(57)【要約】【課題】ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供する。【解決手段】  本発明の製造装置は、ホストコンピュータ１１９と通信して動作する製造装置であって、製造装置の動作を制御する１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６と、１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６と通信するワークステーション１１７とを有し、ワークステーション１１７は、製造装置で発生するイベントに関する選択肢をモニター１０２に表示させ、モニター１０２に表示された選択肢を選択する入力に従って、ホストコンピュータ１１９へのイベント通知に関する設定を行い、製造装置で発生したイベントの情報を１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６から受信し、その設定にしたがって、製造装置で発生したイベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホストコンピュータと通信して動作する製造装置であって、
前記製造装置の動作を制御する制御部と、
前記制御部と通信するコンソール部と、を有し、
前記コンソール部は、
前記製造装置で発生するイベントに関する選択肢を表示部に表示させ、
前記表示部に表示された前記選択肢を選択する入力に従って、前記ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定を行い、
前記製造装置で発生したイベントの情報を前記制御部から受信し、
前記設定にしたがって、前記製造装置で発生したイベントの情報を前記ホストコンピュータに送信する、ことを特徴とする製造装置。
【請求項２】
前記選択肢は、前記製造装置で発生する複数のイベントのうち前記ホストコンピュータに通知すべきイベントを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項３】
前記選択肢は、前記イベントの情報を前記ホストコンピュータに送信するタイミングを含む、ことを特徴とする請求項１または２に記載の製造装置。
【請求項４】
前記コンソール部は、前記イベントの情報を前記ホストコンピュータに送信するタイミングに関する条件を前記選択肢として前記表示部に表示させる、ことを特徴とする請求項１に記載の製造装置。
【請求項５】
前記コンソール部は、論理記号と前記条件とを前記表示部に表示させ、前記論理記号と前記条件とを選択する入力に従って、複数の条件に対する論理演算を表す論理式を設定し、設定された前記論理式にしたがって、前記イベントの情報を前記ホストコンピュータに送信する、ことを特徴とする請求項４に記載の製造装置。
【請求項６】
前記表示部は、前記コンソール部に設けられた表示部であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の製造装置。
【請求項７】
前記表示部は、前記ホストコンピュータの表示部であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の製造装置。
【請求項８】
前記製造装置は露光装置であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の製造装置。
【請求項９】
請求項８記載の製造装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホストコンピュータと通信して動作する製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体等の製造工場では、ＳＥＭＩ準拠の製造装置とホストコンピュータとを接続し、ホストコンピュータを用いて製造装置への指示や稼動状況の管理を行うオンライン運用が進んでいる。
【０００３】
ホストコンピュータを用いたオンライン運用においては、製造装置で発生したイベントの情報をホストコンピュータで収集することが行われている。このようなイベント情報は、通常、製造装置メーカーにより定義済みの収集イベントのリストが提供される。また、イベント情報の発行タイミングは、製造装置メーカーの制御ソフトに予め組み込まれており、ユーザは、その発行タイミングを任意に変更することはできない。
【０００４】
特許文献１には、基板処理装置の稼動状態に応じて、所望のデータを収集し、単位時間あたりにデータを収集する頻度を変更することにより、所望のデータを効率的に収集する基板処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２７６９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
製造装置メーカーにより提供される定義済みの収集イベントは、必ずしもユーザが期待するタイミングで発行されるとは限らない。また、ユーザが収集したいイベント情報が発行されないこともある。
【０００７】
このような場合、ユーザは、自社の運用に合ったタイミングでイベント情報を発行するように、製造装置メーカーに対してソフトウエアの修正を依頼する。製造装置メーカーは、この依頼に応じて、ユーザ毎に収集イベントのリストを作成し、修正したソフトウエアを提供する。
【０００８】
図１１は、従来のオンラインプログラムを提供する仕組みの概略図である。このように、ユーザ個別のイベントリストを発行する場合、ユーザ毎の要望に合わせたイベント発行条件になるように、オンラインプログラムを個別に開発する必要があった。
【０００９】
このため、従来の方法では、ソフトウエアの開発コストが大きくなるという問題があった。また、ソフトウエアを修正している期間、ユーザを満足させるオンライン運用を提供することができないという問題もあった。
本発明は、例えば、ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面としての製造装置は、ホストコンピュータと通信して動作する製造装置であって、前記製造装置の動作を制御する制御部と、前記制御部と通信するコンソール部とを有し、前記コンソール部は、前記製造装置で発生するイベントに関する選択肢を表示部に表示させ、前記表示部に表示された前記選択肢を選択する入力に従って、前記ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定を行い、前記製造装置で発生したイベントの情報を前記制御部から受信し、前記設定にしたがって、前記製造装置で発生したイベントの情報を前記ホストコンピュータに送信する。
【００１１】
また、本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、前記製造装置を用いて基板を露光する工程と、前記工程で露光された基板を現像する工程とを有する。
【００１２】
本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、例えば、ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施例における製造装置とホストコンピュータとの関係を示す概略構成図である。
【図２】本実施例における製造装置及びホストコンピュータの内部プログラムの構成を示すブロック図である。
【図３】本実施例における製造装置及びホストコンピュータの他の内部プログラムの構成を示すブロック図である。
【図４】本実施例におけるイベント情報の発行手順を示すフローチャートである。
【図５】本実施例において、イベントリストファイルを編集する際にモニターに表示されるイベントリストエディタ画面の一例である。
【図６】本実施例におけるイベントリストファイルの編集手順を示すフローチャートである。
【図７】本実施例における独立イベントの発行トリガーをカスタマイズするときのフローチャートである。
【図８】本実施例において、独立イベントの発行トリガーを編集する画面の一例である。
【図９】本実施例における遷移イベントの発行トリガーをカスタマイズするときのフローチャートである。
【図１０】本実施例において、遷移イベントの発行トリガーを編集する画面の一例である。
【図１１】従来のオンラインプログラムを提供する仕組みの概略図である。
【図１２】本実施例におけるオンラインプログラムを提供する仕組みの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１６】
まず、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの構成について説明する。なお、本実施例では、露光装置等の半導体製造装置を製造装置の一例として説明するが、本実施例はこれに限定されるものではない。
【００１７】
図１は、本実施例における製造装置とホストコンピュータとの関係を示す概略構成図である。図１に示されるように、本実施例の製造装置は、本体部１１８及びワークステーション１１７（コンソール部）を備え、ホストコンピュータと通信して動作する。
【００１８】
本体部１１８は、ウエハ又はレチクルの搬送を行うロボット、レーザー照射を行う照明系、及び、レンズユニット等のメカニカルユニット等から構成される。ワークステーション１１７は、本体部１１８の各ユニットの動作を制御する。具体的には、本体部１１８は、光源を含む照明ユニット１０７、及び、パターンが形成されたレチクル１０８を保持するレチクルステージ１０９を備える。また、本体部１１８は、投影レンズユニット１１０、及び、感光剤が塗布されたウエハ１１１を位置決めするウエハステージ１１２を備える。本体部１１８の各ユニットは、１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６から出力される指令に従って駆動する。このように、１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６は、製造装置の動作を制御する制御部として設けられている。また、制御部としての１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６は、コンソール部としてのワークステーション１１７との間で通信を行う。
【００１９】
レチクル１０８に形成されたパターンは、投影レンズユニット１１０を介してウエハステージ１１２上のウエハ１１１に投影され、ウエハ１１１に塗布された感光剤に潜像パターンが形成される。この潜像パターンは、現像装置によって現像されて、物理的なパターンとなる。
【００２０】
本体部１１８は、ワークステーション１１７によって制御される。本体部１１８を制御するための制御プログラムは、ワークステーション１１７の内部に設けられた記憶装置１０５に保持されている。この制御プログラムは、必要に応じて、記憶装置１０５からメモリ１０４に呼び出され、ワークステーション１１７に設けられたＣＰＵ１０３によって実行される。
【００２１】
製造装置のオペレータ（ユーザ）による操作や製造装置の動作結果は、ワークステーション１１７に設けられたモニター１０２（表示部）において表示される。製造装置のワークステーション１１７は、イーサネット（登録商標）（ＨＳＭＳ＋ＴＣＰ／ＩＰ）によるネットワーク通信回線１０１（ＬＡＮ）を介し、ホストコンピュータ１１９と接続されて通信が行われる。ホストコンピュータ１１９は、製造装置に対して、メッセージという単位で情報を送信する。製造装置のワークステーション１１７は、ホストコンピュータ１１９から受信した上記情報に従って、各処理を行う。
【００２２】
製造装置のワークステーション１１７は、製造装置側で発生したイベント（イベント情報）をホストコンピュータ１１９に送信する。イベントとは、製造装置の内部で起こりうる現象のことである。ホストコンピュータ１１９は、ワークステーション１１７からイベント情報を受信することにより、製造装置の稼動情報を管理する。
【００２３】
製造装置から送信されるイベント情報を処理するプログラムは、ホストコンピュータ１１９の内部の記憶装置１１６に保持される。このプログラムは、必要に応じて記憶装置１１６からメモリ１１５に呼び出され、ＣＰＵ１１４によって実行される。ホストコンピュータ１１９の操作は、ホストコンピュータ１１９のモニター１１３（表示部）にて行われる。
【００２４】
次に、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの内部プログラムの構成について説明する。図２は、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの内部プログラムの構成を示すブロック図である。
【００２５】
製造装置のイベント（イベント情報）を発生させるトリガー（条件）は、製造装置における各ユニットの動作信号である。この動作信号は、製造装置の本体部１１８で実行される１Ｃｈｉｐプログラム２０６からワークステーション１１７へ送信される。１Ｃｈｉｐプログラム２０６は、本体制御プログラム２０５から製造装置における各ユニットの駆動指示を受け、この指示に従って製造装置のメカニカルユニットを動作させる。このとき、１Ｃｈｉｐプログラム２０６は、メカニカルユニットの動作毎に固有の信号を本体制御プログラム２０５に送信する。
【００２６】
一方、イベントリストファイル２０３には、ワークステーション１１７からホストコンピュータ１１９に送信されうるイベントについて記述されている。イベントには、それぞれ固有のイベントＩＤが定められおり、イベント発行の際には、ワークステーション１１７からホストコンピュータ１１９へイベントＩＤ（イベントの情報）が送信される。また、イベントリストファイル２０３には、イベントＩＤ毎に、その発行条件（トリガー）が記述されている。イベントの発行条件には、本体制御プログラム２０５から送信されるユニットの動作信号をトリガーとした条件式が定められている。
【００２７】
オンラインプログラム２０４は、イベントリストファイル２０３を読み込む。本体制御プログラム２０５から送信される動作信号がイベントリストファイル２０３に記述されているイベントの発行条件に該当する場合、該当したイベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信するため、イベントＩＤを送受信部２０７に送る。
【００２８】
ホストコンピュータ１１９は、ネットワーク通信回線１０１を通して、イベントＩＤを送受信部２０８で受け取る。装置管理プログラム２１０は、製造装置のワークステーション１１７から送信されたイベントＩＤ（イベントの情報）を管理する。具体的には、装置管理プログラム２１０は、イベントＩＤを記憶装置１１６に保存し、又は、コンソールプログラム２０９に送る。コンソールプログラム２０９は、ホストコンピュータ１１９が受信したイベントＩＤをモニター１１３に出力するように制御する。
【００２９】
このように、コンソール部としてのワークステーション１１７は、製造装置で発生するイベントに関する選択肢をモニター１０２、１１３に表示させる。このような選択肢には、製造装置で発生する複数のイベントのうちホストコンピュータ１１９に通知すべきイベントが含まれる。また、このような選択肢には、イベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信するタイミングが含まれる。
【００３０】
また、ワークステーション１１７は、モニター１０２、１１３に表示された選択肢を選択する入力に従って、ホストコンピュータ１１９へのイベント通知に関する設定を行い、製造装置で発生したイベントの情報を１ＣｈｉｐＣＰＵ１０６（制御部）から受信する。そして、ワークステーション１１７は、前記設定にしたがって、製造装置で発生したイベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信する。
【００３１】
従来、製造装置のイベントリストは、製造装置メーカーからソフトウエアとして提供されるオンラインプログラムの中に含まれており、ユーザは、このイベントリストを変更することができなかった。
【００３２】
一方、本実施例では、製造装置のワークステーション１１７において、イベントリストファイル２０３を編集可能なイベントリストエディタプログラム２０２が設けられている。このため、本実施例の製造装置は、イベントの発生条件（トリガー）を変更可能に構成されており、この条件を自由に設定するができる。
【００３３】
イベントリストエディタプログラム２０２は、製造装置におけるイベントの発生条件をカスタマイズ（変更）するとき、イベントリストファイル２０３を記憶装置１０５からメモリ１０４に呼び出す。イベントリストファイル２０３は、メモリ１０４に読み出された後、コンソールプログラム２０１へ送られる。
【００３４】
コンソールプログラム２０１は、イベントリストファイル２０３の内容をモニター１０２に表示する。また、コンソールプログラム２０１は、モニター１０２からオペレータ（ユーザ）の操作を受け付け、オペレータの操作によるイベントリストの変更情報をイベントリストエディタプログラム２０２に送る。
【００３５】
イベントリストエディタプログラム２０２は、コンソールプログラム２０１から受け取った変更情報に従い、イベントリストファイル２０３を書き換える。書き換えられたイベントリストファイル２０３は、メモリ１０４から記憶装置１０５へ送られて保存される。
【００３６】
なお、図２に示されるプログラム構成では、イベントリストファイル２０３の編集作業は、製造装置側からのみ実行可能である。ただし、本実施例はこれに限定されるものではなく、ホストコンピュータ側からイベントリストファイルを編集可能に構成することができる。
【００３７】
図３は、本実施例における製造装置及びホストコンピュータの他の内部プログラムの構成を示すブロック図である。図３に示されるプログラム構成は、ホストコンピュータ側からもイベントリストファイルの編集が可能である。
【００３８】
ホストコンピュータ１１９側からイベントリストファイルを編集するため、図３のホストコンピュータ１１９側のプログラム構成では、さらに、イベントリストエディタプログラム２１１が設けられている。また、ホストコンピュータ１１９の記憶装置１１６には、イベントリストファイル２１２が保管されている。イベントリストエディタプログラム２１１は、イベント発生条件をカスタマイズ（設定変更）する際、イベントリストファイル２１２を記憶装置１１６からメモリ１１５に呼び出す。編集されたイベントリストの内容は、コンソールプログラム２０９の制御により、モニター１１３に表示される。
【００３９】
また、製造装置側の場合と同様に、コンソールプログラム２０９は、モニター１１３からオペレータの操作を受け付ける。また、イベントリストエディタプログラム２１１はイベントリストの内容を書き換え、イベントリストファイル２１２を記憶装置１１６に保存する。
【００４０】
イベントリストエディタプログラム２１１は、イベントリストファイル２１２を製造装置のワークステーション１１７に送信する機能をも有する。送信時には、イベントリストエディタプログラム２１１がイベントリストファイル２１２を送受信部２０８へ送り、ネットワーク通信回線１０１を通してワークステーション１７の送受信部２０７でこのイベントリストファイル２１２を受け取る。また、オンラインプログラム２０４は、送受信部２０７からイベントリストファイル２１２を受け取り、ワークステーション１７に保持されているイベントリストファイル２０３は、イベントリストファイル２１２に置き換えられる。
【００４１】
なお、図２又は図３のいずれのプログラム構成を採用するかは、ユーザの運用に合わせて決定される。
【００４２】
次に、本実施例におけるイベント情報の発行手順について説明する。図４は、本実施例におけるイベント情報の発行手順を示すフローチャートである。
【００４３】
まず、ステップＳ１０１において、１Ｃｈｉｐプログラム２０６が製造装置のメカユニットの動作に応じた信号（動作信号）を本体制御プログラム２０５へ送信する。そして、ステップＳ１０２において、本体制御プログラム２０５は、１Ｃｈｉｐプログラム２０６からユニットの動作信号を受信し、この動作信号をオンラインプログラム２０４へ再送信する。
【００４４】
次に、ステップＳ１０３において、オンラインプログラム２０４は、本体制御プログラム２０５からユニットの動作信号を受信する。そして、ステップＳ１０４において、オンラインプログラム２０４が受信した動作信号について、イベントリストファイル２０３のイベントリストと照合する。
【００４５】
ステップ１０５では、この動作信号が、ホストコンピュータ１１９へのイベント情報の発行条件に合致するか否かを判定する。オンラインプログラム２０４の受信信号（動作信号）がイベントリストに記述されているいずれかのイベントＩＤの発行条件に合致する場合、ステップＳ１０６へ進む。ステップＳ１０６では、オンラインプログラム２０４が、イベント情報の発行条件に合致したイベントＩＤを、ホストコンピュータへ送信する。一方、オンラインプログラム２０４の受信信号がいずれのイベントＩＤの発行条件にも合致しない場合、イベント情報を発行するためのフローは終了する。
【００４６】
次に、イベントファイルリストを編集する際にモニターに表示される画面について説明する。図５は、イベントリストファイル２０３、２１２を編集する際にモニター１０２、１１３に表示されるイベントリストエディタ画面の一例である。
【００４７】
製造装置におけるイベントは、主に二種類に分類される。一つは、製造装置のユニットがある状態から別の状態に遷移する瞬間に発行される遷移イベントである。もう一つは、前後の状態に依存せず、突発的に発生し得る独立イベントである。
【００４８】
遷移イベントの例としては、ウエハ処理関連のイベントが挙げられる。通常、製造装置（半導体製造装置）は、ウエハを外部装置から受け取るため、製造装置はウエハ待ちの状態になることがある。そして、製造装置は、ウエハを受け取った後、必ずウエハ処理開始の状態に遷移する。このウエハ待ち状態からウエハ処理開始状態に遷移したときのイベントが遷移イベントである。
【００４９】
一方、独立イベントの例としては、エラー関連のイベントやオペレータによる操作イベントが挙げられる。突発的に起きる製造装置のエラーやオペレータの操作は前後の状態に関係なく発生するため、独立イベントと呼ばれる。
【００５０】
このようなイベントの種類によって、イベント情報の発行条件の編集方法は異なる。このため、図５に示されるイベント編集画面では、区別しやすいように、イベントのタイプの欄に、そのイベントの種類が表示される。
【００５１】
また、送信フラグの欄には、イベントの発行条件を編集した結果、該当イベントの情報をホストコンピュータ１１９へ送信するか否かが、「ＯＮ」「ＯＦＦ」で表される。イベントの発行条件を設定し、イベントＩＤを送信する場合には送信フラグは「ＯＮ」である。一方、イベント発行条件を設定せず、イベントＩＤを送信しない場合には送信フラグは「ＯＦＦ」である。
【００５２】
編集の欄にはボタンが設置されており、このボタンを押下すると、各イベントの発行条件を変更するための画面が起動する。また、イベント内容の欄には、各イベントの意味が記述されている。
【００５３】
次に、本実施例におけるイベントリストファイルの編集手順について説明する。図６は、イベントリストファイル２０３の編集手順を示すフローチャートである。
【００５４】
まず、ステップＳ２０１において、オペレータがモニター１０２を通して操作することにより、コンソールプログラム２０１はイベントリストエディタプログラム２０２を実行する。そして、ステップＳ２０２において、イベントリストエディタプログラム２０２は、イベントリストファイル２０３をメモリ１０４に読み込む。
【００５５】
次に、ステップＳ２０３において、イベントリストエディタプログラム２０２は、イベントリストファイル２０３の情報をコンソールプログラム２０１に送る。また、ステップＳ２０４において、コンソールプログラム２０１は、製造装置のイベントの一覧情報をモニター１０２に表示する。そして、ステップＳ２０５において、オペレータは、イベント情報の発行条件をカスタマイズ（設定変更）しようとするイベントＩＤの編集ボタンを選択する。
【００５６】
ステップＳ２０６においては、オペレータが選択した編集ボタン（イベントＩＤ）のタイプが独立イベント又は遷移イベントのいずれであるかを判定する。選択されたイベントＩＤが独立イベントの場合、ステップＳ２０７の独立イベントカスタマイズへ進む。一方、選択されたイベントＩＤが遷移イベントの場合、ステップＳ２０８の遷移イベントカスタマイズへ進む。
【００５７】
次に、タイプ別に異なるイベント情報の発行条件の設定手順について説明する。まず、独立イベントの発行条件の設定手順を説明する。図７は、独立イベントの発行条件をカスタマイズ（設定変更）するときのフローチャートである。また、図８は、独立イベントの発行条件を編集する画面の一例である。
【００５８】
まず、ステップＳ３０１において、図５のイベントリストエディタ画面で独立イベントのＥＤＩＴボタンを押下すると、モニターには、図８に示される発行条件（発行トリガー）の編集画面が表示される。そして、ステップＳ３０２において、オペレータは、該当イベントの発行を許可するか否かを決定する。
【００５９】
独立イベントの場合、製造装置で該当イベントの現象が発生したときに１Ｃｈｉｐプログラム２０６から送信される信号とイベントＩＤとが一対一に対応している。このため、カスタマイズ（設定変更）可能な内容は、イベントＩＤをホストコンピュータ１１９へ送信するか否かという二択のみである。
【００６０】
該当イベント（イベントＩＤ）をホストコンピュータ１１９へ送信する場合にはステップＳ３０３へ進み、独立イベントの発行条件（発行トリガー）のチェックボックスをＯＮにする。一方、該当イベントの発行を許可しない場合にはステップＳ３０５へ進み、独立イベントの発行条件（発行トリガー）のチェックボックスをＯＦＦにする。
【００６１】
最後に、ステップＳ３０４において、独立イベントの発行条件（発行トリガー）の編集画面のＳＡＶＥボタンを押下し、編集後の発行条件を保存する。
【００６２】
次に、遷移イベントの発行条件の設定手順を説明する。図９は、遷移イベントの発行条件（発行トリガー）をカスタマイズ（設定変更）するときのフローチャートである。また、図１０は、遷移イベントの発行条件を編集する画面の一例である。
【００６３】
まず、ステップＳ４０１において、図５のイベントリストエディタ画面上で遷移イベントのＥＤＩＴボタンを押下する。例えば、図５のイベントＩＤの一覧の中から、イベントＩＤ「１００７」として示される遷移イベントの発行トリガーのカスタマイズ画面（遷移画面）を図１０に示す。
【００６４】
遷移イベントのカスタマイズ（設定変更）では、独立イベントとは異なり、イベント情報を発行するタイミングを、複数のユニット動作の中から遷移画面上で選択することが可能である。すなわち、コンソール部としてのワークステーション１１７は、イベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信するタイミングに関する条件を選択肢としてモニター１０２、１１３に表示させる。また、ワークステーション１１７は、論理記号とその条件とをモニター１０２、１１３に表示させ、その論理記号と条件とを選択する入力に従って、複数の条件に対する論理演算を表す論理式を設定する。そして、ワークステーション１１７は、設定された論理式にしたがって、イベントの情報をホストコンピュータ１１９に送信する。
【００６５】
図１０は遷移イベントの発行条件（発行トリガー）のカスタマイズ画面（遷移画面）であるが、表示されている条件（トリガー）の一覧は、ウエハ処理開始動作の中で、ウエハステージユニットの状態を遷移する順に並べられている。イベントＩＤ「１００７」は、ウエハ処理開始時に通知するイベントであり、イベントＩＤの発行タイミングが設定可能である。具体的には、ウエハステージがウエハを認識した瞬間とするか、ウエハステージの初期位置駆動が終了した瞬間とするか、又は、露光処理が開始した瞬間とするか等、ユーザは発行タイミングを自由に設定することができる。
【００６６】
次に、図９のステップＳ４０２において、ユーザは、イベントＩＤの発行トリガー（発行条件）を単一又は複数のいずれの発行トリガーに設定するかを選択する。単一トリガーに設定されると、例えば図１０に示される単一トリガーの使用例のように、ウエハステージユニットがウエハを認識した瞬間を発行トリガーとして、イベントＩＤ「１００７」が発行される。
【００６７】
一方、複数トリガーに設定されると、例えば図１０に示される論理式を用いた複数トリガーの使用例のように、複数の発行トリガーに対する論理演算を表す論理式が満たされた場合にイベントＩＤ「１００７」が発行される。例えば論理演算（論理記号）として「ＡＮＤ」が用いられると、任意に設定された複数の発行トリガーの全てが満たされた瞬間に、イベントＩＤ「１００７」が発行される。また、論理式として「ＯＲ」が用いられると、任意に設定された複数の発行トリガーの内のいずれか一つが満たされた瞬間に、イベントＩＤ「１００７」が発行される。つまり、イベント情報の発行条件として複数の発行トリガーによる論理式を用いる場合、この論理式が満たされた場合にイベント情報を発行するように、発行条件をカスタマイズ（設定変更）することが可能となる。
【００６８】
図９のフローチャートのステップＳ４０２において、発行トリガーを一つのみ選択した場合、ステップＳ４０３へ進む。そして、ステップＳ４０９において、遷移イベントの発行トリガーの設定を保存する。一方、ステップＳ４０２において、複数の発行トリガーを選択した場合、ステップＳ４０４へ進む。ステップＳ４０４の「Ｎ」は、選択される発行トリガー数のカウンタである。カウンタＮは１に初期化される。そして、ステップＳ４０５において、第１の発行トリガーが選択される。
【００６９】
次に、ステップＳ４０６において、論理式で用いられる演算子を、ＡＮＤボタン、ＯＲボタン、及び、ＮＯＴボタンの中から選択する。そして、ステップＳ４０７において、第２の発行トリガーを選択し、論理式を完成させる。
【００７０】
図１０の使用例では、発行トリガー「１−１−２」と発行トリガー「１−２−２」のＡＮＤをイベント発行の条件としている。２つの発行トリガーに相当するメカユニット信号が１Ｃｈｉｐプログラム２０６から発信される。オンラインプログラム２０４が、本体制御プログラム２０５を介してメカユニット信号を受信すると、送受信部２０７がホストコンピュータ１１９へイベントＩＤ「１００７」を送信する。
【００７１】
図９のステップＳ４０７において第２の発行トリガーが選択された後、ステップＳ４０８において、さらに発行トリガーの数を増加させるか否かを選択する。発行トリガー数を増加させる場合、再びステップＳ４０６へ進み、追加する演算子を選択する。一方、ステップＳ４０８において、全ての発行トリガーの選択が完了した場合、ステップＳ４０９へ進み、遷移イベントの発行トリガーの設定を保存する。
【００７２】
以上の手順により、遷移イベントの発行条件をカスタマイズ（設定変更）することができる。
【００７３】
図１０は、遷移イベントの発行トリガーのカスタマイズ画面の一例である。この画面には、選択可能な発行トリガーの一覧が表示されており、チェックボックスをチェックすることで、任意の発行トリガーをイベント情報の発行条件に含めることができる。図１０に示されるように、この画面には、論理演算子ボタン及び条件をクリアするＣＬＥＡＲボタンが設けられている。チェックボックスと演算子ボタンを用いて論理式を組み立てると、発行条件の論理式が表示される。また、ユーザがＳＡＶＥボタンを押下することにより、発行トリガーの設定が保存される。
【００７４】
以上、本実施例では、ユーザ自らがイベント情報の発行タイミングを設定変更することについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、オンラインプログラムを提供する製造装置メーカーが、本実施例を適用してユーザの要望に迅速に対応するという運用も考えられる。
【００７５】
本実施例の構成によれば、図１２に示されるように、イベントのカスタマイズが可能なオンラインプログラムを一つ開発すれば、その後は、ユーザが要望するイベント発行条件に合わせてカスタマイズするだけで済む。このように、本実施例によれば、図１１に示されるようなソフトウエアの修正が不要となるため、開発工数の削減が可能となる。
【００７６】
カスタマイズされた発行トリガーに関する情報は、製造装置内の不揮発性記憶装置又は取り外し可能な記憶装置に保存することができる。また、外部記憶装置に保存した発行トリガーに関する情報を、製造装置以外の環境においても編集可能に構成することができる。
【００７７】
また、製造装置以外の環境で作成した発行トリガーの設定データを、製造装置に直接又はネットワークを介して転送し、カスタマイズした発行トリガーの設定でオンライン運用を行うこともできる。
【００７８】
半導体生産工場でのオンライン運用において、本実施例によれば、製造装置から収集すべきイベントの選択やイベント情報の発行タイミングを自由にカスタマイズすることができる。このため、ユーザは、従来のように、製造装置メーカーへ定義済みの収集イベントの変更要望を出すという手間がかからなくなる。また、製造装置メーカーにとっても、製造装置ユーザ毎の要求に合わせてイベントを変更するというソフトウエアの修正が不要となるため、コストと時間がかからなくなる。
【００７９】
デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）は、前述の実施例の製造装置（露光装置）を使用して感光剤を塗布した基板（ウエハ、ガラスプレート等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
【００８０】
本実施例によれば、ホストコンピュータへのイベント通知に関する設定に有利な製造装置を提供することができる。また、このような製造装置（露光装置）を用いたデバイス製造方法を提供することができる。
【００８１】
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【００８２】
１０２、１１３  モニター
１０６  １ＣｈｉｐＣＰＵ
１１７  ワークステーション
１１９  ホストコンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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