(57)【要約】【課題】ガラスハーメチックを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフル内に水分が侵入することを阻止するようにしたハーメチックシール用連続式熱処理炉を提供する。【解決手段】一体形状のマッフル２を外部から加熱する加熱部３と冷却する冷却部４及びマッフル２内を通って加熱部３から冷却部４へと所定速度で移動して被焼成体１０を搬送する搬送手段５を有し、被焼成体１０のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉１において、マッフル２の少なくとも入口側２ａにマッフル２内への水分の侵入を阻止する手段７を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一体形状のマッフルを外部から加熱する加熱部と冷却する冷却部及び前記マッフル内を通って加熱部から冷却部へと所定速度で移動して被焼成体を搬送する搬送手段を有し、前記被焼成体のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉において、
前記マッフルの少なくとも入口側に前記マッフル内への水分の侵入を阻止する手段を設けたことを特徴とするハーメチックシール用連続式熱処理炉。
【請求項２】
前記マッフル内への水分の侵入を阻止する手段は乾燥気体カーテンであることを特徴とする、請求項１に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉。
【請求項３】
前記マッフル内への水分の侵入を阻止する手段は除湿機であることを特徴とする、請求項１に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉。
【請求項４】
前記乾燥気体カーテンは液体窒素を気化させた窒素ガスにより形成されることを特徴とする、請求項２に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉。
【請求項５】
前記マッフルの入口側に配置され前記搬送手段により搬送される被焼成体の有無を検出する検出手段と、前記入口側の湿度を検出する湿度計及び／又は露点計と、前記検出手段と前記湿度計及び／又は露点計の検出信号により前記乾燥気体の流量を制御する流量制御手段を備えたことを特徴とする、請求項２又は請求項４に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば圧力センサ等の高い気密性が要求されるセンサ類では、ステンレス等の金属部材からなるボディ（基台）に設けられた貫通孔に接続ピン（信号線）を挿通し、ボディ内のセンサ素子からの信号を得ると共に、絶縁と気密保持のためにボディの貫通孔と接続ピンとの間に介在した絶縁部材（ガラス）を高温度で封着させてガラスハーメチックシールを施していることが多い。特に高い耐圧性が必要とされる高圧タイプの圧力センサ等では、シール部を長く確保することにより耐圧性を高めている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
ガラスハーメチックシールの方法としては、中央部に挿通孔を有するガラスリング（以下「ペレット」という）を複数個重ねて接続ピンを挿通し、加熱して各ペレット同士及び各ペレットの内周面と接続ピンの外周面とを仮焼成して串刺し状の中間組立体を形成する。次いで、この中間組立体をボディの貫通孔に挿入して加熱し、挿通孔の内周面とペレットの外周面とを本焼成して挿通孔と接続ピンとの間を高い気密性と絶縁性を有して封止する方法がある。
【０００４】
上記ガラスハーメチックシールは、一般にハーメチックシール用連続式熱処理炉により実施される。ハーメチックシール用連続炉は、一体形状のマッフルを外部から電気やガスで加熱する加熱部と水等で冷却する冷却部、及びマッフル内部を挿通し被焼成体、即ち挿通孔に串刺し状の接続ピンを挿通させたボディを加熱部から冷却部へと一定速度で搬送させる搬送ベルトを有している。
【０００５】
マッフル内部は窒素ガス等の不活性ガスが導入され、窒素ガス雰囲気にすることで被焼成体の酸化を防いでいる。そして、マッフルの入口部（導入部）、出口部（導出部）は、一般的に開口されている。マッフルの内部は、窒素ガスの導入及び高温状態にあるためマッフル周囲の外気よりも僅かに陽圧になるので、入口及び出口からの空気（外気）の侵入を抑制するようになっている。
【０００６】
そして、搬送ベルトに被焼成体を載置してマッフル内に搬入し、加熱部で加熱して本焼成を行った後冷却部で冷却させてマッフル外に搬出する。このようにしてガラスハーメチックシールを行う。
【０００７】
ハーメチックシール用連続式熱処理炉として例えば入口と出口とを有するハーメチックシール用連続式熱処理炉本体と、このハーメチックシール用連続式熱処理炉本体内に配置されて熱処理ゾーンを形成する加熱マッフルと、加熱マッフルの近傍に設けられると共にワークを加熱するモジュールヒータブロックと、加熱マッフル内を通って炉本体の入口から出口までワークを搬送する搬送手段を有する構成のハーメチックシール用連続式熱処理炉がある（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特公平３−７９８３６号公報（２頁、第１図）
【特許文献２】特開平１１−１６０１７６号公報（４−５頁、図１）
【特許文献３】特開平１０−２８１６４９号公報（４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフルは、入口部及び出口部が開放構造であるため、ボックス炉等に比較して設置環境の変化に大きく影響されてしまう。特に湿度の影響は大きく高湿度の環境では製品の不良の発生が多くなる。即ちマッフルの入口部では被焼成体や搬送ベルト自体が外部の空気をマッフル内に持ち込んでしまうことで加熱部において被焼成体の表面に酸化膜が形成されて酸化不良が発生する。更にマッフル内に持ち込まれた空気が高湿度の場合、空気中の水分(水蒸気)（Ｈ２Ｏ）が加熱部で水蒸気となりガラスと反応して溶融したガラス（ペレット）の中に気泡が入り、隙間や空洞が発生して絶縁不良を引き起こす原因となる。
【０００９】
本発明の目的は、ガラスハーメチックを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフル内に水分が侵入することを阻止するようにしたハーメチックシール用連続式熱処理炉を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、本発明に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉は、
一体形状のマッフルを外部から加熱する加熱部と冷却する冷却部及び前記マッフル内を通って加熱部から冷却部へと所定速度で移動して被焼成体を搬送する搬送手段を有し、前記被焼成体のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉において、
前記マッフルの少なくとも入口側に前記マッフル内への水分の侵入を阻止する手段を設けたことを特徴としている。
【００１１】
被焼成体は、搬送手段に載置されてマッフル内に搬入される。このとき、搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む水分（水蒸気）（Ｈ２Ｏ）をマッフルの入口側に設けたマッフル内への水分の侵入を阻止する手段によりマッフル内への水分（水蒸気）の侵入を阻止する。これにより、マッフル内の加熱部で被焼成体のガラスハーメチックシールを行う際に水分（水蒸気）に起因する絶縁不良を大幅に低減することが可能となる。特にハーメチックシール用連続式熱処理炉が高湿度の環境に設置されている場合に極めて有効である。
【００１２】
また、本発明の請求項２に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉は、請求項１に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉において、
前記マッフル内への水分の侵入を阻止する手段は乾燥気体カーテンであることを特徴としている。
【００１３】
マッフルの入口側に乾燥気体のカーテンを形成して搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気（外気）や当該空気に含まれている水分（水蒸気）のマッフル内への侵入を阻止する。これにより、マッフル内へ侵入する空気（外気）や水分（水蒸気）を最小限に抑制することができる。また、マッフル内に持ち込む空気（外気）を阻止することにより、被焼成体の酸化を抑制することが可能となる。
【００１４】
また、本発明の請求項３に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉は、請求項１に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉において、
前記マッフル内への水分の侵入を阻止する手段は除湿機であることを特徴としている。
【００１５】
マッフルの入口側に除湿機を設けて搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気に含まれている水分（水蒸気）（Ｈ２Ｏ）を除去することにより、マッフル内への水分（水蒸気）の侵入を最小限に抑制することができる。
【００１６】
また、本発明の請求項４に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉は、請求項２に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉において、
前記乾燥気体カーテンは液体窒素を気化させた窒素ガスにより形成されることを特徴としている。
【００１７】
乾燥気体カーテンを形成する気体として液体窒素を気化させた窒素ガスを使用する。液体窒素を気化した窒素ガスは、露点が極めて低いため乾燥した状態にあり、搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気（外気）や当該空気に含まれている水分（水蒸気）のマッフル内への侵入を有効に阻止することができる。また、液体窒素は広い分野で使用されており、入手が容易かつ安価である。
【００１８】
また、本発明の請求項５に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉は、請求項２又は請求項４に記載のハーメチックシール用連続式熱処理炉において、
前記マッフルの入口側に配置され前記搬送手段により搬送される被焼成体の有無を検出する検出手段と、前記入口側の湿度を検出する湿度計及び／又は露点計と、前記検出手段と前記湿度計及び／又は露点計の検出信号により前記乾燥気体の流量を制御する流量制御手段を備えたことを特徴としている。
【００１９】
流量制御部は、湿度計や露点計により計測したマッフル入口側の湿度により窒素ガスのカーテンを形成する窒素ガスの流量を制御してマッフル入口側の湿度を低く保つ。更に、被焼成体の有無を検出する検出手段からの信号により被焼成体を検知して流量制御部にフィードバックし、窒素ガスの流量を増量することにより、搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気（外気）や水分（水蒸気）を最小限に抑制する。これにより、窒素ガスの無駄な放出を抑えることが可能となる。特に湿度の低い時期やマッフル内に被焼成体を通炉させていないときなどに窒素ガスの使用量を節約することができ、製造コストの低減を図ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、マッフルを外部から加熱する加熱部と冷却する冷却部及びマッフル内を通って加熱部から冷却部へと所定速度で移動して被焼成体を搬送する搬送手段を有し、被焼成体のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフルにおいて、少なくともマッフルの入口側にマッフル内への水分の侵入を阻止する手段を設けたことにより、搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む水分（水蒸気）を阻止することができ、被焼成体のガラスハーメチックシールを行う際に水分（水蒸気）に起因する絶縁性の不十分なガラスハーメチックシール部品が製造される確率を大幅に低減することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉を図面に基づいて説明する。図１においてハーメチックシール用連続式熱処理炉１は、マッフル２、マッフル２を外部から加熱する加熱部３、マッフル２を外部から冷却する冷却部４、及びマッフル２内を通って加熱部３から冷却部４へと所定速度で移動して被焼成体１０を搬送する搬送手段としてのベルトコンベア５を有している。
【００２２】
マッフル２は、一定形状例えば角筒形状をなして水平に配置されており、入口部（導入部）２ａ及び出口部（導出部）２ｂが本体部２ｃに対して僅かに下方に向けて傾斜している。これらの入口部２ａ、出口部２ｂは開口されている。このマッフル２は、インコネル或いはステンレス等の耐酸化性に優れた金属部材で形成されている。加熱部３と冷却部４は、マッフル２の長手方向に沿って本体部２ｃの外周部を囲繞するように設けられている。
【００２３】
加熱部３は、本体部２ｃの入口近傍から所定の長さに亘り設けられており、電気或いはガスによりマッフル２の本体部２ｃの加熱部３側の内部を所定温度（焼成温度）（例えば、１０００℃）に加熱して被焼成体１０を焼成する。冷却部４は、加熱部３の終端部から本体部２ｃの出口近傍まで所定の長さに渡り設けられており、水等の冷却液により本体部２ｃの冷却部４側の内部を冷却して加熱部３で焼成された高温の被焼成体１０を所定温度（例えば、２５℃）まで冷却する。
【００２４】
ベルトコンベア５は、耐酸化性に優れたステンレス等の金属部材によりエンドレスに形成されており、マッフル２の入口部２ａから出口部２ｂまで当該マッフル２内を挿通して配置されており、加熱部３から冷却部４へと所定速度（例えば、１０ｃｍ／分）で移動して被焼成体１０を搬送する。
【００２５】
マッフル２の冷却部４側にはマッフル２内での被焼成体１０の酸化を防ぐための酸化防止手段としての不活性ガス供給部６が設けられている。この不活性ガス供給部６は、複数のパイプ６ａ〜６ｄと主パイプ６ｅにより構成されている。パイプ６ａ〜６ｄは、冷却部４の上方に上下方向に向けてかつ長手方向に沿って間隔を存して一列に配置されており、各下端が冷却部４を液密に貫通して本体部２ｃの上面に開口している。これらのパイプ６ａ〜６ｄの他端は主パイプ６ｅに連通されている。そして、主パイプ６ｅに不活性ガス、例えば窒素ガスが供給される。
【００２６】
そして、窒素ガス（Ｎ２）が主パイプ６ｅから各パイプ６ａ〜６ｄを通してマッフル２の本体部２ｃ内に導入され、マッフル２の内部は窒素ガス（Ｎ２）で充満されて窒素ガス雰囲気とされる。これにより、焼成時における被焼成体１０の酸化を防ぐ。尚、マッフル２内に導入する不活性ガスは、窒素ガスに限るものではなく他の気体、例えばアルゴンガスを使用しても良い。
【００２７】
マッフル２の入口部２ａにはマッフル２内への水分の浸入を阻止する手段、例えば乾燥気体カーテンを形成する乾燥気体カーテン形成部７が設けられている。この乾燥気体カーテン形成部７は、図２に示すように複数のパイプ７ａ〜７ｄと主パイプ７ｅにより構成されている。パイプ７ａ〜７ｄは、入口部２ａの上方に上下方向に向けてかつ幅方向に間隔を存して一列に配置されており、各下端が入口部２ａの上面に開口して下面に臨んでいる。これらのパイプ７ａ〜７ｄの他端は主パイプ７ｅに連通されている。そして、主パイプ７ｅから流量制御部８を介して不活性ガス、例えば窒素ガス（Ｎ２）が供給される。
【００２８】
この窒素ガス（Ｎ２）は、液体窒素を気化させて得たものである。液体窒素を気化させて得た窒素ガス（Ｎ２）は、露点が極めて低いため乾燥した状態にあり、従って、乾燥気体カーテンを形成する上で好適である。尚、前記不活性ガス供給部６に供給する窒素ガスも液体窒素を気化させたものを使用している。
【００２９】
そして、主パイプ７ｅから各パイプ７ａ〜７ｄを通して窒素ガス（Ｎ２）がマッフル２の入口部２ａ内に上面から下面に向けて噴出されて乾燥した窒素ガスのカーテンが形成される。このようにして、マッフル２の入口部２ａに乾燥気体カーテンを形成して外部と遮蔽する。
【００３０】
マッフル２の入口部２ａには図２に示すようにベルトコンベア５に載置されて搬送される被焼成体１０の有無を検出するセンサ、例えば光電センサ１１と入口部２ａの湿度を検出する湿度計１４が設けられている。光電センサ１１の投光器１２と受光器１３は、ベルトコンベア５を挟んで対向して配置されている。これらの投光器１２、受光器１３、湿度計１４は、乾燥気体カーテン形成部７のパイプ７ａ〜７ｄよりも外側、即ち乾燥窒素ガスのカーテン（乾燥気体カーテン）よりも外側に配置されている。
【００３１】
流量制御部８は、これらの受光器１３、湿度計１４からの信号Ｓa、Ｓbをフィードバックして主パイプ７ｅに供給する窒素ガス（Ｎ２）の流量を制御する。尚、湿度計１４に代えて露点計を設けて湿度を計測するようにしても良く、或いは湿度計と露点計を共に設けて湿度を計測するようにしても良い。
【００３２】
被焼成体１０は、具体的には図３に示すように箱体のケース（治具）２１内に収容されたガラスハーメチックシールを施すべき部品（以下「ハーメチックシール部品」という）２２である。このハーメチックシール部品２２は円柱形状のボディ（基台）２３と、串刺し状の中間組立体２６からなる。ボディ２３は、例えばステンレスで形成されており、貫通孔２３ａが軸線方向に沿って同一円周上に周方向に等間隔をなして複数例えば４個形成されている。
【００３３】
中間組立体２６は、中央部に挿通孔を有するガラスリング（以下「ペレット」という）２４を複数個重ねて接続ピン（信号線）２５を挿通し、加熱して各ペレット２４同士及び各ペレット２４の内周面と接続ピン２５の外周面とを仮焼成して串刺し状に形成されている。そして、ボディ２３の各貫通孔２３ａに中間組立体２６が挿通されている。
【００３４】
ケース２１は、箱体をなし、底部２１ａの上面及び蓋２１ｂの下面に円柱形状のボディ２３の下部及び上部を収容して垂直に位置決め支持する円形の凹部２１ｃ及び２１ｄと、これらの凹部２１ｃ、２１ｄの底面にボディ２３の下端及び上端から突出した接続ピン２５の下端部及び上端部を垂直に収容して位置決めする穴２１ｅ、２１ｆが形成されている。このケース２１は、熱伝導性が良好でかつ溶融したペレット２４が付着しない性質を有するカーボンで形成されている。
【００３５】
ハーメチックシール部品２２は、ケース２１に収容されてボディ２３の下部及び上部が凹部２１ｃ、２１ｄに垂直に収容されて位置決め支持され、接続ピン２５の下端部及び上端部が穴２１ｅ、２１ｆに挿入されて垂直に位置決め支持されている。このようにして、ケース２１内にハーメチックシール部品２２が複数収容されている。
【００３６】
次に、上記構成のハーメチックシール用連続式熱処理炉１により被焼成体１０、即ちハーメチックシール部品２２のハーメチックシールを行う場合について説明する。図１に矢印で示すように不活性ガス供給部６の主パイプ６ｅからパイプ６ａ〜６ｄを通してマッフル２の本体部２ｃ内に窒素ガス（Ｎ２）を導入する。これにより、マッフル２の内部は窒素ガス雰囲気とされる。また、乾燥気体カーテン形成部７の主パイプ７ｅから流量制御部８を介してパイプ７ａ〜７ｄから露点の低い窒素ガス（Ｎ２）を噴出させてマッフル２の入口部２ａに乾燥した窒素ガスのカーテン（乾燥気体カーテン）を形成して外部と遮断する。
【００３７】
そして、ベルトコンベア５に被焼成体１０を載置してマッフル２内に搬送する。乾燥気体カーテン形成部７により形成された乾燥した窒素ガスのカーテン（乾燥気体カーテン）は、ベルトコンベア５や被焼成体１０(ケース２１)自体がマッフル２内に持ち込む空気（外気）や当該空気に含まれている水分（水蒸気）（Ｈ２Ｏ）のマッフル２内への侵入を阻止する。
【００３８】
流量制御部８は、湿度計１４により計測したマッフル２ａの入口部２ａ内の湿度により窒素ガスのカーテンを形成する窒素ガスの流量を制御することにより、入口部２ａの湿度を低く保つ。更に、光電センサ１１により被焼成体１０を検知して流量制御部８にフィードバックし、窒素ガスの流量を増量することにより、ベルトコンベア５や被焼成体１０自体がマッフル２内に持ち込む空気（外気）や水分（Ｈ２Ｏ）を最小限に抑制する。これにより、ベルトコンベア５や被焼成体１０自体がマッフル２内へ持ち込む空気（外気）や当該空気に含まれている水分（水蒸気）（Ｈ２Ｏ）を有効に阻止することができる。
【００３９】
また、マッフル２の入口部２ａの湿度や被焼成体の有無を検出して窒素ガスのカーテンを形成する窒素ガスの流量を制御することにより、窒素ガスの無駄な放出を抑えることが可能となる。特に湿度の低い時期やマッフル内に被焼成体を通炉させていないときなどに窒素ガスの使用量を節約することができ、製造コストの低減を図ることができる。
【００４０】
マッフル２の入口部２ａ、出口部２ｂは開口されているが、マッフル２の内部は窒素ガスの導入及び高温状態にあるためマッフル２の周囲の外気よりも僅かに陽圧となっているので、これらの入口部２ａ、出口部２ｂからの空気（外気）の侵入を抑制することができる。更に、図１に示すように入口部２ａ、出口部２ｂを本体部２ｃよりも僅かに斜め下方に向けて下げることにより、内部から排出される窒素ガスにより、当該窒素ガスよりも重たい気体（空気、酸素）をマッフル２の外に押し出すことができる。これにより、マッフル２の内部が窒素ガス雰囲気に保持される。
【００４１】
被焼成体１０はベルトコンベア５によりマッフル２の本体部２ｃ内に搬入され、加熱部３から冷却部４へと所定速度（例えば、１０ｃｍ／分）で移動する。そして、被焼成体１０、即ち図３に示すハーメチックシール部品２２は、加熱部３によりケース２１と共に所定の焼成温度（約１０００℃）に加熱されて本焼成され、中間組立体２６のペレット２４が溶融してボディ２３の貫通孔２３ａの内周面に溶着し当該貫通孔２３ａと接続ピン２５との間を液密に封止する。ケース２１は、窒素ガス雰囲気のマッフル２内に搬入されると内部の空気が徐々に窒素ガスに置換され、ボディ２３が窒素ガスに覆われる。これにより、ボディ２３の表面の酸化が防止される。
【００４２】
そして、マッフル２内に水分が持ち込まれないために本焼成時に水分（水蒸気）が中間組立体２６のペレット（ガラスリング）２４に影響を及ぼすことがなく、溶融したペレット２４の内部や貫通孔２３ａの内周面と接続ピン２５との間に空洞や隙間が発生することが抑制されてハーメチックシール部品２２の絶縁不良が防止される。
【００４３】
マッフル２の加熱部３により本焼成された被焼成体１０、即ちハーメチックシール部品２２は、冷却部４により所定の温度まで冷却されてマッフル２の出口部２ｂから搬出される。このようにして、ハーメチックシール部品２２のハーメチックシールが行われる。
【００４４】
上述したように、マッフルを外部から加熱する加熱部と冷却する冷却部及びマッフル内を通って加熱部から冷却部へと所定速度で移動して被焼成体を搬送する搬送手段を有し、被焼成体のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフルの入口側にマッフル内への水分の侵入を阻止する手段を設けたことにより、搬送手段（ベルトコンベア）や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む水分（水蒸気）を阻止することができ、被焼成体のガラスハーメチックシールを行う際に水分（水蒸気）に起因する絶縁性の不十分なガラスハーメチックシール部品が製造される確率を大幅に低減することが可能となり、良好な絶縁を確保することが可能となる。
【００４５】
また、マッフルの入口側に乾燥気体のカーテンを形成して搬送手段（ベルトコンベア）や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気（外気）や当該空気に含まれている水分（水蒸気）のマッフル内への侵入を阻止することにより、マッフル内へ侵入する空気（外気）や水分（水蒸気）を最小限に抑制することができる。また、マッフル内に持ち込む空気（外気）を最小限に抑制することにより、被焼成体の酸化を抑制することが可能となる。
【００４６】
また、マッフルの入口側に除湿機を設けて搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気に含まれている水分（水蒸気）（Ｈ２Ｏ）を除去してマッフル内への侵入を最小限にすることができる。この場合、マッフルの入口側に除湿機を設置するだけでよく、構成も簡単である。
【００４７】
また、乾燥気体カーテンを形成する気体として液体窒素を気化させた窒素ガスを使用する。液体窒素を気化した窒素ガスは露点が極めて低いため乾燥した状態にあり、搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気（外気）や当該空気に含まれている水分（水蒸気）のマッフル内への侵入を有効に阻止することができる。また、液体窒素は広い分野で使用されており、入手が容易かつ安価である。
【００４８】
また、乾燥気体の流量を制御する流量制御手段を備え、湿度計や露点計により計測したマッフル入口側の湿度により窒素ガスのカーテンを形成する窒素ガスの流量を制御してマッフル入口部の湿度を低く保ち、更に、被焼成体の有無を検出する検出手段からの信号により被焼成体を検知して流量制御部にフィードバックし、窒素ガスの流量を増量することにより、搬送手段や被焼成体自体がマッフル内に持ち込む空気（外気）や水分（水蒸気）を最小限に抑制する。これにより、窒素ガスの無駄な放出を抑えることが可能となる。特に湿度の低い時期やマッフル内に被焼成体を通炉させていないときなどに窒素ガスの使用量を節約することができ、製造コストの低減を図ることができる。
【００４９】
尚、本実施形態においては乾燥気体カーテン形成部７に供給する窒素ガスの流量をマッフル２の入口部２ａの湿度や被焼成体１０の有無等により制御するようにしたが、常時一定流量の窒素ガスを供給して乾燥窒素ガスのカーテン（乾燥気体カーテン）を形成するようにしても良い。このようにすると、光電センサ１１、湿度計１４や露点計、流量制御部８等が不要となり、乾燥気体カーテン形成部７の構成が簡単になると共にコストの低減を図ることができる。
【００５０】
また、本実施形態においてはマッフル２内への水分の浸入を阻止する手段としてマッフル２ａの入口部２ａに乾燥気体のカーテンを形成した場合について記述したが、これに限るものではなく、マッフル２の入口部２ａ内に除湿機を設けてベルトコンベア５や被焼成体１０自体がマッフル２内に持ち込む水分（Ｈ２Ｏ）を除去するようにしてもよい。このように除湿機を使用することで、光電センサ、湿度計や露点計、流量制御部等が不要となりコストの低減を図ることができる。また、マッフル２の入口部２ａ内に除湿機を設置するだけでよく、構成も簡単である。
【００５１】
更に、上記実施形態においてはマッフル２の入口部２ａに水分の侵入を阻止する手段（乾燥気体のカーテン）を設けた場合について説明したが、マッフル２の出口部２ｂにも水分の侵入を阻止する手段（乾燥気体のカーテン）を設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態に係るハーメチックシール用連続式熱処理炉の断面図である。
【図２】図１に示したマッフル入口部に設けた乾燥気体カーテン形成部の説明図である。
【図３】図１に示したハーメチックシールを行う被焼成体の一部断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１    ハーメチックシール用連続式熱処理炉
２    マッフル
２ａ    入口部（導入部）
２ｂ    出口部（導出部）
２ｃ    本体部
３    加熱部
４    冷却部
５    ベルトコンベア（搬送手段）
６    不活性ガス供給部
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ    パイプ
６ｅ    主パイプ
７    乾燥気体カーテン形成部
７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ    パイプ
７ｅ    主パイプ
８    流量制御部
１０    被焼成体
１１    光電センサ
１２    投光器
１３    受光器
１４    湿度計
２１    ケース（治具）
２１ａ    底部
２１ｂ    蓋
２１ｃ，２１ｄ    凹部
２１ｅ，２１ｆ    穴
２２    ハーメチックシール部品
２３    ボディ（基台）
２３ａ    貫通孔
２４    ペレット（ガラスリング）
２５    接続ピン（信号線）
２６    中間組立体
【図１】
2010139170.tif 000003
【図２】
2010139170.tif 000004
【図３】
2010139170.tif 000005