(57)【要約】      （修正有）【課題】保守用基板を用いて検査部の保守作業を行う場合において、スループットの低下を抑えることができるプローブ装置の提供。【解決手段】第１のアーム体３５及び第２のアーム体３６を有するウエハ搬送アーム（基板搬送機構）３と、ＦＯＵＰ（キャリア）１００から取り出したウエハＷの向きと中心の位置合わせとを行うプリアライメント機構４０と、ウエハ搬送アーム（基板搬送機構）３からウエハＷを受け取って吸着して保持する吸着部７３を有する基板保持装置７０と、を備え、検査部２１の割込み処理が発せられたときに、第１及び第２のアーム体３５、３６に支持されているウエハＷを基板保持装置７０に保持させ、第１及び第２のアーム体３５、３６により基板収納部６０から針研ウエハＷｂを取り出してウエハチャック（載置台）４のウエハＷと交換する。これにより針研処理を行うときの検査部２１の待機時間を短縮して、テストのスループットを向上させる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台に載置された被検査対象の基板の電極パッドとプローブカードのプローブとを接触させて前記基板の被検査部の電気的特性を測定するプローブ装置において、
複数の基板を収納した搬送容器を載置するためのロードポートと、
このロードポートに載置された前記搬送容器と前記検査部の載置台との間で前記基板の受け渡しを行い、互いに独立して進退自在な複数の基板支持部材を有すると共に、未検査の前記基板を支持して待機しているときに空になる前記基板支持部材が１個になる基板搬送機構と、
前記ロードポートと前記検査部とを接続し、その内部を前記基板搬送機構が移動する搬送室と、
前記搬送容器から取り出した基板の向きと中心の位置合わせとを行うために、基板を保持して回転する回転ステージとこの回転ステージ上の基板の周縁を検出する周縁検出部とを有する、前記搬送室内に設けられたプリアライメント機構と、
前記搬送室内に設けられた、前記検査部の保守作業を行うための保守用基板が収納された基板収納部と、
前記搬送室内に設けられ、前記基板搬送機構から前記基板を受け取って吸着して保持する吸着機構を有する基板保持装置と、
前記検査部の載置台に基板が載置されているときに、当該検査部の保守作業の割込み処理が発せられたときに、前記基板支持部材に支持されている前記基板を前記基板保持装置に保持させると共に、前記基板支持部材により基板収納部から前記保守用基板を取り出して前記載置台の基板と交換するように、前記基板搬送機構を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記保守用基板は、前記プローブカードのプローブ針を研磨する専用の基板であることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記基板保持装置は、前記基板収納部の上下左右に隣接して設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記検査部は、複数台設けられており、前記制御部は、第１の検査部から検査済みの前記基板を前記基板支持部材で搬出したときに、第２の検査部で前記保守作業の割り込み処理が発せられた場合、前記基板支持部材で支持している検査済みの前記基板を前記基板保持装置に保持させて、前記保守作業を行うことを特徴とする請求項１ないし３の何れか一項に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記プリアライメント機構に加えて、前記基板保持装置に更にプリアライメント機構が設けられ、当該基板保持装置はプリアライメントのための回転ステージとして機能し、保持している前記基板のプリアライメントを行うことを特徴とする請求項４に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードのプローブに半導体ウエハ（以下ウエハという）等の基板の被検査部の電極パッドを接触させて被検査チップの電気的測定を行うプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プローブ装置では、プローブカードのプローブ針等のプローブをＩＣチップの電極パッドに接触させて電気的特性を調べるプローブテストを行っている。このプローブ装置は、ロードポートと、プローブカード及び載置台を有する検査部と、ロードポート及び検査部間でウエハを搬送するウエハ搬送機構が設けられた搬送室とを備えている。そしてロードポート内に搬入された搬送容器であるウエハキャリアからウエハ搬送機構がウエハを取り出し、搬送室内のプリアライメント機構、あるいはウエハ搬送機構に設けられたプリアライメント機構により、プリアライメントを行った後、当該ウエハを検査部内の載置台に搬送している。
【０００３】
ウエハ搬送機構としては、例えば２枚の基板支持部材であるアーム体を備えたものが用いられ、検査部でウエハのプローブテストが行われている間に、一方のアーム体で次に検査を行うウエハを取り出してプリアライメントを行い、検査部内のウエハの検査が終了するまで、ウエハを載置したまま搬送室内で待機する。そして検査部内のウエハの検査が終了すると、他方のアーム体で検査済みのウエハを受け取り、一方のアーム体に支持されている未検査のウエハを載置台に受け渡す。
【０００４】
ところでプローブとしてプローブ針を使用した場合には、プローブテストを続けていると、プローブ針の先端に電極パッドの削り滓等の異物が付着するため、プローブ針を研磨してこの異物を取り除く、所謂針研処理を行う必要がある。針研処理を行うタイミングは、主に枚数管理の場合とプローブテストの結果が連続フェールになった場合との２通りがあり、制御部は連続フェールが検出された場合、割込み命令を出して針研処理を行っている。
【０００５】
この針研処理は、プローブ針を研磨するセラミクス等からなる専用のウエハ（所謂針研ウエハ）を載置台に乗せて、プローブ針と針研ウエハとを接触させることによって行われる。このときウエハ搬送機構は、搬送室内のロードポートの下部奥側にある基板収納部に置かれている針研ウエハを、一方のアーム体により取り出して検査部へ搬送し、他方のアーム体で検査部内の検査済みのウエハを受け取り、一方のアーム体の針研ウエハを載置台に受け渡すようにしている。
【０００６】
そのため、割込み要求が発せられたときには、未検査のウエハが一方のアーム体に支持されている場合がある。この場合、他方のアーム体は検査部内の検査済みのウエハを受け取るために用いられるので、ウエハ搬送機構により針研ウエハを取り出すことができない。このためウエハ搬送アームに支持されている未検査のウエハを一度キャリアまで戻し、針研ウエハの取出し、針研ウエハによるプローブ針の研磨、基板収納部への針研ウエハの受け渡しを含む一連の割込み処理の終了後に再度キャリアから未検査のウエハを取り出していた。
【０００７】
また検査部が複数例えば２台あり、ウエハ搬送機構が３枚のアーム体を有していた場合、３枚のアーム体のうち、常に２枚のアーム体は未検査のウエハ、若しくは検査済みのウエハを支持し、１枚のアーム体のみが空きの状態になる。そのため、アーム体の数が増えても既述の２枚のアーム体を有するウエハ搬送機構の場合と同様に、ウエハを一度キャリアまで戻す必要があった。
【０００８】
しかしながらキャリア内のスロットは狭いため、この中に未検査のウエハを戻すと、ウエハの外縁とキャリアの内部とが接触してウエハがアーム体上で動いたり、ウエハをキャリアの棚に置いたときにキャリアとウエハとが衝突したりしてウエハの向きや中心がずれることがある。このため既にプリアライメントが行われたウエハをキャリアに戻すと、当該プリアライメントが無効になる虞があり、結果として割込み処理が終了した後に、このウエハに再度プリアライメントを行わなければならなかった。従ってこのプリアライメントを行っている時間の分だけ検査部の待機時間が長くなってしまい、プローブテストのスループットが低下するという問題が生じていた。
【０００９】
これに対し特許文献１には、プローブ装置の検査部内に、プローブテスト用の載置台とは別に針研ウエハを載置するための専用の載置台を検査部内に設け、この専用の載置台に常に針研ウエハを載置しているプローブ装置が記載されている。このプローブ装置では、プローブカードの針研時に、プローブテスト用の載置台を退避させて専用の載置台をプローブカードの下方領域に移動させ、針研ウエハとプローブカードのプローブ針とを接触させてプローブカードの針研を行う。そのため割込み処理が発生しても、ウエハ搬送アームは次に検査を行うウエハを支持したままプローブカードの針研を行うことができる。しかしながら、このようなプローブ装置では、別途針研ウエハ専用の載置台を検査部内に設ける必要があり、プローブ装置が大型化するという問題がある。近年ではプローブ装置の小型化が望まれているため、装置の大型化は好ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
［特許文献１］特開２００６−１２８４５１号公報（段落番号００２２、００３５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、保守用の基板を用いて検査部の保守作業を行う場合において、スループットの低下を抑えることができるプローブ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のプローブ装置は、
載置台に載置された被検査対象の基板の電極パッドとプローブカードのプローブとを接触させて前記基板の被検査部の電気的特性を測定するプローブ装置において、
複数の基板を収納した搬送容器を載置するためのロードポートと、
このロードポートに載置された前記搬送容器と前記検査部の載置台との間で前記基板の受け渡しを行い、互いに独立して進退自在な複数の基板支持部材を有すると共に、未検査の前記基板を支持して待機しているときに空になる前記基板支持部材が１個になる基板搬送機構と、
前記ロードポートと前記検査部とを接続し、その内部を前記基板搬送機構が移動する搬送室と、
前記搬送容器から取り出した基板の向きと中心の位置合わせとを行うために、基板を保持して回転する回転ステージとこの回転ステージ上の基板の周縁を検出する周縁検出部とを有する、前記搬送室内に設けられたプリアライメント機構と、
前記搬送室内に設けられた、前記検査部の保守作業を行うための保守用基板が収納された基板収納部と、
前記搬送室内に設けられ、前記基板搬送機構から前記基板を受け取って吸着して保持する吸着機構を有する基板保持装置と、
前記検査部の載置台に基板が載置されているときに、当該検査部の保守作業の割込み処理が発せられたときに、前記基板支持部材に支持されている前記基板を前記基板保持装置に保持させると共に、前記基板支持部材により基板収納部から前記保守用基板を取り出して前記載置台の基板と交換するように、前記基板搬送機構を制御する制御部と、
を備えたことを特徴としている。
【００１３】
また本発明のプローブ装置では、例えば前記保守用基板は、前記プローブカードのプローブ針を研磨する専用の基板である。また本発明のプローブ装置では、例えば前記基板保持装置は、前記基板収納部の上下左右に隣接して設けられていてもよい。
【００１４】
また本発明のプローブ装置では、例えば前記検査部は、複数台設けられており、前記制御部は、第１の検査部から検査済みの前記基板を前記基板支持部材で搬出したときに、第２の検査部で前記保守作業の割り込み処理が発せられた場合、前記基板支持部材で支持している検査済みの前記基板を前記基板保持装置に保持させて、前記保守作業を行ってもよい。また本発明のプローブ装置では、例えば前記プリアライメント機構に加えて、前記基板保持装置に更にプリアライメント機構が設けられ、当該基板保持装置はプリアライメントのための回転ステージとして機能し、保持している前記基板のプリアライメントを行ってもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、ロードポートと検査部との間で基板を搬送する基板搬送機構が、複数の基板支持部材を有すると共に、未検査の基板を支持している状態で待機しているときに空き状態になる基板支持部材が１個となるプローブ装置において、検査部内に検査済みの基板が置かれている状態で、保守用基板を用いて当該検査部の保守作業を行う割込み要求が発せられたときに、基板支持部材に支持されているプリアライメント済みの未検査の基板を、吸着機構を備えた基板保持装置に一旦受け渡すようにしている。このため未検査の当該基板は、基板搬送機構に受け渡されたその姿勢（基板中心位置及び向き）を維持した状態で保持されるので、再プリアライメントを行うことなく、そのまま検査部へと搬入することができる。このため検査部の待機時間を短縮することができ、スループットの低下を抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態のプローブ装置の概略を示す斜視図である。
【図２】本実施形態のプローブ装置の概略を示す平面図である。
【図３】本実施形態のプローブ装置の概略を示す側面図である。
【図４】本実施形態のウエハ搬送アームの概略を示す斜視図である。
【図５】本実施形態の基板保持装置の概略を示す斜視図である。
【図６】本実施形態の基板保持装置の概略を示す側面図である。
【図７】本実施形態の基板保持装置の機能について説明するための説明図である。
【図８】本実施形態の針研処理の第１のケースについて説明するための第１の説明図である。
【図９】本実施形態の針研処理の第１のケースについて説明するための第２の説明図である。
【図１０】本実施形態の針研処理の第２のケースについて説明するための第１の説明図である。
【図１１】本実施形態の針研処理の第２のケースについて説明するための第２の説明図である。
【図１２】本実施形態の針研処理の第２のケースについて説明するための第３の説明図である。
【図１３】本発明の他の実施形態の基板保持装置の概略を示す斜視図である。
【図１４】本発明の他の実施形態の基板保持装置の概略を示す側面図である。
【図１５】他の実施形態の針研処理について説明するための第１の説明図である。
【図１６】他の実施形態の針研処理について説明するための第２の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の第１の実施形態であるプローブ装置について図１ないし図１２を参照して説明する。図１ないし図３に示すように、プローブ装置は、多数の被検査チップ（被検査部）が配列された基板であるウエハＷ（図６参照）の受け渡しを行うためのローダ部１と、ウエハＷに対してプロービングを行うプローブ装置本体２と、を備えている。先ず、ローダ部１及びプローブ装置本体２の全体のレイアウトについて簡単に説明しておく。
【００１８】
ローダ部１は、複数枚のウエハＷが収納された密閉型搬送容器（キャリア）であるＦＯＵＰ１００が搬入され、互いにＹ方向（図示左右方向）に離間して対向配置される、第１のロードポート１１及び第２のロードポート１２と、これらロードポート１１、１２の間に配置された搬送室１０とを備えている。ロードポート１１（１２）は、各々ケーシング１３（１４）を備え、ロードポート１１（１２）の図示Ｘ方向に設けられた搬入口１５（１６）からＦＯＵＰ１００は、ケーシング１３（１４）内に搬入される。搬入されたＦＯＵＰ１００は、ロードポート１１（１２）に備えられている図示しない蓋体開閉手段により、蓋体が外されてロードポート１１（１２）内の側壁に蓋体が保持されるようになっており、蓋体を外されたＦＯＵＰ１００は回転させられ、開口部が搬送室１０側に向けられる。
【００１９】
ローダ部１には、図２に示すようにプローブ装置を制御する制御部５が設けられている。制御部５は、例えばコンピュータからなり、メモリ、ＣＰＵからなるデータ処理部の他に、プローブテストプログラム５０や、割込み制御プログラム５１等のプログラムを備えている。プローブテストプログラム５０には、ＦＯＵＰ１００がロードポート１１（１２）に搬入され、ＦＯＵＰ１００からウエハＷがプローブ装置本体２に搬入されてプローブテストが行われ、その後ウエハＷがＦＯＵＰ１００に戻されてＦＯＵＰ１００が搬出されるまでのウエハＷの搬送スケジュールや一連の各部の動作を制御するようにステップ群が組まれている。また割込み制御プログラム５１には、後述するプローブテスト中に発生する割込み処理時のプローブ装置の動作を制御するようにステップ群が組まれている。これらのプログラム（処理パラメータの入力操作や表示に関するプログラムも含む）は、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）、ハードディスクなどの記憶媒体に格納されて制御部５にインストールされる。
【００２０】
プローブ装置本体２は、ローダ部１と図示Ｘ軸方向に並ぶように当該ローダ部１に隣接して配置されており、Ｙ軸方向に複数台例えば４台並ぶ検査部２１を有している。なお図２では、後述するヘッドプレート２５が外れた状態の検査部２１を示している。
【００２１】
検査部２１は、図２、図３に示すように筐体２２を備えており、筐体２２の内部にステージユニット２４と上側撮像部９とが設けられている。ステージユニット２４は、Ｘ、Ｙ、Ｚ（上下）軸方向に移動自在、即ち水平面上で縦横に移動自在かつ高さ方向に移動自在であって、更に上部が鉛直軸回りに回転する。このテーブルユニット２４の上部にはウエハＷを載置するための載置台であり、真空吸着機能を有するウエハチャック４が積載されている。そしてテーブルユニット２４の側部には、後述するプローブカード６を撮像するためのマイクロカメラ等を備えた下側撮像部８が設けられている。
【００２２】
ウエハチャック４は、ウエハＷの受け渡しを行うための受け渡し位置と、ウエハ表面の撮像位置と、プローブカード６のプローブ針７にウエハＷをコンタクトさせるコンタクト位置（検査位置）との間で自在に移動できるようになっている。また図３（ｂ）に示すように、筐体２２の側面のうち搬送室１０と密着する側面には、搬送室１０の内部と筐体２２の内部とを接続する搬入出口２３が形成されている。そしてこの搬入出口２３を介して、ウエハＷは筐体２２内のウエハチャック４に搬送される。そして上側撮像部９は、このウエハチャック４に載置されているウエハＷを撮像するためのマイクロカメラ等を備えている。
【００２３】
ウエハチャック４及び上側撮像部９の移動領域の上方には、図３（ａ）に示すように筐体２２の天井部をなすヘッドプレート２５が設けられており、プローブカード６は、このヘッドプレート２５に装着保持される。プローブカード６の上面側には図示しないテストヘッドが取り付けられ、プローブカード６とテストヘッドは、図示しないポゴピンユニットを介して電気的に接続されている。またプローブカード６の下面側には、上面側の電極群に夫々電気的に接続されたプローブであるプローブ針７が、ウエハＷの電極パッドの配列に対応して、例えばプローブカード６の全面に設けられている。
【００２４】
搬送室１０には、図２、図３に示すように基板搬送機構であるウエハ搬送アーム３が設けられている。ウエハ搬送アーム３は、鉛直軸回りに回転自在、昇降自在及び図示Ｙ方向に移動自在な搬送基台３０に進退可能な基板支持部材である第１のアーム体３５と第２のアーム体３６との２枚のアーム体が設けられて構成されている。ここで３３は図示Ｙ方向に伸びるレールに沿って移動する基台移動部、３２は基台移動部３３に対して昇降する基台昇降部、３１は基台昇降部３２に設けられた回転部である。
【００２５】
図４に示すように第１のアーム体３５と第２のアーム体３６には、先端側にＵ字状の切り欠き部５５、５６が形成されている。そして搬送基台３０の上面におけるアーム体３５（３６）の左右両端には夫々２本のガイドレール３７が平行に設けられており、第１のアーム体３５と第２のアーム体３６とは、夫々アームガイド３８、３９を介してこれらガイドレール３７、３７によって前後にガイドされるようになっている。
【００２６】
また搬送基台３０には、第１のアーム体３５、若しくは第２のアーム体３６に載置されているウエハＷに対してプリアライメントを行い、ウエハＷの向きを調整すると共に中心位置を検出するプリアライメント機構４０（図４参照）が設けられている。このプリアライメント機構４０は、図４に示すようにチャック部４１、センサブリッジ４２、受光センサ４３、光通過部４４を備えており、アーム体３５、３６の下方には図示しない発光部が設けられている。
【００２７】
チャック部４１は、ウエハＷを回転させる回転ステージであり、チャック部４１の回転中心は、搬送基台３０上を後退したアーム体３５（３６）上のウエハＷの中心に対応する位置に設定されている。このチャック部４１は、図示Ｚ軸方向に昇降する昇降部を備えており、プリアライメントを行わない待機状態にあるときは、下降してアーム体３５、３６の進退に干渉しない位置で停止する。そしてプリアライメントを行うときは、上昇してアーム体３５、３６上からウエハＷを僅かに持ち上げて回転できるように構成されている。
【００２８】
搬送基台３０の上面には、アーム体３５、３６に支持されているウエハＷと干渉しないセンサブリッジ４２が設けられており、このセンサブリッジ４２には、図示しない発光部から照射されてウエハＷを透過した光を受け取る受光センサ４３が搭載されている。そしてアーム体３５、３６には、図示Ｘ軸方向に伸びる光透過部４４が形成されており、発光部は、光透過部４４の下方に設けられている。そして発光部の光は、光透過部４４を通過して、チャック部４１によりアーム体３５、３６から持ち上げられているウエハＷの周縁部（端部）を含む領域に下方から照射される。
【００２９】
このプリアライメント機構４０によるプリアライメントは以下のように行われる。まず、チャック部４１により第１のアーム体３５、若しくは第２のアーム体３６上のウエハＷを僅かに持ち上げて、ウエハＷを回転させる。そして発光部からウエハＷの周縁部（端部）を含む領域に光を照射し、受光センサ４３でウエハＷを透過した光を受光して、検出信号を制御部５に送信する。制御部５は、この検出信号に基づいて、ウエハＷが偏心している場合には、ウエハＷの偏心が修正されるように第１のアーム体３５、若しくは第２のアーム体３６の位置を調整してチャック部４１から第１のアーム体３５、若しくは第２のアーム体３６へとウエハＷを受け渡し、偏心によるずれ分を補正してチャック部４１にウエハＷを戻す。その後、ノッチ等が第１のアーム体３５、若しくは第２のアーム体３６上において所定の向きとなるようにチャック部４１を回転させてウエハＷの向きを調整する。これによりウエハＷの向き及び中心の位置合わせが行われる。
【００３０】
また搬送室１０には、図２、図３に示すように、プローブカード６のプローブ針７を研磨するための、例えばセラミクスからなる針研ウエハＷｂ（図６参照）を複数枚棚状に載置しておく基板収納部６０が設けられている。基板収納部６０は、ロードポート１１（図等参照）の下方側における、ウエハ搬送アーム３のアーム体３５、３６がアクセス可能な位置に配置されている。
【００３１】
この基板収納部６０は、図５、図６に示すように基台６１と、この基台６１の上面に取り付けられた３つのカセット部材６２、６３、６４とを備えている。カセット部材６２、６３、６４は、夫々、複数例えば６個の爪部６５を有しており、この爪部６５はＺ軸方向に一定の間隔を空けて積層されている。そしてカセット部材６２、６３、６４の縦方向（Ｚ軸方向）の断面形状は、爪部６５の間に隙間があるので、櫛の歯状になっている。また爪部６５は、Ｚ軸方向の形成位置が各カセット部材６２、６３、６４間で略均一になるように形成されている。
【００３２】
このカセット部材６２、６３、６４は、アーム体３５（３６）の進退方向を前後とすると、基台６１の上面において、右側の前後にカセット部材６２、６４が分かれてひとつずつ取り付けられており、左側の中間部にカセット部材６３がひとつ取り付けられている。そして既述の針研ウエハＷｂは、このカセット部材６２、６３、６４の爪部６５によって、周縁部の３点を支持された状態で載置されることになる。つまり基板収納部６０では、各カセット部材６２、６３、６４の爪部６５によって針研ウエハＷｂ等を収納する棚を形成している。なお図６では、説明の便宜上基板収納部６０の棚に針研ウエハＷｂが１枚収納されているが、本実施形態では、他の棚に複数の針研ウエハＷｂが収納されている。
【００３３】
また基板収納部６０の上方には、アーム体３５、３６によって支持されている搬送中のウエハＷを一時的に保持しておくための基板保持装置７０が設けられている。この基板保持装置７０は、基台６１の後方側の一側部に、カセット部材６２、６３、６４の高さレベルよりも高い位置まで鉛直方向に伸びる支持部７１が取り付けられている。そして支持部７１からは、基板収納部６０の上方の略中央部に向けて腕部７２が水平に伸びている。この腕部７２の先端には、略円盤状のウエハＷを真空吸着する吸着部（バキュームチャック）７３が、腕部７２と一体となるように設けられており、吸着部７３の上面には、真空吸着孔７４が多数形成されている。また腕部７２と吸着部７３との間には、アーム体３５、３６が基板保持装置７０にウエハＷを受け渡すためにアクセスしたときに、アーム体３５、３６と腕部７２とが干渉しないように凹部７５が形成されている。なおウエハ搬送アーム３のアーム体３５（３６）は、常に同じ位置から同じ角度で基板保持装置７０に向けて進退するように、アクセス位置と進退する際のウエハ搬送アーム３の角度とが設定されているため、アーム体３５（３６）と基板保持装置７０とは、何度進退を繰り返しても接触して干渉しないようになっている。
【００３４】
この基板保持装置７０は、吸着部７３によりウエハＷを吸着保持することで、ウエハ搬送アーム３との間でウエハの受け渡しが行われるときに、ウエハＷが固定された状態で保持される。そのためウエハＷの中心位置及び向きがずれることなく保持される。従って基板保持装置７０は、ウエハＷの姿勢保持装置ということができる。
【００３５】
次にこの基板保持装置７０にウエハ搬送アーム３からウエハＷを受け渡すときのアーム体３５（３６）の動きについて図７を参照して説明する。まずウエハ搬送アーム３のアーム体３５（３６）が、基板収納部６０にアクセス可能となる位置までウエハ搬送アーム３を移動させる。次いで、図７（ａ）に示すようにウエハＷを支持しているアーム体３５（３６）を、吸着部７３の上方位置に向けて進入させる。このときアーム体３５（３６）は、既述のように基板保持装置７０に対して常に同じ方向からアクセスするようになっている。そして図５に示すようにアーム体３５（３６）の切り欠き部５５（５６）内に吸着部７３が相対的に進入し、凹部７５にアーム体３５（３６）の突出部分が進入して、ウエハＷの略中央部分が吸着部７３の中央部と一致する位置で、アーム体３５（３６）を停止させる。このときウエハＷは、吸着部７３から僅かに離間している状態になる。
【００３６】
次に図７（ｂ）に示すように、真空吸着孔７４（図５参照）から腕部７２内の図示しない吸引路を介して吸引しながら、アーム体３５（３６）を下降させ、ウエハＷを吸着部７３に吸着（真空吸着）させる。そのためウエハＷは、基板保持装置７０上に動かない状態で（姿勢を保持された状態で）保持されることになる。その後図７（ｃ）に示すように、下降したアーム体３５（３６）は、吸着部７３とカセット部材６２、６３、６４との間の領域で停止し、搬送基台３０上へと後退する。これにより基板保持装置７０では、アーム体３５（３６）に支持されていたウエハＷを、その姿勢を維持したまま保持しておくことができる。なお基板保持装置７０に保持されているウエハＷをアーム体３５（３６）で受け取る場合には、既述の説明と逆の手順で、アーム体３５（３６）と基板保持装置７０とを協働させてウエハＷを受け取る。
【００３７】
次にこのプローブ装置で行われるプローブテストの一連の流れについて簡単に説明する。ここで説明の便宜上図２に示す検査部２１を、ロードポート１１側の検査部２１から順に第１〜第４の検査部２１とする。またこのプローブテストでは、説明の便宜上第１のアーム体３５でウエハＷのプリアライメントを行うように設定されている。
【００３８】
まず図２に示すように、ウエハ搬送アーム３により、ウエハＷをロードポート１１に載置されているＦＯＵＰ１００から搬出して、既に詳述したようにウエハ搬送アーム３に組み合わせて設けられたプリアライメント機構４０によりプリアライメントを行った後、第１の検査部２１のウエハチャック４にウエハＷを搬送する。その後第１の検査部２１と同様に第２〜第４の検査部２１に順次ウエハＷを搬送する。全検査部２１にウエハＷを搬送し、全検査部２１でプローブテストが行われている間、ウエハ搬送アーム３は、第１のアーム体３５で次に検査を行うウエハＷを搬出してプリアライメントを行い、搬送室１０内で待機する。
【００３９】
ウエハＷが搬入された第１の検査部２１では、下側撮像部８でプローブカード６を撮像すると共に、上側撮像部９でウエハチャック４上のウエハＷを撮像して、プローブ針７の先端位置とウエハＷの表面の図示しない電極パッドの位置の撮像データを所得し、その撮像データを基にプローブ針７と電極パッドとを接触させるコンタクト座標を求めてそのコンタクト座標にウエハＷを移動させる。そして、プローブ針７と電極パッドとをコンタクト（接触）させてプローブテストを行う。
【００４０】
プローブテストが終了すると、ウエハチャック４が搬入出口２３の近傍に移動する。このときウエハ搬送アーム３の第２のアーム体３６には、ウエハＷが載っていないので、第２のアーム体３６で検査済みのウエハＷを受け取ると共に、第１のアーム体３５に支持されている未検査のウエハＷをウエハチャック４に受け渡す。その後ウエハ搬送アーム３は検査済みのウエハＷをＦＯＵＰ１００に戻すと共に、ＦＯＵＰ１００にまだ未検査のウエハＷが収納されている場合には、次に検査対象となるウエハＷを搬出する。この一連の工程は、他の第２〜第４の検査部２１でも同様に行われる。以上の工程を経て本実施形態のプローブ装置では、４台の検査部２１に一つのウエハ搬送アーム３で順次ウエハＷを搬送してプローブテストを行う。
【００４１】
上述したプローブテストは、プローブテストプログラム５０に基づいて制御部５が各ユニットを制御することにより行われている。そして制御部５は、プローブテストの結果からプローブ針７を研磨するための割込み処理を行うかどうかを判定して、必要に応じてプローブ針７を研磨するための割込み制御プログラム５１に基づいて割込み処理を行う。次にこの割込み処理であるプローブ針７の研磨処理（針研処理）の方法について図８ないし図１２を参照して説明する。
【００４２】
プローブ針７の針研処理を行う場合、主に２通りのケースが考えられる。第１のケースは、ウエハ搬送アーム３が搬送室１０内で未検査のウエハＷを支持した状態で待機しているときに針研処理を行う場合であり、第２のケースは、第１の検査部２１で未検査のウエハＷと検査済みのウエハＷを交換した直後に、第２の検査部２１で針研処理を行う場合である。まず第１のケースについて図８、図９を参照して説明する。なお第１のケースの説明では、ウエハ搬送アーム３に載置されている未検査のウエハをＷ１、検査部２１のウエハチャック４に載置されている検査済みのウエハをＷ２、基板収納部６０に載置されている針研ウエハをＷｂとして説明する。
【００４３】
まず図８（ａ）に示すように、ウエハ搬送アーム３がプリアライメント済みの未検査のウエハＷ１を支持して搬送室１０内で待機しているときに針研処理を行う場合、ウエハ搬送アーム３を基板収納部６０にアクセスする位置に移動させる（矢印１）。次いで、図８（ｂ）に示すように、第１のアーム体３５に支持されている未検査のウエハＷ１を基板保持装置７０に保持させ、続いて基板収納部６０に載置されている針研ウエハＷｂを第１のアーム体３５で取り出す（矢印２）。そして通常のウエハＷと同様に針研ウエハＷｂに対して、ウエハ搬送アーム３のプリアライメント機構４０によりプリアライメントを行い、針研処理を行う検査部２１に合わせて針研ウエハＷｂの向きの調整と中心の位置合わせとを行う。その後針研処理を行う検査部２１の搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させる（矢印３）。
【００４４】
次に図８（ｃ）に示すように針研処理を行う必要のある検査部２１のウエハチャック４から、ウエハ搬送アーム３の第２のアーム体３６に、検査済みのウエハＷ２を搬出させると共に、第１のアーム体３５に支持している針研ウエハＷｂをウエハチャック４に搬入させる（矢印４）。その後検査部２１では、ウエハチャック４を移動させてウエハチャック４に載置されている針研ウエハＷｂとプローブ針７とを接触させてプローブ針７の針研処理を行う。一方プローブ針７の針研処理が行われている間に、ウエハ搬送アーム３をＦＯＵＰ１００にアクセスする位置に移動させ、検査済みのウエハＷ２をＦＯＵＰ１００に搬入させる（矢印５）。
【００４５】
ウエハＷ２をＦＯＵＰ１００に搬入した後、図９（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ１００から未検査のウエハＷを搬出させずにウエハ搬送アーム３を基板収納部６０にアクセスする位置に移動させる（矢印６）。次いで、基板保持装置７０に保持されているウエハＷ１を第１のアーム体３５により受け取り（矢印７）、図９（ｂ）に示すように針研処理中の検査部２１の搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させる（矢印８）。そして検査部２１の針研処理が終了した後、第２のアーム体３６にウエハチャック４の上に載置されている針研ウエハＷｂを搬出させると共に、第１のアーム体３５により、支持しているウエハＷ１をウエハチャック４に搬入する（矢印９）。
【００４６】
その後検査部２１では、図９（ｃ）に示すように、ウエハチャック４に載置されているウエハＷ１に対してプローブテストを開始する。そしてプローブテストが行われている間に、ウエハ搬送アーム３を基板収納部６０にアクセスする位置に移動させ（矢印１０）、針研ウエハＷｂを基板収納部６０に搬入する（矢印１１）。これにより、割込み処理として行われた針研処理の一連の工程が終了し、その後はプローブテストプログラム５０に基づいてプローブテストが続行される。
【００４７】
このように第１のケースでは、割込み処理として針研処理がプローブテストの処理に割り込んだときに、ウエハ搬送アーム３に支持されているプリアライメント済みのウエハＷ１を基板保持装置７０に一時的に保持させた上で針研処理を行うことができる。そして針研処理が終了した後は、基板保持装置７０からウエハＷ１を受け取って検査部２１へと搬入するが、基板保持装置７０ではウエハＷ１の姿勢をウエハ搬送アーム３から受け取ったときの状態を維持したままで保持しておくことができるので、ウエハ搬送アーム３が基板保持装置７０から受け取るウエハＷ１については、既に行われたプリアライメントが有効であるから、プリアライメントをせずに直接検査部２１へと搬入することができる。
【００４８】
次に第２のケースについて図１０ないし図１２を参照して説明する。なお第２のケースの説明では、第１の検査部２１ｂのウエハチャックを４ｂ、第２の検査部２１ｃのウエハチャックを４ｃ、第３の検査部２１ｄのウエハチャック４ｄ、ウエハ搬送アーム３に載置されている検査済みのウエハをＷ３、ウエハチャック４ｂに載置されている未検査のウエハをＷ４、ウエハチャックを４ｃに載置されている検査済みのウエハをＷ５、ウエハチャック４ｄに載置されている検査中のウエハをＷ６、ＦＯＵＰ１００からウエハチャック４ｄに搬送されるウエハをＷ７、ＦＯＵＰ１００からウエハチャック４ｃに搬送されるウエハをＷ８とし、第１の検査部２１ｂでプローブテストが終了してウエハＷ３とウエハＷ４との交換が終了した直後に、第２の検査部２１ｃで針研処理が開始されたものとする。
【００４９】
ウエハ搬送アーム３で第１の検査部２１ｂの検査済みのウエハＷ３を受け取り、未検査のウエハＷ４をウエハチャック４ｂに受け渡した時点で、第２の検査部２１ｃで針研処理を行うことを制御部５で決定した場合、まず図１０（ａ）に示すようにウエハ搬送アーム３をＦＯＵＰ１００ではなく、基板収納部６０にアクセスする位置に移動させる（矢印２０）。次いで、図１０（ｂ）に示すように、第２のアーム体３６に支持されている検査済みのウエハＷ３を基板保持装置７０に保持させると共に、基板収納部６０に載置されている針研ウエハＷｂを第１のアーム体３５で搬出する（矢印２１）。
【００５０】
そして第１のケースと同様に針研ウエハＷｂに対してプリアライメントを行い、針研処理を行う検査部２１ｃに合わせて針研ウエハＷｂの向きの調整と中心の位置合わせとを行う。その後図１０（ｃ）に示すように針研処理を行う検査部２１ｃの搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させる（矢印２２）。そしてウエハ搬送アーム３の第２のアーム体３６に針研処理を行う必要のある検査部２１ｃのウエハチャック４ｃから検査済みのウエハＷ５を搬出させると共に、第１のアーム体３５で支持している針研ウエハＷｂをウエハチャック４ｃに搬入する（矢印２３）。その後検査部２１ｃでは、ウエハチャック４ｃを移動させてウエハチャック４ｃに載置されている針研ウエハＷｂとプローブ針７とを接触させてプローブ針７の針研処理を行う。
【００５１】
一方検査部２１ｃでプローブ針７の針研処理が行われている間に、図１１（ａ）に示すように、ウエハ搬送アーム３をＦＯＵＰ１００にアクセスする位置に移動させ（矢印２４）、第２のアーム体３６に支持しているウエハＷ５をＦＯＵＰ１００に搬入すると共に、第１のアーム体３５にＦＯＵＰ１００からウエハＷ７を搬出させる（矢印２５）。次いで、ウエハＷ７に対してプリアライメントを行い、検査部２１ｄに合わせてウエハＷ７の向きの調整と中心の位置合わせを行った後、図１１（ｂ）に示すように検査部２１ｄの搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させる（矢印２６）。そして第２のアーム体３６に、検査部２１ｄのウエハチャック４ｄから検査済みのウエハＷ６を搬出させると共に、第１のアーム体３５で支持しているウエハＷ７をウエハチャック４ｄに搬入する（矢印２７）。その後検査部２１ｄでは、ウエハＷ７に対するプローブテストを開始する。
【００５２】
一方検査部２１ｄでウエハＷ７のプローブテストが行われている間に、図１１（ｃ）に示すように、ウエハ搬送アーム３をＦＯＵＰ１００にアクセスする位置に移動させ（矢印２８）、第２のアーム体３６に、支持しているウエハＷ６をＦＯＵＰ１００に搬入させると共に、第１のアーム体３５でＦＯＵＰ１００からウエハＷ８を搬出する（矢印２９）。次いで、ウエハＷ８に対してプリアライメントを行い、検査部２１ｃに合わせてウエハＷ８の向きの調整と中心の位置合わせを行った後、図１２（ａ）に示すように針研処理を行っていた検査部２１ｃの搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させる（矢印３０）。そして検査部２１ｃの針研処理が終了した後、第２のアーム体３６に、ウエハチャック４ｃから針研ウエハＷｂを搬出させると共に、第１のアーム体３５で支持しているウエハＷ８をウエハチャック４ｃに搬入する（矢印３１）。その後検査部２１ｃでは、ウエハＷ８に対するプローブテストを開始する。
【００５３】
その後検査部２１ｃでウエハＷ７のプローブテストが行われている間に、図１２（ｂ）に示すように、ウエハ搬送アーム３を基板収納部６０にアクセスする位置に移動させ（矢印３２）、第２のアーム３６に支持させている針研ウエハＷｂを基板収納部６０に搬入させると共に、第１のアーム体３５で基板保持装置７０に保持されている検査済みのウエハＷ３を受け取る（矢印３３）。その後ウエハＷ３をＦＯＵＰ１００に搬入する（矢印３４）。これにより、割込み処理として行われた第２のケースの針研処理の一連の工程が終了し、その後はプローブテストプログラム５０に基づいてプローブテストが続行される。
【００５４】
このように第２のケースでは、割込み処理として針研処理がプローブテストの処理に割り込んだときに、検査済みのウエハＷ３をＦＯＵＰ１００に戻すのではなく、基板収納部６０の上方に設けられた基板保持装置７０に一時的の保持させて針研処理を開始する。そのため、検査済みのウエハＷ３をＦＯＵＰ１００に搬入してから針研ウエハＷｂを搬出させる場合と比較して、ウエハＷ３を保持させてから針研ウエハＷｂを搬出させるまでの時間を短縮することができる。さらにＦＯＵＰ１００にウエハＷ３を戻して針研処理を行う場合、ウエハ搬送アーム３が何もウエハＷを支持していない状態で移動する、無駄な工程が必要であるのに対し、本実施形態では、ウエハ搬送アーム３に常にウエハＷを支持した状態にすることができ、無駄な工程を無くして作業性が向上することを期待することができる。
【００５５】
上述した第１及び第２のケースで割込み命令による針研処理を行う本実施形態のプローブ装置では、検査部２１内に検査済みのウエハＷが置かれている状態で、針研ウエハＷｂを用いて当該検査部２１の保守作業である針研処理を行う割込み要求が発せられたときに、第１のアーム体３５に支持されているプリアライメント済みの未検査のウエハＷを、吸着部７３を備えた基板保持装置７０に一旦受け渡すようにしている。このため未検査のウエハＷは、ウエハ搬送アーム３に受け渡されたその姿勢（ウエハ中心位置及び向き）を維持した状態で保持されるので、再プリアライメントを行うことなく、そのまま検査部２１へと搬入することができる。このため検査部２１の待機時間を短縮することができ、スループットの低下を抑えられる。
【００５６】
また基板保持装置７０は、１枚のウエハＷの姿勢を維持したまま保持することができればよいため、基板保持装置７０を小さく構成することができ、搬送室１０等の余裕のある箇場所に基板保持装置７０を配置することができる。そのため針研処理専用のウエハチャック等を設けた場合と比較して、装置の大型化を抑制することが可能となる。
【００５７】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係るプローブ装置について図１３ないし図１６を参照して説明する。第２の実施形態のプローブ装置は、基板保持装置１７０の構造を除いては、第１の実施形態と同じであるため、第１の実施形態と同一部分または相当部分には、同一の符号を付して説明する。第１の実施形態では、基板保持装置７０はウエハＷを吸着して保持するのみであったが、本実施形態の基板保持装置１７０では、保持しているウエハＷに対して必要に応じてプリアライメントを行うことが可能となっている。
【００５８】
本実施形態では、図１３、図１４に示すように基板収納部６０の基台６１の上面に設置部１６８が設けられている。この設置部１６８は、基板収納部６０の上方領域で水平面を形成する平板１６９を有しており、基板保持装置１７０は、この平板１６９上に設けられている。なお基板収納部６０と平板１６９との間の幅は、基板収納部６０の最上段の棚に載置されている針研ウエハＷｂを取り出すことができる幅に設定されている。
【００５９】
設置部１６８には、基板保持装置１７０のチャック部１７１、センサブリッジ１７２、発光部１７５などが設けられており、センサブリッジ１７２には受光センサ１７３が取り付けられている。チャック部１７１は、回転する機能と載置されたウエハＷを吸着（真空吸着）する機能とを有しており、吸着保持したウエハＷを回転させる回転ステージとして機能する。そしてこのチャック部１７１は、平板１６９の略中央、かつ基板保持装置１７０に向けてアーム体３５、３６が前進したときに、アーム体３５（３６）の切り欠き部５５、５６が相対的に進入して、アーム体３５、３６と干渉しない位置に設けられている。
【００６０】
センサブリッジ１７２は、設置部１６８の後側に設けられており、上部に受光センサ１７３が平板１６９に対して水平になるように取り付けられている。また発光部１７５は、チャック部１７１に保持されているウエハＷの周縁部の下方位置に設けられており、上方にあるウエハＷの周縁部（端部）を含む領域に下方から光を照射し、受光センサ１７３でウエハＷを透過した光を受光する。そのため受光センサ１７３が取り付けられたセンサブリッジ１７２は、発光部１７５の上方、かつチャック部１７１に保持されているウエハＷより高さレベルが高い位置に受光センサ１７３を固定しておけるように、形成されている。
【００６１】
そしてこの基板保持装置１７０は、ウエハ搬送アーム３が、図７に示す第１の実施形態の吸着部７３に対して行った進退及び昇降動作により、チャック部１７１にウエハＷが受け渡され、この受け渡されたウエハＷを吸着保持することができる。さらに受光センサ１７３と発光部１７５とを備えていると共に、チャック部１７１を回転する回転ステージとして機能するように構成しているので、プリアライメント機構４０と同様に、ウエハＷに対してプリアライメントを行うことが可能となる。
【００６２】
このような基板保持装置１７０を有する本実施形態のプローブ装置では、基板保持装置１７０に保持させたウエハＷに対してプリアライメントを行うことができるので、針研処理時に、例えば、第１の検査部２１のウエハチャック４に針研ウエハＷｂを搬入したときに、第２の検査部２１でプローブテストが終了した場合、基板保持装置１７０に保持されているウエハＷにプリアライメントを行い、ウエハＷの向きの調整と中心の位置を、第２の検査部２１に合わせて、そのウエハＷを第２の検査部２１に搬入することが可能となる。
【００６３】
次にこの針研処理の方法について、図１５、図１６を参照して説明する。なおこの説明では、第１の検査部２１ｂのウエハチャックを４ｂ、第２の検査部２１ｃのウエハチャックを４ｃ、基板保持装置１７０に保持されている未検査のウエハをＷ１０、ウエハ搬送アーム３に支持されている検査済みのウエハをＷ１１、ウエハチャックを４ｃに載置されている検査済みのウエハをＷ１２、ＦＯＵＰ１００からウエハチャック４ｂに搬送されるウエハをＷ１３とする。そして検査部２１ｂのウエハチャック４ｂから検査済みのウエハＷ１１を搬出させると共に、針研ウエハＷｂをウエハチャック４ｂに搬入させて針研処理を開始したときに、第２の検査部２１ｃでプローブテストが終了したものとする（図８（ｃ）参照）。
【００６４】
まず図１５（ａ）に示すように、ウエハ搬送アーム３を基板収納部６０にアクセスする位置に移動させる（矢印４１）。その間に、基板保持装置１７０は、保持しているウエハＷ１０のプリアライメントを行い、基板保持装置１７０に保持されている未検査のウエハＷ１０の向きの調整と中心の位置合わせとを行う。次いで、第１のアーム体３５で基板保持装置１７０からウエハＷ１０を受け取ると共に、第２のアーム体３６で支持している検査済みのウエハＷ１１を基板保持装置１７０に保持させる（矢印４２）。その後図１５（ｂ）に示すように検査部２１ｃの搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させ（矢印４３）、ウエハ搬送アーム３の第２のアーム体３６で検査部２１ｃのウエハチャック４ｃから検査済みのウエハＷ１２を搬出させると共に、第１のアーム体３５で支持している針研ウエハＷｂをウエハチャック４ｃに搬入する（矢印４４）。そして検査部２１ｃでは、ウエハチャック４ｃを移動させてウエハチャック４ｃに載置されているウエハＷ１０に対するプローブテストを行う。
【００６５】
一方検査部２１ｃでウエハＷ１０のプローブテストが行われている間に、図１５（ｃ）に示すように、ウエハ搬送アーム３をＦＯＵＰ１００にアクセスする位置に移動させ（矢印４５）、第２のアーム体３６で支持しているウエハＷ１２をＦＯＵＰ１００に搬入すると共に、第１のアーム体３５でＦＯＵＰ１００からウエハＷ１３を搬出する（矢印４６）。次いで、ウエハＷ１３に対してプリアライメントを行い、検査部２１ｂに合わせてウエハＷ１３の向きの調整と中心の位置合わせを行った後、図１６（ａ）に示すように針研処理を行っていた検査部２１ｂの搬入出口２３（図３参照）の前にウエハ搬送アーム３を移動させる（矢印４７）。そして検査部２１ｂの針研処理が終了した後、第２のアーム体３６に、ウエハチャック４ｂから針研ウエハＷｂを搬出させると共に、第１のアーム体３５で支持しているウエハＷ１３をウエハチャック４ｂに搬入する（矢印４８）。その後検査部２１ｂでは、ウエハＷ８に対するプローブテストを開始する。
【００６６】
その後検査部２１ｂでウエハＷ１３のプローブテストが行われている間に、図１６（ｂ）に示すように、ウエハ搬送アーム３を基板収納部６０にアクセスする位置に移動させ（矢印４９）、第２のアーム３６で支持している針研ウエハＷｂを基板収納部６０に搬入すると共に、第１のアーム体３５で基板保持装置１７０に保持されている検査済みのウエハＷ１１を受け取る（矢印５０）。その後図１６（ｃ）に示すように、ウエハ搬送アーム３をＦＯＵＰ１００にアクセスする位置に移動させ（矢印５１）、ウエハＷ１１をＦＯＵＰ１００に搬入する（矢印５２）。これにより針研処理の一連の工程が終了し、その後はプローブテストプログラム５０に基づいてプローブテストが続行される。
【００６７】
上述した本実施形態のプローブ装置では、基板保持装置１７０を備えたことにより、第１の実施形態と同様に、未検査のウエハＷを、ウエハ搬送アーム３に受け渡されたその姿勢（ウエハ中心位置及び向き）を維持した状態で保持しておくことができ、再プリアライメントを行うことなく、そのまま検査部２１へと搬入することができる。このため検査部２１の待機時間を短縮することができ、スループットの低下を抑えられる。さらに基板保持装置１７０では、保持しているウエハＷのプリアライメントを行うことができるので、保持しているウエハＷを、ウエハ搬送アーム３が待機時に搬送しようとしていた検査部２１とは異なる検査部２１に合わせて向きの変更と中心の位置合わせをして、そのウエハＷをそのまま他の検査部２１へと搬送することができる。これにより、針研処理により他の検査部で発生する待機時間を短縮することができ、スループットの低下をさらに抑制することが可能となる。
【００６８】
なお本実施形態では、基板収納部６０には、保守用基板として針研ウエハＷｂが収納されているが、本発明の実施形態としては、保守用基板として複数の検査部ごとのプローブテストの誤差に基づく相関を計測するための相関ウエハを収納していてもよい。
【００６９】
また本発明の本実施形態としては、プリアライメント機構４０は、ウエハ搬送アーム３に搭載することに限らず、搬送室１０内のウエハ搬送アーム３の移動領域内（アクセス可能領域内）に設けても良いが、ウエハ搬送アーム３をプリアライメントのたびにプリアライメント機構まで搬送しなければならずかつプリアライメントのステージとアーム３との間でウエハＷの受け渡しを行わなければならないことから、本例の構成が得策である。またプリアライメント機構４０を搬送室１０内に設ける例としては、例えば図２のおいて搬送室１０のＹ方向の中央部であって、検査済みのウエハＷをウエハ搬送アーム３が搬送するときに邪魔にならない位置やロードポート１１（１２）の下方位置等を挙げることができる。
【００７０】
また本実施形態のウエハ搬送アーム３は、２枚のアーム体３５、３６を備えているが、本発明の実施の形態としては、例えば基板搬送機構は、３つの基板支持部材を備えていてもよい。３つの基板支持部材を備えた場合、３つのうち２つの基板支持部材は常にウエハを支持していることになるため、針研処理を行うときは、１つの基板支持部材に支持されているウエハを降ろす必要があるが、本実施形態の各基板保持装置を備えることによって、キャリアに戻さずに降ろすことができ、検査部２１の待機時間を短縮して、スループットの低下を抑えることが可能となる。
【００７１】
また本実施形態の基板保持装置７０、１７０は、基板収納部６０の上方領域に設けられているが、本発明の実施の形態はこれに限定されず、例えば基板収納部に隣接する領域であれば、下方領域、若しくは左右どちから一方の領域に設けることもできる。
【符号の説明】
【００７２】
３  ウエハ搬送アーム（基板搬送機構）
４  ウエハチャック（載置台）
５  制御部
６  プローブカード
７  プローブ針
８  下側撮像部
９  上側撮像部
１０  搬送室
１１、１２  ロードポート
２１  検査部
２４  ステージユニット
３５  第１のアーム体
３６  第２のアーム体
４０  プリアライメント機構
５０  プローブテストプログラム
５１  割込み処理プログラム
６０  基板収納部
６１  基台
７０  基板保持装
７１  支持部
７２  腕部
７３  吸着部
７４  真空吸着孔
７５  凹部
１６８  設置部
１６９  平板
１７０  基板保持装置
１７１  チャック部
１７２  センサブリッジ
１７３  受光センサ
１７４  発光部
１００  ＦＯＵＰ（キャリア）
Ｗ  ウエハ
Ｗｂ  針研ウエハ
【図１】
2010171139.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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