(57)【要約】 【課題】  基板から剥離された保護フィルムにおける粘着性を有する粘着面が露出する面積を低減して、剥離後の保護フィルムの処理を容易にし、剥離後の保護フィルムが投入される回収容器の利用効率を向上することのできるフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】  フィルム剥離装置は、基板保持手段と、第１および第２剥離手段と、基板移載手段と、裏側表面に保護フィルムが貼着されている一方の基板を基板保持手段に保持させ、他方の基板を、他方の基板の表側表面に貼着されている保護フィルムと前記一方の基板の裏側表面に貼着されている保護フィルムとが対向するように基板移載手段によって予め定める位置に移載させ、前記一方の基板の裏側の保護フィルムと前記他方の基板の表側の保護フィルムとを同時に第１および第２剥離手段に剥離させるように制御する制御手段とを有する。【選択図】      図２
2010037076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向一方側表面が粘着性を有する粘着面である保護フィルムが、前記粘着面を介して厚み方向の両側の表面に貼着されている基板から保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
保護フィルムの端部を基板表面から剥離して保持するフィルム保持部と、フィルム保持部を少なくとも基板表面に沿う方向に移動させる移動部とをそれぞれ有する第１および第２剥離手段と、
基板を保持する基板保持部と、基板保持部を少なくとも基板表面に垂直な方向に移動させる移動部とを有する基板移載手段と、
裏側表面に保護フィルムが貼着されている一方の基板を基板保持手段に保持させ、他方の基板を、他方の基板の表側表面に貼着されている保護フィルムと前記一方の基板の裏側表面に貼着されている保護フィルムとが対向するように基板移載手段によって予め定める位置に移載させ、前記一方の基板の裏側の保護フィルムと前記他方の基板の表側の保護フィルムとを同時に第１および第２剥離手段に剥離させるように制御する制御手段とを含むことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
前記基板保持手段、前記第１および第２剥離手段、ならびに前記基板移載手段は、それぞれ多関節ロボットを具備することを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記一方の基板から剥離された保護フィルムと前記他方の基板から剥離された保護フィルムとを、保護フィルムの粘着面同士を対向させて貼り合せる貼り合せ手段をさらに含むことを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
前記貼り合せ手段は、多関節ロボットを具備することを特徴とする請求項３に記載のフィルム剥離装置。
【請求項５】
前記第１剥離手段は、前記一方の基板の裏側の保護フィルムの両方の端部を保持し、前記第２剥離手段は、前記他方の基板の表側の保護フィルムの両方の端部を保持し、前記制御手段は、前記一方の基板の裏側の保護フィルムと前記他方の基板の表側の保護フィルムとを貼り合せるように、前記第１および第２剥離手段を動作させることを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項６】
前記第１および第２剥離手段は、フィルム保持部を予め定める軸線まわりに回転駆動させる駆動装置をそれぞれ備えることを特徴とする請求項５に記載のフィルム剥離装置。
【請求項７】
前記第１および第２剥離手段は、互いのフィルム保持部によって保護フィルムを挟持可能に構成されていることを特徴とする請求項６に記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、厚み方向両側の表面に保護フィルムが貼着されている基板から保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶パネル基板およびプラズマディスプレイパネル基板などの基板を構成要素の一部とする画像表示装置を製造する過程では、基板の表面に対して微細な傷が付くまたは塵埃が付着するなどによって基板の品位が低下してしまうおそれがある。そこで、このような品位の低下を防止するために、表面を保護するための保護フィルムが基板に貼着されている。しかし、製品としての画像表示装置には保護フィルムが不要であるため、その製造過程において、基板の表面から保護フィルムを剥離する工程が必ず存在する。
【０００３】
このように基板からフィルムを剥離する装置が、たとえば特許文献１に開示されている。特許文献１のシート剥離装置では、感熱性を有する接着テープが用いられ、半導体ウェハに貼付された保護シートの端部に前記接着テープを熱圧着し、前記接着テープを引っ張ることによって保護シートを剥離している。このようにして剥離された保護シートは、前記接着テープとともに、シート剥離装置の下方に設けられている廃棄ボックスへそのまま廃棄されている。
【０００４】
また、特許文献２に開示されているフィルム剥離装置は、保護フィルムが表面に貼着されている基板を搬送するコンベアを備え、搬送される基板の保護フィルムに対し粘着ロールを付着させて、基板の搬送に伴って保護フィルムを剥離するように構成されている。このようにして剥離された保護フィルムは、フィルム剥離ロールによって粘着ロールから剥離された後、フィルム送りコンベアに引っ掛けられて搬送され、最終的には回収コンベアに落下させた後、回収コンベアによって装置の外へ搬送されて廃棄されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【特許文献２】特開平２−１０６５６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液晶パネル基板およびプラズマディスプレイパネル基板の大型化に伴って、基板の表面に貼着される保護フィルム自体も大型化している。引用文献１および２に記載されるように、剥離後の保護フィルム１０１に何ら処理を施すことなく、保護フィルム１０１を回収のための回収容器１００に向けて上方から落下させた場合、図２６に示すように、回収容器１００内において保護フィルム１０１の粘着面が、回収容器１００の底面および内壁面ならびに既に収容されている保護フィルム１０１に対して不所望に貼着してしまう。したがって、回収容器１００内における保護フィルム１０１の充填率が低い状態で回収容器１００が満杯となってしまうため、回収容器１００の利用効率が悪く、回収容器１００から保護フィルム１０１を廃棄するサイクルが短くなってしまうという問題がある。
【０００７】
また、基板から剥離された保護フィルムは、一方の面に粘着性を有する粘着層が設けられており、さらに、基板から剥離する際に発生する剥離帯電によって静電気を帯びている。したがって、基板から剥離後の保護フィルムは取り扱いが困難であり、剥離後の保護フィルムに何ら処理を施すことなく回収容器まで搬送しようとする場合、周囲の装置に貼りついてしまうおそれがある。このように保護フィルムが装置に付着した場合、装置自体が停止してしまうおそれがあるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上述する問題に鑑みてなされたものであり、基板から剥離された保護フィルムにおける粘着性を有する粘着面が露出する面積を低減して、剥離後の保護フィルムの処理を容易にし、剥離後の保護フィルムが投入される回収容器の利用効率を向上することのできるフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、厚み方向一方側表面が粘着性を有する粘着面である保護フィルムが、前記粘着面を介して厚み方向の両側の表面に貼着されている基板から保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
保護フィルムの端部を基板表面から剥離して保持するフィルム保持部と、フィルム保持部を少なくとも基板表面に沿う方向に移動させる移動部とをそれぞれ有する第１および第２剥離手段と、
基板を保持する基板保持部と、基板保持部を少なくとも基板表面に垂直な方向に移動させる移動部とを有する基板移載手段と、
裏側表面に保護フィルムが貼着されている一方の基板を基板保持手段に保持させ、他方の基板を、他方の基板の表側表面に貼着されている保護フィルムと前記一方の基板の裏側表面に貼着されている保護フィルムとが対向するように基板移載手段によって予め定める位置に移載させ、前記一方の基板の裏側の保護フィルムと前記他方の基板の表側の保護フィルムとを同時に第１および第２剥離手段に剥離させるように制御する制御手段とを含むことを特徴とするフィルム剥離装置である。
【００１０】
また本発明は、前記基板保持手段、前記第１および第２剥離手段、ならびに前記基板移載手段は、それぞれ多関節ロボットを具備することを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記一方の基板から剥離された保護フィルムと前記他方の基板から剥離された保護フィルムとを、保護フィルムの粘着面同士を対向させて貼り合せる貼り合せ手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記貼り合せ手段は、多関節ロボットを具備することを特徴とする。
また本発明は、前記第１剥離手段は、前記一方の基板の裏側の保護フィルムの両方の端部を保持し、前記第２剥離手段は、前記他方の基板の表側の保護フィルムの両方の端部を保持し、前記制御手段は、前記一方の基板の裏側の保護フィルムと前記他方の基板の表側の保護フィルムとを貼り合せるように、前記第１および第２剥離手段を動作させることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記第１および第２剥離手段は、フィルム保持部を予め定める軸線まわりに回転駆動させる駆動装置をそれぞれ備えることを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記第１および第２剥離手段は、互いのフィルム保持部によって保護フィルムを挟持可能に構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板保持手段には、裏側表面に保護フィルムが貼着されている一方の基板が保持される。また、他方の基板は、他方の基板の表側表面に貼着されている保護フィルムが、基板保持手段によって保持されている一方の基板の裏側表面の保護フィルムと対向するように、基板移載手段によって所定の位置まで移載される。
【００１６】
第１および第２剥離手段は、それぞれフィルム保持部および移動部を有しているので、基板表面から初期剥離した保護フィルムの端部をフィルム保持部に保持させ、さらにフィルム保持部を移動部によって移動させることによって、基板表面から保護フィルムを剥離することができる。このような第１および第２剥離手段を備えることによって、一方の基板の裏側の保護フィルムと他方の基板の表側の保護フィルムとを同時に剥離することができる。
【００１７】
このように２枚の基板を、各基板の表面に貼着されている保護フィルムが対向するように配置し、対向している２枚の保護フィルムを同時に剥離することによって、容易に２枚の保護フィルムを接着させることができる。また、保護フィルムを、保護フィルムの厚み方向一方側に形成される粘着面同士で接着させることにより、露出する粘着面の面積を低減することができる。これにより、剥離後の保護フィルムが周囲の装置などに付着しにくくなることから、剥離後の処理が容易となり、また、剥離後の保護フィルムが回収される回収容器内で、保護フィルム同士および保護フィルムと回収容器の内面とが不所望に付着し合うという不具合を防止することができるので、剥離後の保護フィルムが投入される回収容器の利用効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１の構成を概略的に示す平面図である。図２は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１の構成を概略的に示す斜視図である。本実施の形態のフィルム剥離装置１は、保護フィルムが厚み方向の両表面に貼着されている液晶パネル基板（以下、「液晶パネル」と記す）２から保護フィルムを剥離する処理と、液晶パネル２をバックライトユニット３へ組付ける処理とを自動的に行う装置である。
【００１９】
図３は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１によって剥離処理が行われる保護フィルム８が厚み方向の両側の表面に貼着されている液晶パネル２の構成を概略的に示す断面図である。厚み方向一方側の表面に所定の形状の電極２２が形成された２枚のガラス基板などの光透過基板２１を、電極２２が形成された面同士を向かい合わせて、光透過基板２１間の距離が均一となるようにスペーサ２３を介在させて、シール２５によって平行に貼り合わせられる。また、２枚の光透過基板２１の間には、液晶材料２４が封入される。各光透過基板２１において、電極２２が形成された面とは反対側の面には、偏光板２６が貼り付けられる。さらに、上記の構成に、カラー表示を可能にするためのカラーフィルター２７、たとえばＲＧＢ(Red Green Blue)のフィルターなどが設けられても良い。このようにして液晶パネル２は構成されている。
【００２０】
また、各偏光板２６において光透過基板２１に臨む側の面とは反対側の面には、偏光板２６が擦過傷によって損傷し、または塵埃が付着することを防止するために保護フィルム８が貼着されている。保護フィルム８は、厚み方向一方側に粘着性を有する粘着層が設けられ、この粘着層を介して偏光板２６に貼着されている。
【００２１】
以下、保護フィルム８において、粘着層が設けられている側の表面を粘着面と称し、粘着面とは反対側の表面を非粘着面と称することがある。また、図３に示すように、液晶パネル２の表側表面に貼着されている保護フィルムを８ａと表し、裏側表面に貼着されている保護フィルムを８ｂと表し、特に区別しない場合には保護フィルム８と表す。なお、本実施の形態では、粘着面が矩形状の保護フィルム８が用いられている。また、本実施の形態では、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）によって形成された、厚さ５０μｍ程度の保護フィルム８が用いられている。
【００２２】
次に、バックライトユニット３について説明する。バックライトユニット３は、その厚み方向の一方側において、組み付けられる液晶パネル２に対応する大きさを有する嵌合部が形成されている。この嵌合部と液晶パネル２の裏側表面とを対向させた状態で、液晶パネル２をバックライトユニット３の厚み方向に沿って移動させることによって、液晶パネル２はバックライトユニット３の嵌合部の底面に載置され、液晶パネル２をバックライトユニット３の嵌合部に組み付けることができる。このとき、嵌合部と対向していた液晶パネル２の裏側表面からは、不要な保護フィルム８ｂが前記組み付け前に剥離されている。液晶パネル２から両表面に貼着されている保護フィルム８の剥離、および液晶パネル２のバックライトユニット３への組み付けによって、液晶表示モジュール９が組み立てられる。
【００２３】
以下、図１および図２を参照して、フィルム剥離装置１について説明する。本実施の形態のフィルム剥離装置１は、パネル供給コンベア４と、バックライト供給コンベア５と、パネル供給ロボットＲ１と、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２と、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２と、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２と、貼り合せロボットＲ５と、液晶パネル２から剥離されて不要となった保護フィルム８を回収するためのフィルム回収箱７と、図示しない制御装置１０とを含んで構成される。この制御装置１０によって、フィルム剥離装置１における各構成要素の動作が制御される。
【００２４】
パネル供給コンベア４は、パレット式の搬送機構であり、パネル供給コンベア４の上部が水平な矢符Ａ方向に駆動するように構成され、水平な床面上に設置されている。パネル供給コンベア４の駆動および停止は、制御装置１０によって制御される。液晶パネル２は、厚み方向両側の表面が水平となるように、かつ表側表面が上方を臨むように、パネル供給コンベア４の上部に取り付けられたパレット４ａの上に載置され、パネル供給コンベア４が駆動することによって矢符Ａ方向に搬送され、予め定める位置Ｐ０に配置される。パネル供給コンベア４によって搬送されている液晶パネル２には、厚み方向両側の表面にそれぞれ保護フィルム８が貼着されている。
【００２５】
バックライト供給コンベア５は、パレット式の搬送機構であり、バックライト供給コンベア５の上部が水平な矢符Ｂ方向に駆動するように構成され、水平な床面上に設置されている。バックライト供給コンベア５の駆動および停止は、制御装置１０によって制御される。バックライトユニット３は、前述する嵌合部が上方を臨むように、バックライト供給コンベア５の上部に取り付けられたパレット５ａの上に載置され、バックライト供給コンベア５が駆動することによって矢符Ｂ方向に搬送され、予め定める位置Ｐ２に配置される。また、バックライト供給コンベア５は、位置Ｐ２において組み立てられた液晶表示モジュール９を、矢符Ｂ方向に搬送する。
【００２６】
パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２と、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２と、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２と、貼り合せロボットＲ５は、それぞれフレーム構造体６に固定して設けられる。フレーム構造体６は、水平な床面に固定して設けられ、位置Ｐ２を囲うように配置される。
【００２７】
以下、本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる各ロボットについて説明する。
パネル供給ロボットＲ１は、パネル供給コンベア４とバックライト供給コンベア５との間に配置され、より詳細には、位置Ｐ０と位置Ｐ２との間に配置される。このパネル供給ロボットＲ１は、６軸を有する汎用的な垂直多関節型のロボットであり、ロボットアームの先端には、エンドエフェクタとして、供給ハンドＨ１が設けられている。供給ハンドＨ１は、液晶パネル２の大きさに合わせて、複数個の吸着パッドがマトリクス状に配置されて構成されている。これらの吸着パッドは、それぞれ図示しない供給ハンド用エア回路に接続されており、図示しない空圧源によって、個別に吸引力を導かれるように構成されている。したがって、供給ハンドＨ１は、適度な吸引力によって、液晶パネル２を吸着して把持することができるように構成されている。このような吸引力の導入および停止の制御は、制御装置１０によって行われる。
【００２８】
パネル供給ロボットＲ１は、このように構成されていることによって、パネル供給コンベア４によって位置Ｐ０に搬送された液晶パネル２を、液晶パネル２の表側で吸着把持して、後述する位置Ｐ１まで搬送し、位置Ｐ１おいて裏側表面が下方を臨むように保持ハンドＨ２１，Ｈ２２に載置することができる。
【００２９】
図４は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられるパネル保持ロボットＲ２１および保持ハンドＨ２１の構成を概略的に示す斜視図である。なお、本実施の形態では、２台のパネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２が用いられているが、パネル保持ロボットＲ２１とパネル保持ロボットＲ２２とは、フレーム構造体６への取付位置が異なるのみで、同一に構成されているため代表してパネル保持ロボットＲ２１および保持ハンドＨ２１について説明を行い、重複する説明を避ける。
【００３０】
フレーム構造体６へ取付けられたパネル保持ロボットＲ２１は、保持ハンドＨ２１を鉛直軸線Ｊ２１ａまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ２１ａと、関節Ｇ２１ａを介して保持ハンドＨ２１が連結されるアームＦ２１ａを鉛直軸線Ｊ２１ｂまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ２１ｂと、関節Ｇ２１ｂを介してアームＦ２１ａが連結されるアームＦ２１ｂを鉛直軸線Ｊ２１ｃまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ２１ｃとを含み、関節Ｇ２１ａ〜Ｇ２１ｃの各駆動機構を制御することによって保持ハンドＨ１を水平方向に駆動させることができる。この各駆動機構の制御は、制御装置１０によって行われる。このようなパネル保持ロボットＲ２１は、取付部Ｆ２１ｄを介してフレーム構造体６に取り付けられる。
【００３１】
２台のパネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２は、鉛直軸線まわりの３つの旋回自由度を持たせた３自由度の水平多関節ロボットとしてそれぞれ構成されている。パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２は、このような構成に限定されることなく、たとえば６軸または７軸垂直多関節ロボットによって構成されても良い。
【００３２】
保持ハンドＨ２１について説明する。保持ハンドＨ２１は、Ｌ字型の板状部材３２が水平となるように取付部３１に取り付けられ、板状部材３２には、複数（本実施の形態では２０）の吸着パッド３３が、図４に示すように、板状部材３２の一端部側にそれぞれ適度に間隔をあけて、吸着面が上方を臨むように、板状部材３２の上面から上方に突出するように設けられている。各吸着パッド３３は、吸着用エア回路（図示せず）に接続されており、個別に吸引力が導かれることによって、適度な吸引力により液晶パネル２を吸着して固定することができるように構成されている。このような吸引力の導入および停止の制御は、制御装置１０によって行われる。
【００３３】
このような保持ハンドＨ２１，Ｈ２２をそれぞれ備えるパネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２は、図１に示すように、フレーム構造体６において、位置Ｐ１に配置された液晶パネル２の一方の対角線方向に沿って対向するように、かつ位置Ｐ２よりも上方であって床面から同一の高さの位置にそれぞれ配置される。ここで、位置Ｐ１とは、位置Ｐ２の上方であり、位置Ｐ１に配置されている液晶パネル２を鉛直方向下向きに所定の距離だけ移動させることによって、液晶パネル２を位置Ｐ２に配置することができる位置である。また、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２は、矩形状の液晶パネル２の裏側表面の４つの周縁辺に沿う各周縁部において液晶パネル２を保持することができるように、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２に設けられる。
【００３４】
本実施の形態では、液晶パネル２は、図３に示すように、光透過基板２０の各表面において、偏光板２６が設けられる領域が、光透過基板２０の表面の面積よりも小さい。さらに保護フィルム８は、各偏光板２６を保護する目的で、偏光板２６と同一の面積を有して、各偏光板２６に対して貼着されている。すなわち、光透過基板２０は、各表面において、その周縁部が露出している。液晶パネル２は、この光透過基板２０の周縁部において、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２に設けられる吸着パッド３３の上に載置され、吸着パッド３３に吸引力が導かれることによって吸着固定される。したがって、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２によって、液晶パネル２をその裏側表面において保持した場合でも、液晶パネル２の裏側表面に貼着されている保護フィルム８ｂを、後述する裏側剥離ロボットＲ３１によって剥離することができる。
【００３５】
本実施の形態では、前述するように吸着によって液晶パネル２を固定することができるように保持ハンドＨ２１が構成されているので、吸着パッド３３の上に載置された液晶パネル２から保護フィルム８ｂを剥離する際に、液晶パネル２が面方向に不所望に移動してしまうことを防止することができる。これにより、液晶パネル２が移動することによって保持ハンドＨ２１，Ｈ２２から落下してしまうことを防止することができる。また、位置決めされて位置Ｐ１に配置されている液晶パネル２が変位してしまうことにより、液晶パネル２を位置Ｐ１から位置Ｐ２まで搬送してバックライトユニット３に組付ける際に、位置ずれを起こしてしまって組み付けがうまくいかないという不具合を防止することができる。
【００３６】
また、本実施の形態では、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２が、Ｌ字状の板状部材３２を備えているので、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２が互いに近接する方向または離間する方向に移動するように、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２の各アームを駆動させることによって、サイズの異なる液晶パネル２についても実施することができる。したがって、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２に関して、サイズの違いに起因する段取り替えをする必要がないため、段取り替えのために装置全体を停止させる必要がなく、生産性が低下することを回避することができる。また、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２は、前述するように多関節ロボットによって構成されているので、各アームの駆動を制御することによってサイズの異なる液晶パネル２を確実に保持することができる。
【００３７】
パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２は、このように構成されていることによって、パネル供給ロボットＲ１および吸着ハンドＨ１によって位置Ｐ０から搬送された液晶パネル２を、予め定める位置Ｐ１において保持し、吸着することによって固定することができる。
【００３８】
本実施の形態では、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２および保持ハンドＨ２１，Ｈ２２によって液晶パネル２を位置Ｐ１において保持するように構成されているが、他の実施形態では、前述するパネル供給ロボットＲ１および供給ハンドＨ１によって、液晶パネル２を位置Ｐ１において保持するように構成しても良い。前述するように、パネル供給ロボットＲ１および供給ハンドＨ１は、位置Ｐ０に配置されている液晶パネル２をその表側において吸着把持するように構成されているので、液晶パネル２の裏側表面の周縁部に露出する領域が有るか否かに拘わらず、位置Ｐ１において、裏側表面に貼着されている保護フィルム８ｂを剥離している間に、液晶パネル２を保持することができる。また、位置Ｐ１において吸着把持しているので、本実施の形態と同様に、液晶パネル２から保護フィルム８ｂを剥離する際に、液晶パネル２が面方向に不所望に移動してしまうことを防止することができる。
【００３９】
また、パネル供給ロボットＲ１および供給ハンドＨ１を利用することで、液晶パネル２を、位置Ｐ１において、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２によって保持させる工程、および後述するように位置Ｐ１に保持されている液晶パネル２を位置Ｐ２まで移動させるためにパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２に保持させる工程が省略されるため、これらの工程に要する時間が短縮され、生産性を向上させることが出来る。
【００４０】
図５は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる裏側剥離ロボットＲ３１および剥離ハンドＨ３１の構成を概略的に示す斜視図である。なお、本実施の形態では、裏側および表側剥離ロボットとしてＲ３１，Ｒ３２の２台が用いられているが、裏側剥離ロボットＲ３１と表側剥離ロボットＲ３２とは、フレーム構造体６への取付位置および取付ける向きが異なるのみで、同一に構成されているため代表して裏側剥離ロボットＲ３１および剥離ハンドＨ３１について説明を行い、重複する説明を避ける。
【００４１】
フレーム構造体６へ取付けられた裏側剥離ロボットＲ３１は、剥離ハンドＨ３１を鉛直軸線Ｊ３１ａまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ３１ａと、関節Ｇ３１ａを介して剥離ハンドＨ３１が連結されるアームＦ３１ａを鉛直軸線Ｊ３１ｂまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ３１ｂと、関節Ｇ３１ｂを介してアームＦ３１ａが連結されるアームＦ３１ｂを鉛直軸線Ｊ３１ｃまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ３１ｃと、関節Ｇ３１ｃを介してアームＦ３１ｂが連結されるアームＦ３１ｃを鉛直軸線Ｊ３１ｄに沿ってＣ１方向（鉛直上方向）およびＣ２方向（鉛直下方向）に直動駆動させる駆動機構を備える駆動部Ｇ３１ｄとを含み、関節Ｇ３１ａ〜Ｇ３１ｃの各駆動機構を制御することによって剥離ハンドＨ３１を水平方向に駆動させることができ、駆動部Ｇ３１ｄの駆動機構を制御することによって剥離ハンドＨ３１を鉛直方向（上下方向）に駆動させることができる。この各駆動機構の制御は、制御装置１０によって行われる。このような裏側剥離ロボットＲ３１は、取付部Ｆ３１ｄを介してフレーム構造体６に取り付けられる。
【００４２】
裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２は、それぞれ鉛直軸線まわりの３つの旋回自由度および鉛直方向の１つの直動自由度を持たせた４自由度の水平多関節ロボットとして構成されている。裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２は、このような構成に限定されることなく、たとえば６軸または７軸垂直多関節ロボットによって構成されても良い。
【００４３】
剥離ハンドＨ３１について説明する。剥離ハンドＨ３１は、軸線Ｊ３１ａに垂直な方向に延びる軸線Ｊ３１ｅまわりに回転自在に設けられる短尺の円柱状のローラ４１を備え、ローラ４１の外周面には、粘着性を有する粘着層が設けられている。このような粘着層は、液晶パネル２から保護フィルム８の端部を初期剥離することを可能とするために、液晶パネル２と保護フィルム２７との間に作用している粘着力よりも強い粘着力を有するように設けられ、たとえば粘着性を有するブチルゴムをローラ４１の外周面に取り付けることによって実現される。
【００４４】
また、剥離ハンドＨ３１は、軸線Ｊ３１ｅ方向に沿ってローラ４１の両側に、水平方向かつ軸線Ｊ３１ｅに垂直な方向に延びる軸線Ｊ３１ｆ方向に沿って駆動される可動片４３がそれぞれ設けられ、各可動片４３の駆動方向一方側には固定片４２がそれぞれ設けられる。可動片４３は、駆動装置４４によって前記駆動方向一方側、すなわち固定片４２に近接する方向に駆動されたとき、固定片４２と接触するように構成されている。この駆動装置４４の制御は、制御装置１０によって行われる。
【００４５】
裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２は、このような構成によって、ローラ４１の外周面を液晶パネル２に貼着されている保護フィルム８の一角部に当接させ、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を軸線Ｊ３１ｆ方向に沿って駆動させることによって、ローラ４１が軸線Ｊ３１ｅまわりに回転しながら保護フィルム８の一角部を初期剥離することができる。このとき、固定片４２と可動片４３とは離間した状態にある。そして、保護フィルム８の一角部を初期剥離した後、可動片４３を固定片４２に近接する方向へ駆動させることによって、初期剥離された保護フィルム８の一角部をローラ４１から剥離するとともに、固定片４２と可動片４３との間に保護フィルム８を挟持させることができる。そして、剥離ハンドＨ３１またはＨ３２を、裏側および表側剥離ロボットＲ３１またはＲ３２によって、予め定める移動経路に沿って移動させることによって、保護フィルム８を剥離することができる。剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２は、保護フィルム８を初期剥離して保持することが可能であれば良く、このような構成に限定されない。
【００４６】
裏側剥離ロボットＲ３１は、図２に示すように、位置Ｐ１において保持されている液晶パネル２の裏側表面に貼着されている保護フィルム８ｂを剥離することを可能にするために、保持ハンドＨ３１が位置Ｐ１側を臨むように、フレーム構造体６に取り付けられる。これに対し、表側剥離ロボットＲ３２は、位置Ｐ２においてバックライトユニット３に組み付けられている液晶パネル２の表側表面に貼着されている保護フィルム８ａを剥離することを可能にするために、保持ハンドＨ３２が位置Ｐ２側を臨むように、フレーム構造体６に取付けられる。また、後述するように、表側および裏側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２によって、位置Ｐ１に配置される液晶パネル２の裏側表面に貼着されている保護フィルム８ｂと位置Ｐ２に配置される液晶パネル２の表側表面に貼着されている保護フィルム８ａとを同時に剥離して、各保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面同士を貼り合せることを可能にするために、表側剥離ロボットＲ３２は、裏側剥離ロボットＲ３１の下方であって、水平面に対して面対称となるように、フレーム構造体６に取付けられている。
【００４７】
図６は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられるパネル移載ロボットＲ４１および移載ハンドＨ４１の構成を概略的に示す斜視図である。なお、本実施の形態では、２台のパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２が用いられているが、パネル移載ロボットＲ４１とパネル移載ロボットＲ４２とは、フレーム構造体６への取付位置が異なるのみで、同一に構成されているため代表してパネル移載ロボットＲ４１および移載ハンドＨ４１について説明を行い、重複する説明を避ける。
【００４８】
フレーム構造体６へ取付けられたパネル移載ロボットＲ４１は、移載ハンドＨ４１を鉛直軸線Ｊ４１ａまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ４１ａと、関節Ｇ４１ａを介して移載ハンドＨ４１が連結されるアームＦ４１ａを鉛直軸線Ｊ４１ｂまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ４１ｂと、関節Ｇ４１ｂを介してアームＦ４１ａが連結されるアームＦ４１ｂを鉛直軸線Ｊ４１ｃまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ４１ｃと、関節Ｇ４１ｃを介してアームＦ４１ｂが連結されるアームＦ４１ｃを鉛直軸線Ｊ４１ｄに沿ってＤ１方向（鉛直上方向）およびＤ２方向（鉛直下方向）に直動駆動させる駆動機構を備える駆動部Ｇ４１ｄとを含み、関節Ｇ４１ａ〜Ｇ４１ｃの各駆動機構を制御することによって移載ハンドＨ４１を水平方向に駆動させることができ、駆動部Ｇ４１ｄの駆動機構を制御することによって移載ハンドＨ４１を鉛直方向（上下方向）に駆動させることができる。この各駆動機構の制御は、制御装置１０によって行われる。このようなパネル移載ロボットＲ４１は、取付部Ｆ４１ｄを介してフレーム構造体６に取り付けられる。このような移載ハンドＨ４１，Ｈ４２をそれぞれ備えるパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２は、図１および図２に示すように、位置Ｐ１を挟んで対向するように、フレーム構造体６に取付けられる。
【００４９】
このようにパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２は、鉛直軸線まわりの３つの旋回自由度および鉛直方向の１つの直動自由度を持たせた４自由度の水平多関節ロボットとして構成されている。パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２は、このような構成に限定されることなく、たとえば６軸または７軸垂直多関節ロボットによって構成されても良い。
【００５０】
移載ハンドＨ４１について説明する。移載ハンドＨ４１は、複数（本実施の形態では１０）の吸着パッド１１が水平方向に沿ってそれぞれ適度に間隔をあけて、吸着面が下方を臨むように取付金具１３を介してフレーム１２に取り付けられて構成されている。各吸着パッド１１は、吸着用エア回路（図示せず）に接続されており、個別に吸引力が導かれることによって、適度な吸引力により液晶パネル２を吸着把持することができるように構成されている。移載ハンドＨ４１は、このような構成に限定されることなく、たとえば粘着性を有する粘着層が形成された粘着部材を含み、粘着によって液晶パネル２を把持することができるように構成されても良い。
【００５１】
本実施の形態では、このように吸着パッド１１に吸着させることによって液晶パネル２を把持するように移載ハンドＨ４１，Ｈ４２が構成されているので、吸着パッド１１に吸引力を導くことによって容易に液晶パネル２を把持することができ、また吸着パッド１１に導かれた吸引力を停止することによって容易に液晶パネル２を把持状態から開放することができる。このような吸引力を導入および停止する制御は、制御装置１０によって、電磁弁の開閉および空圧源の制御などによって容易に実現することができる。
【００５２】
パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２は、このように構成されていることによって、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２によって位置Ｐ１において保持されている液晶パネル２をその表側において吸着把持して、位置Ｐ２まで搬送することができる。すなわち、位置Ｐ１において保護フィルム８ｂが剥離された液晶パネル２の表側を吸着把持して、バックライト供給コンベア５によって位置Ｐ２に配置されているバックライトユニット３の嵌合部まで搬送して、前記嵌合部に液晶パネル２を嵌合させることによって、液晶パネル２をバックライトユニット３に組付けることができる。
【００５３】
また、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２は、前述するように多関節ロボットによって構成されているので、液晶パネル２を位置Ｐ１から位置Ｐ２まで搬送する際に、他のロボットおよび周囲の構造物と干渉しないように各アームの駆動を制御して確実に液晶パネル２を搬送することができる。
【００５４】
また、本実施の形態では、２台のパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２に移載ハンドＨ４１，Ｈ４２がそれぞれ備えられて構成されているが、１台のパネル移載ロボットに１つの移載ハンドＨ１が備えることによって構成されても良い。また、本実施の形態に用いられている移載ハンドＨ４１に設けられる吸着パッド１１の配置位置の間隔を広くする、または吸着パッド１１のサイズを大きくするなどの設計変更を行って構成しても良い。このように構成することによって、複数の液晶パネル２のサイズに対応することが可能となる。
【００５５】
図７は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる貼り合せロボットＲ５および貼り合せハンドＨ５の構成を概略的に示す斜視図である。また、図８は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる貼り合せロボットＲ５および貼り合せハンドＨ５の構成を概略的に示す側面図である。さらに、図９は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる貼り合せハンドＨ５に備えられる貼り合せ構造体３４の構成を概略的に示す断面図である。
【００５６】
フレーム構造体６へ取付けられた貼り合せロボットＲ５は、貼り合せハンドＨ５を鉛直軸線Ｊ５ａまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ５ａと、関節Ｇ５ａを介して貼り合せハンドＨ５が連結されるアームＦ５ａを鉛直軸線Ｊ５ｂまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ５ｂと、関節Ｇ５ｂを介してアームＦ５ａが連結されるアームＦ５ｂを鉛直軸線Ｊ５ｃまわりに旋回駆動させる駆動機構を備える関節Ｇ５ｃとを含み、関節Ｇ５ａ〜Ｇ５ｃの各駆動機構を制御することによって貼り合せハンドＨ５を水平方向に駆動させることができる。この各駆動機構の制御は、制御装置１０によって行われる。このような貼り合せロボットＲ５は、取付部Ｆ５ｄを介してフレーム構造体６に取り付けられる。
【００５７】
貼り合せロボットＲ５は、鉛直軸線まわりの３つの旋回自由度を持たせた３自由度の水平多関節ロボットとして構成されている。貼り合せロボットＲ５は、このような構成に限定されることなく、たとえば６軸または７軸垂直多関節ロボットによって構成されても良い。
【００５８】
貼り合せハンドＨ５について説明する。貼り合せハンドＨ５は、一対のフィルム案内部材５１，５２と、複数の球状のローラ５３と、各フィルム案内部材５１，５２を支持する支持部５５とを含んで構成される。フィルム案内部材５１は、貼り合せ部５１ａと、案内部５１ｂとから成る。貼り合せ部５１ａは、角棒状に形成されており、厚み方向一方側の端部には、貼り合せ部５１ａの長手方向に沿って、後述する貼り合せ構造体５４が嵌合される嵌合凹所５１ｃが形成されている。案内部５１ｂは、貼り合せ部５１ａにおける前記長手方向に延びる一側面部に連なって設けられる２つの突出部と、各突出部の遊端部を連結する連結部とから成る。突出部は、前記一側面部に立設され、その中間部分において貼り合せ部５１ａの厚み方向に垂直な仮想平面αに対して傾斜するように、また遊端部において前記厚み方向に垂直な仮想平面αと略平行になるように形成される。前記中間部分における傾斜角度θは、保護フィルム８を案内面５１ｄに沿ってスムーズに移動させるために、前記貼り合せ部５１ａの厚み方向に垂直な平面に対して、４５度〜６０度とするのが好ましい。
【００５９】
また突出部は、厚み方向の両面を湾曲させて形成されており、遊端部に向かうにつれて厚みが薄くなるように形成されている。案内部５１ｂは、このような形状に形成されているので、厚み方向一方側の案内面５１ｄに沿って、保護フィルム８をスムーズに移動させることができる。また、貼り合せハンドＨ５の重量を可及的に低減することができる。フィルム案内部材５２は、前述するフィルム案内部材５１と鏡面対称な形状を有する。フィルム案内部材５１，５２は、それぞれに形成されている前記嵌合凹所５１ｃ，５２ｃが対向し、各貼り合せ部５１ａ，５２ａの厚み方向が一致するように、かつ貼り合せ部５１ａ，５２ａの厚み方向に垂直な仮想平面に対して面対称となるように配置され、支持部５５によってそれぞれ支持される。
【００６０】
貼り合わせ構造体５４は、球状のローラ５３と、ローラ５３の一部を突出させた状態でローラ５３を回転自在に保持する保持器５４ａと、前記保持器５４ａが固定して設けられている可動部５４ｂと、可動部５４ｂをローラ５３が突出する方向（矢符Ｅ方向）に付勢するコイルばね５４ｃとを含んで構成される。図９に示すように、各貼り合わせ構造体５４は、互いのローラ５３をそれぞれ当接させた状態で、嵌合凹所５１ｃおよび５２ｃにそれぞれ嵌合されて配置される。このような貼り合せ構造体５４対が、貼り合せ部５１ａ，５２ａの長手方向に沿って、複数設けられている。
【００６１】
図９に示すように、図９の左方から粘着面同士が対向した状態で移動してきた保護フィルム８ａ，８ｂは、ローラ５３対の間を通過することによって、互いに接着させることができる。より詳細には、ローラ５３対の直前まで移動された保護フィルム８ａ，８ｂは、互いに当接しているローラ５３の間に割り込みながら、図９右方へ移動される。このとき、２枚の保護フィルム８ａ，８ｂの厚み寸法に相当する距離だけ、当接していたローラ５３が互いに離間する。これにより、前記保持部を付勢するコイルばねが押し縮められる。したがって、保護フィルム８ａ，８ｂは、ローラ５３対の間を通過する際には、ローラ５３対によって押圧されながら通過する。前記押圧力の作用により、２枚の保護フィルム８ａ，８ｂを確実に接着させることができる。このとき、各ローラ５３は、保持器５４ａによって回転自在に保持されているので、２枚の保護フィルム８ａ，８ｂは、各ローラ５３の間をスムーズに通過することができる。
【００６２】
本実施の形態では、保護フィルム８ａ，８ｂを押圧するためにコイルばね５４ｃを用いて貼り合せ構造体５４が構成されているが、このような構成に限定されず、ローラ５３の表面をゴムなどの弾性部材で覆って構成しても良い。前述するローラ５３は、本実施の形態では、５〜１０ｍｍ程度の直径を有するように形成されている。
【００６３】
図１０は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に用いられる制御装置１０の電気的構成を示すブロック図である。制御装置１０は、パネル供給コンベア４およびバックライト供給コンベア５の動作を制御するとともに、後述する各制御部１０ｂ〜１０ｅと通信を行ってフィルム剥離装置１全体の動作を制御する全体制御部１０ａと、剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２および貼り合せロボットＲ５に備えられる駆動機構を制御するとともに、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２および貼り合せハンドＨ５の動作を制御する剥離動作制御部１０ｂと、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２に備えられる駆動機構を制御するとともに、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２の動作を制御する保持動作制御部１０ｃと、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２に備えられる駆動機構を制御するとともに、移載ハンドＨ４１，Ｈ４２の動作を制御する組付動作制御部１０ｄと、パネル供給ロボットＲ１に備えられる駆動機構を制御するとともに、供給ハンドＨ１の動作を制御する組付動作制御部１０ｅとを含んで構成される。
【００６４】
図１１は、供給動作制御部１０ｅにおけるパネル供給ロボットＲ１および供給ハンドＨ１の制御の手順を示すフローチャートである。ステップｓ０では、パネル供給ロボットＲ１および供給ハンドＨ１は、所定の取り出し待機位置で待機状態にある。ステップｓ１では、位置Ｐ０に配置される液晶パネル２を取り出す指示が全体制御部１０ａから有ったか否かが判断され、取り出し指示が有った場合には、パネル供給ロボットＲ１の各軸の動作を制御して、供給ハンドＨ１を位置Ｐ０へと移動させる（ステップｓ２）。供給ハンドＨ１が位置Ｐ０に到達すると、供給ハンド用エア回路を制御して、吸引力を各吸着パッドに供給して、液晶パネル２を吸着把持する（ステップｓ３）。供給ハンド用エア回路の圧力が所定値に達すると、パネル供給ロボットＲ１の各軸の動作を制御して、液晶パネル２を吸着把持した供給ハンドＨ１を投入待機位置へと移動させる（ステップｓ４）。移動が完了すると、供給動作制御部１０ｅは、全体制御部１０ａに投入待機位置への移動完了信号を送信する。ステップｓ５では、位置Ｐ１に液晶パネル２を投入する指示が全体制御部１０ａから有ったか否かが判断され、投入指示が有った場合には、パネル供給ロボットＲ１の各軸の動作を制御して、供給ハンドＨ１を投入待機位置から位置Ｐ１へと移動させる（ステップｓ６）。移動が完了すると、供給動作制御部１０ｅは、保持動作制御部１０ｃに位置Ｐ１への移動完了信号を送信する。ステップｓ７では、保持動作制御部１０ｃから吸着完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、供給ハンド用エア回路を制御して、液晶パネル２の吸着を解除する（ステップｓ８）。吸着解除後、パネル供給ロボットＲ１の各軸の動作を制御して、パネル供給ハンドＨ１を取り出し待機位置へと移動させ、一連の制御が完了する（ステップｓ９）。動作の完了とともに、供給動作制御部１０ｅは、全体制御部１０ａに動作完了信号を送信する。
【００６５】
図１２は、保持動作制御部１０ｃにおけるパネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２および保持ハンドＨ２１，Ｈ２２の制御の手順を示すフローチャートである。ステップｓ１０では、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２および保持ハンドＨ２１，Ｈ２２は、所定の退避位置で待機状態にある。ステップｓ１１では、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２を移動する指示が全体制御部１０ａから有ったか否かが判断され、移動指示が有った場合には、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２の各軸の動作を制御して、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２を位置Ｐ１において液晶パネル２のサイズに合わせた所定の位置まで移動させる（ステップｓ１２）。移動が完了すると、保持動作制御部１０ｃは、全体制御部１０ａに位置Ｐ１への移動完了信号を送信する。ステップｓ１３では、保持動作制御部１０ｅから移動完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、保持ハンド用エア回路を制御して、吸引力を各保持ハンドＨ２１，Ｈ２２の吸着パッド３３に供給して、液晶パネル２を吸着固定する（ステップｓ１４）。保持ハンド用エア回路の圧力が所定値に達すると、保持動作制御部１０ｃは、全体制御部１０ａおよび供給動作制御部１０ｅに液晶パネル２の吸着完了信号を送信する。ステップｓ１５では、移載動作制御部１０ｄから吸着完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、保持ハンド用エア回路を制御して液晶パネル２の吸着を解除し（ステップｓ１６）、移載動作制御部１０ｄに液晶パネル２の吸着解除完了信号を送信する。ステップｓ１７では、移載動作制御部１０ｄから移動完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、パネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２の各軸の動作を制御して、保持ハンドＨ２１，Ｈ２２を液晶パネル２に対して外側の退避位置まで移動させる（ステップｓ１８）。移動が完了すると、保持動作制御部１０ｃは、移載動作制御部１０ｄに退避位置への移動完了信号を送信する。これで、一連の制御が完了する（ステップｓ１９）。
【００６６】
図１３は、剥離動作制御部１０ｂにおける裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２、貼り合せロボットＲ５、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２、ならびに貼り合せハンドＨ５の制御の手順を示すフローチャートである。ここで、位置Ｐ１における液晶パネル２の裏側表面に貼着されている保護フィルム８ｂと位置Ｐ２における液晶パネル２の表側表面に貼着されている保護フィルム８ａとを同時に剥離するために、ステップｓ２２以降は、裏側剥離ロボットＲ３１および剥離ハンドＨ３１と表側剥離ロボットＲ３２および剥離ハンドＨ３２とは、同一の動作を同時に行っているものとする。
【００６７】
ステップｓ２０では、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２、貼り合せロボットＲ５、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２、ならびに貼り合せハンドＨ５は、所定の退避位置で待機状態にある。ステップｓ２１では、剥離動作を開始する指示が全体制御部１０ａから有ったか否かが判断され、開始指示があった場合には、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を初期剥離開始位置まで移動させる。同時に、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、貼り合せハンドＨ５を貼り合せ開始位置に移動させる（ステップｓ２２）。続いて、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の各ローラ４１を保護フィルム８ａ，８ｂの角部に押し当てながら、ローラ４１を角部から液晶パネル２の中心に向かって回転させるように、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、保護フィルム８ａ，８ｂの角部を初期剥離する（ステップｓ２３）。次に、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の各駆動装置４４の動作を制御して、初期剥離により剥離した保護フィルム８ａ，８ｂの端部を、可動片４３と固定片４２との間で挟持する（ステップｓ２４）。次に、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の各ローラ４１が液晶パネル２から離間する方向に、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を移動させる。続いて、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を移動させることによって保護フィルム８ａ，８ｂを剥離するとともに、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、貼り合せハンドＨ５を移動させることによって保護フィルム８ａ，８ｂを貼り合せる（ステップｓ２５）。
【００６８】
以下、図１４〜図１７を用いて、ステップｓ２５における保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および保護フィルム８ａ，８ｂの貼り合せについて説明する。図１４〜図１７は、本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１における保護フィルム８の剥離および貼り合せ工程を説明するための平面図であり、図１４から順に第１段階〜第４段階を示している。なお、図１４〜図１７では、説明のため、表側剥離ロボットＲ３２および貼り合せロボットＲ５を除く残余のロボット、ならびに位置Ｐ１において保持されている液晶パネル２については、図示を省略している。
【００６９】
第１段階では、剥離動作制御部１０ｂは、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、保護フィルム８ａ，８ｂの端部を挟持している剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を、移動経路Ｋ３１，Ｋ３２に沿って移動させようとしている。また、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の動作に合わせて、貼り合せハンドＨ５を移動させようとしている。ここで、移動経路Ｋ３１とは、位置Ｐ２に配置される液晶パネル２の表側表面と位置Ｐ１に配置される液晶パネル２の裏側表面とから等間隔をあけて離間する仮想平面に関して、移動経路Ｋ３２と面対称な関係を有しているものとする。
【００７０】
第１段階から進んだ第２段階では、剥離動作制御部１０ｂは、裏側剥離ロボットＲ３１の各軸の動作を制御して、保護フィルム８ｂが貼り合せハンドＨ５の案内面５１ｄに接触するまで、保護フィルム８ｂを剥離しながら、剥離ハンドＨ３１を移動経路Ｋ３１に沿って移動させている。同様に、表側剥離ロボットＲ３２の各軸の動作を制御して、保護フィルム８ａが貼り合せハンドＨ５の案内面５２ｄに接触するまで、保護フィルム８ａを剥離しながら、剥離ハンドＨ３２を移動経路Ｋ３２に沿って移動させている。このとき、剥離された部分の保護フィルムは表裏が剥離前と逆転する、すなわち、剥離前には保護フィルム８ａ，８ｂは非粘着面同士が対向していたのに対し、液晶パネル２からの剥離に伴って粘着面同士が対向するようになる。また、剥離動作制御部１０ｂは、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の動作に合わせて、貼り合せハンドＨ５を移動させている。
【００７１】
第２段階から進んだ第３段階では、剥離動作制御部１０ｂは、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を移動経路Ｋ３１，Ｋ３２に沿ってさらに移動させている。この剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の移動に伴って、保護フィルム８ａ，８ｂは、貼り合せハンドＨ５の案内面５１ｄ，５２ｄに沿って移動し、保護フィルム８ａ，８ｂの各周縁部がローラ５３まで到達する。このとき、前述するように、保護フィルム８ａ，８ｂは表裏が逆転しているので、非粘着面が案内面５１ｄ，５２ｄに接触しながら移動する。したがって、保護フィルム８ａ，８ｂが貼り合せハンドＨ５に付着することはない。また、保護フィルム８ａ，８ｂには、液晶パネル２から剥離する際に剥離帯電が生ずるが、フィルム剥離装置１には図示しない除電装置が備えられているため、貼り合せハンドＨ５と保護フィルム８ａ，８ｂとが静電気により、不所望に付着しあうことを防止することができる。また、剥離動作制御部１０ｂは、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の動作に合わせて、貼り合せハンドＨ５を移動させている。
【００７２】
第３段階から進んだ第４段階では、剥離動作制御部１０ｂは、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２を移動経路Ｋ３１，Ｋ３２に沿ってさらに移動させている。この剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の移動によって、液晶パネル２から保護フィルム８ａ，８ｂがそれぞれ剥離される。また、ローラ５３まで到達していた保護フィルム８ａ，８ｂは、貼り合せハンドＨ５のローラ５３対の間を通過することによって、互いの粘着面同士が貼り合せられる。剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の移動に伴って、貼り合せ動作が続けられる。このとき、剥離動作制御部１０ｂは、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、貼り合せハンドＨ５を移動させることによって、貼り合わせが完了していない部分を、貼り合せハンドＨ５のローラ５３対の間を通過させる。これにより、液晶パネル２から剥離された２枚の保護フィルム８ａ，８ｂは、互いの粘着面同士を貼り合せた１枚のフィルム体となる。保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せが完了すると、剥離動作制御部１０ｂは、全体制御部１０ａに保護フィルム８ａ，８ｂの剥離完了信号を送信する。
【００７３】
ステップｓ２６では、剥離動作制御部１０ｂは、裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２の各軸の動作を制御して、フィルム体を挟持している剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２をフィルム回収箱７の上方まで移動させ、続けて剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の各駆動装置４４の動作を制御して、可動片４３と固定片４２との間での保護フィルム８ａ，８ｂの端部の挟持を解除し、フィルム体をフィルム回収箱７に落下させて廃棄する。ステップｓ２７では、剥離動作制御部１０ｂは、貼り合せロボットＲ５の各軸の動作を制御して、貼り合せハンドＨ５を退避位置まで移動させる。また、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２の退避位置は、フィルム体を落下させた位置である。これで、一連の制御が完了する。
【００７４】
図１８は、移載動作制御部１０ｄにおけるパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２および移載ハンドＨ４１，Ｈ４２の制御の手順を示すフローチャートである。ステップｓ３０では、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２および移載ハンドＨ４１，Ｈ４２は、所定の退避位置で待機状態にある。ステップｓ３１では、液晶パネル２を移載する準備の開始の指示が有ったか否かが判断され、移載準備開始指示が有った場合には、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２の各軸の動作を制御して、移載ハンドＨ４１，Ｈ４２をパネル把持位置まで移動させる（ステップｓ３２）。続けて、移載ハンド用エア回路を制御して、吸引力を移載ハンドＨ４１，Ｈ４２の各吸着パッド１１に供給し、液晶パネル２を吸着把持する（ステップｓ３３）。移載ハンド用エア回路の圧力が所定値に達すると、移載動作制御部１０ｄは、保持動作制御部１０ｃに吸着完了信号を送信する。ステップｓ３４では、保持動作制御部１０ｃから吸着解除完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２の各軸の動作を制御して、移載ハンドＨ４１，Ｈ４２を上方に移動させる（ステップｓ３５）。移動が完了すると、移載動作制御部１０ｄは、保持動作制御部１０ｃに上方への移動完了信号を送信する。
【００７５】
ステップｓ３６では、保持動作制御部１０ｃから移動完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２の各軸の動作を制御して、移載ハンドＨ４１，Ｈ４２を下降させ、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２とパネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２とが干渉しない領域まで移動する（ステップｓ３７）。移動が完了すると、移載動作制御部１０ｄは、全体制御部１０ａにパネル移載準備完了信号を送信する。ステップｓ３８では、全体制御部１０ａから液晶パネル２の移載開始の指示が有ったか否かが判断され、移載開始指示が有った場合には、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２の各軸の動作を制御して、移載ハンドＨ４１，Ｈ４２を下降させ、バックライト供給コンベア５によって位置Ｐ２まで搬送されたバックライトユニット３の嵌合部まで移動させる（ステップｓ３９）。移動が完了すると、移載ハンド用エア回路を制御して、液晶パネル２の吸着を解除し、液晶パネル２のバックライトユニット３への組付を完了する（ステップｓ４０）。続いて、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２の各軸の動作を制御して、パネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２を上昇姿勢に変更し、位置Ｐ１まで上昇を開始する（ステップｓ４１）。これで、一連の制御が完了する。このとき、移載動作制御部１０ｄは、全体制御部１０ａにパネル移載完了信号を送信する。
【００７６】
以下、全体制御部１０ａにおける各制御部１０ｂ〜１０ｅ、パネル供給コンベア４、バックライト供給コンベア５の制御の手順を説明する。
【００７７】
全体制御部１０ａは、パネル供給コンベア４からパネル搬送完了信号を受信したか否かを判断し、受信した場合には、供給動作制御部１０ｅに液晶パネル２の取り出しを指示する。ここで、パネル搬送完了信号は、パネル供給コンベア４が駆動することによって、液晶パネル２が上載されているパレット４ａが位置Ｐ０まで搬送されてきたときに送信される。次に、全体制御部１０ａは、供給動作制御部１０ｅから移動完了信号を受信したか否かを判断し、受信した場合には、パネル供給コンベア４に動作完了信号を送信する。パネル供給コンベア４は、動作完了信号を受信すると、空になったパレット４ａを位置Ｐ０から搬出する。なお、パレット４ａの搬出と同時に、位置Ｐ０には新たな液晶パネル２が搬送されてくる。
【００７８】
また、全体制御部１０ａは、供給動作制御部１０ｅから投入待機位置への移動完了信号を受信すると、位置Ｐ１の状況を確認する。すなわち、保持動作制御部１０ｃから位置Ｐ１への移動完了信号を受信したか否かが判断される。そして、受信した場合には、供給動作制御部１０ｅに液晶パネル２の投入を指示する。
【００７９】
液晶パネル２が位置Ｐ１まで移動された後、全体制御部１０ａは、保持動作制御部１０ｃから液晶パネル２の吸着完了信号を受信したか否かを判断し、受信した場合には、剥離動作制御部１０ｂに剥離動作の開始を指示する。液晶パネル２から保護フィルム８ａ，８ｂの剥離が行われた後、全体制御部１０ａは、剥離動作制御部１０ｂから保護フィルム８ａ，８ｂの剥離完了信号を受信する。
【００８０】
全体制御部１０ａは、剥離完了信号を受信すると、移載動作制御部１０ｄに液晶パネル２の移載準備の開始を指示する。そして、液晶パネル２が前記干渉しない領域まで移動された後、全体制御部１０ａは、移載動作制御部１０ｄから液晶パネル２のパネル移載準備完了信号を受信する。パネル移載準備完了信号を受信すると、位置Ｐ２の状況を確認する。すなわち、バックライト供給コンベア５からバックライト搬送完了信号を受信したか否かが判断され、受信した場合には、移載動作制御部１０ｄに液晶パネル２の移載開始を指示する。ここで、バックライト搬送完了信号は、バックライト供給コンベア５が駆動することによって、バックライトユニット３が位置決めされて上載されているパレット５ａが位置Ｐ２まで搬送されてきたときに送信される。
【００８１】
また、全体制御部１０ａは、剥離完了信号を受信すると、バックライト供給コンベア５に動作完了信号を送信する。バックライト供給コンベア５は、動作完了信号を受信すると、液晶パネル２が組み付けられたバックライトユニット３である液晶表示モジュール９を位置Ｐ２から搬出する。なお、液晶表示モジュール９の搬出と同時に、位置Ｐ２には新たなバックライトユニット３が搬送されてくる。これで、一連の制御が完了する。
【００８２】
本実施の形態によると、鉛直方向に沿って、保護フィルムが対向するように配置された２枚の液晶パネル２から剥離した２枚の保護フィルム８ａ，８ｂを、互いの粘着面同士を貼り合せることによって、剥離した保護フィルムが、保護フィルム自身や周囲の装置などと接触して貼りつくことに起因するフィルム剥離装置１の装置停止を回避することができ、剥離後の処理を容易にすることができる。また、１枚の液晶パネル２に着目した場合、液晶パネル２の裏側表面に貼着されている保護フィルム８ｂを剥離した後に、液晶パネル２の移載を行ってから、表側表面に貼着されている保護フィルム８ａを剥離するため、液晶パネル２の表面に接触するものがなく、液晶パネル２の表面に擦過傷が形成されることを回避し、また、表面に塵埃および汚れなどが付着することが回避することができる。
【００８３】
また、剥離後の保護フィルム８が回収されるフィルム回収箱７内で、保護フィルム８同士および保護フィルム８とフィルム回収箱７の内面とが不所望に付着し合うという不具合を防止することができるので、剥離後の保護フィルム８が投入されるフィルム回収箱７の利用効率を向上することができる。
【００８４】
さらに、基板保持手段、第１および第２剥離手段、基板移載手段、および貼り合せ手段に、多関節型のロボットを用いているので、液晶パネル２のサイズが変更された場合でも、段取り替えが不要となり、生産効率を向上させることができる。
【００８５】
本発明の第２の実施の形態を以下に示す。
図１９は、本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａに備えられる剥離貼り合せロボットＲ６ａ〜Ｒ６ｄおよび剥離貼り合せハンドＨ６ａ〜Ｈ６ｄの構成を概略的に示す斜視図である。本実施の形態のフィルム剥離装置１ａは、第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２、貼り合せロボットＲ５、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２、ならびに貼り合せハンドＨ５の構成に代えて、剥離貼り合せロボットＲ６ａ〜Ｒ６ｄおよび剥離貼り合せハンドＨ６ａ〜Ｈ６ｄが備えられるものである。したがって、第１の実施の形態と共通する構成については同一の参照符を付することとし、重複する説明は省略する。
【００８６】
図２０は、本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａに備えられる剥離貼り合せロボットＲ６ａの一部および剥離貼り合せハンドＨ６ａを拡大して示す斜視図である。本実施の形態では、剥離貼り合せロボットとしてＲ６ａ〜Ｒ６ｄの４台が用いられているが、剥離貼り合せロボットＲ６ａ〜Ｒ６ｄは、フレーム構造体６への取付位置が異なるのみで、同一に構成されているため代表して剥離貼り合せロボットＲ６ａおよび剥離貼り合せハンドＨ６ａについて説明を行い、重複する説明を避ける。
【００８７】
剥離貼り合せロボットＲ６ａは、本体部６４ａと、摺動部６５ａと、図示しない駆動装置とを含んで構成される。本体部６４ａは、一方向に延びる矩形棒状の長尺部材によって形成され、長手方向に延びる一表面部には、長手方向に延びる矩形状の溝が形成されている。摺動部６５ａは、矩形板状に形成され、一端部が本体部６４ａに形成される溝に嵌合される。また、摺動部６５ａは、駆動装置によって、本体部６４ａに形成される溝に沿って駆動するように構成されている。すなわち、剥離貼り合せロボットＲ６ａは、摺動部６５ａが前記溝に沿って直線移動する直動ロボットである。
【００８８】
摺動部６５ａの他端部には、剥離貼り合せハンドＨ６ａが設けられている。剥離貼り合せハンドＨ６ａは、ピストン６１ａの先端部に吸着パッド６０ａが取付けられた直動シリンダ６２ａを備え、吸着パッド６０ａは、吸着用エア回路（図示せず）に接続されており、吸引力を導くことが可能に構成されている。直動シリンダ６２ａは、摺動部６５ａに固定されたロータリアクチュエータ６３ａに固定されている。
【００８９】
以下、図２１〜図２５を用いて、保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および保護フィルム８ａ，８ｂの貼り合せについて説明する。図２１〜図２５は、本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａにおける保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せ工程を説明するための斜視図であり、図２１から順に第１段階〜第５段階を示している。なお、図２１〜図２５では、説明のため、剥離貼り合せロボットＲ６ａ〜Ｒ６ｄを除く残余のロボット、ならびに位置Ｐ１において保持されている液晶パネル２については、図示を省略している。
【００９０】
図２１は、保護フィルム８ａ，８ｂの剥離開始時を示す。図２１おいて、右側端部から保護フィルム８ａ，８ｂの剥離が開始されている。右側の剥離貼り合せハンドＨ６ｂ，Ｈ６ｄを搭載した摺動部６５ｂ，６５ｄは、保護フィルム８ａ，８ｂの剥離方向である手前側に少し移動している。摺動部６５ｂ，６５ｄの移動にともなって、右側の剥離貼り合せハンドＨ６ｂ，Ｈ６ｄの直動シリンダ６２ｂ，６２ｄは、ロータリアクチュエータ６３ｂ，６３ｄにより回転し始めた状態となっている。これにより上下の保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面同士が対向する状態へ移行している。
【００９１】
左側の剥離貼り合せハンドＨ６ａ，Ｈ６ｃの吸着パッド６０ａ，６０ｃは、保護フィルム８ａ，８ｂを吸着した状態で停止している。保護フィルム８ａ，８ｂが液晶パネル２に貼りついた状態で左側の剥離貼り合せハンドＨ６ａ，Ｈ６ｃによって吸着することにより、保護フィルム８ａ，８ｂが平らな状態で保護フィルム８ａ，８ｂを吸着することができ、正確に保護フィルム８ａ，８ｂを吸着することができる。
【００９２】
ロータリアクチュエータ６３により吸着パッド６０が取り付けられた直動シリンダ６２を回転させることにより、液晶パネル２に貼りついた状態で吸着した保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面同士を対向させることが可能となる。
【００９３】
図２２は、保護フィルム８ａ，８ｂの剥離途中を示す。図２２において、右側の剥離貼り合せハンドＨ６ｂ，Ｈ６ｄによる剥離が進行することにより、左側の剥離貼り合せハンドＨ６ａ，Ｈ６ｃの吸着パッド６０ａ，６０ｃで吸着している保護フィルム８ａ，８ｂが剥がされ始める。これに同期して左側の摺動部６５ａ，６５ｃを手前側に移動させると共に直動シリンダ６２ａ，６２ｃが回転させられる。右側の剥離貼り合せハンドＨ６ｂ，Ｈ６ｄにより保護フィルム８ａ，８ｂが剥離されるので左側の剥離貼り合せハンドＨ６ａ，Ｈ６ｃには、剥離のきっかけ機構を設けることなく、保護フィルム８ａ，８ｂの剥離を開始することが可能となる。
【００９４】
図２３は、保護フィルム８ａ，８ｂの貼り合せ開始時を示す。図２３において、保護フィルム８ａ，８ｂ同士が離れているように見えるが、２枚の保護フィルム８ａ，８ｂがあることを表現するためであり、実際には貼り合わされた状態である。ある程度剥離された保護フィルム８ａ，８ｂ同士は、左側の端から貼り付けられる。保護フィルム８ａ，８ｂを吸着した吸着パッド６０が対向する方向に回転させられ、保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面同士が対向させられた状態とし、直動シリンダ６２を伸ばし、保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面同士が貼り合わされる。片側から順番に貼り付けられることで、保護フィルム８ａ，８ｂ間に空気の進入が減少し、皺なく保護フィルム８ａ，８ｂを貼り合わせることが可能になる。
【００９５】
図２４は、保護フィルム８ａ，８ｂの端部貼り合わせ終了時を示す。図２４において、右側の直動シリンダ６２ｂ，６２ｄを伸ばした状態を示す。保護フィルム８ａ，８ｂの左側端を貼り付けた後に、右側の直動シリンダ６２ｂ，６２ｄを伸ばすことにより、保護フィルム８ａ，８ｂの前端が貼り付けられる。
【００９６】
図２５は、保護フィルム８ａ，８ｂの排出前を示す。図２５の状態からさらに保護フィルム８ａ，８ｂを上下のハンドＨ６により挟み込んで、摺動部６５を手前側に移動した状態を示す。ハンドＨ６で保護フィルム８ａ，８ｂを挟み込むことにより、吸着パッド６０の吸着力だけの保護フィルム８ａ，８ｂの保持力に、挟み込み力により発生する吸着パッド６０と保護フィルム８ａ，８ｂの摩擦力が加わる。これにより、保護フィルム８ａ，８ｂの剥離力に対して十分な保護フィルム８ａ，８ｂの保持力が得られる。
【００９７】
前端部が貼りついた保護フィルム８ａ，８ｂを両側のハンドＨ６で手前側に移動中は、保護フィルム８ａ，８ｂの他端は液晶パネル２に貼りついた状態である。摺動部６５の手前側への移動に伴い、保護フィルム８ａ，８ｂは前端から後端に貼り合わされていく。最終的に保護フィルム８ａ，８ｂが液晶パネル２から全て剥がされ、剥がされた保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面同士が全て貼り合わされる。
【００９８】
これにより保護フィルム８ａ，８ｂの粘着面が２枚の保護フィルム８ａ，８ｂの非粘着面に覆われ、装置にひっついて装置を停止させることなく、保護フィルム８ａ，８ｂを剥離することができる。また、本実施例のように端から順次貼り合わせることで、貼り合わせた保護フィルム８ａ，８ｂ間に空気層が入り辛くなり、保護フィルム８ａ，８ｂをフィルム回収箱７に廃棄する際に嵩張らず効率良く回収できる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１の構成を概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１の構成を概略的に示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１によって剥離処理が行われる保護フィルム８が厚み方向の両側の表面に貼着されている液晶パネル２の構成を概略的に示す断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられるパネル保持ロボットＲ２１および保持ハンドＨ２１の構成を概略的に示す斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる裏側剥離ロボットＲ３１および剥離ハンドＨ３１の構成を概略的に示す斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられるパネル移載ロボットＲ４１および移載ハンドＨ４１の構成を概略的に示す斜視図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる貼り合せロボットＲ５および貼り合せハンドＨ５の構成を概略的に示す斜視図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる貼り合せロボットＲ５および貼り合せハンドＨ５の構成を概略的に示す側面図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる貼り合せハンドＨ５に備えられる貼り合せ構造体５４の構成を概略的に示す断面図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる制御装置１０の電気的構成を示すブロック図である。
【図１１】供給動作制御部１０ｅにおけるパネル供給ロボットＲ１および供給ハンドＨ１の制御の手順を示すフローチャートである。
【図１２】保持動作制御部１０ｃにおけるパネル保持ロボットＲ２１，Ｒ２２および保持ハンドＨ２１，Ｈ２２の制御の手順を示すフローチャートである。
【図１３】剥離動作制御部１０ｂにおける裏側および表側剥離ロボットＲ３１，Ｒ３２、貼り合せロボットＲ５、剥離ハンドＨ３１，Ｈ３２、ならびに貼り合せハンドＨ５の制御の手順を示すフローチャートである。
【図１４】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１における保護フィルム８の剥離および貼り合せ工程（第１段階）を説明するための平面図である。
【図１５】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１における保護フィルム８の剥離および貼り合せ工程（第２段階）を説明するための平面図である。
【図１６】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１における保護フィルム８の剥離および貼り合せ工程（第３段階）を説明するための平面図である。
【図１７】本発明の第１の実施の形態のフィルム剥離装置１における保護フィルム８の剥離および貼り合せ工程（第４段階）を説明するための平面図である。
【図１８】移載動作制御部１０ｄにおけるパネル移載ロボットＲ４１，Ｒ４２および移載ハンドＨ４１，Ｈ４２の制御の手順を示すフローチャートである。
【図１９】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａに備えられる剥離貼り合せロボットＲ６ａ〜Ｒ６ｄおよび剥離貼り合せハンドＨ６ａ〜Ｈ６ｄの構成を概略的に示す斜視図である。
【図２０】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａに備えられる剥離貼り合せロボットＲ６ａの一部および剥離貼り合せハンドＨ６ａを拡大して示す斜視図である。
【０１００】
【図２１】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａにおける保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せ工程（第１段階）を説明するための斜視図である。
【図２２】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａにおける保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せ工程（第２段階）を説明するための斜視図である。
【図２３】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａにおける保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せ工程（第３段階）を説明するための斜視図である。
【図２４】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａにおける保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せ工程（第４段階）を説明するための斜視図である。
【図２５】本発明の第２の実施の形態のフィルム剥離装置１ａにおける保護フィルム８ａ，８ｂの剥離および貼り合せ工程（第５段階）を説明するための斜視図である。
【図２６】回収容器１００内において保護フィルム１０１の粘着面が、回収容器１００の底面および内壁面ならびに既に収容されている保護フィルム１０１に対して不所望に貼着している状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１  モジュール組立装置
２  液晶パネル
３  バックライトユニット
４  パネル供給コンベア
５  バックライト供給コンベア
６  フレーム構造体
７  フィルム回収箱
８，８ａ，８ｂ  保護フィルム
１０  制御装置
Ｈ１  供給ハンド
Ｈ５  貼り合せハンド
Ｈ６ａ〜Ｈ６ｄ  剥離貼り合せハンド
Ｈ２１，Ｈ２２  保持ハンド
Ｈ３１，Ｈ３２  剥離ハンド
Ｈ４１，Ｈ４２  移載ハンド
Ｒ１  パネル供給ロボット
Ｒ５  貼り合せロボット
Ｒ６ａ〜Ｒ６ｄ  剥離貼り合せロボット
Ｒ２１，Ｒ２２  パネル保持ロボット
Ｒ３１  裏側剥離ロボット
Ｒ３２  表側剥離ロボット
Ｒ４１，Ｒ４２  パネル移載ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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