(57)【要約】【課題】良好な伝送特性の確立に寄与することができるプリント配線板を提供する。【解決手段】プリント配線板１９は絶縁性のコア層３１を備える。基準軸線３４から等距離で基準軸線３４に平行に延びる軸心を有し、コア層３１の表面から裏面まで貫通する複数本の導電性のビア３５が形成される。第１導電膜３６は基準軸線３４から個々のビア３５まで広がる。１本の第１接続ビア４２は、基準軸線３４上に軸心を有し第１積層膜３７を貫通する。第２導電膜３９は基準軸線３４から個々のビア３５まで広がる。１本の第２接続ビア４５は、基準軸線３４上に軸心を有し第２積層膜４１を貫通する。【選択図】図３
2010267781.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性のコア層と、当該コア層を貫通する基準軸線から等距離で当該基準軸線に平行に延びる軸心を有し、当該コア層の表面から裏面まで貫通する複数本の導電性のビアと、前記コア層の表面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第１導電膜と、前記コア層の表面に積層されて、第１導電膜に被さる絶縁性の第１積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第１積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第１接続ビアと、前記コア層の裏面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第２導電膜と、前記コア層の裏面に積層されて、第２導電膜に被さる絶縁性の第２積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第２積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第２接続ビアとを備えることを特徴とするプリント配線板。
【請求項２】
請求項１に記載のプリント配線板において、前記ビアは前記基準軸線回りで等間隔に配置されることを特徴とするプリント配線板。
【請求項３】
請求項１または２に記載のプリント配線板において、前記第１導電膜は前記基準軸線から個別に前記ビアまで線形に延びることを特徴とするプリント配線板。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のプリント配線板において、前記複数本のビアは同一径の円柱形に形成されることを特徴とするプリント配線板。
【請求項５】
絶縁性のコア層と、当該コア層を貫通する基準軸線から等距離で当該基準軸線に平行に延びる軸心を有し、当該コア層の表面から裏面まで貫通する複数本の導電性のビアと、前記コア層の表面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第１導電膜と、前記コア層の表面に積層されて、第１導電膜に被さる絶縁性の第１積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第１積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第１接続ビアと、前記第１積層膜上に搭載されて、前記第１接続ビアに接続される端子を有する電子部品と、前記コア層の裏面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第２導電膜と、前記コア層の裏面に積層されて、第２導電膜に被さる絶縁性の第２積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第２積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第２接続ビアとを備えることを特徴とする電子部品パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプリント配線板に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばＬＳＩ（大規模集積回路）チップパッケージといった電子部品パッケージは広く知られる。電子部品パッケージはプリント配線板すなわちパッケージ基板を備える。パッケージ基板の表面に電子部品は実装される。パッケージ基板の裏面には例えばボールグリッドアレイといった接続端子が取り付けられる。個々の接続端子はパッケージ基板内のビアで電子部品に電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−９７６６０号公報
【特許文献２】実開平２−２４５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電子部品では処理動作の高速化が要求される。処理動作の高速化は動作周波数の上昇を招く。動作周波数の上昇に応じてパッケージ基板上の信号伝送路で伝送特性の悪化が懸念される。本発明者の検証によれば、良好な伝送特性の維持にあたってパッケージ基板の厚みの影響は無視されることはできない。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、良好な伝送特性の確立に寄与することができるプリント配線板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、プリント配線板の一具体例は、絶縁性のコア層と、当該コア層を貫通する基準軸線から等距離で当該基準軸線に平行に延びる軸心を有し、当該コア層の表面から裏面まで貫通する複数本の導電性のビアと、前記コア層の表面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第１導電膜と、前記コア層の表面に積層されて、第１導電膜に被さる絶縁性の第１積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第１積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第１接続ビアと、前記コア層の裏面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第２導電膜と、前記コア層の裏面に積層されて、第２導電膜に被さる絶縁性の第２積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第２積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第２接続ビアとを備える。
【発明の効果】
【０００７】
以上のように、前述のプリント配線板は良好な伝送特性に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係るプリント基板ユニットの構造を概略的に示す一部断面図である。
【図２】パッケージ基板の構造を概略的に示す拡大部分断面図である。
【図３】３本のビアの構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図４】モデル化された１本のビアで算出されたＳパラメーターを示すグラフである。
【図５】モデル化された１本のビアで算出されたＳパラメーターを示すグラフである。
【図６】３本のビアで算出されたＳパラメーターと、１本のビアで算出されたＳパラメーターとを比較した結果を示すグラフである。
【図７】３本のビアで算出されたＳパラメーターと、１本のビアで算出されたＳパラメーターとを比較した結果を示すグラフである。
【図８】コア層の厚みが０．４ｍｍに設定された際に３本のビアで算出されたＳパラメーターを示すグラフである。
【図９】コア層の厚みが０．６ｍｍに設定された際に３本のビアで算出されたＳパラメーターを示すグラフである。
【図１０】導電パッドの直径が０．０６ｍｍに設定された際に３本のビアで算出されたＳパラメーターを示すグラフである。
【図１１】ビアの外径が０．０７ｍｍに設定された際に３本のビアで算出されたＳパラメーターを示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１０】
図１は一実施形態に係るプリント基板ユニットの構造を概略的に示す。プリント基板ユニット１１は大型のプリント配線板１２を備える。プリント配線板１２は例えば樹脂製の基板１３を備える。基板１３は例えば多層基板に構成される。多層基板はコア層１３ａを備える。コア層１３ａの表裏面には１以上の積層膜１３ｂが形成される。コア層１３ａの表裏面や積層膜１３ｂの表面には例えば導電性のべた膜や配線パターン１４が形成される。べた膜は例えば電源層やグラウンド層として機能する。配線パターン１４は例えば信号伝送路として機能する。電源層やグラウンド層は例えば導電性のスルーホールで表層の導電膜や導電パッドに接続される。配線パターン１４は例えば導電性のスルーホール１５や導電性のビア１６で相互に接続されたり表層の導電膜や導電パッド１７に接続されたりする。べた膜や配線パターン１４、スルーホール１５、ビア１６は例えば銅といった金属材料から形成される。
【００１１】
プリント配線板１２の表面には電子部品パッケージの一具体例すなわちＬＳＩ（大規模集積回路）チップパッケージ１８が実装される。ＬＳＩチップパッケージ１８は小型のプリント配線板すなわちパッケージ基板１９を備える。パッケージ基板１９の表面にはＬＳＩチップ２１が実装される。パッケージ基板１９の裏面には複数個の導電パッド２２が取り付けられる。個々の導電パッド２２には例えば１個のはんだバンプ２３が接合される。個々のはんだバンプ２３は同時にプリント配線板１２の導電パッド１７に接合される。こうしてＬＳＩチップパッケージ１８はプリント配線板１２に電気的に接続される。はんだバンプ２３はアンダーフィル材２４で封止される。アンダーフィル材２４はプリント配線板１２とパッケージ基板１９との間で空間を満たす。
【００１２】
ＬＳＩチップ２１には複数個の導電パッド２５が取り付けられる。パッケージ基板１９の表面には同様に複数個の導電パッド２６が取り付けられる。パッケージ基板１９の導電パッド２６は１対１でＬＳＩチップ２１の導電パッド２５に対応する。ＬＳＩチップ２１の導電パッド２５には例えば１個の金バンプ２７が接合される。個々の金バンプ２７は同時にパッケージ基板１９の導電パッド２６に接合される。ＬＳＩチップ２１はパッケージ基板１９上に封止材２８で封止される。封止材２８には例えば樹脂が用いられる。
【００１３】
図２に示されるように、パッケージ基板１９は絶縁性のコア層３１を備える。コア層３１には例えば個々の導電パッド２６（２２）ごとに複数本の貫通孔３２が形成される。個々の貫通孔３２はコア層３１の表面から裏面まで貫通する。個々の貫通孔３２は例えば円柱形の空間を区画する。貫通孔３２の軸心３３は基準軸線３４に平行に延びる。基準軸線３４はコア層３１の表裏面に直角にコア層３１を貫通する。貫通孔３２は導電材料で充填される。導電材料には例えば銅やはんだが用いられる。こうして円柱形のビア３５が確立される。ビア３５同士はコア層３１の絶縁材で相互に電気的に絶縁される。
【００１４】
コア層３１の表面には第１導電膜３６が形成される。第１導電膜３６は基準軸線３４から個々のビア３５まで広がる。こうしてコア層３１の表面では個々の導電パッド２６ごとにビア３５は相互に接続される。コア層３１の表面には第１積層膜３７が積層される。第１積層膜３７は例えば樹脂といった絶縁材料で形成される。第１積層膜３７はコア層３１の表面で第１導電膜３６に被さる。同様に、コア層３１の裏面には第２導電膜３９が形成される。第２導電膜３９は基準軸線３４から個々のビア３５まで広がる。こうしてコア層３１の裏面では個々の導電パッド２２ごとにビア３５は相互に接続される。コア層３１の裏面には第２積層膜４１が積層される。第２積層膜４１は例えば樹脂といった絶縁材料で形成される。第２積層膜４１はコア層３１の裏面で第２導電膜３９に被さる。
【００１５】
第１積層膜３７には導電性の第１接続ビア４２が形成される。第１接続ビア４２は例えば銅やはんだといった導電材料から形成される。第１接続ビア４２は第１積層膜３７の裏面から表面まで貫通する。第１接続ビア４２は例えば円柱形に形作られる。第１接続ビア４２はコア層３１から遠ざかるにつれて広がる円錐台に形作られてもよい。第１接続ビア４２の軸心は基準軸線３４に重なる。個々の導電パッド２６ごとに１本の第１接続ビア４２が割り当てられる。第１接続ビア４２は対応の導電パッド２６に接続される。
【００１６】
第１積層膜３７の表面には配線パターン４３が形成される。配線パターン４３は例えば銅といった導電材料から形成される。配線パターン４３は導電パッド４４を備える。導電パッド４４は第１接続ビア４２に接続される。配線パターン４３は導電パッド２６に接続される。こうして導電パッド４４は導電パッド２６に接続される。配線パターン４３は例えば１対１で導電パッド２６と導電パッド４４とを対応付ける。
【００１７】
第２積層膜４１には導電性の第２接続ビア４５が形成される。第２接続ビア４５は例えば銅やはんだといった導電材料から形成される。第２接続ビア４５は第２積層膜４１の裏面から表面まで貫通する。第２接続ビア４５は例えば円柱形に形作られる。第２接続ビア４５はコア層３１から遠ざかるにつれて広がる円錐台に形作られてもよい。第２接続ビア４５の軸心は基準軸線３４に重なる。個々の導電パッド２２ごとに１本の第２接続ビア４５が割り当てられる。第２接続ビア４５は対応の導電パッド２２に接続される。こうして導電パッド２６、配線パターン４３、導電パッド４４、第１接続ビア４２、第１導電膜３６、複数本のビア３５、第２導電膜３９、第２接続ビア４５および導電パッド２２で信号伝送路は確立される。
【００１８】
図３に示されるように、個々の導電パッド４４（２２）ごとにビア３５の外径（円柱形の円形断面の直径）は均一に設定される。ビア３５の長さ（上端から下端まで）は均一に設定される。ビア３５の長さは基準軸線３４に平行に測定される。基準軸線３４から個々のビア３５の軸心３３まで均一な距離が設定される。基準軸線３４回りでビア３５の軸心３３は等間隔で配置される。すなわち、導電パッド４４、第１接続ビア４２、第１導電膜３６、複数本（ここでは３本）のビア３５、第２導電膜３９、第２接続ビア４５および導電パッド２２で構成される構造体が基準軸線３４回りで回転すると、中心角１２０度の回転ごとに構造体は同一の像を描く。
【００１９】
図３に示されるように、個々のビア３５ごとに第１導電膜３６には導電パッド３６ａが区画される。導電パッド３６ａは円盤形に形成される。導電パッド３６ａの中心軸はビア３５の軸心３３に重なる。導電パッド３６ａ同士は、基準軸線３４から個々の導電パッド３６ａまで延びる線形の導電配線３６ｂで接続される。同様に、個々のビア３５ごとに第２導電膜３９には導電パッド３９ａが区画される。導電パッド３９ａは円盤形に形成される。導電パッド３９ａの中心軸はビア３５の軸心３３に重なる。導電パッド３９ａ同士は、基準軸線３４から個々の導電パッド３９ａまで延びる線形の導電配線３９ｂで接続される。導電パッド３６ａ、３９ａの外径はビア３５の外径よりも大きく設定される。
【００２０】
導電パッド４４、２２は円盤形に形成される。導電パッド４４、２２の中心軸は基準軸線３４に重なる。ただし、導電パッド４４、２２はその他の形状に形作られてもよい。その他、導電パッド４４、２２同士は異なる形状に形作られてもよい。
【００２１】
パッケージ基板１９では、第１接続ビア４２から第２接続ビア４５までいずれのビア３５経由で信号が伝達されても、配線距離は一致する。すなわち、信号は等距離を伝わる。したがって、ビア３５同士の間で信号の位相のずれは回避される。その結果、良好な伝送特性は確立される。
【００２２】
パッケージ基板１９の製造にあたって前述の貫通孔３２は例えばドリルで機械的に穿たれる。ドリルには１種類の孔径のドリルビットが用いられればよい。このとき、貫通孔３２の軸心の位置、すなわち、貫通孔３２の軸心と基準軸線３４との距離は要求される伝送特性に応じて設定されればよい。こういった設定によれば、コア層３１の厚みに応じて伝送特性は最適化されることができる。
【００２３】
本発明者はパッケージ基板１９のコア層３１中でビアの伝送特性を検証した。検証にあたってコンピューターシミュレーションが実施された。コンピューターシミュレーションに基づきＳパラメーター（Ｓ１１）が算出された。Ｓパラメーターはビア３５に入力される信号の反射ロスを特定することができる。まず、本発明者は１本のビア３５をモデル化した。モデル化にあたってコア層３１の厚みすなわちビア３５の長さは０．４ｍｍに設定された。ビア３５の上端および下端には円盤形の導電パッドが接続された。導電パッドはビア３５の軸心３３に直交する平面上で広がった。導電パッドの中心軸はビア３５の軸心３３に重ねられた。導電パッドの直径は０．１７ｍｍに設定された。ビア３５の外径は１００μｍ、１１０μｍおよび１２０μｍに設定された。図４に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までならビア３５の外径の大きさに関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数５００ＭＨｚ〜２３．０ＧＨｚの範囲ではビア３５の外径の縮小が伝送特性の向上に寄与することが確認された。動作周波数が２３．０ＧＨｚを超えると、外径の大きさの影響は薄れた。次にモデル化にあたってコア層３１の厚みは０．８ｍｍに設定された。導電パッドの直径は０．１７ｍｍに維持された。ビア３５の外径は１２０μｍ、１４０μｍおよび１６０μｍに設定された。図５に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までならビア３５の外径の大きさに関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数５００ＭＨｚ〜１５．０ＧＨｚの範囲ではビア３５の外径の縮小が伝送特性の向上に寄与することが確認された。動作周波数が１７．５ＧＨｚを超えると、外径の増大が伝送特性の向上に寄与することが確認された。ただし、動作周波数が２０．０ＧＨｚを超えると、著しいゲインの増大が確認された。
【００２４】
次に本発明者は３本のビア３５と１本のビア３５とを比較した。比較にあたって本発明者は３本のビア３５をモデル化した。モデル化にあたってコア層３１の厚みは０．４ｍｍに設定された。導電パッド３６ａ、３９ａの直径は０．１０ｍｍに設定された。ビア３５の外径は０．０７ｍｍに設定された。同時に本発明者は前述と同様に１本のビア３５をモデル化した。コア層３１の厚みは同様に０．４ｍｍに設定された。導電パッドの直径は０．１７ｍｍに設定された。ビア３５の外径は０．１０ｍｍに設定された。すなわち、ビア３５の断面積は３本のビア３５の総面積に等しく設定された。図６に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までならビア３５の本数に関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数１１．５ＧＨｚ〜２１．０ＧＨｚの範囲では３本のビア３５は１本のビア３５よりも良好な伝送特性を示した。特に、動作周波数２０．０ＧＨｚ（４０Ｂｂｐｓ相当）の±１．０ＧＨｚの範囲で３本のビア３５は１本のビアに比べて良好な伝送特性を示した。
【００２５】
次に本発明者は３本のビア３５と１本のビア３５とを比較した。比較にあたって本発明者は３本のビア３５をモデル化した。モデル化にあたってコア層３１の厚みは０．８ｍｍに設定された。導電パッド３６ａ、３９ａの直径は０．１０ｍｍに設定された。ビア３５の外径は０．０７ｍｍに設定された。同時に本発明者は前述と同様に１本のビア３５をモデル化した。コア層３１の厚みは同様に０．８ｍｍに設定された。導電パッドの直径は０．１０ｍｍに設定された。ビア３５の外径は０．０７ｍｍに設定された。すなわち、ビア３５そのものは同一の形状に設定された。図７に示されるように、動作周波数７．９ＧＨｚを超えると、３本のビア３５は１本のビアに比べて良好な伝送特性を示した。
【００２６】
次に本発明者はコア層３１の厚みを変化させつつビア３５の伝送特性を検証した。検証にあたって３本のビア３５がモデル化された。モデル化にあたってコア層３１の厚みは０．４ｍｍに設定された。導電パッド３６ａ、３９ａの直径は０．１０ｍｍに設定された。ビア３５の外径は０．０５ｍｍに設定された。基準軸線３４とビア３５の軸心３３との距離は４０μｍ、８０μｍおよび１２０μｍに設定された。図８に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までなら基準軸線３４および軸心３３の距離に関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数５００ＭＨｚ〜２３．０ＧＨｚの範囲では基準軸線３４および軸心３３の距離の縮小が伝送特性の向上に寄与することが確認された。すなわち、１本のビアで外径の大きさが調整される場合と同様に、基準軸線３４および軸心３３の距離に基づき伝送特性は調整されうることが確認された。特に、動作周波数２０．０ＧＨｚ（４０Ｂｂｐｓ相当）の±１．０ＧＨｚの範囲で距離４０μｍのビア３５は良好な伝送特性を示した。次にモデル化にあたってコア層３１の厚みは０．６ｍｍに設定された。他の条件は維持された。その結果、図９に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までなら基準軸線３４および軸心３３の距離に関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数５００ＭＨｚ〜１７．５ＧＨｚの範囲では距離の縮小が伝送特性の向上に寄与することが確認された。コア層３１の厚みの変化に応じて伝送特性は変化することが確認された。こういった伝送特性の変化は基準軸線３４および軸心３３の距離に基づき調整されうることが確認された。１本のビアで外径の大きさが調整される場合と同様に、基準軸線３４および軸心３３の距離に基づき伝送特性は調整されうることが確認された。
【００２７】
本発明者はさらに３本のビア３５の伝送特性を検証した。検証にあたって本発明者は導電パッド３６ａ、３９ａの直径やビア３５の外径を変化させた。導電パッド３６ａ、３９ａの直径は０．０６ｍｍに設定された。このとき、コア層３１の厚みは前述と同様に０．４ｍｍに設定された。ビアの外径は前述と同様に０．０５ｍｍに設定された。図１０に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までなら基準軸線３４および軸心３３の距離に関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数５００ＭＨｚ〜２３．０ＧＨｚの範囲では基準軸線３４および軸心３３の距離の縮小が伝送特性の向上に寄与することが確認された。次にビア３５の外径は０．０７ｍｍに設定された。コア層３１の厚みは前述と同様に０．４ｍｍに設定された。導電パッド３６ａ、３９ａの直径は前述と同様に０．１０ｍｍに設定された。図１１に示されるように、動作周波数５００ＭＨｚ程度までなら基準軸線３４および軸心３３の距離に関係なく良好な伝送特性は得られた。動作周波数５００ＭＨｚ〜２３．４ＧＨｚの範囲では基準軸線３４および軸心３３の距離の縮小が伝送特性の向上に寄与することが確認された。ビア３５の外径寸法や導電パッド３６ａ、３９ａの直径寸法に関係なく伝送特性は基準軸線３４および軸心３３の距離に基づき伝送特性は調整されうることが確認された。
【００２８】
以上の実施形態に関し出願人はさらに以下の付記を開示する。
【００２９】
（付記１）  絶縁性のコア層と、当該コア層を貫通する基準軸線から等距離で当該基準軸線に平行に延びる軸心を有し、当該コア層の表面から裏面まで貫通する複数本の導電性のビアと、前記コア層の表面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第１導電膜と、前記コア層の表面に積層されて、第１導電膜に被さる絶縁性の第１積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第１積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第１接続ビアと、前記コア層の裏面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第２導電膜と、前記コア層の裏面に積層されて、第２導電膜に被さる絶縁性の第２積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第２積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第２接続ビアとを備えることを特徴とするプリント配線板。
【００３０】
（付記２）  付記１に記載のプリント配線板において、前記ビアは前記基準軸線回りで等間隔に配置されることを特徴とするプリント配線板。
【００３１】
（付記３）  付記１または２に記載のプリント配線板において、前記第１導電膜は前記基準軸線から個別に前記ビアまで線形に延びることを特徴とするプリント配線板。
【００３２】
（付記４）  付記１〜３のいずれか１項に記載のプリント配線板において、前記複数本のビアは同一径の円柱形に形成されることを特徴とするプリント配線板。
【００３３】
（付記５）  絶縁性のコア層と、当該コア層を貫通する基準軸線から等距離で当該基準軸線に平行に延びる軸心を有し、当該コア層の表面から裏面まで貫通する複数本の導電性のビアと、前記コア層の表面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第１導電膜と、前記コア層の表面に積層されて、第１導電膜に被さる絶縁性の第１積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第１積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第１接続ビアと、前記第１積層膜上に搭載されて、前記第１接続ビアに接続される端子を有する電子部品と、前記コア層の裏面に形成されて、前記基準軸線から個々の前記ビアまで広がる第２導電膜と、前記コア層の裏面に積層されて、第２導電膜に被さる絶縁性の第２積層膜と、前記基準軸線上に軸心を有し、前記第２積層膜の裏面から表面まで貫通する１本の導電性の第２接続ビアとを備えることを特徴とする電子部品パッケージ。
【００３４】
（付記６）  付記５に記載の電子部品パッケージにおいて、前記ビアは前記基準軸線回りで等間隔に配置されることを特徴とする電子部品パッケージ。
【００３５】
（付記７）  付記５または６に記載の電子部品パッケージにおいて、前記第１導電膜は前記基準軸線から個別に前記ビアまで線形に延びることを特徴とする電子部品パッケージ。
【００３６】
（付記８）  付記５〜７のいずれか１項に記載の電子部品パッケージにおいて、前記複数本のビアは同一径の円柱形に形成されることを特徴とする電子部品パッケージ。
【符号の説明】
【００３７】
１８  電子部品パッケージ、１９  プリント配線板（パッケージ基板）、３１  コア層、３３  軸心、３４  基準軸線、３５  ビア、３６  第１導電膜、３７  第１積層膜、３９  第２導電膜、４１  第２積層膜、４２  第１接続ビア、４５  第２接続ビア。
【図１】
2010267781.tif 000003
【図２】
2010267781.tif 000004
【図３】
2010267781.tif 000005
【図４】
2010267781.tif 000006
【図５】
2010267781.tif 000007
【図６】
2010267781.tif 000008
【図７】
2010267781.tif 000009
【図８】
2010267781.tif 000010
【図９】
2010267781.tif 000011
【図１０】
2010267781.tif 000012
【図１１】
2010267781.tif 000013