(57)【要約】【課題】構成要素である流体機器を二次元方向に配置しつつ、配置スペースの増加を防止するとともに、製造コストの低減およびメンテナンス性の向上を図ることができる流体機器ユニット構造を提供する。【解決手段】土台部２と、土台部２に対して着脱可能に固定される第１流体機器３と、土台部２における第１流体機器３の周囲に着脱可能に固定される複数の第２流体機器４と、が設けられ、第１流体機器３における第２流体機器４と対向する面には、嵌合されることにより、第１流体機器３および第２流体機器４の間で流体の流通を可能にするとともに、嵌合離間が可能とされた凸状の雄継手３５Ｂおよび凹状の雌継手３５Ａの一方が設けられ、第２流体機器４における第１流体機器３と対向する面には、雄継手３５Ｂおよび雌継手３５Ａの他方が設けられていることを特徴とする。【選択図】図３
2010144912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
土台部と、
該土台部に対して着脱可能に固定される第１流体機器と、
前記土台部における前記第１流体機器の周囲に着脱可能に固定される複数の第２流体機器と、
が設けられ、
前記第１流体機器における前記第２流体機器と対向する面には、嵌合されることにより、前記第１流体機器および前記第２流体機器の間で流体の流通を可能にするとともに、嵌合離間が可能とされた凸状の雄継手および凹状の雌継手の一方が設けられ、
前記第２流体機器における前記第１流体機器と対向する面には、前記雄継手および前記雌継手の他方が設けられていることを特徴とする流体機器ユニット構造。
【請求項２】
前記土台部には、前記第１流体機器および前記第２流体機器の配置位置に、嵌合されることにより、前記土台部と前記第１流体機器との配置関係、および、前記土台部と前記第２流体機器との配置関係を規定する凸状位置決め部および凹状位置決め部の一方が設けられ、
前記第１流体機器および前記第２流体機器における前記土台部と対向する面には、前記凸状位置決め部および前記凹状位置決め部の他方が設けられていることを特徴とする請求項１記載の流体機器ユニット構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブや圧力スイッチなどの流体機器類を一体化して複数の流路を流れる流体を取り扱う流体機器ユニット構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、薬品等の流体を取り扱う装置においては、構成要素となる各種の流体機器類（バルブ類、レギュレータ、圧力センサ等の各種センサ類および圧力スイッチ等の各種スイッチ類など）を配管で接続して一体化する方法が知られている。
上述の配管を用いて流体機器類を接続する構成では、これら流体機器類を配置するスペースのほかに、配管を配置するスペースを確保する必要があり、全体としての設置スペースが広くなるという問題があった。
【０００３】
この問題を解決するために、配管を用いないで複数の流体機器類を接続して一体化することにより、全体として配置スペースを狭くする技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
この特許文献１には、流体機器類を直線上に並べて集積させる技術について提案されている。この技術を用いることにより、一の流路を流れる流体を、複数の分岐流路に分流させるとともに、全体として配置スペースを狭くすることができた。
【特許文献１】特開２００７−３２７５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の特許文献１に記載の技術では、例えば、四方弁等を用いて複数の流路の間で流体の流れを切り替える等のように、複数の流体機器類を二次元方向に集積させる必要がある場合には対応できないという問題があった。
【０００５】
その一方で、上述のように、配管等を用いて二次元方向に複数の流体機器を単に集積させただけでは、全体としての配置スペースが広くなるという問題があった。
【０００６】
さらに、複数の流体機器を二次元方向に配置して、一つの筐体内に一体に作り込む方法も考えられる。この方法では、全体としての配置スペースを狭くすることができる。
【０００７】
しかしながら、一つの筐体内に複数の流体機器が一体に作り込まれるため、一つの流体機器に異常が発生した場合、正常な他の流体機器を含む全体を交換等する必要があり、メンテナンス性が悪いという問題があった。
その他にも、流体機器の組み合わせが一つの筐体内に作り込まれた組み合わせに限定されることから、複数の流体機器を接続する方法と比較して、流体機器の組み合わせの変更に対応することが困難であるという問題があった。
言い換えると、組み合わせのバリエーションにそれぞれ対応した複数の流体機器が一体に作り込まれたものを製造する必要があるという問題あった。
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、構成要素である流体機器を二次元方向に配置しつつ、配置スペースの増加を防止するとともに、製造コストの低減およびメンテナンス性の向上を図ることができる流体機器ユニット構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の流体機器ユニット構造は、土台部と、該土台部に対して着脱可能に固定される第１流体機器と、前記土台部における前記第１流体機器の周囲に着脱可能に固定される複数の第２流体機器と、が設けられ、前記第１流体機器における前記第２流体機器と対向する面には、嵌合されることにより、前記第１流体機器および前記第２流体機器の間で流体の流通を可能にするとともに、嵌合離間が可能とされた凸状の雄継手および凹状の雌継手の一方が設けられ、前記第２流体機器における前記第１流体機器と対向する面には、前記雄継手および前記雌継手の他方が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、第１流体機器および第２流体機器に設けられた雄継手および雌継手を嵌合させ、さらに、雄継手および雌継手を嵌合させた状態で、第１流体機器および第２流体機器を土台部に固定することにより、第１流体機器および第２流体機器との間の流体の流れを確保することができる。そのため、配管などを用いて第１流体機器および第２流体機器を接続する方法と比較して、より狭い配置スペース内に第１流体機器および第２流体機器を、流体の流れを確保した状態で二次元方向に配置することができる。
【００１１】
その一方で、第１流体機器および複数の第２流体機器を土台部から取り外すことにより、第１流体機器および第２流体機器の間における雄継手および雌継手の嵌合を外すことができる。その結果、配管などを用いて第１流体機器および第２流体機器を接続する方法等と比較して、第１流体機器および複数の第２流体機器の少なくとも一つを容易に交換することができる。
【００１２】
上記発明においては、前記土台部には、前記第１流体機器および前記第２流体機器の配置位置に、嵌合されることにより、前記土台部と前記第１流体機器との配置関係、および、前記土台部と前記第２流体機器との配置関係を規定する凸状位置決め部および凹状位置決め部の一方が設けられ、前記第１流体機器および前記第２流体機器における前記土台部と対向する面には、前記凸状位置決め部および前記凹状位置決め部の他方が設けられていることが望ましい。
【００１３】
本発明によれば、凸状位置決め部および凹状位置決め部を嵌め合わせることにより、土台部を介して、第１流体機器および第２流体機器の相対位置関係を固定することができる。言い換えると、第１流体機器および第２流体機器の相対位置関係が変わることを防止でき、雄継手および雌継手の嵌合が外れることを防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の流体機器ユニット構造によれば、第１流体機器および第２流体機器に設けられた雄継手および雌継手を嵌合させ、さらに、雄継手および雌継手を嵌合させた状態で、第１流体機器および第２流体機器を土台部に固定するため、構成要素である流体機器を二次元方向に配置しつつ、配置スペースの増加を防止するという効果を奏する。
さらに、第１流体機器および複数の第２流体機器を土台部から取り外すことにより、第１流体機器および第２流体機器の間における雄継手および雌継手の嵌合を外すことができるため、製造コストの低減およびメンテナンス性の向上を図ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
この発明の一実施形態に係る流体機器ユニットについて、図１から図１２を参照して説明する。
図１は、本実施形態の流体機器ユニットの構成を説明する上面視図であり、図２は、図１の流体機器ユニットの構成を説明する正面視図であり、図３は、図２の流体機器ユニットの構成を説明する断面視図である。
本実施形態では、本発明の流体機器ユニット（流体機器ユニット構造）１を半導体等の生産に用いられる薬液の流量を調節するものに適用して説明する。
【００１６】
流体機器ユニット１には、図１から図３に示すように、マニホールドベース（土台部）２と、マニホールドベース２の略中央に配置される四方弁ユニット（第１流体機器）３と、四方弁ユニット３の周囲に配置される４つの三方弁ユニット（第２流体機器）４と、が設けられている。
【００１７】
なお、本実施形態では、マニホールドベース２に配置される流体機器として、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４の例に適用して説明するが、この例に限定されることなく、例えば、三方弁ユニット４の一部を、二方弁ユニットや、圧力センサユニットに入れ替える等してもよい。
【００１８】
マニホールドベース２は、図１から図３に示すように、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４が着脱可能に配置される略矩形状に形成された板状の土台であり、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニットの間の相対位置関係を規定するものである。
【００１９】
図４は、図２のマニホールドベースの構成を説明する上面視図であり、図５は、図４のマニホールドベースの構成を説明するＡ−Ａ線矢視断面図である。
マニホールドベース２には、図４および図５に示すように、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４と対向する面（図５の左側の面）に凹状位置決め部２１Ａが設けられているとともに、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４の固定に用いられる固定用ボルト２３が挿通される固定用孔２２が設けられている。
【００２０】
凹状位置決め部２１Ａは、後述する凸状位置決め部２１Ｂに嵌合されることにより、マニホールドベース２に対する四方弁ユニット３や、三方弁ユニット４の配置位置を規定するものである。言い換えると、マニホールドベース２を介して、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４の相対位置関係を規定するものである。
本実施形態では、マニホールドベース２の略中央に一つの凹状位置決め部２１Ａが配置され、略中央の凹状位置決め部２１Ａの左右方向（図４の左右方向）、および、上下方向（図４の上下方向）に隣接して一対の凹状位置決め部２１Ａが配置されている。
【００２１】
さらに、凹状位置決め部２１Ａは、平面視において略円状に形成されるとともに、断面視において略矩形状に形成された穴である。
本実施形態では、４つの凹状位置決め部２１Ａを同一形状に形成する例に適用して説明するが、略中央の凹状位置決め部２１Ａにおける穴径等を他の凹状位置決め部２１Ａとは異ならせるなど、全ての凹状位置決め部２１Ａの形状を同一にしなくてもよく、特に限定するものではない。
【００２２】
固定用孔２２は、固定用ボルト２３とともに、マニホールドベース２に配置された四方弁ユニット３や、三方弁ユニット４を、マニホールドベース２に固定するものである。
図４に示すように、一つの凹状位置決め部２１Ａに対して４つの固定用孔２２が配置され、４つの固定用孔２２は、当該凹状位置決め部２１Ａを内包する四角の角に相当する位置に形成されている。
【００２３】
図６は、図１の四方弁ユニットの構成を説明する部分断面視図であり、図７は、図６の四方弁ユニットの構成を説明する上面視図である。
四方弁ユニット３は、図１に示すように、マニホールドベース２の略中央に配置されるものであって、周囲に配置された三方弁ユニット４などの流体機器との間に形成される流路を切り替えるものである。
四方弁ユニット３には、図６および図７に示すように、ユニットベース３１と、筐体３２および弁体３３と、制御部３４と、が設けられている。
【００２４】
ユニットベース３１は、図６に示すように、四方弁ユニット３におけるマニホールドベース２と対向する箇所（図６の下側の箇所）に配置される板状または四角柱状に形成された部材である。
ユニットベース３１におけるマニホールドベース２と対向する面の略中央には、凹状位置決め部２１Ａと嵌合される凸状位置決め部２１Ｂが設けられ、その周囲に４つの固定用ボルト２３が螺合される雌ネジ孔（図示せず）が設けられている。
【００２５】
凸状位置決め部２１Ｂは、凹状位置決め部２１Ａに嵌合されることにより、マニホールドベース２に対する四方弁ユニット３の配置位置を規定するものである。言い換えると、マニホールドベース２を介して、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４の相対位置関係を規定するものである。
【００２６】
さらに、凸状位置決め部２１Ｂは、平面視において略円状に形成されるとともに、断面視において略矩形状に形成された突出部である。
【００２７】
筐体３２は、図６および図７に示すように、弁体３３とともに四方弁を構成するものであり、ユニットベース３１と制御部３４との間に配置された略四角柱状の部材である。
筐体３２の４つの側面のそれぞれには、後述する雄継手３５Ｂと嵌合される雌継手３５Ａが設けられている。筐体３２の内部には、弁体３３が回転可能に配置されるとともに、雌継手３５Ａと連通された円柱状の空間が形成されている。
【００２８】
雌継手３５Ａは、筐体３２の側面に形成された側面視において略円状に形成されるとともに、断面視において略矩形状に形成された穴であり、雌継手３５Ａの底面には、筐体３２内部の円柱状空間と連通する貫通孔が形成されている。
【００２９】
弁体３３は、図６に示すように、筐体３２とともに四方弁を構成するものであり、筐体３２の内部に配置される略円柱状に形成された部材である。
弁体３３には、４つの雌継手３５Ａのうちの２つの雌継手３５Ａを連通させる第１流路３６と、残りの２つの雌継手３５Ａを連通させる第２流路３７とが設けられている。
【００３０】
制御部３４は、図６および図７に示すように、筐体３２の上側（図６の上側）に配置され、弁体３３および筐体３２から構成される四方弁の切替を制御するものである。言い換えると、弁体３３の位相を制御するものである。
制御部３４には、側方に向かって開口するＡポートＰＡおよびＢポートＰＢが設けられている。
【００３１】
四方弁ユニット３に設けられたＡポートＰＡおよびＢポートＰＢは、図６に示すように、上下方向に並んで配置されており、さらに、図２に示すように、三方弁ユニット４に設けられたＡポートＰＡおよびＢポートＰＢよりも上側に配置されている。
【００３２】
ＡポートＰＡおよびＢポートＰＢには、加圧された流体が供給されるように構成されている。
例えば、制御部３４は、ＡポートＰＡに加圧流体が供給された場合には、弁体３３を上面視において反時計回りに約１／４回転させ、ＢポートＰＢに加圧流体が供給された場合には、弁体３３を上面視において時計回りに約１／４回転させるように構成されている。
【００３３】
図８は、図１の三方弁ユニットの構成を説明する断面視図であり、図９は、図８の三方弁ユニットの構成を説明する上面視図であり、図１０は、図８の三方弁ユニットの構成を説明する底面視図である。
三方弁ユニット４は、図１に示すように、マニホールドベース２の周囲に配置されるものであって、略中央に配置された四方弁ユニット３との間で薬液の流通が可能に接続されるものである。
三方弁ユニット４には、図８から図１０に示すように、ユニットベース４１と、筐体４２および弁体４３と、制御部４４と、が設けられている。
【００３４】
ユニットベース４１は、図８および図１０に示すように、三方弁ユニット４におけるマニホールドベース２と対向する箇所（図８の下側の箇所）に配置される板状または四角柱状に形成された部材である。
ユニットベース４１におけるマニホールドベース２と対向する面の略中央には、凹状位置決め部２１Ａと嵌合される凸状位置決め部２１Ｂが設けられ、その周囲に４つの固定用ボルト２３が螺合される雌ネジ孔２３Ａが設けられている。
【００３５】
凸状位置決め部２１Ｂは、凹状位置決め部２１Ａに嵌合されることにより、マニホールドベース２に対する三方弁ユニット４の配置位置を規定するものである。言い換えると、マニホールドベース２を介して、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４の相対位置関係を規定するものである。
【００３６】
筐体４２は、図８および図９に示すように、弁体４３とともに三方弁を構成するものであり、ユニットベース４１と制御部４４との間に配置された略四角柱状の部材である。
流体機器ユニット１の中央と対向する側面、言い換えると、筐体４２における四方弁ユニット３と対向する側面には、雌継手３５Ａと嵌合される雄継手３５Ｂが設けられている。
さらに、流体機器ユニット１の外側と対向する側面には、外部の流路と接続されるチューブフィッティング４５Ａが設けられ、および、当該側面と隣接する側面には、外部の流路と接続されるチューブフィッティング４５Ｂが設けられている。
【００３７】
その一方で、筐体４２の内部には、弁体４３が回転可能に配置されるとともに、雄継手３５Ｂおよびチューブフィッティング４５Ａ，４５Ｂと連通された円柱状の空間が形成されている。
【００３８】
雄継手３５Ｂは、筐体４２の側面から突出して形成された略円筒状の部材であり、雄継手３５Ｂの内部は、筐体４２内部の円柱状空間と連通する流路とされている。さらに、雄継手３５Ｂの円周面には、雄継手３５Ｂおよび雌継手３５Ａが嵌合された際における薬液の漏れを防止するＯリング３５Ｃが配置されている。
【００３９】
弁体４３は、図８に示すように、筐体４２とともに三方弁を構成するものであり、筐体４２の内部に配置される略円柱状に形成された部材である。
弁体４３には、弁体４３の直径に沿って延び弁体４３を貫通する第１流路４６と、第１流路４６の略中央から略直交して延びる第２流路４７と、が設けられている。
【００４０】
制御部４４は、図８および図９に示すように、筐体４２の上側（図８の上側）に配置され、弁体４３および筐体４２から構成される三方弁の切替を制御するものである。言い換えると、弁体４３の位相を制御するものである。
制御部４４には、側方に向かって開口するＡポートＰＡおよびＢポートＰＢが設けられている。
【００４１】
三方弁ユニット４に設けられたＡポートＰＡおよびＢポートＰＢは、図８に示すように、上下方向に並んで配置されており、さらに、図１に示すように、流体機器ユニット１の外側に向かって開口するように配置されている。
【００４２】
ＡポートＰＡおよびＢポートＰＢには、加圧された流体が供給されるように構成されている。
例えば、制御部４４は、ＡポートＰＡに加圧流体が供給された場合には、弁体３３を上面視において反時計回りに約１／４回転させ、ＢポートＰＢに加圧流体が供給された場合には、弁体３３を上面視において時計回りに約１／４回転させるように構成されている。
【００４３】
次に、上記の構成からなる流体機器ユニット１における薬液の流れ制御について説明する。
図１１は、全てのＡポートから加圧流体を供給した場合に、流体機器ユニットに構成される流路を説明する模式図であり、図１２は、全てのＢポートから加圧流体を供給した場合に、流体機器ユニットに構成される流路を説明する模式図である。
【００４４】
ここでは、説明を容易にするため、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４のＡポートＰＡに加圧流体を供給した場合（図１１に示す場合）と、ＢポートＰＢに加圧流体を供給した場合（図１２に示す場合）と、に分けて説明する。
なお、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４のそれぞれについて、ＡポートＰＡおよびＢポートＰＢの任意の一方に加圧流体を供給して、流路の構成態様を制御できる。
【００４５】
まず、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４のＡポートＰＡに加圧流体を供給すると、図１１に示すように流路が構成される。
具体的には、四方弁ユニット３は、図１１における左側の三方弁ユニット４と、下側の三方弁ユニット４とを第１流路３６により連通させるとともに、右側の三方弁ユニット４と、上側の三方弁ユニット４とを第２流路３７により連通させる。
【００４６】
その一方で、三方弁ユニット４では、第１流路４６が、流体機器ユニット１の外側に向かって延びるチューブフィッティング４５Ａと、四方弁ユニット３と、を連通させる。このとき第２流路４７は閉塞されている。
【００４７】
そのため、例えば、図１１における左側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ａから流入した薬液は、四方弁ユニット３を介して、下側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ａから流出する。その一方で、右側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ａから流入した薬液は、四方弁ユニット３を介して、上側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ａから流出する。
【００４８】
次に、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４のＢポートＰＢに加圧流体を供給すると、図１２に示すように流路が構成される。
具体的には、四方弁ユニット３は、図１２における左側の三方弁ユニット４と、上側の三方弁ユニット４とを第１流路３６により連通させるとともに、右側の三方弁ユニット４と、下側の三方弁ユニット４とを第２流路３７により連通させる。
【００４９】
その一方で、三方弁ユニット４では、第１流路４６が、流体機器ユニット１の側方に向かって延びるチューブフィッティング４５Ｂと連通されるとともに、第２流路４７は四方弁ユニット３と連通される。言い換えると、チューブフィッティング４５Ｂと四方弁ユニット３とが、第１流路４６および第２流路４７を介して連通される。
このとき、第１流路４６におけるチューブフィッティング４５Ｂと連通していない側の端部は閉塞されている。
【００５０】
そのため、例えば、図１２における左側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ｂから流入した薬液は、四方弁ユニット３を介して、上側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ｂから流出する。その一方で、右側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ｂから流入した薬液は、四方弁ユニット３を介して、下側の三方弁ユニット４におけるチューブフィッティング４５Ｂから流出する。
【００５１】
次に、上記の構成からなる流体機器ユニット１における組み立て、および、分解方法について、図１および図３を参照しながら説明する。
流体機器ユニット１を組み立てる場合、つまり、四方弁ユニット３および４つの三方弁ユニット４を、マニホールドベース２に取り付ける場合には、まず、図１および図３に示すように、四方弁ユニット３に、４つの三方弁ユニット４を組み合わせる。
具体的には、四方弁ユニット３の雌継手３５Ａに、三方弁ユニット４の雄継手３５Ｂを嵌合させる。
【００５２】
その後、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４をマニホールドベース２に固定する。
具体的には、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４の凸状位置決め部２１Ｂを、マニホールドベース２の凹状位置決め部２１Ａに嵌合させる。そして、固定用ボルト２３を用いて四方弁ユニット３および三方弁ユニット４をマニホールドベース２に固定する。
このようにして流体機器ユニット１を組み立てられる。
流体機器ユニット１の分解は、上述の手順を逆に行うことによりなされる。
【００５３】
上記の構成によれば、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４に設けられた雄継手３５Ｂおよび雌継手３５Ａを嵌合させ、さらに、雄継手３５Ｂおよび雌継手３５Ａを嵌合させた状態で、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４をマニホールドベース２に固定することにより、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４との間の薬液の流れを確保することができる。
【００５４】
そのため、配管などを用いて四方弁ユニット３および三方弁ユニット４を接続する方法と比較して、より狭い配置スペース内に四方弁ユニット３および三方弁ユニット４を、薬液の流れを確保した状態で二次元方向に配置することができる。
【００５５】
その一方で、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４をマニホールドベース２から取り外すことにより、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４の間における雄継手３５Ｂおよび雌継手３５Ａの嵌合を外すことができる。その結果、配管などを用いて四方弁ユニット３および三方弁ユニット４を接続する方法等と比較して、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４の少なくとも一つを容易に交換することができる。
【００５６】
その結果、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４の交換等が容易になるため、流体機器ユニット１のメンテナンス性向上を図ることができる。
さらに、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４が組み合わされたものを一体に形成する方法と比較して、必要とされるマニホールドベース２や、四方弁ユニット３や、三方弁ユニット４などの数を減らすことができ、流体機器ユニット１の製造コスト低減を図ることができる。
【００５７】
凸状位置決め部２１Ｂおよび凹状位置決め部２１Ａを嵌め合わせることにより、マニホールドベース２を介して、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４の相対位置関係を固定することができる。言い換えると、四方弁ユニット３および三方弁ユニット４の相対位置関係が変わることを防止でき、雄継手３５Ｂおよび雌継手３５Ａの嵌合が外れることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体機器ユニットの構成を説明する上面視図である。
【図２】図１の流体機器ユニットの構成を説明する正面視図である。
【図３】図２の流体機器ユニットの構成を説明する断面視図である。
【図４】図２のマニホールドベースの構成を説明する上面視図である。
【図５】図４のマニホールドベースの構成を説明するＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図６】図１の四方弁ユニットの構成を説明する部分断面視図である。
【図７】図６の四方弁ユニットの構成を説明する上面視図である。
【図８】図１の三方弁ユニットの構成を説明する断面視図である。
【図９】図８の三方弁ユニットの構成を説明する上面視図である。
【図１０】図８の三方弁ユニットの構成を説明する底面視図である。
【図１１】全てのＡポートから加圧流体を供給した場合に、流体機器ユニットに構成される流路を説明する模式図である。
【図１２】全てのＢポートから加圧流体を供給した場合に、流体機器ユニットに構成される流路を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  流体機器ユニット（流体機器ユニット構造）
２  マニホールドベース（土台部）
３  四方弁ユニット（第１流体機器）
４  三方弁ユニット（第２流体機器）
２１Ａ  凹状位置決め部
２１Ｂ  凸状位置決め部
３５Ａ  雌継手
３５Ｂ  雄継手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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