(57)【要約】【課題】発光手段と支持手段との相対回転を可能として装置の小型化を図るとともに、発光手段の光照射領域の全域における積算光量を略均一に保つことのできる光照射装置及び光照射方法を提供すること【解決手段】光反応型の接着シートＳが貼付されたウエハＷを支持するテーブル１１の上方に、基板１３を介して直線上に発光ダイオード１６が複数固定されている。基板１３は回転可能であり、基板１３の回転中心Ｃ側に位置する発光ダイオード１６の光量は、外側に位置する発光ダイオード１６の光量よりも低く設定され、これによって発光手段の光照射領域の全域における積算光量が略均一に保たれるようになっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置され複数の発光源を有する発光手段と、前記支持手段と発光手段とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させる駆動手段とを含み、
前記発光手段は、前記発光源が所定幅のライン上に配置固定されるとともに、当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つように前記相対回転の回転中心側に位置する発光源の光量が外側に位置する発光源の光量よりも低く設定されていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置され複数の発光源を有する発光手段と、前記支持手段と発光手段とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させる駆動手段とを含み、
前記発光手段は、前記発光源が所定幅のライン上に配置固定されるとともに、当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つように前記相対回転の回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離が外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定されていることを特徴とする光照射装置。
【請求項３】
前記発光源は、接着シートの形状に応じてＯＮ−ＯＦＦ制御可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の光照射装置。
【請求項４】
被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射方法において、
複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段を用い、
前記発光手段と被着体とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させて当該接着シートに光を照射するときに、前記発光手段の回転中心側に位置する発光源の光量を、外側に位置する発光源の光量よりも低く設定して当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つことを特徴とする光照射方法。
【請求項５】
被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射方法において、
複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段を用い、
前記発光手段と被着体とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させて当該接着シートに光を照射するときに、前記発光手段の回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離を、外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定して当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つことを特徴とする光照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光照射装置及び光照射方法に係り、特に、半導体ウエハ等に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射することのできる光照射装置及び光照射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）の処理装置においては、ウエハの回路面に保護用の接着シートを貼付して裏面研削を行ったり、ダイシングテープを貼付して複数のチップに個片化したりする処理が行われる。このような処理に使用される接着シートには、接着剤に紫外線硬化型（光反応型）のものが採用されており、上記のような処理の後、紫外線照射装置により紫外線（光）を接着剤に照射することで、当該接着剤を硬化させて接着力を弱め、ウエハの破損を防止して容易に剥離できるようになっている。
【０００３】
前記紫外線照射装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献における紫外線照射装置は、ウエハに貼付された接着シートの径方向に複数の紫外線発光ダイオードを支持する支持手段と、この支持手段を移動させる移動手段とを含み、当該移動手段を駆動することで、発光ダイオードが接着シート上を横断して当該接着シートに紫外線を照射するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３２９３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された紫外線照射装置にあっては、支持手段が直線的に移動する構成であるため、モータ以外にプーリ、ベルト、ガイドレール等が必要となり、装置が大型化する、という不都合がある。ここで、装置の大型化を避けるために、ウエハ上で支持手段を回転させる構成も考えられるが、このような構成では、回転の内側と外側とで積算光量に差異が生じてしまうため、接着シートの紫外線硬化に斑ができてしまい、当該接着シートを容易に剥すことができなくなる、という別の不都合がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、発光手段と支持手段との相対回転を可能として装置の小型化を図るとともに、発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つことができる光照射装置及び光照射方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射装置において、前記被着体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置され複数の発光源を有する発光手段と、前記支持手段と発光手段とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させる駆動手段とを含み、前記発光手段は、前記発光源が所定幅のライン上に配置固定されるとともに、当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つように前記相対回転の回転中心側に位置する発光源の光量が外側に位置する発光源の光量よりも低く設定される、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射装置において、前記被着体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置され複数の発光源を有する発光手段と、前記支持手段と発光手段とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させる駆動手段とを含み、前記発光手段は、前記発光源が所定幅のライン上に配置固定されるとともに、当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つように前記相対回転の回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離が外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定される、という構成を採っている。
【０００９】
前記光照射装置において、前記発光源は、接着シートの形状に応じてＯＮ−ＯＦＦ制御可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１０】
また、本発明は、被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射方法において、複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段を用い、前記発光手段と被着体とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させて当該接着シートに光を照射するときに、前記発光手段の回転中心側に位置する発光源の光量を、外側に位置する発光源の光量よりも低く設定して当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つ、という手法を採っている。
【００１１】
更に、本発明は、被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射方法において、複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段を用い、前記発光手段と被着体とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させて当該接着シートに光を照射するときに、前記発光手段の回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離を、外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定して当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つ、という手法を採っている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、発光手段と支持手段とを相対回転可能に設け、これらのうち少なくとも一方をモータ等の駆動手段で回転させれば足りるため、装置の小型化を図ることができるうえ、その回転中心側に位置する発光源の光量を、外側に位置する発光源の光量よりも低く設定したため、発光手段の光照射領域における積算光量を均等に保つことができ、光反応のばらつきを防止することができる。
また、回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離を、外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定した場合においても同様の効果を奏することができる
更に、発光源が個々に若しくは一定数毎にＯＮ−ＯＦＦ制御可能であれば、接着シートの平面形状に応じて一部の発光源による部分照射が可能となり、消費電力の削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係る光照射装置の概略正面図。
【図２】図１の光照射装置の概略平面図。
【図３】第２実施形態に係る光照射装置の概略正面図。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は、基板及び発光手段の変形例を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
［第１実施形態］
図１及び図２において、光照射装置１０は、上面側（デバイス形成面）に接着シートＳが貼付され、下面側からマウントテープＴを介してリングフレームＲＦに一体化された被着体としてのウエハＷを支持するテーブル１１（支持手段）と、このテーブル１１の図中上方に相対配置されて光（紫外線）を照射する発光手段１２と、テーブル１１と発光手段１２とを接着シートＳの表面に沿って相対回転させる駆動手段１５とを備えて構成されている。接着シートＳは、紫外線によって硬化してその接着力が低下する光反応型の接着剤層を備えたものが用いられている。なお、光照射装置１０は、窒素ガスのような不活性ガス雰囲気を形成可能なケース内に配置することが好ましく、これにより、大気中に含まれる酸素によって、その硬化阻害を未然に防止することができる。
【００１６】
前記発光手段１２は、複数の発光源としての紫外線発光ダイオード（以下、単に、「発光ダイオード」と称する）１６と、これら発光ダイオード１６を所定幅のライン上に配置固定する長片状の基板１３とにより構成されている。基板１３は、テーブル１１の上面と平行に配置され、その下面側に発光ダイオード１６が等間隔で１列若しくは複数列固定されている。この基板１３は、接着シートＳの最大長さ、本実施形態では、接着シートＳの直径よりも大きい長さに設けられており、基板１３の中心を回転中心Ｃとして平面内で回転可能に設けられている。また、基板１３の回転中心Ｃ側に位置する発光ダイオード１６の光量は、外側に位置する発光ダイオード１６の光量よりも低く設定されている。なお、発光ダイオード１６は、図示しない制御手段を介して個々に照度調整されるとともに、ＯＮ−ＯＦＦ制御も可能に設けられている。
【００１７】
前記駆動手段１５は、テーブル１１の下面側に位置して当該テーブル１１を回転可能に支持するモータＭ１と、基板１３を回転可能に支持するモータＭ２とを含み、これらモータＭ１、Ｍ２を選択的若しくは合一的に駆動することにより、テーブル１１と、基板１３及びこれに固定された発光ダイオード１６とが接着シートＳの表面に沿って相対回転可能となっている。
【００１８】
以上の光照射装置１０を用いて接着シートＳに紫外線を照射する場合には、マウントテープＴを介してリングフレームＲＦに一体化されたウエハＷがテーブル１１上に載置されると、発光ダイオード１６が点灯する。そして、モータＭ１及び／又はＭ２を介してテーブル１１と基板１３とを相対回転させる。この際、基板１３に配置固定された各発光ダイオード１６は、基板１３の外側から回転中心Ｃに向かって照度が段階的に小さく設定されているため、接着シートＳの全域における積算光量が略均一に保たれる。これを更に詳述すると、例えば、基板１３の回転中心Ｃから距離Ｌ離れて取り付けられた発光ダイオード１６ａの光量が、当該発光ダイオード１６ａの２倍の距離２Ｌ離れて取り付けられた発光ダイオード１６ｂの半分の光量に設定されている。つまり、発光手段１２が通過する領域において、単位面積あたりに発光ダイオード１６が光照射する光量と、当該発光ダイオード１６が通過する時間との積が等しくなるように設定されている。
【００１９】
従って、このような実施形態によれば、テーブル１１と基板１３とを相対回転させて接着シートに紫外線照射を行う構成としても、光照射領域である接着シートＳの全域において一定の積算光量で紫外線の照射が行え、斑なく接着シートＳの紫外線硬化反応を起こさせることができる。従って、紫外線硬化後の接着シートＳの剥離を難なく行うことができる。
【００２０】
次に、本発明の前記第２実施形態について説明する。なお、第２実施形態において、第１実施形態と同一の構成部分については、同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
【００２１】
［第２実施形態］
第２実施形態は、図３に示されるように、基板１３を中心で屈曲する形状に設け、当該基板１３の回転中心Ｃ側に位置する発光ダイオード１６と接着シートＳとの離間距離を、外側に位置する発光ダイオード１６と接着シートＳとの離間距離よりも長く設定し、第１実施形態と違って発光ダイオード１６の光量を全て同じに設定したところに特徴を有するものである。その他の構成は、実質的に第１実施形態と同様である。
【００２２】
このような第２実施形態によれば、全て同じ光量の発光ダイオード１６を用いても、発光ダイオード１６と接着シートＳとの離間距離に対応して、当該接着シートＳに照射される光量に差異が生じるため、第１実施形態のように個々の発光ダイオード１６に対して光量を制御する必要がなくなる。これにより、接着シートＳの全域における積算光量を略均一にすることができ、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２４】
例えば、図４（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、前記実施形態で使用した半分の長さの基板１３を使用することもできる。このような変形例によれば、基板１３の短寸化と、発光ダイオード１６の使用数を削減することができる。
【００２５】
また、接着シートＳの上方近傍に照度センサ１８を設け、当該照度センサ１８の出力を入力として制御装置が発光ダイオード１６の電流制御を行うように設けることができる。
【００２６】
更に、前記実施形態では、紫外線を照射することによって接着シートＳの接着剤層を硬化させる場合を説明したが、ウエハＷに仮着された感熱接着性の接着シートを被着体に強固に貼付するシート貼付装置等に適用することもできる。この場合、発光源が発光する光としては、赤外線等が例示できる。
【００２７】
更に、支持手段はテーブル１１に限らず、ロボットアーム等に支持させることでもよい。
【００２８】
また、被着体はウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【符号の説明】
【００２９】
１０  光照射装置
１１  テーブル（支持手段）
１２  発光手段
１５  駆動手段
１６  発光ダイオード（発光源）
Ｃ  回転中心
Ｍ１、Ｍ２  モータ（駆動手段）
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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