(57)【要約】【課題】高温下での基板処理にも用いられる基板搬送装置に使用でき、この装置の回転軸に固定するときにこの回転軸の中心軸とローラ外周面の中心軸とを精度よく一致させることが容易な搬送ローラ、及びこの搬送ローラを備えた基板搬送装部材を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、搬送ローラ２０であって、挿入部２６と軸方向に隣接して回転軸１２に固定される固定部２８とを有する金属製の固定部材２２と、挿入部２６の周囲に取り付けられる樹脂製のローラ本体４０と、ローラ本体４０を固定部材２２に固定するローラ本体固定手段５０とを備え、ローラ本体４０は、円筒状のローラ外周面４６を有し、当該搬送ローラ２０を回転軸１２に取り付けたときにローラ外周面４６の中心軸と回転軸１２の中心軸Ｃとが一致するように嵌入口４２が挿入部２６と嵌合するような形状を有していることを特徴とする。【選択図】図３
2010089937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送装置の基板搬送用の回転軸に取り付けられ、搬送される基板表面と接触しつつ当該回転軸と共に回転することにより前記基板を搬送する搬送ローラであって、
前記回転軸の周囲に取り付けられ、挿入部とこの挿入部に対し軸方向に隣接して前記回転軸に固定される固定部とを有する筒状の金属製の固定部材と、
前記挿入部が嵌入される嵌入口を囲み、この嵌入口に前記挿入部が嵌入されることにより当該挿入部の周囲に取り付けられる樹脂製のローラ本体と、
このローラ本体を当該ローラ本体が前記固定部材と一体に前記回転軸の中心軸周りに回転するように当該固定部材に固定するローラ本体固定手段とを備え、
前記固定部材の挿入部は、前記ローラ本体の嵌入口に嵌入したときに当該嵌入口を通過して反対側から突出するような寸法を有し、
前記ローラ本体は、前記基板と接触するための円筒状のローラ外周面を有し、当該搬送ローラを前記回転軸に取り付けたときに前記ローラ外周面の中心軸と当該回転軸の中心軸とが一致するように前記嵌入口が前記挿入部と嵌合するような形状を有していることを特徴とする搬送ローラ。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送ローラにおいて、
前記固定部は、前記挿入部よりも大径であり、
前記ローラ本体固定手段は、前記固定部材と前記ローラ本体との軸方向の相対移動を許容しつつ相対回転を規制する相対回転規制部と、前記ローラ本体を前記固定部材の固定部と共に軸方向の両側から挟むことでその軸方向について前記ローラ本体を拘束する軸方向規制部とを有し、
前記相対回転規制部は、前記挿入部の外周面上に設けられ、前記ローラ本体の嵌入口と嵌合することによりそのローラ本体の当該挿入部に対する相対回転を規制する形状を有することを特徴とする搬送ローラ。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送ローラにおいて、
前記相対回転規制部は、前記挿入部の外周面上から径方向に突出する係合部を有し、前記ローラ本体部には、その嵌入口を囲む内周面から径方向外向きに凹んで前記係合部が軸方向に嵌入可能な形状をもつ係合溝が形成されることを特徴とする搬送ローラ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の搬送ローラにおいて、
前記軸方向規制部は、前記ローラ本体が前記固定部に当接した状態で軸方向に弾性圧縮変形しながら前記ローラ本体に圧接する弾性変形部を有し、この弾性変形部の弾発力で前記ローラ本体を前記固定部に対して軸方向に押し付けることを特徴とする搬送ローラ。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送ローラにおいて、
前記固定部の側面が全面にわたり前記ローラ本体の側面と接触することを特徴とする搬送ローラ。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の搬送ローラにおいて、
前記固定部材には周方向の特定の位置に形成されてこの位置で当該固定部材を分割する第１のスリットが設けられ、この第１のスリットの間隔を狭めるように当該固定部材を弾性変形させるための締付け部材が前記固定部に設けられることを特徴とする搬送ローラ。
【請求項７】
請求項６に記載の搬送ローラにおいて、
前記固定部材には前記第１のスリットと径方向に対向する位置に第２のスリットが設けられ、
この第２のスリットは、当該固定部材に挿通される前記回転軸を周方向に囲む内周面から径方向外側に向かい、前記固定部ではその径方向の厚さの途中まで到達する深さで且つ前記挿入部では当該挿入部を分割するような深さを有することを特徴とする搬送ローラ。
【請求項８】
基板を所定の搬送方向に搬送する基板搬送部材であって、
前記搬送方向と直交する方向に伸び且つ搬送される基板表面と平行に配置される基板搬送用の回転軸と、
この回転軸の周囲に固定される請求項１乃至４の何れか１項に記載の搬送ローラと、を備えることを特徴とする基板搬送部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）用ガラス基板、プリント基板などの板状基板（以下、単に基板という）を搬送する基板搬送部材及び、この基板搬送部材に用いられる搬送ローラに関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送ローラ１１０は、特許文献１に示されるように、基板搬送装置１００の回転軸１０２の周囲に固定される（図１１参照）。この搬送ローラ１１０は、基板を傷つけないようにするには合成樹脂により形成される。
【０００３】
しかし、合成樹脂は金属に比べて熱膨張が大きく、そのため合成樹脂で形成された搬送ローラ１１０を高温下で使用することは難しい。
【０００４】
そこで、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示されるような搬送ローラ１２０が知られている。この搬送ローラ１２０は、回転軸１０２の周囲に固定される金属製の固定部材１２２と、この固定部材１２２に取り付けられる樹脂製のローラ本体１２４とを備える。
【０００５】
具体的に、固定部材１２２は、回転軸１０２が挿通される貫通口１２６を囲むリング状の部材であって、その周方向の特定の一箇所にスリット１２７が設けられている。このスリット１２７の間隔をネジ１２８によって狭めることで当該固定部材１２２が回転軸１０２を外側から締め付け、これにより回転軸１０２の周囲に固定される。
【０００６】
ローラ本体１２４は、円筒状のローラ外周面１２９を有する円板状の部材であり、その中心部に回転軸１０２が挿通される貫通口１３０が形成され、固定部材１２２の側面に取り付けられる。詳細には、ローラ本体１２４は、補強のための一対の金属プレート１３１によって両側から挟まれた状態で、これら一対の金属プレート１３１とローラ本体１２４とを側面から貫通するように配設された固定用ボルト１３２によって一対の金属プレート１３１と共に固定部材１２２の側面に取り付けられる。
【０００７】
このように搬送ローラ１２０の回転軸１０２に固定される部位１２２が金属で構成されことにより、当該搬送ローラ１２０を備えた基板搬送装置１００が高温下で用いられても熱膨張による搬送ローラ１２０の前記固定される部位１２２の変形が抑制され、回転軸１０２の中心軸に対する搬送ローラ１２０の外周面１２９の中心軸の偏芯を防ぐことができる。
【特許文献１】特開２００３−３０６２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、前記の搬送ローラ１２０では、固定部材１２２の側面にローラ本体１２４を取り付けるため、固定部材１２２の貫通口１２６の中心軸とローラ外周面１２９の中心軸とを一致させるのが難しい。また、固定部材１２２における回転軸１０２との中心軸方向における接触部位の長さ、即ち、回転軸１０２との固定代ｄ（図１２（ｂ）参照）が短く、回転軸１０２に搬送ローラ１２０を固定するときに回転軸１０２に対して固定部材１２２が傾く場合がある、即ち、取付不良が生じる場合がある。
【０００９】
これらのように、ローラ本体１２４を固定部材１２２に取り付けたときに互いの中心軸の一致の精度が低く、又は固定部材１２２を回転軸１０２に取り付けたときに取付不良が生じると、いずれもローラ外周面１２９の中心軸が回転軸１０２の中心軸に対して偏芯する。
【００１０】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、高温下での基板処理にも用いられる基板搬送装置に使用でき、この装置の回転軸に固定するときにこの回転軸の中心軸とローラ外周面の中心軸とを精度よく一致させることが容易な搬送ローラ、及びこの搬送ローラを備えた基板搬送部材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、上記課題を解消すべく、本発明は、基板搬送装置の基板搬送用の回転軸に取り付けられ、搬送される基板表面と接触しつつ当該回転軸と共に回転することにより前記基板を搬送する搬送ローラであって、前記回転軸の周囲に取り付けられ、挿入部とこの挿入部に対し軸方向に隣接して前記回転軸に固定される固定部とを有する筒状の金属製の固定部材と、前記挿入部が嵌入される嵌入口を囲み、この嵌入口に前記挿入部が嵌入されることにより当該挿入部の周囲に取り付けられる樹脂製のローラ本体と、このローラ本体を当該ローラ本体が前記固定部材と一体に前記回転軸の中心軸周りに回転するように当該固定部材に固定するローラ本体固定手段とを備え、前記固定部材の挿入部は、前記ローラ本体の嵌入口に嵌入したときに当該嵌入口を通過して反対側から突出するような寸法を有し、前記ローラ本体は、前記基板と接触するための円筒状のローラ外周面を有し、当該搬送ローラを前記回転軸に取り付けたときに前記ローラ外周面の中心軸と当該回転軸の中心軸とが一致するように前記嵌入口が前記挿入部と嵌合するような形状を有していることを特徴とする。
【００１２】
このように金属製の固定部材における挿入部の周囲にローラ本体を取り付ける構成とすることで、当該搬送ローラは、高温下で用いられる基板搬送装置においても使用できる。具体的に、搬送ローラの回転軸との接合部位、即ち、固定部材が金属製であることから、当該搬送ローラが使用された基板搬送装置が高温下で用いられても、固定部材の熱膨張による変形がなく、この変形に基づく回転軸の中心軸に対するローラ外周面の中心軸の偏芯が抑制される。
【００１３】
しかも、ローラ本体がローラ外周面の中心軸と当該回転軸の中心軸とが一致するように前記嵌入口が前記挿入部と嵌合するような形状を有しているため、固定部材の挿入部をローラ本体の嵌入口に嵌入させるだけで、ローラ外周面の中心軸と回転軸の中心軸とを精度よく一致させることができる。
【００１４】
さらに、挿入部がローラ本体の嵌入口に嵌入されたときに当該嵌入口を通過して反対側から突出するような寸法を有し、軸方向に隣接する挿入部と固定部とを回転軸が貫通するので、従来の搬送ローラのように固定部材の側面にローラ本体が取り付けられ、このローラ本体の側方の領域においてのみ固定部材が回転軸と接触しているものと異なり、ローラ本体の軸方向の寸法を固定部材と回転軸との接触部位の寸法に含めることができる。そのため、搬送ローラ全体の軸方向の寸法を大きくせずに前記接触部位の寸法を大きく取ることができ、これにより固定部材が回転軸に安定して固定される。
【００１５】
また、挿入部の周囲にローラ本体が取り付けられるため、従来の全て樹脂で構成される搬送ローラに比べてローラ本体の径方向の厚みを小さくすることができ、これにより樹脂の熱膨張によるローラ本体の変形が少なくなる。
【００１６】
本発明に係る搬送ローラにおいて、前記固定部は、前記挿入部よりも大径であり、前記ローラ本体固定手段は、前記固定部材と前記ローラ本体との軸方向の相対移動を許容しつつ相対回転を規制する相対回転規制部と、前記ローラ本体を前記固定部材の固定部と共に軸方向の両側から挟むことでその軸方向について前記ローラ本体を拘束する軸方向規制部とを有し、前記相対回転規制部は、前記挿入部の外周面上に設けられ、前記ローラ本体の嵌入口と嵌合することによりそのローラ本体の当該挿入部に対する相対回転を規制する形状を有するのが好ましい。
【００１７】
ローラ本体と固定部材とを回転軸の中心軸周りに一体に回転するよう固定するために、ローラ本体固定手段を相対回転を規制する相対回転規制部とローラ本体を軸方向に拘束する軸方向規制部とに分けて構成することによって、相対回転と軸方向の相対移動の両方を同時に規制するような構成に比べ、各規制部を簡単な構成にすることができる。
【００１８】
具体的には、前記相対回転規制部は、前記挿入部の外周面上から径方向に突出する係合部を有し、前記ローラ本体部には、その嵌入口を囲む内周面から径方向外向きに凹んで前記係合部が軸方向に嵌入可能な形状をもつ係合溝が形成されるのが好ましい。
【００１９】
このように挿入部の外周面から径方向に突出する係合部と、嵌入口を囲む内周面に形成される係合溝といった簡単な構成により、当該挿入部と当該嵌入口を囲む内周面との相対回転、即ち、固定部材とローラ本体との相対回転を規制することができる。
【００２０】
また、前記軸方向規制部は、前記ローラ本体が前記固定部に当接した状態で軸方向に弾性圧縮変形しながら前記ローラ本体に圧接する弾性変形部を有し、この弾性変形部の弾発力で前記ローラ本体を前記固定部に対して軸方向に押し付けるのが好ましい。
【００２１】
このように前記ローラ本体が前記固定部に当接した状態で軸方向に弾性圧縮変形しながら前記ローラ本体に圧接する弾性変形部によってローラ本体が固定部に押圧されることで、ローラ本体が軸方向に確実に拘束される。
【００２２】
また、前記固定部の側面が全面にわたり前記ローラ本体の側面と接触することにより、ローラ本体と固定部との接触面積が確保される。しかも、前記の軸方向規制部の弾性変形部によりローラ本体が固定部側に押圧され、接触部位間の摩擦力が大きくなるため、ローラ本体又は固定部材の一方が回転軸の中心軸周りに回転しようとするときに、ローラ本体と固定部材との間で伝達される力が面接触している部位にも分散され、ローラ本体の一部に前記力が集中することが防がれる。
【００２３】
即ち、通常、ローラ本体又は固定部材の一方が回転軸の中心軸周りに回転しようとするときには、前記力の伝達が前記相対回転規制部を介して互いに伝達されるが、前記のように弾性変形部がローラ本体を固定部側に押圧することにより固定部材とローラ本体との面接触している部位間の摩擦力が大きくなり、且つ互いの接触部位の面積が十分に確保されることにより、前記力が前記相対回転規制部だけでなく前記面接触している部位間でも効果的に伝達されるようになる。
【００２４】
前記固定部材には周方向の特定の位置に形成されてこの位置で当該固定部材を分割する第１のスリットが設けられ、この第１のスリットの間隔を狭めるように当該固定部材を弾性変形させるための締付け部材が前記固定部に設けられるのが好ましい。
【００２５】
かかる構成によれば、固定部と挿入部とが一体に構成されているため、固定部に設けられた締付け部材によって当該固定部のスリットの間隔が狭められると、それに伴って挿入部においてもスリットの間隔が狭まるため、固定部と挿入部との両方が回転軸を締め付ける。そのため、従来の固定部材の側面にローラ本体が固定されこのローラ本体の側方の領域においてのみ固定部材が回転軸を締め付けるものと比べて当該固定部材が回転軸へより強固に固定される。
【００２６】
さらに、前記固定部材には前記第１のスリットと径方向に対向する位置に第２のスリットが設けられ、この第２のスリットは、当該固定部材に挿通される前記回転軸を周方向に囲む内周面から径方向外側に向かい、前記固定部ではその径方向の厚さの途中まで到達する深さで且つ前記挿入部では当該挿入部を分割するような深さを有するのがより好ましい。
【００２７】
かかる構成によれば、固定部では第１のスリットによって分割された部位と対向する部位に径方向の厚さの途中まで第２のスリットが到達することで、締付け部材によって第１のスリットの間隔を狭めるような固定部材の弾性変形が容易になる。しかも、挿入部が第１のスリットと第２のスリットとにより完全に二分割されているため、固定部の第１のスリットの間隔を締付け部材によって狭めることで挿入部における第１及び第２のスリットの間隔も容易に狭まり、これにより当該挿入部が回転軸を挟み込める。
【００２８】
また、上記課題を解消すべく、本発明は、基板を所定の搬送方向に搬送する基板搬送部材であって、前記搬送方向と直交する方向に伸び且つ搬送される基板表面と平行に配置される基板搬送用の回転軸と、この回転軸の周囲に固定される前記何れかの搬送ローラと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２９】
以上より、本発明によれば、高温下での基板処理にも用いられる基板搬送装置に使用でき、この装置の回転軸に固定するときにこの回転軸の中心軸とローラ外周面の中心軸とを精度よく一致させることが容易な搬送ローラ、及びこの搬送ローラを備えた基板搬送部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
【００３１】
本実施形態に係る基板搬送部材は、液晶表示装置用ガラス基板やＰＤＰ用ガラス基板等の基板に対してレジストの形成、剥離、洗浄等の処理を行う基板処理装置内の基板搬送装置において基板を搬送するために用いられる。
【００３２】
具体的に、基板搬送部材は、例えば図１に示されるような、レジストを剥離するための薬液が満たされた処理槽内で基板を搬送する基板搬送装置Ｄにおいて、前記基板を所定の搬送方向に搬送するために用いられる。この基板搬送部材１０は、図２及び図３にも示されるように、回転軸１２と、この回転軸１２の周囲に取り付けられる搬送ローラ２０とを備える。回転軸１２には、その軸方向に沿って複数の搬送ローラ２０が固定される。本実施形態において、回転軸１２は真っ直ぐに延びる円筒状の管材である。
【００３３】
このような基板搬送部材１０は、基板搬送装置Ｄの基板搬送路に沿って配列される。詳細には、各基板搬送部材１０の回転軸１２がその中心軸Ｃが基板搬送方向と直交する方向に延び、且つ搬送される基板表面に平行に延びた状態で配設される。各回転軸１２は、その中心軸Ｃ周りに回転可能な状態で基板搬送装置Ｄに支持され、全ての又は一部の基板搬送部材１０に、回転軸１２を回転駆動する駆動機構（図示省略）が連結される。駆動機構の連結されていない基板搬送部材１０は、回転自在の状態で基板搬送装置Ｄに支持された、いわゆるフリーローラである。この駆動機構が連結された回転軸１２が回転駆動されることにより、この回転軸１２に固定され、当該回転軸１２と共にこの回転軸１２の中心軸Ｃ周りに搬送ローラ２０が回転する。このように搬送ローラ２０が回転し、当該搬送ローラ２０が基板の下面と接触することにより当該搬送ローラ２０によって支持されつつ前記の回転によって基板が基板搬送方向に搬送される。
【００３４】
尚、本実施形態においては、基板搬送部材１０は、搬送ローラ２０が基板の下側から接触するように配設されているが、基板の上側から基板表面に搬送ローラ２０が接触するように配設されてもよい。また、基板が上下から挟まれるように搬送される場合には、この基板を挟んで上下の位置に基板搬送部材１０がそれぞれ配設されてもよい。
【００３５】
搬送ローラ２０は、図４乃至図６にも示されるように、回転軸１２の周囲に固定される筒状の固定部材２２と、この固定部材２２に取り付けられるローラ本体４０と、ローラ本体４０を固定部材２２に固定するローラ本体固定手段５０とを備える。
【００３６】
固定部材２２は、図７乃至図９（ｂ）にも示されるように、回転軸１２が挿通される固定部貫通口２４を有する筒状に形成された金属製の部材であり、本実施形態においては、ステンレス鋼で形成されている。この固定部材２２は、挿入部２６とこの挿入部２６に対し軸方向に隣接して回転軸１２に固定される固定部２８とを有する。この挿入部２６と固定部２８とは、一体に形成されている。
【００３７】
挿入部２６は、ローラ本体４０に設けられた嵌入口４２（図１０参照）に嵌入される部位であり、当該嵌入口４２に嵌入されて当該挿入部２６とローラ本体４０とが嵌合したときに、当該嵌入口４２を通過して反対側からその先端部が突出するような寸法を有する。詳細には、挿入部２６は、固定部材２２の固定部貫通口２４を囲う固定部内周面と、この固定部内周面に平行な挿入部外周面２６ａとを有する筒状に形成されている。そして、挿入部２６の嵌入口４２から突出する先端部には、当該先端部の挿入部外周面２６ａに周方向に沿って溝部３０が設けられている。
【００３８】
固定部２８は、挿入部２６よりも大径である。そして、固定部２８は、挿入部２６の中心軸と同軸の筒状に形成されている。この固定部２８の挿入部２６側端部、即ち、挿入部２６と固定部２８との境界の段差部位には、固定部貫通口２４の中心軸（回転軸１２の中心軸Ｃ）と直交し、ローラ本体４０と当接する当接面３８（図８参照）を有する。
【００３９】
この固定部材２２には、スリットＳが設けられている。このスリットＳは、図７、図９（ａ）及び図９（ｂ）にも示されるように、固定部材の周方向において径方向に対向する位置に形成された２つのスリットＳ１，Ｓ２からなる。
【００４０】
スリットＳ１は、固定部材２２の周方向の特定の位置（図９（ａ）及び図９（ｂ）においては下側）に形成されてこの位置で当該固定部材２２を分割する。一方、スリットＳ２は、固定部材２２の前記スリットＳ１と径方向に対向する位置（図９（ａ）及び図９（ｂ）においては上側）に形成されている。このスリットＳ２は、固定部内周面から径方向外側に向かい、固定部２８ではその径方向の厚さの途中まで到達する深さで且つ挿入部２６では当該挿入部２６を分割するような深さを有する。このようなスリットＳ１，Ｓ２が挿入部２６に形成されることによって当該挿入部２６が前記スリットＳ１，Ｓ２が形成された位置で二分割される。
【００４１】
この固定部２８には、スリットＳ１の間隔を狭めるように固定部材２２を弾性変形させるための締め付け手段２９が設けられている。
【００４２】
この締付け手段２９は、スリットＳ１と直交する方向に固定部２８の外側からスリットＳ１を通過して対向する部位にまで到達するように設けられたネジ穴２９ａと、このネジ穴２９ａに螺入される締付けボルト（締付け部材）２９ｂとからなる。このネジ穴２９ａに螺入された締付けボルト２９ｂが締め付けられることにより固定部材２２がスリットＳ１の間隔が狭まるように弾性変形し、これにより固定部２８では固定部貫通口２４に挿通された回転軸１２をその周方向から締め付ける。
【００４３】
また、スリットＳ（スリットＳ１及びＳ２）を挟んで二分割された挿入部２６は、それぞれ固定部２８の当該スリットＳを挟んだ部位にそれぞれ連接されているため、固定部２８が締付け手段２９によってスリットＳ１の間隔が狭められると、挿入部２６においては両スリットＳ１及びＳ２の間隔が狭まる方向に前記二分割された各部位がそれぞれ移動し、これにより当該挿入部２６が回転軸１２を外側から挟み込む。
【００４４】
このように固定部２８に設けられた締付けボルト２９ｂを締め付けることにより、固定部２８ではスリットＳ１が狭まり回転軸１２を外側から締め付けると共に挿入部２６では二分割された部位が互いに接近して回転軸１２を挟み込むため、従来の固定部材の側面にローラ本体が固定されこのローラ本体の側方の領域においてのみ固定部材が回転軸を締め付けるものと比べ、固定部材２２が回転軸１２へより強固に固定される。
【００４５】
しかも、固定部２８ではスリットＳ１と対向する部位において径方向の厚さの途中までスリットＳ２が到達するように形成されることで、締付け手段２９によってスリットＳ１の間隔を狭めるような固定部２８の弾性変形が容易になる。さらに、挿入部２６がスリットＳにより完全に二分割されているため、締付けボルト２９ｂを締め付けて固定部２８をスリットＳ１の間隔が狭まるように弾性変形させることにより、挿入部２６におけるスリットＳ１及びＳ２の間隔も容易に狭まり、これにより当該挿入部２６が回転軸１２を挟み込める。
【００４６】
ローラ本体４０は、図１０にも示されるように、挿入部２６が嵌入される嵌入口４２を囲み、この嵌入口４２に固定部材２２の挿入部２６が嵌入されることにより当該挿入部２６の周囲に取り付けられる樹脂製の部材である。本実施形態においては、ローラ本体４０は、ＰＴＦＥで形成されている。詳細には、ローラ本体４０は、一対の平行な側端面４４を有する円板状に形成され、その中心部では嵌入口４２を囲み、また外周部には搬送される基板と接触するための円筒状のローラ外周面４６を備える。また、ローラ本体４０は、搬送ローラ２０を回転軸１２に取り付けたときにローラ外周面４６の中心軸と回転軸１２の中心軸Ｃとが一致するように嵌入口４２が挿入部２６と嵌合するような形状を有している。具体的に、嵌入口４２を囲む内周面が挿入部２６の挿入部外周面２６ａの形状と対応する形状、即ち、円筒状に形成され、この内周面の中心軸とローラ外周面４６の中心軸とが一致する。
【００４７】
ローラ本体固定手段５０は、ローラ本体４０を当該ローラ本体４０が固定部材２２と一体に回転軸１２の中心軸Ｃ周りに回転するように当該固定部材２２に固定する。このローラ本体固定手段５０は、固定部材２２とローラ本体４０との軸方向の相対移動を許容しつつ相対回転を規制する相対回転規制部３６と、ローラ本体４０を固定部材２２の固定部２８と共に軸方向の両側から挟むことでその軸方向についてローラ本体４０を拘束する軸方向規制部５４とを有する（図６参照）。
【００４８】
相対回転規制部３６は、挿入部２６の挿入部外周面２６ａ上に設けられ、ローラ本体４０の嵌入口４２と嵌合することによりそのローラ本体４０の挿入部２６（固定部材２２）に対する相対回転を規制する形状を有している。本実施形態においては、相対回転規制部３６は、挿入部２６の挿入部外周面２６ａから径方向に突出するキー部（係合部）３６により構成される。尚、このキー部３６が嵌合できるように、ローラ本体４０には、その嵌入口４２を囲む内周面から径方向外向きに凹んでキー部３６が軸方向に嵌入可能な形状をもつキー溝（係合溝）４８が形成されている。
【００４９】
詳細には、キー部（相対回転規制部）３６は、挿入部２６の挿入部外周面２６ａから回転軸１２の中心軸Ｃに向けてネジ穴３２が設けられ、このネジ穴３２に螺入されたボルト３４の挿入部外周面２６ａから径方向に突出した部位３６により構成される（図９（ｂ）参照）。一方、キー溝４８は、ローラ本体４０の嵌入口４２を囲む内周面に設けられ、径方向に凹み回転軸１２に沿って延びる溝である。
【００５０】
軸方向規制部５４は、挿入部２６の先端部に設けられ、弾発力でローラ本体４０を固定部２８に対して軸方向に押し付ける板バネ（弾性変形部）５４により構成されている。具体的に、板バネ５４は、ローラ本体４０が固定部２８に当接した状態で軸方向に弾性圧縮変形しながらローラ本体４０に圧接する弾性変形部材である。このように板バネ５４がローラ本体４０に圧接することにより、ローラ本体４０が固定部２８に押圧されてローラ本体４０が軸方向に確実に拘束される。
【００５１】
詳細には、板バネ５４は、挿入部２６の先端部を周方向に囲うように溝部３０に着脱可能に取り付けられるリング状の板バネであり、本実施形態においてはバネ鋼で形成されている。この板バネ５４では、リングの径方向の対向する特定の円弧状の部位５４ａがローラ本体４０側に屈曲している。この円弧状の部位５４ａは、板バネ５４が挿入部２６の溝部３０に取り付けられることにより、ローラ本体４０の側端面４４に押されて前記屈曲している部位がのばされ（弾性圧縮変形し）、この変形に基づく弾発力によりローラ本体４０を固定部２８に押し付ける。このとき、固定部２８の当接面３８は、全面にわたりローラ本体４０の側端面４４と接触（面接触）している。
【００５２】
以上のような搬送ローラ２０では、金属製の固定部材２２における挿入部２６の周囲にローラ本体４０を取り付ける構成であるため、当該搬送ローラ２０は、高温下で用いられる基板搬送装置Ｄの基板搬送部材１０においても使用できる。具体的に、搬送ローラ２０の回転軸１２との接合部位、即ち、固定部材２２が金属製であることから、当該搬送ローラ２０が使用された基板搬送部材１０が本実施形態のようなレジストの剥離処理等のような高温下で用いられても、固定部材２２の熱膨張による変形がなく、この変形に基づく回転軸１２の中心軸Ｃに対するローラ外周面４６の中心軸の偏芯が抑制される。
【００５３】
しかも、本実施形態の搬送ローラ２０は、固定部材２２がステンレス製で、且つローラ本体４０がＰＴＦＥ製であるため、耐薬性も具えており、これにより本実施形態のようなレジストの剥離処理等の薬液が使用される環境で用いられる基板搬送装置Ｄにおいても使用できる。
【００５４】
また、ローラ本体４０は、ローラ外周面４６の中心軸と当該回転軸１２の中心軸Ｃとが一致するように嵌入口４２が挿入部２６と嵌合するような形状を有しているため、固定部材２２の挿入部２６をローラ本体４０の嵌入口４２に嵌入させるだけで、ローラ外周面４６の中心軸と回転軸１２の中心軸Ｃとを精度よく一致させることができる。
【００５５】
さらに、挿入部２６が嵌入口４２に嵌入されたときに当該嵌入口４２を通過して反対側から突出するような寸法を有し、軸方向に隣接する挿入部２６と固定部２８とを回転軸１２が貫通するので、従来の搬送ローラのように固定部材の側面にローラ本体が取り付けられ、このローラ本体の側方の領域においてのみ固定部材が回転軸と接触しているものと異なり、ローラ本体４０の軸方向の寸法を固定部材２２と回転軸１２との接触部位の寸法に含めることができる。そのため、搬送ローラ２０全体の軸方向の寸法を大きくせずに前記接触部位の寸法を大きく取ることができ、これにより固定部材２２を回転軸１２に安定して固定することができる。
【００５６】
また、前記の搬送ローラ２０では、固定部材２２の挿入部２６の周囲にローラ本体４０が取り付けられるため、従来の全て樹脂で構成される搬送ローラに比べてローラ本体４０の径方向の厚みを小さくすることができ、これにより樹脂の熱膨張によるローラ本体４０の変形が少なくなる。
【００５７】
前記のローラ本体固定手段５０では、ローラ本体４０と固定部材２２とを回転軸１２の中心軸Ｃ周りに一体に回転するよう固定するために、当該ローラ本体固定手段５０を相対回転を規制する相対回転規制部３６とローラ本体４０を軸方向に拘束する軸方向規制部（本実施形態では板バネ）５４とに分けて構成することによって、相対回転と軸方向の相対移動の両方を同時に規制するような構成に比べ、各規制部３６，５４を簡単な構成にすることができる。
【００５８】
また、固定部２８の当接面（側面）３８が全面にわたりローラ本体４０の側端面（側面）４４と接触することでローラ本体４０と固定部２８との接触面積が確保され、且つ板バネ５４によりローラ本体４０が固定部２８側に押圧されてローラ本体４０と固定部２８との接触部位間の摩擦力が大きくなることにより、ローラ本体４０又は固定部材２２の一方が回転軸１２の中心軸Ｃ周りに回転しようとするときに、ローラ本体４０と固定部材２２との間で伝達される力が面接触している部位にも分散され、ローラ本体４０の一部に前記力が集中することが防止される。
【００５９】
即ち、通常、ローラ本体４０又は固定部材２２の一方が回転軸１２の中心軸Ｃ周りに回転しようとするときには、前記力の伝達が相対回転規制部３６を介して互いに伝達されるが、前記のように板バネ５４がローラ本体４０を固定部２８側に押圧することにより固定部材２２とローラ本体４０との面接触している部位（固定部２８の当接面３８とローラ本体４０の側端面４４）間の摩擦力が大きくなり、且つ互いの接触部位の面積が十分に確保されることにより、前記力が相対回転規制部３６だけでなく面接触している部位間でも効果的に伝達されるようになる。その結果、ローラ本体４０の一部に前記力が集中することが防止され、ローラ本体４０の変形が防止される。
【００６０】
尚、本発明の基板搬送部材１０及び搬送ローラ２０は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００６１】
例えば、本実施形態においては、相対回転規制部３６は、挿入部外周面２６ａから突出するキー部３６と嵌入口４２を囲む内周面に設けられるキー溝４８とによって構成されているが、この構成に限定されず、軸方向の相対移動を許容しつつ相対回転を規制するような構成であればよい。
【００６２】
具体的には、例えば、キー部３６とキー溝４８とが互いに反対の部材に設けられ、即ち、挿入部外周面２６ａ上にキー溝４８が設けられ、嵌入口４２を囲む内周面にキー部３６が設けられてもよい。また、キー部３６はボルト３４の頭に限定されず、挿入部２６を嵌入口４２に挿入するときに、キー溝４８内へ軸方向に嵌入可能な形状であればよく、例えば、回転軸１２方向に延びる突条でもよい。また、搬送ローラ２０ではキー部３６及びキー溝４８が一対設けられているが、一対に限定される必要もなく、挿入部２６の挿入部外周面２６ａ上にキー部３６又はキー溝４８の少なくとも一方が複数設けられ、嵌入口４２を囲む内周面のそれぞれ対応する部位に、挿入部２６の挿入部外周面２６ａ上に設けられたキー部３６又はキー溝４８と対応するキー溝４８又はキー部３６が設けられてもよい。
【００６３】
本実施形態においては、ローラ本体４０は、ローラ本体固定手段５０によって固定部材２２に固定されているが、これに限定されず、例えば、挿入部２６の先端部外周面に雄ネジを設け、ローラ本体４０の嵌入口４２から突出した前記先端部に軸方向からナットを螺合させることにより固定されてもよい。また、ローラ本体４０は、挿入部２６に接着により固定されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施形態に係る基板搬送部材を備えた基板搬送装置の概略平面図である。
【図２】同実施形態に係る基板搬送部材の一部拡大斜視図である。
【図３】同実施形態に係る基板搬送部材の図２の回転軸に沿った縦断面図である。
【図４】同実施形態に係る搬送ローラの挿入部側の斜視図である。
【図５】同実施形態に係る搬送ローラの固定部側の斜視図である。
【図６】同実施形態に係る搬送ローラの一部破断平面図である。
【図７】同実施形態に係る固定部材の挿入部側の斜視図である。
【図８】同実施形態に係る固定部材の平面図である。
【図９】同実施形態に係る固定部材の（ａ）は図８のＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）は図８のＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】同実施形態に係るローラ本体の斜視図である。
【図１１】従来の基板搬送装置が基板を搬送している状態を示す斜視図である。
【図１２】（ａ）は従来の搬送ローラの斜視図であり、（ｂ）は図１２（ａ）の搬送ローラの一部を切り欠いた側面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０   基板搬送部材
１２   回転軸
２０   搬送ローラ
２２   固定部材
２６   挿入部
２８   固定部
４０   ローラ本体
４２   嵌入口
４６   ローラ外周面
Ｃ     中心軸
Ｄ     基板搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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