(57)【要約】【課題】除湿機の運転方法及び運転システムを提供する。【解決手段】水分を吸着する吸着ロータ２６を回転させながら外気を給気して外気中の水分を吸着させて低露点空気を生成し、再生空気を給気して吸着した前記水分を脱離させ、冷却用空気を給気して前記水分を脱離させた領域を冷却することにより減湿処理を連続的に行う除湿機２４から、前記低露点空気を加熱して用いるチャンバ１２に前記低露点空気を供給する除湿機の運転方法であって、前記再生空気は、前記冷却用空気の排気と前記チャンバ１２からの排気とを合流させて加熱する。【選択図】図１
2010227857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水分を吸着する吸着ロータを回転させながら外気を給気して外気中の水分を吸着させて低露点空気を生成し、再生空気を給気して吸着した前記水分を脱離させ、冷却用空気を給気して前記水分を脱離させた領域を冷却することにより減湿処理を連続的に行う除湿機から、前記低露点空気を加熱して用いるチャンバに前記低露点空気を供給する除湿機の運転方法であって、
前記再生空気は、前記冷却用空気の排気と前記チャンバからの排気とを合流させて加熱することを特徴とする除湿機の運転方法。
【請求項２】
前記チャンバは複数設けられ、そのうち前記冷却用空気の排気より温度の高いチャンバからの排気を選択して、前記冷却用空気の排気と合流させる制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の除湿機の運転方法。
【請求項３】
前記再生空気の給気側と排気側との差圧が一定となるように、前記チャンバからの排気と合流させる前記冷却用空気の排気の風量を制御可能とすることを特徴とする請求項１または２に記載の除湿機の運転方法。
【請求項４】
前記再生空気の排気の一部または全てを前記再生空気の給気側に戻すことが可能とされ、前記再生空気の給気側と排気側との差圧が一定となるように前記再生空気の排気の戻り風量を制御可能とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の除湿機の運転方法。
【請求項５】
前記除湿機は前記低露点空気を非加熱で用いる第２チャンバにも前記低露点空気を供給するとともに、前記冷却用空気に前記第２チャンバの排気を合流させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の除湿機の運転方法。
【請求項６】
低露点空気を加熱して用いるチャンバに前記低露点空気を供給する除湿機の運転システムであって、
水分を吸着する吸着ロータを回転させながら、外気を給気して外気中の水分を吸着させて前記低露点空気を供給する減湿区域と、再生空気を給気して吸着した前記水分を脱離させて吸着能力を回復させる再生区域と、冷却用空気を給気して前記水分を脱離させた領域を冷却するパージ区域とに通過させることにより、減湿処理を連続的に行う除湿機と、
前記再生区域の給気側に設けられ再生空気を加熱する加熱ヒータと、を有し、
前記パージ区域の排気側及び前記チャンバの排気側が前記再生区域の給気側に接続されたことを特徴とする除湿機の運転システム。
【請求項７】
前記チャンバは複数設けられ、前記チャンバの排気側と前記再生区域の給気側との間に、上流側を前記チャンバ側に接続し、下流側の一方を前記再生区域側に接続し他方を外部に開放し前記下流側を切り替え接続可能な三方弁が設けられるとともに、
前記チャンバの排気の温度と前記パージ区域の排気の温度を測定し、前記チャンバの温度が前記パージ区域の排気の温度より高いときは、前記チャンバに係る三方弁を前記再生区域側に切り替え制御するコントローラを有することを特徴とする請求項６に記載の除湿機の運転システム。
【請求項８】
前記パージ区域の排気側と前記再生区域の給気側との間に、上流側を前記パージ区域側に接続し、下流の一方を前記再生区域側に他方を外部に開放し下流側の風量比を制御可能な第２三方弁が設けられるとともに、
前記再生区域の給気側と排気側との差圧を測定し、前記差圧が一定となるように前記第２三方弁の風量比を制御する第２コントローラを有することを特徴とする請求項６または７に記載の除湿機の運転システム。
【請求項９】
前記再生区域の排気側を、一方を外部に開放する第１経路、他方を前記再生区域に給気側に接続する第２経路に分岐させ、前記第１経路上に第１ダンパーを介装し、前記第２経路上に第２ダンパーを介装するとともに、
前記第２コントローラは、前記再生区域の給気側と排気側との差圧を測定し、前記差圧が一定となるように、前記第１ダンパーの風量を絞りながら前記第２ダンパーの風量を開放する制御を特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の除湿機の運転システム。
【請求項１０】
前記減湿区域の排気側は、前記低露点空気を非加熱で用いる第２チャンバにも接続するとともに、前記第２チャンバの排気側は前記パージ区域の給気側に接続したことを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の除湿機の運転システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低露点室に低露点空気を供給する除湿機の運転システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、低露点空気を製造するものとしては、例えば、圧力スイング方式と呼ばれる吸着塔を用いる方法が知られている。これは原料空気を圧縮機によって圧縮して前記空気中のドレンを一旦除去し、その後吸着材を収納した吸着塔を通過させる方法である。この方法で製造された低露点空気は圧力が高いため、そのまま製造装置などに供給することができる。その反面、圧力スイング方式は空気の圧縮に必要な動力が大きく、また圧縮した後の空気を再生に用いるため、ランニングコストが高くなってしまう。
【０００３】
これらを改善するために、低露点室に低露点空気を供給する供給ダクトの途中に吸着ロータを用いた乾式減湿装置を複数配置して超低露点空気を製造する方法も提案されている。乾式減湿装置は、塩化リチウムや塩化カルシウムなどを吸収させたハニカム状のロータや、シリカゲル、ゼオライトなどの吸着剤で構成したロータを備え、このロータの端面に位置する空気の通過区域を減湿区域、再生区域、及びパージ区域に仕切り、ロータを回転させながら減湿区域において処理空気をロータに通過させて低露点空気を作り出すとともに、再生区域において高温の再生空気をロータに通過させることによって、前記吸着材中の水分を再生空気中に脱離させて吸着能力を回復させ、パージ区域において冷却用のパージ空気を通過させて吸着ロータを冷却することにより、連続的に減湿処理を行えるように構成されている。このような乾式減湿装置を複数用いることによりランニングコストを相当に低減できるようになる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４８５１６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、有機薄膜製造プロセスにおいては、各製造工程に対応した乾燥空気が供給される複数のチャンバを有し、特に、溶媒による基板の洗浄、有機材料塗布工程の間には溶剤及び有機材料の乾燥工程が必要であり、各チャンバの前段で加熱する必要がある。しかし、有機薄膜製造プロセス用の複数のチャンバに乾式減湿装置により乾燥空気を供給する構成をとると、乾燥工程を行う各チャンバと乾式減湿装置の再生区域において空気を加熱することになるが、各チャンバで用いられる加熱された乾燥空気は、一度乾燥工程に用いられた後は系外に排気されるため、その分のエネルギーが無駄となっていた。
【０００６】
そこで、本発明は上記問題点に着目し、再生区域におけるエネルギー消費を抑えることによりランニングコストを低減する除湿機運転方法、除湿機運転システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る除湿機の運転方法は、第１には、水分を吸着する吸着ロータを回転させながら外気を給気して外気中の水分を吸着させて低露点空気を生成し、再生空気を給気して吸着した前記水分を脱離させ、冷却用空気を給気して前記水分を脱離させた領域を冷却することにより減湿処理を連続的に行う除湿機から、前記低露点空気を加熱して用いるチャンバに前記低露点空気を供給する除湿機の運転方法であって、前記再生空気は、前記冷却用空気の排気と前記チャンバからの排気とを合流させて加熱することを特徴としている。
【０００８】
第２には、前記チャンバは複数設けられ、そのうち前記冷却用空気の排気より温度の高いチャンバからの排気を選択して、前記冷却用空気の排気と合流させる制御を行うことを特徴としている。
【０００９】
第３には、前記再生空気の給気側と排気側との差圧が一定となるように、前記チャンバからの排気と合流させる前記冷却用空気の排気の風量を制御可能とすることを特徴としている。
【００１０】
第４には、前記再生空気の排気の一部または全てを前記再生空気の給気側に戻すことが可能とされ、前記再生空気の給気側と排気側との差圧が一定となるように前記再生空気の排気の戻り風量を制御可能とすることを特徴としている。
【００１１】
第５には、前記除湿機は前記低露点空気を非加熱で用いる第２チャンバにも前記低露点空気を供給するとともに、前記冷却用空気に前記第２チャンバの排気を合流させることを特徴としている。
【００１２】
一方、本発明に係る除湿機の運転システムは、第１には、低露点空気を加熱して用いるチャンバに前記低露点空気を供給する除湿機の運転システムであって、水分を吸着する吸着ロータを回転させながら、外気を給気して外気中の水分を吸着させて前記低露点空気を供給する減湿区域と、再生空気を給気して吸着した前記水分を脱離させて吸着能力を回復させる再生区域と、冷却用空気を給気して前記水分を脱離させた領域を冷却するパージ区域とに通過させることにより、減湿処理を連続的に行う除湿機と、前記再生区域の給気側に設けられ再生空気を加熱する加熱ヒータと、を有し、前記パージ区域の排気側及び前記チャンバの排気側が前記再生区域の給気側に接続されたことを特徴としている。
【００１３】
第２には、前記チャンバは複数設けられ、前記チャンバの排気側と前記再生区域の給気側との間に、上流側を前記チャンバ側に接続し、下流側の一方を前記再生区域側に接続し他方を外部に開放し前記下流側を切り替え接続可能な三方弁が設けられるとともに、前記チャンバの排気の温度と前記パージ区域の排気の温度を測定し、前記チャンバの温度が前記パージ区域の排気の温度より高いときは、前記チャンバに係る三方弁を前記再生区域側に切り替え制御するコントローラを有することを特徴としている。
【００１４】
第３には、前記パージ区域の排気側と前記再生区域の給気側との間に、上流側を前記パージ区域側に接続し、下流の一方を前記再生区域側に他方を外部に開放し下流側の風量比を制御可能な第２三方弁が設けられるとともに、前記再生区域の給気側と排気側との差圧を測定し、前記差圧が一定となるように前記第２三方弁の風量比を制御する第２コントローラを有することを特徴としている。
【００１５】
第４には、前記再生区域の排気側を、一方を外部に開放する第１経路、他方を前記再生区域に給気側に接続する第２経路に分岐させ、前記第１経路上に第１ダンパーを介装し、前記第２経路上に第２ダンパーを介装するとともに、前記第２コントローラは、前記再生区域の給気側と排気側との差圧を測定し、前記差圧が一定となるように、前記第１ダンパーの風量を絞りながら前記第２ダンパーの風量を開放する制御を特徴としている。
【００１６】
第５には、前記減湿区域の排気側は、前記低露点空気を非加熱で用いる第２チャンバにも接続するとともに、前記第２チャンバの排気側は前記パージ区域の給気側に接続したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る除湿機の運転方法、及び運転システムによれば、第１には、再生区域の給気側にはチャンバから加熱された排気が送られてくるため、加熱ヒータによる加熱量を抑制することができ、ランニングコストを下げることができる。また。パージ区域からの排気も、再生区域を通過して加熱された吸着ロータと接することで加熱されている。よってパージ区域からの排気とチャンバからの排気を合流させて加熱させることにより加熱量を抑制するとともに、再生区域の給気側と排気側の差圧を大きくすることができ、吸着ロータの再生効率を高めることができる。第２には、パージ区域からの排気と合流させるチャンバからの排気のうちパージ区域からの排気の温度より高いものを選択することにより、加熱量をさらに抑制することができる。第３には、パージ区域からの排気量を、再生区域の給気側と排気側との差圧が一定となるように制御することで、吸着ロータの再生効率及び低露点空気の湿度を安定させることができる。第４には、再生区域の排気の一部または全部を再生区域の給気側に戻すことで、再生区域の給気側と排気側との差圧の減少を抑制して吸着ロータの再生効率及び低露点空気の湿度を安定させることができる。第５には、非加熱で使用済みの低露点空気をパージ区域の給気側に合流させることにより、冷却用の空気をパージ区域の給気側に導入する電力を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムの模式図である。
【図２】第１実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムのフロー図である。
【図３】第２実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムの模式図である。
【図４】第２実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムのフロー図である。
【図５】第３実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムの模式図である。
【図６】第３実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムのフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００２０】
図１に第１実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システムを示す。第１実施形態に係る除湿機の運転方法は、水分を吸着する吸着ロータを回転させながら外気を給気して外気中の水分を吸着させて低露点空気を生成し、再生空気を給気して吸着した前記水分を脱離させ、冷却用空気を給気して前記水分を脱離させた領域を冷却することにより減湿処理を連続的に行う除湿機から、前記低露点空気を加熱して用いるチャンバに前記低露点空気を供給する除湿機の運転方法であって、前記再生空気は、前記冷却用空気の排気と前記チャンバからの排気とを合流させて加熱するものであり、前記チャンバは複数設けられ、そのうち前記冷却用空気の排気より温度の高いチャンバからの排気を選択して、前記冷却用空気の排気と合流させる制御を行うものである。
【００２１】
これを具現化するため、第１実施形態に係る除湿機の運転システム１０は、チャンバ１２、第２チャンバ１６、除湿機、コントローラ等から構成される。除湿機と、チャンバ１２及び第２チャンバ１６とは給気ダクト２０及び排気ダクト２２により接続され、給気ダクト２０には低露点空気の給気（ＳＡ）が通過し、排気ダクト２２にはチャンバ１２からの排気（ＲＡ）が通過する。
【００２２】
チャンバ１２、及び第２チャンバ１６は、例えば有機薄膜製造プロセスに用いられるものであり、それぞれ複数用意され一列に並べられ隣同士のチャンバ間で有機薄膜等の試料の搬送が可能な構成を有しているものとする。そして各チャンバ内には製造工程上の各処理に対応した装置が設置され、前段のチャンバ１２または第２チャンバ１６で処理された試料が装置の試料台（不図示）に運ばれ、所定の処理が終了すると後段のチャンバ１２または第２チャンバ１６に処理後の試料が搬送されていく。チャンバ１２及び第２チャンバ１６にはフィルタ１２ａ、１６ａを介して低露点空気が導入されるが、チャンバ１２においては試料の乾燥工程を行うことを前提としており、チャンバ１２に導入される低露点空気は加熱する必要があるため、チャンバ１２の給気側には加熱ヒータ１４が取り付けられている。
【００２３】
またチャンバ１２の排気側には三方弁１８が取り付けられている。三方弁１８は、上流側はチャンバ１２の排気側に接続し、下流側は一方は外部に開放し他方が除湿機２４の再生区域３０の給気側と排気ダクト２２を介して接続され、前記一方及び前記他方との間で切り替え接続できるようになっている。この切り替え接続はコントローラ４２によって行うことができ、三方弁１８内の開閉弁（不図示）を駆動するアクチュエータ（不図示）に切り替え制御のための電流を出力することにより行われる。なお図中には示されてはいないが、第２チャンバ１６からの排気は他の経路を通って外部に排出される。
【００２４】
なお、三方弁１８と再生区域の給気側とを接続する排気ダクトは、内部を流れるチャンバ１２からの排気の温度低下を防ぐため、断熱材等で外部を覆うことが望ましい。
【００２５】
除湿機２４は、例えば塩化リチウムや塩化カルシウムなどの吸着液を含浸させたハニカム状の吸着ロータや、シリカゲル、ゼオライトなどの吸着剤で構成した吸着ロータを用いた乾式除湿機である。吸着ロータ２６は円盤状の外形を有し、円盤の中心を回転軸として回転運動するとともに、円盤状の面に対して空気が垂直に通過するように配置される。
【００２６】
除湿機２４は、空気の通過区域を減湿区域２８、再生区域３０、及びパージ区域３２に仕切っており、吸着ロータ２６を回転させることにより円盤状の吸着面は減室区域２８、再生区域３０、及びパージ区域３２を通過することができる。
【００２７】
減湿区域２８の給気側には外気３４（ＯＡ）を導入する給気ファン３６が設けられ、減湿区域２８の排気側には低露点空気を供給する給気ダクト２０が接続される。
【００２８】
再生区域の排気側には排気ファン４６が取り付けられている、排気ファン４６により再生区域３０の排気側が陰圧されることにより、再生区域３０の給気側と排気側とで差圧が発生する。この差圧を適切な大きさに維持することにより再生区域３０において吸着ロータ２６の吸着能力を効果的に回復させることができる。なお排気ファン４６の排気側には排気効率を調整するダンパー４８が設けられている。
【００２９】
再生区域３０の給気側には加熱ヒータ３８が設けられ、再生区域３０の給気側の温度を温度計３８ａで測定し、ＰＩＤ制御等を用いて再生区域３０への給気が一定の温度となるように制御している。パージ区域３２の排気側と排気ダクト２２が接続され、再生区域３０の給気側に接続されている。よってパージ区域３２の給気側は排気ファン４６の吸引力により外気３４（ＯＡ）が導入される。
【００３０】
ここで、排気ダクト２２からの排気は加熱ヒータ１４により加熱されている。一方、パージ区域３２の給気側には冷却用空気３４ａが導入されるが、パージ区域３２からの排気は再生区域３０により加熱された吸着ロータ２６を通過するためその排気は加熱されている。よって加熱ヒータ３８には、加熱されたパージ区域３２からの排気と、排気ダクト２２からの排気が流れこむことになる。そして、この加熱ヒータ３８により加熱することにより再生区域３０に供給される再生空気が生成される。このとき再生区域３０の給気側に給気される空気の温度が低ければ、加熱量が増大し、逆に高ければ加熱量は減少する。
【００３１】
除湿機２４は上記構成により、吸着ロータ２６を回転させながら、まず減湿区域２８において外気３４を吸着ロータ２６に通過させて低露点空気を作り出す。次に再生区域３０において高温の再生空気を吸着ロータ２６に通過させることによって、前記吸着材中の水分を再生空気中に脱離させて吸着能力を回復させる。そしてパージ区域３２において冷却用空気３４ａを通過させて吸着ロータ２６を冷却することにより、連続的に減湿処理を行うことができる。
【００３２】
コントローラ４２は、例えばパーソナルコンピュータ（不図示）にインストールされたアプリケーションであって、複数のチャンバ１２のうちから一定の温度以上の排気温度を有するチャンバ１２の排気のみを選択して除湿機２４の再生区域の給気側に送り出す制御を行うものである。コントローラ４２はパージ区域３２の排気側に取り付けられた温度計４０、各チャンバ１２の排気側に取り付けられた温度計４４、そして各チャンバ１２の後段に接続された三方弁１８と接続されている。またコントローラ４２は各チャンバ１２の排気側に取り付けられた温度計４４（Ｔ（Ｎ））（Ｎ＝１〜Ｎｍａｘ）と三方弁１８（Ｂ（Ｎ））（Ｎ＝１〜Ｎｍａｘ）とを対応づけ、温度計４４（Ｔｋ）が示す温度によって同じチャンバ１２の後段に取り付けられた三方弁１８（Ｂ（Ｎ））の切り替え制御を行う。
【００３３】
第１実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システム１０の制御フローを図２に示す。コントローラ４２はパージ区域３２の排気側の温度（Ｔｐｏｕｔ）を測定するとともに、チャンバ１２の数（Ｎｍａｘ個）がキー操作等により入力されると、各チャンバ１２の排気側の温度（Ｔ（Ｎ））（Ｎ＝１〜Ｎｍａｘ）を測定し、Ｔｐｏｕｔより高い温度の排気を有するチャンバ１２の後段にある三方弁１８（Ｂ（Ｎ））の下流側を再生区域３０の給気側に切り替え、Ｔｐｏｕｔより低い温度の排気を有するチャンバ１２の後段にある三方弁１８の下流側を外部に開放する制御を行い、これを全ての温度計（Ｔ（Ｎ））及び三方弁（Ｂ（Ｎ））について行う。この制御は手動でスタートさせてもよいし、定期的に自動的にスタートさせてもよい。このような制御を行うことにより再生区域３０の給気側に導入される空気はパージ区域３２の排気側より温度が低くなることはないので、加熱ヒータ３８の加熱量を低く抑えることができる。
【００３４】
第２実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システム５０を図３に示す。第２実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システム５０は、基本的には第１実施形態と共通するが、再生区域３０の給気側と排気側との差圧を一定に制御する構成が付加されている。すなわち、再生区域３０の給気側と排気側との差圧を測定する圧力計５２と、パージ区域３２の排気側と再生区域３０の給気側との間に介装された第２三方弁５４と、圧力計５２及び第２三方弁５４と接続された第２コントローラ５６を有する。第２三方弁５４は上流側をパージ区域３２の排気側に接続し、下流側の一方を再生区域３０の給気側に接続し、下流側の他方を外部に開放し、前記一方と前記他方とで切り替え制御可能な構成を有するのみならず、前記一方側と前記他方側とでパージ区域３２から排出される排気の風量比を調整することができる。
【００３５】
第２コントローラ７０は、例えばパーソナルコンピュータ（不図示）にインストールされたアプリケーションであって、圧力計５２から得られる測定差圧と予めキー操作等により入力された設計差圧との差分を求め、測定差圧が設計差圧より低い（高い）場合は、第２三方弁５４において再生区域３０側の風量が所定の割合（例えば５％）で多くなる（少なくなる）ように第２三方弁５４内の開閉弁（不図示）の開閉度を調整する開閉弁を駆動させる信号をアクチュエータ（不図示）に出力する。これを所定の時間間隔で行うことにより、再生区域３０への風量を調整して再生区域３０の給気側と排気側との差圧を、設計差圧を中心とした一定の範囲に制御することができ、再生区域３０において回復させる吸着ロータ２６の吸着効率を安定化させ、チャンバ１２、第２チャンバ１６に給気される低露点空気の湿度を安定させることができる。
【００３６】
第２実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システム５０のフロー図を図４に示す。フロー前段におけるコントローラの動作は第１実施形態と同様なので説明を省略する。コントローラの動作が終了したのち、第２コントローラは上述のように再生区域の給気側と排気側との測定差圧を圧力計から読み取り、測定差圧と予め入力された設計差圧との差分が一定の範囲となるまで、第２三方弁の風量比を一定の割合で（本実施形態においては５％）変化させる信号を第２三方弁に出力する。この制御は第１実施形態と同様に手動でスタートさせてもよいし、定期的に自動的に行うようにしてもよい。
【００３７】
第３実施形態に係る除湿機の運転方法および運転システム６０を図５に示す。第３実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システム６０は基本的に第２実施形態と共通するが、排気ファン４６の排気側から給気側に接続する戻り経路６２が設けられ、再生区域３０の排気口６４の直前の位置と、戻り経路６２上に、それぞれ第１ダンパー６６、及び第２ダンパー６８が設けられている。そして第１ダンパー６６及び第２ダンパー６８は第２コントローラ７０によりその開閉量が制御可能となっている。第１ダンパー６６及び第２ダンパー６８には、その開閉弁（不図示）を駆動させるアクチュエータ（不図示）が設けられている。第１ダンパー６６及び第２ダンパー６８は第２三方弁５４の下流側を再生区域３０側に完全に開いても十分な差圧が得られない場合に用いられるものであり、通常第１ダンパー６６は開、第２ダンパー６８は閉となっている。第２コントローラは、第２三方弁５４の風量比を制御する信号を出力するのみならず、第１ダンパー６６及び第２ダンパー６８に一定の割合で（例えば５％）風量を増加または減少させる開閉弁（不図示）の開閉度を調整する信号を出力することができ、第１ダンパー６６の風量が一定の割合で減少するときは、第２ダンパー６８を通過する戻り風量が一定の割合で増加するように制御される。そして戻り経路６２に流れる排気ファン４６からの排気による戻り風量が増えるほど、再生区域３０の給気側の圧力（風量）が増加することにより、再生区域３０の給気側と排気側との差圧が増加することになる。
【００３８】
第３実施形態に係る除湿機の運転方法及び運転システム６０のフロー図を図６に示す。コントロー４２による三方弁１８の制御は第１実施形態と同様であり、第２コントローラ７０による第２三方弁５４の制御により測定差圧が設計差圧を中心とした一定の範囲に収まる場合は第２実施形態と同様となる。しかし第２三方弁５４の制御によってもなお十分な差圧が得られない場合に本実施形態のように第２コントローラ７０により第１ダンパー６６の風量及び第２ダンパー６８の戻り風量を制御することになる。この場合一定の割合（例えば５％）で第１ダンパー６６の風量を減少させ、第２ダンパー６８の戻り風量を増加させ、測定差圧が設計差圧を中心として一定の範囲に収まるまでこれを繰り返すことになる。
【００３９】
いずれの実施形態においても第２チャンバ１６の排気側を減湿区域２８の給気側またはパージ領域３２の給気側に接続することができる。第２チャンバ１６からの排気は減湿区域２８から給気された非加熱の低露点空気である。よって第２チャンバ１６からの排気を減湿区域２８に導入される外気３４に合流させることにより、第２チャンバ１６から排出された低露点空気を再利用することができるので、吸着ロータ２６への負担を軽減してランニングコストを下げることができる。また第２チャンバ１６からの排気をパージ区域３２の給気側に導入される冷却用の外気３４に合流させることによって冷却用の空気をパージ区域の給気側に導入する電力（排気ファン４６の電力）を削減することができる。
【００４０】
以上述べたように、本実施形態に係る除湿機の運転方法、及び運転システム１０、５０、６０によれば、第１には、再生区域３０の給気側にはチャンバ１２から加熱された排気が送られてくるため、加熱ヒータ３８による加熱量を抑制することができ、ランニングコストを下げることができる。また。パージ区域３２からの排気も、再生区域３０を通過して加熱された吸着ロータ２６と接することで加熱されている。よってパージ区域３２からの排気とチャンバ１２からの排気を合流させて加熱させることにより加熱ヒータ３８の加熱量を抑制するとともに、再生区域３０の給気側と排気側の差圧を大きくすることができ、吸着ロータ２６の再生効率を高めることができる。第２には、パージ区域３２からの排気と合流させるチャンバ１２からの排気のうちパージ区域３２からの排気の温度より高いものを選択することにより、加熱量をさらに抑制することができる。第３には、パージ区域３２からの排気量を、再生区域３０の給気側と排気側との差圧が一定となるように制御することで、吸着ロータ２６の再生効率及び低露点空気の湿度を安定させることができる。第４には、再生区域３０の排気の一部または全部を再生区域３０の給気側に戻すことで、再生区域３０の給気側と排気側との差圧の減少を抑制して吸着ロータ２６の再生効率及び低露点空気の湿度を安定させることができる。第５には、非加熱で使用済みの低露点空気をパージ区域３２の給気側に合流させることにより、冷却用の空気をパージ区域３２の給気側に導入する電力を削減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
ランニングコストを削減した除湿機の運転方法及び運転システムとして利用できる。
【符号の説明】
【００４２】
１０………運転システム、１２………チャンバ、１４………加熱ヒータ、１６………第２チャンバ、１８………三方弁、２０………給気ダクト、２２………排気ダクト、２４………除湿機、２６………吸着ロータ、２８………減湿区域、３０………再生区域、３２………パージ区域、３４………外気、３６………給気ファン、３８………加熱ヒータ、４０………温度計、４２………コントローラ、４４………温度計、４６………排気ファン、４８………ダンパー、５０………運転システム、５２………圧力計、５４………第２三方弁、５６………第２コントローラ、６０………運転システム、６２………戻り経路、６４………排気口、６６………第１ダンパー、６８………第２ダンパー、７０………第２コントローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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