(57)【要約】【課題】超仕上げ加工を行う被研削物の長さ及び大きさが制約されない研削装置を提供する。【解決手段】第１ロッドが駆動ロッド、従動ロッド及び砥石ホルダと第１軸４３ａ、第２軸４３ｂ及び第３軸５４ａ廻りに回動可能に連結され、第２ロッドが駆動ロッド、従動ロッド及び砥石ホルダと第４軸４４ａ、第５軸４４ｂ及び第６軸５４ｂ廻りに回動可能に連結され、駆動ロッドは揺動伝達軸２３と共に揺動し、従動ロッドは従動ロッド支持軸３３と共に揺動し、揺動伝達軸の軸心Ｃ１１と第１軸の軸心Ｃ１２との距離、及び揺動伝達軸の軸心と第４軸の軸心Ｃ１３との距離が、従動ロッド支持軸の軸心Ｃ２１と第２軸の軸心Ｃ２２との距離、及び従動ロッド支持軸の軸心と第５軸の軸心Ｃ２３との距離に等しく、揺動伝達軸の軸心と従動ロッド支持軸の軸心との距離が、第１軸と第２軸との距離に等しいレール玉転動溝を超仕上げ加工する研削装置。【選択図】  図１
2010052082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアガイドのレールに設けられる玉転動溝を超仕上げ加工するための研削装置であって、
第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、
前記６節の平行リンク機構は、
前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、
前記第２伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成されており、
前記駆動ロッドは、
駆動装置に連結され正逆回動する揺動伝達軸に伴って前記揺動伝達軸廻りに揺動可能に形成され、
前記従動ロッドは、
前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、
前記砥石ホルダは、
超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、
前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、
かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい
こと特徴とする研削装置。
【請求項２】
第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、
前記６節の平行リンク機構は、
前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、
前記第２伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成されており、
前記駆動ロッドは、
駆動装置に連結され正逆回動する揺動伝達軸に伴って前記揺動伝達軸廻りに揺動可能に形成され、
前記従動ロッドは、
前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、
前記砥石ホルダは、
超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、
前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、
かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい
こと特徴とする研削装置。
【請求項３】
第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、
前記６節の平行リンク機構は、
前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、
前記第２伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成されており、
前記駆動ロッドは、
前記第１の揺動軸および前記第４の揺動軸のそれぞれの軸心を含む仮想平面から離れた位置においてこれらの軸心に平行な軸心を有して正逆回動する揺動伝達軸に、前記揺動伝達軸の回動に伴って揺動可能に連結され、
前記従動ロッドは、
前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、
前記砥石ホルダは、
超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、
前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、
かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい
こと特徴とする研削装置。
【請求項４】
第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、
前記第１伝達ロッドおよび前記第２伝達ロッドのいずれも、互いに並んで延びた３つの腕部を有し、
前記６節の平行リンク機構は、
前記第１伝達ロッドが、その３つの腕部の端においてそれぞれ前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダと、前記の順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、
前記第２伝達ロッドが、その３つの腕部の端においてそれぞれ前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダと、前記の順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成され、
前記駆動ロッドは、
駆動装置に連結され正逆回動する揺動伝達軸に伴って前記揺動伝達軸廻りに揺動可能に形成され、
前記従動ロッドは、
前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、
前記砥石ホルダは、
超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、
前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、
かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい
こと特徴とする研削装置。
【請求項５】
前記砥石ホルダは、
前記第３の揺動軸の軸心からの距離が、前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離に等しく、かつ前記第６の揺動軸の軸心からの距離が、前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離に等しい位置に、前記超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されている
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばリニアガイドのレールに設けられた玉転動溝、および深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、スラスト玉軸受等の玉軸受の玉の軌道として設けられた溝等の超仕上げ加工を行う研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動化機器、電子機器および半導体機器等に頻繁に使用されるリニアガイドは、玉転動溝の超仕上げ加工を行うことにより、動作精度の向上、騒音、振動の軽減および耐久性の向上が期待できる。また、玉軸受の内輪の外周面および外輪の内周面に設けられる、玉を転動させるための環状の軌道溝についても、超仕上げ加工を行うことにより、玉軸受の回転精度の向上、玉軸受からの騒音、振動の軽減および玉軸受の耐久性の向上等を図ることができる。
従来、玉軸受の外輪における内周軌道溝の超仕上げ加工を行う装置として、図１４に示されるような、超仕上げ砥石８２を保持する砥石保持アーム８３、および砥石保持アーム８３をその一端８４で保持する揺動伝達アーム８５を備えた研削装置８１が提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【０００３】
図１４に示される研削装置８１は、砥石揺動用モータ８６の揺動軸と超仕上げ砥石８２の揺動軸とを一致させる構造が採用される。この研削装置８１では、被研削物である玉軸受の内輪ＷＢと揺動中心軸ＳＡとの干渉を回避するために、砥石保持アーム８３がクランク状（略「コ」字状）に曲げられ（図１５参照）、揺動伝達アーム８５が略「Ｌ」字状となっている。したがって、この研削装置８１を用いて、直線となった被研削面、例えばリニアガイドのレールＷにおける玉転動溝ＷＧを超仕上げ加工しようとすると、超仕上げ砥石８２と揺動伝達アーム８５の他端８８との距離ＡＬによって、加工可能なレールＷの長さが制約される。
【０００４】
この加工可能なレールＷの長さが制約されるという問題を解決するために、図１５に示されるように、超仕上げ砥石９２を揺動させる砥石揺動軸９３に中空部９４を設け、中空部９４内にリニアガイドのレールＷを挿通させて、これを砥石揺動軸９３の軸方向に移動させながら、玉転動溝を超仕上げ加工する研削装置９１が提案されている（特許文献３）。なお、図１５におけるＳＡは、超仕上げ砥石９２が揺動するときの揺動中心軸である。
【特許文献１】特開平３−１２１７７１号公報
【特許文献２】特開２００５−１１８９６２号公報
【特許文献３】特開２００４−３３８００３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献３で提案された研削装置９１は、リニアガイドの加工可能なレールＷの長さの制約がない点で優れたものである。しかし、リニアガイドのレールＷを砥石揺動軸９３の中空部９４に差し入れて超仕上げ加工する方法では、砥石揺動軸９３の中空部９４の大きさ（径）によって超仕上げ加工される被研削物の大きさ（太さ）が制限される。研削装置に、リニアガイドのレールＷ以外の胴回りの大きな長尺物も超仕上げ加工可能なように汎用性を持たせるためには、砥石揺動軸９３を大型化せざるを得ないという問題もある。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、超仕上げ加工を行う被研削物の長さおよびその大きさ（太さ）が制約されない研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る研削装置は、リニアガイドのレールに設けられる玉転動溝を超仕上げ加工するための研削装置であって、第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、前記６節の平行リンク機構は、前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、前記第２伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成されており、前記駆動ロッドは、駆動装置に連結され正逆回動する揺動伝達軸に伴って前記揺動伝達軸廻りに揺動可能に形成され、前記従動ロッドは、前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、前記砥石ホルダは、超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい。
【０００７】
本発明に係る他の研削装置は、第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、前記６節の平行リンク機構は、前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、前記第２伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成されており、前記駆動ロッドは、駆動装置に連結され正逆回動する揺動伝達軸に伴って前記揺動伝達軸廻りに揺動可能に形成され、前記従動ロッドは、前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、前記砥石ホルダは、超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい。
【０００８】
本発明に係る他の研削装置は、第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、前記６節の平行リンク機構は、前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、前記第２伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成されており、前記駆動ロッドは、前記第１の揺動軸および前記第４の揺動軸のそれぞれの軸心を含む仮想平面から離れた位置においてこれらの軸心に平行な軸心を有して正逆回動する揺動伝達軸に、前記揺動伝達軸の回動に伴って揺動可能に連結され、前記従動ロッドは、前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、前記砥石ホルダは、超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい。
【０００９】
本発明に係る他の研削装置は、第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダにより形成された６節の平行リンク機構を含むリンク形成部を有し、前記第１伝達ロッドおよび前記第２伝達ロッドのいずれも、互いに並んで延びた３つの腕部を有し、前記６節の平行リンク機構は、前記第１伝達ロッドが、その３つの腕部の端においてそれぞれ前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダと、前記の順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され、前記第２伝達ロッドが、その３つの腕部の端においてそれぞれ前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダと、前記の順に第４の揺動軸、第５の揺動軸および第６の揺動軸廻りに回動可能に連結されて形成され、前記駆動ロッドは、駆動装置に連結され正逆回動する揺動伝達軸に伴って前記揺動伝達軸廻りに揺動可能に形成され、前記従動ロッドは、前記揺動伝達軸の軸心に平行な軸心を有する従動ロッド支持軸廻りに揺動可能に形成され、前記砥石ホルダは、超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されており、前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離、および前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離がそれぞれ、前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離、および前記従動ロッド支持軸の軸心と前記第５の揺動軸の軸心との距離に等しく、かつ前記揺動伝達軸の軸心と前記従動ロッド支持軸の軸心との距離が、前記第１の揺動軸の軸心と前記第２の揺動軸の軸心との距離に等しい。
【００１０】
前記砥石ホルダは、前記第３の揺動軸の軸心からの距離が、前記揺動伝達軸の軸心と前記第１の揺動軸の軸心との距離に等しく、かつ前記第６の揺動軸の軸心からの距離が、前記揺動伝達軸の軸心と前記第４の揺動軸の軸心との距離に等しい位置に、前記超仕上げ砥石の一端を露出させて保持可能に形成されている。
上記における「６節の平行リンク機構」とは、第１の揺動軸の軸心と第４の揺動軸の軸心とを含む仮想平面、第２の揺動軸の軸心と第５の揺動軸の軸心とを含む仮想平面、および第３の揺動軸の軸心と第６の揺動軸の軸心とを含む仮想平面が相互に平行であり、第１の揺動軸の軸心と第４の揺動軸の軸心との距離、第２の揺動軸の軸心と第５の揺動軸の軸心との距離、および第３の揺動軸の軸心と第６の揺動軸の軸心との距離が等しいことを要件とするすべての６節のリンク機構をいい、第１伝達ロッド、第２伝達ロッド、駆動ロッド、従動ロッドおよび砥石ホルダの軸心が直線であるか否かを問わない。なお、「６節の平行リンク機構を含むリンク形成部」とは、前記要件を満たす６節のリンク機構を含む８節以上のリンク機構を有するリンク形成部も本発明のリンク形成部に含まれる意である。
【００１１】
また、上記において例えば「前記第１伝達ロッドが、前記駆動ロッド、前記従動ロッドおよび前記砥石ホルダとそれぞれ順に第１の揺動軸、第２の揺動軸および第３の揺動軸廻りに回動可能に連結され」とした「それぞれ順に」は、記載順に、第１伝達ロッドと駆動ロッドとが第１の揺動軸により、第１伝達ロッドと従動ロッドとが第２の揺動軸により、および第１伝達ロッドと砥石ホルダとが第３の揺動軸により、それぞれ揺動可能に連結されている意である。他の「（それぞれ）順に」についても同様である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、超仕上げ加工を行う被研削物の長さおよびその大きさ（太さ）が制約されない研削装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は研削装置１の正面図、図２は研削装置１の平面図、図３は図２におけるＡ−Ａ矢視断面図、図４は制御装置４の概略図である。
図１における上および下をそれぞれ「上」および「下」といい、上と下とを結ぶ方向を「上下（方向）」または「垂直（方向）」という。また、図１における横方向および図２の平面図に示される方向を「水平（方向）」というものとする。
図１ないし図３において、研削装置１は、支持台２，本体装置３および制御装置４等からなる。
【００１４】
支持台２は、駆動装置支持部１１およびリンク支持部１２からなる。
駆動装置支持部１１は、駆動装置支持壁１３、背面壁１４およびこれらを連結する板材１５，１５等からなる。駆動装置支持壁１３は、支持台２が固定される架台等から直立する、全体に矩形であって下側の一方の角に切り欠き部分１６を有する板状部材である。背面壁１４は、駆動装置支持壁１３と略同一の形状を有する板状部材で、駆動装置支持壁１３と間隔を有して平行にかつ対向して架台等に固定されている。板材１５，１５は、駆動装置支持壁１３および背面壁１４のそれぞれの両端を連結固定する。駆動装置支持部１１は、駆動装置支持壁１３、背面壁１４および板材１５，１５により、平面視（図２）において矩形の空間１７を内側に形成している。
【００１５】
リンク支持部１２は、駆動装置支持部１１に、その切り欠き部分１６の上方外側において固定されている。リンク支持部１２は、平面視において水平方向の一方が開放された略「コ（Ｃ）」字状の形状を有する。この開放された一方とは、駆動装置支持壁１３についての水平方向中央側である。図２に示されるように、リンク支持部１２は、その一部が駆動装置支持部１１と共通する。
本体装置３は、駆動装置５およびリンク形成部６等で構成される。
駆動装置５は、サーボモータ２１、駆動プーリ２２、揺動伝達軸２３、従動プーリ２４およびタイミングベルト２５等からなる。
【００１６】
サーボモータ２１は、駆動装置支持壁１３の水平方向における切り欠き部分１６とは反対の側に配されている。サーボモータ２１は、その駆動軸２６が駆動装置支持壁１３を貫通して駆動装置支持部１１の空間１７に水平に突出するように、駆動装置支持壁１３に取り付けられている。
駆動プーリ２２は、空間１７において、サーボモータ２１の駆動軸２６に固定されている。
揺動伝達軸２３は、駆動装置支持壁１３およびリンク支持部１２を貫通して、駆動装置支持壁１３およびリンク支持部１２に回動可能に支持されている。揺動伝達軸２３は、リンク支持部１２における略「コ（Ｃ）」字状の空間部分２７を通過する。揺動伝達軸２３は、駆動装置支持部１１の空間１７に水平に突出しており、その突出部分には従動プーリ２４が固定されている。
【００１７】
従動プーリ２４は、駆動プーリ２２と同一の径を有し、タイミングベルト２５により駆動プーリ２２と連結されている。従動プーリ２４の径と駆動プーリ２２の径とを異ならせることができ、例えば従動プーリ２４の径を駆動プーリ２２の径より大きくし、従動プーリ２４の揺動の精度を高めてもよい。
リンク形成部６は、駆動ロッド３１、従動ロッド３２、従動ロッド支持軸３３、第１伝達ロッド３４、第２伝達ロッド３５および砥石ホルダ３６等からなる。
駆動ロッド３１は、断面矩形の棒状体で形成され、その長手方向の一方の端部が、リンク支持部１２の空間部分２７において、リンク支持部１２を貫通する揺動伝達軸２３に直交させて固定されている。駆動ロッド３１は、これに連結される第１伝達ロッド３４の動作が制限されることのないように、空間部分２７における駆動装置支持壁１３から離れた位置に配置される。また、空間部分２７における揺動伝達軸２３の外周には、駆動ロッド３１と一体化された揺動伝達軸２３のその軸方向への移動を制限するためのスペーサ３７ａ，３７ｂが設けられている。駆動ロッド３１は、長手方向中央および他方の端近傍に、水平方向に貫通する孔（「軸孔」という）３８ａ，３８ｂを有する。
【００１８】
揺動伝達軸２３の軸心および長手方向中央の軸孔３８ａの軸心の距離と、長手方向中央の軸孔３８ａの軸心および他方の端近傍の軸孔３８ｂの軸心の距離とは、略等しい。
従動ロッド３２は、駆動ロッド３１と略同一の形状を有する。従動ロッド３２は、その長手方向の一方の端近傍で、次に説明する従動ロッド支持軸３３によって、リンク支持部１２に対して回動可能に支持台２（リンク支持部１２）に支持されている。従動ロッド３２は、駆動ロッド３１と同様に、長手方向中央および他方の端近傍に、水平方向に貫通する孔（「軸孔」という）３９ａ，３９ｂを有する。また、従動ロッド支持軸３３の軸心および長手方向中央の軸孔３９ａの軸心の距離と、長手方向中央の軸孔３９ａの軸心および他方の端近傍の軸孔３９ｂの軸心の距離とは、略等しい。
【００１９】
駆動ロッド３１および従動ロッド３２における各軸孔３８ａ〜３９ｂの位置は、それぞれの揺動伝達軸２３または従動ロッド支持軸３３に対する配置が同一であれば、それぞれの距離を異ならせてもよい。この「配置が同一」とは、例えば駆動ロッド３１と従動ロッド３２とを、揺動伝達軸２３および従動ロッド支持軸３３の各軸心が一致するように重ね合わせたときに、駆動ロッド３１の軸孔３８ａ，３８ｂの各軸心と従動ロッド３２の軸孔３９ａ，３９ｂの各軸心とがそれぞれ一致することをいう。
従動ロッド支持軸３３は、揺動伝達軸２３の下方に、揺動伝達軸２３から間隔を有してこれと平行に配され、リンク支持部１２に回動可能に支持されている。従動ロッド支持軸３３は、研削装置１を上方から見たときに従動ロッド３２が駆動ロッド３１に重なるように従動ロッド３２と一体化されている。なお、従動ロッド支持軸３３は、揺動伝達軸２３と同様に、その外周に軸方向への移動を制限するためのスペーサが設けられている。従動ロッド支持軸３３をリンク支持部１２に固着し、従動ロッド３２が従動ロッド支持軸３３廻りに回動可能に構成してもよい。
【００２０】
第１伝達ロッド３４は、断面矩形の棒状体で形成される。第１伝達ロッド３４は、長手方向における一方の端近傍、中央より若干一方の端寄り位置、および他方の端近傍に、それぞれ貫通する孔４１ａ，４１ｂ，４１ｃを有する。
第１伝達ロッド３４は、駆動ロッド３１および従動ロッド３２に対して駆動装置支持部１１側で（図２参照）、孔４１ａが駆動ロッド３１の軸孔３８ａと、孔４１ｂが従動ロッド３２の軸孔３９ａと、それぞれ揺動軸４３ａ，４３ｂにより、互いに回動自在に連結されている。
【００２１】
第２伝達ロッド３５は、第１伝達ロッド３４と同一の構造を有する。第２伝達ロッド３５は、第１伝達ロッド３４における孔４１ａ，４１ｂ，４１ｃに対応する孔４２ａ，４２ｂ，４２ｃを有する。
第２伝達ロッド３５は、駆動ロッド３１および従動ロッド３２に対して駆動装置支持部１１側で、孔４２ａが駆動ロッド３１の軸孔３８ｂと、孔４２ｂが従動ロッド３２の軸孔３９ｂと、それぞれ揺動軸４４ａ，４４ｂにより、互いに回動自在に連結されている。
研削装置１においては、第１伝達ロッド３４および第２伝達ロッド３５は、いずれもその長手方向が垂直となって、互いに平行に駆動ロッド３１および従動ロッド３２に連結されている。
【００２２】
砥石ホルダ３６は、ロッド部５１およびシリンダ装置５２からなる。
ロッド部５１は、断面矩形の棒状体で形成され、その長さは駆動ロッド３１の略３分の２である。ロッド部５１は、その長手方向両端近傍にそれぞれ貫通する孔（「軸孔」という）５３ａ，５３ｂを有する。軸孔５３ａ，５３ｂ間の距離は、駆動ロッド３１の軸孔３８ａ，３８ｂ間の距離と等しい。砥石ホルダ３６は、第１伝達ロッド３４および第２伝達ロッド３５に対して駆動装置支持部１１の反対側で、つまり平面視において駆動ロッド３１および従動ロッド３２と重なるようにして、軸孔５３ａが第１伝達ロッド３４の孔４１ｃと、軸孔５３ｂが第２伝達ロッド３５の孔４２ｃと、それぞれ揺動軸５４ａ，５４ｂにより、互いに回動自在に連結されている。
【００２３】
シリンダ装置５２は、そのロッドを超仕上げ砥石５５とする空気圧駆動の単動型エアシリンダである。シリンダ装置５２は、その軸心をロッド部５１の長手方向に一致させて、ロッド部５１に固着されている。シリンダ装置５２における超仕上げ砥石５５の先端面である研削面５６は、軸孔５３ａに対して軸孔５３ｂの逆側であって、揺動伝達軸２３の軸心および従動ロッド支持軸３３の軸心を含む仮想平面よりもさらに先に位置している。超仕上げ砥石５５の研削面５６は、揺動伝達軸２３に平行な母線を有する曲面となっている。
【００２４】
シリンダ装置５２のシリンダ室は、作動流体である空気の圧力を制御する圧力制御装置に連通されている。
以上のように構成された研削装置１では、駆動ロッド３１、従動ロッド３２、第１伝達ロッド３４、第２伝達ロッド３５および砥石ホルダ３６が、揺動軸４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ，５４ａ，５４ｂにより連結された正逆回動可能な連結点を６つ有する６節の平行リンク機構を形成している。
制御装置４は、コントローラ６１およびサーボアンプ６２等からなる。
【００２５】
コントローラ６１は、種々の演算処理を行うＣＰＵ、超仕上げ加工条件の記憶およびサーボアンプ６２を制御するためのプログラム等を記憶するＲＡＭ、大容量磁気ディスク等の記憶装置、超仕上げ加工条件等を入力しかつ超仕上げ加工の状況を表示させる入出力装置（タッチパネル）および異常を知らせる警報装置等からなる。
コントローラ６１は、予め入力された超仕上げ砥石５５の揺動運動の基準傾斜角度（揺動幅の中央の角度）α、揺動角度β、揺動数および加工時間等に従って、サーボアンプ６２に対しサーボモータ２１の制御を指示する。また、コントローラ６１は、サーボモータ２１だけではなく、圧力制御装置に対して超仕上げ砥石５５がレールＷ等の被研削面を押圧する圧力を指示する。
【００２６】
次に超仕上げ加工時の研削装置１の動作を説明する。
図５は研削装置１により４溝タイプの玉転動溝ＷＧを有するレールの超仕上げ加工を行う様子を示す図である。なお、図５に示されるのは、レールＷの角に設けられたサーキュラーアーク溝である玉転動溝ＷＧに対して研削を行う場合である。
研削装置１の制御装置４には、予め研削対象の玉転動溝ＷＧの種類、大きさおよび研削対象部分等に応じて、砥石ホルダ３６（超仕上げ砥石５５）の基準傾斜角度αおよび揺動角度±β等の研削条件が格納される。制御装置４は、作業者が指定した玉転動溝ＷＧの種類等（例えば特定の大きさのレールＷにおける角に設けられたサーキュラーアーク溝のコード番号を指定、または都度入力される基準傾斜角度α等の個別条件）に従ってコントローラ６１がサーボモータ２１を回動させ、砥石ホルダ３６を揺動の中央角度（基準傾斜角度α）まで傾斜させる。この動作は、サーボアンプ６２が基準傾斜角度αまでの回動指令をコントローラ６１から受け、サーボモータ２１からのエンコーダ出力を受けてサーボモータ２１の回動を制御することにより行われる。図５には、基準傾斜角度αが４５度の場合が示される。
【００２７】
リニアガイドのレールＷは、その長手方向が揺動伝達軸２３と平行になるように切り欠き部分１６の下方に配置され、超仕上げ砥石５５の研削面５６がその玉転動溝ＷＧに押し当てられる。このときの押圧力は、圧力制御装置がシリンダ装置５２への供給空気圧を制御することにより一定の値に調節される。
続いて、コントローラ６１の指示によって、レールＷは設定された速度でその長手方向に往復移動され、サーボモータ２１は、設定された揺動角度±βおよび揺動数で正逆回動の繰り返しを開始する。タイミングベルト２５によって駆動プーリ２２に連結された従動プーリ２４は、正逆回動動作することにより、揺動伝達軸２３に固定された駆動ロッド３１を揺動伝達軸２３廻りに揺動させる。駆動プーリ２２および従動プーリ２４の径は同一であり、サーボモータ２１の揺動角度がそのまま従動プーリ２４の揺動角度、つまり砥石ホルダ３６の揺動角度±βとなる。
【００２８】
駆動ロッド３１が揺動すると、揺動軸４３ａ，４４ａによって駆動ロッド３１に連結された第１伝達ロッド３４および第２伝達ロッド３５は、その長手方向を垂直に保ったまま、揺動伝達軸２３からの距離に応じて上下動する。
このとき、駆動ロッド３１、従動ロッド３２、第１伝達ロッド３４、第２伝達ロッド３５および砥石ホルダ３６は、揺動軸４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ，５４ａ，５４ｂにより連結された６節の平行リンク機構を形成しているので、砥石ホルダ３６は、駆動ロッド３１および従動ロッド３２と全く同じ動きをする。その結果、シリンダ装置５２に取り付けられた超仕上げ砥石５５は、揺動伝達軸２３の軸心および従動ロッド支持軸３３の軸心を含む仮想平面上のこれらの軸心に平行な揺動中心軸ＳＡ廻りに揺動し、超仕上げ砥石５５における曲面（湾曲面）で形成された研削面５６は、レールＷの玉転動溝ＷＧを超仕上げ加工する。
【００２９】
研削装置１は、駆動ロッド３１に固定された揺動伝達軸２３の軸心、駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心、および駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心のそれぞれの位置関係が、従動ロッド支持軸３３に固定または連結された部分における従動ロッド３２の揺動中心、従動ロッド３２と第１伝達ロッド３４との揺動中心、および従動ロッド３２と第２伝達ロッド３５との揺動中心のそれぞれの位置関係に等しく構成されている。
また、研削装置１は、砥石ホルダ３６における２つの軸孔５３ａ，５３ｂ（の軸心）を含む仮想平面が、駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心および駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心を含む仮想平面に平行であって、かつ２つの軸孔５３ａ，５３ｂの軸心間の距離が、駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心および駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心の距離に等しくされている。
【００３０】
なお、砥石ホルダ３６における２つの軸孔５３ａ，５３ｂを含む仮想平面は、従動ロッド３２と第１伝達ロッド３４との揺動中心および従動ロッド３２と第２伝達ロッド３５との揺動中心を含む仮想平面にも平行であり、２つの軸孔５３ａ，５３ｂの軸心間の距離は、従動ロッド３２と第１伝達ロッド３４との揺動中心および従動ロッド３２と第２伝達ロッド３５との揺動中心の距離に等しい。
研削装置１は、揺動伝達軸２３の軸心から従動ロッド支持軸３３の軸心までの距離が、駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心から従動ロッド３２と第１伝達ロッド３４との揺動中心までの距離に等しい。
【００３１】
ここで、例えば、「駆動ロッド３１に固定された揺動伝達軸２３の軸心、駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心、および駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心のそれぞれの位置関係」とは、（１）揺動伝達軸２３の軸心から駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心までの距離、（２）揺動伝達軸２３の軸心から駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心までの距離、および（３）駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心から駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心までの距離、の３つの値によって一義的に決定される揺動伝達軸２３の軸心、駆動ロッド３１と第１伝達ロッド３４との揺動中心、および駆動ロッド３１と第２伝達ロッド３５との揺動中心のそれぞれの位置の相互関係をいう。
【００３２】
研削装置１は、上記のように構成されていることにより、サーボモータ２１の駆動軸２６の延長線上とは異なる揺動中心軸ＳＡ廻りに、超仕上げ砥石５５を揺動させることを可能としている。そのため、研削装置１は、リニアガイドのレールＷの長手方向に超仕上げ砥石５５を揺動させる機構、例えばサーボモータ２１、サーボモータ２１の正逆回転を超仕上げ砥石５５に伝える伝達機構（図１４における揺動伝達アーム８５、図１５における砥石揺動軸９３等）を配する必要がなく、超仕上げ加工することができるリニアガイドのレールＷの長さおよび太さが制限されない。
【００３３】
また、研削装置１は、サーボモータ２１により駆動されるので、基準傾斜角度αを任意に設定することができ、かつ揺動角度βを任意に設定することができる。特許文献３において提案された研削装置（超仕上げ盤）では、偏心位置に固定されたクランクピンに支持された連結棒により超仕上げ砥石を揺動させる方式が採用されている。この方式では、揺動角度を変更するにはクランクピンの偏心の程度を機械的に変更する必要があり、この従来技術に比べて、研削装置１は、極めて容易に（プログラム的に）揺動角度βを変更することができる。
【００３４】
研削装置１は、支持台２における超仕上げ砥石５５の近傍に切り欠き部分１６が設けられていることによって、超仕上げ砥石５５に極めて太い長尺物の被研削面を当接させることができ、広範な研削対象物を超仕上げ加工することができる。
研削装置１は、リニアガイドのレールＷにおける玉転動溝ＷＧの超仕上げ加工に限られず、他の長尺物の表面の超仕上げ加工を行うことができる。また、研削装置１は、深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、スラスト玉軸受等の玉軸受の玉の軌道として設けられた溝等の超仕上げ加工も、当然に行うことができる。
【００３５】
さらに、研削装置１は、研削面５６が凹状の曲面である超仕上げ砥石を用いることにより、被研削面が、レールＷの玉転動溝ＷＧのような凹状曲面でなく凸状の曲面を有する長尺物および湾曲表面を有する被研削物を超仕上げ加工することができる。
図６は研削装置１により玉転動溝ＷＧを側面に有する２溝タイプのレールＷの超仕上げ加工を行う様子を示す図である。図６に示される玉転動溝ＷＧは、ゴシックアーク溝である
研削装置１に、特定の大きさの２溝タイプのレールＷにおけるゴシックアーク溝（ＷＧ）の上半分ＷＧａを研削するための情報が入力される。この情報は、レールＷの研削対象部分ごとの研削条件に予め割り当てられたコード番号、または具体的な基準傾斜角度α、揺動角度β、揺動数および加工時間等である。コントローラ６１は、この情報に基づいてサーボモータ２１を回動させ、砥石ホルダ３６を揺動の中央角度（基準傾斜角度α）まで傾斜させる。図６には、基準傾斜角度αが−４０度の場合が示される。
【００３６】
リニアガイドのレールＷは、その長手方向が揺動伝達軸２３と平行になるように、かつ超仕上げ加工されるそのゴシックアーク溝の上半分ＷＧａが超仕上げ砥石５５の研削面５６に対向するように配置される。
シリンダ装置５２により超仕上げ砥石５５の研削面５６がゴシックアーク溝の上半分ＷＧａに押し当てられる。
続いて、コントローラ６１の指示によって、レールＷは設定された速度でその長手方向に往復移動され、サーボモータ２１の正逆回転の繰り返しがリンク形成部６の砥石ホルダ３６に伝えられてこれを揺動させ、超仕上げ砥石５５がレールＷの玉転動溝ＷＧの上半分ＷＧａを超仕上げ加工する。
【００３７】
レールＷの玉転動溝ＷＧにおける下半分ＷＧｂの超仕上げ加工は、例えば砥石ホルダ３６の基準傾斜角度αを４０度とし、他の条件を、玉転動溝ＷＧの上半分ＷＧａにおける場合と同じにして行われる（図６左側の砥石ホルダ３６（Ｌ）を参照）。
研削装置１は、研削対象のレールＷに対して直交する方向に主な動作機構が配されることから、１本のレールＷに対して同時に複数の研削装置１を対向させてまたは並列に配置することが可能である。
図７は１本のレールＷの２つの転動溝ＷＧを同時に２つの研削装置１Ａ，１Ａで加工する様子を示す図である。
【００３８】
研削装置１Ａは、対向させて２基を配置可能とするために超仕上げ砥石５５の研削面５６側に支持台２Ａの張り出しを少なくしている。また、研削装置１Ａでは、超仕上げ砥石５５をレールＷに向けて突き出せるように、揺動伝達軸２３と従動ロッド支持軸３３が揺動伝達軸２３よりも外方（研削対象物側）に配置されている。
研削装置１Ａは、このような対応を行うことにより、１本のレールＷを挟んで対向位置に複数台配置して同時に複数の転動溝ＷＧを超仕上げ加工する用途に適しており、超仕上げ加工時間の短縮化、レールＷ交換の無駄時間の削減を図ることができる。
【００３９】
図８は他の形態のリンク形成部６Ｂを有する研削装置１Ｂの正面概略図である。
図８に示される研削装置１Ｂにおいて、リンク形成部６Ｂは、駆動ロッド３１Ｂ、従動ロッド３２Ｂ、従動ロッド支持軸３３Ｂ、第１伝達ロッド３４Ｂ、第２伝達ロッド３５Ｂおよび砥石ホルダ３６Ｂ等からなる。
駆動ロッド３１Ｂは、断面矩形の棒状体で形成され、一方の端部が揺動伝達軸２３に直交させて固定されている。駆動ロッド３１Ｂがその長手方向略中央および他方の端部に、第１伝達ロッド３４Ｂおよび第２伝達ロッド３５Ｂと回動可能に連結するための軸孔を有することを含め、駆動ロッド３１Ｂにおける基本的な構造は、リンク形成部６における駆動ロッド３１と略同じである。ここで、駆動ロッド３１と一体化された揺動伝達軸２３は、支持台２Ｂに回動可能に支持され、その一端部に従動プーリ２４が固定されて、サーボモータ２１の正逆回転に伴って揺動可能となっている。
【００４０】
従動ロッド３２Ｂは、駆動ロッド３１Ｂと略同一の形状を有する。従動ロッド３２Ｂは、その長手方向の一方の端近傍が、回動可能に支持台２Ｂに支持された従動ロッド支持軸３３Ｂに直交させて固定されている。従動ロッド３２Ｂにおける基本的な構成は、リンク形成部６における従動ロッド３２と略同じである。
従動ロッド支持軸３３Ｂは、その基本的な構成がリンク形成部６における従動ロッド支持軸３３と同じである。従動ロッド支持軸３３Ｂは、揺動伝達軸２３との間に、駆動ロッド３１Ｂにおける揺動伝達軸２３に固定された側の端部に妨げられることなく従動ロッド３２Ｂを従動ロッド支持軸３３Ｂ廻りに回動させることができる程度の十分な間隔がもうけられて配置されている。
【００４１】
第１伝達ロッド３４Ｂは、等間隔かつ互いに平行な第１腕部４５Ｂａ、第２腕部４５Ｂｂおよび第３腕部４５Ｂｃ、ならびにこれらの一方の端でこれらを一体化する本体部４６Ｂで形成される。第１伝達ロッド３４Ｂは、第１腕部４５Ｂａの他方の端が駆動ロッド３１Ｂにおける略中央に、および中央の第２腕部４５Ｂｂの他方の端が従動ロッド３２Ｂにおける略中央に、それぞれ回動可能に連結されている。
第２伝達ロッド３５Ｂは、第１伝達ロッド３４Ｂと同一の形状を有する。すなわち、第２伝達ロッド３５Ｂは、等間隔かつ互いに平行な第１腕部４７Ｂａ、第２腕部４７Ｂｂおよび第３腕部４７Ｂｃ、ならびにこれらの一方の端でこれらを一体化する本体部４８Ｂで形成されている。第２伝達ロッド３５Ｂは、第２腕部４７Ｂａの他方の端が駆動ロッド３１Ｂにおける揺動伝達軸２３とは反対側の端部に、および中央の第２腕部４７Ｂｂの他方の端が従動ロッド３２Ｂにおける従動ロッド支持軸３３とは反対側の端部に、それぞれ回動可能に連結されている。
【００４２】
砥石ホルダ３６Ｂは、先に説明した研削装置１における砥石ホルダ３６と同じものである。砥石ホルダ３６Ｂは、ロッド部５１における超仕上げ砥石５５側の軸孔５３ａが第１伝達ロッド３４Ｂにおける第３腕部４５Ｂｃの他方の端に、および他の１つの軸孔５３ｂが第２伝達ロッド３５Ｂにおける第３腕部４７Ｂｃの他方の端に、それぞれ回動可能に連結されている。
リンク形成部６Ｂは、駆動ロッド３１Ｂ、従動ロッド３２Ｂ、従動ロッド支持軸３３Ｂ、第１伝達ロッド３４Ｂ、第２伝達ロッド３５Ｂおよび砥石ホルダ３６Ｂが上記のように連結されることにより、変則的な６節の平行リンク機構を形成している。
【００４３】
リンク形成部６Ｂは、第１伝達ロッド３４Ｂの第１腕部４５Ｂａと駆動ロッド３１Ｂとの回動中心Ｃ１２、第２腕部４５Ｂｂと従動ロッド３２Ｂとの回動中心Ｃ２２、および第３腕部４５Ｂｃと砥石ホルダ３６Ｂとの回動中心Ｃ３１が、同一の仮想平面上に互いに平行に存在するように、かつ第２伝達ロッド３５Ｂの第１腕部４７５Ｂａと駆動ロッド３１Ｂとの回動中心Ｃ１３、第２腕部４７Ｂｂと従動ロッド３２Ｂとの回動中心Ｃ２３、および第３腕部４７５Ｂｃと砥石ホルダ３６Ｂとの回動中心Ｃ３２が、同一の仮想平面上に互いに平行に存在するように、形成されている。
【００４４】
リンク形成部６Ｂは、サーボモータ２１の正逆回転に伴って、図８（ａ）を中間位置として図８（ｂ）から図８（ｃ）の範囲で揺動可能である。リンク形成部６Ｂが揺動動作するときの超仕上げ砥石５５の揺動中心軸ＳＡは、揺動伝達軸２３および従動ロッド支持軸３３Ｂのそれぞれの軸心Ｃ１１，Ｃ２１を含む仮想平面上に存在する。つまり、超仕上げ砥石５５の揺動中心軸ＳＡは、リンク形成部６Ｂの揺動動作中常に同じ位置にあって変化しない。また、揺動中心軸ＳＡは、砥石ホルダ３６Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの回動中心Ｃ３１から、第１伝達ロッド３４Ｂと駆動ロッド３１Ｂとの回動中心Ｃ１２と揺動伝達軸２３の軸心Ｃ１１との距離と同じ距離離れた位置に形成される。
【００４５】
リンク形成部６Ｂは、駆動ロッド３１Ｂに固定された揺動伝達軸２３の軸心Ｃ１１、駆動ロッド３１Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心Ｃ１２、および駆動ロッド３１Ｂと第２伝達ロッド３５Ｂとの揺動中心Ｃ１３のそれぞれの位置関係が、従動ロッド支持軸３３Ｂに固定または連結された従動ロッド３２Ｂの揺動中心Ｃ２１、従動ロッド３２Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心Ｃ２２、および従動ロッド３２Ｂと第２伝達ロッド３５Ｂとの揺動中心Ｃ２３のそれぞれの位置関係に等しく構成されている。
また、リンク形成部６Ｂは、砥石ホルダ３６Ｂにおける２つの揺動中心Ｃ３１，Ｃ３２を含む仮想平面が、駆動ロッド３１Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心Ｃ１２および駆動ロッド３１Ｂと第２伝達ロッド３５Ｂとの揺動中心Ｃ１３を含む仮想平面、ならびに従動ロッド３２Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心Ｃ２２および従動ロッド３２Ｂと第２伝達ロッド３５Ｂとの揺動中心Ｃ２３を含む仮想平面に平行であって（リンク形成部６Ｂでは、基準傾斜角度α＝０度のとき同一平面である）、かつ２つの揺動中心Ｃ３１，Ｃ３２間の距離が、駆動ロッド３１Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心Ｃ１２および駆動ロッド３１Ｂと第２伝達ロッド３５Ｂとの揺動中心Ｃ１３の距離に等しくなっている。
【００４６】
研削装置１Ｂにおいても、揺動伝達軸２３の軸心Ｃ１１から従動ロッド支持軸３３Ｂの軸心Ｃ２１までの距離が、駆動ロッド３１Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心Ｃ１２から従動ロッド３２Ｂと第１伝達ロッド３４Ｂとの揺動中心までＣ２２の距離に等しい。
研削装置１Ｂは、リンク形成部６Ｂが上記のように形成されていることにより、サーボモータ２１の正逆回転（Ｒ１，Ｒ２）の繰り返しに伴い、その駆動軸２６の延長線上とは異なる揺動中心軸ＳＡ廻りに超仕上げ砥石５５を揺動させることができる。
なお、研削装置１Ｂにおいて、研削装置１におけるものと同一の構成を有する部分については、図８において研削装置１におけるものと同一の符合を付し、その説明を省略する。
【００４７】
図９は他の形態のリンク形成部６Ｃを有する研削装置１Ｃの正面概略図である。
研削装置１Ｃにおいて、リンク形成部６Ｃは、駆動ロッド３１Ｃ、従動ロッド３２Ｃ、従動ロッド支持軸３３Ｃ、第１伝達ロッド３４Ｃ、第２伝達ロッド３５Ｃおよび砥石ホルダ３６Ｃ等からなる。
駆動ロッド３１Ｃは、いずれも断面形状が矩形の、真っ直ぐに伸びた棒状体部６５Ｃおよび棒状体部６５Ｃの中央から一方向に突出して延びた腕部６６Ｃからなる。つまり、駆動ロッド３１Ｃは、その外観が「Ｔ」字状である。駆動ロッド３１Ｃは、腕部６６Ｃが、棒状体部６５Ｃの長手方向中央から棒状体部６５Ｃに直交して延びており、腕部６６Ｃに対して棒状体部６５Ｃの長手方向両側の重量が同一となるように、したがって動作時の慣性質量が棒状体部６５Ｃの長手方向両側で同一となるように形成されている。駆動ロッド３１Ｃは、腕部６６Ｃの先端近傍が揺動伝達軸２３に直交させて固定されている。
【００４８】
駆動ロッド３１Ｃと一体化された揺動伝達軸２３は、支持台２Ｃに回動可能に支持され、その一端部に従動プーリ２４が固定されて、サーボモータ２１の正逆回転に伴って揺動可能となっている。
従動ロッド３２Ｃは、駆動ロッド３１Ｃにおける棒状体部６５Ｃおよび腕部６６Ｃとそれぞれ略同じ形状の棒状体部６７Ｃおよび腕部６８Ｃからなり、全体として駆動ロッド３１Ｃと同一の形状である。従動ロッド３２Ｃは、腕部６８Ｃの先端近傍が従動ロッド支持軸３３Ｃに直交させて固定されている。
【００４９】
従動ロッド３２Ｃは、リンク形成部６Ｃにおいて駆動ロッド３１Ｃを平行移動させたように配置され、腕部６８Ｃを固定的に連結する従動ロッド支持軸３３Ｃは、揺動伝達軸２３と平行となっている。なお、研削装置１Ｃにおいて、従動ロッド支持軸３３Ｃに対して揺動伝達軸２３の方がサーボモータ２１に近い位置、つまり従動ロッド３２Ｃに比べて駆動ロッド３１Ｃの方がサーボモータ２１に近い位置に配置されている。
第１伝達ロッド３４Ｃは、断面矩形の棒状体で形成される。第１伝達ロッド３４Ｃは、長手方向の一方の端近傍と駆動ロッド３１Ｃにおける棒状体部６５Ｃの一方の端近傍とが回動可能に連結されている。また、第１伝達ロッド３４Ｃは、長手方向の略中央の孔が、従動ロッド３２Ｃにおける棒状体部６７Ｃの一方の端近傍に回動可能に連結されている。
【００５０】
第２伝達ロッド３５Ｃは、第１伝達ロッド３４Ｃと同一の形状を有する。第２伝達ロッド３５Ｃにおける長手方向の一方の端近傍は、駆動ロッド３１Ｃにおける棒状体部６５Ｃの他方の端近傍と回動可能に連結されている。第２伝達ロッド３５Ｃにおける長手方向の略中央の孔は、従動ロッド３２Ｃにおける棒状体部６７Ｃの他方の端近傍に回動可能に連結されている。
砥石ホルダ３６Ｃは、ロッド部５１Ｃおよびシリンダ装置５２からなる。
ロッド部５１Ｃは、駆動ロッド３１Ｃにおける棒状体部６５Ｃと略同じ長さを有する断面矩形の棒状体で形成されている。
【００５１】
シリンダ装置５２は、研削装置１におけるシリンダ装置５２と同一のものである。シリンダ装置５２は、ロッド部５１Ｃの略中央に、その軸心がロッド部５１Ｃに直交するようにしてロッド部５１Ｃに固定されている。
砥石ホルダ３６Ｃは、ロッド部５１Ｃにおける長手方向の一方の端近傍が、第１伝達ロッド３４Ｃの長手方向における駆動ロッド３１Ｃに連結された端とは反対側の端近傍に、回動可能に連結されている。同様に、ロッド部５１Ｃにおける他方の端近傍は、第２伝達ロッド３５Ｃの長手方向における駆動ロッド３１Ｃに連結された端とは反対側の端近傍に、回動可能に連結されている。ロッド部５１Ｃの第１伝達ロッド３４Ｃに対する回動中心Ｃ３１と、ロッド部５１Ｃの第２伝達ロッド３５Ｃに対する回動中心Ｃ３２との距離は、駆動ロッド３１Ｃの第１伝達ロッド３４Ｃに対する回動中心Ｃ１２と、駆動ロッド３１Ｃの第２伝達ロッド３５Ｃに対する回動中心Ｃ１３との距離に等しい。
【００５２】
リンク形成部６Ｃは、駆動ロッド３１Ｃ、従動ロッド３２Ｃ、従動ロッド支持軸３３Ｃ、第１伝達ロッド３４Ｃ、第２伝達ロッド３５Ｃおよび砥石ホルダ３６Ｃが上記のように連結されることにより、変則的な６節の平行リンク機構を形成している。
図１０は研削装置１Ｂの使用形態の１つを示す図である。
研削装置１Ｃは、超仕上げ砥石５５が、ロッド部５１Ｃの第１伝達ロッド３４Ｃに対する回動中心Ｃ３１と、ロッド部５１Ｃの第２伝達ロッド３５Ｃに対する回動中心Ｃ３２とを結ぶ線の略中央で、この線に対して直角方向に突出している。そのため、研削装置１Ｃの駆動部分を含む主要な部分をレールＷから離して配置することができ、図１０に示されるような、１本のレールＷの２つの転動溝ＷＧｃ，ＷＧｄを同時に２つの研削装置１Ｃ，１Ｃで加工する用途にも、簡易に適用することができる。また、研削装置１Ｃは、上記のように構成されていることにより、従来の研削装置では超仕上げ砥石５５を差し入れることができなかった研削対象物の被研削面を超仕上げ加工することができる。
【００５３】
研削装置１Ｃのリンク形成部６Ｃにおいても、駆動ロッド３１Ｃに固定された揺動伝達軸２３の軸心Ｃ１１、駆動ロッド３１Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ１２、および駆動ロッド３１Ｃと第２伝達ロッド３５Ｃとの揺動中心Ｃ１３のそれぞれの位置関係が、従動ロッド支持軸３３Ｃに固定または連結された従動ロッド３２Ｃの揺動中心Ｃ２１、従動ロッド３２Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ２２、および従動ロッド３２Ｃと第２伝達ロッド３５Ｃとの揺動中心Ｃ２３のそれぞれの位置関係に等しく構成されている。
【００５４】
リンク形成部６Ｃは、砥石ホルダ３６Ｃにおける２つの揺動中心Ｃ３１，Ｃ３２を含む仮想平面が、駆動ロッド３１Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ１２および駆動ロッド３１Ｃと第２伝達ロッド３５Ｃとの揺動中心Ｃ１３を含む仮想平面、ならびに従動ロッド３２Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ２２および従動ロッド３２Ｃと第２伝達ロッド３５Ｃとの揺動中心Ｃ２３を含む仮想平面、のいずれにも平行であって、かつ２つの揺動中心Ｃ３１，Ｃ３２間の距離が、駆動ロッド３１Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ１２および駆動ロッド３１Ｃと第２伝達ロッド３５Ｃとの揺動中心Ｃ１３の距離に等しくなっている。
【００５５】
研削装置１Ｃにおいても、揺動伝達軸２３の軸心Ｃ１１から従動ロッド支持軸３３Ｃの軸心Ｃ２１までの距離が、駆動ロッド３１Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ１２から従動ロッド３２Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心までＣ２２の距離に等しい。
研削装置１Ｃは、リンク形成部６Ｃが上記のように形成されていることにより、サーボモータ２１の正逆回転（Ｒ１，Ｒ２）の繰り返しに伴い、サーボモータ２１の駆動軸２６の延長線上とは異なる揺動中心軸ＳＡ廻りに超仕上げ砥石５５を揺動させることができる。
【００５６】
研削装置１Ｃにおいて、研削装置１におけるものと同一の構成を有する部分については、図９において研削装置１におけるものと同一の符合を付し、その説明を省略する。
なお、上記要件を満たせば、例えば図１１に示されるように、砥石ホルダ３６Ｃにおける第１伝達ロッド３４Ｄとの揺動中心Ｃ３１が、駆動ロッド３１Ｃと第１伝達ロッド３４Ｄとの揺動中心Ｃ１２および従動ロッド３２Ｃと第１伝達ロッド３４Ｄとの揺動中心Ｃ２２を含む仮想平面内に存在せず、かつ第１伝達ロッド３４Ｄおよび第２伝達ロッド３５Ｄの形状が異なるリンク形成部６Ｄによっても、上記研削装置１，１Ｂ，Ｃと同様の動作を行う研削装置を構成することができる。
【００５７】
また、上記要件を満たせば、図９に示された研削装置１Ｃのような、駆動ロッド３１Ｃに固定された揺動伝達軸２３の軸心Ｃ１１が、駆動ロッド３１Ｃと第１伝達ロッド３４Ｃとの揺動中心Ｃ１２、および駆動ロッド３１Ｃと第２伝達ロッド３５Ｃとの揺動中心Ｃ１３のいずれをも含む仮想平面にない場合であっても、超仕上げ砥石５５を揺動させて、例えばリニアガイドのレールＷにおける玉転動溝ＷＧの超仕上げ加工を行うことができる。
このことは、図９とは異なる形態で、軸心Ｃ１１が、揺動中心Ｃ１２および揺動中心Ｃ１３のいずれをも含む仮想平面にない場合を示す図１２における研削装置１Ｅの動作の様子から明らかである。
【００５８】
なお、図１２における研削装置１Ｅおいて、第１伝達ロッド３４Ｅにおける第１腕部４５Ｅａ、第２腕部４５Ｅｂ、および第３腕部４５Ｅｃが互いに平行でなくともよく、第２伝達ロッド３５Ｅにおける第１腕部４７Ｅａ、第２腕部４７Ｅｂ、および第３腕部４７Ｅｃが互いに平行でなくとも、超仕上げ砥石５５を揺動中心軸ＳＡ廻りに揺動させることができる。図８を参照して前述した研削装置１Ｂの第１伝達ロッド３４Ｂおよび第２伝達ロッド３５Ｂにおける各腕部４５Ｂａ，４５Ｂｂ，４５Ｂｃ，４７Ｅａ，４７Ｅｂ，４７Ｅｃについても、それぞれが平行でなくとも平行な場合と同様の動作をさせることが可能である。
【００５９】
図１３は他の形態における砥石ホルダ３６Ｄの概要を示す図である。
砥石ホルダ３６Ｄは、ロッド部５１、シリンダ装置５２Ｄおよび砥石保持部５７Ｄからなる。
ロッド部５１は、先に説明したロッド部５１であり、研削装置１におけるロッド部５１と同様にして、揺動軸５４ａ，５４ｂにより、第１伝達ロッド３４および第２伝達ロッド３５に回動可能に連結される。
シリンダ装置５２Ｄは、空気圧駆動の片ロッド単動型エアシリンダである。
【００６０】
砥石保持部５７Ｄは、円錐台と円柱とを軸心を共通させて組み合わせた形状を有し、その軸心を、超仕上げ砥石５５を収容するための砥石保持孔５８Ｄが貫通している。砥石保持孔５８Ｄには、円錐台となった一方の側から超仕上げ砥石５５が挿入され、他方の側からシリンダ装置５２Ｄのロッド５９が挿入される。
シリンダ装置５２Ｄおよび砥石保持部５７Ｄは、ロッド５９Ｄおよび砥石保持孔５８Ｄの軸心を一致させた状態で、ロッド部５１に固定されている。
研削装置１が超仕上げ加工を行うときは、砥石保持孔５８Ｄ内においてロッド５９Ｄの先端が超仕上げ砥石５５における研削面５６とは反対側の端面を押圧する。この押圧力は、シリンダ装置５２Ｄに供給される空気圧が圧力制御装置により管理されることにより得られる。
【００６１】
上述した実施形態において、研削装置１の配置および各構成部分の配置を種々変更することができる。例えば、研削装置１，１Ｂ〜１Ｄにおいて、揺動伝達軸２３の位置と従動ロッド支持軸３３，３３Ｂ，３３Ｃの位置とを入れ替えた構造に変更してもよい。また、駆動ロッド３１，３１Ｂ，３１Ｃおよび従動ロッド３２，３２Ｂ，３２Ｃを、それぞれの長手方向両端で第１伝達ロッド３４，３４Ｂ〜３４Ｄおよび第２伝達ロッド３５，３５Ｂ〜３５Ｄに連結し、駆動ロッド３１，３１Ｂ，３１Ｃにおけるこれらとの連結点の間で揺動伝達軸２３に固着し、かつ従動ロッド３２，３２Ｂ，３２Ｃにおけるこれらとの連結点の間で従動ロッド支持軸３３，３３Ｂ，３３Ｃと連結する構造としてもよい。
【００６２】
本体装置３を、上記６節の平行リンク機構で形成されたリンク形成部６，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄではなく、例えば上記リンク形成部６，６Ｃ，６Ｄをその中に含む８節以上の平行リンク機構で形成されたリンク形成部を有するものとしてもよい。
その他、研削装置１，１Ｂ〜１Ｄおよび研削装置１，１Ｂ〜１Ｄの各構成または全体の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、例えばリニアガイドのレールに設けられた玉転動溝、および深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、スラスト玉軸受等の玉軸受の玉の軌道として設けられた溝等の超仕上げ加工に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１は研削装置の正面図である。
【図２】図２は研削装置の平面図である。
【図３】図３は図２におけるＡ−Ａ矢視断面図である。
【図４】図４は制御装置の概略図である。
【図５】図５は４溝タイプの玉転動溝の超仕上げ加工を行う様子を示す図である。
【図６】図６は２溝タイプの玉転動溝の超仕上げ加工を行う様子を示す図である。
【図７】図７はレールＷの２つの転動溝を同時に加工する様子を示す図である。
【図８】図８は他の形態のリンク形成部を有する研削装置の正面概略図である。
【図９】図９は他の形態のリンク形成部を有する研削装置の正面概略図である。
【図１０】図１０は研削装置の使用形態の１つを示す図である。
【図１１】図１１は他の形態における研削装置の概要を示す図である。
【図１２】図１２は他の形態リンク形成部を有する研削装置の正面概略図である。
【図１３】図１３は他の形態リンク形成部を有する研削装置の正面概略図である。
【図１４】図１４は従来の研削装置の正面図である。
【図１５】図１５は従来の研削装置が玉軸受の外輪の軌道を超仕上げ加工する様子を示す図である。
【図１６】図１５は従来のリニアガイドレール研削用の研削装置の正面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１，１Ａ〜１Ｅ  研削装置
６，６Ｂ〜６Ｄ  リンク形成部
１２  リンク支持部
２１  駆動装置（サーボモータ）
２３  揺動伝達軸
３１Ｂ，３１Ｃ  駆動ロッド
３２Ｂ，３２Ｃ  従動ロッド
３３Ｂ，３３Ｃ  従動ロッド支持軸
３４Ｂ，３４Ｅ  第１伝達ロッド
３５Ｂ，３５Ｅ  第２伝達ロッド
３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ  砥石ホルダ
４３ａ  第１の揺動軸（揺動軸）
４３ｂ  第２の揺動軸（揺動軸）
４４ａ  第４の揺動軸（揺動軸）
４４ｂ  第５の揺動軸（揺動軸）
５４ａ  第３の揺動軸（揺動軸）
５４ｂ  第６の揺動軸（揺動軸）
５５  超仕上げ砥石
Ｃ１１  揺動伝達軸の軸心
Ｃ１２  第１の揺動軸の軸心
Ｃ１３  第４の揺動軸の軸心
Ｃ２１  従動ロッド支持軸の軸心
Ｃ２２  第２の揺動軸の軸心
Ｃ２３  第５の揺動軸の軸心
Ｃ３１  第３の揺動軸の軸心
Ｃ３２  第６の揺動軸の軸心
Ｗ  リニアガイドのレール
ＷＧ  レールの玉転動溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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