(57)【要約】      （修正有）【課題】シリコンロッドの切断中に、分離した板状部材が傾いたり倒れたりすることなく、正確にかつ迅速に切断することができる多結晶シリコン製造用シードの製造装置を提供する。【解決手段】シリコンロッドＲを載置するテーブルに、該シリコンロッドＲの両端面を軸方向に押圧して支持する一組の端面支持部材４，５と、シリコンロッドＲを軸方向に切断する切断刃１４とを備えるとともに、端面支持部材４，５には、切断刃１４を通過させる櫛歯状の溝部２７，３４が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンロッドを軸方向に切断して複数の板状部材を製作した後、これら板状部材をさらに切断して断面矩形の複数の多結晶シリコン製造用シードを製造する装置であって、
前記シリコンロッド又は前記板状部材を載置するテーブルに、該シリコンロッド又は板状部材を軸方向に押圧した状態でその両端面を支持する一組の端面支持部材と、前記シリコンロッド又は前記板状部材を軸方向に切断する１枚の切断刃とを備えるとともに、前記端面支持部材には、前記切断刃を通過させる櫛歯状の溝部が形成されていることを特徴とする多結晶シリコン製造用シードの製造装置。
【請求項２】
前記板状部材の幅方向に間隔を明けた複数個所を同時に切断する相互に平行な複数枚の切断刃からなるマルチカッタをさらに備え、前記櫛歯状の溝部は、前記複数枚の切断刃の間隔と同じ間隔に設定されていることを特徴とする請求項１記載の多結晶シリコン製造用シードの製造装置。
【請求項３】
前記シリコンロッド又は前記板状部材と前記端面支持部材との間に介在させられるクッション部材を有し、該クッション部材には、前記溝部と略同形状の溝部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の多結晶シリコン製造用シードの製造装置。
【請求項４】
前記テーブルに磁着するマグネット部材と、このマグネット部材と前記シリコンロッド又は前記板状部材の側面との間に介在する当て板部材とを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の多結晶シリコン製造用シードの製造装置。
【請求項５】
前記テーブルの上に、前記シリコンロッド又は前記板状部材の下面を支持するとともに、前記切断刃で切断可能な材料からなる敷板を設けたことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の多結晶シリコン製造用シードの製造装置。
【請求項６】
前記端面支持部材の少なくとも何れか一方に、前記切断刃のドレス用棒状砥石を前記溝部に直交する方向に収納可能な凹状溝が形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の多結晶シリコン製造用シードの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多結晶シリコンを製造する際のシリコン芯棒となるシードをシリコンロッドから切断して製造するための多結晶シリコン製造用シードの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の多結晶シリコン製造装置としては、シーメンス法による製造装置が知られている。この多結晶シリコン製造装置では、反応炉内にシリコン芯棒からなるシードを多数配設して加熱しておき、この反応炉にクロロシランガスと水素ガスとの混合ガスからなる原料ガスを供給して、加熱したシリコン芯棒に接触させ、その表面に原料ガスの熱分解及び水素還元によって生じた多結晶シリコンを析出させ、円柱状のシリコンロッドとする構成である。
【０００３】
この多結晶シリコンを製造する際に用いられるシードは、シリコンロッドを利用して形成される。例えば、特許文献１においては、シードを棒状又は板状に作製するようにしており、また、特許文献２においては、多結晶シリコンロッドから多角形のシードを切り出すようにしている。
このような切断によって円柱状のシリコンロッドから細いシードを製造する場合、シリコンロッドを複数の板状にまずスライスし、その板状の部材をさらに細幅に切断することが必要になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−３６２０９２号公報
【特許文献２】特開２００５−１１２６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、シリコンロッドを複数の板状に切断する際には、切断刃の厚みにより、この厚みの分だけ板状の部材どうしの間に隙間ができ、この隙間により切断中に、分離した板状の部材が傾いたり倒れたりすることがあった。このため、切断誤差が生じ、歩留まりが低下したり、また、この傾きや倒れを直すために作業の中断を余儀なくされたりして生産性が低下するなどの問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、シリコンロッドの切断中に、分離した板状部材が傾いたり倒れたりすることなく、正確にかつ迅速に切断することができる多結晶シリコン製造用シードの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明に係る製造装置は、シリコンロッドを軸方向に切断して複数の板状部材を製作した後、これら板状部材をさらに切断して断面矩形の複数の多結晶シリコン製造用シードを製造する装置であって、前記シリコンロッド又は前記板状部材を載置するテーブルに、該シリコンロッド又は板状部材を軸方向に押圧した状態でその両端面を支持する一組の端面支持部材と、前記シリコンロッド又は前記板状部材を軸方向に切断する１枚の切断刃とを備えるとともに、前記端面支持部材には、前記切断刃を通過させる櫛歯状の溝部が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
シリコンロッドを軸方向に切断して板状にスライスする際に、該シリコンロッドの両端面を支持している端面支持部材の溝部に切断刃が通過し、切断された板状部材は、その両端から端面支持部材の櫛歯の部分によって押圧された状態が維持される。したがって、切断後においても、板状部材に傾きや倒れが発生することを防止することができる。
【０００９】
本発明に係る製造装置において、前記板状部材の幅方向に間隔を明けた複数個所を同時に切断する相互に平行な複数枚の切断刃からなるマルチカッタをさらに備え、前記櫛歯状の溝部は、前記複数枚の切断刃の間隔と同じ間隔に設定されている構成としてもよい。
１枚の切断刃でシリコンロッドを複数の板状部材に切断した後、その板状部材を切断してシードを製作する場合、その１枚の切断刃で板状部材を複数回切断してシードを１本ずつ製作するようにしてもよいが、シリコンロッドの切断に比べて板状部材では切断深さを小さくすることができるので、複数枚の切断刃からなるマルチカッタにより、複数のシードを同時に製作するようにしてもよい。
【００１０】
また、本発明に係る製造装置において、前記シリコンロッド又は前記板状部材と前記端面支持部材との間に介在させられるクッション部材を有し、該クッション部材には、前記溝部と略同形状の溝部が形成されていることを特徴とする。このようにクッション部材をシリコンロッド又は前記板状部材の両端に設けているので、切断時の振動を確実に吸収でき、しかも、このクッション部材を、例えば、木片とすることで安価に製作することができ、損傷等が生じても交換可能である。
【００１１】
また、本発明に係る製造装置において、前記テーブルに磁着するマグネット部材と、このマグネット部材とシリコンロッド又は前記板状部材の側面との間に介在する当て板部材とを備えることを特徴とする。このマグネット部材と当て板とにより、シリコンロッド等の左右方向の振れを防ぎ、シリコンロッド等の位置ずれや破損、傷の発生を防ぐことができる。この場合、マグネット部材によって当て板部材を固定するので、任意の場所に配置することができ、条件に応じて適切な位置を選択して固定することができる。しかも、当て板を例えば木片により形成することで、金属やプラスチックでは抑えきれない切断時の振動も吸収可能になる。
【００１２】
また、本発明に係る製造装置において、前記テーブルの上に、前記シリコンロッド又は前記板状部材の下面を支持するとともに、前記切断刃で切断可能な材料からなる敷板を設けたことを特徴とする。この構成によると、シリコンロッド等が長い場合でも、途中を敷板によって下方から支持し得るので、シリコンロッド等の撓み変形を防止して、正確に切断することができる。また、敷板によってシリコンロッド等をテーブルから浮かせた状態に支持し、切断刃で敷板ごとシリコンロッド等を切断することで、シリコンロッドを完全に分断できる。さらに、切断刃でダウンカットする場合に、下方向に加わる力を緩衝して板状部材が倒れるのを防ぐことができる。
【００１３】
さらに、本発明の製造装置において、前記端面支持部材の少なくとも何れか一方に、前記切断刃のドレス用棒状砥石を前記溝部に直交する方向に収納可能な凹状溝が形成されていることを特徴とする。凹状溝に棒状砥石を収納することにより、切断刃でシリコンロッド等を切断する際に棒状砥石も切断されるので、切断時に切断刃が自動的にドレッシングされ、切断作業とは別にドレッシング工程を設ける必要がなく、切断刃の切削性を常に良好な状態に維持でき、正確な寸法のシードを製造することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の製造装置によれば、シリコンロッドの両端面を端面支持部材により押圧状態に支持し、その端面支持部材に切断刃を通過させ得る溝部を形成したから、この溝部を経由しながらシリコンロッドを切断することができるとともに、切断された板状の部材も端面支持部材による押圧状態の支持が維持されるので、切断中に板状部材が傾いたり倒れたりすることを防止して、正確な切断作業を迅速に行うことができる。したがって、シリコンロッドから歩留りよくシードを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る多結晶シリコン製造用シードの製造装置の一実施形態を示す概略正面図である。
【図２】図１の製造装置の切断刃の部分を示す概略側面図である。
【図３】図１における端面支持部材の溝部の部分を示す概略側面図である。
【図４】図１における第１支持部材付近を示しており、（ａ）が拡大正面図、（ｂ）はその平面図である。
【図５】図１における第２支持部材付近を示しており、（ａ）が拡大正面図、（ｂ）はその平面図である。
【図６】図１の製造装置においてシリコンロッドの左右をマグネット部材と当て板とにより支持している状態を示す要部の平面図である。
【図７】図１の製造装置において切断刃の部分をマルチカッタに付け替えた例を示す要部の一部を断面にした側面図である。
【図８】端面支持部材の他の実施形態を示す図３同様の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る多結晶シリコン製造用シードの製造装置の一実施形態を図面を参照しながら説明する。
本実施形態における製造装置は、図１に全体を示したように、基台１上に、シリコンロッドＲを載置状態に支持するテーブル２と、該テーブル２上のシリコンロッドＲを切断する切断機構３とが取り付けられており、そのテーブル２上に、シリコンロッドＲの両端面を支持する一組の端面支持部材４，５が設けられている。
【００１７】
テーブル２は、スチール製からなり、送りねじ６を有する送り機構７を介して基台１上に図１の矢印Ａで示すように往復移動可能に取り付けられ、両端面支持部材４，５によって支持したシリコンロッドＲの全長を切断できるように、シリコンロッドＲの長さよりも長い距離を往復移動できるようになっている。
【００１８】
切断機構３は、基台１の上に固定された固定台１１に、上下スライド部材１２及び左右スライド部材１３を介して切断刃１４が支持された構成とされている。
固定台１１は、基台１の上に立設状態に設けられており、この固定台１１に対して、上下スライド部材１２が上下移動可能に取り付けられ、更に、この上下スライド部材１２に対して左右スライド部材１３が左右移動可能に取り付けられている。
【００１９】
図１において、上下スライド部材１２は、固定台１１の上下方向に設けたレール部１５に凹状部１６を嵌め込むようにして取り付けられ、固定台１１に対して上下方向（矢印Ｂの方向）にスライド可能になっている。また、左右スライド部材１３は、上下スライド部材１２の左右方向（図１においては紙面に直交する奥行方向）に設けたレール部１７に凹状部１８を嵌め込むようにして取り付けられ、上下スライド部材１２に対して左右（奥行）方向にスライド可能になっている。
【００２０】
この上下スライド部材１２と左右スライド部材１３とは、それぞれ固定台１１の内部に設けられた図示しない送り機構部によってレール部１５，１７に沿ってスライドでき、このスライド操作及び前述のテーブル２の自動送り等の操作は、図示しない操作パネルから制御されるようになっている。
【００２１】
そして、左右スライド部材１３には、シリコンロッドＲを切断可能な切断刃１４と、この切断刃１４を回転させるモータ１９とが取り付けられている。図２に示す例では、切断刃１４は、ダイヤモンドホイルの１枚刃によって構成されている。この切断刃１４は、モータ１９により図１の矢印Cに示すようにシリコンロッドＲに対して上から下に刃が進む方向、いわゆるダウンカットの方向に回転する構成であり、上下スライド部材１２と左右スライド部材１３とにより任意の切断位置に移動できるようになっている。切断刃１４の回転動作のオンオフ制御や回転数の調節は、上下スライド部材１２、左右スライド部材１３と同様に操作パネルから行われる。
【００２２】
また、図示しないが、切断刃１４の両側には注水ノズルが設けられており、シリコンロッドＲの切断時に、この注水ノズルから切断刃１４の両面に注水して切断刃１４を冷却することができるようになっている。注水ノズルから噴出した水は、テーブル２の外周縁側に設けた排水溝２１を通じて外部に排水される。
【００２３】
なお、本実施形態の製造装置においては、図２に示す１枚の切断刃１４とは別に、図７に示す複数枚の切断刃からなるマルチカッタ５１を備えており、後述するように、まず１枚の切断刃１４によってシリコンロッドを複数の板状部材に切断した後、切断刃をマルチカッタ５１に付け替え、このマルチカッタ５１によって板状部材を複数のシードに切断するようにしている。このマルチカッタ５１についてはその切断作業の説明の際にあらためて説明する。
【００２４】
端面支持部材４，５はテーブル２の両端側に配設され、図１において右側の第１支持部材４と左側の第２支持部材５とにより構成されている。
図４に示す第１支持部材４は、全体として矩形のブロック状に形成され、その下部がリンク部材２５により支持台２６に支持されており、このリンク部材２５を回動させることにより、図４（ａ）に二点鎖線で示す支持台２６上の位置と、実線で示すテーブル２上の位置との間を移動させられる構成である。そして、その背面４ａが支持台２６の前面２６ａに当接することにより前後移動が拘束され、シリコンロッドＲの一端面を軸方向から支持できるようになっている。
【００２５】
また、この第１支持部材４には、図３に示すように上方に開口する櫛刃状の溝部２７がテーブル２の往復移動方向に沿って形成されており、この溝部２７に対して切断刃１４を通過させながらシリコンロッドＲを切断できるようになっている。溝部２７の幅Wは、切断刃１４の厚さｔに加えて、この切断刃１４による切断時のわずかな振れも含めて十分な寸法とするのがよい。
また、溝部２７の深さDは、シリコンロッドＲの直径よりも大きく形成され、この深さDに沿って切断刃１４を移動させることでシリコンロッドＲを下方まで確実に切断できるようになっている。
【００２６】
また、図４に示すように、第１支持部材４の上面部には、溝部２７と直交するように略コ字形状の断面の凹状溝２８が形成されている。この凹状溝２８には、切断刃１４の切断方向と直交して棒状砥石２９が収納可能に設けられるようになっており、切断刃１４が溝部２７を移動して棒状砥石２９に差し掛かったときには、この棒状砥石２９を続けて切断することによりドレッシングが行われるように構成される。
【００２７】
図５に示した第２支持部材５は、側面が略Ｌ字形状に形成され、実線位置と鎖線位置との間でテーブル２に対して軸方向にスライドできるようになっている。この第２支持部材５は、テーブル２を延長するように固定されたブラケット３１に、ねじ棒３２が支持されるとともに、このねじ棒３２の先端に取り付けられており、ねじ棒３２の後端のハンドル３３を回転することにより、軸方向に前後移動させられ、その前方への移動により、シリコンロッドＲの端面に当接して押圧状態に支持するようになっている。これにより、シリコンロッドＲは、第１支持部材４と第２支持部材５との間に挟まれるように支持される。
【００２８】
この第２支持部材５に対しても、第１支持部材４と同様に櫛刃状の溝部３４が所定間隔で設けられている。この溝部３４の間隔や深さ等は、第１支持部材４のものと同様であるため、その説明を省略する。
【００２９】
また、両端面支持部材４，５にはクッション部材３５が備えられている。これらクッション部材３５は、端面支持部材４，５の溝部２７，３４と略同形状の溝部３６が形成されており、この溝部２６を端面支持部材４，５の溝部２７，３４に延長させるように配置して、切断刃１４を通過させるようにしている。このクッション部材３５としては、木片を材料として形成するのが好ましい。そして、このクッション部材３５は、シリコンロッドＲの両端の２ヶ所にそれぞれ設けられることにより、シリコンロッドＲの切断時に切断刃１４から伝わる振動を吸収可能としている。
【００３０】
一方、テーブル２の上には、マグネット部材４１によりシリコンロッドＲの側面に当接状態に固定される当て板４２と、シリコンロッドＲの下方を支持する敷板４３とが設けられる。
【００３１】
図６に示したマグネット部材４１は、テーブル２の任意の位置に磁着可能になっており、このマグネット部材４１とシリコンロッドＲとの間に当て板４２を介在させ、マグネット部材４１を位置調整しながら固定することにより、当て板４２を介してシリコンロッドＲを水平方向から支持してシリコンロッドＲに左右方向の振れが生じることを抑制している。当て板４２は振動を吸収可能なように木片により形成される。マグネット部材４１の置き方や位置は任意であるが、当て板４２が前後左右に動かないように前後方向と左右方向から位置決めできる置き方がよい。また、シリコンロッドＲの長さに応じてこのマグネット部材４１と当て板４２との組み合わせを複数個所に設けることでシリコンロッドＲの振れをより確実に防止できる。
【００３２】
敷板４３は、テーブル２とシリコンロッドＲとの間に介在させるように適宜の間隔でシリコンロッドＲの下側に配設されており、この敷板４３の上にシリコンロッドＲが載置されることにより、図４に示すようにシリコンロッドＲとテーブル２との間に隙間Gが形成される。この敷板４３は、当て板４２と同様に木片により形成することで振動を吸収できるとともに、切断刃１４をシリコンロッドＲの直径以上に下方にスライドさせたときに、この切断刃１４で切断できるようになっている。
【００３３】
次に、このような製造装置を使用してシリコンロッドＲを切断してシードを製造する手順について説明する。なお、この切断作業の順序はあくまでも一例であって、その手順は実施に応じて変更することもできる。
先ず、シリコンロッドＲが支持される部分のテーブル２上に適宜数の敷板４３を配置するとともに、シリコンロッドＲの両端面にクッション部材３５を介在させた状態でその両端面を端面支持部材４，５により押圧状態に支持する。そして、当て板４２とマグネット部材４１とでシリコンロッドＲの両側面を押さえることにより軸芯が振れるのを防ぐように固定する。
【００３４】
この状態で上下スライド部材１２及び左右スライド部材１３により切断刃１４を所定の切断開始位置まで送り、所定回転数にてこの切断刃１４を回転させる。次に、注水ノズルから切断刃に注水しながら、送り機構７によってテーブル２を軸方向に送ることにより、切断刃１４でシリコンロッドＲをスライスするように切断する。このシリコンロッドＲを軸方向と直交する方向に切断する際には、例えば、上下スライド部材１２を複数回下方へ移動させることにより、シリコンロッドＲを上方から４〜５回に分けて切断して１枚の板状部材Pを切り出すのが望ましい。これにより、切断刃１４に過度の負担がかかることを防止して、その破損が防がれ、また、ロッド内部に存在する残留歪を開放しながら切断するため、板状部材Pには折れやバリ、チッピング等の不良が発生することが防止される。
【００３５】
このようにして一枚の板状部材Ｐを切り出した後、送り機構によって左右スライド部材１３を端面支持部材４，５の溝部２７，３４のピッチＬの分だけ横送りし、上記と同様にして順次板状部材Ｐを切り出すのであるが、シリコンロッドＲの両端面を支持している端面支持部材４，５及びクッション部材３５には、切断刃１４が通過する櫛刃状の溝部２７，３４，３６がそれぞれ設けられているので、板状部材Ｐを切り出した後でも、残りのシリコンロッドＲ及び切り出した板状部材Pをそれぞれ櫛刃の部分で支持しながら、続けて切断を行うことができる。
【００３６】
図３には、シリコンロッドＲについて、左半分が切断された板状部材Ｐ、右半分が残りの部分を示しており、板状部材Ｐが端面支持部材４，５の溝部２７，３４において分離されるが、符号Ｈで示す櫛歯の部分で支持されている。したがって、切断刃１４の通過によって生じる切断刃１４の厚さｔの分の間隙のなかで板状部材Pが傾いたり倒れたりすることが防止され、シリコンロッドＲを最後まで軸方向に正確に切断することができ、作業を中断することなく、高い精度で板状部材Pを切り出すことができる。
【００３７】
この一連の切断作業において、切断刃１４のドレッシングを行う場合には、端面支持部材４，５の凹状溝２８に棒状砥石２９を収納した状態として切断作業を行えば、シリコンロッドＲの切断とともに棒状砥石２９も切断してドレッシングすることができる。したがって、切断作業を中断することなく、切断作業と一緒にドレッシングすることができ、極めて効率的である。なお、シリコンロッドＲの最側部の板状部材は、このシリコンロッドＲの円周部分を多く含むので、シードの製作には使用しないようにする。
【００３８】
そして、このように板状部材Ｐを切り出した後には、この板状部材Ｐを更に切断して、断面角形のシードを形成する。この場合、両端面支持部材４，５の間に板状部材Ｐを配置し、前述したように１枚刃の切断刃１４をマルチカッタに付け替えた状態として、板状部材Ｐを切断する。このマルチカッタ５１は、図７に示す例では、同一径の５枚の切断刃１４が相互に一定の間隔をおいて平行に配置され、モータ１９によって同一方向に同一速度で回転させられるようになっており、板状部材Ｐから複数本のシードＳを同時に切断することができるものである。このマルチカッタ５１においては、各切断刃１４に向けて注水ノズル（図示略）が１本ずつ設けられる。
また、このシードの切断の際にも、板状部材Ｐの両端面側にクッション性を有する部材を介在させ、下側には敷板状の部材を介在させるとよい。なお、このシードを切り出す際には、板状部材Pの切り出しとは異なり、複数回のストローク動作によることなく１ストロークでの切断が可能になる。その場合、複数の板状部材Pを積み重ねて切断可能である。図７に示す例では、板状部材を２枚重ねて切断している。
【００３９】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、切断刃１４の位置は固定状態として、テーブル２を往復移動するようにしたが、逆にテーブルを固定状態として切断刃を往復移動させる構成としてもよく、両者が相対移動できる構成であればよい。また、シリコンロッド両端の端面支持部材による押圧機構を異なる機構としたが、同じ機構のものを適用してもよい。また、両端面支持部材のうちの一方にのみ押圧機構を設け、他方はテーブルに固定状態とした構成としてもよい。さらに、複数の切断装置において、それぞれを板状切断装置、マルチカッタ専用機として用い、切断刃を交換することなく使用しても良い。
【００４０】
さらに、端面支持部材４，５に形成した溝部２７，３４の深さＤをシリコンロッドの直径よりも大きく形成したが、シリコンロッドを固定するために必要な接触面積が櫛歯の部分Ｈで確保できれば、溝部の深さは必ずしもシリコンロッドの直径より大きい必要はなく、図８に示すように、溝部２７，３４の深さをシリコンロッドＲの直径より小さい寸法関係に設定してもよい（この図８においても一実施形態のものと同一符号を用いている）。さらに、棒状砥石を収納する凹状溝を第１支持部材に設けたが、第２支持部材に設けてもよいし、両方に設けてもよく、両端面支持部材の少なくとも何れか一方に設けるようにすればよい。
【符号の説明】
【００４１】
１…基台、２…テーブル、３…切断機構、４，５…端面支持部材、６…送りねじ、７…送り機構、１１…固定台、１２…上下スライド部材、１３…左右スライド部材、１４…切断刃、１５…レール部、１６…凹状部、１７…レール部、１８…凹状部、１９…モータ、  ２１…排水溝、２５…リンク部材、２６…支持台、２７…溝部、２８…凹状溝、２９…棒状砥石、３１…ブラケット、３２…ねじ棒、３３…ハンドル、３４…溝部、３５…クッション部材、３６…溝部、４１…マグネット部材、４２…当て板、４３…敷板、５１…マルチカッタ、Ｒ…シリコンロッド、Ｐ…板状部材、Ｓ…シード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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