(57)【要約】【課題】室内の気密を保持しながら成膜材料を補充する材料供給装置を提供する。【解決手段】材料供給装置１００は、有機材料３０５が収納された材料容器３００と、材料容器３００を投入する材料投入室１１０と、蒸着源ヘッド２００ａに連結された連結管１２０ｂの内部通路と連通し、その連通した部分を材料気化部として、投入された材料容器３００を材料気化部まで搬送させる搬送路１２０ａを有し、材料気化部にて気化された有機分子を連結管１２０ｂの内部通路を介して蒸着源ヘッド２００ａに向けて送り出す材料輸送室１２０と、材料輸送室１３０から材料容器３００を取り出す材料取出室１３０と、を有する。材料投入室１１０と材料輸送室１２０と材料取出室１３０とは、それぞれ所望の減圧状態に維持されている。【選択図】図１
2010144212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜材料が収納された材料容器と、
前記材料容器を投入する材料投入室と、
蒸着源ヘッドに連結された連結管の内部通路と連通し、前記連通した部分を材料気化部として前記投入された材料容器を前記材料気化部まで搬送させる搬送路を有し、前記材料気化部まで搬送させた材料容器内の成膜材料を前記材料気化部にて気化し、前記連結管の内部通路から前記蒸着源ヘッドに向けて送り出す材料輸送室と、
前材料輸送室から材料容器を取り出す材料取出室と、を備え、
前記材料投入室と前記材料輸送室と前記材料取出室とは、それぞれ所望の減圧状態に制御されている材料供給装置。
【請求項２】
前記搬送路は、前記材料輸送室を貫通し、両端に連結された第１及び第２の開閉機構を介して前記材料投入室及び前記材料取出室と開閉可能に連結されている請求項１に記載された材料供給装置。
【請求項３】
前記材料容器には、キャリアガス供給口が設けられ、
前記材料輸送室は前記キャリアガス供給口から供給されたキャリアガスを用いて前記材料容器にて気化された成膜材料を前記蒸着源ヘッドに向けて送り出す請求項１又は請求項２のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項４】
前記蒸着源ヘッドは、気化された成膜材料の吹き出し口が処理中の被処理体の上面に対向するように前記連結管に連結されている請求項１〜３のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項５】
前記材料輸送室は、前記連結管の内部通路と連通する複数の搬送路を有し、前記複数の搬送路にそれぞれ投入された材料容器の成膜材料を前記連結管の内部通路中にて混ぜ合わされながら前記蒸着源ヘッドに向けて送り出す請求項１〜４のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項６】
前記材料輸送室は、前記材料気化部に対して一対一に前記連結管に取り付けられた第３の開閉機構を有し、
前記第３の開閉機構は、前記材料気化部にて気化されたかつ前記連結管の内部通路を通過する成膜材料の流量を調整する請求項１〜５のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項７】
前記第３の開閉機構は、前記連結管を挟んで前記搬送路に対向して前記連結管に装着されている請求項６に記載された材料供給装置。
【請求項８】
前記第３の開閉機構は、前記搬送路の長手方向に平行に前記搬送路と並んで前記連結管に装着されている請求項６に記載された材料供給装置。
【請求項９】
前記材料容器は、伸縮可能な棒状部材により押されることにより前記搬送路内を搬送される請求項１〜８のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項１０】
前記材料容器は、伸縮可能な棒状部材により引かれることにより前記搬送路内を搬送される請求項１〜９のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項１１】
前記材料気化部は、前記第３の開閉機構に対向する位置であって、前記搬送路の長手方向に平行に前記搬送路と並んで前記連結管に装着されている請求項８〜１０のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項１２】
前記材料取出室は、二重構造である請求項１〜１１のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項１３】
前記材料容器又は前記材料気化部の少なくともいずれかに前記成膜材料を加熱する加熱部材が装着されている請求項１〜１２のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項１４】
前記材料容器は、前記材料容器に収納された成膜材料を押圧する蓋部を有する請求項１〜１３のいずれかに記載された材料供給装置。
【請求項１５】
所望の減圧状態に制御された材料投入室内の材料容器を所望の減圧状態に制御された材料輸送室に投入するステップと、
蒸着源ヘッドに連結された連結管の内部通路と連通し、前記連通した部分を材料気化部として前記投入された材料容器を前記材料輸送室内の搬送路を用いて前記材料気化部まで搬送させるステップと、
前記材料気化部にて材料容器内の成膜材料を気化し、気化された成膜材料を前記連結管から前記蒸着源ヘッドに向けて送り出すステップと、
前記材料容器を所望の減圧状態に制御された材料取出室に取り出すステップと、を含む材料供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜材料を供給する材料供給装置及び材料供給方法に関し、特に、減圧かつ高温状態にて材料を供給する材料供給装置及び材料供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイなどを製造する際、成膜材料の気化分子によって基板を成膜する蒸着法が広く用いられている。このような技術を用いて製造した機器のうち、特に、有機ＥＬディスプレイは、自発光し、反応速度が早く、消費電力が少ない等の優れた長所を有している。このため、フラットパネルディスプレイの製造業界では、有機ＥＬディスプレイに関して、今後ますますの需要が期待されるとともに大型化の要請が強まっている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイ用の基板に有機膜を成膜する工程は、蒸着源を加熱し、蒸着源に収納された有機材料を気化させ、その有機分子を成膜室まで搬送し、成膜室内の基板に向けて吹き出させ、基板に付着させることにより実行される。この工程中、蒸着源は、成膜材料を気化させるために２００℃〜５００℃程度の高温になる。このため、大気中で成膜処理すると成膜材料の分子は基板に達する前に成膜室内の残存気体分子に衝突する。このようにして発生する衝突の連鎖により、蒸着源から発生した高熱が成膜室内の、たとえば各種センサ等の部品に伝わり、各部品の特性を悪化させたり、部品自体の破損を招いたりする。これを防ぐために成膜室内を所定の真空度に保持した状態にて成膜処理を実行する必要があった（たとえば、特許文献１を参照。）。つまり、成膜室内を所定の真空度に制御すれば、真空断熱により成膜材料の分子と成膜室内の残存気体分子との衝突は控えられ、蒸着源から発生した熱は成膜室内の他の部品に伝わらない。これによれば、成膜時の温度制御性を高め、良質な膜を成膜することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８２２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、成膜時、蒸着源に納められた成膜材料は、気化されて成膜に消費されていくため、随時、成膜材料を補充する必要がある。このとき、従来の装置構成では、材料補充のたびに蒸着源や成膜室内を大気に解放しなければならないため、材料補充の度に蒸着源や成膜室内の真空度が低下していた。このため、材料補充後、再び蒸着源や成膜室内を所定の真空度まで減圧するために多くの時間を必要としていた。たとえば、大型基板を処理する大型装置の場合、装置内部の容積も大きくなる。このため、装置内部を所定の真空度まで減圧するために丸一日要する場合もあった。よって、材料補充時の大気開放は、成膜前の準備時間を増大させるという点でスループットを低下させ、製品の生産性を低下させる要因となっていた。
【０００６】
また、材料補充時、装置内部を大気に開放する度に放射熱及び伝熱により成膜室内部の温度が低下していた。このため、成膜室に搬送中の気化分子が、基板まで到達する前に搬送路の内壁に付着してしまい、材料の使用効率が低下する要因となっていた。
【０００７】
また、従来の装置では、材料補充時、装置内の大気解放に連動して排気装置の電源をオン、オフする必要があった。排気装置の電源のオン、オフには多大な投入エネルギーが必要となる。よって、従来の装置では、材料補充に応じて排気装置の再起動に必要なエネルギーが無駄に消費されるという点においても排気効率を悪化させる要因となっていた。
【０００８】
上記問題を解消するために、本発明では、装置内の気密を保持しながら成膜材料を補充する材料供給装置及び材料供給方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のある態様によれば、成膜材料が収納された材料容器と、前記材料容器を投入する材料投入室と、蒸着源ヘッドに連結された連結管の内部通路と連通し、前記連通した部分を材料気化部として前記投入された材料容器を前記材料気化部まで搬送させる搬送路を有し、前記材料気化部まで搬送させた材料容器内の成膜材料を前記材料気化部にて気化し、前記連結管の内部通路から前記蒸着源ヘッドに向けて送り出す材料輸送室と、前記材料輸送室から材料容器を取り出す材料取出室と、を備える材料供給装置が提供される。前記材料投入室と前記材料輸送室と前記材料取出室とは、それぞれ所望の減圧状態に制御されている。
【００１０】
ここで、気化とは、液体が気体に変わる現象だけでなく、固体が液体の状態を経ずに直接気体に変わる現象（すなわち、昇華）も含んでいる。
【００１１】
かかる構成によれば、材料投入室と材料輸送室と材料取出室とは、それぞれに定められた所望の減圧状態に維持されている。材料容器は、材料投入室から材料輸送室に投入され、材料輸送室内の搬送路を用いて材料気化部まで搬送される。材料容器内の成膜材料は、材料気化部にて気化される。気化分子は、材料気化部から連結管の内部通路を介して蒸着源ヘッドまで輸送され、蒸着源ヘッドから被処理体に向けて吹き出される。これにより被処理体に成膜処理が施される。
【００１２】
これによれば、材料輸送室に対して材料投入室及び材料取出室を所望の減圧状態に維持されたロードロック室として機能させることができる。これにより、材料輸送室を大気に開放することなく、材料輸送室に材料を補充することができる。この結果、材料供給装置の排気時間及び排気エネルギー等の排気効率を効果的に向上させることができる。また、材料補充時、装置内部の温度低下を防止することができる。このため、搬送中の気化分子が、各部品に付着することを防止して、気化分子を確実に被処理体に付着させることができ、材料の使用効率を高めることができる。特に、有機材料を用いた成膜の場合、有機材料は高価であるため、排気効率及び材料の使用効率の向上により、量産により適した装置を構成することができる。
【００１３】
前記搬送路は、前記材料輸送室を貫通し、両端に連結された第１及び第２の開閉機構を介して前記材料投入室及び前記材料取出室と開閉可能に連結されていてもよい。
【００１４】
前記材料容器には、キャリアガス供給口が設けられ、前記材料輸送室は前記キャリアガス供給口から供給されたキャリアガスを用いて前記材料容器にて気化された成膜材料を前記蒸着源ヘッドに向けて送り出してもよい。
【００１５】
前記蒸着源ヘッドは、気化された成膜材料の吹き出し口が処理中の被処理体の上面に対向するように前記連結管に連結されていてもよい。
【００１６】
前記材料輸送室は、前記連結管の内部通路と連通する複数の搬送路を有し、前記複数の搬送路にそれぞれ投入された材料容器の成膜材料を前記連結管の内部通路中にて混ぜ合わされながら前記蒸着源ヘッドに向けて送り出してもよい。
【００１７】
前記材料輸送室は、前記材料気化部に対して一対一に前記連結管に取り付けられた第３の開閉機構を有し、前記第３の開閉機構は、前記材料気化部にて気化されかつ前記連結管の内部通路を通過する成膜材料の流量を調整してもよい。
【００１８】
前記第３の開閉機構は、前記材料気化部にて気化されかつ前記連結管の内部通路を通過する成膜材料の流量を調整してもよい。
【００１９】
前記第３の開閉機構は、前記搬送路の長手方向に平行に前記搬送路と並んで前記連結管に装着されていてもよい。
【００２０】
前記材料容器は、伸縮可能な棒状部材により押されることにより前記搬送路内を搬送されていてもよい。
【００２１】
前記材料容器は、伸縮可能な棒状部材により引かれることにより前記搬送路内を搬送されていてもよい。
【００２２】
前記材料気化部は、前記第３の開閉機構に対向する位置であって、前記搬送路の長手方向に平行に前記搬送路と並んで前記連結管に装着されていてもよい。
【００２３】
前記材料取出室は、二重構造であってもよい。
【００２４】
前記材料容器又は前記材料気化部の少なくともいずれかに前記成膜材料を加熱する加熱部材が装着されていてもよい。
【００２５】
前記材料容器は、前記材料容器に収納された成膜材料を押圧する蓋部を有していてもよい。
【００２６】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の態様によれば、所望の減圧状態に制御された材料投入室内の材料容器を所望の減圧状態に制御された材料輸送室に投入するステップと、蒸着源ヘッドに連結された連結管の内部通路と連通し、前記連通した部分を材料気化部として前記投入された材料容器を前記材料輸送室内の搬送路を用いて前記材料気化部まで搬送させるステップと、前記材料気化部にて材料容器内の成膜材料を気化し、気化された成膜材料を前記連結管から前記蒸着源ヘッドに向けて送り出すステップと、前記材料容器を所望の減圧状態に制御された材料取出室に取り出すステップと、を含む材料供給方法が提供される。
【００２７】
これによれば、材料輸送室に対して材料投入室及び材料取出室をロードロック室として機能させることができる。これにより、材料輸送室を大気に開放することなく、材料輸送室に材料を補充することができる。この結果、排気効率を向上させることができるとともに、室内の温度低下を抑止して膜の制御性を高めることができる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明によれば、装置内の気密を保持しながら成膜材料を補充することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の一実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、同一の構成及び機能を有する構成要素については、同一符号を付することにより、重複説明を省略する。
【００３０】
なお、説明は以下の順序で行う。
＜第１の実施形態＞
１．６層連続成膜装置の全体構成
２．材料容器の内部構成
３．材料輸送室の内部構成
４．材料容器の搬送方法
＜第１の実施形態の変形例１＞
材料供給装置の内部構成の第１の変形例
＜第１の実施形態の変形例２＞
材料供給装置の内部構成の第２の変形例
＜第２の実施形態＞
材料供給装置の他の構成
【００３１】
＜第１の実施形態＞
まず、本発明の第１の実施形態に係る６層連続成膜装置の全体構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。図１は、６層連続成膜装置の斜視図を示している。図２は、図１の１−１断面を示している。
【００３２】
［６層連続成膜装置の全体構成］
６層連続成膜装置１０は、材料供給装置１００及び成膜室２００を有している。材料供給装置１００は、材料投入室１１０、材料輸送室１２０及び材料取出室１３０の三区画に分かれている。
【００３３】
（材料投入室）
まず、材料投入室１１０の概略構成について説明する。材料投入室１１０には、成膜材料が収納された材料容器３００を載置するステージ１１０ａが三段設けられている。ステージ１１０ａの材料輸送室側の側面以外の面は、材料投入室１１０の壁面に接していない。
【００３４】
材料投入室１１０と材料輸送室１２０との間の側壁には、横方向に６つずつ並べられたゲートバルブ１１０ｂが三段設けられている。この６×３個のゲートバルブ１１０ｂは、６×３個の材料容器３００を材料輸送室１２０に投入する投入口となっている。各ゲートバルブ１１０ｂに対向する材料投入室１１０の側壁にも、図２に示した６×３個のゲートバルブ１１０ｃが設けられている。この６×３個のゲートバルブ１１０ｃは、６×３個の材料容器３００を大気側から受け入れる入口となっている。かかる構成により、６×３個の材料容器３００は、各ゲートバルブ１１０ｃを開閉して材料投入室１１０に投入され、各ステージ１１０ａのゲートバルブ１１０ｂの前面に配置された後、各ゲートバルブ１１０ｂをそれぞれ開閉して材料輸送室１２０に搬入される。
【００３５】
図２の２−２断面を示した図３を参照すると、材料投入室１１０には排気管１１０ｄが２カ所に設けられている。図示しない排気装置は、排気管１１０ｄから材料投入室１１０の内部を所望の真空度まで排気する。材料容器３００の出し入れの際、ゲートバルブ１１０ｂ及びゲートバルブ１１０ｃの開閉動作により、材料輸送室１２０の気密は保持される。かかる構成によれば、材料輸送室１２０に対して材料投入室１１０を所望の減圧状態に維持されたロードロック室として機能させることができる。
【００３６】
次に、材料輸送室１２０の概略構成について説明する。材料輸送室１２０には、互いに平行に並べられた６本の搬送路１２０ａが三段に設けられている。各ゲートバルブ１１０ｂに対向する材料輸送室１２０と材料取出室１３０との間の側壁には、図２に示したゲートバルブ１３０ａが設けられている。６×３個のゲートバルブ１３０ａは、６×３個の材料容器３００の取出口となっている。つまり、各搬送路１２０ａは、材料輸送室１２０を貫通していて、その一端にて各ゲートバルブ１１０ｂに連結され、他端にて各ゲートバルブ１３０ａに連結されている。各材料容器３００は、各ゲートバルブ１１０ｂを経由して材料投入室側から搬送路１２０ａに投入され、搬送路１２０ａを移動後、各ゲートバルブ１３０ａを経由して材料取出室側へ取り出される。材料輸送室１２０の内部構成については後程詳述する。
【００３７】
最後に、材料取出室１３０の概略構成について説明する。材料取出室１３０には、取り出された材料容器３００を載置する、図２に示したステージ１３０ｂが三段設けられている。各ゲートバルブ１３０ａに対向する材料取出室１３０の側壁には、ゲートバルブ１３０ｃが設けられている。６×３個のゲートバルブ１３０ｃは、６×３個の材料容器３００を大気側に取り出す出口となっている。かかる構成により、６×３個の材料容器３００は、各ゲートバルブ１３０ａを開閉して材料取出室１３０に取り出され、各ステージ１３０ｂに載置されてある程度温度が下がった時点で各ゲートバルブ１３０ｃをそれぞれ開閉して外部に搬出される。
【００３８】
材料取出室１３０は、二重構造になっている（以下、魔法瓶方式とも称呼する。）。具体的には、材料取出室１３０は、外壁１３０ｅ１及び内壁１３０ｅ２を有し、外壁１３０ｅ１と内壁１３０ｅ２との間は真空状態となっている。
【００３９】
図３を参照すると、材料取出室１３０には排気管１３０ｄが２カ所に設けられている。図示しない排気装置は、ガスラインから排気管１３０ｄを経て窒素ガスをパージし、材料取出室１３０の内壁１３０ｅ２の内部を大気解放後、ゲートバルブ１３０ｃを開閉して材料容器３００を外部に搬出する。材料容器３００を材料輸送室１２０から取り出す際、ゲートバルブ１３０ａ及びゲートバルブ１３０ｃの開閉により材料輸送室１２０の気密は保持される。かかる構成によれば、材料輸送室１２０に対して材料取出室１３０を所望の減圧状態に維持されたロードロック室として機能させることができる。ゲートバルブ１１０ｂは、すべてが一体的に開閉してもよく、それぞれが別々に開閉してもよい。ゲートバルブ１１０ｃも、同様にして、すべてが一体的に開閉してもよく、それぞれが別々に開閉してもよい。ゲートバルブ１３０ａ及びゲートバルブ１３０ｃも、同様にして、一体的に開閉してもよく、別々に開閉してもよい。なお、搬送路１２０ａの両端に設けられたゲートバルブ１１０ｂ及びゲートバルブ１３０ａは、第１の開閉機構及び第２の開閉機構に相当する。
【００４０】
かかる構成によれば、材料供給装置１００を３つの室に分けたことにより、各室内の減圧状態を室毎に調整することができる。材料容器の投入口、搬送路、取出口は一直線上にあり、各室を仕切るゲートゲートバルブ１１０ｂ、１３０ａにより各室の気密を維持しながら、直線上の経路を使用して材料の補充が可能となる。
【００４１】
［材料容器の内部構成］
次に、材料容器３００の内部構成について、図４を参照しながら説明する。図４は、図１に示した材料容器３００の３−３断面である。材料容器３００は矩形状であって、ＳＵＳ等の金属から形成されている。石英等は有機材料と反応しにくいため、材料容器３００は、石英等でコーティングされた金属から形成されていてもよい。
【００４２】
材料容器３００の内部には有機材料３０５が収納されている。図４（ａ）に示したように、材料容器の側壁は二重３００ａになっていて、材料が材料容器３００から漏れることを抑止するようになっている。紙面の手前側の側面は、有機材料３０５の収納位置の上部が開口している。紙面の奥側の側壁には、アルゴンガスを紙面の奥側から手前側へ向かって導入するための多数の細孔３００ｂが略中央に形成されている。細孔３００ｂは、キャリアガス供給口の一例であり、キャリアガス供給口は、たとえば、スリットやポーラスであってもよい。材料容器３００の底壁には、シースヒータ等の加熱部材３００ｃが埋設されている。このように、加熱部材３００ｃは、材料容器側のみに取り付けられていてもよく、搬送路１２０ａ側のみに取り付けられていてもよく、両方に設けられていてもよい。特に、材料容器側に加熱部材３００ｃが取り付けられていると、材料容器自身を直接に加熱するため、接触熱抵抗が生じず、温度制御が容易になる。なお、図４（ｂ）に示したように、収納された有機材料３０５は、プレス用の蓋部３００ｄにより材料表面全体を上部から圧縮した状態で搬送されてもよい。
【００４３】
かかる構成によれば、材料容器３００は、加熱部材３００ｃにより２００℃〜５００℃程度まで加熱され、これにより、有機材料３０５が気化される。ただし、有機材料は、分解や重合しやすい種類も多いため、過度に加熱しすぎない方がよく、また、材料容器は大きすぎない方がよい。気化された有機分子は、多数の細孔３００ｂを介して外部から導入されたアルゴンガスをキャリアガスとして成膜室側に向けて搬送される。有機分子及びキャリアガスの搬送経路については後述する。
【００４４】
［材料輸送室の内部構成］
次に、材料輸送室１２０の内部構成について説明する。図１に示したように、鉛直方向に平行して並んだ３本の搬送路１２０ａの一側面には、連結管１２０ｂが連結されている。連結管１２０ｂは、図２に示したように、材料供給装置１００の底部を貫通し、さらに材料供給装置１００の下方に設けられた成膜室２００の天井部を貫通して、その下端部にて蒸着源ヘッド２００ａに連結されている。連結管１２０ｂの貫通部分には、材料供給装置側及び成膜室側にそれぞれＯリング４００，４０５が設けられていて、材料供給装置内及び成膜室内の気密を確保するようになっている。このようにして、材料輸送室１２０の内部では、３本×６組の連結管１２０ｂが等間隔に平行して配設されている。また、成膜室２００の内部においても、６つの蒸着源ヘッド２００ａが連結管１２０ｂに連結された状態にて等間隔に配設されている。図１に示したように、蒸着源ヘッド２００ａは、下方に向かって開口するスリット状の吹き出し口２００ａ１を有している。
【００４５】
成膜室２００には排気管２００ｂが設けられている。図示しない排気装置は、排気管２００ｂから成膜室２００の内部を所望の真空度まで排気する。成膜室２００の内部と連通する材料輸送室１２０も成膜室２００と同様、所望の真空度に維持される。
【００４６】
図１に示した搬送路１２０ａの略中央には、アルゴンガスを共有するガス供給管１２０ｃが配設されている。ガス供給管１２０ｃは、図示しないガス供給源から搬送路内にアルゴンガスを供給する。アルゴンガスは、有機分子を蒸着源ヘッド２００ａまで搬送させるキャリアガスとして機能する。なお、キャリアガスは、アルゴンガスに限られず、たとえば、クリプトンやキセノン等の不活性ガスでもよい。
【００４７】
材料投入室１１０から投入された材料容器３００は、搬送路１２０ａを容器毎進行し、搬送路１２０ａと連結管１２０ｂの内部通路とガス供給管１２０ｃとが連通する部分に載置される。鉛直方向に上部、中間、下部に設けられた搬送路１２０ａの内部の材料容器３００の載置場所を、以下、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣと称呼する。
【００４８】
材料輸送室１２０及び成膜室２００を所定の真空度に保持して成膜処理を実行すると、真空断熱により、有機分子が搬送中に装置内の残存気体分子と衝突する確率は顕著に低くなり、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣから発生した熱が材料輸送室１２０及び成膜室２００の内部の他の部品に伝わらない。これにより、成膜時の室内の温度制御性を高めることができる。この結果、基板Ｇに良質な膜を形成することができる。
【００４９】
以上に説明した、６組の蒸着源ヘッド２００ａ及び各蒸着源ヘッド２００ａ上部の搬送機構は同一であるため、以下では、１組の蒸着源ヘッド２００ａ及び搬送機構５００について図５を参照しながら更に詳しく説明する。図５（ａ）は、１組の蒸着源ヘッド２００ａ及び搬送機構５００の斜視図、図５（ｂ）は、図５（ａ）の４−４断面である。搬送機構５００は、搬送路１２０ａ、連結管１２０ｂ、ガス供給管１２０ｃ及び流量調整バルブ１２０ｄを有している。
【００５０】
連結管１２０ｂには、鉛直方向に並べられた３本の搬送路１２０ａと連結する側面と反対の側面に３つの流量調整バルブ１２０ｄが一対一に取り付けられている。流量調整バルブ１２０ｄは、耐熱性のステンレス等から形成されている。
【００５１】
図５（ｂ）に示したように、搬送路１２０ａは、連結管１２０ｂの内部通路と連通する。連結管１２０ｂの内部通路は、蒸着源ヘッド２００ａに設けられた図２のバッファ空間Ｓを介してスリット状の吹き出し口２００ａ１に連通する。材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣに対向して取り付けられた流量調整バルブ１２０ｄは、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣに連通する連結管１２０ｂの内部通路をそれぞれ開閉する。たとえば、材料気化部ＰＣに材料容器３００が投入されなかった場合、最下に位置する流量調整バルブ１２０ｄを閉め、中間及び最上に位置する流量調整バルブ１２０ｄを開く。これにより、材料気化部ＰＡ，ＰＢにて気化された有機分子を蒸着源ヘッド２００ａへ向けて通過させるとともに材料気化部ＰＣにこれらの気化分子が入り込むことを防止することができる。これにより、最下の流量調整バルブ１２０ｄを経て搬送路１２０ａ等の内壁に気化分子が付着することを回避することができる。なお、流量調整バルブ１２０ｄは、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣに対して一対一に連結管１２０ｂに取り付けられた第３の開閉機構に相当する。
【００５２】
気化された有機分子は、連結管１２０ｂの内部を通って、蒸着源ヘッド２００ａまで搬送され、蒸着源ヘッド２００ａ内に形成された複数の通路を経て、バッファ空間Ｓにて一時滞留した後、スリット状の吹き出し口２００ａ１から下方に向けて吹き出される。基板Ｇは、６つの蒸着源ヘッド２００ａの下方をある速度で進行する。これにより、図６に示したように、基板ＧのＩＴＯ上に順に、第１層のホール注入層、第２層のホール輸送層、第３層の青発光層、第４層の緑発光層、第５層の赤発光層、第６層の電子輸送層が形成される。このうち、第３層〜第５層の青発光層、緑発光層、赤発光層は、ホールと電子の再結合により発光を生じさせる発光層である。なお、第１層〜第６層の有機層上のメタル層は、スパッタリングにより成膜されてもよく、蒸着により成膜されてもよい。
【００５３】
これにより、有機層を陽極（アノード）および陰極（カソード）にてサンドイッチした構造の有機ＥＬ素子がガラス基板上に形成される。有機ＥＬ素子の陽極および陰極に電圧を印加すると、陽極からはホール（正孔）が有機層に注入され、陰極からは電子が有機層に注入される。注入されたホールおよび電子は有機層にて再結合し、このとき発光が生じる。大型基板であっても、図６の有機層及びメタル層、さらにこれらの層を封止する封止層（図示せず）の連続成膜処理が可能となり、量産体制に合致した構成となる。
【００５４】
かかる構成によれば、基板Ｇをフェイスアップ方式（基板Ｇの上面に成膜）にて処理することができる。これによれば、被処理体が大型基板であっても、基板Ｇをフェイスアップにて処理することができるため、フェイスダウン方式のように基板がたわんで搬送や成膜処理が困難になることなく、大型基板に向いた搬送及び成膜を実現できる。また、図６の有機層及びメタル層、さらにこれらの層を封止する封止層（図示せず）の連続成膜処理が可能となり、量産体制に合致した構成となる。
【００５５】
［材料容器の搬送方法］
次に、材料容器の搬送方法について図７及び図８を参照しながら説明する。図７は、材料容器３００を材料投入室１１０から材料輸送室１２０に搬入する動作の一例を示し、図８は、材料容器３００を材料輸送室１２０から材料取出室１３０に搬出する動作の一例を示す。
【００５６】
（材料の搬入）
材料を搬入する前に、まず、材料投入室１１０を窒素ガスにてパージすることにより、材料投入室１１０の内部を大気に開放する次に、ゲートバルブ１１０ｃを開き、材料を補充したいゲートバルブ１１０ｂの前に補充したい種類の有機材料の入った材料容器３００を配置する。６×３個のゲートバルブ１１０ｂのすべての前に６×３個の材料容器３００を配置してもよく、６×３個のゲートバルブ１１０ｂの１つ以上の前に材料容器３００を配置してもよい。これにより、補充したい箇所に同時に材料を補充することができる。
材料容器３００を配置した後、図２に示したように、ゲートバルブ１１０ｃを閉じ、排気を開始し、材料投入室１１０を所望の減圧状態にする。
【００５７】
図７に示したように、材料投入室１１０には伸縮性の棒状部材４１０が各ゲートバルブ１１０ｂに対一対一に取り付けられている。材料容器を材料輸送室１２０に搬入する際には、ゲートバルブ１１０ｂを開き、棒状部材４１０を用いて材料容器３００を押し出し、搬送路１２０ａの内部を移動する材料容器３００を材料気化部ＰＡ．ＰＢ，ＰＣの位置まで押動させる。材料容器３００を材料輸送室１２０に搬入後、ゲートバルブ１１０ｂを閉じ、材料投入室１１０及び材料輸送室１２０の真空度をそれぞれ維持する。伸縮性の棒状部材４１０は、たとえば、ベローズから構成されていてもよい。伸縮性の棒状部材４１０は、材料容器３００を材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣまで押動させた後、図８に示したように、収縮した状態にて次の材料容器３００の搬入に備える。
【００５８】
（材料の輸送及び気化）
材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣまで移動した材料容器３００は加熱される。これにより、材料容器３００に収納された有機材料は、気化し、その気化分子は、ガス供給管１２０ｃから導入されたアルゴンガスにより連結管１２０ｂの内部通路側に押し出される。押し出された有機分子は、流量調整バルブ１２０ｄにより流量調整され、蒸着源ヘッド２００ａまで運ばれ、スリット状の吹き出し口２００ａ１から吹き出されて、基板Ｇの上面に付着して成膜に使われる。３本の搬送路１２０ａにそれぞれ投入された有機材料の気化分子は、搬送中に混ぜ合わされながら蒸着源ヘッド２００ａに向けて搬送される。搬送路１２０ａは、材料容器毎に完全に分離されているので、ある組の蒸着源ヘッド２００ａ及びその上部の搬送機構５００にて気化された有機分子と、他の組の蒸着源ヘッド２００ａ及びその上部の搬送機構５００にて気化された有機分子と、が搬送中に混ざり合うことはない。
【００５９】
（材料の搬出）
材料容器３００の内部の有機材料が消費され、材料の補充が必要になったら高温のまま材料容器３００を搬出する。図７及び図８に示したように、材料取出室１３０には伸縮性の棒状部材４２０が各ゲートバルブ１３０ａに対して一対一に取り付けられている。棒状部材４２０は、たとえば、ベローズから構成されていてもよい。棒状部材４２０の先端には、材料容器３００を電気的に吸着する吸着部材４２０ａが設けられている。たとえば、吸着部材４２０ａは吸盤であってもよく、静電チャック機構であってもよい。また、棒状部材４２０の先端には、吸着部材４２０ａに替えて材料容器３００を機械的に把持するアームや材料容器３００を機械的に固定するクランプ（フック）を有していてもよい。
【００６０】
搬出時には、ゲートバルブ１３０ａを開き、棒状部材４２０を伸ばして材料容器３００を吸着部材４２０ａに吸着させた状態で引っ張り、材料取出室１３０に引き入れる。材料容器３００を材料取出室１３０に引き入れ後、ゲートバルブ１３０ａを閉じる。材料取出室１３０へ取り出された材料容器３００は高温状態である。一方、前述したように、外壁１３０ｅ１と内壁１３０ｅ２との間は真空状態に保たれている。したがって、外壁１３０ｅ１と内壁１３０ｅ２との間の真空断熱（魔法瓶方式）により、材料容器３００の熱を外部に逃がさず、これにより、処理時の安全性を確保することができる。材料容器３００の温度がある程度低下した後、外壁１３０ｅ１と内壁１３０ｅ２との間の真空状態は維持しつつ、図３の排気管１３０ｄから内壁１３０ｅ２の内部へパージガスを導入することにより、内壁１３０ｅ２の内部をパージする。
【００６１】
また、材料容器３００を高温状態のまま材料輸送室１２０から材料取出室１３０へ取り出すため、たとえ材料容器３００から気化した有機材料が漏れだしても、それが搬送路１２０ａと材料容器３００との間で冷やされて固化することを防止できる。これにより、材料容器３００が搬送路１２０ａに固着して材料輸送室１２０から取り出せなくなることを回避できる。
【００６２】
また、材料容器３００を材料取出室１３０に引き入れ後、所定期間、ゲートバルブ１３０ａを開いたままにして、材料取出室１３０を排気することにより、搬送路内に残留した気化分子およびキャリアガスを排気することができる。
【００６３】
前述したように、材料容器３００は、材料取出室１３０のステージ１３０ｂ上に一時的に載置され冷やされる。冷却方法は、自然冷却でもよいし、不活性ガスを投入してもよいし、材料取出室１３０に図示しない冷却機構を設けて材料取出室１３０の壁面などに冷媒を循環させることにより冷却させてもよい。冷却後、図示しないガスラインから窒素ガスをパージし、材料取出室１３０を大気解放後、ゲートバルブ１３０ｃを開閉して材料容器３００を外部に搬出する。材料取出室１３０は、材料輸送室１２０とは別系統で完全に独立した室になっているため、成膜中であっても、材料容器３００を外部に取り出すことができる。棒状部材４２０は、材料容器３００を引き込み後、図７に示したように、再び収縮した状態にて次の材料容器３００の取り出しに備える。なお、材料容器３００は、棒状部材４２０を用いずに棒状部材４１０のみによって搬送路内を搬送されてもよいし、棒状部材４１０を用いずに棒状部材４２０のみによって搬送路内を搬送されてもよい。
【００６４】
以上に説明したように、本実施形態に係る材料供給装置１００によれば、材料投入室１１０と材料輸送室１２０と材料取出室１３０とをそれぞれ所望の減圧状態に制御することができる。各室の真空圧は同じであってもよく、異なっていてもよい。材料容器３００は、材料輸送室１２０に設けられた搬送路１２０ａを介して材料気化部ＰＡ、ＰＢ，ＰＣまで搬送される。材料容器内の成膜材料は、材料気化部ＰＡ、ＰＢ，ＰＣにて加熱され、気化する。気化された有機分子は、材料気化部ＰＡ、ＰＢ，ＰＣから連結管１２０ｂの内部通路を介して蒸着源ヘッド２００ａまで輸送され、蒸着源ヘッド２００ａの真下を移動中の基板Ｇに付着する。これにより、基板Ｇに有機膜が成膜される。
【００６５】
これによれば、材料輸送室１２０に対して材料投入室１１０及び材料取出室１３０を所望の減圧状態に制御されたロードロック室として機能させることができる。これにより、成膜材料を真空下にて材料容器ごと材料気化部に投入するという斬新な材料供給方法により、材料輸送室１２０を大気に開放することなく、材料補充時に蒸着源ヘッド２００ａ及びその上部の搬送機構５００の温度が低下することを防ぐことができる。
【００６６】
これにより、排気時間を短縮してスループットを向上させ、生産性を高めることができる。また、排気エネルギーのロスを減らすことができる。また、成膜材料の気化速度を精度よく制御することができる。また、材料容器３００を高温のまま取り出すので、材料容器の取り出し時に材料が固化して材料容器自身や搬送路等にこびりつくことを解消して、メンテナンス性を向上させることができるとともに、材料の使用効率を高めることができる。特に、有機材料を用いた成膜の場合、有機材料は高価であるため、量産時、大きなコストダウンを図ることができる。
【００６７】
また、成膜処理時にフェイスアップ方式を採用することにより、フェイスダウン方式のように大型基板がたわんで搬送や成膜処理が困難になることなく、大型基板に向いた搬送及び成膜を実現できる。また、大型基板であっても、図６の有機層及びメタル層、さらにこれらの層を封止する封止層（図示せず）の連続成膜処理が可能となり、量産体制に合致した構成となる。
【００６８】
さらに、一連のプロセスを真空下にて行うため、材料容器３００や蒸着源ヘッド２００ａや搬送路１２０ａ等を高温加熱した際の放射熱を真空断熱により遮断して、６層連続成膜装置１０の外部に熱を伝えないようにすることができる。これにより、成膜処理時の安全性を高めることができる。
【００６９】
また、本実施形態に係る６層連続成膜装置１０によれば、蒸着源ヘッド２００ａの吹き出し位置を下向きに配置することにより、よりフレキシブルな設計が可能になるため、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣから蒸着源ヘッド２００ａの吹き出し口２００ａ１までの経路の長さを短くすることができる。これにより、搬送中の有機分子及びキャリアガスのコンダクタンスを向上させることができる。
【００７０】
＜第１の実施形態の第１の変形例＞
次に、第１の実施形態の第１の変形例について、図９を参照しながら説明する。図９（ａ）は、第１の変形例に係る１組の蒸着源ヘッド２００ａ及びその上部の搬送機構５００を示す。図９（ｂ）は、第１の変形例に係る材料供給装置１００の横断面の一部を示す。
【００７１】
第１の実施形態に係る流量調整バルブ１２０ｄは、図５（ａ）に示したように、連結管１２０ｂに対向する位置にて各搬送路１２０ａに垂直に取り付けられていた。これに対して、第１の変形例に係る流量調整バルブ１２０ｄは、図９（ａ）に示したように、搬送路１２０ａの長手方向に平行に搬送路１２０ａと並んで連結管１２０ｂに装着されている。
【００７２】
第１の実施形態に係る材料供給装置１００では、図３に示したように、搬送路１２０ａ、連結管１２０ｂ及び流量調整バルブ１２０ｄが、搬送路１２０ａの長手方向に対して垂直な方向に並んで配置されていた。これに対して、第１の変形例に係る材料供給装置１００によれば、図９（ｂ）に示したように、流量調整バルブ１２０ｄが、蒸着源ヘッド２００ａの上部のスペースに位置づけられる。
【００７３】
これにより、第１の変形例では、第１の実施形態にて流量調整バルブ１２０ｄが突出していたスペース分だけ隣接する蒸着源ヘッド２００ａ間の距離を短くすることができる。これにより、材料供給装置１００を小型化することができる。この結果、省スペース化を図り、かつ排気効率を高めることができる。一方、スペースに余裕がある場合には、第１の実施形態に係る材料供給装置１００と同サイズの材料供給装置１００に、より多くの蒸着源ヘッド２００ａを配設することができる。また、連結管１２０ｂ及び流量調整バルブ１２０ｄの位置によっては、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣから蒸着源ヘッド２００ａまでの搬送経路を第１の実施形態の場合の材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣから蒸着源ヘッド２００ａまでの搬送経路よりも短縮することができる。
【００７４】
＜第１の実施形態の第２の変形例＞
次に、第１の実施形態の第２の変形例について、図１０を参照しながら説明する。図１０（ａ）は、第２の変形例に係る１組の蒸着源ヘッド２００ａ及びその上部の搬送機構５００を示す。図１０（ｂ）は、第２の変形例に係る材料供給装置１００の横断面の一部を示す。
【００７５】
第１の変形例に係る流量調整バルブ１２０ｄは、図９（ａ）に示したように、搬送路１２０ａの長手方向に平行に搬送路１２０ａと並んで連結管１２０ｂに装着されていた。一方、図１０（ａ）に示したように、第２の変形例に係る流量調整バルブ１２０ｄも、第１の変形例に係る流量調整バルブ１２０ｄと同様、搬送路１２０ａの長手方向に平行に搬送路１２０ａと並んで連結管１２０ｂに装着されている。これに加えて、第２の変形例では、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣが、搬送路１２０ａと別体で形成され、連結管１２０ｂに対して流量調整バルブ１２０ｄと対向する位置であって、搬送路１２０ａの長手方向に平行に搬送路１２０ａと並んで連結管１２０ｂに装着されている。
【００７６】
これによれば、図１０（ｂ）に示したように、流量調整バルブ１２０ｄ及び材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣが、蒸着源ヘッド２００ａの上部のスペースに位置づけられる。これにより、第２の変形例では、流量調整バルブ１２０ｄが突出していたスペース分だけ隣接する蒸着源ヘッド２００ａ間の距離を短くすることができる。これにより、第２の変形例においても、第１の変形例と同様に第１の実施形態に比べて材料供給装置１００を小型化することができる。
【００７７】
この結果、省スペース化を図り、かつ排気効率を高めることができる。また、第２の変形例では、材料気化部ＰＡ，ＰＢ，ＰＣが搬送路１２０ａと別体に設けられているので、ヒータ等の加熱部材３００ｃの取り付けやメンテナンスが容易になる。一方、スペースに余裕がある場合には、第２の変形例においても、第１の実施形態に係る材料供給装置１００と同サイズの材料供給装置１００に、より多くの蒸着源ヘッド２００ａ及びその上部の搬送機構５００を配設することができる。
【００７８】
＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態に係る６層連続成膜装置１０について、図１１を参照しながら説明する。第２の実施形態に係る６層連続成膜装置１０では、第１の実施形態に係る材料投入室１１０及び材料取出室１３０が１つにまとめられ、材料入替室１４０として構成されている。材料気化部ＰＡを有する成膜室２００，冷却室１５０、アームＡｒｍは、処理容器Ｃｈ内に置かれていて、図示しない排気装置により排気され、真空状態になっている。材料入替室１４０は、処理容器Ｃｈとは別系統の空間を形成し、図示しない排気装置により排気され真空状態になっている。材料入替室１４０の内部構成は、第１の実施形態の材料投入室１１０の内部構成と同様である。材料入替室１４０は、材料容器３００の投入及び取り出しの両方の機能を有する。
【００７９】
材料入替室１４０に投入された材料容器３００は、アームＡｒｍにより把持されて成膜室２００の内部の材料気化部ＰＡに搬送される。一連の成膜処理を繰り返し実行した結果、成膜材料がほぼすべて消費された際には、料容器３００を高温状態のまま材冷却室１５０まで運び、所定の低温状態になるまで自然冷却又は図示しない冷却機構により強制冷却する。
【００８０】
その間に、新たな材料容器３００を材料気化部ＰＡに投入する。冷却室１５０にて冷却された材料容器３００は、冷却後、再びアームＡｒｍを用いて材料入替室１４０まで搬送され、材料入替室１４０を大気開放して材料容器３００を外部に取り出す。第２の実施形態に係る６層連続成膜装置１０によれば、効率の良い材料の補充及び入れ替えが可能になる。また、真空断熱により成膜処理時に外部に熱を漏らさず、安全性の高い装置を構築することができる。
【００８１】
以上に説明したように、各実施形態及びその変形例に係る材料供給装置１００によれば、材料輸送室１２０に対して材料投入室１１０及び材料取出室１３０を別区間にし、それぞれ所望の減圧状態に制御されたロードロック室として機能させる。これにより材料補充時にあっても、材料供給装置内を真空状態に保つことができる。この結果、安定した温度管理が可能となり、メンテナンス性及び材料の使用効率を向上させることができる。また、材料補充時、材料供給装置内を大気に解放しないため、排気効率を向上させることができる。この結果、量産時に大きなコストダウンを図ることができる。
【００８２】
また、基板のフェイスアップ方式を採用したことにより大型基板の搬送及び連続成膜に有利な構成とすることができる。また、材料容器の二重構造及び材料容器を高温のまま搬送することにより、材料の漏れ防止と温度の均一性確保を図ることができ、材料のこびり付きを防止するとともに有機材料の気化速度を精度よく制御することができる。
【００８３】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００８４】
たとえば、本発明に係る成膜装置では、蒸着源ヘッド及び各蒸着源ヘッド上部の搬送機構の個数は、６組に限られない。例えば、蒸着源及び搬送機構の組数は、１組であってもよく、２以上の複数組であってもよい。
【００８５】
また、本発明に係る成膜装置の成膜材料には、パウダー状（固体）の有機材料を用いることができる。成膜材料に主に液体の有機金属を用い、気化させた成膜材料を加熱された被処理体上で分解させることにより、被処理体上に薄膜を成長させるＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：有機金属気相成長法）に用いることもできる。また、本発明に係る成膜装置の成膜材料は、有機材料に限られず、たとえば、銀等の電極用の成膜材料や封止膜用の成膜材料であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の第１の実施形態及びその変形例に係る成膜装置の概略斜視図である。
【図２】同実施形態及びその変形例に係る成膜装置の縦断面図（図１の１−１断面）である。
【図３】同実施形態に係る材料供給装置の横断面図（図２の２−２断面）である。
【図４】各実施形態及びその変形例に係る材料容器の断面図（図１の３−３断面）である。
【図５】図５（ａ）は、第１の実施形態に係る蒸着源ヘッド及びその周辺の斜視図であり、図５（ｂ）は、同蒸着源ヘッド及びその周辺の縦断面図（図５（ａ）の４−４断面）である。
【図６】各実施形態及びその変形例に係る成膜装置により成膜された膜構造の模式図である。
【図７】第１の実施形態及びその変形例に係る材料供給装置の搬入及び搬出動作を説明するための図である。
【図８】第１の実施形態及びその変形例に係る材料供給装置の搬入及び搬出動作を説明するための図である。
【図９】図９（ａ）は、第１の実施形態の第１の変形例に係る蒸着源ヘッド及びその周辺の斜視図であり、図９（ｂ）は、同変形例に係る材料供給装置の横断面の一部を示した図である。
【図１０】図１０（ａ）は、第１の実施形態の第２の変形例に係る蒸着源ヘッド及びその周辺の斜視図であり、図１０（ｂ）は、同変形例に係る材料供給装置の横断面の一部を示した図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る成膜装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００８７】
１０                ６層連続成膜装置
１００              材料供給装置
１１０              材料投入室
１１０ｂ，１１０ｃ  ゲートバルブ
１１０ａ            ステージ
１２０              材料輸送室
１２０ａ            搬送路
１２０ｂ            連結管
１２０ｃ            ガス供給管
１２０ｄ            流量調整バルブ
１３０              材料取出室
１３０ａ，１３０ｃ  ゲートバルブ
１３０ｂ            ステージ
１４０              材料入替室
１５０              冷却室
２００              成膜室
２００ａ            蒸着源ヘッド
２００ａ１          吹き出し口
３００              材料容器
３００ｂ            細孔
３００ｃ            加熱部材
３００ｄ            蓋部
３０５              有機材料
４１０，４２０      棒状部材
４２０ａ            吸着部材
ＰＡ，ＰＢ，ＰＣ    材料気化部
【図１】
2010144212.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010144212.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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