(57)【要約】【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送する搬送システムにおいて、搬送車における走行方向の前方に在る障害物の監視を容易に行う。【解決手段】搬送システム（１００）は、軌道（２）に沿って走行する搬送車（３）と、搬送車における走行方向の前方を撮像し、該前方に係る距離画像を出力する距離画像出力手段（１０）と、出力された距離画像に基づいて、搬送車が前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する距離画像解析手段（２３）と、解析された可能性に応じて、搬送車の走行を制御する走行制御手段（４）とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送車と、
前記搬送車における走行方向の前方を撮像し、該前方に係る距離画像を出力する距離画像出力手段と、
前記出力された距離画像に基づいて、前記搬送車が前記前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する距離画像解析手段と、
前記解析された可能性に応じて、前記搬送車の走行を制御する走行制御手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記搬送車は、敷設された軌道に沿って走行することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記距離画像解析手段は、前記出力された距離画像に加えて、前記搬送車の前記軌道上における現在位置に基づいて、前記可能性を解析することを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記軌道の各位置における前記前方への前記軌道の延在状況を示す軌道情報を、前記各位置に対応付けて予め記憶する記憶手段と、
前記搬送車の前記軌道上における現在位置を特定する特定手段と
を更に備え、
前記距離画像解析手段は、前記特定された現在位置に対応する前記記憶された軌道情報により示される前記延在状況に基づいて、前記可能性を解析する
ことを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記距離画像解析手段は、
前記距離画像に対して前記障害物を検知する検知領域を少なくとも一つ設定すると共に、該設定された少なくとも一つの検知領域の各々に前記搬送車から前記可能性が有る面までの衝突仮想距離を設定する検知設定部と、
前記設定された少なくとも一つの検知領域の各々に対応する前記距離画像を構成する複数の画素のうち、前記衝突仮想距離よりも短い距離を示す一又は複数の画素の総面積を算出すると共に、該算出された総面積に応じて前記可能性の有無を判定する衝突可能性判定部と
を有し、
前記走行制御手段は、前記判定の結果に応じて前記搬送車を減速又は停止する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記少なくとも一つの検知領域の各々は、前記搬送車における、前記障害物に衝突する可能性が有る部分の面積に対応する
ことを特徴とする請求項５に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記衝突仮想距離は、前記搬送車の走行速度に対応することを特徴とする請求項５又は６に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記検知設定部は、
前記少なくとも一つの検知領域として、前記距離画像の最も広い領域を占める第１検知領域と、該第１検知領域内に配置され、前記第１検知領域よりも狭い領域を占める第２検知領域と、該第２検知領域内に配置され、前記第２検知領域よりも狭い領域を占める第３検知領域とを設定すると共に、
前記第１から第３検知領域の各々に、前記検知領域が狭くなるにつれて、前記衝突仮想距離を長い距離に設定する
ことを特徴とする請求項５から７のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記距離画像解析手段は、前記距離画像に基づいて、前記搬送車とその前方を走行する前行搬送車との間の車間距離を出力する車間距離出力部を更に備え、
前記走行制御手段は、前記車間距離を一定に保つように前記搬送車の走行を制御する
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項１０】
軌道に沿って走行する搬送車の衝突防止システムであって、
前記搬送車における走行方向の前方を撮像し、該前方に係る距離画像を出力する距離画像出力手段と、
前記出力された距離画像に基づいて、前記搬送車が前記前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する距離画像解析手段と、
前記解析された可能性に応じて、前記搬送車の走行を制御する走行制御手段と
を備えることを特徴とする搬送車の衝突防止システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の被搬送物を搬送する搬送車を備える搬送システム、及び該搬送車の衝突を防止する衝突防止システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の衝突防止システムとして、ビークル等の搬送車が、前方監視手段として、光学的なセンサを備えるものがある。該光学的なセンサに関して、一般的には、衝突の可能性がある領域を漏れなく監視するために、狭い領域について検出を行うセンサが複数配置されることが好ましい。例えば、長距離検出用センサと、近距離検出用センサとを備えており、２種類の前方距離に障害物があるか否かを監視するものがある（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１３２３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の特許文献１では、長距離検出用センサ及び近距離検出用センサ等の障害物センサを複数配置するため、搬送車全体の重量が増大すると共にそれらについてのデータ処理及び制御が複雑高度化し、搬送車一台が高コストになってしまうという技術的問題点がある。
【０００５】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、搬送車における走行方向前方に在る障害物の監視を比較的容易にして行える搬送システム、及び該搬送システムにより搬送車の衝突を防止する衝突防止システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、軌道に沿って走行する搬送車と、前記搬送車における走行方向の前方を撮像し、該前方に係る距離画像を出力する距離画像出力手段と、前記出力された距離画像に基づいて、前記搬送車が前記前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する距離画像解析手段と、前記解析された可能性に応じて、前記搬送車の走行を制御する走行制御手段とを備える。
【０００７】
本発明の搬送システムによれば、搬送車の走行は、搬送車が走行方向の前方に在る障害物に衝突する可能性に応じて、制御される。ここで「前方に在る障害物」は、軌道に沿って走行する搬送車において、例えば該搬送車の直前を走行する搬送車（以下、「前行搬送車」と言う）、該前行搬送車から不意に落下した部品等の落下物、及び軌道の上下方を通過するシステム管理者等の進入物である。本発明の搬送システムは、距離画像出力手段により、搬送車における走行方向の前方（以下、単に「前方」と言う）に係る距離画像を出力し、距離画像解析手段により、前方に係る距離画像に基づいて、搬送車が前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する。ここで「可能性を解析する」とは、例えば搬送車から障害物までの距離を検出したり、検出された距離と搬送車の走行速度との関係から障害物に衝突するとされる時間を推測すること等を示す。更に、搬送システムは、該解析の結果に応じて、走行制御手段により、搬送車の走行を制御する。ここで「走行を制御する」とは、例えば障害物までの距離に対応して搬送車を減速又は停止したり、障害物に衝突するとされる時間に対応して搬送車の速度を調整すること等を示す。
【０００８】
本発明では特に、搬送車が衝突する可能性の解析のために、距離画像が用いられる。ここで「距離画像」において、当該距離画像を構成する複数の画素は、距離情報を有するので、搬送車から前方に在る障害物までの距離を検出可能である。
【０００９】
以上のように、本発明の搬送システムによれば、距離情報を有する距離画像に基づいて、障害物に衝突する可能性を解析する、言い換えれば、障害物を監視する。これにより、障害物センサの機能を果たす距離画像出力手段を単独で配置して、当該搬送システム全体における情報処理を容易或いは単純に実行することができ、システム構成も単純化できる。よって、システム全体を軽量化且つ低コスト化することも可能となる。
【００１０】
本発明の搬送システムの他の態様は、前記距離画像解析手段は、前記出力された距離画像に加えて、前記搬送車の前記軌道上における現在位置に基づいて、前記可能性を解析する。
【００１１】
この態様によれば、距離画像解析手段は、例えば工場等内に敷設されているが故に各直線部分や各曲線部分の長さや曲がり方が既知である軌道上における、搬送車の現在位置に基づいて、例えば距離画像に対して、障害物が在ると想定され、障害物の検知を特に必要とする検知領域を設定する。この検知領域について、例えば現在位置から前方に延びる軌道の状況に対応して、その大きさ及び位置が変化する。距離画像解析手段は、このような検知領域に対応する距離画像に基づいて、障害物との衝突の可能性を解析する。これにより、搬送車の障害となる何かしらの物体を障害物として的確に識別することができる。
【００１２】
この態様では、前記軌道の各位置における前記前方への前記軌道の延在状況を示す軌道情報を、前記各位置に対応付けて予め記憶する記憶手段と、前記搬送車の前記軌道上における現在位置を特定する特定手段とを更に備え、前記距離画像解析手段は、前記特定された現在位置に対応する前記記憶された軌道情報により示される前記延在状況に基づいて、前記可能性を解析してもよい。
【００１３】
このように構成すれば、記憶手段は、軌道情報を、軌道の各位置に対応付けて予め記憶する。ここで「軌道情報」は、軌道の各位置における前方に延びる軌道の延在状況を示す。具体的には、前方に延びる軌道が、例えば左右いずれかの曲りの場合に、その曲率及び／或いは曲がり始めまでの距離等を示す。このような軌道情報に基づいて、上述の検知領域を設定してもよい。前方に延びる軌道が左右いずれかの曲りの場合に、検知領域を、距離画像の全域中、左右いずれか寄りの画素或いは画素群に設定する。また、前方に延びる軌道が真っ直ぐの場合に、検知領域を、距離画面の全域中、中央寄りの画素或いは画素群に設定する。特定手段は、搬送車の軌道上における現在位置を特定する。ここで「特定」は、直接的に検出、検知、測定等する場合の他、走行計算や移動命令に応じた移動から逆算する等、間接的に特定する場合も含む。距離画像解析手段は、現在位置に対応する軌道情報により示される延在状況に基づいて、障害物との衝突の可能性を解析する。これにより、軌道の延在状況に対応して、搬送車の障害となる何かしらの物体を、障害物として的確に識別することができる。
【００１４】
本発明の搬送システムの他の態様は、前記距離画像解析手段は、前記距離画像に対して前記障害物を検知する検知領域を少なくとも一つ設定すると共に、該設定された少なくとも一つの検知領域の各々に前記搬送車から前記可能性が有る面までの衝突仮想距離を設定する検知設定部と、前記設定された少なくとも一つの検知領域の各々に対応する前記距離画像を構成する複数の画素のうち、前記衝突仮想距離よりも短い距離を示す一又は複数の画素の総面積を算出すると共に、該算出された総面積に応じて前記可能性の有無を判定する衝突可能性判定部とを有し、前記走行制御手段は、前記判定の結果に応じて前記搬送車を減速又は停止する。
【００１５】
この態様によれば、検知設定部は、少なくとも一つの検知領域を設定し、設定された少なくとも一つの検知領域の各々に衝突仮想距離を設定する。ここで「検知領域」は、障害物が在ると想定され、障害物の検知を特に必要とする領域であり、「衝突仮想距離」は、搬送車から、該搬送車が衝突する可能性が有る面までの距離（即ち、搬送車から障害物までの距離）を示す。「衝突する可能性が有る面」は、例えば前行搬送車の後面である。この場合、搬送車と前行搬送車との間の距離が、検知領域に設定された衝突仮想距離よりも短くなると、前行搬送車が該検知領域における障害物として検出される。
【００１６】
衝突可能性判定部は、検知領域に対応する距離画像に基づいて、障害物との衝突の可能性の有無を判定する。ここで「検知領域に対応する距離画像」とは、距離画像に設定された検知領域に対応する距離画像の部分（以下、「画像部分」と言う）を示す。衝突可能性判定部は、具体的には、画像部分を構成する複数の画素のうち、衝突仮想距離よりも短い距離を示す全ての画素の総面積を算出する。また、衝突可能性判定部は、算出された総面積に応じて、障害物との衝突の可能性の有無を判定する。ここで「可能性の有無を判定する」とは、例えば画素の総面積が、搬送車の障害となり得る所定面積以上である場合に、総面積が示す何かしらの物体を障害物と断定して、搬送車が衝突する可能性が有ると判定する。他方、搬送車の障害となり得る所定面積よりも小さい場合に、総面積が示す物体を、例えば撮像時のノイズ等に起因して発生したものと断定して、搬送車が衝突する可能性が無いと判定する。走行制御手段は、衝突可能性判定部による判定の結果に応じて、搬送車を減速又は停止する。尚、上述の可能性の有無を判定するための要素とされる、衝突仮想距離よりも短い距離を示す画素について、ノイズ等に起因するものか否かを判定する場合に、例えば該画素に隣接する上下及び／又は左右の複数の画素が示す距離の平均値を算出する。画像部分の全域における、算出された平均値の変動が激しければ、該画素がノイズ等により生じたものと断定して、衝突の可能性が無いと判定する。
【００１７】
以上のように、距離画像解析手段は、検知設定部により、検知領域、及び該検知領域における衝突仮想距離を設定し、衝突可能性判定部により、検知領域及び衝突仮想距離から特定される全ての画素の総面積に応じて、障害物との衝突の可能性の有無を判定する。これにより、搬送車の障害となる何かしらの物体を、障害物としてより的確に識別することができる。
【００１８】
この態様では、前記少なくとも一つの検知領域の各々は、前記搬送車における、前記障害物に衝突する可能性が有る部分の面積に対応してもよい。
【００１９】
このように構成すれば、「可能性が有る部分」とは、例えば搬送車の前面部である。この場合、検知領域は、障害物に衝突するとされる該前面部の面積に対応する。このように、衝突の可能性が有る部分を該前面部に規定するので、障害物との衝突を的確に防止することができる。
【００２０】
上述の衝突仮想距離を設定する態様では、前記衝突仮想距離は、前記搬送車の走行速度に対応してもよい。
【００２１】
このように構成すれば、例えば衝突仮想距離が搬送車の走行速度に比例して自動的に長くなるように、設定することができる。これにより、衝突可能性判定部の判定における状況が同一となるので、障害物との衝突をより的確に防止することができる。
【００２２】
上述の衝突仮想距離を設定する態様では、前記検知設定部は、前記少なくとも一つの検知領域として、前記距離画像の最も広い領域を占める第１検知領域と、該第１検知領域内に配置され、前記第１検知領域よりも狭い領域を占める第２検知領域と、該第２検知領域内に配置され、前記第２検知領域よりも狭い領域を占める第３検知領域とを設定すると共に、前記第１から第３検知領域の各々に、前記検知領域が狭くなるにつれて、前記衝突仮想距離を長い距離に設定してもよい。
【００２３】
このように構成すれば、検知設定部は、例えば前行搬送車を障害物として想定する場合に、第１検知領域を、長距離を走行する前行搬送車を検知するための領域とし、第２検知領域を、中距離を走行する前行搬送車を検知するための領域とし、第３検知領域を、近距離を走行する前行搬送車を検知するための領域として設定する。この場合、距離画像解析手段は、例えば第１から第３検知領域の各々に対して、搬送車が前行搬送車に追突する可能性を解析する。また、距離画像解析手段は、搬送車と前行搬送車との間の車間距離を検出可能であり、これを逆に言えば、検知設定部により、車間距離を設定可能である。
【００２４】
本発明の搬送システムの他の態様は、前記距離画像解析手段は、前記距離画像に基づいて、前記搬送車とその前方を走行する前行搬送車との間の車間距離を出力する車間距離出力部を更に備え、前記走行制御手段は、前記車間距離を一定に保つように前記搬送車の走行を制御する。
【００２５】
この態様によれば、車間距離出力部は、距離画像に基づいて、搬送車と前行搬送車との間の車間距離を出力する。走行制御手段は、車間距離を一定に保つように、搬送車の走行を制御する。これにより、前行搬送車への追突をより確実に防止することができる。
【００２６】
本発明の衝突防止システムは上記課題を解決するために、軌道に沿って走行する搬送車の衝突防止システムであって、前記搬送車における走行方向の前方を撮像し、該前方に係る距離画像を出力する距離画像出力手段と、前記出力された距離画像に基づいて、前記搬送車が前記前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する距離画像解析手段と、前記解析された可能性に応じて、前記搬送車の走行を制御する走行制御手段とを備える。
【００２７】
本発明の衝突防止システムによれば、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、距離画像出力手段により、前方に係る距離画像を出力し、距離画像解析手段により、前方の距離画像に基づいて、搬送車が前方に在る障害物に衝突する可能性を解析する。更に、搬送システムは、該解析の結果に応じて、走行制御手段により、搬送車の走行を制御する。本発明では特に、搬送車が衝突する可能性の解析のために、距離画像が用いられる。
【００２８】
以上のように、本発明の衝突防止システムによれば、距離情報を有する距離画像に基づいて、障害物に衝突する可能性を解析する、言い換えれば、障害物を監視する。これにより、障害物センサの機能を果たす距離画像出力手段を単独で配置して、搬送システム全体における情報処理を容易或いは単純に実行することができ、システム構成も単純化できる。
【００２９】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３１】
先ず、実施形態に係る搬送システムの構成について図１から図７を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る搬送システムの構成を示し、図２は、図１に示した軌道を下方から視た状態を示し、図３は、図２に示した軌道の各位置に対応する軌道情報を示し、図４は、実施形態に係る搬送車と障害物との関係を示し、図５は、実施形態に係る前方に係る距離画像を示し、図６は、図５に示した距離画像に対する検知領域を示し、図７は、図６に示した検知領域に対応する距離画像を示す。
【００３２】
搬送システム１００は、軌道２と、搬送車３とを備える。搬送システム１００は、軌道２に沿って走行する搬送車３が車間距離を概ね一定に保つように、少なくとも後行の搬送車３が前行の搬送車３に衝突しないように制御する。
【００３３】
搬送車３は、本体部３ａと、走行コントローラ４と、距離画像出力部１０と、衝突防止コントローラ２０とを備える。搬送車３は、走行コントローラ４の制御により軌道２に沿って走行する最中に、衝突防止コントローラ２０の制御により、前行の搬送車３との衝突を回避する。
【００３４】
走行コントローラ４は、不図示の搬送指示部からの搬送指示に応じて、軌道２上の搬送元又は搬送先へ搬送車３を走行させる。本実施形態では、走行コントローラ４は、本発明に係る「走行制御手段」の一例を構成し、後述する距離画像解析部２３の解析の結果に応じて、搬送車３の走行を制御する。具体的には、走行コントローラ４は、前行搬送車１０３との衝突の可能性が有る場合に、搬送車３を停止又は減速すると共に、停止又は減速した後、前行搬送車１０３との間の車間距離を所定距離に保つように、走行速度を調整する。
【００３５】
距離画像出力部１０は、本発明に係る「距離画像出力手段」の一例として、本体部３ａにおける走行方向の前面（即ち、図１の左側面）に取り付けられており、搬送車９における走行方向の前方（以下、単に「前方」と言う）に係る距離画像を出力する。距離画像出力部１０は、不図示の距離画像センサを有する。距離画像センサは、照射部と、受光部とを備える光照射型のセンサであり、前方を撮像し、前方に係る距離画像を衝突防止コントローラ２０へ出力する。
【００３６】
衝突防止コントローラ２０は、軌道情報データベース２１と、現在位置特定部２２と、距離画像解析部２３とを備えており、これらの各部を統括的に制御する。衝突防止コントローラ２０は、後述の距離画像解析部２３の解析の結果を、走行コントローラ４へ送る。
【００３７】
軌道情報データベース２１は、半導体素子製造工程の初期設定時に、軌道２に係る情報（以下、単に「軌道情報」と言う）を記録する。軌道情報は、軌道２の各位置において、その前方に延びる軌道２の延在状況を示し、軌道２の各位置に対応付けされている。
【００３８】
次に、軌道情報について図２及び図３を参照して説明する。図２は、軌道２及びその各位置Ｐ１からＰ４を示しており、図３は、これらの各位置Ｐ１からＰ４に対応する軌道情報としてテーブルＴ１を示す。図３に示すように、各位置Ｐ１からＰ４に対応する軌道情報は、位置Ｐ１について、前方への軌道２が右方向に曲っており、その曲がり始めるまでの距離がＬ１、その曲度がＲ１である。位置Ｐ２について、前方への軌道２は、真っ直ぐであり、真っ直ぐの距離がＬ２である。位置Ｐ３について、前方への軌道２が左方向に曲っており、その曲がり始めるまでの距離がＬ３、その曲度がＲ２である。位置Ｐ４について、不図示の前方への軌道２が右方向に曲っており、その曲がり始めるまでの距離がＬ４、その曲度がＲ３である。
【００３９】
現在位置特定部２２は、不図示のエンコーダにより出力される走行距離に基づいて、搬送車３の軌道２上における現在位置を特定し、特定した現在位置の情報を距離画像解析部２３に送信する。
【００４０】
距離画像解析部２３は、本発明に係る「距離画像解析手段」の一例として、距離画像出力部１０からの距離画像に基づいて、搬送車３がその前方を走行する前行搬送車に追突（衝突）する可能性を解析する。距離画像解析部２３は、具体的には、検知設定部２４と、衝突可能性判定部２５と、車間距離出力部２６とを備えており、距離画像に加えて、搬送車３の軌道２上における現在位置に基づいて、前行搬送車との衝突の可能性の有無を判定する。
【００４１】
検知設定部２４は、距離画像に対して、検知領域を少なくとも１つ設定すると共に、設定された少なくとも１つの検知領域の各々に衝突仮想距離を設定する。
【００４２】
次に、検知領域及び衝突仮想距離の設定について図４及び図５を参照して説明する。
【００４３】
図４は、搬送車３、及び搬送車３が衝突する可能性が有る前行搬送車１０３を示す。図４において、距離画像出力部１０は、撮像範囲Ａ０に光を照射して、前方に係る距離画像として、前行搬送車１０３の後面を示す距離画像を出力する。
【００４４】
図５は、前行搬送車１０３の後面を示す距離画像Ｄ０を示す。距離画像Ｄ０に設定される検出領域は、前行搬送車１０３を検知する領域であり、搬送車３における、前行搬送車１０３に衝突する可能性が有る部分の面積、即ち、本体部３ａの前面の面積に対応する。このような検出領域に、衝突仮想距離として、搬送車３から、衝突するとされる前行搬送車１０３までの距離を設定する。
【００４５】
図６（ａ）は、距離画像Ｄ０に対して設定された３つの検知領域Ａ１からＡ３を示す。図６（ａ）に示すように、検知設定部２４は、具体的には、距離画像Ｄ０の最も広い領域を占める第１検知領域Ａ１と、第１検知領域Ａ１内に配置され、第１検知領域Ａ１よりも狭い領域を占める第２検知領域Ａ２と、第２検知領域Ａ２内に配置され、第２検知領域Ａ２よりも狭い領域を占める第３検知領域Ａ３とを設定する。これらの第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３は夫々、本体部３ａの前面の面積における６０％、４０％、２０％の倍率に設定されている。更に、検知設定部２４は、検知領域が狭くなるにつれて、即ち、第１検知領域Ａ１、第２検知領域Ａ２、第３検知領域Ａ３の順に、衝突仮想距離を長い距離に設定する。検知設定部２４は、具体的には、第１検知領域Ａ１に対する衝突仮想距離ＣＬ１を１ｍ、第２検知領域Ａ２に対する衝突仮想距離ＣＬ２を３ｍ、第３検知領域Ａ３に対する衝突仮想距離ＣＬ３を５ｍに設定する。これら衝突仮想距離の設定により、搬送車３の前面から、前方に衝突仮想距離をとった、前行搬送車１０３に衝突するとされる仮想面中の検出領域が、距離画像に対して特定される。
【００４６】
本実施形態では特に、検知設定部２４は、現在位置特定部２２からの現在位置の情報に基づいて、上述の第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３の各々を変更する。具体的には、再び図２及び図３において、現在位置がＰ１、右曲りまでの距離Ｌ１が３ｍの場合に、検知設定部２４は、衝突仮想距離ＣＬ３が３ｍよりも長い５ｍに設定される第３検知領域Ａ３を、変更する。この変更では、検知設定部２４は、例えば、図６（ｂ）に示すように、第３検知領域Ａ３を中央よりも右側へ寄せたり、第３検知領域Ａ３を右半分の領域に縮小すると共に、縮小された右半分の領域を示す第４検出領域Ａ４（図７（ｂ）に示す）を新たに設定する。衝突仮想距離ＣＬ１，ＣＬ２が３ｍ以下の１ｍ及び３ｍに夫々設定される第１及び第２検知領域Ａ１，Ａ２について、衝突仮想距離ＣＬ１，ＣＬ２が右曲りにかからないので、検知領域の変更は行われない。
【００４７】
衝突可能性判定部２５は、少なくとも１つの検知領域の各々に対応する距離画像を構成する複数の画素に基づいて、前行搬送車１０３との衝突の可能性の有無を判定する。衝突可能性判定部２５は、具体的には、１つの検知領域に対応する距離画像を構成する複数の画素のうち、１つの検知領域に設定された衝突仮想距離よりも短い距離を示す画素を全て検出し、検出された全ての画素の総面積を算出する。衝突可能性判定部２５は、算出された総面積に応じて、前行搬送車１０３との衝突の可能性の有無を判定する。
【００４８】
次に、衝突可能性判定部２５による判定について図７を参照して説明する。
【００４９】
図７（ａ）は、第１検出領域Ａ１に対応する距離画像を示し、図７（ｂ）は、第４検出領域Ａ４に対応する距離画像を示す。図７（ａ）に示すように、第１検出領域Ａ１に対応する距離画像Ｄ２は、全域に、前行搬送車１０３の後面を示す。これは、例えば前行搬送車１０３の後面が、搬送車３と、１ｍの衝突仮想距離ＣＬ１をとった仮想面との間に位置することを示す。この場合、距離画像Ｄ２のうち、該後面を構成する全ての画素が、衝突仮想距離ＣＬ１よりも短い距離を示しており、衝突可能性判定部２５は、該全ての画素の総面積Ｓ１を算出する。衝突可能性判定部２５は、算出された総面積Ｓ１が所定総面積ΔＳ０以上の場合に、ノイズ等による誤検出で無く、現行の走行速度では１ｍ前方を走行する前行搬送車１０３に追突する恐れがあるとして、前行搬送車１０３との衝突の可能性が有ると判定する。
【００５０】
また、図７（ｂ）に示すように、第４検出領域Ａ４に対応する距離画像Ｄ３は、全域に、前行搬送車１０３の後面の一部を示す。これは、例えば前行搬送車１０３が右曲りの軌道２に差しかかり、その後面の一部が、搬送車３と、５ｍの衝突仮想距離ＣＬ３をとった仮想面との間に位置することを示す。この場合、距離画像Ｄ３のうち、該後面の一部を構成する全ての画素が、衝突仮想距離ＣＬ３よりも短い距離を示しており、衝突可能性判定部２５は、該全ての画素の総面積Ｓ２を算出する。衝突可能性判定部２５は、算出された総面積Ｓ２が所定総面積ΔＳ０以上の場合に、ノイズ等による誤検出で無く、現行の走行速度では５ｍ前方を走行する前行搬送車１０３に追突する恐れがあるとして、前行搬送車１０３との衝突の可能性が有ると判定する。
【００５１】
車間距離出力部２６は、距離画像出力部１０からの距離画像に基づいて、搬送車３と前行搬送車１０３との間の車間距離Ｌｘ（図４に示す）を出力する。具体的には、車間距離出力部２６は、距離画像を構成する複数の画素のうち、搬送車３から最も近い距離に在る画素群を抽出する。車間距離出力部２７は、抽出した画素群が前行搬送車１０３の後面の面積に対応する場合に、抽出した画素群が示す最も近い距離を、車間距離Ｌｘとして出力する。
（衝突防止制御を伴う走行制御処理）
【００５２】
次に、実施形態に係る搬送システムの衝突防止制御を伴う走行制御処理について図８を参照して説明する。ここに図８は、実施形態に係る搬送システムの衝突防止制御を伴う走行制御処理を示すフローチャートである。該走行制御処理では、制御対象が搬送車３とされ、初期設定時に、検知設定部２４により、搬送車３の前面の面積に対応する第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３、及びこれら第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３に対する衝突仮想距離が設定されている。
【００５３】
図８において、先ず、距離画像出力部１０により、前方に係る距離画像が出力され（ステップＳ６１）、現在位置特定部２２により、搬送車３の現在位置が特定される（ステップＳ６２）。次に、特定された現在位置に対応する軌道情報が軌道情報データベース２１から読み取られる。すると、読み取られた軌道情報に基づいて、検知設定部２４により、第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３が、現在位置から前方に延びる軌道２に対応するように、変更される（ステップＳ６３）。
【００５４】
続いて、変更された第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３に対応する距離画像に基づいて、衝突可能性判定部２５により、各検知領域において衝突仮想距離よりも短い距離を示す画素が検出されたか否かが判定される（ステップＳ６４）。ここで該画素が検出されない場合に（ステップＳ６４：ＮＯ）、該画素が検出されるまで、ステップＳ６１からＳ６３の処理が繰り返される。
【００５５】
一方、ステップＳ６４の判定により、衝突仮想距離よりも短い距離を示す画素が検出された場合に（ステップＳ６４：ＹＥＳ）、該画素の総面積が算出され、算出された総面積が所定面積ΔＳ０以上か否かが判定される（ステップＳ６５）。ここで総面積が所定面積ΔＳ０よりも小さい場合に（ステップＳ６５：ＮＯ）、ステップＳ６１からＳ６４の処理が繰り返される。
【００５６】
一方、ステップＳ６５の判定により、総面積が所定面積ΔＳ０以上である場合に（ステップＳ６５：ＹＥＳ）、これに該当する検知領域（即ち、第１から第３検知領域Ａ１〜Ａ３のいずれか）が判定される（ステップＳ６６）。ここで該当する検知領域が、第１検知領域Ａ１である場合に（ステップＳ６６：Ａ１）、走行コントローラ４により、搬送車３が停止される（ステップＳ６７）。
【００５７】
一方、ステップＳ６６の判定により、総面積が所定面積ΔＳ０以上である検知領域が、第２検知領域Ａ２又は第３検知領域Ａ３である場合に（ステップＳ６６：Ａ２又はＡ３）、走行コントローラ４により、搬送車３が減速される（ステップＳ６８）。搬送車３が停止又は減速された状態で（ステップＳ６７又はＳ６８）、車間距離出力部２６により、前行搬送車１０３までの車間距離が出力され、出力された車間距離が所定距離となるように、搬送車３の走行速度が調整される。これにより、搬送車３において、車間距離が一定とされ、一連の衝突防止制御を伴う走行制御処理が終了される。
【００５８】
このように、本実施形態によれば、搬送車３が衝突する可能性の解析のために、前行搬送車１０３等の障害物までの距離情報を有する距離画像が用いられる。このような距離画像に基づいて、障害物を監視することにより、衝突防止コントローラ２０における情報処理を容易或いは単純に実行することができ、システム構成も単純化できる。特に、障害物センサの機能を果たす距離画像出力部１０を単独で配置して、当該搬送システム１００全体を軽量化且つ低コスト化することができる。
【００５９】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う衝突防止システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施形態に係る搬送システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１の軌道を下方から視た下面図である。
【図３】図２の軌道の各位置に対応する軌道情報を示す表である。
【図４】実施形態に係る搬送車と障害物との関係を説明するための図式的な側面図である。
【図５】実施形態に係る前方に係る距離画像を示す平面図である。
【図６】実施形態に係る検知領域を説明するための説明図である。
【図７】図６の検知領域に対応する距離画像を示す平面図である。
【図８】実施形態に係る搬送システムの衝突防止制御を伴う走行制御処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６１】
２…軌道，３…搬送車，４…走行コントローラ，１０…距離画像出力部，２０…衝突防止コントローラ，２３…距離画像解析部，１００…搬送システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図６】
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