(57)【要約】【課題】外周壁近傍のセルを構成する隔壁の欠陥箇所を感度良く検出するハニカム構造体欠陥検査装置及びハニカム構造体欠陥検査方法を提供する。【解決手段】ハニカム構造体に対し、検知媒体２１にセル１２内を通過させるための圧力を加えながら、一方の端面１５ａからセル１２内に検知媒体２１を導入するとともに、セル１２内を通過して他方の面１５ｂから排出される検知媒体２１を検出し、検知媒体２１の動態から欠陥のある隔壁１３により構成されるセル１２を識別する欠陥検知手段２と、圧力が外周壁１４から漏出するのを抑えながら検知媒体２１を他方の端面１５ｂに向かって流すための圧力を維持させ、外周壁１４近傍の欠陥のない隔壁１３により構成されるセルでの検知媒体２１の排出が保たれるように、外周壁１４を被覆する外周壁被覆手段３と、を備えるハニカム構造体欠陥検査装置１を用いる。【選択図】図４
2010230460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に貫通する複数のセルを形成するように配置された隔壁により構成されるセル構造部と、前記セル構造部の外周に配置されている外周壁とを有するハニカム構造体に対して、
前記セル内を通過させて前記セルを構成する前記隔壁の欠陥を検知する検知媒体に圧力を加えながら、前記軸方向の一方の端面から前記セル内に前記検知媒体を導入するとともに、前記セル内を通過して他方の端面から排出される前記検知媒体を検出し、前記他方の端面において前記セルから排出される前記検知媒体の動態から、欠陥のある前記隔壁により構成される前記セルを識別する欠陥検知手段と、
前記圧力が前記外周壁から漏出するのを抑えながら前記セル内における前記検知媒体を前記他方の端面に向かって流すための前記圧力を維持させ、前記他方の端面における前記外周壁近傍での欠陥のない前記隔壁により構成される前記セルからの前記検知媒体の排出が十分に保たれるように、前記外周壁の３５％以上を被覆する外周壁被覆手段と、を備えるハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項２】
前記外周壁被覆手段は、前記検知媒体が排出される前記他方の端面の側半分の前記外周壁を被覆する割合と比較して、前記検知媒体が導入される前記一方の端面の側半分の前記外周壁を被覆する割合が大きくなるように、前記外周壁を被覆する請求項１に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項３】
前記外周壁被覆手段は、前記外周壁の形状に合わせて変形可能な１又は２以上の弾性体を有し、前記弾性体を前記外周壁に密着させて前記外周壁を被覆する請求項１又は２に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項４】
前記外周壁被覆手段は、１又は２以上の前記弾性体を有し、前記弾性体の端部を同じ前記弾性体の他部又は他の前記弾性体の一部に接触させることにより、内側に収容空間を有する環状の弾性環状体を形成するように設けられ、
前記弾性環状体が、前記ハニカム構造体を前記収容空間に収めつつ前記弾性体を前記外周壁に密着させて前記外周壁を被覆する請求項３に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項５】
前記弾性環状体は、前記弾性体の前記端部が、前記同じ弾性体又は前記他の弾性体における接触させる部分を変更することにより、前記収容空間の大きさ、及び前記弾性体が前記外周壁に密着する強さを調節しながら、前記ハニカム構造体を前記収容空間に収めて前記外周壁を被覆する請求項４に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項６】
前記弾性環状体は、前記端部に凸部及び凹部が設けられている１又は２以上の前記弾性体を有し、前記弾性体の端部が同じ前記弾性体の端部又は他の前記弾性体の端部と合わせると共に、前記弾性体の合わせられている前記端部同士のうち、一方の側の前記端部にある前記凸部を、他方の側の前記端部にある凹部に挿通させて環状に形成され、
さらに前記弾性環状体は、前記凹部に挿通される前記凸部の深さを変化させることにより、前記収容空間の大きさ、及び前記弾性体が前記外周壁に密着する強さを調節しながら、前記ハニカム構造体を前記収容空間に収めて前記外周壁を被覆する請求項４に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項７】
前記外周壁被覆手段は、前記外周壁と密着させる表面に対して反対側にある表面が剛体により裏打ちされている前記弾性体を有する請求項３〜６のいずれか一項に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【請求項８】
軸方向に貫通する複数のセルを形成するように配置された隔壁により構成されるセル構造部と、前記セル構造部の外周に配置されている外周壁とを有するハニカム構造体に対して、
前記セル内を通過させて前記セルを構成する前記隔壁の欠陥を検知する検知媒体に圧力を加えながら、前記軸方向の一方の端面から前記セル内に前記検知媒体を導入するとともに、前記セル内を通過して他方の端面から排出される前記検知媒体を検出し、前記他方の端面において前記セルから排出される前記検知媒体の動態から、欠陥のある前記隔壁により構成される前記セルを識別する検知工程と、
前記圧力が前記外周壁から漏出するのを抑えながら前記セル内における前記検知媒体を前記他方の端面に向かって流すための前記圧力を維持させ、前記他方の端面における前記外周壁近傍での欠陥のない前記隔壁により構成される前記セルからの前記検知媒体の排出が十分に保たれるように、前記外周壁の３５％以上を被覆する外周壁被覆工程と、を有するハニカム構造体欠陥検査方法。
【請求項９】
前記外周壁被覆工程は、外周壁に前記外周壁の形状に合わせて変形可能な１又は２以上の弾性体を前記外周壁に密着させて前記外周壁を被覆する請求項８に記載のハニカム構造体欠陥検査方法。
【請求項１０】
前記検知工程と前記外周壁被覆工程とを同時に行う請求項８又は９に記載のハニカム構造体欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、正常なハニカム構造体であれば存在しない、ハニカム構造体の細孔径に比して大きな孔やひび割れ、すなわちハニカム構造体の欠陥の有無を検査するために用いられるハニカム構造体欠陥装置、及びハニカム構造体欠陥検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディーゼルエンジン等が排出する排気ガス中には、スート（カーボン黒鉛）等からなるパティキュレートマター（微粒子状物質：以下、「ＰＭ」）が多量に含まれ、ＰＭは大気汚染の原因となる。ディーゼルエンジン等の排気系統には、ＰＭを捕集するためにディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）が搭載されている。
【０００３】
ＤＰＦには、例えば、セラミックスからなる目封止ハニカム構造体がある（例えば、特許文献１参照）。まず、目封止ハニカム構造体は、軸方向に貫通する複数のセルを形成するように配置された隔壁により構成されるセル構造部とセル構造部の外周に配置されている外周壁とを有するハニカム構造体からなる。目封止ハニカム構造体は、このハニカム構造体のセルの一方の端部が目封止部によって封止されている。目封止ハニカム構造体では、入口側に目封止部のないセルには、出口側に目封止部があり、入口側に目封止部があるセルには出口側に目封止部がない。そして、目封止部は、目封止ハニカム構造体の端面から見ると、市松模様に配置される。このような目封止部の配置によって、目封止ハニカム構造体では、被処理ガスが、入口側からセル内に流入した後、ＰＭを捕集されながら、セル間を仕切るセラミックス多孔質の隔壁を通過し、別のセルの出口側から排出される。
【０００４】
ＤＰＦとして用いる目封止ハニカム構造体において、大きな孔やひび割れなど欠陥箇所がある隔壁は、ＰＭが欠陥箇所から隔壁を通過してしまうため、ＰＭの捕集する機能を損ねる。また、ＤＰＦには、所定のサイズ、形状を持つ目封止ハニカム構造体が複数結合されているものもある。このタイプのＤＰＦでは、１つの目封止ハニカム構造体のセグメントの隔壁に欠陥があるときにはＤＰＦ全体が不良品となるため、このＤＰＦに含まれる残余の正常な目封止ハニカム構造体のセグメントが無駄となってしまう。これら事情から理解されるように、目封止ハニカム構造体の隔壁における、大きな孔やひび割れなどの欠陥箇所の有無は、目封止ハニカム構造体の機能、及び生産性の観点から重要である。したがって、今日に至るまで、目封止ハニカム構造体の隔壁の欠陥検査には、多くの技術が開発されている。
【０００５】
特許文献２には、目封止ハニカム構造体に対して、微粒子を一端からセル内に導入し、隔壁を通過して、他端において導入されたセル以外のセル端部から排出される微粒子の様子を観察することにより、隔壁の欠陥箇所の有無を検査する方法が開示されている。この検査方法によると、ある隔壁に大きな孔やひび割れなど欠陥箇所があるとき、この欠陥箇所のある隔壁から構成されるセルは、正常な隔壁から構成されるセルとは異なる状態にて微粒子を排出する。特許文献３には、上述の微粒子に代わり、水粒子を目封止ハニカム構造体のセル内に導入ことにより、隔壁の欠陥箇所の有無を検査する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２６９５８５号公報
【特許文献２】特開２００２−３５７５６２号公報
【特許文献３】特開２００４−２８６７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献２及び３の検査方法では、目封止ハニカム構造体の外周壁近傍の隔壁については欠陥箇所の検出感度が良くない。目封止ハニカム構造体の外周壁も多孔性のセラミックスからなるため、微粒子又は水粒子をセル内に通過させるための圧力が外周壁から漏出し、外周壁近傍のセルは、正常の隔壁から構成されるものでも微粒子又は水粒子の排出量が低下する。そのため、外周壁近傍において、正常の隔壁から構成されるセルと欠陥箇所のある隔壁から構成されるセルとの間には、微粒子又は水粒子の排出量に明確な差が生じず、欠陥箇所の有無の判断が困難になる。
【０００８】
上記の問題に鑑みて、本発明の課題は、外周壁近傍のセルを構成する隔壁の欠陥箇所を感度良く検出するハニカム構造体欠陥検査装置、及びハニカム構造体欠陥検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明者は、鋭意検討した結果、ハニカム構造体の外周壁からの圧力の漏出を抑える方法を見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明によれば、以下に示す、ハニカム構造体欠陥検査装置、及びハニカム構造体欠陥検査方法が提供される。
【００１０】
［１］  軸方向に貫通する複数のセルを形成するように配置された隔壁により構成されるセル構造部と、前記セル構造部の外周に配置されている外周壁とを有するハニカム構造体に対して、前記セル内を通過させて前記セルを構成する前記隔壁の欠陥を検知する検知媒体に圧力を加えながら、前記軸方向の一方の端面から前記セル内に前記検知媒体を導入するとともに、前記セル内を通過して他方の端面から排出される前記検知媒体を検出し、前記他方の端面において前記セルから排出される前記検知媒体の動態から、欠陥のある前記隔壁により構成される前記セルを識別する欠陥検知手段と、前記圧力が前記外周壁から漏出するのを抑えながら前記セル内における前記検知媒体を前記他方の端面に向かって流すための前記圧力を維持させ、前記他方の端面における前記外周壁近傍での欠陥のない前記隔壁により構成される前記セルからの前記検知媒体の排出が十分に保たれるように、前記外周壁の３５％以上を被覆する外周壁被覆手段と、を備えるハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１１】
［２］  前記外周壁被覆手段は、前記検知媒体が排出される前記他方の端面の側半分の前記外周壁を被覆する割合と比較して、前記検知媒体が導入される前記一方の端面の側半分の前記外周壁を被覆する割合が大きくなるように、前記外周壁を被覆する前記［１］に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１２】
［３］  前記外周壁被覆手段は、前記外周壁の形状に合わせて変形可能な１又は２以上の弾性体を有し、前記弾性体を前記外周壁に密着させて前記外周壁を被覆する前記［１］又は［２］に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１３】
［４］  前記外周壁被覆手段は、１又は２以上の前記弾性体を有し、前記弾性体の端部を同じ前記弾性体の他部又は他の前記弾性体の一部に接触させることにより、内側に収容空間を有する環状の弾性環状体を形成するように設けられ、前記弾性環状体が、前記ハニカム構造体を前記収容空間に収めつつ前記弾性体を前記外周壁に密着させて前記外周壁を被覆する前記［３］に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１４】
［５］  前記弾性環状体は、前記弾性体の前記端部が、前記同じ弾性体又は前記他の弾性体における接触させる部分を変更することにより、前記収容空間の大きさ、及び前記弾性体が前記外周壁に密着する強さを調節しながら、前記ハニカム構造体を前記収容空間に収めて前記外周壁を被覆する前記［４］に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１５】
［６］  前記弾性環状体は、前記端部に凸部及び凹部が設けられている１又は２以上の前記弾性体を有し、前記弾性体の端部が同じ前記弾性体の端部又は他の前記弾性体の端部と合わせると共に、前記弾性体の合わせられている前記端部同士のうち、一方の側の前記端部にある前記凸部を、他方の側の前記端部にある凹部に挿通させて環状に形成され、さらに前記弾性環状体は、前記凹部に挿通される前記凸部の深さを変化させることにより、前記収容空間の大きさ、及び前記弾性体が前記外周壁に密着する強さを調節しながら、前記ハニカム構造体を前記収容空間に収めて前記外周壁を被覆する前記［４］に記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１６】
［７］  前記外周壁被覆手段は、前記外周壁と密着させる表面に対して反対側にある表面が剛体により裏打ちされている前記弾性体を有する前記［３］〜［６］のいずれかに記載のハニカム構造体欠陥検査装置。
【００１７】
［８］  軸方向に貫通する複数のセルを形成するように配置された隔壁により構成されるセル構造部と、前記セル構造部の外周に配置されている外周壁とを有するハニカム構造体に対して、前記セル内を通過させて前記セルを構成する前記隔壁の欠陥を検知する検知媒体に圧力を加えながら、前記軸方向の一方の端面から前記セル内に前記検知媒体を導入するとともに、前記セル内を通過して他方の端面から排出される前記検知媒体を検出し、前記他方の端面において前記セルから排出される前記検知媒体の動態から、欠陥のある前記隔壁により構成される前記セルを識別する検知工程と、前記圧力が前記外周壁から漏出するのを抑えながら前記セル内における前記検知媒体を前記他方の端面に向かって流すための前記圧力を維持させ、前記他方の端面における前記外周壁近傍での欠陥のない前記隔壁により構成される前記セルからの前記検知媒体の排出が十分に保たれるように、前記外周壁の３５％以上を被覆する外周壁被覆工程と、を有するハニカム構造体欠陥検査方法。
【００１８】
［９］  前記外周壁被覆工程は、外周壁に前記外周壁の形状に合わせて変形可能な１又は２以上の弾性体を前記外周壁に密着させて前記外周壁を被覆する前記［８］に記載のハニカム構造体欠陥検査方法。
【００１９】
［１０］  前記検知工程と前記外周壁被覆工程とを同時に行う前記［８］又は［９］に記載のハニカム構造体欠陥検査方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のハニカム構造体欠陥検査装置は、外周壁近傍のセルを構成する隔壁の欠陥箇所を感度良く検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１Ａ】四角柱状の目封止ハニカム構造体の斜視図である。
【図１Ｂ】円柱状の目封止ハニカム構造体の斜視図である。
【図２】本発明のハニカム構造体欠陥検査装置により目封止ハニカム構造体の欠陥の有無を検査する様子を模式的に表す側面図であり、検査対象である目封止ハニカム構造体の輪郭が破線にて透視されている図である。
【図３】図２に示すハニカム構造体欠陥検査装置において、検知媒体がセルから排出される様子を目封止ハニカム構造体の端面の正面からみた図である。
【図４】図２に示すハニカム構造体欠陥検査装置が目封止ハニカム構造体の欠陥を検出する様子を模式的に表し、図３中のＡ−Ａ’断面を含むように表されている図である。
【図５】目封止ハニカム構造体の外周壁近傍の一部断面図であり、外周壁からの圧力の漏出を説明するための図である。
【図６】図５の一部断面図に示す目封止ハニカム構造体について、外周壁被覆手段である弾性体により外周壁を被覆し、外周壁からの圧力の漏出を抑制する様子を模式的に表す図である。
【図７】剛体により裏打ちされている弾性体２つから構成される弾性環状体の斜視図である。
【図８】図７に示す弾性環状体が、収容空間に目封止ハニカム構造体を収め、目封止ハニカム構造体の外周壁を被覆している様子を表す斜視図である。
【図９】４つの弾性体から構成される弾性環状体の斜視図である。
【図１０】図９に示す弾性環状体が、収容空間に目封止ハニカム構造体を収め、目封止ハニカム構造体の外周壁を被覆している様子を表す斜視図である。
【図１１】図９に示す弾性環状体が目封止ハニカム構造体を収容空間に収めている様子を表す平面図である。
【図１２】図９に示す弾性環状体が、図１１に示すものより大きい目封止ハニカム構造体を収容空間に収めている様子を表す平面図である。
【図１３】端部に凸部と凹部を有する２つの弾性体から構成される、弾性環状体の斜視図である。
【図１４】図１３に示す弾性環状体が、収容空間に目封止ハニカム構造体を収め、目封止ハニカム構造体の外周壁を被覆している様子を表す斜視図である。
【図１５】図１３に示す弾性環状体が目封止ハニカム構造体を収容空間に収めている様子を表す平面図である。
【図１６】図１３に示す弾性環状体が、図１５に示すものより大きい目封止ハニカム構造体を収容空間に収めている様子を表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、変更、修正、改良を加え得るものである。
【００２３】
本発明のハニカム構造体欠陥検査装置は、目封止ハニカム構造体のセル内に検知媒体を導入して、セル内にて検知媒体が隔壁を通過させるようにし、隔壁を通過した検知媒体が導入されたセル以外のセルの端部から排出される状態を観察することにより、隔壁に大きな孔やひび割れなどの欠陥箇所があるか否かを検査するものである。本発明のハニカム構造体欠陥検査装置では、ハニカム構造体の外周壁を被覆する形態を備えることにより、従来のハニカム構造体欠陥検査装置で問題とされていた、ハニカム構造体の外周壁近傍のセルを構成する隔壁についての欠陥の有無を識別する感度が向上されている。
【００２４】
図１Ａは、四角柱状の目封止ハニカム構造体１１の斜視図であり、図１Ｂは、円柱状の目封止ハニカム構造体１１の斜視図である。目封止ハニカム構造体１１は、軸方向１９に貫通する複数のセル１２を形成するように配置された隔壁１３により構成されるセル構造部と、セル構造部の外周に配置される外周壁１４とを有する。さらに、目封止ハニカム構造体１１では、セル１２の一方の端部が目封止部１６によって封止されている。目封止部１６は、目封止ハニカム構造体の端面１５から見ると、市松模様に配置されている。
【００２５】
１．本発明のハニカム構造体欠陥検査装置の基本的な実施形態：
図２は、本発明の技術的範囲に属するハニカム構造体欠陥検査装置１が目封止ハニカム構造体１１の欠陥の有無を検査する様子を側面から見た図である。この図では、外周壁被覆手段３により外周壁１４が被覆されている目封止ハニカム構造体１１の輪郭が破線にて透視されている。本発明のハニカム構造体欠陥検査装置１は、欠陥検知手段２と外周壁被覆手段３とを備える。
【００２６】
１−１．欠陥検知手段：
欠陥検知手段２は、目封止ハニカム構造体１１のセル１２内に検知媒体２１を通過させ、目封止部１６のないセル１２の端部から排出される検知媒体２１の動態から、欠陥のある隔壁１３により構成されるセル１２を識別するものである。次に、参照する図の説明をした上で欠陥検知手段２について詳しく述べる。
【００２７】
図３は、図２に示すハニカム構造体欠陥検査装置１において、目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂにある目封止部１６がないセル１２の端部から、検知媒体２１が排出される様子を正面からみた図である。図４は、図２に示すハニカム構造体欠陥検査装置１が目封止ハニカム構造体１１の欠陥を検出する様子を模式的に表し、さらに図３中のＡ−Ａ’断面を含むように表されている。
【００２８】
図４を参照し述べると、まず、欠陥検知手段２は、検知媒体２１にセル１２内を通過させるための圧力を加えながら、軸方向１９における一方の端面１５ａから、目封止ハニカム構造体１１のセル１２内に検知媒体２１を導入する。図４に示す実施形態では、媒体導入部２２の載置面２６上に端面１５ａを合わせるようにして、目封止ハニカム構造体１１が置かれている。媒体導入部２２は、検知媒体２１に対して上向きの圧力を与えながら、端面１５ａからセル１２内に検知媒体２１を導入している。これにより、検知媒体２１は、一方の端面１５ａからセル１２内に導入され、次いで導入されたセル１２内にて隔壁１３を通過して隣のセル１２内に流れ、最後に他方の端面１５ｂから排出される。例えば、検知媒体２１は、端面１５ａからセル１２ｂ内に導入されたとき、隔壁１３ａ又は１３ｂを通過して、セル１２ａ又は１２ｃへ流入し、最終的に端面１５ｂから排出される。
【００２９】
欠陥検知手段２は、目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂに開口しているセル１２から排出される検知媒体２１を検出する。図４に示す実施形態では、媒体検知部２３が、端面１５ｂに開口しているセル１２ａ、及びセル１２ｃから排出される検知媒体２１の様子を検出する。図４に示す目封止ハニカム構造体１１では、セル１２ｃとセル１２ｄとを隔てる隔壁１３ｃに大きな孔２０、すなわち隔壁の欠陥２０がある。そのため、セル１２ｄを流れてきた検知媒体２１が、この孔２０からセル１２ｃへ多量に流れ込んでしまう。そのため、正常な隔壁１３から構成されるセル１２ａと比較し、セル１２ｃからは検知媒体２１が多量に排出される。このように、目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂにおける、検知媒体２１がセル１２から排出される動態を観察することにより、大きな孔２０など隔壁１３の欠陥の有無が識別できる。
【００３０】
例えば、検知媒体２１が光に対して散乱する性質をもつものとし、端面１５ｂから排出される検知媒体２１に光を照射して生じる散乱光をカメラが記録する媒体検知部２３を採用した場合を考える。この場合、図３のように目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂを正面からみると、セル１２ｃでは、検知媒体２１が多量に排出されるため、強い散乱光が観察される。したがって、正常なセル１２ａと比較し、散乱光が強いセル１２ｃには、これを構成する隔壁１３に欠陥があると判別できる。
【００３１】
隔壁１３の欠陥の有無を識別するために検出する「検知媒体の動態」の他の例として、例えばパーティクルカウンターを用いて排出される検知媒体２１の大きさ、粒子個数の経時的な比較、それらに基づいて排出量、濃度への換算、あるいはＬＤＶ（レーザドップラ流速計）による検知媒体２１が流れる速度等による判定や、散乱光の強度測定による輝度の判定、画像処理を用いた色の違いによる判定などを挙げることができる。
【００３２】
なお、本発明のハニカム構造体欠陥検知装置１において、欠陥検知手段２は、目封止ハニカム構造体１１のセル１２内に検知媒体２１を通過させ、目封止ハニカム構造体１１の端面１５においてセル１２の端部より排出される検知媒体２１の動態から、欠陥のある隔壁１３により構成されるセル１２を識別するものである限り、あらゆる形態のものが適用できる。検知媒体２１の具体的な形態についても同様である。
【００３３】
１−２．外周壁被覆手段：
外周壁被覆手段３は、目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４の一部又は全部を被覆し、セル１２内に検知媒体２１を流す圧力が外周壁１４から漏出するのを抑える。このように外周壁１４からの圧力の漏出が抑えられることにより、セル１２内での検知媒体２１の流れが維持され、外周壁１４近傍での欠陥の無い隔壁１３により構成される正常なセル１２の端部からの検知媒体２１の排出が十分に保たれる。
【００３４】
図５は、外周壁被覆手段３によって外周壁１４を被覆しない状態にて、目封止ハニカム構造体１１のセル１２内に検知媒体２１を導入している様子を模式的に表す。目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４がセラミックスなどの多孔性を有する材質からなるとき、検知媒体２１をセル１２内に流すための圧力は、外周壁１４から漏出してしまう。これにより、外周壁１４近傍のセル１２ｃでは、中心側のセル１２ａと比べて、検知媒体２１を流すための圧力が小さくなり、端面１５ｂからの検知媒体２１の排出が十分になされない。そのため、外周壁１４近傍のセル１２ｃでは、欠陥の無い隔壁１３から構成される正常な状態のときでも、端面１５ｂから排出される検知媒体２１が検知されにくくなり、隔壁１３での欠陥の有無の判別が難しくなる。
【００３５】
図６は、外周壁被覆手段３によって外周壁１４を被覆した状態にて、目封止ハニカム構造体１１のセル１２内に検知媒体２１を導入している様子を模式的に表す断面図である。外周壁被覆手段３が外周壁１４からの圧力の漏出を抑えるため、外周壁被覆手段３により被覆されている外周壁１４近傍のセル１２ｃでは、検知媒体２１を流すための圧力が、中心側のセル１２ａ及び１２ｂと同程度のレベルに保たれる。そのため、図６に示すセル１２ｃでは、端面１５ｂからの検知媒体２１の排出が十分になされる（図５及び図６それぞれのセル１２ｃを比較、並びに図６におけるセル１２ａとセル１２ｃとを比較）。外周壁被覆手段３により被覆されている、外周壁１４近傍のセル１２ｃでは、欠陥の無い隔壁１３から構成される正常な状態のときと、欠陥のある隔壁１３により構成される異常な状態のときとでは、端面１５ｂから排出される検知媒体２１の動態に差が生まれるため、隔壁１３の欠陥の有無の判別が可能になる。
【００３６】
なお、「外周壁１４近傍における、隔壁１３に欠陥のないセル１２からの検知媒体２１の排出が十分の保たれる」とは、欠陥検知手段２による検知媒体２１の検出感度にも依存する相対的なものである。例えば、欠陥検知手段２におる検知媒体２１の検出感度が低いとき、外周壁１４からの圧力の漏出を、外周壁被覆手段３が厳しく抑えていると、端面１５ｂからの検知媒体２１の排出が十分に保たれているといえる。対して、欠陥検知手段２におる検知媒体２１の検出感度が高いとき、外周壁１４からの圧力の漏出を、外周壁１４近傍での正常なセル１２から排出される検知媒体２１を欠陥検知手段２が検出できる程度まで、外周壁被覆手段３が抑えていれば、端面１５ｂからの検知媒体２１の排出が十分に保たれているといえる。本発明のハニカム構造体欠陥検査装置１は、あくまでも目封止ハニカム構造体１１のセル１２を構成する隔壁１３の欠陥の有無が判別できれば目的が達せられるからである。
【００３７】
２．外周壁被覆手段が外周壁を被覆する形態：
本発明のハニカム構造体欠陥検査装置１は、外周壁被覆手段３が、検査対象の目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４の全面積の３５％以上を被覆することが必須であり、外周壁１４の全面積の６０％以上を被覆すると好ましい。もちろん、本発明のハニカム構造体欠陥検査装置１では、外周壁１４からの圧力の漏出を抑制する効果が高くなるため、外周壁１４の全面積に対して、外周壁被覆手段３により被覆されている外周壁１４の面積の割合が増えるほど、より好ましい。
【００３８】
また、本発明のハニカム構造体欠陥検査装置１において、外周壁被覆手段３は、一部被覆の場合、検知媒体２１が排出される端面１５ｂの側半分の外周壁１４を被覆する割合と比較して、検知媒体２１が導入される端面１５ａの側半分の外周壁１４を被覆する割合が大きくなるように外周壁１４を被覆すると好ましい。このような形態では、セル１２内を通過させるために検知媒体２１に加わる圧力が、検知媒体２１が導入される端面１５ａ付近のセル１２内にて高く維持され、検知媒体２１が高い初速をもってセル１２内を通過し始める。そのため、この形態では、検知媒体２１が排出される端面１５ｂ付近の外周壁１４に若干の圧力の漏出があっても、検知媒体２１は、既に端面１５ｂに向かう流れに乗っているため、端面１５ｂにおいてセル１２の端部から排出されやすい。
【００３９】
３．弾性体により外周壁を被覆する外周壁被覆手段を備える実施形態：
本発明のハニカム構造体欠陥検査装置１において、外周壁被覆手段３は、検査対象である目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４の形状に合わせて変形可能な１又は２以上の弾性体３１を有し、この弾性体３１を外周壁１４に密着させて外周壁１４を被覆する形態であると好ましい。
【００４０】
目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４は、製品としては許容範囲内にある反りや曲がりその他の変形を生じているときがある。外周壁１４に反りが生じた目封止ハニカム構造体１１を検査対象に含むときであっても、外周壁被覆手段３が反りや曲がりのある外周壁１４の形状に合わせて変形可能な弾性体３１を有し、この弾性体３１が外周壁１４を被覆する形態であるならば、外周壁１４からの圧力の漏出は確実に抑えられる。
【００４１】
外周壁１４を被覆するために外周壁被覆手段３に設けられる弾性体３１は、外周壁１４からの圧力漏出を抑える作用を発揮させるために、通気性のない材質からなることが好ましい。例えば、シリコン、テフロン、あめゴム、及びニトリルなどならなる合成樹脂系の素材からなる弾性体３１を挙げることができる。
【００４２】
また、弾性体３１は、発泡性あるいは多孔性の部材からなるものでもよいが、これら部材を用いるときには、外周壁被覆手段３によって外周壁１４から漏出する圧力を抑えられるように、密封性の高いフィルムなどにより弾性体３１表面などをカバーしておくことが望ましい。
【００４３】
３−１．弾性環状体により外周壁を被覆する実施形態：
３−１−１．弾性環状体の基本的な形態：
図７は、外周壁被覆手段３の一実施形態の斜視図を表す。図７を参照しつつ述べると、外周壁被覆手段３は、１又は２以上の弾性体３１を有し、弾性体３１の端部３２を同じ弾性体３１の他部又は他の弾性体３１の一部に接触させることにより、内側に収容空間３９を有する環状の弾性環状体４０を形成する形態にもできる。
【００４４】
図８は、図７に示す弾性環状体４０が、収容空間３９内に目封止ハニカム構造体１１を収めている様子を表す。この図に表されるように、環状弾性体４０を設ける外周壁被覆手段３は、収容空間３９内にハニカム構造体１１を収めながら弾性体３１を外周壁４１に密着させることにより、外周壁１４被覆し、外周壁１４からの圧力の漏出を抑える。
【００４５】
ここでいう弾性環状体４０の「環状」とは、円はもちろん、三角、四角などの多角形でもよく、環状弾性体４０を貫通するように収容空間３９が形成され、弾性環状体４０が外周壁１４を包囲可能な形状であれば許容される。
【００４６】
図７に示す弾性環状体４０は、Ｌ字形の弾性体３１ａの端部３２ａと、同じくＬ字形の弾性体３１ｂの端部３２ｂとを合わせて環状にすることにより、内部に直方体状の収容空間３９が形成されている。
【００４７】
図８は、図７に示す弾性環状体４０が収容空間３９に四角柱状の目封止ハニカム構造体１１を収めている。弾性体３１ａ及び３１ｂが、外周壁１４と密着することにより、外周壁１４を被覆する様子を表している。
【００４８】
弾性環状体４０が、図８に示すように目封止ハニカム構造体１１を収容空間３９に収める手法については、特に限定されないが、主に次の２つの手法がある。第１に、弾性環状体４０を予め環状としておき、既に形成されている収容空間３９に目封止ハニカム構造体１１を収める手法がある。第２に、弾性環状体４０が複数の弾性体３１から構成されるときには、１つ１つの弾性体３１を個別に外周壁１４に被覆させていくと共に、弾性体３１の端部３２を他の弾性体３１の一部に接触させていくことにより、弾性体３１によって外周壁１４を被覆しながら弾性環状体４０を形成していく手法がある。
【００４９】
例えば、弾性体３１が屈曲性を有する場合、図示しないが、屈曲性を有する板状の弾性体３１を一枚巻いて両端部３２を合わせることにより、弾性環状体４０を形成することも可能である。このような弾性環状体４０では、板状の弾性体３１をハニカム構造体１１の外周壁１４に捲き付けることにより、外周壁１４を被覆できる。
【００５０】
３−１−２．収容空間の大きさを調節可能な弾性環状体：
さらに、弾性環状体４０を備える外周壁被覆手段３は、次に説明する、収容空間３９の大きさを調節しながら、ハニカム構造体１１を収容空間３９に収めて外周壁１４を被覆する形態であると好ましい。収容空間３９の大きさを自在に調節できるため、検査対象の目封止ハニカム構造体１１の中に、異なる大きさのものが含まれるときでも、弾性環状体４０の交換を要せず、効率よく検査できるからである。
【００５１】
３−１−２−１．弾性体の端部を同じ弾性体の他部又は他の弾性体の一部に接触させている弾性環状体：
図９は、４つの弾性体３１ａ〜３１ｄから構成される弾性環状体４０の斜視図である。図１０は、図９に示す弾性環状体４０が、収容空間３９に目封止ハニカム構造体１１を収めている様子を表す。図１１は、図１０に示す弾性環状体４１、及び収容空間３９に収められている目封止ハニカム構造体１１について、目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂの正面から見た図である。
【００５２】
図９〜１１に表す環状弾性体４０は、４つの弾性体３１ａ〜３１ｄを有し、弾性体３１ａ〜３１ｄの端部３２ａ〜３２ｄが、他の弾性体３１の一部と接触することにより、環状となっている。具体的に述べると、弾性体３１ａの端部３２ａが弾性体３１ｄの中間部分に接触し、弾性体３１ｂの端部３２ｂが弾性体３１ａの中間部分に接触し、弾性体３１ｃの端部３２ａｃが弾性体３１ｂの中間部分に接触し、弾性体３１ｄの端部３２ｄが弾性体３１ｃの中間部分に接触している。
【００５３】
図１２は、図９に示す弾性環状体４０が、図１１に示すものよりも軸方向１９に垂直な断面での長径が大きい目封止ハニカム構造体１１を収容空間３９に収め、外周壁１４を被覆する様子を、目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂの正面から見ている。図１２に示すように、軸方向１９に垂直な断面での長径が大きい目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４を被覆するとき、弾性環状体４０は、弾性体３１ａ〜３１ｄの端部３２ａ〜３２ｄが他の弾性体３１のより端側に接触することにより、収容空間３９を大きくできる。
【００５４】
このように、弾性環状体４０は、弾性体３１の端部３２が、同じ弾性体３１又は他の弾性体３１における接触させる部分を変更することにより、収容空間３９の大きさ、及び弾性体３１が外周壁１４に密着する強さを調節しながら、目封止ハニカム構造体１１を収容空間３９に収めて外周壁１４を被覆する形態にすると好ましい。
【００５５】
３−１−２−２．弾性体の端部にある凸部を弾性体の端部にある凹部に挿通させている弾性環状体：
図１３は、収容空間３９の大きさを調節可能な弾性環状体４０の斜視図である。この図に示すように、弾性環状体４０は、端部３２に凸部３３及び凹部３４が設けられている１又は２以上の弾性体３１を有し、弾性体３１の端部３２が同じ弾性体３１の端部３２又は他の弾性体３１の端部３２と合わせられて環状に形成される際、弾性体３１の合わされている端部３２同士にうち、一方の側の端部３２にある凸部３３が、他方の側の端部３２にある凹部３４に挿通されていると好ましい。
【００５６】
図１３に示す弾性環状体４０は、弾性体３１ａの端部３２ａにある凸部３３ａを、相手方の弾性体３１ｂの端部３２ｂにある凹部３４ｂに挿通し、逆に、弾性体３１ｂの端部３２ｂにある凸部３３ｂを、相手方の弾性体３１ａの端部３２ａにある凹部３４ａに挿通することにより、環状に形成されている。
【００５７】
この弾性環状体４０は、凸部３３ａ、３３ｂが凹部３４ｂ、３３ａに挿通される深さを変化させることにより、収容空間３９の大きさを調節できる。
【００５８】
図１３及び図１４では、凸部３３ａ、３３ｂの挿通の深さは、凸部３３ａ、３３ｂの先端から中間部までが、凹部３４ｂ、３４ａに通される程度となっている。図１５は、図１３に示す弾性環状体４１、及び収容空間３９に収められている目封止ハニカム構造体１１について、目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂの正面から見た図である。この図に示す弾性環状体４０は、凸部３３ａ、３３ｂを凹部３４ｂ、３３ａに深く挿通させて収容空間３９を縮めてゆくことにより、弾性体３１ａ及び弾性体３１ｂを外周壁１４にさらに密着させて外周壁１４を被覆できる。このような収容空間３９の大きさを調節できる形態の弾性環状体４０は、弾性体３１と外周壁１４との密着性を高め、外周壁１４からの圧力の漏出を効果的に抑えられる作用がある。
【００５９】
図１６は、図１３に示す弾性環状体４０が、図１５に示すものよりも軸方向１９に垂直な断面での長径が大きい目封止ハニカム構造体１１を収容空間３９に収め、外周壁１４を被覆する様子を、目封止ハニカム構造体１１の端面１５の正面から見ている。図１６に示すように、軸方向１９に垂直な断面での長径が大きい目封止ハニカム構造体１１の外周壁１４を被覆するとき、弾性環状体４０は、凸部３３ａ、３３ｂが凹部３４ｂ、３３ａに挿通される深さを浅くすることにより、収容空間３９を大きくできる。
【００６０】
３−２．剛体により裏打ちされている弾性体の実施形態：
図７及び図８の斜視図に表す、外周壁被覆手段３において、弾性体３１ａ、３１ｂは、外周壁１４と密着させる表面に対して反対側にある表面が剛体３５ａ、３５ｂにより裏打ちされている。また、支持部３６ａ、３６ｂが剛体３５ａ、３５ｂの外周面の一部に接続されている。この外周壁被覆手段３では、支持部３６ａ及び支持部３６ｂから目封止ハニカム構造体１１に向かって圧力を加えたとき、支持部３６ａ及び支持部３６ｂからの力が剛体３５ａ及び剛体３５ｂに確実に伝わり、次いでこの力が弾性体３１ａ及び弾性体３１ｂ全体へ均等に過不足なく伝播する。
【００６１】
そのため、剛体３５により裏打ちされている弾性体３１により外周壁１４を被覆したときには、弾性体３１が外周壁１４を被覆している箇所全域において、弾性体３１と外周壁１４との密着が高まり、外周壁１４からの圧力の漏出を抑える作用が向上する。
【００６２】
以上から、外周壁被覆手段３において、外周壁１４を被覆する弾性体３１が設けられているとき、この弾性体３１は、外周壁１４に密着させる表面とは反対側にある表面が剛体３５により裏打ちされていると好ましい。
【００６３】
３−３．環状チューブからなる弾性体の実施形態：
さらに、上述の弾性環状体４０とは技術的思想が異なるものではあるが、外周壁被覆手段３に設けられる弾性体３１には、自転車のタイヤに用いるゴムチューブのように内部に気体や液体を注入して膨張させる環状チューブからなる弾性環状体も適用できる。このタイプの弾性環状体では、環の内側に目封止ハニカム構造体１１を収め、チューブ内に注入する気体又は液体の量を加減して、環状弾性体と外周壁１４との密着の強さを容易に調節できる利点がある。
【００６４】
４．ハニカム構造体欠陥検査方法：
４−１．本発明のハニカム構造体欠陥検査方法の基本的な形態：
本発明のハニカム構造体欠陥検査方法は、目封止ハニカム構造体１１の隔壁１３における大きな孔やひび割れなどの欠陥の有無を検査するものである。
【００６５】
本発明のハニカム構造体欠陥検査方法は、検知工程と外周壁被覆工程とを有する。
【００６６】
図４を参照し述べると、検知工程は、セル１２内を通過させてセル１２を構成する隔壁１３の欠陥を検知する検知媒体２１に圧力を加えながら、軸方向１９の一方の端面１５ａからセル１２内に検知媒体２１を導入するとともに、セル１２内を通過して他方の端面１５ｂから排出される検知媒体２１を検出し、端面１５ｂにおいてセル１２から排出される検知媒体２１の動態から、欠陥のある隔壁１３により構成されるセル１２を識別する工程である。
【００６７】
外周壁被覆工程は、圧力が外周壁１４から漏出するのを抑えながらセル１２内における検知媒体２１を端面１５ｂに向かって流すための圧力を維持させ、端面１５ｂにおける外周壁１４近傍での欠陥のない隔壁１３により構成されるセル１２からの検知媒体２１の排出が十分に保たれるように、外周壁１４の３５％以上を被覆する工程である。
【００６８】
さらに、外周壁被覆工程は、外周壁１４に外周壁１４の形状に合わせて変形可能な１又は２以上の弾性体３１を外周壁１４に密着させて外周壁１４を被覆する工程にすると好ましい。
【００６９】
このような弾性体３１を用いる外周壁被覆工程では、実際の生産現場で生じる、外周壁１４の反り、曲がり、その他の変形など、外周壁１４の形状にばらつきのある目封止ハニカム構造体１１の検査が可能となる利点がある。
【００７０】
また、図４に表されているように、本発明のハニカム構造体欠陥検査方法は、検知工程と前記外周壁被覆工程とを同時に行うと好ましい。
【実施例】
【００７１】
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００７２】
（１）目封止ハニカム構造体：
検査対象の目封止ハニカム構造体１１は、炭化珪素製、軸方向１９の長さ２００ｍｍ、軸方向１９に垂直な断面が３９ｍｍ×３９ｍｍの正方形である四角柱状のもの用いた。さらに、この目封止ハニカム構造体１１は、軸方向１９に垂直な断面１ｃｍ２当りのセル数が４０個、隔壁の厚さ３００μｍ、外周壁１４の厚さ５１０μｍ、気孔率５０％、隔壁１３及び外周壁１４の平均細孔径２０μｍ、隔壁１３に生じている欠陥の孔２０の大きさ直径０．１ｍｍである。検査対象となる目封止ハニカム構造体１１は、検知媒体２１である微粒子２１が流入する端面１５ａ側の隔壁１３に欠陥がある検体、及び微粒子２１が排出される端面１５ｂ側の隔壁１３に欠陥がある検体の２種類を用意した。なお、これら検体となる目封止ハニカム構造体１１の隔壁の欠陥箇所は、ＣＴスキャンにて事前に確かめた。
【００７３】
（２）ハニカム構造体欠陥検査装置：
（実施例１〜９）
欠陥検知手段２については、まず、検知媒体２１として平均粒径３〜５μｍの微粒子２１を用いた。微粒子２１は、濃度３００個／ｃｍ３にて気体に含有させ、この微粒子含有気体を１４Ｌ／ｍｉｎの流量にてハニカム構造体１１の端面１５ｂ側に供給し各セル１２内に導入した。セル１２から排出される微粒子２１は、光を照射して生じる散乱光から検出した。外周壁被覆手段３は、シリコンゴム製の硬度３０度、厚さ４ｍｍのＬ字形の弾性体３１を２つ組み合わせて弾性環状体４０を形成できるものとし、この弾性環状体４０の直方体状の収容空間３９に、上述の四角柱状のハニカム構造体１１を収めて外周壁１４を被覆した。
【００７４】
実施例１〜９は、外周壁被覆手段３である上述の弾性環状体４０によって、ハニカム構造体１１の外周壁１４が被覆される場所、及び外周壁１４全面積に対する被覆された外周壁１４の面積の割合に基づき分けた。具体的には、表１に示すように、微粒子２１の流入側又は排出側のいずれかの端面１５から所定の長さにて外周壁１４を被覆した。
【００７５】
【表１】
2010230460.tif 000003
【００７６】
（実施例１０）
実施例１０は、図９，１０に表す形態の外周壁被覆手段３を用い、弾性環状体４０を構成する弾性体３１が多孔質構造の発泡ポリウレタンとし、さらに弾性体３１は、この弾性体３１の表面のうち、外周壁１４と接触する表面に厚さ３５μｍのＰＥＴフィルムをシールした以外は、実施例３と同様とした。
【００７７】
（実施例１１）
実施例１１で、軸方向１９に垂直な断面が４２×４２ｍｍの正方形である目封止ハニカム構造体１１を検査対象とした以外は、実施例１０と同様とした。
【００７８】
実施例１〜１１について、外周壁１４近傍のセル１２を構成する隔壁１３の欠陥が判別できる度合いを表１に示す。表１では、明らかに欠陥が判別できる場合は、二重丸（◎）、安定して欠陥が判別できる場合は、丸（○）、欠陥が判別できるときとできないときがある場合は、三角（△）、欠陥が判別できない場合はクロス（×）にて示す。
【００７９】
実施例１〜５は、ハニカム構造体１１の流入側の端面１５ａから所定の割合の外周壁１４が被覆されている。実施例１〜５の結果を比較すると、外周壁１４の全面積に対して弾性体３１が被覆した外周壁１４の面積の割合が高いものほど、隔壁１３の欠陥の判別の度合いが優れることがわかる。
【００８０】
実施例３と実施例６の群、及び実施例４と７の群は、外周壁１４の全面積に対する弾性体３１が被覆した外周壁１４の面積の割合が、それぞれ６０％、及び８０％である。それぞれの群内で対比する実施例を比較すると、微粒子２１の流入側の外周壁１４を被覆する割合の高い実施例３、４が、排出側の外周壁１４を被覆する割合が高い実施例７、８よりも、隔壁１３の欠陥の判別の度合いが優れていることがわかる。
【００８１】
実施例３と１０との比較から、弾性体３１の外周壁１４と接触する表面をＰＥＴフィルムにてシールする形態にしても、外周壁１４近傍のセル１２を構成する隔壁１３の欠陥の有無の判定は好適になされることが判明した。
【００８２】
実施例１０と１１との比較から、収容空間３９の大きさを調節可能な環状弾性体４０は、実際に断面大きさが異なる目封止ハニカム構造体１１に対し、収容空間３９の大きさを調整しつつ外周壁１４近傍のセル１２を構成する隔壁１３の欠陥の有無を好適に判定出来ることが判明した。
【００８３】
なお表１には特に記載しないが、検知する検知媒体の対応するセル１２位置が目封止ハニカム構造体１１の端面１５ｂの中央付近のものについて、全ての実施例において欠陥判定度合いは、上述の基準において「◎」と評価されるものであった。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、正常なハニカム構造体であれば存在しない、ハニカム構造体の細孔径に比して大きな孔やひび割れ、すなわちハニカム構造体の欠陥の有無を検査するために用いられる装置として利用できる。
【符号の説明】
【００８５】
１：ハニカム構造体欠陥検査装置、２：欠陥検知手段、３：外周壁被覆手段、１１：目封止ハニカム構造体、１２：セル、１２ａ〜１２ｄ：セル、１３：隔壁、１３ａ〜１３ｃ：隔壁、１４：外周壁、１５：端面、１５ａ：端面、１５ｂ：端面、１６：目封止部、１９：軸方向、２０：隔壁の欠陥（孔）、２１：検知媒体（微粒子）、２２：媒体導入部、２３：媒体検知部（カメラ）、２６：載置面、３１：弾性体、３１ａ〜３１ｄ：弾性体、３２：端部、３２ａ〜３２ｄ：端部、３３：凸部、３３ａ：凸部、３３ｂ：凸部、３４：凹部、３４ａ：凹部、３４ｂ：凹部、３５：剛体、３５ａ：剛体、３５ｂ：剛体、３６：支持部、３６ａ：支持部、３６ｂ：支持部、３９：収容空間、４０：弾性環状体。
【図１Ａ】
2010230460.tif 000004
【図１Ｂ】
2010230460.tif 000005
【図２】
2010230460.tif 000006
【図３】
2010230460.tif 000007
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2010230460.tif 000018
【図１５】
2010230460.tif 000019
【図１６】
2010230460.tif 000020