(57)【要約】【課題】給気用送風機からクリーンルームに供給する空気を一定に保持することができる給気装置を提供する。【解決手段】給気装置１３は、給気ダクト１７と、空気をクリーンルーム１１，１２に送り込む送風機１８と、旋回羽根２４の旋回によって送風機１８に流入する空気の量を調節するモータダンパ１９と、ダクト１７を通る空気の圧力を測定する圧力センサ２０と、旋回羽根２４の開度を調節する制御装置２３とを備えている。制御装置２３は、圧力センサ２０から出力された測定圧力と第１設定圧力とを比較する圧力比較手段と、空気取込口２２の外側に吹く風の作用で所定量の空気がダクト１７に進入し、それによって測定圧力が第１設定圧力の範囲から外れると、旋回羽根２４の開度を調節して測定圧力を第１設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを実行する。【選択図】図１
2010169306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給気対象室につながる給気ダクトと、前記給気ダクトを通る空気を前記給気対象室に送り込む送風機と、前記送風機と空気取込口との間に延びる前記給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって前記送風機に流入する空気の量を調節するモータダンパと、前記送風機と前記モータダンパとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて該ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節する制御装置とを備え、
前記制御装置が、前記圧力センサから出力された測定圧力とあらかじめ設定された前記給気ダクト内の第１設定圧力とを比較する圧力比較手段と、前記空気取込口の外側に吹く風の作用で所定量の空気が前記給気ダクトに進入し、それによって前記測定圧力が前記第１設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記第１設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有することを特徴とする給気装置。
【請求項２】
前記圧力制御手段では、前記測定圧力が前記第１設定圧力の範囲を超過すると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、前記測定圧力が前記第１設定圧力の範囲未満になると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、前記測定圧力が前記第１設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの前記モータダンパの旋回羽根の開度を保持する請求項１記載の給気装置。
【請求項３】
前記第１設定圧力が、−４０Ｐａ〜４０Ｐａの範囲にある請求項１または請求項２に記載の給気装置。
【請求項４】
前記モータダンパの旋回羽根の旋回速度が、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある請求項１ないし請求項３いずれかに記載の給気装置。
【請求項５】
前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が、３〜５％の範囲にある請求項１ないし請求項４いずれかに記載の給気装置。
【請求項６】
前記給気装置が、前記空気取込口と前記モータダンパとの間に延びる前記給気ダクトに設置され、前記給気ダクトを通る空気の圧力に応じて該給気ダクト内の空気をダクト外に逃がす逆止弁ダンパを備えた排気ユニットを有する請求項１ないし請求項５いずれかに記載の給気装置。
【請求項７】
前記逆止弁ダンパが、前記排気ユニットに取り付けられた軸と、前記軸に取り付けられて前記排気ユニットの空気流路を開閉する旋回羽根と、前記軸に取り付けられて前記排気ユニットを閉鎖する方向へ前記旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、前記逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された前記給気ダクト内の第２設定圧力と前記錘とが釣り合うように該錘の重量が調節され、前記給気ダクト内の圧力が前記第２設定圧力を超えると、前記錘の重量に抗して前記旋回羽根が前記排気ユニットを開放する方向へ旋回し、前記排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される請求項６記載の給気装置。
【請求項８】
前記逆止弁ダンパが、前記排気ユニットに取り付けられた軸と、前記軸に取り付けられて自重によって前記排気ユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、前記逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された前記給気ダクト内の第２設定圧力と前記旋回羽根の重量とが釣り合うように該旋回羽根の重量が調節され、前記給気ダクト内の圧力が前記第２設定圧力を超えると、前記旋回羽根の重量に抗して該旋回羽根が前記排気ユニットを開放する方向へ旋回し、前記排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される請求項６記載の給気装置。
【請求項９】
前記第２設定圧力が、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲にある請求項７または請求項８に記載の給気装置。
【請求項１０】
前記逆止弁ダンパが、前記旋回羽根によって前記排気ユニットが閉鎖されたときに該旋回羽根のそれ以上の旋回を阻止するストッパーを有する請求項７ないし請求項９いずれかに記載の給気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、給気ダクトを介して給気対象室に空気を供給する給気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームにつながる給気ダクトに設置されたケーシングと、ケーシングの内部に直列に配置されて空気の圧力を変更可能な複数の送風機と、ケーシングの内部に並列に配置されて空気の風量を変更可能な複数の送風機と、それら送風機の出力を変更してクリーンルームに供給する空気の圧力や風量を調節するコントローラと、コントローラに接続されてクリーンルーム内の圧力を測定する圧力センサとを有する圧力制御ユニットがある（特許文献１参照）。
【０００３】
この圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気取込口から給気ダクトに空気（外気）を取り入れ、それら送風機によって給気ダクトを通る空気をクリーンルームに送り込む。コントローラには、クリーンルーム内を陽圧に保持するためのクリーンルームの設定圧力が格納されている。圧力センサは、測定したクリーンルーム内の測定圧力をコントローラに出力する。コントローラは、設定圧力と圧力センサから出力された測定圧力とを比較し、測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、それら送風機の出力を変更して空気の圧力や風量を調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６−３２９４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
屋外に位置する空気取込口の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取込口から給気ダクト内へ多量かつ余分な空気が進入する場合がある。空気取込口から給気ダクト内へ進入した空気は、送風機の入口から送風機内へ流入し、その圧力（流入量）にもよるが、送風機から供給される空気の圧力を押し上げ、設定圧力を大幅に上回る圧力で多量の空気が送風機からクリーンルーム内に供給される場合がある。前記公報に開示の圧力制御ユニットでは、給気ダクトから送風機に流入する空気を一定に保持する手段がないから、風の影響で多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入する場合がある。この圧力制御ユニットは、多量の空気が送風機内に流入すると、送風機から送り出す空気を一定に保持することができず、送風機からクリーンルームに供給する空気の供給過多が生じ、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができない。
【０００６】
本発明の目的は、送風機に一定圧かつ一定量の空気を流入させることで、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる給気装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための本発明に係る給気装置は、給気対象室につながる給気ダクトと、給気ダクトを通る空気を給気対象室に送り込む送風機と、送風機と空気取込口との間に延びる給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって送風機に流入する空気の量を調節するモータダンパと、送風機とモータダンパとの間に延びる給気ダクトに設置されて該ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節する制御装置とを備え、制御装置が、圧力センサから出力された測定圧力とあらかじめ設定された給気ダクト内の第１設定圧力とを比較する圧力比較手段と、空気取込口の外側に吹く風の作用で所定量の空気が給気ダクトに進入し、それによって測定圧力が第１設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を第１設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る給気装置の一例として、圧力制御手段では、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満になり、または、測定圧力が第１設定圧力の範囲内になると、モータダンパの旋回羽根の開度を全開にする。
【０００９】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、第１設定圧力が−４０Ｐａ〜４０Ｐａの範囲にある。
【００１０】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。
【００１１】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該羽根の最小開度が３〜５％の範囲にある。
【００１２】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、給気装置が、空気取込口とモータダンパとの間に延びる給気ダクトに設置され、給気ダクトを通る空気の圧力に応じて該給気ダクト内の空気をダクト外に逃がす逆止弁ダンパを備えた排気ユニットを有する。
【００１３】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、逆止弁ダンパが、排気ユニットに取り付けられた軸と、軸に取り付けられて排気ユニットの空気流路を開閉する旋回羽根と、軸に取り付けられて排気ユニットを閉鎖する方向へ旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された給気ダクト内の第２設定圧力と錘とが釣り合うように該錘の重量が調節され、給気ダクト内の圧力が第２設定圧力を超えると、錘の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットを開放する方向へ旋回し、排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される。
【００１４】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、逆止弁ダンパが、排気ユニットに取り付けられた軸と、軸に取り付けられて自重によって排気ユニットの空気流路を閉鎖する旋回羽根とから形成され、逆止弁ダンパでは、あらかじめ設定された給気ダクト内の第２設定圧力と旋回羽根の重量とが釣り合うように該旋回羽根の重量が調節され、給気ダクト内の圧力が第２設定圧力を超えると、旋回羽根の重量に抗して該旋回羽根が排気ユニットを開放する方向へ旋回し、排気ユニットの空気流路に所定面積の空気排出口が形成される。
【００１５】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、第２設定圧力が５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲にある。
【００１６】
本発明に係る給気装置の他の一例としては、逆止弁ダンパが、旋回羽根によって排気ユニットが閉鎖されたときに該旋回羽根のそれ以上の旋回を阻止するストッパーを有する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る給気装置によれば、給気ダクトに進入した空気によって測定圧力が第１設定圧力の範囲から外れると、制御装置がモータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を第１設定圧力の範囲内に戻すから、空気取込口の外側に吹く風の影響を受けることはなく、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはない。給気装置は、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができるから、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができ、送風機における空気の供給過多を防ぐことができるとともに、給気対象室の室内気圧を一定に保持することができる。この給気装置は、送風機から供給する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。
【００１８】
測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、測定圧力が第１設定圧力の範囲内に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持する給気装置は、空気取込口の外側に吹く風の影響で多量かつ余分な空気が給気ダクトに進入すると、モータダンパの旋回羽根の開度が小さくなって進入した空気の送風機内への流入を制限するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。給気装置は、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根の開度を大きくして送風機内への空気の流入減を防ぐから、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。この給気装置は、測定圧力が第１設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。
【００１９】
第１設定圧力が−４０Ｐａ〜４０Ｐａの範囲にある給気装置は、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させるには給気ダクト内が負圧に保持される必要があるが、第１設定圧力を前記範囲にすることで、空気取込口から給気ダクトに余分な空気が進入したとしても、モータダンパが迅速に作動し、ダンパと送風機との間に延びるダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。この給気装置は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。
【００２０】
モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある給気装置は、旋回羽根の旋回速度を前記範囲にすることで、空気取込口から給気ダクトに余分な空気が進入したとしても、モータダンパの旋回羽根が瞬時に旋回するから、測定圧力を第１設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、ダンパと送風機との間に延びるダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。この給気装置は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。
【００２１】
モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が３〜５％の範囲にある給気装置は、旋回羽根の開度が全閉（０％）なると、送風機内への空気の流入が停止し、送風機から給気対象室に空気が送られない場合が生じるが、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの羽根の最小開度が３〜５％に保持されるから、送風機から給気対象室への空気の未送風状態が回避され、給気対象室の室内気圧の極端な低下を防ぐことができる。
【００２２】
空気取込口とモータダンパとの間に延びる給気ダクトに設置され、給気ダクトを通る空気の圧力に応じてダクト内の空気をダクト外に逃がす逆止弁ダンパを備えた排気ユニットを有する給気装置は、瞬間的に多量かつ余分な空気が空気取込口から給気ダクトに進入し、モータダンパの旋回羽根の旋回がそれに対応しきれない場合でも、逆止弁ダンパを利用して給気ダクトに進入した空気を排気ユニットからダクト外に逃がすことができる。この給気装置は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。
【００２３】
逆止弁ダンパが排気ユニットに取り付けられた軸とユニットを開閉する旋回羽根とユニットを閉鎖する方向へ旋回羽根を旋回させる錘とから形成され、給気ダクト内の第２設定圧力と錘とが釣り合うように錘の重量が調節された給気装置は、給気ダクト内の圧力が第２設定圧力を超えると、錘の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットの空気流路を開放するから、瞬間的に多量かつ余分な空気が空気取込口から給気ダクトに進入してモータダンパの旋回羽根の旋回がそれに対応しきれない場合でも、逆止弁ダンパを利用して給気ダクトに進入した空気を排気ユニットからダクト外に逃がすことができる。給気装置は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。この給気装置は、給気ダクト内の圧力が第２設定圧力の範囲内に戻ると、錘の重量によって旋回羽根が排気ユニットの空気流路を閉鎖するから、必要以上の空気がユニットから外部に排気されることはなく、送風機内への空気の流入減を防ぐことができる。
【００２４】
逆止弁ダンパが排気ユニットに取り付けられた軸と自重によってユニットを閉鎖する旋回羽根とから形成され、給気ダクト内の第２設定圧力と旋回羽根の重量とが釣り合うように旋回羽根の重量が調節された給気装置は、給気ダクト内の圧力が第２設定圧力を超えると、旋回羽根の重量に抗して旋回羽根が排気ユニットの空気流路を開放するから、瞬間的に多量かつ余分な空気が空気取込口から給気ダクトに進入してモータダンパの旋回羽根の旋回がそれに対応しきれない場合でも、逆止弁ダンパを利用して給気ダクトに進入した空気を排気ユニットからダクト外に逃がすことができる。給気装置は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。この給気装置は、給気ダクト内の圧力が第２設定圧力の範囲内に戻ると、旋回羽根の重量によって旋回羽根が排気ユニットの空気流路を閉鎖するから、必要以上の空気がユニットから外部に排気されることはなく、送風機内への空気の流入減を防ぐことができる。
【００２５】
第２設定圧力が５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲にある給気装置は、第２設定圧力を前記範囲にすることで、空気取込口から給気ダクトに多量かつ余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパの旋回羽根が迅速に旋回して空気を排気ユニットからダクト外に速やかに逃がすことができ、ダンパと送風機との間に延びるダクト内の空気の圧力が陽圧になることを確実に防ぐことができる。この給気装置は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機に流入させることができ、送風機から給気対象室に供給する空気を一定に保持することができる。
【００２６】
旋回羽根によって排気ユニットが閉鎖されたときにその旋回羽根のそれ以上の旋回を阻止するストッパーを有する給気装置は、外部からの空気が排気ユニットを通って給気ダクトに進入しようとしたとしても、旋回羽根によってユニットの空気流路が閉じられたときにその旋回羽根のそれ以上の旋回がストッパーによって阻止されるから、排気ユニットが開放されることはなく、ユニットからの外部空気の逆流を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】給気装置を含む室圧制御システムの一例を示す構成図。
【図２】給気装置を含む室圧制御システムの一例を示す構成図。
【図３】一例として示す給気装置の構成図。
【図４】モータダンパの制御装置が実行する各手段を示すフローチャート。
【図５】給気装置を含む室圧制御システムの他の一例を示す構成図。
【図６】給気装置を含む室圧制御システムの他の一例を示す構成図。
【図７】他の一例として示す給気装置の構成図。
【図８】逆止弁ダンパを含む排気ユニットの一例を示す部分破断斜視図。
【図９】逆止弁ダンパを含む排気ユニットの一例を示す部分破断斜視図。
【図１０】逆止弁ダンパを含む排気ユニットの部分破断側面図。
【図１１】逆止弁ダンパを含む排気ユニットの部分破断側面図。
【図１２】他の一例として示す給気装置の構成図。
【図１３】逆止弁ダンパを含む排気ユニットの他の一例を示す部分破断斜視図。
【図１４】逆止弁ダンパを含む排気ユニットの他の一例を示す部分破断斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
添付の図面を参照し、本発明に係る給気装置の詳細を説明すると、以下のとおりである。図１，２は、給気装置１３を含む室圧制御システム１０Ａの一例を示す構成図であり、図３は、一例として示す給気装置１３の構成図である。図１は、クリーンルーム１１，１２（給気対象室）を上方から示し、図２は、クリーンルーム１１，１２を側方から示す。なお、給気対象室としてクリーンルーム１１，１２を例示しているが、給気対象室をクリーンルーム１１，１２に限定するものではなく、給気対象室としてあらゆる室が含まれる。また、２つのクリーンルーム１１，１２（給気対象室）を図示しているが、給気対象室を２つに限定するものではなく、１つまたは３つ以上の給気対象室に室圧制御システム１０Ａや給気装置１３を適用することができる。
【００２９】
室圧制御システム１０Ａは、所定容積を有するクリーンルーム１１，１２に空気（外気）を供給する給気装置１３と、クリーンルーム１１，１２から空気を排出する排気装置１４とから形成されている。クリーンルーム１１，１２は、その四方を天井および床と、各側壁とに囲繞されている。天井には、空気をクリーンルーム１１，１２内に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁には、クリーンルーム１１，１２内から空気を排出するためのガラリ排気口１５が施設されている。側壁には、クリーンルーム１１，１２に出入りするためのドア１６が設置されている。クリーンルーム１１，１２の室内気圧は、あらかじめ設定された目標室内気圧に保持される。クリーンルーム１１，１２の目標室内気圧に特に限定はなく、クリーンルーム１１，１２の用途や容積等によって目標室内気圧を適宜設定することができる。
【００３０】
給気装置１３は、クリーンルーム１１，１２につながる金属製の給気ダクト１７と、給気ダクト１７を通る空気（外気）の所定量をクリーンルーム１１，１２に強制的に送り込む給気用送風機１８（送風機）と、送風機１８に流入する空気の量を調節するモータダンパ１９と、給気ダクト１７を通る空気の圧力を測定する圧力センサ２０と、クリーンルーム１１，１２に供給する空気を一定に保持する定風量ユニット２１とを有する。給気用送風機１８および定風量ユニット２１は、給気ダクト１７に取り付けられている。送風機１８は、インターフェイスを介してコントローラ（図示せず）に接続されている。コントローラは、送風機１８の出力を設定されたそれに保持し、送風機１８から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。なお、この実施の形態では給気装置１３が定風量ユニット２１を備えているが、給気装置１３に定風量ユニット２１が含まれていなくてもよい。
【００３１】
給気ダクト１７は、天井空間に配置され、天井に施設された給気口と屋外に施設された空気取込口２２との間に延びている。給気ダクト１７は、空気取込口２２から流入した空気をクリーンルーム１１，１２に搬送する。モータダンパ１９は、送風機１８と空気取込口２２との間に延びる給気ダクト１７ａに設置されている。圧力センサ２０は、送風機１８とモータダンパ１９との間に延びる給気ダクト１７ｂに設置されている。定風量ユニット２１は、クリーンルーム１１，１２と送風機１８との間に延びる給気ダクト１７ｃに設置されている。給気装置１３では、空気取込口２２からクリーンルーム１１，１２に向かって、モータダンパ１９、圧力センサ２０、送風機１８、定風量ユニット２１の順に並んでいる。
【００３２】
定風量ユニット２１は、給気ダクト１７ｃの内部気圧の変動に対してユニット２１内を通る空気量を調節し、クリーンルーム１１，１２へ供給する空気量を常時一定に保持する。空気取込口２２から取り込まれた空気（外気）は、モータダンパ１９を通って給気用送風機１８に流入し、送風機１８からダクト１７を通って定風量ユニット２１に進入した後、ユニット２１からダクト１７を通ってクリーンルーム１１，１２へ流入する。
【００３３】
モータダンパ１９は、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの回転を制御する（モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を調節する）制御装置２３と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根２４と、旋回羽根２４の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）とから形成されている。モータダンパ１９の制御装置２３は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。モータダンパ１９では、制御装置２３からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根２４が所定角度に旋回し、空気流路に対する羽根２４の開度（旋回角度）を調整して空気流路を通過する空気量を調節する。制御装置２３には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。モータダンパ１９には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。なお、圧力センサ２０は、インターフェイスを介してモータダンパ１９の制御装置２３に接続されている。
【００３４】
モータダンパ１９の旋回羽根２４の旋回速度は、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。旋回速度が５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅを超えると、モータダンパ１９のレスポンスが低下し、空気取込口２２から給気ダクト１７ａ，１７ｂに空気が進入して測定圧力が急激に上がったときに、旋回羽根２４の旋回がそれに迅速に対応することができず、給気用送風機１８に多量の空気が流入してしまう場合がある。モータダンパ１９では、旋回羽根２４の旋回速度が１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、測定圧力が急激に上がったとしても、旋回羽根２４の旋回がそれに迅速に対応する。
【００３５】
モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を小さくしたときの羽根２４の最小開度は、３〜５％の範囲、好ましくは、５％に設定されている。したがって、旋回羽根２４の開度を最小にしたとしても、羽根２４が全閉（開度０％）になることはない。開度３〜５％は、羽根が全開のときを開度１００％とし、その開度に対する割合である。たとえば、開度５％では、羽根全開１００％に対して５％だけ開いた状態を示す。
【００３６】
モータダンパ１９の制御装置２３のメモリには、給気ダクト１７ｂの第１設定圧力が格納されている。なお、第１設定圧力は、入力装置によって自由に設定変更することができる。第１設定圧力は、−４０Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、−３０Ｐａ〜３０Ｐａの範囲、より好ましくは、−２０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲に設定される。
【００３７】
制御装置２３のＣＰＵは、オペレーティングシステムによる制御に基づいてメモリに格納されたアプリケーションプログラムを起動し、そのアプリケーションプログラムに従って以下の各手段を実行する。制御装置２３のＣＰＵは、圧力センサ２０から出力された測定圧力とあらかじめ設定された給気ダクト１７ｂ内の第１設定圧力とを比較する圧力比較手段を実行する。制御装置２３のＣＰＵは、測定圧力と第１設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第１設定圧力の範囲から外れている場合、モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を調節して測定圧力を第１設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段を実行する。
【００３８】
測定圧力が第１設定圧力の範囲から外れているとは、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過している場合と測定圧力が第１設定圧力の範囲未満の場合とがある。測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過している場合、制御装置２３は、旋回羽根２４が最小開度（開度３〜５％）でなければ、モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を小さくし、ダンパ１９の空気流路を通る空気の量を減少させる。測定圧力が第１設定圧力の範囲未満の場合、制御装置２３は、旋回羽根２４が全開（開度１００％）でなければ、羽根２４の開度を大きくし、ダンパ１９の空気流路を通る空気の量を増加させる。測定圧力が第１設定圧力の範囲内にある場合、制御装置２３は、旋回羽根２４が全開であれば、羽根２４の全開を保持する。または、羽根２４が全開でなければ、そのときの羽根２４の開度を保持する。
【００３９】
排気装置１４は、クリーンルーム１１，１２につながる金属製の排気ダクト２５と、クリーンルーム１１，１２から所定量の空気を強制的に排出する排気用送風機２６と、クリーンルーム１１，１２から排出する空気を一定に保持する定風量ユニット２７とを有する。送風機２６は、インターフェイスを介してコントローラ（図示せず）に接続されている。コントローラは、送風機２６の出力を設定されたそれに保持し、送風機２６から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。
【００４０】
排気ダクト２５は、床の下方に配置され、側壁に施設されたガラリ排気口１５と屋外に施設された排気口２８との間に延びている。排気ダクト２５は、排気口１５から流出した空気を屋外に搬送する。排気用送風機２６および定風量ユニット２７は、排気ダクト２５に取り付けられている。定風量ユニット２７は、給気ダクト２５の内部気圧の変動に対してユニット２７内を通る空気量を調節し、クリーンルーム１１，１２から排気する空気量を常時一定に保持する。排気口１５から流出した空気は、定風量ユニット２７に流入し、ユニット２７からダクト２５を通って排気用送風機２６に流入した後、送風機２６からダクト２５を通り、排気口２８から屋外に排気される。
【００４１】
それら定風量ユニット２１，２７は、図示はしていないが、モータダンパおよび風速センサと、制御装置と、それらを収容する筐体とから形成されている。定風量ユニット２１，２７のモータダンパは、モータダンパ１９と同一である。定風量ユニット２１，２７では、制御装置からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根が所定角度に旋回する。定風量ユニット２１，２７の制御装置は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。制御装置には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。
【００４２】
定風量ユニット２１，２７の制御装置のメモリには、クリーンルーム１１，１２の目標室内気圧と、定風量ユニット２１，２７を通過する空気通過量との相関関係が格納され、目標室内気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するモータダンパの旋回羽根の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。目標室内気圧は、入力装置によって自由に設定変更することができる。定風量ユニット２１，２７の制御装置は、目標室内気圧が入力されると、メモリに格納された相関関係に基づいて目標室内気圧に対応する空気流路における空気通過量を決定し、空気流路を通過する空気通過量が決定したそれになるように、相関関係に基づいてモータダンパの旋回羽根の開度を決定した後、旋回羽根の開度を決定したそれに保持する。
【００４３】
それら定風量ユニット２１，２７は、ダクト１７，２５の内部気圧の変動に対してユニット２１，２７内を通る空気通過量を目標室内気圧に対応するそれに調節し、クリーンルーム１１，１２へ供給する空気量を一定に保持するとともに、クリーンルーム１１，１２から排気する空気量を一定に保持する。具体的には以下のとおりである。定風量ユニット２１，２７の制御装置は、風速センサから出力された風速からモータダンパの空気流路を通る空気通過量を演算し、演算した空気通過量と目標室内気圧に対応する空気通過量とを比較する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【００４４】
図４は、モータダンパ１９の制御装置２３が実行する各手段の一例を示すフローチャートである。図４のフローチャートに基づき、制御装置２３によって実行される給気装置１３のプロセスの一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御システム１０Ａを起動すると、各送風機１３，１４やモータダンパ１９、圧力センサ２０、定風量ユニット２１，２７が稼動する。圧力センサ２０は、給気ダクト１７ｂ内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力を制御装置２３に出力する。
【００４５】
室圧制御システム１０Ａでは、図１，２に矢印Ａ１で示すように、給気用送風機１８を介して給気ダクト１７からクリーンルーム１１，１２の内部へ所定量の空気が供給され、矢印Ａ２で示すように、排気用送風機２６を介してクリーンルーム１１，１２から排気ダクト２５へ所定量の空気が排出される。システム１０Ａの運転開始時点では、第１設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ１９の空気流路を通過するように、給気用送風機１８の出力が調節されており、圧力センサ２０から出力された測定圧力が第１設定圧力の範囲内にある。したがって、モータダンパ１９はその旋回羽根２４を開度全開（開度１００％）で運転される（Ｓ−１）。
【００４６】
また、このシステム１０Ａでは、送風機１８と定風量ユニット２１との間に延びる給気ダクト１７ｃにおいて、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット２１によってダクト１７ｃの空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム１１，１２に供給される。また、送風機２６と定風量ユニット２７との間に延びる排気ダクト２５において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット２７によってダクト２５の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム１１，１２から排気される。
【００４７】
屋外に位置する空気取込口２２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取込口２２から給気ダクト１７ａ内へ多量かつ余分な空気が進入する場合がある。空気取込口２２から多量の空気が進入すると、その空気が給気ダクト１７を通って送風機１８の内部に流入し、送風機１８から供給される空気の圧力を押し上げ、送風機１８に設定された空気の圧力および量を大幅に上回る圧力および量の空気が定風量ユニット２１に流入する場合がある。定風量ユニット２１では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に多量の空気が流入すると、モータダンパがそれに追い付かず、ユニット２１を通って多量の空気がクリーンルーム１１，１２内に流入する場合があり、クリーンルーム１１，１２内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。
【００４８】
しかし、このシステム１０Ａにおける給気装置１３では、ダクト１７ｂを通過する空気量（モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量）を監視し、ダクト１７ｂを通る空気の量を一定に保持するから、給気用送風機１８に多量の空気が不定期かつ不規則に流入することはない。具体的にモータダンパ１９の制御装置２３は、圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。次に、制御装置２３は、測定圧力と第１設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３）。
【００４９】
モータダンパ１９の制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根２４の開度を保持（羽根２４が全開であれば、全開を保持し、全開でなければ、その開度を保持する）した状態でシステム１０Ａを運転する。次に、制御装置２３は、システム１０Ａを停止するかを判断する（Ｓ−４）。システム１０Ａの停止指示があると、制御装置２３は、システム１０Ａの運転を停止する。システム１０Ａを継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と第１設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【００５０】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ１９の制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にないと判断すると、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過している場合、旋回羽根２４の開度が最小開度（開度３〜５％）であれば、その開度を保持し、旋回羽根２４の開度が最小開度（開度３〜５％）でなければ、羽根２４の開度を小さくする（Ｓ−５）。なお、羽根２４の開度を小さくしたとしても、開度３〜５％未満にすることはなく、羽根２４が全閉になることはない。
【００５１】
モータダンパ１９の制御装置２３は、給気ダクト１７ｂの第１設定圧力と第１設定圧力に対応する空気通過量との相関関係、圧力センサ２０から出力される各測定圧力とそれら測定圧力に対応する空気通過量との相関関係、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度（旋回角度）に基づいて、羽根２４の開度を決定することもできる。この場合、制御装置２３のメモリには、それら相関関係や羽根２４の開度が格納されている。
【００５２】
具体的には以下のとおりである。制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過している場合、第１設定圧力と第１設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第１設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ２０から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第１設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。
【００５３】
さらに、制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を決定する。なお、旋回羽根２４の開度はマイナスになる。したがって、制御装置２３は、旋回羽根２４の開度が最小開度でなければ、旋回羽根２４の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【００５４】
モータダンパ１９の制御装置２３は、旋回羽根２４の開度を最小開度に保持し、または、羽根２４の開度を小さくした後、システム１０Ａを停止するかを判断する（Ｓ−４）。システム１０Ａの停止指示があると、制御装置２３は、システム１０Ａの運転を停止する。システム１０Ａを継続して運転する場合、最小開度または小さくした開度を保持した状態でシステム１０Ａを運転し、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。旋回羽根２４の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量が減少し、測定圧力が低下して測定圧力が第１設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、空気取込口２２から多量かつ余分な空気が給気ダクト１７ａに流入したとしても、給気用送風機１８に流入する空気量を第１設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００５５】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ１９の制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にないと判断すると、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満である場合、旋回羽根２４が全開（開度１００％）であれば、その開度を保持し、旋回羽根２４が全開でなければ、羽根２４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００５６】
メモリに格納された各相関関係や羽根２４の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満である場合、第１設定圧力と第１設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第１設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ２０から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第１設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。
【００５７】
さらに、制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を決定する。なお、旋回羽根２４の開度はプラスになる。したがって、制御装置２３は、旋回羽根２４が全開でなければ、羽根２４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００５８】
モータダンパ１９の制御装置２３は、旋回羽根２４を全開に保持し、または、羽根２４の開度を大きくした後、システム１０Ａを停止するかを判断する（Ｓ−４）。システム１０Ａの停止指示があると、制御装置２３は、システム１０Ａの運転を停止する。システム１０Ａを継続して運転する場合、全開または大きくした開度を保持した状態でシステム１０Ａを運転し、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。旋回羽根２４の開度が全開または大きくなると、モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が上昇して測定圧力が第１設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、給気用送風機１８内への空気の流入減を防ぐことができ、送風機１８に流入する空気量を第１設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００５９】
空気取込口２２の外側近傍に吹いていた風が納まり、空気取込口２２から給気ダクト１７ａへの余分な空気の進入が停止すると、モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量が旋回羽根２４の開度を小さくした直後の空気流路を通過するそれに比較して減少し、圧力センサ２０から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と第１設定圧力との比較（Ｓ−２）においてモータダンパ１９の制御装置２３は、ステップ３（Ｓ−３）において測定圧力が第１設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根２４の開度を保持した状態でシステム１０Ａを運転し、システム１０Ａを継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と第１設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根２４の開度を小さくした後、圧力センサ２０から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根２４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００６０】
モータダンパ１９の制御装置２３は、空気取込口２２の外側近傍で再び風が吹き、その影響で多量かつ余分な空気が再び給気ダクト１７ａに進入し、測定圧力が第１設定圧力の範囲外になり、測定圧力が第１設定圧力を超過すると、旋回羽根２４が最小開度でなければ、羽根２４の開度を小さくする（Ｓ−５）。制御装置２３は、旋回羽根２４の開度を小さくした後、小さくした開度を保持した状態でシステム１０Ａを運転し、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。
【００６１】
給気装置１３は、空気取込口２２の外側近傍に吹く風の影響で多量かつ余分な空気が給気ダクト１７ａに進入し、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を小さくするから、進入した空気の送風機１８内への流入を制限することができ、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機１８に流入させることができるとともに、送風機１８から定風量ユニット２１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。給気装置１３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満になると、モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度が大きくなって送風機１８内への空気の流入減を防ぐから、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機１８に流入させることができるとともに、送風機１８から定風量ユニット２１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。給気装置１３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲に戻ると、そのときの旋回羽根２４の開度を保持するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機１８に流入させることができるとともに、送風機１８から定風量ユニット２１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。この給気装置１３は、それを利用することで、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。
【００６２】
給気装置１３は、第１設定圧力が−４０Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、−３０Ｐａ〜３０Ｐａの範囲、より好ましくは、−２０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲にあるから、空気取込口２２から給気ダクト１７ａに多量かつ余分な空気が進入したとしても、モータダンパ１９が迅速に作動して給気ダクト１７ｂ内の空気の圧力を負圧に保持することができる。給気装置１３は、モータダンパ１９の旋回羽根２４の旋回速度が１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、空気取込口２２から給気ダクト１７ａ，１７ｂに空気が進入したとしても、モータダンパ１９の旋回羽根２４が瞬時に旋回し、測定圧力を第１設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、ダクト１７ｂ内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。給気装置１３は、モータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を小さくしたときの羽根２４の最小開度が３〜５％の範囲にあるから、羽根２４の開度が全閉（０％）なることはなく、送風機１８から定風量ユニット２１への空気の未送風状態が回避され、クリーンルーム１１，１２の室内気圧の極端な低下を防ぐことができる。この給気装置１３は、送風機１８から供給する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム１１，１２での使用に特に有効であり、クリーンルーム１１，１２において室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。
【００６３】
図５，６は、給気装置１３を含む室圧制御システム１０Ｂの他の一例を示す構成図であり、図７は、他の一例として示す給気装置１３の構成図である。図８，９は、逆止弁ダンパ３０を含む排気ユニット２９の一例を示す部分破断斜視図であり、図１０，１１は、逆止弁ダンパ３０を含む排気ユニット２９の部分破断側面図である。図５は、クリーンルーム１１，１２（給気対象室）を上方から示し、図６は、クリーンルーム１１，１２を側方から示す。図８，１０は、旋回羽根３７によって排気ユニット２９の空気流路３５が閉鎖された状態を示す。図９では、旋回羽根３７が旋回して排気ユニット２９の空気流路３５を開放し、空気流路３５に所定面積の開口４７（空気排出口）が形成されている。図１１は、旋回羽根３７が９０度旋回した状態を示す。
【００６４】
室圧制御システム１０Ｂは、図１のそれと同様に、所定容積を有するクリーンルーム１１，１２に空気（外気）を供給する給気装置１３と、クリーンルーム１１，１２から空気を排出する排気装置１４とから形成されている。このシステム１０Ｂが図１のそれと異なるのは、給気装置１３が給気ダクト１７ａ内の空気をダクト１７外に逃がす逆止弁ダンパ３０を備えた排気ユニット２９を有する点にあり、その他の構成は図１のシステム１０Ａのそれと同一であるから、図１と同一の符号を付すことでこのシステム１０Ｂにおけるその他の構成の説明は省略する。
【００６５】
給気装置１３は、給気ダクト１７や給気用送風機１８（送風機）、モータダンパ１９、圧力センサ２０、定風量ユニット２１に加え、金属製の排気ユニット２９を備えている。排気ユニット２９は、モータダンパ１９と空気取込口２２との間に延びる給気ダクト１７ａに設置され、ダクト１７の下方へ向かって延びている。なお、給気装置１３に定風量ユニット２１が含まれなくてもよいことは図１のシステム１０Ａと同様である。排気ユニット２９は、給気ダクト１７ａの周面に取り付けられた中空状の金属ダクトであり、第１〜第４側壁３１〜３４を有する四角柱状に成形されている（図８，９参照）。排気ユニット２９は、給気ダクト１７ａの側に位置する基端開口とその反対側に位置する先端排気口とを有し、その内部に空気流路３５が形成されている。
【００６６】
逆止弁ダンパ３０は、排気ユニット２９の空気流路３５に設置され、給気ダクト１７ａを通る空気の圧力に応じて給気ダクト１７ａ内の空気をダクト１７外に逃がす。逆止弁ダンパ３０は、排気ユニット２９に回転可能に取り付けられた回転軸３６（軸）と、回転軸３６に取り付けられて排気ユニット２９の空気流路３５を開閉する旋回羽根３７と、回転軸３６に取り付けられて排気ユニット２９の空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回羽根３７を旋回させる所定重量の錘３８と、ストッパー３９とを有する。回転軸３６は、排気ユニット２９の第１および第３側壁３１，３３に回転可能に取り付けられている。回転軸３６は、ユニット２９の内側に延びる内側部分４０と、第１側壁３１を貫通してユニット２９の外側に延びる外側部分４１と、外側部分４１から径方向外方に延びる錘支持棒４２とを有する。
【００６７】
旋回羽根３７は、排気ユニット２９の空気流路３５と略同一の面積を有する四角形の金属板であり、回転軸３６の内側部分４９に旋回可能に取り付けられている。旋回羽根３７は、回転軸３６の回転によって空気流路３５を閉鎖する方向と流路３５を開放する方向とへ旋回する。ストッパー３９は、金属板から作られ、第４側壁３４の内側に取り付けられて側壁３４から空気流路３５に向かって延びている。旋回羽根３７の先端部分がストッパー３９に当接すると、旋回羽根３７の旋回が停止する。
【００６８】
したがって、屋外からの空気が排気ユニット２９の先端開口から進入しつつ、空気流路３５を通って給気ダクト１７ａに進入しようとしたとしても、旋回羽根３７によって排気ユニット２９の空気流路３５が閉鎖されたときにその羽根３７のそれ以上の旋回がストッパー３９によって阻止され、羽根３７がストッパー３９の上方へ旋回することはないから、排気ユニット２９の空気流路３５に開口４７が形成されることはなく、排気ユニット２９から給気ダクト１７ａへの外気の逆流を防ぐことができる。
【００６９】
錘支持棒４２は、回転軸３６の外側部分４１の先端に着脱可能に取り付けられている。錘支持棒４２の基端部には、装着リング４３が取り付けられている。支持棒４２を回転軸３６に取り付けるには、リング４３を回転軸３６の外側部分４１に嵌め込んだ後、ビス４４によってそのリング４３を外側部分４１に固定する。ビス４４を取り外し、装着リング４３を外側部分４１から抜き取ることによって支持棒４２を回転軸３６の外側部分４１から取り外すことができる。
【００７０】
錘３８は、金属を円盤状に成形したものであり、その中央に円形の挿入口が形成されている。錘３８は、錘支持棒４２に着脱可能に取り付けられている。錘３８の両側には、固定リング４５が配置されている。錘３８を錘支持棒４２に取り付けるには、支持棒４２に一方の固定リング４５を嵌め込んだ後、錘３８の挿入口を支持棒４２に挿入し、さらに、他方の固定リング４５を支持棒４２に嵌め込み、それらリング４５で錘３８を挟み、ビス４６によってそれらリング４５を支持棒４２に固定する。支持棒４２におけるリング４５の固定位置を変えることによって、支持棒４２における錘３８の取り付け位置を調節することができる。ビス４６を取り外し、リング４５や錘３８を支持棒４２から抜き取ることによってリング４５や錘３８を支持棒４２から取り外すことができる。
【００７１】
図１０に示す旋回羽根３７が空気流路３５を閉じた状態または図１１に示す旋回羽根３７が略９０度旋回した状態において、錘３８は、回転軸３６の中心を通る仮想垂直線Ｎの左方に位置する。したがって、錘３８は、その重量によって排気ユニット２９の空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回羽根３７を旋回させる。旋回羽根３７は、錘３８によって排気ユニット２９の空気流路３５を閉鎖する方向へ常時付勢されている。
【００７２】
屋外に位置する空気取込口２２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取込口２２から給気ダクト１７ａ内へ多量かつ余分な空気が進入する場合がある。空気取込口２２から多量の空気が進入すると、その空気が給気ダクト１７を通って排気ユニット２９に進入し、図８，９に矢印Ｌ３で示すように、排気ユニット２９の基端開口からユニット２９内に流入した空気が旋回羽根３７の上面に向かって流動し、その空気圧によって旋回羽根３７に所定の押圧力が作用する。旋回羽根３７の上面に向かって流動する空気は、錘３８の重量に抗して回転軸３６を図１０，１１に矢印Ｌ４で示す時計回り方向へ回転させるように旋回羽根３７を押圧する。
【００７３】
逆止弁ダンパ３０では、給気ダクト１７ａ内の第２設定圧力と錘３８とが釣り合うように錘３８の重量が調節されている。錘３８の重量の調節は、重量の異なる錘３８を錘支持棒４２に取り付ける場合と支持棒４２に対する錘３８の固定位置を変更する場合との少なくとも一方によって行われる。第２設定圧力を高くする場合は、錘３８の重量そのものを増加させてもよく、図１０に矢印Ｌ６で示すように、錘支持棒４２における錘３８の固定位置を回転軸３６から離間する方向へずらしてもよい。第２設定圧力を低くする場合は、錘３８の重量そのものを減少させてもよく、図１０に矢印Ｌ７で示すように、錘支持棒４２における錘３８の固定位置を回転軸３６に近接する方向へずらしてもよい。第２設定圧力は、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定され、第１設定圧力のプラス側の設定値よりも低く設定される（第１設定圧力（＋）＞第２設定圧力（＋））。
【００７４】
給気ダクト１７ａ内の空気の圧力が錘３８の重量（錘３８の重量を空気圧に変換した第２設定圧力）よりも大きいと、旋回羽根３７が錘３８の重量に抗して空気流路３５を開放する方向へ旋回する（回転軸３６が時計回り方向へ回転する）。旋回羽根３７が空気流路３５を開放する方向へ旋回すると、空気流路３５に所定面積の開口４７（空気排出口）が形成され、空気がその開口４７を通って先端開口から屋外に排気される。逆に、給気ダクト１７ａ内の空気の圧力が錘３８の重量（第２設定圧力）よりも小さいと、錘３８の重量によって旋回羽根３７が空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回する（回転軸３６が図１０，１１に矢印Ｌ５で示す反時計回り方向へ回転する）。
【００７５】
図４のフローチャートを援用しつつ、制御装置２３によって実行される給気装置１３のプロセスや排気ユニット２９の動作の一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御システム１０Ｂを起動すると、各送風機１３，１４やモータダンパ１９、圧力センサ２０、定風量ユニット２１，２７が稼動する。圧力センサ２０は、給気ダクト１７ｂ内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力を制御装置２３に出力する。
【００７６】
室圧制御システム１０Ｂでは、図５，６に矢印Ａ１で示すように、給気用送風機１８を介して給気ダクト１７からクリーンルーム１１，１２の内部へ所定量の空気が供給され、矢印Ａ２で示すように、排気用送風機２６を介してクリーンルーム１１，１２から排気ダクト２５へ所定量の空気が排出される。システム１０Ｂの運転開始時点では、第１設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ１９の空気流路を通過するように、給気用送風機１８の出力が調節されており、圧力センサ２０から出力された測定圧力が第１設定圧力の範囲内にある。したがって、モータダンパ１９はその旋回羽根２４を開度全開で運転される（Ｓ−１）。
【００７７】
このシステム１０Ｂでは、図１のそれと同様に、給気ダクト１７ｃを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット２１によってダクト１７ｃの空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム１１，１２に供給される。また、排気ダクト２５を流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット２７によってダクト２５の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム１１，１２から排気される。
【００７８】
屋外に位置する空気取込口２２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取込口２２から給気ダクト１７ａ内へ多量かつ余分な空気が進入する場合がある。モータダンパ１９の制御装置２３は、圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。次に、制御装置２３は、測定圧力と第１設定圧力とを比較した結果、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３）。第１設定圧力は、図１のシステム１０Ａと同様に、−４０Ｐａ〜４０Ｐａの範囲、好ましくは、−３０Ｐａ〜３０Ｐａの範囲、より好ましくは、−２０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲に設定される。
【００７９】
モータダンパ１９の制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根２４の開度を保持した状態でシステム１０Ｂを運転する。次に、制御装置２３は、システム１０Ｂを停止するかを判断する（Ｓ−４）。システム１０Ｂの停止指示があると、制御装置２３は、システム１０Ｂの運転を停止する。システム１０Ｂを継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と第１設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【００８０】
第２設定圧力は第１設定圧力未満であり、たとえば、第１設定圧力のプラス側が１１Ｐａ以上に設定され、第２設定圧力が５Ｐａ〜１０Ｐａに設定されている場合、風の影響で余分な空気が給気ダクト１７ａに進入したときのダクト１７ａ内の空気の圧力が第１設定圧力以内にあっても、ダクト１７ａ内の空気の圧力が錘３８の重量（第２設定圧力）よりも大きくなる場合がある。この場合は、旋回羽根３７が錘３８の重量に抗して空気流路３５を開放する方向へ旋回し、空気流路３５に所定面積の開口４７が形成され、空気がその開口４７を通って先端開口から屋外に排気される。空気が先端開口から屋外に排気され、ダクト１７ａ内の空気の圧力が錘３８の重量よりも小さくなると、錘３８の重量によって旋回羽根３７が空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回し、旋回羽根３７によって空気流路３５が閉鎖される。空気流路３５が閉鎖された状態では、旋回羽根３７の先端部がストッパー４０に当接している。
【００８１】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ１９の制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にないと判断すると、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過している場合、旋回羽根の開度が最小開度（開度３〜５％）であれば、その開度を保持し、旋回羽根の開度が最小開度（開度３〜５％）でなければ、羽根の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【００８２】
メモリに格納された各相関関係や羽根２４の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過している場合、第１設定圧力と第１設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第１設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ２０から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第１設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。
【００８３】
さらに、制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を決定する。なお、旋回羽根２４の開度はマイナスになる。したがって、制御装置２３は、旋回羽根２４の開度が最小開度でなければ、旋回羽根２４の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【００８４】
なお、測定圧力が第１設定圧力の範囲を超過すると、ダクト１７ａ内の空気の圧力が錘３８の重量（第２設定圧力）よりも大きくなり、旋回羽根３７が錘３８の重量に抗して空気流路３５を開放する方向へ旋回し、空気流路３５に所定面積の開口４７が形成され、空気がその開口４７を通って先端開口から屋外に排気される。空気が先端開口から屋外に排気され、ダクト１７ａ内の空気の圧力が錘３８の重量よりも小さくなると、錘３８の重量によって旋回羽根３７が空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回し、旋回羽根３７によって空気流路３５が閉鎖される。
【００８５】
モータダンパ１９の制御装置２３は、旋回羽根２４の開度を最小開度に保持し、または、羽根２４の開度を小さくした後、システム１０Ｂを停止するかを判断する（Ｓ−４）。システム１０Ｂの停止指示があると、制御装置２３は、システム１０Ｂの運転を停止する。システム１０Ｂを継続して運転する場合、最小開度または小さくした開度を保持した状態でシステム１０Ｂを運転し、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。旋回羽根２４の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量が減少し、測定圧力が低下して測定圧力が第１設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、空気取込口２２から多量かつ余分な空気が給気ダクト１７ａに流入したとしても、給気用送風機１８に流入する空気量を第１設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００８６】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ１９の制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲内にないと判断すると、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満である場合、旋回羽根２４が全開（開度１００％）であれば、その開度を保持し、旋回羽根２４が全開でなければ、羽根２４の開度を大きくする（Ｓ−５）。この場合、排気ユニット２９の空気流路３５は、旋回羽根３７によって閉鎖されている。
【００８７】
メモリに格納された各相関関係や羽根２４の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。制御装置２３は、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満である場合、第１設定圧力と第１設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、第１設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ２０から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、第１設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。
【００８８】
さらに、制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。制御装置２３は、測定圧力に対応する空気通過量から第１設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応するモータダンパ１９の旋回羽根２４の開度を決定する。なお、旋回羽根２４の開度はプラスになる。したがって、制御装置２３は、旋回羽根２４が全開でなければ、羽根２４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００８９】
モータダンパ１９の制御装置２３は、旋回羽根２４を全開に保持し、または、羽根２４の開度を大きくした後、システム１０Ｂを停止するかを判断する（Ｓ−４）。システム１０Ｂの停止指示があると、制御装置２３は、システム１０Ｂの運転を停止する。システム１０Ｂを継続して運転する場合、全開または大きくした開度を保持した状態でシステム１０Ｂを運転し、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。旋回羽根２４の開度が全開または大きくなると、モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が上昇して測定圧力が第１設定圧力の範囲内に復帰する（圧力制御手段）。ゆえに、給気用送風機１８内への空気の流入減を防ぐことができ、送風機１８に流入する空気量を第１設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００９０】
空気取込口２２の外側近傍に吹いていた風が納まり、空気取込口２２から給気ダクト１７ａへの余分な空気の進入が停止すると、モータダンパ１９の空気流路を通過する空気量が旋回羽根２４の開度を小さくした直後の空気流路を通過するそれに比較して減少し、圧力センサ２０から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と第１設定圧力との比較（Ｓ−２）においてモータダンパ１９の制御装置２３は、ステップ３（Ｓ−３）において測定圧力が第１設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根２４の開度を保持した状態でシステム１０Ｂを運転し、システム１０Ｂを継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と第１設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根２４の開度を小さくした後、圧力センサ２０から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が第１設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根２４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００９１】
モータダンパ１９の制御装置２３は、空気取込口２２の外側近傍で再び風が吹き、その影響で多量かつ余分な空気が再び給気ダクト１７ａに進入し、測定圧力が第１設定圧力の範囲外になり、測定圧力が第１設定圧力を超過すると、旋回羽根２４が最小開度でなければ、羽根２４の開度を小さくする（Ｓ−５）。制御装置２３は、旋回羽根２４の開度を小さくした後、小さくした開度を保持した状態でシステム１０Ｂを運転し、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ２０から出力された測定圧力とメモリに格納した第１設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。この場合も、旋回羽根３７が錘３８の重量に抗して空気流路３５を開放する方向へ旋回し、空気流路３５に所定面積の開口４７が形成され、空気がその開口４７を通って先端開口から屋外に排気される。
【００９２】
図１２は、他の一例として示す給気装置１３の構成図であり、図１３，１４は、逆止弁ダンパ３０を含む排気ユニット２９の他の一例を示す部分破断斜視図である。図１３，１４に示す排気ユニット２９は、モータダンパ１９と空気取込口２２との間に延びる給気ダクト１７ａに設置され、ダクト１７の上方へ向かって延びている。排気ユニット２９は、給気ダクト１７ａの周面に取り付けられた中空状のダクトであり、周壁４８を有する円筒状に成形されている（図１３，１４参照）。排気ユニット２９は、給気ダクト１７ａの側に位置する基端開口とその反対側に位置する先端排気口とを有し、その内部に空気流路３５が形成されている。
【００９３】
逆止弁ダンパ３０は、排気ユニット２９の空気流路３５に設置され、給気ダクト１７ａを通る空気の圧力に応じて給気ダクト１７ａ内の空気をダクト１７外に逃がす。逆止弁ダンパ３０は、排気ユニット２９に固定された支持板４９に回転可能に取り付けられた軸３６（蝶番）と、軸３６に取り付けられて排気ユニット２９の空気流路３５を開閉する旋回羽根３７と、ストッパー３９とを有する。旋回羽根３７は、排気ユニット２９の空気流路３５と略同一の面積を有する略円形の金属板であり、軸３６に旋回可能に取り付けられている。旋回羽根３７は、軸３６を中心に空気流路３５を閉鎖する方向と流路３５を開放する方向とへ旋回する。ストッパー３９は、金属板から作られ、周壁４８の内側に取り付けられて周壁４８から空気流路３５に向かって延びている。旋回羽根３７の周縁部がストッパー３９に当接すると、旋回羽根３７の旋回が停止する。
【００９４】
したがって、屋外からの空気が排気ユニット２９の先端開口から進入しつつ、空気流路３５を通って給気ダクト１７ａに進入しようとしたとしても、旋回羽根３７によって排気ユニット２９の空気流路３５が閉鎖されたときにその羽根３７のそれ以上の旋回がストッパー３９によって阻止され、羽根３７がストッパー３９の下方へ旋回することはないから、排気ユニット２９の空気流路３５に開口４７が形成されることはなく、排気ユニット２９から給気ダクト１７ａへの外気の逆流を防ぐことができる。
【００９５】
旋回羽根３７は、その自重（旋回羽根３７の重量）によって排気ユニット２９の空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回する。屋外に位置する空気取込口２２の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気取込口２２から給気ダクト１７ａ内へ多量かつ余分な空気が進入する場合がある。空気取込口２２から多量の空気が進入すると、その空気が給気ダクト１７を通って排気ユニット２９に進入し、図１３，１４に矢印Ｌ３で示すように、排気ユニット２９の基端開口からユニット２９内に流入した空気が旋回羽根３７の下面に向かって流動し、その空気圧によって旋回羽根３７に所定の押圧力が作用する。旋回羽根３７の下面に向かって流動する空気は、羽根３７の重量に抗して羽根３７を図１４に矢印Ｌ４で示す時計回り方向へ回転させるように羽根３７を押圧する。
【００９６】
逆止弁ダンパ３０では、給気ダクト１７ａ内の第２設定圧力と旋回羽根３７とが釣り合うように羽根３７の重量が調節されている。第２設定圧力を高くする場合は、羽根３７の重量を増加させる。第２設定圧力を低くする場合は、羽根３７の重量を減少させる。第２設定圧力は、５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲に設定され、第１設定圧力のプラス側の設定値よりも低く設定される（第１設定圧力（＋）＞第２設定圧力（＋））。
【００９７】
給気ダクト１７ａ内の空気の圧力が旋回羽根３７の重量（羽根３７の重量を空気圧に変換した第２設定圧力）よりも大きいと、旋回羽根３７がその重量に抗して空気流路３５を開放する方向へ旋回する。旋回羽根３７が空気流路３５を開放する方向へ旋回すると、空気流路３５に所定面積の開口４７が形成され、空気がその開口４７を通って先端開口から屋外に排気される。逆に、給気ダクト１７ａ内の空気の圧力が旋回羽根３７の重量（第２設定圧力）よりも小さいと、旋回羽根３７の重量によって羽根３７が空気流路３５を閉鎖する方向へ旋回し、開口４７を閉じる。空気流路３５が閉鎖された状態では、旋回羽根３７の周縁部がストッパー４０に当接している。図１３，１４に示す排気ユニット２９を利用した給気装置１３の動作は、図８，９に示す排気ユニット２９を利用した給気装置１３のそれと同様であるから、その説明は省略する。
【００９８】
室圧制御システム１０Ｂにおける給気装置１３は、図１，２に示す室圧制御システム１０Ａの給気装置１３が有する効果に加え、以下の効果を有する。室圧制御システム１０Ｂにおける給気装置１３は、瞬間的に多量かつ余分な空気が空気取込口２２から給気ダクト１７ａに進入し、モータダンパ１９の旋回羽根２４の旋回がそれに対応しきれない場合でも、逆止弁ダンパ３０を利用して給気ダクト１７ａに進入した空気を排気ユニット２９からダクト１７ａ外に逃がすことができる。給気装置１３は、多量の空気が不定期かつ不規則に送風機１８内に流入することはなく、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機１８に流入させることができるとともに、送風機１８から定風量ユニット２１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。給気装置１３は、それを利用することで、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。この給気装置１３は、給気ダクト１７ａ内の空気の圧力が第２設定圧力の範囲未満になると、逆止弁ダンパ３０の旋回羽根３８が排気ユニット２９の空気流路３５を閉じるから、送風機１８内への空気の流入減を防ぐことができ、一定圧かつ一定量の空気を安定して送風機１８に流入させることができる。
【００９９】
給気装置１３は、第２設定圧力が５Ｐａ〜２０Ｐａの範囲、好ましくは、５Ｐａ〜１０Ｐａの範囲にあるから、空気取込口２２から給気ダクト１７ａに多量かつ余分な空気が進入したとしても、逆止弁ダンパ３０の旋回羽根３８が迅速に旋回して空気を排気ユニット２９からダクト１７ａ外に速やかに逃がすことができ、ダクト１７ａ内の空気の圧力が陽圧になることを確実に防ぐことができる。
【符号の説明】
【０１００】
１０Ａ  室圧制御システム
１０Ｂ  室圧制御システム
１１    クリーンルーム（給気対象室）
１２    クリーンルーム（給気対象室）
１３    給気装置
１４    排気装置
１７    給気ダクト
１８    給気用送風機（送風機）
１９    モータダンパ
２０    圧力センサ
２２    空気取込口
２３    制御装置
２４    旋回羽根
２９    排気ユニット
３０    逆止弁ダンパ
３５    空気流路
３６    回転軸（軸）
３７    旋回羽根
３８    錘
３９    ストッパー
４７    開口（空気排出口）
【図１】
2010169306.tif 000003
【図２】
2010169306.tif 000004
【図３】
2010169306.tif 000005
【図４】
2010169306.tif 000006
【図５】
2010169306.tif 000007
【図６】
2010169306.tif 000008
【図７】
2010169306.tif 000009
【図８】
2010169306.tif 000010
【図９】
2010169306.tif 000011
【図１０】
2010169306.tif 000012
【図１１】
2010169306.tif 000013
【図１２】
2010169306.tif 000014
【図１３】
2010169306.tif 000015
【図１４】
2010169306.tif 000016