(57)【要約】 【課題】  剥離後の保護フィルムの処理を容易にし、剥離後の保護フィルムが投入される回収容器の利用効率を向上することのできるフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】  フィルム剥離装置１は、液晶パネル基板２から保護フィルム３の周縁部を剥離する周縁部剥離手段１０と、液晶パネル基板２から剥離された保護フィルム３の周縁部を保持する保持手段１１と、保持手段１１を移動させる移動手段１２と、尖端部分５１ａを有する折り目形成部５１を備える折り目形成手段１３と、折り目形成手段１３によって折り目が形成された保護フィルム３を折り返す折り返し手段１４とを含んで構成される。【選択図】      図１
2010037009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の厚み方向一方の表面に貼着されている保護フィルムを前記基板から剥離するフィルム剥離装置であって、
前記基板から保護フィルムの周縁部を剥離する周縁部剥離手段と、
前記基板から剥離された保護フィルムの周縁部を保持する保持手段と、
前記保持手段を予め定める移動経路に沿って移動させる移動手段と、
尖端部分を有する折り目形成部を備える折り目形成手段と、
前記折り目形成手段によって折り目が形成された保護フィルムを折り返す折り返し手段とを有することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
前記折り目形成手段は、折り目形成部を移動させる移動部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記折り返し手段は、平坦に形成され、一端部から他端部に向かって延びる案内面と、前記案内面に連なり、案内面の幅方向両側からそれぞれ立上る壁面とを有し、
前記壁面は、一端部から他端部に進むにつれて、案内面と壁面との成す角度が小さくなるように設けられることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の厚み方向一方の表面に貼着された保護フィルムを基板から剥離するフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶パネル基板およびプラズマディスプレイパネル基板などの基板を構成要素の一部とする画像表示装置を製造する過程では、基板の表面に対して微細な傷が付くまたは塵埃が付着するなどによって基板の品位が低下してしまうおそれがある。そこで、このような品位の低下を防止するために、表面を保護するための保護フィルムが基板に貼着されている。しかし、製品としての画像表示装置には保護フィルムが不要であるため、その製造過程において、基板の表面から保護フィルムを剥離する工程が必ず存在する。
【０００３】
このように基板からフィルムを剥離する装置が、たとえば特許文献１に開示されている。特許文献１のシート剥離装置では、感熱性を有する接着テープが用いられ、半導体ウェハに貼付された保護シートの端部に前記接着テープを熱圧着し、前記接着テープを引っ張ることによって保護シートを剥離している。このようにして剥離された保護シートは、前記接着テープとともに、シート剥離装置の下方に設けられている廃棄ボックスへそのまま廃棄されている。
【０００４】
また、特許文献２に開示されているフィルム剥離装置は、保護フィルムが表面に貼着されている基板を搬送するコンベアを備え、搬送される基板の保護フィルムに対し粘着ロールを付着させて、基板の搬送に伴って保護フィルムを剥離するように構成されている。このようにして剥離された保護フィルムは、フィルム剥離ロールによって粘着ロールから剥離された後、フィルム送りコンベアに引っ掛けられて搬送され、最終的には回収コンベアに落下させた後、回収コンベアによって装置の外へ搬送されて廃棄されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【特許文献２】特開平２−１０６５６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液晶パネル基板およびプラズマディスプレイパネル基板の大型化に伴って、基板の表面に貼着される保護フィルム自体も大型化している。引用文献１および２に記載されるように、剥離後の保護フィルム１０１に何ら処理を施すことなく、保護フィルム１０１を回収のための回収容器１００に向けて上方から落下させた場合、図１４に示すように、回収容器１００内において保護フィルム１０１の粘着面が、回収容器１００の底面および内壁面ならびに既に収容されている保護フィルム１０１に対して不所望に貼着してしまう。したがって、回収容器１００内における保護フィルム１０１の充填率が低い状態で回収容器１００が満杯となってしまうため、回収容器１００の利用効率が悪く、回収容器１００から保護フィルム１０１を廃棄するサイクルが短くなってしまうという問題がある。
【０００７】
また、基板から剥離された保護フィルムは、一方の面に粘着性を有する粘着層が設けられており、さらに、基板から剥離する際に発生する剥離帯電によって静電気を帯びている。したがって、基板から剥離後の保護フィルムは取り扱いが困難であり、剥離後の保護フィルムに何ら処理を施すことなく回収容器まで搬送しようとする場合、周囲の装置に貼りついてしまうおそれがある。このように保護フィルムが装置に付着した場合、装置自体が停止してしまうおそれがあるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上述する問題に鑑みてなされたものであり、基板から剥離された保護フィルムの形状を小さくし、基板から剥離された保護フィルムにおける粘着性を有する粘着面が露出する面積を低減して、剥離後の保護フィルムの処理を容易にし、剥離後の保護フィルムが投入される回収容器の利用効率を向上することのできるフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板の厚み方向一方の表面に貼着されている保護フィルムを前記基板から剥離するフィルム剥離装置であって、
前記基板から保護フィルムの周縁部を剥離する周縁部剥離手段と、
前記基板から剥離された保護フィルムの周縁部を保持する保持手段と、
前記保持手段を予め定める移動経路に沿って移動させる移動手段と、
尖端部分を有する折り目形成部を備える折り目形成手段と、
前記折り目形成手段によって折り目が形成された保護フィルムを折り返す折り返し手段とを有することを特徴とするフィルム剥離装置である。
【００１０】
また本発明は、折り目形成手段が、折り目形成部を移動させる移動部をさらに含むことを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、折り返し手段が、平坦に形成され、一端部から他端部に向かって延びる案内面と、前記案内面に連なり、案内面の幅方向両側からそれぞれ立上る壁面とを有し、
前記壁面は、一端部から他端部に進むにつれて、案内面と壁面との成す角度が小さくなるように設けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、周縁部剥離手段は、基板の厚み方向一方の表面に貼着されている保護フィルムの周縁部を基板から剥離する。基板から剥離された保護フィルムの周縁部は、保持手段によって保持される。保持手段は、移動手段によって移動可能に構成されているので、保護フィルムの周縁部を保持している保持手段を移動手段によって移動させることによって、基板から保護フィルムを剥離することができる。また、折り目形成手段は、尖端部分を有する折り目形成部を備えているので、尖端部分で保護フィルムを切断するまたは保護フィルムに傷跡をつけることによって、保護フィルムに折り目を形成することができる。
【００１３】
さらに、折り返し手段は、折り目が形成された保護フィルムを折り目に沿って折り返すように構成されている。このように基板から剥離された保護フィルムを折り返すことができるので、剥離後の保護フィルムの形状を小さくすることができる。また、保護フィルムの折り返しに関して、保護フィルムの粘着面同士が対向するように、すなわち粘着面同士が貼着し合うように折り返すことによって、基板から剥離後の保護フィルムにおいて粘着面が露出する面積を低減することができる。
【００１４】
このように、剥離後の保護フィルムの形状を小さくし、さらに粘着面が露出する面積を低減することができるので、剥離後に不要となった保護フィルムが周囲の装置に付着してしまうことが防止され、剥離後の保護フィルムの回収を容易にすることができる。さらには、剥離後の不要な保護フィルムを回収するための回収容器に関し、回収容器の利用効率を向上させて剥離後の保護フィルムを回収させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態のフィルム剥離装置１を概略的に示す平面図である。フィルム剥離装置１は、たとえば矩形板状の液晶パネル基板に対して、厚み方向の一方の表面に貼着されている保護フィルムを、液晶パネル基板から剥離するための処理を行う装置である。
【００１６】
図２は、本実施の形態のフィルム剥離装置１によって剥離処理が行われる保護フィルム３が貼着されている液晶パネル基板２の構成を概略的に示す断面図である。厚み方向一方側の表面に所定の形状の電極２２が形成された２枚のガラス基板などの光透過基板２１を、電極２２が形成された面同士を向かい合わせて、光透過基板２１間の距離が均一となるようにスペーサ２３を介在させて、シール２５によって平行に貼り合わせられる。また、２枚の光透過基板２１の間には、液晶材料２４が封入される。各光透過基板２１において、電極２２が形成された面とは反対側の面には、偏光板２６が貼り付けられる。さらに、上記の構成に、カラー表示を可能にするためのカラーフィルター２７、たとえばＲＧＢ（
Red Green Blue）のフィルターなどが設けられても良い。このようにして液晶パネル基板２は構成されている。
【００１７】
また、各偏光板２６において光透過基板２１に臨む側の面とは反対側の面には、偏光板２６が擦傷によって損傷し、または塵埃が付着することを防止するために保護フィルム３が貼着されている。保護フィルム３は、厚み方向一方側に粘着性を有する粘着層が設けられ、この粘着層を介して偏光板２６に貼着されている。以下、保護フィルム３において、粘着層が設けられている側の表面を粘着面と称し、粘着面とは反対側の表面を非粘着面と称することがある。なお、本実施の形態では、粘着面が矩形状の保護フィルム３が用いられている。また、本実施の形態では、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）によって形成された、厚さ５０μｍ程度の保護フィルム３が用いられている。
【００１８】
以下、図１を参照して、本実施の形態のフィルム剥離装置１について説明する。フィルム剥離装置１は、液晶パネル基板２から保護フィルム３の周縁部を剥離する周縁部剥離手段１０と、液晶パネル基板２から剥離された保護フィルム３の周縁部を保持する保持手段１１と、保持手段１１を移動させる移動手段１２と、尖端部分５１ａを有する折り目形成部５１を備える折り目形成手段１３と、折り目形成手段１３によって折り目が形成された保護フィルム３を折り返す折り返し手段１４と、フィルム送り手段１５とを含んで構成される。また、液晶パネル基板２は、水平な床面４に配置された載置台１６上における予め定める位置に、位置決めして上載されて固定される。このとき、液晶パネル基板２は、水平に配置され、非粘着面３ａが上方を臨んでいる。
【００１９】
図３は、本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる周縁部剥離手段１０および保持手段１１の構成を概略的に示す側面図である。保持手段１１は、短尺の円筒状のローラ３１と、ローラ３１の側方に設けられる可動片３２と、可動片３２を支持する支持部材３３と、支持部材３３を駆動する駆動装置３４と、軸線Ｊ２に沿って延びる支軸３５とを含んで構成されている。なお、保持手段１１は、後述する移動手段１２に対して、軸線Ｊ２が鉛直方向と一致するように設けられる。また、周縁部剥離手段１０は、後述するように外周面３１ａに粘着性を有し、軸線Ｊ１まわりに回転自在に設けられるローラ３１と、後述する移動手段１２とを含んで構成されている。
【００２０】
ローラ３１は、軸線Ｊ２に垂直な軸線Ｊ１まわりに回転自在となるように、支軸３５に対して設けられる。また、ローラ３１の外周面３１ａには、粘着性を有する粘着層が形成されている。このような粘着層は、液晶パネル２から保護フィルム２７を剥離することを可能とするために、液晶パネル基板２と保護フィルム３との間に作用している粘着力よりも強い粘着力を有するようにして形成され、たとえば粘着性を有するブチルゴムをローラ３１の外周面３１ａに取り付けることによって実現される。
【００２１】
可動片３２は、ローラ３１を臨む側の面３２ａが湾曲して形成されており、ローラ３１の外周面３１ａと面接触可能に形成されている。すなわち、湾曲面３２ａは、ローラ３１の外周面３１ａの曲率と同一の曲率で湾曲している。また、可動片３２は、支持部材３３を介して、駆動装置３４によって、ローラ３１に対し近接するＡ１方向および離間するＡ２方向に駆動される。なお、可動片３２は、ローラ３１に当接する位置まで駆動されることができる。
【００２２】
駆動装置３４は、支軸３５に固定して設けられる。支軸３５は、後述する移動手段１２に、軸線Ｊ２まわりに回転可能に設けられる。支軸３５の軸線Ｊ２まわりの回転は、図示しない駆動装置によって実現される。なお、保持手段１１が移動手段１２に設けられたとき、ローラ３１の外周面３１ａの下部が、保持手段１１において最下部に位置している。
【００２３】
周縁部剥離手段１０および保持手段１１は、このような構成によって、液晶パネル基板２に貼着されている保護フィルム３の周縁部を液晶パネル基板２から剥離し、剥離した保護フィルム３の周縁部を保持することができる。図４は、周縁部剥離手段１０および保持手段１１による保護フィルム３の周縁部の剥離および保持を説明するための側面図であり、（ａ）は保護フィルム３の周縁部の剥離前の状態を示し、（ｂ）は保護フィルム３の周縁部の剥離および保持後の状態を示す。
【００２４】
ローラ３１は、保護フィルム３の周縁部を剥離するために、予め移動手段１２によって保護フィルム３の周縁部の上方まで移動されている。そして、図４（ａ）に示すように、ローラ３１は、ローラ３１の外周部３１ａが保護フィルム３の周縁部に当接するまで、移動手段１２によって下降される。そして、移動手段１２によって、保持手段１１が保護フィルム３の中央部に向かって水平に移動されると、保護フィルム３の周縁部は、ローラ３１の回転に伴って、ローラ３１の外周面３１ａに巻き付きながら、液晶パネル基板２から剥離される。このとき、ローラ３１の外周面３１ａは、前述するような粘着性を有しているので、保護フィルム３の周縁部は液晶パネル基板２から容易に剥離される。なお、保護フィルム３の周縁部を剥離する際には、可動片３２は、ローラ３１から離間した位置に配置されている。
【００２５】
ローラ３１に巻き付いた保護フィルム３の周縁部が、ローラ３１と可動片３２とが対向する領域に移動するまで保持手段１１が水平に移動されると、保持手段１１の移動は停止される。そして、駆動装置３４によって可動片３２がＡ１方向に駆動されることによって、ローラ３１と可動片３２との間に保護フィルム３の周縁部が挟持される。このように、保持手段１１は、保護フィルム２を挟持することによって保持することができる。保護フィルム２を保持した保持手段１１は、図４（ｂ）に示すように、移動手段１２によって上昇するように駆動されて停止される。
【００２６】
本実施の形態では、図１に示すように、保護フィルム３の周縁部のうち、保護フィルム３の一角部が周縁部剥離手段１０および保持手段１１によって剥離されて保持される。しかし、保護フィルム３の角部に限定されず、保護フィルム３の角部以外の周縁部を剥離して保持するようにしても良い。
【００２７】
周縁部剥離手段１０および保持手段１１の構成は、前述するものに限定されず、保護フィルム３の周縁部を剥離するための手段と、保護フィルム３の周縁部を保持する手段とが別々に構成されても良い。また、保持手段１１は、保護フィルム３を挟持することによって保持するような構成に限定されず、粘着力によって保持するように構成されても良い。さらに、保護フィルム３の周縁部を剥離するための手段としては、前述のような粘着性を有するローラに限定されず、たとえば短冊状に形成されるシートであって、粘着性を有する粘着層が設けられる粘着テープによって剥離するように構成されても良い。
【００２８】
図５は、本実施の形態のフィルム剥離装置１を概略的に示す側面図である。以下、図１および図５を参照して、移動手段１２について説明する。移動手段１２は、複数の脚部４５によって支持される第１駆動部４１と、第１駆動部４１によって移動可能に支持される第２駆動部４２と、第２駆動部４２によって移動可能に支持される第３駆動部４３と、第３駆動部４３によって移動可能に支持される連結部４４とを含んで構成され、水平な床面４に配置される。また、移動手段１２は、液晶パネル基板２を上載する載置台１６を取り囲むように設けられる。
【００２９】
第１駆動部４１は、図示しないガイドレールおよび駆動装置４１ａを含み、第２駆動部４２を支持するとともに、駆動装置４１ａによって、第２駆動部４２を矢符Ｂ１，Ｂ２方向（総称する場合はＢ方向）に沿って水平に移動させる。第２駆動部４２は、図示しないガイドレールおよび駆動装置４２ａを含み、第３駆動部４３を支持するとともに、駆動装置４２ａによって、第３駆動部４３を矢符Ｃ１，Ｃ２方向（総称する場合はＣ方向）に沿って水平に移動させる。なお、Ｃ方向は、Ｂ方向に直交する方向である。また、Ｂ方向およびＣ方向が、載置台１６における予め定める位置に上載されている液晶パネル基板２において、保護フィルム３が非粘着面３ａを規定している各辺の延びる方向と一致するように、移動手段１２は配置されている。本実施の形態では、Ｂ方向が非粘着面３ａを規定する長辺の延びる方向に一致し、Ｃ方向が非粘着面３ａを規定する短辺の延びる方向に一致する。
【００３０】
第３駆動部４３は、図示しない昇降装置４３ａを含み、連結部４４を支持するとともに、連結部４４を矢符Ｄ１，Ｄ２方向（総称する場合はＤ方向）に沿って移動させる。なお、Ｄ方向は、鉛直方向に一致する方向である。連結部４４は、第３駆動装置４３に支持されるとともに、保持手段１１が連結される。このとき、前述するように、保持手段１１は、支軸３５の軸線Ｊ２が鉛直方向と一致するように、連結部４４に連結される。
【００３１】
移動手段１２は、このように構成されることによって、保持手段１１を３次元的に移動させることができる。したがって、移動手段１２は、保持手段１１を予め定める移動経路に沿って移動させることができる。本実施の形態では、保持手段１１によって保護フィルム３の角部が剥離されて保持される。また、図１に示すように、保持手段１１は、保護フィルム３の非粘着面３ａの対角線方向に延びる移動経路Ｋに沿って移動される。移動手段１２の構成は、前述するものに限定されず、たとえば６軸または７軸垂直多関節ロボットによって構成されても良い。
【００３２】
次に、折り目形成手段１３について説明する。図６は、本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる折り目形成手段１３および後述する折り返し手段１４の構成を概略的に示す斜視図である。折り目形成手段１３は、折り目形成部５１と、折り目形成部５１が固定して設けられる可動台５２と、可動台５２を移動させる駆動装置５３とを含んで構成される。
【００３３】
折り目形成部５１は、尖端部分５１ａを有し、尖端部分５１ａの延びる方向が水平面に対して傾斜するように、可動台５２に固定して設けられる。また、保持手段１１が保護フィルム３の対角線方向に延びる移動経路Ｋに沿って移動されることから、折り目形成部５１は、図１に示すように、フィルム剥離装置１の上方から見たとき、尖端部分５１ａの延びる方向と前記対角線方向とが平行になるように、可動台５２に固定して設けられる。折り目形成部５１をこのように設けることによって、剥離された保護フィルム３の移動する方向と尖端部分５１ａの延びる方向とが一致するので、後述するように、保護フィルム３に対して折り目形成部５１を貫通させた後、保護フィルム３の移動に伴って、保護フィルム３を切断して、折り目を形成することができる。
【００３４】
駆動装置５３は、可動台５２の下方に設けられ、可動台５２を矢符Ｅ１，Ｅ２方向（総称する場合はＥ方向）に沿って移動させる。なお、本実施の形態では、Ｅ方向は鉛直方向に一致する。
【００３５】
本実施の形態では、移動経路Ｋを挟んで、左右に２つの折り目生成手段１３が設けられ、各折り目形成手段１３は、可動台５２が互いに空間を空けて離間するように、かつ折り目形成部５１の尖端部分５１ａが後述する予め定める距離Ｌだけ互いに離間するように配置されている。このような折り目形成部５１は、たとえば大形のカッターナイフなどによって実現され、炭素工具鋼（ＳＫ）などの材質によって形成される。
【００３６】
また、本実施の形態では、２つの折り目形成手段が設けられているが、２つに限定されることなく、たとえば４つの折り目形成手段を設けることによって、保護フィルム３をより小さく折り畳むことができる。
【００３７】
次に、折り返し手段１４について説明する。図７は、折り返し手段１４の構成を概略的に示す図である。図７（ａ）は平面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）に示される各切断面線から見た断面図であり、上から順に切断面線ｂ１−ｂ１，ｂ２−ｂ２，ｂ３−ｂ３，ｂ４−ｂ４に対応する。折り返し手段１４は、案内部１４ａと、案内部１４ａに連なる一対の壁部１４ｂとから成る。折り返し手段１４において、図７（ａ）における上方側の端部を排出部１４ｃと称し、図７（ａ）における下方側の端部を導入部１４ｄと称することにする。
【００３８】
案内部１４ａは、導入部１４ｄから排出部１４ｃに進むにつれて、図７（ａ）における左右方向（以下、「幅方向」と記す）の幅が狭くなるように形成されており、厚み方向一方側の面である上面（以下、「案内面」と記す）が平坦になるように形成されている。一対の壁部１４ｂは、案内部１４ａの幅方向両端部に連なってそれぞれ設けられる。各壁部１４ｂは、導入部１４ｄから排出部１４ｃに進むにつれて、壁部１４ｂの内壁面と案内部１４ａの案内面との成す角度が減少するように形成される。換言すれば、各壁部１４ｂは、導入部１４ｄから排出部１４ｃに進むにつれて、案内部１４ａの案内面に対し、壁部１４ｂの内壁面が近接していくように、折り曲げられて形成されている。壁部１４ｂの内壁面と案内部１４ａの案内面との成す角度は、排出部１４ｄにおいて少なくとも９０度未満である。このようにしておくことで、折り目が形成された保護フィルム３を、案内面および内壁面に沿って移動させるだけで、保護フィルム３を折り目に沿って容易に折り返すことができる。
【００３９】
このような折り返し手段１４は、冷間圧延鋼板（ＳＰＣＣ）、亜鉛めっき鋼板（ＳＥＣＣ）および一般構造用圧延鋼材（ＳＳ４００）などによって形成されても良い。また、案内部１４ａの案内面および各壁部１４ｂの内壁面には、フッ素樹脂およびポリアセタール（ＰＯＭ）樹脂などを貼着する、またはフッ素コーティングを施すことが好ましい。このようにすることで、前記案内面および内壁面の摩擦係数を低下させることができるため、保護フィルム３を滞りなく案内面および内壁面に沿って移動させることができる。
【００４０】
以下、折り目形成手段１３および折り返し手段１４による保護フィルム３の切断および折り返しについて説明する。なお、本実施の形態では、折り目形成手段１３の折り目形成部５１が保護フィルム３を貫通することに伴って、保護フィルム３が切断されることによって形成される切断部が、保護フィルム３に折り目として形成される。しかし、折り目形成手段１３は、保護フィルム３を切断することに限らず、保護フィルム３を折り目に沿って折り返すために十分な傷跡を保護フィルム３に形成するように構成されても良い。
【００４１】
図８は、折り目形成手段１３によって、保護フィルム３に折り目３ｃ，３ｄが形成されている状態を示す斜視図である。また、図９は、折り目形成手段１３によって、保護フィルム３に折り目３ｃ，３ｄが形成されていると共に、折り返し手段１４によって、折り目３ｃ，３ｄに沿って保護フィルム３が折り返されている状態を示す斜視図である。なお、図８および図９では、保持手段１１およびフィルム送り手段１５が省略して示されている。
【００４２】
折り目形成手段１３および折り返し手段１４は、図１に示すように、移動経路Ｋに沿って、移動経路Ｋの中間よりも下流側に配置される。また、折り返し手段１４は、折り目形成手段１３よりも移動経路Ｋの下流側に配置される。さらに、折り返し手段１４は、排出部１４ｃよりも導入部１４ｄの方が上流側となるように配置される。折り返し手段１４は、移動経路Ｋを含み、水平面に垂直な仮想平面に対し、面対称となるように配置される。本実施の形態では、折り返し手段１４は、案内部１４ａの案内面が水平となるように配置されているが、水平面に対して傾斜するように配置されても良い。
【００４３】
保護フィルム３の周縁部を保持している保持手段１１は、移動手段１２によって、保護フィルム３の周縁部が案内部１４ａの案内面の上方を通過するように、移動経路Ｋに沿って移動される。このとき、保持手段１１は、保持手段１１のローラ３１と折り返し手段１４とが干渉しないように、適度な高さを維持して移動する。
【００４４】
折り返し手段１３は、初期状態において、可動台５２がＥ２方向に移動されて停止されている。そして、保持手段１１が所定の位置まで移動したときに、駆動装置５３によって、可動台５２がＥ１方向に移動される。この可動台５２の移動動作に伴って、可動台５２に固定されている折り目形成部５１の尖端部分５１ａは、保護フィルム３を貫通し、または保護フィルム３に対し傷跡を形成する。このように、保護フィルム３に向かって尖端部分５１ａを移動させることによって、容易にかつ確実に保護フィルム３に折り目３ｃ，３ｄを形成することができる。以下、図８などに示されるように、保護フィルム３を切断することによって形成された折り目を切断部と記す場合がある。
【００４５】
保持手段１１が所定の位置まで移動したときとは、全ての折り目形成部５１の上方を、剥離された保護フィルム３の周縁部が通過した直後の時点に対応し、この時点において可動台５２がＥ１方向に移動される。これにより、折り目形成手段１３によって、１枚の保護フィルム３が、複数枚の保護フィルムに分割されてしまうことを防止することができる。
【００４６】
可動台５２は、Ｅ１方向の移動に伴って尖端部分５１ａが保護フィルム５１を貫通した後、停止される。すなわち、可動台５２は、尖端部分５１ａが保護フィルム３を貫通した状態で停止される。このとき、保持手段１１は、保護フィルム３の周縁部を保持した状態で、移動手段１２によって移動経路Ｋに沿って移動されている。前述するように、剥離された保護フィルム３の移動する方向と尖端部分５１ａの延びる方向とが一致しているので、保持手段１１の移動動作に伴って、保護フィルム３に対し切断部３ｃ，３ｄを形成することができる。すなわち、保護フィルム３の剥離と同時に保護フィルム３を切断することができる。
【００４７】
これにより、保護フィルム３の一部が未だ液晶パネル基板２に貼着されている状態、すなわち保護フィルム３の一部が液晶パネル基板２に固定されている状態で、保護フィルム３に対して折り目の形成が開始されるので、保護フィルム３が液晶パネル基板２から完全に剥離された後に折り目を形成する場合に比べて、保護フィルム３に対し容易に折り目を形成することができ、さらに、折り目を形成するために剥離後の保護フィルム３を固定する必要がないので、簡単な構成によって保護フィルム３に折り目を形成することが実現できる。
【００４８】
図８に示す状態からさらに保護フィルム３が移動手段１２によって移動されると、図９に示す状態となる。図９では、保護フィルム３の折り返しが開始されている。なお、保護フィルム３は、液晶パネル基板２からの剥離に伴って、液晶パネル基板２に貼着されている状態では上方を臨んでいた非粘着面３ａが下方を臨むようにして剥離される。すなわち、保護フィルム３において液晶パネル基板２から剥離された部分は、非粘着面３ａが下方を臨んでいる。したがって、保護フィルム３は、折り返し手段１４を通過する際に、案内面および内壁面の上を滑らかに移動することができる。
【００４９】
保護フィルム３は、折り返し手段を通過することによって、切断線３ｃ，３ｄよりも外側の各部分が、前述するように形成される各壁部１４ｂによって折り返される。このように、液晶パネル基板２から剥離された保護フィルム３を折り返すことができるので、剥離後の保護フィルム３の形状を小さくすることができる。また、保護フィルム３の折り返しに関して、保護フィルム３の粘着面３ｂ同士が対向するように折り返すことによって、粘着面３ｂが露出する面積を低減することができる。
【００５０】
本実施の形態では、矩形状の保護フィルム３が、保持手段１１を対角線方向に移動経路Ｋに沿って移動させることによって剥離され、また、折り返し手段１４が水平方向移動経路Ｋに沿って、かつ前記仮想平面に対して面対称に配置されている。したがって、保護フィルム３において切断部３ｃ，３ｄよりも外側の各部分が、各壁部１４ｂによって折り返されるタイミングが異なる。本実施の形態では、切断部３ｃよりも外側の部分が先に折り返され、それに遅れて切断部３ｄよりも外側の部分が折り返される。このように、タイミングをずらして保護フィルム３が折り返されるので、保護フィルム３における折り返された部分同士が貼り付き合うことが防止され、粘着面３ｂ同士を確実に貼着させることができる。
【００５１】
図１０は、本実施の形態のフィルム剥離装置１において、保護フィルム３に形成される折り目３ｃ，３ｄの位置を示す平面図である。折り目３ｃと３ｄとの間隔は、図１に示すように、各折り目形成部５１の尖端部分５１ａの間隔と等しくなる。ここで、折り目３ｃに沿って折り目３ｃよりも外側の部分が折り返される場合を考えると、折り目３ｃと３ｄとの間の間隔Ｌに対して、折り目３ｃから保護フィルム３の角部３ｅまでの距離が間隔Ｌよりも大きくなると、折り目３ｄよりも外側の部分の折り返しの妨げとなってしまう場合がある。逆に、折り目３ｃと３ｄとの間の間隔Ｌに対して、折り目３ｃから保護フィルム３の角部３ｅまでの距離が間隔Ｌよりも小さくなると、折り返したときの粘着面３ｂ同士が貼着する面積が減少し、露出する粘着面３ｂの面積が大きくなってしまう。さらに、折り返し後の保護フィルム３の大きさが大きくなってしまう。
【００５２】
したがって、折り目３ｃから保護フィルム３の角部３ｅまでの距離を、折り目３ｃと３ｄとの間の間隔Ｌと等しくすることが好ましい。角部３ｆと折り目３ｄとの間隔についても同様である。ここで、折り目３ｃおよび３ｄが角部３ｇと３ｈとを結ぶ対角線に対して等しい間隔だけ離間してそれぞれ形成されることを考慮し、角部３ｅから角部３ｇと３ｈとを結ぶ対角線までの距離をＸとすると、尖端部分５１ａが離間する間隔Ｌは、（２／３）Ｘとするのが好ましい。尖端部分５１ａが互いに離間する間隔Ｌは、このようにして決定されるのが好ましい。
【００５３】
図１１は、本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられるフィルム送り手段１５の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図である。フィルム送り手段１５は、軸線Ｊ３に沿って延びる回転軸６１と、回転軸６１の一端部に固定して設けられる短尺のローラ６２と、減速機６３を介して回転軸６１を軸線Ｊ３まわりに回転駆動させる駆動装置６４と、支持アーム６５とを含んで構成される。本実施の形態のフィルム剥離装置１は、フィルム送り手段１５を２つ備え、折り返し手段１４の近傍に、それぞれのローラ６２が向かい合うように配置される。フィルム送り手段１５は、折り返し手段１４によって折り返された直後の状態の保護フィルム３に対し、前記保護フィルム３の上方から下方に移動され、ローラ６２が保護フィルム３に接触される。さらに、駆動装置６４によって、ローラ６２が回転駆動される。これにより、保護フィルム３の粘着面３ｂ同士を完全に接着させて折り畳むとともに、折り畳まれた保護フィルム３を、折り返し手段１４の案内部の案内面に沿って搬送することができる。ここで、フィルム送り手段１５のローラ６２が回転駆動される前に、保持手段１１による保護フィルム３の周縁部の保持は解除されている。このようにして搬送される折り畳まれた保護フィルム３は、折り返し手段１４の排出部１４ｃから排出され、下方に落下する。折り返し手段１４の排出部１４ｃの下方には、剥離後の不要な保護フィルム３を回収するための図示しない回収容器が設けられており、下方に落下した保護フィルム３は、回収容器内に回収される。
【００５４】
このように、剥離後の保護フィルムの形状を小さくし、さらに粘着面が露出する面積を低減することができるので、回収容器の利用効率を向上させて剥離後の保護フィルムを回収させることができる。
【００５５】
図１２は、保護フィルム３が折り目形成手段１３によって折り目を形成される前のフィルム剥離装置１を示す平面図である。図１３は、保護フィルム３が折り返し手段１４およびフィルム送り手段１５によって折り畳まれた後のフィルム剥離装置１を示す平面図である。
【００５６】
以下、図１、図１２および図１３を参照しながら、フィルム剥離装置１の動作を説明する。フィルム剥離装置１は、先ず予め定める位置に位置決めされて固定されている液晶パネル基板２に対し、厚み方向一方側の表面に貼着されている保護フィルム３の角部を、周縁部剥離手段１０によって剥離する。そして、剥離された保護フィルム３の角部を保持手段１１によって保持する。そして、移動手段１２によって、保護フィルム３の角部を保持した保持手段１１を予め定める移動経路Ｋに沿って移動させる。
【００５７】
折り目形成手段１３および折り返し手段１４は、移動経路Ｋに沿って所定の位置に配置されており、保持手段１１が予め定める位置まで移動されたときに、折り目形成手段１３の可動台５２が駆動されることによって、可動台５２に設けられている折り目形成部５１が保護フィルム３に対し切り込みが入れられる。保持手段１１の移動に伴って、保護フィルム３には折り目が形成される。折り目形成手段１３の移動経路Ｋ下流側には、折り返し手段１４が配置され、保持手段１１の移動に伴って、保護フィルム３は折り返される。具体的には、折り返し手段１４は、平坦な案内面と案内面に連なる内壁面とを有し、保護フィルム３が案内面および内壁面に沿って移動されることによって、保護フィルム３は折り返される。折り返された保護フィルム３は、フィルム送り手段１５によって完全に折り畳まれながら、案内面に沿って搬送される。搬送された保護フィルム３は、折り返し手段１４の排出部１４ｃから排出されて、回収容器に回収される。
【００５８】
本実施の形態のフィルム剥離装置１では、折り返し手段１４は、折り目が形成された保護フィルム３を折り目に沿って折り返すように構成されている。このように液晶パネル基板２から剥離された保護フィルム３を折り返すことができるので、剥離後の保護フィルム３の形状を小さくすることができる。また、保護フィルム３の折り返しに関して、保護フィルム３の粘着面３ｂ同士が対向するように、すなわち粘着面３ｂ同士が貼着し合うように折り返すことによって、液晶パネル基板２から剥離後の保護フィルム３において粘着面３ｂが露出する面積を低減することができる。
【００５９】
このように、剥離後の保護フィルム３の形状を小さくし、さらに粘着面３ｂが露出する面積を低減することができるので、剥離後に不要となった保護フィルム３が周囲の装置に付着してしまうことが防止され、剥離後の保護フィルム３の回収を容易にすることができる。さらには、剥離後の不要な保護フィルム３を回収するための回収容器に関し、回収容器の利用効率を向上させて剥離後の保護フィルム３を回収させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の形態のフィルム剥離装置１を概略的に示す平面図である。
【図２】本実施の形態のフィルム剥離装置１によって剥離処理が行われる保護フィルム３が貼着されている液晶パネル基板２の構成を概略的に示す断面図である。
【図３】本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる周縁部剥離手段１０および保持手段１１の構成を概略的に示す側面図である。
【図４】周縁部剥離手段１０および保持手段１１による保護フィルム３の周縁部の剥離および保持を説明するための側面図であり、（ａ）は保護フィルム３の周縁部の剥離前の状態を示し、（ｂ）は保護フィルム３の周縁部の剥離および保持後の状態を示す。
【図５】本実施の形態のフィルム剥離装置１を概略的に示す側面図である。
【図６】本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられる折り目形成手段１３および折り返し手段１４の構成を概略的に示す斜視図である。
【図７】折り返し手段１４の構成を概略的に示す図である。図７（ａ）は平面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）に示される各切断面線から見た断面図である。
【図８】折り目形成手段１３によって、保護フィルム３に折り目３ｃ，３ｄが形成されている状態を示す斜視図である。
【図９】折り目形成手段１３によって、保護フィルム３に折り目３ｃ，３ｄが形成されていると共に、折り返し手段１４によって、保護フィルム３が折り目３ｃ，３ｄに沿って折り返されている状態を示す斜視図である。
【図１０】本実施の形態のフィルム剥離装置１において、保護フィルム３に形成される折り目３ｃ，３ｄの位置を示す平面図である。
【図１１】本実施の形態のフィルム剥離装置１に備えられるフィルム送り手段１５の構成を概略的に示す図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図１２】保護フィルム３が折り目形成手段１３によって折り目を形成される前のフィルム剥離装置１を示す平面図である。
【図１３】保護フィルム３が折り返し手段１４およびフィルム送り手段１５によって折り畳まれた後のフィルム剥離装置１を示す平面図である。
【図１４】回収容器１００内において保護フィルム１０１の粘着面が、回収容器１００の底面および内壁面ならびに既に収容されている保護フィルム１０１に対して不所望に貼着している状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  フィルム剥離装置
２  液晶パネル基板
３  保護フィルム
３ａ  非粘着面
３ｂ  粘着面
１０  周縁部剥離手段
１１  保持手段
１２  移動手段
１３  折り目形成手段
１４  折り返し手段
１４ａ  案内部
１４ｂ  壁部
１５  フィルム送り手段
５１  折り目形成部
５１ａ  尖端部分
【図１】
2010037009.tif 000003
【図２】
2010037009.tif 000004
【図３】
2010037009.tif 000005
【図４】
2010037009.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2010037009.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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