(57)【要約】【課題】  大型のガラス基板等の大型の被研磨材の研磨を精度よく行うことができると共に、取り扱い性に優れた大型の研磨材固定用両面粘着テープ及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】  本発明の研磨材固定用両面粘着テープ７は、基材フィルム５の両面に粘着剤層３、３が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープであって、上記基材フィルム５は単一フィルムからなると共に、上記粘着剤層３は、２以上の小幅粘着剤層部３ａ、３ａが上記基材フィルム５上に並列することによって構成されていることを特徴とする。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープであって、上記基材フィルムは単一フィルムからなると共に、上記粘着剤層は、２以上の小幅粘着剤層部が上記基材フィルム上に並列することによって構成されていることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項２】
小幅粘着剤層部における対向する端面同士が接合していることを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ
【請求項３】
基材フィルムの一面に積層一体化されている粘着剤層の小幅粘着剤層部同士の接合部と、上記基材フィルムの他面に積層一体化されている粘着剤層の小幅粘着剤層部同士の接合部とが基材フィルムの厚み方向に合致していないことを特徴とする請求項２に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項４】
小幅粘着剤層部における対向する端面間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項５】
基材フィルムの一面に積層一体化されている粘着剤層の小幅粘着剤層部間に形成された隙間と、上記基材フィルムの他面に積層一体化されている粘着剤層の小幅粘着剤層部間に形成された隙間とが基材フィルムの厚み方向に重複していないことを特徴とする請求項４に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項６】
基材フィルムはその幅が２ｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項７】
単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数の転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層が上記基材フィルムに対向した状態となるように並列状態に積層し、上記転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層を上記基材フィルム上に転写させ積層一体化させて小幅粘着剤層部とし、これらの並列状態の小幅粘着剤層部によって粘着剤層を形成することを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項８】
転写用粘着フィルムを互いに対向する転写用粘着剤層同士が接合した状態にして基材フィルム上に積層することを特徴とする請求項７に記載の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項９】
転写用粘着フィルムを互いに対向する転写用粘着剤層間に隙間が生じるようにして基材フィルム上に積層した後、上記転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層に圧力を加えて上記転写用粘着剤層を変形させて、互いに対向する上記転写用粘着剤層同士を接合させることを特徴とする請求項７に記載の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項１０】
基材フィルムの一面に積層させる転写用粘着フィルム同士の接合部と、上記基材フィルムの他面に積層させる転写用粘着フィルム同士の接合部とが上記基材フィルムの厚み方向に合致しないように、上記基材フィルムの両面に上記転写用粘着フィルムを積層することを特徴とする請求項８に記載の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項１１】
基材フィルムの両面に積層させる転写用粘着フィルムの対向する端面間に隙間が生じるように、上記基材フィルムの両面に転写用粘着フィルムを積層し、この基材フィルムの両面への転写用粘着フィルムの積層時に、上記基材フィルムの一面に積層させる転写用粘着フィルムの対向する端面間に形成される隙間と、上記基材フィルムの他面に積層させる転写用粘着フィルムの対向する端面間に形成される隙間とが上記基材フィルムの厚み方向に重複しないようにすることを特徴とする請求項７に記載の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項１２】
転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成する重複部形成工程と、上記転写用粘着フィルム同士の重複部分において上記転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断して、切断転写用粘着フィルム部と切断小片部とに分断する分断工程と、上記切断小片部を除去した後、上記切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させて幅広転写用粘着フィルムを得る工程と、単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、上記幅広転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層部が上記基材フィルムに対向した状態に積層して、上記基材フィルム上に上記転写用粘着剤層部を転写し積層一体化させる工程とを備えていることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項１３】
基材フィルムの一面に積層する幅広転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層部同士の接合部と、上記基材フィルムの他面に積層する幅広転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層部同士の接合部とが上記基材フィルムの厚み方向に合致しないように、基材フィルムの両面のそれぞれに上記幅広転写用粘着フィルムを積層することを特徴とする請求項１２に記載の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【請求項１４】
基材フィルムはその幅が２ｍ以上であることを特徴とする請求項７乃至請求項１３の何れか１項に記載の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨材を研磨機の定盤に固定するための研磨材固定用両面粘着テープ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から研磨布あるいは研磨パッドと呼ばれる研磨材を研磨機の定盤に固定するにあたって、研磨材固定用両面粘着テープが使用されている（特許文献１〜３参照）。
【０００３】
又、このような研磨機は、液晶ディスプレイのガラス基板の研磨にも用いられている（特許文献４参照）。
【０００４】
一方、近年、表示装置の表示画面の大型化に伴って、一辺が１．５ｍ以上の平面正方形状の大型のガラス基板が用いられるようになってきているが、従来の研磨材固定用両面粘着テープの場合、以下のような問題がある。
【０００５】
即ち、大型のガラス基板を研磨する場合、このガラス基板の研磨に用いる研磨材やこの研磨材を定盤に固定するための研磨材固定用両面粘着テープも基板に見合った大きなものとする必要がある。
【０００６】
しかし、研磨材固定用両面粘着テープには、研磨精度への影響を考慮した厚み精度が必要とされるが、２ｍを超えるような大型の粘着テープを、研磨材固定用として使用可能な程度の精度で製造することは極めて困難であった。
【０００７】
そこで、複数枚の幅の狭い従来の研磨材固定用両面粘着テープを用意し、各研磨材固定用両面粘着テープを予めその端面が突き合うように研磨材に貼り付けた後、研磨材を定盤に貼り付ける方法、或いは、従来の幅の狭い複数枚の研磨材固定用両面粘着テープを幅方向に連接状態とすると共に、基材フィルムの端面同士を接着剤あるいは融着等によって接合して大きなガラス基板に対応する幅広の研磨材固定用両面粘着テープを作製する方法が考えられるが、両方法においては、以下のような問題があった。
【０００８】
即ち、前者の方法の場合、粘着テープを研磨材に貼り付ける作業を複数回繰り返さなくてはならず、作業時間がかかると共に、隙間や段差無く粘着テープを隣接して貼り付けることはほとんど不可能で、どうしても若干の隙間や段差が生じ、研磨精度に問題がでるおそれがある。
【０００９】
一方、後者の方法の場合、基材フィルムの端面同士を正確に突き合わせることが非常に難しく、又、正確に基材フィルムの端面同士を突き合わせて接合できたとしても、その接合部位でテープが破損したり、折れ曲がったりしやすく、取扱い性に極めて劣ると共に、接着剤や融着熱によって粘着剤が変質してしまうという問題がある。
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−１９０２１３号公報
【特許文献２】特開２０００−７７３６６号公報
【特許文献３】特開２００１−３５４９２６号公報
【特許文献４】特開２００４−１２２３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、大型のガラス基板等の大型の被研磨材の研磨を精度良く行うことができ且つ取り扱い性に優れた大型の研磨材固定用両面粘着テープ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープであって、上記基材フィルムは単一フィルムからなると共に、上記粘着剤層は、２以上の小幅粘着剤層部が上記基材フィルム上に並列することによって構成されていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数の転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層が上記基材フィルムに対向した状態となるように並列状態に積層し、上記転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層を上記基材フィルム上に転写させ積層一体化させて小幅粘着剤層部とし、これらの並列状態の小幅粘着剤層部によって粘着剤層を形成することを特徴とする。
【００１４】
本発明の研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成する重複部形成工程と、上記転写用粘着フィルム同士の重複部分において上記転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断して、切断転写用粘着フィルム部と切断小片部とに分断する分断工程と、上記切断小片部を除去した後、切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させて幅広転写用粘着フィルムを得る工程と、単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、上記幅広転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層が上記基材フィルムに対向した状態に積層して、上記基材フィルム上に上記転写用粘着剤層を転写し積層一体化させる工程とを備えていることを特徴とする。
【００１５】
本発明において、「単一フィルム」とは、面に平行な方向（面方向）に接着や融着などによって接合部が形成されていないフィルムをいう。なお、単一フィルムは、面方向に接合部が形成されていなければよく、複数枚のフィルムを積層一体化させてなる積層フィルムであってもよい。積層フィルムの場合、積層フィルムを構成している複数枚のフィルムのうち、少なくとも一枚のフィルムが単一フィルムであればよい。
【００１６】
基材フィルムの材料としては、特に限定されないが、合成樹脂が好ましく、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）などが挙げられ、耐薬品性、強度的に優れると共に幅の広く且つ厚み精度の優れたフィルムを得ることができるので、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
【００１７】
基材フィルムの厚さは、特に限定されないが、２０〜２００μｍが好ましい。基材フィルムが薄すぎると、研磨精度向上効果が不十分となる場合があり、基材フィルムが厚すぎると、研磨パッドへの取り付け作業や生産性などに問題がでる場合がある。
【００１８】
更に、基材フィルムの表面は、必要に応じて、コロナ放電処理、プライマー処理などの易接着処理を施して濡れ性を向上させるようにしてもよい。
【００１９】
粘着剤層を構成する粘着剤は、特に限定されないが、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤が好ましい。基材フィルムの両面に設けられる粘着剤層は、一方が研磨材固定用粘着剤層であり、他方が定盤固定用粘着剤層である。基材フィルムの両面に積層一体化されている粘着剤層は、同一の粘着剤であってもよいし、相違していてもよい。
【００２０】
アクリル系粘着剤としては、アクリル系共重合体と、必要に応じて粘着付与樹脂とを含有する粘着剤を用いることができる。アクリル系共重合体としては、特に限定されないが、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸を含む単量体を重合させて得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体（以下、単に「（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体」という）が好ましい。なお、本発明において「（メタ）アクリル酸」とは、「メタクリル酸又はアクリル酸」を意味する。
【００２１】
アクリル系共重合体の重量平均分子量は、小さいと、研磨時に発生する熱に耐えられないことがあり、大きいと、初期タック性が低下することがあるので、３０万〜８０万が好ましい。なお、アクリル系共重合体の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によってテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）によるポリスチレン換算値から求められる値をいう。
【００２２】
アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸−ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸−ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチルなどが挙げられ、（メタ）アクリル酸−２―エチルヘキシルが好ましい。アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。
【００２３】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体には、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルや（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のビニル単量体が共重合成分として含まれていてもよい。このようなビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、ｎ−メチロールアクリルアミド、無水マレイン酸、酢酸ビニル、スチレンなどが挙げられる。
【００２４】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体中に（メタ）アクリル酸ブチル成分が含有されている場合、（メタ）アクリル酸ブチルの含有量は、少ないと、粘着剤層の耐熱性が低下することがあり、多いと、研磨パッドのうねりに追従できないことがあるので、１０〜５０重量％が好ましい。
【００２５】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体中に（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル成分が含有されている場合、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルの含有量は、少ないと、粘着剤層の柔軟性が低下することがあり、多いと、粘着剤層の耐熱性が低下することがあるので、３０〜９０重量％が好ましく、５０〜８０重量％がより好ましい。
【００２６】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体中において、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有量は、少ないと、粘着剤層の粘着力やタックが低下することがあるので、７０重量％以上が好ましく、８０重量％以上がより好ましく、多すぎると、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体の架橋が不十分となって凝集力が低下し、粘着剤層が凝集破壊することがあるので、８０〜９５重量％が好ましい。
【００２７】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体を得るためには、アルキル基の炭素数が１〜１２である（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、（メタ）アクリル酸と、必要に応じて配合する上述の他の単量体とを、重合開始剤の存在下にてラジカル反応させればよい。なお、重合方法としては、特に限定されず、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などが挙げられる。
【００２８】
上記重合開始剤としては、特に限定されず、例えば、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレートなどが挙げられ、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレートが好ましい。なお、重合開始剤は、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。
【００２９】
粘着剤層の厚みは、薄いと、粘着剤層の粘着力が不充分となり、研磨中に研磨材が剥離することがあり、厚いと、粘着剤層の凝集力が低下することがあるので、３０〜１００μｍが好ましく、４０〜８０μｍがより好ましく、５０〜７０μｍが特に好ましい。
【００３０】
又、粘着剤層を構成する粘着剤としてアクリル系粘着剤を用いた場合、粘着剤層のＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して測定されたステンレス板に対する１８０°ピール力は、低いと、研磨中にスラリー液に含有された酸やアルカリによってアクリル系粘着剤が変質してその粘着力が低下し、粘着剤層から研磨材が剥離することがあり、高いと、研磨材と研磨材固定用両面粘着テープを貼り直したい場合に不便となることがあるので、７〜４０Ｎ／２５ｍｍが好ましく、１０〜３０Ｎ／２５ｍｍがより好ましい。
【００３１】
上記粘着付与樹脂としては、特に限定されず、例えば、キシレン樹脂、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂などが挙げられ、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。
【００３２】
研磨布固定用粘着剤層は、強固着性が要求されるため、粘着付与樹脂を含有することが好ましい。粘着付与樹脂としては、キシレン樹脂が好ましく、キシレン樹脂のアルキルフェノール反応物がより好ましい。このようなキシレン樹脂のアルキルフェノール反応物の市販品としては、例えば、フドー社から商品名「ニカノールＴシリーズ」で市販されている。
【００３３】
研磨布固定用粘着剤層が（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体から構成されている場合、研磨布固定用粘着剤層に含有される粘着付与樹脂の量は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体１００重量部に対して５〜２０重量部が好ましく、１０〜１７重量部がより好ましい。粘着付与樹脂の配合量が少ないと、粘着剤層が凝集破壊を生じることがあり、多いと、粘着剤層の粘着力やタックが低下することがある。
【００３４】
定盤固定用粘着剤層は、定盤から糊残りなく剥離することが求められる。定盤固定用粘着剤層が（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体から構成されている場合、粘着付与剤の配合量は、多いと、再剥離性が劣る場合があるので、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系共重合体１００重量部に対して１０重量部以下とすることが好ましい。
【００３５】
上記ゴム系粘着剤としては、例えば、積水化学工業株式会社から商品名「ＹＫ糊」にて市販されている。ゴム系粘着剤には、石油系樹脂が含有されていてもよい。なお、石油系樹脂は、例えば、荒川化学社から商品名「アルコン」で市販されている。
【００３６】
上記研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の一つとしては、先ず、得ようとする研磨材固定用両面粘着テープの幅と同一或いはそれよりも広い幅を有する単一フィルムからなる基材フィルムを用意する。
【００３７】
次に、基材フィルムの幅よりも狭い幅を有する転写用フィルムを複数枚用意する。転写用フィルムの数は、転写用フィルムの幅の合計が、得ようとする研磨材固定用両面粘着テープの幅と略同一になるように調整すればよい。転写用フィルムは、従来から離型フィルム、塗工紙、塗工フィルムとして用いられているものを用いればよいが、上質紙の両面のそれぞれにポリエチレン系樹脂フィルムを積層一体化し且つ各ポリエチレン系樹脂フィルムの表面に離型剤を塗布してなる転写用フィルムが好ましい。
【００３８】
転写用フィルムを構成している上質紙の目付は、低いと、研磨材固定用両面粘着テープの使用時に転写用フィルムを粘着剤層から剥離する際に上質紙が破壊することがあるので、１００ｇ／ｍ2以上が好ましく、１００〜１３０ｇ／ｍ2がより好ましい。
【００３９】
次に、各転写用フィルム上に粘着剤を塗布して溶剤を完全に乾燥、除去し、所定厚みの転写用粘着剤層を剥離可能に積層一体化させて転写用粘着フィルムを製造する。しかる後、基材フィルムの両面のそれぞれに、複数枚の転写用粘着フィルムをそれらの転写用粘着剤層が基材フィルムに対向した状態となるようにして転写用粘着フィルムの幅方向に並列状態に積層し、転写用粘着剤層を基材フィルム上に転写し積層一体化させ、基材フィルム上に転写させた転写用粘着剤層を小幅粘着剤層部とし、基材フィルムの両面に上記複数の小幅粘着剤層部によって形成された粘着剤層を積層一体化して研磨材固定用両面粘着テープを製造することができる。
【００４０】
基材フィルム上に複数枚の転写用粘着フィルムを積層させるにあたって、互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面同士が完全に接合し、転写用粘着剤層間に隙間が形成されていなくても、或いは、互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面間に隙間が形成されていてもよい。
【００４１】
互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面間に隙間が形成されている場合、転写用粘着剤層の対向端面間の寸法は、広いと、研磨材固定用両面粘着テープに貼着させた研磨材に凹凸が発生し、被研磨物を均一に研磨することができないことがあるので、１ｍｍ以下が好ましい。
【００４２】
又、互いに隣り合う転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層の対向端面間に隙間が形成されている場合、必要に応じて、基材フィルム上に転写した転写用粘着剤層に圧力を加えて転写用粘着剤層を変形させることによって、転写用粘着剤層の対向端面間に形成された隙間を埋めるようにしてもよい。なお、転写用フィルムの転写用粘着剤層に圧力を加える方法としては、基材フィルム上に転写用粘着フィルムを積層させる際に転写用粘着剤層に圧力を加える方法、基材フィルム上に転写用粘着フィルムを積層した後に基材フィルムを巻き取る際の巻取り圧力によって転写用粘着剤層に圧力を加える方法などが挙げられる。
【００４３】
一方、研磨材固定用両面粘着テープの他の製造方法は、転写用粘着剤層が転写用フィルム上に剥離可能に積層されてなる複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成する重複部形成工程と、上記転写用粘着フィルム同士の重複部分において上記転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断して、切断転写用粘着フィルム部と切断小片部とに分断する分断工程と、上記切断小片部を除去した後、切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させて幅広転写用粘着フィルムを得る工程と、単一フィルムからなる基材フィルムの両面のそれぞれに、上記幅広転写用粘着フィルムをその転写用粘着剤層が上記基材フィルムに対向した状態に積層して、上記基材フィルム上に上記転写用粘着剤層を転写し積層一体化させる工程とを備えていることを特徴とする。
【００４４】
複数枚の転写用粘着フィルムを互いに対向する端縁部において重なり合うように順次、幅方向に配列させて重複部分を形成するにあたって、重複部分の寸法は、狭いと、安定した重複部分を形成することができず、或いは、次に続く分断工程において転写用フィルムを円滑に切断することができないことがあり、広くても、無駄が発生するだけであるので、得られる研磨材固定用両面粘着テープの幅の０．５〜１０％が好ましい。
【００４５】
各工程をバッチ式に行うようにしても構わないが、長尺の研磨材固定用両面粘着テープを得ようとした場合、少なくとも幅広転写用粘着フィルムを得る工程までは連続的に行ない、巻き取り機に連続的に巻き取ることが好ましい。なお、連続式に製造する場合、重複部分の切断は、特に限定されないが、スリッター（スリット加工機）の使用が好適である。
【００４６】
切断小片部を除去した後、切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させるまでの時間は、連続的に製造する場合、巻き取り速度にもよるが、概ね切断小片部を分離後１ｍ未満（好ましくは０．５ｍ未満）の間で行うことが好ましい。即ち、１ｍを超えると、分断小片除去直後には隙間なく並列していた切断転写用粘着フィルム部と、切断転写用粘着フィルム部との間に隙間を生じてしまうことがある。なお、切断小片部は、特に限定されないが、連続式の場合、巻き取り機等で巻き取りながら分離することが好ましい。
【００４７】
又、巻き取り機に巻き取られる幅広転写用粘着フィルムは、その転写用粘着層を基材フィルム上に直接、積層させた後、巻き取り機に巻き取るようにしても構わないし、幅広転写用粘着フィルムの転写用粘着剤層上に剥離可能に剥離フィルムを積層しておき、剥離フィルムを剥離して転写用粘着剤層を露出させた後に基材フィルム上に広幅転写用フィルムを積層するようにしてもよい。
【００４８】
更に、転写用フィルムから切断小片部を除去した直後は、接合される２つの切断転写用粘着フィルム部は、切断線を中心として上下方向にずれた状態になっているが、重複した状態で切断されるため、切断面に段差がなくスムーズに上側の切断転写用粘着フィルム部が下側の切断転写用粘着フィルム部の切断面に容易に一致した状態になる。従って、両切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合させる際、上下方向及び幅方向から押圧を加えなくても構わないが、より確実性を得るため、上下方向に押さえローラを設けると共に、幅方向にも規制ローラを設けるようにしても構わない。
【００４９】
上記工程により、上下方向にずれていた切断転写用粘着フィルム部はその切断端面同士が接合して一枚の平滑な幅弘転写用フィルムとなるが、接合面となる切断転写用粘着フィルム部の切断面同士は、完全に接着している必要はなく、隙間なく接合しておればよい。
【００５０】
切断転写用粘着フィルム部の切断面同士を接合した後、切断転写用粘着フィルム部の接合部上に両切断転写用粘着フィルム部に跨るように接合状態保持用の粘着テープを貼着するようにしても構わない。即ち、切断転写用粘着フィルム部同士の接合面がずれて隙間が生じることをより確実に防止することができる。
【００５１】
なお、接合状態保持用の粘着テープの幅は、特に限定されないが、１〜４０ｃｍの幅とすることが好ましい。即ち、接合状態保持用の粘着テープの幅が狭すぎると、その効果が殆どなく、広すぎると、シワ等の原因となるおそれがある。
【発明の効果】
【００５２】
本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層が積層一体化されてなる研磨材固定用両面粘着テープであって、上記基材フィルムは単一フィルムからなると共に、上記粘着剤層は、２以上の小幅粘着剤層部が上記基材フィルム上に並列することによって構成されているので、大型のガラス基板などの被研磨物の研磨に対応することができ、大型の被研磨物を精度よく研磨することができると共に取り扱い性に優れている。
【００５３】
そして、研磨材固定用両面粘着テープの基材フィルムは単一フィルムからなるので、取り扱い時に基材フィルムが折れ曲がったり、破損したりすることがない。
【００５４】
又、研磨材固定用両面粘着テープの粘着剤層は、小幅粘着剤層部を並列することによって形成されており、小幅粘着剤層部は厚み精度よく製造することができる。よって、研磨材固定用両面粘着テープの粘着剤層は優れた厚み精度を有しており、粘着剤層上に研磨材をできるだけ平滑な状態に貼着することができ、被研磨物を均一に研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第１の実施の形態であって、その一次工程を模式的に説明する図である。
【図２】図１の一次工程で得られる転写用粘着剤層付き転写テープの断面の概略図である。
【図３】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第１の実施の形態であって、その二次工程を模式的に説明する図である。
【図４】図３の二次工程で得られる半製品の断面の概略図である。
【図５】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第１の実施の形態であって、その三次工程を模式的に説明する図である。
【図６】図５の三次工程で得られる研磨材固定用両面粘着テープの断面の概略図である。
【図７】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの他の一例における断面の概略図である。
【図８】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第２の実施の形態であって、その半製品製造装置を模式的に説明する図である。
【図９】図８のＶ−Ｖ線断面図である。
【図１０】図８のＷ−Ｗ線断面図である。
【図１１】図８のＸ−Ｘ線断面図である。
【図１２】図８のＹ−Ｙ線断面図である。
【図１３】図８のＺ−Ｚ線断面図である。
【図１４】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第２の実施の形態であって、その得られる研磨材固定用両面粘着テープの断面図である。
【図１５】本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第３の実施の形態であって、その得られる半製品の断面図である。
【図１６】研磨材固定用両面粘着テープの使用状態を示した一部を断面とした模式正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５６】
以下に、本発明を、その実施の形態をあらわす図面を参照しつつ詳しく説明する。
【００５７】
図１〜６は、本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第１の実施の形態をその工程順にあらわしている。
【００５８】
研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、先ず、図１に示すように、従来の製造方法で製造されロール状に巻回された、粘着剤層が従来の製造方法で転写用フィルムの片面に剥離可能に精度よく積層された例えば１５００ｍｍの幅の転写用粘着フィルム１ａを用意し、一次工程のサプライ側にセットする。
【００５９】
そして、転写用粘着フィルム１ａをサプライ側から巻き取り機（図示せず）側に連続的に送り出しながら、転写用粘着フィルム１ａの幅方向の両端縁をスリッターの刃４によって例えば１２２５ｍｍの幅となるように切断した後、巻き取り機で巻き取ってロール状に巻回された一定幅の長尺状の幅調整済みの転写用粘着フィルム（一次工程原反）１ｂを作製する。この転写用粘着フィルム１ｂは、図２に示すように、転写用フィルム２の離型面に転写用粘着剤層３ａが積層されている。
【００６０】
次に、図３に示すように、二次工程のサプライ側に、ＰＥＴ製単一フィルムからなる一定幅（例えば２５００ｍｍの幅）のロール状に巻回された長尺状の基材フィルム５を用意すると共に、上記のようにして作製した２つの転写用粘着フィルム１ｂを幅方向に並べ、転写用粘着剤層３ａ側が基材フィルム５側を向くように用意する。
【００６１】
そして、サプライ側から基材フィルム５及び２枚の転写用粘着フィルム１ｂを引き出し、２つの転写用粘着フィルム１ｂの転写用粘着剤層３ａの幅方向の対向端面同士を接合しながら、基材フィルム５の上面に転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂを積層し、ラミネートロール６によって転写用フィルム２、２を介して転写用粘着剤層３ａ、３ａを基材フィルム５に押圧して、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａを基材フィルム５上に転写して積層一体化し、この転写用粘着剤層３ａ、３ａを小幅粘着剤層部として巻き取り機（図示せず）で連続的に巻き取って、図４に示すように、基材フィルム５の片面に小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向端面同士が隙間なく密着状態に接合してなる粘着剤層３を備えたロール状の半製品（二次工程原反）７ａを得る。
【００６２】
次に、図５に示すように、三次工程のサプライ側に、上記のようにして得たロール状の半製品７ａを用意すると共に、上記のようにして作製した２つの転写用粘着フィルム１ｂをその幅方向に並べ、転写用粘着剤層３ａが半製品７ａ側を向くように用意する。
【００６３】
そして、サプライ側から半製品７ａ及び２つの転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂを引き出し、２つの転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａの幅方向の対向端面同士を接合しながら、半製品７ａの粘着剤層が設けられていない基材フィルム５上に、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂを積層し、ラミネートロール６によって転写用フィルム２、２を介して転写用粘着剤層３ａ、３ａを基材フィルム５に押圧して、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａを基材フィルム５上に転写して積層一体化し、この転写用粘着剤層３ａ、３ａを小幅粘着剤層部とした後、半製品７ａ側の転写用フィルム２を取り除いた上で巻き取り機（図示せず）で連続的に巻き取って、図６に示すように、基材フィルム５の両面のそれぞれに、二つの小幅粘着剤層部３ａ、３ａが対向端面同士を互いに隙間なく密着させた状態に接合されてなる粘着剤層３、３が積層一体化されてなるロール状の幅広の研磨材固定用両面粘着テープ７を得ることができる。なお、上記研磨材固定用両面粘着テープ７では、二つの小幅粘着剤層部３ａ、３ａによって粘着剤層３を形成した場合を説明したが、三つ以上の小幅粘着剤層部３ａ、３ａ・・・によって粘着剤層３が形成されていてもよい。
【００６４】
上記のようにして得た研磨材固定用両面粘着テープ７は、基材フィルム５が単一フィルムから形成されている。なお、上記のようにして得た研磨材固定用両面粘着テープ７は、幅方向の両端部をトリミングする場合もある。
【００６５】
上記研磨材固定用両面粘着テープ７では、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部とが基材フィルム５の厚み方向（基材フィルム５の表面に対して垂直な方向）に合致していたが、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部とを基材フィルム５の厚み方向に合致させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造としてもよい。
【００６６】
基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部とを基材フィルム５の厚み方向に合致させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造とすることによって、研磨材固定用両面粘着テープ７上に貼着させた研磨材を小幅粘着剤層部３によって略均等に受止することができ、被研磨物を精度良く研磨することができる。
【００６７】
このように、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａ同士の接合部とを基材フィルム５の厚み方向に合致させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造を有する研磨材固定用両面粘着テープを製造する場合には、基材フィルム５の両面に積層させた転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂ・・・の幅を互いに相違させて、基材フィルム５の一面に積層させた転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂ同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層させた転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂ同士の接合部とが基材フィルム５の厚み方向に合致しないように調整すればよい。なお、転写用粘着フィルム１ｂの幅は、基材フィルム５の幅の１０％以上が好ましく、２０％以上がより好ましく、３３％以上が特に好ましい。
【００６８】
上記の製造方法では、基材フィルム５の両面のそれぞれに転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂを積層させるにあたって、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａの対向端面同士を隙間なく接合させた場合を説明したが、図７に示したように、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａの対向端面間に転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの全長に亘って一定幅の隙間３Ａが形成されるようにしながら、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂを基材フィルム５上に積層させてもよい。なお、その他の要領は上述した製造方法と同様であるので説明を省略する。
【００６９】
上記研磨材固定用両面粘着テープ７では、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａと、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａとが基材フィルム５の厚み方向（基材フィルム５の表面に対して垂直な方向）に合致していたが、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａと、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａとを基材フィルム５の厚み方向に重複させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造としてもよい。
【００７０】
基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａと、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａとを基材フィルム５の厚み方向に重複させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造とすることによって、研磨材固定用両面粘着テープ７上に貼着させた研磨材を小幅粘着剤層部３によってできるだけ均一に受止することができ、被研磨物を精度良く研磨することができる。
【００７１】
このように、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａと、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａとを基材フィルム５の厚み方向に重複させずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造を有する研磨材固定用両面粘着テープを製造する場合には、基材フィルム５の両面に積層させた転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂ・・・の幅を互いに相違させて、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａと、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部３ａ、３ａの対向面間に形成された隙間３Ａとが基材フィルム５の厚み方向に重複しないように調整すればよい。なお、転写用粘着フィルム１ｂの幅は、基材フィルム５の幅の１０％以上が好ましく、２０％以上がより好ましく、３３％以上が特に好ましい。
【００７２】
得られた研磨材固定用両面粘着テープ７は、その粘着剤層３、３の小幅粘着剤層部３ａ、３ａ間に隙間３Ａが形成されていること以外は図６に示した研磨材固定用両面粘着テープの構成と同一であるので説明は省略する。
【００７３】
又、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａの対向端面間に転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの全長に亘って一定幅の隙間３Ａが形成されるようにしながら、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂを基材フィルム５上に積層させた後、転写用粘着フィルム１ｂ、１ｂの転写用粘着剤層３ａ、３ａに圧力を加えて転写用粘着剤層３ａ、３ａを変形させて、転写用粘着剤層３ａ、３ａ間の隙間を埋めて、図６に示した構成の研磨材固定用両面粘着テープ７を製造してもよい。
【００７４】
上記研磨材固定用両面粘着テープにおいて、基材フィルムの一面に積層一体化された小幅粘着剤層部における対向する端面同士が接合している一方、基材フィルムの他面に積層一体化された小幅粘着剤層部における対向する端面間に隙間が形成されていてもよい。
【００７５】
このような研磨材固定用両面粘着テープにおいて、基材フィルムの一面に積層一体化された小幅粘着剤層部同士の接合部と、基材フィルムの他面に積層一体化された小幅粘着剤層部における対向する端面間に形成された隙間とが基材フィルムの厚み方向に重複していてもよいし、重複しないように構成されていてもよい。
【００７６】
上記研磨材固定用両面粘着テープの製造は、上述した要領を組み合わせて、基材フィルムの両面のそれぞれに転写用粘着フィルムを積層させればよい。
【００７７】
図８〜図１４は、本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第２の実施の形態をあらわしている。
【００７８】
図８に示すように、この研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、従来の製造方法で製造されロール状に巻回された、粘着剤層１１が従来の製造方法で転写用フィルム１１ａの片面に精度良く剥離可能に積層されてなる転写用粘着フィルム１ａを２つ用意し、一次工程のサプライ側にセットする。
【００７９】
そして、２つの転写用粘着フィルム１ａ、１ａをサプライ側から巻き取り機（図示せず）側に連続的に送り出しながら、図８及び図９に示すように、一方の転写用粘着フィルム１ａの幅方向の端縁部を他方の転写用粘着フィルム１ａの端縁部に一定幅で重なるように重ね合わせる。この際、一方の転写用粘着フィルム１ａの転写用粘着剤層１１と、他方の転写用粘着フィルム１ａの転写用フィルム１１ａとが対向するように、２つの転写用粘着フィルム１ａ、１ａの幅方向の端縁部同士を重ね合わせる。
【００８０】
しかる後、転写用粘着フィルム１ａ、１ａを押さえローラＲ１、Ｒ１によって厚み方向の両側から挟み込んだ後、図１０及び図１１に示すように、転写用粘着フィルム１ａ、１ａの重複部分１２をその幅方向の中央部において分断線１３に沿ってスリッターの刃４によって連続的に全厚みに亘って切断して、転写用粘着フィルム１ａを切断転写用粘着フィルム部１４と切断小片部１５とに分断する。
【００８１】
次に、図８及び図１１に示すように、切断小片部１５を連続的に切断転写用粘着フィルム部１４から分離した後、切断転写用粘着フィルム部１４を上下の押さえローラＲ２、Ｒ２で挟み込み、図８及び図１２に示すように、２つの切断転写用粘着フィルム部１４の切断面同士が接合した状態、即ち、切断転写用粘着フィルム部１４、１４の転写用フィルム部１１ａ’、１１ａ’同士及び転写用粘着剤層部１１’、１１’同士がそれぞれ接合した状態とした後、幅方向の両側から２つの圧接ローラＲ３，Ｒ３によって、切断転写用粘着フィルム部１４の切断面同士が圧接されるように圧を加えて幅広転写用粘着フィルム１ｄを形成し、この幅広転写用粘着フィルム１ｄの転写用粘着剤層部１１’、１１’側にＰＥＴ製の単一フィルムからなる例えば幅広転写用粘着フィルム１ｄより少し広い幅の基材フィルム５を連続的に沿わせて、図１３に示すように、基材フィルム５の片面に幅広転写用粘着フィルム１ｄが積層された半製品７ｂを巻き取り機（図示せず）に連続的に巻き取る。幅広転写用粘着フィルム１ｄの転写用粘着剤層部１１’、１１’はそれらの対向端面間に隙間なく密着して接合された状態にて粘着剤層を形成し基材フィルム５上に転写されて積層一体化されている。
【００８２】
そして、図１４に示すように、別ラインで上記と同様の要領で得られた幅広転写用粘着フィルム１ｄの転写用粘着剤層部１１’、１１’を上記で得た半製品７ｂの基材フィルム５の反対側の面に上述と同様の要領で積層させて研磨材固定用両面粘着テープ７０を得る。
【００８３】
この研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、以上のように構成されているので、切断転写用粘着フィルム部１４の切断面同士が容易且つ正確に密着し、安定して本発明の研磨材固定用両面粘着テープ７０を得ることができる。
【００８４】
図１５は、本発明に係る研磨材固定用両面粘着テープの製造方法の第３の実施の形態をあらわしている。
【００８５】
図１５に示すように、この製造方法は、幅広転写用粘着フィルム１ｄの切断転写用粘着フィルム部１４と切断転写用粘着フィルム部１４との接合部の上に両切断転写用粘着フィルム部１４、１４に跨るように転写用粘着フィルム１ａの幅の１〜１０％の幅の接合状態保持用の粘着テープ１ｆを貼着した半製品７ｃを得るようにした以外は、上記第２の実施の形態と同様になっている。
【００８６】
この研磨材固定用両面粘着テープの製造方法は、以上のように、切断転写用粘着フィルム部１４と切断転写用粘着フィルム部１４との接合部の上に両切断転写用粘着フィルム部１４、１４に跨るように転写用粘着フィルム１ａの幅の１〜４０％の幅の接合状態保持用の粘着テープ１ｆを貼着するようにしたので、上記第２の実施の形態の効果に加えて、得られる半製品７ｃの転写用粘着剤層部１１’、１１’同士の接合面がずれて隙間が生じることをより確実に防止することができるという効果を備えたものとなる。
【００８７】
本発明は、上記の実施の形態に限定されない。例えば、上記第２の実施の形態では切断小片部１５を分離したのち、押さえローラＲ２，Ｒ２で上下から挟むようになっていたが、押さえローラＲ２，Ｒ２はなくても構わない。
【００８８】
上述の製造方法によって製造された研磨材固定用両面粘着テープ７０においても、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部１１’、１１’同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部１１’、１１’同士の接合部とが基材フィルム５の厚み方向（基材フィルム５の表面に対して垂直な方向）に合致していたが、基材フィルム５の一面に積層一体化された小幅粘着剤層部１１’、１１’同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化された小幅粘着剤層部１１’、１１’同士の接合部とが基材フィルム５の厚み方向に合致せずに基材フィルムの面方向に互いにずれた構造としてもよい。
【００８９】
このような研磨材固定用両面粘着テープ７０を製造するには、上記分断工程にて、転写用粘着フィルム同士の重複部分において転写用粘着フィルムをその厚み方向に切断するにあたって、基材フィルム５の一面に積層一体化させる広幅転写用粘着フィルムにおける転写用粘着剤層部１１’、１１’同士の接合部と、基材フィルム５の他面に積層一体化させる広幅転写用粘着フィルムにおける転写用粘着剤層部１１’、１１’同士の接合部とが基材フィルム５の厚み方向に合致せずに基材フィルムの面方向に互いにずれた状態となるように、それぞれの転写用粘着フィルムを切断すればよい。なお、転写用粘着フィルム１ｂの幅が、基材フィルム５の幅の好ましくは１０％以上、より好ましくは２０％以上、特に好ましくは３３％以上となるように転写用粘着フィルムを切断すればよい。
【００９０】
上述のようにして製造された研磨材固定用両面粘着テープは、研磨機Ａの定盤Ｂ上に研磨布Ｃを着脱自在に固着させるために用いられる。
【００９１】
研磨機Ａは、図１６に示したように、下面に駆動軸B1が一体的に設けられて所定方向に回転し且つ上面に研磨布Ｃを着脱自在に配設可能するための配設面Ｂ２を有する円盤状の定盤Ｂと、この定盤Ｂの上方に配設されて、ウエハなどの被研磨物Ｅを固定するための回転プレートＤとを備えている。
【００９２】
回転プレートＤは、その上面に駆動軸D1が一体的に設けられて所定方向に回転可能に構成されていると共に、汎用の部材（図示せず）を用いて下面に被研磨物Ｅを着脱自在に固着可能に構成されている。
【００９３】
そして、研磨材固定用両面粘着テープ７、７０を用意し、研磨材固定用両面粘着テープ７、７０から転写用フィルム２又は幅広転写用粘着フィルム１ｄの転写用フィルム部１１ａ’を剥離、除去して粘着剤層３ａ、１１’を露出させる。
【００９４】
研磨材固定用両面粘着テープ７、７０の研磨材固定用粘着剤層上に研磨布Ｃを積層して両側から厚み方向に押圧することによって貼着一体化して研磨布積層体Ｆを作製する。次に、研磨布積層体Ｆをその定盤固定用粘着剤層が定盤Ｂの配設面Ｂ２に対向した状態に該配設面Ｂ２上に載置し押圧することによって、研磨布Ｃを研磨材固定用両面粘着テープ１を介して定盤Ｂの配設面Ｂ２上に貼着一体化させる。一方、回転プレートＤの下面に汎用の手段を用いてウエハなどの被研磨物Ｅを着脱自在に固定させる。
【００９５】
しかる後、定盤Ｂの駆動軸B1を駆動させて定盤Ｂを一定方向に回転させると共に、回転軸D1を駆動させて回転プレートＤを一定方向に回転させる。すると、回転プレートの下面に配設された被研磨物Ｅの下面が定盤Ｂ上に配設された研磨布Ｃによって研磨される。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、大型のガラス基板の研磨だけではなく、小型のガラス基板やシリコンウエハの研磨にも用いることができる。
【符号の説明】
【００９７】
１     研磨材固定用両面粘着テープ
１ａ、１ｂ     転写用粘着フィルム
１ｄ   幅広転写用粘着フィルム
１ｆ   粘着テープ
２     転写用フィルム
３     粘着剤層
３Ａ   隙間
３ａ   転写用粘着剤層、小幅粘着剤層部
５     基材フィルム
７     研磨材固定用両面粘着テープ
１１   転写用粘着剤層
１１ａ 転写用フィルム
１２   重複部分
１４   切断転写用粘着フィルム部
１５   切断小片部
【図１】
2010090359.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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