(57)【要約】【課題】本発明は、移動ステージの駆動軸と駆動帯の磨耗を抑制する事に関するものであり、安定したステージの移動を行うことを目的とする。【解決手段】そしてこの目的を達成するために、本発明は、基盤１と、前記基盤の側面に配置した駆動帯２と、前記駆動帯２が載せられた駆動軸３とを備え、前記駆動帯２、及び前記駆動軸３が弾性変形して接触することによって、駆動軸３と駆動帯２の磨耗を抑制し、安定した移動を行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基盤と、
この基盤の側面に配置した駆動帯と、
この駆動帯が載せられた駆動軸と、
を有し、
前記駆動軸が回転する事により前記基盤が移動する移動ステージにおいて、
前記駆動帯、及び前記駆動軸が弾性変形して接触することを特徴とする移動ステージ。
【請求項２】
前記駆動帯は、その長手方向において、複数の支持部で支持され、少なくとも一つの支持部は駆動帯とは反対側に弾性変形する構成とした事を特徴とする請求項１記載の移動ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密な位置あわせを必要とするアライメント装置などに活用される移動ステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバーと半導体レーザーとの接合する際に使用されるアライメント装置のステージなど、高精度に位置あわせが必要な装置の移動ステージは、
移動をさせるステージ上に弾性変形をする駆動軸を配置することにより、高精度な移動可能な移動ステージを構成していた。（例えば下記特許文献１参照）
【特許文献１】特開２００３−２９４１０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記従来の移動ステージの構成では、駆動軸と駆動帯との接触面積が十分でなく、駆動軸と駆動帯が磨耗するため、部品交換時期が短くなるという課題を有していた。そこで本発明は、駆動軸と駆動帯の磨耗を抑制し、部品交換時期を長くする事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
そしてこの目的を達成するために、本発明は、基盤と、前記基盤の側面に配置した駆動帯と、前記駆動帯が載せられた駆動軸とを有し、前記駆動軸が回転する事により前記基盤が移動する移動ステージにおいて、前記駆動帯、及び前記駆動軸が弾性変形して接触する事を特徴としたものである。
【０００５】
また、本発明は、前記駆動帯軸は、その長手方向において、複数の支持部で支持され、少なくとも一つの支持部は駆動帯軸とは反対側に弾性変形する構成とした事を特徴としたものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の移動ステージによれば、駆動軸と駆動帯を弾性変形させて接触させるものであるので、つまり、両者は点接触から面接触へ移行するので、両者の磨耗が抑制され、部品交換時期を長くする事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に、本発明の移動ステージの実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【０００８】
（実施の形態１）
図１に、本発明の実施の形態１の移動ステージの構成を示す。
図１（ａ）は、移動ステージの斜図を示し、図１（ｂ）は、図１（ａ）の方向Ａから見た図を示す。横長形状の基盤１の側面に駆動帯２は取り付けられている。また円筒形である駆動軸３上に、駆動帯２が乗せられ、この駆動軸３が回転する事によって、駆動帯２、すなわち基盤１が長手方向（図１では左右）に移動する事ができる構成になっている。
駆動帯２は、図１に示すように横長形状の空洞部２ａを設け、駆動軸３と接触し、上からの力によって、この空洞部が弾性変形をする事ができるようになっている。
図１（ｃ）は、駆動軸３を図１（ｂ）の方向Ｂから見た図である。駆動軸３は、弾性変形ができるように空洞になっている。  
【０００９】
以下に、本実施の形態１での駆動軸にかかる応力をシミュレーションにて解析した結果を説明する。
【００１０】
図２は応力シミュレーションに用いた駆動帯２と駆動軸３の図を示す。図２（ａ）は従来例、図２（ｂ）は本発明、すなわち図１に相当する。
図２（ａ）の駆動帯２は、長手方向の長さＬ１が３５．３６ｍｍ、全体の高さＬ２は２０．０７ｍｍ、厚み（図示せず）が３．５ｍｍのものを用いた。また、円筒形である駆動軸３は、内径Ｌ３が４．１ｍｍ、外径が５．１ｍｍを用いた。
図２（ｂ）の駆動帯は、長手方向の長さＬ１が３５．３６ｍｍ、全体の高さＬ２は２０．０７ｍｍ、厚み（図示せず）が３．５ｍｍのものを用いた。と、図２（ａ）と同じ寸法を用いた。更に、駆動帯の高さＬ５は１８．３２ｍｍ、切り込み部の高さＬ６は２．７５ｍｍを用いた。更に、駆動帯２には、横長トラック状の直線部Ｌ７が２９．０ｍｍ、両端に半径Ｌ８が１．５９ｍｍの円形にて、空洞部５を設けてある。このような形状にする事により、肉厚Ｌ９が０．５５１ｍｍにて弾性変形させることができる。また、円筒形である駆動軸３は、内径Ｌ３が４．１ｍｍ、外径Ｌ４が５．１ｍｍと、図２（ａ）と同じ寸法を用いた。
【００１１】
なお、図２(ａ)(ｂ)の駆動帯２、及び駆動軸３の材質はＳＵＳ４１０を用い、駆動帯２の上部側から印加する圧力は１０ｋｇｆを用いた。
【００１２】
図３は、図２における応力シミュレーションの結果を示したものである。
図３（ａ）に示すように、図２（ａ）の従来例の場合は、十分な接触面積が得られいため、局部的に大きな力がかかってしまうことにより、駆動軸３がつぶれてしまい、駆動帯２が傾いていることがわかる。しかしながら、図３（ｂ）に示すように、本発明の実施例１の場合は、同じ１０ｋｇｆの圧力がかかったとしても、接触面積が増えることにより、局部的に大きな力がかかることもないために、駆動帯２はほぼ垂直の状態に保たれていることがわかる。      
【００１３】
このように、本実施の形態１構成をもつ移動ステージ（すなわち図１、図２（ｂ））は、駆動軸３と駆動帯２の磨耗を抑制し、安定した移動を行うことができる。
実際に、従来例に比べ、移動ステージ１が安定した移動を行える期間が、２００時間以上向上したことを確認できている。
【００１４】
また、本実施の形態１においては、駆動帯２に空洞部５を設けることによって弾性変形可能な構成になっているが、駆動帯２が弾性変形するような構成、例えばＰＯＭ（ポリアセタール）のような樹脂や、ウレタン系ゴムのようなゴムを用いてもよい。
【００１５】
また、本実施の形態１においては、駆動軸３も空洞部を設けることによって弾性変形可能な構成になっているが、駆動軸３が弾性変形するような構成、例えばＰＯＭ（ポリアセタール）のような樹脂や、ウレタン系ゴムのようなゴムを用いてもよい。
【００１６】
（実施の形態２）
図４に、本発明の実施の形態２の移動ステージの構成を示す。
図４（ａ）は、移動ステージの斜図を示し、図４（ｂ）は、図４（ａ）の方向Ａから見た図を示す。
【００１７】
実施の形態１と異なる点は、駆動帯２の構成である。
【００１８】
駆動帯４は、その長手方向において複数の支持部６を配置している。また、支持部６は、駆動軸３とは反対側に弾性変形ができるようになっている。
図４に示すような移動ステージにおいては、基盤１側からかかる圧力を、支持部６の駆動軸３とは反対側に配置された変形可能な部分によって、応力を分散させることができる。このような構成にする事によって、更に駆動軸３や駆動帯２の磨耗を抑制し、安定した移動を行うことができる。
【００１９】
実際に、実施の形態１に比べ、移動ステージが安定した移動を行える機関が、４００時間以上向上したことを確認できている。
【００２０】
なお、駆動帯２における支持部６の駆動軸３とは反対側に配置された弾性変形が可能な部分は、その部分に空洞部を設けることによって弾性変形可能な構成になっているが、駆動帯２が弾性変形するような構成、例えばＰＯＭ（ポリアセタール）のような樹脂や、ウレタン系ゴムのようなゴムを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明にかかる、移動ステージは安定した移動をすることができ、光ファイバーと半導体レーザーとの接合する際に使用されるアライメント装置のステージなど、高精度に位置あわせが必要な装置のステージとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１における斜視図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は図１（ｂ）のＢ方向からの正面図
【図２】（ａ）は従来の正面図、（ｂ）は本発明の実施の形態１における正面図
【図３】（ａ）は従来における応力シュミレーションを示す図、（ｂ）は本発明の実施Ｂは形態１における応力シミュレーションを示す図
【図４】（ａ）は本発明の実施の形態２における斜視図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は図１（ｂ）のＢ方向からの正面図
【符号の説明】
【００２３】
１  基盤
２  駆動帯
３  駆動軸
４  駆動帯
５  空洞部
６  支持部
７  駆動軸とは反対側に配置された弾性変形する部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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