(57)【要約】【課題】記録素子基板と支持部材とを接着する紫外線・熱硬化併用型の接着剤による、吐出口の詰まりや生産性の低下を抑制することができる記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】隅部１１０と対向する側から、インク供給口１０２の交線１１１に沿わせて、第１の記録素子基板１１２、あるいは第２の記録素子基板１０１と第１の支持部材１０４との間からはみ出した接着剤１０３に集光するように紫外線を照射する。交線１１１とは、インク供給口１０２の長手方向の壁面１０２ａとインク供給口１０２の短手方向の壁面１０２ｂとの交線である。隅部１１０とは、各壁面１０２ａ、１０２ｂの各底辺１０２ａ1、１０２ｂ1と交線１１１との交点である。【選択図】図７Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するために利用されるエネルギを発生する記録素子及びインクを吐出する吐出口からなる吐出部と、前記吐出部へとインクを供給するインク供給口とを備えた記録素子基板と、前記記録素子基板を支持する支持部材とを有し、前記記録素子基板と前記支持部材とを紫外線・熱硬化併用型の接着剤にて接着固定してなる記録ヘッドの製造方法において、
前記インク供給口の長手方向の壁面と前記インク供給口の短手方向の壁面との交線に沿わせて、各前記壁面の各底辺と前記交線との交点である隅部と対向する側から、前記記録素子基板と前記支持部材との間からはみ出した前記接着剤に集光するように前記紫外線を照射することを特徴とする記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記記録素子基板と前記支持部材との間からはみ出した前記接着剤に集光する前記紫外線のうちの一部を前記隅部の前記接着剤に集光させる、請求項１に記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
複数の前記隅部に同時に前記紫外線を照射する、請求項２に記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記支持部材の前記記録素子基板を固定する面と前記紫外線を照射する方向との間の角である前記紫外線の照射角を、前記面と前記交線との間の角である交線角よりも小さくする、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記照射角を、前記交線角よりも、１°以上１０°以下の範囲内で小さくする、請求項４に記載の記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを記録媒体へ吐出して記録を行う記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドとしては、図８Ａに示すようなものが知られている。なお、図８Ａは、記録ヘッドの構造をわかりやすくするために、吐出口プレートの一部が切り取られて示されている。
【０００３】
図８Ａに示す記録ヘッドは、支持部材２０４の上面に記録素子基板２０１を接着剤２０３によって接着固定したものとなっている。記録素子基板２０１は、溝状のインク供給口２０２が複数個（図では３個）形成されるとともにインク供給口２０２の両側に複数の電気熱変換素子２０５が配列された基板２０６と、その上面に固定された吐出口プレート２０８とを有する。吐出口プレート２０８には、電気熱変換素子２０５と対向する位置に吐出口２０７が形成されている。
【０００４】
また、図８Ｂに示すように、支持部材２０４には、インク供給流路２０９が複数（図では３個）形成されており、各インク供給流路２０９は、各インク供給口２０２と対向し、互いに連通している。インク供給流路２０９に供給されたインクは、インク供給口２０２及び吐出口２０７に導かれ、吐出口２０７に充填されたインクは、電気熱変換素子２０５による熱エネルギによってインク滴として吐出される。
【０００５】
上記のような記録ヘッドの製造において、記録素子基板２０１と支持部材２０４とを接合する方法としては、例えば、次のような製造方法が特許文献１に開示されている。引用文献１に開示された製造方法を図９Ａ、図９Ｂに示す。
【０００６】
引用文献１に開示された製造方法では、真空吸着フィンガによって記録素子基板を精度良く位置決めし、その後、紫外線・熱硬化併用型の接着剤で記録素子基板を固定する。
【０００７】
まず、図９Ａに示すように、真空吸着フィンガ２１２によって把持された記録素子基板２０１を支持部材２０４に当接させて押圧する。これにより、記録素子基板２０１の長手方向の端部及びインク供給口２０２の内側に接着剤２０３がはみ出すことになる。そこで、記録素子基板２０１の長手方向の端部にはみ出した接着剤２０３に向けて、真空吸着フィンガ２１２の外側から紫外線照射ヘッド２１３、２１４により紫外線を照射する。これにより、記録素子基板２０１を仮固定する。
【０００８】
ところで、インク供給口２０２の内側にはみ出した接着剤２０３は、後工程までの滞留や後述する未硬化接着剤の熱硬化工程において、熱硬化の直前に粘度が下がることで毛管力によりインク供給口内の隅の部分を伝わり、吐出口２０７を詰まらせる場合がある。
【０００９】
この吐出口詰まりを防止するために、図９Ｂに示すように、真空吸着フィンガを移動させた後に紫外線照射ヘッド２１５、２１６により、吐出口プレート２０８に垂直な方向から照射して接着剤を硬化させる。その後、紫外線が行き届かずにまだ硬化していない接着剤を、加熱処理によって完全硬化させることにより、記録素子基板２０１を支持部材２０４に固定する。
【００１０】
記録素子基板２０１が接着固定された支持部材２０４には、後工程において配線基板が固定される。この配線基板の固定は、熱硬化型の接着剤を用いた加熱圧着処理によって行う。
【特許文献１】特開平９−１８７９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述の製造方法は、インク供給口２０２の内側にはみ出した接着剤２０３を硬化させるために、吐出口プレート２０８に垂直な方向から紫外線照射を行うことで接着剤２０３を硬化させている。
【００１２】
しかしながら、図８Ａ、図８Ｂに示すように、インク供給口２０２の形状は、吐出口２０７へ十分なインクを供給するため、記録素子基板２０１の表面側と裏面側の開口形状が矩形で、裏面側から表面側に向かって開口面積が除々に小さくなる形状となっている。そのため、インク供給口２０２の内側にはみ出した接着剤２０３は、吐出口プレート２０８に垂直な方向から紫外線を照射する場合、照射する側からは奥まった位置になり、影の部分になってしまう。つまり、図９Ｃに示すように、吐出口プレート２０８に垂直な方向から紫外線照射しても、吐出口プレート２０８を透過した紫外線は接着剤２０３には直接当らない。そこで、上述の製造方法の場合、インク供給口２０２内における乱反射により、紫外線を接着剤２０３に当てて硬化させているのである。なお、図９Ｃは、記録ヘッドのインク供給口の内側にはみ出した接着剤をわかりやすくするために、吐出口プレートの一部が切り取られて示されている。
【００１３】
ところが、紫外線は、インク供給口２０２内で乱反射することにより、はみ出した接着剤２０３に到達するまでに大きく減衰してしまうため、その紫外線の強度は弱くなってしまう。接着剤２０３の粘度変動により転写量が多くなった場合や転写ムラが生じた場合、インク供給口２０２の内側にはみ出す接着剤２０３の量が増えてしまうことがある。このような場合、乱反射で強度が低下してしまった紫外線では、接着剤２０３を十分に硬化することができない場合がある。
【００１４】
接着剤２０３が完全に硬化していないと、上述したように未硬化の接着剤２０３は毛管力によりインク供給口２０２内の隅部２１０からインク供給口２０２の交線２１１に沿って這い上がり、吐出口２０７を詰まらせるといった不具合が発生する場合がある。
【００１５】
また、近年、記録ヘッドの吐出口は高密度／高精度化に向かっており、感光性樹脂材料である吐出口プレートは所望のパターニング形状を得るために、紫外線に対して吸収を大きく持たせる必要がある。つまり、吐出口プレートを透過する紫外線は今まで以上に吸収されてしまうため、インク供給口の内側にはみ出した接着剤に到達する紫外線の強度は更に弱くなる。
【００１６】
このように、はみ出した接着剤を硬化させるための紫外線の強度が低下すると、吐出口の詰まり不良や、照射時間を延ばすことによる生産性の低下といった問題が生じることになる。
【００１７】
そこで、上記課題に鑑み、本発明は、記録素子基板と支持部材とを接着する紫外線・熱硬化併用型の接着剤による、吐出口の詰まりや生産性の低下を抑制することができる記録ヘッドの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するため、本発明の記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するために利用されるエネルギを発生する記録素子及びインクを吐出する吐出口からなる吐出部と、吐出部へとインクを供給するインク供給口とを備えた記録素子基板と、記録素子基板を支持する支持部材とを有し、記録素子基板と支持部材とを紫外線・熱硬化併用型の接着剤にて接着固定してなる記録ヘッドの製造方法において、インク供給口の長手方向の壁面とインク供給口の短手方向の壁面との交線に沿わせて、各壁面の各底辺と交線との交点である隅部と対向する側から、記録素子基板と支持部材との間からはみ出した接着剤に集光するように紫外線を照射することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、記録素子基板と支持部材とを接着する紫外線・熱硬化併用型の接着剤による、吐出口の詰まり、生産性の低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態における記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。図１に示すように、本実施形態における記録ヘッド１５０は、第１の記録素子基板１１２、第２の記録素子基板１０１、第１の支持部材１０４、第２の支持部材１１３とを備えている。第１、第２の記録素子基板１１２、１０１及び第２の支持部材１１３は、第１の支持部材１０４上に接着剤（不図示）によって接着固定される。
【００２１】
第１の支持部材１０４には、第１の記録素子基板１１２にインクを供給するための単一の第１のインク供給流路１２８と、第２の記録素子基板１０１にインクを供給するための複数本（図では３本）の第２のインク供給流路１０９とが互いに平行に形成されている。
【００２２】
また、第２の支持部材１１３は、第１、第２の記録素子基板１１２、１０１を挿通させる開口部１２９、１３０を有し、第１の支持部材１０４の表面（図では上面）に熱硬化型の接着剤により固定される。第１の記録素子基板１１２は、開口部１２９に挿通された状態で第１の支持部材１０４の表面に接着剤によって接着固定され、第２の記録素子基板１０１は、開口部１３０に挿通された状態で第１支持部材１０４の表面に接着剤によって接着固定される。これにより、第１の支持部材１０４のインク供給流路１２８は第１の記録素子基板１１２に形成されている後述のインク供給口に連通し、第２のインク供給流路１０９は、第２の記録素子基板１０１に形成されている後述のインク供給口に連通する。
【００２３】
図２は、第１の記録素子基板１１２を一部切欠して示す斜視図である。この第１の記録素子基板１１２は、例えば、厚さ０．５ｍｍ〜１ｍｍのＳｉ（シリコン）基板１０６に長溝状の貫通孔からなるインク供給口１０２をＳｉの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成したものとなっている。記録素子基板１１２に形成される貫通孔からなるインク供給口１０２は、記録素子基板１１２の表面側および裏面側の開口形状が矩形であり、記録素子基板１１２の表面側に向かって開口面積が除々に小さくなる形状となっている。また、インク供給口１０２を挟んだ両側に記録素子である電気熱変換素子１０５がそれぞれ１列ずつ配列されており、全体としては千鳥状に配列されている。この電気熱変換素子１０５と、電気熱変換素子１０５に電力を供給するＡｌ等の電気配線（図示せず）とは成膜技術により形成されている。さらに、電気配線に電力を供給するための電極部１２５が第１の記録素子基板１１２における表面の両側部に配列されており、電極部１２５にはＡｕ等のバンプ１２６が形成されている。
【００２４】
Ｓｉ基板１０６上には、吐出口プレート１０８が固定されている。この吐出口プレート１０８には、複数の電気熱変換素子１０５のそれぞれに対応して、複数のインク液路１３１が樹脂材料でフォトリソグラフィ技術により形成されている。これらインク液路１３１の各端部に位置する開口部は、インク滴を吐出する吐出口１０７を構成している。これら複数の吐出口１０７は、インク供給口１０２の両長辺部に沿って配列され、２本の吐出口列１１８を構成している。なお、電気熱変換素子１０５及び吐出口１０７により吐出部を構成しており、インク供給口１０２からインクが供給される。
【００２５】
各インク液路１３１は、第１の記録素子基板１１２に形成されたインク供給口１０２に連通しており、インク供給口１０２から供給されたインクは、各インク液路１３１に充填される。また、各吐出口１０７は電気熱変換素子１０５に対向して設けられており、インク供給口１０２からインク液路１３１内に充填されたインクを加熱して発泡させる。この発泡時の圧力によってインク液路１３１内のインクは各吐出口１０７からインク滴となって吐出される。なお、本明細書においては、インク液路１３１とその一端（図では上端）に形成される吐出口１０７とからなる部分を、ノズルともいう。
【００２６】
図３は、第２の記録素子基板１０１の一部を切欠して示す斜視図である。なお、ここに示す第２の記録素子基板１０１において、上記第１の記録素子基板１０１と同一もしくは相当部分には同一符号を付してある。
【００２７】
図３において、第２の記録素子基板１０１は３色のインクを吐出させるための記録素子基板である。この記録素子基板１０１には、３個のインク供給口１０２が平行して形成されており、各インク供給口１０２を挟んだ両側には電気熱変換素子１０５が形成されている。この第２の記録素子基板１０１も第１の記録素子基板１１２と同様に、Ｓｉ基板１０６にインク供給口１０２や電気熱変換素子１０５、不図示の電気配線及び電極部１２５などを形成したものとなっている。また、第２の記録素子基板１０１上には、樹脂材料からなる吐出口プレート１０８がフォトリソグラフィ技術によって形成され、インク液路１３１や吐出口１０７が形成されている。
【００２８】
図４は、図３に示す記録ヘッドのＡ−Ａ線における断面図であって、上記第２の記録素子基板１０１を第１の支持部材１０４に取り付けた状態を示す断面図である。
【００２９】
図４に示すように、第１の支持部材１０４において、各インク供給流路１０９を形成する隔壁１３２の上面には、第２の記録素子基板１０１のインク供給口１０２の間に形成された隔壁１３３の底面が当接している。隔壁１３２と隔壁１３３とは接着剤１０３によって接合されている。なお、本実施形態におけるインク供給流路１０９の開口幅は、インク供給口１０２の入口部の開口幅よりも小さな幅を有している。
【００３０】
本実施形態における第１の支持部材１０４は、例えば、厚さ０．５ｍｍ〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）材料で形成されている。但し、第１の支持部材１０４の素材は、アルミナに限定されるものではなくその他の材料によって構成されるものであってもよく、各記録素子基板を構成する材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で構成することが望ましい。第１の支持部材１０４として使用可能な他の素材としては、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）等を挙げることができる。
【００３１】
第１の記録素子基板１１２と第２の記録素子基板１０１は、それぞれ第１の支持部材１０４に対して位置精度良く接着固定される。接着に用いられる接着剤１０３は、紫外線・熱硬化併用型であり低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、接着剤１０３としては、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤が望ましく、その接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。
【００３２】
また、図１に示す第２の支持部材１１３は、例えば、厚さ０．５ｍｍ〜１ｍｍの一枚の板状部材で構成することが可能であり、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等のセラミックや、Ａｌ、ＳＵＳなどの金属材料で形成されている。そして、第２の支持部材１１３に形成される開口部１２９、１３０は、第１の記録素子基板１１２と第２の記録素子基板１０１の外形寸法よりも大きな開口部をそれぞれ有しており、底面に塗布された接着剤１０３によって接着されている。
【００３３】
次に、第１の支持部材１０４へ記録素子基板を取り付ける工程について説明する。なお、ここでは、第１の支持部材１０４へ取り付ける記録素子基板として、第２の記録素子基板１０１を例に説明する。なお、第１の記録素子基板１１２の第１の支持部材１０４への固定も、以下に述べる第２の記録素子基板１０１と同様の工程により接着固定される。
【００３４】
図５Ａ〜図５Ｃ、図６Ａ、図６Ｂは、本実施形態における記録ヘッドの製造方法の各工程を説明するための図である。なお、図６Ａ、図６Ｂは、第２の記録素子基板１０１をその吐出口列の長手方向に沿って切断した断面を示している。
【００３５】
図５Ａ〜図５Ｃ、図６Ａ、図６Ｂにおいて、１４０は接着剤１０３を塗布する転写ピン、１１２は記録素子基板１０１を吸着し、位置決めを行う真空吸着フィンガである（図５Ａ〜図５Ｃ参照）。また、１４１、１４２は記録素子基板の位置を認識するためのＣＣＤカメラであり、１１４、１１５は紫外線照射ヘッドである（図６Ａ、図６Ｂ参照）。
【００３６】
第１の支持部材１０４へ第２の記録素子基板１０１を取り付ける工程においては、まず、図５Ａに示すように、転写ピン１４０に接着剤１０３を塗布する。続いて、図５Ｂに示すように、転写ピン１４０を第１の支持部材１０４に接着剤１０３を介して当接させる。この後、図５Ｃに示すように、転写ピン１４０を第１の支持部材１０４から離すと、第１の支持部材の接着箇所に接着剤１０３が塗布される。この接着剤１０３は、第２の記録素子基板１０１が当接する位置よりも外側にはみ出す範囲にまで転写（塗布）される。なお、ここで使用される接着剤１０３は、紫外線を照射しても熱を加えても硬化する紫外線・熱硬化併用型の接着剤であり、インクに対して耐性があり転写性に優れた特性を有するものである。
【００３７】
次に、図６Ａに示すように、真空吸着フィンガ１１２により第２の記録素子基板１０１の吐出口プレート１０８の面を吸着把持する。そして、ＣＣＤカメラ１４１、１４２により第２の記録素子基板１０１の不図示のアライメントマークを光学的に認識し、そのアライメントマークを基準にして、第１の支持部材１０４に対する第２の記録素子基板１０１の位置合わせを行う。
【００３８】
続いて、位置決めされた真空吸着フィンガ１１２を図６Ｂに示すように下降させ、第２の記録素子基板１０１を第１の支持部材１０４に当接させるとともに押圧する。これにより、接着剤１０３が同図に示すように第２の記録素子基板１０１の長手方向の端部及びインク供給口１０２の内側にはみ出してくる。
【００３９】
そして、図６Ｂに示すように、第１の支持部材１０４に第２の記録素子基板１０１を押圧した状態を維持しながら、紫外線照射ヘッド１１５、１１４により第２の記録素子基板１０１の端部に紫外線を照射する。これによって、第２の記録素子基板１０１の端部からはみ出した接着剤１０３が硬化し、第１の支持部材１０４上における第２の記録素子基板１０１の位置を仮固定することができる。
【００４０】
但し、この段階では図に示すように、記録素子基板１０１の端部に照射される紫外線が真空吸着フィンガ１１２によって遮られてしまうため、インク供給口１０２の内側にはみ出した接着剤は硬化していない。
【００４１】
ここで、次に本発明のインク供給口の内側にはみ出した接着剤を硬化させる方法を説明する。図７Ａ〜図７Ｃは、本発明の記録ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【００４２】
図７Ａは、紫外線照射される第２の記録素子基板１０１の断面図であり、図７Ｂは、第２の記録素子基板１０１のインク供給口１０２の隅部を拡大した図である。なお、図７Ｂは、紫外線照射する領域をわかりやすくするために、吐出口プレート１０８の一部が切り取られて示されている。図７Ａ、図７Ｂともに、１方向からの紫外線照射のみ示されている。
【００４３】
図７Ａに示すように、紫外線照射ヘッド１２１による紫外線照射時には、真空吸着フィンガによる保持を解除し、かつ真空吸着フィンガを移動させた後に行っている。
【００４４】
紫外線照射ヘッド１２１は、隅部１１０に対向する側からインク供給口１０２の交線１１１に沿わせて、第２の記録素子基板１０１と第１の支持部材１０４との間からはみ出した接着剤１０３に紫外線を集光させて照射させている。ここで、交線１１１とは、インク供給口１０２の長手方向の壁面１０２ａと短手方向の壁面１０２ｂとの交線を指す。また、隅部１１０とは、壁面１０２ａの底辺１０２ａ1と、壁面１０２ｂの底辺１０２ｂ1と、交線１１１との交点を指す。
【００４５】
接着剤１０３は、先に述べた吐出口プレート１０８に垂直な方向から照射した場合に照射する側からは影の部分となるインク供給口１０２の内側にはみ出している。しかしながら、上述した方向から紫外線を照射することで、当該影の部分に位置する接着剤１０３に直接を当てることができることとなる。本実施形態の場合、このように接着剤１０３に対して直接紫外線を当てることができるため、従来例のような、インク供給口内での乱反射による紫外線の減衰がない。つまり、本実施形態の製造方法の場合、インク供給口１０２の内側であって底辺１０２ａ1及び底辺１０２ｂ1の部分からはみ出した接着剤１０３に当る紫外線の強度が強いため、接着剤１０３を確実に硬化することができる。
【００４６】
なお、接着剤１０３による吐出口１０７の詰まりは、未硬化の接着剤１０３がインク供給口１０２内の隅部１１０からインク供給口１０２の交線１１１に沿って毛管力により這い上がることによるものである。そのため、吐出口１０７の詰まりを確実に防止するには、インク供給口１０２の内側であって底辺１０２ａ1及び底辺１０２ｂ1からはみ出した接着剤１０３のうち、特にインク供給口１０２内の隅部１１０にある接着剤１０３に紫外線を照射する必要がある。つまり、第２の記録素子基板１０１と第１の支持部材１０４との間からはみ出した接着剤１０３に集光させる紫外線のうちの一部を隅部１１０の接着剤１０３に照射させる必要がある。なお、１つのインク供給口１０２に対して隅部１１０は４箇所ある。そこで、図７Ｃに示すように、１つの記録素子基板に対して４方向から同時に紫外線を照射できるように、紫外線照射ヘッド１２１、１２２、１２３、１２４を配置する。そして、紫外線照射領域１３４のうち、第２の記録素子基板１０１の短手方向の領域は、第２の記録素子基板１０１の短手方向の幅に合わせる。また、紫外線照射領域１３４のうち、第２の記録素子基板１０１の長手方向の領域は、隅部１１０近辺の領域とする。紫外線照射領域１３４をこのように規定することで、第２の記録素子基板１０１のように複数のインク供給口がある場合であっても、同時に複数の隅部１１０を照射でき、かつ紫外線照射が必要な領域内の紫外線強度も十分を確保できる。
【００４７】
また、図７Ａに示すように、この紫外線を照射する角度は交線１１１に沿った角度よりも寝かせた角度にすると好適である。すなわち、第１の支持部材１０４の第２の記録素子基板１０１を固定する面と紫外線を照射する方向との間の角である紫外線の照射角を、第１の支持部材１０４の第２の記録素子基板１０１を固定する面と交線１１１との間の角である交線角よりも小さくする。なお、照射角とは、第１の支持部材１０４の第２の記録素子基板１０１を固定する面と照射する紫外線の光軸との間の角とも表現できる。これにより、第２の記録素子基板１０１の端部側で紫外線が反射されることによる強度不足を回避することができ、さらに紫外線強度を強くできる。また、紫外線の照射角は、交線角よりも、１°以上１０°以下の範囲内で小さくするとより好適である（図７Ｄ参照）。
【００４８】
なお、感光性樹脂である吐出口プレート１０８の高密度／高精度化に伴い、所望のパターニング形状を得るために、紫外線に対して吸収を大きく持たせる場合がある。このような場合であっても、本実施形態の製造方法によれば、はみ出した接着剤１０３を確実に硬化することができるので、生産性が低下してしまうのを抑制することができる。
【００４９】
以上により、インク供給口の内側にはみ出した接着剤１０３を硬化させる工程が完了となる。
【００５０】
この後、第２の支持部材１１３を熱硬化型の接着剤を介して第１の支持部材１０４上に接着させる。但し、この段階では、接着剤１０３は未硬化の状態にある。次いで、後工程として、不図示の配線基板を熱硬化型の接着剤を介して第１の支持部材１０４に重ね、最終工程として配線基板を含んだ記録ヘッドユニット全体を加熱する。これにより、未硬化状態にある接着剤は完全に硬化し、各記録素子基板１１２、１０１、第２の支持部材１１３、及び配線基板の全てが第１の支持部材１０４に確実に接着固定され、記録ヘッド１５０の組立工程は完了する。
【００５１】
なお、上記実施形態では、第１の支持部材１０４に各記録素子基板１１２、１０１及び第２の支持部材１１３を仮固定した後、配線基板の取り付け工程における熱処理によって未硬化状態にある全ての接着剤を硬化させるようにした。しかし、各記録素子基板１１２、１０１および第２の支持部材１１３を仮固定した後、さらに配線基板を熱、光、あるいはボンディングなどによって固定し、その後、最終工程として熱処理を行って未硬化状態の接着剤を完全に硬化させるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施形態における記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す第１の記録素子基板の一部を切欠して示す斜視図である。
【図３】図１に示す第２の記録素子基板の一部を切欠して示す斜視図である。
【図４】図３に示す記録ヘッドのＡ−Ａ線における断面図である。
【図５Ａ】本発明の一実施形態における記録ヘッドの製造方法を説明するための断面図であって、転写ピンが第１の支持部材上に位置決めされた状態を示す図である。
【図５Ｂ】本発明の一実施形態における記録ヘッドの製造方法を説明するための断面図であって、転写ピンの転写面を接着剤を介して第１の支持部材上に下降させた状態を示す図である。
【図５Ｃ】本発明の一実施形態における記録ヘッドの製造方法を説明するための断面図であって、第１の支持部材上に接着剤が転写された状態を示す図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態における記録ヘッドの製造方法を説明するための断面図であって、真空吸着フィンガが第２の記録素子基板を吸着把持した状態を示す図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態における記録ヘッドの製造方法を説明するための断面図であって、真空吸着フィンガの下降によって第２の記録素子基板が第１の支持部材に当接された状態を示す図である。
【図７Ａ】本発明の一実施形態における紫外線の照射状態を説明するための記録ヘッドの断面図である。
【図７Ｂ】インク供給口の隅部を拡大して示す斜視図である。
【図７Ｃ】４つの紫外線照射ヘッドの配置例を示す模式図である。
【図７Ｄ】紫外線の照射角と交線角との関係を示す図である。
【図８Ａ】従来の記録ヘッドの一例の透過斜視図である。
【図８Ｂ】図８Ａに示す記録ヘッドのＡ−Ａ線における断面図である。
【図９Ａ】従来の記録ヘッドの一例の製造方法であって真空吸着フィンガの下降によって記録素子基板が第１の支持部材に当接された状態を示す図である。
【図９Ｂ】従来の記録ヘッドの一例の製造方法であって紫外線の照射状態を説明するための記録ヘッドの断面図である。
【図９Ｃ】従来の記録ヘッド一例におけるインク供給口の隅部を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０１    第２の記録素子基板
１０２    インク供給口
１０２ａ、１０２ｂ    壁面
１０２ａ1、１０２ｂ1    底辺
１０３    接着剤
１０４    第１の支持部材
１０７    吐出口
１１０    隅部
１１１    交線
１１２    第１の記録素子基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
2010052149.tif 000007
【図５Ｂ】
2010052149.tif 000008
【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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