(57)【要約】【課題】観察位置合わせ時の操作性を高めることができる顕微鏡システムを提供する。【解決手段】サンプル１０３を載置し、平面内で移動可能なステージ１０２と、ステージ１０２を駆動する駆動手段と、駆動手段の駆動を制御する制御手段１１２と、サンプル１０３に対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズ１０６と、対物レンズ１０６を介してサンプル１０３の光学像を観察可能な観察手段１１３とを備えた顕微鏡システムであって、制御手段１１２は、ステージ１０２の移動可能範囲を、観察手段１１３によって現在観察される視野の少なくとも一部を含む範囲または現在観察される視野の境界に隣接する範囲として、駆動手段の駆動を制御するようにする。【選択図】図１−１
2010169892.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルを載置し、平面内で移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記サンプルに対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記サンプルの光学像を観察可能な観察手段とを備えた顕微鏡システムであって、
前記制御手段は、前記ステージの移動可能範囲を、前記観察手段によって現在観察される視野の少なくとも一部を含む範囲または現在観察される視野の境界に隣接する範囲として、前記駆動手段の駆動を制御することを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項２】
前記ステージの移動を操作者の操作によって入力指示する操作入力手段と、
前記対物レンズの倍率を認識する倍率認識部とをさらに備え、
前記制御手段は、前記倍率認識部で取得した前記対物レンズの倍率情報に応じて、前記ステージの移動可能範囲を設定することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
【請求項３】
前記駆動手段の駆動モードを切り換えるための切り換え手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記倍率認識部で取得した前記対物レンズの倍率情報と、前記駆動モードとに応じて、前記ステージの移動可能範囲を設定することを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サンプルを載置する電動ステージを備えた顕微鏡システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡は、生物分野の研究や工業分野の検査工程などに幅広く利用されている。通常、顕微鏡を使用する際は、ステージハンドルを手動操作することによってサンプルが載せられているＸＹステージをＸＹ方向に移動し、サンプルに対する観察位置合わせ作業を行う。一方、顕微鏡のＸＹステージには電動で操作できるものがあり、ジョイスティックやＧＵＩなどの操作入力手段によって操作するのが一般的である。
【０００３】
ところで、顕微鏡に用いられる高倍率の対物レンズは、サンプルの狭い範囲を光学的に拡大する。高倍率の対物レンズを取り付けた状態で素早く観察位置合わせを行うには、ＸＹステージを微小移動しなければならず、かなりの熟練を要する。この場合、ステージの操作性が悪いと、観察位置合わせに要する時間が長くなって、検査や生産の効率が低下するという悪影響を及ぼす。特に、検査工程などのルーチン作業の中では、観察位置合わせを素早く行って検査時間を短縮することが非常に重要になる。このような実情から観察位置合わせ操作を容易に行える電動ステージを備えた顕微鏡が種々提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に示される顕微鏡は、対物レンズの倍率によってジョイスティックの操作モードを変えている。低倍率の対物レンズで試料全体のスクリーニングを行う場合は、ＸＹステージはスクリーニングもれがないように矩形波状のパターンに駆動され、ユーザーが詳細観察点を見つけ、対物レンズを高倍に切り換えると、ＸＹステージはユーザーの操作指示による移動が低速の操作モードに切り換えられる。これにより、ユーザーが観察の倍率を切り換えた際、スクリーニングに適したＸＹ方向の移動操作を効率的に行うことができる。さらに、対物レンズを高倍に切り換えると同時に、ＸＹステージの移動範囲に制限を設けることによって、観察状況に適したＸＹステージの移動を可能としている。
【０００５】
また、特許文献２に示される顕微鏡は、被検査物のサイズに応じた検査範囲にＸＹステージの可動範囲を設定し、可動範囲を超える操作指示が与えられた場合は、ＸＹステージの駆動を停止するようになっている。
【０００６】
以上のような特許文献１および２に示される顕微鏡は、観察位置合わせを行うときのＸＹステージの駆動操作に係る手間や煩わしさを解消するように改善が図られたものである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−２２１７９０号公報
【特許文献２】特開２０００−７５２１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上記の従来の特許文献１および２の顕微鏡では、通常、ＸＹステージの移動範囲は、現在観察している倍率よりも低い倍率で観察しながら設定する。このため、高倍率で観察している際にＸＹステージの移動範囲を設定するには、ユーザーは、現在の観察倍率よりも低い倍率の対物レンズに切り換えてからステージの移動範囲を設定するという手間を要していた。また、高倍率で観察する際、ジョイスティックの操作を誤ると、制限された可動範囲内でステージが所望の観察位置から大きく外れた位置に移動するおそれがあることから、観察位置合わせを行う際の操作性は必ずしも良好とは言えなかった。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる顕微鏡システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明に係る顕微鏡システムは、サンプルを載置し、平面内で移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記サンプルに対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記サンプルの光学像を観察可能な観察手段とを備えた顕微鏡システムであって、前記制御手段は、前記ステージの移動可能範囲を、前記観察手段によって現在観察される視野の少なくとも一部を含む範囲または現在観察される視野の境界に隣接する範囲として、前記駆動手段の駆動を制御することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る顕微鏡システムは、上述した発明において、前記ステージの移動を操作者の操作によって入力指示する操作入力手段と、前記対物レンズの倍率を認識する倍率認識部とをさらに備え、前記制御手段は、前記倍率認識部で取得した前記対物レンズの倍率情報に応じて、前記ステージの移動可能範囲を設定することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る顕微鏡システムは、上述した発明において、前記駆動手段の駆動モードを切り換えるための切り換え手段をさらに備え、前記制御手段は、前記倍率認識部で取得した前記対物レンズの倍率情報と、前記駆動モードとに応じて、前記ステージの移動可能範囲を設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、サンプルを載置し、平面内で移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記サンプルに対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記サンプルの光学像を観察可能な観察手段とを備えた顕微鏡システムであって、前記制御手段は、前記ステージの移動可能範囲を、前記観察手段によって現在観察される視野の少なくとも一部を含む範囲または現在観察される視野の境界に隣接する範囲として、前記駆動手段の駆動を制御するので、ユーザーがステージを動かして観察位置合わせを行う際に、ステージの移動範囲が、現在観察している視野を含む範囲または視野に隣接する範囲に制限され、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に添付図面を参照しながら、本発明に係る顕微鏡システムの好適な実施の形態（実施の形態１〜３）を詳細に説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１について説明する。図１−１は、本発明に係る顕微鏡システムのブロック図である。図１−２は、本発明に係る顕微鏡システムの概略斜視図である。
【００１６】
図１−１および図１−２に示すように、本発明に係る顕微鏡システムは、電動ＸＹステージユニット１０１のステージ１０２に載置されたサンプル１０３に光を照射する光源ユニット１０４と、観察ユニット１０５と、１０倍の対物レンズ１０６および２０倍の対物レンズ１０７を切り換えるための電動レボルバユニット１０８と、対物レンズ倍率認識部１０９と、撮像デバイスのサイズが１／３インチのＣＣＤカメラ１１０と、ジョイスティック１１１と一体に構成した制御手段としてのＸＹステージ制御部１１２と、ＣＣＤカメラ１１０により得られたサンプル１０３の光学拡大画像を表示するための観察手段としてのモニタ１１３とから構成される。
【００１７】
観察ユニット１０５には、図示しない観察光学系や照明光学系が内蔵されてあり、光源ユニット１０４と、レボルバユニット１０８と、ＣＣＤカメラ１１０とがそれぞれ取り付けてある。光源ユニット１０４は、図示しない例えばハロゲンランプ、キセノンランプ、ＬＥＤなどの光源を有する。また、本発明の顕微鏡システムは、ステージ１０２と観察ユニット１０５の少なくとも一方を対物レンズの光軸方向に移動させて相対距離を調整する図示しない焦準機構を備える。
【００１８】
＜電動ＸＹステージユニットの構成＞
図２−１は、電動ＸＹステージユニットの概略下面図であり、図２−２は、電動ＸＹステージユニットの概略側面図である。
【００１９】
図２−１および図２−２に示すように、電動ＸＹステージユニット１０１は、ステージ１０２を保持しＸ軸方向に移動させるための枠体２０１と、ステージ１０２を保持しＹ軸方向に移動させるための枠体２１１と、ステージおよび枠体をＸ軸方向に駆動するための駆動手段としてのＸ軸ステッピングモータ２０２と、Ｙ軸方向に駆動するためのＹ軸ステッピングモータ２０３と、これらステッピングモータの駆動に伴いステージ１０２を移動させるステージ駆動機構としてのＸ軸シャフト２０４と、Ｙ軸シャフト２０５とから構成される。
【００２０】
ここで、ステージ１０２は、ステッピングモータの１パルスの駆動で１μｍ移動するように、Ｘ軸シャフト２０４、Ｙ軸シャフト２０５の図示しないギア機構によって設定されている。ステッピングモータ２０２、２０３はＸＹステージ制御部１１２に接続され、ＸＹステージ制御部１１２から出力された励磁パターン電流により駆動される。
【００２１】
このステージ１０２は、ステッピングモータ２０２をＣＷに駆動すると右側に移動し、ＣＣＷに駆動すると左側に移動する構成としてある。また、ステッピングモータ２０３をＣＷに駆動すると上側に移動し、ＣＣＷに駆動すると下側に移動する構成としてある。
【００２２】
ステージ１０２は、ステージ１０２のＸＹ方向の移動位置を検出するための検出手段として、例えばフォトインタラプターなどのＸ軸原点センサ２０７、Ｙ軸原点センサ２０８を有する。ステージ１０２の下面には、Ｘ軸原点センサ２０７、Ｙ軸原点センサ２０８の検出光を遮光するＸ軸原点センサ遮光部２０９、Ｙ軸原点センサ遮光部２１０がそれぞれ固定されており、ステージの移動によりセンサ２０７、２０８の状態（ＯＮ／ＯＦＦ）を切り換える。Ｘ軸原点センサ遮光部２０９とＹ軸原点センサ遮光部２１０の固定位置は、ステージ１０２が基準位置であるＸＹ方向の中心に位置するとセンサ２０７、２０８の状態（ＯＮ／ＯＦＦ）が切り換わるような位置にしてある。ＸＹステージ制御部１１２が、原点センサ２０７、２０８を読み取りセンサの状態を取得することで、ステージの現在の位置が基準位置からどちらの方向にあるか判断することができる。
【００２３】
＜ＸＹステージ制御部の構成＞
図３は、ＸＹステージ制御部のブロック図である。
図３に示すように、ＸＹステージ制御部１１２は、ジョイスティック１１１と、ジョイスティック１１１からのアナログ信号を８ビットでＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器３０１、３０２と、Ａ／Ｄ変換器３０１、３０２から得られたデジタル信号を解析し、ステージ１０２を駆動するためのパルス量と駆動方向とを送るＣＰＵ３０３と、制御に用いるデータを一時的に格納するＲＡＭ３０４と、制御に用いるプログラムを格納するＲＯＭ３０５とを備える。ＣＰＵ３０３は、観察ユニット１０５内の対物レンズ倍率認識部１０９より現在の観察倍率を取得する。
【００２４】
また、ＸＹステージ制御部１１２は、ステージ１０２の現在位置を記憶する一方で、ＣＰＵ３０３からパルス量と駆動方向とを受信後、Ｘ軸ドライバ３０６、Ｙ軸ドライバ３０７へパルスと回転方向とを送り、Ｘ軸ステッピングモータ２０２、Ｙ軸ステッピングモータ２０３の駆動完了をＣＰＵ３０３に送信するＸ軸Ｉ／Ｏ３０８、Ｙ軸Ｉ／Ｏ３０９とをさらに備える。
【００２５】
上記の構成により、ＸＹステージ制御部１１２は、ユーザーのジョイスティック１１１の操作に応じてＸ軸ステッピングモータ２０２、Ｙ軸ステッピングモータ２０３を駆動させ、ステージ１０２をＸＹ方向に移動させる。このように、ステージを移動させるアクチュエータとしてステッピングモータを用いるため、ＸＹステージ制御部１１２はオープンループでのステージ制御が可能である。
【００２６】
＜ジョイスティックの構成＞
図３に示すように、ジョイスティック１１１は、Ｘ軸用の可変抵抗器Ｒｘ３１０と、Ｙ軸用の可変抵抗器Ｒｙ３１１とから構成される。可変抵抗器Ｒｘ３１０、可変抵抗器Ｒｙ３１１は、垂直に立った一本のレバーのＸＹ方向の傾き角に応じてその抵抗値が変化し、Ｖｊ／２を中心としてＶｊからＧＮＤの間のアナログ信号をＸ軸とＹ軸で出力することができる。
【００２７】
ジョイスティック１１１は、自動復帰式であり、ユーザーがジョイスティック１１１から手を離すとレバーは常に垂直に戻る機構としてある。ジョイスティック１１１は、レバーを斜め方向に倒せば可変抵抗器Ｒｘ３１０と可変抵抗器Ｒｙ３１１の両方の抵抗値をそれぞれ変化させることができるので、Ｘ軸とＹ軸のアナログ信号を同時に出力することができる。
【００２８】
図４−１、図４−２および図４−３は、可変抵抗器Ｒｘから得られたアナログ信号をＡ／Ｄ変換したときのＣＰＵの動作を説明する図である。Ａ／Ｄ変換器３０１、３０２の分解能は８ビットであり、可変抵抗器Ｒｘ３１０、可変抵抗器Ｒｙ３１１から出力されるアナログ信号は２５６階調でＡ／Ｄ変換される。
【００２９】
図４−１に示すように、ジョイスティック１１１が垂直に立っているときの可変抵抗器Ｒｘ３１０は、左縦軸のＶｊ／２をアナログ信号として出力するので、Ａ／Ｄ変換後のデジタル信号は右縦軸の１２８となる。本実施の形態１では、デジタル信号の中央値１２８を基準とした±１６階調（１１２〜１４４）の間は不感帯Ｅとなっており、この不感帯Ｅの範囲ではＣＰＵ３０３がステージ１０２を駆動しないように設定している。
【００３０】
図４−２に示すように、ユーザーがジョイスティック１１１を右側に倒しデジタル信号の不感帯Ｅの上限範囲（１４４）を超えると、ＣＰＵ３０３はジョイスティック１１１が右方向に倒されたことを検出し、Ｘ軸の駆動方向がＣＷであると判定する。ＣＰＵ３０３は、ジョイスティック１１１が倒されたことを検出している間は、Ｘ軸Ｉ／Ｏ３０８に駆動指示を出力し続け、ジョイスティック１１１のレバーが垂直に復帰してデジタル信号が不感帯Ｅに戻ると、駆動指示を出力するのを止める。
【００３１】
同様に、図４−３に示すように、ユーザーがジョイスティック１１１を左側に倒しデジタル信号の不感帯Ｅの下限範囲（１１２）を下回ると、ＣＰＵ３０３はジョイスティック１１１が左方向に倒されたことを検出し、Ｘ軸の駆動方向がＣＣＷであると判定する。なお、Ｙ軸の可変抵抗器ＲyについてもＸ軸の可変抵抗器Ｒｘの場合と同様の判定がなされる。
【００３２】
＜実視野の算出方法＞
ＸＹステージ制御部１１２は、対物レンズの倍率から算出される実視野（Ｆｉｅｌｄ  ｏｆ  Ｖｉｅｗ。以下、「ＦＯＶ」という。）を基にステージ１０２を駆動するためのパルス数と移動範囲を決定する。
【００３３】
ＴＶ観察時の実視野ＦＯＶは以下の式で算出される。
ＦＯＶ＝撮像デバイスサイズ÷（ｍ（ｏｂ）×ｍ（ＴＶ））  …（１）式
ここで、ｍ（ｏｂ）：対物レンズの倍率
ｍ（ＴＶ）：ＴＶアダプタの投影倍率
１／３インチＣＣＤの撮像デバイスサイズ：Ｘ＝４．８ｍｍ、Ｙ＝３．６ｍｍ
【００３４】
例えば、撮像デバイスのサイズを１／３インチＣＣＤとし、ＴＶアダプタの投影倍率を１倍とすると、２０倍の対物レンズの実視野は、上記（１）式によりＸ軸の実視野ＦＯＶX＝２４０μｍ、Ｙ軸の実視野ＦＯＶY＝１８０μｍと求められる。
【００３５】
＜ステージの移動範囲の設定＞
ＸＹステージ制御部１１２は、ステージ１０２が現在の位置から移動できる範囲に制限を設けるため、観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態でステージ１０２を移動する制御を行う。この場合、図５に示すように、現在の観察視野の中心をＣとするステージ移動前の視野Ｐ０を、右上に移動可能な範囲Ｐ１（ステージを左下に移動可能な範囲）に移動したときの移動後の視野の中心はＡとなる。一方、視野Ｐ０を、左下に移動可能な範囲Ｐ２（ステージを右上に移動可能な範囲）に移動したときの移動後の視野の中心はＢとなる。
【００３６】
現在の観察視野の中心がモニタ１１３上に存在する状態を維持するには、視野の移動範囲をＦＯＶの１／２未満に制限する必要がある。この場合、対物レンズの倍率が２０倍のときの視野の移動範囲は、ＦＯＶX／２＝１２０μｍ、ＦＯＶY／２＝９０μｍである。このことから、視野の中心が存在した状態で、現在の位置から視野を移動できる範囲は、Ｘ軸が−１２０μｍ＜Ｘ＜１２０μｍ、Ｙ軸が−９０μｍ＜Ｙ＜９０μｍであり、ステージ１０２が現在の位置から駆動できるＸ軸の範囲はＣＷ方向に１２０パルス、ＣＣＷ方向に１２０パルス、Ｙ軸の範囲はＣＷ方向に９０パルス、ＣＣＷ方向に９０パルスとなる。
【００３７】
このような条件でステージ１０２を駆動した場合の、ステージの移動前と移動後の視野を図６−１および図６−２に示す。図６−１および図６−２に示すように、点線で示したステージ移動後の視野Ｐ１には、ステージ移動前の視野Ｐ０の中心Ｃが含まれていることが判る。ここで、図６−１において、ステージ移動量ＸはＣＣＷ１２０パルスであり、視野の移動量ＬＸは１２０μｍである。図６−２において、ステージ移動量ＹはＣＣＷ９０パルスであり、視野の移動量ＬＹは９０μｍである。
【００３８】
また、ＣＰＵ３０３がジョイスティック１１１から駆動方向を検出し、Ｘ軸Ｉ／Ｏ３０８とＹ軸Ｉ／Ｏ３０７に一度に送るパルス量ＮはＦＯＶ／２の値よりも小さい値に設定する。本実施の形態１では、一度に送るパルス量Ｎを１０パルスに設定した。
【００３９】
以上のように構成された本実施の形態１の動作および作用について説明する。
光源ユニット１０４から観察ユニット１０５に導入された光は、図示しない照明光学系を通して対物レンズによってサンプル１０２上に集光される。サンプル１０２からの反射光は、再び対物レンズと観察ユニット１０５とを介してＣＣＤカメラ１１０の受光素子上に結像され、ユーザーはモニタ１１３により画像表示されるサンプル１０３の光学像を観察することができる。
【００４０】
＜ステージの初期化＞
顕微鏡システムの電源を投入すると、まず初めに電動ＸＹステージユニット１０１の初期化動作が行われる。図７は、電動ＸＹステージユニット１０１の初期化前と初期化後のステージ１０２の位置を示す側面図である。図中、初期化前のステージ１０２およびＸ軸原点センサ遮光部２０９を実線で示し、初期化後を点線で示してある。
【００４１】
まず、ＣＰＵ３０３は、Ｘ軸原点センサ２０７の状態を取得する。次に、ＣＰＵ３０３はＸ軸原点センサ２０７が遮光されてなければ、ステージ１０２が初期化位置の右側に位置すると判断し、ステッピングモータ２０２をＣＣＷ方向に駆動し、ステージ１０２を左方向へ駆動させ、Ｘ軸原点センサ遮光部２０９をＸ軸原点センサ２０７により検出する。この検出と同時に初期化が完了する。顕微鏡システムの電源が投入されたとき、Ｘ軸原点センサ２０７が遮光されていれば、ＣＰＵ３０３はステージ１０２が初期化位置の左側に位置すると判断し、Ｘ軸ステッピングモータ２０２をＣＷ方向に駆動し、ステージ１０２を右方向へ駆動させることで初期化動作を行う。Ｙ軸方向においても、Ｘ軸と同様の方法で初期化動作を行う。電動ＸＹステージの初期化動作が行われると同時にレボルバユニット１０８の初期化も行われ、対物レンズは、１０倍対物レンズ１０６が選択される。
【００４２】
ユーザーは、モニタ１１３の画像を見て、視野を移動したいと判断した場合、ジョイスティック１１１を操作することでステージ１０２の移動を制御し、観察に適切な位置に視野を移動することができる。
【００４３】
ユーザーがジョイスティック１１１を操作すると、ＣＰＵ３０３は、以下のように、Ｘ軸の駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）とＹ軸の駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）を引数としてステージ１０２を駆動する処理を実行する。
引数  “Ｘ駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）”“Ｙ駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）”
【００４４】
ジョイスティック１１１が操作されたときのＣＰＵ３０３の動作を、図８および図９のフローチャートを用いて説明する。この動作は、観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態でステージを制御するものである。図８は、本実施の形態１のステージ制御のシーケンスを示す概略フローチャートであり、図９は、本実施の形態１のステージ制御のシーケンスを示す詳細フローチャートである。
【００４５】
ユーザーが詳細観察部を見つけ、対物レンズを１０倍から２０倍に切り換えると同時に、ＣＰＵ３０３はステージ移動量Ｘ、ステージ移動量Ｙをゼロに初期化する。そして、図８の概略フローチャートに示すように、ステージ駆動指示処理を行い（ステップＳ１）、現在位置が制限位置か否かを判定してから（ステップＳ２）、ＸＹステージを駆動し（ステップＳ３）、その後、処理する駆動軸を切り換える（ステップＳ４）という手順で処理を行う。
【００４６】
より具体的には、図９に示すように、ＣＰＵ３０３は駆動軸ＡをＸ軸にセットする（ステップＳ１０１）。次に、ＣＰＵ３０３は駆動軸Ａの駆動方向Ｄ（ＣＷ／ＣＣＷ）を取得し（ステップＳ１０２）、駆動方向ＤがＣＷならば（ステップＳ１０３がＹ）、ＣＰＵはＮに１０をセットし（ステップＳ１０４）、駆動方向ＤがＣＷでなければ（ステップＳ１０３がＮ）、Ｎに−１０をセットする（ステップＳ１０５）。
【００４７】
次に、駆動軸ＡがＸ軸ならば（ステップＳ１０６がＹ）、ステージ移動量ＸにステップＳ１０４またはステップＳ１０５でセットしたＮの値を加算し、ステージ移動量Ｘの値を更新する（ステップＳ１０７）。そして、ステージ移動量Ｘが−１２０＜Ｘ＜１２０の範囲内ならば（ステップＳ１０８がＹ）、ＣＰＵ３０３はＸ軸モータドライバを選択し、駆動方向Ｄをセットし、１０パルスをＸ軸Ｉ／Ｏ３０８に出力する（ステップＳ１０９）。その後、Ｘ軸Ｉ／Ｏ３０８からのＸ軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら（ステップＳ１１０がＹ）、ステップＳ１１１に移行する。ステップＳ１０８において、ステージ移動量Ｘが−１２０＜Ｘ＜１２０でなければ（ステップＳ１０８がＮ）、ＣＰＵ３０３はステップＳ１０９、ステップＳ１１０の駆動処理を行わない。
【００４８】
ＣＰＵ３０３はステージ駆動要求がなければ（ステップＳ１１１がＮ）、このシーケンス処理を終了し、ステージ駆動要求があれば（ステップＳ１１１がＹ）、ステップＳ１１２に移行する。駆動軸ＡがＸ軸であれば（ステップＳ１１２がＹ）、駆動軸ＡをＹ軸にセットして（ステップＳ１１３）、制御する軸をＸ軸からＹ軸に切り換え、ステップＳ１０２に戻りＹ軸の駆動処理を開始する。
【００４９】
ステップＳ１０６において、駆動軸ＡがＹ軸ならば（ステップＳ１０６がＮ）、ＣＰＵはステージ移動量ＹにステップＳ１０４またはステップＳ１０５でセットしたＮの値を加算し、ステージ移動量Ｙの値を更新する（ステップＳ１１５）。そしてステージ移動量Ｙが−９０＜Ｙ＜９０の範囲内ならば（ステップＳ１１６がＹ）、ＣＰＵ３０３はＹ軸モータドライバを選択し、駆動方向Ｄをセットし、１０パルスをＹ軸Ｉ／Ｏ３０９に出力する（ステップＳ１１７）。その後、Ｙ軸Ｉ／Ｏ３０９からのＹ軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら（ステップＳ１１８がＹ）、ステップＳ１１１に移行する。ステップＳ１１６において、ステージ移動量Ｘが−９０＜Ｙ＜９０の範囲内でなければ（ステップＳ１１６がＮ）、ＣＰＵはステップＳ１１７、ステップＳ１１８の駆動処理を行わない。
【００５０】
ＣＰＵ３０３は駆動軸ＸとＹの処理を同時に行ってはいないが、シーケンスを高速で繰り返すことで、ほぼ同時にＸ軸とＹ軸の駆動を可能としている。
【００５１】
本実施の形態１によれば、現在の観察視野の中心位置がモニタ１１３に存在する状態でステージ１０２を移動させることで、ユーザーがジョイスティック１１１の操作を誤って視野を所望の観察位置から大きく外れた位置に移動させてしまうことを防止することができる。このため、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
【００５２】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。図１０は、本実施の形態２の顕微鏡システムのＸＹステージ制御部のブロック図である。
図１０に示すように、本実施の形態２に係る顕微鏡システムは、上記の実施の形態１の顕微鏡システムのジョイスティックの構成において、ステージの駆動モードを切り換える切り換え手段としてのスイッチを追加したものである。このスイッチをＯＦＦにして操作すると、上記の実施の形態１の動作と同様の動作モードとなり、一方、スイッチをＯＮにして操作すると、現在の観察視野に隣接する視野へ移動する駆動モードとなることを企図するものである。
【００５３】
＜ＸＹステージ制御部の構成＞
図１０に示すように、ＸＹステージ制御部１１２は、ジョイスティック１１１と、ジョイスティック１１１からのアナログ信号を８ビットでＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器３０１、３０２と、Ａ／Ｄ変換器３０１、３０２から得られたデジタル信号を解析し、ステージ１０２を駆動するためのパルス量と駆動方向とを送るＣＰＵ３０３と、制御に用いるデータを一時的に格納するＲＡＭ３０４と、制御に用いるプログラムを格納するＲＯＭ３０５とを備える。ＣＰＵ３０３は、観察ユニット１０５内の対物レンズ倍率認識部１０９より現在の観察倍率を取得する。
【００５４】
また、ＸＹステージ制御部１１２は、ステージ１０２の現在位置を記憶する一方で、ＣＰＵ３０３からパルス量と駆動方向とを受信後、Ｘ軸ドライバ３０６、Ｙ軸ドライバ３０７へパルスと回転方向とを送り、Ｘ軸ステッピングモータ２０２、Ｙ軸ステッピングモータ２０３の駆動完了をＣＰＵ３０３に送信するＸ軸Ｉ／Ｏ３０８、Ｙ軸Ｉ／Ｏ３０９とをさらに備える。
【００５５】
上記の構成により、ＸＹステージ制御部１１２は、ユーザーのジョイスティック１１１の操作に応じてＸ軸ステッピングモータ２０２、Ｙ軸ステッピングモータ２０３を駆動させ、ステージ１０２をＸＹ方向に移動させる。このように、ステージを移動させるアクチュエータとしてステッピングモータを用いるため、ＸＹステージ制御部１１２はオープンループでのステージ制御が可能である。
【００５６】
＜ジョイスティックの構成＞
ジョイスティック１１１は、Ｘ軸用の可変抵抗器Ｒｘ３１０と、Ｙ軸用の可変抵抗器Ｒｙ３１１と、ステージの駆動モードを切り換える切り換え手段としてのスイッチ３１２とから構成される。スイッチ３１２はＣＰＵ３０３に接続され、ユーザーがスイッチ３１２を押下している間、ＣＰＵ３０３はスイッチＯＮを取得する。スイッチが押下されていない間、ＣＰＵ３０３はスイッチＯＦＦを取得する。
【００５７】
ユーザーがジョイスティック１１１のスイッチ３１２を押下していないとき、ＸＹステージ制御部１１２は、ステージ１０２が現在の位置から移動できる範囲に制限をかけ、ジョイスティック１１１が操作された際には観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態でステージを移動する。ここで、ユーザーが現在の観察視野に隣接する視野へ移動したいと判断した場合、ユーザーは、スイッチ３１２を押した状態、つまり、ジョイスティック１１１をＺ軸方向に押下状態でジョイスティック１１１のレバーをＸ軸およびＹ軸方向に操作する。
【００５８】
現在の観察視野に隣接する視野へ移動するため移動量は、上記の実施の形態１で説明したＦＯＶで求められる。Ｘ軸のＦＯＶXは２４０μｍ、Ｙ軸のＦＯＶYは１８０μｍであることから、現在の観察視野から隣接する視野に移動するための移動量は、Ｘ軸が２４０μｍ、Ｙ軸が１８０μｍである。このとき、ステージ１０２が現在の位置からＸ軸方向に駆動するパルス数はＣＷ方向に２４０パルス、ＣＣＷ方向に２４０パルス、Ｙ軸の範囲はＣＷ方向に１８０パルス、ＣＣＷ方向に１８０パルスとなる。
【００５９】
このような条件でステージ１０２を駆動した場合の、ステージの移動前と移動後の視野を図１１−１および図１１−２に示す。図１１−１および図１１−２に示すように、点線で示したステージ移動後の視野Ｐ１は、ステージ移動前の視野Ｐ０に隣接していることが判る。ここで、図１１−１において、ステージ移動量ＸはＣＣＷ２４０パルスであり、視野の移動量ＬＸは２４０μｍである。図１１−２において、ステージ移動量ＹはＣＣＷ１８０パルスであり、視野の移動量ＬＹは１８０μｍである。
【００６０】
以上のように構成された本実施の形態２の動作および作用について説明する。
ユーザーがジョイスティック１１１のスイッチ３１２を押していないとき、ＣＰＵ３０３は観察視野内に現在の観察視野の中心がモニタ１１３に存在する状態でステージを制御する。ユーザーが、スイッチ３１２を押した状態でジョイスティック１１１を操作すると、ＣＰＵ３０３は、現在の観察視野に隣接する視野の領域へ移動する。
【００６１】
ユーザーは、モニタ１１３の画像を見て、視野を移動したいと判断した場合、ジョイスティック１１１を操作することでステージ１０２の移動を制御し、観察に適切な位置に視野を移動することができる。
【００６２】
ユーザーがジョイスティック１１１を操作すると、ＣＰＵ３０３は、以下のように、Ｘ軸の駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）とＹ軸の駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）とスイッチ（ＯＮ／ＯＦＦ）を引数としてステージを駆動する処理を実行する。
引数  “Ｘ駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）”“Ｙ駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）”“スイッチ（ＯＮ／ＯＦＦ）”
【００６３】
ジョイスティック１１１が操作されたときのＣＰＵ３０３の動作を、図１２−１および図１２−２のフローチャートを用いて説明する。図１２−１および図１２−２は、本実施の形態２のステージ制御のシーケンスを示す詳細フローチャートである。
【００６４】
ユーザーが詳細観察部を見つけ、対物レンズを１０倍から２０倍に切り換えると同時に、ＣＰＵ３０３はステージ移動量Ｘ、ステージ移動量Ｙをゼロに初期化する。
図１２−１および図１２−２に示すように、ＣＰＵ３０３は駆動軸ＡをＸ軸にセットする（ステップＳ２０１）。ＣＰＵ３０３はＮｃｏａｒｓｅに２４０をセットする（ステップＳ２０２）。次に、ＣＰＵ３０３は駆動軸Ａの駆動方向Ｄ（ＣＷ／ＣＣＷ）を取得し（ステップＳ２０３）、駆動方向ＤがＣＷならば（ステップＳ２０４がＹ）、ＣＰＵ３０３は、ステップＳ２０５に移行し、駆動方向ＤがＣＷでなければ（ステップＳ２０４がＮ）、ステップＳ２０８に移行する。次に、スイッチ３１２がＯＮでなければ、ＣＰＵ３０３はＮに＋１０をセットし（ステップＳ２０６）、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ２０５がＹ）、ＣＰＵ３０３はＮに、隣接する視野にステージを駆動させるためのパルス数Ｎｃｏａｒｓｅをセットする（ステップＳ２０７）。ステップＳ２０４において、駆動方向ＤがＣＷでなく（ステップＳ２０４がＮ）、スイッチ３１２がＯＮでなければ（ステップＳ２０８がＮ）、ＣＰＵはＮに−１０をセットし（ステップＳ２０９）、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ２０８がＹ）、ＣＰＵ３０３はＮにＮｃｏａｒｓｅをセットする（ステップＳ２０８）。
【００６５】
次に、駆動軸ＡがＸ軸ならば（ステップＳ２１１がＹ）、ステージ移動量ＸにステップＳ２０５、ステップＳ２０６、ステップＳ２０８、ステップＳ２０９、ステップＳ２１０でセットしたＮの値を加算し、ステージ移動量Ｘの値を更新する（ステップＳ２１２）。そして、ステージ移動量Ｘが−１２０＜Ｘ＜１２０の範囲内ならば（ステップＳ２１３がＹ）、ＣＰＵ３０３はＸ軸モータドライバを選択し、駆動方向Ｄをセットし、ＮパルスをＸ軸Ｉ／Ｏに出力する（ステップＳ２１４）。その後、Ｘ軸Ｉ／ＯからのＸ軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら（ステップＳ２１７がＹ）、ステップＳ２１８に移行する。ステップＳ２１３において、ステージ移動量Ｘが−１２０＜Ｘ＜１２０でなければ（ステップＳ２１２がＮ）、ＣＰＵ３０３はスイッチ３１２を確認し、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ２１５がＹ）、ステージ移動量Ｘをゼロに初期化し（ステップＳ２１６）、ステップＳ２１４の駆動処理を行う。ステップＳ２１４のスイッチ３１２がＯＮでなければ、ＣＰＵはステップＳ２１４、ステップＳ２１７の駆動処理を行わない。
【００６６】
ＣＰＵ３０３はステージ駆動要求がなければ（ステップＳ２１８がＮ）、このシーケンス処理を終了し、ステージ駆動要求があれば（ステップＳ２１８がＹ）、ステップＳ２１９に移行する。駆動軸ＡがＸ軸であれば（ステップＳ２１９がＹ）、駆動軸ＡをＹ軸にセットして（ステップＳ２２０）、制御する軸をＸ軸からＹ軸に切り換え、Ｎｃｏａｒｓｅを１８０にセットする（ステップＳ２２１）。ステップＳ２０３に戻りＣＰＵ３０３はＹ軸の駆動処理を開始する。
【００６７】
ステップＳ２１１において、駆動軸ＡがＹ軸ならば（ステップＳ２１１がＮ）、ＣＰＵ３０３はステージ移動量ＹにステップＳ２０５、ステップＳ２０６、ステップＳ２０８、ステップＳ２０９、ステップＳ２１０でセットしたＮの値を加算し、ステージ移動量Ｙの値を更新する（ステップＳ２２２）。そしてステージ移動量Ｙが−９０＜Ｙ＜９０の範囲内ならば（ステップＳ２２３がＹ）、ＣＰＵ３０３はＹ軸モータドライバを選択し、駆動方向Ｄをセットし、ＮパルスをＹ軸Ｉ／Ｏ３０９に出力する（ステップＳ２２４）。その後、Ｙ軸Ｉ／Ｏ３０９からのＹ軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら（ステップＳ２２７がＹ）、ステップＳ２１８に移行する。ステップＳ２２３において、ステージ移動量Ｙが−９０＜Ｙ＜９０の範囲内でなければ（ステップＳ２２３がＮ）、ＣＰＵ３０３はスイッチ３１２の状態を確認し、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ２２５がＹ）、ステージ移動量Ｙをゼロに初期化し（ステップＳ２２６）、ステップＳ２２４、ステップＳ２２７の駆動処理を行う。ステップＳ２２５においてスイッチがＯＮでなければ、ＣＰＵはステップＳ２２３、ステップＳ２２７の駆動処理を行わない。
【００６８】
本実施の形態２によれば、上記の実施の形態１の効果に加えて、現在の観察視野に隣接する領域に視野を移動するようにステージを駆動させることができる。これにより、観察視野の切り換えがスムーズとなり、このため、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
【００６９】
また、上記の実施の形態２において、スイッチ３１２はジョイスティック１１１を押下することでＯＮされるように構成したが、このようにする代わりに、例えばジョイスティック１１１の台座にスイッチを配置して、ジョイスティック１１１を操作する指とは異なる指でこのスイッチをＯＮするように構成してもよいことはもちろんである。
【００７０】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について説明する。
本実施の形態３に係る顕微鏡システムは、上記の実施の形態２の顕微鏡システムのＸＹステージ制御部において、ステージ移動後の視野が、現在観察している視野の一部を含むように制御することを企図するものである。
【００７１】
ユーザーがジョイスティック１１１のスイッチ３１２を押していないとき、ＣＰＵ３０３は観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態を維持してステージ１０２を制御する。ユーザーが、スイッチ３１２を押した状態でジョイスティック１１１を操作すると、ＣＰＵ３０３は、現在の観察視野の一部を含むように視野を移動するため、ステージ１０２の駆動制御を行う。
【００７２】
現在観察している視野の一部が移動後の視野に残るようにステージを移動するための駆動量は、上記の実施の形態１で説明したＦＯＶ未満に抑えて設定する必要がある。現在観察している視野の１／１０をモニタ１１３に残して、隣接する視野の領域へ移動するには、ＦＯＶの値から、ＦＯＶを１／１０倍した値を減算する。
Ｎｃｏａｒｓｅ＝ＦＯＶ−（ＦＯＶ／１０）  …（２）式
２０倍の対物レンズのＦＯＶはＦＯＶX＝２４０μｍ、ＦＯＶY＝１８０μｍであるから、Ｘ軸方向に隣接する領域への視野の移動量は２１６μｍ、Ｙ軸方向に隣接する領域への移動量は１６２μｍと求められる。
【００７３】
このとき、ステージ１０２が現在の位置からＸ軸方向に駆動するパルス数はＣＷ方向に２１６パルス、ＣＣＷ方向に２１６パルス、Ｙ軸の範囲はＣＷ方向に１６２パルス、ＣＣＷ方向に１６２パルスとなる。
【００７４】
このような条件でステージ１０２を駆動した場合の、ステージの移動前と移動後の視野を図１３−１および図１３−２に示す。図１３−１および図１３−２に示すように、点線で示したステージ移動後の視野Ｐ１は、ステージ移動前の視野Ｐ０の一部Ｐ３を残していることが判る。ここで、図１３−１において、ステージ移動量ＸはＣＣＷ２１６パルスであり、視野の移動量ＬＸは２１６μｍである。図１３−２において、ステージ移動量ＹはＣＣＷ１６２パルスであり、視野の移動量ＬＹは１６２μｍである。
【００７５】
以上のように構成された本実施の形態３の動作および作用について説明する。
ユーザーは、モニタ１１３の画像表示部の画像を見て、視野を移動したいと判断した場合、ジョイスティック１１１を操作することでステージ１０２の移動を制御し、観察に適切な位置に視野を移動することができる。
【００７６】
ユーザーがジョイスティック１１１を操作すると、ＣＰＵ３０３は、以下のように、Ｘ軸の駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）とＹ軸の駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）とスイッチ３１２（ＯＮ／ＯＦＦ）を引数としてステージ１０２を駆動する処理を実行する。
引数  “Ｘ駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）”“Ｙ駆動方向（ＣＷ／ＣＣＷ）”“スイッチ（ＯＮ／ＯＦＦ）”
【００７７】
ジョイスティック１１１が操作されたときのＣＰＵ３０３の動作を、図１４−１および図１４−２のフローチャートを用いて説明する。図１４−１および図１４−２は、本実施の形態３のステージ制御のシーケンスを示す詳細フローチャートである。
【００７８】
ユーザーが詳細観察部を見つけ、対物レンズを１０倍から２０倍に切り換えると同時に、ＣＰＵ３０３はステージ移動量Ｘ、ステージ移動量Ｙをゼロに初期化する。
図１４−１および図１４−２に示すように、ＣＰＵ３０３は駆動軸ＡをＸ軸にセットする（ステップＳ３０１）。ＣＰＵ３０３はＮｃｏａｒｓｅに２１６をセットする（ステップＳ３０２）。次に、ＣＰＵ３０３は駆動軸Ａの駆動方向Ｄ（ＣＷ／ＣＣＷ）を取得し（ステップＳ３０３）、駆動方向ＤがＣＷならば（ステップＳ３０４がＹ）、ＣＰＵ３０３は、ステップＳ３０５に移行し、駆動方向ＤがＣＷでなければ（ステップＳ３０４がＮ）、ステップＳ３０８に移行する。次に、スイッチ３１２がＯＮでなければ、ＣＰＵ３０３はＮに＋１０をセットし（ステップＳ３０６）、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ３０５がＹ）、ＣＰＵはＮに隣接する視野にステージを駆動させるためのパルス数Ｎｃｏａｒｓｅをセットする（ステップＳ３０７）。ステップＳ３０４において、駆動方向ＤがＣＷでなく（ステップＳ３０３がＮ）、スイッチ３１２がＯＮでなければ（ステップＳ３０８がＮ）、ＣＰＵはＮに−１０をセットし（ステップＳ３０９）、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ３０７がＹ）、ＣＰＵ３０３はＮにＮｃｏａｒｓｅをセットする（ステップＳ３０８）。
【００７９】
次に、駆動軸ＡがＸ軸ならば（ステップＳ３１１がＹ）、ステージ移動量ＸにステップＳ３０６、ステップＳ３０７，ステップＳ３０９、ステップＳ３１０でセットしたＮの値を加算し、ステージ移動量Ｘの値を更新する（ステップＳ３１２）。そして、ステージ移動量Ｘが−１２０＜Ｘ＜１２０の範囲内ならば（ステップＳ３１３がＹ）、ＣＰＵ３０３はＸ軸モータドライバを選択し、駆動方向Ｄをセットし、ＮパルスをＸ軸Ｉ／Ｏに出力する（ステップＳ３１４）。その後、Ｘ軸Ｉ／ＯからのＸ軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら（ステップＳ３１７がＹ）、ステップＳ３１８に移行する。ステップＳ３１３において、ステージ移動量Ｘが−１２０＜Ｘ＜１２０の範囲内でなければ（ステップＳ３１３がＮ）、ＣＰＵ３０３はスイッチ３１２を確認し、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ３１５がＹ）、ステージ移動量Ｘをゼロに初期化し（ステップＳ３１６）、ステップＳ３１４の駆動処理を行う。ステップＳ３１４のスイッチ３１２がＯＮでなければ、ＣＰＵはステップＳ３１４、ステップＳ３１７の駆動処理を行わない。
【００８０】
ＣＰＵ３０３はステージ駆動要求がなければ（ステップＳ３１８がＮ）、このシーケンス処理を終了し、ステージ駆動要求があれば（ステップＳ３１８がＹ）、ステップＳ３１９に移行する。駆動軸ＡがＸ軸であれば（ステップＳ３１９がＹ）、駆動軸ＡをＹ軸にセットして（ステップＳ３２０）、制御する軸をＸ軸からＹ軸に切り換え、Ｎｃｏａｒｓｅを１６２にセットする（ステップＳ３２１）。ステップＳ３０３に戻りＣＰＵ３０３はＹ軸の駆動処理を開始する。
【００８１】
ステップＳ３１１において、駆動軸ＡがＹ軸ならば（ステップＳ３１１がＮ）、ＣＰＵ３０３はステージ移動量ＹにステップＳ３０６、ステップＳ３０７、ステップＳ３０９、ステップＳ３１０でセットしたＮの値を加算し、ステージ移動量Ｙの値を更新する（ステップＳ３２２）。そしてステージ移動量Ｙが−９０＜Ｙ＜９０の範囲内ならば（ステップＳ３２３がＹ）、ＣＰＵ３０３はＹ軸モータドライバを選択し、駆動方向Ｄをセットし、ＮパルスをＹ軸Ｉ／Ｏ３０９に出力する（ステップＳ３２４）。その後、Ｙ軸Ｉ／Ｏ３０９からのＹ軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら（ステップＳ３２７がＹ）、ステップＳ３１８に移行する。ステップＳ３２３において、ステージ移動量Ｙが−９０＜Ｙ＜９０の範囲内でなければ（ステップＳ３２３がＮ）、ＣＰＵ３０３はスイッチ３１２の状態を確認し、スイッチ３１２がＯＮであれば（ステップＳ３２５がＹ）、ステージ移動量Ｙをゼロに初期化し（ステップＳ３２６）、ステップＳ３２４、ステップＳ３２７の駆動処理を行う。ステップＳ３２５においてスイッチがＯＮでなければ、ＣＰＵはステップＳ３２３、ステップＳ３２７の駆動処理を行わない。
【００８２】
本実施の形態３によれば、上記の実施の形態２の効果に加えて、現在の観察視野の一部を移動後の視野に残すようにステージを駆動させることにより、移動前の視野との位置関係が判る状態で移動後の視野を観察することができる。また、ステージの移動をジョイスティックで操作する際に、視野が大きく移動しないので、操作における煩わしさが解消され、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１−１】実施の形態１の顕微鏡システムのブロック図である。
【図１−２】実施の形態１の顕微鏡システムの概略斜視図である。
【図２−１】電動ＸＹステージユニットの概略下面図である。
【図２−２】電動ＸＹステージユニットの概略側面図である。
【図３】実施の形態１のＸＹステージ制御部のブロック図である。
【図４−１】可変抵抗器のアナログ信号をＡ／Ｄ変換する動作の説明図である。
【図４−２】ジョイスティック操作時のＡ／Ｄ変換を説明する図である。
【図４−３】ジョイスティック操作時のＡ／Ｄ変換を説明する図である。
【図５】実施の形態１のステージ移動範囲と観察視野の説明図である。
【図６−１】実施の形態１のステージ移動前後の視野の説明図である。
【図６−２】実施の形態１のステージ移動前後の視野の説明図である。
【図７】初期化前後のステージの位置を示す側面図である。
【図８】実施の形態１、２、３の概略フローチャート図である。
【図９】実施の形態１の詳細フローチャート図である。
【図１０】実施の形態２、３のＸＹステージ制御部のブロック図である。
【図１１−１】実施の形態２のステージ移動前後の視野の説明図である。
【図１１−２】実施の形態２のステージ移動前後の視野の説明図である。
【図１２−１】実施の形態２の詳細フローチャート図である。
【図１２−２】実施の形態２の詳細フローチャート図である。
【図１３−１】実施の形態３のステージ移動前後の視野の説明図である。
【図１３−２】実施の形態３のステージ移動前後の視野の説明図である。
【図１４−１】実施の形態３の詳細フローチャート図である。
【図１４−２】実施の形態３の詳細フローチャート図である。
【符号の説明】
【００８４】
１０１  電動ＸＹステージユニット
１０２  ステージ
１０３  サンプル
１０４  光源ユニット
１０５  観察ユニット
１０６  対物レンズ（１０倍）
１０７  対物レンズ（２０倍）
１０８  電動レボルバユニット
１０９  対物レンズ倍率認識部（倍率認識部）
１１０  ＣＣＤカメラ
１１１  ジョイスティック（操作入力手段）
１１２  ＸＹステージ制御部（制御手段）
１１３  モニタ（観察手段）
２０１，２１１  枠体
２０２  Ｘ軸ステッピングモータ（駆動手段）
２０３  Ｙ軸ステッピングモータ（駆動手段）
２０４  Ｘ軸シャフト
２０５  Ｙ軸シャフト
２０７  Ｘ軸原点センサ
２０８  Ｙ軸原点センサ
２０９  Ｘ軸原点センサ遮光部
２１０  Ｙ軸原点センサ遮光部
３０１，３０２  Ａ／Ｄ変換器
３０３  ＣＰＵ
３０４  ＲＡＭ
３０５  ＲＯＭ
３０６  Ｘ軸ドライバ
３０７  Ｙ軸ドライバ
３０８  Ｘ軸Ｉ／Ｏ
３０９  Ｙ軸Ｉ／Ｏ
３１０  可変抵抗器Ｒｘ
３１１  可変抵抗器Ｒｙ
３１２  スイッチ（切り換え手段）
【図１−１】
2010169892.tif 000003
【図１−２】
2010169892.tif 000004
【図２−１】
2010169892.tif 000005
【図２−２】
2010169892.tif 000006
【図３】
2010169892.tif 000007
【図４−１】
2010169892.tif 000008
【図４−２】
2010169892.tif 000009
【図４−３】
2010169892.tif 000010
【図５】
2010169892.tif 000011
【図６−１】
2010169892.tif 000012
【図６−２】
2010169892.tif 000013
【図７】
2010169892.tif 000014
【図８】
2010169892.tif 000015
【図９】
2010169892.tif 000016
【図１０】
2010169892.tif 000017
【図１１−１】
2010169892.tif 000018
【図１１−２】
2010169892.tif 000019
【図１２−１】
2010169892.tif 000020
【図１２−２】
2010169892.tif 000021
【図１３−１】
2010169892.tif 000022
【図１３−２】
2010169892.tif 000023
【図１４−１】
2010169892.tif 000024
【図１４−２】
2010169892.tif 000025