(57)【要約】      （修正有）【課題】所望の中間搬送位置に被搬送物を搬送可能な、簡易で且つ安価な構成の搬送機構を提供する。【解決手段】圧縮エアにより第一の搬送位置Ａと第二の搬送位置Ｂ間を選択的に往復動するピストン部材５４とを含むエアアクチュエータ５０と、ピストン部材５４に連結され被搬送物を保持する保持手段と、を具備する。第一の搬送位置Ａと第二の搬送位置Ｂとの間の所望の位置に少なくとも１個の中間搬送位置Ｍを有し、中間搬送位置に対応して停止手段５２が配設されている。当接部材６６が作用位置に位置づけられると、エアアクチュエータ５０によって移動される保持手段が当接部材６６に当接することによって保持手段の移動が停止され、当接部材６６が非作用位置に位置づけられると、保持手段が当接部材６６に当接することなく移動することができる。【選択図】図３
2010283235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダガイド及び該シリンダガイドに組み合わされたピストン部材を含み、該ピストン部材が第一の搬送位置と第二の搬送位置との間を往復動されるエアアクチュエータと、該エアアクチュエータの該ピストン部材に連結された保持手段とを備えた搬送機構において、
該第一の搬送位置と該第二の搬送位置との間に少なくとも１個の中間搬送位置が規定され、該中間搬送位置に対応して停止手段が配設され、
該停止手段は作用位置と非作用位置とに選択的に位置づけられる当接部材を有し、該エアアクチュエータの該ピストン部材が該第一の搬送位置から該第二の搬送位置に向けて移動される際に、該当接部材が該作用位置に位置づけられると、該エアアクチュエータによって移動される該保持手段が該当接部材に当接することによって該ピストン部材の移動が停止され、該保持手段が該中間搬送位置に位置され、該当接部材が該非作用位置に位置付けられると、該エアアクチュエータによって移動される該保持手段が該当接部材に当接することなく該中間搬送位置を通過する、ことを特徴とする搬送機構。
【請求項２】
該停止手段は、該ピストン部材の移動方向に対して垂直に延在する静止案内レールを含み、該当接部材は該静止案内レールに滑動自在に装着され、該静止案内レールに沿って滑動されることによって該作用位置と該非作用位置とに位置づけられる、請求項１記載の搬送機構。
【請求項３】
該当接部材は緩衝器を備え、該当接部材が該作用位置に位置づけられると該保持手段は該緩衝器に当接される、請求項１又は２に記載の搬送機構。
【請求項４】
該当接部材を該作用位置と該非作用位置とに位置づけるための駆動手段が配設されており、該駆動手段は拡大頭部を有する出力ロッドを有し、該当接部材には収容凹部が形成されていると共に該収容凹部の開放面を閉じる閉塞部材が配設されており、該駆動手段の該出力ロッドが該閉塞部材に形成されている開口を通って延び該拡大頭部が該収容凹部内に収容され、該移動方向両側において該収容凹部と該拡大頭部との間及び該開口の内周縁と該出力ロッドとの間には間隙が存在し、該拡大頭部が該収容凹部の底面及び該閉塞部材の内面に作用することによって該当接部材が移動される、請求項１から３までのいずれかに記載の搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相互に間隔をおいて配置された第一の搬送位置及び第二の搬送位置並びに第一の搬送位置と第二の搬送位置の間の中間搬送位置に被搬送物を搬送するための搬送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削装置等の種々の装置においては、相互に間隔をおいて配置された第一の搬送位置及び第二の搬送位置に加えて、これらの第一の搬送位置及び第二の搬送位置の間に規定された少なくとも１個の中間搬送位置に被搬送物を搬送することが必要である場合が少なくない。このような場合、下記特許文献１に開示されているように、両端停止位置に加えて中間停止位置にもピストン部材を停止させる機能を備えたエアアクチュエータを備えた搬送機構が使用されている。或いは、これに代えて回転駆動されるネジロッドとこのネジロッドに螺合されたナット部材とを含むボールネジ機構が使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２９６２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
然るに、両端停止位置のみにピストン部材を停止させる機能を備えたエアアクチュエータと比べて、両端停止位置に加えて中間停止位置にもピストン部材を停止させる機能を備えたエアアクチュエータは構造が著しく複雑であり、製造コストが著しく高価である。同様に、ボールネジ機構も構造が相当複雑であり、相当高価である。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、両端停止位置のみにピストン部材を停止させる機能を備えたエアアクチュエータに比較的簡単且つ安価な構成を組み合わせることによって、相互に間隔をおいて配置された第一の搬送位置及び第二の搬送位置に加えて、これらの第一の搬送位置及び第二の搬送位置の間に規定された少なくとも１個の中間搬送位置に被搬送物を搬送することを可能にする、新規且つ改良された搬送機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、上記主たる技術的課題を達成する搬送機構として、シリンダガイド及び該シリンダガイドに組み合わされたピストン部材を含み、該ピストン部材が第一の搬送位置と第二の搬送位置との間を往復動されるエアアクチュエータと、該エアアクチュエータの該ピストン部材に連結された保持手段とを備えた搬送機構において、
該第一の搬送位置と該第二の搬送位置との間に少なくとも１個の中間搬送位置が規定され、該中間搬送位置に対応して停止手段が配設され、
該停止手段は作用位置と非作用位置とに選択的に位置付けられる当接部材を有し、該エアアクチュエータの該ピストン部材が該第一の搬送位置から該第二の搬送位置に向けて移動される際に、該当接部材が該作用位置に位置付けられると、該エアアクチュエータによって移動される該保持手段が該当接部材に当接することによって該ピストン部材の移動が停止され、該保持手段が該中間搬送位置に位置され、該当接部材が該非作用位置に位置付けられると、該エアアクチュエータによって移動される該保持手段が該当接部材に当接することなく該中間搬送位置を通過する、ことを特徴とする搬送機構が提供される。
【０００７】
好ましくは、該停止手段は、該ピストン部材の移動方向に対して垂直に延在する静止案内レールを含み、該当接部材は該静止案内レールに滑動自在に装着され、該静止案内レールに沿って滑動されることによって該作用位置と該非作用位置とに位置付けられ、また、該当接部材は緩衝器を備え、該当接部材が該作用位置に位置付けられると該保持手段は該緩衝器に当接されるのが好適である。
【０００８】
更に好ましくは、該当接部材を該作用位置と該非作用位置とに位置付けるための駆動手段が配設されており、該駆動手段は拡大頭部を有する出力ロッドを有し、該当接部材には収容凹部が形成されていると共に該収容凹部の開放面を閉じる閉塞部材が配設されており、該駆動手段の該出力ロッドが該閉塞部材に形成されている開口を通って延び該拡大頭部が該収容凹部内に収容され、該移動方向両側において該収容凹部と該拡大頭部との間及び該開口の内周縁と該出力ロッドとの間には間隙が存在し、該拡大頭部が該収容凹部の底面及び該閉塞部材の内面に作用することによって該当接部材が移動されるのが好適である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、通常のエアアクチュエータに構成が簡潔で安価に制作することができる停止手段を付設することにより、被搬送物を第一の搬送位置及び第二の搬送位置に加えてこれらの中間に位置する中間搬送位置にも搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る搬送機構を備えた加工機の要部斜視図。
【図２】エアアクチュエータの構造を示す簡略図。
【図３】（a）当接部材が非作用位置に位置づけられた状態を示す斜視図。                （b）当接部材が作用位置に位置づけられた状態を示す斜視図。
【図４】（a）当接部材が非作用位置に位置づけられた状態を示す断面図。                （b）当接部材が作用位置に位置づけられた状態を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成された搬送機構の好適実施形態を図示している添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【００１２】
図１には、本発明に従って構成された搬送機構１を備えた切削機が図示されている。図示の切削機はハウジング２を具備しており、このハウジング２上には装填域４、第一の搬送位置である待機域６、第二の搬送位置である洗浄域８、これらの中間に位置する中間搬送位置であるチャッキング域１０及び１２、が一直線上に規定されている。
【００１３】
図１に図示するように、装填域４には昇降可能に配設された昇降動手段（図示していない）の上に供給用カセット１６が載置されている。カセット１６内には上下方向に間隔をおいて複数個の被搬送物１８が収納されている。被搬送物１８は上面にICが形成された半導体ウェーハＷが保護テープ２０を介して支持フレーム２２に貼着固定され一体に構成されている。待機域６には、一対のガイドレール２６が配設されている。装填域４及び待機域６に関連して搬出入手段２４が配設されており、この搬出入手段２４によってカセット１６内に収納されている被搬送物１８が一対のガイドレール２６上に搬出され、そしてまた一対のガイドレール２６上からカセット内に被搬送物１８が搬入される。
【００１４】
第一の搬送位置である待機域６を上流側とすると、所定の間隔をおいてその下流側には第二の搬送位置である洗浄域８が規定されている。洗浄域８には表面に被搬送物１８を吸引保持するための洗浄テーブル２８が装備されている。洗浄テーブル２８は昇降動及び回転可能に構成されている。更に洗浄テーブル２８の近傍には、被搬送物１８の表面に洗浄水を供給するための洗浄ノズル３０が揺動可能に配設されている。搬送機構１により搬送された被搬送物１８は洗浄テーブル２８の上面に吸引保持され、洗浄ノズル３０から洗浄水が供給され被搬送物１８のウェーハＷの上面が洗浄される。
【００１５】
待機域６と洗浄域８の中間位置には、中間搬送位置であるチャッキング域１０及び１２が規定されている。チャッキング域１０及び１２にはそれぞれチャックテーブル３２が位置づけられている。チャックテーブル３２には回転駆動するための図示しない回転駆動機構が下側に配設されている。更に各々の回転駆動機構の下側には図１に図示するＸ軸方向に延在するボールネジ及びこのボールネジを回転させるモータ等で形成された周知のＸ軸駆動機構（図示していない）が配設されている。従ってチャックテーブル３２の各々は、チャッキング域１０及び１２からＸ軸方向に移動可能で且つ回転可能である。更に、チャックテーブル３２の表面は多孔質のセラミックで形成され下部に配設された図示しない配管を通して外部の負圧源に連通しており、チャックテーブル３２の各々は被搬送物１８を吸引保持する。
【００１６】
チャックテーブル３２がチャッキング域１０及び１２からＸ軸方向に移動した位置には切削域１４が規定されている。切削域１４には、一対の切削手段３４がＸ軸と直交するＹ軸方向に移動可能に対向して配設されている。切削手段３４は、切削ブレード３６を装着した図示しないスピンドルとスピンドルを回転駆動させる図示しない回転駆動源を含むハウジング３８とを備えている。また、切削手段３４をチャックテーブル３２に対して相対的にＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段３９や、切削手段３４をチャックテーブル３２に対して相対的にＺ軸方向（鉛直方向）に切り込み送りする切り込み送り手段４０が配設されている。割り出し送り手段３９及び切り込み送り手段４０は、ボールネジ（図示していない）とこのボールネジを回転させるパルスモータとを備え、それぞれ所望の方向に切削手段３４を移動させる周知構造のものであり、詳細説明を省略する。
【００１７】
切削域１４の近傍にはＹ軸方向に移動可能にアライメント手段４２がそれぞれの切削手段３４に隣接して配設されている。アライメント手段４２は、ＣＣＤカメラ等を搭載した周知の顕微鏡構造のものである。切削域１４に位置づけられた被搬送物１８の半導体ウェーハＷの上面を撮像し、画像処理にて切削ブレード３６によって切削すべき分割ライン（図示せず）の位置を検出するためのものである。
【００１８】
続いて、本発明に従って構成された搬送機構１について図１及び図３を参照して詳細を説明する。切削機のハウジング２には、一直線上に規定された待機域６、チャッキング域１０、１２及び洗浄域８に沿って延在して配設された門型フレーム４４（図１にはその一端のみを図示している）を備えている。門型フレーム４４には、待機域６、チャッキング域１０及び１２並びに洗浄域８に沿って延在するエアアクチュエータ４６が固定されている。搬送機構１は、エアアクチュエータ４６とエアアクチュエータ４６を構成するピストン部材４８（図３に記載）に固定された保持手段５０と中間搬送位置であるチャッキング域１０及び１２に対応して配設された２個の停止手段５２a、５２bとから構成される。
【００１９】
エアアクチュエータ４６は、例えば特開平７−１５８６１２号公報に記載されている周知構造のロッドレスシリンダで構成されている。エアアクチュエータ４６は、待機域６、チャッキング域１０及び１２並びに洗浄域８に沿って延在するシリンダガイド５４と、シリンダガイド５４内に軸線方向に沿って移動可能にその一部が挿入されたピストン部材４８とから構成されている。図２には、エアアクチュエータ４６の内部構造及び圧縮エアの供給によるピストン部材４８の作動を概略図で示している。図示するように、ピストン部材４８の一部がシリンダガイド５４内に滑動可能に挿入され、シリンダガイド５４にはピストン部材４８の両側に位置する２個の圧力室５１a及び５１bが区画されている。シリンダガイド５４の両端部には圧力室５１ａ及び５１ｂに圧縮エアを供給するためのエア供給配管５３ａ及び５３ｂが連結されている。エア供給配管５３a及び５３ｂの各々は電磁制御弁５５を介して圧縮エア源Ｅに接続されている。エア供給配管５３ａ及び５３ｂにはそれぞれエア供給速度を調整するためのスピードコントローラ５６ａ及び５６ｂが配設されている。更に、保持手段５０の位置を検出する図示しないセンサが、待機域６、洗浄域８、チャッキング域１０及び１２に対応して配設されている。
【００２０】
電磁制御弁５５は、図２（ａ）に図示する第一の状態と図２（ｂ）に図示する第二の状態とに電磁制御手段（図示していない）によって選択的に設定される。電磁制御弁５５が図２（ａ）に図示する第一の状態に設定されると、エア供給配管５3aを介して圧力室５１ａにエアが供給され、ピストン部材４８が図２ａにおいて左方に移動される。電磁制御弁５５が図２（ｂ）に図示する第二の状態に設定されると、エア供給配管５3ｂを介して圧力室５１ｂにエアが供給され、ピストン部材４８が図２ｂにおいて右方に移動される。
【００２１】
エアアクチュエータ４６のピストン部材４８には、図３に図示するように、保持手段５０が固定されている。保持手段５０はピストン部材４８に固定された連結部５７と連結部５７に装着された昇降動手段５８と昇降動手段５８により昇降動可能に装着された搬送パッド部材６０とから構成されている。昇降動手段５８はエアシリンダ等で構成され、ピストン駆動の出力端に搬送パッド部材６０が固定されている。搬送パッド部材６０には被搬送物１８の支持フレーム２２の上面を吸引保持するための吸引パッド６２が４個装着されている。吸引パッド６２の各々は真空源（図示していない）に選択的に連通されている。
【００２２】
停止手段５２a及び５２bは、中間搬送位置であるチャッキング域１０及び１２に対応した位置で門型フレーム４４に装着されている。停止手段５２a及び５２bは、図４に示すように、静止案内レール６４と当接部材６６と駆動手段６８とからなる。静止案内レール６４は、保持手段５０が装着される図４には図示しないピストン部材４８の移動方向に対して垂直（図４において左右方向）に延在する２本の剛性の高いステンレス等で棒形状に形成されており、その一端は門型フレーム４４に固定されている。
【００２３】
適宜の合成樹脂から形成することができる当接部材６６は全体として直方体形状である。当接部材６６にはピストン部材４８の移動方向に対して垂直な方向（図４において左右方向）に延在する２個の貫通孔７０が形成されており、かかる貫通孔７０を案内レール６４に滑動自在に被嵌することによって案内レール６４に沿って移動自在に装着される。当接部材６６の片端面即ち図４（ａ）及び（ｂ）において上端面７４には緩衝器７６が配設されている。それ自体は周知の形態でよい緩衝器７６は弾性的に突出位置に保持されている受け部材７７を有する。当接部材６６の片側面即ち図４（ａ）及び（ｂ）において左側面７２は、貫通孔７０間に位置する直方体形状の収容凹部８０が形成されている。
【００２４】
駆動手段６８は、出力ロッド８２とシリンダ８４とからなるエアシリンダで構成され、図４において左右方向に伸縮駆動する出力ロッド８２の先端に拡大頭部７８が固定されている。シリンダ８４は２本の静止案内レール６４の間において、門型フレーム４４に固定されている。当接部材６６の片側面７２には、収容凹部８０の開放面を閉じる板状の閉塞部材８６が固定されている。閉塞部材８６は出力ロッド８２の外径よりも大きい開口８８を有している。開口８８は下方に開放されており、拡大頭部７８を収容凹部８０に収容した状態で、出力ロッド８２に対応して閉塞部材８６の開口８８を位置させて閉塞部材８６を所要位置まで上昇させ、その後当接部材６６の片側面７２に閉塞部材８６が固定される。出力ロッド８２と開口８８の内周縁との間には間隙が存在する。また、拡大頭部７８は図４において左右方向及び上下方向で収容凹部８０よりも小さく形成されており、ピストン部材４８の移動方向両側において収容凹部８０と拡大頭部７８との間にも間隙が存在し、衝突のエネルギーが直接駆動手段６８に作用することが回避される。
【００２５】
上記のように構成された停止手段５２a及び５２bの作動について図３及び図４を参照して説明する。停止手段５２a及び５２bの当接部材６６は、静止案内レール６４に沿って滑動することによって作用位置と非作用位置とに位置づけられる。非作用位置は、本実施形態においては、当接部材６６が門型フレーム４４側に近接する位置（図３（a）及び図４（a）に示す位置）であり、作用位置は、当接部材６６が駆動手段６８により静止案内レール６４上を滑動して門型フレーム４４から離隔した位置である（図３（ｂ）及び図４（b）に示す位置）。作用位置から非作用位置に移動する際には、図４（ａ）に示すように出力ロッド８２が引っ込み拡大頭部７８が閉塞部材８６の内面に作用することによって当接部材６６が移動される。非作用位置から作用位置に移動する際には、図４（ｂ）に示すように、出力ロッド８２が延び拡大頭部７８が収容凹部８０の底面に作用することによって当接部材６６が移動される。
【００２６】
非作用位置に当接部材６６が位置づけられると、保持手段５０の連結部５７は当接部材６６と当接することなく移動することができる（図３（a）及び図４（a））。一方、作用位置に当接部材６６が位置づけられると、図３（ｂ）に示すように、移動する保持手段５０の連結部５７が当接部材６６の緩衝器７６に当接する。緩衝器７６に連結部５７が当接することで衝突するエネルギーが吸収される。また、保持手段５０の移動方向両側において収容凹部８０と拡大頭部７８との間及び開口８８の外周縁と出力ロッド８２との間には間隙が存在するため、衝突のエネルギーが直接駆動手段６８に作用することが回避される。
【００２７】
続いて上記のように構成された搬送機構１を備えた切削機における一連の作動について説明する。カセット１６に収容された被搬送物１８のうちの１枚が搬出入手段２４により、待機域６に搬出されて一対のガイドレール２６上に載置される。この時、電磁制御弁５５は図２（b）に図示する第二の状態に設定されており、圧力室５１ｂへ圧縮エアが供給され、保持手段５０は待機域６の上方に位置づけられている。次いで、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が下降され、吸引パッド６２が被搬送物１８の支持フレーム２２の上面に当接される。そして、吸引パッド６２が真空源に連通され、これによって被搬送物１８が吸着パッド６２に吸引保持される。その後昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が所要位置まで上昇される。
【００２８】
チャッキング域１０に対応して配設された停止手段５２ａの当接部材６６が作用位置に位置付けられると共に、電磁制御弁５５が図２（ａ）に図示する第一の状態に切り替えられ、シリンダガイド５４の圧力室５１ａにエアが供給されてピストン部材４８が図２（ａ）において左方に移動され、ピストン部材４８に装着された保持手段５０がチャッキング域１０に向けて移動される。保持手段５０がチャッキング域１０まで移動されると、図３（ｂ）及び図４（ｂ）に図示するように、保持手段５０の連結部５７が作用位置に位置づけられている当接部材６６の緩衝器７６に衝突し、衝突のエネルギーが緩衝器７６によって緩衝され保持手段５０がチャッキング域１０に停止される。
【００２９】
次いで、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が下降され、被搬送物１８がチャッキング域１０に位置づけられているチャックテーブル３２上に載置される。その後搬送パッド部材６０の吸引パッド６２が真空源から遮断されて大気に開放されると共にチャックテーブル３２が真空源に連通され、被搬送物１８は吸引パッド６２から開放されてチャックテーブル３２上に吸引保持される。次いで、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が所要位置まで上昇される。また、被搬送物１８を吸引保持したチャックテーブル３２は切削域１４に移動され、アライメント手段４２による位置検出に基づいて所要位置に位置つけられ、切削手段３４による切削が開始される。
【００３０】
上記１枚目の被搬送物１８が搬送機構１により搬送されている間に、待機域６の一対のガイドレール２６上に２枚目の被搬送物１８が載置される。電磁制御弁５５は図２（ｂ）の第二の状態へ切り替わり、圧縮エアが圧力室５１bに供給が開始され、保持手段５０はチャッキング域１０から待機域６へ移動される。保持手段５０が待機域６へ到達すると、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が下降され、待機域６に載置されている２枚目の被搬送物１８の上面に当接される。そして、吸引パッド６２が真空源に連通され、これによって被搬送物１８が吸着パッド６２に吸引保持される。その後、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が所要位置まで上昇される。
【００３１】
チャッキング域１０に対応して配設された停止手段５２ａの当接部材６６が非作用位置に位置づけられ、チャッキング域１２に対応して配設された停止手段５２ｂの当接部材６６が作用位置に、位置づけられる。それと共に、電磁制御弁５５が図２（ａ）に図示する第一の状態に切り替えられ、シリンダガイド５４の圧力室５１ａにエアが供給されてピストン部材４８が図２（ａ）において左方に移動され、ピストン部材４８に装着された保持手段５０がチャッキング域１２に向けて移動される。保持手段５０がチャッキング域１２まで移動されると、図３（ｂ）及び図４（ｂ）に図示するように、保持手段５０の連結部５７が作用位置に位置づけられている当接部材６６の緩衝器７６に衝突し、衝突のエネルギーが緩衝器７６によって緩衝され保持手段５０がチャッキング域１２に停止される。
【００３２】
昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が下降され、２枚目の被搬送物１８がチャッキング域１２に位置づけられているチャックテーブル３２上に載置される。搬送パッド部材６０の吸引パッド６２が真空源から遮断されて大気に開放されると共にチャックテーブル３２が真空源に連通され、２枚目の被搬送物１８は吸引パッド６２から開放されてチャックテーブル３２上に吸引保持される。次いで、２枚目の被搬送物１８を吸引保持したチャックテーブル３２は切削域１４に移動され、アライメント手段４２による切削位置の検出が行われる。また、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が所要位置まで上昇される。そして、電磁制御弁５５は図２（ｂ）の第二の状態へ切り替わり、圧縮エアが圧力室５１bに供給が開始され、保持手段５０はチャッキング域１２から待機域６へ移動される。
【００３３】
１枚目の被搬送物１８の切削が終了するとチャックテーブル３２はチャッキング域１０に戻される。それと同時に、切削手段３４によりアライメント手段４２における切削位置の検出結果に基づき、２枚目の被搬送物１８の半導体ウェーハＷの切削が開始される。
【００３４】
一方で、チャッキング域１０に対応して配設された停止手段５２ａの当接部材６６が作用位置に位置づけられると共に、電磁制御弁５５が図２（ａ）に図示する第一の状態に切り替えられる。シリンダガイド５４の圧力室５１ａにエアが供給されてピストン部材４８が図２（ａ）において左方に移動され、保持手段５０がチャッキング域１０に向けて移動される。保持手段５０がチャッキング域１０まで移動されると、図３（ｂ）及び図４（ｂ）に図示するように、保持手段５０の連結部５７が作用位置に位置づけられている当接部材６６の緩衝器７６に衝突し、衝突のエネルギーが緩衝器７６によって緩衝され保持手段５０がチャッキング域１０に停止される。
【００３５】
次いで、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が下降され、チャッキング域１０に位置づけられているチャックテーブル３２上の被搬送物１８上に当接される。その後、搬送パッド部材６０の吸引パッド６２が真空源に連通されると共にチャックテーブル３２が真空源から遮断されて大気に開放され、被搬送物１８はチャックテーブル３２上から開放されて吸引パッド６２に吸引保持される。その後、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が所要位置まで上昇される。
【００３６】
続いて、チャッキング域１０に対応して配設された停止手段５２ａの当接部材６６が非作用位置に、チャッキング域１２に対応して配設された停止手段５２ｂの当接部材６６も非作用位置に位置づけられる。電磁制御弁５５が図２（ａ）に図示する第一の状態に位置づけられており、シリンダガイド５４の圧力室５１ａにエアが供給されているため、停止手段５２a及び５２ｂが作用位置から非作用位置に位置づけられると同時にピストン部材４８が図２（ａ）において左方に移動され、被搬送物１８を吸引保持した保持手段５０はチャッキング域１０から洗浄域８に向けて移動される。
【００３７】
保持手段５０が洗浄域８へ到達すると、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が下降され、洗浄域８に位置づけられている洗浄テーブル２８上に被搬送物１８は載置される。搬送パッド部材６０の吸引パッド６２が真空源から遮断されて大気に開放されると共に洗浄テーブル２８が真空源に連通され、被搬送物１８は吸引パッド６２から開放されて洗浄テーブル２８上に吸引保持される。その後洗浄テーブル２８は下降し回転が開始され、それと共に洗浄ノズル３０が被搬送物１８の上方を揺動しながら被搬送物１８の半導体ウェーハＷの表面に噴射され、半導体ウェーハＷの表面は洗浄される。
【００３８】
洗浄終了後、洗浄テーブル２８は当初の位置まで上昇し、上方に待機している保持手段５０の搬送パッド部材６０が昇降動手段５８によって下降され、洗浄テーブル２８上の被搬送物１８に当接される。搬送パッド部材６０の吸引パッド６２が真空源に連通されると共にチャックテーブル３２が真空源から遮断されて大気に開放され、被搬送物１８はチャックテーブル３２上から開放されて吸引パッド６２に吸引保持される。その後、昇降動手段５８によって搬送パッド部材６０が所要位置まで上昇される。
【００３９】
次いで、電磁制御弁５５が図２（ｂ）に図示する第二の状態に切り替えられ、シリンダガイド５４の圧力室５１ｂにエアが供給されてピストン部材４８が図２（ｂ）において右方に移動され、ピストン部材４８に装着された保持手段５０が待機域６に向けて移動される。チャッキング域１０に対応して配設された停止手段５２ａの当接部材６６は非作用位置に、チャッキング域１２に対応して配設された停止手段５２ｂの当接部材６６も非作用位置に位置づけられている。保持手段５０が待機域６に到達したら、昇降動手段５８により被搬送物１８は下降し待機域６の一対のガイドレール２６上に１枚目の被搬送物１８は当接される。搬送パッド部材６０の吸引パッド６２が真空源から遮断されて大気に開放され、被搬送物１８はガイドレール２６上に載置される。そして。搬出入手段２４により１枚目の被搬送物１８はカセット１６内の所定位置に収容される。
【符号の説明】
【００４０】
４            装填域
６            待機域（第一の搬送位置）
８            洗浄域（第二の搬送位置）
１０、１２    チャッキング域（中間搬送位置）
１４          切削域
３２          チャックテーブル
４６          エアアクチュエータ
５０          保持手段
５２a、５２b  停止手段
６６          当接部材
６８          駆動手段
Ｅ            圧縮エア源
Ｗ            半導体ウェーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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