(57)【要約】【課題】塗布液を均一に塗布できる塗布装置及び塗布方法を提供する。【解決手段】塗布装置は、ローラ６２、洗浄ノズル６３ｂ（６４ｂ）及びスリットノズルを備えている。ローラ６２は、延出軸ａを有し、延出軸を中心に回転可能であり、スリットノズルの端面と近接され、スリットノズルの端面から塗布液が転写され、スリットノズルの端面に塗布液からなる均一な皮膜を形成する。洗浄ノズル６３ｂ（６４ｂ）は、ローラ６２に対向配置され、延出軸ａに沿った方向に揺動しながら洗浄液をローラに噴射し、ローラに付着した塗布液を除去する。スリットノズルは、被塗布物上を移動し、被塗布物上に上記端面から塗布液を塗布する。【選択図】      図８
2010141186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物上にスリットノズルを用いて塗布液を塗布する塗布装置において、
前記スリットノズルの端面の長手方向に沿って延出した延出軸を有し、前記延出軸を中心に回転可能であり、前記スリットノズルの端面と近接され、前記スリットノズルの端面から塗布液が転写され、前記スリットノズルの端面に塗布液からなる均一な皮膜を形成するローラと、
前記ローラに対向配置され、前記延出軸に沿った方向に揺動しながら洗浄液を前記ローラに噴射し、前記ローラに付着した塗布液を除去する洗浄ノズルと、
前記被塗布物上を移動し、前記被塗布物上に前記端面から塗布液を塗布する前記スリットノズルと、を備えている塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄液は、ドライガスが含有された有機溶剤である請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記塗布液は、感光性材料である請求項１に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記洗浄ノズルを含み、前記ローラに対向配置され、前記延出軸に沿って並んだ複数の洗浄ノズルを有し、前記複数の洗浄ノズルが揃って前記延出軸に沿った方向に揺動しながら洗浄液を前記ローラにそれぞれ噴射し、前記ローラに付着した塗布液を除去する洗浄ノズル群をさらに備えている請求項１に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記複数の洗浄ノズルは、等間隔に並べられ、隣合う洗浄ノズルの間隔と等しい幅で揺動される請求項４に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記ローラに対向配置され、前記洗浄ノズル群と同様に構成された他の洗浄ノズル群をさらに備えている請求項４に記載の塗布装置。
【請求項７】
被塗布物上にスリットノズルを用いて塗布液を塗布する塗布方法において、
前記スリットノズルの端面の長手方向に沿って延出した延出軸を有し前記延出軸を中心に回転可能であるローラに前記スリットノズルの端面を近接させ、前記スリットノズルの端面から前記ローラに塗布液を転写させ、
前記ローラに対向配置された洗浄ノズルを前記延出軸に沿った方向に揺動しながら洗浄液を前記ローラに噴射し、前記ローラに付着した塗布液を除去し、前記スリットノズルの端面に塗布液からなる均一な皮膜を形成し、
前記皮膜を形成した後、前記スリットノズルを前記被塗布物上を移動させ、前記被塗布物上に前記端面から塗布液を塗布する塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、塗布装置及び塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルは、携帯テレビやコンピュータ等多くの情報を含むデータの表示用モニタに用いられている。液晶表示パネルは、一般に、アレイ基板と、対向基板と、これら両基板間に挟持された液晶層と、アレイ基板及び対向基板のいずれか一方に形成されたカラーフィルタとを有している。アレイ基板は、基板と、基板上にマトリクス状に設けられた複数の画素部と、これらの画素部を囲んで基板上に設けられているとともに、第１方向に延出して配設された複数の信号線及び第１方向と直交した第２方向に延出して配設された複数の走査線とを有している。
【０００３】
カラーフィルタは、複数のストライプ状の赤色の着色層、複数のストライプ状の緑色の着色層および複数のストライプ状の青色の着色層を有している。各着色層は、第１方向に並んだ複数の画素部に重なって形成されている。
【０００４】
ＣＯＡ（color filter on array）タイプの液晶表示パネルを製造する場合、アレイ基板より寸法の大きいマザーガラスを用意し、マザーガラス上の複数の矩形状の有効領域に、信号線及び走査線等のアレイパターン、並びにカラーフィルタをそれぞれ形成する。続いて、複数の対向基板を有効領域にそれぞれ対向配置して貼り合せた後、有効領域の周縁に沿ってマザーガラスを分割する。上記したことから、いわゆる多面取りによって複数の空の液晶表示パネルが得られる。
【０００５】
カラーフィルタ等、感光性材料を用いて形成する際、スリットノズルを有する塗布装置を用いて感光性材料を塗布する（例えば、特許文献１参照）。その後、露光、現像及び焼成することにより、所望の形状にパターンが形成される。なお、上記塗布装置は、スリットノズルと、ローラと、洗浄ノズルとを備えている。洗浄ノズルは、ローラに洗浄液を噴射し、ローラに転写された感光性材料を除去するためのものである。
【特許文献１】特開２００６−１８７７６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記塗布装置において、ローラに転写された感光性材料を十分に除去できない恐れがある。詳しくは、洗浄ノズルと対向した個所の感光性材料の除去は十分にできるが、洗浄ノズルと対向した個所から外れた感光性材料の除去は十分にできない恐れがある。すなわち、噴射される洗浄液に圧力分布が生じるためである。
【０００７】
すると、スリットノズルの端面に均一な皮膜の形成が困難となるため、膜厚が均一になるよう感光性材料を塗布することは困難となる。さらに、膜厚の均一性が得られない場合、露光及び現像した際にパターニング不良が生じ、所望の形状にパターンを形成できない恐れもある。
【０００８】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、塗布液を均一に塗布できる塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る塗布装置は、
被塗布物上にスリットノズルを用いて塗布液を塗布する塗布装置において、
前記スリットノズルの端面の長手方向に沿って延出した延出軸を有し、前記延出軸を中心に回転可能であり、前記スリットノズルの端面と近接され、前記スリットノズルの端面から塗布液が転写され、前記スリットノズルの端面に塗布液からなる均一な皮膜を形成するローラと、
前記ローラに対向配置され、前記延出軸に沿った方向に揺動しながら洗浄液を前記ローラに噴射し、前記ローラに付着した塗布液を除去する洗浄ノズルと、
前記被塗布物上を移動し、前記被塗布物上に前記端面から塗布液を塗布する前記スリットノズルと、を備えている。
【００１０】
また、本発明の他の態様に係る塗布方法は、
被塗布物上にスリットノズルを用いて塗布液を塗布する塗布方法において、
前記スリットノズルの端面の長手方向に沿って延出した延出軸を有し前記延出軸を中心に回転可能であるローラに前記スリットノズルの端面を近接させ、前記スリットノズルの端面から前記ローラに塗布液を転写させ、
前記ローラに対向配置された洗浄ノズルを前記延出軸に沿った方向に揺動しながら洗浄液を前記ローラに噴射し、前記ローラに付着した塗布液を除去し、前記スリットノズルの端面に塗布液からなる均一な皮膜を形成し、
前記皮膜を形成した後、前記スリットノズルを前記被塗布物上を移動させ、前記被塗布物上に前記端面から塗布液を塗布する。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、塗布液を均一に塗布できる塗布装置及び塗布方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係る塗布装置及び塗布方法について詳細に説明する。ここでは、塗布装置及び塗布方法を用いて液晶表示パネルのカラーフィルタを形成する場合について説明する。始めに、液晶表示パネルの構成について説明する。
【００１３】
図１乃至図４に示すように、液晶表示パネルは、アレイ基板１と、このアレイ基板に所定の隙間を保持して対向配置された対向基板２と、これら両基板に挟持された液晶層３と、カラーフィルタ４とを備えている。アレイ基板１及び対向基板２の外面には、図示しない偏光板がそれぞれ配置されている。アレイ基板１の外面側には、図示しないバックライトユニットが配置される。アレイ基板１及び対向基板２は矩形状の表示領域Ｒ１を有している。この実施の形態において、アレイ基板１は表示領域Ｒ１と重なったカラーフィルタ形成領域Ｒ２を有している。カラーフィルタ４は、アレイ基板１のカラーフィルタ形成領域Ｒ２に設けられている。このため、アレイ基板１はカラーフィルタ基板である。
【００１４】
アレイ基板１は、透明な絶縁基板としてガラス基板１１を有している。表示領域Ｒ１において、ガラス基板１１上には、第１方向ｄ１に延びているとともにこの第１方向と直交した第２方向ｄ２に間隔を置いて並んだ複数の信号線２１と、複数の信号線と交差して第２方向に延びているとともに第１方向に間隔を置いて並んだ複数の走査線１５とが格子状に配置されている。
【００１５】
ガラス基板１１上には、補助容量素子２４を構成し、かつ、複数の信号線２１と交差して第２方向ｄ２に延びているとともに第１方向ｄ１に間隔を置いて並んだ複数の補助容量線１７が形成されている。補助容量線１７は走査線１５と平行に延びている。
【００１６】
ここで、アレイ基板１及び対向基板２は、複数の信号線２１及び複数の補助容量線１７で囲まれた領域に重なって設けられたマトリクス状の複数の画素部２０を有している。すなわち、各画素部２０は隣合う２本の信号線２１および隣合う２本の補助容量線１７で囲まれた領域に重なって設けられている。アレイ基板１の画素部２０にはスイッチング素子としてのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）１９がそれぞれ設けられている。より詳しくは、ＴＦＴ１９は、信号線２１と走査線１５との各交差部近傍に設けられている。
【００１７】
ＴＦＴ１９は、チャネル層として、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）あるいはポリシリコン（ｐ−Ｓｉ）からなる半導体膜１２と、走査線１５の一部を延出してなるゲート電極１６とを有している。本実施の形態では、半導体膜１２及び後述する補助容量電極１３はｐ−Ｓｉで形成されている。
【００１８】
詳細に述べると、表示領域Ｒ１において、ガラス基板１１上には、半導体膜１２と、補助容量電極１３とが形成され、これら半導体膜および補助容量電極を含むガラス基板上にゲート絶縁膜１４が成膜されている。ゲート絶縁膜１４上に、走査線１５、ゲート電極１６および補助容量線１７が配設されている。補助容量線１７及び補助容量電極１３はゲート絶縁膜１４を介し対向配置されている。走査線１５、ゲート電極１６及び補助容量線１７を含むゲート絶縁膜１４上には層間絶縁膜１８が成膜されている。
【００１９】
層間絶縁膜１８上には、信号線２１及びコンタクト電極２２が形成されている。各コンタクト電極２２は、コンタクトホールを介して半導体膜１２のドレイン領域及び後述する画素電極２６にそれぞれ接続されている。さらに、コンタクト電極２２は、ゲート絶縁膜１４及び層間絶縁膜１８を介して補助容量電極１３に接続されている。ここで、補助容量線１７は、補助容量電極１３と、コンタクト電極２２との接続部を除いて形成されている。
【００２０】
信号線２１はコンタクトホールを介して半導体膜１２のソース領域と接続されている。層間絶縁膜１８、信号線２１及びコンタクト電極２２に重ねて保護絶縁膜２３が形成されている。保護絶縁膜２３上には、カラーフィルタ４が形成されている。この実施の形態において、カラーフィルタ４は、複数の赤色の着色層３０Ｒ、複数の緑色の着色層３０Ｇ及び複数の青色の着色層３０Ｂを有している。各着色層３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂは、ストライプ状に形成され、第１方向ｄ１に延びている。なお、図３にはカラーフィルタ４の図示を省略している。
【００２１】
着色層３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂ上には、ＩＴＯ（インジウム・すず酸化物）等の透明な導電膜により画素電極２６がそれぞれ形成されている。補助容量線１７に重なった保護絶縁膜２３および着色層３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂには複数のコンタクトホール２５が形成されている。これらのコンタクトホール２５は、複数の画素部２０に設けられている。
【００２２】
各画素電極２６は、コンタクトホール２５を介してコンタクト電極２２に接続されている。各画素電極２６の周縁部は、補助容量線１７および信号線２１に重なっている。画素電極２６は、画素部２０をそれぞれ形成している。補助容量線１７および信号線２１はブラックマトリクス（ＢＭ）として機能している。画素電極２６上には複数のスペーサとしての複数の柱状スペーサ２７が複数形成されている。カラーフィルタ４及び画素電極２６上には配向膜２８が形成されている。
【００２３】
対向基板２は、透明な絶縁基板としてガラス基板４１を備えている。このガラス基板４１上には、ＩＴＯ等の透明な導電材料で形成された対向電極４２および配向膜４３が順に形成されている。
【００２４】
アレイ基板１および対向基板２は、複数の柱状スペーサ２７により所定の隙間を保持して対向配置され、両基板の表示領域Ｒ１外側に配置された矩形枠状のシール材５１により互いに接合されている。液晶層３は、アレイ基板１、対向基板２及びシール材５１で囲まれた領域に形成されている。シール材５１の一部には液晶注入口５２が形成され、この液晶注入口は封止材５３で封止されている。
【００２５】
次に、上記塗布装置について説明する。  
図６乃至図９に示すように、塗布装置６０は、ステージ６１、ローラ６２、洗浄ノズル群６３、６４、受皿６５、スリットノズル６６及び制御部６９を有している。塗布装置６０は、被塗布物上にスリットノズル６６を用いて塗布液６７を塗布するものである。ここで、被塗布物は、マザーガラス１０である（図５）。
【００２６】
ステージ６１は、被塗布物であるマザーガラス１０を載置するためのものである。ステージ６１上には、受皿６５等も設けられている。受皿６５は、除去された塗布液６７や洗浄液６８を収容するものである。
【００２７】
ローラ６２は、円柱状に形成されている。ローラ６２は、スリットノズル６６の端面の長手方向に沿って延出した延出軸ａを有している。ローラ６２は、延出軸ａを中心に回転可能である。ローラ６２は、スリットノズル６６の端面と近接される。ローラ６２には、スリットノズル６６の端面から塗布液６７が転写される。そして、ローラ６２は、スリットノズル６６の端面に塗布液６７からなる均一な皮膜を形成するものである。
【００２８】
洗浄ノズル群６３は、揺動部６３ａ及び複数の洗浄ノズル６３ｂを有している。複数の洗浄ノズル６３ｂは、一方からローラ６２に対向配置され、延出軸ａに沿って並んでいる。複数の洗浄ノズル６３ｂは揺動部６３ａに取り付けられている。揺動部６３ａは、受皿６５の支持部６５ａに揺動可能に支持されている。このため、揺動部６３ａが揺動すると、複数の洗浄ノズル６３ｂが揃って延出軸ａに沿った方向に揺動しながら洗浄液６８をローラ６２にそれぞれ噴射することができ、これにより、ローラ６２に付着した塗布液６７を除去することができる。
【００２９】
洗浄ノズル群６４は洗浄ノズル群６３と同様に構成されている。
【００３０】
洗浄ノズル群６４は、揺動部６４ａ及び複数の洗浄ノズル６４ｂを有している。複数の洗浄ノズル６４ｂは、他方からローラ６２に対向配置され、延出軸ａに沿って並んでいる。複数の洗浄ノズル６４ｂは揺動部６４ａに取り付けられている。揺動部６４ａは、受皿６５の支持部６５ａに揺動可能に支持されている。このため、揺動部６４ａが揺動すると、複数の洗浄ノズル６４ｂが揃って延出軸ａに沿った方向に揺動しながら洗浄液６８をローラ６２にそれぞれ噴射することができ、これにより、ローラ６２に付着した塗布液６７を除去することができる。
【００３１】
この実施の形態において、洗浄液６８は、Ｎ２等のドライガスが含有された有機溶剤である。また、複数の洗浄ノズル６３ｂは、等間隔に並べられ、隣合う洗浄ノズル６３ｂの間隔と等しい幅で揺動されるものである。同様に、複数の洗浄ノズル６４ｂは、等間隔に並べられ、隣合う洗浄ノズル６４ｂの間隔と等しい幅で揺動されるものである。上記したように、塗布装置６０は、２つの洗浄ノズル群６３、６４を有している。洗浄ノズル６３ｂ及び洗浄ノズル６４ｂは、延出軸ａに沿って互い違いに位置している。ため、ローラ６２に付着した塗布液６７を一層除去することができる。
【００３２】
スリットノズル６６は、被塗布物であるマザーガラス１０上を移動し、マザーガラス１０上にスリットノズル６６の端面から塗布液６７を塗布するものである。スリットノズル６６の端面に厚みが均一な皮膜を形成できるため、マザーガラス１０上に塗布液６７を均一な厚みで塗布することができる。  
制御部６９は、上記したような塗布装置６０の動作を制御するものである。
【００３３】
次に、洗浄ノズル群６３、６４を揺動させることによる効果について説明する。ここでは、洗浄ノズル群６３にのみ着目し、洗浄ノズル群６３のみを揺動させることによる効果について説明する。
【００３４】
図１０に示すように、洗浄ノズル群６３が正規位置Ｐ１に位置している場合、噴射される洗浄液６８に圧力分布が生じていることが分かる。この場合、洗浄ノズル群６３は、ローラ６２を十分に洗浄することができない。
【００３５】
しかしながら、この実施の形態において、洗浄ノズル群６３は、正規位置Ｐ１を挟み、左揺動最終位置Ｐ２と右揺動最終位置Ｐ３との間を揺動するものである。このため、噴射される洗浄液６８の圧力分布が均一にできることが分かる。これにより、この実施の形態の洗浄ノズル群６３は、ローラ６２を十分に洗浄することができる。
【００３６】
次に、上記液晶表示パネルの一層詳しい構成を、その製造方法と併せて説明する。特に、カラーフィルタ４の製造方法について詳しく説明する。  
図５に示すように、まず、透明な絶縁基板としてアレイ基板１よりも寸法の大きいマザー基板としてのマザーガラス１０を用意する。この実施の形態によれば、マザーガラス１０は、アレイ基板１を形成するため第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に並んだ９つの矩形状の有効領域Ｒ３を有している。各有効領域Ｒ３は、第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に辺が延出している。各有効領域Ｒ３は、矩形状のカラーフィルタ形成領域Ｒ２を有している。各カラーフィルタ形成領域Ｒ２は、第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に辺が延出している。
【００３７】
用意したマザーガラス１０上には、成膜およびパターニングを繰り返す等、通常の製造工程により、ＴＦＴ１９、信号線２１、走査線１５、補助容量線１７及び保護絶縁膜２３等を有効領域Ｒ３にそれぞれ形成する。その後、フォトリソグラフィ法を用い、塗布装置６０を使用し、有効領域Ｒ３にカラーフィルタ４をそれぞれ形成する。
【００３８】
図５乃至図９に示すように、カラーフィルタ４を形成する際、まず、マザーガラス１０をステージ６１上に載置する。  
続いて、ローラ６２にスリットノズル６６の端面を近接させ、スリットノズル６６の端面からローラ６２に塗布液６７を転写させる。ここで用いた塗布液６７は、感光性材料である感光性アクリル緑色レジスト液（以下、緑色レジストと称する）である。
【００３９】
次いで、ローラ６２に対向配置された洗浄ノズル群６３、６４を、延出軸ａに沿った方向にそれぞれ揺動しながら洗浄液６８をローラ６２に噴射し、ローラ６２に付着した緑色レジストを除去する。これにより、スリットノズル６６の端面に緑色レジストからなる均一な皮膜が形成される。
【００４０】
その後、スリットノズル６６をマザーガラス１０上を移動させ、マザーガラス１０上にスリットノズル６６の端面から緑色レジストを塗布する。これにより、マザーガラス１０上には、均一な厚みで緑色レジスト膜が成膜される。
【００４１】
続いて、緑色レジストが塗布されたマザーガラス１０をプリベークした後、所定のフォトマスクを用い露光する。これにより、残したい個所の緑色レジストが硬化する。露光に用いるフォトマスクは、着色層３０Ｇを形成するためのパターンと、コンタクトホール２５を形成するためのパターンとを有している。
【００４２】
その後、緑色レジストを現像し不要な緑色レジストを除去する。続いて、現像された緑色レジストをポストベークする。上記したように塗布された緑色レジストをパターニングすることにより、コンタクトホール２５を有した複数の着色層３０Ｇが有効領域Ｒ３にそれぞれ形成される。複数の着色層３０Ｇは、第１方向ｄ１に延びているとともに第２方向ｄ２に間隔を置いて並んで形成される。複数の着色層３０Ｇは、所望の形状に形成され、膜厚を均一にできる。
【００４３】
複数の着色層３０Ｇを形成した後、ローラ６２にスリットノズル６６の端面を近接させ、スリットノズル６６の端面からローラ６２に塗布液６７を転写させる。ここで用いた塗布液６７は、感光性材料である感光性アクリル赤色レジスト液（以下、赤色レジストと称する）である。
【００４４】
なお、ここでは、スリットノズル６６に供給する塗布液６７を緑色レジストから赤色レジストに取り替えたが、これに限らず、スリットノズル６６を複数用意し、スリットノズル６６自体を取り替えても良い。すなわち、緑色レジストが供給されるスリットノズル６６から赤色レジストが供給されるスリットノズル６６に取り替えても良い。
【００４５】
次いで、ローラ６２に対向配置された洗浄ノズル群６３、６４を、延出軸ａに沿った方向にそれぞれ揺動しながら洗浄液６８をローラ６２に噴射し、ローラ６２に付着した赤色レジストを除去する。これにより、スリットノズル６６の端面に赤色レジストからなる均一な皮膜が形成される。
【００４６】
続いて、スリットノズル６６をマザーガラス１０上を移動させ、マザーガラス１０上にスリットノズル６６の端面から赤色レジストを塗布する。これにより、マザーガラス１０上には、均一な厚みで赤色レジスト膜が成膜される。
【００４７】
その後、同様にパターニングすることにより、コンタクトホール２５を有した複数の着色層３０Ｒが有効領域Ｒ３にそれぞれ形成される。複数の着色層３０Ｒは、第１方向ｄ１に延びているとともに第２方向ｄ２に間隔を置いて並べられ、かつ、複数の着色層３０Ｇの側縁に隣接して形成される。複数の着色層３０Ｒは、所望の形状に形成され、膜厚を均一にできる。
【００４８】
複数の着色層３０Ｇ、３０Ｒを形成した後、ローラ６２にスリットノズル６６の端面を近接させ、スリットノズル６６の端面からローラ６２に塗布液６７を転写させる。ここで用いた塗布液６７は、感光性材料である感光性アクリル青色レジスト液（以下、青色レジストと称する）である。なお、上述したように、スリットノズル６６に供給する塗布液６７を青色レジストに取り替えても良く、スリットノズル６６自体を取り替えても良い。
【００４９】
次いで、ローラ６２に対向配置された洗浄ノズル群６３、６４を、延出軸ａに沿った方向にそれぞれ揺動しながら洗浄液６８をローラ６２に噴射し、ローラ６２に付着した青色レジストを除去する。これにより、スリットノズル６６の端面に青色レジストからなる均一な皮膜が形成される。
【００５０】
続いて、スリットノズル６６をマザーガラス１０上を移動させ、マザーガラス１０上にスリットノズル６６の端面から青色レジストを塗布する。これにより、マザーガラス１０上には、均一な厚みで青色レジスト膜が成膜される。
【００５１】
その後、同様にパターニングすることにより、コンタクトホール２５を有した複数の着色層３０Ｂが有効領域Ｒ３にそれぞれ形成される。複数の着色層３０Ｂは、第１方向ｄ１に延びているとともに第２方向ｄ２に間隔を置いて並べられ、かつ、複数の着色層３０Ｇの側縁及び複数の着色層３０Ｒの側縁に隣接して形成される。複数の着色層３０Ｂは、所望の形状に形成され、膜厚を均一にできる。  
これにより、有効領域Ｒ３にそれぞれカラーフィルタ４が形成される。
【００５２】
複数のカラーフィルタ４を形成した後、マザーガラス１０上全体に、例えばスパッタリング法によりＩＴＯを堆積し、導電膜を形成する。その後、導電膜をパターニングすることにより複数のカラーフィルタ４に重ねて複数の画素電極２６を形成する。
【００５３】
次いで、複数の画素電極２６上に、例えば樹脂を用い複数の柱状スペーサ２７を形成する。続いて、ポリイミド等の配向膜材料をマザーガラス１０上全体に塗布した後、パターニングして有効領域Ｒ３にそれぞれ配向膜２８を形成する。その後、複数の配向膜２８を配向処理（ラビング）する。これにより、マザーガラス１０上に９枚分のアレイ基板１が形成される。
【００５４】
一方、対向基板２において、まず、図示しないが、透明な絶縁基板として対向基板２よりも寸法の大きいマザー基板としての他のマザーガラスを用意する。この実施の形態によれば、他のマザーガラスは、アレイ基板１と同様対向基板２を形成するため第１方向ｄ１および第２方向に並んだ９つの有効領域Ｒ３を有している。
【００５５】
用意した他のマザーガラス上全体に、例えばスパッタリング法によりＩＴＯを堆積し、導電膜を形成する。その後、導電膜をパターニングすることにより複数の有効領域Ｒ３に重ねて複数の対向電極４２を形成する。続いて、ポリイミド等の配向膜材料を他のマザーガラス上全体に塗布した後、パターニングして複数の有効領域Ｒ３にそれぞれ配向膜４３を形成する。その後、複数の配向膜４３を配向処理（ラビング）する。これにより、他のマザーガラス上に９枚分の対向基板２が形成される。
【００５６】
次に、アレイ基板１が形成されたマザーガラス１０及び対向基板２が形成された他のマザーガラスを複数の柱状スペーサ２７により所定の隙間を保持するとともにアレイ基板および対向基板同士を対向して配置する。そして、互いに対向したアレイ基板１及び対向基板２の周縁部に配置したシール材５１によりマザーガラス同士を貼り合せる。続いて、貼り合せた２枚のマザーガラスを有効領域Ｒ３の周縁ｅに沿って分割する。これにより、マザーガラス１０からアレイ基板１が、他のマザーガラスから対向基板２がそれぞれ切出される。これにより、９組の空状態の液晶セルが得られる。
【００５７】
次いで、真空注入により、シール材５１に形成された液晶注入口５２により、各空状態の液晶セルの両基板の間に、液晶材料を注入する。その後、液晶注入口５２を紫外線硬化型樹脂等の封止材５３で封止する。これにより、アレイ基板１、対向基板２及びシール材５１で囲まれた領域に液晶が封入され、液晶層３が形成される。これにより。９つの液晶表示パネルが完成する。
【００５８】
以上のように構成された塗布装置及び塗布方法によれば、塗布装置６０は、ローラ６２と、洗浄ノズル群６３、６４と、スリットノズル６６と、を備えている。ローラ６２は、延出軸ａを中心に回転可能であり、スリットノズル６６の端面から塗布液６７が転写されるものである。洗浄ノズル群６３、６４は、延出軸ａに沿った方向に揺動しながら洗浄液６８をローラ６２に噴射することができる。噴射される洗浄液６８の圧力分布を均一にできるため、ローラ６２に付着した塗布液６７を十分に短時間で除去することができる。
【００５９】
このため、ローラ６２は、スリットノズル６６の端面に塗布液６７からなる均一な皮膜を形成することができる。これにより、膜厚が均一になるよう塗布液６７を塗布することができる。また、膜厚の均一性が得られるため、フォトリソグラフィ法を用いてもパターニング不良が生じることは無く、所望の形状にパターンを形成することができる。
【００６０】
さらに、揺動させない場合に比べ、洗浄ノズル群６３、６４が持つ洗浄ノズル６３ｂ、６４ｂの数を削減することができ、結果として、洗浄液６８の使用量も削減することができる。
【００６１】
洗浄液６８は、ドライガスが含有された有機溶剤である。ドライガスを含有させることにより、ローラ６２に付着した付着物（塗布液６７）を溶解させる能力を向上させることができる。  
上記したことから、塗布液を均一に塗布できる塗布装置及び塗布方法を得ることができる。
【００６２】
なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【００６３】
例えば、被塗布物はマザーガラス１０に、塗布液６７は着色レジストにそれぞれ限定されるものでは無く、種々変形可能である。柱状スペーサ２７の形成に、上記塗布装置６０及び塗布方法を用いても良い。塗布液６７は、感光性材料に限定されるものではなく、種々変形可能である。
【００６４】
塗布装置６０は、洗浄ノズル群を１つのみ有していても良い。この場合も、１つの洗浄ノズル群が揺動することにより、ローラ６２の付着物を良好に除去することができる。これにより、洗浄ノズル群の設置スペースを半分にすることができ、また、洗浄液６８の使用量を一層削減することができる。
【００６５】
洗浄ノズルの間隔は、揺動させる幅に応じて適宜調整すれば良く、洗浄ノズルの個数は、ローラ６２の仕様に合せて適宜調整すれば良い。ローラ６２が極端に短い場合、塗布装置６０は、洗浄ノズルを１つのみ有していても良い。
【００６６】
この発明は、液晶表示パネル以外の分野での塗布工程に適用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態に係る塗布装置及び塗布方法を用いて形成される液晶表示パネルを示す斜視図。
【図２】図１に示したアレイ基板の概略平面図。
【図３】上記アレイ基板の一部を示す拡大平面図。
【図４】上記液晶表示パネルの一部を示す拡大断面図。
【図５】上記液晶表示パネルの製造方法において、マザーガラス上に９枚のアレイ基板を形成した状態を示す平面図。
【図６】本発明の実施の形態に係る塗布装置を示す概略構成図。
【図７】図６に示した塗布装置の一部を拡大して示す概略構成図であり、特に、ローラ、洗浄ノズル群及び受皿を示す図。
【図８】上記ローラ及び洗浄ノズル群を示す平面図。
【図９】図７及び図８に示した洗浄ノズルからローラに洗浄液を噴射している状態を示す図。
【図１０】上記洗浄ノズル群の正規位置、左揺動最終位置及び右揺動最終位置におけるローラ位置に対する洗浄液噴射圧力の変化をグラフで示した図。
【符号の説明】
【００６８】
１…アレイ基板、２…対向基板、３…液晶層、４…カラーフィルタ、１０…マザーガラス、３０Ｒ，３０Ｇ，３０Ｂ…着色層、６０…塗布装置、６１…ステージ、６２…ローラ、６３，６４…洗浄ノズル群、６３ａ，６４ａ…揺動部、６３ｂ，６４ｂ…洗浄ノズル、６５…受皿、６５ａ…支持部、６６…スリットノズル、６７…塗布液、６８…洗浄液、６９…制御部、ａ…延出軸、Ｐ１…正規位置、Ｐ２…左揺動最終位置、Ｐ３…右揺動最終位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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