(57)【要約】【課題】ｐ側電極として透明導電層膜材料からなる透光性の電極を用いた窒化物半導体発光素子における光取り出し効率を改善し、発光効率が向上された窒化物半導体発光素子を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る窒化物半導体発光素子は、第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、上記ｐ型窒化物半導体層が上記第一の主面側となるように含む積層体と、上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極とを有し、上記透光性の電極の表面には上記発光層で発生される光を散乱または回折する凹凸が形成されることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、そのｐ型窒化物半導体層側が上記第一の主面側となるように含む積層体と、
上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極とを有し、
上記電極の表面には上記発光層で発生される光を散乱または回折する凹凸が形成された、窒化物半導体発光素子。
【請求項２】
上記凹凸は、高低差が、上記発光層で発生される光の上記透明導電膜材料中における波長の４分の１以上である凹部と凸部を含む、請求項１に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項３】
上記凹凸の凸部が上記積層体の第一の主面上に連続的に広がったパターンに形成されるとともに、上記凹凸の凹部には上記積層体の第一の主面が露出された、請求項１に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項４】
上記凹凸の凸部が上記積層体の第一の主面上に連続的に広がったパターンに形成されるとともに、上記発光層が発光に係る領域としてＩｎｘＧａ１−ｘＮからなる領域を含み、該ＩｎｘＧａ１−ｘＮからなる領域で発生される光の波長が紫色〜近紫外領域の波長である、請求項１に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項５】
第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、そのｐ型窒化物半導体層側が上記第一の主面側となるように含む積層体と、
上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極と、
上記電極の表面を覆うように形成された、上記発光層で発生される光を反射する反射面を有する反射層とを有し、
上記電極の表面には凹凸が形成され、
上記反射面には、上記電極の表面に形成された凹凸に沿って、上記発光層で発生された光を乱反射する凹凸が形成された、窒化物半導体発光素子。
【請求項６】
上記反射面に形成された凹凸は、高低差が、上記発光層で発生される光の上記透明導電膜材料中における波長の４分の１以上である凹部と凸部を含む、請求項５に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項７】
上記反射面に形成された凹凸の凸部において、上記積層体の第一の主面と上記反射面とが接している、請求項５に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項８】
上記反射層は、少なくとも上記反射面が、Ａｇ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｔから選ばれる少なくともひとつの材料からなる、請求項５〜７のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項９】
上記反射層が、上記反射面を含み、Ａｇ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｔから選ばれる少なくともひとつの材料からなるミラー層と、上記反射層の最外層として形成された、Ａｕからなる表面層と、上記ミラー層と上記表面層との間に形成されたバリア層と、からなる請求項８に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項１０】
上記電極がＩＴＯまたはＺｎＯからなる、請求項１〜９のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項１１】
上記積層体の第一の主面を形成する窒化物半導体がｎ型窒化物半導体である、請求項１〜１０のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項１２】
上記積層体と上記電極との界面に、上記電極との接触抵抗が上記積層体の第一の主面を形成する窒化物半導体との接触抵抗よりも相対的に小さい金属材料からなる層が、部分的に形成された、請求項１〜４のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項１３】
上記金属材料からなる層が、横方向の電流拡散のために形成された電流拡散層である、請求項１２に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項１４】
上記電極の表面にワイヤボンディング用のパッド電極が形成され、上記金属材料からなる層が、上記パッド電極の射影部に形成された、請求項１２に記載の窒化物半導体発光素子。
【請求項１５】
第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、そのｐ型窒化物半導体層側が上記第一の主面側となるように含む積層体と、
上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極とを有し、
上記積層体と上記電極との界面に、上記電極との接触抵抗が上記積層体の第一の主面を形成する窒化物半導体との接触抵抗よりも相対的に小さい金属材料からなる層が、部分的に形成された、窒化物半導体発光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は窒化物半導体発光素子に関し、特に、ｐ側電極として透明導電膜材料からなる透光性の電極を用いた窒化物半導体発光素子の発光効率を向上させる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒化物半導体発光素子は、その発光素子構造の主要部分に窒化物半導体を用いた半導体発光素子で、発光領域に用いられる窒化物半導体の組成を選択することによって、可視〜紫外領域の光を発生させることが可能である。特に、可視短波長（青色）〜近紫外波長の光を発生する窒化物半導体発光素子は、照明光源やフルカラー表示装置用の光源に用いられる白色ＬＥＤの励起用光源として注目されている。
【０００３】
窒化物半導体は、一般式ＡｌａＩｎｂＧａ１−ａ−ｂＮ（０≦ａ≦１、０≦ｂ≦１、０≦ａ＋ｂ≦１）で表される化合物半導体であって、例えば、二元系のＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮ、三元系のＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＩｎＡｌＮ、四元系のＡｌＩｎＧａＮなど、任意の組成のものが例示される。ここで、３族元素の一部を、Ｂ（ホウ素）、Ｔｌ（タリウム）等で置換したものや、Ｎ（窒素）の一部をＰ（リン）、Ａｓ（ヒ素）、Ｓｂ（アンチモン）、Ｂｉ（ビスマス）等で置換したものも、窒化物半導体に含まれる。
【０００４】
窒化物半導体は、欠陥として含まれる窒素空孔から電子が供給されるために、アンドープでもｎ型半導体となるが、更に、Ｓｉ（ケイ素）、Ｇｅ（ゲルマニウム）、Ｓｅ（セレン）、Ｔｅ（テルル）、Ｃ（炭素）等の元素をドープすることによってｎ型導電性が向上する。すなわち、これらの元素は窒化物半導体に対してｎ型不純物として働く。
【０００５】
また、窒化物半導体は、Ｍｇ（マグネシウム）、Ｚｎ（亜鉛）、Ｂｅ（ベリリウム）、Ｃａ（カルシウム）、Ｓｒ（ストロンチウム）、Ｂａ（バリウム）等の元素をドープすることにより、ｐ型半導体とすることができる。すなわち、これらの元素は窒化物半導体に対してｐ型不純物として働く。
【０００６】
窒化物半導体発光素子は、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を基本構成として有するものであり、発光層において、ｎ型窒化物半導体層から注入される電子と、ｐ型窒化物半導体層から注入される正孔とが再結合し、発光を生じる。
【０００７】
窒化物半導体発光素子において、ｐ型およびｎ型の窒化物半導体層の両方またはいずれかに電流を供給するための電極を、ＩＴＯ（酸化インジウム錫）、ＺｎＯ等の透明導電膜材料からなる透光性の電極とした構成が公知となっている（特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５）。
【０００８】
図９に、特許文献１に開示された、ｐ側およびｎ側の電極がＩＴＯで形成された窒化物半導体発光素子の断面構造を示す。図９において、１０１はサファイア基板、１０２はｎ型ＧａＮ層１０２Ａとその上に積層されたｎ型ＡｌＧａＮ層１０２Ｂとからなるｎ型窒化物半導体層、１０３は多重量子井戸（ＭＱＷ）構造を有するＩｎＧａＮ発光層、１０４はｐ型ＡｌＧａＮ層１０４Ａとその上に積層されたｐ型ＧａＮ層１０４Ｂとからなるｐ型窒化物半導体層、１０５はキャリア濃度が約１．５×１０２０ｃｍ−３、膜厚が約２０オングストロームのｎ型ＩｎＧａＮ層、Ｐ１０１はｎ型窒化物半導体層１０２に電流を供給するためのｎ側電極で、ＩＴＯからなる透明オーミック電極、Ｐ１０２はｐ型窒化物半導体層１０４に電流を供給するためのｐ側電極で、ＩＴＯからなる透明オーミック電極である
。
特許文献１には、ｎ側電極およびｐ側電極の材料に、ＩＴＯ以外の透明導電膜材料として酸化カドミウム錫（ＣＴＯ）、窒化チタンタングステン（ＴｉＷＮ）を用い得ることが開示されている。
【０００９】
特許文献２には、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造が、サファイア基板上にｎ型窒化物半導体層側から順に成長された窒化物半導体発光素子において、ｐ型窒化物半導体層の、発光層と接する側の主面とは反対側の主面上に、Ｉｎ、Ｇａ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｗ、Ｓｉ、Ｔｉ等からなる低抵抗領域を介してｎ型窒化物半導体層が形成され、そのｎ型窒化物半導体層の表面全面に、ｐ側電極としてＺｎＯ等からなる透光性の電極を形成することが開示されている。
【００１０】
特許文献３および特許文献４には、サファイア基板上にｎ型窒化物半導体層、発光層、ｐ型窒化物半導体層がこの順に積層された窒化物半導体発光素子において、ｐ型窒化物半導体層の表面を覆うように、ＺｎＯからなる透光性のｐ側電極を形成することが開示されている。
【００１１】
特許文献５には、サファイア基板上にｎ型窒化物半導体層、発光層、ｐ型窒化物半導体層がこの順に積層された窒化物半導体発光素子において、ｐ型窒化物半導体層の表面のほぼ全面と、エッチングにより露出されたｎ型窒化物半導体層の表面とに、それぞれオーミック性のｐ側電極、ｎ側電極として、ＩＴＯからなる透光性の電極を形成し、更にその表面にＡｇ、ＡｌまたはＲｈからなる反射層を形成することが開示されている。
【００１２】
上記従来技術によれば、透明導電膜材料からなる透光性の電極は、窒化物半導体材料とのオーミック接触性および光透過性が良好であるために、窒化物半導体発光素子においては、窒化物半導体からなる積層体の表面に全面的に形成するｐ側電極に適している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００３−６０２３６号公報
【特許文献２】特開２００４−１７９３６９号公報
【特許文献３】特開２００２−１６４５７０号公報
【特許文献４】特開２００４−２６６２５８号公報
【特許文献５】特開２００４−１７９３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
図９に示す窒化物半導体発光素子では、素子外部の媒質（空気や、チップ封止用の樹脂材料）と比べて大きな屈折率を有するＩＴＯからなるｐ側電極Ｐ１０２が、平坦な表面を有する層状に形成されているために、発光層１０３からｐ側電極Ｐ１０２の内部に入射し、その上側表面に達する光のうち、全反射角よりも小さな入射角でこの表面に入射した成分以外は、素子外部に出ることができない。また、素子外部に出射されなかった光は、反射によって窒化物半導体層側に戻された後、屈折率の異なるｎ型窒化物半導体層１０２とサファイア基板１０１との界面で再び反射を受けることになるが、このように、光反射性を有する平坦面が平行に形成された構造が存在すると、全反射の繰り返しによる多重反射が発生して光が素子内部に閉じ込められ、内部での吸収により損失されることになる。
【００１５】
上記特許文献５に開示された、ＩＴＯからなるｐ側電極Ｐ１０２の表面に反射層が形成された素子の場合においても同様に、反射層で反射された光が、ｎ型窒化物半導体層１０２とサファイア基板１０１との界面で再び反射を受けるために、多重反射が発生し、損失
が生じる。
【００１６】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、ｐ側電極として透明導電層膜材料からなる透光性の電極を用いた窒化物半導体発光素子における光取り出し効率を改善し、発光効率が向上された窒化物半導体発光素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明の請求項に係る窒化物半導体発光素子は、以下の特徴を有する。
（１）第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、そのｐ型窒化物半導体層側が上記第一の主面側となるように含む積層体と、上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極とを有し、上記電極の表面には上記発光層で発生される光を散乱または回折する凹凸が形成された、窒化物半導体発光素子。
（２）上記凹凸は、高低差が、上記発光層で発生される光の上記透明導電膜材料中における波長の４分の１以上である凹部と凸部を含む、上記（１）に記載の窒化物半導体発光素子。
（３）上記凹凸の凸部が上記積層体の第一の主面上に連続的に広がったパターンに形成されるとともに、上記凹凸の凹部には上記積層体の第一の主面が露出された、上記（１）に記載の窒化物半導体発光素子。
（４）上記凹凸の凸部が上記積層体の第一の主面上に連続的に広がったパターンに形成されるとともに、上記発光層が発光に係る領域としてＩｎｘＧａ１−ｘＮからなる領域を含み、該ＩｎｘＧａ１−ｘＮからなる領域で発生される光の波長が紫色〜近紫外領域の波長である、上記（１）に記載の窒化物半導体発光素子。
（５）第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、そのｐ型窒化物半導体層側が上記第一の主面側となるように含む積層体と、上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極と、上記電極の表面を覆うように形成された、上記発光層で発生される光を反射する反射面を有する反射層とを有し、上記電極の表面には凹凸が形成され、上記反射面には、上記電極の表面に形成された凹凸に沿って、上記発光層で発生された光を乱反射する凹凸が形成された、窒化物半導体発光素子。
（６）上記反射面に形成された凹凸は、高低差が、上記発光層で発生される光の上記透明導電膜材料中における波長の４分の１以上である凹部と凸部を含む、上記（５）に記載の窒化物半導体発光素子。
（７）上記反射面に形成された凹凸の凸部において、上記積層体の第一の主面と上記反射面とが接している、上記（５）に記載の窒化物半導体発光素子。
（８）上記反射層は、少なくとも上記反射面が、Ａｇ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｔから選ばれる少なくともひとつの材料からなる、上記（５）〜（７）のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
（９）上記反射層が、上記反射面を含み、Ａｇ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｔから選ばれる少なくともひとつの材料からなるミラー層と、上記反射層の最外層として形成された、Ａｕからなる表面層と、上記ミラー層と上記表面層との間に形成されたバリア層と、からなる上記（８）に記載の窒化物半導体発光素子。
（１０）上記電極がＩＴＯまたはＺｎＯからなる、上記（１）〜（９）のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
（１１）上記積層体の第一の主面を形成する窒化物半導体がｎ型窒化物半導体である、上記（１）〜（１０）のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
（１２）上記積層体と上記電極との界面に、上記電極との接触抵抗が上記積層体の第一の
主面を形成する窒化物半導体との接触抵抗よりも相対的に小さい金属材料からなる層が、部分的に形成された、上記（１）〜（４）のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
（１３）上記金属材料からなる層が、横方向の電流拡散のために形成された電流拡散層である、上記（１２）に記載の窒化物半導体発光素子。
（１４）上記電極の表面にワイヤボンディング用のパッド電極が形成され、上記金属材料からなる層が、上記パッド電極の射影部に形成された、上記（１２）に記載の窒化物半導体発光素子。
（１５）第一の主面および第二の主面を有する窒化物半導体の積層体であって、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を、そのｐ型窒化物半導体層側が上記第一の主面側となるように含む積層体と、上記積層体の第一の主面を覆うように形成された透明導電膜材料からなる透光性の電極とを有し、上記積層体と上記電極との界面に、上記電極との接触抵抗が上記積層体の第一の主面を形成する窒化物半導体との接触抵抗よりも相対的に小さい金属材料からなる層が、部分的に形成された、窒化物半導体発光素子。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、ｐｎ接合ダイオード構造を基本構成とする発光素子構造が形成された窒化物半導体の積層体の表面に、ｐ側電極として、透明導電膜材料からなる透光性の電極が形成された窒化物半導体発光素子において、この透光性の電極の表面に凹凸を形成することにより次の効果を発生させ、それによって上記目的を達成する。
【００１９】
（イ）素子外部への出射の促進
発光層で発生され、窒化物半導体層から透光性の電極の内部に入射した光は、電極の表面に達したとき、該表面に形成された凹凸によって散乱または回折を受けて、進行方向を大きく変える。あるいは、該表面上に更に反射層が形成される態様では、電極表面に形成される凹凸に沿って該反射層の反射面に形成される凹凸により、乱反射を受けて、進行方向を大きく変える。これによって、光が、素子の光取り出し面に対して、全反射角よりも小さな、素子外部に出射し得る入射角で入射する確率が高くなる。
（ロ）素子内部での多重反射の抑制
透光性電極の表面で反射され、窒化物半導体層側に戻される光は、該表面に形成された凹凸による散乱または回折によって、進行方向が不規則的に変化する。透光性電極の表面上に更に反射層が形成される態様では、該反射層の反射面に形成された凹凸による乱反射によって、光の進行方向が不規則的に変化する。これにより、素子内部での多重反射の発生が抑制されるために、内部吸収による損失が低減される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による窒化物半導体発光素子の構造の一例を示した説明図で、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。ハッチングは、領域を区別する目的で、適宜施している（他の図も同様である）。
【図２】本発明による窒化物半導体発光素子において、ｐ側電極の表面に形成される凹凸の構造の代表例を示した説明図である。
【図３】本発明による窒化物半導体発光素子において、ｐ側電極の表面に形成される凹凸の好ましいサイズを説明するための説明図である。
【図４】本発明による窒化物半導体発光素子において、ｐ側電極の表面に形成される凹凸の、凸部のパターンを例示するための説明図である。
【図５】本発明による窒化物半導体発光素子において、ｐ側電極の表面に形成される凹凸の、凸部のパターンを例示するため説明図である。
【図６】本発明による窒化物半導体発光素子において、ｐ側電極の表面に形成される凹凸の、凸部のパターンを例示するための説明図である。
【図７】本発明による窒化物半導体発光素子において、ｐ側電極の表面に形成される凹凸の形成態様の一例を示した説明図である。
【図８】本発明による窒化物半導体発光素子の構造の一例を示した説明図である。
【図９】従来の窒化物半導体発光素子の構造を示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係る窒化物半導体発光素子を説明するための構造図であり、同図（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
図１において、１１はサファイア基板、１２は膜厚２μｍのアンドープＧａＮ層１２Ａと、その上に形成されたＳｉドープＧａＮ（電子濃度約５×１０１８ｃｍ−３）からなる膜厚３μｍのｎ型クラッド層１２Ｂとからなるｎ型窒化物半導体層である。サファイア基板１１とアンドープＧａＮ層１２Ａとの間には、アンドープＧａＮ層１２Ａの成長温度よりも低温で成長された、膜厚２０ｎｍのＡｌＧａＮ低温バッファ層（図示せず）が介在される。
１３は発光層であり、例えば、ＧａＮ障壁層とＩｎＧａＮ井戸層を各１０層交互に積層してなる多重量子井戸（ＭＱＷ）層からなる。発光波長は井戸層を構成するＩｎＧａＮのＩｎ組成を調節することによって行われる。
１４は、ＭｇドープＡｌＧａＮからなる膜厚５０ｎｍの第一ｐ型クラッド層１４Ａと、その上に形成されたＭｇドープＧａＮ（Ｍｇ濃度約１×１０２０ｃｍ−３）からなる膜厚１５０ｎｍの第二ｐ型クラッド層１４Ｂとからなるｐ型窒化物半導体層である。
１５は、ＳｉドープＧａＮ（電子濃度約１×１０１９ｃｍ−３）からなる膜厚５ｎｍのｎ型コンタクト層である。
【００２２】
ｎ型コンタクト層１５の表面側からのエッチングにより、ｎ型クラッド層１２Ｂを露出させることによって形成されたｎ側電極形成面ｓの表面には、Ｔｉ／Ａｕからなるｎ側電極Ｐ１１が設けられる。
また、ｎ型コンタクト層１５の上側表面には、該表面を覆うように、ＩＴＯからなるｐ側電極Ｐ１２が設けられる。ｐ側電極Ｐ１２の表面には、発光層１３で発生される光を散乱または回折する凹凸が形成される。なお、平面図（ｂ）においては、この凹凸の図示を省略している。
ｐ側電極Ｐ１２の表面の一部には、Ｔｉ／Ａｕからなるワイヤボンディング用のパッド電極Ｐ１３が形成される。
この素子の主な光取り出し面は、ＩＴＯからなるｐ側電極Ｐ１２の表面である。
【００２３】
ｐ側電極Ｐ１２の表面に設けられる凹凸の形状は、発光層１３で発生される光を散乱または回折し得るものであればよく、例えば、図２（ａ）に示すように平行なストライプ状の溝と尾根が交互に並んだ形状、図２（ｂ）に示すように平坦な面上にドット状の窪みが分散形成された形状、図２（ｃ）に示すように平坦な面上にドット状の突起が分散形成された形状、これらの形状が組み合わされた形状などが挙げられる。
ここで、図２（ａ）の形状においては、溝の部分が凹部、尾根の部分が凸部であり、図２（ｂ）の形状においては、窪みの部分が凹部、平坦面の部分が凸部であり、図２（ｃ）の形状においては、平坦面の部分が凹部、突起の部分が凸部である。
上記例示した形状において、ストライプ状の溝や尾根の断面形状や、ドット状の窪みや突起の平面形状等は、図示されたものに限定されず、また、凹凸の高低差や凹部と凸部の間隔等が一定であったり、周期性を持つことも必須ではない。
ｐ側電極Ｐ１２の表面に形成される凹凸は、凹部および／または凸部が不規則形状を有してもよいし、その分布がランダムであってもよい。
【００２４】
次に、図２（ａ）に示す凹凸形状の場合を例に、ｐ側電極Ｐ１２の表面に形成する凹凸の好ましいサイズを説明する。
図３は、図２（ａ）に示す凹凸形状の、ストライプ状の溝および尾根に直交する方向の断面図で、Ａは凹部、Ｂは凸部、Ｈは凹部と凸部の高低差、Ｌは隣合う凹部の中心部間の間隔である。
発光層１３で発生される光が、この凹凸によって効果的に散乱または回折されるようにするには、凹部Ａと凸部Ｂの高低差Ｈを、発光層１３で発生される光のＩＴＯ中での波長の４分の１以上とし、かつ、このような凹部Ａと凸部Ｂが、隣合う凹部Ａの中心部間の間隔Ｌが、発光層１３で発生される光の波長の４分の１以上、５０μｍ以下となるように、交互に並んだ形状とすることが好ましい。
発光層１３で発生される光のＩＴＯ中での波長の４分の１とは、例えば、発光波長が４００ｎｍの発光素子であれば、発光層１３で発生される光の大気中での波長が４００ｎｍということであるから、ＩＴＯ中での波長は、これをＩＴＯの屈折率である約２で除した約２００ｎｍとなり、その４分の１は約５０ｎｍとなる。
【００２５】
凹凸の高低差Ｈや隣合う凹部間の間隔Ｌを、発光層１３で発生される光のＩＴＯ中での波長の４分の１よりも大きくすることが好ましい理由は、ＨやＬがこの長さよりも小さくなると、凹凸と光波との相互作用が弱くなり、散乱や回折が生じ難くなるからである。凹凸と光波の相互作用がより大きくなるようにするには、ＨやＬを、発光層１３で発生される光のＩＴＯ中での波長の２分の１以上とすることがより好ましく、当該波長と同程度以上とすることが更に好ましい。
隣合う凹部間の間隔Ｌを５０μｍ以下とすることが好ましい理由は、Ｌがこれより大きくなると、３００μｍ〜４００μｍ角の通常サイズの発光素子チップでは、ｐ側電極Ｐ１２の表面に形成される凹部と凸部の数が少なくなり、光の散乱や回折の効果が十分に得られなくなるからである。従って、この間隔は、より好ましくは３０μｍ以下であり、特に好ましくは１５μｍ以下である。
【００２６】
ｐ側電極Ｐ１２の内部における横方向（ｐ側電極Ｐ１２の厚さ方向と直交する方向）の電流拡散性を確保するために、ｐ側電極Ｐ１２は、凹部における厚さが５０ｎｍ以上、より好ましくは１００ｎｍ以上となるように形成することが好ましい。
ただし、ｐ側電極Ｐ１２の表面に形成する凹凸の凸部を、発光素子の平面図である図４〜図６に例示するように、網目状（図４）、梯子状（図５）、櫛状（図６）等、ｎ型コンタクト層の表面に連続的に広がったパターンにする場合には、電流がこの凸部を主な経路として電極全体に拡散されるため、凹部を上記厚さより薄く形成してもよい。図４〜図６において、斜線で示した領域が凸部である。この態様においては、電流の主な経路となる凸部の厚さが電流拡散性にとって重要であり、好ましい凸部の厚さは８０ｎｍ以上、より好ましくは１００ｎｍ以上である。凹部の厚さに限定はなく、例えば、図７に断面の拡大図を示すように、凹部の厚さがゼロ、すなわち、ｐ側電極Ｐ１２の凹部にｎ型コンタクト層１５の表面が露出されるようにしてもよい。
【００２７】
ｐ側電極Ｐ１２の凸部を、上記のように、ｎ型コンタクト層の表面に連続的に広がったパターンに形成した場合、電流が該凸部を主な経路として拡散されるために、発光素子内を上下方向（窒化物半導体の積層方向）に流れる電流も、該凸部の下方の領域に集中することになり、発光層１３を流れる電流の密度も、該領域にて高くなる。
ここで、発光層１３に含まれるＩｎＧａＮのＩｎ組成比が大きい、発光波長が緑色〜青色の波長である窒化物半導体発光素子では、発光層１３の電流密度を増加させたとき、比較的低い電流密度において電気−光変換効率の低下が起こり、出力が飽和する傾向があるが、Ｉｎ組成比の小さいＩｎＧａＮを用いた、発光波長が紫色（４２０ｎｍ前後）〜近紫外領域の発光素子では、電流密度の増加に伴う発光層の電気−光変換効率の低下が起こり難い。そのため、発光波長が紫色〜近紫外の窒化物半導体発光素子に、上記連続的に広がったパターンに形成された凸部を有するｐ側電極Ｐ１２を適用すると、凸部の下方への電流集中が発光層１３の電気−光変換効率に与える影響は小さく、それよりも、凹凸による
散乱や回折の効果と、それに加えて、ｐ側電極Ｐ１２の凹凸の凹部でＩＴＯの膜厚が相対的に薄いために光透過性が高くなることによる、光取り出し効率の向上の効果の方が優勢となり、発光効率が向上する。
【００２８】
第１の実施形態に係る窒化物半導体発光素子においては、ｎ型コンタクト層１５とｐ側電極Ｐ１２との界面に、金属材料からなる電流拡散層を部分的に形成し、横方向の電流拡散の働きの一部をこの電流拡散層に負担させることによって、ｐ側電極Ｐ１２の膜厚を薄くすることができる。ＩＴＯは可視〜近紫外の透過率が高い材料ではあるが、間接遷移により波長４５０ｎｍ以下の光を吸収するので、ｐ側電極Ｐ１２の膜厚を薄くすることにより、光取り出し効率を向上させることができる。ＩＴＯ以外の透明導電膜材料を用いた場合についても、同様のことがいえる。
この電流拡散層は、ＩＴＯとの接触抵抗がｎ型窒化物半導体との接触抵抗よりも相対的に小さい金属材料（例えば、ＩＴＯとは良好なオーミック性の接触を形成するが、ｎ型窒化物半導体とは良好なオーミック性の接触を形成しない金属材料）で形成する。このように材料を選択すると、電流拡散層から窒化物半導体層に直接電流が供給されることがなくなり、電流拡散層を通して運ばれた電流も、ＩＴＯを介して窒化物半導体層に供給されることになる。
ＩＴＯは殆どの金属材料とオーミック性の接触を形成するので、この材料選択は、ｐ側電極形成用のコンタクト層の導電型に応じて行えばよく、ｎ型コンタクト層１５の上に形成する電流拡散層には、Ａｇ、Ｒｈ、Ｐｔ等を用いることが好ましく、ｐ側電極用のコンタクト層をｐ型窒化物半導体で形成する場合には、Ａｌ等を用いることが好ましい。
電流拡散層から窒化物半導体層に直接電流が供給されないことにより、電流拡散層の下方の領域では発光層１３に電流が殆ど供給されず、該領域での発光が抑制されるが、この領域で発生する光は、電流拡散層が影になるために素子外部に取り出され難く、その多くが損失となるので、この発光の抑制は好ましい効果を与える。同じ理由から、この電流拡散層は、ｐ側電極の表面に形成されるワイヤボンディング用のパッド電極Ｐ１３の射影部にも形成することが好ましい。
発光層で発生される光の一部が、この電流拡散層に達する場合があるので、電流拡散層をＡｌ、Ａｇ、Ｒｈ、Ｐｔのような反射率の高い金属からなる反射性の層とすると、電流拡散層の吸収による損失が低くなり、好ましい。ただし、ｐ側電極の電流拡散の補助という、この電流拡散層の主目的にとって、反射性の層とすることは必須ではない。
この電流拡散層の平面形状は、ｐ側電極Ｐ１２の電流拡散を助ける形状であればよく、特に限定されないが、線状の部分を含む形状が好ましい。例えば、幅数μｍの細いストライプ状の電流拡散層が、パッド電極Ｐ１３の射影部、またはその近傍を起点として、ｎ型コンタクト層１５の表面に放射状に広がるパターンが挙げられる。ここで、電流拡散層は電流拡散の補助が目的であるので、ｎ型コンタクト層１５の表面全体に連続的に形成する必要はない。その他、線状部分が網目状、櫛状、樹枝状等をなすように、ｎ型コンタクト層１５上に広がったパターンなども例示される。
このような電流拡散層は、本発明の第１の実施形態に係る窒化物半導体発光素子において有用であるだけでなく、ＩＴＯ等の透明導電膜材料からなるｐ側電極が、表面平坦な層状に形成された、従来技術の窒化物半導体発光素子に適用した場合にも、好ましい効果を奏する。特に、従来の窒化物半導体発光素子では、ｐ側電極が平坦であるために多重反射が生じ易いので、電流拡散層を利用してｐ側電極を薄く形成し、その光透過率を高くすることは、光取り出し効率の向上に顕著な効果がある。
【００２９】
次に、図１の窒化物半導体発光素子の作製方法を説明する。
まず、サファイア基板１１上に、有機金属化合物気相成長（ＭＯＶＰＥ）法、ハイドライド気相成長（ＨＶＰＥ）法、分子ビームエピタキシー（ＭＢＥ）法等の気相成長法を用いて、ＡｌＧａＮ低温バッファ層、アンドープＧａＮ層１２Ａ、ｎ型クラッド層１２Ｂ、発光層１３、第一ｐ型クラッド層１４Ａ、第二ｐ型クラッド層１４Ｂ、ｎ型コンタクト層
１５を、順次、所定の厚さに成長する。
ここで、基板はサファイア基板に限定されるものではなく、ＳｉＣ基板、ＧａＮ基板、ＡｌＮ基板、Ｓｉ基板、スピネル基板、ＺｎＯ基板、ＧａＡｓ基板、ＮＧＯ基板等、窒化物半導体結晶のエピタキシャル成長に使用可能な基板を適宜用いることができる。
なお、図１に示す発光素子では、第二ｐ型クラッド層１４Ｂとｎ型コンタクト層１５とは、界面で全面的に接触しているが、上記特許文献２を参考にして、この二層間に低抵抗領域を介在させて、実質的にショートさせることによって、界面での整流性の発生を抑制することもできる。ｎ型コンタクト層１５の膜厚をより厚くする場合には、このような低抵抗領域を設けることが効果的であると考えられる。
【００３０】
次に、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）等のドライエッチング法を用いて、ｎ型コンタクト層１５の表面から、ｎ型クラッド層１２Ｂに達する深さのエッチングを行い、発光層１３、第一ｐ型クラッド層１４Ａ、第二ｐ型クラッド層１４Ｂ、ｎ型コンタクト層１５の一部を除去し、ｎ側電極形成面ｓをｎ型クラッド層１２Ｂに形成する。
なお、基板としてＳｉＣ基板、ＧａＮ基板、Ｓｉ基板、ＺｎＯ基板、ＧａＡｓ基板等の導電性基板（半導体基板）を用いる場合は、ｎ側電極を基板の裏面（窒化物半導体層が形成されていない側の面）に形成することができ、その場合には、ｎ側電極形成面ｓを形成する工程は省略できる。
【００３１】
次に、ｎ型コンタクト層１５の表面に、ＩＴＯからなるｐ側電極Ｐ１２を、ＣＶＤ法（熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、ＭＯＣＶＤ、光ＣＶＤ）、スプレー法、スパッタリング法、真空蒸着法、クラスタービーム蒸着法、パルスレーザ蒸着法、イオンプレーティング法、ゾルゲル法、レーザアブレーション法、その他、公知のＩＴＯ薄膜の製膜法を適宜用いて形成する。
ここで、ｐ側電極Ｐ１２には、ＩＴＯに代えて、ＺｎＯ、ＣＴＯ、ＴｉＷＮ等の透明導電膜材料を用いることもできる。
ＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明導電膜の製膜は、真空蒸着法やスパッタリング法のような物理的手法であれば１５０℃〜３００℃、ＣＶＤやスプレー法のような化学的手法でも３５０℃〜５００℃という、窒化物半導体の結晶成長と比べると、かなり低い基板温度で行うことができる。従って、比較的厚い透明導電膜が、発光層１３に大きな熱ダメージを与えることなくｎ型コンタクト層１５の表面に製膜できるため、ｐ側電極Ｐ１２の表面に高低差の大きな凹凸を形成するうえで好都合である。
【００３２】
次に、エッチング、研磨等の方法を用いて、ｐ側電極Ｐ１２の表面に凹凸を加工形成する。
エッチング法としては、ｐ側電極Ｐ１２の表面に粒子を堆積させ、その粒子をランダムエッチングマスクとして利用することにより、不規則なエッチングパターンを形成するランダムエッチングや、ｐ側電極Ｐ１２の表面に形成したフォトレジスト膜にフォトリソグラフィ技法を用いて開口部を形成し、このフォトレジスト膜をエッチングマスクとして、ドライエッチングあるいはウェットエッチングにより該開口部に凹部を形成する方法が挙げられる。
フォトレジスト膜を用いる場合、ＩＴＯとのエッチング速度の差が比較的小さいフォトレジストを用いたり、開口部をパターニングした後のフォトレジスト膜に加熱処理を行うなどして、フォトレジスト膜の断面形状に丸みを持たせると、エッチングにより形成されるＩＴＯ膜表面の凹凸を、丸みを帯びた形状とすることができる。このようにすると、ｐ側電極Ｐ１２の表面において、発光層１３の側から入射する光の全反射が生じ難くなり、光取り出し効率を向上させるうえで好ましい。
【００３３】
透明導電膜材料は、アモルファス状に堆積させた後、レーザ光を照射して結晶化させることができるが、その際に、レーザ光を特定の領域に選択的に照射し、該領域のみを結晶
化させると、照射しなかった部分を選択的にエッチングすることができる。このような方法により、透明導電膜の表面に凹凸形状をパターニングすることもできる。この方法の詳細については、特開２０００−３１４６３号公報を参照することができる。
【００３４】
前述のように、ｐ側電極Ｐ１２の凸部を、ｎ型コンタクト層１５の表面に連続的に広がったパターンに形成する場合には、凹部にｎ型コンタクト層１５を露出させることもできる。この態様では、平坦膜を形成した後にエッチング加工で凹部を形成する代りに、最初から凸部を選択的に形成することによって、凹凸を作製することもできる。この方法では、ｎ型コンタクト層１５の表面に、開口部を凸部のパターンに形成したフォトレジスト膜を形成し、その上にＩＴＯ膜を製膜した後、リフトオフによってフォトレジスト膜上に形成されたＩＴＯ膜を取り除き、フォトレジスト膜の開口部上に形成されたＩＴＯ膜のみをｎ型コンタクト層１５上に残す。
【００３５】
次に、Ｔｉ／Ａｕからなるｎ側電極Ｐ１２およびパッド電極Ｐ１３を、真空蒸着、スパッタリング等により形成する。これらは同時に形成することができる。なお、ｎ側電極Ｐ１２とパッド電極Ｐ１３とは、必ずしも同じ材料とする必要はない。ｎ側電極Ｐ１２とパッド電極Ｐ１３には、純Ａｌ、Ｔｉ／Ａｌ等、ｎ型窒化物半導体層やＩＴＯやとオーミック接触する公知の電極を適宜用いることができる。ｎ側電極Ｐ１１をＩＴＯで形成することもでき、その場合にはｎ側電極Ｐ１１に対して、更にボンディング用のパッド電極を形成することが望ましい。この場合、パッド電極Ｐ１３と同じ材料を用いることができる。
【００３６】
上記説明した製造方法において、工程の順序を変更することは妨げられず、例えば、ｎ型コンタクト層１５の形成後、ＲＩＥによってｎ型クラッド層１２Ｂにｎ側電極形成面ｓを形成する前に、ｎ型コンタクト層１５の表面にｐ側電極Ｐ１２を形成し、その表面に凹凸を加工した後に、ＲＩＥによるｎ側電極形成面ｓの形成を行うこともできる。
【００３７】
（第２の実施形態）
図８は、本発明の第２の実施形態を説明するための素子構造断面図である。
図８において、サファイア基板２１と、その上に形成された窒化物半導体層２２〜２５からなる積層体、ｎ側電極Ｐ２１、ｐ側電極Ｐ２２の構成は、図１に示した、第１の実施形態に係る窒化物半導体発光素子と同じである。
第２の実施形態に係る窒化物半導体発光素子は、ｎ型コンタクト層２５の表面を覆うように、反射層Ｒが形成されることを特徴とし、この反射層Ｒは、発光層２３で発生された光をサファイア基板２１の方向に反射する。従って、図８の窒化物半導体発光素子における主な光取り出し面は、サファイア基板２１の裏面となる。
【００３８】
反射層Ｒにおいて、発光層２３で発生される光に対する反射面は、ｐ側電極Ｐ２２の表面と接する面であるが、この反射面には、ｐ側電極Ｐ２２の表面に形成される凹凸に沿った凹凸が形成される。そのため、この反射面に入射された光は乱反射を受ける。乱反射された光は、その進行方向が不規則的に変わるために、素子内部での多重反射が抑制され、その結果、素子の自己吸収による損失が減少して、発光効率が向上することになる。
【００３９】
反射層Ｒの材料には、任意の金属材料を用いることができる。金属材料で反射層Ｒを形成する場合、厚さを２０ｎｍ以上とすれば反射性とすることができる。十分な反射性を得るためには、４０ｎｍ以上とすることがより好ましい。
反射層Ｒには、金属材料の中でも、可視〜近紫外領域における反射率の高さから、Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｒｈ（ロジウム）、Ｐｔ（白金）を用いることが、特に好ましい。
金属材料で反射層Ｒを形成する方法については、従来公知の技術を参照することができ、蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ等の気相法や、メッキ法が例示される。
【００４０】
Ａｇは可視〜近紫外波長において反射率が最も高い金属材料であることから、反射層Ｒの材料として好適である。また、Ａｇの光反射性を更に向上させたり、耐候性を改善するために、各種の元素が添加されたＡｇ合金が開発されているが、そのようなＡｇ合金も好適に用いることができる。
Ａｌは可視〜近紫外波長においてＡｇに次いで高い反射率を有し、表面に形成される酸化膜のために化学的にも安定であることから、反射層Ｒの材料として好適である。ただし、Ａｌの熱膨張係数は約２３×１０−６Ｋ−１であり、ＩＴＯの熱膨張係数８．５×１０−６Ｋ−１〜１０．２×１０−６Ｋ−１との差が大きいために、ＩＴＯの表面にＡｌ単体からなる膜を形成すると、素子表面に保護膜を形成する工程や実装工程において、加熱・冷却のサイクルに曝されたときに、界面で発生するストレスによってＡｌ膜の変形が生じる場合がある。この問題を抑制するためには、Ａｌの耐熱性を高める効果を有するＴｉ（チタン）、Ｓｉ（ケイ素）、Ｎｄ（ネオジム）、Ｃｕ（銅）等の元素が添加されたＡｌ合金を使用することが好ましい。
【００４１】
反射層Ｒは、ｐ側電極Ｐ２２の表面と接する部分、すなわち、反射面を構成する部分を、反射率の高いＡｇ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｔから選ばれる金属材料からなるミラー層とし、その上に、Ａｕ（金）からなる表面層を積層した多層膜構造としてもよい。Ａｕからなる表面層は、ミラー層を化学的に保護する働きをする他、発光素子をフリップチップ実装する場合等に、接合材料として用いられるＡｕやＡｕ−Ｓｎ共晶等との濡れ性が良好であるために、接合の強度を向上させる効果を有する。
【００４２】
また、Ａｇ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｔからなるミラー層の上に、直接、Ａｕからなる表面層を積層すると、素子表面に保護膜を形成する工程や実装工程において、３００℃程度以上の高温に加熱された場合に、Ａｕ原子がミラー層に熱拡散して合金化が起こり、ミラー層の反射率が低下することがある。
これを防ぐために、ミラー層と表面層との間には、バリア層を介在させることが好ましい。
バリア層には、ミラー層の材料および、表面層の材料であるＡｕよりも、高融点の金属材料をが用いる。従って、ミラー層の材料に応じて、Ｔｉ（チタン）、Ｗ（タングステン）、Ｐｄ（パラジウム）、Ｎｂ（ニオブ）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｐｔ（白金）、Ｒｈ、Ｉｒ（イリジウム）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｈｆ（ハフニウム）、Ｎｉ（ニッケル）等の単体または合金を用いることができる。バリア層は、これらの金属からなる単層膜または多層膜とすることができ、また、これらの金属からなる膜とＡｕ膜とを交互に積層した多層膜としてもよい。例えば、ミラー層をＡｌで形成する場合に、Ｐｔ膜とＡｕ膜とを交互に積層した多層膜は、バリア層の好ましい態様のひとつである。
Ａｕからなる表面層の好ましい厚さは５０ｎｍ〜２０００ｎｍ、バリア層の好ましい厚さは１０ｎｍ〜３００ｎｍである。
【００４３】
ミラー層、バリア層、Ａｕからなる表面層を積層した反射層Ｒにおいて、ミラー層をＡｌで形成した場合、Ａｌからなるミラー層の厚さが１００ｎｍよりも大きいと、加熱と冷却のサイクルに曝されたときに、ＡｌとＩＴＯとの熱膨張係数差に起因して界面で発生するストレスによって、反射層Ｒの表面に著しい変形が発生するのに対し、このミラー層の厚さを７０ｎｍ以下とすると、この変形が効果的に抑制される。従って、この構造の反射層Ｒにおいて、ミラー層にＡｌを用いる場合には、その厚さを７０ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００４４】
この第２の実施形態において、反射層Ｒの反射面に形成される凹凸の好ましい形状やサイズは、前記第１の実施形態においてｐ側電極の表面に形成する凹凸の好ましい形状やサイズと同じである。従って、この第２の実施形態において、ｐ側電極Ｐ２２の表面に形成
される凹凸の好ましい形状やサイズは、第１の実施形態の場合と同じである。
【００４５】
この第２の実施形態において、反射層Ｒのｐ側電極Ｐ２２と接する部分を、ＩＴＯとオーミック接触する材料で形成すると、反射層Ｒに、ｐ側電極Ｐ２２に対するボンディング用の電極を兼用させることができる。
反射層Ｒのｐ側電極Ｐ２２と接する部分が、ＩＴＯとオーミック接触しない金属材料からなる場合には、反射層Ｒとｐ側電極Ｐ２２との界面に、部分的に、ＩＴＯとオーミック接触する金属からなる層を介在させることによって、やはり、反射層Ｒをｐ側電極Ｐ２２へのボンディング用の電極として用いることができる。このような金属層としては、例えば、Ｔｉ層が挙げられる。また、他の方法として、反射層Ｒとは別に、ｐ側電極Ｐ２２へのボンディング用の電極として、Ｔｉ／Ａｌ電極やＴｉ／Ａｕ電極を、ｐ側電極Ｐ２２に直接形成することもできる。
【００４６】
ところで、反射層Ｒのｐ側電極Ｐ２２と接する部分を、ＩＴＯとオーミック接触する金属材料で形成する場合のように、反射層Ｒとｐ側電極Ｐ２２との間で、広い領域にわたってオーミック接触が形成される態様では、反射層Ｒとｐ側電極Ｐ２２とが一体となってひとつの電極を構成しているものとみなすことができるが、このような態様では、金属材料からなる導電性の高い反射層Ｒが電流拡散機能を有するため、ＩＴＯからなる部分の膜厚を薄く形成することができる。また、ｐ側電極Ｐ２２の表面に形成する凹凸を、凹部における厚さがゼロ、かつ、凸部を、互いに孤立したドット状凸部やストライプ状凸部の集まりからなるパターンに形成することもできるが、この場合は、電流拡散機能は実質的に反射層Ｒが担い、ＩＴＯからなる部分Ｐ２２は、ｎ型コンタクト層２５とのオーミック性を確保する機能を担うことになる。
【実施例】
【００４７】
［実施例１］
実施例１として図１に示す構造の発光素子を作製した。
直径２インチ、厚さ約３００μｍのＣ面サファイア基板１１をＭＯＶＰＥ装置の成長炉内に設けられたサセプタに装着し、水素雰囲気下で基板温度を１１００℃まで上昇させて、表面のサーマルクリーニングを行った。
次に、基板温度を３３０℃まで下げ、３族原料としてトリメチルガリウム（ＴＭＧ）およびトリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）、５族原料としてアンモニアを用いて、ＡｌＧａＮ低温バッファ層を２０ｎｍ成長させた。なお、この工程以降、有機金属原料のキャリアガスには水素ガスを用いた。
次に、基板温度を１０００℃に上げ、原料としてＴＭＧ、アンモニアを供給し、アンドープＧａＮ層１２Ａを２μｍ成長させた後、更にシランを供給し、ＳｉドープＧａＮからなるｎ型クラッド層１２Ｂを３μｍ成長させた。
次に、基板温度を８００℃に低下させて、ＧａＮ障壁層と、ＩｎＧａＮ井戸層（発光波長４０５ｎｍ）を各１０層交互に積層してなるＭＱＷ構造の発光層１３を形成した。井戸層成長時のＩｎ原料にはトリメチルインジウムを用いた。
次に、基板温度を１０００℃に上げ、Ｍｇ原料のビス（エチルシクロペンタジエニル）マグネシウム（ＥｔＣｐ２Ｍｇ）と、ＴＭＧ、ＴＭＡ、アンモニアを供給し、ＭｇドープＡｌＧａＮからなる第一ｐ型クラッド層１４Ａを５０ｎｍ成長させた。
次に、ＴＭＡの供給を停止して、ＭｇドープＧａＮからなる第二ｐ型クラッド層１４Ｂを１５０ｎｍ成長させた。
次に、ＥｔＣｐ２Ｍｇの供給を停止し、シランを供給して、ＳｉドープＧａＮからなるｎ型コンタクト層１５を５ｎｍ成長させた。
このようにして発光波長４０５ｎｍの近紫外ＬＥＤ構造が形成されたウエハを得た。
【００４８】
次に、上記ウエハに対して、ｎ型コンタクト層１５の側から、ｎ型クラッド層１２Ｂに
達する深さのドライエッチングを行い、ｎ型コンタクト層１５、第二ｐ型クラッド層１４Ｂ、第一ｐ型クラッド層１４Ａ、発光層１３の一部を除去することにより、ｎ側電極Ｐ１１を形成するためのｎ側電極形成面ｓを形成した。
【００４９】
次に、素子分離後のＬＥＤチップにおいてｎ型コンタクト層１５の表面となる領域のほぼ全面に、スパッタリング法によって厚さ２５０ｎｍのＩＴＯ膜からなるｐ側電極Ｐ１２を形成した。
次に、ウエハの表面にフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜の、ｐ側電極Ｐ１２の表面上を覆う部分に、フォトリソグラフィ技法を用いて複数の開口部を設けた。開口部のパターンは、一辺６μｍの正方形状の開口部を、縦横とも間隔２μｍで正方行列状に規則的に配列させたパターンとした。フォトレジスト膜の開口部に露出したＩＴＯにドライエッチングを行い、その後、フォトレジスト膜を除去することにより、ｐ側電極Ｐ１２の表面に高低差２００ｎｍの凹凸を形成した。
次に、ｎ側電極形成面ｓおよび、ｐ側電極Ｐ１２の表面の一部に、電子ビーム蒸着法により、膜厚３０ｎｍのＴｉ層、膜厚３００ｎｍのＡｕ層をこの順に積層した、ｎ側電極Ｐ１１およびパッド電極Ｐ１３をそれぞれ形成した。
最後に、サファイア基板１１の裏面を厚さ９０μｍとなるまで研磨し、通常のスクライビングおよびブレーキングによって素子分離を行い、３５０ｍｍ角のＬＥＤチップを得た。
【００５０】
上記手順で作製したＬＥＤチップをステム台にダイボンドした後、ワイヤボンディングにより通電可能な状態とし、素子特性を評価したところ、ｐ側電極Ｐ１２を厚さ１００ｎｍの平坦なＩＴＯ膜としたことを除いて同様に作製した従来構造のＬＥＤと比べ、順方向電圧（２０ｍＡ通電時）はほぼ同じであったが、出力が約１．３倍に増加した。
【００５１】
［実施例２］
実施例１において、ＩＴＯからなるｐ側電極の表面にパッド電極を形成する代わりに、ｐ側電極の上側表面のほぼ全面に、厚さ５０ｎｍのＡｌ膜、厚さ５０ｎｍのＰｄ膜、厚さ２００ｎｍのＡｕ膜を順に積層した反射層を形成して、ＬＥＤチップを作製した。
得られたＬＥＤチップを、リード電極パターンが形成されたセラミックパッケージ上に、Ａｌ電極側が下となるように、Ａｕ−Ｓｎ半田をボンディング材料に用いてフリップチップボンディングした。
素子特性を評価したところ、ｐ側電極を厚さ１００ｎｍの平坦なＩＴＯ膜としたことを除いて同様に作製した従来構造の素子と比べ、順方向電圧（２０ｍＡ通電時）はほぼ同じであったが、出力が１．２倍に増加した。
【００５２】
本発明は、上記説明した実施形態や実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
例えば、窒化物半導体からなる積層体の構造は、ｎ型窒化物半導体層とｐ型窒化物半導体層とで発光層を挟んだｐｎ接合ダイオード構造を含むものであればよく、従来公知の技術を参照して、上記説明した構造に追加や省略を行ったり、各窒化物半導体層の厚さ、組成、バンドギャップ、不純物の種類、キャリア濃度等に、種々の変形を加えることができる。
【００５３】
透明導電膜材料からなるｐ側電極を形成する際の下地層とする窒化物半導体層であるコンタクト層は、ｎ型窒化物半導体からなるｎ型コンタクト層に限定されるものではなく、ｐ型窒化物半導体層からなるｐ型コンタクト層であってもよい。また、ｐ側電極に用いる透明導電膜材料の導電型は、コンタクト層の特性に合わせたものとすればよく、ｎ型またはｐ型のいずれかに限定されない。
【００５４】
上記の各実施形態において、窒化物半導体の積層体を気相成長する際に用いられた基板が、最終的な製品である窒化物半導体発光素子に含まれることは必須ではなく、製造の途中の段階で、該基板を該積層体から分離し、あるいは除去し、別途準備した支持基板を該積層体に接合することができる。
窒化物半導体層の成長に用いられた基板を、窒化物半導体層から分離したり、除去したりする方法は公知であり、例えば、特開２００４−８７７７５号公報、特開平１１−３５３９７号公報、特開２０００−２７７８０４号公報、特開２００３−３０９２８９号公報等を参照することができる。
また、Ｃｕ−Ｗ基板、Ｃｕ−Ｍｏ基板、ＡｌＳｉＣ基板、Ｓｉ基板、ＳｉＣ基板、ＧａＡｓ基板、ＧａＰ基板、ＩｎＰ基板等の導電性基板を、別の基板上に成長された窒化物半導体層に対して、Ｉｎ、Ａｕ、ハンダ、銀ペースト等により接合し、新たな支持基板とし得ることが、特開２０００−２７７８０４号公報等に開示されている。
また、ｐ側電極を陰極として電解メッキを行ったり、蒸着、無電解メッキ、ＣＶＤ、スパッタ等の方法を用いてｐ側電極の表面上に厚さ１０μｍ以上の金属膜を形成し、この金属膜を新たな支持基板とすることが、特開２００４−４７７０４号公報、特開２００４−８８０８３号公報等に開示されている。
ｐｎ接合ダイオード構造を含む窒化物半導体の積層体に対して、その成長に用いられた基板とは異なる、別途準備された支持基板を接合させる場合、該積層体のいずれの主面に接合させることも可能であり、その方法は公知である。
【符号の説明】
【００５５】
１１    サファイア基板
１２    ｎ型窒化物半導体層
１３    発光層
１４    ｐ型窒化物半導体層
１５    ｎ型コンタクト層
Ｐ１１  ｎ側電極
Ｐ１２  ｐ側電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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