(57)【要約】【課題】より小型な波長選択スイッチを提供すること。【解決手段】ファイバの端面で構成されている、光が出射する出射部と、該出射部の光出射側に配置された分散素子と、分散素子の光出射側に配置された光偏向部材と、ファイバの端面で構成されている、光偏向部材からの光が入射する入射部と、出射部と光偏向部材との間の光路中に設けられている第１の光学系と、分散素子と光偏向部材との光路中に設けられている第２の光学系とを有し、分散素子は第２の光学系の前側焦点位置に設けられ、光偏向部材は第２の光学系の後側焦点位置に設けられ、光偏向部材は複数の偏向素子で構成され、該複数の偏向素子は、互いに独立して制御可能であり、分散素子は、光が透過する透過面と、回折光学面を有し、透過面から回折光学面までの間が、屈折率が１よりも大きい媒質で形成されている。【選択図】図１
2010134027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファイバの端面で構成されている、光が出射する出射部と、
該出射部の光出射側に配置された分散素子と、
前記分散素子の光出射側に配置された光偏向部材と、
ファイバの端面で構成されている、前記光偏向部材からの光が入射する入射部と、
前記出射部と前記光偏向部材との間の光路中に設けられている第１の光学系と、
前記分散素子と前記光偏向部材との光路中に設けられている第２の光学系とを有し、
前記分散素子は前記第２の光学系の前側焦点位置に設けられ、
前記光偏向部材は前記第２の光学系の後側焦点位置に設けられ、
前記光偏向部材は複数の偏向素子で構成され、
該複数の偏向素子は、互いに独立して制御可能であり、
前記分散素子は、光が透過する透過面と、
回折光学面を有し、
前記透過面から前記回折光学面までの間が、屈折率が１よりも大きい媒質で形成されていることを特徴とする波長選択スイッチ。
【請求項２】
前記透過面とは別の透過面を備え、
前記透過面は前記光が入射する入射面であり、
前記別の透過面は前記光が出射する出射面であり、
前記回折光学面は、前記入射面から前記出射面に到る光路中に配置され、
前記回折光学面は反射面であることを特徴とする請求項１に記載の波長選択スイッチ。
【請求項３】
前記分散素子は１つの前記媒質を備え、
前記入射面、前記出射面及び前記回折光学面は、１つの前記媒質に一体に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の波長選択スイッチ。
【請求項４】
前記分散素子は前記媒質として第１の媒質と第２の媒質を備え、
前記入射面と前記出射面は前記第１の媒質に形成され、
前記回折光学面は、前記第２の媒質に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の波長選択スイッチ。
【請求項５】
前記媒質の屈折率が、１．８以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。
【請求項６】
前記媒質がシリコンであることを特徴とする請求項５に記載の波長選択スイッチ。
【請求項７】
前記第２の光学系は、レンズであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。
【請求項８】
前記第２の光学系は、凹面鏡であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長選択スイッチに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、波長選択スイッチとして、例えば特許文献１、特許文献２に提案されたものが知られている。特許文献１には、透過型の波長選択スイッチが提案されている。また、特許文献２には、反射型の波長選択スイッチが提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特表２００４-５３２５４４公報
【特許文献２】米国特許第６７０７９５９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
波長選択スイッチの光学系においては、小型化が求められている。波長選択スイッチの光学系の大きさを決めるパラメータのひとつに、分散素子と偏向素子に挟まられた光学系の焦点距離がある。この光学系の焦点距離をｆとする。入力ポートから光学系に出射されたビームのビームウェストは、分散素子近傍、偏向素子近傍にそれぞれリレーされる構成が望ましい。
【０００５】
このとき、図６に示すように、分散素子から光学系８０１の主面までの距離、光学系８０１の主面から偏向素子までの距離を、それぞれ焦点距離ｆに設定すると、分散素子近傍にあるビームウェストが偏向素子近傍にリレーされる。
ここで、分散素子として反射型グレーティング８１０を使用し、偏向素子としてＭＥＭＳミラーアレイを使用する場合を仮定する。なお、図６では、説明の便宜上、反射型グレーティング８１０を透過型グレーティングとして描いている。
【０００６】
反射型グレーティング８１０により、振動数が隣り合う２つの信号光の回折後の角度差をΔθ、ＭＥＭＳミラーアレイ８０２の各マイクロミラーＭどうしのピッチをｐｍとするとき、次式が正立する。
ｐｍ＝ｆ・Δθ  …（１）
【０００７】
一般的に、分散素子として使われるｐｇ＝1000本/ｍｍ、すなわちｐｇ＝１μｍの反射型グレーティングを例にとる（ｐgはグレーティングのピッチをあらわす）。Cバンド100GHzスペーシングの２つの波長193.9THzと194.0THzの信号光が、前述の1000本/mmのグレーティングに入射角50度で入射したとする。このとき、回折角はそれぞれ、51.229度、51.157度となる。このため、Δθ＝0.0722度＝0.000126radである（図７参照）。
【０００８】
文献（IEEE/LEOS OPTICAL MEMS 2004 32ページ A High-Speed Comb-Driven Micromirror Array for 1xN 80-channel Wavelength Selective Switches）で報告されているように、マイクロミラーのピッチｐｍ＝80μｍである波長選択スイッチ用のＭＥＭＳミラーを用いるとき、焦点距離ｆは上記式(1)より63.46ｍｍとなる。
以上のことを表１に掲げる。
【０００９】
【表１】
2010134027.tif 000003
【００１０】
したがって、波長選択スイッチの光学系が透過型であれば、分散素子から偏向素子までの距離が最低でも125ｍｍ程度になる。これでは、小型の波長選択スイッチを得ることはできない。また、波長選択スイッチの光学系が反射型のときも、分散素子から反射鏡までの距離が60ｍｍを超える大きさとなる。
【００１１】
さらに、両方のタイプの波長選択スイッチに共通して、光束径が光学系の焦点距離に比例する。このため、この点からも小型化の妨げになっている。
【００１２】
本発明は上記に鑑みてなされたもので、より小型の波長選択スイッチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の波長選択スイッチは、
ファイバの端面で構成されている、光が出射する出射部と、
該光学系の出光出射側に配置された分散素子と、
前記分散素子の光出射側に配置された光偏向部材と、
ファイバの端面で構成されている、前記光偏向部材からの光が入射する入射部と、
前記出射部との光出射側に配置された光学系と、
前記出射部と前記光偏向部材との間の光路中に設けられている第１の光学系と、
前記分散素子と前記光偏向部材との光路中に設けられている第２の光学系とを有し、
前記分散素子は前記第２の光学系の前側焦点位置に設けられ、
前記光偏向部材は前記第２の光学系の後側焦点位置に設けられ、
前記光偏向部材は複数の偏向素子で構成され、
該複数の偏向素子は、互いに独立して制御可能であり、
前記分散素子は、光が透過する透過面と、
回折光学面を有し、
前記透過面から前記回折光学面までの間が、屈折率が１よりも大きい媒質で形成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様によれば、
前記透過面とは別の透過面を備え、
前記透過面は前記光が入射する入射面であり、
前記別の透過面は前記光が出射する出射面であり、
前記回折光学面は、前記入射面から前記出射面に至る光路中に配置され、
前記回折光学面は反射面であることが望ましい。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様によれば、
前記分散素子は１つの前記媒質を備え、
前記入射面、前記出射面及び前記回折光学面は、１つの前記媒質に一体に形成されていることが望ましい。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様によれば、
前記分散素子は前記媒質として第１の媒質と第２の媒質を備え、
前記入射面と前記出射面は前記第１の媒質に形成され、
前記回折光学面は、前記第２の媒質に形成されていることが望ましい。
【００１７】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記媒質の屈折率が、１．８以上であることが望ましい。
【００１８】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記媒質がシリコンであることが望ましい。
【００１９】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記第２の光学系は、レンズであることが望ましい。
【００２０】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記第２の光学系は、凹面鏡であることが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、より小型な波長選択スイッチを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
まず、初めに本発明に係る波長選択スイッチに用いる分散素子について説明する。次に、この分散素子を備える波長選択スイッチについて説明する。
【００２３】
まずは、図８（ｂ）をもとに、分散素子における媒質中の分散を考える。入射面は入射光線に対して垂直で、回折面への入射角は図７と同様とする。媒質８００中の波長は、大気中の波長λを媒質の屈折率ｎで除してλ/ｎとなっている。したがって回折面Ｇのピッチをｐgからｐg/ｎに小さくすれば、媒質８００中においては、図７を用いて説明した例と同様の分散が得られる。
【００２４】
次に、図８（ａ）をもとに、この光線が大気中に戻ることを考える。分散素子からの出射面（前述の入射面と同一）においてはスネルの法則に従い屈折を起こす。すなわち、次式（２）が成立する。
ｎsinθ1 ＝ sinθ2  … (２)
【００２５】
ここで、θ1は出射面への入射角、θ2は出射面からの出射角である。この例ではθ1,θ2がともに小さいとみなせるので、sinθ≒θの近似が成り立つとして、式(２)は、式（３）と近似できる。
ｎθ1 ＝ θ2  …（３)
【００２６】
すなわち大気中に戻った分散角は媒質中の分散角のｎ倍になっている。式(３)の近似が成り立たない領域であっても、大気中に戻った分散角は媒質中の分散角よりも必ず大きくなっている。
【００２７】
分散素子の媒質としてシリコンを用いる場合、図７で例示した波長における屈折率ｎは3.475であるから、図８（ｂ）中の回折面Ｇのピッチは0.288μｍとなる。
【００２８】
偏向素子であるＭＥＭＳミラーのピッチが変わらないとしたとき、すなわちピッチが一定であるとしたときに、従来の分散素子を、シリコンを用いた高分散の素子に置き換えると、分散Δθがおよそ3.475倍になる。このとき式(１)より焦点距離ｆがおよそ1/3.475倍になる。このため波長選択スイッチの光学系を小さくすることができる。
【００２９】
次に、本発明の波長選択スイッチに用いる分散素子の具体的な構成について説明する。
図４（ｂ）は、本実施形態に用いる分散素子２００を示している。図４（ｂ）において、分散素子２００は屈折率が１よりも大きい媒質で形成されている。より具体的には、本実施形態の分散素子２００はプリズムで構成されている。
【００３０】
プリズムは、光が入射する入射面２０１ａ、光が出射する出射面２０１ｂ及び回折光学面２０１ｃを有する。ここで、回折光学面２０１ｃは、入射面２０１ａから出射面２０１ｂに至る光路中に設けられている。本実施形態の分散素子２００では、プリズムの同一面が入射面２０１ａと出射面２０１ｂになっている。回折光学面２０１ｃには、反射型回折格子Ｇが形成されている。このように、分散素子２００は、いわゆるイマージョングレーティングの構成を有している。
【００３１】
上記のように、本実施形態に用いる分散素子２００は、反射回折格子Ｇに対して光線が入射する側及び回折する側が、使用波長に対し透明で一様な媒質にて埋められている。媒質は、一般的には固体または液体である。例えば、シリコンを用いることができる。
【００３２】
さらに、分散素子２００は、図４（ｃ）に示すように、別体の反射型回折格子Ｇを形成した平面部材２３０を、プリズム２２０に接合した構成としても良い。このとき、平面部材２３０とプリズム２２０とは、同一の媒質で形成することが望ましい。
【００３３】
また、変形例として、図４（ａ）に示す分散素子３００のような、透過型グリズムの構成とすることもできる。なお、参考として、図４（ｄ）は、通常の反射回折格子の構成を示している。
【００３４】
次に、図３を用いて、分散素子２００をさらに詳細に説明する。図３において、分散素子２００は屈折率が１よりも大きい媒質で形成されている。図３の分散素子２００もプリズムで構成されている。プリズムは、光が入射する入射面２０１ａ、光が出射する出射面２０１ｂ及び回折光学面２０１ｃを有する。ここで、回折光学面２０１ｃは、入射面２０１ａから出射面２０１ｂに至る光路中に設けられている。
【００３５】
ここでプリズムに光が入射してから出射するまでについて詳細に検討する。
図３において、頂角が34度、入射面２０１ａに対して12度入射で、かつ射出面２０１ｂ12度出射となるような媒質や格子本数を考えてみる。
【００３６】
まずは、媒質が大気、つまり単なる反射型回折格子の場合を考えてみる。上述の入射角と出射角となるような格子本数は707.73本/mmである。また、各波長の出射角は以下の表１のとおりである。また、分散角は0.09307度となる。
【００３７】
次に、本実施形態に用いる分散素子２００（プリズム）において、その媒質がOHARA社のS-BSL7である場合、使用波長における屈折率はおよそ1.5となる。このときの格子本数は1075.1本/mmである。また、各波長の出射角は以下の表１のとおりであり、分散角は0.13547度となる。この分散角は大気の場合と比べて1.46倍になっている。
【００３８】
また、本実施形態に用いる分散素子２００（プリズム）において、その媒質がOHARA社のS-LAH60である場合、使用波長における屈折率がおよそ1.8となる。このときの格子本数は1293.6本/mmで、各波長の出射角は以下の表１のとおりであり、分散角は0.16061度となる。この分散角は大気の場合と比べて1.73倍になっている。
【００３９】
また、本実施形態に用いる分散素子（プリズム）において、その媒質がシリコンである場合、使用波長における屈折率がおよそ3.475となる。このときの格子本数は2509.9本/mmで、各波長の出射角は以下の表１のとおりであり、分散角は0.23298度となる。この分散角は大気の場合と比べて3.28倍になっている。
【００４０】
【表２】
2010134027.tif 000004
【００４１】
なお上述の格子本数は以下の数式で計算できる。
【００４２】
【数１】
2010134027.tif 000005
【００４３】
ここで、ｎ、θ、ｍ、λ、ｐは、それぞれ、本実施形態に用いる分散素子２００（プリズム）の媒質の屈折率、入射角12度の光線が媒質に入ったときの屈折角、回折次数、使用波長、格子ピッチである。
【００４４】
これらのことより、従来の反射型回折格子４００（図４（ａ））よりも本実施形態に用いる分散素子２００の方が、格子本数が大きい回折格子が利用できるようになる。このため、分散を大きくすること、すなわち高い波長分解能が得られる。また、回折光学面Ｇの大きさが同じであっても、分散素子２００の媒質の屈折率ｎを上げることにより、さらに格子本数を多くできる。このため、高分散な（波長分解能高い）分散素子が実現できる。
【００４５】
なお、本実施形態に用いる分散素子では、分散素子の内部に光線が入射する面と、同分散素子から出射する面が共通であり、かつ、その面における入射角と出射角がほぼ等しいことが望ましい。このようにしておけば、その共通面に施すＡＲ（反射防止）コートが１種類でよく、透過率を高くすることができる。また、ＡＲコートの設計、施工も１種類で済ますことができる。
【００４６】
なお、本実施例で使用する回折光学面Ｇにおける溝本数は1200本/mm以上であることが望ましい。
また、本実施形態の分散素子の波長分解能Ｒは、次の式を満たしていることが望ましい。
【００４７】
【数２】
2010134027.tif 000006
【００４８】
ここで、λは使用波長、Δλは隣接する分解したい２波長の差である。どちらの場合も高い波長分解能が得られる。
【００４９】
（第１実施形態）
次に、図１を参照に本発明の第１実施形態に係る波長選択スイッチについて説明する。
本実施形態は、いわゆる透過型の波長選択スイッチ５００である。波長選択スイッチ５００は、複数の光ファイバからなるファイバアレイ５０１と、マイクロレンズアレイ５０２と、グレーティング５０３と、レンズ５０４と、ＭＥＭＳモジュールであるＭＥＭＳミラーアレイ５０５とを備えている。
【００５０】
ファイバアレイ５０１内の各光ファイバとマイクロレンズアレイ５０２内の各マイクロレンズは対になっている。この対がアレイ状に配置されている。ファイバアレイ５０１は光入出力ポートとして機能する。その光ファイバのひとつ（以下、「第１の光ファイバ」という。）から、波長多重された信号光が、グレーティング５０３に向けて出射される。光ファイバから射出した光は、マイクロレンズアレイ５０２で平行光束に変換される。
【００５１】
グレーティング５０３として、上述した分散素子を用いる。マイクロレンズアレイから出射した光は、グレーティング５０３に入射する。グレーティング５０３は、波長多重光を帯状に分散する。
【００５２】
レンズ５０４はグレーティング５０３によって分散された光を、偏向部材であるＭＥＭＳミラーアレイ５０５上の波長ごとの所定位置に導く。
【００５３】
ここで、グレーティング５０３は、例えば、頂角34度のシリコンプリズムに反射型グレーティングＧが形成されている、いわゆるイマージョン・グレーティングである。回折面はシリコンで満たされおり、１ｍｍあたり2500本の溝が形成されている。
【００５４】
ＭＥＭＳモジュールであるＭＥＭＳミラーアレイ５０５は、グレーティング５０４で帯状に分散された光の波長に対応する複数のマイクロミラーＭのアレイ（ＭＥＭＳミラーアレイ）を有する。
【００５５】
マイクロミラーＭは、図７を用いて説明したように、それぞれのミラーがローカルのｘ軸とｙ軸の周りに回転が可能で、主にｙ軸に関する回転により、入射した光を入射方向とは異なる方向へ反射する。
【００５６】
各ミラーアレイにより、入射方向とおよそ同じ方向に反射された光は、レンズに５０４よりグレーティング５０３上に統合され、回折後は再び多波長成分の同一光束となる。
【００５７】
これに対して、各ミラーアレイにより、入射方向と異なる方向に反射された光は、レンズ５０４によりグレーティング５０３上にリレーされるが、統合はされずそれぞれが回折される。そして、ファイバアレイ５０１のいずれかのファイバに入射する。
【００５８】
このように、第１の光ファイバから出射した多波長成分の光は、波長ごとにマイクロミラーアレイのそれぞれのミラーＭの傾き角により選択的に他のファイバに入射させることができる。
【００５９】
なお、この実施例ではひとつの光入力ポートから複数の光出力ポートへの結合に関して説明したが、複数の光入力ポートからひとつの光出力ポートへの結合を行うことも可能である。
【００６０】
本実施形態において、ファイバアレイ５０１は、光が出射する出射部、
グレーティング５０４は、ファイバアレイ５０１の光出射側に配置された分散素子、
ＭＥＭＳミラーアレイ５０５は、グレーティング５０４の光出射側に配置された光偏向部材、
ファイバアレイ５０１は、ＭＥＭＳミラーアレイ５０５からの光が入射する入射部、
マイクロレンズアレイ５０２は、ファイバアレイ５０１とＭＥＭＳミラーアレイ５０５と間の光路中に設けられている第１の光学系、
レンズ５０４は、グレーティング５０４とＭＥＭＳミラーアレイ５０５との光路中に設けられている第２の光学系である。
さらに、本実施形態では、
グレーティング５０４はレンズ５０４の前側焦点位置に設けられ、
ＭＥＭＳミラーアレイ５０５はレンズ５０４の後側焦点位置に設けられている。
本実施形態では、従来の回折格子（プリズムなし）に代えて、本実施形態の分散素子を用いている。そのため、光学系を小型化できる。
【００６１】
（第２実施形態）
次に、図２を参照に本発明の第２実施形態に係る波長選択スイッチについて説明する。上記第１実施例と同一の部材には同一の符号を付す。
本実施形態は、いわゆる反射型の波長選択スイッチ６００である。波長選択スイッチ６００は、複数の光ファイバからなるファイバアレイ５０１と、マクロレンズアレイ５０２と、グレーティング５０３と、反射光学部材６０１と、ＭＥＭＳモジュールであるＭＥＭＳミラーアレイ５０５とを備えている。
【００６２】
ファイバアレイ５０１内の各光ファイバとマイクロレンズアレイ５０２内の各マイクロレンズは、１対１に対応する対になっている。この対がアレイ状に配置されている。ファイバアレイ５０１は光入出力ポートとして機能する。その光ファイバのひとつ（以下、「第１の光ファイバ」という。）から、波長多重された信号光が、グレーティング５０３に向けて出射される。光ファイバから射出した光は、マイクロレンズアレイ５０２で平行光束に変換される。
【００６３】
グレーティング５０３として、上述した分散素子を用いる。マイクロレンズアレイ５０２から出射した光は、グレーティング５０３に入射する。グレーティング５０３は、波長多重光を帯状に分散する。
【００６４】
反射光学部材６０１はグレーティング５０３によって分散された光を、偏向部材であるＭＥＭＳミラーアレイ５０５上の波長ごとの所定位置に導く。反射光学部材６０１は、例えば、凹面鏡を用いることができる。
【００６５】
ここで、グレーティング５０３は、例えば、頂角34度のシリコンプリズムに反射型グレーティングＧが形成されている、いわゆるイマージョングレーティングである。回折面はシリコンで満たされおり、１ｍｍあたり2500本の溝が形成されている。
【００６６】
ＭＥＭＳモジュールであるＭＥＭＳミラーアレイ５０５は、グレーティング５０４とで帯状に分散された光の波長に対応するマイクロミラーＭのアレイ（ＭＥＭＳミラーアレイ）を有する。
【００６７】
マイクロミラーＭは、図７を用いて説明したように、それぞれのミラーがローカルのｘ軸とｙ軸の周りに回転が可能で、主にｙ軸に関する回転により、入射した光を入射方向とは異なる方向へ反射する。
【００６８】
各ミラーアレイにより、入射方向とおよそ同じ方向に反射された光は、反射光学部材６０１よりグレーティング５０３上に統合され、回折後は再び多波長成分の同一光束となる。
【００６９】
これに対して、各ミラーアレイにより、入射方向と異なる方向に反射された光は、反射光学部材６０１によりグレーティング５０３上にリレーされるが、統合されずそれぞれが回折される。そして、ファイバアレイ５０１のいずれかのファイバに入射する。
【００７０】
このように、第１の光ファイバから出射した多波長成分の光に関して、波長ごとにマイクロミラーアレイのそれぞれのミラーＭの傾き角により選択的に他のファイバに入射させることができる。
なお、この実施例ではひとつの光入力ポートから複数の光出力ポートへの結合に関して説明したが、複数の光入力ポートからひとつの光出力ポートへの結合を行うことも可能である。
【００７１】
本実施形態において、ファイバアレイ５０１は、光が出射する出射部、
グレーティング５０４は、ファイバアレイ５０１の光出射側に配置された分散素子、
ＭＥＭＳミラーアレイ５０５は、グレーティング５０４の光出射側に配置された光偏向部材、
ファイバアレイ５０１は、ＭＥＭＳミラーアレイ５０５からの光が入射する入射部、
マイクロレンズアレイ５０２は、ファイバアレイ５０１とＭＥＭＳミラーアレイ５０５との間の光路中に設けられている第１の光学系、
反射光学部材６０１は、グレーティング５０４とＭＥＭＳミラーアレイ５０５との光路中に設けられている第２の光学系である。
さらに、本実施形態では、
グレーティング５０４は反射光学部材６０１の前側焦点位置に設けられ、
ＭＥＭＳミラーアレイ５０５は反射光学部材６０１の後側焦点位置に設けられている。
そのため、光学系を小型化できる。また、透過型の波長選択スイッチに比較して、さらに光学系を小型化できる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
以上のように、本発明にかかる波長選択スイッチは、高い波長分解能で分光し、小型化する場合に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる波長選択スイッチを示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態にかかる波長選択スイッチを示す図である。
【図３】本発明に用いる分散素子を説明する図である。
【図４】本発明に用いる分散素子を説明する他の図である。
【図５】本発明の波長選択スイッチが備えるＤＭＤを説明する他の図である。
【図６】偏向部材のピッチを説明する図である。
【図７】反射型回折格子における回折を説明する図である。
【図８】反射型回折格子における回折と屈折を説明する図である。
【符号の説明】
【００７４】
２００  分散素子
２０１ａ  入射面
２０１ｂ  射出面
２０１ｃ  回折光学面
２２０  プリズム
２３０  平面部材
３００  分散素子
４００  分散素子
５００  波長選択スイッチ
５０１  ファイバアレイ
５０２  マイクロレンズアレイ
５０３  グレーティング
５０４  レンズ
５０５  ＭＥＭＳミラーアレイ
６００  波長選択スイッチ
６０１  反射光学部材
Ｍ  マイクロミラー
Ｇ  回折格子
【図１】
2010134027.tif 000007
【図２】
2010134027.tif 000008
【図３】
2010134027.tif 000009
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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