(57)【要約】【課題】本発明は、簡単に配向膜の剥離量を、微小輝点が問題にならない程度に少なくすることを目的とする。【解決手段】液晶表示装置は、対向する第１及び第２の基板１８，２０と、第１の基板１８の第２の基板２０に対向する面に設けられ頂上に第１の面２２８を有するスペーサ２３０と、第１の基板１８の第２の基板２０に対向する面上に形成された第１の配向膜３２と、第２の基板２０の第１の基板１８に対向する面に設けられ頂上に第２の面３６を有する台座３８と、第２の基板２０の第１の基板１８に対向する面上に形成された第２の配向膜４４と、を含む。スペーサ２３０の第１の面２２８は、一方向に長い形状を有し、長手軸に沿って１６．５μｍ以上の長さを有し、長手軸に直交する幅の最大値が８μｍ以上１２μｍ以下であり、長手軸に垂直な断面において凸形状を表す。【選択図】図５
2010091841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する第１及び第２の基板と、
前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する面に設けられ、頂上に第１の面を有するスペーサと、
前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する前記面上に形成された第１の配向膜と、
前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する面に設けられ、頂上に第２の面を有する台座と、
前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する前記面上に形成された第２の配向膜と、
前記第１及び前記第２の配向膜の間に配置された液晶と、
を含み、
前記第１の面及び前記第２の面は、少なくとも一部で対向して接触し、
前記スペーサの前記第１の面は、一方向に長い形状を有し、長手軸に沿って１６．５μｍ以上の長さを有し、前記長手軸に直交する幅の最大値が８μｍ以上１２μｍ以下であり、前記長手軸に垂直な断面において凸形状を表すことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載された液晶表示装置において、
前記スペーサの前記第１の面は、前記長手軸に平行な断面において凹形状を表す領域を有することを特徴とする液晶表示装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された液晶表示装置において、
前記台座の前記第２の面は、前記スペーサの前記長手軸に交差する方向に長い形状を有し、前記スペーサの前記第１の面の前記幅を超える長さを有することを特徴とする液晶表示装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載された液晶表示装置において、
前記台座の前記第２の面は、前記スペーサの前記第１の面よりも小さく、前記第１の面の内側に含まれる形状を有することを特徴とする液晶表示装置。
【請求項５】
対向する第１及び第２の基板と、
前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する面に設けられ、頂上に第１の面を有するスペーサと、
前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する前記面上に形成された第１の配向膜と、
前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する面に設けられ、頂上に第２の面を有する台座と、
前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する前記面上に形成された第２の配向膜と、
前記第１及び前記第２の配向膜の間に配置された液晶と、
を含み、
前記第１の面及び前記第２の面は、少なくとも一部で対向して接触し、
前記スペーサは、第１の円錐台を第２の円錐台上に積み上げた形状をなし、前記第１の円錐台の下底面よりも第２の円錐台の上底面が大きくなっており、
前記スペーサの前記第１の面は、前記第１の円錐台の上底面であって、１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有し、
前記スペーサの、前記第２の円錐台の下底面は、１６．５μｍ以上の径を有することを特徴とする液晶表示装置。
【請求項６】
第１の基板上に、頂上に第１の面を有するスペーサを形成する工程と、
前記第１の基板上に、第１の配向膜を形成する工程と、
第２の基板上に、頂上に第２の面を有する台座を形成する工程と、
前記第２の基板上に、第２の配向膜を形成する工程と、
前記第１の面及び前記第２の面を、少なくとも一部で対向させて接触させるとともに、前記第１の配向膜及び前記第２の配向膜の間に液晶を配置する工程と、
を含み、
前記スペーサを形成する工程で、ハーフトーン露光を用いて、前記スペーサを、第１の円錐台を第２の円錐台上に積み上げた形状で、前記第１の円錐台の下底面よりも第２の円錐台の上底面が大きく、前記第１の面としての前記第１の円錐台の上底面が１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有し、前記第２の円錐台の下底面が１６．５μｍ以上の径を有するように形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載された液晶表示装置の製造方法において、
前記スペーサを形成する工程は、多階調フォトマスクを使用したフォトリソグラフィ工程を含み、未露光及び露光によって前記第１の円錐台の前記上底面及び前記第２の円錐台の前記下底面を形成し、半露光によって前記第２の円錐台の前記上底面の前記第１の円錐台の外側の領域を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
対向する第１及び第２の基板と、
前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する面に設けられ、頂上に第１の面を有するスペーサと、
前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する前記面上に形成された第１の配向膜と、
前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する面に設けられ、頂上に第２の面を有する台座と、
前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する前記面上に形成された第２の配向膜と、
前記第１及び前記第２の配向膜の間に配置された液晶と、
を含み、
前記第１の面及び前記第２の面は、少なくとも一部で対向して接触し、
前記スペーサの前記第１の面は、１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有し、
前記第２の面は、前記第１の面よりも小さく、前記第１の面の内側に含まれる大きさであることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは一対の基板を有しており、両者間のギャップ（液晶の封入スペース）を保持するために、一方の基板にはスペーサが設けられている（特許文献１〜３参照）。各基板の相互に対向する面には配向膜が形成されており、スペーサ上の配向膜と他方の基板上の配向膜とが接触する。接触によって配向膜の剥がれが発生することがあり、配向膜が剥離して液晶中に浮遊すると、光の反射による微小輝点が生じる。
【０００３】
特許文献４には、配向膜の剥離を防止するために、柱状スペーサの先端面が当接する部位を除いて配向膜を形成するオフセット印刷が開示されている。また、特許文献４には、基板にスペーサとの係止部を形成し、スペーサの位置ずれを防止することで配向膜の剥離を防止することも開示されている。特許文献５には、柱状スペーサを撥水性材料で形成することで、その先端面に配向膜が形成されないようにすることが開示されている。
【特許文献１】特開２００５−３４５８１９号公報
【特許文献２】特開２００５−１０７４９４号公報
【特許文献３】特開２００７−１５６２２１号公報
【特許文献４】特開平１１−１０９３６７号公報
【特許文献５】特開２００８−１７０６９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献４の技術によれば、柱状スペーサの先端面の面積は微小であるため、この部位のみを避けて配向膜を形成することは難しい。また、係止部の形成には困難が伴うという問題がある。特許文献５の技術によれば、柱状スペーサの材料が限定されてしまうという問題がある
【０００５】
本発明は、簡単に配向膜の剥離量を、微小輝点が問題にならない程度に少なくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る液晶表示装置は、対向する第１及び第２の基板と、前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する面に設けられ、頂上に第１の面を有するスペーサと、前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する前記面上に形成された第１の配向膜と、前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する面に設けられ、頂上に第２の面を有する台座と、前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する前記面上に形成された第２の配向膜と、前記第１及び前記第２の配向膜の間に配置された液晶と、を含み、前記第１の面及び前記第２の面は、少なくとも一部で対向して接触し、前記スペーサの前記第１の面は、一方向に長い形状を有し、長手軸に沿って１６．５μｍ以上の長さを有し、前記長手軸に直交する幅の最大値が８μｍ以上１２μｍ以下であり、前記長手軸に垂直な断面において凸形状を表すことを特徴とする。本発明によれば、スペーサの第１の面が、幅の最大値が１２μｍ以下であって長手軸に垂直な断面において凸形状を表すため、その上の第１の配向膜の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くすることができる。このことは発明者らの実験によって明らかになった。なお、スペーサの第１の面の幅の最大値を８μｍ以上としたことで、スペーサが台座から脱落しにくくなっている。また、第１の面が１６．５μｍ以上の長さを有するので、スペーサは、押されてもつぶれにくい強度を有している。
【０００７】
（２）（１）に記載された液晶表示装置において、前記スペーサの前記第１の面は、前記長手軸に平行な断面において凹形状を表す領域を有することを特徴としてもよい。
【０００８】
（３）（１）又は（２）に記載された液晶表示装置において、前記台座の前記第２の面は、前記スペーサの前記長手軸に交差する方向に長い形状を有し、前記スペーサの前記第１の面の前記幅を超える長さを有することを特徴としてもよい。
【０００９】
（４）（１）又は（２）に記載された液晶表示装置において、前記台座の前記第２の面は、前記スペーサの前記第１の面よりも小さく、前記第１の面の内側に含まれる形状を有することを特徴としてもよい。
【００１０】
（５）本発明に係る液晶表示装置は、対向する第１及び第２の基板と、前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する面に設けられ、頂上に第１の面を有するスペーサと、前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する前記面上に形成された第１の配向膜と、前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する面に設けられ、頂上に第２の面を有する台座と、前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する前記面上に形成された第２の配向膜と、前記第１及び前記第２の配向膜の間に配置された液晶と、を含み、前記第１の面及び前記第２の面は、少なくとも一部で対向して接触し、前記スペーサは、第１の円錐台を第２の円錐台上に積み上げた形状をなし、前記第１の円錐台の下底面よりも第２の円錐台の上底面が大きくなっており、前記スペーサの前記第１の面は、前記第１の円錐台の上底面であって、１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有し、前記スペーサの、前記第２の円錐台の下底面は、１６．５μｍ以上の径を有することを特徴とする。本発明によれば、スペーサの第１の面が、１４μｍ以下の径を有するため、その上の第１の配向膜の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くすることができる。このことは発明者らの実験によって明らかになった。なお、スペーサの第１の面の幅を１２μｍ以上としたことで、スペーサが台座から脱落しにくくなっている。また、第２の円錐台の下底面が１６．５μｍ以上の長さを有するので、スペーサは、押されてもつぶれにくい強度を有している。
【００１１】
（６）本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の基板上に、頂上に第１の面を有するスペーサを形成する工程と、前記第１の基板上に、第１の配向膜を形成する工程と、第２の基板上に、頂上に第２の面を有する台座を形成する工程と、前記第２の基板上に、第２の配向膜を形成する工程と、前記第１の面及び前記第２の面を、少なくとも一部で対向させて接触させるとともに、前記第１の配向膜及び前記第２の配向膜の間に液晶を配置する工程と、を含み、前記スペーサを形成する工程で、ハーフトーン露光を用いて、前記スペーサを、第１の円錐台を第２の円錐台上に積み上げた形状で、前記第１の円錐台の下底面よりも第２の円錐台の上底面が大きく、前記第１の面としての前記第１の円錐台の上底面が１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有し、前記第２の円錐台の下底面が１６．５μｍ以上の径を有するように形成することを特徴とする。本発明によれば、スペーサの第１の面が、１４μｍ以下の径を有するため、その上の第１の配向膜の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くすることができる。このことは発明者らの実験によって明らかになった。なお、スペーサの第１の面の幅を１２μｍ以上としたことで、スペーサが台座から脱落しにくくなっている。また、第２の円錐台の下底面が１６．５μｍ以上の長さを有するので、スペーサは、押されてもつぶれにくい強度を有している。
【００１２】
（７）（６）に記載された液晶表示装置の製造方法において、前記スペーサを形成する工程は、多階調フォトマスクを使用したフォトリソグラフィ工程を含み、未露光及び露光によって前記第１の円錐台の前記上底面及び前記第２の円錐台の前記下底面を形成し、半露光によって前記第２の円錐台の前記上底面の前記第１の円錐台の外側の領域を形成することを特徴としてもよい。
【００１３】
（８）本発明に係る液晶表示装置は、対向する第１及び第２の基板と、前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する面に設けられ、頂上に第１の面を有するスペーサと、前記第１の基板の、前記第２の基板に対向する前記面上に形成された第１の配向膜と、前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する面に設けられ、頂上に第２の面を有する台座と、前記第２の基板の、前記第１の基板に対向する前記面上に形成された第２の配向膜と、前記第１及び前記第２の配向膜の間に配置された液晶と、を含み、前記第１の面及び前記第２の面は、少なくとも一部で対向して接触し、前記スペーサの前記第１の面は、１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有し、前記第２の面は、前記第１の面よりも小さく、前記第１の面の内側に含まれる大きさであることを特徴とする。本発明によれば、スペーサの第１の面が、１４μｍ以下の径を有するため、その上の第１の配向膜の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くすることができる。このことは発明者らの実験によって明らかになった。なお、スペーサの第１の面の幅を１２μｍ以上としたことで、スペーサが台座から脱落しにくくなっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
（各実施の形態に共通の構造）
図１は、本発明の各実施の形態に係る液晶表示装置に共通の構造を示す分解斜視図である。液晶表示装置は、液晶パネル１０を有する。液晶パネル１０の両面にはそれぞれ偏光板１２が配置されている。液晶表示装置はバックライト１４を有する。液晶パネル１０とバックライト１４の間に一方の偏光板１２が介在する。液晶パネル１０にはフレキシブル配線基板１６が取り付けられている。
【００１６】
図２は、本発明の各実施の形態に係る液晶表示装置に共通の構造の一部を示す断面図である。液晶表示装置は、対向する第１及び第２の基板１８，２０を有する。第１及び第２の基板１８，２０は液晶パネル１０の一部である。
【００１７】
第１及び第２の基板１８，２０の一方（図２では第１の基板１８）は、ブラックマトリクス（遮光膜）２２及び複数色（例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の三色）の着色層２４を含むカラーフィルタ基板（対向基板とも呼ばれる）である。１画素は、複数色の着色層２４からなる複数のサブ画素を含む。なお、着色層２４は、オーバーコート層２６で覆われている。
【００１８】
第１及び第２の基板１８，２０の他方（図２では第２の基板２０）は、図示しないＴＦＴ（Thin Film Transistor）及び画素電極などを含むＴＦＴ基板（又はアレイ基板）である。
【００１９】
第１の基板１８の第２の基板２０に対向する面には、頂上に第１の面２８を有するスペーサ（例えば柱状スペーサ）３０が設けられている。スペーサ３０は、複数色の着色層２４のそれぞれに対向するように配置してもよいが、図２の例では、複数の青の着色層２４のみに対向して配置してある。また、スペーサ３０は、全ての青の着色層２４に対向して配置してもよいし、少なくとも１つの青の着色層２４を避けて配置してもよい。スペーサ３０は、樹脂によって形成することができ、その形成プロセスにはフォトリソグラフィを適用することができる。
【００２０】
第１の基板１８の第２の基板２０に対向する面（例えばオーバーコート層２６の表面）上には、第１の配向膜３２が形成されている。スペーサ３０上に第１の配向膜３２が残存している場合は、第１の配向膜３２は、スペーサ３０の第１の面２８上に位置する第１の部分３４を有する。ただし、後述するように、本発明によればスペーサ３０上に第１の配向膜３２が残存していない場合もある。
【００２１】
第２の基板２０の第１の基板１８に対向する面には、頂上に第２の面３６を有する台座３８が設けられている。台座３８は、複数層から形成されている。例えば、帯状をなす第１の層４０上に、これに交差（例えば直交）するように、帯状をなす第２の層４２を形成して台座３８を構成してもよい。この構造によれば、第１の層４０及び第２の層４２の重複部分は、両者が多少ずれても、同じ大きさになる。例えば、ＣＶＤによって、第１の層４０をシリコンから形成し、第２の層４２をアルミニウムから形成してもよい。
【００２２】
第２の基板２０の第１の基板１８に対向する面上には、第２の配向膜４４が形成されている。台座３８上に第２の配向膜４４が残存している場合は、第２の配向膜４４は、台座３８の第２の面３６上に位置する第２の部分４６を有する。ただし、後述するように、本発明によれば台座３８上に第２の配向膜４４が残存していない場合もある。スペーサ３０の第１の面２８及び台座３８の第２の面３６は、少なくとも一部が対向して接触するように位置している。スペーサ３０の第１の面２８上及び台座３８の第２の面３６上に、それぞれ第１及び第２の配向膜３２，４４が残存している場合は、第１及び第２の配向膜３２，４４の第１及び第２の部分３４，４６は接触している。スペーサ３０は、第１及び第２の基板１８，２０の間で、両者が接近する方向に、圧縮されている。これにより、第１及び第２の配向膜３２，４４の第１及び第２の部分３４，４６の接触状態が確保される。そして、第１及び第２の配向膜３２，４４の間に液晶４８が封入されている。
【００２３】
（実験結果）
図３は、スペーサの径と配向膜の膜厚の関係を表すグラフである。図３において、横軸はスペーサ３０の径φ（μｍ）であり、縦軸は配向膜の膜厚ｔ（ｎｍ）である。本発明の発明者は、スペーサ３０の第１の面２８の径φが、１２μｍ，１４μｍ，１６μｍ，１８μｍ，２０μｍである場合の第１の部分３４（第１の配向膜３２のスペーサ３０の第１の面２８上に位置する部分）の厚みを測定したところ、図３に示す結果を得られた。この結果から、スペーサ３０の第１の面２８が、１４μｍ以下の径であれば、その上の第１の配向膜３２の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くすることができることが分かった。尚、径φが１２μｍの場合は、計測不能であった。したがって、径φを１２μｍ以下にすれば、スペーサ３０の第１の面２８上における第１の配向膜３２をなくすことができるか、あるいは、計測不能な程度にまで非常に薄くすることができるということがわかる。尚、図３のように、径φが小さくなるに従って、配向膜の膜厚ｔが小さくなるのは、塗布により形成された配向膜のレベリング効果によるものと推測される。また、スペーサ３０の断面形状を観察したところ、径φが１６μｍ以上の場合は、スペーサ３０の頂上が凹形状となっていた。そして、径φが１２μｍの場合は、スペーサ３０の頂上が凸形状となっていた。径φが１２μｍより小さい場合でも、スペーサ３０の頂上が凸形状になると推測される。スペーサ３０の頂上が凸形状であれば、第１の面２８上から第１の配向膜３２が流れ落ちやすくなるので、配向膜の膜厚ｔが小さく、あるいは、なくなるものと推測される。
【００２４】
（第１の実施の形態）
図４は、本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置のスペーサ及び台座を示す平面図である。
【００２５】
本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置は、図２に示すスペーサ３０及び台座３８をさらに具体化したスペーサ１３０及び台座１３８を有する。
【００２６】
スペーサ１３０の頂上の第１の面１２８は、１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有する。第１の面１２８が、１４μｍ以下の径を有するため、その上の第１の配向膜３２（図２参照）の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くする、あるいは、なくすことができる。このことは、上述した図３に示す実験によって明らかになった。
【００２７】
本実施の形態では、台座１３８の頂上の第２の面１３６は、第１の面１２８よりも小さく、第１の面１２８の内側に含まれる大きさである。第２の面１３６がスペーサ１３０の第１の面１２８よりも小さいので、第１及び第２の配向膜３２，４４（図２参照）の接触面積を小さくすることができ、第１又は第２の配向膜３２，４４の剥離面積および剥離量を小さくすることができる。さらに、第２の面１３６の面積が小さいことから、第２の面１３６上に存在する第２の配向膜４４の膜厚も、図３のスペーサ３０の実験で示したのと同様に薄く、あるいは、なくなっており、第２の配向膜４４の剥離量を小さくすることができるという効果もある。しかしながら、台座１３８の第２の面１３６の面積を小さくしたことにより、位置ずれによりスペーサ１３０が台座１３８から脱落しやすくなり、それによってギャップむらが生じるという問題がある。そこで、スペーサ１３０の第１の面１２８の径を１２μｍ以上としたことで、スペーサ１３０が台座１３８から脱落しにくくなっている。
【００２８】
（第２の実施の形態）
図５は、本発明の第２の実施の形態に係る液晶表示装置のスペーサ及び台座を示す平面図である。図６〜図８は、それぞれ、図５に示すスペーサのVI-VI線断面図、VII-VII線断面図及びVIII-VIII線断面図である。
【００２９】
本発明の第２の実施の形態に係る液晶表示装置は、図２に示すスペーサ３０及び台座３８をさらに具体化したスペーサ２３０及び台座２３８を有する。
【００３０】
図５に示すように、スペーサ２３０の頂上の第１の面２２８は、一方向に長い形状（楕円・長円・長方など）を有し、長手軸に沿って１６．５μｍ以上の長さを有する。第１の面２２８が１６．５μｍ以上の長さを有するので、スペーサ２３０は、押されてもつぶれにくい強度を有しているとともに、スペーサ２３０が台座２３８から脱落しにくくなっている。
【００３１】
スペーサ２３０の第１の面２２８は、長手軸に直交する幅の最大値が８μｍ以上１２μｍ以下である。図３の実験で説明したように、幅の最大値を１２μｍ以下にしたことにより、スペーサ２３０の第１の面２２８は、長手軸に垂直な断面において凸形状（図７及び図８参照））を表す。また、第１の面２２８が、幅の最大値が１２μｍ以下であって長手軸に垂直な断面において凸形状を表すため、その上の第１の配向膜３２（図示省略）の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くする、あるいは、なくすことができる。このことは、上述した図３に示す実験によって明らかになった。また、第１の面２２８の幅の最大値を８μｍ以上としたことで、ある程度の強度を確保することができる。また、幅を大きくするほど、スペーサ２３０が台座２３８から脱落しにくくなる。
【００３２】
スペーサ２３０の第１の面２２８は、長手軸に平行な断面（図６参照）において凹形状を表す領域を有する。これは、長手軸に沿って１６．５μｍ以上の長さを有しているからである。しかしながら、長手軸に垂直な断面では図７、図８に示すような凸形状であるため、第１の配向膜３２が厚く残存することはない。したがって、長手軸に沿って１６．５μｍにしたとしても、配向膜の剥離を抑制することができる。尚、変形例として、第１の面を、長手軸に平行な断面において凸形状を表す領域を有すように形成してもよい。
【００３３】
図５に示すように、台座２３８の頂上の第２の面２３６は、スペーサ２３０の長手軸に交差する方向に長い形状を有する。台座２３８の第２の面２３６は、スペーサ２３０の第１の面２２８の幅の最大値を超える長さを有する。こうすることで、台座２３８の長手方向や、スペーサ２３０の長手方向にスペーサ２３０が多少ずれても、スペーサ２３０が台座２３８から脱落しにくいようになっている。また、全面で接触するわけではないので、接触面積を小さくでき、配向膜の剥離量を小さくできる。変形例として、図９に示すように、台座２３９の頂上の第２の面２３７は、スペーサ２３１の第１の面２２９よりも小さく、第１の面２２９の内側に含まれる形状を有してもよい。この場合は、図５の場合に比べて脱落しやすくなるものの、図５の場合に比べてさらに接触面積を小さくできるとともに、台座２３９の第２の面２３７上の第２の配向膜４４の膜厚を小さくできるので、配向膜の剥離量を小さくできる。
【００３４】
本実施の形態に係る液晶表示装置のその他の詳細は、上記各実施の形態に共通の構造の欄で説明した通りである。
【００３５】
（第３の実施の形態）
図１０は、本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装置のスペーサを示す断面図である。
【００３６】
本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装置は、図２に示すスペーサ３０をさらに具体化したスペーサ３３０を有する。
【００３７】
スペーサ３３０は、第１の円錐台を第２の円錐台上に積み上げた形状をなしている。第１の円錐台の下底面よりも第２の円錐台の上底面が大きい。
【００３８】
スペーサ３３０の頂上の第１の面３２８は、第１の円錐台の上底面であって、１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有する。第１の面３２８が、１４μｍ以下の径を有するため、その上の第１の配向膜３２（図示省略）の厚みを、微小輝点が問題にならない程度に薄くする、あるいは、なくすことができる。このことは、上述した図３に示す実験によって明らかになった。また、第１の面３２８の径を１２μｍ以上としたことで、スペーサ３３０が台座３８（図２参照）から脱落しにくくなっている。
【００３９】
スペーサ３３０の、第２の円錐台の下底面は、１６．５μｍ以上の径を有する。第２の円錐台の下底面が１６．５μｍ以上の長さを有するので、スペーサ３３０は、押されてもつぶれにくい強度を有している。
【００４０】
本実施の形態に係る液晶表示装置のその他の詳細は、上記各実施の形態に共通の構造の欄で説明した通りである。
【００４１】
図１１は、本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一工程を説明する断面図である。以下の説明で、図１０又は図１１に記載のない符号は図２に記載されている。
【００４２】
本実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法では、第１の基板１８上に、頂上に第１の面３２８を有するスペーサ３３０を形成する。第１の基板１８上に、第１の配向膜３２を形成する。第２の基板２０上に、頂上に第２の面３６を有する台座３８を形成する。第２の基板２０上に、第２の配向膜４４を形成する。第１の面３２８及び第２の面３６を、少なくとも一部で対向させて接触させるとともに、第１及び第２の配向膜３２，４４の間に液晶を配置する。
【００４３】
図１０に示すように、スペーサ３３０は、第１の円錐台を第２の円錐台上に積み上げた形状で形成する。第１の円錐台の下底面よりも第２の円錐台の上底面が大きい。第１の面３２８としての第１の円錐台の上底面が１２μｍ以上１４μｍ以下の径を有する。第２の円錐台の下底面が１６．５μｍ以上の径を有する。
【００４４】
図１１に示すように、スペーサ３３０を形成する工程は、いわゆるハーフトーン露光を用いて形成すればホト数を少なくできるので望ましい。ハーフトーン露光を用いてスペーサ３０を形成する具体例として、スペーサ３３０を形成する工程は、多階調フォトマスク４００を使用したフォトリソグラフィ工程を含む。図１１に示す多階調フォトマスク４００は、透光領域４０２と、遮光領域４０４と、露光の解像限界を超えた微細パターン領域４０６と、を有するグレイトーンマスクであるが、微細パターン領域の代わりに光の半透過領域を有するハーフトーンマスクを使用してもよい。多階調フォトマスク４００を使用して、ハーフトーン露光を行う。
【００４５】
図１１の例では、ポジ型レジスト４０８が使用されているので、露光された部分が現像液に可溶性となるが、変形例としてネガ型レジストを使用してもよい。ネガ型レジストを使用した場合には、多階調フォトマスクの透光領域及び遮光領域を、図１１に示すパターンとは反転させる。
【００４６】
ハーフトーン露光を適用することで、未露光及び露光によって第１の円錐台の上底面及び第２の円錐台の下底面を形成し、半露光によって第２の円錐台の上底面の第１の円錐台の外側の領域を形成する。
【００４７】
露光後、フォトレジストの現像などを行うことで図１０に示す形状のスペーサ３３０を形成することができる。露光後のプロセスは、フォトリソグラフィについての周知の内容が該当する。
【００４８】
本実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法のその他の詳細は、上記各実施の形態に共通の構造の欄で説明した内容から自明の内容を含む。
【００４９】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施の形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の各実施の形態に係る液晶表示装置に共通の構造を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の各実施の形態に係る液晶表示装置に共通の構造の一部を示す断面図である。
【図３】スペーサの径と配向膜の膜厚の関係を表すグラフである。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置のスペーサ及び台座を示す平面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る液晶表示装置のスペーサ及び台座を示す平面図である。
【図６】図５に示すスペーサのVI-VI線断面図である。
【図７】図５に示すスペーサのVII-VII線断面図である。
【図８】図５に示すスペーサのVIII-VIII線断面図である。
【図９】図５に示す台座の変形例を示す図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装置のスペーサを示す断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一工程を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  液晶パネル、１２  偏光板、１４  バックライト、１６  フレキシブル配線基板、１８  第１の基板、２０  第２の基板、２２  ブラックマトリクス、２４  着色層、２６  オーバーコート層、２８  第１の面、３０  スペーサ、３２  第１の配向膜、３４  第１の部分、３６  第２の面、３８  台座、４０  第１の層、４２  第２の層、４４  第２の配向膜、４６  第２の部分、４８  液晶、１２８  第１の面、１３０  スペーサ、１３６  第２の面、１３８  台座、２２８  第１の面、２２９  第１の面、２３０  スペーサ、２３１  スペーサ、２３６  第２の面、２３７  第２の面、２３８  台座、２３９  台座、３２８  第１の面、３３０  スペーサ、４００  多階調フォトマスク、４０２  透光領域、４０４  遮光領域、４０６  微細パターン領域、４０８  ポジ型レジスト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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