(57)【要約】【課題】簡易な構成で複数の照明方法の画像を効率よく取得すること。【解決手段】基板５０の表面に照射する照明光を発する光源１５を有する光源部５と、光源１５から発せられた照明光の基板５０の表面に対する照射角度を切り替えるＤＭＤ１７を有する照射角度切替機構７と、照射角度切替機構７により互いに異なる照射角度に切り替えられた照明光の基板５０の表面における反射光をそれぞれ入射させて基板５０の表面の像を撮像するカメラ１９とを備える欠陥検査装置１を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に照射する照明光を発する光源と、該光源から発せられた前記照明光の前記基板の表面に対する照射角度を切り替える照射角度切替部とを備える照明部と、
前記照射角度切替部により互いに異なる照射角度に切り替えられた前記照明光の前記基板の表面における反射光をそれぞれ入射させて前記表面の像を撮像する撮像部と
を備える欠陥検査装置。
【請求項２】
前記照射角度切替部が反射部材を備え、該反射部材の反射角度を変更することにより前記照射角度を切り替える請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記照射角度切替部が、前記照明光を明視野照明と暗視野照明とに切り替える請求項１または請求項２に記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記照明部が、ライン照明を行うためのシリンドリカルレンズを備え、
前記撮像部が、前記シリンドリカルレンズによりライン照明された前記基板の１次元撮像を行うラインセンサカメラであり、
該ラインセンサカメラと前記基板とを該基板の表面に対して相対的に移動させる移動機構を備える請求項１から請求項３のいずれかに記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記撮像部が、異なる照射角度で照射された前記照明光の前記基板の表面における反射光を同期して交互に撮影し、
前記移動機構による前記撮像部と前記基板との相対移動量が、前記撮像部による撮影ごとに取得される画像の前記相対移動方向に対する幅の２分の１以下の量である請求項４に記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記照射角度切替部により照射角度を切り替えられた一の前記照明光の光路上に、該光路に沿って移動可能で、かつ、前記光路との交点を中心に回転可能な可動ミラーを備える請求項１から請求項５のいずれかに記載の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の基板の表面を検査する装置として、基板表面の明視野画像および暗視野画像を取得して、基板表面の幅広い多様な特徴を認識する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の検査装置は、２つの入射照明装置を備え、明視野配置に一方の入射照明装置を配置し、ウエハの表面から直接反射された反射光により明視野画像を取得するとともに、暗視野配置に他方の入射照明装置を配置し、散乱光やウエハの表面で回折された回折光により暗視野画像を取得するようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１４９７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の検査装置では、明視野画像および暗視野画像を取得するために照明装置を複数台設置しなければならないという不都合がある。また、仮に１つの照明装置を移動させて照明光の照射角度を変えることにより明視野画像および暗視野画像を取得するとしても、基板の大型化に伴い検査装置が大型化し、基板の表面を回転軸として照明光学系を大きく移動させる必要がある。そのため、検査に時間がかり作業効率が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で複数の照明方法の画像を効率よく取得することができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、基板の表面に照射する照明光を発する光源と、該光源から発せられた前記照明光の前記基板の表面に対する照射角度を切り替える照射角度切替部とを備える照明部と、前記照射角度切替部により互いに異なる照射角度に切り替えられた前記照明光の前記基板の表面における反射光をそれぞれ入射させて前記表面の像を撮像する撮像部とを備える欠陥検査装置提供する。
【０００８】
本発明によれば、照射角度切替部により、光源から発せられた照明光の照射角度を切り替えることで、明視野照明による基板からの正反射光と暗視野照明による基板からの回折光や散乱光とをそれぞれ撮像部に入射させることができる。したがって、撮像部により、正反射光により基板の表面の像を撮像した明視野画像と、回折光や散乱光により基板の表面の象を撮像した暗視野画像とをそれぞれ取得して、基板の表面を検査することが可能になる。
【０００９】
この場合に、照射角度切替部は、光源から発せられた照明光、すなわち、光路中の照明光の照射角度を変えるものであればよく、例えば、可動式のミラーや光路変更素子等を採用することができる。したがって、光源を複数設けたり光源そのものを移動させたりして基板の表面に対する照明光の照射角度を変える場合に比べて、欠陥検査装置の構成を簡略化しつつ、明視野撮影および暗視野撮影による画像をそれぞれ効率よく取得することができる。
【００１０】
本発明においては、前記照射角度切替部が反射部材を備え、該反射部材の反射角度を変更することにより前記照射角度を切り替えることとしてもよい。
【００１１】
また、上記発明においては、前記照射角度切替部が、前記照明光を明視野照明と暗視野照明とに切り替えることとしてもよい。
このように構成することで、明視野照明でしか認識できない欠陥および暗視野照明でしか認識できない欠陥をそれぞれ検出し、基板の表面上の欠陥を検査することができる。
【００１２】
また、上記発明においては、前記照明部が、ライン照明を行うためのシリンドリカルレンズを備え、前記撮像部が、前記シリンドリカルレンズによりライン照明された前記基板の１次元撮像を行うラインセンサカメラであり、該ラインセンサカメラと前記基板とを該基板の表面に対して相対的に移動させる移動機構を備えることとしてもよい。
【００１３】
シリンドリカルレンズによりラインセンサカメラと基板との相対的な移動方向に直交する方向にライン照明を行い、この照明範囲の全域をラインセンサカメラの視野に入れることで、１度のスキャンで基板の表面全体の画像を取得することができ、検査効率を向上させることができる。
【００１４】
また、上記発明においては、前記撮像部が、異なる照射角度で照射された前記照明光の前記基板の表面における反射光を同期して交互に撮影し、前記移動機構による前記撮像部と前記基板との相対移動量が、前記撮像部による撮影ごとに取得される画像の前記相対移動方向に対する幅の２分の１以下の量であることとしてもよい。
【００１５】
このように構成することで、異なる照射角度で照射された照明光の基板の表面における反射光による画像、例えば、明視野撮影による画像と暗視野撮影による画像が、移動機構による撮像部と基板との相対移動方向に沿って少なくとも半分以上重ね合わせられながら、撮像部により交互に取得される。
【００１６】
この場合に、撮像部により、明視野撮影と暗視野撮影とを同期して交互に行うことで、１度のスキャンにより、基板の表面における撮像部との相対移動方向の全域にわたる明視野画像および暗視野画像をそれぞれ取得することができる。
【００１７】
また、上記発明においては、前記照射角度切替部により照射角度を切り替えられた一の前記照明光の光路上に、該光路に沿って移動可能で、かつ、前記光路との交点を中心に回転可能な可動ミラーを備えることとしてもよい。
【００１８】
このように構成することで、可動ミラーにより、基板に対する照明光の照射範囲を一定に維持しつつ照射角度を変更することができる。これにより、撮像部において、正反射光による画像だけでなく次数の異なる回折光等による複数の画像を取得することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、簡易な構成で複数の照明方法の画像を効率よく取得することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
〔第１の実施形態〕
以下、本発明の第１の実施形態に係る欠陥検査装置１について、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置１は、図１に示すように、基板５０を搬送する基板搬送装置（移動機構）３と、基板搬送装置３上の基板５０の表面に照明光を照射する照明部２０と、基板５０の表面における反射光を入射させて表面の像を撮像するカメラ（撮像部）１９を有するカメラ装置９と、これら照明部２０およびカメラ装置９の制御等を行うメイン制御部１１とを備えている。なお、基板５０としては、ガラス基板やウエハ等が挙げられる。
【００２１】
基板搬送装置３は、基板５０とカメラ１９とを基板５０の表面に対して相対的に移動させるものである。基板搬送装置３としては、例えば、複数のローラで構成されるコンベアを備える搬送ラインや、複数の噴出孔を有する浮上プレートを備える搬送ライン等が用いられる。この基板搬送装置３は、基板５０を水平に維持しながらコンベア上または浮上プレート上を一定速度で搬送するようになっている。
【００２２】
照明部２０は、照明光を発する光源１５を有する光源部５と、光源１５から発せられた照明光の基板５０の表面に対する照射角度を切り替えるＤＭＤ（照射角度切替部）１７を有する照射角度切替機構７と、基板搬送装置３上の基板５０に対して明視野照明位置に配置された明視野投影レンズ３７Ａおよび暗視野照明位置に配置された暗視野投影レンズ３７Ｂと、照射角度切替機構７により切り替えられた照明光を暗視野投影レンズ３７Ｂに導く固定ミラー１３とを備えている。
【００２３】
光源部５は、光源１５と、メイン制御部１１からの点灯命令を受けて光源１５を点灯させる照明制御部２５とを備えている。光源１５は、例えば、ハロゲンランプやＬＥＤ（ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）等であり、光軸方向に進むに従って光束が広がるようになっている。
【００２４】
照射角度切替機構７は、光源１５から発せられた照明光を反射するＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）１７と、メイン制御部１１からの作動命令を受けてＤＭＤ１７のスイッチングを行うＤＭＤ制御部２７とを備えている。
【００２５】
ＤＭＤ１７は、光源１５の光路上に配置された角度変更可能な多数の微小ミラー（図示略、反射部材）を備えている。このＤＭＤ１７は、ＤＭＤ制御部２７によるスイッチング制御により微小ミラーを揺動させて角度を変更し、光源１５から発せられた照明光の反射角度を切り替えるようになっている。
【００２６】
具体的には、微小ミラーは、ＤＭＤ１７のベース部に、例えば、約±１２°の範囲内で角度を変更可能に配置されたミラーであり、基板５０の搬送方向に直交する方向（すなわち、基板５０の幅方向）に１次元に並んで配置されている。これら微小ミラーは、スイッチＯＦＦのときは、反射した照明光が明視野投影レンズ３７Ａに入射される角度（例えば、−１２°）に設定され、スイッチＯＮのときは、反射した照明光が固定ミラー１３を介して暗視野投影レンズ３７Ｂに入射される角度（例えば、＋１２°）に設定されるようになっている。
このように、ＤＭＤ１７は、微小ミラーの反射角度を変更することにより、基板５０への照射角度を切り替えるようになっている。
【００２７】
ＤＭＤ制御部２７は、ＤＭＤ１７のスイッチＯＮ／ＯＦＦの切り替えに合わせて、ＤＭＤ１７の微小ミラーの角度を電気的信号、すなわち、エンコーダ信号に変換してカメラ装置９に出力するようになっている。
【００２８】
明視野投影レンズ３７Ａおよび暗視野投影レンズ３７Ｂは、基板搬送装置３上の基板５０に対して、互いに異なる照射角度で、かつ、同一範囲に向けて照明光を透過させるものである。
【００２９】
これら明視野投影レンズ３７Ａおよび暗視野投影レンズ３７Ｂは、ともに基板５０の搬送方向に直交する方向にパワーを持ち、言い換えれば、ライン状に照明光を照射させるものであり、光源１５から発せられた照明光をコリメートして平行光とする同形状のシリンドリカルレンズによって構成されている。すなわち、明視野投影レンズ３７Ａおよび暗視野投影レンズ３７Ｂは、基板５０の搬送方向に直交する方向にライン照明を行うようになっている。
【００３０】
明視野投影レンズ３７Ａは、カメラ装置９に対して、基板５０の表面に照射される照明光が明視野照明となる角度で配置されている。すなわち、明視野投影レンズ３７Ａは、透過した照明光の基板５０の表面における正反射光３７ａがカメラ装置９に入射されるように配置されている。
【００３１】
暗視野投影レンズ３７Ｂは、カメラ装置９に対して、基板５０の表面に照射される照明光が暗視野照明となる角度で配置されている。すなわち、暗視野投影レンズ３７Ｂは、透過した照明光の基板５０の表面における正反射光３７ｂがカメラ装置９に入射されないように配置されている。
【００３２】
カメラ装置９は、基板搬送装置３上の基板５０の表面において反射された反射光が入射されて基板５０の表面の像を撮像するカメラ（撮像部）１９と、メイン制御部１１からの撮影命令およびＤＭＤ制御部２７からのエンコーダ信号を受けてカメラ１９の撮影を制御するカメラ制御部２９とを備えている。
【００３３】
カメラ１９は、基板５０の搬送方向に直交する方向に沿って受光素子１９ａが１次元的に配置されたラインセンサを備える撮影装置であり、基板５０の幅方向の全域が視野に収められるようになっている。
【００３４】
また、カメラ１９は、明視野投影レンズ３７Ａに対しては、基板５０の表面に照射された照明光の基板５０の表面における正反射光３７ａが入射されるように配置されている。一方、暗視野投影レンズ３７Ｂに対しては、基板５０の表面に照射された照明光の基板５０の表面における正反射光３７ｂは入射されず、かつ、その他の反射光等、例えば、基板５０の表面で回折された回折光や散乱光が入射されるように配置されている。
【００３５】
カメラ制御部２９は、ＤＭＤ制御部２７からのエンコーダ信号に基づき、ＤＭＤ１７のスイッチＯＮ／ＯＦＦに同期して、明視野投影レンズ３７Ａおよび暗視野投影レンズ３７Ｂを透過して照射された照明光の基板５０の表面における反射光を撮影させるようになっている。また、カメラ制御部２９は、カメラ１９により取得された画像の画像データをメイン制御部１１に転送するようになっている。
【００３６】
メイン制御部１１は、ＤＭＤ１７のスイッチＯＮ／ＯＦＦを所定の切替周期で切り替える作動命令をＤＭＤ制御部２７に送るようになっている。また、メイン制御部１１は、照明制御部２５、ＤＭＤ制御部２７およびカメラ制御部２９にそれぞれ上述した制御信号を送るほか、カメラ制御部２９から送られてくる画像データを蓄積するとともに、画像データに基づき基板５０の表面の検査処理を行うようになっている。
【００３７】
このように構成された本実施形態に係る欠陥検査装置１の作用について説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置１により基板５０の表面を検査するには、まず、基板搬送装置３上の基板５０を光源１５およびカメラ１９に向けて搬送する。基板搬送装置３による基板５０とカメラ１９との相対移動量は、カメラ１９による撮影ごとに取得される画像の基板５０の搬送方向に対する幅の２分の１以下の量であることが好ましい。
【００３８】
具体的には、基板搬送装置３は、カメラ１９により取得されるライン状の画像が、基板５０の搬送方向に少なくとも半分以上重ね合わせられながら順次取得されていくように基板５０を搬送するのが好ましい。このようにすることで、一方向の移動のみで基板５０の表面における搬送方向の全域にわたり隙間なく２次元的な画像を取得することができる。
【００３９】
基板５０が搬送されてくると、メイン制御部１１により、照明制御部２５に点灯命令が出力される。照明制御部２５は点灯命令を受けて光源１５を点灯制御し、光源１５から照明光を発光させる。光源１５から発せられた照明光は、ＤＭＤ１７により反射されて、明視野投影レンズ３７Ａまたは暗視野投影レンズ３７Ｂへと導かれる。
【００４０】
また、メイン制御部１１により、ＤＭＤ制御部２７にはＤＭＤ１７のスイッチＯＮ／ＯＦＦを所定の切替周期で交互に切り替える作動信号が出力され、カメラ制御部２９にはＤＭＤ１７のスイッチＯＮ／ＯＦＦごとの撮影を同期して交互に撮影する撮影信号が出力される。
【００４１】
ＤＭＤ制御部２７においては、メイン制御部１１からの作動信号を受けてＤＭＤ１７のスイッチングが行われるとともに、スイッチＯＮ／ＯＦＦの切り替えに合わせて、ＤＭＤ１７の微小ミラーの角度のエンコーダ信号がカメラ制御部２９に出力される。
【００４２】
作動信号がスイッチＯＦＦのときは、図２に示すように、ＤＭＤ１７により反射される照明光が明視野投影レンズ３７Ａに導かれるように、ＤＭＤ１７の微小ミラーの向きが設定される。この場合、ＤＭＤ１７により反射された照明光は明視野投影レンズ３７Ａを透過して基板搬送装置３上の基板５０の表面に照射され、その正反射光３７ａがカメラ１９に入射される。
【００４３】
カメラ制御部２９においては、メイン制御部１１からの撮影信号およびＤＭＤ制御部２７からのスイッチＯＦＦ時のエンコーダ信号を受けて、正反射光３７ａによる基板５０の表面の像をカメラ１９に撮像させる。これにより、カメラ１９において基板５０の表面の明視野画像が取得される。取得された明視野画像は、カメラ制御部２９によりメイン制御部１１へと転送されて記憶される。
【００４４】
一方、作動信号がスイッチＯＮのときは、図３に示すように、ＤＭＤ１７により反射された照明光が固定ミラー１３を介して暗視野投影レンズ３７Ｂに導かれるように、ＤＭＤ１７の微小ミラーの向きが切り替えられる。この場合、ＤＭＤ１７により反射された照明光は暗視野投影レンズ３７Ｂを透過して基板５０の表面に照射され、その正反射光３７ｂ以外の基板５０の表面で回折されたｎ次回折光や散乱光がカメラ１９に入射される。
【００４５】
カメラ制御部２９においては、メイン制御部１１からの撮影信号およびＤＭＤ制御部２７からのスイッチＯＮ時のエンコーダ信号を受けて、回折光や散乱光による基板５０の表面の像をカメラ１９に撮像させる。これにより、カメラ１９において基板５０の表面の暗視野画像が取得される。取得された暗視野画像は、カメラ制御部２９によりメイン制御部１１へと転送されて記憶される。
【００４６】
メイン制御部１１においては、図４（ａ）に示すように、明視野撮影により取得された明視野画像Ａの画像データおよび暗視野撮影により取得された暗視野画像Ｂの画像データが交互に蓄積される。
【００４７】
これにより、図５（ａ）〜図５（ｃ）に示すように、基板５０が光源１５およびカメラ１９を１度通過するだけで、すなわち、１度のスキャンで、基板５０の搬送方向の全域にわたり、明視野画像Ａと暗視野画像Ｂとが少なくとも半分以上重ね合わせられながら交互に取得される。なお、図５（ａ）〜図５（ｃ）は、カメラ１９の受光素子１９ａの１画素分の画像範囲を模式図で示している。図５（ｂ）および図５（ｃ）には、現在の撮影領域の下に過去の画像領域を模式的に残し、図５(ａ)、図５（ｂ）、図５（ｃ）の順に撮影領域をずらしながら明視野撮影と暗視野撮影とが交互に行われていく様子を示している。
【００４８】
したがって、基板５０の搬送方向の全領域にわたり、明視野画像および暗視野画像がそれぞれ隙間なく取得される。この場合に、カメラ１９のラインセンサが基板５０の幅方向の全域を視野に収めることで、１度のスキャン、すなわち、基板５０とカメラ１９の相対移動で基板５０の表面全体の明視野画像および暗視野画像をそれぞれ取得することができる。
【００４９】
なお、明視野画像と暗視野画像のみに限らず、１度の移動により複数の照明方法の画像を取得することが可能である。例えば、次数の異なる回折光を取得する構成としてもよい。
【００５０】
メイン制御部１１においては、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、蓄積された画像データが振り分けられて明視野画像と暗視野画像とに分割される。そして、分割された明視野画像Ａおよび暗視野画像Ｂの２枚の画像に基づいて、基板５０の表面について検査処理が行われる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態に係る欠陥検査装置１によれば、ＤＭＤ１７により基板５０に対する照明光の照射角度を切り替えるので、光源を複数設けたり光源そのものを移動させたりして照明光の照射角度を変える場合に比べて、欠陥検査装置１の構成を簡略化しつつ、明視野撮影および暗視野撮影による画像を効率よく取得することができる。また、１度のスキャンで基板５０の表面全体の明視野画像および暗視野画像を取得することができ、検査効率を向上させることができる。また、基板搬送装置３として公知の搬送ラインを用いることができ、既存の搬送ラインへの設置が可能になる。
【００５２】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態に係る欠陥検査装置１０１について、図６〜図８を参照して説明する。
本実施形態に係る欠陥検査装置１０１は、図６および図７に示すように、固定ミラー１３に代えて可動ミラー機構１０２を備え、また、暗視野投影レンズ３７Ｂに代えて暗視野投影レンズ機構１０４Ｂを備えている点で、第１の実施形態と異なる。なお、可動ミラー機構１０２および暗視野投影レンズ機構１０４Ｂは、それぞれメイン制御部１１により制御される。
以下、本実施形態の説明において、第１の実施形態に係る欠陥検査装置１と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
【００５３】
可動ミラー機構１０２は、暗視野投影レンズ機構１０４Ｂに入射させる照明光の光路を変更可能な可動ミラー１１２と、メイン制御部１１からの移動命令を受けて可動ミラー１１２の移動を制御する可動ミラー制御部１２２とを備えている。
【００５４】
可動ミラー１１２は、図８に示すように、スイッチＯＮ時のＤＭＤ１７から導かれる照明光の光路Ｘ上を移動可能に設けられ、かつ、その光路Ｘ上で反射面と光路Ｘの交点を中心に回転可能に配置されている。この可動ミラー１１２は、可動ミラー制御部１２２により、暗視野投影レンズ機構１０４Ｂへと導く照明光の光路を変更しつつ、暗視野投影レンズ機構１０４Ｂへ常に一定の入射角度で照明光を入射させるように制御される。
【００５５】
暗視野投影レンズ機構１０４Ｂは、カメラ装置９に対して、基板５０の表面に照射される暗視野照明の照射角度を変更可能な可動暗視野投影レンズ１１４Ｂと、メイン制御部１１からの移動命令を受けて可動暗視野投影レンズ１１４Ｂの移動を制御する可動暗視野投影レンズ制御部１２４Ｂとを備えている。
【００５６】
可動暗視野投影レンズ１１４Ｂは、明視野投影レンズ３７Ａを透過した照明光の照射位置と同一範囲に対向しつつ、高さ方向に移動可能に設けられている。この可動暗視野投影レンズ１１４Ｂは、可動暗視野投影レンズ制御部１２４Ｂにより、基板５０に対する照明光の鉛直方向の照射角度を変更しつつ、明視野投影レンズ３７Ａと同一の照射範囲に向けて照明光を透過させるように制御される。
【００５７】
可動ミラー制御部１２２による可動ミラー１１２の移動、および、可動暗視野投影レンズ制御部１２４Ｂによる可動暗視野投影レンズ１１４Ｂの移動は、基板５０の製造条件の変更時等、言い換えれば、レシピ変更時等にそれぞれ同期して低速で行われるようになっている。
【００５８】
具体的には、可動暗視野投影レンズ１１４Ｂの高さ方向の移動に合わせて、可動ミラー１１２がスイッチＯＮ時のＤＭＤ１７から導かれる照明光の光路Ｘ上を移動しつつ、可動暗視野投影レンズ１１４Ｂへの入射角度を一定に保つように揺動される。
【００５９】
このようにすることで、暗視野撮影時の照明光の照射角度を自由に設定することができる。例えば、正反射光１１４ｂ以外のｍ次回折光等をカメラ１９に入射させて、ｎ次回折光とは異なる暗視野画像を取得することができる。これにより、固定ミラー１３では見つけられなかった基板５０の表面の欠陥等を検出することが可能になる。
【００６０】
なお、上記各実施形態は以下のように変形することができる。
以下、第１の実施形態に係る欠陥検査装置１および第２の実施形態に係る欠陥検査装置１０１に共通の追加の構成を備える欠陥検査装置２０１について、図９を参照して説明する。同図において、固定ミラー１３と暗視野投影レンズ３７Ｂを例示して説明する。
本変形例に係る欠陥検査装置２０１は、上記各実施形態の照明光学系を採用することができ、それぞれに追加される構成として、光源１５からＤＭＤ１７に向けて発せられる照明光の光路上にフィルタ機構１０６を備えている。なお、フィルタ機構１０６は、ＤＭＤ制御部２７により制御される。
以下、本変形例の説明において、第１の実施形態に係る欠陥検査装置１および第２の実施形態に係る欠陥検査装置１０１と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
【００６１】
フィルタ機構１０６は、光源１５から発せられた照明光の波長や光量を変更するターレット１１６と、ＤＭＤ制御部２７からの回転信号を受けてターレット１１６を回転させるフィルタ制御部１２６とを備えている。
【００６２】
ターレット１１６は、円盤状部材であり、ＤＭＤ１７に入射される照明光の光路と平行な回転軸を有している。このターレット１１６には、図示しない複数のカラーフィルタやＮＤフィルタがそれぞれ回転軸からほぼ等しい距離に周方向に間隔をあけて取り付けられている。例えば、ターレット１１６には、照明光の波長を変える場合はカラーフィルタを装着し、また、照明光の光量を変える場合はＮＤフィルタを装着し、あるいは、これら混合して装着することとしてもよい。正反射では主に膜ムラを検査するので、干渉縞が見え易いよう所定の半値幅を持つ単色光を用いる。また、回折光を撮像して検査するときは、白色光とするためフィルタを外したりまたは素通しのフィルタを用いたりすることとしてもよい。
【００６３】
このように構成することで、フィルタ制御部１２６によりＤＭＤ１７のスイッチングと同期してターレット１１６を回転させ、明視野撮影と暗視野撮影とで異なるフィルタを通させて、波長が異なる照明光による撮影や光量が異なる照明光による撮影を行うことができる。これにより、照明光の波長や光量の相違により、特定の照明波長や光量では見つけられなかった基板５０の表面の欠陥等を検出することが可能になる。
【００６４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上記各実施形態においては、移動機構として基板搬送装置３を例示して基板５０を移動させることとしたが、移動機構は基板５０とカメラ１９とを相対的に移動させるものであればよく、例えば、基板５０を固定してカメラ１９を移動させるものであってもよいし、基板５０とカメラ１９を相互に移動させるものであってもよい。
【００６５】
また、上記各実施形態においては、１次元に並んだ微小ミラー列によって構成されたＤＭＤ１７を例示したが、これに代えて、例えば、２次元のＤＭＤのライン状部分を使用することとしてもよい。
また、ＤＭＤ１７に代えて、ガルバノミラー等の配置角度を変更可能な反射部材を用いたものや、スイッチにより反射と透過を切替可能な液晶板の後ろ側に、液晶板による反射とは異なる角度に反射するようにミラーを配置するなどの光路変更素子を採用することとしてもよい。
また、上記各実施形態においては、ライン照明やラインセンサを用いて基板搬送装置３により基板５０を移動させて１次元の画像を２次元画像に構築する例で説明したが、例えば、ラインセンサを２次元の撮像素子に変更し、１次元のＤＭＤ１７を２次元のＤＭＤに変更し、シリンドリカルレンズを球面レンズに変更することにより、基板５０を搬送しないで２次元画像を初めから取得する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成図である。
【図２】図１の欠陥検査装置の明視野撮影時の様子を示した概略図である。
【図３】図１の欠陥検査装置の暗視野撮影時の様子を示した概略図である。
【図４】（ａ）は図１のメイン制御部の明視野画像の画像データと暗視野画像の画像データとを交互に蓄積した様子を示した図であり、（ｂ）はメイン制御部の明視野画像の画像データと暗視野画像の画像データとを分割した様子を示した図である。
【図５】（ａ）は光電素子１つあたりの明視野画像の画像範囲を示した図であり、（ｂ）は（ａ）の撮影と同期して取得された光電素子１つあたりの暗視野画像の画像範囲を示した図であり、（ｃ）は（ｂ）の撮影と同期して取得された光電素子１つあたりの明視野画像の画像範囲を示した図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成図である。
【図７】図６の欠陥検査装置の暗視野撮影時の様子を示した概略図である。
【図８】図６の欠陥検査装置の可動ミラーと可動暗視野投影レンズの移動する様子を示した概略図である。
【図９】本発明の第１の実施形態および第２の実施形態の変形例に係る欠陥検査装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  欠陥検査装置
３  基板搬送装置（移動機構）
７  照射角度切替機構（照射角度切替部）
１５  光源
１９  カメラ（撮像部）
２０  照明部
５０  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2010048712.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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