(57)【要約】【課題】真空容器内を迅速に高真空状態とすることができる分析装置の試料載置機構を提供する。【解決手段】本発明の試料載置機構２０は、真空下で試料をイオン化し、発生したイオンを検出して当該試料を分析する装置の試料載置機構である。試料Ｓを載置する試料台２００は、真空容器（第１のチャンバー室２１）の外部に配置された駆動手段２１０に連結されている。試料台２００は、真空容器（第１のチャンバー室２１）内に挿入され、真空容器（第１のチャンバー室２１）への試料台２００の挿入部分は、シール部材２１７によって密閉される。【選択図】図３
2010139453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空下で試料をイオン化し、発生したイオンを検出して当該試料を分析する装置の試料載置機構であって、
前記試料を載置する試料台は、真空容器の外部に配置された駆動手段に連結されており、
前記試料台は、前記真空容器内に挿入され、前記真空容器への前記試料台の挿入部分は、シール部材によって密閉される分析装置の試料載置機構。
【請求項２】
前記試料台の上面に複数の試料が載置されており、前記試料台は支持柱を介して連結された前記駆動手段によって略水平方向へ回転し、
前記支持柱の外周部に前記シール部材が設けられており、前記支持柱における前記シール部材が設けられた位置近傍は円柱形状とされていることを特徴とする請求項１に記載の分析装置の試料載置機構。
【請求項３】
前記分析装置は、真空容器を成す第１のチャンバー室と、同じく真空容器を成す前記第１のチャンバー室の容積以上の容積を有する第２のチャンバー室と、前記第１のチャンバー室と前記第２チャンバー室とを仕切る仕切り弁と、を備えており、
前記第１のチャンバー室に試料台が挿入されることを特徴とする請求項１又は２に記載の分析装置の試料載置機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空下で試料をイオン化し、発生したイオンを検出して当該試料を分析する装置の試料載置機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦ−ＭＳ（Ｍａｔｒｉｘ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  ｌａｓｅｒ  Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ／Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ−Ｔｉｍｅ  Ｏｆ  Ｆｌｉｇｈｔ−Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ：マトリクス支援レーザ脱離イオン化飛行時間質量分析装置）が利用されるようになって来ている。ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦ−ＭＳは、例えば、血液中のたんぱく質の質量分析を行い、疾患の診断や発症機序の生化学的な解明などを行うことができる。
【０００３】
ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦ−ＭＳは、真空容器内に試料を搬入して分析を行う。例えば、非特許文献１に開示されているように、真空容器内において、試料台に設置されたターゲットプレート上の試料にレーザ光を照射する。これにより、試料からイオンが発生する。そして、電極に加速電圧を印加して、イオンを引き出す。引き出されたイオンの飛行時間によって、質量を分析する（非特許文献１）。このとき、一度に複数の試料を分析できるように、複数の試料が載置されたターゲットプレートを試料台に設置して、当該試料台をＸ・Ｙステージによって支持した試料載置機構を構成し、当該試料載置機構を真空容器内に内蔵している（特許文献１）。Ｘ・Ｙステージによって試料台をスライドさせ、次々と試料にレーザ光を照射できる。
【非特許文献１】臨床検査  Ｖｏｌ．４４  Ｎｏ．１  ｐ９−１３  ２０００年１月発行（医学書院）
【特許文献１】特開２００７−２９９６５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
分析装置は、真空容器内を高真空状態とする必要があり、当該真空容器内を高真空状態とするには多くの時間を費やす。そのため、少しでも迅速に当該真空容器内を高真空状態とすることができるように、真空容器内の容積を小さくすることが望ましい。しかし、試料載置機構を成すＸ・Ｙステージは、試料台をＸ方向及びＹ方向へスライドさせるため、試料台のスライド領域を広範に確保する必要がある。また、Ｘ・Ｙステージは、動力源としてパルスモータなどを用いるため、嵩張る。したがって、当該Ｘ・Ｙステージが内蔵される真空容器内の容積を小さくすることが難しい。そこで、パルスモータなどに変わり超音波モータなどの超小型モータを用いることも、一つの手段であるが、当該超小型モータは品質や価格の観点で使用が困難である。
また、Ｘ・Ｙステージの構成部材は、専ら真空環境下で使用できる設計とされている必要があり、コストが嵩む。例えば、モータ内に少しでも油やほこりが付着していると、真空容器内の真空度が著しく低下する。
【０００５】
本発明は、真空容器内を迅速に高真空状態とすることができる分析装置の試料載置機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る分析装置の試料載置機構は、真空下で試料をイオン化し、発生したイオンを検出して当該試料を分析する装置の試料載置機構であって、前記試料を載置する試料台は、真空容器の外部に配置された駆動手段に連結されており、前記試料台は、前記真空容器内に挿入され、前記真空容器への前記試料台の挿入部分は、シール部材によって密閉される。このような構成により、真空容器の内部の容積を小さくすることができ、しかも油やほこりが侵入する要因を低減することができるので、迅速に当該真空容器内を高真空状態とすることができる。また、駆動手段を真空用モータなどで構成する必要がなく、動力源であるモータとして一般的なパルスモータなどを用いることができ、安価に構成することができる。
【０００７】
前記試料台の上面に複数の試料が載置されており、前記試料台は支持柱を介して連結された前記駆動手段によって略水平方向へ回転し、前記支持柱の外周部に前記シール部材が設けられており、前記支持柱における前記シール部材が設けられた位置近傍は円柱形状とされていること、が好ましい。このような構成により、試料へのレーザ光の照射が終了すると、試料台を回転させることによって、次の試料へレーザ光を照射することができる。
【０００８】
前記分析装置は、真空容器を成す第１のチャンバー室と、同じく真空容器を成す前記第１のチャンバー室の容積以上の容積を有する第２のチャンバー室と、前記第１のチャンバー室と前記第２チャンバー室とを仕切る仕切り弁と、を備えており、前記第１のチャンバー室に試料台が挿入されること、が好ましい。このような構成により、試料を交換する際には、容積が小さい側の第１のチャンバー室のみの真空状態を解除することができる。そのため、試料を交換後、再度、試料を分析する際に仕切り弁を開放状態とし、第１のチャンバー室の真空状態が解除されることによって、低下した真空度の分だけ、真空ポンプによって真空引きすれば良い。よって、チャンバー室を迅速に高真空状態とすることができ、作業効率が向上する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、駆動手段を真空容器の外部に配置したので、当該真空容器内の容積を小さくすることができ、しかも油やほこりが侵入する要因を低減することができるので、迅速に当該真空容器内を高真空状態とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る分析装置の試料載置機構の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。但し、本発明が以下の実施形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
【００１１】
本実施形態の分析装置の試料載置機構（以下、単に試料載置機構という場合がある。）は、真空下で試料をイオン化し、発生したイオンの飛行時間を計測して当該試料を分析する所謂リフレクトロンモードのＭＡＬＤＩ−ＴＯＦ−ＭＳに用いられている。
【００１２】
分析装置１は、図１及び図２に示すように、試料導入部２、分析部３、レーザ光出射部４、仕切り弁５がフレーム６に組み込まれており、図示を省略したカバーによって覆われている。すなわち、分析装置１は、通例のリフレクトロンモードのＭＡＬＤＩ−ＴＯＦ−ＭＳと略同様の構成とされており、試料導入部２は、試料載置機構２０、第１のチャンバー室２１、イオン加速機構（図示は省略）を備えるが、試料載置機構２０に特徴を有する。
【００１３】
試料載置機構２０は、図３に示すように、試料を載置する試料台２００が、真空容器を成す第１のチャンバー室２１の外部に配置された駆動手段２１０に連結されている。この試料台２００は、第１のチャンバー室２１の外方から内方に挿入される。このとき、第１のチャンバー室２１における試料台２００の挿入部分は、シール部材２１７によって密閉される。
【００１４】
試料台２００は、上面が平坦な円柱部材である。試料台２００の上面には、図４に示すように、試料台２００の回転軸Ｏを中心とする同心円上に試料Ｓが載置されたターゲットプレート２０１が設置される。ちなみに、本実施形態の試料台２００の上面からは、ターゲットプレート２０１の側部を引っ掛ける切り欠き部分を有する引っ掛け片２００ａが突出している。本実施形態では、当該切り欠き部分は断面視が三角形状とされている。さらに試料台２００の上面には、ターゲットプレート２０１の下面から突出する位置決め片２０１ａを嵌め込む嵌め込み穴２００ｂが形成されている。
【００１５】
ターゲットプレート２０１は、試料台２００の上面と略等しい平面領域を有し、試料台２００における引っ掛け片２００ａの切り欠き部分に挿入される側部が直線状に形成されている。ターゲットプレート２０１の下面には、位置決め片２０１ａが形成されている。このターゲットプレート２０１を試料台２００に設置する際には、ターゲットプレート２０１の側部を試料台２００における引っ掛け片２００ａの切り欠き部分に挿入して引っ掛けると共に、ターゲットプレート２０１の位置決め片２０１ａを試料台２００の嵌め込み穴２００ｂに嵌め込むと、ターゲットプレート２０１を所定の位置に確実に設置することができる。
【００１６】
駆動手段２１０は、図５及び図６に示すように、支持柱２１１、ブロック部材２１２、ウォーム歯車２１３、抑え板２１４、モータ２１５、ウォーム２１６などを備えている。具体的に云うと、支持柱２１１は、試料台２００を下方から支持する。支持柱２１１は、試料台２００と略等しい外周を有する円柱部材であって、当該試料台２００と同一軸心線上で連結されている。支持柱２１１の下端部は、ブロック部材２１２の上面に形成された嵌め込み穴２１２ａに、水平方向へ回転可能に、且つ上下方向へ移動可能に嵌め込まれている。
【００１７】
この支持柱２１１の上部外周面には、溝部が形成されており、当該溝部にシール部材２１７としてリングパッキン（以下、シール部材と同じ符号２１７を付する。）が嵌め込まれている。さらに支持柱２１１の外周面には、雄ネジ２１１ａが形成されている。このような支持柱２１１は、試料台２００を支持した状態でリングパッキン２１７より上方部分が、第１のチャンバー室２１に形成された貫通穴２１ａから当該第１のチャンバー室２１の内部に挿入される。このとき、当該挿入部分の隙間を形成する貫通穴２１ａの内周面と支持柱２１１の外周面とがリングパッキン２１７で密閉されるように、支持柱２１１は第１のチャンバー室２１内に挿入される。第１のチャンバー室２１内を真空状態とする際に、空気を吸い込まないようにするためである。
【００１８】
当該支持柱２１１の外周には、ウォーム歯車２１３が配置されている。ウォーム歯車２１３は中心部分に貫通穴を有し、当該貫通穴の内周面に形成された雌ネジ２１３ａが、支持柱２１１の雄ネジ２１１ａに噛み合わされている。このウォーム歯車２１３は、上方から当該ウォーム歯車２１３の回転を阻害しないように、抑え板２１４によって高さ位置が固定されている。すなわち、ブロック部材２１２の上面には、ウォーム歯車２１３が収められる凹み部が形成されており、この凹み部にウォーム歯車２１３が収められている。抑え板２１４には、支持柱２１１を貫通させる貫通穴２１４ａが形成されており、当該貫通穴２１４ａに支持柱２１１を貫通させた状態で、抑え板２１４は当該凹み部の周辺部の一段高い領域に接合されている。その結果、抑え板２１４の下面とブロック部材２１２の凹み部の上面とでウォーム歯車２１３を挟み込んでいる。ウォーム歯車２１３には、モータ２１５の回転軸に設けられたウォーム２１６が噛み合わされている。このモータ２１５は、ブロック部材２１２に連結部材２１８を介して連結されている。ちなみに、モータ２１５としては、例えばパルスモータを用いることができ、特に限定されない。
【００１９】
ブロック部材２１２は、上述の支持柱２１１、ウォーム歯車２１３、抑え板２１４が設けられる冶具であって、ステージ７の上面に連結されている。ステージ７は、フレーム６の上面に連結されている。
【００２０】
このような構成により、モータ２１５を駆動させて、ウォーム歯車２１３を回転させると、ウォーム歯車２１３の雌ネジ２１３ａと支持柱２１１の雄ネジ２１１ａとは噛み合い、且つ当該ウォーム歯車２１３の高さ位置が固定されているので、試料台２００を支持する支持柱２１１はウォーム歯車２１３に反力をとって、上方又は下方に移動しつつ、略水平方向（図３の矢印Ａ方向）へ回転する構成となる。その結果、試料台２００は、略水平方向へ回転させることができる。従来のように、Ｘ・Ｙステージを用いて試料台を移動させて、レーザ光の照射対象の試料を変更しなくても、図４（ａ）に示すように、試料Ｓｎ（但し、ｎは１以上の整数）へのレーザ光の照射が終了すると、試料台２００を回転させることによって、次の試料Ｓｎ＋１へレーザ光を照射することができる。また、駆動手段２１０は、第１のチャンバー室２１の外部に配置されている。そのため、第１のチャンバー室２１の内部の容積を小さくすることができ、しかも油やほこりが侵入する要因を低減することができるので、迅速に当該第１のチャンバー室２１内を高真空状態とすることができる。さらに、駆動手段２１０を真空用モータなどで構成する必要がなく、モータ２１５として一般的なパルスモータなどを用いることができ、安価に構成することができる。
【００２１】
なお、モータ２１５と試料台２００との回転比は、レーザ光の照射部位と試料台２００の回転軸Ｏとの間の距離、モータ２１５の１パルス当たりの回転角、レーザ光のスポット径、及び試料Ｓの載置位置などに応じて、適宜定められる。
【００２２】
モータ２１５の駆動によって、試料台２００は上下方向（図３の矢印Ｂ方向）へも移動するので、当該モータ２１５の駆動によって、試料台２００の第１のチャンバー室２１への挿入及び引抜動作を行うことができる。つまり、本実施形態の駆動手段２１０は、試料台２００の回転機構だけでなく、試料台２００の上下移動機構も兼ね備えている。試料台２００上のターゲットプレート２０１を交換する際には、モータ２１５を駆動させて試料台２００を下降させ、第１のチャンバー室２１から引き抜く。ターゲットプレート２０１の交換が完了すると、再びモータ２１５を駆動させて試料台２００を上昇させ、第１のチャンバー室２１内に挿入する。このように、簡単にターゲットプレート、しいては試料を交換することができ、試料の分析作業の迅速化を図ることができる。
【００２３】
このとき、試料載置機構２０は、図５及び図７に示すように、ステージ７を水平方向、すなわち分析装置１の外方及び内方（図５の矢印Ｃ方向）へ摺動させる摺動手段２２０を備えていることが好ましい。摺動手段２２０は、モータ２２１０、送り機構２２２０、ガイド部材２２３０を備えている。モータ２２１０は、ステージ７の上面に、回転軸が分析装置１の外方側に配置されるように設けられている。当該モータ２２１０の回転軸には、プーリ２２１１が設けられている。
【００２４】
送り機構２２２０は、内部に雌ネジ２２２１ａが形成された反力部材２２２１がフレーム６の上面に設けられており、当該雌ネジ２２２１ａに送りネジ２２２２が捩じ込まれている。送りネジ２２２２は、ステージ７を摺動させる摺動距離以上の長さを有し、モータ２２１０の回転軸と平行に配置されている。
【００２５】
送りネジ２２２２の端部には、プーリ２２２３が設けられている。送りネジ２２２２のプーリ２２２３とモータ２２１０のプーリ２２１１とは、ベルト２２４０を介して当該モータ２２１０の駆動力が送りネジ２２２２に伝達可能に連結されている。
【００２６】
送りネジ２２２２の外周部には、間隔を開けて大径部分２２２４が形成されている。ステージ７の下面には、切り欠き部分が形成された駆動力伝達部材２２２５が設けられており、当該切り欠き部分が送りネジ２２２２の大径部分２２２４と２２２４との間に嵌め込まれている。
【００２７】
ガイド部材２２３０は、ステージ７の摺動方向を規定する部材であって、モータ２２１０の回転軸及び送りネジ２２２２と平行に配置されている。ガイド部材２２３０は、ステージ７を摺動させる摺動距離以上の長さを有する。ガイド部材２２３０は、フレーム６の上面に設けられた雌型のレール部材２２３１に、ステージ７の下面に設けられた雄型のレール部材２２３２が嵌め込まれている。フレーム６とステージ７とは、当該ガイド部材２２３０を介して連結されている。つまり、ステージ７は、フレーム６上においてガイド部材２２３０に支持されている。
【００２８】
摺動手段２２０は、モータ２２１０を駆動させると、ベルト２２４０を介して送りネジ２２２２に駆動力を伝達する。送りネジ２２２２は、反力部材２２２１に反力をとって、大径部分２２２４からステージ７の駆動力伝達部材２２２５に駆動力を伝達する。その結果、ステージ７を水平方向へ摺動させることができる。
【００２９】
このような構成により、ターゲットプレート２０１を交換するために、モータ２１５を駆動させて試料台２００を下降させ、さらにモータ２２１０を駆動させて試料台２００を分析装置１の外方側へ移動させると、空いた空間でターゲットプレート２０１を交換することができる。ターゲットプレート２０１の交換が終了すると、再びモータ２２１０を駆動させて試料台２００を分析装置１の内方側へ移動させ、さらにモータ２１５を駆動させて試料台２００を上昇させると、当該試料台２００を第１のチャンバー室２１内に挿入することができる。そのため、より簡単に試料を交換することができ、試料の分析作業の迅速化を図ることができる。
【００３０】
分析装置１の他の構成は、通例の分析装置と同様であるので、詳細な説明を省略するが、第１のチャンバー室２１は、当該試料載置機構２０の上方に支持されている。第１のチャンバー室２１の底面には、試料台２００の外径と略等しい内径を有する貫通穴２１ａが形成されている。貫通穴２１ａの厚さ、すなわち第１のチャンバー室２１の底面の厚さは、上述のように次々と試料にレーザ光を照射するべく、試料台２００を略水平方向へ回転させた際に、良好に真空状態を維持できる高さを有している。つまり、試料台２００を略水平方向へ回転させると、当該回転に伴ってリングパッキン２１７が上方又は下方へ移動するが、その際にリングパッキン２１７が当該貫通穴２１ａの内周面に接触し、チャンパー室内の真空状態が維持されるように、貫通穴２１ａの厚さが設定されている。
【００３１】
第１のチャンバー室２１の上面は、光学的に透明な部材で構成されている。第１のチャンバー室２１内には、図示を省略したが、試料にレーザ光を照射することにより発生したイオンを略水平方向へ飛行させて分析部３の第２のチャンバー室３０に送り込むために、電場を形成して当該イオンに飛行エネルギを与えるイオン加速機構を有する。
【００３２】
分析部３は、第２のチャンバー室３０、真空ポンプ３１、検出センサ３２、リフレクトロン（静電場ミラー）３３などを備えている。第２のチャンバー室３０は、第１のチャンバー室２１と共に真空容器を成す。第２のチャンバー室３０は、第１のチャンバー室２１よりも大きな容積（例えば、第１のチャンバー室２１に対して約５倍程度）を有し、第１のチャンバー室２１と仕切り弁５を介して連結されている。第２のチャンバー室３０内には、第１のチャンバー室２１から飛来するイオンの飛行経路上にリフレクトロン３３が配置されており、当該リフレクトロン３３によって反射したイオンを、同じく第２のチャンバー室３０内に配置された検出センサ３２に向かって飛行させる。検出センサ３２には、マイクロ・チャンネル・プレートなどを用いることができ、飛来したイオンを検出する。検出センサ３２によって検出されたデータは、図示を省略した処理機構に出力され、飛来したイオンの飛行時間を解析し、当該解析結果から試料の質量スペクトルを得る。
【００３３】
第２のチャンバー室３０には、真空ポンプ３１が設けられており、第２のチャンバー室３０及び連結された第１のチャンバー室２１内が高真空状態とされる。真空ポンプ３１は、一般的な真空ポンプと、さらに高真空度を実現するためのターボ分子ポンプとが組み合わされている。さらに第２のチャンバー室３０には、真空計３４が設けられており、チャンバー室内の真空度を計測する。
【００３４】
レーザ光出射部４は、第１のチャンバー室２１の上方に支持されている。レーザ光出射部４は、図示を省略するが、例えば窒素レーザ光を出射するレーザ光出射機構を備えており、出射したレーザ光が、第１のチャンバー室２１の上面の透明部材を介して、ターゲットプレート２０１上の試料に照射される。
【００３５】
仕切り弁５は、第１のチャンバー室２１と第２のチャンバー室３０とを連結する連通路に配置されており、試料導入部２と分析部３とを仕切る弁である。仕切り弁５としては、ボールバルブ（但し、この限りでない。）を良好に用いることができる。この仕切り弁５は、試料を分析する際に開放状態とされ、試料を交換する際に閉鎖状態とされる。これにより、試料を交換する際には、第２のチャンバー室３０よりも容積が小さい第１のチャンバー室２１のみの真空状態を解除することができる。そのため、試料を交換後、再度、試料を分析する際に仕切り弁５を開放状態とし、第１のチャンバー室２１の真空状態が解除されることによって、低下した真空度の分だけ、真空ポンプ３１によって真空引きすれば良い。よって、チャンバー室を迅速に高真空状態とすることができ、作業効率が向上する。
【００３６】
このような構成の分析装置１を用いて、以下のように試料を分析することができる。
先ず、分析装置１の外方側へ試料台２００を移動させた状態で、当該試料台２００上に試料を載置したターゲットプレート２０１を設置する。モータ２２１０を駆動させて試料台２００を分析装置１の内方側へ移動させて、さらにモータ２１５を駆動させて試料台２００を第１のチャンバー室２１内に挿入する。そして、仕切り弁５を開放状態にして、第１のチャンバー室２１と第２のチャンバー室３０とを連通させ、真空ポンプ３１によって両チャンバー室内を高真空状態とする。
【００３７】
次に、レーザ光出射部４によって、試料にレーザ光を照射してイオン化すると、発生したイオンは、図示を省略したイオン加速機構によって第２のチャンバー室３０内に導かれる。すなわち、イオン加速機構によって形成された電場でより、イオンは仕切り弁５を通過して第２のチャンバー室３０に向かって略水平方向へ飛行する。当該イオンは、第２のチャンバー室３０内において、リフレクトロン３３によって、検出センサ３２に向かって反射し、検出センサ３２に衝突する。検出センサ３２は、上述のように、検出したデータを処理機構に出力し、飛来したイオンの飛行時間を解析し、当該解析結果から試料の質量スペクトルを得る。このように一連の分析が終了すると、モータ２１５を駆動させて、試料台２００を回転させ、次の試料の分析を開始する。このとき、試料台２００は回転すると共に上方又は下方へ移動するが、当該分析装置１は発生したイオンを先ず略水平方向へ飛行させるので、当該イオンの飛行時間に影響を及ぼすことが殆どない。つまり、分析装置１は、第１のチャンバー室２１の外方で試料位置を変更することができ、当該変更によっても試料の位置誤差を事実上ゼロにできる。このように、ターゲットプレート２０１上に載置された試料全ての分析が終了すると、仕切り弁５を閉鎖状態とし、モータ２１５を駆動させて試料台２００を下降させる。さらにモータ２２１０を駆動させて試料台２００を分析装置１の外方側へ移動させる。
【００３８】
上述した工程を繰り返すことによって、試料の分析を簡易且つ迅速に実施することができる。なお、上述した工程を、制御装置によって制御する構成とされていることが好ましい。
【００３９】
以上、本発明に係る試料載置機構の実施形態を説明したが、上記の構成に限らず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で、変更することが可能である。例えば、リフレクトロンモードの分析装置に試料載置機構を用いたが、リニアモードの分析装置に用いても良い。試料をイオン化する方法としては、ＭＡＬＤＩの他に、表面支援レーザ脱離イオン化法や、その他の各種レーザイオン化法、或いはレーザでなく高速原子線、イオン線、Ｘ線、電子線など他の粒子線やエネルギ線を照射してイオン化を行うイオン化法、など各種の方法を用いることができる。また、試料台２００の形状は円柱形状に限らず、第１のチャンバー室２１の貫通穴２１ａに通る形状であれば多角形状であっても良い。さらに、支持柱２１１の形状も円柱形状に限らず、第１のチャンバー室２１の貫通穴２１ａ内で回転する部分、すなわちリングパッキン２１７が設けられた位置近傍が円柱形状とされていれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係る試料載置機構を用いた分析装置を示す斜視図である。
【図２】分析装置の構成を示す模式図である。
【図３】本発明に係る試料載置機構を示す模式図である。
【図４】（ａ）は、試料を載置したターゲットプレートを試料台に設置した状態を示す平面図である。（ｂ）は、（ａ）の側面図である。
【図５】本発明に係る試料載置機構を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る試料載置機構の駆動手段を示す部分断面図である。
【図７】本発明に係る試料載置機構の摺動手段を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  分析装置
２  試料導入部
２０  試料載置機構
２１  第１のチャンバー室
２００  試料台
２０１  ターゲットプレート
２１０  駆動手段
３  分析部
３０  第２チャンバー室
３１  真空ポンプ
３２  検出センサ
３３  リフレクトロン
３４  真空計
４  レーザ光出射部
５  仕切り弁
Ｓ  試料
【図１】
2010139453.tif 000003
【図２】
2010139453.tif 000004
【図３】
2010139453.tif 000005
【図４】
2010139453.tif 000006
【図５】
2010139453.tif 000007
【図６】
2010139453.tif 000008
【図７】
2010139453.tif 000009