(57)【要約】【課題】処理対象排ガス量を増大させることなく、集塵したダスト量を著しく増大させることなく、排ガス中のダイオキシン類濃度を極低減させることのできる排ガス処理装置及び方法を提供することを課題とする。【解決手段】熱処理装置１から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理装置において、該排ガスを１００℃以下に冷却する冷却塔３と、冷却塔で冷却された排ガスを受けて粒子径１μｍ以上のダストを除塵し、出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵するバグフィルタ４と、上記バグフィルタ４により除塵された排ガスを受けて出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．０３ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵するＨＥＰＡフィルタ５と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理装置から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理装置において、
該排ガスを１００℃以下に冷却する冷却塔と、
冷却塔で冷却された排ガスを受けて粒子径１μｍ以上のダストを除塵し、出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵するバグフィルタと、
上記バグフィルタにより除塵された排ガスを受けて出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．０３ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵するＨＥＰＡフィルタと、
を備えることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項２】
熱処理装置は製鋼用電気炉であることとする請求項１に記載の排ガス処理装置。
【請求項３】
熱処理装置から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理方法において、
冷却塔により該排ガスを１００℃以下に冷却する冷却工程と、
冷却塔で冷却された排ガスに対して粒子径が１μｍ以上のダストをバグフィルタによって除塵し、該バグフィルタの出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵する第一の除塵工程と、
上記バグフィルタにより除塵された排ガスに対して、ＨＥＰＡフィルタにより該ＨＥＰＡフィルタの出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．０３ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵する第二の除塵工程とを備えることを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項４】
熱処理装置は製鋼用電気炉であることとする請求項３に記載の排ガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理装置から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理装置及び排ガス処理方法に関する。特に製鋼用電気炉から発生する排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理装置と排ガス処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱処理装置から排出され処理が必要な排ガスとしては、製鋼用電気炉、金属精錬炉、都市ごみ焼却施設、産業廃棄物焼却施設、およびその他の燃焼装置、溶融装置、加熱装置等において、燃焼、溶融、加熱工程に伴って排出される排ガスが挙げられる。ここで製鋼用電気炉の排ガスを例として述べると、製鋼用電気炉の排ガスに含まれるダイオキシン類が排ガスとともに排出されるので、これを防止する処理を行うことが規制されている。製鋼用電気炉の排ガスのダイオキシン類濃度の排出基準としては、「ダイオキシン類対策特別措置法」の施行により、既設施設については５ｎｇＴＥＱ／ｍ３、新設施設については０．５ｎｇＴＥＱ／ｍ３の基準値以下とすることが規制されている。
【０００３】
製鋼用電気炉の排ガス中に含まれるダイオキシン類の除去方法として、次のような方法が用いられている。製鋼用電気炉から排出された排ガスを二次燃焼炉において十分な温度および滞留時間（８５０℃以上、２秒以上）で加熱処理してダイオキシン類を分解し、その後排ガスをダイオキシン類の再合成を抑制するためとガス状ダイオキシン類を液化するために１００℃以下に急速冷却する。製鋼用電気炉の排ガス中に含まれるダストは金属成分を多く含み、この金属成分がダイオキシン類再合成に対して高い触媒活性をもつため、ダイオキシン類の再合成抑制のためには二次燃焼炉で加熱された排ガスを１００℃以下までに急速冷却することが必要である。１００℃以下に冷却されると排ガス中のガス状ダイオキシン類は液化して、ダストに吸着あるいは付着した状態となり、冷却された排ガスをろ過式集塵機（バグフィルタ）に導いてダストを除去することにより、ダイオキシン類を除去することができる。このような方法により、排ガス中の大部分のダイオキシン類をそれが吸着あるいは付着したダストを捕集することにより除去することができ、排ガス中のダイオキシン類濃度をおおよそ０．１〜０．５ｎｇ-ＴＥＱ／Ｎｍ３程度まで低減することが可能である。
【０００４】
一方、製鋼用電気炉の排ガス処理系統には、特許文献１に記載されているように、建屋内に設置された電気炉から発生する排ガスを該電気炉から直接吸引する系統と、電気炉から外に漏洩した排ガスを建屋の上部より換気を兼ねて周囲の空気と共に吸引する間接吸引系統（吸引されるガスを環境集塵排ガスという）とがある。
【０００５】
排ガス中のダイオキシン類濃度を極低濃度にまで低減するために、製鋼用電気炉から直接吸引した温度の高い排ガスに、間接吸引した常温に近い環境集塵排ガス（ほぼ空気）を合流させて排ガス濃度を希釈することによって排ガス温度を約６０〜８０℃にまで急速冷却し、ダイオキシン類の再合成を抑制するとともに、ダイオキシン類がダストに吸着あるいは付着した状態で存在する割合を高め、さらに濃度を希釈させることが行われている。この冷却され希釈された排ガスをろ過式集塵装置（バグフィルタ）で除塵処理することにより、排ガス中のダイオキシン類濃度を極低濃度にまで低減させることが行われている。
【０００６】
一方、ごみ焼却炉においては、焼却炉から排出された排ガスを二次燃焼炉において十分な温度および滞留時間（８５０℃以上、２秒以上）で加熱処理してダイオキシン類を分解し、その後排ガスをダイオキシン類の再合成を抑制するためとガス状ダイオキシン類を液化するために急速冷却する。冷却されると排ガス中のガス状ダイオキシン類は液化して、ダストに吸着あるいは付着した状態となり、冷却された排ガスをろ過式集塵機に導いてダストを除去することにより、ダイオキシン類を除去することが行われている。また、さらに極低濃度まで低減する際には、急速冷却塔とろ過式集塵機の間で粉末活性炭を噴霧し、ダイオキシン類を粉末活性炭に吸着させろ過式集塵機におけるダイオキシン類の除去効率を向上させることが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−１０６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
製鋼用電気炉から排出される排ガス中に含まれるダイオキシン類の除去処理において、特許文献１では、ダイオキシン類濃度０．１ｎｇ−ＴＥＱ／Ｎｍ３以下といった非常に低い濃度にまでダイオキシン類を低減しようとすると、上述したように環境集塵排ガスを製鋼用電気炉から排出される排ガスに合流させて冷却して希釈しろ過式集塵装置（バグフィルタ）で除塵処理することが行われているが、以下のような問題を抱えている。
（１）電気炉排ガスに環境集塵排ガスを合流させることにより処理対象排ガス量が増大し、そのため、大きなろ過式集塵機を設置する必要があり、設備費や運転費のコストの増大を招いている。ちなみに、環境集塵排ガス量は電気炉排ガス量の４〜６倍程度である。
（２）電気炉排ガスに環境集塵排ガスを合流させることにより排ガス量が増大され希釈されて、ダイオキシン類がろ過式集塵機で捕集された後、煙突から排出される排ガス中のダイオキシン類濃度は低減されるが、捕集されたダイオキシン類と併せて考えると環境中に排出されるダイオキシン類の総量の削減には必ずしもなっていない。
（３）ろ過式集塵機でダストを除塵してダイオキシン類を排ガスから除去しているが、ろ過式集塵機では捕捉するダイオキシン類の捕捉率をさらに高めるには限界がある。
【０００９】
またごみ焼却炉の排ガス中に含まれるダイオキシン類の除去処理においては、非常に低い濃度にまでダイオキシン類を低減しようとすると、上述したようにろ過式集塵機の上流で粉末活性炭を噴霧し、ダイオキシン類を粉末活性炭に吸着させろ過式集塵機におけるダイオキシン類の除去効率を向上させることが行われている。しかし、高い除去効率を保持するためには多量の粉末活性炭を噴霧する必要があるが、粉末活性炭はろ過式集塵機により排ガスダストとともに捕集されるため、排出ダスト量が著しく増大し、処理コストが増大するという問題が生じる。
【００１０】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、製鋼用電気炉やごみ焼却炉等の熱処理装置から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去するにあたり、処理対象排ガス量を増大させることなく、また、集塵したダスト量を著しく増大させることなく、排ガス中のダイオキシン類濃度を極低濃度にまで効率よく低減することのできる排ガス処理装置及び排ガス処理方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の説明に先立ち、製鋼用電気炉排ガス中のダイオキシン類の存在形態とダストの粒子径分布を詳細に解析した結果、以下のことが判明したので、その解析結果を説明する。
【００１２】
＜製鋼用電気炉排ガス中のダイオキシン類の存在形態＞
排ガス温度が１００℃以下の温度域では、排ガス中に含まれるダイオキシン類の大部分が液状となり、ダストに吸着あるいは付着した形態で存在する。
【００１３】
＜製鋼用電気炉排ガス中ダストの粒子径分布＞
製鋼用電気炉から排出される排ガスから捕集したダストの粒子径分布を測定し、結果を図２に示す。図２において、横軸は粒子径、縦軸は頻度を示している。図２では、製鋼用電気炉の運転開始時、通常運転時、出鋼時等、運転条件が異なる場合の粒子径分布を曲線１〜３に示し、粒子分布を次のごとく得た。
【００１４】
曲線１：メディアン径＝１．０２μｍ、粒子径１μｍ以下の全体に対する比率が２５％
曲線２：メディアン径＝１．９５μｍ、粒子径１μｍ以下の全体に対する比率が１６％
曲線３：メディアン径＝２．４５μｍ、粒子径１μｍ以下の全体に対する比率が５％
以上の結果から、製鋼用電気炉排ガス中のダストはメディアン径が１〜２．５μｍ、粒子径１μｍ以下の比率が５〜２５％であり、粒子径１μｍ以下の非常に細かい粒子径のダストが多いことが認められた。このような粒子径１μｍ以下の非常に細かいダストは通常のバグフィルタ等のろ過式集塵機では十分に捕捉できず、すり抜けてしまうことが多くなる。
【００１５】
以上の状況を把握したことにより、発明者は、製鋼用電気炉排ガス中のダイオキシン類を効果的に除去する排ガス処理装置及び排ガス処理方法を発明した。
【００１６】
本発明は、排ガス処理装置に関しては、熱処理装置から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理装置において、該排ガスを１００℃以下に冷却する冷却塔と、冷却塔で冷却された排ガスを受けて粒子径１μｍ以上のダストを除塵し、出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵するバグフィルタと、該バグフィルタにより除塵された排ガスを受けて出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．０３ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵するＨＥＰＡフィルタと、を備えることを特徴としている。
【００１７】
また、排ガス処理方法に関しては、熱処理装置から排出される排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理方法において、冷却塔により該排ガスを１００℃以下に冷却する冷却工程と、冷却塔で冷却された排ガスに対して粒子径が１μｍ以上のダストをバグフィルタによって除塵し、該バグフィルタの出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵する第一の除塵工程と、上記バグフィルタにより除塵された排ガスに対して、ＨＥＰＡフィルタにより該ＨＥＰＡフィルタの出口での粒子径が１μｍ未満のダストの濃度を０．０３ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵する第二の除塵工程とを備えることを特徴としている。
【００１８】
本発明の製鋼用電気炉排ガス中のダイオキシン類を除去する排ガス処理装置および方法における作用は、以下のとおりである。
【００１９】
（１）製鋼用電気炉排ガスを冷却塔で１００℃以下まで冷却することにより、ダイオキシン類の再合成が抑制されるとともに、排ガス中に含まれるダイオキシン類の大部分がガス状から液状になり、ダストに吸着あるいは付着した形態になる。
【００２０】
（２）バグフィルタにより排ガス中の粒子径１μｍ以上のダストを除塵し、その出口での粒子径１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵することにより、排ガス中のダストの大部分が集塵される。ダイオキシン類は大部分がダストに付着あるいは吸着しているため、この集塵処理により排ガスからダイオキシン類の大部分が除去されることとなる。
【００２１】
（３）バグフィルタより排出された排ガスをＨＥＰＡフィルタに導入し、バグフィルタにより捕捉できかった微細ダストをＨＥＰＡフィルタによりろ過することにより、微細ダストに付着あるいは吸着しているダイオキシン類が除去される。その結果、ＨＥＰＡフィルタ出口における排ガス中ダイオキシン類の濃度は０．１ｎｇ−ＴＥＱ／Ｎｍ３以下の極低濃度まで低減される。このように、バグフィルタにより粒子径１μｍ以上のダストを除塵し、該バグフィルタの出口での粒子径１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵することにより、ＨＥＰＡフィルタに導入される排ガス中のダスト量が極めて少なくなるため、ＨＥＰＡフィルタの負荷が過大とならず、目詰まりが少なく寿命を長期間保たれる。
【００２２】
ＨＥＰＡフィルタ（High  Efficiency  Particulate  Air  Filter）は、超高性能のエアフィルタであり、ＪＩＳ  Ｚ８１２２によって、「定格風量において０．３μｍのＤＯＰ粒子（dioctyl phthalate particle）の捕集効率が９９．９７％以上で、かつ初期圧力損失が２４５Ｐａ以下の性能を有するエアフィルタ」と規定されているフィルタである。クリーンルームの最終フィルタとして用いられるものである。
【００２３】
ダストの大部分をバグフィルタにより集塵することと、バグフィルタにより十分には捕集できなかった微細ダストを低負荷のもとでＨＥＰＡフィルタにより集塵することとを組み合わせて、ダストを高効率でほぼ完全に集塵できるため、ダストに付着あるいは吸着しているダイオキシン類を効率よくほぼ完全に除去することができる。
【００２４】
２種類の集塵装置を最適な条件のもとで組み合わせることにより、下記のようにそれぞれの特徴を活用できる。
【００２５】
バグフィルタは、ダストが付着したフィルタの面とは反対側の面に対して払い落としガスをフィルタに噴射することによって、フィルタに付着したダストの払い落としを行うことができ、除塵性能の長時間にわたる維持が可能であるという利点があるが、粒子径１μｍ未満の微細ダストの捕集率があまり高くないという欠点がある。
【００２６】
一方、ＨＥＰＡフィルタは、粒子径１μｍ未満の微細ダストの捕集性能が非常に高いという利点があるが、ダストの払い落としが不可能であるため、一定量のダストが付着した段階に到るとろ過性能を維持できなくなり、フィルタ自体の交換を要するという欠点がある。
【００２７】
この２種類の除塵装置の利点を、処理される排ガスの状況に応じて最適条件で組み合わせる必要があり、本発明では、この最適条件を見い出したものである。
【００２８】
すなわち、本発明では、ＨＥＰＡフィルタへ導入される排ガス中のダスト濃度を可能な限り低減するために、ＨＥＰＡフィルタの上流側に、出口でのダスト濃度を０．５ｍｇ／Ｎｍ３以下まで低減可能なバグフィルタを設け、このバグフィルタで排ガス中のダストの大部分を除去し、バグフィルタの出口からの排ガスをＨＥＰＡフィルタに導入するようにする。このようにすることで、ＨＥＰＡフィルタの寿命を長時間保ち、バグフィルタで捕集できなかった微細ダストを低負荷のもとで除去して、排ガス中のダイオキシン類を長時間安定的に高い除去効率で除去することができるようになった。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は、以上のように、バグフィルタにより粒子径１μｍ以上のダストを除塵し、該バグフィルタの出口での粒子径１μｍ未満のダストの濃度を０．５ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に除塵することとしたので、ＨＥＰＡフィルタに導入される排ガス中のダスト量が極めて少なくなるため、ＨＥＰＡフィルタの負荷が過大とならず、目詰まりが少なく寿命を長期間保つことができ、排ガス中のダイオキシン類を長時間安定的に高い除去効率で除去することができるという効果を得る。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態装置の概要構成図である。
【図２】製鋼用電気炉の異なる運転条件に対応して得られたダストの粒径分布を示す図である。
【図３】図１装置により得られた、排ガス温度とダイオキシン類除去効果との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、添付図面にもとづき、本発明の一実施形態を説明する。
【００３２】
図１は、本実施形態の概要構成図であり、図において、符号１は熱処理装置としての製鋼用電気炉である。この電気炉１は、既述のごとく、運転開始時、通常運転時、そして出鋼時等異なる運転条件において図２に示されるような粒子径分布のダストを含む排ガスを排出する。
【００３３】
この電気炉１には二次燃焼炉２が接続されている。該二次燃焼炉２では、上記電気炉１から排出された排ガス中の可燃分を燃焼して、排ガス中のダイオキシン類を熱分解するために排ガスを、十分な温度と滞留時間（８５０℃以上、２秒以上）で処理する。
【００３４】
上記二次燃焼炉２の排気部には、冷却塔３が接続されている。該冷却塔３は、その形式に限定はなく、例えば、排ガスに水散布を行うもので良い。該冷却塔３では、排ガスは１００℃以下に冷却される。
【００３５】
上記冷却塔３には、後述のバグフィルタ４そしてＨＥＰＡフィルタ５が順次接続されており、ＨＥＰＡフィルタ５から排出された排ガスが煙突６から大気中に放出されるようになっている。
【００３６】
本実施形態では、バグフィルタそしてＨＥＰＡフィルタについて実験を行い本実施形態装置に最適なフィルタ特性を選定した。
【００３７】
先ず、排ガス温度とダイオキシン類除去効果との関係を調べる実験を行った。
【００３８】
製鋼用電気炉排ガスを温度１００℃以下に冷却して、排ガス中のガス状ダイオキシン類を液化しダストに吸着または付着した形態とし、バグフィルタでダストを除去することにより排ガス中のダイオキシン類濃度を低減できることを確認する実験を行った。
【００３９】
ダイオキシン類の蒸気圧データ（Berchtold F Rordorf、Chemosphere, Vol. 18, Nos. 1-6, pp783-788、1989）では、温度１００℃以下ではダイオキシン類は液状か固体状である。
【００４０】
製鋼用電気炉から排出され二次燃焼炉で可燃分を燃焼させた排ガスを急速冷却装置により温度低下させ、バグフィルタに導入した。バグフィルタ入口での排ガス温度を７０℃〜１３０℃の範囲で変化させ、バグフィルタ出口における排ガス中のダイオキシン類濃度を測定した。また、バグフィルタ入口において導入される排ガス中のダイオキシン類濃度を測定し、バグフィルタ出口における排ガス中のダイオキシン類濃度の測定値とから、バグフィルタによるダイオキシン類の除去率を求め、図３のような結果を得た。図３に排ガス温度とダイオキシン類除去効果を示す。
【００４１】
図３においては、横軸がバグフィルタ入口の排ガス温度、縦軸がバグフィルタ出口での排ガス中のダイオキシン類濃度（■で示す）、ダイオキシン類除去率（◇で示す）であり、図３に示されるように、バグフィルタ入口での排ガス温度が低いほどバグフィルタ出口のダイオキシン類濃度は低下し、ダイオキシン類除去率が高くなっている。
【００４２】
製鋼用電気炉排ガスを冷却しダイオキシン類を液状にして、ダストに付着あるいは吸着した状態にして、ダストをバグフィルタで除塵することにより、ダストに付着あるいは吸着しているダイオキシン類を除去することができ、排ガス中のダイオキシン類濃度を低減できることを確認した。
【００４３】
また、製鋼用電気炉排ガスを冷却塔で１００℃以下に冷却することにより、バグフィルタ出口の排ガス中ダイオキシン類の濃度を１０ｎｇ−ＴＥＱ／Ｎｍ３程度以下まで著しく低下させることができ、ダイオキシン類除去率を高くすることができることが認められた。すなわち、バグフィルタ入口温度について、排ガス１００℃以下とすることが重要であると判明した。
【００４４】
次に、ＨＥＰＡフィルタについて検討した。ＨＥＰＡフィルタはダストを捕集した後、バグフィルタのように払落しガス噴射によってダストを払い落とすことができないため、フィルタへのダスト付着量が増加するにつれて、フィルタの圧力損失が徐々に増加する。ダスト付着量がある量（ダスト付着量の上限値）に達すると、排ガスの送気ができなくなる程度にまでフィルタ圧力損失が大きくなり、ＨＥＰＡフィルタの使用が不可能になる。このため、ＨＥＰＡフィルタの寿命は、ＨＥＰＡフィルタに導入する排ガスのダスト濃度によって決定され、ダスト濃度が低いほど寿命は長く、ダスト濃度が高いほど寿命は短くなる。
【００４５】
ＨＥＰＡフィルタのダスト付着量の上限値は３００ｇ／ｍ２程度であり、ＨＥＰＡフィルタに導入する排ガスのダスト濃度が０．１ｍｇ／Ｎｍ３〜３ｍｇ／Ｎｍ３の場合のそれぞれの概算推定寿命を表１に示す。この寿命推定結果から、ＨＥＰＡフィルタを適用する際に工業的に実現可能な最低限の寿命を半年以上とすると、少なくともＨＥＰＡフィルタに導入する排ガスのダスト濃度を０．５ｍｇ／Ｎｍ３以下に抑制する必要がある。
【００４６】
【表１】
2010230198.tif 000003
【００４７】
さらに、バグフィルタについてそのろ布の種類を選定すべく検討した。
【００４８】
すでに、バグフィルタ入口での排ガス温度は１００℃以下とすべきことが判明したので、１００℃の排ガスについて、どのようなろ布を用いれば、上記ＨＥＰＡフィルタの推定寿命を半年以上とするように、ダスト濃度を０．５ｍｇ／Ｎｍ３以下に抑制できるかの実験を行った。
【００４９】
さまざまな種類のろ布をバグフィルタに設置し、製鋼用電気炉排ガスを導入して除塵し、バグフィルタ出口でのダスト濃度を測定した。製鋼用電気炉排ガスにはダスト濃度が１０ｇ／Ｎｍ３程度含まれ、ろ過風速を１．５ｍ／ｓｅｃに設定し、バグフィルタ入口での排ガス温度を１００℃に冷却して、バグフィルタに導入した。結果を表２に示す。
【００５０】
【表２】
2010230198.tif 000004
【００５１】
表２に示すように、（ｉ）フッ素系樹脂で表面被覆したアラミド樹脂繊維および（ii  ）フッ素系樹脂で表面被覆したポリフェニレンサルファイド樹脂繊維のろ布を用いた場合に、バグフィルタ出口でのダスト濃度を０．５ｍｇ／Ｎｍ３以下に低減することができた。これに対し、その他のろ布では、バグフィルタ出口でのダスト濃度は０．５ｍｇ／Ｎｍ３以上となり、十分にダストを捕集することができなかった。したがって、バグフィルタのろ布としては、（ｉ），（ii）が好ましいことが判明した。
【００５２】
＜実施例＞
製鋼用電気炉排ガスを１００℃に冷却し、フッ素系樹脂で表面処理したアラミド樹脂繊維のろ布を用いたバグフィルタに導入して除塵し、除塵後の排ガスをＨＥＰＡフィルタへ導入してさらに除塵し、バグフィルタ入口、ＨＥＰＡフィルタ入口、ＨＥＰＡフィルタ出口における排ガス中のダスト濃度とダイオキシン類濃度を測定した。
【００５３】
表３に設定条件を示す。また表４にダイオキシン類及びダスト濃度の測定結果を示す。
【００５４】
【表３】
2010230198.tif 000005
【００５５】
【表４】
2010230198.tif 000006
【００５６】
表４より明らかなように、バグフィルタにＨＥＰＡフィルムルタを組み合わせることで、排ガス中のダイオキシン類濃度を０．００４１ｎｇ−ＴＥＱ／Ｎｍ３まで低減することができた。バグフィルタで除塵されＨＥＰＡフィルタに導入される排ガス中のダイオキシン類濃度が１．０ｎｇ−ＴＥＱ／Ｎｍ３であり、それが０．００４１ｎｇ−ＴＥＱ／Ｎｍ３にまで低減されることから、ＨＥＰＡフィルタによる微細ダスト捕集が、ダイオキシン類の低減に非常に効果があることが確認できた。
【００５７】
また、バグフィルタのろ布にフッ素系樹脂で表面被覆したアラミド樹脂繊維を用いることで、ＨＥＰＡフィルタに導入する排ガス中のダスト濃度を０．２ｍｇ／Ｎｍ３まで低減できることが確認でき、このろ布を用いたバグフィルタを適用することによりＨＥＰＡフィルタの寿命を長期間維持できることも確認できた。
【００５８】
ＨＥＰＡフィルタの下流側に、活性炭吸着装置や触媒分解装置などを設けることにより、ガス状の有害物質（窒素酸化物、酸性ガス、揮発性有機化合物など）や臭気成分（メタン、アンモニア、硫黄化合物など）も、吸着または分解により除去することもできる。本発明により、微細なダストまでも除去されているので、活性炭や触媒などによる除去効率を高くしたり、寿命を長くできる効果も見込まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
製鋼用電気炉を排ガス処理する産業分野で利用可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１  熱処理装置（製鋼用電気炉）
３  冷却塔
４  バグフィルタ
５  ＨＥＰＡフィルタ
【図１】
2010230198.tif 000007
【図２】
2010230198.tif 000008
【図３】
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