(57)【要約】【課題】スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができ、さらに、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからず、また、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよいようなダイヘッドを提供する。【解決手段】被処理物に対して塗布液を塗布するダイヘッド１０において、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０には、当該流路２０を画定する壁部２２ａの一部を構成する内部ブロック２２が設けられている。この内部ブロック２２は、流路２０内で移動自在となっている。また、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段２４が設けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドであって、
塗布液の流路を内部に有する本体ブロックと、
前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路に塗布液を流入させるための液入口と、
前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路から塗布液を前記本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、
前記本体ブロック内の塗布液の流路に設けられ、当該流路を画定する壁部の一部を構成する内部ブロックであって、前記流路内で移動自在となっているような内部ブロックと、
前記本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、前記流路内における前記内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段と、
を備えたことを特徴とするダイヘッド。
【請求項２】
前記本体ブロックは細長い形状のものからなり、前記本体ブロック内の塗布液の流路は当該本体ブロックの長手方向に沿って延びるよう設けられており、前記スロット部および前記内部ブロックは前記本体ブロック内の塗布液の流路の長手方向に沿って延びるよう設けられていることを特徴とする請求項１記載のダイヘッド。
【請求項３】
前記液入口は前記本体ブロックの長手方向における中央部に設けられており、前記内部ブロックは前記本体ブロックの長手方向における前記液入口の両側にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２記載のダイヘッド。
【請求項４】
前記液入口は前記本体ブロックの長手方向における一方の端部に設けられており、前記内部ブロックは前記塗布液の流路内において前記本体ブロックの長手方向における一方の端部近傍から他方の端部近傍まで延びるよう設けられていることを特徴とする請求項２記載のダイヘッド。
【請求項５】
前記内部ブロックには、前記本体ブロックに固定された軸が設けられており、前記内部ブロックは当該軸を中心として揺動自在となっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のダイヘッド。
【請求項６】
前記内部ブロック位置決め手段は弾性体であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のダイヘッド。
【請求項７】
前記弾性体はバネであることを特徴とする請求項６記載のダイヘッド。
【請求項８】
前記弾性体はゴムであることを特徴とする請求項６記載のダイヘッド。
【請求項９】
前記本体ブロックは、一対の平板部材が重ね合わせられて接合されることにより構成されており、前記スロット部は前記一対の平板部材の間の隙間より構成されており、前記一対の平板部材のうち少なくとも一方の平板部材には、塗布液の流路を構成する凹部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のダイヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被処理物（具体的には、例えば反射防止用フィルム等の光学フィルム等）に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドが知られている（例えば、特許文献１等参照）。ダイヘッドは、均一な薄膜塗工が可能であることから様々な分野で広く利用されている。特許文献１等に示される従来のダイヘッドは、概して、塗布液の流路を内部に有する略直方体形状の本体ブロックと、本体ブロック内の流路に塗布液を流入させるための液入口と、本体ブロック内の流路から塗布液を本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、を備えている。一般的に、ダイヘッドを用いた塗布液の塗工方式は、ロール等を用いて塗布液の塗工を行う場合と比較して、高精度の膜厚を形成することができる。
【０００３】
従来のダイヘッドにおいて、スロット部は、本体ブロック内の流路の長手方向に沿って延びるよう設けられている。また、液入口は本体ブロックの長手方向における中央部に設けられている。そして、液入口から本体ブロック内の流路に送られた塗布液は、この流路の長手方向に沿って延びるスロット部の各領域に分配されて本体ブロックの外部に吐出されるようになっている。しかしながら、本体ブロック内の流路における長手方向の圧力損失により、本体ブロックの端部近傍においてはスロット部からの塗布液の吐出量が不足しがちである。
【０００４】
このため、従来のダイヘッドに対して、塗布液の粘度等に応じて本体ブロック内の流路の終端側のスロット間隔を広げたり（特許文献１等参照）、あるいは図８や図９に示すように塗布液の流路をテーパ形状にしたりすることが考えられている。
【０００５】
図８および図９に、塗布液の流路をテーパ形状にしたダイヘッドを示す。ここで、図８は、従来のダイヘッドの構成を示す縦断面図であり、図９は、図８に示すダイヘッドの縦断面図である。なお、図８は、図９に示すダイヘッドのＥ−Ｅライン矢視による縦断面図となっている。
【０００６】
図８および図９に示すように、一般的なダイヘッド５０は、塗布液の流路６０を内部に有する本体ブロック５２と、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０に連通するよう設けられ、この流路６０に塗布液を流入させるための液入口５６と、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０に連通するよう設けられ、この流路６０から塗布液を本体ブロック５２の外部に吐出するためのスロット部５８とを備えている。より詳細には、図９に示すように、液入口５６は、本体ブロック５２の長手方向（図９の左右方向）における中央部に設けられている。本体ブロック５２の外部からこの液入口５６に塗布液が送られることにより、当該液入口５６を介して本体ブロック５２内の塗布液の流路６０に塗布液が流入することとなる。また、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０における液入口５６と反対側にはスロット部５８が設けられている。より具体的には、スロット部５８は、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０の長手方向（図９の左右方向）に沿って細長く延びるよう設けられており、このスロット部５８から本体ブロック５２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出されるようになっている。
【０００７】
そして、図８および図９に示すダイヘッド５０においては、流路６０は、本体ブロック５２の長手方向における中央部から両端部に向かってその断面積が小さくなるような、いわゆる左右一対のテーパ形状となっている。このように、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０をテーパ形状とすることにより、本体ブロック５２の長手方向における中央部から端部に向かって流路６０内で塗布液が流れる間にその一部がスロット部５８から本体ブロック５２の外部に吐出されたとしても、本体ブロック５２の長手方向における中央部から端部に流れる間における塗布液の流量の減少に応じて流路６０の断面積が小さくなるので、流路６０内の塗布液の圧力を均一にすることができる。このことにより、スロット部５８からの塗布液の吐出量を、本体ブロック５２の長手方向において均一とすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−９３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に示すダイヘッドや、図８および図９に示すようなダイヘッドにおいては、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合には、塗布液の流路のテーパ形状に関して、テーパ率（流路の終端側の断面積を入口側の断面積で割り算した値）を変更しなければならず、本体ブロック内の流路の構造（寸法や形状等）を変更しなければならない。このような本体ブロック内の流路の構造の変更には手間や費用がかかるとともに、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなければならないという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、本体ブロック内にある塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にすることができ、このため、スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができ、また、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができ、このため、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからず、また、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよいようなダイヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のダイヘッドは、被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドであって、塗布液の流路を内部に有する本体ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路に塗布液を流入させるための液入口と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路から塗布液を前記本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に設けられ、当該流路を画定する壁部の一部を構成する内部ブロックであって、前記流路内で移動自在となっているような内部ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、前記流路内における前記内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
このようなダイヘッドによれば、本体ブロック内の塗布液の流路には、この流路の壁部の一部を構成する内部ブロックが設けられており、この内部ブロックは流路内で移動自在となっており、また、内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路内における内部ブロックの位置を調整するようになっている。このように、内部ブロックおよびこの内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段が設けられているので、流路を流れる塗布液の圧力を均一にすることができ、このため、スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができる。
【００１３】
また、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロックが流路内で移動自在となっているので、内部ブロック位置決め手段が内部ブロックの位置の調整を行うことにより、本体ブロック内の塗布液の流路のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。このため、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからない。また、内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路内における内部ブロックの位置を調整するので、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよい。
【００１４】
本発明のダイヘッドにおいては、前記本体ブロックは細長い形状のものからなり、前記本体ブロック内の塗布液の流路は当該本体ブロックの長手方向に沿って延びるよう設けられており、前記スロット部および前記内部ブロックは前記本体ブロック内の塗布液の流路の長手方向に沿って延びるよう設けられていることが好ましい。
【００１５】
この場合、前記液入口は前記本体ブロックの長手方向における中央部に設けられており、前記内部ブロックは前記本体ブロックの長手方向における前記液入口の両側にそれぞれ設けられていることがより好ましい。
【００１６】
また、前記液入口は前記本体ブロックの長手方向における一方の端部に設けられており、前記内部ブロックは前記塗布液の流路内において前記本体ブロックの長手方向における一方の端部近傍から他方の端部近傍まで延びるよう設けられていることが好ましい。
【００１７】
本発明のダイヘッドにおいては、前記内部ブロックには、前記本体ブロックに固定された軸が設けられており、前記内部ブロックは当該軸を中心として揺動自在となっていることが好ましい。
【００１８】
本発明のダイヘッドにおいては、前記内部ブロック位置決め手段は弾性体であることが好ましい。この場合、前記弾性体はバネであってもよい。あるいは、前記弾性体はゴムであってもよい。
【００１９】
本発明のダイヘッドにおいては、前記本体ブロックは、一対の平板部材が重ね合わせられて接合されることにより構成されており、前記スロット部は前記一対の平板部材の間の隙間より構成されており、前記一対の平板部材のうち少なくとも一方の平板部材には、塗布液の流路を構成する凹部が設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のダイヘッドによれば、スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができ、さらに、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからず、また、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一の実施の形態におけるダイヘッドの構成の概略を示す概略構成図（横断面図）である。
【図２】図１に示すダイヘッドのＡ−Ａライン矢視による側断面図である。
【図３】図１に示すダイヘッドのＢ−Ｂライン矢視による側断面図である。
【図４】図１に示すダイヘッドのＣ−Ｃライン矢視による側断面図である。
【図５】本発明におけるダイヘッドの他の構成の概略を示す側断面図である。
【図６】本発明におけるダイヘッドの更に他の構成の概略を示す概略構成図である。
【図７】図６に示すダイヘッドのＤ−Ｄライン矢視による側断面図である。
【図８】従来のダイヘッドの構成を示す縦断面図である。
【図９】図８に示すダイヘッドの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の一の実施の形態について説明する。図１乃至図４は、本実施の形態に係るダイヘッドを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態におけるダイヘッドの構成の概略を示す概略構成図（横断面図）であり、図２は、図１に示すダイヘッドのＡ−Ａライン矢視による側断面図であり、図３は、図１に示すダイヘッドのＢ−Ｂライン矢視による側断面図である。また、図４は、図１に示すダイヘッドのＣ−Ｃライン矢視による側断面図である。なお、図１乃至図４において、矢印は塗布液の流れる方向を示している。
【００２３】
図１乃至図４に示すように、本実施の形態によるダイヘッド１０は、塗布液の流路２０を内部に有する本体ブロック１２と、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に連通するよう設けられ、この流路２０に塗布液を流入させるための液入口１６と、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に連通するよう設けられ、この流路２０から塗布液を本体ブロック１２の外部に吐出するためのスロット部１８とを備えている。
【００２４】
以下、図１乃至図４に示すダイヘッド１０の各構成要素の詳細について以下に説明する。
【００２５】
図１等に示すように、本体ブロック１２は細長い形状のものからなり、この本体ブロック１２は、一対の平板部材１２ａ、１２ｂが重ね合わせられ接合されることにより構成されている（図２や図３等参照）。この本体ブロック１２の内部には塗布液の流路２０が形成されている。より具体的には、一対の平板部材１２ａ、１２ｂのうち少なくとも一方の平板部材（図１乃至図４に示す例においては平板部材１２ｂ）には、図２や図３に示すように、塗布液の流路２０を構成する凹部が形成されている。この塗布液の流路２０は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）に沿って細長く延びるよう設けられている。
【００２６】
図１に示すように、液入口１６は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）における中央部に設けられている。本体ブロック１２の外部からこの液入口１６に塗布液が送られることにより、当該液入口１６を介して本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に塗布液が流入することとなる。
【００２７】
図１や図２等に示すように、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０における液入口１６と反対側にはスロット部１８が設けられている。より具体的には、スロット部１８は、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０の長手方向（図１の左右方向）に沿って細長く延びるよう設けられており、このスロット部１８から本体ブロック１２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出されるようになっている。
【００２８】
本実施の形態のダイヘッド１０においては、図２乃至図４に示すように、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０には、この流路２０を画定する壁部の一部２２ａを構成する内部ブロック２２が設けられている。この内部ブロック２２は、流路２０内において図２や図３の上下方向に移動自在となっている。より具体的には、図４に示すように、内部ブロック２２は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）における液入口１６の両側にそれぞれ左右一対となるよう設けられている。そして、各内部ブロック２２の長手方向における中央部には軸２３が設けられており、各内部ブロック２２はこの軸２３を中心として図４の矢印に示すように揺動自在となっている。なお、各内部ブロック２２の中央部に設けられた軸２３は本体ブロック１２に固定されている。
【００２９】
そして、各内部ブロック２２には、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段が設けられている。内部ブロック位置決め手段は、例えば内部ブロック２２の裏面（流路２０の壁部の一部２２ａを構成する面とは反対側の面）の両端部に設けられた一対のバネ２４から構成されている。各バネ２４は、その一端が内部ブロック２２の裏面の端部に取り付けられており、その他端は本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられている。また、図４に示すように、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４のうち、液入口１６に近いバネ２４よりも、液入口１６から遠いバネ２４の方が長くなっている。
【００３０】
各内部ブロック２２の両端部に、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた一対のバネ２４が設けられており、この内部ブロック２２は軸２３を中心として揺動自在となっているので、内部ブロック２２に何ら力がかかっていない状態においてはこの内部ブロック２２は図４に示すような所定の位置（向き）となる。一方、流路２０に塗布液が送られて内部ブロック２２が塗布液により押圧されたときには、内部ブロック２２が軸２３を中心として揺動するとともに、一対のバネ２４により均一な力が内部ブロック２２に対して作用することとなるので、内部ブロック２２は、流路２０内の塗布液の圧力が均一となるような位置（向き）に変わる。
【００３１】
次に、このような構成からなるダイヘッド１０の動作について説明する。
【００３２】
ダイヘッド１０の液入口１６に塗布液を送ると、この液入口１６を介して本体ブロック１２内の流路２０に塗布液が送られる。流路２０に送られた塗布液は、図１に示すように、流路２０内において本体ブロック１２の長手方向における中央部から両端部に向かって流れることとなる。そして、この流路２０からスロット部１８に塗布液が分散して送られ、スロット部１８から本体ブロック１２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出される。
【００３３】
上述のような動作が行われるときに、流路２０は塗布液で満たされることとなる。この際に、流路２０内の塗布液が各内部ブロック２２に力を及ぼすこととなる。ここで、各内部ブロック２２は軸２３を中心として揺動自在となっており、各内部ブロック２２の裏面における両端部には、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた一対のバネ２４が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力は均一となる。すなわち、もし仮に、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、この塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力も不均一となるが、内部ブロック２２の長手方向における圧力偏差が大きくなった際には、各バネ２４がそれぞれ独立して伸縮を行うことにより、この圧力偏差をバネ２４の弾性力が吸収する。具体的には、例えば塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が大きい箇所ではバネ２４が縮むことにより流路２０の断面積が大きくなり、塗布液の圧力が小さくなるのでこの塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が小さくなる。このようにして、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、内部ブロック２２に加えられる力が均一となるよう内部ブロック２２の位置が変更される。このように、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段により、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置が決められることとなる。
【００３４】
また、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４は、液入口１６に近いバネ２４よりも、液入口１６から遠いバネ２４の方が長くなっている。このため、流路２０は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）における中央部から両端部に向かってその断面積が小さくなるような、いわゆる左右一対のテーパ形状となる。このように、本体ブロック１２内の流路２０をテーパ形状とすることにより、本体ブロック１２の長手方向における中央部から端部に向かって流れる塗布液の圧力をより一層、均一にすることができる。
【００３５】
また、図１乃至図４に示すようなダイヘッド１０において、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロック２２が流路２０内で移動自在となっているので、この流路２０のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。
【００３６】
以上のように本実施の形態のダイヘッド１０によれば、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０には、この流路２０の壁部の一部２２ａを構成する内部ブロック２２が設けられており、この内部ブロック２２は流路２０内で移動自在となっており、さらに、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整するようになっている。このように、内部ブロック２２およびこの内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段（例えば、一対のバネ２４）が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にすることができ、このため、スロット部１８からの塗布液の吐出量を、本体ブロック１２の長手方向において均一とすることができる。
【００３７】
また、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロック２２が流路２０内で移動自在となっているので、一対のバネ２４等の内部ブロック位置決め手段が内部ブロック２２の位置の調整を行うことにより、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。このため、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０の構造の変更に手間や費用がかからない。また、内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整するので、新たな流路２０の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよい。
【００３８】
なお、本実施の形態によるダイヘッド１０は、上記の態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００３９】
例えば、図４に示すダイヘッド１０において、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４は、液入口１６に近いバネ２４よりも、液入口１６から遠いバネ２４の方が長くなっているが、一対のバネ２４の長さはこのような例に限定されることはない。他のダイヘッド１０として、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４の長さが同じとなっていてもよい。
【００４０】
また、本実施の形態によるダイヘッド１０の他の例として、各内部ブロック２２を枢支する軸２３を省略してもよい。このようなダイヘッド１０でも、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整することとなる。
【００４１】
また、図５に、本実施の形態における他の構成のダイヘッドを示す。図５に示すダイヘッド１０ａは、各内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段として、一対のバネ２４の代わりにゴム２５等の弾性体の塊体を用いている。すなわち、図５に示すように、内部ブロック２２の裏面（流路２０の壁部の一部２２ａを構成する面とは反対側の面）には塊状のゴム２５が取り付けられており、このゴム２５は本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられている。また、流路２０に塗布液が流れていないような状態において、本体ブロック１２の長手方向における中央部から両端部に向かって流路２０の断面積が小さくなるような位置に各内部ブロック２２が配置されるよう、ゴム２５の形状が定めされている。
【００４２】
図５に示すようなダイヘッド１０ａにおいて、液入口１６を介して本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に塗布液が流入すると、流路２０は塗布液で満たされることとなる。この際に、流路２０内の塗布液が各内部ブロック２２に力を及ぼすこととなる。ここで、各内部ブロック２２の裏面には、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた塊状のゴム２５が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力は均一となる。すなわち、もし仮に、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、この塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力も不均一となるが、内部ブロック２２の長手方向における圧力偏差が大きくなった際には、ゴム２５が弾性変形を行うことにより、この圧力偏差をゴム２５の弾性力が吸収する。具体的には、例えば塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が大きい箇所ではゴム２５が縮むことにより流路２０の断面積が大きくなり、塗布液の圧力が小さくなるのでこの塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が小さくなる。このようにして、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、内部ブロック２２に加えられる力が均一となるよう内部ブロック２２の位置が変更される。このように、図５に示すようなゴム２５からなる内部ブロック位置決め手段でも、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置が決められることとなる。
【００４３】
また、図６および図７に、本実施の形態における更に他の構成のダイヘッドを示す。図６は、本実施の形態におけるダイヘッドの更に他の構成の概略を示す概略構成図であり、図７は、図６に示すダイヘッドのＤ−Ｄライン矢視による側断面図である。なお、図６および図７において、矢印は塗布液の流れる方向を示している。
【００４４】
図６および図７に示すダイヘッド１０ｂは、図１乃至図４に示すダイヘッド１０と比較して、液入口１７が本体ブロック１２の長手方向における中央部ではなく一方の端部に設けられた点が異なるのみであり、他の構成は図１乃至図４に示すダイヘッド１０と実質的に同一となっている。
【００４５】
図６および図７に示すダイヘッド１０ｂにおいて、前述のように、本体ブロック１２の内部の流路２０に塗布液を流入させるための液入口１７は、本体ブロック１２の長手方向における一方の端部（具体的には、図６等における左側の端部）に設けられている。そして、この液入口１７を介して流路２０に流入した塗布液は、図６の左側から右側に向かって流路２０を流れるようになっている。
【００４６】
また、図７に示すように、流路２０を画定する壁部の一部２２ａを構成する内部ブロック２２の数は１つとなっており、この内部ブロック２２は、流路２０内において本体ブロック１２の長手方向における一方の端部（左側の端部）の近傍から他方の端部（右側の端部）の近傍まで延びるよう設けられている。
【００４７】
また、内部ブロック２２の長手方向における中央部には軸２３が設けられており、内部ブロック２２はこの軸２３を中心として図７の矢印に示すように揺動自在となっている。なお、内部ブロック２２の中央部に設けられた軸２３は本体ブロック１２に固定されている。そして、各内部ブロック２２には、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段が設けられている。内部ブロック位置決め手段は、例えば内部ブロック２２の裏面（流路２０の壁部の一部２２ａを構成する面とは反対側の面）の両端部に設けられた一対のバネ２４から構成されている。各バネ２４は、その一端が内部ブロック２２の裏面の端部に取り付けられており、その他端は本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられている。また、図７に示すように、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４のうち、液入口１７に近いバネ２４よりも、液入口１７から遠いバネ２４の方が長くなっている。
【００４８】
次に、図６および図７に示されるダイヘッド１０ｂの動作について説明する。
【００４９】
ダイヘッド１０ｂの液入口１７に塗布液を送ると、この液入口１７を介して本体ブロック１２内の流路２０に塗布液が送られる。流路２０に送られた塗布液は、図６に示すように、流路２０内において本体ブロック１２の長手方向における左側から右側に向かって流れることとなる。そして、この流路２０からスロット部１８に塗布液が分散して送られ、スロット部１８から本体ブロック１２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出される。
【００５０】
上述のような動作が行われるときに、流路２０は塗布液で満たされることとなる。この際に、流路２０内の塗布液が各内部ブロック２２に力を及ぼすこととなる。ここで、内部ブロック２２は軸２３を中心として揺動自在となっており、この内部ブロック２２の裏面における両端部には、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた一対のバネ２４が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力は均一となる。すなわち、もし仮に、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、この塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力も不均一となるが、内部ブロック２２の長手方向における圧力偏差が大きくなった際には、各バネ２４がそれぞれ独立して伸縮を行うことにより、この圧力偏差をバネ２４の弾性力が吸収する。具体的には、例えば塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が大きい箇所ではバネ２４が縮むことにより流路２０の断面積が大きくなり、塗布液の圧力が小さくなるのでこの塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が小さくなる。このようにして、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、内部ブロック２２に加えられる力が均一となるよう内部ブロック２２の位置が変更される。このように、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段により、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置が決められることとなる。
【００５１】
また、内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４は、液入口１７に近いバネ２４よりも、液入口１７から遠いバネ２４の方が長くなっている。このため、流路２０は、本体ブロック１２の左側から右側に向かってその断面積が小さくなるような、いわゆるテーパ形状となる。このように、本体ブロック１２内の流路２０をテーパ形状とすることにより、本体ブロック１２の長手方向における左側から右側に流れる塗布液の圧力をより一層、均一にすることができる。
【００５２】
また、図６および図７に示すようなダイヘッド１０ｂにおいて、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロック２２が流路２０内で移動自在となっているので、この流路２０のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１０、１０ａ、１０ｂ  ダイヘッド
１２  本体ブロック
１２ａ、１２ｂ  平板部材
１６  液入口
１７  液入口
１８  スロット部
２０  塗布液の流路
２２  内部ブロック
２２ａ  流路を画定する壁部の一部
２３  軸
２４  バネ
２５  塊状のゴム
５０  ダイヘッド
５２  本体ブロック
５６  液入口
５８  スロット部
６０  塗布液の流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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