(57)【要約】【課題】測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する技術を提供する。【解決方法】断面形状測定装置１０は、移動機構２６と、回転機構３８と、距離センサ１２と、コンピュータ２０によって測定手段を構成しており、下限位置Ａ２において基準軸３２の回りの断面形状（測定形状）を測定する。コンピュータ２０は演算手段を構成しており、測定手段によって測定された楕円形状となる測定形状の長径と短径の長さ及び長径方向に基づいて、測定対象物１６に形成された円形孔３４の軸に垂直な断面形状を測定する。下限位置Ａ２における測定形状のみをもちいて、円形孔３４の軸に垂直な断面形状を測定することができる。【選択図】  図２
2010048731.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する測定装置であって、
距離センサを前記円形孔の内部に配置するとともに、その距離センサを測定対象物に対して基準軸回りに相対回転させることによって、前記円形孔の基準軸に垂直な断面形状を測定する測定手段と、
前記測定手段によって測定された楕円形状を、その長径と短径の長さの比に応じて補正する演算手段と、
を備える測定装置。
【請求項２】
前記演算手段は、前記測定手段によって測定された楕円形状を、その長径と短径の長さの比に応じて、その長径方向に縮小することを特徴とする請求項１に記載の断面積を測定する測定装置。
【請求項３】
測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する測定方法であって、
距離センサを前記円形孔の内部に配置するとともに、その距離センサを測定対象物に対して基準軸回りに相対回転させることによって、前記円形孔の基準軸に垂直な断面形状を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定された楕円形状を、その長径と短径の長さの比に応じて補正する演算工程と、
を備える測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な分野で素材に穴を形成する加工が行われる。最近では、穴加工に要求される精度が高まっており、そのため加工した穴の軸に垂直な断面形状の測定が行われる。特に、軸に垂直な断面形状が真円である円形孔を形成する加工が行なわれ、その断面形状である真円の内径等の測定が行われることがある。この断面形状の測定では、変位センサ等を用いて円形孔の断面形状を測定する際に、円形孔の軸方向を検出する必要がある。円形孔の軸方向を検出することで、円形孔の軸に垂直な断面形状の測定が可能となり、この断面形状から円形孔の加工精度を正確に確認することができる。
【０００３】
特許文献１、２に、光学的な手法を用いて円筒等に形成された円形孔の軸方向を検出し、軸に垂直な断面形状を測定する技術が開示されている。特許文献１の技術では、変位センサを円形孔の内部に配置し、基準軸回りに変位センサを回転させることによって、基準軸回りの穴の断面形状、つまり変位センサから円形孔の内壁までの距離を測定する。特許文献２の技術では、変位センサの複数個を基準軸に垂直な断面上に基準軸から等距離となる位置に配置したセンサユニットを円形孔の内部に配置し、その複数個の変位センサを用いて基準軸回りの穴の断面形状を測定する。これらの技術では、この測定動作を基準軸上の異なる２測定点において実施し、この２測定点における測定結果と２測定点間の距離に基づいて円形孔の軸方向を検出するとともに、円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する技術が説明されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１３４２０５号公報
【特許文献２】特開２００７−２４６４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１、２の技術を用いて断面形状を測定する場合、基準軸上の異なる２測定点における測定結果が必要とされる。特許文献１の技術では、２測定点に異なる２つの変位センサを配置し、それぞれの変位センサからの測定結果を取得する。２つの変位センサを準備する必要があり、装置が複雑化してしまう。特許文献２の技術では、センサユニットを基準軸に沿って移動させ、移動前後におけるセンサユニットからの測定結果を取得する。センサユニットを基準軸に沿って移動させる装置が必要であり、装置が複雑化してしまう。２測定点における測定結果を取得する場合、装置が複雑化してしまう問題が生じていた。そのため、１測定点における測定結果から、円形孔の断面形状を正確に検出することができる技術が必要とされている。
本発明は上記の課題を解決する。本発明は、１測定点における測定結果から、円形孔の軸に垂直な断面形状を正確に測定することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する測定装置に具現化される。この断面形状測定装置は、測定手段と、演算手段を備えている。
測定手段は、距離センサを円形孔の内部に配置するとともに、その距離センサを測定対象物に対して基準軸回りに相対回転させることによって、円形孔の基準軸に垂直な断面形状を測定する。
演算手段は、測定手段によって測定された楕円形状を、その長径と短径の長さの比に応じて補正する。
【０００７】
距離センサの基準軸が円形孔の軸に対して傾いていると、測定手段による測定形状は、円形孔の軸に垂直な断面形状である真円に対して、一方方向に拡大された楕円形状となる。詳しく言えば、測定形状は、円形孔の軸に垂直な断面形状である真円に対して、基準軸が傾いている方向に拡大された楕円形状となり、その拡大率は傾きの大きさに応じて変化する。
【０００８】
本発明では、この関係を利用して円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する。即ち、測定形状である楕円形状から、基準軸が傾いている大きさを特定し、それに基づいて測定形状を補正する。基準軸が傾いている大きさは、楕円形状の長径と短径の長さの比から、一意に定まる。従って、測定形状である楕円形状の長径と短径の長さの比を用いることで、測定形状に生じている歪み（一方方向への拡大）を補正し、円形孔の軸に垂直な断面形状を得ることができる。
本発明によると、１測定点における測定結果から、円形孔の軸に垂直な断面形状を正確に測定することができる。
【０００９】
上記した断面形状測定装置において、演算手段は、測定手段によって測定された楕円形状を、その長径と短径の長さの比に応じて、その長径方向に縮小することが好ましい。
長径の長さをＬ、短径の長さをＳ、円形孔の軸に対して基準軸が成す角をθとすると、cosθ＝Ｓ／Ｌの関係が成立する。また、測定形状である楕円形状は、円形孔の軸に垂直な断面形状に対して、楕円形状の長径方向に１／cosθ倍に拡大されたものとなっている。これらの関係から、測定形状である楕円形状を、長径方向に上記した比Ｓ／Ｌに応じて縮小すれば、測定対象物に形成された円形孔に垂直な断面形状を得ることができる。
【００１０】
本発明は、測定対象物に形成された円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する断面形状の測定方法にも具現化される。この測定方法は、少なくとも以下の２つの工程を備えている。
（１）距離センサを円形孔の内部に配置するとともに、その距離センサを測定対象物に対して基準軸回りに相対回転させることによって、円形孔の基準軸に垂直な断面形状を測定する測定工程。
（２）測定工程で測定された楕円形状を、その長径と短径の長さの比に応じて補正する演算工程。
この方法によっても、１測定点における測定結果から、円形孔の軸に垂直な断面形状を正確に測定することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、１測定点における測定結果から、円形孔の軸に垂直な断面形状を正確に測定することができ、円形孔の軸に垂直な断面形状を用いて円形孔の加工精度を正確に確認することができる。例えば、円形孔の軸に垂直な断面形状である真円の正確な穴径を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に説明する実施例の主要な特徴を最初に整理する。
（特徴１）  断面形状測定装置は、コンピュータを用いて構成されている。コンピュータのハードウエアやソフトウエアによって、各処理を実行する構成が実現されている。
（特徴２）  断面形状測定装置は、測定対象物に対して距離センサを基準軸の回りに相対回転させる回転機構を備えている。
（特徴３）  断面形状測定装置は、測定対象物に対して距離センサを相対移動させる移動機構を備えている。
【実施例】
【００１３】
本発明を具現化した実施例について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施例の断面形状測定装置１０を示す。断面形状測定装置１０は、ステージ１８に測定対象物１６を載置し、測定対象物１６に形成された円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を測定する装置である。本実施例の断面形状測定装置１０では、測定対象物１６を貫く円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状である真円の内径を測定する。
【００１４】
図１に示すように、断面形状測定装置１０は、ステージ１８と、支柱２４と、移動機構２６と、可動部２８と、回転機構３８と、連結軸３０と、角度エンコーダ４２と、測定ヘッド１４と、距離センサ１２と、コンピュータ２０を備えている。
支柱２４は、ステージ１８に固定されている。移動機構２６は、可動部２８を基準軸３２に沿って上下させるためのアクチュエータであり、支柱２４に固定されている。可動部２８には、連結軸３０を介して測定ヘッド１４が支持されている。そのため、可動部２８の上下動に伴って測定ヘッド１４が基準軸３２に沿って上下動する。
【００１５】
可動部２８は、回転機構３８を備えている。連結軸３０は、回転機構３８によって可動部２８に対して回転可能に支持されている。距離センサ１２は、円形孔３４の内壁までの距離を非接触で測定する光学式の距離センサであり、測定ヘッド１４に固定されている。そのため、連結軸３０の回転に伴って距離センサ１２が基準軸３２の回りに回転する。回転機構３８は角度エンコーダ４２を備えており、角度エンコーダ４２は連結軸３０の回転に伴って距離センサ１２が回転した角度を測定する。
本発明の断面形状測定装置１０は、コンピュータ２０を備えている。コンピュータ２０はケーブル２２を通して可動部２８に接続されているとともに、図示されていないケーブルを通して距離センサ１２と角度エンコーダ４２に接続されている。ケーブル２２を通して、距離センサ１２と角度エンコーダ４２の測定値がコンピュータ２０に入力される。
【００１６】
次に、断面形状測定装置１０の動作について説明する。
図１は、可動部２８が上限位置Ａ１に停止しており、測定ヘッド１４が測定対象物１６の外部に位置する状態の断面形状測定装置１０を示す。この状態で、測定ヘッド１４の基準軸３２と円形孔３４の軸３６がほぼ一致する位置に測定対象物１６を載置する。上記のように測定対象物１６を載置することで、可動部２８を下降させたときに測定ヘッド１４が測定対象物１６に形成された円形孔３４に挿入される。本実施例では、測定ヘッド１４が円形孔３４に挿入された場合でも、基準軸３２が軸３６に完全に一致する必要はない。本実施例を用いれば、基準軸３２が軸３６に対して変位している場合でも、また傾いている場合でも、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を測定することが可能である。
【００１７】
本実施例の断面形状測定装置１０では、測定を開始すると移動機構２６が可動部２８を下降させる。図２に示すように、測定ヘッド１４は円形孔３４の内部に挿入され、可動部２８が下限位置Ａ２に位置したときに下降を停止する。次に、回転機構３８が矢印４０に示すように測定ヘッド１４を基準軸３２の回りに回転させる。距離センサ１２は、単位角度毎に距離センサ１２と円形孔３４の内壁との間の距離ｒを測定する。角度エンコーダ４２は、距離センサ１２が初期角度から回転した角度φを測定する。距離センサ１２と角度エンコーダ４２によって、距離センサ１２と円形孔３４の内壁との間の距離ｒが距離センサ１２の回転角φに対応付けて測定される。距離センサ１２が基準軸３２の回りに一周することで、下限位置Ａ２における基準軸３２に垂直な円形孔３４の断面形状が測定される。測定された断面形状は、ケーブル２２を通してコンピュータ２０に格納される。コンピュータ２０は、回転角φに対応付けて測定された距離ｒの極座標データ（ｒ，φ）を、変換式ｘ＝ｒ・cosφ、ｙ＝ｒ・sinφを用いて、直交座標データ（ｘ，ｙ）に変換する。これにより、測定された円形孔３４の断面形状は、下限位置Ａ２を原点とするｘｙ直交座標系で表現される。
【００１８】
図３に示すように、基準軸３２が円形孔３４の軸３６に対して角度θ傾いている場合、距離センサ１２によって測定された測定形状Ｆ１は、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状Ｆ２に対して、基準軸３２が傾いている方向に拡大される。即ち、図４に示すように、測定形状Ｆ１は楕円形状となる。図４では、楕円形状の長径方向Ｄが、基準軸３２が傾いている方向に相当する。測定形状Ｆ１は、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状Ｆ２に対して、基準軸３２が傾いている方向に１／cosθ倍に拡大されている。一方、基準軸３２が円形孔３４の軸３６と平行である場合、測定形状Ｆ１は真円となる。なお、図３では、説明の便宜上、基準軸３２の傾きを誇張して示してある。
【００１９】
コンピュータ２０は、図４に示した楕円形状の中心点Ｏを検出するとともに、楕円形状の長径の長さＬと短径の長さＳと長径方向Ｄを検出する。そして、この長径の長さＬと短径の長さＳと長径方向Ｄに基づいて、測定形状Ｆ１を補正し、図３に示す円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状Ｆ２を測定する。具体的には、楕円形状の長径の長さＬと短径の長さＳから、cosθ＝S／Ｌの関係を用い、基準軸３２が傾いている角度θを特定する。また、長径方向Ｄから、基準軸３２が傾いている方向を特定する。そして、測定形状Ｆ１を長径方向Ｄに関してcosθ倍に縮小することにより、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状Ｆ２を得る。
【００２０】
図５は、コンピュータ２０で行われる演算の流れを示すフローチャートである。以下、図５を用いて、コンピュータ２０で行われる演算処理を詳細に説明する。
ステップＳ１０では、測定形状Ｆ１から中心点Ｏを検出する（図４参照）。
測定形状Ｆ１の中心点Ｏを検出する際には、測定形状Ｆ１の直交座標データ（ｘ，ｙ）を楕円の方程式に当てはめることによって中心点Ｏを検出してもよい。あるいは、測定された測定形状Ｆ１から画像処理技術を用いて中心点Ｏを検出してもよい。さらには、下記に説明する方法によって中心点Ｏを検出してもよい。
【００２１】
図６と図７を参照し、ステップＳ１０において測定形状Ｆ１の中心点Ｏを検出する一手段を説明する。
図６に示すように、お互いに等しい傾きを持つ２本の直線Ｐ１、Ｐ２を設定する。直線Ｐ１、Ｐ２は、測定形状Ｆ１と交わる。測定形状Ｆ１と直線Ｐ１との交点をｐ１１、ｐ１２とし、その中間点をｐ１３とする。測定形状Ｆ１と直線Ｐ２との交点をｐ２１、ｐ２２とし、その中間点をｐ２３とする。すると、図６に示すように、中間点ｐ１３、ｐ２３を結ぶ直線Ｍ１は測定形状Ｆ１の中心点Ｏを通る。
図７に示すように、直線Ｐ１、Ｐ２と異なる傾きを持ち、かつお互いに傾きが等しい２本の直線Ｑ１、Ｑ２を設定する。直線Ｑ１、Ｑ２も、測定形状Ｆ１と交わる。測定形状Ｆ１と直線Ｑ１との交点をｑ１１、ｑ１２とし、その中間点をｑ１３とする。測定形状Ｆ１と直線Ｑ２との交点をｑ２１、ｑ２２とし、その中間点をｑ２３とする。すると、中間点ｐ１３、ｐ２３の場合と同様に、中間点ｑ１３、ｑ２３を結ぶ直線Ｍ２も測定形状Ｆ１の中心点Ｏを通る。
そのため、中間点ｐ１３、ｐ２３と、中間点ｑ１３、ｑ２３を求め、直線Ｍ１と直線Ｍ２の交わる交点を求めることで測定形状Ｆ１の中心点Ｏを求めることができる。
【００２２】
次に、ステップＳ２０では、楕円形状である測定形状Ｆ１の長径の長さＬと短径の長さＳと長径方向Ｄを求める。
これらの値を求める際には、測定形状Ｆ１の直交座標データ（ｘ，ｙ）を楕円の方程式に当てはめることによって長径の長さＬと短径の長さＳと長径方向Ｄを求めてもよい。あるいは、ステップＳ１０で検出した中心点Ｏと測定形状Ｆ１の各直交座標データ（ｘ，ｙ）との距離を算出し、その最大値を長径とし、その最小値を短径としてもよい。この場合、中心点Ｏから長径を算出するのに用いた直交座標データ（ｘ，ｙ）に向かう方向が長径方向Ｄとなる。
【００２３】
次に、ステップＳ３０では、検出された長径の長さＬと短径の長さＳに基づいて、測定形状Ｆ１が円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状であるのかが判定される。検出された長径の長さＬと短径の長さＳの差が測定誤差程度に小さく、ゼロと見なせる場合、基準軸３２が軸３６と平行であることが解る。この場合、測定形状Ｆ１が円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状となる。測定形状Ｆ１を補正する必要がないため、コンピュータ２０は演算を終了する。逆に、検出された長径の長さＬと短径の長さＳの差が測定誤差程度に小さくなく、ゼロと見なせない場合、基準軸３２と軸３６がゼロではない有限の角度θを成すことが解る。この場合、コンピュータ２０はステップＳ４０へと処理を進める。
【００２４】
ステップＳ４０では、コンピュータ２０が、ステップＳ２０で検出した長径の長さＬと短径の長さＳから、cosθ＝S／Ｌの関係を用い、基準軸３２と軸３６のなす角度θを検出する。
次に、ステップＳ５０では、検出された角度θを用いて測定形状Ｆ１を補正し、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状Ｆ２を測定する。先に説明したように、測定形状Ｆ１は、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状Ｆ２に対して、長径方向Ｄに関して１／cosθ倍に拡大されている。そのことから、測定された測定形状Ｆ１を長径方向Ｄに関してcosθ倍だけ縮小することで、断面形状Ｆ２を得ることができる。
【００２５】
図８と図９を参照し、ステップＳ５０において測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２へと補正する一手段を説明する。
図８に示すように、下限位置Ａ２を原点とするｘｙ直交座標系の直交座標データ（ｘ，ｙ）を、ステップＳ１０で検出した中心点Ｏを原点とするｘ’ｙ’直交座標系の直交座標データ（ｘ’， ｙ’）へと変換する。この際に、ステップＳ２０で求めた長径方向Ｄがｙ’軸方向になるように変換を行う。
次に図９に示すように、測定形状Ｆ１の直交座標データ（ｘ’， ｙ’）を長径方向Ｄであるｙ’軸方向にcosθ（＝S／Ｌ）倍だけ縮小する。つまり、直交座標データ（ｘ’， ｙ’）のｙ’をｙ’・Ｓ／Ｌに変換する。これによって、測定形状Ｆ１の長径方向Ｄに関する拡大が補正され、測定形状Ｆ１が断面形状Ｆ２へと補正される。この場合、断面形状Ｆ２の半径は√（ｘ’ 2＋（ｙ’・Ｓ／Ｌ）2）として求まり、内径は１８０°方向の異なる２つの半径の和として得ることができる。
【００２６】
測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２へと補正する際には、さらに下記に説明する方法で行われてもよい。
図１０に示すように、水平面Ｈ２に対して角度θの傾きをもつ斜面Ｈ１を用いて、測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２へと補正する手順を説明する。ここで、斜面Ｈ１は基準軸３２に垂直な平面を表しており、測定形状Ｆ１を含んでいる。水平面Ｈ２は軸３６に垂直な平面を表しており、断面形状Ｆ２を含んでいる。水平面Ｈ２と斜面Ｈ１は中心点Ｏを通る交線Gで交わっている。この交線Gでは、測定形状Ｆ１に対して断面形状Ｆ２が拡大されない。つまり、この交線Gは楕円形状である測定形状Ｆ１の短径方向を表している。
斜面Ｈ１には、測定形状Ｆ１上の点Ｂを含んでいる。点Ｂを水平面Ｈ２に投影した点を点Ｃとすると、点Ｃは断面形状Ｆ２上に存在する。点Ｂと中心点Ｏの間の距離をＭとし、斜面Ｈ１の傾き方向Ｏ−B1と中心点Ｏから点Ｂに向かう方向Ｏ−Bの間の角度をαとする。傾き方向Ｏ−B1は交線Gと直交しており、楕円形状である測定形状Ｆ１の長径方向Ｄを表している。つまり図１１では、図８に示すように、測定形状Ｆ１の直交座標データ（ｘ’， ｙ’）を、中心点Ｏからの距離Ｍ（＝√（ｘ’ 2＋ｙ’ 2））と長径方向Ｄからの角度αを用いた変換座標（Ｍ，α）へと変換して表している。また、点Ｃと中心点Ｏの間の距離をＲとすると、点Ｃは同様の変換座標を用いて（Ｒ，α）と表される。
【００２７】
この方法では、測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２へと補正する際には、点Ｂ（Ｍ，α）を点Ｃ（Ｒ，α）へと変換する。つまり、距離Ｍを距離Ｒへと変換する。ここで距離Ｒは、距離Ｒと角度θと角度αを用いて、図９に示すように、Ｒ＝Ｍ・√（１−（cosα・sinθ）２）と表される。この変換を用いることで、測定形状Ｆ１上の点Ｂ（Ｍ，α）を断面形状Ｆ２上の点Ｃ（Ｒ，α）へと変換することができ、測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２へと補正することができる。この場合、断面形状Ｆ２の半径はＲであり、内径はαが１８０°異なる２つの点における半径の和として得ることができる。
この方法では、図１１に示すように、補正前の点Ｂ（Ｍ，α）と補正後の点Ｃ（Ｒ，α）において、角度αを一定に保ちながら測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２へと補正することができる。
【００２８】
本実施例の断面形状測定装置１０は、基準軸３２上の１点における基準軸３２の回りの断面測定形状が解っていれば、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を測定することができる。複数の距離センサ１２を用いることもなければ、距離センサ１２を円形孔３４内部で基準軸に沿って移動させる必要もない。円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状の測定が容易となる。また、本実施例によれば、断面形状測定装置１０の基準軸３２が円形孔３４の軸３６と平行でない場合でも、基準軸３２が軸３６と平行になるように調整する必要もなければ、調整後に再度測定する必要もない。測定時間を短縮することができる。
【００２９】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
例えば、距離センサ１２を測定対象物１６に対して基準軸３２の回りに相対回転させる場合には、測定対象物１６を固定して距離センサ１２を基準軸３２の回りに回転させてもよければ、距離センサ１２を固定して測定対象物１６を基準軸３２の回りに回転させてもよければ、測定対象物１６と距離センサ１２をお互いに基準軸３２の回りに回転させることによって、測定対象物１６に対して距離センサ１２を相対回転させてもよい。
同様に、距離センサ１２を上限位置から下限位置Ａ２に相対移動させる場合には、測定対象物１６を固定して距離センサ１２を移動させてもよければ、距離センサ１２を固定して測定対象物１６を移動させてもよければ、測定対象物１６に対して距離センサ１２をお互いに移動させることによって、測定対象物１６に対して距離センサ１２を相対移動させてもよい。
【００３０】
また、「下限位置Ａ２」は測定対象物１６の円形孔３４の内部に限定されない。基準軸３２の回りの円形孔３４の断面形状を測定することができれば、円形孔３４の外部に設定されても構わない。また、「距離センサ１２」も特に限定されない。光学式の距離センサを用いてもよければ、接触式の距離センサを用いてもよい。
【００３１】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】断面形状測定装置１０を示す。
【図２】断面形状測定装置１０を示す。
【図３】測定形状Ｆ１と断面形状Ｆ２の関係を説明する図である。
【図４】測定形状Ｆ１を示す。
【図５】コンピュータ２０で行われる演算のフローチャートを示す。
【図６】中心点Ｏを検出する処理の一例を説明する図である。
【図７】中心点Ｏを検出する処理の一例を説明する図である。
【図８】測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２に補正する処理の一例を説明する図である。
【図９】測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２に補正する処理の一例を説明する図である。
【図１０】測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２に補正する処理の一例を説明する図である。
【図１１】測定形状Ｆ１を断面形状Ｆ２に補正する処理の他の例を説明する図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０・・・・断面形状測定装置
１２・・・・距離センサ
１４・・・・測定ヘッド
１６・・・・測定対象物
１８・・・・ステージ
２０・・・・コンピュータ
２４・・・・支柱
２６・・・・移動機構
２８・・・・可動部
３０・・・・連結軸
３２・・・・基準軸
３４・・・・円形孔
３６・・・・円形孔３４の軸
３８・・・・回転機構
４２・・・・角度エンコーダ
Ａ１・・・・上限位置
Ａ２・・・・下限位置
Ｆ１・・・・測定形状
Ｆ２・・・・断面形状
【図１】
2010048731.tif 000003
【図２】
2010048731.tif 000004
【図３】
2010048731.tif 000005
【図４】
2010048731.tif 000006
【図５】
2010048731.tif 000007
【図６】
2010048731.tif 000008
【図７】
2010048731.tif 000009
【図８】
2010048731.tif 000010
【図９】
2010048731.tif 000011
【図１０】
2010048731.tif 000012
【図１１】
2010048731.tif 000013