(57)【要約】【課題】加振部材に作用するこじり方向の外力が可動子に伝達されて、可動子が固定子に対して相対的に傾斜するのを防ぐ傾斜防止機能を、大型化を要することなく、且つ充分な耐久性能と耐荷重性能をもって実現することが出来る、新規な構造の流体封入式能動型防振装置を提供する。【解決手段】可動子８４と加振部材６２を少なくとも一部において軸方向で対向位置せしめて、加振部材６２の可動子８４に対する軸方向対向面に第一の磁石１１４を配設すると共に、可動子８４の加振部材６２に対する軸方向対向面に第二の磁石１１６を配設して、それら第一，第二の磁石１１４，１１６を対向方向で互いに反発する方向に着磁することにより、可動子８４と加振部材６２を軸方向で相対的に離隔する方向に付勢する付勢手段を第一の磁石１１４と第二の磁石１１６によって構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の取付部材と筒状の第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結せしめて、該本体ゴム弾性体によって壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された受圧室を形成すると共に、該受圧室の壁部の別の一部を加振部材で構成する一方、コイルの周囲にヨーク部材を組み付けて中心軸上に案内孔を有する固定子側磁路を形成した固定子に対して該案内孔に可動子を挿入配置せしめて、該コイルへの通電により該固定子と該可動子の間に軸方向の駆動力を生じるようにした電磁式アクチュエータを用い、該電磁式アクチュエータの該固定子を該第二の取付部材に固定すると共に、該可動子を該加振部材に取り付けることにより、該加振部材を加振駆動して該受圧室の圧力を能動的に制御し得るようにした流体封入式能動型防振装置において、
前記可動子と前記加振部材を少なくとも一部において軸方向で対向位置せしめて、該加振部材の該可動子に対する軸方向対向面に第一の磁石を配設すると共に、該可動子の該加振部材に対する軸方向対向面に第二の磁石を配設して、それら第一，第二の磁石を対向方向で互いに反発する方向に着磁することにより、該可動子と該加振部材を軸方向で相対的に離隔する方向に付勢する付勢手段を該第一の磁石と該第二の磁石によって構成したことを特徴とする流体封入式能動型防振装置。
【請求項２】
前記第一の磁石と前記第二の磁石の当接を緩衝する緩衝部材を配設した請求項１に記載の流体封入式能動型防振装置。
【請求項３】
前記第一の磁石を前記加振部材に固定すると共に、前記第二の磁石を前記可動子に固定した請求項１又は２に記載の流体封入式能動型防振装置。
【請求項４】
前記加振部材と前記可動子を連結する連結軸を設けると共に、前記第一の磁石を環状として該連結軸に対して該第一の磁石を外挿する一方、前記第二の磁石を該第一の磁石に対応する環状として該第一の磁石に対して軸方向で対向するように配置した請求項１乃至３の何れか一項に記載の流体封入式能動型防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、自動車のエンジンマウント等に適用される流体封入式防振装置に係り、特に電磁式アクチュエータの加振力を利用して相殺的な防振効果を得るようにされた流体封入式能動型防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、振動伝達系を構成する部材間に介装されて、それら部材を防振連結する防振装置の一種として、流体封入式防振装置が知られている。流体封入式防振装置は、振動伝達系を構成する一方の部材に取り付けられる第一の取付金具と、他方の部材に取り付けられる第二の取付金具が、本体ゴム弾性体によって相互に連結された構造を有している。更に、流体封入式防振装置には、壁部の一部を本体ゴム弾性体で構成された受圧室と、壁部の一部をダイヤフラムで構成された平衡室とが形成されており、それら受圧室と平衡室に非圧縮性流体が封入されていると共に、受圧室と平衡室を相互に連通するオリフィス通路が形成されている。このような流体封入式防振装置では、封入流体がオリフィス通路を通じて受圧室と平衡室の間で流動することにより、流体の流動作用を利用した防振効果が発揮されるようになっている。
【０００３】
また、流体封入式防振装置としては、外部から及ぼされる加振力によって受圧室の圧力を能動的に制御可能とされた流体封入式能動型防振装置も知られている。かかる流体封入式能動型防振装置では、受圧室に及ぼされる加振力に基づいて相殺的な防振効果が発揮されることから、防振性能の更なる向上を実現することが可能となる。例えば、特許文献１に示されているのが、それである。
【０００４】
この特許文献１に開示された流体封入式能動型防振装置では、第１液室（受圧室）を加振する可動部材（加振部材）および連結ロッド（連結軸）が、アーマチュア（可動子）に対して、皿ばねの弾発力を利用して取り付けられている。この皿ばねは、特許文献１の図４にも示されているように、内周側に向かって次第に軸方向上側に傾斜するテーパ状の円環板形状を有しており、内周縁部が連結ロッドに当接せしめられていると共に、外周縁部がアーマチュアに当接せしめられている。
【０００５】
しかしながら、このような皿ばねの弾発力を利用した連結ロッドとアーマチュアとの取付構造では、皿ばねが連結ロッドとアーマチュアの間に当接状態で介装されていることから、皿ばねとそれら連結ロッドおよびアーマチュアとの当接部位における磨耗が生じる場合もある。しかも、磨耗によって生じる金属粉等が電磁式アクチュエータの部品間に入り込むことによって、電磁式アクチュエータの作動不良等を引き起こすおそれもあった。また、皿ばねに対する外力の入力が長期間に亘って繰り返されることから、皿ばねの塑性変形が進行したり、金属疲労によって損傷するといったことも予想される。
【０００６】
さらに、可動部材に対して振れ（こじり）変位が入力された場合に、皿ばねの弾性変形によって可動部材の振れがアーマチュアに伝達されるのを防止するとされているが、皿ばねでは、可動部材のアーマチュアに対する相対的な傾動を充分に許容することが難しく、アーマチュアの傾動による作動不良や損傷等の不具合が生じるおそれがあった。しかも、線形性をもった金属製の皿ばねにおいて、入力荷重を弾性的に支持し得る程度にばね定数を大きく設定すると、製造誤差による皿ばねの初期変形量の差に基づいた初期発生力のばらつきが大きくなって、皿ばねとの連結ロッドおよびアーマチュアとの当接部位における磨耗等によって、耐久性の充分な確保が困難となるおそれもあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３７３６９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、加振部材に作用するこじり方向の外力が可動子に伝達されて、可動子が固定子に対して相対的に傾斜するのを防ぐ傾斜防止機能を、大型化を要することなく、且つ充分な耐久性をもって実現することが出来る、新規な構造の流体封入式能動型防振装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下、このような課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様において採用される構成要素は、可能な限り任意な組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面に記載されたもの、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。
【００１０】
すなわち、本発明は、第一の取付部材と筒状の第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結せしめて、本体ゴム弾性体によって壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された受圧室を形成すると共に、受圧室の壁部の別の一部を加振部材で構成する一方、コイルの周囲にヨーク部材を組み付けて中心軸上に案内孔を有する固定子側磁路を形成した固定子に対して案内孔に可動子を挿入配置せしめて、コイルへの通電により固定子と可動子の間に軸方向の駆動力を生じるようにした電磁式アクチュエータを用い、電磁式アクチュエータの固定子を第二の取付部材に固定すると共に、可動子を加振部材に取り付けることにより、加振部材を加振駆動して受圧室の圧力を能動的に制御し得るようにした流体封入式能動型防振装置において、可動子と加振部材を少なくとも一部において軸方向で対向位置せしめて、加振部材の可動子に対する軸方向対向面に第一の磁石を配設すると共に、可動子の加振部材に対する軸方向対向面に第二の磁石を配設して、それら第一，第二の磁石を対向方向で互いに反発する方向に着磁することにより、可動子と加振部材を軸方向で相対的に離隔する方向に付勢する付勢手段を第一の磁石と第二の磁石によって構成したことを特徴とする。
【００１１】
このような本発明に従う構造とされた流体封入式防振装置においては、加振部材と可動子の軸方向対向間に、互いに反発するように着磁された第一の磁石と第二の磁石を配設することにより、加振部材と可動子の軸方向での接近が制限されて、可動子に作用する加振力が加振部材に対して有効に伝達される。
【００１２】
しかも、加振部材と可動子が弾性的に付勢されていることから、こじり方向の外力が加振部材に及ぼされると、第一の磁石と第二の磁石が接近せしめられて、加振部材の可動子に対する傾動が許容されるようになっている。これにより、可動子の固定子に対する傾動を原因とするアクチュエータの作動不良や引っ掛かりによる損傷等を防止することが出来る。
【００１３】
そこにおいて、本発明では、加振部材と可動子を離隔方向に付勢する付勢力として磁力を利用することにより、製造誤差に起因する付勢力のばらつきを抑えることが出来ると共に、付勢手段を小型化して流体封入式防振装置の軸方向寸法を小さくすることが可能となる。
【００１４】
すなわち、第一，第二の磁石間に作用する反発力は、それら第一，第二の磁石の対向面間距離の２乗に反比例することから、製造誤差程度の組付位置の僅かな違いでは、反発力の差が小さく抑えられる。従って、外力（振動荷重やアクチュエータの加振力等）が作用しない初期状態において、付勢力のばらつきを抑えることが出来る。
【００１５】
一方、加振部材と可動子が軸方向で接近するように相対変位せしめられると、第一，第二の磁石の間に作用する反発力が非線形的に大きくなることから、第一，第二の磁石の対向面間距離を比較的に小さく設定した場合にも、大きな荷重の入力に対して加振部材と可動子の接近変位を弾性的に制限することが可能となる。それ故、付勢手段の配設スペースを軸方向で小さくすることが出来て、流体封入式防振装置を軸方向で小型化することが出来る。
【００１６】
また、付勢力として第一，第二の磁石の磁力を利用することから、加振部材と可動子が長期的に繰り返して相対変位せしめられても、所期の付勢力が安定して維持される。それ故、コイルスプリングや皿ばねにおいて問題となり得る繰り返しの変形に起因する疲労破壊や、弾発力の変化等を回避することが出来て、受圧室の圧力を安定して能動制御することにより目的とする防振効果を有効に得ることが出来る。
【００１７】
また、付勢手段としてコイルスプリングや皿ばね等を利用した場合には、それら金属ばねが加振部材および可動子に当接せしめられることから、当接部位における磨耗と、それに伴なう異物（磨耗屑）が生じるおそれもある。そこにおいて、本発明では、離隔配置された第一，第二の磁石の間に作用する磁力を利用することにより、加振部材と可動子の相対的な変位に際して磨耗を防いで、耐久性を有利に得ることが出来る。
【００１８】
また、付勢手段として第一，第二の磁石の反発力を利用することにより、反発力の大きさが、それら第一，第二の磁石の相対的な変位量に対して、非線形的に増減する。それ故、振動入力時に加振部材および可動子の共振による振幅の増大が抑えられて、耐久性の向上や異音の発生防止を実現することが出来る。
【００１９】
さらに、付勢手段としてコイルスプリングを採用すると、サージングによる著しい振幅の増大に基づいた防振性能の悪化が予想されるが、付勢手段として第一，第二の磁石を用いることにより、サージングの発生を回避することが出来る。
【００２０】
また、本発明に従う構造とされた流体封入式防振装置においては、第一の磁石と第二の磁石の当接を緩衝する緩衝部材を配設することが望ましい。
【００２１】
これによれば、第一，第二の磁石の当接による打音の発生を緩衝部材によって抑えることが出来る。しかも、第一，第二の磁石の当接時にそれら第一，第二の磁石に作用する衝撃力が緩和されて、第一，第二の磁石の損傷を防止することも出来る。
【００２２】
また、本発明に従う構造とされた流体封入式防振装置においては、第一の磁石を加振部材に固定すると共に、第二の磁石を可動子に固定しても良い。
【００２３】
これによれば、第一，第二の磁石の配設位置がずれたり、第一，第二の磁石が所定の位置から脱落するのを防いで、それら第一，第二の磁石の間で作用する反発力を安定して得ることが出来る。それ故、受圧室に及ぼされる加振力を安定して高精度に得ることが出来て、目的とする防振特性を有効に得ることが出来る。
【００２４】
また、本発明に従う構造とされた流体封入式防振装置においては、加振部材と可動子を連結する連結軸を設けると共に、第一の磁石を環状として連結軸に対して第一の磁石を外挿する一方、第二の磁石を第一の磁石に対応する環状として第一の磁石に対して軸方向で対向するように配置することが望ましい。
【００２５】
これによれば、第一，第二の磁石を軸方向で対向する位置に容易に位置決めすることが出来る。しかも、第一，第二の磁石が環状とされていることから、周方向での位置合わせが不要となって、軸方向での対向配置が容易である。更に、第一，第二の磁石の間で全周に亘って略一定の磁力が作用することから、磁力の偏った作用によって連結軸に傾動方向（こじり方向）の力が作用するのを防いで、作動の安定化や当接（かじり）による損傷の防止等を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第一の実施形態としての自動車用エンジンマウントを示す縦断面図。
【図２】付勢手段の特性を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２８】
図１には、本発明に従う構造とされた流体封入式能動型防振装置の一実施形態として、自動車用エンジンマウント１０が示されている。エンジンマウント１０は、第一の取付部材としての第一の取付金具１２と、第二の取付部材としての第二の取付金具１４を、本体ゴム弾性体１６によって連結した構造を有している。そして、第一の取付金具１２が図示しないパワーユニット側に取り付けられると共に、第二の取付金具１４が図示しない車両ボデー側に取り付けられることにより、パワーユニットと車両ボデーが防振連結されるようになっている。なお、以下の説明において、上下方向とは、原則として、車両への装着下で鉛直上下方向となる図１中の上下方向を言う。
【００２９】
より詳細には、第一の取付金具１２は、金属等で形成された高剛性の部材とされており、下方に向かって次第に小径となる逆向き略円錐台形状を有する固着部１８と、固着部１８の上端において外周側に突出するフランジ部２０と、固着部１８から上方に向かって突出する略円柱形状の取付部２２とを一体的に備えた構造とされている。また、固着部１８には、中心軸上を延びて上面に開口するボルト穴２４が形成されており、ボルト穴２４に螺着される図示しない取付ボルトによって第一の取付金具１２がパワーユニット側に取り付けられるようになっている。
【００３０】
また、第一の取付金具１２の外周側には、中間金具２６が配設されている。中間金具２６は、薄肉大径の略円筒形状を有しており、第一の取付金具１２と同一中心軸上で軸方向下方に離隔するように配置されている。
【００３１】
そして、第一の取付金具１２と中間金具２６は、本体ゴム弾性体１６によって相互に連結されている。本体ゴム弾性体１６は、略円錐台形状を有しており、第一の取付金具１２が本体ゴム弾性体１６の小径側端部に対して固着部１８を埋設された状態で加硫接着されていると共に、中間金具２６の内周面が本体ゴム弾性体１６の大径側端部外周面に重ね合わされて加硫接着されている。なお、本実施形態では、本体ゴム弾性体１６が第一の取付金具１２と中間金具２６を備えた一体加硫成形品として形成されている。
【００３２】
さらに、本体ゴム弾性体１６の下端部には、大径側端面に開口する逆向き略すり鉢形状の大径凹所２８が形成されている。更に、本体ゴム弾性体１６の上端部には、環状のストッパゴム３０が一体形成されており、第一の取付金具１２のフランジ部２０の上面に加硫接着されて、上方に突出せしめられている。
【００３３】
また、中間金具２６には、第二の取付金具１４が取り付けられている。第二の取付金具１４は、薄肉大径で軸方向中間部分に段差部３２を備えた段付きの略円筒形状を有しており、段差部３２を挟んで軸方向上側が大径筒部３４とされていると共に、軸方向下側が小径筒部３６とされている。そして、第二の取付金具１４の大径筒部３４が、中間金具２６に対して外挿されて、嵌着固定されている。これにより、第二の取付金具１４の小径部分が中間金具２６の軸方向下方に突出せしめられている。なお、第二の取付金具１４の中間金具２６への固定手段は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、第二の取付金具１４に対して八方絞り等の縮径加工を施すことにより固定されている。
【００３４】
また、第二の取付金具１４には、ブラケット３８が取り付けられている。ブラケット３８は、軸方向上側が小径とされた段付きの略円筒形状を有しており、第二の取付金具１４の大径筒部３４に対して嵌着固定されている。更に、ブラケット３８の下端部には、複数の取付脚部４０が配設されており、取付脚部４０に設けられた固定ボルト４１が車両ボデー側に螺着されることにより、第二の取付金具１４がブラケット３８を介して車両ボデー側に取り付けられるようになっている。
【００３５】
更にまた、ブラケット３８の上端部には、内フランジ状の当接部４２が一体形成されており、第一の取付金具１２のフランジ部２０と軸方向で対向せしめられている。そして、フランジ部２０と当接部４２のストッパゴム３０を介した当接によって、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の軸方向での相対的な離隔変位を緩衝的に制限するリバウンドストッパが構成されている。
【００３６】
また、第二の取付金具１４の小径筒部３６には、可撓性膜としてのダイヤフラム４４が加硫接着されている。ダイヤフラム４４は、薄肉略円板形状のゴム膜で形成されており、軸方向に充分な弛みを有している。また、ダイヤフラム４４の外周縁部には、筒状のシールゴム層４６が一体形成されており、シールゴム層４６が第二の取付金具１４における小径筒部３６の内周面に加硫接着されている。
【００３７】
そして、第二の取付金具１４の軸方向上側の開口部が本体ゴム弾性体１６によって閉塞されていると共に、第二の取付金具１４の軸方向下側の開口部がダイヤフラム４４によって閉塞されることにより、それら本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム４４の軸方向対向面間には、非圧縮性流体を封入された流体室４８が形成されている。なお、流体室４８に封入される非圧縮性流体は、特に限定されるものではないが、例えば、水やアルキレングリコール，ポリアルキレングリコール，シリコーン油，或いはそれらの混合液等が好適に採用される。更に、非圧縮性流体としては、後述する流体の流動作用を有利に得るために、０．１Ｐａ・ｓ以下の低粘性流体を採用することが望ましい。
【００３８】
また、流体室４８には、仕切部材５０が配設されている。仕切部材５０は、蓋金具５２と支持ゴム弾性体５４を含んで構成されている。蓋金具５２は、薄肉の略円板形状とされており、径方向中央部分が軸方向上側に突出せしめられて、下方に開口する凹所が形成されている。
【００３９】
一方、支持ゴム弾性体５４は、略円環板形状とされており、内周側に向かって次第に厚肉となっている。また、支持ゴム弾性体５４の外周側には、環状の通路形成部５６が一体形成されている。また、通路形成部５６には、環状の支持金具５８が加硫接着されている。この支持金具５８は、周方向に延びる略一定の溝状断面を有しており、その上端縁部には外周側に広がるフランジ状の支持部が一体形成されている。そして、支持金具５８は、内周部分（内周側壁部と底壁部）が支持ゴム弾性体５４に埋設された状態で加硫接着されていると共に、支持部が外周側に突出せしめられている。また、通路形成部５６には、上面に開口して周方向に一周弱の所定長さで延びる周溝６０が形成されている。本実施形態では、周溝６０の外周側壁部が溝状断面を有する支持金具５８の内周部分によって構成されていると共に、周溝６０の他の壁部が支持金具５８の内周部分によって補強されている。
【００４０】
また、支持ゴム弾性体５４の内周縁部には、加振部材としての出力金具６２が加硫接着されている。出力金具６２は、略カップ形状を有しており、周壁部が支持ゴム弾性体５４の内周面に重ね合わされて固着されている。また、出力金具６２の開口周縁部が外周側に折り曲げられており、支持ゴム弾性体５４と一体形成された当接ゴム６４が出力金具６２の上端面に対して固着されている。この当接ゴム６４は、環状とされており、周上の複数箇所において径方向に延びる溝が形成されていることにより、軸方向で弾性変形し易くなっている。
【００４１】
それら蓋金具５２と支持ゴム弾性体５４が軸方向に重ね合わされることにより、仕切部材５０が形成されている。また、蓋金具５２の外周縁部における下面と、通路形成部５６の上面とが当接せしめられていると共に、蓋金具５２と支持ゴム弾性体５４の径方向中央部分が軸方向に離隔せしめられている。
【００４２】
そして、仕切部材５０は、流体室４８に収容配置されて、第二の取付金具１４によって支持されている。即ち、仕切部材５０は、流体室４８内で軸直角方向に広がるように配置されており、外周縁部が中間金具２６の下端面と第二の取付金具１４の段差部３２との軸方向間に挟み込まれて固定されている。
【００４３】
このように仕切部材５０が第二の取付金具１４に固定されることにより、流体室４８が仕切部材５０を挟んで軸方向に二分されている。即ち、流体室４８において仕切部材５０を挟んで軸方向上側には、壁部の一部を本体ゴム弾性体１６で構成されて、振動入力時に内圧変動が及ぼされる受圧室６６が形成されていると共に、流体室４８において仕切部材５０を挟んで軸方向下側には、壁部の一部をダイヤフラム４４で構成されて、容積変化が容易に許容される平衡室６８が形成されている。なお、それら受圧室６６と平衡室６８には、流体室４８に封入された非圧縮性流体が封入されている。
【００４４】
また、支持ゴム弾性体５４の通路形成部５６に形成された周溝６０の開口部が、蓋金具５２の外周部分によって覆蓋されてトンネル状の通路が形成されている。更に、周溝６０の周方向一方の端部が受圧室６６に連通されていると共に、他方の端部が平衡室６８に連通されている。これらによって、受圧室６６と平衡室６８を相互に連通するオリフィス通路７０が形成されている。なお、本実施形態におけるオリフィス通路７０は、エンジンシェイクに相当する１０Ｈｚ程度の低周波数にチューニングされている。
【００４５】
また、仕切部材５０の内部には、径方向中央部分において、蓋金具５２と支持ゴム弾性体５４および出力金具６２との軸方向対向面間に、壁部の一部を支持ゴム弾性体５４で構成された加振室７２が形成されている。この加振室７２は、蓋金具５２の径方向中間部分に形成された複数の透孔７３を通じて受圧室６６に連通されており、実質的に受圧室６６の一部として機能するようになっている。そして、加振室７２の壁部の一部を構成する支持ゴム弾性体５４に出力金具６２が加硫接着されていることにより、受圧室６６の壁部において本体ゴム弾性体１６を外れた部位の一部が、出力金具６２によって構成されている。
【００４６】
また、出力金具６２には、連結軸としての連結ロッド７４が固定されている。連結ロッド７４は、マウント中心軸上を直線的に延びており、上端部が出力金具６２の底壁部に係止されている。また、連結ロッド７４の上端部分には、軸直角方向に広がる支持フランジ７６が一体形成されている。この支持フランジ７６は、略円板形状を有しており、内周部分が出力金具６２の底壁部に当接状態で重ね合わされていると共に、外周縁部がダイヤフラム４４の径方向中央部分に加硫接着されている。要するに、連結ロッド７４は、ダイヤフラム４４の径方向中央部分を貫通するように配置されて、上部が流体室４８内に位置せしめられていると共に、下部が流体室４８から外部に突出している。また、支持フランジ７６の外周縁部には、軸方向下方に向かって突出する筒状の突起７８が一体形成されており、ダイヤフラム４４の径方向中央部分に埋設されている。
【００４７】
また、連結ロッド７４の下端部は、電磁式アクチュエータ８０に取り付けられている。電磁式アクチュエータ８０は、ダイヤフラム４４を挟んで流体室４８と反対側（下方）に配設されており、コイル部材８２を有する固定子と、コイル部材８２に対して軸方向に相対変位可能とされた可動子としてのアーマチャ８４とを有している。
【００４８】
より詳細には、コイル部材８２は、コイル８６が筒状のボビン８８に巻回されると共に、非磁性材料からなるカバー部材９０がコイル８６の外周側を覆うように組み付けられることにより形成されている。また、カバー部材９０には、給電口９２が一体形成されており、給電口９２に設けられた端子を通じてコイル８６に電源が供給されるようになっている。
【００４９】
また、コイル部材８２は、ハウジングとしての下ヨーク９４に固定されている。下ヨーク９４は、有底円筒形状を有する強磁性体で形成されており、底壁部の径方向中央に円形孔が貫通形成されることにより、コイル部材８２の外周面と下面を覆うようにＬ字状断面で略全周に亘って延びるように形成されている。そして、下ヨーク９４の上端縁部が第二の取付金具１４の下端縁部によって支持されることにより、電磁式アクチュエータ８０の固定子が第二の取付金具１４に対して固定されている。
【００５０】
さらに、下ヨーク９４の底壁部には、底金具９５がボルト固定されており、下ヨーク９４の底壁部に形成された円形孔が底金具９５によって覆蓋されることにより、粉塵等の異物の侵入が防止されている。また、底金具９５には、緩衝ストッパ９６が配設されている。緩衝ストッパ９６は、全体として略円板形状を有しており、径方向中央部分に厚肉の円形ブロック形状とされた第一のストッパ部９８が形成されていると共に、径方向中間部分には環状の外周部分に連結された球状の第二のストッパ部１００が形成されている。第一のストッパ部９８と第二のストッパ部１００は、何れも底金具９５上に載置されており、第一のストッパ部９８の上面が第二のストッパ部１００の最上部よりも上側に位置せしめられている。そして、エンジンマウント１０の車両装着下、衝撃的な大振幅振動の入力によって連結ロッド７４とアーマチャ８４が下方に大きく変位せしめられると、連結ロッド７４が第一のストッパ部９８への当接によって変位を緩衝的に制限されるようになっていると共に、アーマチャ８４が第二のストッパ部１００への当接によって変位を緩衝的に制限されるようになっている。また、緩衝ストッパ９６の外周部分が、下ヨーク９４と底金具９５の間で挟圧されることにより、下ヨーク９４と底金具９５の間がシールされて、異物の侵入がより有利に防止されている。
【００５１】
また、下ヨーク９４の上側開口部には、上ヨーク１０２が固定されている。上ヨーク１０２は、下ヨーク９４と同様に強磁性体で形成されており、略円環板形状とされている。そして、この上ヨーク１０２は、コイル部材８２の上面を覆うように配置されており、外周縁部が下ヨーク９４の上端部に対して軸方向に重ね合わされている。
【００５２】
そして、上下のヨーク１０２，９４によって固定子側磁路が形成されており、下ヨーク９４における底壁部の内周縁部と、上ヨーク１０２の内周縁部が、コイル８６への通電で生じる磁束によって磁極を形成される下側磁極１０４と上側磁極１０６とされている。なお、下ヨーク９４の底壁部に形成された円形孔および上ヨーク１０２の中央孔によって、本実施形態における案内孔が形成されている。
【００５３】
また、コイル部材８２の内周側には、案内スリーブ１０８が配設されている。案内スリーブ１０８は、上下のヨーク１０２，９４の中央孔よりも僅かに小さい内径寸法を有する円筒形状とされており、例えば、ポリエチレンやポリテトラフルオロエチレン等の低摩擦性合成樹脂で形成されている。
【００５４】
また、下ヨーク９４の底壁部に形成された円形孔および上ヨーク１０２の中央孔には、アーマチャ８４が挿し入れられている。アーマチャ８４は、小径の略円筒形状を有する強磁性体で形成されており、案内スリーブ１０８に嵌め込まれることにより、コイル８６と略同一中心軸上に配設されて、コイル８６に対する軸方向での相対変位を許容されている。また、アーマチャ８４の軸方向中間部分には、内周側に向かって突出する中間係止部１１０が一体形成されており、アーマチャ８４の中心孔が部分的に小径となっている。更に、アーマチャ８４は、上下の磁極１０６，１０４に跨る軸方向長さを有していると共に、軸方向中間部分には外周面に開口して全周に亘って延びる凹溝１１１が形成されている。なお、アーマチャ８４の表面には、各種公知のコーティング剤等によって、低摩擦処理や防錆処理が施されている。
【００５５】
そして、アーマチャ８４における凹溝１１１を挟んだ軸方向下側の端部と下ヨーク９４における下側磁極１０４の間、およびアーマチャ８４における凹溝１１１を挟んだ軸方向上側の端部と上ヨーク１０２における上側磁極１０６の間には、コイル８６への通電によって有効な磁気吸引力が及ぼされる磁気ギャップがそれぞれ形成されるようになっている。これにより、コイル８６に電源が供給されると、上下の磁極１０６，１０４とアーマチャ８４との間に磁気吸引力が発生して、アーマチャ８４に対して軸方向下向きの駆動力が作用せしめられるようになっている。
【００５６】
上述の如き構造とされた電磁式アクチュエータ８０には、連結ロッド７４が取り付けられている。即ち、連結ロッド７４がアーマチャ８４の中央孔に対して挿入されて、連結ロッド７４の先端部分に螺着される固定ナット１１２がアーマチャ８４の中間係止部１１０に下方から当接せしめられることにより、連結ロッド７４がアーマチャ８４に対して抜出し不能に組み付けられている。これにより、出力金具６２とアーマチャ８４が、連結ロッド７４によって連結されている。
【００５７】
かかる電磁式アクチュエータ８０の装着下、コイル８６に電源が供給されることにより、連結ロッド７４および出力金具６２が軸方向に加振されるようになっている。即ち、コイル８６に電源が供給されることにより、上下の磁極１０６，１０４とアーマチャ８４の間で磁気吸引力が及ぼされて、アーマチャ８４が軸方向下側に変位せしめられる。そして、アーマチャ８４の中間係止部１１０と連結ロッド７４に螺着された固定ナット１１２との係止によって、連結ロッド７４および出力金具６２が軸方向下側に変位せしめられるようになっている。一方、コイル８６への電源供給が停止されると、連結ロッド７４が支持ゴム弾性体５４の弾性力に基づいて軸方向上側に変位せしめられるようになっている。この際、アーマチャ８４は、連結ロッド７４に螺着された固定ナット１１２への係止によって連結ロッド７４と共に軸方向上方に変位して、初期位置に復帰するようになっている。以上のように、コイル８６への給電を制御することによって、連結ロッド７４および出力金具６２が軸方向に加振されるようになっている。なお、コイル８６に通電される電流の方向を制御することによって、上下の磁極１０６，１０４とアーマチャ８４の間で吸引力と反発力を交互に及ぼして、アーマチャ８４を軸方向上下に加振変位させることにより、連結ロッド７４および出力金具６２を加振することも出来る。
【００５８】
ここにおいて、連結ロッド７４における支持フランジ７６と、アーマチャ８４の上面は、軸方向の投影において少なくとも一部が重なり合うように配置されている。そして、それら支持フランジ７６とアーマチャ８４の上面との軸方向対向面間には、第一の磁石１１４と第二の磁石１１６が配設されている。
【００５９】
第一，第二の磁石１１４，１１６は、互いに対応する円環形状とされており、何れも軸方向に着磁されて、第一の磁石１１４の上側がＮ極且つ下側がＳ極とされていると共に、第二の磁石１１６の上側がＳ極且つ下側がＮ極とされている。なお、第一，第二の磁石１１４，１１６としては、特に限定されるものではないが、大きな磁力を発揮するネオジム磁石等が好適に採用される。
【００６０】
また、第一の磁石１１４には、第一の固定金具１１８が取り付けられている。第一の固定金具１１８は、逆向きの略有底円筒形状であって、上底壁部の径方向中央には連結ロッド７４の挿通用孔が貫通形成されている。そして、第一の磁石１１４が第一の固定金具１１８に対して嵌め込まれて固定されている。
【００６１】
また、第二の磁石１１６には、第二の固定金具１２０が取り付けられている。第二の固定金具１２０は、略有底円筒形状であって、底壁部の径方向中央には連結ロッド７４の挿通用孔が貫通形成されている。そして、第二の磁石１１６が第二の固定金具１２０に対して嵌め込まれて固定されている。なお、第一の磁石１１４と第一の固定金具１１８は、磁力によって固着することで固定されていても良いし、接着剤等を用いて固定されていても良い。
【００６２】
また、第二の磁石１１６および第二の固定金具１２０の上面には、緩衝部材としての緩衝用ゴム１２２が重ね合わされている。緩衝用ゴム１２２は、第二の固定金具１２０よりも僅かに大径の略円環板形状を有しており、連結ロッド７４に外挿されている。
【００６３】
そして、第一の磁石１１４は、第一の固定金具１１８が連結ロッド７４における支持フランジ７６の下面に固定されることにより、連結ロッド７４側に取り付けられている。一方、第二の磁石１１６は、第二の固定金具１２０がアーマチャ８４の上面に固定されることにより、アーマチャ８４側に取り付けられている。本実施形態では、第一の固定金具１１８が支持フランジ７６の下面に対して接着されていると共に、第二の固定金具１２０がアーマチャ８４の上面に対して接着されている。なお、第一，第二の固定金具１１８，１２０の支持フランジ７６又はアーマチャ８４への固定手段は限定されるものではなく、機械的な係止や溶着或いは磁力による吸着等であっても良い。
【００６４】
また、本実施形態では、第一，第二の磁石１１４，１１６が何れも連結ロッド７４に外挿されて軸直角方向に位置決めされている。なお、第一，第二の磁石１１４，１１６は、連結ロッド７４に対して径方向に隙間をもって装着されていても良いし、連結ロッド７４に対して圧入固定されていても良い。圧入固定されている場合には、第一，第二の磁石１１４，１１６の内周面と連結ロッド７４の外周面との間に隙間を形成すると共に、第一，第二の固定金具１１８，１２０のみを圧入することで、第一，第二の磁石１１４，１１６の損傷を防ぐことも出来る。
【００６５】
さらに、本実施形態では、第一の磁石１１４を支持する第一の固定金具１１８が、連結ロッド７４の支持フランジ７６に突設された突起７８の内周側に嵌め込まれている。なお、本実施形態では、突起７８と第一の固定金具１１８が、突起７８の内周面に固着されたダイヤフラム４４の一部を介して緩衝的に当接されており、寸法誤差等による組付不良が防止されている。このような突起７８による位置決めが必須でないことは言うまでもない。
【００６６】
かくの如き第一，第二の磁石１１４，１１６の装着下、第一，第二の磁石１１４，１１６は、軸方向の投影において略全体が重なり合うように配置されている。また、それら第一，第二の磁石１１４，１１６は、軸方向で所定距離を隔てて対向配置されており、それら第一の磁石１１４と第二の磁石１１６の間に作用する磁気反発力によって、連結ロッド７４とアーマチャ８４が軸方向で離隔する方向に付勢されている。これにより、本実施形態における付勢手段が、第一，第二の磁石１１４，１１６によって構成されている。また、第一，第二の磁石１１４，１１６によって及ぼされる付勢力に基づいて、連結ロッド７４の下端に螺着された固定ナット１１２の上端面が、第一，第二の磁石１１４，１１６の磁力によってアーマチャ８４の中間係止部１１０に押し付けられて、連結ロッド７４とアーマチャ８４が連結状態に保持されるようになっている。なお、第一，第二の磁石１１４，１１６の軸方向離隔距離は、磁力の強さ等に応じて適宜に設定されるが、軸方向での配設スペース等を考慮して１ｍｍ〜７ｍｍ程度に設定されることが望ましく、本実施形態では、３ｍｍに設定されている。
【００６７】
かくの如き構造とされた自動車用エンジンマウント１０の車両装着下、エンジンシェイクに相当する低周波大振幅振動が入力されると、受圧室６６に圧力変動が惹起されて、オリフィス通路７０を通じて受圧室６６と平衡室６８の間で流体流動が生ぜしめられる。これにより、流体の流動作用に基づいて、目的とする防振効果（高減衰効果）が発揮されるようになっている。
【００６８】
なお、本実施形態では、本体ゴム弾性体１６と支持ゴム弾性体５４の軸方向間に蓋金具５２が配設されており、低周波大振幅振動の入力時に、受圧室６６の圧力が支持ゴム弾性体５４に直接及ぼされるのを防止出来るようになっている。これにより、支持ゴム弾性体５４の弾性変形による液圧吸収作用を低減することが出来て、受圧室６６の圧力変動を有効に確保し、オリフィス通路７０を通じての流体流動を効率的に生ぜしめることが出来る。
【００６９】
また、エンジンマウント１０の車両装着下、アイドリング振動や走行こもり音に相当する中乃至高周波数の振動入力時には、コイル８６への通電によって出力金具６２が加振されて、加振力が加振室７２に及ぼされるようになっている。そして、加振室７２に連通された受圧室６６に加振力が伝達されることにより、受圧室６６の圧力が能動的に制御されて、目的とする防振効果（低動ばね効果）が発揮されるようになっている。
【００７０】
ここにおいて、エンジンマウント１０では、連結ロッド７４の支持フランジ７６に第一の磁石１１４が取り付けられていると共に、アーマチャ８４の上面に第二の磁石１１６が取り付けられている。そして、第一，第二の磁石１１４，１１６の磁気による反発力を利用して出力金具６２および連結ロッド７４とアーマチャ８４が軸方向で互いに離隔する方向に付勢されている。それ故、出力金具６２および連結ロッド７４に対して軸方向下向きの力が作用した場合に、連結ロッド７４とアーマチャ８４の連結状態を維持することが出来る。
【００７１】
さらに、付勢手段として第一，第二の磁石１１４，１１６を用いることにより、連結ロッド７４とアーマチャ８４の間に作用する付勢力が、それら連結ロッド７４とアーマチャ８４の軸方向での相対変位によって非線形的に増減する。それ故、静置状態下での付勢力に大きな差が生じるのを防ぐことが出来ると共に、大荷重の入力時に連結ロッド７４とアーマチャ８４の軸方向での接近変位を弾性的に制限することが出来る。
【００７２】
すなわち、第一の磁石１１４と第二の磁石１１６の間で作用する反発力は、それら第一，第二の磁石１１４，１１６の対向面間距離の２乗に反比例する。そこにおいて、部品の寸法誤差や組付誤差等による連結ロッド７４とアーマチャ８４の軸方向相対位置の違いは僅かであり、静置状態下における反発力の大きさのばらつきが、極めて小さく抑えられる。一方、連結ロッド７４が大荷重の作用によってアーマチャ８４に対して大きく接近変位せしめられると、反発力が非線形的に大きくなって、連結ロッド７４とアーマチャ８４の接近が効果的に制限される。
【００７３】
なお、図２には、付勢手段を第一，第二の磁石１１４，１１６によって構成した実施例と、付勢手段をばね定数の小さいコイルスプリングによって構成した比較例１と、付勢手段をばね定数の大きいコイルスプリングによって構成した比較例２について、連結ロッド７４とアーマチャ８４の相対変位量と荷重（付勢力）との相関関係を示すグラフが示されている。以下、この図２に基づいて本実施形態に係るエンジンマウント１０の効果を説明する。
【００７４】
先ず、連結ロッド７４とアーマチャ８４の連結を安定して実現するために、付勢手段による最低限の付勢力：ｆmin が設定される。静置状態において最低付勢力：ｆmin を確実に発揮させるために、製造誤差等によって連結ロッド７４の支持フランジ７６とアーマチャ８４の軸方向対向面間距離が最も大きくなる場合に、最低付勢力：ｆmin が発揮されるようにアーマチャ８４のセット下限位置：ｐmin を設定する。
【００７５】
一方、セット下限位置：ｐmin を設定すると、それに対応するセット上限位置：ｐmax が各部材の公差に基づいて定まる。そして、アーマチャ８４がセット上限位置：ｐmax にセットされた場合の付勢力が定まる。即ち、比較例１では静置状態における最大付勢力：ｆ1 が定まると共に、比較例２では静置状態における最大付勢力：ｆ2 が定まる。
【００７６】
また、比較例１における静置状態での最大付勢力：ｆ1 は、比較例２における静置状態での最大付勢力：ｆ2 よりも小さくなっている。換言すれば、比較例１における最大付勢力：ｆ1 と最小付勢力：ｆmin の差（ｆ1 −ｆmin ）は、比較例２における最大付勢力：ｆ2 と最小付勢力：ｆmin の差（ｆ2 −ｆmin ）よりも小さくなっている。要するに、比較例１では、比較例２よりも、静置状態下における付勢力のばらつきが小さくなっている。そこにおいて、実施例では、静置状態における最大付勢力が、比較例１と同等のｆ1 とされており、静置状態における付勢力のばらつきが小さく抑えられている。
【００７７】
また、悪路走行時等における大振幅の振動入力に際して、付勢手段に対して最大荷重：ｆmax が入力される場合には、かかる最大荷重の入力に対して、付勢手段が弾性的に荷重を支持することが必要であり、弾性支持を実現できるストロークが設定される。図２によれば、比較例１では、最大荷重：ｆmax を弾性支持するために、支持フランジ７６とアーマチャ８４が軸方向に最大変位量：ｐ2 だけ接近可能とされていることが必要となる。一方、ばね定数が大きい比較例２では、支持フランジ７６とアーマチャ８４が軸方向に最大変位量：ｐ1 だけ接近可能とされていることが必要となる。
【００７８】
そして、比較例２の最大変位量：ｐ1 は、比較例１の最大変位量：ｐ2 よりも小さくなっており、比較例２では比較例１よりも小さい軸方向寸法で最大荷重：ｆmax を弾性支持可能とされている。
【００７９】
そこにおいて、実施例では、最大荷重：ｆmax を弾性支持するために必要な最大変位量（軸方向ストローク）が、比較例２と同等のｐ1 とされている。このことから、本発明に従う構造の実施例では、比較的に小さな軸方向寸法で充分な耐荷重性能を実現出来ることが明らかである。
【００８０】
以上のように、本発明では、付勢手段として第一，第二の磁石１１４，１１６を利用して、第一，第二の磁石１１４，１１６の間で作用する反発力の非線形的な出力特性を利用することにより、静置状態における最大付勢力：ｆ1 を小さく抑えて初期付勢力のばらつきを抑えることが出来ると共に、最大荷重：ｆmax を小さな軸方向変位量：ｐ1 で弾性的に支持可能となって軸方向での小型化を実現することが出来る。
【００８１】
また、本実施形態では、第一の磁石１１４と第二の磁石１１６の軸方向対向面間に緩衝用ゴム１２２が配設されている。それ故、第一，第二の磁石１１４，１１６の当接による打音の発生を抑えることが出来ると共に、当接時の衝撃力を低減して第一，第二の磁石１１４，１１６が破損するのを防ぐことが出来る。
【００８２】
また、エンジンマウント１０においては、第一，第二の磁石１１４，１１６が略一定の断面形状を有する環状とされている。それ故、磁力による軸方向の反発力が全周に亘って均等に作用して、該反発力に起因するこじり方向の力が発生するのを防止することが出来る。それ故、アーマチャ８４が傾くことによる案内スリーブ１０８の内面とアーマチャ８４自体の損傷や、アーマチャ８４の引っ掛かりによる電磁式アクチュエータ８０の作動不良、支持ゴム弾性体５４に応力が作用することによる耐久性の低下等を、回避することが出来る。しかも、第一，第二の磁石１１４，１１６を周方向で互いに位置合わせする必要がなく、第一，第二の磁石１１４，１１６の所定位置への配設が容易になる。
【００８３】
また、本実施形態では、第一，第二の磁石１１４，１１６が連結ロッド７４に外挿されている。それ故、第一，第二の磁石１１４，１１６の軸直角方向での位置決めが容易になって、それら第一，第二の磁石１１４，１１６を所定位置に簡単に配置することが出来る。更に、本実施形態では、第一の固定金具１１８の外周側に環状の突起７８が位置せしめられており、突起７８によっても第一の固定金具１１８の軸直角方向位置が規定されて、第一の磁石１１４が初期の取付位置に保持されるようになっている。
【００８４】
また、本実施形態では、第一の磁石１１４が連結ロッド７４に対して固定されていると共に、第二の磁石１１６がアーマチャ８４に対して固定されている。それ故、それら第一，第二の磁石１１４，１１６が軸方向で対向した初期の配設状態に保持されて、目的とする反発力を偏りなく得ることが出来る。しかも、本実施形態では、第一，第二の磁石１１４，１１６が第一，第二の固定金具１１８，１２０を介してそれら連結ロッド７４又はアーマチャ８４に固定されていることから、第一，第二の固定金具１１８，１２０の形状や材料を適当に選択することにより、第一，第二の磁石１１４，１１６の接着等による固定を有利に実現することが出来る。
【００８５】
以上、本発明の一実施形態について説明してきたが、これはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものではない。
【００８６】
例えば、前記実施形態では、環状とされた第一，第二の磁石１１４，１１６が示されていたが、第一，第二の磁石は、他の形状であっても良い。具体的には、例えば、第一，第二の磁石がブロック形状とされており、軸方向の投影において互いに重なり合う位置に配置されていても良い。なお、第一，第二の磁石がブロック形状等、周上で部分的に配置されている場合には、第一，第二の磁石の周上での配置を調節する等して、それら第一，第二の磁石間の反発力が周上で偏って作用することによる連結軸および可動子の傾動が防止されることが望ましい。特に、第一，第二の磁石が同一の磁石を複数用いて構成されている場合には、第一，第二の磁石が周上で偏在することによる反発力の不均衡を防止するために、第一，第二の磁石が周上で等間隔に配設されていることが望ましい。
【００８７】
また、前記実施形態では、第一，第二の磁石１１４，１１６の対向面間に緩衝用ゴム１２２が配設されていたが、緩衝部材は必須ではない。更に、緩衝部材は、前記実施形態に示された緩衝用ゴム１２２の構造に限定されるものでもない。具体的には、例えば、緩衝部材は、第一，第二の磁石１１４，１１６の少なくとも一方の側から他方の側に向かって突出する突起状のゴム弾性体によって形成されていても良い。また、例えば、ダイヤフラム４４の内周縁部が下方により大きく突出する形状とされて、緩衝部材がダイヤフラム４４の内周縁部によって形成されていても良い。これによれば、支持フランジ７６とアーマチャ８４がダイヤフラム４４の内周縁部を介して当接されることから、第一，第二の磁石１１４，１１６の相対変位が特別な部材を要することなく緩衝的に制限される。
【００８８】
また、前記実施形態では、第一，第二の磁石１１４，１１６が、第一，第二の固定金具１１８，１２０を介して間接的に連結ロッド７４又はアーマチャ８４に固定されていたが、例えば、第一，第二の磁石１１４，１１６を直接的に連結ロッド７４又はアーマチャ８４に固定することも出来る。
【００８９】
さらに、第一の磁石１１４は連結ロッド７４に固定されていなくても良いし、第二の磁石１１６はアーマチャ８４に固定されていなくても良い。具体的には、例えば、第一，第二の磁石１１４，１１６が周方向に回転可能に配設されていても良いし、軸直角方向に移動可能に配設されて軸直角方向での相対位置を調節可能とされていても良い。
【００９０】
また、前記実施形態では、平衡室６８を備えた構造が示されていたが、例えば、非圧縮性流体を封入された流体室として受圧室６６だけが形成された構造であっても良い。また、前記実施形態では、受圧室６６と平衡室６８を連通するオリフィス通路７０が形成されていたが、例えば、平衡室６８を省略された構造等において、オリフィス通路７０はなくても良い。また、前記実施形態では、受圧室６６の一部が蓋金具５２によって仕切られており、蓋金具５２と支持ゴム弾性体５４（出力金具６２）の軸方向間に加振室７２が形成されていたが、蓋金具５２が省略されて、加振室７２がない構造を採用することも出来る。
【００９１】
また、電磁式アクチュエータの構造は、前記実施形態に示された具体的な構造によって限定的に解釈されるものではなく、コイルへの電源供給によって可動子が固定子に対して相対的に往復駆動する一般的な電磁式アクチュエータを採用することが出来る。
【００９２】
また、前記実施形態では、自動車用のエンジンマウントに本発明を適用した例が示されていたが、本発明は、例えば列車用等、自動車以外に用いられる流体封入式能動型防振装置にも適用可能である。更に、本発明は、例えばボデーマウントやサブフレームマウント等、エンジンマウント以外に用いられる流体封入式能動型防振装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１０：エンジンマウント、１２：第一の取付金具、１４：第二の取付金具、１６：本体ゴム弾性体、６２：出力金具、６６：受圧室、７４：連結ロッド、８０：電磁式アクチュエータ、８４：アーマチャ、８６：コイル、９４：下ヨーク、１０２：上ヨーク、１１４：第一の磁石、１１６：第二の磁石、１２２：緩衝用ゴム
【図１】
2010174990.tif 000003
【図２】
2010174990.tif 000004