(57)【要約】【課題】インクのリフィル速度が向上し、インク滴を吐出した後に次にインク滴の吐出を行うまでの時間が短縮化されると共に、記録によって得られる画像の品質が高く維持された記録ヘッドを提供すること。【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、大気と連通する第一吐出口部１６と、第一吐出口部１６よりも吐出する方向に対して直交する方向の断面積が大きく、発泡室９と第一吐出口部１６との間に形成された第二吐出口部１７とを有する吐出口部１０を有している。インクジェット記録ヘッドは、吐出口部第一軸１２と、吐出口部第二軸１４とが互いにずれている。【選択図】図２
2010052406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口から液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱素子が配されたエネルギー作用室と、該エネルギー作用室に連通し前記吐出口を含む吐出口部と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記吐出口部は、前記吐出口を含む第一吐出口部と、液体を吐出する方向に直交する方向に関する断面積が前記第一吐出口部より大きく、前記エネルギー作用室と前記第一吐出口部との間に形成された第二吐出口部と、を有し、
前記直交する方向に関する前記第一吐出口部における断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる吐出口部第一軸と、前記第二吐出口部における前記吐出する方向に関して前記第一吐出口部に最も近い部分の前記直交する方向に関する断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる吐出口部第二軸と、が互いにずれていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記吐出口部第二軸は、前記吐出口部第一軸に関して、前記エネルギー作用室へ液体を供給する液体供給口の位置する側とは反対側にずれていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第二吐出口部の前記吐出する方向に関して前記エネルギー作用室に最も近い部分における直行する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第三軸と、前記吐出口部第一軸と、が互いにずれていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記直交する方向に関する前記発熱素子における断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる発熱素子軸が、前記吐出口部第一軸に一致することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記直交する方向に関する前記発熱素子における断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる発熱素子軸が、前記吐出口部第二軸に一致することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記直交する方向に関する前記発熱素子における断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる発熱素子軸が、前記エネルギー作用室へ液体を供給する液体供給口から前記発熱素子に向かう方向に関して、前記吐出口部第一軸と前記吐出口部第二軸との間に位置することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体吐出ヘッドに関するもので、特に、液体吐出ヘッドから吐出される液滴の安定性を向上させるためのものである。
【背景技術】
【０００２】
今までに多くの記録装置が提案されてきているが、その中に、ドロップオンデマンド(Ｄｒｏｐ−ｏｎ−ｄｅｍａｎｄ)方式のインクジェット記録装置がある。この方式によるインクジェット記録装置は、液滴に運動エネルギーを付与することで液滴を吐出し記録媒体に液滴を着弾させることで記録を行う。このため、インクジェット記録装置は、この方式によって記録を行えば、種々の記録媒体に対して記録を行うことが可能になるという利点を持っている。また、インクの定着の為に特別な処理を必要とせず、かつ高精細な画像が廉価に得られるという利点を持っている。このような利点から、近年、インクジェット記録装置による記録方式として、ドロップオンデマンド方式のものが家庭及びオフィスにおける画像文書の出力手段に広く採用されている。この方式のものは、安価で容易に得られる記録方式として、コンピュータ周辺機器としてのプリンタ、複写機、ファクシミリ等の記録手段として用いられている。
【０００３】
一般的に利用されているインクジェット記録方式の代表的なインク吐出方法（インクの吐出エネルギー発生素子）としては、例えばヒータ等の電気熱変換素子を用いる方法と、例えばピエゾ素子等の圧電素子を用いる方法等がある。いずれの方法も電気信号によってインク滴の吐出を制御することができる。電気熱変換素子を用いるインク吐出方法の原理は、電気熱変換素子に電圧を印加することにより、電気熱変換素子近傍のインクを瞬時に沸騰させ、沸騰時のインクの相変化により生じる急激な発泡圧によってインク滴を高速に吐出させる。一方で、圧電素子を用いるインク吐出方法の原理は、圧電素子に電圧を印加することにより、圧電素子が変位してこの変位時に発生する圧力によってインク滴を吐出させている。電気熱変換素子を用いた記録ヘッドによる吐出方法としては、特許文献１〜５に開示されているものがある。
【０００４】
電気熱変換素子を用いたインク吐出方法は、圧電素子等の他の手段を利用した方法に比べて、記録を行うための素子を設置するためのスペースをあまり必要とせず、ノズルの集積化と記録ヘッドのコンパクト化が図れる点で優位性を有している。
【０００５】
インクジェット記録装置の記録速度の高速化と更なる高画質化を達成するためには、単位時間におけるインク吐出回数の増大、インク滴の更なる微小化およびインク滴の吐出安定化を図ることが求められている。インクの吐出回数は、電気熱変換素子へ印加する電圧の駆動周波数に等しい。しかしながら、この駆動周波数は、供給室から吐出口部および発泡室へインクが再充填される周波数（以下、リフィル周波数）が低い場合には、それに応じて低下することになる。
【０００６】
インクを連続して吐出する際には、インクが吐出口から吐出された後にインクが吐出口部および発泡室へ再充填されてから、再び電気熱変換素子が駆動されて次のインクが吐出される。このとき、先のインク滴が吐出された後に、インクのリフィルに時間がかかってしまうと、次のインク滴の吐出までに時間がかかってしまい、それだけ記録を行えない時間が長くなり、結果的に記録にかかる時間が長くなってしまう。
【０００７】
リフィル周波数を上げるためには、吐出口部の流抵抗を下げることが求められるが、このとき単純に吐出口径を大きくするだけでは、吐出するインク滴が大きくなってしまう。これにより、高精細な画像が得られなくなる。これは、インクジェット記録装置は、さまざまな色のインク滴を組み合わせて画像を形成しており、インク滴の大きさが画像品位に密接な関わりがあるからである。
【０００８】
そこで、記録ヘッドにおけるインクのリフィル速度を向上させるために、吐出口部が、第一吐出口部と、発泡室と第一吐出口部との間に第一吐出口部よりも径の大きい第二吐出口部とを有するように記録ヘッドを形成することが考えられる。このようにして、吐出口部における流路の幅の大きさの変化を緩やかにし、発泡室から吐出口部を経由してインクが吐出される際のインクの流抵抗を減少させることができる。これにより、記録によって得られる画像の品質を高く保ったまま、インク滴が吐出された後のインクのリフィル速度を増加させることができ、リフィルにかかる時間を短縮させることができる。
【０００９】
【特許文献１】特開昭５４−１６１９３５号公報
【特許文献２】特開昭６１−１８５４５５号公報
【特許文献３】特開昭６１−２４９７６８号公報
【特許文献４】特開平４−１０９４０号公報
【特許文献５】特開平４−１０９４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、第一吐出口部と発泡室との間に第一吐出口部よりも径の大きな第二吐出口部を形成してリフィル速度を向上させたとしても、記録ヘッドによるインク吐出の際の吐出安定性について問題がある可能性が考えられる。ここで述べる吐出安定性とは、高速で高画質印刷を行ったとき、すなわち、連続的に吐出を行ったときでも、吐出されるインク滴の質量や速度、記録媒体への着弾精度が安定していることである。吐出安定性が乱される原因にはいくつかあるが、主だった原因の一つにメニスカスの振動がある。
【００１１】
記録を行うために記録ヘッドから液滴が吐出された後は、発泡室に吐出した分のインクがリフィルされる。このとき、インクはある程度の流速をもって発泡室及び吐出口部に流入する。このときのノズルの平面図を図２１（ａ）に示し、ノズルの断面図を図２１（ｂ）に示す。インクがリフィルされる際には、図２１（ｂ）に示されるように、吐出口部の略中央部でインク流が最大流速を有して、記録ヘッド内部にインクが充填される。
【００１２】
しかしながら、インクが吐出口部まで流入すると、インクは大気圧や吐出口での表面張力によって流れの方向と反対方向の力を受ける。吐出口部の内部のインクに対しては、インク流の方向に慣性力が働くと共に、その方向と反対方向に大気圧及び表面張力が作用するので、インクが充填される際には、吐出口面を中心とした振動（以下、メニスカス振動）が生じることになる。インクが吐出される際にインクの液面が振動していると、液面位置が安定せずに不安定な状態でインクが記録ヘッドから吐出されることになるので、吐出されるインク滴の大きさが安定せず、また着弾精度が低下する。
【００１３】
メニスカスの振動により液面の形状が安定していない状態、すなわち吐出口面よりもインクの液面が隆起している、あるいは、へこんでいるような状態のときに吐出を行うと、吐出されるインク滴の量に変動が生じる虞がある。これにより、画像を形成する要素であるインク滴のドット径もばらつき、結果的に画像品位が低下する虞がある。
【００１４】
また、吐出口部へのインクの流速が速く、外気圧やインク自身の表面張力よりも、インクの慣性力が大きい場合には、メニスカス振動振幅が大きく吐出口からインクが溢れ、吐出口表面に付着し、これがインクの着弾精度を低下させる。このような現象は、インク滴が小さくなるほど影響を受けやすく、着弾精度の低下が画像品位の低下につながる。
【００１５】
従って、安定したインク滴の連続吐出を行うためには、メニスカス振動が十分に減衰して液面が安定するような時間間隔でインクを吐出させることが望まれる。ところが、メニスカス振動が減衰して液面が安定するのを待つのでは、記録に時間がかかってしまい、記録による画像を形成するための効率が低下してしまう。
【００１６】
そこで、本発明は上記の事情に鑑み、インクのリフィル速度が向上し、インク滴を吐出した後に次にインク滴の吐出を行うまでの時間が短縮化されると共に、記録によって得られる画像の品質が高く維持された液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、吐出口から液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱素子が配されたエネルギー作用室と、該エネルギー作用室に連通し前記吐出口を含む吐出口部と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記吐出口部は、前記吐出口を含む第一吐出口部と、液体を吐出する方向に直交する方向に関する断面積が前記第一吐出口部より大きく、前記エネルギー作用室と前記第一吐出口部との間に形成された第二吐出口部と、を有し、前記直交する方向に関する前記第一吐出口部における断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる吐出口部第一軸と、前記第二吐出口部における前記吐出する方向に関して前記第一吐出口部に最も近い部分の前記直交する方向に関する断面の重心を通り前記吐出する方向に延びる吐出口部第二軸と、が互いにずれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、記録を行うために液滴が吐出され、そこから液体がリフィルされた後のメニスカスの振動が抑えられるので、安定して液滴の吐出を行うことができる液体吐出ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の具体的な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２０】
（第一実施形態）
まず、本発明の第一実施形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド１００の構成について説明する。図１（ａ）には、本発明の第一実施形態に係るインクジェット記録ヘッド１００の一部を破断した斜視図が示されており、図１（ｂ）には、インクジェット記録ヘッド１００において流路構成基板３が取外されたものの平面図が示されている。
【００２１】
このインクジェット記録ヘッド１００は、電気熱変換素子１が設けられた素子基板２と、この素子基板２の主面に積層されて接合されて複数のインクの流路を構成する流路構成基板（オリフィス基板）３とを備えている。
【００２２】
素子基板２は、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等によって形成されており、一般にＳｉによって形成されている。素子基板２の主面上には、各インクの流路毎に、発熱素子としての電気熱変換素子１と、この電気熱変換素子１に電圧を印加する電極（図示せず）と、この電極に接続された配線（図示せず）が所定の配線パターンでそれぞれ設けられている。また、素子基板２の主面には、蓄熱の発散性を向上させる絶縁膜（図示せず）が、電気熱変換素子１を被覆するように設けられている。電気熱変換素子１は、電気信号を印加することで、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生させる。また、素子基板２の主面には、気泡が消泡した際に生じるキャビテーションから保護するための保護膜（図示せず）が、絶縁膜を被覆するように設けられている。
【００２３】
流路構成基板３は、インクが流動する複数のノズル４を有している。これらの各ノズル４はインクを供給する供給室７および供給路８、インクを沸騰させ気泡を発生させるエネルギー作用室としての発泡室９およびインク滴を吐出するノズル４の先端開口である吐出口３０を含む吐出口部１０を有している。吐出口部１０は、素子基板２上の電気熱変換素子１に対向する位置に形成され、発泡室９に連通して形成されている。
【００２４】
これらは、複数の電気熱変換素子１および複数のノズル４を有し、各ノズル２の長手方向が平行に配列された第１のノズル列５と、供給室７を挟んで第１のノズル列４に対向する位置に各ノズル２の長手方向が平行に配列された第２のノズル列６とを備えている。第１および第２のノズル列５、６は、隣接する各ノズルの間隔が６００〜１２００ｄｐｉのピッチとなるように形成されている。また、第２のノズル列６の各ノズル２は、第１のノズル列５の各ノズル２に対して、隣接する各ノズル間のピッチが互いに１／２ピッチずれて千鳥状に配列されている。
【００２５】
液体としてのインクは、インク供給室７からインク供給路８を経て、発泡室９および吐出口部１０に充填される。インク供給室７とインク供給路８との間には、液体供給口としてのインク供給口１３が形成されている。そして、記録を行う際には、電気熱変換素子１に電気エネルギーを付与し、電気熱変換素子１によってその周辺のインクが瞬時に沸騰させられる。これにより生じたインクの気液相変化による急激な発泡圧によって、吐出口１０からインク滴が高速に吐出される。
【００２６】
本実施形態では、液滴を吐出した後、消泡する前に気泡が外気と連通する形式の記録ヘッドが用いられている。このように、気泡が消泡してキャビテーションが生じる前に気泡と外気とが通気されて液滴を吐出する記録ヘッドによって記録を行うことにより、気泡の消泡時に発生するキャビテーションの発生頻度が低減される。これにより、電気熱変換素子１の耐久性が向上する。また、このような記録ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置を用いることにより、一回の吐出による吐出口部及び発泡室内のインクの吐出量を増加させることができる。従って、発泡室の内部に留まるインクの量が減少し、発泡室内のインクの温度上昇によるインク吐出量のばらつきを低減することができ、より高精細な画像が得られる。
【００２７】
以下に、本発明の主要部となるインクジェット記録ヘッドのノズル構造について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
図２（ａ）に、第一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのノズル部分を拡大した平面図を示し、図２（ｂ）に、図２（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図を示す。
【００２９】
図２に示されるノズルの形状は、第一吐出口部１６と第二吐出口部１７がそれぞれ円柱に形成されている。本実施形態では、吐出口部１０が、吐出口３０を含む第一吐出口部１６と、第一吐出口部１６及び発泡室９の間に第二吐出口部１７とを有するように形成されている。第二吐出口部１７は、インクを吐出する方向に直交する方向に関する断面積が第一吐出口部１６よりも大きく形成されている。以下、基板の主面に直交し、液体としてのインクを吐出する方向のことを「吐出する方向」ともいうものとする。また、この吐出する方向に直交する方向のことを「直交する方向」ともいうものとする。ノズルを上記のような形状に形成することで、吐出口部１０における流路幅の変化が緩やかに形成され、流抵抗を低減することができる。従って、吐出されるインク滴の径を変更せずにリフィルの速度を向上させることができ、印字品位を高く維持したまま記録を効率良く行うことが可能となる。ここで、第一吐出口部１６と第二吐出口部１７におけるインクが吐出される方向に見た断面は、円に限ったものではなく、楕円、多角形等、他の形状であっても良い。
【００３０】
ここで、直交する方向に関する第一吐出口部における断面の重心を通り吐出する方向に延びる軸を、以下、吐出口部第一軸１２とする。そして、第二吐出口部１７における吐出する方向に関して第一吐出口部１６に最も近い部分の直交する方向に関する断面の重心を通り吐出する方向に延びる軸を、以下、吐出口部第二軸１４とする。本実施形態では、図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、第一吐出口部上端面１１の重心１１Ａを通り素子基板２の主面に垂直に交わる軸を、吐出口部第一軸１２とする。本実施形態では、第二吐出口部上端面の重心１４Ａを通り素子基板２の主面に垂直に交わる軸を、吐出口部第二軸１４とする。そして、吐出口部第一軸１２と吐出口部第二軸１４とが互いにずれて記録ヘッドが形成されている。本実施形態では、吐出口部第二軸１４は、吐出口部第一軸１２に関して、発泡室９へインクを供給するインク供給口１３の位置する側とは反対側にずれている。
【００３１】
また、吐出する方向に直交する方向に関する電気熱変換素子１における断面の重心を通り、吐出する方向に延びる発熱素子軸としての軸を、以下、ヒータ軸１５とする。本実施形態では、電気熱変換素子１における発泡室９に面した断面の重心を通り素子基板の主面に直交するヒータ軸１５と、吐出口部第一軸１２とが一致するように形成されている。
【００３２】
本実施形態では、吐出口部第一軸１２とヒータ軸１５とが一致するように形成されているので、電気熱変換素子１に対応した位置に第一吐出口部１６が形成されている。従って、電気熱変換素子１に電気信号が印加され、電気熱変換素子１の周辺のインクが膜沸騰を生じることで発生する気泡が第一吐出口部１６に対してずれずに形成される。これにより、発泡室９の内部で発生する発泡圧が第一吐出口部１６に対して均等に作用し、吐出されるインク滴が吐出口部第一軸１２に対して均等（軸対称）に流れる。このように吐出されるインク滴およびそのサテライト滴のヨレが防がれるので、着弾精度が高く維持される。
【００３３】
また、本実施形態では吐出口部第一軸１２と吐出口部第二軸１４とが互いにずれて形成されているので、インク滴を吐出した後のリフィル時に供給されるインク流が、吐出口部第一軸１２に対してずれて流れる。このときのインク流について、図３を参照して説明する。
【００３４】
図３（ａ）、（ｂ）には、インク滴を吐出した後にインクがリフィルされる際のノズル内部のインク流を説明するための断面図が示されている。インク滴が吐出口部１０から吐出されると、図３（ａ）に示されるように発泡室９の内部にインクがリフィルされ、その後図３（ｂ）に示されるように吐出口部１０にもインクがリフィルされて、最終的にはノズル全体に亘ってインクがリフィルされることになる。図３（ａ）、（ｂ）のインク供給路８及び発泡室９の内部に示される矢印は、インク流における最大流速を有する部分を示している。本実施形態では、リフィル時のインク流が吐出口部第一軸１２に対してずれて流れているので、インク流の最大流速部は、第一吐出口部の中心を避けて流れている。インク流の最大流速部が、第一吐出口部の中心ではなく第一吐出口部１６の形成されていない部分に衝突する場合は、インク流は発泡室の壁面に衝突し、第一吐出口部１６の内部には大きなインク流が生じなくなる。また、第二吐出口部１７の内部で一旦流路が広くなっていることから、インク流の運動量がここで吸収されてインク流の流速が弱められる。従って、リフィルが完了したときに生じるメニスカスの振動が小さく抑えられる。
【００３５】
また、吐出口部第一軸１２に対する吐出口部第二軸１４のずれが比較的小さく、インク流における最大流速部が第一吐出口部１６の内部を流れる場合であっても、インク流の最大流速部は第一吐出口部１６の中心を通らずに比較的壁面に近い部分を流れる。インク流の最大流速部が比較的壁面に近い部分を流れるので、インク流は壁面との摩擦によって流速が低く抑えられ、結果的にリフィル時のインク流の速度が低く抑えられる。従って、リフィルが完了したときに生じるメニスカスの振動が小さく抑えられる。
【００３６】
また、図３（ａ）、（ｂ）に示されるように、吐出口部第二軸１４は、吐出口部第一軸に関して、発泡室９へインクを供給するインク供給口１３の位置する側とは反対側にずれている。このように吐出口部第二軸１４をインク供給口１３の位置する側とは反対側にずらすことで、第一吐出口部１６に流入するインク流の位置を、第一吐出口部１６の中心からさらに外し易くしている。従って、吐出口部１０に流入してくるインク流の流速を第二吐出口部１７でさらに吸収し易くしている。その結果、吐出口部１０にリフィルされたインク液面の、吐出口表面を中心としたメニスカス振動を小さく抑えている。
【００３７】
このように、本実施形態では、インク滴を吐出した後のリフィル時のインク流の流速を低く抑えることができるので、リフィルが完了した際のメニスカス振動を小さく抑えることができる。従って、先にインク滴が吐出されて、その後リフィルが行われた際に、インクの液面のメニスカス振動が小さく、液面が安定した状態でインク滴の吐出を行うことができる。従って、インク滴の大きさ及び着弾位置がメニスカス振動によって影響を受けずに記録が行われ、記録によって得られる画像の品質が高く維持される。また、インクの液面のメニスカス振動が収まるのを待つとしても、メニスカス振動が十分に減衰し液面が安定するまでの時間が短く抑えられるので、記録にかかる時間が短く抑えられ、記録を短時間で効率的に行うことができる。
【００３８】
（第二実施形態）
次に、本発明を実施するための第二実施形態について説明する。上記の第一実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００３９】
図４（ａ）に、第二実施形態のノズルの平面図が示され、図４（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図４に記載の第二実施形態のノズル形状は、第一吐出口部２１６が円柱形状で、第二吐出口部２１７が円錐台形状に形成されている点で第一実施形態のものと異なる。第二吐出口部２１７を円錐台形状にすることで、第一実施形態のものに比べてインクの流路の幅の変化がさらに緩やかになる。従って、インクが吐出される際のインク流の流抵抗をさらに減少させることができる。また、第二吐出口部２１７の側面がテーパー形状に形成されることになるので、インクのよどみ領域が少なくなる。
【００４０】
ここで、よどみ領域に留まるインクは、電気熱変換素子１によって発熱される際の熱の一部を吸収し続けるので、その他の領域のインクに比べて高温になり易い。これにより、インクの粘性が変化し、吐出される際の粘性抵抗が変化するので、吐出特性が影響を受ける可能性がある。
【００４１】
本実施形態では、第一実施形態の段差部１８のようなインクのよどみ領域が少なくなるようにノズルが形成されるので、インクが高温になり難く、吐出量及び吐出速度などが安定し、記録によって得られる画像の品質が高く維持される。
【００４２】
また、図４に示す第二実施形態の記録ヘッドにおいては、第二吐出口部上端面の重心を貫いた吐出口部第二軸２１４が、吐出口部第一軸２１２に対して、インク供給口１３と反対側にずれている。その一方で、第二吐出口部２１７の下端部はインク供給口１３側に広がるように形成されている。本実施形態では、第二吐出口の下端部をインク供給口１３側に広げることで、インク供給室７から吐出口部へのインク流動距離を短縮し、リフィルの速度を高くすることでリフィル周波数を向上させている。
【００４３】
（第三実施形態）
次に、本発明を実施するための第三実施形態について説明する。上記の第一実施形態及び第二実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００４４】
図５（ａ）に、第三実施形態のノズルの平面図が示され、図５（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図５に示す第三実施形態では、第二吐出口部３１７の上端面での直交する方向に関する断面を通る不図示の吐出口部第二軸と、第一吐出口部３１６における直交する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第一軸３１２とが互いにずれている。また、本実施形態では、それに加えて、第二吐出口部３１７の、吐出する方向に関して第一吐出口部に最も近い領域以外の領域における直行する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第三軸３１４と、吐出口部第一軸３１２と、が互いにずれている。第二吐出口部３１７における最も第一吐出口部に近い領域以外の領域における直行する方向に関する断面の重心を通る軸のことを、以下、吐出口部第三軸とする。本実施形態では特に、第二吐出口部３１７の、吐出する方向に関して発泡室３０９に最も近い部分における直行する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第三軸３１４と、吐出口部第一軸３１２と、が互いにずれている。
【００４５】
このように、吐出口部第二軸３１４が第二吐出口部３１７における、より下端部に近い断面での重心を通り、第二吐出口部のより下端部に近い部分での吐出口部第三軸３１４が吐出口部第一軸３１２に対してより大きくずれるようにノズルが形成されている。ここで、より下端部に近い部分とは、より発泡室３０９に近い部分のことである。インク流にとっては、第二吐出口部３１７における発泡室３０９により近い部分でインク流の中心位置が第一吐出口部３１６の重心からずれていた方が好ましい。なぜなら、インク流が第二吐出口部３１７から第一吐出口部３１６に流入したときに、インク流の最大流速部が第一吐出口部３１６の中心からより大きく外れることになるからである。従って、インク流の最大流速部が第一吐出口部３１６の内部で中心からより大きくずれることになり、結果的にリフィルが完了したときのメニスカス振動をより効果的に抑えることができる。
【００４６】
（第四実施形態）
次に、本発明を実施するための第四実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第三実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００４７】
図６（ａ）に、第四実施形態のノズルの平面図が示され、図６（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図６に示す第四実施形態のノズル形状は、第一吐出口部４１６と第二吐出口部４１７がともに円柱形状に形成されている。また、インク滴の吐出する方向から見た平面図において、インク供給口１３側に、第一吐出口部４１６と第二吐出口部４１７との間の段差部が無いように形成されている。これにより、第一実施形態の記録ヘッドに比べて、第二吐出口部でのインクのよどみ領域が少なくなり、インクの昇温による影響が少なくなる。
【００４８】
（第五実施形態）
次に、本発明を実施するための第五実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第四実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００４９】
図７（ａ）に、第五実施形態のノズルの平面図が示され、図７（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図７に記載のノズル形状は、第一吐出口部５１６が円柱形状で、第二吐出口部５１７が円錐台形状に形成されている。インク滴が吐出される方向に見た平面図において、インク供給口１３側には、第一吐出口部５１６と第二吐出口部５１７との間に段差部が無いように形成されている。第二実施形態で述べたように、第二吐出口部５１７を円錐台形状に形成することで、円柱形状に比べてインクのよどみ領域が少なくなり、よどみ領域のインクの温度上昇による、吐出量のばらつきなど、印字不良を抑えることができる。また、第二吐出口部５１７の下端部がインク供給口１３側に広がるように形成されることで、インク流の抵抗が減少しリフィル周波数が速くなる。
【００５０】
（第六実施形態）
次に、本発明を実施するための第六実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第五実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００５１】
図８（ａ）に、第六実施形態のノズルの平面図が示され、図８（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図８に記載のノズル形状は、第一吐出口部６１６が円柱形状で、第二吐出口部６１７が球体あるいは楕円球の一部を切り取った形状とする。本実施形態では、第二吐出口部６１７が球体の一部として形成されている。ノズルをこのような形状とすることで第二吐出口部６１７でのよどみ領域がより少なくなり、よどみ領域のインクの温度上昇による、吐出量のばらつきなど、印字不良を抑えることができる。
【００５２】
また、本実施形態では、第二吐出口部６１７の上端面での直交する方向に関する断面を通る不図示の吐出口部第二軸と、第一吐出口部６１６における直交する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第一軸６１２とが互いにずれている。また、本実施形態では、それに加えて、吐出口部第三軸６１４が第二吐出口部６１７における上端面あるいは下端面ではない部分の直行する方向に関する断面の重心を貫くように形成されている。また、吐出口部第三軸６１４が吐出口部第一軸６１２に対してずれるようにノズルが形成されている。吐出口部第三軸６１４は、第二吐出口部６１７における、より下端部に近い断面の重心を貫き、その部分で吐出口部第一軸６１２に対して大きくずれるような形状になるほど、インク流の最大流速部が第一吐出口部６１６の中心から外れる。従って、その分リフィルが完了したときのインクのメニスカス振動を抑えることができる。このため、第二吐出口部６１７の下端面での断面の重心が吐出口部第一軸６１２から大きくずれるようにノズルが形成されることが好ましい。しかしながら、本実施形態のように、第二吐出口部６１７における下端面ではない部分でインク滴の吐出する方向に直行する方向に関する断面の重心をとり、そこで重心を貫く吐出口部第三軸６１４が吐出口部第一軸６１２からずれるように形成されても良い。
【００５３】
（第七実施形態）
次に、本発明を実施するための第七実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第六実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００５４】
図９（ａ）に、第七実施形態のノズルの平面図が示され、図９（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。本実施形態の記録ヘッドは、吐出口部第二軸７１４とヒータ軸７１５とが一致する点で第一実施形態ないし第六実施形態の記録ヘッドと異なる。
【００５５】
本実施形態では、ノズル形状において、吐出口部第二軸７１４が吐出口部第一軸７１２に対してインク供給口１３とは反対側にずれるように形成され、かつ、ヒータ軸７１５と、吐出口部第二軸７１４が一致するように形成されている。これにより、電気熱変換素子１で発生する発泡圧が第二吐出口部７１７に均等に伝わり、インク滴を吐出する際にインク滴が発泡によるエネルギーを十分に取り込めるという利点がある。従って、本実施形態の記録ヘッドにおいては、少ない電力で効率的にインク滴を吐出することができる。
【００５６】
図９に示されるように、本実施形態では、第一吐出口部７１６と第二吐出口部７１７とがそれぞれ円柱に形成されている。
【００５７】
（第八実施形態）
次に、本発明を実施するための第八実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第七実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００５８】
図１０（ａ）に、第八実施形態のノズルの平面図が示され、図１０（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１０に記載のノズル形状は、第一吐出口部８１６が円柱形状で、第二吐出口部８１７が円錐台形状である。第二吐出口部８１７を円錐台形状にすることで、第七実施形態のノズルに比べて流抵抗をさらに減らすことができる。また、第二吐出口部８１７の側面がテーパー状に形成されることでインク流の抵抗が減少すると共にインクのよどみ領域が少なくなり、吐出量および吐出速度などが安定し、印字品位が高まる。よどみ領域に停滞するインクは、電気熱変換素子１で温められる影響で周囲のインクよりも高温になり、吐出するインクの粘性抵抗を変化させ、吐出特性に影響を及ぼすからである。
【００５９】
図１０の第八実施形態では、第二吐出口部８１７の上端面の重心を貫いた吐出口部第二軸８１４が、吐出口部第一軸８１２に対して、インク供給口１３と反対側にずれている。その一方で、第二吐出口８１７の下端部はインク供給口側に広がっている。第二吐出口８１７の下端部をインク供給口１３側に広げることで、インク供給口１３から吐出口部へのインク流動距離が短縮され、メニスカス振動が抑えられる。また、これにより記録ヘッドのノズルにおけるリフィル時のリフィル周波数を向上させることができる。
【００６０】
（第九実施形態）
次に、本発明を実施するための第九実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第八実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００６１】
図１１（ａ）に、第九実施形態のノズルの平面図が示され、図１１（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。本実施形態では、第二吐出口部９１７の上端面での直交する方向に関する断面を通る不図示の吐出口部第二軸と、第一吐出口部９１６における直交する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第一軸９１２とが互いにずれている。また、本実施形態では、それに加えて、第二吐出口部９１７の下端面での重心を通る吐出口第三軸９１４が、吐出口部第一軸９１２に対してインク供給口１３と反対側にずれている。また、本実施形態では、吐出口部第三軸９１４とヒータ軸９１５とが一致するようにノズルが形成されている。吐出口部第三軸９１４は、第二吐出口部９１７における、より下端部における断面の重心を貫き、その部分で吐出口部第一軸６１２に対して大きくずれるような形状になるほど、インク流の最大流速部が第一吐出口部９１６の中心から外れる。従って、第一吐出口部９１６へのインク流入速度を低減させることができ、その分リフィルが完了したときのインクのメニスカス振動を抑えることができる。
【００６２】
（第十実施形態）
次に、本発明を実施するための第十実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第九実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００６３】
図１２（ａ）に、第十実施形態のノズルの平面図が示され、図１２（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１２に記載のノズル形状は、第一吐出口部１０１６と第二吐出口部１０１７がともに円柱形状である。また、本実施形態のノズルをインク滴の吐出する方向から見た平面図において、インク供給室口１３側には、第一吐出口部１０１６と第二吐出口部１０１７との間に段差部１０１８が、無いように形成されている。これにより、比較的第二吐出口部１０１７でのインクのよどみ領域が少なくなり、インクの昇温による影響が少なくなる。
【００６４】
（第十一実施形態）
次に、本発明を実施するための第十一実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００６５】
図１３（ａ）に、第十一実施形態のノズルの平面図が示され、図１３（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１３に記載の記録ヘッドのノズル形状は、第一吐出口部１１１６が円柱形状で、第二吐出口部１１１７が円錐台形状である。そして、インク滴の吐出する方向から見た平面図において、インク供給口１３側には、第一吐出口部１１１６と第二吐出口部１１１７の段差部１１１８が無いように形成されている。第二吐出口部１１１７を円錐台形状にすると、円柱形状に比べてインクのよどみ領域が少なくなり、よどみ領域のインクの温度上昇による、吐出量ばらつきなど、印字不良を抑えることができる。また、第二吐出口部１１１７の下端部をインク供給口１３側に広げることで、リフィル周波数が速くなる。
【００６６】
（第十二実施形態）
次に、本発明を実施するための第十二実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十一実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００６７】
図１４（ａ）に、第十二実施形態のノズルの平面図が示され、図１４（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１４に記載のノズル形状は、第一吐出口部１２１６が円柱形状で、第二吐出口部１２１７が球体あるいは楕円球の一部を切り取った形状とする。本実施形態では、第二吐出口部１２１７が球体の一部として形成されている。第二吐出口部１２１７をこのような形状に形成することで、第二吐出口部１２１７でのよどみ領域がより少なくなり、よどみ領域のインクの温度上昇による、吐出量のばらつきなど、印字不良を抑えることができる。また、第二吐出口部１２１７の上端面での直交する方向に関する断面を通る不図示の吐出口部第二軸と、第一吐出口部１２１６における直交する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第一軸１２１２とが互いにずれている。また、本実施形態では、それに加えて、吐出口部第三軸１２１４が、第二吐出口部１２１７における、より下端部の断面の重心を通り、吐出口部第一軸１２１２に対してずれるようにノズルが形成される。これにより、インク流の最大流速部が、第一吐出口部１２１６の内部で第一吐出口部１２１６の中心からより大きく外れる。従って、第一吐出口部１２１６へのインク流入速度を低減させることができ、その分リフィルが完了したときのインクのメニスカス振動を抑えることができる。なお、第二吐出口部１２１７におけるインク滴の吐出する方向に直行する断面の重心を取る断面は、下端面でなくとも良く、本実施形態のように、第二吐出口部１２１７における比較的下端に近い部分であっても良い。
【００６８】
（第十三実施形態）
次に、本発明を実施するための第十三実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十二実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００６９】
図１５（ａ）に、第十三実施形態のノズルの平面図が示され、図１５（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。本実施形態の記録ヘッドは、吐出口部第一軸１３１２がヒータ軸１３１５に対してインク供給口１３側にずれ、吐出口部第二軸１３１４がヒータ軸１３１５に対してインク供給口１３側とは反対側にずれている点で、上記実施形態の記録ヘッドと異なる。すなわち、ヒータ軸１３１５が、発泡室１３０９へインクを供給するインク供給口１３から電気熱変換素子１に向かう方向に関して、吐出口部第一軸１３１２と吐出口部第二軸１３１４との間に位置することになる。従って、本実施形態では、吐出口部第一軸１３１２と吐出口部第二軸１３１４とが、それぞれヒータ軸１３１５から比較的大きく離れずに、吐出口部第一軸１３１２と吐出口部第二軸１３１４とが比較的大きくずれた位置関係を有して記録ヘッドが形成されている。
【００７０】
これら三者の軸の関係からすると、本実施形態は、第一実施形態ないし第六実施形態と第七実施形態ないし第十二実施形態との間に位置する。第一の実施形態ないし第六実施形態では、吐出口部第一軸とヒータ軸とが近接することで、第一吐出口部への発泡圧が均一化され、吐出が比較的安定する。一方で、第七実施形態ないし第十二実施形態では、吐出口部第二軸あるいは吐出口部第三軸とヒータ軸が近接することで、電気熱変換素子１で発生する発泡圧が第二吐出口に均等に伝わり、発泡パワーを比較的大きく取り込めるという利点を有している。これら二つの実施形態の利点をそれぞれ取り込む形状であるのが、本実施形態である。本実施形態では、第一吐出口部１３１６と第二吐出口部１３１７がそれぞれ円柱に形成されている。
【００７１】
（第十四実施形態）
次に、本発明を実施するための第十四実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十三実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００７２】
図１６（ａ）に、第十四実施形態のノズルの平面図が示され、図１６（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１６に示すノズル形状は、第一吐出口部１４１６が円柱形状で、第二吐出口部１４１７が円錐台形状である。第二吐出口部１４１７を円錐台形状にすることで、インク流の流抵抗を減らすことができる。また、第二吐出口部１４１７の側面をテーパー形状にし、流れをよくすることで停滞するインクのよどみ領域が少なくなり、吐出量および吐出速度などが安定し、印字品位が高まる。段差部１４１８に停滞するインクは、電気熱変換素子で温められた影響で周囲のインクよりも高温になっており、吐出するインクの粘性抵抗を変化させ、吐出特性に影響を及ぼすからである。
【００７３】
図１６に示す記録ヘッドでは、第二吐出口部１４１７の上端面の重心を貫いた吐出口部第二軸１４１４が、吐出口部第一軸１４１２に対して、インク供給口１３と反対側にずれている。その一方で、第二吐出口部１４１７の下端部はインク供給口１３側に広がっている。第二吐出口部１４１７の下端部をインク供給口１３側にずらすことで、インク供給口１３から吐出口部へのインクの移動距離を短縮し、リフィル周波数を向上させる効果を有している。
【００７４】
（第十五実施形態）
次に、本発明を実施するための第十五実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十四実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００７５】
図１７（ａ）に、第十五実施形態のノズルの平面図が示され、図１７（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１７に示す記録ヘッドでは、第二吐出口部１５１７の上端面での直交する方向に関する断面を通る不図示の吐出口部第二軸と、第一吐出口部１５１６における直交する方向に関する断面の重心を通る吐出口部第一軸１５１２とが互いにずれている。また、本実施形態では、それに加えて、吐出口部第三軸１５１４が第二吐出口部１５１７の下端面での断面の重心を貫き、吐出口部第三軸１５１４が吐出口部第一軸１５１２に対してインク供給口１３と反対側にずれている。本実施形態では、吐出口部第三軸１５１４が第二吐出口部１５１７における、より下端部（より発泡室に近い部分）の断面での重心を貫き、その部分で吐出口部第二軸１５１４が吐出口部第一軸１５１２に対してより大きくずれるようにノズルが形成されている。従って、インク流の最大流速部が第一吐出口部１５１６の中心から第二吐出口部１５１７の下端部で、より大きくずれることになり、結果的にリフィルが完了したときのメニスカス振動をより小さく抑えることができる。
【００７６】
（第十六実施形態）
次に、本発明を実施するための第十六実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十五実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００７７】
図１８（ａ）に、第十六実施形態のノズルの平面図が示され、図１８（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１８に示す記録ヘッドのノズル形状は、第一吐出口部１６１６と第二吐出口部１６１７がともに円柱形状である。インク滴が吐出される方向から見た平面図において、インク供給口１３側には、第一吐出口部１６１６と第二吐出口部１６１７との間に段差部１６１８が無いように形成されている。これにより、第二吐出口部１６１７でのインクのよどみ領域が比較的少なくなり、インクの昇温による影響が少なくなる。
【００７８】
（第十七実施形態）
次に、本発明を実施するための第十七実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十六実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００７９】
図１９（ａ）に、第十七実施形態のノズルの平面図が示され、図１９（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図１９に記載のノズル形状は、第一吐出口部１７１６が円柱形状で、第二吐出口部１７１７が円錐台形状である。そして、インク滴の吐出する方向から見た平面図において、インク供給口１３側には、第一吐出口部１７１６と第二吐出口部１７１７の段差部１７１８が無いように形成されている。第二吐出口部１７１７が円錐台形状に形成されることで、円柱形状に形成される場合と比べてインクのよどみ領域が少なくなり、よどみ領域のインクの温度上昇による吐出量のばらつきなど、印字不良を抑えることができる。また、第二吐出口部１７１７の下端部をインク供給口１３側に広げることで、リフィル周波数が速くなる。
【００８０】
（第十八実施形態）
次に、本発明を実施するための第十八実施形態について説明する。上記の第一実施形態ないし第十七実施形態と同様の構成の部分については説明を省略し、異なる部分のみ説明することとする。
【００８１】
図２０（ａ）に、第十八実施形態のノズルの平面図が示され、図２０（ｂ）にノズルのＢ−Ｂ線に沿う断面図が示されている。図２０に記載のノズル形状は、第一吐出口部１８１６が円柱形状で、第二吐出口部１８１７が球体あるいは楕円球の一部を切り取った形状とする。本実施形態では、第二吐出口部１８１７が球体の一部として形成されている。ノズルがこのように形成されることで、第二吐出口部１８１７でのよどみ領域がより少なくなり、よどみ領域のインクの温度上昇による、吐出量のばらつきなど、印字不良を抑えることができる。また、本実施形態では、第二吐出口部１８１７における吐出する方向に関して最も第一吐出口部に近い部分での断面の重心を通る不図示の吐出口部第二軸が、吐出口部第一軸１８１２よりもインク供給口３１とは反対側にずれてノズルが形成されている。それと共に、第二吐出口部１８１７における、より下端部に近い断面の重心を通る吐出口部第三軸１８１４が、吐出口部第一軸１８１２に対してずれるようにノズルが形成されている。より下端部に近い断面の重心を通る吐出口部第三軸１８１４が吐出口部第一軸１８１２に対してずれるような形状になるほど、インク流の最大流速部が第一吐出口部１８１６の中心から大きく外れる。従って、第一吐出口部１８１６へのインク流入速度を低減させることができ、その分リフィルが完了したときのインクのメニスカス振動を抑えることができる。なお、第二吐出口部１８１７におけるインク滴の吐出する方向に直行する断面の重心を取る断面は、下端面でなくとも良く、本実施形態のように、第二吐出口部１８１７における比較的下端に近い部分であっても良い。
【００８２】
（他の実施形態）
なお、第一吐出口部及び第二吐出口部におけるインク滴の吐出する方向に直行する断面は、円に限ったものではなく、楕円、多角形等、曲線で囲まれ円状に近い図形をしていれば他の形状であってもよい。
【００８３】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この液体吐出ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の記録媒体に記録を行うことができる。なお、本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。
【００８４】
さらに、「インク」または「液体」とは、広く解釈されるべきものであり、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、記録媒体の加工、或いはインクまたは記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは記録媒体の処理としては、例えば、記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】（ａ）は、本発明の第一実施形態に係る記録ヘッドの斜視図であり、（ｂ）は、その記録ヘッドの流路構成基板を取外した際の平面図である。
【図２】（ａ）は、図１の記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図３】図２の記録ヘッドにおけるインク滴を吐出した後のインクのリフィルを説明するための説明図である。
【図４】（ａ）は、本発明の第二実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）は、本発明の第三実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】（ａ）は、本発明の第四実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の第五実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の第六実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図９】（ａ）は、本発明の第七実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１０】（ａ）は、本発明の第八実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１１】（ａ）は、本発明の第九実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１２】（ａ）は、本発明の第十実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１３】（ａ）は、本発明の第十一実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１４】（ａ）は、本発明の第十二実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１５】（ａ）は、本発明の第十三実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１６】（ａ）は、本発明の第十四実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１７】（ａ）は、本発明の第十五実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１８】（ａ）は、本発明の第十六実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１９】（ａ）は、本発明の第十七実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図２０】（ａ）は、本発明の第十八実施形態に係る記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図２１】（ａ）は、従来の記録ヘッドにおけるノズル部分を拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、インク流を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００８６】
１  電気熱変換素子
４  ノズル
１２、２１２、３１２、４１２、５１２、６１２、７１２、８１２、９１２、１０１２、１１１２、１２１２、１３１２、１４１２、１５１２、１６１２、１７１２、１８１２  吐出口部第一軸
１３  インク供給口
１４、２１４、４１４、５１４、７１４、８１４、１０１４、１１１４、１３１４、１４１４、１６１４、１７１４  吐出口部第二軸
３１４、６１４、９１４、１２１４、１５１４、１８１４  吐出口部第三軸
１５、２１５、３１５、４１５、５１５、６１５、７１５、８１５、９１５、１０１５、１１１５、１２１５、１３１５、１４１５、１５１５、１６１５、１７１５、１８１５  ヒータ軸
１６、２１６、３１６、４１６、５１６、６１６、７１６、８１６、９１６、１０１６、１１１６、１２１６、１３１６、１４１６、１５１６、１６１６、１７１６、１８１６  第一吐出口部
１７、２１７、３１７、４１７、５１７、６１７、７１７、８１７、９１７、１０１７、１１１７、１２１７、１３１７、１４１７、１５１７、１６１７、１７１７、１８１７  第二吐出口部
１００  インクジェット記録ヘッド
【図１】
2010052406.tif 000003
【図２】
2010052406.tif 000004
【図３】
2010052406.tif 000005
【図４】
2010052406.tif 000006
【図５】
2010052406.tif 000007
【図６】
2010052406.tif 000008
【図７】
2010052406.tif 000009
【図８】
2010052406.tif 000010
【図９】
2010052406.tif 000011
【図１０】
2010052406.tif 000012
【図１１】
2010052406.tif 000013
【図１２】
2010052406.tif 000014
【図１３】
2010052406.tif 000015
【図１４】
2010052406.tif 000016
【図１５】
2010052406.tif 000017
【図１６】
2010052406.tif 000018
【図１７】
2010052406.tif 000019
【図１８】
2010052406.tif 000020
【図１９】
2010052406.tif 000021
【図２０】
2010052406.tif 000022
【図２１】
2010052406.tif 000023