(57)【要約】【課題】  滴下した液滴の水平面形状が円形でない場合であっても、信頼性の高い液滴の高さ計測を可能にする。【解決手段】  観察カメラ１０２およびレンズ１０３の光軸Ｌ０とリング状照明体１１０の中心軸ＬＬとを合わせ、液滴１０１を観察すると、リング状照明体１１０における両端の点Ｐ，Ｑの虚像（Ｐ'−Ｑ'）が点Ｐ’，Ｑ’として観察される。よって、観察カメラ１０２およびレンズ１０３からなる観察光学系によって、リング状照明体１１０の虚像（Ｐ'−Ｑ'）を観測して、虚像（Ｐ'−Ｑ'）の外形円のサイズ，外形円の中心を画像計測することにより、液滴１０１の頭頂位置と高さを求めることができる。【選択図】  図１
2010169413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察光学系の光軸とリング状照明体の中心とを一致させた状態で前記リング状照明体から液滴に光を照射し、
前記光の照射により前記液滴から生じる前記リング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像した画像に基づいて前記液滴の高さを計測すること
を特徴とする液滴高さ計測方法。
【請求項２】
観察光学系の光軸とリング状照明体の中心とを一致させた状態で前記リング状照明体を液滴の鉛直方向に移動させながら前記リング状照明体から前記液滴に光を照射し、
前記光の照射により前記液滴から生じる前記リング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像し、
前記リング状照明体の移動ごとに得られた複数の画像計測結果から前記液滴のエッジ強度が最も高い画像計測結果を選択し、
前記選択された画像計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測すること
を特徴とする液滴高さ計測方法。
【請求項３】
観察光学系の光軸と直径の異なる複数のリング状照明体の中心とを一致させた状態で前記複数のリング状照明体の内の１つのみを点灯させて液滴に光を照射し、
前記光の照射により前記液滴から生じる前記リング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像し、
前記複数のリング状照明体を切替えて照明して得られた複数の画像計測結果から前記液滴のエッジ強度が最も高い画像計測結果を選択し、
前記選択された画像計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測すること
を特徴とする液滴高さ計測方法。
【請求項４】
観察光学系の光軸と、直径が異なりかつ非点灯部分を有する複数のリング状照明体の中心とを一致させた状態で、前記複数のリング状照明体の全てを点灯させて前記複数のリング状照明体から液滴に光を照射し、
前記光の照射により前記液滴から生じる前記複数のリング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像し、
前記複数のリング状照明体の虚像において非点灯部分の計測結果の比較によって前記液滴のエッジ強度が最も高いリング状照明体での画像計測結果を選択し、
前記選択された画像計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測すること
を特徴とする液滴高さ計測方法。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか１項記載の液滴高さ計測方法によって計測された液滴頭頂をレーザ測長機で計測し、
前記レーザ測長機での計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測すること
を特徴とする液滴高さ計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴の高さを高速かつ高精度に計測する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の体積を、その液滴の高さから求める方法がある。これは、画像計測によってワークに吐出された液滴の水平面視中心点を取得し、この水平面視中心点からレーザなどの電磁波的計測手段を用いて液滴の高さを計測しながら、液滴の外周方向に走査することにより、液滴の体積を計測する方法である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図９は特許文献１における液滴の体積測定方法の概略説明図である。
【０００４】
図９において、液滴吐出ヘッド（図示せず）から吐出された液滴１０は、非描画領域Ｓに着弾して、中心軸に対して回転対象な半球形状を成していると仮定している。このため、液滴１０の半球形状は、中心軸を同じくする薄手の円柱１１を積み重ねたものとみなすことができる。
【０００５】
特許文献１では、複数の円柱１１の体積の和を計算することにより、液滴１０の体積を算出する方法を採用している。まず、画像認識手段１２によって液滴１０の中心にあたる水平面視中心点１３を取得し、その高さを計測する。そして、電磁波的計測手段１４が水平面視中心点１３を原点座標として認識し、それを基準として円柱１１毎の高さを設定して液滴１０の外周１５の任意の１点とを結ぶ線分１６を計測し、この情報と複数の円柱１１の高さとより液滴１０の体積を測定している。
【特許文献１】特開２００５−１２１４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、システムＬＳＩなどの半導体素子上にメモリなどをダイボンドする際などにおいては、特許文献１に記載の方法では、生産タクトの低下が著しく、採用することはできない。これは、接着剤を塗布した後、画像計測によって水平面視中心点を求め、その後、外周に向かって走査しながら接着剤の高さを計測することになるため、全体積を計測するには、計算量が膨大になるためである。
ここで、接着剤の状態が不明なままでメモリなどを搭載する場合（例えば、メモリを保持するヘッドを高速に下降させた場合）には、接着剤とメモリが接触する際の衝撃により接着剤が広がり過ぎるために、接着剤のはみだし、あるいは這い上がりなどの不具合の原因となる。
【０００７】
また、この不具合を解消するために、接着剤の高さに対して十分高い位置からメモリを保持するヘッドを低速で下降させるようにすると、生産タクトの低下の原因となる。それを解消するためには、接着剤の最高点の高さを全数計測し、計測した高さを基準にして下降速度を低速に切り替える必要がある。
【０００８】
一般に、ぬれ易さがワーク内で異なる場合や、液滴の吐出条件のバラつきによって、滴下した液滴の水平面形状が円形ではなくなる。特許文献１に記載の方法によれば、水平面視中心点を画像計測により取得し、その箇所を電磁波的計測手段により計測することによって可能ではある。
しかしながら、このとき２値化などの画像計測によって水平面視中心点を求める特許文献１に記載の方法では、水平面視中心点の位置が液滴の最外形の形状に大きく影響を受け、水平面視中心点が液滴の最高点の平面位置とはずれる。このため、そのずれ分による最高点との高さの差の余裕をもって、液滴吐出ヘッドの下降速度を切り替えなければならず、その分、生産タクトが低下してしまう。
【０００９】
本発明は、前記従来の課題を解決するものであり、高精度な液滴高さ計測方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため、本発明の請求項１記載の液滴高さ計測方法は、観察光学系の光軸とリング状照明体の中心とを一致させた状態で前記リング状照明体から液滴に光を照射し、前記光の照射により前記液滴から生じる前記リング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像した画像に基づいて前記液滴の高さを計測するを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項２記載の液滴高さ計測方法は、観察光学系の光軸とリング状照明体の中心とを一致させた状態で前記リング状照明体を液滴の鉛直方向に移動させながら前記リング状照明体から前記液滴に光を照射し、前記光の照射により前記液滴から生じる前記リング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像し、前記リング状照明体の移動ごとに得られた複数の画像計測結果から前記液滴のエッジ強度が最も高い画像計測結果を選択し、前記選択された画像計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測することを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３記載の液滴高さ計測方法は、観察光学系の光軸と直径の異なる複数のリング状照明体の中心とを一致させた状態で前記複数のリング状照明体の内の１つのみを点灯させて液滴に光を照射し、前記光の照射により前記液滴から生じる前記リング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像し、前記複数のリング状照明体を切替えて照明して得られた複数の画像計測結果から前記液滴のエッジ強度が最も高い画像計測結果を選択し、前記選択された画像計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測することを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項４記載の液滴高さ計測方法は、観察光学系の光軸と、直径が異なりかつ非点灯部分を有する複数のリング状照明体の中心とを一致させた状態で、前記複数のリング状照明体の全てを点灯させて前記複数のリング状照明体から液滴に光を照射し、前記光の照射により前記液滴から生じる前記複数のリング状照明体の虚像を前記観察光学系で撮像し、前記複数のリング状照明体の虚像において非点灯部分の計測結果の比較によって前記液滴のエッジ強度が最も高いリング状照明体での画像計測結果を選択し、前記選択された画像計測結果に基づいて前記液滴の高さを計測すること
を特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明によれば、高精度に液滴の高さを計測することができる。本発明は、滴下した液滴におけるぬれ易さがワーク内で異なる場合や、液滴の吐出条件のバラつきによって、滴下した液滴の水平面形状が円形でない場合に特に効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、同一構成には同一符号を付して説明を省略している。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における液滴高さ計測装置の概略構成図であって、１００はワーク、１０１は液滴、１０２は観察カメラ、１０３はレンズ、１１０はリング状照明体である。
【００１７】
図１において、液滴吐出ヘッド（図示せず）からワーク１００に対して滴下された液滴１０１は、ぬれ易さがワーク１００内で異なる場合や、液滴の吐出条件のバラつきによって滴下した液滴１０１の水平面形状が円形でない場合であっても、液滴１０１の頭頂付近ではその３次元形状が半球状をしている。
【００１８】
液滴１０１に対して、観察カメラ１０２とレンズ１０３からなる観察光学系の光軸ＬＯと、中心軸ＬＬとが一致するように配設されたリング状照明体１１０から光を照射した場合、液滴１０１の表面において反射，屈折が生じる。
【００１９】
液滴１０１での反射光は、液滴１０１の形状が半球状をしていることから、図１に示すように、点Ｏを中心とする半球の半径の１／２の位置Ｆを焦点とする凸面鏡に光を照射した場合と同様に振舞い、虚像を結ぶ。
【００２０】
次に、画像計測によって、液滴１０１の頭頂位置と高さを求める原理を示す。図１において、点Ｐ，Ｑ（リング状照明体１１０）から凸面鏡（液滴１０１）までの距離をａ、虚像（Ｐ'−Ｑ'）までの距離をｂ、焦点距離をｆとすると、下記（式１）が成り立つ位置に虚像（Ｐ'−Ｑ'）が結像し、その虚像（Ｐ'−Ｑ'）の拡大率ｍ（ｍ＜１）は下記（式２）で求められる。
【００２１】
【数１】
2010169413.tif 000003
【００２２】
【数２】
2010169413.tif 000004
【００２３】
そのため、観察カメラ１０２およびレンズ１０３の光軸ＬＯとリング状照明体１１０の中心軸ＬＬとを合わせた状態で液滴１０１を観察すると、リング状照明体１１０における両端の点Ｐ，Ｑの虚像（Ｐ'−Ｑ'）が点Ｐ’，Ｑ’として観察される。
【００２４】
リング状照明体１１０の点Ｐ，Ｑの中央（光軸ＬＯと一致）と液滴１０１の頭頂位置との平面方向のズレをｘとしたとき、観察される虚像（Ｐ'−Ｑ'）の点Ｐ’，Ｑ’の中心と液滴１０１の頭頂位置との平面方向のずれｘ’は下記（式３）で表される。
【００２５】
【数３】
2010169413.tif 000005
【００２６】
続いて、観察カメラ１０２によってリング状照明体１１０の虚像（Ｐ'−Ｑ'）を撮像し、虚像（Ｐ'−Ｑ'）の直径ｄ、虚像の中心位置ｘ”を画像計測によって求める。そして、この直径ｄ、虚像の中心位置ｘ”と、リング状照明体１１０の直径Ｄを用い、下記（式４）にて求めた拡大率ｍを用いることによって、下記（式５）のように、実際の液滴１０１の頭頂の位置ｘを求めることができる。
【００２７】
【数４】
2010169413.tif 000006
【００２８】
【数５】
2010169413.tif 000007
【００２９】
さらに、観察光学系のレンズ１０３のワークディスタンスＷＤとレンズ先端とリング状照明１１０との距離Ｌが既知である場合は、下記（式６）が成り立つ。
【００３０】
【数６】
2010169413.tif 000008
【００３１】
したがって、上記（式４）によって求めたｍを用いることで（上記（式２）と上記（式６）の連立方程式を解くことで）、ａ，ｂを求めることができる。さらに、レンズ１０３の先端からワーク１００までの距離Ｌ１を用いることによって、液滴１０１の高さｈを下記（式７）により求めることができる。
【００３２】
【数７】
2010169413.tif 000009
【００３３】
かかる構成によれば、観察カメラ１０２およびレンズ１０３からなる観察光学系によって、リング状照明体１１０の虚像（Ｐ'−Ｑ'）を観測し、この虚像（Ｐ'−Ｑ'）の外形円のサイズ，外形円の中心を画像計測することにより、液滴１０１の頭頂位置と高さを求めることができる。そして、これらの値を用いて、液滴１０１の体積を求めることができる。
【００３４】
（実施の形態２）
図２は本発明の実施の形態２における液滴高さ計測装置の概略構成図、図３は実施の形態２における液滴高さ計測のフローチャートである。
【００３５】
図２において、１０５はリング状照明体１１０を上下させるための駆動系であり、リング状照明体１１０の虚像（Ｐ'−Ｑ'）が観察される位置ｂを変化させることができるように構成されている。この駆動系１０５により、ワーク１００ごとのぬれ易さが異なる場合や、液滴１０１の吐出条件のバラつきのため曲率が液滴ごとに異なる場合でも、位置ｂを変化させることにより、対応可能となる。
【００３６】
図３を参照して実施の形態２における液滴の高さを計測する方法について説明する。
【００３７】
まず、駆動系１０５を用いてリング状照明体１１０を初期位置に移動させ（ステップＳ１）、その後、駆動系１０５を用いてリング状照明体１１０を所定量移動させる（ステップＳ２）。ここで画像を撮像し、虚像（Ｐ'−Ｑ'）の外形円のサイズ，外形円の中心を計測し（ステップＳ３）、さらに虚像（Ｐ'−Ｑ'）の外形円の境界部分におけるエッジ強度を計測する（ステップＳ４）。
【００３８】
エッジ強度は、フォーカスのボケ具合を示しており、その計測には、ソーベルフィルタなどの値を用いることができる。ステップＳ２からステップＳ４を、リング状照明体１１０が終了位置となるまで繰り返す（ステップＳ５）。
【００３９】
ステップＳ２からステップＳ４の繰り返しが終了した後、ステップＳ４にて計測したエッジ強度を比較し、最もフォーカスが合ったリング状照明体１１０の位置（すなわち、エッジ強度が最大のリング状照明体１１０の位置）を抽出する（ステップＳ６）。そして、エッジ強度が最大となるリング状照明体１１０の位置に置いて、液滴１０１の外形円のサイズ，中心位置の結果を用いて、液滴１０１の頭頂位置，高さを算出する（ステップＳ７）。
【００４０】
なお、ソーベルフィルタ値が一定値以上となる等、エッジ強度が所定の要件を満たした場合に、フォーカスが合っていると判断して、ステップＳ２からステップＳ４の繰り返しを打ち切るようにしてもよい。
【００４１】
かかる構成によれば、リング状照明体１１０の虚像（Ｐ'−Ｑ'）をフォーカスが合った状態で画像計測することが可能なため、ワーク１００ごとのぬれ易さが異なる場合や、液滴１０１の吐出条件のバラつきのために曲率が液滴１０１ごとに異なる場合においても、液滴１０１の頭頂位置，高さを求めることができる。
【００４２】
なお、本実施の形態では、駆動系１０５によってリング状照明体１１０を上下させたが、相対的に、観察カメラ１０２およびレンズ１０３からなる観察光学系を上下させるようにしてもよい。
【００４３】
（実施の形態３）
図４は本発明の実施の形態３における液滴高さ計測装置の概略構成図、図５は実施の形態３における液滴高さ計測のフローチャートである。
【００４４】
図４において、１１１は、直径の異なる複数のリング状照明体１１０ａ〜１１０ｘを、各中心を合わせて高さ方向に配置させて構成したリング状照明体群であり、各中心が観察カメラ１０２およびレンズ１０３からなる観察光学系の光軸に一致するように設置されている。また、各リング状照明体１１０ａ〜１１０ｘは、点灯／消灯が個別に行われるように、それぞれ独立してＯＮ／ＯＦＦ制御が可能であるように電源（図示せず）に接続されている。
【００４５】
次に、図５を参照して実施の形態３における液滴の頭頂位置，高さを計測する方法について説明する。
【００４６】
まず、任意のリング状照明体１１０ｍのみ点灯させる（ステップＳ１１）。次に、画像を撮像し、リング状照明体１１０ｍの虚像（Ｐ'−Ｑ'）の外形円のサイズ，外形円の中心を計測し（ステップＳ１２）、さらに、虚像（Ｐ'−Ｑ'）の外形円の境界部分におけるエッジ強度を計測する（ステップＳ１３）。エッジ強度の計測には、ソーベルフィルタなどの値を用いることができる。
【００４７】
ステップＳ１１からステップＳ１３はリング状照明体１１０ａ〜１１０ｘの設置数だけ繰り返す（ステップＳ１４）。
【００４８】
ステップＳ１１からステップＳ１３の繰り返しが終了した後、ステップＳ１５にて計測したエッジ強度を比較し、最もフォーカスが合ったリング状照明体１１０ｎ（ｎは任意の数）、すなわちエッジ強度が最大のリング状照明体を抽出する。そして、エッジ強度が最大のリング状照明体１１０ｎにおける外形円のサイズ，中心位置の結果を用いて、液滴１０１の頭頂位置，高さを算出する（ステップＳ１６）。
【００４９】
なお、ソーベルフィルタ値が一定値以上となる等、エッジ強度が所定の要件を満たした場合に、フォーカスが合っていると判断して、ステップＳ１１からステップＳ１３の繰り返しを打ち切るようにしてもよい。
【００５０】
かかる構成によれば、リング状照明体群１１１を上下させることなく、リング状照明体１１０ｎの虚像（Ｐ'−Ｑ'）をフォーカスの合った状態で画像計測することが可能である。これにより、実施の形態２のようなリング状照明体１１０を上下させる時間が短縮されるため、ワーク１００ごとのぬれ易さが異なる場合や、液滴１０１毎に曲率が異なる場合でも、液滴１０１の頭頂位置，高さを高速に求めることができる。
【００５１】
（実施の形態４）
図６は本発明の実施の形態４における液滴高さ計測装置のリング状照明群の配置状態を示す概略平面図、図７は実施の形態４において液滴１０１を観察した場合の結果を示す模式図である。
【００５２】
図６において、リング状照明体群１１１を構成するリング状照明体１１０ａ〜１１０ｘは、それぞれの照明において、その円周上に、点灯部分１１３と１箇所点灯しない部分（非点灯部分）１１２を設け、かつ非点灯部分１１２が重ならないように配置されている。非点灯部分１１２の設け方としては、例えば、３６０°をリング状照明体１１０ａ〜１１０ｘの数で割った角度ごとに配置するという方法などが考えられる。
【００５３】
また、リング状照明体１１０は半径の小さいものほど上方（液滴１０１とは逆方向）に配置している。このように配置することによって、リング状照明体群１１１を一斉に点灯させても、それぞれの虚像が重ならずに観察することができる。
【００５４】
リング状照明体群１１１の全てのリング状照明体１１０ａ〜１１０ｘを一度に点灯させ、液滴１０１を観察することにより、図７に示すように、それぞれのリング状照明１１０ａ〜１１０ｘの非点灯部分１１２が暗く観察される。
【００５５】
そして、各リング状照明体１１０ａ〜１１０ｘの虚像（Ｐ'−Ｑ'）について、非点灯部分１１２と点灯部分１１３の境界におけるエッジ強度を算出し、それぞれを比較する。このとき、非点灯部分１１２が重ならないように配置しているため、虚像の非点灯部分１１２の位置から、どのリング状照明体の虚像かを判断することができる。このエッジ強度比較の結果、既述したように、エッジ強度が最大となるリング状照明体１１０ｎの虚像の外形円のサイズ，中心位置の画像計測結果を用いて、液滴１０１の頭頂位置、高さを求める。
【００５６】
かかる構成によれば、リング状照明体１１０ａ〜１１０ｘの虚像（Ｐ'−Ｑ'）をフォーカスの合った状態で画像計測することが可能であり、また画像撮像回数が１度で済むため、液滴１０１の頭頂位置，高さを、さらに高速に求めることができる。
【００５７】
（実施の形態５）
図８は本発明の実施の形態５における液滴高さ計測装置の概略構成図である。
【００５８】
図８において、１０６はレーザ測長機であって、より正確に液滴１０１の高さを求めるために用いる。詳しくは、既述した画像計測による高さ計測の後、その計測値を基準してレーザ測長機１０６の計測時の高さを定め、その頭頂位置Ｔにおいて液滴高さｈを計測する。
【００５９】
一般にレーザ測長機の特性として、繰り返し性に比べて直線性が悪く、計測レンジの中で計測値に対する誤差が大きい箇所と小さい箇所とが存在し、さらに、その箇所は、測長機の個体差によっても変わるという特性がある。
【００６０】
そのため、計測レンジのどこで計測したかによって誤差の大きさが異なる。例えば、外形寸法が１ｍｍ程度で塗布高さが１００μｍ程度の液滴１０１を計測する場合、使用するレーザ測長機として、計測レンジ：±１ｍｍ、直線性：±０．０３％ ｏｆ Ｆ．Ｓ＝±０．６μｍ、繰返し性：０．０２μｍのものであると、計測高さによっては±０．６μｍの計測誤差が生じる。
これに対して、観察光学系として１／２inchＣＣＤを観察カメラとして用い、２倍のテレセントリックレンズ（視野：２．５ｍｍ）の被写界深度が０．２８ｍｍであるとすると、画像計測によって求めた液滴高さには、最大±０．１４ｍｍの計測誤差がある。しかしながら、画像計測によって求めた液滴高さを基準に、レーザ測長機１０６の計測時の高さを決定することにより、レーザ測長機１０６の計測レンジの内、±０．１４ｍｍの範囲において計測することが可能となり、計測誤差を小さくすることができる。
【００６１】
かかる構成によれば、画像計測により求めた液滴高さを基準に、レーザ測長機１０６の計測時の高さを定めることで、レーザ測長機１０６で計測可能なレンジの内、レンズの焦点深度分の高さばらつきでレーザ測長機の計測時の高さを定めることができる。このため、一定部分のみでの計測が可能となり、より高精度な液滴の高さ計測を高速に行なうことが可能となる。
【００６２】
さらに、計測可能なレンジの内、直線性の高い部分を予め求めておくことにより、液滴１０１の頭頂位置とレーザ測長機１０６の計測時の距離を、最も精度の高い距離において計測することが可能となる。
【００６３】
なお、本発明においては、実施の形態１から４を適宜組み合わせても実現可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、高さ計測をより高精度に行うことができる。このため、各種の機能材料の塗布を行う半導体製造装置において、その塗布剤の高さを基準にした制御を行う場合に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】実施の形態１における液滴高さ計測装置の概略構成図
【図２】実施の形態２における液滴高さ計測装置の概略構成図
【図３】実施の形態２における液滴高さ計測のフローチャート
【図４】実施の形態３における液滴高さ計測装置の概略構成図
【図５】実施の形態３における液滴高さ計測のフローチャート
【図６】実施の形態４における液滴高さ計測装置のリング状照明群の配置状態を示す概略平面図
【図７】実施の形態４において液滴１０１を観察した場合の結果を示す模式図
【図８】実施の形態５における液滴高さ計測装置の概略構成図
【図９】特許文献１における液滴の体積測定方法の概略説明図
【符号の説明】
【００６６】
１００  ワーク
１０１  液滴
１０２  観察カメラ
１０３  レンズ
１０５  駆動系
１０６  レーザ測長機
１１０，１１０ａ〜１１０ｘ  リング状照明体
１１１  リング状照明体群
１１２  非点灯部分
１１３  点灯部分
【図１】
2010169413.tif 000010
【図２】
2010169413.tif 000011
【図３】
2010169413.tif 000012
【図４】
2010169413.tif 000013
【図５】
2010169413.tif 000014
【図６】
2010169413.tif 000015
【図７】
2010169413.tif 000016
【図８】
2010169413.tif 000017
【図９】
2010169413.tif 000018