(57)【要約】【課題】簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行い、すべてのキャリアの位置決めが正確になされたことを確認できるキャリア位置決め方法及びキャリア搬送装置を提供すること。【解決手段】キャリア搬送装置１０は、コンベア２０により複数のキャリア４０を加熱炉１３内へ搬送し、複数の凸部３５ａを有するクシ状のキャリアストッパ３５をキャリア４０側へ前進させ、コンベア２０によりキャリア４０を搬送方向Ｄ１へ移動させて、キャリア４０にそれぞれ設けられた切欠溝４２とキャリアストッパ４０の凸部３５ａとを係合させることにより、各キャリア４０を一度に位置決めし、キャリアストッパ３５の凸部３５ａ先端を挿入穴４２ａに挿入させるように、キャリアストッパ３５をキャリア４０側へ前進させ、キャリアストッパ３５の移動量Ｘに基づいて、各キャリア４０が適正位置に位置決めされたか否かを判別する。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを載置した複数のキャリアをコンベアによって加熱炉内へ搬送して位置決めするキャリア位置決め方法において、
前記コンベアにより前記複数のキャリアを前記加熱炉内へ搬送する搬送工程と、
前記キャリアの位置決めに用いられる複数の凸部を有するクシ状のキャリアストッパを前記キャリア側へ前進させる第一前進工程と、
前記コンベアにより前記キャリアを搬送方向へ移動させて、前記キャリアにそれぞれ設けられた係合部と前記キャリアストッパの凸部とを係合させることにより、前記各キャリアを搬送方向に沿って所定間隔をおいて一度に位置決めする位置決め工程と、
前記キャリアストッパの凸部先端を、前記キャリアが適正位置に位置決めされたときに挿入可能となるように設けられた挿入穴に挿入させるように、前記キャリアストッパを前記キャリア側へ前進させる第二前進工程と、
前記キャリアストッパの移動量に基づいて、前記各キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する判別工程とを含む
ことを特徴とするキャリア位置決め方法。
【請求項２】
請求項１に記載するキャリア位置決め方法において、
前記キャリアの係合部は、前記キャリアの搬送方向に沿って前記凸部より幅広に形成された切欠溝であり、
前記第一前進工程では、前記キャリアストッパを前記キャリア側へ前進させて、前記キャリアストッパの凸部を前記切欠溝の搬送方向中間部に挿入し、
前記位置決め工程では、前記キャリアを前記コンベアにより搬送方向へ移動させて、前記切欠溝の搬送方向後端面と前記キャリアストッパの凸部とを係合させることにより、前記各キャリアを位置決めする
ことを特徴とするキャリア位置決め方法。
【請求項３】
ワークを載置する複数のキャリアと、前記複数のキャリアを搬送する搬送コンベアと、前記搬送コンベアの一部を覆い前記ワークの加熱を行う加熱炉と、前記加熱炉内で前記複数のキャリアの位置決めを行う位置決め手段とを備えたキャリア搬送装置において、
前記加熱炉は、その内部に前記ワークを加熱するための加熱装置を前記キャリアの搬送方向へ所定間隔をおいて複数備え、
前記キャリアは、それぞれ少なくとも一カ所に係合部を有し、
前記位置決め手段は、
前記各キャリアの係合部と係合可能な複数の凸部を有するクシ状のキャリアストッパと、
前記凸部と前記係合部とを係合させるために、前記キャリアストッパを前記キャリア側に向かって移動させる移動手段と、
前記移動手段により移動させた前記キャリアストッパの移動量を検出する移動量検出手段と、
前記移動量検出手段により検出された前記移動量に基づいて、前記キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する判別手段とを備えた
ことを特徴とするキャリア搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載するキャリア搬送装置において、
前記キャリアの係合部は、前記キャリアの搬送方向に沿って前記凸部より幅広に形成された切欠溝であり、
前記切欠溝の搬送方向後端部には、前記凸部先端を挿入可能な挿入穴が設けられ、
前記移動手段は、前記コンベアの搬送動作と連係して前記凸部を前記切欠溝と係合させるとともに前記凸部先端を前記挿入穴に挿入するために、前記キャリアストッパを前進させる
ことを特徴とするキャリア搬送装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載するキャリア搬送装置において、
前記キャリアの近接を検知する近接検知センサと、
前記近接検知センサによる検知情報に基づいて前記移動手段によるキャリアストッパの駆動を制御する制御手段とを備えた
ことを特徴とするキャリア搬送装置。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか一項に記載するキャリア搬送装置において、
前記キャリアの係合部は、前記搬送方向と交差する方向の両端に設けられ、
前記キャリアストッパは、前記搬送方向と交差する方向の両側に設けられた
ことを特徴とするキャリア搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載するキャリア搬送装置において、
前記移動手段は、前記両側のキャリアストッパの少なくとも一方を前記キャリア側へ前進させて、前記キャリアを前記両側のキャリアストッパで挟持する
ことを特徴とするキャリア搬送装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載するキャリア搬送装置において、
前記両側のキャリアストッパの少なくとも一方は、前記キャリアの一部と当接して前記キャリアの回動を防止する回動防止部を備えた
ことを特徴とするキャリア搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送コンベアで搬送するキャリアを加熱炉内で位置決めするための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送コンベアで搬送されるワークやキャリアを位置決めする技術に関しては、様々なものが提案されている。例えば、特許文献１には、搬送路上にある複数の基板（ワーク）を、複数の凸部を備えたクシ状のガイド部材によって搬送し、搬送方向の先頭にある基板が所定位置に到達したときに、位置決め機構によって先頭の基板を位置決めする技術が開示されている。この位置決め機構は、シリンダの先端に基板を案内する押し子やローラを備えたブロックなどを用いて、基板の位置決めを行うものである。
【０００３】
また、位置決めが正確になされたか否かを確認する技術に関しても、様々なものが提案されている。例えば、特許文献２には、旋回テーブル上のパレットの有無を確認する技術であって、パレットに形成された凹部に可動ピンを嵌入してパレットを位置決めする位置決め手段と、可動ピンがパレットの凹部に嵌入されたか否かを検出する検出手段とを備えたものが開示されている。この技術では、１つのパレットを位置決め手段により位置決めした後、検出手段によりその位置決めが完了したことを確認できるようになっている。
【０００４】
【特許文献１】実公平１−１５１９９号公報
【特許文献２】特公平２−４９８５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に開示された技術には、次のような課題があった。
すなわち、特許文献１に開示された技術によると、基板の位置決めを行った後に、基板の位置決めが正確になされたか否かの確認を行っていないため、ワークの引っ掛かり等により位置決めが正確になされていない場合には、適切なワークの加工、処理等を行うことができないおそれがあった。
【０００６】
また、特許文献２に開示された技術では、検出手段により位置決めの完了確認がなされているものの、複数のパレットを同時に位置決めしてその確認を行うものではないため、作業効率が悪いという課題が残されていた。
【０００７】
そこで、発明者は、図１６に示すように、ワーク１５０を載置するキャリア１４０と、複数のキャリア１４０を搬送する搬送用コンベア１２０と、各キャリア１４０を所定間隔で位置決めするために複数の凸部１３５ａを有するクシ歯状のキャリアストッパ１３５と、先頭のキャリア１４０ａの位置を検出する位置センサ１４５とを備え、各キャリア１４０に形成された切欠溝１４２に、キャリアストッパ１３５の各凸部１３５ａを係合させることにより、複数のキャリア１４０を所定間隔をおいて同時に位置決めすることを考えた（特願２００８−０４８１１３号）。
【０００８】
この技術では、図１７に示すように、キャリア１４０をコンベア１２０で搬送することにより、キャリアストッパ１３５の各凸部１３５ａを各キャリア１４０の切欠溝１４２の搬送方向後端面１４２ｂと係合させることができる。これにより、キャリア１４０を所定間隔をおいて位置決めすることができる。そして、先頭のキャリア１４０ａの位置を、位置センサ１４５で確認して、各キャリア１４０の位置決めが行われたことを確認できるようになっている。
【０００９】
ところが、この技術によると、図１８に示すように、先頭以外のキャリア１４０ｂに引っ掛かり等が生じた場合には、そのキャリア１４０ｂの切欠溝１４２の後端面１４２ｂとストッパ１３５の凸部１３５ａとが正確に係合しないことがあった。つまり、キャリア１４０ｂが、正確に位置決めされないおそれがあった。そのため、この技術では、すべてのキャリア１４０の位置決めが正確に行われたか否かを正確に検出することができないおそれがあった。
【００１０】
一方、キャリア１４０に対応した複数の位置センサ１４５を設けて、各キャリア１４０の位置決め確認を行うことも考えられる。しかしながら、この場合には、装置の構成が複雑になるだけでなく、複数の位置センサ１４５を設けるためのスペースを確保する必要が生じる。特に、加熱炉内で複数のキャリアを位置決めするような場合には、加熱炉のチャンバ側面に広いスペースを確保し難いという問題があった。また、たとえ加熱炉のチャンバ側面に十分なスペースが確保できたとしても、チャンバ側面に複数の石英窓を形成する必要があるため、装置の構成が複雑となり製造コストも上昇するという問題があった。
【００１１】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行い、すべてのキャリアの位置決めが正確になされたことを確認できるキャリア位置決め方法及びキャリア搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記問題点を解決するためになされた本発明に係るキャリア位置決め方法は、ワークを載置した複数のキャリアをコンベアによって加熱炉内へ搬送して位置決めするキャリア位置決め方法において、前記コンベアにより前記複数のキャリアを前記加熱炉内へ搬送する搬送工程と、前記キャリアの位置決めに用いられる複数の凸部を有するクシ状のキャリアストッパを前記キャリア側へ前進させる第一前進工程と、前記コンベアにより前記キャリアを搬送方向へ移動させて、前記キャリアにそれぞれ設けられた係合部と前記キャリアストッパの凸部とを係合させることにより、前記各キャリアを搬送方向に沿って所定間隔をおいて一度に位置決めする位置決め工程と、前記キャリアストッパの凸部先端を、前記キャリアが適正位置に位置決めされたときに挿入可能となるように設けられた挿入穴に挿入させるように、前記キャリアストッパを前記キャリア側へ前進させる第二前進工程と、前記キャリアストッパの移動量に基づいて、前記各キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する判別工程とを含むことを特徴とする。
【００１３】
この位置決め方法においては、「第一前進工程」の終了後に「位置決め工程」を行うことができるが、「第一前進工程」と「位置決め工程」とを並行して行うこともできる。また、この位置決め方法においては、「第一前進工程」の終了後にいったんキャリアの前進を停止させ、「第二前進工程」で再びキャリアを前進させることができるが、「第一前進工程」と「第二前進工程」とを連続して行うこともできる。
また、「前記キャリアストッパの移動量」としては、「第一前進工程」における移動量と「第二前進工程」における移動量とを合わせた合計移動量を用いることができるが、「第二前進工程」における移動量のみを用いることもできる。
【００１４】
本発明に係る位置決め方法では、搬送工程において、複数のキャリアがコンベヤによって加熱炉内に搬送される。そして、第一前進工程では、キャリアストッパをキャリア側へ前進させる。これにより、キャリアストッパに備わる複数の凸部を各キャリアに設けられた係合部と係合可能な位置に移動させることができる。また、位置決め工程では、コンベヤを搬送方向へ移動させることにより、キャリアストッパに備わる複数の凸部を各キャリアに設けられた係合部と係合させる。これにより、各キャリアをキャリアストッパの凸部の間隔に対応した間隔をおいて位置決めすることができる。つまり、この方法では、キャリアストッパの凸部の間隔を変更することにより、各キャリアを所望の位置に位置決めすることができる。例えば、加熱炉内に設けられた複数の加熱装置と対向する位置へ各キャリアを位置決めすれば、キャリアに載置されたワークを加熱装置により無駄なく的確に加熱することができる。
【００１５】
第二前進工程では、キャリアストッパをキャリア側へ前進させて、キャリアストッパの凸部先端を各キャリアの係合部に設けられた挿入穴へ挿入させる。この挿入穴は、キャリアが適正位置にある場合に挿入可能に設けられたものである。そして、判別工程では、キャリアストッパの移動量に基づいて、キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する。ここで、「キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する」態様としては、キャリアストッパの移動量があらかじめ設定された規定値を超えた場合にキャリアが適正位置に位置決めされたと判断し、キャリアストッパの移動量があらかじめ設定された規定値以下である場合にキャリアが適正位置に位置決めされていないと判断するものを例示できる。この規定値としては、例えば、凸部先端の挿入穴への挿入が開始するときのキャリアストッパの移動量を用いることができる。
【００１６】
以上のようにして、各キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別することにより、キャリアが引っ掛かり等で正確に位置決めされていない場合にも、それを検出して再度キャリアの位置決めを行うことができる。これにより、キャリアに載置されているワークの適切な加工、処理等を行うことができる。また、複数のキャリアを一度に位置決めしてその確認を行うことができるため、作業効率も良い。
【００１７】
さらに、この位置決め方法によると、適正位置にないキャリアの挿入穴にはキャリアストッパの凸部先端を挿入することができないため、すべてのキャリアの位置決めが正確になされていなければ、キャリアストッパをキャリア側に前進させることができなくなる。したがって、上記した技術（特願２００８−０４８１１３号）とは異なり、一のキャリアの位置決めのみが不正確である場合にも、キャリアの位置決めが正確になされていないことを検出することができる。つまり、すべてのキャリアが適正位置に正確に位置決めされたか否かを確認することができる。
【００１８】
また、この位置決め方法によると、キャリアストッパの移動量を検出することで位置決めが正確になされたか否かを確認しているため、各キャリアに対応した複数の位置検出手段（位置センサ等）を要しない。つまり、加熱炉内で複数のキャリアを位置決めするような場合にも、加熱炉のチャンバ側面に大きなスペースを確保して複数の石英窓を設置する必要がない。その結果、簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行い、すべてのキャリアの位置決めが正確になされたことを確認することができる。
【００１９】
本発明に係るキャリア位置決め方法を実現するにあたり、前記キャリアの係合部は、前記キャリアの搬送方向に沿って前記凸部より幅広に形成された切欠溝であり、前記第一前進工程では、前記キャリアストッパを前記キャリア側へ前進させて、前記キャリアストッパの凸部を前記切欠溝の搬送方向中間部に挿入し、前記位置決め工程では、前記キャリアを前記コンベアにより搬送方向へ移動させて、前記切欠溝の搬送方向後端面と前記キャリアストッパの凸部とを係合させることにより、前記各キャリアを位置決めすることが望ましい。
【００２０】
このように、係合部をキャリアの搬送方向に沿って凸部より幅広に形成された切欠溝とすることにより、キャリアストッパの凸部を切欠溝の搬送方向中間部に挿入できるとともに、キャリアを搬送して切欠溝の搬送方向後端面とキャリアストッパの凸部とを係合させることができる。これにより、本発明に係るキャリア位置決め方法を容易に実現することができる。つまり、簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行うことができる。
【００２１】
上記問題点を解決するためになされた本発明に係るキャリア搬送装置は、ワークを載置する複数のキャリアと、前記複数のキャリアを搬送する搬送コンベアと、前記搬送コンベアの一部を覆い前記ワークの加熱を行う加熱炉と、前記加熱炉内で前記複数のキャリアの位置決めを行う位置決め手段とを備えたキャリア搬送装置において、前記加熱炉は、その内部に前記ワークを加熱するための加熱装置を前記キャリアの搬送方向へ所定間隔をおいて複数備え、前記キャリアは、それぞれ少なくとも一カ所に係合部を有し、前記位置決め手段は、前記各キャリアの係合部と係合可能な複数の凸部を有するクシ状のキャリアストッパと、前記凸部と前記係合部とを係合させるために、前記キャリアストッパを前記キャリア側に向かって移動させる移動手段と、前記移動手段により移動させた前記キャリアストッパの移動量を検出する移動量検出手段と、前記移動量検出手段により検出された前記移動量に基づいて、前記キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する判別手段とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
ここで、「前記キャリアストッパの移動量」としては、上記と同様に、「第一前進工程」における移動量と「第二前進工程」における移動量とを合わせた合計移動量を用いることができるが、「第二前進工程」における移動量のみを用いることもできる。
【００２３】
本発明に係る位置決め装置では、コンベヤによって複数のキャリアが加熱炉内に搬送される。この加熱炉の内部には、ワークを加熱するための加熱装置が、キャリアの搬送方向へ所定間隔をおいて複数配置されている。そして、キャリアが加熱炉内に搬送された後、移動手段によりキャリアストッパをキャリア側へ前進させ、コンベヤによりキャリアを搬送方向へ移動させる。これにより、キャリアストッパに備わる複数の凸部と各キャリアに設けられた係合部とを係合させることができる。その結果、各キャリアを、キャリアストッパの凸部の間隔に対応した間隔をおいて位置決めすることができる。ここで、この装置では、キャリアストッパの凸部の間隔を変更することにより、各キャリアを所望の位置に位置決めすることができる。したがって、加熱炉内に設けられた複数の加熱装置と対向する位置へ各キャリアを位置決めすることにより、キャリアに載置されたワークを加熱装置により無駄なく的確に加熱することができる。なお、この装置においては、キャリアストッパをいったん前進させた後にキャリアの位置決めを行うことができるが、キャリアストッパの前進と並行してキャリアの位置決めを行うこともできる。
【００２４】
そして、この装置では、判別手段により、キャリアストッパの移動量に基づいて、キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別することができる。なお、「キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別する」態様としては、上記と同様に、キャリアストッパの移動量があらかじめ設定された規定値を超えた場合にキャリアが適正位置に位置決めされたと判断し、キャリアストッパの移動量があらかじめ設定された規定値以下である場合にキャリアが適正位置に位置決めされていないと判断するものを例示できる。
こうして、各キャリアが適正位置に位置決めされたか否かを判別することにより、キャリアが引っ掛かり等で正確に位置決めされていない場合にも、それを検出して再度キャリアの位置決めを行うことができる。これにより、キャリアに載置されているワークの適切な加工、処理等を行うことができる。また、複数のキャリアを一度に位置決めしてその確認を行うことができるため、作業効率も良い。
【００２５】
また、この位置決め装置によると、キャリアストッパの移動量を検出することで位置決めが正確になされたか否かを確認しているため、各キャリアに対応した複数の位置検出手段（位置センサ等）を要しない。つまり、加熱炉内で複数のキャリアを位置決めするような場合にも、加熱炉のチャンバ側面に大きなスペースを確保して複数の石英窓を設置する必要がない。その結果、簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行い、すべてのキャリアの位置決めが正確になされたことを確認することができる。
【００２６】
本発明に係るキャリア搬送装置において、前記キャリアの係合部は、前記キャリアの搬送方向に沿って前記凸部より幅広に形成された切欠溝であり、前記切欠溝の搬送方向後端部には、前記凸部先端を挿入可能な挿入穴が設けられ、前記移動手段は、前記コンベアの搬送動作と連係して前記凸部を前記切欠溝と係合させるとともに前記凸部先端を前記挿入穴に挿入するために、前記キャリアストッパを前進させることが望ましい。
【００２７】
このように、キャリアの切欠溝を、キャリアの搬送方向に沿って、キャリアストッパの凸部より幅広に形成することにより、キャリアストッパをキャリア側に前進させるときに、凸部を切欠溝に容易に挿入することができる。また、凸部先端を挿入可能な挿入穴を、切欠溝の搬送方向後端部に設けることにより、凸部と切欠溝の搬送方向後端面とを係合させてキャリアを位置決めした状態で、キャリアストッパをさらにキャリア側に前進させて凸部先端を挿入穴に挿入することができる。こうした構成により、キャリアの移動量から、キャリアの位置決めが完了したか否かの判別を容易に行うなうことができる。具体的には、この装置によると、適正位置にないキャリアの挿入穴には、キャリアストッパの凸部先端を挿入することができない。そのため、すべてのキャリアの位置決めが正確になされていなければ、キャリアストッパをキャリア側に前進させることができなくなる。したがって、上記した技術（特願２００８−０４８１１３号）とは異なり、一のキャリアの位置決めのみが不正確である場合にも、キャリアの位置決めが正確になされていないことを検出することができる。つまり、簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行い、すべてのキャリアの位置決めが正確になされたことを確認することができる。
【００２８】
本発明に係るキャリア搬送装置において、前記キャリアの近接を検知する近接検知センサと、前記近接検知センサによる検知情報に基づいて前記移動手段によるキャリアストッパの駆動を制御する制御手段とを備えたことが望ましい。
【００２９】
この装置によれば、コンベアにより搬送されるキャリアの近接を近接検知センサにより検知し、その検知情報に基づいてキャリアが所定位置に搬送されたことを正確に知ることができる。これにより、キャリアストッパをキャリア側へ的確なタイミングで前進させることができる。その結果、キャリアストッパとキャリアとが干渉することを防止して、キャリアをより正確に位置決めすることができる。
【００３０】
本発明に係るキャリア搬送装置において、前記キャリアの係合部は、前記搬送方向と交差する方向の両端に設けられ、前記キャリアストッパは、前記搬送方向と交差する方向の両側に設けられたことが望ましい。
【００３１】
このように、キャリアの係合部を搬送方向と交差する方向の両端に設け、キャリアストッパを搬送方向と交差する方向の両側に設けることにより、搬送方向の両側からキャリアの位置決めを行うことができる。これにより、キャリアの位置決めをより正確に行うことができる。
【００３２】
本発明に係るキャリア搬送装置において、前記移動手段は、前記両側のキャリアストッパの少なくとも一方を前記キャリア側へ前進させて、前記キャリアを前記両側のキャリアストッパで挟持することが望ましい。
【００３３】
このように、移動手段によって両側のキャリアストッパの少なくとも一方をキャリア側へ前進させて、キャリアを両側のキャリアストッパで挟持することにより、搬送方向と交差する方向におけるキャリアの位置決めを行うことができる。これにより、キャリアに載置されたワークを、加熱炉内の加熱装置と対向する位置により正確に配置することができる。その結果、ワークをより無駄なく的確に加熱することができる。
【００３４】
本発明に係るキャリア搬送装置において、前記両側のキャリアストッパの少なくとも一方は、前記キャリアの一部と当接して前記キャリアの回動を防止する回動防止部を備えたことが望ましい。
【００３５】
この装置によれば、キャリアが回動しようとしたときに、両側のキャリアストッパの少なくとも一方に備わる回動防止部に当接して、キャリアの回動が抑制される。これにより、キャリアに載置されたワークを、加熱炉内の加熱装置と対向する位置により正確に配置することができる。その結果、ワークをより無駄なく的確に加熱することができる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明に係るキャリア位置決め方法又はキャリア搬送装置によれば、上記した通り、簡易な構成によって、加熱炉内で複数のキャリアの位置決めを同時に行い、すべてのキャリアの位置決めが正確になされたことを確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明のキャリア位置決め方法及びキャリア搬送装置を具体化した一実施形態について、図面に基づき詳細に説明する。このキャリア位置決め方法及びキャリア搬送装置は、搬送コンベアで搬送するキャリアを加熱炉内で位置決めして、キャリアに載置されたワークを加熱するためのものである。
【００３８】
［第一実施形態］
第一実施形態に係るキャリア搬送装置について、図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の第一実施形態に係るキャリア搬送装置の概略構成を示す断面図である。
キャリア搬送装置１０は、図１に示すように、ワーク５０を載置するキャリア４０と、キャリア４０を搬送する搬送コンベア２０と、搬送コンベア２０の一部を覆いワーク５０の加熱処理を行う加熱炉１３と、加熱炉１３内で複数のキャリア４０の位置決めを行う位置決め機構（本発明に係る「位置決め手段」の一例）とを備えている。
【００３９】
加熱炉１３は、炉本体を形成するチャンバ１７と、各ワーク５０を加熱するハロゲンヒータ３０（本発明に係る「加熱装置」の一例）とを備えている。このチャンバ１７内は、石英ガラス１１により上下に分割されている。そして、石英ガラス１１の上方が加熱室１６となっており、石英ガラス１１の下方が減圧室１５となっている。加熱室１６には、窒素などの不活性ガスが充填されている。減圧室１５には、ワーク５０を加熱するためのハロゲンヒータ３０が、所定間隔をおいて複数設けられている。例えば本実施形態において、加熱炉１３内には、ハロゲンヒータ３０が、キャリアの搬送方向に沿って６つ等間隔に設けられている（図示略）。そして、各キャリア４０は、後述する位置決め機構により、各ハロゲンヒータ３０に対向する位置に位置決めされることとなる。すなわち、本実施形態に係る搬送装置１０は、加熱炉１３内部で一度に６つのワークを処理できるように構成されている。なお、加熱炉１３の処理数は、加熱炉１３の大きさとワーク５０の大きさの兼ね合い等で決定されるため、適宜、設計変更して増減される。ただし、加熱処理自体に数分の時間を要するため、可能な限り処理数を多くして、作業効率の向上を図ることが好ましい。
【００４０】
ハロゲンヒータ３０は、石英ガラス管の中にハロゲンガスを充満し内部にタングステンフィラメントを用いた一般的なものである。このハロゲンヒータ３０によりワーク５０に赤外線を照射して、ワーク５０を加熱することができる。このハロゲンヒータ３０は、減圧室１５に固定されている。一方、搬送用コンベア２０は、加熱室１６に設けられている。したがって、ハロゲンヒータ３０と搬送用コンベア２０とは、石英ガラス板１１によって隔離されている。これにより、搬送用コンベア２０の駆動によって生じるゴミなどが、ハロゲンヒータ３０内に入り込むのを防止できるようになっている。なお、この装置においては、減圧室１５に窒素などの不活性ガスを充填して、ハロゲンヒータ３０の劣化を抑制することが好ましい。
【００４１】
搬送コンベア２０について、図２及び図３を参照しながら説明する。図２は、本実施形態に係るキャリア搬送装置の内部を示す平面図である。図３は、同搬送装置に備わる搬送用コンベアを示す拡大図である。
搬送コンベア２０は、図２に示すように、加熱室１６内における搬送方向Ｄ１と直交する方向Ｄ２の両側に設けられている。より詳細には、各搬送コンベア２０は、搬送方向Ｄ１と平行に、チャンバ１７のキャリア搬入口からキャリア搬出口にわたって設けられている。この搬送コンベア２０は、キャリア４０を搬送するための搬送用ローラ２１と、搬送用ローラ２１を駆動するためのモータ１２（図１参照）とを備えている。
【００４２】
駆動モータ１２は、図３に示すように、ベルト２６及び駆動用プーリ２２を介して駆動力を回転軸２３に伝えている。この回転軸２３は、隔壁２４及び支持壁２７に設けられたベアリングによって回転可能に支持されている。そして、回転軸２３の一端には、搬送用ローラ２１が固定されている。こうした構成から、駆動モータ１２を駆動することにより、搬送用ローラ２１を回転させることができる。
【００４３】
搬送用ローラ２１は、水素脆性などを考慮して、素材中に炭素の含有量が少ないステンレス鋼（例えばＳＵＳ３０４）により形成されている。この搬送用ローラ２１は、図２に示すように、キャリア４０の搬送方向Ｄ１に沿って加熱室１６内における両端に１列ずつ設けられている。より詳細には、この搬送用ローラ２１は、図３に示されるように、石英ガラス板１１から離れた位置に配置されている。また、駆動用プーリ２２は、搬送用ローラ２１よりも外側（石英ガラス板１１及びハロゲンヒータ３０から遠ざかる側）に配置されている。これは、駆動用プーリ２２にかけられるベルト２６が樹脂製であり、耐熱性に劣るためである。こうした理由から、駆動用プーリ２２及びベルト２６を可能な限り外側に配置することが望ましい。また、加熱効率の点では加熱炉１３の内部を可能な限りコンパクトに構成することが望ましい。
【００４４】
位置決め機構について、図４を参照しながら説明する。図４は、本実施形態に係るキャリア搬送装置に備わる位置決め機構を示す斜視図である。
位置決め機構は、図４に示すように、キャリア４０を停止させるためのキャリアストッパ３５と、キャリアストッパ３５をキャリア４０側に向かって移動させるシリンダ３７（本発明に係る「移動手段」の一例）と、キャリアストッパ３５の駆動やキャリア４０の位置決め確認を行う制御機器７５（本発明に係る「判別手段」の一例）とを備えている。
【００４５】
キャリアストッパ３５は、複数の凸部３５ａを有するクシ状をなしている。このキャリアストッパ３５は、図２に示すように、加熱炉１３の方向Ｄ２における両端に、搬送方向Ｄ１に沿って配置されている。なお、図面では省略されているが、キャリアストッパ３５は、加熱炉１３の両端に各２つずつ、つまり合計４カ所に設けられている。
凸部３５ａは、キャリアストッパ３５の長さ方向に沿って等間隔に形成されている。各凸部３５ａの間隔は、キャリア４０の搬送方向Ｄ１における幅よりも十分に広くすることが好ましい。例えば本実施形態では、キャリア４０の進行方向の幅が１２０ｍｍ程度であるのに対して、凸部３５ａの間隔が１２５ｍｍ程度に設計されている。その結果、キャリア４０とキャリアストッパ３５とが係合した際に、搬送用コンベア２０上にキャリア４０を一定の間隔（本実施形態では５ｍｍ程度の間隔）をおいて停止させるように構成されている。
各キャリアストッパ３５は、方向Ｄ２に沿って設けられた二本のストッパシャフト３６の先端に固定されている。各ストッパシャフト３６は、シャフトガイド３８により、方向Ｄ２へ往復可能に支持されている。
【００４６】
シリンダ３７は、二本のシャフトガイド３８の間に設けられている。このシリンダ３７は、方向Ｄ２に往復可能に設けられたピストンロッド３７ａを備えている。そして、ピストンロッド３７ａの先端は、連結部材３９によって両側のストッパシャフト３６の先端と連結されている。こうした構成により、シリンダ３７がピストンロッド３７ａを方向Ｄ２に駆動すると、連結部材３９を介してピストンロッド３７ａと連結されたストッパシャフト３６が、キャリアストッパ３５を方向Ｄ２へ移動させるようになっている。
本実施形態のシリンダ３７は、二段階の前進動作を可能とするものである。この動作は、例えばエアシリンダに二つのエア室を設けたり、二つのシリンダを直列に組み合わせたりして実現される。また、電動シリンダを用いてストロークを調整することにより、この動作を実現することもできる。
なお、本実施形態のシリンダ３７は、キャリアストッパ３５の側方に設けられているが、キャリアストッパ３５の上方に設けてもよい。また、例えばハロゲンヒータ３０が加熱炉１３の上部に設けられている場合は、熱の影響や設置スペースの点からキャリアストッパ３５の下方にシリンダ３７を設けるとよい。
【００４７】
キャリア４０について、図５を参照しながら説明する。図５は、本実施形態に係るキャリア搬送装置に備わるキャリアを示す平面図である。
キャリア４０は、図５に示すように、アルミニウム製の長方形板部材である。このキャリア４０は、ワーク５０の位置決めに用いられる２本の位置決めピン４４と、搬送用ローラ２１により支持される被支持部４０ａとを備えている。
位置決めピン４４は、キャリア４０上面の所定位置から上方へ突出するように設けられている。
被支持部４０ａは、キャリア４０の方向Ｄ２における両端部に設けられている。この被支持部４０ａは、図１及び図３に示すように、上方及び側方に屈曲した階段形状をなしており、搬送用ローラ２１上に載置されている。したがって、駆動モータ１２が搬送用ローラ２１を回転させると、被支持部４０ａ（キャリア４０）は搬送方向Ｄ１へ搬送されるようになっている。また、各被支持部４０ａには、切欠溝４２（本発明に係る「係合部」の一例）が設けられている。
【００４８】
切欠溝４２は、被支持部４０ａの方向Ｄ１における両端に側方へ突出するように形成された突起４１の間に設けられている。この切欠溝４２は、キャリアストッパ３５の凸部３５ａより幅広に形成されている。また、一方の切欠溝４２の搬送方向Ｄ１の後端部には、キャリアストッパ３５の凸部３５ａ先端を挿入可能な挿入穴４２ａが、方向Ｄ２へ向けて凹設されている。そして、切欠溝４２の搬送方向Ｄ１における後端面４２ｂは、キャリアストッパ３５の凸部３５ａと当接させるための面となっている。
【００４９】
本実施形態のキャリア搬送装置１０には、図２に示すように、過熱炉１３内に搬送されたキャリア４０をいったん仮止めするための仮止め機構７０が設けられている。仮止め機構７０は、位置決め機構よりキャリア搬送方向Ｄ１における下流側に設けられている。この仮止め機構７０は、先頭キャリア４０の搬送方向先端部に当接させる仮止めストッパ６０と、仮止めストッパ６０を方向Ｄ２へ駆動するための仮止め用シリンダ６１とを備えている。
仮止め用シリンダ６１の駆動シャフト６５は、ガイドケース６３に方向Ｄ２に沿って形成されたシャフト孔６４内を貫通している。また、駆動シャフト６５の先端は、仮ストッパ６０に固定されている。こうした構成により、仮止め用シリンダ６１が駆動シャフト６５を方向Ｄ２へ駆動すると、仮ストッパ６０は方向Ｄ２へ駆動されるようになっている。
【００５０】
続いて、本実施形態のキャリア搬送装置１０により搬送されるワーク５０について、図５〜図７を参照しながら説明する。図６は、同搬送装置に備わるマウント部上に置かれる治具を示し、（ａ）はその側面断面図であり、（ｂ）はその上面図である。図７は、同搬送装置に備わるマウント部上に配置されるハンダ箔及び素子を示し、（ａ）はその側面断面図であり、（ｂ）はその上面図である。本実施形態では、ワーク５０としてインバータ部品を用いた場合について説明する。
インバータ部品５０は、図５に示すように、断熱材４３を介してキャリア４０に載置されている。このインバータ部品５０は、位置決めに用いられるピン孔５０ｂと、素子５１の配置に用いられるマウント部５０ａとを備えている。ピン孔５０ｂは、キャリア４０に備わる位置決めピン４４に対応する位置に設けられている。また、マウント部５０ａには、素子５１を保持するための治具５６が取り付けられている。
【００５１】
治具５６は、カーボン製である。この治具５６は、図６（ｂ）に示すように、内部に素子５１等を配置するための配置孔５６ａと、治具５６を位置決めするための外枠５６ｂとを備えている。
マウント部５０ａの上面には、図６（ａ）に示すように、ロウ５５により絶縁基板５４がロウ付けされ、絶縁基板５４の上面には、アルミパターン５３が形成されている。また、配置孔５６ａの内部には、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、ハンダ箔５２を介して素子５１が配置されている。なお、絶縁基板５４の接合方法については、ロウ付けに限定されず、ハンダ付け等の他の接合方法を用いてもよい。
【００５２】
続いて、本実施形態のキャリア装置に備わる制御機器７５について、図８を参照しながら説明する。図８は、本実施形態におけるキャリア位置決めの第一ステップを示す説明図である。
制御機器７５は、図８に示されるように、シリンダ３７により移動させるキャリアストッパ３５の移動量を検出する移動量検出センサ４６（本発明に係る「移動量検出手段」の一例）と、搬送方向Ｄ１におけるキャリア４０の近接を検出する近接検知センサ４５とを備えている。そして、制御機器７５は、これらのセンサ４５，４６から得られる情報に基づき、キャリアストッパ３５及び仮ストッパ６０を駆動するとともに、キャリア４０の位置決め完了確認を行っている。なお、各センサには、例えば光電管を用いたレーザ照射装置等を用いることができる。
【００５３】
次に、上記構成を有するキャリア搬送装置１０を用いて、インバータ部品５０を加熱炉内で処理する様子について、図８〜図１３を参照しながら詳細に説明する。図９は、本実施形態におけるキャリア位置決めの第二ステップを示す説明図である。図１０は、同実施形態におけるキャリア位置決めの第三ステップを示す説明図である。図１１は、同実施形態におけるキャリア位置決めの第四ステップを示す説明図である。図１２は、同実施形態におけるキャリア位置決めの第五ステップを示す説明図である。図１３は、キャリアがキャリアストッパによって位置決めされた状態を示す側面図である。
【００５４】
キャリア搬送装置１０では、インバータ部品５０が、キャリア４０を加熱炉１３内に搬送する前に、キャリア４０に載置される。このとき、インバータ部品５０に設けられたピン孔５０に、キャリア４０の位置決めピン４４を挿入することにより、キャリア４０に対してインバータ部品５０を精度良く位置決めすることができる。そして、インバータ部品５０をキャリア４０に載置した後、コンベア２０によりキャリア４０を加熱炉１３内へ搬送する。
そして、加熱炉１３内へ搬送されたキャリア４０は、キャリア搬送装置１０に備わる位置決め機構により、以下に示す第一ステップ〜第五ステップにより、位置決めされる。
【００５５】
第一ステップにおいて、キャリア搬送装置１０は、図８に示すように、制御機器７５により仮止用シリンダ６１を駆動して、仮ストッパ６０をあらかじめキャリア４０側に前進させておく。その後、キャリア搬送装置１０は、搬送用コンベア２０を駆動して、キャリア４０を加熱炉１３内に搬送する。そして、先頭のキャリア４０がその突起４１を仮ストッパ６０に当接させて停止し、後続するキャリア４０も前のキャリア４０に当接して所定位置に停止する。制御機器７５は、各キャリア４０が所定位置に到達したことを、近接検知センサ４５により検出する。そして、キャリア搬送装置１０は、制御機器７５によりキャリア４０の近接を確認した後、搬送用コンベア２０の駆動を停止させる。
【００５６】
このキャリア搬送装置１０によれば、コンベア２０により搬送されるキャリア４０の近接を近接検知センサ４５により検知し、その検知情報に基づいてキャリア４０が所定位置に搬送されたことを正確に知ることができる。これにより、次の第二ステップにおいてキャリアストッパ３５をキャリア４０側へ的確なタイミングで前進させることができる。その結果、キャリアストッパ３５とキャリア４０とが干渉することを防止して、キャリア４０をより正確に位置決めすることができる。なお、近接検知センサ４５よりも搬送方向Ｄ１の上流側に減速センサを設け、この減速センサがキャリア４０の近接を検出したら、搬送用コンベア２０による搬送速度を減速するようにしてもよい。こうすることにより、より確実に仮ストッパ６０でキャリア４０を仮停止させることができる。
【００５７】
第二ステップにおいて、キャリア搬送装置１０は、図９に示すように、制御機器７５によりシリンダ３７を駆動して、両側のキャリアストッパ３５をキャリア４０側へ前進させる。このとき、このキャリア搬送装置１０では、キャリア４０の切欠溝４２が、キャリア４０の搬送方向Ｄ１に沿って、キャリアストッパ３５の凸部３５ａより幅広に形成されているので、キャリアストッパ３５をキャリア４０側に前進させて、凸部３５ａを切欠溝４２に容易に挿入することができる。
【００５８】
キャリアストッパ３５の凸部３５ａは、キャリア４０の切欠溝４２の搬送方向中間部（先頭のキャリア４０においては、搬送方向前部）に挿入される。このように、キャリア４０を切欠溝４２の搬送方向中間部に挿入することにより、凸部３５ａをキャリア４０の切欠溝４２に確実に入り込ませることができる。また、制御機器７５は、シリンダ３７の駆動と同期して仮止用シリンダ６１を駆動し、仮ストッパ６０をキャリア４０側とは逆側へ退避させる。
【００５９】
第三ステップにおいて、キャリア搬送装置１０は、図１０に示すように、コンベア２０によりキャリア４０をさらに搬送方向Ｄ１へ移動させる。そして、各キャリア４０は、搬送方向Ｄ１の上流側のものから順に、切欠溝４２の搬送方向後端面４２ｂをキャリアストッパ３５の凸部３５ａに当接させて停止していく。その結果、各キャリア４０は、搬送方向Ｄ１に沿って所定間隔をおいて一度に位置決めされる。ここで、本実施形態では、各キャリア４０は、それぞれのハロゲンヒータ３０と対向する位置へ位置決めされる。そのため、キャリア４０に載置されたインバータ部品５０を、ハロゲンヒータ３０により無駄なく的確に加熱することができる。さらに、搬送方向Ｄ１の両側からキャリア４０の位置決めを行うことにより、より正確な位置決めを行うことができる。
【００６０】
第四ステップにおいて、キャリア搬送装置１０は、図１１に示すように、すべてのキャリア４０が位置決めされた後、制御機器７５によりシリンダ３７を駆動して、一方のキャリアストッパ３５をさらにキャリア４０側へ前進させる。これにより、キャリアストッパ３５の凸部３５ａ先端は、キャリア４０の切欠溝４２に設けられた挿入穴４２ａに挿入される。なお、このとき、キャリアストッパ３５を、キャリア４０を挟持する位置まで前進させてもよい。このように、キャリア４０をキャリアストッパ３５で挟持することにより、方向Ｄ２におけるキャリア４０の位置決めも行うことができる。これにより、キャリア４０に載置されたインバータ部品５０を、加熱炉１３内のハロゲンヒータ３０と対向する位置に、より正確に配置することができる。その結果、インバータ部品５０を、より無駄なく的確に加熱することができる。
【００６１】
第五ステップにおいて、キャリア搬送装置１０の制御機器７５は、図１２に示すように、凸部３５ａ先端を挿入穴４２ａに挿入した後、移動量検出センサ４６により検出したキャリアストッパ３５の移動量Ｘに基づいて、各キャリア４０が適正位置に位置決めされたか否かを判別する。このとき、キャリアストッパ３５の移動量Ｘとしては、第二ステップにおける移動量と第四ステップにおける移動量とを合わせた合計移動量が用いられるが、第四ステップにおける移動量のみを用いることもできる。そして、制御機器７５は、キャリアストッパ３５の移動量Ｘがあらかじめ設定された規定値を超えた場合にキャリア４０が適正位置に位置決めされたと判断する。一方、キャリアストッパ３５の移動量があらかじめ設定された規定値以下である場合にキャリア４０が適正位置に位置決めされていないと判断する。この規定値としては、凸部３５ａ先端の挿入穴４２ａへの挿入が開始するときのキャリアストッパ３５の移動量が用いられる。
【００６２】
このキャリア搬送装置１０によると、適正位置にないキャリア４０の挿入穴４２ａには、キャリアストッパ３５の凸部３５先端を挿入することができない。そのため、すべてのキャリア４０の位置決めが正確になされていなければ、キャリアストッパ３５をキャリア４０側に前進させることができなくなる。したがって、一のキャリア４０の位置決めのみが不正確である場合にも、キャリアストッパ３５の移動量Ｘが規定値以下となるため、キャリア４０の位置決めが正確になされていないことを検出することができる。
なお、キャリア搬送装置１０は、キャリア４０の位置決めが正確になされていないことを検出した場合には、再度キャリアの位置決めを行う。これにより、このキャリア搬送装置１０では、キャリア４０の位置決めをより正確に行うことができる。
【００６３】
キャリア搬送装置１０は、すべてのキャリア４０が正確に位置決めされたことを検出した後、搬送用コンベア２０の駆動を停止する。そして、キャリア搬送装置１０は、図１３に示すように、ハロゲンヒータ３０によるインバータ部品５０の加熱を開始する。インバータ部品５０がハロゲンヒータ３０に加熱されると、インバータ部品５０上に設置されたハンダ箔５２が溶解する。その後、キャリア搬送装置１０は、キャリア４０の位置決めを解除し、コンベア２０を駆動してキャリア４０を加熱炉１３の搬出口から搬出する。加熱炉１３の外に搬出されたインバータ部品５０では、ハンダ箔５２が冷却されて凝固し、素子５１がインバータ部品５０にハンダ付けされる。
【００６４】
ここで、本実施形態では、キャリア４０は、アルミニウムにより形成されている。そして、ハロゲンヒータ３０によりインバータ部品５０を加熱する際、キャリア４０も４００℃弱程度にまで昇温する。この昇温により、アルミニウム製のキャリア４０は、数ｍｍ程度膨張してしまう。そのため、加熱炉内１３に複数のキャリア４０を隣接して配置した場合には、各キャリア４０は、相互に膨張の影響を与えて位置ずれしてしまう。その結果、ハロゲンヒータ３０から照射される赤外線が、各インバータ部品５０に均等に当たらないおそれがある。
これに対して、このキャリア搬送装置１０では、各キャリア４０は、搬送方向Ｄ１に沿って所定間隔をおいて、各ハロゲンヒータ３０の対向位置に一度に位置決めされる。これにより、このキャリア搬送装置１０では、各キャリア４０の膨張による影響が他のキャリア４０に及ぶのを防止して、膨張によるキャリア４０の位置ずれを抑制することができる。その結果、各インバータ部品５０をハロゲンヒータ３０により均等に加熱することができる。
【００６５】
なお、本実施形態においては、第二ステップの終了後に第三ステップが行われているが、第二ステップと第三ステップとを並行して行うこともできる。また、本実施形態では、第二ステップの終了後にいったんキャリア４０の前進を停止させ、第四ステップで再びキャリア４０を前進させているが、第二ステップと第四ステップとを連続して行うこともできる。
【００６６】
以上、詳細に説明したように本実施形態に係るキャリア搬送装置１０によれば、各キャリア４０が適正位置に位置決めされたか否かを判別することにより、キャリア４０が引っ掛かり等で正確に位置決めされていない場合にも、それを検出して再度キャリア４０の位置決めを行うことができる。これにより、キャリア４０に載置されているインバータ部品５０の適切な加工、処理等を行うことができる。また、複数のキャリア４０を一度に位置決めしてその確認を行うことができるため、作業効率も良い。
【００６７】
さらに、このキャリア搬送装置１０によると、キャリアストッパ３５の移動量Ｘを検出することで位置決めが正確になされたか否かを確認しているため、各キャリア４０に対応した複数の位置検出手段（位置センサ等）を設ける必要がない。これにより、加熱炉１３のチャンバ１７側面に大きなスペースを確保して複数の石英窓を設置する必要がない。その結果、簡易な構成によって、加熱炉１３内で複数のキャリア４０の位置決めを同時に行い、すべてのキャリア４０の位置決めが正確になされたことを確認することができる。
【００６８】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態に係るキャリア搬送装置について、図１４を参照しながら説明する。図１４は、第二実施形態に係るキャリア搬送装置を示す概略構成図である。なお、第二実施形態に係るキャリア搬送装置において、上記第一実施形態のものと同一の構成物品については、図面に同符号を付してその説明を適宜省略し、以下では相違点を中心に説明する。
第二実施形態に係るキャリア搬送装置は、キャリアストッパの形状において、上記第一実施形態と相違する。すなわち、本実施形態に係るキャリアストッパ８５は、図１４に示すように、キャリア４０の一部と当接してキャリア４０の回動を防止する回動防止部８６を備えている。この回動防止部８６は、キャリアストッパ８６の長さ方向両端を延長することにより形成されている。
【００６９】
このキャリア搬送装置では、キャリア４０が回動しようとしたときに、キャリア４０の一部がキャリアストッパ８５の回動防止部８６に当接する構成となっているため、キャリア４０の回動を抑制することができる。こうして、キャリア４０の位置決めをより正確に行うことができるので、インバータ部品５０をハロゲンヒータ３０と対向する位置により正確に配置することができる。その結果、インバータ部品５０をより無駄なく的確に加熱することができる。
なお、図１４では、一方のキャリアストッパ８５のみに回動防止部８６を設けているが、両側のキャリアストッパに回動防止部８６を設けてもよい。これにより、さらに正確なキャリア４０の位置決めが可能となる。
【００７０】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態に係るキャリア搬送装置について、図１５を参照しながら説明する。図１５は、第三実施形態に係るキャリア搬送装置を示す概略構成図である。なお、第三実施形態に係るキャリア搬送装置において、上記実施形態のものと同一の構成物品については、図面に同符号を付してその説明を適宜省略し、以下では相違点を中心に説明する。
第三実施形態に係るキャリア搬送装置は、キャリアストッパに備わる凸部の形状において、上記実施形態と相違する。すなわち、本実施形態に係る一方のキャリアストッパ９５の凸部９６は、図１５に示すように、挿入穴４２ａに挿入される挿入部９６ａと、切欠溝４２の底面に当接する当接部９６ｂとを備えている。
【００７１】
このキャリア搬送装置では、一方のキャリアストッパ９５の凸部９６に備わる挿入部９６ａ及び当接部９６ｂと、他方のキャリアストッパ３５に備わる凸部３５ａとを利用して、キャリア４０を挟持することができる。このようにキャリア４０を挟持することにより、キャリア４０のＤ２方向への位置ずれやキャリア４０の回動を効果的に抑制することができる。
【００７２】
なお、上記実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
例えば、上記実施形態ではキャリアストッパ３５，８５，９５を搬送コンベア２０の側方からキャリア４０に近接させているが、キャリアストッパ３５，８５，９５を搬送コンベア２０の上方からキャリア４０に近接させるような構成としてもよい。
また、キャリア４０の切欠溝４２の形状やキャリアストッパ３５，８５，９５の凸部３５ａ，９６の形状を、位置決めの態様等に応じて自由に変更することができる。
さらに、上記実施形態に係るキャリア搬送装置を、加熱炉１３の外部にキャリア４０を位置決めするために用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の第一実施形態に係るキャリア搬送装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】同搬送装置の内部を示す平面図である。
【図３】同搬送装置に備わる搬送用コンベアを示す拡大図である。
【図４】同搬送装置に備わる搬送用コンベアを示す斜視図である。
【図５】同搬送装置に備わるキャリアを示す平面図である。
【図６】同搬送装置に備わるマウント部上に置かれる治具を示し、（ａ）はその側面断面図であり、（ｂ）はその上面図である。
【図７】同搬送装置に備わるマウント部上に配置されるハンダ箔及び素子を示し、（ａ）はその側面断面図であり、（ｂ）はその上面図である。
【図８】第一実施形態におけるキャリア位置決めの第一ステップを示す説明図である。
【図９】同実施形態におけるキャリア位置決めの第二ステップを示す説明図である。
【図１０】同実施形態におけるキャリア位置決めの第三ステップを示す説明図である。
【図１１】同実施形態におけるキャリア位置決めの第四ステップを示す説明図である。
【図１２】同実施形態におけるキャリア位置決めの第五ステップを示す説明図である。
【図１３】キャリアがキャリアストッパによって位置決めされた状態を示す側面図である。
【図１４】第二実施形態に係るキャリア搬送装置を示す概略構成図である。
【図１５】第三実施形態に係るキャリア搬送装置を示す概略構成図である。
【図１６】従来例に係るキャリアの位置決め方法を示す説明図である。
【図１７】従来例に係るキャリアの位置決め方法を示す説明図である。
【図１８】従来例に係るキャリアの位置決め方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７４】
１０    キャリア搬送装置
１３    加熱炉
２０    搬送用コンベア
３０    ハロゲンヒータ（加熱装置）
３５    キャリアストッパ
３５ａ  凸部
３７    シリンダ（移動手段）
４０    キャリア
４２    切欠溝（係合部）
４２ａ  挿入穴
４２ｂ  搬送方向後端面
４５    近接検知センサ
４６    移動量検出センサ（移動量検出手段）
５０    インバータ部品
７５    制御機器（判別手段）
８５    キャリアストッパ（第二実施形態）
８６    回動防止部
９５    キャリアストッパ（第三実施形態）
９６    凸部
９６ａ  挿入部
９６ｂ  当接部
Ｄ１    キャリアの搬送方向
Ｄ２    キャリアの搬送方向と直交する方向
Ｘ      移動量
【図１】
2010067746.tif 000003
【図２】
2010067746.tif 000004
【図３】
2010067746.tif 000005
【図４】
2010067746.tif 000006
【図５】
2010067746.tif 000007
【図６】
2010067746.tif 000008
【図７】
2010067746.tif 000009
【図８】
2010067746.tif 000010
【図９】
2010067746.tif 000011
【図１０】
2010067746.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2010067746.tif 000014
【図１３】
2010067746.tif 000015
【図１４】
2010067746.tif 000016
【図１５】
2010067746.tif 000017
【図１６】
2010067746.tif 000018
【図１７】
2010067746.tif 000019
【図１８】
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