(57)【要約】【課題】研磨装置等の機械加工装置において、ワーク主軸と工具主軸の芯合せを、簡便かつ低コストで高精度に行う技術を提供する。【解決手段】ワーク台８にワークを保持するワーク軸部６と、ポリッシャ２を保持する工具軸部１とを具備した研磨加工装置Ｍの芯合せ方法において、ワーク台８にワークの代わりに、指標線１８ａが形成された円柱部材１９の上面に透明板状部材２０を張り付けた構成の基準治具１８を設置し、透明板状部材２０にポリッシャ２を押し当てて加工痕を形成し、指標線１８ａの指標線中心と、加工痕の中心との位置偏差を観察してワーク軸部６に対する工具軸部１の芯合せの補正量を決定する。【選択図】  図１Ｂ
2010046769.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物が保持されるワーク主軸の回転中心と工具の作用点中心とを一致させる芯合せ方法であって、
中心位置が視認できる指標を有する基準治具を、前記基準治具の中心位置と前記ワーク主軸の回転中心とが一致するように、前記ワーク主軸に固定する第１工程と、
前記ワーク主軸の前記回転中心と前記工具の前記作用点中心とが略一致した位置にて前記工具を前記基準治具に当接させる第２工程と、
前記工具と前記基準治具との当接位置および前記基準治具の前記指標に基づいて前記ワーク主軸と前記工具との相対位置を調整する第３工程と、
を含むことを特徴とする芯合せ方法。
【請求項２】
請求項１記載の芯合せ方法において、
前記基準治具は、中心位置が視認できる指標を有する第１部材と、前記第１部材に装着された透明な第２部材と、を有しており、
前記第２工程では、前記工具を前記基準治具の第２部材に当接させ、前記工具を回転させて前記第２の部材に加工痕を形成し、
前記第３工程では、前記加工痕および前記基準治具の前記指標に基づいて前記ワーク主軸と前記工具との相対位置を調整することを特徴とする芯合せ方法。
【請求項３】
被加工物が保持されるワーク主軸の回転中心と工具の作用点中心とを一致させる芯合せに用いられる芯合せ装置であって、
透明な主面に中心位置を示す指標が設けられ、前記ワーク主軸に保持される基準治具と、
前記主面を挟んで前記工具と反対側から、前記主面に対する前記工具の当接状態および前記指標の映像を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段から出力される前記映像を可視化して表示する表示手段と、
を含むことを特徴とする芯合せ装置。
【請求項４】
請求項３記載の芯合せ装置において、
前記基準治具は、
前記撮影手段が収容される筒体と、
前記筒体の一端に着脱自在に設けられ、前記指標が設けられた前記主面を構成する透明板と、
を含むことを特徴とする芯合せ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、芯合せ方法および芯合せ装置に関し、たとえば、研磨装置などの機械加工装置において、被加工物と工具の芯合せを高精度に行う工程等に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子や光学素子成形用金型等、良好な面粗度を要求される被加工物に対しては、一般的に研磨加工方法が適用されている。
中でも非球面形状のような回転軸対称形状の被加工物を研磨加工する際には、被加工物よりも十分に小さなスモールツールと呼ばれる回転可能な研磨工具を用いて、自転する被加工物の子午線上を研磨工具が走査するようにして加工を行うのが一般的である。
【０００３】
よって、被加工物の表面形状を高精度に加工するためには、加工前に被加工物の回転中心と工具の作用点中心とを高精度に一致させておく必要がある。
しかし、従来は、この芯合せを作業者が目視で行っており、高精度な位置合せは不可能であった。
【０００４】
一方、特許文献１には、実際に加工を行って、加工軌跡を測定することによって被加工物と工具の中心間距離を求めてから位置補正を行う方法が開示されている。この特許文献１の技術においては、研磨装置は自転可能なワーク主軸と、ワーク上方に位置するＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能な工具部とから構成されており、研磨工具の研磨部がワーク中心を通過する子午線上を走査して加工がなされることを前提としている。
【０００５】
この特許文献１における加工対象物の中心位置決定方法であるが、以下に、図５、図６を参照して説明する。
まず、上面が平坦な金型表面において、任意の仮中心Ａを決め、研磨工具を仮中心Ａに移動させるが、この時点では仮中心Ａの座標（ｘ１，ｙ１）は明らかになっていない。次に研磨工具を仮中心Ａからｘ方向へ所定距離ａずらした点Ｂに移動させる。そして研磨工具を金型に当接して金型を回転させて金型上面に真の回転中心Ｏ（０，０）を中心とした第一円Ｃ１を加工する。この後、研磨工具を一旦、仮中心Ａに戻す。次に研磨工具を仮中心Ａからｙ方向へ所定距離ｂずらした点Ｃに移動させる。そして先ほどと同様に真の回転中心Ｏ（０，０）を中心とした第二円Ｃ２を加工する。
【０００６】
次に、顕微鏡等を用いた測定を経て、第一円Ｃ１及び第二円Ｃ２の各半径Ｘ，Ｙを、式１及び式２で求める。
【０００７】
【数１】
2010046769.tif 000003
【０００８】
【数２】
2010046769.tif 000004
また、Ｘ，Ｙは式３及び式４によっても表されるものである。
【０００９】
【数３】
2010046769.tif 000005
【００１０】
【数４】
2010046769.tif 000006
これらの４つ式から仮中心Ａの座標（ｘ１、ｙ１）が求まり、これが求める補正量となる。すなわち、この補正量分だけ研磨工具を仮中心Ａから移動させれば、真の回転中心Ｏに研磨工具の研磨部を配置することができる、というものである。
【００１１】
しかしながら、上述のような実際の円形の加工軌跡から計算によって補正量を算出して用いる方法では、以下のような技術的課題がある。
まず、真の中心座標を求めるに至るまでの作業が煩雑で多くの工数がかかる点である。特に測定では多くの測定ポイントがあるために、測定時間が長くなり、即ち、芯合せ等の段取り作業を含めた加工工程全体のリードタイム（Ｌ／Ｔ）も長くなってしまう。また計算式も簡素ではなく、数値の入力ミスや計算ミスの可能性もある。
【００１２】
次に、加工軌跡の円の測定精度が低いことが挙げられる。
研磨加工は、工具形状を加工面に転写する切削加工や研削加工と異なり、その加工原理は圧力転写である。よって加工圧が０に近い加工円の境界部は加工軌跡が不明瞭となり、正確な点計測ができない。これは即ち算出された真の中心座標が高精度ではないことを意味する。
【００１３】
さらに、上述の従来技術における芯合せ作業では、１回の作業毎に上面が平坦な金型を使用しているが、一度加工を施すと再利用ができない。つまり作業をする度に新品の高価な金型が必要となり、経済的でない。
【特許文献１】特開２００７−２７６１０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、研磨装置等の機械加工装置において、ワーク主軸と工具主軸の芯合せを、簡便かつ低コストで高精度に行う技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の第１の観点は、被加工物が保持されるワーク主軸の回転中心と工具の作用点中心とを一致させる芯合せ方法であって、
中心位置が視認できる指標を有する基準治具を、前記基準治具の中心位置と前記ワーク主軸の回転中心とが一致するように、前記ワーク主軸に固定する第１工程と、
前記ワーク主軸の前記回転中心と前記工具の前記作用点中心とが略一致した位置にて前記工具を前記基準治具に当接させる第２工程と、
前記工具と前記基準治具との当接位置および前記基準治具の前記指標に基づいて前記ワーク主軸と前記工具との相対位置を調整する第３工程と、
を含む芯合せ方法を提供する。
【００１６】
本発明の第２の観点は、被加工物が保持されるワーク主軸の回転中心と工具の作用点中心とを一致させる芯合せに用いられる芯合せ装置であって、
透明な主面に中心位置を示す指標が設けられ、前記ワーク主軸に保持される基準治具と、
前記主面を挟んで前記工具と反対側から、前記主面に対する前記工具の当接状態および前記指標の映像を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段から出力される前記映像を可視化して表示する表示手段と、
を含む芯合せ装置を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、研磨装置等の機械加工装置において、ワーク主軸と工具主軸の芯合せを、簡便かつ低コストで高精度に行う技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本実施の形態の第１態様では、ワーク主軸と工具の作用点中心とを芯合せする方法であって、上面に中心位置が視認できる指標を設けた基準治具をワーク主軸に固定し、前記基準治具の上部が透過性の板状部材で構成されており、前記ワーク主軸と前記工具の作用点中心が略一致した位置にて前記工具を前記板状部材の上面に当接し、工具主軸を回転させて前記板状部材の上面に加工痕を形成し、前記基準治具の中心と前記加工痕の中心との誤差量を求め、前記誤差量から工具主軸位置の調整量を求め、前記工具主軸位置を調整することにより、実際の工具作用点の中心が明瞭に視認できるため、ワーク軸中心と工具作用点中心の芯合せを高精度で簡便に行うことができる。
【００１９】
また、本実施の形態の第２態様では、ワーク主軸と工具の作用点中心とを芯合せする方法であって、上面から底面までが透過性で、上面に中心位置が視認できる指標を設けた基準治具をワーク主軸に固定し、前記基準治具の上面から工具を当接し、前記基準治具の底面側から工具の当接状態を撮影手段にて撮影し、撮影された映像を観察しながら前記工具位置を調整することにより、ワーク主軸中心と工具作用点との位置を直接確認しながら調整が行え、芯合せのための捨て加工も不要のため、ワーク軸中心と工具作用点中心の芯合せを高精度で簡便に行うことができる。
【００２０】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
［実施の形態１］
［構成］
図１Ａは、本発明の一実施の形態である芯合せ方法が実施される機械加工装置の一例である研磨加工装置の構成例を示す略側面図、図１Ｂは、本発明の一実施の形態である芯合せ方法の実施状態における研磨加工装置の略側面図である。
【００２１】
図２は、本実施の形態の芯合せ方法に用いられる芯合せ治具の一例を示す斜視図、図３は、その上部平面図である。
本実施の形態の研磨加工装置では、一例として、回転軸対称形状の被加工物を研磨するための構成を備えている。
【００２２】
図１Ａに例示されるように、本実施の形態の研磨加工装置Ｍは、工具軸部１とワーク軸部６を備えている。
工具軸部１は被加工物であるワーク７（被加工物）と当接して研磨加工を行う工具としての球状のポリッシャ２（工具）と、工具主軸３ａ（工具主軸）を介して、このポリッシャ２を回転させるためのポリッシャ用スピンドルモータ３を備えている。
【００２３】
また、工具軸部１には、工具軸部１をワーク７に対して進退せしめるガイド機構を有した荷重発生部４が設けられており、この荷重発生部４により、工具軸部１はワーク７に対して荷重を与えることができる。荷重発生部４はシリンダや、バネ等の付勢力を利用する構成を用いることができる。
【００２４】
また、工具軸部１は図１Ａ中のＸ―Ｙ平面に対してある傾きを持って固定されている。この角度は加工中にワーク７と工具軸部１が干渉しない範囲で任意の値に設定可能であるが、一例として、大体３０°〜６０°くらいが適当である。
【００２５】
さらに工具軸部１は、工具軸部１をＸ−Ｙ平面内で位置調整できる工具軸部位置調整機構５を介して装置本体１７に固定されている。
一方、ワーク軸部６はワーク７を載置し固定するためのワーク台８と、ワーク台８を回転せしめるワーク軸１０ａを駆動するワーク軸用スピンドルモータ１０と、ワーク軸用スピンドルモータ１０を固定するブラケット９から構成される。
【００２６】
ワーク軸部６は、Ｘ軸モータ１１、Ｘ軸ボールネジ１２、Ｘ軸ガイド１３、及びＸ軸ボールネジ１２に螺合されワーク軸部６に固定された不図示のナットにより図１ＡのＸ軸方向（左右方向）に移動可能である。
【００２７】
また、ワーク軸部６はＺ軸モータ１４、Ｚ軸ボールネジ１５、Ｚ軸ガイド１６、及びＺ軸ボールネジ１５に螺合されＺ軸ガイド１６に固定された不図示のナットにより図１Ａ中のＺ軸方向（上下方向）に移動可能である。
【００２８】
さらにワーク軸部６は、不図示のＢ軸構成部によってＸ−Ｚ平面内での回動が可能である。これらにより、ワーク台８に保持されたワーク７のすべての加工点において、ポリッシャ２に対して、工具軸部１による荷重を加工点の法線方向から与えながら研磨加工を行うことができる。
【００２９】
また、特に図示しないが、研磨加工装置Ｍには、加工量をシミュレーションし加工プログラムを作成するコンピュータ及び加工プログラムに従って研磨加工装置Ｍを制御する数値制御（ＮＣ制御）部が備えられている。
【００３０】
次に、図２および図３を参照して、本実施の形態の芯合せ工程において、ワーク７の代わりに、ワーク台８に固定されて使用される本実施の形態の基準治具１８（芯合せ治具）について説明する。
【００３１】
図２に例示されるように、ワーク７と同様に、ワーク台８に載置して使用される基準治具１８は、上端面１９ａ（主面）に、ワーク軸部６のワーク軸１０ａ（ワーク台８）の回転中心１０ｂの位置が視認できる指標線１８ａが施された第１部材としての円柱形状の円柱部材１９と、その上面に接着等により交換可能に固定された、ガラス，透明樹脂等からなる第２部材としての円柱形状の透明板状部材２０から構成されている。
【００３２】
本実施の形態の場合、指標線１８ａは、直交する２本の直線で構成され、その交点が指標線中心１８ｂとして視認可能になっており、指標線中心１８ｂが基準治具１８の中心位置と一致している。
【００３３】
この場合、ワーク７の代わりにワーク台８に固定される基準治具１８の円柱部材１９の外形は、ワーク７と等価な外径等の形状に形成され、ワーク台８に対する当該ワーク７の保持動作と等価な保持動作が可能になっている。
【００３４】
そして、基準治具１８の指標線１８ａの指標線中心１８ｂは、円柱部材１９の外径に対して正確に中心に一致するように製作されている。
すなわち、図１Ｂに例示されるように、基準治具１８が、ワーク７の代わりに研磨加工装置Ｍのワーク台８に固定されたとき、指標線中心１８ｂは、正確に、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂに一致する。
［作用］
次にワーク軸１０ａの回転中心と工具であるポリッシャ２の加工作用点中心２ａとの芯合せ方法について図３等を用いて説明する。
【００３５】
まず、図１Ｂに例示されるように、ワーク７の代わりに、基準治具１８をワーク台８に載置して、ワーク台８を回転させながら、基準治具１８の側面を複数方向から押圧することによって、基準治具１８の外周振れがなくなるように調芯する（第１工程）。これにより基準治具１８に施された指標線１８ａの指標線中心１８ｂは、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂと一致する。
【００３６】
その後、円柱部材１９の上端面１９ａに透明板状部材２０を貼付等の方法で装着する。なお、円柱部材１９に透明板状部材２０が装着された状態の基準治具１８をワーク台８に固定してもよい。
【００３７】
次に、Ｘ軸モータ１１およびＺ軸モータ１４を作動させ、ワーク軸部６のＸ軸及びＺ軸を原点（０，０）位置に移動させる。
続いてポリッシャ２の加工作用点中心２ａと、基準治具１８の指標線中心１８ｂが概略一致した位置になるように、工具軸部位置調整機構５にて、工具軸部１（工具主軸３ａ）の位置を調整する。
【００３８】
この状態で、ポリッシャ２を基準治具１８の透明板状部材２０の上面に当接させて、荷重発生部４にて荷重を与え、ポリッシャ用スピンドルモータ３を回転させて加工を行う（第２工程）。
【００３９】
これにより、図３に例示されるように、基準治具１８の透明板状部材２０の上面にはポリッシャ２の加工作用点中心２ａによる加工痕２１が形成される。
この後に、基準治具１８をワーク台８から取外し、基準治具１８の指標線中心１８ｂと、加工により形成された加工痕２１の中心とのＸ軸及びＹ軸方向への距離εＸ，εＹ（誤差量）を測定顕微鏡等により測定する。
【００４０】
最後に工具軸部位置調整機構５にて、工具軸部１の位置を−εＸ，−εＹだけ移動させて（第３工程）、ワーク軸部６に対する工具軸部１の位置誤差を打ち消すことにより、ワーク軸１０ａの回転中心と、工具軸部１（工具主軸３ａ）の中心（すなわち、ポリッシャ２の加工作用点中心２ａ）とが一致する。
【００４１】
また、ポリッシャ２の交換等により再度芯合せが必要な際は、基準治具１８の透明板状部材２０のみを交換して、同様の作業を行う。
［効果］
本実施の形態１によれば、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂである基準治具１８の指標線中心１８ｂと、ポリッシャ２の加工作用点中心２ａである加工痕２１の中心との距離（εＸ，εＹ）を、直接測定することができるので、煩雑な計算等を必要とすることなく、短時間で、簡便に、工具軸部１のワーク軸部６に対する高精度な芯合せを行うことが可能である。
【００４２】
すなわち、研磨加工装置Ｍの芯合せ等の段取り作業を含めた研磨加工工程全体のリードタイム（Ｌ／Ｔ）も短縮でき、生産性も向上する。
また、芯合せを再度行う際には、透明な樹脂やガラス等からなる安価な透明板状部材２０のみを交換すれば良いので非常に経済的であり、コスト削減が可能である。
［実施の形態２］
［構成］
本発明の他の実施の形態である芯合せ方法に用いられる基準治具の構成を、図４を用いて説明する。
【００４３】
この実施の形態２における基準治具２２の構成で、上述の実施の形態１の基準治具１８と異なる点は、基準治具２２が上面から底面まで軸方向に透明であり、ポリッシャ２の当接点の反対側（下側）からポリッシャ２の加工作用点中心２ａの当接状態を、その場で直接的に観察する点である。
【００４４】
すなわち、図４に例示されるように、基準治具２２では、一例として、筒体としての円筒部材２３の上端面に、ガラス、透明樹脂等からなる透明板としての透明板状部材２４が接着等により固定された構成となっている。
【００４５】
透明板状部材２４の上面には上述の実施の形態１と同様に、円筒部材２３の外径に対して中心の位置（すなわち、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂの位置）に指標線中心２４ｂが一致するように指標線２４ａが形成されている。
【００４６】
また、円筒部材２３の内部において、透明板状部材２４の下方には、カメラ等の撮影手段２５が撮像光学系（撮影方向）を上向きにした姿勢で設置されており、この撮影手段２５は、接続ケーブル２５ａを介して外部のディスプレイ等の表示手段としての観察手段２６に接続されている。
【００４７】
すなわち、本実施の形態２の場合、基準治具２２、撮影手段２５、接続ケーブル２５ａ、観察手段２６によって芯合せ装置Ｋが構成されている。なお、接続ケーブル２５ａの代わりに、無線通信や、光通信等によって、撮影手段２５と観察手段２６を接続してもよい。
【００４８】
そして、基準治具２２の透明板状部材２４に設けられた指標線２４ａの指標線中心２４ｂの付近の画像を撮影手段２５で撮影して観察手段２６の表示画面２６ａに出力することにより、外部の作業者が、観察手段２６に表示される指標線中心２４ｂとポリッシャ２の加工作用点中心２ａとの位置関係を観察することが可能になっている。
［作用］
次に、本実施の形態２の芯合せ装置Ｋの基準治具２２を用いた、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂ（ワーク軸中心）と工具中心（加工作用点中心２ａ）との芯合せ方法について説明する。
【００４９】
まず、基準治具２２をワーク台８に載置して、基準治具２２の外周振れがなくなるように調芯する（第１工程）。これにより基準治具２２に施された指標線２４ａの指標線中心２４ｂは、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂと一致する。
【００５０】
次に、Ｘ軸及びＺ軸を原点（０，０）位置に移動させる。続いてポリッシャ２の加工作用点中心２ａと、基準治具２２の指標線中心２４ｂとが概略一致した位置になるように、工具軸部位置調整機構５にて、工具軸部１の位置を調整する。
【００５１】
この状態で、ポリッシャ２を、基準治具２２の透明板状部材２４の上面に当接させてから（第２工程）、透明板状部材２４の下方から撮影手段２５により撮影した映像を観察手段２６にて観察する。
【００５２】
このとき、観察手段２６の表示画面２６ａでは、基準治具２２の指標線２４ａと、ポリッシャ２の当接点２７（すなわち加工作用点中心２ａ）とが視認されるため、当接点２７が基準治具２２の指標線中心２４ｂと一致するように、工具軸部位置調整機構５によって工具軸部１の位置調整を行う（第３工程）。
［効果］
本実施の形態２によれば、基準治具２２を研磨加工装置Ｍのワーク台８に装着した状態で、ワーク軸１０ａの回転中心１０ｂである基準治具２２の指標線中心２４ｂと、ポリッシャ２の加工作用点中心２ａである当接点２７とを、その場で同時に観察しながら位置調整できるので、煩雑な計算等を必要とすることなく、短時間で、簡便に、高精度な芯合せを行うことが可能である。
【００５３】
また、研磨加工装置Ｍの芯合せ等の段取り作業を含めた研磨加工工程全体のリードタイム（Ｌ／Ｔ）も短縮でき、研磨加工工程の生産性も向上する。
また、この実施の形態２によれば、透明板状部材２４に対しては、芯合せのための捨て加工も必要でないため、透明板状部材２４を反復して使用でき、芯合せ工程の所要コストをさらに削減でき、非常に経済的である。
【００５４】
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、加工装置のワーク軸中心と工具の作用点中心の芯合せを高精度で簡便に行うことができる。これを例えば研磨装置に適用した場合には、光学素子や光学素子用金型を高精度に加工することができるため、光学素子の高性能化、高画質化を図ることができ、製品品質の向上に寄与することができる。
【００５５】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、本発明の芯合せ技術の適用対象としては、研磨加工装置Ｍに限らず、一般の多軸制御の機械加工装置に広く適用できる。
（付記１）
ワーク主軸と工具の作用点中心とを芯合せする方法であって、上面に中心位置が視認できる指標を設けた基準治具をワーク主軸に固定し、前記基準治具の上部が透過性の板状部材で構成され、前記ワーク主軸と前記工具の作用点中心が略一致した位置にて前記工具を前記板状部材の上面に当接し、工具主軸を回転させて前記板状部材の上面に加工痕を形成し、前記基準治具の中心と前記加工痕の中心との誤差量を求め、前記誤差量から工具主軸位置の調整量を求め、前記工具主軸位置を調整することを特徴とする加工物と工具の芯合せ方法。
（付記２）
ワーク主軸と工具の作用点中心とを芯合せする方法であって、上面から底面までが透過性で、上面に中心位置が視認できる指標を設けた基準治具をワーク主軸に固定し、前記基準治具の上面から工具を当接し、前記基準治具の底面側から工具の当接状態を撮影手段にて撮影し、撮影された映像を観察しながら前記工具位置を調整することを特徴とする加工物と工具の芯合せ方法。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１Ａ】本発明の一実施の形態である芯合せ方法が実施される機械加工装置の一例である研磨加工装置の構成例を示す略側面図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施の形態である芯合せ方法の実施状態における研磨加工装置の略側面図である。
【図２】本発明の一実施の形態である芯合せ方法に用いられる芯合せ治具の一例を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態である芯合せ方法に用いられる芯合せ治具の上部平面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である芯合せ方法に用いられる芯合せ治具の使用状態を示す略断面図である。
【図５】従来の芯合せ方法を説明する説明図である。
【図６】従来の芯合せ方法を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  工具軸部
２  ポリッシャ
２ａ  加工作用点中心
３  ポリッシャ用スピンドルモータ
３ａ  工具主軸
４  荷重発生部
５  工具軸部位置調整機構
６  ワーク軸部
７  ワーク
８  ワーク台
９  ブラケット
１０  ワーク軸用スピンドルモータ
１０ａ  ワーク軸
１０ｂ  回転中心
１１  Ｘ軸モータ
１２  Ｘ軸ボールネジ
１３  Ｘ軸ガイド
１４  Ｚ軸モータ
１５  Ｚ軸ボールネジ
１６  Ｚ軸ガイド
１７  装置本体
１８  基準治具
１８ａ  指標線
１８ｂ  指標線中心
１９  円柱部材
１９ａ  上端面
２０  透明板状部材
２１  加工痕
２２  基準治具
２３  円筒部材
２４  透明板状部材
２４ａ  指標線
２４ｂ  指標線中心
２５  撮影手段
２５ａ  接続ケーブル
２６  観察手段
２６ａ  表示画面
２７  当接点
Ｋ  芯合せ装置
Ｍ  研磨加工装置
【図１Ａ】
2010046769.tif 000007
【図１Ｂ】
2010046769.tif 000008
【図２】
2010046769.tif 000009
【図３】
2010046769.tif 000010
【図５】
2010046769.tif 000011
【図４】
2010046769.tif 000012
【図６】
2010046769.tif 000013