(57)【要約】【課題】  移送中に多結晶シリコン棒が汚染されるリスクを低減し、多結晶シリコン棒を移送するのに必要な時間を減少させ、多結晶シリコンの生産周期を低減し、同時に作業者が多結晶シリコンにより容易に怪我を受ける恐れを解決する。【解決手段】一種の多結晶シリコン棒の取出し方法及びその方法に使用される取出し装置と取出し装置の組合せ品の中で、その方法には下記の手順が含まれる。同じ軸の幾つかの円周上に分布される複数の多結晶シリコン（７）棒に対して、先ず、一度に一番外周に分布される多結晶シリコン棒（７）を取出し、次に次外周の多結晶シリコン棒（７）を取出し、順番に外から中まで一層ずつ全ての多結晶シリコン棒（７）を取出す。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一種の多結晶シリコン棒の取出し方法で、その特徴としては下記の手順が含まれる。同じ軸の幾つかの円周に分布される複数の多結晶シリコン棒（７）に対して、先ず一度に一番外周上の多結晶シリコン棒（７）を取出し、次に一度に次外周上の多結晶シリコン棒（７）を取出し、順番に外から中まで、一層ずつ全ての多結晶シリコン棒（７）を取出す。
【請求項２】
請求項１に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法で、その特長としては下記の手順が含まれる。
（A）先ず取出し装置の空チャンバー（３）にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板（１２）上の複数の多結晶シリコン棒（７）を被せる。
（B）次に複数の多結晶シリコン棒（７）に力を印加して、複数の多結晶シリコン棒（７）が多結晶シリコン炉体の基板（１２）から脱して、多結晶シリコン棒（７）が取出し装置の空チャンバー(３)内に落ちる様にする。
（C）接触物（６）を採用して多結晶シリコン棒（７）を支持することにより、多結晶シリコン炉体の基板（１２）から脱した大きいブロックの多結晶シリコン棒（７）が引き続いて取出し装置の空チャンバー（３）の中に盛り上る様にする。
（D）取出し装置を上方向に移動させ、取出し装置が多結晶シリコン炉体の基板（１２）から脱する様にする。
【請求項３】
請求項２に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法であって、その特徴は、上記の手順（B）に下記の手順が含まれる。
外置き式装置ハンマーを採用して多結晶シリコン棒（７）に力を印加することにより、外置き式装置が取出し装置の壁（４）を突き通って、多結晶シリコン棒（７）に対して力を印加して複数の多結晶シリコン棒（７）を衝撃することにより、多結晶シリコン棒（７）が多結晶シリコン棒炉対の基板（１２）から脱する様にする。
【請求項４】
請求項３に記載された多結晶シリコン棒の棒取り方法であって、その特徴は、外置き衝撃ハンマーである。
【請求項５】
請求項２に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法であって、その特徴は、記載された手順（B）には下記の手順が含まれる。接触物（６）を採用して多結晶シリコン棒（７）に力を印加し、接触物（６）に力を印加することにより、多結晶シリコン棒（７）が接触物（６）と接触する部位で多結晶シリコン炉体の基板（１２）から脱する様にすることである。
【請求項６】
請求項２に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法であって、その特徴は、記載された手順（B）の中には、接触物（６）により多結晶シリコン棒（７）に力を印加する前に、下記の手順が含まれる。接触物（６）にて複数の多結晶シリコン棒（７）を取出し装置に固定することである。
【請求項７】
請求項２に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法であって、その特徴は、接触物（６）を取出し装置の壁（４）に設置することである。
【請求項８】
請求項２に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法であって、その特徴は、上記の手順（A）の中には、取出し装置の空チャンバー（３）にて、取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板（１２）に位置する複数の多結晶シリコン棒（７）を被せる前に、多結晶シリコン炉体の基板（１２）の端に取出し装置の外壁が正確に上下移動できる取出しガイド（５）を固定する手順が含まれることである。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載された任意の方法に用いる取出し装置の中で、その特徴は、上記の取出し装置には、壁（４）、空チャンバー（３）及び接触物（６）が含まれ、上記の空チャンバー（３）は壁（４）に取囲まれて形成され、上記の接触物（６）は取出し装置の底部に設置されることである。
【請求項１０】
請求項９に記載された取出し装置であって、その特徴は、上記の接触物（６）は取出し装置の壁（４）に設置されることである。
【請求項１１】
請求項９に記載された取出し装置であって、その特徴は、上記取出し装置には移動連結部品（２）と横梁（１）が含まれ、上記の取出し装置（１４）の上部は、相応する移動連結部品（２）により、横梁（１）に固定されることである。
【請求項１２】
請求項９に記載された取出し装置であって、その特徴は、上記の取出し装置の壁（４）の外側はクランプ装置によりクランプされることである。
【請求項１３】
請求項９に記載された取出し装置であって、その特徴は、上記の壁（４）には、内周（１０）、外周（１１）、間隔片（９）が含まれ、上記の内周（１０）と外周（１１）は同心の円筒状であり、上記の内周（１０）と外周（１１）の間は幾つかの間隔片（９）により連結されることである。
【請求項１４】
請求項９に記載された取出し装置であって、その特徴は、上記の取出し装置には取出し扉（１３）が含まれ、取出し扉（１３）は取出し装置の壁（４）に設置されることである。
【請求項１５】
請求項９に記載された取出し装置の組合せ品であって、その特徴は、上記の取出し装置には、壁（４）、空チャンバー（３）及び接触物（６）が含まれ、上記の空チャンバー（３）は壁（４）に取り囲まれて形成され、上記の接触物（６）は取出し装置の下部に設置される。上記の取出し装置の組合せ品には、内層取出し装置（１６）、中層取出し装置（１５）、外層取出し装置（１４）が含まれ、上記の内層取出し装置（１６）、中層取出し装置（１５）、外層取出し装置（１４）は、半径の異なる同心円筒状の取出し装置であり、上記の中層取出し装置（１５）は外層取出し装置（１４）の中に位置し、上記の内層取出し装置（１６）は中層取出し装置（１５）の中に位置することである。
【請求項１６】
請求項１５に記載された取出し装置の組合せ品であって、その特徴は、上記の接触物（６）は取出し装置の壁（４）に設置されることである。
【請求項１７】
請求項１５に記載された取出し装置の組合せ品であって、その特徴は、上記の取出し装置には移動連結部品（２）と横梁（１）が含まれる。上記の取出し装置（１４）の上部は相応する移動連結部品（２）により、横梁（１）に固定されることである。
【請求項１８】
請求項１５に記載された取出し装置の組合せ品であって、その特徴は、上記の取出し装置の壁（４）の外側はクランプ装置によりクランプされることである。
【請求項１９】
請求項１５に記載された取出し装置の組合せ品であって、その特徴は、上記の壁（４）には、内周（１０）、外周（１１）、間隔片（９）が含まれ、上記の内周（１０）と外周（１１）は同心の円筒状であり、上記の内周（１０）と外周（１１）の間は幾つかの間隔片（９）により連結されることである。
【請求項２０】
請求項１５に記載された取出し装置の組合せ品であって、その特徴は、上記の取出し装置には更に取出し扉（１３）が含まれ、取出し扉（１３）は取出し装置の壁（４）に設置されることである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一種の太陽光発電と半導体技術分野に関連し、特に多結晶シリコン棒を取出す方法及びその取出し装置と取出し装置の組合せ品に関連する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン材料はそのユニークな性質により、現代電子工業と情報社会での基礎材料となっている。多結晶シリコンはシリコン材料の一種で、高純度多結晶シリコンはキャスティング多結晶シリコン、ゾーンメルティング単結晶シリコンと引上げ単結晶シリコンの原料である。
【０００３】
高純度多結晶シリコンは純度が非常に高く、一般的に純度に対する要求が99.999999%-99.9999999%に達するので、不純物の含量を10-9のレベルに低減しなければならない。高純度多結晶シリコンは一般的に冶金法によるシリコンにて化学或いは物理方法により精製して得られる。化学精製とは、化学反応によりシリコンを中間化合物に転化させ、更に精留精製等の技術により中間化合物を精製して高い純度になる様にし、その後、中間化合物を反応器に流通させ、化学気相成長技術或いは流動床技術によりシリコンに還元させるのを指す。この時高純度シリコンが多結晶状態であるので、半導体工業の要求を満足させる。
【０００４】
化学気相成長法とは、多結晶シリコン還元炉内に電極（我々は化学気相成長反応を行う反応器を多結晶シリコン還元炉と呼ぶ。多結晶シリコン還元炉は主に基板とカバーにより構成される。その中、多結晶シリコン炉体の基板には加熱用の電極が取付けられる）を設置して、この対になっている電極により、電極上に設置されるシリコン芯棒（直径が約5mmぐらい）を1100℃以上に通電加熱し、中間化合物と高純度水素を流して還元反応を発生させ、化学気相成長技術を採用してシリコン芯棒上に高純度のシリコンを生成させ、シリコン棒の直径が数十ミリから数百ミリに達するまでシリコン棒を不断と生成させるのを指す。
【０００５】
化学気相成長技術を採用して高純度多結晶シリコンを製造するのに、化学気相成長反応により高純度多結晶シリコン棒を得た後、多結晶シリコン棒を多結晶シリコン炉体の基板から次の製造工程の工程に移送する過程が必要となる。我々はこの過程を取出し工程と呼ぶ。取出し工程は人手操作の工程で、作業者の安全、多結晶シリコン棒の品質及び多結晶シリコン棒の生産周期等に関連する。
【０００６】
従来の取出し方法では、反応が完了した後、還元炉のカバーを基板から離して多結晶シリコン棒を環境の中に曝し、人手或いは機械アームにてシリコン棒の底部のグラファイトクリップを反応器の多結晶シリコン炉体の基板上の電極から脱し、シリコン棒を一対ずつ取出して、多結晶シリコン棒を次の製造工程に運ぶ。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の取出し方法には多くの欠点が存在している。第一に、従来の取出し方法では、多結晶シリコンを環境に曝した状態で取り出すので、多結晶シリコン棒が環境の中のイオン、二酸化炭素及びその他の材料の汚染を受けて、多結晶シリコン棒の品質に影響を与える。第二に、従来の取出し方法では、人手或いは機械のアームにて一回一回多結晶シリコン棒を次の製造工程に運ぶ様にしているが、一回毎に一対しか運ぶことができない。現在、多結晶シリコン水素還元炉は、一般的に２４対或いは１８対の多結晶シリコン棒還元炉に設けられている。２４対シリコン棒の還元炉を例とすると、人手或いは機械のアームにて輸送する回数が２４回までなるので、操作が煩わしいだけでなく、取出しに消耗される時間も長くなる。第三に、必ず全ての多結晶シリコン棒を多結晶シリコン炉体の基板から取出してから多結晶シリコン炉体の基板の掃除を行い、次の還元炉の反応に入るので、従来の取出し方法であると取出し時間が長く、次回の反応に影響を与えることになる。即ち、生産周期が長くなる。第四に、多結晶シリコンは非常に鋭い材料であるので、人手操作で取出す場合、シリコン棒が容易に割れて作業者を怪我させる。
【０００８】
本発明の目的は、一種の多結晶シリコン棒の取出し方法及び当該方法に使用される取出し装置と取出し装置の組合せ品を提供するのである。本発明を使用すると、安全性が高くなり、シリコン棒の品質が確保でき、取出しに消耗される時間が短縮できる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、一種の多結晶シリコン棒の取出し方法であり、下記の手順が含まれる。同じ軸の幾つかの円周上に分布される複数の多結晶シリコン棒７に対して、先ず一度に一番外周に分布される多結晶シリコン棒７を取出し、次に一度に次外周のシリコン棒７を取出し、順番に外から中まで一層ずつ全ての多結晶シリコン棒７を取出す。
【００１０】
上記の多結晶シリコン棒の取出し方法には更に下記の手順が含まれる。
（A） 取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板１２上の複数の多結晶シリコン棒７を被せる。
（B） 次に複数の多結晶シリコン棒７に力を印加することにより、複数の多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱して、取出し装置の空チャンバー３内に落ちる様にする。
（C） 接触物６を採用して多結晶シリコン棒７を支持することにより、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した大きいブロックの多結晶シリコン棒７が引き続いて取出し装置の空チャンバー３内で盛り上がる様にする。
（D） 取出し装置を上方向に移動させ、取出し装置が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にする。
【００１１】
上記手順（B）の中には更に下記の手順が含まれる。
衝撃ハンマーを採用して多結晶シリコン棒７に対して力を印加する。衝撃ハンマーが取出し装置の壁４を突き通る。即ち、衝撃ハンマーにて複数の多結晶シリコン棒７を衝撃することにより、多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にする。
【００１２】
手順（B）の中には更に下記の手順が含まれる。
接触物６を採用して多結晶シリコン棒７に力を印加する。接触物６に力を印加することにより、多結晶シリコン棒７が接触物６と接触する部位で多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にする。
【００１３】
上記の手順（B）の中で、接触物６にて複数の多結晶シリコン棒７に対して力を印加する前に、接触物６にて複数の多結晶シリコン棒７を取出し装置に固定する手順が含まれる。
【００１４】
接触物６を取出し装置の壁４に設置する。
【００１５】
上記の手順（A）の中で、取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板１２上の複数の多結晶シリコン棒７を被せる前に、多結晶シリコン炉体の基板１２の端に、取出し装置の外壁が正確に上下移動できる様に取出しガイド５を固定する手順が含まれる。
【００１６】
上記の方法に用いる取出し装置には、壁４、空チャンバー３及び接触物６が含まれる。空チャンバー３は壁４に取り囲まれて形成される。接触物６は取出し装置の下部に設置される。
【００１７】
接触物６は取出し装置の壁４に設置される。
【００１８】
取出し装置には更に移動連結部品２と横梁１が含まれる。取出し装置１４の上部は、相応する移動連結部品２により横梁１に固定される。
【００１９】
取出し装置の壁４の外側はクランプ装置によりクランプされる。
【００２０】
壁４には、内周１０と外周１１、間隔片９が含まれる。内周１０と外周１１は同心円筒状で、内周１０と外周１１の間には幾つかの間隔片９により連結される。
【００２１】
取出し装置にはまた取出し扉１３が含まれる。取出し扉１３は取出し装置の壁４に設置される。
【００２２】
取出し装置には、壁４、空チャンバー３及び接触物６が含まれる。空チャンバー３は壁４に取り囲まれて形成される。接触物６は取出し装置の下部に設置される。取出し装置の組合せ品には、内層取出し装置１６、中層取出し装置１５及び外層取出し装置１４が含まれる。内層取出し装置１６、中層取出し装置１５及び外層取出し装置１４は半径の異なる同心円筒状の取出し装置である。中層取出し装置１５は外層取出し装置１４の真中に位置され、内層取出し装置１６は中層取出し装置１５の真ん中に位置される。
【００２３】
接触物６は取出し装置の壁４に設置される。
【００２４】
取出し装置には更に移動連結部品２と横梁１が含まれる。取出し装置１４の上部は相応する移動連結部品２により横梁１に固定される。
【００２５】
取出し装置の壁４の外側はクランプ装置によりクランプされる。
【００２６】
壁４には、内周１０、外周１１、間隔片９が含まれる。内周１０と外周１１は同心の円筒状である。内周１０と外周１１の間は幾つかの間隔片９により連結される。
【００２７】
取出し装置には更に取出し扉１３が含まれる。取出し扉１３を取出し装置の壁４上に設置される。
【発明の効果】
【００２８】
従来の取出し方法に比べて本発明の方法には下記のメリットがある。第一に、本取出し装置は取出し中に、先ず多結晶シリコン棒を保護するので、従来のシリコン棒が環境の中に露出されて取出される現状を解決し、移送中に多結晶シリコン棒が汚染されるリスクを低減する。第二に、本発明の取出し方法では、一度に複数の多結晶シリコン棒が取出せるので、生産効率が高い。第三に、一度に複数が取出せるので、多結晶シリコン棒の移送に必要な時間が低減され、多結晶シリコンの生産周期が短縮される。第四に、人手で取出す必要がないので、作業者が多結晶シリコン棒により容易に怪我される危険を解決している。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明実施形態の取出し装置の使用状態の縦断面図である。
【図２】前記取出し装置の使用状態の横断面図である。
【図３】前記取出し装置の中で多結晶シリコン棒７を取出す時の説明図である。
【図４】前記取出し装置の組合せ品の使用状態の縦断面図である。
【図５】前記取出し装置の組合せ品の使用状態の横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
具体的な実施形態を説明する。本発明実施形態のメリットと仕事原理は次の通りである。化学気相成長反応を行うので、得られるシリコン棒は一層ずつ円周状に還元炉の基板の電極上に成長する。合計３層である。目前の多結晶シリコンの還元炉は２４対、１８対の多結晶シリコン棒が成長できる様に設けられている。２４対のシリコン棒を例とすると、外層に１２対のシリコン棒、中層に８対のシリコン棒、内層に４対のシリコン棒がある。
【００３１】
本発明の方法の全体的な発想は、同じ軸の幾つかの円周上に分布される多結晶シリコン棒７に対して、先ず一度に一番外周上の多結晶シリコン棒７を取出し、次に一度に次外周上の多結晶シリコン棒７を取出し、外から中まで順番に一層ずつ全ての多結晶シリコン棒７を取り出すことである。
【実施例１】
【００３２】
先ず取出し装置の空チャンバー３にて、取出し待ちの多結晶シリコン炉の基板１２上の多結晶シリコン棒７の中でその中の1層を被せた。次に接触物６にて多結晶シリコンに力を印加することにより、性質の脆い複数の多結晶シリコン棒７が接触物６と接触する部位で多結晶シリコン炉体の基板１２から脱して、多結晶シリコン棒７が取出し装置の空チャンバー３内に落ちる様にした。接触物６を採用して多結晶シリコン棒７を支持することにより、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した大きいブロックの多結晶シリコン棒７が引き続いて取出し装置の空チャンバーの中に盛り上がるが、空チャンバー３から滑り落ちしない様にした。最後に取出し装置を上方向に移動させ、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にした。即ち、一度に複数の多結晶シリコン棒７を取り出す取出し仕事を完成したことになる。
【００３３】
本実施例の中で、接触物６は差込品（例えばフォーク）であっても良い。差込品で多結晶シリコン棒７の底部を支持し、多結晶シリコン棒7の上部のクレーン８の力により、多結晶シリコン棒７が差込み品と接触する部位で多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にしている。差込み品は、多結晶シリコン棒７を支持する作用と共に、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した後の多結晶シリコン棒７を支持する作用をする。本実施例に使用される差込み品としては、その他類型の差込み品を用いて上記の目的に達しても良い。即ち、接触物６を用いて、多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱すると同時に、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した後の多結晶シリコン棒７を支持させることにより、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した大きいブロックの多結晶シリコン棒７が引き続いて取出し装置の空チャンバー３の中で盛り上がるが空チャンバー３から滑り落ちしない様にしている。
【００３４】
取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板１２にある複数の多結晶シリコン棒７を一度に取り出す準備方式：外周上の複数の多結晶シリコン棒７を一度に全部取り出すこともでき、次外周上の複数の多結晶棒７を一度に全部取り出すこともでき、内周上の複数の多結晶シリコン棒７を一度に全部取り出すこともでき、外周の複数の多結晶シリコン棒７を、隣接している2対を一組或いは3対を一組として一度に全部取り出すこともでき、次外周上の複数の多結晶シリコン棒７を、隣接している2対を一組或いは3対を一組として一度に全部取り出すこともでき、内周上の複数の多結晶シリコン棒７を、隣接している2対を一組或いは3対を一組として一度に全部取り出すこともできる。
【実施例２】
【００３５】
先ず取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板12上の複数の多結晶シリコン棒７を被せて、直接に衝撃ハンマーを用いて、多結晶シリコン棒７が断裂して多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にした。衝撃ハンマーが取出し装置の壁４を突き通る様にして、性質の脆い複数の多結晶シリコン棒７が衝撃ハンマーと接触する部位で断裂して多結晶シリコン炉体の基板１２から脱して、取出し装置の空チャンバー３の中に落ちる様にした。
【００３６】
接触物６に移動基板或いはフィルターを設置して、多結晶シリコン棒７を支持させることにより、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した大きいブロックの多結晶シリコン棒７が引き続いて取出し装置の空チャンバー内に盛り上がるが、空チャンバー３から滑り落ちしない様にした。最後に取出し装置を上方向に移動させ、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にした。即ち、一度に複数の多結晶シリコン棒７を取り出す取出し仕事を完成したことになる。
【００３７】
本実施例の中では、その他の装置を使用して多結晶シリコン棒７が多結晶炉体の基板１２から脱する様にしても良い。例えばカッター、機械アーム等を用いて、多結晶シリコン棒７を多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する目的に達しても良い。
【実施例３】
【００３８】
先ず取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板１２上の複数の多結晶シリコン棒７を被せた。接触物６にて複数の多結晶シリコン棒７を取出し装置の上に固定し、接触物６に力を加えることにより性質の脆い複数の多結晶シリコン棒７が接触物６と接触する部位で多結晶シリコン炉体の基盤１２から脱して、多結晶シリコン棒が取出し装置の空チャンバー３の中に落ちる様にした。接触物６を採用して多結晶シリコン棒７を支持させることにより、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した大きいブロックの多結晶シリコン棒７が引き続いて取出し装置の空チャンバー３の中で盛り上がるが、空チャンバー3から滑り落ちしない様にした。最後に取出し装置を上方向に移動させ、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にした。即ち一度に複数の多結晶シリコン棒７を取出す取出し仕事を完成したことになる。
【実施例４】
【００３９】
本実施例の中では、上記実施例の中での取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板１２上の多結晶シリコン棒７を被せる前に、多結晶シリコン炉体の基板１２の端に取出し装置の外壁が正確に上下移動に出来る様に取出しガイド５を固定する手順を加えた。
【実施例５】
【００４０】
同じ軸の幾つかの円周上に分布される複数の多結晶シリコン７に対して、先ず一度に一番外周上に分布された２対の隣接している多結晶シリコン棒７を取出し、更に一度に外周上に分布される次の２対の隣接している多結晶シリコン棒７を取出し、同じ方法で外周上の残りの複数の多結晶シリコン棒７を全部取出すまで２対ずつ取出した。次に一度に次外周の２対の隣接している多結晶シリコン棒７を取出し、更に一度に次外周の次の２対の隣接している多結晶シリコン棒７を取出し、同じ方法で、次外周の残りの複数の多結晶シリコン棒７を全部取出すまで２対ずつ取出した。最後に一度に内周上の２対の隣接している多結晶シリコン棒７を取出し、更に一度に内周上の次の２対の隣接している多結晶シリコン棒７を取出し、同じ方法で、内周上の残りの複数の多結晶シリコン棒７を全部取出すまで２対ずつ取出した。
【実施例６】
【００４１】
二つの同心円筒状の内周１０と外周１１を設け、内周１０と外周１１の間を幾つかの間隔片９により連結される様にした。外周１１と内周１０と間隔片９により取出し装置の壁４が構成された。壁４の下部は穴付きにして、接触物６が通過或いは差込みできる様にした。取出し装置は壁４及び壁４を取囲んで形成される空チャンバー３により構成され、取出し装置の下部にはまた接触物６を設けた。
【００４２】
上記実施例の中で、接触物６を取出し装置の壁４に設置しても良い。
【００４３】
上記実施例の中で、取出し装置には移動連結品２と横梁１が含まれても良い。取出し装置１４の上部は相応する移動連結品２により横梁１に固定される。
【００４４】
上記実施例の中で、取出し装置の壁４の外側はクランプ装置によりクランプすることができる（図示無し）。即ち、取出し装置の壁４の上下端のスライド扉に設置することができる。
【００４５】
上記実施例の中で、取出し装置の取出し扉１３を取出し装置の壁４に取り付けても良い。
【実施例７】
【００４６】
取出し装置の組合せ品には、同心円筒状の半径の異なる内層取出し装置１６、中層取出し装置１５、外装取出し装置１４が含まれ、中層取出し装置１５は外装取出し装置１４の真中に位置し、内層取出し装置１６は中層取出し装置１５の真中に位置する様にした。
【実施例８】
【００４７】
取出し装置の組合せ品には同心円筒状の半径の異なる内層取出し装置１６、中層取出し装置１５、外装取出し装置１４が含まれ、中層取出し装置１５は外装取出し装置１４の真中に位置し、内層取出し装置１６は中層取出し装置１５の真中に位置する様にした。内層取出し装置１６、中層取出し装置１５、外層取出し装置１４の上部は相応する移動連結部品２にて横梁１に固定し、横梁１の外側をクレーン８と繋げた。
【００４８】
上記実施例の中で、多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する方式がある。接触物にて多結晶シリコン棒７に力を印加することにより多結晶シリコン炉体の基板１２から脱しても良いし、直接に外部装置にて多結晶シリコン棒７に力を印加することにより多結晶シリコン炉体の基板１２から脱しても良い。
【００４９】
人手で一本ずつ叩く方式にて断裂させ、多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にしても良いし、作業効率を高める為に類似機械を採用して横向きの衝撃ハンマーにて早いスピードで多結晶シリコン棒７を断裂させ、多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にても良い。
【００５０】
人力バール、人力フォーク、人力ハンマー、機械設備の衝撃ハンマー、機械設備のハンドル、機械設備のバール、機械設備のフォーク等を使用しても良い。
【００５１】
多結晶シリコン棒７は性質が脆くて断裂しやい為、上記のいずれの方式でも多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱することができ、その他の方式でも多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱することができる。
【００５２】
例えば、取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板上の多結晶シリコン棒７を被せ、取出し装置が位置決めした後、取出し装置の壁４を突き通り、人力バールを用いて、多結晶シリコン棒７を多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にする。
【００５３】
例えば、取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板上の多結晶シリコン棒７を被せて、取出し装置が位置決めした後、横向き衝撃ハンマーを用いて多結晶シリコン棒７を衝撃して、性質の脆い複数の多結晶シリコン棒７が横向き衝撃ハンマーと接触する部位で多結晶シリコン炉体の基板１２から脱して、取出し装置の空チャンバー３の中に落ちる様にする。
【００５４】
例えば、取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板上の多結晶シリコン棒７を被せて、取出し装置が位置決めした後、機械アームを用いて吊下げ式衝撃ハンマーを取出し装置の空チャンバーの中に吊下げて、吊下げ式衝撃ハンマーにて多結晶シリコン棒７を衝撃して、性質の脆い複数の多結晶シリコン棒７が吊下げ式の衝撃ハンマーと接触する部位で多結晶シリコン炉体の基板１２から脱して、取出し装置の空チャンバー３の中に落ちる様にする。
【００５５】
上記実施例での多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した後の支持方式がある。多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した後の多結晶シリコン棒７が、良い状態で取出し装置の中でキープできる様にする為、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した多結晶シリコン棒７を支持するものが必要となる。これに対して取出し装置の下部に、多結晶シリコン炉体の基板１２を脱した後の多結晶シリコン棒７を支持する接触物６を設置することにより、この作業を実現することができる。
【００５６】
例えば、接触物６としては、取出し装置の下部に設置される移動基板でも良い。先ず移動基板を収納して、多結晶シリコン棒７にぶつかって破損しない様にする。次に取出し装置の空チャンバー３にて取出し待ちの多結晶シリコン炉体の基板１２上の複数の多結晶シリコン棒７を被せる。その後、移動基板を開いて、移動基板により空チャンバー３と多結晶シリコン炉体の基板１２が隔てる様にする。移動基板は、板材を繋ぎ合わせて伸縮できて、収める際スペースを占めない様にしても良い。移動基板は取出し装置の壁４上の穴を通して中に突き込み、一旦止って（多結晶シリコン棒７を固定或いは支持）、ある方式にて複数の多結晶シリコン棒７が多結晶シリコン炉体の基板１２から脱する様にする。移動基板により空チャンバー３と多結晶シリコン炉体の基板１２が隔てているので、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した複数の多結晶シリコン棒７が空チャンバー３の中に落ちる。即ち、移動基板により支持仕事が完成できる。
【００５７】
接触物６としては取出し装置の下部に設置される差込品（例えばフォーク）であっても良い。差込み品が壁４を突き通って、多結晶シリコン炉体の基板１２から脱した複数の多結晶シリコン棒７が空チャンバー３から離れるのを止めることもできる。即ち、差込み品により支持仕事が完成できる。
【００５８】
例えば、接触物６としては、機械アームにより上部から空チャンバー３を通るフィルターでも良い。フィルターにて多結晶シリコン棒７を被せ、取出し装置にフィルターの一端に掛けるても良い。フィルターも同じく支持仕事が完成できる。壁４の底部にはいくらかの穴が設置され、接触物６が通れる様にし、ちょうど多結晶シリコン棒の底部に止まり、多結晶シリコン棒或いは間隔片により止められない様にしている。
【００５９】
上記実施例で、多結晶シリコン７が多結晶炉体の基板１２から脱した後の移送方式がある。多結晶シリコン炉体１２から脱した複数の多結晶シリコン棒７が空チャンバー３の中に落ちる際壁４の保護があり、クレーン８により取出し装置が上方向に吊上げられて多結晶シリコン炉体の基板１２から離れる様にし、或いは機械アームが壁４を取囲むクランプ装置により取出し装置を上方向に移動されて多結晶シリコン炉体の基板１２から離れる様にする。いずれも複数の多結晶シリコン棒７の移送仕事が完成できる。
【００６０】
その中、空チャンバー３の中には複数の多結晶シリコン棒７が収納できるので、一度に複数の多結晶シリコン棒７を移送する効率が、従来の一本或いは一対ずつ多結晶シリコン棒７を転移する方式に比べて遥かに高い。それ以外に、壁４の保護作用により、従来の移送中に潜在する作業者１８が怪我を受ける恐れが避けられ、従来の露出式の移送中に潜在する多結晶シリコン棒７が汚染される恐れが避けられる。
【００６１】
上記実施例の中での多結晶シリコン棒を移送した後の取出し方式がある。例えば、クレーン８により複数の多結晶シリコン棒７が入っている取出し装置を直接にトラックの容器の底部に向かって、ゆっくりと移動基板を開き、複数の多結晶シリコン棒７が容易にトラック２０の容器の中に落ちる様にする。トラック２０にて複数の多結晶シリコン棒７を次の現場に運ぶ。
【００６２】
例えば、機械アームとクランプ装置により、複数の多結晶シリコン棒７が入っている取出し装置を直接にトラックの容器の底部向かって、取出し扉１３を開き、作業者１８により、複数の多結晶シリコン棒７を取出し扉１３から取出し、トラック２０の容器の中に入れる。トラック２０にて複数の多結晶シリコン棒７を次の現場に運ぶ。
【００６３】
例えば、複数の多結晶シリコン棒７が入っている取出し装置を回転する板材に置いて、作業者１８が複数の多結晶シリコン棒７を取出し扉１３から取出し、トラック２０の容器の中に置く。トラック２０にて複数の多結晶シリコン棒７を次の現場に運ぶ。
【００６４】
作業者１８は、はしご１９とハンマー１７を借りて諸補助作業を行っても良い。
【００６５】
上記の多結晶シリコン棒を、多結晶シリコン炉体の基板から脱、支持、移送と取出す方式はそれぞれ独立しているので、相互結合して使用しても良い。
【００６６】
本発明は直径の異なる外層取出し装置１４、中層取出し装置１５、内層取出し装置１６を組み合わせて使用することにより、同時に多結晶シリコン炉体の基板１２上の全ての複数の多結晶シリコン棒７の取出し作業を完成することができる。
【００６７】
本実施例に記載された多結晶シリコン棒の取出し方法と装置は、円形排列の多結晶シリコン棒に限らず、同じく矩形排列或いはその他の複数の多結晶シリコン棒７の排列にも適用する。但し、異なる形状の壁４を採用して、矩形排列の複数の多結晶シリコン棒７に適し、本発明の空チャンバー３と接触物６に合わせて使用すれば、本発明の基本仕事が完成できる。
【００６８】
従来の取出し方法に比べて、本発明は下記のメリットがある。第一、本取出し装置は取出し中に先ず多結晶シリコン棒を保護しているので、従来のシリコン棒を環境の中に露出されたまま取出す現状を解決し、移送中に多結晶シリコンが汚染を受けるリスクを低減する。第二、本発明の取出し方法では、一度に複数の多結晶シリコン棒が取出せるので、生産効率が高い。第三、一度に複数のシリコン棒が取出せるので、多結晶シリコン棒を移送するのに必要な時間が減少され、多結晶シリコンの生産周期が短縮される。第四、人手で取出す必要がないので、作業者が多結晶シリコンにより容易に怪我される危険を解決している。
【符号の説明】
【００６９】
1・・・横梁
2・・・連結部品
3・・・空チャンバー
4・・・壁
5・・・ガイド
6・・・接触物
7・・・多結晶シリコン棒
8・・・クレーン
9・・・間隔片
10・・・内周
11・・・外周
12・・・多結晶シリコン炉の基板
13・・・取出し扉
14・・・外層取出し装置
15・・・中層取出し装置
16・・・内層取出し装置
17・・・ハンマー
18・・・作業者
19・・・はしご
20・・・トラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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