(57)【要約】【課題】加工の容易な検査用ソケットを提供する。【解決手段】貫通孔１１が形成されたソケット本体１０と、開口部１１ａ側に配置され、被検査対象物の接続端子に接触する第１導電部材３と、開口部１１ｂ側に配置され、検査装置の接続端子に接触する第２導電部材４と、貫通孔１１に収納され、一端に第１導電部材３が摺動自在に保持結合されるとともに、他端に第２導電部材４が摺動自在に保持結合される第３導電部材５と、第３導電部材５の軸方向の所定箇所に形成され、第３導電部材５の半径方向外方に拡径されるフランジ部５ａと、第１導電部材３とフランジ部５ａとに接して双方の間で第３導電部材５を取り囲むようにして設けられた中空の第１圧縮ばね６と、第２導電部材４とフランジ部５ａとに接して双方の間で第３導電部材５を取り囲むようにして設けられた中空の第２圧縮ばね７と、を備える。【選択図】図１
2010091358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つ以上の貫通孔が形成されたソケット本体と、
前記貫通孔の一端の開口部側に配置され、被検査対象物の接続端子に接触するための電気的接触部を構成する第１導電部材と、
前記貫通孔の他端の開口部側に配置され、検査装置の接続端子に接触するための電気的接触部を構成する第２導電部材と、
前記ソケット本体の貫通孔に収納され、一端に前記第１導電部材が摺動自在に保持結合されるとともに、他端に前記第２導電部材が摺動自在に保持結合される第３導電部材と、
前記第３導電部材の軸方向の所定箇所に形成され、前記導電部材の半径方向外方に拡径される拡径部と、
前記第１導電部材と前記拡径部とに接して双方の間で前記第３導電部材を取り囲むようにして設けられ、前記第１導電部材および前記拡径部が軸方向の所定間隔より接近するときに前記間隔を拡大する方向に双方を付勢する中空の第１弾性部材と、
前記第２導電部材と前記拡径部とに接して双方の間で前記第３導電部材を取り囲むようにして設けられ、前記第２導電部材および前記拡径部が軸方向の所定間隔より接近するときに前記間隔を拡大する方向に双方を付勢する中空の第２弾性部材と、
を備えたことを特徴とする検査用ソケット。
【請求項２】
前記第１弾性部材と前記第２弾性部材の仕様が異なることを特徴とする請求項１に記載の検査用ソケット。
【請求項３】
前記ソケット本体が、前記貫通孔が形成された本体部と、前記本体部と別体に設けられ、前記貫通孔の内周面積よりも小さい開口面積の開口部を有するソケットカバーと、を備え、
前記開口部と前記貫通孔の間の前記ソケットカバー部分によって係合部が形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査用ソケットに関し、特にＩＣパッケージや集積回路素子等を検査する検査用ソケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣパッケージ、あるいは、集積回路素子等を検査するものとして、テストされるＩＣパッケージや集積回路素子等の接続端子と検査装置であるテスト回路基板の接続端子との間に複数のコンタクトプローブを備えた検査用ソケットが知られており、この検査用ソケットに備えられたコンタクトプローブには、両端のコンタクト部の間に圧縮部材を設けて所要の接触圧付与と接触位置のばらつきの吸収を可能にする両端変位（摺動）型のものがある。
【０００３】
従来のこの種の両端変位型コンタクトプローブを備えた検査用ソケットとしては、貫通孔が複数形成された胴体部と、各貫通孔の一端の開口部側に配置され、被検査対象物の端子に接触する電気的接触部としての複数の第１プランジャと、各貫通孔の他端の開口部側に配置された電気的接触部としての複数の第２プランジャと、第１プランジャと第２プランジャとに対し、互いに離間させる方向に付勢可能な１個の圧縮ばねと、この圧縮ばね内に収納された第３のプランジャと、を備え、第３のプランジャの中間部（大径部）を圧縮ばねの中間部によって保持するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１の第１図参照）。
【０００４】
この場合、圧縮ばねは螺旋形状を有するため、第３のプランジャの中間部を螺旋状に切削加工し、圧縮ばねの中間部によって第３のプランジャの中間部を保持している。
【特許文献１】特開２００６−８４２１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来の検査用ソケットにおいては、第３のプランジャの中間部を螺旋状に切削加工することが容易でないという問題があった。
【０００６】
本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、加工の容易な検査用ソケットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の検査用ソケットは、少なくとも１つ以上の貫通孔が形成されたソケット本体と、前記貫通孔の一端の開口部側に配置され、被検査対象物の接続端子に接触するための電気的接触部を構成する第１導電部材と、前記貫通孔の他端の開口部側に配置され、検査装置の接続端子に接触するための電気的接触部を構成する第２導電部材と、前記ソケット本体の貫通孔に収納され、一端に前記第１導電部材が摺動自在に保持結合されるとともに、他端に前記第２導電部材が摺動自在に保持結合される第３導電部材と、前記第３導電部材の軸方向の所定箇所に形成され、前記導電部材の半径方向外方に拡径される拡径部と、前記第１導電部材と前記拡径部とに接して双方の間で前記第３導電部材を取り囲むようにして設けられ、前記第１導電部材および前記拡径部が軸方向の所定間隔より接近するときに前記間隔を拡大する方向に双方を付勢する中空の第１弾性部材と、前記第２導電部材と前記拡径部とに接して双方の間で前記第３導電部材を取り囲むようにして設けられ、前記第２導電部材および前記拡径部が軸方向の所定間隔より接近するときに前記間隔を拡大する方向に双方を付勢する中空の第２弾性部材と、を備えた構成を有している。
【０００８】
この構成により、第１弾性部材および第２弾性部材は拡径部に接しているために、拡径部に第１弾性部材および第２弾性部材を固定するための溝加工が不要となる。したがって、検査用ソケットの加工が容易になり、加工に係る時間およびコストを低減することが可能となる。
【０００９】
また、拡径部に第１弾性部材および第２弾性部材を固定しないので、ソケット本体の貫通孔に第１導電部材、第２導電部材、第３導電部材、第１弾性部材、第２弾性部材の各部材を落し込むことにより、検査用ソケットを容易に組立てることができる。また、部品交換に際しては各部材を個々に交換することができる。よって、交換費用を削減することができるとともに、廃棄部品が少なくなることから環境対策としての効果も期待される。
【００１０】
（２）本発明の検査用ソケットは、（１）において、前記第１弾性部材と前記第２弾性部材の仕様が異なる構成を有している。
【００１１】
この構成により、第１弾性部材と第２弾性部材の仕様（例えば、材質、線径、巻数）をそれぞれ選択し、弾性部材全体のばね定数を精度よく設定することができる。また、被検査対象物に応じてばね荷重を変更することで、ソケット装置の汎用性を高めることができる。
【００１２】
（３）本発明の検査用ソケットは、（１）または（２）において、前記ソケット本体が、前記貫通孔が形成された本体部と、前記本体部と別体に設けられ、前記貫通孔の内周面積よりも小さい開口面積の開口部を有するソケットカバーと、を備え、前記開口部と前記貫通孔の間の前記ソケットカバー部分によって係合部が形成される構成を有している。
【００１３】
この構成により、ソケットカバーを本体部から取り外した状態で検査用ソケットの組立作業および部品の交換作業を行うことができる。したがって、組立および交換作業の作業性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明は、加工が容易な検査用ソケットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００１６】
（第１の実施の形態）
図１〜図６は、本発明に係る検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図である。
【００１７】
まず、構成を説明する。図１において、検査用ソケット１は、両端変位型コンタクトプローブ（以下、単にプローブともいう）２とソケット本体１０とを備えている。
【００１８】
プローブ２は、その軸方向両端側にそれぞれ電気的接触部を構成する第１導電部材３および第２導電部材４を有し、ソケット本体１０の貫通孔１１に収納されている。なお、図示していないが、ソケット本体１０には互いに平行に所定ピッチ（図１中、左右方向で一定の間隔）で貫通孔が形成されており、この貫通孔内にもプローブ２が収納されている。
【００１９】
第１導電部材３は、貫通孔１１の上方（一端）の開口部１１ａ側に配置されており、被検査対象物２１の接続端子２１ａ（図４参照）に接触するようになっている。
【００２０】
また、第２導電部材４は、貫通孔１１の下方（他端）の開口部１１ｂ側に配置されており、検査装置であるプリント配線板２２の接続端子２２ａ（図４参照）に接触するようになっている。
【００２１】
ソケット本体１０の貫通孔１１には第３導電部材５が収納されており、第３導電部材５は、上端（一端）に第１導電部材３が摺動自在に保持結合されるとともに、下端（他端）に第２導電部材４が摺動自在に保持結合されている。
【００２２】
また、第３導電部材５の軸方向中央部には拡径部としてのフランジ部５ａが形成されており、このフランジ部５ａは、第３導電部材５の半径方向外方に拡径されている。
【００２３】
また、第３導電部材５のフランジ部５ａの上方側は第１端部５ｂを構成しており、第１導電部材３とフランジ部５ａの間には第１端部５ｂを取り囲むように中空の第１弾性部材である第１圧縮ばね６が設けられている。
【００２４】
また、第３導電部材５のフランジ部５ａの下方側は第２端部５ｃを構成しており、第２導電部材４とフランジ部５ａの間には第２端部５ｃを取り囲むように中空の第２弾性部材である第２圧縮ばね７が設けられている。
【００２５】
第１圧縮ばね６は、第１導電部材３およびフランジ部５ａが軸方向の所定間隔より接近するとき、その間隔を拡大する方向（図中、上下方向）に第１導電部材３およびフランジ部５ａを付勢している。第２圧縮ばね７は、第２導電部材４およびフランジ部５ａが軸方向の所定間隔より接近するとき、その間隔を拡大する方向（図中、上下方向）に第２導電部材４およびフランジ部５ａを付勢している。
【００２６】
すなわち、第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７は、第１導電部材３および第２導電部材４が軸方向の所定間隔より接近するとき、その間隔を拡大する方向（図中、上下方向）に双方の導電部材３、４を付勢している。双方の圧縮ばね６、７の付勢により、第１導電部材３の外端部であるコンタクト部３ａは、ソケット本体１０の開口部１１ａから外方に突出している。同じく、第２導電部材４の外端部であるコンタクト部４ａは、ソケット本体１０の開口部１１ｂから外方に突出している。また、コンタクト部４ａは、三角形状の凹凸部が連続する冠形状に形成されている。
【００２７】
また、第１導電部材３および第２導電部材４の各々は、コンタクト部３ａ、４ａより大径に形成されるとともにコンタクト部３ａ、４ａの基端側で第１圧縮ばね６の上端面および第２圧縮ばね７の下端面に当接するフランジ部３ｆ、４ｆと、これらフランジ部３ｆ、４ｆからフランジ部５ａ側に突出するとともに第１圧縮ばね６の上端および第２圧縮ばね７の下端に挿入された挿入部３ｅ、４ｅと、これら挿入部３ｅ、４ｅの径方向内方で軸方向に延在する有底の、または貫通した孔部３ｃ、４ｃと、を有している。
【００２８】
第１導電部材３および第２導電部材４のコンタクト部３ａ、４ａは、それぞれ、フランジ部３ｆ、４ｆから軸方向一方側に突出する導通部となっており、ソケット本体１０の開口部１１ａ、１１ｂにより軸方向に変位（摺動）可能に保持されている。
【００２９】
また、開口部１１ａ、１１ｂの開口面積は、貫通孔１１の内周面積よりも小さく形成されることにより、開口部１１ａ、１１ｂと貫通孔１１の間に係合部としての環状係合部１１ｄ、１１ｅが形成されており、第１導電部材３のフランジ部３ｆおよび第２導電部材４のフランジ部４ｆが環状係合部１１ｄ、１１ｅに係合することにより、第１導電部材３および第２導電部材４がソケット本体１０から抜け出ないようになっている。
【００３０】
なお、図１に第１ソケット本体１３および第２ソケット本体１４の分割面をＰ１、Ｐ２で示す。
【００３１】
図２に示すように、ソケット本体１０は、分割面Ｐ１、Ｐ２を境に分割された第１ソケット本体１３および第２ソケット本体１４を備えている。
【００３２】
また、第１ソケット本体１３には、貫通孔１１の一方側を構成する第１貫通孔１１ｆが形成されており、第２ソケット本体１４には、貫通孔１１の他方側を構成する第２貫通孔１１ｇが形成されている。
【００３３】
また、図３に示すように、フランジ部５ａは、円状に形成されており、貫通孔１１の内周面との間で所定の隙間を介して、貫通孔１１に挿通されている。なお、図３は、図２（ｂ）のＡ−Ａ方向矢視図である。
【００３４】
図４に示すように、被検査対象物２１の接続端子２１ａと高頻度に接触・離脱する第１導電部材３は、導電率および耐摩耗性が高い硬質の金属材料、例えばチタン（Ｔｉ）系金属および炭素鋼（ＳＫ）からなり、プリント配線板２２の接続端子２２ａに接触する第２導電部材４は、第１導電部材３ほどの硬度は要求されないので、例えば、燐青銅、黄銅、ベリリウム銅等の銅系金属からなる。これら第１導電部材３および第２導電部材４は、それぞれ快削性のある材料を用いることでその旋削加工等を容易化することができる。
【００３５】
第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７は、任意の断面形状と材料（例えば、ばね用のピアノ線、ステンレス線、あるいは、プラスチック）で形成することができ、第１導電部材３および第２導電部材４に比べ導電性が要求されない部材となっている。
【００３６】
また、第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７は、第１導電部材３および第２導電部材４が軸方向の所定間隔より接近するとき、その間隔を拡大する方向（図中、上下方向）に双方を付勢する中空の弾性部材となっている。ここにいう弾性部材とは、金属のみならず、ゴムのような粘弾性体やプラスチックからなるもの、あるいはこれらの複合品で形成することができる。
【００３７】
第１導電部材３および第２導電部材４を導通させるのは、第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７内に収納された第３導電部材５である。この第３導電部材５は、第１導電部材３より導電率の高い材料、あるいは両導電部材３、４より導電率の高い材料からなり、例えば、無酸素銅やベリリウム銅等の銅系金属で形成されている。
【００３８】
この第３導電部材５の第１端部５ｂの上端は、第１導電部材３の孔部３ｃに摺動可能に挿入されているとともに、第３導電部材５の第２端部５ｃは、第２導電部材４の孔部４ｃに摺動可能に挿入されている。
【００３９】
なお、本実施の形態では、第３導電部材５のフランジ部５ａは、第１端部５ｂおよび第２端部５ｃと同一の材料でこれらと一体に形成されているが、フランジ部５ａを第１端部５ｂおよび第２端部５ｃと別の材料で形成することも可能である。
【００４０】
第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７は、それぞれ第１導電部材３および第２導電部材４の挿入部３ｅ、４ｅと内径が同一または大きくなるように形成されている。この構成によれば、第１圧縮ばね６の上端および第２圧縮ばね７の下端に第１導電部材３および第２導電部材４の挿入部３ｅ、４ｅがそれぞれ挿入されたとき、第１圧縮ばね６の上端および第２圧縮ばね７の下端がフランジ部３ｆ、４ｆに当接することになる。よって、ソケット本体１０を組立てる際、第１導電部材３、第２導電部材４、第３導電部材５、第１圧縮ばね６、第２圧縮ばね７の各部材を個々に装着することができる。
【００４１】
なお、本実施の形態に限らず、第１圧縮ばね６の上端および第２圧縮ばね７の下端を、それぞれ第１導電部材３および第２導電部材４の挿入部３ｅ、４ｅよりも内径が小さくなるよう形成してもよい。この構成によれば、第１圧縮ばね６の上端および第２圧縮ばね７の下端に第１導電部材３および第２導電部材４の挿入部３ｅ、４ｅがそれぞれ挿入されたとき、これら挿入部３ｅ、４ｅが第１圧縮ばね６の上端および第２圧縮ばね７の下端から所定の径方向圧力で締め付けられ、保持されることになる。
【００４２】
また、本実施の形態では、第１圧縮ばね６と第２圧縮ばね７は、仕様が異なるものが用いられている。
【００４３】
これは、被検査対象物２１の変更に対応して、被検査対象物２１の接続端子２１ａとプリント配線板２２の接続端子２２ａに接触するときの導電部材全体（第１導電部材３と第２導電部材４）の接触圧を調整するためである。
【００４４】
本実施の形態では、第１圧縮ばね６と第２圧縮ばね７の仕様を、第１導電部材３および第２導電部材４が被検査対象物２１の接続端子２１ａとプリント配線板２２の接続端子２２ａにそれぞれ接触するときに最適な接触圧となるように設定している。
【００４５】
第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７を別仕様にすることで、第１導電部材３および第２導電部材４が被検査対象物２１の接続端子２１ａとプリント配線板２２の接続端子２２ａにそれぞれ接触するときに最適な接触圧に設定することができる。
【００４６】
次に、図２を用いて本実施の形態の検査用ソケット１の組立て方法について説明する。
【００４７】
まず、図２（ａ）に示すように、分割された状態の第２ソケット本体１４の第２貫通孔１１ｇに、第２導電部材４を挿入し、次いで第２圧縮ばね７を挿入する。この場合、第２導電部材４の挿入部４ｅが第２圧縮ばね７の下端に挿入された状態となる。
【００４８】
次いで、第２圧縮ばね７に第３導電部材５の第２端部５ｃを挿通した後、第２端部５ｃを第２貫通孔１１ｇに挿通し、第２端部５ｃの下端を第２導電部材４の孔部４ｃに挿通する。
【００４９】
次いで、図２（ｂ）に示すように、第１導電部材３の挿入部３ｅに上端が挿入された状態の第１圧縮ばね６を第３導電部材５の第１端部５ｂに挿通する。次いで、コンタクト部３ａを第１ソケット本体１３の第１貫通孔１１ｆに挿通し、第１ソケット本体１３を第２ソケット本体１４に取付けることにより、プローブ２をソケット本体１０に組み付ける。これが図１の状態となる。
【００５０】
次に、動作について説明する。
【００５１】
前述のように構成された本実施の形態の検査用ソケット１では、図４に示すように、テストを行うＩＣパッケージや集積回路を造りこんだウェハー等の被検査対象物２１の接続端子２１ａに第１導電部材３のコンタクト部３ａが接触するとともに、検査機器や診断機器を構成するプリント配線板２２の接続端子２２ａに第２導電部材４のコンタクト部４ａが接触する。なお、コンタクト部４ａは、冠形状に形成されているため、プリント配線板２２の接続端子２２ａに安定して接触することになる。
【００５２】
また、仕様の異なる第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７により、両コンタクト部３ａ、４ａによる第１導電部材３および第２導電部材４の変位Ｓ１、Ｓ２が許容されるとともに、第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７が圧縮してばね荷重を発生することにより、第１導電部材３および第２導電部材４への電気的接続をなすための所要の接触圧が付与される。
【００５３】
このように本実施の形態では、第３導電部材５を１個の圧縮ばねで保持せず、中空の第１圧縮ばね６と第２圧縮ばね７とで挟持するようにしたので、第３導電部材５のフランジ部５ａの側周面５ｓに対する溝加工が不要となる。よって、第３導電部材５の加工が容易になり、加工に係る時間およびコストを低減することができる。なお、前記溝は、１個の圧縮ばねによってフランジ部５ａを締め付けるための螺旋状の嵌合溝である。
【００５４】
また、第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７を第３導電部材５に固定していないので、第１圧縮ばね６、第２圧縮ばね７、第３導電部材５を個々に装着することができる。よって、検査用ソケット１の組立作業が容易になる。
【００５５】
さらに、各部材を交換する場合には、交換対象のみを容易に交換することができる。例えば、被検査対象物２１と接触することによって汚れ、あるいは摩耗して電気的接触機能が劣化した導電部材のみを交換することができる。この結果、検査用ソケット１の交換費用を大幅に低減することができる。また、第１導電部材３、第２導電部材４、第３導電部材５を個々に交換することができるので、廃棄部品を少なくすることができ、環境対策を図ることができる。
【００５６】
また、本実施の形態では、第３導電部材５の軸方向中央部に形成されたフランジ部５ａを境にして、第１導電部材３とフランジ部５ａとの間で第１端部５ｂを取り囲むようにして第１圧縮ばね６を設けるとともに、第２導電部材４とフランジ部５ａとの間で第２端部５ｃを取り囲むようにして第２圧縮ばね７を設けたので、第１圧縮ばね６と第２圧縮ばね７の仕様を異ならせて、被検査対象物２１およびプリント配線板２２に対する荷重を調整することができる。
【００５７】
すなわち、被検査対象物２１に応じて第１圧縮ばね６と第２圧縮ばね７の仕様（例えば、材質、線径、巻数）をそれぞれ適宜選択することにより、弾性部材としての圧縮ばね全体のばね定数を細かに設定することができる。
【００５８】
また、図５に示すように、コンタクト部４ｉを円錐形状に形成してもよい。このようにしてもコンタクト部４ｉの加工を容易に行うことができるとともに、コンタクト部４ｉの先端をプリント配線板２２の接続端子２２ａに確実に接触させることができる。
【００５９】
また、図６に示すように、コンタクト部４ｊを曲面形状に形成してもよい。このようにしてもコンタクト部４ｊの加工を容易に行うことができるとともに、コンタクト部４ｊの先端をプリント配線板２２の接続端子２２ａに確実に接触させることができる。
【００６０】
（第２の実施の形態）
図７は、本発明に係る検査用ソケットの第２の実施の形態を示す図であり、第１の実施の形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００６１】
図７において、第１ソケット本体１３は、第１貫通孔１１ｆが形成された本体部３２と、本体部３２と別体に設けられ、第１貫通孔１１ｆの内周面積よりも小さい開口面積の開口部（貫通孔１１の一端）３１ａを有するソケットカバー３１と、を備えており、ソケットカバー３１は、図示しないボルトによって本体部３２に締結されるようになっている。
【００６２】
また、ソケットカバー３１の開口部３１ａと第１貫通孔１１ｆの間のソケットカバー３１部分によって係合部としての環状係合部３１ｄが構成されており、この環状係合部３１ｄに第１導電部材３のフランジ部３ｆが係合することにより、第１導電部材３が第１ソケット本体１３から抜け出ないようになっている。
【００６３】
このように、本実施の形態では、第１導電部材３が配置される第１ソケット本体１３を、第１貫通孔１１ｆが形成された本体部３２と、第１貫通孔１１ｆの内周面積よりも小さい開口面積を有する開口部３１ａを有するソケットカバー３１とから構成したので、１つの第１ソケット本体１３に第１貫通孔１１ｆと開口部３１ａを２つの工程で形成するのを不要にできる。
【００６４】
なお、１つの第１ソケット本体１３に第１貫通孔１１ｆと開口部３１ａを開口するには、まず、切削加工によって開口部３１ａを開口した後、開口部３１ａを下側に位置するようにして第１ソケット本体１３の分割面Ｐ１側から第１貫通孔１１ｆを開口する２つの工程が必要になる。
【００６５】
本実施の形態では、第１貫通孔１１ｆが形成された本体部３２と、開口部３１ａが形成されたソケットカバー３１とをボルトによって一体化するようにしたので、開口部３１ａおよび第１貫通孔１１ｆの形成を容易に行うことができ、第１ソケット本体１３の製造を容易に行うことができる。
【００６６】
また、第１圧縮ばね６、第１導電部材３、第３導電部材５、第２圧縮ばね７、第２導電部材４のいずれかを交換する際には、ソケットカバー３１および本体部３２からボルトを取り外した後、ソケットカバー３１を本体部３２から取り外した状態で交換作業を行うことができるため、交換作業の作業性を向上させることができる。
【００６７】
なお、本実施の形態に限らず、ソケットカバー３１を第２導電部材４側（図中、下側）に設けても同様の効果が期待される。
【００６８】
（第３の実施の形態）
図８は、本発明に係る検査用ソケットの第３の実施の形態を示す図であり、第１の実施の形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００６９】
図８において、ソケット本体１０は、貫通孔１１が形成された本体部３２と、本体部３２と別体に設けられ、貫通孔１１の内周面積よりも小さい開口面積の開口部（貫通孔１１の一端）３１ａを有するソケットカバー３１とを備えており、ソケットカバー３１は、図示しないボルトによって本体部３２に締結されるようになっている。
【００７０】
また、ソケットカバー３１の開口部３１ａと貫通孔１１の間のソケットカバー３１部分によって係合部としての環状係合部３１ｄが構成されており、この環状係合部３１ｄに第１導電部材３のフランジ部３ｆが係合することにより、第１導電部材３がソケット本体１０から抜け出ないようになっている。
【００７１】
このように、本実施の形態では、第１導電部材３、第２導電部材４および第３導電部材５が配置されるソケット本体１０を、貫通孔１１が形成された本体部３２と、貫通孔１１の内周面積よりも小さい開口面積を有する開口部３１ａを有するソケットカバー３１とから構成したので、貫通孔１１および開口部１１ｂが形成された本体部３２と、開口部３１ａが形成されたソケットカバー３１と、をボルトによって一体化することができる。よって、開口部３１ａの形成を容易に行うことができ、ソケット本体１０の製造を容易に行うことができる。
【００７２】
この場合、１つのソケット本体１０に貫通孔１１と開口部１１ｂを開口するには、まず、切削加工によって本体部３２に開口部１１ｂを開口した後、開口部１１ｂを下側に位置するようにして本体部３２の上面側から貫通孔１１を開口する。こうして貫通孔１１および開口部１１ｂが形成された本体部３２と、別工程で開口部３１ａが形成されたソケットカバー３１と、をボルトによって一体化する。
【００７３】
また、本実施の形態では、本体部３２が分割されていないために、第１、第２の実施の形態に比べて本体部３２の組立作業が容易になる。なお、第１、第２の実施の形態では、第１ソケット本体１３と第２ソケット本体１４の分割面Ｐ１、Ｐ２の位置合せが必要である。
【００７４】
さらに、本実施の形態では、第１圧縮ばね６および第２圧縮ばね７を第３導電部材５に固定していないので、第２導電部材４、第２圧縮ばね７、第３導電部材５、第１圧縮ばね６、第１導電部材３の各部材をソケット本体１０の貫通孔１１に落とし込んで組立てることができる。よって、検査用ソケット１の組立作業が容易になる。
【００７５】
また、本実施の形態では、第１圧縮ばね６、第１導電部材３、第３導電部材５、第２圧縮ばね７、第２導電部材４のいずれかを交換する際には、ソケットカバー３１および本体部３２からボルトを取り外した後、ソケットカバー３１を本体部３２から取り外した状態で交換作業を行うことができるため、交換作業の作業性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
以上のように、本発明に係る検査用ソケットは、加工が容易であるとともに、異なる被検査対象物に対応可能にして汎用性を高くすることができるという効果を有し、ＩＣパッケージや集積回路素子等を検査する検査用ソケット等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明に係る検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、検査用ソケットの正面断面図である。
【図２】本発明に係る検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、検査用ソケットの組立て方法の手順を説明する図である。
【図３】図２（ｂ）のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図４】本発明に係る検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、テスト時動作状態を示す検査用ソケットの正面断面図である。
【図５】本発明に係る検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、他の構成の第２導電部材を備えた検査用ソケットの正面断面図である。
【図６】本発明に係る検査用ソケットの第１の実施の形態を示す図であり、他の構成の第２導電部材を備えた検査用ソケットの正面断面図である。
【図７】本発明に係る検査用ソケットの第２の実施の形態を示す図であり、検査用ソケットの正面断面図である。
【図８】本発明に係る検査用ソケットの第３の実施の形態を示す図であり、検査用ソケットの正面断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１  検査用ソケット
２  両端変位型コンタクトプローブ
３  第１導電部材
３ｆ、４ｆ  フランジ部
４  第２導電部材
５  第３導電部材
５ａ  フランジ部（拡径部）
５ｂ  第１端部
５ｃ  第２端部
６  第１圧縮ばね(第１弾性部材)
７  第２圧縮ばね(第２弾性部材)
１０  ソケット本体
１１  貫通孔
１１ａ、１１ｂ、３１ａ  開口部
１１ｄ、１１ｅ、３１ｄ  環状係合部（係合部）
１１ｆ  第１貫通孔（貫通孔の一方側）
１１ｇ  第２貫通孔（貫通孔の他方側）
１３  第１ソケット本体
１４  第２ソケット本体
２１  被検査対象物
２１ａ  接続端子
２２  プリント配線板（検査装置）
２２ａ  接続端子
３１  ソケットカバー
３２  本体部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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