(57)【要約】【課題】干渉計の光軸とレンズ光軸を一致させるための傾き調整作業が不要になり、全体の測定時間を短縮できるレンズ収差測定方法を提供する。【解決手段】干渉計を用いてレンズの収差を測定する方法は、干渉計の光軸に対するレンズの傾きを測定し（ａ２）、この傾きに起因した収差Ｗｔを算出するステップ（ａ３）と、干渉計を用いて、傾いた状態でレンズの収差Ｗｐを測定するステップ（ａ４）と、測定した収差Ｗｐから傾きに起因した収差Ｗｔを除去して、レンズ固有の収差Ｗｏを算出するステップ（ａ５）とを含む。【選択図】図６
2010169471.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計を用いてレンズの収差を測定する方法であって、
干渉計の光軸に対するレンズの傾きを測定し、この傾きに起因した収差Ｗｔを算出するステップと、
干渉計を用いて、傾いた状態でレンズの収差Ｗｐを測定するステップと、
測定した収差Ｗｐから傾きに起因した収差Ｗｔを除去して、レンズ固有の収差Ｗｏを算出するステップと、を含むことを特徴とするレンズ収差測定方法。
【請求項２】
干渉計の光軸に対して所定の関係に調整された光軸を有するレンズ傾き検出手段を用いて、レンズの傾きを測定することを特徴とする請求項１記載のレンズ収差測定方法。
【請求項３】
レンズを保持するレンズ保持ユニットの傾きを測定することによって、レンズの傾きを測定することを特徴とする請求項２記載のレンズ収差測定方法。
【請求項４】
干渉計の測定光を用いて、レンズからの戻り光またはレンズを保持するレンズ保持ユニットからの戻り光の反射方向を検出することによって、レンズの傾きを測定することを特徴とする請求項１記載のレンズ収差測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、光ピックアップ等の光学装置に用いられるレンズの収差測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズ等の被検光学素子の性能を測定する方法として、干渉計と反射原器を用いて被検光学素子の透過波面を測定する方法が従来より知られている。例えば、光ピックアップ用の対物レンズの場合、その透過波面の測定は以下のようにして行われる。
【０００３】
まず、干渉計から射出させた平面波を光ピックアップ用の対物レンズに入射させる。すると、収差の非常に少ない球面波が対物レンズから射出される。その球面波を反射球面原器で折り返し、再び対物レンズに入射させる。対物レンズからは平面波が射出され、その平面波と干渉計内の参照面からの反射平面波とで干渉縞が形成される。その干渉縞から対物レンズの透過波面を測定することができる。また、参照面をピエゾ素子等で駆動させるフリンジスキャン法により、干渉縞を数値データに置き換えれば、透過波面収差を解析することができる。
【０００４】
透過波面測定のために干渉縞を得るには、干渉計に対する反射球面原器の位置を光軸方向及びそれに垂直な方向に調整するだけでなく、干渉計の光軸に対する被検光学素子の傾きも調整する必要がある。被検光学素子に傾き（いわゆるブロック偏心）があると、その偏心による収差が被検光学素子の透過波面収差に加わってしまい、被検光学素子の透過波面収差だけを測定することができなくなるからである。
【０００５】
特許文献１では、干渉計測を利用して被検レンズの傾斜を防止しつつ透過波面を測定する収差測定方法が開示されている。この収差測定方法では、干渉計の被検光束が基準平面部材に対して垂直に入射するように相対位置を調整した状態で、光学的傾き検出手段の被検光束が基準平面部材に対して垂直入射するように光学的傾き検出手段の相対的位置を調整する。そして、基準平面部材を被検光学素子に置き換えた後、光学的傾き検出手段に対する被検光学素子の傾きを調整し、干渉計で被検光学素子の透過波面を計測する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２０１７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１の収差測定方法では、測定毎に被検光学素子の傾きを調整する必要がある。この場合、ａ）傾きを調整する時間が必要（測定時間に対してロス）、２）傾きを調整すると、レンズ台が、光軸方向（Ｚ）およびこれに垂直な平面内（Ｘ，Ｙ）で動いてしまう。そのため、レンズの位置が測定毎に異なることとなり、凹面原器の位置も測定毎に異なることとなる。特に、次世代ＤＶＤ用のピックアップレンズ等として用いられる高ＮＡレンズにおいては、ヌルフリンジに追い込む為に数ｎｍ〜数十ｎｍの精度で調整を行っており、前回測定レンズからその原器位置が大きく外れるとそのままでは干渉縞がでずに、再度干渉縞を出すための調整に時間がかかる。
【０００８】
本発明の目的は、干渉計の光軸とレンズ光軸を一致させるための傾き調整作業が不要になり、全体の測定時間を短縮できるレンズ収差測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係るレンズ収差測定方法は、干渉計を用いてレンズの収差を測定する方法であって、
干渉計の光軸に対するレンズの傾きを測定し、この傾きに起因した収差Ｗｔを算出するステップと、
干渉計を用いて、傾いた状態でレンズの収差Ｗｐを測定するステップと、
測定した収差Ｗｐから傾きに起因した収差Ｗｔを除去して、レンズ固有の収差Ｗｏを算出するステップと、を含むことを特徴とする。
【００１０】
本発明において、干渉計の光軸に対して所定の関係に調整された光軸を有するレンズ傾き検出手段を用いて、レンズの傾きを測定することが好ましい。
【００１１】
本発明において、レンズを保持するレンズ保持ユニットの傾きを測定することによって、レンズの傾きを測定することが好ましい。
【００１２】
本発明において、干渉計の測定光を用いて、レンズからの戻り光またはレンズを保持するレンズ保持ユニットからの戻り光の反射方向を検出することによって、レンズの傾きを測定することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、レンズの収差を傾いた状態で測定できるため、干渉計の光軸とレンズ光軸を一致させるための傾き調整作業が不要になり、全体の測定時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明が適用可能な干渉計装置の一例を示す構成図である。
【図２】傾き検出装置５１の一例を示す構成図である。
【図３】ステージ１５または参照凹面ミラー３１の退避動作を示す説明図である。
【図４】干渉計装置の測定光の入射方向と傾き検出装置５１の測定光の入射方向を一致させた場合の一例を示す構成図である。
【図５】本発明が適用可能な干渉計装置の他の例を示す構成図である。
【図６】本発明に係るレンズ収差測定方法の一例を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係るレンズ収差測定方法の他の例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、本発明が適用可能な干渉計装置の一例を示す構成図である。この干渉計装置は、トワイマン・グリーン型の干渉計からなり、光学系として、光源１２と、コリメータレンズ１３と、光分割合成手段であるビームスプリッタ１４と、被検対象用ステージ１５と、参照平面ミラー１６と、撮像レンズ１７と、ＣＣＤセンサ１８とを備える。また、この干渉計装置は、駆動制御系として、光源駆動回路２１と、ステージ駆動装置２３と、参照ミラー走査用のＤ／Ａ変換回路２４と、参照ミラー移動用のモータドライバ２５と、画像処理装置２６と、これらの動作を統括的に制御するコンピュータ２７とを備える。
【００１６】
光源１２は、半導体レーザなどのコヒーレント光源として構成され、所定波長の検査光を出射する。光源１２は、波長可変型の光源を用いてもよく、あるいは、異なる波長の光を放射する複数の光源を切り替えるように構成してもよい。
【００１７】
光源１２は、光源駆動回路２１によって制御される。光源１２が半導体レーザである場合、光源駆動回路２１は、高周波重畳回路２１ａを内蔵しており、ＤＣ電流に高周波電流を重畳したものを供給することで、光源１２から出射する検査光のコヒーレンス長を所望の値に調整することができる。
【００１８】
コリメータレンズ１３は、光源１２からの出射光を平行光束に変換する。異なる波長の検査光を使用する場合、コリメータレンズ１３として色消しレンズを用いたり、あるいはコリメータレンズ１３を波長毎に対応するものに交換する。平行化された検査光は、ミラー３０を経由してビームスプリッタ１４に入射する。
【００１９】
ビームスプリッタ１４は、平行平板状の透明プレートであり、ビーム分割面１４ａに例えば半透鏡膜を形成している。ビームスプリッタ１４は、これに入射した検査光の一部をビーム分割面１４ａで反射して参照光とし、残りの検査光を透過させて被検光とする。
【００２０】
被検対象用ステージ１５は、手動機構（不図示）またはステージ駆動装置２３によって駆動可能であり、被検対象を３次元的に移動させて適所に保持する。図示の場合、被検対象用ステージ１５には、被検対象である被検レンズＭＬが固定されている。なお、被検対象が図示のようにレンズでありその結像特性を計測する場合、被検レンズＭＬの後方に参照凹面ミラー３１を配置し、被検レンズＭＬを通過した光を反射し、再び被検レンズＭＬを通過させてほぼ平行光束にしてビームスプリッタ１４に戻し、参照光と干渉させる。被検レンズＭＬが、光ディスク用対物レンズ等の、所定の平行平面基板を介して集光するように設計されたレンズの場合、参照凹面ミラー３１と被検レンズＭＬとの間にカバーガラス３２を配置する。
【００２１】
参照平面ミラー１６は、入射面１６ａに例えば反射膜を形成している。参照平面ミラー１６は、圧電素子４１を介してアライメント装置４２に固定されている。圧電素子４１は、位相送り機構として、Ｄ／Ａ変換回路２４からの制御電圧に応じて伸縮し、参照ミラーを光軸ＯＡの方向に波長オーダで精密に往復移動させることができる。アライメント装置４２は、手動機構やモータドライバ２５に駆動されて、参照平面ミラー１６の光軸方向の位置や姿勢を適切な状態に保つ。
【００２２】
撮像レンズ１７は、ビームスプリッタ１４を経て合成された、被検レンズＭＬからの被検光と参照平面ミラー１６からの参照光とを合成光として集光する。なお、図示を省略しているが、撮像レンズ１７には、これを光軸ＯＡ方向等に変位させる駆動機構を付設しており、かかる駆動機構等の調節によってフォーカス状態を調整することができる。
【００２３】
ＣＣＤセンサ１８には、撮像レンズ１７によって一旦集光された合成光が干渉縞として投影される。この干渉縞のパターンは、電気信号として画像処理装置２６に出力される。この電気信号は、ＣＣＤセンサ１８に投影された干渉パターンに対応する画像信号としてコンピュータ２７に出力される。なお、図示を省略しているが、ＣＣＤセンサ１８には、これを光軸ＯＡ方向に移動させる駆動機構を付設しており、かかる駆動機構等の調節によってＣＣＤセンサ１８による撮像倍率を調整することができる。また、ＣＣＤセンサ１８は、画像処理装置２６側から制御されるカメラシャッタを有する。このカメラシャッタは、内蔵するフォトダイオードの蓄積時間を調節するものであり、入射する光強度にかかわらず適切な輝度分布の画像信号を与える。
【００２４】
コンピュータ２７は、光源駆動回路２１を制御して、光源１２を点灯させるとともに、出射する検査光のコヒーレンス長を調整する。また、コンピュータ２７は、Ｄ／Ａ変換回路２４を制御して、参照平面ミラー１６を光軸方向に移動させることによって、ＣＣＤセンサ１８に投影される干渉縞の移動を制御することができ、干渉縞の位置制御が行える。位相制御された最低３枚以上の干渉縞から測定対象の波面や形状を高精度に測定できる。
【００２５】
また、コンピュータ２７は、モータドライバ２５を制御してアライメント装置４２を駆動し、参照平面ミラー１６の光軸方向の位置を調整する。つまり、コンピュータ２７、モータドライバ２５、及びアライメント装置４２は、光路差制御手段を構成する。これにより、ＣＣＤセンサ１８に投影される干渉縞の明暗強度差に相当するビジビリティを調整することができ、被検対象による波面変化の計測精度を一定以上に保つことができる。
【００２６】
次に、干渉計装置の動作について説明する。まず、被検対象用ステージ１５上に被検対象である被検レンズＭＬをセットする。次に、アライメント装置４２を手動または電動で動作させることにより、光軸ＯＡに沿って参照平面ミラー１６を移動させて距離Ｌ１を調節することができ、参照光路長及び被検光路長を実質的に等しくすることができる。
【００２７】
次に、光源駆動回路２１を動作させて、光源から特定波長の検査光を出射させる。この際、光源駆動回路２１は、光源１２に対してＤＣ電流に高周波電流を重畳したものを供給して検査光のコヒーレンス長を調節する。つまり、光源駆動回路２１やコンピュータ２７は、コヒーレンス調整手段として機能する。これにより、必要な被検光のみを選択して参照光との干渉縞を発生させることができる。
【００２８】
次に、アライメント装置４２を微動させて、ＣＣＤセンサ１８に投影される干渉縞のビジビリティを調整する。これにより、画像処理装置２６で検出する干渉パターンのコントラストを所望の値に設定することができる。これと相前後して、ＣＣＤセンサ１８のカメラシャッタを適宜調節して、画像処理装置２６で検出する干渉パターンの輝度を調節する。具体的には、ＣＣＤセンサ１８の蓄積時間を調節して、干渉パターンの輝度を干渉パターンの計測に適する値にする。この際、ＣＣＤセンサ１８のカメラシャッタの調節を自動化することができる。例えば、画像処理装置２６で検出した画像をコンピュータ２７で解析して画像の平均輝度等からＣＣＤセンサ１８の蓄積時間を設定して画像処理装置２６に指令信号を出力する。次に、コンピュータ２７からＤ／Ａ変換回路２４に制御信号を出力して圧電素子４１を変化させる。これにより、参照平面ミラー１６を位相送りする走査が可能になり、高精度な波面計測が可能になる。
【００２９】
さらに本実施形態では、被検対象用ステージ１５に戴置した被検レンズＭＬの傾きを測定するための傾き検出装置５１と、傾き検出装置５１からの信号を処理するための画像処理装置５２とが設置される。傾き検出装置５１は、公知のオートコリメータやフィゾー干渉計などで構成できる。画像処理装置５２で処理された信号はコンピュータ２７に伝送される。
【００３０】
図２は、傾き検出装置５１の一例を示す構成図である。ここでは、フィゾー干渉計として構成した例を説明する。レーザ光源５３から出射した光は、発散レンズ５４によって発散する光束に変換され、ビームスプリッタ５５を通過して、コリメータレンズ５６によって平行光束に変換される。平行光束が振幅分割用の基準板５７を通過する際、その一部は基準板５７の表面で反射し、残りはそのまま通過して被検レンズＭＬを照射する。被検レンズＭＬのフランジ面で反射した光は、再び基準板５７を通過し、その際、基準板５７で反射した光と干渉する。干渉した光束は、コリメータレンズ５６によって集光され、ビームスプリッタ５５によって側方へ分岐し、結像レンズ５８によってＣＣＤセンサ５９に干渉縞画像として結像される。
【００３１】
このとき被検レンズＭＬの光軸が傾き検出装置５１の光軸と一致する場合の干渉縞画像を基準として、被検レンズＭＬの光軸が傾き検出装置５１の光軸に対して傾斜している場合の干渉縞画像を比較することにより、被検レンズＭＬの傾きを計測することができる。
【００３２】
また、傾き検出装置５１の光軸は、図１の干渉計装置の光軸に対して所定の関係（典型的には、共軸または平行の関係）となるように予め調整されている。従って、傾き検出装置５１を用いて被検レンズＭＬの傾きを計測すれば、干渉計装置の光軸に対する被検レンズＭＬの傾きを算出することができる。
【００３３】
なお、被検レンズＭＬのフランジ面の傾きを計測する代わりに、被検レンズＭＬの頂点付近（平面に近い部分）の傾きを計測したり、あるいは、被検レンズＭＬを戴置せずにステージ１５の基準面１５ａの傾きを計測することで代用しても構わない。
【００３４】
また、ここではフィゾー干渉計の構成を用いた例を説明したが、基準板５７および結像レンズ５８を除去し、ＣＣＤセンサ５９を結像レンズ５８に位置に配置したオートコリメータの構成でも被検レンズＭＬのフランジ面（またはステージ１５の基準面１５ａ）の傾きを計測することができる。
【００３５】
図１に戻って、被検レンズＭＬの傾きを測定する場合、傾き検出装置５１が被検レンズＭＬに直接対向するように、参照凹面ミラー３１を移動させる必要がある。
【００３６】
図３（ａ）〜（ｄ）は、ステージ１５は固定した状態で、参照凹面ミラー３１を移動する態様を示す。図３（ａ）（ｂ）において、参照凹面ミラー３１を側方に移動した状態で、ステージ１５の上方に配置した傾き検出装置５１が被検レンズＭＬの傾きを測定する。その後、図３（ｃ）（ｄ）に示すように、参照凹面ミラー３１を元の位置に戻している。
【００３７】
一方、図３（ｅ）〜（ｈ）は、参照凹面ミラー３１は固定した状態で、ステージ１５を移動する態様を示す。図３（ｅ）（ｆ）において、ステージ１５を側方に移動した状態で、その上方に配置した傾き検出装置５１が被検レンズＭＬの傾きを測定する。その後、図６（ｇ）（ｈ）に示すように、ステージ１５を元の位置に戻している。
【００３８】
こうした退避動作を行うためには、参照凹面ミラー３１及び／又はステージ１５の側方移動を可能にする直線移動機構（不図示）が干渉計装置の内部に設置される。なお、ステージ１５を移動させる場合、載せたレンズがずれないようにレンズ固定が必要になる。レンズの固定は、機械的に固定してもよいし、エア吸着で固定してもよい。
【００３９】
図４は、干渉計装置の測定光の入射方向と傾き検出装置５１の測定光の入射方向を一致させた場合の一例を示す構成図である。ステージ１５の貫通孔には、気密性の内部空間を形成するための封止窓１５ｂが設けられる。封止窓１５ｂは、透明材料で形成され、迷光を防ぐために測定光の光軸に対して斜めに固定される。
【００４０】
ステージ１５の内部空間は管路１５ｃを経由して吸引することにより、被検レンズＭＬのフランジ面とステージ１５の基準面１５ａとを密着させることができ、より高精度の測定が可能になる。
【００４１】
被検レンズＭＬの傾きを測定する場合、傾き検出装置５１の測定光を封止窓１５ｂ側から入射することによって、被検レンズＭＬのフランジ面、または被検レンズＭＬの頂点付近（平面に近い部分）の傾きを計測する。また、被検レンズＭＬの傾きを直接計測する代わりに、ステージ１５に対する封止窓１５ｂの傾きが既知であれば、封止窓１５ｂの傾きを計測することによって、被検レンズＭＬの傾きを間接的に求めることも可能である。
【００４２】
図５は、本発明が適用可能な干渉計装置の他の例を示す構成図である。この干渉計装置は、図１の干渉計装置において、撮像レンズ１７とＣＣＤセンサ１８との間にビームスプリッタ３５を配置し、ビームスプリッタ３５を通過する光束の焦点に相当する位置に、傾き計測用のＣＣＤセンサ３６を配置している。
【００４３】
この配置は、ビームスプリッタ１４から参照平面ミラー１６へ向かう参照光をビームストッパ等で遮断した場合、オートコリメータの構成に対応している。即ち、光源１２からビームスプリッタ１４を通過した平行光は被検レンズＭＬを照射し、被検レンズＭＬのフランジ面、あるいはステージ１５の一部または封止窓１５ｂからの反射光の反射方向はＣＣＤセンサ３６で検出できる。この場合、ＣＣＤセンサ３６の撮像面において、被検レンズＭＬによるスポット（干渉縞が出ている場合、常にほぼ一定位置）と、ステージ１５の一部または封止窓によるスポットが存在するようになり、両スポットの間隔を計測することにより、被検レンズＭＬの傾きを計測することが可能になる。
【００４４】
図６は、本発明に係るレンズ収差測定方法の一例を示すフローチャートである。ここでは、被検レンズＭＬの傾き測定を行った後、被検レンズＭＬの収差測定を行う。まずステップａ１において、被検レンズＭＬの傾きによって発生する収差をゼルニケ多項式に展開し、単位傾きあたりの換算係数を予め算出しておく。
【００４５】
次にステップａ２において、傾き検出装置５１を用いて被検レンズＭＬの傾きを測定する。次にステップａ３において、レンズの傾き×換算係数を計算し、レンズ傾きに起因して発生する収差Ｗｔをゼルニケ多項式で算出する。
【００４６】
次にステップａ４において、上述の干渉計装置を用いて、被検レンズＭＬが傾いた状態で干渉測定を行い、その収差Ｗｐをゼルニケ多項式に展開する。
【００４７】
次にステップａ５において、測定した収差Ｗｐから、傾きに起因した収差Ｗｔを除去して、レンズ固有の収差Ｗｏを算出する。
【００４８】
ここで、ゼルニケ多項式（Zernike polynomial）について説明する。光学系の波面収差は、光線が瞳を通過する座標をｘ，ｙとして、下記のＷ（ｘ，ｙ）で表される。波面収差を近似する多項式として、一般に、極座標を採用したゼルニケ多項式が用いられる。ゼルニケ多項式は、半径１で正規化した単位円内で正規直交系を成す多項式群である。光学分野では、レンズなど多くの素子が円形の開口を持っているため、設計や測定において広く使用される。
【００４９】
【数１】
2010169471.tif 000003
【００５０】
ここで、Ｂｎｍ  はゼルニケ係数である。一般には、４、９、１６、２５、３６項に展開して用いられる。ここでは、１６項まで展開したものについて説明する。
【００５１】
【表１】
2010169471.tif 000004
【００５２】
ここで、レンズがＸ方向に傾くと、Ｚ７とＺ１４の収差が発生し、レンズがＹ方向に傾くと、Ｚ８とＺ１５の収差が発生する。例えば、あるレンズでは、１度傾いた場合、Ｚ７（Ｚ８）＝０．０９（λ）、Ｚ１４（Ｚ１５）＝０．０１（λ）の比率で収差が発生する。
【００５３】
具体例として、レンズがＸ方向に＋０．２度、Ｙ方向に−０．１度傾いていた場合、
Ｚ７＝０．０９  ×  ＋０．２＝０．０１８（λ）、
Ｚ８＝０．０９  ×  −０．１＝−０．００９（λ）、
Ｚ１４＝０．０１  ×  ＋０．２＝０．００２（λ）、
Ｚ１５＝０．０１  ×  −０．１＝−０．００１（λ）、
のように、レンズ傾きに起因した収差が算出できる。
【００５４】
そこで、干渉測定して求めたゼルニケ多項式のうち、Ｚ７，Ｚ８，Ｚ１４，Ｚ１５について、レンズ傾きによって発生する上記の値を引き算することによって、レンズの傾きがない（レンズの干渉計へのセッティング誤差を除去した）レンズ固有の収差を求めることができる。
【００５５】
下記の表は、傾いた状態で干渉測定を行ったレンズの収差Ｗｐ（Ｚ１〜Ｚ１５）から、
レンズの傾きに起因した収差Ｗｔ（Ｚ７，Ｚ８，Ｚ１４，Ｚ１５）を除去して、レンズ固有の収差Ｗｏ（Ｚ１〜Ｚ１５）を算出した数値計算例を示す。
【００５６】
【表２】
2010169471.tif 000005
【００５７】
図７は、本発明に係るレンズ収差測定方法の他の例を示すフローチャートである。ここでは、被検レンズＭＬの収差測定を行った後、被検レンズＭＬの傾き測定を行う。まずステップｂ１では、図７のステップａ１と同様に、被検レンズＭＬの傾きによって発生する収差をゼルニケ多項式に展開し、単位傾きあたりの換算係数を予め算出しておく。
【００５８】
次にステップｂ２において、上述の干渉計装置を用いて、被検レンズＭＬが傾いた状態で干渉測定を行い、その収差Ｗｐをゼルニケ多項式に展開する。
【００５９】
次にステップｂ３において、傾き検出装置５１を用いて被検レンズＭＬの傾きを測定する。次にステップｂ４において、レンズの傾き×換算係数を計算し、レンズ傾きに起因して発生する収差Ｗｔをゼルニケ多項式で算出する。
【００６０】
ステップｂ５では、図７のステップａ５と同様に、測定した収差Ｗｐから、傾きに起因した収差Ｗｔを除去して、レンズ固有の収差Ｗｏを算出する。
【００６１】
このように干渉計装置を用いてレンズの収差を測定する場合、レンズの傾きを厳密に調整する代わりに、その傾きにより発生する収差（設計での理論値）を測定結果から除去することによって、レンズ固有の収差を算出することができる。その結果、従来の収差測定方法と比べて、レンズの傾きを調整する時間が不要になり、全体の測定時間を短縮できる。また、レンズ台の位置が変わらないように測定する態様では、前回測定レンズとその原器位置はほぼ同じ位置であり、干渉縞も出ており、ヌルフリンジに追い込むための調整量が少なくて済み、測定時間を短縮できる。
【００６２】
また、傾きが大きくずれるレンズに関しては、レンズの平面基準面の成形不良や加工不良が考えられるため、結果としてその不良検出にも応用できる。従って、干渉測定の工程を行わずに、不良品扱いにすることが可能になり、測定時間ロスを回避できる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、レンズの収差を迅速かつ高精度で測定できる点で産業上極めて有用である。
【符号の説明】
【００６４】
１２  光源
１３  コリメータレンズ
１４  ビームスプリッタ
１５  被検対象用ステージ
１５ａ  基準面
１５ｂ  封止窓
１６  参照平面ミラー
１７  撮像レンズ
１８  ＣＣＤセンサ
２１  光源駆動回路
２３  ステージ駆動装置
２４  Ｄ／Ａ変換回路
２５  モータドライバ
２６，５２  画像処理装置
２７  コンピュータ
３１  参照凹面ミラー
３５  ビームスプリッタ
３６  ＣＣＤセンサ
４２  アライメント装置
５１  傾き検出装置
５３  レーザ光源
５４  発散レンズ
５５  ビームスプリッタ
５６  コリメータレンズ
５７  基準板
５８  結像レンズ
５９  ＣＣＤセンサ
ＭＬ  被検レンズ
【図１】
2010169471.tif 000006
【図２】
2010169471.tif 000007
【図３】
2010169471.tif 000008
【図４】
2010169471.tif 000009
【図５】
2010169471.tif 000010
【図６】
2010169471.tif 000011
【図７】
2010169471.tif 000012