(57)【要約】【課題】ビームの熱変形を防止し、ビームと接続部材の締結部のすべりやネジせん断破壊を防止し、ビームの支持剛性を確保し、駆動ステージの位置決め精度の低下や位置決め整定時間の増加と、ガイドレールの破損を防止する。【解決手段】駆動ステージが、延伸ビーム３とリニアモータ可動子１ａとスライダ２ｂと、これらをネジ締結部４で締結し固定するための接続部材５で構成され、接続部材５は、ビーム３を接続する接続部材ａ（５ａ）と接続部材ｂ（５ｂ）と、リニアモータ可動子１ａを接続する接続部材ｃ（５ｃ）とをお互い直交するように分離して、薄板を組合せて形成され、ビーム３と接続部材５は、ネジ軸方向がｘ軸と平行なネジ締結部ａ（４ａ）と、ネジ軸方向がｙ軸と平行なネジ締結部ｂ（４ｂ）とで締結され、面法線方向がそれぞれｘ軸方向とｙ軸方向と垂直になるよう放熱フィンａ（６ａ）と放熱フィンｂ（６ｂ）が設置され、放熱と補強の役割を果たす。【選択図】  図１
2010258248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、
前記移動ユニットは、移動方向に対して垂直方向に延伸されたビームと、通電によって磁界を発生するリニアモータ可動子と、前記ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダと、前記ビームと前記リニアモータ可動子を前記スライダにネジで締結し固定するための接続部材と、を有し、
前記接続部材は、お互い直交する少なくとも２面以上の前記ビームを固定する面と、前記ビームを固定する面と前記リニアモータ可動子を固定する面とを分離し、お互いに直交するように少なくとも３つ以上の薄板を組合せて形成され、前記ビームを固定する面の裏側面と、前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と、に複数の放熱フィンを設けたことを特徴とする駆動ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動ステージにおいて、
前記放熱フィンは、放熱面の法線方向が前記ビームの延伸方向と垂直であって、前記放熱フィンの放熱面が前記ビームを固定する面の裏側面と前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と直交するように少なくとも２つ以上の薄板で形成され、前記ビームと前記接続部材のネジ締結部近傍を始点として設けたことを特徴とする駆動ステージ。
【請求項３】
請求項１に記載の駆動ステージにおいて、
前記放熱フィンは、放熱面の法線方向が前記ビームの延伸方向と平行であって、前記放熱フィンの放熱面が前記ビームを固定する面の裏側面と前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と直交するように少なくとも２つ以上の薄板で形成され、前記ビームと前記接続部材のネジ締結部近傍を始点として設けたことを特徴とする駆動ステージ。
【請求項４】
リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、
前記移動ユニットは、移動方向に対して垂直方向に延伸されたビームと、通電によって磁界を発生するリニアモータ可動子と、前記ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダと、前記ビームと前記リニアモータ可動子を前記スライダにネジで固定するための接続部材と、を有し、
前記接続部材は、お互い直交する少なくとも２面以上の前記ビームを固定する面と、前記ビームを固定する面と前記リニアモータ可動子を固定する面とを分離し、お互いに直交するように少なくとも３つ以上の薄板を組合せて形成され、前記接続部材に前記ビームを固定するための１つの面に配置されるネジの軸方向と、前記接続部材に前記ビームを固定するための少なくとももう１つの面に配置されるネジの軸方向と、がお互いに直交するようにネジ締結部が配置され、
前記接続部材に前記ビームを固定するための１つの面に配置されるネジの軸方向と面法線方向が平行であって、該ネジ締結部を始点として薄板が少なくとも２つ以上形成され、前記接続部材に前記ビームを固定するための少なくとももう１つの面に配置されるネジの軸方向と面法線方向が平行であって、該ネジ締結部を始点として薄板が少なくとも２枚以上形成され、前記薄板は前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と直交することを特徴とする駆動ステージ。
【請求項５】
請求項４に記載の駆動ステージにおいて、
前記接続部材は、前記薄板を放熱フィンとする放熱フィン付きのヒートシンクであることを特徴とする駆動ステージ。
【請求項６】
リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、
前記移動ユニットは、移動方向に対して垂直方向に延伸されたビームと、通電によって磁界を発生するリニアモータ可動子と、前記ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダと、前記ビームと前記リニアモータ可動子を前記スライダにネジで締結し固定するための接続部材と、を有し、
前記接続部材は、お互い直交する少なくとも２面以上の前記ビームを固定する面と、前記ビームを固定する面と前記リニアモータ可動子を固定する面とを分離し、お互いに直交するように少なくとも３つ以上の薄板を組合せて形成され、前記ビームを固定する面の裏側面と、前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と、に複数の放熱フィンを設け、
前記放熱フィンは、放熱面の法線方向が前記ビームの延伸方向と垂直であって、前記放熱フィンの放熱面が前記ビームを固定する面の裏側面と前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面に直交するように少なくとも２つ以上の薄板で形成され、前記ビームと前記接続部材のネジ締結位置近傍を始点として設け、
また、一方の前記放熱フィンは、放熱面の法線方向が前記ビームの延伸方向と平行であって、前記放熱フィンの放熱面が前記ビームを固定する面の裏側面と前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面に直交するように少なくとも２つ以上の薄板で形成され、前記ビームと前記接続部材のネジ締結位置近傍を始点として設け、
前記接続部材は、前記接続部材に前記ビームを固定するための１つの面に配置されるネジの軸方向と、前記接続部材に前記ビームを固定するための少なくとももう１つの面に配置されるネジの軸方向と、がお互いに直交するようにネジ締結部が配置されるものであって、
前記接続部材に前記ビームを固定するための１つの面に配置されるネジの軸方向と面法線方向が平行であって、該ネジ締結部を始点として薄板が少なくとも２つ以上形成され、前記接続部材に前記ビームを固定するための少なくとももう１つの面に配置されるネジの軸方向と面法線方向が平行であって、該ネジ締結部を始点として薄板が少なくとも２つ以上形成され、前記薄板は前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と直交し、
前記接続部材は、前記薄板を放熱フィンとする放熱フィン付きのヒートシンクであることを特徴とする駆動ステージ。
【請求項７】
リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、
前記移動ユニットは、移動方向に対して垂直方向に延伸されたビームと、通電によって磁界を発生するリニアモータ可動子と、前記ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダと、前記ビームと前記リニアモータ可動子を前記スライダにネジで締結し固定するための接続部材と、を有し、
前記接続部材が、放熱フィンと補強リブを兼用とする板状部材を有することを特徴とする駆動ステージ。
【請求項８】
請求項７において、
複数の前記板状部材が、少なくとも異なる二方向で前記接続部材へ接続され、
前記ネジは、少なくともねじ込み方向が二方向からの複数のネジであることを特徴とする駆動ステージ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項記載の駆動ステージと、その駆動ステージ上に搭載される移動体ユニットに取り付けられたチップ実装機構部品とを備えたことを特徴とするチップマウンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動ステージ及びそれを用いたチップマウンタに関する。例えば、リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージに関する。又は、ＸＹ軸ステージ用ビームの支持構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の駆動ステージとして、例えば特許文献１に開示されているものがある。リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、移動ユニットは、移動方向に対して延伸された移動体と、通電によって磁界を発生するリニアモータ可動子と、ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダで構成され、リニアモータ可動子は移動体に断熱特性に優れる特殊樹脂で形成された断熱材を介して接続され、スライダは移動体に直接固定されていた。
【０００３】
通電によるリニアモータ可動子の発熱は、移動体やスライダやガイドレールの熱変形の原因となり、駆動ステージのスムーズな稼動を妨げるとともに位置決め精度を低下させる要因となる。特許文献１の構成においては、リニアモータ可動子はガラスエポキシ樹脂材で構成される断熱材を介して移動体にネジ締結されており、移動体やスライダやガイドレールへの伝熱を防止していた。
【０００４】
また、従来の駆動ステージとして、例えば特許文献２に開示されているものがある。例えばリニアモータを駆動源とし、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、移動ユニットは、移動方向に対して垂直に延伸されたビームと、ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダと、ビームをスライダに固定するための接続部材と、から構成される。永久磁石により形成されるリニアモータ固定子はガイドレールと平行に固定され、リニアモータ可動子は接続部材のビーム接続面の裏側面に設置することが行われている。また、特許文献２の構成においては、移動ユニット移動時の空気の強制対流による放熱冷却の効果が大きいことから、ビーム本体や接続部材に放熱ファンや放熱フィンを設置することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−８８９８１号公報
【特許文献２】特開２００８−１０８９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術では、通電によるリニアモータ可動子の発熱が移動体やスライダやガイドレールへ伝熱することを防止するために、リニアモータ可動子はガラスエポキシ樹脂材で構成される断熱材を介して移動体にネジ締結されている。
【０００７】
しかし、樹脂材が締結部の被締結側となった場合、締結部の締付力による樹脂材の永久変形やクリープ変形によるゆるみが発生し易くなり、締結部の信頼性が低下するという課題がある。
【０００８】
また、従来の駆動ステージのように、永久磁石により形成されるリニアモータ固定子はガイドレールと平行に固定され、リニアモータ可動子は接続部材のビーム接続面の裏側面に設置する構成においては、ビームの延伸方向にもリニアモータ式駆動ステージが構成されており、ビームが熱変形した場合は、ビーム延伸方向にビーム上を移動する移動ユニットのスムーズな稼動を妨げるとともに位置決め精度を低下させる要因となるという課題がある。
【０００９】
また、ビームを両持ちで支持する場合、ビームの熱変形だけでなく、ガイドレールがビーム熱変形をある程度拘束することによって生ずる圧縮荷重がガイドレールに負荷され、ガイドレールの寿命低下の要因となるという課題がある。
【００１０】
また、ビーム本体や接続部材に放熱ファンや放熱フィンを放熱ファンと放熱フィンとを併用する場合、放熱効率を格段に向上できるが、放熱ファンは、製造工程や製造コストの増加の要因となるという課題がある。さらに、移動体の重量増加によるリニアモータの負担が増加し、リニアモータ可動子の発熱量が増加する可能性があるという課題がある。また、近年では、産業機械や精密機械の小型化が進んでおり、放熱ファンを設置できる領域は少なくなっているという課題がある。
【００１１】
一方、放熱フィンの設置は、放熱フィンの設置箇所と数量，フィン形状を工夫すれば、移動ユニットの移動速度が増加すればするほど、空気の強制対流による放熱冷却の効果は大きくなり、放熱効率を向上できる。放熱効率は、フィンの設置間隔とフィン形状と放熱面の総面積に比例し、可能な限り多くの放熱フィンを効率よく設置することが望ましい。
【００１２】
従来技術の構成においては、接続部材のビーム接続面領域には放熱フィンを設置することができず、放熱フィンの設置領域が制限されていた。ビーム接続面領域を小さくし、放熱フィンを設置するための領域を確保しようとすると、ビーム支持剛性が低減し、駆動ステージ稼動時の慣性力によるビームのたわみや振動増加の要因となるという課題がある。
【００１３】
また、駆動ステージの高速化にともなう移動加速度の増加により、ビームと接続部材のネジ締結部において、移動方向の慣性力による負担荷重が増加し、締結部のネジ軸方向だけでなく軸直角方向の負担荷重も大きくなるという課題がある。
【００１４】
ネジ締結部は、ネジ軸方向の負担荷重が増加する場合、ネジ呼び径の増加やネジ締結部の増設が行われるが、軸直角方向の負担荷重が増加する場合、締結部のすべりやネジのせん断破壊が発生し易くなるという課題がある。
【００１５】
従来技術の構成において、ビームと接続部材の固定方法がネジ締結の場合、ビームと接続部材はビーム延伸方向にのみネジ締結され、移動加速度の増加により、ネジ軸直角方向の負担荷重が増加すると、締結部のすべりやネジのせん断破壊が発生し易いという課題がある。
【００１６】
また、材料力学のビーム曲げの公式より、ビームの支持方法は固定支点より回転支点の方がビームのたわみは大きいという課題がある。
【００１７】
ビーム支持剛性が確保できずビームと接続部材の締結部の変形が大きい場合、ビームの支持方法は固定支点より回転支点に近く、ビームのたわみや振動増加の要因となるという課題がある。
【００１８】
これらは駆動ステージのスムーズな稼動を妨げるとともに位置決め精度の低下と位置決め時間の増加の要因となるという課題がある。
【００１９】
本発明の一つの目的は、リニアモータ可動子からビームへの伝熱を抑えビームの熱変形を防止し、ビームと接続部材の締結部のすべりやネジのせん断破壊の防止とビーム支持剛性を確保し、駆動ステージの位置決め精度の低下や位置決め整定時間の増加の防止と、ガイドレール破損の防止が可能な駆動ステージを提供することにある。
【００２０】
本発明の他の目的は、位置決め精度の低下やスループットの低下を防止できる電子部品装着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の一つの特徴は、駆動ステージにおいて、前記接続部材は、お互い直交する少なくとも２面以上の前記ビームを固定する面と、前記リニアモータ可動子を固定する面を分離し、お互いに直交するように少なくとも３つ以上の薄板を組合せて形成され、前記ビームを固定する面の裏側面と、前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と、に複数の放熱フィンを設置して構成され、前記リニアモータ可動子から前記ビームへ伝熱する前に前記接続部材で放熱し、前記ビームの熱変形を防止できることにある。
【００２２】
本発明の他の特徴は、駆動ステージにおいて、更に、前記放熱フィンの放熱面の法線方向が前記ビームの延伸方向と垂直であって、前記放熱フィンの放熱面が前記ビームを固定する面の裏側面と前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面に直交するように少なくとも２つ以上の薄板で形成され、前記ビームと前記接続部材のネジ締結位置を始点に設置され、前記ビームの熱変形を防止できるだけでなく、前記ビームと前記接続部材の締結部のすべりやネジのせん断破壊を防止し、前記ビームの延伸方向と平行な方向の荷重に対する支持剛性を確保できることにある。
【００２３】
本発明のその他の特徴は、駆動ステージにおいて、更に、前記放熱フィンの放熱面の法線方向が前記ビームの延伸方向と平行であって、前記放熱フィンの放熱面が前記ビームを固定する面の裏側面と前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面に直交するように少なくとも２つ以上の薄板で形成され、前記ビームと前記接続部材の締結位置を始点に設置され、前記ビームの熱変形を防止できるだけでなく、前記ビームと前記接続部材の締結部のすべりやネジのせん断破壊を防止し、前記ビームの延伸方向と垂直な方向に対する支持剛性を確保できることにある。
【００２４】
本発明のその他の特徴は、駆動ステージにおいて、更に、前記接続部材に前記ビームを固定するための１つの面に配置されるネジの軸方向と、前記接続部材に前記ビームを固定するための少なくとももう１つの面に配置されるネジの軸方向と、がお互いに直交するようにネジ締結部が配置され、前記接続部材に前記ビームを固定するための１つの面に配置されるネジの軸方向と面法線方向が平行であって、該ネジ締結部を始点として薄板が少なくとも２つ以上形成され、前記接続部材に前記ビームを固定するための少なくとももう１つの面に配置されるネジの軸方向と面法線方向が平行であって、該ネジ締結部を始点として薄板が少なくとも２つ以上形成され、前記薄板は前記リニアモータ可動子を固定する面の裏側面と直交するよう設置して構成されるため、前記ビームと前記接続部材の締結部のすべりやネジのせん断破壊を防止し、前記ビームの延伸方向と平行な方向と延伸方向と垂直な方向に対する支持剛性を確保できることにある。
【００２５】
本発明の更にその他の特徴は、駆動ステージにおいて、更に、前記接続部材が、前記薄板を放熱フィンとする放熱フィン付きのヒートシンクとして構成され、前記リニアモータ可動子から前記ビームへ伝熱する前に前記接続部材で放熱し、前記ビームの熱変形を防止できることにある。
【００２６】
本発明の更にその他の特徴は、リニアモータによって、ガイドレールに沿って案内され移動する移動ユニットを備える駆動ステージであって、前記移動ユニットは、移動方向に対して垂直方向に延伸されたビームと、通電によって磁界を発生するリニアモータ可動子と、前記ガイドレールに沿って自在に往復運動可能なスライダと、前記ビームと前記リニアモータ可動子を前記スライダにネジで締結し固定するための接続部材と、を有し、前記接続部材が、放熱フィンと補強リブを兼用とする板状部材を有することにある。
【００２７】
本発明の更にその他の特徴は、複数の前記板状部材が、少なくとも異なる二方向で前記接続部材へ接続され、前記ネジは、少なくともねじ込み方向が二方向からの複数のネジであることにある。
【００２８】
本発明の更にその他の特徴は、前記駆動ステージと、その駆動ステージ上に搭載される移動体ユニットに取り付けられたチップ実装機構部品とを備えたことを特徴とするチップマウンタにある。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の一つの態様によれば、ビームの熱変形を防止し、締結部のすべりやネジのせん断破壊の防止とビーム支持剛性を確保し、駆動ステージの位置決め精度の低下や位置決め整定時間の増加を防止して、ガイドレールの破損も防止可能な駆動ステージを提供することができる。
【００３０】
本発明の他の態様によれば、位置決め精度の低下やスループットの低下を防止できる電子部品装着装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明実施形態の駆動ステージの概略図（鳥瞰図）。
【図２】本発明実施形態の駆動ステージの概略図（上面図）。
【図３】本発明実施形態の駆動ステージの概略図（正面図）。
【図４】本発明実施形態の接続部材の側面図。
【図５】本発明実施形態の駆動ステージを用いたチップマウンタを示す平面図である。
【図６】図５のチップマウンタの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、図面を用いて本発明を実施するための形態を説明する。図１は、本発明による駆動ステージの実施例を示す鳥瞰図である。図２は、図１に示めす駆動ステージの上面図である。図３は、図１に示めす駆動ステージの正面図である。図４は、図１に示めす駆動ステージの側面図である。
【００３３】
図１から図４に示すように、駆動ステージは、リニアモータユニット１によって、移動ユニットをガイドレール２ａに沿ってｙ軸方向に案内する。移動ユニットは、ｘ軸方向に垂直な断面を延伸して形成された一様同断面のビーム３と、リニアモータ可動子１ａと、ガイドレール２ａに沿って自在に往復運動可能なスライダ２ｂと、ビーム３とリニアモータ可動子１ａとをスライダ２ｂにネジ締結部４で締結し固定するための接続部材５とで少なくとも構成される。
【００３４】
接続部材５は、ビーム３を固定するための薄板からなる接続部材ａ（５ａ）と、該接続部材ａ（５ａ）とお互い直交しビーム３を固定するためのもう１つの薄板からなる接続部材ｂ（５ｂ）と、ビーム３を固定する接続部材ａ（５ａ）および接続部材ｂ（５ｂ）とリニアモータ可動子１ａを固定する薄板からなる接続部材ｃ（５ｃ）とで少なくとも構成され、接続部材ａ（５ａ），接続部材ｂ（５ｂ）および接続部材ｃ（５ｃ）がお互い直交するよう形成された構造である。
【００３５】
また、ビーム３と接続部材ａ（５ａ）を固定する２箇所のネジ締結部ａ（４ａ）近傍を始点に、ｘ軸方向と放熱面の法線方向が垂直になるよう薄板の放熱フィンａ（６ａ）が形成される。さらに、ビーム３と接続部材ａ（５ａ）を固定する２箇所のネジ締結部ａ（４ａ）近傍を始点に、ｘ軸方向と放熱面の法線方向が平行になるよう薄板の放熱フィンｂ（６ｂ）が形成される。さらに、放熱フィンａ（６ａ）および放熱フィンｂ（６ｂ）が、リニアモータ可動子の接続部材ｃ（５ｃ）の裏側面とお互い直交する構造である。
【００３６】
上記構造においては、接続部材５は、ビーム３の接続部材ａ（５ａ）と接続部材ｂ（５ｂ）と、リニアモータ可動子１ａの接続部材ｃ（５ｃ）を固定する面を分離し、それぞれの設置面の裏側面がお互い直交するよう設置しているため、接続部材ｃ（５ｃ）のリニアモータ可動子１ａ固定面の裏側面に放熱面積の大きい放熱フィンａ（６ａ）と放熱フィンｂ（６ｂ）を効率よく設置できる。また、移動ユニットが移動することによって発生する空気の強制対流により、放熱フィンａ（６ａ）と放熱フィンｂ（６ｂ）が接続部材ｃ（５ｃ）に設置されているため、リニアモータ可動子１ａで発生した熱はビーム３に伝熱する前に放熱フィンａ（６ａ）と放熱フィンｂ（６ｂ）によって放熱することができ、ビームの熱変形を防止できる。
【００３７】
接続部材５は、ビーム３とビーム３を固定する薄板からなる接続部材ａ（５ａ）はネジ軸方向がｘ軸と平行なネジ締結部ａ（４ａ）で締結され、ビーム３とビーム３を固定する薄板からなる接続部材ｂ（５ｂ）はネジ軸方向がｙ軸と平行なネジ締結部ｂ（４ｂ）で締結されている。
【００３８】
上記構造においては、移動ユニットがｙ軸方向に移動する際、ビーム３の固定端はｘ軸とｙ軸の両方向の荷重を負担する。ネジ締結部ａ（４ａ）がｘ軸方向の荷重を負担し、ネジ締結部ｂ（４ｂ）がｙ軸方向の荷重を負担するため、ネジ締結部ａ（４ａ）とネジ締結部ｂ（４ｂ）はネジ軸方向のみ荷重を負担することになり、締結部のすべりやネジのせん断破壊を防止できる。
【００３９】
また、薄板からなる放熱フィンａ（６ａ）は、ビーム３延伸方向と面法線方向が直交するように、ネジ締結部ａ（４ａ）を始点として接続部材ｃ（５ｃ）に直交するように設置されているため、ｘ軸方向の荷重に対する支持剛性を確保でき、薄板からなる放熱フィンｂ（６ｂ）は、ビーム３延伸方向と面法線方向が平行になるように、ネジ締結部ａ（４ａ）を始点として接続部材ｃ（５ｃ）に直交するように設置されているため、ｙ軸方向の荷重に対する支持剛性を確保でき、それぞれ補強リブの役割を果たすことから、ビームの変形や振動を防止できる。
【００４０】
次に、図５及び図６により、電子部品装着装置（チップマウンタとも称する。）への応用例を説明する。チップマウンタは、駆動ステージを備える。まず、チップマウンタの構成を説明する。
【００４１】
図５及び図６は、チップマウンタの構成を示す概略構成図であり、図５はその側面図、図６は平面図である。図５及び図６に示すように、チップマウンタ３０は、基板３１が配置される基台３２と、基台３２上に設けられ駆動ステージ１０を支持し１方向（Ｙ軸方向とする）に移動させる駆動ステージ移動手段３３と、駆動ステージ移動手段３３上に設けられる駆動ステージ１０とを有する。
【００４２】
駆動ステージ移動手段３３は、基台３２上に、基板３１を挟んで互いに平行に配置される１対のリニアガイドレール（Ｙ軸用リニアガイドレール）３４と、リニアガイドレール３４に沿って摺動し駆動ステージ１０をその両端で支持するステージ支持スライダ３５と、ステージ支持スライダ３５を駆動させるためのリニアモータ（Ｙ軸用リニアモータ）３６とを有する。
【００４３】
駆動ステージ１０は、２つのＹ軸用リニアガイドレール３４間を架橋する程度に長尺なビーム１６と、そのビーム１６上にビーム長手方向（Ｘ軸方向とする）に沿って設けられた２本のリニアガイドレール（Ｘ軸用リニアガイドレール）１９と、リニアガイドレール１９に沿って摺動自在なスライダと、そのスライダに固定された移動体１７とを備える。移動体１７には、電子部品を基板３１上に実装するためのチップ実装機構３７が取り付けられる。
【００４４】
チップマウンタ３０は、駆動ステージ移動手段３２のＹ軸用リニアモータ３６の駆動によりＹ軸用リニアガイドレール３４上の駆動ステージ１０をＹ方向に移動させると共に、駆動ステージ１０のＸ軸用リニアモータ１９の駆動により移動体１７を、駆動ステージ移動方向と垂直な方向（Ｘ方向）に移動させることができる。これにより、基台３２上に載置された基板（半導体ウェハや電子回路基板等）３１上のいずれの位置にも移動体１７を位置合わせすることができ、移動体１７に取り付けられたチップ実装機構３７により、基板３１上の所望の位置に電子部品を実装することができる。
【００４５】
図１から図４を用いて説明した駆動ステージを、図５及び図６のチップマウンタへ適用することにより、ビームの熱変形を防止し、締結部のすべりやネジのせん断破壊の防止とビーム支持剛性を確保し、駆動ステージの位置決め精度の低下や位置決め整定時間の増加を防止して、ガイドレールの破損も防止可能な駆動ステージを有する電子部品装着装置が提供できるので、電子部品装着装置における位置決め精度の低下やスループットの低下を防止できるという効果がある。
【００４６】
以上述べたように、本明細書では、例えば、リニアモータ可動子１ａからビーム３への伝熱を抑えビーム３の熱変形を防止し、ビーム３と接続部材５のネジ締結部４のすべりやネジせん断破壊を防止し、ビーム３の支持剛性を確保し、駆動ステージの位置決め精度の低下や位置決め整定時間の増加と、ガイドレール２ａの破損の防止が可能な駆動ステージを提供することが開示される。すなわち、駆動ステージが、延伸ビーム３とリニアモータ可動子１ａとスライダ２ｂと、これらをネジ締結部４で締結し固定するための接続部材５で構成される場合において、接続部材５は、ビーム３を接続する薄板からなる接続部材ａ（５ａ）少なくとももう１つの薄板からなる接続部材ｂ（５ｂ）と、リニアモータ可動子１ａを接続する薄板からなる接続部材ｃ（５ｃ）とをお互い直交するように分離して、少なくとも３つ以上の薄板を組合せて形成され、ビーム３と接続部材５は、ネジ軸方向がｘ軸と平行なネジ締結部ａ（４ａ）と、ネジ軸方向がｙ軸と平行なネジ締結部ｂ（４ｂ）とで締結され、面法線方向がそれぞれｘ軸方向とｙ軸方向と垂直になるよう薄板からなる放熱フィンａ（６ａ）と放熱フィンｂ（６ｂ）が設置され、それぞれが放熱フィンと補強リブの役割を果たすよう形成し、上記の課題を解決することが開示される。
【符号の説明】
【００４７】
１  リニアモータユニット
１ａ  リニアモータ可動子
１ｂ  リニアモータ固定子
２  ガイドレールユニット
２ａ  ガイドレール
２ｂ  スライダ
３  ビーム
４  ネジ締結部
４ａ  ネジ締結部ａ
４ｂ  ネジ締結部ｂ
５  接続部材
５ａ  接続部材ａ
５ｂ  接続部材ｂ
５ｃ  接続部材ｃ
６  放熱フィン
６ａ  放熱フィンａ
６ｂ  放熱フィンｂ
【図１】
2010258248.tif 000003
【図２】
2010258248.tif 000004
【図３】
2010258248.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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