(57)【要約】【課題】信号回路基板の保守点検、修理作業等を容易に行えるプローブユニット、電気的検査装置および点灯検査装置を提供する。【解決手段】プローブユニットは、検査台上の被検査体の検査のために該被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられた少なくとも１つのプローブ組立体と、固定板に支持されるサポートベース部材と、プローブを電極に接触させるべく検査台の上方でプローブ組立体をサポートベース部材に支持する懸架機構と、懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、プローブに電気的に接続される信号回路基板とを含む。また、懸架機構をサポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、サポートベース部材に関する懸架機構の枢動の拘束を解除可能とすべく懸架機構をサポートベース部材に解除可能に固定する結合手段とを含む。【選択図】図５
2010112919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定板の下方に配置された検査台上の被検査体の検査のために該被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられた少なくとも１つのプローブ組立体と、前記固定板に支持されるサポートベース部材と、前記プローブを前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを含むプローブユニットであって、
さらに、前記懸架機構を前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを含む、プローブユニット。
【請求項２】
前記枢軸機構は、前記サポートベース部材に前記横軸を介して枢動可能に連結されたプローブベース板を含み、前記プローブ組立体を含む複数のプローブ組立体がそれぞれ前記懸架機構を含む複数の懸架機構を介して前記プローブベース板に支持されており、前記結合手段は、前記サポートベース部材に関する前記プローブベース板の枢動の拘束を解除可能に該プローブベース板を前記サポートベース部材に固定する、請求項１に記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記結合手段は、前記プローブベース板の下面から前記サポートベース部材の下面に突出する連結部と、該連結部と前記サポートベース部材とを解除可能に結合する締結具とを備える、請求項２に記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記締結具は、前記サポートベース部材の上面から該サポートベース部材の前記下面へ向けて形成された貫通穴を通り、また該貫通穴に整合すべく前記連結部に形成された雌ねじ穴に螺合する締め付けねじ部材を有する、請求項３に記載のプローブユニット。
【請求項５】
前記プローブベース板には、前記プローブ組立体の前記プローブおよび前記被検査体の対応する前記電極の相互の位置合わせに用いられるアライメントカメラが支持されている、請求項４に記載のプローブユニット。
【請求項６】
板状の被検査体に設けられた電極を上方に向けて前記被検査体が配置される検査台と、該検査体の上方に設けられた固定枠体と、該固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置であって、
前記プローブユニットは、前記固定枠体に支持されるサポートベース部材と、前記検査台上の前記被検査体の前記電極に接触可能のプローブが設けられた複数のプローブ組立体と、該プローブ組立体のそれぞれの前記プローブを対応する前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体のそれぞれを前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを備え、
さらに、前記プローブユニットは、複数の前記懸架機構をそれぞれ前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを備える、電気的検査装置。
【請求項７】
前記枢軸機構は、前記サポートベース部材に前記横軸を介して枢動可能に連結されたプローブベース板を含み、複数の前記プローブ組立体が対応する前記懸架機構を介して前記プローブベース板に支持されており、前記結合手段は、前記サポートベース部材に関する前記プローブベース板の枢動の拘束を解除可能に該プローブベース板を前記サポートベース部材に固定する、請求項６に記載の電気的検査装置。
【請求項８】
前記結合手段は、前記プローブベース板の下面から前記サポートベース部材の下面に突出する連結部と、該連結部と前記サポートベース部材とを解除可能に結合する締結具とを有する、請求項７に記載の電気的検査装置。
【請求項９】
前記締結具は、前記サポートベース部材の上面から該サポートベース部材の前記下面へ向けて形成された貫通穴を通り、また該貫通穴に整合すべく前記連結部に形成された雌ねじ穴に螺合する締め付けねじ部材を有する、請求項８に記載の電気的検査装置。
【請求項１０】
前記プローブベース板には、前記プローブ組立体の前記プローブおよび前記被検査体の対応する前記電極の相互の位置合わせに用いられるアライメントカメラが支持されている、請求項９に記載の電気的検査装置。
【請求項１１】
前記固定枠体には、該枠体の少なくとも一辺に沿って移動可能にプローブステージ板が支持されており、前記サポートベース部材は前記プローブステージ板に取り外し可能に結合されている、請求項６に記載の電気的検査装置。
【請求項１２】
請求項６に記載の電気的検査装置と、互いに並んで配置された第１の窓および第２の窓を有する筐体とを含み、前記被検査体として表示用パネルが取り扱われる点灯検査装置であって、前記筐体内の前記第１の窓に対応した位置で検査ステーションを構成すべく前記電気的検査装置が前記筐体内に配置され、前記筐体内の前記第２の窓に対応した位置には前記検査ステーションとの間で前記表示用パネルの授受を行うパネル受け渡しステーションを構成するパネル受け渡し装置が配置されている、点灯検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの電気的検査に用いるのに好適なプローブユニット、該プローブユニットが組み込まれた電気的検査装置および該電気的検査装置を用いた点灯検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造工程を経た液晶パネルは、一般的に、画素欠陥のような欠陥の有無を調べるための点灯検査を受ける。この点灯検査では、被検査体である液晶パネルに駆動信号を供給する必要がある。そのため、点灯検査装置には、その検査ステーションとして、検被検査体である液晶パネルがその電極を上方に向けて配置される検査台と、被検査体の上方に設けられた固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置が設けられている。
【０００３】
この種の電気的検査装置では、例えば特許文献１で示されているように、検査台上に被検査体である矩形の液晶パネルが載せられる。前記検査台の上方には、矩形の液晶パネルの各辺に対応する各辺を有する矩形の固定枠体が配置されており、該固定枠体の互いに直角な隣合う一組の各辺に沿って、多数のプローブ組立体が配列されている。より詳細には、前記固定枠体の互いに隣り合う一組の一辺に、該辺の伸長方向へ移動可能なプローブステージ板が調整可能にそれぞれ支持されており、この各プロステージ板に、プローブユニットが取り外し可能に取り付けられる。
【０００４】
各プローブユニットは、前記プローブステージ板に取り外し可能に固定されるサポートベース部材と、該各サポートベース部材に支持される複数のプローブ組立体とを備える。各プローブ組立体は、それらのプローブを対応する液晶パネルの電極に対向するように、それぞれの懸架機構を介して前記サポートベース部材に支持されている。各懸架機構には、その下方で信号回路基板が支持されており、各信号回路基板に設けられたＩＣチップで構成された液晶駆動ＩＣ回路を経て前記プローブ組立体の所定のプローブに駆動信号が供給される。
【０００５】
したがって、前記点灯検査装置では、前記検査台上の液晶パネルは、該液晶パネルに設けられた各電極と、前記固定枠体に支持された各プローブユニットのプローブとが整合する位置に、相対位置を調整される。この位置調整後、前記検査台の前記固定枠体への移動により、各プローブユニットに設けられた前記各プローブ組立体のプローブの先端が前記液晶パネルの対応する電極に接触されると、前記ＩＣチップを経て所定のプローブから対応する前記電極に駆動信号が送られる。この駆動信号により、前記液晶は点灯状態におかれ、所定の検査を受ける。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−７４７７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の前記検査装置では、各プローブへの駆動信号を生成する液晶駆動ＩＣ回路を含む信号回路基板は、各プローブ組立体が集合的に設けられたプローブユニットの懸架機構毎に、該懸架機構の下方で支持されている。また、各懸架機構の下方には、被検査体である液晶パネルを載せる検査台が位置する。そのため、前記信号回路基板の保守点検作業あるいは該信号回路基板の主要構成要素である前記ＩＣチップの故障による該チップの取り換えのためには、作業者は、プローブユニットが支持された前記固定枠体の下方から該固定枠体とその下方に位置する検査台との間の狭い間隙を経て作業を行う必要があり、作業者は極めて窮屈な姿勢を強いられていた。
【０００８】
また、この窮屈な姿勢での作業を避けるためには、複数のプローブ組立体が集合的に配置された各プローブユニットの前記サポートベース部材を前記プローブステージ板から取り外す必要がある。この取り外されたプローブユニットは、その姿勢を反転させることにより、各懸架機構の下方に支持された前記信号回路基板を作業者に対面するように、上方に向けることができるので、作業者に窮屈な姿勢を強いることなく前記信号回路基板の保守点検あるいは修理等の作業が可能となる。しかしながら、各プローブユニットは、一般的に総重量が３０ｋｇを超えることから、このような重重量のプローブユニットをサポート部材から取り外し、取り外されたプローブユニットの姿勢を個々に反転させる作業は容易ではない。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、信号回路基板の保守点検あるいはその構成要素の取り換え作業を伴う修理作業等を容易に行えるプローブユニット、電気的検査装置および点灯検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るプローブユニットは、固定板の下方に配置された検査台上の被検査体の検査のために該被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられた少なくとも１つのプローブ組立体と、前記固定板に支持されるサポートベース部材と、前記プローブを前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを含むプローブユニットであって、さらに、前記懸架機構を前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを含む。
【００１１】
本発明に係る前記プローブユニットでは、該プローブユニットの前記懸架機構に支持された信号回路基板の点検あるいは取り換え作業に際し、前記結合手段による前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の拘束を解除した後、該懸架機構およびこれに支持されたプローブ組立体を前記枢軸機構の横軸の回りに一体的に回転させることができる。これにより、前記プローブユニットおよび該プローブユニットが取り付けられた前記サポートベース部材を前記固定枠体から分離することなく、前記懸架機構の下方に配置された前記信号回路基板が作業者に向くように、前記プローブユニットの懸架機構の姿勢を変えることができる。
【００１２】
したがって、重重量の前記プローブユニットを前記固定枠体から取り外すことなく、しかも前記各懸架機構にその下方で支持された前記信号回路基板への作業を作業者に前記懸架機構の下に潜り込むような窮屈な姿勢を強要することなく、前記信号回路基板の保守点検あるいは該信号回路基板に設けられる駆動ＩＣチップの取り換え作業等が従来に比較して容易に行える。
【００１３】
前記枢軸機構には、前記サポートベース部材に前記横軸を介して枢動可能に連結されたプローブベース板を設けることができる。このプローブベース板に前記プローブ組立体を含む複数のプローブ組立体をそれぞれ前記懸架機構を含む複数の懸架機構を介して支持することができる。この場合、前記結合手段は、前記サポートベース部材に関する前記プローブベース板の枢動の拘束を解除可能に該プローブベース板を前記サポートベース部材に固定することができる。
【００１４】
前記固定手段は、前記プローブベース板の下面から前記サポートベース部材の下面に突出する連結部と、該連結部と前記サポートベース部材とを解除可能に結合する締結具とで構成することができる。
【００１５】
前記締結具には、前記プローブベース板の上面からその下面へ向けて形成された貫通穴を通り、また該貫通穴に整合すべく前記連結部に形成された雌ねじ穴に螺合する締め付けねじ部材を用いることができる。
【００１６】
前記プローブベース板には、前記プローブ組立体の前記プローブおよび前記被検査体の対応する前記電極の相互の位置合わせに用いられるアライメントカメラを支持することができる。
【００１７】
本発明に係る電気的検査装置は、板状の被検査体に設けられた電極を上方に向けて前記被検査体が配置される検査台と、該検査体の上方に設けられた固定枠体と、該固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置であって、前記プローブユニットは、前記固定枠体に支持されるサポートベース部材と、前記検査台上の前記被検査体の前記電極に接触可能のプローブが設けられた複数のプローブ組立体と、該プローブ組立体のそれぞれの前記プローブを対応する前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体のそれぞれを前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを備え、さらに、前記プローブユニットは、複数の前記懸架機構をそれぞれ前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを備える。
【００１８】
本発明に係る前記電気的検査装置によれば、前記プローブユニットにおけると同様に、該プローブユニットの前記懸架機構に支持された信号回路基板の点検あるいは取り換え作業に際し、前記結合手段による前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の拘束を解除した後、該懸架機構およびこれに支持されたプローブ組立体を前記枢軸機構の横軸の回りに一体的に回転させることができる。これにより、前記プローブユニットおよび該プローブユニットが取り付けられた前記サポートベース部材を前記固定枠体から分離することなく、前記懸架機構の下方に配置された前記信号回路基板が作業者に向くように、前記プローブユニットの懸架機構の姿勢を変えることができる。
【００１９】
したがって、重重量の前記プローブユニットを前記固定枠体から取り外すことなく、また作業者に前記懸架機構の下に潜り込むような窮屈な姿勢を強要することなく、前記各懸架機構にその下方で支持された前記信号回路基板の保守点検および修理作業等が従来に比較して容易に行える。
【００２０】
前記固定枠体に該枠体の少なくとも一辺に沿って移動可能にプローブステージ板を支持し、該プローブステージ板に前記サポートベース部材を取り外し可能に結合することができる。
【００２１】
本発明に係る点灯検査装置は、前記した本発明に係る電気的検査装置と、互いに並んで配置された第１の窓および第２の窓を有する筐体とを含むことができる。前記被検査体として表示用パネルが取り扱われ、前記筐体内の前記第１の窓に対応した位置で検査ステーションを構成すべく前記電気的検査装置が前記筐体内に配置され、前記筐体内の前記第２の窓に対応した位置には前記検査ステーションとの間で前記表示用パネルの授受を行うパネル受け渡しステーションを構成するパネル受け渡し装置が配置される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、前記したように、前記懸架機構およびこれに支持されたプローブ組立体を枢軸機構の横軸の回りに一体的に回転させることができので、各懸架機構にその下方で支持された前記信号回路基板が作業者による作業が容易となるように、前記懸架機構の姿勢を変えることができる。したがって、重重量のプローブユニットをこれを支持する固定板あるいは固定枠体から取り外すことなく、また、作業者に従来のような窮屈な姿勢を強要することなく、前記信号回路基板の保守点検および修理作業等を容易に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明に係る液晶パネルのための検査装置１０の外観を示す。この検査装置１０は、長方形の平面形状を有する液晶パネル１２の例えば点灯検査に用いられる。検査装置１０は、傾斜正面１４ａを備える筐体１４を備え、該筐体の傾斜正面１４ａには、点灯検査のための第１の窓（開口）１６ａおよび該第１の窓に隣合う第２の窓（開口）１６ｂが設けられている。
【００２４】
筐体１４内には、液晶パネル１２の点灯検査のための検査ステーション１８が第１の窓１６ａに対応して設けられ、また検査ステーション１８との間で被検査体である液晶パネル１２を順次やり取りする従来よく知られたパネル受け渡しステーション２０が第２の窓１６ｂに対応して、検査ステーション１８に並んで設けられている。
【００２５】
矩形の液晶パネル１２の一方の面には、その一方の長辺縁部に沿って多数の電極１２ａ（図５参照）が配列されており、また一方の短辺縁部に沿って同様な多数の電極１２ａが配列されている。検査ステーション１８で点灯検査を受ける液晶パネル１２は、従来よく知られているように、図示しない搬送ロボットから筐体１４の背面に設けられた出し入れ口２２を経てパネル受け渡しステーション２０のパネル受け渡し装置２４上に、電極１２ａを上方に向けて搬入される。このパネル受け渡し装置２４上の液晶パネル１２は、該パネル受け渡し装置の搬送アーム機構２４ａを経て点灯検査のために検査ステーション１８に移送される。また、検査ステーション１８で点灯検査を受けた液晶パネル１２は、従来よく知られているように、搬送アーム機構２４ａの取り扱いにより、パネル受け渡し装置２４を経て、前記搬送ロボットにより検査装置１０から取り出される。
【００２６】
検査ステーション１８は、図１に示すように、パネル受け渡しステーション２０からの液晶パネル１２を保持するワークテーブル２６と、該ワークテーブルから間隔を置いて配置される固定板たる矩形の固定枠体２８と、該固定枠体に支持された複数のプローブユニット３０とを備える。
【００２７】
ワークテーブル２６は液晶パネル１２のための検査台であり、液晶パネル１２の電極１２ａが第１の窓１６ａに向くように、液晶パネル１２を筐体１４内で第１の窓１６ａに対応して保持する。このワークテーブル２６は、筐体１４内に設置された従来におけると同様なＸＹＺθ支持機構（図示せず）により、支持されている。これにより、ワークテーブル２６上の液晶パネル１２の平面位置は、ワークテーブル２６と一体的に、傾斜正面１４ａと平行な面内でＸ方向、該Ｘ方向に直角なＹ方向およびＸ−Ｙ面に直角なＺ方向にそれぞれ調整可能であり、かつＺ軸の回りの回転姿勢が調整可能である。
【００２８】
ワークテーブル２６の斜め上方、すなわちワークテーブル２６から前記Ｚ軸方向に沿って傾斜正面１４ａへ向けての斜め前方には、該ワークテーブルから間隔をおいて前記した矩形の固定枠体２８が筐体１４に固定されている。
【００２９】
この固定枠体２８は、図２に示す例では、Ｘ方向に沿った一対の長辺部２８ａおよびＹ方向に沿った一対の短辺部２８ｂを有する。各辺部２８ａ、２８ｂには、プローブステージ板３２（３２ａ、３２ａおよび３２ｂ、３２ｂ）がそれぞれ配置されている。各プローブステージ板３２の上面には、各プローブユニット３０を取付けるための凹所３２ｃが形成されている。取付け凹所３２ｃは、プローブステージ板３２の長手方向の一方の縁部に沿って該縁部に開放する。各プローブステージ板３２は、その取付け凹所３２ｃを固定枠体２８の対応する各辺部２８ａ、２８ｂから固定枠体２８の枠内に露出させて、各辺部２８ａ、２８ｂに沿って配置されている。
【００３０】
固定枠体２８の各辺部２８ａ、２８ｂと、これに対応する各プローブステージ板３２ａおよび３２ｂとの間には、案内部３４が設けられている。この案内部３４により、プローブステージ板３２ａおよび３２ｂは、固定枠体２８に、その対応する各辺部２８ａおよび２８ｂの長手方向へ移動可能に支持されている。また、各プローブステージ板３２を対応する各辺部２８ａ、２８ｂに関して移動させるための駆動機構３６が各辺部２８ａ、２８ｂに設けられている。この駆動機構３６は、例えば、固定枠体２８に固定された電気モータ３６ａと、該電気モータの出力シャフトと一体的に回転可能のボールねじ部材３６ｂおよび該ボールねじ部材に螺合すべくプローブステージ板３２に固定された雌ねじ部材３６ｃを有するボールねじのような送り機構とで構成することができる。
【００３１】
図２の例では、液晶パネル１２の一方の長辺縁部および一方の長辺縁部に沿って電極１２ａが配列された被検査体１２の検査に適用すべく、これに対応する一方の長辺部２８ａおよび一方の短辺部２８ｂに設けられたプローブステージ板３２ａおよび３２ｂのそれぞれにプローブユニット３０が取り付けられている。また一方の長辺部２８ａのプローブステージ板３２ａに取り付けられたプローブユニット３０には、５つのプローブ組立体３８が等間隔をおいて配列されており、一方の短辺部２８ｂのプローブステージ板３２ｂに取り付けられたプローブユニット３０には３つのプローブ組立体３８が等間隔をおいて配列されている。
【００３２】
各プローブユニット３０は、前記したようにプローブ組立体３８の個数、後述するアライメントカメラおよびアライメントマークの個数に違いがある点を除いて、同一構成である。したがって、以下、固定枠体２８の短辺部２８ｂに設けられるプローブユニット３０の例について説明する。
【００３３】
プローブユニット３０は、図２および図３に示されているように、全体に矩形板状のサポートベース部材４０と、該ベース部材に枢軸機構４２の一対の水平軸４２ａを介して枢着されたプローブベース板４４とを含み、該プローブベース板に各懸架機構４６を介して前記したプローブ組立体３８が支持されている。
【００３４】
サポートベース部材４０の一方の長辺と一対の短辺とが交わる隅部には、面取４０ａが施されており、前記一方の長辺の両面取り４０ａ間には、矩形のプローブベース板４４を水平軸４２ａの回りに回動可能に受け入れる切欠き部４０ｂが形成されている。サポートベース部材４０は、図３に示すように、その他方の長辺に沿った縁部分が取付け凹所３２ｃに嵌合された状態で、プローブベース板４４の前記した回動を許すように、サポートベース部材４０の貫通穴４０ｃを貫通しかつ先端がプローブステージ板３２ｂのねじ穴３２ｄに螺合するボルトのようなねじ部材４８を介して、プローブステージ板３２に取り外し可能に固定される。
【００３５】
プローブステージ板３２に取り外し可能に固定されるサポートベース部材４０に回動可能に支持されたプローブベース板４４上には、図３および図４に示すように、３つのプローブ組立体３８がそれぞれ懸架機構４６を介してプローブベース板４４の長手方向に等間隔をおいて整列するように支持されている。また、図示の例では、プローブ組立体３８の列の前後方向には、一対のアライメントカメラ５０および該カメラにより撮影可能の一対の透過アライメントマーク５２がそれぞれ配置されており、各対は、それらの間にプローブ組立体３８の列を位置させるように、プローブベース板４４に支持されている。アライメントカメラ５０は、ワークテーブル２６上の液晶パネル１２に形成されたアライメントマーク（図示せず）とプローブベース板４４に支持された透過アライメントマーク５２とを重ね合た画像を捉える。
【００３６】
各懸架機構４６は、図５に示されているように、プローブベース板４４上に固定されるサスペンションベース部材４６ａと、該サスペンションベース部材に支持されるスライドブロック４６ｂとを備える。スライドブロック４６ｂは、サスペンションベース部材４６ａとの間に設けられたリニアスライド機構４６ｃにより上下方向に移動可能であり、図示しないがスライドブロック４６ｂの内部に組み込まれた従来よく知られたばね機構により、プローブベース板４４の干渉を受けることなく、サスペンションベース部材４６ａに好適に弾性支持されている。
【００３７】
スライドブロック４６ｂの下端には、プローブ組立体３８を取り付けるための取付けブロック４６ｄが固定されており、プローブ組立体３８は、その先端から突出するプローブの先端３８ａが液晶パネル１２の対応する電極１２ａに接触するように、プローブ先端３８ａを下方すなわちワークテーブル２６上の液晶パネル１２に向けて、取付けブロック４６ｄに取り付けられている。
【００３８】
また、取付けブロック４６ｄの下端には取付け板４６ｅが固定されており、該取付け板４６ｅの下面には、例えばＴＣＰからなる回路基板５４が支持されている。この回路基板５４には、液晶パネル１２の駆動信号を生成するための駆動信号生成ＩＣチップ５４ａが搭載されており、該ＩＣチップを含むＩＣ回路が形成されている。プローブ組立体３８が対応する懸架機構４６の取付けブロック４６ｄに取付けられると、プローブ組立体３８の前記プローブが前記駆動信号を受けるように、前記プローブの後端３８ｂが回路基板５４の対応する導電路に下方から押圧され、これにより、プローブ組立体３８は、その前記各プローブが回路基板５４に電気的に接続される。
【００３９】
回路基板５４は、プローブベース板４４の下面にスペーサ５６を介して支持された中継基板５８に接続されている。この中継基板５８は、配線６０を経て制御信号発生器６２に接続されている。したがって、ＩＣチップ５４ａは、中継基板５８および回路基板５４の導電路を経て制御信号発生器６２からの制御信号を受けることにより、プローブ組立体３８の前記各プローブを経て液晶パネル１２の対応する電極１２ａに駆動信号を供給する。
【００４０】
各懸架機構４６を介して複数のプローブ組立体３８が取り付けられたプローブベース板４４は、図５に示すように、結合手段６４により、対応するサポートベース部材４０と同一面上に位置する姿勢で該サポートベース部材４０に固定されている。
【００４１】
結合手段６４は、プローブベース板４４の下面にボルト６４ａを介して固定された結合板６４ｂと、該結合板にその板厚方向に貫通して形成されたねじ穴６４ｃに螺合するボルト６４ｄとを備える。サポートベース部材４０には、ねじ穴６４ｃに整合して板厚方向に貫通して挿通孔４０ｄが形成されている。ボルト６４ｄは、サポートベース部材４０の上面からサポートベース部材４０ｄを貫通して配置され、その先端部がねじ穴６４ｃに螺合するように、結合板６４ｂをサポートベース部材４０に締め付ける。このボルト６４ｄの締め付けにより、プローブベース板４４の水平軸４２ａの回りの回動が阻止され、プローブベース板４４は、前記したように図５に示す姿勢を保持される。
【００４２】
ねじ穴６４ｃが形成された結合板６４ｂをボルト６４ａでプローブベース板４４に固定することに代えて、図示しないが、ねじ穴６４ｃを有する結合部をプローブベース板４４の下面から該プローブベース板と一体的にサポートベース部材４０の下面に伸長する伸長部分で形成することができる。
【００４３】
本発明に係る検査装置１０では、被検査体である液晶パネル１２の規格に合うプローブユニット３０が選択される。すなわち、液晶パネル１２の電極１２ａに対応した適正なプローブ間隔を有するプローブ組立体３８が所定の間隔を置いて配置された適正なプローブユニット３０が選択され、該プローブユニットが対応する各プローブステージ板３２に取り付けられる。
【００４４】
その後、前記したようにパネル受け渡しステーション２０から検査ステーション１８のワークテーブル２６上に液晶パネル１２が移送されると、アライメントカメラ５０により撮影された画像上での透過アライメントマーク５２と液晶パネル１２上の前記アライメントマークとのずれに基づいて、電極１２ａとプローブ組立体３８の対応するプローブ先端３８ａとが整合するように、前記ＸＹＺθ支持機構により、ワークテーブル２６の位置が調整され、また各プローブユニット３０が取り付けられた各プローブステージ板３２の位置が微調整される。
【００４５】
これらの調整後、前記ＸＹＺθ支持機構の作動により、ワークテーブル２６が固定枠体２８に向けて移動されることにより、ワークテーブル２６上の液晶パネル１２の電極１２ａが各プローブユニット３０に設けられたプローブ組立体３８の対応するプローブ先端３８ａに電気的に接続される。この接続状態で、ＩＣチップ５４ａからの駆動信号が対応する前記プローブを経て液晶パネル１２に供給されると、その駆動信号に応じて液晶パネル１２が点灯される。この点等状態を作業員が第１の窓１６ａを通して観察することにより、点灯検査が行える。
【００４６】
本発明に係る検査装置１０に設けられた回路基板５４の保守点検では、図５に示したように、結合手段６４の結合板６４ｂのねじ穴６４ｃに螺合するボルト６４ｄが緩めされ、図６に示すように、ボルト６４ｄが結合板６４ｂから引き抜かれることにより、結合手段６４が解除される。
【００４７】
この結合手段６４に解除により、懸架機構４６を介して支持されたプローブ組立体３８およびアライメントカメラ５０等が、各プローブステージ板３２に固定されたサポートベース部材４０に関して、プローブベース板４４と一体的に水平軸４２ａの回りに回転される。その結果、懸架機構４６の下方で該懸架機構に支持された回路基板５４は、第１の窓１６ａに向けられる。
【００４８】
このプローブベース板４４の姿勢の回転によって、回路基板５４およびそのＩＣチップ５４ａは第１の窓１６ａに向けて露出されることから、作業員はワークテーブル２６とプローブベース板４４を支持するワークテーブル２６との間から手を差し入れることなく、また重重量のプローブユニット３０を各プローブステージ板３２から取り外して分離することなく、したがって、従来に比較して楽な姿勢で容易に、第１の窓１６ａを通してＩＣチップ５４ａの点検や取り換え作業を行うことが可能となる。
【００４９】
前記回路基板５４の保守点検を容易にするためには、回路基板５４をプローブベース板４４の上面あるいはサポートベース部材４０に上面等に設けることが考えられる。しかしながら、ＩＣチップ５４ａとプローブ組立体３８の前記プロ−ブとの間の接続経路長が増大するため、この接続経路に高周波信号が流れることを考慮すると、ノイズ対策上、好ましくはない。
【００５０】
これに対し、本発明に係る検査装置１０によれば、回路基板５４を懸架機構４６の下方でプローブ組立体３８に近接して保持することができるので、ＩＣチップ５４ａとプローブ組立体３８との接続距離の増大を招くことなく、したがって、前記したノイズ問題を引き起こすことなく、前記回路基板５４の容易な保守点検作業が可能となる。
【００５１】
前記したところでは、プローブベース板４４にアライメントカメラ５０を設けた例に沿って本発明を説明したが、これに代えて、図７に示すように、プローブベース板４４を枢動可能に支持するサポートベース部材４０にアライメントカメラ５０を支持することができる。これにより、プローブユニット３０の枢動部の重量軽減を図ることができる。
【００５２】
また、前記したところでは、固定枠体２８に移動可能に支持された各プローブステージ板３２にプローブユニット３０のサポートベース部材４０を取り外し可能に結合した例を示した。これに代えて、図８に示すように、移動可能なプローブステージ板３２を介することなく、プローブユニット３０のサポートベース部材４０をねじ部材４８により固定的にかつ取り外し可能に固定枠体２８に結合することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。例えば、アライメントカメラ５０およびアライメントマーク５２を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る点灯検査装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１に示す点灯検査装置の検査ステージの平面図である。
【図３】図２に示した点灯検査装置のプローブサポート部材に取り付けられるプローブユニットの斜視図である。
【図４】図３に示したプローブユニットの平面図である。
【図５】図４に示した線Ｖ−Ｖに沿って得られた断面図である。
【図６】本発明に係るプローブユニットを傾斜させた状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す図３と同様な図面である。
【図８】本発明のさらに他の実施例を示す図２と同様な図面である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  検査装置
１２  液晶パネル（被検査体）
１２ａ  電極
１４  筐体
１６ａ  第１の窓
１６ｂ  第２の窓
１８  検査ステーション
２０  パネル受け渡しステーション
２４  パネル受け渡し装置
２６  ワークテーブル（検査台）
２８  固定枠体（固定板）
３０  プローブユニット
３２  各プローブステージ板
３８  プローブ組立体
３８ａ  プローブ先端
４０  サポートベース部材
４０ｄ  貫通穴
４２  枢軸機構
４２ａ  水平軸
４４  プローブベース板
４６  懸架機構
４８  ねじ部材
５０  アライメントカメラ
５４  回路基板
６４  結合手段
６４ｂ  結合板（連結部）
６４ｃ  ねじ穴
６４ｄ  ボルト（締結具）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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