(57)【要約】【課題】試料上の狭い測定領域内の異なる複数の測定点についての質量分析を行って収集されたデータを用い該測定領域におけるマススペクトルを求める場合に、試料表面の凹凸により測定点毎の飛行距離に差異があっても、その影響をなくして高い質量分解能のマススペクトルを求める。【解決手段】１つの測定点について得られるマススペクトル毎に、内部標準法による質量較正を実行して正確な質量軸に修整する（Ｓ３〜Ｓ７）。測定点毎に得られる較正済みのマススペクトルの中で、積算により質量分解能を低下させるおそれのある形状不良のマススペクトルがある場合にはそれを排除し（Ｓ８、Ｓ１０）、質量軸が正確で形状が正常であるマススペクトルを積算することにより、測定領域に対するマススペクトルを求め、これを表示画面上に表示する（Ｓ９、Ｓ１３）。【選択図】図３
2010205460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料にレーザ光を照射することにより該試料中の物質をイオン化するレーザ脱離イオン化部と、生成されたイオンを飛行時間に応じて質量分析する飛行時間型質量分析部と、を有するレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置であって、
a)試料上の測定領域内の相異なる微小領域にレーザ光を照射するべくレーザ光照射位置に対し試料を移動させる走査手段と、
b)前記走査手段による走査の下に、同一測定領域内の異なる複数の微小領域に対し取得されたマススペクトルについて、それぞれ内部標準法により質量較正を行って微小領域毎に較正済みのマススペクトルを求める質量較正手段と、
c)前記質量較正手段により微小領域毎に質量較正されたマススペクトルを積算して、測定領域に対するマススペクトルを求める較正後積算手段と、
を備えることを特徴とするレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置であって、
同一微小領域にレーザ光を複数回照射し、その照射毎に得られるマススペクトルを積算する較正前積算手段をさらに備え、
前記質量較正手段は、前記較正前積算手段により積算されたマススペクトルについて質量較正を行って１つの微小領域に対する較正済みのマススペクトルを求めることを特徴とするレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置（ＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ＝Laser Desorption/Ionization Time of Flight Mass Spectrometer）に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ脱離イオン化（ＬＤＩ＝Laser Desorption/Ionization）法は、試料にレーザ光を照射し、レーザ光を吸収した物質の内部で電荷の移動を促進させてイオン化を行うものである。レーザ脱離イオン化法の中で最も広く利用されているのは、マトリックス支援レーザ脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ＝Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization）法である。ＭＡＬＤＩ法では、レーザ光を吸収しにくい試料やタンパク質などレーザ光で損傷を受けやすい試料を分析するために、レーザ光を吸収し易く且つイオン化し易い物質をマトリックスとして試料に予め混合しておき、これにレーザ光を照射することで試料をイオン化する。
【０００３】
特にＭＡＬＤＩ法と飛行時間型質量分析装置（ＴＯＦＭＳ＝Time of Flight Mass Spectrometer）とを組み合わせたＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳは、分子量の大きな高分子化合物をあまり開裂させずに質量分析することが可能であり、しかも高感度で微量分析にも好適であることから、近年、生命科学などの分野で広範に利用されている（特許文献１など参照）。以下、このＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳを例に挙げて説明を行う。
【０００４】
上述のようにＭＡＬＤＩ法では、試料に短時間だけレーザ光を照射してイオン化を行うが、１回のレーザ光照射で発生するイオンの量は必ずしも多くない。また、レーザ光照射毎に発生するイオンの量にもばらつきが比較的多い。そのため、ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳでは一般的に、レーザ光照射を実行してそれにより発生するイオンを質量分析してマススペクトルを取得する、という操作を多数回繰り返し、その多数のマススペクトルを積算することでＳＮ比を上げるようにしている。
【０００５】
但し、試料上の同じ位置にレーザ光を繰り返し照射し続けると次第にイオンが発生しなくなる。そこで、試料上の測定領域内で近接した異なる位置にレーザ光が照射させるように試料又はレーザ光を走査し、その異なる位置（測定点）において取得される多数のマススペクトルを積算処理して測定領域に対するマススペクトルを求めることもよく行われる。
【０００６】
ところで、質量分析では、正確な未知試料イオンの正確な質量電荷比を求めるために、例えば、質量電荷比が既知である化合物（内部標準物質）を目的試料とともに質量分析してその実測の質量電荷比を求め、実測値と理論値とを比較して較正情報を作成し、それに基づいて未知試料イオンの質量較正が行われる（特許文献２参照）。
【０００７】
こうした内部標準法による質量較正をＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳで行う場合、内部標準物質はマトリックス自体であったりマトリックスに混合されたりし、レーザ光照射によって目的試料とともにイオン化されてＴＯＦＭＳに導入される。しかしながら、上述したように測定領域内の異なる位置におけるマススペクトルを積算処理する場合には、次のような問題がある。
【０００８】
即ち、試料表面は平坦ではなく或る程度凹凸を有する場合がある。そのため、たとえ試料上で近接した位置であっても、試料の走査によってレーザ光の照射位置が変わると飛行距離が微妙に変化する。同一質量電荷比を持つイオンでも飛行距離が変わると飛行時間が変わるため、マススペクトルに出現する位置がずれる。そのため、こうしたマススペクトルを積算するとピーク幅が拡がってしまい、質量較正を行っても高い質量分解能や質量精度が得られなくなるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−１８５６９６号公報
【特許文献２】特開２００５−２９２０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記課題に鑑みて成されたものであり、試料上の測定領域内の異なる複数の測定点から得られたデータを用いて該測定領域に対するマススペクトルを求めるレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置において、その質量分解能や質量精度を向上させることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された本発明は、試料にレーザ光を照射することにより該試料中の物質をイオン化するレーザ脱離イオン化部と、生成されたイオンを飛行時間に応じて質量分析する飛行時間型質量分析部と、を有するレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置であって、
a)試料上の測定領域内の相異なる微小領域にレーザ光を照射するべくレーザ光照射位置に対し試料を移動させる走査手段と、
b)前記走査手段による走査の下に、同一測定領域内の異なる複数の微小領域に対し取得されたマススペクトルについて、それぞれ内部標準法により質量較正を行って微小領域毎に較正済みのマススペクトルを求める質量較正手段と、
c)前記質量較正手段により微小領域毎に質量較正されたマススペクトルを積算して、測定領域に対するマススペクトルを求める較正後積算手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明において、上記レーザ脱離イオン化部は典型的にはマトリックス支援レーザ脱離イオン化部（ＭＡＬＤＩ）である。
【００１３】
本発明に係る質量分析装置では、内部標準法による質量較正を実行するために、予め試料に対し正確な質量電荷比が既知である内部標準物質を混合しておく。これにより、質量分析により得られたデータから作成されるマススペクトルには内部標準物質のピークが現れる。質量較正手段は、１つの微小領域に対するマススペクトルが得られると、そのマススペクトルに現れている内部標準物質のピークの位置から質量電荷比の理論値との誤差を算出し、その誤差を補正するように質量較正を実施する。それにより、１つの微小領域に対する質量較正済みの、つまり正確な質量軸を持つマススペクトルが得られる。１つの測定領域内の複数の微小領域毎にそれぞれ、同様の質量較正により、正確な質量軸を持つマススペクトルを取得する。
【００１４】
その後、較正後積算手段は、測定領域内の複数の微小領域に対する質量較正済みのマススペクトルを全て積算し、測定領域に対する１つのマススペクトルを求める。この積算の際にはマススペクトルの質量軸は精度が十分に高くなっているので、積算によっても質量分解能や質量精度が下がることはなく、ピークが拡がることもない。
【００１５】
但し、レーザ脱離イオン化法ではレーザ光照射毎のイオン生成量にばらつきが大きく、１回のレーザ光照射により取得したデータに基づいてマススペクトルを作成しても、内部標準物質のピーク自体が十分な強度で現れるとは限らない。
【００１６】
そこで、本発明の好ましい一態様として、同一微小領域にレーザ光を複数回照射し、その照射毎に得られるマススペクトルを積算する較正前積算手段をさらに備え、
前記質量較正手段は、前記較正前積算手段により積算されたマススペクトルについて質量較正を行って１つの微小領域に対する較正済みのマススペクトルを求める構成とするとよい。
【００１７】
同一微小領域に対して複数回の測定（レーザ光照射）を行った場合には、測定毎の飛行距離の変化はないものとみなすことができるから、質量較正していない状態のマススペクトルの積算を行っても質量分解能の低下は殆ど無視できる。一方、この積算によって内部標準物質のピーク強度は十分に大きくなるため、内部標準法による質量較正を高い精度で行って正確な質量軸を求めることができる。
【００１８】
なお、飛行時間型質量分析装置では、検出器から得られるデータから横軸が飛行時間、縦軸が信号強度である飛行時間スペクトルをまず作成し、その飛行時間スペクトル上で内部標準物質のピークを見い出して、その飛行時間の理論値と実測値とを比較し、時間軸を正確な質量軸に換算する質量較正を行うこともできる。この場合には、上記質量較正手段は、同一測定領域内の異なる複数の微小領域に対し取得された飛行時間スペクトルについて、それぞれ内部標準法により質量較正を行って微小領域毎に較正済みのマススペクトルを求めるようにすればよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るレーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置によれば、試料表面に凹凸があって積算対象のスペクトルデータを収集する微小領域毎に検出器までの飛行距離に差異がある場合でも、高い質量分解能、質量精度を有するマススペクトルを求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施例であるＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの要部の構成図。
【図２】本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおける試料上の測定点の一例を示す模式図。
【図３】本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおける特徴的な測定動作を示すフローチャート。
【図４】本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおける測定例と従来との比較を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施例であるＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳについて、添付図面を参照して説明する。図１は本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの要部の構成図である。
【００２２】
測定対象の試料６が形成されたサンプルプレート５は、図示しないモータ等を含むステージ駆動部７により図中のＸ−Ｙの２軸方向に移動される試料ステージ４上に載置される。試料６はマトリックスが混合されて調製されたものである。また、この試料６には目的試料以外に、内部標準法による質量較正のための内部標準物質が混合されている。マトリックス自体を内部標準物質とすることもできる。この試料６に対し、レーザ照射部１から出射して集光レンズ２、反射鏡３を経たレーザ光が照射され、それにより、試料６中の試料成分がイオン化される。レーザ光の照射位置は固定されているため、ステージ駆動部７により試料ステージ４が移動されると、それに伴い試料６上でレーザ光照射位置が移動する。
【００２３】
試料ステージ４の上方には、試料６から発生したイオンをその発生位置の近傍から上方に引き出すための電場を形成するイオン引き出し用電極８とイオンに初期運動エネルギーを付与するための加速電極９とが配設されている。加速電極９により初期運動エネルギーを付与されて飛行を開始したイオンはフライトチューブ１０内に形成された飛行空間１１を飛行し検出器１２に到達する。質量電荷比が小さいイオンほど大きな飛行速度を有するため、ほぼ同時に飛行を開始した各種のイオンの中で、質量電荷比が小さなイオンから順に検出器１２に到達して検出される。
【００２４】
なお、この実施例ではフライトチューブ１０の構成はリニア型であるが、リフレクトロン型など他の構成のフライトチューブでもよいことは当然である。
【００２５】
検出器１２は入射したイオンの量に応じた検出信号を出力し、この検出信号はアナログ／デジタル変換器１３によりデジタルデータに変換されてデータ処理部２０に入力される。データ処理部２０は例えば較正前スペクトル積算処理部２１、質量較正部２２、較正後スペクトル積算処理部２３などの機能ブロックを備える。また、操作部１６や表示部１７が接続された制御部１５は分析動作全体を制御する機能を有し、ステージ駆動部７、レーザ照射部１などをそれぞれ制御する。
【００２６】
次に本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの特徴的な測定動作を、図３に示すフローチャートに従って説明する。
【００２７】
このＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳでは、試料６上の狭い測定領域内の近接した複数の測定点についてそれぞれ質量分析を実行して収集したデータを用いて、その測定領域に対するマススペクトルを作成する。一例として、図２（ａ）に示すように、試料６上に設定された１mm×１mm四方の測定領域３０内に、格子状に５×５＝２５箇所の測定点（レーザ光照射の中心点）３１を設け、測定点３１毎に測定を行うものとする。そうして得られるデータを用いて、測定領域３０に対する１つのマススペクトルを作成する。測定領域３０内の２５個の測定点３１を順に走査しながら各測定点３１の質量分析を行うが、その走査の順序は特に問わない。もちろん、測定のスループットを上げるには移動距離が短いことが望ましく、例えば、図２（ｂ）に示すように、周辺から中心に向かって（又はその逆に中心から周辺に向かって）渦巻き状に走査することが考えられる。
【００２８】
測定開始の指示がなされると、制御部１５はまず測定対象の測定点３１の位置を示す変数ｎを１にセットし（ステップＳ１）、第ｎ測定点がレーザ光照射位置に来るように試料ステージ４を移動させるべくステージ駆動部７を駆動する（ステップＳ２）。図２（ｂ）に示すように走査を行う場合には、図中の測定点Ｐｓがレーザ光照射位置に来るように試料ステージ４を移動させる。
【００２９】
その後、レーザ照射部１から短時間レーザ光を出射し、試料６上の第ｎ測定点付近にレーザ光を照射し、その付近にある試料成分をＭＡＬＤＩ法によりイオン化する。一方、データ処理部２０はレーザ光照射時点から所定時間スペクトルデータを収集する（ステップＳ３）。このスペクトルデータは１回のレーザ光照射に対して得られる、各種イオンの飛行時間と信号強度との関係を示す飛行時間スペクトルデータであり、データ処理部２０では、予め求められている時間−質量電荷比の換算情報を利用して飛行時間を質量電荷比に変換することにより、マススペクトルを求める。
【００３０】
さらに、較正前スペクトル積算処理部２１は、１回のレーザ光照射により得られたマススペクトルを積算用メモリに既に保存されているマススペクトルに積算し、新たに得られたマススペクトルを積算用メモリに格納する（ステップＳ４）。なお、較正前スペクトル積算処理部２１で積算処理が行われるのは、同一位置の測定点から得られたマススペクトルだけであるから、後述するように測定点が移動した直後には積算用メモリの内容はゼロであり、得られたマススペクトルがそのまま積算用メモリに格納される。
【００３１】
次いで、制御部１５は同一測定点繰り返し回数に到達したか否かを判定し（ステップＳ５）、繰り返し回数に到達していなければステップＳ３へ戻る。例えば、同一測定点繰り返し測定回数を１０に定めておくと、ステップＳ３〜Ｓ５の処理が１０回繰り返される。これは、１回のレーザ光照射では試料６から十分な量のイオンが発生しない場合があり、１回のレーザ光照射で得られるマススペクトル毎に質量較正を実行するのは現実的でないためである。
【００３２】
上記ステップＳ３〜Ｓ５の繰り返しの中で、較正前スペクトル積算処理部２１は積算用メモリに既に格納されているマススペクトルにさらに新たに取得されたマススペクトルを加算してゆく。これにより、１０回のレーザ光照射により得られる１０個のマススペクトルデータを積算する。このマススペクトルは同一測定点のものであるから、試料６表面の高さは同一であるとみなすことができ、それ故に飛行距離も同一であるとみなすことができる。そのため、同一質量電荷比を有するイオンは同一の飛行時間となり、質量較正前に積算を行ってもピークの拡がりは無視できる程度に小さい。
【００３３】
ステップＳ５において同一測定点繰り返し測定回数に到達したと判定されると、その第ｎ測定点に対する質量分析は終了され、その時点で較正前スペクトル積算処理部２１の積算用メモリに保存されているマススペクトルデータが取得されて質量較正部２２に送られる（ステップＳ６）。なお、質量較正前のマススペクトルが積算用メモリから読み出されて質量較正部２２に送られると、その積算用メモリはクリアされ、次の測定点における新たな積算の準備がなされる。
【００３４】
質量較正部２２は与えられたマススペクトルを用い、質量較正を行うことにより正確な質量軸を持つマススペクトルを算出する（ステップＳ７）。即ち、マススペクトル中には質量電荷比の理論値が既知である内部標準物質（通常は複数）のピークが必ず存在する。内部標準物質の質量電荷比の理論値は既知であり、実測値が理論値からずれるとしても、そのずれ量は或る程度決まった範囲に収まる。そこで、理論値を利用して内部標準物質のピークを見つけることができ、そのピークの位置から質量電荷比の実測値を求める。そして、質量電荷比の実測値を理論値と比較し、実測値を理論値に換算するための較正情報を求める。較正情報は例えば計算式として導出することができる。質量較正部２２この較正情報を用いて、マススペクトルの質量軸を較正して、質量較正がなされたマススペクトルを取得する。
【００３５】
次に、較正済みのマススペクトルの形状の良否を判定する（ステップＳ８）。これは、以降の積算処理の際に積算することにより明らかに質量分解能を低下させるようなマススペクトルを前もって排除するためである。具体的な判定方法としては、例えば、マススペクトルに出現しているピークの中で最も大きなピーク（又は強度が大きな複数のピーク）を選択し、そのピークの半値幅を計算して半値幅が所定の閾値以上である場合に、そのマススペクトルの形状が不良であると判断するとよい。マススペクトルの形状が不良であると判定された場合には、そのマススペクトルを廃棄することにより積算対象から除外する（ステップＳ１０）。
【００３６】
一方、質量較正済みのマススペクトルの形状が良好であると判定された場合には、そのマススペクトルを較正後スペクトル積算処理部２３へ送り、較正後スペクトル積算処理部２３内の積算用メモリに格納されているマススペクトルに加算することで積算を行う（ステップＳ９）。この積算用メモリはこの一連の処理を開始する時点でクリアされており、最初の測定点に対する較正済みマススペクトルを積算する際にはそのスペクトルはそのまま積算用メモリに格納される。
【００３７】
それから、制御部１５は最終測定点（この例ではｎ＝２５）であるか否かを判定し（ステップＳ１１）、最終測定点に未だ達していない場合には、変数ｎをインクリメントすることにより、次の測定点へ移動するようにし（ステップＳ１２）、ステップＳ２へと戻る。したがって、例えば第１測定点の測定が終了した後には、第２測定点に移動して第２測定点の測定が実施されることになる。ステップＳ３〜Ｓ１２の処理を測定点の数だけ繰り返し、各測定点毎に得られた較正済みのマススペクトルを順に積算してゆく。
【００３８】
第１測定点から順に各測定点の測定が実行されていって、ステップＳ１１で最終測定点に達していると判定されると、全ての測定点に対する測定が終了したと判断してステップＳ１３へと進む。図２（ｂ）の例では測定点Ｐｅが最終測定点である。最終測定点に到達した場合、データ処理部２０では、その時点で較正後スペクトル積算処理部２３の積算用メモリに保存されているマススペクトルが、その測定領域３０における最終的なマススペクトルとして取得される。そして、例えば制御部１５により表示部１７に出力されることで、画面上に上記マススペクトルが表示される。
【００３９】
較正後スペクトル積算処理部２３で積算が行われる前に、積算対象であるマススペクトルは既に質量較正が実行されているので、測定点の相違、具体的には、試料６表面の凹凸による測定点から検出器１２までの飛行距離の相違の影響は補正されている。したがって、較正後スペクトル積算処理部２３で積算される各マススペクトルの質量軸は精度が高く、積算することによる質量分解能の低下は殆ど起こらない。それ故に、高い質量分解能、質量精度のマススペクトルを出力することができる。
【００４０】
なお、上記実施例では、マススペクトルの形状の良否を判断して不良の、つまり質量分解能の低いマススペクトルを積算対象から外していたが、それは本発明において必須の処理ではなく、各測定点毎の全ての較正済みマススペクトルを積算して測定領域全体のマススペクトルを求めるようにしてもよい。また、マススペクトルの形状の良否の判定を行う場合、その方法は上記記載の方法に限らない。例えば、全ての較正済みマススペクトルを積算せずにスペクトルパターンを比較して類似度（一致度）を判定し、類似度が低いスペクトルを排除するようにしてもよい。
【００４１】
また上記実施例では、１回のレーザ光照射に対応して得られたマススペクトルを同一測定点については積算した上で質量較正を行うようにしていたが、飛行時間を質量電荷比に換算する際に内部標準法による質量較正を行うように処理を変形することが可能である。即ち、１回のレーザ光照射に対応して取得されるデータに基づいて飛行時間スペクトルを作成し、この飛行時間スペクトルを較正前スペクトル積算処理部２１で積算する。そして、１つの測定点における積算飛行時間スペクトルが得られたならば、そのスペクトル中に存在する内部標準物質由来のピークを見い出し、その飛行時間の実測値と理論値とから、飛行時間を正確な質量電荷比に換算する較正情報を求め、この較正情報を用いて飛行時間スペクトルから正確な質量軸を持つマススペクトルを求めるようにしてもよい。
【００４２】
また、上記実施例は本発明をＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳに適用したものであるが、イオン源はＭＡＬＤＩに限るものではなく、例えばシリコン上脱離イオン化法（Desorption/Ionization on (porous）Silicon：ＤＩＯＳ）や表面支援レーザ脱離イオン化法（Surface Assisted Laser Desorption/Ionization：ＳＡＬＤＩ）などの、公知のレーザ脱離イオン化法を用いるものにも適用可能である。
【実施例】
【００４３】
上述したＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳによる質量分解能の改善効果について測定例を挙げて説明する。ここで測定対象の試料は、Angiotensin II（AngII）：モノアイソトピック質量＝１０４６．５４２２（［Ｍ＋Ｈ］＋）、Ｐ１４Ｒ：モノアイソトピック質量＝１５３３．８５８２（［Ｍ＋Ｈ］＋）、及び、ＡＣＴＨ fragmant 1-17：モノアイソトピック質量＝２０９３．０８６７（［Ｍ＋Ｈ］＋）という３種のペプチド混合物を、ＣＨＣＡ（α-cyano-hydroxycinnamic acid）：モノアイソトピック質量＝３７９．０９３０（［２Ｍ＋Ｈ］＋）であるマトリックスと混合したものである。また、ＣＨＣＡの２量体、AngII、ＡＣＴＨの３つを、質量較正のための内部標準物質として用いた。
【００４４】
図２（ａ）に示したように、測定領域３０を１mm角とし、この測定領域３０内の５×５箇所（２５０μmピッチ）の測定点を順に走査しつつ、各測定点毎にそれぞれ１０回のレーザ光照射を行った。この２５箇所の測定点の中で、図２（ａ）中にＰ１、Ｐ２、Ｐ３で示す３箇所の測定点について、１０回のレーザ光照射によりそれぞれ得られるマススペクトルデータを積算したマススペクトルを、図４（ａ）の左側に示す。これらマススペクトルは質量較正を行っていない状態である。測定点Ｐ１におけるマススペクトルではピークの先割れが生じており、測定点Ｐ３におけるマススペクトルでは０．０５２Ｄａの質量誤差（３６．５ppm）を生じている。一方、測定点Ｐ２におけるマススペクトルでは０．００２４Ｄａ（１．５ppm）の質量誤差しか生じない。このように測定点の位置によって質量誤差にばらつきがあるのは、試料の凹凸による飛行距離の差異が主な原因であると考えられる。
【００４５】
図４（ａ）の右側には、２５箇所の全ての測定点におけるマススペクトルを積算し、その後に上記の内部標準物質を用いた質量較正を実行して得られるマススペクトルを示している。これから計算される質量分解能は８９９８であり、各測定点で得られる、図４（ａ）の左側に示したマススペクトルよりも質量分解能が低下してしまっている。特に測定点Ｐ３におけるマススペクトルでは、十分なピーク強度が得られているにも拘わらず質量精度が悪い。こうした質量精度が悪い状態でマススペクトルを積算してしまっているため、その後に質量較正を実行しても質量分解能を高くすることはできないものと考えられる。
【００４６】
これに対し本発明では、図４（ｂ）の左側に示すように測定点毎に得られたマススペクトルを積算する前に内部標準法により質量較正して質量軸の精度を高める。この際に、上記実施例に記載の方法では、測定点Ｐ１におけるマススペクトルのようにピークの先割れが生じている等、波形形状が不良であるマススペクトルは積算対象から除外される。それにより、異なる測定点におけるマススペクトルを積算しても質量分解能や質量精度が低下することがなく、図４（ｂ）の右側に示すようなマススペクトルを得ることができる。これから計算される質量分解能は１３０００以上である。なお、図４（ｂ）の右側に示すマススペクトル自体は、実際に上記処理を行って求めたものではなく、同一測定点に対するレーザ照射の繰り返し回数をさらに増やして作成したものであるが、異なる測定点におけるマススペクトルを積算した場合でも飛行距離の差異の影響がなくなることで、ほぼ同等のマススペクトルが得られることになる。
【００４７】
なお、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜に変更、修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは当然である。
【符号の説明】
【００４８】
１…レーザ照射部
２…集光レンズ
３…反射鏡
４…試料ステージ
５…サンプルプレート
６…試料
７…ステージ駆動部
８…イオン引き出し用電極
９…加速電極
１０…フライトチューブ
１１…飛行空間
１２…検出器
１３…アナログ／デジタル変換器
１５…制御部
１６…操作部
１７…表示部
２０…データ処理部
２１…較正前スペクトル積算処理部
２２…質量較正部
２３…較正後スペクトル積算処理部
３０…測定領域
３１…測定点
【図１】
2010205460.tif 000003
【図２】
2010205460.tif 000004
【図３】
2010205460.tif 000005
【図４】
2010205460.tif 000006