記略正八角形の一つの辺３０ａのデータとして記憶部５９に記憶させる処理を実行する。
このステップを、前記略正八角形を構成する辺毎に繰り返すことにより、リード１８の先端に沿った略正八角形の各辺３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂを設定できる。
【００３３】
次に、第３の工程において、上述のようにして求めた辺（３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ）を、前記リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線を求める。
一つの辺３０ａを例にとって説明すると、図４及び図５に示すように、辺３０ａを、例えば辺３０ａと略直交する方向であって枠部１２に向かって略０．５ｍｍ平行移動させ、この移動後の直線を基準直線３５ａとするのである。上述したように、ボンディング領域２０の中央２３はリード先端から略０．５ｍｍ程度のところに位置しているので、辺３０ａを、リードの先端に沿った位置から略ボンディング領域まで平行移動させてなる基準直線３５ａを求めることができる。このように、ボンディング領域２０を通過する基準直線３５ａを求めることにより、ボンディング領域近傍におけるリード間隔の検査の精度を高めることができる。
辺３０ａを平行移動させる方向は、本実施形態の方向に限るものではなく、例えば辺３０ａに対応する複数のリードのうち略中央近傍のリードの長手方向に沿って平行移動させてもよい。
【００３４】
上述したと同様の方法によって、図４（ｂ）に示すように、他の辺３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂをそれぞれ平行移動させてなる基準直線３５ｂ，３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂ，３８ａ，３８ｂを求めることができる。なお、図４（ｂ）において、基準直線３５ｂは辺３０ｂに対応し、基準直線３６ａは辺３１ａに対応し、基準直線３６ｂは辺３１ｂに対応し、基準直線３７ａは辺３２ａに対応し、基準直線３７ｂは辺３２ｂに対応し、基準直線３８ａは辺３３ａに対応し、基準直線３８ｂは辺３３ｂに対応する。
【００３５】
その際、ＣＰＵ５８はそれぞれの辺３０ａ・・・３３ｂを、リードの先端に沿った位置から略前記ボンディング領域まで平行移動させてなる複数の基準直線３５ａ・・・３８ｂを設定する基準直線設定手段として機能する。
一つの辺３０ａを例にとって説明すると、ＣＰＵ５８は、辺３０ａを、例えば辺３０ａと略直交する方向であって枠部１２に向かって略０．５ｍｍ平行移動させ、この移動後の直線のデータを基準直線３５ａのデータとして記憶部５９に記憶させる処理を実行する。
そして、ＣＰＵ５８は、同様の処理を辺３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂに対してそれぞれ実行する。
【００３６】
次に、第４の工程において、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と基準直線との交点からなる第１の交点を求める。
一つの基準直線３５ａを例にとって説明すると、図５に示すように、相隣るリード２１，２１´の対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺１９と基準直線３５ａとの交点を求め、当該交点を第１の交点Ａとするのである。
【００３７】
その際、ＣＰＵ５８は、相隣るリードの対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺と基準直線との交点からなる第１の交点を検出する第１の交点検出手段として機能する。上述の例を用いて説明すると、ＣＰＵ５８は、相隣るリード２１，２１´の対向する側辺のうち一方の側辺である第１側辺１９のデータと基準直線３５ａのデータとから、第１の交点Ａの座標データを検出し、第１の交点Ａの位置データとして記憶部５９に記憶させる処理を実行する。
【００３８】
次に、第５の工程において、第１の交点Ａを通過するとともに、相隣るリード２１，２１´の対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺を通過する複数の直線からなる検出直線を求める。本実施例において、第５の工程は、基準直線を第１の交点を中心として時計方向に所定の角度Θで回転させる工程と、基準直線を第１の交点を中心として反時計方向に所定の角度Θで回転させる工程とからなる。
一つの基準直線３５ａを例にとって説明すると、図５に示すように、基準直線３５ａを第１の交点Ａを中心として時計方向に例えば略１度の角度で回転させて得られる直線４０を検出直線イとする。次に、基準直線３５ａを第１の交点Ａを中心として反時計方向に例えば略１度の角度で回転させて得られる直線３９を検出直線ロとする。このようにして、第１の交点Ａを通過するとともに、相隣るリード２１，２１´の対向する側辺のうち他方の側辺である第２側辺２５を通過する複数の直線からなる検出直線イ，ロを求めるのである。
【００３９】
その際、ＣＰＵ５８は、第１の交点Ａを通過するとともに前記対向する側辺のうち他方の側辺からなる第２側辺２５を通過する複数の直線からなる検出直線を設定する検出直線設定手段として機能する。
上述した基準直線３５ａを例にとって説明すると、ＣＰＵ５８は、図５に示すように、ＩＣリードフレーム１０の画像上で、基準直線３５ａを第１の交点Ａを中心として時計方向に例えば略１度の角度で回転させ、その回転させて得られる直線４０のデータを検出直線イのデータとして記憶部５９に記憶させる処理を実行する。次に、ＣＰＵ５８は、基準直線３５ａを第１の交点Ａを中心として反時計方向に略１度の角度で回転させ、その回転させて得られる直線３９のデータを検出直線ロのデータとして記憶部５９に記憶させる処理を実行する。
【００４０】
次に、第６の工程において、前記基準直線上及び前記検出直線上で第１の交点Ａと第２側辺２５との間の直線距離を求める。
上述した相隣るリード２１，２１´を例にとって説明すると、図５に示すように、基準直線３５ａと第２側辺２５との交点である第２の交点Ｂを求め、第１の交点Ａと第２の交点Ｂとの直線距離ＡＢを求める。次に、検出直線イと第２側辺２５との交点である第３の交点Ｃを求め、第１の交点Ａと第３の交点Ｃとの直線距離ＡＣを求める。次に、検出直線ロと第２側辺２５との交点である第４の交点Ｄを求め、第１の交点Ａと第４の交点Ｄとの直線距離ＡＤを求める。
【００４１】
その際、ＣＰＵ５８は、前記基準直線上及び前記検出直線上で前記第１の交点と前記第２側辺との間の直線距離を求める直線距離取得手段として機能する。
上述の例で説明すると、ＣＰＵ５８は、基準直線３５ａと第２側辺２５との交点である第２の交点Ｂの座標データを求め、第１の交点Ａと第２の交点Ｂとの直線距離ＡＢのデータを求める。そして、直線距離ＡＢのデータを記憶部５９に記憶させる処理を実行する。次に、ＣＰＵ５８は、検出直線イと第２側辺２５との交点である第３の交点Ｃの座標データを求め、第１の交点Ａと第３の交点Ｃとの直線距離ＡＣのデータを求める。そして、直線距離ＡＣのデータを記憶部５９に記憶させる処理を実行する。次に、ＣＰＵ５８は、検出直線ロと第２側辺２５との交点である第４の交点Ｄの座標データを求め、第１の交点Ａと第４の交点Ｄとの直線距離ＡＤのデータを求める。そして、直線距離ＡＤのデータを記憶部５９に記憶させる処理を実行する。
【００４２】
次に、第７の工程において、これらの複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求め、前記最短距離と所定値データとを比較する。
上述した相隣るリード２１，２１´を例にとって説明すると、直線距離ＡＢ及び直線距離ＡＣ及び直線距離ＡＤのうち、最小の値からなる例えば直線距離ＡＣを最短距離Ｌとし、所定値データとしての例えば相隣るリード２１，２１´リード先端部間の規格Ｔと最短距離Ｌとの大小を比較する。そして、最短距離Ｌが規格Ｔより小さい場合は、当該ＩＣリードフレーム１０を不良品として判定することができる。
【００４３】
その際、ＣＰＵ５８は、前記直線距離取得手段により取得した複数の前記直線距離のうち最小の値からなる最短距離を求めるとともに、前記最短距離と所定値データとを比較する最短距離取得比較手段として機能する。
上述の例で説明すると、ＣＰＵ５８は、これらの直線距離ＡＢのデータ及び直線距離ＡＣのデータ及び直線距離ＡＤのデータを記憶部５９から読み出し、これらのデータのうち最小の値からなる例えば直線距離ＡＣのデータを最短距離Ｌのデータとして求め、所定値データとしてあらかじめ記憶部５９に記憶させていた上記規格Ｔのデータと最短距離Ｌのデータとの大小を比較する処理を実行する。そして、ＣＰＵ５８に、例えば最短距離Ｌが規格Ｔより小さい場合は、当該ＩＣリードフレーム１０を不良品として判定させるとよい。
【００４４】
そして、第４の工程〜第７の工程を、ＩＣリードフレーム１０のすべての相隣るリードについて繰り返し、一つのＩＣリードフレーム１０の検査を終了する。
【００４５】
本実施例では、検出直線は、検出直線イと検出直線ロとの２本の直線からなるが、これらの検出直線イ，ロに加えて検出直線をさらに２本追加し検出直線を４本とする構成でもよい。例えば、基準直線３５ａを第１の交点Ａを中心として時計方向に例えば略２度の角度で回転させて得られる直線を第３の検出直線とし、基準直線３５ａを第１の交点Ａを中心として反時計方向に例えば略２度の角度で回転させて得られる直線を第４の検出直線とするのである。
このように、検出直線を増やすことにより、第２側辺２５のより広い範囲にわたって相隣るリード先端部間の最短間隔を求めることができ、検査の精度がより高まる。
【実施例２】
【００４６】
次に、上記のＩＣリードフレームのリード検査装置５０による、ＩＣリードフレーム１０のリード検査方法の第２実施例について、主に図６を用いて説明する。
図６は、本実施形態の第２実施例に係るＩＣリードフレームのリード検査方法を説明する拡大説明図である。図６において、第１実施例と同じ部材或いは同じ部位については同じ符号を付し、その説明は省略する。また、図６においてそれぞれの枡目は、ＩＣリードフレーム１０の画像を構成する一つの画素を示している。
【００４７】
第１実施例と第２実施例との相違は、前記第５の工程が、第１の交点を通過するとともに、基準直線と第２側辺との交点からなる第２の交点を含む画素の上下方向の近傍に位置する複数の近傍画素をそれぞれ通過する複数の直線を求める工程からなる点である。
上述した、相隣るリード２１，２１´を例にとって説明すると、図６に示すように、まず基準直線３５ａと第２側辺２５との交点からなる第２の交点Ｂを求める。次に、第１の交点Ａを通過するとともに、第２の交点Ｂを含む画素４５の上方に隣接する第１の画素４３を通過する直線４１を求め、この直線４１を検出直線ホとする。次に、第１の交点Ａを通過するとともに、第２の交点Ｂを含む画素４５の下方に隣接する第２の画素４４を通過する直線４２を求め、この直線４２を検出直線へとする。
このようにして、第１の交点Ａを通過するとともに、相隣るリード２１，２１´の対向する側辺のうち他方の側辺からなる第２側辺２５を通過する複数の直線からなる検出直線ホ，へを求めるのである。
なお図６において、符号Ｍは検出直線ホと第２側辺２５との交点を示す。また、符号Ｎはで検出直線ヘと第２側辺２５との交点を示す。
【００４８】
本実施例では、検出直線は、検出直線へと検出直線ホとの２本の直線からなるが、これらの検出直線ヘ，ホに加えて検出直線をさらに２本追加し検出直線を４本とする構成でもよい。例えば、第１の交点Ａを通過しつつ第１の画素４３の上方に隣接する画素を通過する直線を第５の検出直線とし、第１の交点Ａを通過しつつ第２の画素４４の下方に隣接する画素を通過する直線を第６の検出直線とし、検出直線を４本とするのである。このように、基準直線３５ａと第２側辺２５との交点からなる第２の交点Ｂを含む画素の上下方向の近傍に位置する複数の近傍画素を選択し、これらの画素を通過する検出直線を求めてもよい。
【００４９】
ここで、図１、図４及び図７を参照しながら、本実施形態のＩＣリードフレーム１０のリード検査方法及びＩＣリードフレームのリード検査装置５０における効果について補足する。
図７（ａ）は、ＩＣリードフレーム１０の複数のリードのうち、アイランド１４の一つの辺３４の中央近傍に対向するリードの先端部を示す拡大図である。図７（ｂ）は、ＩＣリードフレーム１０の複数のリードのうち、辺３４に対向配置されたリードであって吊りリード１６ａ近傍に配置されたリードの先端部を示す拡大図である。
【００５０】
図１及び図４に示すように、ＩＣリードフレーム１０のリード１８は、アイランド１４の略中央を中心としてアイランド１４周囲に放射状に配置される。したがって、図７（ａ）に示すように、アイランド１４の一つの辺３４の中央近傍に対向するリードに関しては、上述した基準直線３５ａはこれらのリードの長手方向と略直交する。一方、図７（ｂ）に示すように、吊りリード１６ａに近づくにつれて、基準直線３５ａとリードの長手方向とが交差する角度は９０度よりずれる傾向にある。
そのため、前記辺３４の中央近傍に対向するリードに関しては、図７（ａ）に示すように、略基準直線３５ａ上に相隣るリードの先端間の最短距離ａ，ｂ，ｃ，ｄを求めることができる。ところが、吊りリード１６ａに近づくにつれて、相隣るリードの先端間の最短距離ｅ，ｆ，ｇは、基準直線３５ａ上に求めることができなくなる。
そこで、基準直線のみならず上述した検出直線を設定し、当該検出直線上で相隣るリードの先端間の最短距離を求めることで、相隣るリード先端部の間隔を精度高く検査することができるのである。
【００５１】
また、本実施形態のＩＣリードフレーム１０のリード検査方法及びＩＣリードフレームのリード検査装置５０によれば、例えば吊りリード１６ａとその隣のリードとの間隔の検査も上述したと同様な手順で可能となる。
また、これまでの説明では、一つのＩＣリードフレーム１０について説明したが、ＩＣリードフレーム１０が例えばｍ行×ｎ列でマトリックス状に配列されてなるマトリック状ＩＣリードフレームであっても、ステージ５４上に載置してＸＹ方向にステージ５４を移動させることで複数のＩＣリードフレームに対してリード検査を実施できる。
【００５２】
これまで説明した実施形態によれば、エッチング等によってリード先端部の幅が細く形成されたリード先端部を有するＩＣリードフレームであっても、相隣るリード先端部の間隔を精度高くまた簡易に検査することが可能なＩＣリードフレームのリード検査方法及びその装置を提供できる。
【００５３】
以上、本発明の実施形態のうちいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらはあくまでも例示であり、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  ＩＣリードフレーム
１２  枠部
１３  リードの先端に沿った形状
１４  アイランド
１６  吊りリード
１８  リード
１９  第１側辺
２０  ボンディング領域
２１，２１´  相隣るリード
２４  先端部
２５  第２側辺
２９  リードの先端
３０ａ〜３３ｂ  辺
３５ａ〜３８ｂ  基準直線
４３，４４，４５  画素
５０  ＩＣリードフレームのリード検査装置
５２  照射部
５６  撮像部
５７  処理部
６０  表示部
６４  入力部
Ａ  第１の交点
Ｂ  第２の交点
ＡＢ，ＡＣ，ＡＤ  直線距離
Θ    角度
イ，ロ，ホ，ヘ  検出直線  
【図１】
2010171112.tif 000003
【図２】
2010171112.tif 000004
【図３】
2010171112.tif 000005
【図４】
2010171112.tif 000006
【図５】
2010171112.tif 000007
【図６】
2010171112.tif 000008
【図７】
2010171112.tif 000009