(57)【要約】【課題】発光ダイオードを用いた商用電源用の灯具においは、発光ダイオードの駆動電圧が低いために、その電源回路が複雑になり、小型化の制約になっている。【解決手段】本発明は商用電源の電圧に近い駆動電圧を有する発光ダイオードを使用することにより、電源回路の簡素化を図り、高電圧駆動により、少ない電流で駆動することが可能になり、これにより、駆動回路を簡素な回路構成とすることが可能になり、これらの相乗効果により小型化が可能になる発光ダイオードを用いた灯具である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光ダイオードを用いた商用灯具において、高電圧駆動の発光ダイオードを用い、その駆動電圧を商用電源に近い高電圧として、これにより商用電源から簡素な電源回路から電源を供給し、高電圧駆動により駆動電流を低減せしめ、これにより駆動回路の簡素化を行い、灯具の小型化を可能とすることを特徴とした発光ダイオード応用の灯具。
【請求項２】
請求項１において、電源回路と駆動回路を簡素化して、灯具の口金の内部、および一部口金の直径を延長した口金とほぼ直径が同一の体格として取り扱い性と光の扱いやすさを向上した発光ダイオード応用の灯具。
【請求項３】
請求項２において、発光ダイオードは紫外線或いは可視光を発して、灯具の発光部から分離された蛍光発光部を有して、それにより蛍光発光部のデザインの自由度を高めた構成の灯具
【請求項４】
高電圧バッテリーを使用する車の灯具において、高電圧駆動の発光ダイオードを用い、その駆動電圧をバッテリーに近い高電圧として、これによりバッテリー電圧からの電源回路の簡素化を行い、高電圧駆動により駆動電流を低減せしめ、これにより駆動回路の簡素化を行い、灯具の大きさを小さくすることを特徴とした発光ダイオード応用灯具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は発光ダイオードの用いた灯具の小型化を実現する構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】発光ダイオードを用いた灯具は、その発光効率が良いことにより普及が始まりつつある。一方で、発光ダイオードを用いた灯具はその構成のための部品点数が多く、様々な用途に用いるには大きさに制約があり、コストも高い。発光ダイオードの駆動電圧はその素子構造のバンドギャップ電圧で決まり、白色ダイオードの場合、４から６ボルトである。その為に、商用電源の灯具では、１００ボルトあるいは、２００ボルトからトランスを用いて電圧変換して低い電圧で使用している。この為に、電圧変換のためにエネルギー損失が発生し、発熱のために放熱構造の工夫が必要であり、また部品点数が多くなるため灯具が大きくなってしまっている。【０００３】従来のＬＥＤは図１−１に示すような構造を有してる。ＧａＡｌＮなどよりなる発光素子をメタルステム上に実装してメタルポストへのボンディングを通して電極を取り出し、発光した光を蛍光体にあてて波長の長い光を励起する構造である。（参考文献１）。【０００４】図１−２は光路に電極などの光遮蔽物を置かないように、電極の取り出しを光の集光方向と反対方向に持つフリップチップ技術を用いた構造図であり、文献２、３などから容易に発想できる構造である。１１は発光部を形成するサファイア基板、１２はたとえばＧａＡｌＮなどよりなるＰ型半導体層、１３はＮ型半導体層、１４は反射層、１５はＰ型半導体層の電極を形成するフリップチップ電極、１６はＮ型半導体層の電極を形成するフリップチップ電極、１７は１ｍｍ角程度に切断された発光素子、１８はパッケージ基板、１９はパッケージ基板の外部への導体配線、２０は集光用の傾斜を内部側面に有するパッケージ、２１は発光素子１１の光で励起されて波長のより長い光を放出する蛍光体であり、２２は透明カバーキャップである。発光部の電極はフリップチップ電極からパッケージ基板の電極を通じて外部配線に電気的に接続され、さらにパッケージ基板上又は基板の内部配線を通じて外部へ接続される。発光素子の光は発光する蛍光体の蛍光材料を励起して光を発し、この光はカバーガラスを経て外部に放出される。（参考文献２、３）
【参考文献１】
特開平１０−９３１４６号公報
【参考文献２】
特開２００６−３０３５４７号公報
【参考文献３】
国際公開Ｗ０２００６−１２６３３０号公報
【０００５】これらの発光素子の動作電圧はダイオードの順方向電圧であり図２−ｂに表記するような記号であわされる。赤色の発光ダイオードでは約２ボルト、白色発光ダイオードでは約４から６ボルトである。近年、特に白色発光ダイオードの用途が家庭用では電球や蛍光灯の代わりに、車用ではヘッドライトの代わりなどに広がるにつれて高電圧で使用したい用途が増えてきている。このように商用電源を使う場合にはＡＣ１００ボルト、或いはＡＣ２００ボルトであり、車の中ではハイブリッド車や電気自動車の普及に伴ってバッテリー電圧が数百ボルトと高くなる見込みである。これに対して現在の使用方法では、発光ダイオードを使用する電圧まで電圧を低くして使用している例が一般的であり、その為に電圧変換のために損失が発生し、回路が複雑になり小型化の制約なってしまっている。
【０００６】従来の動作電圧を有する発光ダイオードの商用電源用の灯具の電源回路を図３−ａに示す。１００ボルトの商用電源から発光ダイオードを駆動する低電圧までトランスで落とし、ダイオードのブリッジで全波整流し、定低電圧回路と定電流回路で発光ダイオードを駆動する構成である。また、この回路構成においては、すべての発光ダイオードを低い電圧で動作させるために大きな電流を定電流制御する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】このように電圧変換用のトランスが必要で、定電流回路も大電流を制御する必要があり、灯具の小型化やコストダウンの限界になっている。本発明では、高電圧で動作する発光ダイオードの実用化を促して、商用交流電源から直接的に整流回路、平滑回路のような簡素な電源回路を経て高電圧駆動発光ダイオードを駆動できるようにして、さらに高電圧駆動により駆動電流を少なくすることにより発光ダイオードを駆動する電流回路の部品の小型化により、灯具の小型化を図り、そのコストを下げて、一層、応用範囲が広がるようにするものである。高電圧で動作する発光ダイオードのニーズは極めて高いものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】この様なニーズとに対応するために、本発明では、透明基板上に複数個の発光素子を形成して、それを直列接続することにより高電圧で駆動できる素子を実現可能にして、それによって簡素な電源を用いた小型商用電源用灯具の実現することにある。たとえば、駆動電圧５ボルトの白色の発光ダイオードを１００ボルトで直接駆動するために発光素子を２０個直列に構成するものである。これによりひとつの発光ダイオードを高電圧で駆動することが可能になる。【０００９】この目的のために発光ダイオードを形成するサファイア基板上の発光素子を電気的に独立した複数個の光マイクロセルとして分離して、この光マイクロセルをサファイア基板上にて直列接続することにより高い電圧で直接駆動できるようにするものである。【００１０】このようにして発光ダイオードを駆動する電源回路を簡素化して、電力損失を減らし、回路構成部品を少なく、かつ小型化するものである。
【発明の効果】
【００１１】本発明の回路構成によれば、トランスなどの電圧変換回路が不要になることに加えて、発光ダイオードを高い電圧で駆動するために駆動電流は従来構成の駆動電圧と比べて駆動電圧の倍数分だけ少ない電流で駆動できる。たとえば、駆動電圧が２０倍になれば、駆動電流は１／２０に少なくすることができる、これにより定電流駆動素子も大幅に簡素化ができ、この為の電源も大幅に簡素化できる。【００１２】これらの簡素化により、大幅に少ない部品点数で発光ダイオードを駆動でき、必要な回路部品を灯具の口金の大きさに収納でき、それにより小型化と、デザインの多様性を可能するものである
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】本発明で用いる高電圧動作の発光ダイオードを用いた商用電源用の灯具の回路ブロック図を図３−ｂに示す。ＡＣ１００ボルト４１の商用電源からヒューズ４５を経て全波整流回路、平滑コンデンサからなる簡素な電源回路４２、電流を制御する定電流回路４３、高電圧発光ダイオード４４からなる。定電流回路は図２の従来の構成と比べて１／２０の電流となるため構成する回路の定格も小さなものを使用することができる。この様な簡素な回路構成のために幻具に実装する大きさも小さくできる。【００１４】図３−ｃにおいて詳細回路図を示す。商用の交流１００ボルト５１はヒューズ５５を経て、ダイオードブリッジにより全波整流され、コンデンサにより平滑されて電源回路５２を構成して、定電流回路５３と高電圧駆動発光ダイオード５４とに供給される。電源回路５２の出力電圧Ｖ１はＡＣ１００ボルトが全波整流され、平滑されて約１００ボルトである。この電圧は、高駆動電圧発光ダイオート５４の駆動電圧である約９６ボルトと、定電流回路の出力約４ボルトで分圧される。この定電流回路が電圧Ｖ１のばらつきや変動を吸収するところであり、Ｖ１の電圧が１００ボルトからさらに低くなるようであれば発光ダイオードの段数を減らして発光ダイオードの動作電汪を下げることも可能である、【００１５】定電流回路５３は抵抗５６とＭＯＳトランジスタＴ１とＴ２により構成されている。抵抗５６が基準電流値を決め、その値は  ほぼＶ１電圧／ｒ１  で決まり、発光ダイオードを流れる電流はＭＯＳトランジスタＴ２、Ｔ１のゲート面積比×基準電流値により決定される。従って、ＭＯＳトランジスタＴ２／Ｔ１のゲート面積比を大きく設定することにより基準電流は十分に小さくすることができ、これにより効率の良い定電流回路が実現できる。【００１６】４ワットの発光ダイオードが発熱電球６０ワットに相当する最も多く使われている電球である。４ワットの灯具の場合、本発明の高電圧駆動の発光ダイオードでは駆動電流は４０ミリアンペアと少ない。一方、従来の構成では発光ダイオードの駆動電流は２０倍の０．８アンペアと大きい。この様に本発明によれば、駆動電流を従来構成の１／２０とすることができ、それにより電流制御回路、全波整流用のダイオードを小型にすることができる。一方で、高電圧駆動になることで制御電圧が高くなるが、電圧のほとんどは発光ダイオードの直列構造で吸収され、定電流回路への印加電圧は高電圧とはならなく、また、全波整流用ダイオードの耐圧は高くなるが、ＡＣ１００ボルト系、ＡＣ２００ボルト系の整流用においてはダイオードの大きさは電流の低減効果がはるかに大きく、本発明の効果が大きい。【００１７】図４−ａにおいてこの様に簡素化した駆動回路により、小型化を図った灯具の事例を示す。Ｅ２６型の外形２６ミリメートルの商用電灯プラグの中に、必要な回路の実装状態を示す。ブラグ先端の中心電極６１、口金６２がＡＣ１００ボルトの両電極であり、絶縁材６３とともにプラグの接続部を構成している。この小さな直径の中にメタル基盤のような難燃性の円形基板６４にヒューズ、全波整流ダイオード６５、平滑コンデンサ、低電流回路の表面実装部品を実装している。駆動電流が小さくなったこと、回路構成が簡素化できたことで実装の小型化が可能となっている。中心電極からはヒューズ線６０を介して基板６４へ接続される。この基板６４の反対側に高電圧駆動発光ダイオード６６が発光方向に向けて実装され、透明キャップ６７によりカバーされている。４ワットの発熱の発光ダイオードで発生するが、熱伝導率の良い材料を選んでいる基板６４により、この基板６４経由、口金部６２を通じて、灯具用のソケットへ放熱する。これにより温度上昇が数℃以下と少なくでき、密閉型灯具向けへの使用も可能になる。【００１８】図４−ｂにおいては先端部から離れた所に蛍光体部を設けて光の方向を多方向にする場合の構造を示す。この場合に用いる発光ダイオード６６は図５−ａに示す発光ダイオードであり、６８は側面方向の光を集光する集光パッケージ、６９は灯具と別体の蛍光光部であり、発光ダイオードの前方、すなわち光を照射したい方向に設置してあり、発光ダイオード６６から発光する紫外光或いは波長の短い可視光を受けて蛍光体により励起されて波長の長い光を発する発光部である。この蛍光発光部からの光のうち後方へ戻ってくる光を反射させるのが反射鏡７０であり、これにより、蛍光発光部の光は効率よく前方、すなわち光を照射したい方向へ集められる。また、この蛍光発光部の形状や反射板の形状を自由に変更することにより、灯具のデザインの自由度が上がる。【００１９】図４−ｃにおいて、Ｅ２６と比べて小型のＥ１７に実装する場合の事例を示す。直径が小さいために円筒内部に部品を実装する例である。ＡＣ電源の一方は中心電極７１からヒューズ線６０を介してダイオード７５をはじめ電源回路、定電流回路に接続され、これらの部品が難燃性基板７６に実装され、それが発光ダイオード７７の搭載されている難燃性基板７４へ接続される。基板７６は基板７４と絶縁支持板７８により支えられている。ＡＣ電源のもう一方は口金から基板７４、７６へ供給される。これらの部品がキャップ７９により保護される。このＥ１７の小型発光ダイオードにおいては、２Ｗ程度の仕様の灯具を想定しており、数℃の温度上昇であるために、使いやすく用途は白熱電球以上に多くなる。【００２０】図５−ａ、図５−ｂに於いてこの様な構造を可能にする高電圧駆動の発光ダイオードの構成を示す。図５−ａにおいて発光素子８１の発光部の活性層８３から発光される光のうち集光方向８０への光はサファイア基板８２を通じて集光方向８０へ放出して、集光方向８０と反対方向への光は全反射薄膜層８４により集光方向８０へ反射せしめ、集光方向８０と直角をなす方向への光は内部に設置する約４５度（２２．５度から６７．５度）のマイクロミラー８５により集光方向８０へ反射せしめる構造を有して、これらが一つの光マイクロセル８８が構成している。この図では２個の独立した光マイクロセルの断面図が示してある、【００２１】電極は集光方向とは反対面に設置され、光マイクロセル８８への配線が配線層８９でなされ、フリップチップ電極９０へ集められる。このように発光素子８１に形成される光マイクロセル８８の電源はフリップチップ電極９０により基板９１へ接続され、基板の電極９２を通じて外部へ接続される。発光素子８１は透明カバー９３により保護される。【００２２】図５−ｂにおいて、蛍光体を有する場合の構成を示す。発光素子８１がフリップチップ電極を用いて基板に実装されて、内面に傾斜反射部を持ったキャップ９４が実装され、蛍光体９５が充填され、さらに透明キャップ９６で全体が封止される。発光素子８１において光は集光方向８０に集められて発光体において光を励起し、この励起した光は多くはそのまま集光方向へ放出され、散乱された直角方向への光はキャップの側面で反射されて集光方向に集められる構造を有している。【００２３】一般的に光は発光素子の表面である集光方向８０と裏面であるその逆方向と側面である集光方向８０と直角をなす方向へはほぼ同等量の光が発光される。多くの場合において、発光部のＰ型半導体層８６、Ｎ型半導体層８７が数ミクロン以下の薄膜であるにもかかわらず側面方向への光の強度、すなわち集光方向と直角をなす方向への光の強度が全体の約４０％と大きいことが知られているが、この光を目的の集光方向に向けることは一般的になされていない。また、この側面方向への光は側面方向への伝達とともに減衰するので短い距離で集光方向へ向けることが必要である。【００２４】本発明で用いる基本ユニットである光マイクロセルは、この側面方向の光に対して約４５度（２２．５度から６７．５度）の傾斜を有すマイクロミラー８５を作り、これにより側面方向の光を集光方向３０に光を集めることを可能にするものである。マイクロミラー８５は発光面に対して４方向に発光面を囲むように形成されており、光マイクロセル８８を形成している。【００２５】本発明で用いる発光ダイオードはこの光マイクロセルを一つの単位として複数個の光マイクロセルを直列接続すること、あるいは直列接続と並列接続との組み合わせとすることにより高電圧駆動を可能にならしめることを特徴としている。【００２６】直列接続された高電圧駆動の等価回路図は図２−ａに示すように複数の直列のダイオードで記述することができる。【００２７】図６−ａ、図６−ｂにおいて集光方向１００を上向きにした図を示す。図６−ａにおいて、発光素子１０１の電極はフリップチップ電極１０２であり集光の妨げにならないように集光方向１００の反対に設けてある。１０３が電源配線層であり２層の配線で構成されており光マイクロセル１０８に電源を供給するための配線層である。１０４が反射薄膜層、１０５が発光層とマイクロミラー層、１０６がサファイア基板である。１０８が一つの光マイクロセルで４方向をマイクロミラー１０７により囲まれている。この図の例ではマイクロミラー１０７が一辺に５個設けてあり４個の光マイクロセル１０８を構成している。図６−ｂはその斜視図である。Ａ面１０９−ａに５個のマイクロミラー１０７が構成され、４個のマイクロセル１０８が形成され、Ｂ面１０９−ｂに６個のマイクロミラー１０７が設けてあり５個の光マイクロセル１０８が形成され、発光素子は４×５＝２０個の光マイクロセルから構成されている状態を示す。これらが直列に接続され、１個当たりの駆動電圧が４．８ボルトであり、全体で９６ボルトの駆動電圧である。２０個の光マイクロセルへの電源はフリップチップ電極１０２から電源配線層１０３経由で供給される。【００２８】本発明���マイクロミラーを作るウエーハ状態の工程図を図７に示す。【００２９】図７−ａは３インチのサファイア基板１１０にＩＴＯなどの透明電極層１１１、Ｎ−ＧａＡｌＮ層１１２、活性層１１３、Ｐ−ＧａＡｌＮ層１１４、反射導体膜１１５が積層してある。【００３０】図７−ｂはその基板上に幅１００ミクロン、ピッチ２００ミクロンで透明電極１１１を残して、反射導体膜１１５、Ｐ−ＧａＡｌＮ層１１４、活性層１１３、Ｎ−ＧａＡｌＮ層１１２を除去した状態である。これは公知のフォトリソグラフィーとエッチングの工程で処理することができる。この事例ではＩＴＯがエッチングのストッパーの役割をはたしている。【００３１】この状態でシリコン酸化膜１１６をデポシットしたのが図７−ｃである。シリコン酸化膜は後に、傾斜を設け易いように高濃度のリンを添加してある。この事例では高濃度リン含有のシリコン酸化膜を利用しているが、リンが発光層に影響を与える場合にはリンに対してバリア性の高い薄い透明絶縁膜をバリア膜としてデポジットして、その上に当該高濃度リン含有のシリコン酸化膜をデポジットすることが可能である。【００３２】図７−ｄが比較的低温でシリコン酸化膜を半溶融してテーパを持たせたものである。シリコン酸化膜にリンを高濃度に含ませて数百度の低温で半溶融にして傾斜を持たせることはシリコン半導体の加工技術としては公知の技術である。【００３３】図７−ｅはシリコン酸化膜に電極取り出し用に開口部、すなわちコンタクト部を設けた図である。【００３４】図７−ｆはこの状態でＡｌ薄膜を蒸着してＮ型極Ａｌ電極１１８とＰ型Ａｌ電極１１７を形成した状態である。Ａｌに続いてＩＴＯのエッチングを行うことにより光マイクロセルのＮ型Ａｌ電極が隣接の光マイクロセル間で電気的に分離される。【００３５】図８において素子の断面図である図７−ｆと平面図の関係を示す。図８−ａは図７−ｆと同じ素子の断面図である。図８−ｂがその正面図であり、Ｐ型Ａｌ電極１１７とＮ型Ａｌ電極１１８の関係、および光マイクロセル１１９の境界を示している。この図から明らかなように、個々の光マイクロセルはサファイア基板上で電気的に独立している構造となっている。【００３６】図９において、一つの光マイクロセルと一つの発光ダイオードと一枚のウエーハとの関係を示す。図９−ａが図７−ｆの素子状態であり、図９−ｂがフリップチップ電極を形成した状態、図９−ｃがウエーハ状態を表している。この図ではウエーハ状態でフリップチップ電極を形成しているが、素子分離後にスタッドバンプ手法によりフリップチップ用のバンプを形成することもできる。【００３７】図１０−ａにおいて図７−ｆの上下反転図を示す、透明電極１１１、Ｎ型ＧａＡｌＮ層１１２、活性層１１３、Ｐ型ＧａＡｌＮ層１１４、反射導体膜１１５、シリコン酸化膜１１６、Ｐ型極Ａｌ電極１１７、Ｎ型極Ａｌ電極１１８からなる発光層において、活性層１１３から発する光の反射の様子を示す。発光層内の光のうち、集光方向への直進光はそのままサファイア基板１００を通り集光方向へ集まり、集光方向と反対方向の光は反射導体膜１１５で反射しサファイア基板を通って集光方向へ集まり、発光方向と直角をなす方向への光、すなわち薄膜に沿っ���発光する光はマイクロミラーにより反射される。【００３８】このマイクロミラーの傾斜角と光の進行方向との関係を図１０−ｂに示す。理想は４５度であり、光は垂直へ反射する。３０度、６０度においては垂直方向と３０度
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２．５度及び６７・５度の場合において光は垂直方向に対して４５度の方向へ向かう。光のベクトル強度は１／２すなわち５０％の光が垂直方向へ向かう。この様に、理想は４５度であるが、一つの目標は５０％以上の光を捕捉できる、２２．５度以上、６７．５度の傾斜を持つマイクロミラーの形成にある。【００３９】マイクロミラーの傾斜角度を形成する方法は高濃度リン含有のシリコン酸化膜を用いる方法の他に、ウエットエッチングでテーパ角を制御する方法もある。その他の方法も含めて本発明にかかわる根幹部分ではないので省略する。【００４０】本事例では家庭用の灯具において高電圧駆動の発光ダイオードを用いる利点を説明したが、昨今普及が始まる電気自動車やハイブリッド車のヘッドランプに応用する場合においても同様な効果が得られる。これらの自動車においてはバッテリー電圧が１５０から３００ボルトと高く、電補機用の電源電圧も４８ボルトのように高いＤＣ電圧で設定される方向にある。この様な用途には高電圧で直接駆動することのできる発光ダイオードのメリットはさらに大きい。本事例の高耐圧発光ダイオードの構成によれば、数百ボルトの高電圧でも直接駆動できる発光ダイオードを光マイクロセルの小型化と直列段数の増加により容易に実現できる。
【産業上の利用の可能性】
【００４１】発光ダイオードの用途は省エネに向けてその用途が拡大している。自動車分野においてはヘッドライト、家庭用では、電球のＬＥＤ、産業用では信号機での採用が始まっている。本発明により、その小型化が実現できることにより、各種灯具への用途拡大や光の有効利用のためにデザインの自由度が上がり、今後の省エネに貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】従来の発光ダイオードの構造を示す断面図  図１−１・・・参考文献１から、  図１−２・・・参考文献２，３からの展開
【図２】発光ダイオードの等価回路図
【図３】灯具の駆動回路図  図３−ａ・・・従来の構成による駆動回路図  図３−ｂ・・・本発明の構成による駆動回路図，図３−ｃ・・・本発明の詳細な駆動回路図
【図４】本発明による灯具の構造図
【図５】本発明で用いる高電圧駆動の発光ダイオード
【図６】本発明で用いる高電圧駆動の発光ダイオードの斜視図
【図７】高電圧駆動発光ダイオードの製造工程図
【図８】高電圧駆動発光ダイオードの製造工程の中途平面図
【図９】高電圧駆動発光ダイオードの製造工程のウエーハ完成図
【図１０】光マイクロセルの反射原理図
【符号の説明】１１・・・サファイア基板      １２・・・Ｐ型半導体        １３・・・Ｎ型半導体
１４・・・反射膜      １５、１６・・・フリップチップ電極    １７・・・発光素子
１８・・・パッケージ基板    １９・・・パッケージ電極      ２０・・・パッケージ
２１・・・蛍光体        ２２・・・キャップ
４１・・・ＡＣ電源      ４２・・・電源回路          ４３・・・定電流回路
４４・・・高電圧駆動の発光ダイオード    ４５・・・ヒューズ
５１・・・ＡＣ電源        ５２・・・電源回路    ５３・・・定電流回路
５４・・・高電圧駆動の発光ダイオード    ５５・・・ヒューズ
６１・・・中心電極        ６２・・・Ｅ２６口金電極    ６３・・・絶縁体
６４・・・基板        ６５・・・ダイオード    ６６・・・高電圧駆動発光ダイオード
６７・・・透明キャップ    ６８・・・集光パッケージ      ６９・・・蛍光体
７０・・・反射板      ７１・・・中心電極      ７２・・・口金    ７３・・・絶縁体
７４・・・基板        ７５・・・ダイオード    ７６・・・基板
７７・・・ダイオード  ７８・・・絶縁支持板    ７９・・・透明キャップ
８１・・・発光素子    ８２・・・サファイア基板    ８３・・・発光層
８４・・・反射膜      ８５・・・マイクロミラー    ８６・・・Ｐ型半導体
８７・・・Ｎ型半導体    ８８・・・光マイクロセル      ８９・・・電源配線層
９０・・・フリップチップ電極      ９１・・・パッケージ基板
９２・・・パッケージ導体          ９３・・・透明キャップ
９４・・・パッケージキャップ      ９５・・・蛍光体      ９６・・・透明キャップ
１０１・・・発光素子      １０２・・・フリップチップ層    １０３・・・電源配線層
１０４・・・反射膜層            １０５・・・発光層とミラー層
１０６・・・サファイア基板      １０８・・・光マイクロセル
１１０・・・サファイア基板  １１１・・・透明電極  １１２・・・Ｎ型ＧａＡｌＮ層
１１３・・・活性層          １１４・・・Ｐ型ＧａＡｌＮ層  １１５・・・反射導体膜
１１６・・・シリコン酸化膜  １１７・・・Ｐ型Ａｌ電極  １１８・・・Ｎ型Ａｌ電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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