(57)【要約】【課題】研削能率を高めても工作物の外周面と端面部とのなす角部での加工変質層の形成を抑制することができる研削盤を提供すること。【解決手段】湿式の研削盤１０において砥石２５の外周に形成された研削面２５ｂａと工作物Ｗの外周面Ｗａとが接触する部位Ｔのうち工作物の外周面と端面部Ｗｂとのなす角部Ｗｃの接触部位Ｔｃへの研削液の浸入を促進させる研削液浸入促進手段６５を備えているため、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制して工作物の品質を向上させることができる。また、工作物の角部の加工変質層の形成を抑制できるので、研削能率を向上させて研削サイクルタイムを短縮させることができ、研削加工コストを抑えることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ前記砥石によって前記工作物を研削加工する研削盤において、
前記工作物の外周面と端面部とのなす角部の前記接触部位への前記研削液の浸入を促進させる研削液侵入促進手段を備えたことを特徴とする研削盤。
【請求項２】
請求項１に記載の研削盤において、前記研削液浸入促進手段は、前記研削液の供給ノズルの供給口の位置から前記工作物の角部の接触部位を超える位置までの長さを有する２枚のフィルムを備え、該２枚のフィルムの一端が前記供給口に前記工作物の幅の間隔をあけて取付けられていることを特徴とする研削盤。
【請求項３】
請求項２に記載の研削盤において、前記２枚のフィルムは、フィルム間隔が調整可能に構成されていることを特徴とする研削盤。
【請求項４】
請求項１に記載の研削盤において、前記研削液浸入促進手段は、前記工作物の両角部の接触部位の外側にエアーカーテンを形成する２本のエアー噴出ノズルを備えたことを特徴とする研削盤。
【請求項５】
請求項４に記載の研削盤において、前記２本のエアー噴出ノズルは、前記研削液の供給方向とは逆方向に前記エアーを噴出するように配置されていることを特徴とする研削盤。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の研削盤において、前記２本のエアー噴出ノズルは、ノズル間隔が調整可能に構成されていることを特徴とする研削盤。
【請求項７】
請求項１に記載の研削盤において、前記研削液浸入促進手段は、前記工作物の角部の接触部位に向けて研削液を補給する補給ノズルを備えたことを特徴とする研削盤。
【請求項８】
砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ前記砥石によって前記工作物を研削加工する方法において、
前記工作物の外周面と端面部とのなす角部の前記接触部位への前記研削液の浸入を促進させることを特徴とする研削加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ砥石によって工作物を研削加工する研削盤および研削加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、砥石を工作物に接触させて研削加工する際、工作物の研削箇所に向けてエアーをノズルから吹き付けることにより、かかる研削箇所の温度勾配の発生を抑制し熱歪みを軽減して高精度な研削加工を可能とする乾式の研削盤が開示されている。ところが、焼入れ処理されている工作物を上記乾式の研削盤により砥石の切込速度を上昇させて高能率で研削加工する場合は研削箇所の冷却が不十分になることがあり、研削箇所に発生する研削熱により加工変質層が形成されるおそれがある。この加工変質層とは、いわゆる白層と呼ばれており、再焼入れされたマルテンサイト層のことである。この加工変質層は、工作物表面に残留応力を発生させ、工作物の強度低下の原因となりうる。
【０００３】
一方、特許文献２には、砥石を工作物に接触させて研削加工する際、工作物の研削箇所に向けてクーラントをノズルから供給しつつ、砥石の切込量を調整して荒研削加工および仕上げ研削加工を行う湿式の研削盤が開示されている。これによれば、焼入れ処理されている工作物を砥石の切込速度を上昇させて高能率で研削加工しても研削箇所を十分に冷却することができるため、研削箇所での加工変質層の形成を抑制することができる。
【特許文献１】特開平１１−３２０４０３号公報（段落０００９，００１１、図３）
【特許文献２】特開２００７−２６８６６４号公報（段落００１４，００１５，００１７，００４８、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献２に記載の湿式の研削盤であっても、砥石の切込速度をさらに上昇させて研削能率を高めていくと、加工変質層が形成されてしまい、特に工作物の外周に形成された研削面と端面部とのなす角部での問題が大きい。本出願人は、焼入れ処理されている工作物の角部に供給されたクーラントは角部外側に排出され易くなってしまい、かかる角部の冷却が不十分になるためであるとの知見を新たに得た。そして、本出願人は、この知見に基づいて本発明を成した。
【０００５】
本発明は、研削能率を高めても工作物の外周面と端面部とのなす角部での加工変質層の形成を抑制することができる研削盤および研削加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明の構成上の特徴は、砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ前記砥石によって前記工作物を研削加工する研削盤において、前記工作物の外周面と端面部とのなす角部の前記接触部位への前記研削液の浸入を促進させる研削液浸入促進手段を備えたことである。
【０００７】
請求項２に係る発明の構成上の特徴は、請求項１に記載の研削盤において、前記研削液浸入促進手段は、前記研削液の供給ノズルの供給口の位置から前記工作物の角部の接触部位を超える位置までの長さを有する２枚のフィルムを備え、該２枚のフィルムの一端が前記供給口に前記工作物の幅の間隔をあけて取付けられていることである。
【０００８】
請求項３に係る発明の構成上の特徴は、請求項２に記載の研削盤において、前記２枚のフィルムは、フィルム間隔が調整可能に構成されていることである。
請求項４に係る発明の構成上の特徴は、請求項１に記載の研削盤において、前記研削液浸入促進手段は、前記工作物の両角部の接触部位の外側にエアーカーテンを形成する２本のエアー噴出ノズルを備えたことである。
【０００９】
請求項５に係る発明の構成上の特徴は、請求項４に記載の研削盤において、前記２本のエアー噴出ノズルは、前記研削液の供給方向とは逆方向に前記エアーを噴出するように配置されていることである。
請求項６に係る発明の構成上の特徴は、請求項４又は５に記載の研削盤において、前記２本のエアー噴出ノズルは、ノズル間隔が調整可能に構成されていることである。
【００１０】
請求項７に係る発明の構成上の特徴は、請求項１に記載の研削盤において、前記研削液浸入促進手段は、前記工作物の角部の接触部位に向けて研削液を補給する補給ノズルを備えたことである。
請求項８に係る発明の構成上の特徴は、砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ前記砥石によって前記工作物を研削加工する方法において、前記工作物の外周面と端面部とのなす角部の前記接触部位への前記研削液の浸入を促進させることである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明によれば、湿式の研削盤において砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面とが接触する部位のうち工作物の外周面と端面部とのなす角部の接触部位への研削液の浸入を促進させる研削液浸入促進手段を備えているため、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制して工作物の品質を向上させることができる。また、工作物の角部の加工変質層の形成を抑制できるので、研削能率を向上させることができ、研削加工コストを抑えることができる。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、研削液浸入促進手段は、研削液供給ノズルの供給口の位置から工作物の角部の接触部位を超える位置までの長さを有する２枚のフィルムを備え、該２枚のフィルムの一端が供給口に工作物の幅の間隔をあけて取付けられているので、研削加工の際には２枚のフィルムの対向する側面が工作物の幅で研削液供給ノズルの供給口から工作物の接触部位に至る間を挟み込むことになる。このため、特に工作物の角部の接触部位にて研削液を外側に逃がさずに浸入促進させることができるため、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制することができる。
【００１３】
請求項３に係る発明によれば、２枚のフィルムは、フィルム間隔が調整可能に構成されているので、工作物の幅が変化しても容易に対応することができ、研削能率を向上させ、研削加工コストを抑えることができる。
請求項４に係る発明によれば、研削液浸入促進手段は、工作物の両角部の接触部位の外側にエアーカーテンを形成する２本のエアー噴出ノズルを備えているので、研削加工の際には２つのエアーカーテンが工作物の幅で研削液供給ノズルの供給口から工作物の接触部位に至る間を挟み込むことになる。このため、特に工作物の角部の接触部位にて研削液を外側に逃がさずに浸入促進させることができるため、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制することができる。
【００１４】
請求項５に係る発明によれば、２本のエアー噴出ノズルは、研削液の供給方向とは逆方向にエアーを噴出するように配置されているので、特に工作物の角部の接触部位にて研削液を押し留めて浸入促進させることができる。
請求項６に係る発明によれば、２本のエアー噴出ノズルは、ノズル間隔が調整可能に構成されているので、工作物の幅が変化しても容易に対応することができ、研削能率を向上させ、研削加工コストを抑えることができる。
【００１５】
請求項７に係る発明によれば、研削液浸入促進手段は、工作物の角部の接触部位に向けて研削液を補給する補給ノズルを備えているので、研削加工の際には工作物の角部の接触部位において供給ノズルから供給される研削液が外側に逃げても、補給ノズルから研削液が補給されて研削液を浸入促進させることができる。このため、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制することができる。
【００１６】
請求項８に係る発明によれば、砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ砥石によって工作物を研削加工する際、工作物の外周面と端面部とのなす角部の接触部位への研削液の浸入を促進させるので、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制して工作物の品質を向上させることができる。また、工作物の角部の加工変質層の形成を抑制できるので、研削能率を向上させることができ、研削加工コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本実施の形態の研削盤の全体を示すもので、この円筒研削盤１０のベッド１１上には、テーブル１２が水平なＺ軸方向に移動可能に案内支持され、サーボモータ１３によりボールねじを介してＺ軸方向に移動される。テーブル１２上には主軸台１５と心押台１６とが対向して配置され、主軸台１５と心押台１６との間に工作物ＷがＺ軸方向と平行な軸線の回りに回転可能にセンタ支持されるようになっている。主軸台１５には、主軸駆動モータ１７によって回転駆動される主軸１８が回転可能に軸承され、工作物Ｗは主軸１８に駆動金具等を介して連結され、回転駆動される。
【００１８】
また、ベッド１１上には、砥石台２０がテーブル１２の移動方向と直交する水平なＸ軸方向に移動可能に支持され、サーボモータ２１によりボールねじを介してＸ軸方向に移動される。砥石台２０には砥石軸２２が主軸１８と平行な軸線の回りに回転可能に軸承され、砥石駆動モータ２３によりベルト伝動機構を介して回転駆動される。砥石軸２２の先端には、外周に研削面２５ｂａが形成される砥石２５が取付けられている。砥石台２０には、砥石２５と工作物Ｗもしくはツルーイングロール３０との接触によって発生する弾性波を検出するＡＥセンサ２６が備えられている。
【００１９】
砥石２５は、工作物Ｗの円筒状の外周面Ｗａを研削する外周円筒面研削加工用砥石である。この砥石２５は、円盤状の金属製もしくはＣＦＲＰ製のコア２５ａの外周に径方向断面が円環状の砥石層２５ｂが形成された構成となっている。砥石層２５ｂは、例えば超砥粒であるＣＢＮ砥粒をビトリファイドボンドで結合して形成された径方向断面が円弧状の複数の砥石チップをコア２５ａの外周面に貼付することにより形成されている。このような構成の砥石２５は高速回転され、工作物Ｗの外周面Ｗａを砥石層２５ｂの研削面２５ｂａで研削加工する。
【００２０】
クーラント供給装置６０は、砥石２５が工作物Ｗを研削加工する研削箇所、即ち砥石２５の研削面２５ｂａと工作物Ｗの外周面Ｗａとの接触部位Ｔ（図５参照）に向けてクーラント（研削液）を供給する。このクーラント供給装置６０は、クーラント供給ノズル６１、ポンプ６２、モータ６３、クーラント貯留槽６４および２枚のフィルム（研削液浸入促進手段）６５等を備えている。モータ６３により駆動されるポンプ６２から供給されたクーラントは、図略の流量制御弁により流量制御され、砥石２５の上方で図略の砥石カバーに取付けられたクーラント供給ノズル６１の供給口６１ａから接触部位Ｔに供給されて冷却及び潤滑する。接触部位Ｔに供給されたクーラントは、ベッド１１下方に流れ、図略のマグネットセパレータ等により切粉が分離された後に、再びクーラント貯留槽６４へ戻される。ここで、２枚のフィルム６５は、工作物Ｗの外周面Ｗａと端面部Ｗｂとのなす角部Ｗｃの接触部位Ｔｃ（図５参照）へのクーラントの浸入を促進させる研削液浸入促進手段として機能するが、その詳細は後述する。
【００２１】
主軸台１５の砥石台２０側の側面には、砥石２５をツルーイングするツルーイングロール３０を回転可能に備えたツルーイングユニット３１が配設されている。ツルーイングユニット３１は、主軸台１５に取付けられたハウジング３３と、ハウジング３３に砥石２５と平行な水平軸線の回りに回転可能に配置されたツルア軸３４と、ツルア軸３４を回転駆動するビルトインモータ３２とを有し、ツルア軸３４の先端部には、砥石２５をツルーイングする薄幅のツルーイングロール３０が取付けられている。
【００２２】
研削盤１０を制御するＣＮＣ装置５１は、中央処理装置５２と、種々の制御値およびプログラムを記憶するメモリ５３と、インターフェィス５４、５５から主に構成されている。メモリ５３には、研削加工プログラム、ツルーイングプログラム、接触検出位置データ、ツルーイング切込み量データ、ならびに砥石径データ、砥石幅データ等、研削加工サイクルおよびツルーイングサイクルを実行するのに必要な種々のデータが記憶されている。ＣＮＣ装置５１には、入力装置５６を介して種々のデータが入力されるようになっており、入力装置５６は、データの入力等を行うためのキーボード、データの表示を行うＣＲＴ等の表示装置を備えている。また、ＣＮＣ装置５１には、ＡＥセンサ２６からの検出信号が増幅器５９を介して入力されるようになっている。
【００２３】
ＣＮＣ装置５１は、Ｘ軸モータ駆動ユニット５７を介して砥石台２０をＸ軸方向へ移動させるＸ軸サーボモータ２１に駆動信号を与えるとともに、Ｚ軸モータ駆動ユニット５８を介してテーブル１２をＺ軸方向へ移動させるＺ軸サーボモータ１３に駆動信号を与えるようになっている。また、ＣＮＣ装置５１は、砥石２５による工作物Ｗの加工本数をカウントし、加工本数が予め定められた値に達するとツルーイング動作の開始を指令する。
【００２４】
ここで、図２（Ａ）は、乾式の研削盤により研削加工された工作物の外周面近傍の断面写真、同図（Ｂ）は、湿式の研削盤により研削加工された工作物の外周面近傍の断面写真、同図（Ｃ）は、工作物の両端面をエポキシ樹脂で覆って湿式の研削盤により研削加工された工作物の外周面近傍の断面写真である。研削加工条件は、乾式の研削盤の場合は、クーラント：無し、工作部の両端面を覆うエポキシ樹脂：無し、研削能率：３とし、湿式の研削盤の場合は、クーラント供給量：３０リットル／ｍｉｎ、工作部の両端面を覆うエポキシ樹脂：無し、研削能率：２０とし、湿式（工作部の両端面をエポキシ樹脂被覆）の研削盤の場合は、クーラント：３０リットル／ｍｉｎ、工作部の両端面を覆うエポキシ樹脂：有り、研削能率２０とした。これらの断面写真は工作物を径方向に切断して断面を研磨しエッチング処理することにより得られる。
【００２５】
この結果は図３の加工変質層深さと工作物幅方向位置との関係図に示すように、乾式の研削盤の場合は実線で示すように工作物幅方向全域に亘って深さ６０μｍ〜７０μｍの加工変質層が形成され、工作部の両端面にエポキシ樹脂被覆の無い湿式の研削盤の場合は一点鎖線で示すように工作物の左角部では幅方向０ｍｍ〜３０ｍｍ、右角部では幅方向８０ｍｍ〜６５ｍｍに亘って最大深さ７０μｍから直線的に減少する加工変質層が形成された。しかし、工作部の両端面にエポキシ樹脂被覆が有る湿式の研削盤の場合は図示していないように工作物幅方向全域に亘って加工変質層は形成されなかった。また、図４のビッカース硬度と工作物Ｗの外周面Ｗａの端部（以下、外周面Ｗａ端部という）からの深さとの関係図に示すように、工作部の両端面にエポキシ樹脂被覆の無い湿式の研削盤の場合は菱形の点で示すように外周面Ｗａ端部から深さ１００μｍにおいてビッカース硬度は４５０Ｈｖ〜６００Ｈｖであったのに対し、工作部の両端面にエポキシ樹脂被覆が有る湿式の研削盤の場合は三角形の点で示すように外周面Ｗａ端部から深さ１００μｍにおいてビッカース硬度は５５０Ｈｖ〜６５０Ｈｖと改善されている。
【００２６】
この理由としては、工作物の両端面をエポキシ樹脂で覆うことにより、砥石の外周に形成された研削面と工作物の外周面との接触部位に向けて研削液を供給しつつ砥石によって工作物を研削加工する際、工作物の外周面と端面部とのなす角部の接触部位への研削液の浸入を促進させることができるので、工作物の角部を十分に冷却することができ、かかる角部での加工変質層の形成を抑制することができるためと考えられる。このように工作物の角部を十分に冷却することができるので、かかる角部での加工変質層の形成を抑制して工作物の品質を向上させることができる。また、工作物の角部の加工変質層の形成を抑制できるので、研削能率を向上させると共にスパークアウト時間を短縮させて研削サイクルタイムを短縮させることができ、研削加工コストを抑えることができる。
【００２７】
以上の結果から、本実施の形態の円筒研削盤１０では、図５（Ａ），（Ｂ）の側面図および上面図に示すように、クーラント供給装置６０に工作物Ｗの外周面Ｗａと端面部Ｗｂとのなす角部Ｗｃの接触部位Ｔｃへのクーラントの浸入を促進させる研削液浸入促進手段として２枚のフィルム６５を備えている。即ち、２枚のフィルム６５は、例えばポリエチレン等の樹脂によりクーラント供給ノズル６１の帯状に開口した供給口６１ａから工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃを僅かに超える位置までの長さのテープ状に形成されている。そして、２枚のフィルム６５は、平行配置されて上端が供給口６１ａの上壁に幅方向（Ｚ軸方向）に沿って摺動自在に取付けられている。
【００２８】
即ち、２枚のフィルム６５はフィルム間隔を自在に調整可能に構成されており、研削加工の際には２枚のフィルム６５が工作物Ｗの両端面部Ｗｂを挟み込むように配置される。これにより、クーラント供給ノズル６１の供給口６１ａから供給されるクーラントは、２枚のフィルム６５の間を通って工作物Ｗの接触部位Ｔに流れ落ちると共に、２枚のフィルム６５の裏面に沿って工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃの外側に流れ落ちる。よって、工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃの外側に流れ落ちるクーラントが壁になって工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃにてクーラントを外側に逃がさずに接触部位Ｔｃへのクーラントの浸入を促進させることができるため、工作物Ｗの角部Ｗｃを十分に冷却することができ、かかる角部Ｗｃでの加工変質層の形成を抑制することができる。なお、２枚のフィルム６５を、平行配置して上端を供給口６１ａの下壁に幅方向（Ｚ軸方向）に沿って摺動自在に取付けても良い。これにより、２枚のフィルム６５の対向する側面が壁となって工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃにてクーラントを外側に逃がさずに接触部位Ｔｃへのクーラントの浸入を促進させることができる。フィルム６５の厚さは、取り扱いの観点から１ｍｍ程度が良い。
【００２９】
図６（Ａ），（Ｂ）は、クーラント供給装置６０に備える別形態の研削液浸入促進手段を示す側面図および上面図である。この研削液浸入促進手段は２本のエアー噴出ノズル６６を備えている。２本のエアー噴出ノズル６６は、平行配置されて噴出口６６ａがクーラント供給ノズル６１の供給口６１ａと対向するように図略の砥石カバーにＺ軸方向およびＸ軸方向に沿って摺動自在に取付けられている。即ち、２本のエアー噴出ノズル６６はノズル間隔を自在に調整可能に構成されており、研削加工の際には２本のエアー噴出ノズル６６は工作物Ｗの下方から両角部Ｗｃの接触部位Ｔｃの外側に向けてエアーを噴出し、クーラントの供給方向とは逆方向に流れるエアーカーテンを形成するように配置される。
【００３０】
このエアーカーテンにより工作物Ｗの幅ＢＷで工作物Ｗの接触部位Ｔからクーラント供給ノズル６１の供給口６１ａに至る間が挟み込まれ、特に工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃにてクーラントを外側に逃がさずに接触部位Ｔｃへのクーラントの浸入を促進させることができるため、工作物Ｗの角部Ｗｃを十分に冷却することができ、かかる角部Ｗｃでの加工変質層の形成を抑制することができる。なお、２本のエアー噴出ノズル６６はクーラントの供給方向とは逆方向に流れるエアーカーテンを形成するように配置したが、クーラントの供給方向に対し０°〜１８０°の所定角度で流れるエアーカーテンを形成するように配置しても良い。
【００３１】
図７（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、クーラント供給装置６０に備えるさらに別形態の研削液浸入促進手段を示す側面図、正面図および上面図である。この研削液浸入促進手段は２本のクーラント補給ノズル６７を備えている。２本のクーラント補給ノズル６７は、補給方向がクーラント供給ノズル６１の供給方向に対し所定角度を自在に付けられるようにクーラント供給ノズル６１の両側に配置され図略の砥石カバーに取付けられている。即ち、２本のクーラント補給ノズル６７は補給口６７ａの向きを自在に調整可能に構成されており、研削加工の際には２本のクーラント補給ノズル６７は工作物Ｗの両角部Ｗｃの接触部位Ｔｃに向けてクーラントを補給するように配置される。
【００３２】
これにより、特に工作物Ｗの角部Ｗｃの接触部位Ｔｃにおいてクーラント供給ノズル６１から供給されるクーラントが外側に逃げても、２本のクーラント補給ノズル６７からクーラントが補給されて接触部位Ｔｃへのクーラントの浸入を促進させることができるため、工作物Ｗの角部Ｗｃを十分に冷却することができ、かかる角部Ｗｃでの加工変質層の形成を抑制することができる。なお、クーラント補給ノズル６７はクーラントの補給効率を高めるためクーラント供給ノズル６１よりも高圧のノズルが好ましい。また、クーラント補給ノズル６７は２本配置したが、３本以上にすればさらに冷却効果を高めることができる。
【００３３】
尚、上記実施の形態では、円筒研削盤１０にフィルム６５、エアー噴出ノズル６６、クーラント補給ノズル６７を装着したが、カム研削盤やプランクピン研削盤等にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施の形態の研削盤の全体を示す図である。
【図２】（Ａ）は、乾式の研削盤により研削加工された工作物の外周面近傍の断面写真、（Ｂ）は、湿式の研削盤により研削加工された工作物の外周面近傍の断面写真、（Ｃ）は、工作物の両端面をエポキシ樹脂で覆って湿式の研削盤により研削加工された工作物の外周面近傍の断面写真である。
【図３】図２（Ａ），（Ｂ）における加工変質層深さと工作物幅方向位置との関係を示すグラフである。
【図４】図２（Ｂ），（Ｃ）におけるビッカース硬度と外周面Ｗａ端部からの深さとの関係を示すグラフである。
【図５】（Ａ），（Ｂ）は、図１の研削盤に備えられる研削液浸入促進手段の一形態を示す側面図および上面図である。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は、図１の研削盤に備えられる研削液浸入促進手段の別形態を示す側面図および上面図である。
【図７】（Ａ），（Ｂ）．（Ｃ）は、図１の研削盤に備えられる研削液浸入促進手段のさらに別形態を示す側面図、正面図および上面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０・・・円筒研削盤、２０・・・砥石台、２５・・・砥石、２５ｂ・・・砥石層、２５ｂａ・・・研削面、Ｗ・・・工作物、Ｗａ・・・工作物の外周面、Ｗｂ・・・工作物の端面、Ｗｃ・・・工作物の角部、ＢＷ・・・工作物の幅、Ｔ・・・接触部位、Ｔｃ・・・角部Ｗｃの接触部位、６１・・・クーラント供給ノズル、６１ａ・・・供給口、６５・・・フィルム、６６・・・エアー噴出ノズル、６６ａ・・・噴出口、６７・・・クーラント補給ノズル、６７ａ・・・補給口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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