(57)【要約】【課題】放電セルに対向する位置に設けた、もしくは放電セルに対向する位置にはみ出したバス電極１５に遮蔽される位置で電荷の蓄積を低減する構造並びにこの構造を形成する方法を提供する。【解決手段】バス電極１５近傍の誘電体層２を突出させることで、前面ガラス基板側パネル１００のバス電極１５に近い保護膜層３上に蓄積される電荷の量を制限し、バス電極１５周辺でのプラズマ放電を抑止する。バス電極１５の形成に際しては、バス電極１５上に誘電体層２の形成素材である低融点ガラスの層をパターニングする。誘電体層２形成中、セルフアラインによって突出部が形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面基板および背面基板の間の放電空間を隔壁により区画し放電セルを形成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記前面基板の前記放電セルに対応する位置にバス電極を形成する電極形成工程と、
前記バス電極上にのみ第１の誘電体層を形成する第１誘電体層形成工程と、
前記第１の誘電体層を形成した後、前記第１の誘電体層を形成した領域を含む前記前面基板の表示領域に対応する領域を覆うように第２の誘電体層を形成する第２誘電体層形成工程と、を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記前面基板に透明電極を形成する透明電極形成工程をさらに備え、
前記透明電極上に前記バス電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極と前記第１の誘電体層とを連続してパターニングすることにより、前記電極形成工程と前記第１誘電体層形成工程とを連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極と前記第１の誘電体層とを同一のマスクを用いて形成することにより、前記電極形成工程と前記第１誘電体層形成工程とを連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
請求項３または４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極と前記第１の誘電体層は、フォトリソグラフィー法により連続して形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極の材料は、感光性を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第１の誘電体層の材料は、感光性を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極の材料および前記第１の誘電体層の材料は、感光性を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
請求項３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極の材料と前記第１の誘電体層の材料があらかじめシート状に形成された積層膜を前記前面基板に貼り付ける工程をさらに備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
請求項９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記積層膜をフォトリソグラフィー法によりパターニングすることにより、前記電極形成工程と前記第１誘電体層形成工程とを連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
請求項９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極の材料は、感光性を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
請求項９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第１の誘電体層の材料は、感光性を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
請求項９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記バス電極の材料および前記第１の誘電体層の材料は、感光性を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
前面基板および背面基板の間の放電空間を隔壁により区画し放電セルが形成されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記前面基板上に形成された透明電極と、
前記透明電極上に形成され、前記放電セルに対応する位置に形成されたバス電極と、
前記透明電極およびバス電極を覆うように前記前面基板上に形成された誘電体層と、を備え、
前記誘電体層は、前記透明電極上よりも前記バス電極上の方が厚いことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前面基板および背面基板の間の放電空間を隔壁により区画し放電セルが形成されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記前面基板上に形成された透明電極と、
前記透明電極上に形成され、前記放電セルに対応する位置に形成されたバス電極と、
前記透明電極およびバス電極を覆うように前記前面基板上に形成された誘電体層と、を備え、
前記誘電体層は、前記放電セルに対応する領域内のうち、前記バス電極上で厚さが最大であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルの配線、特に前面ガラス基板上に設けられる表示電極対の構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイ装置は、ブラウン管を用いたディスプレイ装置に代わって家庭用または業務用に用いられる大画面表示装置の一つである。
【０００３】
プラズマディスプレイ装置は前面ガラス基板上に設けられた表示電極対を用い、背面基板上に設けられた蛍光体を発光させることで、前面ガラス基板を表示面として表示する平面表示装置である。
【０００４】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の動作に際しては３つの電極種別が必要となる。すなわち共通電極（Ｘ電極）、サステイン電極（Ｙ電極）及びアドレス電極である。この電極の動作を簡単に説明する。
【０００５】
まず、ＰＤＰは、各放電空間の電位を揃えるために全ての放電空間のアドレス電極とスキャン電極（サステイン電極）の間でリセット放電を行う（リセット期間）。次に、共通電極を一定の電圧値に固定した状態で、スキャン電極１ライン選択する。点灯すべきセルに対応したアドレス電極に対してアドレスパルスを印加すると共に、選択したスキャン電極に負極性のスキャンパルスを印加する。これによりスキャン電極とアドレス電極との間で対向放電が発生し、誘電体上に壁電荷が生じる。これを全てのスキャン電極に対して行う（スキャン期間）。
【０００６】
その後に各スキャン電極、アドレス電極を基準電位に戻す。以降、各スキャン電極に正極性のスキャンパルスを印加し、スキャン電極が基準電位に戻った後に共通電極にも正極性のパルスを印加することを繰り返す（サステイン期間）。これにより、スキャン期間で生じた壁電位に応じて、各セルが面放電することとなる。
【０００７】
これらの動作周期を1セットとして、ＰＤＰは動作する。
【０００８】
これらの電極種別中、共通電極、サステイン電極は前面ガラス基板に設けられ、アドレス電極は背面ガラス基板側パネルに設けられる。
【０００９】
前面ガラス基板上に設けられる共通電極、サステイン電極は、それぞれ透明電極及びバス電極より構成される。
【００１０】
透明電極はＩＴＯ（酸化インジウム錫）で構成される。ＩＴＯ自体は、ほぼ透明の素材であり、外光の反射などはほとんど起こらない。したがって、電極の共通電極、サステイン電極の放電セルに露出する箇所の面積を確保する際に用いられる。
【００１１】
一方、バス電極はクロム／銅／クロムの３層構造、もしくは銀などで構成されている。このバス電極は導電性を確保するために設けられているものであり、ＩＴＯからなる透明電極の導電性の低さを補う目的で設けられているものである。
【００１２】
この、共通電極及びサステイン電極を表示面のどこに設けるかによって発光効率が大きく異なる。すなわち、プラズマディスプレイパネルの背面ガラス基板には放電空間となる放電セルを構成するためのリブが設けられている。このリブに対向する位置にバス電極を設けるか、それとも、リブによって囲まれた放電セルと対向する位置にバス電極を設けるかによって概ね２０％の発光効率の差が生じていた。
【００１３】
よって、バス電極が放電セル中に露出する構造（本明細書ではインバス構造と定義）を用いるよりも、リブに対向する位置にバス電極を設け放電セルに対向する位置には透明電極のみを配置する構造（本明細書ではオンバス構造と定義）を採用することが望ましい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら近年のフルHD化等、近年の画素サイズ縮小の要求に対し、リブの加工寸法、精度は変化しないためバス電極をリブに対向する位置に収める構造（オンバス構造）の採用が困難になってきており、光取り出し効率の悪いインバス構造が必要となってきている。
そのため発明者はインバス構造の弱点である発光効率の劣化を回避するため、種々の検討を行い、放電セル中のバス電極によって可視光が遮蔽される位置におけるプラズマ放電を減らす方が発光効率・消費電力の点で有利となることをつきとめた。そのためにはバス電極上誘電体層表面における壁電荷の蓄積を低減すればよい。
【００１５】
本発明の目的は、放電セルに対向する位置に設けたバス電極上誘電体層表面における壁電荷の蓄積を低減する構造並びにこの構造を形成する方法を提供することにある。
【００１６】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
【００１８】
本発明の代表的な実施の形態に関わるバス電極及び誘電体層の形成方法は、
バス電極を形成するバス電極形成工程と、少なくとも前記バス電極上の一部または全部を覆う第１の誘電体層を形成する追加層形成工程と、前記追加層が形成された後に全面を覆う第２の誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、を有することを特徴とする。
【００１９】
このバス電極及び誘電体層の形成方法は、更に透明電極を形成する透明電極形成工程を有し、バス電極形成工程において透明電極上にバス電極が形成されることを特徴としても良い。
【００２０】
本発明の代表的な実施の形態に関わる別のバス電極及び誘電体層の形成方法は、あらかじめシート状に形成された電極と誘電体層の積層膜を前記前面ガラス基板側パネルに貼り付ける工程と、前記積層膜をフォトリソグラフィー法により同時にパターニングすることにより電極-誘電体の積層構造を形成する工程と、前記追加層が形成された後に全面を覆う第２の誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、を有することを特徴とする。
【００２１】
このバス電極及び誘電体層の形成方法は、更に透明電極を形成する透明電極形成工程を有し、バス電極形成工程において透明電極上にバス電極が形成されることを特徴としても良い。
【００２２】
本発明の代表的な実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルは、インバス構造セルにおいて、バス電極及び誘電体層を有する前面ガラス基板側パネルと、背面ガラス基板側パネルを含み、前面ガラス基板側パネルと背面ガラス基板側パネルとの間に放電ガスが封入され、背面ガラス基板側パネルに対向するバス電極上の誘電体層が透明電極上の誘電体層よりも厚いことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
【００２４】
本発明の代表的な実施の形態に関わるバス電極及び誘電体層の形成方法では、放電セルに対向する位置に設けたバス電極に遮蔽される位置において壁電荷の蓄積を低減する構造並びにこの構造を形成する方法を提供し、結果プラズマディスプレイ装置の発光効率の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図を用いて本発明に関する実施の形態について説明する。
【００２６】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に関わるインバス構造のプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネル１００の断面を表す断面図である。
【００２７】
本実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネル１００は前面ガラス基板１、誘電体層２、保護膜層３、透明電極１４、バス電極１５より構成される。
【００２８】
前面ガラス基板１は、背面ガラス基板との間で、プラズマディスプレイパネルの構成要素を密封するために用いるガラス基板である。
【００２９】
誘電体層２は、前面ガラス基板１上にコーティングされる透明な誘電体の層である。Ｘ電極及びＹ電極構成後に低融点ガラス層を２０ミクロンの厚みで形成することで構成する。本実施の形態の特徴は、この誘電体層２がバス電極１５に対応する箇所で厚膜化している点が特徴となる。
【００３０】
保護膜層３は、放電現象で誘電体層２が傷つけられることを防ぐための絶縁保護膜である。真空蒸着法により保護膜材料（酸化マグネシウムや酸化スカンジウム、酸化カルシウム、酸化バリウムなど）の層を１ミクロン形成することで作成される。
【００３１】
透明電極１４はＩＴＯを材料とする透明な素材を用いて作られた電極である。
【００３２】
バス電極１５は本実施の形態では、第１クロム層３１、銅層３２、第２クロム層３３より構成されている。上記の素材を見ても分かる通り、バス電極１５は遮光性を有する。
【００３３】
また、この図には背面ガラス基板上に構成されるリブ２３も記載している。これは、２本のバス電極の幅がリブ２３の幅よりも広いことを表すためである。
【００３４】
このように、バス電極１５の箇所の誘電体層２を厚膜化させると、バス電極１５上の容量が透明電極上に比較して小さくなる。これにより、このバス電極１５上部周辺に蓄積される壁電荷の量が、透明電極１４周辺に貯まる電荷の量より少なくなる。その結果、このバス電極上で発生する放電は小さくなり、発生する紫外線量は透明電極１４近傍で発生する紫外線量に比べて少なくなり、従来なら遮蔽されていた対向する蛍光体からの無駄な発光も抑制される。
【００３５】
このように、遮光性を有するバス電極１５近辺での放電を抑制すれば、バス配線自身により遮光されていた無駄な発光を抑制することが可能となり、その結果発光効率が向上し、装置全体の消費電力の低減が可能となる。
【００３６】
次に図２を用いて、この前面ガラス基板側パネル１００の形成方法について説明する。図２は前面ガラス基板側パネル１００の形成方法を説明するための工程図である。
【００３７】
まず、前面ガラス基板１上にレジスト４０を施した後、ＩＴＯをエッチングして透明電極１４を形成する（図２（ａ））。
【００３８】
その後、いったん透明電極１４形成用のレジスト４０を剥離し、第１クロム層３１、銅層３２、第２クロム層３３の形成を行う。ここまでは従来のバス電極１５形成の工程と差は無い（図２（ｃ））。この後、さらに、誘電体層２に相当する追加層４２を形成する（図２（ｂ））。
【００３９】
次にバス電極１５形成用のレジスト４１を施し（図２（ｃ））。追加層４２、第２クロム層３３、銅層３２、第１クロム層３１を順にエッチングし誘電体が上部に載ったバス電極１５を形成する。（図２（ｄ））。
【００４０】
その後、全面に誘電体層２を形成すべく低融点ガラスを塗布する（図２（ｆ））。この際、セルフアラインでバス電極上の誘電体層が厚く形成される。
【００４１】
その後、保護膜層３を形成することで、本発明に関わる前面ガラス基板側パネル１００の形成が完了する（図２（ｇ））。
【００４２】
図３は本発明の効果を説明するための概念図である。
【００４３】
この図では誘電体層２及び保護膜層３について、実線を本発明に関わる該当する層の放電セルに近い露出表面として、破線を従来のプラズマディスプレイパネルにおける該当する層の放電セルに近い露出表面として表現している。また、本実施の形態におけるバス電極１５と保護膜層３の露出表面の距離をａ、従来のプラズマディスプレイパネルにおけるバス電極１５と保護膜層３の露出表面の距離をｂとする。
【００４４】
この図からも分かるとおり本実施の形態におけるバス電極１５と保護膜層３上の誘電体膜厚ａの方が、従来のプラズマディスプレイパネルにおけるバス電極１５と保護膜層３の誘電体膜厚ｂより遠くなる。これにより、保護膜層３表面における単位面積当たりの電荷の蓄積量が減少し、プラズマ放電の発生が抑えられる。
【００４５】
以上のように、従来の製造工程をほとんど変更することなく、バス電極１５周辺の保護膜層３の電荷の蓄積量を減少させ、結果発光効率の高いパネルの実現が可能となる。
【００４６】
（第２の実施の形態）
次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００４７】
第１の実施の形態では、第１クロム層３１、銅層３２、第２クロム層３３の３層で形成されるバス電極１５の形成過程で、セルフアラインを利用する方法について説明した。これに対し、本実施の形態では別の手段を用いて本発明に関わるプラズマディスプレイパネルを製造する方法について説明する。
【００４８】
図４は本発明の第２の実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネル１００の断面を表す断面図である。
【００４９】
本実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネル１００は前面ガラス基板１、誘電体層２、保護膜層３、透明電極１４、バス電極１５より構成される点では第１の実施の形態と同様である。ただし、バス電極１５の構成がクロム／銅／クロムの３層構造から、銀（Ａｇ）を使用するものに変更される。
【００５０】
このような、バス電極１５を銀で形成する際には、銀、フリットガラス、感光性バインダーからなる感光性銀ペーストまたは感光性銀シートを用いる方法が知られる。本実施の形態では後者を用いた製造方法を応用する。
【００５１】
図５は本実施の形態に関わる前面ガラス基板側パネルの形成方法を説明するための工程図である。
【００５２】
まず、第１の実施の形態同様、前面ガラス基板１に透明電極１４を形成する。これについては第１の実施の形態同様である（図５（ａ）、図５（ｂ））。
【００５３】
その後、バス電極１５設置面に前記感光性銀シートおよび感光性誘電体シートを積層し、フォトリソグラフィ法によりそれらのシートに対しパターニングを行う。
【００５４】
その後の誘電体層２及び保護膜層３の形成は第１の実施の形態の図２（ｆ）以降の工程により行う。これにより前面ガラス基板側パネル１００の形成を行う。このようにすると、第１の実施の形態同様、セルフアラインにより、バス電極１５周辺の誘電体層２に図で示すような突出部が形成される。
【００５５】
以上のように、感光性銀シート法においても、従来の製造工程をほとんど変更することなく、バス電極１５周辺の保護膜層３の電荷の蓄積量を減少させ、結果発光効率の高いパネルの実現が可能となる。また前記銀シートおよび誘電体シートはあらかじめ積層された状態であっても感光性の有無は問わない。またペーストであっても同様のプロセスにて形成が可能である。
【００５６】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネルの生成について適用可能である。特に、インバス方式のプラズマディスプレイパネルの発光効率の向上に資することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネルの断面を表す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に関わる前面ガラス基板側パネルの形成方法を説明するための工程図である。
【図３】本発明の効果を説明するための概念図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に関わるプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板側パネルの断面を表す断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に関わる前面ガラス基板側パネルの形成方法を説明するための工程図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…前面ガラス基板、２…誘電体層、３…保護膜層、１４…透明電極、１５…バス電極、
２３…リブ、４０、４１…レジスト、４２…追加層、
５０…銀シート、５１…低融点ガラスシート
１００…前面ガラス基板側パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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