(57)【要約】【課題】キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔のゲル欠陥を確実に検出することができるキャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法を提供すること。【解決手段】本発明のキャピラリー・アレイ・シート検査装置８は、光源１０と、キャピラリー・アレイ・シート１を固定するキャピラリー・アレイ・シート保持手段と、光源とキャピラリー・アレイ・シート保持手段に保持されるキャピラリー・アレイ・シートとの間の所定位置に配置されたＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄと、ＭＴＦ測定用格子の格子方向を変化させる格子方向変更手段１４と、キャピラリー・アレイ・シートによって結像されたＭＴＦ測定用格子の像を撮像するための撮像手段２２と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図２
2010112831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリー・アレイ・シート検査装置であって、
光源と、
キャピラリー・アレイ・シートを固定するキャピラリー・アレイ・シート保持手段と、
前記光源と前記キャピラリー・アレイ・シート保持手段に保持されるキャピラリー・アレイ・シートとの間の所定位置に配置されたＭＴＦ測定用格子と、
前記ＭＴＦ測定用格子の格子方向を変化させる格子方向変更手段と、
前記キャピラリー・アレイ・シートによって結像された前記ＭＴＦ測定用格子の像を撮像するための撮像手段と、を備えている、
ことを特徴とするキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
【請求項２】
前記ＭＴＦ測定用格子が格子方向が異なる複数のＭＴＦ測定用格子を含み、
前記格子方向変更手段は、前記格子方向が異なる複数のＭＴＦ測定用格子のいずれかを前記所定位置に選択的に配置する手段である、
請求項１に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
【請求項３】
前記複数のＭＴＦ測定用格子は、格子方向が４５°ずつ異なっている、
請求項１または２に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
【請求項４】
前記複数のＭＴＦ測定用格子は、格子の方向が異なる４種類の格子を含む、
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
【請求項５】
前記格子方向変更手段は、前記所定位置に配置された前記ＭＴＦ測定用格子を、格子面に平行な方向に回転させる手段である、
請求項１に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
【請求項６】
前記光源と前記撮像手段との間に配置された、結像範囲を制限するための結像範囲制限手段を更に備えている、
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のキャピラリー・アレイ・シート検査装置。
【請求項７】
キャピラリー・アレイ・シート検査方法であって、
格子方向が異なる２以上のＭＴＦ測定用格子像を得るステップと、
前記２以上のＭＴＦ測定用格子像からキャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔のＭＴＦを算出するステップと、
算出したＭＴＦを用いてキャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔のゲル欠陥の有無を検出するステップと、を備えている、
ことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概略的には、キャピラリー・アレイ・シート検査装置及び検査方法に関し、より詳細には、核酸、蛋白質、ポリペプチド、多糖類などの生体高分子等を検出するために用いられるキャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
キャピラリー・アレイ・シートは、核酸等の生体高分子プローブ等のサンプルが固定されたバイオチップである。このキャピラリー・アレイ・シートは、シートに二次元的に配列された複数の貫通孔を有し、これらの貫通孔の中にサンプルが固定されたゲルが充填されている。
【０００３】
このような構成を有するキャピラリー・アレイ・シートは、例えば、サンプルが固定されたゲルが内部空間に保持された中空繊維を規則的に配列して繊維集合体（３次元配列体）とし、この繊維集合体を繊維が延びる方向と直交する方向にスライスする方法で製造される。
【０００４】
このようにして製造されるキャピラリー・アレイ・シートでは、ゲルを中空繊維の内部空間に注入する際に気泡が巻き込まれる等して、ゲルが完全に充填されていない貫通孔が発生することがある。
【０００５】
このようなゲルが不足したあるいは欠落した貫通孔を検出するためのキャピラリー・アレイ・シート検査装置として、貫通孔に充填されたゲルがレンズとして作用することを利用して、貫通孔に充填されたゲルによって結像されたＭＴＦ測定用格子の像（ＭＴＦ格子像）から各貫通孔のＭＴＦを算出し、算出したＭＴＦの値からゲルが適切に充填されているか否か（すなわちゲルの欠陥の有無）を判定するキャピラリー・アレイ・シート検査装置および検査方法が知られている（特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１０７３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示されている装置および方法では、固定された１種類のＭＴＦ測定用格子を用いてＭＴＦ格子像を取得している。このため、使用するＭＴＦ測定用格子が延びる方向（格子方向）が、ゲルの欠陥に起因した像の「ぼけ」方向と一致、あるいはこの「ぼけ」方向に近い場合には、「ぼけ」がＭＴＦ格子像の明暗部分と重なり合わないので、欠陥のない貫通孔と同様のはっきりした格子像となってしまう。この結果、欠陥のない貫通孔と同様の高いＭＴＦ値が算出されて、ゲルの欠陥を正しく検出することができないという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔のゲル欠陥を確実に検出することができるキャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、
キャピラリー・アレイ・シート検査装置であって、
光源と、
キャピラリー・アレイ・シートを固定するキャピラリー・アレイ・シート保持手段と、
前記光源と前記キャピラリー・アレイ・シート保持手段に保持されるキャピラリー・アレイ・シートとの間の所定位置に配置されたＭＴＦ測定用格子と、
前記ＭＴＦ測定用格子の格子方向を変化させる格子方向変更手段と、
前記キャピラリー・アレイ・シートによって結像された前記ＭＴＦ測定用格子の像を撮像するための撮像手段と、を備えている、
ことを特徴とするキャピラリー・アレイ・シート検査装置が提供される。
【００１０】
このような構成を有する本願発明によれば、異なった格子方向のＭＴＦ測定用格子による複数のＭＴＦ格子像を取得することができるので、ゲルの欠陥の方向に拘わらず正確な欠陥検出を行うことが可能となる。
【００１１】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記ＭＴＦ測定用格子が格子方向が異なる複数のＭＴＦ測定用格子を含み、
前記格子方向変更手段は、前記格子方向が異なる複数のＭＴＦ測定用格子のいずれかを前記所定位置に選択的に配置する手段である。
【００１２】
本発明の他の好ましい態様によれば、前記複数のＭＴＦ測定用格子は、格子方向が４５°ずつ異なっている。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記複数のＭＴＦ測定用格子は、格子の方向が異なる４種類の格子を含む。
【００１３】
本発明の他の好ましい態様によれば、前記格子方向変更手段は、前記所定位置に配置された前記ＭＴＦ測定用格子を、格子面に平行な方向に回転させる手段である。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記光源と前記撮像手段との間に配置された、結像範囲を制限するための結像範囲制限手段を更に備えている。
【００１４】
本発明の他の態様によれば、
キャピラリー・アレイ・シート検査方法であって、
格子方向が異なる２以上のＭＴＦ測定用格子像を得るステップと、
前記２以上のＭＴＦ測定用格子像からキャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔のＭＴＦを算出するステップと、
算出したＭＴＦを用いてキャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔のゲル欠陥の有無を検出するステップと、を備えている、
ことを特徴とする検査方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、キャピラリー・アレイ・シートの貫通孔のゲル欠陥の方向によらず、ゲル欠陥の有無を確実に検出することができるキャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置および検査方法について説明する。
【００１７】
まず、本発明の実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置および検査方法で欠陥を検査するキャピラリー・アレイ・シートについて説明する。
図１は、キャピラリー・アレイ・シート１の構成を示す模式的な平面図である。キャピラリー・アレイ・シート１は、従来のキャピラリー・アレイ・シートと同様に、シート状の基材部２と、基材部２を厚さ方向に貫通して延びる複数の貫通孔４を備えている。貫通孔４は、基材部２の表面に２次元パターンを形成するように配列され、貫通孔４には、核酸等の生体高分子プローブを固定化したゲル６が充填されている。
【００１８】
本実施形態のキャピラリー・アレイ・シート１は、異なる核酸等の生体高分子を固定化した複数の生体高分子固定化ゲル保持中空繊維が規則的に配列された繊維集合体（３次元配列体）を、繊維軸と直交する方向にスライスしてことによって製造される。
【００１９】
しかしながら、本発明は、他の方法によって製造したキャピラリー・アレイ・シート、例えば、積層された複数のシート状部材やブロック状部材にレーザ光線等で複数の孔を形成し、これらの孔に、異なる核酸等の生体高分子プローブとゲル前駆体溶液を注入し、孔内でゲル前駆体溶液を重合させ、その後、これを孔が延びる方向と直交する方向に所望の厚さで切断することによって製造するキャピラリー・アレイ・シートを用いることもできる。
【００２０】
図２は、本発明の好ましい実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置８の構成を示す模式的な図面である。キャピラリー・アレイ・シート検査装置８は、光量調整が可能なハロゲンランプ、またはＬＥＤ素子等を備えた光源１０と、光源１０からの照射光を制限するための結像範囲制限部材１２と、１軸ステージ１４に取付けられた４枚のＭＴＦ（モデュレーション・トランスファー・ファンクション）測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄと、キャピラリー・アレイ・シート１が液体に浸漬された状態で内部に固定される浸漬槽１８と、を備えている。
【００２１】
キャピラリー・アレイ・シート検査装置８はさらに、光源１０からの光でキャピラリー・アレイ・シート１の貫通孔４に充填されたゲル６が結像させるＭＴＦ測定用格子１６の像（ＭＴＦ格子像）を撮像する撮像装置２２とを備えている。
撮像装置２２は、光源１０に向けられた対物レンズ２４と、撮像手段であるＣＣＤセンサ２６を備え、ＣＣＤセンサ２６で得られた画像データは、図示しない画像処理装置に送られ、所定の画像解析等の処理が施され、ＭＴＦの評価が行われる。
【００２２】
結像範囲制限部材１２は、キャピラリー・アレイ・シート１の隣接する貫通孔４内のゲル６によって形成されるＭＴＦ格子像同士が、撮像装置２２のＣＣＤセンサ２６上で重ならないように、撮像装置２２における、貫通孔によるＭＴＦ格子像の範囲を制限する機能を有する。結像範囲制限部材１２として、例えば、孔が形成された金属板、孔の大きさを調整できる視野絞り等が使用される。結像範囲制限部材１２を設ける位置、結像範囲制限部材１２の孔の寸法等は、測定条件に応じて適宜選定される。
【００２３】
浸漬槽１８は、ガラス、石英等の光透過性材料からなる水槽状の容器である。浸漬槽１８には、水などの光透過性の液体２０が収容され、その中に、キャピラリー・アレイ・シート１が、その表面が、撮像装置２２の対物レンズ２４の光軸と直交するように（即ち光源１０の光出射部と撮像装置２２の受光部を結ぶ直線に直交するように）浸漬され、図示しない機構によって、適宜固定される。
【００２４】
キャピラリー・アレイ・シート１を液体２０に浸漬することにより、キャピラリー・アレイ・シート１の貫通孔４に保持されたゲル６の乾燥を防ぐことができる。液体２０は、透明性が高いものが好ましく、ゲル６の乾燥を防ぎ、ゲル６を汚染または劣化させないものであればどのような液体を用いてもよい。水以外の液体としては、例えば、塩溶液、グリセロール溶液等があげられる。またこれらの溶液に、防腐剤等を添加しても良い。
【００２５】
図３は、本実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置１で用いられるＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄの構成を示す模式的な平面図である。ＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄは、公知のＭＴＦ測定用格子であり、黒く示されている光の透過率が低い部分（黒部分）と、白く示されている光の透過率が高い部分（白部分）とが交互に配置されている格子である。各白色部分および黒色部分の幅は同じであり、一対の白色部分と黒色部分の幅がラインピッチ（ｍｍ）と呼ばれ、ラインピッチの逆数が空間周波数（ｌｐ/ｍｍ）となる。
【００２６】
格子の空間周波数は、検査対象となるキャピラリー・アレイ・シートの貫通孔の大きさ、キャピラリー・アレイ・シートの厚さ、撮像装置２２の対物レンズ２４の倍率や開口数等の種々の条件に応じて、適当な値が選定される。ＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄは、ガラス板などの基板上に格子を形成するように金属を部分的に蒸着させる等の公知の方法によって形成する。
【００２７】
本実施形態では、図４に示されているように、格子の延びる方向（格子方向）が異なる４枚の複数のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄが、一軸ステージ１４の可動部１４ａに取付けられている。可動部１４ａは、対物レンズ２４に向かう光源１０からの照射光の光路に直交するように配置されている。したがって、一軸ステージ１４を矢印Ａ方向に移動させることにより、格子の延びる方向（格子方向）が異なる４枚の複数のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄのいずれかが、光源１０からの照射光の光路を横切る位置（所定位置）に選択的に配置される。このような一軸ステージ１４が、格子方向変更手段となる。
【００２８】
４枚の複数のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄは、各格子の格子方向が、隣接する格子に対して、４５°、「ずれ」るように配置されている。詳細には、例えば、第１のＭＴＦ測定用格子１６ａを、その格子方向が、浸漬槽１８内に固定されたキャピラリー・アレイ・シート１を製造する際のスライス方向（切断ブレードの移動方向）に直交する方向となるように配置し、第２のＭＴＦ測定用格子１６ｂを、その格子方向が、第１のＭＴＦ測定用格子１６ａの格子方向から４５°回転した方向になるように配置し、第３のＭＴＦ測定用格子１６ｃを、その格子方向が、第２のＭＴＦ測定用格子１６ｂの格子方向から４５°回転した方向になるように配置し、第４のＭＴＦ測定用格子１６ｄを、その格子方向が、第３のＭＴＦ測定用格子１６ｃの格子方向から４５°回転した方向になるように配置している。
【００２９】
この結果、一軸ステージ１４を矢印Ａ方向に移動させることにより、格子の延びる方向（格子方向）が４５°ずつ異なる４枚の複数のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄのいずれかを透過した光によるＭＴＦ格子像を順次に、または選択的に取得することができる。
【００３０】
尚、本実施形態では、４枚のＭＴＦ測定用格子を格子方向が回転方向４５°ずつ異なるように配置したが、ＭＴＦ測定用格子の枚数、および格子方向の角度差は、これらの値に限定されるものではない。
【００３１】
さらに、本実施形態では、格子方向が異なる４枚の複数のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄを選択的に順次、光路上に配置することによって、格子方向の異なるのＭＴＦ格子を透過した複数のＭＴＦ格子像を取得する構成であるが、１枚のＭＴＦ測定用格子を格子面に平行な方向に回転させることによって、格子方向の異なるのＭＴＦ格子を透過した複数のＭＴＦ格子像を取得する構成でもよい。
【００３２】
次に、キャピラリー・アレイ・シート検査装置８を用いたキャピラリー・アレイ・シート検査方法を説明する。
先ず、欠陥検出を行うキャピラリー・アレイ・シート１を、浸漬槽１８内に固定し、第１のＭＴＦ測定用格子１６ａを光源１０からの光路上の所定位置に配置し、光源１０から照射光を出射させる。キャピラリー・アレイ・シート１の各貫通孔４内のゲル６のレンズ作用によって第１のＭＴＦ測定用格子１６ａのＭＴＦ格子像を結像位置に結び、これを結像位置に配置された撮像装置２２のＣＣＤセンサ２６によって撮像する。
【００３３】
次いで、一軸ステージ１４を作動させ第１のＭＴＦ測定用格子１６ａを、第２のＭＴＦ測定用格子１６ｂに変更し、同様に、撮像装置２２で第２のＭＴＦ測定用格子１６ｂの像を撮像する。さらに、同様の操作を第３および第４のＭＴＦ測定用格子１６ｃ、１６ｄについても繰り返し行う。
【００３４】
ＣＣＤセンサ２６で得られた４種類のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄのＭＴＦ格子像を、画像処理装置で処理し、それぞれの像における貫通孔毎の光量ラインプロファイルから次式（１）により貫通孔毎のＭＴＦ値を算出する。同一の貫通孔から得られた４種類のＭＴＦ値をそれぞれ、ゲルの欠陥状態の判定基準値（しきい値）と比較し、貫通孔毎のゲルの欠陥を判定する。
ＭＴＦ＝{（Ｉmax−Ｉmin）／（Ｉmax＋Ｉmin）}×１００（％）・・・（１）
ここでＩmax、Ｉminは、結像されたＭＴＦ測定用格子の像の光量ラインプロファイルの最大光量値（Ｉmax）と最小光量値（Ｉmin）である。
【００３５】
以下、４種類のＭＴＦ測定用格子の像のＭＴＦ値から、各貫通孔のＭＴＦ値を算出する方法について説明する。
図５は、本実施形態の検査装置で検査するキャピラリー・アレイ・シート１の模式的な平面図である。キャピラリー・アレイ・シート１は、異なる核酸等の生体高分子を固定化した多数の生体高分子固定化ゲル保持中空繊維を規則的に配列することによって形成される繊維集合体（３次元配列体）を、繊維軸と直交する方向にスライスして製造したキャピラリー・アレイ・シートであるため、スライス時のブレードの移動方向であるスライス方向と平行に延びるゲル欠陥が発生しやすい。
【００３６】
キャピラリー・アレイ・シート１のＸ方向（すなわち横幅方向）の中心線２８と、スライス方向３０とが成す角度（スライス角度）がθとすると、貫通孔４内のゲル６に、中心線２８に対して角度θをなして延びる欠陥３２が発生しやすい。
【００３７】
図６は、図５に示すゲルの欠陥を有する貫通孔４を拡大した模式的な平面図である。
ここで、例えば、スライス方向３０と平行に延びる欠陥３２を有するゲル６を有する貫通孔４に対して、図７に示すような、スライス方向と平行な方向の格子（すなわち格子の傾斜角度がθ）であるＭＴＦ測定用格子１６を用いてＭＴＦ格子像を取得すると、このＭＴＦ格子像は、スライス方向３０と平行に延びる欠陥３２に起因してスライス方向３０に平行な方向、すなわち白色部分または黒色部分の延びる方向に沿った方向に延び、「ぼけ」ることになる。一方、格子の横方向、すなわち白色部分または黒色部分を横切る方向には像がぼやけにくくなる。
【００３８】
この結果、欠陥３２による像の変化（ぼけ）がＭＴＦ格子像に表れにくく（すなわち、ＭＴＦ格子像から読み取りにくく）、ゲルが欠落しているにもかかわらずＭＴＦ値が高い値を示し、ゲルの欠陥が無いとの誤った判定がされてしまう可能性が高い。
【００３９】
上述した本実施形態の検査装置では、スライスの方向に直交する方向（スライス角度＋９０°）を基準方向として、格子方向が基準方向から４５°ずつ回転した計４種類のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄを用いる。そして、格子方向が４５°ずつ異なる４種類のＭＴＦ測定用格子１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄのそれぞれによる計４枚のＭＴＦ格子像を取得する。そして、この４枚のＭＴＦ格子像を用いて、貫通孔毎のＭＴＦ値をそれぞれ算出し、その中で最も低い値をその貫通孔のＭＴＦ値として採用する。
このようにして得られたＭＴＦ値を、あらかじめ設定したしきい値と比較し、貫通孔のＭＴＦ値がしきい値よりも低いときは欠陥が有ると判定する。このように、最も低いＭＴＦ値を採用することによってゲルの欠陥を正確に判定することができる。
【００４０】
１枚のキャピラリー・アレイ・シートにおいて、貫通孔４に充填されているゲル６の表面状態に依存して、ある貫通孔の結像位置が、他の貫通孔の結像位置と異なる場合がある。このような場合、対物レンズの位置を、ある貫通孔を通した結像位置で像が得られる位置に固定すると、結像位置が異なる貫通孔を通したＭＴＦ測定用格子の像が、前ピンあるいは後ピンとなる。その結果、その像に基づいて算出されたＭＴＦ値は、ピントが合った状態で算出したＭＴＦ値よりも低くなり、ゲルが適切に充填されているにもかかわらず、ゲルの充填状態が不適切と判定されてしまう場合がある。
【００４１】
本実施形態では、対物レンズ２４を光軸方向に、所定距離にわたって所定ピッチ、例えば１００μｍピッチで３ｍｍ程度、移動可能な撮像装置２２を用いて、対物レンズ２４を１００μｍごとに停止させてＭＴＦ測定用格子の像を撮像し、その中で最適なピント位置の格子像を用いてＭＴＦ値の算出を行う。
【００４２】
本発明は、上記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【実施例】
【００４３】
以下、本発明の実施例について説明する。
キャピラリー・アレイ・シートの作製
板の中央部に直径０．３２ｍｍの孔が０．４２ｍｍ間隔で、格子状に１９×１２＝２２８個配列された厚さ０．１ｍｍの多孔板２枚を準備し、各多孔板の孔が整合するように２枚の多孔板を重ね合わせた。多孔板の整合された全ての孔に、カーボンブラックで着色したポリカーボネート製中空繊維（外径０．２８ｍｍ、内径０．１８ｍｍ、長さ５００ｍｍ）を通過させた後、繊維を通過させたこの２枚の多孔板を５０ｍｍ離間させ、離間した多孔板間に、カーボンブラックで着色したポリウレタン樹脂を充填し、長さ５０ｍｍ、７×１２ｍｍ角の角柱状の、両端に樹脂で固定化されない部分を有する中空繊維配列体を得た。
【００４４】
得られた中空繊維配列体中の中空糸にゲル前駆体溶液と、それぞれ異なる種類の４０ベースの核酸プローブとを気泡を巻き込ませながら充填し、ゲル前駆体溶液を重合させ、その後、ミクロトームにて、繊維軸と直角方向に、厚さ０．２５ｍｍの薄片を切り出すことによりキャピラリー・アレイ・シートを得た。
【００４５】
ＭＴＦの測定
得られたキャピラリー・アレイ・シートを、滅菌水で満たしたガラス製容器の中に浸漬した。浸漬したキャピラリー・アレイ・シートは、その表面が顕微鏡に取り付けた対物レンズの光軸に対して垂直となるように配置した。顕微鏡としてニコン製ＣＭ−７０Ｌを、対物レンズとして倍率２倍、開口角（Ｎ．Ａ．）０．０６のレンズを、照明装置として透過照明（ハロゲンランプ）を使用した。
【００４６】
キャピラリー・アレイ・シートから照明装置に向かって１６５ｍｍ移動した位置に、結像範囲制限部材としてφ９ｍｍの穴を開けた金属板を対物レンズの光軸上に光軸と金属板の中心が一致するように取り付けた。さらに結像範囲制限部材から照明装置に向かって５ｍｍ移動した位置に、コピー用紙で製作したＭＴＦ測定用格子（０．２７５ｌｐ／ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ）を取り付けた。
【００４７】
ＭＴＦ測定用格子は、キャピラリー・アレイ・シートのスライス方向に直交する方向（スライス角度＋９０°）を格子方向の基準方向として、４枚のＭＴＦ測定用格子を、格子方向が４５°ずつ、回転方向にずれるように移動可能なステージにそれぞれ取り付けた。
キャピラリー・アレイ・シートの各貫通孔を通過して結像されたＭＴＦ測定用格子の格子像をＣＣＤセンサ（ビットラン製ＢＳ−４１Ｌ）によって撮像した。その後、ステージを移動させてＭＴＦ測定用格子を切替えて同様に撮像し、４種類のＭＴＦ測定用格子の像を全て撮像した。
【００４８】
図８は、撮像された４種類のＭＴＦ測定用格子の像であり、キャピラリー・アレイ・シート全体像のうちそれぞれ同じ部分を拡大したものである。図中、四角で囲んだ貫通孔を通して結像したＭＴＦ測定用格子の像は、基準角度＋９０°（すなわちスライス方向）のＭＴＦ測定用格子を用いた像では、像のぼやける方向と格子の方向が一致しているため、他の方向の格子像におけるよりもはっきりとした格子が見られる。しかし、その他のＭＴＦ測定用格子像では、格子の明暗部分がぼやけて互いに重なり合っているため、格子像がぼやけて観察された。基準角度、基準角度＋４５°、基準角度＋９０°、基準角度＋１３５°の格子像のＭＴＦ値を算出すると、それぞれ７％、１５％、１６％、３２％であり、この中で最も低い値である７％を当該貫通孔のＭＴＦ値として採用し、あらかじめ設定したしきい値と比較を行い、欠陥判定を行った。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の好ましい実施形態でゲル欠陥を検査するキャピラリー・アレイ・シートの構成を示す模式的な平面図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態のキャピラリー・アレイ・シート検査装置の構成を示す模式的な図面である。
【図３】図２のキャピラリー・アレイ・シート検査装置で用いられるＭＴＦ測定用格子の一例を示す模式的な図面である。
【図４】図１のキャピラリー・アレイ・シート検査装置に使用される一軸ステージとＭＴＦ測定用格子を説明する模式的な図面である。
【図５】キャピラリー・アレイ・シートのスライス方向と欠陥の方向とを説明するための模式的な平面図である。
【図６】図５の欠陥を有する貫通孔の１つを拡大した模式的な平面図である。
【図７】キャピラリー・アレイ・シートのスライス方向とＭＴＦ測定用格子方向の関係を示す模式的な図面である。
【図８】４種類のＭＴＦ測定用格子の像の一部を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１：キャピラリー・アレイ・シート
１０：光源
１４：一軸ステージ（格子方向変更手段）
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ：ＭＴＦ測定用格子
２２：撮像装置
３２：ゲル欠陥
【図１】
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【図２】
2010112831.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010112831.tif 000006
【図５】
2010112831.tif 000007
【図６】
2010112831.tif 000008
【図７】
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【図８】
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