(57)【要約】【課題】  複数のユニットから構成される露光装置及びその管理システムにおいて、適切にソフトウェアのバージョンマッチング、ユニット構成管理を行ない、適切なユニット固有パラメータを自動的に設定できるようにする。【解決手段】  ユニットに付加された記憶媒体にユニット情報記憶させ、この情報を有線あるいは無線により取得する。【選択図】  図１
2010067759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のユニットから構成される露光装置において、ユニット毎に取り付けられた、当該ユニットの固有情報を記憶させた記憶媒体と、前記記憶媒体から固有情報を取得する情報取得手段を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記情報取得手段は、有線あるいは無線により情報を取得することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記記憶媒体において、ユニット毎の駆動パラメータを記憶することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記情報取得手段は、前記記憶媒体から取得した駆動パラメータをユニットに対して適切に設定することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記記憶媒体は、改修時に改修履歴および構成部品情報を記憶することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記情報取得手段において取得した改修履歴情報より、適切な制御ソフトウェアのバージョンアップを行なうことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記情報取得手段において取得したユニット構成情報より、適切な制御ソフトウェアのバージョンアップを自動的に行なうことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記情報取得手段において取得したユニット構成情報より、適切な制御ソフトウェアのバージョンアップを自動的に行なうタイミングを任意に設定できることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記情報取得手段において取得したユニット改修履歴より、改修すべきユニットを容易に判別できることを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のユニットから構成される露光装置及びその管理システムにおいて、ユニットに付加された記憶媒体にユニット情報記憶させ、この情報を有線あるいは無線により取得することにより適切にソフトウェアのバージョンマッチング、ユニット構成管理を行ない、適切なユニット固有パラメータを自動的に設定できる露光装置及びその管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置のユニットの構成部品及び改修履歴とユニット制御ソフトのバージョンの間には相関関係がある。また、複数のユニットを制御する制御部の制御ソフトウェアと制御部配下のユニットの制御ソフトウェアのバージョンにも相関関係がある。これらの相関関係の整合性が取れていなければソフトは正しく動作しない。そのため改修等でユニットの部品構成が変更された場合にはその改修に応じて正しいソフトをインストールしなければならない。
【０００３】
また、制御部やユニットの制御ソフトが機能向上のためにバージョンアップされた場合には、ユニットの部品構成や回収履歴を元にどのユニットにインストールすべきかを判断しなければならない。
【０００４】
従来の技術にはＲＦＩＤタグを用いてハードウェアモジュール間及びハードウェアモジュールとハードウェアの整合性の不都合に起因した障害を未然に防ぐ技術がある。（例えば、特許文献１）。
【０００５】
また、詳細な構成情報を収集し部品番号等の確認する技術がある（例えば特許文献２）
【特許文献１】特開２００６−０９９３０６号公報
【特許文献２】特開２００６−０９４０２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１は整合性に問題が生じた場合にはファームウェアの更新が自動的に行われる。しかし、ファームウェアのバージョンアップがされた場合、ハードウェアモジュール及びファームウェアに考慮して整合性に問題が生じずにバージョンアップは成されないという問題点がある。また、ハードウェアのバージョンのみを確認するものでありその構成部品までは確認できないという問題がある。また、特許文献２ではユニットの個体差に起因するユニット固有のパラメータの確認が行なえずその設定もできないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る露光装置は、ユニットを複数個からなる露光装置において、各ユニットごとにユニットの構成情報と固有パラメータ、ソフトウェアバージョン、改修履歴を記憶した記憶媒体と、その記憶媒体の情報を取得する手段とを備えていることを特徴とする。記憶媒体の情報は無線、あるいは有線により取得され、データベースにより管理される。記憶媒体より読み取られたユニットの構成情報や駆動パラメータは電源オン時あるいはリセット時に自動的に設定される。ユニットにメカ、電気的な機能追加が成されたなどユニットに対して変更が行われた場合に、記憶媒体に変更情報を書き込む。この改修履歴情報を取得することによってユニット改修が行われているかどうか簡単に判別できるようにしどのユニットを改修すればよいかが容易に判別できる。また、制御ソフトのバージョンアップを行なう場合にはユニットの固有情報が記録してあるデータベースの情報を用いることにより、ソフトバージョンおよびユニットの構成部品との整合性を取りながら不都合無く自動的に行なう。また外部にインストールサーバーを設置した場合にはユニット情報を用いて自動的に適切なソフトの配信を行なう。
【発明の効果】
【０００８】
複数のユニットの改修を行った場合など、制御ソフトのバージョンのアンマッチングが発生しうるような状況でも、適切かつ速やかにソフトのバージョンアップを行なうことができる。また、固有パラメータ等を自動的に設定することにより設定ミスを防ぐことができ結果として装置の安定稼動につなげることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。
【実施例１】
【００１０】
本発明の露光装置システム管理の実施例１を説明する。図１は本システムの全体構成を示すものである。この露光装置管理システムは複数の露光装置１１（１１−１、１１−２、１１−３、１１−４）とこれらの露光装置を管理する個別管理装置１２（１２−１、１２−２）、及びこれらの個別管理装置を管理する中央管理装置１３から構成される。個別管理装置には個別管理装置ＩＤが露光装置には装置ＩＤが割り振られている。露光装置１１と個別管理装置１２、及び個別管理装置１２と中央管理装置１３は各々ネットワーク１４により相互に接続されており双方向の通信が可能である。
【００１１】
本システムでは、個々の露光装置１１は内部のユニット２２に付加されている記憶媒体２３からユニット固有の情報を読み取り個別管理装置１２に通知する。また、個別管理装置１２は配下の露光装置１１を構成する個々のユニット情報を中央管理装置１３に通知する。
【００１２】
図２は、本発明の縦置き光学部品が搭載される走査型露光装置を示す図である。同図において、２はスリット状に成形された照明先を照射する照明系、３はマスク４とワーク１０のアライメントマークを検出するアライメントスコープ、５は照明系２により照明されるマスク４上のパターンの像をワーク１０上に投影するミラー光学系、６はミラー光学系５内の入口側または出口側の光路上に配置した光学薄体である。照明系２によって照明されるマスク４上のパターンの像は、ミラー光学系５の反射ミラー７、凹面鏡（縦置き光学部品）１、凸面鏡９、再び凹面鏡１、反射ミラー８、そして光学薄体６を経てワーク１０に結像する。この状態において、ワーク１０をＹ方向に走査し、マスク４上のすべてのパターンを露光する。また、２、３、５は各々ユニットとして構成されており、それぞれ別の制御ソフトウェアにより制御されている。
【００１３】
図３は露光装置のシステム構成を示す図である。各ユニット２２（２２−１、２２−２、２２−３）はネットワークにより制御部２１（２１−１、２２−２）と接続されており相互に通信を行なうことができる。ユニットにはユニットＩＤが制御部には制御部ＩＤ割り振られている。また、制御部２１は各ユニット２２に対して制御信号を送信することにより制御を行なっている。制御部２１はオペレータが実際に操作を行なうコンソール２０とネットワークを介して接続されており、コンソールからの指令を受けて制御部２１は各ユニット２２の制御を行なう。コンソール２０にはハードディスクが内蔵されており、制御部２１及びユニット２２にインストールするためのソフトウェアを保持することができる。ユニット２２には記憶媒体２３（２３−１、２３−２、２３−３）が付加されており、有線あるいは無線によりユニット固有情報を情報取得部２４に送信する。また記憶媒体２３には情報取得部２４からの情報も記憶することができる。
【００１４】
図４はユニットのシステム構成を示すものである。各ユニット内には個別制御部３１があり個別制御部３１がネットワークにより制御部２１と接続されている。個別制御部３１ではソフトウェアが実行されており制御部２１から送信されてきた制御信号を解読し個別制御部３１に接続されているモーター３２（３２−１、３２−２）を制御する。また、個別制御部３１に接続されているセンサー３３（３３−１、３３−２、３３−３）の情報を制御部２１に送信する。
【００１５】
ユニット２２によってはユニット２２の個体差がモーター等の制御に影響するのでユニット毎の制御パラメータ等を個別制御部に保持している。また、これらのパラメータは制御部からネットワークにより設定することが可能である。
【００１６】
ユニット２２には各々記憶媒体２３（２３−１、２３−２、２３−３）が付加されている。図５は記憶媒体内に記憶されている情報であり、ユニットＩＤ４０、ユニット名称４１、ソフトバージョン４２、ユニット内の構成部品４３、改修履歴４４、固有パラメータ４５のユニット固有情報が記録されている。これらの情報は工場において組み立て時に記憶媒体２３に記憶される。情報は任意のタイミング（装置電源オン直後、リセット終了直後など）でコンソールからの指令により、状態取得部により無線あるいは有線のネットワークにより取得され、その情報は状態取得部２４よりコンソール２０へと通知される。また、反対に、コンソール２０から状態取得部２４を通じて、記憶媒体２３に情報を書き込むことも可能である。
【００１７】
図１１は中央管理装置にある中央構成管理データベースのフォーマットを示したものである。１００は個別管理装置ＩＤ、１０１はその配下の装置ＩＤ、１０２はその装置配下の制御部ＩＤ、１０３は制御ソフトバージョンである。１０４は制御部配下のユニットＩＤ、１０５は同じく制御部配下のユニット名、１０６は同じく制御部配下のユニットの制御ソフトバージョンである。
【００１８】
図１２は個別管理装置にある個別構成管理データベースのフォーマットを示したものである。１１０は個別管理装置配下の装置ＩＤ、１１１はその装置配下の制御部ＩＤ、１１２は制御ソフトバージョンである。１１３は制御部配下のユニットＩＤ、１１４は同じく制御部配下のユニット名、１１５は同じく制御部配下のユニットの制御ソフトバージョンである。
【００１９】
図１３は露光装置にある装置構成管理データベースのフォーマットを示したものである。１２０は露光装置配下の制御部ＩＤ、１２１は制御ソフトバージョンである。１２２は制御部配下のユニットＩＤ、１２３は同じく制御部配下のユニット名、１２４は同じく制御部配下のユニットの制御ソフトバージョンである。これらのデータベースはユニットの記憶媒体からの情報により自動的に更新される。
【００２０】
これらのデータベースを使用することで中央管理装置からはどの装置のどのユニットが改修が必要かを瞬時に見極めることができ、効率的に装置の構成管理を行なえるようになる。
【００２１】
ユニットの改修が行われた場合は、作業者は書き込み装置を用いてユニット２２に付加してある記憶媒体２３に改修履歴４４や構成部品４３を記憶させる。この情報は、情報取得部２４により読み取られ、コンソール２０に通知される。また、この情報は個別管理装置１２及び中央管理装置１３にも通知されそれぞれの内部にある中央構成管理データベース、個別構成管理データベース、装置構成管理データベースが更新される。
【００２２】
図６は露光装置のユニット改修時の個別制御部３１における制御ソフトバージョンアップ処理動作手順である。図１４はユニット制御ソフトをバージョンアップする際に使用するユニットソフト情報管理データベースのフォーマットを示したものである。１３０はユニットソフトのバージョン。１３１はそのバージョンを適応できるユニット名。１３２はそのバージョンを適応するのに必要なユニットの改修履歴。１３３は適応するのに必要なユニットの構成部品情報である。
【００２３】
ユニット２２の改修により記憶媒体３１に記憶してある構成部品４３、改修履歴４４が変更される。改修後の電源オン時に記憶媒体のユニット情報が読み取られ、改修が確認されたら、コンソール２０はコンソール内部の装置構成情報データベースの更新を行なう５０。次に装置構成情報データベースとユニットソフト情報管理データベースの照合を行なう５１。現在のソフトバージョンが適切なものであるかを確認する５２。適切なソフトでない場合にはコンソール内に適切なソフトが保持されているかを確認する５３。ここで、コンソール２０に適切なソフトを保持していない場合は、個別管理装置１２、そこにも無い場合には中央管理装置１３からソフトのダウンロードを行ないコンソール２０のハードディスクに保持する。そしてユニット２２の個別制御部３１の制御ソフトのインストールを行なう５５。インストールが行われたなら、情報取得部２４から記憶媒体２３のバージョン４２を更新する５６。次に中央構成管理データベース、個別構成管理データベース、装置構成管理データベースの改修によって変更された記憶媒体２３の構成部品４３、改修履歴４４、制御ソフトバージョン４２情報を更新５７して終了する。
【００２４】
図７は露光装置のユニット改修時の制御部制御ソフトバージョンアップ処理動作手順である図１５は制御部制御ソフトをバージョンアップする際に使用する制御部ソフト情報管理データベースのフォーマットを示したものである。１４０はユニットソフトのバージョン。１４１、１４３はそのバージョンを適応するのに必要なユニット名。１４２、１４４はそのバージョンを適応するのに必要なユニットのソフトバージョンである。
【００２５】
制御部２１の配下のユニット２２の構成部品４３、改修履歴４４が変更された場合、コンソール２０はコンソール内部の装置構成情報データベースの更新を行なう６０。次に装置構成情報データベースと制御部ソフト情報データベースの照合を行なう６１。現在のソフトバージョンが適切なものであるかを確認する６２。適切なソフトでない場合にはコンソール内に適切なソフトが保持されているかを確認する６３。ここで、コンソール２０に適切なソフトを保持していない場合は、個別管理装置１２、そこにも無い場合には中央管理装置１３からソフトのダウンロードを行ないコンソール２０のハードディスクに保持する。そしてユニット２２の制御部２１の制御ソフトのインストールを行なう６５。インストールが行われたなら、中央構成管理データベース、個別構成管理データベース、装置構成管理データベースの改修によって変更された記憶媒体２３の構成部品４３、改修履歴４４、制御ソフトバージョン４２情報を更新６６して終了する。
【００２６】
これにより、制御部２１及びユニット２２の個別制御部３１のソフトバージョンアンマッチングを防ぎ、常に適切なソフトをインストールすることができる。
【００２７】
図８はソフトの機能追加等でユニット制御ソフトのバージョンアップを行なう場合の処理動作手順である。まず中央管理装置１３に新しいバージョンユニット２２の個別制御部１２の制御ソフトをインストール６０し、ユニットソフト情報管理データベースを更新する６１。中央管理装置１３はソフト更新が必要なユニットを検索し６２、ソフト更新が必要なユニットを配下に持つ個別管理装置１２に対して、新しいバージョンの制御ソフトをアップロードし６３ユニットソフト情報管理データベースを更新する６４。同様に個別管理装置はソフト更新が必要なユニットを配下に持つ露光装置に対して新しいバージョンの制御ソフトをアップロードし６５、ユニットソフト情報管理データベースを更新する６６。コンソールはユニットの個別情報を情報取得部より取得し、取得した情報に基づいて、送付された構成管理データベースより各ユニットに対して適切なユニット制御ソフトをインストールする６７。
【００２８】
図９はソフトの機能追加等で制御部制御ソフトのバージョンアップを行なう場合の処理動作手順である。まず中央管理装置１３に新しいバージョンの制御部２１の制御ソフトをインストール７０し、制御部ソフト情報管理データベースを更新する７１。中央管理装置１３はソフト更新が必要なユニットを検索し７２、ソフト更新が必要なユニットを配下に持つ個別管理装置１２に対して、新しいバージョンの制御部制御ソフトをアップロードし７３制御部ソフト情報管理データベースを更新する７４。同様に個別管理装置はソフト更新が必要なユニットを配下に持つ露光装置に対して新しいバージョンの制御ソフトをアップロードし７５、ユニットソフト情報管理データベースを更新する７６。コンソールはユニットの個別情報を情報取得部より取得し、取得した情報に基づいて、送付された構成管理データベースより各ユニットに対して適切な制御部制御ソフトをインストールする７７。ここで、制御部制御ソフト及びユニット制御ソフトは任意のタイミングでインストールできるように自由にコンソールから設定できる（電源ＯＮ直後、リセット直後など）。
【００２９】
図１０はユニット固有パラメータ４５を個別制御部３１に自動的に設定する処理動作手順である。ユニット固有パラメータ４５は電源オン時及びリセット時にユニット制御ソフトに、適切に設定される必要がある。工場組み立て時にユニットの記憶媒体に記憶された固有パラメータ４５は、情報取得部２４により記憶媒体２３から取得され８１、コンソールに保持される８２。コンソールはリセットや電源オンのタイミングで、保持されているユニット固有パラメータを個別制御部に設定する８３。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】露光装置構成管理システムの全体図である。
【図２】露光装置全体構成を説明する図である。
【図３】露光装置内ユニットの構成を説明する図である。
【図４】ユニット内構成を説明する図である。
【図５】記憶媒体の内部情報を説明する図である
【図６】ユニット改修時のユニットのソフトバージョンアップフローである。
【図７】ユニット改修時の制御部のソフトバージョンアップフローである。
【図８】ユニットのソフトバージョンアップ時のソフトバージョンアップフローである。
【図９】制御部ソフトバージョンアップ時のソフトバージョンアップフローである。
【図１０】ユニット固有パラメータを設定するフローである。
【図１１】中央構成管理データベースのフォーマットを説明する図である。
【図１２】個別構成管理データベースのフォーマットを説明する図である。
【図１３】装置構成管理データベースのフォーマットを説明する図である。
【図１４】ユニットソフト情報管理データベースのフォーマットを説明する図である。
【図１５】制御部ソフト情報管理データベースのフォーマットを説明する図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  縦置き光学部品
２  照明系
３  アライメントスコープ
４  マスク
５  ミラー光学系
６  光学薄体
７  反射ミラー
８  反射ミラー
９  凸面鏡
１０  ワーク
１１−１〜１１−４  露光装置
１２−１、１２−２  個別管理装置
１３  中央管理装置
１４  ネットワーク
２０  コンソール
２１−１、２１−２  制御部
２２−１〜２２−３  ユニット
２３−１〜２３−３  記憶媒体
２４  個別情報取得部
３１  個別制御部
３２−１、３２−２  モーター
３３−１〜３３−３  センサー
４０  ユニットＩＤ
４１  ユニット名称
４２  ソフトバージョン
４３  部品構成
４４  改修履歴
４５  固有パラメータ
１００  個別管理装置ＩＤ
１０１  装置ＩＤ
１０２  制御部ＩＤ
１０３  制御ソフトバージョン
１０４  ユニットＩＤ
１０５  ユニット名１
１０６  ユニット１ソフトバージョン
１１０  装置ＩＤ
１１１  制御部ＩＤ
１１２  制御ソフトバージョン
１１３  ユニットＩＤ
１１４  ユニット名１
１１５  ユニット１ソフトバージョン
１２０  制御部ＩＤ
１２１  制御ソフトバージョン
１２２  ユニットＩＤ
１２３  ユニット名１
１２４  ユニット１ソフトバージョン
１３０  ユニットソフトバージョン
１３１  ユニット名
１３２  必要改修
１３３  必要構成部品
１４０  制御ソフトバージョン
１４１  ユニット名１
１４２  ユニット１ソフトバージョン
１４３  ユニット名２
１４４  ユニット２ソフトバージョン
【図１】
2010067759.tif 000003
【図２】
2010067759.tif 000004
【図３】
2010067759.tif 000005
【図４】
2010067759.tif 000006
【図５】
2010067759.tif 000007
【図６】
2010067759.tif 000008
【図７】
2010067759.tif 000009
【図８】
2010067759.tif 000010
【図９】
2010067759.tif 000011
【図１０】
2010067759.tif 000012
【図１１】
2010067759.tif 000013
【図１２】
2010067759.tif 000014
【図１３】
2010067759.tif 000015
【図１４】
2010067759.tif 000016
【図１５】
2010067759.tif 000017