(57)【要約】【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記検出素子１２と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体１３と、を備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、この基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記基部１２Ａの裏面に設けられた裏面電極（図示せず）とを有し、前記可撓性導体１３と前記検出素子１２との間には集中接続板１４が介在し、前記集中接続板１４が、その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子１４Ａを有し、その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子１４Ｂを有する構成としたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部と、
前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動し
コリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子と、
前記検出素子と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体と、
を備え、
前記検出素子が
基部と、
この基部に接続されたアームと、
前記基部の裏面に設けられた裏面電極とを有し、
前記可撓性導体と前記検出素子との間には集中接続板が介在し、
前記集中接続板が、
その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子を有し、
その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子を有する
角速度センサ。
【請求項２】
前記集中接続板における前記裏面端子の面積の和が前記表面端子の面積の和よりも大きい
請求項１に記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両制御やカーナビゲーション装置、デジタルカメラの手振れ補正等に用いられる角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の角速度センサは、図５に示すごとく、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子２と、前記検出素子２の基部裏面に設けられた裏面電極（図示せず）と前記回路部１とを電気的に接続する可撓性導体３と、を備え、前記可撓性導体３が外部衝撃を吸収し、検出素子２への衝撃伝達を抑制する構成としていた。
【０００３】
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００８−１５１６３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の角速度センサでは、感度が低いことが問題となっていた。
【０００５】
すなわち、上記従来の構成においては、可撓性導体３が外部衝撃を吸収する役割を担うため、応力がこの可撓性導体３と検出素子２との間に集中し電気的接続信頼性への懸念が生じてしまう。従って、電気的接続信頼性を確保するためには、前記検出素子２に設けられた裏面電極（図示せず）と前記可撓性導体３との接続面積を確保する必要があり、この接続面積の大きさに伴い前記基部２Ａの面積が大きくなってしまう。その結果、図６に示す、駆動用アーム２Ｂで発生したコリオリ力が検出用アーム２Ｃに伝達されにくくなってしまい、感度が低くなってしまっていた。
【０００６】
そこで本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子と、前記検出素子と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体と、を備え、前記検出素子が基部と、この基部に接続されたアームと、前記基部の裏面に設けられた裏面電極とを有し、前記可撓性導体と前記検出素子との間には集中接続板が介在し、前記集中接続板が、その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子を有し、その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子を有する構成としたものである。
【発明の効果】
【０００８】
この構成により、外部衝撃を吸収する前記可撓性導体と前記集中接続板とは前記集中接続板の裏面端子にて電気的接続信頼を確保できる面積にて接続するとともに、前記集中接続板と前記検出素子とは前記集中接続板の表面端子にて集中して電気的接続をとることにより、前記検出素子の基部の小面積化を図ることができ、その結果として、角速度センサの感度を向上させることができるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における角速度センサについて図面を参照しながら説明する。
【００１０】
図１に示すごとく、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記検出素子１２と前記回路部１１とを電気的に接続する可撓性導体１３と、を備えている。
【００１１】
そして、図２に示すごとく、前記検出素子１２が基部１２Ａと、この基部１２Ａに接続された駆動用アーム１２Ｂ、検出用アーム１２Ｃと、前記基部１２Ａの裏面に設けられた裏面電極（図示せず）とを有し、前記可撓性導体１３と前記検出素子１２との間には集中接続板１４が介在し、前記集中接続板１４の裏面には、図３に示すごとく前記可撓性導体１３と接続される裏面端子１４Ａが設けられ、前記集中接続板１４の表面には、図４に示すごとく前記検出素子１２の裏面電極（図示せず）と接続される表面端子１４Ｂが設けられた構成としている。
【００１２】
ここで、前記集中接続板１４における前記裏面端子１４Ａの面積の和が前記表面端子１４Ｂの面積の和よりも大きい構成とすることにより、基部１２Ａの小面積化を図っている。
【００１３】
なお、本実施の形態においては、図１に示すごとく、前記集中接続板１４の表面端子１４Ｂ（図４参照）と前記検出素子１２の裏面電極（図示せず）とをバンプ１５で接続する構成とした。
【００１４】
次に、当該角速度センサの動作について説明する。まず、図１に示した前記回路部１１からの駆動信号が可撓性導体１３を介して、図３に示した集中接続板１４の裏面端子１４Ａに伝達される。そして、この集中接続板１４内部にて前記裏面端子１４Ａと電気的に接続された表面端子１４Ｂ（図４参照）から前記検出素子１２における基部１２Ａ裏面の裏面電極（図示せず）へ前記駆動信号が伝達される。その後、この駆動信号が前記裏面電極（図示せず）に配線（図示せず）を介して電気的に接続された駆動用アーム１２Ｂに伝達され、この駆動信号の入力に伴い前記駆動用アーム１２Ｂが駆動振動を行う。
【００１５】
そして、当該角速度センサに角速度が印加されると、コリオリ力が発生し、前記駆動用アーム１２Ｂの駆動振動状態が変化する。
【００１６】
この駆動振動状態の変化が前記基部１２Ａを介して前記検出用アーム１２Ｃに伝達され、前記検出用アーム１２Ｃから検出信号が出力される。
【００１７】
この検出信号が、前記検出用アーム１２Ｃから前記基部１２Ａの裏面に設けた裏面電極（図示せず）へと配線（図示せず）を通じて伝達され、前記裏面電極（図示せず）から前記集中接続板１４の表面端子１４Ｂ（図４参照）へと伝達され、表面端子１４Ｂ（図４参照）から裏面端子１４Ａ（図３参照）へと伝達され、裏面端子１４Ａ（図３）から可撓性導体１３を通じて前記回路部１１（図１参照）へと伝達されることにより、角速度の発生を検知する。
【００１８】
このような構成により、角速度センサの感度を向上させることができるのである。
【００１９】
即ち、外部衝撃を吸収する前記可撓性導体１３と前記集中接続板１４とは前記集中接続板１４の裏面端子１４Ａ（図３参照）にて電気的接続信頼を確保できる面積にて接続することにより、電気的接続信頼性を確保するとともに、前記集中接続板１４と前記検出素子１２とは前記集中接続板１４の表面端子１４Ｂ(図４参照)にて集中して接続することにより、前記検出素子１２の基部の小面積化を図ることができ、その結果として、角速度センサの感度を向上させることができるのである。
【００２０】
なお、本実施の形態においては、駆動用アーム１２Ｂが４本、検出用アーム１２Ｃが２本ある構成としたが、この実施の形態に限定されず、駆動用アーム１２Ｂと検出用アーム１２Ｃとが存在し、それらが基部１２Ａを介して接続されている構成であれば、本発明の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の角速度センサは、感度を向上させることができるという効果を有し、車両制御やカーナビゲーション装置、デジタルカメラの手振れ補正等において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１における角速度センサの断面図
【図２】本発明の実施の形態１における角速度センサの上面図
【図３】本発明の実施の形態１における角速度センサの検出素子の基部の下面図
【図４】本発明の実施の形態１における角速度センサの検出素子の基部の上面図
【図５】従来の角速度センサの断面図
【図６】従来の角速度センサの上面図
【符号の説明】
【００２３】
１１  回路部
１２  検出素子
１２Ａ  基部
１２Ｂ  駆動用アーム
１２Ｃ  検出用アーム
１３  可撓性導体
１４  集中接続板
１４Ａ  裏面端子
１４Ｂ  表面端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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