(57)【要約】【課題】正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる収納容器、ウェーハ移載システム、及びウェーハ移載方法を提供する。【解決手段】収納容器１のスロット８に挿入されるウェーハに関するウェーハ情報を測定装置２２で取得すると共に、ウェーハ情報をＲＦＩＤタグ１６で保持する。ＲＦＩＤタグ１６に保持されているウェーハ情報を用いることによって、搬送ロボットを正確に制御する。また、既に保持されているウェーハ情報を用いることで、ローディングやアンローディングの度にウェーハの位置や有無を取得することなく、速やかに移載作業を行う。【選択図】図４
2010067706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体内に複数のスロットを備え、前記スロットにウェーハを挿入することによって、前記ウェーハを収納する収納容器において、
前記スロットに挿入される前記ウェーハに関するウェーハ情報を保持する情報保持手段を備えることを特徴とする収納容器。
【請求項２】
前記情報保持手段は、ＲＦＩＤタグであることを特徴とする請求項１記載の収納容器。
【請求項３】
前記ウェーハ情報は、前記スロットに挿入された場合の前記ウェーハの位置情報であることを特徴とする請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項４】
前記ウェーハ情報は、前記スロットに挿入される前記ウェーハの有無についての情報であることを特徴とする請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項５】
収納容器の容器本体内に設けられた複数のスロットにウェーハを挿入し、前記収納容器に前記ウェーハを収納して、前記ウェーハを移載するウェーハ移載システムにおいて、
前記スロットに挿入される前記ウェーハに関するウェーハ情報を取得する情報取得手段と、
前記ウェーハ情報を保持する情報保持手段と、を備えることを特徴とするウェーハ移載システム。
【請求項６】
前記ウェーハをローディング又はアンローディングする場合に、前記情報保持手段から前記ウェーハ情報を読み込む情報読込手段を更に備えることを特徴とする請求項５記載のウェーハ移載システム。
【請求項７】
前記情報保持手段は、前記収納容器に設けられたＲＦＩＤタグであることを特徴とする請求項５又は６記載のウェーハ移載システム。
【請求項８】
前記情報保持手段は、前記収納容器の外部に設けられた情報記憶部であることを特徴とする請求項５又は６記載のウェーハ移載システム。
【請求項９】
収納容器の容器本体内に設けられた複数のスロットにウェーハを挿入し、前記収納容器に前記ウェーハを収納することによって、前記ウェーハを移載するウェーハ移載方法において、
前記スロットに挿入される前記ウェーハに関するウェーハ情報を取得する情報取得工程と、
前記ウェーハ情報を保持する情報保持工程と、
前記ウェーハをローディング又はアンローディングする場合に、前記情報保持工程において保持された前記ウェーハ情報を読み込む情報読込工程と、を備えることを特徴とするウェーハ移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを収納する収納容器、ウェーハを収納容器に収納して移載するウェーハ移載システム及びウェーハ移載方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のウェーハの収納容器として、複数のスロットを備え、各スロットにウェーハを挿入することによって、それらのウェーハを収納するものが用いられている。この収納容器は、半導体ウェーハやガラスウェーハなどのウェーハを工場間で輸送したり、ウェーハに加工や処理を行う工程内で搬送したり、保管するために使用するものである。このような収納容器は、射出成形により熱可塑性樹脂で形成されているため、成形時あるいは成形後の収縮によって各スロットの寸法がばらついていまい、挿入したウェーハの位置や傾きがばらつく場合がある。従って、出荷時においては収納容器のスロットの寸法管理を行って出荷し、出荷後においては、収納容器の種類やロットごとに、専用の治具などを用いてウェーハの位置を調整した状態でウェーハのローディングやアンローディングを行っていた。
【０００３】
また、従来のウェーハ移載システム及びウェーハ移載方法として、例えば、特許文献１に記載されているものが知られている。このウェーハ移載システム及びウェーハ移載方法では、ロボットハンドに設けられたセンサを用いて収納容器のスロットに挿入されているウェーハの位置情報を取得し、取得した位置情報に基づいてロボットハンドを制御している。
【特許文献１】特開２００４−５３６４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のように収納容器の種類やロットごとにウェーハの位置調整を行う場合、位置調整作業に手間がかかると共に、精度よくローディングやアンローディングを行うことができず、ウェーハが収納容器の壁面などと接触する可能性があった。また、センサによってウェーハの位置情報を取得してロボットハンドの制御を行う場合、ローディング又はアンローディングの際にウェーハごとに位置情報の取得を行わなくてはならず、ウェーハの加工や処理における工程数が多くなったときは、制御装置における計算処理の負荷が非常に大きくなり、移載作業の効率が低下してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる収納容器、ウェーハ移載システム、及びウェーハ移載方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る収納容器は、容器本体内に複数のスロットを備え、スロットにウェーハを挿入することによって、ウェーハを収納する収納容器において、スロットに挿入されるウェーハに関するウェーハ情報を保持する情報保持手段を備えることを特徴とする。
【０００７】
この収納容器では、例えば、スロットに挿入された場合のウェーハの位置情報や、スロットに挿入されたウェーハの有無についてのウェーハ有無情報など、ウェーハ情報を保持するための情報保持手段を備えている。従って、ウェーハのローディングやアンローディングの際に、情報保持手段に保持されているウェーハ情報を用いることによって、搬送ロボットを正確に制御することができる。また、既に保持されているウェーハ情報を用いることができるため、ローディングやアンローディングの度にウェーハの位置や有無を取得する必要がなく、速やかに移載作業を行うことができる。以上によって、正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる。
【０００８】
本発明に係る収納容器において、情報保持手段は、ＲＦＩＤタグであることが好ましい。収納容器にＲＦＩＤタグを取り付けることによって、ＲＦＩＤライター／リーダーを用いることで、製造工程において非接触でウェーハ情報を書き込むことができると共に、移載工程において非接触でウェーハ情報を読み込むことができる。
【０００９】
本発明に係る収納容器において、ウェーハ情報は、スロットに挿入される場合のウェーハの位置情報であることが好ましい。ウェーハの位置情報を用いることによって、ウェーハ移載装置でのウェーハ位置の測定作業を不要とすることができる。また、収納容器の壁面部などと衝突することなく正確にウェーハのローディングやアンローディングを行うことができるため、ウェーハの汚染や擦れによるマーキングを防止することができる。
【００１０】
本発明に係る収納容器において、ウェーハ情報は、スロットに挿入されるウェーハの有無についての情報であることが好ましい。各スロットのウェーハの有無をウェーハ情報として保有しておくことによって、ウェーハ移載装置でのウェーハのマッピング作業を不要とすることができるため、作業効率を向上させることができる。また、収納容器に内部確認用の透明窓を設けることなく、ウェーハの有無を確認することができるので、収納容器やその材料設計の自由度が向上する。
【００１１】
本発明に係るウェーハ移載システムは、収納容器の容器本体内に設けられた複数のスロットにウェーハを挿入し、収納容器にウェーハを収納して、ウェーハを移載するウェーハ移載システムにおいて、スロットに挿入されるウェーハに関するウェーハ情報を取得する情報取得手段と、ウェーハ情報を保持する情報保持手段と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
このウェーハ移載システムでは、例えば、スロットに挿入される場合のウェーハの位置情報や、スロットに挿入されるウェーハの有無についてのウェーハ有無情報などのウェーハ情報を情報取得手段で取得することができると共に、その取得したウェーハ情報を情報保持手段で保持しておくことができる。従って、ウェーハのローディングやアンローディングの際に、情報保持手段に保持されているウェーハ情報を用いることによって、搬送ロボットを正確に制御することができる。また、既に保持されているウェーハ情報を用いることができるため、ローディングやアンローディングの度にウェーハの位置や有無を取得する必要がなく、速やかに移載作業を行うことができる。以上によって、正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる。
【００１３】
本発明に係るウェーハ移載システムにおいて、ウェーハをローディング又はアンローディングする場合に、情報保持手段からウェーハ情報を読み込む情報読込手段を更に備えることが好ましい。情報読込手段でウェーハ情報を読み込むことによって、ローディング又はアンローディングする場合に当該ウェーハ情報を用いることができる。
【００１４】
本発明に係るウェーハ移載システムにおいて、情報保持手段は、収納容器に設けられたＲＦＩＤタグであることが好ましい。収納容器にＲＦＩＤタグを取り付けることによって、ＲＦＩＤライター／リーダーを用いて、情報取得手段で取得したウェーハ情報を非接触で情報保持手段に書き込むことができると共に、情報読込手段において非接触でウェーハ情報を読み込むことができる。
【００１５】
本発明に係るウェーハ移載システムにおいて、情報保持手段は、収納容器の外部に設けられた情報記憶部であることが好ましい。情報取得手段で取得したウェーハ情報をサーバーなどの情報記憶部に保持しておくことによって、複数の収納容器におけるウェーハ情報を一括で管理することができる。また、情報読込手段においては、ローディング又はアンローディングする際にサーバーなどの情報記憶部からウェーハ情報を引き出すことによって、収納容器ごとのウェーハ情報を読み込むことができる。
【００１６】
本発明に係るウェーハ移載方法は、収納容器の容器本体内に設けられた複数のスロットにウェーハを挿入し、収納容器にウェーハを収納することによって、ウェーハを移載するウェーハ移載方法において、スロットに挿入されるウェーハに関するウェーハ情報を取得する情報取得工程と、ウェーハ情報を保持する情報保持工程と、ウェーハをローディング又はアンローディングする際に、情報保持工程において保持されたウェーハ情報を読み込む情報読込工程と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
このウェーハ移載方法では、例えば、スロットに挿入された場合のウェーハの位置情報や、スロットに挿入されたウェーハの有無についてのウェーハ有無情報などのウェーハ情報を情報取得工程で取得することができると共に、その取得したウェーハ情報を情報保持工程で保持しておくことができる。従って、ウェーハのローディングやアンローディングの際に、情報保持工程で保持されたウェーハ情報を情報読込工程で読み込んで用いることによって、搬送ロボットなどを正確に制御することができる。また、既に保持されているウェーハ情報を用いることができるため、ローディングやアンローディングの度にウェーハの位置や有無を取得する必要がなく、速やかに移載作業を行うことができる。以上によって、正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る収納容器、ウェーハ移載システム、及びウェーハ移載方法によれば、正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００２０】
図１は、本実施形態に係る収納容器１の分解斜視図である。図２は、図１に示す収納容器１の背面図である。図３は、図１に示す収納容器１の底面図である。
【００２１】
図１に示すように、収納容器１は、ウェーハを収納して工場間で輸送したり、ウェーハに加工や処理を行う工程内で搬送したり保管するために使用するものであり、ウェーハを収納する容器本体２と、容器本体２を密閉するための蓋体３と、ＲＦＩＤタグを取り付けるためのＲＦＩＤホルダ４とを備えて構成されている。本実施形態において移載の対象となるウェーハは、半導体の基板などとして用いられるものであり、円板状のシリコンウェーハなどが挙げられる。なお、このウェーハには、ローディングの際に品質等級や仕様を分別するために用いられるバーコードが、フロント側（収納容器１に挿入した場合における開口部６側）の端面に形成されている。
【００２２】
収納容器１の容器本体２は、前面が開口した略立方体形状の箱体であり、熱可塑性樹脂を射出成形することによって形成される。容器本体２の開口部６に隣接する側壁部２ａ，２ｂの内面側には、複数の支持棚７が上下方向に複数設けられることによって、ウェーハを挿入して保持するためのスロット８が複数形成される。支持棚７は、側壁部２ａ，２ｂから容器内側に向かって突出し、開口部６側から後壁部２ｃに向かって延在することによって形成され、ウェーハの下面の縁部と面接触してウェーハを垂直方向に支持する棚部である。この支持棚７は、上下方向に一定のピッチで複数設けられており、これによって、一対の支持棚７同士の間に、ウェーハを挿入して支持できるスロット８が上下方向に複数形成される。本実施形態においては、スロット８は２５個形成されている。
【００２３】
容器本体２の上壁部２ｄの上面には、収納容器１を搬送する際に搬送装置で把持するためのロボティックフランジ９が設けられている。また、図３に示すように、容器本体２の底壁部２ｅの下面には、収納容器１からウェーハをローディング又はアンローディングする際に位置決めするために、ロードポート５１，５２の位置決めピン６１，６２，６３（図９、図１１参照）上に載置されるキネマティックカップリング１１，１２，１３が設けられている。このキネマティックカップリング１１は、底壁部２ｅ下面の後側位置における幅方向中央位置から下方へ突出すると共に前後方向に長軸を有する長円柱体の底面に、長円の長手方向に沿って延在するＶ字状の溝を形成することによって構成されている。キネマティックカップリング１２，１３は、キネマティックカップリング１１を底壁部２ｅ下面の中心周りに１２０°，２４０°回転させた位置に形成される。
【００２４】
図１に戻り、収納容器１の蓋体３は、容器本体２の前面側の開口部６を封止する、熱可塑性樹脂からなる略正方形の板状部材である。この蓋体３の外周面にはシール用のガスケットが取り付けられている。また、蓋体３には外部から操作可能なラッチ機構１２が内蔵されているため、ラッチ機構１２の操作によって、容器本体２への固定と取り外しが容易にできる。具体的には、ウェーハをローディング又はアンローディングする際は、外部に露出したラッチ機構１２の係合凹部１２ａに、ロードポート５１，５２の開閉装置５８の係合凸部５８ａを係合させて回転させることによって（図１１参照）、連結バー１２ｂを介して係止部１２ｃの容器本体２の係止凹部６ａへの係止を解除して蓋体３を容器本体２から取り外し、終了したら逆方向に回転させて連結バー１２ｂを介して係止部１２ｃを容器本体２の係止凹部６ａに係止させることによって、容器本体２に固定することができる。なお、蓋体３の裏面側には、弾性部材に複数のスリットを形成することによって、収納されたウェーハを支持するためのリテーナ（不図示）が設けられている。
【００２５】
ＲＦＩＤタグ（情報保持手段）１６を取り付けるためのＲＦＩＤホルダ４は、容器本体２の底壁部２ｅの下面に固定されるベース板１３と、ＲＦＩＤタグ１６を固定するための壁板１４とを備えて構成されている。ＲＦＩＤホルダ４のベース板１３は、底壁部２ｅの後側端部付近で下面と対向する板状部材であり、両端部に設けられた爪部１３ａを底壁部２ｅ下面の係止部で引っ掛けることによって容器本体２に固定される。ＲＦＩＤホルダ４の壁板１４は、容器本体２の後壁部２ｃと対向するようにベース板１３の後端部に垂直に立設された長方形の板状部材である。この壁板１４の内側面にはＲＦＩＤタグ１６が固定されている。
【００２６】
ＲＦＩＤタグ１６は、ＲＦＩＤライター及びＲＦＩＤリーダーを用いることによって、非接触で所定の情報を書込み及び読み取りすることができる電子部品であり、一般的には、内部にアンテナ、送受信機、メモリーを備えて円筒状に形成されている。このＲＦＩＤタグ１６には、容器本体２のスロット８に挿入されるウェーハに関するウェーハ情報を入力、保持させることができる。ウェーハ情報とは、スロットに挿入される場合のウェーハの位置情報、すなわち挿入されたウェーハの前後左右の載置位置の寸法データ、ウェーハの高さ位置の寸法データ、及び前後左右の傾きの寸法データである。また、ウェーハ情報には、スロット８に挿入されるウェーハの有無に関する情報、すなわち所定のスロット８にウェーハが挿入されているか否かについての情報も含まれる。なお、ウェーハの位置情報の取得方法については後述する。
【００２７】
図２に示すように、ＲＦＩＤホルダ４の壁板１４の外面には、バーコード１７が形成されている。このバーコード１７は、バーコードが記載されたシールを貼着することによって、又は、壁板１４に対してレーザー照射することによって形成することができる。バーコード１７は、収納容器１の固有の識別番号及び製造ロットなどの識別情報を示すことが可能である。
【００２８】
収納容器１の各部材の材質について説明する。容器本体２及び蓋体３は、透明であり視認性の良好なポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、アクリル樹脂などの熱可塑性樹脂を射出成形することによって形成される。支持棚７，リテーナ、位置決め部材、及びその他部材は、上述の樹脂の他に、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォンなどの合成樹脂や、ポリオレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系の各種熱可塑性エラストマー樹脂によって形成される。
【００２９】
次に、本発明の実施形態に係るウェーハ移載システム１００の構成について説明する。図４は本発明の実施形態に係るウェーハ移載システム１００の構成を示すブロック図である。ウェーハ移載システム１００は、収納容器１に収納してウェーハを移載するものである。ウェーハ移載システム１００は、図４に示すように、収納容器１と、製造側システム２０と、移載側システム４０とを備えて構成されている。収納容器１の構成は、上述の通りであり、情報保持手段としてのＲＦＩＤタグ１６を備えている。
【００３０】
製造側システム２０は、収納容器１を製造する製造装置中に組み込まれるものであり、識別情報書込装置２１と、測定装置（情報取得手段）２２と、サーバー２３と、ウェーハ情報書込装置２４と、制御装置２６とを備えて構成されている。
【００３１】
識別情報書込装置２１は、収納容器１に固有の識別番号及び製造ロットなどの識別情報を書き込む機能を有している。識別情報書込装置２１は、具体的には、ＲＦＩＤホルダ４の壁板１４に貼り付けるためのバーコードシールに識別情報を示すバーコード１７を印刷するための印刷機や、壁板１４に直接バーコード１７を書き込むためのレーザー装置などから構成されている。
【００３２】
測定装置２２は、収納容器１のスロット８に挿入されるウェーハに関するウェーハ情報、具体的には、スロット８に挿入される場合のウェーハの位置情報、すなわち挿入されたウェーハの前後左右の載置位置の寸法データ、ウェーハの高さ位置の寸法データ、及び前後左右の傾きの寸法データなどを測定する機能を有している。ここで、図９及び図１０を参照して、ウェーハの位置情報について説明する。高さ方向の基準となる基準水平面（Horizonal datum plane）ＨＤＰは、規格化されている３つの位置決めピン６１，６２，６３の先端までの高さの最大値と最小値との平均高さから１３ｍｍ下方（位置決めピンの根元方向）に位置する水平面によって与えられる。最下段のウェーハＷの高さ位置の寸法データはＨＤＰからウェーハの下面までの高さで与えられ、二段目以降の各ウェーハＷの高さ位置の寸法データは、当該ウェーハＷの下面と、一つ下段のウェーハＷの下面との間のピッチで与えられる。また、水平方向の基準となる中心平面（Facial datum plane）ＦＤＰは、次のように定められる。規格化されている３つの位置決めピン６１，６２，６３のうち、収納容器１の蓋体３が嵌合する正面側に位置する二つの位置決めピン６２，６３をフロント側ピン６２，６３とし、残りの位置決めピン６１をリア側ピン６１とする。まず、リア側ピン６１の中心軸を通り、フロント側ピン６２，６３の中心同士を結ぶ線と直交し、フロント側ピン６２，６３のそれぞれの中心軸から等距離にある垂直平面を（Bilateral Datum Plane）ＢＤＰとして定める（図１０参照）。次に、このＢＤＰに直交する平面であって、リア側ピン６１の中心軸線からの距離（図１０においてｘ２で示す）がフロント側ピン６２，６３の中心軸線からの距離（図１０においてｘ１で示す）の１．５倍となるような平面をＦＤＰとして定める。このとき、ＦＤＰとＢＤＰとは互いに直交する平面であると共に、それぞれＨＤＰとも直交する平面であり、互いに収納容器１に収納されるウェーハＷを略二等分する。ウェーハＷの水平方向の載置位置の寸法データは、ウェーハＷの前端部とＦＤＰとの間の距離及び後端部とＦＤＰとの間の距離で与えられる。
【００３３】
図５及び図６は、測定装置２２でスロット８内に挿入されたウェーハの位置情報を測定する様子を示した図であり、（ａ）に平面図を示し、（ｂ）に側面図を示す。この測定装置２２は、収納容器１のスロット８に測定用ダミーウェーハが挿入された後に、そのダミーウェーハの位置情報を測定するものである。図５及び図６に示すように、測定装置２２は、ベース２７と、ベース２７の上面に回転可能に設けられたキネマティックプレート２８と、収納容器１内のダミーウェーハの位置を測定するレーザーセンサー２９と、レーザーセンサー２９をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸方向移動レール３１と、レーザーセンサー２９をＺ軸方向に移動させるためのＺ軸方向移動レール３２とを備えて構成されている。キネマティックプレート２８の上面には、収納容器１を位置決めするための位置決めピンが設けられているが、この位置決めピンは規格化されたものであり、ロードポート５１，５２に設けられているものと、同一の大きさを有すると共に同一の位置関係で配置されている。また、制御装置２６に送信された位置情報は、サーバー２３で保存される。このような測定装置２２としては、「ＮＥＺＩＶ  ＶＭＲ−Ｃ４５４０」（株式会社ニコン製：登録商標）が用いられ、対物レンズを組み込んだ微小スポットの高分解能レーザーオートフォーカス機能を備えたカメラにより予め定められた順序で、ダミーウェーハを非接触で測定することが可能となる。
【００３４】
測定装置２２でウェーハの位置情報を取得する手順について説明する。まず、収納容器１に測定用のダミーウェーハを手動あるいは自動で２５枚収納して蓋体３で封止する。ダミーウェーハが収納された収納容器１を測定装置２２まで搬送し、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、前面側がレーザーセンサー２９側を向くように、収納容器１を測定装置２２のキネマティックプレート２８の上面の位置決めピン上にセットする。その後、収納容器１の蓋体３のラッチを外すと共に蓋体３を取り除き、容器本体２の前面側を開放する。最下段のウェーハから順番に、レーザーセンサー２９で高さ位置寸法、及びＸ軸方向の位置寸法を測定する。具体的には、レーザー光の焦点をウェーハのフロント側のエッジ付近に合わせて、焦点が最適となる位置を計測することによって、測定する。同様にして、一つ上段のウェーハについても順次測定を行い、各ウェーハのフロント側の位置情報を取得する。次に、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、キネマティックプレート２８を１８０°回転させる。フロント側と同じく、下段側から各ウェーハのリア側の位置情報を取得する。なお、容器本体２は、透明な樹脂から形成されているため、レーザーセンサー２９のレーザー光を透過させることができる。
【００３５】
図４に戻り、ウェーハ情報書込装置２４は、収納容器１のＲＦＩＤタグ１６にウェーハ情報を書き込む機能を有している。ウェーハ情報書込装置２４は、具体的には、アンテナとライターユニットを備えて位置情報を書き込むＲＦＩＤライターから構成されている。このウェーハ情報書込装置２４は、サーバー２３に格納されている位置情報を電磁波を発信することによって非接触でＲＦＩＤタグ１６に書き込む。
【００３６】
制御装置２６は、例えば、電子制御を行うデバイスであり、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、および入出力インターフェイスなどを備えて構成されている。制御装置２６は、直接あるいはネットワークを介して識別情報書込装置２１、測定装置２２、ウェーハ情報書込装置２４、サーバー２３に論理的に接続されており、信号の送受信が可能となっている。制御装置２６は、収納容器１に書き込む識別番号や製造ロットなどの識別情報を設定して、識別情報書込装置２１に送信する機能を有している。また、測定装置２２から受信した位置情報を識別情報と関連付けてサーバー２３へ送信する機能を有している。また、サーバー２３から識別情報と関連付けられた位置情報を受信してウェーハ情報書込装置２４に送信する機能を有している。
【００３７】
移載側システム４０は、収納容器１にウェーハを収納するための収納装置やウェーハに加工を施すための加工装置中に組み込まれるものである。移載側システム４０は、識別情報読込装置４１と、ウェーハ情報読込装置（情報読込手段）４２と、移載装置４３と、有無情報取得装置（情報取得手段）４４と、有無情報書込装置４６と、サーバー４７と、制御装置４８とを備えて構成されている。
【００３８】
識別情報読込装置４１は、収納容器１にウェーハをローディングあるいはアンローディングする前段階において、対象となっている収納容器１の識別情報を読み込む機能を有しており、具体的には、バーコードリーダーから構成されている。識別情報読込装置４１は、対象となっている収納容器１に付されているバーコード１７を読み取ることによって、その収納容器１の固有の識別番号及び製造ロットを取得する。識別情報読込装置４１は、制御装置４８と接続されており、取得した識別番号及び製造ロットを制御装置４８へ送信する。なお、この識別情報読込装置４１は、移載装置４３のロードポートごとに設けられていてもよく、あるいは、移載装置４３のロードポートに対象となる収納容器１が載置される前工程に設けられていてもよい。
【００３９】
ウェーハ情報読込装置４２は、対象となる収納容器１のＲＦＩＤタグ１６から位置情報を読み込む機能を有している。ウェーハ情報読込装置４２は、具体的には、アンテナとリーダー・ライターユニットを備え、位置情報を読み書き可能なＲＦＩＤリーダー・ライターから構成されている。このウェーハ情報読込装置４２は、ＲＦＩＤタグ１６に電磁波を発信して応答エネルギーを与えて、ＲＦＩＤタグ１６で保持されている位置情報を非接触で受信し、受信信号をデジタル信号に変換して読み込む。ウェーハ情報読込装置４２は制御装置４８と接続されており、読み込んだ位置情報を制御装置４８へ送信し、制御装置４８は、受信した位置情報を識別情報と関連付けてサーバー４７に格納する。なお、このウェーハ情報読取装置４２は、移載装置４３のロードポートごとに設けられていてもよく、あるいは、移載装置４３のロードポートに対象となる収納容器１が載置される前工程に設けられていてもよい。
【００４０】
移載装置４３は、収納容器１に収容されたウェーハをアンローディングし、収納容器１の空のスロット８に、ウェーハをローディングする機能を有している。移載装置４３は、例えば、製造されたウェーハを要求された品質等級ごとに分別するように空の収納容器１にウェーハをローディングするロットコンパイラや、ウェーハに電子回路配線などの加工を施したり各種処理を施すようなウェーハ加工工程内においてウェーハを新たな収納容器１に移し変えるソーターなどによって構成されている。
【００４１】
図７は移載装置４３の構成の一例を示す平面図である。図８は図７に示す移載装置４３の断面図である。図９は図８に示すロードポート付近の拡大断面図である。図１１はロードポートの斜視図である。図７及び図８に示すように、移載装置４３は、ウェーハが収納されている収納容器１を載置する供給側ロードポート５１と、供給側ロードポート５１からウェーハを受け取る空の収納容器１を載置する受取側ロードポート５２と、供給側の収納容器１からウェーハをアンローディングして受取側の収納容器１へウェーハをローディングする搬送ロボット５３とを備えて構成されている。なお、供給側ロードポート５１には、ロボティックフランジ９が把持されながら搬送装置（不図示）で搬送されることで収納容器１がセットされ、受取側ロードポート５２からは、ローディングが終了した収納容器１がロボティックフランジ９を把持されながら搬送装置で搬送される。
【００４２】
供給側ロードポート５１及び受取側ロードポート５２は、図９及び図１１に示すように、収納容器１を載置するためのキネマティックプレート５６と、キネマティックプレート５６を支持するために移載装置４３の側壁部に固定されたテーブル５７と、キネマティックプレート５６に載置された収納容器１の蓋体３を取り外し及び取付するための開閉装置５８とを備えて構成されている。また、キネマティックプレート５６の上面には、収納容器１の底面に設けられたキネマティックカップリング１１，１２，１３をセットするための位置決めピン６１，６２，６３が設けられている。この位置決めピン６１，６２，６３は、キネマティックプレート５６の上面で三箇所から突出し、先端が半球状とされたピンであり、その位置及び大きさは規格に従う。キネマティックカップリング１１，１２，１３にはＶ字状の溝が形成されているため、位置決めピン６１，６２，６３の球状の先端部がＶ字溝に嵌入することによって、収納容器１の位置決めがなされる。
【００４３】
移載装置４３の搬送ロボット５３は、制御装置４８から受信した制御信号に基づいて動作するものである。本発明においては、収納容器１のＲＦＩＤタグ１６に保持されたウェーハ情報に基づいて予め動作経路が設定された状態で搬送ロボット５３が動作する。また、搬送ロボット５３のロボットハンドの先端にはウェーハのフロント側の端部に形成されたバーコードを読み取るバーコードリーダーが取り付けられている。
【００４４】
有無情報取得装置４４は、受取側ロードポート５２の収納容器１に１〜２５枚のウェーハが挿入され、その収納容器１についてのローディング作業が完了した後に、各スロット８について挿入されたウェーハの有無を測定し、ウェーハ有無情報を取得する機能を有している。この有無情報取得装置４４は、レーザーセンサーで各スロット８を測定することによって、ウェーハの有無を調べることができる。有無情報取得装置４４は、受取側ロードポート５２に載置された状態で測定してもよく、受取側ロードポート５２から収納容器１を搬送した後で測定してもよい。また、ロボットハンドで検知したウェーハの各スロットへの挿入情報から入手することもできる。
【００４５】
有無情報書込装置４６は、有無情報取得装置４４で取得したウェーハ有無情報をその収納容器１のＲＦＩＤタグ１６に書き込む機能を有している。有無情報書込装置４６は、製造側システム２０の識別情報書込装置２１と同じく、ＲＦＩＤライターで構成されている。ＲＦＩＤタグ１６に保持されたウェーハ有無情報は、後の工程内で利用される。
【００４６】
制御装置４８は、例えば、電子制御を行うデバイスであり、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、および入出力インターフェイスなどを備えて構成されている。制御装置４８は、直接あるいはネットワークを介して識別情報読込装置４１、ウェーハ情報読込装置４２、移載装置４３、有無情報取得装置４４、有無情報書込装置４６、サーバー４７に論理的に接続されており、信号の送受信が可能となっている。この制御装置４８は、識別情報と関連付けられたウェーハ情報に基づいて移載装置４３における搬送ロボット５３の最適な動作経路を計算すると共に、設定した動作経路に従って搬送ロボット５３が動作するように制御信号を送信する機能を有している。
【００４７】
次に、本実施形態に係るウェーハ移載システム１００の動作について、図１２〜図１５を参照して説明する。図１２は、収納容器１に識別情報及びウェーハ位置情報を書き込む処理における、製造側システム２０の制御装置２６の動作を示すフローチャートである。図１３は、収納容器１にウェーハ有無情報を書き込む処理における、移載側システム４０の制御装置４８の動作を示すフローチャートである。図１４は、ウェーハ収納工程における移載側システム４０の制御装置４８の動作の一例を示すフローチャートである。図１５は、ウェーハ加工工程における移載側システム４０の制御装置４８の動作の一例を示すフローチャートである。
【００４８】
収納容器１に識別情報及びウェーハ位置情報を書き込む処理において、制御装置２６は、図１２に示す処理を新たな収納容器１が製造されるたびに所定のタイミングで実行する。最初に、制御装置２６は、識別情報設定処理から開始する（Ｓ１０）。Ｓ１０の処理は、新たに製造された収納容器１に対して固有の識別情報を設定する処理である。Ｓ１０の処理が終了すると、識別情報書込制御処理へ移行する（Ｓ１２）。
【００４９】
Ｓ１２の処理は、識別情報書込装置２１に制御信号を送信することによって、収納容器１にＳ１０で設定した識別情報を示すバーコードを書き込む処理である。Ｓ１２の処理が終了すると、位置情報取得処理へ移行する（Ｓ１４）。
【００５０】
Ｓ１４の処理は、収納容器１にダミーウェーハを収納して測定装置２２で測定することによって得られたウェーハの位置情報を取得する処理である（情報取得工程）。この処理で取得された位置情報は、識別情報と関連付けられてサーバー２３に格納される。Ｓ１４の処理が終了すると、位置情報書込制御処理へ移行する（Ｓ１６）。
【００５１】
Ｓ１６の処理は、ウェーハ情報書込装置２４へ制御信号を送信することによって、収納容器１のＲＦＩＤタグ１６に位置情報を書き込む処理である（情報保持工程）。制御装置２６は、対象となる収納容器１の識別情報に関連付けられた位置情報をサーバー２３から取り出し、制御信号としてウェーハ情報書込装置２４へ送信する。Ｓ１６の処理が終了すると、図１２に示す動作が終了する。
【００５２】
収納容器１にウェーハ有無情報を書き込む処理において、制御装置４８は、図１３に示す処理を、ウェーハ収納工程やウェーハ加工工程で一つの収納容器１に１〜２５枚のウェーハが挿入されてローディング作業が完了するたびに所定のタイミングで実行する。最初に、制御装置４８は、識別情報取得処理から開始する（Ｓ２０）。Ｓ２０の処理は、受取側ロードポート５２にセットされた収納容器１に設定された固有の識別情報を取得する処理である。この処理は、受取側ロードポート５２に収納容器１がセットされるとき、あるいはセットされる前に実行され、収納容器１に形成されたバーコード１７を識別情報読込装置４１で読み込むことによって識別情報を取得できる。Ｓ２０の処理が終了すると、ウェーハ有無情報取得処理へ移行する（Ｓ２２）。
【００５３】
Ｓ２２の処理は、ローディング作業が完了した収納容器１のウェーハをレーザーセンサーなどで測定することによって得られたウェーハの有無情報を取得する処理である（情報取得工程）。この処理で取得されたウェーハ有無情報は、識別情報と関連付けられてサーバー４７に格納される。Ｓ２２の処理が終了すると、ウェーハ有無情報書込制御処理へ移行する（Ｓ２４）。
【００５４】
Ｓ２４の処理は、有無情報書込装置４６へ制御信号を送信することによって、収納容器１のＲＦＩＤタグ１６にウェーハ有無情報を書き込む処理である（情報保持工程）。制御装置４８は、対象となる収納容器１の識別情報に関連付けられたウェーハ有無情報をサーバー４７から取り出し、制御信号として有無情報書込装置４６へ送信する。Ｓ２４の処理が終了すると、図１３に示す動作が終了する。
【００５５】
ロットコンパイラで収納容器１にウェーハをローディングするウェーハ収納工程において、制御装置４８は、図１４に示す処理を所定のタイミングで実行する。ここでは、複数の受取側ロードポート５２のそれぞれに収納容器１をセットし、ウェーハを品質等級ごとに分別して収納容器１に収納する場合について説明する。
【００５６】
最初に、制御装置４８は、識別情報取得処理から開始する（Ｓ３０）。Ｓ３０の処理は、受取側ロードポート５２にセットされた収納容器１の識別情報を取得する処理である。この処理は、複数の受取側ロードポート５２のそれぞれに新たな収納容器１がセットされるとき、あるいはセットされる前段階に実行される。Ｓ３０の処理は、識別情報読込装置４１で収納容器１のバーコード１７を読み込むことによって実行される。Ｓ３０の処理が終了すると、ウェーハ情報取得処理へ移行する（Ｓ３２）。
【００５７】
Ｓ３２の処理は、ウェーハ情報読込装置４２を制御して収納容器１のＲＦＩＤタグ１６を読み込むことによって、ＲＦＩＤタグ１６で保持されたウェーハ位置情報などのウェーハ情報を取得する処理である（情報読込工程）。取得されたウェーハ情報は、識別情報と関連付けられてサーバー４７に格納される。この処理は、複数の受取側ロードポート５２のそれぞれに新たな収納容器１がセットされるとき、あるいはセットされる前段階に実行される。Ｓ３２の処理が終了すると、アンローディング制御処理へ移行する（Ｓ３４）。
【００５８】
Ｓ３４の処理は、供給側のウェーハキャリアからウェーハをアンローディングするように搬送ロボット５３を制御する処理である。この処理は、移載装置４３の搬送ロボット５３に制御信号を送信することによって実行される。なお、ウェーハキャリアをアンローディングする際、搬送ロボット５３のロボットハンドの先端に設けられたバーコードリーダーで、ウェーハの端面に形成されたバーコードを読み取る。Ｓ３４の処理が終了すると、品質等級分別処理へ移行する（Ｓ３６）。
【００５９】
Ｓ３６の処理は、Ｓ３４の処理で読み取ったウェーハのバーコードに基づいて供給側のウェーハの品質を判断し、品質等級を分別する処理である。ウェーハの品質等級を分別することによって、対象となっているウェーハを受取側のどの収納容器に収納するかが決定される。Ｓ３６の処理が終了すると、動作経路設定処理へ移行する（Ｓ３８）。
【００６０】
Ｓ３８の処理は、Ｓ３２で取得したウェーハ情報とＳ３８で分別した品質等級に基づいて、ローディングの際の搬送ロボット５３の動作経路を設定する処理である。Ｓ３８でローディングするウェーハの分別がなされ、ローディング先の収納容器１が決定している。また、Ｓ３２でウェーハ情報を取得したことによって、サーバー４７から、ローディング先の収納容器１の識別情報に関連付けられたウェーハ位置情報を読み出すことができる。従って、ローディング作業を行う前に、予め、ウェーハと収納容器１の側壁とが接触しないような正確な動作経路を計算して設定することができる。なお、予め計算しておいた動作経路をウェーハの分別結果に応じて読み出して設定してもよい。Ｓ３８の処理が終了すると、ローディング制御処理へ移行する（Ｓ４０）。
【００６１】
Ｓ４０の処理は、Ｓ４０で設定した動作経路に従って、収納容器１にウェーハをローディングするように搬送ロボット５３を制御する処理である。この処理は、移載装置４３の搬送ロボット５３に制御信号を送信することによって実行される。Ｓ４０の処理が終了すると、図４０に示す動作が終了する。なお、ウェーハをローディングすることで収納容器１に２５枚のウェーハが収納され、その収納容器１についてのローディング作業が完了した場合は、収納容器１の蓋体３を取り付け、搬送装置で受取側ロードポート５２から搬送すると共に、新たな収納容器１を受取側ロードポート５２にセットする。
【００６２】
ソーターでウェーハを新たな収納容器１に移し変えるウェーハ加工工程において、制御装置４８は、図１５に示す処理を所定のタイミングで実行する。ここでは、複数の供給側ロードポート５１のそれぞれにウェーハが収納された収納容器１をセットすると共に、複数の受取側ロードポート５２のそれぞれに空の収納容器１をセットし、ウェーハの使用ごとに分別して収納容器１を移し変える場合について説明する。
【００６３】
最初に、制御装置４８は、識別情報取得処理から開始する（Ｓ５０）。Ｓ５０の処理は、供給側ロードポート５１及び受取側ロードポート５２にセットされた収納容器１の識別情報を取得する処理である。この処理は、複数の供給側ロードポート５１及び受取側ロードポート５２のそれぞれに新たな収納容器１がセットされるとき、あるいはセットされる前段階に実行される。Ｓ５０の処理は、識別情報読込装置４１で収納容器１のバーコード１７を読み込むことによって実行される。Ｓ５０の処理が終了すると、ウェーハ情報取得処理へ移行する（Ｓ５２）。
【００６４】
Ｓ５２の処理は、ウェーハ情報読込装置４２を制御して収納容器１のＲＦＩＤタグ１６を読み込むことによって、ＲＦＩＤタグ１６で保持されたウェーハ位置情報やウェーハ有無情報などのウェーハ情報を取得する処理である（情報読込工程）。取得されたウェーハ情報は、収納容器１ごとの固有の識別情報と関連付けられてサーバー４７に格納される。この処理は、複数の供給側ロードポート５１及び受取側ロードポート５２のそれぞれに新たな収納容器１がセットされるとき、あるいはセットされる前段階に実行される。Ｓ５２の処理が終了すると、動作経路設定処理へ移行する（Ｓ５４）。
【００６５】
Ｓ５４の処理は、Ｓ５２で取得したウェーハ情報に基づいて、ローディングの際の搬送ロボット５３の動作経路を設定する処理である。Ｓ５２でウェーハ情報を取得したことによって、サーバー４７から、ウェーハをアンローディングする収納容器１の識別情報に関連付けられたウェーハ位置情報を読み出すことができる。従って、アンローディング作業を行う前に、予め、搬送ロボット５３のロボットハンドの先端部とウェーハとが衝突しないような正確な動作経路を計算して設定する。なお、予め計算しておいた動作経路をウェーハの分別結果に応じて読み出して設定してもよい。Ｓ５４の処理が終了すると、アンローディング制御処理へ移行する（Ｓ５６）。
【００６６】
Ｓ５６の処理は、供給側ロードポート５１にセットされた収納容器１からウェーハをアンローディングするように搬送ロボット５３を制御する処理である。この処理は、移載装置４３の搬送ロボット５３に制御信号を送信することによって実行される。なお、ウェーハキャリアをアンローディングする際、搬送ロボット５３のロボットハンドの先端に設けられたバーコードリーダーで、ウェーハの端面に形成されたバーコードを読み取る。Ｓ５６の処理が終了すると、ウェーハ分別処理へ移行する（Ｓ５８）。
【００６７】
Ｓ５８の処理は、Ｓ５６の処理で読み取ったウェーハのバーコードに基づいて仕様ごとにウェーハを分別する処理である。ウェーハを仕様ごとに分別することによって、対象となっているウェーハを受取側のどの収納容器１に収納するかが決定される。Ｓ５８の処理が終了すると、動作経路設定処理へ移行する（Ｓ６０）。
【００６８】
Ｓ６０の処理は、Ｓ５２で取得したウェーハ情報とＳ５８で分別した結果に基づいて、ローディングの際の搬送ロボット５３の動作経路を設定する処理である。Ｓ５８でローディングするウェーハの分別がなされ、ローディング先の収納容器１が決定している。また、Ｓ５２でウェーハ情報を取得したことによって、サーバー４７から、ウェーハをローディング先の収納容器１の識別情報に関連付けられたウェーハ位置情報を読み出すことができる。従って、ローディング作業を行う前に、予め、ウェーハと収納容器１の側壁とが衝突しないような正確な動作経路を計算して設定する。なお、予め計算しておいた動作経路をウェーハの分別結果に応じて読み出して設定してもよい。Ｓ６０の処理が終了すると、ローディング制御処理へ移行する（Ｓ６２）。
【００６９】
Ｓ６２の処理は、Ｓ６０で設定した動作経路に従って、収納容器１にウェーハをローディングするように搬送ロボット５３を制御する処理である。この処理は、移載装置４３の搬送ロボット５３に制御信号を送信することによって実行される。Ｓ６２の処理が終了すると、図１５に示す動作が終了する。なお、ウェーハをローディングすることで収納容器１に２５枚のウェーハが収納され、その収納容器１についてのローディング作業が完了した場合は、収納容器１の蓋体３を取り付け、搬送装置で受取側ロードポート５２から次の加工工程へ搬送すると共に、新たな収納容器１を受取側ロードポート５２にセットする。また、供給側の収納容器１からウェーハが全て無くなった場合も、ウェーハが収納された新たな収納容器１を供給側ロードポート５１にセットする。
【００７０】
以上によって、本実施形態に係る収納容器１、ウェーハ移載システム１００及びウェーハ移載方法においては、ＲＦＩＤタグ１６に保持されているウェーハ情報を用いることによって、搬送ロボットを正確に制御することができる。また、既に保持されているウェーハ情報を用いることができるため、ローディングやアンローディングの度にウェーハの位置や有無を取得することなく、速やかに移載作業を行うことができる。以上によって、正確にローディングやアンローディングを行うことができると共に、効率よくウェーハの移載をすることができる。
【００７１】
また、ＲＦＩＤタグ１６を情報保持手段として用いていることによって、製造工程において非接触でウェーハ情報を書き込むことができると共に、移載作業において非接触でウェーハ情報を読み込むことができる。
【００７２】
また、ウェーハの位置情報を予め保持することによって、ウェーハの移載装置４３での搬送ロボットのウェーハのローディング、アンローディングの位置の調整作業を不要とすることができる。また、収納容器１の壁面部などと衝突することなく正確にウェーハのローディングやアンローディングを行うことができるため、ウェーハの汚染や擦れによるマーキングを防止することができる。
【００７３】
また、各スロット８のウェーハの有無を予め保持しておくことによって、ウェーハ移載装置４３のそれぞれにおいてウェーハのマッピング作業を不要とすることができるため、作業効率を向上させることができる。また、収納容器１に内部確認用の透明窓を設けることなく、ウェーハの有無を確認することができるので、収納容器１やその材料設計の自由度が向上する。
【００７４】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
【００７５】
例えば、ＲＦＩＤタグ１６は、ＲＦＩＤホルダ４を介して容器本体２に固定されているが、これに代えて、容器本体２、蓋体３に直接取り付けてもよい。
【００７６】
また、レーザー照射により壁板１４にバーコード１７を形成する例を示したが、容器本体２、蓋体３に二次元コードをレーザー照射により直接形成することもできる。この場合、より多くの識別情報を入力できるし、成形直後に個体の識別情報を書き込むことができるので、工程内管理が容易にできる。なお、容器本体２、蓋体３に二次元コードを形成する場合、表面に形成することもできるが、焦点位置を調節することによって、肉厚中に形成することもできる。肉厚中に形成した場合は、収納容器１を洗浄、乾燥、あるいはその他の処理をしても変質したり汚染物を発生することを防止することができる。
【００７７】
また、ＲＦＩＤタグ１６にはウェーハ情報のみが保持されていたが、ＲＦＩＤタグ１６に識別番号及び製造ロットを入力することも可能である。その場合、ＲＦＩＤライターが識別情報書込装置２１として機能する。更に、バーコード１７を不要とすることもできる。
【００７８】
また、本実施形態においては、ウェーハ情報をＲＦＩＤタグ１６に保持させていたが、これに代えて、ＲＦＩＤタグを用いずに、サーバー（情報記憶部）２３，４７に直接ウェーハ情報を格納することによって、サーバーを情報保持手段として機能させてもよい。この場合、移載装置４３の各ロードポート５１，５２がセットされている収納容器１の識別情報を取得したときに、当該識別情報に対応するウェーハ情報をサーバーから読み出して利用することができる。この場合、サーバー４７は、ネットワークや記憶媒体を介して製造側システム２０のサーバー２３内の情報を取得することが可能な構成とされる。このように、測定装置２２や有無情報取得装置４４で取得したウェーハ情報をサーバーなどの情報記憶部に保持しておくことによって、複数の収納容器１におけるウェーハ情報を一括で管理することができる。
【００７９】
また、本実施形態においては、ウェーハ情報と識別番号を一対一の対応関係としたが、製造ロットごとにウェーハ情報を取得して、製造ロットの寸法データの平均値をウェーハ情報として用いてもよい。
【００８０】
工程内で使用される収納容器１は、定期的に洗浄されて繰り返し使用されるため、例えば、使用開始から半年ごとに再測定することによってウェーハ位置情報を再取得し、これをＲＦＩＤタグ１６に保持された初期のウェーハ位置情報と比較することで、収納容器１が引き続き使用可能であるか否かを検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施形態に係る収納容器の分解斜視図である。
【図２】図１に示す収納容器の背面図である。
【図３】図１に示す収納容器の底面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るウェーハ移載システム構成を示すブロック図である。
【図５】測定装置でスロット内に挿入されたウェーハの位置情報を測定する様子を示した図であり、（ａ）に平面図を示し、（ｂ）に側面図を示す。
【図６】測定装置でスロット内に挿入されたウェーハの位置情報を測定する様子を示した図であり、（ａ）に平面図を示し、（ｂ）に側面図を示す。
【図７】移載装置の構成の一例を示す平面図である。
【図８】図７に示す移載装置の断面図である。
【図９】図８に示すロードポート付近の拡大断面図である。
【図１０】ＦＤＰとＢＤＰの関係を示す図である。
【図１１】ロードポートの斜視図である。
【図１２】収納容器に識別情報及びウェーハ位置情報を書き込む処理における、製造側システムの制御装置の動作を示すフローチャートである。
【図１３】収納容器にウェーハ有無情報を書き込む処理における、移載側システムの制御装置の動作を示すフローチャートである。
【図１４】ウェーハ収納工程における移載側システムの制御装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図１５】ウェーハ加工工程における移載側システムの制御装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００８２】
１…収納容器、２…容器本体、８…スロット、１６…ＲＦＩＤタグ（情報保持手段）、２２…測定装置（情報取得手段）、２６，４８…サーバー（情報保持手段、情報記憶部）、４２…ウェーハ情報読込装置（情報読込手段）、４４…有無情報取得装置（情報取得手段）、１００…ウェーハ移載システム。
【図１】
2010067706.tif 000003
【図２】
2010067706.tif 000004
【図３】
2010067706.tif 000005
【図４】
2010067706.tif 000006
【図５】
2010067706.tif 000007
【図６】
2010067706.tif 000008
【図７】
2010067706.tif 000009
【図８】
2010067706.tif 000010
【図９】
2010067706.tif 000011
【図１０】
2010067706.tif 000012
【図１１】
2010067706.tif 000013
【図１２】
2010067706.tif 000014
【図１３】
2010067706.tif 000015
【図１４】
2010067706.tif 000016
【図１５】
2010067706.tif 000017