(57)【要約】【課題】長期使用時において配線接続室への湿気侵入に基づく荷重信号異常の発生を防止することができ、荷重信号が異常状態となる前に故障予知を行うことができるようにする。【解決手段】起歪部５上のストレインゲージＧ１〜Ｇ４の貼付部を外部から遮断された気密室３内に配し、この気密室３の一側を塞ぐ気密端子８によってストレインゲージブリッジへの電源の供給と該ストレインゲージブリッジからの荷重信号の取り出しとを行うようにし、気密室３内におけるストレインゲージブリッジの荷重信号出力端と気密端子８上の荷重信号出力用の導通ピンとの間に負帰還増幅回路を構成する回路部品１５を配する構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードセル本体における起歪部上のストレインゲージ貼付部が外気から遮断された気密室内に配され、この気密室の一側を塞ぐ気密端子によってストレインゲージブリッジへの電源の供給と該ストレインゲージブリッジからの荷重信号の取り出しとが行われるロードセルにおいて、
前記気密室内における前記ストレインゲージブリッジの荷重信号出力端と前記気密端子上の荷重信号出力用の導通ピンとの間に負帰還増幅回路を構成する回路部品を配することを特徴とするロードセル。
【請求項２】
前記気密端子には、前記荷重信号出力用の導通ピンと、電源供給用の導通ピンまたは前記ロードセル本体との間の絶縁抵抗値が低下したことを検知して警報信号を出力するための信号導通ピンが設けられる請求項１に記載のロードセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、起歪部の上にストレインゲージを貼付し、負荷荷重の大小に応じて起歪部に発生する応力歪みをストレインゲージの抵抗値変化によって検出し、この抵抗値変化を電圧信号に変換して出力する方式のロードセルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ロードセルは、図７に示されるように、荷重を受けることによって伸縮歪みを起こす起歪体の上に貼付したストレインゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４をブリッジ回路に接続し、荷重に比例した電圧信号変化を取り出すように構成されている。図７において、ブリッジ回路の両端に加わる電圧をｅｉとし、ストレインゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４の抵抗値をそれぞれｒｇ１，ｒｇ２，ｒｇ３，ｒｇ４とすると、出力電圧信号ｅｏは次式（１）で表される。
ｅｏ＝｛（ｒｇ１・ｒｇ３−ｒｇ２・ｒｇ４）／（ｒｇ２＋ｒｇ３）・（ｒｇ１＋ｒｇ４）・ｅｉ    ・・・・・（１）
【０００３】
ここで、起歪体は、負荷荷重に対する歪み量の関係（ヤング率）が温度変化によって変化するため、このヤング率の温度変化によって荷重出力信号のスパンが変化しないように回路中に温度補償抵抗Ｃ１，Ｃ２が接続されている。また、ストレインゲージ（以下、単に「ゲージ」と称する。）Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４の抵抗値としては、数１００オームから数Ｋオーム程度のものが一般に用いられている。
【０００４】
しかし、ゲージ周辺に耐湿保護を施さなければ、やがてゲージ表面や、ゲージから取り出された配線や、配線が接続される端子が結露することによって湿気を帯び、ゲージ抵抗そのものが負荷荷重以外の要因で変化したり、ゲージ端子間の絶縁抵抗およびゲージ端子と起歪体の絶縁抵抗が低下し、結果としてゲージ間やゲージと電源との間に低い抵抗が等価的に並列接続される形になって、ロードセル荷重信号としてのスパンや零点が変化する現象が生じることになる。
【０００５】
ゲージ端子間の絶縁抵抗は乾燥時に数１０００Ｍオームある。この場合、抵抗Ｒ１〜Ｒ６の値が上述の要因によって数１００Ｋオーム以下に低下すると、実質的に式（１）に基づいて得られる出力電圧信号ｅｏは、荷重の増減に関係なく、言い換えれば起歪体の機械的伸縮歪みに関係なく、要求された精度に影響を受けるレベルに変化してしまう。
【０００６】
このようなことから、ロードセルにとってゲージおよび周辺回路の耐湿対策は重要であり、従来からロードセルの形式、使用環境に応じて種々の対策が採られてきている。
【０００７】
例えば図８（ａ）に示されるロバーバル形ロードセルでは、起歪体５０における起歪部５１のゲージ貼付部が大気に露出していて、貼付されるゲージ５２が極めて外気の影響を受け易いので、ゲージ５２の上にシリコン樹脂やブチルゴムなどの物質５３を塗布もしくはコーティングすることにより防湿対策が施されている。
【０００８】
また、特許文献１に記載のロードセルにおいては、図８（ｂ）に示されるように、弾性体よりなる起歪部６０内面のゲージ６１が外気に露出しないように、弾性体内側の内空部６２にシリコン樹脂などの防湿剤６３を充填し、固化するようにされている。この方法は、防湿剤６３の厚みを大きくする必要があり、この防湿剤６３の特性が負荷荷重に対する起歪部６０の歪み特性に影響を及ぼすため、数１００ｋｇ以上の比較的大容量のロードセルのみに適用可能な方法である。つまり、ロードセルの容量が大きいほど、防湿剤６３を構成する樹脂の剛性による荷重信号への影響が小さくなるため、樹脂を厚く充填することができるのである。
【０００９】
しかしながら、図８（ｂ）に示されるような防湿対策を施した場合でも、シリコン樹脂などの樹脂系材料は本来が多孔質であって通気性を有するため、ロードセル本体が多湿な環境に置かれると、徐々に水蒸気が内部に浸透してゲージ６１やゲージ６１と配線６４との接続部に到達し、気温の高低サイクルによって水蒸気が水分に変化し、徐々に端子間の絶縁抵抗を低下させるという問題点がある。しかも、一旦内部に浸透した水蒸気が水分に変換されると外部へは容易に排出されない。
【００１０】
ところで、上記特許文献１に記載のロードセルでは、荷重信号の耐ノイズ性向上のために、シリコン樹脂に覆われた内部に、ノイズ耐性を高める目的でゲージの近傍に演算増幅器を設け、この演算増幅器の入力端にゲージの荷重信号出力端子を接続して演算増幅器の出力端から増幅後の荷重信号を取り出す工夫がなされているが、演算増幅器の入力端におけるゲージ周辺の湿気滞在によってその入力端の電圧信号が変動するため、出力側の荷重信号は零点、スパン、温度補償効果の長期ドリフト的変化を起こすだけでなく、短時間の使用中にもふらつき現象が生じて、正しく安定した重量測定値が得られない事態が生じてしまう。したがって、この従来技術では、耐湿性向上の課題の解決に至っていないのが実情である。
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−１４０６４６号公報
【００１２】
このようなことから、トラックスケールや軸重計など、ロードセルが外気に晒され、大雨時には水没する可能性があったり、温度高低変化の激しい道路面直下の劣悪な環境に置かれる計量装置に使用されるロードセルの耐湿性向上対策としては、結局、コストはかかるが、図８（ｃ）に示されるような構造が採られている。すなわち、ロードセル本体７０の内空室（気密室）７１の下部に金属蓋７２を溶接し、気密端子７３として、電気信号導通ピンを埋め込んだ気体封止板を支持する金属製外枠の外周部を金属製弾性体よりなるロードセル本体の側面に溶接またはハンダ接合することによって外部からの気体の流入を完全遮断するようにしている（図３（ｃ）に示される封止構造参照）。
【００１３】
さらに、ロードセル本体７０の気密室７１の外殻ケースには小径の気体注入孔を設け、この気体注入孔から窒素ガスを注入して気密室７１内の空気と置換させ、窒素ガス注入後にその気体注入孔を溶接で埋めて、外気遮断性を保つ対策も採られている。なお、窒素ガスには水蒸気が含まれていないので、外気温が下がっても気密室７１内に気体による結露が生じない。
【００１４】
上述のような構成にすることによって、ロードセル本体７０の気密室７１は完全に外気から遮断され、しかも該気密室７１内には乾燥した窒素ガスが封入されているため、ロードセルの外気温度が高低に変化しても、気密室７１内で結露が生じる事態はなく、ゲージ７９と起歪体（ロードセル本体７０）との間、気密室７１内の端子間には常に高い絶縁性が維持される。
【００１５】
しかしながら、図８（ｃ）に示されるロードセルには、以下に説明するように湿気に関する弱点がある。すなわち、気密端子７３のロードセル外側の配線接続室７８は、シリコン樹脂８０が充填されているものの、配線ケーブル８１の片側は外気に開放されており、この配線ケーブル８１内の僅かな空間によって外気に通じている。また、配線ケーブル８１内には僅かに空気が含まれている。シリコン樹脂８０には通気性があるので、ロードセルが高低温度変化が大きい環境に設置されている場合には、配線接続室７８内の空気や配線ケーブル８１内の空気が周囲の温度高低変化によって膨張、収縮を繰り返し、長時間使用によって配線接続室７８内へ徐々に水蒸気を含んだ空気が入ることになる。こうして配線接続室７８内に入った水蒸気は外気温の低下によって水分に変わる。これによって配線接続室７８側の電気信号導通ピン７４間の絶縁抵抗が徐々に低下し、図７に示されるゲージ端子間絶縁抵抗Ｒ１〜Ｒ６の値が数１００Ｋオームのオーダーを下回る値に低下し、長期的には数１００オーム以下に下がる場合もある。
【００１６】
また、ロードセル本体７０と配線ケーブル８１とを接続する接続金具８２（図８（ｃ）参照）に関して、配線ケーブル８１と接続金具８２とは通常、ゴム材の融着によってシールされているが、このゴム材も完全な通気遮断性を有しておらず、またロードセル本体７０と接続金具８２とを接続するねじ部８３も完全な通気遮断性を有していないなど、配線接続室７８に対し水蒸気を含む空気が侵入する要因は多い。
【００１７】
したがって、図８（ｂ）のものに比べて完全防湿対策ロードセルとして優れている図８（ｃ）のものも、完全気密室の構成を採っているとはいえ、結局は長期の使用において、気密端子外部側の絶縁不良による荷重信号変動トラブルの発生を避けることができないという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明は、前述のような問題点に鑑みてなされたもので、特に長期使用時において気密端子外側の配線接続室への湿気侵入に基づく荷重信号異常の発生を防止することのできるロードセルを提供することを目的とするものである。また、本発明は、荷重信号が異常状態となる前に故障予知を行うことのできるロードセルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記目的を達成するために、本発明によるロードセルは、
ロードセル本体における起歪部上のストレインゲージ貼付部が外気から遮断された気密室内に配され、この気密室の一側を塞ぐ気密端子によってストレインゲージブリッジへの電源の供給と該ストレインゲージブリッジからの荷重信号の取り出しとが行われるロードセルにおいて、
前記気密室内における前記ストレインゲージブリッジの荷重信号出力端と前記気密端子上の荷重信号出力用の導通ピンとの間に負帰還増幅回路を構成する回路部品を配することを特徴とするものである（第１発明）。
【００２０】
本発明において、前記気密端子には、前記荷重信号出力用の導通ピンと、電源供給用の導通ピンまたは前記ロードセル本体との間の絶縁抵抗値が低下したことを検知して警報信号を出力するための信号導通ピンが設けられるのが好ましい（第２発明）。
【発明の効果】
【００２１】
第１発明によれば、ロードセル本体の気密室における気密端子の外側の室に水蒸気の形で湿気が侵入することによって、荷重信号出力用の導通ピンと、電源供給用の導通ピンまたはロードセル本体との間で絶縁抵抗が低下しても、負帰還増幅回路による負帰還制御が可能な間は荷重信号がその低下の影響を受けることがなく、高湿で温度差が大きく変化する周囲環境に長期間設置されていても安定した正確な荷重信号を出力することができる。
【００２２】
第２発明によれば、荷重信号が異常状態に達する前に大きい絶縁抵抗値の低下を検知することによって、荷重信号が正常な範囲の間に故障予知を行うことができる。しかも、従来のロードセルにおける気密端子上のピンの総数を増やさずに、故障予知用の信号導通ピンを設けることができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、本発明によるロードセルの具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２４】
図１には、本発明の一実施形態に係るロードセルの縦断面図が示され、図２には、本実施形態のロードセルの回路構成図が示されている。また、図３には、気密端子の詳細構造が示されている。
【００２５】
本実施形態のロードセル１は、内空部（気密室）３を有する全体として円盤形状の金属製弾性体よりなるロードセル本体（起歪体）２を備え、このロードセル本体２の上面側中央部に荷重導入部４が突出形成されて構成されている。荷重導入部４の外周側であって、ロードセル本体２の外表面と内表面との間には薄肉の円板状または円環状をなす起歪部５が設けられ、この起歪部５の応力の極大または極小となる部分にはストレインゲージ（以下、単に「ゲージ」と称する。）Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４が貼付されている。
【００２６】
ゲージＧ１〜Ｇ４はストレインゲージブリッジ回路（図２参照）を形成しており、その端子はリード線６によって気密室３内に配される回路基板７の端子に接続されている。また、回路基板７の端子は、気密端子８の電気信号導通ピン９（ｑ１，ｑ２，ｑ３，ｑ４）に接続され、この電気信号導通ピン（以下、単に「ピン」という。）９は配線ケーブル１０の心線に接続されている。ロードセル本体２と配線ケーブル１０とは接続金具１１によって固定されている。この接続金具１１は、一端がロードセル本体２に穿設された開口部に挿入されてねじ部１２により固定され、他端に配線ケーブル１０が挿通固定され、一端部側に配線接続室１３が区画形成されるとともに、配線ケーブル１０の心線の周りがシリコン樹脂１４で固定されて構成されている。
【００２７】
前記ロードセル本体２の気密室３内には、負帰還演算増幅回路２０（図２参照）を構成する回路部品１５が配置されており、この気密室３の開口側である下端側には金属蓋（金属製ダイヤフラム）１６が溶接されて内部が密閉されている。
【００２８】
また、ロードセル本体２の一側の開口を塞ぐ気密端子８は、図３（ａ）（ｂ）に示されるように、ピンｑ１，ｑ２，ｑ３，ｑ４を埋め込んだ気体封止板１７を、高絶縁性を有し、完全に通気性のないガラス、セラミックなどの材料で成形し、この気体封止板１７を支持する金属製外枠１８外周の接触部１９を金属製弾性体よりなるロードセル本体７０の側面に溶接またはハンダ接合（図３（ｃ）参照）することによって外部からの気体の流入を完全遮断するようにしている。なお、図３（ｃ）において、気密端子８の左方が気密室３側、右方が配線接続室１３側である。ここで、ピンｑ１，ｑ２は気密室３内の信号を外部の配線接続室１３へ送る役目をし、ピンｑ３，ｑ４はゲージＧ１〜Ｇ４へ与える電源電圧を供給する役目をする。
【００２９】
また、外気温の低下による気密室３内の結露を防止するために、ロードセル本体２に気体注入孔２´が設けられ、この気体注入孔２´から窒素ガス等の水蒸気を含まない気体が注入されて空気と置換される。あるいはシリカゲル等の吸湿剤を封入するなどの対策が取られる。
【００３０】
図２に示されるように、負帰還演算増幅回路２０は、演算増幅器ＡＭＰ１と入力抵抗ｒｉと負帰還抵抗ｒｆとを備えて構成されている。そして、ゲージブリッジの出力端ｐ１，ｐ２が負帰還演算増幅回路２０の入力点ｓ１，ｓ２にそれぞれ接続され、負帰還演算増幅回路２０の出力点ｓ３が気密端子８のピンｑ１に接続されている。また、演算増幅器ＡＭＰ１の出力が抵抗ｒｏ（例えば数Ｋオーム）を通して気密端子８のピンｑ２に接続されている。なお、上記回路構成において、入力抵抗ｒｉを用いず、ブリッジ回路のゲージ抵抗を入力抵抗として用いるような回路構成とすることもできる。また、入力信号に対して出力信号を負帰還制御する回路構成であれば、荷重信号の増幅を行わなくても良い。
【００３１】
このように構成されているので、ロードセル１の長期使用によって気密端子８の外部側の配線接続室１３内に配線ケーブル１０やねじ部１２から空気に含まれて侵入した水蒸気が水分（湿気）と化して蓄積し、ピンｑ１と両方の電源＋Ｖ１、−Ｖ２との間の絶縁抵抗Ｒ１´，Ｒ２´、あるいはピンｑ１とロードセル本体２間の絶縁抵抗Ｒ３（図示せず）が低い値になっても、演算増幅器ＡＭＰ１の許容電流内で負帰還制御が可能な間はゲージのブリッジ出力端ｐ１，ｐ２間から出力される荷重信号に正確に比例する出力信号を維持することができる。したがって、ピンｑ１の絶縁抵抗が極端に低くなるまで荷重信号には異常がなく、ロードセル１は長期間厳しい環境変化に耐えて正しい荷重信号を出力し続けることになる。
【００３２】
また、上記回路構成においては、演算増幅器ＡＭＰ１の出力が例えば数Ｋオームの抵抗ｒｏを通して気密端子８のピンｑ２に接続されており、しかもピンｑ１とピンｑ２とが近接配置されているので、これらピンｑ１とピンｑ２とでは湿気によってほぼ等しく絶縁抵抗の低下現象が生じることになる。上述のようにピンｑ１では絶縁抵抗の低下が進んでも出力電圧異常は生じない。これに対し、ピンｑ２の出力電圧ｅ０１´の値は、電源等との間の絶縁抵抗値が極めて高い間はほぼピンｑ１の出力電圧ｅ０１の値に等しいが、次第に絶縁抵抗値が低下し、電源等との間が等価的に低い抵抗値が接続された形になると、抵抗ｒｉと比較的低くなった絶縁抵抗とに基づいて出力電圧ｅ０１が分圧された値となるので、この出力電圧ｅ０１の値との間に差が生じることになる。
【００３３】
したがって、ピンｑ２の出力電圧ｅ０１´の信号を警報用として出力し、外部の重量測定装置において出力電圧ｅ０１と出力電圧ｅ０１´との差の大きさを判定することによって、出力電圧ｅ０１が異常になる（許容値以上の誤差が現れる）状態にはまだ十分余裕のある絶縁抵抗である間に絶縁異常状態（絶縁抵抗値が異常に低下している状態）を検知することができる。すなわち、出力電圧ｅ０１´の信号を故障予知信号として使用することができる。
【００３４】
このように、従来のロードセルでは、荷重信号そのものに異常が生じて初めて絶縁異常を発見していたのに対し、本実施形態のロードセル１によれば、ピンｑ１の絶縁抵抗値が極端に低い値となるまでに、つまり演算増幅器ＡＭＰ１が正しく負帰還制御できなくなることによって荷重信号出力ｅ０１が異常になるまでに、早期に絶縁抵抗の著しい低下を認識することができるので、計量器の定期検査、メンテナンス上でのロードセルの交換時期等の判断がし易くなるという効果を奏するものである。
【００３５】
また、従来の回路構成において、気密端子の電気信号導通ピンは、ピンｑ１と，ｑ２を荷重信号用に用い、ゲージへの励磁用（＋Ｖ１、−Ｖ２用）に各１本ずつのピンｑ３，ｑ４の計４本であった。本実施形態の回路構成においても、従来と同様、ゲージへの励磁用２本と、荷重信号用１本と、故障予知用１本の計４本のピンが用いられる。つまり、従来のものに比べて、ピンの総数を増やすことなく、故障予知用の信号導通ピンを設けることができる。
【００３６】
本実施形態において、図３に示される気密端子８の気体封止板１７が同じ面積のものであれば、ピン数が少ないほどピンｑ１，ｑ２，ｑ３，ｑ４相互間の距離およびピンと金属製外枠１８との間の距離を大きく保つことができ、絶縁抵抗低下速度も遅くなり、メンテナンス上の利点がある。
【００３７】
なお、本実施形態において、演算増幅器ＡＭＰ１の出力にパワーブースター回路を接続してピンｑ１と接続し、パワーブースターの出力から演算増幅器ＡＭＰ１の入力に帰還を掛けた回路構成にしてピンｑ１の許容電流を増やすようにすることもできる。
【００３８】
上記実施形態では、円板状の起歪部における曲げ歪みを検出することよって荷重信号を出力するロードセルについて説明した。図４には、本発明の他の実施形態として、ゲージブリッジの荷重信号出力端ｐ１，ｐ２をそれぞれボルテージフォロワ構成（もしくは差動増幅回路構成）の演算増幅器ＡＭＰ１，ＡＭＰ２の入力に接続し、各演算増幅器ＡＭＰ１，ＡＭＰ２の出力を気密端子のピンｑ１，ｑ１´に接続した例が示されている。
【００３９】
本実施形態の回路において、警報予知信号は、演算増幅器ＡＭＰ１，ＡＭＰ２のいずれかの出力に抵抗ｒｏ（例えば数Ｋオーム）が接続されて気密端子のピンｑ２に出力される。この例では、ピンｑ１，ｑ１´共に出力インピーダンスは極めて低くなるので、前記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００４０】
図５には、本発明が適用される前記実施形態とは異なるタイプのロードセルが示されている。
【００４１】
このロードセル３０は、通常の平行四辺形ロードセルと同様、金属製弾性体よりなるロードセル本体３１の上下２か所ずつに円形孔３２を設けるとともに、薄肉梁部を形成して、負荷荷重を加えることによって該薄肉梁部に伸縮曲げ歪みを生じさせ、さらに４個の円形孔３２間の中央に大きな円形孔３３を設け、円形孔３３と円形孔３２との間に４か所の薄肉起歪部を形成し、これら薄肉起歪部にゲージＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４をそれぞれ貼付することによって、これら薄肉起歪部に生じる歪み応力を検出するように構成されている。
【００４２】
円形孔３３の内周面には、ゲージＧ１〜Ｇ４が外気に露出しないようにするために、また荷重検出用起歪部の歪みに対して抵抗力を発生させないようにするために、図５（ｂ）に示されるようなフランジ付き円筒シール部材３４が溶着される。なお、負荷容量の大きいロードセルの場合には、円形孔３３に円板状の金属蓋を溶接して完全気密室を形成することもある。
【００４３】
ゲージ配線は、ロードセル本体内に形成された配線孔３５を通して表面から円筒状に加工された配線接続孔３６に導かれ、気密端子３７のピンから配線された導電線と配線接続孔３６の中で接続される。また、配線接続孔３６内にプリント基板を設置して負帰還演算増幅回路部品３８が配されて負帰還増幅回路が形成される。また、配線接続孔３６は図５（ｃ）に示されるような金属蓋３９で外気からシールされる。こうして、ゲージＧ１〜Ｇ４が貼付された空間、配線孔３５および配線接続孔３６が完全に通気遮断性（完全気密性）を確保している。また、ロードセル本体３１には窒素ガス注入孔３１´が設けられ、この窒素ガス注入孔３１´から窒素ガスを注入した後、この窒素ガス注入孔３１´は溶接にて封止される。
【００４４】
図６には、更に別のタイプのロードセルが示されている。
【００４５】
このロードセル４０は、柱型の起歪体４１を備え、圧縮型起歪体のゲージ貼付部周辺の空間が金属ケース４３によって完全に覆われ、外気を遮断した気密室４２が形成され、その気密室４２内に負帰還増幅回路部品４４が配置された構成とされている。なお、図にはその詳細が示されていないが、気密室内の配線を気密端子のピンによって外部配線と接続する配線接続室４５が設けられている。また、金属ケース４３の内部と外部の配線接続部間は完全通気遮断性を有する気密端子によって仕切られている。
【００４６】
このほかに、本発明は、弾性体の起歪部がせん断応力を検出する構造を持つロードセルに対しても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードセルの縦断面図
【図２】本実施形態のロードセルの回路構成図
【図３】気密端子の詳細構造を示す図
【図４】本発明の他の実施形態のロードセルの回路構成図
【図５】別タイプのロードセルへの適用例を示す図
【図６】さらに別タイプのロードセルへの適用例を示す図
【図７】一般的なロードセルの荷重検出回路説明図
【図８】従来の耐湿対策を施したロードセルの例を示す図
【符号の説明】
【００４８】
１        ロードセル
２        ロードセル本体（起歪体）
２´      気体注入孔
３        内空部（気密室）
４        荷重導入部
５        起歪部
６        リード線
７        回路基板
８        気密端子
９（ｑ１〜ｑ４）  電気信号導通ピン
１０      配線ケーブル
１１      接続金具
１２      ねじ部
１３      配線接続室
１４      シリコン樹脂
１５      回路部品
１６      金属蓋
１７      期待封止板
１８      金属製外枠
１９      接触部
２０      負帰還演算増幅回路
ＡＭＰ１，ＡＭＰ２  演算増幅器
Ｇ１〜Ｇ４  ストレインゲージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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