(57)【要約】      （修正有）【課題】安全にワークを取り出すことが可能なワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法を提供すること。【解決手段】一対の回転軸１４を回転させることによりフック部材１５を回転させ、ワーク搬出口７まで移動しているワークテーブル５上のワークＷがマウントされたフレームＦを下面側から持ち上げる。フレームが水平な保持位置まで上昇するとトレイ１３のロックが外れて開閉可能となり、ガイドレール１２によりトレイをワーク搬出口より引き出してワークを搬出する。【選択図】図３
2010171321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープを介してフレームにマウントされたワークをワークテーブル上に載置して回転するブレードで加工を行うダイシング装置のカバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、
前記ワーク搬出口へ移動した前記ワークテーブル上に載置された前記フレームの外周部近傍に略平行に設けられ、回転することにより前記フレームを持ち上げるとともに持ち上げた前記フレームを保持する一対のフック部材と、
前記トレイに設けられた前記フック部材を回転させる一対の回転軸と、
前記トレイを前記ワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールと、を備えたことを特徴とするワーク搬出トレイ。
【請求項２】
前記トレイは前記フック部材が前記フレームを保持位置まで引き上げた際に外れるロック機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬出トレイ。
【請求項３】
前記回転軸はロータリーシリンダーにより回転することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク搬出トレイ。
【請求項４】
テープを介してフレームにマウントされたワークをワークテーブル上に載置して回転するブレードで加工を行うダイシング装置において、
カバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、前記ワーク搬出口へ移動した前記ワークテーブル上に載置された前記フレームの外周部近傍に略平行に設けられ回転することにより前記フレームを持ち上げるとともに持ち上げた前記フレームを保持する一対のフック部材と、前記トレイに設けられた前記フック部材を回転させる一対の回転軸と、前記トレイを前記ワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールと、を備え、
前記回転軸を回転させることにより前記フック部材を回転させて前記フレームを下面側から持ち上げて水平に保持し、前記ガイドレールにより前記トレイを前記ワーク搬出口より引き出して前記ワークを搬出することを特徴とするワーク搬出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたワークを加工するダイシング装置よりワークを搬出するワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、少なくともスピンドルによって高速に回転されるダイヤモンド砥粒等により形成される薄い円盤状のブレードと、ワークを吸着保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸とが設けられている。ワークを加工する際には冷却や潤滑用の切削液が回転するブレードまたはワークとブレードとが接触する加工点へノズルより供給されるとともに各移動軸によりブレードとワークとが相対的に移動され、ブレードによりワークが切削されることで切断や溝入れ加工がワークに施される。
【０００３】
図１にダイシング装置の例を示す。ダイシング装置１は、互いに対向配置され、先端にブレード２とホイールカバー（不図示）が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル３、３と、フレームＦにテープＴを介してマウントされたワークＷ表面を撮像する撮像手段４と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル５と、ブレード２とワークテーブル５を相対的に移動させる不図示の移動軸とを有する加工部６が設けられている。加工部６には隣接してワークＷの搬出を行うワーク搬出口７が設けられ、ワーク搬出口７には加工時に加工部６内に飛散する切削水などが外部に流出することを防ぐ開閉可能なカバー８が設けられている。
【０００４】
この他ダイシング装置では加工済みのワークＷをスピン洗浄するウェーハ洗浄装置、ワークＷを多数枚収納したカセットを載置するロードポート、ワークＷを搬送する搬送手段などを備えたものもある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
このように構成されるダイシング装置１では、ブレード２が１００００ｒｐｍから６００００ｒｐｍの回転数で高速に回転されて危険な為、カバー８が開状態の際にはブレード２を回転させることが出来ず、ブレード２の回転が開始されるとカバー８にロックがかかり開放不可となる。これにより、ブレード２回転中は加工部６内の各部を直接触れることが出来ない状態となり作業者の安全が確保される。
【特許文献１】特開２００７−２４２７２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ダインシング装置では、加工の前後でワークを交換するためカバーを開ける必要が有る。また、加工途中のワークの加工状態のチェックや不具合が生じたワークの搬出など、加工中のワークを出し入れする必要が生じる場合がある。このような場合、ダイシング装置ではブレードの回転を停止させなければカバーを開けることが出来ないため、一度ブレードの回転を停止させた後にカバーを開けてワークの出し入れを行い、カバーを閉めてから再度ブレードの回転を開始する。ところが、ブレードの回転は非常に高速であってブレードの完全な回転停止、回転再開には多くの時間がかかり、作業時間が非常に長くなりコストの増加や装置の稼動効率の低下を生じていた。
【０００７】
本発明はこのような問題に対して成されたものであり、カバーを開けてブレードの回転を止めることなく安全にワークを取り出すことが可能なワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために本発明は、テープを介してフレームにマウントされたワークをワークテーブル上に載置して回転するブレードで加工を行うダイシング装置のカバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、前記ワーク搬出口へ移動した前記ワークテーブル上に載置された前記フレームの外周部近傍に略平行に設けられ、回転することにより前記フレームを持ち上げるとともに持ち上げた前記フレームを保持する一対のフック部材と、前記トレイに設けられた前記フック部材を回転させる一対の回転軸と、前記トレイを前記ワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールと、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
また本発明は前記発明において、前記トレイは前記フック部材が前記フレームを保持位置まで引き上げた際に外れるロック機構を備えていることを特徴としている。
【００１０】
更に本発明は前記発明において、前記回転軸はロータリーシリンダーにより回転することを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、ワーク搬出トレイはカバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、ワーク搬出口へ移動したワークテーブル上に載置されたフレームの外周部近傍に略平行に設けられ、回転することによりフレームを持ち上げるとともに持ち上げたフレームを保持する一対のフック部材と、トレイに設けられた一対の回転軸と、トレイをワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールとを備えている。
【００１２】
ブレード回転中にワークを取り出す際には、一対の回転軸を回転させることによりフック部材を回転させ、ワーク搬出口まで移動しているワークテーブル上のワークがマウントされたフレームを下面側から持ち上げる。フレームが水平な保持位置まで上昇するとトレイのロックが外れて開閉可能となり、ガイドレールによりトレイをワーク搬出口より引き出してワークが搬出される。
【００１３】
これにより、ブレード回転中でもカバーを開けることなく安全にワークを取り出すことが可能となる。カバーが開けられないためブレードの回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明のワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法によればカバーを開けてブレードの回転を止めることなく安全にワークを取り出すことが可能となり、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面に従って本発明に係るワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法の好ましい実施の形態について詳説する。まず、本発明に係わるワーク搬出トレイの構成について説明する。図２は本発明に係わるワーク搬出トレイが設けられたダイシング装置を示した斜視図、図３はワーク搬出トレイによりワーク搬出口より取り出されたワークの様子を示した斜視図である。
【００１６】
ダイシング装置１０は、互いに対向配置され、先端にブレード２とホイールカバー（不図示）が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル３、３と、フレームＦにテープＴを介してマウントされたワークＷ表面を撮像する撮像手段４と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル５と、ブレード２とワークテーブル５を相対的に移動させる移動軸１７とを有する加工部６が設けられている。加工部６には隣接してワークＷの搬出を行うワーク搬出口７が設けられ、ワーク搬出口７には加工時に加工部６内に飛散する切削水などが外部に流出することを防ぐ開閉可能なカバー８が設けられている。
【００１７】
ワーク搬出口７の下部にはワーク搬出トレイ１１が設けられている。ワーク搬出トレイ１１には、ベース鋳物１８と架台フレーム１９との間に設けられたガイドレール１２、１２にガイドされたトレイ１３と、トレイ１３に設けられた一対の回転軸１４、１４と、ワーク搬出口７へ移動したワークテーブル５上に載置されたフレームＦの外周部近傍に略平行に設けられた一対のフック部材１５、１５とが備えられている。
【００１８】
トレイ１３はガイドレール１２によりワーク搬出口７より出し入れ自在に移動可能に設けられている。また、トレイ１３には不図示のロック機構が備えられ、フレームＦが持ち上げられていない際の移動が制限される。
【００１９】
回転軸１４、１４はエアーや電気を駆動源とするロータリーシリンダー１６、１６を介してトレイ１３へ設けられている。回転軸１４はロータリーシリンダー１６により軸を中心に回転してフック部材１５を回転させる。これにより、ワーク搬出口７まで移動しているワークテーブル５上に載置されたワークＷをマウントしているフレームＦを下面側から持ち上げる。
【００２０】
フック部材１５により持ち上げられたフレームＦが水平な保持位置まで上昇すると、トレイ１３のロックが外れて移動可能となり、ガイドレール１２によりトレイ１３をワーク搬出口７より引き出して図３に示すようにワークＷが搬出される。
【００２１】
これにより、ブレード２回転中でもカバー８を開けることなく安全にワークＷをワーク搬出口７より出し入れすることが可能となる。カバー８が開けられないためブレード２の回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
【００２２】
なお、本実施の形態において回転軸１４の回転はロータリーシリンダー１６により行っているが、本発明はこれに限らず外部に設けたハンドル等により手動で回転軸１４を回転させてもよい。
【００２３】
次に本発明に係わるワーク搬出方法について説明する。図４はワーク搬出トレイによりフレームを持ち上げる様子を示した断面図である。
【００２４】
本発明に係わるワーク搬出トレイが設けられたダイシング装置１０は、図２に示すように先端にブレード２とホイールカバー（不図示）が取付けられたスピンドル３、３と、フレームＦにテープＴを介してマウントされたワークＷ表面を撮像する撮像手段４と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル５と、ブレード２とワークテーブル５を相対的に移動させる移動軸１７とを有する加工部６が設けられている。加工部６には隣接してワークＷの搬出を行うワーク搬出口７が設けられ、ワーク搬出口７には開閉可能なカバー８が設けられている。ワーク搬出口７の下部にはワーク搬出トレイ１１が設けられている。
【００２５】
ダイシング装置１０では、まずワーク搬出口７よりフレームＦにマウントされたワークＷが搬入されてワークテーブル５上に吸着載置される。ワークテーブル５上にワークＷが吸着載置されるとカバー８が閉じられブレード２が回転を開始する。続いて撮像手段４と不図示の移動手段によりワークＷがアライメントされ、アライメント後ワークＷは回転するブレード２によりダイシングされる。ブレード２が回転している間はカバー８にロックがかかり、開閉不可となる。
【００２６】
このようにワークＷのダイシング加工が行われ、ダイシング加工が終了するまたは何らかの問題でワークＷをダイシング加工中に取り出す必要が生じた際には、まずワークテーブル５がブレード２下方から図４（Ａ）に示すようにワーク搬出口７へ移動して停止し、ワークＷの吸着を解除する。
【００２７】
ワークテーブル５がワーク搬出口７に移動した後、図４（Ｂ）に示すように、ロータリーシリンダー１６により回転軸１４が矢印θ方向に回転してフック部材１５がフレームＦの下面側に接触する。
【００２８】
続いて、図４（Ｃ）に示すように、更に回転軸１４が回転してフック部材１５がフレームＦ保持位置である水平位置まで移動したところで回転軸１４の回転が停止しフレームＦが保持される。フレームＦが水平位置まで上昇して保持されるとトレイ１３のロックが解除され、ワークＷはフレームＦとトレイ１３とともにワーク搬出口７より搬出される。
【００２９】
ワークＷ搬出後は新たなまたは確認の終了したワークＷがフレームＦにテープＴを解してマウントされた状態でフック部材１５上に載置される。
【００３０】
フック部材１５上に載置されたワークＷはワーク搬出トレイ１１により再びワーク搬出口７へ搬入される。ワークＷがワーク搬出口７へ搬入された後は、ロータリーシリンダー１６により回転軸１４を図４（Ｂ）に示す矢印θとは逆の方向へ回転させてフレームＦを下降させる。このようにして、ワークＷが再びワークテーブル５上により吸着載置される。フレームＦの下降が開始されるとトレイ１３にはロックがかかり移動不可となる。
【００３１】
これにより、ブレード２回転中でもカバー８を開けることなく安全にワークＷをワーク搬出口７より出し入れすることが可能となる。カバー８が開けられないためブレード２の回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
【００３２】
以上、説明したように、本発明に係わるワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法によれば、移動するトレイと回転軸に設けられたフック部材によりワークが持ち上げられ、ブレード回転中でもカバーを開けることなく安全にワークを取り出すことが可能となる。カバーが開けられないためブレードの回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】従来のダイシング装置を示した斜視図。
【図２】本発明に係わるワーク搬出トレイが設けられたダイシング装置を示した斜視図。
【図３】ワーク搬出トレイによりワーク搬出口より取り出されたワークの様子を示した斜視図。
【図４】ワーク搬出トレイによりフレームを持ち上げる様子を示した断面図。
【符号の説明】
【００３４】
１、１０…ダイシング装置，２…ブレード，３…スピンドル，４…撮像装置，５…ワークテーブル，６…加工部，７…ワーク搬出口，８…カバー，１１…ワーク搬出トレイ、１２…ガイドレール，１３…トレイ，１４…回転軸，１５…フック部材，１６…ロータリーシリンダー，１７…移動軸，１８…ベース鋳物，１９…架台フレーム１９，Ｆ…フレーム，Ｔ…テープ，Ｗ…ワーク
【図１】
2010171321.tif 000003
【図２】
2010171321.tif 000004
【図３】
2010171321.tif 000005
【図４】
2010171321.tif 000006