(57)【要約】      （修正有）【課題】リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除できる処理治具用の収納ケースを提供する。【解決手段】半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを収納する収納ケースと、収納ケースの開口した前後面を開閉する一対の蓋体２０とを備え、各蓋体２０を、収納ケースの前後面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体２１と、カバー体２１の収納ケースの前後面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納されたリングフレームの周縁端部を挟持する複数の挟持リブと、カバー体２１の対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、リングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁２５とを備える。複数の挟持リブの両側部を膨出壁２５方向に円弧形に伸長形成して各膨出壁２５の側部２６とし、複数の挟持リブの両側部をリングフレーム２の周縁端部からその両側の間に沿わせる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載する処理治具のリングフレームを収納する収納ケースと、この収納ケースの開口面を開閉する蓋体とを備えた処理治具用の収納ケースであって、
蓋体は、収納ケースの開口面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体と、このカバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部を挟み持つ複数の挟持突部と、カバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁とを含み、
複数の挟持突部の両側部を隣接する膨出壁方向にそれぞれ略円弧形に伸長形成して各膨出壁の側部とし、この複数の挟持突部の両側部を収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部からその両側の間に沿わせるようにしたことを特徴とする処理治具用の収納ケース。
【請求項２】
蓋体は、カバー体の周壁の内面に突出形成されて収納ケースの開口面外周に接触する複数の脱落防止突部を含んでなる請求項１記載の処理治具用の収納ケース。
【請求項３】
蓋体を、ポリエチレンテレフタレートあるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して真空成形した請求項１又は２記載の処理治具用の収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる各種の基板を搭載する処理治具のリングフレーム収納用の収納ケースを蓋体により開閉する処理治具用の収納ケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハは半導体パッケージの製造時にダイシング用テープフレームと呼ばれる処理治具に搭載されるが、この処理治具は一般的に収納ケースに保管して搬送されたり、工場間を輸送される。この処理治具用の収納ケースは、図示しないが、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを水平に整列収納する収納ケースと、この収納ケースの開口した前後面をそれぞれ着脱自在に開閉するフラットな蓋体とを備えて構成されている（特許文献１、２、３参照）。
【特許文献１】特開２００７‐２０７４０４号公報
【特許文献２】特開２００７‐２９４３０３号公報
【特許文献３】特開２００８‐０１６０２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来における処理治具用の収納ケースは、以上のように構成され、収納ケースの開口した前後面を剛性に欠ける蓋体により単に開閉するので、搬送時や輸送時に収納されたリングフレームがばたついたり、振動して収納ケースと擦れ、汚染源となる異物を発生させたり、半導体ウェーハを損傷させてしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は上記に鑑みなされたもので、リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除することのできる処理治具用の収納ケースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を搭載する処理治具のリングフレームを収納する収納ケースと、この収納ケースの開口面を開閉する蓋体とを備えたものであって、
蓋体は、収納ケースの開口面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体と、このカバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部を挟み持つ複数の挟持突部と、カバー体の収納ケースの開口面に対向する対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁とを含み、
複数の挟持突部の両側部を隣接する膨出壁方向にそれぞれ略円弧形に伸長形成して各膨出壁の側部とし、この複数の挟持突部の両側部を収納ケースに収納されたリングフレームの周縁端部からその両側の間に沿わせるようにしたことを特徴としている。
【０００６】
なお、収納ケースの両側壁に、リングフレームを支持する一対の支持片を設け、この一対の支持片を側壁の上下方向に所定のピッチで複数配列形成し、上下方向に隣接する支持片と支持片との間に、リングフレーム用の挿入溝を区画し、支持片の下面後部には、リングフレームの周縁側部の後方に対向するストッパを形成するとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成することができる。
【０００７】
また、蓋体は、カバー体の周壁の内面に突出形成されて収納ケースの開口面外周に接触する複数の脱落防止突部を含むと良い。
また、蓋体を、ポリエチレンテレフタレートあるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して真空成形することができる。
【０００８】
ここで、特許請求の範囲における基板には、φ２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍの半導体ウェーハ、液晶基板、ガラス板、マスクガラス等が含まれる。処理治具は、リングフレームに基板を搭載した治具でも良いし、そうでなくても良い。収納ケースと蓋体とは、収納した処理治具を視認できるよう透明が好ましいが、何らこれに限定されるものではなく、不透明や半透明でも良い。
【０００９】
本発明によれば、複数の挟持突部の両側部が伸びて膨出壁の側部と立体的に一体化し、蓋体を補強してその強度を増大させるので、収納ケースに収納された処理治具のリングフレームがばたついたり、振動して収納ケースと擦れることが少ない。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除することができるという効果がある。
また、蓋体に、カバー体の周壁の内面に突出形成されて収納ケースの開口面外周に接触する複数の脱落防止突部を含めば、収納ケースから蓋体が抜けにくくなり、蓋体が収納ケースから脱落するのを有効に防ぐことができる。
【００１１】
また、蓋体を、ポリエチレンテレフタレート、あるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して真空成形すれば、優れた寸法安定性や耐候性等を得ることができる。また、部分的なデザイン変更が簡易となり、小ロット化にも簡単に対応することができ、さらには、静電気対策や軽量化が容易になり、射出成形に比べて蓋体を安価に製造することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明に係る処理治具用の収納ケースの好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における処理治具用の収納ケースは、図１ないし図８に示すように、半導体ウェーハＷを搭載する処理治具１のリングフレーム２を収納する透明の収納ケース１０と、この収納ケース１０の開口した前後面をそれぞれ開閉する一対の蓋体２０とを備え、各蓋体２０を、カバー体２１、複数の挟持リブ２４、及び一対の膨出壁２５から形成し、複数の挟持リブ２４の両側部を円弧形に伸長形成して各膨出壁２５の側部２６とし、この複数の挟持リブ２４の両側部を収納されたリングフレーム２の周縁端部からその両側の間に沿わせて面接触させるようにしている。
【００１３】
半導体ウェーハＷは、図２に示すように、例えば薄く丸くスライスされたφ２００ｍｍのシリコンウェーハからなり、周縁部には位置合わせ用の平面略半形のノッチが選択的に切り欠かれる。
【００１４】
処理治具１は、図１や図２に示すように、例えば半導体ウェーハＷを収容可能なＳＵＳ製あるいは樹脂製の中空のリングフレーム２を備え、このリングフレーム２の裏面には、中空を下方から覆う粘着層３が着脱自在に粘着されており、この粘着層３に収容された半導体ウェーハＷが着脱自在に粘着保持される。このリングフレーム２は、その周縁前端部の両側に切り欠き４がそれぞれ平面略三角形に形成され、後部表面の中央には、移動体識別用のＲＦＩＤタグ５が粘着される。
【００１５】
収納ケース１０は、図１、図３、図４に示すように、リングフレーム２よりも大きい底板１１と、この底板１１に複数のリングフレーム２の収容空間をおいて上方から相対向する同形の天板１３と、これら底板１１と天板１３との両側部間を縦に連結する左右一対の側壁１４とを備えて前後面がそれぞれ横長の矩形に開口した箱形に構成され、半導体ウェーハＷを搭載した処理治具１のリングフレーム２、あるいは半導体ウェーハＷを搭載しないリングフレーム２を図示しないロボットを介して水平に複数枚（例えば、１３枚や２５枚等）整列収納するよう機能する。
【００１６】
底板１１、天板１３、及び一対の側壁１４は、例えばポリカーボネート等の樹脂を含む成形材料を使用して射出成形され、ビス等の締結具を用いて組み立てられる。底板１１の内面前端部には、下方のリングフレーム２の出し入れに資する矩形の切り欠き部１２が切り欠かれ、一対の側壁１４の上部前方間と上部後方間とには、握持操作用のハンドル１５がそれぞれ起伏可能に軸支される。
【００１７】
一対の側壁１４の内面には、リングフレーム２の両側部を略水平に支持する一対の支持片１６がそれぞれ対設され、この一対の支持片１６が側壁１４の上下方向に所定のピッチで複数配列形成されており、各支持片１６が収納ケース１０の前後方向に伸びる細長い板に形成される。各側壁１４の上下方向において隣接する支持片１６と支持片１６との間には、リングフレーム２用の挿入溝１７が区画形成され、各挿入溝１７が収納ケース１０の前後方向に伸び、かつリングフレーム２の厚さ以上の高さ（幅）を有する溝とされる。
【００１８】
支持片１６の下面後部には図４に示すように、リングフレーム２の周縁側部の後方に干渉・対向して位置決めするストッパ１８が一体形成され、ストッパ１８の側面には、下方の支持片１６に向かうに従い徐々に狭まる傾斜面１９が滑らかに形成されており、この傾斜面１９がリングフレーム２の後部表面に隙間をおいて対向する。
【００１９】
各蓋体２０は、静電気対策やコスト削減等の観点からポリエチレンテレフタレートあるいはポリスチレンを含む成形材料を使用して透明に真空成形される。この蓋体２０のカバー体２１は、図４ないし図８に示すように、収納ケース１０の開口した前面あるいは後面に対応する横長の矩形、かつ断面略皿形に形成され、収納ケース１０の開口した前後面に着脱自在に密嵌されて収納ケース１０に対する異物の外部からの流入を防止する。
【００２０】
カバー体２１の周壁２２は、正面略枠形に形成されて複数の挟持リブ２４、及び一対の膨出壁２５を包囲し、両側部の内面上下には、収納ケース１０の前後面の外周に圧接する小判形の脱落防止リブ２３がそれぞれ複数突出形成されており、この複数の脱落防止リブ２３が蓋体２０の収納ケース１０からの落下を防止するよう機能する。
【００２１】
複数の挟持リブ２４は、カバー体２１の収納ケース１０の前後面に対向する対向面の中央部上下方向に所定のピッチで配列形成されて一対の膨出壁２５の間に介在し、各挟持リブ２４が左右水平方向に細長い断面略山形に形成されており、収納ケース１０に収納されたリングフレーム２の周縁端部を上下方向から挟持してリングフレーム２のばたつきや振動を防止するよう機能する。
【００２２】
一対の膨出壁２５は、カバー体２１の収納ケース１０の前後面に対向する対向面の両側部にそれぞれ一体的に膨出形成されて複数の挟持リブ２４の両側に隣接し、各膨出壁２５が縦長の矩形に形成されて蓋体２０の強度を高めており、収納ケース１０に収納されたリングフレーム２の周縁端部の両側に圧接してリングフレーム２のばたつきや振動を防止する。
【００２３】
各膨出壁２５の側部２６は、図５ないし図７に示すように、隣接する複数の挟持リブ２４の円弧形に湾曲伸長した側部と立体的に一体化され、収納ケース１０に収納されたリングフレーム２の周縁端部からその両側の間に沿って面接触で圧接するとともに、蓋体２０に剛性を付与する。換言すれば、複数の挟持リブ２４の両側部は、隣接する膨出壁２５方向にそれぞれ円弧形に湾曲伸長して各膨出壁２５の曲がった側部２６とされ、膨出壁２５と一体化して蓋体２０の撓みや変形を抑制するよう機能する。
【００２４】
上記において、収納ケース１０に処理治具１のリングフレーム２を収納する場合には、先ず、収納ケース１０に処理治具１のリングフレーム２を前方からロボットにより挿入すれば良い。すると、収納ケース１０の挿入溝１７にリングフレーム２が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片１６にリングフレーム２の両側部が下方から水平に支持され、ストッパ１８の傾斜面１９にリングフレーム２が案内されて接触・停止し、これらにより、収納ケース１０内に処理治具１のリングフレーム２が適切に位置決め収納されることとなる。
【００２５】
収納ケース１０内に処理治具１のリングフレーム２が適切に収納されると、収納ケース１０の開口した前後面に蓋体２０がそれぞれ手動操作で嵌合され、各蓋体２０の複数の挟持リブ２４がリングフレーム２の周縁端部を上下方向から挟持してその動きや不揃いを規制し、搬送時や輸送時におけるリングフレーム２のばたつきや振動が防止される。この際、蓋体２０の複数の挟持リブ２４の両側部や一対の膨出壁２５は、リングフレーム２の周縁端部からその両側に亘って面接触する。
【００２６】
上記構成によれば、複数の挟持リブ２４の両側部を立体的に伸長して各膨出壁２５の側部２６と一体化し、蓋体２０の強度を増大させてその撓みや変形を防止するので、搬送時や輸送時に収納されたリングフレーム２がばたついたり、振動して収納ケース１０と擦れることがない。したがって、汚染源となる異物の発生を抑制し、半導体ウェーハＷの損傷を未然に防止することができる。
【００２７】
また、支持片１６のストッパ１８がリングフレーム２の後部を規制するので、挿入されたリングフレーム２の位置ずれやがたつきを有効に防止することができる。さらに、ストッパ１８の傾斜面１９が挿入溝１７の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレーム２のがたつきを防ぐことができ、半導体ウェーハＷの損傷防止が大いに期待できる。
【００２８】
なお、上記実施形態では収納ケース１０の前後面をそれぞれ開口させたが、収納ケース１０の前面のみを開口させても良い。また、底板１１の内面前端部に切り欠き部１２を切り欠いたが、底板１１の内面後端部に、下方のリングフレーム２の出し入れに資する矩形の切り欠き部１２を切り欠いても良い。また、支持片１６を細長い平板に形成するのではなく、支持片１６を略Ｊ字形等の板に形成しても良い。さらに、周壁２２の上下部の内面両側に、収納ケース１０の前後面の外周に圧接する脱落防止リブ２３をそれぞれ突出形成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図２】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における処理治具を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図４】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における収納ケースの内部を模式的に示す説明図である。
【図５】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す説明図である。
【図７】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体を模式的に示す平面説明図である。
【図８】本発明に係る処理治具用の収納ケースの実施形態における蓋体の周壁内面を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１        処理治具
２        リングフレーム
１０      収納ケース
１４      側壁
１６      支持片
１７      挿入溝
１８      ストッパ
１９      傾斜面
２０      蓋体
２１      カバー体
２２      周壁
２３      脱落防止リブ（脱落防止突部）
２４      挟持リブ（挟持突部）
２５      膨出壁
２６      側部
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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