(57)【要約】【課題】  複数の測定ステーションのいずれを用いても正常に点検を実施することができる、試験装置の制御方法を提供する。【解決手段】  試験装置の制御方法は、複数の被試験デバイスステーションと、同じ項目を測定可能な複数の測定部と、複数の被試験デバイスステーションと複数の測定部との接続組合せを変更可能なマトリクススイッチと、を備える試験装置において、複数の測定部を用いて標準デバイスを測定することによって測定部の点検を行う測定部点検ステップを複数の測定部に対して行う第１ステップと、被試験デバイスステーションに標準サンプルを搭載し標準サンプルが搭載された被試験デバイスステーションと接続された測定部を用いて標準サンプルの点検を行う被試験デバイスステーション点検ステップを複数の被試験デバイスステーションに対して行う第２ステップと、を含む。【選択図】        図３
2010156553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験デバイスステーションと、同じ項目を測定可能な複数の測定部と、前記複数の被試験デバイスステーションと前記複数の測定部との接続組合せを変更可能なマトリクススイッチと、を備える試験装置において、
標準デバイスを測定することによって前記測定部の点検を行う測定部点検ステップを、前記複数の測定部に対して行う第１ステップと、
前記被試験デバイスステーションに標準サンプルを搭載し、前記標準サンプルが搭載された前記被試験デバイスステーションと接続された測定部を用いて前記標準サンプルの点検を行う被試験デバイスステーション点検ステップを、前記複数の被試験デバイスステーションに対して行う第２ステップと、を含むことを特徴とする試験装置の制御方法。
【請求項２】
前記第２ステップは、前記第１ステップ後に実施されることを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【請求項３】
前記複数の測定部のうち一部に対して前記測定部点検ステップを実施し、残りの測定部については前記第２ステップと同時または前記第２ステップ後に前記測定部点検ステップを実施することを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【請求項４】
前記第１ステップは、前記第２ステップ後に実施されることを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【請求項５】
前記複数の被試験デバイスステーションのうち一部に対して前記被試験デバイスステーション点検ステップを実施し、残りの被試験デバイスステーションについては前記第１ステップと同時または前記第１ステップ後に前記被試験デバイスステーション点検ステップを実施することを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【請求項６】
前記測定部点検ステップは、前記被試験デバイスステーションに前記標準デバイスを搭載して前記測定部と接続することによって実施されることを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【請求項７】
前記試験装置は、前記被試験デバイスステーションとは別に、標準デバイスと前記標準デバイスを駆動する駆動部とが搭載された標準ステーションを備え、
前記測定部点検ステップは、前記標準ステーションに搭載された前記標準デバイスを測定するステップであることを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【請求項８】
前記第１ステップまたは前記第２ステップを実施する間、点検に供されない前記測定部と前記被試験デバイスステーションとの組を利用して前記被試験デバイスステーション点検ステップを実施する、第３ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の試験装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ネットワーク型試験装置は、複数の被試験デバイスステーションと、複数の測定器とが接続部によって接続された構造を有している。このネットワーク型試験装置においては、複数の測定ステーションによって、標準サンプルが搭載された被試験デバイスステーションの点検が行われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２７１５８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ネットワーク型試験装置の点検作業については、これまでのところ提唱されていない。ここで、点検作業とは、被試験デバイスステーションに標準デバイスを搭載し、この標準デバイスの特性を測定ステーションで測定し、期待値が得られることを確認する作業のことをいう。
【０００５】
通常の試験装置では、被試験デバイスステーションと測定ステーションとが１対１で接続されている。このため、標準デバイスを被試験デバイスステーションに搭載しこれを測定ステーションで測定して期待値が得られれば、試験装置の点検は完了する。
【０００６】
しかしながら、ネットワーク型試験装置には、同じ項目を測定可能な測定ステーションが複数搭載されている。これらのうちいずれが被試験デバイスステーションと接続されるかは不定である。
【０００７】
このため、ネットワーク型試験装置において被試験デバイスステーションの１つに標準デバイスを搭載して点検作業を行った場合、複数の同じ測定ステーションのうち１つとしか接続が成立しないため、その他の測定ステーションと接続した場合の点検ができない。もちろん、この点検作業を他の被試験デバイスステーションに対して実施しても、すべての測定ステーションが点検に供される保証はない。
【０００８】
本発明の目的は、複数の測定ステーションのいずれを用いても正常に点検を実施することができる、試験装置の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る試験装置の制御方法は、複数の被試験デバイスステーションと、同じ項目を測定可能な複数の測定部と、複数の被試験デバイスステーションと複数の測定部との接続組合せを変更可能なマトリクススイッチと、を備える試験装置において、複数の測定部を用いて標準デバイスを測定することによって測定部の点検を行う測定部点検ステップを複数の測定部に対して行う第１ステップと、被試験デバイスステーションに標準サンプルを搭載し標準サンプルが搭載された被試験デバイスステーションと接続された測定部を用いて標準サンプルの点検を行う被試験デバイスステーション点検ステップを複数の被試験デバイスステーションに対して行う第２ステップと、を含むことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明に係る試験装置の制御方法においては、測定部点検ステップと被試験デバイスステーション点検ステップとを分けて実施することによって、点検済みの複数の測定部を用いて被試験デバイスステーションの点検を実施することができる。この場合、点検対象となる被試験デバイスステーションが点検済みのいずれの測定部と接続されても、正常に点検を実施することができる。
【００１１】
第２ステップは、第１ステップ後に実施されてもよい。この場合、点検済みの測定部を用いて被試験デバイスステーションの点検を実施することができる。それにより、被試験デバイスステーションの点検精度が向上する。
【００１２】
複数の測定部のうち一部に対して測定部点検ステップを実施し、残りの測定部については第２ステップと同時または第２ステップ後に測定部点検ステップを実施してもよい。この場合、被試験デバイスステーション点検ステップが完了するまでの時間が短縮化される。
【００１３】
第１ステップは、第２ステップ後に実施されてもよい。また、複数の被試験デバイスステーションのうち一部に対して被試験デバイスステーション点検ステップを実施し、残りの被試験デバイスステーションについては第１ステップと同時または第１ステップ後に被試験デバイスステーション点検ステップを実施してもよい。
【００１４】
測定部点検ステップは、被試験デバイスステーションに標準デバイスを搭載して測定部と接続することによって実施されてもよい。この場合、標準デバイスを搭載するためのステーションを新たに設ける必要がない。それにより、試験装置が簡略化される。
【００１５】
試験装置は、被試験デバイスステーションとは別に、標準デバイスと標準デバイスを駆動する駆動部とが搭載された標準ステーションを備え、測定部点検ステップは、標準ステーションに搭載された標準デバイスを測定するステップであってもよい。この場合、標準デバイスを搭載するための専用のステーションが配置される。それにより、標準デバイスを搭載するための工数を削減することができる。
【００１６】
本発明に係る方法は、第１ステップまたは第２ステップを実施する間、点検に供されない測定部と被試験デバイスステーションとの組を利用して被試験デバイスステーション点検ステップを実施する、第３ステップをさらに含んでいてもよい。この場合、点検効率が向上する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、複数の測定器のいずれを用いても正常に点検を実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１および図２（ａ）〜図２（ｃ）を参照しつつ、実施例１に係る試験装置１００について説明する。図１は、実施例１に係る試験装置１００の全体構成を示す模式図である。図２（ａ）は、後述する被試験デバイスステーション３０の詳細図である。図２（ｂ）は、後述する測定ステーション２０の詳細図である。図２（ｃ）は、後述する標準ステーション５０の詳細図である。
【００２０】
図１を参照して、試験装置１００は、外部コントローラ１０、複数の測定ステーション２０、複数の被試験デバイスステーション３０、マトリクススイッチ４０、標準ステーション５０等を備える。なお、マトリクススイッチ４０には、コントローラ４１が設けられている。
【００２１】
外部コントローラ１０およびコントローラ４１は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等から構成される。外部コントローラ１０は、測定ステーション２０、被試験デバイスステーション３０、コントローラ４１および標準ステーション５０を制御する。
【００２２】
コントローラ４１は、外部コントローラ１０の指示に従って、マトリクススイッチ４０を制御する。マトリクススイッチ４０は、コントローラ４１の指示に従って、各測定ステーション２０と、各被試験デバイスステーション３０および標準ステーション５０との接続組合せを変更する。この場合、各測定ステーション２０は、複数の被試験デバイスステーション３０および標準ステーション５０のうちいずれか１つと接続される。
【００２３】
図２（ａ）を参照して、各被試験デバイスステーション３０は、デバイスを搭載可能な搭載部３１、ドライバ３２およびコントローラ３３を備える。コントローラ３３は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成され、ドライバ３２の動作を制御する。ドライバ３２は、コントローラ３３の指示に従って、搭載部３１に搭載されたデバイスを駆動する。本実施例においては、搭載部３１には、一例として半導体レーザが搭載される。
【００２４】
図２（ｂ）を参照して、各測定ステーション２０は、測定器２１およびコントローラ２２を備える。コントローラ２２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成され、測定器２１の動作を制御する。測定器２１は、マトリクススイッチ４０を介して接続された被試験デバイスステーション３０または標準ステーション５０に搭載されるデバイスの特性を、コントローラ２２の指示に従って測定する装置である。各測定器２１は、同じ特性を測定可能である。また、測定ステーション２０は、例えば、光オシロスコープ、パワーメータ、波長計、ＢＥＲ測定器、スペクトラム測定器等のいずれかを測定器２１として用いて測定することができる。なお、上記各測定器は、単体もしくは複数の測定機器から構成されていてもよい。また、測定ステーション２０は、上記の各測定器２１を複数用いた組を複数備えていてもよい。
【００２５】
図２（ｃ）を参照して、標準ステーション５０は、１以上の標準光源部５１、コントローラ５２および光スイッチ５３を備える、各標準光源部５１は、標準デバイス５４およびドライバ５５を備える。コントローラ５２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等から構成され、各ドライバ５５および光スイッチ５３の動作を制御する。各ドライバ５５は、コントローラ５２の指示に従って、標準デバイス５４を駆動する。標準デバイス５４は、あらかじめ所定の特性を実現することが確認されたデバイスである。本実施例においては、標準デバイス５４として、半導体レーザを用いる。光スイッチ５３は、コントローラ５２の指示に従って、いずれの標準デバイス５４を光源として出力するか切り替えるスイッチである。
【００２６】
続いて、試験装置１００の制御方法について説明する。図３は、外部コントローラ１０によって実行される、試験装置１００の制御方法の一例を示すフローチャートである。まず、外部コントローラ１０は、変数「ｎ」に「１」を代入する（ステップＳ１）。
【００２７】
次に、外部コントローラ１０は、標準ステーション５０の標準デバイス５４を用いて、ｎ番目の測定ステーション２０の点検を実施する（ステップＳ２）。この場合、外部コントローラ１０は、標準デバイス５４とｎ番目の測定ステーションとが接続されるように、コントローラ４１を介してマトリクススイッチ４０を制御する。ステップＳ２の実行によって、ｎ番目の測定ステーション２０が正常に動作しているか否かが確認されるとともに、測定ステーション２０からマトリクススイッチ４０までの経路が正常であるか否かが確認される。
【００２８】
次いで、外部コントローラ１０は、すべての測定ステーション２０の点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ３）。ステップＳ３において点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、変数「ｎ」に「ｎ＋１」を代入する（ステップＳ４）。その後、外部コントローラ１０は、ステップＳ２を再度実行する。
【００２９】
ステップＳ３において点検が完了したと判定された場合、外部コントローラ１０は、未点検の被試験デバイスステーション３０の搭載部３１に標準サンプルが搭載されるまで待機する（ステップＳ５）。ここで、標準サンプルは、標準デバイスと同じ種類のデバイスであり、あらかじめ所定の特性を実現することが確認されたデバイスである。本実施例においては、標準サンプルは、半導体レーザである。
【００３０】
未点検の被試験デバイスステーション３０の搭載部３１に標準サンプルが搭載された後、外部コントローラ１０は、点検済みの測定ステーション２０を用いて、この標準サンプルを測定する（ステップＳ６）。この場合、外部コントローラ１０は、標準デバイスサンプルと点検済みの測定ステーション２０とが接続されるように、コントローラ４１を介してマトリクススイッチ４０を制御する。ステップＳ６の実行によって、被試験デバイスステーション３０、ならびに、被試験デバイスステーション３０からマトリクススイッチ４０までの機器、経路等に不具合が生じていないか否かを検出することができる。
【００３１】
次に、外部コントローラ１０は、すべての被試験デバイスステーションの点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ７）。ステップＳ７において点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、ステップＳ５を再度実行する。ステップＳ７において点検が完了したと判定された場合、外部コントローラ１０は、フローチャートの実行を終了する。
【００３２】
なお、被試験デバイスステーションおよび測定ステーションの点検頻度は同じでもよく、異なっていてもよい。例えば、測定ステーションの点検頻度を被試験デバイスステーションの点検頻度よりも高めておくことで、被試験デバイスステーションの点検時には、いずれの測定ステーションにおいても点検保証が十分確保された状態にできる。このことは、被試験デバイスステーションの点検時に、測定ステーションの点検待ち時間を解消する効果を有する。
【００３３】
本実施例によれば、測定ステーション２０の点検ステップと被試験デバイスステーション３０の点検ステップとを分けて実施することによって、点検済みの測定ステーション２０を用いて被試験デバイスステーション３０の点検を実施することができる。この場合、点検対象となる被試験デバイスステーション３０が点検済みのいずれの測定ステーション２０と接続されても、正常に点検を実施することができる。なお、被試験デバイスステーションと測定ステーションとが１対１で接続される一般の試験装置においては、被試験デバイスステーションと測定ステーションとの組が固定されるため、測定ステーションの点検ステップと被試験デバイスステーションの点検ステップとを分けて実施する必要はない。
【００３４】
また、本実施例によれば、標準デバイスを搭載するための専用の標準ステーション５０が配置される。この場合、被試験デバイスステーション３０に標準デバイスを搭載するための工数を削減することができる。一般に、被試験デバイスステーションは、型格ごとにデバイス接続のための治具が異なる。したがって、各治具の交換作業を含めると、工数が増大してしまう。しかしながら、標準ステーションを設ければ、専用の標準デバイスを標準ステーション５０に内蔵しておくことができる。したがって、各治具の交換作業に要する工数を削減することができる。
【００３５】
また、標準ステーションを使用すれば、被試験デバイスステーションの治具部分に標準デバイスを脱着することによる特性への影響を抑制することができる。なお、本発明に関する点検のうち、特に測定ステーションの点検は、標準ステーションを使用すれば、全自動で実施することができる。したがって、実試験が行われない夜間などに測定ステーションの点検を行うことができるので、測定ステーションの点検が実試験の稼動を阻害することを防止できる効果が得られる。
【実施例２】
【００３６】
一部の測定ステーション２０の点検が終了した後に、被試験デバイスステーション３０の点検を開始してもよい。図４は、この場合の試験装置１００の制御方法の一例を示すフローチャートである。図４のステップＳ１１およびＳ１２は、図３のステップＳ１およびＳ２と同様のため、説明を省略する。ステップＳ１２の実行後、外部コントローラ１０は、すべての測定ステーション２０の点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ１３）。それと同時に、外部コントローラ１０は、変数「ｎ」がしきい値「ｍ（＜ｎ）」を上回った否かを判定する（ステップＳ１５）。しきい値「ｍ」は、任意であるが、例えばｎ／２程度の値とすることができる。
【００３７】
ステップＳ１３においてすべての測定ステーション２０の点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、変数「ｎ」に「ｎ＋１」を代入する（ステップＳ１４）。その後、外部コントローラ１０は、ステップＳ１２を再度実行する。ステップＳ１３において測定ステーション２０の点検が完了したと判定された場合、測定ステーション２０の点検は終了する。
【００３８】
ステップＳ１５において変数「ｎ」がしきい値「ｍ」を上回ったと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は待機する。ステップＳ１５において変数「ｎ」がしきい値「ｍ」を上回ったと判定された場合、外部コントローラ１０は、未点検の被試験デバイスステーション３０の搭載部３１に標準サンプルが搭載されるまで待機する（ステップＳ１６）。なお、この場合、外部コントローラ１０は、すべての測定ステーション２０の点検が完了するまで測定ステーション２０の点検を平行して実施する。ステップＳ１７およびＳ１８は、図３のステップＳ６およびＳ７と同様のため、説明を省略する。
【００３９】
本実施例によれば、すべての測定ステーション２０の点検が完了する前に被試験デバイスステーション３０の点検を開始することができる。この場合、被試験デバイスステーション３０の点検が完了するまでの時間を短縮することができる。また、被試験デバイスステーション３０の点検が１つ以上完了することで、測定ステーション２０の点検が完了している組で先行して実試験を開始することができる。
【実施例３】
【００４０】
測定ステーション２０の点検前に被試験デバイスステーション３０の点検を開始してもよい。図５は、この場合の試験装置１００の制御方法の一例を示すフローチャートである。まず、外部コントローラ１０は、未点検の被試験デバイスステーション３０の搭載部３１に標準サンプルが搭載されるまで待機する（ステップＳ２１）。
【００４１】
未点検の被試験デバイスステーション３０の搭載部３１に標準サンプルが搭載された後、外部コントローラ１０は、いずれかの測定器２１を用いて、この標準サンプルを測定する（ステップＳ２２）。次に、外部コントローラ１０は、すべての被試験デバイスステーションの点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ２３）。ステップＳ２３において点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、ステップＳ２１を再度実行する。
【００４２】
ステップＳ２３において点検が完了したと判定された場合、外部コントローラ１０は、変数「ｎ」に「１」を代入する（ステップＳ２４）。
【００４３】
次に、外部コントローラ１０は、標準ステーション５０の標準デバイス５４を用いて、ｎ番目の測定ステーション２０の測定器２１の点検を実施する（ステップＳ２５）。次いで、外部コントローラ１０は、すべての測定ステーション２０の点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ２６）。ステップＳ２６において点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、変数「ｎ」に「ｎ＋１」を代入する（ステップＳ２７）。その後、外部コントローラ１０は、ステップＳ２５を再度実行する。
【００４４】
ステップＳ２６において点検が完了したと判定された場合、外部コントローラ１０は、フローチャートの実行を終了する。
【００４５】
本実施例によれば、測定ステーション２０の点検に先行して被試験デバイスステーション３０の点検を実施することができる。例えば、測定ステーション２０の信頼性が比較的高い場合に有効な点検方法である。
【実施例４】
【００４６】
一部の被試験デバイスステーション３０の点検が終了した後に、測定ステーション２０の点検を開始してもよい。図６は、この場合の試験装置１００の制御方法の一例を示すフローチャートである。図６のステップＳ３１およびＳ３２は、図５のステップＳ２１およびＳ２２と同様のため、説明を省略する。ステップＳ３２の実行後、外部コントローラ１０は、すべての被試験デバイスステーション３０の点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ３３）と同時に、所定数の被試験デバイスステーション３０の点検が完了したか否かを判定する（ステップＳ３４）。
【００４７】
ステップＳ３３においてすべての被試験デバイスステーション３０の点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、ステップＳ３１を再度実行する。ステップＳ３３においてすべての被試験デバイスステーション３０の点検が完了したと判定された場合、被試験デバイスステーション３０の点検が終了する。
【００４８】
ステップＳ３４において所定数の被試験デバイスステーション３０の点検が完了したと判定されなかった場合、外部コントローラ１０は、待機する。ステップＳ３４において所定数の被試験デバイスステーション３０の点検が完了したと判定された場合、外部コントローラ１０は、ステップＳ３５を実行する。なお、ステップＳ３５〜ステップＳ３８は、図５のステップＳ２４〜ステップＳ２７と同様のため、説明を省略する。
【００４９】
本実施例によれば、すべての被試験デバイスステーション３０の点検が完了する前に測定器２１の点検を開始することができる。この場合、測定器２１の点検が完了するまでの時間を短縮することができる。
【実施例５】
【００５０】
標準ステーション５０は必ずしも備わっていなくてもよい。図７は、実施例５に係る試験装置１００ａの全体構成を示す模式図である。図７に示すように、試験装置１００ａは、標準ステーション５０を備えていない。この場合、いずれかの被試験デバイスステーション３０に標準デバイスを搭載し、この標準デバイスを複数の測定ステーション２０を用いて測定することによって、各測定ステーション２０を点検することができる。
【００５１】
なお、上記各実施例においては同じ特性を測定可能な１種類の測定ステーション２０が備わっているが、それに限られない。他の特性を測定可能な測定ステーションが複数備わっていれば、各種類の測定ステーション群に対して、図３〜図６のフローチャートと同様に測定ステーションの点検ステップと被試験デバイスステーションの点検ステップとを分けて実施すればよい。他の特性を測定可能な測定ステーションが１台しか備わっていない場合には、この１台の測定ステーションを用いて複数の被試験デバイスステーションの点検を実施すればよい。
【００５２】
また、上記各実施例においては外部コントローラ１０を用いて試験装置１００を制御したが、それに限られない。コントローラ１１，２２，３３，５２のいずれかが外部コントローラ１０を代用してもよい。
【００５３】
なお、外部コントローラ１０は、測定ステーション２０および被試験デバイスステーション３０の各々の点検履歴、点検実施の状態等を管理するためのテーブルを備えていてもよい。本発明の点検においては、外部コントローラ１０は、このテーブルを参照して、点検要否あるいは点検中における通常試験のリクエストの拒否などのコントロールを実施してもよい。
【００５４】
また、上記各実施例において、測定器点検ステップに供されていない測定器２１と被試験デバイスステーション点検行程に供されていない被試験デバイスステーション３０とを用いて、１対１接続の通常の点検を実施してもよい。この場合、点検効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例１に係る試験装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】（ａ）は後述する被試験デバイスステーションの詳細図であり、（ｂ）は後述する測定ステーションの詳細図であり、（ｃ）は後述する標準ステーションの詳細図である。
【図３】外部コントローラによって実行される、試験装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】試験装置の制御方法の他の例を示すフローチャートである。
【図５】試験装置の制御方法の他の例を示すフローチャートである。
【図６】試験装置の制御方法の他の例を示すフローチャートである。
【図７】実施例５に係る試験装置の全体構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０  外部コントローラ
２０  測定ステーション
２１  測定器
２２  コントローラ
３０  被試験デバイスステーション
３１  搭載部
３２  ドライバ
３３  コントローラ
４０  マトリクススイッチ
４１  コントローラ
５０  標準ステーション
５１  標準光源部
５２  コントローラ
５３  光スイッチ
５４  標準デバイス
５５  ドライバ
１００  試験装置
【図１】
2010156553.tif 000003
【図２】
2010156553.tif 000004
【図３】
2010156553.tif 000005
【図４】
2010156553.tif 000006
【図５】
2010156553.tif 000007
【図６】
2010156553.tif 000008
【図７】
2010156553.tif 000009