(57)【要約】【課題】高い確率において基板トレイを吸着できる搬送装置を提供することにある。【解決手段】搬送装置２は、吸着体２２に基板トレイ３２を吸着させて搬送することによって、載置台１０への基板トレイ３２の載置、および該載置台１０からの基板トレイ３２の載置解除の少なくとも何れかをおこなう搬送手段１４と、吸着体２２の吸着状態を検知する検知手段と、吸着体２２が基板トレイ３２に吸着していないことが上記検知手段によって検知された場合に、基板トレイ３２に対する複数の吸着体２２のうちの少なくとも１つの位置が変わるように載置台１０を回転させて該載置台１０上の基板トレイ３２を回転させる回転機構１２とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に基板を配置した基板トレイを搬送するための搬送装置であって、
上記基板トレイを載置する載置台と、
複数の吸着体を上記基板トレイに吸着させた状態で該基板トレイを搬送することによって、該載置台への載置、および該載置台からの載置解除の少なくとも何れかを行なう搬送手段と、
上記搬送手段が上記吸着体を用いて上記基板トレイへの吸着を試みた結果、上記複数の吸着体各々が上記基板トレイに吸着したか否かを検知する検知手段と、
上記検知手段によって上記複数の吸着体のうちあらかじめ設定した数以上が吸着していないと検知された場合に、上記複数の吸着体の再度吸着を試みる前に上記複数の吸着体が吸着する位置のうちの少なくとも１つの位置が変わるように、上記基板トレイを載置した状態の上記載置台を回転させる回転機構とを備えている、ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
上記回転機構は、上記載置台に設けられた軸部を回転軸として当該載置台を回転する載置台回転手段であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記載置台を保持する保持部を更に備えており、
上記載置台の外周には、外歯車である載置台側歯車が形成されており、
上記保持部には、上記載置台側歯車に噛合する内歯車である保持部側歯車が形成されており、
上記回転機構は、上記保持部に設けられた軸部を回転軸として回転させる保持部回転手段を有しており、該保持部回転手段が回転することによって、上記載置台が回動するとともに、上記保持部側歯車が上記載置台側歯車との噛合を進めて上記載置台が回転するように構成されており、
上記保持部回転手段によって上記載置台を一周回動させた時点で上記保持部側歯車と噛合している上記載置台側歯車の歯は、当該一周回動する直前において上記保持部側歯車と噛合していた上記載置台側歯車の歯とは異なる位置にある歯であるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記基板トレイの上記表面は、上記基板の表面よりも大きく、
上記吸着体は、上記基板トレイに上記基板を配置している状態において上記基板トレイの表面が露出している箇所を吸着するように構成されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
上記吸着体が上記基板トレイを所定回数吸着できなかった場合に、吸着動作を停止させるとともに、警告を発するように構成されていることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の搬送装置を備えた気相成長装置。
【請求項７】
載置台に載置した、表面に基板を配置した基板トレイを複数の位置で吸着することによって、当該載置台から取り除く搬送工程を含む、搬送方法であって、
上記搬送工程には、
上記基板トレイを上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できているか否かを検知する検知工程と、
上記検知工程において上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていないと検知された場合に、上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていると検知されるまで、繰り返し上記複数の位置で吸着することを試みる試行工程とが含まれ、
上記試行工程には、
再度上記複数の位置で吸着することを試みる前に、上記載置台を回転させることによって上記基板トレイを吸着する位置の少なくとも１つの位置を変更する変更工程が含まれる、ことを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板トレイを搬送するための搬送装置、当該搬送装置を備えた気相成長装置、および搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、基板に気相成長を施すための気相成長装置は、基板を搬送するための搬送装置を備えている。搬送装置は一般的に、搬送装置が備える吸着ハンドに基板を吸着することによって基板を搬送する。搬送装置を用いた基板の搬送においては、吸着ハンドが基板を吸着できなかった場合に、条件を変更して再吸着を試みる。この際に、吸着ハンドに基板をより確実に吸着させることが一般的な課題となっている。
【０００３】
特許文献１には、吸着ハンドと、該吸着ハンドの吸着状態を検出するセンサと、該吸着ハンドを昇降させる昇降機構とを備えた自動搬送装置が開示されている。該自動搬送装置は、吸着ハンドがシリコンウエハーを吸着できなかった場合に、吸着できなかった距離に微小距離を加えた新たな下降距離を設定し再び吸着を試みる。これを複数回繰り返すことにより、シリコンウエハーを吸着する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特公平３−３２２２０号公報（公告日：１９９１年５月１０日）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術においては以下のような問題がある。すなわち、特許文献１に記載の技術においては、再吸着においても被搬送物であるシリコンウエハー上の同じ箇所に対して吸着を試みるため、シリコンウエハーが傾いている場合には、再吸着を何回試みたとしても吸着できない。また、シリコンウエハー上における吸着される箇所に何らかの問題がある場合にも、半永久的に同じ箇所に対して再吸着を試みるため、再吸着を何回試みたとしても吸着できない。上記何らかの問題としては、吸着される箇所に例えば水分やゴミが付着していることなどが考えられる。
【０００６】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、被搬送物である基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、高い確率において基板トレイを吸着できる搬送装置、当該搬送装置を備えた気相成長装置、および搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る搬送装置は、表面に基板を配置した基板トレイを搬送するための搬送装置であって、上記基板トレイを載置する載置台と、複数の吸着体を上記基板トレイに吸着させた状態で該基板トレイを搬送することによって、該載置台への載置、および該載置台からの載置解除の少なくとも何れかを行なう搬送手段と、上記搬送手段が上記吸着体を用いて上記基板トレイへの吸着を試みた結果、上記複数の吸着体各々が上記基板トレイに吸着したか否かを検知する検知手段と、上記検知手段によって上記複数の吸着体のうちあらかじめ設定された数以上が吸着していないと検知された場合に、再度吸着を試みる前に上記複数の吸着体が吸着する位置のうちの少なくとも１つの位置が変わるように、上記基板トレイを載置した状態の上記載置台を回転させる回転機構とを備えている、ことを特徴としている。
【０００８】
上記の構成によれば、本発明の搬送装置は、上記搬送手段が上記吸着体を用いて上記基板トレイへの吸着を試みた結果、上記複数の吸着体各々が上記基板トレイに吸着したか否かを検知する検知手段を備えている。また、上記回転機構が、上記検知手段によって上記複数の吸着体のうちあらかじめ設定された数以上が吸着していないと検知された場合に、再度吸着を試みる前に上記複数の吸着体が吸着する位置のうちの少なくとも１つの位置が変わるように、上記基板トレイを載置した状態の上記載置台を回転させる。上記載置台を回転させることによって、上記基板トレイを回転させる。これにより、該基板トレイに対する上記複数の吸着体のうちの少なくとも１つの位置を変える。
【０００９】
したがって、基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、再吸着を試みることによって、高い確率において該基板トレイを吸着できる。また、上記基板トレイを回転させるため、上記基板トレイと上記吸着体との相対位置は変化しない。したがって、上述した従来技術のように、上記吸着体の昇降距離に微小距離を加えた新たな昇降距離を設定する必要がないという効果を奏する。
【００１０】
本発明に係る搬送装置の上記回転機構は、上記載置台に設けられた軸部を回転軸として当該載置台を回転する載置台回転手段であることが好ましい。
【００１１】
上記の構成によれば、上記回転機構は、上記載置台に設けられた軸部を回転軸として回転する載置台回転手段を回転させることによって、上記載置台に載置した上記基板トレイを回転させる。これにより、上記基板トレイにおける上記吸着体に吸着される位置のうち、少なくとも１つの位置を変えることができる。したがって、基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、再吸着を試みることによって、高い確率において該基板トレイを吸着できる。また、上記基板トレイを回転させるため、上記基板トレイと上記吸着体との相対位置は変化しない。したがって、上述した従来技術のように、上記吸着体の昇降距離に微小距離を加えた新たな昇降距離を設定する必要がない。また、その時に吸着対象となっている上記基板トレイを載置している載置台のみを回転させる。したがって、その時に吸着対象となっている載置台以外の載置台が位置を変えることがないという更なる効果を奏する。
【００１２】
本発明に係る搬送装置は、上記載置台を保持する保持部を更に備えており、上記載置台の外周には、外歯車である載置台側歯車が形成されており、上記保持部には、上記載置台側歯車に噛合する内歯車である保持部側歯車が形成されており、上記回転機構は、上記保持部に設けられた軸部を回転軸として回転させる保持部回転手段を有しており、該保持部回転手段が回転することによって、上記載置台が回動するとともに、上記保持部側歯車が上記載置台側歯車との噛合を進めて上記載置台が回転するように構成されており、上記保持部回転手段によって上記載置台を一周回動させた時点で上記保持部側歯車と噛合している上記載置台側歯車の歯は、当該一周回動する直前において上記保持部側歯車と噛合していた上記載置台側歯車の歯とは異なる位置にある歯であるように構成されていることが好ましい。
【００１３】
上記の構成によれば、上記搬送装置は、上記載置台を保持する保持部を更に備えており、上記載置台の外周には、外歯車である載置台側歯車が形成されており、上記保持部には、上記載置台側歯車に噛合する内歯車である保持部側歯車が形成されている。また、上記回転機構は、上記保持部に設けられた軸部を回転軸として回転させる保持部回転手段を有している。該保持部回転手段が回転することによって、上記載置台が回動するとともに、上記保持部側歯車が上記載置台側歯車との噛合を進めて上記載置台が回転する。また、上記保持部回転手段によって上記載置台を一周回動させた時点で上記保持部側歯車と噛合している上記載置台側歯車の歯は、当該一周回動する直前において上記保持部側歯車と噛合していた上記載置台側歯車の歯とは異なる位置にある歯であるように構成されている。
【００１４】
このため、上記基板トレイにおける上記吸着体に吸着される位置のうち、少なくとも１つの位置を変更できる。したがって、基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、再吸着を試みることによって、高い確率において該基板トレイを吸着できる。また、上記基板トレイを回転させるため、上記基板トレイと上記吸着体との相対位置は変化しない。したがって、上述した従来技術のように、上記吸着体の昇降距離に微小距離を加えた新たな昇降距離を設定する必要がない。また、上記載置台に回転軸を軸部として回転する回転手段を設ける必要がない。上記載置台に回転手段を設ける必要がないため、低消費電力化を実現できる。さらに、上記載置台に回転手段を設ける必要がないため、装置を軽量化できるという更なる効果を奏する。
【００１５】
本発明に係る搬送装置の上記基板トレイの上記表面は、上記基板の表面よりも大きく、上記吸着体は、上記基板トレイに上記基板を配置している状態において上記基板トレイの表面が露出している箇所を吸着するように構成されていることが好ましい。
【００１６】
上記の構成によれば、上記基板トレイの上記表面は上記基板の表面よりも大きい。また、上記吸着体は、上記基板トレイに上記基板を配置している状態において上記基板トレイの表面が露出している箇所を吸着する。このため、上記吸着体は、上記基板トレイに載置されている上記基板に直接接触することはない。したがって、上記基板を傷つけたり、汚したりすることがないという更なる効果を奏する。
【００１７】
本発明に係る搬送装置は、上記吸着体が上記基板トレイを所定回数吸着できなかった場合に、吸着動作を停止させるとともに、警告を発するように構成されていることが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、上記搬送装置は、上記吸着体が上記基板トレイを所定回数吸着できなかった場合に、吸着動作を停止させるとともに警告を発する。この警告は、例えば、警告音を鳴らすようにしてもよいし、警告灯を点灯させるようにしてもよい。また、通信媒体を経由してモニターに警告表示をするようにしてもよい。これにより、作業員は警告を検知でき、上記吸着体が上記基板トレイを吸着できない何らかの不都合があることを認識できる。したがって、即座に上記搬送装置に適切な処置をすることができるという更なる効果を奏する。
【００１９】
また、上記搬送装置を備えた気相成長装置も本発明の範疇に含まれる。
【００２０】
上記課題を解決するために、本発明に係る搬送方法は、載置台に載置した、表面に基板を配置した基板トレイを複数の位置で吸着することによって、当該載置台から取り除く搬送工程を含む、当該基板を搬送するための搬送方法であって、上記搬送工程には、上記基板トレイを上記複数の位置各々で吸着できているか否かを検知する検知工程と、上記検知工程において上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていないと検知された場合に、上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていると検知されるまで、繰り返し上記複数の位置で吸着することを試みる試行工程とが含まれ、上記試行工程には、再度上記複数の位置で吸着することを試みる前に、上記載置台を回転させることによって上記基板トレイを吸着する位置の少なくとも１つの位置を変更する変更工程が含まれる、ことを特徴としている。
【００２１】
上記の構成によれば、本発明に係る搬送方法における上記搬送工程には、上記基板トレイを上記複数の位置各々で吸着できているか否かを検知する検知工程が含まれる。また、上記検知工程において上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていないと検知された場合に、上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていると検知されるまで、繰り返し上記複数の位置で吸着することを試みる試行工程が含まれる。上記試行工程には、再度上記複数の位置で吸着することを試みる前に、上記載置台を回転させることによって上記基板トレイを吸着する位置の少なくとも１つの位置を変更する変更工程が含まれる。上記変更工程において、上記複数の吸着体が吸着する位置のうちの少なくとも１つの位置を変える。
【００２２】
したがって、基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、再吸着を試みることによって、高い確率において該基板トレイを吸着できる。また、上記基板トレイを回転させるため、上記基板トレイと上記吸着体との相対位置は変化しない。したがって、上述した従来技術のように、上記吸着体の昇降距離に微小距離を加えた新たな昇降距離を設定する必要がないという効果を奏する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る搬送装置は、以上のように、基板トレイを載置する載置台と、複数の吸着体を上記基板トレイに吸着させた状態で該基板トレイを搬送することによって、該載置台への載置、および該載置台からの載置解除の少なくとも何れかを行なう搬送手段と、上記搬送手段が上記吸着体を用いて上記基板トレイへの吸着を試みた結果、上記複数の吸着体各々が上記基板トレイに吸着したか否かを検知する検知手段と、上記検知手段によって上記複数の吸着体のうちあらかじめ設定した数以上が吸着していないと検知された場合に、再度吸着を試みる前に上記複数の吸着体が吸着する位置のうちの少なくとも１つの位置が変わるように、上記基板トレイを載置した状態の上記載置台を回転させる回転機構とを備えている。したがって、基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、再吸着を試みることによって、高い確率において該基板トレイを吸着できる。
【００２４】
また、本発明に係る気相成長方法は、以上のように、載置台に載置した、表面に基板を配置した基板トレイを複数の位置で吸着することによって、当該載置台から取り除く搬送工程を含む、当該基板を搬送するための搬送方法であって、上記搬送工程には、
上記基板トレイを上記複数の位置各々で吸着できているか否かを検知する検知工程と、上記検知工程において上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていないと検知された場合に、上記複数の位置のうちあらかじめ設定した数以上が吸着できていると検知されるまで、繰り返し上記複数の位置で吸着することを試みる試行工程とが含まれ、上記試行工程には、再度上記複数の位置で吸着することを試みる前に、上記載置台を回転させることによって上記基板トレイを吸着する位置の少なくとも１つの位置を変更する変更工程が含まれる。したがって、基板トレイが傾いていたり、基板トレイにおける吸着される箇所に何らかの問題があったりしても、再吸着を試みることによって、高い確率において該基板トレイを吸着できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明の実施形態を示すものであり、（ａ）は、気相成長装置の構成を示す断面図であり、（ｂ）は（ａ）の上面図である、（ｃ）は基板トレイを吸着した吸着部の断面図であり、（ｄ）は（ｃ）の上面図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態を示すものであり、（ａ）は、気相成長装置の他の構成を示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の上面図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態を示すものであり、歯車機構の構成を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明のいくつかの実施形態について、図面に基づいて説明すれば以下のとおりである。
【００２７】
〔実施形態１〕
（気相成長装置１の構成）
まず、本実施形態に係る気相成長装置１の構成について、図１を参照して説明する。図１（ａ）は、気相成長装置１の構成を示す断面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）の上面図である。図１（ｃ）は、気相成長装置１の吸着部１６が基板トレイ３２を吸着した状態における断面図である。図１（ｄ）は、図１（ｃ）の基板トレイ３２表面における上面図である。
【００２８】
図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、気相成長装置１は概略的には、搬送装置２と、チャンバー３４と、基板トレイ置き場３８と、を備えている。搬送装置２はさらに、土台部４と、搬送部１４と、吸着判定装置５０とを備えている。
【００２９】
土台部４は、サセプタ６、サセプタ回転手段８、複数のトレイ載置台１０、およびトレイ回転手段１２を備えている。サセプタ６は円盤状であり、その一方の面に複数のトレイ載置台１０を、その周りを囲むように保持している。トレイ載置台１０各々は、成膜対象である基板３０を載置する基板トレイ３２を１つずつ載置することができる。
【００３０】
サセプタ６におけるトレイ載置台１０を載置している面と反対側の面には、サセプタ６の軸部６’を回転軸として回転させるサセプタ回転手段８が設けられている。サセプタ回転手段８が回転することによって、トレイ載置台１０をサセプタ６上において回動させることができる。（以後、公転とも称する）。また、サセプタ回転手段８が設けられている面の、１つのトレイ載置台１０には、トレイ回転手段１２が設けられている。トレイ回転手段１２がトレイ載置台１０の軸部１０’を回転軸として回転することによって、１つのトレイ載置台１０を回転させることができる。（以後、自転とも称する）。サセプタ回転手段８とトレイ回転手段１２とは、各々が独立して回転する。
【００３１】
また、サセプタ６およびトレイ載置台１０は、通常状態においてはチャンバー３４によって密閉されている。チャンバー３４には開閉可能な開閉部３６が形成されている。開閉部３６を開くことによって、基板３０を載置した基板トレイ３２を開閉部３６を介してチャンバー３４内外に出し入れすることができる。
【００３２】
搬送部１４は、吸着部１６、昇降移動部２４、平面移動部２６、および台座部２８を備えている。
【００３３】
吸着部１６は、図１（ｃ）に示すように、本体部１８、４本の脚部２０、および吸着パッド２２を備えている。吸着パッド２２は、基板トレイ３２の上面を真空吸着するものであり、脚部２０各々における先端に取り付けられている。吸着パッド２２は、図１（ｄ）に示すように、基板３０が載置された基板トレイ３２を吸着する際に、基板トレイ３２の表面が露出している箇所を吸着する。このため、吸着パッド２２は、基板トレイ３２に載置されている基板３０に直接接触することはない。したがって、基板３０を傷つけたり、汚したりすることはない。なお、基板トレイ３２は円盤状であり、基板３０を載置するために、基板３０より大きく構成されている。また、本実施形態においては吸着部１６は４本の脚部２０を備えているが、本発明はこれに限定されない。また、基板３０は円盤状であるが、必ずしも円盤状でなくともよい。すなわち、基板３０は、基板３０を載置した基板トレイ３２に吸着パッド２２が接触できる形および大きさであればよい。
【００３４】
吸着部１６は昇降移動部２４の先端に取り付けられている。昇降移動部２４が移動することにより、トレイ載置台１０の基板トレイ３２載置面に対して、吸着部１６を垂直に移動させることができる。なお、ここで「垂直」とは、完全な垂直を意味するほか、完全な垂直と同等の作用効果を奏する範囲内であれば実質的に垂直の意味も含まれる。以下における記載も同様である。また、昇降移動部２４は、台座部２８上に垂直に取り付けられている平面移動部２６の側面に取り付けられている。平面移動部２６が台座部２８上において平面移動することにより、トレイ載置台１０の基板トレイ３２載置面に対して、吸着部１６を平行に移動させることができる。この「平行」には実質的に平行の意味も含まれる。
【００３５】
吸着判定装置５０は、ベース部５２、制御部５４、制御パネル５６、警告灯５８、信号線６０、流量センサ６２、および管６４を備えている。ベース部５２には、制御部５４、制御パネル５６、および警告灯５８が取り付けられている。また、制御部５４には信号線６０の一端が接続されており、信号線６０の他端は流量センサ６２に接続されている。流量センサ６２は、４本の管６４各々の一端に接続されており、４本の管６４各々の他端は吸着パッド２２各々に接続されている。なお、吸着判定装置５０における吸着検査方法は後述する。
【００３６】
また、チャンバー３４の外には、基板トレイ３２を置くための基板トレイ置き場３８が設置されている。
【００３７】
（気相成長装置１による吸着）
次に、気相成長装置１による基板トレイ３２の吸着を含む処理について説明する。
【００３８】
まず、チャンバー３４の開閉部３６を開口する。次に、平面移動部２６が移動することによって、吸着部１６を基板トレイ置き場３８の真上に移動させる。この「真上」には実質的に真上の意味も含まれる。以下の記載も同様である。また、基板トレイ置き場３８には、図示しない搬送装置によって搬送された成膜前の基板３０を１つずつ載置した基板トレイ３２が複数載置されている。
【００３９】
次に、昇降移動部２４が移動することによって、基板トレイ３２の上面から吸着部１６を接近させて、吸着パッド２２に基板トレイ３２を吸着する。この際に、４個の吸着パッド２２は、図１（ｄ）に示すように、基板トレイ３２の表面が露出している箇所を吸着する。これにより、基板３０が吸着パッド２２の接触によって汚れたり傷ついたりすることはない。
【００４０】
吸着パッド２２が基板トレイ３２を吸着すると、昇降移動部２４が移動することによって、基板トレイ３２を吸着した吸着部１６を基板トレイ置き場３８から取り除く。次に、平面移動部２６が移動することによって、基板トレイ３２を開閉部３６からチャンバー３４内におけるトレイ回転手段１２が設けられているトレイ載置台１０の真上に移動させる。次に、昇降移動部２４が移動することによって、基板トレイ３２をトレイ載置台１０に接近させる。次に、吸着部１６が吸着パッド２２の吸着を解除することによって、基板トレイ３２をトレイ載置台１０に載置する。基板トレイ３２をトレイ載置台１０に載置後、昇降移動部２４および平面移動部２６が移動することによって、吸着部１６をチャンバー３４外の基板トレイ置き場３８の真上に戻す。次に、搬送部１４は、基板トレイ置き場３８に載置されている次の基板トレイ３２を、同様に、基板トレイ３２が載置されていない他のトレイ載置台１０に載置する。搬送部１４は、サセプタ６上に載置する基板トレイ３２の数だけこれを繰り返す。
【００４１】
また、トレイ載置台１０に基板トレイ３２が１つ載置される度に、土台部４のサセプタ回転手段８が回転する。これにより、まだ基板トレイ３２が載置されていないトレイ載置台１０を、所定の載置位置に移動させる。したがって、搬送部１４は、サセプタ６上における同じ位置において基板トレイ３２をトレイ載置台１０に載置することができる。
【００４２】
サセプタ６に載置する全ての基板トレイ３２をトレイ載置台１０に載置後、開閉部３６を閉口することによって、チャンバー３４を密閉する。
【００４３】
次に、気相成長装置１は基板３０の表面を成膜する。具体的には、チャンバー３４内を窒素置換した後、図示しない加熱機構によって基板３０を８００〜１４００度まで加熱後、基板３０の表面にプロセスガスを供給する。これにより、基板３０表面近郊に気相反応を生じさせ基板３０表面を成膜する。なお、この成膜中に、トレイ回転手段１２が回転することによって、トレイ載置台１０を回転させている。また、サセプタ回転手段８が回転することによって、サセプタ６を回転させている。
【００４４】
基板３０表面を成膜したら開閉部３６を開口する。次に、平面移動部２６が移動することによって、吸着部１６を開閉部３６からチャンバー３４内における１つのトレイ載置台１０の真上に移動させる。次に、昇降移動部２４が移動することによって、成膜された基板３０を載置している基板トレイ３２の上面から吸着部１６の吸着パッド２２を接近させることによって、基板トレイ３２を吸着する。
【００４５】
次に、搬送工程において、搬送部１４は、載置台１０から基板トレイ３２を取り除く。
【００４６】
搬送工程には、基板トレイ３２を複数の位置各々で吸着できているか否かを検知する検知工程が含まれる。検知工程において、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着していると判定された場合には、昇降移動部２４が移動することによって、基板トレイ３２を吸着した吸着部１６をトレイ載置台１０から取り除く。次に、平面移動部２６が移動することによって、基板トレイ３２を吸着した吸着部１６をチャンバー３４の外の基板トレイ置き場３８の真上に移動させる。次に、昇降移動部２４が移動することによって、吸着部１６を基板トレイ置き場３８に接近させる。次に、吸着部１６が吸着パッド２２の吸着を解除することによって、基板トレイ３２を基板トレイ置き場３８に載置する。搬送部１４は、サセプタ６上から基板トレイ置き場３８に移動させる基板トレイ３２の数だけこれを繰り返す。
【００４７】
なお、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着しているか否かは、吸着判定装置５０が判定する。具体的には、吸着パッド２２各々と管５４各々を介して接続している流量センサ６２の測定結果に基づいて吸着判定装置５０の制御部５４が判定する。
【００４８】
流量センサ６２は、吸着パッド２２を所定の位置まで下降させたときに、吸着パッド２２各々に接続された管６４各々における流量の測定結果を、信号線６０を介して制御部５４に送る。制御部５４は、管６４の流量が一定値以下である場合に、当該管６４に接続されている吸着パッド２２が基板トレイ３２を吸着していると検知する。一方、管６４の流量が一定値以下とならない場合に、当該管６４に接続されている吸着パッド２２が基板トレイ３２を吸着していないと検知する。
【００４９】
制御部５４は、基板トレイ３２を吸着していると検知した吸着パッド２２の数が３以上である場合に、吸着部１６が全体として、基板トレイ３２を吸着していると判定する。一方、基板トレイ３２を吸着していると検知した吸着パッド２２の数が２以下である場合に、制御部５４は、吸着部１６が全体として基板トレイ３２を吸着していないと判定する。
【００５０】
判定工程において、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着していないと制御部５４が判定した場合には、搬送部１４は試行工程において再度吸着を試みる。
【００５１】
具体的には、まず昇降移動部２４が移動することによって、基板トレイ３２を吸着していない吸着部１６をトレイ載置台１０から取り除く。次に、試行工程に含まれる変更工程において、トレイ載置台１０に設けられた軸部１０’を回転軸として回転するトレイ回転手段１２が回転することによって、トレイ載置台１０に載置されている基板トレイ３２を回転させる。これにより、基板トレイ３２における吸着パッド２２に吸着される位置の４つの位置のうち少なくとも１つの位置を、前回吸着できなかった位置とは違う位置にする。次に、昇降移動部２４を移動させ、吸着部１６を基板トレイ３２に接近させることによって、基板トレイ３２の吸着を再度試みる。この試行工程は、３つ以上の吸着パッド２２が基板トレイ３２を吸着できていると検知されるまで、すなわち吸着部１６が基板トレイ３２を吸着していると制御部５４が判定するまでか、設定された所定回数繰り返される。
【００５２】
なお、本実施形態においては、４つの吸着パッド２２のうち３つの吸着パッド２２が吸着している場合に、制御部５４は吸着部１６が基板トレイ３２を吸着していると判定している。しかしながら、吸着パッド２２のいくつが基板トレイ３２に吸着した場合に、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着していると判定するかは任意に設定できる。例えば、２つの吸着パッド２２が吸着している場合に、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着していると判定するように設定してもよい。
【００５３】
また、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着しているか否かの判定は、上記の手段に限定されない。すなわち、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着しているか否かを判定できればよい。
【００５４】
再吸着において、基板トレイ３２における吸着される位置は、前回吸着されなかった位置とは別の位置である。このため、基板トレイ３２が傾いていたり、基板トレイ３２における吸着される箇所に何らかの問題があり一度吸着できなかったとしても、再吸着を試みることによって、高い確率において基板トレイ３２を吸着できる。なお、上述したように、基板トレイ３２を基板トレイ置き場３８からトレイ載置台１０に移動させる際には基板トレイ３２の吸着に成功している。このため、一度吸着に失敗した場合であっても、基板トレイ３２における吸着される位置を変えることにより、基板トレイ３２を再吸着において吸着できる可能性は高い。
【００５５】
また、基板トレイ３２を回転させるため、基板トレイ３２と吸着部１６との相対位置は変化しない。したがって、吸着部１６の昇降距離を変える必要がない。また、その時に吸着対象となっているトレイ載置台１０のみを回転させる。したがって、その時に吸着対象となっているトレイ載置台１０以外のトレイ載置台１０が位置を変えることがない。また、制御部５４により吸着していると検知された吸着パッド２２の数が２以下である場合には、搬送装置２自体が基板トレイ３２を回転させる。したがって、作業員が搬送部１４を操作する必要がない。
【００５６】
このようにして、搬送部１４は、基板トレイ３２を吸着するまでか、または規定の所定回数再吸着を繰り返す。規定の所定回数は、作業員が制御パネル５６に入力することによって設定する。所定回数再吸着を試みても基板トレイ３２を吸着できなかった場合には、搬送部１４は吸着動作を停止させるとともに、制御部５４から警告音を発する。作業員はこの警告音を聞くことによって、基板トレイ３２を吸着できない何らかの不都合があることを認識できる。したがって、即座に搬送装置２に適切な処置をすることができる。なお、作業員に認識させるための警告は、警告灯５８の点灯により行なってもよいし、通信媒体を経由して制御パネル５６等のモニターに警告表示するようにしてもよい。
【００５７】
一方、所定回数内において基板トレイ３２を吸着した場合には、上述したように、搬送部１４は基板トレイ３２を基板トレイ置き場３８に載置する。基板トレイ置き場３８に載置された基板トレイ３２は、別の搬送装置（不図示）により所定の場所に移動される。
【００５８】
〔実施形態２〕
（気相成長装置１の構成の変形例）
次に、第２の実施形態に係る気相成長装置１’の構成について、図２および図３を参照して説明する。図２（ａ）は、気相成長装置１’の構成を示す断面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）の上面図である。図３は、歯車機構４０の構成を示す上面図である。気相成長装置１’の構成においては、実施形態１の気相成長装置１との相違点についてのみ説明する。
【００５９】
図２（ａ）および図２（ｂ）に示す気相成長装置１’は、土台部４’が歯車機構４０を備えている点、およびトレイ回転手段１２を備えていない点において気相成長装置１と異なる。歯車機構４０は、図３に示すように、自転用歯車４２および公転用歯車４４を備えている。自転用歯車４２は外歯車であり、トレイ載置台１０の周りに形成されている。公転用歯車４４は内歯車であり、図２（ｂ）に示すように、自転用歯車４２に噛合するように、サセプタ６内の外周付近からサセプタ６の中心に歯車が向くように、サセプタ６に形成されている。
【００６０】
（気相成長装置１’における吸着）
次に、気相成長装置１’による基板トレイ３２の吸着を含む処理について説明する。
【００６１】
実施形態１の気相成長装置１と同様に、吸着部１６が基板トレイ３２を吸着できなかったと制御部５４によって判定された場合には、変更工程において、基板トレイ３２における吸着される位置のうち少なくとも１つの位置を変えて再吸着を試みる。
【００６２】
具体的にはまず、図３に示すように自転用歯車４２と公転用歯車４４とが噛合した状態において、サセプタ回転手段８を回転させる。サセプタ回転手段８が回転すると、トレイ載置台１０は、回動するとともに、公転用歯車４４が自転用歯車４２との噛合を進めることによって回転する。公転用歯車４４は、吸着対象となっているトレイ載置台１０が回動する直前と同じ位置、すなわち吸着部１６の真下に来るように丁度一周回転させる。この「真下」には実質的に真下の意味も含まれる。以下の記載も同様である。
【００６３】
自転用歯車４２と公転用歯車４４とは回転の位相が異なっている。このため、トレイ載置台１０を一周回動させた時点で公転用歯車４４と噛合している自転用歯車４２の歯は、当該一周回動する直前において公転用歯車４４と噛合していた自転用歯車４２の歯とは異なる位置にある歯となる。換言すれば、公転用歯車４４を１回転させると、自転用歯車４２は０より大きく、かつ自然数以外の数回転する。例えば、公転用歯車４４を１回転させると、自転用歯車４２は１．２回転する。
【００６４】
したがって、基板トレイ３２における吸着パッド２２に吸着される４つの位置のうち少なくとも１つの位置が、前回吸着されなかった位置とは違う位置に変わる。
【００６５】
次に、基板トレイ３２における前回吸着されなかった位置とは違う位置に対して、吸着パッド２２は再吸着を試みる。以降の気相成長装置１’における処理は、気相成長装置１と同様である。気相成長装置１’は、気相成長装置１のように基板トレイ３２に回転軸を軸部として回転する回転手段を設ける必要がない。したがって装置を軽量化できる。
【００６６】
なお、公転用歯車４４の回転数は０以外の自然数であればよい。すなわち、例えば２回転または３回転というような、吸着対象となっているトレイ載置台１０が回動する直前と同じ位置、すなわち吸着部１６の真下に来るような回転数であればよい。また、気相成長装置１と同様に、気相成長装置１’は、基板３０表面の成膜中にサセプタ回転手段８が回転することにより、サセプタ６およびトレイ載置台１０を回転させている。
【００６７】
（付記事項）
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００６８】
本発明は、例えば、以下のように表現することもできる。
【００６９】
１．回転可能な搬送物保持体と、前記搬送物保持体上で被搬送物を吸着する吸着装置と、前記搬送物保持体から、または／および、前記搬送物保持体へ、被搬送物を搬送する搬送装置とを備えた気相成長装置において、前記搬送物保持体上で、前記吸着装置が被搬送物を吸着できなければ、前記搬送物保持体を３６０°×ｎ（ただし、ｎは自然数）以外の角度分を回転させた後、前記吸着装置が被搬送物の再吸着を試行することを特徴とする気相成長装置。
【００７０】
２．回転可能な搬送物保持体と、前記搬送物保持体を載置している回転体と、前記搬送物保持体上で被搬送物を吸着する吸着装置と、前記搬送物保持体から、または／および、前記搬送物保持体へ、被搬送物を搬送する搬送装置とを備え、前記回転体が回転すると前記搬送物保持体は位相がずれて回転する気相成長装置において、前記搬送物保持体上で、前記吸着装置が被搬送物を吸着できなければ、前記回転体を１回転させて前記搬送物保持体も回転させた後、前記吸着装置が被搬送物の再吸着を試行することを特徴とする気相成長装置。
【００７１】
３．前記吸着装置が前記被搬送物を吸着する位置は、ドーナツ状内にあることを特徴とする１または２に記載の気相成長装置。
【００７２】
４．前記被搬送物の吸着が所定回数失敗すれば、装置を停止することを特徴とする１または２に記載の気相成長装置。
【００７３】
５．被搬送物を保持する工程と、被搬送物を吸着機構で吸着する工程と、搬送物を保持する機構から、または／および、搬送物を保持する機構へ、被搬送物を搬送する工程とを備えていて、被搬送物を保持する機構上にて、吸着機構で被搬送物を吸着できなければ、被搬送物を３６０°×ｎ（ただし、ｎは自然数）以外の角度分を回転させた後、吸着機構が被搬送物の再吸着を試行することを特徴とする気相成長方法。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明の気相成長装置は、基板トレイの吸着をより確実にする気相成長装置一般において広く利用することができる。
【符号の説明】
【００７５】
１      気相成長装置
２      搬送装置
４      土台部
６      サセプタ（保持部）
６’    軸部（保持部に設けられた軸部）
８      サセプタ回転手段（保持部回転手段）
１０    トレイ載置台（載置台）
１０’  軸部（載置台に設けられた軸部）
１２    トレイ回転手段（載置台回転手段  回転機構）
１４    搬送部
１６    吸着部
２２    吸着パッド（吸着体）
３０    基板
３２    基板トレイ
３４    チャンバー
３８    基板トレイ置き場
４０    歯車機構（回転機構）
４２    自転用歯車（載置台側歯車  回転機構）
４４    公転用歯車（保持部側歯車  回転機構）
５０    吸着判定装置
５２    ベース部
５４    制御部
５６    制御パネル
５８    警告灯
６０    信号線
６２    流量センサ
６４    管
【図１】
2010267668.tif 000003
【図２】
2010267668.tif 000004
【図３】
2010267668.tif 000005