(57)【要約】【課題】操作性や安定性を損なわずに、焦準のために必要とする広いストローク範囲を確保することができる顕微鏡を提供する。【解決手段】対物レンズ２０の光軸ＯＰ１の方向にステージ５を可動させる第１の焦準機構３０Ａと、対物レンズ２０の光軸ＯＰ１の方向にステージ５と第１の焦準機構３０Ａとを同時に可動させる第２の焦準機構３０Ｂとを備えることで、ステージ５側に２段の焦準機構３０Ａ，３０Ｂを集中させたコンパクトで操作性のよい構造で、必要とする広いストローク範囲Ｌ０４を確保できるようにした。【選択図】        図４
2010091892.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置するステージと、対物レンズと、該対物レンズを前記ステージに対向させて保持する保持機構とを備える顕微鏡であって、
前記対物レンズの光軸方向に前記ステージを可動させる第１の焦準機構と、
前記対物レンズの光軸方向に前記ステージと前記第１の焦準機構とを同時に可動させる第２の焦準機構と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構とのいずれか一方は、
前記対物レンズの光軸方向に対する位置が調整自在に設けられて、前記ステージの可動下限位置を規定する下限ストッパを備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構との少なくとも一方が、微動機構と粗動機構とを有し、かつ、前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構とで少なくとも３段階の可動分解能を有することを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構とのいずれか一方は、電動モータによる駆動源を有し、
該駆動源の駆動を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料を載置するステージと、対物レンズと、該対物レンズをステージに対向させて保持する保持機構とを備える顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、正立顕微鏡では、試料を載せたステージを対物レンズの光軸方向に動かし、対物レンズの焦点位置に試料観察面を合わせて観察するようにしている。様々な種類の試料の観察には、その試料の厚さに応じてステージを昇降移動させて焦準合わせを行う必要がある。しかしながら、焦準機構のストローク範囲は、顕微鏡の大きさやガイドの長さによって決まってしまう。このため、分厚い試料を観察するためには、顕微鏡のアーム部に嵩上げアダプタを取り付けることでストローク範囲を確保している。このような対応策では、薄い試料と厚い試料とを交互に観察する際には、その都度、アダプタの交換が必要となり、検鏡者にとって負担が大きく煩わしいものである。
【０００３】
このような不具合を回避するため、対物レンズを保持するアーム部と、ステージを保持するベース部とのそれぞれに、対物レンズの光軸方向に上下する焦準機構を設けることで、ストローク範囲を広くできるようにした顕微鏡が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１０６５６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、対物レンズを保持するアーム部は、投光部や鏡筒部や接眼部などが取り付けられた比較的大型の重量物である。特許文献１に示される焦準機構の場合、このような重量物からなるアーム部を焦準機構によって上下動させるので、操作性が悪いものとなる。また、厚い試料を観察するに従ってアーム部を上昇させることとなるので、顕微鏡と観察物とを合計した重心位置が上方に移動し、安定性が悪くなってしまう。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、操作性や安定性を損なわずに、焦準のために必要とする広いストローク範囲を確保することができる顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる顕微鏡は、試料を載置するステージと、対物レンズと、該対物レンズを前記ステージに対向させて保持する保持機構とを備える顕微鏡であって、前記対物レンズの光軸方向に前記ステージを可動させる第１の焦準機構と、前記対物レンズの光軸方向に前記ステージと前記第１の焦準機構とを同時に可動させる第２の焦準機構と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構とのいずれか一方は、前記対物レンズの光軸方向に対する位置が調整自在に設けられて、前記ステージの可動下限位置を規定する下限ストッパを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構との少なくとも一方が、微動機構と粗動機構とを有し、かつ、前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構とで少なくとも３段階の可動分解能を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記発明において、前記第１の焦準機構と前記第２の焦準機構との少なくとも一方は、電動モータによる駆動源を有し、該駆動源の駆動を制御する制御部を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、対物レンズの光軸方向にステージを可動させる第１の焦準機構と、対物レンズの光軸方向にステージと第１の焦準機構とを同時に可動させる第２の焦準機構と、を備えるので、ステージ側に２段の焦準機構を集中させたコンパクトで操作性のよい構造で、必要とする広いストローク範囲を確保することができるとともに、保持機構側は可動せずステージ側が可動するだけであるので、重心位置を低い位置に維持して安定性を確保することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための最良の形態にかかる顕微鏡について図面を参照して説明する。図面中、同一部分には同一符号を付して示す。本発明は、実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態１の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図であり、図２は、第１の焦準機構によりステージを下降させた状態の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図であり、図３は、第２の焦準機構によりステージを下降させた状態の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図であり、図４は、第１および第２の焦準機構によりステージを下降させた状態の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図であり、図５は、第１の焦準機構の操作軸部分で断面して示す要部の水平断面図であり、図６は、第２の焦準機構の操作軸部分で断面して示す要部の水平断面図である。
【００１４】
本実施の形態１の顕微鏡１は、ベース部２と支持部３とアーム部４とを一体的に備える。ベース部２は、顕微鏡１を所定の設置箇所に載置する部分である。支持部３は、ベース部２の奥側において上方に立設されてベース部２とアーム部４との間に必要なスペースを確保する部分である。アーム部４は、支持部３の上端から手前前方側にベース部２に対向するように延在された部分で、対物レンズ２０を含む光学系部材を搭載することで保持機構として機能する。また、アーム部４の上部には接眼レンズ２２が設けられた鏡筒２３が配置される。
【００１５】
ここで、ベース部２は、詳細を後述する焦準機構３０を備え、この焦準機構３０を介してステージ５が設けられている。このステージ５は、観察対象となる試料６を載置させるためのものであり、焦準機構３０によって対物レンズ２０の光軸方向（Ｚ軸方向）に移動調整可能で、かつ、図１に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。このようにステージ５を移動させることで、試料６の見たい部分に焦準することが可能である。なお、ステージ５は、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向に移動可能な図示しない２枚の板状部材と、この板状部材と焦準機構３０とを連結して固定する図示しない板状の基材からなる。Ｘ軸方向に移動する板状部材は、Ｙ軸方向に動かす板状部材の上に取付けられていてＹ軸の移動とともに連動して移動される。また、ステージ５には、２枚の板状部材をそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動させるための操作ハンドルが取付けられている。
【００１６】
アーム部４は、内部に落射照明系１０を備え、外部の手前側下部に複数の対物レンズ２０（図示例では、１個の対物レンズ）を取付け可能なレボルバ２１を備え、外部の手前側上部に接眼レンズ２２を有する鏡筒２３を備える。目的とする対物レンズ２０は、ステージ５に対向して光軸ＯＰ１の方向がＺ軸方向となるようにレボルバ２１によって配置される。
【００１７】
落射照明系１０は、光源１１と集光レンズ１２と開口絞り１３と視野絞り１４と投光レンズ１５とハーフミラー１６とからなる。光源１１と、開口絞り１３と対物レンズ２０の後ろ側焦点は共役関係となるように配置されている。また、ハーフミラー１６の反射面は、光源１１から発せられた光束の光軸ＯＰ２と対物レンズ２０の光軸ＯＰ１との交点上にくるように配置されている。
【００１８】
そこで、光源１１から発せられた光束は、光軸ＯＰ２上に配置された集光レンズ１２、開口絞り１３、視野絞り１４および投光レンズ１５を通ってハーフミラー１６へ導かれる。そして、ハーフミラー１６の反射面で光軸ＯＰ１の方向に反射された光束は、対物レンズ２０に入射し、焦準位置にある試料６の表面に照射される。試料６の表面で反射された光束は、再び光軸ＯＰ１に従い、対物レンズ２０を通ってハーフミラー１６に至り、このハーフミラー１６の反射面を透過して鏡筒２３側に導かれ、接眼レンズ２２で結像される。この接眼レンズ２２の結像点がアイポイント２４であり、検鏡者が観察を行う際の目の位置に相当する。また、接眼レンズ２２による目視観察用以外にも、カメラによる撮像を行う構成の場合、このアイポイント２４またはアイポイント２４に共役な位置が、図示しないが鏡筒２３内の結像レンズによる結像位置となり、ここにＣＣＤなどの撮像素子の受光面が配置される。
【００１９】
つづいて、ベース部２に配置されてステージ５をＺ軸方向に上下可動させる焦準機構３０について、主に図１，図５および図６を参照して説明する。本実施の形態１の焦準機構３０は、Ｚ軸方向（対物レンズ２０の光軸ＯＰ１の方向）にステージ５を可動させる第１の焦準機構３０Ａと、Ｚ軸方向にステージ５と第１の焦準機構３０Ａとを同時に可動させる第２の焦準機構３０Ｂとからなる。
【００２０】
まず、２つの焦準台３１，３２が設けられている。焦準台３１は、所定の高さを有してＸ軸方向に見て下向きの略コ字状に形成されたもので、上面がステージ５の下面に固定されている。また、焦準台３２は、焦準台３１と同等の所定の高さを有して、焦準台３１よりも一回り大きな上下開放の矩形枠形状に形成されている。
【００２１】
ここで、焦準台３２は、ベース部２に対して、このベース部２の両側板２ａの内側に設けられた複数のＺ軸方向のガイド３３によってＺ軸方向に沿って上下動可能に設けられている。また、焦準台３１は、焦準台３２に対して入れ子の関係をなすように配設され、この焦準台３２のＸ軸方向の両側内壁に設けられた複数のＺ軸方向のガイド３４によってＺ軸方向に沿って上下動可能に設けられている。
【００２２】
また、焦準台３２の前部側には焦準台３１の前面付近を通ってＸ軸方向に貫通する操作軸３５が軸孔３６ａにより回転自在に設けられている。同様に、焦準台３２の中央部付近には焦準台３１の前面壁と背面壁との間を通ることで焦準台３１に干渉せずにＸ軸方向に貫通する操作軸３７が軸孔３６ｂにより回転自在に設けられている。これらの操作軸３５，３７は、ベース部２の両側板２ａ外に延出されており、両側板２ａに形成されたＺ軸方向の長孔２ｂ，２ｃによりそれぞれＺ軸方向に上下動可能とされている。操作軸３５，３７の両側板２ａ外の両端には、これら操作軸３５，３７を回転操作するためのハンドル３８，３９を有する。
【００２３】
さらに、操作軸３５は、軸方向の中心付近に固定されたギア４０を備えている。また、焦準台３１は、その前面壁のギア４０に対応する位置にＺ軸方向に沿わせた所定長さのラック４１を一体に備えている。このラック４１は、ギア４２を介してギア４０と常時噛み合っている。よって、操作軸３５の回転に伴いギア４０が回転すると、ギア４２を介して、ラック４１に伝わり直線運動に変換されて、ラック４１が固定された焦準台３１が焦準台３２に対してＺ軸方向に上下動する。焦準台３１がＺ軸方向に上下動すると、焦準台３１に固定されたステージ５もＺ軸方向に上下動する。例えば、ギア４０が図１中の矢印ａ１の方向（反時計方向）に回転すると、ギア４２が矢印ａ２の方向（時計方向）に回転し、ラック４１と焦準台３１はＺ軸方向に下降する。
【００２４】
本実施の形態１の第１の焦準機構３０Ａは、上述したような焦準台３１とガイド３４と操作軸３５とギア４０，４２とラック４１とからなり、その可動ストローク範囲は、例えばＬ０１とされている。
【００２５】
一方、操作軸３７は、軸方向の中心付近に固定されたギア４３を備えている。また、ベース部２上にはギア４３に対応する位置に支持部材４４が立設され、支持部材４４の前面側にはＺ軸方向に沿わせた所定長さのラック４５が一体に設けられている。このラック４５は、ギア４３と常時噛み合うように配置されている。よって、操作軸３７の回転に伴いギア４３が回転すると、ラック４５に伝わり直線運動に変換される。この際、ラック４５がベース部２に位置固定されているため、ギア４３は回転しながらＺ軸方向に自走して上下動する。これに伴い、操作軸３７が取付けられている焦準台３２がベース部２に対してＺ軸方向に上下動する。焦準台３２がＺ軸方向に上下動すると、焦準台３２に取付けられた操作軸３５を有する第１の焦準機構３０Ａとステージ５とが一体となって同時にＺ軸方向に上下動する。例えば、ギア４３が図１中の矢印ａ３の方向（反時計方向）に回転すると、ギア４３とともに焦準台３２，３１が同時にＺ軸方向に下降する。
【００２６】
本実施の形態１の第２の焦準機構３０Ｂは、上述したような焦準台３２とガイド３３と操作軸３７とギア４３とラック４５とからなり、その可動ストローク範囲は、例えばＬ０３とされている。この可動ストローク範囲Ｌ０３は、第１の焦準機構３０Ａの可動ストローク範囲Ｌ０１と同一に設定されている（Ｌ０３＝Ｌ０１）。また、ギア４３は、ギア４０，４２と同一のギア径とされている。
【００２７】
このような構成において、図１は、ステージ５が最上点にあり、図４は、ステージ５が最下点にあり、図２および図３は、ステージ５が中間点にある状態を示している。そこで、図１に示す状態から、図４に示すようにステージ５上に載置され得る最大高さＬ０４の試料６に焦準を合わせるための焦準機構３０の作用について説明する。
【００２８】
まず、第１の焦準機構３０Ａの作用について説明する。ステージ５をＺ軸方向に下降させるために、ハンドル３８を図１中の矢印ａ１の方向に回転操作する。これにより、操作軸３５上のギア４０が回転し、この回転がギア４２を介してラック４１に伝達され、回転運動が直線運動に変換される。よって、ラック４１がＺ軸方向に下降し、ラック４１が固定されている焦準台３１とステージ５とが一体でガイド３４に沿ってＺ軸方向に下降する。この場合の第１の焦準機構３０Ａ単独による最大の可動ストローク範囲は、Ｌ０１となる。ハンドル３８の回転をギア４０からギア４２に伝達し回転方向を変えてからラック４１に伝達させることで、一般的な顕微鏡の焦準操作と同じ回転方向の操作となる（ハンドル３９側の回転操作によるステージ５の下降・上昇と同一方向の回転操作となる）。
【００２９】
つぎに、第２の焦準機構３０Ｂの作用について説明する。第１の焦準機構３０Ａの場合と同様に、ステージ５をＺ軸方向に下降させるために、ハンドル３９を図１中の矢印ａ３の方向（ａ１の方向と同じ）に回転操作する。これにより、操作軸３７上のギア４３が回転し、この回転がラック４５に直接伝達され、回転運動が直線運動に変換される。ラック４５がベース部２に固定されているため、ギア４３は回転しながら自らＺ軸方向に上下動する。これに伴い、操作軸３７が取付けられている焦準台３２がベース部２に対してガイド３３に従いＺ軸方向に下降する。焦準台３２がＺ軸方向に下降すると、焦準台３２に取付けられた操作軸３５を有する第１の焦準機構３０Ａとステージ５とが一体となって同時にＺ軸方向に下降する。この場合の第２の焦準機構３０Ｂ単独による最大の可動ストローク範囲は、Ｌ０３となる。
【００３０】
ここで、第１の焦準機構３０Ａは、第２の焦準機構３０Ｂに搭載された状態にあり、それぞれのハンドル３８，３９の操作により、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂをともに作用させることで、焦準機構３０としては、最大の可動ストローク範囲として、Ｌ０４＝Ｌ０１＋Ｌ０３＝２×Ｌ０１を実現することができる。すなわち、図４に示す状態にステージ５を最大限下降させて、最大高さＬ０４の試料６に焦準を合わせることが可能となる。この結果、本実施の形態の顕微鏡１は、ハンドル３８，３９を適宜操作することで、図１と図４とに示す最大の可動ストローク範囲Ｌ０４内で、任意の位置にステージ５を位置付けることができる。
【００３１】
ところで、本実施の形態１の第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂは、それぞれ微動機構と粗動機構とを有する。ここでは、図７を参照して、第１の焦準機構３０Ａ側の微動機構と粗動機構について説明する。この構造は、一般的な顕微鏡で使われている焦準機構である。図７は、第１の焦準機構３０Ａ側の微動機構と粗動機構を示す概略水平断面図である。操作軸３５は、操作軸３５ａ，３５ｂの二重構造とされ、外側の操作軸３５ａにギア４０が固定されている。また、この外側の操作軸３５ａの両端に粗動用ハンドル３８ａが連結され、粗動用ハンドル３８ａの回転操作によって操作軸３５ａが回転する。このときのギア４０によってラック４１が粗動移動するように設定されている。すなわち、外側の操作軸３５ａと粗動用ハンドル３８ａとにより粗動機構４６が構成されている。
【００３２】
一方、外側の操作軸３５ａに対して回転自在な内側の操作軸３５ｂの両端には微動用ハンドル３８ｂが連結されているとともに、内側の操作軸３５ｂの一端と外側の操作軸３５ａの一端との間が減速ギア群４７によって連結されている。これにより、微動用ハンドル３８ｂの回転操作によって操作軸３５ｂを回転させると、減速ギア群４７を介して操作軸３５ａが回転する。このときのギア４０の減速回転によってラック４１が微動移動するように設定されている。すなわち、内側の操作軸３５ｂと微動用ハンドル３８ｂと減速ギア群４７とにより微動機構４８が構成されている。
【００３３】
これにより、粗動用ハンドル３８ａを操作するか微動用ハンドル３８ｂを操作するかによって、第１の焦準機構３０Ａによってステージ５を粗動送りさせたり、微動送りさせたりすることができる。第２の焦準機構３０Ｂ側の微動機構と粗動機構も同様であり、ハンドル３９には、粗動用ハンドル３９ａと微動用ハンドル３９ｂとを有する。
【００３４】
このように、本実施の形態１によれば、ステージ５側に２段の第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂを集中させたＺ軸方向にコンパクトな構造で、必要とする広い可動ストローク範囲を確保することができる。通常、ラック＆ピニオンギア構造において必要な可動ストローク範囲を得るためには、ラックの可動範囲を考慮すると、ラックの長さの２倍以上のスペースが必要となる。例えば、第１の焦準機構３０Ａの場合であれば、可動ストローク範囲は、Ｌ０１であるが、スペース的には、ラック４１の移動量を考慮すると、さらにＬ０２（＝Ｌ０１）分が必要となる。したがって、仮に第１の焦準機構３０Ａだけで必要な可動ストローク範囲Ｌ０４を確保しようとすると、最低２×Ｌ０４分のスペースが必要となる。逆にいえば、Ｌ０４＋Ｌ０２が限られたスペースであるとすると、最大で（Ｌ０４＋Ｌ０２）／２分の可動ストローク範囲しか確保できなくなってしまう。
【００３５】
この点、本実施の形態１では、ギア４３が自走式のラック＆ピニオンギア構造とされた第２の焦準機構３０Ｂに対して、第１の焦準機構３０Ａを入れ子の関係をなすように組み合わせた２段構造としているので、第１の焦準機構３０Ａにおけるラック４１の可動スペースを第２の焦準機構３０Ｂの焦準台３２によって吸収することができる。これにより、図１に示すように、Ｌ０１＋Ｌ０２＋Ｌ０３＝３×Ｌ０１程度のスペースにおいて、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂを、図４に示すように約１／３となるＬ０１程度の長さに縮めることができる。よって、所望の最大可動ストローク範囲Ｌ０４としては、Ｌ０４＝Ｌ０１＋Ｌ０３＝２×Ｌ０１を確保することができる。
【００３６】
また、焦準合わせ時には、アーム部４側は可動せずステージ５側が可動するだけであるので、重心位置を低い位置に維持して安定性を確保することができる。特に、試料６の厚さが増すに従い焦準機構３０が下がるため、顕微鏡１全体の重心位置が下がり、より安定することになる。さらには、検鏡者の近くとなるベース部２付近でハンドル３８，３９の操作が可能となり、操作性が向上する。また、操作軸３５，３７は、ともに焦準台３２に取付けられ、相対位置関係が常に変わらないので、図示しないベルトなどで操作軸３５，３７間を連結することにより、操作部を一箇所にまとめて連動させることも可能となる。
【００３７】
（実施の形態２）
図８は、本実施の形態２の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。本実施の形態２の第２の焦準機構３０Ｂは、ステージ５の可動下限位置を規定するための下限ストッパ５１を備える。この下限ストッパ５１は、例えば焦準台３２のＺ軸方向の可動下限位置を規定するためにガイド３３の所定位置にビスなどによって位置調整自在に設けられたものである。よって、下限ストッパ５１の位置、すなわちステージ５の可動下限位置は自由に変更設定可能である。
【００３８】
このような構成において、例えば、段差のある試料６の高い面と低い面とを交互に観察する場合について説明する。まず、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂをともに図１に示したような最上点に位置させる。この状態が、実質的に、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂの可動上限位置となる。ついで、試料６の段差面のうちで高い面を対物レンズ２０の光軸ＯＰ１上に位置させて第１の焦準機構３０Ａ（下限ストッパ５１を有しない方）で焦準を合わせる。この後、ステージ５をＸ，Ｙ軸方向に適宜移動させて試料６の段差面のうちで低い面を対物レンズ２０の光軸ＯＰ１上に位置させる。この位置で、第２の焦準機構３０Ｂで焦準を合わせ、焦準を合わせた位置で下限ストッパ５１が焦準台３２の下端に位置するように調整してガイド３３に固定する。
【００３９】
このような下限ストッパ５１の位置調整を行うことで、後は、試料６の段差面を観察する際には、第１の焦準機構３０Ａは最上点に位置させたままとし、第２の焦準機構３０Ｂのみを操作してステージ５をＺ軸方向に上下動させる。例えば、試料６の段差面のうちで高い面を観察する時は、第２の焦準機構３０Ｂを操作して可動上限位置となる最上点に位置させる。これにより、高い面に焦準が合った観察が可能となる。ついで、試料６の段差面のうちで低い面を観察する時は、第２の焦準機構３０Ｂを操作して焦準台３２が下限ストッパ５１に接する可動下限位置まで下降させる。この際、第１の焦準機構３０Ａの位置は動かさない。これにより、低い面に焦準が合った観察が可能となる。
【００４０】
このように、本実施の形態２によれば、下限ストッパ５１を設けることで、高さの異なる２面を交互に観察するような場合には、簡単に２つの面のオフセット値が得られることとなり、焦準合わせを素早く行うことができ、操作性が向上する。なお、実際の観察に際しては、第１の焦準機構３０Ａの微動ハンドル３８ｂを操作して焦準の微調整を行うようにしてもよい。また、下限ストッパ５１は、第２の焦準機構３０Ｂ側に代えて、第１の焦準機構３０Ａ側に設けるようにしてもよい。
【００４１】
（実施の形態３）
図９は、本実施の形態３の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。本実施の形態３では、実施の形態１の構成において、ギア４２，４３はそのままとし、ギア４０を小径のギア５２に代えることで、ラック４１に対するギア比と、ラック４５に対するギア比とを異ならせたものである。ハンドル３８，３９の径は同じままとする。
【００４２】
このような構成によれば、ラック４１に対するギア比と、ラック４５に対するギア比とが異なるため、ハンドル３８とハンドル３９が同じ回転操作量であっても、ステージ５のＺ軸方向の上下量が、第１の焦準機構３０Ａによる場合と第２の焦準機構３０Ｂによる場合とで差が出る。ここで、第１の焦準機構３０Ａと第２の焦準機構３０Ｂは、それぞれ粗動機構と微動機構とを有するため、ステージ５のＺ軸方向の上下動に関して、４段階の可動分解能を持つことになる。
【００４３】
一般的な手動操作の焦準機構では、粗動と微動との２つのパターンの可動分解能しかない。すなわち、焦準合わせを行う場合、粗動で大まかに合わせた後、微動で微調整して合焦させる。しかしながら、対物レンズ２０の種類や、開口絞り１３の絞り量によって、焦点深度が変化する。その際に、粗動ではハンドルの操作量に対する可動分解能が大きすぎ、微動ではハンドルの操作量に対する可動分解能が少なすぎる場合がある。しかし、検鏡者の操作性や、機構の妥当性を考えると、実施の形態１で説明したように、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂには、それぞれ１つずつの粗動機構と微動機構とするのが妥当である。
【００４４】
この際、本実施の形態３のように、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂでギア比を変えることで、ハンドル３８，３９の回転操作量に対するステージ５のＺ軸方向の上下量をそれぞれ個別に設定することができる。これにより、ステージ５のＺ軸方向の上下動に関して、４段階の可動分解能を持たせることができ、観察時の条件に合わせて最適な可動分解能を選択することができ、最適な焦準合わせを行うことができる。
【００４５】
なお、本実施の形態３では、ギア４０に代えて小径のギア５２を用いるようにしたが、他のギア４２または４３側を小径のギアに代えるようにしてもよい。また、大径のギアに代えることで、ギア比を変更するようにしてもよい。さらには、第１，第２の焦準機構３０Ａ，３０Ｂの一方が粗動機構と微動機構とを持たない場合には、３段階の可動分解能としてもよい。
【００４６】
（実施の形態４）
図１０は、本実施の形態４の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。本実施の形態４では、実施の形態１の構成において、第２の焦準機構３０Ｂを電動駆動式としたものである。すなわち、焦準台３２に支持されてギア４３を回転駆動するための電動モータ５３を駆動源として備え、この電動モータ５３の駆動を制御部５４により制御するようにしたものである。
【００４７】
このような構成において、第１の焦準機構３０Ａ側の作用は実施の形態１の場合と同様である。一方、本実施の形態４の第２の焦準機構３０Ｂを用いて焦準させる場合には、制御部５４によって電動モータ５３を回転駆動させる。電動モータ５３が回転駆動されると、そのモータギア（図示せず）に噛み合っているギア４３が回転する。ギア４３が回転すると、ラック４５に伝わり直線運動に変換される。この際、ラック４５は固定されているため、ギア４３は電動モータ５３とともに回転しながらＺ軸方向に上下動する。これに伴い、操作軸３７が取付けられている焦準台３２がベース部２に対してＺ軸方向に上下動する。焦準台３２がＺ軸方向に上下動すると、焦準台３２に取付けられた操作軸３５を有する第１の焦準機構３０Ａとステージ５とが一体となって同時にＺ軸方向に上下動する。
【００４８】
よって、本実施の形態４においては、手動で焦準機構３０を作用させてステージ５を上下動させる場合には、第１の焦準機構３０Ａのハンドル３８を回転操作することで行う。一方、電動で焦準機構３０を作用させてステージ５を上下動させる場合には、電動モータ５３により第２の焦準機構３０Ｂを駆動させる。例えば、オートフォーカスで焦準合わせを行う場合には、焦点ずれ信号を制御部５４にフィードバックさせて、この制御部５４により電動モータ５３の駆動を制御することで、電動の第２の焦準機構３０Ｂを用いたオートフォーカス制御が可能となる。このように、本実施の形態４によれば、手動焦準と電動焦準とを適宜併用して焦準合わせを行うことができる。なお、電動モータは、ギア４０側に対して設け、第１の焦準機構３０Ａ側を電動式としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態１の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【図２】第１の焦準機構によりステージを下降させた状態の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【図３】第２の焦準機構によりステージを下降させた状態の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【図４】第１および第２の焦準機構によりステージを下降させた状態の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【図５】第１の焦準機構の操作軸部分で断面して示す要部の水平断面図である。
【図６】第２の焦準機構の操作軸部分で断面して示す要部の水平断面図である。
【図７】第１の焦準機構側の微動機構と粗動機構を示す概略水平断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【図９】本発明の実施の形態３の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態４の顕微鏡の構成を一部断面して示す概略側面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  顕微鏡
４  アーム部
５  ステージ
６  試料
２０  対物レンズ
３０Ａ  第１の焦準機構
３０Ｂ  第２の焦準機構
４６  粗動機構
４８  微動機構
５１  下限ストッパ
５３  電動モータ
５４  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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