(57)【要約】【課題】細胞等の対象物の詳細な情報を得て効果的に表示することができる観察装置および観察方法を提供する。【解決手段】観察装置１は、観察対象物９の表面または内部を観察するものであって、光源１１，１２、レンズ２１〜２５、アパーチャ３１、光合波器４１、光分波器４２、ハーフミラー４３、撮像部５１、解析部５２、表示部５３、受光部６１、変位検出部６２、ピエゾアクチュエータ７１、駆動部７２、ミラー７３、ステージ８１、駆動部８２および制御部９０を備える。解析部５２は、位相シフト法により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部５１により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物９の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分を求める。表示部５３は、位相成分を色相に反映させ、強度成分を彩度または明度に反映させて、ＨＳＶ色空間で第２反射光を画像表示する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を出力する光源と、
該光源から出力された光を２分岐して第１分岐光および第２分岐光として出力し、前記第１分岐光がミラーにより反射されて生じる第１反射光を入力するとともに、前記第２分岐光が観察対象物の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、
前記干渉光学系から出力される干渉光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系により結像された干渉光像を撮像する撮像部と、
前記光源から前記観察対象物の基準位置を経て前記撮像部に到るまでの光路長と、前記光源から前記ミラーを経て前記撮像部に到るまでの光路長との、光路長差を調整する光路長差調整手段と、
前記光路長差が各目標値に順次になるように前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、
位相シフト法により前記光路長差調整手段により前記光路長差が各目標値に順次に設定されて前記撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、前記観察対象物の表面または内部で生じた前記第２反射光の強度成分および位相成分を求める解析部と、
前記解析部により求められた前記第２反射光の位相成分を色相に反映させ、前記解析部により求められた前記第２反射光の強度成分を彩度または明度に反映させて、ＨＳＶ色空間で前記第２反射光を画像表示する表示部と、
を備えることを特徴とする観察装置。
【請求項２】
前記解析部が、複数組の前記第２反射光の強度成分および位相成分を時系列に求め、
前記表示部が、前記解析部により求められた複数組の前記第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を時系列に画像表示する、
ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項３】
前記解析部が、前記観察対象物の複数のスライス面それぞれについて前記第２反射光の強度成分および位相成分を求め、
前記表示部が、前記解析部により求められた複数組の前記第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を画像表示する、
ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項４】
前記光路長差を検出する光路長差検出手段を更に備え、
前記光路長差検出手段による検出結果に基づいて前記光路長差調整手段が前記光路長差を調整する、
ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項５】
前記光路長差調整手段が、前記観察対象物および前記ミラーのうち一方の第１対象物を移動させる第１移動手段と、前記観察対象物および前記ミラーのうち他方の第２対象物を移動させる第２移動手段とを含み、前記第１移動手段または前記第２移動手段による移動動作により前記光路長差を調整し、
前記第１移動手段が、前記第２移動手段の作動範囲より狭い作動範囲を有するとともに、前記第２移動手段の位置精度より高い位置精度を有し、
前記第２移動手段が、前記干渉光学系と前記第２対象物との間の光学系を維持したまま前記第２対象物を移動させ、
前記制御部が、前記光路長差の各目標値において前記第１移動手段による移動量が前記作動範囲内の所定範囲内となるように前記第２移動手段による移動動作を連続的または断続的に行わせ、前記第２移動手段による移動動作の際にも前記光路長差が各目標値になるように前記第１移動手段による移動動作をフィードバック制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項６】
光を出力する光源と、
該光源から出力された光を２分岐して第１分岐光および第２分岐光として出力し、前記第１分岐光がミラーにより反射されて生じる第１反射光を入力するとともに、前記第２分岐光が観察対象物の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、
前記干渉光学系から出力される干渉光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系により結像された干渉光像を撮像する撮像部と、
前記光源から前記観察対象物の基準位置を経て前記撮像部に到るまでの光路長と、前記光源から前記ミラーを経て前記撮像部に到るまでの光路長との、光路長差を調整する光路長差調整手段と、
前記光路長差が各目標値に順次になるように前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、
を用い、
位相シフト法により前記光路長差調整手段により前記光路長差が各目標値に順次に設定されて前記撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、前記観察対象物の表面または内部で生じた前記第２反射光の強度成分および位相成分を求め、
これら求めた前記第２反射光の位相成分を色相に反映させ、前記第２反射光の強度成分を彩度または明度に反映させて、ＨＳＶ色空間で前記第２反射光を画像表示する、
ことを特徴とする観察方法。
【請求項７】
複数組の前記第２反射光の強度成分および位相成分を時系列に求め、
これら求めた複数組の前記第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を時系列に画像表示する、
ことを特徴とする請求項６に記載の観察方法。
【請求項８】
前記観察対象物の複数のスライス面それぞれについて前記第２反射光の強度成分および位相成分を求め、
これら求めた複数組の前記第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を画像表示する、
ことを特徴とする請求項６に記載の観察方法。
【請求項９】
前記光路長差を検出する光路長差検出手段を更に用い、
前記光路長差検出手段による検出結果に基づいて前記光路長差調整手段により前記光路長差を調整する、
ことを特徴とする請求項６に記載の観察方法。
【請求項１０】
前記光路長差調整手段が、前記観察対象物および前記ミラーのうち一方の第１対象物を移動させる第１移動手段と、前記観察対象物および前記ミラーのうち他方の第２対象物を移動させる第２移動手段とを含み、前記第１移動手段または前記第２移動手段による移動動作により前記光路長差を調整し、
前記第１移動手段が、前記第２移動手段の作動範囲より狭い作動範囲を有するとともに、前記第２移動手段の位置精度より高い位置精度を有し、
前記第２移動手段が、前記干渉光学系と前記第２対象物との間の光学系を維持したまま前記第２対象物を移動させ、
前記制御部が、前記光路長差の各目標値において前記第１移動手段による移動量が前記作動範囲内の所定範囲内となるように前記第２移動手段による移動動作を連続的または断続的に行わせ、前記第２移動手段による移動動作の際にも前記光路長差が各目標値になるように前記第１移動手段による移動動作をフィードバック制御する、
ことを特徴とする請求項６に記載の観察方法。
【請求項１１】
前記観察対象物が細胞を含むことを特徴とする請求項６に記載の観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、観察対象物を観察する方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
干渉光学系を用いて対象物を観察または測定する装置として、特許文献１に開示されたものが知られている。この文献に開示された装置は、対象物からの反射光とミラーからの反射光とによる干渉縞の振幅ピークが両反射光の光路長差に依存することを利用して、干渉縞の振幅ピークに基づいて対象物を観察または測定する。
【特許文献１】特開平９−２１８０１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示された装置は、細胞等の対象物の詳細な情報を得ることができず、また、情報を効果的に表示することができない。本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、細胞等の対象物の詳細な情報を得て効果的に表示することができる観察装置および観察方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明に係る観察装置は、(1) 光を出力する光源と、(2) 該光源から出力された光を２分岐して第１分岐光および第２分岐光として出力し、第１分岐光がミラーにより反射されて生じる第１反射光を入力するとともに、第２分岐光が観察対象物の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、(3)干渉光学系から出力される干渉光を結像する結像光学系と、(4) 結像光学系により結像された干渉光像を撮像する撮像部と、(5) 光源から観察対象物の基準位置を経て撮像部に到るまでの光路長と、光源からミラーを経て撮像部に到るまでの光路長との、光路長差を調整する光路長差調整手段と、(6)光路長差が各目標値に順次になるように光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、を備える。
【０００５】
本発明に係る観察装置は、更に、(7) 位相シフト法により光路長差調整手段により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分を求める解析部と、(8) 解析部により求められた第２反射光の位相成分を色相に反映させ、解析部により求められた第２反射光の強度成分を彩度または明度に反映させて、ＨＳＶ色空間で第２反射光を画像表示する表示部と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
本発明に係る観察方法は、上記のような光源，干渉光学系，結像光学系，撮像部，光路長差調整手段および制御部を用い、位相シフト法により光路長差調整手段により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分を求め、これら求めた第２反射光の位相成分を色相に反映させ、第２反射光の強度成分を彩度または明度に反映させて、ＨＳＶ色空間で第２反射光を画像表示することを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る観察装置は、解析部が、複数組の第２反射光の強度成分および位相成分を時系列に求め、表示部が、解析部により求められた複数組の第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を時系列に画像表示するのが好適である。本発明に係る観察方法は、複数組の第２反射光の強度成分および位相成分を時系列に求め、これら求めた複数組の第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を時系列に画像表示するのが好適である。
【０００８】
本発明に係る観察装置は、解析部が、観察対象物の複数のスライス面それぞれについて第２反射光の強度成分および位相成分を求め、表示部が、解析部により求められた複数組の第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を画像表示するのが好適である。本発明に係る観察方法は、観察対象物の複数のスライス面それぞれについて第２反射光の強度成分および位相成分を求め、これら求めた複数組の第２反射光の強度成分および位相成分に基づいて、ＨＳＶ色空間でこれらの第２反射光を画像表示するのが好適である。
【０００９】
本発明に係る観察装置は、光路長差を検出する光路長差検出手段を更に備え、光路長差検出手段による検出結果に基づいて光路長差調整手段が光路長差を調整するのが好適である。本発明に係る観察方法は、光路長差を検出する光路長差検出手段を更に用い、光路長差検出手段による検出結果に基づいて光路長差調整手段により光路長差を調整するのが好適である。
【００１０】
本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、(a) 光路長差調整手段が、観察対象物およびミラーのうち一方の第１対象物を移動させる第１移動手段と、観察対象物およびミラーのうち他方の第２対象物を移動させる第２移動手段とを含み、第１移動手段または第２移動手段による移動動作により光路長差を調整し、(b) 第１移動手段が、第２移動手段の作動範囲より狭い作動範囲を有するとともに、第２移動手段の位置精度より高い位置精度を有し、(c) 第２移動手段が、干渉光学系と第２対象物との間の光学系を維持したまま第２対象物を移動させ、(d)制御部が、光路長差の各目標値において第１移動手段による移動量が作動範囲内の所定範囲内となるように第２移動手段による移動動作を連続的または断続的に行わせ、第２移動手段による移動動作の際にも光路長差が各目標値になるように第１移動手段による移動動作をフィードバック制御するのが好適である。
【００１１】
本発明に係る観察装置または本発明に係る観察方法では、観察対象物が細胞を含むのが好適である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、細胞等の対象物の詳細な情報を得て効果的に表示することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１４】
図１は、本実施形態に係る観察装置１の構成図である。この図に示される観察装置１は、観察対象物９の表面または内部を観察するものであって、光源１１，１２、レンズ２１〜２５、アパーチャ３１、光合波器４１、光分波器４２、ハーフミラー４３、撮像部５１、解析部５２、表示部５３、受光部６１、変位検出部６２、ピエゾアクチュエータ７１、駆動部７２、ミラー７３、ステージ８１、駆動部８２および制御部９０を備える。
【００１５】
光源１１は、コヒーレント長が比較的短い光λ１を出力するものであり、例えば波長帯域６００ｎｍ〜９００ｎｍの広帯域光を出力することができるタングステンランプである。光源１１から出力される光λ１のコヒーレンス長は５μｍ以下であるのが好ましい。一方、光源１２は、コヒーレント長が比較的長い光λ２を出力するものであり、例えば波長１.３１μｍのレーザ光を出力する半導体レーザ光源である。光合波器４１は、光源１１から出力されてレンズ２１およびアパーチャ３１を経て到達した光λ１を反射させるとともに、光源１２から出力されて到達した光λ２を透過させて、これらの光を合波してレンズ２２へ出力する。
【００１６】
ハーフミラー４３は、光合波器４１により合波されてレンズ２２を経て到達した光λ１，λ２を２分岐して第１分岐光および第２分岐光とし、第１分岐光をレンズ２３へ出力し、第２分岐光をレンズ２４へ出力する。また、ハーフミラー４３は、第１分岐光がレンズ２３を経てミラー７３により反射されて生じる第１反射光を再びレンズ２３を経て入力するとともに、第２分岐光がレンズ２４を経て観察対象物９の表面または内部で反射されて生じる第２反射光を再びレンズ２４を経て入力して、これら第１反射光と第２反射光とを干渉させて当該干渉光をレンズ２５へ出力する。すなわち、ハーフミラー４３は、干渉光学系を構成する要素である。
【００１７】
光分波器４２は、ハーフミラー４３から出力されてレンズ２５を経た光を入力し、そのうち光λ１を反射させて撮像部５１へ出力し、光λ２を透過させて受光部６１へ出力する。レンズ２３〜２５は、ハーフミラー４３から出力されて光分波器４２により分波された干渉光λ１を撮像部５１の撮像面上に結像する結像光学系を構成する要素である。撮像部５１は、その結像された干渉光λ１の像を撮像するものであり、例えばＣＣＤカメラである。受光部６１は、ハーフミラー４３から出力されて光分波器４２により分波された光λ２の強度を検出するものであり、例えばフォトダイオードである。
【００１８】
ここで、ハーフミラー４３からミラー７３により反射されて再びハーフミラー４３に到るまでの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の基準位置により反射されて再びハーフミラー４３に到るまでの光路長との光路長差をΔＬとする。なお、観察対象物９の基準位置は、観察対象物９の最も高い位置（レンズ２４に最も近い位置）であってもよいし、観察対象物９を載せる台であってもよし、これらの中間の位置であってもよし、また、その他の位置であってもよい。
【００１９】
前述したように、光源１２から出力され受光部６１に到達する光λ２のコヒーレント長は比較的長いので、図２（ａ）に示されるように、受光部５１に到達する光λ２の強度は、比較的広い光路長差ΔＬの範囲において周期的に変化する。これに対して、光源１１から出力され撮像部５１に到達する光λ１のコヒーレント長は比較的短いので、図２（ｂ）に示されるように、撮像部６１に到達する光λ１の強度は、比較的狭い光路長差ΔＬの範囲において周期的に変化し、しかも、光路長差ΔＬが値０に近いほど干渉の振幅が大きい。
【００２０】
このことを利用して、解析部５２は、光路長差が複数の目標値それぞれに設定されたときに撮像部５１により撮像された光λ１の干渉光像を取得する。この干渉光像は、ハーフミラー４３からミラー７３までの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の或るスライス面までの光路長とが互いに略等しいときに、ミラー７３で生じた第１反射光と該スライス面（および、該スライス面を中心とする光λ１のコヒーレンス長程度の範囲）で生じた第２反射光との干渉による像である。さらに、解析部５２は、取得した干渉光像に基づいて所定の解析を行う。表示部５３は、解析部５２による解析の結果を画像表示する。解析部５２による解析および表示部５３による画像表示については後述する。
【００２１】
観察対象物９は、好適には例えば図３に示されるように、略平坦な基板９１の主面に形成された薄膜９２の上に置かれた半透明の細胞９３である。薄膜９２は、光λ２を高い反射率で反射させることで、後述するフィードバック制御の際の基準面として好適に用いられる。観察対象物９としての細胞９３の断面としてスライス面Ｓが設定される。このスライス面Ｓは、レンズ２４の光軸に垂直な面であり、また、その光軸方向に関して位置が可変である。
【００２２】
変位検出部６２は、受光部６１により検出された光λ２の強度の変化から、光路長差（または、或る基準値に対する相対的な光路長差の変化量）を求める。すなわち、光源１２、受光部６１および変位検出部６２は、光路長差を検出する光路長差検出手段を構成する要素である。なお、ピエゾアクチュエータ７１によりミラー７３に微小振動を与えて、或る光路長差を中心にして変調を与えることで、より正確に光路長差を検出することができる。
【００２３】
ピエゾアクチュエータ７１，駆動部７２，ステージ８１および駆動部８２は、光路長差を調整する光路長差調整手段を構成する要素である。ピエゾアクチュエータ７１は、駆動部７２により駆動されて、ハーフミラー４３とミラー７３との間の光学系の光軸に平行な方向に、ミラー７３を移動させる。このとき、レンズ２３を移動させることなく、ハーフミラー４３とミラー７３との間の光学系を維持したままとする。レンズ２３のフォーカス面は、焦点深度（例えば０.５μｍ）の精度でミラー７３の反射面に一致している。
【００２４】
ステージ８１は、駆動部８２により駆動されて、ハーフミラー４３と観察対象物９との間の光学系の光軸に平行な方向に観察対象物９を移動させる。このとき、レンズ２４を移動させることなく、ハーフミラー４３と観察対象物９との間の光学系を維持したままとする。すなわち、ハーフミラー４３から測った観察対象物９側のフォーカス面までの距離を維持したままとする。
【００２５】
ピエゾアクチュエータ７１（第１移動手段）の作動範囲は、ステージ８１（第２移動手段）の作動範囲より狭い。また、ピエゾアクチュエータ７１の位置精度は、ステージ８１の位置精度より高い。なお、ステージ８１を移動させるための駆動部８２としては、例えば長距離移動型のピエゾアクチュエータや、ステッピングモータによる回転機構を用いることが可能である。
【００２６】
制御部９０は、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が複数の目標値に順次になるように、駆動部７２，８２を介してピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作を制御する。特に、制御部９０は、複数の目標値それぞれにおいて、ピエゾアクチュエータ７１による移動量が作動範囲内の所定範囲内となるように、ステージ８１による移動動作を連続的または断続的に行わせる。また、制御部９０は、ステージ８１による移動動作の際にも、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。
【００２７】
図４は、ピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作について説明する図である。この図には、ハーフミラー４３とミラー７３との間の光学系が示され、ハーフミラー４３と観察対象物９との間の光学系が示され、また、光路長差を調整するピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１が示されている。ここで、ハーフミラー４３とレンズ２３との間の間隔をｘ１とし、レンズ２３とミラー７３との間の間隔をｘ２とする。また、ハーフミラー４３とレンズ２４との間の間隔をｙ１とし、レンズ２４と観察対象物９との間の間隔をｙ２とする。なお、観察対象物９が図３に示される構成である場合には、ｙ２はレンズ２４から観察対象物９の或るスライス面までの間隔とする。間隔ｘ２は、ピエゾアクチュエータ７１による移動動作により調整される。間隔ｙ２は、ステージ８１による移動動作により調整される。ピエゾアクチュエータ７１またはステージ８１により、間隔（ｘ１＋ｘ２）又は間隔（ｙ１＋ｙ２）を変更することで、光路長差ΔＬを調整することができる。
【００２８】
仮に、ステージ８１による移動動作により間隔ｙ２のみを調整する場合、ステージ８１の作動範囲が比較的広いことから、広いダイナミックレンジで光路長差を調整することができる。しかし、この場合、ステージ８１の位置精度が比較的低いことから、高精度で光路長差を調整することができず、したがって、高精度に観察対象物９の形状等を測定することができない。
【００２９】
一方、仮に、ピエゾアクチュエータ７１による移動動作により間隔ｘ２のみを調整する場合、ピエゾアクチュエータ７１の位置精度が比較的高いことから、高精度で光路長差を調整することができる。しかし、この場合、ピエゾアクチュエータ７１の作動範囲が比較的狭いことから、広いダイナミックレンジで光路長差を調整することができず、したがって、広いダイナミックレンジで観察対象物９の形状等を測定することができない。
【００３０】
また、仮に、ピエゾアクチュエータ７１の作動範囲内であっても広い範囲に亘って移動動作を行わせると、レンズ２３の焦点距離と間隔ｘ２との差が大きくなる場合があり、その場合には、結像光学系による干渉光の結像面と撮像部５１の撮像面とが互いに大きくずれてしまい、撮像部５１により撮像される干渉光像が不鮮明となって、観察対象物９の形状等の測定を高精度に行うことができない。
【００３１】
そこで、本実施形態では、高精度かつ広ダイナミックレンジで観察対象物の表面または内部を測定する為に、制御部９０は、複数の目標値それぞれにおいて、ピエゾアクチュエータ７１による移動量が作動範囲内の所定範囲内となるように、ステージ８１による移動動作を連続的または断続的に行わせる。また、制御部９０は、ステージ８１による移動動作の際にも、変位検出部６２による光路長差検出結果に基づいて、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する、以下では、ピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１それぞれの好適な２つの動作態様について説明する。
【００３２】
図５は、本実施形態に係る観察装置１の第１動作態様を説明するフローチャートである。また、図６は、この第１動作態様における間隔ｘ２，間隔ｙ２および光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。この第１動作態様では、制御部９０は、駆動部８２を介して、ステージ８１による移動動作を連続的に行わせる。
【００３３】
初めに、ステップＳ１１では、制御部９０は、駆動部８２を介してステージ８１による移動動作を開始させる。光路長差を或る目標値から次の目標値に一定時間間隔Δｔで移行させるとし、その移行の際の間隔ｙ２の変化量をΔｙとしたときに、ステージ８１の移動速度は「Δｙ／Δｔ」に設定される。これにより、レンズ２４と観察対象物９との間の間隔ｙ２は、時間の経過とともに略リニアに変化していく。しかし、ステージ８１の位置精度が比較的低いことから、間隔ｙ２の時間的変動は比較的大きい。
【００３４】
そこで、ステップＳ１２では、制御部９０は、光路長差が該目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このとき、ピエゾアクチュエータ７１により間隔ｘ２が調整されて、光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝が高精度に設定される。
【００３５】
ステップＳ１３では、制御部９０は、光路長差が或る目標値に設定されてから一定時間Δｔが経過したか否かを判断し、一定時間Δｔが経過したら次のステップＳ１４の処理に進む。ステップＳ１４では、制御部９０は、次の目標値が有るか否かを判断し、次の目標値が有れば次のステップＳ１５の処理に進み、次の目標値が無ければステップＳ１８の処理に進む。
【００３６】
ステップＳ１５では、制御部９０は、光路長差が次の目標値に移行される前に、その移行後の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲から外れるか否かを判断する。そして、制御部９０は、その移動量ｘ２が所定範囲から外れると判断した場合にはステップＳ１６を経てステップＳ１７の処理に進み、また、その移動量ｘ２が所定範囲内にあると判断した場合には直ちにステップＳ１７の処理に進む。ステップＳ１６では、制御部９０は、次の目標値に移行した後にピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲内に入るようにステージ８１による移動動作の速さを調整する。
【００３７】
ステップＳ１７では、制御部９０は、光路長差を次の目標値に設定し、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１をΔｘだけステップ的に移動させる。その後、ステップＳ１２の処理に戻って、制御部９０は、光路長差が新たな目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。ステップＳ１８では、制御部９０は、駆動部８２を介してステージ８１による移動動作を終了させる。
【００３８】
このように第１動作態様では、制御部９０は、ステージ８１による移動動作を連続的に行わせ、光路長差が或る目標値から次の目標値に移行される際に、ピエゾアクチュエータ７１による移動動作をステップ的に行わせ、また、光路長差が或る目標値に設定されている期間には、光路長差が該目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このように制御部９０がピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１それぞれの移動動作を制御することにより、ステージ８１の移動動作の広いダイナミックレンジと、ピエゾアクチュエータ７１の移動動作の高い位置精度とを、共に活かすことができて、高精度かつ広ダイナミックレンジで観察対象物９の表面形状等を測定することができる。
【００３９】
また、第１動作態様では、制御部９０は、光路長差が或る目標値から次の目標値に移行される前に、その移行後の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量が所定範囲から外れる場合に、該移動量が該所定範囲内に入るようにステージ８１による移動動作の速さを調整する（ステップＳ１５，Ｓ１６）。このように制御部９０がステージ８１の移動速度を調整することにより、ステージ８１の移動速度や目標値変更の時間間隔Δｔの精度が不充分である場合であっても、ピエゾアクチュエータ７１による移動量を所定範囲内に維持することができるので、観察対象物９の表面形状等の高精度測定を維持することができる。なお、光路長差の目標値の個数をＮとしたときに、Ｎ・Δｔの時間内にステージ８１を速度「Δｙ／Δｔ」で等速移動させたときの移動距離が充分な精度（例えば誤差が±１μｍ以下）であれば、ステップＳ１５，１６は不要であり、ステップＳ１４の後に直ちにステップＳ１７の処理に進めばよい。
【００４０】
図７は、本実施形態に係る観察装置１の第２動作態様を説明するフローチャートである。また、図８は、この第２動作態様における間隔ｘ２，間隔ｙ２および光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。この第２動作態様では、制御部９０は、駆動部８２を介して、ステージ８１による移動動作を断続的に行わせる。
【００４１】
ステップＳ２１では、制御部９０は、光路長差が目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このとき、ステージ８１は移動していないが、ステージ８１の位置精度が比較的低いことから、間隔ｙ２の時間的変動は比較的大きい。しかし、ピエゾアクチュエータ７１により間隔ｘ２が調整されて、光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝が高精度に設定される。
【００４２】
ステップＳ２２では、制御部９０は、光路長差が或る目標値に設定されてから一定時間Δｔが経過したか否かを判断し、一定時間Δｔが経過したら次のステップＳ２３の処理に進む。ステップＳ２３では、制御部９０は、次の目標値が有るか否かを判断し、次の目標値が有れば次のステップＳ２４の処理に進み、次の目標値が無ければ終了する。
【００４３】
ステップＳ２４では、制御部９０は、光路長差が次の目標値に移行される前に、その移行後の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲から外れるか否かを判断する。そして、制御部９０は、その移動量ｘ２が所定範囲から外れると判断した場合にはステップＳ２５を経てステップＳ２６の処理に進み、また、その移動量ｘ２が所定範囲内にあると判断した場合には直ちにステップＳ２６の処理に進む。
【００４４】
ステップＳ２５では、制御部９０は、次の目標値に移行した後にピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲内に入るようにステージ８１を移動させた後に停止させ、また、そのステージ８１が移動している期間にも、そのときの光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作を制御する。なお、このときのステージ８１の移動に際しては、次の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲の上限を超える場合には、ピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲の下限の近くになるようにする。逆に、次の目標値においてピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲の下限を超える場合には、ピエゾアクチュエータ７１による移動量ｘ２が所定範囲の上限の近くになるようにする。
【００４５】
ステップＳ２６では、制御部９０は、光路長差を次の目標値に設定し、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１をΔｘだけステップ的に移動させる。その後、ステップＳ２１の処理に戻って、制御部９０は、光路長差が新たな目標値になるように、駆動部７２を介してピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。
【００４６】
このように第２動作態様では、制御部９０は、光路長差が各目標値になるようにピエゾアクチュエータ７１による移動動作をフィードバック制御する。このように制御部９０がピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１それぞれの移動動作を制御することにより、ステージ８１の移動動作の広いダイナミックレンジと、ピエゾアクチュエータ７１の移動動作の高い位置精度とを、共に活かすことができて、高精度かつ広ダイナミックレンジで観察対象物９の表面形状等を測定することができる。なお、ステージ８１の位置精度が悪い場合には、第１動作態様より第２動作態様の方が有効である。
【００４７】
次に、本実施形態に係る観察装置１および本実施形態に係る観察方法における観察対象物９の観察（特に解析部５２による解析および表示部５３による画像表示）について更に詳細に説明する。
【００４８】
観察対象物９の表面または内部で反射されて撮像部５１の撮像面に到達する第２反射光Ｅ(x,y)は、強度成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)を含んでいて、下記（１）式で表される。撮像部５１により撮像される干渉像は、光λ１のコヒーレンス長の程度で第１反射光および第２反射光それぞれの光路長が一致するような該第２反射光が生じる観察対象物９のスライス面（および、該スライス面を中心とする光λ１のコヒーレンス長程度の範囲）の情報を反映したものである。なお、ｘ，ｙは、該スライス面における直交２軸の座標値を表す。
【００４９】
【数１】
2010048621.tif 000003
【００５０】
第２反射光Ｅ(x,y)の強度成分Ｒ(x,y)は、該スライス面における光λ１の反射率、すなわち、反射体の有無の情報を表す。また、第２反射光Ｅ(x,y)の位相成分φ(x,y)は、該スライス面における反射体のｚ方向（光軸に平行な方向）の位置の情報を表す。例えば、観察対象物９の該スライス面に存在する反射体（例えば、細胞膜、核小体の膜、リソソームの膜、等）がｚ方向にΔｚだけ移動した場合、撮像部５１の撮像面に到達する第２反射光Ｅ(x,y)の位相成分φ(x,y)は４πｎ１Δｚ／λ１ だけ変化する。ここで、ｎ１は観察対象物９の屈折率である。すなわち、位相成分φ(x,y)の変化量は、スライス面における反射体のｚ方向の位置変化量を表す。
【００５１】
このような第２反射光Ｅ(x,y)の強度成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)は位相シフト法により求められる。位相シフト法では、制御部９０および駆動部７２による制御によりピエゾアクチュエータ７１が駆動されて光路長差ΔＬがλ１／４ずつシフトされ、順に撮像部５１により４枚の干渉光像Ｉ１(x,y)，Ｉ２(x,y)，Ｉ３(x,y)，Ｉ４(x,y)が撮像される。ここで、λ１は、光源１１から出力される低コヒーレント光の中心波長である。これら４枚の干渉光像から、下記（２）式に従って、干渉光像の正弦成分Ａ(x,y)および余弦成分Ｂ(x,y)が得られる。
【００５２】
【数２】
2010048621.tif 000004
【００５３】
そして、これら干渉光像の正弦成分Ａ(x,y)および余弦成分Ｂ(x,y)から、下記（３）式に従って、第２反射光Ｅ(x,y)の強度成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)が得られる。なお、正弦成分Ａ(x,y)および余弦成分Ｂ(x,y)は、第２反射光Ｅ(x,y)の強度成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y)を用いて、下記（４）式のように表される。また、干渉光像の複素振幅Ｃ(x,y)は、下記（５）式または（６）式で表される。解析部５２は、このような干渉光像の複素振幅Ｃ(x,y)を求める。
【００５４】
【数３】
2010048621.tif 000005
【００５５】
【数４】
2010048621.tif 000006
【００５６】
【数５】
2010048621.tif 000007
【００５７】
【数６】
2010048621.tif 000008
【００５８】
図９は、干渉光像の正弦成分Ａ(x,y)を示す図である。図１０は、干渉光像の余弦成分Ｂ(x,y)を示す図である。図１１は、干渉光像の強度成分Ｒ(x,y)を示す図である。また、図１２は、干渉光像の位相成分φ(x,y)を示す図である。これらは何れも、観察対象物９としてのＨｅＬａ細胞について位相シフト法により求められた４枚の干渉光像Ｉ１(x,y)，Ｉ２(x,y)，Ｉ３(x,y)，Ｉ４(x,y)に基づくものである。図１１に示される干渉光像の強度成分Ｒ(x,y)を見ると、ＨｅＬａ細胞には、細胞膜付近および細胞内に様々な反射体が存在することが見て取れる。これらの反射体とＨｅＬａ細胞の器官との関係は図１３に示されるとおりであると考えられる。
【００５９】
位相シフト法には様々な改良アルゴリズムが存在するが、何れのアルゴリズムが用いられてもよい。例えば、Schwider-Hariharan Algorithm として知られるアルゴリズムに従って、５枚の干渉光像に基づいて、下記（７）式に従って、干渉光像の正弦成分Ａ(x,y)および余弦成分Ｂ(x,y)が求められてもよく、さらに、これらから、第２反射光Ｅ(x,y)の強度成分Ｒ(x,y)および位相成分φ(x,y) が求められてもよい。
【００６０】
【数７】
2010048621.tif 000009
【００６１】
本実施形態では任意の位相シフト法のアルゴリズムが用いられ得る。ただし、上記（２）式に従う位相シフト法の基本アルゴリズムと比べると、上記（７）式に従う位相シフト法の改良アルゴリズムは、位相シフト量の誤差に対してロバストである等の利点があり、本実施形態のように光λ１のコヒーレンス長が比較的短い場合に好適に用いられる。
【００６２】
図１４は、複数組の正弦成分Ａ(x,y)および余弦成分Ｂ(x,y) を時系列で取得する場合の位相シフト量の時間的変化の様子を示す図である。この図に示されるように、制御部９０および駆動部７２による制御によりピエゾアクチュエータ７１が駆動されて光路長差ΔＬが一定時間毎にλ１／４ずつシフトされて、位相シフト量が０と３λ１／４との間で増減が繰り返される。これにより、順次に干渉光学像Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３，Ｉ４，Ｉ３，Ｉ２，Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３，Ｉ４，…が得られる。そして、第１の干渉光学像Ｉ１から第４の干渉光学像Ｉ４までが用いられて、１番目のＡ１，Ｂ１，Ｒ１およびφ１が得られる。また、第４の干渉光学像Ｉ４から第７の干渉光学像Ｉ１までが用いられて、２番目のＡ２，Ｂ２，Ｒ２およびφ２が得られる。さらに、第７の干渉光学像Ｉ１から第１０の干渉光学像Ｉ４までが用いられて、３番目のＡ３，Ｂ３，Ｒ３およびφ３が得られる。
【００６３】
このようにして、干渉光像の正弦成分Ａｎおよび余弦成分Ｂｎ ならびに 第２反射光の強度成分Ｒｎおよび位相成分φｎが一定時間間隔で順次に得られる。以降では、これらは、正弦成分Ａ(x,y,n)、余弦成分Ｂ(x,y,n)、強度成分Ｒ(x,y,n)および位相成分φ(x,y,n)と表記される場合がある。ここで、各成分の表記におけるｎは、その成分がｎ番目に得られたものであることを示すものであり、時間変数に相当するものである。
【００６４】
前述したとおり、位相成分φ(x,y,n)は、ハーフミラー４３からミラー７３までの光路長と、ハーフミラー４３から観察対象物９の或るスライス面までの光路長とが互いに略等しいときに、該スライス面における反射体のｚ方向（光軸に平行な方向）の位置の情報を表す。また、位相成分φ(x,y,n)の変化量は、該スライス面における反射体のｚ方向の位置変化量を表す。そこで、図１５に示されるように、解析部５２により、一定時間間隔で複数枚の位相成分φ(x,y,n)が得られると、これらが表示部５３により時系列に画像表示（動画表示）されることで、観察対処物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化の様子が観察され得る。
【００６５】
第２反射光の位相成分φ(x,y,n)のみが表示部５３によりグレイスケールまたは擬似カラー等により画像表示されることにより、観察対処物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化の様子が観察され得る。しかし、この場合には、強度成分Ｒ(x,y,n)の大きさに拘わらず位相成分φ(x,y,n)がグレイスケールまたは擬似カラー等により画像表示されるので、強度成分Ｒ(x,y,n)が小さい位置（すなわち、光λ１の反射率が小さい位置）がノイズとなる。それ故、表示部５３に表示された画像を見る人間にとって、位相成分φ(x,y,n)の変化量が大きい位置（すなわち、観察対処物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化量が大きい位置）の確認が困難となる。
【００６６】
そこで、解析部５２により得られた第２反射光の強度成分Ｒ(x,y,n)および位相成分φ(x,y,n)は、以下のようにして表示部５３により画像表示される。すなわち、表示部５３により、解析部５２により求められた第２反射光の位相成分φ(x,y,n)が色相Ｈに反映され、解析部５２により求められた第２反射光の強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓまたは明度Ｖに反映されて、ＨＳＶ色空間で第２反射光が画像表示される。
【００６７】
ＨＳＶ色空間における色相Ｈは、色の種類を０〜３６０の範囲で示すパラメータである。したがって、例えば、位相成分φ(x,y,n)が−π〜＋πの範囲の値を取り得るとすると、色相Ｈは「３６０×{φ＋π(x,y,n)}／２π」なる式で表される。
【００６８】
ＨＳＶ色空間における彩度Ｓは、色の鮮やかさを０〜１の範囲で示すパラメータである。また、ＨＳＶ色空間における明度Ｖは、色の明るさを０〜１の範囲で示すパラメータである。したがって、例えば、最大値が１になるように規格化された強度成分Ｒ(x,y,n)が用いられて、彩度Ｓまたは明度Ｖは、その規格化された強度成分Ｒ(x,y,n)として表され、或いは、「{１＋Ｒ(x,y,n)}／２」なる式で表される。
【００６９】
強度成分Ｒ(x,y,n)が大きいほど彩度Ｓまたは明度Ｖが大きい値になるように両者間の対応が設定される。強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖのうち一方のパラメータのみにより表される場合、他方のパラメータは固定値（例えば値１）に設定される。
【００７０】
このように、表示部５３において、位相成分φ(x,y,n)が色相Ｈにより表され、強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓまたは明度Ｖにより表されて、ＨＳＶ色空間で第２反射光が画像表示されることにより、位相成分φ(x,y,n)および強度成分Ｒ(x,y,n)が共通の画像に表される。これにより、強度成分Ｒ(x,y,n)が大きい位置（すなわち、光λ１の反射率が大きい位置）では、彩度Ｓまたは明度Ｖが大きいので、色相Ｈの表示が強くなり、それ故、表示部５３に表示された画像を見る人間にとってノイズが気にならなくなる。一方、強度成分Ｒ(x,y,n)が小さい位置（すなわち、光λ１の反射率が小さい位置）では、彩度Ｓまたは明度Ｖが小さいので、色相Ｈの表示が弱くなり、それ故、表示部５３に表示された画像を見る人間にとって、位相成分φ(x,y,n)の変化量が大きい位置（すなわち、観察対処物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化量が大きい位置）の確認が容易となる。
【００７１】
表示部５３による画像表示の具体例は以下のとおりである。強度成分Ｒ(x,y,n)が明度Ｖのみに反映される場合、ＨＳＶ色空間は位相成分φ(x,y,n)および強度成分Ｒ(x,y,n)により下記（８）式により表現される。強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓのみに反映される場合、ＨＳＶ色空間は位相成分φ(x,y,n)および強度成分Ｒ(x,y,n)により下記（９）式により表現される。また、強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖの双方に反映される場合、ＨＳＶ色空間は位相成分φ(x,y,n)および強度成分Ｒ(x,y,n)により下記（１０）式により表現される。
【００７２】
【数８】
2010048621.tif 000010
【００７３】
【数９】
2010048621.tif 000011
【００７４】
【数１０】
2010048621.tif 000012
【００７５】
なお、比較例として、強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖの何れにも反映されず、彩度Ｓおよび明度Ｖの双方が固定値１である場合、ＨＳＶ色空間は、位相成分φ(x,y,n)および強度成分Ｒ(x,y,n)のうち位相成分φ(x,y,n)のみにより下記（１１）式により表現される。
【００７６】
【数１１】
2010048621.tif 000013
【００７７】
図１６は、強度成分Ｒ(x,y,n)が明度Ｖのみに反映される場合（（８）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。図１７は、強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓのみに反映される場合（（９）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。図１８は、強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖの双方に反映される場合（（１０）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。また、図１９は、強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖの何れにも反映されない比較例の場合（（１１）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。これらの図は、本来は擬似カラー表示であるものをグレイスケールで表示したものである。
【００７８】
図２０は、図１８に示される画像（本来の擬似カラー表示画像）をＲ，Ｇ，Ｂの各成分に分解して示す図である。また、図２１は、図１９に示される画像（本来の擬似カラー表示）をＲ，Ｇ，Ｂの各成分に分解して示す図である。図２０および図２１それぞれにおいて、（ａ）はＲ成分の画像をグレイスケールで表示し、（ｂ）はＧ成分の画像をグレイスケールで表示し、また、（ｃ）はＢ成分の画像をグレイスケールで表示する。
【００７９】
比較例の画像表示（図１９，図２１）では、強度成分Ｒ(x,y,n)が小さい位置（すなわち、光λ１の反射率が小さい位置）も位相成分φ(x,y,n)が擬似カラー表示されるので、ノイズが多くなって、表示部５３に表示された画像を見る人間にとって、位相成分φ(x,y,n)の変化量が大きい位置（すなわち、観察対処物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化量が大きい位置）の確認が困難となっている。
【００８０】
これに対して、本実施形態による画像表示（図１６〜図１８、図２０）では、強度成分Ｒ(x,y,n)が大きい位置（すなわち、光λ１の反射率が大きい位置）では、彩度Ｓおよび明度Ｖが大きいので、色相Ｈの表示が強くなり、表示部５３に表示された画像を見る人間にとってノイズが気にならない。一方、強度成分Ｒ(x,y,n)が小さい位置（すなわち、光λ１の反射率が小さい位置）では、彩度Ｓまたは明度Ｖが小さいので、色相Ｈの表示が弱くなり、表示部５３に表示された画像を見る人間にとって、位相成分φ(x,y,n)の変化量が大きい位置（すなわち、観察対処物９のスライス面における反射体のｚ方向の位置変化量が大きい位置）の確認が容易となる。
【００８１】
以上のように、本実施形態に係る観察装置１または本実施形態に係る観察方法によれば、細胞等の観察対象物９の詳細な情報が得られ効果的に表示されて確認が容易である。これにより、細胞内の活性のイメージングが可能となって、細胞研究，創薬および再生医療などへの応用が期待される。
【００８２】
また、解析部５２により、上記と同様にして、観察対象物９の複数のスライス面それぞれについて、第２反射光の位相成分φ(x,y,n)の一定時間当りの変化量が求められ、ひいては、反射体のｚ方向の位置変化の様子が各位置(x,y)について得られるのが好適である。この場合、ピエゾアクチュエータ７１だけでなくステージ８１も用いられて、図６または図８に示されるように光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝がステップ的に調整された上で、その各ステップにおいて図１４に示されるように位相シフト量が時間的に変化するようにして複数組の強度成分Ｒ(x,y,n)および位相成分φ(x,y,n)が獲得されるようにすればよい。このようにすることにより、観察対象物９のトモグラフィ観察が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本実施形態に係る観察装置１の構成図である。
【図２】撮像部５１または受光部５１に到達する光の強度と光路長差との関係を示す図である。
【図３】観察対象物９の構成例を示す図である。
【図４】ピエゾアクチュエータ７１およびステージ８１による光路長差調整動作について説明する図である。
【図５】本実施形態に係る観察装置１の第１動作態様を説明するフローチャートである。
【図６】本実施形態に係る観察装置１の第１動作態様における間隔ｘ２，間隔ｙ２および光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。
【図７】本実施形態に係る観察装置１の第２動作態様を説明するフローチャートである。
【図８】本実施形態に係る観察装置１の第２動作態様における間隔ｘ２，間隔ｙ２および光路長差｛(ｙ１＋ｙ２)−(ｘ１＋ｘ２)｝それぞれの時間的変化を示す図である。
【図９】干渉光像の正弦成分Ａ(x,y)を示す図である。
【図１０】干渉光像の余弦成分Ｂ(x,y)を示す図である。
【図１１】干渉光像の強度成分Ｒ(x,y)を示す図である。
【図１２】干渉光像の位相成分φ(x,y)を示す図である。
【図１３】ＨｅＬａ細胞の器官と反射体との関係を示す図である。
【図１４】複数組の正弦成分Ａ(x,y)および余弦成分Ｂ(x,y) を時系列で取得する場合の位相シフト量の時間的変化の様子を示す図である。
【図１５】複数枚の位相成分φ(x,y,n) の取得の様子を示す図である。
【図１６】強度成分Ｒ(x,y,n)が明度Ｖのみに反映される場合（（８）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。
【図１７】強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓのみに反映される場合（（９）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。
【図１８】強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖの双方に反映される場合（（１０）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。
【図１９】強度成分Ｒ(x,y,n)が彩度Ｓおよび明度Ｖの何れにも反映されない比較例の場合（（１１）式の場合）における表示部５３による画像表示の例を示す図である。
【図２０】図１８に示される画像（本来の擬似カラー表示画像）をＲ，Ｇ，Ｂの各成分に分解して示す図である。
【図２１】図１９に示される画像（本来の擬似カラー表示画像）をＲ，Ｇ，Ｂの各成分に分解して示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１…観察装置、９…観察対象物、１１，１２…光源、２１〜２５…レンズ、３１…アパーチャ、４１…光合波器、４２…光分波器、４３…ハーフミラー、５１…撮像部、５２…解析部、５３…表示部、６１…受光部、６２…変位検出部、７１…ピエゾアクチュエータ、７２…駆動部、７３…ミラー、８１…ステージ、８２…駆動部、９０…制御部。
【図１】
2010048621.tif 000014
【図２】
2010048621.tif 000015
【図３】
2010048621.tif 000016
【図４】
2010048621.tif 000017
【図５】
2010048621.tif 000018
【図６】
2010048621.tif 000019
【図７】
2010048621.tif 000020
【図８】
2010048621.tif 000021
【図１３】
2010048621.tif 000022
【図１４】
2010048621.tif 000023
【図９】
2010048621.tif 000024
【図１０】
2010048621.tif 000025
【図１１】
2010048621.tif 000026
【図１２】
2010048621.tif 000027
【図１５】
2010048621.tif 000028
【図１６】
2010048621.tif 000029
【図１７】
2010048621.tif 000030
【図１８】
2010048621.tif 000031
【図１９】
2010048621.tif 000032
【図２０】
2010048621.tif 000033
【図２１】
2010048621.tif 000034