(57)【要約】【課題】ブレード間の流路を容易、かつ精度良く加工することが可能な遠心回転機のインペラの製造方法を提供する。【解決手段】インペラの外形を有する円盤体の外周側から、放電加工法により、流路と対応する形状の加工用電極を挿入して該流路の内の外周側の第一の範囲を形成する第一の流路形成工程Ｓ２と、円盤体の内周側から、流路の内の内周側の第二の範囲を形成する第二の流路形成工程Ｓ３とを行う。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円盤状で、複数のブレードが互いの間に流路を形成して内周側から外周側に向かって放射状に配列された遠心回転機のインペラの製造方法であって、
インペラの外形を有する円盤体の外周側から、放電加工法により、前記流路と対応する形状の電極を挿入して該流路の内の外周側の第一の範囲を形成する第一の流路形成工程と、
前記円盤体の内周側から、前記流路の内の内周側の第二の範囲を形成する第二の流路形成工程と、を備えることを特徴とする遠心回転機のインペラの製造方法。
【請求項２】
第二の流路形成工程は、放電加工法により、前記第二の範囲の形状に対応した電極を前記円盤体の内周側から挿入して行うことを特徴とする請求項１に記載の遠心回転機のインペラの製造方法。
【請求項３】
前記第一の流路形成工程又は第二の流路形成工程後に、前記円盤体の外周側から部分加工を行うための電極を挿入して、第一の範囲についてさらに放電加工により加工を行う第三の流路形成工程を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の遠心回転機のインペラの製造方法。
【請求項４】
前記流路の前記第一の範囲及び前記第二の範囲を形成した後に、少なくとも流路の表面となる部分について酸洗処理を行う酸洗処理工程を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の遠心回転機のインペラの製造方法。
【請求項５】
前記流路の前記第一の範囲及び前記第二の範囲を形成した後に、少なくとも流路の表面の研磨を行う研磨工程を備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の遠心回転機のインペラの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遠心圧縮機などの遠心回転機に使用されるインペラの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、遠心圧縮機に用いられるインペラは、回転軸に取り付けられるハブと、該ハブと外方に間隔をおいて配置されるシュラウドと、これらハブとシュラウドとを連結する複数のブレードとを有し、これらブレードの側面、ハブの流面と、シュラウドの流面とで囲まれた部分が、空気を圧縮するための流路となっている。
そして、このような遠心圧縮機に用いられるインペラは、流路が軸方向、径方向にそれぞれ湾曲する複雑な形状であるため、一般的には円盤状の本体部分にブレードとシュラウドを、隅肉溶接やグルーブ溶接で固定することにより製造していた。しかしながら、上記溶接による固定は、溶接欠陥が生じやすく、また、局所的に高温となることで変形が生じすい問題があった。
【０００３】
このため、溶接によるインペラの製造方法の代替手段として放電加工を利用した製造方法が提案されてきている（例えば、特許文献１、２参照）。
特許文献１に示される放電加工方法は、蒸気タービン静翼の製造に関するもので、静翼の流体出口側を上面にして位置決めした仕切板ディスクの下面側から放電加工によって静翼を成形し、この仕切板ディスクの上面側から放電加工によって成形された静翼出口側のエッジ及び段差を仕上げ加工し、その後、放電加工された加工面の変質層を酸洗槽によって除去する。これによって静翼間に蒸気通路を形成する。
【０００４】
特許文献２に示される放電加工方法は、遠心式圧縮機用ロータに関するもので、キャビティとほぼ同じ形状を有する電極を有し、該電極による電気侵食により、ディスク内に流路となる円弧のキャビディを形成するものである。
【特許文献１】特開平８−３００２２８号公報
【特許文献２】特開２００２−２３５６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、２に記載された放電加工を利用して、遠心圧縮機の用いられるインペラを製造しようとすると、ブレードの長さが長くなるに応じて放電加工に使用する電極も長くなってしまう。このため、該電極の変形によって加工精度が低下してしまう問題がある。特に、遠心型回転機のインペラでは、ブレードが軸方向及び径方向に湾曲した形状となるため、ブレード間の流路の形状も複雑で、特許文献１、２のように、単に二次元的に電極を挿入していくだけでは精度良く加工することができなかった。また、上記のようにブレードの長さが長くなり、加工深さが深くなればなる程、加工に伴って発生するスラッジの排出が困難になり、該スラッジによって二次放電が発生して加工効率が低下してしまう問題があった。
【０００６】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ブレード間に流路を容易に効率良く、かつ精度良く加工することが可能な遠心回転機のインペラの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。すなわち、本発明は、略円盤状で、複数のブレードが互いの間に流路を形成して内周側から外周側に向かって放射状に配列された遠心回転機のインペラの製造方法であって、インペラの外形を有する円盤体の外周側から、放電加工法により、前記流路と対応する形状の電極を挿入して該流路の内の外周側の第一の範囲を形成する第一の流路形成工程と、  前記円盤体の内周側から、前記流路の内の内周側の第二の範囲を形成する第二の流路形成工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、第一の流路形成工程にて、インペラの外形を有する円盤体の外周側から、放電加工法により、流路と対応する形状の電極を挿入して該流路の内の外周側の第一の範囲を形成し、その後、第二の流路形成工程にて、円盤体の内周側から、該流路の内の内周側の第二の範囲を形成するようにした。これによって、第一の流路形成工程の後に、内周側から第二の流路形成工程を行うために、該第一の流路形成工程において、第一の範囲で加工する長さを短くすることができ、その結果、該第一の範囲を形成するための電極も短くすることができ、従来のような電極の変形を防止することができる。また、円盤体の外周側から軸方向への曲率の大きい内周側の範囲の加工を行わなくても良いので、容易かつ精度良く加工することができる。また、上記のとおり流路の一部のみを形成すれば良いので、加工深さを浅くすることができる。これにより加工に伴って発生するスラッジの排出を容易なものとし、該スラッジによる二次放電の発生を抑え、加工能率を向上させることができる。そして、第二の流路形成工程にて残りの流路の範囲を形成することにより、流路及びブレードを全体として容易に効率良く、かつ精度良く形成することができる。
【０００９】
また、本発明の遠心回転機のインペラの製造方法では、第二の流路形成工程は、放電加工法により、前記第二の範囲の形状に対応した電極を前記円盤体の内周側から挿入して行うことがより好ましい。
【００１０】
この発明によれば、第二の流路形成工程を、放電加工法により、第二の範囲の形状に対応した電極を円盤体の内周側から挿入して行うことによって、予め設定した形状の流路の内の第二の範囲を精度良く形成することができる。
【００１１】
また、本発明の遠心回転機のインペラの製造方法では、前記第一の流路形成工程又は第二の流路形成工程後に、前記円盤体の外周側から部分加工を行うための電極を挿入して、第一の範囲についてさらに放電加工により加工を行う第三の流路形成工程を備えることが好ましい。
【００１２】
この発明によれば、第三の流路形成工程として、第一の流路形成工程又は第二の流路形成工程後に、円盤体の外周側から部分加工を行うための電極を挿入して、第一の範囲についてさらに放電加工により加工を行うことで、該第一の範囲の流路形成をより精度良く行うことができる。
【００１３】
また、本発明の遠心回転機のインペラの製造方法では、前記流路の前記第一の範囲及び前記第二の範囲を形成した後に、少なくとも流路の表面となる部分について酸洗処理を行う酸洗処理工程を備えることが好ましいとされる。
【００１４】
この発明によれば、流路の第一の範囲及び第二の範囲をそれぞれ形成した後に、少なくとも流路の表面となる部分について酸洗処理を行う酸洗処理工程を備えるようにしたので、この酸洗処理工程によって変質層を除去することができ、変質層に起因する疲労特性の低下を抑えることができる。
【００１５】
また、本発明の遠心回転機のインペラの製造方法では、前記流路の前記第一の範囲及び前記第二の範囲を形成した後に、少なくとも流路の表面の研磨を行う研磨工程を備えることが好ましいとされる。
【００１６】
この発明によれば、流路の表面の研磨を行う研磨工程を備えるようにしたので、流路内の表面を平滑とすることができ、これによって流路に流体が流れる際の抵抗を軽減して、遠心回転機の圧縮効率の低下を防止することができる。また、酸洗処理を行った後に当該工程を行えば、変質層を除去しつつ、酸洗処理をのみを行った状態よりも表面をより平滑とすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の遠心回転機のインペラの製造方法によれば、第一の流路形成工程と第二の流路形成工程とを行うことで、ブレード間に流路を容易に効率良く、かつ精度良く加工することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明のインペラの製造方法に係わる実施形態について図１〜図１９を参照して説明する。図１及び図２に符号１００で示すものは、本発明に係わるインペラの製造方法により製造されるインペラであり、回転軸に組み付けられて回転体として遠心圧縮機などの遠心回転機に搭載されるものである。図１及び図２に示すように、インペラ１００は、略円盤状の本体部１と、本体部１に中心部に設けられて回転軸（図示せず）に取り付けられる略円筒状のハブ２と、本体部１上にハブ２から放射状に複数配設されたブレード３と、本体部１から軸方向に離間して配置されブレード３を連結するシュラウド４とを有している。本体部１は、裏面が略平面に形成されているとともに、ハブ２が突出して流体が流通する流面１Ａとなる表面は、外周側が略平面となっているとともに、径方向外周側から内周側に向かって次第に軸方向（矢印Ａ−Ｂ方向）へ突出するように湾曲して形成されている。また、各ブレード３は、略板状で、本体部１の表面に沿って径方向（矢印Ｃ−Ｄ方向）内周側に向かって軸方向（矢印Ａ−Ｂ方向）に湾曲して形成されているとともに、径方向（矢印Ｃ−Ｄ方向）に沿って周方向一方側に湾曲した形状に形成されている。以下の説明において、ブレード３の一方側の第一湾曲面に符号３Ａ、他方側の第二湾曲面に符号３Ｂを付す。
【００１９】
シュラウド４は、本体部１と略平行となるように、すなわち、径方向（矢印Ｃ−Ｄ方向）外周側から内周側に向かって次第に軸方向（矢印Ａ−Ｂ方向）へ突出するように湾曲して形成されており、内周側ではハブ２との間に隙間を形成している。そして、互いに隣接するブレード３のそれぞれの間には、回転に伴って圧縮空気を生成するための流路５が形成されている。該流路５は、互いに隣接するブレード３の第一湾曲面３Ａ及び第二湾曲面３Ｂと、本体１の表面によって構成される流面１Ａとシュラウド４の裏面によって構成される流面４Ａとで囲まれて形成されている。そして、各流路５は、本体部１、ブレード３、及びシュラウド４の形状に従って、軸方向（矢印Ａ−Ｂ方向）及び周方向（矢印ａ方向）に湾曲した形状となっている。
そして、以上のような構成の遠心回転機のインペラ１００では、図示しない駆動部により図１に矢印ａ方向に回転駆動された場合には、流路５内に径方向内周側から外周側へ向かう矢印ｂで示される空気の流れが発生するとともに、該空気が、回転で生じる遠心力により加速される。これによって、流路５の入口５Ａから吸い込まれた空気が、該流路５内で圧縮されて出口５Ｂから排出され、その後、下流側の図示しない外部機器へ送られることになる。
【００２０】
次に、上記のように構成されたインペラ１００を製造するための工程について、図３〜図１９を参照して説明する。
図３はインペラ１００の製造工程を示すフロー図であって、外形形成工程Ｓ１、第一の流路形成工程Ｓ２、第二の流路形成工程Ｓ３、酸洗処理工程Ｓ４、研磨工程Ｓ５、外形仕上げ工程Ｓ６、を有する。
【００２１】
これら各工程について順番に説明する。
〔外形形成工程〕
まず、外形形成工程Ｓ１について図４を参照して説明する。図４に符号１０で示すものは、インペラ１００の外形を有し、炭素鋼,ステンレス鋼などの金属により形成された円盤体である。この円盤体１０は、略円盤状の図示しない母材を旋盤加工等行うことで、中心部に回転軸（図示せず）が挿入される挿入孔１０Ａを形成し、また、シュラウド２の表面となる径方向外周側から内周側に向かってなだらかに上昇する傾斜面を形成し、さらに、挿入孔１０Ａの外周側に環状穴１０Ｂを形成する。そして、このような円盤体１０の挿入孔１０Ａの外周側に位置する環状穴１０Ｂに軸方向に沿ってさらに機械加工を施すことで、周方向に複数の凹部１０Ｃを形成する。この凹部１０Ｃは、最終的に流路５の入口５Ａになるものであって、図１に示すように流路５の位置に応じて形成する。また、凹部１０Ｃの内側に位置する略円筒状の部分（符号１０Ｄで示す）がハブ２となる。
【００２２】
〔第一の流路形成工程Ｓ２〕
第一の流路形成工程Ｓ２について図５〜図７を参照して説明する。これらの図に符号２０で示すものは、放電加工を行うための銅などからなる加工用電極であり、円盤体１０の外周側から流路５の内、内周側の一部の範囲を除いた外周側の第一の範囲２１（図６に符号（イ）で示す範囲）を形成する。
【００２３】
また、加工用電極２０は、流路５の第一の範囲２１における第一湾曲面３Ａ、第二湾曲面３Ｂ、及び、流面１Ａ、４Ａと対応する曲面を有しており、その曲面形状は、以下の条件を満足していることが望ましい。すなわち、図７に示すように、流路５を形成するブレード３の第二湾曲面３Ｂ、第一湾曲面３Ａの曲率半径をそれぞれ「R（３Ｂ）」、「R（３Ａ）」とする。また、加工用電極２０において、ブレード３の第二湾曲面３Ｂと対応する曲面を第一湾曲面２０Ａ、ブレード３の第一湾曲面３Ａと対応する曲面を第二湾曲面２０Ｂとし、これら第一湾曲面２０Ａ及び第二湾曲面２０Ｂの曲率半径をそれぞれ「R（２０Ａ）」、「R（２０Ｂ）」とする。そして、互いに対応するブレード３の第二湾曲面３Ｂと加工用電極２０の第一湾曲面２０Ａとについて「曲率半径Ｒ（３Ｂ）≧曲率半径Ｒ（２０Ａ）」を満たすものとし、また、ブレード３の第一湾曲面３Ａと加工用電極２０の第二湾曲面２０Ｂとについて「曲率半径Ｒ（２０Ｂ）≧曲率半径Ｒ（３Ａ）」を満たすように設定すると良い。そして、このような形状に加工用電極２０を形成することにより、加工用電極２０をブレード３の第一湾曲面３Ａ及び第二湾曲面３Ｂに接触してしまうことなく、円盤体１０内のより中心部付近にまで前端を到達させることができ、外周側から内周側に位置する奥の部分を好適に放電加工により加工することができる。なお、仕上げ用として、曲率半径がR（３Ｂ）＝R（２０Ａ）、Ｒ（２０Ｂ）＝Ｒ（３Ａ）の加工用電極２０を別途使用することにより、流路５において第一の範囲２１をより好適に形成することが可能となる。
【００２４】
〔第二の流路形成工程〕
第二の流路形成工程Ｓ３について図８及び図９を参照して説明する。上述したように、外形形成工程Ｓ１にて凹部１０Ｃを形成し、第一の流路形成工程Ｓ２にて第一の範囲２１を形成した後は、該円盤体１０には、図９に符号２２で示す未加工領域２２が残っている。そして、この未加工領域２２を除去して、円盤体１０の内周側に第二の範囲３１（図９に符号（ロ）で示す範囲）を形成する。
【００２５】
この第二の範囲３１は、円盤体１０の内周側に位置し、かつ外形形成工程Ｓ１にて形成した凹部１０Ｃと、第一の流路形成工程Ｓ２にて形成した第一の範囲２１とを接続する範囲である。そして、この第二の範囲３１を形成するためには、放電加工法により、円盤体１０の内周側に位置する凹部１０Ｃから流路５を形成する加工用電極３０が使用される。この加工用電極３０は、先端部が流路５の第二の範囲３１の形状に合わせて湾曲した鉤型に形成されている。そして、このような加工用電極３０を使用することにより、未加工領域２２を除去して、円盤体１０の内周側に、予め想定した形状の第二の範囲３１（図９に符号（ロ）で示す範囲）が形成される。
【００２６】
〔酸洗処理工程〕
酸洗処理工程Ｓ４について図１０〜図１５を参照して説明する。この酸洗処理工程は、酸洗液として塩酸又は硫酸を用い、所定の温度に保った液層の中に、第一の流路形成工程Ｓ２及び第二の流路形成工程Ｓ３を実施した円盤体１０を浸漬させて酸洗するものである。そして、このような酸洗処理工程によって、図１０及び図１１で示すように、放電加工によって第一湾曲面３Ａ、第二の湾曲面３Ｂ、及び、流面１Ａ、４Ａに形成された変質層Ｈを除去する。この変質層Ｈは、カーボンの含有割合が高く、円盤体１０の母材となる金属よりも硬いために割れ易く、金属疲労特性を低下させる原因ともなる。また、この変質層Ｈは、表面粗さが１０〜５０μｍと粗いために、流路５に空気が流れる際の抵抗となって、遠心圧縮機（遠心回転機）の圧縮効率を低下させる原因ともなる。そして、本工程の酸洗処理にて変質層Ｈを除去することで、金属疲労特性の向上を図ることができる。
【００２７】
ここで、この酸洗処理の効果について、図１２〜図１５を参照して説明する。図１２は、酸洗液として１０質量％の塩酸を用い、酸洗液の温度を変化させてそれぞれ酸洗処理を行った実験結果を示し、酸洗液の温度と母材／変質層溶解比と関係を示すグラフである。なお、母材としては、マルテンサイト系ステンレス鋼ＳＵＳ４１０を使用した。また、実験を行うに際して母材には放電加工により変質層Ｈを形成したが、当該放電加工にはグラファイト電極を使用して行った。そして、変質層Ｈを形成後に厚さを測定した結果、厚さは２５μｍであった。変質層Ｈを形成後に表面粗さを測定した結果、図１３に示すように、表面粗さはＲｙ＝４５μｍであった。そして、このような条件の下で、酸洗処理を行った結果、図１２に示すように、塩酸濃度１０質量％で、温度が３０度を超えると、母材／変質層溶解比が大きくなり、母材が過剰に溶解してしまうことが確認できた。図１４は、塩酸の温度を２７〜３０℃とした場合に変質層除去後の表面粗さを示している。また、図１５は、塩酸の温度を５０℃とした場合の変質層除去後の表面粗さを示している。そして、これらの結果を参照してわかるように、図１４で示すように、塩酸の温度を２７〜３０℃とした場合に最大の表面粗さが３０μｍとなったのに対して、図１５で示すように、塩酸の温度を５０℃とした場合には、母材の溶解速度が速すぎて、最大の表面粗さは５５μｍとなった。以上のことから、酸洗液として１０質量％の塩酸を使用した場合、酸洗処理の温度としては２７度〜３０度が好適であることがわかった。
【００２８】
〔研磨工程〕
研磨工程Ｓ５について説明する。この研磨工程Ｓ５では、酸洗処理工程Ｓ４を実施後の流路５の表面の研磨を行う。なお、研磨の方法としては、流体研磨や電解研磨が好適に選択される。
流体研磨では、インペラ１００の流路５となる加工領域に、メディア（特殊な粘土状のものに砥粒を混ぜ込んだもの）を高圧で流し込むことによって、流路表面を平滑とする。
また、電解研磨では、グラファイト電極を用いて、電解液中にて、インペラ側をプラス、電極側をマイナスとして通電することで流路表面の金属を溶解させるものである。インペラ側の流路表面に形成された凹凸の凸部は凹部に比べて、グラファイト電極に近い位置にあるために、より速い速度で溶解され、これにより流路表面を平滑にする。
そして、上記のような研磨を実施することで、酸洗処理工程Ｓ４を実施して、酸洗液の温度２７〜３０℃としても、表面粗さがＲｙ＝３０μｍ程度であったものが、Ｒｙ＝２〜５μｍ程度まで平滑に仕上げることができた。
【００２９】
〔外形仕上げ工程〕
次に、外形仕上げ工程Ｓ６について説明する。この外形仕上げ工程Ｓ６は、機械加工によって外形の仕上げを行うもので、全体の寸法を既定値となるように加工するものである。
そして、以上のような外形形成工程Ｓ１〜外形仕上げ工程Ｓ６までを実施することによって図１及び図２に示すようなインペラ１００が製造されることとなる。
【００３０】
以上詳細に説明したように本実施形態に示されるインペラ１００の製造方法によれば、第一の流路形成工程Ｓ２及び第二の流路形成工程Ｓ３を実施することによって、放電加工法によりで加工する長さを短くすることができる。このため、使用する加工用電極２０を短くして、従来のような電極の変形を防止することができる。また、第一の流路形成工程Ｓ２においては、円盤体１０の外周側から軸方向への曲率の大きい内周側の範囲の加工を行わなくても良いので、容易かつ精度良く加工することができる。また、上記のとおり流路５の一部のみを形成すれば良いので、加工深さを浅くすることができる。これにより加工に伴って発生するスラッジの排出を容易なものとし、該スラッジによる二次放電の発生を抑え、加工能率を向上させることができる。そして、第二の流路形成工程Ｓ３にて残りの流路５の第二の範囲３１を形成することにより、流路５を全体として容易に効率良く、かつ精度良く形成することができる。
【００３１】
また、上記のインペラ１００の製造方法では、第二の流路形成工程Ｓ３を、放電加工法により第二の範囲３１の形状に対応した加工用電極３０を円盤体１０の内周側から挿入して行うことによって、流路５の第二の範囲３１を確実に形成することができる。
【００３２】
また、上記のインペラ１００の製造方法では、第二の流路形成工程Ｓ３後に、少なくとも流路５の表面となる部分について酸洗処理を行う酸洗処理工程Ｓ４を行うようにしたので、変質層Ｈを除去することができ、これにより金属疲労特性が低下してしまうことを防止することができる。
【００３３】
また、上記のインペラ１００の製造方法では、酸洗処理工程Ｓ４を行った表面の研磨を行う研磨工程Ｓ５を行うようにしたので、変質層Ｈを除去した流路５内の流面を平滑とすることができ、これによって流路５に流体が流れる際の抵抗を軽減することができる。このため、回転軸にインペラ１００を組み付けて構成した回転体を搭載した遠心圧縮機において、圧縮効率を良好なものとすることができる。
なお、本実施形態では、上記のように酸洗処理工程Ｓ４及び研磨工程Ｓ５を行うものとしたが、これに限らず、例えば、変質層Ｈの影響が小さい場合には酸洗処理工程Ｓ４を行わずに研磨工程Ｓ５のみ実施するものとしても良い。
【００３４】
なお、上記実施形態は、以下の変形例で示すように方法に変更しても良い。
（第１の変形例）
第一の流路形成工程Ｓ２及び第二の流路形成工程Ｓ３にて加工用電極により流路５を形成するものとしたが、第一の流路形成工程Ｓ２後に、若しくは第二の流路形成工程Ｓ３後にさらに第三の流路形成工程を実施するものとしても良い。第三の流路形成工程では、図１６に示すように、長さが加工用電極２０、３０よりも相対的に短い部分加工用電極４０を使用するものである。そして、このような部分加工用電極４０を使用することで、第一の流路形成工程Ｓ２で形成される第一の範囲２１と第二の流路形成工程Ｓ３で形成される第二の範囲３１との境界近傍の範囲において、流路５の表面の曲率半径が小さくても、好適に加工を行って流路５の表面を円滑に形成することができる。
【００３５】
（第２の変形例）
上記においては、第二の流路形成工程Ｓ３にて、加工用電極３０により放電加工で流路５の第二の範囲３１を形成したが、流路５の形状によっては機械加工で第二の範囲３１を形成することが可能な場合がある。この場合には、図１７に示すように、流路５の第二の範囲３１の部分を、例えば、符号５０で示すエンドミルによって機械加工しても良い。
【００３６】
（第３の変形例）
第一の流路形成工程Ｓ２にて流路５の第一の範囲２１を形成し、第二の流路形成工程Ｓ３にて流路５の第二の範囲３１を形成したが、これらの工程を実施するに際して、図１８及び図１９に示すように、放電加工又は機械加工などにより加工屑（スラッジ）を除去するためのスラッジ排出孔６０を形成する排出孔形成工程を実施するものとしても良い。
そして、このようなスラッジ排出孔６０を予め設けておくことによって、本加工となる第一の流路形成工程Ｓ２及び第二の流路形成工程Ｓ３で放電加工を行う際に、加工屑によって加工時間が長くなってしまうことを防止することができる。
【００３７】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態のインペラの正面図である。
【図２】本発明の実施形態のインペラの側断面図である。
【図３】本発明の実施形態のインペラの製造工程を示すフロー図である。
【図４】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、外形形成工程を説明する側断面図である。
【図５】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、第一の流路形成工程を説明する一部を破断した正面図である。
【図６】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、第一の流路形成工程を説明する側断面図である。
【図７】本発明の実施形態のインペラの製造工程の第一の流路形成工程において使用される電極と第二の流路との関係を示す説明図である。
【図８】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、第二の流路形成工程を説明する一部を破断した正面図である。
【図９】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、第二の流路形成工程を説明する側断面図である。
【図１０】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、酸洗処理工程及び研磨工程を説明する一部を破断した正面図である。
【図１１】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、酸洗処理工程及び研磨工程を説明する側断面図である。
【図１２】酸洗処理工程において、塩酸を使用した場合の酸洗液温度と、溶解速度比との関係を示したグラフである。
【図１３】酸洗処理工程を実施する前のインペラの表面粗さを示すグラフである。
【図１４】酸洗処理工程を塩酸温度２７〜３０度で実施した後のインペラの表面粗さを示すグラフである。
【図１５】酸洗処理工程を塩酸温度５０度で実施した後のインペラの表面粗さを示すグラフである。
【図１６】本発明の実施形態の第１の変形例のインペラの製造工程において、部分加工工程を説明する側断面図である。
【図１７】本発明の実施形態の第２の変形例のインペラの製造工程において、第二の流路形成工程を説明する側断面図である。
【図１８】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、スラッジ排出孔形成工程を説明する一部を破断した正面図である。
【図１９】本発明の実施形態のインペラの製造工程において、スラッジ排出孔形成工程を説明する側断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
３  ブレード
５  流路
１０  円盤体
２０、３０  加工用電極
２１  第一の範囲
３１  第二の範囲
４０  部分加工用電極
１００  インペラ
Ｓ１  外形形成工程
Ｓ２  第一の流路形成工程
Ｓ３  第二の流路形成工程
Ｓ４  酸洗処理工程
Ｓ５  研磨工程
【図１】
2010089190.tif 000003
【図２】
2010089190.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2010089190.tif 000008
【図７】
2010089190.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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