(57)【要約】【課題】作業性を向上させることができる外観検査装置を提供する。【解決手段】主制御装置１１０は、チップマップ上で任意の仮想チップが作業者によって指定されたとき、該仮想チップに対応する半導体チップを顕微鏡装置１０４の視野内に位置させるためのステージ１０１の位置情報を、半導体チップと仮想チップの位置関係が少なくとも３つ含まれている基準位置情報を参照して求め、該位置情報に応じてステージ駆動装置１０２を駆動制御するとともに、画像データからそれぞれ決定される半導体チップの外観品質を、チップマップにおける対応する仮想チップ上に表示させる。【選択図】図１
2010139406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する第１の方向と第２の方向とにマトリックス配列された複数の検査対象物の外観を検査する外観検査装置であって、
前記複数の検査対象物が載置されるステージ、及び該ステージを前記第１の方向及び前記第２の方向に独立して移動させる駆動装置を含むステージ装置と；
前記第１の方向及び第２の方向に関する前記ステージの位置情報を計測する位置計測装置と；
前記複数の検査対象物に対応した複数の仮想チップがマトリックス配列されたチップマップがその画面に表示される表示装置と；
前記表示装置の画面に表示されたチップマップにおける前記複数の仮想チップのいずれかを作業者が指示するための入力装置と；
前記ステージ上に載置されている前記複数の検査対象物のうち、その視野内に位置する検査対象物の画像データを取得する画像データ取得装置と；
前記チップマップ上で任意の仮想チップが作業者によって指定されたとき、該仮想チップに対応する検査対象物を前記画像データ取得装置の視野内に位置させるための前記ステージの位置情報を、検査対象物と仮想チップの位置関係が少なくとも３つ含まれている基準位置情報を参照して求め、該位置情報に応じて前記駆動装置を駆動制御するとともに、画像データからそれぞれ決定される検査対象物の外観品質を、前記チップマップにおける対応する仮想チップ上に表示させる制御装置と；を備える外観検査装置。
【請求項２】
前記制御装置は、前記複数の検査対象物のうちの少なくとも３つの検査対象物について、該少なくとも３つの検査対象物がそれぞれ前記画像データ取得装置の視野内に位置するときに前記位置計測装置からそれぞれ得られる前記ステージの位置情報と、作業者によって前記入力装置を介して指示される前記少なくとも３つの検査対象物に対応する少なくとも３つの仮想チップの前記チップマップにおける位置情報とに基づいて、前記基準位置情報を予め求めることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記複数の検査対象物の外観品質は、作業者によって決定され、前記入力装置を介して入力されることを特徴とする請求項１又は２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記外観品質は、複数のランクからなり、
前記複数のランクと検査対象物の画像データとの関係が品質判定情報として格納されているメモリを更に備え、
前記制御装置は、前記メモリに格納されている前記品質判定情報を参照し、前記複数の検査対象物の画像データからそれぞれのランクを決定することを特徴とする請求項１又は２に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記複数のランクは良品を含み、
前記制御装置は、すでに良品と判定されている複数の検査対象物の画像データから、良品と判定できる画像データの範囲を算出し、該算出結果を良品判定情報として前記品質判定情報の１つとして前記メモリに格納することを特徴とする請求項４に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記仮想チップ上に表示された外観品質は、作業者によって前記入力装置を介して変更可能であり、
前記制御装置は、仮想チップ上に表示された外観品質が良品以外から良品に、あるいは良品から良品以外に変更されると、その外観品質が変更された仮想チップに対応する検査対象物の画像データを考慮して、前記良品判定情報を再度求めることを特徴とする請求項５に記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記複数の検査対象物の外観品質が決定されたのち、作業者によって前記入力装置を介して前記複数のランクのいずれかが指定されると、
前記制御装置は、前記基準位置情報を参照して、指定されたランクの検査対象物が前記画像データ取得装置の視野内に位置するように前記駆動装置を制御することを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【請求項８】
前記指定されたランクの検査対象物は２以上の検査対象物であり、
前記制御装置は、設定されている時間間隔で前記指定されたランクの検査対象物を順に前記画像データ取得装置の視野内に位置させることを特徴とする請求項７に記載の外観検査装置。
【請求項９】
前記複数の検査対象物の外観品質が決定されたのち、作業者によって前記入力装置を介して前記複数の仮想チップのいずれかが指定されると、
前記制御装置は、前記基準位置情報を参照して、指定された仮想チップに対応する検査対象物が前記画像データ取得装置の視野内に位置するように前記駆動装置を制御することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【請求項１０】
前記複数の仮想チップは、前記第１の方向に対応するｘ方向と前記第２の方向に対応するｙ方向とにマトリックス配列され、
前記制御装置は、前記ｘ方向に関する位置と前記ｙ方向に関する位置とを含む番号をチップ番号として前記複数の仮想チップのそれぞれに付与することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【請求項１１】
前記制御装置は、前記マトリックス配列における中央に位置する仮想チップに、前記検査対象物の種類に依存しない所定のチップ番号が付与されるように、前記ｘ方向に関する位置座標の原点及び前記ｙ方向に関する位置座標の原点を設定することを特徴とする請求項１０に記載の外観検査装置。
【請求項１２】
前記制御装置は、前記複数の検査対象物の各画像データを、対応する仮想チップのチップ番号が含まれるファイル名を付して保存することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に係り、更に詳しくは、複数の検査対象物の外観を個別に検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体チップを製造する際には、１つの基板を用いて同時に複数の半導体チップが形成される。これら複数の半導体チップは互いにつながっているため、バックグラインドされた面にダイシング用粘着テープが貼り付けられた後、ダイシングソー（例えば、ダイヤモンドの刃）によって個々の半導体チップに分断される。それから、ダイシング用粘着テープを縦横に引き伸ばして、隣接する半導体チップ間の間隔を広げる（例えば、特許文献１参照）。これは、エキスパンド工程とも呼ばれている。これにより、後工程で行われる機械による個々の半導体チップのピックアップを容易にすることができる。
【０００３】
そして、エキスパンド工程に続いて、半導体チップ毎に、例えば、寸法、欠け（チッピング）の有無、異物の付着の有無、パターン欠陥の有無などの外観検査が外観検査装置を用いて行われる。
【０００４】
そして、外観検査及び外観検査装置について、種々の提案がなされている（例えば、特許文献２〜特許文献８参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２８５８号公報
【特許文献２】特開２００１−１７５８６５号公報
【特許文献３】特開平８−１８１１７８号公報
【特許文献４】特開２００６−１７０９０７号公報
【特許文献５】特開２０００−１６１９４８号公報
【特許文献６】特開２０００−３４６６２７号公報
【特許文献７】特開２０００−０９１３９２号公報
【特許文献８】特開２００５−２６５６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、外観検査の際に、外観検査装置のディスプレイに複数の半導体チップに対応する複数の仮想チップが、複数の半導体チップの実際の配列と同じように配列されたチップマップが表示される。そして、外観検査の結果をチップマップの該当する仮想チップ上に表示できるようになっている。
【０００７】
しかしながら、エキスパンド工程後の隣接する半導体チップ間の間隔は一様でないため、半導体チップと仮想チップとの対応付けは、その都度、作業者が行う必要があった。
【０００８】
本発明は、かかる事情の下になされたもので、その目的は、作業性を向上させることができる外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、互いに直交する第１の方向と第２の方向とにマトリックス配列された複数の検査対象物の外観を検査する外観検査装置であって、前記複数の検査対象物が載置されるステージ、及び該ステージを前記第１の方向及び前記第２の方向に独立して移動させる駆動装置を含むステージ装置と；前記第１の方向及び第２の方向に関する前記ステージの位置情報を計測する位置計測装置と；前記複数の検査対象物に対応した複数の仮想チップがマトリックス配列されたチップマップがその画面に表示される表示装置と；前記表示装置の画面に表示されたチップマップにおける前記複数の仮想チップのいずれかを作業者が指示するための入力装置と；前記ステージ上に載置されている前記複数の検査対象物のうち、その視野内に位置する検査対象物の画像データを取得する画像データ取得装置と；前記チップマップ上で任意の仮想チップが作業者によって指定されたとき、該仮想チップに対応する検査対象物を前記画像データ取得装置の視野内に位置させるための前記ステージの位置情報を、検査対象物と仮想チップの位置関係が少なくとも３つ含まれている基準位置情報を参照して求め、該位置情報に応じて前記駆動装置を駆動制御するとともに、画像データからそれぞれ決定される検査対象物の外観品質を、前記チップマップにおける対応する仮想チップ上に表示させる制御装置と；を備える外観検査装置である。
【００１０】
これによれば、検査対象物と仮想チップとの対応付けを、その都度、作業者が行う必要がなく、従来よりも作業性を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図３８に基づいて説明する。図１には、本発明の一実施形態に係る外観検査装置１００の概略構成が示されている。
【００１２】
この外観検査装置１００は、ステージ１０１、ステージ駆動装置１０２、ステージ位置計測装置１０３、顕微鏡装置１０４、ＣＣＤ装置１０５、入力装置１０６、表示装置１０７、ハードディスク装置１０８、印刷装置１０９、主制御装置１１０、フラッシュメモリ１１１、ＲＡＭ１１２、及びＣＣＤモニタ装置１１３などを備えている。
【００１３】
なお、本明細書では、ＸＹＺ３次元直交座標系において、ステージ１０１の表面に垂直な方向をＺ軸方向として説明する。
【００１４】
ステージ１０１は、その−Ｚ側の面に複数の検査対象物が載置される。
【００１５】
ステージ駆動装置１０２は、ステージ１０１をＸ軸方向及びＹ軸方向に個別に移動させる。このステージ駆動装置１０２は、主制御装置１１０からの駆動信号により駆動されるが、作業者が手動で駆動することもできる。
【００１６】
ステージ位置計測装置１０３は、所定の基準位置に対するステージ１０１のＸ軸方向に関する位置及びＹ軸方向に関する位置を計測する。ここでの計測結果は、主制御装置１１０に通知される。
【００１７】
顕微鏡装置１０４は、ステージ１０１の−Ｚ側に配置され、その視野内に位置する検査対象物の拡大画像を形成する。この顕微鏡装置１０４は、光学顕微鏡、電子顕微鏡及びレーザ顕微鏡のいずれかを有している。
【００１８】
ＣＣＤ装置１０５は、顕微鏡装置１０４で形成された拡大画像を電気信号に変換する。ここで変換された信号は、更にデジタル信号に変換され、画像データとして主制御装置１１０に出力される。なお、このＣＣＤ装置１０５は、カラー対応のＣＣＤ装置である。
【００１９】
ＣＣＤモニタ装置１１３は、表示部（図示省略）を有し、ＣＣＤ装置１０５に入射する上記拡大画像を表示する。
【００２０】
入力装置１０６は、キーボード及びマウス（いずれも図示省略）を備え、作業者から入力された各種情報を主制御装置１１０に通知する。
【００２１】
表示装置１０７は、例えばＣＲＴ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）及びプラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）などを用いた表示部（図示省略）を備え、主制御装置１１０から指示された各種情報を表示する。
【００２２】
ハードディスク装置１０８は、ハードディスクと、該ハードディスクを駆動するための駆動装置などから構成されている。
【００２３】
印刷装置１０９は、プリンタを備え、主制御装置１１０から指示された各種情報を印刷する。
【００２４】
フラッシュメモリ１１１には、主制御装置１１０にて解読可能なコードで記述された複数のプログラム、及びプログラムの実行に用いられる各種データ等が格納されている。
【００２５】
主制御装置１１０は、ＣＰＵ（ＣＰＵ１１０ａという）を有し、フラッシュメモリ１１１に格納されているプログラムに従って前記各部の動作を制御する。
【００２６】
また、主制御装置１１０は、ＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）を搭載しており、表示装置１０７の表示部に表示されているマウスカーソルの位置情報、マウスクリックの有無情報は、ＯＳからプログラムに通知されるようになっている。
【００２７】
なお、主制御装置１１０は、ステージ１０１を移動させるときには、ステージ位置計測装置１０３から出力される計測結果をモニタしながらステージ駆動装置１０２を駆動制御する。
【００２８】
ＲＡＭ１１２は、作業用のメモリである。
【００２９】
図２及び図３には、エキスパンド工程が終了し、複数の半導体チップ（複数の検査対象物）が互いに分断されているウエハが一例として示されている。
【００３０】
図４には、このウエハに対応するチップマップが示されている。図４におけるｘ方向はＸ軸方向に対応し、ｙ方向はＹ軸方向に対応している。
【００３１】
ここでは、図５に示されるように、図５における紙面左端に位置する仮想チップのｘ方向に関する位置座標を１（ｘ＝１）とし、紙面右側に向かって、ｘ＝２、ｘ＝３、・・・・としている。また、図５における紙面上端に位置する仮想チップのｙ方向に関する位置座標を１（ｙ＝１）とし、紙面下側に向かって、ｙ＝２、ｙ＝３、・・・・としている。
【００３２】
そして、上位２桁がｘ方向に関する位置座標、下位２桁がｙ方向に関する位置座標である４桁の数字（以下では、「チップ番号」という）で仮想チップを特定することとする。例えば、ｘ＝５、ｙ＝３３に位置する仮想チップのチップ番号は、「０５３３」である。また、ｘ＝１５、ｙ＝７に位置する仮想チップのチップ番号は、「１５０７」である。
【００３３】
ところで、１つのウエハから得られる半導体チップの数及びそれらの配列は、製品によって異なる場合がある。そこで、外観検査装置１００で検査可能な製品の番号（以下では、「製品Ｎｏ」という）とチップマップ情報（仮想チップ数、仮想チップの配列など）との対応関係がマップ情報テーブルとしてフラッシュメモリ１１１に格納されている。
【００３４】
また、本実施形態では、一例として、外観の品質を、良品、注意品Ａ、注意品Ｂ、注意品Ｃ、不良品の５ランクに分類するものとする。注意品Ａと注意品Ｂと注意品Ｃの違いは、異常が観察される領域の違いによるものである。
【００３５】
そして、良品のシンボルを○、注意品ＡのシンボルをＡ、注意品ＢのシンボルをＢ、注意品ＣのシンボルをＣ、不良品のシンボルを×とする（図６参照）。また、半導体チップの外観をランク分けするための判定基準は、判定情報データとしてフラッシュメモリ１１１に格納されている。
【００３６】
ここで、良品の判定基準を設定する方法について説明する。このときに用いられるプログラムは、良品判定基準設定プログラムとしてフラッシュメモリ１１１に格納されている。
【００３７】
作業者が、入力装置１０６を介して良品判定基準の設定要求を入力すると、フラッシュメモリ１１１に格納されている良品判定基準設定プログラムの開始アドレスがＣＰＵ１１０ａのプログラムカウンタにセットされ、良品判定基準設定処理がスタートする。
【００３８】
図７及び図８のフローチャートは、ＣＰＵ１１０ａによって実行される一連の処理アルゴリズムに対応している。
【００３９】
最初のステップＳ２０１では、製品Ｎｏの入力を要求するメッセージを表示装置１０７の表示部に表示させる（図９参照）。製品Ｎｏが入力されると、ステップＳ２０３に移行する。
【００４０】
このステップＳ２０３では、すでに目視等で良品と判断された半導体チップをステージ１０１上に載置し、該半導体チップを顕微鏡装置１０４の視野内に位置させるように作業者に要求するメッセージを表示装置１０７の表示部に表示させる（図１０参照）。
【００４１】
ここで、作業者は、良品と判断された半導体チップをステージ１０１上に乗せ、該半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するように、ＣＣＤモニタ装置１１３の表示部をみながらステージ駆動装置１０２を手動で駆動する。
【００４２】
次のステップＳ２０５では、「撮像」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「撮像」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、「撮像」ボタンがクリックされるのを待つ。一方、「撮像」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ２０７に移行する。
【００４３】
このステップＳ２０７では、カウンタｎに初期値１をセットする。
【００４４】
次のステップＳ２０９では、ＣＣＤ装置１０５から画像データを取得し、基準画像としてフラッシュメモリ１１１に格納する。
【００４５】
次のステップＳ２１１では、基準画像に対する位置決め情報を設定する。例えば、基準画像における輪郭線及び探索範囲が位置決め情報として設定される。ここで設定された位置決め情報は、フラッシュメモリ１１１に格納される。
【００４６】
次のステップＳ２１３では、基準画像に対する検査判定情報（検査範囲、公差など）を設定する。ここで設定された検査判定情報は、フラッシュメモリ１１１に格納される。
【００４７】
次のステップＳ２１５では、基準画像における画素毎に各色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の輝度データをそれぞれ取得する。
【００４８】
次のステップＳ２１７では、各輝度データをフラッシュメモリ１１１に格納する。
【００４９】
次のステップＳ３０１では、すでに良品と判断された別の半導体チップをステージ１０１上に載置し、該半導体チップを顕微鏡装置１０４の視野内に位置させるように作業者に要求するメッセージを表示装置１０７の表示部に表示させる（図１１参照）。
【００５０】
ここで、作業者は、ステージ１０１上の半導体チップを、良品と判断された別の半導体チップと交換し、該半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するように、ＣＣＤモニタ装置１１３をみながらステージ駆動装置１０２を手動で駆動する。
【００５１】
次のステップＳ３０３では、「撮像」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「撮像」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、「撮像」ボタンがクリックされるのを待つ。一方、「撮像」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ３０５に移行する。
【００５２】
このステップＳ３０５では、カウンタｎの値に１を加算する。
【００５３】
次のステップＳ３０７では、ＣＣＤ装置１０５から画像データを取得する。
【００５４】
次のステップＳ３０９では、上記位置決め情報を参照し、取得した画像データにおける各画素の位置が基準画像における各画素の位置と一致するように修正する。
【００５５】
次のステップＳ３１１では、画素毎に各色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の輝度データをそれぞれ取得する。
【００５６】
次のステップＳ３１３では、各輝度データをフラッシュメモリ１１１に格納する。
【００５７】
次のステップＳ３１５では、継続するか演算を行うかを選択するメッセージを表示装置１０７の表示部に表示させる（図１２参照）。
【００５８】
次のステップＳ３１７では、「継続」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「継続」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、上記ステップＳ３０１に戻る。一方、「継続」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ３１９に移行する。
【００５９】
このステップＳ３１９では、「演算」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「演算」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、上記ステップＳ３１７に戻る。一方、「演算」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ３２１に移行する。
【００６０】
このステップＳ３２１では、フラッシュメモリ１１１に格納されている各輝度データに対して統計演算処理を行い、画素毎に色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）別に輝度データの平均値、標準偏差を求める（図１３参照）。
【００６１】
次のステップＳ３２３では、算出された平均値、標準偏差に基づいて、良品としての合格範囲を決定する（図１４参照）。ここで、良品としての標準偏差をより確からしいものにするために、１０個以上の良品サンプルを登録することが望ましい。ここで決定された合格範囲は、上記判定情報データの１つとしてフラッシュメモリ１１１に格納される。そして、「終了」ボタンが作業者によってクリックされると、良品判定基準設定処理を終了する。
【００６２】
なお、良品判定基準設定処理の途中であって、「終了」ボタンが有効となっているときに、「終了」ボタンが作業者によってクリックされると、その時点で良品判定基準設定処理を終了する。
【００６３】
次に、外観検査における主制御装置１１０の動作について説明する。このときに用いられるプログラムは、外観検査プログラムとしてフラッシュメモリ１１１に格納されている。
【００６４】
作業者が、入力装置１０６を介して外観検査要求を入力すると、フラッシュメモリ１１１に格納されている外観検査プログラムの開始アドレスがＣＰＵ１１０ａのプログラムカウンタにセットされ、外観検査処理がスタートする。
【００６５】
図１５〜図１８のフローチャートは、ＣＰＵ１１０ａによって実行される一連の処理アルゴリズムに対応している。
【００６６】
最初のステップＳ４０１では、一例として図１９に示されるように、表示装置１０７の表示部に、製品Ｎｏ、ロットＮｏ、ウエハＮｏ、作業者ＩＤなどの検査情報の入力画面を表示させる。
【００６７】
次のステップＳ４０３では、製品Ｎｏが作業者によって入力されたか否かを判断する。製品Ｎｏが入力されていなければ、ここでの判断は否定され、製品Ｎｏが入力されるのを待つ。一方、製品Ｎｏが入力されていれば（図２０参照）、ここでの判断は肯定され、ステップＳ４０５に移行する。
【００６８】
ステップＳ４０５では、フラッシュメモリ１１１に格納されている前記マップ情報テーブルを参照し、入力された製品Ｎｏに対応するチップマップ情報を取得する。
【００６９】
次のステップＳ４０７では、検査情報の入力が完了したか否かを判断する。未入力の項目があれば、ここでの判断は否定され、全ての項目が作業者によって入力されるのを待つ。一方、未入力の項目がなければ、ここでの判断は肯定され、「検査開始」ボタンを有効とし（図２１参照）、ステップＳ４０９に移行する。
【００７０】
ステップＳ４０９では、「検査開始」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「検査開始」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、「検査開始」ボタンがクリックされるのを待つ。一方、「検査開始」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ４１１に移行する。
【００７１】
ステップＳ４１１では、カウンタｎに初期値として１をセットする。
【００７２】
次のステップＳ４１３では、作業者に対して、任意の半導体チップを選択し、顕微鏡装置１０４の視野内に移動させ、チップマップ上の対応する仮想チップをクリックするように要求するメッセージを、表示装置１０７の表示部に表示する（図２２参照）。
【００７３】
ここで、作業者は、ステージ１０１上の複数の半導体チップの中から１つの半導体チップを選択し（図２３参照）、該半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するように、ＣＣＤモニタ装置１１３をみながらステージ駆動装置１０２を手動で駆動する。
【００７４】
そして、作業者は、表示装置１０７の表示部に表示されているチップマップ上の対応する仮想チップをクリックする（図２４参照）。
【００７５】
次のステップＳ４１５では、仮想チップが作業者によってクリックされたか否かを判断する。仮想チップがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、仮想チップがクリックされるのを待つ。一方、仮想チップがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ４１７に移行する。
【００７６】
このステップＳ４１７では、ステージ位置計測装置１０３の出力信号に基づいて、選択された半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するときのステージ１０１の位置情報（Ｘ軸方向の位置、Ｙ軸方向の位置）を取得し、クリックされた仮想チップ（ここでは、チップ番号が「０２０８」の仮想チップ）に対応する基準位置情報とする。
【００７７】
次のステップＳ４１９では、カウンタｎの値が３以上であるか否かを判断する。カウンタｎの値が３未満であれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ４２１に移行する。
【００７８】
このステップＳ４２１では、カウンタｎの値に１を加算し、上記ステップＳ４１３に戻る。
【００７９】
以降、ステップＳ４１９での判断が肯定されるまで、ステップＳ４１３〜ステップＳ４２１の処理を繰り返し行う。なお、ステップＳ４１３では、その処理毎に異なる半導体チップが選択されるように要求する。
【００８０】
カウンタｎの値が３になると、ステップＳ４１９での判断が肯定され、ステップＳ５０１に移行する。このときには、３つの仮想チップに対応する基準位置情報が得られている（図２５、図２６参照）。これにより、チップマップ上の仮想チップとステージ１０１上の半導体チップとの相関関係が得られることになる。
【００８１】
このステップＳ５０１では、検査対象の半導体チップの数をＮにセットする。ここでは検査対象の半導体チップの数は、仮想チップの数と同じである。
【００８２】
次のステップＳ５０３では、カウンタｎに初期値として１をセットする。
【００８３】
ステップＳ５０５では、ｎ番目の半導体チップに対応する仮想チップのチップ番号を、対象チップ番号Ｍにセットする。
【００８４】
次のステップＳ５０７では、各基準位置情報を参照して、対象チップ番号Ｍの仮想チップに対応する半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するときのステージ１０１の位置情報を算出し、該算出結果に基づいて、ステージ位置計測装置１０３の出力信号から得られるステージ１０１の位置をモニタしつつ、ステージ駆動装置１０２を駆動する。
【００８５】
次のステップＳ５０９では、ＣＣＤ装置１０５から半導体チップの画像データを取得する。
【００８６】
次のステップＳ５１１では、前記位置決め情報を参照し、取得した画像データにおける各画素の位置が基準画像における各画素の位置と一致するように修正する。
【００８７】
次のステップＳ５１３では、修正された画像データを、番号Ｍが含まれるファイル名でフラッシュメモリ１１１に格納する。なお、このとき、更にウエハＮｏ及び検査日時の少なくとも一方をファイル名に含ませても良い。
【００８８】
次のステップＳ５１５では、画素毎に各色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の輝度データをそれぞれ取得する。
【００８９】
次のステップＳ５１７では、フラッシュメモリ１１１に格納されている判定情報データを参照し、取得した輝度データに対応するランクを決定する。
【００９０】
次のステップＳ５１９では、決定結果をチップマップにおける対応する仮想チップ上に書き込む（図２７参照）。
【００９１】
次のステップＳ５２１では、カウンタｎの値がＮの値以上であるか否かを判断する。カウンタｎの値がＮの値未満であれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ５２３に移行する。
【００９２】
このステップＳ５２３では、カウンタｎの値に１を加算する。そして、上記ステップＳ５０５に戻る。
【００９３】
以降、ステップＳ５２１での判断が肯定されるまで、ステップＳ５０５〜ステップＳ５２３の処理を繰り返し行う。
【００９４】
カウンタｎの値がＮの値以上になると、ステップＳ５２１での判断が肯定され、ステップＳ５２５に移行する。このときのチップマップの一例が図２８に示されている。そして、「印刷」ボタン、「初期画面」ボタン、「ランク修正」ボタン、「撮像」ボタンが有効になる。なお、図２８における決定結果の部分を拡大したものが図２９に示されている。
【００９５】
このステップＳ５２５では、決定結果が書き込まれたチップマップ情報を、例えばウエハＮｏ及び検査日時の少なくとも一方が含まれるファイル名でフラッシュメモリ１１１に格納する。
【００９６】
次のステップＳ６０１では、「撮像」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「撮像」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ６０３に移行する。
【００９７】
このステップＳ６０３では、撮像対象の種類を取得する。ここでは、撮像対象が、注意品Ａ（ランクＡ）、注意品Ｂ（ランクＢ）、注意品Ｃ（ランクＣ）、不良品、及びチップ番号指定品のうちのどれであるかを、チェックボックスにおけるチェックの有無から判断する。
【００９８】
次のステップＳ６０５では、撮像対象の種類から、撮像対象となる半導体チップの数を求め、その値をＲにセットする。ここでは、撮像対象が注意品Ａ（ランクＡ）のときはＲ＝６、注意品Ｂ（ランクＢ）のときはＲ＝４、注意品Ｃ（ランクＣ）のときはＲ＝６、不良品のときはＲ＝１０、チップ番号指定品のときはＲ＝１となる（図２９参照）。
【００９９】
次のステップＳ６０７では、カウンタｎに初期値１をセットする。
【０１００】
次のステップＳ６０９では、ｎ番目の撮像対象となる半導体チップに対応する仮想チップのチップ番号を対象チップ番号Ｍにセットする。
【０１０１】
次のステップＳ６１１では、各基準位置情報を参照して、対象チップ番号Ｍの仮想チップに対応する半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するときのステージ１０１の位置情報を算出し、該算出結果に基づいて、ステージ位置計測装置１０３の出力信号から得られるステージ１０１の位置をモニタしつつ、ステージ駆動装置１０２を駆動する。
【０１０２】
次のステップＳ６１３では、１分タイマｔをリセットする。なお、この１分タイマｔの値は、一定時間毎に発生するタイマ割り込み処理において、カウントアップあるいはカウントダウンされるようになっている。
【０１０３】
次のステップＳ６１５では、１分タイマｔの値を参照し、１分が経過したか否かを判断する。１分が経過していなければ、ここでの判断は否定され、１分が経過するまで待つ。一方、１分が経過していれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ６１７に移行する。
【０１０４】
このステップＳ６１７では、カウンタｎの値がＲの値以上であるか否かを判断する。カウンタｎの値がＲの値未満であれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ６１９に移行する。
【０１０５】
このステップＳ６１９では、カウンタｎの値に１を加算する。そして、上記ステップＳ６０９に戻る。
【０１０６】
以降、ステップＳ６１７での判断が肯定されるまで、ステップＳ６０９〜ステップＳ６１９の処理を繰り返し行う。
【０１０７】
カウンタｎの値がＲの値以上になると、ステップＳ６１７での判断が肯定され、ステップＳ７０１に移行する。
【０１０８】
このステップＳ７０１では、「ランク修正」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「ランク修正」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ７０３に移行する。
【０１０９】
このステップＳ７０３では、ランクの修正を許可する（図３０参照）。
【０１１０】
ここで、作業者は、表示装置１０７の表示部に表示されているチップマップ上の複数の仮想チップのうち、ランクを修正したい仮想チップをマウスでクリックし（図３１参照）、キーボードから新たなランクを入力することができる。ランクが修正されると、「データ更新」ボタンが有効になる（図３２参照）。また、良品ランク以外から良品ランクに、あるいは良品ランクから良品ランク以外に修正されると、さらに、「良品判定基準再計算」ボタンが有効になる（図３２参照）。ここでは、一例として、チップ番号１０１２の仮想チップのランクが注意品Ｂから良品に変更されたものとする。
【０１１１】
次のステップＳ７０５では、「データ更新」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「データ更新」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ７０７に移行する。
【０１１２】
このステップＳ７０７では、フラッシュメモリ１１１に格納されているチップマップ情報を更新する。
【０１１３】
次のステップＳ７０９では、「良品判定基準再計算」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「良品判定基準再計算」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ７１１に移行する。なお、「良品判定基準再計算」ボタンが有効でないときは、ここでの処理は、スキップされる。
【０１１４】
このステップＳ７１１では、ランクが良品に修正された仮想チップに対応する半導体チップの輝度データを、フラッシュメモリ１１１に格納されている良品の各輝度データに追加して統計演算処理を行い、画素毎に色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）別に輝度データの平均値、標準偏差を求める。なお、ランクが良品から良品以外に修正された場合には、対応する半導体チップの輝度データが合格範囲に含まれないように統計演算処理を行う。
【０１１５】
次のステップＳ７１３では、算出された平均値、標準偏差に基づいて、良品としての合格範囲を決定する。ここで決定された合格範囲は、上記判定情報データの１つとしてフラッシュメモリ１１１に格納（上書き）される。
【０１１６】
次のステップＳ７１５では、「初期画面」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「初期画面」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、上記ステップＳ４０１に戻る。一方、「初期画面」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ７１７に移行する。
【０１１７】
このステップＳ７１７では、「終了」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「終了」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、上記ステップＳ７０１に戻る。一方、「終了」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、外観検査処理を終了する。
【０１１８】
なお、上記ステップＳ６０１において、「撮像」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ６０１での判断は否定され、上記ステップＳ７０１に移行する。
【０１１９】
また、上記ステップＳ７０１において、「ランク修正」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ７０１での判断は否定され、上記ステップＳ７１５に移行する。
【０１２０】
また、上記ステップＳ７０５において、「データ更新」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ７０５での判断は否定され、上記ステップＳ７０９に移行する。
【０１２１】
また、上記ステップＳ７０９において、「良品判定基準再計算」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ７０９での判断は否定され、上記ステップＳ７１５に移行する。
【０１２２】
なお、外観検査処理の途中であって、「終了」ボタンが有効となっているときに、作業者によって「終了」ボタンがクリックされると、その時点で外観検査処理を終了する。
【０１２３】
次に、チップマップ情報の検索における主制御装置１１０の動作について説明する。このときに用いられるプログラムは、チップマップ検索プログラムとしてフラッシュメモリ１１１に格納されている。
【０１２４】
作業者が、入力装置１０６を介してチップマップ情報の検索要求を入力すると、フラッシュメモリ１１１に格納されているチップマップ検索プログラムの開始アドレスがＣＰＵ１１０ａのプログラムカウンタにセットされ、チップマップ情報の検索処理がスタートする。
【０１２５】
図３３及び図３４のフローチャートは、ＣＰＵ１１０ａによって実行される一連の処理アルゴリズムに対応している。
【０１２６】
最初のステップＳ８０１では、作業者に対して検索対象となるチップマップ情報のファイル名の入力を要求するメッセージを表示装置１０７の表示部に表示する（図３５参照）。
【０１２７】
次のステップＳ８０３では、ファイル名が作業者によって入力されたか否かを判断する。ファイル名が入力されていなければ、ここでの判断は否定され、ファイル名が入力されるのを待つ。一方、ファイル名が入力されていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ８０５に移行する。
【０１２８】
このステップＳ８０５では、検索を許可し、作業者に対して「検索」ボタンのクリックを要求するメッセージを表示装置１０７の表示部に表示する（図３６参照）。
【０１２９】
次のステップＳ８０７では、「検索」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「検索」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、「検索」ボタンがクリックされるのを待つ。一方、「検索」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ８０９に移行する。
【０１３０】
このステップＳ８０９では、入力されたファイル名のファイルを検索する。
【０１３１】
次のステップＳ８１１では、検索ＯＫであるか否かを判断する。入力されたファイル名のファイルが見つかれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ８１５に移行する。
【０１３２】
このステップＳ８１５では、見つけたファイルのチップマップ情報を表示装置１０７の表示部に表示する（図３７参照）。
【０１３３】
次のステップＳ９０１では、「ランク修正」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「ランク修正」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ９０３に移行する。
【０１３４】
このステップＳ９０３では、ランクの修正を許可する。
【０１３５】
ここで、作業者は、表示装置１０７の表示部に表示されているチップマップ上の複数の仮想チップのうち、ランクを修正したい仮想チップをマウスでクリックし、キーボードから新たなランクを入力することができる。ランクが修正されると、「データ更新」ボタンが有効になる。また、良品ランク以外から良品ランクに修正されると、さらに、「良品判定基準再計算」ボタンが有効になる。
【０１３６】
次のステップＳ９０５では、「データ更新」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「データ更新」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ９０７に移行する。
【０１３７】
このステップＳ９０７では、フラッシュメモリ１１１に格納されているチップマップ情報を更新する。
【０１３８】
次のステップＳ９０９では、「良品判定基準再計算」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「良品判定基準再計算」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、ステップＳ９１１に移行する。なお、「良品判定基準再計算」ボタンが有効でないときは、ここでの処理は、スキップされる。
【０１３９】
このステップＳ９１１では、ランクが良品に修正された仮想チップに対応する半導体チップの輝度データを、フラッシュメモリ１１１に格納されている良品の各輝度データに追加して統計演算処理を行い、画素毎に色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）別に輝度データの平均値、標準偏差を求める。なお、ランクが良品から良品以外に修正された場合には、対応する半導体チップの輝度データが合格範囲に含まれないように統計演算処理を行う。
【０１４０】
次のステップＳ９１３では、算出された平均値、標準偏差に基づいて、良品としての合格範囲を決定する。ここで決定された合格範囲は、上記判定情報データの１つとしてフラッシュメモリ１１１に格納（上書き）される。
【０１４１】
次のステップＳ９１５では、「初期画面」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「初期画面」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、上記ステップＳ８０１に戻る。一方、「初期画面」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ９１７に移行する。
【０１４２】
このステップＳ９１７では、「終了」ボタンが作業者によってクリックされたか否かを判断する。「終了」ボタンがクリックされていなければ、ここでの判断は否定され、上記ステップＳ９０１に戻る。一方、「終了」ボタンがクリックされていれば、ここでの判断は肯定され、外観検査処理を終了する。
【０１４３】
なお、上記ステップＳ９０１において、「ランク修正」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ９０１での判断は否定され、上記ステップＳ９１５に移行する。
【０１４４】
また、上記ステップＳ９０５において、「データ更新」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ９０５での判断は否定され、上記ステップＳ９０９に移行する。
【０１４５】
また、上記ステップＳ９０９において、「良品判定基準再計算」ボタンがクリックされていなければ、ステップＳ９０９での判断は否定され、上記ステップＳ９１５に移行する。
【０１４６】
なお、上記ステップＳ８１１において、入力されたファイル名のファイルが見つからなければ、ステップＳ８１１での判断は否定され、ステップＳ８１３に移行する。
【０１４７】
このステップＳ８１３では、入力されたファイル名のファイルが見つからないことを、表示装置１０７の表示部に表示する（図３８参照）。そして、上記ステップＳ８０１に戻る。
【０１４８】
なお、チップマップ情報の検索処理の途中であって、「終了」ボタンが有効となっているときに、作業者によって「終了」ボタンがクリックされると、その時点でチップマップ情報の検索処理を終了する。
【０１４９】
以上の説明から明らかなように、本実施形態に係る外観検査装置１００では、顕微鏡装置１０４とＣＣＤ装置１０５とＣＣＤモニタ装置１１３とによって画像データ取得装置が構成されている。また、主制御装置１１０によって制御装置が構成されている。
【０１５０】
なお、上記のＣＰＵ１００ａによるプログラムに従う処理によって実現した構成各部の少なくとも一部をハードウェアによって構成することとしても良いし、あるいは全ての構成部分をハードウェアによって構成することとしても良い。
【０１５１】
以上説明したように、本実施形態に係る外観検査装置１００によると、互いに直交するＸ軸方向（第１の方向）とＹ軸方向（第２の方向）とにマトリックス配列された複数の半導体チップ（複数の検査対象物）が載置されるステージ１０１、該ステージ１０１をＸ軸方向及びＹ軸方向に独立して移動させるステージ駆動装置１０２、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に関するステージ１０１の位置情報を出力するステージ位置計測装置１０３、複数の半導体チップに対応した複数の仮想チップがマトリックス配列されたチップマップがその表示部に表示される表示装置１０７、表示装置１０７の表示部に表示されたチップマップにおける複数の仮想チップのいずれかを作業者が指示するための入力装置１０６、ステージ１０１に載置されている複数の半導体チップのうち、その視野内に位置する半導体チップの拡大画像を形成する顕微鏡装置１０４、顕微鏡装置１０４で形成された拡大画像を画像データに変換するＣＣＤ装置１０５、ＣＣＤ装置１０５に入射する拡大画像を表示するＣＣＤモニタ装置１１３、半導体チップの外観をランク分けするための判定情報データ（品質判定情報）が格納されているフラッシュメモリ１１１、上記各装置を制御する主制御装置１１０を備えている。
【０１５２】
そして、主制御装置１１０は、複数の半導体チップのうちの３つの半導体チップについて、該３つの半導体チップがそれぞれ顕微鏡装置１０４の視野内に位置するときにステージ位置計測装置１０３の出力信号からそれぞれ得られるステージ１０１の位置情報と、作業者によって入力装置１０６を介して指示される３つの半導体チップに対応する３つの仮想チップのチップマップにおける位置情報とに基づいて、チップマップ上で任意の仮想チップが作業者によって指定されたとき、該仮想チップに対応する半導体チップを顕微鏡装置１０４の視野内に位置させるためのステージ１０１の位置情報を求める。
【０１５３】
また、主制御装置１１０は、フラッシュメモリ１１１に格納されている判定情報データを参照し、複数の半導体チップの画像データからそれぞれのランクを決定する。そして、主制御装置１１０は、決定されたランクを仮想チップ上にそれぞれ表示する。
【０１５４】
この場合には、半導体チップと仮想チップとの対応付けを、その都度、作業者が行う必要がなく、従来よりも作業性を向上させることが可能である。
【０１５５】
また、主制御装置１１０は、すでに良品と判定されている複数の半導体チップの画像データから、良品と判定できる画像データの合格範囲を決定し、判定情報データの１つ（良品判定情報）としてフラッシュメモリ１１１に格納する。
【０１５６】
この場合には、公差は、検査対象物に依存しない値と、良品画像が持つ統計量として客観的に定義される検査対象物に依存しない値の２つだけとなり、あとは良品の撮像を繰り返すことで検査設定が可能になるという利点がある。公差設定作業は良品を順次撮像していくだけであるため、どの作業者が行っても同一の設定を行うことができる。そこで、作業者の主観に依存せず、作業者に経験や知識を必要とせずに、公差を客観的に設定することが可能となる。更に、設定作業の手順は検査対象物に依存しないという利点もある。また、良品自体が持つばらつきを判定基準としているため、判定基準を数値として表せない検査対象物にも適用可能である。従って、公差は統計学的に意味を持つ値として客観的に設定され、検査範囲全域において共通に適用可能である。そこで、大量の検査対象物の外観検査を簡便に素早く確実に行うことが可能である。
【０１５７】
また、主制御装置１１０は、仮想チップ上に表示されたランクが良品以外から良品に、あるいは良品から良品以外に変更されると、その変更された仮想チップに対応する半導体チップの画像データを考慮して、良品としての合格範囲を更新する。これにより、良品判定の精度を向上させることができる。
【０１５８】
また、主制御装置１１０は、複数の半導体チップの外観品質が決定されたのち、作業者によって入力装置１０６を介してランクのいずれかが指定されると、各基準位置情報を参照して、指定されたランクの半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するようにステージ駆動装置１０２を制御している。これにより、例えば、良品以外のランクの半導体チップを作業者が肉眼で容易に再検査することが可能になる。
【０１５９】
このとき、指定されたランクの半導体チップが２以上あるとき、主制御装置１１０は、設定されている時間間隔で指定されたランクの半導体チップを順に顕微鏡装置１０４の視野内に位置させている。これにより、作業者による再検査の作業性を、さらに向上させることができる。
【０１６０】
また、主制御装置１１０は、複数の半導体チップの外観品質が決定されたのち、作業者によって入力装置１０６を介して複数の仮想チップのいずれかが指定されると、各基準位置情報を参照して、指定された仮想チップに対応する半導体チップが顕微鏡装置１０４の視野内に位置するようにステージ駆動装置１０２を制御している。これにより、作業者は、特定の半導体チップを容易に肉眼で再検査することが可能になる。
【０１６１】
また、主制御装置１１０は、ｘ方向に関する位置とｙ方向に関する位置とを含む番号をチップ番号として複数の仮想チップのそれぞれに付与している。これにより、複数の仮想チップと複数の半導体チップとの対応付けを簡単にすることができる。さらに、作業者が任意の仮想チップを指定する際に、指定間違いを減らすことができる。
【０１６２】
また、主制御装置１１０は、複数の半導体チップの各画像データを、対応する仮想チップのチップ番号が含まれるファイル名を付して保存している。これにより、大量の画像データの中から所望の画像データ、所望のランクの画像データを短時間で抽出することが可能となる。すなわち、大量の画像データの保存管理が簡単になる。
【０１６３】
なお、上記実施形態では、指定された半導体チップを撮像する際のインターバルが１分の場合について説明したが、これに限定されるものではない。また、作業者がインターバルの時間を設定できるようにしても良い。また、作業者が入力装置１０６を介して次の半導体チップの撮像を指示しても良い。
【０１６４】
また、上記実施形態において、フラッシュメモリ１１１に格納した各種データ（ファイル）の少なくとも一部は、ハードディスク装置１０８のハードディスクに格納されても良い。
【０１６５】
また、上記実施形態において、一例として図３９に示されるように、チップマップにおける中央に位置する仮想チップに、検査対象物の種類に依存しない特定のチップ番号（図３９では、「５０５０」）が付与されるように、ｘ方向に関する位置座標の原点及びｙ方向に関する位置座標の原点を設定しても良い。
【０１６６】
また、上記実施形態では、全ての半導体チップの外観検査を行う場合について説明したが、前工程（例えば、電気的試験工程）で不良品と判定された半導体チップを外観検査の対象から除外しても良い。これにより、検査に要する時間を短縮することができる。この場合には、例えば、チップマップ情報を前工程と共有し、前工程での判定情報がすでに書き込まれているチップマップを外観検査で用いると良い。
【０１６７】
また、上記実施形態において、マウスでクリックする代わりに、キーボードの方向キーでボタン特定し、Ｅｎｔｅｒキーを押下しても良い。また、各ボタンと特定のキー（例えば、ファンクションキー）とを関連付けておき、特定のキーが押下されたときに、マウスクリックされたものとみなしても良い。
【０１６８】
また、上記実施形態において、仮想チップを指定するのに、キーボードの方向キーとＥｎｔｅｒキーを用いても良い。
【０１６９】
また、上記実施形態において、表示装置１０７は、タッチパネル付の表示部を有していても良い。この場合には、マウスがなくても良い。
【０１７０】
また、上記実施形態において、複数の半導体チップの外観品質は、作業者によって目視で決定され、入力装置１０６を介して入力されても良い。
【０１７１】
また、上記実施形態では、外観の品質を５種類のランクに分類する場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、外観の品質を６種類以上のランクに分類しても良い。
【０１７２】
また、上記実施形態では、３つの半導体チップについて基準位置情報を求める場合について説明したが、これに限定されるものではない。要するに、少なくとも３つの半導体チップについて基準位置情報が求められれば良い。
【産業上の利用可能性】
【０１７３】
以上説明したように、本発明の外観検査装置によれば、従来よりも高い作業性で外観検査を行うのに適している。
【図面の簡単な説明】
【０１７４】
【図１】本発明の一実施形態に係る外観検査装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】複数の半導体チップが形成されたウエハを説明するための図である。
【図３】半導体チップを説明するための図である。
【図４】チップマップを説明するための図である。
【図５】チップ番号を説明するための図である。
【図６】外観の品質ランクを説明するための図である。
【図７】良品判定基準設定処理を説明するためのフローチャート（その１）である。
【図８】良品判定基準設定処理を説明するためのフローチャート（その２）である。
【図９】良品判定基準設定処理を説明するための図（その１）である。
【図１０】良品判定基準設定処理を説明するための図（その２）である。
【図１１】良品判定基準設定処理を説明するための図（その３）である。
【図１２】良品判定基準設定処理を説明するための図（その４）である。
【図１３】良品判定基準設定処理を説明するための図（その５）である。
【図１４】良品判定基準設定処理を説明するための図（その６）である。
【図１５】外観検査処理を説明するためのフローチャート（その１）である。
【図１６】外観検査処理を説明するためのフローチャート（その２）である。
【図１７】外観検査処理を説明するためのフローチャート（その３）である。
【図１８】外観検査処理を説明するためのフローチャート（その４）である。
【図１９】外観検査処理を説明するための図（その１）である。
【図２０】外観検査処理を説明するための図（その２）である。
【図２１】外観検査処理を説明するための図（その３）である。
【図２２】外観検査処理を説明するための図（その４）である。
【図２３】外観検査処理を説明するための図（その５）である。
【図２４】外観検査処理を説明するための図（その６）である。
【図２５】外観検査処理を説明するための図（その７）である。
【図２６】外観検査処理を説明するための図（その８）である。
【図２７】外観検査処理を説明するための図（その９）である。
【図２８】外観検査処理を説明するための図（その１０）である。
【図２９】外観検査処理を説明するための図（その１１）である。
【図３０】外観検査処理を説明するための図（その１２）である。
【図３１】外観検査処理を説明するための図（その１３）である。
【図３２】外観検査処理を説明するための図（その１４）である。
【図３３】チップマップ情報の検索処理を説明するためのフローチャート（その１）である。
【図３４】チップマップ情報の検索処理を説明するためのフローチャート（その２）である。
【図３５】チップマップ情報の検索処理を説明するための図（その１）である。
【図３６】チップマップ情報の検索処理を説明するための図（その２）である。
【図３７】チップマップ情報の検索処理を説明するための図（その３）である。
【図３８】チップマップ情報の検索処理を説明するための図（その４）である。
【図３９】チップマップの変形例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１７５】
１００…外観検査装置、１０１…ステージ、１０２…ステージ駆動装置（駆動装置）、１０３…ステージ位置計測装置（位置計測装置）、１０４…顕微鏡装置（画像データ取得装置の一部）、１０５…ＣＣＤ装置（画像データ取得装置の一部）、１０６…入力装置、１０７…表示装置、１１０…主制御装置（制御装置）、１１１…フラッシュメモリ（メモリ）、１１３…ＣＣＤモニタ装置（画像データ取得装置の一部）。
【図１】
2010139406.tif 000003
【図２】
2010139406.tif 000004
【図３】
2010139406.tif 000005
【図４】
2010139406.tif 000006
【図５】
2010139406.tif 000007
【図６】
2010139406.tif 000008
【図７】
2010139406.tif 000009
【図８】
2010139406.tif 000010
【図９】
2010139406.tif 000011
【図１０】
2010139406.tif 000012
【図１１】
2010139406.tif 000013
【図１２】
2010139406.tif 000014
【図１３】
2010139406.tif 000015
【図１４】
2010139406.tif 000016
【図１５】
2010139406.tif 000017
【図１６】
2010139406.tif 000018
【図１７】
2010139406.tif 000019
【図１８】
2010139406.tif 000020
【図１９】
2010139406.tif 000021
【図２０】
2010139406.tif 000022
【図２１】
2010139406.tif 000023
【図２２】
2010139406.tif 000024
【図２３】
2010139406.tif 000025
【図２４】
2010139406.tif 000026
【図２５】
2010139406.tif 000027
【図２６】
2010139406.tif 000028
【図２７】
2010139406.tif 000029
【図２８】
2010139406.tif 000030
【図２９】
2010139406.tif 000031
【図３０】
2010139406.tif 000032
【図３１】
2010139406.tif 000033
【図３２】
2010139406.tif 000034
【図３３】
2010139406.tif 000035
【図３４】
2010139406.tif 000036
【図３５】
2010139406.tif 000037
【図３６】
2010139406.tif 000038
【図３７】
2010139406.tif 000039
【図３８】
2010139406.tif 000040
【図３９】
2010139406.tif 000041