(57)【要約】【課題】ワイピング処理において、ノズルの目詰まりや吐出時の飛行曲がりの発生を抑制できる、液滴吐出装置を提供する。【解決手段】複数のノズルＮが設けられたノズル面２１ａを有して、ノズル面２１ａの各ノズルＮから機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドと、吐出ヘッドのノズル面２１ａをワイプ部材５７で払拭するワイピング部と、を備えた液滴吐出装置である。ワイプ部材は、ノズル面２１ａに当接する領域に凸部５８が設けられている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面をワイプ部材で払拭するワイピング部と、を備え、
前記ワイプ部材は、前記ノズル面に当接する領域に凸部が設けられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ワイプ部材が前記機能液を吸収可能な吸収材からなることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ワイプ部材と前記凸部とが別部材から構成されており、前記凸部が弾性部材からなることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ワイプ部材と前記凸部とが同一部材から構成されており、前記ワイプ部材及び前記凸部が弾性部材からなることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記凸部が前記ワイプ部材の払拭時の移動方向に沿って規則的に配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法による成膜技術が注目されている。液滴吐出法によれば、膜の形成材料を含んだ微小なインク滴を所望の位置に配置することが可能である。液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出ヘッドは、液状体の貯留部、貯留部に通じるノズルが形成されたノズルプレート、液状体を加圧してノズルから液滴を押し出すピエゾ素子等を備えている。このような液滴吐出ヘッドにおいては、噴射特性を維持或いは回復させる手段として定期クリーニングが行われている。
【０００３】
このような定期クリーニングとしては、キャップ部材を液滴吐出ヘッドのノズル面に当接し、ノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作や、ノズル面に付着した機能液をワイプ部材で払拭するワイプ動作がある。ワイプ動作において、ワイプ部材とノズル面との当り具合を制御することによりワイプ部材の拭き取り不良を防止した技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１３６５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来技術においては、ノズル内に付着した機能液を良好に除去することができず、ノズル内で機能液が固化することで吐出される液滴の飛行曲がりが生じる等、液滴吐出ヘッドの信頼性を低下させる可能性があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ノズルの目詰まりや吐出時の飛行曲がり等の発生を抑制できる信頼性の高いワイピング動作が可能な、液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルが設けられたノズル面を有し、該ノズル面の前記各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドのノズル面をワイプ部材で払拭するワイピング部と、を備え、前記ワイプ部材は、前記ノズル面に当接する領域に凸部が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置によれば、ワイプ部材がノズル面を払拭する際、凸部がノズル内に入り込むようになる。よって、ノズル内の機能液が凸部により掻きだされるので、ノズルの目詰まりや吐出時の飛行曲がりの発生を抑制することができる。したがって、信頼性の高いワイピング処理を行うことができ、クリーニング頻度を少なくすることができる。
【０００８】
また、上記液滴吐出装置においては、前記ワイプ部材が前記機能液を吸収可能な吸収材からなるのが好ましい。
この構成によれば、ワイプ部材が例えば機能液を吸収可能とする不織布から構成されるので、凸部によってノズル内から掻き出した機能液を吸収して保持することができる。
この場合においては、前記ワイプ部材と前記凸部とが別部材から構成されており、前記凸部が弾性部材からなるのがより望ましい。
このようにすれば、凸部が例えばゴム等の弾性部材から構成されるので、弾性変形した凸部がノズル内から機能液を良好に掻きだすとともに、掻き出した機能液を吸収材からなるワイプ部材によって良好に吸収することができる。
【０００９】
また、上記液滴吐出装置においては、前記ワイプ部材と前記凸部とが同一部材から構成されており、前記ワイプ部材及び前記凸部が弾性部材からなるのが好ましい。
この構成によれば、凸部及びワイプ部材が例えばゴム等の弾性部材から構成されているので、弾性変形により凸部がノズル内に良好に入り込むようになる。よって、ノズル内から機能液を良好に掻きだすことができる。
【００１０】
また、上記液滴吐出装置においては、前記凸部が前記ワイプ部材の払拭時の移動方向に沿って規則的に配置されているのが好ましい。
この構成によれば、ワイプ部材の払拭時の移動方向に沿って凸部が規則的に配置されるため、凸部がノズル内に良好に入り込むようになり、ノズル内から機能液を良好に掻きだすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。
【００１２】
図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう液状体は、固形分を分散媒（溶媒）に分散（溶解）させた分散液（溶液）等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルタ材料や、ＵＶインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。
【００１３】
本実施形態では、前記のような液状体を膜材料に用いる液滴吐出装置として、カラーフィルタ基板（吐出対象物）の所定領域上にカラーフィルタ材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置を説明する。なお、以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図１におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００１４】
図１に示されるように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御装置１１、及びワイピング部１２を備えている。
【００１５】
装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルタ基板Ｐ（以下、基板Ｐと称す）を、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。
【００１６】
キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルタ材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。
【００１７】
キャリッジ移動装置６は、例えば装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００１８】
チューブ７は、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０とキャリッジ４（液滴吐出ヘッド５）とを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。第１タンク８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク１０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。
【００１９】
制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動による基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。
【００２０】
ワイピング部１２は、キャリッジ４に保持された液滴吐出ヘッド５に対するメンテナンスとしてノズル面を払拭するワイピング処理を行うためのものである。ワイピング部１２は、液滴吐出ヘッド５におけるホームポジションに配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置ＩＪが吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ４が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド５から基板Ｐ上に液滴を吐出する際のキャリッジ４の位置を吐出ポジションと呼ぶ。なお、ワイピング部１２は、制御装置１１からの制御信号により駆動されるようになっている。
【００２１】
なお、ホームポジションには、ワイピング部１２の他に、液滴吐出ヘッド５に当接することでノズル内からインクを排出させるキャッピング部（不図示）と、液滴吐出ヘッド５のノズルからインクを噴射するフラッシング動作を行うフラッシング部（不図示）とが設けられている。
【００２２】
キャッピング部は、ノズル面に当接することでノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作時に用いられるものである。フラッシング部は、メニスカスを整えるべく、ノズルから液滴を吐出した廃液を回収するためのものである。
【００２３】
図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。
【００２４】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮを備えている。複数のノズルＮによってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ４内に配置する液滴吐出ヘッド５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。
【００２５】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ（液室）２４とを備えている。なお、ノズルプレート２１の表面は、複数のノズルＮが形成されたノズル面２１ａを構成している。ノズルプレート２１は、例えばＳＵＳから構成されるものである。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。
【００２６】
リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルタ材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２からカラーフィルタ材料が導入されるようになっている。
【００２７】
図２（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮから基板Ｐに向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。
【００２８】
続いて、ワイピング部１２の構成について説明する。図３はワイピング部１２の概略構成を示す図である。
ワイピング部１２は、図３に示すように、液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａと対向した際、ノズル面２１ａに対して相対的に移動可能なワイピング面を有する帯状のワイプ部材５７と、ワイプ部材５７のワイピング面を移動させるための駆動機構５９と、ワイプ部材５７及び駆動機構５９を収容する筐体部（不図示）とを有している。
【００２９】
ワイプ部材５７は、液体を吸収可能な材料、例えば液体を吸収可能な不織布などからなる。不織布としてはノズル面２１ａとの接触によってケバやゴミを生じさせないものが用いられる。また、ワイプ部材５７の寸法は、長さが６ｍ、幅３５ｍｍ、厚さ０．５ｍｍとなっている。
【００３０】
駆動機構５９は、ワイプ部材５７を供給する供給リール６１と、供給リール６１から供給されたワイプ部材５７を巻き取る巻取リール６２と、これら供給リール６１と巻取リール６２との間でワイプ部材５７を中継する中継リール６３と、これら供給リール６１及び巻取リール６２を回転させる回転モータ等のアクチュエータ（不図示）とを有し、制御装置１１がアクチュエータを制御することによって、ワイプ部材５７を供給リール６１から巻取リール６２へと所定速度で移動（走行）させるようになっている。
【００３１】
供給リール６１と中継リール６３との間に掛け渡されたワイプ部材５７は、液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａと同じ高さに設定されている。これにより、キャリッジ４をワイピング部１２側に移動させることで、ワイプ部材５７を液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａに当接させることが可能となっている。
【００３２】
図４はワイプ部材５７の表面形状を拡大する図である。図４に示されるように、ワイプ部材５７は、ノズル面２１ａに当接する領域（本実施形態では、ワイプ部材５７の一方面の全面）に凸部５８が形成されている。具体的に凸部５８は、ワイプ部材５７の基材５７ａにエンボス加工を施すことで形成されている。すなわち、ワイプ部材５７は基材５７ａと凸部５８とが同一部材から構成され、表面に凹凸形状が形成されたものとなっている。なお、不織布を編み込むことでワイプ部材５７を形成し、編み込み部の凹凸により凸部５８を形成するようにしてもよい。
【００３３】
なお、基材５７ａ上にゴム等の弾性部材を凸部５８として直接形成するようにしてもよい。すなわち、基材５７ａと凸部５８とを別部材から構成するようにしてもよい。この構成によれば、凸部５８が弾性変形することでノズル内に良好に入り込むとともに掻きだした機能液を吸収材からなるワイプ部材に良好に吸収させることができる。
【００３４】
また、凸部５８は平面視略正方形形状から構成され、基材５７ａの表面に規則的に配置されている。すなわち、凸部５８はワイプ部材５７の払拭時の移動方向に沿って規則的に配置されたものとなっている。したがって、ワイプ部材５７の表面は、平面視した状態で凸部５８と基材５７ａの露出部とが格子模様をなすように配置されたものとなっている。
【００３５】
ここで、凸部５８の大きさ（本実施形態では、一辺の長さ）は、後述する実験結果に示されるように少なくともノズルＮの開口径に対して１０％以上１００％以下の大きさに設定するのが望ましい（本実施形態では、４０〜５０％程度に設定した）。
なお、凸部５８の形状は正方形に限定されることは無く、ひし形形状、或いは円形形状（楕円を含む）であってもよい。ここで、ひし形形状の大きさとは、ひし形の対角線の長辺の長さを意味している。また、円形形状（円形）の大きさとは、円の直径を意味している。また、円形形状（楕円）の大きさとは、楕円の長軸を意味している。
【００３６】
続いて、液滴吐出装置ＩＪの動作について説明するとともに本発明の効果について述べる。なお、以下では本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪの特徴的構成であるワイピング部１２の動作を中心に説明する。
まず、液滴吐出装置ＩＪは、キャリッジ４をホームポジションに配置されているワイピング部１２まで移動させる。そして、図３に示したように液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａとワイプ部材５７とを接触させる。続いて、制御装置１１はワイピング部１２の駆動機構５９を駆動し、図３中矢印Ａで示される方向にワイプ部材５７を送ることでワイプ部材５７のワイピング面を移動させる。
【００３７】
このとき、図５に示されるようにワイプ部材５７の表面に形成された凸部５８がノズルＮ内に入り込むようになる。これにより、ノズルＮ内の機能液が凸部５８により掻き出される。また、本実施形態では、図４に示したように凸部５８がワイプ部材５７の払拭時の移動方向に沿って規則的に配置されるので、ノズルＮ内に凸部５８が良好に入り込むこととなり、ノズルＮ内から機能液を良好に掻きだすことができる。
【００３８】
ところで、本発明者は、凸部５８による機能液の掻き出し効率がノズルＮの開口径と凸部５８の大きさとの関係に依存することを下記の実験により確認した。図６はノズルＮの開口径と凸部５８の大きさとの関係を示す実験結果を示す図である。
【００３９】
図６における横軸はノズルＮの開口径に対する凸部の大きさの比率（単位；％）を示し、縦軸はワイピング処理後に１０μｍ以上の飛行曲がりが確認された飛行曲がりノズル数を示している。１０μｍ以上の飛行曲がりを生じさせるノズルとは、ワイピング処理後においても所定量以上の機能液或いは異物が残留しているノズルを意味する。なお、凸部５８をノズルＮの開口径に対して１０％以上とする理由は、凸部５８がノズルＮの開口径に対して１０％よりも小さいと、凸部５８がノズルＮ内に入り込んだ際にノズルＮ内に付着している機能液を良好に掻きだすことができないからである。
【００４０】
具体的には、図６に示されるように、ノズルＮの開口径に対する凸部の大きさの比率が４０〜５０％の場合、１０μｍ以上の飛行曲がりを生じたノズル数が最小（２個）となることが確認できた。そのため、本実施形態では、上述したようにノズルＮの開口径に対する凸部の大きさの比率を４０〜５０％程度に設定し、信頼性の高いワイピング処理が行えるようになっている。なお、図６に示される実験結果のうち、飛行曲がりノズル数は使用する機能液の種類、或いは液滴吐出ヘッド５の個体差により変動するものの、上述のようにノズルＮの開口径に対する凸部の大きさの比率を４０〜５０％程度に設定した場合、同様に、飛行曲がりノズル数が減少するという結果を得ることができる。
【００４１】
以上述べたように、本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪによれば、ワイプ部材５７がノズル面２１ａを払拭する際、凸部５８がノズルＮ内に入り込むようになる。よって、ノズルＮ内の機能液が凸部５８により掻きだされるので、ノズルＮの目詰まりや吐出時の飛行曲がりの発生を抑制することができる。
【００４２】
図７は本実施形態に係るワイピング部１２及び従来構成のワイピング部（表面に凸部が形成されていないもの）におけるワイピング処理後の品質を比較した結果を示す図である。図７における横軸は１／ワイプ速度（単位；（ｍｍ／ｓ）−１）を示し、ワイピング処理後に１０μｍ以上の飛行曲がりが確認された飛行曲がりノズル数を示している。なお、ワイプ速度とは、ワイプ部材５７がノズル面２１ａに接触する速度を意味する。
【００４３】
図７に示されるように、ワイプ速度が小さいほど、本実施形態及び従来構成のいずれも飛行曲がりノズル数が少なくなることが分かる。これはワイプ部材５７の送り速度が低くなるので、ワイプ部材５７がノズル面２１ａに良好に密着できるからである。
【００４４】
本実施形態に係るワイピング部１２によれば、ワイプ部材５７の表面に凸部５８を備えるので、従来の構成に比べ、ワイピング処理後に生じる飛行曲がりノズル数が少なくなることが確認できた。すなわち、本実施形態に係るワイプ部材５７を備えた液滴吐出装置ＩＪは、信頼性の高いワイピング処理が可能となるので、クリーニングの頻度を少なくすることができる。よって、クリーニングによって無駄に消費されてしまう機能液の量を少なくできる。
【００４５】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更可能である。
上記実施形態では、ノズル面２１ａに対して相対的に移動可能なワイピング面を有する帯状のワイプ部材５７を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、例えばゴムヘラ状の弾性部材からなるワイプ部材１５７であってもよい。このワイプ部材１５７は、図８（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド５のノズル面２１ａを払拭するようになっている。ワイプ部材１５７は、先端部１５７ａがノズル面２１ａに当接する。そのため、ワイプ部材１５７は、図８（ｂ）に示されるように先端部１５７ａに凸部１５８が形成されている。なお、凸部１５８は、ワイプ部材１５７と一体に構成されていてもよいし、別体から構成されていてもよい。この構成によれば、凸部１５８自体が弾性変形することでノズルＮ内に良好に入り込むようになる。よって、ノズルＮ内から機能液を良好に掻きだすことができる。
【００４６】
また、ワイプ部材として、図９（ａ）に示すように表面に上記不織布或いはゴム等の弾性部材を被覆したローラ７０を用いてもよい。ローラ７０は表面全体がノズル面２１ａと当接するとともにノズル列ＮＡの配列方向（図２中Ｙ軸方向）に沿って相対的に移動するようになっている。したがって、ローラ７０は、図９（ｂ）に示されるように表面を被覆する不織布或いは弾性部材に凸部７１が設けられている。この構成においても、凸部７１がノズルＮ内に良好に入り込むようになる。よって、ノズルＮ内から機能液を良好に掻きだすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】液滴吐出装置の概略構成図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】ワイピング部の概略構成を示す図である。
【図４】ワイプ部材の表面形状を拡大する図である。
【図５】ワイピング部の動作を説明するための図である。
【図６】ノズルの開口径と凸部の大きさとの関係を示す図である。
【図７】本実施形態に係るワイピング部の効果を示す図である。
【図８】ワイプ部材の変形例に係る構成を示す図である。
【図９】ワイプ部材の変形例に係る構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
Ｎ…ノズル、５…液滴吐出ヘッド、２１ａ…ノズル面、５７，１５７…ワイプ部材、５８，１５８…凸部、７０…ローラ（ワイプ部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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