(57)【要約】【課題】表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難な場合であっても光透過性物体の厚さを測定することが可能な厚さ測定装置及び厚さ測定方法を提供する。【解決手段】厚さ測定装置１は、投光部２と、配置面１１Ａ上に光透過性物体９が無い場合における配置面反射光Ｌ２３と、配置面上に光透過性物体が在る場合における裏面反射光Ｌ２２とをそれぞれ受光可能な受光部１３と、受光部における反射光の受光位置Ｘ３及び裏面反射光の受光位置Ｘ２間の距離ΔＸ２と、光透過性物体の厚さｄ１とにおける相関関係に基づき光透過性物体の厚さを測定する測定部８と、を備える。【選択図】図６
2010156603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配置面上に存在する光透過性物体の厚さを測定する厚さ測定装置であって、
前記配置面側に向けて斜め向きに光を出射する投光部と、
前記配置面上に前記光透過性物体が無い場合における前記配置面からの正反射光である第１反射光と、前記配置面上に前記光透過性物体が在る場合における前記配置面からの正反射光である第２反射光とをそれぞれ受光可能な受光部と、
前記受光部における前記第１反射光の受光位置及び前記第２反射光の受光位置間の距離と、前記光透過性物体の厚さとにおける相関関係に基づき前記光透過性物体の厚さを測定する測定部と、を備える厚さ測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の厚さ測定装置であって、
前記測定部は、次の演算式に基づき前記光透過性物体の厚さｄ１を測定する構成である。
2010156603.tif 000010
但し、ｄ１：光透過性物体の厚さ
ΔＸ２：第１反射光の受光位置と第２反射光の受光位置との距離
θ１：投光部から光透過性物体への光の入射角度
ｎ１：光透過性物体の周囲の屈折率
ｎ２：光透過性物体の屈折率
ｋ：受光部の受光面の角度に応じた係数
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の厚さ測定装置であって、
前記投光部からの出射光の、前記配置面に対する入射角度が、前記配置面で正反射可能な最大角度に設定されている。
【請求項４】
所定の配置面上に存在する光透過性物体の厚さを測定する厚さ測定方法であって、
前記配置面上に前記光透過性物体が無い場合に、当該配置面に向けて光を出射し、前記配置面で正反射した第１反射光を所定の受光面で受光する第１ステップと、
前記配置面上に前記光透過性物体が在る場合に、光を出射し、前記配置面で正反射した第２反射光を前記受光面で受光する第２ステップと、
前記受光面上における前記第１反射光の受光位置及び前記第２反射光の受光位置間の距離と、前記光透過性物体の厚さとにおける相関関係に基づき前記光透過性物体の厚さを測定する第３ステップと、を含む厚さ測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光透過性物体の厚さを測定する厚さ測定装置及び厚さ測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガラスなどの透明体の厚さを測定する厚さ測定装置が提供されている（特許文献１参照）。この厚さ測定装置は、受光素子としてＣＣＤが用いられており、透明体の表面からの反射光と裏面からの反射光がそのＣＣＤにそれぞれ受光されるように構成されている。そして、表面及び裏面の反射位置に対応してＣＣＤ上での反射光の受光位置が定まるようになっており、表面及び裏面の各反射光の照射領域において、受光レベルがピークに達するピーク位置をそれぞれ検出し、それらピーク位置に基づいて透明体の厚さを測定するといった方法を用いている。
【特許文献１】特開２００４−９３２０６公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述したように、上記従来の厚さ測定装置では、透明体の表面からの反射光と裏面からの反射光との受光位置を検出し、両受光位置に基づき透明体の厚さを測定する。ところが、例えば透明体の光透過率が比較的に高いときや、透明体が比較的に薄いときなどには、表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難となり、厚さ測定ができなくなるという問題があった。
【０００４】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、その目的は、表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難な場合であっても光透過性物体の厚さを測定することが可能な厚さ測定装置及び厚さ測定方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）上記の目的を達成するための手段として、第１の発明に係る厚さ測定装置は、所定の配置面上に存在する光透過性物体の厚さを測定する厚さ測定装置であって、前記配置面側に向けて斜め向きに光を出射する投光部と、前記配置面上に前記光透過性物体が無い場合における前記配置面からの正反射光である第１反射光と、前記配置面上に前記光透過性物体が在る場合における前記配置面からの正反射光である第２反射光とをそれぞれ受光可能な受光部と、前記受光部における前記第１反射光の受光位置及び前記第２反射光の受光位置間の距離と、前記光透過性物体の厚さとにおける相関関係に基づき前記光透過性物体の厚さを測定する測定部と、を備える
【０００６】
本願の発明者は、例えば投光部から配置面に向かう光の入射角度、光透過性物体の屈折率及び当該光透過性物体の周囲の屈折率が固定であれば、受光部における第１反射光の受光位置と第２反射光の受光位置との距離は、光透過性物体の厚さに応じて変化すること、即ち、上記受光位置間の距離と光透過性物体の厚さとの間に相関関係が成立することを見出した。
そこで、この発明では、上記相関関係に基づき光透過性物体の厚さを測定するようにした。これにより、表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置と判別することが困難な場合であっても、光透過性物体の厚さを測定することが可能である。
【０００７】
（２）第２の発明は、第１の発明の厚さ測定装置であって、前記測定部は、次の演算式に基づき前記光透過性物体の厚さｄ１を測定する構成である。
2010156603.tif 000003
但し、ｄ１：光透過性物体の厚さ
ΔＸ２：第１反射光の受光位置と第２反射光の受光位置との距離
θ１：投光部から光透過性物体への光の入射角度
ｎ１：光透過性物体の周囲の屈折率
ｎ２：光透過性物体の屈折率
ｋ：受光部の受光面の角度に応じた係数
【０００８】
（３）第３の発明は、第１または２の発明の厚さ測定装置であって、前記投光部からの出射光の、前記配置面に対する入射角度が、前記配置面で正反射可能な最大角度に設定されている。
この発明によれば、例えば光透過性物体の屈折率と、当該光透過性物体の周囲媒質の屈折率との差が小さくても、第１反射光の受光位置と第２反射光の受光位置との距離を長くすることができるため、厚さ測定の精度低下を抑制することが可能である。
【０００９】
（４）第４の発明に係る厚さ測定方法は、所定の配置面上に存在する光透過性物体の厚さを測定する厚さ測定方法であって、前記配置面上に前記光透過性物体が無い場合に、当該配置面に向けて光を出射し、前記配置面で正反射した第１反射光を所定の受光面で受光する第１ステップと、前記配置面上に前記光透過性物体が在る場合に、光を出射し、前記配置面で正反射した第２反射光を前記受光面で受光する第２ステップと、前記受光面上における前記第１反射光の受光位置及び前記第２反射光の受光位置間の距離と、前記光透過性物体の厚さとにおける相関関係に基づき前記光透過性物体の厚さを測定する第３ステップと、を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難な場合であっても光透過性物体の厚さを測定することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の一実施形態を図１から図８を参照しつつ説明する。
図１は本実施形態の厚さ測定装置１のブロック図である。同図に示すように、厚さ測定装置１は、光透過性を有する透明体９（例えばガラス、フラックスなど  本発明の「光透過性物体」の一例）の厚さを測定するための装置である。なお、同図には、透明体９が、例えば高反射率の表面１１Ａ（本発明の「配置面」の一例）を有する高反射率材１１（例えば、アルミ等の金属材料からなる板材等）上に配置された状態が例示されている。
【００１２】
１．厚さ測定装置の構成
図１に示すように、厚さ測定装置１は、投光部２、受光部１３、ＣＰＵ８を備える。
【００１３】
投光部２は、高反射率材１１または透明体９に向けて斜め方向から光Ｌ１を出射する。具体的には、投光部２は、例えばレーザ光等を照射する投光素子３と、それを駆動する投光駆動回路１２とを有しており、この投光素子３が透明体９に対して斜め方向から光Ｌ１を出射するように構成される。
【００１４】
受光部１３は、投光部２から出射され高反射率材１１または透明体９にて反射した反射光Ｌ２を受光する。具体的には、受光部１３は、その反射光Ｌ２を受光するＣＣＤ５、ＣＣＤ駆動回路４、増幅回路６を有している。なお、ＣＣＤ５としては１次元ＣＣＤラインセンサや、或いは２次元の受光領域を有する２次元ＣＣＤなどを適用可能である。
【００１５】
ＣＣＤ５において画素毎に生成される信号がＣＣＤ駆動回路４によって読み出される。このＣＣＤ駆動回路４は、ＣＣＤ５の受光面５Ａ上での位置毎（具体的にはセル毎）の受光レベルを示す受光信号ＳＧ１を出力する信号出力部として機能し、出力された受光信号ＳＧ１が増幅回路６により増幅され、ＣＰＵ８に取り込まれるようになっている。
【００１６】
ＣＣＤ５は次の反射光Ｌ２（Ｌ２１〜Ｌ２３）を受光可能に配置されている。
「表面反射光Ｌ２１」：高反射率材１１上に透明体９が有る場合に、投光部２から出射され当該透明体９の表面９Ａにて正反射した反射光Ｌ２
「裏面反射光Ｌ２２」：高反射率材１１上に透明体９が有る場合に、投光部２から出射され当該透明体９の裏面９Ｂにて正反射した反射光Ｌ２（本発明の「第２反射光」の一例）
「配置面反射光Ｌ２３」：高反射率材１１上に透明体９が無い場合に、投光部２から出射され高反射率材１１の表面１１Ａにて反射した反射光Ｌ２（本発明の「第１反射光」の一例）
【００１７】
ＣＰＵ８は、上記投光駆動回路１２、ＣＣＤ駆動回路４等を制御すると共に、次述する厚さ測定処理を実行する。また、このＣＰＵ８には、メモリ１４及び操作部１５が接続されている。
【００１８】
２．厚さ測定処理
厚さ測定装置１は、透明体９の厚さを測定するためのモードを２つ有している。１つ目は、表面反射光Ｌ２１及び裏面反射光Ｌ２２を利用する「第１モード」であり、２つ目は、裏面反射光Ｌ２２及び配置面反射光Ｌ２３を利用する「第２モード」である。ユーザは操作部１５にて第１モード及び第２モードのいずれかを選択することができる。
【００１９】
２−１．第１モード
図２は表面反射光Ｌ２１及び裏面反射光Ｌ２２の光路を示す模式図であり、図３は第１モード処理を示すフローチャートである。なお、図２中の各符号の意味は次の通りである。
θ１：透明体９の表面９Ａに対する、投光部２の出射光Ｌ１の入射角度
θ２：透明体９の表面９Ａにおける投光部２の出射光Ｌ１の屈折角度
ｎ１：透明体９に接触する媒体（例えば空気）の屈折率
ｎ２：透明体９自身の屈折率
ｄ１：透明体９の厚さ
【００２０】
ユーザは、第１モードを使用したい場合、高反射率材１１上に透明体９を配置して操作部１５にて第１モードを選択し実行する。すると、ＣＰＵ８は図３に示す第１モード処理を実行する。まずＳ１０で投光部２に投光動作を実行させる。これにより、投光部２からの出射光Ｌ１が透明体９に照射され、表面反射光Ｌ２１及び裏面反射光Ｌ２２がそれぞれＣＣＤ５にて受光される。次にＳ１２で、ＣＣＤ駆動回路４を駆動させてＣＣＤ５から受光信号ＳＧ１を取り込む。
【００２１】
図４はＣＣＤ５上の受光レベルを示す波形図である。同図中の符号Ｘ１は表面反射光Ｌ２１の受光位置（以下、「表面受光位置Ｘ１」という）であり、符号Ｘ２は裏面反射光Ｌ２２の受光位置（以下、「裏面反射位置Ｘ２」という）である。ＣＰＵ８は、Ｓ１４では、受光信号ＳＧ１に基づき表面受光位置Ｘ１、及び、裏面受光位置Ｘ２を検出する。例えば受光レベルがピーク（極大値）を示す２つの画素位置を特定し、これらの受光位置Ｘ１、Ｘ２とする。
【００２２】
Ｓ１６では、受光位置Ｘ１、Ｘ２に基づき透明体９の厚さを測定する。ここで、例えば入射角度θ１、屈折率ｎ１，ｎ２が一定であれば、表面受光位置Ｘ１と裏面受光位置Ｘ２との間における距離ΔＸ１と、透明体９の厚さｄ１との間に相関関係が成立し、距離ΔＸ１は透明体９の厚さｄ１に応じた値を示す。そこで、本実施形態では、予め、様々な厚さの透明体９について厚さｄ１及び距離ΔＸ１を複数サンプリングし、厚さｄ１と距離ΔＸ１との対応関係に基づく関係式（ｄ１＝ｃ・ΔＸ１  ｃは比例係数）を導出し、その関係式情報がメモリ１４に記憶されている。そして、ＣＰＵ８は、Ｓ１２で取り込んだ受光信号ＳＧ１に基づく距離ΔＸ１と上記関係式情報とに基づき、現在の測定対象である透明体９の厚さｄ１を測定し、本第１モード処理を終了する。なお、上記複数のサンプリングから、厚さｄ１と距離ΔＸ１との対応関係テーブルを作成しておき、これをメモリ１４に記憶し、距離ΔＸ１と対応関係テーブルとに基づき厚さｄ１を測定してもよい。
【００２３】
２−２．第２モード
図５は透明体９が無いときの配置面反射光Ｌ２３の光路を示す模式図であり、図６は透明体９が有るときの裏面反射光Ｌ２２及び配置面反射光Ｌ２３の光路を示す模式図であり、図７は第２モード処理を示すフローチャートである。なお、図６中の符号ｄ２については後述し、これ以外の符号の意味は図２と同様である。
【００２４】
ユーザは、第２モードを使用したい場合、まず図５に示すように高反射率材１１上に透明体９を配置せずに操作部１５にて第２モードを選択し実行する。すると、ＣＰＵ８は図７に示す第２モード処理を実行する。まずＳ２０で投光部２に投光動作を実行させる。これにより、投光部２からの出射光Ｌ１が高反射率材１１の表面１１Ａ上に照射され、配置面反射光Ｌ２３がＣＣＤ５にて受光される。次にＳ２２で、ＣＣＤ駆動回路４を駆動させてＣＣＤ５から受光信号ＳＧ１を取り込む（本発明の「第１ステップ」の一例）。
【００２５】
図８はＣＣＤ５上の受光レベルを示す波形図である。同図中の符号Ｘ３は配置面反射光Ｌ２３の受光位置（以下、「配置面受光位置Ｘ３」という）であり、実線波形Ｕ１は透明体９が無いときの受光波形であり、点線波形Ｕ２は透明体９が有るときの受光波形であり、その他の符号の意味は図４と同様である。ＣＰＵ８は、Ｓ２４では、図３のＳ１４と同様の方法により、受光信号ＳＧ１に基づき配置面受光位置Ｘ３を検出する。
【００２６】
次に、ユーザは高反射率材１１上に透明体９を配置し、操作部１５にて所定の操作をすると、ＣＰＵ８は、Ｓ２６で投光部２に再び投光動作を実行させる。これにより、投光部２からの出射光Ｌ１が透明体９に照射され、表面反射光Ｌ２１及び裏面反射光Ｌ２２がそれぞれＣＣＤ５にて受光される。次にＳ２８で、ＣＣＤ駆動回路４を駆動させてＣＣＤ５から受光信号ＳＧ１を取り込む（本発明の「第２ステップ」の一例）。
【００２７】
ここで、例えば透明体９が比較的に薄い場合には、図８の点線波形Ｕ２に示すように、裏面受光位置Ｘ２に対応するピーク波形と表面受光位置Ｘ１に対応するピーク波形とが近接するため、受光信号ＳＧ１から裏面受光位置Ｘ２と表面受光位置Ｘ１とを判別することが困難になる。また、例えば透明体９の光透過率が比較的に高く、その表面９Ａでの反射率が高反射率材１１の反射率に比べて比較的に小さい場合には、裏面受光位置Ｘ２に対応するピーク波形に対して表面受光位置Ｘ１に対応するピーク波形が比較的に小さくなるため、やはり受光信号ＳＧ１から裏面受光位置Ｘ２と表面受光位置Ｘ１とを判別することが困難になる。従って、上記第１モード処理で透明体９の厚さを測定することができなくなるおそれがある。
【００２８】
これに対して、第２モード処理では、裏面受光位置Ｘ２と表面受光位置Ｘ１とを判別することは必ずしも必須ではない。具体的には、ＣＰＵ８は、Ｓ３０では、図３のＳ１４と同様の方法により、受光信号ＳＧ１に基づき、少なくとも裏面反射位置Ｘ２を検出する。なお、裏面受光位置Ｘ２と表面受光位置Ｘ１とが判別可能であれば裏面反射位置Ｘ２を検出し、判別不能である場合には、受光レベルが最大値を示す画素位置を裏面反射位置Ｘ２とみなしてもよい。要するに、表面反射光Ｌ２１が混在する裏面反射光Ｌ２２の受光位置を、裏面反射位置Ｘ２としてもよいのである。
【００２９】
続いてＣＰＵ８は、Ｓ３２で配置面受光位置Ｘ３及び裏面受光位置Ｘ２に基づき透明体９の厚さｄ１を測定する（本発明の「第３ステップ」の一例）。このときＣＰＵ８は本発明の「測定部」として機能する。ここで、例えば入射角度θ１、屈折率ｎ１，ｎ２が一定であれば、配置面受光位置Ｘ３と裏面受光位置Ｘ２との間における距離ΔＸ２と、透明体９の厚さｄ１との間に相関関係（比例係数α）が成立し、距離ΔＸ２は透明体９の厚さｄ１に応じた値を示す。このことは図６を参照しつつ次のように証明することができる。
【００３０】
なお、図６の符号ｄ２（＝ΔＸ２・cosθ１＝ΔＸ２・ｋ）は、距離ΔＸ２に応じた値を示す。また、符号ａは、出射光Ｌ１の表面９Ａに対する入射位置と屈折光Ｌ１'の裏面９Ｂへの入射位置との、表面９Ａに沿った方向における距離（以下、「入射距離ａ」という）である。また、本実施形態では、配置面反射光Ｌ２３がＣＣＤ５の受光面５Ａに直角に入射することを前提として、ｋ＝cosθ１としたが、このｋは、受光面５Ａの角度に応じて変わる。
【００３１】
まず入射角度θ１、屈折角度θ２、入射距離ａ、厚さｄ１、ｄ２の間に次の数式が成立する。
［数式１］
2010156603.tif 000004
【００３２】
次に、上記数式１より入射距離ａを消去すると、次の数式２が成立する。
［数式２］
2010156603.tif 000005
従って、上記比例係数α（ｄ１＝α・ｄ２）は次の数式３で表すことができる。
［数式３］
2010156603.tif 000006
【００３３】
また、スネルの式（数式４）から屈折角度θ２を表す式（数式５）を導出できる。
［数式４］
2010156603.tif 000007
［数式５］
2010156603.tif 000008
【００３４】
そして、数式３と数式５とから屈折角度θ２を消去すると、次の数式６を求めることができる。
［数式６］
2010156603.tif 000009
【００３５】
この数式６から明らかなように、比例係数αは入射角度θ１、屈折率ｎ１，ｎ２から求めることができ、これらが固定値であれば、比例係数αも一定であり、このことは、配置面受光位置Ｘ３と裏面受光位置Ｘ２との間における距離ΔＸ２と、透明体９の厚さｄ１との間に相関関係（ｄ１＝α・ｄ２）が成立することを意味する。そこで、本実施形態では、予め、様々な厚さの透明体９について厚さｄ１及び距離ΔＸ２を複数サンプリングし、厚さｄ１と距離ΔＸ２との対応関係に基づく関係式（ｄ１＝ｋα・ΔＸ１）を導出し、その関係式情報がメモリ１４に記憶されている。そして、ＣＰＵ８は、Ｓ２２、Ｓ２８で取り込んだ受光信号ＳＧ１に基づく距離ΔＸ２と上記関係式情報とに基づき、現在の測定対象である透明体９の厚さｄ１を測定し、本第２モード処理を終了する。なお、上記複数のサンプリングから、厚さｄ１と距離ΔＸ２との対応関係テーブルを作成しておき、これをメモリ１４に記憶し、距離ΔＸ２と対応関係テーブルとに基づき厚さｄ１を測定してもよい。
【００３６】
３．本実施形態の効果
本実施形態によれば、第２モードでは、裏面反射光Ｌ２２及び配置面反射光Ｌ２３を利用して、配置面受光位置Ｘ３と裏面受光位置Ｘ２との間における距離ΔＸ２と、透明体９の厚さｄ１との相関関係に基づき、透明体９の厚さｄ１を測定する。従って、表面受光位置Ｘ１と裏面受光位置Ｘ２とを判別することが困難な場合でも、透明体９の厚さｄ１を測定することが可能である。
【００３７】
また、本実施形態では、第２モードだけでなく、第１モードも使用することができる。前述したように、この第１モードは、表面受光位置Ｘ１と裏面受光位置Ｘ２とを判別できる場合にしか使用できないが、透明体９を高反射率材１１上に配置したままその厚さｄ１を測定することができるという利点がある。従って、第１モードと第２モードとの両方を有することは好ましい。
【００３８】
更に、投光部２からの出射光Ｌ１の入射角度θ１が、高反射率材１１の表面１１Ａで正反射可能な最大角度（臨界角度よりもやや小さい角度）に設定されている。従って、例えば透明体９の屈折率ｎ２と、当該透明体９の周囲媒質（例えば空気）の屈折率ｎ１との差が小さくても、裏面反射光Ｌ２２の受光位置Ｘ２と配置面反射光Ｌ２３の受光位置Ｘ３との距離ΔＸ２を長くすることができるため、厚さ測定の精度低下を抑制することが可能である。
【００３９】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような種々の態様も本発明の技術的範囲に含まれる。特に、各実施形態の構成要素のうち、最上位の発明の構成要素以外の構成要素は、付加的な要素なので適宜省略可能である。
（１）上記実施形態の第２モード処理において、Ｓ２０〜Ｓ２４の処理とＳ２６〜Ｓ３０の処理との順序を逆にしてもよい。また、Ｓ２０〜Ｓ２４の処理は、第２モード処理を実行するごとに毎回行う必要はない。例えば一度、配置面受光位置Ｘ３を検出しメモリ１４に記憶しておき、それ以降はメモリ１４に記憶した配置面受光位置Ｘ３を使用してもよい。そして、例えば厚さ測定装置１の配置変更や周囲環境変化などがあった場合に、Ｓ２０〜Ｓ２４の処理を再実行すればよい。
【００４０】
（２）上記実施形態では、第２モード処理において厚さｄ１と距離ΔＸ２との対応関係テーブルを利用したが、本発明はこれに限られない。例えば数式６による演算処理に基づき透明体９の厚さを測定してもよい。
【００４１】
（３）上記実施形態では、入射角度θ１、屈折率ｎ１，ｎ２が一定の場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限られない。入射角度θ１、屈折率ｎ１，ｎ２のうち少なくとも１つを設定変更可能とし、その変更値に応じて比例係数αを変更してもよい。例えば異なる材質（屈折率）の複数の光透過性物体を測定対象とする場合には、ユーザが各光透過性物体の屈折率ｎ２を操作部１５にて入力することにより、この入力値に応じて比例係数αを変更してもよい。このような構成であれば、投光部から光透過性物体への光の入射角度、光透過性物体の周囲（媒質）の屈折率、光透過性物体の屈折率が異なる場合でも、それに応じて上記パラメータを変更することで、各種の光透過性物体の厚さを測定することができる。
【００４２】
（４）更に、光透過性物体の屈折率ｎ２を入力しなくても比例係数αを把握できる方法がある。即ち、予め厚さｄ１が分かっている透明体９について第２モードを実行し、距離ΔＸ２（ｄ２）を求めて、ｄ１＝α・ｄ２の式から、現在測定対象の光透過性物体の屈折率に応じたαを算出することができる。例えばユーザが予め分かっている厚さｄ１を操作部１５に入力し、第２モードを実行することにより、ＣＰＵ８が、上記入力された厚さｄ１と、第２モードの実行により得られた距離ΔＸ２とから比例係数αを求めるのである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態に係る厚さ測定装置のブロック図
【図２】表面反射光及び裏面反射光の光路を示す模式図
【図３】第１モード処理を示すフローチャート
【図４】ＣＣＤ上の受光レベルを示す波形図
【図５】反射光の光路を示す模式図（透明体有り）
【図６】裏面反射光及び反射光の光路を示す模式図（透明体無し）
【図７】第２モード処理を示すフローチャート
【図８】ＣＣＤ上の受光レベルを示す波形図
【符号の説明】
【００４４】
１...厚さ測定装置
２...投光部
８...ＣＰＵ（測定部）
９...透明体（光透過性物体）
９Ｂ...裏面
１１Ａ...表面（配置面）
１３...受光部
Ｌ２２...裏面反射光（第２反射光）
Ｌ２３...配置面反射光（第１反射光）
ＳＧ１...受光信号
Ｘ２...裏面反射位置
Ｘ３...配置面受光位置
【図１】
2010156603.tif 000011
【図２】
2010156603.tif 000012
【図３】
2010156603.tif 000013
【図４】
2010156603.tif 000014
【図５】
2010156603.tif 000015
【図６】
2010156603.tif 000016
【図７】
2010156603.tif 000017
【図８】
2010156603.tif 000018