(57)【要約】【課題】クリーンルームの有るどの工場にも使用されるクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムを提供する。【解決手段】無線監視制御システムは、複数個のファンフィルタユニット、無線読取ユニット、及びリアルタイム監視制御ユニットからなる。各ファンフィルタユニットはファンとファンに取付けてファンの識別信号を受信する感知識別タグを具備する。無線読取ユニットは複数個の無線読取装置を具備し、各無線読取装置は所定数の感知識別タグと通信して感知識別タグの識別信号を読取る。リアルタイム監視制御ユニットは無線読取ユニットに接続して感知識別タグの識別信号を読取る。無線方式で識別信号を読取って効果的に各ファンフィルタユニットを監視制御すると共に、大量の器材、ワイヤ、及び施工コストを節減する。【選択図】図３
2010048525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
いずれの工場のクリーンルームにも使用されるクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムにおいて、
ファンと、前記ファンに取付けて前記ファンの識別信号を受信するための感知識別タグをそれぞれ具備する複数個のファンフィルタユニットと、
無線読取装置を複数具備し、各無線読取装置は無線方式で所定数の感知識別タグと通信して、前記感知識別タグの識別信号を読取る無線読取ユニットと、
前記無線読取ユニットに接続して前記無線読取ユニットが読取った前記感知識別タグの識別信号を受信すると共に、前記識別信号を表示し、制御するリアルタイム監視制御ユニットと、
を備えることを特徴とするクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム。
【請求項２】
前記感知識別タグが感知識別カード又は感知識別装置であることを特徴とする請求項１に記載するクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム。
【請求項３】
各無線読取装置が無線周波数読取装置又は赤外線周波数読取装置であることを特徴とする請求項１に記載するクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム。
【請求項４】
前記リアルタイム監視制御ユニットが少なくとも一つのモニターとコンピュータを具備し、前記モニターは前記読取装置の識別信号を表示し、前記コンピュータは前記無線読取ユニットが受信した識別信号を読取ると共に、前記識別信号を制御することを特徴とする請求項１に記載するクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム。
【請求項５】
前記リアルタイム監視制御ユニットがマンマシンインターフェースソフトを具備し、前記マンマシンインターフェースソフトは前記無線読取ユニットが受信した識別信号を所定の信号形式に変換すると共に、前記モニターと前記コンピュータにそれぞれ伝送し、前記モニターに前記識別信号を表示させると同時に、前記コンピュータに読取と制御をさせることを特徴とする請求項４に記載するクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファンフィルタユニットの無線監視制御システムに関し、特にクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムであって、無線方式によって、多数のファンフィルタユニットの使用状況を効果的に監視制御すると共に、大量の器材、ワイヤ、及び施工コストを効率的に節減するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、科学技術電子工場のようなハイテク化された工場は、高度な空調循環フィルタが必要な工場環境（例：クリーンルームやその他の清浄ルームなど）について工場環境の設備の清浄化や、製造工程などにおける高度なエアー品質を達成するために、工場の天井にＡＣやＤＣファンユニットのようなファンフィルタユニットを多数設置して、空気を循環させたりやフィルタしたりすることで空調を行って清潔度の要求を満たしている。
【０００３】
いわゆるハイテク化された工場やクリーンルームにおいては、作業エリアの清浄度を維持するために、大量に気流を循環させて汚染された塵埃を除去する必要がある。送風機の配置でクリーンルームを分類する場合、中央システムとファンフィルタユニットシステムの２種類に分けられる。中央システムとは、一台の大型ファンで送風し、一方、ファンフィルタユニットシステムは小型ファンとフィルタスクリーンとを組合せ、大型ファンは使用せずにクリーンルームやハイテク建造物の天井にファンセットを大量に取り付ける。前記ファンフィルタユニットシステムは利便性が高く、工期が短く、汚染を制御し易く、システム全体のバランス調整が容易であるなどの長所を備え、台湾では近年新築のクリーンルームはファンフィルタユニットタイプをほぼ全面的に採用している。
【０００４】
然しながら、ファンフィルタユニットシステムはファンフィルタユニットの数が多すぎて、現場スタッフにとって不便であり、現行のファンフィルタユニットシステムの多くは局部制御をモジュール化したものであり、また全体を直列又は並列方式で接続している。従って、ファンフィルタユニットシステムは操作面で一台又は二台のファンフィルタユニットに操作上に異常な状態が発生すると、上述の故障したファンフィルタユニットの判断が困難となり、メンテナンス効果も好ましくない。
【０００５】
こうしたことを考慮して、発明者はクリーンルームのファンの監視制御システムを研究開発した。図１で示すのは従来のクリーンルームのファンに使用する監視制御システムの概略図である。図示されるように、監視制御システム１００ａは、複数個のファンフィルタユニット１０ａ、複数個のプログラマブルロジックコントローラ２０ａ、複数個のハブ３０ａ、モニター４０ａ、及びコンピュータ５０ａからなる。そのうち、各ファンフィルタユニット１０ａはプログラマブルロジックコントローラ２０ａに接続され、各プログラマブルロジックコントローラ２０ａは各ハブ３０aに接続され、ハブ３０aはモニター４０ａにそれぞれ接続され、最後にモニター４０ａはコンピュータ５０ａに接続され、これによりモニター４０ａでファンフィルタユニット１０ａの使用状況（例えばオン／オフ状態や回転速度が正常か否かなど）を監視すると共に、コンピュータ５０ａによってファンフィルタユニット１０ａの運転を制御する。
【０００６】
然しながら、従来では各ファンフィルタユニット１０ａの運転を監視制御するためには、大量のプログラマブルロジックコントローラ２０ａ、ハブ３０ａ、及びプログラマブルロジックコントローラ２０ａとファンフィルタユニット１０ａ間を接続するワイヤを使用しなければならない。このため、必然的に各種器材、ワイヤ、及び施工コストが増大することとなる。
【０００７】
また、要求に応じて工場面積を拡大してファンフィルタユニット１０ａの数を増加した場合、プログラマブルロジックコントローラ２０ａ、ハブ３０ａ、及びワイヤの使用で部材コストの大幅な上昇を招き、ひいては数量の増加で施工難度が高まりコスト上昇を招くのである。
【０００８】
従って、以上から分かるように、従来のクリーンルームのファンに使用する監視制御システムの実際の使用面に不便で欠点があることが明らかになったことで、改善が必要とされるのである。
【０００９】
これらのことを考慮して、本発明者は、ファンフィルタユニットの監視制御数という視点から、工場拡張によってコストの大幅上昇を招くことに対して長年この方面に従事してきた関連経験を生かして観察し研究を重ね、原理に合せて合理的設計で上記の欠点を効果的に改善した本発明を提出する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の主な目的は、いずれの工場のクリーンルームにも使用されるクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムを提供することにあり、これはファンフィルタユニットの数という視点から、工場拡張の際にコスト上昇を招くという問題に対応するために、特別に考慮し設計された無線監視制御システムである。また、工場の天井に取付けられた複数個のファンフィルタユニットのファンの中に、それぞれ感知識別タグを取り付けると共に、無線読取ユニットの複数個の無線読取装置によって、無線方式で感知識別タグと通信し、従来の大量の器材やワイヤに取って代える。
【００１１】
従って、無線方式で識別信号を読み取ることによって、各ファンフィルタユニットを効果的に監視制御すると同時に、大量の器材、ワイヤ、及び施工コストを効果的に節減して施工プロセスを簡素化し容易にすることができる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明は、いずれの工場のクリーンルームにも使用されるクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムを提供し、前記クリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムは、複数個のファンフィルタユニットと、無線読取ユニットと、リアルタイム監視制御ユニットからなる。
【００１３】
各ファンフィルタユニットは、ファンと、前記ファンに取付けて前記ファンの識別信号を受信するための感知識別タグをそれぞれ具備する。前記無線読取ユニットは複数個の無線読取装置を具備し、各無線読取装置は所定数の感知識別タグと通信して前記感知識別タグの識別信号を読取る。前記リアルタイム監視制御ユニットは前記無線読取ユニットに接続して、前記無線読取ユニットが読取った前記感知識別タグの識別信号を受信する。
【発明の効果】
【００１４】
このようにして、前記無線読取ユニットと各感知識別タグ間の無線の読取方式によって、効果的に多数のファンフィルタユニットの使用状況を監視制御すると共に、大量の器材、ワイヤ、及び施工コストを効果的に節減して施工プロセスを簡素化し便利にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明が所期の目的を達成するために採用した技術、手段、及び効果をなお一層理解するために、以下に本発明に関する詳細説明と添付図面を参照することによって、本発明の目的や特徴が、これによって深く具体的に理解できる。但し、添付した図面は参考並びに説明用に提供したに過ぎず、本発明に制限を加えるものではない。
【００１６】
本発明の技術的特徴や実施内容をさらに理解するために、下記に列挙した本発明の説明と添付図面を参照することとする。
【００１７】
図２、図３で示すのは、本発明におけるクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム１００の概略平面図と概略側面図である。本実施例では、クリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム１００はＴＦＴ工場のクリーンルーム（図示せず）内で使用される。クリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム１００は複数個のファンフィルタユニット１、無線読取ユニット２、及びリアルタイム監視制御ユニット３からなる。
【００１８】
各ファンフィルタユニット１はファン１２と、ファン１２に取り付けられファン１２の識別信号を受信する感知識別タグ１４を具備し、各感知識別タグ１４は各ファン１２のオン／オフ状態、故障状況、又は運転状況などを検知すると共に、識別信号を生じる。本発明では、感知識別タグ１４は感知識別カード又は感知識別装置などの関連部材である。同類に属し且つ感知識別作用に用いる部材や装置は何れも本発明の使用範疇に入る。
【００１９】
また、本発明に係るクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム１００は、面積規模が少なくとも２００メートル×１００メートルの範囲であるＴＦＴ工場のクリーンルームに使用することを例示するが、このタイプの工場や面積規模に限られず、どの製造工程においても工場面積の異なるクリーンルームに使用することができ、電子工場またはクリーンルームなどの空調やフィルタが必要な関連タイプの工場は何れも本発明の使用範疇に入る。
【００２０】
このため、ファン１２によりクリーンルームのエアーのフィルタ、調節、又は温度変化などの効果が達成されると共に、各感知識別タグ１４によって各ファン１２のオン／オフ状態、故障状況、又は運転状況などを検知する。
【００２１】
無線読取ユニット２は複数個の無線読取装置２２を具備し、各無線読取装置２２は所定数の感知識別タグ１４と通信して、感知識別タグ１４における識別信号を読取る。そのうち無線読取ユニット２をファンフィルタユニット１頂部上方に設置して、無線方式でファン１２の感知識別タグ１４が検知した識別信号を受信することで、各無線読取装置２２は所定数の感知識別タグ１４と通信することができる。然しながら、本発明での無線読取ユニット２をファンフィルタユニット１頂部上方に取付けるのは、実施方法の一つに過ぎず、無線読取ユニット２とファンフィルタユニット１との間の相対位置を制限してはいない。ユーザーは必要状況に応じて無線読取ユニット２をその他の位置に設置して、無線方式によって前記センサ識別タグ１４を受信することができる。
【００２２】
本実施例では、各無線読取装置２２は少なくとも５０個の感知識別タグ１４（又は５０個を超える感知識別タグ１４）と通信することができる。そのうち、各無線読取装置２２は赤外線周波数読取装置又は無線周波数読取装置である。無線読取装置２２は前述の二種類の読取装置のほかに、その他の関連する無線読取装置の型式でもよい。各無線読取装置２２の受信範囲は、複数個の感知識別タグ１４を無線で読取ることができるように少なくとも２０メートル×２０メートル内の感知識別タグ１４をカバーするようにする。また、ユーザーは必要に応じて無線読取装置２２の受信範囲を変更することができる。
【００２３】
リアルタイム監視制御ユニット３は無線読取ユニット２に接続して、無線読取ユニット２が受信した感知識別タグ１４の識別信号を受信する。リアルタイム監視制御ユニット３は、少なくとも一つのモニター３２、少なくとも一つのコンピュータ３４、及びマンマシンインターフェースソフト３６を具備する。モニター３２は無線読取装置２２の識別信号を表示する。コンピュータ３４は無線読取ユニット２における無線読取装置２２の識別信号を読取って識別信号に従って制御をすることによって、各ファン１２のオン／オフ状態を制御し、又は各ファン１２の故障状況を判断して故障を排除し、運転制御を行う。マンマシンインターフェースソフト３６はそれぞれモニター３２とコンピュータ３４に接続して、無線読取ユニット２が受信した識別信号を所定の信号形式に変換すると共に、モニター３２とコンピュータ３４それぞれに伝送することで、識別信号をモニター３２の監視画面（図示せず）に表示させると同時に、コンピュータ３４に識別信号を読取らせ、オン／オフ制御、故障判断とその排除、運転制御などの関連作業を行うように制御させる。
【００２４】
なお、無線読取ユニット２の各無線読取装置２２間は直列に電気的に接続されると共に、リアルタイム監視制御ユニット３に接続されて、識別信号をリアルタイム監視制御ユニット３に同時伝送する。リアルタイム監視制御ユニット３のモニター３２、コンピュータ３４、及びマンマシンインターフェースソフト３６が無線読取ユニット２によって各ファン１２の感知識別タグ１４の識別信号を受信して、識別信号の信号変換、画面表示、及びオン／オフ、故障又は運転制御などの作業を行うことができる。
【００２５】
このようにして無線の読取方式で多数のファンフィルタユニット１の使用状況を効果的に監視制御すると共に、大量の器材、ワイヤ、及び施工コストを効率的に節減する。
【００２６】
図４は、本発明のクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムによる制御方法のフローチャートである。前記方法のフローチャートは以下の通りである。
【００２７】
（１）第一過程では、まず複数個のファンフィルタユニット１の各ファン１２にそれぞれ感知識別タグ１４を取付けることによってファン１２の識別信号を受信する（Ｓ１０１）。
【００２８】
（２）第二過程では、無線読取ユニット２の各無線読取装置２２で、それぞれ無線方式で所定数の感知識別タグ１４と通信することによって、感知識別タグ１４の識別信号を読取る（Ｓ１０３）。
【００２９】
（３）最終過程では、無線読取ユニット２に接続するリアルタイム監視制御ユニット３によって、無線読取装置２２が読取る識別信号を受信すると共に、識別信号を表示し制御する（Ｓ１０５）。
【００３０】
無線監視制御システムで使用する方法、即ち無線読取ユニット２の各無線読取装置２２と感知識別タグ１４間の無線の読取方式によると、効果的に多数のファンフィルタユニット１の使用状況を監視制御すると共に、大量の器材、ワイヤ、及び施工コストを効率的に節減するばかりでなく、同時に施工面における困難な度合いを簡素化することができる。
【００３１】
リアルタイム監視制御ユニット３は、モニター３２、コンピュータ３４、及びマンマシンインターフェースソフト３６を具備する。また、リアルタイム監視制御ユニット３で実行する過程は下記の過程を含む。（ａ）マンマシンインターフェースソフト３６により、無線読取ユニット２の無線読取装置２２が受信した識別信号を所定の信号形式に変換して、モニター３２とコンピュータ３４それぞれに伝送する。（ｂ）モニター３２により、各無線読取装置２２が読取った識別信号を監視画面（図示せず）に表示する。（ｃ）コンピュータ３４により、各無線読取装置２２が受信した識別信号を読取って識別信号に基づいて制御して、オン／オフ制御、故障判断とその排除、運転制御を行うように制御する。
【００３２】
これにより、リアルタイム監視制御ユニット３のモニター３２、コンピュータ３４、及びマンマシンインターフェースソフト３６で、感知識別タグ１４の識別信号を変換した後、各ファンフィルタユニット１のファン１２の使用状況（例えば、オン／オフ状態、故障状況、又は運転状況）を表示並びに監視すると同時に、各ファン１２のオン／オフ制御、故障判断とその排除などの関連作業を効果的に制御管理することができる。
【００３３】
上記を総合すると、クリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムは各ファンに取付けた感知識別タグ１４を利用して、無線読取ユニット２が無線方式によって複数個の感知識別タグ１４を読取る方法で関連する監視制御作業を行うもので、本発明には以下の特徴がある。
【００３４】
（１）感知識別タグと無線読取装置の間の無線による読取方式によって、従来の大量のワイヤを使用して施工コストを掛けた方法に取って代わる。
【００３５】
（２）容易にクリーンルーム（工場）面積の拡張やファンフィルタユニットの監視箇所の増加に応じることができ、簡単で便利で迅速な施工効果が達成できる。
【００３６】
（３）感知識別タグ、無線読取装置、及びリアルタイム監視制御ユニット間の組合せを利用して、クリーンルームのファンフィルタユニットの監視制御効果が簡素化されて容易に達成できる。
【００３７】
（４）リアルタイム監視制御ユニットでは、マンマシンインターフェースソフトの使用により、ファンフィルタユニットに対して効果的で変化のない監視制御効果を奏する。
【００３８】
以上の記述は本発明の最良の具体的実施例における詳細な説明と図面に過ぎず、本発明の特徴はこれだけに限られず、これを以って本発明を制限するものではない。本発明のすべての範囲は特許請求の範囲を基準とし、本発明の特許請求の範囲に合致する精神及びこれに類似変化した実施例は、何れも本発明の範疇に含むべきであり、本発明の分野を熟知している技術者が容易に思いつく変化又は修飾は全て上記の本願の特許範囲に含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】従来のクリーンルームのファンに使用する監視制御システムの概略図である。
【図２】本発明のクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムの概略平面図である。
【図３】本発明のクリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システムの概略側面図である。
【図４】本発明の無線監視制御システムの使用方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００４０】
１００ａ  クリーンルームのファンに使用する監視制御システム
１０ａ    ファンフィルタユニット
２０ａ    プログラマブルロジックコントローラ
３０ａ    ハブ
４０ａ    モニター
５０ａ    コンピュータ
１００  クリーンルームのファンフィルタユニットに使用する無線監視制御システム
１      ファンフィルタユニット
１２    ファン
１４    感知識別タグ
２      無線読取ユニット
２２    無線読取装置
３      リアルタイム監視制御ユニット
３２    モニター
３４    コンピュータ
３６    マンマシンインターフェースソフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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