(57)【要約】【課題】  本発明は、スリット幅を調整可能なスリット絞り装置およびこのスリット絞り装置を共焦点スリット絞りに用いた共焦点顕微鏡に関し、容易に小型化することができるスリット絞り装置およびこのスリット絞り装置を用いた共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】  本発明のスリット絞り装置は、光を遮光する遮光部材と、前記遮光部材に具備する複数の遮光部の間に形成されるスリット状開口部と、前記複数の遮光部の間隔を変えることによりスリット状開口部のスリット幅を変化させる圧電アクチュエータとを有することを特徴とする。また、前記遮光部をスリット幅方向の両側に配置し、前記遮光部は弾性変形可能に保持されており、前記圧電アクチュエータにより前記遮光部を変形して前記スリット幅を変化させることを特徴とする。【選択図】      図２
2010156927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を遮光する遮光部材と、
前記遮光部材に具備する複数の遮光部の間に形成されるスリット状開口部と、
前記複数の遮光部の間隔を変えることによりスリット状開口部のスリット幅を変化させる圧電アクチュエータと、
を有することを特徴とするスリット絞り装置。
【請求項２】
請求項１記載のスリット絞り装置において、
前記遮光部をスリット幅方向の両側に配置し、前記遮光部は弾性変形可能に保持されており、前記圧電アクチュエータにより前記遮光部を変形して前記スリット幅を変化させることを特徴とするスリット絞り装置。
【請求項３】
請求項２記載のスリット絞り装置において、
前記圧電アクチュエータを、前記スリット状開口部を跨いで配置し、前記スリット状開口部の両側に位置する前記遮光部を前記圧電アクチュエータの一側または他側により変形することを特徴とするスリット絞り装置。
【請求項４】
請求項３記載のスリット絞り装置において、
前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記スリット状開口部のスリット幅方向の両側に位置する一方および他方の遮光部に固定してなることを特徴とするスリット絞り装置。
【請求項５】
請求項４記載のスリット絞り装置において、
前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記一方および他方の遮光部に形成される凹部に挿入してなることを特徴とするスリット絞り装置。
【請求項６】
光源からの光を照明側共焦点スリット絞りを介してライン状の照明光にして被検査物に照射するとともに、前記被検査物からの光を検出側共焦点スリット絞りを介して光検出器に結像させる共焦点顕微鏡において、
前記照明側共焦点スリット絞りまたは前記検出側共焦点スリット絞りは、
光を遮光する遮光部材と、
前記遮光部材に具備する複数の遮光部の間に形成されるスリット状開口部と、
前記複数の遮光部の間隔を変えることによりスリット状開口部のスリット幅を変化させる圧電アクチュエータと、
を有することを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項７】
請求項６記載の共焦点顕微鏡において、
前記遮光部をスリット幅方向の両側に配置し、前記遮光部は弾性変形可能に保持されており、前記圧電アクチュエータにより前記遮光部を変形して前記スリット幅を変化させることを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項８】
請求項７記載の共焦点顕微鏡において、
前記圧電アクチュエータを、前記スリット状開口部を跨いで配置し、前記スリット状開口部の両側に位置する前記遮光部を前記圧電アクチュエータの一側または他側により変形することを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項９】
請求項８記載の共焦点顕微鏡において、
前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記スリット状開口部のスリット幅方向の両側に位置する一方および他方の遮光部に固定してなることを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項１０】
請求項９記載の共焦点顕微鏡において、
前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記一方および他方の遮光部に形成される凹部に挿入してなることを特徴とする共焦点顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリット幅を調整可能なスリット絞り装置およびこのスリット絞り装置を共焦点スリット絞りに用いた共焦点顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、共焦点顕微鏡では、共焦点絞りにスリット状の開口を有する絞りを使用し、スリット幅を調整することにより結像解像度を変化するようにしたラインスキャン型のものが知られている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来のラインスキャン型の共焦点顕微鏡では、スリット状の開口を形成する複数の絞り部材をモータにより駆動してスリット幅を調整しているため、部品点数の増大等により小型化することが困難であるという問題があった。
【０００４】
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、容易に小型化することができるスリット絞り装置およびこのスリット絞り装置を用いた共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明のスリット絞り装置は、光を遮光する遮光部材と、前記遮光部材に具備する複数の遮光部の間に形成されるスリット状開口部と、前記複数の遮光部の間隔を変えることによりスリット状開口部のスリット幅を変化させる圧電アクチュエータとを有することを特徴とする。
【０００６】
第２の発明のスリット絞り装置は、第１の発明のスリット絞り装置において、前記遮光部をスリット幅方向の両側に配置し、前記遮光部は弾性変形可能に保持されており、前記圧電アクチュエータにより前記遮光部を変形して前記スリット幅を変化させることを特徴とする。
【０００７】
第３の発明のスリット絞り装置は、第２の発明のスリット絞り装置において、前記圧電アクチュエータを、前記スリット状開口部を跨いで配置し、前記スリット状開口部の両側に位置する前記遮光部を前記圧電アクチュエータの一側または他側により変形することを特徴とする。
【０００８】
第４の発明のスリット絞り装置は、第３の発明のスリット絞り装置において、前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記スリット状開口部のスリット幅方向の両側に位置する一方および他方の遮光部に固定してなることを特徴とする。
【０００９】
第５の発明のスリット絞り装置は、第４の発明のスリット絞り装置において、前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記一方および他方の遮光部に形成される凹部に挿入してなることを特徴とする。
【００１０】
第６の発明の共焦点顕微鏡は、光源からの光を照明側共焦点スリット絞りを介してライン状の照明光にして被検査物に照射するとともに、前記被検査物からの光を検出側共焦点スリット絞りを介して光検出器に結像させる共焦点顕微鏡において、少なくとも前記検出側共焦点スリット絞りは、光を遮光する遮光部材と、前記遮光部材に具備する複数の遮光部の間に形成されるスリット状開口部と、前記複数の遮光部の間隔を変えることによりスリット状開口部のスリット幅を変化させる圧電アクチュエータとを有することを特徴とする。
【００１１】
第７の発明の共焦点顕微鏡は、第６の発明の共焦点顕微鏡において、前記遮光部をスリット幅方向の両側に配置し、前記遮光部は弾性変形可能に保持されており、前記圧電アクチュエータにより前記遮光部を変形して前記スリット幅を変化させることを特徴とする。
【００１２】
第８の発明の共焦点顕微鏡は、第７の発明の共焦点顕微鏡において、前記圧電アクチュエータを、前記スリット状開口部を跨いで配置し、前記スリット状開口部の両側に位置する前記遮光部を前記圧電アクチュエータの一側または他側により変形することを特徴とする。
【００１３】
第９の発明の共焦点顕微鏡は、第８の発明の共焦点顕微鏡において、前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記スリット状開口部のスリット幅方向の両側に位置する一方および他方の遮光部に固定してなることを特徴とする。
【００１４】
第１０の発明の共焦点顕微鏡は、第９の発明の共焦点顕微鏡において、前記圧電アクチュエータの一側および他側を、前記一方および他方の遮光部に形成される凹部に挿入してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、スリット絞り装置を容易に小型化することができる。また、スリット絞り装置が小型になるため、共焦点顕微鏡に共焦点スリット絞りとして容易に組み込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の共焦点顕微鏡の一実施形態を示す説明図である。
【図２】図１の共焦点スリット絞りを示す上面図である。
【図３】図２の遮光部材を示す説明図である。
【図４】図２の圧電アクチュエータの取付構造を示す説明図である。
【図５】本発明の共焦点顕微鏡の他の例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の共焦点顕微鏡の一実施形態を示している。
【００１９】
この共焦点顕微鏡は、照明光学系１１、走査光学系１３、結像光学系１５、検出光学系１７、制御部１９、モニタ２１を有している。
【００２０】
照明光学系１１は、レーザ光源２３、シリンドリカルレンズ２５、照明側共焦点スリット絞り２７、コリメータレンズ２９、ビームスプリッタ３１を有している。走査光学系１３は、スキャナ３３、スキャナレンズ(瞳投影レンズ)３５を有している。結像光学系１５は、第２対物レンズ３７、第１対物レンズ３９を有している。検出光学系１７は、集光レンズ４１、検出側共焦点スリット絞り４３、光検出器４５を有している。
【００２１】
この共焦点顕微鏡では、レーザ光源２３から射出されたレーザ光は、シリンドリカルレンズ２５によりライン状に集光される。ライン状の光が集光する位置Ｓは、被検査物４７の観察面４７ａと光学的に共役の位置となっており、この位置Ｓに照明側共焦点スリット絞り２７が配置されている。また、照明側共焦点スリット絞り２７の開口の長手方向は、ライン状の光スポットの形状における長手方向と同じ方向に設定している。照明側共焦点スリット絞り２７のスリットを通過したレーザ光は、コリメータレンズ２９により平行光に変換される。平行光に変換された光は、ビームスプリッタ３１で反射した後、スキャナ３３内のスキャンミラー５１で反射し、スキャナレンズ３５、第２対物レンズ３７、第１対物レンズ３９を介して被検査物４７の観察面４７ａのライン状の照明領域Ｅに集光する。
【００２２】
被検査物４７の照明領域Ｅで発生した光(例えば蛍光)は、第１対物レンズ３９、第２対物レンズ３７、スキャナレンズ３５、スキャンミラー５１を介してビームスプリッタ３１に到達する。到達した光はビームスプリッタ３１を透過し、集光レンズ４１により集光される。集光レンズ４１により光が集光する位置Ｓ’は、被検査物４７の観察面４７ａと光学的に共役の位置となっており、この位置Ｓ’に検出側共焦点スリット絞り４３が配置されている。検出側共焦点スリット絞り４３による開口の長手方向は、対物レンズ３９から集光レンズ４１までの光学系で結像される被検査物４７の観察面４７でのライン状の照明領域の像の長手方向と一致するように設定している。検出側共焦点スリット絞り４３のスリットを通過した光は、光検出器４５の受光面に照明される。光検出器４５は、例えばＣＣＤ等の撮像そしを備え、受光面の検出側共焦点スリット絞り４３による開口の長手方向における輝度分布を検出する。そして、輝度分布データを生成して制御部１９に出力する。
【００２３】
制御部１９は、レーザ光源２３、スキャナ３３、光検出器４５、モニタ２１等を制御する。また、照明側共焦点スリット絞り２７、検出側共焦点スリット絞り４３のスリット幅を制御する。制御部１９は、ＣＰＵ、メモリを備えている。制御部１９には、パソコン(ＰＣ)を使用することができる。
【００２４】
制御部１９は、スキャナ３３のスキャンミラー４９を回動させるモータの回転速度や回転量を制御して輝度分布データを取得する制御処理を行う。制御部１９は、スキャナ３３のスキャンミラー４９の配置角度を変化することにより、被検査物４７のライン状の照明領域Ｅを幅方向(走査方向)ＤＳに移動する。一方、ライン状の照明が成された部分に特定の色素で染色された物体が存在しているときには、照明されている間、特定の波長の蛍光または反射光が対物レンズ３９に入射する。これらの光が再びスキャンミラー４９で反射され集光レンズ４１で集光されると、照明領域Ｅ上の像が検出側共焦点スリット絞り４３で形成される。そして、検出側共焦点スリット絞り４３を通過した光が、光検出器４５の受光面に到達し、受光面の各位置の強度信号を取得することにより、検出側共焦点スリット絞り４３の長手方向の各位置の輝度の分布情報を取得する。制御部１９は、このようにして取得された輝度分布データを処理して被検査物４７の１次元の画像データを生成し、順次スキャンミラー４９を回動させて、照明領域Ｅをスリット像の短手方向に移動させることにより、順次異なる位置の１次元の画像データを取得する。そして、取得された複数の１次元の画像データを検出側共焦点スリット絞り４３の短手方向につなげて２次元の画像を生成する演算処理を行う。また、制御部１９は、得られた画像をモニタ２１に表示するための変換処理を行う。
【００２５】
図２は、上述した照明側共焦点スリット絞り２７および検出側共焦点スリット絞り４３の詳細を示している。なお、この実施形態では、照明側共焦点スリット絞り２７と検出側共焦点スリット絞り４３は同様に構成されているため以下単に共焦点スリット絞り２７，４３として纏めて説明する。
【００２６】
共焦点スリット絞り２７，４３は、遮光部材５１、圧電アクチュエータ５３を有している。
【００２７】
遮光部材５１は、矩形状をしており、例えば、ステンレス、アルミニウム、銅等の金属薄板からなる。なお、遮光部材５１には、弾性を有する樹脂等を用いても良い。遮光部材５１には、その外周部に枠部５１ｆを具備している。この枠部５１ｆの内側には、左右それぞれに、枠部５１ｆにヒンジ５１ｅを介して保持され、長手方向スリット５１ｄが互い違いに形成されている多段ヒンジ部と、多段ヒンジ部のそれぞれ中央側に、遮光部５１ｂを有する。この遮光部５１ｂの間には、遮光部５１ｂにより形成されたスリット状開口部５１ａが形成されている。スリット状開口部５１ａのスリット幅Ａは、例えば２０μｍ〜７０μｍとされる。また、スリット長さＢは、例えば２０ｍｍとされる。
【００２８】
スリット状開口部５１ａを形成する両側の遮光部５１ｂは、スリット幅Ａ方向に弾性変形可能とされている。遮光部５１ｂは、スリット状開口部５１ａを中心にして左右対称に形成されている。遮光部５１ｂは、遮光部５１ｂをスリット幅Ａ方向に弾性変形可能とする多段ヒンジ部により保持されている。
【００２９】
より具体的には、スリット状開口部５１ａの短手方向の両側には、スリット状開口部５１ａの長手方向とは直交方向に長手方向が設定されている幅方向スリット５１ｃが形成されている。幅方向スリット５１ｃは、スリット状開口部５１ａの幅方向に直線状に延在されている。２つの幅方向スリット５１ｃの間にある遮光部５１ｂは、スリット状開口部５１ａに略平行に長手方向が設定されている長さ方向スリット５１ｄが形成されている多段ヒンジ部に、ヒンジ５１ｅを介して接続されている。長さ方向スリット５１ｄは、所定間隔を置いて複数形成されている。長さ方向スリット５１ｄの一端は、一方または他方の幅方向スリット５１ｃに交互に連続されている。長さ方向スリット５１ｄの他端には、円弧状のヒンジ部５１ｅが形成されている。このスリットヒンジでは、遮光部５１ｂをスリット状開口部５１ａに垂直な方向に押圧する力が作用するとヒンジ部５１ｅが変形し、遮光部５１ｂがスリット幅Ａ方向に弾性変形する。
【００３０】
圧電アクチュエータ５３は、遮光部材５１のスリット状開口部５１ａの長さ方向の両側に配置されている。圧電アクチュエータ５３には、複数の圧電素子をスリット状開口部５１ａの短手方向に重ねた積層型の圧電アクチュエータ５３が使用されている。積層型の圧電アクチュエータ５３では、単層の圧電素子に比べて、より低い駆動電圧で大きな変位を発生することができる。圧電アクチュエータ５３は、配線ケーブル(不図示)によりドライバー部(不図示)に接続され制御部１９により制御される。
【００３１】
一対の圧電アクチュエータ５３は、スリット状開口部５１ａの長手方向に間隔Ｂを置いて配置されている。一対の圧電アクチュエータ５３は、遮光部材５１の幅方向スリット５１ｃより内側に配置されている。一対の圧電アクチュエータ５３は、それぞれスリット状開口部５１ａを跨いで配置されている。
【００３２】
遮光部材５１には、図３に示すように、切欠状の凹部５１ｈが矩形状に形成されている。対向して形成される一対の凹部５１ｈは、圧電アクチュエータ５３の一方または他方を挿入可能に形成されている。圧電アクチュエータ５３は、図４に示すように凹部５１ｈに挿入されている。圧電アクチュエータ５３の両端は、凹部５１ｈの底面５１ｉに接着剤ＢＤを介して固定されている。
【００３３】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３の遮光部材５１は、例えば金属製の薄板から、スリット状開口部５１ａ、幅方向スリット５１ｃ、長さ方向スリット５１ｄ、ヒンジ部５１ｅ、凹部５１ｈを形成することで、圧電アクチュエータ５３が取付可能な左右の遮光部５１ｂと、枠部５１ｆと、遮光部５１ｂと枠部５１ｆの間に設けられた多段ヒンジ部を一体的に形成している。これ等の形成は、放電加工等の精密加工により行われる。そして、遮光部材５１の左右の遮光部５１ｂに形成された一対の凹部５１ｈに跨って圧電アクチュエータ５３を挿入し、圧電アクチュエータ５３の両端を凹部５１ｈの底面５１ｉに接着することにより共焦点スリット絞り２７，４３が製造される。
【００３４】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３では、スリット状開口部５１ａの対向縁５１ｊを平行にしスリット長さ方向のスリット幅Ａを均等にするために、予め一対の圧電アクチュエータ５３の校正が行われる。そして、この校正に基づいて一対の圧電アクチュエータ５３への電圧の印加が行われる。制御部１９により一対の圧電アクチュエータ５３に印加する電圧を増大すると遮光部５１ｂの間隔が離れ、圧電アクチュエータ５３がスリット状開口部５１ａのスリット幅Ａ方向に伸張する。そして、圧電アクチュエータ５３の伸張により遮光部５１ｂのヒンジ部５１ｅが弾性変形し、スリット状開口部５１ａのスリット幅Ａが増大する。一方、一対の圧電アクチュエータ５３に印加する電圧を減少すると圧電アクチュエータ５３がスリット状開口部５１ａのスリット幅Ａ方向に縮小する。そして、圧電アクチュエータ５３の縮小により遮光部５１ｂのヒンジ部５１ｅが弾性変形し、スリット状開口部５１ａのスリット幅Ａが減少する。
【００３５】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３では、遮光部材５１により形成されるスリット状開口部５１ａのスリット幅Ａを圧電アクチュエータ５３により変化させるようにしたので、共焦点スリット絞り２７，４３を容易に小型化することができる。例えばスリット状の開口を形成する複数の絞り部材をモータにより駆動してスリット幅Ａを調整する場合には、部品点数の増大等により小型化することが困難であるが、形状が小さくまた特別な動力伝達機構が不用な圧電アクチュエータ５３を用いることにより容易に小型化を図ることができる。
【００３６】
また、圧電アクチュエータ５３は、印加する電圧により伸縮する寸法を高精度(例えば数十ｎｍの精度)で制御可能なため、スリット幅Ａを高い精度で容易に変化することができる。さらに、圧電アクチュエータ５３は、電圧の印加により瞬時に変形するため、スリット幅Ａを迅速に調整することができる。そして、上述した実施形態では、１枚の遮光部材５１に複数の遮光部５１ｂをスリット短手方向に離間させてスリット状開口部５１ａを形成し、遮光部５１ｂにスリットヒンジから多段ヒンジ部を介して枠部５１ｆに保持されるように設けたので、部品点数の減少により十分な小型化を図ることが可能になり、同時に、スリット幅Ａの変形精度を向上することができる。
【００３７】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３では、スリット状開口部５１ａのスリット幅Ａ方向の両側に位置する遮光部５１ｂをスリット幅Ａ方向に弾性変形可能にしたので、遮光部５１ｂを圧電アクチュエータ５３により高い精度で変形することができる。また、遮光部５１ｂが弾性変形しない場合には、圧電アクチュエータ５３の比較的大きな伸縮力により遮光部５１ｂ等が破壊されるおそれがあるが、このようなおそれを解消することができる。また、左側の遮光部５１ｂの凹部５１ｈの底面５１ｉから右側の遮光部５１ｂの凹部５１ｈの底面５１ｉまでの距離を圧電アクチュエータ５３の定常状態の長手方向の長さと略同じ距離にした。これにより、圧電アクチュエータ５３に電圧が印加され、伸縮したときには、絶えず逆方向の力が遮光部５１ｂを保持する多段ヒンジ部から与えられる。これにより圧電アクチュエータ５３から発生する瞬間的な大きな力が多段ヒンジ部のバネ性により受け止められ、スリット状開口部５１ａを形成している薄い遮光部５１ｂの破壊を更に防いでいる。
【００３８】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３では、圧電アクチュエータ５３をスリット状開口部５１ａを跨いで配置し、スリット状開口部５１ａの両側に位置する遮光部５１ｂを圧電アクチュエータ５３の一側または他側により変形するようにしたので、両側の遮光部５１ｂに圧電アクチュエータ５３の伸縮を均等に分配することが可能になり、スリット状開口部５１ａのスリット幅Ａを高い精度で調整することができる。また、スリット状開口部５１ａの長さ方向の両側に圧電アクチュエータ５３を間隔を置いて配置したので、スリット状開口部５１ａの対向縁５１ｊの平行度を高い精度で調整することができる。
【００３９】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３では、圧電アクチュエータ５３を、スリット状開口部５１ａのスリット幅Ａ方向の両側に位置する遮光部５１ｂに直接固定したので、圧電アクチュエータ５３の伸縮を遮光部５１ｂに伝達する手段が不要になり、部品点数を減少してより小型化を図ることができる。
【００４０】
上述した共焦点スリット絞り２７，４３では、圧電アクチュエータ５３を、遮光部５１ｂに形成される凹部５１ｈに挿入して固定したので、遮光部材５１から圧電アクチュエータ５３が大きく突出することがなくなり、より小型化を図ることができる。また、一対の凹部５１ｈの間に圧電アクチュエータ５３を挟むように配置しているため、圧電アクチュエータ５３の両端には、遮光部５１ｂの弾性力が圧電アクチュエータ５３を圧縮するように作用する。従って、一対の凹部５１ｈの間に圧電アクチュエータ５３を確実に保持することができる。また、圧電アクチュエータ５３を凹部５１ｈの底面５１ｉに接着する接着剤ＢＤに大きな負荷が作用しないため、接着部の破壊を防止することができる。
【００４１】
上述した共焦点顕微鏡では、照明側共焦点スリット絞り２７および検出側共焦点スリット絞り４３を小型化することができる。従って、照明側共焦点スリット絞り２７および検出側共焦点スリット絞り４３を比較的小さなスペースに容易に組み込むことが可能になり共焦点顕微鏡を小型化することができる。また、照明側共焦点スリット絞り２７および検出側共焦点スリット絞り４３を迅速に高い精度で制御することが可能になり、共焦点顕微鏡の性能を向上することができる。
【００４２】
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
【００４３】
(１)上述した実施形態では、照明側共焦点スリット絞り２７および検出側共焦点スリット絞り４３のスリット幅Ａを調整可能にした例について説明したが、例えば、照明側共焦点スリット絞り２７または検出側共焦点スリット絞り４３のいずれか一方のスリット幅Ａをズーム光学系により調整可能に構成し、照明側共焦点スリット絞り２７または検出側共焦点スリット絞り４３のいずれか一方のスリット幅Ａのみを調整可能に構成しても良い。
【００４４】
(２)上述した実施形態では、本発明のスリット絞り装置を共焦点顕微鏡の照明側共焦点スリット絞り２７、検出側共焦点スリット絞り４３に適用した例について説明したが、本発明のスリット絞り装置は、例えば露光調整用のスリットシャッタ等に広く適用することができる。
【００４５】
(３)上述した実施形態では、圧電アクチュエータ５３を、スリット状開口部５１ａの両側に位置する遮光部５１ｂの凹部５１ｈに挿入した例について説明したが、例えば、図５に示すように、スリット状開口部５１ａの両側の遮光部５１ｂの上面に跨って圧電アクチュエータ５３を配置し、圧電アクチュエータ５３の一側および他側を接着剤ＢＤにより遮光部５１ｂの上面に固定するようにしても良い。
【００４６】
(４)上述した実施形態では、スリット状開口部５１ａの両側に位置する遮光部５１ｂを１枚の遮光部材５１により形成した例について説明したが、別の部材により形成するようにしても良い。
【符号の説明】
【００４７】
２７…照明側共焦点スリット絞り、４７…被検査物、４３…検出側共焦点スリット絞り、４５…光検出器、５１…遮光部材、５１ａ…スリット状開口部、５１ｂ…遮光部、５３…圧電アクチュエータ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４８】
【特許文献１】特許第４１１６６２２号公報
【図１】
2010156927.tif 000003
【図２】
2010156927.tif 000004
【図３】
2010156927.tif 000005
【図４】
2010156927.tif 000006
【図５】
2010156927.tif 000007