(57)【要約】【課題】簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができるプローブユニットを提供する。【解決手段】線材２１を所定のピッチで巻回したコイル２０の一巻きごとに少なくとも１箇所を所定長さだけ切断することによって形成され、該切断部分が外部に露出しており、二つの回路構造とそれぞれ接触する複数のプローブ２と、複数のプローブ２を保持するプローブホルダ３とを備える。【選択図】        図２
2010169587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの回路構造とそれぞれ接触することによって前記二つの回路構造を電気的に接続するプローブユニットであって、
導電性を有する線材を所定のピッチで巻回したコイルの一巻きごとに少なくとも１箇所を所定長さだけ切断することによって形成され、該切断部分が外部に露出しており、前記二つの回路構造とそれぞれ接触する複数のプローブと、
前記複数のプローブを保持するプローブホルダと、
を備えたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
前記線材は、前記二つの回路構造と接触する部分以外の表面に絶縁被膜が設けられていることを特徴とする請求項１記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記複数のプローブの中空部を貫通し、前記プローブの中空部の断面積よりも小さい断面積を有する芯材を有することを特徴とする請求項１または２記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記プローブホルダは、
各プローブの一部を埋め込んだ状態で保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のプローブユニット。
【請求項５】
前記プローブは、
前記プローブホルダの一部を切り欠くことによって切断されていることを特徴とする請求項４記載のプローブユニット。
【請求項６】
前記プローブは、
前記コイルを一巻きごとに２箇所切断することによって形成されており、該２箇所の切断箇所は前記プローブホルダに対して反対側に位置することを特徴とする請求項４記載のプローブユニット。
【請求項７】
前記プローブは、
接着剤またはろう材によって前記プローブホルダに接合されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のプローブユニット。
【請求項８】
前記プローブは、
前記回路構造と接触する端部の断面であって前記コイルの巻き線方向と平行な断面の形状が先細の略楔形をなすことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載のプローブユニット。
【請求項９】
前記複数のプローブは、
先端が等間隔に並んでいることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載のプローブユニット。
【請求項１０】
前記複数のプローブは、
２次元的に配置されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項記載のプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行う導電性のプローブを収容するプローブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査を行うための技術として、半導体集積回路の接続端子に対応して複数の導電性のプローブを物理的に接触させることによって電気的導通を実現するプローブユニットが知られている。プローブユニットは、複数のプローブと、複数のプローブを保持するプローブホルダとを備える。このようなプローブユニットにおいては、液晶パネルのように接続端子の配列間隔が狭小化されている場合にも対応可能とするために、複数のプローブの配列間隔を狭小化するさまざまな技術が提案されている。
【０００３】
例えば、リソグラフィ技術を利用して複数の梁形状のプローブを基板表面上に一括成形することにより、回路構造の接続用の電極や端子の配列間隔の狭小化に対応する技術が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
また、プローブを板状の導電性部材によって形成する技術も知られている（例えば、特許文献２および３を参照）。この技術では、複数のプローブを各々の板厚方向に沿って配列することにより、配列間隔の狭小化を実現している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１５１５５７号公報
【特許文献２】特開２００１−３４３３９７号公報
【特許文献３】特開平１０−１３２８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、検査対象と接触する際のストロークが小さすぎるという問題があった。
【０００７】
また、上記特許文献２および３に記載の従来技術では、板状のプローブを保持するためのプローブホルダの構成が複雑にならざるを得なかった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができるプローブユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るプローブユニットは、二つの回路構造とそれぞれ接触することによって前記二つの回路構造を電気的に接続するプローブユニットであって、導電性を有する線材を所定のピッチで巻回したコイルの一巻きごとに少なくとも１箇所を所定長さだけ切断することによって形成され、該切断部分が外部に露出しており、前記二つの回路構造とそれぞれ接触する複数のプローブと、前記複数のプローブを保持するプローブホルダと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記線材は、前記二つの回路構造と接触する部分以外の表面に絶縁被膜が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記複数のプローブの中空部を貫通し、前記プローブの中空部の断面積よりも小さい断面積を有する芯材を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記プローブホルダは、各プローブの一部を埋め込んだ状態で保持することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記プローブは、前記プローブホルダの一部を切り欠くことによって切断されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記プローブは、前記コイルを一巻きごとに２箇所切断することによって形成されており、該２箇所の切断箇所は前記プローブホルダに対して反対側に位置することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記プローブは、接着剤またはろう材によって前記プローブホルダに接合されていることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記プローブは、前記回路構造と接触する端部の断面であって前記コイルの巻き線方向と平行な断面の形状が先細の略楔形をなすことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記複数のプローブは、先端が等間隔に並んでいることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記複数のプローブは、２次元的に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るプローブユニットによれば、導電性を有する線材を所定のピッチで巻回したコイルの一巻きごとに少なくとも１箇所を所定長さだけ切断することによって形成され、該切断部分が外部に露出しており、二つの回路構造とそれぞれ接触する複数のプローブと、複数のプローブを保持するプローブホルダとを備えているため、プローブの構成およびプローブのプローブホルダへの取り付けが容易であるとともに、プローブのピッチやストロークの調整を自在に行うことができる。したがって、簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以後、「実施の形態」と称する）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。同図に示すプローブユニット１は、液晶パネルなどの半導体集積回路の導通状態や動作特性を検査する装置である。プローブユニット１は、検査対象を含む異なる二つの回路構造と接触することによって電気信号の入出力をそれぞれ行う複数のプローブ２と、複数のプローブ２を保持するプローブホルダ３と、プローブ２と検査用の信号を生成する信号処理回路との接続を図る配線基板４と、プローブホルダ３と検査対象との接触位置を調整する調整機構５と、を備える。
【００２２】
図２は、プローブ２およびプローブホルダ３の要部の構成を示す断面図である。プローブ２は、コイルの一巻き分に相当する形状から外部に露出している円周方向の一部を所定長さ切断した形状をなしている。コイルは、図２の断面と直交する方向を巻き線方向としている。プローブ２は、導電性材料からなる線材２１と、線材２１の表面を被覆する絶縁被膜２２とを有する。略円形をなすプローブ２の中空部には、複数のプローブ２を積層方向に沿って一括して貫通し、中空部の断面積よりも小さい断面積を有する芯材６が設けられている。図２において、プローブ２の上下両端は、左右方向に沿って切断されており、切断面からは線材２１が露出している。この切断面が、検査対象や配線基板が有する電極と接触することによって電気的な導通が実現される。線材２１は、銅合金、ニッケル合金または導電性セラミックスなどの導電性材料を用いて形成される。絶縁被膜２２は、ポリイミド、アルミナ、シリカ等の樹脂を用いて形成される。なお、プローブ２の導電性を向上させるために線材２１に導電メッキを施してもよい。
【００２３】
プローブホルダ３は、熱硬化性樹脂、エンジニアリングプラスチック等の絶縁性材料を用いて形成される。なお、導電性材料から成る母材の表面に絶縁被膜を設けることによってプローブホルダ３を形成してもよい。
【００２４】
配線基板４は、ポリイミド等の絶縁性材料からなるシート状の基材４１と、基材４１の短手方向に沿って所定の間隔で互いに平行に形成され、各々が基材４１の長手方向に延びる複数の配線４２と、各配線４２の先端に配線４２の表面から突起して設けられ、プローブ２の上端と接触するバンプ４３とを有する。配線基板４の他端は検査用の信号を生成する信号処理回路（図示せず）に接続されている。
【００２５】
調整機構５は、プローブホルダ３がネジ止めされるとともに、配線基板４を挿通するブロック部材５１と、ブロック部材５１の上方に位置するブロック部材５２と、ブロック部材５２の上方に位置し、所定のフレーム基板（図示せず）に固定されるブロック部材５３とを有する。ブロック部材５１とブロック部材５２とはネジ５４によって締結され、ブロック部材５２とブロック部材５３とはネジ５５によって締結されている。検査を行う際には、ネジ５４、５５の締め具合を調整することによってプローブ２の位置を調整する。
【００２６】
図３は、プローブ２に検査対象１００の電極１０１が接触する前後のプローブ２の変形の態様を示す図である。検査を行う際には、検査対象１００を上方に移動させていき、電極１０１をプローブ２の下端に接触させる。プローブ２は電極１０１と接触することによって荷重を受け、上下方向に若干つぶれた形状になる。検査が終了して検査対象１００が離間すると、プローブ２はもとの形状に戻る。
【００２７】
ここで、図４〜図１０を参照してプローブ２の製造方法の概要を説明する。まず、図４および図４の矢視Ａ方向の側面図である図５に示すように、芯材６の原材である円柱材６０に対し、コイリングマシーンによって絶縁被膜２２を有する線材２１を巻き付け、所定のピッチを有するコイル２０を形成する。
【００２８】
この後、コイル２０の上下両端で線材２１が外部へ露出するように切削する。図６は、切削後のコイル２０の断面図であり、図７は図６の矢視Ｂ方向から見たコイル２０の下端部の部分拡大図である。このようにして、コイル２０は上下両端の高さを切削等の機械加工によって揃える。
【００２９】
続いて、コイル２０の上下両端の先端形状を切削等の機械加工によって揃える。先端形状を揃える際には、図８に示すように先端の幅ｄと先端からの切り込みの角度θが全て等しくなるように鋭角化処理を行う。これにより、コイル２０の巻き線方向と平行な断面の先端付近の形状は、先細の略楔形となる。
【００３０】
その後、円柱材６０をいったんコイル２０から引き抜き、図９に示すように上下両端部分を長手方向に沿って切削することによって芯材６を形成する。芯材６はコイル２０の中空部に再び挿通され、互いの切削面同士が平行となるように配置される。
【００３１】
コイル２０および芯材６は、配線基板４とともにプローブホルダ３を成形する際のインサート材として一体成形される。図１０は、コイル２０、芯材６および配線基板４をインサート材として一体成形したプローブホルダ３の構成を示す断面図である。図１０において、コイル２０の上端面には配線基板４のバンプ４３が接触している。
【００３２】
この後、コイル２０の一巻きごとに所定の位置で所定長さ切断することにより、コイル２０は一巻きごとに独立して離間した状態となり、プローブ２が形成される。
【００３３】
以上説明した本発明の実施の形態１によれば、線材２１を所定のピッチで巻回したコイル２０の一巻きごとに少なくとも１箇所を所定長さだけ切断することによって形成され、該切断部分が外部に露出しており、二つの回路構造とそれぞれ接触する複数のプローブ２と、複数のプローブ２を保持するプローブホルダ３とを備えているため、プローブ２の構成およびプローブ２のプローブホルダ３への取り付けが容易であるとともに、プローブ２のピッチやストロークの調整を自在に行うことができる。したがって、簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができる。
【００３４】
また、本実施の形態１によれば、複数のプローブ２は均一なばね特性を有し、接触の際の信頼性が高い。
【００３５】
また、本実施の形態１によれば、線材２１や絶縁被膜２２の厚さ、線材２１を巻きつける際のピッチを自在にコントロールすることができるので、検査対象１００の電極１０１のピッチに柔軟に対応させることができる。
【００３６】
また、本実施の形態１によれば、全てのプローブ２の両端に加わる荷重がもとのコイルの巻き線方向に約１ピッチ分ずれているため、プローブ２のたわみ方向を均一に整列することができる。また、プローブ２が巻き線方向にずれているため、検査対象と接触する際にピッチ方向へワイピング（スクラッチ）し、電極を引っ掻いて電極表面の酸化膜や汚れを適確に除去するとともに、安定した接触抵抗を得ることができる。
【００３７】
また、本実施の形態１によれば、プローブ２の先端を鋭角化しているため、先端間のピッチを精度よく制御することができ、検査時のオープン／ショートの発生を回避することができる。
【００３８】
また、本実施の形態１によれば、コイル２０から複数のプローブを形成しているため、構造が単純であるとともに部品点数が少なくて済む。加えて、コイル２０をピッチごとに切断してプローブ２を形成しているため、プローブ２を一つずつプローブホルダ３に取り付けるよりも組み立てが容易である。したがって、製造に要する時間を短縮化するとともに、製造コストを低減することが可能となる。
【００３９】
（実施の形態２）
図１１は、本発明の実施の形態２に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示すプローブユニット７は、複数のプローブ８と、複数のプローブ８を保持するプローブホルダ９と、配線基板４と、調整機構５と、芯材６とを備える。
【００４０】
プローブ８は、導電性材料からなる線材２１と、線材２１の表面を被覆する絶縁被膜２２とを有し、コイルの一巻き分に相当する形状から円周方向の一部を切断した形状をなしており、切断箇所が外部に露出している。
【００４１】
プローブホルダ９は、プローブ８の切断箇所に対応する切り欠き９１を有する。プローブホルダ９は、コイル２０および配線基板４をインサート材として一体成形した後、切削等によって切り欠き９１を形成することによって得られる。プローブホルダ９は、プローブホルダ３と同様の材料を用いて実現される。
【００４２】
図１２は、プローブ８に検査対象１００の電極１０１が接触している状態を示す図である。図１２において、プローブ８は上下方向に若干つぶれた形状になっており、自由端に近い右側は芯材６から離間している。プローブ８の自由端は、荷重を受けることによって切り欠き９１まで上昇している。このような状態で検査を行った後、検査対象１００が離間すると、プローブ８はもとの形状に戻る。
【００４３】
以上説明した本発明の実施の形態２によれば、上記実施の形態１と同様、簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができる。
【００４４】
（実施の形態３）
図１３は、本発明の実施の形態３に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示すプローブユニット１０は、複数のプローブ２と、複数のプローブ２を保持するプローブホルダ１１と、配線基板４と、調整機構５と、芯材６とを備える。
【００４５】
プローブ２は、上端で配線基板４のバンプ４３と接触した状態で配線基板４とともに接着剤１２によってプローブホルダ１１に接合されている。接着剤１２は、例えばエポキシ系接着剤である。なお、接着剤１２の代わりにろう材を用いることによってプローブ２および配線基板４をプローブホルダ１１に接合することも可能である。
【００４６】
プローブホルダ１１は、プローブホルダ３と同様の材料を用いて実現され、ブロック部材５１の底面にネジ止めされている。なお、プローブ２および配線基板４をブロック部材５１の底面に直接接着するようにしてもよい。この場合には、ブロック部材５１がプローブホルダとしての機能を有することとなる。ブロック部材５１がプローブホルダの機能を有する場合には、ブロック部材５１をプローブホルダ３と同様の材料を用いて実現すればよい。
【００４７】
以上説明した本発明の実施の形態３によれば、上記実施の形態１と同様、簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができる。
【００４８】
（実施の形態４）
図１４は、本発明の実施の形態４に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示すプローブユニット１３は、複数のプローブ２と、複数のプローブ２を保持するプローブホルダ１４と、配線基板４と、調整機構５と、プローブホルダ１４における複数のプローブ２の配列方向の両端部に螺合され、プローブホルダ１４と調整機構５のブロック部材５１とを締結するネジ１５とを備える。
【００４９】
プローブホルダ１４は、プローブホルダ３と同様の絶縁性材料を用いて形成され、プローブ２の中央部を埋め込んだ状態で保持している。プローブホルダ１４は、プローブ２の配列方向（図１４の紙面と垂直な方向）に延在しており、各プローブ２の中空部を貫通している。各プローブ２の中空部は、プローブホルダ１４によって完全に埋め尽くされてはいない。
【００５０】
以上の構成を有する複数のプローブ２およびプローブホルダ１４は、例えばコイル２０をインサート材としてプローブホルダ１４の原形を一体成形した後、コイル２０の一部を埋め込んでいる部分を含む切り欠き１４１を形成するとともにコイル２０を一巻きごとに所定長さ切断することによって一括して形成される。その後、配線基板４のバンプ４３がプローブ２の上端に位置するように位置決めを行った後、ネジ１５を用いてプローブホルダ１４をブロック部材５１に締結することにより、プローブユニット１３が完成する。
【００５１】
以上説明した本発明の実施の形態４によれば、上記実施の形態１と同様、簡易な構成によって配列間隔の狭小化を実現することができるとともに、所望のストロークを得ることができる。
【００５２】
図１５は、本実施の形態４の変形例に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示すプローブユニット１６は、複数のプローブ１７と、プローブホルダ１８と、配線基板４と、調整機構５と、プローブホルダ１８における複数のプローブ１７の配列方向の両端部に螺合され、プローブホルダ１８と調整機構５のブロック部材５１とを締結するネジ１９とを備える。
【００５３】
この変形例においては、プローブ１７の断面形状がひょうたん型をなして縦長であり、プローブ１７はプローブホルダ１８の外部で所定長さ切断されている。この点を除くプローブユニット１６の構成は、プローブユニット１３の構成と同様である。
【００５４】
（実施の形態５）
図１６は、本発明の実施の形態５に係るプローブユニットの構成を示す側面図である。また、図１７は、本実施の形態５に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。これらの図に示すプローブユニット２０１は、複数のプローブ２０２と、複数のプローブ２０２を保持するプローブホルダ２０３と、配線基板２０４と、調整機構２０５と、プローブホルダ２０３における複数のプローブ２０２の配列方向の両端部に螺合され、プローブホルダ２０３と調整機構２０５とを締結するネジ２０６とを備える。
【００５５】
プローブ２０２は線材２１と絶縁被膜２２とからなるコイル２０を用いて形成されており、コイル２０の一巻きを上下両端の２箇所で切断することによって二つのプローブ２０２が形成されている。プローブ２０２の上下両端は左右方向に沿って切削されており、線材２１が外部に露出している。
【００５６】
プローブホルダ２０３は、プローブ２０２の中央部を埋め込んで保持している。プローブホルダ２０３は、プローブホルダ３と同様の絶縁性材料によって実現されている。
【００５７】
配線基板２０４は、ポリイミド等の絶縁性材料からなるシート状の基材２４１と、基材２４１の短手方向に沿って所定の間隔で互いに平行に形成され、各々が基材２４１の長手方向に延びる複数の配線２４２と、各配線２４２の先端に配線２４２の表面から突起して設けられ、プローブ２０２の上端と接触するバンプ２４３とを有する。配線２４２およびバンプ２４３は、基材２４１の短手方向に沿って複数設けられていることに加え、基材２４１の長手方向に沿って二組の配線２４２およびバンプ２４３が互いに対向するように配置されている。
【００５８】
調整機構２０５は、プローブホルダ２０３がネジ止めされるとともに、配線基板２０４を挿通するブロック部材２５１と、ブロック部材２５１の上方に位置するブロック部材２５２と、ブロック部材２５２の上方に位置し、所定のフレーム基板（図示せず）に固定されるブロック部材２５３とを有する。ブロック部材２５１とブロック部材２５２とはネジ２０７によって締結され、ブロック部材２５２とブロック部材２５３とはネジ２０８によって締結されている。検査を行う際には、ネジ２０７、２０８の締め具合を調整することによってプローブ２０２の位置を調整する。
【００５９】
以上の構成を有するプローブユニット２０１を用いて検査を行う配線基板３００は、２次元的に配置される電極３０１を有している。
【００６０】
以上説明した本発明の実施の形態５によれば、上述した実施の形態１と同様の効果に加え、２次元的にプローブを配列することが可能となる。
【００６１】
（その他の実施の形態）
ここまで、本発明を実施するための最良の形態として、実施の形態１〜５を詳述してきたが、本発明はそれらの実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、本発明で適用するプローブの断面形状は円形以外でもよい。具体的には、図１８に示すプローブ２０９のように楕円形状をなしていてもよいし、図１９に示すプローブ２１０のように長円形状をなしていてもよい。また、図２０に示すプローブ２１１のように楕円形状を時計回りに所定角度回転させた状態でプローブを配置してもよい。プローブ２１１の場合には、接触時により大きなスクラッチ効果を得ることができる。
【００６２】
また、本発明において、隣接するピッチが離間するように線材を巻いて形成したコイルから複数のプローブを形成する場合には、線材の表面に絶縁被膜を設けなくてもよい。この場合には、芯材に溝を形成しておき、その溝をガイドとして線材を巻きつけてコイルを形成し、ピッチごとにコイルを切断することによって複数のプローブを形成してもよい。
【００６３】
また、本発明において、コイルを形成する際には円柱材以外の形状をなす柱状部材に巻きつけることも可能である。例えば、図２１〜２４にそれぞれ示すような多角形の断面を有する柱状部材２１２〜２１５に線材を巻きつけることによってコイルを形成してもよい。この場合、柱状部材を芯材としてもよいし、他の形状の芯材を適用してもよい。
【００６４】
また、本発明では、図２５に示すプローブユニット２１６のように、一つのコイルから形成された複数のプローブ２からなるプローブ群２Ｇを２次元的に配置することも可能である。
【００６５】
このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。
【産業上の利用分野】
【００６６】
本発明に係るプローブユニットは、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行うのに適しており、特に狭ピッチの電極を多数有する電子部品の検査を行うのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態１に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るプローブユニットのプローブに検査対象の電極が接触する前後のプローブの変形の態様を示す図である。
【図４】円柱材に線材を巻き付けてコイルを形成した状態を示す図である。
【図５】図４の矢視Ａ方向の側面図である。
【図６】コイルの上下両端を切削した状態を示す断面図である。
【図７】図６の矢視Ｂ方向から見たコイル下端部の部分拡大図である。
【図８】コイルの上下両端の先端形状を揃えた状態を示すコイル下端部の部分拡大図である。
【図９】円柱材を切削して形成した芯材の構成を示す側面図である。
【図１０】コイル、配線基板をインサート材としてプローブホルダを形成した状態を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態２に係るプローブユニットのプローブに検査対象の電極が接触している状態を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態３に係るプローブユニットのプローブに検査対象の電極が接触している状態を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態４に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。
【図１５】本実施の形態４の変形例に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態５に係るプローブユニットの構成を示す側面図である。
【図１７】本発明の実施の形態５に係るプローブユニットの要部の構成を示す断面図である。
【図１８】プローブの断面形状の別な例（第１例）を示す図である。
【図１９】プローブの断面形状の別な例（第２例）を示す図である。
【図２０】プローブの断面形状の別な例（第３例）を示す図である。
【図２１】線材を巻きつける柱状部材の別な例（第１例）を示す図である。
【図２２】線材を巻きつける柱状部材の別な例（第２例）を示す図である。
【図２３】線材を巻きつける柱状部材の別な例（第３例）を示す図である。
【図２４】線材を巻きつける柱状部材の別な例（第４例）を示す図である。
【図２５】本発明の別な実施の形態に係るプローブユニットの要部の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１、７、１０、１３、１６、２０１、２１６  プローブユニット
２、８、１７、２０２、２０９、２１０、２１１  プローブ
２Ｇ  プローブ群
３、９、１１、１４、１８、２０３  プローブホルダ
４、２０４  配線基板
５、２０５  調整機構
６  芯材
１２  接着剤
１５、１９、５４、５５、２０６、２０７、２０８  ネジ
２０  コイル
２１  線材
２２  絶縁被膜
４１、２４１  基材
４２、２４２  配線
４３、２４３  バンプ
５１、５２、５３、２５１、２５２、２５３  ブロック部材
６０  円柱材
１００、３００  検査対象
１０１、３０１  電極
２１２〜２１５  柱状部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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