(57)【要約】【課題】簡単な構成の導電接続装置で、ＡＣＦを効率よく加熱しながら加圧して確実に導電接続を行うようにする。【解決手段】ＡＣＦ３ｂに対して加熱した高圧エアーを吹き付けるための噴射ノズル５を設け、この噴射ノズル５をノズル支持機構２で移動可能に支持し、エアー供給源６から噴射ノズル５に加熱した高圧エアーを供給する。液晶パネル３上にＡＣＦ３ｂを貼り付け、液晶パネル３上にチップを仮圧着し、ＡＣＦ３ｂに対し、噴射ノズル５を移動させながら加熱した高圧エアーを吹き付け、チップを圧着してパネル電極へ導電させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップを圧着してパネル電極へ導電させるＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記ＡＣＦに対し、加熱した高圧エアーを吹き付けるための噴射ノズルと、
上記噴射ノズルを移動可能に支持するノズル支持機構と、
上記噴射ノズルに加熱した高圧エアーを供給するエアー供給源とを備えている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記パネルにおける少なくとも上記パネル電極が並んで配置された部分を下方から支持する支持部材を備え、
上記ノズル支持機構は、上記支持部材の上方に配置され、上記パネル電極に沿って延びるレール部材を備え、該レール部材に沿って上記噴射ノズルが移動可能に構成されている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
巻き取られたＡＣＦを送り出す送出リールと、
上記ＡＣＦを覆うセパレータを巻き取る巻取リールとを備え、
上記送出リール及び巻取リールは、それぞれ上下に移動可能に支持され、
上記送出リールから送出された上記ＡＣＦを上記パネルに押し付けた状態で、上記噴射ノズルから加熱した高圧エアーを供給して該ＡＣＦを該パネルに貼り付けるように構成されている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記レール部材は、上記パネルの一辺に沿って該パネルの一辺の上方に設けられ、
上記噴射ノズルは、上記レール部材上を上記パネルの一辺に沿って移動可能に構成されている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項５】
請求項２又は３に記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記レール部材は、上記パネルの二辺に沿って該パネルの二辺の上方にそれぞれ設けられ、
上記噴射ノズルは、各レール部材上を移動可能に構成されている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項６】
請求項２又は３に記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記レール部材は、上記パネルの四辺に沿って該パネルの四辺の上方にそれぞれ設けられ、
上記噴射ノズルは、各レール部材上を移動可能に構成されている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項７】
請求項２又は３に記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記レール部材は、上記パネルの一辺に沿って設けられ、
上記レール部材が、上記パネルの一辺に平行な状態を保ちながら、該パネルの一辺に対向する他辺との間を移動可能に構成され、
上記噴射ノズルは、上記レール部材上を移動可能に構成されている
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つに記載のＡＣＦを用いた導電接続装置において、
上記パネルは、液晶パネルである
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続装置。
【請求項９】
チップを圧着してパネル電極へ導電させるＡＣＦを用いた導電接続方法において、
パネル上に上記ＡＣＦを貼り付ける貼付工程と、
上記パネル上にチップを仮圧着する仮圧着工程と、
上記ＡＣＦに対し、噴射ノズルを移動させながら加熱した高圧エアーを吹き付け、上記チップを圧着してパネル電極へ導電させる導電接続工程とを含む
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のＡＣＦを用いた導電接続方法において、
上記貼付工程において、
巻き取られたＡＣＦを送り出し、
上記送り出されたＡＣＦをパネル上に載置した状態で、該ＡＣＦに対し、噴射ノズルを移動させながら加熱した高圧エアーを吹き付け、該ＡＣＦをパネル上に貼り付ける
ことを特徴とするＡＣＦを用いた導電接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）を用いた導電接続装置及びＡＣＦを用いた導電接続方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film ）は、熱硬化性樹脂に導電性を持つ微細な金属粒子を混ぜ合わせたものを膜状に成形した接着剤としての役割を果たすフィルムとして知られている。チップなどの電子部品を実装させる際に、プリント基板の電極と電子部品の電極との間にＡＣＦを挟んで熱をかけながら電子部品を加圧すると、電極の突部が当るフィルム部のみに圧力がかかってフィルム内に分散している粒子が接触しながら重なり、押し付けられることでＡＣＦ内粒子のメッキ層同士が引っ付き合って導電する経路が形成される。圧力がかからなかったフィルム部にある粒子は絶縁層を保持しているので、横に並ぶ電極間の絶縁は保持される。このように、縦方向には導電性が保たれ、横方向には絶縁性が保たれる異方性が形成される。
【０００３】
例えば、特許文献１では、液晶パネルを、その表示領域にほぼ対応した部分が基盤上に位置し、かつ入力端子群及びその近傍に対応した部分が基盤上に位置するように、基盤上に載置し、フレキシブル配線基板に、その出力端子群を被覆するようにＡＣＦを貼り付け、液晶パネルの入力端子群側の端部とフレキシブルプリント基板の出力端子群側の端部とを、アレイ基板の入力端子群とフレキシブルプリント基板の出力端子群とがＡＣＦを介して向き合うように重ね合わせ、この状態で、加圧部材を用いて、入力端子群の位置でフレキシブルプリント基板をアレイ基板に向けて加圧し、液晶パネルにフレキシブル配線基板の一端を取り付けることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２４１８２７号公報（第７項、図５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来のＡＣＦを用いた導電接続方法では、支持部材で支えながら、長尺の加圧部材で押さえ込んで加熱及び加圧しているが、近年、液晶パネルの大型化が進み、それに合わせて長さが伸びた加圧部材と支持部材との間での平行度を保つのが困難となってきている。このため、均一にＡＣＦを安定して加圧することができず、接続不良等が発生するおそれがある。
【０００６】
また、加圧部材自体は、伝熱性のよい金属製とできるものの、ＡＣＦが当接する部分には、液晶パネルに傷が付くのを防止するため、ゴム製パッドなどを貼り付けなければならず、コストがかかると共に、ＡＣＦを適度に加熱するためには加圧部材全体を十分に加熱しなければならず、効率が悪いという問題があった。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成でＡＣＦを効率よく加熱しながら加圧して確実に導電接続を行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、この発明では、ＡＣＦに高温高圧のエアーを吹き付けるようにした。
【０００９】
具体的には、第１の発明では、チップを圧着してパネル電極へ導電させるＡＣＦを用いた導電接続装置を前提とし、
上記導電接続装置は、
上記ＡＣＦに対し、加熱した高圧エアーを吹き付けるための噴射ノズルと、
上記噴射ノズルを移動可能に支持するノズル支持機構と、
上記噴射ノズルに加熱した高圧エアーを供給するエアー供給源とを備えている。
【００１０】
上記の構成によると、エアー供給源から噴射ノズルに加熱した高圧エアーを供給し、この噴射ノズルから噴射された高圧エアーで加熱及び加圧が必要な部分のＡＣＦのみに的を絞って均等に圧力を加えながら加熱することができるので、チップが確実かつ効率的にパネル電極に導電接続される。
【００１１】
第２の発明では、第１の発明において、
上記パネルにおける少なくとも上記パネル電極が並んで配置された部分を下方から支持する支持部材を備え、
上記ノズル支持機構は、上記支持部材の上方に配置され、上記パネル電極に沿って延びるレール部材を備え、該レール部材に沿って上記噴射ノズルが移動可能に構成されている。
【００１２】
上記の構成によると、支持部材でパネル電極が並んだ部分を支持した状態で、噴射ノズルから高温高圧のエアーを吹き付けながらレール部材に沿って噴射ノズルを移動させることで、ＡＣＦを的を絞って加圧及び加熱してチップを確実かつ効率よくパネル電極に導電接続することができる。
【００１３】
第３の発明では、第２の発明において、
巻き取られたＡＣＦを送り出す送出リールと、
上記ＡＣＦを覆うセパレータを巻き取る巻取リールとを備え、
上記送出リール及び巻取リールは、それぞれ上下に移動可能に支持され、
上記送出リールから送出された上記ＡＣＦを上記パネルに押し付けた状態で、上記噴射ノズルから加熱した高圧エアーを供給して該ＡＣＦを該パネルに貼り付けるように構成されている。
【００１４】
上記の構成によると、噴射ノズルから供給される加熱した高圧エアーにより、瞬時にＡＣＦがパネル上に貼り付けられる。また、ＡＣＦの貼付と導電接続との両方を噴射ノズルで行うことができるので、極めて構造が簡略化される。
【００１５】
第４の発明では、第２又は第３の発明において、
上記レール部材は、上記パネルの一辺に沿って該パネルの一辺の上方に設けられ、
上記噴射ノズルは、上記レール部材上を上記パネルの一辺に沿って移動可能に構成されている。
【００１６】
上記の構成によると、簡単な構成でパネルの一辺に配置されたパネル電極にチップが効率よく、かつ確実に導電接続される。
【００１７】
第５の発明では、第２又は第３の発明において、
上記レール部材は、上記パネルの二辺に沿って該パネルの二辺の上方にそれぞれ設けられ、
上記噴射ノズルは、各レール部材上を移動可能に構成されている。
【００１８】
上記の構成によると、パネルを移動させることなく、パネルの二辺に配置されたパネル電極にチップが効率よく、かつ確実に導電接続される。
【００１９】
第６の発明では、第２又は第３の発明において、
上記レール部材は、上記パネルの四辺に沿って該パネルの四辺の上方にそれぞれ設けられ、
上記噴射ノズルは、各レール部材上を移動可能に構成されている。
【００２０】
上記の構成によると、パネルを移動させることなく、パネルのいずれの辺に配置されたパネル電極であっても噴射ノズルから高温高圧エアーを噴射させることで、チップが効率よく、かつ確実に導電接続される。
【００２１】
第７の発明では、第２又は第３の発明において、
上記レール部材は、上記パネルの一辺に沿って設けられ、
上記レール部材が、上記パネルの一辺に平行な状態を保ちながら、該パネルの一辺に対向する他辺との間を移動可能に構成され、
上記噴射ノズルは、上記レール部材上を移動可能に構成されている。
【００２２】
上記の構成によると、１つの噴射ノズルを設けるだけで、その噴射ノズルが移動するレール部材をパネルの一辺に平行な状態を保ちながら、このパネルの一辺に対向する他辺との間で移動させることで、パネルのいずれの場所に設けたＡＣＦも的を絞って加圧及び加熱することができる。
【００２３】
第８の発明では、第１乃至第７のいずれか１つの発明において、
上記パネルは、液晶パネルとする。
【００２４】
上記の構成によると、画面サイズの大きい液晶パネルであっても、均一の圧力で的を絞ってＡＣＦを加熱及び加圧することができるので、パネル電極にチップが効率よく、かつ確実に導電接続され、高品質な液晶パネルが得られる。
【００２５】
第９の発明では、チップを圧着してパネル電極へ導電させるＡＣＦを用いた導電接続方法を前提とする。
【００２６】
そして、上記ＡＣＦを用いた導電接続方法は、
パネル上に上記ＡＣＦを貼り付ける貼付工程と、
上記パネル上にチップを仮圧着する仮圧着工程と、
上記ＡＣＦに対し、噴射ノズルを移動させながら加熱した高圧エアーを吹き付け、上記チップを圧着してパネル電極へ導電させる導電接続工程とを含む。
【００２７】
上記の構成によると、噴射ノズルを移動させながらパネル上に貼り付けられたＡＣＦを均一な圧力で加熱し、ＡＣＦ上に仮圧着されたチップを確実にパネル電極に導電接続することができる。
【００２８】
第１０の発明では、第９の発明において、
上記貼付工程において、
巻き取られたＡＣＦを送り出し、
上記送り出されたＡＣＦをパネル上に載置した状態で、該ＡＣＦに対し、噴射ノズルを移動させながら加熱した高圧エアーを吹き付け、該ＡＣＦをパネル上に貼り付ける構成とする。
【００２９】
上記の構成によると、噴射ノズルから供給される加熱した高圧エアーにより、瞬時にＡＣＦがパネル上に貼り付けられる。また、貼付工程と導電接続工程との両方を噴射ノズルで行うことができるので、極めて効率がよい。
【発明の効果】
【００３０】
以上説明したように、本発明によれば、移動可能な噴射ノズルによって加熱した高圧エアーを吹き付けるようにしたことにより、簡単な構成で、加熱及び加圧が必要な部分のＡＣＦのみ的を絞って加熱しながら加圧して確実かつ効率よく導電接続を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】ＡＣＦを用いた導電接続装置がＡＣＦを加熱及び加圧する様子を示す概略斜視図である。
【図２】ＡＣＦを貼り付ける様子を示す図１相当図である。
【図３】実施形態の変形例１にかかる図１相当図である。
【図４】変形例１におけるＡＣＦを貼り付ける様子を示す図１相当図である。
【図５】実施形態の変形例２にかかる図１相当図である。
【図６】実施形態の変形例３にかかる図１相当図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３３】
図１は本発明の実施形態のＡＣＦ（異方性導電フィルム）を用いた導電接続装置１の概略構成を示す。この導電接続装置１は、矩形板状の液晶パネル３の一辺３ａに沿って設けられた図示しないパネル電極に対し、図示しない複数のチップを導電接続する装置である。
【００３４】
導電接続装置１は、ノズル支持機構２を備え、このノズル支持機構２は、液晶パネル３の一辺３ａの上方に設けられたレール部材４を備えている。このレール部材４は、図示しない保持部材で液晶パネル３上に所定の距離を空けて設置されている。レール部材４と液晶パネル３との距離は、固定でもよいし、保持部材にシリンダ等を設けて可変としてもよい。
【００３５】
レール部材４には、噴射ノズル５がレール部材４の長手方向、すなわち、液晶パネル３の一辺３ａに沿って移動可能に支持されている。噴射ノズル５には、エアーコンプレッサーなどのエアー供給源６から、適切な温度及び圧力に設定された、加熱した高圧エアーが供給される。
【００３６】
また、レール部材４の下方には、一辺３ａのパネル電極が設けられた部分を下方から支持する支持部材７が設けられている。
【００３７】
さらに、図２に示すように、導電接続装置１は、図示しない電動モータ等により回転可能に支持された送出リール８と巻取リール９とを備えている。これら送出リール８及び巻取リール９は、それぞれ上下に移動可能に支持され、送出リール８には、コイル状のＡＣＦ３ｂが巻き付けられ、巻取リール９には、ＡＣＦ３ｂを覆うセパレータ１０のみを巻き取るように構成されている。
【００３８】
−ＡＣＦを用いた導電接続方法−
次に、本実施形態にかかるＡＣＦ３ｂを用いた導電接続方法について説明する。
【００３９】
まず、準備工程で一辺３ａにパネル電極が並んで配置された液晶パネル３を用意する。
【００４０】
次いで、クリーニング工程で、一辺３ａ上のＡＣＦ３ｂを貼り付ける部分（パネル電極周辺）をクリーナ（図示せず）でクリーニングする。
【００４１】
次いで、ＡＣＦ貼付工程で、電動モータで送出リール８及び巻取リール９を回転させて必要量だけＡＣＦ３ｂ送り出して一辺３ａ上に載置し、その上から噴射ノズル５によって高温高圧エアーを吹き付ける。このときの温度や圧力は、ＡＣＦ３ｂが一辺３ａ上に貼り付けられる程度でよく、導電接続時に比べて低い値に設定する。又は、噴射ノズル５の移動速度を導電接続時に比べて速めるとよい。
【００４２】
次いで、巻取リール９のみを持ち上げることで、セパレータ１０が取り除かれてＡＣＦ３ｂが一辺３ａ上に貼り付けられる。なお、送出リール８及び巻取リール９が回転する際やセパレータ１０を持ち上げる際は、送出リール８及び巻取リール９を微小に上昇させて液晶パネル３との接触を避けるようにする。
【００４３】
次いで、仮圧着工程において、パネル電極上の所定の位置に各チップを位置合わせして仮圧着する。
【００４４】
次いで、導電接続工程において、支持部材７で液晶パネル３のパネル電極が並んだ部分を下方から支持した状態で、パネル電極上に配置したチップ周辺のＡＣＦ３ｂに対し、噴射ノズル５を移動させながら加熱した高圧エアーを的を絞って吹き付ける。このことで、ＡＣＦ３ｂの粘度が急激に低下し、この粘度の低下した樹脂がパネル電極とチップの電極との隙間から流れ出るようにして両電極間を満たす。このとき、噴射ノズル５からの高圧エアーの圧力により、ＡＣＦ３ｂが適度に加圧され、両電極間に閉じこめられた電導粒子の表面の金属被膜によって両電極間の電気的導通がなされて導電接続が行われる。その後、噴射ノズル５が移動して温度が低下すると、急激に樹脂が硬化する。この際、噴射ノズル５とチップとの距離を一定に保ち、同じ圧力の高圧エアーを一定時間吹き付けることで、各チップに対して均一な圧力を加えながら加熱することができ、各チップが確実に圧着されてパネル電極に導電接続される。
【００４５】
このため、画面サイズの大きい液晶パネル３であっても、ムラなく均一の圧力で安定してＡＣＦ３ｂを加熱及び加圧することができる。
【００４６】
したがって、本実施形態にかかるＡＣＦ３ｂを用いた導電接続装置１によると、移動可能な噴射ノズル５によって加熱及び加圧が必要な部分のＡＣＦ３ｂを加熱した高圧エアーを的を絞って吹き付けるようにしたことにより、簡単な構成でＡＣＦ３ｂを効率よく加熱しながら加圧して確実に導電接続を行うことができるので、低コストで高品質な液晶パネル３が得られる。
【００４７】
また、ＡＣＦ３ｂの貼付と導電接続との両方を、１つの噴射ノズル５で行うことができるので、導電接続装置１の構造が簡略化され、導電接続装置１の製造コストを低減できるだけでなく、貼付工程と導電接続工程との両方を噴射ノズル５で行うことができるので、極めて作業効率がよく、工程時間を短縮することができる。
【００４８】
−実施形態の変形例１−
図３は本発明の実施形態の変形例１を示し、主にレール部材４の本数が異なる点で上記実施形態と異なる。なお、以下の各変形例では、図１及び図２と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４９】
本変形例では、レール部材４は、２本設けられている。具体的には、レール部材４は、液晶パネル３の対向する二辺３ａ，３ｃに沿って、この液晶パネル３の二辺３ａ，３ｃの上方に所定の距離を空けてそれぞれ配置されている。上記実施形態と同様にこの距離は可変であっても固定であってもよい。この変形例では、二辺３ａ，３ｃにパネル電極がそれぞれ並んで配置され、その上からＡＣＦ３ｂが貼り付けられる。
【００５０】
そして、噴射ノズル５は、各レール部材４にそれぞれ設けられている。各噴射ノズル５には、エアー供給源６から加熱された高圧エアーが供給される。噴射ノズル５は、対向する二辺３ａ，３ｃに沿って移動可能にレール部材４に支持されている。
【００５１】
さらに、図４に示すように、本変形例では、導電接続装置１は、二対の送出リール８と巻取リール９とを備えている。二対の送出リール８及び巻取リール９は、それぞれ個別に上下に移動可能に支持されている。
【００５２】
このように構成することで、上記実施形態と同様にＡＣＦ３ｂを容易に二辺３ａ，３ｃ上に貼り付けることができる。本変形例では、対向する二辺３ａ，３ｃに同時にＡＣＦ３ｂを貼り付けることもできる。
【００５３】
また、液晶パネル３を移動させることなく、噴射ノズル５を移動させながら、選択された噴射ノズル５から加熱された高圧エアーを対応する二辺３ａ，３ｃ上のＡＣＦ３ｂに吹き付けることで、液晶パネル３の対向する二辺３ａ，３ｃに配置されたパネル電極にチップが効率よく、かつ確実に導電接続される。なお、２つの噴射ノズル５による噴射は同時に行っても、別々に行ってもよい。また、二辺３ａ，３ｃは、対向していなくてもよく、互いに直交する二辺であってもよい。その場合には、この二辺のレール部材４を連結させて１つの噴射ノズル５を両方のレール部材４上で移動可能としてもよい。
【００５４】
−実施形態の変形例２−
本変形例では、図５に示すように、レール部材４は、４本設けられ、液晶パネル３の四辺３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｅに沿って、これら液晶パネル３の四辺３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｅの上方にそれぞれ配置されている。四辺３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｅは、互いに連結されて矩形枠状となっている。
【００５５】
本変形例では、噴射ノズル５は、各レール部材４上にそれぞれ配置され、各噴射ノズル５が各レール部材４上を移動可能に構成されている。
【００５６】
この場合、液晶パネル３を移動させることなく、液晶パネル３のいずれの辺に配置されたパネル電極であっても選択された噴射ノズル５から高温高圧エアーを噴射させることで、チップが効率よく、かつ確実に導電接続される。
【００５７】
なお、４本のレール部材４を連結して１つの噴射ノズル５を４本のレール部材４上に移動可能に構成してもよく、その場合には、部品点数を大幅に削減することができる。
【００５８】
図示しないが、本変形例でも、図２及び図４と同様に送出リール８と巻取リール９とを適宜設け、ＡＣＦ３ｂを簡単に貼り付けることができるようにしてもよい。
【００５９】
−実施形態の変形例３−
本変形例では、図６に示すように、レール部材４は、液晶パネル３の一辺３ｄに沿って１本のみ設けられている。このレール部材４は、液晶パネル３の一辺３ｄに平行な状態を保ちながら、液晶パネル３の一辺３ｄに対向する他辺３ｅとの間を移動可能に構成されている。この１つの噴射ノズル５は、レール部材４上を移動可能に構成されている。
【００６０】
この場合、噴射ノズル５をレール部材４上で移動させると共に、このレール部材４を移動させることにより、１つの噴射ノズル５を設けるだけで、液晶パネル３のいずれの場所に設けたＡＣＦ３ｂも的を絞って加圧及び加熱することができる。
【００６１】
図示しないが、本変形例でも、図２及び図４と同様に送出リール８と巻取リール９とを適宜設け、ＡＣＦ３ｂを簡単に貼り付けることができるようにしてもよい。
【００６２】
（その他の実施形態）
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００６３】
すなわち、上記実施形態では、液晶パネルについて説明したが、液晶パネルに限定されず、パネル電極にＡＣＦを用いてチップを導電接続するものに対して本発明の適用が可能である。
【００６４】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【符号の説明】
【００６５】
１      導電接続装置
２      ノズル支持機構
３      液晶パネル（パネル）
３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｅ    液晶パネルの各辺
４      レール部材
５      噴射ノズル
６      エアー供給源
７      支持部材
８      送出リール
９      巻取リール
１０      セパレータ
【図１】
2010267852.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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