(57)【要約】【課題】液体を円滑に循環させると共に液体の過度の低粘度化を抑制して良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクが供給される第１のリザーバ２０と、第１のリザーバ２０から流入したインクをノズル１３から吐出させる圧力発生室１１と、圧力発生室１１からインクが流入した第２のリザーバ２１とを備え、第２のリザーバ２１のインクが第１のリザーバ２０に再度供給されることでインクが第１のリザーバ２０及び第２のリザーバ２１を循環するよう構成されたインクジェット式記録ヘッド１０であって、第１のリザーバ２０のインクは加熱する加熱部材６１と、第２のリザーバ２１のインクを冷却する冷却部材６２とを具備する。【選択図】図２
2010089402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が供給される第１のリザーバと、前記第１のリザーバから流入した液体をノズルか
ら吐出させる圧力発生室と、前記圧力発生室から液体が流入した第２のリザーバとを備え
、前記第２のリザーバの液体が前記第１のリザーバに再度供給されることで液体が前記第
１のリザーバ及び前記第２のリザーバを循環するよう構成された液体噴射ヘッドであって
、
前記第１のリザーバの液体は加熱され、第２のリザーバの液体は冷却される機構を有す
る
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１のリザーバ及び前記第２のリザーバが形成されたリザーバ形成基板の前記ノズ
ル側に設けられた第１のプレートと、
前記リザーバ形成基板の前記第１のプレート側とは反対側に設けられた第２のプレート
と、
前記第１のプレート及び前記第２のプレートの何れか一方に設けられて液体を加熱する
加熱部材と、
前記第２のプレート及び前記第１のプレートの何れか他方に設けられて液体を冷却する
冷却部材とを具備する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２のリザーバは、前記圧力発生室に対向する第１の領域と当該第１の領域以外の
第２の領域とを有し、
前記第２の領域は、前記第２のリザーバから液体を排出する液体排出孔に連通し、
前記冷却部材は、前記第２の領域のうち前記液体排出孔と前記第１の領域との間の液体
を冷却するように設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とす
る液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にイ
ンクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット
式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズルが穿
設されたノズルプレートと、ノズルに連通する複数の圧力発生室を含む液体流路が形成さ
れた流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧力発生手段とを具備す
るものがある。
【０００３】
一方、ＵＶインクに代表される高粘度インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドと
しては、ノズルから吐出されなかったインクを外部のサブタンク等に排出した後、該サブ
タンクから液体流路にインクを再度供給するように構成したものがある（例えば、特許文
献１参照）。他にも、ヒータ等の加熱手段を設けてインクを加熱し、その粘度を低下させ
るインクジェット式記録ヘッドがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
特許文献１に係るインクジェット式記録ヘッドでは、インクは、液体流路、圧力発生室
、サブタンク等の間で常に循環している。すなわち、インクが圧力発生室等に滞留するこ
とがないので、インクの澱みやインクの粒子の沈降によるインクの増粘化が抑制され、イ
ンクの吐出不良が抑制される。また、特許文献２に係るインクジェット式記録ヘッドはイ
ンクを積極的に加熱して低粘度化するため、インクは液体流路を安定して流通し、良好な
インクの吐出特性が得られるようになっている。
【０００５】
一方、インクジェット式記録ヘッドを長時間稼動させると、インクが加熱されすぎて、
その粘度が低くなりすぎてしまう。この結果、インクの吐出量が過多となり、不適切な濃
度で印刷される。また過度の加熱はインクを劣化させてしまう。そこで、ヘッドから外部
のサブタンクに排出されるインクを積極的に冷却するインクジェット式記録ヘッドがある
（例えば、特許文献３参照）。これによれば、ヘッドから外部のサブタンクまでの流路に
おいてインクが冷却されるため、長時間の加熱によるインクの過度の低粘度化が抑制され
る。
【特許文献１】特開平０６−１４３６０２号公報
【特許文献２】特開２００８−０５５７１６号公報
【特許文献３】特開２００５−２１２３５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に係るインクジェット式記録ヘッドのように
、インクを円滑に循環させるべくインクを加熱すると、過度の加熱によりインクが低粘度
になりすぎてしまう。インクが循環する構成であるので、既に加熱したインクが何度も加
熱されることになるからである。また、特許文献３に係るインクジェット式記録ヘッドの
ように、インクの過度の低粘度化やインクの劣化を抑制すべくインクを冷却すると、冷却
により増粘したインクが細い液体流路を通ることから、インクの円滑な流通が阻害されて
しまう。
【０００７】
なお、このような問題は、高粘度のインクを吐出する場合に限らず、加熱によりインク
を低粘度化して吐出するインクジェット式記録ヘッドにおいても同様に存在する。また、
インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を吐出す
る液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、液体を円滑に循環させると共
に液体の過度の低粘度化を抑制して良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド及び液体
噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、液体が供給される第１のリザーバと、前記第１のリザー
バから流入した液体をノズルから吐出させる圧力発生室と、前記圧力発生室から液体が流
入した第２のリザーバとを備え、前記第２のリザーバの液体が前記第１のリザーバに再度
供給されることで液体が前記第１のリザーバ及び前記第２のリザーバを循環するよう構成
された液体噴射ヘッドであって、前記第１のリザーバの液体は加熱され、第２のリザーバ
の液体は冷却される機構を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、圧力発生室の手前の第１のリザーバで液体を加熱することで液体が加
熱される時間を最小限にし、圧力発生室に続く第２のリザーバで液体を冷却することで加
熱された液体が速やかに冷却される。このため、液体を低粘度化して円滑に圧力発生室に
流通させると共に、過度の加熱による液体の劣化を抑制できる。
【００１０】
ここで、前記第１のリザーバ及び前記第２のリザーバが形成されたリザーバ形成基板の
前記ノズル側に設けられた第１のプレートと、前記リザーバ形成基板の前記第１のプレー
ト側とは反対側に設けられた第２のプレートと、前記第１のプレート及び前記第２のプレ
ートの何れか一方に設けられて液体を加熱する加熱部材と、前記第２のプレート及び前記
第１のプレートの何れか他方に設けられて液体を冷却する冷却部材とを具備することが好
ましい。これによれば、加熱部材と冷却部材とが別のプレートにそれぞれ設けられている
ので、加熱部材と冷却部材とは互いに影響を与えることなくそれぞれ液体を加熱、冷却す
ることができる。
【００１１】
また、前記第２のリザーバは、前記圧力発生室に対向する第１の領域と当該第１の領域
以外の第２の領域とを有し、前記第２の領域は、前記第２のリザーバから液体を排出する
液体排出孔に連通し、前記冷却部材は、前記第２の領域のうち前記液体排出孔と前記第１
の領域との間の液体を冷却するように設けられていることが好ましい。これによれば、液
体をより円滑に流入させると共に液体を確実に冷却することができる。
【００１２】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液
体噴射装置にある。
かかる態様では、良好な液体吐出特性を備えた液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドを示す概略断面図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの要部断面図であ
り、図３は、インクジェット式記録ヘッドのノズルプレート側の平面図である。
【００１４】
図１乃至図３に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、複数の
圧力発生室１１を有するリザーバ形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノ
ズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、リザーバ形成基板１２のノズルプレー
ト１４とは反対側の面に設けられる振動板１５と、該振動板１５上の各圧力発生室１１に
対応する領域に設けられる圧電素子１６を有する圧電素子ユニット１７と、振動板１５上
に固定されて圧電素子ユニット１７が収容される収容部１８を有するヘッドケース１９と
を有する。
【００１５】
リザーバ形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によっ
て区画されてその幅方向で複数並設されている。各圧力発生室１１の列の両側には、第１
のリザーバ２０と第２のリザーバ２１とがリザーバ形成基板１２を厚さ方向に貫通して設
けられている。リザーバ形成基板１２の他方面側、すなわちノズルプレート１４側の面に
は、例えばＳＵＳからなるリザーバ底板６０が接合されており、第１のリザーバ２０及び
第２のリザーバ２１の一方面側の開口がリザーバ底板６０で封止されている。
【００１６】
第１のリザーバ２０は、インク供給路２２を介して圧力発生室１１に連通しており、第
２のリザーバ２１は、インク排出路２３を介して圧力発生室１１に連通している。また、
第１のリザーバ２０は、ヘッドケース１９の厚さ方向に貫通して形成されたインク導入孔
４１と連通しており、第２のリザーバ２１は、ヘッドケース１９の厚さ方向に貫通して形
成されたインク排出孔４２と連通している。インク導入孔４１は、インクカートリッジ（
図示せず）からのインクを第１のリザーバ２０に導く流路であり、インク排出孔４２は、
第２のリザーバ２１のインクを外部のサブタンク（図示せず）に排出する流路である。ま
た、当該サブタンクには、当該サブタンクに貯留されたインクをインク導入孔４１に流入
させる循環路（図示せず）が接続されている。
【００１７】
このような構成のリザーバ形成基板１２では、外部からのインクがインク導入孔４１、
第１のリザーバ２０及びインク供給路２２を経て各圧力発生室１１に供給され、各圧力発
生室１１からインク排出路２３を介して第２のリザーバ２１に流入するようになっている
。そして、第２のリザーバ２１のインクはインク排出孔４２、サブタンク、及びインク導
入孔４１を介して第１のリザーバ２０に再度供給されるようになっている。すなわち、イ
ンクが、インク導入孔４１、第１のリザーバ２０、インク供給路２２、圧力発生室１１、
インク排出路２３、第２のリザーバ２１、インク排出孔４２、サブタンク及び循環路を循
環するようになっている。
【００１８】
なお、インク供給路２２は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成され
ており、第１のリザーバ２０から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保
持する役割を果たしている。また、圧力発生室１１の中央部には、リザーバ形成基板１２
を貫通するノズル連通孔６４が形成されている。
【００１９】
このようなリザーバ形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、
リザーバ形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、リザーバ形成基板１２をエ
ッチングすることによって形成されている。
【００２０】
第１のリザーバ２０のインクを加熱し、第２のリザーバ２１のインクを冷却する機構の
一例として、リザーバ底板６０には加熱部材６１と冷却部材６２とが設けられている。
【００２１】
加熱部材６１は、リザーバ底板６０の第１のリザーバ２０に対向する領域に設けられて
いる。詳言すると、本実施形態では、加熱部材６１は、ニクロムからなり、リザーバ底板
６０の第１のリザーバ２０とは反対側の面に設けられ、図示しない電源に接続されている
。加熱部材６１に電圧が印加されると、加熱部材６１は発熱し、その熱でリザーバ底板６
０を介して間接的に第１のリザーバ２０のインクが加熱される。
【００２２】
冷却部材６２は、リザーバ底板６０の第２のリザーバ２１に対向する領域に設けられて
いる。詳言すると、本実施形態では、冷却部材６２は、ペルチェ素子からなり、リザーバ
底板６０の第２のリザーバ２１とは反対側の面に設けられている。インクの熱は、リザー
バ底板６０を介して間接的に冷却部材６２により冷却される。
【００２３】
このように、第１のリザーバ２０のインクが加熱部材６１で加熱されると、インクの粘
度が低下するため、第１のリザーバ２０から圧力発生室１１にインクを円滑に流入させる
ことができる。すなわち、圧力発生室１１に十分な量のインクが供給されないことが抑制
され、インクの吐出不良を抑制できる。また、第２のリザーバ２１のインクが冷却部材６
２で冷却されると、インクの劣化が抑制される。仮にインクを冷却しなければ、第１のリ
ザーバ２０で加熱されたインクは循環し、再度、第１のリザーバ２０で加熱されることに
なり、長時間加熱され続けることによるインクの劣化が著しくなるからである。
【００２４】
ここで、インクが加熱される箇所は、圧力発生室１１に流入する直前である第１のリザ
ーバ２０である。仮に、外部のインクカートリッジからインク導入孔４１に至る流路でイ
ンクを加熱する場合、第１のリザーバ２０で加熱する場合と比較してインクが加熱されて
いる時間が長くなり、インクがより劣化してしまう。しかしながら、本発明に係るインク
ジェット式記録ヘッドでは、圧力発生室１１の直前である第１のリザーバ２０でインクを
加熱することから、インクが加熱される時間を最小限にすることができ、インクの劣化を
最小限に抑えることができる。
【００２５】
一方、インクが冷却される箇所は、圧力発生室１１から排出された直後である第２のリ
ザーバ２１である。仮に、インク排出孔４２から外部のサブタンクに至る流路でインクを
冷却する場合、第２のリザーバ２１で冷却する場合と比較して、加熱されたインクが冷却
されるまでの時間が長くなり、インクがより劣化してしまう。しかしながら、本発明に係
るインクジェット式記録ヘッドでは、圧力発生室１１の直後である第２のリザーバ２１で
インクを冷却することから、加熱されたインクは速やか冷却され、インクの劣化を最小限
に抑えることができる。
【００２６】
このように、本発明に係るインクジェット式記録ヘッドは、第１のリザーバ２０のイン
クを加熱し、第２のリザーバ２１のインクを冷却する機構を備えることで、インクを低粘
度化し、インクを円滑に圧力発生室１１に流通させると共に、過度の加熱によるインクの
劣化を抑制できる。
【００２７】
なお、加熱部材６１はニクロムに限定されず、種々の発熱体を用いることができるが、
そのなかでも抵抗加熱するものが好ましい。電流を流すと速やかに発熱するからである。
また、冷却部材６２はペルチェ素子に限定されず、鉄やアルミニウムなど種々の高熱伝導
率の材料を用いることができる。
【００２８】
さらに、加熱部材６１及び冷却部材６２は、リザーバ底板６０に設けられていたが、こ
れに限定されない。例えば、後述の振動板１５に設けられていてもよく、要するに、リザ
ーバ形成基板１２に接合されたプレートに設けられていればよい。また、加熱部材６１及
び冷却部材６２は、リザーバ形成基板１２自体に設けられていてもよい。例えば、リザー
バ形成基板１２の第１のリザーバ２０及び第２のリザーバ２１の周囲に加熱部材６１及び
冷却部材６２を設けてもよい。
【００２９】
また、本実施形態では、加熱部材６１及び冷却部材６２は、リザーバ底板６０を介して
間接的にインクを加熱及び冷却したが、直接的にインクを加熱及び冷却してもよい。例え
ば、第１のリザーバ２０及び第２のリザーバ２１のそれぞれの底部開口を加熱部材６１及
び冷却部材６２で封止することで、直接的にインクを加熱及び冷却できる。
【００３０】
他にも、第１のリザーバ２０のインクを加熱し、第２のリザーバ２１のインクを冷却す
る機構としては、例えばリザーバ底板６０の第１のリザーバ２０に対向する領域に熱媒流
路を形成し、リザーバ底板６０の第２のリザーバ２１に対向する領域に冷媒流路を形成し
、熱媒流路には所定温度の熱媒体を流通させ、冷媒流路には所定温度の熱媒体を流通させ
てもよい。
【００３１】
リザーバ底板６０のリザーバ形成基板１２とは反対側の面には、ノズル開口１３が穿設
されたノズルプレート１４が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル開口１
３は、リザーバ底板６０に設けられたノズル連通孔６３及びリザーバ形成基板１２に設け
られたノズル連通孔６４を介して各圧力発生室１１と連通している。
【００３２】
ノズルプレート１４は、例えば、ＳＵＳからなる薄板にノズル１３が設けられて形成さ
れている。
【００３３】
また、リザーバ形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振
動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。
【００３４】
この振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２４と、この弾
性膜２４を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２５との複合板で形成されてお
り、弾性膜２４側がリザーバ形成基板１２に接合されている。例えば、本実施形態では、
弾性膜２４は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２５は
、ステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する
領域内には、圧電素子１６の先端部が当接する島部２６が設けられている。すなわち、振
動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部
２７が形成されて、この薄肉部２７の内側にそれぞれ島部２６が設けられている。また、
本実施形態では、振動板１５の第１のリザーバ２０に対向する領域に、薄肉部２７と同様
に、支持板２５がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２４のみで構成されるコン
プライアンス部２８が設けられている。なお、このコンプライアンス部２８は、第１のリ
ザーバ２０内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２８の弾性膜２４が変形
することによって圧力変化を吸収し、第１のリザーバ２０内の圧力を常に一定に保持する
役割を果たす。
【００３５】
そして、圧電素子ユニット１７を構成する各圧電素子１６は、その活性領域の先端が振
動板１５の島部２６に当接した状態で固定されている。
【００３６】
ここで、圧力発生室１１内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段で
ある圧電素子１６は、本実施形態では、一つの圧電素子ユニット１７において一体的に形
成されている。すなわち、圧電材料２９と電極形成材料３０，３１とを縦に交互にサンド
イッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３２を形成し、この圧電素子形成部材３２を
各圧力発生室１１に対応して櫛歯上に切り分けることによって各圧電素子１６が形成され
ている。すなわち、本実施形態では、複数の圧電素子１６が一体的に形成されている。そ
して、この圧電素子１６（圧電素子形成部材３２）の振動に寄与しない不活性領域、すな
わち、圧電素子１６の基端部側が固定基板３３に固着されている。そして、圧電素子１６
の基端部近傍には、固定基板３３とは反対側の面に、各圧電素子１６を駆動するための信
号を供給する配線３４を有する回路基板３５が接続され、本実施形態では、これら圧電素
子１６（圧電素子形成部材３２）と固定基板３３と回路基板３５とで圧電素子ユニット１
７が構成されている。
【００３７】
そして、このような圧電素子ユニット１７は、圧電素子１６の先端部が上述した振動板
１５の島部２６に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述した
ように振動板１５上にヘッドケース１９が固定されており、圧電素子ユニット１７は、こ
のヘッドケース１９の収容部１８内に収容されて、圧電素子１６が固定された固定基板３
３が、圧電素子１６とは反対側の面でヘッドケース１９に固定されている。
【００３８】
ヘッドケース１９には、圧電素子ユニット１７が収容される収容部１８が複数設けられ
ている。
【００３９】
収容部１８は、本実施形態では、３つ並設されており、１つの収容部１８に１つの圧電
素子ユニット１７が配置されている。すなわち、本実施形態のインクジェット式記録ヘッ
ド１０は、圧電素子ユニット１７が合計３個設けられている。そして、本実施形態のイン
クジェット式記録ヘッド１０では、各圧電素子ユニット１７に対してノズル開口１３の列
が設けられているため、３列のノズル開口１３の列が設けられていることになる。
【００４０】
また、ヘッドケース１９上には、回路基板３５の各配線３４がそれぞれ接続される複数
の導電パッド３６が設けられた配線基板３７が固定されており、ヘッドケース１９の収容
部１８は、この配線基板３７によって実質的に塞がれている。配線基板３７には、ヘッド
ケース１９の収容部１８に対向する領域にスリット状の開口部３８が形成されており、回
路基板３５はこの配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出されている。
【００４１】
なお、配線基板３７の開口部３８は、各収容部１８に対して１つ、すなわち、本実施形
態では、３つ設けられており、１つの収容部１８に設けられた１つの圧電素子ユニット１
７に接続された１つの回路基板３５は、１つの開口部３８から引き出されている。
【００４２】
圧電素子ユニット１７を構成する回路基板３５は、本実施形態では、圧電素子１６を駆
動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、
例えば、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ）やフレキ
シブルフラットケーブル（ＦＦＣ）などからなる。そして、回路基板３５の各配線３４は
、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１６を構成する電
極形成材料３０，３１に接続されている。一方、先端部側では、各配線３４は配線基板３
７の各導電パッド３６に接合されている。具体的には、配線基板３７の開口部３８から収
容部１８の外側に引き出された回路基板３５の先端部が配線基板３７の表面に沿って折り
曲げられた状態で、各配線３４は配線基板３７の各導電パッド３６に半田（図示せず）を
介して接合されている。
【００４３】
このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子
１６及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開
口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカー
トリッジから第１のリザーバ２０にインクが供給されると、インク供給路２２を介して各
圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１６に電圧を印加することに
より圧電素子１６を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１６と共に変形され
て圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。そして
、ノズル開口１３に至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３７を介して供給され
る記録信号に従い、圧電素子１６の電極形成材料３０，３１に印加していた電圧を解除す
る。これにより、圧電素子１６が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して
元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が
高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。
【００４４】
〈実施形態２〉
実施形態１では、加熱部材６１及び冷却部材６２は、共にリザーバ底板６０に設けられ
ていたが、別々の部材に設けられていてもよい。
【００４５】
図４は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドを示す概略断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、
重複する説明は省略する。
【００４６】
図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、第１のリザーバ２
０のインクを加熱し、第２のリザーバ２１のインクを冷却する機構として、リザーバ形成
基板１２のノズル側に接合されたリザーバ底板６０（第１のプレート）に設けられた加熱
部材６１と、リザーバ形成基板１２のリザーバ底板６０とは反対側に接合された振動板１
５（第２のプレート）に設けられた冷却部材６２Ａとを具備している。
【００４７】
冷却部材６２Ａは、支持板２５の第２のリザーバ２１に対向する領域に設けられ、弾性
膜２４を介して間接的に第２のリザーバ２１のインクを冷却するよう構成されている。
【００４８】
このように、加熱部材６１と冷却部材６２Ａとが別のプレートにそれぞれ設けられてい
るので、加熱部材６１と冷却部材６２Ａとは互いに影響を与えることなくそれぞれインク
を加熱、冷却することができる。加熱部材６１の熱が当該プレートを介して冷却部材６２
Ａに伝わることなく、第１のリザーバ２０のインクに熱を与えることができるからである
。
【００４９】
なお、本実施形態のように、冷却部材６２Ａを振動板１５に設けたが、リザーバ底板６
０に冷却部材を設け、振動板１５に加熱部材を設けてもよい。
【００５０】
〈実施形態３〉
実施形態１では、冷却部材６２は、リザーバ底板６０の第２のリザーバ２１のほぼ全域
に対向する領域に設けられていたが、必ずしもこのような態様に限定されない。
【００５１】
図５は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録
ヘッドのノズルプレート側の平面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符
号を付し、重複する説明は省略する。
【００５２】
図示するように、第２のリザーバ２１Ａは、圧力発生室１１に対向する第１の領域２１
−１と、それ以外の第２の領域２１−２とを有している。第２の領域２１−２は、インク
排出孔４２に連通している。冷却部材６２Ｂは、第２の領域２１−２のうちインク排出孔
４２と第１の領域２１−１との間に位置するようにリザーバ底板６０に設けられている。
【００５３】
第１の領域２１−１とインク排出孔４２との間に冷却部材６２Ｂが設けられているので
、外部に排出されるインクは、必ず冷却部材６２Ｂを通過して冷却される。一方、第１の
領域２１−１には冷却部材６２Ｂを設けないことで、圧力発生室１１近傍のインクを過度
に冷却することがないため、インクの温度が保たれてその低粘度が維持されるので、圧力
発生室１１から第２のリザーバ２１にインクを円滑に流入させることができる。このよう
にインクをより円滑に流入させると共にインクを確実に冷却することができる。
【００５４】
〈他の実施形態〉
また、上述した実施形態１〜３では、厚膜型の圧電素子１６を有するインクジェット式
記録ヘッドを例示したが、圧力発生室１１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては
、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により
形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層
させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置
し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータなどを有するイン
クジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。
【００５５】
さらに、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通す
るインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装
置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５６】
図６に示すように、当該インクジェット式記録装置Ｉにおける記録ヘッドユニット１Ａ
及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ
、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付
けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１
Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出す
るものとしている。
【００５７】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介
してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャ
リッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に
沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の
記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている
。
【００５８】
また、上記実施形態１〜３は、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッ
ドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、イ
ンク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体
噴射ヘッドとしては、例えばプリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、
液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディ
スプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッ
ド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの概略断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの概略断面図である。
【図５】本発明の実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  記録ヘッド、  １１  圧力発生室、  １２  流路形成基板、  １３  ノズル開口
、  １４  ノズルプレート、  １５  振動板、  １６  圧電素子、  １７  圧電素子ユニ
ット、  １８  収容部、  １９  ヘッドケース、  ２０  第１のリザーバ、  ２１  第２
のリザーバ、  ２１−１  第１の領域、  ２１−２  第２の領域、  ２２  インク供給路
、  ２３  インク排出路、  ２４  弾性膜、  ２５  支持板  ２６  島部、  ２７  薄肉
部、  ２８  コンプライアンス部、  ２９  圧電材料、  ３０，３１  電極形成材料、  
３２  圧電素子形成部材、  ３３  固定基板、  ３４  配線、  ３５  回路基板、  ３６
導電パッド、  ３７  配線基板、  ３８  開口部、  ４０  加熱流路、  ４１  インク
導入孔、  ４２  インク排出孔、  ６０  リザーバ底板、  ６１  加熱部材、  ６２、６
２Ａ、６２Ｂ  冷却部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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