(57)【要約】【課題】ダイヤモンド砥粒を強固に固定し、側面に固定されたダイヤモンド砥粒の高さを均一にした薄刃ダイヤモンド砥石を提供する。【解決手段】金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材１４に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系のペースト１８とダイヤモンド砥粒２０とを水もしくは水以外の溶剤と混ぜて泥状に混合したものを含浸し焼成する。側面には、材質の異なるペースト１９と粒度の異なるダイヤモンド砥粒２２を配置することができる。平坦な圧力板２４をポーラス材１４の表面に平行に支持して、ダイヤモンド砥粒２２をポーラス材１４の表面に向かって押しつけながらペースト１８と１９を固化する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系の粉末とダイヤモンド砥粒とを有機溶剤と混ぜてペースト状にしたものを含浸し、加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、
前記粉末とダイヤモンド砥粒とを含浸した複数枚の板状のポーラス材を積層して加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、
前記粉末とダイヤモンド砥粒とを前記ポーラス材に含浸させた後、前記有機溶剤を揮発させ、平坦な圧力板を用いて前記ポーラス材の表面を加圧して所定の厚みに薄くするようにして加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、
ポーラス材に始めにセラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸し、その後、前記ポーラス板の表面から金属系の粉末と粒径が始めに含浸したものと同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒を含浸させることを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、
セラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸した板状のポーラス材を間に挟んで、金属系の粉末と粒径が前記ダイヤモンド砥粒と同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒を含浸させた板状のポーラス材を積層して、加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【請求項６】
金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系の粉末とダイヤモンド砥粒とが含浸され、加圧焼成されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【請求項７】
請求項６に記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、
前記粉末とダイヤモンド砥粒とを含浸した複数枚の板状のポーラス材が積層されて加圧焼成されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【請求項８】
請求項６または７に記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、
前記ポーラス材の表面が加圧圧縮されていることを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、
金属系のポーラス材にセラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸した上に、前記ポーラス板の表面に金属系の粉末と粒径が同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒が含浸されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【請求項１０】
請求項６乃至８のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、
セラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸した板状のポーラス材を間に挟んで、金属系の粉末と粒径が前記ダイヤモンド砥粒と同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒を含浸させた板状のポーラス材を積層して、加圧焼成されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【請求項１１】
金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系の粉末とダイヤモンド砥粒とを含浸して、加圧焼成したポーラス材で芯材を包囲したことを特徴とするバンドソーもしくはワイヤソー。
【請求項１２】
前記ポーラス材は、繊維を集合した板状、あるいはシート状のものからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【請求項１３】
前記ポーラス材は、繊維を集合した板状、あるいはシート状のものからなることを特徴とする請求項６乃至１０のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石。
【請求項１４】
前記ポーラス材は、繊維を集合した板状、あるいはシート状のものからなることを特徴とする請求項１０に記載のバンドソーもしくはワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤモンド砥粒を利用した各種対象物の切削に使用される薄刃ダイヤモンド砥石とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤモンド砥粒を利用した切断加工装置が、半導体デバイス等の様々な材料の加工工程に広く利用されている。その性能向上のために、例えば、薄刃ダイヤモンド砥石をより堅牢なものにする技術が開発された（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−２３３７７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
既知の従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。
切断加工の際の切れ味は、薄刃ダイヤモンド砥石に使用されているダイヤモンド砥粒の状態により左右される。切断加工にダイヤモンド砥粒の一部が目詰りすると、切れ味が悪くなる。また、ダイヤモンド砥粒は薄刃ダイヤモンド砥石側面も焼成されるが、ダイヤモンド砥粒の粒径にばらつきがあるので、切断された被削材にチッピングと呼ばれる大きな欠けが問題があった。
上記の課題を解決するために、本発明は次のような薄刃ダイヤモンド砥石とその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
以下の構成はそれぞれ上記の課題を解決するための手段である。
〈構成１〉
金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系の粉末とダイヤモンド砥粒とを有機溶剤と混ぜてペースト状にしたものを含浸し、加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【０００５】
〈構成２〉
構成１に記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、上記粉末とダイヤモンド砥粒とを含浸した複数枚の板状のポーラス材を積層して加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【０００６】
〈構成３〉
構成１または２に記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、上記粉末とダイヤモンド砥粒とを上記ポーラス材に含浸させた後、上記有機溶剤を揮発させ、平坦な圧力板を用いて上記ポーラス材の表面を加圧して所定の厚みに薄くするようにして加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【０００７】
〈構成４〉
構成１乃至３のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、ポーラス材に始めにセラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸し、その後、上記ポーラス板の表面から金属系の粉末と粒径が始めに含浸したものと同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒を含浸させることを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【０００８】
〈構成５〉
構成１乃至３のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法において、セラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸した板状のポーラス材を間に挟んで、金属系の粉末と粒径が上記ダイヤモンド砥粒と同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒を含浸させた板状のポーラス材を積層して、加圧焼成したことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【０００９】
〈構成６〉
金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系の粉末とダイヤモンド砥粒とが含浸され、加圧焼成されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【００１０】
〈構成７〉
構成６に記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、上記粉末とダイヤモンド砥粒とを含浸した複数枚の板状のポーラス材が積層されて加圧焼成されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【００１１】
〈構成８〉
構成６または７に記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、上記ポーラス材の表面が加圧圧縮されていることを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【００１２】
〈構成９〉
構成６乃至８のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、金属系のポーラス材にセラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸した上に、上記ポーラス板の表面に金属系の粉末と粒径が同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒が含浸されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【００１３】
〈構成１０〉
構成６乃至８のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石において、セラミック系の粉末とダイヤモンド砥粒を含浸した板状のポーラス材を間に挟んで、金属系の粉末と粒径が上記ダイヤモンド砥粒と同グレードもしくは小さいグレードのダイヤモンド砥粒を含浸させた板状のポーラス材を積層して、加圧焼成されたことを特徴とする薄刃ダイヤモンド砥石。
【００１４】
〈構成１１〉
金属、黒鉛、セラミックス、もしくはレジン製のポーラス材に、金属系、セラミックス系、もしくはレジン系の粉末とダイヤモンド砥粒とを含浸して、加圧焼成したテープで芯材を包囲したことを特徴とするワイヤソー。
【００１５】
〈構成１２〉
前記ポーラス材は、繊維を集合した板状、あるいはシート状のものからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石の製造方法。
【００１６】
〈構成１３〉
前記ポーラス材は、繊維を集合した板状、あるいはシート状のものからなることを特徴とする請求項６乃至１０のいずれかに記載の薄刃ダイヤモンド砥石。
【００１７】
〈構成１４〉
前記ポーラス材は、繊維を集合した板状、あるいはシート状のものからなることを特徴とする請求項１０に記載のバンドソーもしくはワイヤソー。
【発明の効果】
【００１８】
（１）ポーラス材にペーストとダイヤモンド砥粒とを含浸して焼成するので、ダイヤモンド砥粒を強固に固定することができ、切れ味の安定した薄刃ダイヤモンド砥石を得ることができる。
（２）ダイヤモンド砥粒の粒度やペースト用粉末の種類を変えたものを積層すると、要求に応じた特性の薄刃ダイヤモンド砥石が得られる。
（３）平坦な圧力板を用いて前記ポーラス材の表面を加圧して所定の厚みに薄くすると、薄刃ダイヤモンド砥石の側面を平坦化でき、対象物の切削面の品質を向上させることができる。
（４）芯部にセラミック系のペーストと粒径の大きなダイヤモンド砥粒を配置すれば、刃の切れ味を保持できる。また、側面を金属系のペーストで強化すれば、粒径の小さいダイヤモンド砥粒を使用して対象物の切断面の品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は本発明の薄刃ダイヤモンド砥石の斜視図と切断状況の概略構成説明図である。
図の（ａ）に示すように、薄刃ダイヤモンド砥石１０は、例えば、回転軸１１を中心に回転する円盤状のカッターとして使用される。なお、後で説明するように、本発明の薄刃ダイヤモンド砥石は、ベルト状のバンドソーやワイヤーソーにも応用できる。図１（ａ）の薄刃ダイヤモンド砥石１０は、（ｂ）に示すように、対象物１２を所定の厚みで切断するために利用される。このとき、矢印Ａに示したエッジは対象物１２を切り進むために機能する。また、矢印Ｂに示した側面の部分は、切断された対象物１２を擦るので、対象物の切削面の品質に影響を与える。この切削面の品質を向上させる実施例も後で紹介する。
【００２０】
図２は、本発明の薄刃ダイヤモンド砥石１０の製造方法の説明図である。
本発明の薄刃ダイヤモンド砥石１０を製造するには、例えば、容器１３に、焼成用の粉末１８をアルコール等の揮発性のある有機溶剤で溶いて泥状にしたペースト１８を収容し、所定量のダイヤモンド砥粒２０を混入させる。粉末１８には、金属系、セラミックス系、あるいはレジン系のものを使用する。薄刃ダイヤモンド砥石１０用のセラミックス系の粉末１８としては、例えばガラス粉末が知られている。ダイヤモンド砥粒２０は、ペースト１８中で均一に分散させる。次に、容器１３中のペースト１８に、ポーラス材１４を沈めて減圧処理する。この実施例ではペースト１８とダイヤモンド砥粒とをアルコール等の揮発性のある有機溶剤と混合したものを使用するが、その混合割合は、含浸処理を試行して実験的に最適値を選択するとよい。
【００２１】
ポーラス材１４には、金属、黒鉛、セラミックス、あるいはレジン製の材料を使用する。ポーラス材の発泡率は３０％〜９５％が好ましい。ポーラス材の泡径は２０μｍ〜５００μｍが好ましい。発泡率が高く泡径が大きすぎると強度が不十分になる。また、発泡率が低く泡径が小さすぎるとダイヤモンド砥粒を保持する十分な量のペーストを含浸できない。このほかに、ポーラス材として、カーボンファイバやガラスファイバ等の繊維を集合した板状、あるいはシート状のものも使用することができる。この場合、ファイバにより薄刃ダイヤモンド砥石全体として高い強度の向上が期待できる。また、発泡させた板と比べると柔軟性があり、例えば、加圧したときの板厚調整が容易になる。
【００２２】
ペースト１８にポーラス材１４を沈めて減圧処理すると、ポーラス材１４の内部の気泡から空気を抜くことができる。その後雰囲気を大気圧に戻すと、ポーラス材１４の気泡中にペースト１８とダイヤモンド砥粒２０とが含浸される。その後、例えば、摂氏８００前後に加熱してプレスする。こうして粉末１８を焼成してダイヤモンド砥粒２０をポーラス材１４に固定する。更に、加熱焼成しながら加圧することで、ポーラス材１４の気泡を潰し、所望の厚みに調整する。
【００２３】
以上の方法により、図１に示したような薄刃ダイヤモンド砥石１０が完成する。図２に示すポーラス材１４の矢印Ａに示すエッジの部分と矢印Ｂに示す側面には、ダイヤモンド砥粒２０の一部があらわれる。これによって図１（ｂ）に示したような対象物１２の切断ができる。ダイヤモンド砥粒２０の一部も脱落するが、順次新しいエッジが現れるので切れ味を一定に保つことができる。一方、矢印Ｂに示した側面は、切断された対象物１２の切断面を整える機能がある。この側面に先を突き出したダイヤモンド砥粒２０が不規則に配列されていると、対象物１２の切削面が荒れる。
【００２４】
本発明では、ポーラス材１４にペースト１８とダイヤモンド砥粒２０とを含浸してから焼成をする時に、例えば、２枚の平坦な圧力板を使ってポーラス材１４を挟む。圧力板は、ポーラス材１４の側面を平坦に押しつぶす。これによりＢの側面に突き出したダイヤモンド砥粒２０の先がほぼ一定の高さに揃い、対象物１２の切削面の品質を高めることができる。次に、図を用いてその製造方法を具体的に説明する。
【００２５】
図３の（ａ）と（ｂ）は、それぞれ薄刃ダイヤモンド砥石１０製造時の主要部縦断面図である。
（ａ）に示すポーラス材１４には、予めペースト１８とダイヤモンド砥粒２０とが含浸されている。図のポーラス材１４の断面を詳細に見ると、円Ｃに示すように、気泡２６の中に、ペースト１８とダイヤモンド砥粒２０とが収容された状態になっている。気泡２６のサイズは、ダイヤモンド砥粒２０を数百から数千個程度収納できることが好ましい。
【００２６】
図の（ｂ）に示すように、２枚の平坦な圧力板２４で挟むようにして、ペーストを加熱焼成処理すると、側面に突き出したダイヤモンド砥粒２０の先がほぼ一定の高さに揃う。平坦な圧力板をポーラス材の表面に平行に支持して、ダイヤモンド砥粒２０をポーラス材の表面に向かって所定の厚みにするように圧力制御して、粉末とダイヤモンドを焼成するとよい。
【００２７】
この例では、薄刃ダイヤモンド砥石の機能をより高めるために、ポーラス材１４の内部（Ａのエッジ用部分）と側面部分とで、それぞれ異なる粉末とダイヤモンド砥粒を使用する。ポーラス材１４の内部に使用する粉末１８は、セラミック系の例えばガラス粉末である。ダイヤモンド砥粒２０は平均粒径が例えば２０μｍのものである。これに対して、ポーラス材１４の両側面には、金属系のペースト１９とダイヤモンド砥粒２２とを混合したものを塗布する。そして、再度真空含浸をする。ダイヤモンド砥粒２２は、ダイヤモンド砥粒２０より平均粒径の小さい粒径５μｍ程度のものとする。
【００２８】
これにより図の（ｂ）に示すように、ポーラス材１４の両側面がメタル系の粉末１９とダイヤモンド砥粒２２の混合物で覆われる。この状態でポーラス材１４の両側に圧力板２４を配置し、ダイヤモンド砥粒２２の高さを揃えるようにして、圧力を加えながら約摂氏８００度で加熱して焼成処理を行う。これにより図の（ｂ）に示したような断面構造の薄刃ダイヤモンド砥石１０が完成する。その薄刃ダイヤモンド砥石１０の拡大断面を円Ｄに示す。この円Ｄに示すように、薄刃ダイヤモンド砥石１０の側面にはダイヤモンド砥粒２２が突き出している。
【００２９】
ダイヤモンド砥粒２２の直下の気泡２７には、ペースト１９とダイヤモンド砥粒２２とが含浸されている。こうした構造により、薄刃ダイヤモンド砥石１０の側面はペースト１９により補強され表面に配列されたダイヤモンド砥粒２２の高さが揃っているので対象物の切断面を高品質に保持することができる。また、金属系粉末の焼成物はセラミック系粉末の焼成物に比べて破壊強度が高いので、砥石の破損防止を図ることができる。さらに、ダイヤモンド砥粒２２はダイヤモンド砥粒２０より平均粒径が小さいので、切削対象物の切断面のエッジ欠けが少なく、切断した半導体チップ等の品質を向上させることができる。
【００３０】
図４は、図３と同様の機能を持つ薄刃ダイヤモンド砥石１０を、別の方法で製造する説明図である。（ａ）はその主要部断面図で、（ｂ）はその分解斜視図である。
図４（ａ）に示すように、ポーラス材１４にはダイヤモンド砥粒２０とペースト１８とが含浸されている。また、ポーラス材１６にはダイヤモンド砥粒２２とペースト１９とが含浸されている。ダイヤモンド砥粒の粒度やペーストの種類を各ポーラス材で任意に選択できる。この状態で図４（ｂ）に示すような１枚のポーラス材１４と２枚のポーラス材１６とを重ね合わせた後、図３で示したようにして、圧力板２４で両側を挟んで焼成する。これによって図３で説明した薄刃ダイヤモンド砥石１０と同様の機能を持つものを製造することができる。ポーラス材１４もポーラス材１６も多数の気泡を持ち内部にボンド材が含浸されているので相互に強固に接着することができ、薄刃ダイヤモンド砥石としての充分な強度を保持できる。
【００３１】
図５は本発明の薄刃ダイヤモンド砥石の変形例説明図である。
図の（ｂ）に示すワイヤソー３０は、例えば、線状(エンドレス)で、図示しないプーリ等に掛け渡されて、対象物を切断するために使用される。例えば、図の（ａ）に示すように、ステンレス製の芯材３２とシート状のポーラス材３４を使用する。ポーラス材３４には、成型性の良いテープ状のメタル系の材料を使用する。このポーラス材３４にダイヤモンド砥粒２０とメタル系の粉末を使用したペースト１８とを含浸して焼成する。こうして出来上がったテープ状のシートを既知のテープフォ−マを使用して，芯材３２を包囲するようにチュービングする。出来上がったワイヤソー３０は、全体として柔軟性があり、しかも、ポーラス材３４にダイヤモンド砥粒２０を固定しているので、上記の実施例と同様に充分な強度を保持できる。なお、芯材３２の外周に、メタル系のポーラス材３４をチュービングした後、ダイヤモンド砥粒２０とメタル系の粉末を使用したペースト１８とを含浸し、ダイスを用いて縮径してから焼成すると、特性のよいワイヤソーを効率的に製造できる。また、扁平な芯材を使用すると、バンドソーが製造できる。
【００３２】
なお、上記図１等に示した例は円板状のものであったが、回転式の切断刃には、外周刃のものと内周刃のものとがある。いずれでも構わない。また、積層方式のものでは、２枚以上、任意の枚数の任意の厚みのポーラス板を積層することができる。そして、これらは、ダイヤモンド砥粒とペースト状にした粉末を含浸した後に積層して一気に焼成することができるので、熱処理工程を一括できる効果がある。
【実施例１】
【００３３】
ポーラス板（厚み0.5mm  10cmmの円盤）SUS316L相当品を使用する。ダイヤモンド砥粒（平均粒径；20μｍ）とガラス粉末（Al2O3,SiO2系ガラス）を均一に混合して、アルコールでペースト状にした。この泥状の混合物をポーラス盤に真空含浸した。摂氏700度の温度に加熱して粉末を焼成し、ポーラス盤の両面をプレス装置で加圧して、100μｍの厚みの円盤に仕上げた。従来の市販されているメタル系の薄刃ダイヤモンド砥石と切断試験で比較すると、ビトリ砥石特有の切れ味が良く、切断スピードが速いことが実証できた。
【実施例２】
【００３４】
ポーラス板（厚み0.5mm  10cmmの円盤）SUS316L相当品を用意する。ダイヤモンド砥粒（平均粒径；20μｍ）とメタル粉末（Cu,Sn）を均一に混合して、アルコールでペースト状にした。このペースト状の混合物をポーラス盤に真空含浸した。摂氏700度の温度に加熱して粉末を焼成し、ポーラス盤の両面をプレス装置で加圧して、100μｍの厚みの円盤に仕上げた。従来の市販されているメタル系の薄刃ダイヤモンド砥石と切断試験で比較すると寿命が長く耐摩耗性が向上していることが実証された。
【実施例３】
【００３５】
ポーラス板（厚み0.2mm  10cmmの円盤）SUS316L相当品3枚を用意する。ダイヤモンド砥粒（平均粒径；20μｍ）とガラス粉末（Al2O3,SiO2系ガラス）を均一に混合して、アルコールでペースト状にした。このペースト状の混合物を１枚のポーラス盤に真空含浸した。一方、ダイヤモンド砥粒（平均粒径；3μｍ）とメタル粉末（Cu,Sn）を均一に混合して、アルコールで泥状にした。この泥状の混合物を残り２枚のポーラス盤に真空含浸した。粉末としてガラス粉末を使用した１枚のポーラス盤を、残り２枚のポーラス盤で挟んで、摂氏700度の温度に加熱して粉末を溶融し、ポーラス盤の両面をプレス装置で加圧して、100μｍの厚みの円盤に仕上げた。中心にペーストとしてガラスを使用した層があるので、実施例１と同様にカッティングスピードが速い。しかも、比較的脆い中心層をペーストとしてメタルを使用した層で挟んで保護した構成にしているので、全体として強度が高く、砥石の破損が無かった。さらに、両側面は、実施例と同様に、粒度の小さいダイヤモンド砥粒が均一な高さで分布し強固に固定されているので、全体が均一に磨耗するので被削材のチッピングが極めて少ないという効果も実証された。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の薄刃ダイヤモンド砥石の概略構成説明図である。
【図２】本発明の薄刃ダイヤモンド砥石１０の製造方法の説明図である。
【図３】（ａ）と（ｂ）は、それぞれ薄刃ダイヤモンド砥石１０製造時の主要部縦断面図である。
【図４】図３と同様の機能を持つ薄刃ダイヤモンド砥石１０を、別の方法で製造する説明図である。
【図５】本発明の薄刃ダイヤモンド砥石の変形例説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  薄刃ダイヤモンド砥石
１１  回転軸
１２  対象物
１３  容器
１４  ポーラス材
１６  ポーラス材
１８  ペースト
１９  ペースト
２０  ダイヤモンド砥粒
２２  ダイヤモンド砥粒
２４  圧力板
２６  気泡
３０  ワイヤソー
３２  芯材
３４  ポーラス材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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