(57)【要約】【課題】被駆動部材を確実にガイドしながら被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減可能な構成を備え、さらに小型化を維持又は促進可能なリニア駆動型超音波モータを提供する。【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、被駆動部材に当接する球状の転動部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、転動部材は、ベース部材と第１の当接点で当接し、かつ、被駆動部材と２つの第２の当接点で当接しており、第１の当接点と２つの第２の当接点とをそれぞれ結ぶ２本の直線の長さが略等しい。【選択図】図５
2010130889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、
前記超音波振動子と前記被駆動部材との間に摩擦力が生じるように前記超音波振動子を押圧する押圧部材と、
前記被駆動部材に当接する球状の転動部材と、
前記転動部材を介して前記被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、
を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、
前記転動部材は、前記ベース部材と第１の当接点で当接し、かつ、前記被駆動部材と２つの第２の当接点で当接しており、
前記第１の当接点と前記２つの第２の当接点とをそれぞれ結ぶ２本の直線の長さが略等しいことを特徴とするリニア駆動型超音波モータ。
【請求項２】
前記ベース部材は、少なくとも前記第１の当接点が存在する範囲内において、曲面を有することを特徴とする請求項１に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項３】
前記被駆動部材は、前記転動部材側に、前記２つの第２の当接点に対してそれぞれ独立して対応する２つの平面を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項４】
前記被駆動部材において、前記２つの平面の成す角が直角であることを特徴とする請求項３に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項５】
前記被駆動部材において、前記２つの平面の成す角が鈍角であることを特徴とする請求項３に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項６】
前記ベース部材は、前記被駆動部材の駆動方向と直交する方向に突出し、かつ、前記被駆動部材の駆動方向に沿って連続して形成された突出部を有していることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニア駆動型超音波モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニア駆動型超音波モータとしては、例えば特許文献１記載の振動装置が挙げられる（図９、１０）。ここで、図９、１０は、従来のリニア駆動型超音波モータの構成を示す図であって、図９は分解斜視図、図１０は縦断面図である。
【０００３】
図９、１０に示す振動装置は、振動体９０１を収容したケース９０６、ケース９０６内を通って振動体９０１に接触する移動体９０４、及び、移動体９０４と振動体９０１とを加圧接触させる押圧力（付勢力）を発生する押圧バネ９０５を備えている。押圧バネ９０５は、ケース９０６の外側に取り付けられている。ケース９０６の振動体９０１に面する側には開口部が形成され、押圧バネ９０５の押圧力は、開口部を通して振動体９０１に作用している。すなわち、この振動装置は、押圧バネ９０５がケース９０６の開口部を覆いながらケース９０６の外側に取り付けられた構造をしており、押圧力を発生させる押圧バネ９０５の変形部（開口部を覆っている平面部）が露出している。
【０００４】
特許文献１記載の振動装置のように、主要な構成要件をパッケージしたユニット構造にすることは汎用性、特性安定化の点で有効である。一方、超音波モータ装置においては、小型かつ高出力にすることが求められている。
【０００５】
【特許文献１】特許第３５２４２４８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１記載の振動装置においては、ケース９０６の穴に設けられた滑り軸受けで、移動体９０４を移動方向及び移動体９０４の軸周りにガイドする構造をしている。この構造では、移動体９０４は押圧バネ９０５によってケース９０６に押圧されているため、ケース９０６の穴に設けられた滑り軸受けとの接触部の接触圧力が高く、移動体９０４が移動する際に滑り摩擦が大きい。このため、摺動抵抗が大きくなり出力低下の要因となる。また、移動体９０４は振動体９０１によって振動しているために滑り摩擦部における磨耗が促進されるという問題がある。例えばこの部分に一般的に用いられているスラスト軸受けなどのベアリングを使用すると装置の大型化につながってしまう。また、特許文献１記載の振動装置においては、ケース９０６の内部に移動体９０４をガイドするガイド機構を設けることは小型化の観点で困難であり、さらに、小型化を維持しつつ摩擦抵抗の少ないガイド機構をケース内部に構成することも難しい。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減しつつ確実にガイドすることができ、かつ、小型化可能なリニア駆動型超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、被駆動部材に当接する球状の転動部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、転動部材は、ベース部材と第１の当接点で当接し、かつ、被駆動部材と２つの第２の当接点で当接しており、第１の当接点と２つの第２の当接点とをそれぞれ結ぶ２本の直線の長さが略等しいことを特徴としている。
【０００９】
本発明のリニア駆動型超音波モータにおいて、ベース部材は、少なくとも第１の当接点が存在する範囲内において、曲面を有することが好ましい。
【００１０】
本発明のリニア駆動型超音波モータにおいて、被駆動部材は、転動部材側に、２つの第２の当接点に対してそれぞれ独立して対応する２つの平面を有していることが好ましい。
【００１１】
本発明のリニア駆動型超音波モータでは、被駆動部材における、２つの第２の当接点にそれぞれ対応する２つの平面の成す角が直角であることが好ましい。
なお、平面がなす直角の部分には、すみ肉が形成されていても良い。
【００１２】
本発明のリニア駆動型超音波モータでは、被駆動部材における、２つの第２の当接点にそれぞれ対応する２つの平面の成す角が鈍角であることが好ましい。
【００１３】
本発明のリニア駆動型超音波モータにおいて、ベース部材は、被駆動部材の駆動方向と直交する方向に突出し、かつ、被駆動部材の駆動方向に沿って連続して形成された突出部を有していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、被駆動部材を確実にガイドしながら被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減可能な構成を備え、さらに小型化を維持又は促進可能である、という効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明に係るリニア駆動型超音波モータの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１６】
(第１実施形態）
第１実施形態に係る超音波モータ１０（リニア駆動型超音波モータ）について、図１から図６を参照しつつ説明する。
【００１７】
ここで、図１は、超音波モータ１０の外観構成を示す斜視図である。図２は、超音波モータ１０の構成を示す分解斜視図である。図３は、超音波モータ１０の長手方向、別言すれば、被駆動部材２４の駆動方向、に沿った縦断面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。図５は、図４のうち、被駆動部材２４、転動部材２５、２６、２７、２８、及びベース部材１２について拡大して示す断面図であり、被駆動部材２４が水平な状態を示す図である。図６は、図５に対して、被駆動部材２４が角度θ１だけ傾斜した状態を示す断面図である。
【００１８】
超音波モータ１０は、超音波振動子としての振動子２２、被駆動部材２４、押圧部材２１、転動部材２５、２６、２７、２８、ケース部材１１、及びベース部材１２を備える。以下各部材について詳細に説明する。
【００１９】
振動子２２及びケース部材１１はいずれも略直方体状の外形を備え、ケース部材１１の内部には収容凹部１６が形成されており、ベース部材１２を配置することによって閉じられる開口部１３から外部へ至る。収容凹部１６内には、超音波モータ１０の高さ方向（図１から図４の上下方向）において開口部１３側から順に、振動子２２、押圧部材２１が収容されている。
【００２０】
ケース部材１１の下部の四つの角部には、ベース部材１２に対して固定するために用いる係止部１１ｅが設けられている。ベース部材１２の上端には、ケース部材１１の係止部１１ｅが係止される突出部１２ｅが設けられている。
【００２１】
突出部１２ｅは、平面視長方形状のベース部材１２の長手方向に沿って連続して形成され、幅方向外側へ向かって突出している。したがって、ベース部材１２をケース部材１１に固定したとき、突出部１２ｅは、被駆動部材２４の駆動方向と直交する方向に突出し、かつ、被駆動部材２４の駆動方向に沿って連続して形成されている。この突出部１２ｅは、押し出しあるいは引き抜き加工によって成形することが可能であり、これにより製造コストを低減できる。
【００２２】
係止部１１ｅ及び突出部１２ｅは、互いに係止したときに、支持部材２３及びケース部材１１の押圧部１１ａ、１１ｂによる、押圧部材２１の撓み量が所定量となるように、係止位置及び形状が設定されている。すなわち、ケース部材１１とベース部材１２が互いに係止固定されることで、振動子２２が所定の押圧力で被駆動部材２４へ付勢される。
【００２３】
押圧部材２１は、長板状の板バネであり、その長手方向が、超音波モータ１０及びケース部材１１の長手方向（図３の左右方向）に沿うように配置される。なお、ケース部材１１は図１に示す形状以外の形状とすることもでき、また、ケース部材１１という独立した形態を取らない構成も可能である。
【００２４】
押圧部材２１は、長手方向の両端部２１ａ、２１ｂの上面が、ケース部材１１の内面の上側角部に形成した二つの押圧部１１ａ、１１ｂにそれぞれ当接する。さらに、押圧部材２１は、中央部２１ｃの下面が振動子２２の位置決め用の支持部材２３と当接する。ここで、支持部材２３は、振動子２２の長手方向（図３の左右方向）中央に固定されている。
【００２５】
振動子２２は、超音波振動子（例えば圧電素子）によって構成される。振動子２２の上面には、支持部材２３を挟むように通電用のフレキシブルケーブル３１、３２が固着されている。このフレキシブルケーブル３１、３２は、ケース部材１１の側面に形成された開口１１ｆ、１１ｇから外部へ延出する。
【００２６】
ベース部材１２上には、球状の転動部材２５、２６、２７、２８を介して、被駆動部材２４がケース部材１１の長手方向に沿って移動可能に配置されている。被駆動部材２４は、振動子２２の下面に設けた駆動子２２ａと転動部材２５、２６、２７、２８とによって移動可能に挟持されている。なお、転動部材２５、２６、２７、２８は互いに同一外径を備える。
【００２７】
ベース部材１２は、ケース部材１１の長手方向に沿って延び、内面は、長手方向に直交する断面形状が半円状の円筒面１２ｆとなっている。転動部材２５、２６、２７、２８は、被駆動部材２４およびベース部材１２の円筒面１２ｆとで挟持される。
【００２８】
被駆動部材２４は、平面視略長方形状であって、図５に示すように、長手方向直交断面が略Ｔ字状をなしている。具体的には、被駆動部材２４は、上面が振動子２２の駆動子２２ａに当接する略直方体状の基部２４ａと、基部２４ａの幅方向中央から下方に突出する凸部２４ｂと、からなる。基部２４ａの幅はＷであり、基部２４ａの上面から凸部２４ｂの下面までの高さはｔである。
【００２９】
次に、転動部材２５、２６、２７、２８と、ベース部材１２及び被駆動部材２４との位置関係について、図５、図６を参照しつつ説明する。なお、転動部材２５、２６と転動部材２７、２８は同様の構成であるため、転動部材２５、２６について説明し、転動部材２７、２８についての説明は省略する。
【００３０】
ベース部材１２の円筒面１２ｆは、半径ｒの曲面がベース部材１２の長手方向に連続した面である。円筒面１２ｆの半径ｒの中心Ｏは、被駆動部材２４の幅方向に並べて配置した転動部材２５、２６について、（１）転動部材２５と円筒面１２ｆとの当接点２５ａ（第１の当接点）と、転動部材２５の中心と、を通る直線Ｌ３と、（２）転動部材２６と円筒面１２ｆとの当接点２６ａ（第１の当接点）と、転動部材２６の中心と、を通る直線Ｌ６と、が交わる点である。
【００３１】
転動部材２５は、ベース部材１２の円筒面１２ｆとは当接点２５ａの１点で接触する一方、被駆動部材２４に対しては、２つの当接点２５ｂ、２５ｃ（第２の当接点）で接触する。具体的には、転動部材２５は、被駆動部材２４の基部２４ａの下面である平面２４ｃに対して当接点２５ｂで接触するとともに、凸部２４ｂの側面である平面２４ｄに対して当接点２５ｃで接触する。別言すると、被駆動部材２４は転動部材２５と対向する側に、直角に互いに隣接する二つの平面２４ｃ、２４ｄを有し、転動部材２５はこれらの平面２４ｃ、２４ｄとそれぞれ当接している。
【００３２】
ここで、平面２４ｃの幅、及び、平面２４ｄの高さは、転動部材２５の半径より長く、かつ、ベース部材１２と転動部材２５との当接点２５ａまでの距離より短い形状となっている。
【００３３】
なお、転動部材２５が被駆動部材２４と当接する平面は、平面２４ｃ、２４ｄのように互いに隣接していなくてもよい。具体的には、例えば２４ｃと２４ｄの交線部にすみ肉を設けたことによる別の平面あるいは曲面があっても良い。
【００３４】
また、ベース部材１２の円筒面１２ｆとの当接点２５ａと、平面２４ｃとの当接点２５ｂと、を結ぶ直線Ｌ１の長さは、当接点２５ａと、平面２４ｄとの当接点２５ｃとを結ぶ直線Ｌ２の長さに等しい。
【００３５】
転動部材２５と同様に、転動部材２６は、ベース部材１２の円筒面１２ｆとは当接点２６ａの１点で接触するとともに、被駆動部材２４に対しては、２つの当接点２６ｂ、２６ｃ（第２の当接点）で接触する。すなわち、転動部材２６は、被駆動部材２４の基部２４ａの下面である平面２４ｅに対して当接点２６ｂで接触するとともに、凸部２４ｂの側面である平面２４ｆに対して当接点２６ｃで接触する。ここで、被駆動部材２４は転動部材２６と対向する側に、直角に互いに隣接する二つの平面２４ｅ、２４ｆを有し、転動部材２６はこれらの平面２４ｅ、２４ｆとそれぞれ当接している。
【００３６】
ここで、平面２４ｅの幅、及び、平面２４ｆの高さは、転動部材２６の半径より長く、かつ、ベース部材１２と転動部材２６との当接点２６ａまでの距離より短い形状となっている。
【００３７】
なお、転動部材２６が被駆動部材２４と当接する平面は、平面２４ｅ、２４ｆのように互いに隣接していなくてもよい。
【００３８】
また、ベース部材１２の円筒面１２ｆとの当接点２６ａと、平面２４ｅとの当接点２６ｂと、を結ぶ直線Ｌ４の長さは、当接点２６ａと、平面２４ｆとの当接点２６ｃとを結ぶ直線Ｌ５の長さに等しい。
【００３９】
被駆動部材２４と転動部材２５、２６をこのように配置することにより、被駆動部材２４が駆動された場合に、その駆動方向において、当接点２５ｂで転がり接触する長さと、当接点２５ｃで転がり接触する長さと、が互いに等しくなり、また、当接点２６ｂで転がり接触する長さと、当接点２６ｃで転がり接触する長さと、が互いに等しくなる。このため、被駆動部材２４と転動部材２５、２６との間で滑りが発生しない。
【００４０】
また、転動部材２５において、当接点２５ｂ、２５ｃが当接点２５ａに対して対象な位置にあるため、当接点２５ｂ、２５ｃでの抗力が均等となり、転がり抵抗が均等になる。同様に、転動部材２６においても、当接点２６ｂ、２６ｃが当接点２６ａに対して対象な位置にあるため、当接点２６ｂ、２６ｃでの抗力が均等となり、転がり抵抗が均等になる。
【００４１】
さらにまた、被駆動部材２４はベース部材１２側に付勢された状態で、さらに振動子２２の振動を受けて強制振動されているが、このような構造にすることにより、常に滑ることがなく転がり支持されているため、被駆動部材２４の移動抵抗を小さくして出力の低減を防ぎ、磨耗を低減する効果がある。
【００４２】
また、一般には、被駆動体が撓み変形すると駆動特性が低下するおそれがあり、被駆動体の厚さを増やして剛性を確保することが重要であるが、厚さを増やすことによって装置が大型になってしまうという問題がある。これに対して、本実施形態に係る超音波モータ１０においては、被駆動体たる被駆動部材２４が、略Ｔ字の断面形状を有するように、基部２４ａの幅方向中央から下方に突出する凸部２４ｂを形成している。
【００４３】
被駆動部材２４をこのような断面形状にして、超音波モータ１０の高さ方向（図５の上下方向）の厚さｔを増やすことにより、被駆動体たる被駆動部材２４が、押圧部材２１などの部材による押圧機構によって付勢された場合でも、超音波モータ１０の高さ方向（図５の上下方向）に撓みにくい剛性を有することとなる。さらに、転動部材２５、２６、２７、２８を、基部２４ａの幅方向（図５の左右方向）においては、被駆動部材２４の幅Ｗより狭い範囲に収めることができる。また、高さ方向では、転動部材２５、２６、２７、２８と被駆動部材２４との当接点を、被駆動部材２４の高さｔより短い位置、すなわち、被駆動部材２４の最下部より高い位置に配置できる。
【００４４】
このような配置により、超音波モータ１０の高さ方向および幅方向の寸法を小さくすることができる。したがって、このような被駆動部材２４やベース部材１２の形状、配置による転がり支持構造を内包した超音波モータ１０においては、剛性不足による特性劣化を防ぎ、かつ小型に構成することが可能である。
【００４５】
また、転動部材２５、２６、２７、２８がベース部材１２の円筒面１２ｆと当接している構成により、振動子２２と被駆動部材２４との当接面の角度が変化した場合でも、被駆動部材２４及びベース部材１２と、転動部材２５、２６、２７、２８との当接関係は維持される。
【００４６】
具体的には、転動部材２５、２６を例に取れば、図６のように被駆動部材２４が水平方向に対して角度θ１（０＜θ１）だけ傾斜した場合でも、転動部材２５において直線Ｌ１と直線Ｌ２の長さが同一である点、及び、２６において直線Ｌ４と直線Ｌ５の長さが同一である点は、被駆動部材２４の傾斜角度θ１によらず一定である。よって、組み付けばらつきによって、振動子２２と被駆動部材２４との当接面が水平方向から角度θ１傾斜しても、その影響を低減できる。ここで、振動子２２と被駆動部材２４との当接面の傾きは、当接点２５ａ、２６ａがベース部材１２の円筒面１２ｆと接する範囲内であれば許容できる。
【００４７】
なお、直線Ｌ１と直線Ｌ２の長さは、転動部材２５、２６、２７、２８が、ベース部材１２および被駆動部材２４に対して滑りが発生することなく転がり支持されれば、同一でなく略等しければよい。同様に、直線Ｌ４と直線Ｌ５の長さは、転動部材２５、２６、２７、２８が、ベース部材１２および被駆動部材２４に対して滑りが発生することなく転がり支持されれば、同一でなく略等しければよい。
【００４８】
以上説明したように、第１実施形態に係る超音波モータ１０においては、ベース部材１２が円筒面１２ｆを有しており、この円筒面１２ｆに球状の転動部材２５、２６、２７、２８が載置されている。被駆動部材２４は略Ｔ字状の断面形状を有しており、凸部２４ｂがベース部材１２に対向するような姿勢で、転動部材２５、２６、２７、２８により、幅方向両側から支持される。さらに、転動部材２５、２６、２７、２８は、それぞれ、被駆動部材２４とは２点で当接し、ベース部材１２とは１点で当接する。
【００４９】
また、転動部材２５、２６、２７、２８のそれぞれについて、被駆動部材２４との二つの当接点と、ベース部材１２との一つの当接点と、互いにを結ぶ二本の直線の長さが略等しくなるように、ベース部材の円筒面の半径と中心が設定されている。このことにより、転動部材２５、２６、２７、２８は、ベース部材１２および被駆動部材２４に対して滑りが発生することなく転がり支持されるので、被駆動部材２４が押圧部材２１によってベース部材１２側へ付勢されていても移動抵抗が低減される。
【００５０】
さらに、被駆動部材２４が振動子２２の駆動を受けて振動していても、転動部材２５、２６、２７、２８がベース部材１２および被駆動部材２４に対して滑ることなく支持されるため、磨耗も低減できる。また、被駆動部材２４、転動部材２５、２６、２７、２８、及び、ベース部材１２の構造及び配置によって、このような転がり支持構造を内包した超音波モータとして小型に構成できる。
【００５１】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る超音波モータにおいては、図７、図８に示すように、被駆動部材１２４において転動部材１２５、１２６と接する２平面の隣接角度が直角ではなく鈍角である点が第１実施形態に係る超音波モータ１０と異なる。
【００５２】
ここで、図７は、被駆動部材１２４、転動部材１２５、１２６、及びベース部材１１２の関係を示す、図５に対応する断面図であり、被駆動部材１２４が水平な状態を示す図である。図８は、図７に対して、被駆動部材１２４が角度θ２だけ傾斜した状態を示す断面図である。
【００５３】
また、第２実施形態のベース部材１２では、内面のうち、幅方向中央が平面１１２ｇとなっており、この平面１１２ｇの両側には、直線Ｌ１０３と直線Ｌ１０６の交点Ｏを中心とする半径ｒの円の一部を形成する円筒面１１２ｆが形成されている。
【００５４】
ここで、第２実施形態の超音波モータのベース部材１１２、被駆動部材１２４、及び、転動部材１２５、１２６は、第１実施形態の超音波モータ１０のベース部材１２、被駆動部材２４、及び、転動部材２５、２６にそれぞれ対応する。また、当接点１２５ａ、１２６ａ（第１の当接点）、及び、当接点１２５ｂ、１２５ｃ、１２６ｂ、１２６ｃ（第２の当接点）は、第１実施形態の当接点２５ａ、２６ａ、及び当接点２５ｂ、２５ｃ、２６ｂ、２６ｃ（第２の当接点）にそれぞれ対応する。
【００５５】
さらに、第２実施形態の被駆動部材１２４における、基部１２４ａ、凸部１２４ｂ、平面１２４ｃ、１２４ｄ、１２４ｅ、１２４ｆは、第１実施形態の被駆動部材２４における、基部２４ａ、凸部２４ｂ、平面２４ｃ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｆにそれぞれ対応する。また、直線Ｌ１０１、Ｌ１０２、Ｌ１０３、Ｌ１０４、Ｌ１０５、Ｌ１０６は、第１実施形態の直線Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６にそれぞれ対応する。
【００５６】
また、図７、図８には示さないが、第２実施形態の超音波モータは、転動部材１２５、１２６のほかに、第１実施形態の超音波モータ１０における転動部材２７、２８に対応する転動部材を備える。
【００５７】
第２実施形態の超音波モータにおいても、第１実施形態の超音波モータ１０と同様な効果が得られ、図８のように被駆動部材１２４が傾いても、転動部材１２５において直線Ｌ１０１と直線Ｌ１０２の長さが同一である点、及び、転動部材１２６において直線Ｌ１０４と直線Ｌ１０５の長さが同一である点は、被駆動部材１２４の傾斜角度θ２によらず一定である。
【００５８】
よって、組み付けばらつきによって、振動子２２と被駆動部材１２４との当接面が水平方向から角度θ２傾斜しても、その影響を低減できる。また、振動子２２と被駆動部材１２４との当接面の傾きについても、第１実施形態と同様に、当接点１２５ａ、１２６ａがベース部材１１２の円筒面１１２ｆと接する範囲内であれば許容できる。
【００５９】
このような形状とすることにより、第１実施形態と比べて、転動部材１２５と転動部材１２６との間隔は広くなるが、ベース部材１２と被駆動部材１２４との間隔を小さくすることができる。すなわち、被駆動部材１２４、および、ベース部材１１２の形状を変えることで超音波モータの高さ方向及び幅方向の寸法を必要に応じ選択的に小さくすることができ、設計の自由度が広くなる。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
以上のように、本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、小型機器の精度の高い駆動に適している。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの外観構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの長手方向に沿った縦断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図４のうち、被駆動部材、転動部材、及びベース部材について拡大して示す断面図である。
【図６】図５に対して、被駆動部材が角度θ１だけ傾斜した状態を示す断面図である。
【図７】第２実施形態に係る被駆動部材、転動部材、及びベース部材の関係を示す、図５に対応する断面図である。
【図８】図７に対して、被駆動部材が角度θ２だけ傾斜した状態を示す断面図である。
【図９】従来のリニア駆動型超音波モータの構成を示す分解斜視図である。
【図１０】図９に示す従来のリニア駆動型超音波モータの縦断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０    超音波モータ（リニア駆動型超音波モータ）
１１    ケース部材
１１ａ、１１ｂ  押圧部
１１ｅ  係止部
１１ｆ、１１ｇ  開口
１２    ベース部材
１２ｅ  突出部
１２ｆ  円筒面
１３    開口部
１６    収容凹部
２１    押圧部材
２１ａ、２１ｂ  端部
２１ｃ  中央部
２２    振動子（超音波振動子）
２２ａ  駆動子
２３    支持部材
２４    被駆動部材
２４ａ  基部
２４ｂ  凸部
２４ｃ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｆ  平面
２５    転動部材
２５ａ  当接点（第１の当接点）
２５ｂ、２５ｃ  当接点（第２の当接点）
２６    転動部材
２６ａ  当接点（第１の当接点）
２６ｂ、２６ｃ  当接点（第２の当接点）
２７、２８  転動部材
３１、３２  フレキシブルケーブル
１１２    ベース部材
１１２ｆ  円筒面
１１２ｇ  平面
１２４    被駆動部材
１２４ａ  基部
１２４ｂ  凸部
１２４ｃ、１２４ｄ、１２４ｅ、１２４ｆ  平面
１２５    転動部材
１２５ａ  当接点（第１の当接点）
１２５ｂ、１２５ｃ  当接点（第２の当接点）
１２６    転動部材
１２６ａ  当接点（第１の当接点）
１２６ｂ、１２６ｃ  当接点（第２の当接点）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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