(57)【要約】【課題】この発明は液晶表示パネルの側辺部に実装されたＴＡＢの実装状態を撮像カメラで撮像して判定する実装状態の検査装置に関する。【解決手段】液晶表示パネル２を所定の高さで水平方向に搬送する搬送テーブル１と、搬送テーブルによって搬送される液晶表示パネルの側辺部を挟持する上部支持ローラ３６及び下部支持ローラ３７と、上部支持ローラを下方向に駆動するとともに下部支持ローラを上方向に駆動して液晶表示パネルの側辺部を搬送テーブルに載置された高さと同じ高さで挟持させる上下一対の駆動シリンダ２３，２４と、液晶表示パネルのＴＡＢ３が実装された側辺部を下方から撮像してＴＡＢの実装状態を判定するための撮像信号を出力する撮像カメラ５と、１つのＴＡＢの実装状態が撮像されて液晶表示パネルを搬送ステージによって水平方向に搬送するとき、液晶表示パネルを挟持した状態で上部支持ローラと下部支持ローラを搬送テーブルの駆動と同期させて回転駆動する回転駆動源１３を具備する。【選択図】      図１
2010171135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の側辺部の上面に所定間隔で実装された複数の電子部品の実装状態を検査する検査装置であって、
上記基板が載置されこの基板を所定の高さで水平方向に搬送する搬送手段と、
上下方向に駆動可能に設けられ上記搬送手段によって搬送される上記基板の側辺部を挟持する上部支持ローラ及び下部支持ローラと、
上記上部支持ローラを下方向に駆動するとともに上記下部支持ローラを上方向に駆動して上記基板の側辺部を上記搬送手段に載置された高さと同じ高さで挟持させる上下駆動手段と、
上記上部支持ローラと上記下部支持ローラとで挟持されて所定の高さで支持された上記基板の上記電子部品が実装された側辺部を下方から撮像して上記電子部品の実装状態を判定するための撮像信号を出力する撮像手段と、
この撮像手段によって１つの電子部品の実装状態が撮像されて上記基板を上記搬送手段によって上記基板の側辺部に実装された電子部品の間隔に応じた距離で水平方向に搬送するとき、上記基板を挟持した状態で上記上部支持ローラと下部支持ローラを上記搬送手段の駆動と同期させて回転駆動する回転駆動手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項２】
上記回転駆動手段は、
回転駆動源と、
この回転駆動源の回転軸の回転運動を２つに分割する歯車列と、
この歯車列によって分割された一方の回転運動に連動して回転する上部回転軸と、
上記歯車列によって分割された他方の回転運動に連動して回転する下部回転軸と、
上記上部回転軸が回転可能に支持され上記上下駆動手段によって上下方向に駆動されるとともに上記上部支持ローラが上記上部回転軸に連動して回転するよう設けられた上部可動体と、
上記下部回転軸が回転可能に支持され上記上下駆動手段によって上下方向に駆動されるとともに上記下部支持ローラが上記下部回転軸に連動して回転するよう設けられた下部可動体と
によって構成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項３】
上記歯車列の一方の回転と他方の回転にそれぞれ連動して回転するよう設けられた一対の第１のプーリと、
上記上部回転軸と上記下部回転軸の一端にそれぞれ設けられ上記第１のプーリの回転を上記各回転軸に第１のベルト介して伝達する第２のプーリと、
上記各回転軸の他端に設けられた第３のプーリと、
上記上部支持ローラ及び上記下部支持ローラにそれぞれ一体的に設けられ上記各回転軸と一体的に回転する上記第３のプーリの回転を第２のベルトを介して上記上部支持ローラと上記下部支持ローラに伝達する第４のプーリと
を具備することを特徴とする請求項２記載の電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項４】
上記上下駆動手段は、上記上部可動体とともに上記上部回転軸を上下方向に駆動する上部駆動シリンダと、上記下部可動体とともに上記上部回転軸を上下方向に駆動する下部駆動シリンダとを有し、
上記上部回転軸を下降方向に駆動して上記上部支持ローラを基板の上面に押し当て、上記下部回転軸を上昇方向に駆動して上記下部支持ローラを基板の下面に押し当ててこれら上下一対の支持ローラによって上記基板の側辺部を挟持した際、上記第１のプーリの回転を上記第２のプーリに伝達する第１のベルトが弛むのを阻止する弛み除去手段が設けられていることを特徴とする請求項３記載の電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項５】
基板の側辺部の上面に所定間隔で実装された複数の電子部品の実装状態を検査する検査方法であって、
搬送手段に載置された上記基板を所定の高さで水平方向に搬送する工程と、
上記搬送手段に載置された上記基板の側辺部が下方へ撓むのを阻止するために上記基板の側辺部を回転駆動される上部支持ローラと下部支持ローラによって挟持する工程と、
上記上部支持ローラと上記下部支持ローラとで挟持されて所定の高さで支持された状態で位置決めされた上記基板に実装された上記電子部品を上記基板の下方から撮像手段によって撮像して上記電子部品の実装状態を判定する工程と、
１つの電子部品の実装状態を判定して上記基板を上記搬送手段によって上記基板の側辺部に実装された電子部品の間隔に応じた距離で水平方向に搬送してつぎの電子部品の実装状態を撮像するとき、上記搬送手段による基板の搬送と同期させて上記基板を挟持した上記上部支持ローラと下部支持ローラを回転駆動する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板に実装された電子部品の実装状態を、基板の下方から撮像して判定する電子部品の実装状態の検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての透明ガラスからなる液晶表示パネルの側辺部の上面には、電子部品としての複数のＴＡＢ（Tape Automated Bonding）が粘着性の異方性導電テープによって所定間隔で本圧着（実装）される。
【０００３】
上記液晶表示パネルの側辺部には微細な幅寸法の複数の第１の端子が微小間隔で設けられ、上記ＴＡＢには液晶表示パネルに設けられた第１の端子と対向する間隔で複数の第２の端子が設けられている。そして、ＴＡＢは第２の端子を上記液晶表示パネルの第１の端子に精密に位置合わせされて実装される。
【０００４】
液晶表示パネルの側辺部の上面に複数のＴＡＢを所定間隔で実装し終えたならば、その液晶表示パネルにＴＡＢが精密に位置決めされて実装されているかどうかを検査するということが行われる。
【０００５】
ＴＡＢの実装状態を検査する場合、液晶表示パネルの上記ＴＡＢが実装された部位を下面側から透明な液晶表示パネルを介して撮像カメラによって撮像する。そして、その撮像信号を画像処理することで、上記ＴＡＢと液晶表示パネルの端子に位置ずれが生じているか否かが判定される。
【０００６】
上記ＴＡＢと液晶表示パネルに設けられた端子は、上述したように幅寸法及び間隔がそれぞれμｍ単位であって、極めて微細である。したがって、上記ＴＡＢの実装状態を撮像する撮像カメラには分解能が小さいものが用いられる。分解能の小さな撮像カメラは視野角が小さく、焦点深度が浅いため、その焦点を撮像部位に位置合わせする作業が容易でないということがある。
【０００７】
一方、上記液晶表示パネルは、搬送ステージの上面にＴＡＢが実装された側辺部を上記搬送ステージの上面から外方へ突出させて載置され、その側辺部に所定間隔で実装された複数の上記ＴＡＢが上記搬送ステージを所定方向に間欠的に駆動することで、上記撮像カメラの上方に順次位置決めされる。
【０００８】
上記ＴＡＢが上記撮像カメラの上方に位置決めされると、その部位が上記撮像カメラによって撮像される。撮像カメラからの撮像信号は画像処理される。それによって、上記ＴＡＢの実装状態、つまり液晶表示パネルの第１の端子に対してＴＡＢの第２の端子が精密に一致しているか否かが判定されるようになっている。
【０００９】
上記液晶表示パネルの上記ＴＡＢが実装された側辺部は、上記搬送ステージの上面から外方へ突出している。そのため、上記液晶表示パネルの側辺部は下方へ撓むことが避けられず、しかもその撓み量は液晶表示パネルの側辺部の長手方向の位置、つまりそれぞれのＴＡＢが実装された位置によっても異なる。
【００１０】
そのため、液晶表示パネルの側辺部のそれぞれのＴＡＢが実装された部位が撮像カメラの上方に位置決めされる度に、上記撮像カメラの焦点合わせを行ってから、上記ＴＡＢの実装状態を撮像するようにしている。
【００１１】
特許文献１には液晶表示パネルの側辺部にＴＡＢを実装する実装装置が示され、特許文献２には液晶表示パネルの側辺部に実装された複数のＴＡＢのうち、脱落しているＴＡＢがあるか否かを検査することが示されているものの、これら特許文献には液晶表示パネルの側辺部に複数のＴＡＢが実装される場合、それらの実装状態の良否を検査することは示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−２３４３７３号公報
【特許文献２】特許第３８８５９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、上述したように液晶表示パネルの側辺部に実装されたＴＡＢを撮像カメラの上方に位置決めする度に、上記撮像カメラの焦点合わせを行うようにすると、その焦点合わせに多くの手間が掛かるばかりか、作業者によってばらつきが生じるからことになるから、上記ＴＡＢの実装状態の検査を効率よく、しかも確実に行なうことが難しいということがあった。
【００１４】
この発明は、基板の側辺部に所定間隔で実装された複数の電子部品を順次撮像する際、それぞれ電子部品に応じて撮像手段の焦点位置をその都度合わせることなく確実に撮像することができるようにした電子部品の実装状態の検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明は、基板の側辺部の上面に所定間隔で実装された複数の電子部品の実装状態を検査する検査装置であって、
上記基板が載置されこの基板を所定の高さで水平方向に搬送する搬送手段と、
上下方向に駆動可能に設けられ上記搬送手段によって搬送される上記基板の側辺部を挟持する上部支持ローラ及び下部支持ローラと、
上記上部支持ローラを下方向に駆動するとともに上記下部支持ローラを上方向に駆動して上記基板の側辺部を上記搬送手段に載置された高さと同じ高さで挟持させる上下駆動手段と、
上記上部支持ローラと上記下部支持ローラとで挟持されて所定の高さで支持された上記基板の上記電子部品が実装された側辺部を下方から撮像して上記電子部品の実装状態を判定するための撮像信号を出力する撮像手段と、
この撮像手段によって１つの電子部品の実装状態が撮像されて上記基板を上記搬送手段によって上記基板の側辺部に実装された電子部品の間隔に応じた距離で水平方向に搬送するとき、上記基板を挟持した状態で上記上部支持ローラと下部支持ローラを上記搬送手段の駆動と同期させて回転駆動する回転駆動手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査装置にある。
【００１６】
上記回転駆動手段は、
回転駆動源と、
この回転駆動源の回転軸の回転運動を２つに分割する歯車列と、
この歯車列によって分割された一方の回転運動に連動して回転する上部回転軸と、
上記歯車列によって分割された他方の回転運動に連動して回転する下部回転軸と、
上記上部回転軸が回転可能に支持され上記上下駆動手段によって上下方向に駆動されるとともに上記上部支持ローラが上記上部回転軸に連動して回転するよう設けられた上部可動体と、
上記下部回転軸が回転可能に支持され上記上下駆動手段によって上下方向に駆動されるとともに上記下部支持ローラが上記下部回転軸に連動して回転するよう設けられた下部可動体と
によって構成されていることが好ましい。
【００１７】
上記歯車列の一方の回転と他方の回転にそれぞれ連動して回転するよう設けられた一対の第１のプーリと、
上記上部回転軸と上記下部回転軸の一端にそれぞれ設けられ上記第１のプーリの回転を上記各回転軸に第１のベルト介して伝達する第２のプーリと、
上記各回転軸の他端に設けられた第３のプーリと、
上記上部支持ローラ及び上記下部支持ローラにそれぞれ一体的に設けられ上記各回転軸と一体的に回転する上記第３のプーリの回転を第２のベルトを介して上記上部支持ローラと上記下部支持ローラに伝達する第４のプーリと
を具備することが好ましい。
【００１８】
上記上下駆動手段は、上記上部可動体とともに上記上部回転軸を上下方向に駆動する上部駆動シリンダと、上記下部可動体とともに上記上部回転軸を上下方向に駆動する下部駆動シリンダとを有し、
上記上部回転軸を下降方向に駆動して上記上部支持ローラを基板の上面に押し当て、上記下部回転軸を上昇方向に駆動して上記下部支持ローラを基板の下面に押し当ててこれら上下一対の支持ローラによって上記基板の側辺部を挟持した際、上記第１のプーリの回転を上記第２のプーリに伝達する第１のベルトが弛むのを阻止する弛み除去手段が設けられていることが好ましい。
【００１９】
この発明は、基板の側辺部の上面に所定間隔で実装された複数の電子部品の実装状態を検査する検査方法であって、
搬送手段に載置された上記基板を所定の高さで水平方向に搬送する工程と、
上記搬送手段に載置された上記基板の側辺部が下方へ撓むのを阻止するために上記基板の側辺部を回転駆動される上部支持ローラと下部支持ローラによって挟持する工程と、
上記上部支持ローラと上記下部支持ローラとで挟持されて所定の高さで支持された状態で位置決めされた上記基板に実装された上記電子部品を上記基板の下方から撮像手段によって撮像して上記電子部品の実装状態を判定する工程と、
１つの電子部品の実装状態を判定して上記基板を上記搬送手段によって上記基板の側辺部に実装された電子部品の間隔に応じた距離で水平方向に搬送してつぎの電子部品の実装状態を撮像するとき、上記搬送手段による基板の搬送と同期させて上記基板を挟持した上記上部支持ローラと下部支持ローラを回転駆動する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査方法にある。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、基板の側辺部を上下方向に駆動される上部支持ローラと下部支持ローラとで挟持して下方へ撓むのを阻止して撮像手段による撮像位置を一定に維持する。そのため、撮像手段の焦点位置を上部支持ローラと下部支持ローラとで支持された基板と同じ高さに設定しておけば、撮像手段の焦点位置をその都度、設定せずにすむようになる。
【００２１】
しかも、搬送手段による基板の搬送に同期させて基板を挟持した上部支持ローラと下部支持ローラを回転駆動するため、上部支持ローラと下部支持ローラとによる基板の挟持状態を開放せずに複数の電子部品の撮像を順次行うことができる。
【００２２】
そのため、基板を搬送しても、その基板の側辺部が上下方向に振れることがないから、撮像手段による複数の電子部品の実装状態の撮像を迅速に行なうことができ、しかも基板と各支持ローラとの間にスリップが生じないため、各支持ローラによって基板に傷を付けるようなこともない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】この発明の一実施の形態を示す検査装置の概略的構成図。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う拡大図。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う拡大図。
【図４】制御系統のブロック図。
【図５】液晶表示パネルの一部を示す平面図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２５】
図１乃至図５はこの発明の一実施の形態を示す。図１はこの発明の検査装置を示す概略的構成図であって、この検査装置は搬送手段を構成する搬送テーブル１を備えている。この搬送テーブル１はＸ・Ｙ・Ｚ駆動源４によって水平方向であるＸ、Ｙ方向及び上下方向であるＺ方向に駆動されるようになっている。
【００２６】
上記搬送テーブル１の上面には、基板として液晶表示パネル２が側辺部を上記搬送テーブル１の上面から外方へ突出させて載置され、たとえば真空吸着などの手段によって保持される。
【００２７】
図５に示すように、上記液晶表示パネル２の側辺部の上面には電子部品としての複数のＴＡＢ３が図示しない異方性導電テープを介して所定間隔で本圧着、つまり実装されている。側辺部に対して複数のＴＡＢ３が所定間隔で実装された方向を同図に矢印で示すＹ方向とする。
【００２８】
上記液晶表示パネル２の側辺部に実装された上記ＴＡＢ３は、その実装状態、つまり液晶表示パネル２に設けられた端子と、ＴＡＢ３に設けられた端子（共に図示せず）が確実に位置合わせされているか否かやＴＡＢ３を液晶表示パネル２に実装した異方性導電テープに含まれる導電材の潰れ状態などが上記液晶表示パネル２の側辺部の下方に配置された撮像手段としての撮像カメラ５（図１に示す）によって後述するように撮像されるようになっている。
【００２９】
上記撮像カメラ５の撮像信号は図４に示すように画像処理部６に出力され、ここで画像処理されてから制御装置７に出力される。制御装置７では画像処理された撮像信号を演算処理し、ＴＡＢ３に設けられた端子が液晶表示パネル２に設けられた端子に一致しているか否かや異方性導電テープに含まれる導電材の潰れ状態などによって、液晶表示パネル２の側辺部に対する上記ＴＡＢ３の実装状態が判定される。
【００３０】
上記制御装置７にはモニタ８が接続されていて、演算処理された撮像信号をこのモニタ８に写し出すことができるようになっている。したがって、液晶表示パネル２に対するＴＡＢ３の実装状態の判定は上記モニタ８によって目視で行うことも可能となっている。
【００３１】
上記撮像カメラ５によってＴＡＢ３の実装状態を撮像する際、上記液晶表示パネル２のＴＡＢ３が実装された側辺部は保持装置１１によって下方へ撓むことがなく、しかも上記液晶表示パネル２の側辺部の下面が上記搬送テーブル１の上面と同じ高さになるよう保持されるようになっている。
【００３２】
上記保持装置１１は、図１に鎖線で一部だけを示す装置本体１２を有する。この装置本体１２の上記搬送テーブル１に対向する側面と反対側の側面には回転駆動手段を構成する回転駆動源１３がその回転軸１４の軸線を水平にして設けられている。
【００３３】
上記回転軸１４の中途部には歯車列を構成する第１の歯車１５が嵌着されている。この第１の歯車１５には上記装置本体１２に軸線を水平にして回転可能に支持された第１の支軸１６の一端に嵌着された第２の歯車１７が噛合している。
【００３４】
図２に示すように、上記回転軸１４と上記第１の支軸１６の側方には、それぞれこれら軸１４，１６と軸線を平行にして上記装置本体１２に補助支持軸１４ａ，１６ａが回転可能に設けられている。上記一対の補助支持軸１４ａ，１６ａ、上記回転軸１４の先端部及び上記第１の支軸１６の他端部にはそれぞれ第１のプーリ１８が嵌着されている。
【００３５】
図１に示すように、上記装置本体１２には上部可動体２１と、この上部可動体２１の下方に対向して下部可動体２２がそれぞれ図示しないリニアガイドにガイドされて上下方向に移動可能に設けられている。
【００３６】
上部可動体２１は装置本体１２の斜線で示す部分に固定された上部駆動シリンダ２３のロッド２３ａに連結され、この上部駆動シリンダ２３によって上下方向に駆動されるようになっており、下部可動体２２は装置本体１２の斜線で示す部分に固定された下部駆動シリンダ２４のロッド２４ａに連結され、この下部駆動シリンダ２４によって上下方向に駆動されるようになっている。
【００３７】
上記上部可動体２１の両端部にはそれぞれ上部支持部２１ａが設けられ、これら上部支持部２１ａには上部回転軸２５が軸線を水平にして回転可能に設けられている。下部可動体２２の両端部にはそれぞれ下部支持部２２ａが設けられ、これら下部支持部２１ａには下部回転軸２６が軸線を水平にして回転可能に設けられている。
【００３８】
上記上部回転軸２５と下部回転軸２６の一端部は、図２に示すようにそれぞれ各一対の第１のプーリ１８の中間部下方及び上方に位置し、それらの一端部にはそれぞれ第２のプーリ２７が嵌着されている。上下各組の一対の第１のプーリ１８と１つの第２のプーリ２７とにはたとえばタイミングベルトなどの第１のベルト２８がそれぞれ張設されている。
【００３９】
上記上部可動体２１が上記上部駆動シリンダ２３によって下降方向に駆動され、上記下部可動体２２が上記下部駆動シリンダ２４によって上降方向に駆動されて上方の第２プーリ２７が下降し、下方の第２プーリ２７が上昇すると、各組の一対の第１のプーリ１８と１つの第２プーリ２７との間隔が小さくなるから、各組の３つのプーリ１８，２７に張設された第１のベルト２８に弛みが生じる。
【００４０】
第１のベルト２８に生じた弛みは、図２に示す上下一対の弛み除去手段３１によって除去される。この弛み除去手段３１は一対の第１のプーリ１８と１つの第２のプーリ２７とに張設された上記第１のベルト２８の外面に圧接した２つのテンションローラ３２を有する。各テンションローラ３２はばね３２ａの一端によって上記第１のベルト２８に圧接する方向に弾性的に付勢されている。なお、ばね３２ａの他端は鎖線で示す装置本体１２に保持されている。
【００４１】
それによって、一対の第１のプーリ１８に対して１つの第２のプーリ２７がそれぞれ接近方向に移動し、その移動にともなって第１のベルト２８が弛むと、その弛んだ分だけ各２つのテンションローラ３２が弾性的に変位して第１のベルト２８を押圧するから、上記第１のベルト２８に生じる弛みが除去されて一定の張力が維持されるようになっている。
【００４２】
上記上部可動体２１と下部可動体２２との上記搬送テーブル１側に位置する他端部に設けられた他方の上部支持部２１ａと下部支持部２２ａは、一端部に設けられた一方の上部支持部２１ａと下部支持部２２ａよりも長尺に形成されている。
【００４３】
各他方の支持部２１ａ，２２ａからは上記上部回転軸２５と下部回転軸２６の他端部が突出していて、これら回転軸２５，２６の突出端にはそれぞれ第３のプーリ３３が嵌着されている。
【００４４】
上記各支持部２１ａ，２２ａの先端部には、図１と図３に示すように軸線を水平方向にした一対の第２の支軸３４が同じ高さ位置に、水平方向に所定間隔で離間して回転可能に設けられている。各支持部２１ａ，２２ａの外面側に突出させた一対の第２の支軸３４の一端部にはそれぞれ第４のプーリ３５が嵌着されている。
【００４５】
上記上部支持部２１ａの内面側に突出させた上記第２の支軸３４の他端部には一対の上部支持ローラ３６が嵌着され、下部支持部２２ａの内面側に突出させた第２の支軸３４の他端部には一対の下部支持ローラ３７が嵌着されている。つまり、各一対の上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７は、それぞれ水平方向に同じ高さで設けられた一対の第２の支軸３４によって外周面が同じ高さになるよう位置決めされている。
【００４６】
上記各支持部２１ａ，２２ａの外面側に設けられた１つの第３のプーリ３３と２つの第４のプーリ３５とにはたとえばタイミングベルトなどの第２のベルト３８がそれぞれ張設されている。
【００４７】
以上の構成により、上記回転駆動源１３の回転軸１４が回転駆動されると、その回転は第１の歯車１５と第２の歯車１７によって２つに分けられ、第１、第２のプーリ１８，２７及び第１のベルト２８を介して上部回転軸２５及び下部回転軸２６に伝達される。
【００４８】
上部回転軸２５及び下部回転軸２６の回転は第３のプーリ３３、第４のプーリ３５及び第２のベルト３８を介して各支持部２１ａ，２２ａに設けられた第２の支軸３４に伝達される。第２の支軸３４が回転駆動されれば、この第２の支軸３４の他端部に設けられた各一対の上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７とが回転駆動されることになる。なお、上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７の回転方向は逆方向となる。
【００４９】
図１に実線で示すように上昇位置にある上記上部可動体２１が上部駆動シリンダ２３によって下降方向に駆動され、下降位置にある上記下部可動体２２が上記下部駆動シリンダ２４によって上昇方向に駆動されると、各可動体２１，２２の支持部２１ａ，２２ａに設けられた上記上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７は、図１と図３に鎖線で示すように上記搬送テーブル１の上面に載置された液晶表示パネル２の側辺部のＴＡＢ３が実装された部分よりもわずかに内側の部分の上下面を挟持する。それによって、上記液晶表示パネル２の側辺部は下方に撓むことのない水平な状態で保持される。
【００５０】
上部駆動シリンダ２３による上部支持ローラ３６の下降方向への移動距離と、下部駆動シリンダ２４による下部支持ローラ３７の上昇方向への移動距離は、搬送テーブル１の上面に載置された液晶表示パネル２の側辺部の上面と下面とに圧接するよう設定されている。それによって、上部支持ローラ３６を下降方向、下部支持ローラ３７を上昇方向に駆動すると、これら支持ローラ３６，３７によって液晶表示パネル２の側辺部は上下方向に撓むことなく挟持されるようになっている。
【００５１】
なお、図１に矢印Ｘで示すように、液晶表示パネル２は搬送テーブル１によってＴＡＢ３が実装された側辺部が上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７との間に進入した状態で位置決めされたのち、上部支持ローラ３６が下降し、下部支持ローラ３７が上昇するようになっている。
【００５２】
上記撮像カメラ５によって１つのＴＡＢ３を液晶表示パネル２の側辺部の下方から撮像した後、つぎのＴＡＢ３を撮像するとき、上記搬送テーブル１を駆動するＸ・Ｙ・Ｚ駆動源４と、上記上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７を回転駆動する回転駆動源１３は上記制御装置７によって同期して駆動される。
【００５３】
つまり、液晶表示パネル２が搬送テーブル１によって図３に示すＹ方向に所定の間隔、つまり液晶表示パネル２の側辺部に設けられたＴＡＢ３の間隔Ｐ（図５に示す）に応じた距離で駆動されるとき、上記液晶表示パネル２の側辺部を挟持した上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７が上記搬送テーブル１の駆動に同期して回転駆動される。すなわち、各支持ローラ３６，３７は回転速度が搬送テーブル１の移動速度と同じになるよう回転駆動される。
【００５４】
それによって、液晶表示パネル２のＴＡＢ３が実装された側辺部は、上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７によって挟持されていることで、所定の高さで上下方向に振れることなくＹ方向に送られる。しかも、上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７は液晶表示パネル２に対してスリップすることなく回転する。
【００５５】
なお、上記撮像カメラ５は、液晶表示パネル２の側辺部の下方であって、一対の下部支持ローラ３７の中間位置に位置決めされて装置本体１２に配設されていて、図１に矢印Ｌで示すように液晶表示パネル２のＴＡＢ３が実装された側辺部を下面から撮像する。
【００５６】
このように構成された検査装置によって液晶表示パネル２の側辺部に実装された複数のＴＡＢ３の実装状態を検査する場合、上部支持ローラ３６を上部可動体２１とともに上昇方向に駆動し、下部支持ローラ３７を下部可動体２２とともに下降方向に駆動した状態で、搬送テーブル１をＸ方向に駆動して液晶表示パネル２を複数のＴＡＢ３が実装された側辺部が上部支持ローラ３６と下部支持ローラ３７とによって挟持されるよう位置決めする。
【００５７】
ついで、上記上部支持ローラ３６を下降させるとともに、下部支持ローラ３７を上昇させて、上記液晶表示パネル２の側辺部をこれら一対の支持ローラ３６，３７によって挟持する。このとき、液晶表示パネル２は、その側辺部に実装された複数のＴＡＢ３のうち、最初の１つが撮像カメラ５によって撮像できるよう、Ｙ方向に対して予め位置決めされる。つまり、最初のＴＡＢ３が撮像カメラ５の上方の光軸線上に位置決めされる。
【００５８】
このようにして液晶表示パネル２をＸ、Ｙ方向に対して位置決めし、その側辺部を上下一対の支持ローラ３６，３７で挟持した状態で最初のＴＡＢ３を撮像してその実装状態を判定したならば、搬送テーブル１によって液晶表示パネル２をＹ方向に、ＴＡＢ３の間隔Ｐに応じた距離で駆動する。このとき、制御装置７は搬送テーブル１の駆動に上下一対の支持ローラ３６，３７を同期させて回転させる。
【００５９】
それによって、液晶表示パネル２はその側辺部が上下一対の支持ローラ３６，３７によって挟持された状態で搬送されることになるから、液晶表示パネル２を搬送しても、その側辺部が上下方向に振れるということがない。
【００６０】
したがって、１つめのＴＡＢ３が撮像された後、つぎのＴＡＢ３が撮像カメラ５の上方に位置決めされたとき、液晶表示パネル２の側辺部の振れが静定するのを待つことなく、直ちにそのＴＡＢ３を撮像カメラ５で撮像して実装状態を判定することができる。
【００６１】
上記液晶表示パネル２の側辺部は、上下一対の支持ローラ３６，３７によって挟持されていることで、常に一定の高さに維持されて搬送される。そのため、液晶表示パネル２の側辺部が上下一対の支持ローラ３６，３７によって維持された高さで、撮像カメラ５によってＴＡＢ３の実装状態が撮像できるよう、上記撮像カメラ５の焦点位置を予め設定しておけば、液晶表示パネル２をＹ方向に送って複数のＴＡＢ３を順次撮像カメラ５の上方に位置決めして撮像するとき、撮像カメラ５の焦点をその都度、撮像部位に合わせるということをせずにすむ。
【００６２】
上記液晶表示パネル２の搬送に同期させて上下一対の支持ローラ３６，３７を回転させるようにしたから、上下一対の支持ローラ３６，３７によって液晶表示パネル２の側辺部を挟持した状態で上記液晶表示パネル２をＹ方向に所定距離ずつ間欠的に搬送することができる。
【００６３】
そのため、１つのＴＡＢ３を撮像する度に、上下一対の支持ローラ３６，３７を上下方向に駆動して液晶表示パネル２の側辺部の挟持状態を開放することなく、液晶表示パネル２を搬送することができるから、そのことによっても撮像カメラ５によるＴＡＢ３の撮像を能率よく行なうことができる。
【００６４】
しかも、液晶表示パネル２をＹ方向に搬送する際、上下一対の支持ローラ３６と液晶表示パネル２との間にスリップが生じないから、上下一対の支持ローラ３６によって液晶表示パネル２に傷を付けるということがない。
【００６５】
この発明は上記一実施の形態に限定されず、種々変形可能である。たとえば、液晶表示パネルの側辺部を挟持する上部支持ローラと下部支持ローラをそれぞれ２つずつ設けるようにしたが、各支持ローラの数は２つ以上であればよく、たとえば４つ或いは６つであってもよい。
【００６６】
上記各支持ローラの数が偶数であれば、上記撮像カメラを液晶表示パネルの側辺部の下方の、等間隔で配置された偶数の下部支持ローラの中間位置に配置することができる。つまり、上部及び下部支持ローラの数は偶数であることが好ましい。
【符号の説明】
【００６７】
１…搬送テーブル、２…液晶表示パネル（基板）、３…ＴＡＢ（電子部品）、５…撮像カメラ（撮像手段）、７…制御装置、１３…回転駆動源（回転駆動手段）、１５…第１の歯車、１６…第１の支軸、１７…第２の歯車、１８…第１のプーリ、２１…上部可動体、２２…下部可動体、２３…上部駆動シリンダ（上下駆動手段）、２４…下部駆動シリンダ（上下駆動手段）、２５…上部回転軸、２６…下部回転軸、２７…第２のプーリ、２８…第１のベルト、３１…弛み除去手段、３２…テンションローラ、３３…第３のプーリ、３４…第２の支軸、３５…第４のプーリ、３６…上部支持ローラ、３７…下部支持ローラ、３８…第２のベルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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