(57)【要約】      （修正有）【課題】可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供する。【解決手段】支持ベース体２１と、可動体２２と、複数の先端側軸受３３、３４および複数の後端側軸受３５、３６と、工具１５と、可動体を支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータ２４と、可動体の位置を検出する位置検出手段２５とを備え、可動マグネット型リニアモータは、可動体に配設されたマグネット構成体４２と、支持ベース体に配設されたコイルとを備え、マグネット構成体は、可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネットの可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネット５５とからなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性材料からなる支持ベース体と、該支持ベース体に対して相対移動可能に配設され、複数の摺動軸部を有する可動体と、前記支持ベース体側に設けられ、前記複数の摺動軸部の各先端側軸部および各後端側軸部をそれぞれ摺動可能に支持する複数の先端側軸受および複数の後端側軸受と、前記可動体の先端部に取付けられた工具と、前記可動体を前記支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータと、前記可動体の位置を検出する位置検出手段とを備え、
前記可動マグネット型リニアモータは、
前記可動体に設けられた非磁性材料からなるマグネット取付部に配設されたマグネット構成体と、該マグネット構成体に前記可動体の移動方向と直交する方向に対向するように前記支持ベース体に配設されたコイルとを備え、
前記マグネット構成体は、前記可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネットと、これら第１および第２の主マグネットの前記可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネットと、前記第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネットとからなり、
前記第１の主マグネットは、前記可動体の移動方向と直角な方向に着磁されて前記コイルに対向され、前記第２の主マグネットは、前記第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつ前記コイルに前記第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、
前記第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、前記第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、前記第１および第２の主マグネットの前記コイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されている
ことを特徴とする可動マグネット型リニアモータを備えた工具送り装置。
【請求項２】
請求項１において、前記複数の摺動軸部を、水平方向に離間した２つの摺動軸部によって構成したことを特徴とするマグネット型リニアモータを備えた工具送り装置。
【請求項３】
請求項２において、前記工具は、前記２つの摺動軸部の軸心を結ぶ線上の中間位置に前記工具の先端が位置するように配設されていることを特徴とする可動マグネット型リニアモータを備えた工具送り装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動マグネット型リニアモータを備えた工具送り装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、リニアモータは、例えば、特許文献１に記載されているように、軌道台（１）上に軌道台の全長に亘って延在するように設けられた矩形板状のコイルヨーク（１５）と、このコイルヨーク上に一列に並べて配設された多数の電機子コイル（１６）とを有する一次側と、軌道台上をスライドするスライドユニット（３）の下面側に固定されたマグネットヨーク（２２）と、このマグネットヨークの下面側に固定され電機子コイルに各々対向する矩形板状の界磁マグネット（２３）とを有する二次側とによって構成されている。
【０００３】
かかる界磁マグネットは、スライドユニットのスライド方向に沿って、ＮおよびＳの磁極が複数、交互に並ぶように着磁されており、電機子コイルに所定の電流を供給することにより、一次側および二次側の両者間にフレミングの左手の法則による推力が生じ、スライドユニットが軌道台上をスライドされるようになっている。
【特許文献１】特開平５−２２７７２９号公報（段落００１７、００２１、図３、４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されているような従来のリニアモータにおいては、マグネットがマグネットヨークを介して可動体（スライドユニット）に取付けられているため、マグネットヨークの重量によって可動側の重量が大きくなる。従って、当該リニアモータを、例えば、超精密加工機の工具の送り移動に用いた場合には、工具の高応答性および高速化を達成するうえで、障害となる問題があった。
【０００５】
本発明は、上記した従来の問題点を解消するためになされたもので、可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の特徴は、支持ベース体と、該支持ベース体に対して相対移動可能に配設され、複数の摺動軸部を有する可動体と、前記支持ベース体側に設けられ、前記複数の摺動軸部の各先端側軸部および各後端側軸部をそれぞれ摺動可能に支持する複数の先端側軸受および複数の後端側軸受と、前記可動体の先端部に取付けられた工具と、前記可動体を前記支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータと、前記可動体の位置を検出する位置検出手段とを備え、前記可動マグネット型リニアモータは、前記可動体に設けられた非磁性材料からなるマグネット取付部に配設されたマグネット構成体と、該マグネット構成体に前記可動体の移動方向と直交する方向に対向するように前記支持ベース体に配設されたコイルとを備え、前記マグネット構成体は、前記可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネットと、これら第１および第２の主マグネットの前記可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネットと、前記第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネットとからなり、前記第１の主マグネットは、前記可動体の移動方向と直角な方向に着磁されて前記コイルに対向され、前記第２の主マグネットは、前記第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつ前記コイルに前記第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、前記第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、前記第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、前記第１および第２の主マグネットの前記コイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されていることである。
【０００７】
請求項２に係る発明の特徴は、請求項１において、前記複数の摺動軸部を、水平方向に離間した２つの摺動軸部によって構成したことである。
【０００８】
請求項３に係る発明の特徴は、請求項２において、前記工具は、前記２つの摺動軸部の軸心を結ぶ線上の中間位置に前記工具の先端が位置するように配設されていることである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に係る発明によれば、可動体に設けられた非磁性材料からなるマグネット取付部に配設されたマグネット構成体が上記したように構成されているので、第１の主マグネットからの磁力線のうち、コイルへの電流の供給によって作用される推力方向と直交する方向の磁力線は、第１の補助マグネットにより反発されて第３の補助マグネットの磁力線とともに第２の主マグネットに向かう推力方向に偏向され、さらに、第２の主マグネットからの磁力線は、第２の補助マグネットによってコイルに向かう推力方向と直交する方向に偏向される。これにより、マグネットヨークをまったく用いなくても、磁束の漏洩を少なくできる効率のよい磁気回路を構成できる。その結果、可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化を達成でき、工具の高速送りを可能にすることができる。しかも、ヨークを用いていないため、仮にマグネット構成体の取付け中心とコイルの取付け中心とが一致していなくても、可動体に吸引力が発生せず、工具送り装置の製作を容易にすることができる。
【００１０】
また、可動体を複数の摺動軸部によって摺動可能に構成したので、軽量で剛性の高い軸受を構成でき、しかも、可動体の一部に例えば矩形状の摺動軸部を設けなくても、可動体を確実に回り止めしながら摺動させることができ、工具送り装置の構成を簡素化することができる。
【００１１】
請求項２に係る発明によれば、複数の摺動軸部を、水平方向に離間した２つの摺動軸部によって構成したので、可動体の支持剛性を低下させることなく、摺動軸部の径を小さくすることができる。これにより、軸受高さが低くなって軸受による可動体の支持剛性を向上することができるので、工具に作用する切削負荷に対する支持ベース体の倒れを抑制できるとともに、軽量化も同時に可能となり、高精度で高速な切削加工を可能にすることができる。
【００１２】
請求項３に係る発明によれば、工具は、２つの摺動軸部の軸心を結ぶ線上の中間位置に工具の先端が位置するように配設されているので、工具に作用する切削負荷を高剛性に支持でき、高精度な切削加工を可能にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は工具送り装置１０を備えた超精密加工機１００を示すもので、この超精密加工機１００は、図１に示すように、ベッド１１を備え、このベッド１１上に、Ｘ軸テーブル１２が水平なＸ軸方向に移動可能に支持されている。Ｘ軸テーブル１２上には、工具送り装置１０が設置され、この工具送り装置１０にバイト１５が保持されている。
【００１４】
また、ベッド１１上には、工具送り装置１０に対向して主軸台１７がＸ軸方向と直交する水平なＺ軸方向に移動可能に支持されている。この主軸台１７に主軸１８がＺ軸方向と平行なＣ軸の回りに回転可能に支持されている。主軸１８の先端には、チャック１９が取付けられ、このチャック１９にバイト１５によって切削加工される工作物２０が保持されるようになっている。
【００１５】
工具送り装置１０は、図２および図４に示すように、Ｘ軸テーブル１２上に設置された非磁性の支持ベース体２１と、この支持ベース体２１にＺ軸方向と平行なＷ軸方向に摺動可能に支持された可動体２２と、この可動体２２の先端側に取付けられた工具としてのバイト１５と、可動体２２を高速で進退移動させる可動マグネット型のリニアモータ２４と、可動体２２の位置を検出する位置検出手段２５とを備えている。
【００１６】
可動体２２は、Ｘ軸方向に所定距離離間した非磁性材からなる２つの摺動軸部２７、２８をＺ軸方向と平行に備え、これら摺動軸部２７、２８の軸方向中央部に、断面略長円形状の軽量の非磁性材からなるマグネット取付部３０が一体的に取付けられている。摺動軸部２７、２８の先端部は連結部材３１によって互いに連結されている。支持ベース体２１の先端側には、２つの摺動軸部２７、２８の先端側軸部２７ａ、２８ａを摺動可能に嵌合支持する非磁性材からなる２つの先端側静圧軸受３３、３４が設置され、支持ベース体２１の後端側には、２つの摺動軸部２７、２８の後端側軸部２７ｂ、２８ｂを摺動可能に嵌合支持する非磁性材からなる２つの後端側静圧軸受３５，３６が設置されている。これら先端側静圧軸受３３、３４および後端側静圧軸受３５、３６によって、可動体２２が支持ベース体２１に対してＷ軸方向に摺動のみ可能に静圧支持されている。
【００１７】
可動体２２の連結部材３１には、バイト１５を保持した工具ホルダ３７が取付けられ、工具ホルダ３７は、バイト１５の刃先が、２つの摺動軸部２７、２８の軸心を結ぶ線上の中間点Ｏ１（図４参照）に位置するように配置されている。バイト１５は、Ｘ軸テーブル１２のＸ軸方向移動によって、主軸１８の回転中心を含む主軸１８の径方向に移動できるようになっている。
【００１８】
上記したように、可動体２２を、Ｘ軸方向に離間した２つの先端側および後端側静圧軸受３３、３４、３５、３６によって両持ちで静圧支持することにより、可動体２２を摺動のみ可能に高剛性で支持することができる。また、可動体２２をＸ軸方向に離間した２つの先端側および後端側静圧軸受３３、３４、３５，３６によって静圧支持することにより、可動体２２の支持剛性を低下させることなく、摺動軸部２７、２８の径を小さくすることができ、支持ベース体２１の底面からの軸受高さも低くできるので、可動体２２の小型、軽量化を可能にでき、可動体２２の固有振動数を上昇させることができる。この結果、可動体２２の重心位置を低くすることができるので、バイト１５に生ずる切削負荷による支持ベース体２１の倒れを抑制することができ、加工精度の向上と加工速度の上昇に寄与することができる。
【００１９】
また、可動体２２のマグネット取付部３０には、位置検出手段２５のセンサヘッド３８が固定され、一方、Ｘ軸テーブル１２には、位置検出手段２５のスケール部３９が固定されている。かかるセンサヘッド３８およびスケール部３９によって、可動体２２の位置を検出する光学式リニアスケールからなる位置検出手段２５を構成している。なお、位置検出手段２５のスケール部３９は、上記した２つの摺動軸部２７、２８の軸心を結ぶ線上の中間点Ｏ１上に配設され、この中間点Ｏ１上で可動体２２の位置を検出できるように構成されている。
【００２０】
次に、図２、図３および図４に基づいて、可動マグネット型のリニアモータ２４の構成を説明する。当該リニアモータ２４は、固定側の一次側要素と、一次側要素に対して相対移動可能な可動側の二次側要素とから構成され、一次側要素は、支持ベース体２１に取付けられたコイル４１からなり、二次側要素は、可動体２２に取付けられたマグネット構成体４２からなっている。
【００２１】
具体的には、可動体２２の中央部に設けられたマグネット取付部３０は、例えば、アルミニウム（アルミニウム合金）等の非磁性体の金属からなり、マグネット取付部３０の外周の上下２面にはマグネット取付面３０ａ、３０ｂが互いに平行に形成されている。２つのマグネット取付面３０ａ、３０ｂには、同一構成からなるマグネット構成体４２（４２ａ、４２ｂ）がそれぞれ配設されている。また、支持ベース体２１は、アルミニウム（アルミニウム合金）等の非磁性体の金属からなり、支持ベース体２１には、マグネット取付部３０に形成したマグネット取付面３０ａ、３０ｂに対向して２つのコイル取付面２１ａ、２１ｂが互いに平行に形成されている。これらコイル取付面２１ａ、２１ｂには、マグネット構成体４２ａ、４２ｂに対向するようにコイル４１（４１ａ、４１ｂ）がそれぞれ配設されている。  
【００２２】
各マグネット構成体４２ａ、４２ｂは、図２および図３に示すように、可動体２２の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネット５１、５２の可動体２２の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネット５１、５２の間に配設された第３の補助マグネット５５とによって構成されている。
【００２３】
第１の主マグネット５１は、可動体２２の移動方向と直角な方向に着磁され、Ｎ極側をマグネット取付面３０ａ、３０ｂに貼付けられ、Ｓ極側をコイル４１に対向されている。また、第２の主マグネット５２は、可動体２２の移動方向と直角な方向に着磁され、Ｓ極側をマグネット取付面３０ａ、３０ｂに貼付けられ、Ｎ極側をコイル４１に対向されている。このように、互いに平行な方向に着磁された第１および第２の主マグネット５１、５２が、磁極を反対にして可動体２２に取付けられている。
【００２４】
第１および第２の主マグネット５１、５２の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４は、可動体２２の移動方向にそれぞれ着磁され、その磁極は、第１および第２の主マグネット５１、５２を通過する磁力と反発する関係に配設されている。すなわち、第１の主マグネット５１に隣接して配設された第１の補助マグネット５３は、第１の主マグネット５１に対向する側の磁極が、第１の主マグネット５１のコイル４１に対向する側の磁極（Ｓ極）と同じになるよう配置されている。同様に、第２の主マグネット５２に隣接して配設された第２の補助マグネット５４は、第２の主マグネット５２に対向する側の磁極が、第２の主マグネット５２のコイル４１に対向する側の磁極（Ｎ極）と同じになるよう配置されている。
【００２５】
第１および第２の主マグネット５１、５２の間に配設された第３の補助マグネット５５は、可動体２２の移動方向にそれぞれ着磁され、第１の主マグネット５１に対向する側がＳ極に、第２の主マグネット５２に対向する側がＮ極に配置されている。
【００２６】
上記した第１および第２の主マグネット５１、５２、第１、第２および第３の補助マグネット５３、５４、５５からなるマグネット構成体４２（４２ａ、４２ｂ）によって、リニアモータ２４の二次側要素を構成している。
【００２７】
一方、可動体２２に対して相対移動可能な支持ベース体２１に設けられた２つのコイル取付面２１ａ、２１ｂには、各マグネット構成体４２ａ、４２ｂの第１および第２の主マグネット５１、５２に対向して、コイル４１ａ、４１ｂがそれぞれ取付けられている。
【００２８】
コイル４１（４１ａ、４１ｂ）は、第１および第２の主マグネット５１、５２に跨る矩形のループ形状に平角線あるいは丸線を積層状態で巻回したものである。可動体２２の移動方向におけるコイル４１の束の幅ＣＷは、図５に示すように、主マグネット５１（５２）の幅ＭＷより大きく構成され、可動体２２が所定の移動範囲移動しても、コイル４１の束の幅ＣＷ内より主マグネット５１（５２）が可動体２２の移動方向にはみ出さないように構成されている。すなわち、コイル４１は、いわゆるロングコイルで構成され、コイル４１の束の幅ＣＷから主マグネット５１（５２）の幅ＭＷを差し引いた量Ｗ１（Ｗ１／２＋Ｗ１／２）は、可動体２２の移動範囲よりも大きく設定されている。支持ベース体２１に取付けられたコイル４１（４１ａ、４１ｂ）によって、リニアモータ２４の一次側要素を構成している。
【００２９】
上記のように構成された超精密加工機１００の作動を以下に説明する。超精密加工機１００は、予め定められた加工プログラムに基づいて制御され、バイト１５によって工作物２０の切削加工が行われる。
【００３０】
工作物２０は、主軸１８にチャック１９を介して保持され、主軸１８とともにＣ軸回りに回転される。一方、主軸台１７をＺ軸方向に移動することにより、工具送り装置１０を工作物２０に接近させ、バイト１５の先端が工作物２０に接触して切削が開始される。工作物２０の切削加工は、例えば、工作物２０の外周側より主軸１８の回転中心に向かってバイト１５を移動させるように、Ｘ軸テーブル１２をＸ軸方向に移動することにより行う。
【００３１】
工具送り装置１０は、可動マグネット型リニアモータ２４のコイル４１に通電することにより、可動体２２にＷ軸方向の推力が働き、目標値に応じた距離だけ一方向へ移動される。可動体２２の移動位置は光学式リニアスケールよりなる位置検出手段２５により検出され、検出位置の信号が図略の制御装置にフィードバックされ、実際の位置情報と加工指令値との差を零に近づけるように制御されることにより、バイト１５によって工作物２０が所定の形状に高精度で切削加工される。
【００３２】
すなわち、第１の主マグネット５１、第３の補助マグネット５５および第２の主マグネット５２を通る磁気回路ＭＣ（図６参照）が形成されることにより、コイル４１に所定の電流を供給すると、フレミングの左手の法則に従って、可動体２２に推力が発生され、可動体２２は電流の供給方向に応じて、図２および図３の左右方向に移動される。
【００３３】
この際、第１および第２の主マグネット５１、５２の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４は、主マグネット５１、５２を通る磁力に反発するように配置されているため、第１の主マグネット５１を通過した推力方向と直交する方向の磁力線は、図６に示すように、第３の補助マグネット５５のＳ極に向かう推力方向に偏向され、第１の補助マグネット５３によって、第１の主マグネット５１から図６の右方へ漏洩する磁束を防止できる。さらに、第３の補助マグネット５５のＮ極より出た磁力線は、第２の主マグネット５２を通過して、コイル４１に向かう推力方向と直交する方向にほとんどが偏向され、第２の補助マグネット５４によって、第２の主マグネット５２から図６の左方へ漏洩する磁束を防止できる。
【００３４】
このため、コイルヨークおよびマグネットヨークをまったく用いずに磁気回路を構成することができ、コイルヨークおよびマグネットヨークに代えて、例えば、アルミニウム製の低密度の非磁性材料を用いることができるようになる。従って、可動側となる二次側要素の小型、軽量化を達成でき、送りの応答性を向上できるとともに、高速化を可能にできる。また、固定側となる一次側要素の軽量化も達成できるため、リニアモータ２４、延いては工具送り装置１０の小型、軽量化を可能にできる。
【００３５】
しかも、コイル４１をロングコイルにて構成することにより、コイル４１に対してマグネット構成体４２が相対移動しても、コイル４１の主マグネット５１，５２と対向する左右の辺部を横切る磁束をほぼ一定値に維持することができ、コイル４１に印加した電流量に対して可動体２２に発生する推力をストロークに亘って略一定に確保できるようになる。また、支持ベース体２１をアルミニウム合金にすることにより、冷却性能を向上することもできる。
【００３６】
上記した第１の実施の形態によれば、可動体２２に設けられた非磁性材料からなるマグネット取付部３０に配設されたマグネット構成体４２が、可動体２２の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネット５１、５２の可動体２２の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネット５１、５２の間に配設された第３の補助マグネット５５とからなっている。そして、第１の主マグネット５１は、可動体２２の移動方向と直角な方向に着磁されてコイル４１に対向され、第２の主マグネット５２は、第１の主マグネット５１の着磁方向と平行な方向に着磁されかつコイル４１に第１の主マグネット５１とは反対の磁極で対向され、第１および第２の補助マグネット５３、５４は、磁力線の方向を偏向させるために、第１および第２の主マグネット５１、５２とそれぞれ対向する側の磁極が、第１および第２の主マグネット５１、５２のコイル４１に対向する側の磁極と同じになるよう配置されている。これにより、コイル４１への電流の供給によって第１の主マグネット５１に作用された推力方向と直交する方向の磁力線は、第１の補助マグネット５３により反発されて第２の主マグネット５２に向かう推力方向に偏向され、さらに、第２の主マグネット５２からの磁力線は、第２の補助マグネット５４によってコイル４１に向かう推力方向と直交する方向に偏向される。その結果、マグネットヨークをまったく用いなくても、磁束の漏洩を少なくできる効率のよい磁気回路を構成することができ、可動マグネット型リニアモータ２４の小型、軽量化を達成できるとともに、バイト１５の高速送りを可能にすることができる。また、ヨークを用いていないため、仮にマグネット構成体４２の取付中心とコイル４１の取付中心とが一致していなくても、可動体２２に吸引力が発生せず、工具送り装置１０の製作を容易にすることができる。
【００３７】
しかも、可動体２２を水平方向（Ｚ軸方向）に離間した２つの摺動軸部２７、２８によって摺動可能に構成したので、可動体２２の支持剛性を低下させることなく、摺動軸部２７、２８の径を小さくすることができる。これにより、支持ベース体２１の底面からの軸受高さを低くすることができ、可動体２２の小型、軽量化を可能にできる。この結果、可動体２２の重心位置を低くすることができるので、バイト１５に生ずる切削負荷による支持ベース体２１の倒れを抑制することができ、工作物２０を高能率にかつ高精度に加工することが可能となる。しかも、可動体の一部に例えば矩形状の摺動軸部を設けなくても、可動体を確実に回り止めすることができるので、工具送り装置１０の構成を簡素化することができる。
【００３８】
さらに、上記した第１の実施の形態によれば、バイト（工具）１５を、２つの摺動軸部２７、２８の軸心を結ぶ線上の中間位置にバイト１５の刃先が位置するように配設したので、バイト１５に作用する切削負荷を高剛性に支持でき、工作物２０の加工精度を向上することができる。
【００３９】
図７は、本発明の第２の実施の形態を示すもので、第１の実施の形態と異なる点は、２本の摺動軸部２７、２８を３本に増やしたこと、ならびに、可動体２２のマグネット取付部３０を断面三角形状に構成して、外周の３面にマグネット構成体４２（４２ａ１、４２ａ２、４２ｂ）を配設したことである。
【００４０】
すなわち、図７に示すように、摺動軸部を、第１の実施の形態における２つの摺動軸部２７、２８に加えて、これら摺動軸部２７、２８の軸心を結ぶ線上の中間位置Ｏ１の上方に、摺動軸部６０を配設している。この際、３つの摺動軸部２７、２８、６０は、正三角形の各頂点に位置するように配列するのが好ましい。３つの摺動軸部２７、２８、６０の軸方向中央部には、アルミニウム（アルミニウム合金）等の非磁性体の金属からなる断面三角形状のマグネット取付部３０が一体的に取付けられている。各摺動軸部２７、２８、６０の先端側軸部および後端側軸部は、図示してないが、第１の実施の形態で述べたと同様に、支持ベース体２１に設けられた各先端側静圧軸受および各後端側静圧軸受に摺動可能に嵌合支持されている。
【００４１】
マグネット取付部３０の外周の３面にはマグネット取付面３０ａ１、３０ａ２、３０ｂが形成され、これらマグネット取付面３０ａ１、３０ａ２、３０ｂに、第１の実施の形態で述べたと同様な構成のマグネット構成体４２ａ１、４２ａ２、４２ｂがそれぞれ配設されている。一方、アルミニウム（アルミニウム合金）等の非磁性体の金属からなる支持ベース体２１には、マグネット取付面３０ａ１、３０ａ２、３０ｂにそれぞれ対向して３つのコイル取付面２１ａ１、２１ａ２、２１ｂが形成され、これらコイル取付面２１ａ１、２１ａ２、２１ｂに、第１の実施の形態で述べたと同様な構成のコイル４１ａ１、４１ａ２、４１ｂがそれぞれ配設されている。
【００４２】
この場合、バイト１５の刃先を、第１の実施の形態と同様に、水平方向（Ｘ軸方向）に離間した２つの摺動軸部２７、２８の軸心を結ぶ線上の中間点Ｏ１に位置するように配置してもよいし、あるいはまた、３本の摺動軸部２７、２８、６０の中心位置に配置してもよい。
【００４３】
上記した第２の実施の形態によれば、３本の摺動軸部２７、２８、６０によって可動体２２を摺動できるように支持したことにより、Ｘ軸方向と直交する方向の支持剛性も向上することができるようになる。
【００４４】
なお、摺動軸部をさらに１つ追加して４本とするとともに、可動体２２のマグネット取付部３０を矩形状に構成して、マグネット取付部３０の外周４面にマグネット構成体４２を取付けるようにすることもできる。
【００４５】
また、上記した実施の形態においては、可動体２２を静圧軸受２９、３０によって静圧支持するようにしたが、可動体２２を摺動可能に支持する構成は、必ずしも静圧軸受に限定されるものではなく、他の軸受手段によって支持するようにしてもよい。
【００４６】
さらに、上記した実施の形態においては、コイル４１をロングコイルで構成した例について述べたが、コイル４１の束の幅が主マグネット５１、５２の幅よりも小さな、いわゆるショートコイルを用いることもできる。
【００４７】
斯様に、本発明は、実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す工具送り装置を備えた超精密加工機の概略図である。
【図２】可動マグネット型リニアモータを備えた工具送り装置の平面断面図である。
【図３】図２の矢印３方向から見た工具送り装置の側面図である。
【図４】図２の４−４線に沿って矢視した断面図である。
【図５】コイルの束の幅を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る磁気回路を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す工具送り装置の要部断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０…工具送り装置、１５…工具（バイト）、２１…支持ベース体、２２…可動体、２４…リニアモータ、２５…位置検出手段、２７、２８…摺動軸部、２７ａ、２８ａ…先端側軸部、２７ｂ、２８ｂ…後端側軸部、３０…マグネット取付部、３３、３４…先端側軸受、３５、３６…後端側軸受、４１（４１ａ、４１ｂ）…コイル、４２（４２ａ、４２ｂ）…マグネット構成体、５１、５２…主マグネット、５３、５４、５５…補助マグネット。  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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