(57)【要約】【課題】酸化やコンタミネーションに起因する品質不良発生を防止するとともに、金属材料の質量配分の誤差に起因する品質不良発生を防止することが可能な成形装置及び非晶質合金の成形方法を提供する。【解決手段】成形装置１は、複数の金属材料Ａを混合して加熱溶解することで金属合金Ｂを生成する溶解手段６と、溶解手段６で生成された金属合金Ｂの重量及び組成計測を行う計測手段７と、計測手段７で計測された金属合金Ｂが圧入される金型１１が設置され、金型１１内部に圧入された金属合金Ｂを、融点より高い温度状態から臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下となるまで冷却して成形する成形手段８と、溶解手段６、計測手段７及び成形手段８を収容する成形室２と、成形室２内を真空雰囲気または不活性ガス雰囲気に調整する雰囲気設定手段３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の金属材料を混合して加熱溶解することで金属合金を生成する溶解手段と、
該溶解手段で生成された前記金属合金の重量及び組成計測を行う計測手段と、
該計測手段で計測された前記金属合金が圧入される金型が設置され、該金型内部に圧入された前記金属合金を、融点より高い温度状態から臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下となるまで冷却して成形する成形手段と、
前記溶解手段、前記計測手段及び前記成形手段を収容する成形室と、
該成形室内を真空雰囲気または不活性ガス雰囲気に調整する雰囲気設定手段とを備えることを特徴とする成形装置。
【請求項２】
請求項１に記載の成形装置において、
前記溶解手段と前記計測手段と前記成形手段との間で前記金属合金を搬送する搬送手段を備え、
前記成形室は、前記溶解手段が収容されて複数の前記金属材料を加熱溶解するための溶解室と、前記計測手段が収容されて前記金属合金の計測を行うための計測室と、前記成形手段が収容されて前記金属合金の成形を行うための冷却室とを有していることを特徴とする成形装置。
【請求項３】
請求項２に記載の成形装置において、
前記溶解室と前記計測室との間を開閉可能に遮蔽する第一の遮蔽手段と、
前記計測室と前記冷却室との間を開閉可能に遮蔽する第二の遮蔽手段とを備えることを特徴とする成形装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の成形装置において、
前記搬送手段は、前記計測手段によって得られた計測結果が許容範囲外であった場合に、前記金属合金を前記計測手段から前記溶解手段に戻す第一の返送部を有することを特徴とする成形装置。
【請求項５】
請求項４に記載の成形装置において、
前記溶解手段に各前記金属材料を供給する供給手段を備え、
該供給手段は、前記搬送手段の前記第一の返送部で戻された前記金属合金に対して、前記計測手段によって得られた計測結果に基づいて求められる各前記金属材料の不足量を当該金属合金に追加して前記溶解手段に再供給することを特徴とする成形装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の成形装置において、  
前記成形室に収容され、前記成形手段によって成形された成形体の非晶質性を評価する非晶質性評価手段を備えることを特徴とする成形装置。
【請求項７】
請求項６に記載の成形装置において、
前記搬送手段は、前記非晶質性評価手段による評価結果により前記成形体が非晶質合金でなかった場合に、前記成形体を前記成形手段に戻す第二の返送部を有することを特徴とする成形装置。
【請求項８】
真空雰囲気または不活性ガス雰囲気の成形室内で複数の金属材料を混合して加熱溶解することで金属合金を生成する溶解工程と、
前記成形室内で、生成された前記金属合金の重量及び組成計測を行う計測工程と、
前記成形室内で、計測された前記金属合金を金型に圧入し、融点より高い温度状態から臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下となるまで冷却して成形する成形工程とを備えることを特徴とする非晶質合金の成形方法。
【請求項９】
請求項８に記載の非晶質合金の成形方法において、
前記計測工程で前記金属合金の計測結果が許容範囲外であった場合には、該計測結果から求められる各前記金属材料の不足量を当該金属合金に追加して再度前記溶解工程を行うことを特徴とする非晶質合金の成形方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の非晶質合金の成形方法において、
前記成形室内で、前記成形工程で成形された成形体の非晶質性を評価する非晶質性評価工程を備えることを特徴とする非晶質合金の成形方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の非晶質合金の成形方法において、
前記非晶質性評価工程で前記成形体が非晶質合金でなかった場合には再度成形工程を行うことを特徴とする非晶質合金の成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の金属材料から非晶質合金の成形体を製造する成形装置及び非晶質合金の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
非晶質合金からなる成形体は、通常、複数の金属材料からなる原料を金型に圧入した後に臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下まで急速冷却することで製造される。このような製造装置としては、具体的には、金型と、金型キャビティ内と連通する真空チャンバと、真空チャンバに収容され、予め所定の質量配分で複数の金属材料が混合して製造された原料塊が装填される原料供給装置と、該原料供給装置から供給される原料塊を加熱溶解する加熱用コイルと、溶解した原料塊を金型キャビティ内に射出するプランジャとを備えるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、特許文献１の成形装置では、予め成形体が所定の組成となるような質量配分で混合された原料塊を用意する必要がある。そして、当該成形装置では、搬入される原料塊が大気曝露されることで、酸化やコンタミネーションが生じてしまう問題があった。そして、酸化やコンタミネーションが生じた原料塊を使用することで、非晶質化されなくなってしまう等の成形品不良が生じてしまうおそれがあった。
【０００４】
一方、他の成形装置としては、予め計量した複数の金属材料をセットするための材料供給チャンバーと、材料供給チャンバーと接続された本体チャンバーと、本体チャンバー内に設けられた金型及び該金型内の金属材料を溶解するための熱源部と、本体チャンバーに接続されて金型で成形された成形体を取り出すための製品取り出しチャンバーとを備えるものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。そして、このような成形装置では、材料供給チャンバーに直接各金属材料を計量して投入し、その後材料供給チャンバーと接続された本体チャンバーにおいて、加熱溶解から金型でのプレス成形までの一連の工程を行うことができ、特許文献１の装置のような酸化やコンタミネーションの問題を解消することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１９９３０９号公報
【特許文献２】特許第３６２８８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２の成形装置によれば、一度各金属材料を材料供給チャンバーに投入した後は、該材料供給チャンバーから本体チャンバーを経て製品取り出しチャンバーで成形体として取り出されるまでは、全て密閉された同一雰囲気内で行われることとなる。このため、材料供給チャンバーに投入される材料に計量ミスや計量誤差が生じる等の理由により金型に供給される金属合金の各金属材料の質量配分に誤差が生じてしまった場合、そのまま成形されてしまうため、非晶質化されなくなってしまう等成形品不良が生じてしまうおそれがあった。
【０００７】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、酸化やコンタミネーションに起因する品質不良発生を防止するとともに、金属材料の質量配分の誤差に起因する品質不良発生を防止することが可能な成形装置及び非晶質合金の成形方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の成形装置は、複数の金属材料を混合して加熱溶解することで金属合金を生成する溶解手段と、該溶解手段で生成された前記金属合金の重量及び組成計測を行う計測手段と、該計測手段で計測された前記金属合金が圧入される金型が設置され、該金型内部に圧入された前記金属合金を、融点より高い温度状態から臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下となるまで冷却して成形する成形手段と、前記溶解手段、前記計測手段及び前記成形手段を収容する成形室と、該成形室内を真空雰囲気または不活性ガス雰囲気に調整する雰囲気設定手段とを備えることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明の非晶質合金の製造方法は、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気の成形室内で複数の金属材料を混合して加熱溶解することで金属合金を生成する溶解工程と、前記成形室内で、生成された前記金属合金の重量及び組成計測を行う計測工程と、前記成形室内で、計測された前記金属合金を金型に圧入し、融点より高い温度状態から臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下となるまで冷却して成形する成形工程とを備えることを特徴としている。
【００１０】
この発明に係る成形装置及び非晶質合金の成形方法によれば、溶解工程として、雰囲気設定手段によって真空雰囲気または不活性ガス雰囲気に調整された成形室内で溶解手段により複数の金属材料を混合し加熱溶解することで金属合金を生成することができる。そして、計測工程として、金属合金を生成後に成形室内にてそのまま計測手段により当該金属合金の重量及び組成を測定することができ、これにより成形体を製造するための金属合金が適正な質量配分の金属材料によって形成されているかどうかを判断することができる。そして、成形工程では、成形室内においてそのまま、計測手段によって計測された金属合金を金型に圧入し、融点より高い温度状態から臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下となるまで冷却して成形し、成形体を得ることができる。そして、溶解工程から成形工程まで一連の工程を上記雰囲気の成形室内で行うことで酸化やコンタミネーションに起因する成形体の品質不良を防止しつつ、成形工程実施前に計測工程を実施することで金属材料の質量配分の誤差に起因する成形体の品質不良を防止することができる。
【００１１】
また、上記の成形装置において、前記溶解手段と前記計測手段と前記成形手段との間で前記金属合金を搬送する搬送手段を備え、前記成形室は、前記溶解手段が収容されて複数の前記金属材料を加熱溶解するための溶解室と、前記計測手段が収容されて前記金属合金の計測を行うための計測室と、前記成形手段が収容されて前記金属合金の成形を行うための冷却室とを有していることがより好ましいとされている。
【００１２】
この発明に係る成形装置によれば、成形室が、溶解手段を収容する溶解室、計測手段を収容する計測室、成形手段を収容する冷却室とに分かれ、搬送手段によってそれぞれに搬送することができる。このため、溶解手段、計測手段及び成形手段のそれぞれで実施する工程を、互いに影響を及ぼすこと無く独立して実施することができる。
【００１３】
また、上記の成形装置において、前記溶解室と前記計測室との間を開閉可能に遮蔽する第一の遮蔽手段と、前記計測室と前記冷却室との間を開閉可能に遮蔽する第二の遮蔽手段とを備えることがより好ましいとされている。
【００１４】
この発明に係る成形装置によれば、溶解室と計測室との間を第一の遮蔽手段により、また、計測室と冷却室とを第二の遮蔽手段により、それぞれ遮蔽することができることで、溶解手段、計測手段及び成形手段のそれぞれで実施する工程について、互いに影響を及ぼすことをより確実に排除して独立して実施することができる。
【００１５】
また、上記の成形装置において、前記搬送手段は、前記計測手段によって得られた計測結果が許容範囲外であった場合に、前記金属合金を前記計測手段から前記溶解手段に戻す第一の返送部を有することがより好ましいとされている。
【００１６】
この発明に係る成形装置によれば、計測手段によって得られた計測結果が許容範囲外であった場合に、搬送手段の第一の返送部により当該金属合金を溶解手段に戻すことができる。このため、金属合金の各金属材料の質量配分に誤差があったとしても、再利用することができ効率的である。
【００１７】
また、上記の成形装置において、前記溶解手段に各前記金属材料を供給する供給手段を備え、該供給手段は、前記搬送手段の前記第一の返送部で戻された前記金属合金に対して、前記計測手段によって得られた計測結果に基づいて求められる各前記金属材料の不足量を当該金属合金に追加して前記溶解手段に再供給することがより好ましいとされている。
【００１８】
また、上記の非晶質合金の成形方法において、前記計測工程で前記金属合金の計測結果が許容範囲外であった場合には、該計測結果から求められる各前記金属材料の不足量を当該金属合金に追加して再度前記溶解工程を行うことがより好ましいとされている。
【００１９】
この発明に係る成形装置及び非晶質合金の成形方法によれば、計測工程において計測手段によって得られた計測結果が許容範囲外であった場合に、搬送手段の第一の返送部により当該金属合金を溶解手段に戻すことができる。このため、金属合金の各金属材料の質量配分に誤差があったとしても、供給手段によって誤差に応じた不足量を追加した後に溶解工程として所望の質量配分となる金属合金を再生成することができ、品質不良を防止しつつ再利用により効率的に成形体を製造することができる。
【００２０】
また、上記の成形装置において、前記成形室に収容され、前記成形手段によって成形された成形体の非晶質性を評価する非晶質性評価手段を備えることがより好ましいとされている。
【００２１】
また、上記の非晶質合金の成形方法において、前記成形工程で成形された成形体の非晶質性を評価する非晶質性評価工程を備えることがより好ましいとされている。
【００２２】
この発明に係る成形装置及び非晶質合金の成形方法によれば、非晶質性評価工程で非晶質性評価手段によって成形工程で成形された成形体の非晶質性を評価することで、品質の保証された成形体を提供することができる。
【００２３】
また、上記の成形装置において、前記搬送手段は、前記非晶質性評価手段による評価結果により前記成形体が非晶質合金でなかった場合に、前記成形体を前記成形手段に戻す第二の返送部を有することがより好ましいとされている。
【００２４】
また、上記の非晶質合金の成形方法において、前記非晶質性評価工程で前記成形体が非晶質合金でなかった場合には再度成形工程を行うことがより好ましいとされている。
【００２５】
この発明に係る成形装置及び非晶質合金の成形方法によれば、非晶質性評価工程で非晶質性評価手段によって成形工程で成形された成形体の非晶質性を評価し、非晶質合金でないと判断された場合に、再度成形工程として成形手段によって成形を行うことができる。このため、再利用により効率的に製造し、かつ、品質が保証された成形体を提供することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の成形装置及び非晶質合金の成形方法によれば、成形室内で計測を行うことによって、酸化やコンタミネーションに起因する品質不良発生を防止するとともに、金属材料の質量配分の誤差に起因する品質不良発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施形態の成形装置の概略を示す全体図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の成形方法の手順を示すフロー図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の成形装置の概略を示す全体図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の成形装置において、成形体の非晶質性を測定した結果の一例を示すグラフである。
【図５】本発明の第２の実施形態の成形方法の手順を示すフロー図である。
【図６】本発明の第３の実施形態の成形装置の概略を示す全体図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（第１の実施形態）
本発明に係る第１の実施形態について、図１及び図２を参照して説明する。本実施形態の成形装置１は、必要な複数の金属材料から非晶質合金からなる成形体を製造するものである。このような非晶質合金からなる成形体は、例えば医療部品などに利用される。一般的に医療部品として使用されるものは、消毒・殺菌・滅菌処理を施さなければならず、当該処理の被処理材に対する侵食性の強さから、医療部品に使用される材料には、高耐食性が求められる。これに対して非晶質合金は、結晶粒界が存在しないため、粒界腐食が発生せず、一般的に使用される結晶質合金に比べて耐食性に優れているので、医療部品として好適な材料である。以下に、このような非晶質合金からなる成形体を成形する成形装置１の詳細を説明する。
【００２９】
図１に示すように、成形装置１は、各構成を内部に収容する成形室２と、成形室２内を所定の雰囲気に設定する雰囲気設定手段３と、成形室２内に金属材料Ａを供給する供給手段４と、成形室２内に設けられた搬送手段５、溶解手段６、計測手段７及び成形手段８とを備える。成形室２は、供給手段４による金属材料Ａが供給される供給室２ａと、溶解手段６による溶解が行われる溶解室２ｂと、計測手段７による計測が行われる計測室２ｃと、成形手段８による成形が行われる成形・冷却室２ｄとを有する。また、供給室２ａと溶解室２ｂとの間、溶解室２ｂと計測室２ｃとの間、及び、計測室２ｃと成形・冷却室２ｄとの間のそれぞれには遮蔽手段としてのシャッター９ａ、９ｂ、９ｃが開閉可能に設けられている。また、図示しないが、供給室２ａと溶解室２ｂとのそれぞれには後述する搬送手段５の図示しない第一の返送部によって溶解室２ｂから供給室２ａまで返送するための図示しない差戻口が開口し、該差戻し口にも遮蔽手段としてのシャッターが開閉可能に設けられている。
【００３０】
また、雰囲気設定手段３は、成形室２内を真空雰囲気に設定する真空ポンプ３ａと、アルゴンガスなどの不活性ガスを供給して不活性ガス雰囲気に設定する不活性ガス供給部３ｂと、大気に設定する大気開放弁３ｃとを有する。真空ポンプ３ａ及び不活性ガス供給部３ｂは、成形室２において各室に接続されており、また、大気開放弁３ｃは、各室に設けられており、各シャッター９ａ、９ｂ、９ｃと協働することで、供給室２ａ、溶解室２ｂ、計測室２ｃ及び成形・冷却室２ｄのそれぞれを独立して大気雰囲気、真空雰囲気、または、不活性ガス雰囲気に調整することができる。
【００３１】
また、供給手段４は、使用する複数の金属材料Ａのそれぞれについて計量し、所定量排出する材料供給部４ａと、材料供給部４ａから供給室２ａ内に配置される容器１０に各金属材料Ａを搬送する供給管４ｂとを有する。材料供給部４ａは、図示しない入力部と接続されており、該入力部に入力された設定どおり計量し供給管４ｂを経て供給室２ａ内に各金属材料Ａを供給することが可能である。
【００３２】
搬送手段５は、容器１０上の材料を供給室２ａから溶解室２ｂ、計測室２ｃを経て成形・冷却室２ｄまで搬送する主搬送部５ａと、計測室２ｃの図示しない差戻し口から供給室２ａの図示しない差戻し口へ容器１０を返送する図示しない第一の返送部とを有する。主搬送部５ａ及び図示しない第一の返送部には、それぞれ例えばコンベアなど、公知の搬送するための手段が適用されている。なお、図示しない第一の返送部が設けられる計測室２ｃから供給室２ａの間は密閉されており、計測室２ｃ及び供給室２ａ内の雰囲気が維持されるように設定されている。
【００３３】
溶解手段６は、主搬送部５ａによって溶解室２ｂに搬送され、容器１０上に載置されている複数の金属材料Ａについて混合して加熱溶解することで金属合金Ｂを生成するものであり、金属材料Ａを加熱するための高エネルギー発生源６ａを有している。高エネルギー発生源６ａは、例えばアーク溶解装置などである。そして、この高エネルギー発生源６ａにより容器１０上の複数の金属材料Ａは加熱溶解し、溶解した金属合金Ｂである溶湯Ｂ１を得ることができる。なお、溶解室２ｂ内には図示しないが放射温度計が設けられており、該放射温度計による検出結果により金属材料Ａ及び金属合金Ｂの温度管理がなされている。
【００３４】
また、計測手段７は、主搬送部５ａによって計測室２ｃに搬送された容器１０上の金属合金Ｂについて計測を行うもので、金属合金Ｂの重量を計測する重量計測部７ａと、金属合金Ｂの組成を計測する組成計測部７ｂとを有する。重量計測部７ａとしては、例えば電子天秤が用いられる。また、組成計測部７ｂとしては、例えば、エネルギー分散型Ｘ線分光分析装置（ＥＤＸ）が用いられる。
【００３５】
また、成形手段８は、成形体Ｃと対応する形状のキャビティ１１ａを具備する金型１１を設置する金型設置部８ａと、金型設置部８ａに設置される金型１１を冷却する金型温度調整部８ｂと、金属合金Ｂが投入される略筒状のスリーブ８ｃと、スリーブ８ｃ内の金属合金Ｂを加熱する加熱部である高周波誘導加熱コイル８ｄと、スリーブ８ｃ内の金属合金Ｂを押し出すプランジャ８ｅとを有する。なお、加熱部としては、本実施形態のような高周波誘導加熱コイル８ｄによるものに限られず、ヒータや磁場加熱を利用する手段としても良い。また、スリーブ８ｃは、金型設置部８ａに設置される金型１１の射出口１１ｂに対向するように配置されており、プランジャ８ｅによってスリーブ８ｃ内から押し出した金属合金Ｂを射出口１１ｂから金型１１のキャビティ１１ａ内に圧入することが可能となっている。また、金型温度調整部８ｂは、例えば液冷式のチラーであり、金型１１のキャビティ１１ａ内の金属合金Ｂを所望の冷却速度で、所望の温度に冷却することが可能となっている。
【００３６】
次に、図２に示すフロー図及び以下に示す具体的な実施例１に基づいて、本実施形態の成形装置１を使用した成形方法の詳細を説明する。
【実施例１】
【００３７】
本実施例では、図１に示すような形状の成形体Ｃ１５ｇを、ジルコニウム（Ｚｒ）５５ａｔ％、銅（Ｃｕ）３０ａｔ％、アルミニウム（Ａｌ）１０ａｔ％、ニッケル（Ｎｉ）５ａｔ％の組成の非晶質合金からなるように製造した例を示す。まず、準備工程Ｓ１として、図示しない入力部により製造する成形体Ｃの上記組成及び総重量１５ｇを入力する。また、供給室２ａと溶解室２ｂとの間のシャッター９ａを遮蔽し、雰囲気設定手段３の真空ポンプ３ａを駆動して、溶解室２ｂ、計測室２ｃ及び成形・冷却室２ｄをそれぞれ５×１０−４Ｐａの真空雰囲気に調整した。
【００３８】
次に、供給工程Ｓ２として、各金属材料Ａ（Ｚｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ）の供給を行う。すなわち、供給手段４は図示しない入力部による入力により、総重量１５ｇに対する上記組成に応じて各金属材料Ｚｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉの必要重量を算出し、算出した重量分だけ材料供給部４ａから順次排出し、供給管４ｂを経て供給室２ａ内の容器１０上に供給する。そして、全ての金属材料Ａが供給されたら、雰囲気設定手段３の真空ポンプ３ａを駆動し、供給室２ａ内を溶解室２ｂと同じ５×１０−４Ｐａの真空雰囲気に調整する。そして、供給室２ａ内の気圧が５×１０−４Ｐａに達したところで、シャッター９ａを開放し、搬送手段５の主搬送部５ａにより容器１０を溶解室２ｂまで搬送した。
【００３９】
次に、溶解工程Ｓ３として供給された金属材料Ａの加熱溶解を行う。すなわち、溶解手段６の高エネルギー発生源６ａを駆動し、金属材料Ａを加熱することで溶解する。より具体的には、高エネルギー発生源６ａとしてアーク溶解装置を用い、アーク溶解法により電圧２０Ｖ、電流１５０〜３００Ａの出力で溶解作業を実施した。これにより各金属材料Ａは溶解して混合して、Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５金属合金Ｂの溶湯Ｂ１となる。なお、本実施形態では、高エネルギー発生源６ａをアーク溶解装置とし、アーク溶解法によって金属材料Ａの加熱溶解を行ったが、レーザービーム鏡筒や電子ビーム鏡筒を搭載して照射するレーザ溶解法や電子ビーム溶解法によっても良い。そして、溶解後、上記金属合金Ｂを融点（Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５金属合金の場合、８９０℃）より５〜２０℃程度低い温度まで冷却して、金属合金Ｂとして固体結晶合金Ｂ２を得た後、搬送手段５の主搬送部５ａによって計測室２ｃへ搬送した。なお、金属合金Ｂの組成均一化を求める場合には、固体結晶化後、金属合金Ｂの天地を入れ替え、再度溶解手段６によって溶解し、融点より５〜２０℃程度低い温度まで再冷却することが好ましい。さらに、天地入れ替えての加熱溶解、冷却固化を複数回繰り返すことが組成均一化の観点からより好ましい。
【００４０】
次に、計測工程Ｓ４として金属合金Ｂの計測を行う。すなわち、計測室２ｃ内において搬送された容器１０上の金属合金Ｂについて、まず重量計測部７ａである電子天秤によって総重量を計測した。さらに、組成計測部７ｂであるＥＤＸによって組成計測を行った（ステップＳ４ａ）。ＥＤＸにおいては加速電圧を２０ｋｅＶとして計測を行った。この際、溶解工程Ｓ３において溶解した金属合金Ｂをそのまま計測せず、冷却固化した固体結晶合金Ｂ２を搬送し、計測していることで、組成計測を安定的に正確に行うことができる。一方、冷却する温度は、融点よりも５〜２０℃低い程度に抑えているので、エネルギーロスを最小限に抑えることができる。この結果、本実施例１においては、総重量が１５ｇ、各組成がＺｒ：５５．１ａｔ％、Ｃｕ：３０．０ａｔ％、Ａｌ：９．９ａｔ％、Ｎｉ：５．０ａｔ％であることが確認できた。総重量及び各組成の許容される誤差は予め設定されている。そして、搬送手段５は、予め設定されている許容範囲内であった場合には、主搬送部５ａにより計測した金属合金Ｂを成形・冷却室２ｄへ搬送させる。本実施形態では、Ｚｒが＋０．１ａｔ％、Ａｌが−０．１ａｔ％の誤差でいずれも許容範囲内であり、他には総重量、組成ともに誤差が認められなかったことから、計測した金属合金Ｂを成形・冷却室２ｄへ搬送した。なお、計測結果が許容範囲外であった場合の処理は、次の実施例で説明する。
【００４１】
次に、成形工程Ｓ５として金属合金Ｂを成形し成形体Ｃを製造する。すなわち、搬送手段５により搬送された金属合金Ｂを成形・冷却室２ｄにおいて、図示しない投入機構によりスリーブ８ｃ内に投入した。その後、計測室２ｃと成形・冷却室２ｄとをシャッター９ｃにより遮蔽し、雰囲気設定手段３の不活性ガス供給部３ｂを駆動してアルゴンガスを成形・冷却室２ｄに供給することにより、７×１０−４Ｐａのアルゴン雰囲気に置換えを行った。次に、高周波誘導加熱コイル８ｄによりスリーブ８ｃ内の金属合金Ｂを融点より２００℃高い温度まで加熱して溶解し、再び溶湯とした後に、プランジャ８ｅを駆動し、射出口１１ｂから金型１１のキャビティ１１ａ内へ金属合金Ｂを圧入させる。そして、金型温度調整部８ｂにより圧入された金属合金Ｂを冷却する。この際の冷却速度を対象となる金属合金Ｂの臨界冷却速度以上とし、ガラス遷移温度以下まで冷却する。これにより金属合金Ｂは非晶質化し、所望の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃが成形されることとなる。最後に、成形体取出し工程Ｓ６として、成形体Ｃを十分に冷却した後に、成形・冷却室２ｄの大気開放弁３ｃを駆動して開放させることで、成形・冷却室２ｄ内を大気曝露させ、この後に金型１１を取り外すことで、所望の形状で、Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃ（総重量１５ｇ）を製造することができた。
【実施例２】
【００４２】
本実施例では、実施例１と同様の組成（Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５）の成形体Ｃについて、形状及び総重量（１０ｇ）を変えて行った場合の一例を示す。なお、基本的な手順は実施例１と同様であるので、相違点のみについて詳述する。まず、準備工程Ｓ１として、上記組成及び総重量１０ｇを入力し、その後供給工程Ｓ２として各金属材料Ａ（Ｚｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ）を、総重量１０ｇに対する上記組成に応じた分だけ供給室２ａ内の容器１０に供給した。次に、溶解工程Ｓ３で、金属材料Ａを溶解させ、同様に５〜２０℃程度低い温度まで冷却して固定結晶合金Ｂ２を得た後に、計測室２ｃへ搬送した。
【００４３】
そして、計測工程Ｓ４として、計測手段７の重量計測部７ａ及び組成計測部７ｂによって金属合金Ｂの重量及び組成の計測を行った。その結果、総重量が７．３８ｇ、各組成がＺｒ：５２．６ａｔ％、Ｃｕ：３０．２ａｔ％、Ａｌ：１０．９ａｔ％、Ｎｉ：６．３ａｔ％であることが確認できた。そして、搬送手段５は、上記計測結果が、総重量で−２．６２ｇ、各組成において、Ｚｒが−２．４ａｔ％、Ａｌが＋０．９ａｔ％、Ｎｉが＋１．３ａｔ％と、予め設定されている許容範囲外であったとして、主搬送部５ａによる搬送を停止して、供給室２ａへの返送を行った。すなわち、計測室２ｃ及び供給室２ａの図示しない差戻し口を開放し、図示しない第一の返送部を駆動して、容器１０上の金属合金Ｂを供給室２ａまで搬送し、再び供給工程Ｓ２を行った。なお、本実施形態において許容範囲外とは、各金属材料Ａの組成比率が設定値から±２．０ａｔ％以上ずれた場合、もしくは金属合金Ｂの総重量が設定値から２０％以上ずれた場合を指す。
【００４４】
すなわち、供給手段４は、まず、上記計測結果、及び、各金属材料Ｚｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉの比重に基づいて、返送された金属合金Ｂに含まれる各金属材料Ａの質量を算出した。その結果、Ｚｒが４．８０ｇ、Ｃｕが１．９２ｇ、Ａｌが０．２９ｇ、Ｎｉが０．３７ｇと算出された。そして、供給手段４は、予め設定されている総重量（１０ｇ）及び組成（Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５）から求まる本来の各金属材料Ａの質量（Ｚｒ：６．７０ｇ、Ｃｕ２．５５ｇ、Ａｌ：０．３６ｇ、Ｎｉ：０．３９ｇ）に対する不足量を、Ｚｒで１．９０ｇ、Ｃｕで０．６３ｇ、Ａｌで０．０７ｇ、Ｎｉで０．０２ｇと算出した。このため、供給手段４の材料供給部４ａは、この不足量だけ各金属材料Ａを材料供給部４ａから供給室２ａ内の金属合金Ｂが載置されている容器１０に供給した。そして、再度溶解工程Ｓ３を行った後に、その金属合金Ｂについて計測工程Ｓ４を実施した結果、総重量が１０．０ｇであり、各組成がＺｒ：５５．０ａｔ％、Ｃｕ：３０．０ａｔ％、Ａｌ：１０．０ａｔ％、Ｎｉ５．０ａｔ％であり、予め設定されている許容範囲内であることが確認できた。このため、計測された金属合金Ｂは搬送手段５の主搬送部５ａによって成形・冷却室２ｄに搬送され、成形工程Ｓ５へ移行し、当該成形工程Ｓ５及び成形体取出し工程Ｓ６を実施することで、所望の形状で、Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃ（総重量１０ｇ）を製造することができた。
【実施例３】
【００４５】
本実施例では、実施例１と異なる組成（Ｔｉ５０Ｃｕ２５Ｎｉ１５Ｚｒ５Ｓｎ５）で形状及び総重量（１０ｇ）が異なる成形体Ｃについて行った場合の一例を示す。なお、基本的な手順は実施例１と同様であるので、相違点のみについて詳述する。まず、準備工程Ｓ１として、上記組成及び総重量１０ｇを入力し、その後供給工程Ｓ２として各金属材料Ａ（Ｔｉ（チタン）、Ｃｕ（銅）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｓｎ（スズ））を、総重量１０ｇに対する上記組成に応じた分だけ供給室２ａ内の容器１０に供給した。次に、溶解工程Ｓ３で、金属材料Ａを溶解して金属合金Ｂの溶湯Ｂ１を得た後に、同様に当該金属合金Ｂの融点（約９７０℃）よりも５〜２０℃程度低い温度まで冷却し、固体結晶化させた後、計測室２ｃへ搬送した。
【００４６】
そして、計測手段７により同様に計測工程Ｓ４を実施した結果、Ｔｉ：５０．０ａｔ％、Ｃｕ：２５．０ａｔ％、Ｎｉ：１５．０ａｔ％、Ｚｒ：５．０ａｔ％、Ｓｎ：５．０ａｔ％であることが確認できた。このため、予め設定されている範囲内であるとして、成形手段８による成形工程Ｓ５を実施し、成形体取出し工程Ｓ６を実施することで、所望の形状で、Ｔｉ５０Ｃｕ２５Ｎｉ１５Ｚｒ５Ｓｎ５の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃ（総重量１０ｇ）を製造することができた。
【００４７】
以上のように、本実施形態の成形装置１及び成形方法では、実施例１〜３に示すように、計測工程Ｓ４において、金属合金Ｂの総重量及び組成を計測することで、成形体Ｃを製造するための当該金属合金Ｂが適正な質量配分の金属材料Ａによって形成されているかどうかを判断することができる。また、計測手段７を構成する重量計測部７ａ及び組成計測部７ｂがともに成形室２の一室である計測室２ｃに収容され、該計測室２ｃ内で計測工程Ｓ４を実施することができるようになっている。このため、溶解工程Ｓ３から成形工程Ｓ５まで一連の工程を所定の雰囲気に管理された成形室２内で行うことで酸化やコンタミネーションに起因する成形体Ｃの品質不良を防止しつつ、成形工程Ｓ５実施前に計測工程Ｓ４を実施することで金属材料Ａの質量配分の誤差に起因する成形体Ｃの品質不良を防止することができる。また、上記のとおり同じ成形室２内で一連の工程を実施することができるので、各工程間において、真空雰囲気と大気雰囲気とを繰り返し切り替える必要が無く、エネルギーロスを抑えることができ、かつ、製造リードタイムを短縮することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、搬送手段５が図示しない第一の返送部を備え、計測工程Ｓ４において計測結果が許容範囲外であった場合には、計測した金属合金Ｂを供給室２ａへ返送し、計測手段７によって得られた計測結果に基づいて求められる各金属材料Ａの不足量を当該金属合金Ｂに追加して溶解手段６に再供給することとしている。このため、金属合金Ｂの各金属材料Ａの質量配分に誤差があったとしても、供給手段４によって誤差に応じた不足量を追加した後に溶解工程Ｓ３として所望の質量配分となる金属合金Ｂを再生成することができ、品質不良を防止しつつ再利用により効率的に成形体Ｃを製造することができる。
【００４９】
なお、本実施形態では、成形室２は、供給室２ａ、溶解室２ｂ、計測室２ｃ及び成形・冷却室２ｄの各室に分かれるように構成されており、各室間においては遮蔽手段であるシャッター９ａ、９ｂ、９ｃが設けられているものとしたが、これに限ることなく、少なくとも溶解手段６、計測手段７及び成形手段８が、大気雰囲気の外部に対して、一定の雰囲気に管理可能な一室に収容されていることで、各工程間で雰囲気を切り替えることによるエネルギーロスや、酸化、コンタミネーションの防止を図ることができる。しかし、上記のとおり、成形室２を供給室２ａ、溶解室２ｂ、計測室２ｃ及び成形・冷却室２ｄの各室に分け、さらに各室間に開閉可能なシャッター９ａ、９ｂ、９ｃを設けることで、溶解手段６、計測手段７及び成形手段８のそれぞれで実施する工程について、互いに影響を及ぼすことを確実に排除して独立して実施することができる。それ故に、各工程を同時に実施することが可能であり、成形体Ｃの連続生産も可能となる。また、本実施形態では、供給手段４により供給室２ａ内で金属材料Ａが供給され、搬送された後に溶解室２ｂで溶解工程Ｓ３が実施されるものとしたが、これに限るものでは無く、溶解室２ｂに直接金属材料Ａを供給するものとしても良い。また、これに応じて搬送手段５の図示しない第一の返送部による返送先も溶解室２ｂとしても良い。
【００５０】
また、本実施形態の計測手段７は、重量計測部７ａが電子天秤であり、組成計測部７ｂがＥＤＸであるとしたが、これに限るものでは無く、公知の様々な重量計測を行う手段及び組成計測を行う手段を適用可能である。例えば、組成計測部７ｂとしては、蛍光Ｘ線分析装置（ＸＲＦ）、電子線マイクロプローブアナライザー（ＥＰＭＡ）、Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）などがある。以下に一例として蛍光Ｘ線分析装置を搭載した他の実施例を示す。
【実施例４】
【００５１】
本実施例では、実施例１と異なる組成（Ｎｉ５３Ｎｂ２０Ｔｉ１０Ｚｒ８Ｃｏ６Ｃｕ３）で形状及び総重量（１０ｇ）が異なる成形体Ｃについて行った場合の一例を示す。本実施例では、成形体Ｃ（総重量１０ｇ）を、ニッケル（Ｎｉ）：５３ａｔ％、ニオブ（Ｎｂ）：２０ａｔ％、チタン（Ｔｉ）：１０ａｔ％、ジルコニウム（Ｚｒ）：８ａｔ％、コバルト（Ｃｏ）：６ａｔ％、銅（Ｃｕ）：３ａｔ％の組成の非晶質合金からなるように製造した例を示す。なお、組成計測部７ｂがＸＲＦであり、これを用いて計測工程Ｓ４を実施した点を除いて基本的な手順は実施例１と同様である。すなわち、溶解工程Ｓ３では、準備工程Ｓ１及び供給工程Ｓ２を経て所定の量で供給された金属材料Ａを溶解した後に、同様に融点（約１０８０℃）よりも５〜２０℃程度低い温度まで冷却し、固定結晶化させた。そして、計測工程Ｓ４において、この金属合金Ｂについて計測を行った結果、総重量が１０．００ｇ、各組成がＮｉ：５３．１ａｔ％、Ｎｂ：１９．８ａｔ％、Ｔｉ：９．９ａｔ％、Ｚｒ：８．０ａｔ％、Ｃｏ：６．１ａｔ％、Ｃｕ：３．１ａｔ％であることが確認できた。このため、予め設定されている範囲内であるとして、成形手段８による成形工程Ｓ５を実施し、成形体取出し工程Ｓ６を実施することで、所望の形状で、Ｎｉ５３Ｎｂ２０Ｔｉ１０Ｚｒ８Ｃｏ６Ｃｕ３の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃ（総重量１０ｇ）を製造することができた。
【００５２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図３から図５は、本発明の第２の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００５３】
図３に示すように、本実施形態の成形装置３０は、さらに成形手段８によって成形された成形体Ｃの非晶質性を評価する非晶質性評価手段３１を備える。また、成形室２は、さらに、計測室２ｃと成形・冷却室２ｄとの間に介装された待機室２ｅと、成形・冷却室２ｄと接続された結晶性評価室２ｆを備えている。計測室２ｃと待機室２ｅとの間、及び、待機室２ｅと成形・冷却室２ｄとの間においても、遮蔽手段としての開閉可能なシャッター９ｄ、９ｅが設けられている。また、結晶性評価室２ｆには非晶質性評価手段３１が収容されている。非晶質性評価手段３１は、具体的にはＸ線回折装置（ＸＲＤ）であり、Ｘ線を対象物に照射するＸ線源３１ａと、対象物からの回折Ｘ線を検出するセンサ３１ｂとを有する。非晶質性評価手段３１には、図４に示すような対象となる非晶質合金における回折Ｘ線の角度と強度との関係が基準グラフＧ１として記録されている。そして、非晶質性評価手段３１は、成形された成形体Ｃについても測定結果から回折Ｘ線の角度と強度との関係をグラフＧ２、Ｇ３として取得し、基準グラフＧ１とのマッチングを行う。このため、成形された成形体Ｃが非晶質合金である場合には、取得されたグラフＧ２は、一定の許容範囲をもって基準グラフＧ１とマッチすることとなる。一方、成形体Ｃが結晶化されている場合には、取得されたグラフＧ３は、その金属合金Ｂ特有の角度においてピークが生じ、これにより基準グラフＧ１とのずれが生じる。そして、マッチングによってずれが検出された場合には、成形体Ｃは、結晶化されているものと判断することができる。
【００５４】
また、待機室２ｅ及び結晶性評価室２ｆには、図示しない差戻し口が設けられており、搬送手段５は、差し戻し口によって結晶性評価室２ｆから待機室２ｅへ返送する図示しない第二の返送部を有している。そして、搬送手段５の図示しない第二の返送部は、結晶性評価室２ｆ内にて非晶質性評価手段３１による判断結果が非晶質でないとの判断の場合には、評価した成形体Ｃを待機室２ｅに返送することが可能となっている。なお、第一の返送部と同様に、図示しない第二の返送部が設けられる結晶性評価室２ｆから待機室２ｅの間は密閉されており、結晶性評価室２ｆ及び待機室２ｅ内の雰囲気が維持されるように設定されている。
【００５５】
次に、図５に示すフロー図及び以下に示す具体的な実施例５に基づいて、本実施形態の成形装置３０を使用した成形方法の詳細を説明する。
【実施例５】
【００５６】
本実施例では、実施例１と同様の重量（１５ｇ）及び組成（Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ５）の成形体Ｃについて行った場合を示す。本実施例でも、同様に準備工程Ｓ１、供給工程Ｓ２、溶解工程Ｓ３及び計測工程Ｓ４を行った。そして、計測工程Ｓ４において、計測された重量、組成ともに許容範囲内であった。このため、搬送手段５の主搬送部５ａによって計測された金属合金Ｂを、待機室２ｅを経て成形・冷却室２ｄへ搬送し、成形工程Ｓ５に移行した。成形工程Ｓ５では、成形手段８により実施例１同様に金型１１のキャビティ１１ａ内に圧入された金属合金Ｂを臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下まで冷却することで、非晶質化させた後、成形体取出し工程Ｓ６として成形体Ｃを金型１１から取り出した。
【００５７】
次に、非晶質性評価工程Ｓ７として、搬送手段５の主搬送部５ａによって成形体Ｃを成形・冷却室２ｄから結晶性評価室２ｆに搬送し、結晶性評価室２ｆ内において非晶質性評価手段３１であるＸＲＤにより回折Ｘ線の角度と強度との関係の表わすグラフを取得した。そして、非晶質性評価手段３１によって基準グラフＧ１と取得したグラフＧ３とを比較した。本実施例では、図４に示すように、取得したグラフＧ３では、基準グラフＧ１に対して所定の回折角度においてピークの存在が確認された。このため、搬送手段５は、成形体Ｃが非晶質合金でなかったと判断し、図示しない第二の返送部により成形体Ｃの待機室２ｅへの返送を行った。すなわち、結晶性評価室２ｆ及び待機室２ｅの図示しない差戻し口を開放し、図示しない第二の返送部を駆動して、容器１０上の成形体Ｃを待機室２ｅまで搬送した。そして、再び主搬送部５ａによって成形・冷却室２ｄに搬送することで、再度成形工程Ｓ５として、溶解して金型１１のキャビティ１１ａ内に圧入した後に、臨界冷却速度以上でガラス遷移温度以下まで冷却を行った。その後、成形体取出し工程Ｓ６において金型１１から再成形した成形体Ｃを取出し、非晶質性評価工程Ｓ７において非晶質性評価手段３１によって成形体Ｃの非晶質性を確認したところ、取得したグラフＧ２にピークは認められず、基準グラフＧ１とマッチングすることで、非晶質合金からなっていることが確認できた。
【００５８】
以上、本実施形態の成形装置３０のように、非晶質性評価工程Ｓ７で非晶質性評価手段３１によって成形工程Ｓ５で成形された成形体Ｃの非晶質性を評価することで、品質の保証された成形体Ｃを提供することができる。さらに、非晶質合金でないと判断された場合に、再度成形工程Ｓ５として成形手段８によって成形を行うことができ、再利用により効率化を図ることができる。また、本実施形態では、非晶質合金でないと判断された場合に待機室２ｅに返送されることとなる。このため、各工程を同時に行うことによって成形体Ｃの連続生産を実施する場合で、非晶質合金でない成形体Ｃが発生してしまっても、計測工程Ｓ４及び成形工程Ｓ５をそれぞれ計測室２ｃ及び成形・冷却室２ｄで実施しつつ、再成形する成形体Ｃを、計測工程Ｓ４を行っている金属合金Ｂと、成形工程Ｓ５を実施している金属合金Ｂとの間に入れて、次の成形工程Ｓ５において再成形することができる。なお、待機室２ｅについては必ずしも必要となるわけではなく、図示しない第二の返送部によって直接成形・冷却室２ｄ内に返送するものとしても良い。
【００５９】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図６は、本発明の第３の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００６０】
図６に示すように、本実施形態の成形装置４０は、成形手段８の代わりに成形手段４１を備えている点で第１の実施形態と異なる。成形手段４１は、成形体Ｃと対応する形状のキャビティ１１ａを具備する金型１１を設置する金型設置部８ａと、金型設置部８ａに設置される金型１１を冷却する金型温度調整部８ｂと、金型１１を軸回りに回転させる金型回転機構４２と、金型１１の上方に配置されて内部にキャビティ１１ａの直上となるように配置可能とする加熱部である高周波誘導加熱コイル８ｄとを有する。なお、第１の実施形態同様に、加熱部としては、高周波誘導加熱コイル８ｄによるものに限られず、ヒータや磁場加熱を利用する手段としても良い。
【００６１】
次に、以下に示す具体的な実施例６に基づいて、本実施形態の成形装置４０を使用した成形方法の詳細を説明する。
【実施例６】
【００６２】
本実施例では、重量（５ｇ）及び組成（Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ２．５Ｔｉ２．５）の成形体Ｃについて行った場合を示す。本実施例でも、実施例１と同様に準備工程Ｓ１、供給工程Ｓ２、溶解工程Ｓ３及び計測工程Ｓ４を行った。そして、計測工程Ｓ４において、計測された重量、組成ともに許容範囲内であった。このため、搬送手段５の主搬送部５ａによって計測された金属合金Ｂを、成形・冷却室２ｄへ搬送し、成形工程Ｓ５に移行した。成形工程Ｓ５では、図示しない投入機構で金属合金Ｂを高周波誘導加熱コイル８ｄ内に投入し、その後、計測室２ｃと成形・冷却室２ｄとをシャッター９ｃにより遮蔽し、雰囲気設定手段３の不活性ガス供給部３ｂを駆動してアルゴンガスを成形・冷却室２ｄに供給することにより、５×１０−４Ｐａのアルゴン雰囲気に置換えを行った。次に、高周波誘導加熱コイル８ｄにより浮遊溶解により、スリーブ８ｃ内の金属合金Ｂを融点より２００℃高い温度まで加熱して溶解し、再び溶湯とした。浮遊溶解とは、高周波誘導加熱時に発生する電磁場によってもたらされる金属合金内の誘導電流によって、高周波誘導加熱コイルの上方に金属合金Ｂを引き上げ、それによって浮遊状態で金属合金Ｂの加熱と溶解を実施する溶解方法である。そして、金属合金Ｂを溶湯とした後に、高周波誘導コイル８ｄへの電流の供給を停止することで、溶湯を直下にある金型回転機構４２で回転する金型１１のキャビティ１１ａ内へ自由落下させ、遠心力によって圧入させる。この際、溶湯は、金属合金Ｂの臨界冷却速度以上で、ガラス遷移温度以下まで冷却される。これにより、金属合金Ｂは、非晶質化し、所望の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃを得ることができる。最後に、成形体取出し工程Ｓ６として、成形体Ｃを十分に冷却した後に、成形・冷却室２ｄの大気開放弁３ｃを駆動して開放させることで、成形・冷却室２ｄ内を大気曝露させ、この後に金型１１を取り外すことで、所望の形状で、Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ａｌ１０Ｎｉ２．５Ｔｉ２．５の組成の非晶質合金からなる成形体Ｃ（総重量５ｇ）を製造することができた。
【００６３】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【符号の説明】
【００６４】
１、  ３０、４０  成形装置
２  成形室
２ｂ  溶解室
２ｃ  計測室
２ｄ  成形室・冷却室
２ｆ  結晶性評価室
３  雰囲気設定手段
４  供給手段
５  搬送手段
６  溶解手段
７  計測手段
８、４１  成形手段
３１  非晶質性評価手段
Ａ  金属材料
Ｂ  金属合金
Ｃ  成形体
Ｓ２  供給工程
Ｓ３  溶解工程
Ｓ４  計測工程
Ｓ５  成形工程
Ｓ６  成形体取出し工程
Ｓ７  非晶質性評価工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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