(57)【要約】【課題】吸着ノズルの摺動抵抗の増大により吸着ノズルの上昇速度が異常に遅くなった状態も検査できると共に、機械的強度が弱い吸着ノズルでも、損傷・破損させることなく、吸着ノズルの上昇動作具合を精度良く検査できるようにする。【解決手段】実際に吸着ノズル１３を下降位置（例えば下降限界位置）からスプリング１９のばね力により上昇させたときの吸着ノズル１３の上昇速度に相関するデータ（ノズル上昇速度データ）を計測して、その計測結果から吸着ノズル１３の上昇動作具合を検査する。このため、吸着ノズル１３の摺動抵抗の増大により吸着ノズル１３の上昇速度が異常に遅くなった状態も検査できると共に、検査時に吸着ノズル１３の先端に大きな荷重を加えずに済み、機械的強度が弱い吸着ノズル１３でも、損傷・破損させることなく、吸着ノズル１３の上昇動作具合の良否を精度良く検査することができる。【選択図】図３
2010258185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルヘッドに吸着ノズルを上下方向に摺動可能に設け、部品吸着動作時に前記吸着ノズルを下降させて部品を吸着した後に前記吸着ノズルを付勢手段の付勢力により元の高さ位置まで上昇させる部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置において、
前記吸着ノズルを下降させた位置（以下「下降位置」という）から前記付勢手段の付勢力により前記吸着ノズルを上昇させる上昇速度又はその相関データ（以下これらを「ノズル上昇速度データ」と総称する）を計測するノズル上昇速度データ計測手段と、
前記ノズル上昇速度データ計測手段で計測したノズル上昇速度データに基づいて前記吸着ノズルの上昇動作具合を検査するノズル動作具合検査手段と
を備えていることを特徴とする部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項２】
前記ノズル上昇速度データ計測手段は、前記吸着ノズルが前記下降位置から所定の高さ位置まで上昇するノズル上昇時間を前記ノズル上昇速度データとして計測することを特徴とする請求項１に記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項３】
前記ノズル動作具合検査手段は、前記ノズル上昇時間が第１所定値以下である場合に前記吸着ノズルの上昇動作具合が正常範囲内で生産可能と判定することを特徴とする請求項２に記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項４】
前記ノズル動作具合検査手段は、前記ノズル上昇時間が前記第１所定値よりも大きい第２所定値以上である場合に前記吸着ノズルの上昇動作具合が異常で生産不可と判定し、前記ノズル上昇時間が前記第１所定値と前記第２所定値との範囲内である場合に前記吸着ノズルの上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定することを特徴とする請求項３に記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項５】
前記ノズル動作具合検査手段は、前記吸着ノズルの上昇動作具合の検査を所定時間間隔で実行し、前記吸着ノズルの上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定した場合には、前記吸着ノズルの上昇動作具合を検査する時間間隔をそれまでよりも短い時間に設定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項６】
前記ノズル動作具合検査手段の検査結果を作業者に告知する告知手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項７】
前記ノズルヘッドを上下動させるＺ軸駆動手段と、
前記ノズルヘッドに対して前記吸着ノズルの上下動に連動して上下方向に回動する回動レバーと、
前記回動レバーのうち前記吸着ノズル側の端部とは反対側の端部（以下「検出端部」という）の高さ位置が基準高さ位置以下になったときに検出信号を出力する基準高さ検出手段と、
前記回動レバーの検出端部の下降限界位置を前記基準高さ位置以下の位置に規制するストッパ手段とを備え、
前記ノズル上昇速度データ計測手段は、前記Ｚ軸駆動手段により前記ノズルヘッドを下降させてその下降途中で前記回動レバーの検出端部が前記ストッパ手段で規制される下降限界位置に達した後は、前記回動レバーの検出端部を前記下降限界位置で受け止めながら前記ノズルヘッドの下降に伴って前記回動レバーを回動させることで前記吸着ノズルを前記付勢手段の付勢力に抗して所定量押し下げ、この状態から前記Ｚ軸駆動手段により前記ノズルヘッドを上昇させて、その上昇開始後の前記基準高さ検出手段の出力信号の変化タイミングに基づいて前記ノズル上昇速度データを計測することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項８】
前記ノズル上昇速度データ計測手段は、前記Ｚ軸駆動手段により前記ノズルヘッドを上昇させる際に前記吸着ノズルの正常時の上昇速度以下で且つ要注意時の上昇速度より速い所定速度で前記ノズルヘッドを上昇させることを特徴とする請求項７に記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項９】
前記ノズル上昇速度データ計測手段は、前記Ｚ軸駆動手段により前記ノズルヘッドを上昇させる途中で前記基準高さ位置以下の所定高さ位置で前記ノズルヘッドの上昇を所定時間停止させることを特徴とする請求項７又は８に記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【請求項１０】
前記下降位置から上昇する前記吸着ノズルの下端を所定の高さ位置で検出する非接触センサを設け、
前記ノズル上昇速度データ計測手段は、前記吸着ノズルの上昇開始時から前記非接触センサで前記吸着ノズルの下端を検出するまでの時間を前記ノズル上昇速度データとして計測することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルの上昇動作具合を検査する部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
従来より、部品実装機においては、特許文献１（特開２００６−２６１３２５号公報）に記載されているように、ノズルヘッド（リボルバヘッド）に吸着ノズルを上下方向に摺動可能に設け、部品吸着動作時に吸着ノズルを下降させた位置で部品を吸着して吸着ノズルをスプリングのばね力により元の高さ位置まで上昇させるようにしたものがある。
【０００３】
上記構成の部品実装機は、部品実装精度向上や、吸着ノズル内に導入される負圧の漏れ防止の観点から、吸着ノズルとノズルヘッド側のノズル摺動穴との間の隙間を出来るだけ小さくするようにしているが、部品吸着動作時に吸着ノズルとノズル摺動穴との負圧通路の継ぎ目部分から多少の負圧が外部に漏れることは避けられない。この負圧の漏れにより、吸着ノズルの周辺の空気が吸着ノズルとノズル摺動穴との間の隙間に吸い込まれて、その空気中の微小な異物（塵埃）が吸着ノズルとノズル摺動穴との間の隙間に嵌まり込んでしまい、吸着ノズルの摺動抵抗を増大させてしまう結果となる。また、吸着ノズルの外周面に塗ったグリスの塗布状態が悪かったり、グリスの種類が適切でない場合にも、吸着ノズルの摺動抵抗が大きくなる。また、生産休止時間が長くなると、生産開始直後の吸着ノズルの摺動抵抗が大きくなる傾向がある。
【０００４】
これらの原因により、吸着ノズルの摺動抵抗が過大になると、部品吸着動作時に吸着ノズルを下降位置（部品吸着位置）からスプリングのばね力により上昇させる際の吸着ノズルの上昇速度が異常に遅くなったり、或は、吸着ノズルが全く上昇できなくなってしまったり、上昇動作の途中で吸着ノズルの上昇が停止したりして、吸着ノズルが元の高さ位置まで戻らなくなってしまう可能性がある。このように、吸着ノズルの上昇速度が異常に遅くなったり、吸着ノズルが元の高さ位置まで戻らなくなると、その後の動作で吸着ノズルやその吸着部品が部品実装機の構成部品等と衝突・干渉したり、吸着部品とこれを撮像するカメラとの間に正常な距離を確保できなくなって吸着部品の画像認識処理を正常に行えなくなってしまう不具合が発生する。
【０００５】
そこで、特許文献２（特開２００６−１０８５４０号公報）に記載されているように、部品実装機の所定位置に、吸着ノズルの摺動抵抗を計測するロードセルを設け、吸着ノズルの摺動抵抗を計測する際に、吸着ノズルを上下方向に摺動可能に保持する吸着ノズル組立体をロードセルの真上に移動させた後、吸着ノズル組立体を下降させて吸着ノズルの先端をロードセルに押し付けることで、ロードセルの出力値から吸着ノズルの摺動抵抗を計測するようにしたものがある。
【０００６】
また、特許文献３（特開平６−５３６９３号公報）に記載されているように、部品の吸着動作を行う前に、部品吸着に使用しない他の吸着ノズルが突出し放しの状態になっているか否かを光センサで検出し、部品吸着に使用しない他の吸着ノズルが突出し放しの状態になっていることが判明した場合は、一旦、全ての吸着ノズルを強制的にノズルヘッドに押し込んで収納した後、部品吸着に使用する吸着ノズルのみを最下端位置まで下降させるようにしたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２６１３２５号公報
【特許文献２】特開２００６−１０８５４０号公報
【特許文献３】特開平６−５３６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記特許文献２では、吸着ノズル組立体を下降させて吸着ノズルをロードセルに押し付けることで、ロードセルの出力値から吸着ノズルの摺動抵抗を計測するようにしているため、吸着ノズルの先端をロードセルに押し付ける際に、その押付け荷重によって吸着ノズルが損傷・破損する可能性があり、特に、微小な部品を吸着する吸着ノズルは、ノズル径が細く、機械的強度が弱いため、吸着ノズルの先端をロードセルに押し付けて摺動抵抗を計測する方法は採用できないと思われる。
【０００９】
また、特許文献３では、吸着ノズルが突出し放しの状態になっているか否かを光センサで検出するだけであるため、吸着ノズルが突出し放しの状態になるまで、吸着ノズルの摺動抵抗の異常増大を検出することができない。つまり、吸着ノズルの摺動抵抗の増大により吸着ノズルの上昇速度が異常に遅くなった場合でも、これを異常として検出することができない。
【００１０】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、吸着ノズルを下降させた位置から付勢手段の付勢力により上昇させる際の吸着ノズルの上昇動作具合を検査でき、吸着ノズルの摺動抵抗の増大により吸着ノズルの上昇速度が異常に遅くなった状態も検査できると共に、その検査時に吸着ノズルの先端に大きな荷重を加えずに済み、機械的強度が弱い吸着ノズルでも、損傷・破損させることなく、吸着ノズルの上昇動作具合を精度良く検査できる部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、ノズルヘッドに吸着ノズルを上下方向に摺動可能に設け、部品吸着動作時に前記吸着ノズルを下降させて部品を吸着した後に前記吸着ノズルを付勢手段の付勢力により元の高さ位置まで上昇させる部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置において、前記吸着ノズルを下降させた位置（以下「下降位置」という）から前記付勢手段の付勢力により前記吸着ノズルを上昇させる上昇速度又はその相関データ（以下これらを「ノズル上昇速度データ」と総称する）を計測するノズル上昇速度データ計測手段と、前記ノズル上昇速度データ計測手段で計測したノズル上昇速度データに基づいて前記吸着ノズルの上昇動作具合を検査するノズル動作具合検査手段とを備えた構成としたものである。
【００１２】
この構成では、実際に吸着ノズルを下降位置から付勢手段の付勢力により上昇させたときの吸着ノズルの上昇速度又はその相関データ（ノズル上昇速度データ）を計測して、その計測結果から吸着ノズルの上昇動作具合を検査するため、吸着ノズルの摺動抵抗の増大により吸着ノズルの上昇速度が異常に遅くなった状態も検査できると共に、検査時に吸着ノズルに大きな荷重を加えずに済み、機械的強度が弱い吸着ノズルでも、損傷・破損させることなく、吸着ノズルの上昇動作具合の良否を精度良く検査することができる。
【００１３】
この場合、請求項２のように、吸着ノズルが下降位置から所定の高さ位置まで上昇するノズル上昇時間を前記ノズル上昇速度データとして計測するようにしても良い。ノズル上昇時間が長くなるほど、吸着ノズルの上昇速度が遅くなるという関係があるため、ノズル上昇時間を吸着ノズルの上昇速度の相関データとして用いることができる。
【００１４】
具体的には、請求項３のように、ノズル上昇時間が第１所定値以下である場合に吸着ノズルの上昇動作具合が正常範囲内で生産可能と判定するようにしても良い。
【００１５】
更に、請求項４のように、ノズル上昇時間が前記第１所定値よりも大きい第２所定値以上である場合に前記吸着ノズルの上昇動作具合が異常で生産不可と判定し、ノズル上昇時間が前記第１所定値と前記第２所定値との範囲内である場合に吸着ノズルの上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定するようにしても良い。このようにすれば、吸着ノズルの上昇動作具合を、正常、異常、異常になる一歩手前の要注意状態の３段階に区分して検査することができる。例えば、異常になる一歩手前の要注意状態が検出されたときには、生産を継続しながらメンテナンスの準備をするようにしても良い。このようにすれば、その後、異常と判定されたときに、直ちにメンテナンスを行うことができる。
【００１６】
或は、請求項５のように、吸着ノズルの上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定した場合には、吸着ノズルの上昇動作具合を検査する時間間隔をそれまでよりも短い時間に設定するようにしても良い。このようにすれば、吸着ノズルの上昇動作具合が異常になる直前まで生産を継続することができ、部品実装機の稼働率向上、メンテナンス回数削減にもつながる。また、吸着ノズルの上昇動作具合が正常である場合に、吸着ノズルの上昇動作具合の検査を実行する時間間隔を長くすることができて、検査回数を少なくすることができ、部品実装機の稼働率を向上させることができる。
【００１７】
また、請求項６のように、ノズル動作具合検査手段の検査結果を作業者に告知する告知手段を備えた構成とすると良い。このようにすれば、ノズル動作具合検査手段によって吸着ノズルの上昇動作の異常が検出されたときに、直ちに告知手段の告知によって作業者にメンテナンスを行うように促すことができる。
【００１８】
本発明の実施態様としては、例えば、請求項７のように、ノズルヘッドを上下動させるＺ軸駆動手段と、前記ノズルヘッドに対して吸着ノズルの上下動に連動して上下方向に回動する回動レバーと、前記回動レバーのうち前記吸着ノズル側の端部とは反対側の端部（以下「検出端部」という）の高さ位置が基準高さ位置以下になったときに検出信号を出力する基準高さ検出手段と、前記回動レバーの検出端部の下降限界位置を前記基準高さ位置以下の位置に規制するストッパ手段とを備え、前記Ｚ軸駆動手段により前記ノズルヘッドを下降させてその下降途中で前記回動レバーの検出端部が前記ストッパ手段で規制される下降限界位置に達した後は、前記回動レバーの検出端部を前記下降限界位置で受け止めながら前記ノズルヘッドの下降に伴って前記回動レバーを回動させることで前記吸着ノズルを前記付勢手段の付勢力に抗して所定量押し下げ、この状態から前記Ｚ軸駆動手段により前記ノズルヘッドを上昇させて、その上昇開始後の前記基準高さ検出手段の出力信号の変化タイミングに基づいて前記ノズル上昇速度データを計測するようにしても良い。このように構成すれば、回動レバーの検出端部の基準高さ位置（ノズルヘッドと吸着ノズルの基準高さ位置）を検出する基準高さ検出手段を利用してノズル上昇速度データを計測できるため、新たなセンサを追加する必要がなく、低コスト化の要求を満たすことができる。        
【００１９】
この場合、請求項８のように、Ｚ軸駆動手段によりノズルヘッドを上昇させる際に吸着ノズルの正常時の上昇速度以下で且つ要注意時の上昇速度より速い所定速度でノズルヘッドを上昇させるようにすると良い。このようにすれば、吸着ノズルの上昇動作具合が要注意状態や異常である場合は、吸着ノズルの上昇速度がノズルヘッドの上昇速度よりも遅いが、吸着ノズルの上昇動作具合が正常である場合は、吸着ノズルの上昇速度がノズルヘッドの上昇速度よりも速いため、ノズルヘッドの上昇時に回動レバーの検出端部が下降限界位置で受け止められた状態（基準高さ検出手段で回動レバーの検出端部が検出された状態）を維持しながら回動レバーを回動させて吸着ノズルを上昇させることから、ノズルヘッドの上昇中に基準高さ検出手段が回動レバーの検出端部を検出した状態を維持するか否かによって吸着ノズルの上昇速度がノズルヘッドの上昇速度よりも速いか否かを判定して吸着ノズルの上昇動作具合が正常であるか否かを判定することができる。
【００２０】
更に、請求項９のように、Ｚ軸駆動手段によりノズルヘッドを上昇させる途中で基準高さ位置以下の所定高さ位置でノズルヘッドの上昇を所定時間停止させるようにしても良い。このようにすれば、吸着ノズルの上昇速度がノズルヘッドの上昇速度よりも遅い場合には、ノズルヘッドの上昇開始後に回動レバーの検出端部が基準高さ位置から上方に離れて基準高さ検出手段が回動レバーの検出端部を検出しなくなるが、ノズルヘッドの上昇停止期間中に吸着ノズルの上昇による回動レバーの回動によって再び回動レバーの検出端部が基準高さ位置まで下降して基準高さ検出手段で検出されるようになる。この場合、ノズルヘッドの上昇開始（吸着ノズルの上昇開始）から回動レバーの検出端部が基準高さ検出手段で検出されるまでの時間は、ノズルヘッドの上昇速度が遅くなるほど長くなるため、この時間をノズル上昇速度データとして計測すれば良い。
【００２１】
尚、本発明は、基準高さ検出手段を利用してノズル上昇速度データを計測する構成に限定されず、例えば、請求項１０のように、前記下降位置から上昇する吸着ノズルの下端を所定の高さ位置で検出する光センサ等の非接触センサを設け、吸着ノズルの上昇開始時から前記非接触センサで前記吸着ノズルの下端を検出するまでの時間を前記ノズル上昇速度データとして計測するようにしても良い。このように、光センサ等の非接触センサを用いても、本発明を簡単に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は本発明の実施例１における吸着ノズル動作具合検査装置の構成を示す図である（その１）。
【図２】図２は本発明の実施例１における吸着ノズル動作具合検査装置の構成を示す図である（その２）。
【図３】図３は本発明の実施例１における吸着ノズル動作具合検査装置の構成を示す図である（その３）。
【図４】図４は本発明の実施例１における吸着ノズル動作具合の検査方法を説明するタイムチャートである。
【図５】図５は本発明の実施例１における吸着ノズル動作具合検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】図６は本発明の実施例１における検査実行間隔設定プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】図７は本発明の実施例２における吸着ノズル動作具合検査装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した２つの実施例１，２を説明する。
【実施例１】
【００２４】
本発明の実施例１を図１乃至図６に基づいて説明する。
まず、図１乃至図３に基づいて部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置の構成を説明する。
【００２５】
ノズルヘッドであるリボルバヘッド１１は、部品実装機のヘッド保持装置１２に取替え可能に取り付けられている。ヘッド保持装置１２には、リボルバヘッド１１をＺ軸方向（上下方向）に駆動するヘッド昇降装置（Ｚ軸駆動手段）と、リボルバヘッド１１を回転駆動するヘッド回転装置（図示せず）等が設けられている。
【００２６】
リボルバヘッド１１には、複数本（例えば１２本）の吸着ノズル１３が同一円周上に等間隔に配列され、各吸着ノズル１３が各ノズル摺動穴に上下方向に摺動可能に嵌合支持されている。各吸着ノズル１３の内部には、そのノズル先端開口に負圧や正圧を作用させるための空気通路１４が形成され、この空気通路１４がリボルバヘッド１１内の空気通路（図示せず）と連通するように構成されている。
【００２７】
更に、リボルバヘッド１１のうちの各吸着ノズル１３の上端部に隣接する位置には、それぞれ、回動軸１５を支点にして上下方向に回動する回動レバー１６が取り付けられ、その回動レバー１６の一端部に形成したＵ溝部１７を、吸着ノズル１３の上端部に設けた係合ピン１８に嵌め込むことで、吸着ノズル１３の上下動に連動して回動レバー１６が上下方向（時計方向・反時計方向）に回動するように構成されている。
【００２８】
リボルバヘッド１１には、回動レバー１６のうちの回動軸１５よりも吸着ノズル１３側の部分を押し上げる方向（時計方向）にばね力（付勢力）を作用させるスプリング１９（付勢手段）が設けられ、このスプリング１９のばね力により吸着ノズル１３を上昇限界位置まで上昇させるように構成されている。
【００２９】
尚、吸着ノズル１３を上方に付勢する構成（回動レバー１６を時計方向に付勢する構成）は、上記構成に限定されず、例えば、回動軸１５に設けたねじりコイルばねにより回動レバー１６を時計方向に付勢したり、或は、回動レバー１６のうちの吸着ノズル１３側とは反対側の部分をスプリング等のばねにより押し下げる方向（時計方向）に付勢するように構成しても良く、要は、ばね等の付勢手段により回動レバー１６を時計方向に付勢するようにすれば良い。或は、吸着ノズル１３をスプリング等のばねにより上方に付勢するようにしても良い。
【００３０】
部品実装機の所定位置には、回動レバー１６の検出端部２０の基準高さ位置（リボルバヘッド１１と吸着ノズル１３の基準高さ位置）を検出するための基準高さ検出スイッチ２１（基準高さ検出手段）がスイッチ台２７を介して設置されている。この基準高さ検出スイッチ２１は、プッシュ式のスイッチ部２２と、軸２３を支点にして上下方向に回動してスイッチ部２２のオン／オフを切り替えるアーム部２４と、該アーム部２４の先端部側（回動レバー１６側）の下方への回動限界位置を規制するストッパ部２５（ストッパ手段）と、該アーム部２４の先端部側を上方（時計方向）に付勢するねじりコイルばね等のばね２６とから構成されている。
【００３１】
回動レバー１６の検出端部２０の基準高さ位置（吸着ノズル１３の基準高さ位置）を検出する場合は、図１に示すように、回動レバー１６の検出端部２０（吸着ノズル１３側の端部とは反対側の端部２０）を基準高さ検出スイッチ２１のアーム部２４の先端部の真上に位置させるようにリボルバヘッド１１を移動又は回動させた後、ヘッド保持装置１２のヘッド昇降装置によりリボルバヘッド１１を下降させて回動レバー１６の検出端部２０を基準高さ検出スイッチ２１のアーム部２４の先端部に当接させる。この後も、リボルバヘッド１１を下降させると、回動レバー１６の検出端部２０がアーム部２４の先端部側を押し下げて該アーム部２４がスイッチ部２２をプッシュしてオン（ＯＮ）させる。これにより、スイッチ部２２がオンに切り替わった時の高さ位置が吸着ノズル１３の基準高さ位置（回動レバー１６の検出端部２０の基準高さ位置）として検出される。
【００３２】
この基準高さ位置では、まだアーム部２４のストッパピン２８がストッパ部２５から上方に離れているため、アーム部２４のストッパピン２８がストッパ部２５に当接するまでは、リボルバヘッド１１が下降すると、回動レバー１６の検出端部２０がアーム部２４の先端部側を押し下げるようになっている。
【００３３】
次に、吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査方法を説明する。
まず、図１に示すように、回動レバー１６の検出端部２０を基準高さ検出スイッチ２１のアーム部２４の先端部の真上に位置させるようにリボルバヘッド１１を検査時初期位置まで移動又は回動させた後、ヘッド保持装置１２のヘッド昇降装置によりリボルバヘッド１１を低速度で比較的緩やかに下降させる。これにより、回動レバー１６の検出端部２０が基準高さ検出スイッチ２１のアーム部２４の先端部に当接した状態となり、その後は、リボルバヘッド１１の下降に伴って、回動レバー１６の検出端部２０がアーム部２４の先端部側を押し下げて該アーム部２４がスイッチ部２２をプッシュしてオンさせる。
【００３４】
この後も、リボルバヘッド１１を低速度で下降させて回動レバー１６の検出端部２０がアーム部２４の先端部側を押し下げる。これにより、図２に示すように、アーム部２４のストッパピン２８がストッパ部２５に当接するストッパ位置に下降するまでは、回動レバー１６と吸着ノズル１３の位置がスプリング１９のばね力によってノズル上昇側の限界位置に保持される。そして、アーム部２４のストッパピン２８がストッパ部２５に当接した後も、リボルバヘッド１１を低速度で下降させ、回動レバー１６の検出端部２０の下降がストッパ部２５で止められながらリボルバヘッド１１の下降に伴って回動レバー１６の検出端部２０がスプリング１９のばね力に抗して押し上げられて回動レバー１６が反時計方向に回動して吸着ノズル１３が下降される。
【００３５】
これにより、図３に示すように、回動レバー１６と吸着ノズル１３がノズル下降側の限界位置（有効ストロークエンド）に到達するまでリボルバヘッド１１を低速度で下降させた後、リボルバヘッド１１を高速度で上昇させて、吸着ノズル１３の上昇動作具合を次のようにして検査する。
【００３６】
まず、リボルバヘッド１１の上昇速度を高速度（吸着ノズル１３の正常時の上昇速度以下で且つ後述する要注意時の上昇速度より速い所定速度）に設定して、基準高さ位置以下の所定高さ位置（例えばアーム部２４がストッパ部２５に当接するストッパ位置）まで高速度で上昇させた後、当該位置でリボルバヘッド１１の上昇を所定時間停止させ、その後、リボルバヘッド１１の上昇を再開して、元の高さ位置まで速やかに戻す。尚、リボルバヘッド１１の上昇を所定時間停止させる高さ位置は、ストッパ位置に限定されず、基準高さ位置以下の高さ位置、つまり基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオンする高さ位置の範囲で適宜設定すれば良い。
【００３７】
リボルバヘッド１１のノズル下降側の限界位置から基準高さ位置以下の所定高さ位置（例えばストッパ位置）まで上昇させる際に、リボルバヘッド１１の上昇速度を吸着ノズル１３の正常時の上昇速度以下で且つ要注意時の上昇速度以上の所定速度より速い所定速度に設定すれば、吸着ノズル１３の上昇動作具合が要注意状態や異常である場合は、吸着ノズル１３の上昇速度がリボルバヘッド１１の上昇速度よりも遅いが、吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常である場合は、吸着ノズル１３の上昇速度がリボルバヘッド１１の上昇速度よりも速いため、リボルバヘッド１１の上昇時に回動レバー１６の検出端部２０が下降限界位置で受け止められた状態（基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２のオン状態）を維持しながら回動レバー１６を回動させて吸着ノズル１３を上昇させることから、リボルバヘッド１１の上昇中に基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２のオン状態（基準高さ検出スイッチ２１の検出端部２０を検出した状態）を維持するか否かによって吸着ノズル１３の上昇速度がリボルバヘッド１１の上昇速度よりも速いか否かを判定して吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常であるか否かを判定することができる。
【００３８】
また、リボルバヘッド１１を上昇させる途中で基準高さ位置以下の所定高さ位置（例えばストッパ位置）でリボルバヘッド１１の上昇を所定時間停止させるようにすれば、吸着ノズル１３の上昇速度がリボルバヘッド１１の上昇速度よりも遅い場合には、リボルバヘッド１１の上昇開始後に回動レバー１６の検出端部２０が基準高さ位置から上方に離れて基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオフ状態に切り替わるが、リボルバヘッド１１の上昇停止期間中に吸着ノズル１３の上昇による回動レバー１６の回動によって再び回動レバー１６の検出端部２０が基準高さ位置まで下降して基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオン状態に切り替わるようになる。この場合、図４に示すように、リボルバヘッド１１の上昇開始（吸着ノズル１３の上昇開始）から基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオン状態に切り替わるまでの時間（以下「ノズル上昇時間」という）は、リボルバヘッド１１の上昇速度が遅くなるほど長くなるため、このノズル上昇時間をノズル上昇速度に相関するデータ（ノズル上昇速度データ）として計測すれば良い。
【００３９】
この場合、ノズル上昇時間が第１所定値以下である場合に、吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常範囲内で生産可能と判定する。更に、ノズル上昇時間が第１所定値よりも大きい第２所定値以上である場合に、吸着ノズル１３の上昇動作具合が異常で生産不可と判定し、また、ノズル上昇時間が第１所定値と第２所定値との範囲内である場合に、吸着ノズル１３の上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定する。このようにすれば、吸着ノズル１３の上昇動作具合を、正常、異常、異常になる一歩手前の要注意状態の３段階に区分して検査することができる。例えば、異常になる一歩手前の要注意状態が検出されたときには、生産を継続しながらメンテナンスの準備をするようにしても良い。このようにすれば、その後、異常と判定されたときに、直ちにメンテナンスを行うことができる。
【００４０】
更に、本実施例１では、吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常と判定された場合は、吸着ノズル１３の上昇動作具合を検査する時間間隔を長く設定し、吸着ノズル１３の上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定した場合には、吸着ノズル１３の上昇動作具合を検査する時間間隔をそれまでよりも短い時間に設定するようにしている。このようにすれば、吸着ノズル１３の上昇動作具合が異常になる直前まで生産を継続することができ、部品実装機の稼働率向上、メンテナンス回数削減にもつながる。また、吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常である場合に、吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査を実行する時間間隔を長くすることができて、検査回数を少なくすることができ、部品実装機の稼働率を向上させることができる。
【００４１】
また、吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査結果をディスプレイ装置（告知手段）に表示し、検査結果が異常や要注意状態の場合は、表示に加え、音声によっても告知して、作業者の注意を喚起するようにしている。
【００４２】
以上説明した本実施例１の吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査は、部品実装機の制御装置（図示せず）によって図５及び図６の各プログラムに従って実行される。以下、これら各プログラムの処理内容を説明する。
［吸着ノズル動作具合検査プログラム］
図５の吸着ノズル動作具合検査プログラムは、後述する図６の検査実行間隔設定プログラムで設定した時間間隔で実行され、特許請求の範囲でいうノズル上昇速度データ計測手段及びノズル動作具合検査手段としての役割を果たす。
【００４３】
本プログラムが起動されると、まずステップ１０１で、図１に示すように、回動レバー１６の検出端部２０を基準高さ検出スイッチ２１のアーム部２４の先端部の真上に位置させるようにリボルバヘッド１１を検査時初期位置まで移動又は回動させる。この後、ステップ１０２に進み、ヘッド保持装置１２のヘッド昇降装置によりリボルバヘッド１１を低速度で有効ストロークエンドである下降限界位置（又は下降限界値よりも少し高く設定された所定位置）まで下降させる。
【００４４】
このリボルバヘッド１１の下降中に、回動レバー１６の検出端部２０が基準高さ検出スイッチ２１のアーム部２４の先端部に当接した状態となり、その後は、リボルバヘッド１１の下降に伴って、回動レバー１６の検出端部２０がアーム部２４の先端部側を押し下げて該アーム部２４がスイッチ部２２をプッシュしてオンさせ、更に、アーム部２４のストッパピン２８がストッパ部２５に当接した後は、回動レバー１６の検出端部２０の下降がストッパ部２５で止められながらリボルバヘッド１１の下降に伴って回動レバー１６の検出端部２０がスプリング１９のばね力に抗して押し上げられて回動レバー１６が反時計方向に回動して吸着ノズル１３が下降され、最終的に回動レバー１６と吸着ノズル１３がノズル下降側の限界位置に到達する。
【００４５】
この後、ステップ１０３に進み、リボルバヘッド１１を高速度（吸着ノズル１３の正常時の上昇速度以下で且つ要注意時の上昇速度より速い所定速度）で上昇させ、次のステップ１０４で、リボルバヘッド１１の上昇をストッパ位置で停止させる。この後、ステップ１０５に進み、リボルバヘッド１１の停止期間中に基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオン状態に切り替わるタイミング（オンタイミング）を検出する処理を、リボルバヘッド１１の停止時間が所定時間に達するまで繰り返す（ステップ１０６）。
【００４６】
このとき、図４に示すように、吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常である場合は、リボルバヘッド１１の上昇開始からリボルバヘッド１１の停止後も基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオン状態に維持されるため、上記ステップ１０５で、リボルバヘッド１１の停止タイミングがオンタイミングとして検出されるが、吸着ノズル１３の上昇動作具合が要注意状態や異常である場合は、リボルバヘッド１１の停止期間中に遅れてオンタイミングが検出される。
【００４７】
尚、吸着ノズル１３の上昇がリボルバヘッド１１の上昇開始当初から止まっている場合や上昇の途中で止まった場合には、リボルバヘッド１１の停止期間中に基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオン状態に切り替わらず、オフ状態に維持される。
【００４８】
リボルバヘッド１１の停止時間が所定時間を越えた時点で、ステップ１０７に進み、リボルバヘッド１１の上昇開始（吸着ノズル１３の上昇開始）から基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２のオンタイミングまでの時間（ノズル上昇時間）を算出する。このとき、吸着ノズル１３の停止期間の当初からオン状態に維持されている場合（正常時）には、リボルバヘッド１１の上昇開始から停止までの時間がノズル上昇時間として算出され、リボルバヘッド１１の停止期間中に基準高さ検出スイッチ２１のスイッチ部２２がオン状態に切り替わらなかった場合（異常時）には、リボルバヘッド１１の上昇開始から停止期間終了時までの時間がノズル上昇時間として算出される。
【００４９】
この後、ステップ１０８に進み、ノズル上昇時間が第１所定値以下であるか否かを判定する。ここで、第１所定値は、リボルバヘッド１１の上昇開始から停止までの時間又はこれよりも少し長い時間に設定されている。このステップ１０８で、ノズル上昇時間が第１所定値以下であると判定されれば、ステップ１１０に進み、吸着ノズル１３の上昇動作具合が正常範囲内で生産可能と判定する。
【００５０】
これに対し、上記ステップ１０８で、ノズル上昇時間が第１所定値よりも長いと判定されれば、ステップ１０９に進み、ノズル上昇時間が第１所定値よりも長い第２所定値以下であるか否かを判定する。ここで、第２所定値は、リボルバヘッド１１の上昇開始から停止期間終了時までの時間よりも短い時間（停止期間の途中までの時間）に設定されている。このステップ１０９で、ノズル上昇時間が第２所定値以下であると判定されれば、ステップ１１１に進み、吸着ノズル１３の上昇動作具合が異常になる一歩手前の要注意状態であると判定する。この場合は、生産を継続するかメンテナンスを行うかは、作業者の判断に任される。
【００５１】
一方、上記ステップ１０９で、ノズル上昇時間が第２所定値よりも長いと判定されれば、ステップ１１２に進み、吸着ノズル１３の上昇動作具合が異常で生産不可と判定する。
【００５２】
以上のようにして、ステップ１０８〜１１２で、吸着ノズル１３の上昇動作具合を、正常、異常、異常になる一歩手前の要注意状態の３段階に区分して検査した後、ステップ１１３に進み、検査結果をディスプレイ装置（告知手段）に表示し、検査結果が異常や要注意状態の場合は、表示に加え、音声によっても告知して、作業者の注意を喚起する。この後、ステップ１１４に進み、リボルバヘッド１１を検査時初期位置まで上昇させて、本プログラムを終了する。
【００５３】
［検査実行間隔設定プログラム］
図６の検査実行間隔設定プログラムは、図５の吸着ノズル動作具合検査プログラムの処理を終了した後に実行され、図５の吸着ノズル動作具合検査プログラムを実行する時間間隔が次のようにして設定される。
【００５４】
本プログラムが起動されると、まずステップ２０１で、図５の吸着ノズル動作具合検査プログラムの処理結果に基づいて吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査結果が「正常」であるか否かを判定し、検査結果が「正常」であれば、ステップ２０２に進み、検査実行間隔を長い時間（予め決められた所定時間又は作業者が入力した時間）に設定する。
【００５５】
一方、上記ステップ２０１で、吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査結果が「正常」ではないと判定されれば、ステップ２０３に進み、吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査結果が「要注意状態」であるか否かを判定し、検査結果が「要注意状態」であれば、ステップ２０４に進み、検査実行間隔を長い時間（予め決められた所定時間又は作業者が入力した時間）に設定する。
【００５６】
上記ステップ２０１、２０２でいずれも「Ｎｏ」と判定された場合、つまり検査結果が「異常」の場合は、ステップ２０５に進み、生産を停止する。
この後、メンテナンスを行った後、生産を開始する前に、図５の吸着ノズル動作具合検査プログラムを実行して吸着ノズル１３の上昇動作具合を検査する。
【００５７】
以上説明した本実施例１によれば、実際に吸着ノズル１３を下降位置（例えば下降限界位置）からスプリング１９のばね力により上昇させたときの吸着ノズル１３の上昇速度に相関するデータ（ノズル上昇速度データ）を計測して、その計測結果から吸着ノズル１３の上昇動作具合を検査するため、吸着ノズル１３の摺動抵抗の増大により吸着ノズル１３の上昇速度が異常に遅くなった状態も検査できると共に、検査時に吸着ノズル１３の先端に大きな荷重を加えずに済み、機械的強度が弱い吸着ノズル１３でも、損傷・破損させることなく、吸着ノズル１３の上昇動作具合の良否を精度良く検査することができる。
【実施例２】
【００５８】
図７に示す本発明の実施例２では、下降位置（例えば下降限界位置）から上昇する吸着ノズル１３の下端（先端）を所定の高さ位置で検出する非接触センサとして、例えば透過型の光センサ（投光素子３１と受光素子３２）を設け、吸着ノズル１３の上昇開始時から光センサで吸着ノズル１３の下端を検出するまでの時間（ノズル上昇時間）をノズル上昇速度データとして計測するするようにしている。この場合も、前記実施例１と同様に、ノズル上昇時間を第１所定値や第２所定値と比較して、吸着ノズル１３の上昇動作具合を、正常、異常、異常になる一歩手前の要注意状態の３段階に区分して検査するようにすれば良い。
【００５９】
尚、吸着ノズル１３の下端を検出する非接触センサは、透過型の光センサに限定されず、反射型の光センサを用いても良く、或は、近接センサ、超音波センサ等の他の非接触センサを用いても良い。
【００６０】
また、本発明は、吸着ノズル１３の上昇動作具合を、正常、異常、要注意状態の３段階に区分して検査するものに限定されず、正常と異常の２段階に区分して検査したり、或は、４段階以上に区分して検査するようにしても良い。或は、吸着ノズル１３の上昇動作具合の検査結果を吸着ノズル１３の摺動抵抗に換算して表示したり、吸着ノズル１３の上昇遅れ時間に換算して表示するようしても良い。
【００６１】
その他、本発明は、リボルバヘッド以外のノズルヘッドを持つ部品実装機に対しても適用して実施できる等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６２】
１１…リボルバヘッド（ノズルヘッド）、１２…ヘッド保持装置、１３…吸着ノズル、１４…空気通路、１６…回動レバー、１９…スプリング（付勢手段）、２０…検出端部、２１…基準高さ検出スイッチ（基準高さ検出手段）、２２…スイッチ部、２４…アーム部、２５…ストッパ部（ストッパ手段）、２６…ばね、３１…投光素子、３２…受光素子（光センサ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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