(57)【要約】【課題】偏向面駆動部。【解決手段】第１走査部、第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部、第２走査部を第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームを備える。第１走査部は、偏向面、第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部を有する。第２走査部は、第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部、第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部を有する。フレームは、第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有する。第１櫛歯部を構成する櫛歯は第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第３櫛歯部を構成する櫛歯は第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第４櫛歯部を構成する櫛歯は第６櫛歯部構成する櫛歯と交互に配置される。第１、第３、第４櫛歯部、及び偏向面は、第１方向に並べられ、第３櫛歯部は第１櫛歯部より偏向面に近い側に、第１櫛歯部は第４櫛歯部より偏向面に近い側に配置される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１走査部と、
主走査と副走査の一方のために、前記第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部と、
前記主走査と前記副走査の他方のために、前記第２走査部を前記第１方向と垂直な第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームとを備え、
前記第１走査部は、入射光の光路を反射または透過により偏向する偏向面と、前記主走査と前記副走査の一方に使用され、且つ前記第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部とを有し、
前記第２走査部は、前記第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部と、前記主走査と前記副走査の他方に使用され、且つ前記第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部とを有し、
前記フレームは、前記第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有し、
前記偏向面は、前記第１走査部の前記第１方向に平行な軸周りの回転及び前記第２走査部の前記第２方向に平行な軸周りの回転により前記入射光の光路を偏向し、
前記第１櫛歯部を構成する櫛歯は、前記第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置され、
前記第３櫛歯部を構成する櫛歯は、前記第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置され、
前記第４櫛歯部を構成する櫛歯は、前記第６櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置され、
前記第１櫛歯部、前記第３櫛歯部、前記第４櫛歯部、及び前記偏向面は、前記第１方向に並べられ、
前記第３櫛歯部は、前記第１櫛歯部よりも、前記偏向面に近い側に配置され、
前記第１櫛歯部は、前記第４櫛歯部よりも、前記偏向面に近い側に配置されることを特徴とする光走査装置における偏向面駆動部。
【請求項２】
前記第１走査部の前記第１方向に平行な軸周りの回転は、前記主走査のために行われ、前記主走査のための電圧駆動は、共振振動で行われ、
前記第２走査部の前記第２方向に平行な軸周りの回転は、前記副走査のために行われ、前記副走査のための電圧駆動は、ＤＣ駆動で行われ、
前記第２走査部が前記第２方向に平行な軸周りに回転し、前記第３櫛歯部を構成する櫛歯の先端部分が、前記第２方向から見て、前記第５櫛歯部を構成する櫛歯と重なる時に、前記第４櫛歯部を構成する櫛歯の先端部分が、前記第２方向から見て、前記第６櫛歯部を構成する櫛歯と重なるように、前記第１〜６櫛歯部が配置されることを特徴とする請求項１に記載の偏向面駆動部。
【請求項３】
前記第１走査部の前記第１方向に平行な軸周りの回転は、前記副走査のために行われ、前記副走査のための電圧駆動は、ＤＣ駆動で行われ、
前記第２走査部の前記第２方向に平行な軸周りの回転は、前記主走査のために行われ、前記主走査のための電圧駆動は、共振駆動で行われ、
前記第４、第６櫛歯部を構成する櫛歯の前記第１、第２方向と垂直な第３方向の厚さは、前記第３、第５櫛歯部を構成する櫛歯の前記第３方向の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項１に記載の偏向面駆動部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置に関し、特に光走査装置における光源からの光を偏向させる偏向面を含む偏向面駆動部について、偏向面の回転軸の一方の方向の寸法を抑える装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光源からの光を偏向させる光走査装置が提案されている。
【０００３】
特許文献１は、第１方向に平行な軸周り、及び第１方向に垂直な第２方向に平行な軸周りに回転可能な走査ミラーを含む光走査装置を開示する。
【特許文献１】特開２００７−１７１７８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１では、走査ミラーを回転させるために使用される櫛歯部が、走査ミラーを通り且つ第１方向に平行な線上にも、走査ミラーを通り且つ第２方向に平行な線上にも配置される。このため、光走査装置における第１方向の寸法も、第２方向の寸法も長くなってしまう問題があった。
【０００５】
したがって本発明の目的は、回転軸の一方の方向の寸法を抑えた光走査装置における偏向面駆動部を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る光走査装置における偏向面駆動部は、第１走査部と、主走査と副走査の一方のために、第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部と、主走査と副走査の他方のために、第２走査部を第１方向と垂直な第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームとを備え、第１走査部は、入射光の光路を反射または透過により偏向する偏向面と、主走査と副走査の一方に使用され、且つ第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部とを有し、第２走査部は、第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部と、主走査と副走査の他方に使用され、且つ第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部とを有し、フレームは、第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有し、偏向面は、第１走査部の第１方向に平行な軸周りの回転及び第２走査部の第２方向に平行な軸周りの回転により入射光の光路を偏向し、第１櫛歯部を構成する櫛歯は、第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置され、第３櫛歯部を構成する櫛歯は、第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置され、第４櫛歯部を構成する櫛歯は、第６櫛歯部を構成する櫛歯と交互に配置され、第１櫛歯部、第３櫛歯部、第４櫛歯部、及び偏向面は、第１方向に並べられ、第３櫛歯部は、第１櫛歯部よりも、偏向面に近い側に配置され、第１櫛歯部は、第４櫛歯部よりも、偏向面に近い側に配置される。
【０００７】
偏向面駆動部において第１方向に配置される部材は多いため、偏向面駆動部の第１方向の全長は長くなるが、第２方向に配置される部材は少ないため、偏向面駆動部の第２方向の全長を短くすることが可能になる。このため、偏向面を回転させるために使用される櫛歯が、偏向面を通り且つ第１方向に平行な線上にも、偏向面を通り且つ第２方向に平行な線上にも配置される形態に比べて、偏向面駆動部における回転軸方向の一方の寸法を短くすることが可能になり、偏向面駆動部を含む装置（例えば、共焦点光学装置）における任意の方向の寸法を短くすることが可能になる。なお、偏向面は、入射光を反射して光路を偏向する走査ミラーで構成されてもよいし、入射光を透過して光路を偏向する平行透過板で構成されてもよい。
【０００８】
また、主走査と副走査の他方を行うための櫛歯部として、複数組の櫛歯部（第３櫛歯部と第５櫛歯部、及び第４櫛歯部と第６櫛歯部）が設けられる。このため、１組の櫛歯部で構成される形態に比べて、大きな駆動力を得ることが可能になる。
【０００９】
なお、１組の櫛歯部であっても、櫛歯部を構成する櫛歯の数を増やすことによって駆動力を大きくすることも可能であるが、この場合は、偏向面駆動部の第２方向の全長が長くなる問題が生ずる。また、１組の櫛歯部であっても、櫛歯部を構成する櫛歯の第１方向の長さを長くすることによって駆動力を大きくすることも可能であるが、この場合は、櫛歯の耐久性が低下する恐れがある。
【００１０】
好ましくは、第１走査部の第１方向に平行な軸周りの回転は、主走査のために行われ、主走査のための電圧駆動は、共振振動で行われ、第２走査部の第２方向に平行な軸周りの回転は、副走査のために行われ、副走査のための電圧駆動は、ＤＣ駆動で行われ、第２走査部が第２方向に平行な軸周りに回転し、第３櫛歯部を構成する櫛歯の先端部分が、第２方向から見て、第５櫛歯部を構成する櫛歯と重なる時に、第４櫛歯部を構成する櫛歯の先端部分が、第２方向から見て、第６櫛歯部を構成する櫛歯と重なるように、第１〜６櫛歯部が配置される。
【００１１】
この場合、第３櫛歯部と第５櫛歯部とが引き寄せ合う力、及び第４櫛歯部と第６櫛歯部とが引き寄せ合う力が、常に第２方向ｙに平行な軸周りで且つ同じ方向にすることが出来、効率良く回転制御を行うことが可能になる。また、複数組の櫛歯部の構成で、駆動力が大きく出来ているため、大きな振幅での駆動を低電圧で行えるようになるため、安全性や省電力化に貢献出来る。
【００１２】
また、好ましくは、第１走査部の第１方向に平行な軸周りの回転は、副走査のために行われ、副走査のための電圧駆動は、ＤＣ駆動で行われ、第２走査部の第２方向に平行な軸周りの回転は、主走査のために行われ、主走査のための電圧駆動は、共振駆動で行われ、第４、第６櫛歯部を構成する櫛歯の第１、第２方向と垂直な第３方向の厚さは、第３、第５櫛歯部を構成する櫛歯の第３方向の厚さよりも厚い。
【００１３】
複数組の櫛歯部を設けることにより大きくなった駆動力を使って、第２走査部の回転軸に設けられるトーションバネのバネ定数を大きくしても駆動出来るようになるため、偏向面駆動部の共振周波数を高く設定することが可能になる。
【００１４】
また、偏向面から離れた位置に配置された第４、第６櫛歯部を構成する櫛歯の厚さが、偏向面に近い位置に配置された第３、第５櫛歯部を構成する櫛歯の厚さに比べて厚いため、厚さが均一な場合や、偏向面に近い側の櫛歯の厚さが厚い形態に比べて、回転トルクが大きくなり、第２走査部の回転を開始するときの動きをスムーズにすることが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように本発明によれば、回転軸の一方の方向の寸法を抑えた光走査装置における偏向面駆動部を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明にかかる実施形態について、図を用いて説明する。本実施形態における光走査装置８の偏向面駆動部１３は、内視鏡装置のスコープ先端部などに設けられた共焦点光学装置１に含まれるものとして説明する。但し、偏向面駆動部１３は、他の光走査装置に用いられる形態であってもよい。
【００１７】
共焦点光学装置１は、光源（不図示）からの光を伝達する光ファイバケーブル３、光ファイバケーブル３から出射された光を平行光にするコリメータ部（集光光学系）４、対物光学系５、及びコリメータ部４と対物光学系５との間に配置され、被検面Ｓ上の集光位置を調整する（集光光学系６からの光を走査する）光走査装置８を備える（図１参照）。
【００１８】
なお、方向を説明するために、共焦点光学装置１において光ファイバケーブル３から出射された光の光路、コリメータ部４のレンズの光軸（第１光軸ＬＸ１）、及び対物光学系５のレンズの光軸（第２光軸ＬＸ２）と平行な水平方向を第１方向ｘ、第１光軸ＬＸ１と直交する水平方向を第２方向ｙ、第１方向ｘ、第２方向ｙと直交する鉛直方向を第３方向ｚとして説明する。また、対物光学系５は、実際には複数のレンズで構成されるが、図１や図５では、説明の簡素化のため１つのレンズで構成される形態を示す。光ファイバケーブル３から出射された光の光路は、光ファイバケーブル３から出射され、コリメータ部４、光操作装置８、対物光学系５を通って被検面Ｓに到達する光の軌跡を示す。
【００１９】
光ファイバケーブル３はシングルモードファイバであり、端面３ａは点光源としてみなすことができ、共焦点ピンホールとして使用される。光ファイバケーブル３、コリメータ部４、光走査装置８、及び対物光学系５は、第１方向ｘに並べられる。
【００２０】
光走査装置８は、プリズム部９と走査部１０を有する。プリズム部９と走査部１０とは第３方向ｚに並べられる。プリズム部９は、第２方向ｙから見てＭ字の五角形、すなわち五角柱形状の第１プリズム９ａと、第２方向ｙから見て三角形、すなわち三角柱形状の第２プリズム９ｂを有する（図２参照）。第１プリズム９ａと第２プリズム９ｂとは、ガラスで構成され、第１接触面９ｃと第２接触面９ｄで接触する。第１プリズム９ａは、一体で構成されてもよいし、三角柱形状のプリズムなどを複数並べて構成されてもよい。第１接触面９ｃは、コリメータ部４からの光を走査部１０に向けて反射する。第２接触面９ｄは、走査部１０で反射した光を、対物光学系５に向けて反射する。
【００２１】
走査部１０は、カバーガラス１１、偏向面駆動部１３を保持するデバイス保持部１５、及び裏面カバー１７を有し、略直方体形状の外形を有する。カバーガラス１１、デバイス保持部１５、及び裏面カバー１７は、プリズム部９に近い側から順に、第３方向ｚに並べられる。デバイス保持部１５に保持された偏向面駆動部１３をゴミなどの付着から保護するため、プリズム部９と対向する側は、ガラスで構成されたカバーガラス１１が接合され、反対側は、シリコンまたはガラスで構成された裏面カバー１７が接合される。また、偏向面駆動部１３とカバーガラス１１との間、及び偏向面駆動部１３と裏面カバー１７との間には、偏向面駆動部１３の第１走査部２０の回転や第２走査部４０の回転との干渉を防止する空間（第１空間ＳＰ１、第２空間ＳＰ２）が設けられる。
【００２２】
ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)を構成する偏向面駆動部１３は、プリズム部９からの光を反射する走査ミラー３０を含む第１走査部２０、第１走査部２０を第１方向ｘに平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部４０、及び第２走査部４０を第２方向ｙに平行な軸周りに回転自在に保持するフレーム５０を有する（図３参照）。
【００２３】
走査ミラー３０は、プリズム部９の第１接触面９ｃからの反射光を、第２接触面９ｄに反射する位置で、且つ走査ミラー３０の法線が第３方向ｚと略平行、すなわち走査ミラー３０が回転する前の初期状態において走査ミラー３０の法線が第３方向ｚと平行になるように配置される。ただし、第１走査部２０と第２走査部４０の回転により、第１走査部２０の走査ミラー３０が傾動し、走査ミラー３０の反射面と第３方向ｚとなす角度が変化する。このため、コリメータ部４、及び第１接触面９ｃを介して、走査ミラー３０に入射した光の反射方向が変わり（偏向され）、第２接触面９ｄ上の走査ミラー３０からの反射光が入射する領域、及び対物光学系５における第２接触面９ｄからの反射光が通過する領域が変わる。これにより、被検面Ｓ上（ｙｚ平面上）における光の照射位置、すなわち結像位置（観察位置、集光点）が走査される。
【００２４】
図２の太実線で示す走査ミラー３０は反射面の法線が第３方向ｚと平行な位置関係（初期状態）を示し、細実線で示す２種類の走査ミラー３０’、及び３０’’は、初期状態から第２方向ｙに平行な軸周りに回転し、反射面の法線が第３方向ｚと平行でない状態を示す。
【００２５】
光ファイバケーブル３から出射された光は、コリメータ部４で第１方向ｘに平行な平行光にされ、プリズム部９の第１接触面９ｃで第１走査部２０の走査ミラー３０に向けて反射し、走査ミラー３０でプリズム部９の第２接触面９ｄに向けて反射し、第２接触面９ｄで対物光学系５に向けて反射し、対物光学系５を介して被検面Ｓに照射（集光）される。被検面Ｓにおける反射光（光ファイバケーブル３からの出射光が励起光の場合は励起光に基づく蛍光）は、集光時の光路であって逆方向に辿り、光ファイバケーブル３の端面３ａに入射する。光ファイバケーブル３に入射した光は、検出装置（不図示）によって検出され、被検面Ｓの情報取得に使用される。
【００２６】
光ファイバケーブル３から出射され、コリメータ部４で平行光にされた光のうち、第１光軸ＬＸ１を通る光が、略円形形状の走査ミラー３０の中心（重心）ＣＥに到達するように、コリメータ部４、プリズム部９、及び走査ミラー３０の位置関係が設定される。
【００２７】
但し、コリメータ部４の外形を構成する円筒を第１方向ｘから見た第１円Ｃ１が、光走査装置８の第１方向ｘからの包絡円ＥＣ（光走査装置８の外形を構成する直方体を第１方向ｘから見た矩形の頂点を通る外接円）から、はみ出すことが考えられる（図４参照）。この場合、第２方向ｙから見て、コリメータ部４と光走査装置８とが第３方向ｚで且つ互いに逆方向に突出する。図１、２では、コリメータ部４が、第３方向ｚで且つ上方向に突出し、光走査装置８が第３方向ｚで且つ下方向に突出する状態を示す。そのため、光走査装置８、及びコリメータ部４の外形を包むスコープ先端部の外径は、第１円Ｃ１が包絡円ＥＣからはみ出した分だけ包絡円ＥＣよりも大きくする必要がある。かかるスコープ先端部の径方向の寸法を抑えるため、光走査装置８とコリメータ部４との間に、第１方向ｘと一定の角度をなす平行平面板で構成された光軸調整部７を設けてコリメータ部４から光走査装置８への光の光路を第３方向ｚに平行移動させ、第１円Ｃ１が、包絡円ＥＣからはみ出さないように、第１光軸ＬＸ１を第３方向ｚにずらす形態が望ましい（図５参照）。
【００２８】
また、走査ミラー３０が回転しない初期状態において、走査ミラー３０の中心ＣＥで反射した光が、プリズム部９の第２接触面９ｄで反射して、第２光軸ＬＸ２を通るように、対物光学系５、プリズム部９、及び走査ミラー３０の位置関係が設定される。図１は、第１光軸ＬＸ１を通る光が、走査ミラー３０の中心ＣＥで反射し、第２光軸ＬＸ２を通る状態を点線で示す。
【００２９】
但し、対物光学系５の外形を構成する円筒を第１方向ｘから見た第２円Ｃ２が、包絡円ＥＣから、はみ出すことが考えられる（図４参照）。この場合、第２方向ｙから見て、対物光学系５と光走査装置８とが第３方向ｚで且つ互いに逆方向に突出する。図１、２では、対物光学系５が、第３方向ｚで且つ上方向に突出し、光走査装置８が第３方向ｚで且つ下方向に突出する状態を示す。そのため、光走査装置８、及び対物光学系５の外径を包むスコープ先端部の外径は、第２円Ｃ２が包絡円ＥＣからはみ出した分だけ包絡円ＥＣよりも大きくする必要がある。かかるスコープ先端部の径方向の寸法を抑えるため、光走査装置８と対物光学系５との間に、第１方向ｘと一定の角度をなす平行平面板で構成された光軸調整部（不図示）を設けて光走査装置８から対物光学系５への光の光路を第３方向ｚに平行移動させ、第２円Ｃ２が、包絡円ＥＣからはみ出ないように、第２光軸ＬＸ２を第３方向ｚにずらす形態が望ましい。
【００３０】
また、光軸調整部を設ける代わりに、対物光学系５を構成するレンズの有効径を大きくし、第２光軸ＬＸを第３方向ｚにずらし、該レンズを第２接触面９ｄからの反射光が通過しない部分が欠落した状態で形成することにより、第２円Ｃ２が、包絡円ＥＣからはみ出ないようにする形態であってもよい（図５参照）。具体的には、走査ミラー３０が、第３方向ｚに垂直な初期状態において、第１光軸ＬＸ１を通る光の、第１接触面９ｃ、走査ミラー３０、及び第２接触面９ｄを介して、対物光学系５に到達する位置が、第２光軸ＬＸ２に対してずれるように、対物光学系５などの位置関係を設定する。図５は、第１光軸ＬＸ１を通る光が、走査ミラー３０の中心ＣＥで反射し、第２光軸ＬＸ２からずれた位置で対物光学系５に到達する状態を点線で示す。図５における、対物光学系５を構成するレンズは、実線で示された部分で形成され、点線で示された部分が、第２接触面９ｄからの反射光が通過しない部分として取り除かれ、実際のレンズとして形成されていない状態を示す。
【００３１】
プリズム部９の第２接触面９ｄにおいて、走査ミラー３０で反射した光が到達する領域を十分に確保するため、プリズム部９の第１接触面９ｃからの反射光のうち、第１光軸ＬＸ１を通る光が、走査ミラー３０に到達する位置（走査ミラー３０の中心ＣＥ）は、第１接触面９ｃと第２接触面９ｄとが接触する位置ＣＰに比べて第１方向ｘで対物光学系５側に配置される。走査ミラー３０から第２接触面９ｄに到達する光の領域は、走査ミラー３０の回転位置により変動するが、走査ミラー３０を対物光学系５側に近く配置することにより、遠くに配置する形態に比べて、第２接触面９ｄにおける走査ミラー３０からの光が到達する領域を広くすることが可能になる。
【００３２】
次に、偏向面駆動部１３の詳細について説明する（図３、図６〜１６参照）。図３は、偏向面駆動部１３の第３方向ｚから見た構成図、図６は、図３のＢ−Ｂ線における断面図を示す。図７は、図３のＣ−Ｃ線における断面図を示す。図８は、図３のＤ−Ｄ線における断面図を示す。図９は、第１走査部２０の第３方向ｚから見た構成図、図１０は、第１走査部２０の第２方向ｙから見た側面図を示す。図１１は、第２走査部４０の第３方向ｚから見た構成図、図１２は、図９のＥ−Ｅ線における断面図を示す。図１３は、フレーム５０の第３方向ｚから見た構成図、図１４は、図１１のＦ−Ｆ線における断面図を示す。
【００３３】
第１走査部２０は、主走査腕部２２、第１主走査櫛歯部（第１櫛歯部）２３ａ、第２主走査櫛歯部２３ｂ、第１トーションバネ２５、及び走査ミラー３０を有する。第２走査部４０は、副走査フレーム４１、フレーム側第１主走査櫛歯部（第２櫛歯部）４３ａ、フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂ、第１副走査櫛歯部（第３櫛歯部）４４ａ、第２副走査櫛歯部（第４櫛歯部）４４ｂ、第３副走査櫛歯部４４ｃ及び第２トーションバネ４５を有する。フレーム５０は、保持フレーム５１、第１保持櫛歯部（第５櫛歯部）５４ａ、第２保持櫛歯部（第６櫛歯部）５４ｂ、及び第３保持櫛歯部５４ｃを有する。
【００３４】
第１主走査櫛歯部２３ａとフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａ、及び第２主走査櫛歯部２３ｂとフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂとは、主走査アクチュエータを構成し、走査ミラー３０を第１方向ｘに平行な軸周りに回転させる（主走査）。
【００３５】
第１副走査櫛歯部４４ａと第１保持櫛歯部５４ａ、第２副走査櫛歯部４４ｂと第２保持櫛歯部５４ｂ、及び第３副走査櫛歯部４４ｃと第３保持櫛歯部５４ｃとは、副走査アクチュエータを構成し、走査ミラー３０を第２方向ｙに平行な軸周りに回転させる（副走査）。
【００３６】
第１走査部２０は、第３方向ｚからみて、副走査フレーム４１の内側に配置される。主走査腕部２２は、走査ミラー３０（または走査ミラー３０の円周を囲む主走査フレーム（不図示））から第１方向ｘで且つ外側方向に突出する部材であり、走査ミラー３０の中心（重心）ＣＥを通り第１方向ｘに平行な線上に配置される。
【００３７】
第１主走査櫛歯部２３ａを構成する櫛歯は、主走査腕部２２から第２方向ｙで且つ外側方向に突出し、副走査フレーム４１から第２方向ｙで且つ内側方向に突出したフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯と第１方向ｘに交互に配置される。
【００３８】
第２主走査櫛歯部２３ｂを構成する櫛歯は、主走査腕部２２から第２方向ｙで且つ外側方向に突出し、副走査フレーム４１から第２方向ｙで且つ内側方向に突出したフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯と第１方向ｘに交互に配置される。
【００３９】
第１主走査櫛歯部２３ａは、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に対称配置される。同様に、第２主走査櫛歯部２３ｂも、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に対称配置される。同様に、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａも、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に対称配置される。また、フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂも、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む位置関係に対称配置される。具体的には、第１主走査櫛歯部２３ａは、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群を構成する櫛歯が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む位置関係で、且つ走査ミラー３０の中心ＣＥを通り第２方向ｙに平行な線を軸に線対称に配置される。第２主走査櫛歯部２３ｂも、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群を構成する櫛歯が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む位置関係で、且つ走査ミラー３０の中心ＣＥを通り第２方向ｙに平行な線を軸に線対称に配置される。フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａも、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群を構成する櫛歯が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む位置関係で、且つ走査ミラー３０の中心ＣＥを通り第２方向ｙに平行な線を軸に線対称に配置される。フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂも、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群を構成する櫛歯が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む位置関係で、且つ走査ミラー３０の中心ＣＥを通り第２方向ｙに平行な線を軸に線対称に配置される。線対称に配置することにより、それぞれの櫛歯群で発生する静電力による回転力が互いにうち消し合う方向に作用するねじれを防ぐ。
【００４０】
第１主走査櫛歯部２３ａは、第２主走査櫛歯部２３ｂに対して、走査ミラー３０に近い側に配置される。同様に、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａは、フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂに対して、走査ミラー３０に近い側に配置される。
【００４１】
第１主走査櫛歯部２３ａを構成する櫛歯のうち、第１方向ｘで且つ外側に配置された第２方向ｙの一方の櫛歯２３ａ１は、隣接するフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ１よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置され、第２方向ｙの他方の櫛歯２３ａ２は、隣接するフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ２よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置される。
【００４２】
第２主走査櫛歯部２３ｂを構成する櫛歯のうち、第１方向ｘで且つ外側に配置された第２方向ｙの一方の櫛歯２３ｂ１は、隣接するフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ１よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置され、第２方向ｙの他方の櫛歯２３ｂ２は、隣接するフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ２よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置される。
【００４３】
第１主走査櫛歯部２３ａを構成し第１方向ｘで且つ外側に配置された櫛歯２３ａ１、２３ａ２と、これらと隣接するフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ１、４３ａ２との間に電位差が発生し、第２主走査櫛歯部２３ｂを構成し第１方向ｘで且つ外側に配置された櫛歯２３ｂ１、２３ｂ２と、これらと隣接するフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ１、４３ｂ２との間に電位差が発生すると、これらの櫛歯が近づくように静電力が働き、第１走査部２０が第１トーションバネ２５の軸（主走査腕部２２）周り、すなわち第１方向ｘに平行な軸周りの一方の方向に回転する（図３、図６、図７、図９、図１０参照）。
【００４４】
第１主走査櫛歯部２３ａを構成する櫛歯のうち、第１方向ｘで且つ内側に配置された第２方向ｙの一方の櫛歯２３ａ３は、隣接するフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ３よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置され、第２方向ｙの他方の櫛歯２３ａ４は、隣接するフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ４よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置される。
【００４５】
第２主走査櫛歯部２３ｂを構成する櫛歯のうち、第１方向ｘで且つ内側に配置された第２方向ｙの一方の櫛歯２３ｂ３は、隣接するフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ３よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置され、第２方向ｙの他方の櫛歯２３ｂ４は、隣接するフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ４よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置される。
【００４６】
第１主走査櫛歯部２３ａを構成し第１方向ｘで且つ内側に配置された櫛歯２３ａ３、２３ａ４と、これらと隣接するフレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ３、４３ａ４との間に電位差が発生し、第２主走査櫛歯部２３ｂを構成し第１方向ｘで且つ内側に配置された櫛歯２３ｂ３、２３ｂ４と、これらと隣接するフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ３、４３ｂ４との間に電位差が発生すると、これらの櫛歯が近づくように静電力が働き、第１走査部２０が第１トーションバネ２５の軸（主走査腕部２２）周り、すなわち第１方向ｘに平行な軸周りの他方の方向に回転する（図３、図６、図８、図９、図１０参照）。
【００４７】
この第１方向ｘに平行な軸周りの回転により、走査ミラー３０において偏向（反射）される方向が第２方向ｙに変動し、被検面Ｓの集光点位置が第２方向ｙに移動せしめられる。第１走査部２０の第１方向ｘに平行な軸周りの回転のための電圧駆動は、共振振動で行われる。
【００４８】
第１主走査櫛歯部２３ａを構成する櫛歯２３ａ１〜２３ａ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａを構成する櫛歯４３ａ１〜４３ａ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）、第２主走査櫛歯部２３ｂを構成する櫛歯２３ｂ１〜２３ｂ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）、及びフレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂを構成する櫛歯４３ｂ１〜４３ｂ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）と等しい。
【００４９】
副走査フレーム４１は、第３方向ｚから見て、保持フレーム５１の内側に配置される（図３参照）。
【００５０】
第１副走査櫛歯部４４ａを構成する櫛歯は、副走査フレーム４１から第１方向ｘで且つ外側方向に突出し、保持フレーム５１から第１方向ｘで且つ内側方向に突出した第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯と第２方向ｙに交互に配置される。
【００５１】
第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯は、副走査フレーム４１から第１方向ｘで且つ外側方向に突出し、保持フレーム５１から第１方向ｘで且つ内側方向に突出した第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯と第２方向ｙに交互に配置される。
【００５２】
第３副走査櫛歯部４４ｃを構成する櫛歯は、副走査フレーム４１から第１方向ｘで且つ外側方向に突出し、保持フレーム５１から第１方向ｘで且つ内側方向に突出した第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯と第２方向ｙに交互に配置される。
【００５３】
第１副走査櫛歯部４４ａは、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。同様に、第１保持櫛歯部５４ａも、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。具体的には、第１副走査櫛歯部４４ａは、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む。第１保持櫛歯部５４ａも、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む。
【００５４】
第２副走査櫛歯部４４ｂは、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。同様に、第２保持櫛歯部５４ｂも、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。具体的には、第２副走査櫛歯部４４ｂは、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む。第２保持櫛歯部５４ｂも、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む。
【００５５】
第３副走査櫛歯部４４ｃは、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。同様に、第３保持櫛歯部５４ｃも、走査ミラー３０を、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。具体的には、第３副走査櫛歯部４４ｃは、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む。第３保持櫛歯部５４ｃも、第１方向ｘの一方に配置された櫛歯群と、他方に配置された櫛歯群で構成され、両櫛歯群が、走査ミラー３０を第１方向ｘで挟む。
【００５６】
第１副走査櫛歯部４４ａは、第２、第３副走査櫛歯部４４ｂ、４４ｃに対して、走査ミラー３０に近い側に配置される。第２副走査櫛歯部４４ｂは、第３副走査櫛歯部４４ｃに対して、走査ミラー３０に近い側に配置される。同様に、第１保持櫛歯部５４ａは、第２、第３保持櫛歯部５４ｂ、５４ｃに対して、走査ミラー３０に近い側に配置される。第２保持櫛歯部５４ｂは、第３保持櫛歯部５４ｃに対して、走査ミラー３０に近い側に配置される。
【００５７】
また、第２副走査櫛歯部４４ｂの両櫛歯群は、第１主走査櫛歯部２３ａ、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａ、第１副走査櫛歯部４４ａ、及び第１保持櫛歯部５４ａを、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。同様に、第２保持櫛歯部５４ｂの両櫛歯群も、第１主走査櫛歯部２３ａ、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａ、第１副走査櫛歯部４４ａ、及び第１保持櫛歯部５４ａを、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。
【００５８】
また、第３副走査櫛歯部４４ｃの両櫛歯群は、第１主走査櫛歯部２３ａ、第２主走査櫛歯部２３ｂ、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａ、フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂ、第１副走査櫛歯部４４ａ、第２副走査櫛歯部４４ｂ、第１保持櫛歯部５４ａ、及び第２保持櫛歯部５４ｂを、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。
【００５９】
同様に、第３保持櫛歯部５４ｃの両櫛歯群も、第１主走査櫛歯部２３ａ、第２主走査櫛歯部２３ｂ、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａ、フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂ、第１副走査櫛歯部４４ａ、第２副走査櫛歯部４４ｂ、第１保持櫛歯部５４ａ、及び第２保持櫛歯部５４ｂを、第１方向ｘで挟む位置関係に配置される。
【００６０】
従って、走査ミラー３０、第１主走査櫛歯部２３ａ、第２主走査櫛歯部２３ｂ、フレーム側第１主走査櫛歯部４３ａ、フレーム側第２主走査櫛歯部４３ｂ、第１副走査櫛歯部４４ａ、第２副走査櫛歯部４４ｂ、第３副走査櫛歯部４４ｃ、第１保持櫛歯部５４ａ、第２保持櫛歯部５４ｂ、及び第３保持櫛歯部５４ｃは、第１方向ｘに並べられた状態で配置される。
【００６１】
第１副走査櫛歯部４４ａを構成する櫛歯のうち、第２方向ｙで且つ外側に配置された第１方向ｘの一方の櫛歯４４ａ１は、隣接する第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ１よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置され、第１方向ｘの他方の櫛歯４４ａ２は、隣接する第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ２よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置される。
【００６２】
第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯のうち、第２方向ｙで且つ外側に配置された第１方向ｘの一方の櫛歯４４ｂ１は、隣接する第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ１よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置され、第１方向ｘの他方の櫛歯４４ｂ２は、隣接する第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ２よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置される。
【００６３】
第３副走査櫛歯部４４ｃを構成する櫛歯のうち、第２方向ｙで且つ外側に配置された第１方向ｘの一方の櫛歯４４ｃ１は、隣接する第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ１よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置され、第１方向ｘの他方の櫛歯４４ｃ２は、隣接する第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ２よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置される。
【００６４】
第１副走査櫛歯部４４ａを構成し第２方向ｙで且つ外側に配置された櫛歯４４ａ１、４４ａ２と、これらと隣接する第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ１、５４ａ２との間に電位差が発生し、第２副走査櫛歯部４４ｂを構成し第２方向ｙで且つ外側に配置された櫛歯４４ｂ１、４４ｂ２と、これらと隣接する第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ１、５４ｂ２との間に電位差が発生し、第３副走査櫛歯部４４ｃを構成し第２方向ｙで且つ外側に配置された櫛歯４４ｃ１、４４ｃ２と、これらと隣接する第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ１、５４ｃ２との間に電位差が発生すると、これらの櫛歯が近づくように静電力が働き、第２走査部４０、第１走査部２０が第２トーションバネ４５の軸周り、すなわち第２方向ｙに平行な軸周りの一方の方向に回転する（図３、図６、図１１〜図１４参照）。
【００６５】
第１副走査櫛歯部４４ａを構成する櫛歯のうち、第２方向ｙで且つ内側に配置された第１方向ｘの一方の櫛歯４４ａ３は、隣接する第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ３よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置され、第１方向ｘの他方の櫛歯４４ａ４は、隣接する第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ４よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置される。
【００６６】
第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯のうち、第２方向ｙで且つ内側に配置された第１方向ｘの一方の櫛歯４４ｂ３は、隣接する第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ３よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置され、第１方向ｘの他方の櫛歯４４ｂ４は、隣接する第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ４よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置される。
【００６７】
第３副走査櫛歯部４４ｃを構成する櫛歯のうち、第２方向ｙで且つ内側に配置された第１方向ｘの一方の櫛歯４４ｃ３は、隣接する第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ３よりも第３方向ｚで裏面カバー１７側に配置され、第１方向ｘの他方の櫛歯４４ｃ４は、隣接する第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ４よりも第３方向ｚでカバーガラス１１側に配置される。
【００６８】
第１副走査櫛歯部４４ａを構成し第２方向ｙで且つ内側に配置された櫛歯４４ａ３、４４ａ４と、これらと隣接する第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ３、５４ａ４との間に電位差が発生し、第２副走査櫛歯部４４ｂを構成し第２方向ｙで且つ内側に配置された櫛歯４４ｂ３、４４ｂ４と、これらと隣接する第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ３、５４ｂ４との間に電位差が発生し、第３副走査櫛歯部４４ｃを構成し第２方向ｙで且つ内側に配置された櫛歯４４ｃ３、４４ｃ４と、これらと隣接する第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ３、５４ｃ４との間に電位差が発生すると、これらの櫛歯が近づくように静電力が働き、第２走査部４０、第１走査部２０が第２トーションバネ４５の軸周り、すなわち第２方向ｙに平行な軸周りの他方の方向に回転する（図３、図６、図１１〜図１６参照）。
【００６９】
この第２方向ｙに平行な軸周りの回転により、走査ミラー３０において偏向（反射）される方向が第１方向ｘに変動し、被検面Ｓの集光点位置が第３方向ｚに移動せしめられる。第２走査部４０の第２方向ｙに平行な軸周りの回転のための電圧駆動は、ＤＣ駆動により行われる。
【００７０】
図１５は、第２走査部４０が、第２方向ｙに平行な軸周りの他方に回転する前の状態における、櫛歯４４ａ４、４４ｂ４、４４ｃ４、５４ａ４、５４ｂ４、及び５４ｃ４の位置関係を示し、図１６は、回転後の状態における櫛歯４４ａ４’、４４ｂ４’、４４ｃ４’、５４ａ４、５４ｂ４、及び５４ｃ４の位置関係を示す。
【００７１】
第１副走査櫛歯部４４ａを構成する櫛歯４４ａ１〜４４ａ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）は、第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ１〜５４ａ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）と等しい。
【００７２】
第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯４４ｂ１〜４４ｂ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）は、第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ１〜５４ｂ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）と等しい。
【００７３】
第３副走査櫛歯部４４ｃを構成する櫛歯４４ｃ１〜４４ｃ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）は、第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ１〜５４ｃ４の厚さ（第３方向ｚの長さ）と等しい。
【００７４】
第２走査部４０が回転する前の初期状態における、第１副走査櫛歯部４４ａと第１保持櫛歯部５４ａとの間隔（第３方向ｚの距離）、第２副走査櫛歯部４４ｂと第２保持櫛歯部５４ｂとの間隔（第３方向ｚの距離）、及び第３副走査櫛歯部４４ｃと第３保持櫛歯部５４ｃとの間隔（第３方向ｚの距離）は等しい。
【００７５】
第３副走査櫛歯部４４ｃを構成する櫛歯４４ｃ１〜４４ｃ４の厚さは、第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯４４ｂ１〜４４ｂ４の厚さよりも厚く、第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯４４ｂ１〜４４ｂ４の厚さは、第１副走査櫛歯部４４ａを構成する櫛歯４４ａ１〜４４ａ４の厚さよりも厚い。
【００７６】
第２走査部４０が第２方向ｙに平行な軸周りに回転し、第１副走査櫛歯部４４ａを構成する櫛歯４４ａ１〜４４ａ４の先端部分が、第２方向ｙから見て、第１保持櫛歯部５４ａを構成する櫛歯５４ａ１〜５４ａ４と重なる時に、第２副走査櫛歯部４４ｂを構成する櫛歯４４ｂ１〜４４ｂ４の先端部分が、第２方向ｙから見て、第２保持櫛歯部５４ｂを構成する櫛歯５４ｂ１〜５４ｂ４と重なり、第３副走査櫛歯部４４ｃを構成する櫛歯４４ｃ１〜４４ｃ４の先端部分が、第２方向ｙから見て、第３保持櫛歯部５４ｃを構成する櫛歯５４ｃ１〜５４ｃ４と重なるように、第１副走査櫛歯部４４ａ、第２副走査櫛歯部４４ｂ、第３副走査櫛歯部４４ｃ、第１保持櫛歯部５４ａ、第２保持櫛歯部５４ｂ、及び第３保持櫛歯部５４ｃが配置される。
【００７７】
この場合、第１副走査櫛歯部４４ａと第１保持櫛歯部５４ａとが引き寄せ合う力、第２副走査櫛歯部４４ｂと第２保持櫛歯部５４ｂとが引き寄せ合う力、及び第３副走査櫛歯部４４ｃと第３保持櫛歯部５４ｃとが引き寄せ合う力が、常に第２方向ｙに平行な軸周りで且つ同じ方向にすることが出来、効率良く回転制御を行うことが可能になる。
【００７８】
第１トーションバネ２５は、主走査腕部２２の第１方向ｘの端部から第１方向ｘで且つ外側方向に突出し、副走査フレーム４１の内側と接続される。第２トーションバネ４５は、副走査フレーム４１から第２方向ｙで且つ外側方向に突出し、保持フレーム５１の内側と接続される。また、第２トーションバネ４５は、走査ミラー３０においてプリズム部９からの反射光が照射される領域の略中心（走査ミラー３０の中心ＣＥ近傍）を通り第２方向ｙに平行な線上に配置される。第１トーションバネ２５、及び第２トーションバネ４５は、第３方向ｚから見て、Ｓ字形状を有し、これにより単位実装面積当たりのねじりバネ定数を低減している。第１走査部２０は、共振駆動で比較的早く動かされるため、比較的小さいバネ定数のものが使用され、第２走査部４０は、ＤＣ駆動で比較的遅く動かされるため、比較的大きいバネ定数のものが使用される。
【００７９】
本実施形態では、偏向面駆動部１３の走査ミラー３０の反射面は、回転する前の初期状態において、共焦点ピンホールとして、光ファイバケーブル３の端面３ａから出射される光の第１光軸ＬＸ１に垂直な面と直交する位置に配置される。このため、２つの走査ミラーを略平行に配置する形態に比べて、共焦点光学装置１の径方向の寸法、すなわち共焦点光学装置１を含むスコープ先端部の径方向の寸法を抑えることが可能になる。
【００８０】
また、偏向面駆動部１３において第１方向ｘに配置される部材は多いため、偏向面駆動部１３の第１方向ｘの全長は長くなるが、第２方向ｙに配置される部材は少ないため、偏向面駆動部１３の第２方向ｙの全長を短くすることが可能になる。スコープ先端部の直径サイズに影響を与える、第２方向ｙや第３方向ｚの長さを抑えることが可能になるため、スコープ先端部の大径化を抑えることが可能になる。このため、走査ミラー３０を回転させるために使用される櫛歯が、走査ミラー３０を通り且つ第１方向ｘに平行な線上にも、走査ミラー３０を通り且つ第２方向ｙに平行な線上にも配置される形態に比べて、偏向面駆動部における回転軸方向の一方の寸法を短くすることが可能になり、偏向面駆動部１３を含む共焦点光学装置１における任意の方向（ここでは第２方向ｙ、及び第３方向ｚ）の寸法を短くすることが可能になる。
【００８１】
また、間に走査ミラー３０等を挟んだ状態で第１〜第３副走査櫛歯部４４ａ〜４４ｃ、及び第１〜第３保持櫛歯部５４ａ〜５４ｃが配置されるため、間に走査ミラー３０等を挟まない状態で第１副走査櫛歯部４４ａ等が配置される形態に比べて、第１〜第３副走査櫛歯部４４ａ〜４４ｃと、第２トーションバネ４５との第１方向ｘの距離が、長くなり、副走査アクチュエータの回転トルクを大きくすることが可能になる。
【００８２】
また、副走査を行うための櫛歯部として、３組の櫛歯部（第１副走査櫛歯部４４ａと第１保持櫛歯部５４ａ、第２副走査櫛歯部４４ｂと第２保持櫛歯部５４ｂ、及び第３副走査櫛歯部４４ｃと第３保持櫛歯部５４ｃ）が設けられる。このため、１組の櫛歯部で構成される形態に比べて、大きな駆動力を得ることが可能になる。駆動力が大きいと、大きな振幅での駆動を低電圧で行えるようになるため、安全性や省電力化に貢献出来る。
【００８３】
なお、第１走査部２０の第１方向ｘに平行な軸周りの回転（主走査）のための電圧駆動は、共振振動で行われ、第２走査部４０の第２方向ｙに平行な軸周りの回転（副走査）のための電圧駆動は、ＤＣ駆動により行われる形態を説明したが、第１走査部２０が副走査に用いられ、第２走査部４０が主走査に用いられ第１走査部２０の電圧駆動をＤＣ駆動で行い、第２走査部４０の電圧駆動を共振駆動で行う形態であってもよい。この場合は、３組の櫛歯部を設けることにより大きくなった駆動力を使って、第２トーションバネ４５のバネ定数を大きくしても駆動出来るようになるため、偏向面駆動部１３の共振周波数を高く設定することが可能になる。
【００８４】
また、走査ミラー３０から離れた位置に配置された櫛歯４４ｃ１〜４４ｃ４、及び５４ｃ１〜５４ｃ４の厚さが、走査ミラー３０に近い位置に配置された櫛歯４４ａ１〜４４ａ４、及び５４ａ１〜５４ａ４の厚さに比べて厚いため、厚さが均一な場合や、走査ミラー３０に近い側の櫛歯の厚さが厚い形態に比べて、回転トルクが大きくなり、第２走査部４０の回転を開始するときの動きをスムーズにすることが可能になる。
【００８５】
また、１組の櫛歯部であっても、櫛歯部を構成する櫛歯の数を増やすことによって駆動力を大きくすることも可能であるが、この場合は、偏向面駆動部１３の第２方向ｙの全長が長くなる問題が生ずる。また、１組の櫛歯部であっても、櫛歯部を構成する櫛歯の第１方向ｘの長さを長くすることによって駆動力を大きくすることも可能であるが、この場合は、１０μｍ程度の幅（第２方向ｙの長さ）の櫛歯の耐久性が低下する恐れがある。
【００８６】
また、プリズム部９は、第１プリズム９ａと、第２プリズム９ｂとで構成される形態を説明したが、いずれか一方を省略する形態であってもよい。
【００８７】
また、走査部１０の第３方向ｚの長さを短くすることで、光走査装置８の第１方向ｘから見た包絡円の径方向の寸法を抑えることが出来るため、カバーガラス１１や、裏面カバー１７の厚さ（第３方向ｚの長さ）は出来るだけ薄い方が望ましい。また、カバーガラス１１を省略して、デバイス保持部１５が直接第１プリズム９ａに接合される形態であってもよい。
【００８８】
また、偏向面が、光源（光ファイバケーブル３）からの入射光を反射して光路を偏向する走査ミラー３０で構成される形態を説明したが、入射光を透過して光路を偏向する平行透過板で構成される形態であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本実施形態における共焦点光学装置の第２方向からみた構成図（側面図）である。
【図２】光走査装置を第２方向からみた構成図（側面図）である。
【図３】偏向面駆動部を第３方向からみた構成図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線における断面図である。
【図５】光走査装置と、コリメータ部との間に、光軸調整部が設けられた形態における共焦点光学装置の第２方向からみた構成図（側面図）である。
【図６】図３のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図７】図３のＣ−Ｃ線における断面図である。
【図８】図３のＤ−Ｄ線における断面図である。
【図９】第１走査部を第３方向からみた構成図である。
【図１０】第１走査部を第２方向からみた構成図である。
【図１１】第２走査部を第３方向からみた構成図である。
【図１２】図１１のＥ−Ｅ線における断面図である。
【図１３】フレームを第３方向からみた構成図である。
【図１４】図１３のＦ−Ｆ線における断面図である。
【図１５】第２走査部が、第２方向に平行な軸周りの他方に回転する前の状態における、櫛歯４４ａ４、４４ｂ４、４４ｃ４、５４ａ４、５４ｂ４、及び５４ｃ４の位置関係を示す図である。
【図１６】第２走査部が、第２方向に平行な軸周りの他方に回転した後の状態における櫛歯４４ａ４’、４４ｂ４’、４４ｃ４’、５４ａ４、５４ｂ４、及び５４ｃ４の位置関係を示す図である。
【符号の説明】
【００９０】
１  共焦点光学装置
３  光ファイバケーブル
３ａ  端面
４  コリメータ部
５  対物光学系
７  光軸調整部
８  光走査装置
９  プリズム部
９ａ  第１プリズム
９ｂ  第２プリズム
９ｃ、９ｄ  第１、第２接触面
１０  走査部
１１  カバーガラス
１３  偏向面駆動部
１５  デバイス保持部
１７  裏面カバー
２０  第１走査部
２１  主走査フレーム
２２  主走査腕部
２３ａ、２３ｂ  第１、第２主走査櫛歯部
２５  第１トーションバネ
３０  走査ミラー
４０  第２走査部
４１  副走査フレーム
４３ａ、４３ｂ  フレーム側第１主走査櫛歯部、フレーム側第２主走査櫛歯部
４４ａ、４４ｂ、４４ｃ  第１、第２、第３副走査櫛歯部
４５  第２トーションバネ
５０  フレーム
５１  保持フレーム
５４ａ、５４ｂ、５４ｃ  第１、第２、第３保持櫛歯部
ＬＸ１  第１光軸
ＬＸ２  第２光軸
Ｓ  被検面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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