(57)【要約】【課題】スクリーン製版のパターン内の目詰まりが透明、不透明のいずれであるかに関わらず、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを容易に検出できる外観検査装置を提供する。【解決手段】スクリーン製版１をテーブル１２にセットし、テーブル１２上のスクリーン製版１に対しその一方側に配置した光源２０、２１からテーブル１２上のスクリーン製版１の他方側へ光を透過させ、透過光によるスクリーン製版１の光像を受像部１９で受像し、受像した画像からテーブル上のスクリーン製版の外観を検査する装置であり、前記光源２０、２１とテーブル１２上のスクリーン製版１との間に、第１偏光フィルタ２３を配置し、受像部１９とテーブル１２上のスクリーン製版１との間に、第１偏光フィルタ２３に対し光軸回りに相対回転可能な第２偏光フィルタ２４を配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン製版をテーブルにセットし、テーブル上のスクリーン製版に対しその一方側に配置した光源からテーブル上のスクリーン製版の他方側へ光を透過させ、透過光によるスクリーン製版の光像を受像部で受像し、受像した画像からテーブル上のスクリーン製版の外観を検査する、スクリーン製版の外観検査装置において、
前記光源とテーブル上のスクリーン製版との間に第１の偏光フィルタを配置し、前記受像部とテーブル上のスクリーン製版との間に第２の偏光フィルタを配置したことを特徴とする、スクリーン製版の外観検査装置。
【請求項２】
前記第１及び第２の偏光フィルタは、光軸回りに互いに相対回転可能とされていることを特徴とする、請求項１記載のスクリーン製版の外観検査装置。
【請求項３】
前記光源は、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上からオフセット配置されていることを特徴とする、請求項１または請求項２記載のスクリーン製版の外観検査装置。
【請求項４】
前記光源は、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上に配置される第１光源と、第１光源の周囲にリング状に配置される第２光源とから組み合わされていることを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のスクリーン製版の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン製版の外観検査装置に係り、特にスクリーン製版のパターンの目詰まりを検出できる、スクリーン製版の外観検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図８にスクリーン製版１の製造工程を示す。スクリーン製版１は、一般に以下の工程を経て製造される。
（１）紗張り工程：スクリーンメッシュ（紗）２を適正なテンションで引っ張り、アルミ製の枠３に接着剤等で固定する（図８（Ａ））。スクリーンメッシュ２は、電子部品にはステンレス製メッシュ、ポスター等には化繊製メッシュが用いられる。
（２）前処理工程：枠３にスクリーンメッシュ２が張られた版を清浄な水で洗浄する。
（３）コーティング工程：枠３内のスクリーンメッシュ２の表面裏面に感光乳剤４（感光性樹脂）をむら無く均一に塗布する（図８（Ｂ））。
（４）焼付け工程：感光乳剤４が塗布されたスクリーンメッシュ２上に、パターン原版５（ポジフィルムやガラス乾板のフォトマスク等）を密着させて、露光機で露光し、スクリーンメッシュにパターンを焼き付ける（図８（Ｃ））。
（５）現像・仕上げ工程：パターンが焼き付けられた版を、水に浸けて現像し、未露光部分の感光乳剤を洗浄して除去し（この未露光部分の感光乳剤が除去された後の各孔がパターン孔６となる）、乾燥させる。パターンの状態を再度チェックし、ピンホール埋め、テープ貼り、補強をして仕上げる。これによりスクリーン製版１ができあがる（図８（Ｄ））。
【０００３】
できあがったスクリーン製版１は、検査後、出荷される。図９にスクリーン製版を用いたスクリーン印刷の原理を示す。製版１の上からスキージ７を摺動させて、インク８をスクリーンメッシュ２のパターンの各孔（パターン孔）６に充填し、次に、各孔６からインク８を吐出させて下の基板９に転写することにより、スクリーン印刷が行われる。
【０００４】
スクリーン製版を検査する方法としては、例えば、ピンホールやパターンの欠損を検査する方法が知られている（特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２００５５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記方法では、スクリーン製版のピンホールやパターン内の欠損を発見できるが、パターン内に感光性樹脂等からなる目詰まりがある場合、その目詰まりを発見することは難しい。図１０は、スクリーン製版１の各パターン孔６の一部に目詰まりＡがある状態を示している。なお、各パターン孔６によってパターン６Ａが構成される。従来一般の外観検査装置では、テーブル上にスクリーン製版をセットし、下方の光源（ハロゲンランプ等）から光を当て、スクリーン製版を透過した光によるパターンのシルエットを上方のＣＣＤカメラ等で読み取り、読み取った画像を拡大して目視でパターンの外観を検査している。
【０００７】
ところが、従来一般の外観検査装置は、スクリーン製版のパターン内に目詰まりがある場合（その多くは感光性樹脂である）、特に目詰まりが透明樹脂である場合には、下方からの光を透過してしまうため、目詰まりの有無の判別が難しく、その発見が大変難しかった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、スクリーン製版のパターン内の目詰まりが不透明、透明のいずれであるかに関わらず、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを容易に検出することのできる、スクリーン製版の外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る請求項１記載の外観検査装置は、スクリーン製版をテーブルにセットし、テーブル上のスクリーン製版に対しその一方側に配置した光源からテーブル上のスクリーン製版の他方側へ光を透過させ、透過光によるスクリーン製版の光像を受像部で受像し、受像した画像からテーブル上のスクリーン製版の外観を検査する、スクリーン製版の外観検査装置において、
前記光源とテーブル上のスクリーン製版との間に第１の偏光フィルタを配置し、前記受像部とテーブル上のスクリーン製版との間に第２の偏光フィルタを配置したことを特徴とする。
【００１０】
光源とテーブル上のスクリーン製版との間に配置した第１の偏光フィルタにより、テーブル上のスクリーン製版に入射する光のうち、特定の偏光成分の光、例えば、テーブルやスクリーン製版からの反射光の入射を排除できる。これにより、スクリーン製版の外観を検査する際の、それらの反射光や外乱光等の影響を排除できる。
【００１１】
また、受像部とテーブル上のスクリーン製版との間に配置した第２の偏光フィルタにより、受像部に入射する光のうち、特定の偏光成分の光、例えば、スクリーン製版の目詰まりを透過した拡散光のうちの反射光の入射を排除できる。これにより、スクリーン製版の外観を検査する際の、それらの反射光や外乱光等の影響を排除できる。
【００１２】
スクリーン製版の検査部位のパターン孔に目詰まりとして、例えば透明（半透明を含む）樹脂（以下、透明樹脂という）がある場合、まず、光源から照射された光は、第１の偏光フィルタにより反射光等の特定の偏光成分の光が排除されて、パターン孔内の透明樹脂に入射する。透明樹脂内に入射した光は、透明樹脂内で拡散し、透明樹脂から拡散光が出射する。透明樹脂から出射した拡散光は、第２の偏光フィルタにより、反射光等の特定の偏光成分の光が除去され、受像部に入射する。受像部で得られた透明樹脂の画像は、透明樹脂のないパターン孔の明るい画像に比べ、暗い画像となり、容易に目詰まりを検出できる。なお、透明樹脂のないパターン孔は、パターン孔内に入射した光が拡散されることなく、第２の偏光フィルタを透過し、受像部に入射するので、明るい画像となる。
【００１３】
目詰まりが不透明樹脂の場合、光源からの入射光を不透明樹脂がほとんど透過しないので、目詰まりのない周囲のパターン孔の明るい画像に比べ、暗い画像となり、この場合も、容易に目詰まりを検出できる。
【００１４】
このように、スクリーン製版のパターン内の目詰まりが透明、不透明いずれであっても、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを容易に検出できる。
【００１５】
本発明に係る請求項２記載のスクリーン製版の外観検査装置は、前記第１及び第２の偏光フィルタが、光軸回りに互いに相対回転可能とされていることを特徴とする。
【００１６】
第１の偏光フィルタに対し、第２の偏光フィルタを光軸回りに相対回転させることで、スクリーン製版のパターン内の目詰まりによって拡散する光のうち、反射光の偏光面に第２の偏光フィルタの角度を容易に合せることができる。これにより、受像部に入射する光量を、目詰まりの検出に最適な光量に容易に絞り調整することができる。
【００１７】
本発明に係る請求項３記載のスクリーン製版の外観検査装置は、前記光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上からオフセット配置されていることを特徴とする。
【００１８】
光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上からオフセット配置されているから、同光源から、テーブル上のスクリーン製版の検査部位に向かう光は斜光となり、このとき、検査部位のパターン孔に目詰まりがない場合には、同光源からの斜光がパターン孔をそのまま通過し、検査部位と受像部間の光路を外れて斜めに直進する。このため、受像部で得られる目詰まりのないパターン孔の画像は、光が入射しないから、暗い画像となる。
【００１９】
これに対し、当該パターン孔に透明樹脂が目詰まりしている場合、当該パターン孔への入射光が当該パターン孔内の透明樹脂内で拡散し、拡散光の一部が、第２偏光フィルタを透過して受像部に入射するから、受像部で得られる目詰まりのあるパターン孔の画像は、その周囲の目詰まりのないパターン孔の画像と比較すると、相対的に明るい画像となり、その明暗差によって、スクリーン製版のパターンの目詰まりを容易に検出できる。
【００２０】
本発明に係る請求項４記載のスクリーン製版の外観検査装置は、前記光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上に配置される第１光源と、第１光源の周囲にリング状に配置される第２光源とから組み合わされていることを特徴とする。
【００２１】
前記光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上に配置される第１光源と、第１光源の周囲にリング状に配置される第２光源とから組み合わされることにより、スクリーン製版の外観検査の精度をより向上させることができる。
【００２２】
すなわち、検査部位のパターン孔の目詰まりが透明樹脂であれば、第２光源からの斜光を検査部位のパターン孔に当てて、周囲のパターン孔の画像との明暗差により目詰まりを容易に検出できる。また、検査部位のパターン孔の目詰まりが不透明樹脂であれば、中心に位置する第１光源からの光を検査部位のパターン孔に当てて、周囲のパターン孔の画像との明暗差によりパターン孔の目詰まりを容易に検出できる。そして、同一パターン孔に対し、第１光源による検査と、第２光源による検査を組み合わせることにより、パターン孔の目詰まりが透明、不透明いずれの場合も、目詰まりの検出を確実なものにできる。
【００２３】
さらに、本発明に係る請求項４記載のスクリーン製版の外観検査装置によると、検査部位のパターン孔に対し、中心の第１光源からの光と、リング状の第２光源からの斜光を、同時に当てることにより、検出されるパターン孔の目詰まりが透明樹脂であるか、不透明樹脂であるかの判別が可能である。
【００２４】
すなわち、リング状の第２光源からの斜光のみを検査部位のパターン孔に当てた場合は、スクリーン製版が暗く写り、パターン孔の目詰まりが透明樹脂の場合は、拡散光により、当該部分が明るく写り、容易に検出できる。しかし、不透明樹脂の場合は、周囲と同じ暗さのため、検出できない。そこで、第１光源と第２光源を検査部位のパターン孔に同時に当て、スクリーン製版の全体の明るさを、第２光源のみを当てた場合に検出できる透明樹脂の明るさより暗く、その他の部位よりも明るくなるように光量を調節する。
【００２５】
この時、第１光源では、前述したように、透明樹脂と不透明樹脂のどちらも、スクリーン製版の全体の明るさよりも暗くなり、検出が可能となる。また、透明樹脂は、第２光源の斜光により、スクリーン製版の全体の明るさより明るくなる。このような事から、透明樹脂ではスクリーン製版全体の明るさより輝度が高く、不透明樹脂は輝度が低くなり、検出される不良物質が透明樹脂であるか、不透明樹脂であるかの判別を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明に係るスクリーン製版の外観検査装置によると、簡単な構造・仕組みによって、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを、従来では検出が難しかった透明樹脂を含め、容易に検出することができるという優れた効果を奏する。
【００２７】
これにより、従来行なわれていた出荷先での試し印刷によるスクリーン製版の外観検査の負担や、外観不良によるスクリーン製版の再製作といった問題が解消され、スクリーン製版の製作コストの低減を図れるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明を実施するための第１の実施形態を図１ないし図６を参照して説明する。図１において、符号１はスクリーン製版、符号１０はスクリーン製版の外観検査装置を示している。なお、図８に示す部材と同一部材には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００２９】
スクリーン製版の外観検査装置（以下、「外観検査装置」という）１０は、図１および図２に示すように、床面Ｇ上に支持されるベース１１の上面に、検査対象のスクリーン製版１を載せるテーブル１２が補助フレーム１３を介して載置され、テーブル１２を跨るようにしてベース１１の上面後部に、モニター・操作部ユニット１４が載置されている。テーブル１２は、前後方向に延びるＬＭガイド１５Ａおよび左右方向に延びるＬＭガイド１５Ｂからなるガイド機構１５によって、ベース１１の上面を、前後方向（Ｘ方向）および左右方向（Ｙ方向）に水平移動可能とされている。
【００３０】
モニター・操作部ユニット１４には、前面上部に液晶等のモニター１６および操作パネル１７が設けられるともに、前面下部に支持部１８を介して、左右方向に水平移動可能なＣＣＤカメラ１９（受像部）および顕微鏡２０が装備されている。
【００３１】
ベース１１の上面とテーブル１２との間には、所定の間隔Ｈが形成されている。テーブル１２の下方でベース１１上面の略中央位置には、ＣＣＤカメラ１９とテーブル１２上のスクリーン製版１の検査部位とを結ぶ中心線Ｌ上に位置する第１光源（第１の光源）２１が設置され、同第１光源２１を囲むようにしてその周囲にリング状の第２光源（第２の光源）２２が設置されている。第１光源としては、ハロゲンランプ、キセノンランプ等の可視光源が用いられ、リング状の第２光源としては、環形蛍光灯等の可視光源が用いられる。なお、第１光源２１、第２光源２２の背面には、各光源からの光を反射させない無反射シート（図示せず）が配置されている。
【００３２】
テーブル１２の下面には、第１光源２１とテーブル１２上のスクリーン製版１との間に位置する第１偏光フィルタ２３が取り付けられている。この第１偏光フィルタ２３は、図３に示すように、テーブル１２上のスクリーン製版１に入射する光のうち、特定の偏光成分（反射光、外乱光等）を除去し、それ以外の光を透過させるものである。また、ＣＣＤカメラ１９のレンズ部１９Ａには、第１偏光フィルタ２３と同じ原理により、ＣＣＤカメラ１９に入射する光のうち、特定の偏光成分の光（透明樹脂の拡散光に基づく反射光、外乱光等）を除去し、それ以外の光を透過させる第２偏光フィルタ２４が回転可能に取り付けられている。
【００３３】
なお、図１中、符号２５は、ベース１１を床面Ｇ上に固定および移動可能とするキャスター付きのマウント、符号２６は第２操作部をそれぞれ示している。
【００３４】
次に、以上のように構成された外観検査装置１０を用いて、スクリーン製版１の外観を検査する方法について、以下に説明する。
【００３５】
図４は、第１光源２１を用いて、図１０に示すようなスクリーン製版１のパターン孔６の目詰まりＡを検出する方法を示している。
【００３６】
図１に示すテーブル１２上にスクリーン製版１をセットし、直下の第１光源２１を点灯し、光量を最大にする。第１光源２１から照射された光は、第１偏光フィルタ２３により、反射光（スクリーン製版１の背面、テーブル１２の内側面その他からの反射光）等の特定の偏光成分の光が排除されて、スクリーン製版１のパターン孔６内に入射する。
【００３７】
このとき、各パターン孔６のいずれかに、目詰まり（透明樹脂）Ａがある場合には、図４（Ａ）に示すように、透明樹脂内に入射した光は透明樹脂内で拡散し、拡散光となって透明樹脂から出る。透明樹脂から出た拡散光は、第２偏光フィルタ２４により、反射光（拡散光に基づく反射光）等の特定の偏光成分の光が除去され、ＣＣＤカメラ１９のレンズ１９Ａに入射する。
【００３８】
ＣＣＤカメラ１９で受像された目詰まりＡのあるパターン孔６の画像は、モニター１６により、拡大された画像の形で目視で確認することができ、目詰まりＡのあるパターン孔６の画像は、周囲の目詰まりのないパターン孔６の画像に比べ、暗く見える。目詰まりのないパターン孔６の画像は、図４（Ｂ）に示すように、第１偏光フィルタ２３を透過した光が、透明樹脂で拡散されることなく第２偏光フィルタ２４を透過し、ＣＣＤカメラ１９に入射するので、目詰まりのあるパターン孔６の画像に比べ、明るく見える。これにより、画像の明暗の差によって、容易に目詰まりを検出できる。
【００３９】
第１偏光フィルタ２３に対し、第２偏光フィルタ２４を光軸Ｌ’回りに相対回転させることにより、ＣＣＤカメラ１９へ入射する光量を微調整することができる。具体的には、図５（Ａ）に示すように、第１偏光フィルタ２３の回転方向の基準位置Ｐ０に対し、第２偏光フィルタ２４の回転方向設定位置Ｐ１を合せ、両フィルタの角度を一致させると、第２偏光フィルタ２４の透過光量が最大となり、ＣＣＤカメラ１９で受像した画像が最も明るく見える。これに対し、図５（Ｂ）に示すように、第２偏光フィルタ２４を光軸Ｌ’回りに９０度回転させると、第２偏光フィルタ２４の透過光量が最小となり、ＣＣＤカメラ１９で受像した画像が最も暗く見える。そこで、図５（Ｃ）に示すように、第２偏光フィルタ２４を、９０度の間の、明るさが最適でパターン孔６のシルエットが最も明瞭になる位置Ｐ２に調整し、当該位置に第２偏光フィルタ２４の角度を固定する。角度は基準位置Ｐ０から１５度ないし７５度の間で選択できる。なお、各第１、第２偏光フィルタ２３、２４の各光軸Ｌ’は、ＣＣＤカメラ１９とテーブル１２上のスクリーン製版１の検査部位とを結ぶ中心線Ｌと一致する。
【００４０】
次に、図６を参照して、リング状の第２光源２２を用いて、スクリーン製版１のパターン孔６の目詰まりを検出する方法を、以下に説明する。
【００４１】
図１に示すテーブル１２上にスクリーン製版１をセットし、直下のリング状の第２光源２２を点灯し、光量を最大にする。図６（Ａ）に示すように、第２光源２２からの光はテーブル１２上のスクリーン製版１の検査部位に対し斜めに照射され、パターン孔６に入射する。
【００４２】
このとき、各パターン孔６のいずれかに、目詰まり（透明樹脂）Ａがある場合には、図６（Ａ）に示すように、透明樹脂内に入射した光は透明樹脂内で拡散し、拡散光となって透明樹脂から出る。透明樹脂から出た拡散光は、第２偏光フィルタ２４により、反射光（拡散光に基づく反射光）等の特定の偏光成分の光が除去され、ＣＣＤカメラ１９のレンズ１９Ａに入射する。
【００４３】
このとき第２偏光フィルタ２４は、前記第１光源２１の場合の設定位置Ｐ1を、図５（Ｄ）に示すように、光量が増加して明るく見える位置（例えば、基準位置Ｐ0から１５度回転した位置Ｐ３）に戻して固定する。これにより、ＣＣＤカメラ１９で受像された目詰まり（透明樹脂）のあるパターン孔６の画像は、周囲の目詰まりのないパターン孔６の暗い画像に比べ、相対的に明るく見える。周囲の目詰まりのないパターン孔６は、図６（Ｂ）に示すように、リング状の第２光源２２からの斜光により、ＣＣＤカメラ１９の中心線Ｌを外れて受像されず、暗い画像となる。このように、画像の明暗の差によって、容易に目詰まりを検出できる。
【００４４】
かくして、本発明のスクリーン製版の外観検査装置によれば、第１光源２１、リング状の第２光源２２のいずれかを選択し、第１偏光フィルタ２３、第２偏光フィルタ２４によって、テーブル１２上のスクリーン製版１の検査部位の各パターン孔６に入射する光、スクリーン製版１の検査部位の各パターン孔６を透過し、ＣＣＤカメラ１９に入射する光の各光量をそれぞれ調整することにより、スクリーン製版１の目詰まりを容易に検出することができる。
【００４５】
なお、図７に示すように、リング状の第２光源２２の場合、第１偏光フィルタ２３、第２偏光フィルタ２４がなくても、スクリーン製版１の目詰まり（透明樹脂）を検出可能である。すなわち、図７（Ａ）に示すように、目詰まり（透明樹脂）のあるパターン孔６は、目詰まりへの入射光が明るく光って、明るい画像が得られ、図７（Ｂ）に示すように、目詰まりのないパターン孔６は、斜光がパターン孔６をそのまま通過し、ＣＣＤカメラ１９とテーブル１２上のスクリーン製版１の検査部位とを結ぶ中心線Ｌを外れ、入射しないので、暗い画像が得られる。第１、第２偏光フィルタ２３、２４が要らないので、より構造を簡素化できる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明に係る外観検査装置は、スクリーン製版のパターンの目詰まりを検出できる外観検査装置として、利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】第１の実施形態を示すもので、本発明に係るスクリーン製版の外観検査装置を示す正面図、
【図２】図１に示す外観検査装置の側面図、
【図３】第１偏光フィルタの作用を示す説明図、
【図４】本発明の外観検査装置を用いて、第１光源を使って、スクリーン製版のパターン孔の目詰まりを検査する方法を示す説明図、
【図５】第１偏光フィルタに対し、第２偏光フィルタを相対回転させて、ＣＣＤカメラに入射する光量を微調整する様子を示す説明図、
【図６】本発明の外観検査装置を用いて、リング状の第２光源を使って、スクリーン製版のパターン孔の目詰まりを検査する方法を示す説明図、
【図７】リング状の第２光源を使って、スクリーン製版のパターン孔の目詰まりを検査する別の方法を示す説明図、
【図８】（Ａ）乃至（Ｄ）はスクリーン製版の製造手順を示す説明図、
【図９】スクリーン製版によるスクリーン印刷の原理を示す説明図、
【図１０】スクリーン製版の検査部位におけるパターン孔の拡大図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  スクリーン製版
２  スクリーンメッシュ（紗）
３  枠
４  感光乳剤（感光性樹脂）
５  パターン原版
６  パターン孔
７  スキージ
８  インク
９  基板
１０  外観検査装置
１１  ベース
１２  テーブル
１３  補助フレーム
１４  モニター・操作部ユニット
１５  ガイド機構
１５Ａ，１５Ｂ  ＬＭガイド
１６  モニタ−
１７  操作パネル
１８  支持部材
１９  ＣＣＤカメラ（受像部）
１９Ａ  レンズ部
２０  顕微鏡
２１  第１光源（第１の光源）
２２  リング状の第２光源（第２の光源）
２３  第１偏光フィルタ（第１の偏光フィルタ）
２４  第２偏光フィルタ（第２の偏光フィルタ）
２５  キャスター付きのマウント
２６  第２操作部
Ａ  目詰まり
Ｇ  床面
Ｈ  ベース上面とテーブルとの間の間隔
Ｌ  ＣＣＤカメラと検査部位を結ぶ中心線
Ｌ’  第１、第２偏光フィルタの光軸
Ｐ０  第１偏光フィルタの回転方向基準位置
Ｐ１  第２偏光フィルタの回転方向設定位置
Ｐ２  明るさが最適でパターン孔のシルエットが最も明瞭になる位置
Ｐ３  基準位置から１５度回転した位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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