(57)【要約】【課題】重量及びコストの著しい増大を回避しながら大型化が可能な基板処理槽と、これを製造するための方法を提供する。【解決手段】基板処理槽は、槽本体１０と支持枠体２０とを備える。槽本体１０は、樹脂製の板材からなるもので、底板１３とその外縁１４から立上がる補強板１４とを一体に有する底部材１２と、その補強板１４の内側面に沿って立設される側板１６Ａ，１６Ｂとからなる。支持枠体２０は、底板１３を下方から支持する底部枠２３と、側板１６Ａ，１６Ｂを外側から支持する側部枠２６Ａ，２６Ｂとを備える。これらの支持は、槽本体１０の形状を保ち、その形状保持のために板材の厚みを大幅に増やす必要をなくす。【選択図】図１
2010091727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理される基板を少なくとも側方及び下方から覆うための基板処理槽であって、
樹脂製の底板と、この底板の外縁に沿って立設される複数枚の樹脂製の側板とを有し、これらの側板の内側に前記基板を収容することが可能な形状をなす槽本体と、
互いに間欠的に配列される複数本の棒状部材が組み合わされてなり、前記槽本体の底板を下方から支持する底部枠とこの底部枠から立ち上がって前記槽本体の側板を外側から支持する側部枠とを有し、これらの支持によって前記槽本体の形状を保つ支持枠体とを備えたことを特徴とする基板処理槽。
【請求項２】
請求項１記載の基板処理槽において、
前記槽本体は、前記底板とこの底板の外縁から前記側板よりも低い寸法で立上がる樹脂製の補強板とを一体に有する底部材を備え、前記各側板は前記補強板の内側面に沿って配列され、当該側板の下端部が当該補強板にその内側から重ね合わされかつ前記底板の上面に突き当たった状態でこれら補強板及び底板に接合され、かつ、互いに隣接する側板の側縁同士が接合されていることを特徴とする基板処理槽。
【請求項３】
請求項２記載の基板処理槽において、
前記各側板の板厚が、前記底部材を構成する底板及び補強板の板厚よりも小さいことを特徴とする基板処理槽。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理槽において、
前記側部枠とその内側に位置する槽本体の側板との間に介在し、当該槽本体の側板がその厚み方向に変位するのを許容するように弾性変形することにより当該側板に加わる衝撃を吸収する弾性体をさらに備えることを特徴とする基板処理槽。
【請求項５】
請求項４記載の基板処理槽において、
前記側部枠と前記槽本体の側板の上部とがその間に前記弾性体を挟んだ状態で相互締結されることを特徴とする基板処理槽。
【請求項６】
基板を所定方向に搬送しながら処理するための装置であって、
請求項１〜５のいずれかに記載の基板処理槽と、
前記基板処理槽の槽本体の内側で前記所定方向に前記基板を搬送する基板搬送機構とを備え、
前記基板搬送機構が前記基板処理槽の支持枠体側に支持されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項６記載の基板処理装置において、
前記基板搬送機構は、前記所定方向に並ぶ複数本の搬送ローラ軸と、各搬送ローラ軸に固定されて当該搬送ローラ軸と一体に回転することにより前記基板を前記所定方向に搬送する搬送ローラと、前記各搬送ローラ軸を駆動するための駆動系とを含み、前記各搬送ローラ軸が前記本体槽の側板を貫通して当該搬送ローラ軸の端部及び前記駆動系が前記支持枠体側に支持されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
請求項６または７記載の基板処理装置において、
前記支持枠体は、その底部枠からさらに下方に延びて槽設置面上に置かれる脚部を有し、この脚部は、当該支持枠体に支持される槽本体及び基板搬送機構を前記基板の搬送方向と直交する方向に傾かせながら支持する形状を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項９】
処理される基板を少なくとも側方及び下方から覆うための基板処理槽を製造する方法であって、
複数本の棒状部材を間欠的に配列して相互結合することにより、底部枠とこの底部枠から立ち上がって前記槽本体の側板を側方から支持する側部枠とを有する支持枠体を構築する工程と、
樹脂製の底板及びこの底板の外縁から立上がる補強板とが一体化された底部材を製造する工程と、
前記底部材の底板を前記支持枠体の底部枠上に載せる工程と、
前記底部枠上に前記底部材が載せられた状態で、前記補強板の立上り寸法よりも大きな高さ寸法を有する複数枚の樹脂製の側板を前記底部材における補強板の内側面に沿って配列し、当該側板の下端部を当該補強板に対してその内側から重ね合わせかつ前記底板の上面に上から突き当てた状態でこれら補強板及び底板に前記側板を接合し、かつ、互いに隣接する側板の側縁同士を接合することにより、前記基板を少なくとも側方及び下方から覆うことが可能な上向きに開口する形状の槽本体を構築する工程と、
前記各側板が前記側部枠に外側から支持されるように両者を連結する工程とを含むことを特徴とする基板処理槽の製造方法。
【請求項１０】
請求項９記載の基板処理槽の製造方法において、
前記各側板は、その厚み方向の変位を許容するように弾性変形することが可能な弾性体を介して前記側部枠に締結されることを特徴とする基板処理槽の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、磁気／光ディスク用のガラス／セラミック基板といった各種基板に対して薬液処理、水洗処理、乾燥処理といった各種処理を行うのに好適な基板処理槽とこれを製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、処理対象である基板をその下方及び側方から覆うための基板処理槽として、例えば特許文献１に記載されるように樹脂製の板材で構成されたものが広く知られている。具体的に、この種の基板処理槽は、底板と、この底板の外縁から立上がる複数枚の側板とからなり、当該底板と各側板の下端同士が接合されるとともに、互いに隣接する側板の側縁同士が接合されることにより、槽全体が構築される。
【特許文献１】特開２００６−９３３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、処理対象とされる基板の大型化が著しく、これに伴って当該基板を収容するための基板処理槽の大型化も余儀なくされている。しかし、当該基板処理槽は、耐薬液性、帯電防止などの諸事情により、金属材料に比して剛性の低い樹脂からなる板材で構成されるのが一般的であり、このような樹脂製の板材を用いながら処理槽の大型化にかかわらずその形状を十分に保つための剛性を確保するには、各板材の板厚を大きくせざるを得ない。この板厚の増加は、処理槽全体の重量及びコストを増加させ、その増加の度合いは、当該板材の面積が大きいほど著しいものとなる。
【０００４】
なお、前記特許文献１には、処理槽の上端の開口を開閉するための蓋部材を備える関係上、当該処理槽の上端に補強フレームを設けて当該補強フレームに前記蓋部材を取付けることが記載されているが、この補強フレームはあくまで前記蓋部材を支持するために処理槽上端を補強するに過ぎず、当該処理槽の形状を保つための剛性の向上（特に処理槽の下部の剛性の向上）に寄与するものではない。従って、同文献１記載の処理槽においても、処理槽の大型化に伴う槽構成板材の厚みの著しい増加は避けられない。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑み、重量及びコストの著しい増大を回避しながら大型化が可能な基板処理槽と、これを製造するための方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための手段として、本発明は、処理される基板を少なくとも側方及び下方から覆うための基板処理槽であって、樹脂製の底板と、この底板の外縁に沿って立設される複数枚の樹脂製の側板とを有し、これらの側板の内側に前記基板を収容することが可能な形状をなす槽本体と、互いに間欠的に配列される複数本の棒状部材が組み合わされてなり、前記槽本体の底板を下方から支持する底部枠とこの底部枠から立ち上がって前記槽本体の側板を外側から支持する側部枠とを有し、これらの支持によって前記槽本体の形状を保つ支持枠体とを備えたものである。
【０００７】
この基板処理槽では、支持枠体が槽本体をその下方及び外側から支持するため、当該槽本体を構成する樹脂製の板材の厚みを特に大きくすることなく、その形状を保持することができる。しかも、前記支持枠体は、互いに間欠的に配列される複数本の棒状部材からなり、かつ、前記槽本体をその下方及び外側から支持するだけの強度を有する限りにおいて特に材質の制約もないため、当該支持枠体の追加にかかわらず、従来のように槽本体を構成する樹脂板の厚みを大きくする場合よりも槽全体の重量及びコストを小さく抑えることが可能である。
【０００８】
ここで、前記槽本体としては、前記底板とこの底板の外縁から前記側板よりも低い寸法で立上がる樹脂製の補強板とを一体に有する底部材を備え、前記各側板は前記補強板の内側面に沿って配列され、当該側板の下端部が当該補強板にその内側から重ね合わされかつ前記底板の上面に突き当たった状態でこれら補強板及び底板に接合され、かつ、互いに隣接する側板の側縁同士が接合されているものが、好適である。
【０００９】
このような槽本体では、全体の厚みを特に大きくすることなく、当該槽本体の強度が効果的に高められる。すなわち、底板とその外縁から立上がる補強板とが一体化されることにより底部材が構成された上で、その補強板に側板の下端部が内側から重ね合わされた状態で当該補強板と底板とに接合されるため、単に底板の外縁と側板の下端とが接合されるだけの槽構造と異なり、底板上での各側板の立設状態が安定する。すなわち、各側板が立直状態から傾くような変形が有効に抑えられる。
【００１０】
さらに、この槽本体では、前記各側板の板厚を前記底部材を構成する底板及び補強板の板厚よりも小さくすることにより、特に大きな荷重が作用しやすい槽本体の底部では十分な強度を確保し、かつ、補強板による補強効果を確保しながら、各側板の厚みの抑制によってさらなる軽量化及びコスト削減を図ることが可能である。
【００１１】
本発明に係る基板処理槽では、さらに、前記側部枠とその内側に位置する槽本体の側板との間に介在し、当該槽本体の側板がその厚み方向に変位するのを許容するように弾性変形することにより当該側板に加わる衝撃を吸収する弾性体を備えることが、より好ましい。この弾性体の介在は、例えば前記槽本体の側板が前記側部枠に直接接触する場合に比べ、当該槽本体の側板に衝撃（例えば輸送時の衝撃）が加わったときに当該側板が前記側部枠から受ける支持反力を有効に緩和することができ、当該衝撃に起因する槽本体の破損を防ぐことができる。
【００１２】
より具体的に、前記側部枠と前記槽本体の側板の上部とがその間に前記弾性体を挟んだ状態で相互締結されるものでは、当該弾性体の介在によって前記衝撃の緩和を図りながら当該側部枠と槽本体の側板との締結によって当該側部枠による槽本体の支持状態をさらに安定させることができる。
【００１３】
また本発明は、基板を所定方向に搬送しながら処理するための装置であって、上述の基板処理槽と、この基板処理槽の槽本体の内側で前記所定方向に前記基板を搬送する基板搬送機構とを備え、この基板搬送機構が前記基板処理槽の支持枠体側に支持されるものである。
【００１４】
この基板処理装置では、槽本体に加えて重量の大きい基板搬送機構も支持枠体に支持されることにより、槽本体に加わる機械的荷重がさらに軽減され、当該槽本体に求められる剛性がさらに低く抑えられる。
【００１５】
例えば、前記基板搬送機構が、前記所定方向に並ぶ複数本の搬送ローラ軸と、各搬送ローラ軸に固定されて当該搬送ローラ軸と一体に回転することにより前記基板を前記所定方向に搬送する搬送ローラと、前記各搬送ローラ軸を駆動するための駆動系とを含む場合、前記各搬送ローラ軸が前記本体槽の側板を貫通して当該搬送ローラ軸の端部及び前記駆動系が前記支持枠体側に支持されればよい。この構造は、搬送ローラ軸及びその駆動のための駆動系を槽本体の外側の支持枠体側で支持しながら、当該槽本体の内側での基板の搬送を可能にする。
【００１６】
この基板処理装置では、前記支持枠体が、その底部枠からさらに下方に延びて槽設置面上に置かれる脚部を有し、この脚部が、当該支持枠体に支持される槽本体及び基板搬送機構を前記基板の搬送方向と直交する方向に傾かせながら支持する形状を有するという態様をとることが可能である。この態様では、前記槽設置面が例えば水平面であっても、槽本体を支持する支持枠体の脚部を利用して当該槽本体及び基板搬送機構を基板の搬送方向と直交する方向に傾かせることができる。このような傾斜状態での基板の搬送は、例えば当該基板の薬液供給処理、洗浄処理、エアの吹付けによる乾燥処理などに有効である。
【００１７】
また本発明は、処理される基板を少なくとも側方及び下方から覆うための基板処理槽を製造する方法であって、処理される基板を少なくとも側方及び下方から覆うための基板処理槽を製造する方法であって、複数本の棒状部材を間欠的に配列して相互結合することにより、底部枠とこの底部枠から立ち上がって前記槽本体の側板を側方から支持する側部枠とを有する支持枠体を構築する工程と、樹脂製の底板及びこの底板の外縁から立上がる補強板とが一体化された底部材を製造する工程と、前記底部材の底板を前記支持枠体の底部枠上に載せる工程と、前記底部枠上に前記底部材が載せられた状態で、前記補強板の立上り寸法よりも大きな高さ寸法を有する複数枚の樹脂製の側板を前記底部材における補強板の内側面に沿って配列し、当該側板の下端部を当該補強板に対してその内側から重ね合わせかつ前記底板の上面に上から突き当てた状態でこれら補強板及び底板に前記側板を接合し、かつ、互いに隣接する側板の側縁同士を接合することにより、前記基板を少なくとも側方及び下方から覆うことが可能な上向きに開口する形状の槽本体を構築する工程と、前記各側板が前記側部枠に外側から支持されるように両者を連結する工程とを含むものである。
【００１８】
この製造方法では、予め底板と補強板とが一体化された底部材が支持枠体の底部枠に載せられた状態で当該底部枠に対する各側板の接合が行われるので、槽本体全体をリフトアップするという大掛かりな作業が不要となる。すなわち、槽本体が完成してからこれを支持枠体の内側にセットする場合には、当該槽本体を支持枠体の側部枠の上端よりもさらに高い位置まで持ち上げ、さらに、これを吊るしながら側部枠の内側に挿入して底部枠上の所定位置にセットするという大掛かりな作業が必要となるが、前記の製造方法では、前記槽本体のうちの底部材のみが前記底部枠上にセットされればよく、その後は、当該底部材に対する各側板の接合が前記底部枠上で行われることにより、槽本体全体を持ち上げることなく当該槽本体が支持枠体に支持される最終形態を得ることができる。
【００１９】
しかも、前記槽本体の構築にあたっては、予め底板と補強板とが一体化された底部材に対してその補強板の内側に各側板を重ね合わせながらこれらを接合すればよいので、当該構築作業は比較的簡単であって作業者は前記底板上で行うことができる。従って、前記底部材が支持枠体の内側にセットされた状態でも前記接合作業を支障なく行うことができる。
【００２０】
この製造方法では、前記各側板が、その厚み方向の変位を許容するように弾性変形することが可能な弾性体を介して前記側部枠に締結されることが、より好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明に係る基板処理槽では、複数の棒状部材からなる支持枠体が槽本体を下方及び側方から支持することにより当該槽本体の形状を保つので、当該槽本体を構成する樹脂製の板材の厚みを特に大きくすることなくこれを大型化することができる。また、本発明に係る基板処理槽の製造方法では、本体槽全体をリフトアップするといった大掛かりな作業を要することなく、前記の効果を奏する基板処理槽を効率よく製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の好ましい実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２３】
この実施の形態に係る基板処理槽は、図１等に示されるような槽本体１０と、図２〜図５に示される支持枠体２０とを備える。そして、この基板処理槽に図５及び図６に示されるような基板搬送機構５０が付加されることにより、基板を特定方向に搬送しながらこれに対して処理を行う基板処理装置が構成される。
【００２４】
前記槽本体１０は、処理される基板を側方及び下方から覆うように収容することが可能な形状、すなわち、上向きに開口する形状を有するもので、複数枚の樹脂製の板材により構築される。具体的には、底板１３と補強板１４とが一体化された底部材１２と、この底部材１２の底板１３上に立設される一対の第１側板１６Ａ，１６Ｂ及び一対の第２側板１８Ａ，１８Ｂとで構成される。
【００２５】
この実施の形態に係る底板１３は、平面視矩形状の平板からなり、その外縁から前記補強板１４が立上がる。この補強板１４は、前記各側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの高さ寸法よりも小さい高さ寸法（立上り寸法）を有し、その下端部が前記底板１３と接合される（例えば接着や溶接により接合される；下記の他の接合についても同様）。
【００２６】
前記各第１側板１６Ａ，１６Ｂは、前記補強板１４のうち底板１３の長辺上に立設される部分の内側面に沿って配置され、前記各第２側板１８Ａ，１８Ｂは前記補強板１４のうち底板１３の短辺上に立設される部分の内側に沿って配置される。この実施の形態では、補強板１４が側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの下部のみを覆う程度に当該補強板１４の立上り寸法が設定され、この補強板１４に前記側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの下部が内側から重ねられ、かつ、前記底板１３の上面に上から突き当たった状態で（図３参照）、当該下部が当該補強板１４および当該底板１３に接合されるとともに互いに隣接する側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの側縁同士が互いに隣接することにより、上方に開口する形状の槽本体１０が構築される。
【００２７】
本発明では、前記補強板１４が省略されて側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの下端部が直接、底板１３の外縁部に接合されてもよい。しかし、前記底板１３と前記補強板１４との一体化により底部材１２が構築された上でその内側に側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの下部が接合されることは、当該側板の立設状態をより安定化させる。すなわち、各側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの下部の支持剛性を高めてこれらの側板が例えばその板厚方向に傾くような変形を有効に抑止できる。
【００２８】
さらに、この実施の形態では、前記各側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの板厚が前記底部材１２を構成する底板１３及び補強板１４の板厚よりも小さく設定されている。このことは、特に大きな荷重が作用しやすい槽本体１０の底部で十分な強度を確保し、かつ、上述の補強板１４による補強効果を確保しながら、各側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの厚みの抑制によってさらなる軽量化及びコスト削減を図ることを可能にする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば前記各側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂの板厚が前記底板１３や前記補強板１４の板厚と同等であってもよい。
【００２９】
この実施の形態では、図２及び図３に示すように、一方の第１側板１６Ａ側から槽本体１０内に基板が搬入され、他方の第１側板１６Ｂ側から当該基板が搬出される。そこで、前記第１側板１６Ａ，１６Ｂの中段部にそれぞれ、外側に膨出する形状の基板搬入部１７Ａ及び基板搬出部１７Ｂが形成され、前記基板搬入部１７Ａ及び前記基板搬出部１７Ｂにそれぞれ、横長スリット状の基板搬入口１７ａ及び基板搬出口１７ｂが形成されている。当該基板搬入部１７Ａ及び当該基板搬出部１７Ｂは、図１では便宜上省略されている。
【００３０】
この槽本体１０において、前記各板１３，１４，１６，１８を構成する樹脂の種類は、基板処理の内容等に応じて適宜選定されればよい。一般には、硬質で耐薬液性の高い塩化ビニルが好適である。また、基板にエアを吹付けて乾燥させる処理では、母材の表面に帯電防止処理（例えば導電性樹脂のコーティング）が施された板材が使用されることが好ましい。
【００３１】
前記支持枠体２０は、前記槽本体１０を下方及び側方から支持することで当該槽本体１０の形状を保つためのもので、当該槽本体１０と同様に上方に開口する形状を有する。具体的には、前記槽本体１０の底板１３を下方から支持する底部枠２３と、この底部枠２３から立ち上がって前記槽本体１０の第１側板１６Ａ，１６Ｂを外側から支持する第１側部枠２６Ａ，２６Ｂと、同じく底部枠２３から立上がって前記槽本体１０の第２側板１８Ａ，１８Ｂをそれぞれ外側から支持する第２側部枠２８Ａ，２８Ｂと、前記底部枠２３から下方に延出する脚部２５とを有する。
【００３２】
この支持枠体２０は、互いに間欠的に配列される複数本の棒状部材を組み合わせることにより構築される。これらの棒状部材としては、比較的軽量で強度の高いものが好ましく、アルミニウム合金といった軽金属材料や比較的強度の高い樹脂材料で成形されたものが、好適である。各棒状部材の断面形状は中実である必要はなく、逆に、ある程度の断面係数を確保し得る範囲で中空構造とすることにより、処理槽全体の軽量化を促進することが可能である。
【００３３】
この実施の形態では、前記棒状部材として、２本の長支柱３０Ａ、２本の短支柱３０Ｂ、４本の第１横桟３６１，３６２，３６３，３６４、３本の第２横桟３８１，３８２，３８３、複数本の補助縦桟３２、複数本の底桟３３、複数本の補助脚３４、及び脚枠３５が含まれる。
【００３４】
前記各支柱３０Ａ，３０Ｂは、それぞれ、最終状態において図２に示すように前記槽本体１０の四隅の外側にその高さ方向に沿うように、配置される。具体的には、そのうちの長支柱３０Ａが第２側板１８Ａの両側に、短支柱３０Ｂが第２側板１８Ｂの両側に、それぞれ配置される。前記長支柱３０Ａは短支柱３０Ｂよりも長く、その差分だけ支持枠体２０全体が後に詳述するように傾斜した状態で設置されるようになっている（図４）。
【００３５】
前記第１横桟３６１〜３６４は、前記支柱３０Ａ，３０Ｂとともに前記第１側部枠２６Ａ，２６Ｂを構成するもので、両第１側板１６Ａ，１６Ｂの外側において互いに平行な姿勢で上から順に配列される。そして、前記長支柱３０Ａと前記短支柱３０Ｂとを連結するようにこれらの支柱３０Ａ，３０Ｂに接合される。これらの第１桟３６１〜３６４のうち、最上段の第１桟３６１は両支柱３０Ａ，３０Ｂの上端に接合される高さ位置に配され、最下段の第１桟３６４は短支柱３０Ｂの下端近傍の部位に接合される高さ位置に配される。
【００３６】
前記第２横桟３８１〜３８３は、前記支柱３０Ａ，３０Ｂとともに前記第２側部枠２８Ａ，２８Ｂを構成するもので、両第２側板１８Ａ，１８Ｂの外側において互いに平行な姿勢で上から順に配列される。そして、前記両長支柱３０Ａ同士または前記両短支柱３０Ｂ同士を連結するように、これらの支柱３０Ａ，３０Ｂに接合される。これらの第２桟３８１〜３８３のうち、最上段の第２桟３８１は両支柱３０Ａ，３０Ｂの上端に接合される高さ位置であって同じく最上段の第１桟３６１と同じ高さ位置に配され、最下段の第２桟３８３は短支柱３０Ｂの下端近傍の部位に接合される高さ位置であって同じく最下段の第１桟３６４と同じ高さ位置に配される。
【００３７】
前記補助縦桟３２は、前記第１横桟３６１，３６２同士の間、前記第１横桟３６３，３６４同士の間、及び前記第２横桟３８１，３８２同士の間にそれぞれ配設され、その横桟同士を連結することにより枠体を補強する。
【００３８】
前記底桟３３は、最下段の第１横桟３６４及び第２横桟３８３とともに前記底枠２３を構成するもので、これらの横桟３６４，３８３により囲まれる領域内で縦横に配置され、当該第１横桟３６４または当該第２横桟３８３に適宜連結される。前記槽本体１０の底板１３は前記底桟３３の上に配置される。
【００３９】
前記脚枠３５は、槽本体１０の外側で支柱３０Ａ，３０Ｂの下端同士を連結するもので、当該支柱３０Ａ，３０Ｂの下部（前記底部枠２３からさらに下側に延びる部分）及び補助脚３４とともに、前記脚部２５を構成する。この脚部２５は、水平面、例えば図４に示すような基台２の上面に前記脚枠３５が載せられた状態で、既述の長支柱３０Ａと短支柱３０Ｂの長さの差分だけ前記底部枠２３さらにはその上に載せられる槽本体１０の底板１３を傾かせる形状を有する。具体的には、前記槽本体１０の第１側板１８Ａおよびこれを支持する第１側部枠２８Ａが第１側板１８Ｂおよびこれを支持する第１側部枠２８Ｂよりも高くなる向きに傾斜させる。
【００４０】
前記補助脚３４は、最下段の第１桟３６４及び第２桟３８３と前記底枠３５との間に配設され、これらを相互連結することにより、脚部２５を補強する。
【００４１】
このような構造をもつ支持枠体２０は、前記槽本体１０をその下方及び外側から支持することによって当該槽本体１０の形状を保持するので、その形状の保持のために当該槽本体１０を構成する樹脂製の板材（底板１３や側板１６Ａ，…など）の厚みを特に大きくする必要をなくす。しかも、この支持枠体２０は、前記のように互いに間欠的に配列される複数本の棒状部材からなり、かつ、前記槽本体をその下方及び外側から支持するだけの強度を有する限りにおいて特に材質の制約もないため、前記形状保持のために槽本体１０を構成する樹脂板の厚みを大きくする場合よりも槽全体の重量及びコストを小さく抑えることが可能である。
【００４２】
さらに、この実施の形態では、薄肉の槽本体１０を衝撃等からより有効に保護するために、側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂと各側部枠２６Ａ，２６Ｂ，２８Ａ，２８Ｂとの間に、図６及び図７に示すような弾性体４０がそれぞれ介設される（これらの図では代表的に第２側板１８Ａとこれを支持する第２側部枠２８Ａとの間の弾性体４０が例示される。）。この弾性体４０は、当該槽本体１０の側板がその厚み方向に変位するのを許容するように弾性変形する（具体的には横向きに弾性圧縮変形する）ことにより、当該側板に加わる衝撃を吸収するように、配置される。この弾性体４０の介在は、例えば前記側板１６Ａ，…が前記側部枠２６Ａ，…に直接接触する場合に比べ、当該側板に衝撃（例えば輸送時の衝撃）が加わったときに当該側板が前記側部枠から受ける支持反力を有効に緩和することを可能にし、当該衝撃に起因する槽本体１０の破損を防ぐことができる。
【００４３】
図６及び図７に示す例では、前記弾性体４０は、第２側板１８Ａの上部と、第２側部枠２８Ａを構成する最上段の第２横桟３８１との間に介在し、かつ、その介在状態で当該第２側板１８Ａと当該第２横桟３８１とが締結される。具体的には、図７に示すように、前記第２横桟３８１の下面に当該下面から下方に突出する姿勢でブラケット４２が固定される一方、前記第２側板１８Ａにはその外側面から外向きに突出するようにボス４４が突設され、このボス４４にねじ孔４４ａが設けられるとともに前記弾性体４０及び前記ブラケット４２にこれらをそれぞれ厚み方向に貫通するボルト挿通孔４０ａ，４２ａが形成されている。そして、前記ブラケット４２と前記ボス４４との間に前記弾性体４０が介在した状態で、前記ボルト挿通孔４２ａ，４０ａを通じて前記ボス４４のねじ孔にボルト４６が螺合しながら挿入されることにより、前記第２側板１８Ａと前記第２横桟３８１とが前記ブラケット４２、前記ボス４４、及び前記弾性体４０を介して相互に締結され、支持枠体２０による槽本体１０の支持状態がより安定する。
【００４４】
なお、この実施の形態では、底部材１２の補強板１４の外側面に複数の樹脂板４８が固着され、この樹脂板４８が、最下段の第２横桟３８３の上面に立設されたブラケット４７にボルト等によって締結されている。すなわち、この実施の形態では、槽本体１０の下部が側部枠２８に固定されている。
【００４５】
前記基板搬送機構５０は、図３に示されるように、槽本体１０内において基板を基板搬入部１７Ａから基板搬出口１７Ｂに向けて搬送するものである。この基板搬送機構５０は単一のものでもよいが、この実施の形態では、図５に示すように前記搬送方向の上流側の領域と下流側の領域とに分割してそれぞれの領域に共通の構成の基板搬送機構５０が設けられている。
【００４６】
前記各基板搬送機構５０は、前記基板搬送方向に並ぶ複数本の搬送ローラ軸５２と、図６に示すように各搬送ローラ軸５２に固定される複数個の搬送ローラ５４と、特定の搬送ローラ軸５２の上方に設けられる押えローラ軸５６と、この押えローラ軸５６に固定される押えローラ５８と、前記各ローラ軸５２，５６を駆動するための駆動系６０とを備える。
【００４７】
前記各搬送ローラ５４は、前記各搬送ローラ軸５２の軸方向に間隔をおいて配設され、当該搬送ローラ軸５２と一体に回転するように当該搬送ローラ軸５２に固定される。そして、当該搬送ローラ５４の上に図６に示すような基板Ｐが載せられた状態で回転することにより、当該基板Ｐをその回転接線方向に搬送する。一方、前記各押えローラ５８は、前記搬送ローラ５４のうち最も外側の搬送ローラ５４の上方に位置し、その位置で前記押えローラ軸５６にこれと一体に回転するように固定され、前記基板Ｐの幅方向の端部を上から押え込む。すなわち当該基板Ｐの端部を前記搬送ローラ５４とで上下から挟み込む。この状態で当該搬送ローラ５４と同期して回転することにより、基板Ｐの搬送を許容しながらその浮き上がりを抑制する。
【００４８】
なお、前記押えローラ軸５６及び前記押えローラ５８は、仕様に応じて適宜省略が可能である。
【００４９】
この基板搬送装置の特徴として、前記各搬送ローラ軸５２の中間部位は槽本体１０側に支持される一方、当該搬送ローラ軸５２の少なくとも一方の端部及び押えローラ軸５８は槽本体１０の側板（図６に示される例では第２側板１８Ａ）を貫通して槽本体１０の外部に突出し、その突出した端部が支持枠体２０側に支持されることにより、槽本体１０の強度的な負担が軽減されている。
【００５０】
具体的に、槽本体１０においては、その底板１３上に軸受装置７０が立設され、その上端に設けられた軸受７２が前記搬送ローラ軸５２の中間部位を回転可能に支持する。一方、支持枠体２０においては、最下段の第２横桟３８３の上方の位置に支持板７４が配設され、この支持板７４がブラケット７６を介して前記第２横桟３８３に支持されるとともに、前記搬送ローラ軸５２さらには前記押えローラ軸５６を回転可能に支持している。詳しくは、前記支持板７４の上端に、前記押えローラ軸５６を支持するための軸受部材８２が固定される一方、当該支持板７４の内側（図６では左側）に補助支持板７８が配設されて当該支持板７４に連結軸７７を介して連結され、この補助支持板７８の上端に前記搬送ローラ軸５２を支持するための軸受部材８０さらには前記押えローラ軸５６を支持するための軸受部材８４が固定されている。
【００５１】
前記駆動系６０は、駆動源であるモータ６２と、このモータ６２の出力する駆動力を各搬送ローラ軸５２に伝達するための駆動伝達機構とを含み、当該駆動伝達機構は、前記モータ６２の出力軸及び各搬送ローラ軸５２の端部に固定されるプーリ６４と、これらのプーリ６４に巻き掛けられる駆動伝達ベルト６６とで構成される。そして、この装置の特徴として、前記モータ６２も前記支持板７４に固定され、駆動系６０全体が支持枠体２０側に支持されており、これにより槽本体１０の強度的な負担がさらに軽減されている。
【００５２】
なお、前記搬送ローラ軸５２及び前記押えローラ軸５６にはそれぞれ互いに噛合する歯車８６，８８が固定されている。従って、前記搬送ローラ軸５２の回転駆動により、これと同期して押えローラ軸５６も逆向きに回転駆動される。
【００５３】
この実施の形態では、さらに、前記のように支持枠体２０の脚部２５が底部枠２３及び側部枠２６Ａ，２６Ｂ，２８Ａ，２８Ｂを傾かせる、具体的には第２側板１８Ａが第２側板１８Ｂよりも高くなる向きに傾かせるので、槽設置面が水平であっても当該支持枠体２０に支持される槽本体１０及び基板搬送機構５０をその基板搬送方向に対して直交する方向に傾けることができる。このような傾斜姿勢での基板搬送は、各種処理、例えば薬液供給処理、水洗処理、あるいはエアの吹付けによる乾燥処理などに有効である。乾燥処理の場合、エア吹付け用のエアナイフは例えば図２に二点鎖線１００で示されるように基板搬送路を斜めに横切るような姿勢で支持枠体２０に支持されればよい。
【００５４】
そして、以上説明した基板処理槽は、例えば次の工程を経ることによって効率よく製造されることが可能である。
【００５５】
１）支持枠体２０を構築する工程
支持枠体２０は、前記支柱３０Ａ，３０Ｂ、前記各桟２３，２６Ａ，…等を含む複数本の棒状部材を３次元的に間欠的に配列してこれらを溶接等で相互結合することにより、構築される。なお、ここでいう「間欠的に配列」とは、全ての棒状部材が互いに離間するように配置されることを限定するものではない。例えば、一部の棒状部材が補強のために相互密着した状態で組み合わされて使用されてもよい。
【００５６】
２）底部材１２を製造する工程
１）の支持枠体２０の構築と並行して、あるいはこれと前後して、槽本体１０のうちの底部材１２が先行して製造される。この底部材１２は、底板１３の外縁に補強板１４を立直状態でセットして両者を接合することにより製造される。あるいは、金型成形その他の成形法によって、底板１３及び補強板１４を一体に含む形状の底部材１２を成形することも可能である。
【００５７】
３）底部材１２をセットする工程
２）の工程により製造された底部材１２が、支持枠体２０の底部枠２３上の所定の位置に載置される。この実施の形態では、当該底部材１２のセット後、図６に示すように補強板１４に固着された樹脂板４８がブラケット４７を介して側部枠最下段の横桟３８３（及び３６１）に連結される。
【００５８】
このように、槽本体１０のうちの底部材１２のみが予め支持枠体２０にセットされることは、槽全体の製造効率の向上に大きく寄与する。例えば、槽本体１０の全体が組み上げられてからこれを支持枠体２０内にセットする方法では、大重量の槽本体１０全体を支持枠体２０の上端よりも高い位置まで吊上げ、かつ、その吊上げ状態のまま支持枠体２０の内側へ静かに下降させてその底部枠２３上に位置決めするという大掛かりな作業が必要になるが、その槽本体１０のうちの比較的軽量な底部材１２のみが先行して支持枠体２０内にセットされることは、前記の大掛かりな作業を不要にしてその効率を高める。
【００５９】
４）支持枠体２０内で槽本体１０を構築する工程
前記のようにして支持枠体２０の底部枠２３上に底部材１２が載せられた後、そのまま当該支持枠体２０の内側で槽本体１０の構築が行われる。具体的には、槽本体１０を構成するための各側板１６Ａ，１６Ｂ，１８Ａ，１８Ｂが前記底部材１２における補強板１４の内側面に沿って配列され、当該側板１６Ａ，…の下端部が当該補強板１４に対してその内側から重ね合わされかつ前記底部材１２における底板１３の上面に上から突き当てられる。そして、この状態で当該補強板１４及び当該底板１３に側板１６Ａ，…が溶接や接着等の手段で接合され、かつ、互いに隣接する側板の側縁同士が接合されることにより、基板を少なくとも側方及び下方から覆うことが可能な上向きに開口する形状の槽本体１０が支持枠体２０内で構築される。
【００６０】
前記側板１６Ａ，…の組立にあたり、支持枠体２０内では予め底板１３だけでなく当該底板１３から立上がる補強板１４が当該底板１３と一体化された底部材１２がセットされているので、作業者は、この底部材１２が支持枠体２０により囲まれた状態にあっても前記側板１６Ａ，…の接合を支障なく容易に行うことができる。具体的に、当該作業者は、例えば前記底板１３の上に載ったまま、当該底板１３と一体化されている補強板１４と各側板１６Ａ，…との重ね合わせ作業、及び接合作業を槽内側から行うことができるので、当該作業にあたって支持枠体２０の存在が邪魔にになることがない。
【００６１】
５）槽本体１０と支持枠体２０とを連結する工程
最後に、前記槽本体１０と前記支持枠体２０とが連結される。この実施の形態では、図７に示されるように、槽本体１０の側板（同図では第２側板１８Ａ）の上部に設けられたボス４４と、予め側部枠の横桟（同図では第２側部枠２８Ａの第２横桟３８１）に固定されたブラケット４２との間に弾性体４０を介在させた状態で、当該ブラケット４２と当該ボス４４とをボルト４６によって締結することにより、当該横桟と当該側板との連結がなされる。
【００６２】
なお、この連結は、処理槽全体の輸送がされない場合、例えば使用場所にて処理槽が組立てられる場合には、適宜省略することも可能である。その場合、槽本体の側板と支持枠体の側部枠との間に単に弾性体を介在させるだけでも（すなわち当該側板と当該側部枠とを積極的に締結しなくても）、前記弾性体によって衝撃吸収をすることが可能である。
【００６３】
以上のようにして基板処理槽が完成した後、これに基板搬送機構等の必要な機構が付加されることにより、各種基板処理装置が製造される。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板処理槽を構成する槽本体の斜視図である。
【図２】図４のＩＩ矢視図である。
【図３】前記基板処理槽の断面正面図であって図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】前記基板処理槽の側面図である。
【図５】図４のＶ矢視図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】図６のＶＩＩ部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０    槽本体
１２    底部材
１３    底板
１４    補強板
１６Ａ，１６Ｂ  第１側板
１８Ａ，１８Ｂ  第２側板
２０    支持枠体
２３    底部枠
２５    脚部
２６Ａ，２６Ｂ  第１側部枠
２８Ａ，２８Ｂ  第２側部枠
４０    弾性体
４６    ボルト
５０    基板搬送機構
５２    搬送ローラ軸
５４    搬送ローラ
６０    駆動系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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