(57)【要約】【課題】駆動装置の駆動力を向上させることが可能な技術を提供する。【解決手段】駆動装置は、自由端ＦＨと固定部に接続された固定端ＫＨとを有する薄板状の弾性部材１１と、弾性部材１１の所定面において形成された駆動素子１３と、駆動素子１３に通電させる通電手段とを備え、通電手段は、駆動素子１３から固定端ＫＨに至る電路１５を有し、電路１５は、弾性部材１１を構成する面のうち、所定面とは異なる他の面に形成される。【選択図】図４
2010048092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自由端と固定部に接続された固定端とを有する薄板状の弾性部材と、
前記弾性部材の所定面において形成された駆動素子と、
前記駆動素子に通電させる通電手段と、
を備え、
前記通電手段は、前記駆動素子から前記固定端に至る電路を有し、
前記電路は、前記弾性部材を構成する面のうち、前記所定面とは異なる他の面に形成される駆動装置。
【請求項２】
前記駆動素子は、前記固定端から前記自由端にわたって形成されている請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記電路は、前記自由端において前記駆動素子と電気的に接続されている請求項１または請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、半導体であり、
前記電路は、前記半導体に不純物をドーピングして形成される請求項１から請求項３のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項５】
前記駆動素子は、熱エネルギーの供給を受けて変形し、
前記熱エネルギーの供給が、前記通電手段を介した前記駆動素子への通電によってなされ、
前記駆動素子の変形に応じた変位が、前記弾性部材の前記自由端において発生する請求項１から請求項４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記駆動素子は、形状記憶合金である請求項１から請求項５のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記形状記憶合金の抵抗値を検出する抵抗値検出手段と、
前記通電手段による前記駆動素子への供給電力を制御する制御手段と、
をさらに備え、
前記制御手段は、前記抵抗値に応じて前記供給電力を調整する請求項６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記変位を検出する変位検出手段と、
前記通電手段による前記駆動素子への供給電力を制御する制御手段と、
をさらに備え、
前記制御手段は、前記変位検出手段によって検出された変位に応じて前記供給電力を調整する請求項５に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記駆動素子は、
前記通電手段による通電によって熱エネルギーを発するヒーター部と、
前記ヒーター部から前記熱エネルギーの供給を受けて変形するメタル層と、
を有し、
前記メタル層の変形に応じた変位が、前記弾性部材の前記自由端において発生する請求項１から請求項４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１０】
被駆動体としてのレンズ、
をさらに備え、
前記自由端において発生する変位は、前記レンズに伝達される請求項５または請求項９に記載の駆動装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の駆動装置を備える撮像装置。
【請求項１２】
それぞれが自由端と、固定部に接続された固定端とを有する単位駆動機構を複数備え、
前記単位駆動機構は、
基材となる薄板状の弾性部材と、
前記弾性部材の所定面において形成された駆動素子と、
前記駆動素子に通電する通電手段と、
を含み、
前記通電手段は、前記駆動素子から前記固定端に至る電路を有し、
前記電路は、前記弾性部材を構成する面のうち、前記所定面とは異なる他の面に形成される駆動装置。
【請求項１３】
複数の前記単位駆動機構における各駆動素子は、電気的に直列に接続される請求項１２に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通電により動作する駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロカメラユニット（Micro Camera Unit：ＭＣＵ）を搭載することによって、撮影機能が付加された小型の電子機器（例えば携帯電話）が急速に普及している。これに伴い、ＭＣＵ向けのＡＦ機構またはズーム機構に用いられる駆動装置の小型化が進んでいる。
【０００３】
駆動装置の小型化を実現するために、半導体の微細加工技術を駆使して作製されたＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)の駆動装置が存在する。
【０００４】
例えば、特許文献１には、片持ち梁状に形成された板材の上面に形状記憶合金を成膜し、当該形状記憶合金に通電させて、板材の自由端を変位させる駆動装置が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１２６１１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の駆動装置では、形状記憶合金への通電経路が板材の上面に確保されているので、板材の上面に形状記憶合金を効率的に配置して、駆動装置の駆動力を向上させることが困難となる。
【０００７】
そこで、本発明は、駆動装置の駆動力を向上させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、駆動装置であって、自由端と固定部に接続された固定端とを有する薄板状の弾性部材と、前記弾性部材の所定面において形成された駆動素子と、前記駆動素子に通電させる通電手段とを備え、前記通電手段は、前記駆動素子から前記固定端に至る電路を有し、前記電路は、前記弾性部材を構成する面のうち、前記所定面とは異なる他の面に形成される。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る駆動装置において、前記駆動素子は、前記固定端から前記自由端にわたって形成されている。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る駆動装置において、前記電路は、前記自由端において前記駆動素子と電気的に接続されている。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記弾性部材は、半導体であり、前記電路は、前記半導体に不純物をドーピングして形成される。
【００１２】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記駆動素子は、熱エネルギーの供給を受けて変形し、前記熱エネルギーの供給が、前記通電手段を介した前記駆動素子への通電によってなされ、前記駆動素子の変形に応じた変位が、前記弾性部材の前記自由端において発生する。
【００１３】
また、請求項６の発明は、請求項１から請求項５のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記駆動素子は、形状記憶合金である。
【００１４】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る駆動装置において、前記形状記憶合金の抵抗値を検出する抵抗値検出手段と、前記通電手段による前記駆動素子への供給電力を制御する制御手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記抵抗値に応じて前記供給電力を調整する。
【００１５】
また、請求項８の発明は、請求項５の発明に係る駆動装置において、前記変位を検出する変位検出手段と、前記通電手段による前記駆動素子への供給電力を制御する制御手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記変位検出手段によって検出された変位に応じて前記供給電力を調整する。
【００１６】
また、請求項９の発明は、請求項１から請求項４のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記駆動素子は、前記通電手段による通電によって熱エネルギーを発するヒーター部と、前記ヒーター部から前記熱エネルギーの供給を受けて変形するメタル層とを有し、前記メタル層の変形に応じた変位が、前記弾性部材の前記自由端において発生する。
【００１７】
また、請求項１０の発明は、請求項５または請求項９の発明に係る駆動装置において、被駆動体としてのレンズをさらに備え、前記自由端において発生する変位は、前記レンズに伝達される。
【００１８】
また、請求項１１の発明は、撮像装置であって、請求項１０の発明に係る駆動装置を備える。
【００１９】
また、請求項１２の発明は、駆動装置であって、それぞれが自由端と、固定部に接続された固定端とを有する単位駆動機構を複数備え、前記単位駆動機構は、基材となる薄板状の弾性部材と、前記弾性部材の所定面において形成された駆動素子と、前記駆動素子に通電する通電手段とを含み、前記通電手段は、前記駆動素子から前記固定端に至る電路を有し、前記電路は、前記弾性部材を構成する面のうち、前記所定面とは異なる他の面に形成される。
【００２０】
また、請求項１３の発明は、請求項１２の発明に係る駆動装置において、複数の前記単位駆動機構における各駆動素子は、電気的に直列に接続される。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１から請求項１３に記載の発明によれば、駆動素子から弾性部材の固定端に至る電路が、弾性部材を構成する面のうち、駆動素子が形成された所定面とは異なる他の面に形成されるので、所定面上に駆動素子を効率的に配置することができ、駆動装置の駆動力を向上させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２３】
＜１．第１実施形態＞
＜１−１．駆動装置について＞
＜１−１−１．構成＞
本実施形態に係る駆動装置１Ａについて説明する。図１は、本実施形態に係る駆動装置１Ａの上面図である。図２は、駆動装置１Ａの下面図である。図３は、図１のIII-IIIにおける駆動部１１２Ａの断面図である。
【００２４】
図１に示されるように、駆動装置１Ａは、シリコン基板１１を基材とし、半導体の微細加工技術を駆使して作製される。
【００２５】
シリコン基板１１は、中央がくり抜かれた固定部１１１と、固定部１１１から梁のように延伸された一組の駆動部１１２Ａ，１１２Ｂとを有している。
【００２６】
一組の駆動部１１２Ａ，１１２Ｂは、いずれも薄板状の弾性部材として構成され、それぞれが単位駆動機構となっている。そして、各駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの一端は、固定部１１１に接続された固定端ＫＨとなり、各駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの他端は、自由端ＦＨとなっている。
【００２７】
このようなシリコン基板１１の上面（一主面）には、駆動部材（「駆動素子」とも称する）１３と電極１２とが設けられている。より詳細には、駆動部１１２Ａ（１１２Ｂ）の上面には、固定端ＫＨに電極１２が形成されている。そして、当該電極１２と接するように、駆動部材１３が固定端ＫＨから自由端ＦＨにかけて設けられ、電極１２と駆動部材１３とは電気的に接続されている。
【００２８】
電極１２は、金属（例えば、金）等の導電性部材を材料として、メッキ、蒸着、スパッタリングまたは薄膜貼付け等の方法を用いて形成される。
【００２９】
駆動部材１３としては、変位素子である形状記憶合金（Status Memory Alloy、以下、「ＳＭＡ」とも略称する）が採用され、ＳＭＡは、蒸着、スパッタリングまたは薄膜貼付け等の方法を用いて駆動部１１２Ａの上面に形成される。
【００３０】
また、図２に示されるように、シリコン基板１１の下面（他主面）には、ボロンまたはリン等の不純物がドーピングされる。これにより、シリコン基板１１内には、シリコンドーピング部１５が形成される。
【００３１】
他主面からの当該ドーピングは、原則として不純物が一主面に達しない程度の深さで行われるが、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨにおいては、不純物が一主面に達するようにドーピングされる。
【００３２】
これにより、シリコンドーピング部１５は、梁の自由端ＦＨにおいて、シリコン基板１１の上面に形成された駆動部材１３と電気的に接続されることになる。例えば、図３に示されるように、一方の駆動部１１２Ａでは、シリコンドーピング部１５は、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨにおいて、駆動部材１３Ａと電気的に接続される。また同様に、他方の駆動部１１２Ｂ（断面図不図示）においても、シリコンドーピング部１５は、駆動部１１２Ｂの自由端ＦＨにおいて、駆動部材１３Ｂと電気的に接続される。
【００３３】
このような構成を有する駆動装置１Ａでは、各駆動部１１２Ａ，１１２Ｂに設けられた各駆動部材１３Ａ，１３Ｂが電気的に直列に接続されることになる。これにより、例えば、一方の駆動部１１２Ａにおける電極１２Ａに電圧が印加されると、電流は、駆動部材１３Ａ、下面のシリコンドーピング部１５および他方の駆動部１１２Ｂの駆動部材１３Ｂを順に介して、電極１２Ｂに流れることになる。
【００３４】
このように、シリコン基板１１の下面に形成されるシリコンドーピング部１５は、駆動部材１３Ａ（１３Ｂ）から固定端ＫＨまでの電流が流れる路（「電路」とも称する）ＤＰとしての役割を果たし、駆動部材１３Ａ，１３Ｂに通電させる通電手段の一部として機能する。
【００３５】
＜１−１−２．動作＞
次に、上述の構成を有する駆動装置１Ａの動作について説明する。
【００３６】
図４は、図１の矢印ＹＰで示される方向からみた場合の駆動前状態（初期状態）における駆動部１１２Ａの側面図であり、図５は、駆動部１１２Ａの上面図である。図６は、駆動状態における駆動部１１２Ａの側面図である。なお、図４〜図６には、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨ側において、駆動部１１２Ａからの力を受ける可動部としての被駆動体６１が描かれている。
【００３７】
図４および図５に示されるように、初期状態において、被駆動体６１は、駆動装置１Ａの各駆動部１１２Ａ，１１２Ｂ（図４および図５では、駆動部１１２Ａ）の自由端ＦＨと接するようにそれぞれ配置される。この初期状態において、駆動装置１Ａが動作されると、各自由端ＦＨと接する被駆動体６１は、＋Ｙ方向に変位する。
【００３８】
このような駆動装置１Ａの動作は、駆動部材１３Ａ，１３Ｂへの通電によって実現される。
【００３９】
具体的には、駆動部材１３Ａ，１３Ｂに採用されているＳＭＡは、所定の抵抗を有しているため、通電されるとジュール熱を発生し加熱される。ＳＭＡは、この通電による自己加熱によって所定の温度に達すると、予め記憶された所定の縮み形状（以下、「記憶状態」とも称する）に復元する性質を有している。
【００４０】
このため、図４に示される駆動前の初期状態において、電極１２Ａから電力が供給され、駆動部材１３Ａに電流が流れると、駆動部材１３Ａには熱エネルギーが供給されることになり、駆動部材１３Ａは収縮変形する。駆動部材１３Ａが収縮すると、当該収縮に応じた曲げ変形（たわみ変形）が駆動部１１２Ａに生じ、駆動部１１２Ａは、湾曲する。これにより、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨには、静止状態における駆動部１１２Ａの一主面に垂直な方向（＋Ｙ方向）の駆動変位が発生する。
【００４１】
このように発生した駆動変位は、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨから被駆動体６１に伝達され、被駆動体６１は、Ｙ方向に移動される（図６参照）。
【００４２】
また、駆動部材１３Ａと同様に、電極１２Ａからの電力供給に応じて駆動部材１３Ｂにも電流が流れると、駆動部材１３Ｂは収縮変形する。これにより、駆動部１１２Ｂに曲げ変形が生じ、駆動部１１２Ｂの自由端ＦＨには、＋Ｙ方向の駆動変位が発生する。
【００４３】
そして、当該駆動変位は、駆動部１１２Ｂの自由端ＦＨから被駆動体６１に伝達され、被駆動体６１は、Ｙ方向に移動される（不図示）。
【００４４】
このように、駆動装置１Ａでは、離隔して配置された駆動部材１３Ａ，１３Ｂが互いに電気的に直列に接続されており、電極１２Ａ，１２Ｂから電力が供給されると駆動部材１３Ａ，１３Ｂは同時に通電されることになる。そして、各駆動部材１３Ａ，１３Ｂは、それぞれ収縮変形し、互いに離隔された各駆動部１１２Ａ，１１２Ｂにおいて被駆動体６１を移動させる駆動変位が発生する。
【００４５】
以上のように、駆動装置１Ａでは、駆動部材１３Ａ（１３Ｂ）への通電手段に含まれる電路ＤＰは、駆動部１１２Ａ（１１２Ｂ）を構成する面のうち、駆動部材１３が設けられる一主面とは異なる他の面（ここでは、駆動部１１２Ａの下面）に形成される。これによれば、一主面上に駆動部材１３Ａを効率的に配置する（例えば、全面にわたって形成する）ことができるので、駆動部１１２Ａの駆動力を向上させることが可能になる。
【００４６】
＜１−２．駆動回路例＞
次に、上述の駆動装置１Ａに接続される駆動回路の構成例を説明する。図７、図８、図９および図１０は、それぞれ駆動回路の一例を示す図である。
【００４７】
図７の駆動回路は、電源３１と、電源３１からの電力を調整するドライバ部３２と、ドライバ部３２の動作を制御する制御部３３とによって構成され、駆動装置１Ａの両電極１２Ａ，１２Ｂがドライバ部３２に接続されている。
【００４８】
ドライバ部３２は、制御部３３からの制御信号を受けて、駆動装置１Ａへの電力供給量を調整する。ドライバ部３２から駆動装置１Ａの電極１２Ａ，１２Ｂに電力が供給されると、駆動部材１３Ａ，１３Ｂが変形し、駆動装置１Ａが動作する。
【００４９】
図８の駆動回路は、図７の駆動回路と同様に、電源３１とドライバ部３２と制御部３３とによって構成されているが、駆動装置１Ａの一方の電極１２Ａがドライバ部３２に接続され、他方の電極１２Ｂが接地されている。
【００５０】
ドライバ部３２から駆動装置１Ａの電極１２Ａに電力が供給されると、駆動部材１３Ａ，１３Ｂが変形し、駆動装置１Ａが動作する。
【００５１】
図９の駆動回路は、図８の駆動回路と比較して、抵抗検出部３４をさらに有している。
【００５２】
抵抗検出部３４は、駆動部材１３Ａ，１３ＢであるＳＭＡの抵抗値を検出する機能を有している。
【００５３】
図９の駆動回路では、通電による発熱によって変化する、ＳＭＡの抵抗値が抵抗検出部３４で検出され、検出された抵抗値が変位情報として制御部３３に入力される。制御部３３は、入力された変位情報に応じて駆動装置１Ａに供給する電力を設定し、ドライバ部３２に伝達する。
【００５４】
このように図９の駆動回路を有する駆動装置１Ａでは、ＳＭＡの抵抗値が順次に検出され、抵抗値の変化に応じて供給電力を調整することが可能であり、駆動部材１３Ａ，１３Ｂの抵抗値によるサーボ制御系が構成される。
【００５５】
図１０の駆動回路は、図８の駆動回路と比較して、変位検出部３５をさらに有している。
【００５６】
変位検出部３５は、駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの変位を検出する機能を有している。
【００５７】
図１０の駆動回路では、駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの自由端ＦＨにおける変位が変位検出部３５で検出され、検出された変位が変位情報として制御部３３に入力される。制御部３３は、入力された変位情報に応じて駆動装置１Ａに供給する電力を設定し、ドライバ部３２に伝達する。
【００５８】
このように図１０の駆動回路を有する駆動装置１Ａでは、駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの変位が順次に検出され、駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの変位の変化に応じて供給電力を調整することが可能であり、駆動部材１３Ａ，１３Ｂの変位によるサーボ制御系が構成される。
【００５９】
＜１−３．適用例＞
次に、上記の駆動装置１Ａの適用例について説明する。
【００６０】
上記駆動装置１Ａは、例えば、撮像装置に備えられるカメラモジュール内のレンズ群を駆動させる駆動機構に採用することができる。図１１は、駆動装置１Ａを用いたカメラモジュール１００の分解斜視図であり、図１２は、カメラモジュール１００の断面図である。
【００６１】
図１１および図１２に示されるように、カメラモジュール１００は、撮像素子（例えば、ＣＣＤ）を有する撮像センサチップ１０１と、撮像素子を保護する撮像センサホルダ１０２と、赤外カットフィルター１０３と、駆動装置１Ａと、第１平行板バネ１０４と、撮影光学系１０５と、第２平行板バネ１０６と、カバー１０７とによって構成されている。被写界からの光（被写体光）は、カバー１０７、撮影光学系１０５のレンズ群ＮＳおよび赤外カットフィルター１０３を順に通過して、撮像センサチップ１０１の撮像素子に到達する。
【００６２】
カメラモジュール１００では、撮影光学系１０５のレンズ群ＮＳが、第１平行板バネ１０４と第２平行板バネ１０６とによって挟持されるとともに、駆動装置１Ａの各駆動部１１２Ａ，１１２Ｂの自由端ＦＨが第１平行板バネ１０４とそれぞれ接触している。
【００６３】
そして、駆動装置１Ａの駆動部１１２Ａ，１１２Ｂで発生する駆動変位は、第１平行板バネ１０４を介して、被駆動体としてのレンズ群ＮＳに伝達され、撮影光学系１０５のレンズ群ＮＳは、光軸ＸＬ方向に移動される。
【００６４】
＜２．第２実施形態＞ 
次に、本発明の第２実施形態について説明する。上記第１実施形態の駆動装置１Ａでは、駆動部材１３Ａ，１３ＢとしてＳＭＡを採用していたが、第２実施形態の駆動装置１Ｂでは、駆動部材５１としてヒーター部５２とメタル層５３とが積層された積層素子が採用される。図１３は、初期状態における駆動装置１Ｂの駆動部１１２Ａの側面図であり、図１４は、駆動部１１２Ａの上面図である。図１５は、駆動状態における駆動装置１Ｂの駆動部１１２Ａの側面図である。
【００６５】
第２実施形態に係る駆動装置１Ｂは、駆動部材５１に積層素子が採用されている点以外は、図１および図２に示す第１実施形態の駆動装置１Ａとほぼ同様の構成を有している。
【００６６】
図１３に示されるように、駆動装置１Ｂにおける駆動部１１２Ａの上面には、固定端ＫＨに電極１２Ａが形成されている。また、当該電極１２Ａと接するように、ヒーター部５２Ａが固定端ＫＨから自由端ＦＨにかけて設けられている。
【００６７】
これにより、ヒーター部５２Ａは、駆動部１１２Ａの固定端ＫＨにおいて、電極１２Ａと電気的に接続されるとともに、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨにおいて、シリコンドーピング部１５とも電気的に接続されている。
【００６８】
ヒーター部５２Ａは、チタン（Ｔｉ）等の薄膜上にプラチナ（Ｐｔ）層が積層された構造を有しており、通電されるとジュール熱を発生する発熱部として機能する。
【００６９】
そして、ヒーター部５２Ａの上には、メタル層５３Ａが形成されている。
【００７０】
メタル層５３Ａは、シリコン基板１１とは熱膨張率の異なる部材、ここでは、加熱されるとシリコンよりも収縮する（縮む）部材（例えば、アルミニウム（Ａｌ）またはニッケル（Ｎｉ））を用いて形成されている。
【００７１】
このような構成を有する駆動装置１Ｂでは、電極１２から電力が供給されると、ヒーター部５２Ａは通電され、発熱する。そして、ヒーター部５２Ａからの熱を受けてメタル層５３Ａは収縮し、駆動部１１２Ａに曲げ変形が発生する（図１５参照）。これにより、駆動部１１２Ａの自由端ＦＨには、静止状態における駆動部１１２Ａの一主面に垂直な方向（＋Ｙ方向）の駆動変位が発生する。
【００７２】
＜３．第３実施形態＞ 
次に、本発明の第３実施形態について説明する。上記第１実施形態の駆動装置１Ａは、２つの駆動部１１２Ａ，１１２Ｂを有していたが、第３実施形態の駆動装置１Ｃは、１つの駆動部１１２Ｃを有している。図１６は、初期状態における駆動装置１Ｃの駆動部１１２Ｃの側面図であり、図１７は、駆動状態における駆動装置１Ｃの駆動部１１２Ｃの側面図である。
【００７３】
第３実施形態に係る駆動装置１Ｃの駆動部１１２Ｃは、図４および図５に示す駆動装置１Ａの駆動部１１２Ａとほぼ同様の構成を有しているが、駆動部１１２Ｃの固定端ＫＨには、一対の電極１２Ａ，１２Ｃが設けられている点で駆動部１１２Ａと異なっている。
【００７４】
具体的には、図１６に示されるように、駆動部１１２Ｃの固定端ＫＨには、上面に電極１２Ａが形成されるとともに、下面に電極１２Ｃが形成されている。電極１２Ａは、駆動部材１３と接して設けられ、電極１２Ａと駆動部材１３とは互いに電気的に接続されている。また、電極１２Ｃは、シリコンドーピング部１５と接して設けられ、当該シリコンドーピング部１５を介して自由端ＦＨで駆動部材１３と電気的に接続されている。
【００７５】
このような構成を有する駆動装置１Ｃでは、電極１２Ａ，１２Ｃから電力が供給されると、駆動部材１３は通電され、発熱する。そして、自己発熱により駆動部材１３は収縮変形し、駆動部１１２Ｃに曲げ変形が発生する（図１７参照）。これにより、駆動部１１２Ｃの自由端ＦＨには、静止状態における駆動部１１２Ｃの一主面に垂直な方向（＋Ｙ方向）の駆動変位が発生する。
【００７６】
＜４．変形例＞  
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記に説明した内容に限定されるものではない。
【００７７】
例えば、上記各実施形態における駆動装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃでは、シリコン基板１１の他主面には、シリコンドーピング部１５が全面に形成されていたが、これに限定されない。図１８は、変形例に係る駆動装置１Ｄの下面図である。
【００７８】
具体的には、図１８に示されるように、駆動装置１Ｄでは、不純物のドーピングがシリコン基板１１の他主面側において、選択的に行われ、他主面の一部が電極１２Ａ，１２Ｂ間の電路となっている。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】第１実施形態に係る駆動装置の上面図である。
【図２】第１実施形態に係る駆動装置の下面図である。
【図３】図１のIII-IIIにおける駆動部の断面図である。
【図４】図１の矢印で示される方向からみた場合の駆動前状態における駆動部の側面図である。
【図５】駆動前の初期状態における駆動装置の側面図である。
【図６】駆動状態における駆動部の側面図である。
【図７】駆動回路の一例を示す図である。
【図８】駆動回路の一例を示す図である。
【図９】駆動回路の一例を示す図である。
【図１０】駆動回路の一例を示す図である。
【図１１】駆動装置を用いたカメラモジュールの分解斜視図である。
【図１２】カメラモジュール１００の断面図である。
【図１３】第２実施形態に係る駆動装置の初期状態における駆動部の側面図である。
【図１４】第２実施形態に係る駆動装置の駆動部の上面図である。
【図１５】第２実施形態に係る駆動状態における駆動部の側面図である。
【図１６】第３実施形態に係る駆動装置の初期状態における駆動部の側面図である。
【図１７】第３実施形態に係る駆動装置の駆動状態における駆動部の側面図である。
【図１８】変形例に係る駆動装置の下面図である。
【符号の説明】
【００８０】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ  駆動装置
１１  シリコン基板
１１１  固定部
１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ  駆動部
１２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ  電極
１３，１３Ａ，１３Ｂ，５１  駆動部材（駆動素子）
１５  シリコンドーピング部（電路）
３１  電源
３２  ドライバ部
３３  制御部
３４  抵抗検出部
３５  変位検出部
５２，５２Ａ  ヒーター部
５３，５３Ａ  メタル層
６１  被駆動体
ＦＨ  自由端
ＫＨ  固定端
ＮＳ  レンズ群
【図１】
2010048092.tif 000003
【図２】
2010048092.tif 000004
【図３】
2010048092.tif 000005
【図４】
2010048092.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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