(57)【要約】【課題】凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となるキャップの洗浄方法を提供する。【解決手段】インクを吐出するノズル８を下面４ａに有しているインクジェットヘッド４を、凹部３１に溜めている保管液Ｒ１に当該下面４ａを浸漬させて、保管するためのキャップ３０を洗浄する方法である。キャップ３０を蓋部材１１により上から覆った状態とし、洗浄液と空気との内の一方又は双方を、凹部３１の底面３２よりも上から当該底面３２に供給しながら、蓋部材１１と凹部３１との間を吸引し、保管液Ｒ１を底面３２よりも上から吸い出す。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するノズルを下面に有しているインクジェットヘッドを、凹部に溜めている保管液に当該下面を浸漬させて、保管するためのキャップを洗浄する方法であって、
前記キャップを蓋部材により上から覆った状態とし、
洗浄液と空気との内の一方又は双方を、前記凹部の底面よりも上から当該底面に供給しながら、前記蓋部材と前記凹部との間を吸引し、前記保管液を当該底面よりも上から吸い出すことを特徴とするキャップの洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄液と前記空気との内の一方又は双方を、前記凹部の周縁部よりも内側の部分における底面に供給しながら、前記蓋部材と前記凹部との間を、当該周縁部から吸引する請求項１に記載のキャップの洗浄方法。
【請求項３】
前記凹部の全周縁部のうち部分的に形成されたスロットから吸引する請求項２に記載のキャップの洗浄方法。
【請求項４】
インクを吐出するノズルを下面に有しているインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドを保管する際に前記下面を浸漬させる保管液を溜める凹部を有しているキャップと、
必要に応じて前記キャップ上に位置し前記凹部を洗浄する洗浄装置と、を備え、
前記洗浄装置は、
前記キャップを上から覆う蓋部材と、
前記蓋部材によって覆われている前記凹部の底面に洗浄液を当該底面よりも上から供給する洗浄液供給部と、
前記蓋部材と前記凹部との間に空気を供給するためのエア供給部と、
前記蓋部材と前記凹部との間を吸引して前記凹部の前記保管液を前記底面よりも上から吸い出す吸引部と、を有していることを特徴とするインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドを保管する際に用いられるキャップの洗浄方法、及び、キャップ及びキャップを洗浄する洗浄装置を備えているインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばカラー液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに用いられるカラーフィルタを効率よく製造する装置として、インクジェット装置が提案されている。このインクジェット装置は、下面に多数のノズルが形成されているインクジェットヘッド（以下、ヘッドという）を備えていて、ガラス基板上に形成された多数の微細な画素部に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各インクを前記ノズルから吐出して、Ｒ、Ｇ、Ｂの色画素をガラス基板上に形成している。
このようなインクジェット装置では、ノズルでインクが乾燥すると目詰まりが生じ、インクが正常に吐出されず、製品（カラーフィルタ）の品質を低下させてしまう場合がある。特に、このようなインクの乾燥は、塗布作業を休止している際に発生しやすい。そこで、所定期間ヘッドを使用しない場合、ノズルでのインクの乾燥を防止するため、ヘッドの下部にキャップを取り付けて保管することが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２４５１３６号公報（図３参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の場合、キャップの凹部に保管液を溜めておき、ヘッドの下部（インクの吐出面）を当該保管液に浸漬させた状態としてヘッドを保管している。このようにしてヘッドを保管する場合においても、後に行う塗布作業のためにインクの吐出面をきれいな状態としておく必要があり、このために、キャップ内の保管液が汚れていることは好ましくない。そこで、定期的にキャップ内の保管液を入れ替える必要がある。
【０００５】
特許文献１に記載の構成では、キャップ内の保管液を吸引する吸引ポンプが設けられていて、この吸引ポンプは、キャップの凹部の底面にある吸い込み口にパイプを介して接続されている。この構成によれば、吸引ポンプによってキャップ内の保管液の大部分を吸い出すことができるが、吸い込み口に到達できなかった古い保管液は、凹部の底面に残ることがある。この場合、新しい保管液をキャップに供給しても、残存している古い保管液と混ざってしまうおそれがある。
そこで、本発明は、凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となるキャップの洗浄方法、及び、キャップ及びこのキャップを洗浄する洗浄装置を備えているインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のキャップの洗浄方法は、インクを吐出するノズルを下面に有しているインクジェットヘッドを、凹部に溜めている保管液に当該下面を浸漬させて、保管するためのキャップを洗浄する方法であって、前記キャップを蓋部材により上から覆った状態とし、洗浄液と空気との内の一方又は双方を、前記凹部の底面よりも上から当該底面に供給しながら、前記蓋部材と前記凹部との間を吸引し、前記保管液を当該底面よりも上から吸い出すことを特徴とする。
本発明によれば、洗浄液と空気との内の一方又は双方を上から凹部の底面に供給しながら、凹部に溜められている保管液を当該底面よりも上から吸い出すので、凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となる。
【０００７】
また、前記キャップの洗浄方法では、前記洗浄液と前記空気との内の一方又は双方を、前記凹部の周縁部よりも内側の部分における底面に供給しながら、前記蓋部材と前記凹部との間を、当該周縁部から吸引するのが好ましい。
この場合、洗浄液と空気との内の一方又は双方を、凹部の周縁部よりも内側の部分における底面に供給するので、凹部の内側から周縁部へと保管液を流し出すことができる。そして、凹部の周縁部から吸引するので、凹部の周縁部に流れてくる保管液、さらには、凹部の周縁部から溢れようとする保管液があっても、その保管液を吸引することができる。
さらに、前記凹部の全周縁部のうち部分的に形成されたスロットから吸引するのが好ましく、この場合、凹部の周縁部から吸い出す保管液の流速が早くなり、迅速に古い保管液を外部へ吸い出すことができる。
【０００８】
また、本発明のインクジェット装置は、インクを吐出するノズルを下面に有しているインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドを保管する際に前記下面を浸漬させる保管液を溜める凹部を有しているキャップと、必要に応じて前記キャップ上に位置し前記凹部を洗浄する洗浄装置とを備え、前記洗浄装置は、前記キャップを上から覆う蓋部材と、前記蓋部材によって覆われている前記凹部の底面に洗浄液を当該底面よりも上から供給する洗浄液供給部と、前記蓋部材と前記凹部との間に空気を供給するためのエア供給部と、前記蓋部材と前記凹部との間を吸引して前記凹部の前記保管液を前記底面よりも上から吸い出す吸引部とを有していることを特徴とする。
本発明によれば、洗浄液供給部が、前記凹部の底面に洗浄液を当該底面よりも上から供給しながら、吸引部が、前記蓋部材と前記凹部との間を吸引して凹部に溜められている保管液を当該底面よりも上から吸い出したり、エア供給部が、空気を前記蓋部材と前記凹部との間に供給しながら、吸引部が、前記蓋部材と前記凹部との間を吸引して凹部に溜められている保管液を当該底面よりも上から吸い出したりするので、凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となるので、凹部に入れた新しい保管液が、残った古い保管液によって汚れることを防ぐことができ、インクジェットヘッドを適切な状態としてキャップにより保管することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】インクジェット装置の実施の一形態を示している概略図であり、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）はその一部の平面図、（ｃ）はその一部を側方から見た断面図である。
【図２】キャップ及び洗浄ユニットの図であり、（ａ）は側方から見た断面図、（ｂ）はそのｂ−ｂ断面における断面図である。
【図３】洗浄方法のフロー図である。
【図４】洗浄装置の動作を説明するタイムチャート図である。
【図５】洗浄ユニットの他の例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１（ａ）は、インクジェット装置の全体の概略を示している斜視図である。このインクジェット装置は、床面に置くベースフレーム２、このベースフレーム２上に設けられ基板Ｗが載置されるステージ３、塗布ガントリ５及びカメラガントリ６を備えている。
ステージ３は、図示していない吸引ポンプによって基板Ｗをその上面に吸着して保持することができ、また、基板Ｗの位置決めを行うために、Ｚ軸回りに回転駆動されるとともにＹ軸方向に駆動される。なお、Ｚ軸方向は鉛直方向であり、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は水平面上の方向であり、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は相互に直交する。
【００１２】
塗布ガントリ５は、ヘッド搭載部（ヘッド搭載フレーム）５ａを搭載していて、図１（ｂ）の部分平面図に示しているように、ヘッド搭載部５ａは、複数個のインクジェットヘッド４（以下、ヘッド４という）を整列させて有している。図１（ｃ）の側方から見た断面図に示しているように、各ヘッド４は、その下面４ａに複数のノズル８を有している。このノズル８からステージ３上の基板Ｗにインクが吐出される。つまり、下面４ａはインクの吐出面となる。また、図１（ａ）において、塗布ガントリ５は、ノズル８からインクを吐出してステージ３上の基板Ｗにインクを塗布するために、Ｘ軸方向に駆動される。
カメラガントリ６は、基板Ｗの位置調整のためのカメラ９ａ、及び、ヘッド４が吐出したインクを撮像するためのカメラ９ｂを搭載していて、カメラガントリ６は、前記位置調整及び前記インクの撮像のために、Ｘ軸方向に移動することができる。また、カメラ９ａ，９ｂはそれぞれ、カメラガントリ６上をＹ軸方向に移動することができる。
【００１３】
塗布作業を行う場合、ヘッド４からインクが吐出されるが、塗布作業を休止する場合、つまり、所定期間ヘッド４を使用しない場合、ノズル８でのインクの乾燥（吐出面の乾燥）を防止するため、インクジェット装置は、ベースフレーム２上に、ヘッド４を保管するためのキャップ３０を備えている。図１（ｃ）において、キャップ３０は、上に開口している皿形状であり、凹部（ヘッド嵌入部）３１を有している。凹部３１には保管液Ｒ１が溜められていて、ヘッド４を保管する際に、ヘッド４の下面４ａを含むヘッド下部をこの保管液Ｒ１に浸漬させる。なお、保管液Ｒ１は、ヘッド４の吐出面におけるインクの乾燥を防止するための液体であり、例えば、ヘッド４から吐出されるインクの主溶媒を主成分とするものや、当該主溶媒以外を含むものであってもよい。
【００１４】
キャップ３０の凹部３１の底面３２（図２参照）は平坦な面である。また、図１（ｂ）に示しているように、ヘッド４毎にキャップ３０が設けられていて、複数のキャップ３０は、ヘッド４の配置と同じ配置でベース部材３３上に設けられている。このベース部材３３は、図示していない駆動機構によってＺ軸方向に駆動され、ヘッド４を保管する際に、ベース部材３３が待機位置から上昇し、キャップ３０をヘッド４に下から被せることができる。
【００１５】
さらに、インクジェット装置は、キャップ３０の凹部３１を洗浄する洗浄装置１０を備えている。図１（ｂ）に示している洗浄装置１０は、複数（３つ）のキャップ３０を一組として同時に洗浄する構成である。つまり、洗浄装置１０は、一組（３つ）のキャップ３０をそれぞれ個別に洗浄する同数（３つ）の洗浄ユニット１６と、これら洗浄ユニット１６を搭載している装置フレーム１５と、この装置フレーム１５をＺ軸周りに回動させる回動駆動機構（図示せず）と、装置フレーム１５をＹ軸方向に移動させる直線駆動機構（図示せず）とを有している。キャップ３０の洗浄が必要な場合、待機位置にある装置フレーム１５（図１（ｂ）の状態）をベース部材３３上へと回動させ、洗浄ユニット１６がキャップ３０に対向した状態で洗浄することができる。そして、装置フレーム１５がＹ軸方向に所定ピッチずつ移動することにより、洗浄装置１０が、ベース部材３３上にある多数のキャップ３０を、一組（３つ）ずつ洗浄することができる。
なお、一組（３つ）を同時に洗浄しなくてもよく、１つずつ洗浄を行ってもよい。さらに、洗浄ユニット１６の数は増減変更可能であり、同時に３つ以上を洗浄できる構成としてもよい。
【００１６】
三つの洗浄ユニット１６はいずれも同じ構成である。図２は、一つのキャップ３０及び当該キャップ３０を洗浄する一つの洗浄ユニット１６の図であり、（ａ）は側方から見た断面図、（ｂ）はそのｂ−ｂ断面における断面図である。この洗浄ユニット１６は、キャップ３０を上から覆う蓋部材１１と、キャップ３０に洗浄液を供給する洗浄液供給部１２と、キャップ３０に空気を供給するエア供給部１３と、キャップ３０の凹部３１に溜められている保管液Ｒ１を吸い出す吸引部１４とを有している。
【００１７】
蓋部材１１は外蓋１７と中蓋１８とを有していて、外蓋１７の上壁部の内面１７ａと中蓋１８の上面１８ａとの間に、平面状の第一流路２１が形成されている。外蓋１７は、キャップ３０の周壁３４の上面に接触する側壁２０を有している。蓋部材１１（側壁２０）をキャップ３０上に載せた状態とすると、外蓋１７とキャップ３０との間で閉塞空間が得られる。また、外蓋１７（蓋部材１１）をキャップ３０上に載せると、中蓋１８の下面１８ｃと凹部３１の底面３２との間に隙間ｄが形成されるように、中蓋１８が外蓋１７に取り付けられている。この隙間ｄが、保管液Ｒ１、洗浄液及び空気が流れる流路となる。
そして、図２（ｂ）に示しているように、外蓋１７の側壁２０の内面２０ａと中蓋１８の側面１８ｂとの間に第二流路２２が形成されている。この実施形態の第二流路２２は、側壁２０全周の内面２０ａの四隅と、中蓋１８の全周の側面１８ｂの四隅との間に、部分的に形成されているスロットからなる。すなわち、第二流路（スロット）２２は、凹部３１の四隅に配置された構成となる。
【００１８】
図２（ａ）において、第二流路２２は第一流路２１と繋がっていて、さらに、第一流路２１は吸引部１４が有している吸引ノズル２３と繋がっている。このため、凹部３１に存在している保管液Ｒ１は、第二流路２２、第一流路２１を経て吸引ノズル２３から洗浄ユニット１６外へと、吸引部１４が有している吸引ポンプ１４ａによって吸い出される。
前記吸引部１４は、吸引ノズル２３及び吸引ポンプ１４ａの他に、図示しないが液溜め部を有している。吸引ポンプ１４ａが作動すると、蓋部材１１と凹部３１との間、つまり、中蓋１８と凹部３１との間であって保管液Ｒ１が溜められる空間を上から吸引して、凹部３１の保管液Ｒ１を、底面３２よりも上にある前記流路２２，２１及び吸引ノズル２３から吸い出すことができ、吸い出した液を前記液溜め部へ送ることができる。
【００１９】
前記洗浄液供給部１２は、洗浄液を溜めるタンク（図示せず）と、このタンク内の洗浄液を送り出す送液手段１２ａと、蓋部材１１を上下貫通して設けられ送液手段１２ａによって送り出された洗浄液を通過させる洗浄液ノズル２４とを有している。なお、前記送液手段１２ａは、例えばタンクを加圧することで洗浄液を送り出す機構や、ポンプとすることができ、以下ではポンプ１２ａとして説明する。そして、ポンプ１２ａが作動すると、タンクから洗浄液を洗浄液ノズル２４へ送り出し、当該洗浄液を、蓋部材１１によって覆われているキャップ３０の凹部３１の底面３２に当該底面３２よりも上から吹き付けて供給することができる。
【００２０】
エア供給部１３は、大気中の空気を送り出す空気送出手段１３ａと、蓋部材１１を上下貫通して設けられ空気送出手段１３ａによって送り出された空気を通過させるエアノズル２５とを有している。なお、前記空気送出手段１２ａは、例えば空気タンクを加圧することで空気を送り出す機構や、ポンプとすることができ、以下ではポンプ１３ａとして説明する。そして、ポンプ１３ａが作動すると、大気中の空気をエアノズル２５へ送り出し、エアノズル２５内を空気が流れ、当該空気を蓋部材１１とキャップ３０の凹部３１との間に供給することができる。特に、ポンプ１３ａ及びエアノズル２５を有していることから、ポンプ１３ａによって加圧した状態にある空気を、蓋部材１１によって覆われているキャップ３０の凹部３１の底面３２に、当該底面３２よりも上から吹き付けて供給することができる。
【００２１】
また、図２（ａ）に示しているように、中蓋１８の縁部は、水平方向外側に向かって厚さが薄くなるように、中蓋１８の上面１８ａと下面１８ｃとのうちの一方又は双方に傾斜面１８ｄ（１８ｅ）が形成されている。この傾斜面１８ｄ（１８ｅ）により、保管液Ｒ１、洗浄液及び空気は、スムーズに流れることができる。なお、傾斜面１８ｄ（１８ｅ）の勾配は、水平面（中蓋１８の上面１８ａと下面１８ｃ）に対して４５°以上とすることができるが、４５°未満とし、傾斜をなだらかとするのが好ましい。なお、前記傾斜面１８ｄ（１８ｅ）を省略してもよい。
【００２２】
以上のように構成されたインクジェット装置において実行されるキャップ３０の洗浄方法について説明する。図３は洗浄方法のフロー図であり、説明を容易とするために模式的に表した洗浄ユニット１６を共に記載している。図４は、洗浄装置１０（洗浄ユニット１６）の動作を説明するタイムチャート図である。
キャップ３０の凹部３１には保管液Ｒ１が溜まっている状態にある。吸引部１４により吸引動作を開始した洗浄ユニット１６を（図４のｔ０）、キャップ３０に対して接近させる（図３のステップＳ１，Ｓ２）。蓋部材１１をキャップ３０上に載せた状態とし、外蓋１７とキャップ３０との間に閉塞空間を形成する。なお、吸引部１４がこの閉塞空間を吸引することで、外蓋１７とキャップ３０との接触面は密着する。
【００２３】
その後、吸引部１４によって吸引動作がされたままの状態で、前記エア供給部１３により空気の噴出を開始し（図３のステップＳ３、図４のｔ１）、所定時間（例えば５秒）継続する。所定時間経過後、エア供給部１３による空気の噴出を停止する（図３のステップＳ４、図４のｔ２）。これにより、凹部３１の古い保管液Ｒ１は、噴出された空気によって凹部３１の周縁部へと押され、かつ、保管液Ｒ１が空気と共に、凹部３１の周縁部から、第二流路２２、第一流路２１及び吸引ノズル２３を経て、洗浄ユニット１６外へと吸い出される。また、エア供給部１３による空気の圧送圧力（ポンプ１３ａにおける吐出圧）は、所定の圧力に設定される。
【００２４】
そして、吸引部１４による吸引動作が継続している状態で、前記洗浄液供給部１２により洗浄液の噴出を開始し（図３のステップＳ５、図４のｔ２）、所定時間（例えば１０秒〜１５秒）継続する。所定時間経過後、洗浄液供給部１２による洗浄液の噴出を停止する（図３のステップＳ６、図４のｔ３）。これにより、凹部３１に保管液Ｒ１が残留していても、当該保管液Ｒ１は、噴出された洗浄液によって凹部３１の周縁部へと押され、かつ、当該洗浄液と共に保管液Ｒ１が、凹部３１の周縁部から、第二流路２２、第一流路２１及び吸引ノズル２３を経て、洗浄ユニット１６外へと吸い出される。なお、洗浄液は、ヘッド４から吐出されるインクの固形成分を流すことのできる成分（溶かすことが可能な成分）を有していて、凹部３１に付着しているインクを洗い流すことができる。また、洗浄液の圧送圧力（ポンプ１２ａにおける吐出圧）は、所定の圧力に設定される。
【００２５】
そして、吸引部１４による吸引動作が継続している状態で、再び、前記エア供給部１３により空気の噴出を開始し（図３のステップＳ７、図４のｔ３）、所定時間（例えば３〜５秒）継続する。所定時間経過後、洗浄ユニット１６とキャップ３０とを離反させ（図３のステップＳ８）、さらに、エア供給部１３による空気の噴出を停止する（図３のステップＳ９、図４のｔ４）。そして、吸引部１４による吸引動作を停止する（図３のステップＳ１０、図４のｔ５）。また、この際の空気の圧送圧力（ポンプ１３ａにおける吐出圧）は、所定の圧力に設定される。
これにより、凹部３１に残留している保管液Ｒ１及び洗浄液は、噴出された空気によって凹部３１の周縁部へと押され、かつ、当該空気と共に保管液Ｒ１及び洗浄液が、凹部３１の周縁部から、第二流路２２、第一流路２１及び吸引ノズル２３を経て、洗浄ユニット１６外へと吸い出される。以上より、キャップ３０の洗浄が完了する。
【００２６】
そして、この後、新しい保管液をキャップ３０の凹部３１に供給する。
または、図４のステップＳ８とステップＳ９との順番を入れ替え、空気の噴出を先に終え、洗浄ユニット１６をキャップ３０から離反させる前に、新しい保管液をキャップ３０の凹部３１に供給してもよい。この場合、洗浄ユニット１６は新しい保管液を供給するための保管液供給部を備えていて、蓋部材１１をキャップ３０上に載せた状態で、保管液供給部が有しているノズル２６（図２（ｂ）参照）から、新しい保管液を供給するように構成してもよい。
または、洗浄ユニット１６を上昇させながら、保管液供給部が新しい保管液を供給してもよく、この場合、洗浄ユニット１６からの液垂れを抑制することができる。
【００２７】
以上のように、本発明のキャップ３０の洗浄方法は、当該キャップ３０を蓋部材１１により上から覆った状態とし、洗浄液供給部１２によって洗浄液を、又は、エア供給部１３によって空気を、キャップ３０の凹部３１の底面３２よりも上から当該底面３２に吹き付けて供給しながら、吸引部１４によって蓋部材１１と凹部３１との間を上に吸引し、凹部３１に存在していた保管液Ｒ１を当該底面３２よりも上から吸い出すことによって行われる。この洗浄方法によれば、洗浄液及び空気を、上から凹部３１の底面３２に吹き付けて供給しながら、保管液Ｒ１を、当該底面３２よりも上から吸い出すので、凹部３１に古い保管液が残らないようにすることが可能となる。
すなわち、前記特許文献１に記載の従来の構成では、キャップの凹部の底面にある開口にパイプを介して液体（保管液）供給手段としてのポンプが接続されているため、凹部から古い保管液を排出しても、当該パイプに古い保管液が残存し、新しい保管液を液体供給手段によりキャップへ供給しても、残存していた古い保管液が混ざってしまう。
しかし、本発明によれば、古い保管液を上から吸い出す構成であるため、凹部３１に入れた新しい保管液が、残っている古い保管液と混ざることで汚れるのを防ぐことができ、ヘッド４を汚さない状態としてキャップ３０によって保管することが可能となる。また、洗浄作業のすべてを洗浄ユニット１６において実現することができ、作業者の手が汚れるのを防ぐことができる。
【００２８】
また、図２に示しているように、キャップ３０の凹部３１の保管液Ｒ１を吸い上げるための第二流路２２は、凹部３１の周縁部の最も外側部分に形成されている。そして、洗浄液ノズル２４及びエアノズル２５はこの周縁部よりも内側の部分で開口している。このため、洗浄液又は空気（若しくは双方）を、キャップ３０の凹部３１の周縁部よりも内側の部分における底面３２に吹き付けて供給しながら、蓋部材１１と凹部３１との間を、当該周縁部から吸引することができる。特に図２の実施形態では、キャップ３０の凹部３１の全周縁部から吸引するのではなく、当該凹部３１の全周縁部のうち部分的に（間欠的に）形成されたスロットからなる第二流路２２を通じて吸引している。このため、吸引面積を狭くすることができ、吸い出す保管液Ｒ１等の流速を早くする（吸引力を向上させる）ことができる。この結果、迅速かつ確実に古い保管液Ｒ１等を外部へ吸い出すことができ、作業時間の短縮化が可能となる。
【００２９】
図５は、洗浄ユニット１６の他の例を説明する図である。図５の実施形態は図２の実施形態と第二流路２２の構成が異なるが、その他は同じである。図５の洗浄ユニット１６では、キャップ３０の凹部３１の全周に形成された環状の隙間により、第二流路２２が形成されている。つまり、外蓋１７の側壁２０の内面２０ａと、中蓋１８の側面１８ｂとの間は、全周にわたって隙間が形成されていて、この隙間から凹部３１の保管液Ｒ１を吸い上げる構成となっている。したがって、図２の実施形態と同様に、図５の実施形態においても、洗浄液又は空気（若しくは双方）を、凹部３１の周縁部よりも内側の部分における底面３２に吹き付けて供給するので、凹部３１の内側から周縁部へと保管液Ｒ１を流し出すことができる。そして、凹部３１の周縁部から吸引するので、周縁部に流れてくる保管液Ｒ１、さらには、周縁部から溢れようとする保管液Ｒ１があっても、その保管液Ｒ１を吸引することができる。
【００３０】
また、本発明は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであっても良い。例えば、図２の実施形態では、第二流路２２となるスロットの数を４本としたが、この数は大小変更可能である。また、スロットの形成位置も、外蓋１７と中蓋１８との間の隅部（角部）ではなく、直線部の途中であってもよい。
中蓋１８の四角を切り欠くことによって第二流路２２となるスロットが構成されているが、（図示しないが）中蓋１８の最も外周となるエッジ部よりも少し内側となる周縁部に上下に貫通する孔を形成し、この孔を第二流路２２としてもよい。
キャップ３０の形状は、矩形以外に、円形や楕円形であってもよく、これに応じて蓋部材１１の形状を形成すればよい。
エア供給部１３は、ポンプ１３ａによって強制的に空気をキャップ３０へと供給する場合を説明したが、ポンプ１３ａを省略して、エアノズル２５を大気開放し、自然吸気を行う構成としてもよい。又は、吸引側の吸引ポンプ１４を省略し、吸引ノズル２３を大気開放し、エア供給部１３（洗浄液供給部１２）において、ポンプ１３ａ（ポンプ１２ａ）によって強制的に空気（洗浄液）をキャップ３０へと供給し、エアノズル２５（洗浄液ノズル２４）により加圧した空気（洗浄液）を噴出させ、前記吸引ノズル２３内を凹部３１内に対して相対的に負圧状態とし、当該吸引ノズル２３から吸引させる構成としてもよい。
また、洗浄作業の際、洗浄液と空気との内の一方のみを、時間を分けてキャップ３０に供給した場合を説明したが、洗浄液と空気との双方を同時に供給してもよい。つまり、洗浄液を供給している間、空気の供給が行われていてもよい。
また、インクの種類は限定されず、固形成分の有無に関係なく適用することができる。また、前記実施形態では、カラーフィルタの製造に用いられる塗布装置について説明したが、有機ＥＬを含むフラットパネルディスプレイや太陽電池等の製造に用いられるインクジェット装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００３１】
４：ヘッド（インクジェットヘッド）、  ４ａ：下面、  ８：ノズル、  １０：洗浄装置、  １１：蓋部材、  １２：洗浄液供給部、  １３：エア供給部、  １４：吸引部、  ２２：第二流路（スロット）、  ３０：キャップ、  ３１：凹部、  ３２：底面、  Ｒ１：保管液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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