(57)【要約】【課題】生産性を低下させること無く、装置内の異物を良好に除去することができる、液滴吐出装置を提供する。【解決手段】基板Ｐを搬送する搬送機構と、搬送装置により搬送される基板Ｐに機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、基板Ｐ及び液滴吐出ヘッドに付着する異物を除去する異物除去手段３１と、を備えた液滴吐出装置である。異物除去手段３１は、基板Ｐ及び液滴吐出ヘッドの表面を除電することで表面から異物を浮遊させる除電部３２と、除電部３２により浮遊した異物Ｘを吸引することで回収する吸引部３３と、を有する。【選択図】図４
2010142721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送装置により搬送される前記基板に機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記基板及び前記液滴吐出ヘッドに付着する異物を除去する異物除去手段と、を備え、
前記異物除去手段は、前記基板及び前記液滴吐出ヘッドの表面を除電することで該表面から前記異物を浮遊させる除電部と、
前記除電部により浮遊した前記異物を吸引することで回収する吸引部と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記除電部は、イオンを発生させるイオン生成部と、前記イオンに送風することでイオン風を生成する送風部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記送風部を前記基板上に吐出した機能液を乾燥させる乾燥手段として用いることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記異物除去手段を駆動させるに先立って前記基板及び前記液滴吐出ヘッドの表面の状態を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて前記異物除去手段及び前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御する制御部と、を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種媒体へ所定の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド（以下、ヘッドと称す）を備える液滴吐出装置は、画像を形成するプリンタやデバイス製造用の成膜装置として幅広い分野で用いられている。
例えば、紙や布等の媒体上に画像を直接形成する液滴吐出装置においては、媒体の表面上に存在するケバや糸くずがヘッドの吐出口をふさいでしまい、インクの吐出不良を発生させるおそれがある。そこで、このような異物を粘着部材に付着させることで回収する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０６−１５８１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、デバイス製造用の液滴吐出装置においても、例えばヘッドの交換や装置内部のメンテナンス作業時に異物が混入し、多数の不良品を作り出してしまう可能性がある。しかしながら、従来、デバイス製造用の液滴吐出装置においては上述の粘着部材のような異物除去手段が用いられていなかった。そのため、デバイス製造用の液滴吐出装置においては基板等の媒体やヘッドに異物の付着が確認された場合、装置の駆動を停止することで異物が付着した基板を装置内から取り除く、或いはヘッドに付着している異物を除去する必要が生じ、生産性を低下させてしまう可能性があった。また、基板を装置内から取り出す際、或いはヘッドから異物を取り除く際、人が装置内に入り込んだ際に再度ゴミ等の異物を付着させる等の二次汚染を生じさせる可能性もあった。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、生産性を低下させること無く、装置内の異物を良好に除去することができる、液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、基板を搬送する搬送機構と、前記搬送装置により搬送される前記基板に機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記基板及び前記液滴吐出ヘッドに付着する異物を除去する異物除去手段と、を備え、前記異物除去手段は、前記基板及び前記液滴吐出ヘッドの表面を除電することで該表面から前記異物を浮遊させる除電部と、前記除電部により浮遊した前記異物を吸引することで回収する吸引部と、を有することを特徴とする。
【０００６】
本発明の液滴吐出装置によれば、除電部によって基板及び液滴吐出ヘッドの表面が除電されるので、静電気により基板及び液滴吐出ヘッドの表面に付着していた異物を容易に分離させることができる。そして、吸引部による吸引力によって異物を吸い込むことができ、基板及び液滴吐出ヘッドの表面に付着していた異物を確実に除去できる。また、異物を除去する際、人が介在する必要が無いので、二次汚染の発生が防止される。したがって、生産性を低下させることなく、装置内において基板及び液滴吐出ヘッドに付着していた異物を良好に除去することができる。
【０００７】
また、上記液滴吐出装置においては、前記除電部は、イオンを発生させるイオン生成部と、前記イオンにガスを供給することでイオン風を生成するガス供給部と、を含むのが好ましい。
この構成によれば、基板及び液滴吐出ヘッドの表面に静電気により付着している異物を良好に除去することができる。
【０００８】
また、上記液滴吐出装置においては、前記送風部を前記基板上に吐出した機能液を乾燥させる乾燥手段として用いるのが好ましい。
この構成によれば、除電部を構成する送風部が機能液を乾燥させる乾燥手段としても機能するので、液滴吐出装置が高機能且つ付加価値の高いものとなる。
【０００９】
また、上記液滴吐出装置においては、前記異物除去手段を駆動させるに先立って前記基板及び前記液滴吐出ヘッドの表面の状態を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づいて前記異物除去手段及び前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御する制御部と、を備えるのが好ましい。
この構成によれば、例えば検出手段により基板及び前記液滴吐出ヘッドの表面に異物が付着していないことが検出された場合、制御部が異物除去手段を駆動することなく液滴吐出ヘッドを駆動して機能液を吐出させることが可能となる。よって、不必要に異物除去手段が駆動されることで生産性が低下するといった不具合を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。
【００１１】
本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置の製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、基板上に機能液滴による成膜部（例えば、カラーフィルタ）を形成するものである。そこで、まず、本液滴吐出装置を備えた描画システムについて簡単に説明する。なお、以下に説明する基板のサイズ等の値は概数である。
【００１２】
図１は、描画システムの平面模式図である。図１に示すように、描画システムＳは、導入されたカラーフィルタ形成用基板Ｐ（以下、基板Ｐと称する）上にＲＧＢ３色の着色層を形成してカラーフィルタを製造するものである。描画システムＳは、着色層を形成するための液滴吐出装置１と、液滴吐出装置１に並設され、基板Ｐを搬出入する搬出入装置２と、各装置に接続され、描画システムＳ全体を制御する制御部３とを備えている。また、液滴吐出装置１は、チャンバ装置４に収容されている。チャンバ装置４は、いわゆるサーマルチャンバであり、一定の温度条件で基板Ｐに対する液滴吐出が行われるように、液滴吐出装置１全体を温度管理下で収容している。チャンバ装置４は、液滴吐出装置１全体を直接収容するボックス状のチャンバ本体１１と、チャンバ本体１１内の温度が一定となるように温度管理を行う空気調和機器１２と、これを制御する制御盤（図示省略）とを備えている。さらに、図示しないが、チャンバ本体１１の右側面前方には、ワーク搬入・搬出開口となる開閉扉が形成されており、液滴吐出装置１に基板Ｐを導入する場合等には、開閉扉を介してチャンバ本体１１に収容された液滴吐出装置１にアクセスできるようになっている。
【００１３】
搬出入装置２は、基板Ｐを移載するロボットアーム１３を備えており、このロボットアーム１３を介して、描画前の基板Ｐを描画システムＳ内に搬入してこれを液滴吐出装置１に導入すると共に、描画後の基板Ｐを液滴吐出装置１から回収してこれを描画システムＳ外に搬出する。
【００１４】
続いて、上記描画システムＳ内に設置される液滴吐出装置について説明する。図２は、液滴吐出装置の概略構成図である。なお、以下の説明においては、図２中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図２におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸が基板ステージ２２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸が基板ステージ２２に対して直交する方向に設定されている。図２中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００１５】
図２に示されるように、液滴吐出装置１は、装置架台２１、基板ステージ２２、ステージ移動装置２３、キャリッジ２４、液滴吐出ヘッド２５、キャリッジ移動装置２６、チューブ２７、第１タンク２８、第２タンク２９、第３タンク３０、及びメンテナンス機構３４を備えている。
【００１６】
装置架台２１は、基板ステージ２２及びステージ移動装置２３の支持台である。基板ステージ２２は、装置架台２１上においてステージ移動装置２３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送される基板Ｐを、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置２３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御部３から入力される、基板ステージ２２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、基板ステージ２２をＸ軸方向に移動させる。
【００１７】
キャリッジ２４は、液滴吐出ヘッド２５を保持するものであり、キャリッジ移動装置２６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド２５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御部３から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルタ材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド２５は、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド２５はキャリッジ２４を介してチューブ２７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド２５はチューブ２７を介して第１タンク２８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド２５はチューブ２７を介して第２タンク２９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド２５はチューブ２７を介して第３タンク３０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。
【００１８】
キャリッジ移動装置２６は、例えば装置架台２１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御部３から入力される、キャリッジ２４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ２４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００１９】
チューブ２７は、第１タンク２８、第２タンク２９及び第３タンク３０とキャリッジ２４（液滴吐出ヘッド２５）とを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。第１タンク２８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ２７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド２５にカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク２９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ２７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド２５にカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク３０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ２７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド２５にカラーフィルタ材料を供給する。
【００２０】
制御部３は、ステージ移動装置２３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置２６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド２５の駆動回路基板（不図示）に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド２５による液滴吐出動作、基板ステージ２２の移動による基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ２４の移動による液滴吐出ヘッド２５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。
【００２１】
メンテナンス機構３４は、キャリッジ２４に保持された液滴吐出ヘッド２５に対する種々のメンテナンスを行うためのものである。メンテナンス機構３４は、液滴吐出ヘッド２５におけるホームポジションに配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置１が吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ２４が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド２５から基板Ｐ上に液滴を吐出する際のキャリッジ２４の位置を吐出ポジションと呼ぶ。
【００２２】
具体的にメンテナンス機構３４は、液滴吐出ヘッド２５に当接するキャッピング部、フラッシング部、及びワイピング部を含んでいる。キャッピング部は吸引手段としての吸引ポンプを備えており、これによりノズル内から強制的にカラーフィルタ材料を排出させる吸引処理を行うものである。また、フラッシング部は、メニスカスを整えるべく、ノズルから液滴を吐出した廃液を回収するためのものである。また、ワイピング部は、キャッピング部による吸引処理後にノズルプレートに付着した液滴を払拭するワイピング処理を行うものである。なお、メンテナンス機構３４は、制御部３からの制御信号により駆動されるようになっている。
【００２３】
図３は液滴吐出ヘッド２５の概略構成図である。図３（ａ）は液滴吐出ヘッド２５を基板ステージ２２側から見た平面図、図３（ｂ）は液滴吐出ヘッド２５の部分斜視図、図３（ｃ）は液滴吐出ヘッド２５の１ノズル分の部分断面図である。
【００２４】
図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮを備えている。複数のノズルＮによってノズル列ＮＡが形成されている。図３（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド２５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ２４内に配置する液滴吐出ヘッド２５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ２４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。
【００２５】
図３（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２５は、チューブ２７と連結される材料供給孔４０ａが設けられた振動板４０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート４１と、振動板４０とノズルプレート４１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）４２と、複数の隔壁４３と、複数のキャビティ（液室）４４とを備えている。ノズルプレート４１は、例えばＳＵＳから構成されるものである。振動板４０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。
【００２６】
リザーバ４２には、材料供給孔４０ａを介して供給される液状のカラーフィルタ材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティ４４は、振動板４０と、ノズルプレート４１と、１対の隔壁４３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ４４には、一対の隔壁４３の間に設けられた供給口４４ａを介して、リザーバ４２からカラーフィルタ材料が導入されるようになっている。
【００２７】
図３（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料４５を一対の電極４６で挟持したものであり、一対の電極４６に駆動信号を印加すると圧電材料４５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板４０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティ４４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ４４の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティ４４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり４２から供給口４４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板４０はともに元の形状に戻り、キャビティ４４も元の容積に戻ることから、キャビティ４４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮから基板Ｐに向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。
【００２８】
ところで、このような描画システムＳのチャンバ装置４内に設けられる液滴吐出装置１においては、ヘッドの交換や装置内部のメンテナンス作業時に混入した異物が液滴吐出ヘッド２５及び基板Ｐに付着する場合がある。一般的に、異物は静電気を帯びて液滴吐出ヘッド２５及び基板Ｐの表面に張り付いていることが多い。
【００２９】
ここで、基板Ｐの表面とは、少なくとも液滴吐出ヘッド２５からカラーフィルタ材料が吐出される面を含む。また、液滴吐出ヘッド２５の表面とは、少なくともカラーフィルタ材料を吐出するノズルＮが形成されているノズルプレート４１の下面を含む。
【００３０】
本実施形態に係る液滴吐出装置１は、基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５に付着する異物を除去する異物除去手段３１を備えている。異物除去手段３１はカラーフィルタの製造処理（機能液の吐出動作）に先立ち、上述のように静電気を帯びることで液滴吐出ヘッド２５及び基板Ｐの表面に付着している異物を除去するものである。
【００３１】
図４は異物除去手段３１の要部断面構成を示す図である。なお、図４においては異物除去手段３１が基板Ｐと対向した状態を示している。
異物除去手段３１は、基板Ｐの表面を除電することで表面に付着している異物Ｘを浮遊させる除電部３２と、除電部３２により浮遊した異物Ｘを吸引することで回収する吸引部３３と、を有し、これら除電部３２及び吸引部３３は本体部３１ａに設けられている。なお、異物除去手段３１は駆動時、基板Ｐの表面上を、同図中矢印Ａで示される方向に移動（走査）するようになっている。このとき、異物除去手段３１と基板Ｐの表面との距離は１．０ｍｍ程度に設定される。
【００３２】
図５は異物除去手段３１の周辺構成を示す図である。液滴吐出装置１は、図５に示されるように、異物除去手段３１を駆動させるに先立って基板Ｐ又は液滴吐出ヘッド２５の表面の状態を検出する検出手段５０を備えている。
【００３３】
検出手段５０は、例えばＣＣＤカメラ等の撮像手段によって構成されている。検出手段５０は、制御部３に電気的に接続されている。これにより、制御部３は、検出手段５０の検出結果に基づいて異物除去手段３１の駆動を制御している。
【００３４】
具体的に検出手段５０は、基板Ｐ或いは液滴吐出ヘッド２５の表面を走査することで基板Ｐ或いは液滴吐出ヘッド２５の表面に異物が付着しているか否かを検出する。そして、制御部３は、検出手段５０が基板Ｐ或いは液滴吐出ヘッド２５の表面に異物が存在するか否かの検出結果に基づいて異物除去手段３１及び液滴吐出ヘッド２５の駆動を制御するようになっている。
【００３５】
例えば検出手段５０により基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５の表面に異物が付着していないことを検出した場合、制御部３は異物除去手段３１を駆動することなく、液滴吐出ヘッド２５を駆動して機能液を吐出させる。よって、不必要に異物除去手段３１が駆動されてしまうことでカラーフィルタの生産性が低下するのを防止するようにしている。
【００３６】
図４に示したように、除電部３２は、イオンを発生させるイオン生成部３２ａと、イオン生成部３２ａにより発生させたイオンに例えば空気やＮ２等のガスを送風することでイオン化させ、イオン風を生成する送風部３２ｂと、を含むものである。本実施形態では、イオン生成部３２ａとしてイオナイザーを用いている。また、送風部３２ｂとしてはファンを用いている。この構成により、除電部３２はイオン化された活性種及び電子を含む気体、すなわちイオン風を発生してこれを放出するようになっている。
【００３７】
このように空気等のガスがイオン化されると、例えば空気分子（酸素分子または窒素分子）から電子が奪われることで正イオンとなり、また奪われた電子が他の空気分子に捕らわれることで負イオンが生成される。したがって、このようにしてイオン化された活性種及び電子を含んでなるイオン風により、静電中和が可能となり、帯電によって生じた電荷の除去が可能になるのである。
【００３８】
また、本体部３１ａには凹部３５が形成されており、除電部３２は凹部３５の底面に配置されている。これにより除電部３２は、上記イオン風を凹部３５内に導入可能となっている。
【００３９】
吸引部３３は、凹部３５における異物除去手段３１の走査方向（図４中矢印Ａ方向）と反対側の面に形成された吸引孔３６と、この吸引孔３６の上流側に設けられる吸引ポンプ等の吸引機構（不図示）と、を備えている。このような構成に基づいて、吸引部３３は凹部３５内の雰囲気を吸引できるようになっている。
【００４０】
ここで、図４を参照しつつ、異物除去手段３１を用いた異物の除去方法について説明する。なお、本説明においては、上記検出手段５０によって基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５の表面に異物Ｘが付着していることが検出されたものとする。
【００４１】
まず、異物除去手段３１は、基板Ｐ上を図４中矢印Ａで示される方向に走査しつつ、凹部３５を介して基板Ｐの表面にイオン風を吹きつける。このとき基板Ｐの表面にイオン風が吹きつけられると、異物Ｘを付着させている静電気が除電されることでイオン風によって異物Ｘが巻き上げられる。これにより異物Ｘは凹部３５内に浮遊した状態となる。凹部３５内に浮遊した異物Ｘは、凹部３５内に設けられた吸引孔３６に吸い込まれることで回収される。
【００４２】
本実施形態においては、上述のように異物除去手段３１が図４中矢印Ａの方向に移動した状態で凹部３５内にイオン風が吹き込まれるので、イオン風は吸引孔３６側に巻き込むように発生する。よって、凹部３５内に浮遊している異物Ｘは、吸引孔３６にスムーズに吸い込まれる。
【００４３】
異物除去手段３１は基板Ｐの全面を走査するとともに上述のように異物Ｘの除去を行う。なお、検出手段５０の検出結果に基づいて異物Ｘが付着している領域のみ上記除電部３２及び吸引部３３を駆動するようにしてもよい。
【００４４】
続いて、異物除去手段３１は液滴吐出ヘッド２５の表面に付着している異物Ｘの除去を行う。まず、異物除去手段３１は不図示の駆動機構によって上下反転する。これにより、異物除去手段３１の下面（凹部３５が形成された側）を液滴吐出ヘッド２５のノズルプレート４１に対向させる。
【００４５】
続いて、異物除去手段３１は、ノズルプレート４１上を図６中矢印Ａで示される方向に走査しつつ、凹部３５を介してノズルプレート４１の表面にイオン風を吹きつける。このとき、異物除去手段３１とノズルプレート４１の表面との距離は１．０ｍｍ程度に設定される。
【００４６】
このようにノズルプレート４１の表面にイオン風が吹きつけられると、異物Ｘを付着させている静電気が除電されることでイオン風によって巻き上げられた異物Ｘが凹部３５内に浮遊した状態となる。凹部３５内に浮遊した異物Ｘは、凹部３５内に設けられた吸引孔３６に吸い込まれることで回収される。このように異物除去手段３１がノズルプレート４１の全面を走査することで異物Ｘの除去を行う。
【００４７】
本実施形態によれば、除電部３２によって基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５の表面が除電されるので、静電気により基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５の表面に付着していた異物Ｘを容易に分離させることができる。よって、吸引部３３による吸引力によって異物Ｘを吸い込むことができ、基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５の表面に付着していた異物Ｘを確実に除去できる。また、異物Ｘを除去する際、チャンバ装置４内に人が介在する必要が無いので、二次汚染の発生が防止される。したがって、生産性を低下させることなく、液滴吐出装置１内の異物Ｘを良好に除去することができる。
【００４８】
異物除去手段３１による異物除去処理が終了した後、制御部３は液滴吐出ヘッド２５を駆動して基板Ｐ上にカラーフィルタ材料を吐出し始める。
図７は、液滴吐出ヘッド２５を用いて基板Ｐ上にカラーフィルタを形成する方法の説明図である。図７（ａ）は、液状体の吐出対象物である基板Ｐの概略平面図である。図７（ｂ）は、基板Ｐの部分拡大平面図である。
【００４９】
図７（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積の基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルタ基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図７（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルタ層（着色層）ＣＦが形成される。
【００５０】
本実施形態では、図７（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、液滴吐出ヘッド２５を基板Ｐ上に配置する。そして、基板Ｐを液滴吐出ヘッド２５に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、液滴吐出ヘッド２５の複数のノズルＮから着色材料を含む液状体（カラーフィルタ材料）を吐出させ、基板Ｐ上の各画素ＰＸにカラーフィルタ層ＣＦを形成する。
【００５１】
液滴吐出ヘッド２５の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド２５を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド２５を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルタ層ＣＦを形成する。
このとき、本実施形態では、図８に示すように上記異物除去手段３１の送風部３２ｂを用いてカラーフィルタ層ＣＦの乾燥処理を行うようにしている。このとき、イオン生成部３２ａを駆動させず、送風のみを行うようにしている。このようにすれば、送風部３２ｂを乾燥手段として機能させることで液滴吐出装置１が高機能且つ付加価値の高いものとすることができる。
【００５２】
なお、図７（ｂ）において液滴吐出ヘッド２５が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド２５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド２５を斜めに傾ける必要はない。
【００５３】
カラーフィルタ層ＣＦは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図７（ｂ）に示す液状体の吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ材料を吐出する液滴吐出ヘッド２５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。
そして、これらの液滴吐出ヘッド２５を順次に用いて１つの基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルタ層ＣＦの配列を形成する。
【００５４】
このように本実施形態によれば、上述の異物除去手段３１により基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５の表面に付着していた異物が除去されているので、信頼性の高いカラーフィルタ層ＣＦを形成することができる。
【００５５】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されることは無く、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上述の実施形態では、基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５に対して共通の異物除去手段３１を用いる場合について説明したが、異物除去手段３１が複数から構成されていてもよい。この場合、異物除去手段３１は、基板Ｐに対応する第１の異物除去手段と、液滴吐出ヘッド２５に対応する第２の異物除去手段と含む。なお、第１の異物除去手段と第２の異物除去手段とは同一の構成からなるものである。
【００５６】
ところで、液滴吐出ヘッド２５と基板Ｐとのクリアランスは非常に小さいため、例えば異物除去手段３１が液滴吐出ヘッド２５に対して異物除去処理を行っている間に、基板Ｐと異物除去手段３１とが接触しないように互いの位置を調整する必要があり、制御が煩雑となる。そこで、上記構成を採用すれば、例えば第１の異物除去手段を液滴吐出ヘッド２５の移動領域外に配置するとともに第２の異物除去手段を基板Ｐの移動領域外に配置することで、異物除去手段３１が基板Ｐ及び液滴吐出ヘッド２５に接触するのを簡便且つ確実に防止することができる。このとき、第２の異物除去部は液滴吐出ヘッド２５のメンテナンス領域側に配置するのが好ましい。具体的に、第２の異物除去手段は、キャリッジ２４がホームポジション（メンテナンス機構３４）に向かう移動経路の途中に配置する。このようにすれば、ホームポジションにてメンテナンス機構３４による所定のメンテナンス処理を行った液滴吐出ヘッド２５を吐出ポジション側に移動する途中で液滴吐出ヘッド２５に付着している異物の除去を行うことができ、異物除去処理を効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】描画システムの平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の概略構成図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの概略構成図である。
【図４】異物除去手段の構成を示す断面図である。
【図５】異物除去手段の周辺構成を示す図である。
【図６】異物除去手段の動作を説明するための図である。
【図７】カラーフィルタを形成する方法の説明図である。
【図８】異物除去手段を用いてカラーフィルタ層の乾燥処理工程を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
Ｐ…基板、１…液滴吐出装置、３…制御部、５…液滴吐出ヘッド、２２…基板ステージ（搬送装置）、３１…異物除去手段、３２…除電部、３２ａ…イオン生成部、３２ｂ…送風部、３３…吸引部、５０…検出手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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