(57)【要約】【課題】電気的特性の検査・調整の精度が向上された検査・調整システム及び検査・調整方法を提供する。【解決手段】センシング部と、第１アンテナと、固有の識別ＩＤを有する認証部と、が各センサチップの形成領域毎に設けられたウェハと、ウェハを配置する検査室と、検査室内を所定の測定環境に調整する環境調整部と、第１アンテナとの間で電磁波の送受信を行う第２アンテナと、第２アンテナと電気的に接続され、センシング部の検出信号に基づいて、各センサチップの電気的特性を調整する調整用データを算出するテスタと、を有するセンサチップの検査・調整装置と、を備え、第１アンテナに送信される電磁波として、第１アンテナに電力を生成するための電磁波と選択ＩＤが付加された電磁波とを有し、認証部は、自身が保有する識別ＩＤと選択ＩＤとが一致する場合に、第１アンテナとセンシング部を電気的に接続する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ素子及び該センサ素子の検出信号を処理する回路部を有するセンシング部と、電磁波を送受信し、且つ電磁波を受信することで電力を生成する第１信号送受信部と、固有の識別ＩＤを有し、且つ前記回路部と前記第１信号送受信部との電気的な接続を制御する認証部と、が各センサチップの形成領域毎に設けられたウェハと、
前記ウェハを配置する検査室と、前記検査室内を所定の測定環境に調整する環境調整部と、前記第１信号送受信部との間で電磁波の送受信を行う第２信号送受信部と、該第２信号送受信部と電気的に接続され、複数の異なる測定環境下において検出された前記センシング部の複数の検出信号に基づいて各センサチップの電気的特性を調整する調整用データを算出するテスタと、を有するセンサチップの検査・調整装置と、を備え、
前記第２信号送受信部を介して前記テスタから前記第１信号送受信部に送信される電磁波として、前記第１信号送受信部に電力を生成するための電磁波と、選択ＩＤが付加された電磁波と、を有し、
前記認証部は、自身が保有する前記識別ＩＤと前記選択ＩＤとが所定の対応関係にある場合に、前記第１信号送受信部と前記センシング部を電気的に接続することを特徴とするセンサチップの検査・調整システム。
【請求項２】
前記センサ素子は、感温素子であり、
前記環境調整部は、前記検査室内の環境が所定の温度となるように調整することを特徴とする請求項１に記載のセンサチップの検査・調整システム。
【請求項３】
前記センサ素子は、感圧素子であり、
前記環境調整部は、前記検査室内の環境が所定の温度と圧力になるように調整することを特徴とする請求項１に記載のセンサチップの検査・調整システム。
【請求項４】
前記センサ素子は、感湿素子であり、
前記環境調整部は、前記検査室内の環境が所定の温度と湿度になるように調整することを特徴とする請求項１に記載のセンサチップの検査・調整システム。
【請求項５】
前記センサ素子は、磁電変換素子であり、
前記環境調整部は、前記検査室内の環境が所定の温度と磁場になるように調整することを特徴とする請求項１に記載のセンサチップの検査・調整システム。
【請求項６】
前記第１信号送受信部はアンテナであり、
前記第１信号送受信部が、前記センサチップの周縁に設けられていることを特徴とする請求項１〜５いずれかに記載のセンサチップの検査・調整システム。
【請求項７】
請求項１〜６いずれかに記載のセンサチップの検査・調整システムを利用して、前記センサチップの電気的特性を検査・調整するセンサチップの検査・調整方法であって、
所定の前記測定環境下において、前記選択ＩＤを順次変更することで、各センシング部の検出信号を検出し、
前記測定環境を少なくとも１回調整し、該環境下において各センシング部の検出信号を検出し、
各センサチップにおける、異なる複数の前記測定環境下で検出された前記センシング部の検出信号に基づいて、各センサチップの電気的特性を調整する調整用データを算出し、
前記調整用データに基づいて、前記センサチップの電気的特性を調整することを特徴とするセンサチップの検査・調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサチップの電気的特性を検査・調整するセンサチップの検査・調整システム、及びその検査・調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に示されるように、湿度を検出する検出部と該検出部の検出信号を処理する回路部が１チップに構成された湿度センサを、１チップ毎に分割される前のウェハの状態で配置する検査室と、該検査室内において、回路部の電極パッドと直接接触される接触子としてのプローブと、該プローブと電気的に接続され、湿度センサの電気的特性を検査し、且つ電気的特性を調整するテスタと、検査室内が所定の湿度及び温度となるように調整する温湿度調整部と、を備える湿度センサの検査装置が提案されている。このように、特許文献１に示される検査装置は、温湿度調整部によって検査室内の温度と湿度を所定条件に調整することができるので、テスタによって、プロービングテスト（ＩＣチップの電気的な良否判定）だけでなく、湿度センサの電気的特性（感度、感度の温度特性、オフセット、及びオフセットの温度特性）の検査・調整を行うことができるようになっている。
【特許文献１】特開２００６−２５０５７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、特許文献１に示される検査装置は、回路部の電極パッドとプローブを直接接触させることで、回路部とテスタとを電気的に接続している。幾度もプローブを介して電気信号の送受信を行うと、導電体であるプローブに電荷の蓄積（寄生容量）が生じ、これにより、検査・調整を行うための電気信号に変動が生じ、電気的特性の検査・調整に誤差が生じる虞がある。
【０００４】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、電気的特性の検査・調整の精度が向上された検査・調整システム及び検査・調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、センサ素子及び該センサ素子の検出信号を処理する回路部を有するセンシング部と、電磁波を送受信し、且つ電磁波を受信することで電力を生成する第１信号送受信部と、固有の識別ＩＤを有し、且つ回路部と第１信号送受信部との電気的な接続を制御する認証部と、が各センサチップの形成領域毎に設けられたウェハと、ウェハを配置する検査室と、検査室内を所定の測定環境に調整する環境調整部と、第１信号送受信部との間で電磁波の送受信を行う第２信号送受信部と、該第２信号送受信部と電気的に接続され、複数の異なる測定環境下において検出されたセンシング部の複数の検出信号に基づいてセンサチップの電気的特性を調整する調整用データを算出するテスタと、を有するセンサチップの検査・調整装置と、を備え、第２信号送受信部を介してテスタから第１信号送受信部に送信される電磁波として、第１信号送受信部に電力を生成するための電磁波と、選択ＩＤが付加された電磁波と、を有し、認証部は、自身が保有する識別ＩＤと選択ＩＤとが所定の対応関係にある場合に、第１信号送受信部とセンシング部を電気的に接続することを特徴とする。
【０００６】
このように本発明によれば、第２信号送受信部を介すことで、テスタとセンサチップとを非接触で電気的に接続することができる。したがって、従来のように、ウェハに形成された各センサチップにおける回路部の電極パッドとプローブとを直接接触させなくともよく、プローブの寄生容量の影響を失くすことができる。これにより、電気的特性の検査・調整の精度が向上される。
【０００７】
このように、上記した検査・調整システムは、電気的特性の検査・調整の精度が向上された検査・調整システムとなっている。
【０００８】
請求項２に記載のように、センサ素子としては、感温素子を採用することができる。この場合、環境調整部は、検査室内の環境が所定の温度となるように調整する。
【０００９】
請求項３に記載のように、センサ素子としては、感圧素子を採用することができる。この場合、環境調整部は、検査室内の環境が所定の温度と圧力になるように調整する。
【００１０】
請求項４に記載のように、センサ素子としては、感湿素子を採用することができる。この場合、環境調整部は、検査室内の環境が所定の温度と湿度になるように調整する。
【００１１】
請求項５に記載のように、センサ素子としては、磁電変換素子を採用することができる。この場合、環境調整部は、検査室内の環境が所定の温度と磁場になるように調整する。
【００１２】
請求項６に記載のように、第１信号送受信部としては、アンテナが好ましい。これによれば、電磁波をアンテナで受信することで、その電磁エネルギーを電力に変換し、センサチップを駆動させる駆動電力を得ることができる。これによりセンサチップの給電を非接触で行うことができる。また、第１信号送受信部が、センサチップの周縁に設けられているので、電磁波の指向性に依らず、電磁波を受信することができる。
【００１３】
なお、請求項７に記載の発明は、請求項１に記載の発明の作用効果と同様であるので、その記載を省略する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を、センサ素子として感圧素子を採用した場合の実施形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査・調整システムの概略構成を示すブロック図である。図２は、多数のセンサチップの形成領域が設けられたウェハを示す平面図である。図３は、センサチップの概略構成を示すブロック図である。図４及び図５は、電気的特性の検査・調整方法を示すフロー図である。
【００１５】
図１及び図２に示すように、検査・調整システム１００は、要部として、多数のセンサチップの形成領域１０（以下、センサチップの形成領域１０を、単にセンサチップ１０と示す）が設けられたウェハ１１と、該ウェハ１１を配置する検査室２０、センサチップ１０の第１アンテナ１６と電磁波によって電気的に接続される第２アンテナ３０、検査室２０の内部空間２０ａを所定の測定環境に調整する環境調整部４０、及びセンシング部１５の検出信号に基づいて、センサチップ１０の調整用データを算出するテスタ５０を備える検査・調整装置６０と、を有している。
【００１６】
図２に示すように、１枚のウェハ１１には多数のセンサチップ１０が設けられており、各センサチップ１０は、図３に示すように、基板１２と、圧力を測定する感圧素子１３及び該感圧素子１３の検出信号を処理する回路部１４を有するセンシング部１５（図３に示す破線で囲まれた部位）と、電磁波の送受信を行い、且つ電磁波を受信することで給電を行う第１アンテナ１６と、固有の識別ＩＤを有し、且つ第１アンテナ１６とセンシング部１５との電気的な接続を制御する認証部１７と、を備えている。センサチップ１０が起動された状態において、第１アンテナ１６が電磁波を受信すると、該電磁波が第１アンテナ１６によって電流（電気信号）に変換され、該電気信号が第１アンテナ１６から認証部１７に出力される。後述するように、該電気信号に、認証部１７が保有している識別ＩＤと一致する選択ＩＤが付加されている場合、認証部１７によって第１アンテナ１６とセンシング部１５とが電気的に接続され、該電気信号が認証部１７からセンシング部１５に出力される。そして、該電気信号にセンシング部１５への動作指示が付加されている場合、該動作指示に従って、センシング部１５が動作される。動作指示にセンシング部１５の検出信号を検出する指示が付加されている場合、センシング部１５によって検出信号が検出され、該検出信号がセンシング部１５から第１アンテナ１６に出力され、該検出信号が第１アンテナ１６によって後述する第２アンテナ３０に送信される。なお、本実施形態では、図３に示すように、第１アンテナ１６が基板１２の一辺に配置される例を示した。しかしながら、第１アンテナ１６を、基板１２の外縁に沿うように配置しても良い。これにより、センサチップ１０に送信される電磁波の指向性に依らずに、電磁波を第１アンテナ１６によって受信することができる。
【００１７】
認証部１７は、自身が保有している識別ＩＤと、第２アンテナ３０及び第１アンテナ１６を介してテスタ５０から送信される指示信号に含まれる選択ＩＤとが一致するか否かを監視するものである。そして、識別ＩＤと選択ＩＤとが一致した場合には、第１アンテナ１６とセンシング部１５とを電気的に接続し、一致しない場合には、第１アンテナ１６とセンシング部１５との電気的な接続を遮断する。したがって、選択ＩＤが付加された指示信号を、第２アンテナ３０及び第１アンテナ１６を介してテスタ５０から各センサチップ１０の認証部１７に送信することで、選択ＩＤと一致する識別ＩＤを有する唯１つの認証部１７を備えるセンサチップ１０におけるセンシング部１５とテスタ５０とを電気的に接続することができる。これにより、ウェハ１１に多数形成されたセンサチップ１０のうち、選択ＩＤと一致する識別ＩＤを備えたセンサチップ１０のみを、検査・調整対象とすることができる。
【００１８】
検査室２０は、ウェハ１１を自身の内部空間２０ａに配置するものである。本実施形態では、内部空間２０ａの温度と圧力が調整されるので、検査室２０として、耐熱性及び耐圧性を有する容器を採用することができる。検査室２０は、ウェハ１１を搭載する支持台（図示略）を有しており、該支持台によって、ウェハ１１が第２アンテナ３０と相対するように、内部空間２０ａに配置される。検査室２０には、後述する圧力調整部４２が圧力供給管７０を介して接続され、内部空間２０ａが密閉状態となっている。
【００１９】
第２アンテナ３０は、センサチップ１０の第１アンテナ１６との間で電磁波の送受信を行うものである。第２アンテナ３０には、後述するテスタ５０が配線７１を介して電気的に接続されており、配線７１と第２アンテナ３０を介すことで、テスタ５０と第１アンテナ１６とが、非接触で電気的に接続されるようになっている。第２アンテナ３０から第１アンテナ１６への電磁波の送信は、テスタ５０の制御部５１によって制御される。
【００２０】
環境調整部４０は、内部空間２０ａの環境を所定の測定環境に調整するものである。図１に示すように、本実施形態に係る環境調整部４０は、ヒータ及び温度計を備える温度調整部４１と、開閉弁４３、圧力ポンプ４４、及び圧力計を備える圧力調整部４２と、を有している。温度調整部４１は、検査室２０の壁面に設けられ、圧力ポンプ４４は、圧力供給管７０を介して内部空間２０ａと接続されている。環境調整部４０には、後述するテスタ５０が配線７２を介して電気的に接続されており、該テスタ５０の制御部５１によって、温度計及び圧力計の値が監視され、内部空間２０ａの環境が所定の測定環境となるように、温度調整部４１におけるヒータの駆動及び圧力調整部４２における開閉弁４３の開度が制御される。例えば、非駆動状態のヒータに制御部５１から駆動信号が入力されると、ヒータが駆動し、検査室２０の壁面を介してヒータの熱が内部空間２０ａに伝達され、内部空間２０ａの温度が上昇する。また、閉状態の開閉弁４３に制御部５１から開信号が入力されると、開閉弁４３が開状態となり、圧力供給管７０を介して圧力ポンプ４４と内部空間２０ａが連通され、内部空間２０ａの圧力が変動する。
【００２１】
テスタ５０は、第２アンテナ３０及び環境調整部４０を制御する制御部５１と、センシング部１５の検出信号、及び測定環境下での規定の電気的特性値を記憶する記憶部５２と、センシング部１５の検出信号及び規定の電気的特性値に基づいて、センサチップ１０の電気的特性（感度、感度の温度特性、オフセット、及びオフセットの温度特性）を調整するために必要な調整用データを算出する算出部５３と、を有している。
【００２２】
次に、上記したセンサチップ１０の電気的特性を検査・調整する検査・調整方法を、図４及び図５に示すフローに基づいて説明する。先ず、検査室２０の内部空間２０ａに、図示しない支持台によって、ウェハ１１を第２アンテナ３０と相対するように配置し、内部空間２０ａを密閉状態とする（ステップ１０）。以上が、配置工程である。
【００２３】
配置工程終了後、制御部５１から環境調整部４０に、内部空間２０ａを所定の測定環境に調整するように、第１環境調整信号が伝達される（ステップ２０）。内部空間２０ａの環境は、初め、室温且つ大気圧に調整される。以上が、第１環境調整工程である。
【００２４】
第１環境調整工程終了後、配線７１及び第２アンテナ３０を介して、テスタ５０からウェハ１１における各センサチップ１０の第１アンテナ１６に、先ず、センサチップ１０を起動するための電磁波（起動信号）が送信され、それに続いて、選択ＩＤ、及びセンシング部１５の検出信号（第１検出信号）を検出する指示が付加された第１検査指示信号が送信される。各センサチップ１０の第１アンテナ１６が、起動信号を受信すると、第１アンテナ１６の共振により駆動電力（交流電流）が生成され、これにより認証部１７及びセンシング部１５が動作可能状態となる。そして、各センサチップ１０の第１アンテナ１６が、第１検査指示信号を受信すると、該第１検査指示信号が第１アンテナ１６から認証部１７に出力される。すると、各々の認証部１７は、自身が保有している識別ＩＤと第１検査指示信号に含まれる選択ＩＤとが一致するか否かを認証する。ウェハ１１に形成されたセンサチップ１０は、それぞれ固有の識別ＩＤを有しているので、上記した第１検査指示信号に含まれる選択ＩＤと一致する識別ＩＤを有する認証部１７は唯１つである。したがって、第１検査指示信号に付加された選択ＩＤと一致する識別ＩＤを有する認証部１７においてのみ選択ＩＤと識別ＩＤとの一致が認証され、該認証部１７を介して第１アンテナ１６とセンシング部１５とが電気的に接続される。これにより、第１検査指示信号が認証部１７からセンシング部１５に出力される。すると、第１検査指示信号に付加された指示に従って、センシング部１５は、感圧素子１３によって内部空間の圧力を測定し、且つ該圧力を回路部１４によって処理することで第１検出信号を検出する。そして、該第１検出信号が、センシング部１５から第１アンテナ１６に出力され、第１アンテナ１６によって、第１検出信号が第２アンテナ３０に送信される。第２アンテナ３０に送信された第１検出信号を、配線７１を介してテスタ５０が受信すると、テスタ５０の記憶部５２に、第１検査指示信号に付加された選択ＩＤとともに第１検出信号が記憶される（ステップ３０）。そして、上記した測定環境下（室温且つ大気圧）において、起動信号と、選択ＩＤが順次変化された第１検査指示信号をウェハ１１における各センサチップ１０の第１アンテナ１６に送信することで、各センサシップ１０におけるセンシング部１５の第１検出信号を検出し、且つ該第１検出信号を選択ＩＤとともに、記憶部５２に記憶させる（ステップ４０）。これにより、全てのセンサチップ１０におけるセンシング部１５の第１検出信号が、選択ＩＤとともに、記憶部５２に記憶される。以上が、第１検出工程である。
【００２５】
第１検出工程終了後、テスタ５０の制御部５１から環境調整部４０に、内部空間２０ａを新たな測定環境に調整するように、第２環境調整信号が送信される（ステップ５０）。これにより、内部空間２０ａの環境が、室温且つ大気圧から室温且つ高気圧に調整される。以上が、第２環境調整工程である。
【００２６】
第２環境調整工程終了後、配線７１及び第２アンテナ３０を介して、テスタ５０からウェハ１１における各センサチップ１０の第１アンテナ１６に、起動信号と、選択ＩＤ、及び感圧素子１３の検出信号（第２検出信号）を検出する指示が付加された第２検査指示信号が送信される。これにより、室温且つ高気圧におけるセンシング部１５の第２検出信号が、第２検査指示信号に付加された選択ＩＤとともに、テスタ５０の記憶部５２に記憶される（ステップ６０）。そして、上記した測定環境下（室温且つ高気圧）において、起動信号と選択ＩＤが順次変化された第２検査指示信号を、配線７１及び第２アンテナ３０を介して、テスタ５０からウェハ１１における各センサチップ１０に送信することで、各センサチップ１０におけるセンシング部１５の第２検出信号を検出し、且つ該第２検出信号を選択ＩＤとともに、記憶部５２に記憶させる（ステップ７０）。これにより、全てのセンサチップ１０におけるセンシング部１５の第２検出信号が、選択ＩＤとともに、記憶部５２に記憶される。以上が、第２検出工程である。
【００２７】
第２検出工程終了後、テスタ５０の制御部５１から環境調整部４０に、内部空間２０ａを新たな測定環境に調整するように、第３環境調整信号が送信される（ステップ８０）。これにより、内部空間２０ａの環境が、室温且つ高気圧から高温且つ大気圧に調整される。以上が、第３環境調整工程である。
【００２８】
第３環境調整工程終了後、配線７１及び第２アンテナ３０を介して、テスタ５０からウェハ１１における各センサチップ１０の第１アンテナ１６に、起動信号と、選択ＩＤ、及び感圧素子１３の検出信号（第３検出信号）を検出する指示が付加された第３検査指示信号が送信される。これにより、高温且つ大気圧におけるセンシング部１５の第３検出信号が、第３検査指示信号に付加された選択ＩＤとともに、テスタ５０の記憶部５２に記憶される（ステップ９０）。そして、上記した測定環境下（高温且つ大気圧）において、起動信号と選択ＩＤが順次変化された第３検査指示信号を、配線７１及び第２アンテナ３０を介して、テスタ５０からウェハ１１における各センサチップ１０に送信することで、各センサチップ１０におけるセンシング部１５の第３検出信号を検出し、且つ該第３検出信号を選択ＩＤとともに、記憶部５２に記憶させる（ステップ１００）。これにより、全てのセンサチップ１０におけるセンシング部１５の第３検出信号が、選択ＩＤとともに、記憶部５２に記憶される。以上が、第３検出工程である。
【００２９】
第３検出工程終了後、上記したステップで記憶部５２に記憶された各センサチップ１０の第１〜第３検出信号、及び上記した測定環境下における規定の電気的特性値に基づいて、全てのセンサチップ１０における電気的特性の調整に必要な調整用データを算出する（ステップ１１０）。感圧素子１３における感度の調整及びオフセットの調整に必要な調整用データは、第１検出信号、第２検出信号、室温且つ大気圧における規定の電気的特性値、及び室温且つ高気圧における規定の電気的特性値に基づいて、算出部５３によって算出される。そして、感圧素子１３における感度の温度特性の調整及びオフセットの温度特性の調整に必要な調整用データは、第１検出信号、第３検出信号、室温且つ大気圧における規定の電気的特性値、及び高温且つ大気圧における規定の電気的特性値に基づいて、算出部５３によって算出される。以上が、算出工程である。
【００３０】
算出工程終了後、選択ＩＤ、及び調整用データを回路部１４のメモリ（図示略）に記憶する指示が付加された調整指示信号を、テスタ５０からウェハ１１における各センサチップ１０に、順次送信する（ステップ１２０）。これにより、全てのセンサチップ１０における回路部１４のメモリに、調整用データが書き込まれ、センサチップ１０の電気的特性が調整される。以上が、調整工程である。以上のステップを経ることで、センサチップ１０の電気的特性の検査・調整を終了する。
【００３１】
次に、本実施形態で示した検査・調整システム１００及びその検査・調整方法の効果を説明する。上記したように、配線７１及び第２アンテナ３０を介すことで、テスタ５０とセンサチップ１０の第１アンテナ１６とが、非接触で電気的に接続される構成となっている。したがって、従来のように、回路部の電極パッドとプローブとを接触させなくともよく、プローブの寄生容量の影響を失くすことができる。これにより、電気的特性の検査・調整の精度が向上される。
【００３２】
このように、上記した検査・調整システム１００及びその検査・調整方法は、電気的特性の検査・調整の精度が向上された検査・調整システム及び検査・調整方法となっている。
【００３３】
また、第２アンテナ３０を介してテスタ５０から第１アンテナ１６に送信される検査指示信号及び調整指示信号には選択ＩＤが付加されており、認証部１７は、自身が保有する固有の識別ＩＤと選択ＩＤとが一致した場合に、第１アンテナ１６と回路部１４とを電気的に接続する。したがって、ウェハ１１に多数形成されたセンサチップ１０のうち、選択ＩＤと一致する識別ＩＤを備えたセンサチップ１０のみを、テスタ５０と非接触で電気的に接続することができる。これにより、従来のように、ウェハに形成された各センサチップにおける回路部の電極パッドとプローブとを高精度に接触させなくとも良い。
【００３４】
また、センサチップ１０は電磁波を送受信する第１アンテナ１６を有しているので、センサチップ１０がウェハ１１から１枚のチップ毎に分割され、パッケージ化された状態であっても、電磁波を介すことで、センサチップ１０の電気的特性の検査・調整を行うことができる。これにより、センサチップ１０の検査・調整を行うための新たな端子や、該端子とセンサチップ１０とを接続するための新たなワイヤボンディングを設けなくとも良く、コストを削減することができる。
【００３５】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
【００３６】
本実施形態では、センサ素子として、感圧素子１３を採用した例を示した。しかしながら、センサ素子としては上記例に限定されず、例えば感温素子を採用することができる。この場合、環境調整部４０は温度調整部を有しており、内部空間２０ａの環境が所定の温度となるように調整される。また、センサ素子としては、感湿素子を採用することもできる。この場合、環境調整部４０は温度調整部と湿度調整部を有しており、内部空間２０ａの環境が所定の温度と湿度になるように調整される。また、センサ素子としては、磁電変換素子を採用することもできる。この場合、環境調整部４０は温度調整部と磁界発生部（例えばヘルムホルツコイル）を有しており、内部空間２０ａの環境が所定の温度と磁場になるように調整される。
【００３７】
本実施形態では、３つの異なる測定環境下において、センシング部１５の検出信号を検出し、該検出信号、及び該測定環境下における規定の電気的特性値に基づいて調整用データを算出する例を示した。しかしながら、例えば、感圧素子１３における感度の調整及びオフセットの調整に必要な調整用データのみを算出するのであれば、室温且つ大気圧及び室温且つ高気圧において、センシング部１５の検出信号を検出し、該検出信号、及び２つの異なる測定環境下における規定の電気的特性値に基づいて調整用データを算出しても良い。すなわち、少なくとも２つの測定環境下におけるセンシング部１５の検出信号を検出することができれば良い。
【００３８】
本実施形態では、第１アンテナ１６が起動信号との共振により駆動電力を得る方法（電波方式）を説明した。しかしながら、駆動電力を得る方法は上記例に限定されず、例えば電磁誘導方式を採用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１実施形態に係る検査・調整システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】多数のセンサチップの形成領域が設けられたウェハを示す平面図である。
【図３】センサチップの概略構成を示すブロック図である。
【図４】電気的特性の検査・調整方法を示すフロー図である。
【図５】電気的特性の検査・調整方法を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０・・・センサチップ
１１・・・ウェハ
１５・・・センシング部
１６・・・第１アンテナ
１７・・・認証部
２０・・・検査室
３０・・・第２アンテナ
４０・・・環境調整部
５０・・・テスタ
６０・・・検査・調整装置
１００・・・検査・調整システム
【図１】
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【図２】
2010067789.tif 000004
【図３】
2010067789.tif 000005
【図４】
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【図５】
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