(57)【要約】【課題】流量検知手段により算出される流量が自然対流によるものであるか否かを判定することのできる熱式流量計を提供する。【解決手段】本熱式流量計１ａは、特に、ヒータ２による加熱を間欠的にオン、オフ制御するヒータ制御手段９と、該ヒータ制御手段９によって制御される加熱区間にて、流量検知手段８により算出された流速または流量が自然対流によるものであるか否かを判定する自然対流判定手段１０ａとを備えたので、流量検知手段８により算出される流速または流量が自然対流によるものであるか否かを判定することができる。【選択図】図１
2010230414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管路内に設けられ、該管路内を流れる被測定流体を加熱するヒータと、
前記管路内に設けられ、該ヒータを境に前記被測定流体の上流側及び下流側に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器と、
該各測温用抵抗器の測定結果により前記被測定流体の流速及び流量を算出する流量検知手段とを備えた熱式流量計において、
前記ヒータによる加熱を間欠的にオン、オフ制御するヒータ制御手段と、
該ヒータ制御手段によって制御される加熱区間にて、前記流量検知手段により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する自然対流判定手段と、
を備えたことを特徴とする熱式流量計。
【請求項２】
前記流量検知手段により算出された流速または流量に基いて、前記ヒータ制御手段及び前記自然対流判定手段を作動させるか否かを判定する作動制御手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
【請求項３】
前記自然対流判定手段は、前記ヒータ制御手段によって制御される加熱区間の加熱開始時における前記被測定流体の時間に対する流速または流量の上昇率に基いて、前記流量検知手段により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する機能を有することを特徴とする請求項１または２に記載の熱式流量計。
【請求項４】
前記自然対流判定手段は、前記ヒータ制御手段によって制御されるある加熱区間に前記流量検知手段により算出された前記被測定流体の流速または流量と、次の加熱区間に前記流量検知手段により算出された前記被測定流体の流速または流量とから、時間に対する流速または流量の低下率を算出し、当該低下率に基いて前記流量検知手段により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する機能を有することを特徴とする請求項１または２に記載の熱式流量計。
【請求項５】
管路内に設けられ、該管路内を流れる被測定流体を加熱するヒータと、
前記管路内に設けられ、該ヒータを境に前記被測定流体の上流側及び下流側に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器と、
該各測温用抵抗器の測定結果により前記被測定流体の流速及び流量を算出する流量検知手段とを備えた熱式流量計において、
前記ヒータにより前記被測定流体を複数の温度条件で加熱し、各温度条件における流量検知手段により算出された流速または流量を比較しその差に基いて、前記流量検知手段により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する自然対流判定手段を備えたことを特徴とする熱式流量計。
【請求項６】
前記流量検知手段により算出された流速または流量に基いて、前記自然対流判定手段を作動させるか否かを判定する作動制御手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載の熱式流量計。
【請求項７】
前記自然対流判定手段により前記被測定流体が自然対流であると判定された際、流速または流量の外部機器への出力を停止させる出力停止手段を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管内を流れる被測定流体の流量を測定する熱式流量計に関し、特に、測定された被測定流体の流量が自然対流によるものであるか否かを判定する熱式流量計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、熱式流量計は、管路内に設けられ、該管路内を流れる被測定流体を加熱するヒータと、該ヒータを境に被測定流体の上流側及び下流側に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器と、該各測温用抵抗器の測定結果により被測定流体の流速及び流量を算出する流量検知手段とを備えている。
しかしながら、従来の熱式流量計では、管路を流れる被測定流体の流量がほとんどない低流量域において前記流量検知手段により算出される流量が自然対流によるものであるか、微小流量によるものであるか区別できず、低流量域における器差の悪化、ゼロ点出力の変動等が発生してしまうという問題があった。
【０００３】
また、特許文献１には、地面に対して垂直方向に配置されかつ内部に被測定流体が流れる管路と、ヒータおよびこのヒータを挟んで両側に配置された温度測定センサを有しかつ前記管路内に前記温度測定センサ側が被測定流体の流れる方向に向けて配置され前記管路内に流れる被測定流体の流速を測定する流速センサと、を備えた流量計において、前記流速センサのヒータ加熱を間欠的にオン、オフ制御するとともに前記ヒータ加熱のオフからオンに切り換わった直後の前記流速センサの出力信号の少なくとも２点を計測し、この出力信号差から前記ヒータ加熱の自然対流による出力信号を演算し、前記流速センサの出力信号と前記自然対流による出力信号とから自然対流によらない被測定流体の流量を算出する流量計の流量補正方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１５７６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、従来の熱式流量計では、流量検知手段により算出される流量が自然対流によるものか否かを正確に判定することができない。
【０００６】
また、特許文献１の流量計の流量補正方法では、ヒータ加熱を間欠的にＯＮ−ＯＦＦすることにより自然対流の発生及び停止を繰り返すことで、ヒータエレメントの加熱による自然対流の出力信号を演算しているが、この流量補正方法では、管路が地面に対して垂直であることが必須であり、水平方向に置かれた管路内の自然対流の演算は不可能である。
しかも、特許文献１の流量計の流量補正方法では、被測定流体が所定の流量で流れていることを前提として自然対流の影響による流速を補正しているが、被測定流体の流量に変動がある場合には自然対流の補正が正確に算出できない虞がある。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、流量検知手段により算出される流量が自然対流によるものであるか否かを判定することのできる熱式流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための手段として、本発明の第１の熱式流量計の発明は、管路内に設けられ、該管路内を流れる被測定流体を加熱するヒータと、前記管路内に設けられ、該ヒータを境に前記被測定流体の上流側及び下流側に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器と、該各測温用抵抗器の測定結果により前記被測定流体の流速及び流量を算出する流量検知手段とを備えた熱式流量計において、前記ヒータによる加熱を間欠的にオン、オフ制御するヒータ制御手段と、該ヒータ制御手段によって制御される加熱区間にて、前記流量検知手段により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する自然対流判定手段と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の第２の熱式流量計の発明は、管路内に設けられ、該管路内を流れる被測定流体を加熱するヒータと、前記管路内に設けられ、該ヒータを境に前記被測定流体の上流側及び下流側に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器と、該各測温用抵抗器の測定結果により前記被測定流体の流速及び流量を算出する流量検知手段とを備えた熱式流量計において、前記ヒータにより前記被測定流体を複数の温度条件で加熱し、各温度条件における流量検知手段により算出された流速または流量を比較しその差に基いて、前記流量検知手段により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する自然対流判定手段を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、流量検知手段により算出された流量が自然対流によるものであるのか否かを判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計の模式図である。
【図２】図２の（ａ）は被測定流体が自然対流である際の時間に対する流速の上昇率を示し、（ｂ）は被測定流体が微流量の流れが存在する際の時間に対する流速の上昇率を示している。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計の制御フロー図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施形態に係る熱式流量計の模式図である。
【図５】図５は、本発明の第２の実施形態に係る熱式流量計の制御フロー図である。
【図６】図６は、本発明の第３の実施形態に係る熱式流量計の模式図である。
【図７】図７は、本発明の第３の実施形態に係る熱式流量計の制御フロー図である。
【図８】図８は、本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計の模式図である。
【図９】図９は、本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計の制御フロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態を図１〜図９に基いて詳細に説明する。
まず、本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計１ａを図１〜図３に基いて詳細に説明する。
本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計１ａは、図１に示すように、管路Ａ内に設けられ、管路Ａ内に存在する被測定流体を加熱するヒータ２と、該ヒータ２を境に被測定流体の上流側及び下流側に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器３、４と、該各測温用抵抗器３、４により測定された抵抗値の差（被測定流量の温度差）を出力する差動アンプ５と、差動アンプ５より出力される差をアナログ値からデジタル値に変換して出力するＡ／Ｄ変換器６と、Ａ／Ｄ変換器６より出力される信号が入力されるＣＰＵ７（マイクロコンピュータ）と、ＣＰＵ７からの指示に基づきヒータ２による加熱を制御するヒータ作動回路１２とを備えている。
【００１２】
ヒータ２は、ヒータ作動回路１２に接続され、該ヒータ作動回路１２からの信号により作動される。
測温用抵抗器３、４は、温度変化に伴って抵抗値が変化するものであり、被測定流体の流動方向（図１の矢印の方向）に沿って、ヒータ２を境に上流側及び下流側にそれぞれ配置される。なお、これらヒータ２及び各測温用抵抗器３、４はユニット化（点線で囲まれる範囲）されており、このユニットが、所謂熱式流速センサとして認知されている。
【００１３】
ＣＰＵ７は、各測温用抵抗器３、４と差動アンプ５及びＡ／Ｄ変換器６を介して電気的に接続されている。ＣＰＵ７は、Ａ／Ｄ変換器６より出力される信号から被測定流体の流速及び流量を算出する流量検知手段８と、ヒータ２による加熱を間欠的にオン、オフ制御するヒータ制御手段９と、ヒータ制御手段９によって制御される加熱区間にて、流量検知手段８により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する自然対流判定手段１０ａと、該自然対流判定手段１０ａが流量検知手段８で測定した被測定流体の流速が自然対流によるものであると判定した際に、外部機器（図示せず）への出力を停止させる出力停止手段１１とを備えている。
【００１４】
自然対流判定手段１０ａは、ＣＰＵ７に備えたヒータ制御手段９によって制御される加熱区間の加熱開始時にて、時間に対する流速または流量の上昇率を算出し、該上昇率が基準値（自然対流上昇率判定値）よりも小さい場合には、流量検知手段８により算出された流速または流量は被測定流体の自然対流によるものであると判定する。一方、時間に対する流速または流量の上昇率が基準値よりも大きい場合には、自然対流ではない微流量の被測定流体の流れ（流速または流量）が存在すると判定する。
【００１５】
次に、本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計１ａの制御フローを図３に基いて説明する。
まず、ステップＳ１において、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動開始信号がヒータ作動回路１２に入力され、該ヒータ作動回路１２からの信号に基きヒータ２が間欠的に作動して、被測定流体が間欠的に加熱される。
次に、ステップＳ２では、ある加熱区間の加熱開始直後に、各測温用抵抗器３、４による温度変化に係る抵抗値の変化が測定されて、流量検知手段８にて各測温用抵抗器３、４からの測定結果に基づき被測定流体の流速（Ｖ）が算出される。また、これとともに、算出された被測定流体の流速（Ｖ）を用いて時間に対する流速の上昇率（Ｖ／ｔ）が算出される。
【００１６】
次に、ステップＳ３では、流量検知手段８にて算出された時間に対する流速の上昇率と基準値（自然対流上昇率判定値）とが比較されて、該上昇率が基準値（自然対流上昇率判定値）よりも小さい場合（図２（ａ）参照）には、流量検知手段８により算出された被測定流体の流速（Ｖ）は、自然対流によるものであると判定されてステップＳ５に進み、該ステップＳ５では、出力停止手段１１により、外部機器への出力が停止される。その後、ステップＳ６では、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動停止信号がヒータ作動回路１２を介してヒータ２に入力されて、該ヒータ２の間欠的な作動が停止される。
【００１７】
一方、ステップＳ３にて、時間に対する流速の上昇率が基準値（自然対流上昇率判定値）よりも大きい場合（図２（ｂ）参照）には、流量検知手段８により算出された被測定流体の流速（Ｖ）は、自然対流によるものではなく被測定流体が微流量で流れていることによるものと判定されてステップＳ４に進む。なお、本実施の形態では、ステップＳ２の流速の上昇率（Ｖ／ｔ）の算出処理及びステップＳ３の判定処理が自然対流判定手段１０ａにて行われる。
次に、ステップＳ４では、ヒータ制御手段９による加熱区間内においてＡ／Ｄ変換器６より出力されている信号を用いて被測定流体の流速を算出し、その流速に被測定流体が流通する管路Ａの面積を掛け算することにより流量が算出される。その後、ステップＳ６にて、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動停止信号がヒータ作動回路１２を介してヒータ２に入力されて、該ヒータ２の間欠的な作動が停止される。
【００１８】
なお、本実施の形態では、被測定流体にはヒータ制御手段９により制御される複数の加熱区間のうち、いずれか一つの加熱区間で上述した工程（ステップＳ２〜ステップＳ４またはＳ５）を処理しているが、計測精度を向上させるために複数の加熱区間で上述した工程を行ってもよい。
【００１９】
以上説明した、本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計１ａによれば、自然対流判定手段１０ａにより、ある加熱区間の加熱開始時において、流量検知手段８にて算出された時間に対する流速の上昇率と基準値（自然対流上昇率判定値）とを比較することで、測定された被測定流体の流速が自然対流であるものか否かが判定できるので、低流量域における器差の悪化、ゼロ点出力の変動等を抑制することができる。
【００２０】
なお、好ましい形態として、上述した本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計１ａの制御フローのステップＳ３（図３参照）において採用した基準値よりも小さい第１基準値を設定する。
そして、自然対流判定手段１０ａにおいて、流量検知手段８にて算出された時間に対する流速の上昇率が基準値よりも小さい場合、流量検知手段８により算出された流速が自然対流によるものであると一義的に判定するのではなく、装置に故障（ヒータ２や測温抵抗器３、４の故障）が発生している可能性を考慮して、自然対流判定手段１０ａにおいて、時間に対する流速の上昇率＜第１基準値との結果が出た場合には装置故障と判定する形態を採用した方がよい。
すなわち、自然対流判定手段１０ａにおいて、第１基準値＜時間に対する流速の上昇率＜基準値との結果が出た場合にだけ、流速検知手段８により算出された流速が自然対流によるものと判定する形態を採用した方がよい。いずれの判定結果においても、その後、出力停止手段１１により外部機器への出力は停止される。
【００２１】
次に、本発明の第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂを図４及び図５に基いて詳細に説明する。なお、第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂを説明する際には、第１の実施形態に係る熱式流量計１ａとの相違点のみを説明する。
第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂでは、ＣＰＵ７に備えられた自然対流判定手段１０ｂの機能が第１の実施形態に係る熱式流量計１ａに備えられた自然対流判定手段１０ａの機能と相違している。
すなわち、第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂに備えた自然対流判定手段１０ｂは、ヒータ制御手段９により制御されるある加熱区間の加熱停止直前に流量検知手段８により算出された被測定流体の流速または流量と、次の加熱区間の加熱開始直後に流量検知手段８により算出された被測定流体の流速または流量とから、時間に対する流速または流量の低下率を算出して、当該低下率に基いて流量検知手段８により算出された流速または流量が当該被測定流体の自然対流によるものであるか否かを判定する機能を有している。
【００２２】
次に、本発明の第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂの制御フローを図５に基いて説明する。
まず、ステップＳ１において、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動開始信号がヒータ作動回路１２に入力され、該ヒータ作動回路１２からの信号に基きヒータ２が間欠的に作動して、被測定流体が間欠的に加熱される。
次に、ステップＳ２では、ある加熱区間において、各測温用抵抗器３、４による温度変化に係る抵抗値の変化が測定されて、流量検知手段８にて各測温用抵抗器３、４からの測定結果に基づき被測定流体の流速（Ｖ）が算出される。続いて、算出された流速（Ｖ）と基準値とが比較され、当該流速（Ｖ）が基準値よりも大きい場合には、ステップＳ４に進み、当該流速（Ｖ）により流量が算出される。その後、ステップＳ５にて、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動停止信号がヒータ作動回路１２を介してヒータ２に入力されて、該ヒータ２の間欠的な作動が停止される。
【００２３】
一方、ステップＳ２にて算出された流速（Ｖ）が基準値よりも小さい場合には、ステップＳ６に進み、該ステップＳ６において、現加熱区間の加熱停止直前に流量検知手段８により被測定流体の流速（Ｖａ）が算出され、該流速（Ｖａ）が自然対流判定手段１０ｂに記憶される。
次に、ステップＳ７において、ヒータ２が一時的に停止され、最初の加熱区間が終了する。
次に、ステップＳ８では、ヒータ２の停止後所定時間が経過した否かが判定されて、所定時間経過した後、ステップＳ９において次の加熱区間が開始される。
次に、ステップＳ１０では、次の加熱区間における加熱開始直後に、流量検知手段８により被測定流体の流速（Ｖｂ）が算出され、該流速（Ｖｂ）が自然対流判定手段１０ｂに記憶される。
次に、ステップＳ１１では、最初の加熱区間の加熱停止直前に算出された被測定流体の流速（Ｖａ）と、次の加熱区間の加熱開始直後に算出された被測定流体の流速（Ｖｂ）とにより、被測定流体の時間に対する流速の低下率が算出される。
次に、ステップＳ１２では、前ステップＳ１１にて算出された時間に対する流速の低下率と基準値（自然対流低下率判定値）とが比較されて、当該低下率が基準値よりも小さい場合には、ステップＳ２で流量検知手段８により算出された被測定流体の流速（Ｖ）は自然対流によるものであると判定され、ステップＳ１３に進み、出力停止手段１１により、外部機器への出力が停止される。その後、ステップＳ５に進み、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動停止信号がヒータ作動回路１２を介してヒータ２に入力されて、該ヒータ２の間欠的な作動が停止される。
【００２４】
一方、ステップＳ１２において、時間に対する流速の低下率が基準値（自然対流低下率判定値）よりも大きい場合には、ステップＳ２において流量検知手段８により算出された被測定流体の流速（Ｖ）は、自然対流によるものではなく被測定流体が微流量で流れていることによるものと判定されて、ステップＳ４に進み、流量検知手段８により最初の加熱区間の加熱開始時に算出された該流速（Ｖ）により流量が算出されると共に外部機器へ出力される。その後、ステップＳ５にて、ＣＰＵ７のヒータ制御手段９からの作動停止信号がヒータ作動回路１２を介してヒータ２に入力されて、該ヒータ２の間欠的な作動が停止される。なお、ステップＳ１１及びステップＳ１２の処理が自然対流判定手段１０ｂにて処理されることになる。
【００２５】
以上説明した、本発明の第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂによれば、自然対流判定手段１０ｂにより、ある加熱区間の加熱停止直前に算出された被測定流体の流速（Ｖａ）と、次の加熱区間の加熱開始直後に流量検知手段８により算出された被測定流体の流速（Ｖｂ）とから、時間に対する流速の低下率を算出し、当該低下率に基いて流量検知手段８により算出された流速が自然対流によるものであるのか否かを判定するので、本発明の第１の実施形態に係る熱式流量計１ａと同様に、低流量域における器差の悪化、ゼロ点出力の変動等を抑制することができる。
【００２６】
次に、本発明の第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃを図６及び図７に基いて詳細に説明する。なお、第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃを説明する際には、第１の実施形態に係る熱式流量計１ａとの相違点のみを説明する。
第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃでは、ＣＰＵ７に備えられた自然対流判定手段１０ｃの機能が、第１の実施形態に係る熱式流量計１ａに備えられた自然対流判定手段１０ａの機能と相違している。また、第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃのＣＰＵ７には、ヒータ２による加熱を間欠的にオン、オフ制御するヒータ制御手段９は備えられておらず、ＣＰＵ７にて、ヒータ２を連続的に作動させるように制御される。
すなわち、第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃに備えた自然対流判定手段１０ｃは、ヒータ２により被測定流体を複数の温度条件で加熱し、各温度条件において流量検知手段８により算出された流速または流量を比較しその差に基いて、流量検知手段８により算出された流速または流量が自然対流によるものであるか否かを判定する機能を有している。
【００２７】
なお、第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃに備えた自然対流判定手段１０ｃに、上述した機能を備えた根拠を説明すると、一般に、自然対流の流速（流量）は、ヒータ２の加熱温度と周囲流体の温度との温度差ΔＴの０．５乗に比例する。ヒータ２の加熱温度と周囲流体の温度との温度差がΔＴａで自然対流の流速がＶａのとき、Ｖａ＝Ｃ１×ΔＴａ０．５（Ｃ１は比例定数）となる。また、ヒータ２の加熱温度と周囲流体の温度との温度差がΔＴｂで自然対流の流速がＶｂのとき、Ｖｂ＝Ｃ２×ΔＴｂ０．５（Ｃ２は比例定数）となる。このことから、ΔＴａ≠ΔＴｂであればＶａ≠Ｖｂとなる。つまり、被測定流体が自然対流である場合には、複数の温度条件で被測定流体を加熱した際の各流量の算出値がそれぞれ相違するようになる。
一方、微流量の流れが発生している場合には、複数の温度条件で被測定流体を加熱した際の各流量の算出値は、各温度条件に関係なく一致するようになる。
これにより、ヒータ２により複数の温度条件で被測定流体を加熱した後、各温度条件により算出された各流速が、各加熱温度に関係なく略一致するならば、被測定流体に微流量が発生していると判断でき、一方、各温度条件により算出された各流速が相違するならば、それは自然対流であると判断できる。
【００２８】
次に、本発明の第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃの制御フローを図７に基いて説明する。
まず、ステップＳ１において、ＣＰＵ７からヒータ作動回路１２に作動開始信号が入力されて、ヒータ２により被測定流体が加熱温度Ｔａにて連続的に加熱される。
次に、ステップＳ２において、加熱温度Ｔａで加熱を開始してから所定時間経過後（この所定時間は、前記した第１の実施形態のように、ヒータ２による加熱を開始した直後において各測温用抵抗器３、４より出力される抵抗値ではなく、ヒータ２による加熱を開始してから、抵抗値が安定するまでに要する時間以上の時間に設定される。）における各測温用抵抗器３、４より出力される抵抗値より、被測定流体の流速Ｖａを算出し、自然対流判定手段１０ｃに記憶される。
次に、ステップＳ３において、ヒータ作動回路１２に作動信号が入力されて、ヒータ２により被測定流体が加熱温度Ｔｂ（≠Ｔａ）にて連続的に加熱される。
次に、ステップＳ４において、前述のステップＳ２の処理と同様に、加熱温度Ｔｂで加熱を開始してから所定時間経過後における各測温用抵抗器３、４より出力される抵抗値より、被測定流体の流速Ｖｂを算出し、自然対流判定手段１０ｃに記憶される。
【００２９】
次に、ステップＳ５において、各加熱温度Ｔａ及びＴａ時に算出された各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）と基準値（自然対流流速差判定値）とが比較され、各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）が基準値（自然対流流速差判定値）より大きい場合には、流量検知手段８により算出された被測定流体の流速Ｖａ及びＶｂは自然対流によるものであると判断されてステップＳ７に進み、該ステップＳ７では、出力停止手段１１により、外部機器への出力が停止される。その後、ステップＳ８に進み、ＣＰＵ７からヒータ作動回路１２に作動停止信号を入力されて、該ヒータ２の作動が停止される。
【００３０】
一方、ステップＳ５において、各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）が基準値（自然対流流速差判定値）以下であれば、流量検知手段８により算出された被測定流体の流速Ｖａ及びＶｂは、自然対流によるものではなく被測定流体が微流量で流れていることによるものと判定されてステップＳ６に進む。その後、ステップＳ６において、再び各測温用抵抗器３、４より測定された抵抗値に基いて流量検知手段８により被測定流体の流速を算出して流量を算出するか、あるいは、以前に算出した各流速Ｖａ、Ｖｂの平均値等を採用して流量を算出し、外部機器へ出力する。その後、ステップＳ８に進み、ＣＰＵ７からヒータ作動回路１２に作動停止信号を入力されて、該ヒータ２の作動が停止される。なお、ステップＳ５の処理が自然対流判定手段１０ｃにて処理されることになる。
【００３１】
以上説明した、本発明の第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃの自然対流判定手段１０ｃによれば、ヒータ２により被測定流体を複数の温度条件で加熱し、各温度条件にて算出された各流速が略一致すれば、算出された被測定流体の流速は自然対流によるものではなく被測定流体が微流量で流れていることによるものと判定され、一方、各温度条件にて算出された各流速が相違すれば、算出された流速が自然対流によるものであると判定できるので、本発明の第１及び第２の実施形態に係る熱式流量計１ａ及び１ｂと同様に、低流量域における器差の悪化、ゼロ点出力の変動等を抑制することができる。
なお、第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃでは、被測定流体を加熱する温度条件は、加熱温度Ｔａ及びＴｂの２条件で設定されているが、当然ながら、２条件以上で設定してもよい。
【００３２】
そこで、好ましい形態として、上述した本発明の第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃの制御フローのステップＳ５（図７参照）にて採用した各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）の基準値よりも大きい第１基準値を設定する。
そして、自然対流判定手段１０ｃにおいて、流量検知手段８にて算出された各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）が基準値よりも大きい場合、流量検知手段８により算出された流速が自然対流によるものであると一義的に判定するのではなく、装置に故障（ヒータ２や測温抵抗器３、４の故障）が発生している可能性を考慮して、自然対流判定手段１０ｃにおいて、第１基準値＜各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）との結果が出た場合には装置故障と判定する形態を採用した方がよい。
すなわち、自然対流判定手段１０ｃにおいて、基準値＜各流速の差（Ｖａ−Ｖｂ）＜第１基準値との結果が出た場合にだけ、流速検知手段８により算出された流速が自然対流によるものと判定する形態を採用した方がよい。いずれの判定結果においても、その後、出力停止手段１１により外部機器への出力は停止される。
【００３３】
次に、本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄを図８及び図９に基いて詳細に説明する。なお、第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄを説明する際には、第１の実施形態に係る熱式流量計１ａとの相違点のみを説明する。
第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄでは、ＣＰＵ７に、あらたに、流量検知手段８により算出された流速に基いて、ヒータ制御手段９及び自然対流判定手段１０ａを作動させるか否かを判定する作動制御手段１３を備えている。
【００３４】
次に、本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄの制御フローを図９に基いて説明する。
まず、ステップＳ１において、ＣＰＵ７からの作動開始信号がヒータ作動回路１２に入力され、該ヒータ作動回路１２からの信号に基きヒータ２が連続的に作動して、被測定流体が連続的に加熱される。
次に、ステップＳ２において、各測温用抵抗器３、４による温度変化に係る抵抗値の変化が測定されて、流量検知手段８にて各測温用抵抗器３、４からの測定結果に基づき被測定流体の流速（Ｖ）が算出される。  
次に、ステップＳ３において、算出された流速（Ｖ）と基準値（自然対流判定移行基準値）とが比較され、当該流速（Ｖ）が基準値（自然対流判定移行基準値）よりも大きい場合には、制御フローが完了となる。一方、ステップＳ３において、当該流速（Ｖ）が基準値（自然対流判定移行基準値）よりも小さい場合には、その後のステップＳ４〜ステップＳ９に進み、制御フローが完了する。
そこで、第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄの制御フローにおけるステップＳ４〜ステップＳ９には、第１の実施の形態に係る熱式流量計１ａの制御フローのステップＳ１〜ステップＳ６が採用される。そのため、第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄの制御フローにおけるステップＳ４〜ステップＳ９の説明は省略する。
【００３５】
以上説明した、本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄでは、流量検知手段８にて算出された被測定流体の流速に基いて、自然対流の有無判定が必要であるか否かが判定される。すなわち、流量検知手段８にて算出された流速が、自然対流の有無判定が必要であるか否かを判定する基準値（自然対流判定移行基準値）よりも小さい場合には、自然対流判定手段１０ａによる自然対流の有無の判定を行い、適宜処理するものであり、一方、流速が基準値より大きい場合には、自然対流判定手段１０ａによる自然対流の有無の判定を行なわないようにし、ヒータ２の加熱状態を継続させるように作動させて、従来と同様に流量検知手段８による流速及び流量の算出を繰り返し行なうようにすることができる。
【００３６】
なお、第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄにてＣＰＵ７に採用した作動制御手段１３は、第２の実施形態に係る熱式流量計１ｂにも採用することができ、上述した本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄと同様の作用効果を奏することができる。
さらに、第３の実施形態に係る熱式流量計１ｃに、流量検知手段８により算出された流速または流量に基いて、自然対流判定手段１０ｃを作動させるか否かを判定する作動制御手段（図示略）を採用すれば、上述した本発明の第４の実施形態に係る熱式流量計１ｄと同様の作用効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００３７】
１ａ〜１ｄ  熱式流量計，２  ヒータ，３、４  測温抵抗器，７  ＣＰＵ，８  流量検知手段，９  ヒータ制御手段，１０ａ〜１０ｃ  自然対流判定手段，１１  出力停止手段，１３  作動制御手段，Ａ  管路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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