(57)【要約】【課題】被乾燥物の乾燥作業に用いた高沸点溶剤を沸騰蒸発させて、被乾燥物の表面から除去することにより、装置からの被乾燥物の安全な取り出しを可能とするとともに環境への負荷を軽減可能とし、ランニングコストを低くすることを可能とする。【解決手段】槽内を加熱可能とする減圧した減圧槽1内に於いて、水分の付着した被乾燥物3を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤4と接触させて、被乾燥物3に付着した水分を沸騰蒸発させた後、減圧槽1内の高沸点溶剤4を導入槽6内に移送し、減圧した減圧槽1内を高沸点溶剤4の沸点以上に加熱して、被乾燥物3の表面に付着した高沸点溶剤4を蒸発させて被乾燥物3を乾燥する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
槽内を加熱可能とする減圧した減圧槽内に於いて、水分の付着した被乾燥物を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤と接触させて、被乾燥物に付着した水分を沸騰蒸発させた後、減圧槽内の高沸点溶剤を導入槽内に移送し、減圧した減圧槽内を高沸点溶剤の沸点以上に加熱して、被乾燥物の表面に付着した高沸点溶剤を蒸発させて被乾燥物を乾燥することを特徴とする被乾燥物の乾燥方法。
【請求項２】
水分の付着した被乾燥物を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤とともに減圧状態で収納し、上記被乾燥物を上記高沸点溶剤と接触させて被乾燥物に付着した水分を沸騰蒸発させるとともに、この水分の沸騰蒸発後に高沸点溶剤を排出し、減圧した減圧槽内を高沸点溶剤の沸点以上に加熱して、被乾燥物の表面に付着した高沸点溶剤を沸騰蒸発させて被乾燥物を乾燥可能な減圧槽と、この減圧槽から前述の如く排出される高沸点溶剤を導入可能な導入槽と、上記減圧槽内を減圧可能な真空機構と、上記減圧槽内を加熱可能な加熱機構とからなることを特徴とする被乾燥物の乾燥装置。
【請求項３】
導入槽は、内部を加熱及び減圧可能とし、減圧槽から排出された高沸点溶剤を用いて、上記減圧槽内で被乾燥物を乾燥するのと同一の手段により第２の被乾燥物の乾燥作業を行うことを特徴とする請求項１に記載の被乾燥物の乾燥方法。
【請求項４】
導入槽は、内部を加熱及び減圧可能とし、減圧槽から排出された高沸点溶剤を用いて、上記減圧槽内で被乾燥物を乾燥するのと同一の手段により第２の被乾燥物の乾燥作業を行うことを特徴とする請求項２に記載の被乾燥物の乾燥装置。
【請求項５】
減圧槽は、真空機構との接続を、水分用凝縮器を介装する水分回収用配管又は高沸点溶剤用凝縮器を介装する高沸点溶剤回収用配管のいずれか一方を選択して行うことを特徴とする請求項１又は３に記載の被乾燥物の乾燥方法。
【請求項６】
減圧槽は、真空機構との接続を、水分用凝縮器を介装する水分回収用配管又は高沸点溶剤用凝縮器を介装する高沸点溶剤回収用配管のいずれか一方を選択して行うことを特徴とする請求項２又は４に記載の被乾燥物の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、プリント基板、機械部品等の被乾燥物に付着した水分を除去するための、被乾燥物の乾燥方法及びこの方法に用いる装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品、プリント基板、機械部品等の被乾燥物に付着した水分を除去するための方法としては、遠心力により水分を分離する方法、被乾燥物に熱風を吹き付けて水分を蒸発させる方法、水と比重の異なる水分分離液中に被乾燥物を浸漬して水分を分離する方法、イソプロピルアルコール、エチルアルコール、メタノール等の親水性溶剤に水分を溶解させる方法等が公知となっている。
【０００３】
しかし、上記の遠心力による方法や熱風を被乾燥物に吹き付ける方法は、被乾燥物が凹部や空洞を有する場合に、上記凹部や空洞内に水分が残存してしまうものとなり、水分を完全に除去することが困難であった。また、上記の水分分離液を用いる方法は、水分分離液と水分とが混合しないため、被乾燥物からの水分の除去や分離に、確実性がなかった。また、親水性溶剤に水分を溶解させる方法は、一度水分を溶解させた親水性溶剤は水分との沸点差が小さく、蒸留して再利用できないため、大量の親水性溶剤が必要となり、ランニングコストが高いものとなっていた。また、水分を含んだ親水性溶剤がすべて廃液となるため、環境への負荷が高いものとなっていた。
【０００４】
そこで、特許文献１に示す如き被乾燥物の乾燥方法が公知となっている。この方法は、水分の付着した被乾燥物を、沸点が水より高い高沸点溶剤中に浸漬するとともに、この高沸点溶剤を水の沸点以上で高沸点溶剤の沸点未満に加熱することにより、被乾燥物に付着した水分を沸騰蒸発させるものである。このような方法を用いることにより、被乾燥物が凹部や空洞を有する場合であっても、この凹部や空洞に高沸点溶剤が入り込むため、被乾燥物に付着した水分を確実に蒸発させて除去することが可能となる。また、水分は上述の如く沸騰蒸発するため、水分が高沸点溶剤に溶解して新たな廃液を発生させるおそれがなく、環境への負荷を小さくすることが可能となる。また、上述の如く高沸点溶剤に水分が混入しないため、高沸点溶剤を繰り返して使用することが可能となり、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２６４４９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の方法に於いては、被乾燥物に付着した水分を高沸点溶剤の加熱により上述の如く蒸発除去した後、被乾燥物の表面に高沸点溶剤が残留するものとなるが、この被乾燥物の表面に残留した高沸点溶剤の除去については考慮されていない。そのため、高沸点溶剤を付着させたままの状態で被乾燥物を装置から取り出して外気に曝すものとなり、高沸点溶剤が大気中に拡散し、環境に悪影響を与えるおそれがあった。また、上述の如く高沸点溶剤が大気中に拡散するため、次の乾燥作業時には上記拡散分の高沸点溶剤を補充しなければならず、ランニングコストが高いものとなっていた。
【０００７】
また、被乾燥物を装置から取り出す際に、装置内の高沸点溶剤が外気と接触するものとなるため、この外気との接触により高沸点溶剤が急速に酸化劣化するものとなる。そのた
め、高沸点溶剤を頻繁に交換しなければならず、この点に於いてもランニングコストが高いものとなっていた。また、高沸点溶剤として可燃性のものを使用する場合には、上述の如き高沸点溶剤の大気への拡散により、可燃性の高沸点溶剤が洗浄槽外の火気、静電気等に反応して引火するおそれがあった。
【０００８】
そこで、本願発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、被乾燥物の乾燥作業に用いた高沸点溶剤を沸騰蒸発させて、被乾燥物の表面から除去することにより、装置からの被乾燥物の安全な取り出しを可能とするとともに環境への負荷を軽減可能とし、ランニングコストを低くすることを可能にしようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明は上述の如き課題を解決するため、槽内を加熱可能とする減圧した減圧槽内に於いて、水分の付着した被乾燥物を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤と接触させて被乾燥物に付着した水分を沸騰蒸発させる。なお、上述の水の沸点以上への高沸点溶剤の加熱は、高沸点溶剤の沸点未満まで加熱するのであっても良いし、高沸点溶剤の沸点以上まで加熱するのであっても良い。
【００１０】
また、上記水分の沸騰蒸発の後、減圧槽内の高沸点溶剤を導入槽内に移送し、減圧した減圧槽内を高沸点溶剤の沸点以上に加熱して、被乾燥物の表面に付着した高沸点溶剤を蒸発させて被乾燥物を乾燥する。
【００１１】
また、上記方法を実施する装置は、水分の付着した被乾燥物を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤とともに減圧状態で収納し、上記被乾燥物を上記高沸点溶剤と接触させて被乾燥物に付着した水分を沸騰蒸発させるとともに、この水分の沸騰蒸発後に高沸点溶剤を排出し、減圧した減圧槽内を高沸点溶剤の沸点以上に加熱して、被乾燥物の表面に付着した高沸点溶剤を沸騰蒸発させて被乾燥物を乾燥可能な減圧槽と、この減圧槽から前述の如く排出される高沸点溶剤を導入可能な導入槽と、上記減圧槽内を減圧可能な真空機構と、上記減圧槽内を加熱可能な加熱機構とからなるものである。
【００１２】
また、導入槽は、減圧槽と同様に内部を加熱及び減圧可能とし、減圧槽から排出された高沸点溶剤を用いて、上記減圧槽内で水分が付着した被乾燥物を乾燥するのと同一の手段により第２の被乾燥物の乾燥作業を行うものであっても良い。このように形成することにより、減圧槽と導入槽で、被乾燥物の乾燥作業を交互に連続して行うことが可能となるため、上記被乾燥物の乾燥作業を効率的且つ迅速に行うことが可能となる。
【００１３】
また、減圧槽は、真空機構との接続を、水分用凝縮器を介装する水分回収用配管又は高沸点溶剤用凝縮器を介装する高沸点溶剤回収用配管のいずれか一方を選択して行うものであっても良い。このように形成することにより、水分の付着した被乾燥物を水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤と接触させて、被乾燥物に付着した水分を沸騰蒸発させる際には水分回収用配管を選択することで、上記の沸騰蒸発した水分を水分用凝縮器に回収することが可能となる。また、減圧槽内の高沸点溶剤を導入槽に移送した後、減圧した減圧槽内を高沸点溶剤の沸点以上に加熱して、被乾燥物の表面に付着した高沸点溶剤を沸騰蒸発させる際には、高沸点溶剤回収用配管を選択することで、上記の沸騰蒸発した高沸点溶剤を高沸点溶剤用凝縮器に回収することが可能となる。このように、減圧槽内で沸騰蒸発させた水分と高沸点溶剤とをそれぞれ別々に回収することが可能となるため、回収効率を高め、装置の使用性を向上させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は上述の如く構成したものであって、減圧した減圧槽内に於いて、水分の付着した被乾燥物を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤と接触させて被乾燥
物に付着した水分を沸騰蒸発させるものであり、被乾燥物が凹部や空洞を有する場合であっても、この凹部や空洞に高沸点溶剤が入り込むため、被乾燥物に付着した水分を確実に沸騰蒸発させて除去することが可能となる。また、水分は上述の如く沸騰蒸発するため、水分が高沸点溶剤に溶解して新たな廃液が発生するおそれがなく、環境への負荷を小さくすることが可能となる。また、上述の如く高沸点溶剤に水分が混入しないため、高沸点溶剤を繰り返して使用することが可能となり、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【００１５】
また、被乾燥物の表面から水分を除去し、減圧槽内の高沸点溶剤を導入槽内に移送した後に、減圧した真空槽内を高沸点溶剤の沸点以上に加熱して、被乾燥物の表面に付着した高沸点溶剤を蒸発させて被乾燥物を乾燥させるものである。そのため、被乾燥物を、水分及び高沸点溶剤が表面に付着していない完全に乾燥した状態で減圧槽から取り出すことが可能となり、高沸点溶剤が大気中に拡散するおそれがなく、環境への悪影響のおそれもないものとなる。また、大気中への拡散に伴う高沸点溶剤の補充の必要もないため、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【００１６】
また、被乾燥物からの水分の除去と、高沸点溶剤の除去とを単一の減圧槽内で行うことが可能となる。そのため、上記被乾燥物の乾燥作業を密閉された雰囲気中で完了させることが可能となり、上記乾燥作業中に高沸点溶剤が外気と接触することがないものとなる。そのため、被乾燥物の乾燥作業中に外気との接触により高沸点溶剤が酸化劣化するおそれがなく、高沸点溶剤の耐用期間を長くすることが可能となるため、高沸点溶剤の交換頻度を少なくして、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。また、高沸点溶剤として可燃性の溶剤を使用する場合であっても、被乾燥物の乾燥作業中には高沸点溶剤が外気と接触せず、装置外の火気、静電気等に反応して引火するおそれもないため、装置の安全な使用が可能となる。
【００１７】
また、水分及び高沸点溶剤の被乾燥物からの蒸発除去を減圧で行うことが可能となり、減圧状態では常圧と比較して酸素が少ないため、高沸点溶剤の酸化劣化を抑制することが可能となる。そのため、高沸点溶剤を繰り返し使用することが可能となり、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。また、減圧状態では上述の如く酸素が少ないため、高沸点溶剤として可燃性のものを用いる場合でも、引火や発火の危険性が少ないものとなり、この点に於いても前記乾燥作業の安全性を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例１を示す概念図。
【実施例１】
【００１９】
本発明の実施例１を図１において詳細に説明すると、(１)は耐圧製の減圧槽で、上端を開閉可能な蓋体（２）により気密的に被覆するとともに、被乾燥物（３）及び沸点が水より高い高沸点溶剤（４）を内部に収納可能としている。本明細書中に於いては、上端、下端等の用語は、図１を基準として用いるものとする。
【００２０】
また、上述の如く減圧槽（１）内に導入する高沸点溶剤（４）は、フッ素系溶剤、シリコーン系溶剤、炭化水素系溶剤等の非水系溶剤、高級アルコール、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、３−メチル−３−メトキシブタノール等の親水性溶剤を用いることができる。
【００２１】
また、上記減圧槽（１）の下端部を、図１に示す如く、導入配管（５）を介して導入槽（６）の下端部と接続している。上記導入配管（５）には、減圧槽（１）の下方に第１開閉弁（７）を介して第１溜まり液槽（８）を設けるとともに、導入槽（６）の下方に第２
開閉弁（１０）を介して第２溜まり液槽（１１）を設けている。
【００２２】
また、上述の如く減圧槽（１）と導入配管（５）を介して接続する導入槽（６）は、減圧槽（１）と同様に耐圧製とするとともに上端を開閉可能な蓋体（９）により気密的に被覆しており、上述の如く減圧槽（１）から導入される高沸点溶剤（４）を、第２の被乾燥物（１９）とともに内部に収納可能としている。
【００２３】
また、上記減圧槽（１）及び導入槽（６）は、加熱機構（１２）と接続して内部を加熱可能としている。この加熱機構（１２）は、図１に示す如く、上記減圧槽（１）及び導入槽（６）を熱媒体液（１３）とともに収納可能な加熱槽（１４）と、この加熱槽（１４）の下端に配置した加熱源（１５）とからなり、加熱源（１５）により加熱槽（１４）内の熱媒体液（１３）を加熱することにより、この熱媒体液（１３）を介して減圧槽（１）及び導入槽（６）の内部を間接加熱可能としている。このように熱媒体液（１３）を介して減圧槽（１）及び導入槽（６）の内部の加熱を行うことにより、減圧槽（１）及び導入槽（６）の内部を均一に加熱することが可能となる。
【００２４】
また、上記減圧槽（１）及び導入槽（６）は、真空機構（１６）と接続して内部を減圧可能としている。まず、減圧槽（１）と真空機構（１６）との接続について説明すると、減圧槽（１）の上部一側には、第３開閉弁（１７）を設けた第１真空配管（１８）の一端を接続している。また、この第１真空配管（１８）には、減圧槽（１）と第３開閉弁（１７）との間に第２真空配管（２０）を接続し、この第２真空配管（２０）には、外気と連通する真空解除用の第４開閉弁（２１）を設けている。
【００２５】
また、図１に示す如く、上記第１真空配管（１８）の他端を、水分回収用配管（２２）と高沸点溶剤回収用配管（２３）とに分岐している。上記水分回収用配管（２２）には、第１真空配管（１８）側から、第５開閉弁（２４）、水分用凝縮器（２５）、第６開閉弁（２６）を設けている。また、上記高沸点溶剤回収用配管（２３）には、第１真空配管（１８）側から第７開閉弁（２７）、高沸点溶剤用凝縮器（２８）、第８開閉弁（３０）を設けている。
【００２６】
また、上述の如く第１真空配管（１８）と一端を接続する水分回収用配管（２２）及び高沸点溶剤回収用配管（２３）の他端を、第３真空配管（３１）を介して真空機構（１６）と接続している。そして、第１、第２、第４、第７、第８開閉弁（７）（１０）（２１）（２７）（３０）を閉止するとともに第３、第５、第６開閉弁（１７）（２４）（２６）を開放した状態で上記真空機構（１６）を稼働することにより、第１真空配管（１８）、水分回収用配管（２２）及び第３真空配管（３１）を介して減圧槽（１）内を減圧可能としている。また、第１、第２、第４、第５、第６開閉弁（７）（１０）（２１）（２４）（２６）を閉止するとともに第３、第７、第８開閉弁（１７）（２７）（３０）を開放した状態で上記真空機構（１６）を稼働することにより、第１真空配管（１８）、高沸点溶剤回収用配管（２３）及び第３真空配管（３１）を介して減圧槽（１）内を減圧可能としている。
【００２７】
また、前記水分用凝縮器（２５）の下端部には、水分排出用配管（３３）を接続しており、この水分排出用配管（３３）には、水分用凝縮器（２５）側から、第１６開閉弁（２９）、真空解除用の第９開閉弁（３４）を上端に接続した水分回収槽（３５）、水分排出用の第１０開閉弁（３６）を設けている。
【００２８】
また、前記高沸点溶剤用凝縮器（２８）の下端部を、環流配管（３７）を介して前記第２溜まり液槽（１１）と接続している。上記環流配管（３７）には、高沸点溶剤用凝縮器（２８）側から、第１１開閉弁（３８）、外気と連通する真空解除用の第１２開閉弁（４
０）を上端に接続した高沸点溶剤回収槽（４１）及び第１３開閉弁（４２）を設けている。
【００２９】
また、前記導入槽（６）と真空機構（１６）との接続は、図１に示す如く、前記導入槽（６）の上部一側を、第１４開閉弁（４３）を設けた第４真空配管（４４）を介して第１真空配管（１８）に接続し、この第１真空配管（１８）を、前述の如く真空機構（１６）と接続することにより行う。また、上記第４真空配管（４４）の導入槽（６）と第１４開閉弁（４３）との間には、外気と連通する真空解除用の第１５開閉弁（４５）を設けた第５真空配管（４６）を接続している。
【００３０】
上述の如く構成したものに於いて、水分の付着した被乾燥物（３）の乾燥作業を行うには、まず、水分の付着した被乾燥物（３）を減圧槽（１）内に導入して蓋体（２）を閉止する。なお、導入槽（６）には、予め高沸点溶剤（４）を導入しておく。そして、第１、第２、第４、第７〜第１６開閉弁（７）（１０）（２１）（２７）（２９）（３０）（３４）（３６）（３８）（４０）（４２）（４３）（４５）を閉止するとともに第３、第５、第６開閉弁（１７）（２４）（２６）を開放する。そして、真空機構（１６）を稼働して、第１真空配管（１８）、水分回収用配管（２２）及び第３真空配管（３１）を介して減圧槽（１）内を一定の減圧度まで減圧する。
【００３１】
この減圧が完了したら、第３開閉弁（１７）を閉止するとともに第１、第２、第１５開閉弁（７）（１０）（４５）を開放する。これにより、前述の如く予め導入槽（６）内に導入しておいた高沸点溶剤（４）を、減圧槽（１）内の負圧を利用して、導入配管（５）を介して減圧槽（１）内に導入する。このように、減圧槽（１）内の負圧を利用することにより、導入槽（６）から減圧槽（１）内に高沸点溶剤（４）を迅速に導入することが可能となる。
【００３２】
なお、上述の導入槽（６）から減圧槽（１）への高沸点溶剤（４）の導入時には、導入槽（６）内に、第４真空配管（４４）及び第１５開閉弁（４５）を開放した第５真空配管（４６）を介して外気が流入するため、導入槽（６）内の高沸点溶剤（４）が、外気中の酸素と接触するものとなる。しかしながら、本実施例に於いては上述の如く、減圧槽（１）内の負圧を利用して高沸点溶剤（４）を導入槽（６）から減圧槽（１）に急激に導入することとしているため、この高沸点溶剤（４）が大気中の酸素と接触している時間は短く、高沸点溶剤（４）の酸化劣化を生じにくいものである。
【００３３】
また、本実施例に於いては上述の如く、真空解除時に第５真空配管（４６）の上端を、第１５開閉弁（４５）を介して外気と連通させているが、他の異なる実施例に於いては、第５真空配管（４６）の上端を、窒素を充填させた窒素封入部（図示せず）に接続しても良い。このように形成することにより、前述の導入槽（６）から減圧槽（１）への高沸点溶剤（４）の導入時には、第１５開閉弁（４５）を介して、導入槽（６）内に窒素封入部内の窒素が流入するものとなる。そのため、高沸点溶剤（４）が酸素と接触することがないものとなり、高沸点溶剤（４）の酸化劣化を更に確実に防止することが可能となる。
【００３４】
なお、第５真空配管（４６）だけでなく、第４開閉弁（２１）を介して外気と連通する第２真空配管（２０）、第１２開閉弁（４０）を介して外気と連通する高沸点溶剤回収槽（４１）についても、外気と連通させずに窒素封入部と連通させることで、高沸点溶剤（４）と外気との接触を防ぎ、高沸点溶剤（４）の酸化劣化を更に確実に防止する構成を採用することが可能である。
【００３５】
そして、減圧槽（１）内への高沸点溶剤（４）の導入が完了したら、第１、第２、第１５開閉弁（７）（１０）（４５）を閉止するとともに第３、第１６開閉弁（１７）（２９
）を開放する。そして、真空機構（１６）を稼働して、第１真空配管（１８）、水分回収用配管（２２）及び第３真空配管（３１）を介して減圧槽（１）内を一定の減圧度まで減圧するとともに、加熱機構（１２）を稼働して、減圧槽（１）内の高沸点溶剤（４）を上記の減圧状態における水の沸点以上で高沸点溶剤（４）の沸点未満まで加熱する。これにより、被乾燥物（３）の表面に付着した水分を沸騰蒸発させる。
【００３６】
本発明に於いてはこのように、水分の付着した被乾燥物（３）を、水の沸点以上に加熱した沸点が水より高い高沸点溶剤（４）と接触させて被乾燥物（３）に付着した水分を沸騰蒸発させるものであり、被乾燥物（３）が凹部や空洞を有する場合であっても、この凹部や空洞に高沸点溶剤（４）が入り込むため、被乾燥物（３）に付着した水分を確実に沸騰蒸発させて除去することが可能となる。また、水分は上述の如く沸騰蒸発するため、水分が高沸点溶剤（４）に混入して新たな廃液が発生するおそれがなく、環境への負荷を小さくすることが可能となる。また、上述の如く高沸点溶剤（４）に水分が混入しないため、高沸点溶剤（４）を繰り返して使用することが可能となり、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【００３７】
なお、本実施例に於いては上述の如く、高沸点溶剤（４）を減圧槽（１）内に導入した後に、上記高沸点溶剤（４）を水の沸点以上で高沸点溶剤（４）の沸点未満まで加熱している。一方で、他の異なる実施例に於いては、前記導入槽（６）内や他の異なる作業槽（図示せず）内で、高沸点溶剤（４）を水の沸点以上で高沸点溶剤（４）の沸点未満まで加熱しておき、この予め加熱した高沸点溶剤（４）を、減圧槽（１）内に導入して、被乾燥物（３）の表面に付着した水分の沸騰蒸発を行うことも可能である。
【００３８】
また、上述の如く被乾燥物（３）の表面から沸騰蒸発させた水分を、真空機構（１６）により第１真空配管（１８）及び水分回収用配管（２２）を介して水分用凝縮器（２５）に吸引導入し、この水分用凝縮器（２５）で凝縮液化する。この凝縮液化した水分は、自重により、第１６開閉弁（２９）を開放した水分排出用配管（３３）を介して水分回収槽（３５）内に流入する。そして、上述の水分の沸騰蒸発作業が終了した後には、第５、第６、第１６開閉弁（２４）（２６）（２９）を閉止するとともに、第９開閉弁（３４）を開放して水分回収槽（３５）内の真空状態を解除した後、第１０開閉弁（３６）を開放することにより、前述の如く水分回収槽（３５）内に流入した水分を、水分排出用配管（３３）の下端から排出可能としている。
【００３９】
また、被乾燥物（３）の表面に付着した水分を前述の如く沸騰蒸発させた後、高沸点溶剤（４）を前記減圧槽（１）から前記導入槽（６）内に移送する。この高沸点溶剤（４）の移送作業を行うには、前記水分の沸騰蒸発の完了後、第３開閉弁（１７）を閉止するとともに第４開閉弁（２１）を開放して、減圧槽（１）内の真空状態を解除する。そして、第５、第６開閉弁（２４）（２６）を閉止するとともに第７、第８、第１４開閉弁（２７）（３０）（４３）を開放し、真空機構（１６）により第４、第１真空配管（４４）（１８）、高沸点溶剤用配管（２３）及び第３真空配管（３１）を介して、導入槽（６）内を一定の減圧度まで減圧する。そして、この減圧が完了したら、第１４開閉弁（４３）を閉止するとともに第１、第２開閉弁（７）（１０）を開放する。これにより、減圧槽（１）内の高沸点溶剤（４）を、導入槽（６）内の負圧を利用して、導入配管（５）を介して導入槽（６）内に導入する。
【００４０】
また、上述の如く高沸点溶剤（４）を導入槽（６）内に導入した後、第２開閉弁（１０）を閉止する。その際、減圧槽（１）から導入槽（６）への高沸点溶剤（４）の排出が不完全で減圧槽（１）内に高沸点溶剤（４）が残存していたとしても、導入配管（５）には減圧槽（１）の下方に第１溜まり液槽（８）を設けているため、導入槽（６）内に残存した高沸点溶剤（４）は、自重でこの第１溜まり液槽（８）内に流入する。そのため、高沸
点溶剤（４）を減圧槽（１）から確実に排出することが可能となる。
【００４１】
また、上述の如く高沸点溶剤（４）の減圧槽（１）からの排出が完了したら、第１、第４開閉弁（７）（２１）を閉止するとともに第３、第１１開閉弁（１７）（３８）を開放する。そして、真空機構（１６）を稼働して第１真空配管（１８）、高沸点溶剤回収用配管（２３）、第３真空配管（３１）を介して減圧槽（１）内を減圧するとともに、加熱機構（１２）を稼働して、減圧槽（１）内を上記減圧状態に於ける高沸点溶剤（４）の沸点以上まで加熱する。これにより、被乾燥物（３）に付着していた高沸点溶剤（４）を沸騰蒸発させ、被乾燥物（３）の乾燥作業が完了する。
【００４２】
本発明に於いてはこのように、被乾燥物（３）からの水分の除去及び高沸点溶剤（４）の除去を、単一の減圧槽（１）内で行うことが可能となる。そのため、上記被乾燥物（３）の乾燥作業を密閉された雰囲気中で完了させることが可能となり、上記乾燥作業中に高沸点溶剤（４）が外気と接触することがないものとなる。そのため、被乾燥物の乾燥作業中に外気との接触により高沸点溶剤（４）が酸化劣化するおそれがなく、高沸点溶剤（４）の耐用期間を長くすることが可能となるため、高沸点溶剤（４）の交換頻度を少なくして、ランニングコストを低くすることが可能となる。また、高沸点溶剤（４）として可燃性の溶剤を使用する場合であっても、被乾燥物の乾燥作業中には高沸点溶剤（４）が外気と接触せず、装置外の火気、静電気等に反応して引火するおそれもないため、装置の安全な使用が可能となる。
【００４３】
また、水分及び高沸点溶剤（４）の被乾燥物（３）からの蒸発除去を減圧で行うことが可能となる。そして、減圧状態においては、常圧と比較して酸素が少ないため、高沸点溶剤（４）の酸化劣化を抑制することが可能となる。そのため、高沸点溶剤（４）を繰り返し使用することが可能となり、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。また、減圧状態では上述の如く酸素が少ないため、高沸点溶剤（４）として可燃性のものを用いる場合でも、引火や発火の危険性が少ないものとなり、装置の安全性を高めることが可能となる。
【００４４】
また、上記被乾燥物（３）の乾燥作業が終了したら、第３開閉弁（１７）を閉止するとともに第４開閉弁（２１）を開放して減圧槽（１）内の真空を解除し、蓋体（２）を開放して被乾燥物（３）を減圧槽（１）内から取り出す。その際、前記乾燥作業により水分及び高沸点溶剤（４）を被乾燥物（３）の表面から沸騰蒸発させているため、水分及び高沸点溶剤（４）が全く付着していない完全に乾燥した状態で被乾燥物（３）を減圧槽（１）から取り出すことが可能となる。そのため、高沸点溶剤（４）が大気中に拡散するおそれがなく、環境への悪影響のおそれもないものとなる。また、大気中への拡散に伴う高沸点溶剤（４）の補充の必要もないため、この点に於いても、ランニングコストを低くすることが可能となる。
【００４５】
また、上述の如く被乾燥物（３）の表面から沸騰蒸発させた高沸点溶剤（４）は、真空機構（１６）により第１真空配管（１８）及び高沸点溶剤回収用配管（２３）を介して高沸点溶剤用凝縮器（２８）に吸引導入し、凝縮液化する。この凝縮液化した高沸点溶剤（４）は、自重により、第１１開閉弁（３８）を開放した環流配管（３７）を介して高沸点溶剤回収槽（４１）内に流入する。そして、上述の高沸点溶剤（４）の沸騰蒸発作業が終了した後には、第１１開閉弁（３８）を閉止し、第１２開閉弁（４０）を開放して高沸点溶剤回収槽（４１）内の真空状態を解除した後、第１３開閉弁（４２）を開放することにより、前述の如く高沸点溶剤回収槽（４１）内に流入した高沸点溶剤（４）を、前記第２溜まり液槽（１１）内に導入する。この第２溜まり液槽（１１）に導入された高沸点溶剤（４）は、前述の如く減圧槽（１）から導入槽（６）へと移送する高沸点溶剤（４）とともに導入槽（６）内に導入するか、又は、後述の如く導入槽（６）から減圧槽（１）へと
移送する高沸点溶剤（４）とともに減圧槽（１）内に導入することにより、被乾燥物（３）の乾燥作業に再利用することが可能となる。
【００４６】
また、本実施例に於いては前述の如く、高沸点溶剤（４）を水の沸点以上で高沸点溶剤（４）の沸点未満まで加熱し、被乾燥物（３）に付着した水分を沸騰蒸発させる際には、上記の沸騰蒸発した水分を、水分回収用配管（２２）を介して水分用凝縮器（２５）に回収し、減圧槽（１）内の加熱温度を高沸点溶剤（４）の沸点以上に高めて高沸点溶剤（４）を沸騰蒸発させる際には、上記の沸騰蒸発した高沸点溶剤（４）を、高沸点溶剤回収用配管（２３）を介して高沸点溶剤用凝縮器（２８）に回収する。このように、減圧槽（１）内で沸騰蒸発させた水分と高沸点溶剤（４）とをそれぞれ別々に回収することが可能となるため、回収効率を高め、装置の使用性を向上させることが可能となる。
【００４７】
なお、本実施例に於いてはこのように、水分回収用配管（２２）と高沸点溶剤回収用配管（２３）とを別個に形成しているが、高沸点溶剤（４）として非水系の溶剤を用いる場合には、水分回収用配管（２２）と高沸点溶剤回収用配管（２３）とを別個に設けずに、水分と高沸点溶剤（４）とを単一の配管で回収するとともに単一の凝縮器で凝縮し、この凝縮後に水分分離器（図示せず）を用いて、水分と高沸点溶剤（４）を分離するものであっても良い。この場合には、水分回収用配管（２２）と高沸点溶剤回収用配管（２３）とを別個に形成する場合と比較して、装置の構成を簡易なものとし、装置の製造コストを低く抑えることが可能となる。
【００４８】
一方で、上記高沸点溶剤（４）として親水性の溶剤を用いる場合には、水分と高沸点溶剤（４）を同一の凝縮器で凝縮すると、水分が高沸点溶剤（４）に溶解してしまうため、その後に水分と高沸点溶剤（４）とを水分分離器を用いて分離することはできず、新たな廃液が大量に発生してしまう。従って、この場合には、本実施例の如く水分回収用配管（２２）と高沸点溶剤回収用配管（２３）とを別々に設けて、水分と高沸点溶剤（４）とを別々の凝縮器で凝縮して回収することが必要となる。
【００４９】
また、本実施例に於いては前述の如く、導入槽（６）を減圧槽（１）と同様に耐圧製としており、上述の如く減圧槽（１）から導入槽（６）に導入した高沸点溶剤（４）を用いて、導入槽（６）内に於いて第２の被乾燥物（１９）の乾燥作業を行うものとしている。この第２の被乾燥物（１９）の乾燥作業について説明すると、前記導入槽（６）内に、水分の付着した第２の被乾燥物（１９）を収納し、導入槽（６）の蓋体（９）を閉止する。そして、この導入槽（６）内に、減圧槽（１）から高沸点溶剤（４）を前述の如く導入し、第２の被乾燥物（１９）を高沸点溶剤（４）内に浸漬させる。
【００５０】
また、第７、第８開閉弁（２７）（３０）を閉止するとともに第５、第６、第１４開閉弁（２４）（２６）（４３）を開放する。そして、真空機構（１６）を稼働して、第４、第１真空配管（４４）（１８）、水分回収用配管（２２）及び第３真空配管（３１）を介して導入槽（６）内を減圧するとともに、加熱機構（１２）を稼働して、導入槽（６）内の高沸点溶剤（４）を、第２の被乾燥物（１９）の表面に付着した水分の沸点以上で高沸点溶剤（４）の沸点未満まで加熱する。これにより、第２の被乾燥物（１９）の表面に付着した水分を沸騰蒸発させる。なお、上記高沸点溶剤（４）は、前述の如く減圧槽（１）内に於いて、水分の沸点以上高沸点溶剤（４）の沸点未満まで加熱してから導入槽（６）内に移送しているため、加熱温度を維持することで、第２の被乾燥物（１９）の表面に付着した水分を、容易に沸騰蒸発させることが可能となる。
【００５１】
また、第２の被乾燥物（１９）の表面に付着した水分を沸騰蒸発させたら、第１４開閉弁（４３）を閉止するとともに第１５開閉弁（４５）を開放して、導入槽（６）内の真空を解除する。そして、第５、第６開閉弁（２４）（２６）を閉止するとともに第３、第７
、第８開閉弁（１７）（２７）（３０）を開放し、真空機構（１６）により第１真空配管（１８）、高沸点溶剤回収用配管（２３）及び第３真空配管（３１）を介して減圧槽（１）内を減圧する。そして、この減圧が完了したら、第３開閉弁（１７）を閉止するとともに第１、第２開閉弁（７）（１０）を開放する。これにより、導入槽（６）内の高沸点溶剤（４）を、減圧槽（１）内の負圧により、導入配管（５）を介して減圧槽（１）内に導入し、第１開閉弁（７）を閉止する。なお、導入槽（６）内に残存した高沸点溶剤（４）は、自重により第２溜まり液槽（１１）内に流入する。
【００５２】
また、上述の如く高沸点溶剤（４）の導入槽（６）からの排出が完了したら、第２開閉弁（１０）を閉止するとともに第１４開閉弁（４３）を開放する。そして、真空機構（１６）を稼働して第４、１真空配管（４４）（１８）、高沸点溶剤回収用配管（２３）、第３真空配管（３１）を介して導入槽（６）内を減圧するとともに、加熱源（１５）を稼働して、上記減圧状態に於ける高沸点溶剤（４）の沸点以上まで導入槽（６）内を加熱する。これにより、被乾燥物（３）に付着していた高沸点溶剤（４）を沸騰蒸発させ、第２の被乾燥物（１９）の乾燥作業を完了する。
【００５３】
また、上述の如く、導入槽（６）から減圧槽（１）内に導入した高沸点溶剤（４）を用いて、減圧槽（１）内で第３の被乾燥物の乾燥作業を行う。本実施例に於いてはこのように、減圧槽（１）と導入槽（６）に於いて、被乾燥物（３）の乾燥作業を交互に連続して行うことが可能となる。そのため、上記乾燥作業を効率的且つ迅速に行うことができる。
【００５４】
なお、本実施例に於いては図１に示す如く、減圧槽（１）と接続する耐圧製の導入槽（６）を１個のみ形成しているが、導入槽（６）を複数設けるとともに、高沸点溶剤（４）を上記減圧槽（１）及び複数の導入槽（６）内を順次移送しながら、被乾燥物（３）の乾燥作業を行うことも可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１  減圧槽  
３  被乾燥物  
４  高沸点溶剤  
６  導入槽  
１２  加熱機構
１６  真空機構
１９  第２の被乾燥物
２２  水分回収用配管
２３  高沸点溶剤回収用配管
２５  水分用凝縮器    
２８  高沸点溶剤用凝縮器  
【図１】
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