(57)【要約】【課題】  装置の大型化を抑えることができるとともに、効率良く基板の払出及び回収が行えるストッカー装置及び基板処理装置を提供する。【解決手段】  基板処理装置本体１に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープＦを載置するオープナー１０ａ〜１０ｄと、フープＦを把持して搬送する搬送機構と、オープナー１０ａ〜１０ｄの上方に位置してフープＦを載置する棚２０とを備え、棚２０は、外部搬送装置からフープＦを受け取るための受取棚２１と、外部搬送装置にフープＦを引き渡すための引渡棚２２と、基板Ｗが払出された後の空になったフープＦを保管する処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２とを含み、オープナー１０ａ〜１０ｄは、基板Ｗを払出すための払出専用オープナー１０ａ、１０ｂと、基板を回収するための回収専用オープナー１０ｃ、１０ｄとを含むことを特徴とする。【選択図】図２
2010171314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉式の基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置において、
基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、
フープを把持して搬送する搬送機構と、
少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、
前記オープナーの上方に位置してフープを載置する棚とを備え、
前記棚は、
外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、
外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、
基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、
前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とするストッカー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のストッカー装置において、
前記制御手段は、基板が払出された後の空になったフープを、他のフープが前記回収専用オープナーに載置されていることによりその回収専用オープナーに搬送できない場合は、前記空になったフープを前記処理中用保管棚に搬送させることを特徴とするストッカー装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のストッカー装置において、
前記棚は、さらに、未処理の基板を収納したフープを保管する処理前用保管棚を含みことを特徴とするストッカー装置。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載のストッカー装置において、
前記棚は、さらに、処理済みの基板を収納したフープを保管する処理後用保管棚を含むことを特徴とするストッカー装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記制御手段は、前記受取棚に載置されたフープを、他のフープが前記払出専用オープナーに載置されていることにより前記払出専用オープナーに搬送できない場合は、前記受取棚に載置されたフープを前記処理前用保管棚に搬送させることを特徴とするストッカー装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記制御手段は、基板の回収が終了した後のフープを、他のフープが前記引渡棚に載置されていることにより前記引渡棚に搬送できない場合は、前記基板の回収が終了した後のフープを前記処理後用保管棚に搬送させることを特徴とするストッカー装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記棚は、左右水平方向に開閉する機構を備え、開状態においてフープの上下移動を許容することを特徴とするストッカー装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記搬送機構は、前記オープナー及び前記棚に対面して、水平及び上下移動可能に構成され、かつ、搬送の対象であるフープを引き寄せてから鉛直軸周りに回転して、前記フープを水平搬送経路の真上にあたる位置に支持し、その状態で水平及び上下移動して、前記フープを所定位置にまで搬送することを特徴とするストッカー装置。
【請求項９】
基板に対して所定の処理を行う枚葉式の基板処理装置本体と、
前記基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置とを備え、
前記ストッカー装置は、
前記基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、
フープを把持して搬送する搬送機構と、
少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、
前記オープナーの上方に位置して、フープを載置する棚とを備え、
前記棚は、
外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、
外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、
基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、
前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記搬送機構を制御して、
前記受取棚に載置されたフープを前記払出専用オープナーに搬送させる第１搬送工程と、
前記払出専用オープナーに載置され、基板を払出した後のフープを前記回収専用オープナーに搬送させる第２Ａ搬送工程と、
前記払出専用オープナーに載置され、基板を払出した後のフープを、一旦、処理中用保管棚に搬送して保管させ、その後、前記保管されたフープを回収専用オープナーに搬送させる第２Ｂ搬送工程と、
前記回収専用オープナーに載置され、基板を回収した後のフープを、前記引渡棚に搬送させる第３搬送工程とを実行させることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、フォトレジスト用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）に対して所定の処理をするストッカー装置及び基板処理装置に係り、特に、枚葉式の基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の枚葉式の基板処理装置は、図２５に示すように、インデクサ機構１００と、４台のオープナー１０１ａ〜１０１ｄと、処理部（図示しない）とを備えている。なお、オープナー１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、…、を特に区別しない場合は、「オープナー１０１」と記載する。
【０００３】
オープナー１０１は、多枚数の基板Ｗをほぼ水平状態で多段に収納する容器であるフープ（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）Ｆを載置台に載置し、このフープＦの蓋の開閉を行う。オープナー１０１によってフープの蓋が解放されると、インデクサ機構１００は、フープＦ内の基板Ｗを処理部に搬送するようになっている。
【０００４】
近年、基板処理装置は、処理部の積層化に伴って、より多くの処理部が搭載され、基板処理装置の処理能力の向上が図られている。これに応じて、オープナー１０１の設置の台数も増加するが、図２６に示すように、単に横方向に並設したのでは基板処理装置の設置面積が増大してしまう。
【０００５】
そこで、次のような技術が提案されている（特許文献１参照）。
すなわち、オープナーに相当する装置と、インデクサ機構とで構成される基板処理装置において、オープナーに相当する装置のフープＦを載置する載置台とインデクサ機構との間には、２段からなるフープＦを収納できる直方体状のコンテナが備えられている。このコンテナは、上下に昇降するようになっている。
【０００６】
載置台に載置されたフープＦは、先ず、コンテナの２段のうち、一方の段に搬送される。インデクサ機構は、コンテナ内に搬送されたフープＦ内から、基板Ｗの払出を行う。基板Ｗの払出が終了して空になったフープは、コンテナが上下に昇降して退避される。
【０００７】
コンテナが上下に昇降することにより、載置台に載置された、次の、未処理の基板Ｗを収納したフープＦを、コンテナのもう一方の段に搬送することができる。これにより、インデクサ機構は、コンテナ内のもう一方の段に移動されたフープＦから引き続き、基板Ｗを払出すことができるようになっている。
【０００８】
このようなコンテナを備えたオープナーに相当する装置によると、コンテナ内に２つのフープを保管することができ、例えば、この装置を４台併設することで、最大８つのフープを保管することができる。すなわち、多くのフープを保管することができるとともに、装置の大型化を抑えることができる。
【０００９】
これと同種の、多くのフープを保管できるとともに、装置の大型化を抑えることができる装置として、ストッカー装置（フープステーション）が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００‐１２４３０１号公報
【特許文献２】特開２００５‐１５０４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、このような構成を有する装置の場合には、次のような問題がある。
すなわち、基板Ｗの払出が終了して空になったフープＦを別の位置に搬送させ、他の未処理の基板Ｗを収納したフープＦを代わりに搬送して、フープＦ内の基板を払出すことで、多くの基板Ｗを基板処理装置に供給することができるが、所定の処理が終了した基板Ｗを回収する空のフープＦが、予めオープナーに待機するようにしていなければ回収できなく、基板Ｗを回収する空のフープが遅れて搬送されると、待機している時間が発生するなど、効率良く回収することができない。また、予め、空のフープＦを搬送して処理済みの基板Ｗを回収するルールを決めておかなければ、円滑な運用は難しい。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、装置の大型化を抑えることができるとともに、効率良く基板の払出及び回収が行えるストッカー装置及び基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、枚葉式の基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置において、基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、フープを把持して搬送する搬送機構と、少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、前記オープナーの上方に位置してフープを載置する棚とを備え、前記棚は、外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とするものである。
【００１４】
［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、基板の払出及び回収を行うために、フープを載置するオープナーは、払出専用オープナーと回収専用オープナーとが用途で区別して備えられている。払出専用オープナーは基板を払出するためだけに用いられ、また、回収専用オープナーは基板を回収するためだけに用いられる。搬送機構は、空のフープを払出専用オープナーから回収専用オープナーに搬送するとともに、払出専用オープナーに未処理の基板を収納したフープを代わりに載置する。これにより、払出専用オープナーは、そのフープ内から、引き続き、基板を払い出すことができる。また、回収専用オープナーは、空になったフープが載置され、順次、処理済みの基板を回収する。基板の回収が終了すると、処理済みの基板を収納したフープを引渡棚に搬送することで、次の、空になったフープを代わりに載置することができ、引き続き、基板の回収をすることができる。つまり、各オープナーが連続して基板の払出及び回収することができるので、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができる。
【００１５】
また、処理中用保管棚を備えることで、払出専用オープナーにおいて、基板が払出されて空になったフープを、他のフープが載置されていることにより回収専用オープナーに搬送できない場合は、処理中用保管棚に搬送することができる。これにより、未処理の基板を収納したフープを代わりに載置することで、そのフープ内から、引き続き、基板を払い出すことができる。つまり、回収専用オープナーにフープを搬送できない場合でも、処理中用保管棚に搬送することができるので、中断することなく連続して基板の払出及び回収することができる。
【００１６】
さらに、外部搬送装置からのフープを受け取る受取棚と外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚が用途を区別して備えられることで、外部搬送装置とのフープの受け渡しを効率良く行うことができる。
【００１７】
したがって、このような構成を備えているので、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができるとともに、従来の、並列にオープナーを増加して構成していた装置よりも、装置の大型化を抑えることができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のストッカー装置において、前記制御手段は、基板が払出された後の空になったフープを、他のフープが前記回収専用オープナーに載置されていることによりその回収専用オープナーに搬送できない場合は、前記空になったフープを前記処理中用保管棚に搬送させることを特徴とするものである。
【００１９】
［作用・効果］請求項２に記載の発明によれば、制御手段は、払出専用オープナーにおいて、基板が払出されて空になったフープを、他のフープが載置されていることにより回収専用オープナーに載置できない場合は、処理中用保管棚に搬送する。これにより、搬送したフープが載置されていた回収専用オープナーに、次の、未処理の基板を収納したフープを代わりに載置することができるので、引き続き、フープ内から基板を払出することができる。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のストッカー装置において、前記棚は、さらに、未処理の基板を収納したフープを保管する処理前用保管棚を含むことを特徴とするものである。
【００２１】
［作用・効果］請求項３に記載の発明によれば、処理前用保管棚を備えることで、未処理の基板を収納したフープを受取棚から払出専用オープナーに搬送する場合に、他のフープが払出専用オープナーに載置されていることにより、フープを搬送できないときは、処理前用保管棚に保管することができる。これにより、受取棚には、外部搬送装置により、次の、未処理の基板を収納したフープを代わりに載置することができる。また、未処理の基板を収納したフープを多く保管することができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のストッカー装置において、前記棚は、さらに、処理済みの基板を収納したフープを保管する処理後用保管棚を含むことを特徴とするものである。
【００２３】
［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、処理後用保管棚を備えることで、処理済みの基板を収納したフープを回収専用オープナーから引渡棚に搬送する場合に、他のフープが引渡棚に載置されていることにより、フープを搬送できないときは、処理後用保管棚に保管することができる。これにより、回収専用オープナーには、次の、空のフープを代わりに載置することができる。また、処理済みの基板を収納したフープを多く保管することができる。
【００２４】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のストッカー装置において、前記制御手段は、前記受取棚に載置されたフープを、他のフープが前記払出専用オープナーに載置されていることにより前記払出専用オープナーに搬送できない場合は、前記受取棚に載置されたフープを前記処理前用保管棚に搬送させることを特徴とするものである。
【００２５】
［作用・効果］請求項５に記載の発明によれば、制御手段は、受取棚に載置された未処理の基板を収納したフープを、他のフープが払出専用オープナーに載置されていることにより払出専用オープナーに搬送できない場合は、処理前用保管棚に搬送させる。これにより、搬送したフープが載置されていた受取棚に、外部搬送装置により、次の、未処理の基板を収納したフープを代わりに搬送することができる。
【００２６】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載のストッカー装置において、前記制御手段は、基板の回収が終了した後のフープを、他のフープが前記引渡棚に載置されていることにより前記引渡棚に搬送できない場合は、前記基板の回収が終了した後のフープを前記処理後用保管棚に搬送させることを特徴とするものである。
【００２７】
［作用・効果］請求項６に記載の発明によれば、制御手段は、基板の回収が終了した後のフープを、他のフープが引渡棚に載置されていることにより引渡棚に搬送できない場合は、基板の回収が終了した後のフープを処理後用保管棚に搬送させる。これにより、搬送したフープが載置されていた回収専用オープナーに、次の、空になったフープを代わりに搬送することができ、引き続き、フープ内に基板を回収することができる。
【００２８】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載のストッカー装置において、前記棚は、左右水平方向に開閉する機構を備え、開状態においてフープの上下移動を許容することを特徴とするものである。
【００２９】
［作用・効果］請求項７に記載の発明によれば、棚は、左右水平方向に開閉する機構を備えていることで、開状態においてはフープを上下に移動することができ、また、閉状態においては、フープを載置することができる。これにより、ストッカー装置の長さ方向の寸法を抑えることができるので、装置の大型化を抑えることができる。
【００３０】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載のストッカー装置において、前記搬送機構は、前記オープナー及び前記棚に対面して、水平及び上下移動可能に構成され、かつ、搬送の対象であるフープを引き寄せてから鉛直軸周りに回転して、前記フープを水平搬送経路の真上にあたる位置に支持し、その状態で水平及び上下移動して、前記フープを所定位置にまで搬送することを特徴とするものである。
【００３１】
［作用・効果］請求項８に記載の発明によれば、搬送機構は、オープナー及び棚に対面して、水平及び上下移動可能に構成され、かつ、搬送の対象であるフープを引き寄せてから鉛直軸周りに回転して、フープを水平搬送経路の真上にあたる位置に支持し、その状態で水平及び上下移動して、フープを所定位置にまで搬送するようになっている。これにより、ストッカー装置の長さ方向の寸法を抑えることができるので、装置の大型化を抑えることができる。
【００３２】
請求項９に記載の発明は、基板に対して所定の処理を行う枚葉式の基板処理装置本体と、前記基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置とを備え、前記ストッカー装置は、前記基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、フープを把持して搬送する搬送機構と、少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、前記オープナーの上方に位置して、フープを載置する棚とを備え、前記棚は、外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とするものである。
【００３３】
［作用・効果］請求項９に記載の発明によれば、基板を払出及び回収を行うためにフープを載置するオープナーと、フープを載置する棚と、フープを搬送することができる搬送機構とで構成されるストッカー装置を備えているので、従来の、並列にオープナーを増加して構成していた装置よりも、装置の大型化を抑えることができる。
【００３４】
また、ストッカー装置のオープナーは、払出専用オープナーと回収専用オープナーとが用途で区別して備えられることで、払出専用オープナーは基板を払出するためだけに用いられ、また、回収専用オープナーは基板を回収するためだけに用いられる。払出専用オープナーは、空のフープを回収専用オープナーに搬送し、未処理の基板を収納したフープを代わりに載置することで、そのフープ内から、引き続き、基板を払い出すことができる。また、回収専用オープナーは、空になったフープが載置され、順次、処理済みの基板を回収する。基板の回収が終了すると、処理済みの基板を収納したフープを引渡棚に搬送することで、次の、空になったフープを代わりに載置することができ、引き続き、基板の回収をすることができる。つまり、連続して基板の払出及び回収することができるので、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができる。
【００３５】
また、処理中用保管棚を備えることで、払出専用オープナーにおいて、基板が払出されて空になったフープを、他のフープが載置されていることにより回収専用オープナーに搬送できない場合は、処理中用保管棚に搬送することができる。これにより、未処理の基板を収納したフープを代わりに載置することで、そのフープ内から、引き続き、基板を払い出すことができる。つまり、回収専用オープナーにフープを搬送できない場合でも、処理中用保管棚に搬送することができるので、中断することなく連続して基板の払出及び回収することができる。
【００３６】
さらに、外部搬送装置からのフープを受け取る受取棚と外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚が用途を区別して備えられることで、外部搬送装置とのフープの受け渡しを効率良く行うことができる。
【００３７】
したがって、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができるとともに、従来の、並列にオープナーを増加して構成していた装置よりも、装置の大型化を抑えることができる。
【００３８】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の基板処理装置において、前記制御手段は、前記搬送機構を制御して、前記受取棚に載置されたフープを前記払出専用オープナーに搬送させる第１搬送工程と、前記払出専用オープナーに載置され、基板を払出した後のフープを前記回収専用オープナーに搬送させる第２Ａ搬送工程と、前記払出専用オープナーに載置され、基板を払出した後のフープを、一旦、処理中用保管棚に搬送して保管させ、その後、前記保管されたフープを回収専用オープナーに搬送させる第２Ｂ搬送工程と、前記回収専用オープナーに載置され、基板を回収した後のフープを、前記引渡棚に搬送させる第３搬送工程とを実行させることを特徴とするものである。
【００３９】
［作用・効果］請求項1０に記載の発明によれば、制御手段は、搬送機構を制御して、受取棚にあるフープを払出専用オープナーに搬送させる。払出専用オープナーに搬送されたフープから基板の払出が行われ、基板が払出された後、空になったフープを回収専用オープナーに搬送させる。また、回収専用オープナーに他のフープがあるために搬送できない場合は、一旦、処理中用保管棚に搬送させて保管し、その後、回収専用オープナーに搬送させる。回収専用オープナーに載置されたフープ内に、順次、処理済みの基板が回収され、基板の回収後、回収専用オープナーから引渡棚に搬送される。これにより、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができる。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によれば、基板の払出及び回収を行うために、フープを載置するオープナーは、払出専用オープナーと回収専用オープナーとが用途で区別して備えられる。搬送機構は、空のフープを払出専用オープナーから回収専用オープナーに搬送するとともに、払出専用オープナーは未処理の基板を収納したフープを代わりに載置する。これにより、払出専用オープナーは、そのフープ内から、引き続き、基板を払い出すことができる。また、回収専用オープナーは、空になったフープが載置され、順次、処理済みの基板を回収する。基板の回収が終了すると、処理済みの基板を収納したフープを引渡棚に搬送することで、次の、空になったフープを代わりに載置することができ、引き続き、基板の回収をすることができる。つまり、各オープナーが連続して基板の払出及び回収することができるので、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができる。
【００４１】
また、処理中用保管棚を備えることで、払出専用オープナーにおいて、基板が払出されて空になったフープを、他のフープが載置されていることにより回収専用オープナーに搬送できない場合は、処理中用保管棚に搬送することができる。これにより、未処理の基板を収納したフープを代わりに載置することで、そのフープ内から、引き続き、基板を払い出すことができる。つまり、回収専用オープナーにフープを搬送できない場合でも、処理中用保管棚に搬送することができるので、中断することなく連続して基板の払出及び回収することができる。
【００４２】
したがって、このような構成を備えているので、効率の良い基板の払出又は回収を行うことができるとともに、従来の、並列にオープナーを増加して構成していた装置よりも、装置の大型化を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施例に係るストッカー装置を備えた基板処理装置の側面から見た部分縦断面図である。
【図２】図１で示したストッカー装置のＡ‐Ａ断面図である。
【図３】図１で示したストッカー装置を備えた基板処理装置のＢ‐Ｂ断面図である。
【図４】外部搬送装置とストッカー装置間のフープ受渡しの説明に供する図である。
【図５】外部搬送装置及び本実施例の基板処理装置におけるフープの搬送に係る制御系のブロック図
【図６】ストッカー装置の動作説明に供するフローチャートである。
【図７】ストッカー装置内での複数のフープの搬送動作の説明に供する図である。
【図８】４つのオープナーと２つの処理中用保管棚を備えた実施例に係るストッカー装置の動作を示す動作図である。
【図９】変形例（１）に係るインターロック機構７０の１つの構成例であるインターロック機構７０Ａを示し、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は正面図である。
【図１０】変形例（１）に係るインターロック機構７０Ａの別の構成例であるインターロック機構７０Ｂを示し、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は正面図である。
【図１１】変形例（１）に係るインターロック機構７０Ａ及び７０Ｂとは別の構成例であるインターロック機構７０Ｃを示し、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は正面図である。
【図１２】変形例（１）に係るインターロック機構７０Ｃの別の構成例であるインターロック機構７０Ｄを示し、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は正面図である。
【図１３】変形例（１）に係るインターロック機構７０Ｃのさらに別の構成例であるインターロック機構７０Ｅを示した図である。
【図１４】変形例（２）に係るストッカー装置の横断面図である。
【図１５】変形例（３）に係るストッカー装置の側面から見た縦断面図である。
【図１６】（ａ）は変形例（３）に係るストッカー装置の図１５のＧ‐Ｇ断面図であり、（ｂ）は変形例（３）に係るストッカー装置のロードポート部分を示した正面図である。
【図１７】変形例（３）に係るストッカー装置の図１５のＨ‐Ｈ断面図である。
【図１８】変形例（４）に係るストッカー装置の側面から見た縦断面図である。
【図１９】変形例（４）に係るストッカー装置の図１８のＣ‐Ｃ断面図である。
【図２０】変形例（４）に係るストッカー装置の図１８のＤ‐Ｄ断面図である。
【図２１】変形例（４）に係るストッカー装置の、左右水平に開閉する棚を示した斜視図である。
【図２２】変形例（４）に係るストッカー装置の、左右水平に開閉する棚の閉じた状態（ａ）と開いた状態（ｂ）を示した正面図である。
【図２３】変形例（５）に係るストッカー装置の正面から見た縦断面図である。
【図２４】変形例（５）に係るストッカー装置の横断面図である。
【図２５】４つのオープナーを備えた従来装置の横断面図である。
【図２６】６つのオープナーを備えた従来装置の横断面図である。
【図２７】４つのオープナーを備えた従来装置の動作を示す動作図である。
【図２８】６つのオープナーを備えた従来装置の動作を示す動作図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明する。
図１は、本発明の実施例に係るストッカー装置２を備えた基板処理装置の側面から見た部分縦断面図であり、図２は、図１で示したストッカー装置２を備えた基板処理装置のストッカー装置２のＡ‐Ａ断面図であり、また、図３は、図１で示したストッカー装置２を備えた基板処理装置のＢ‐Ｂ断面図である。
【００４５】
図１に示すように、本実施例に係る基板処理装置は、枚葉式の基板処理装置本体１と、この基板処理装置本体１に連結して設置されるストッカー装置２とを備えている。基板処理装置本体１は、ストッカー装置２の図中左側から順番に、インデクサブロック３と、処理ブロック４と、インターフェースブロック５とを連結して備える。
【００４６】
［基板処理装置本体１］
インデクサブロック３は、基板Ｗの搬送を行うインデクサ機構７を備えている。このインデクサ機構７は、ストッカー装置２のオープナー１０にセットされたフープＦ内の基板Ｗを取り出して、処理ブロック４との間に介在する載置台８へ搬送する。この載置台８は、積層構造の処理ブロック４の各段ごとに配設されておりインデクサブロック３と処理ブロック４間の基板Ｗの受渡しのために用いられる。なお、処理済みの基板Ｗが載置台８に載置されたときは、インデクサ機構７は、載置台８からフープＦ内へ基板Ｗを収納する。
【００４７】
処理ブロック４は、図示しない、例えば、フォトレジストを塗布する塗布処理部、現像液で処理する薬液処理部、及び、熱処理部などの処理部を上下に積層配置して構成され、各処理部間の基板Ｗの搬送を処理ブロック４内に設けられた、図示しない搬送機構によって行うように構成されている。
【００４８】
インターフェースブロック５は、基板処理装置に並設される外部装置６（例えば、露光装置など）と基板処理装置との間で基板Ｗの受け渡しを行う図示しない搬送機構などを備える。
【００４９】
［ストッカー装置２］
ストッカー装置２は、インデクサブロック３と隣接する面に、複数枚の基板Ｗを多段に収納する容器であるフープＦ内の基板Ｗの払出及び回収を行うために、フープＦを載置するオープナー１０と、フープＦを載置して保管する棚２０とを備え、さらに、フープＦを把持して搬送する搬送機構３０とを備えている。
【００５０】
オープナー１０は、オープナー１０の載置台に載置されたフープＦの蓋を開閉するとともに、ストッカー装置２とインデクサブロック３との隔壁に設けられた通過口の開閉を行うシャッター部（図示しない）を備える。このシャッター部により蓋が開けられたフープＦ内から、インデクサ機構７が基板Ｗの払出と回収とを行う。なお、オープナー１０は、後述するように複数台が並設されており、各オープナー１０を特に区別するときは、「１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、…」と記載する。
【００５１】
搬送機構３０により搬送されるフープＦは、オープナー１０及び棚２０と搬送装置３０との間の空間ＳＰ１を通り、水平及び上下方向（図１のＸＺ平面）に自在に移動するようになっている。
【００５２】
図2に示すように、ストッカー装置２には、４台のオープナー１０ａ〜１０ｄが並設されている。これらのオープナー１０ａ〜１０ｄの内、左側２台のオープナー１０ａ、１０ｂを基板Ｗの払出専用に、右側２台のオープナー１０ｃ、１０ｄを基板Ｗの回収専用に、それぞれ役割を区別して用いるようになっている。また、このオープナー１０ａ〜１０ｄの上方には、棚２０が設けられている。
【００５３】
棚２０は、役割で区別して用いられ、基板ＷをフープＦ内から払い出した後に、空のフープＦを搬送させて保管する２つの処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２（以下、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２を特に区別しない場合は、処理中用保管棚ＢＦと記載する。）と、未処理の基板Ｗを収納したフープＦを保管する１つの処理前用保管棚ＢＦＢと、処理済みの基板Ｗを収納したフープＦを保管する１つの処理後用保管棚ＢＦＡとを備え、さらに、外部搬送装置４０から未処理の基板Ｗを収納したフープＦを受け取るために用いる受取棚２１と、外部搬送装置４０に処理済みの基板Ｗを収納したフープＦを引き渡すために用いる引渡棚２２とを備えている。また、保管棚ＢＦＢ、ＢＦ１、ＢＦ２、ＢＦＡは、オープナー１０ａ〜１０ｄの上方に、その順に並設されており、一端側の保管棚ＢＦＢの上方に受渡棚２１が、他端側の保管棚ＢＦＡの上方に引渡棚２２が、それぞれ設けられている。
【００５４】
このストッカー装置２の外囲壁であるハウジング６０は、底面と側面を覆い、上面は開口している。この上面の開口より、図４に示す外部搬送装置４０は、フープＦを受取棚２１に搬送して載置させ、また、引渡棚２２からフープＦを受取り、次の装置などへ搬送することができるようになっている。
【００５５】
［搬送機構３０の構成］
図３に示すように、搬送機構３０は、フープＦの上部を把持する把持部３１と、この把持部３１と接続し、前後進移動する多関節アーム機構３２とを備えている。この多関節アーム機構３２は、基端側が支持ブロック３３によって支えられ、この支持ブロック３３は、第１移動機構３４によって、オープナー１０ａ〜１０ｄの並設方向である、ストッカー装置の幅（Ｘ軸）方向に移動するようになっている。さらに、この第１移動機構３４は、一対の第２移動機構３５によって上下（Ｚ軸）方向に移動するようになっている。これにより搬送機構３０は、フープＦをオープナー１０及び棚２０の各位置へ自在に搬送することができるようになっている。
【００５６】
具体的には、搬送機構３０は、次のようにしてフープＦを搬送する。把持部３１と接続された多関節アーム機構３２が前進し、オープナー１０又は棚２０に載置されたフープＦの上部を把持部３１で掴んで固定し、続いてフープＦを持ち上げて後退しフープＦを空間ＳＰ１内に位置させる。第１移動機構３４と第２移動機構３５とによって、フープＦを空間ＳＰ１内で移動させ、所定のオープナー１０又は棚２０の手前に位置させる。その後、多関節アーム機構３２が前進してフープＦを所定のオープナー１０又は棚２０上に載置する。そして、把持部３１を開放し後退移動することによってフープＦの搬送を完了する。
【００５７】
［外部搬送装置４０］
図４を参照して、外部搬送装置４０とストッカー装置２との間のフープＦの受渡しについて説明する。
【００５８】
外部搬送装置４０は、本実施例に係る基板処理装置と、本装置とは切り離された別の外部装置との間でのフープＦの搬送を行う装置である。本実施例では、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）を例に採って説明する。
【００５９】
外部搬送装置４０は、工場内の天井などの高所に敷設されるレール４８と、そのレール４８に案内されてフープＦを搬送する搬送車４１とを備えている。この搬送車４１には、フープＦを把持して支持する把持部４２と、フープＦを把持した把持部４２を吊るすロープ４３と、このロープ４３を巻上げなどしてフープＦを上下させる図示しないウィンチとを備えている。
【００６０】
フープＦを搬送して来た搬送車４１は、フープＦを載置する所定の位置（例えば、受取棚２１）の上方に来ると、フープＦを吊り下ろし、下ろし終えるとフープＦを固定している把持部４１の固定を開放することで、フープＦが載置される。
【００６１】
なお、図中の左側の搬送車４１は、フープＦを受取棚２１に載置している最中の動作の状態を示し、また、図中の右側の搬送車４１は、引渡棚２２からフープＦを受取り、次の装置に搬送しようとしている動作を示している。
【００６２】
［制御］
図５は、外部搬送装置４０及び本実施例の基板処理装置におけるフープＦの搬送に係る制御系のブロック図である。
【００６３】
先ず、図５に示すように、ストッカー装置２は、基板処理装置の主制御部８２とは別に、個別に制御部８３を備えている。この制御部８３は、搬送機構３０によるフープＦの搬送やオープナー１０に載置されたフープＦの蓋の開閉などの制御を自らが行っている（図１）。一方、基板処理装置の主制御部８２は、ストッカー装置２などを統括的に管理している。
【００６４】
ストッカー装置２の制御部８３は、基板処理装置の主制御部８２との間で通信可能に構成され、また、基板処理装置の主制御部８２は、工場全体の生産を管理している工場の中央制御部８１との間で通信可能に構成されている。
【００６５】
また、工場全体の生産を管理している工場の中央制御部８１は、外部搬送装置４０の搬送制御部８４との間で通信可能に構成されている。
【００６６】
基板処理装置の主制御部８２は、ストッカー装置２の制御部８３と間で情報の送受信を行い、また、ストッカー装置２の制御部８３から送信された情報を、工場の中央制御部８１などへ、転送する仲介を行う。
【００６７】
なお、ストッカー装置２の制御部８３は、本発明における制御手段に相当する。
【００６８】
次に、図４及び図５を参照して、外部搬送装置４０とのフープＦの受渡しについて説明する。
【００６９】
例えば、ストッカー装置２の受取棚２１にフープＦの搬送の要求をする場合、ストッカー装置２の制御部８３は、基板処理装置の主制御部８２に対して、未処理の基板Ｗを収納したフープＦを搬送するよう要求する情報を送信する。すると基板処理装置の主制御部８２は、工場の中央制御部８１に対して、その要求の情報を転送し、その要求の情報を基づいて工場の中央制御部８１は、外部搬送装置４０の搬送制御部８４に対して、ストッカー装置２の受取棚２１に、未処理の基板Ｗを収納したフープＦを搬送するように指示する。すると、外部搬送装置４０は、未処理の基板Ｗを収納したフープＦをストッカー装置２の受取棚２１に搬送し載置する。
【００７０】
また、上述の説明では、ストッカー装置２の制御部８３から基板処理装置の主制御部８２を介して工場の中央制御部８１にフープＦ搬送の要求の情報を送信したが、ストッカー装置２の制御部８３から外部搬送装置４０の搬送制御部８４を介して工場の中央制御部８１にフープＦ搬送の要求の情報を送信するように構成してもよい。
【００７１】
また、上述の説明では、基板処理装置の主制御部８２は、ストッカー装置などを統括的に管理し、ストッカー装置２の制御部８３は、フープＦを搬送させる制御を自らが行うように制御していたが、基板処理装置の主制御部８２は、ストッカー装置２の制御部８３を直接管理し、この制御部８３を介して、フープＦを搬送させる制御を行ってもよい。
【００７２】
これにより、例えば、基板処理装置の主制御部８２は、ストッカー装置２の制御部８３から、受取棚２１が空いているとの情報を受信し、この情報に基づいて、工場の中央制御部８１にフープＦ搬送の要求の情報を送信する。
【００７３】
［ストッカー装置の動作］
次に、ストッカー装置の動作の説明を図６から図８、図２７及び図２８を参照して説明する。
【００７４】
図６は、ストッカー装置の動作説明するためのフローチャートであり、図７は、ストッカー装置内での複数のフープＦの搬送動作の説明するための図であり、また、図８、図２７及び図２８は、実施例に係るストッカー装置２の効果を説明するための図である。
【００７５】
〈フローチャートによる動作説明〉
まず、図６のフローチャートを参照して動作の説明をする。
【００７６】
このフローチャートは、１つのフープＦがストッカー装置２内の受取棚２１に載置されてから、引渡棚２２に載置されるまでの間、どのような判定がなされて搬送されるのかを示したものである。なお、ここでは図２に示す構成のストッカー装置２内の動作を示す。
【００７７】
ステップＳ１０：
外部搬送装置４０によってフープＦが受取棚２１に搬送され、載置される。
【００７８】
ステップＳ１１：
フープＦが受取棚２１に載置されると、まず、払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂが空いているかどうか（搬送できるか否か）を判定する。具体的には、オープナー１０ａ、１０ｂに設けられた図示しないセンサーが、フープFの存在の有無を検出することにより、オープナー１０ａ、１０ｂが空いているかどうかを制御部８３が判定する。空いている（搬送できる）場合は、オープナー１０ａ、１０ｂのいずれか一方にフープFが搬送される。例えば、オープナー１０ａのみが、空いている場合は、フープＦを受取棚２１からオープナー１０ａに搬送する。また、両方とも空いている場合は、オープナー１０ａを優先して置くようにしてもよい。
【００７９】
ステップＳ１２：
払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂが共に空いていない場合（他のフープが載置されていて搬送できない場合）は、次に、処理前用保管棚ＢＦＢが空いているかどうかを判定する。この判定は、上述したオープナー１０ａ、１０ｂの場合と同様に、処理前用保管棚ＢＦＢに設けられた図示しないセンサーからの検出信号に基づき、制御部８３が判定する。このような判定手法は、他のオープナー１０ｃ、１０ｅや、その他の棚２０についても同様であるので、以下ではその説明は省略する。処理前用保管棚ＢＦＢが空いている場合は、フープＦを受取棚２１から処理前用保管棚ＢＦＢに搬送する。一方、処理前用保管棚ＢＦＢが空いていない場合は、受取棚２１において処理前用保管棚ＢＦＢが空くまで待機する。
【００８０】
ステップＳ１３：
処理前用保管棚ＢＦＢが空いている場合は、搬送機構３０によって、フープＦが処理前用保管棚ＢＦＢに載置される。
【００８１】
ステップＳ１４：
処理前用保管棚ＢＦＢに載置されたフープＦは、払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂが空いているかどうかを判定する。空いている場合は、処理前用保管棚ＢＦＢからオープナー１０ａ、１０ｂのいずれか一方に搬送する。空いていない場合は、その位置（処理前用保管棚ＢＦＢ）において、オープナー１０ａ、１０ｂのいずれか一方が空くまで待機する。
【００８２】
ステップＳ２０：
オープナー１０ａ、１０ｂのいずれか一方に空が生じた場合は、搬送機構３０によって、フープＦが空いているいずれか一方のオープナー１０ａ又は１０ｂに載置される。そして、オープナー１０ａ、１０ｂによってフープＦの蓋が開けられ、順次、基板処理装置内に基板Ｗの払出が行われる。
【００８３】
ステップＳ２１：
インデクサ機構７によって、フープＦ内の基板Ｗの払出が終了した後、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが空いているかどうかを判定する。空いている場合は基板Ｗの払出しが終了したオープナー１０ａ又は１０ｂから、空きが生じているオープナー１０ｃ又は１０ｄに、空のフープＦを搬送する。例えば、オープナー１０ｃ、１０ｄの両方とも空いている場合は、オープナー１０ｃを優先して置くようにしてもよい。
【００８４】
ステップＳ２２：
回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが共に空いていない場合は、次に、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２が空いているかどうかを判定する。空いている場合は払出専用のオープナー１０ａ又は１０ｂから、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２のいずれか一方に空のフープＦを搬送する。例えば、両方とも空いている場合は、処理中用保管棚ＢＦ１を優先して置くようにしてもよい。一方、空いていない場合は、払い出しの終わったオープナー１０ａ又は１０ｂにおいて、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２のいずれか一方が空くまで待機する。
【００８５】
ステップＳ２３：
処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２に空きがある場合、搬送機構３０によって、空のフープＦが、空いている処理中用保管棚ＢＦ１又はＢＦ２に搬送される。
【００８６】
ステップＳ２４：
処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２にフープＦが載置された後、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄのいずれか一方が空いているかどうかを判定する。空いている場合は、処理中用保管棚ＢＦ１又はＢＦ２から、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄのいずれか一方に搬送される。このとき、処理中用保管棚ＢＦ１とＢＦ２ともに、載置されている場合、２つのフープの内、先に保管されたフープＦを、空いている回収専用のオープナー１０ｃ又は１０ｄに搬送する。
【００８７】
ステップＳ３０：
回収専用オープナー１０ｃ、１０ｄに空きがある場合、空のフープＦが、空いている回収専用のオープナー１０ｃ又は１０ｄに搬送される。
空のフープＦが搬送されたオープナー１０ｃ又は１０ｄでは、所定の処理が終了した基板Ｗを順次、フープＦ内に回収する。基板Ｗの回収後、オープナー１０ｃ又は１０ｄによってフープＦの蓋が閉じられる。
【００８８】
ステップＳ３１：
フープＦ内への基板Ｗの回収が終了した後、引渡棚２２が空いているかどうかを判定する。空いている場合は、基板Ｗの回収を終了したオープナー１０ｃ又は１０ｄから引渡棚２２に、処理済みの基板Ｗを収納したフープＦを搬送する。
【００８９】
ステップＳ３２：
引渡棚２２が空いていない場合は、次に、処理後用保管棚ＢＦＡが空いているかどうかを判定する。空いている場合は、回収専用のオープナー１０ｃ又は１０ｄから処理後用保管棚ＢＦＡに処理済みの基板Ｗを収納したフープＦを搬送する。一方、空いていない場合は、その位置（回収専用のオープナー１０ｃ又は１０ｄ）において、処理後用保管棚ＢＦＡが空くまで待機する。
【００９０】
ステップＳ３３：
処理後用保管棚ＢＦＡに空きが生じた場合、搬送機構３０によって、フープＦを処理後用保管棚ＢＦＡに搬送する。
【００９１】
ステップＳ３４：
処理後用保管棚ＢＦＡにフープＦを載置した後、引渡棚２２が空いているかどうかを判定する。空いている場合は、処理後用保管棚ＢＦＡから引渡棚２２に処理済みの基板Ｗを収納したフープＦを搬送する。一方、空いていない場合は、その位置（処理後用保管棚ＢＦＡ）において、引渡棚２２が空くまで待機する。
【００９２】
ステップＳ４０：
引渡棚２２に空きが生じると、搬送機構３０によって、フープＦを引渡棚２２に搬送する。そして、そのフープＦは、外部搬送装置４０によって次の装置などに搬送されるまで、その位置で待機される。
【００９３】
図６に示したフローチャートでは、１つのフープＦに着目し、そのフープＦがストッカー装置内をどのように移動していくかを説明した。しかし、実際のストッカー装置では、複数個のフープＦが順次にストッカー装置内を移動する。以下では、ストッカー装置内での複数のフープＦの搬送動作を説明する。
【００９４】
〈ストッカー装置内での複数のフープＦの搬送動作〉
次に、図７（１）〜（１１）を参照して、複数個のフープＦを順次、図６のフローチャートに基づいて動作させたときに、どのような搬送されるのかを説明をする。なお、ここで、フープＦは、外部搬送装置４０によって、搬送される順番に「フープ１、２、…」と、番号を付して記載している。
【００９５】
図７（１）において、フープ１は、外部搬送装置４０によって、受取棚２１に搬送され、載置される。
【００９６】
図７（２）において、フープ１は、払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂが空いている状態なので、受取棚２１から、優先して使用するオープナー１０ａに搬送される。フープ１が搬送された後、オープナー１０ａにセットされたフープ１内から基板Ｗを払い出す。また、フープ１が搬送された後、フープ１のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ２が搬送され、載置される。
【００９７】
図７（３）において、フープ１は基板Ｗを払い出し中である。フープ２は、払出専用のオープナー１０ｂが空いているので、受取棚２１からオープナー１０ｂに搬送される。フープ２が搬送された後、フープ１の基板Ｗの払出が終了次第、フープ２内から基板Ｗを払い出しを行う。また、フープ２が搬送された後、フープ２のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ３が搬送され、載置される。
【００９８】
図７（４）において、フープ１は基板Ｗの払出が終了したので、空のフープ１を回収専用のオープナー１０ｃ又は１０ｄに搬送させる。このとき、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが供に空いているので、払出専用のオープナー１０ａから、優先して使用する回収専用のオープナー１０ｃに空のフープ１が搬送される。空のフープ１が搬送された後、オープナー１０ｃのフープ１は、基板Ｗの処理が終了するまで待機する。フープ２は基板Ｗを払い出し中である。また、フープ１が搬送された後、フープ１のあった払出専用のオープナー１０ａには、受取棚２１上のフープ３が搬送される。フープ３が搬送された後、フープ３のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ４が搬送され、載置される。
【００９９】
図７（５）において、フープ１は、待機中である。フープ２は、払出専用のオープナー１０ｂの基板Ｗの払出が終了したので、回収専用のオープナー１０ｃ又は１０ｄに搬送される。このとき、回収専用のオープナー１０ｄが空いている状態なので、払出専用のオープナー１０ｂから回収専用のオープナー１０ｄに空のフープ２が搬送される。フープ２が搬送された後、回収専用のオープナー１０ｄのフープ２は、基板Ｗの処理が終了するまで待機する。フープ３は基板Ｗの払い出し中である。また、フープ２が搬送された後、フープ２のあった払出専用のオープナー１０ｂには、受取棚２１上のフープ４が搬送される。フープ４が搬送された後、フープ４のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ５が搬送され、載置される。
【０１００】
図７（６）において、フープ１及び２は、待機中である。フープ３は、払出専用のオープナー１０ａの基板Ｗの払出が終了したので、空のフープ３はオープナー１０ａから搬出される。このとき、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄのフープ１及び２が共に空いていない（待機中である）ので、次に、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２が空いている状態かどうかを判定する。処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２は、ともに空いている状態なので、払出専用のオープナー１０ａから、優先して使用する処理中用保管棚ＢＦ１に空のフープ３を搬送させる。フープ３が搬送された後、この処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ３は、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが空くまで、処理中用保管棚ＢＦ１で待機する。フープ４は基板Ｗの払い出し中である。また、フープ３が搬送された後、フープ３のあった払出専用のオープナー１０ａには、受取棚２１上のフープ５が搬送される。フープ５が搬送された後、フープ５のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ６が搬送され、載置される。
【０１０１】
図７（７）において、フープ１は、処理済みの基板Ｗを順次、回収する。フープ２及び３は待機中である。フープ４は、払出専用のオープナー１０ｂの基板Ｗの払出が終了したので、空になったフープ４は払出専用のオープナー１０ｂから搬送される。このとき、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄがともに空いていないので、空いている状態の処理中用保管棚ＢＦ２に空のフープ４を搬送させる。フープ４が搬送された後、この処理中用保管棚ＢＦ２上のフープ４は、先に保管された処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ３が出た後であって、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが空くまで、処理中用保管棚ＢＦ２上で待機する。フープ５は基板Ｗの払い出し中である。また、フープ４が搬送された後、フープ４のあった払出専用のオープナー１０ｂには、受取棚２１上のフープ６が搬送される。フープ６が搬送された後、フープ６のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ７が搬送され、載置される。
【０１０２】
図７（８）において、基板Ｗの回収が終了したフープ１は、引渡棚２２が空いている状態なので、引渡棚２２に搬送される。フープ２は、処理済みの基板Ｗを順次、回収中である。フープ１が搬送された後、フープ１のあった回収専用のオープナー１０ｃに、処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ３が搬送される。フープ４は待機中である。フープ３が搬送された後、フープ３のあった処理中用保管棚ＢＦ１には、基板Ｗの払出が終了した空のフープ５が搬送される。フープ５が搬送された後、この処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ５は、先に保管された処理中用保管棚ＢＦ２上のフープ４が出た後であって、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが空くまで、その位置で待機する。フープ６は基板Ｗの払い出し中である。また、フープ５が搬送された後、フープ５のあった払出専用のオープナー１０ａには、受取棚２１上のフープ７が搬送される。フープ７が搬送された後、フープ７のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ８が搬送され、載置される。
【０１０３】
図７（９）において、フープ１は、外部搬送装置４０によって、次の装置などに搬送される。フープ１が搬送された後、フープ１のあった引渡棚２２には、回収専用のオープナー１０ｄ上のフープ２が搬送される。フープ２が搬送された後、フープ２のあった回収専用のオープナー１０ｄに、処理中用保管棚ＢＦ２上のフープ４が搬送される。フープ５は待機中である。フープ４が搬送された後、フープ４のあった処理中用保管棚ＢＦ２には、基板Ｗの払出が終了した空のフープ６が搬送される。フープ６が搬送された後、この処理中用保管棚ＢＦ２上のフープ６は、先に保管された処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ５が出た後であって、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが空くまで、処理中用保管棚ＢＦ２上で待機する。フープ７は基板Ｗの払い出し中である。また、フープ６が搬送した後、フープ６のあった払出専用のオープナー１０ｂには、受取棚２１上のフープ８が搬送される。フープ８が搬送された後、フープ８のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ９が搬送され、載置される。
【０１０４】
なお、この後、同じタイミングで連続して搬送する場合は、（８）と（９）で説明した動作が繰り返し行われる。
【０１０５】
図７（１０）において、仮に、外部搬送装置４０にトラブルが起こり、それにより外部搬送装置４０が引渡棚２２に載置されたフープを搬送できない場合、フープ２は引渡棚２２上で待機する。基板Ｗの回収が終了したフープ３は、引渡棚２２が空いていないので、空いている状態の処理後用保管棚ＢＦＡ上に搬送される。フープ４は、処理済みの基板Ｗを順次、回収中である。フープ３が搬送された後、フープ３のあった回収専用のオープナー１０ｃには、処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ５が搬送される。フープ６は待機中である。フープ５が搬送された後、フープ５のあった処理中用保管棚ＢＦ１には、基板Ｗの払出が終了した空のフープ７が搬送される。フープ７が搬送された後、処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ７は、先に処理中用保管棚ＢＦ２に保管されたフープ６が出た後であって、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄが空くまで、その位置で待機する。フープ８は基板Ｗの払い出し中である。また、フープ７が搬送された後、フープ７のあった払出専用のオープナー１０ａには、受取棚２１上のフープ９が搬送される。フープ９が搬送された後、フープ９のあった受取棚２１には、外部搬送装置４０によって、フープ１０が搬送され、載置される。
【０１０６】
ここで、処理後用保管棚ＢＦＡを備えていることで、上述のように、仮に、外部搬送装置４０にトラブルが起こり、外部搬送装置４０の引渡棚２２に載置されたフープＦを搬送できない場合でも、処理を中断することなく、そのまま装置を稼働することができる。
【０１０７】
この場合、このままのタイミングで搬送すると、処理後用処理棚ＢＦＡがつまった状態のまま、搬送されていくが、引渡棚２２から外部搬送装置４０へのフープＦの搬送のタイミングを早くすることにより、処理後用処理棚ＢＦＡを使用していない状態に戻すことができる。
【０１０８】
図７（１１）において、引き続き、外部搬送装置４０がトラブルで引渡棚２２にあるフープ２が搬送できない場合、処理後用保管棚ＢＦＡ上にあるフープ３は、引渡棚２２が空いていないので、処理後用保管棚ＢＦＡ上で待機する。基板Ｗの回収が終了したフープ４は、引渡棚２２及び処理後用保管棚ＢＦＡともに空いていないので、回収専用のオープナー１０ｄ上で待機する。フープ５は、基板Ｗの処理が順次終了し、回収中である。フープ６及び７は待機中である。基板Ｗの払出が終了した空のフープ８は、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄ及び処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２すべて空いていないので、払出専用のオープナー１０ｂ上で待機する。フープ９は基板Ｗの払い出し中である。受取棚２１上のフープ１０は、払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂが空いていないので、空いている処理前用保管棚ＢＦＢ上に搬送される。フープ１０が搬送された後、フープ１０のあった受取棚２１上には、他の外部搬送装置４０によって、フープ１１が搬送され、載置される。
【０１０９】
ここで、処理前用保管棚ＢＦＢを備えていることで、払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂに搬送できない場合でも、受取棚２１のフープFを処理前用保管棚ＢＦＢ上に搬送することができる。これにより、外部搬送装置４０が前の装置からフープを搬送している途中であった場合でも、その搬送を中断することなくフープＦを受取棚２１に搬送することできる。
【０１１０】
以上のように、図２に示すような、払出専用のオープナー１０ａ、１０ｂ及び回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄと、フープＦを載置させる棚２０とを備えたストッカー装置２内を、図６に示すフローチャートに基づき、個々のフープＦが搬送先のオープナー１０又は棚２０が空いている否かを判定して、順次に搬送される。また、このフローチャートに基づき、図７（１）〜（１１）に示すように、複数のフープＦが並行動作する。これにより、以下に説明するように、フープＦの搬送効率が高められ、その結果として基板の払出及び回収を効率よく行うことができる。
【０１１１】
〈実施例に係るストッカー装置２の効果の説明〉
以下では、実施例に係るストッカー装置２の効果を、ストッカー装置２を備えていない従来装置と比較して説明する。
【０１１２】
図８は、４つのオープナー１０ａ〜１０ｄと２つの処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２を備えた実施例に係るストッカー装置２の動作を示す動作図であり、図２７は、４つのオープナー１０１ａ〜１０１ｄを備えた従来装置（以下、第１従来装置という）の動作を示す動作図であり、また、図２８は、６つのオープナー１０１ａ〜１０１ｆを備えた従来装置（以下、第２従来装置という）の動作を示す動作図である。
【０１１３】
ここでは、実施例に係る基板処理装置と、第１及び第２従来装置にそれぞれ１２個のフープ（１フープあたり２５枚の基板Ｗを収納する）を処理させた場合の動作を説明する。後述する説明から明らかになるように、実施例に係る４つのオープナー１０ａ〜１０ｄと２つの処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２を備えた実施例に係る基板処理装置は、６つのオープナー１０１ａ〜１０１ｆを備えた第２従来装置と同様のフープ搬送効率を得ることができる。以下、実施例装置、第１従来装置、第２従来装置の順に、フープ搬送動作を説明する。
【０１１４】
なお、図８、図２７、及び図２８の動作図において、縦軸は各オープナー１０、１０１、又は、各処理中用保管棚ＢＦを示し、横軸は、タイムステップを示す。このタイムステップの間隔は、実時間とは関係ないものとする。
【０１１５】
｛４台のオープナー１０１ａ〜１０１ｄを備えた第１従来装置の動作｝
図２７を参照する。図２７において、「ｌｄｎ」はフープＦをオープナー１０１に載置する動作を意味する。「ｓｎｄ」は、フープＦからの基板Ｗの払出動作を意味する。「ｒｔｎ」は、フープＦへの基板の回収動作を意味する。「ｕｌｆ」はフープＦを装置から搬出する動作を意味する。「ｗｔ」は、待機状態（非動作状態）を意味する。なお、例えば「ｌｄｎ１」内の数字「１」は、搬送対象であるフープの番号を示し、この場合は、１個目のフープの動作を示している。また、例えば、１２個目のフープＦがオープナー１０１に載置する動作の場合は、「ｌｄｎ１２」と表現する。この動作の説明では、１２個のフープを流したときを例にとって説明する。
【０１１６】
先ず、フープ１が基板処理装置に搬入された後、基板の払出・回収が行われ、そのフープがその装置から搬出されるまでの工程を、ステップ２〜１２のオープナー１０１ａにおいての動作を例にとって、説明する。
【０１１７】
ステップ２において、外部搬送装置４０によって、フープ１がオープナー１０１ａに載置される（ｌｄｎ１）。次に、ステップ３、４において、基板Ｗの基板処理装置本体１への払出（ｓｎｄ）が行われる。払い出された基板Ｗは、順次、基板処理装置内の各処理部によって、所定の処理が施される。ステップ５〜９では、順次、基板Ｗの処理が施されている最中なので、搬送等の動作は行われない状態である待機状態が維持される（ｗｔ）。また、この間、基板Ｗが払出された空のフープ１は、その位置で待機する。ステップ１０，１１において、処理が終了した基板Ｗを順次、元のフープ１内に回収する（ｒｔｎ）。ステップ１２において、処理済みの基板Ｗの回収が終了したフープ１は、外部搬送装置４０によって、次の装置に搬送される（ｕｌｆ１）。
【０１１８】
以上が１フープの１処理工程である。
【０１１９】
フープＦの処理は、オープナー１０１ａが終了した後、オープナー１０１ｂ、オープナー１０１ｃ、オープナー１０１ｄの順番で行われ、オープナー１０１ｄが終了した後、再び、オープナー１０１ａのフープの基板Ｗ処理が行われる。
【０１２０】
フープＦ内の基板Ｗの払出動作は、例えば、オープナー１０１ａに載置されたフープ１内の基板Ｗが払い出された後（ステップ４）、準備が整い次第、引き続き、オープナー１０１ｂに載置されたフープ２の基板Ｗの払出が行われる（ステップ５）。
【０１２１】
また同様に、フープＦ内への基板Ｗの回収動作は、例えば、オープナー１０１ａに載置されたフープ１内への基板Ｗが回収された後（ステップ１１）、準備が整い次第、引き続き、オープナー１０１ｂに載置されたフープ２内への基板Ｗの回収が行われる（ステップ１２）。
【０１２２】
図２７に示す動作図によると、１２個のフープＦの処理は、ステップ４０において、外部搬送装置４０によって、フープＦが搬出されることで終了する。
【０１２３】
｛６台のオープナー１０１ａ〜１０１ｆを備えた第２従来装置の動作｝
図２８を参照する。図２８中の各記号や数字の意味は、図２７の場合と同様である。なお、１フープの１処理工程の動作は、上述した通りである。
【０１２４】
フープの処理は、オープナー１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ、１０１ｅ、及び、１０１ｆの順番で行われ、オープナー１０１ｆが終了した後、再び、オープナー１０１ａのフープの処理が行われる。
【０１２５】
基板Ｗの払出の動作は、上述した通り、払出が終了後、次の順番のオープナー１０１に載置されているフープＦの準備が整い次第、そのフープＦ内の基板Ｗの払出が行われ、また、回収が終了後、次の順番のオープナー１０１に載置されているフープＦの準備が整い次第、そのフープ内に基板Ｗの回収が行われる。
【０１２６】
図２８に示す動作図によると、１２個分のフープＦの処理は、ステップ３４において、外部搬送装置４０によって、フープＦが搬送されることで終了する。
【０１２７】
図２７に示したように４台のオープナー１０１ａ〜１０１ｄを備えた第１従来装置の場合では、ステップ４０で１２個分のフープの処理が終了しているのに対し、図２８に示した６台のオープナー１０１ａ〜１０１ｆを備えた第２従来装置の場合では、ステップ３４で終了している。このように第２従来装置は、第１従来装置に比べてフープの搬送効率が高い。これは、図２８に示したように、各オープナーに載置されたフープ内から基板Ｗが払い出されるときに、ステップ１４、１５において、オープナー１０１ｆに載置されたフープ内の基板Ｗが全て払い出された後、引き続き、オープナー１０１ａのフープ内から払い出されるからである。また、回収も同様に引き続き行われる。すなわち、第２従来装置では、基板Ｗの払出及び回収が連続して行われている。
【０１２８】
これに対し、図２７に示した第１従来装置では、ステップ１０〜１４において、オープナー１０１ｄに載置されたフープ内からの基板Ｗの払出が終了したとき、次のオープナー１０１ａは、まだ、処理が終了した基板Ｗを順次、回収している最中である（ステップ１１）。すなわち、オープナー１０１ａのフープ１内に処理済みの基板Ｗを回収後、外部搬送装置４０によって、フープ１が次の装置などに搬送され、また、未処理の基板Ｗの収納されたフープ５が搬送され、準備が整った後でなければ、基板Ｗの払出動作に移行できない。なお、ステップ２１〜２５においても同様である。
【０１２９】
また、図２７に示した第１従来装置では、ステップ１７〜２１において、オープナー１０１ｄに載置されたフープ内への基板Ｗの回収が終了したとき、次のオープナー１０１ａは、まだ、払出した基板Ｗが処理中である（ステップ１８）。すなわち、オープナー１０１ａ内から払出した基板Ｗの処理が終了した後でなければ、基板Ｗの回収動作に移行できない。なお、ステップ２８〜３２においても同様である。
【０１３０】
つまり、４台のオープナーを備えた第１従来装置では、基板Ｗの払出及び回収が連続して行われないので、６台のオープナーを備えた第２従来装置に比べ、フープの搬送効率が悪いので処理を終えるのに時間がかかってしまう。
【０１３１】
｛本実施例のストッカー装置２を備えた基板処理装置における動作｝
図８は、本実施例のストッカー装置２を備えた（４台のオープナー１０ａ〜１０ｄと２つの処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２）基板処理装置における動作図である。なお、オープナー１０ａ、１０ｂは、未処理の基板Ｗを払い出す払出専用のオープナーとして、また、オープナー１０ｃ、１０ｄは、処理済みの基板Ｗを回収する回収専用のオープナーとして用いる。
【０１３２】
また、図８中の記号と数字の意味は、図２７の場合と同様であるが、図８において、追加で使用される記号の意味を説明する。「ｕｌｄ」は、基板Ｗを払出したフープＦを払出専用のオープナー１０から別の位置へ搬送する動作を意味する。「ｌｄｕ」は、空のフープＦを別の位置から回収専用のオープナー１０に搬送する動作を意味する。「ｐｕｓｈ」は、空のフープＦを払出専用のオープナー１０から処理中用保管棚ＢＦに搬送する動作を意味する。「ｐｏｐ」は、空のフープＦを処理中用保管棚ＢＦ上から回収専用のオープナー１０に搬送する動作を意味する。
【０１３３】
１フープの１処理工程を、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２を介しない場合と、介する場合と、順番に説明する。
【０１３４】
先ず、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２を介さないで動作させる場合を、「フープ１」を例に、１フープの１処理工程を説明する。
【０１３５】
ステップ２において、外部搬送装置４０によって、受取棚２１上に搬送されたフープ１は、オープナー１０ａに搬送される（ｌｄｎ１）。ステップ３、４において、基板Ｗの払出（ｓｎｄ）が行われる。なお、払い出された基板Ｗは、順次、基板処理装置内の各処理部によって、所定の処理が施される。ステップ５において、基板Ｗの払出が終了した空のフープ１を別の位置に搬送させる。このとき、回収専用のオープナー１０ｃ、１０ｄがともに空いているので、オープナー１０ｃに空のフープ１を搬送させる（オープナー１０ａのｕｌｄ１、オープナー１０ｃのｌｄｕ１）。また、ステップ６〜９では、基板Ｗの処理が施されている最中であり、搬送等の動作は行われない待機状態（ｗｔ）である。ステップ１０，１１において、処理が終了した基板Ｗを順次、オープナー１０ｃに搬送したフープ１内に回収する（ｒｔｎ）。ステップ１２において、処理済みの基板Ｗの回収が終了したフープ１を、オープナー１０ｃから引渡棚２２に搬送され、引渡棚２２に搬送されたフープ１は、外部搬送装置４０によって、次の装置などに搬送される（オープナー１０ｃのｕｌｆ１）。
【０１３６】
次に、処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２を介して動作させる場合を、「フープ５」を例に、１フープの１処理工程の説明をする。
【０１３７】
ステップ１０において、外部搬送装置４０によって、受取棚２１上に搬送されたフープ５は、オープナー１０ａに載置される（ｌｄｎ５）。ステップ１１、１２において、基板Ｗの払出（ｓｎｄ）が行われる。なお、払い出された基板Ｗは、順次、基板処理装置内の各処理部によって、所定の処理が施される。ステップ１３において、基板Ｗの払出が終了した空のフープ５を別の位置に搬送させる。このとき、オープナー１０ｃには、処理中用保管棚ＢＦ１上のフープ３が搬送され、オープナー１０ｄではフープ２内へ処理済みの基板Ｗを順次、回収中であり、オープナー１０ｃ、１０ｄがともに空いていない状態である。そのため、オープナー１０ｃに搬送したフープ３があった処理中用保管棚ＢＦ１が空きの状態なので、フープ５を搬送させる（オープナー１０ａのｕｌｄ５、処理中用保管棚ＢＦ１のｐｕｓｈ５）。処理中用保管棚ＢＦ１は、ステップ１４〜１６において、搬送等の動作は行われない待機状態（ｗｔ）である。ステップ１７において、オープナー１０ｃ上にあったフープ３が引渡棚２２に搬送して、オープナー１０ｃは、空きの状態である。このとき、フープ５は、処理中用保管棚ＢＦ２上のフープ６よりも先に保管されている。そのため、優先してオープナー１０ｃに搬送される（処理中用保管棚ＢＦ１のｐｏｐ５、オープナー１０ｃのｌｄｕ５）。ちなみに、フープ５のあった処理中用保管棚ＢＦ１には、フープ７が搬送される。オープナー１０ｃは、ステップ１８，１９において、処理が終了した基板Ｗを順次、フープ５内に回収する（ｒｔｎ）。ステップ２０において、処理済みの基板Ｗの回収が終了したフープ５を、オープナー１０ｃから引渡棚２２に搬送され、引渡棚２２に搬送されたフープ５は、外部搬送装置４０によって、次の装置などに搬送される（オープナー１０ｃのステップ２０のｕｌｆ５）。
【０１３８】
基板Ｗの払出は、オープナー１０ａ、オープナー１０ｂ、１０ａ、１０ｂ、１０ａ、…、と交互に行われ、基板Ｗの回収は、オープナー１０ｃ、オープナー１０ｄ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｃ、…、と同様に、交互に行われる。
【０１３９】
図８に示す動作図によると、フープＦ１２個分の処理は、ステップ３４において、外部搬送装置４０によって、フープＦが搬送されることで終了する。これは、上述した図２８に示した６台のオープナー１０１を備えた第２従来装置と同じステップ数で終了している。これは、共に基板Ｗの払出が連続で行われているからである。
【０１４０】
また、本実施例のストッカー装置２を備えた基板処理装置と６台のオープナー１０１ａ〜１０１ｆを備えた第２従来装置は、図８及び図２８の、例えば、ステップ１２に示すように、１つのフープＦから未処理の基板Ｗが払出され、他の１つのフープＦには処理済みの基板Ｗが回収され、他の２つの基板Ｗが払出され空になったフープＦが待機され、他の１つの未処理基板Ｗが収納されたフープＦがオープナー１０又は１０１に載置され、そして、他の１つの基板処理が終了したフープＦは次の装置などに搬送される。つまり、それぞれ構成は異なっているが、同じ動作が行われていることを表す。
【０１４１】
つまり、本実施例のストッカー装置２を備えた基板処理装置は、６台のオープナー１０１を備えた第２従来装置と同等のフープ搬送効率を持つことができ、連続して基板Ｗを払出及び回収をすることができる。
【０１４２】
また、本実施例のストッカー装置２を備えた基板処理装置と第２従来装置を比べると、本実施例装置は４台のオープナーを並設させた幅寸法であるのに対して、第２従来装置は、６台のオープナーを並設させた幅寸法である。すなわち、本実施例装置は、同じフープ搬送効率を有する第２従来装置に比べて、装置の幅（Ｘ軸）方向の寸法を抑えることができ、装置の大型化、つまり工場等に設置する際の設置面積を抑えることができる。
【０１４３】
なお、本実施例装置は、従来装置がオープナー１０１をさらに追加して、７台、８台と増やした場合の効果を、処理中用保管棚ＢＦを追加することで容易に得ることができる。
【０１４４】
［変形例］
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。なお、上述した実施例と重複する部分の説明は省略する。
【０１４５】
（１）把持部相互の干渉を防止するインターロック機構７０：
ストッカー装置２は、フープＦの受渡しを行う受取棚２１及び引渡棚２２（以下、特に区別しないときは、「受渡し位置」と記載する。）に、外部搬送装置４０の把持部４２と搬送機構３０の把持部３１とが、同時に、受渡し位置に入ることによって起こる干渉を防止するためのインターロック機構７０を備えてもよい。なお、後述するインターロック機構７０Ａ〜Ｅを、特に区別しないときは、「インターロック機構７０」と記載する。
【０１４６】
図９は、インターロック機構７０の１つの構成例であるインターロック機構７０Ａを示し、図１０は、インターロック機構７０Ａの別の構成例であるインターロック機構７０Ｂを示す。
【０１４７】
図１１は、インターロック機構７０Ａ及び７０Ｂとは別の構成例であるインターロック機構７０Ｃを示し、図１２は、インターロック機構７０Ｃの別の構成例であるインターロック機構７０Ｄを示し、また、図１３は、インターロック機構７０Ｃのさらに別の構成例であるインターロック機構７０Ｅを示す。
【０１４８】
図９のインターロック機構７０Ａから順番に説明する。
【０１４９】
〈インターロック機構７０Ａ〉
図９は、スライド式のインターロック機構７０Ａを示し、（ａ）はその側面図、（ｂ）は正面図である。
【０１５０】
インターロック機構７０Ａは、スライドして横方向に開閉するスライド扉７１ａと、このスライド扉７１ａを開閉するスライド扉開閉機構７２ａと、スライド扉７１ａの開閉を検出するセンサー７３ａとを備える。また、本変形例のインターロック機構７０Ａは、受取棚２１及び引渡棚２２の各々の側方、すなわち、搬送機構３０の把持部３１がフープＦの受渡しのために受取棚２１及び引渡棚２２へ侵入する各経路を遮断するように設けられる。
【０１５１】
ストッカー装置２の制御部８３は、扉開閉機構７２ａを駆動させて扉７１ａの開閉を行い、センサー７３ａにより検出された信号を受け取るようになっており、以下に説明するインターロック機構７０Ａの動作を制御する。
【０１５２】
通常は、搬送機構３０が受渡し位置にアクセスできるように、スライド扉７１ａは開いている状態である。ストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ａより検出された信号に基づいて判別し、外部搬送装置４０がストッカー装置２にアクセスしても良いのか（アクセス許可）、悪いのか（アクセス禁止）という情報（以下、アクセス可否情報。この場合、搬送機構３０がアクセスできるようにスライド扉７１ａは開いており、外部搬送装置４０のアクセスは禁止する必要があるので、「アクセス禁止」の情報）を基板処理装置の主制御部８２を介して工場の中央制御部８１に送信する。工場の中央制御部８１は、アクセス可否情報（アクセス禁止）に基づいて、外部搬送装置４０の搬送制御部８４に指示（アクセス禁止）する。
【０１５３】
外部搬送装置４０が受渡し位置にアクセスする場合、外部搬送装置４０の搬送制御部８４は、工場の中央制御部８１に、ストッカー装置２の受渡し位置にアクセスの要求する情報（以下、アクセス要求情報）を送信する。その情報を工場の中央制御部８１は、基板処理装置の主制御部８２を経て、ストッカー装置２の制御部８３に送信する。アクセス要求情報を受けたストッカー装置２の制御部８３は、スライド扉７１ａを閉じて、搬送機構３０の受渡し位置へのアクセスを禁止する。そして、ストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ａより検出された信号に基づいて、スライド扉７１ａが閉じていることを確認し、アクセス可否情報（「アクセス許可」の情報）を上述した経路で送信し、工場の中央制御部８１から指示を受けた外部搬送装置４０の搬送制御部８４は、受渡し位置にアクセスする。
【０１５４】
また、受渡し動作の終了後、外部搬送装置４０の搬送制御部８４は、ストッカー装置２の受け渡し位置にアクセスの要求を解除する情報（以下、アクセス要求解除情報）を上述した経路で送信する。アクセス要求解除情報を受け取ったストッカー装置２の制御部８３は、スライド扉７１ａを開く。そして再び、センサー７３ａの信号に基づいて、アクセス禁止のアクセス可否情報を送信する。
【０１５５】
なお、ストッカー装置２の制御部８３は、アクセス要求情報を受け取った時に、搬送機構３０が、ストッカー装置２の制御部８３の指示を受けて、受渡し位置と他の位置との間でフープＦの搬送の動作中であるときは、その動作が終了するまで待機する。その後、ストッカー装置２の制御部８３は、スライド扉７１ａを閉じる。
【０１５６】
また、ストッカー装置２の制御部８３は、外部搬送装置４０の搬送制御部８４を介して、工場全体の生産を管理している工場の中央制御部８１に、アクセス可否情報又はアクセス要求情報若しくはアクセス要求解除情報を送信してもよい。
【０１５７】
〈インターロック機構７０Ｂ〉
図１０は、回転開閉式の別のインターロック機構７０Ｂを示し、（ａ）はその側面図、（ｂ）は正面図である。
【０１５８】
インターロック機構７０Ｂは、基端部が回転自在に支持されて揺動することで開閉する揺動扉７１ｂと、この揺動扉７１ｂを開閉する揺動扉開閉機構７２ｂと、揺動扉７１ｂの開閉を検出するセンサー７３ｂとを備える。
【０１５９】
ストッカー装置２の制御部８３は、揺動扉開閉機構７２ｂを駆動させて揺動扉７１ｂの開閉を行い、センサー７３ｂにより検出された信号を受け取るようになっており、インターロック機構７０Ｂの動作の制御は、インターロック機構７０Ａと同様である。
【０１６０】
〈インターロック機構７０Ｃ〉
図１１は、インターロック機構７０Ａ及び７０Ｂとは別の構成例であるインターロック機構７０Ｃを示し、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその正面図である。
【０１６１】
インターロック機構７０Ｃは、受渡し位置の領域の側方に、搬送機構３０の把持部３１による横方向からの侵入を検出するセンサー７３ｃを備えている。
【０１６２】
ストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ｃが侵入を検出した場合、すなわち、搬送機構３０の把持部３１が受渡し位置にある場合は、外部搬送装置４０のストッカー装置２の受渡し位置へのアクセスを禁止し、一方、センサー７３ｃが侵入を検出しない場合、すなわち、搬送機構３０の把持部３１が受渡し位置にない場合は、外部搬送装置４０のストッカー装置２の受渡し位置へアクセスを許可する。
【０１６３】
外部搬送装置４０が受渡し位置にアクセスする場合、外部搬送装置４０の搬送制御部８４は、工場の中央制御部８１に、アクセス要求情報を送信する。その情報を工場の中央制御部８１は、基板処理装置の主制御部８２を経て、ストッカー装置２の制御部８３に送信する。アクセス要求情報を受けたストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ｃの検出された信号に基づいて判別したアクセス可否情報を基板処理装置の主制御部８２を経て、工場の中央制御部８１に送信し、工場の中央制御部８１は、アクセス可否情報に基づく指示を外部搬送装置４０の搬送制御部８４に与えることで、外部搬送装置４０は、受渡し位置にアクセスをする。
【０１６４】
〈インターロック機構７０Ｄ〉
図１２は、インターロック機構７０Ｃの別の構成例であるインターロック機構７０Ｄを示し、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその正面図である。
【０１６５】
インターロック機構７０Ｄは、受渡し位置の上方に、外部搬送装置４０の把持部４１による上方向からの侵入を検出するセンサー７３ｄを備えている。
【０１６６】
ストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ｄが侵入を検出した場合、すなわち、外部搬送装置４０の把持部４１が受渡し位置にある場合は、搬送機構３０の把持部３１の受渡し位置へのアクセスを禁止する。
【０１６７】
〈インターロック機構７０Ｅ〉
図１３は、インターロック機構７０Ｃのさらに別の構成例であるインターロック機構７０Ｅを示す。
【０１６８】
インターロック機構７０Ｅは、搬送機構３０の高さ（Ｚ軸）方向の移動を行う第２移動機構３５に、座標を監視するセンサー７３ｅを備えている。
【０１６９】
このセンサー７３ｅは、搬送機構３０の第１移動機構３４が受渡し位置の高さにあることを検出するように配設されており、ストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ｅが検出した場合、すなわち、搬送機構３０の第１移動機構３４の高さ（Ｚ軸）方向の位置が、受渡し位置にアクセスする高さである場合は、外部搬送装置４０のストッカー装置２の受渡し位置へのアクセスを禁止する。一方、ストッカー装置２の制御部８３は、センサー７３ｅが検出しない場合、すなわち、搬送機構３０の第１移動機構３４の高さ（Ｚ軸）方向の位置が、受渡し位置にアクセスする高さでない場合は、外部搬送装置４０のストッカー装置２の受渡し位置へのアクセスを許可する。
【０１７０】
なお、外部搬送装置４０が受渡し位置にアクセスする場合の情報の送受信は、インターロック機構７０Ｃの説明と同様である。
【０１７１】
（２）フープＦを搬送機構３０の水平搬送経路（第１移動機構３４）の真上にあたる位置に支持して搬送する搬送機構３０を備えたストッカー装置２：
上述した実施例では、図１〜図３に示すように、ストッカー装置２は、搬送機構３０によるフープＦの移動を、搬送機構３０と各棚との間にフープＦを通すことができる空間ＳＰ１を設けることにより、ＸＺ平面方向に自在に移動することができるものであった。その反面、空間ＳＰ１を設けることによりストッカー装置２の長さ（Ｙ軸方向の長さ）が長くなる。これに対して、図１４に示すように、搬送機構３０は、フープＦを引き寄せてから回転して、搬送機構３０の第１移動機構３４の真上にあたる位置に支持させてから、ＸＺ平面上を移動してフープを搬送するよう構成すれば、上記の空間ＳＰ１を設ける必要がない。したがって、ストッカー装置２（基板処理装置）の長さ（Ｙ軸）方向の寸法が抑えることができ、装置の大型化を抑えることができる。
【０１７２】
（３）搬送機構３０を挟んでオープナー１０と対向する位置にロードポート１２を備えたストッカー装置２：
上述した実施例では、ストッカー装置２は、外部搬送装置４０によるフープＦの受渡しを、受取棚２１又は引渡棚２２において行っていたが、図１５に示すように、搬送機構３０を挟んでオープナー１０と対向する位置にフープを載置するロードポート１２を配設し、このロードポート１２において、外部搬送装置４０及び人（作業者）によるフープＦの受渡しを行ってもよい。
【０１７３】
図１５は、ストッカー装置２の側面から見た縦断面図であり、図１６は、（ａ）は、図１５のＧ‐Ｇ断面図であり、（ｂ）は、ロードポート１２を示した正面図である。また、図１７は、図１５のＨ‐Ｈ断面図である。
【０１７４】
フープＦを載置するロードポート１２には、所定の位置にフープＦを載置するための４つのロードポート載置台１３ａ〜１３ｄが備えられている（以下、ロードポート載置台１３ａ〜１３ｄを特に区別しない場合は、ロードポート載置台１３と記載する）。このロードポート載置台１３は、未処理の基板Ｗを収納したフープＦが載置される受取用のロードポート載置台１３ａ、１３ｂと、処理済みの基板Ｗを収納したフープＦが載置される引渡用のロードポート載置台１３ｃ、１３ｄとで区別されて用いられる。
【０１７５】
なお、上述の説明では、４つのロードポート載置台１３を備えたロードポート１２についてのものであったが、２つのロードポート載置台１３であってもよいし、３つの載置台１３であってもよい。
【０１７６】
また、上述の説明では、ロードポート１２の４つのロードポート載置台１３の内、２つを受取用のロードポート載置台１３と、２つを引渡用のロードポート載置台１３と区別して用いたものであったが、３つの受取用のロードポート載置台１３、１つの引渡用のロードポート載置台１３として、また１つの受取用のロードポート載置台１３、３つの引渡用のロードポート載置台１３として区別して用いてもよい。
【０１７７】
なお、本変形例において、ロードポート１２を新たに備えたことにより、上述した実施例（図２）で受取棚２１又は引渡棚２２として用いていた棚２０は、未処理の基板Ｗを収納したフープＦを保管する処理前用保管棚ＢＦＢとして、空のフープＦを保管する処理中用保管棚ＢＦとして、又は、処理済みの基板Ｗを収納したフープＦを保管する処理後用保管棚ＢＦＡとして適宜に用いてもよい。
【０１７８】
搬送機構３０の把持部３１は、ロードポート１２のロードポート載置台１３に載置されたフープＦを把持し、各オープナー１０又は各棚２０に搬送する。このとき、搬送機構３０は、フープを引き寄せてから回転し、搬送機構３０の第１移動機構３４の真上にあたる位置に支持させてから、この状態でＸＺ平面上を移動してフープを搬送する。
【０１７９】
（４）左右水平に開閉する開閉機構を備えた棚５０を備えたストッカー装置２：
上述した実施例では、図１〜図３に示すように、ストッカー装置２は、搬送機構３０により、フープＦを搬送機構３０とオープナー１０及び棚２０との間にある空間ＳＰ１を通すことで、ＸＺ平面方向に自在に移動することができるものであったが、図１８〜図２０に示すように、左右水平に開閉する機構を備えた棚５０を設けることで、棚５０が閉じているときはフープＦを載置して、一方、開いているときは、その位置でフープを高さ（Ｚ軸）方向に移動するようにし、また、空間ＳＰ２を設けることによりフープＦを幅（Ｘ軸）方向に移動させることで、ＸＺ平面に移動できるものであってもよい。
【０１８０】
図１８は、ストッカー装置の側面から見た縦断面図である。また、図１９は図１８のＣ‐Ｃ断面図であり、図２０は図１８のＤ‐Ｄ断面図である。
【０１８１】
棚５０は、図２１に示すように、フープＦを載置するための一対の棚本体５１ａ、５１ｂと、この棚本体５１ａ、５１ｂを左右水平方向に開閉する棚開閉機構５２とを備え、棚開閉機構５２は、棚本体５１ａ、５１ｂを連結して支持する一対のレール部材５２ａ、５２ｂと棚本体５１ａ、５１ｂと連結して開閉動作を行う一対の電動モーター５４ａ、５４ｂとを備える。
【０１８２】
棚本体５１ａ、５１ｂは、支持レール５３ａ、５３ｂ上を自在に移動するようになっており、電動モーター５４ａ、５４ｂにより棚本体５１ａ、５１ｂを開閉するようになっている。
【０１８３】
図２２は、図２１に示した左右水平に開閉する棚５０の正面図であり、（ａ）は、閉まっている状態の棚５０を示し、（ｂ）は、開いている状態の棚５０を示す。図２２（ａ）に示すように、閉まっている状態では、２点鎖線で示すように、フープＦを棚５０の棚本体５１ａ、５１ｂ上に載置することができる。また、図２２（ｂ）に示すように、開いている状態では、２点鎖線で示すように、フープＦは棚５０の棚本体５１ａ、５１ｂの間を上下に移動することができる。
【０１８４】
なお、棚本体５１ａ、５１ｂのフープＦを載置する部分が、棚本体５１ａ、５１ｂの支持レール５３ａ、５３ｂと連結する部分よりも外側に位置している。それにより、幅方向の寸法を抑えることができる。
【０１８５】
これにより、搬送機構３０の把持部３１は、搬送する対象のフープＦを把持した後、そのフープＦの載置されていた棚５０を棚開閉機構５２により開くことで、その載置していた位置で高さ（Ｚ軸）方向にフープＦを移動させることができる。したがって、上述した実施例のフープＦを通す空間ＳＰ１（図１）を設けなくてもよいので、長さ（Ｙ軸）方向の寸法を抑えることができる。装置の大型化を抑えることができる。
【０１８６】
（５）横方向に並ぶ２つの棚２０間に高さ（Ｚ軸）方向にフープＦを移動することができる空間ＳＰ３ａを備えた構成のストッカー装置２：
図１の実施例装置が備えるフープ移動用の空間ＳＰ１を省いて、装置の長さを短くすることができる別の実施例を説明する。
【０１８７】
図２３及び図２４を参照する。図２３は、ストッカー装置２の正面から見た断面図である。図２４は、ストッカー装置２の搬送機構領域の横断面図である（なお、ストッカー装置２の側面から見た縦断面図は、図１８と同様である）。
【０１８８】
図２３及び図２４示した例では、横方向に並ぶ２つの棚２０間に高さ（Ｚ軸）方向にフープＦを移動することができる空間ＳＰ３ａがある。また、棚２０とオープナー１０との間に幅（Ｘ軸）方向にフープＦを移動できる空間ＳＰ３ｂがある。フープＦを上下方向に移動させる場合は、例えば受取棚２１に載置されていたフープＦを図２３の右方向に少し水平移動させて空間ＳＰ３ａ内に位置させる。続いて、空間ＳＰ３ａ内でフープＦを下降させて空間ＳＰ３ｂに移動させる。更に、空間ＳＰ３ｂ内でフープＦを図２３の左方向に移動させて、例えばオープナー１０ａに載置させる。
【０１８９】
この構成によると、上述した変形例（７）の左右水平に開閉する機構を備えた棚２０を備えていない場合でも、長さ（Ｙ軸）方向の寸法を抑えることができ、装置の大型化を抑えることができる。
【０１９０】
また、この構成では、図２４に示したように、５台分のオープナー１０の寸法幅をとってしまうため、幅（Ｘ軸）の寸法は増えてしまうが、図２３の２点鎖線で示すように、５台目のオープナー１０を備えてもよい。これにより、本発明の実施例で説明した動作で運用してもよいし、また、従来の運用のように５台分のオープナー１０として用い、受取棚２１、引渡棚２２を除いた、他の棚２０は、処理前用保管棚ＢＦＢ及び処理後用保管棚ＢＦＡとして用いてもよい。
【０１９１】
（６）処理前用保管棚ＢＦＢは受取棚２１の近辺に、処理後用保管棚ＢＦＡは引渡棚２２の近辺に、また、処理中用保管棚ＢＦは払出専用のオープナー１０と回収専用のオープナー１０の間近辺に配設したストッカー装置２：
上述した実施例では、ストッカー装置２は、処理前用保管棚ＢＦＢと、処理中用保管棚ＢＦと、及び、処理後用保管棚ＢＦＡとの、それぞれの位置関係を特に指定していなかったが、処理前用保管棚ＢＦＢは、他の処理中用保管棚ＢＦなどの棚よりも、受取棚２１の近辺に配設してもよい。同様に、処理後用保管棚ＢＦＡは、他の処理中用保管棚ＢＦなどの棚よりも、引渡棚２２の近辺に配設してもよい。また、処理中用保管棚ＢＦは、他の棚ＢＦＢ、ＢＦＡよりも払出専用のオープナー１０と回収専用のオープナー１０の間近辺に、それぞれ配設してもよい。これにより、効率の良いフープの搬送ができる。
【０１９２】
（７）処理前用保管棚ＢＦＢと処理中用保管棚ＢＦ１、ＢＦ２と処理後用保管棚ＢＦＡをそれぞれ適宜な個数を備えたストッカー装置２：
上述した実施例では、ストッカー装置２は、１つの処理前用保管棚ＢＦＢと、２つの処理中用保管棚ＢＦと、１つの処理後用保管棚ＢＦＡで構成されたものであったが、例えば、２つの処理前用保管棚ＢＦＡと、３つの処理中用保管棚ＢＦと、２つの処理後用保管棚ＢＦＡとで構成されたものであってもよいし、３つの処理前用保管棚ＢＦＢと、２つの処理中用保管棚ＢＦと、４つの処理後用保管棚ＢＦＡとで構成されたものであってもよい。
【０１９３】
（８）実施例とは別の、オープナー１０にそれぞれ払出専用及び回収専用の役割を与えたストッカー装置２：
上述した実施例では、４台のオープナー１０ａ〜１０ｄの内、左側２台のオープナー１０ａ、１０ｂを基板Ｗの払出専用に、右側２台のオープナー１０ｃ、１０ｄが基板Ｗの回収専用に、それぞれ役割を区別して用いたが、右側２台のオープナー１０ｃ、１０ｄを基板Ｗの払出専用に、左側２台のオープナー１０ａ、１０ｂを基板Ｗの回収専用に、それぞれ役割を区別してもよい。
【符号の説明】
【０１９４】
Ｗ  …基板
Ｆ  …フープ
１  …基板処理装置本体
２  …ストッカー装置
１０ａ〜１０ｄ  …オープナー
２０  …棚
２１  …受取棚
２２  …引渡棚
２３  …保管棚
ＢＦ１、ＢＦ２  …処理中用保管棚
ＢＦＢ  …処理前用保管棚
ＢＦＡ  …処理後用保管棚
３０  …搬送機構
３１  …把持部
３４  …第１移動機構
３５  …第２移動機構
４０  …外部搬送装置
４２  …把持部
５０  …棚
５１ａ、５１ｂ  …棚本体
５２  …棚開閉機構
８２  …基板処理装置の主制御部
８３  …ストッカー装置の制御部
【図１】
2010171314.tif 000003
【図２】
2010171314.tif 000004
【図３】
2010171314.tif 000005
【図４】
2010171314.tif 000006
【図５】
2010171314.tif 000007
【図６】
2010171314.tif 000008
【図７】
2010171314.tif 000009
【図８】
2010171314.tif 000010
【図９】
2010171314.tif 000011
【図１０】
2010171314.tif 000012
【図１１】
2010171314.tif 000013
【図１２】
2010171314.tif 000014
【図１３】
2010171314.tif 000015
【図１４】
2010171314.tif 000016
【図１５】
2010171314.tif 000017
【図１６】
2010171314.tif 000018
【図１７】
2010171314.tif 000019
【図１８】
2010171314.tif 000020
【図１９】
2010171314.tif 000021
【図２０】
2010171314.tif 000022
【図２１】
2010171314.tif 000023
【図２２】
2010171314.tif 000024
【図２３】
2010171314.tif 000025
【図２４】
2010171314.tif 000026
【図２５】
2010171314.tif 000027
【図２６】
2010171314.tif 000028
【図２７】
2010171314.tif 000029
【図２８】
2010171314.tif 000030