(57)【要約】【課題】簡単な構成でカッタの刃先を固定させて、所望の深さで被切断物を切断できる。【解決手段】切断装置１は、被切断物を載置する載置台３と、カッタの刃先を挿入する挿入口および挿入口より小さい開口部を有するカッタ差し込み部１３が形成され、カッタを差し込み部１３に挿入して開口部に押し当てたとき、刃先を開口部から突出させて固定し、載置台３に載置された被切断物に、開口部から突出したカッタの刃先により所定の深さで切り込みが入るように、刃先が突出する長さを規制する規制部１５、１７と、スライドブロック１０を載置台３に対して平行にスライド移動可能にガイドするスライドレール２１と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被切断物を載置する載置台と、
カッタの刃先を挿入する挿入口および前記挿入口より小さい開口部を有する差し込み部が形成され、前記カッタを前記差し込み部に挿入して前記開口部に押し当てたとき、前記刃先を前記開口部から突出させて固定し、前記載置台に載置された前記被切断物に、前記開口部から突出した前記カッタの前記刃先により所定の深さで切り込みが入るように、前記刃先が突出する長さを規制する規制手段と、
前記規制手段を前記載置台に対して平行にスライド移動可能にガイドするガイド手段と、を備える切断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の切断装置において、
前記被切断物は、剥離紙付き粘着シートであり、
前記規制手段は、前記粘着シートの剥離紙のみを切断するように前記所定の深さで前記剥離紙付き粘着シートに切り込みが入るように規制する切断装置。
【請求項３】
請求項２に記載の切断装置において、
前記剥離紙付き粘着シートは、半導体ウェハ搬送時に前記半導体ウェハの裏面を吸着させる吸着面に、前記半導体ウェハの前記裏面を保護するために貼付されるバッキングフィルムであり、
前記バッキングフィルムは、粘着剤層を介して前記剥離紙が剥離可能に貼付される切断装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の切断装置において、
前記差し込み部は、前記カッタの前記刃先の形状と同様な形状を有する切断装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の切断装置において、
前記カッタが、市販のカッタである切断装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の切断装置において、
前記載置台に載置される前記被切断物と、前記カッタの前記刃先との距離を調整する調整手段をさらに備える切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断装置に関し、特に、被切断物に所定の深さで切り込みを入れる切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
剥離紙付粘着シート等の剥離紙切断用工具として、たとえば、特許文献１に記載のものがある。この特許文献１に記載の工具は、円盤状のカッタにガイドプレートを、カッタ本体の前方、先端部分からカッタ本体と直角方向に設けて、剥離紙と粘着シートの間にガイドプレートを差し込み、剥離紙のみを切断するものである。
この他にも、特許文献２乃至５に記載されたような切断装置がある。
【特許文献１】特開２００３−３４０１７４号公報
【特許文献２】特開平１０−１５６０６０号公報
【特許文献３】特開２０００−９４３７９号公報
【特許文献４】特開２００３−１２６５７２号公報
【特許文献５】特開平１１−３１９３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載された工具により、剥離紙を剥がす場合、剥離紙とシートの間の粘着剤に部品を差し込んで剥がすため、シートから粘着剤の一部が剥がれてしまい、シートの粘着力が低下し、被貼付面からシートが剥がれてしまう可能性があった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明によれば、被切断物を載置する載置台と、
カッタの刃先を挿入する挿入口および前記挿入口より小さい開口部を有する差し込み部が形成され、前記カッタを前記差し込み部に挿入して前記開口部に押し当てたとき、前記刃先を前記開口部から突出させて固定し、前記載置台に載置された前記被切断物に、前記開口部から突出した前記カッタの前記刃先により所定の深さで切り込みが入るように、前記刃先が突出する長さを規制する規制手段と、
前記規制手段を前記載置台に対して平行にスライド移動可能にガイドするガイド手段と、を備える切断装置が提供される。
【０００５】
これにより、簡単な構成でカッタの刃先を固定させて、所望の深さで被切断物を切断できる。たとえば、複数のシートが張り合わされてなるシートの所望の層、たとえば、第一層目のみに切り込みを入れることができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、簡単な構成でカッタの刃先を固定させて、所望の深さで被切断物を切断できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【０００８】
図１は、本実施の形態における切断装置の外観図である。本実施形態の切断装置１は、被切断物を載置する載置台３と、カッタ５（図８）の刃先を挿入する挿入口１８（図８）および挿入口１８より小さい開口部１９（図８）を有する差し込み部（カッタ差し込み部１３）が形成され、カッタを差し込み部１３に挿入して開口部１９に押し当てたとき、刃先を開口部１９から突出させて固定し、載置台３に載置された被切断物に、開口部１９から突出したカッタ５の刃先により所定の深さで切り込みが入るように、刃先が突出する長さを規制する規制部（スライドブロック１０、規制部第１部品１５、規制部第２部品１７）と、スライドブロック１０を載置台３に対して平行にスライド移動可能にガイドするガイド部（スライドレール２１、スライドブッシュ１１）と、を備える。
【０００９】
本実施形態において、被切断物は、剥離紙付き粘着シートとすることができ、規制部（規制部第１部品１５、規制部第２部品１７）は、粘着シートの剥離紙のみを切断するように所定の深さで剥離紙付き粘着シートに切り込みが入るように規制することができる。
【００１０】
さらに、本実施形態において、被切断物の剥離紙付き粘着シートは、半導体ウェハ搬送時に半導体ウェハの裏面を吸着させる吸着面に、半導体ウェハの裏面を保護するために貼付されるバッキングフィルムであり、バッキングフィルムは、粘着剤層を介して剥離紙が剥離可能に貼付される。
【００１１】
バッキングフィルムは、半導体装置の製造時に、化学機械的研磨（Chemical mechanical polishing：ＣＭＰ）装置のウェハ搬送および処理において、図２に示すようなウェハ５３を搬送するウェハ搬送部５１のトップリング５５の吸着面に、ウェハ５３の裏面５３ａを保護するために貼り付けられて使用され、定期的に交換される。トップリング５５に貼り付けられたバッキングフィルム６１にウェハ５３の裏面５３ａを吸着させてウェハ５３を搬送および処理する。
【００１２】
図３は、バッキングフィルム６１の断面図である。バッキングフィルム６１は、一方の面に粘着剤６３を介して剥離紙６５が一面に貼り付けられた層状の円形フィルムである。本実施形態のバッキングフィルム６１は、剥離紙６５を含めた厚さが０．８ｍｍであり、剥離紙６５の厚さは０．２ｍｍである。
【００１３】
このバッキングフィルム６１の粘着剤６３の粘着力は強く、バッキングフィルム６１の貼り替え時に、剥離紙６５を剥がすのは容易ではない。
【００１４】
本実施形態の切断装置１を使用せずに、このバッキングフィルム６１の剥離紙６５を剥がす場合、図４（ａ）に示すように、先が平たく尖った工具７１を剥離紙６５とバッキングフィルム６１の間の粘着剤６３に差し込み、図４（ｂ）のように剥離紙６５をバッキングフィルム６１から剥がす。しかしながら、このように工具７１を用いて剥離紙６５を剥がすと、図４（ｃ）のように、粘着剤６３の一部分６７が剥がれてしまう場合がある。そのため、バッキングフィルム６１をトップリング５５に貼り付けた場合、図４（ｄ）に示すように、バッキングフィルム６１の粘着剤６３が剥がれた部分６７がトップリング５５の表面から剥がれやすくなってしまう。バッキングフィルム６１の剥がれが発生するとウェハ５３を吸着できないので、バキューム圧低下によるウェハ５３の搬送異常およびウェハ５３の落下が発生してしまう。
【００１５】
本発明の実施形態の切断装置１は、たとえば、バッキングフィルム６１の剥離紙６５のみに切り込みを入れて、バッキングフィルム６１から粘着剤６３を剥がすことなく剥離紙６５を剥がすことを可能とする。
【００１６】
図１（ａ）は、本実施形態の切断装置１の平面図、図１（ｂ）は、その正面図である。本実施形態の切断装置１は、被切断物を載置する載置台３と、スライドブロック１０と、スライドブロック１０を載置台３に対して平行にスライド移動可能にガイドする２本のスライドレール２１と、２本のスライドレール２１を載置台３の両端で平行に支持するレール支持部２３と、を備える。
【００１７】
スライドブロック１０は、２つのスライドレール２１上で載置台３に対して平行にスライド移動可能なように、２つのスライドブッシュ１１などの軸受けがそれぞれ設けられている。
【００１８】
本実施形態において、載置台３は、短手方向の長さが、たとえば、被切断物のであるバッキングフィルム６１の直径程度で、長手方向の長さが、スライドブロック１０が、被切断物のであるバッキングフィルム６１の両側の外側に移動可能な長さであるのが好ましい。
【００１９】
さらに、スライドブロック１０は、高さ調整ネジ３１を備え、規制部第１部品１５および規制部第２部品１７からなる規制部の高さ方向の位置を調節して、規制部第２部品１７を所定位置に固定することができる。
【００２０】
このように、本実施形態において、載置台３に載置される被切断物と、カッタの刃先との距離を調整する調整部（高さ調整ネジ３１）をさらに備えることができる。
【００２１】
図５は、本実施形態の切断装置１の規制部を構成する規制部第１部品１５および規制部第２部品１７の組み立て図である。規制部第１部品１５は、固定ネジ３３のネジ穴３５が両端に設けられている。規制部第２部品１７は、その一方の面１７ａにカッタの刃先を挿入する挿入口１８および挿入口１８より小さい開口部１９を有する凹部２０が形成されるとともに、固定ネジ３３のネジ穴３７が両端に設けられている。なお、挿入口１８は、カッタの刃先が挿入可能な大きさおよび形状を有する。
【００２２】
本実施形態において、カッタは、これに限定されないが、たとえば、図１０に示される市販の手持ちカッタ５であり、薄い刃７を有している。
【００２３】
図５に戻り、スライドブロック１０は、正面側の下方に、規制部第２部品１７に連結され、可動する直方体形状の可動部１２が収容される凹部１０ａが形成されている。高さ調整ネジ３１は、スライドブロック１０の上部のネジ穴を貫通して凹部１０ａの下方に収容される可動部１２に取り付けられている。
【００２４】
規制部第１部品１５と、規制部第２部品１７を固定ネジ３３で、可動部１２に両端に設けられたネジ穴（不図示）にネジ止めすることで、規制部第２部品１７の凹部２０と、規制部第２部品１７に対面する規制部第１部品１５の一方の面１５ａにより、カッタ差し込み部１３が形成される。
【００２５】
特に限定されないが、たとえば、図６に示すように、規制部第２部品１７は、長手方向の長さが２０ｍｍ、短手方向の長さが５ｍｍ、高さが４ｍｍの直方体であり、規制部第２部品１７の一つの側面１７ａに開口する凹部２０が設けられている。凹部２０は、挿入口１８側が１０ｍｍおよび開口部１９側が３．５ｍｍで、高さが４ｍｍの台形状で、深さが０．７ｍｍである。凹部２０の形状は台形に限定されるものではないが、凹部２０の台形形状の傾斜は、カッタの刃先の角度または形状と一致するように形成するのが好ましい。凹部２０の深さは、カッタの刃先の厚みより深く、かつ、凹部２０と規制部第１部品１５の一面によって形成されるカッタ差し込み部１３の中にカッタの刃先が挿入されたときに、カッタの刃先がガタつかないような深さが好ましい。
【００２６】
また、カッタ差し込み部１３のカッタ挿入方向の断面形状は、台形に限定されるものではなく、たとえば、回転式の円盤状の刃を有するカッタを使用する場合、カッタ差し込み部１３のカッタ挿入方向の断面形状は、半円様の形状であってもよい。カッタ差し込み部１３の開口部１９から円形の刃先が、一定量、突出するように開口部１９の幅を決めればよい。
【００２７】
図８（ａ）に示すように、カッタ５の刃７をカッタ差し込み部１３に挿入すると、図８（ｂ）に示すように、カッタ５をカッタ差し込み部１３の開口部１９に押し当てたとき、刃７を開口部１９から一定量Ｎだけ突出させて固定することができる。本実施形態では、カッタ差し込み部１３の開口部１９からカッタ５の刃７がたとえば、２ｍｍ程度突出させることができる。
【００２８】
このように、開口部１９からの刃７の突出量を一定量Ｎにし、たとえば、図１１に示すように、バッキングフィルム６１の剥離紙６５にのみ刃７が突き刺さるようにする。後述するように、載置台３に載置されるバッキングフィルム６１の厚さと剥離紙６５の厚さを考慮して、スライドブロック１０の高さ方向の位置を設定するのが好ましい。
【００２９】
図５に示したように、高さ調整ネジ３１は、スライドブロック１０の凹部１０ａの下方に収容される直方体形状の可動部１２に取り付けられており、図１０に示されるように、可動部１２に固定ネジ３３で固定されている規制部第２部品１７の載置台３の上面からの距離を、高さ調整ネジ３１を調整することができる。本実施形態において、カッタ５の刃７の載置台３の上面からの距離Ｈは、高さ調整ネジ３１により、たとえば、２ｍｍ以下の範囲で調整することができる。
【００３０】
図７に示すように、規制部第２部品１７の凹部２０の傾斜角Ｂとカッタの刃７の角度Ａが同じであれば、図７（ａ）のような大きな刃７でも、図７（ｂ）のような小さな刃７でも、挿入口１８の幅Ｃまたは開口部１９の幅により、開口部１９から突出する刃７の長さは一定となる。
【００３１】
このように構成された本実施形態の切断装置１の動作について説明する。
図９に示すように、切断装置１の載置台３の上にバッキングフィルム６１の剥離紙６５を上にして載置する。本実施形態の切断装置１において、カッタ５が挿入されるカッタ差し込み部１３を有するスライドブロック１０は、スライドレール２１の一端側の位置Ｌ１から、他端側の位置Ｌ２まで、移動範囲Ｍをスライド移動可能とする。移動範囲Ｍは、被切断物の切断幅より広いのが好ましく、本実施形態では、バッキングフィルム６１の直径より大きい範囲を移動可能とする。
【００３２】
図１２に示すように、カッタ５の刃７をスライドブロック１０のカッタ差し込み部１３に挿入して押し当てながら、スライドレール２１の一方から他方に向かって引くだけで、バッキングフィルム６１の剥離紙６５にのみ切り込みを入れることができる。
【００３３】
そして、図１３に示すように、切り込みＫが入った剥離紙６５を（図１３（ａ））、剥離紙６５側を飛び出すようにバッキングフィルム６１を軽く折り曲げるだけで（図１３（ｂ））、剥離紙６５をバッキングフィルム６１から簡単に剥がし（図１３（ｃ））、取り除くことができる（図１３（ｄ））。
【００３４】
以上説明したように、本実施形態の切断装置１によれば、簡単な構成でカッタの刃先を固定させて、所望の深さで被切断物を切断できる。たとえば、複数のシートが張り合わされてなるシートの所望の層、たとえば、第一層目のみに切り込みを入れることができる。したがって、たとえば、剥離紙付きシートの剥離紙にのみ切り込みを入れることができ、切り込みを外側に向けて軽く折り曲げるだけで、剥離紙をシートから剥がすことができる。このとき、シートの粘着剤層を部分的に剥がしてしまうこともなく、シートの粘着力を損なうこともなくなる。
【００３５】
本実施形態のバッキングフィルム６１にあっては、バッキングフィルム６１の粘着剤６３を剥がすことなく剥離紙６５を剥がして、トップリング５５にバッキングフィルム６１を貼り付けることができるので、ＣＭＰ装置におけるバキューム圧低下によるウェハ５３の搬送異常や落下などを防ぐことができる。
【００３６】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態における切断装置の外観図である。
【図２】ＣＭＰ装置の半導体ウェハの搬送部を説明する図である。
【図３】図２の搬送部で使用されるバッキングフィルムの断面図である。
【図４】バッキングフィルムの剥離紙を工具を用いて剥がしたときの粘着剤の剥離を説明するための図である。
【図５】図１の切断装置の規制部の組み立て図である。
【図６】図５の規制部の第２部品の外観図である。
【図７】カッタの刃先の形状および大きさと刃先の開口部からの突出量の関係を説明する図である。
【図８】カッタ差し込み部にカッタの刃先を挿入した時に、突出する刃先の長さを説明する図である。
【図９】図１のスライドブロックの移動範囲を説明するための図である。
【図１０】本実施形態の切断装置の調整部による調整を説明するための図である。
【図１１】図１の切断装置を用いて、バッキングフィルムの剥離紙に切り込みを入れるカッタの刃先の突出量を説明するための図である。
【図１２】図１の切断装置のカッタ移動動作を説明するための図である。
【図１３】図１の切断装置を用いた、バッキングフィルムの剥離紙の切断動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  切断装置
３  載置台
５  カッタ
７  刃
１０  スライドブロック
１０ａ  凹部
１１  スライドブッシュ
１２  可動部
１３  カッタ差し込み部
１５  規制部第１部品
１７  規制部第２部品
１８  挿入口
１９  開口部
２０  凹部
２１  スライドレール
２３  レール支持部
３１  高さ調整ネジ
３３  固定ネジ
３５  ネジ穴
３７  ネジ穴
５１  ウェハ搬送部
５３  ウェハ
５５  トップリング
６１  バッキングフィルム
６３  粘着剤
６５  剥離紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2010005739.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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