(57)【要約】【課題】  ＥＧＲバルブモジュール全体の体格を小型化して搭載スペースを縮小化し、且つ部品点数を削減してコストを低減することを課題とする。【解決手段】  ＥＧＲバルブモジュールにおいて、電動アクチュエータは、電動モータ５の駆動トルクをＥＧＲバルブ３に伝えてＥＧＲバルブ３を駆動するロータリギヤ６、電動モータ５の駆動トルクをモード切替バルブ４に伝えてモード切替バルブ４を駆動するロータリカム７、およびこのロータリカム７をロータリギヤ側に付勢するスプリング８を有し、ロータリギヤ６に対してロータリカム７を係脱自在にリンクさせる動力伝達機構を備えている。これによって、従来の装置では２つのアクチュエータにより別々に駆動されていた目的が異なる２つのＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４を、電動モータ５および動力伝達機構を備えた１つの電動アクチュエータで駆動することができる。【選択図】  図１
2010090876.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内燃機関の排気ガスを排気通路から吸気通路に還流させる流路を有し、この流路を介して前記排気通路および前記吸気通路に連通する排気ガスクーラと結合されるハウジングと、
（ｂ）このハウジングの内部に開閉自在に収容される２つの第１、第２バルブと、
（ｃ）電力の供給を受けると前記２つの第１、第２バルブを駆動する駆動力を発生するモータを有するアクチュエータと
を備えた排気ガス還流装置において、
前記２つの第１、第２バルブのうちの一方の第１バルブは、前記ハウジングの流路を通過する排気ガスの流量を制御する流量制御バルブを構成し、
前記２つの第１、第２バルブのうちの他方の第２バルブは、前記排気ガスクーラの入口および出口にそれぞれ連通する２つの第１、第２ガス流路が前記ハウジングの内部に形成されるクーラモードと、前記排気ガスクーラを迂回する１つのバイパス流路が前記ハウジングの内部に形成されるバイパスモードとを切り替えるモード切替バルブを構成し、
前記アクチュエータは、前記モータの駆動力を前記第１バルブに伝達して前記第１バルブを駆動する第１ロータリ部材、および前記モータの駆動力を前記第２バルブに伝達して前記第２バルブを駆動する第２ロータリ部材を有し、前記第１ロータリ部材に対して前記第２ロータリ部材を係脱自在にリンクさせる動力伝達機構を備え、
前記第１ロータリ部材は、その回転軸心を中心にして回転運動を行う係合部を有し、
前記第２ロータリ部材は、前記２つの第１、第２バルブが連動する範囲に渡って前記係合部と係合するカム部を有し、
前記カム部は、前記２つの第１、第２バルブが連動する範囲より外れると前記係合部から離脱するように構成されていることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項２】
請求項１に記載の排気ガス還流装置において、
前記第２バルブは、その回転軸方向の両端面が、前記ハウジングの流路壁面との間に所定の隙間を隔てて対向して配置されていることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の排気ガス還流装置において、
前記係合部は、前記カム部に係脱自在に係合するローラであることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項４】
請求項３に記載の排気ガス還流装置において、
前記ローラは、前記第１ロータリ部材の半径方向の外周端面から外方に向けて突出した外方張出し突部に設置されていることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載の排気ガス還流装置において、
前記カム部は、前記第１ロータリ部材の回転角度に対する前記第２バルブのモード切替特性に対応した形状のカム面を有していることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の排気ガス還流装置において、
前記カム部は、前記第２バルブまたは前記第２ロータリ部材の回転角度が大きい領域と比べて、前記第２バルブまたは前記第２ロータリ部材の回転角度が小さい領域の方が、大きなトルクが発生するように構成されていることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の排気ガス還流装置において、
前記カム部は、前記第１ロータリ部材に対して前記第２ロータリ部材がリンクしている時に、前記第２ロータリ部材の回転角度の変化に対する前記第２バルブの回転角度の変化が大きい領域を具備する形状のカム面を有していることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のうちのいずれか１つに記載の排気ガス還流装置において、
前記クーラモードから前記バイパスモードへの切り替え動作期間と、前記バイパスモードから前記クーラモードへの切り替え動作期間との間で、前記第１ロータリ部材の回転角度に対する前記第２バルブのモード切替特性にヒステリシスを持たせていることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項９】
請求項８に記載の排気ガス還流装置において、
前記２つの第１、第２バルブが連動する範囲には、前記第１ロータリ部材の回転角度の変化に対して前記第２バルブの回転角度の変化が小さい、あるいは前記第２バルブの回転角度が変化しないヒステリシス区間が設けられていることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の排気ガス還流装置において、
前記カム部は、前記第１ロータリ部材に対して前記第２ロータリ部材がリンクしている時に、前記第１ロータリ部材の回転角度の変化に対して前記第２バルブの回転角度の変化が小さい、あるいは前記第２バルブの回転角度が変化しない不感帯領域を具備する形状のカム面を有していることを特徴とする排気ガス還流装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のうちのいずれか１つに記載の排気ガス還流装置において、  前記第１ロータリ部材に対して前記第２ロータリ部材がリンクしていない時に、前記第２ロータリ部材の回転軸心を中心とした、前記第２ロータリ部材の回転運動を規制するバルブ規制手段を備えたことを特徴とする排気ガス還流装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関の排気ガスを排気通路から吸気通路に還流させる排気ガス還流装置に関するもので、特に、排気ガス還流量制御弁（ＥＧＲＶ）の第１バルブを駆動するアクチュエータと排気ガス切替弁（モード切替制御弁）の第２バルブを駆動するアクチュエータとを１つのアクチュエータで構成したバルブモジュールを備えた排気ガス還流装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、内燃機関（エンジン）の排気ガスの一部であるＥＧＲガスを排気通路から吸気通路に還流させる排気ガス還流装置（ＥＧＲシステム）が知られている。このＥＧＲシステムは、排気通路から吸気通路にＥＧＲガスを還流させる排気ガス還流管（ＥＧＲパイプ）の途中に、水冷式の排気ガスクーラ（ＥＧＲクーラ）を設置している。これにより、エンジンの出力を低下させることなく、エンジンの燃焼温度を低下させて、排気ガス中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ）の発生量を低減することができる。
また、ＥＧＲクーラ付きのＥＧＲシステムは、エンジン始動時や冬季等の冷却水の温度が低い時の燃焼改善を目的として、ＥＧＲガスをＥＧＲクーラより迂回させて吸気通路に還流させるようにしている。このようなＥＧＲクーラ付きのＥＧＲシステムには、ＥＧＲクーラを取り付けるクーラ取付面を有するハウジングの内部に、バルブ収容室の内部に流入したＥＧＲガスをＥＧＲクーラより迂回させて吸気通路に還流させるためのバイパス流路を形成し、バルブ収容室の内部にバイパス流路を開閉するバイパス切替バルブを回転自在に収容したバイパス切替弁が設置されている。
【０００３】
ここで、ＥＧＲクーラ付きのＥＧＲシステムにおいて、図１６および図１７に示したように、ＥＧＲクーラ（図示せず）を取り付けるクーラ取付面を有するハウジング１０１に、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を可変制御するＥＧＲバルブ１０２と、ＥＧＲガスをＥＧＲクーラを通過させるクーラモード（クールドモード）とＥＧＲガスをＥＧＲクーラを迂回させるバイパスモード（ホットモード）とを切り替えるモード切替バルブ１０３とを設置したＥＧＲバルブモジュールが公知である（例えば、特許文献１参照）。  ＥＧＲバルブ１０２は、このＥＧＲバルブ１０２を支持する回転軸１０４を介してアクチュエータ本体１０５により駆動される。
なお、アクチュエータ本体１０５は、その開口部がセンサカバー４９によって塞がれたハウジングである。また、アクチュエータ本体１０５には、電力の供給を受けると駆動力を発生する電動モータ（例えばＤＣモータ等）、およびこの電動モータの駆動力を回転軸１０４に伝達する動力伝達機構（例えば歯車減速機構等）が内蔵されている。つまり、アクチュエータ本体１０５は、電動モータと動力伝達機構とを備えた電動アクチュエータを構成する。
【０００４】
モード切替バルブ１０３は、このモード切替バルブ１０３を支持する回転軸１０６を介して負圧作動式アクチュエータ（図示せず）により駆動される。また、モード切替バルブ１０３は、ハウジング１０１の内部に、ＥＧＲクーラの入口および出口にそれぞれ連通する２つの第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２が形成されるクーラモード（図１６参照）と、ハウジング１０１の内部に、ＥＧＲクーラをバイパスする１つのバイパス流路１３が形成されるバイパスモード（図１７参照）とを切り替える。
なお、負圧作動式アクチュエータは、負圧制御弁を介して電動式バキュームポンプからの負圧を負圧室内に導入し、負圧室と大気圧室との圧力差を利用して、ダイヤフラムを自身の板厚方向に変位させることで、ダイヤフラムに連動したロッドを軸線方向に変位させるように構成されている。そして、ロッドの軸線方向の変位がリンクプレートを介して回転軸１０６に伝達されると、回転軸１０６が所定の回転角度だけ回転する。これにより、モード切替バルブ１０３のバルブ位置が変更される。
【０００５】
［従来の技術の不具合］
ところが、特許文献１に記載の排気ガス還流装置においては、ＥＧＲクーラを取り付けるクーラ取付面を有するハウジング１０１に、ＥＧＲバルブ１０２とモード切替バルブ１０３とを設置してＥＧＲバルブモジュールを構成しているが、ＥＧＲバルブ１０２を駆動する電動アクチュエータと、モード切替バルブ１０３を駆動する負圧作動式アクチュエータとが別々に必要となり、部品点数が多くなるので、製品コストが上昇するという問題が生じている。
また、２つのアクチュエータをハウジングの外壁面より突出するように搭載しているので、ＥＧＲバルブモジュール全体の体格が大型になり、自動車等の車両への搭載スペースが大きくなるという問題が生じている。
【０００６】
そこで、エンジンの運転状態に対応してＥＧＲガスの流量を最適化するという目的を有するＥＧＲバルブ１０２を駆動するアクチュエータと、エンジンの運転状態に対応してＥＧＲガスの温度を最適化するという目的を有し、この目的を達成するためにハウジング１０１の内部流路をクーラモードとバイパスモードとに切り替えるモード切替バルブ１０３を駆動するアクチュエータとを１つの負圧作動式アクチュエータで構成することが考えられる。
しかるに、クーラモードとバイパスモードという２位置切替バルブであるモード切替バルブ１０３は、ＥＧＲバルブ１０２の回転角度を変更してＥＧＲガス流路の開度を連続的に可変制御するアクチュエータに連動してしまい、ＥＧＲバルブ１０２およびモード切替バルブ１０３というそれぞれ目的が違う製品機能を同時に満足させることが困難であった。
仮に、モード切替バルブ１０３が途中までＥＧＲバルブ１０２と連動し、その後にＥＧＲバルブ１０２の駆動機構と連動が外れる構造にしたとしても、外れたモード切替バルブ１０３がＥＧＲバルブ１０２の作動に影響を及ぼさない範囲まで外すことは難しい。また、そのような位置で保持することは、非常に困難であり、また、ＥＧＲバルブ１０２とモード切替バルブ１０３とを連動させる構造も困難であるという問題が生じる。
【０００７】
ここで、エンジンの燃焼室より流出する排気ガス中には、燃焼残滓やカーボン等の微粒子状の不純物（排気微粒子、粒子状物質）が含まれている。このため、エンジンの運転中に、ＥＧＲガス中に含まれる微粒子状の不純物のデポジット（付着物または堆積物）が、ハウジング１０１の内部に付着または堆積する可能性がある。
仮に、ＥＧＲバルブ１０２の周辺およびモード切替バルブ１０３の周辺に、それぞれデポジットが付着または堆積した場合、エンジン停止後にデポジットの温度が低下してデポジットの粘度が高まると、デポジット堆積固化（硬化）によってＥＧＲバルブ１０２およびモード切替バルブ１０３が、ハウジング１０１の流路壁面に固着する等の不具合を引き起こす可能性がある。
【０００８】
そこで、例えばエンジン始動時に、ＥＧＲバルブ１０２の周辺に付着または堆積して固化したデポジットによりハウジング１０１の流路壁面に固着しているＥＧＲバルブ１０２をバルブ全閉位置を中心にして開閉動作させる。また、モード切替バルブ１０３の周辺に付着または堆積して固化したデポジットによりハウジング１０１の流路壁面に固着しているモード切替バルブ１０３をバイパス全閉位置またはバイパス全開位置を中心にして開閉動作させる。このようにしてＥＧＲバルブ１０２またはモード切替バルブ１０３の固着を解除する方法、あるいはＥＧＲバルブ１０２の周辺またはモード切替バルブ１０３の周辺に付着または堆積して固化したデポジットからＥＧＲバルブ１０２またはモード切替バルブ１０３を引き剥がす方法が考えられる。
しかるに、特許文献１に記載のＥＧＲバルブ１０２およびモード切替バルブ１０３を負圧作動式アクチュエータにより連動させる場合には、動力源である負圧が低負圧であっても、ＥＧＲバルブ１０２およびモード切替バルブ１０３の固着を解除する（引き剥がす）ことができるようにするには負圧作動式アクチュエータの体格が非常に大きくなってしまう。これにより、ＥＧＲバルブモジュール全体の体格が更に大型になり、自動車等の車両への搭載スペースが更に大きくなるという問題が生じる。
【０００９】
また、ＥＧＲシステムに使用されるバルブ（ＥＧＲバルブ１０２、モード切替バルブ１０３等）は、その周辺にデポジットが付着または堆積し易く、温度が低下するとデポジットが堆積固化し易いので、ハウジング１０１の流路壁面に対するＥＧＲバルブ１０２またはモード切替バルブ１０３の固着を解除させる解除トルクないし荷重が必要となる。
しかるに、ＥＧＲバルブ１０２およびモード切替バルブ１０３を、ハウジング１０１の外壁面に搭載される１つのアクチュエータの駆動力で動かそうとすると、アクチュエータの体格が非常に大きくなる。これにより、ＥＧＲバルブモジュール全体の体格が更に大型になり、自動車等の車両への搭載スペースが更に大きくなるという問題が生じる。
【特許文献１】特開２００８−２１５３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、装置全体の体格を小型化して搭載スペースを縮小化することのできる排気ガス還流装置を提供することにある。また、部品点数を削減してコストを低減することのできる排気ガス還流装置を提供することにある。さらに、２つの第１、第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによるバルブの固着を、モータの駆動力で解除することのできる排気ガス還流装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、電力の供給を受けると２つの第１、第２バルブを駆動する駆動力を発生するモータを有するアクチュエータを備えている。
２つの第１、第２バルブのうちの一方の第１バルブは、ハウジングの流路を通過する排気ガスの流量を制御する排気ガス流量制御バルブを構成している。また、２つの第１、第２バルブのうちの他方の第２バルブは、排気ガスクーラの入口および出口にそれぞれ連通する２つの第１、第２ガス流路がハウジングの内部に形成されるクーラモードと、排気ガスクーラを迂回する１つのバイパス流路がハウジングの内部に形成されるバイパスモードとを切り替えるモード切替バルブを構成している。
そして、アクチュエータは、モータの駆動力を第１バルブに伝達して第１バルブを駆動する第１ロータリ部材、およびモータの駆動力を第２バルブに伝達して第２バルブを駆動する第２ロータリ部材を有し、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材を係脱自在にリンク（連動、連携）させる動力伝達機構を備えている。
【００１２】
そして、第１ロータリ部材は、その回転軸心を中心にして回転運動を行う係合部を有している。また、第２ロータリ部材は、２つの第１、第２バルブが連動する範囲に渡って第１ロータリ部材の係合部と係合するカム部を有している。
これによって、従来の装置では２つのアクチュエータにより別々に駆動されていた目的（動作パターン）が異なる２つの第１、第２バルブを、モータおよび動力伝達機構を備えた１つのアクチュエータで駆動することができる。
ここで、２つの第１、第２バルブが連動する範囲では、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材がリンク（連動、連携）するので、１つのアクチュエータで２つの第１、第２バルブの両方にモータの駆動力が伝わり、２つの第１、第２バルブの両方を連動させながら駆動することができる。
【００１３】
また、第２ロータリ部材のカム部は、２つの第１、第２バルブが連動する範囲より外れると第１ロータリ部材の係合部から離脱するように構成されている。すなわち、２つの第１、第２バルブが連動する範囲より外れると、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材がリンク（連動、連携）しなくなるので、２つの第１、第２バルブのうちの一方の第１バルブのみにモータの駆動力が伝わり、第１バルブのみが駆動される。これにより、部品点数を削減できるので、製造コストおよび製品コストを低減することができる。また、装置全体（バルブモジュール全体）の体格を小型化できるので、例えば車両等への搭載スペースを縮小化することができる。
また、低負圧時の負圧作動式アクチュエータよりも大きい駆動力を発生させることが可能なモータを備えた１つのアクチュエータによって２つの第１、第２バルブを駆動するように構成されているので、仮に２つの第１、第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによりバルブがハウジングの流路壁面に固着する等の不具合が発生していた場合であっても、２つの第１、第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによるバルブの固着を、モータの駆動力で解除することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、第２バルブの回転軸方向の両端面が、ハウジングの流路壁面との間に所定の隙間を隔てて対向して配置されている。
ここで、第２バルブの回転軸方向の両端面とハウジングの流路壁面との間に所定の隙間を形成するためのスペーサを、第２バルブの回転軸方向の両端面とハウジングの流路壁面との間に挿入するようにしても良い。また、第２バルブの回転軸方向の両端面に、ハウジングの流路壁面に向けて突出するブロックを設けても良い。
これにより、第２バルブの回転軸方向の両端面とハウジングの流路壁面との間に、デポジット逃がし用の隙間が形成される。したがって、少なくとも第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによる第２バルブの固着を、小さな解除トルクで解除することができるので、アクチュエータ、特にモータを小型化することができる。これにより、搭載スペースを更に縮小化することができる。
ここで、スペーサまたはブロックを第２バルブの回転軸周辺に設けても良い。この場合、仮にデポジットにより第２バルブがハウジングの流路壁面に固着しても、デポジットの付着または堆積箇所が第２バルブの回転軸周辺に限られるので、少なくとも第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによる第２バルブの固着を解除する解除トルクが非常に小さくてすむ。これにより、アクチュエータ、特にモータを小型化することができるので、搭載スペースを更に縮小化することができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、第１ロータリ部材の係合部は、第２ロータリ部材のカム部に係脱自在に係合するローラである。このローラは、第２ロータリ部材のカム部に対してころがり接触する。なお、第１ロータリ部材のローラが第２ロータリ部材のカム部にころがり接触している時に、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材がリンクする。  請求項４に記載の発明によれば、第１ロータリ部材のローラは、第１ロータリ部材の半径方向の外周端面から外方に向けて突出した外方張出し突部に設置されている。
請求項５に記載の発明によれば、第２ロータリ部材のカム部は、第１ロータリ部材の回転角度に対する第２バルブのモード切替特性に対応した形状のカム面を有している。
【００１６】
請求項６に記載の発明によれば、第２ロータリ部材のカム部は、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が大きい領域と比べて、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が小さい領域の方が、大きなトルクが発生するように構成されている。これにより、例えばエンジン始動時に、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が小さい領域で第２バルブの作動を開始した場合、大きなトルクを第２バルブに与えることができるので、少なくとも第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによる第２バルブの固着を、モータの小さい解除トルクで解除することができる。
ここで、クーラモードからバイパスモードへの切り替え動作時に、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が小さい領域ではクーラモードに設定され、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が大きい領域ではバイパスモードに設定される。一方、バイパスモードからクーラモードへの切り替え動作時に、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が小さい領域ではバイパスモードに設定され、第２バルブまたは第２ロータリ部材の回転角度が大きい領域ではクーラモードに設定される。
【００１７】
請求項７に記載の発明によれば、第２ロータリ部材のカム部は、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材がリンクしている時に、第２ロータリ部材の回転角度の変化に対する第２バルブの回転角度の変化が大きい領域を具備する形状のカム面を有している。これにより、クーラモードとバイパスモードとの切り替え動作を迅速に行うことができ、且つバイパスモードからクーラモードへの切り替え動作を迅速に行うことができる。また、バイパスモードとクーラモードとの切り替え動作に要する時間を短縮できるので、モータへの供給電力を低減することができる。
請求項８に記載の発明によれば、クーラモードからバイパスモードへの切り替え動作期間と、バイパスモードからクーラモードへの切り替え動作期間との間で、第１ロータリ部材の回転角度に対する第２バルブのモード切替特性にヒステリシスを持たせている。
請求項９に記載の発明によれば、２つの第１、第２バルブが連動する範囲には、第１ロータリ部材の回転角度の変化に対して第２バルブの回転角度の変化が小さい、あるいは第２バルブの回転角度が変化しないヒステリシス区間が設けられている。
【００１８】
請求項１０に記載の発明によれば、第２ロータリ部材のカム部は、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材がリンクしている時に、第１ロータリ部材の回転角度の変化に対して第２バルブの回転角度の変化が小さい、あるいは第２バルブの回転角度が変化しない不感帯領域（ヒステリシス区間）を具備する形状のカム面を有している。
ここで、第１ロータリ部材の回転角度の変化に対して第２バルブの回転角度の変化が小さい、あるいは第２バルブの回転角度が変化しないヒステリシス区間で、第１バルブを全閉位置近傍で開閉作動させて第１バルブの全閉位置近傍に付着または堆積するデポジットを取り除くようにするクリーニング制御を実施すると、内燃機関の運転停止後にデポジットの堆積固化による第１バルブのハウジングの流路壁面への固着が発生し難くなる。つまり、デポジット堆積固化による第１バルブの固着影響の低減を図ることができる。
【００１９】
請求項１１に記載の発明によれば、第１ロータリ部材に対して第２ロータリ部材がリンクしていない時に、第２ロータリ部材の回転軸心を中心とした、第２ロータリ部材の回転運動を規制するバルブ規制手段を備えている。
これにより、内燃機関の振動やハウジングの流路内の吸気脈動または排気脈動による第２バルブのばたつきや、第１ロータリ部材の係合部と第２ロータリ部材のカム面とがリンクしなくなるような第２バルブの誤作動を防止することができる。また、異常な高脈動圧影響等の第２バルブのオーバーターン等を防止することができるので、フェールセーフとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明を実施するための最良の形態は、装置全体の体格を小型化して搭載スペースを縮小化するという目的、また、部品点数を削減してコストを低減するという目的、さらに、２つの第１、第２バルブの周辺に堆積固化したデポジットによるバルブの固着を、モータの駆動力で解除するという目的を、第１ロータリ部材に、その回転軸心を中心にして回転運動を行う係合部を設け、第２ロータリ部材に、２つの第１、第２バルブが連動する範囲に渡って係合部と係合するカム部を設け、そのカム部を、２つの第１、第２バルブが連動する範囲より外れると係合部から離脱するように構成することで実現した。
【実施例１】
【００２１】
［実施例１の構成］
図１ないし図１３は本発明の実施例１を示したもので、図１および図２は電動アクチュエータを示した図で、図３はＥＧＲバルブモジュールを示した図で、図４はロータリギヤに対してカムプレートがリンクしている状態を示した図である。
【００２２】
本実施例の内燃機関の排気ガス還流装置（ＥＧＲシステム）は、例えばディーゼルエンジン等の内燃機関（以下エンジンと言う）の排気ガスの一部であるＥＧＲガス（排気再循環ガス）をエンジンの各気筒毎の吸気ポートに還流させる排気ガス還流管（ＥＧＲパイプ）と、このＥＧＲパイプの途中に設置されたＥＧＲバルブモジュールとを備えている。このＥＧＲバルブモジュールは、排気通路から吸気通路に還流するＥＧＲガスを冷却する排気ガス冷却装置（ＥＧＲガス冷却装置）、および排気通路から吸気通路に還流するＥＧＲガスの流量および温度を制御する排気ガス制御装置（ＥＧＲガス制御装置）を含んで構成されている。
【００２３】
ここで、エンジンは、燃料が直接燃焼室内に噴射供給される直接噴射式のディーゼルエンジンが採用されている。エンジンの各気筒毎の吸気ポートは、吸気バルブにより開閉される。このエンジンの各気筒毎の吸気ポートには、エンジン吸気管（吸気ダクト）内に形成される吸気通路（内燃機関の吸気通路）が接続されている。また、エンジンの各気筒毎の排気ポートは、排気バルブにより開閉される。このエンジンの各気筒毎の排気ポートには、エンジン排気管（排気ダクト）内に形成される排気通路（内燃機関の排気通路）が接続されている。
そして、エンジンの各気筒毎のシリンダボア内には、エンジンのクランクシャフトに連結されたピストンが摺動自在に支持されている。
【００２４】
ＥＧＲバルブモジュールは、バルブハウジング（以下ハウジングと呼ぶ）１の内部流路を流れるＥＧＲガスの流量を制御する排気ガス流量制御弁（ＥＧＲガス流量制御弁：以下ＥＧＲＶと呼ぶ）と、ハウジング１の内部流路を切り替えるモード切替制御弁とを結合一体化したものである。このＥＧＲバルブモジュールは、ＥＧＲＶとモード切替制御弁との共通のハウジング１を備えている。
ハウジング１は、例えば高温耐熱性に優れる耐熱性材料（例えば鉄系の鋳物、鋳鉄）または耐熱アルミニウム合金のダイカストまたはアルミニウム合金系の鋳物により所定の形状に形成されている。
【００２５】
ハウジング１は、ＥＧＲパイプの途中に接続されており、内部に１つの中空部（バルブ収容室）が形成されている。このハウジング１には、円筒状のノズル（円筒部）２を嵌合保持する円筒状のノズル嵌合部が設けられている。なお、ノズル２は、高温に強い耐熱性材料、例えばステンレス鋼等の金属材料により円板形状に形成されている。
また、ハウジング１の内部には、クーラモード（クールドモード）時に、２つの第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２が形成される（図１および図１６参照）。また、ハウジング１の内部には、バイパスモード（ホットモード）時に、１つのバイパス流路１３が形成される（図１７参照）。
また、ハウジング１は、内部に第１シャフト貫通孔１４が形成された軸受け保持部（シャフト軸受け部）１５、および内部に第２シャフト貫通孔１６が形成された軸受け保持部（シャフト軸受け部）１７を有している。
なお、ハウジング１の詳細については、後述する。
【００２６】
ＥＧＲＶは、排気ガスクーラとしてのＥＧＲクーラ１０を取り付けるハウジング１に設置（搭載）されており、ハウジング１に嵌合保持されたノズル２の内部に挿入されて２つの第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２または１つのバイパス流路１３を開閉するバタフライ型の第１バルブ（排気ガス流量制御バルブ：以下ＥＧＲバルブと呼ぶ）３と、このＥＧＲバルブ３を駆動する電動アクチュエータとを備えている。
モード切替制御弁は、ＥＧＲＶと共通のハウジング１に設置（搭載）されており、ハウジング１の内部（バルブ収容室）に挿入されてＥＧＲガスをＥＧＲクーラ１０を通過させるクールドモードとＥＧＲガスをＥＧＲクーラ１０を迂回させるホットモードとを切り替えるバタフライ型の第２バルブ（以下モード切替バルブと呼ぶ）４と、このモード切替バルブ４を駆動する電動アクチュエータ（ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４との共通のアクチュエータ）とを備えている。
また、ＥＧＲＶは、ＥＧＲバルブ３を支持する第１回転軸（バルブシャフト：以下第１シャフトと呼ぶ）２１を有している。また、モード切替制御弁は、モード切替バルブ４を支持する第２回転軸（バルブシャフト：以下第２シャフトと呼ぶ）２２を有している。
なお、ＥＧＲＶおよびモード切替制御弁の詳細については、後述する。
【００２７】
ここで、電動アクチュエータは、電力の供給を受けると２つの第１、第２バルブ（ＥＧＲバルブ３、モード切替バルブ４）を駆動する回転駆動力（駆動トルク）を発生する電動モータ５と、この電動モータ５の駆動トルクをＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４に伝達する動力伝達機構とを有している。
この動力伝達機構は、３つの第１〜第３ギヤによって構成される歯車減速機構と、この歯車減速機構の構成要素を成す３つの第１〜第３ギヤのうちで最もＥＧＲバルブ側に配置される第１ロータリ部材（第１ロータリプレート、ギヤプレート、最終減速ギヤ：以下ロータリギヤと呼ぶ）６に連動する第２ロータリ部材（第２ロータリプレート、カムプレート：以下ロータリカムと呼ぶ）７と、このロータリカム７をロータリギヤ側に付勢するスプリング８とを備え、ロータリギヤ６に対してロータリカム７を係脱自在にリンクさせるトルク伝動機構である。
なお、電動アクチュエータの詳細については、後述する。
【００２８】
ＥＧＲクーラ１０は、エンジンのウォータージャケットから流入するエンジン冷却水とＥＧＲガスとを熱交換させることで、ＥＧＲガスを所望の排気温度以下に冷却する水冷式の排気ガスクーラで、ハウジング１のクーラ取付面に気密的に結合されている。
ＥＧＲクーラ１０は、その中心軸線方向の一方側が開口した角筒状のケーシングと、内部にＥＧＲガスが流通する扁平チューブを、その板厚方向に複数積層した積層型コア部（図示せず）とを有している。なお、各扁平チューブ内には、熱交換性能を高めるためのオフセット型インナーフィンが挿入されている。そして、各扁平チューブ内には、平行な２本の流路をＵ字部で繋いだＵ字状のＥＧＲガス流路が形成されている。
また、積層型コア部は、複数の扁平チューブの周囲を巡るように、エンジン冷却水が循環する複数の冷却水流路（図示せず）を有している。
【００２９】
そして、ＥＧＲクーラ１０のケーシングには、複数の冷却水流路内にエンジン冷却水を流入させるための入口パイプ、および複数の冷却水流路内からエンジン冷却水を流出させるための出口パイプが接続されている。なお、ケーシングの上部壁と積層型コア部との間には、図示しない隔壁によって仕切られた入口側タンク室および出口側タンク室が形成されている。
そして、ケーシングのハウジング側端部には、ハウジング１のクーラ取付面に結合する結合面（ハウジング取付面）を有する結合部が一体的に設けられている。この結合部には、入口側タンク室の排気ガス流入口（ＥＧＲガス流入口）および出口側タンク室の排気ガス流出口（ＥＧＲガス流出口）がハウジング取付面上で開口している。
【００３０】
また、ケーシングの結合部には、ケーシングの外壁面よりも周囲に張り出したフランジ部が一体的に形成されている。
そして、ＥＧＲクーラ１０は、ケーシングの結合部のハウジング取付面とハウジング１のクーラ取付面とを密着した状態で、複数の締結ボルトを用いて、ハウジング１のクーラ取付面に締め付けて結合（締結）されている。
なお、ＥＧＲクーラ１０のハウジング取付面とハウジング１のクーラ取付面との間に、ＥＧＲガスの外部への漏洩を防止するためのガスケットまたはパッキン等のシール材を介装しても良い。
【００３１】
ハウジング１の結合部（フランジ部２３）には、ＥＧＲクーラ１０の結合部（フランジ部）を取り付けるクーラ取付面が形成されている。
ハウジング１には、ＥＧＲガス流方向の上流側（排気通路側）に突出した円筒状の第１結合部２４と、ＥＧＲガス流方向の下流側（吸気通路側）に突出した円筒状の第２結合部２５とが形成されている。
第１結合部２４は、バルブ収容室よりもＥＧＲガス流方向の上流側に、排気通路側の配管であるＥＧＲパイプ（あるいは排気ダクトの分岐部、特にエキゾーストマニホールドの分岐部）に取り付けられる第１結合面を有している。
第２結合部２５は、バルブ収容室よりもＥＧＲガス流方向の下流側に、吸気通路側の配管であるＥＧＲパイプ（あるいは吸気ダクトの合流部、特にインテークマニホールドの合流部）に取り付けられる第２結合面を有している。
【００３２】
そして、ハウジング１は、エンジンの排気通路および吸気通路、ＥＧＲクーラ１０の入口側タンク室（入口）および出口側タンク室（出口）にそれぞれ接続する４つの第１〜第４排気ガスポートを有している。なお、これらの４つの第１〜第４排気ガスポートは、ハウジング１の内部に形成されるバルブ収容室に連通している。
４つの第１〜第４排気ガスポートは、エンジンの排気通路に連通する円形状のＥＧＲガス導入ポート３１、ＥＧＲクーラ１０の入口側タンク室（入口）に連通する円形状または矩形状または方形状のクーラ入口ポート３２、ＥＧＲクーラ１０の出口側タンク室（出口）に連通する円形状または矩形状または方形状のクーラ出口ポート３３、およびエンジンの吸気通路に連通する円形状のＥＧＲガス導出ポート３４等によって構成されている。
ＥＧＲガス導入ポート３１は、ハウジング１の第１結合部２４に形成された第１結合面上で開口している。また、クーラ入口ポート３２およびクーラ出口ポート３３は、ハウジング１のフランジ部２３のクーラ取付面上で隣接して開口している。そして、ＥＧＲガス導出ポート３４は、ハウジング１の第２結合部２５に形成された第２結合面上で開口している。
【００３３】
第１ＥＧＲガス流路１１は、ＥＧＲガス導入ポート３１とクーラ入口ポート３２とを連通すると共に、エンジンの排気通路からハウジング１の内部（バルブ収容室）に流入したホットＥＧＲガス（高温の排気ガス）をＥＧＲクーラ１０の内部（入口側タンク室）に導入する第１ガス流路（クーラ導入経路）である。なお、第１ＥＧＲガス流路１１は、その途中、特にバルブ収容室内で略直角に屈曲する屈曲通路を有している。なお、屈曲通路を緩やかに湾曲する湾曲通路としても良い。
第２ＥＧＲガス流路１２は、クーラ出口ポート３３とＥＧＲガス導出ポート３４とを連通すると共に、ＥＧＲクーラ１０の出口側タンク室からハウジング１の内部（バルブ収容室）に流入したクールドＥＧＲガス（低温の排気ガス）をエンジンの吸気通路に還流させる第２ガス流路（クーラ導出経路）である。なお、第２ＥＧＲガス流路１２は、クーラ出口ポート３３近傍からＥＧＲガス導出ポート３４近傍に至るまで、クーラ出口ポート３３の中心を通る軸線（クーラ出口ポート３３の中心軸線）に対して傾斜して略直線状に真っ直ぐに延びる傾斜通路を有している。
バイパス流路１３は、ＥＧＲガス導入ポート３１とＥＧＲガス導出ポート３４とを連通すると共に、エンジンの排気通路からハウジング１の内部（バルブ収容室）に流入したホットＥＧＲガス（高温の排気ガス）をＥＧＲクーラ１０よりバイパスさせて、エンジンの吸気通路に還流させるクーラバイパス流路（クーラバイパス経路）である。
【００３４】
本実施例のＥＧＲバルブ３は、高温に強い耐熱性材料、例えばステンレス鋼等の金属材料により円板形状に形成されている。このＥＧＲバルブ３は、第１シャフト２１を介して、ロータリギヤ６に結合されている。そして、ＥＧＲバルブ３は、第１シャフト２１の回転軸線を中心に回転角度が変更されることで、ハウジング１の排気ガス流路（例えば第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２またはバイパス流路１３）の開度を連続的に可変調整することにより、排気通路から吸気通路に還流されるＥＧＲガスの流量（ＥＧＲ量：新規吸入空気量に対するＥＧＲ率）を任意に可変制御する。
そして、ＥＧＲバルブ３は、エンジン運転時にエンジン制御ユニット（以下ＥＣＵと呼ぶ）からの制御信号に基づいて、図５に示したように、バルブ全閉位置（θ＝０°）からバルブ全開位置（θ＝＋６０°またはθ＝−７０°）に至るまでのバルブ作動範囲で回転動作する。これにより、ＥＧＲバルブ３の回転角度が変更されるため、第２ＥＧＲガス流路１２の開口面積（ＥＧＲガス流通面積）が変更される。よって、ＥＧＲ量が可変制御される。
【００３５】
なお、クールドモードからホットモードへの切り替え動作期間中は、図５に示したように、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度がθ＝−７０°からθ＝０°を経てθ＝６０°に至るまでのバルブ作動範囲で変更される。ここで、電動モータ５への通電を開始する時には、後述する２つの第１、第２スプリング６１、６２の付勢力によりＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度がθ＝０°に設定される。このため、クールドモードからホットモードへの切り替え動作開始時には、先ずＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度がθ＝０°からθ＝６０°に至るまでのバルブ作動範囲で変更される。
また、ホットモードからクールドモードへの切り替え動作期間中は、図５に示したように、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度がθ＝６０°からθ＝０°を経てθ＝−７０°に至るまでのバルブ作動範囲で変更される。
図５は、ＥＧＲバルブ３の回転角度に対する流量特性を示し、ＥＧＲバルブモジュールに流入するＥＧＲガスの温度が例えば３００℃の時、クールドモード（θ＝−７０°）では１２５０ｌ／ｍｉｎであり、ホットモード（θ＝６０°）では１３８０ｌ／ｍｉｎである。
【００３６】
ＥＧＲバルブ３は、ハウジング１のノズル嵌合部に嵌め込まれたノズル２の内部に回転自在（開閉自在）に収容されている。また、ＥＧＲバルブ３は、第１シャフト２１の回転軸線方向に対して所定の傾斜角度だけ傾いた状態で、第１シャフト２１の回転軸線方向の一端側に保持固定されている。
また、ＥＧＲバルブ３の外周端面全周には、バルブ周方向に延びる円環状のシールリング溝が形成されている。このシールリング溝の内部には、ハウジング１のノズル嵌合部に嵌合保持されたノズル２の内径面に密着可能なＣ字形状のシールリング３５が嵌め込まれている。シールリング３５は、その外径側端部がＥＧＲバルブ３の外周端面より突出した状態で、内径側端部がシールリング溝内に嵌め込まれている。
したがって、本実施例のＥＧＲバルブモジュールは、ＥＧＲバルブ３がバルブ全閉位置で停止している時、つまり第２ＥＧＲガス流路１２の流路方向に対して直交する垂直方向にＥＧＲバルブ３が設定されている時（ＥＧＲバルブ３の全閉時）、シールリング溝内に嵌め込まれたシールリング３５の半径方向（拡径方向）の張力を利用して、ノズル２の内径面とＥＧＲバルブ３の外周端面との間の隙間を密閉（シール）するように構成されている。
【００３７】
ＥＧＲバルブ３の第１シャフト２１は、耐熱性および耐腐食性に優れたステンレス鋼等の金属材料により形成された円柱形状の回転軸であって、ハウジング１に形成された第１シャフト貫通孔１４を貫通することで、ハウジング１のシャフト軸受け部１５の外部から内部（排気ガス流路：例えば第２ＥＧＲガス流路１２またはバイパス流路１３）へと第１シャフト貫通孔１４の軸線方向に沿って真っ直ぐに挿入されている。そして、ハウジング１のシャフト軸受け部１５とＥＧＲバルブ３の第１シャフト２１との間には、図３に示したように、圧入嵌合等によってブッシング３６およびオイルシール３７が嵌合保持されている。
【００３８】
なお、ブッシング３６の内部には、ＥＧＲバルブ３の第１シャフト２１を回転方向に摺動自在に軸支する摺動孔が形成されている。そして、第１シャフト２１の外周面とブッシング３６の摺動孔の孔壁面（内周面）との間には、第１シャフト２１をブッシング３６の内部で円滑に回転させるために、円筒状隙間（クリアランス）が形成されている。
また、第１シャフト２１は、その回転軸線方向の一端側に、溶接手段を用いてＥＧＲバルブ３を保持固定するバルブ装着部を有している。また、第１シャフト２１は、その回転軸線方向の他端側に、ロータリギヤ６の内周部にインサート成形されたバルブギヤプレートをかしめ等の固定手段によって固定するためのかしめ固定部を有している。つまり、第１シャフト２１の回転軸線方向の他端側には、ロータリギヤ６が組み付けられている。
【００３９】
モード切替バルブ４は、耐熱性および耐腐食性に優れたステンレス鋼等の金属材料により形成されている。このモード切替バルブ４は、このモード切替バルブ４を支持する第２シャフト２２を介して、ロータリカム７に結合されている。また、モード切替バルブ４は、ハウジング１のバルブ収容室の内部に回転自在に収容されている。そして、モード切替バルブ４は、バルブ収容室内において第２シャフト２２の回転軸線を中心にして回転することで、４つの第１〜第４排気ガスポートにおける各排気ガスポート間の連通状態を任意に切り替える。
そして、モード切替バルブ４は、バタフライ型バルブであって、第２シャフト２２の回転軸線方向に延びる円筒状の軸方向部（円筒部）、およびこの軸方向部の軸線方向に対して垂直な半径方向の両側に向けて延びる矩形状または方形状のバルブ板状体（プレート状のバルブ本体、金属板）を有している。
【００４０】
モード切替バルブ４は、その回転軸方向の両端面（図示上下端面）が、ハウジング１の流路壁面との間に所定の隙間を隔てて対向して配置されている。
モード切替バルブ４は、その回転軸方向の両端面、特に第２シャフト２２の周辺のみに、ハウジング１の流路壁面に向けて突出する２つの第１、第２ブロック（突起状リブ）３９を設けている。これらの第１、第２ブロック３９は、モード切替バルブ４の第２シャフト２２の周囲を周方向に取り囲むように円筒部を有している。これにより、ハウジング１の流路壁面とモード切替バルブ４の回転軸方向の両端面との間に、デポジット逃がし用の隙間Ｓが形成される。
また、モード切替バルブ４は、その切替位置によって、２つの第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２の開度とバイパス流路１３の開度とを連続的に可変調整して、２つの第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２を通過しＥＧＲクーラ１０で冷却されたクールドＥＧＲガスの流量と、バイパス流路１３を通過してＥＧＲクーラ１０をバイパスしたホットＥＧＲガスの流量との混合比率を任意に変更し、吸気通路に還流されるＥＧＲガスの温度を制御することが可能である。
【００４１】
そして、モード切替バルブ４は、クールドモード時に、バルブ収容室を、第１ＥＧＲガス流路１１側と第２ＥＧＲガス流路１２側とに仕切る仕切り板としての機能を有している。これによって、モード切替バルブ４によって４つの第１〜第４排気ガスポートにおける各排気ガスポート間の連通状態を切り替えた際に、ハウジング１の内部に２つの第１、第２ＥＧＲガス流路１１、１２が形成される。
また、モード切替バルブ４は、ホットモード時に、バルブ収容室を、ＥＧＲクーラ１０側とバイパス流路１３側とに仕切る仕切り板としての機能を有している。これによって、モード切替バルブ４によって４つの第１〜第４排気ガスポートにおける各排気ガスポート間の連通状態を切り替えた際に、ハウジング１の内部にバイパス流路１３が形成される。  
【００４２】
ここで、本実施例のモード切替バルブ４は、クールドＥＧＲガスの流量が最大となる切替位置をバイパス全閉位置（クールドモード：図１および図１６参照）とし、ホットＥＧＲガスの流量が最大となる切替位置をバイパス全開位置（ホットモード：図１７参照）とした時、バイパス全閉位置からバイパス全開位置に至るまでの範囲で連続的に切替可能である。
なお、クールドモードからホットモードへの切り替え途中、およびホットモードからクールドモードへの切り替え途中では、バイパス全閉位置とバイパス全開位置との中間開度の状態、つまりクールドＥＧＲガスとホットＥＧＲガスとをミキシングする中間位置（ミキシング位置）の状態に設定される。このとき、ハウジング１の内部流路がホット／クールドミキシングモードに設定される。
【００４３】
モード切替バルブ４の第２シャフト２２は、耐熱性および耐腐食性に優れたステンレス鋼等の金属材料により形成された円柱形状の回転軸であって、ハウジング１に形成された第２シャフト貫通孔１６を貫通することで、ハウジング１のシャフト軸受け部１７の外部から内部（排気ガス流路：例えばバルブ収容室）へと第２シャフト貫通孔１６の軸線方向に沿って真っ直ぐに挿入されている。そして、ハウジング１のシャフト軸受け部１７とモード切替バルブ４の第２シャフト２２との間には、図３に示したように、圧入嵌合等によってブッシング４１およびベアリング４２、４３が嵌合保持されている。
また、２つの第１、第２シャフト２１、２２は、ハウジング１の内部において所定の距離を隔てて並列に配置されている。
【００４４】
なお、ブッシング４１およびベアリング４２、４３の内部には、モード切替バルブ４の第２シャフト２２を回転方向に摺動自在に軸支する摺動孔が形成されている。そして、第２シャフト２２の外周面とブッシング４１およびベアリング４２、４３の摺動孔の孔壁面（内周面）との間には、第２シャフト２２をブッシング４１およびベアリング４２、４３の内部で円滑に回転させるために、円筒状隙間（クリアランス）が形成されている。なお、ベアリング４３は、設けなくても良い。
この第２シャフト２２の回転軸線方向の先端部（一端部）には、モード切替バルブ４のバルブ板状体（金属板）が溶接固定されている。また、第２シャフト２２の回転軸線方向の他端部には、ロータリカム７が組み付けられている。なお、第２シャフト２２は、ロータリカム７との結合部に２面幅部を形成している。これにより、ロータリカム７と第２シャフト２２との回り止めがなされる。
【００４５】
電動アクチュエータは、そのハウジングの開口部がセンサカバー４９（図１６および図１７参照）によって塞がれたアクチュエータ本体である。この電動アクチュエータのハウジングは、アルミニウムを主成分とするアルミニウム合金よりなるダイカスト製品で、ハウジング１の外壁部に形成されたアクチュエータ搭載部に、複数の締結ボルトを用いて締め付けて結合（締結）されている。
また、ハウジング１の外壁部と電動アクチュエータのハウジングとの間には、電力の供給を受けると駆動トルクを発生する電動モータ（例えばＤＣモータ等）５と、この電動モータ５の駆動トルクをＥＧＲバルブ３に伝えてＥＧＲバルブ３を駆動するロータリギヤ６、電動モータ５の駆動トルクをモード切替バルブ４に伝えてモード切替バルブ４を駆動するロータリカム７、およびこのロータリカム７をロータリギヤ側に付勢するスプリング８を有し、ロータリギヤ６に対してロータリカム７を係脱自在にリンクさせる動力伝達機構とが設置されている。
【００４６】
電動モータ５は、ＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４を駆動する駆動トルクを発生する。この電動モータ５は、ハウジング１の外壁部に一体的に形成されたモータハウジング（図示せず）内に保持固定されている。
動力伝達機構は、電動モータ５の回転速度を所定の減速比となるように２段減速し、電動モータ５の駆動トルクを増大させる歯車減速機構を備えている。
歯車減速機構は、電動モータ５のモータ出力軸トルク（駆動トルク）を、ＥＧＲバルブ３の第１シャフト２１およびモード切替バルブ４の第２シャフト２２に伝達する。歯車減速機構を構成する３つの第１〜第３ギヤは、ハウジング１の外壁部と電動アクチュエータのハウジングとの間に形成される内部空間内に回転自在に収容されている。
【００４７】
歯車減速機構は、電動モータ５の出力軸に固定されたモータギヤ（ピニオンギヤ、第１ギヤ）５１、このモータギヤ５１と噛み合って回転する中間減速ギヤ（第２ギヤ）５２、およびこの中間減速ギヤ５２と噛み合って回転するロータリギヤ（第３ギヤ）６等によって構成されている。
中間減速ギヤ５２には、モータギヤ５１に噛み合う複数の凸状歯（大径ギヤ部）５４、およびロータリギヤ６に噛み合う複数の凸状歯（小径ギヤ部）５５が形成されている。
ロータリギヤ６の外周には、中間減速ギヤ５２の小径ギヤ部５５に噛み合う複数の凸状歯（最終減速ギヤ部）５６が周方向に部分的（円弧状、部分円環状）に形成されている。なお、電動モータ５の出力軸をロータリギヤ６に直結させても良い。この場合には、ロータリギヤ６は外周に最終減速ギヤ部５６を有するギヤプレートではなく、電動モータ５の駆動トルクをＥＧＲバルブ３に伝達してＥＧＲバルブ３を回転駆動するロータリプレートとなる。
また、ロータリギヤ６は、ＥＧＲバルブ３の第１シャフト２１の回転軸線方向のアクチュエータ側端部を取り囲む円筒部５７を有している。この円筒部５７の内周部には、金属材料よりなるバルブギヤプレートがインサート成形されている。
【００４８】
また、ロータリギヤ６は、ハウジング１に固定されたスリーブ５９との間に、ＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４を閉弁作動方向（または開弁作動方向）に付勢する付勢力（スプリング荷重）を与える２つの第１、第２スプリング６１、６２とが収容されている。これらの第１、第２スプリング６１、６２は、ロータリギヤ６に対して、ＥＧＲバルブ３を閉弁作動方向に付勢する付勢力（スプリング荷重）を与えるリターンスプリング、およびロータリギヤ６に対して、ＥＧＲバルブ３を開弁作動方向に付勢する付勢力（スプリング荷重）を与えるデフォルトスプリングを構成する。
また、ロータリギヤ６は、その回転軸心（第１回転軸、第１シャフト２１の回転中心）よりも半径方向の外周側に、ロータリギヤ６の板厚方向の一方側（ハウジング側、ＥＧＲバルブ側）に延びるローラ軸（アームピン）６３を有している。このアームピン６３は、ロータリギヤ６の半径方向の外周端面から半径方向の外方に向けて突出した外方張出し突部（ブロック）６４の裏面側に設置（一体的に形成）されている。そして、アームピン６３は、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリギヤ６の回転軸心を中心とする公転運動を行う。
【００４９】
また、ロータリギヤ６は、その回転軸心を中心にして回転運動を行う係合部を有している。このロータリギヤ６の係合部は、ロータリカム７のカムプロフィール（カム面）に対して係脱自在に係合するローラ６５である。このローラ６５は、アームピン６３の外周に嵌め合わされて、アームピン６３に対して回転自在に軸支されている。そして、ローラ６５は、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリギヤ６の回転軸心を中心とする公転運動を行うと共に、アームピン６３の周囲を自転する。また、ローラ６５は、ロータリカム７のカムプロフィールに接離自在に当接すると共に、ロータリカム７のカムプロフィールに対してころがり接触する。なお、ロータリギヤ６のローラ６５がロータリカム７のカムプロフィールにころがり接触している時に、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクする。
なお、アームピン６３に対して回転自在に軸支されるローラ６５の代わりに、アームピン６３の外周に圧入嵌合されたローラベアリングを用いても良い。
【００５０】
ロータリカム７は、金属材料または合成樹脂材料により所定の形状に形成されている。このロータリカム７は、第２シャフト２２の回転軸線方向のモード切替バルブ側に対して反対側の端部を嵌合保持するシャフト保持部７０、およびこのシャフト保持部７０の両側から円弧状に延びる２つのカムアーム７１、７２等を有している。シャフト保持部７０および２つのカムアーム７１、７２には、それぞれ湾曲部が設けられている。
ロータリカム７は、シャフト保持部７０の湾曲部の曲がり方向外側の壁面（中央部）からカムアーム７２の湾曲部の曲がり方向外側の壁面まで真っ直ぐに延びるスプリング座面７３、およびシャフト保持部７０の湾曲部の曲がり方向外側の壁面（中央部）からカムアーム７１の湾曲部の曲がり方向外側の壁面まで真っ直ぐに延びるスプリング座面７４を有している。
スプリング座面７３には、クールドモード時にロータリギヤ６のガード８１がロータリカム７の動き（回転運動）をロック（規制）するクールドモード側のロック状態から中間位置の状態に至るまでのモード切替動作時にスプリング８が当接するように構成されている（図１２および図１３参照）。
スプリング座面７４には、ホットモード時にロータリギヤ６のガード８２がロータリカム７の動き（回転運動）をロック（規制）するホットモード側のロック状態から中間位置の状態に至るまでのモード切替動作時にスプリング８が当接するように構成されている（図７ないし図１１参照）。
【００５１】
また、ロータリカム７には、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲内においてロータリギヤ６のローラ６５が入り込むスロット７５が形成されている。また、２つのカムアーム７１、７２の先端には、所定の隙間（スロット開口部７６）を隔てて対向する対向部がそれぞれ設けられている。
そして、ロータリカム７は、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲に渡ってロータリギヤ６のローラ６５と係合するカム部（カム凹部Ａ、カム凹部Ｂ、カム凸部Ｃ、カム凹部Ｄおよびカム凹部Ｅ）を有している。
カム凹部Ａは、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲中（特にクールドモードからホットモードへの切り替え動作）に、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度の変化に対してモード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が変化しないヒステリシス区間（不感帯領域）を形成するカム谷部である。
カム凹部Ｂは、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度（カム回転角度）が小さい領域（ロータリカム７の作動角小域）のときに大きな回転駆動力（駆動トルク）を発生させるカム谷部である。
【００５２】
カム凸部Ｃは、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲中、特にクールドモード→ホットモード切替ポイントからホットモード（１００％）に到達するまでの間、ロータリギヤ６のローラ６５が当接してローラ６５に押圧されることで回転駆動力（電動モータ５の駆動トルク）を受けるカム山部である。
カム凹部Ｄは、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度（カム回転角度）が小さい領域（ロータリカム７の作動角小域）のときに大きな回転駆動力（駆動トルク）を発生させるカム山部である。
カム凹部Ｅは、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲中（特にホットモードからクールドモードへの切り替え動作）に、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度の変化に対してモード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が変化しないヒステリシス区間（不感帯領域）を形成するカム谷部である。
【００５３】
ロータリカム７のカム部は、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度に対するモード切替バルブ４のモード切替特性（図５および図６の特性図参照）に対応した形状のカムプロフィール（カム面）を有している。
ロータリカム７のカムプロフィールは、図６に示したように、ロータリギヤ６のローラ６５との接触角度が、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度（カム回転角度）が大きい領域と比べて、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度（カム回転角度）が小さい領域（ロータリカム７の作動角小域）の方が、大きなトルクを発生するように構成（形成）されている。また、ロータリカム７のカムプロフィールは、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしている時に、図６に示したように、ロータリカム７の回転角度の変化に対するモード切替バルブ４の回転角度の変化が大きい領域（ロータリカム７の回転角度の変化に対してモード切替バルブ４を大きく作動させる範囲）を有する形状に形成されている。
【００５４】
ここで、クールドモードからホットモードへの切り替え動作時に、図５に示したように、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が小さい領域（クールド→ホット切替ポイントよりも図示左側の領域）ではクールドモードに設定され、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が大きい領域（クールド→ホット切替ポイントよりも図示右側の領域）では、ハウジング１の内部流路がホットモード（およびホット／クールドミキシングモード）に設定される。
一方、ホットモードからクールドモードへの切り替え動作時に、図５に示したように、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が小さい領域（ホット→クールド切替ポイントよりも図示右側の領域）ではホットモードに設定され、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が大きい領域（ホット→クールド切替ポイントよりも図示左側の領域）では、ハウジング１の内部流路がクールドモード（およびホット／クールドミキシングモード）に設定される。
また、ロータリカム７のカムプロフィールは、図５に示したように、クールドモードからホットモードへの切り替え動作期間と、ホットモードからクールドモードへの切り替え動作期間との間で、ロータリギヤ６の回転角度に対するモード切替バルブ４のモード切替特性にヒステリシスを持たせている。
【００５５】
ここで、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時に、エンジン振動や車両振動がハウジング１に伝わり、その振動が第２シャフト２２およびロータリカム７に伝わって、モード切替バルブ４およびロータリカム７が第２シャフト２２を中心とした回転方向にガタ付く可能性がある。また、エンジンの排気通路から吸気通路にＥＧＲガスを還流させるハウジング１の内部流路に設置されたモード切替バルブ４に、エンジンのピストンの昇降および吸気バルブまたは排気バルブの開閉に伴う吸気脈動トルクまたは排気脈動トルクが作用したり、また、モード切替バルブ４にバックファイア等を要因とする圧力変動が加わったりする等の異常な高脈動圧力変動の影響により、上記と同様に、モード切替バルブ４およびロータリカム７が第２シャフト２２を中心とした回転方向にガタ付く可能性がある。これにより、ロータリギヤ６に対してロータリカム７が異常に離れてしまったり、または、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６との位置関係がズレてロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなってしまったり（モード切替バルブ４のオーバーターン等）するような異常（誤作動）が発生する可能性がある。
そこで、本実施例の動力伝達機構は、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時に、ロータリカム７の回転軸心（第２回転軸、第２シャフト２２の回転中心）を中心としたモード切替バルブ４およびロータリカム７の回転運動を規制するバルブロック機構（バルブ規制手段）を有している。
このバルブロック機構は、ロータリギヤ６の裏面側に形成された円弧状の突条リブ（ガード）８１、８２と、ロータリカム７の表面側に形成されて、ガード８１、８２が係脱自在に係合する円弧状の係合溝９１、９２とによって構成されている。
【００５６】
ロータリギヤ６のガード８１は、ロータリギヤ６の回転軸心を中心にした所定の曲率半径を有する円弧状のクールド側嵌合凸部である。このガード８１は、その周方向の一端側に係合溝９１との係合開始部を有している。また、ガード８１の周方向の他端側には、ロータリカム７のカムアーム７２のスプリング座面７３に当接して、それ以上のロータリギヤ６のクールドモード側の開弁作動方向への回転を規制するストッパ８３が形成されている。つまり、ストッパ８３は、ロータリギヤ６のクールドモード側の作動可能範囲における限界位置（回転角度が−７０°）を規定するものである。なお、ストッパ８３は、ガード８１の周方向の他端に一体的に形成されているが、ガード８１の周方向の他端面との間に所定の隙間を隔てて周方向において対向配置しても良い。
ガード８２は、ロータリギヤ６の回転軸心を中心にした所定の曲率半径を有する円弧状のホット側嵌合凸部である。このガード８２は、その周方向の一端側に係合溝９２との係合開始部を有している。また、ガード８２の周方向の他端側には、ロータリカム７のカムアーム７１のスプリング座面７４に当接して、それ以上のロータリギヤ６のホットモード側の開弁作動方向への回転を規制するストッパ８４が形成されている。つまり、ストッパ８４は、ロータリギヤ６のホットモード側の作動可能範囲における限界位置（回転角度が６０°）を規定するものである。なお、ストッパ８４は、ガード８２の周方向の他端面との間に所定の隙間を隔てて周方向において対向配置されているが、ガード８２の周方向の他端にストッパ８４が一体的に形成されていても良い。
【００５７】
ロータリカム７の係合溝９１は、カムアーム７１の表面側に形成され、ロータリカム７の回転軸心を中心にした所定の曲率半径を有する円弧状のクールド側嵌合凹部である。係合溝９１は、ロータリギヤ６のローラ６５がスロット開口部７６から抜け出してロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時（クールドモード時）に、ガード８１に係合する。なお、ガード８１は、係合溝９１に摺動自在に嵌め合わされている。また、係合溝９２は、カムアーム７２の表面側に形成され、ロータリカム７の回転軸心を中心にした所定の曲率半径を有する円弧状のホット側嵌合凹部である。係合溝９２は、ロータリギヤ６のローラ６５がスロット開口部７６から抜け出してロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時（ホットモード時）に、ガード８２に係合する。なお、ガード８２は、係合溝９２に摺動自在に嵌め合わされている。
これにより、エンジン振動や車両振動、また、異常な高脈動圧力変動の影響等によって、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時に、ロータリギヤ６に対してロータリカム７が異常に離れてしまったり、または、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６との位置関係がズレてロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなってしまったり（モード切替バルブ４のオーバーターン等）するような誤作動を防止することができる。
【００５８】
ここで、本実施例の動力伝達機構は、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていないクールドモード時に、ＥＧＲバルブ３の回転角度が−７０°〜−３０°の角度範囲（領域）の場合、ロータリギヤ６の裏面側に形成されたガード８１とロータリカム７のカムアーム７１の表面側に形成された係合溝９１とが嵌合（ロック）するように構成されている。また、本実施例の動力伝達機構は、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていないホットモード時に、ＥＧＲバルブ３の回転角度が＋２０°〜＋６０°の角度範囲（領域）の場合、ロータリギヤ６の裏面側に形成されたガード８２とロータリカム７のカムアーム７２の表面側に形成された係合溝９２とが嵌合（ロック）するように構成されている。なお、ＥＧＲバルブ３の回転角度が−３０°〜＋２０°の角度範囲（領域）の場合には、ガード８１と係合溝９１との係合状態およびガード８２と係合溝９２との係合状態が解放（アンロック）される。
【００５９】
また、本実施例の電動アクチュエータは、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時に、ロータリカム７の回転軸心を中心とした、ロータリカム７の回転運動を規制するスプリング（バルブ規制手段）８を備えている。このスプリング８は、電動アクチュエータのハウジングの内部に設置されて、ロータリカム７に対して、ロータリギヤ６に接近する側に付勢する付勢力（スプリング力）を作用させる板バネである。なお、スプリング７は、ロータリギヤ６のローラ６５が、ロータリカム７のカム凸部Ｃのカムプロフィール（凸曲面）の最頂部分を乗り越える毎に、カムアーム７２側のスプリング座面７３とカムアーム７１側のスプリング座面７４とに当接位置が変わる。
これにより、エンジン振動や車両振動、また、異常な高脈動圧力変動の影響等によって、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時に、ロータリギヤ６に対してロータリカム７が異常に離れてしまったり、または、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６との位置関係がズレてロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなってしまったり（モード切替バルブ４のオーバーターン等）するような誤作動を防止することができる。
【００６０】
ここで、電動アクチュエータの動力源である電動モータ５は、ＥＣＵによって通電制御されるように構成されている。
ここで、ＥＣＵには、制御処理、演算処理を行うＣＰＵ、各種プログラムおよびデータを保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）、入力回路、出力回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
また、ＥＣＵは、図示しないイグニッションスイッチをオン（ＩＧ・ＯＮ）すると、メモリ内に格納された制御プログラムに基づいて、ＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４のバルブ開度（回転角度）を電子制御するように構成されている。なお、ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオフ（ＩＧ・ＯＦＦ）されると、メモリ内に格納された制御プログラムに基づく上記の制御が強制的に終了されるように構成されている。
そして、各種センサからのセンサ信号は、Ａ／Ｄ変換器でＡ／Ｄ変換された後に、ＥＣＵに内蔵されたマイクロコンピュータに入力されるように構成されている。そして、マイクロコンピュータには、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、冷却水温度センサ、吸気温度センサ、ＥＧＲガス流量センサおよびＥＧＲガス温度センサ等が接続されている。
ＥＧＲガス流量センサは、センサカバー４９の内部に設けられたセンサ保持部に保持固定されている。このＥＧＲガス流量センサは、ＥＧＲバルブ３の回転角度（バルブ開度）を電気信号に変換し、ＥＣＵへどれだけＥＧＲバルブ３が開いているかを出力する。
【００６１】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲシステムに組み込まれるＥＧＲバルブモジュールの作用を図１ないし図１３に基づいて簡単に説明する。ここで、図７ないし図９はホットモード側のロック状態を示した図で、図１０および図１１はモード切替動作時における中間位置の状態を示した図で、図１２および図１３はクールドモード側のロック状態を示したである。
【００６２】
先ず、モード切替バルブ４をクールドモードからホットモードに切り替える場合には、先ずＥＣＵがエンジンの運転状態に対応して設定される制御目標値（目標バルブ開度）を演算する。そして、電動モータ５に電力を供給し、電動モータ５の出力軸をホットモード側の開弁作動方向に回転させる。これにより、電動モータ５の駆動トルクが、モータギヤ５１、中間減速ギヤ５２およびロータリギヤ６に伝達される。よって、ロータリギヤ６がその回転軸心を中心に徐々に回転する。
そして、ロータリギヤ６から電動モータ５の駆動トルクが伝達された第１シャフト２１が、ロータリギヤ６の回転に伴って所定の回転角度分だけホットモード側の開弁作動方向に回転する。
このとき、ロータリギヤ６に設けられたアームピン６３に軸支されるローラ６５は、ロータリギヤ６の回転により、ロータリギヤ６の回転軸心を中心にした公転運動を行うと共に、この公転運動中にアームピン６３の中心軸線を中心にして自転運動を行う。
【００６３】
そして、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のカム凹部Ｂのカムプロフィール（凹曲面）とがリンクする位置（係合位置）からロータリギヤ６の回転が開始される。このとき、ＥＧＲバルブ３の回転角度はθ＝０°であるため、モード切替バルブ４の切替位置がバイパス全閉位置となっている。つまりハウジング１の内部流路がクールドモード（１００％）に設定されている。
次に、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ローラ６５が、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリカム７のカム凸部Ｃのカムプロフィール（凸曲面）上を転がり接触しながら、カム凸部Ｃを押圧するため、電動モータ５の駆動トルクが、ロータリギヤ６のロータ６５からロータリカム７に伝達される。これにより、ロータリカム７がその回転軸心を中心に徐々に回転する。このとき、ハウジング１の内部流路がクールドモードからホット／クールドミキシングモードに切り替わる。
【００６４】
これによって、第１ＥＧＲガス流路１１→ＥＧＲクーラ１０→第２ＥＧＲガス流路１２を通過してＥＧＲガス導出ポート３４より吸気通路側に流出するクールドＥＧＲガスと、バイパス流路１３を通過してＥＧＲガス導出ポート３４より吸気通路側に流出するホットＥＧＲガスとが、モード切替バルブ４の回転角度に対応した所定の混合量（混合比率）で混合されることにより、ＥＧＲバルブモジュールのハウジング１から排気通路、吸気ポートに還流するＥＧＲガスの温度が最適な温度となるように調整される。これにより、ＮＯｘの排出量およびＨＣの排出量を同時に低減させるようにすることもできる。また、このホット／クールドミキシングモード時に、ディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）の再生を実施しても良い。
そして、ロータリカム７から電動モータ５の駆動トルクが伝達された第２シャフト２２が、ロータリカム７の回転に伴って所定の回転角度分だけホットモード側に回転する。すなわち、モード切替バルブ４は、ロータリカム７の回転に伴って所定の回転角度分だけホットモード側に回転する。
【００６５】
次に、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ローラ６５が、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリカム７のカム凹部Ｄおよびカム凹部Ｅのカムプロフィール（凹曲面）上を転がり接触しながら、カム凹部Ｄおよびカム凹部Ｅを押圧するため、電動モータ５の駆動トルクが、ロータリギヤ６のロータ６５からロータリカム７に伝達される。これにより、ロータリカム７がその回転軸心を中心に徐々に回転する。
そして、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６とがリンクする位置（係合位置）までロータリギヤ６およびロータリカム７が回転すると、すなわち、ＥＧＲバルブ３の回転角度がθ＝２０°になると、モード切替バルブ４の切替位置がバイパス全開位置に切り替わる。つまり、ハウジング１の内部流路がホット／クールドミキシングモードからホットモード（１００％）に切り替わる。
【００６６】
次に、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ロータリギヤ６の回転に伴って、ローラ６５が、ロータリカム７のスロット７５およびスロット開口部７６から抜け出してロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなる。これにより、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が更にホットモード側の開弁作動方向に回転しても、ロータリカム７の回転角度は変化せず、モード切替バルブ４はホットモードに維持される。このとき、ロータリギヤ６のガード８２が、ロータリカム７のカムアーム７２の表面側に形成された係合溝９２に係合する（ホットモード側のロック状態：図７ないし図９参照）。
これにより、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていなくても、エンジン振動や車両振動、また、異常な高脈動圧力変動の影響等によって、ロータリギヤ６に対してロータリカム７が異常に離れてしまったり、または、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６との位置関係がズレてロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなってしまったり（モード切替バルブ４のオーバーターン等）するような誤作動を防止することができる。
【００６７】
したがって、ＥＧＲバルブ３は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。また、モード切替バルブ４の切替位置が、ホットＥＧＲガスの流量が最大となるホットモードに設定される。これにより、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部である高温ＥＧＲガス（ホットＥＧＲガス）が、エンジンの排気通路からＥＧＲバルブモジュールのハウジング１の内部（バイパス流路１３）を経てエンジンの吸気通路に再循環（還流）される。つまり、ＥＧＲバルブモジュールのハウジング１の内部に流入する全てのホットＥＧＲガスがＥＧＲクーラ１０をバイパスしてエンジンの吸気通路に還流される。すなわち、ホットＥＧＲガスが、エンジンの各気筒毎の燃焼室に供給される吸入空気に混入される。
【００６８】
これによって、エンジンの冷間始動時に、吸入空気への十分な暖気効果を得ることができ、エンジンの燃焼性が向上し、ハイドロカーボン（炭化水素：ＨＣ）や白煙の発生を防止することができる。
また、ディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）の再生時には、ホットＥＧＲガスを吸気通路に導入することができるので、燃焼室に吸入される吸気温度が高まり、ＤＰＦに供給される排気温度を昇温する効果が得られる。これにより、ＤＰＦに高温の排気ガスを供給してパティキュレート（ＰＭ）の燃焼温度（例えば５００℃〜６５０℃）となるようにＤＰＦ自体を昇温させることができるので、ＤＰＦ再生を低燃費で実現でき、また、ＤＰＦが再生されるため、エミッション低減効果を更に向上することができる。
【００６９】
次に、モード切替バルブ４をホットモードからクールドモードに切り替える場合には、先ずＥＧＲバルブ３を現在のバルブ開弁位置からバルブ全閉位置（θ＝０°）まで閉じ、更に、ＥＧＲバルブ３をバルブ全閉位置（θ＝０°）からクールドモード側の開弁作動方向に回転させる。
このとき、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６とがリンクする位置（係合位置）までＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が回転するまでは、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていないので、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が閉弁作動方向に回転しても、ロータリカム７の回転角度は変化せず、モード切替バルブ４はホットモードに維持される。
【００７０】
そして、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ロータリギヤ６の回転に伴って、ローラ６５が、ロータリカム７のスロット開口部７６からスロット７５内に入り込み、ローラ６５が、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリカム７のカム凹部Ｅのカムプロフィール（凹曲面）上を転がり接触しながら移動する。このとき、カム凹部Ｅは、ヒステリシス区間を形成しているので、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていても、つまりＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が回転しても、ロータリカム７の回転角度は変化せず、モード切替バルブ４はホットモードに維持される。
【００７１】
そして、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ローラ６５が、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のカム凹部Ｄのカムプロフィール（凹曲面）とがリンクする位置（係合位置）に到達する。このとき、ＥＧＲバルブ３の回転角度はθ＝−１０°であるため、モード切替バルブ４の切替位置がバイパス全開位置となっている。つまりハウジング１の内部流路がホットモード（１００％）に設定されている。
次に、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ローラ６５が、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリカム７のカム凸部Ｃのカムプロフィール（凸曲面）上を転がり接触しながら、カム凸部Ｃを押圧するため、電動モータ５の駆動トルクが、ロータリギヤ６のロータ６５からロータリカム７に伝達される。これにより、ロータリカム７がその回転軸心を中心に徐々に回転する。このとき、ハウジング１の内部流路がホットモードからホット／クールドミキシングモードに切り替わる。
【００７２】
これによって、第１ＥＧＲガス流路１１→ＥＧＲクーラ１０→第２ＥＧＲガス流路１２を通過してＥＧＲガス導出ポート３４より吸気通路側に流出するクールドＥＧＲガスと、バイパス流路１３を通過してＥＧＲガス導出ポート３４より吸気通路側に流出するホットＥＧＲガスとが、モード切替バルブ４の回転角度に対応した所定の混合量（混合比率）で混合されることにより、ＥＧＲバルブモジュールのハウジング１から排気通路、吸気ポートに還流するＥＧＲガスの温度が最適な温度となるように調整される。これにより、ＮＯｘの排出量およびＨＣの排出量を同時に低減させるようにすることもできる。また、このホット／クールドミキシングモード時に、ＤＰＦの再生を実施しても良い。
そして、ロータリカム７から電動モータ５の駆動トルクが伝達された第２シャフト２２が、ロータリカム７の回転に伴って所定の回転角度分だけクールドモード側に回転する。すなわち、モード切替バルブ４は、ロータリカム７の回転に伴って所定の回転角度分だけクールドモード側に回転する。
【００７３】
次に、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ローラ６５が、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリカム７のカム凹部Ｂおよびカム凹部Ａのカムプロフィール（凹曲面）上を転がり接触しながら、カム凹部Ｂおよびカム凹部Ａを押圧するため、電動モータ５の駆動トルクが、ロータリギヤ６のロータ６５からロータリカム７に伝達される。これにより、ロータリカム７がその回転軸心を中心に徐々に回転する。
そして、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６とがリンクする位置（係合位置）までロータリギヤ６およびロータリカム７が回転すると、すなわち、ＥＧＲバルブ３の回転角度がθ＝−３０°になると、モード切替バルブ４の切替位置がバイパス全閉位置に切り替わる。つまり、ハウジング１の内部流路がホット／クールドミキシングモードからクールドモード（１００％）に切り替わる。
【００７４】
次に、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ロータリギヤ６の回転に伴って、ローラ６５が、ロータリカム７のスロット７５およびスロット開口部７６から抜け出してロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなる。これにより、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が更にクールドモード側の開弁作動方向に回転しても、ロータリカム７の回転角度は変化せず、モード切替バルブ４はクールドモードに維持される。このとき、ロータリギヤ６のガード８１が、ロータリカム７のカムアーム７１の表面側に形成された係合溝９１に係合する（クールドモード側のロック状態：図１２および図１３参照）。
これにより、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていなくても、エンジン振動や車両振動、また、異常な高脈動圧力変動の影響等によって、ロータリギヤ６に対してロータリカム７が異常に離れてしまったり、または、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６との位置関係がズレてロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしなくなってしまったり（モード切替バルブ４のオーバーターン等）するような誤作動を防止することができる。
【００７５】
以上にように、モード切替バルブ４の切替位置がバイパス全閉位置に切り替えられると、ハウジング１の内部流路がクールドモードに設定される。このクールドモード時には、第１ＥＧＲガス流路１１→ＥＧＲクーラ１０→第２ＥＧＲガス流路１２を通って吸気通路にＥＧＲガスが還流される。
したがって、モード切替バルブ４の切替位置が、クールドＥＧＲガスの流量が最大となるクールドモードに設定されるため、ＥＧＲバルブモジュールのハウジング１の内部に流入する全てのＥＧＲガスがＥＧＲクーラ１０を経由して吸気通路に還流される。
これによって、ＥＧＲクーラ１０の内部を通過する際に十分に冷却されたクールドＥＧＲガス、つまりＥＧＲガス温度が低く、密度の小さいクールドＥＧＲガスが、吸気通路内で吸入空気に混入することになる。
これにより、エンジンの出力を低下させることなく、エンジンの燃焼温度を低下させて、排気ガス中に含まれる有害物質（例えば窒素酸化物：ＮＯｘ）の発生量を低減することができる。また、吸気通路に還流するＥＧＲガスをＥＧＲクーラ１０で冷却することで、ＥＧＲガスのエンジンの燃焼室への充填効率を高めて、エミッション低減効果を更に向上することができる。
【００７６】
次に、ＥＧＲバルブ３をクールドモード側のバルブ全開位置（θ＝−７０°）からバルブ全閉位置（θ＝０°）に戻す場合には、電動モータ５の電力を供給してロータリギヤ６を閉弁作動方向に回転させる。
このとき、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のスロット開口部７６とがリンクする位置（係合位置）までＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が回転するまでは、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていないので、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が閉弁作動方向に回転しても、ロータリカム７の回転角度は変化せず、モード切替バルブ４はクールドモードに維持される。
そして、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させると、ロータリギヤ６の回転に伴って、ローラ６５が、ロータリカム７のスロット開口部７６からスロット７５内に入り込み、ローラ６５が、ロータリギヤ６の回転に伴ってロータリカム７のカム凹部Ａのカムプロフィール（凹曲面）上を転がり接触しながら移動する。このとき、カム凹部Ａは、ヒステリシス区間を形成しているので、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていても、つまりＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６が回転しても、ロータリカム７の回転角度は変化せず、モード切替バルブ４はクールドモードに維持される。
【００７７】
そして、電動モータ５への電力供給を継続してロータリギヤ６を更に回転させて、ローラ６５が、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のカム凹部Ｂのカムプロフィール（凹曲面）とがリンクする位置（係合位置）に到達する。そして、ローラ６５が、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のカム凹部Ｂのカムプロフィール（凹曲面）とがリンクする位置（係合位置）に到達した時点で、電動モータ５への電力供給を停止する。このとき、ＥＧＲバルブ３はバルブ全閉位置（θ＝０°）で停止する。
なお、ＥＧＲバルブ３のバルブ開度（回転角度）は、エンジンの運転状態に対応して設定される制御目標値（目標バルブ開度）に基づいて設定されるため、モード切替バルブ４がバイパス全閉位置の状態（クールドモード）に維持された状態で、ＥＧＲバルブ３のバルブ開度（回転角度）が変化する（増減を繰り返す）。また、モード切替バルブ４がバイパス全開位置の状態（ホットモード）に維持された状態で、ＥＧＲバルブ３のバルブ開度（回転角度）が変化する（増減を繰り返す）。また、モード切替バルブ４がバイパス全閉位置とバイパス全開位置との中間開度（中間位置）の状態、つまりクールドＥＧＲガスとホットＥＧＲガスとをミキシングするミキシング位置（ホット／クールドミキシングモード）に設定された状態で、モード切替バルブ４と連動してＥＧＲバルブ３のバルブ開度（回転角度）が変化する（増減を繰り返す）。
【００７８】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲシステムに組み込まれるＥＧＲバルブモジュールにおいては、電動アクチュエータに、電動モータ５の駆動トルクをＥＧＲバルブ３に伝えてＥＧＲバルブ３を駆動するロータリギヤ６、電動モータ５の駆動トルクをモード切替バルブ４に伝えてモード切替バルブ４を駆動するロータリカム７、およびこのロータリカム７をロータリギヤ側に付勢するスプリング８を有し、ロータリギヤ６に対してロータリカム７を係脱自在にリンクさせる動力伝達機構を備えている。
これによって、従来の装置では２つのアクチュエータにより別々に駆動されていた目的（動作パターン）が異なる２つの第１、第２バルブ（ＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４）を、電動モータ５および動力伝達機構を備えた１つの電動アクチュエータで駆動することができる。
【００７９】
ここで、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲では、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６に対してモード切替バルブ４およびロータリカム７がリンク（連動、連携）するので、１つの電動アクチュエータの動力伝達機構でＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４との両方に電動モータ５の駆動トルクが伝わり、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４との両方を連動させながら駆動することができる。
また、ロータリカム７のカム部のカムプロフィールは、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲より外れると、ロータリギヤ６のローラ６５から離脱するように構成されている。すなわち、ＥＧＲバルブ３とモード切替バルブ４とが連動する範囲より外れると、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６に対してモード切替バルブ４およびロータリカム７がリンク（連動、連携）しなくなるので、一方のＥＧＲバルブ３のみに電動モータ５の駆動トルクが伝わり、ＥＧＲバルブ３のみが駆動される。したがって、従来のＥＧＲバルブモジュールよりも動力源となるアクチュエータの数を２つから１つに削減することができる。これにより、部品点数を削減できるので、製造コストおよび製品コストを低減することができる。また、ＥＧＲバルブモジュール全体の体格を小型化できるので、例えば車両等への搭載スペースを縮小化することができる。これにより、自動車等の車両のエンジンルーム、特にエンジンへの搭載性の向上を図ることができる。
【００８０】
また、低負圧時の負圧作動式アクチュエータよりも大きい回転駆動力（駆動トルク）を発生させることが可能な電動モータ５を備えた１つの電動アクチュエータによって２つの第１、第２バルブ（ＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４）を駆動するように構成されているので、仮にＥＧＲバルブ３の周辺およびモード切替バルブ４の周辺に堆積固化したデポジットによりＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４がハウジング１の流路壁面に固着する等の不具合が発生していた場合であっても、ＥＧＲバルブ３の周辺およびモード切替バルブ４の周辺に堆積固化したデポジットによるＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４の固着を、電動モータ５の駆動トルクで容易に解除することができる。
【００８１】
また、ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のカム部とがリンクしていない区間では、電動モータ５の動力経路上から外れたモード切替バルブ４およびロータリカム７が、電動モータ５の動力経路上にあるＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の作動に影響を及ぼさない範囲まで外すことができる。また、ロータリギヤ６の裏面側に形成されたガード８１、８２と、ロータリカム７の表面側に形成された係合溝９１、９２とにより構成されるバルブロック機構によって、電動モータ５の動力経路上から外れた位置（回転角度）でモード切替バルブ４およびロータリカム７を保持することができ、且つ再度ロータリギヤ６のローラ６５とロータリカム７のカム部とがリンクし易くして、１つの電動アクチュエータで２つの第１、第２バルブ（ＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４）を連動させる構造を容易に実現できるようにしている。
【００８２】
ここで、ホットモードからクールドモードへの切り替え動作時に、ロータリギヤ６のローラ６５が係合するカム凹部Ｅは、ＥＧＲバルブ３およびロータリギヤ６の回転角度の変化に対してモード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が変化しないヒステリシス区間を形成している。このヒステリシス区間は、図５の特性図に示したように、ＥＧＲバルブ３のバルブ全閉位置（θ＝０°）を跨ぐように形成されている。
このため、ＥＧＲバルブ３のバルブ全閉位置（θ＝０°）を含む所定のバルブ開度範囲（図５のクリーニングモード参照：θ＝−１０〜＋１０°）内において、ＥＧＲバルブ３がバルブ全閉位置を通り越して開閉作動を繰り返すように、電動モータ５への供給電力を可変制御（ＥＧＲＶ開閉制御）してデポジット掻き落とし作動（クリーニング制御）を実施することにより、ＥＧＲバルブ３の周辺（特にハウジング１のバルブ全閉位置の近傍または前後の流路壁面、ハウジング１のノズル嵌合部に嵌合保持されたノズル２とＥＧＲバルブ３のシールリング３５との間の摺動部またはシール部）に付着または堆積したデポジットを掻き落とすことができる。
【００８３】
また、ロータリカム７のカムプロフィール（カム凹部Ｂの凹曲面およびカム凹部Ｄの凹曲面）は、図６に示したように、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が大きい領域と比べて、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が小さい領域の方が、大きなトルクが発生するように構成されている。これにより、例えばエンジン始動時に、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が小さい領域でモード切替バルブ４のクールドモードからホットモードへの切り替え動作を開始する際（ＥＧＲバルブ３の回転角度がθ＝０°）、大きなトルクをモード切替バルブ４に与えることができるので、少なくともモード切替バルブ４の周辺（バイパス全閉位置近傍）に堆積固化したデポジットによるモード切替バルブ４の固着を、電動モータ５の小さい解除トルクで解除することができる。また、エンジンの運転時に、モード切替バルブ４およびロータリカム７の回転角度が小さい領域でモード切替バルブ４のホットモードからクールドモードへの切り替え動作を開始する際（ＥＧＲバルブ３の回転角度がθ＝−１０°）、大きなトルクをモード切替バルブ４に与えることができるので、少なくともモード切替バルブ４の周辺（バイパス全開位置近傍）に堆積固化したデポジットによるモード切替バルブ４の固着を、電動モータ５の小さい解除トルクで解除することができる。
【００８４】
本実施例のモード切替バルブ４の回転軸方向の両端面、特に第２シャフト２２の周辺のみに、ハウジング１の流路壁面に向けて突出する２つの第１、第２ブロック３９を設けている。なお、モード切替バルブ４の回転軸方向の両端面とハウジング１の流路壁面との間に所定の隙間（デポジット逃がし用の隙間Ｓ）を形成するためのスペーサを、モード切替バルブ４の回転軸方向の両端面とハウジング１の流路壁面との間に挿入するようにしても良い。
これによって、ハウジング１の流路壁面とモード切替バルブ４の回転軸方向の両端面との間に、デポジット逃がし用の隙間Ｓが形成される。したがって、モード切替バルブ４の周辺に堆積固化したデポジットによるモード切替バルブ４の固着を、小さな解除トルクで解除することができる。また、デポジットによりモード切替バルブ４がハウジング１の流路壁面に固着しても、デポジットの付着または堆積箇所がモード切替バルブ４の第２シャフト２２の周辺に限られるので、少なくともモード切替バルブ４の第２シャフト２２の周辺に堆積固化したデポジットによるモード切替バルブ４の固着を解除する解除トルクが非常に小さくてすむ。これにより、電動アクチュエータ、特に電動モータ５を更に小型化することができるので、搭載スペースを更に縮小化することができる。
【実施例２】
【００８５】
図１４および図１５は本発明の実施例２を示したもので、図１４は動力伝達機構の主要部を示した図で、図１５はモード切替バルブの周辺の動力伝達機構を示した図である。
【００８６】
本実施例の動力伝達機構は、ロータリギヤ６に対してロータリカム７がリンクしていない時に、ロータリカム７の回転軸心を中心としたモード切替バルブ４およびロータリカム７の回転運動を規制するバルブロック機構（バルブ規制手段）を有している。
このバルブロック機構は、ロータリカム７の裏面側に形成された円形状の嵌合溝９３と、モード切替バルブ４の第２シャフト２２の外周に摺動自在に嵌め合わされたプレート９４の表面側に形成されて、嵌合溝９３に対して係脱自在に係合する係合ピン９５と、プレート９４に対して係合ピン９５をロータリカム７の裏面側に押し付ける方向（スラスト方向）に付勢する付勢力を発生するスプリング９６とによって構成されている。
モード切替バルブ４およびロータリカム７をロックする場合には、係合ピン９５をスラスト方向（第２シャフト軸方向）に移動させて嵌合溝９３に嵌合させる。
ここで、クールドモードからホットモードへの切り替え動作時、およびホットモードからクールドモードへの切り替え動作時には、解除ボタン９７によりスプリング９６の付勢力に抗してプレート９４を押し下げて係合ピン９５を嵌合溝９３より外す。
【００８７】
［変形例］
本実施例では、ＥＧＲＶをＥＧＲクーラ１０よりもＥＧＲガス流方向の下流側に設置したが、ＥＧＲＶをＥＧＲクーラ１０よりもＥＧＲガス流方向の上流側に設置しても良い。  本実施例では、本発明を、内部をＵ字状にＥＧＲガス（排気ガス）が流れるＵターンフロータイプのＥＧＲクーラ（排気ガスクーラ）１０を備えたＥＧＲバルブモジュールに適用したが、本発明を、内部をＳ字状またはＩ字状にＥＧＲガス（排気ガス）が流れるタイプの排気ガスクーラを備えたＥＧＲバルブモジュールに適用しても良い。この場合には、排気ガスクーラの出口タンク部とハウジング１のクーラ出口ポート３３とを、熱交換機能を持たない排気ガス配管で接続する。
【００８８】
本実施例では、ハウジングを、排気ガス還流装置の排気ガス還流管の途中に接続し、排気ガス還流管の一部を成すハウジング（バルブハウジング）１によって構成しているが、ハウジングを、吸気管の一部または排気管の一部を成すハウジングによって構成しても良い。
本実施例では、ハウジング１のノズル嵌合部の内周に円筒状のノズル２を嵌合保持し、更にノズル２の内部にＥＧＲバルブ３を開閉自在に収容しているが、ハウジング１の内部に直接ＥＧＲバルブ３を開閉自在に収容しても良い。この場合には、ノズル２は不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。
なお、ＥＧＲバルブ３の外周端面にシールリング溝（環状溝）を設けなくても良い。また、ＥＧＲバルブ３の外周端面にシールリングを装着しなくても良い。この場合には、シールリングは不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。
【００８９】
本実施例では、歯車減速機構として、３つの第１〜第３ギヤを用いて電動モータ５の出力軸の回転速度を所定の減速比となるように２段減速し、電動モータ５の回転トルクを増大させて２つの第１、第２バルブ（ＥＧＲバルブ３、モード切替バルブ４）を駆動する歯車減速機構を構成しているが、歯車減速機構として、電動モータの出力軸に固定されたウォームギヤ、およびこのウォームギヤと噛み合って回転するヘリカルギヤ等によって歯車減速機構を構成しても良い。
また、歯車減速機構のうちの最終ギヤとしてピニオンギヤを使用し、バルブのバルブ軸にピニオンギヤと噛み合うラック歯を設けたラックアンドピニオン機構（回転運動から直線運動に変換する運動方向変換機構）を備えた歯車減速機構を使用しても良い。
また、歯車減速機構を２つの第１、第２ギヤによって構成しても良く、また、歯車減速機構を４つ以上のギヤによって構成しても良い。
また、電動モータ５の出力軸側に設けられた駆動側プーリと第１ロータリ部材側に設けられた従動側プーリとをベルトにより連結しても良い。
【００９０】
本実施例では、ホットモードからクールドモードへの切り替え動作中のヒステリシス区間においてＥＧＲＶ開閉制御（デポジット掻き落とし作動）を実施しているが、イグニッションスイッチのＯＦＦ後、あるいはエンジンの運転停止後またはエンジン始動時にＥＧＲＶ開閉制御（デポジット掻き落とし作動）を実施しても良い。また、デポジット掻き落とし作動を、通常のエンジン運転中のＥＧＲバルブ３の全閉作動時に実施しても良い。
また、ＥＧＲバルブ３の回転角度に対する流量特性と、ＥＧＲバルブ３の回転角度に対するモード切替特性との関係は、本実施例に限定されず、任意である。例えばクールド→ホット切替ポイントを、ＥＧＲバルブ３の回転角度のθ＝０°からホットモード側の開弁作動方向またはクールドモード側の開弁作動方向に所定の回転角度分だけ移動させても良い。また、ホット→クールド切替ポイントを、ＥＧＲバルブ３の回転角度のθ＝−１０°からホットモード側の開弁作動方向またはクールドモード側の開弁作動方向に所定の回転角度分だけ移動させても良い。
【００９１】
ここで、ハウジング１の内部流路がクールドモードからホット／クールドミキシングモードに切り替えられて、クールドＥＧＲガスとホットＥＧＲガスとの混合比率（クールドモード１００％〜クールドモード５０％・ホットモード５０％〜ホットモード１００％）が調整されている段階で、ＥＧＲバルブ３を現在のバルブ開度よりも閉弁側に閉じる要求がある場合には、クールドＥＧＲガスの方がホットＥＧＲガスよりも多い混合比率となるようにＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４の回転角度を変更したり、ハウジング１の内部流路をホット／クールドミキシングモードからクールドモードに戻したりするようにしても良い。つまりＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４の回転角度が大きい領域側から小さい領域側に戻すようにしても良い。
【００９２】
また、ハウジング１の内部流路がホットモードからホット／クールドミキシングモードに切り替えられて、クールドＥＧＲガスとホットＥＧＲガスとの混合比率（ホットモード１００％〜クールドモード５０％・ホットモード５０％〜クールドモード１００％）が調整されている段階で、ＥＧＲバルブ３を現在のバルブ開度よりも閉弁側に閉じる要求がある場合には、ホットＥＧＲガスの方がクールドＥＧＲガスよりも多い混合比率となるようにＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４の回転角度を変更したり、ハウジング１の内部流路をホット／クールドミキシングモードからホットモードに戻したりするようにしても良い。つまりＥＧＲバルブ３およびモード切替バルブ４の回転角度が大きい領域側から小さい領域側に戻すようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】電動アクチュエータを示した概略図である（実施例１）。
【図２】電動アクチュエータを示した概略図である（実施例１）。
【図３】ＥＧＲバルブモジュールを示した断面図である（実施例１）。
【図４】ロータリギヤに対してカムプレートがリンクしている状態を示した説明図である（実施例１）。
【図５】（ａ）はＥＧＲバルブおよびロータリギヤの回転角度に対する流量特性を示した特性図で、（ｂ）はＥＧＲバルブおよびロータリギヤの回転角度に対するモード切替特性を示した特性図である（実施例１）。
【図６】ロータリカムの回転角度に対するトルク変化特性を示した特性図である（実施例１）。
【図７】ホットモード側のロック状態を示した斜視図である（実施例１）。
【図８】ホットモード側のロック状態を示した説明図である（実施例１）。
【図９】ホットモード側のロック状態を示した拡大図である（実施例１）。
【図１０】モード切替動作時における中間位置の状態を示した斜視図である（実施例１）。
【図１１】モード切替動作時における中間位置の状態を示した説明図である（実施例１）。
【図１２】クールドモード側のロック状態を示した斜視図である（実施例１）。
【図１３】クールドモード側のロック状態を示した説明図である（実施例１）。
【図１４】動力伝達機構の主要部を示した概略図である（実施例２）。
【図１５】モード切替バルブの周辺の動力伝達機構を示した概略図である（実施例２）。
【図１６】クールドモード時におけるモード切替バルブの設定位置を示した断面図である（従来の技術）。
【図１７】バイパスモード時におけるモード切替バルブの設定位置を示した断面図である（従来の技術）。
【符号の説明】
【００９４】
Ａ  ロータリカムのカム凹部（カム部）
Ｂ  ロータリカムのカム凹部（カム部）
Ｃ  ロータリカムのカム凸部（カム部）
Ｄ  ロータリカムのカム凹部（カム部）
Ｅ  ロータリカムのカム凹部（カム部）
Ｓ  デポジット逃がし用の隙間（所定の隙間）
１  ハウジング（バルブハウジング）
２  ノズル
３  ＥＧＲバルブ（第１バルブ、排気ガス流量制御バルブ）
４  モード切替バルブ（第２バルブ）
５  電動モータ
６  ロータリギヤ（第１ロータリ部材、ギヤ部材）
７  ロータリカム（第２ロータリ部材、カム部材）
８  スプリング（バルブ規制手段）
１０  ＥＧＲクーラ（排気ガスクーラ）
１１  第１ＥＧＲガス流路
１２  第２ＥＧＲガス流路
１３  バイパス流路
２１  ＥＧＲバルブの第１シャフト（第１回転軸）
２２  モード切替バルブの第２シャフト（第２回転軸）
６４  ロータリギヤの外方張出し突部
６５  ロータリギヤのローラ（係合部）
８１  ガード（バルブ規制手段）
８２  ガード（バルブ規制手段）
９１  係合溝（バルブ規制手段）
９２  係合溝（バルブ規制手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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