(57)【要約】【課題】電源装置におけるノイズの影響を低減する。【解決手段】対象デバイスに電源電力を供給する電源装置であって、所定の電源電圧を出力する電源部と、電源部および対象デバイスを電気的に接続する伝送線路と、基準電位に接続される基準線路と、伝送線路と基準線路との間に設けられるコンデンサと、コンデンサおよび対象デバイスの間の伝送線路における電圧に基づいて、電源部が出力する電源電圧を調整する帰還部と、電源部およびコンデンサの間の伝送線路および基準線路の一部として設けられる同軸伝送線路とを備える電源装置を提供する。【選択図】図３
2010148290.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象デバイスに電源電力を供給する電源装置であって、
所定の電源電圧を出力する電源部と、
前記電源部および前記対象デバイスを電気的に接続する伝送線路と、
基準電位に接続される基準線路と、
前記伝送線路と前記基準線路との間に設けられるコンデンサと、
前記コンデンサおよび前記対象デバイスの間の前記伝送線路における電圧に基づいて、前記電源部が出力する前記電源電圧を調整する帰還部と、
前記電源部および前記コンデンサの間の前記伝送線路の一部として設けられる同軸伝送線路と
を備える電源装置。
【請求項２】
前記帰還部は、前記コンデンサおよび前記対象デバイスの間の前記伝送線路における電圧を帰還する同軸帰還線路と、
前記同軸帰還線路が帰還した電圧に基づいて、前記電源部が出力する前記電源電圧を調整する調整部と
を有する
請求項１に記載の電源装置。
【請求項３】
前記同軸伝送線路は、前記同軸帰還線路よりインピーダンスが低い
請求項２に記載の電源装置。
【請求項４】
前記コンデンサは、前記電源部と前記対象デバイスとの間において、前記対象デバイスよりに設けられる
請求項３に記載の電源装置。
【請求項５】
前記電源部は、前記対象デバイスに高圧側電源電圧および低圧側電源電圧を供給し、
前記伝送線路は、前記対象デバイスに前記高圧側電源電圧を伝送し、
前記基準線路は、前記対象デバイスに前記低圧側電源電圧を伝送し、
前記同軸帰還線路は、前記コンデンサおよび前記対象デバイスの間の前記伝送線路における前記高圧側電源電圧、および、前記基準線路における低圧側電源電圧を帰還し、
前記調整部は、前記同軸帰還線路が帰還した電圧に基づいて、前記電源部が出力する前記高圧側電源電圧および前記低圧側電源電圧を調整する
請求項４に記載の電源装置。
【請求項６】
前記基準線路の一部に、さらに同軸伝送線路を含む
請求項５に記載の電源装置。
【請求項７】
対象デバイスを試験する試験装置であって、
前記対象デバイスに電源電力を供給する電源装置と、
前記対象デバイスに供給する試験信号を生成する試験モジュールと
を備え、
前記電源装置は、
所定の電源電圧を出力する電源部と、
前記電源部および前記対象デバイスを電気的に接続する伝送線路と、
基準電位に接続される基準線路と、
前記伝送線路と前記基準線路との間に設けられるコンデンサと、
前記コンデンサおよび前記対象デバイスの間の前記伝送線路における電圧に基づいて、前記電源部が出力する前記電源電圧を調整する帰還部と、
前記電源部および前記コンデンサの間の前記伝送線路の一部として設けられる同軸伝送線路と
を備える試験装置。
【請求項８】
前記電源部は、前記試験モジュールを格納するテストヘッドに設けられ、
前記コンデンサは、前記対象デバイスを載置するソケットボードに設けられる
請求項７に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源装置に関する。特に本発明は、対象デバイスに電源電力を供給する電源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電源装置は、電源電力を供給する対象デバイスに所定の電圧を印加すると共に、電流を供給する。電源装置は、対象デバイスに印加されている電源電圧を監視して帰還する、フィードバック制御を行う。当該フィードバック制御により、電源装置は、対象デバイスの動作に応じて電源電流が変化しても、対象デバイスに印加する電源電圧の変動幅を一定の範囲内に収めることができる。関連する技術文献として、以下の特許文献１を把握している。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２４１０６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
対象デバイスの近傍に電源装置を配置すると、電源装置が放出する熱およびノイズが、対象デバイスの動作に影響を与える。そこで、電源装置と対象デバイスとの間の距離を離すことが好ましい。ところが、電源装置と対象デバイスとの距離が大きいと、電源装置および対象デバイス間の配線に含まれるインダクタンス成分が増加する。その結果、電源電流の変動に対する電源装置の応答性が低下する。特に、対象デバイスの動作周波数が高速になると、電源装置の応答性に対する配線のインダクタンス成分の影響が顕著になる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、対象デバイスに電源電力を供給する電源装置であって、所定の電源電圧を出力する電源部と、電源部および対象デバイスを電気的に接続する伝送線路と、基準電位に接続される基準線路と、伝送線路と基準線路との間に設けられるコンデンサと、コンデンサおよび対象デバイスの間の伝送線路における電圧に基づいて、電源部が出力する電源電圧を調整する帰還部と、電源部およびコンデンサの間の伝送線路および基準線路の一部として設けられる同軸伝送線路とを備える電源装置を提供する。
【０００６】
本発明の第２の態様においては、対象デバイスを試験する試験装置であって、対象デバイスに電源電力を供給する電源装置と、対象デバイスに供給する試験信号を生成する試験モジュールとを備え、電源装置は、所定の電源電圧を出力する電源部と、電源部および対象デバイスを電気的に接続する伝送線路と、伝送線路と基準電位の間に設けられるコンデンサと、コンデンサおよび対象デバイスの間の伝送線路における電圧に基づいて、電源部が出力する電源電圧を調整する帰還部と、電源部およびコンデンサの間の伝送線路の一部として設けられる同軸伝送線路とを備える試験装置を提供する。
【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、電源装置１００を対象デバイス３００に接続する場合の構成を示す。同図において、電源装置１００は、電源部１０および調整部４４を有する。電源部１０および調整部４４は、伝送線路２４を経由して、対象デバイス３００に接続される。伝送線路２４は、プリント基板に形成される銅線、または、基板間を接続するケーブルであってよい。伝送線路２４は、電源装置１００と対象デバイス３００との間の距離に応じた等価インダクタンス（図１においては、Ｌｃとする）を有する。コンデンサ３２は、対象デバイス３００の電源端子および基準端子の間に接続されたバイパスコンデンサである。
【００１０】
電源部１０は、電界効果トランジスタ１２、直流電圧源１４、インダクタ１６、ダイオード１８、および、コンデンサ３０を有する。電界効果トランジスタ１２のゲート端子は、調整部４４に接続されており、調整部４４によってスイッチング制御が行われる。電界効果トランジスタ１２は、パワーＭＯＳ電界効果トランジスタであってよい。
【００１１】
調整部４４は、帰還線路６０を経由して、伝送線路２４に接続される。帰還線路６０は、プリント基板に形成された銅線、または、基板間を接続するケーブルであってよい。調整部４４は、電源部１０と伝送線路２４との間の電圧観測点７０で観測した電圧に基づいて、電界効果トランジスタ１２のスイッチングタイミングを制御する。
【００１２】
電界効果トランジスタ１２のソース端子は、直流電圧源１４に接続される。電界効果トランジスタ１２のドレイン端子は、インダクタ１６およびダイオード１８のカソード端子に接続される。ダイオード１８のアノード端子は、基準電位に接続される。コンデンサ３０は、インダクタ１６と接地電位との間に接続される。コンデンサ３０は、電源部１０の出力電圧を平滑する。
【００１３】
電界効果トランジスタ１２は、ゲート電圧が閾値以上か否かにより、インダクタ１６に電流を流すか否かを切り替える。従って、電界効果トランジスタ１２のゲート電圧が、閾値未満の場合には、電界効果トランジスタ１２を通じてインダクタ１６に電流が流れる。電界効果トランジスタ１２のゲート電圧が、閾値以上の場合には、電界効果トランジスタ１２を通じてインダクタ１６に電流が流れない。
【００１４】
電界効果トランジスタ１２がオン状態の場合には、直流電圧源１４が供給する電流は、インダクタ１６を経由してコンデンサ３０に流れ、コンデンサ３０に電荷が蓄積される。電界効果トランジスタ１２がオフ状態になると、コンデンサ３０に蓄積された電荷が放電される。放電された電荷は、ダイオード１８を経由して、インダクタ１６に流れる。その結果、電界効果トランジスタ１２が導通しているか否かにかかわらず、インダクタ１６には電流が流れ、対象デバイス３００に電流を供給することができる。
【００１５】
対象デバイス３００の電源電流が増減すると、電源部１０および伝送線路２４に含まれる抵抗成分等の影響により電圧変動が生じる。そこで、調整部４４は、電圧観測点７０で観測した電圧に基づいて、電圧変動を打ち消すフィードバック制御をする。具体的には、調整部４４は、対象デバイス３００の電源電流が大きくなり、電源電圧が低下すると、対象デバイス３００に印加される電源電圧を上昇させるべく、電界効果トランジスタ１２のオン／オフの時間を制御する。例えば、調整部４４は、電界効果トランジスタ１２がオンする時間の割合を大きくすることにより、電源電圧を上昇させる。
【００１６】
これに対して、調整部４４は、対象デバイス３００の電源電流が小さくなり、電源電圧が上昇すると、対象デバイス３００に印加される電源電圧を下降させるべくスイッチングタイミングを制御する。例えば、調整部４４は、電界効果トランジスタ１２がオンする時間を、より短くする。以上の動作により、電源装置１００が対象デバイス３００に印加する電源電圧が、所定の範囲内に収まる。
【００１７】
ここで、電界効果トランジスタ１２、インダクタ１６、および、ダイオード１８は、電界効果トランジスタ１２のスイッチングに伴い、スイッチングノイズを発生する。また、電界効果トランジスタ１２は、スイッチング時に生じる電力損失により、熱を発生する。これらのノイズおよび熱の影響を対象デバイス３００に与えることを防ぐには、電源部１０は、対象デバイス３００と離れた位置に配置されることが好ましい。
【００１８】
そこで、図１においては、調整部４４は、対象デバイス３００から離れた位置に設けられている。また、調整部４４は、電源部１０の出力端の電圧を検出する。その結果、調整部４４は、対象デバイス３００から離れた位置に設けられた電圧観測点７０における電圧を検出する。
【００１９】
しかし、対象デバイス３００と電圧観測点７０との距離が大きいと、対象デバイス３００の電源電圧と、電圧観測点７０における電圧との間に差が生じる。特に、伝送線路２４はインダクタンス成分を有するので、電圧観測点７０における電圧の変化は、対象デバイス３００における電源電圧の急峻な変化に対して遅延する。その結果、電源装置１００の出力電圧の精度は低下する。そこで、電圧観測点７０は、対象デバイス３００の近傍に設けられることが好ましい。
【００２０】
図２は、電圧観測点７０を対象デバイス３００の近傍に変更した場合の電源装置１００および対象デバイス３００の構成を示す。同図において、電源装置１００は、電源部１０、帰還部４０、伝送線路２０、基準線路２２、および、コンデンサ３０を有する。コンデンサ３０は、対象デバイス３００の近傍で、対象デバイス３００に接続される。伝送線路２０は、インダクタンス成分Ｌｃを含む。
【００２１】
帰還部４０は、コンデンサ３０および対象デバイス３００の間の伝送線路２０における電圧に基づいて、電源部１０が出力する電源電圧を調整する。具体的には、調整部４４は、帰還線路６０を経由して観測する電圧観測点７０における電源電圧に基づいて、電源部１０内の電界効果トランジスタ１２を制御してよい。
【００２２】
本構成においては、電圧観測点７０と対象デバイス３００との間の伝送線路２４のインダクタンス成分のインダクタンスが、無視できる程度に小さくなるように、電圧観測点７０が対象デバイス３００の近傍に設けられる。従って、電圧観測点７０における電圧は、対象デバイス３００の電源電圧と略等しい。その結果、調整部４４は、対象デバイス３００の電源電流の変化に高速に応答して、電界効果トランジスタ１２のスイッチングタイミングを切り替えることができる。つまり、電源装置１００は、対象デバイス３００の電源電流の変化に高速に応答して、電源電圧を制御することができる。
【００２３】
以上のように、本実施形態の電源装置１００において、電源部１０は、対象デバイス３００から離れて配される。また、帰還部４０は、対象デバイス３００の近傍で電圧を観測する。その結果、電源装置１００は、対象デバイス３００に対して、電源部１０が発生する熱およびノイズの影響を及ぼさないと同時に、対象デバイス３００の電源電流の変動に高速に応答して、電源電圧の制御をすることができる。
【００２４】
ただし、図２において、インダクタ１６、ダイオード１８、および、コンデンサ３０が形成するループには、伝送線路２０が含まれる。電源部１０と対象デバイス３００との距離が離れ、当該ループの面積が大きくなると、電界効果トランジスタ１２のスイッチングノイズが、当該ループから放射される。また、伝送線路２０が含むインダクタンス成分は、外部ノイズと結合しやすい。その結果、外部ノイズの影響により、電源電圧が変動する場合が生じる。
【００２５】
そこで、伝送線路２０を同軸伝送線路により形成することが好ましい。同軸伝送線路の外部導体は、基準線路２２に接続されてよい。電源装置１００は、電圧観測点７０を、同軸ケーブルにより形成される伝送線路２０と対象デバイス３００との間に有することにより、１）対象デバイス３００に対して、電源部１０が発生する熱およびノイズの影響を及ぼさない、２）対象デバイス３００の電源電流の変動に高速に応答して、電源電圧を制御することができる、３）放射ノイズが低減すると共に、外部ノイズの影響を受けにくい、という有利な効果を得ることができる。
【００２６】
図３は、第２の実施形態に係る電源装置１００の構成を示す。電源装置１００は、電源部１０、伝送線路２０、基準線路２２、コンデンサ３０、帰還部４０、および、同軸伝送線路５０を備える。電源装置１００は、対象デバイス３００に電源電力を供給する。
【００２７】
電源部１０は、所定の電源電圧を出力する。電源部１０は、対象デバイス３００に高圧側電源電圧および低圧側電源電圧を供給してよい。高圧側電源電圧は、対象デバイス３００を駆動する電源電圧の電位であってよい。低圧側電源電圧は、電源部１０および対象デバイス３００の基準電位であってよい。
【００２８】
伝送線路２０は、電源部および対象デバイス３００を電気的に接続する。伝送線路２０は、対象デバイス３００に高圧側電源電圧を伝送してよい。基準線路２２は、電源部１０および対象デバイス３００を電気的に接続する。基準線路２２は、対象デバイス３００に低圧側電源電圧を伝送してよい。
【００２９】
コンデンサ３０は、高圧側電源電圧を伝送する伝送線路２０および低圧側電源電圧を伝送する基準線路２２の間に設けられる。コンデンサ３０は、対象デバイス３００を載置するボードに設けられてよい。
【００３０】
コンデンサ３０は、電源部１０から供給される電荷を蓄積する。コンデンサ３０は、対象デバイス３００における消費電流の変化に、電源部１０の供給電流の応答が追随できない場合に、蓄積した電荷を対象デバイス３００に放電する。コンデンサ３０が対象デバイス３００の消費電流の変化に短時間で応答することにより、対象デバイス３００に印加される電源電圧の変動を抑制することができる。
【００３１】
コンデンサ３０が、対象デバイス３００における電源電流の変化に短時間で応答するには、コンデンサ３０は、対象デバイス３００の近傍に設けられることが好ましい。従って、電源装置１００は、コンデンサ３０を、電源部１０と対象デバイス３００との間において、対象デバイス３００近傍に有してよい。例えば、電源装置１００は、同軸伝送線路５０と対象デバイス３００との間に、コンデンサ３０を有してよい。
【００３２】
帰還部４０は、コンデンサ３０および対象デバイス３００の間の伝送線路２０における電圧に基づいて、電源部１０が出力する電源電圧を調整する。具体的には、帰還部４０は、電圧観測点７０における電源電圧が所定の値となるように、電源部１０が出力する電源電圧を調整してよい。
【００３３】
同軸帰還線路４２は、コンデンサ３０および対象デバイス３００の間の伝送線路２０における電圧を帰還する。同軸帰還線路４２は、コンデンサ３０および対象デバイス３００の間の伝送線路２０における高圧側電源電圧、および、基準線路２２における低圧側電源電圧を帰還してよい。電源装置１００は、帰還部４０の電圧観測点７０を、同軸伝送線路５０と対象デバイス３００との間に有してよい。
【００３４】
調整部４４は、同軸帰還線路４２が帰還した電圧に基づいて、電源部１０が出力する電源電圧を調整する。調整部４４は、同軸帰還線路４２が帰還した電圧に基づいて、電源部１０が出力する高圧側電源電圧および低圧側電源電圧を調整してよい。
【００３５】
具体的には、調整部４４は、電圧観測点７０で観測した電源電圧の値が所定の電圧よりも低い場合には、電界効果トランジスタ１２のオン状態の期間を長くするべく、スイッチングタイミングを制御してよい。これに対して、調整部４４は、電圧観測点７０で観測した電源電圧の値が所定の電圧よりも高い場合には、電界効果トランジスタ１２のオン状態の期間を短くするべく、スイッチングタイミングを制御してよい。
【００３６】
同軸伝送線路５０は、電源部１０およびコンデンサ３０の間の伝送線路２０の一部として設けられる。同軸伝送線路５０は、内部導体、絶縁体、外部導体、および、保護被覆を有する同軸ケーブルであってよい。電源部１０は、同軸伝送線路５０の内部導体に高圧側電源電圧を印加すると共に、同軸伝送線路５０の外部導体に低圧側電源電圧を印加してよい。
【００３７】
ここで、対象デバイス３００における電源電流が増加すると、コンデンサ３０は、蓄積した電荷を放電する。コンデンサ３０は、対象デバイス３００が必要とする電源電流を供給することにより、電源電圧を一定に保つ。しかし、コンデンサ３０が蓄積できる電荷の量が不十分な場合には、対象デバイス３００が必要とする電源電流を十分に供給できない。この場合、電源部１０は、不足する電源電流を対象デバイス３００に供給する必要がある。そこで、電源部１０は、対象デバイス３００の電源電流が変動した場合に、できるだけ短時間で高圧側電源電圧を増加する応答を行うことが好ましい。
【００３８】
ところが、一般に、同軸伝送線路５０は約５０Ωの特性インピーダンスを有する。同軸伝送線路５０およびコンデンサ３０は、同軸伝送線路５０の特性インピーダンスとコンデンサ３０のキャパシタンスの積に比例する時定数を有する。その結果、同軸伝送線路５０の特性インピーダンスが約５０Ωの場合には、対象デバイス３００の電源電流の変化に対して、電源部１０が供給する電源電圧の変化の応答速度が不十分になる場合が生じる。
【００３９】
そこで、同軸伝送線路５０の特性インピーダンスを、約５０Ωの特性インピーダンスの約１／１０に相当する５Ω以下のインピーダンスにすることが好ましい。同軸伝送線路５０の特性インピーダンスが５Ω以下であれば、特性インピーダンスが５０Ωの場合に比べて、同軸伝送線路５０およびコンデンサ３０の時定数を１／１０にできるので、電源部１０の応答が速くなる。その結果、電源部１０は、対象デバイス３００の電源電流の変動に追随して電源電圧を増減することができる。
【００４０】
同軸伝送線路５０の特性インピーダンスは、同軸伝送線路５０の構造を変更することにより小さくすることができる。例えば、同軸ケーブルの特性インピーダンスは、信号線の外径と、信号線の外周に設けられた絶縁体の外径とが近いほど、小さくなることが知られている。例えば、絶縁体の厚さを極薄として、絶縁体の外径を相対的に小さくすることにより、同軸ケーブルの特性インピーダンスを数Ω程度にすることができる。
【００４１】
同軸伝送線路５０の特性インピーダンスは、同軸帰還線路４２の特性インピーダンスよりも小さいことが好ましい。例えば、電源装置１００は、同軸伝送線路５０として特性インピーダンスが数Ωとなる同軸ケーブルを有すると共に、同軸帰還線路４２として特性インピーダンスが約５０Ωとなる同軸ケーブルを有してよい。つまり、同軸伝送線路５０の特性インピーダンスを、同軸帰還線路４２の特性インピーダンスの１／２０ないし１／１０の値としてよい。この場合、同軸帰還線路４２を低コストで実現できる。
【００４２】
電源部１０は、このような構成を有することにより、１）対象デバイス３００に対して、電源部１０が発生する熱およびノイズの影響を及ぼさない、２）対象デバイス３００の電源電流の変動に高速に応答して、電源電圧を制御することができる、３）放射ノイズが低減すると共に、外部ノイズの影響を受けにくい、４）コスト上昇を軽減することができる、という有利な効果を得ることができる。
【００４３】
電源装置１００は、並列に接続された複数の同軸ケーブルにより、同軸伝送線路５０を構成すると共に、１本の同軸ケーブルにより同軸帰還線路４２を構成してもよい。数Ωの特性インピーダンスを有する複数の同軸ケーブルを並列に接続することにより、電源部１０と対象デバイス３００との間の伝送線路の特性インピーダンスをさらに小さくすることができる。それぞれの同軸ケーブルの一方の端部は電源部１０に接続され、他方の端部はコンデンサ３０および対象デバイス３００に接続されてよい。
【００４４】
以上のように、電源部１０と対象デバイス３００との間を同軸伝送線路５０で接続することにより、インダクタ１６、ダイオード１８、および、コンデンサ３０で形成されるループによる影響が軽減される。その結果、電源部１０は、対象デバイス３００の電源電流の変動に高速に応答すると同時に、放射ノイズおよび外部から受けるノイズを低減することができる。
【００４５】
図４は、第３の実施形態に係る電源装置１００の構成を示す。同図において、基準線路２２は、伝送線路２０と同様に、同軸伝送線路５２により形成されてよい。
【００４６】
この場合、同軸伝送線路５０の内部導体には、高圧側電源電圧を印加してよい。また、同軸伝送線路５２の内部導体には、低圧側電源電圧を印加してよい。同軸伝送線路５０および同軸伝送線路５２の外部導体は、共通の基準電位に接続されてもよい。このような構成により、高圧側電源電圧の伝送線路および低圧側電源電圧の伝送線路を、それぞれ離れた位置に配することが可能になる。
【００４７】
図５は、本実施形態に係る試験装置２００の構成を示す。同図において、試験装置２００は、テストヘッド４００、ソケットボード５００、同軸帰還線路４２、および、同軸伝送線路５０を備える。テストヘッド４００は、電源部１０、調整部４４、および、試験モジュール２１０を有する。ソケットボード５００は、対象デバイス３００およびコンデンサ３０を有する。テストヘッド４００およびソケットボード５００は、同軸伝送線路５０および同軸帰還線路４２により接続されてよい。
【００４８】
試験モジュール２１０は、対象デバイス３００の試験に用いる信号を対象デバイス３００に対して出力する。対象デバイス３００は、試験モジュール２１０から受信した信号に応じて応答信号を生成する。試験装置２００は、対象デバイス３００が生成した応答信号を受信して、対象デバイス３００の良否を判定する。
【００４９】
本実施形態における電源装置１００においては、同軸伝送線路５０が、電源部１０および対象デバイス３００を接続する。また、同軸帰還線路４２は、調整部４４および対象デバイス３００を接続する。
【００５０】
同軸伝送線路５０は、同軸帰還線路４２よりも小さな特性インピーダンスを有してよい。また、同軸伝送線路５０は、並列に接続された複数の同軸ケーブルを含んでよい。以上の構成により、試験装置２００は、電源部１０および調整部４４が対象デバイス３００と異なる装置に収容される場合であっても、対象デバイス３００の電源電流の変動に高速に応答して電源電圧を制御できる。さらに、試験装置２００は、放射ノイズおよび外部から受けるノイズを低減することができる。試験装置２００は、対象デバイス３００の試験時には、対象デバイス３００の通常動作の数倍の電源電流を供給する。従って、試験装置２００においては、電源装置１００が、対象デバイス３００の電源電流の変動に対して高速に応答するという効果が顕著である。
【００５１】
さらに、同軸伝送線路５０は、並列に接続された複数の同軸ケーブルを含み、それぞれの同軸ケーブルは、テストヘッド４００およびソケットボード５００との間で取り外し可能であってよい。また、同軸伝送線路５０が含む同軸ケーブルの本数は、テストヘッド４００とソケットボード５００との間の距離に応じて定めてよい。本構成により、テストヘッド４００とソケットボード５００との間の距離に応じて、必要最小限の数の同軸ケーブルを使用して、対象デバイス３００の電源電流の変動に高速に応答して電源電圧を制御できる。
【００５２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００５３】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】電源装置１００を対象デバイス３００に接続した場合の構成を示す。
【図２】電圧観測点７０を対象デバイス３００の近傍に変更した場合の電源装置１００および対象デバイス３００の構成を示す。
【図３】第２の実施形態に係る電源装置１００の構成を示す。
【図４】第３の実施形態に係る電源装置１００の構成を示す。
【図５】本実施形態に係る試験装置２００の構成を示す。
【符号の説明】
【００５５】
１０  電源部
１２  電界効果トランジスタ
１４  直流電圧源
１６  インダクタ
１８  ダイオード
２０  伝送線路
２２  基準線路
２４  伝送線路
３０  コンデンサ
３２  コンデンサ
４０  帰還部
４２  同軸帰還線路
４４  調整部
５０  同軸伝送線路
５２  同軸伝送線路
６０  帰還線路
７０  電圧観測点
１００  電源装置
２００  試験装置
２１０  試験モジュール
３００  対象デバイス
４００  テストヘッド
５００  ソケットボード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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