(57)【要約】【課題】スケールの汚れや格子の欠陥により発生する位置検出誤差を低減する。【解決手段】所定周期の格子（インクリメンタルパターン）１２が形成されたスケール１３と、該スケール１３に対して相対変位可能とされた、光源（発光素子１４）及び受光器３０を備えた光電式エンコーダにおいて、前記受光器３０の受光素子３４がＮ相の明暗信号を出力するようにすると共に、該Ｎ相の明暗信号に、周期固定の正弦波関数をフィッティングして、位相を検出する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定周期の格子が形成されたスケールと、
該スケールに対して相対変位可能であると共に光源及び受光器を備えた検出ヘッドと、を備えた光電式エンコーダにおいて、
前記受光器の受光素子がＮ相（Ｎは３以上の整数）の明暗信号を出力するようにされると共に、
該Ｎ相の明暗信号をそれぞれデジタル化したＮ相のデジタル信号に、周期固定の正弦波関数をフィッティングして、該Ｎ相の明暗信号の位相を検出するようにしたことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項２】
前記フィッティングを最小２乗法により行うことを特徴とする請求項１に記載の光電式エンコーダ。
【請求項３】
前記Ｎ相の明暗信号から、スケールの汚れや格子の欠陥を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の光電式エンコーダ。
【請求項４】
前記スケールの汚れや格子の欠陥がある部分をフィッティングの対象から除外して、再びフィッティングを行うことを特徴とする請求項３に記載の光電式エンコーダ。
【請求項５】
前記スケールの汚れや格子の欠陥が過剰に存在する場合は、アクシデンタルな位置検出エラーとすることを特徴とする請求項３に記載の光電式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定周期の格子が形成されたスケールと、該スケールに対して相対変位可能とされた、光源及び受光器を備えた光電式エンコーダに係り、特に、リニアエンコーダを用いるのに好適な、スケールの汚れや格子の欠陥より発生する位置検出誤差を低減することが可能な光電式エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、物質の直線移動量の精密測定に光電式エンコーダが利用されている。光学式エンコーダで採用されている位置検出方法の一つとして、受光素子アレイから得られるリサージュ信号の逆正接演算が良く用いられている。
【０００３】
例えば、特許文献１で提案されている方法では、その第１図、第２図に示される如く、まず、感光帯３５を形成するＰ型半導体層３４でなる受光素子を、スケール１３の光学格子１２の位相に対して位相差がつく配置ピッチでアレイ状に配置する。次に、受光素子の出力信号を差動アンプ３８Ａ、３８Ｂで差動増幅する事によりリサージュ信号を生成し、更に、リサージュ信号に対して逆正接演算を行うことにより位置を検出している。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６４−５７１２０号公報（第１図、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、本願の図１に示す如く、スケール上に汚れが付着した場合や、スケールの格子に欠陥がある場合には、汚れや格子欠陥の大きさが様々な上、受光素子３４に照射される測定光が遮光されてしまう為、受光素子３４の出力信号がアンバランスとなる。受光素子３４の出力信号にアンバランスが生じると、リサージュ信号の直流成分が、図２に実線で示す正常位置から、破線で示す位置にオフセットしてしまい、逆正接演算による位置検出に誤差が生じてしまうという問題点を有していた。
【０００６】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、スケールの汚れや格子の欠陥より発生する位置検出誤差を低減することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、所定周期の格子が形成されたスケールと、該スケールに対して相対変位可能であると共に光源及び受光器を備えた検出ヘッドと、を備えた光電式エンコーダにおいて、前記受光器の受光素子がＮ相（Ｎは３以上の整数）の明暗信号を出力するようにされると共に、該Ｎ相の明暗信号をそれぞれデジタル化したＮ相のデジタル信号に、周期固定の正弦波関数をフィッティングして、該Ｎ相の明暗信号の位相を検出するようにして、前記課題を解決したものである。
【０００８】
ここで、前記フィッティングを最小２乗法により行うことができる。
【０００９】
又、前記Ｎ相の明暗信号から、スケールの汚れや格子の欠陥を検出することができる。
【００１０】
又、前記スケールの汚れや格子の欠陥がある部分をフィッティングの対象から除外して、再びフィッティングを行うことができる。
【００１１】
又、前記スケールの汚れや格子の欠陥が過剰に存在する場合は、アクシデンタルな位置検出エラーとすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、スケール上に汚れ或いは格子欠陥のある箇所に検出ヘッドが位置した場合、受光素子の出力する明暗信号強度が部分的に低下するが、特許文献１の技術のように、選択的に同位相の受光素子が遮光される事は起こりにくいので、位置検出不能となりにくく、連続的に位置検出が可能である。
【００１３】
更に、逆正接演算が不要であり、リサージュ信号の直流オフセットによる誤差の発生は原理上起こらない為、汚れによる信号劣化が生じても位置検出に誤差が生じにくい。
【００１４】
又、スケールの汚れや格子の欠陥の箇所を検出して、位置検出の対象から除去する事が可能である。
【００１５】
又、スケールの汚れや格子の欠陥が過剰に存在する場合は、正弦波関数の振幅がゼロ付近の値となる為、予め所定の閾値を設定する事により、アクシデンタルな位置検出エラーの検出が可能である。
【００１６】
又、周期固定の正弦波関数を用いる事により、検出の周期が狂うエリアシングを回避出来る為、受光素子の配置ピッチＰｄは、スケールのインクリメンタルパターンの周期Ｐｓに依存せず任意に決める事ができる等の優れた作用効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１８】
本発明に係る光電式エンコーダの実施形態の全体構成の概略を図３に示す。この光電式エンコーダは、図４に示す如く、透明ガラス基板１１上に周期Ｐｓのインクリメンタルパターンを格子１２として形成したスケール１３と、測定光を照射する光源としての発光素子１４、測定光を平行光にするコリメータレンズ１７及びアレイ状の受光素子３４を搭載した受光器３０を備えた検出ヘッド２０と、受光素子３４の出力信号を処理して位置信号を出力する信号処理回路６０とを備えて構成されている。ここで、スケール１３は、発光素子１４及び受光器３０を含む検出ヘッド２０に対して測長方向に相対移動可能である。
【００１９】
前記受光器３０は、図５に示す如く、受光素子３４が一定周期Ｐｄでアレイ状にＮ個（Ｎは３以上の整数で、例えば１０２４個）配置されており、入射された測定光を光電変換した各受光素子３４の出力をスイッチング素子３４ａで掃引することにより、プリアンプ３７を介してＮ相（例えば１０２４相）の明暗信号を出力する。特許文献１の技術の場合、同位相の受光素子が選択的に故障すると位置検出不能となるが、本発明の場合、全ての受光素子が等しく機能する為、位置検出不能となりにくい。
【００２０】
前記信号処理回路６０は、図３に示した如く、まず、入力されるＮ相の明暗信号をノイズフィルタ回路６２でノイズフィルタリングし、所定のゲインにて増幅した後、Ａ／Ｄ変換回路６４でそれぞれＡ／Ｄ変換する。続いて、位相検出回路６６にてスケール１３の位相を検出した後、位置信号として、２相方形波生成回路６８から、２相方形波を、例えばカウンタ回路等へ出力する。
【００２１】
前記位相検出回路６６の機能の詳細について、図６を用いて更に説明する。この位相検出回路６６は、それぞれデジタル化されたＮ相明暗信号を対象に、周期固定の正弦波関数
Ａsin（ｘ−Ｂ）＋Ｃ      …（１）
をモデルとした最小２乗法によるフィッティング処理を、それぞれ行う事により、Ｎ相の明暗信号のそれぞれの位相を検出する。
【００２２】
ここで、正弦波関数の最小２乗法について説明する。簡単にする為、図７に示す如く、横軸を位相、縦軸を強度とする。
【００２３】
まず、図７のように、Ｎ個のデータ（ｘi，ｙi）をフィッティング対象とし、フィッティング関数をｆ（ｘ）とする。
【００２４】
最小２乗法の定義から次式が最小となるｆ（ｘ）のパラメータ値を求めればよい。
【００２５】
【数１】
2010048607.tif 000003
【００２６】
ここで、ｆ（ｘ）に含まれるパラメータをＡｋ（ｋ＝１，２，・・・，Ｍ）と置き、（２）式をＡｋで偏微分するとゼロであるから次式が求められる。
【００２７】
【数２】
2010048607.tif 000004
【００２８】
（３）式からパラメータ数Ｍの数だけ方程式が導かれるので、方程式を連立する事によりＡｋを求める事ができる。
【００２９】
最小２乗法の一般式については、書籍「理工系の基礎数学  数値計算」（高橋大輔著）のP52〜P54を参照されたい。
【００３０】
次に、フィッティング関数が次式で示す正弦波関数である場合について説明する。
【００３１】
ｙ＝Ａsin（ｘ−Ｂ）＋Ｃ      …（４）
【００３２】
（４）式を（３）式に代入した場合、連立方程式を解く事が困難になる為、三角関数の合成公式を用いて、（４）式を次式に置き換える。
【００３３】
ｙ＝ａsinｘ＋ｂcosｘ＋ｃ     …（５）
【００３４】
（５）式を（３）式に代入し、連立方程式を解くとａ、ｂ、ｃが求められ、三角関数の合成公式から（４）式中のパラメータＡ、Ｂ、Ｃを次のように求める事ができる。
【００３５】
Ａ＝√（ａ2＋ｂ2）  ，  Ｃ＝ｃ
sin（−Ｂ）＝ｂ／√（ａ2＋ｂ2）  ，  cos（−Ｂ）＝ａ／√（ａ2＋ｂ2）
【００３６】
尚、通常はパラメータＢを求める場合に、アークサインやアークコサインを用いる為、解が２個出てしまうが、この方法だとcosＢとsinＢが同時に求められるので、解が１個で解ける（解を一義的に求める事ができる）。
【００３７】
このフィッティング処理により、周期固定の正弦波関数の初期位相Ｂを求める事ができる。初期位相Ｂはスケール１３の位相に等しい為、スケール位置を検出する事ができる。尚、一般に非線形関数をモデルとした場合、最小２乗法を適用すると解を一義的に求める事ができないが、正弦波関数の周期を固定とした場合は、例外的に解を一義的に求める事ができる。
【００３８】
スケール１３上に汚れが付着した場合や、スケールの格子１２に欠陥がある場合について、図８を用いて説明する。汚れ或いは格子欠陥のある箇所は、受光素子３４が出力する明暗信号強度が低下するが、選択的に同位相の受光素子が遮光される事は起こらない。更に、逆正接演算が不要であり、リサージュ信号の直流オフセットによる誤差の発生は原理上起こらない為、汚れによる信号劣化が生じても位置検出に誤差が生じにくい。
【００３９】
また、図９に示す如く、フィッティング処理の際に、所定の値より差が大きいデータは無視することで、位置検出の対象から除去する事も可能である。
【００４０】
スケール１３の汚れや格子１２の欠陥が過剰に存在する場合は、図１０に示す如く、正弦波関数の振幅Ａがゼロ付近の値となる為、あらかじめ所定の閾値を設定する事により、アクシデンタルな位置検出エラー、即ち偶発的な位置検出エラーの検出が可能である。例えば、スケール１３の汚れや格子１２の欠陥箇所の検出をエラーとして出力する事が可能である。エラー出力の例として、図１１（Ａ）に示す位相検出回路６６からエラー信号を出力する方法や、図１１（Ｂ）に示す２相方形波生成回路６８から出力される方形波の位相を揃える方法を用いる事が可能である。
【００４１】
また、周期固定の正弦波関数を用いる事により、図１２に破線で示すような、スケール１３のインクリメンタルパターンの周期（スケール周期）Ｐｓと異なる周期を検出してしまうエリアシングを、実線のように回避出来る為、受光素子の配置ピッチ（受光素子ピッチ）Ｐｄはスケール周期Ｐｓに依存せず任意に決める事ができ、受光素子ピッチＰｄをスケール周期Ｐｓより大きくすることもできる。
【００４２】
また、本発明は、図１３に示すような反射型の光電式エンコーダにも適用する事ができる。
【００４３】
本発明は、更に、リニアエンコーダと同様にロータリーエンコーダへの適用も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】スケールの汚れ或いは格子の欠損により測定光が遮光されている状態を示す平面図
【図２】図１の場合に生じるリサージュ信号の変化を示す図
【図３】本発明の実施形態の全体構成を示す図
【図４】同じくスケールの構成を示す平面図
【図５】同じく受光器の構成を示す平面図
【図６】同じく正常時の正弦波関数のフィッティング状態の例を示す図
【図７】測定データとフィッティング関数の一例を示す図
【図８】図６でスケールの汚れ或いは格子欠損がある場合のフィッティング状態の例を示す図
【図９】同じく所定の値より差が大きいデータを無視した例を示す図
【図１０】同じくアクシデンタルな位置検出エラーの説明図
【図１１】スケールの汚れ或いは格子の欠陥の箇所を検出してエラー出力する回路の例を示す図
【図１２】エリアシングの説明図
【図１３】本発明が適用可能な反射型の光電式エンコーダの構成例を示す図
【符号の説明】
【００４５】
１２…格子
１３…スケール
１４…発光素子（光源）
２０…検出ヘッド
３０…受光器
３４…受光素子
６０…信号処理回路
６６…位相検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2010048607.tif 000012
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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