(57)【要約】【課題】  真空チャンバ内に浮遊する粒子の観察窓への付着を防止でき、真空チャンバ内の広範囲を連続観察が可能な観察窓を有する真空処理装置を提供する。【解決手段】  真空処理装置の観察窓２は、真空チャンバ壁１ａに取り付けられ外壁接続部分２１と外壁接続部分２１に連通する筒状体１０と、筒状体１０の内部に軸方向を一致させて挿着したハニカム構造柱状体１１と、筒状体１０の外側端部に組み込まれた窓材１２で構成されている。外壁接続部分２１は可撓管なので、筒状体を真空チャンバ壁１ａの法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲に傾けることができる。ハニカム構造柱状体長さに対するハニカム断面最長対角線長さの比は０.０８５以下が好ましい。ハニカム構造柱状体のハニカム断面最長対角線長さは１０ｍｍ以上、ハニカム構造柱状体長さは１０００ｍｍ以下が好ましい。【選択図】      図２ａ
2010144244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内部に処理手段を具備し、真空チャンバ壁に真空チャンバ内部を観察できる観察窓を有する真空処理装置において、
前記観察窓は、前記真空チャンバ内部と筒状体内部とを連通しかつ前記真空チャンバ壁と前記筒状体を継合する外壁接続部分と、前記筒状体の内部に軸方向を一致させて挿着したハニカム構造柱状体と、前記筒状体の外側端部に組み込まれた窓材とで構成されることと、前記筒状体が前記外壁接続部分により前記真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲から選ばれる角度でかつ全方位に自在に傾けられることとを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記外壁接続部分が、可撓管であることと、前記可撓管の一方の端部が前記真空チャンバ壁に他方が前記筒状体に継合していることとを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記ハニカム構造状体が、前記筒状体及び前記可撓管の内部に挿着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記外壁接続部分が、前記筒状体が貫通する球体と前記真空チャンバ壁に固定された軸受からなる球状軸受と、前記球状軸受を覆い前記真空チャンバ壁と前記筒状体を継合する可撓管で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記筒状体の内部にあるハニカム構造柱状体は、ハニカム構造柱状体長さに対するハニカム断面最長対角線長さの比が０.０８５以下であることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記ハニカム構造柱状体のハニカム断面最長対角線長さが１０ｍｍ以上であることを特徴とする、請求項５に記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記ハニカム構造柱状体長さが１０００ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項５又は６に記載の真空処理装置。
【請求項８】
前記ハニカム構造柱状体が交換可能であることを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項９】
前記処理手段が、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理、蒸着処理の各手段の少なくともいずれか１種であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれかに記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバ内において、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理、蒸着処理などの各種の処理を実施するための真空処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマエッチング処理装置、スパッタリング処理装置および蒸着装置には、処理設備の状況や処理基板の搬送状況など真空チャンバ内の情報を得るために、真空チャンバ壁に観察窓が設置されている。また、真空チャンバ内に浮遊するターゲット粒子等が観察窓の窓材に付着して内部の観察を妨げることがないように、観察窓の防着方法としてワイパー方式あるいはシャッター方式が一般に用いられている。
【０００３】
しかし、ワイパー方式では、ワイパーで窓材の外側表面を清掃するに過ぎないため、真空チャンバ内に浮遊する粒子が常に観察窓に付着してしまう。また、シャッター方式では、観察窓の前に設置したシャッターを観察したい時だけ開けるように構成されているが、常時観察しようとすると真空チャンバ内に浮遊する粒子が観察窓に付着することが避けられない。このため、両方式とも、観察窓の透過性が悪化して、真空チャンバ内を継続して観察することが出来なくなるという問題があった。
【０００４】
また、特許文献１には、観察窓に非堆積性のガスを吹き付けることにより、観察窓への粒子の付着を防ぐ方法が提案されている。しかしながら、観察窓への粒子の付着を防ぐためには、例えばスパッタリング成膜の場合であれば、真空チャンバ内の成膜用不活性ガスの濃度を低下させながら、一方で真空チャンバ内で大量の非堆積性ガスを観察窓に吹き付ける必要がある。
【０００５】
そのため、例えばターゲット粒子の付着により観察窓の透過性が悪化して観察が困難になるまでの平均時間を１０倍以上に延長するためには、非堆積性ガスの流量はスパッタリングガスの流量の１０倍以上とする必要があり、それに応じて排気管の大口径化と真空ポンプの能力の大幅な増強を必要とする。更に、このような非堆積性ガスの成膜室への流入によって、成膜室内部における均質且つ均一な薄膜形成が阻害されるという問題も派生してくる。
【０００６】
そこで、特許文献２では、真空チャンバ内に浮遊する粒子の付着による観察窓の透過性の悪化を防ぐため、ハニカム構造柱状体を窓材の前に配する解決手段が開示されている。
【特許文献１】特開昭６２−８０２７５号公報
【特許文献２】特開２００８−１０６２９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記した従来の事情に鑑み、真空チャンバ内の情報を得るための観察窓を備えた真空処理装置において、真空チャンバ内に浮遊する粒子の付着による観察窓の透過性の悪化と、その結果として真空チャンバ内の広範囲の正確な情報が得られなくなることを防止し、連続して且つ長時間の観察が可能な観察窓を有する真空処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明が提供する真空処理装置は、真空チャンバ内部に処理手段を具備し、真空チャンバ壁に真空チャンバ内部を観察できる観察窓を有する真空処理装置において、前記観察窓は、前記観察窓は、前記真空チャンバ内部と筒状体内部とを連通しかつ前記真空チャンバ壁と前記筒状体を継合する外壁接続部分と、前記筒状体の内部に軸方向を一致させて挿着したハニカム構造柱状体と、前記筒状体の外側端部に組み込まれた窓材とで構成されることと、前記筒状体が前記外壁接続部分により前記真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲から選ばれる角度でかつ全方位に傾けられる特徴とする。
【０００９】
上記本発明の真空処理装置において、前記外壁接続部分が、可撓管であることと、前記可撓管の一方の端部が前記真空チャンバ壁に他方が前記筒状体に継合していることとを特徴とする。
【００１０】
上記本発明の真空処理装置において、前記ハニカム構造状体が、前記筒状体及び前記可撓管の内部に挿着されていてもよい。
【００１１】
上記本発明の真空処理装置において、前記外壁接続部分が、前記筒状体が貫通する球体と前記真空チャンバ壁に固定された軸受からなる球状軸受と、前記球状軸受を覆い前記真空チャンバ壁と前記筒状体を継合する可撓管で構成されていてもよい。
【００１２】
上記本発明の真空処理装置において、前記ハニカム構造柱状体は、ハニカム構造柱状体長さに対するハニカム断面最長対角線長さの比が０.０８５以下であることを特徴とする。また、前記ハニカム構造柱状体のハニカム断面最長対角線長さが１０ｍｍ以上であること、あるいは前記ハニカム構造柱状体長さが１０００ｍｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理、蒸着処理等の処理を実施したとき、真空チャンバ内に浮遊する粒子が観察窓に付着して透過性が悪化することを防止できる（防着効果）。更に、外壁接続部分により観察窓の窓材が取り付けられた筒状体を真空チャンバ壁の法線方向で法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下で全方位に自在に傾けることができるため、観察窓を真空チャンバ壁に対しての角度を変えることが可能となるので、真空チャンバ以内を広範囲に観察することが可能となる。その結果として、真空チャンバ内の処理設備の状態や樹脂フィルムのような処理基板の搬送状況などについて、広範囲を常に正確な情報を得ることができる。
【００１４】
従って、従来頻繁に必要であった観察窓の清掃作業が大幅に軽減され、長時間且つ連続して真空チャンバ内を観察することが可能となったと共に、１つの観察窓で広範囲の観察を可能となった。また、本発明の真空処理装置では、ワイパーあるいはシャッター等の特殊な駆動機構が必要でないため、真空チャンバ内部でのメンテナンスも不要となり、作業効率が大幅に改善される。更に、真空チャンバ内に処理装置以外の設備を配置する必要がなく、真空チャンバ内を有効に活用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の真空処理装置では、真空チャンバ内部にプラズマエッチング処理、スパッタリング処理、蒸着処理等の処理手段を具備すると共に、真空チャンバ内部を観察するための観察窓の窓材は、従来のごとく真空チャンバ壁に直接固定されるのではなく、窓材と略同径の筒状体が外壁接続部分を介して真空チャンバ壁に取り付け、前記筒状体の外側（真空チャンバと反対側）の端部に固定してある。前記外壁接続部は前記真空チャンバ内部と前記筒状体内部とを連通させ、前記筒状体の内部には、即ち観察窓の窓材より真空チャンバ壁側の筒状体内には、ハニカム構造柱状体が筒状体と軸方向を一致させて配置されている。更に、前記外壁接続部分は前記真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲内で自在に曲がる（傾けられる）。即ち、本発明の真空処理装置の観察窓は、真空チャンバ内部と真空チャンバと反対側の端部に窓材を備えた筒状体とを連通させかつ継合させる外壁接続部分と、前記筒状体内にハニカム構造柱状体が筒状体と軸方向を一致させて配置されていることと、前記外壁接続部は真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下で自在に曲がり（傾き）、前記筒状体が前記真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲から選ばれる角度でかつ全方位に傾けることができることを特徴としている。なお、ここに全方位とは、真空チャンバ壁の前記外壁接続部分が取り付けられた面の面方向のあらゆる方向という意味である。また、法線方向に法線を０°として−４５°以上から４５°以下とは、法線を０°とし、法線を中心に向かって右側をプラス側、左側をマイナス側とすれば、法線を中心に左右に０°から４５°に傾けることができることをいう。
【００１６】
上記本発明に係る観察窓は、筒状体とハニカム構造柱状体とが軸方向を一致させて配置されているため、観察窓を通して、即ち外側の窓材からハニカム構造柱状体のハニカム構造による多数の貫通孔の隙間を通して、真空チャンバ内を観察することができる。更に、真空チャンバの内部と筒状体の内部とを連通させる外壁接続部分を有し、外壁接続部分が曲がり、筒状体および観察窓を真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲で全方位に傾けることができるので、真空チャンバ内の視野を変えて、広範囲の観察を可能とする。観察窓の窓材は、筒状体内のハニカム構造柱状体によって真空チャンバ内部と離間されているため、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理、蒸着処理等の処理を実施した時、真空チャンバ内に浮遊する粒子が窓材まで飛来できず、窓材への付着を防止することができる。
【００１７】
次に、本発明の真空処理装置について、図面を参照して具体的に説明する。本発明の真空処理装置は、例えば、図１に示すように、真空チャンバ１の内部に、プラズマ電極３ａを備えたプラズマエッチング室３と、スパッタリング電極４ａを備えたスパッタリング室４を具備し、真空チャンバ壁にはプラズマエッチング室３及びスパッタリング室４の内部をそれぞれ観察できるように観察窓２、２を備えている。また、真空チャンバ１の内部には巻出軸６と巻取軸７が設けてあり、処理基板となる樹脂フィルム５をロールツウロールで搬送するようになっている。尚、真空チャンバ１には、ガス導入バルブ８、８と、ガス排気をする真空ポンプ９、９が設けてある。
【００１８】
一般に真空処理装置では、プラズマエッチング処理により樹脂フィルム等の表面のエッチングを行い、スパッタリング処理あるいは蒸着処理により酸化物膜や金属膜を成膜することができる。例えば図１の真空処理装置の場合、樹脂フィルム５をロールツウロールで搬送しながら、まずプラズマエッチング室３ではプラズマ電極３ａにより樹脂フィルム５の表面のエッチングが行われ、次のスパッタリング室４ではスパッタリング電極４ａにより樹脂フィルム５の表面に酸化物膜や金属膜を成膜する。
【００１９】
これらの処理を行うと、真空チャンバの内壁や観察窓の窓材には、樹脂フィルムのエッチング滓やターゲット粒子が付着する。しかし、本発明の真空処理装置では、上記したように、観察窓が真空チャンバ壁に固定した筒状体と、筒状体内部に収納したハニカム構造柱状体と、筒状体の外側端部に取り付けた窓材で構成されているため、観察窓の窓材にエッチング滓やターゲット粒子が付着することを防止でき、観察窓の汚れを抑えることができる。
【００２０】
尚、処理基板となる樹脂フィルムとしては、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、液晶ポリマー系フィルム等が広く使用されている。
【００２１】
本発明の上記観察窓２は、例えば図２ａ、２ｂ、２ｃに示すように、真空チャンバ１の内部と筒状体１０の内部を連通し、真空チャンバ壁１ａと筒状体１０と継合する外壁接続部分２１と、筒状体１０の内部に軸方向を一致させて挿着したハニカム構造柱状体１１と、筒状体１０の外側端部に組み込まれた筒状体１０と略同径の窓材１２とで構成されている。観察窓の取り付け位置は、内部の処理設備や搬送される樹脂フィルム等が見やすい場所、例えば図２に示すスパッタリング室４の場合、スパッタリング電極４ａに対して平行に搬送される樹脂フィルム５が観察できる中央部分に設置することが望ましい。外壁接続部分２１が曲がるので、筒状体１０と窓材１２が真空チャンバ壁１ａの法線方向で法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲で全方位へ自在に傾けることが可能となり、広範囲の観察が可能になる。
【００２２】
図２ａ、２ｂは外壁接続部分２１を、可撓管２２で形成した観察窓２の概略図を示す。真空チャンバ１の内部と筒状体１０の内部を連通し、真空チャンバ壁１ａと筒状体１０とを継合する。即ち、外壁接続部分２１の可撓管２２は両端のうち一方が真空チャンバ壁１ａに他方が筒状体１０に継合する。さらに、可撓管２２は、真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下で自在に曲がる。外壁接続部分２１を可撓管２２とすることで、外壁接続部分２１は、真空チャンバ壁１ａの法線方向で法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下で自在に曲がる。結果として、筒状体と窓材１２は、真空チャンバ壁１ａの法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲で自在に全方位へ傾けることができる。可撓管２２は、真空チャンバ壁１ａと筒状体１０に溶接など取り付けられる。
【００２３】
図２ａはハニカム構造柱状体１１が筒状体１０の内部のみにある観察窓２の概念図であり、図２ｂはハニカム構造柱状体１１が筒状体１０と可撓管２２の内部にある観察窓２の概念図である。図２ｂにおいて可撓管２２内部のハニカム構造柱状体１０の長さを適宜調節することで、ハニカム構造柱状体が可撓管２２の内部に接触すること無く、可撓管２２を新旧チャンバ壁１ａの法線方向に曲げることが可能となる。また、図３ａは可撓管２２の内部にハニカム構造柱状体を配した概略図である。
【００２４】
図２ｃは、外壁接続部分２１を球状軸受３１と可撓管２２で構成した観察窓２の概略図である。外部接続部分２１は、筒状体１０が貫通する球体３１ａと前記真空チャンバ壁に固定された軸受３１ｂからなる球状軸受３１と、球状軸受３１を覆い真空チャンバ壁１ａと筒状体１０を継合する可撓管２２で構成されている。球状軸受３１を介して筒状体を真空チャンバ壁に取り付けているので、外壁接続部分２１は、真空チャンバ壁１ａの法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲で自在に全方位に曲がる。結果として筒状体１０と窓材１１は、真空チャンバ壁１ａの法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲で自在に全方位へ傾けることができる。さらに、球状軸受３１を覆い真空チャンバ壁１ａと筒状体１０を継合する可撓管２２を有することで、球体軸受３１による外気のリークを防ぐことが可能となる。
【００２５】
上記構造を有する観察窓においては、筒状体内に挿着したハニカム構造柱状体の軸方向が筒状体の軸方向と一致しているので、ハニカム構造柱状体のハニカム構造の隙間（ハニカム構造により形成される多数の貫通孔）を通して、窓材から真空チャンバ１の内部を観察することができる。また、観察窓の窓材はハニカム構造柱状体によって真空チャンバ内部と離間されているため、真空チャンバ内に浮遊する粒子が窓材まで飛来できず、窓材への付着を防止することができる。尚、筒状体とハニカム構造柱状体の間に大きな隙間があると、窓材にターゲット粒子が付着しやすくなるため、この隙間を出来る限り小さくすることが好ましい。
【００２６】
また、ハニカム構造柱状体は、交換可能であることが好ましい。ハニカム構造柱状体を筒状体内部に交換可能に挿着することで、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理及び蒸着処理等の処理が終了した後取り出し、付着物を除去して再利用したり、新しいものと交換したりすることもできるため、作業時間の短縮やコストダウンを図ることができる。
【００２７】
ハニカム構造柱状体は、図３ｂに示すように、ハニカム構造柱状体長さＬに対するハニカム断面最長対角線長さＤの比、即ちＤ／Ｌが、０.０８５以下であることが好ましい。ハニカム構造柱状体長さＬに対するハニカム断面最長対角線長さＤの比Ｄ／Ｌが０．０８５を超えると、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理及び蒸着処理等の処理を実施した時、真空チャンバ内に浮遊する粒子が観察窓の窓材まで飛来して付着しやすくなり、観察窓から内部の正確な観察あるいは連続しての観察が難しくなる。
【００２８】
また、ハニカム構造柱状体長さＬは、１０００ｍｍ以下であることが好ましい。ハニカム構造柱状体長さＬが１０００ｍｍを超えると、観察窓の汚れ防止には有効であるが、視野が狭くなるため観察が困難になるうえ、観察窓全体が大きくなるため非効率的である。ハニカム構造柱状体長さＬは、１５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下が更に好ましい。
【００２９】
また、ハニカム断面最長対角線長さＤは、１０ｍｍ以上であることが好ましい。ハニカム断面最長対角線長さＤが１０ｍｍ未満の場合、観察窓の汚れ防止には有効であるが、ハニカム構造の隙間が小さいため視野が極端に狭くなり、観察窓として適切とは言いがたい。しかし、ハニカム断面最長対角線長さＤが５０ｍｍを超える場合には、上記Ｄ／Ｌが０.０８５以下であっても、汚れ防止の効果が低下してくるため注意が必要である。ハニカム断面最長対角線長さＤは、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下が更に好ましい。
【００３０】
上記筒状体及びハニカム構造柱状体の材質としては、金属あるいはセラミックス系の材料が用いることができる。特に真空中で使用することを考慮すると、放出ガスが少ないものが望ましく、例えば、アルミニウム、チタン、ニッケル、鉄、クロム、銅、及びこれらの合金が好ましい。また、ハニカム構造柱状体におけるハニカム構造の繰り返し単位の断面形状は、三角形、四角形、六角形が代表的であるが、その他の形状であってもよい。尚、種々の断面形状の筒状部材を結着させた集合体を、ハニカム構造柱状体として用いることもできる。
【００３１】
上記した本発明の観察窓は、一般的なロール状の樹脂フィルムに対して、プラズマエッチング処理、スパッタリング処理又は蒸着処理等の通常の処理を行った後でも、６０％以上の透過率を確保することができる。経験的に窓材の透過率が６０％を下回ると、人の目では観察しにくくなる。一般に、観察窓の透過率としては、６０％以上あれば十分な視野を確保して正確な観察が可能であり、８０％以上であれば更に長時間の連続観察が可能となるため特に好ましい。
【００３２】
本発明においては、観察窓の汚れを評価する方法として、以下の方法を採用した。即ち、観察窓の筒状体内部で且つハニカム構造柱状体と窓材の間に、窓材とほぼ同径の透明フィルムを配置する。この状態で、所定の各処理を実施した後、観察窓から透明フィルムを取り外して、透明フィルムの３箇所で透過率測定を行い、透過率の平均値を求めた。
【実施例】
【００３３】
図１および２ａに示す真空処理装置を使用し、真空チャンバ１内においてロールツウロールで樹脂フィルム５を搬送しながら、プラズマ電極３ａを有する６プラズマエッチング室３でプラズマエッチング処理を行い、スパッタリング電極４ａを有するスパッタリング室４でスパッタリング処理を実施した。また、プラズマエッチング室３とスパッタリング室４の内部の情報を得るために、真空チャンバ１には直径５０ｍｍの観察窓２、２が取り付けてある。
【００３４】
各観察窓２、２は、真空チャンバ壁１ａに可撓管の一方の端部を継合させ、可撓管の他方の端部を筒状体１０と継合させ、筒状体１０の内部に挿着したハニカム構造柱状体１１と、筒状体１０の外側端部に取り付けた窓材１２とからなる。即ち、外壁接続部分は可撓管のみで構成した。可撓管はステンレス性の真空用ベローズを用い、筒状体１０としては、内径５０ｍｍのステンレス製の円筒を使用した。可撓管の長さは１０ｃｍであった。また、ハニカム構造柱状体１１はアルミ製であり、外径が最大部で１７ｍｍであって、ハニカム構造の繰り返し単位の断面形状が六角形のものを用いた。尚、ハニカム構造柱状体１１のハニカム構造柱状体長さＬと、ハニカム断面最長対角線長さＤは、下記の実施例ごとに変化させ、それに合わせて筒状体１０の長さも変更した。
【００３５】
なお、可撓管は、真空チャンバ壁１ａの法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下に曲げることが可能で、結果として、筒状体１０は真空チャンバ壁１ａの法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の方向に自在に向けることが可能となった。可撓管を備えることで、各観察窓２，２で真空チャンバ内のプラズマエッチング室内壁３ｂ、３ｃ、スパッタリング室内壁４ｂ、４ｃを観察することが可能となった。なお、可撓管を真空チャンバ壁１ａの法線方向に固定すると、即ち可撓管を曲げないと、観察窓２、２ではプラズマ電極３ａおよびスパッタリング電極４ａのみが観察された。
【００３６】
樹脂フィルム５として、ポリイミドフィルム（東レ株式会社製、商品名カプトン）のロールを真空チャンバ１内の巻出軸６にセットし、巻取軸７に搬送しながら処理した。その際、プラズマエッチグ処理はスパッタリング処理に比べて観察窓の汚れ方が遅いので、スパッタリング処理のみを実施した。具体的には、スパッタリング室４内を真空引きし、６.７×１０−２Ｐａ（５×１０−４Ｔｏｒｒ）の真空度に達した後、アルゴンガスを１４０ｓｃｃｍ導入し、２.７×１０−１Ｐａ（２×１０−３Ｔｏｒｒ）の真空度にて、ポリイミドフィルムの表面にスパッタリングで銅膜を形成した。銅のスパッタリング処理では、銅ターゲット（縦１００ｍｍ×横６０００ｍｍ）に対して投入電力１１Ｗ／ｃｍ２の電力で、ロール１本のポリイミドフィルムに１８時間かけて成膜した。
【００３７】
上記銅スパッタリング処理による観察窓５の汚れを調べるため、筒状体１０の内部で且つハニカム構造柱状体１１と窓材１２の間に、窓材１２とほぼ同径の透明フィルム（東レ株式会社製、商品名ルミラー２５Ｓ）を配置した。上記ポリイミドフィルムのロール１本の銅スパッタリング処理（１８時間）が終了した後、回収した透明フィルムの透過率を３箇所で測定し、その平均値を求めた。尚、処理前の上記透明フィルムの透過率は、３箇所の平均値で９０％であった。
【００３８】
［実施例１］
使用したハニカム構造柱状体１１について、ハニカム構造柱状体長さＬを１５０ｍｍとし、ハニカム断面最長対角線長さＤを１０ｍｍとした。このハニカム構造柱状体１１では、ハニカム断面最長対角線長さＤ／ハニカム構造柱状体長さＬ＝０.０６６である。
【００３９】
上記ハニカム構造柱状体１１を配置した観察窓の汚れを評価したところ、上記銅スパッタリング処理の終了後、回収した透明フィルムの透過率は７５.９％であり、汚れが少なく十分な防着効果が得られた。
【００４０】
［実施例２］
使用したハニカム構造柱状体１１について、ハニカム構造柱状体長さＬを２００ｍｍとし、ハニカム断面最長対角線長さＤを１０ｍｍとした。このハニカム構造柱状体１１では、ハニカム断面最長対角線長さＤ／ハニカム構造柱状体長さＬ＝０.０５０である。
【００４１】
上記ハニカム構造柱状体１１を配置した観察窓の汚れを評価したところ、上記銅スパッタリング処理の終了後、回収した透明フィルムの透過率は８３.９％であり、汚れが極めて少なく優れた防着効果が得られた。
【００４２】
［実施例３］
使用したハニカム構造柱状体１１について、ハニカム構造柱状体長さＬを２００ｍｍとし、ハニカム断面最長対角線長さＤを１７ｍｍとした。このハニカム構造柱状体１１では、ハニカム断面最長対角線長さＤ／ハニカム構造柱状体長さＬ＝０.０８５である。
【００４３】
上記ハニカム構造柱状体１１を配置した観察窓の汚れを評価したところ、上記銅スパッタリング処理の終了後、回収した透明フィルムの透過率は８６.３％であり、汚れが極めて少なく一層優れた防着効果が得られた。
【００４４】
［参考例１］
使用したハニカム構造柱状体１１について、ハニカム構造柱状体長さＬを１００ｍｍとし、ハニカム断面最長対角線長さＤを１０ｍｍとした。このハニカム構造柱状体１１では、ハニカム断面最長対角線長さＤ／ハニカム構造柱状体長さＬ＝０.１００である。
【００４５】
上記ハニカム構造柱状体１１を配置した観察窓の汚れを評価したところ、上記銅スパッタリング処理の終了後、回収した透明フィルムの透過率は２４.１％であり、汚れが極めて多く防着効果はほとんどが得られなかった。
【００４６】
［参考例２］
使用したハニカム構造柱状体１１について、ハニカム構造柱状体長さＬを１５０ｍｍとし、ハニカム断面最長対角線長さＤを１７ｍｍとした。このハニカム構造柱状体１１では、ハニカム断面最長対角線長さＤ／ハニカム構造柱状体長さＬ＝０.１１３である。
【００４７】
上記ハニカム構造柱状体１１を配置した観察窓の汚れを評価したところ、上記銅スパッタリング処理の終了後、回収した透明フィルムの透過率は４９.９％であり、汚れが多く防着効果は不十分であった。
【００４８】
［参考例３］
使用したハニカム構造柱状体１１について、ハニカム構造柱状体長さＬを１００ｍｍとし、ハニカム断面最長対角線長さＤを８ｍｍとした。このハニカム構造柱状体１１では、ハニカム断面最長対角線長さＤ／ハニカム構造柱状体長さＬ＝０.０８０である。
【００４９】
上記ハニカム構造柱状体１１を配置した観察窓の汚れを評価したところ、上記銅スパッタリング処理の終了後、回収した透明フィルムの透過率は７０.５％であり、汚れの付着は少なかった。しかし、ハニカム断面最長対角線長さＤ１４が８ｍｍと小さいため、内部の観察するのが難しくなり、観察窓として適切ではないことが分った。
【００５０】
以上のように、透過率６０％以上を維持できれば、観察窓として連続して真空チャンバ内を観察することができる。より良い観察のためには透過率８０％以上を維持することが好ましく、この透過率では観察窓にほとんど汚さが付着しておらず、樹脂フィルム等の状態を正確に観察することが可能である。透過率６０％未満になっても、真空チャンバ内を観察できるが、搬送される樹脂フィルム等の状態を正確に観察することが難しくなる。
【００５１】
尚、透過率が３０％未満になっても、スパッタリング処理中にはスパッタリングの光で真空チャンバ内を観察できることが可能である。しかし、透過率３０％未満では、スパッタリング処理の実施中でないと、真空チャンバ内の観察は無理であった。また、ハニカム構造柱状体のハニカム断面最長対角線長さＤが１０ｍｍ未満になると、透過率が８０％以上あっても、ハニカム構造の隙間が小さいので、真空チャンバ内の観察は難しいことが分った。
【００５２】
本発明による観察窓では、窓材と真空チャンバ壁の間にハニカム構造柱状体を備え、筒状体を真空チャンバ壁の法線方向で前記法線を中心に０°として−４５°以上から４５°以下の範囲で全方位に傾けることができるので、窓体を真空チャンバ内部のあらゆる方向に向けることが可能となり真空チャンバ内を広く観察する事ができるとともに、真空チャンバ内に浮遊するターゲット粒子等が窓材に付着するのを防止することができる。その結果、観察窓の透過率を６０％以上に維持することができ、真空チャンバ内の情報を連続して正確に得ることが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の観察窓を有する真空処理装置の一具体例を示す概略の断面図である。
【図２ａ】本発明の真空処理装置の一具体例を樹脂フィルム搬送方向から示す概略の断面図である。
【図２ｂ】本発明の真空処理装置の一具体例を樹脂フィルム搬送方向から示す概略の断面図である。
【図２ｃ】本発明の真空処理装置の一具体例を樹脂フィルム搬送方向から示す概略の断面図である。
【図３ａ】本発明による可撓管の内部にハニカム構造柱状体を配した概略図である。
【図３ｂ】本発明による観察窓の要部を一部切り欠いて示す概略の斜視図である。
【符号の説明】
【００５４】
１      真空チャンバ
１ａ    真空チャンバ壁
２      観察窓
３      プラズマエッチング室
３ａ    プラズマ電極
３ｂ    プラズマエッチング室内壁
３ｃ    プラズマエッチング室内壁
４      スパッタリング室
４ａ    スパッタリング電極
４ｂ    スパッタリング室内壁
４ｃ    スパッタリング室内壁
５      樹脂フィルム
６      巻出軸
７      巻取軸
１０      筒状体（全体もしくは一部フレキシブル構造）
１１      ハニカム構造柱状体
１２      窓材
２２      可撓管
３１      球状軸受
３１ａ    球体
３１ｂ    軸受
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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