(57)【要約】【課題】搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】基板搬送装置Ｄのガイドプレート７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。すなわち、ガイドプレート７の上面には、搬送方向に直交する方向へ１列に８個、搬送方向に平行な方向へ１６列に配置された合計１２８個の円形ガス噴出孔８，……，８が形成されている。被処理物搬出室２におけるガイドプレート７には１枚の板状トレー５が載置されている。トレー５は、搬送方向に対して平行にされる両側縁がある長方形本体部５ａと、この本体部５ａにおける両側縁のそれぞれから部分的に外側へ張り出すように設けられて、トレー５が搬送用アーム２４によって搬送される際に搬送用アーム２４が当接状に係合／係合解除する合計６つの張出部５ｂ，５ｂ，５ｃ，５ｃ，５ｄ，５ｄとを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、
それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、
搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、
浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送用アームとを備えてなり、
トレーは、搬送方向に対して平行にされる両側縁を有し、これらの両側縁のそれぞれに搬送用アームのための当接係合部が設けられ、
搬送用アームは、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、搬送方向に対して平行に設けられたレールに沿って水平状に往復移動することのできるベース部と、ベース部において搬送方向に直交する方向に水平状往復移動可能に設けられたガイド部と、ガイド部において搬送方向に対して平行な方向に水平状に設けられ、自由端である内方突出状端がガイド部の水平状往復移動によってトレーの側縁の当接係合部に外側から内側へ当接係合／内側から外側へ係合解除されるアーム部とを有している、
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
トレーの当接係合部は、トレーにおける両側縁のそれぞれに切り欠き状に設けられてそれぞれの搬送用アームのアーム部における内方突出状端が当接係合／係合解除される切欠部である、請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
トレーの当接係合部は、トレーにおける両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられてそれぞれの搬送用アームのアーム部における内方突出状端が当接係合／係合解除される張出部である、請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項４】
トレーの張出部は、搬送用アームのアーム部における内方突出状端が当接係合／係合解除される特定形状の切欠箇所を有している、請求項３記載の基板搬送装置。
【請求項５】
搬送用アームは、アーム部における内方突出状端がトレーの張出部の切欠箇所に対応した係合用形状に構成されている、請求項４記載の基板搬送装置。
【請求項６】
トレーにおける両側縁のそれぞれは、それぞれの搬送用アームのアーム部が複数箇所で当接するように構成されている、請求項１〜５のいずれか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項７】
トレーの当接係合部は、トレーにおける両側縁のそれぞれについて複数箇所設けられ、それぞれの搬送用アームのアーム部における内方突出状端は、トレーの当接係合部に対応して複数個設けられている、請求項６記載の基板搬送装置。
【請求項８】
搬送用アームは、アーム部における内方突出状端がトレーの当接係合部を上下で挟んだ状態に受け入れることのできる形態に構成されている、請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項９】
複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、
それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、
搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、
浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体とを備えてなり、
トレーは、両側縁を有する本体部と、この本体部における両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられた複数対の張出部とを有しており、
搬送体は、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、鉛直状回転軸の周りに回転可能に設けられた無限軌道型ベルトと、このベルトの表面に水平突出状に設けられ、ベルトの回転に伴ってトレーの張出部に当接係合／係合解除される複数の突起部とを有している、
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】
トレーの張出部は、特定形状の係合用切欠箇所を有しており、搬送体の突起部は、トレーの張出部の切欠箇所に対応した係合用形状に構成されている、請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
搬送体は、複数の真空室のそれぞれにおいて、１つのガイドプレートごとに一対設けられている、請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送用アームとを備えてなり、トレーは、搬送方向に対して平行にされる両側縁を有し、これらの両側縁のそれぞれに搬送用アームのための当接係合部が設けられ、搬送用アームは、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、搬送方向に対して平行に設けられたレールに沿って水平状に往復移動することのできるベース部と、ベース部において搬送方向に直交する方向に水平状往復移動可能に設けられたガイド部と、ガイド部において搬送方向に対して平行な方向に水平状に設けられ、自由端である内方突出状端がガイド部の水平状往復移動によってトレーの側縁の当接係合部に外側から内側へ当接係合／内側から外側へ係合解除されるアーム部とを有している基板搬送装置を使用して、基板を搬送する基板搬送方法であって、
一対の搬送用アームにおけるアーム部の内方突出状端が、トレーの当接係合部に当接係合した状態でトレーを挟み込んで搬送する、ことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項１３】
複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体とを備えてなり、トレーは、両側縁を有する本体部と、この本体部における両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられた複数対の張出部とを有しており、搬送体は、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、鉛直状回転軸の周りに回転可能に設けられた無限軌道型ベルトと、このベルトの表面に水平突出状に設けられ、ベルトの回転に伴ってトレーの張出部に当接係合／係合解除される複数の突起部とを有している基板搬送装置を使用して、基板を搬送する基板搬送方法であって、
一対の搬送体における突起部が、トレーの張出部に当接係合した状態でトレーを搬送する、ことを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板搬送装置および基板搬送方法に関し、さらに詳しくは、板状被処理物である基板の表面に例えばプラズマ処理を施すために基板を搬送する基板搬送装置、およびこのような基板搬送装置を使用して基板を搬送する基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状被処理物である基板の表面に半導体薄膜を製造する場合には、複数の真空室を利用したプラズマ処理装置が広く用いられている。このようなプラズマ処理装置は、複数の真空室のうち少なくとも１つが基板の表面にプラズマ処理を施すためのプラズマ処理用真空室とされ、さらに、基板を複数の真空室の間で搬送するための搬送装置を備えているのが一般的である。
【０００３】
この搬送装置としては、それぞれの真空室に基板搭載用のガイドプレートを設け、ガイドプレートに基板を搭載しておき、真空室で浮上用ガスにより基板をガイドプレートから浮上させ、浮上した基板をガイドプレートに沿って隣接する真空室へ搬送する浮上搬送方式によるものが知られている。
【０００４】
すなわち、このような浮上搬送方式による基板搬送装置は、それぞれの真空室に設けられた、複数の浮上用ガス噴出孔を有する浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源とを備えてなる。そして、ガイドプレートのガス噴出孔から浮上用ガスを噴射させることにより基板をガイドプレートから浮上させ、浮上した基板を外力により複数の真空室の間でガイドプレートに沿って搬送する。
【０００５】
この種の搬送方式を利用する基板搬送装置としては、例えば特許文献１あるいは特許文献２に記載されたものも知られている。
【特許文献１】実開昭６１−１７８７２５号公報
【特許文献２】特開平７−２２８３４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような浮上搬送方式による基板搬送装置としては例えば、長方形基板を複数の真空室の間で移動させるための昇降可能な水平延出状搬送用アームと、この搬送用アームを搬送方向および鉛直方向へ搬送／昇降駆動するための搬送駆動部とを備えたものが用いられている。
【０００７】
しかしながら、このような搬送用アームと搬送駆動部とを備えた基板搬送装置のうち、基板の表面を保護するために、基板をガイドプレートに直接搭載するのではなく、ガイドプレートに載置されたトレーを介して基板を搭載するように構成された基板搬送装置にあっては、次のような問題が生じる。
【０００８】
トレーは通常、平面形状が長方形であってその長辺長さおよび短辺長さが基板のそれらよりも大きい寸法を有するように、側縁寄り箇所および端縁寄り箇所を張り出し状に設けることで、搭載される基板よりも面積を大きくする必要がある。その理由は、基板が搭載されるトレーの側縁寄り箇所に、搬送用アームの垂下状先端部分が昇降によって嵌脱可能に嵌合するための嵌合穴を搬送方向に沿って複数個設ける必要があるからである。
【０００９】
トレーおよび搬送用アームがこのように構成されているときには、トレーがガイドプレートに対して所定箇所に正確に載置されなければ、トレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合時の位置合わせが容易ではないために嵌合がスムーズに行われず、搬送トラブルの生じるおそれがある。
【００１０】
さらに、トレーおよび搬送用アームがこのように構成されているのに加えて、ガイドプレートに基板を加熱するためのヒータが内蔵されているとともにそのヒータの幅が基板の幅とほぼ同じになるように構成されているときには、次のような問題がある。すなわち、トレーの側縁寄り箇所がガイドプレートの側縁から張り出しているために、ヒータによる加熱時に、トレーのうちのヒータに面している箇所とヒータから張り出した箇所との間で温度分布に差が生じる。この温度分布の差によって、トレーが側縁寄り箇所において上方へ反ってしまうことがあり、基板の表面に半導体薄膜を製造する成膜処理が良好に行われなかったり、搬送トラブルが生じたりするおそれがある。
【００１１】
この発明は以上のような事情を考慮してなされたものであり、その課題は、搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置および基板搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明の１つの観点によれば、複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送用アームとを備えてなり、トレーは、搬送方向に対して平行にされる両側縁を有し、これらの両側縁のそれぞれに搬送用アームのための当接係合部が設けられ、搬送用アームは、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、搬送方向に対して平行に設けられたレールに沿って水平状に往復移動することのできるベース部と、ベース部において搬送方向に直交する方向に水平状往復移動可能に設けられたガイド部と、ガイド部において搬送方向に対して平行な方向に水平状に設けられ、自由端である内方突出状端がガイド部の水平状往復移動によってトレーの側縁の当接係合部に外側から内側へ当接係合／内側から外側へ係合解除されるアーム部とを有している、ことを特徴とする基板搬送装置が提供される。
【００１３】
この基板搬送装置における複数の浮上搬送用ガイドプレートは、互いに離間した状態に隣接して配置される。このようなガイドプレートとしては、複数の浮上用ガス噴出孔が設けられていて、浮上した板状被処理物――ガイドプレートに載置されるトレーとこのトレーに搭載されるプラズマ処理用基板とからなるもの――が外力により搬送される際のガイドとなるものであればよい。その形状や材質などについては特に制約がない。
【００１４】
ガイドプレートは例えば、外部のガス供給源に接続される浮上用ガス供給管を有する長方形板状体からなり、ゲートバルブを隔てて互いに隣接された複数の処理室において、搬送方向に沿って一線状に配置される。それぞれのガイドプレートには、ガス供給源から浮上用ガスが供給される。浮上用ガスとしては、ガイドプレート、被処理物などに対してダメージを与えないものであれば、特に制約がないが、例えば、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスなどが好ましく用いられる。
【００１５】
それぞれのガイドプレートにおける複数（例えば１００〜２００個）の浮上用ガス噴出孔（例えば直径が０．５〜５．０ｍｍの円形孔）は例えば、互いに独立した複数の噴出孔群（例えば５〜１０群）から構成することができる。これらの噴出孔群は、搬送方向に対して横断状に、かつ、搬送方向へ所定間隔を置いて形成される。
【００１６】
基板を搭載するためのトレーとしては、基板を搭載した状態でガイドプレートの上に載置され、各種処理の温度、圧力などに耐えることのできるものであれば、その形状や材質などについては特に制約されない。ただし、浮上用ガスにより浮上されるという観点からは、トレーは軽量であることが好ましく、例えばステンレス鋼あるいはアルミニウム合金からなる薄板状のもの（厚さが例えば０．５ｍｍ〜２．０ｍｍのもの）が使用される。
【００１７】
搬送用アームは、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するためのものである。
【００１８】
トレーは両側縁を有してなる。これらの両側縁は搬送方向に対して平行にされる。これらの両側縁のそれぞれには、当接係合部が設けられている。この当接係合部は、トレーが搬送用アームによって搬送される際に搬送用アームが当接状に係合する部分である。
【００１９】
搬送用アームは、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものである。搬送用アームは、ベース部とガイド部とアーム部とを有している。ベース部は、搬送方向に対して平行に設けられたレールに沿って水平状に往復移動することができる部分である。ガイド部は、ベース部において搬送方向に直交する方向に水平状往復移動可能に設けられた部分である。アーム部は、ガイド部において搬送方向に対して平行な方向に水平状に設けられた部分である。そして、アーム部の自由端である内方突出状端は、ガイド部の水平状往復移動によってトレーの側縁の当接係合部に外側から内側へ当接係合されるとともに、内側から外側へ係合解除される。
【００２０】
搬送用アームを駆動するためには例えば、搬送方向に間隔を置いて配置された一対のプーリと、これらのプーリに巻き掛けられたワイヤーと、一方のプーリに接続されたモータとから構成されたものが用いられる。
【００２１】
この発明の別の観点によれば、複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体とを備えてなり、トレーは、両側縁を有する本体部と、この本体部における両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられた複数対の張出部とを有しており、搬送体は、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、鉛直状回転軸の周りに回転可能に設けられた無限軌道型ベルトと、このベルトの表面に水平突出状に設けられ、ベルトの回転に伴ってトレーの張出部に当接係合／係合解除される複数の突起部とを有している、ことを特徴とする基板搬送装置が提供される。
【００２２】
この発明の別の観点における基板搬送装置の浮上搬送用ガイドプレートおよびガス供給源の構成は、この発明の１つの観点における上記基板搬送装置のそれらと同じである。
【００２３】
この発明の別の観点における基板搬送装置は、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体とをさらに備えている。
【００２４】
トレーは本体部と張出部とを有してなる。本体部は両側縁を有している。張出部は複数対からなる。そして、本体部における両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられている。搬送体は、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものである。搬送体のそれぞれは、無限軌道型ベルトと複数の突起部とを有している。無限軌道型ベルトは、鉛直状回転軸の周りに回転可能に設けられている。複数の突起部は、このベルトの表面に水平突出状に設けられ、ベルトの回転に伴ってトレーの張出部に当接係合されるとともに係合解除される。
【００２５】
この発明のさらに別の観点によれば、複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送用アームとを備えてなり、トレーは、搬送方向に対して平行にされる両側縁を有し、これらの両側縁のそれぞれに搬送用アームのための当接係合部が設けられ、搬送用アームは、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、搬送方向に対して平行に設けられたレールに沿って水平状に往復移動することのできるベース部と、ベース部において搬送方向に直交する方向に水平状往復移動可能に設けられたガイド部と、ガイド部において搬送方向に対して平行な方向に水平状に設けられ、自由端である内方突出状端がガイド部の水平状往復移動によってトレーの側縁の当接係合部に外側から内側へ当接係合／内側から外側へ係合解除されるアーム部とを有している基板搬送装置を使用して、基板を搬送する基板搬送方法であって、一対の搬送用アームにおけるアーム部の内方突出状端が、トレーの当接係合部に当接係合した状態でトレーを挟み込んで搬送する、ことを特徴とする基板搬送方法が提供される。
【００２６】
この発明のさらに別の観点における基板搬送方法は、この発明の１つの観点における上記基板搬送装置を使用する。そして、同基板搬送装置の一対の搬送用アームにおけるアーム部の内方突出状端が、トレーの当接係合部に当接係合した状態でトレーを挟み込んで搬送する、ことに特徴がある方法である。
【００２７】
この発明のもっと別の観点によれば、複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体とを備えてなり、トレーは、両側縁を有する本体部と、この本体部における両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられた複数対の張出部とを有しており、搬送体は、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、鉛直状回転軸の周りに回転可能に設けられた無限軌道型ベルトと、このベルトの表面に水平突出状に設けられ、ベルトの回転に伴ってトレーの張出部に当接係合／係合解除される複数の突起部とを有している基板搬送装置を使用して、基板を搬送する基板搬送方法であって、一対の搬送体における突起部が、トレーの張出部に当接係合した状態でトレーを搬送する、ことを特徴とする基板搬送方法が提供される。
【００２８】
この発明のもっと別の観点における基板搬送方法は、この発明の別の観点における上記基板搬送装置を使用する。そして、同基板搬送装置の一対の搬送体における突起部が、トレーの張出部に当接係合した状態でトレーを搬送する、ことに特徴がある方法である。
【発明の効果】
【００２９】
この発明の１つの観点における上記基板搬送装置は、複数の浮上用ガス噴出孔を有し、互いに離間した状態に隣接して配置された複数の浮上搬送用ガイドプレートと、それぞれのガイドプレートへ浮上用ガスを供給するガス供給源と、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレーと、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送用アームとを備えてなる。そして、トレーが、搬送方向に対して平行にされる両側縁を有し、これらの両側縁のそれぞれに搬送用アームのための当接係合部が設けられ、搬送用アームが、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、搬送方向に対して平行に設けられたレールに沿って水平状に往復移動することのできるベース部と、ベース部において搬送方向に直交する方向に水平状往復移動可能に設けられたガイド部と、ガイド部において搬送方向に対して平行な方向に水平状に設けられ、自由端である内方突出状端がガイド部の水平状往復移動によってトレーの側縁の当接係合部に外側から内側へ当接係合／内側から外側へ係合解除されるアーム部とを有している。
【００３０】
従って、このような基板搬送装置によれば、搬送用アームのアーム部の内方突出状端がガイド部の水平状往復移動によってトレーの当接係合部に外側から内側へ当接係合する。そして、従来の基板搬送装置におけるトレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合によることなく、搬送用アームのアーム部がトレーの当接係合部に係合した状態でトレーを浮上搬送することが可能になるので、従来のような搬送トラブルのおそれを防止することができる。
【００３１】
この発明の別の観点における上記基板搬送装置は、この発明の１つの観点における上記基板搬送装置と同様なガイドプレート、ガス供給源、トレーに加えて、浮上したトレーをそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体とを備えてなる。そして、トレーは、両側縁を有する本体部と、この本体部における両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられた複数対の張出部とを有している。また、搬送体は、ガイドプレートに載置されたトレーの両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものであって、それぞれが、鉛直状回転軸の周りに回転可能に設けられた無限軌道型ベルトと、このベルトの表面に水平突出状に設けられ、ベルトの回転に伴ってトレーの張出部に当接係合／係合解除される複数の突起部とを有している。
【００３２】
従って、このような基板搬送装置によれば、それぞれの搬送体の無限軌道型ベルトにおける複数の突起部がベルトの回転に伴ってトレーの複数対の張出部に当接係合する。そして、従来の基板搬送装置におけるトレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合によることなく、それぞれのベルトにおける複数の突起部がトレーの複数対の張出部に係合した状態でトレーを浮上搬送することが可能になるので、従来のような搬送トラブルのおそれを防止することができる。
【００３３】
この発明のさらに別の観点における上記基板搬送方法は、この発明の１つの観点における上記基板搬送装置を使用するものであり、同基板搬送装置の一対の搬送用アームにおけるアーム部の内方突出状端が、トレーの当接係合部に当接係合した状態でトレーを挟み込んで搬送する。
【００３４】
従って、このような基板搬送方法によれば、従来の基板搬送装置におけるトレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合によることなく、搬送用アームのアーム部がトレーの当接係合部に係合した状態でトレーを浮上搬送することが可能になるので、従来のような搬送トラブルのおそれを防止することができる。
【００３５】
この発明のもっと別の観点における上記基板搬送方法は、この発明の別の観点における上記基板搬送装置を使用するものであり、同基板搬送装置の一対の搬送体における突起部が、トレーの張出部に当接係合した状態でトレーを搬送する。
【００３６】
従って、このような基板搬送方法によれば、従来の基板搬送装置におけるトレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合によることなく、搬送体における突起部がトレーの張出部に当接係合した状態でトレーを浮上搬送することが可能になるので、従来のような搬送トラブルのおそれを防止することができる。
【００３７】
この発明の１つの観点における上記基板搬送装置は、トレーの当接係合部が、トレーにおける両側縁のそれぞれに切り欠き状に設けられてそれぞれの搬送用アームのアーム部における内方突出状端が当接係合／係合解除される切欠部である、ように構成することができる。この切欠部の形状としては例えば、長方形、正方形、台形、三角形などがある。
【００３８】
基板搬送装置のトレーの当接係合部がこのように構成されていると、搬送用アームのアーム部における内方突出状端がトレーの当接係合部としての切欠部に容易に当接係合することから、搬送用アームとトレーとの搬送方向の位置合せが簡単になり、搬送トラブルがいっそう防止される。
【００３９】
この発明の１つの観点における上記基板搬送装置は、トレーの当接係合部が、トレーにおける両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられてそれぞれの搬送用アームのアーム部における内方突出状端が当接係合／係合解除される張出部である、ように構成することができる。この張出部の形状としては例えば、長方形、正方形、台形などがある。
【００４０】
基板搬送装置のトレーの当接係合部がこのように構成されていると、搬送用アームのアーム部における内方突出状端がトレーの当接係合部としての張出部に容易に当接係合することから、搬送用アームとトレーとの搬送方向の位置合せが簡単になり、搬送トラブルがいっそう防止される。
【００４１】
ここで、トレーの張出部は、搬送用アームのアーム部における内方突出状端が当接係合／係合解除される特定形状の切欠箇所を有しているように、構成することができる。この切欠箇所の特定形状は例えば、長方形、正方形、台形、三角形などがある。
【００４２】
ここで、搬送用アームは、アーム部における内方突出状端がトレーの張出部の切欠箇所に対応した係合用形状に構成することができる。
【００４３】
搬送用アームがこのように構成されていると、アーム部における内方突出状端がトレーの張出部の切欠箇所により確実に当接係合することから、搬送トラブルがさらにいっそう防止される。
【００４４】
この発明の１つの観点における上記基板搬送装置は、トレーにおける両側縁のそれぞれを、それぞれの搬送用アームのアーム部が複数箇所で当接するように構成することができる。
【００４５】
基板搬送装置のトレーにおける両側縁のそれぞれがこのように構成されていると、トレーにおける両側縁のそれぞれに、それぞれの搬送用アームのアーム部が複数箇所で当接することで、搬送時におけるトレーの横ぶれを抑えることが可能になる。
【００４６】
ここで好ましいのは、トレーの当接係合部が、トレーにおける両側縁のそれぞれについて複数箇所設けられ、それぞれの搬送用アームのアーム部における内方突出状端が、トレーの当接係合部に対応して複数個設けられていることである。
【００４７】
基板搬送装置におけるトレーの当接係合部および搬送用アームのアーム部における内方突出状端がこのように設けられていると、それぞれの搬送用アームのアーム部における複数個の内方突出状端が、トレーにおける両側縁のそれぞれにおける対応する複数箇所の当接係合部に当接係合することで、搬送時におけるトレーの横ぶれをいっそう確実に抑えることが可能になる。
【００４８】
この発明の１つの観点における上記基板搬送装置は、搬送用アームを、アーム部における内方突出状端がトレーの当接係合部を上下で挟んだ状態に受け入れることのできる形態に構成することができる。ここで、トレーの当接係合部を上下で挟んだ状態に受け入れることのできるアーム部における内方突出状端の断面形態としては例えば、コ字形、エ字形、ロ字形、Ｃ字形、＜形などがある。
【００４９】
基板搬送装置の搬送用アームがこのように構成されていると、搬送用アームのアーム部における内方突出状端がトレーの当接係合部を上下で挟んだ状態に受け入れることで、搬送時におけるトレーの上下ぶれを抑えることが可能になる。
【００５０】
この発明の別の観点における上記基板搬送装置は、トレーの張出部が、特定形状の係合用切欠箇所を有しており、搬送体の突起部が、トレーの張出部の切欠箇所に対応した係合用形状に構成されている、のがより好ましい。ここで、トレーの張出部における係合用切欠箇所の特定形状は例えば、長方形、正方形、台形、三角形などがある。
【００５１】
基板搬送装置におけるトレーの張出部および搬送体の突起部がこのようなものであるときには、搬送体の突起部がトレーの張出部に容易に当接係合することから、搬送体とトレーとの搬送方向の位置合せが簡単になり、搬送トラブルがいっそう防止される。
【００５２】
この発明の別の観点における上記基板搬送装置は、搬送体が、複数の真空室のそれぞれにおいて、１つのガイドプレートごとに一対設けられている、のがより好ましい。ここで、複数の真空室は例えば、少なくとも１つが基板などの板状被処理物にプラズマ処理を行うためのプラズマ処理室にされる。他の真空室は例えば、プラズマ処理室に接続された、被処理物を搬出するための被処理物搬出室などにされる。これらの真空室は、密閉可能な構造を有し、所定の気圧と温度に耐え得るものであればよく、その形状や材質などについては特に制約がない。
【００５３】
基板搬送装置における搬送体が、複数の真空室のそれぞれにおいて１つのガイドプレートごとに一対設けられていると、浮上したトレーを１つの真空室のガイドプレートから隣接する真空室の他のガイドプレートへよりスムーズに搬送することが可能になることから、搬送トラブルがさらにいっそう防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５４】
以下、添付図面である図１〜図１５に基づいて、この発明の好ましい３つの実施の形態を説明する。なお、これらによってこの発明が限定されるものではない。
【００５５】
〔実施の形態１〕
図１は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態１における基板搬送装置の一部切欠斜視図である。図２は、図１に示された基板搬送装置の構成説明図である。図３は、図１に示された基板搬送装置における１つの構成要素であるトレーの平面図である。図４は、図１に示された基板搬送装置の平面図である。
【００５６】
図１および図２に示されたように、この発明の実施の形態１における基板搬送装置Ｄは、プラズマ処理装置に組み込まれている。基板搬送装置Ｄは、搬送上流側から搬送下流側へかけて互いに離間した状態に隣接して配置された第１真空室１および第２真空室２を備えてなる。これら２つの真空室１，２は、長手方向に直線状に延びる１つのケーシングを開閉可能な１つの隔離用ゲートバルブ３により２つに区画することで構成されている。これらの真空室１，２はステンレス鋼製で、内面には鏡面加工が施されている。ゲートバルブ３は、昇降可能に構成され、上昇した位置で隣接する２つの真空室１，２を連通状態にし、下降した位置で隣接する２つの真空室１，２を隔離状態にする。
【００５７】
第１真空室１は、搬送上流側からここへ搬入された板状被処理物４（ここでは、トレー５とこのトレー５に搭載されるプラズマ処理用基板６とからなる）にプラズマ処理を行うためのプラズマ処理室にされている。第２真空室２は、第１真空室１であるプラズマ処理室で処理された被処理物４を搬出するための被処理物搬出室にされている。
【００５８】
第１真空室としてのプラズマ処理室１および第２真空室としての被処理物搬出室２にはそれぞれ、長方形板状体からなり、被処理物４が載置される浮上搬送用ガイドプレート７が設けられている。これらのガイドプレート７，７もステンレス鋼製であり、後に説明するように部分的に中空構造とされている。それぞれのガイドプレート７は、表面に鏡面加工が施され、幅（短辺長さ）６００ｍｍ、長さ（長辺長さ）１０００ｍｍ、厚さ３０ｍｍの寸法を有している。これら２つのガイドプレート７，７は、ゲートバルブ３を隔てて隣接されたプラズマ処理室１および被処理物搬出室２において、搬送方向に沿って一線状に配置されている。また、それぞれのガイドプレート７には、基板６を加熱するためのヒータ（図示略）が内蔵されている。
【００５９】
図１および図２に示されたように、それぞれのガイドプレート７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。すなわち、それぞれのガイドプレート７の上面には、長方形短辺の延びる方向（搬送方向に直交する方向）へ１列に８個、長方形長辺の延びる方向（搬送方向に平行な方向）へ１６列に配置された合計１２８個の円形ガス噴出孔８，……，８が形成されている。それぞれのガス噴出孔８の孔径は１．０ｍｍである。
【００６０】
これら１２８個のガス噴出孔８，……，８は、２列である１６個ごとに独立した８つの帯状噴出孔群９，……，９に分けられている。これらの噴出孔群９，……，９は、ガイドプレート７の長辺の延びる方向である搬送方向に対して横断状に、かつ、搬送方向へ所定間隔を置いて形成されている。
【００６１】
それぞれのガイドプレート７は、搬送方向に対して横断状に、かつ、搬送方向へ互いに所定間隔を置いて形成された、８つの帯状噴出孔群９，……，９のそれぞれに対応する８本の内部溝（図示略）と、これらの内部溝のそれぞれに連通状に接続され、ガイドプレート７の内部で搬送方向へ沿って延びる８本の浮上用ガス供給管１０，……，１０とを備えている。ガイドプレート７は、このような内部溝が形成されていることにより、これらの内部溝の箇所で中空状にされている。
【００６２】
図２に示されたように、この基板搬送装置Ｄには、プラズマ処理室１および被処理物搬出室２におけるガイドプレート７，７へ浮上用ガスを供給するガス供給源１１が設けられている。ガス供給源１１は、プラズマ処理室１および被処理物搬出室２のそれぞれの底壁外部に設けられた浮上用ガス供給バルブ１２，１２を介して、ガイドプレート７，７のガス供給管１０，……，１０に接続されている。
【００６３】
また、プラズマ処理室１および被処理物搬出室２はそれぞれ、外部の真空ポンプ１３，１３に接続されている。プラズマ処理室１には、その入口側に被処理物搬入用扉１４が設けられている。プラズマ処理室１は、室内を所定の真空度に維持するための圧力調整バルブ１５を介して下方の真空ポンプ１３に接続されているとともに、上方でプラズマ処理用反応ガスを導入するための反応ガス導入管１６に接続されている。被処理物搬出室２には、その出口側に被処理物搬出用扉１７が設けられている。さらに、被処理物搬出室２は、上方でリークガス導入管１８に接続されている。
【００６４】
プラズマ処理室１のガイドプレート７はプラズマ処理用アノード電極１９を兼ねている。また、アノード電極１９の上方には、対向状にプラズマ処理用カソード電極２０が設けられている。カソード電極２０は、プラズマ処理室１の外部におけるコンデンサ２１および整合回路２２を介して、高周波電源２３へ電気的に接続されている。
【００６５】
図１および図２に示されたように、被処理物搬出室２におけるガイドプレート７には１枚の板状トレー５が載置されている。トレー５はステンレス鋼製であって、長方形の平面形状を有している。トレー５の裏面（ガイドプレート７との対向面）には、滑らかな搬送移動を実現するために鏡面加工が施されている。トレー５は、幅（短辺長さ）６０５ｍｍ、長さ（長辺長さ）９００ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法を有している。トレー５は、搬送すべき基板６を搭載するためにガイドプレート７に載置されて浮上用ガスにより浮上される。
【００６６】
図３に示されたように、トレー５は、搬送方向に対して平行にされる両側縁がある長方形本体部５ａと、この本体部５ａにおける両側縁のそれぞれから部分的に外側へ張り出すように設けられて、トレー５が後述の搬送用アーム２４によって搬送される際に搬送用アーム２４が当接状に係合／係合解除する合計６つの張出部５ｂ，５ｂ，５ｃ，５ｃ，５ｄ，５ｄとを有している。
【００６７】
トレー５における張出部５ｂ，５ｂ，５ｃ，５ｃ，５ｄ，５ｄは、本体部５ａにおけるそれぞれの側縁の搬送上流側端部寄り位置に設けられた第１張出部５ｂ，５ｂと、この第１張出部５ｂ，５ｂから搬送下流側へ所定距離だけ離れた中間位置に設けられた第２張出部５ｃ，５ｃと、この第２張出部５ｃ，５ｃからさらに搬送下流側へ所定距離だけ離れた搬送下流側端部に連なる端部位置に設けられた第３張出部５ｄ，５ｄとからなっている。それぞれの張出部５ｂ，……，５ｄは、平面形状が凹字状のものである。すなわち、それぞれの張出部５ｂ，……，５ｄは、図３に示されたように、本体部５ａの一方側縁に連なる基部側縁部とこの基部側縁部に対して所定間隔をおいて平行に延びる張出側縁部とを有する長方形から、その張出側縁部の中間部分を含む小さい長方形の領域が切り欠かれてなるような、平面形状が凹字形のものであり、一対の突出部分を有している。
【００６８】
この基板搬送装置Ｄには、ガイドプレート７に載置された被処理物４を浮上させ、浮上した被処理物４を外力によりプラズマ処理室１および被処理物搬出室２の間でガイドプレート７，７に沿って搬送するための搬送機能部３０，３０が、被処理物搬出室２に設けられている。以下、図１および図４を参照しながら、搬送機能部３０，３０による浮上搬送について説明する。
【００６９】
図１において、それぞれの搬送機能部３０は、被処理物４をプラズマ処理室１および被処理物搬出室２の間で移動させる。それぞれの搬送機能部３０は、被処理物搬出室２における被処理物４の両側縁のそれぞれに沿って配設された搬送用アーム２４と、搬送方向に間隔を置いて配置された一対のプーリ（駆動プーリ２５ａおよび従動プーリ２５ｂ）と、これらのプーリ２５ａ，２５ｂに巻き掛けられたワイヤー２６と、駆動プーリ２５ａに接続されたモータ２７とを備えてなる。
【００７０】
従動プーリ２５ｂには、ワイヤー２６のたるみを取る方向に付勢されたスプリング２９が取り付けられている。スプリング２９により、従動プーリ２５ｂは搬送方向に対して平行な方向へ引っ張られ、ワイヤー２６の張力が一定に保たれている。
【００７１】
図１および図４に示されたように、搬送用アーム２４は、ベース部２４ａとガイド部２４ｂとアーム部２４ｃとを備えてなる。搬送用アーム２４は、その一部が、ワイヤー２６に連結されているとともに、被処理物搬出室２の底面後方に水平状に設けられたレール２８（図４では図示略）に載置されている。
【００７２】
すなわち、ベース部２４ａは、ワイヤー２６に連結されているとともにレール２８に載置されていて、レール２８に沿って水平状に往復移動することができる。ガイド部２４ｂは、ベース部２４ａにおいて搬送方向に直交する方向へ水平状に往復移動することができるように設けられている。アーム部２４ｃは、ガイド部２４ｂにおいて搬送方向に対して平行な方向に水平状に、かつ、載置されたトレー５の側方に位置するように設けられている。アーム部２４ｃの搬送方向への移動距離は、６５０ｍｍになるように設定されている。
【００７３】
アーム部２４ｃには、その自由端に内方突出状端２４ｄが設けられている。内方突出状端２４ｄは、図５に示されたように、正面形状が片仮名の「コ」の字状であり、ガイド部２４ｂの上記往復移動により、トレー５における凹字状第１〜第３張出部５ｂ，……，５ｄのそれぞれの突出部分に、外側から内側へ当接係合され／内側から外側へ係合解除される。
【００７４】
これに関してより詳しく説明すると、ベース部２４ａの上方には、ガイド部２４ｂが、ベース部２４ａに一体化された一対のガイド軸を介して、搬送方向に直交する方向へ水平状に往復移動することができるように設けられている。アーム部２４ｃは、ガイド部２４ｂに一体化されており、搬送方向に対して平行な方向にベース部２４ａとともに往復移動する。
【００７５】
このようなガイド部２４ｂの往復移動によって、アーム部２４ｃはレール２８との平行関係を維持した状態で、レール２８から遠ざかったり、レール２８に近付いたりすることができる。そして、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、アーム部２４ｃのこのような動きによって、トレー５の張出部５ｂ，……，５ｄの１つの突出部分に外側（トレー５の本体部５ａの側縁に対してより遠い側）から内側（トレー５の本体部５ａの側縁に対してより近い側）へ当接係合されたり、内側から外側へ係合解除されたりする。
【００７６】
このプラズマ処理装置Ｄは、搬送中のトレー５の位置を検出するセンサー（図示略）と所定の制御を行う制御機能部（図示略）とをさらに備えている。
【００７７】
制御機能部は、主として次のような制御を行うものである。すなわち、ゲートバルブ３を開放して、隣接するプラズマ処理室１と被処理物搬出室２とを連通させる。また、プラズマ処理室１および被処理物搬出室２のガイドプレート７，７におけるガス噴出孔８，……，８から浮上用ガスを噴出させる。そして、噴出した浮上用ガスにより浮上した被処理物４（トレー５＋基板６）を搬送機能部３０，３０によりガイドプレート７，７に沿って搬送させる浮上搬送制御に際して、プラズマ処理室１および被処理物搬出室２における被処理物４の浮上に関与している噴出孔群９，……，９から浮上用ガスを順次噴出させるとともに、被処理物４の浮上に関与しなくなった噴出孔群９，……，９からの浮上用ガスの噴出を順次停止する。
【００７８】
図１および図２におけるプラズマ処理室１の搬送上流側には、被処理物搬入室（図示略）が設けられている。この被処理物搬入室にも、被処理物４（トレー５＋基板６）を載置する浮上搬送用ガイドプレート（図示略）と、搬送機能部（図示略）とが設けられている。このガイドプレートの上には、トレー５を介して基板６が搭載されている。この状態において、被処理物搬入室におけるトレー５は、図１および図２で示された被処理物搬出室２におけるのと同様に、８つの帯状噴出孔群のうち中央の６つの噴出孔群を覆っている。また、被処理物搬入室における搬送機能部は、被処理物搬出室２における搬送機能部３０，３０と同一の構造であり、被処理物搬出室２における搬送機能部３０，３０とは面対称状に設けられたものである。
【００７９】
以下、被処理物搬入室における搬送機能部と被処理物搬出室２における搬送機能部３０，３０と制御機能部とが組み合わされた、このプラズマ処理装置Ｄの浮上搬送動作を説明する。なお、被処理物搬入室の、被処理物搬出室２における構成要素に対応する構成要素は、便宜的にかっこ付きの符号（例えば「ガイドプレート（７）」のように）で表わす。
【００８０】
制御機能部は、被処理物搬入室のガイドプレート（７）のガス噴出孔（８，……，８）から浮上用ガス（ここでは窒素ガス）を噴出させることで、被処理物（４）をガイドプレート（７）から浮上させる。また、制御機能部は、搬送用アーム（２４）を、それぞれのアーム部（２４ｃ）の内方突出状端（２４ｄ）が外側から内側へ移動してトレー（５）の搬送下流側端の第３張出部（５ｄ）に当接状に係合した状態で、レール（２８）に沿って搬送下流側へ水平移動させる。このとき、トレー（５）は浮上した状態にあるため、搬送用アーム（２４）のアーム部（２４ｃ）はわずかな力でトレー（５）をスムーズに搬送移動させることができる。
【００８１】
ここで、制御機能部は、ガイドプレート（７）のすべてのガス噴出孔（８，……，８）から浮上用ガスをいっせいに噴出させるのではなく、被処理物（４）の浮上に関与している噴出孔群（９，……，９）から浮上用ガスを順次噴出させる。すなわち、制御機能部は、搬送中のトレー（５）の位置を検出する上記センサーにより検出されたトレー（５）の位置に応じて、被処理物（４）の浮上に関与している噴出孔群（９，……，９）から浮上用ガスを順次噴出させるとともに、被処理物（４）の浮上に関与しなくなった噴出孔群（９，……，９）からの浮上用ガスの噴出を順次停止するように制御する。
【００８２】
以上のような浮上用ガスの噴出は、制御機能部が、それぞれのガス供給源１１に接続された流量調整用バルブ１２を操作することによって行われる。
【００８３】
制御機能部によるこのような浮上用ガスの順次噴出および順次停止は、トレー（５）の搬送が進行して、その進行先端側端部が被処理物搬入室のガイドプレート（７）からプラズマ処理室１のガイドプレート７に移されている状態においても、連続的に行われる。
【００８４】
被処理物搬入室において、搬送用アーム（２４）のアーム部（２４ｃ）が搬送下流側へ一定距離だけ水平移動すると、アーム部（２４ｃ）の内方突出状端（２４ｄ）は、内側から外側へ移動してトレー（５）の第３張出部（５ｄ）から係合解除される。次いで、アーム部（２４ｃ）は、内方突出状端（２４ｄ）が外側から内側へ再び移動してトレー（５）の第２張出部（５ｃ）に当接係合された状態で、搬送下流側へさらに一定距離だけ水平移動する。すると、アーム部（２４ｃ）の内方突出状端（２４ｄ）は、内側から外側へ再び移動して、トレー（５）の第２張出部（５ｃ）から係合解除される。
【００８５】
その後、アーム部（２４ｃ）は、内方突出状端（２４ｄ）が外側から内側へ再び移動して第１張出部（５ｂ）に当接係合された状態で、搬送下流側へさらに一定距離だけ水平移動する。その結果、被処理物搬入室にあったトレー（５）および基板（６）は、プラズマ処理室１のガイドプレート７上の中央位置まで搬送され、アノード電極を兼ねるガイドプレート７とその上方のカソード電極２０とに挟まれた状態になる。
【００８６】
次に、制御機能部は、プラズマ処理室１のガイドプレート７からの浮上用ガスの噴出を止め、トレー５をガイドプレート７上に接地させて位置決めする。そして、上昇させていたゲートバルブを下降させて、被処理物搬入室とプラズマ処理室１とを再び隔離する。
【００８７】
次いで、プラズマ処理室１に接続された真空ポンプ１３（図２参照）を作動させて、プラズマ処理室１を所定の真空度に維持する。そして、トレー５に搭載された基板６に、アノード電極を兼ねるガイドプレート７とその上方のカソード電極２０とで所定のプラズマ処理を施す。
【００８８】
プラズマ処理室１で所定のプラズマ処理が施された基板６は、その後、被処理物搬出室２における搬送機能部３０，３０と制御機能部とによって、トレー５に搭載された状態で被処理物搬出室２まで浮上搬送される。なお、ここにおけるトレー５の浮上に関する説明は、上記したものと実質的に同一であるので、省略する。
【００８９】
制御機能部によって、それぞれの搬送機能部３０の搬送用アーム２４におけるアーム部２４ｃは、その内方突出状端２４ｄが外側から内側へ移動し、プラズマ処理室１で基板６を搭載したトレー５の搬送下流側端の第３張出部５ｄに当接状に係合した状態で、それぞれのレール２８に沿って搬送下流側へ一定距離だけ水平移動する。すると、それぞれの搬送用アーム２４におけるアーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、内側から外側へ移動して、トレー５の第３張出部５ｄから係合解除される。
【００９０】
次いで、アーム部２４ｃは、内方突出状端２４ｄが外側から内側へ再び移動してトレー５の中間位置に設けられた第２張出部５ｃに当接係合された状態で、搬送下流側へさらに一定距離だけ水平移動する。すると、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、内側から外側へ再び移動して、トレー５の第２張出部５ｃから係合解除される。その後、アーム部２４ｃは、内方突出状端２４ｄが搬送上流側端部寄り位置に設けられた第１張出部５ｂに当接係合された状態で、搬送下流側へさらに一定距離だけ水平移動する。その結果、プラズマ処理室１にあったトレー５および基板６は、図１および図２に示されたように、被処理物搬出室２のガイドプレート７上の中央位置まで搬送された状態になる。
【００９１】
この発明の実施の形態１における基板搬送装置Ｄによれば、搬送用アーム２４のアーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄがガイド部２４ｂの水平状往復移動によってトレー５の張出部５ｂ，……，５ｄの一部に外側から内側へ当接係合する。そして、従来の基板搬送装置におけるトレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合によることなく、搬送用アーム２４のアーム部２４ｃがトレー５の張出部５ｂ，……，５ｄに係合した状態でトレー５を浮上搬送することが可能になるので、従来のような搬送トラブルのおそれを防止することができる。
【００９２】
〔実施の形態２〕
図６は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の１つの構成要素であるトレーの平面図である。図７〜図１０は、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【００９３】
実施の形態２における基板搬送装置は、実施の形態１における基板搬送装置Ｄと同一の被処理物搬入室、プラズマ処理室、被処理物搬出室および搬送用アーム２４（図４および図５参照）を備えてなる。図６に示されたように、この基板搬送装置では、実施の形態１における基板搬送装置Ｄのトレー５の代わりに、トレー３５が使用されている。このトレー３５も、実施の形態１におけるそれと同様に、ステンレス鋼製であって、その裏面には、滑らかな搬送移動を実現するために鏡面加工が施されている。
【００９４】
トレー３５は、搬送方向に対して平行にされる両側縁がある長方形本体部３５ａと、この本体部３５ａにおける両側縁のそれぞれに切り欠き状に設けられた合計６つの切欠部３５ｂ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｃ，３５ｄ，３５ｄとを有している。切欠部３５ｂ，３５ｂはトレー３５の搬送上流端に近い第１切欠部、切欠部３５ｃ，３５ｃはトレー３５のほぼ中間箇所における第２切欠部、切欠部３５ｄ，３５ｄはトレー３５の搬送下流端における第３切欠部である。これらの切欠部３５ｂ，……，３５ｄは、トレー３５が搬送用アーム２４によって搬送される際に、搬送用アーム２４のアーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄが外側から内側へ当接状に係合し／内側から外側へ係合解除する部分である。
【００９５】
実施の形態２における基板搬送装置の他の部分に関する構成は、実施の形態１における基板搬送装置Ｄのそれと実質的に同一である。
【００９６】
次に、図７〜図１０に基づいて、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の搬送手順を説明する。
【００９７】
図７に示されたように、プラズマ処理室１で所定のプラズマ処理が施された基板（図示略）は、その後、被処理物搬出室２における搬送機能部３０，３０と制御機能部とによって、トレー３５に搭載された状態で被処理物搬出室２まで浮上搬送される。
【００９８】
ここで、制御機能部は、搬送用アーム２４を、それぞれのアーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄが、ガイド部２４ｂの内方移動により外側から内側へ移動してトレー３５の第３切欠部３５ｄに当接状に係合した状態で、レール（図７では省略）に沿って搬送下流側へ水平移動させる。図７は、それぞれのアーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄがトレー３５の第３切欠部３５ｄに当接状に係合する前の状態を表わしている。
【００９９】
トレー３５はまず、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄがトレー３５の第３切欠部３５ｄに当接状に係合した状態で、レールに沿って搬送下流側へ第１所定距離だけ移動される。ここで、第１所定距離とは、トレー３５の第３切欠部３５ｄと第２切欠部３５ｃとの間の距離をいう。
【０１００】
次に、図８に基づいて説明する。第１所定距離だけ移動されたトレー３５は、その一部が被処理物搬出室２へ入った状態で停止される。すると、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、ガイド部２４ｂの外方移動により内側から外側へ移動して、トレー３５の第３切欠部３５ｄから係合解除される。次いで、アーム部２４ｃは搬送上流側へ第１所定距離だけ戻される。このとき、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、トレー３５の第２切欠部３５ｃを臨む位置にある。
【０１０１】
その後、トレー３５は、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄが、外側から内側へ移動して、トレー３５の第２切欠部３５ｃに当接状に係合した状態で、レールに沿って搬送下流側へ第２所定距離だけ移動される。ここで、第２所定距離とは、トレー３５の第２切欠部３５ｃと第１切欠部３５ｂとの間の距離をいう。
【０１０２】
次に、図９に基づいて説明する。第２所定距離だけ移動されたトレー３５は、その一部がプラズマ処理室１に残った状態で停止される。すると、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、ガイド部２４ｂの外方移動により内側から外側へ移動して、トレー３５の第２切欠部３５ｃから係合解除される。次いで、アーム部２４ｃは搬送上流側へ第２所定距離だけ戻される。このとき、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、トレー３５の第１切欠部３５ｂを臨む位置にある。
【０１０３】
その後、トレー３５は、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄが、外側から内側へ移動して、トレー３５の第１切欠部３５ｂに当接状に係合した状態で、レールに沿って搬送下流側へ第３所定距離だけ移動される。ここで、第３所定距離とは、トレー３５の第１切欠部３５ｂとトレー３５の搬送上流側端部との間の距離をいう。
【０１０４】
次に、図１０に基づいて説明する。第３所定距離だけ移動されたトレー３５は、その全体が被処理物搬出室２へ入った状態で停止される。すると、アーム部２４ｃの内方突出状端２４ｄは、ガイド部２４ｂの外方移動により内側から外側へ移動して、トレー３５の第１切欠部３５ｂから係合解除される。
【０１０５】
〔実施の形態２の変形例〕
図１１〜図１４には、実施の形態２における搬送用アーム２４の自由端に設けられた上記内方突出状端（第１突出状端）２４ｄに加えて、固定端寄り箇所に第２内方突出状端２４ｅが設けられた変形例の搬送用アーム２４による、基板搬送装置の搬送手順が示されている。ここで、第２内方突出状端２４ｅの形状は第１内方突出状端２４ｄの上記形状と同じに構成されている。また、第１内方突出状端２４ｄと第２内方突出状端２４ｅとの距離は、上記第２所定距離に等しくされている。
【０１０６】
図１１に示されたように、プラズマ処理室１で所定のプラズマ処理が施された基板（図示略）は、その後、被処理物搬出室２における搬送機能部３０，３０と制御機能部とによって、トレー３５に搭載された状態で被処理物搬出室２まで浮上搬送される。
【０１０７】
ここで、制御機能部は、搬送用アーム２４を、それぞれのアーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄが、ガイド部２４ｂの内方移動により外側から内側へ移動してトレー３５の第３切欠部３５ｄに当接状に係合した状態で、レール（図１１では省略）に沿って搬送下流側へ水平移動させる。図１１は、それぞれのアーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄがトレー３５の第３切欠部３５ｄに当接状に係合する前の状態を表わしている。
【０１０８】
トレー３５はまず、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄがトレー３５の第３切欠部３５ｄに当接状に係合した状態で、レールに沿って搬送下流側へ上記第１所定距離だけ移動される。
【０１０９】
次に、図１２に基づいて説明する。上記第１所定距離だけ移動されたトレー３５は、その一部が被処理物搬出室２へ入った状態で停止される。すると、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄは、ガイド部２４ｂの外方移動により内側から外側へ移動して、トレー３５の第３切欠部３５ｄから係合解除される。次いで、アーム部２４ｃは搬送上流側へ上記第１所定距離だけ戻される。このとき、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄは、トレー３５の第２切欠部３５ｃを臨む位置にある。
【０１１０】
その後、トレー３５は、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄが、外側から内側へ移動して、トレー３５の第２切欠部３５ｃに当接状に係合した状態で、レールに沿って搬送下流側へ上記第２所定距離だけ移動される。
【０１１１】
次に、図１３に基づいて説明する。上記第２所定距離だけ移動されたトレー３５は、その一部がプラズマ処理室１に残った状態で停止される。すると、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄは、ガイド部２４ｂの外方移動により内側から外側へ移動して、トレー３５の第２切欠部３５ｃから係合解除される。次いで、アーム部２４ｃは搬送上流側へ上記第２所定距離だけ戻される。このとき、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄは、トレー３５の第１切欠部３５ｂを臨む位置にあり、アーム部２４ｃの第２内方突出状端２４ｅは、トレー３５の第２切欠部３５ｃを臨む位置にある。
【０１１２】
その後、トレー３５は、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄおよび第２内方突出状端２４ｅが、外側から内側へ移動して、トレー３５の第１切欠部３５ｂおよび第２切欠部３５ｃにそれぞれ当接状に係合した状態で、レールに沿って搬送下流側へ上記第３所定距離だけ移動される。
【０１１３】
次に、図１４に基づいて説明する。上記第３所定距離だけ移動されたトレー３５は、その全体が被処理物搬出室２へ入った状態で停止される。すると、アーム部２４ｃの第１内方突出状端２４ｄおよび第２内方突出状端２４ｅは、ガイド部２４ｂの外方移動により内側から外側へ移動して、トレー３５の第１切欠部３５ｂおよび第２切欠部３５ｃからそれぞれ係合解除される。
【０１１４】
〔実施の形態３〕
図１５は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態３における基板搬送装置Ｅの一部に関する概略平面図である。
【０１１５】
図１５に示されたように、この発明の実施の形態３における基板搬送装置Ｅは、実施の形態１における基板搬送装置Ｄと同一の被処理物搬入室、プラズマ処理室１および被処理物搬出室２を備えてなる。
【０１１６】
この基板搬送装置Ｅは、搬送すべき基板を搭載するためにガイドプレートに載置されて浮上用ガスにより浮上されるトレー４５と、浮上したトレー４５をそのガイドプレートから隣接する他のガイドプレートへ搬送するための搬送体５０とをさらに備えている。
【０１１７】
このトレー４５も、実施の形態１におけるそれと同様に、ステンレス鋼製であって、その裏面には、滑らかな搬送移動を実現するために鏡面加工が施されている。トレー４５は、両側縁を有する本体部４５ａと、本体部４５ａにおける両側縁からそれぞれ部分的に外側へ張り出すように設けられた３対の張出部４５ｂ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｃ，４５ｄ，４５ｄとを有してなる。トレー４５の一方側縁における第１〜第３の張出部４５ｂ，４５ｃ，４５ｄは等間隔に設けられている。
【０１１８】
搬送体５０，５０は、ガイドプレートに載置されたトレー４５の両側方にそれぞれ位置するように設けられた一対のものである。それぞれの搬送体５０は、無限軌道型ベルト５１と複数の突起部５２，……，５２とを有している。
【０１１９】
無限軌道型ベルト５１は、鉛直状回転軸５３，……，５３の周りに回転可能に設けられている。複数の突起部５２，……，５２は、このベルト５１の表面に等間隔（トレー４５の張出部４５ｂ，４５ｃ，４５ｄどうしの間隔に等しい間隔）で水平突出状に設けられ、ベルト５２の回転に伴ってトレー４５の張出部４５ｂ，……，４５ｄに当接係合されるとともに係合解除される。
【０１２０】
トレー４５の張出部４５ｂ，……，４５ｄは、平面形状が長方形の係合用切欠箇所を有している。一方、搬送体５０の突起部５２，……，５２の平面形状は、トレー４５の張出部４５ｂ，……，４５ｄの切欠箇所に対応した係合用形状である正方形に構成されている。
【０１２１】
図示されていないが、搬送体５０，５０は、３つの真空室（被処理物搬入室、プラズマ処理室および被処理物搬出室）のそれぞれにおいて１つのガイドプレートごとに一対設けられている。
【０１２２】
この発明の実施の形態３における基板搬送装置Ｅの他の部分に関する構成は、実施の形態１における基板搬送装置Ｄのそれと実質的に同一である。
【０１２３】
実施の形態３における基板搬送装置Ｅによれば、それぞれの搬送体５０の無限軌道型ベルト５１における複数の突起部５２，……，５２がベルト５１の回転に伴ってトレー４５の３対の張出部４５ｂ，……，４５ｄに当接係合する。そして、従来の基板搬送装置におけるトレーの嵌合穴と搬送用アームの先端部分との嵌合によることなく、それぞれのベルトにおける複数の突起部がトレーの複数対の張出部に係合した状態でトレーを浮上搬送することが可能になるので、従来のような搬送トラブルのおそれを防止することができる。
【０１２４】
また、この基板搬送装置Ｅによれば、搬送体５０，５０が、３つの真空室のそれぞれにおいて１つのガイドプレートごとに一対設けられているので、浮上したトレー４５を１つの真空室のガイドプレートから隣接する真空室の他のガイドプレートへよりスムーズに搬送することが可能になり、搬送トラブルがさらにいっそう防止される。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】図１は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態１における基板搬送装置の一部切欠斜視図である。
【図２】図２は、図１に示された基板搬送装置の構成説明図である。
【図３】図３は、図１に示された基板搬送装置における１つの構成要素であるトレーの平面図である。
【図４】図４は、図１に示された基板搬送装置の平面図である。
【図５】図５は、図４に示された基板搬送装置の１つの構成要素である搬送用アームにおけるアーム部の斜視図である。
【図６】図６は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の１つの構成要素であるトレーの平面図である。
【図７】図７は、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図８】図８は、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図９】図９は、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図１０】図１０は、この発明の実施の形態２における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図１１】図１１は、この発明の実施の形態２の変形例における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図１２】図１２は、この発明の実施の形態２の変形例における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図１３】図１３は、この発明の実施の形態２の変形例における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図１４】図１４は、この発明の実施の形態２の変形例における基板搬送装置の搬送手順を説明する平面図である。
【図１５】図１５は、プラズマ処理装置に組み込まれた、この発明の実施の形態３における基板搬送装置の一部に関する概略平面図である。
【符号の説明】
【０１２６】
１・・・第１真空室（プラズマ処理室）
２・・・第２真空室（被処理物搬出室）
３・・・ゲートバルブ
４・・・被処理物
５・・・トレー
５ａ・・本体部
５ｂ・・第１張出部
５ｃ・・第２張出部
５ｄ・・第３張出部
６・・・基板
７・・・ガイドプレート
８・・・ガス噴出孔
９・・・ガス噴出孔群
１０・・・ガス供給管
１１・・・ガス供給源
１２・・・ガス供給バルブ
１３・・・真空ポンプ
１４・・・被処理物搬入用扉
１５・・・圧力調整バルブ
１６・・・反応ガス導入管
１７・・・被処理物搬出用扉
１８・・・リークガス導入管
１９・・・アノード電極
２０・・・カソード電極
２１・・・コンデンサ
２２・・・整合回路
２３・・・高周波電源
２４・・・搬送用アーム
２４ａ・・ベース部
２４ｂ・・ガイド部
２４ｃ・・アーム部
２４ｄ・・内方突出状端
２４ｅ・・内方突出状端
２５・・・プーリ
２６・・・ワイヤー
２７・・・モータ
２８・・・レール
２９・・・スプリング
３０・・・搬送機能部
３５・・・トレー
３５ａ・・本体部
３５ｂ・・第１切欠部
３５ｃ・・第２切欠部
３５ｄ・・第３切欠部
４５・・・トレー
４５ａ・・本体部
４５ｂ・・第１張出部
４５ｃ・・第２張出部
４５ｄ・・第３張出部
５０・・・搬送体
５１・・・無限軌道型ベルト
５２・・・突起部
５３・・・回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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