(57)【要約】      （修正有）【課題】見る角度による絵柄の角度依存性やグラデーションを検査することにより、回折構造絵柄表示体の検査を確実に行えるようにする。【解決手段】回折格子表示体１の搬送路上に、回転軸１１、２１の回りで任意に角度調整可能でその回転軸に対して直交する方向にライン状の平行光束１２、２２を照射する平行光照明装置１３、２３と、照明部を所定方向からライン状に撮像可能なラインカメラ１７、２７とからなる第１の撮像系１０と第２の撮像系２０が配置され、第１の撮像系の回転軸１１と第２の撮像系の回転軸２１とが相互に角度をなすように配置されており、ラインカメラ１７、２７で撮像されたライン状の撮像情報を表示体１の搬送と同期して並列に並べることで、基準の表示体１の絵柄を表す画像と検査対象の表示体１の絵柄を表す画像とを比較することで検査対象の回折格子表示体を検査する。【選択図】図２
2010230761.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子が異なる方向を向いた回折格子を画面上に配置して絵柄を表示する回折格子表示体、干渉縞が画面上に刻まれて絵柄等を表示するホログラムからなる回折構造絵柄表示体の検査装置であって、
回折構造絵柄表示体が所定方向に連続的に搬送される搬送路上に、搬送路平面を横切る回転軸の回りで任意に角度調整可能で前記回転軸に対して直交する方向にライン状の平行光束を照射する平行光照明装置と、前記回転軸近傍の照明部を前記回転軸に対して直交する所定方向からライン状に撮像可能なラインカメラとからなる第１の撮像系と第２の撮像系が配置され、前記第１の撮像系の平行光照明装置の回転軸と前記第２の撮像系の平行光照明装置の回転軸とが相互に角度をなすように配置されており、前記ラインカメラで撮像されたライン状の撮像情報を前記搬送路上の前記回折構造絵柄表示体の搬送と同期して並列に並べることで、前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像をそれぞれの撮像系で取得可能に構成され、基準の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像と検査対象の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像とを比較することで検査対象の前記回折構造絵柄表示体を検査することを特徴とする回折構造絵柄表示体の検査装置。
【請求項２】
前記第１の撮像系の及び前記第２の撮像系の平行光照明装置から白色のライン状の平行光束を照射するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の回折構造絵柄表示体の検査装置。
【請求項３】
前記第１の撮像系の平行光照明装置の回転軸と前記第２の撮像系の平行光照明装置の回転軸とが相互に９０°の角度をなし、それぞれの前記ラインカメラによる撮影方向が前記搬送路平面の法線方向であることを特徴とする請求項１又は２記載の回折構造絵柄表示体の検査装置。
【請求項４】
格子が異なる方向を向いた回折格子を画面上に配置して絵柄を表示する回折格子表示体、干渉縞が画面上に刻まれて絵柄等を表示するホログラムからなる回折構造絵柄表示体の検査方法であって、
回折構造絵柄表示体が所定方向に連続的に搬送される搬送路上に、搬送路平面を横切る相互に角度をなす２つの回転軸の回りでそれぞれ任意の所定角度で前記回転軸に対して直交する方向にライン状の平行光束を照射し、それぞれの前記回転軸近傍の照明部を前記回転軸に対して直交する所定方向からライン状に撮像し、それぞれのライン状の撮像情報を前記搬送路上の前記回折構造絵柄表示体の搬送と同期して並列に並べることで、前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像をそれぞれ取得し、基準の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像と検査対象の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像とを比較することで検査対象の前記回折構造絵柄表示体を検査することを特徴とする回折構造絵柄表示体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折構造絵柄表示体の検査装置及び検査方法に関し、特に、種々の方向の回折格子を並べて配置した回折格子絵柄表示体やレリーフ型ホログラム等の回折構造絵柄表示体が設計通りに作製されているか否かを検査する回折構造絵柄表示体の検査装置と検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明で、回折構造絵柄表示体とは、格子が異なる方向を向いた回折格子を画面上に配置して絵柄を表示する回折格子表示体（例えば、特許文献１〜３、非特許文献１）やレリーフ型等の干渉縞が画面上に刻まれて絵柄等を表示するホログラムを意味するものとする。このような回折構造絵柄表示体は、種々の方向を向き、場合によっては格子間隔の異なる回折格子が画面上に分布しているものである。
【０００３】
従来、このような回折構造絵柄表示体、特にホログラムの検査装置あるいは検査方法として例えば特許文献４〜６が知られていた。特許文献４、５においては、ホログラム表面に対する法線方向を除く表面側の全方向から検査光を照射し、ホログラム表面に対し法線方向に回折した回折光のみを撮像することで、ホログラムの欠陥検査を行うものである。また、特許文献６においては、ホログラム表面に対して任意の入射角で平行光を照射し、ホログラム表面に対する法線を中心として入射角と対称となる角度で反射する反射光成分を撮像することで、ホログラムの欠陥検査を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−７２３１９号公報
【特許文献２】特開平７−１４６６３５号公報
【特許文献３】特開平８−１２２５１０号公報
【特許文献４】特開２００６−１０５８４４号公報
【特許文献５】特開２００５−１６４４２９号公報
【特許文献６】特開２００６−１４５３８６号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】久保田広他２名編「光学技術ハンドブック  増補版」，増補版第１１刷，（株）朝倉書店，１９８８年６月１５日，ｐｐ．１９８〜１９９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ホログラムの絵柄検査においては、ホログラム表面の回折格子自体の不良を検出する必要があるが、ホログラムで表現されるグラデーションに関しても検査する必要がある。しかしながら、特許文献４、５の光学系では、回折格子自体の不良を検出することは可能であるが、見る角度によって絵柄が変化する場合、その角度依存性を検査することができない。また、特許文献６の光学系では、特別な場合を除いてホログラムの絵柄が黒く撮像され、特許文献４、５と同様、見る角度による絵柄の角度依存性を検査することができない。また、搬送ムラにより誤検出の可能性がある問題もある。
【０００７】
さらに、上記従来例何れにおいても、ホログラムで表現されるグラデーションを検査することが困難であった。
【０００８】
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、例えばエンボス加工で得られた回折構造絵柄表示体の検査装置及び検査方法において、見る角度による絵柄の角度依存性やグラデーションを検査することができ、さらに、搬送ムラによる誤検出を少なくすることができるようにして回折構造絵柄表示体の検査を確実に行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の回折構造絵柄表示体の検査装置は、格子が異なる方向を向いた回折格子を画面上に配置して絵柄を表示する回折格子表示体、干渉縞が画面上に刻まれて絵柄等を表示するホログラムからなる回折構造絵柄表示体の検査装置であって、
回折構造絵柄表示体が所定方向に連続的に搬送される搬送路上に、搬送路平面を横切る回転軸の回りで任意に角度調整可能で前記回転軸に対して直交する方向にライン状の平行光束を照射する平行光照明装置と、前記回転軸近傍の照明部を前記回転軸に対して直交する所定方向からライン状に撮像可能なラインカメラとからなる第１の撮像系と第２の撮像系が配置され、前記第１の撮像系の平行光照明装置の回転軸と前記第２の撮像系の平行光照明装置の回転軸とが相互に角度をなすように配置されており、前記ラインカメラで撮像されたライン状の撮像情報を前記搬送路上の前記回折構造絵柄表示体の搬送と同期して並列に並べることで、前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像をそれぞれの撮像系で取得可能に構成され、基準の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像と検査対象の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像とを比較することで検査対象の前記回折構造絵柄表示体を検査することを特徴とするものである。
【００１０】
この場合、前記第１の撮像系の及び前記第２の撮像系の平行光照明装置から白色のライン状の平行光束を照射するように構成されていることが望ましい。
【００１１】
また、前記第１の撮像系の平行光照明装置の回転軸と前記第２の撮像系の平行光照明装置の回転軸とが相互に９０°の角度をなし、それぞれの前記ラインカメラによる撮影方向が前記搬送路平面の法線方向であることが典型的な構成であるが、限定されるものではない。
【００１２】
本発明の回折構造絵柄表示体の検査方法は、格子が異なる方向を向いた回折格子を画面上に配置して絵柄を表示する回折格子表示体、干渉縞が画面上に刻まれて絵柄等を表示するホログラムからなる回折構造絵柄表示体の検査方法であって、
回折構造絵柄表示体が所定方向に連続的に搬送される搬送路上に、搬送路平面を横切る相互に角度をなす２つの回転軸の回りでそれぞれ任意の所定角度で前記回転軸に対して直交する方向にライン状の平行光束を照射し、それぞれの前記回転軸近傍の照明部を前記回転軸に対して直交する所定方向からライン状に撮像し、それぞれのライン状の撮像情報を前記搬送路上の前記回折構造絵柄表示体の搬送と同期して並列に並べることで、前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像をそれぞれ取得し、基準の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像と検査対象の前記回折構造絵柄表示体の絵柄を表す画像とを比較することで検査対象の前記回折構造絵柄表示体を検査することを特徴とする方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明においては、例えばエンボス加工で得られた回折構造絵柄表示体の検査装置及び検査方法において、見る角度による絵柄の角度依存性やグラデーションを検査することができ、さらに、搬送ムラによる誤検出を少なくすることができるようにして回折構造絵柄表示体の検査を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の１実施例の回折構造絵柄表示体の検査装置の平面図である。
【図２】本発明の１実施例の回折構造絵柄表示体の検査装置の斜視図である。
【図３】格子角度と入射角との関係を示す図である。
【図４】平行白色照明光を照射する発光部の光学系の構成例を示す図である。
【図５】回折格子表示体フィルムが基準（設計）通りに作製されているか否かの検査を行うフローの１例を示す図である。
【図６】格子間ピッチが一定でない回折格子表示体フィルム、レリーフ型ホログラムフィルムが基準（設計）通りに作製されているか否かの検査を行うフローの１例を示す図である。
【図７】本発明の基礎となる回折構造絵柄表示体を検査するための装置の斜視図である。
【図８】図７の場合の格子角度と入射角との関係を示す図である。
【図９】回折格子による入射角と回折角の関係を示す図である。
【図１０】回折格子表面の格子の向きの変化に伴う見かけの格子間ピッチが変化する様子を示す図である。
【図１１】本発明に基づいて絵柄の変化を撮像することができる様子の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の回折構造絵柄表示体の検査装置をその原理と実施例に従って説明する。
【００１６】
まず、回折構造絵柄表示体として回折格子表示体の場合に、本発明の原理と検査装置の実施例を説明する。
【００１７】
図９に回折格子による入射角と回折角の関係を示す。入射角をα、回折角をβ、格子間ピッチをｄとすると、隣り合う入射光（１）と（２）の光路差が波長λの整数倍のとき、互いに強め合い回折光（１）’と（２）’を得ることができ、このときの条件は以下の式で表される。
【００１８】
ｄ（ｓｉｎα−ｓｉｎβ）＝ｍλ  （ｍ＝±１，±２，・・・）    ・・・（１）
ただし、
α：入射角
β：回折角
ｄ：格子間ピッチ（回折格子周期）
ｍ：回折次数（ｍ＝±１，±２，・・・）
λ：波長
また、回折格子表面の格子の向き（入射光を格子面に投影したときの格子方向とのなす角をγとする。）は様々であるため、照明を一定の角度から照射した場合、見かけの格子間ピッチも図１０（ａ）から（ｂ）に示すように変化する。図１０（ａ），（ｂ）のように、回折格子の面をＸ−Ｙ平面とし、入射光をこのＸ−Ｙ平面に投影したときの格子とのなす角をγとすると、入射光に対する見かけの格子間ピッチｄ’は、図１０（ｂ）のように、ｄ／ｓｉｎγとなる。これを（１）式のｄに代入すると、以下の式になる。
【００１９】
ｄ’（ｓｉｎα−ｓｉｎβ）＝ｄ（ｓｉｎα−ｓｉｎβ）／ｓｉｎγ＝ｍλ
・・・（２）
（２）式より、回折角βについて解くと、以下の式になる。
【００２０】
β＝ｓｉｎ-1（ｓｉｎα−ｍλｓｉｎγ／ｄ）                    ・・・（３）
（３）式より、格子間ピッチを一定とし、入射角αを固定した場合、格子角度γが変化すると、回折角βが変化する。この見かけの格子間ピッチの変化による回折角βの変化に
より、回折格子表示体を正面から撮像する（見る）と、絵柄が変化する。従来技術では、この回折角βの変化による絵柄の変化を撮像することができなかったが、本発明では、照明を上記の回折原理より求められる角度から照射することで、絵柄の変化を撮像することができる。その様子の例を図１１（ａ），（ｂ）に示す。図１１（ａ）が本発明の場合で、図１１（ｂ）が従来技術である。
【００２１】
さて、このような原理を利用して回折構造絵柄表示体を検査するための装置として、図７に斜視図を示したような構成を考える。図７において、符号１は、例えばエンボス加工により連続的に作製された帯状の回折格子表示体フィルムであり、図７の矢印方向に連続的に搬送されているとする。その搬送路に沿って回折格子表示体フィルム１を９０°で横切る軸１１上に帯状の平行白色照明光１２を任意の入射角で照明可能な照明装置１３を設ける。照明装置１３は軸１１を回転中心１５として発光部１４を駆動部１６により任意の角度に設定可能なものであり、このような構成により平行白色照明光１２の回折格子表示体フィルム１上での入射角は所定の角度に設定できる。
【００２２】
この照明装置１３と一対で白黒のラインカメラ１７が照明部（軸）１１の真上に配置されており、ラインカメラ１７の結像面には軸１１近傍の照明部をライン状に撮像可能なラインセンサ１８が軸１１と平行に配置されている。ラインカメラ１７からのライン状の撮像情報は画像処理装置３０に送られ、回折格子表示体フィルム１の搬送と同期してライン状の撮像情報を並列に並べることで、回折格子表示体フィルム１の絵柄を得ることができる。
【００２３】
このような構成の検査装置を用いた場合の、平行白色照明光１２を格子面に投影したときの回折格子表示体フィルム１に含まれる回折格子とのなす角（格子角度）γと、平行白色照明光１２の回折格子表示体フィルム１への入射角αとの関係を図８に示す。ただし、格子間ピッチｄは一定で１．０μｍとし、回折角（ラインカメラ１７へ向かう回折光の格子面とのなす角）βは０°とし、回折次数ｍは＋１とし、波長λは４２０ｎｍ〜７４０ｎｍとする。図８において、回折格子表示体フィルム１の絵柄が読取可能な格子角度γの範囲は斜線で示した範囲である。例えば入射角αを３０°に設定した場合、格子角度γが略４０°から１４０°の範囲の回折格子で表現された絵柄だけが撮像できる。その絵柄は、格子角度γによって回折効率が異なるため回折格子の格子角度分布に従った階調画像として得られる。しかし、この例の場合、その外側の約０°から４０°、１４０°から１８０°の範囲の回折格子で表現された絵柄は読み取り（撮像）できない。他の平行白色照明光１２の入射角αに設定しても、照明装置１３と白黒のラインカメラ１７が一対の場合は、全格子角度範囲の絵柄全て（全画面）を撮像することはできない。
【００２４】
そこで、本発明に従って照明装置１３とラインカメラ１７からなる撮像系を２個設け、かつそれらの回転軸１１が回折格子表示体フィルム１の面上で相互に例えば９０°なすように配置することで、全格子角度範囲（γ＝０°〜１８０°）の絵柄全てを撮像することはできるようにする。その場合の平面図を図１に、斜視図を図２に示す。２個の撮像系の中、第１の撮像系を符号１０で表し、第２の撮像系を符号２０で表す。そして、第１の撮像系１０の軸を１１、第２の撮像系２０の軸を２１とし、それぞれの平行白色照明光１２、２２、照明装置を１３、２３、発光部を１４、２４、回転中心を１５、２５、駆動部を１６、２６、白黒のラインカメラを１７、２７、ラインセンサを１８、２８とし、第１の撮像系１０、第２の撮像系２０の平行白色照明光１２、２２の回折格子表示体フィルム１への入射角をα1 、α2 とする。また、回折格子表示体フィルム１の搬送方向（図１の矢印方向）に直交する方向に対する第１の撮像系１０の軸１１がなす角度を図１のように４５°とし、第２の撮像系２０の軸２１がなす角度を反対方向の４５°とする。
【００２５】
そして、図７の場合と同様に、それぞれ照明部（軸）１１、２１の真上に配置されたラ
インカメラ１７、２７の結像面上のラインセンサ１８、２８（軸１１、２１と平行に配置されている。）で得られたライン状の撮像情報がパソコン４０に送られ、回折格子表示体フィルム１の搬送と同期してライン状の撮像情報をそれぞれ並列に並べることで、ラインカメラ１７と２７それぞれで撮像された回折格子表示体フィルム１の絵柄を得ることができる。
【００２６】
このような構成の検査装置を用いた場合の、回折格子表示体フィルム１に含まれる回折格子の回折格子表示体フィルム１の搬送方向に対する角度を新たに格子角度γと定義しなおすと、図８のようなグラフを左に４５°移動させたグラフと右に４５°移動させたグラフとを重ねたグラフが得られる。その搬送方向に対する格子角度γと、平行白色照明光１２、２２の回折格子表示体フィルム１への入射角α（α1 、α2 ）との関係を図３に示す。ただし、格子間ピッチｄは一定で１．０μｍとし、回折角（ラインカメラ１７、２７へ向かう回折光の格子面の法線とのなす角）βは０°とし、回折次数ｍは＋１とし、波長λは４２０ｎｍ〜７４０ｎｍとする。
【００２７】
図３において、第１の撮像系１０で回折格子表示体フィルム１の絵柄が読取可能な格子角度γの範囲は左上から右下への斜線でハッチした範囲であり、第２の撮像系２０で絵柄が読取可能な格子角度γの範囲は右上から左下への斜線でハッチした範囲である。例えば第１の撮像系１０の入射角α1 、第２の撮像系２０の入射角α2 を共に３０°に設定した場合、第１の撮像系１０では、格子角度γが０°より若干マイナスの小さな角度（１８０°より若干小さな角度）から９０°より若干大きな角度範囲の回折格子で表現された絵柄が撮像でき、第２の撮像系２０では、９０°より若干小さな角度から１８０°より若干大きな角度（０°より若干大きな角度）範囲の回折格子で表現された絵柄が撮像できる。それぞれの絵柄は、格子角度γによって回折効率が異なるため回折格子の格子角度分布に従った階調画像として得られる。したがって、２個の撮像系１０、２０で得られた絵柄により、回折格子表示体フィルム１の絵柄全てを観察することができる。
【００２８】
また、図３より、第１の撮像系１０の入射角α1 を２６°又は２７°に設定し、第２の撮像系２０の入射角α2 を共に３７°又は３８°に設定にすることで、第１の撮像系１０での撮像可能な格子角度範囲を広げ、第２の撮像系２０での撮像可能な格子角度範囲を狭めてもよい。一方の撮像系１０又は２０で撮像する絵柄を限定する等の目的のために、第１の撮像系１０の入射角α1 と第２の撮像系２０の入射角α2 を異ならせることができる。
【００２９】
なお、撮像系１０、２０において、平行白色照明光１２、２２を照射する発光部１４、２４の光学系としては、図４（ａ）に例示するように、例えば中心を含んで細長く切り出した正レンズ６の後側焦点位置に白色ＬＥＤ５を配置して構成すればよいが、照明部１１、２１の長さを大きくするために、図４（ｂ）に例示するように、複数の微小正レンズ６’を１列に密に並べ、各微小正レンズ６’の後側焦点位置各々に白色ＬＥＤ５を配置して細長い照明部１１、２１を得るようにすればよい。
【００３０】
さて、図１、図２のような検査装置を用いて格子間ピッチｄが一定でβが０°の場合に、回折格子表示体フィルム１が基準（設計）通りに作製されているか否かの検査を行うフローの１例を図５を参照にして説明する。まず、ステップＳＴ１において、（３）式と搬送方向に対する第１の撮像系１０の軸１１、第２の撮像系２０の軸２１がなす角度とから、図３のような入射角α（α1 、α2 ）と格子角度γとの関係図を作成する。次いで、ステップＳＴ２において、検査対象の回折格子表示体の絵柄に応じて格子角度γの角度範囲を決定する。このγの角度範囲が決まると、ステップＳＴ３において、図３のようなα（α1 、α2 ）とγとの関係図から、それぞれの撮像系１０、２０の平行白色照明光１２、２２の入射角α1 、α2 が決定される。
【００３１】
このように第１の撮像系１０、第２の撮像系２０の平行白色照明光１２、２２の入射角α1 、α2 を決めた状態で、次のステップＳＴ４で、この検査装置に設計通りに作製された基準となる回折格子表示体（フィルム）１を搬送させ、第１の撮像系１０、第２の撮像系２０の平行白色照明光（検査光）１２、２２をそれぞれ入射角α1 、α2 で照射する。そして、次のステップＳＴ５で、この照射状態で、ラインカメラ１７、２７の結像面上のラインセンサ１８、２８で得られたライン状の撮像情報をパソコン４０に送り、基準となる回折格子表示体（フィルム）１の搬送と同期してライン状の撮像情報をそれぞれ並列に並べることで、基準の回折格子表示体（フィルム）１の絵柄を表す基準となる２つの画像Ａ1 、Ａ2 が作成される。
【００３２】
次いで、ステップＳＴ６において、検査対象の回折格子表示体フィルム１を搬送させて同じ入射角α1 、α2 で検査光１２、２２を照射し、次のステップＳＴ７で、ステップＳＴ５と同様にして検査対象の回折格子表示体フィルム１の絵柄を表す検査対象となる２つの画像Ｂ1 、Ｂ2 が作成される。
【００３３】
次いで、ステップＳＴ８において、パソコン４０内で、それぞれ上記の基準画像Ａ1 と検査画像Ｂ1 、基準画像Ａ2 と検査画像Ｂ2 の例えば差分を取ることで、基準となる回折格子表示体（フィルム）１と検査対象の回折格子表示体フィルム１とを比較する。次いで、次のステップＳＴ９でそれらの差分が予め決めた閾値を超えるか否かをみることで、検査対象の回折格子表示体フィルム１に欠陥があるか否かを判定する。次いで、次のステップＳＴ１０でステップＳＴ３で決めた入射角α1 、α2 の変更を行うか否かを判断する。入射角α1 、α2 の変更を行う必要がないと判断した場合は、この検査フローを終了させる。ステップＳＴ１０で入射角α1 、α2 の変更を行うと判断すると、再度ステップＳＴ３に戻り、入射角α1 、α2 を変更した値に設定し、以下、ステップＳＴ４以降を繰り返す。
【００３４】
このようにすることで、図１、図２の検査装置を用いて格子間ピッチｄが一定の回折格子表示体フィルム１を検査することができる。
【００３５】
回折格子表示体には、格子間ピッチｄが一定でないものもある。また、レリーフ型ホログラムも格子間ピッチｄが一定でない回折格子表示体と言うこともできる。このように、格子間ピッチｄが一定でない回折格子表示体やレリーフ型ホログラムに対しては、図３のような入射角α（α1 、α2 ）と格子角度γとの関係図を作成することは困難である。そこで、このような格子間ピッチｄが一定でない回折格子表示体及びレリーフ型ホログラムを以後ホログラムと呼び、そのようなホログラムが基準（設計）通りに作製されているか否かの検査を行う場合の図５と同様のフローの例を図６に示す。
【００３６】
まず、ステップＳＴ１において、それぞれの撮像系１０、２０の平行白色照明光１２、２２の入射角α1 、α2 を経験値から決定する。具体的には、検査対象のホログラムの絵柄からどのような入射角α1 、α2 であればその絵柄が正確に表現された画像（図１１（ａ））が得られるか、経験値から決定できる。
【００３７】
このようにして第１の撮像系１０、第２の撮像系２０の平行白色照明光１２、２２の入射角α1 、α2 を決めた状態で、次のステップＳＴ２で、この検査装置に設計通りに作製された基準となるホログラム（フィルム）１を搬送させ、第１の撮像系１０、第２の撮像系２０の平行白色照明光（検査光）１２、２２をそれぞれ入射角α1 、α2 で照射する。そして、次のステップＳＴ３で、この照射状態で、ラインカメラ１７、２７の結像面上のラインセンサ１８、２８で得られたライン状の撮像情報をパソコン４０に送り、基準となるホログラム（フィルム）１の搬送と同期してライン状の撮像情報をそれぞれ並列に並べ
ることで、基準のホログラム（フィルム）１の絵柄を表す基準となる２つの画像Ａ1 、Ａ2 が作成される。
【００３８】
次いで、ステップＳＴ４において、検査対象のホログラムフィルム１を搬送させて同じ入射角α1 、α2 で検査光１２、２２を照射し、次のステップＳＴ５で、ステップＳＴ３と同様にして検査対象のホログラムフィルム１の絵柄を表す検査対象となる２つの画像Ｂ1 、Ｂ2 が作成される。
【００３９】
次いで、ステップＳＴ６において、パソコン４０内で、それぞれ上記の基準画像Ａ1 と検査画像Ｂ1 、基準画像Ａ2 と検査画像Ｂ2 の例えば差分を取ることで、基準となるホログラム（フィルム）１と検査対象のホログラムフィルム１とを比較する。次いで、次のステップＳＴ７でそれらの差分が予め決めた閾値を超えるか否かをみることで、検査対象のホログラムフィルム１に欠陥があるか否かを判定する。次いで、次のステップＳＴ８でステップＳＴ１で決めた入射角α1 、α2 の変更を行うか否かを判断する。入射角α1 、α2 の変更を行う必要がないと判断した場合は、この検査フローを終了させる。ステップＳＴ８で入射角α1 、α2 の変更を行うと判断すると、再度ステップＳＴ１に戻り、入射角α1 、α2 を変更した値に設定し、以下、ステップＳＴ２以降を繰り返す。
【００４０】
このようにすることで、図１、図２の検査装置を用いて格子間ピッチｄが一定でない回折格子表示体やレリーフ型ホログラムを検査することができる。
【００４１】
以上、本発明の回折構造絵柄表示体の検査装置を実施例に基づいて説明してきたが、本発明は種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１…回折格子表示体フィルム
５…白色ＬＥＤ
６…正レンズ
６’…微小正レンズ
１０…第１の撮像系
２０…第２の撮像系
１１、２１…軸（照明部）
１２、２２…平行白色照明光
１３、２３…照明装置
１４、２４…発光部
１５、２５…回転中心
１６、２６…駆動部
１７、２７…ラインカメラ
１８、２８…ラインセンサ
３０…画像処理装置
４０…パソコン
【図１】
2010230761.tif 000003
【図２】
2010230761.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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