(57)【要約】      （修正有）【課題】超高純度が求められる処理材料を測定するためのコリオリ流量計を製造する方法を提供する。【解決手段】全体がＰＦＡで形成されている流管手段１０２を基板１０１に連結する段階と、励振器Ｄを前記流管手段に連結する段階と、ピックオフ手段ＰＯを前記流管手段に連結する段階と、前記流管手段の入口端部及び出口端部を、少なくとも１つの処理接続部１０８に連結する段階とを含み、前記流管手段を前記基板に連結する前記段階の前に、流量計構成要素を連結し取り付けるのに適した表面を作るため、グリコール・ジエーテルを含む加熱された腐食溶液内に前記流管手段を浸すことにより前記流管手段を腐食する段階がある方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コリオリ流量計から処理材料へのイオン移動による汚染を受けない超高純度を有する前記処理材料の流れを受け取り、この流れを延長する前記流量計を製造する方法において、
全体がＰＦＡで形成されている流管手段を基板に連結する段階と、
励振器を前記流管手段に連結する段階と、
ピックオフ手段を前記流管手段に連結する段階と、
前記流管手段の入口端部及び出口端部を、少なくとも１つの処理接続部に連結する段階とを含み、
前記流管手段を前記基板に連結する前記段階の前に、流量計構成要素を連結し取り付けるのに適した表面を作るために、グリコール・ジエーテルを含む加熱された腐食溶液内に前記流管手段を浸すことにより前記流管手段を腐食する段階があることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記腐食段階は、前記流管手段を前記腐食溶液内で揺り動かす段階を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記流管手段を前記基板に連結する前記段階は、前記流管手段を真っ直ぐにして、固有の湾曲又は望ましくない残留曲がりを取り除く段階によって進められることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記流管手段を前記基板に連結する前記段階は、接着剤を使って前記流管手段を前記基板に取り付ける段階を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記励振器手段を前記流管手段に取り付ける前記段階は、更に、接着剤を使って前記励振器手段を前記流管手段に連結する段階を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記ピックオフ手段を前記流管手段に連結する前記段階は、更に、接着剤を使って前記ピックオフ手段を前記流管手段に接着する段階を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記ピックオフ手段を前記流管に連結する前記段階は、光学ピックオフを使用し易くするために、前記流管手段部分の一部分を不透明にする段階を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
流量計から処理材料へのイオン移動による汚染を受けない超高純度を有する処理材料の流れを測定するための質量流量計（１００）において、
基板（１０１）と、
前記基板に連結されている流管手段（１０２、１０３）であって、流量計構成要素を連結し取り付けるのに適した表面を作るために、グリコール・ジエーテルを含む加熱された腐食溶液内に前記流管手段を浸すことにより前記流管手段が腐食されている、流管手段と、
前記流管手段を、処理材料が中を流れている前記流管手段の共鳴周波数で振動させるための、前記流管手段に取り付けられている励振器（Ｄ）と、
前記振動している材料が満たされた流管手段のピックオフ手段に隣接している部分の、誘起されたコリオリ変位を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ手段（ＬＰＯ、ＲＰＯ）と、
前記流管手段に連結されている少なくとも１つの処理接続部手段（１０７−１１０）と、を備えており、
前記流管手段と前記少なくとも１つの処理接続部部手段は、イオンを前記流管手段から前記処理材料へ移動させないか或いは殆ど移動させないペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）を含む材料で形成されていることを特徴とする質量流量計。
【請求項９】
前記流管手段は、前記腐食溶液内で前記流管手段を揺り動かすことにより腐食されていることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記処理接続部手段が前記基板に連結されていることを特徴とする、請求項８に記載のコリオリ流量計。
【請求項１１】
前記流管手段は、光が前記流管手段を透過しないようにする不透明な部分（７２０）を有していることを特徴とする、請求項８に記載のコリオリ流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高純度を有する処理材料の流量を測定するコリオリ流量計を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
１９８５年１月１日、Ｊ．Ｅ．スミスらに発行された米国特許第４，４９１，０２５号及び１９８２年２月１１日、Ｊ．Ｅ．スミスへのＲｅ．３１，４５０号に開示されているように、パイプラインを流れる材料に関する質量流量その他の情報を測定するのに、コリオリ効果質量流量計を使用することは知られている。流量計は、非直線、湾曲、又は不規則な形状をした１つ又は複数の流管を有している。各流管は、単純曲げ、捻り、又はひねり型などの一式の固有振動モードを有している。各材料が満たされた流管は、これら固有振動モードの内の１つの共振点で振動するよう駆動される。固有振動モードは、部分的には、流管と流管内の材料を合わせた質量によって決まる。必要ならば、流量計は、固有モードで駆動しなくともよい。
【０００３】
材料は、入口側に接続されている材料供給源から流量計に流れ込む。材料は、単一又は複数の流管を通過し、流量計の出口側を出る。
励振器は、流管を振動させるよう力を掛ける。材料の流れが無い場合、流管に沿う全ての点が、流管の第１曲げモードの同一位相で振動する。コリオリ加速度は、流管上の各点に、流管上の他の点とは異なる位相を持たせる。流管の入口側の位相は励振器より遅れ、出口側の位相は励振器より早い。流管の運動を示す正弦波信号を得るため、流管上にピックオフが配置されている。２つのセンサー信号の間の位相差を振動の周波数で割ると、材料の流れの質量流量に比例する遅延が得られる。
【０００４】
異なる流管構成を有する流量計を使用することは知られている。これらの構成には、単一管、二重管、直管、湾曲管、不規則な形状の流管が含まれる。大部分の流量計は、アルミニウム、鋼、ステンレス鋼及びチタンのような金属製である。ガラス流管も知られている。更に、最新技術である全ての直線直列経路流量計は、金属、特にチタン製か、或いはプラスチック、特にＰＴＦＥ又はＰＦＡで内張された金属管である。
【０００５】
これらの型式の流量計におけるチタンの好ましい属性は、高い強度と、低い熱膨張係数（ＣＴＥ）である。チタンの好ましくない属性は、金属的特性と、製造コストである。例えば、半導体ウェーハの処理では、金属イオンは汚染物質である。集積回路のウェーハ領域と接触する金属イオンは、短絡を引き起こし、装置を破損する。更に、チタンの流量計は、製作が難しく、経費が掛かる。
【０００６】
ディーター・マイヤー（Ｄｉｅｔｅｒ  Ｍｅｉｅｒ）への米国特許第５，４０３，５３３号に開示されている、ＰＦＡで内張されている流管は、両方の技術の好ましい属性を組み合わせようとしたが、新たな試練に遭遇し、本発明まで解決されなかった。ＰＦＡで内張されている金属流管でも、金属イオンは、ＰＦＡの薄い被覆層を通過して流体流れの中へ移動することができ、汚染を引き起こした。更に、流管の材料とＰＦＡ内張は、異なる熱的特性を有していた。このため、ＰＦＡ内張が流管から剥がれ、漏れと性能問題が発生した。金属流管をＰＦＡで内張する製造工程も、非常に費用が掛かる。先行技術は、プラスチックの流管及びプラスチックの流量計も提案している。これには、流管だけがプラスチックで形成されているものばかりでなく流量計全体がプラスチックである先行技術も含まれている。この先行技術の多くは、金属流量計に向けられており、流量計は、鋼、ステンレス鋼、チタン又はプラスチックのような様々な材料で作ることができるという主張を含んでいるに過ぎない。この先行技術は、温度を含む作動条件の範囲に亘って情報を正確に出力できるプラスチック製のコリオリ流量計の開示に関する限り、啓発的ではない。
【０００７】
金属流管をプラスチック流管に単に置き換えただけでも、流量計に似た構造にはなる。しかしながら、その構造体は、作動条件の有用な範囲に亘って正確な出力情報を生成する流量計としては機能しない。流量計をプラスチックで作ることができるという主張のみでは、プラスチックを金属に置き換えることができるという抽象概念に過ぎない。それは、プラスチックの流量計を、作動条件の有用な範囲に亘って正確な情報を生成できるようにするには、どの様に製造するかについて教示してはいない。
【０００８】
典型的なコリオリ流量計が処理材料を汚染することは、幾つかの用途において問題である。超高純度の材料を流量計によってユーザー向けに送出しなければならないシステムにとって、これは望ましくない。処理材料流路の管から移動するイオンを含め汚染されていない処理材料を使用する必要のある半導体ウェーハの製作の場合が、これに相当する。そのような用途では、流管が汚染源となりかねない。流管の金属壁は、処理材料の流れにイオンを放出しかねない。放出されたイオンは、半導体ウェーハ上のチップに欠陥を生じさせかねない。鉛イオンをガラスから処理材料の流れに放出するガラスの流管にも同じことが当てはまる。従来型のプラスチックで形成されている流管にも同じことが当てはまる。
【０００９】
ＰＦＡと呼ばれるプラスチックは、それを構成している材料が有害なイオンを材料の流れに放出しないので、この障害がない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第４，４９１，０２５号明細書
【特許文献２】米国特許第５，４０３，５３３号明細書
【特許文献３】米国特許第５，９１８，２８５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
流管にＰＦＡを利用することは、バンダーポール（Ｖａｎｄｅｒｐｏｌ）に発行された米国特許第５，９１８，２８５号に提案されている。この特許は、正確な流れの情報を生成するためにＰＦＡ流管を有する流量計をどのように製造するかに関する情報を開示していないので、この提案は、バンダーポールの開示には付随的なものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記及びその他の問題を解決し当該技術を進歩させるものであり、ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）プラスチックで形成されている少なくとも１つの流管を有するコリオリ流量計を開示しており、前記少なくとも１つの流管は、励振器と、少なくとも１つのピックオフセンサーとに連結され、ＰＦＡ流管が、材料の流れの作動条件の範囲に亘り正確な出力情報と、汚染物質を含まずイオンレベルのない材料の流れを必要とする半導体製作のような用途で用いるのに適した超高純度とを提供することのできるコリオリ流量計の一部として機能できるようにしている。
【００１３】
全体がＰＦＡで作られている流路は、ＰＦＡで内張されたチタン流管の多くの利点を欠点無しで有している。ＰＦＡは、優れた化学的耐性を有し、金属イオン放出が殆ど無く、粒子生成が少ないフルオロポリマーであり、多額の投資をしなくても製造できる。ＰＦＡ材料は強力で、高品質の薄壁管に押し出し成形することができる。薄壁のＰＦＡ管は、曲げ剛性が低いので、質量流量に対する感度を上げ、流管と処理パイプラインとの間の弾性力学的相互作用に対する不感性を改善することができる。ＰＦＡの材料特性と物理的特性により、高い応力レベルで大きな管の振動振幅が可能となり、結果的に疲労寿命のスパンが殆ど無限になる。更に、振動振幅が高いため小型の低質量変換器を使えるので、密度感度及びマウント振動に対する不感性が改善される。
【００１４】
本発明の第１の好適な代表実施形態は、流管の両端部ノードを振動的に均衡させる重い金属基板に振動可能に接続されている単一のＰＦＡプラスチック流管を有する流量計を備えている。この実施形態では、基板はＵ字型であり、プラスチック流管は、Ｕ字の脚部の外側部分にある穴を通って伸張している。プラスチック流管は、流管を取り囲んで流管を金属基板に強固に接着しているＯリング又は適切な接着剤、具体的にはシアノアクリレートによって基板構造体に取り付けられている。流管の中央は、適したメーター電子機器からの駆動信号を受信して、流管の長手方向経路に対して流管を横方向に振動させる電磁励振器に貼り付けられている。流管は、振動している流管内の材料の流れのコリオリ応答を検出するピックオフセンサーにも連結されている。基板に接続されており、流管が終結している処理接続部も、ＰＦＡで作られている。
【００１５】
ＰＦＡは、化学的に不活性なフッ化ポリマーであり表面エネルギーが非常に低いので、一般的な接着剤又は溶剤を使って接着するのは難しい。流量計のＰＦＡ構成要素と非ＰＦＡ構成要素との間の接着をやり易くするために、或る好適な製造方法は、ＰＦＡ構成要素を腐食する工程を含んでいる。ＰＦＡ構成要素は、腐食によって外側表面の化学的特性が変わるので、非ＰＦＡ構成要素に接着できるようになる。腐食工程は、ＰＦＡ構成要素を、グリコール・ジエーテル(glycol diether)、望ましくはジグリム・ナフタレンナトリウム(diglyme-sodium naphthalene)を含む高温槽に浸して、或る期間、緩やかに揺り動かす段階を含んでいる。
【００１６】
ＰＦＡ、特にＰＦＡ管のもう１つの特徴は、製造時にどうしても曲がり又は湾曲を有する管になるので、流量計にする前にこれを管から取り除かなければならないことである。加工前に管の望ましくない湾曲を取り除く好適な方法は、アニーリング処理によって流管を真っ直ぐにすることである。アニーリング処理は、真っ直ぐにする固定冶具内に流管を配置する段階を含んでいる。固定冶具は、管を、流量計に加工するのに適した真っ直ぐな形状に拘束する。流管と固定冶具は、或る期間加熱し、次いで取り外して室温まで冷却する。室温に達し、流管を固定冶具から取り外すと、真っ直ぐな流管が得られる。
【００１７】
第１の好適な実施形態で説明したように、流管は、ピックオフ手段に連結されている。或る実施形態では、ピックオフ手段は、コイル／磁石の形態をしている。磁石は、接着剤を使って流管に接着されており、コイルは、接着剤又は機械的接続部を使って基板に取り付けられている。或る代替実施形態では、ピックオフは、流管の動きによって変化する光ビームを送受信する光学装置である。光学ピックオフを使用し易くするため、流管の一部分は不透明に作られている。これにより、光は、通常の半透明の流管を通過する代わりに、流管から反射されるか、又は不透明な被覆に吸収されることになる。流管は、被覆又は塗料の使用を含む様々な手段によって不透明にすることができる。光学的感知の実施形態は、振動している流管に掛かる重量が軽くなる利点を提供する。
【００１８】
第１の好適な実施形態で説明したように、流管は、処理接続部に連結されＰＦＡの流路を形成する。別の実施形態では、この接続は、流管をフレア加工し、処理接続部のニップルを挿入できるようにすることにより行われる。別の実施形態では、流管は、処理接続部の貫通穴に挿入され、処理接続部の面でシールされる。
【００１９】
或る好適な実施形態では、管は、レーザー溶接処理によって処理接続部の面にシールされる。レーザー溶接は、流管と処理接続部の面との間の界面で熱を発生させる非接触型の溶接である。流管を処理接続部の面に対してシールする別の方法には、先端加熱溶接、超音波溶接及び接着剤がある。
【００２０】
管が処理接続部に連結されていることに加え、処理接続部は基板にも連結されている。処理接続部を基板に連結させる好適な方法は、基板に穴を形成し、処理接続部の端部を穴に固定することである。処理接続部は、基板の穴に雌ねじを切り、ねじ穴に処理接続部端部をねじ込むことによって固定することができる。上記方法の替わりに、単に、処理接続部端部を、接着剤を使って基板穴内に接着してもよい。処理接続部を基板に固定する別の方法は、基板にロック穴を形成することである。この穴は、ロック穴の中心線が収容穴の中心線と交わるように形成される。穴が形成され、処理接続部端部が収容穴内に挿入された後、ロック機構がロック穴に挿入され、処理接続部が固定される。処理接続部を収容穴内にロックするための好適な実施形態は、ロック穴に雌ねじを切り、ロック穴へセットスクリューをねじ込み、スクリューが処理接続部を圧迫して動かないようにするというものである。
【００２１】
別の流管構成が、本発明の別の実施形態により提供されている。本発明は、逆位相で振動する二重流管を使って実行される。この二重管は、直線型でも、Ｕ字型でもよいし、不規則形状であってもよい。二重流管を使用すれば、力学的に均衡のとれた構造となり、流管を取り付けるのに必要な基板の質量を減らせるという利点が得られる。
【００２２】
更に別の実施形態によれば、二重の直線状流管を使用する場合、流管は、基板に取り付けられ、水平面又は垂直面内の何れかで逆位相に加振される。Ｕ字型基板の底部表面に垂直な水平面内の振動は、流量計構造体の垂直方向の揺れを取り除くが、二重流管が力学的に均衡していない場合は、水平方向の揺れを許すことになる。流管を互いに対して垂直な面内に取り付けると、望ましくない垂直方向の振動が抑制される。
【００２３】
何れの管構成にも関連する追加の実施形態は、温度測定装置の装着である。好適な実施形態は、流管に取り付ける抵抗温度装置（ＲＴＤ）の使用である。別の実施形態によれば、温度は、赤外線温度測定装置を使って測定することができる。この装置の利点は、非接触式であり、管から離して配置できるので、管の質量を減らせることである。
【００２４】
要約すると、本発明を具現化している流量計は、送出される材料が汚染されていない必要のある用途において、超純粋処理材料の測定及び送出を行える点で有用である。この純度は、化学的に不活性で、イオンを流管材料から処理材料へ移動させる金属及びガラスより優れているＰＦＡプラスチック流管を使用することによって提供される。処理材料は、代表的には、半導体産業でウェーハの製作時に研磨剤として使用される有機化合物であるスラリーを含んでいる。この研磨作用は、ウェーハに平坦な平面を形成する働きをする。研磨作用には６０から９０秒掛かるが、この間、スラリーは、流管材料からスラリーへ移動するイオンを含め汚染物質を含んでいてはならない。半導体ウェーハ上にたった１つでも望ましくないイオンが付着すると、ウェーハの全体又は一部分が短絡し、ウェーハが使用不能になる。
【００２５】
本発明の或る態様は、コリオリ流量計から処理材料へのイオン移動による汚染を受けない超高純度を有する前記処理材料の流れを受け取り、この流れを延長する前記流量計を製造する方法であり、前記方法は、
励振器を流管手段に取り付ける段階と、
ピックオフ手段を前記流管手段に連結する段階と、を含み、
前記方法は、更に、
前記流管手段を基板に連結する段階であって、前記流管手段は、前記処理材料が前記流管手段の材料から前記処理材料へのイオン移動による汚染を受けないように保つ材料で形成されている、前記連結段階と、
前記流管手段の入口端部及び出口端部を、少なくとも１つの処理接続部に取り付け、前記流量計を通る超清純流路を形成する段階と、によって特徴付けられていることが分かる。
【００２６】
流管手段を前記基板に連結する前記段階は、更に、ＰＦＡで形成されている前記流管手段を利用して、前記処理材料の流れを、流管の材料から処理材料へのイオン移動による汚染を受けないように維持する段階を含んでいるのが望ましい。
【００２７】
前記流管を前記基板に連結する前記段階は、前記流管を腐食させて、流量計構成要素を連結及び取り付けるのに適した表面を作る段階によって進められるのが望ましい。
前記腐食段階は、グリコール・ジエーテルを含む腐食溶液を使用する段階を含んでいるのが望ましい。
【００２８】
前記腐食段階は、前記腐食溶液を高温に加熱する段階を含んでいるのが望ましい。
前記腐食段階は、前記流管手段を腐食溶液内で揺り動かす段階を含んでいるのが望ましい。
【００２９】
前記流管を基板に連結する前記段階は、前記流管手段を真っ直ぐにして、固有の湾曲又は望ましくない残留曲がりを取り除く段階によって進められるのが望ましい。
前記真っ直ぐにする段階は、
前記流管手段を真っ直ぐにする固定冶具内に配置する段階と、
前記流管手段及び前記真っ直ぐにする固定冶具を加熱する段階と、
前記流管手段及び前記真っ直ぐにする固定冶具を冷却する段階と、
前記流管手段を前記真っ直ぐにする固定冶具から取り外す段階と、を含んでいるのが望ましい。
【００３０】
前記流管手段を前記基板に連結する前記段階は、接着剤を使って前記流管手段を前記基板に取り付ける段階を含んでいるのが望ましい。
前記接着剤を使って前記流管手段を前記基板に取り付ける前記段階は、シアノアクリレート接着剤を使用する段階を含んでいるのが望ましい。
【００３１】
前記流管手段を前記基板に連結する前記段階は、Ｏリングを使って前記流管を前記基板に連結する段階を含んでいるのが望ましい。
前記励振器手段を前記流管手段に取り付ける前記段階は、更に、接着剤を使って前記励振器手段を前記流管手段に取り付ける段階を含んでいるのが望ましい。
【００３２】
前記励振器手段を前記流管手段に取り付ける前記段階は、更に、シアノアクリレート接着剤を使用する段階を含んでいるのが望ましい。
前記ピックオフ手段を前記流管手段に取り付ける前記段階は、更に、接着剤を使って前記ピックオフ手段を前記流管に取り付ける段階を含んでいるのが望ましい。
【００３３】
前記ピックオフ手段を前記流管手段に取り付ける前記段階は、更に、シアノアクリレート接着剤を使用する段階を含んでいるのが望ましい。
コリオリ流量計を製造する前記方法は、更に、前記少なくとも１つの処理接続部を前記基板に連結する段階を含んでいるのが望ましい。
【００３４】
前記処理接続部を前記基板に連結する前記段階は、
前記基板に収容穴を形成する段階と、
前記処理接続部の固定部分を前記収容穴に固定する段階と、を含んでいるのが望ましい。
【００３５】
前記処理接続部の前記固定部分を前記収容穴に固定する前記段階は、前記処理接続部の前記固定部分を前記収容穴に接着する段階を含んでいるのが望ましい。
前記処理接続部の前記固定部分を前記収容穴に固定する前記段階は、更に、シアノアクリレート接着剤を使用する段階を含んでいるのが望ましい。
【００３６】
前記処理接続部の前記固定部分を前記収容穴に固定する前記段階は、前記処理接続部の前記固定部分を前記収容穴にねじ込む段階を含んでいるのが望ましい。
前記処理接続部の前記固定部分を前記収容穴に固定する前記段階は、
中心線が収容穴の中心線と交わるロック穴を形成する段階と、
ロック機構を前記ロック穴に挿入して、前記処理接続部の前記固定部分が動かないようにする段階と、を含んでいるのが望ましい。
【００３７】
ロック機構を前記ロック穴に挿入する前記段階は、セットスクリューを挿入して前記処理接続部の前記固定部分を圧迫する段階を含んでいるのが望ましい。
前記処理接続部を前記基板に連結する前記段階は、前記処理接続部の前記固定部分を前記基板上に接着する段階を含んでいるのが望ましい。
【００３８】
前記処理接続部の前記固定部分を前記基板上に接着する前記段階は、更に、シアノアクリレート接着剤を使用する段階を含んでいるのが望ましい。
前記流管手段の前記端部を前記少なくとも１つの処理接続部に取り付ける前記段階は、
前記流管手段の前記端部をフレア加工する段階と、
前記流管手段の前記フレア加工端部に、前記少なくとも１つの処理接続部の円錐形突出部を挿入する段階と、を含んでいるのが望ましい。
【００３９】
前記流管手段の前記端部を前記少なくとも１つの処理接続部に取り付ける前記段階は、
前記流管手段の前記端部が、前記少なくとも１つの処理接続部の面と面一になるまで、前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部を通して挿入する段階と、
前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に対してシールする段階と、を含んでいるのが望ましい。
【００４０】
前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に対してシールする前記段階は、前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に接着する段階を含んでいるのが望ましい。
【００４１】
前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に対してシールする前記段階は、前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に超音波溶接する段階を含んでいるのが望ましい。
【００４２】
前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に対してシールする前記段階は、前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に先端加熱溶接する段階を含んでいるのが望ましい。
【００４３】
前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面に対してシールする前記段階は、前記流管手段の前記端部を、前記少なくとも１つの処理接続部の前記面にレーザー溶接する段階を含んでいるのが望ましい。
【００４４】
前記ピックオフ手段を連結する前記段階は、光学ピックオフを使用し易くするために、前記流管手段の一部分を不透明にする段階を含んでいるのが望ましい。
前記コリオリ計は、温度感知装置を前記コリオリ流量計に取り付けることによって特徴付けられるのが望ましい。
【００４５】
温度感知装置を取り付ける前記段階は、抵抗温度測定装置を前記コリオリ流量計に取り付ける段階を含んでいるのが望ましい。
温度感知装置を取り付ける前記段階は、赤外線温度測定装置を前記コリオリ流量計に取り付ける段階を含んでいるのが望ましい。
【００４６】
本発明の追加の態様は、流量計から処理材料へのイオン移動による汚染を受けない超高純度を有する処理材料の流れを測定するための質量流量計を含んでおり、前記質量流量計は、
基板と、
前記基板に連結されている流管手段と、
前記流管手段を、処理材料が中を流れている前記流管手段の共振周波数で振動させるための、前記流管手段に取り付けられている励振器と、
前記振動している材料が満たされた流管手段のピックオフ手段に隣接している部分の、誘起されたコリオリ変位を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ手段と、
前記流管手段に連結されている少なくとも１つの処理接続部手段と、を備えており、
前記流管手段と前記少なくとも１つの処理接続部手段は、イオンを、前記流管手段から前記処理材料へ移動させない材料で形成されており、その結果、前記流量計を通る超清純流路になっていることを特徴としている。
【００４７】
前記コリオリ流量計は、ＰＦＡで形成され、前記処理材料の流れを、前記流管手段から前記処理材料へのイオン移動による汚染を受けないよう維持することが望ましい。
前記コリオリ流量計は、前記流管手段を前記基板に連結するためのＯリングを備えているのが望ましい。
【００４８】
前記コリオリ流量計は、前記処理接続部手段が前記基板に連結されていることを特徴とするのが望ましい。
前記基板は、前記処理接続部手段の固定部分を固定するための少なくとも１つの収容穴を備えているのが望ましい。
【００４９】
前記処理接続部手段の固定部分を固定するため前記収容穴には、雌ねじが切られているのが望ましい。
前記基板は、前記処理接続部手段を前記収容穴に固定するための少なくとも１つのロック穴を備えているのが望ましい。
【００５０】
前記処理接続部手段を前記収容穴に固定するための前記ロック穴には、雌ねじが切られているのが望ましい。
前記処理接続部手段を前記収容穴に固定するための前記ロック穴は、ロック機構を備えているのが望ましい。
【００５１】
前記処理接続部手段を前記収容穴に固定するための前記ロック機構は、セットスクリューであるのが望ましい。
前記処理接続部手段は、フレア接続式であるのが望ましい。
【００５２】
前記流管手段は、光が前記流管手段を透過しないようにする不透明な部分を有しているのが望ましい。
前記コリオリ流量計は、更に、温度感知装置を備えているのが望ましい。
【００５３】
前記温度感知装置は、抵抗式であるのが望ましい。
前記温度感知装置は、赤外線式であるのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の代表的実施形態の斜視図を開示している。
【図２】図１の実施形態の平面図である。
【図３】図１の実施形態の正面図である。
【図４】図２の４−４線に沿う断面図である。
【図５】一対の基板要素を有する代替実施形態の斜視図である。
【図６】Ｕ字型の基板を有する力学的に均衡の取れた流量計を開示している。
【図７】光学ピックオフを有する流量計を開示している。
【図８】光学ピックオフを有する流量計を開示している。
【図９】力学的平衡器を有する流量計を開示している。
【図１０】力学的平衡器を有する流量計を開示している。
【図１１】一対の略Ｕ字型流管を有する流量計を開示している。
【図１２】一対の力学的に均衡の取れた直線流管を有する流量計のもう１つの実施形態を開示している。
【図１３】一対の力学的に均衡の取れた直線流管を有する流量計のもう１つの実施形態を開示している。
【図１４】一つの流管を有し、戻り管のない代替実施形態を開示している。
【図１５】逆位相で加振される２つの流管を有する代替実施形態を開示している。
【図１６】一つの流管を有する代替実施形態を開示している。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
本発明の上記及びその他の利点と特徴は、図面と関連付けて以下の詳細な説明を読めば良く理解頂けるであろう。
図１の説明
図１は、本発明の第１の考えられる代表的実施形態の斜視図であり、基板１０１の脚部１１７、１１８を通して挿入されている流管１０２を有する流量計１００を開示している。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯと励振器Ｄが、流管１０２に連結されている。流量計１００は、供給管１０４から処理材料の流れを受け取り、処理接続部１０８を通して、流管１０２まで、その流れを延長する。流管１０２は、励振器Ｄにより、その材料の流れと共鳴する周波数で、加振される。その結果生じるコリオリ変位は、ピックオフＬＰＯ及びピックオフＲＰＯによって検出され、ピックオフＬＰＯ及びピックオフＲＰＯは、信号を、導線１１２及び１１４を介してメーター電子機器１２１へ送る。メーター電子機器１２１は、ピックオフ信号を受信し、信号間の位相差を求め、振動の周波数を求め、材料の流れに関係する出力情報を、出力経路１２２で利用回路（図示せず）へ送る。
【００５６】
材料の流れは、流管１０２から、材料の流れの向きを直す管１０６を通り、戻り管１０３を通り、処理接続部１０７を通って、材料の流れをユーザーの使用先に送る出口管１０５を出る。このユーザーの使用先は、半導体処理設備などである。処理材料は、半導体ウェーハの表面に平坦面を形成するために供給される半導体スラリーなどである。図１に示す流管に用いられているＰＦＡ材料は、処理材料が、金属又はガラスの流管の壁から移送されかねないイオンのような不純物を含んでいないことを保証する。
【００５７】
使用時、流管１０２は、ソーダ水のストローの直径に近い小さな直径を有しており、処理材料に対して、例えば０．８グラム＋０．５グラムのように無視できる重量である。これには、磁石の重量は入っていない。ピックオフ及び励振器に付帯する磁石は、合計すると約０．６グラムの質量を有しているので、流管１０２と、取り付けられた磁石と、処理材料の合計質量は約２グラムとなる。振動している流管１０２は、力学的に不均衡な構造体である。基板１０２は、重くて、重量は約１２ポンドである。つまり、基板の質量と、流管を満たしている材料の質量の比は、約３０００対１になる。この質量の基板は、力学的に不均衡な、中を材料が流れている流管１０２によって引き起こされた振動を十分に吸収できる。
【００５８】
処理接続部１０７、１０８、１０９、１１０は、管１０４、１０５、１０６を、流管１０２及び戻し管１０３の端部に接続する。これら処理接続部を、図４に詳細に示す。処理接続部は、ねじ１２４の切られた固定部分１１１を有している。図４に示すように、ロック穴１３０にセットスクリュー４１１をねじ込んで、要素１１１を基板１０１に固定する。処理接続部１０７から１１０の可動部分を、雄ねじ１２４上にねじ込んで、各管を、一部が六角ナット部分１１１となっている処理接続部の固定部分に接続する。これらの処理接続部は、周知の銅管フレア式処理接続部と同様に機能し、管１０４、１０５、１０６を、流管１０２及び戻し管１０３の端部に接続する。処理接続部に関する詳細は、更に図４に示している。ＲＴＤは、戻し管１０３の温度を検出し、検出した温度を示す信号を経路１２５でメーター電子機器へ送る、温度センサーである。
【００５９】
図２の説明
図２は、図１の流量計１００の平面図である。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯと励振器Ｄとは、それぞれコイルＣを含んでいる。これら各要素は、更に、図３に示すように、流管１０２の底部に取り付けられる磁石を含んでいる。これら各要素は、更に、励振器Ｄ用の１３３の様な薄片材料だけでなく、励振器Ｄ用の１４３の様な基板を含んでいる。薄片材料は、コイルＣ及びその巻き線端末が固定されているプリント配線盤を備えてもよい。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯも、対応する基板要素と、基板要素の上部に取り付けられている薄片とを有している。この配置により、磁石ＭをＰＦＡ流管の下側に接着する段階と、コイルＣを（励振器Ｄ用の）プリント配線盤１３３に接着する段階と、コイルＣの開口部を磁石Ｍの回りに配置する段階と、磁石ＭがコイルＣの開口部に完全に入り込むようにコイルＣを上方へ動かす段階と、次いで基板要素１４３をプリント配線盤１３３の下に配置する段階と、基板１４３の底部が接着剤によって重い基板１１６の表面に取り付けられるように、これらの要素を一体に接着する段階とによって、励振器又はピックオフを容易に取り付けられるようになる。
【００６０】
処理接続部１０７−１１０の雄ねじ１２４を図２に示す。これら各要素の内部詳細を図４に示す。開口部１３２は、導線１１２、１１３、１１４を収容する。図面の複雑さを最小に押させるため、図１のメーター電子機器１２１は、図２には示していない。しかしながら、導線１１２、１１３、１１４は、開口部１３２を通って伸張し、更に、図１の経路１２３を通り、図１のメーター電子機器１２１まで伸張しているものと理解されたい。
【００６１】
図３の説明
図３は、流管１０２の底部に取り付けられている磁石Ｍと、各要素ＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄの基板に取り付けられているコイルＣとを備えているピックオフＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄを示している。
【００６２】
図４の説明
図４は、図２の４−４線に沿う断面である。図４は、図３の全ての要素と、処理接続部１０８及び１０９とＯリング４３０の更なる詳細を開示している。Ｏリング４３０は、流管１０２を基板４０１に連結する。図４は、更に、基板１０１内の開口部４０２、４０３、４０４を開示している。これらの各開口部の上部は、ピックオフＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄの基板の下面まで伸張している。これら各要素に付帯するコイルＣ及び磁石Ｍも、図４に示している。図１のメーター電子機器１２１は、図面の複雑さを最小に押さえるため、図３及び図４には示していない。処理接続部１０８の要素４０５は流管１０２の入口であり、処理接続部１０９の要素４０６は流管１０２の出口である。
【００６３】
処理接続部１０８の固定部分１１１は、基板４０１に設けられた収容穴４２０の雌ねじにねじ込んで、固定部分１１１を基板１０１の区画４０１に固定する雄ねじ４０９を有している。右側の処理接続部１０９の固定部分は、同様に構成され、ねじ４０９によって、基板１０１の要素４０１内に設けられた収容穴４２０に取り付けられている。
【００６４】
処理接続部１０８の固定部分１１１は、更にねじ部１２４を有しており、このねじは、処理接続部１０８の可動部分４１５と噛み合う。処理接続部１０９も同様に構成されている。処理接続部１０８の固定要素１１１は、更に、その左側に円錐形の突出部(stub)４１３を有しており、これは、可動要素４１５と共にフレア式管継手として作用し、入口管１０４の右端を、固定部分１１１の円錐形突出部４１３上に押し付ける。これは、供給管１０４のフレア加工された開口部を、処理接続部の固定部分１１１の円錐形突出部部分４１３上にシール可能に取り付ける圧縮管継手を形成する。流管１０２の入口は、処理接続部の固定部分１１１内に配置され、突出部４１３の面４２５と面一になっている。このため、供給管１０４によって送られる処理材料は、流管１０２の入口４０５で受け入れられる。処理材料は、右へ、流管１０２を通って処理接続部１０９の固定部分１１１へと流れ、そこでは、流管１０２の出口４０６がスタグ４１３の面４２５と面一になっている。これにより、流管１０２の出口がコネクタ１０９にシール可能に取り付けられる。図１の他の処理接続部１０７及び１１０は、図４の処理接続部１０８及び１０９に関して詳細に説明されている接続部と同じである。
【００６５】
図５の説明
図５は、流量計５００の基板が単一の要素ではなく別体の構造物５１７と５１８を備えていることを除き図１の実施形態と同様の本発明の代替実施形態として、流量計５００を開示している。流管５０２及び戻し管５０３は、要素５１７、５１８を通り、処理接続部５１０を通って５０７まで伸張しており、これは全ての点で図１の処理接続部１１０を通って１０７に到るものに匹敵する。流量計基板要素５１７、５１８は別体になっており、それぞれ、流管５０２を含む力学的に不均衡な構造体に励振器Ｄが付与する振動を最小化できるだけの質量を有している。基板要素５１７及び５１８は、基板要素５１７及び５１８を支持している要素５１６の表面５１５上に載っている。
【００６６】
図５に示す全要素は、図１の相当する要素と同じ様式で作動する。この対応は、各要素の標記において、要素の部品番号の最初の数字だけを変えることで示している。従って、図１の供給管１０４は、図５の供給管５０４に対応する。
【００６７】
図６の説明
図６は、本発明の更に別の、図１の実施形態とは異なる流量計６００を備えた実施形態を開示しており、流量計６００は、２つの能動流管６０２及び６０３を有し、図１の基板１０１のような重い基板を必要としない力学的に均衡の取れた構造体を備えている。基板６０１の質量は、図１の基板よりかなり小さくてもよい。流量計６００は、図１の処理接続部１０７−１１０に匹敵する処理接続部６０７−６１０を有している。これに加えて、処理接続部６１１、６１２も有している。処理材料は、供給管６０４から流量計６００に入る。材料は、処理接続部６０８を介して、流管６０２の左端部まで延長される。流管６０２は、基板６０１の脚部６１８を通って処理接続部６０９へと伸張し、そこで管６１５に接続され、管６１５は、ループを描いて戻り、処理接続部６０７を介して流管６０３に到る。流管６０３は、励振器Ｄによって、流管６０２とは逆の位相で加振される。振動する流管６０２及び６０３のコリオリ応答は、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯによって検出され、導線（図示せず）を介してメーター電子機器（図の複雑さを最小化するために図示せず）に送られる。
【００６８】
管６０３を通る材料の流れは右へ進み、処理接続部６１０を介して管６０６まで延長される。管６０６は、ループを描いて戻り、処理接続部６１１及び管６１６を経由し、処理接続部６１２を通って戻り管６０５まで伸びる。戻り管６０５は、材料の流れをエンドユーザーの使用工程へと送る。
【００６９】
流管６００は、ＰＦＡ材料で形成されている流管６０２及び６０３を有する力学的に均衡の取れた構造体を備えている点で優れている。力学的に均衡の取れた構造体は、図１の重い基板１０１が不要な点で優れている。基板６０１が普通の質量であれば、振動するＰＦＡ管６０２及び６０３が材料の流れに関する出力情報を提供する。ＰＦＡ流管は、材料の流れが超高純度であることを保証する。
【００７０】
図７及び図８の説明
図７は、図１の流量計１００に匹敵する流量計７００の平面図を開示している。２つの実施形態の違いは、流量計７００が、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯに光学検出器を使用していることである。光学検出器の詳細を図８に示すが、流管７０２と共に、ＬＥＤ光源とフォトダイオードを備えており、ＬＥＤとフォトダイオードとの間に挟まれている部分７２０は、使い易いように不透明にされている。流管の静止位置で、基準量の光が、ＬＥＤからフォトダイオードへ送られ、基準出力信号を生成する。流管が下方向に動くと、フォトダイオードが受け取る光の量が増し、流管が上方向に動くと、フォトダイオードが受け取る光の量が減少する。フォトダイオードが受け取る光の量は、ＬＥＤと光源に関わる流管７０２部分のコリオリ振動の大きさを示す出力電流に変換される。フォトダイオードの出力は、導線７３０と７３２を通りメーター電子機器に送られるが、メーター電子機器は、図の複雑さを最小化するため図７には示していない。それ以外は、図７の実施形態は、全ての点で図１の実施形態と同じであり、供給管７０４、出口管７０５を、処理接続部７０７から７１０、流管７０２及び出口管７０３と共に含んでいる。流量計７００の部品と図１の相当する部品は、対応を付け易いように、各要素の番号の最初の数字を違えているだけである。
【００７１】
図９の説明
図９は、流量計９００に力学的平衡器９３２及び９３３が備えられている点を除き、図１の流量計１００と同じ流量計９００を開示している。基盤９０１は、図１の１０１よりも小さくて質量も少ない。力学的平衡器は、材料が満たされた振動している流管９０２を備えている力学的に不均衡な構造体によって、基板９０１の脚部９１７及び９１８に付与されている振動を打ち消す役割を果たす。図１の実施形態では、これらの振動は、重い基板１０１によって吸収される。この実施形態では、磁石が取り付けられている材料が満たされた流管の質量は約２グラムであり、基板の重量は約１２ポンドである。材料が満たされた振動流管１０２の寸法と質量の上限は、不均衡な振動を吸収するために備えなければならない基板の質量によって制限されるので、図１の流管の商業的な用途の範囲は制限されることになる。基板の質量と材料が満たされた振動流管の質量との間の比が、３０００対１のものを使えば、材料が満たされた流管の質量が１ポンド増えると、基板１０１の質量を３０００ポンド増さなければならないことになる。このことが、図１の流管１００の商業的用途の範囲を制限することは明らかである。
【００７２】
図９の流量計９００は、力学的平衡器９３２及び９３３が脚部９１７及び９１８に取り付けられており、力学的に不均衡な振動流管９０２によって脚部に付与される振動の大部分を吸収するので、商業的用途の範囲が広い。実際、力学的平衡器（ＤＢ）は、力学的平衡器の技術で周知の従来型の質量−ばね系を含む、どの様な型式のものでもよい。
【００７３】
図１０の説明
図１０は、図１０の力学的平衡器が能動型（ＡＤＢ）で、１０３２と１０３３で示されている点を除き、流量計９００と同じである流量計１０００を開示している。この能動型力学的平衡器は、経路１０２３、１０２４、１０２５、及び１０２６でメーター電子機器１０２１と、信号を交換することによって制御される。メーター電子機器１０２１は、力学的に不均衡な振動流管１００２が脚部１０１７へ掛けている振動を示す信号を、経路１０２３を介して能動型力学的平衡器１０３２から受信する。メーター電子機器は、これらの信号を受信し、流管の振動を打ち消すために経路１０２４を介して能動型力学的平衡器１０３２に掛けられる制御信号を生成する。この様に作動させると、能動型力学的平衡器１０３２を制御して、脚部１０１７の振動を所望の大きさに低減し、基板１００１の質量が、結果的に流量計１０００の商業的用途に受け入れられるレベルとなるようにすることができる。基板１００１の脚部１０１８の上に取り付けられてい能動型力学的平衡器１０３３は、脚部１０１７に取り付けられている能動型力学的平衡器について説明したのと同じ様式で作動する。
【００７４】
図１１の説明
図１１は、略Ｕ字型で、右側脚部１１０３、１１０４と、左側脚部１１０５、１１０６を有する二重流管１１０１、１１０２を含んでいる流量計１１００を備えた更に別の代替実施形態を開示している。側方脚部の底部は、「Ｙ」区画１１０７及び１１０８を形成するために接続され、「Ｙ」区画１１０７及び１１０８は、適当な基板に接続されてもよい。ここで、この適当な基板は、図面が複雑になるのを最小限にするために、図示していない。流量計１１００の二重流管は、ブレース・バー１１０９及び１１１０の軸Ｗ−Ｗ及び軸Ｗ’−Ｗ’の回りに力学的に均衡の取れた要素として振動する。流管１１０１及び１１０２は、Ｕ字型流管の上部に取り付けられている励振器Ｄによって、逆位相で駆動される。振動している材料が満たされた流管によって付与されるコリオリ変位は、右ピックオフＲＰＯ及び左ピックオフＬＰＯによって検出される。メーター電子機器１１２１は、経路１１２３で信号を送り、励振器Ｄに、流管１１０１、１１０２を逆位相で振動させる。コリオリ応答は、ピックオフＲＰＯ及びＬＰＯで検出され経路１１２２、１１２４を介してメーター電子機器１１２１へ送られ、メーター電子機器は、信号を処理し、材料の流れの情報を導き出し、それを、出力経路１１２４を介して利用回路（図示せず）へ送る。
【００７５】
図１２及び１３の説明
図１２及び１３は、励振器Ｄによって逆位相で加振される一対の流管１２０１及び１２０２を有する力学的に均衡の取れた流量計１２００を開示している。流管は、材料の流れを受け取り、励振器Ｄは、メーター電子機器１２２１から経路１２２３を介して受信した駆動信号に応じて両流管を逆位相で加振する。材料が満たされた振動流管のコリオリ応答は、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯで検出され、それらの出力は、導線１２２１及び１２２４を介してメーター電子機器に送られ、メーター電子機器は、受信した信号を処理して、材料の流れの情報を生成し、出力経路１２２５を介して利用回路（図示せず）へ送る。
【００７６】
図１４の説明
図１４は、内側の一対の上方向伸張側壁１４１７及び１４１８に加えて、外側の一対の上方向伸張側壁１４４３及び１４４４を有する重い基板１４０１を備えている本発明の代替実施形態１４００を開示している。一本の流管１４０２が、左側の入力処理接続部１４０８から、４つの上方向伸張側壁を通って、右側の出力処理接続部１４０９まで伸張している。流管１４０２は、励振器Ｄによって加振され、その結果、材料が中を流れている振動している流管に生じるコリオリ変位を、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯが検出し、表示されている経路を介して、信号を、図１で先に述べたのと同じ様式で機能するメーター電子機器１４２１へ送る。温度感知装置ＲＴＤは、材料が満たされた流管の温度を感知し、その情報を経路１４２５を介して、メーター電子機器１４２１へ送る。
【００７７】
図１４の流量計は、図１の流量計と２つの顕著な点で異なっている。第１は、図１４の実施形態は、単一の流管１４０２を使用している点である。材料の流れは、入力接続部１４０８からこの流管を通って延長され、流管の出力は、出力処理接続部１４０９を通して出力管１４０６へ送られ、ユーザーに供される。図１４の実施形態は、図１の部材１０３に匹敵する戻り流管を有さない。
【００７８】
重い基板１４０１は、二対の上方向伸張壁を有しているのに対して、図１の実施形態では、重い基板１０１は、一対の上方向伸張壁１１７及び１１８を有しているだけである。図１の一対の壁は、処理接続部１０７から１１０用の取り付け機能だけでなく、動きがゼロである振動の節(node)としての機能も果たしている。図１４では、内側対の壁１４１７及び１４１８が、流管１０２の動作部分の両端の動きがゼロである振動の節として機能する。外側対の上方向伸張壁１４４３及び１４４４は、左側に処理接続部１４０８を、右側に処理接続部１４０９を取り付けている。
【００７９】
使用時、処理材料を、処理接続部１４０８に接続されている管１４０４から受け取る。流管１４０２の入口も、処理接続部１４０８に接続されている。流管１４０２は、右へ、二対の側壁を通して、出力管１４０６が接続されている出力処理接続部１４０９まで、処理材料の流れを延長する。
【００８０】
上で具体的に述べていない図１４内の部品番号は、図１を含む上記各図内の対応する要素に類似しており、同じ機能を果たす。
図１５の説明
図１５は、殆どの点で図１の実施形態と同様な代替実施形態１５００を開示している。主な違いは、実施形態１５００では、後方流管１５０３は、図１の実施形態の戻り管１０３ほどには休止状態にないことである。代わりに、図１５では、後方管１５０３は、その励振器ＤＡで加振され、その結果生じる、この材料が中を流れている振動管のコリオリ変位は、ピックオフＬＰＯＡ及びＲＰＯＡにより検出される。それらの出力信号は、経路１５４２及び１５４４を介してメーター電子機器１５２１へ送られ、メーター電子機器は、流管１５０２のピックオフＬＰＯ及びＲＰＯからの信号だけではなく、これらの信号も受信し、材料の流れの情報を作成する。
【００８１】
処理材料は、図１５では流管１５０２を通って右へ流れ、管１５００を通り、そして流管１５０３を通って左へ流れる。この組になったピックオフの位相の逆転は、ピックオフＬＰＯＡ及びＲＰＯＡに対する接続部を逆にし、メーター電子機器１５２１が受信する全ピックオフからのコリオリ信号が加え合わされ、メーターの感度を高めるようにことによって補償することができる。
【００８２】
上で具体的に述べていない図１５内の部品は、機能において、図１５内の対応する要素と同じである。
図１６の説明
図１６は、図１４の実施形態と同様の代替実施形態１６００を開示している。違いは、上方向に伸張する内側の取り付け柱１６１７及び１６１８が、図１４の壁１４１７及び１４１８に替わっていることである。更に、上方向に伸張する外側の取り付け柱１６４３及び１６４５も、図１４の壁１４４３及び１４４５に替わっている。外側柱１６４３及び１６４５は、流管１６０２が柱１６１７及び１６１８を軸としてその回りに回転しないようにする。コネクタ１６０８及び１６０９は随意であり、必要であれば、流管１６０２が、柱１６４３及び１６４５を通って外方向に伸張し、入口管１６０４及び出口管１４０２に置き換わってもよい。伸張された流管は、ユーザーにより、下流及び上流でユーザーの設備に接続される。ユーザーの設備に接続される場合、流管１６０２は、図４に詳細に示しているのと同様の方法で、処理接続部１６０８及び１６０９に取り付けることができる。更に、流管１６０２は、図４に示しているのと同様な設計の処理接続部に取り付け、処理接続部のニップルと可動部分を各端部に配置することもできる。これにより、流管１６０２から処理接続部への圧縮管継手と、ユーザー設備から同じ処理接続部への圧縮管継手を形成できるようになる。柱１４４３及び１４４５は、コネクタ１６０８及び１６０９を使う際には、それらの取り付け具として機能する。
【００８３】
本発明の請求内容は、上記好適な実施形態の説明に限定されるものではなく、本発明の概念の範囲と精神に含まれるこの他の修正及び変更を包含することを、明確に理解頂きたい。例えば、ここに示している流量計の実施形態は上下逆向きとして作動させてもよく、その場合、励振器Ｄを、振動流管の上に配置し、励振器の熱を流管から上方向に逃がせるようにするのが望ましい。そうすると、流量計の精度又は出力データを悪化させる恐れのある熱応力から、流管をうまく隔離することができる。更に、ここに開示しているコリオリ流量計は、ここに開示した以外の用途を有している。例えば、開示されているコリオリ流量計は、流す処理材料が硝酸のように腐食性で、金属の湿潤流路を有する流量計を用いるには不適合である用途にも用いることができる。
【符号の説明】
【００８４】
１００      質量流量計
１０１      基板
１０２      流管
１０７      処理接続部
【図１】
2010156712.tif 000003
【図２】
2010156712.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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