(57)【要約】【課題】インクが正常に吐出されているか否かを検査するための好ましい新たな技術的手段を備えたインクジェット装置を提供する。【解決手段】装置本体１は、基板Ｗが載置されるステージ３、この基板Ｗにインクを吐出するヘッド４、及び、このヘッド４からインクが正常に吐出されているか否かを検査するために当該ヘッド４からインクを着弾させる帯状フィルム４０を存在させるテスト着弾部７を有している。供給装置１０は、帯状フィルム４０を収蔵すると共に当該帯状フィルム４０をテスト着弾部７に供給することができ、かつ、装置本体１外に設けられている。供給装置１０は、テスト着弾部７に供給する帯状フィルム４０に張力を与える張力付与手段１５を有している。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフレーム、このベースフレーム上に設けられ基板が載置されるステージ、前記基板に対して相対的に移動可能であり当該基板にインクを吐出するインクジェットヘッド、及び、前記インクジェットヘッドから前記インクが正常に吐出されているか否かを前記ベースフレーム上で検査するために当該インクジェットヘッドからインクを着弾させる帯状フィルムを存在させるテスト着弾部、を有している装置本体と、
前記帯状フィルムを収蔵すると共に当該帯状フィルムを前記テスト着弾部に供給することができ、かつ、前記装置本体外に設けられている供給装置と、
を備え、
前記供給装置と前記装置本体との内の少なくとも一方は、前記テスト着弾部に供給する前記帯状フィルムに張力を与える張力付与手段を有していることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
前記装置本体は、前記テスト着弾部に供給された前記帯状フィルムを長手方向に変位不能に拘束する拘束手段を、更に備えている請求項１に記載のインクジェット装置。
【請求項３】
前記拘束手段は、前記テスト着弾部に設けられ前記帯状フィルムを載置可能な着弾テーブルと、前記帯状フィルムを前記着弾テーブルの上面に吸着させる吸着装置と、を有している請求項２に記載のインクジェット装置。
【請求項４】
前記供給装置が前記張力付与手段を有し、当該張力付与手段は、前記テスト着弾部にあった前記帯状フィルムを巻き取る第一ローラと、この第一ローラを巻き取り方向に駆動するモータと、前記モータの駆動により前記テスト着弾部へ前記帯状フィルムが巻き出される第二ローラと、前記帯状フィルムが巻き出される前記第二ローラに制動力を与えるブレーキ手段と、を有している請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェット装置。
【請求項５】
前記供給装置から前記テスト着弾部までの間に設けられ前記帯状フィルムをガイドする複数のガイドローラを、更に備え、
前記帯状フィルムのインクの着弾面は、当該インクに対して撥液性を有し、
前記複数のガイドローラは、前記帯状フィルムの前記着弾面の裏側の面に接触する配置に設けられている請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェット装置。
【請求項６】
前記装置本体が、第一設置室に設けられ、前記供給装置が、前記帯状フィルムを通過させるスロットが形成された壁を挟んで前記第一設置室の隣りにある第二設置室に設けられるインクジェット装置であって、
前記第一設置室内の温度を制御すると共に、当該第一設置室内の空気が前記スロットを通じて前記第二設置室へ流れるように当該第一設置室の室内環境を制御する制御装置を更に備えている請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドからインクを吐出して基板にインクを塗布するインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、色形成の中核を成す部材としてカラーフィルタが用いられている。カラーフィルタは、ガラス基板上に微細なＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の３色が多数並べられて形成されている。
近年、このカラーフィルタを効率よく製造する装置として、ガラス基板上に形成された多数の微細な画素部に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各インクをインクジェットヘッドから吐出して、Ｒ、Ｇ、Ｂの色画素を形成するインクジェット装置が提案されている。
インクジェットヘッドにはインクを吐出する多数のノズルが形成されていて、これらノズルからインクが正常に吐出されていないと、色抜けのあるカラーフィルタとなってしまう。つまり、ノズルからのインクの吐出が不安定であったり、何らかの原因でノズルが吐出不能となっていたりすると、当該ノズルを動作させる指令が出されても、ガラス基板に対してインクを正常に吐出することができず、製造されるカラーフィルタの品質を低下させてしまう。
【０００３】
そこで、特許文献１に記載のインクジェット装置は、製品となる透明なガラス基板を載置するステージと、このステージ上のガラス基板にインクを吐出するインクジェットヘッド（以下、ヘッドという）と、カメラとを備えていて、ヘッドからインクを前記ガラス基板の余剰領域に着弾させ、これをカメラで撮像し、インクが正常に吐出されているか否かを検査している。なお、この検査には、インクの着弾位置が正常な位置であるか否か（設計上の位置とのずれ量）の判定も含まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１７３５４８号公報（図１、図３参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ヘッドからインクが正常に吐出されているか否かを検査するためには、特許文献１のように、ガラス基板の余剰領域にインクを着弾させる場合の他に、インクジェット装置の装置本体の一部に、ガラス基板とは別のフィルムを設け、このフィルムに対してインクを着弾させる方法が考えられる。すなわち、図５に示しているように、帯状のフィルム８０が巻かれた第一ローラ８１と、使用済みの帯状フィルム８０を巻き取る第二ローラ８２とを、装置本体８３内に設置する。そして、第一ローラ８１から帯状フィルム８０を着弾位置８４に供給し、着弾位置８４に移動させたヘッドから当該帯状フィルム８０の上面にインクを着弾させる。その後、帯状フィルム８０上に着弾させたインクを、カメラ８５で撮像することにより、インクが正常に吐出されているか否かを検査する。
【０００６】
しかし、この構成では、ローラ８１，８２が装置本体８３内に設置されているため、装置本体８３の幅寸法が大きくなる。前記ローラ８１，８２を小さくして装置本体８３の下部に配置することで幅方向の大型化を防ぐことはできるが、ローラ８１，８２を小さくすると、ローラ８１に予め巻き付けておくことができる帯状フィルム８０の長さが限られ、帯状フィルム８０が早期に無くなる。このため、帯状フィルム８０の追加作業（ローラ８１，８２の交換作業）が短い周期で必要となり、インクの塗布作業の効率が悪くなる。
そこで、本発明は、インクが正常に吐出されているか否かを検査するための好ましい新たな技術的手段を備えたインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ベースフレーム、このベースフレーム上に設けられ基板が載置されるステージ、前記基板に対して相対的に移動可能であり当該基板にインクを吐出するインクジェットヘッド、及び、前記インクジェットヘッドから前記インクが正常に吐出されているか否かを前記ベースフレーム上で検査するために当該インクジェットヘッドからインクを着弾させる帯状フィルムを存在させるテスト着弾部を有している装置本体と、前記帯状フィルムを収蔵すると共に当該帯状フィルムを前記テスト着弾部に供給することができ、かつ、前記装置本体外に設けられている供給装置とを備え、前記供給装置と前記装置本体との内の少なくとも一方は、前記テスト着弾部に供給する前記帯状フィルムに張力を与える張力付与手段を有していることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、テスト着弾部に帯状フィルムを供給する供給装置が、装置本体外に設けられているので、供給装置の帯状フィルムを収蔵する部分を大きくしても装置本体が大型化しない。そして、供給装置が装置本体外に設けられていると、供給装置からテスト着弾部までの帯状フィルムの搬送距離が長くなり、供給装置とテスト着弾部との間で帯状フィルムに弛みが生じやすくなる。弛みが生じた状態で帯状フィルムがテスト着弾部に供給されると、帯状フィルムの位置が安定せず、インクが正常に吐出されているか否かの検査（特にインクの着弾位置の検査）が正確に行われない場合がある。しかし、本発明の前記構成によれば、張力付与手段が、テスト着弾部に供給する帯状フィルムに張力を与えるので、テスト着弾部に帯状フィルムをきれいに位置させることができ、前記検査を正確に行うことが可能となる。
【０００９】
また、インクジェット装置の前記装置本体は、前記テスト着弾部に供給された前記帯状フィルムを長手方向に変位不能に拘束する拘束手段を、更に備えているのが好ましい。
前記検査を行う際、帯状フィルムに張力が作用することでクリープ等の変形が生じる場合、帯状フィルムが長手方向に伸びることで当該検査（特にインクの着弾位置の検査）を正確に行うことができないおそれがある。しかし、この場合であっても、前記拘束手段が、テスト着弾部に供給された帯状フィルムを長手方向に変位不能に拘束するので、供給装置から装置本体に供給された帯状フィルムの内の、テスト着弾部に供給されたフィルム部分に対して、作用している張力を緩和することができる。このため、帯状フィルムがクリープ等によって変形しやすい材質であっても、前記フィルム部分が張力によって伸びるのを抑えることができ、検査を正確に行うことが可能となる。
【００１０】
また、前記拘束手段が、前記テスト着弾部に設けられ前記帯状フィルムを載置可能な着弾テーブルと、前記帯状フィルムを前記着弾テーブルの上面に吸着させる吸着装置とを有している構成とした場合、吸着装置が、帯状フィルムを着弾テーブルの上面に吸着させることで、当該帯状フィルムを長手方向に変位不能に拘束することができ、着弾テーブル上の帯状フィルム（前記フィルム部分）に作用している張力を緩和することができる。
【００１１】
また、前記供給装置が前記張力付与手段を有し、当該張力付与手段は、前記テスト着弾部にあった前記帯状フィルムを巻き取る第一ローラと、この第一ローラを巻き取り方向に駆動するモータと、前記モータの駆動により前記テスト着弾部へ前記帯状フィルムが巻き出される第二ローラと、前記帯状フィルムが巻き出される前記第二ローラに制動力を与えるブレーキ手段とを有しているのが好ましい。
この場合、モータが駆動するとテスト着弾部にあった帯状フィルムを第一ローラに巻き取ることができ、第二ローラから帯状フィルムが巻き出されるが、ブレーキ手段がこの第二ローラに制動力を与えるので、帯状フィルムに張力を付与することができる。
【００１２】
また、本発明のインクジェット装置は、ベースフレーム、このベースフレーム上に設けられ基板が載置されるステージ、前記基板に対して相対的に移動可能であり当該基板にインクを吐出するインクジェットヘッド、及び、前記インクジェットヘッドから前記インクが正常に吐出されているか否かを前記ベースフレーム上で検査するために当該インクジェットヘッドからインクを着弾させる帯状フィルムを存在させるテスト着弾部を有している装置本体と、前記帯状フィルムを収蔵すると共に当該帯状フィルムを前記テスト着弾部に供給することができ、かつ、前記装置本体外に設けられている供給装置とを備え、更に、前記供給装置から前記テスト着弾部までの間に設けられ前記帯状フィルムをガイドする複数のガイドローラを備え、前記帯状フィルムのインクの着弾面は、当該インクに対して撥液性を有し、前記複数のガイドローラは、前記帯状フィルムの前記着弾面の裏側の面に接触する配置に設けられている。
この構成によれば、供給装置が装置本体外に設けられることで、帯状フィルムの搬送距離が長くなり、帯状フィルムをガイドするガイドローラが必要となるが、前記構成によれば、ガイドローラが帯状フィルムの着弾面に接触しないので、当該ガイドローラによって、帯状フィルムの撥液性が損なわれるのを防止することができる。
【００１３】
また、本発明は、前記装置本体が、第一設置室に設けられ、前記供給装置が、前記帯状フィルムを通過させるスロットが形成された壁を挟んで前記第一設置室の隣りにある第二設置室に設けられるインクジェット装置であって、前記第一設置室内の温度を制御すると共に、当該第一設置室内の空気が前記スロットを通じて前記第二設置室へ流れるように当該第一設置室の室内環境を制御する制御装置を更に備えているのが好ましい。
このようなインクジェット装置では、熱膨張等による基板の伸縮を防ぐために、装置本体を設置する設置室の温度等の室内環境を一定とするように制御する必要がある。そこで、供給装置と装置本体とが同じ設置室に設置されていると、供給装置に帯状フィルムを追加等する作業のためにこの設置室に入ると室内環境が変化するため、塗布作業を再開する前に、当該室内環境が一定となるのを待つ必要がある。しかし、本発明の前記構成によれば、供給装置に帯状フィルムを追加等する作業を、第一設置室とは別の第二設置室において行うことができ、当該作業が、第一設置室の室内環境に影響を与えることを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、帯状フィルムをテスト着弾部に供給する供給装置が装置本体外に設置されていることで、装置本体が大型化するのを防ぐことができる。また、供給装置が装置本体外に設置されることで帯状フィルムの搬送距離が長くなるが、テスト着弾部に供給する帯状フィルムに張力が与えられるので、帯状フィルムの弛みを防ぎ、テスト着弾部に帯状フィルムをきれいに位置させることができ、インクの着弾の検査を正確に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】インクジェット装置の実施の一形態の概略を示している平面図である。
【図２】インクジェット装置の断面図である。
【図３】テスト着弾部の平面図である。
【図４】（ａ）はテスト着弾部の正面図、（ｂ）は一部を拡大した断面図である。
【図５】従来のインクジェット装置の概略を示している断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明のインクジェット装置の実施の一形態の平面図であり、図２は、このインクジェット装置の断面図である。インクジェット装置は、装置本体１と、供給装置１０とを備えていて、装置本体１は、床面に置くベースフレーム２、このベースフレーム２上に設けられ基板Ｗが載置されるステージ３、塗布ガントリ５及びカメラガントリ６を備えている。供給装置１０については後に説明する。
【００１７】
ステージ３は、図示していない吸引ポンプによって基板Ｗをその上面に吸着して保持することができ、また、基板Ｗの位置決めを行うために、図示しない駆動機構及びガイド機構によって、Ｚ軸方向回りに回転駆動されるとともにＹ軸方向に駆動される。なお、Ｚ軸方向は鉛直方向であり、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は水平面上の方向であり、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は相互に直交する。
【００１８】
塗布ガントリ５は、インクジェットヘッドバー５ａを搭載していて、このインクジェットヘッドバー５ａは、複数個のインクジェットヘッド４（以下、ヘッド４という）を整列させて有している。各ヘッド４は、その下面側に、図示しないが複数のインクジェットノズル（以下、ノズルという）を有している。このノズルからインクが吐出される。また、塗布ガントリ５は、ステージ３上の基板Ｗにインクを塗布するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＸ軸方向に駆動される。塗布ガントリ５が移動することにより、ヘッド４は、ステージ３上の基板Ｗに対して移動可能となる。
【００１９】
カメラガントリ６は、基板Ｗの位置調整のためのカメラ８ａ，８ｂ、及び、ヘッド４が吐出したインクを撮像するためのカメラ９を搭載していて、カメラガントリ６は、前記位置調整及び前記インクの撮像のために、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＸ軸方向に移動することができる。また、カメラ８ａ，８ｂ，９はそれぞれ、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、カメラガントリ６上をＹ軸方向に移動することができる。
【００２０】
カメラ８ａ，８ｂは基板Ｗのアライメントマーク（図示せず）を検出するものであり、カメラ８ａ，８ｂによるマーク検出結果に基づいて、ステージ３を回転させたりＹ軸方向に移動させたりすることにより、基板Ｗの位置調整を行う。なお、Ｘ軸方向の誤差はヘッド４からのインクの吐出タイミングを調整することで解消することができる。
カメラ９は、後述するが、装置本体１に設けられたテスト着弾部７に供給された帯状フィルム４０上に、ヘッド４から着弾させたインクを撮像することができる。カメラ９が撮像した画像を、インクジェット装置が備えている制御装置（コンピュータ）４８によって画像解析することができ、また、モニタ（図示せず）に表示させることができる。この画像に基づいて、（前記制御装置４８によって）ヘッド４の各ノズルからインクが正常に吐出されているか否かの検査が行われる。この検査には、インクを吐出できていないノズルを検査するノズル欠検査の他、インクが設計上の位置に着弾されているか否かを検出する（設計上の位置とのずれ量の取得する）インクの着弾位置の検査が含まれる。
【００２１】
また、装置本体１は、ベースフレーム２上ではあるが、ステージ３とは別の領域にテスト着弾部７を有している。テスト着弾部７は、ヘッド４からインクが正常に吐出されているか否かを検査するために、帯状フィルム４０を存在させる部分であり、テスト着弾部７にある帯状フィルム４０上にヘッド４からインクを着弾させる。テスト着弾部７は、カメラガントリ６の初期位置（図１の位置）と、ステージ３との間に設けられている。このテスト着弾部７に、前記供給装置１０から帯状フィルム４０が供給される。
【００２２】
供給装置１０を説明する。供給装置１０は、装置本体１外に設けられていて、帯状フィルム４０を収蔵すると共に当該帯状フィルム４０をテスト着弾部７に供給する。供給装置１０は、使用済みの帯状フィルム４０を巻き取る第一ローラ１１、この第一ローラ１１を回転駆動するモータ１３、使用前の帯状フィルム４０が巻かれている第二ローラ１２、及び、第二ローラ１２に制動力を与えるブレーキ手段１４とを有していて、これらが、装置本体１のベースフレーム２とは異なる（ベースフレーム２から独立している）装置フレーム１６上に搭載されている。
【００２３】
モータ１３が、第一ローラ１１を巻き取り方向（図２の矢印ｒ１方向）に回転駆動すると、テスト着弾部７にあった帯状フィルム４０は第一ローラ１１に巻き取られ、さらに、第二ローラ１２からテスト着弾部７へ帯状フィルム４０が巻き出される。そして、ブレーキ手段１４は、帯状フィルム４０が巻き出される第二ローラ１２に制動力を与える。なお、ブレーキ手段１４は、第二ローラ１２を回転駆動するモータによって構成することができ、この場合、第二ローラ１２から帯状フィルム４０が巻き出される際の当該第二ローラ１２の回転方向と逆方向（矢印ｒ２方向）のトルクを、当該モータによって付与することで実現できる。
【００２４】
この供給装置１０の構成によれば、モータ１３が第一ローラ１１を強制的に回転駆動することで、第二ローラ１２にあった帯状フィルム４０をテスト着弾部７に供給することができる。この際、第二ローラ１２から帯状フィルム４０が巻き出されるが、ブレーキ手段１４がこの第二ローラ１２に制動力を与えるので帯状フィルム４０に張力が付与される。
以上より、第一ローラ１１、第二ローラ１２、モータ１３及びブレーキ手段１４によって、帯状フィルム４０に張力を付与する張力付与手段１５が構成される。そして、供給装置１０がこの張力付与手段１５を有する構成となる。
【００２５】
以上のように構成されたインクジェット装置におけるインクの塗布処理、及び、前記検査の処理を説明する。
図１において、搬入ロボット（図示せず）により基板Ｗがステージ３上に搬入されると、カメラガントリ６が移動して基板Ｗに設けられているアライメントマーク（図示せず）を検出し、この検出結果に応じて基板Ｗの位置調整を行い、基板Ｗをステージ３上に吸着させる。また、供給装置１０は、張力付与手段１５によって帯状フィルム４０に長手方向の張力を与えた状態として、当該帯状フィルム４０を装置本体１のテスト着弾部７に供給しておく。
【００２６】
塗布ガントリ５をＸ方向に往動させ、インクを吐出させるノズルが制御装置４８によって選択されて基板Ｗにインクを吐出する。この際、塗布ガントリ（ヘッド４）の位置は、制御装置４８により管理されていて、ヘッド４がステージ３をＸ軸方向に越えてテスト着弾部７に到達したことを確認すると、テスト着弾部７に存在している帯状フィルム４０にインクを吐出する。その後、塗布ガントリ５を待機位置へと移動させると共に、カメラガントリ６のカメラ９によって、帯状フィルム４０上に着弾させたインクの検出を行う。
【００２７】
なお、ステージ３上の全ての基板Ｗに対してインクの塗布を終えるためには、塗布ガントリ５（ヘッド４）をＸ軸方向に複数回往復させる。この際、塗布ガントリ５（ヘッド４）をＸ軸方向に１往復させる毎に、ヘッド４をＹ軸方向に１ステップ変位させてインクを基板Ｗに吐出させている。さらに、塗布ガントリ５（ヘッド４）の１往動毎に、テスト着弾部７に静止している帯状フィルム４０にヘッド４からインクを吐出させ、その都度カメラ９によるインクの撮像を行う。したがって、基板Ｗの全てにインクの塗布が完了するまでの間、つまり、少なくとも、テスト着弾部７においてインクの着弾が開始されてからカメラ９によって当該インクを撮像するまでの間（長い時間）、テスト着弾部７に帯状フィルム４０を滞在させる必要がある。
【００２８】
なお、帯状フィルム４０を樹脂製とすることができ、例えばポリエチレンテレフタレートや、ポリプロピレンとすることができる。このような帯状フィルム４０の場合、長い時間、張力が作用したままでテスト着弾部７に滞在させると、テスト着弾部７でクリープする。特に、樹脂製の帯状フィルム４０はクリープが緩慢であり、長手方向の位置がなかなか安定しない。このため、検査を行う際、張力が作用することで帯状フィルム４０がクリープすると、帯状フィルム４０が長手方向に伸びることで検査（特にインクの着弾位置の検査）を正確に行うことができないおそれがある。
【００２９】
そこで、装置本体１は、テスト着弾部７に供給された帯状フィルム４０を長手方向に変位不能に拘束する拘束手段２１を更に備えている。図３及び図４（ａ）は、テスト着弾部７の平面図及び正面図である。具体的に説明すると、拘束手段２１は、テスト着弾部７に設けられ帯状フィルム４０を載置可能な着弾テーブル２２と、前記クリープを抑制するためにこの帯状フィルム４０を着弾テーブル２２の上面に吸着させる吸着装置２３とを有している。着弾テーブル２２は、その上面が水平である部材からなり、図３、及び、図４（ｂ）の拡大断面図に示しているように、着弾テーブル２２の上面２２ａには、当該上面２２ａに開口している複数の孔２４が設けられている。
【００３０】
吸着装置２３は吸引ポンプからなり、この吸引ポンプは前記孔２４のそれぞれと繋がっていて、孔２４から空気を吸引することができる。また、着弾テーブル２２の上面２２ａには、隣り合う孔２４，２４同士を繋いでいる溝２５が複数形成されている。吸着装置２３によって孔２４から空気が吸引されると、その吸引力は溝２５においても生じる。この溝２５により、着弾テーブル２２上の広い範囲で帯状フィルム４０を吸着させることが可能となる。なお、図示しないが、孔２４及び溝２５の代わりに、着弾テーブル２２の少なくとも上層部を多孔質のブロックにより構成してもよい。この場合、当該ブロックを通じて空気を吸引することで、帯状フィルム４０を着弾テーブル２２の上面に吸着させることが可能となる。
【００３１】
このように構成された拘束手段２１によれば、使用前の帯状フィルム４０が着弾テーブル２２上に供給されると、拘束手段２１は機能して、つまり、吸着を開始して、当該着弾テーブル２２上に帯状フィルム４０を吸着させる。そして、着弾テーブル２２上の帯状フィルム４０に対して、前記検査のためにヘッド４はインクを着弾させる。
以上より、供給装置１０から装置本体１に供給された帯状フィルム４０の内の、テスト着弾部７（着弾テーブル２２上）に供給されたフィルム部分４０ｃに対して作用している張力を緩和（開放）することができる。つまり、着弾テーブル２２上のフィルム部分４０ｃ以外には張力が作用しているが、着弾テーブル２２上にあるフィルム部分４０ｃでは、張力が緩和されている。このため、帯状フィルム４０が張力によってクリープしやすい材質であっても、前記フィルム部分４０ｃが張力によって伸びるのを抑えることができ、検査を正確に行うことが可能となる。
【００３２】
図３と図４（ａ）とに示しているように、着弾テーブル２２には、上下移動するローラ２７が設けられている。供給手段１０が駆動して帯状フィルム４０を搬送する際（巻き取りと巻き出しを行う際）、前記拘束手段２１による帯状フィルム４０の吸着が解除され、かつ、ローラ２７は、着弾テーブル２２の上面２２ａから突出した状態となる。これにより、帯状フィルム４０の搬送の際に、帯状フィルム４０は転がるローラ２７上を走行することができ、帯状フィルム４０が着弾テーブル２２に接触することを防止し、摩擦による抵抗を減らし、また、摩擦によって帯状フィルム４０から塵が発生するのを防止することができる。そして、帯状フィルム４０を着弾テーブル２２に吸着させる際、ローラ２７は、その上端が上面２２ａ以下となる位置まで下降する。なお、このローラ２７を省略して、着弾テーブル２２から上方へ空気を吐出し、この空気によって帯状フィルム４０を浮上させて搬送してもよい。この場合、前記孔２４及び溝２５から空気を吐出させればよい。
【００３３】
また、図２において、供給装置１０が装置本体１外に設けられていることで、帯状フィルム４０の搬送距離が長くなり、帯状フィルム４０をガイドする構成が必要となる。そこで、本発明のインクジェット装置は、帯状フィルム４０をガイドする複数のガイドローラを備えている。
なお、帯状フィルム４０のインクの着弾面４０ａ、つまり、帯状フィルム４０が着弾テーブル２２上にある状態でその上面は、インクに対して撥液性を有している。なお、撥液性とは、例えばインクの表面張力を２５ｍＮ／ｍとすると接触角θが４０ー以上となる性質である。帯状フィルム４０が撥液性を有していることで、ヘッド４から着弾させたインクは帯状フィルム４０上で玉形状となり、着弾させたインクの位置をカメラ９によって正確に検出することができる。この撥液性は、帯状フィルム４０が樹脂製であることに加えて、その着弾面４０ａに撥液処理（例えば、撥液層を設ける処理や、面を平滑にする処理）が施されていることにより生じる。したがって、着弾面４０ａの撥液性が損なわれていると、インクは玉形状とならない。このため、着弾面４０ａに例えば傷が付くのは好ましくない。
【００３４】
そこで、供給装置１０からテスト着弾部７までの間に設けられたガイドローラ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのすべては、帯状フィルム４０の裏面４０ｂ（着弾面４０ａの裏側の面）に接触する配置として設けられている。この構成によれば、ガイドローラ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのすべては、帯状フィルム４０の着弾面４０ａに接触しないので、当該ガイドローラ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄによって帯状フィルム４０の撥液性が損なわれるのを防止することができる。なお、帯状フィルム４０には張力が付与されているので、下面において帯状フィルム４０と接触するガイドローラ３０ａ，３０ｂ，３０ｃにおいても、帯状フィルム４０をガイドすることができる。
【００３５】
また、インクジェット装置は、ステージ３上に搬入された基板Ｗが熱膨張等によって伸縮するのを防ぐために、装置本体１を設置する部屋の温度や湿度等の室内環境を一定とするように制御する必要がある。そこで、本発明のインクジェット装置は、装置本体１が設けられている第一設置室５１内の温度及び湿度を制御する室内環境制御装置５３（図２参照）を備えている。
なお、供給装置１０と装置本体１とを同じ第一設置室５１に設置してもよいが、新しい帯状フィルム４０を供給装置１０に収蔵するために第二ローラ１２を交換する、又は、使用済みの帯状フィルム４０が巻かれた第一ローラ１１を空のものに交換するために、この第一設置室５１に入ると、室温等の室内環境が変化する。この場合、前記交換作業を終えてから、塗布作業を再開する前に、室内環境が一定となるのを待つ必要がある。
【００３６】
そこで、より好ましい実施形態としては、装置本体１は第一設置室５１に設けられているが、供給装置１０は、壁５０を挟んで第一設置室５１の隣りにある第二設置室５２に設けられている。なお、壁５０には、帯状フィルム４０を通過させるスロット５０ａが形成されている。そして、図１に示しているように、第一設置室５１の扉５１ａと、第二設置室５２の扉５２ａとは、それぞれ独立して開閉することができる。
そして、室内環境制御装置５３は、第一設置室５１内の空気がスロット５０ａを通じて第二設置室５２へ自然に流れるように、第一設置室５１の室内環境を制御している。具体的には、室内環境制御装置５３は、第一設置室５１の気圧を制御する機能を有していて、第二設置室５２よりも第一設置室５１の気圧が高くなるように制御する。なお、第二設置室５２にも、第二の室内環境制御装置５４が設けられていて、第二設置室５２の温度、湿度、気圧等の室内環境を制御してもよく、第一と第二の室内環境制御装置が連動して、第二設置質５２よりも第一設置室５１の気圧が高くなるように制御していてもよい。
【００３７】
この構成によれば、供給装置１０に帯状フィルム４０を追加等する作業を、第一設置室５１とは別の第二設置室５２において行うことができるので、当該作業が、第一設置室５１の室内環境に影響を与えることを防ぐことができる。また、装置本体１において塗布作業を行っている間であっても、第二設置室５２において、供給装置１０における作業を実行することが可能となる。このため、帯状フィルム４０を追加等する作業が簡単となる。そして、第二設置質５２よりも第一設置室５１の気圧が高くなっているので、第二設置室５２内の塵や埃が、装置本体１のある第一設置室５１に入ることを防ぐことができる。
【００３８】
以上のように構成されたインクジェット装置によれば、テスト着弾部７に帯状フィルム４０を供給する供給装置１０が、装置本体１とは別として設けられているので、帯状フィルム４０の容量を増やすために、供給装置１０の帯状フィルム４０を収蔵する部分（第一ローラ１１及び第二ローラ１２）を大きくしても、装置本体１が大型化しない。すなわち、装置本体１を不要に大きくしなくても、帯状フィルム４０の容量を簡単に増やすことができ、帯状フィルム４０を追加等する作業の周期を長くすることができる。
そして、供給装置１０が装置本体１外に設けられていると、供給装置１０からテスト着弾部７までの帯状フィルム４０の搬送距離が長くなり、供給装置１０とテスト着弾部７との間で帯状フィルム４０に弛みが生じやすくなる。仮に弛みが生じた状態で帯状フィルム４０がテスト着弾部７に供給されると、帯状フィルム４０の位置が安定せず、インクが正常に吐出されているか否かの検査（特にインクの着弾位置の検査）が正確に行われない場合がある。しかし、本発明の前記構成によれば、テスト着弾部７に供給される帯状フィルム４０に張力を与えるので、テスト着弾部７に帯状フィルム４０をきれいに位置させることができ、前記検査を正確に行うことが可能となる。
【００３９】
また、本発明は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであっても良い。例えば、前記実施形態では、塗布ガントリ５が往復動してインク塗布している途中で、前記検査の処理を行う場合を説明したが、ガントリ５を移動させる前となる塗布作業前に、前記検査の処理を行ってもよい。
また、前記拘束手段２１によって帯状フィルム４０を拘束している間、前記張力付与手段１５を機能させて、他の部分の帯状フィルム４０に張力を作用させているが、帯状フィルム４０を拘束している間、張力付与手段１５を機能させず、前記張力が作用していない状態としてもよい。
【００４０】
また、拘束手段２１は他の形態であってもよく、帯状フィルム４０の吸引は着弾テーブル２２の搬送方向前後にあるローラ３０ｄ，３１ｅにおいて行ってもよい。
さらに、張力付与手段１５は、他の形態であってもよく、また、供給装置１０と装置本体１との内の少なくとも一方に設けられていればよい。例えば複数のガイドローラ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３１ｅ，３１ｆ，３１ｇの内のいずれかが移動可能な構成であり、このガイドローラが変位することで、帯状フィルム４０に張力を与える構成であってもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１：装置本体、  ２：ベースフレーム、  ３：ステージ、  ４：ヘッド（インクジェットヘッド）、５：  塗布ガントリ、  ６：カメラガントリ、  ７：テスト着弾部、  １０：供給装置、  １１：第一ローラ、  １２：第二ローラ、  １３：モータ、  １４：ブレーキ手段、  １５：張力付与手段、  ２１：拘束手段、  ２２：着弾テーブル、  ２３：吸着装置、  ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ：ガイドローラ、  ４０：帯状フィルム、  ４０ａ：着弾面、  ４０ｂ：裏面、  ５０：壁、  ５０ａ：スロット、  ５１：第一設置室、  ５２：第二設置室、  ５３：室内環境制御装置（制御装置）、  Ｗ：基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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