(57)【要約】【解決手段】  弁装置１は、入力室６と主弁開閉室１０とを連通する第１分岐通路１５と、上記出力室８に外部気体を流入させる第２分岐通路１６と、上記出力室８と上記主弁開閉室１０とを連通する第３分岐通路１７とを備え、上記第１、第２分岐通路１６にはそれぞれ電磁石２１によって開閉する第１、第２補助弁２２、２３が設けられている。  上記電磁石２１を非作動状態から作動状態にすると、連動手段２５によって連動した補助力発生手段１４が補助力を発生させ、上記第１分岐通路１５より主弁開閉室１０に流入した負圧と上記補助力とが、上記入力室６の負圧を越えることで、主弁体１３が主弁座９より離座するようになっている。【効果】  容易に弁装置の作動特性を調整することができる。【選択図】  図１
2010090931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧の供給される入力ポートの形成された入力室と、該入力室に隣接して形成されるとともに出力ポートの形成された出力室と、ダイアフラムを挟んで入力室および出力室の反対側に形成された主弁開閉室と、上記入力室と出力室との境界に形成された主弁座と、上記ダイアフラムに設けられて上記主弁座に着座する主弁体とを備えた弁装置において、
上記入力室と上記主弁開閉室とを連通するとともに第１補助弁により開閉可能な第１分岐通路と、
上記出力室または主弁開閉室に連通して外部気体を流入させるとともに第２補助弁により開閉可能な第２分岐通路と、
上記出力室と上記主弁開閉室とを連通する第３分岐通路と、
非作動状態では上記第１補助弁を閉鎖して第２補助弁を開放し、作動状態では上記第１補助弁を開放して第２補助弁を閉鎖する駆動手段と、
上記主弁体を主弁座から離座する方向に補助力を付勢する補助力発生手段と
上記駆動手段が非作動状態から作動状態になるのに連動して、上記補助力発生手段に上記補助力を発生させる連動手段とを備え、
上記駆動手段を非作動状態から作動状態にすると、連動手段により上記補助力発生手段が補助力を発生させ、
上記第１分岐通路から主弁開閉室に供給される負圧と上記補助力とにより、主弁体が上記入力室の負圧に抗して主弁座より離座することを特徴とする弁装置。
【請求項２】
上記第１分岐通路または上記第３分岐通路の少なくともいずれか一方に、当該通路の流量を調整する負圧調整バルブを設けたことを特徴とする請求項１に記載の弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は弁装置に関し、詳しくは入力ポートの形成された入力室と、出力ポートの形成された出力室と、ダイアフラムを挟んで入力室および出力室の反対側に形成された主弁開閉室とを備えた弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、負圧の供給される入力ポートの形成された入力室と、該入力室に隣接して形成されるとともに出力ポートの形成された出力室と、ダイアフラムを挟んで入力室および出力室の反対側に形成された主弁開閉室と、上記入力室と出力室との境界に形成された主弁座と、上記ダイアフラムに設けられて上記主弁座に着座する主弁体とを備えた弁装置が知られている（特許文献１の図１）。
上記特許文献１の図１では、上記主弁体に大径のシリンダを連結するとともに、該シリンダにおける上記主弁体とは反対側に形成された部屋に負圧を供給するようになっており、負圧の供給によりシリンダを作動させ、これにより上記主弁体を主弁座より離座させるようになっている。
上記構成を有する弁装置の場合、主弁体が主弁座から離座することで、出力室と入力室との圧力差により急激な圧力変動（サ−ジ圧）が発生し、出力ポートに接続された装置や物品内で発塵や発泡等が発生してしまう問題があった。
そこで、上記特許文献１の図３等に開示された弁装置では、上記入力室と上記主弁開閉室とを連通させる分岐通路と、上記出力室と上記主弁開閉室とを連通する分岐通路とを設けている。
この弁装置では、上記主弁体が着座した状態で電磁石により開弁方向に付勢すると、これに連動して上記分岐通路が解放されて負圧を主弁開閉室に導入するようになっており、上記電磁石による主弁体を離座させる付勢力が、主弁開閉室の負圧と入力室の負圧との差圧を越えると、上記主弁体が主弁座より離座するようになっている。
つまり、上記主弁開閉室および出力室に予め負圧を導入することで、サージ圧の発生を抑えるようになっている。
【特許文献１】特開２００４−２３９３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１の弁装置の場合、上記電磁石による主弁体を離座させる付勢力と、上記主弁体を主弁座に着座させるばねの付勢力とのつりあいを調整して、主弁体が主弁座より離座するタイミングを調整しなければならないという問題があった。
このような問題に鑑み、本発明は容易に主弁体が主弁座より離座するタイミングを調整することが可能な弁装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
すなわち、本発明における弁装置は、負圧の供給される入力ポートの形成された入力室と、該入力室に隣接して形成されるとともに出力ポートの形成された出力室と、ダイアフラムを挟んで入力室および出力室の反対側に形成された主弁開閉室と、上記入力室と出力室との境界に形成された主弁座と、上記ダイアフラムに設けられて上記主弁座に着座する主弁体とを備えた弁装置において、
上記入力室と上記主弁開閉室とを連通するとともに第１補助弁により開閉可能な第１分岐通路と、
上記出力室または主弁開閉室に連通して外部気体を流入させるとともに第２補助弁により開閉可能な第２分岐通路と、
上記出力室と上記主弁開閉室とを連通する第３分岐通路と、
非作動状態では上記第１補助弁を閉鎖して第２補助弁を開放し、作動状態では上記第１補助弁を開放して第２補助弁を閉鎖する駆動手段と、
上記主弁体を主弁座から離座する方向に補助力を付勢する補助力発生手段と
上記駆動手段が非作動状態から作動状態になるのに連動して、上記補助力発生手段に上記補助力を発生させる連動手段とを備え、
上記駆動手段を非作動状態から作動状態にすると、連動手段により上記補助力発生手段が補助力を発生させ、
上記第１分岐通路から主弁開閉室に供給される負圧と上記補助力とにより、主弁体が上記入力室の負圧に抗して主弁座より離座することを特徴としている。
【発明の効果】
【０００５】
上記発明によれば、上記駆動手段が非作動状態から作動状態になると、上記第１分岐通路から主弁開閉室に負圧が導入され、さらに上記補助力発生手段が主弁体を主弁座から離座する方向に補助力を発生させるようになっている。
そして、当該補助力が主弁開閉室の負圧と入力室の負圧との差圧を越えると、主弁体が主弁座から離座するようになっている。
つまり、上記補助力発生手段による補助力を調整するだけで、容易に弁装置の作動特性を調整することが可能となっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下図示実施例について説明すると、図１は本発明にかかる弁装置１の断面図を示し、本実施例の弁装置１には負圧を供給する吸気源２と、内部に物品を収容した真空パック３が接続されており、上記弁装置１を作動させることで真空パック３から気体を吸引排出し、真空包装するようになっている。
上記弁装置１は、上記吸気源２および真空パック３の接続される下部ハウジング４と、該下部ハウジング４の上部に設けられた上部ハウジング５とを備え、下部ハウジング４と上部ハウジング５とを分離することでメンテナンスを容易に行うことが可能となっている。
下部ハウジング４には、上記吸気源２の接続される入力ポート６ａの形成された入力室６と、下部ハウジング４の図示左方に開口して上記真空パック３の接続される出力ポート７と、該出力ポート７に連通する出力室８とが形成されている。
上記入力室６は円管状に形成されて、下部ハウジング４を上面から下面に貫通し、上記出力室８は上記入力室６を囲繞するように管状に形成されて下部ハウジング４の上面に開口し、これら入力室６と出力室８との境界には、下部ハウジング４の上面に向けてリング状の主弁座９が設けられている。
一方、上記上部ハウジング５には上記出力室８と略同径の主弁開閉室１０が形成され、該主弁開閉室１０は上部ハウジング５の上面および下面に開口し、上面には気密を保った状態でキャップ１１が装着されている。
主弁開閉室１０の下面にはダイアフラム１２が設けられており、該ダイアフラム１２によって主弁開閉室１０と上記入力室６および出力室８とは気密を保った状態で区画されている。
上記ダイアフラム１２の中央には上記主弁座９に着座する主弁体１３が設けられており、上記主弁体１３には後に詳述する補助力発生手段１４が設けられている。
【０００７】
また、上記下部ハウジング４および上部ハウジング５には、以下の第１〜第３分岐通路１５〜１７が形成されている。
第１分岐通路１５は、上記入力室６と上記主弁開閉室１０とを連通させるようになっており、該第１分岐通路１５の途中には、下方に向けてリング状の第１補助弁座１５ａが設けられている。
また、上記第１分岐通路１５には、第１負圧調整バルブ１８が設けられており、この第１負圧調整バルブ１８を操作することで、第１分岐通路１５の流量を調整するようになっている。
第２分岐通路１６は、上部ハウジング５の側面に開口して、上記出力室８に外部気体としての大気を流入させるようになっており、該第２分岐通路１６の途中には、上方に向けてリング状の第２補助弁座１６ａが設けられている。
上記第３分岐通路１７は、上記出力ポート７と上記主弁開閉室１０とを連通させるようになっており、また上記第３分岐通路１７には、該第３分岐通路１７の流量を調整する第２負圧調整バルブ１９が設けられている。
【０００８】
上記第１分岐通路１５の第１補助弁座１５ａおよび第２分岐通路１６の第２補助弁座１６ａは、上下方向に向けて直列に配置されており、これら第１補助弁座１５ａおよび第２補助弁座１６ａを貫通するように連結部材２０が設けられている。
この連結部材２０は上部ハウジング５の上部に固定された駆動手段としての電磁石２１によって上下に移動し、該連結部材２０の略中央には上記第１補助弁座１５ａに下方から離着座する第１補助弁２２の下端には上記第２補助弁座１６ａに上方から離着座する第２補助弁２３が設けられている。
上記電磁石２１の非作動状態では、図１に示すように上方に連結部材２０が位置するようになっており、上記第１補助弁座１５ａに第１補助弁２２が着座し、上記第２補助弁座１６ａから第２補助弁２３が離座するようになっている。
一方、電磁石２１の作動状態では、図３に示すように下方に連結部材２０が位置するようになっており上記第１補助弁座１ａから第１補助弁２２が離座し、上記第２補助弁座１６ａに第２補助弁２３が着座するようになっている。
また、連結部材２０の上部には該連結部材２０を上方に付勢するばね２４が設けられており、上記使用状態から上記電磁石２１への電力の供給が停止されると、ばね２４の付勢力によって連結部材２０が上方に移動して不使用状態となる。
【０００９】
上記主弁開閉室１０の内部には、上記電磁石２１が非作動状態から作動状態になるのに連動して、上記補助力発生手段１４に補助力を発生させる連動手段２５が設けられている。
上記連動手段２５は、主弁開閉室１０の内部に固定されたステー２５ａと、該ステー２５ａに揺動自在に設けられたレバー２５ｂとから構成され、該レバー２５ｂの両端はそれぞれ上記連結部材２０および上記補助力発生手段１４に連結されている。
そして、図１に示すように電磁石２１が非作動状態のとき、連結部材２０は上方に位置しており、レバー２５ｂの反対側の補助力発生手段１４は下方に位置し、図３に示すように電磁石２１が作動状態になって連結部材２０が下方に移動すると、これに連動して補助力発生手段１４が上方に移動するようになっている。
【００１０】
図２は上記補助力発生手段１４の断面図を示し、（ａ）は電磁石２１の非作動状態における断面図を、（ｂ）は電磁石２１の作動状態であって、かつ図３のように主弁体１３が主弁座９に着座している状態を示している。
補助力発生手段１４は、筒状のボディ３１と、該ボディ３１に対して上下方向に摺動するとともに下端に上記主弁体１３が連結されたシャフト３２と、上記シャフト３２の上部に設けられたばね受け手段３３と、上記ボディ３１とばね受け手段３３との間に弾装されたばね３４とから構成されている。
上記ボディ３１の上端および下端にはそれぞれ貫通孔の穿設されたフランジ３１ａ，３１ｂが形成され、上方のフランジ３１ａの下面には上記ばね受け手段３３が当接し、下方のフランジ３１ｂの上面には上記ばね３４の下端が上方から弾接するようになっている。
上記ボディ３１の側面には上記連動手段２５のレバー２５ｂを連結するための軸３１ｃが設けられており、電磁石２１が非作動状態の時にはボディ３１は上記レバー２５ｂによって図示下方に位置し、作動状態の時には図示上方に位置するようになっている。
上記シャフト３２には、上記ボディ３１の下方となる位置にストッパ３２ａが設けられており、このストッパ３２ａは上記ボディ３１の下方のフランジ３１ｂに下方から当接して、主弁体１３が上方に移動してしまうのを阻止するようになっている。
上記ばね受け手段３３は、筒状で下端にフランジの形成された連結部材３３ａと、該連結部材３３ａの下方に設けられたリング状部材３３ｂとから構成されており、連結部材３３ａが上記ボディ３１の上方のフランジ３１ａに当接し、リング状部材３３ｂに上記ばね３４が弾接している。
上記連結部材３３ａは回転させることでシャフト３２に対して上下に移動可能となっており、これにより上記リング状部材３３ｂと下方のフランジ３１ｂとの間に弾装されたばね３４の付勢力を調整することが可能となっている。また上記リング状部材３３ｂは上記ばね３４の伸縮に応じて回転するようになっている。
具体的には、連結部材３３ａをシャフト３２に対して図示下方に移動させると、ばね３４が圧縮されて補助力発生手段１４による補助力は大となり、連結部材３３ａを図示上方に移動させることで補助力が小となる。
このような構成により、上記主弁体１３が主弁座９に着座したまま、上記ボディ３１を上方に移動させると、ばね受け手段３３を介してシャフト３２には上方に向けてばね３４による付勢力が作用し、このばね３４の付勢力が上記主弁体１３に主弁座９から離座する方向に作用する補助力となる。
【００１１】
以下、上記構成を有する弁装置１の動作について説明する。
最初に、電磁石２１が非作動状態となっている図１の状態から説明すると、上記主弁体１３は主弁座９に着座しており、出力室８と入力室６とは連通しておらず、上記吸気源２からの負圧が真空パック３に供給されないようになっている。
また、上記第１補助弁２２は第１補助弁座１５ａに着座し、上記第１分岐通路１５を介して入力室６と主弁開閉室１０とは連通していないことから、負圧は該第１分岐通路１５を介して主弁開閉室１０に流入しないようになっている。
さらに、上記第２補助弁２３は第２補助弁座１６ａから離座し、上記第２分岐通路１６を介して出力室８には大気が流入可能になっていることから、出力室８は大気圧となっている。
ここで、上記出力室８と主弁開閉室１０とは、上記第３分岐通路１７によって常時連通するようになっているため、出力室８に流入した大気は上記主弁開閉室１０にも流入し、主弁開閉室１０も大気圧となっている。
そして、電磁石２１は非作動状態となっているため、連動手段２５によって補助力発生手段１４のボディ３１は下方に位置し、図２（ａ）に示すようにシャフト３２のストッパ３２ａがボディ３１の下方のフランジ３１ｂに当接しているため、上記補助力は発生していない。
このように、電磁石２１が非作動状態となっている弁装置１では、上記入力室６の負圧と上記主弁開閉室１０の大気圧とによる差圧によって、上記主弁体１３は主弁座９に着座した状態を維持し、上記出力ポート７に接続された真空パック３内部の気体は吸引されないようになっている。
【００１２】
次に、図３は電磁石２１を作動状態とした直後の状態を示しており、電磁石２１が連結部材２０を下方に移動させることで、第１補助弁２２が第１補助弁座１５ａから離座し、第２補助弁２３が第２補助弁座１６ａに着座した状態を示している。
第１補助弁２２が第１補助弁座１５ａから離座することで、第１分岐通路１５を介して上記入力室６と主弁開閉室１０とが連通し、また第３分岐通路１７を介して主弁開閉室１０と出力室８とは連通しているため、上記主弁開閉室１０および出力室８には負圧が導入されることとなる。
また、第２補助弁２３が第２補助弁座１６ａに着座することで、出力室８には第２分岐通路１６からの大気の流入が阻止され、これと同様、第３分岐通路１７を介して主弁開閉室１０への大気の流入も阻止される。
一方、電磁石２１が作動状態になると、図２（ｂ）に示すように連動手段２５によって補助力発生手段１４のボディ３１は上方に移動し、ボディ３１は上記ばね３４の弾性力に抗して上昇するので、補助力発生手段１４は主弁体１３に主弁座９より離座する方向に補助力を付勢することとなる。
しかしながら、電磁石２１が作動状態になった直後は、依然として入力室６と主弁開閉室１０には差圧が存在しており、上記補助力発生手段１４による補助力が作用しても、主弁体１３は主弁座９に着座した状態を維持するようになっている。
【００１３】
そして、図４は電磁石２１を作動状態として所定時間が経過した状態を示しており、図３に対して主弁体１３が主弁座９から離座し、入力室６と出力室８とが連通した状態を示している。
上記図３の状態から時間が経過すると、第１分岐通路１５および第３分岐通路１７を介して主弁開閉室１０と出力室８とに徐々に負圧が導入されて圧力が降下してゆき、上記入力室６と主弁開閉室１０との差圧が減少してゆく。
ここで、上記第１負圧調整バルブ１８および第２負圧調整バルブ１９によって第１、第３分岐通路１５、１７における負圧の流量を調整しているので、上記主弁開閉室１０および出力室８における圧力降下速度を任意に設定することが可能となっている。
そして、上記差圧が上記補助力発生手段１４による補助力よりも小さくなると、該補助力によって主弁体１３が主弁座９より離座し、入力室６と出力室８とが連通するようになっている。
また、離座した主弁体１３は、上記シャフト３２のストッパ３２ａがボディ３１の下方のフランジ３１ｂに当接するため、主弁座９に対して所定距離離隔した位置で停止する。
【００１４】
その後、上記電磁石２１を再び非作動状態とすると、再び図１に示すように上記ばね２４によって連結部材２０が上昇し、上記第１補助弁２２は第１補助弁座１５ａに着座し、第２補助弁２３が第２補助弁座１６ａから離座する。また記連動手段２５によって補助力発生手段１４のボディ３１が下降するため、上記主弁体１３も下降して主弁座９に着座する。
その結果、上記第１分岐通路１５が閉鎖されて入力室６から主弁開閉室１０および出力室８への負圧の導入が停止し、かつ第２分岐通路１６から大気が導入されるので、上記入力室６と主弁開閉室１０との間に差圧が生じることとなる。
【００１５】
図５は、本実施例における弁装置１の動作を示すグラフであり、上記出力ポート７における負圧の変動と時間との関係を示している。
ここでは、上記第１、第２負圧調整バルブ１８、１９による第１、第３分岐通路１５、１７における流量を大小に切り替えるとともに、上記補助力発生手段１４が付勢する補助力を大小に切り換えることで、（１）〜（４）に示すタイミングで作動するようになっている。
（１）は第１、第３分岐通路１５、１７における負圧の流量を大とし、上記補助力発生手段１４による補助力を大にしたときのグラフである。
この場合、負圧の流量が大なので、出力室８および主弁開閉室１０には比較的急激に負圧が導入され、補助力が大なので、その後主弁開閉室１０（出力室８）が比較的低い負圧に達した時点で、主弁体１３が主弁座９から離座するようになっている。
そして、（２）は負圧の流量を小さく、上記補助力を大にしたときのグラフを、（３）は負圧の流量を大きく、上記補助力を小にしたときのグラフを、（４）は負圧の流量を小さく、上記補助力を小にしたときのグラフをそれぞれ示している。
その結果、（１）、（２）、（３）、（４）の順で、早期に主弁体１３が主弁座９より離座することがわかる。なお、（２）、（３）については、上記第１、第２負圧調整バルブ１８、１９による第１、第３分岐通路１５、１７の絞りや、上記補助力発生手段１４におけるばね受け手段３３の位置によって入れ替わる場合がある。
そして、（１）のように負圧の流量を大きく、上記補助力を大にすれば、早期に弁装置１を作動させることができ、生産性を向上させることが可能となる。
他方、（４）のように負圧の流量を小さく、上記補助力を小にすれば、主弁体１３が主弁座９から離座したときの急激な圧力変動を抑えることができ、サージ圧による真空パック３内の発泡等をより完全に防止することができる。
なお、上記第１、第２負圧調整バルブ１８、１９を調整すれば、出力室８および主弁開閉室１０における負圧の増大する割合を任意に調整することができ、また、上記補助力発生手段１４のばね受け手段３３の位置を調整すれば、補助力によって主弁体１３が主弁座９より離座するタイミングを任意に調整することが可能となっている。
【００１６】
図６は本発明にかかる第２実施例の弁装置１を示し、上記補助力発生手段１４および連動手段２５以外の構成については、上記第１実施例の弁装置１と同様の構成を有している。
本実施例の補助力発生手段１４は、主弁体１３に連結された第１保持部材４１と、上記キャップ１１に螺合された第２保持部材４２と、これら第１、第２保持部材４１、４２に両端が連結されたばね４３とから構成されている。
上記第１保持部材４１の側面にはピン４１ａが設けられており、また第２保持部材４２は上記キャップの中央を気密を保った状態で上下に貫通しており、該第２保持部材４２を上下に移動させることが可能となっている。
上記ばね４３は第１保持部材４１を第２保持部材４２に接近させる方向に付勢しており、このばね４３の付勢力は主弁体１３を離座方向に付勢する補助力となっている。
またこの付勢力は、第２保持部材４２を上下に移動させることで容易に調整することが可能となっており、上記第１実施例におけるばね受け手段３３と同様、補助力によって主弁体１３が主弁座９より離座するタイミングを任意に調整することが可能となっている。
上記連動手段２５は、ステー２５ａおよびレバー２５ｂとから構成され、上記レバー２５ｂの一端は上記第１実施例と同様、上記連結部材２０に連結されており、他端は上記第１保持部材４１のピン４１ａに上方に当接可能な位置に設けられている。
【００１７】
図６は上記電磁石２１が非作動状態の図を示しており、このとき連動手段２５のレバー２５ｂは第１保持部材４１のピン４１ａに上方から当接し、上記ばね４３の付勢力に抗して第１保持部材４１を下方に位置させ、主弁体１３が主弁座９に着座するようになっている。
この状態から電磁石２１を作動状態とすると、レバー２５ｂの端部が上記ピン４１ａより上方に退避し、主弁体１３にはばね４３による補助力が作用するが、作動状態となった直後は上記第１実施例と同様、入力室６と主弁開閉室１０との差圧により、主弁体１３は主弁座９に着座した状態を維持する。
その後、上記差圧が上記補助力発生手段１４による補助力よりも低くなると、主弁体１３が主弁座９より離座し、入力室６と出力室８とが連通するようになっている。
また、離座した主弁体１３は、上記ピン４１ａが再びレバー２５ｂに当接するため、主弁座９に対して所定距離離隔した位置で停止するようになっている。
【００１８】
なお、上記各実施例において、上記第２分岐通路１６には大気圧よりも陽圧の気体を供給する陽圧供給手段を接続することができ、例えば真空パック内に食料品を包装する場合、上記陽圧供給手段として窒素供給手段を接続することが可能となっている。
この場合、上記電磁石２１を作動状態とすると同時に、上記窒素供給手段により窒素ガスを上記出力室８へと供給し、その後上記主弁体１３が離座して真空パックが真空となったら、電磁石２１を非作動状態とし、窒素供給手段は窒素ガスの供給を継続する。
このようにすることで、真空パック内の空気を窒素に置換することが可能となり、食料品の酸化を防止することが可能となる。また上記気体としては他にもアルゴンガスなどが考えられる。
次に、第１、第２負圧調整バルブ１８、１９のうち、いずれか一方を省略することが可能である。しかしながら、調整の容易さから第１、第２負圧調整バルブ１８、１９の双方を設けるのが望ましい。
さらに、上記実施例では第２分岐通路１６は上記出力室８に連通するようになっているが、これを上記主弁開閉室１０に連通させるようにしても良い。この場合も第２分岐通路１６を介して主弁開閉室１０に流入した大気は、第３分岐通路１７を介して出力室８に流入するので、弁装置１は上記実施例と同様の動作をするようになっている。
そして、上記補助力発生手段１４による補助力の発生を、電磁石やエアシリンダなどの手段によって行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施例にかかる弁装置の断面図を示し、電磁石の非作動状態を示している。
【図２】補助力発生手段の断面図。
【図３】弁装置の断面図であって、電磁石の作動状態となった直後の状態を示している。
【図４】弁装置の断面図であって、電磁石の作動状態となって所定時間経過した状態を示している。
【図５】弁装置の動作を示したグラフ。
【図６】第２実施例にかかる弁装置の断面図。
【符号の説明】
【００２０】
１  弁装置                      ２  吸気源
６  入力室                      ８  出力室
９  主弁座                      １０  主弁開閉室
１３  主弁体                    １４  補助力発生手段
１５  第１分岐通路              １６  第２分岐通路
１７  第３分岐通路              ２１  電磁石
２２  第１補助弁                ２３  第２補助弁
２５  連動手段
【図１】
2010090931.tif 000003
【図２】
2010090931.tif 000004
【図３】
2010090931.tif 000005
【図４】
2010090931.tif 000006
【図５】
2010090931.tif 000007
【図６】
2010090931.tif 000008