(57)【要約】【課題】半導体デバイスの小型化要求を満たす寸法の開口部をマスク層又は中間層に形成することができる制御性に優れた基板処理方法を提供する。【解決手段】アモルファスカーボン膜５１、ＳｉＯＮ膜５２，ＢＡＲＣ膜５３及びフォトレジスト膜５４が順に積層されたウエハＷを処理する基板処理方法であって、ＣＨＦ３ガスと、ＣＦ３Ｉガスと、Ｈ２ガス及びＮ２ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、フォトレジスト膜５４の開口部５５のＣＤ値を縮小しつつ開口部底部のＳｉＯＮ膜をエッチングするシュリンクエッチングステップと、開口部５５の側壁面へのデポの堆積を促進させて各ＣＤ値のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップと、開口部の内面に薄膜を形成して各開口部の開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを１ステップで行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、
デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口部の開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップを１ステップで行うばらつき吸収シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項２】
前記ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅のばらつきに応じて前記水素（Ｈ２）ガスの供給量を制御することを特徴とする請求項１記載の基板処理方法。
【請求項３】
前記水素（Ｈ２）ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が２５〜６５％となるように制御されることを特徴とする請求項２記載の基板処理方法。
【請求項４】
前記ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、前記水素（Ｈ２）ガスに代えてデポ性ガスを適用することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項５】
処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、
デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の内壁面に薄膜を形成して各開口幅のばらつきを保持したまま開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを１ステップで行うばらつき保持シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項６】
前記ばらつき保持シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて前記窒素（Ｎ２）ガスの供給量を制御することを特徴とする請求項５記載の基板処理方法。
【請求項７】
前記窒素（Ｎ２）ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が２５〜１２５％となるように制御されることを特徴とする請求項６記載の基板処理方法。
【請求項８】
処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、
デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガス及び窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップと、各開口部の内面に薄膜を形成して各開口部の開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを１ステップで行うばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項９】
前記ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅のばらつきに応じて前記水素（Ｈ２）ガスの供給量を制御し、前記開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて前記窒素（Ｈ２）ガスの供給量を制御することを特徴とする請求項８記載の基板処理方法。
【請求項１０】
前記水素（Ｈ２）ガス及び前記窒素（Ｎ２）ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比がそれぞれ２５〜６５％及び２５〜１２５％となるように制御されることを特徴とする請求項９記載の基板処理方法。
【請求項１１】
前記ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、前記水素（Ｈ２）ガスに代えてデポ性ガスを適用することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項１２】
前記デポ性ガスは、一般式ＣｘＨｙＦｚ（ｘ、ｙ、ｚは、０又は正の整数）で表わされるガスであることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項１３】
前記デポ性ガスは、ＣＨＦ３ガスであることを特徴とする請求項１２記載の基板処理方法。
【請求項１４】
前記異方性エッチングガスは、臭素（Ｂｒ）もしくは臭素（Ｂｒ）よりも原子番号が大きいハロゲン元素又は周期律表第１６族元素であって、硫黄（Ｓ）もしくは硫黄（Ｓ）よりも原子番号が大きい元素を含むガスであることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の基板処理方法。
【請求項１５】
前記異方性エッチングガスは、ＣＦ３Ｉガス、ＣＦ３Ｂｒガス、ＨＩガス又はＨＢｒガスであることを特徴とする請求項１４記載の基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理方法に関し、特に、処理対象層、中間層、マスク層が順に積層された基板を処理する基板処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン基材上にＣＶＤ処理等によって形成された不純物を含む酸化膜、例えばＴＥＯＳ（Ｔｅｔｒａ  Ｅｔｈｙｌ  Ｏｒｔｈｏ  Ｓｉｌｉｃａｔｅ）膜、導電膜、例えばＴｉＮ膜、反射防止膜（ＢＡＲＣ膜）及びフォトレジスト膜が順に積層された半導体デバイス用のウエハが知られている（例えば、特許文献１参照）。フォトレジスト膜は、フォトリソグラフィにより所定のパターンに形成され、反射防止膜及び導電膜のエッチングの際に、マスクとして機能する。また、上記のＴｉＮ膜に代えてＳｉＯＮ膜を適用したウエハ、及びエッチングの対象膜及びフォトレジスト膜の間に形成される中間膜として、ハードマスク及び反射防止膜として機能するＳｉ−ＡＲＣ膜を備えたウエハも知られている。
【０００３】
このようなウエハの表面に、例えばプラズマエッチングによって回路パターンが形成されるが、高アスペクト比のコンタクトホール等を形成するエッチング方法に関する従来技術を開示する文献として特許文献２が挙げられる。
【０００４】
また、近年、半導体デバイスの小型化が進む中、上述したようなウエハの表面における回路パターンをより微細に形成する必要が生じてきている。このような微細な回路パターンを形成するためには、半導体デバイスの製造過程において、フォトレジスト膜におけるパターンの最小寸法を小さくして、小さい寸法の開口部（ビアホールやトレンチ）をエッチング対象の膜に形成する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１９０９３９号公報
【特許文献２】特開２００２−０１６０５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、フォトレジスト膜におけるパターンの最小寸法はフォトリソグラフィで現像可能となる最小寸法によって規定されるが、焦点距離のばらつきなどに起因してフォトリソグラフィで量産可能な最小寸法には限界がある。例えば、フォトリソグラフィで量産可能な最小寸法は約８０ｎｍである。一方、半導体デバイスの小型化要求を満たす加工寸法は３０ｎｍ程度である。
【０００７】
そこで、益々小さくなる半導体デバイスの小型化要求寸法を満たすべく、種々の基板処理技術が提案されるようになった。
【０００８】
しかしながら、従来の基板処理方法は、制御性の観点において必ずしも満足できるものではなく、例えば、回路パターンの開口幅（ＣＤ（Ｃｒｉｔｉｃａｌ  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）値、以下、「ＣＤ値」ともいう。）のばらつきの吸収と、ＣＤ値の縮小程度を示す縮小幅を独立に制御する基板処理方法は確立されていないのが現状である。
【０００９】
本発明の目的は、半導体デバイスの小型化要求を満たす寸法の開口部をマスク層又は中間層に形成することができる制御性に優れた基板処理方法であって、例えばＣＤ値のばらつきの吸収と、縮小幅とを独立して制御することができる基板処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板処理方法は、処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口部の開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップを１ステップで行うばらつき吸収シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の基板処理方法は、請求項１記載の基板処理方法において、前記ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅のばらつきに応じて前記水素（Ｈ２）ガスの供給量を制御することを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の基板処理方法は、請求項２記載の基板処理方法において、前記水素（Ｈ２）ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が２５〜６５％となるように制御されることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の基板処理方法は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板処理方法において、前記ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、前記水素（Ｈ２）ガスに代えてデポ性ガスを適用することを特徴とする。
【００１４】
上記目的を達成するために、請求項５記載の基板処理方法は、処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の内壁面に薄膜を形成して各開口幅のばらつきを保持したまま開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップと、を１ステップで行うばらつき保持シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の基板処理方法は、請求項５記載の基板処理方法において、前記ばらつき保持シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて前記窒素（Ｎ２）ガスの供給量を制御することを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載の基板処理方法は、請求項６記載の基板処理方法において、前記窒素（Ｎ２）ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が２５〜１２５％となるように制御されることを特徴とする。
【００１７】
上記目的を達成するために、請求項８記載の基板処理方法は、処理対象層、中間層及びマスク層が順に積層され、前記マスク層が前記中間層の一部を露出させる開口部を有する基板を処理する基板処理方法であって、デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガス及び窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップと、各開口部の内面に薄膜を形成して各開口部の開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップと、を１ステップで行うばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップを有することを特徴とする。
【００１８】
請求項９記載の基板処理方法は、請求項８記載の基板処理方法において、前記ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、前記開口部の開口幅のばらつきに応じて前記水素（Ｈ２）ガスの供給量を制御し、前記開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて前記窒素（Ｈ２）ガスの供給量を制御することを特徴とする。
【００１９】
請求項１０記載の基板処理方法は、請求項９記載の基板処理方法において、前記水素（Ｈ２）ガス及び前記窒素（Ｎ２）ガスの供給量は、前記異方性エッチングガスの供給量に対する体積比がそれぞれ２５〜６５％及び２５〜１２５％となるように制御されることを特徴とする。
【００２０】
請求項１１記載の基板処理方法は、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の基板処理方法において、前記ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、前記水素（Ｈ２）ガスに代えてデポ性ガスを適用することを特徴とする。
【００２１】
請求項１２記載の基板処理方法は、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の基板処理方法において、前記デポ性ガスは、一般式ＣｘＨｙＦｚ（ｘ、ｙ、ｚは、０又は正の整数）で表わされるガスであることを特徴とする。
【００２２】
請求項１３記載の基板処理方法は、請求項１２記載の基板処理方法において、前記デポ性ガスは、ＣＨＦ３ガスであることを特徴とする。
【００２３】
請求項１４記載の基板処理方法は、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の基板処理方法において、前記異方性エッチングガスは、臭素（Ｂｒ）もしくは臭素（Ｂｒ）よりも原子番号が大きいハロゲン元素又は周期律表第１６族元素であって、硫黄（Ｓ）もしくは硫黄（Ｓ）よりも原子番号が大きい元素を含むガスであることを特徴とする。
【００２４】
請求項１５記載の基板処理方法は、請求項１４記載の基板処理方法において、前記異方性エッチングガスは、ＣＦ３Ｉガス、ＣＦ３Ｂｒガス、ＨＩガス又はＨＢｒガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
請求項１記載の基板処理方法によれば、デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、マスク層の開口部の開口幅を縮小しつつ開口部の底部を形成する中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、マスク層の開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口部の開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップを１ステップで行うので、シュリンクエッチングステップにおいて、ＣＤ値のばらつき吸収作用を開口幅縮小作用と無関係に制御することができる。
【００２６】
請求項２記載の基板処理方法によれば、開口部の開口幅のばらつきに応じて水素（Ｈ２）ガスの供給量を制御するので、開口部の開口幅のばらつきが大きい基板であっても、そのばらつきを良好に吸収することができ、処理ガスの無駄をなくすことができる。
【００２７】
請求項３記載の基板処理方法によれば、水素（Ｈ２）ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が２５％〜６５％となるように制御されるので、開口部の開口幅のばらつきに応じて、そのばらつきを良好に吸収することができる。
【００２８】
請求項４記載の基板処理方法によれば、ばらつき吸収シュリンクエッチングステップにおいて、水素（Ｈ２）ガスに代えてデポ性ガスを適用するので、使用する処理ガス種が減少し、制御性を向上させることができる。
【００２９】
請求項５記載の基板処理方法によれば、デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、マスク層の前口部の開口幅を縮小しつつ開口部の底部を形成する中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、マスク層の開口部の内壁面に薄膜を形成して各開口幅のばらつきを保持したまま開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを１ステップで行うので、シュリンクエッチングステップにおいて、開口部の開口幅縮小作用を、開口幅ばらつき吸収作用と無関係に制御することができる。
【００３０】
請求項６記載の基板処理方法によれば、開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて窒素（Ｈ２）ガスの供給量を制御するので、目的とするＣＤ縮小幅の基板が得られ易くなる。
【００３１】
請求項７記載の基板処理方法によれば、窒素（Ｎ２）ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が２５〜１２５％となるように制御されるので、目的とする縮小幅のＣＤを有する基板が得られ易くなる。
【００３２】
請求項８記載の基板処理方法によれば、デポ性ガスと、異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガス及び窒素（Ｎ２）ガスの混合ガスから生成されたプラズマによって、前記マスク層の前記開口部の開口幅を縮小しつつ前記開口部の底部を形成する前記中間層をエッチングするシュリンクエッチングステップと、前記マスク層の前記開口部の側壁面へのデポの堆積を促進させて各開口幅のばらつきを吸収するばらつき吸収ステップと、各開口部の内面に薄膜を形成して各開口部の開口幅を縮小させる開口幅縮小ステップとを１ステップで行うので、シュリンクエッチングステップにおいて、開口幅のばらつき吸収作用と、開口幅縮小作用とをそれぞれ無関係に制御することができる。
【００３３】
請求項９記載の基板処理方法によれば、ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、開口部の開口幅のばらつきに応じて水素（Ｈ２）ガスの供給量を制御し、開口部の開口幅を縮小させる縮小幅に応じて窒素（Ｈ２）ガスの供給量を制御するので、開口部の開口幅のばらつきに応じてばらつきを吸収し、且つ開口幅を所望の縮小幅で縮小させることができる。
【００３４】
請求項１０記載の基板処理方法によれば、水素（Ｈ２）ガス及び窒素（Ｎ２）ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給量に対する体積比がそれぞれ２５〜６５％及び２５〜１２５％となるように制御されるので、開口部の開口幅のばらつきに応じて、そのばらつきを良好に吸収することができると共に、目的とする縮小幅の開口部を有する基板が得られ易くなる。
【００３５】
請求項１１記載の基板処理方法によれば、ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおいて、水素（Ｈ２）ガスに代えてデポ性ガスを適用するので、使用する処理ガス種が減少し、制御性を向上させることができる。
【００３６】
請求項１２記載の基板処理装置によれば、デポ性ガスが、一般式ＣｘＨｙＦｚ（ｘ、ｙ、ｚは、０又は正の整数）で表わされるガスであるので、開口部の側壁面に良好にデポを堆積させて開口幅を縮小することができる。
【００３７】
請求項１３記載の基板処理方法によれば、デポ性ガスを、ＣＨＦ３ガスとしたので、開口部の側壁面に良好にデポを堆積させて開口幅を縮小することができる。
【００３８】
請求項１４記載の基板処理方法によれば、異方性エッチングガスを、臭素（Ｂｒ）もしくは臭素（Ｂｒ）よりも原子番号が大きいハロゲン元素又は周期律表第１６族元素であって、硫黄（Ｓ）もしくは硫黄（Ｓ）よりも原子番号が大きい元素を含むガスとしたので、異方性エッチングガスから生成されたプラズマを開口部底部に到達させることができ、もって、底部へのデポの堆積を抑制しつつ、処置対象膜をエッチングすることができる。
【００３９】
請求項１５記載の基板処理方法によれば、異方性エッチングガスを、ＣＦ３Ｉガス、ＣＦ３Ｂｒガス、ＨＩガス又はＨＢｒガスとしたので、開口部底部へのデポの堆積抑制効果及び開口部底部のエッチング効果を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板処理方法を実行する基板処理システムの構成を概略的に示す平面図である。
【図２】図１における線II−IIに沿う断面図である。
【図３】図１の基板処理システムにおいてプラズマ処理が施される半導体ウエハの構成を概略的に示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態における基板処理方法を示す工程図である。
【図５】実施例及び比較例の結果を示す図である。
【図６】実施例及び比較例の結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳述する。
【００４２】
まず、本発明の実施の形態に係る基板処理方法を実行する基板処理システムについて説明する。この基板処理システムは基板としての半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」という。）にプラズマを用いたエッチング処理やアッシング処理を施すように構成された複数のプロセスモジュールを備える。
【００４３】
図１は、本発明の実施の形態に係る基板処理方法を実行する基板処理システムの構成を概略的に示す平面図である。
【００４４】
図１において、基板処理システム１０は、平面視六角形のトランスファモジュール１１と、該トランスファモジュール１１の一側面に接続する２つのプロセスモジュール１２、１３と、該２つのプロセスモジュール１２、１３に対向するようにトランスファモジュール１１の他側面に接続する２つのプロセスモジュール１４、１５と、プロセスモジュール１３に隣接し且つトランスファモジュール１１に接続するプロセスモジュール１６と、プロセスモジュール１５に隣接し且つトランスファモジュール１１に接続するプロセスモジュール１７と、矩形状の搬送室としてのローダーモジュール１８と、トランスファモジュール１１及びローダーモジュール１８の間に配置されてこれらを連結する２つのロード・ロックモジュール１９、２０とを備える。
【００４５】
トランスファモジュール１１はその内部に配置された屈伸及び旋回自在な搬送アーム２１を有し、該搬送アーム２１は、プロセスモジュール１２〜１７やロード・ロックモジュール１９、２０の間においてウエハＷを搬送する。
【００４６】
プロセスモジュール１２はウエハＷを収容する処理室容器（チャンバ）を有し、該チャンバ内部に処理ガスとして、例えば、ＣＨＦ３ガス及びＨＢｒガスの混合ガスを導入し、チャンバ内部に電界を発生させることによって導入された処理ガスからプラズマを発生させ、該プラズマによってウエハＷにエッチング処理を施す。
【００４７】
図２は、図１における線II−IIに沿う断面図である。
【００４８】
図２において、プロセスモジュール１２は、処理室（チャンバ）２２と、該チャンバ２２内に配置されたウエハＷの載置台２３と、チャンバ２２の上方において載置台２３と対向するように配置されたシャワーヘッド２４と、チャンバ２２内のガス等を排気するＴＭＰ（Ｔｕｒｂｏ  Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｐｕｍｐ）２５と、チャンバ２２及びＴＭＰ２５の間に配置され、チャンバ２２内の圧力を制御する可変式バタフライバルブとしてのＡＰＣ（Ａｄａｐｔｉｖｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）バルブ２６とを有する。
【００４９】
載置台２３には、第１の高周波電源２７及び第２の高周波電源３５がそれぞれ第１の整合器（Ｍａｔｃｈｅｒ）２８及び第２の整合器（Ｍａｔｃｈｅｒ）３６を介して接続されており、第１の高周波電源２７は、比較的高い周波数、例えば６０ＭＨｚの高周波電力を励起用電力として載置台２３に印加し、第２の高周波電源３５は、比較的低い周波数、例えば２ＭＨｚの高周波電力をバイアスとして載置台２３に印加する。これにより、載置台２３は載置台２３及びシャワーヘッド２４の間の処理空間Ｓに高周波電力を印加する下部電極として機能する。整合器２８及び３６は、載置台２３からの高周波電力の反射を低減して高周波電力の載置台２３への供給効率を最大にする。
【００５０】
シャワーヘッド２４は円板状の下層ガス供給部２９及び円板状の上層ガス供給部３０からなり、下層ガス供給部２９に上層ガス供給部３０が重ねられている。下層ガス供給部２９及び上層ガス供給部３０はそれぞれ第１のバッファ室３１及び第２のバッファ室３２を有する。第１のバッファ室３１及び第２のバッファ室３２はそれぞれガス通気孔３３、３４を介してチャンバ２２内に連通する。
【００５１】
第１のバッファ室３１は、例えばＣＨＦ３ガス供給系（図示省略）に接続されている。該ＣＨＦ３ガス供給系は第１のバッファ室３１へＣＨＦ３ガスを供給する。供給されたＣＨＦ３ガスはガス通気孔３３を介してチャンバ２２内へ供給される。また、第２のバッファ室３２は、例えばＨＢｒガス供給系（図示省略）に接続されている。ＨＢｒガス供給系は第２のバッファ室３２へＨＢｒガスを供給する。供給されたＨＢｒガスはガス通気孔３４を介してチャンバ２２内へ供給される。
【００５２】
シャワーヘッド２４には直流電源４５が接続されており、該直流電源４５によってシャワーヘッド２４に直流電圧が印加される。これにより、印加された直流電圧は、処理空間Ｓ内のイオン分布を制御する。
【００５３】
このプロセスモジュール１２のチャンバ２２内では、上述したように、載置台２３が処理空間Ｓに高周波電力を印加することにより、シャワーヘッド２４から処理空間Ｓに供給された処理ガスを高密度のプラズマにしてイオンやラジカルを発生させ、該イオンやラジカルによってウエハＷにエッチング処理を施す。
【００５４】
図１に戻り、プロセスモジュール１３はプロセスモジュール１２においてエッチング処理が施されたウエハＷを収容する処理室（チャンバ）を有し、該チャンバ内部に処理ガスとしてＯ２ガス及びＮ２ガスの混合ガスを導入し、チャンバ内部に電界を発生させることによって導入された処理ガスからプラズマを発生させ、該プラズマによってウエハＷにエッチング処理を施す。なお、プロセスモジュール１３は、プロセスモジュール１２と同様の構成を有し、例えばＣＨＦ３ガス供給系及びＨＢｒガス供給系の代わりに、Ｏ２ガス供給系及びＮ２ガス供給系（いずれも図示省略）を備える。なお、プロセスモジュール１３におけるエッチング処理が、アッシング処理を兼ねることもある。
【００５５】
プロセスモジュール１４はプロセスモジュール１３においてエッチング処理が施されたウエハＷを収容する処理室（チャンバ）を有し、該チャンバ内部に処理ガスとしてＯ２ガスを導入し、チャンバ内部に電界を発生させることによって導入された処理ガスからプラズマを発生させ、該プラズマによってウエハＷにアッシング処理を施す。なお、プロセスモジュール１４も、プロセスモジュール１２と同様の構成を有し、円板状の下層ガス供給部２９及び円板状の上層ガス供給部３０からなるシャワーヘッド２４の代わりに、Ｏ２ガス供給系がバッファ室に接続された円板状のガス供給部のみからなるシャワーヘッド（いずれも図示しない）を備える。
【００５６】
トランスファモジュール１１、プロセスモジュール１２〜１７の内部は減圧状態に維持され、トランスファモジュール１１と、プロセスモジュール１２〜１７のそれぞれとは真空ゲートバルブ１２ａ〜１７ａを介して接続される。
【００５７】
基板処理システム１０では、ローダーモジュール１８の内部圧力が大気圧に維持される一方、トランスファモジュール１１の内部圧力は真空に維持される。そのため、各ロード・ロックモジュール１９、２０は、それぞれトランスファモジュール１１との連結部に真空ゲートバルブ１９ａ、２０ａを備えると共に、ローダーモジュール１８との連結部に大気ドアバルブ１９ｂ、２０ｂを備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。また、各ロード・ロックモジュール１９、２０はローダーモジュール１８及びトランスファモジュール１１の間において受渡されるウエハＷを一時的に載置するためのウエハ載置台１９ｃ、２０ｃを有する。
【００５８】
ローダーモジュール１８には、ロード・ロックモジュール１９、２０の他、例えば２５枚のウエハＷを収容する容器としてのフープ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）３７がそれぞれ載置される３つのフープ載置台３８と、フープ３７から搬出されたウエハＷの位置をプリアライメントするオリエンタ３９とが接続されている。
【００５９】
ロード・ロックモジュール１９、２０は、ローダーモジュール１８の長手方向に沿う側壁に接続されると共にローダーモジュール１８を挟んで３つのフープ載置台３８と対向するように配置され、オリエンタ３９はローダーモジュール１８の長手方向に関する一端に配置される。
【００６０】
ローダーモジュール１８は、内部に配置された、ウエハＷを搬送するスカラ型デュアルアームタイプの搬送アーム４０と、各フープ載置台３８に対応するように側壁に配置されたウエハＷの投入口としての３つのロードポート４１とを有する。搬送アーム４０は、フープ載置台３８に載置されたフープ３７からウエハＷをロードポート４１経由で取り出し、該取り出したウエハＷをロード・ロックモジュール１９、２０やオリエンタ３９へ搬出入する。
【００６１】
また、基板処理システム１０は、ローダーモジュール１８の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションパネル４２を備える。オペレーションパネル４２は、例えばＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）からなる表示部を有し、該表示部は基板処理システム１０の各構成要素の動作状況を表示する。
【００６２】
図３は、図１の基板処理システムにおいてプラズマ処理が施される半導体ウエハの構成を概略的に示す断面図である。
【００６３】
図３において、ウエハＷはシリコン基材５０の表面に形成された処理対象層としてのアモルファスカーボン膜（下層レジスト膜）５１と、アモルファスカーボン膜５１上に形成されたＳｉＯＮ膜（ハードマスク）５２と、ＳｉＯＮ膜５２上に形成された反射防止膜（ＢＡＲＣ膜）５３と、反射防止膜５３上に形成されたフォトレジスト膜５４（マスク層）とを有する。
【００６４】
シリコン基材５０はシリコンからなる円板状の薄板であり、例えばＣＶＤ処理を施すことによって表面にアモルファスカーボン膜５１が形成される。アモルファスカーボン膜５１は、下層レジスト膜として機能する。アモルファスカーボン膜５１上に、ＣＶＤ処理又はＰＶＤ処理等が施されて表面にＳｉＯＮ膜５２が形成され、該ＳｉＯＮ膜５２上に、例えば塗布処理によって反射防止膜５３が形成される。反射防止膜５３は或る特定の波長の光、例えば、フォトレジスト膜５４に向けて照射されるＡｒＦエキシマレーザ光を吸収する色素を含む高分子樹脂からなり、フォトレジスト膜５４を透過したＡｒＦエキシマレーザ光がＳｉＯＮ膜５２によって反射されて再びフォトレジスト膜５４に到達するのを防止する。フォトレジスト膜５４は、反射防止膜５３上に例えばスピンコータ（図示省略）を用いて形成される。フォトレジスト膜５４はポジ型の感光性樹脂からなり、ＡｒＦエキシマレーザ光に照射されるとアルカリ可溶性に変質する。
【００６５】
このような構成のウエハＷに対し、所定のパターンに反転するパターンに対応したＡｒＦエキシマレーザ光がステッパー（図示省略）によってフォトレジスト膜５４に照射されて、フォトレジスト膜５４におけるＡｒＦエキシマレーザ光が照射された部分がアルカリ可溶性に変質する。その後、フォトレジスト膜５４に強アルカリ性の現像液が滴下されてアルカリ可溶性に変質した部分が除去される。これにより、フォトレジスト膜５４から所定のパターンに反転するパターンに対応した部分が取り除かれるため、ウエハＷ上には所定のパターンを呈する、例えば、ビアホールを形成する位置に開口部５５を有するフォトレジスト膜５４が残る。
【００６６】
ところで、半導体デバイスの小型化要求を満たすためには、小さい寸法、具体的にはＣＤ値が２５〜３０ｎｍ程度の開口部（ビアホールやトレンチ）をエッチング対象の膜に形成する必要がある。しかしながら、フォトリソグラフィで量産可能な最小寸法は例えば８０ｎｍ程度であるため、ウエハＷのエッチング処理において、半導体デバイスの小型化要求を満たすＣＤ値の開口部をエッチング対象膜に形成することは困難であった。
【００６７】
本発明者は、半導体デバイスの小型化要求を満たすＣＤ値を有する開口部をウエハＷに形成する方法を見出すために、各種実験を行ったところ、ウエハＷにおけるフォトレジスト膜に形成された開口部のＣＤ値を狭くするためにシュリンク処理を施した場合、開口部の側壁面だけでなく底部にもデポが堆積すること、底部に堆積したデポの厚さは側壁面に堆積したデポの厚さに対応して厚くなるので、初期ＣＤ値の相違によって底部に堆積するデポ厚さも変動すること、及び開口部底部のデポ厚さが異なると同じエッチング処理を施しても底部堆積デポを同じように打ち抜くことができず、均一処理の妨げになるこという知見を得た。
【００６８】
そして、この知見に基づいて、鋭意研究を重ねたところ、開口部の側壁面にデポを堆積させ易いデポ性ガスと、開口部の側面方向には拡散しにくく、開口部底部をエッチングして底部へのデポの堆積を抑制する異方性エッチングガスと、水素（Ｈ２）ガスを併用してプラズマ処理を施すことにより、デポ性ガスと異方性エッチングガスとの相乗作用によって、フォトレジスト膜の開口部のＣＤ値を縮小させると共に開口部底部の膜に縮小したＣＤ値に対応した開口幅の開口部が形成されること、及び水素（Ｈ２）ガスの作用によってＣＤ値が大きい開口部の側壁面ほどデポ堆積量が多くなるローディング効果が促進されてＣＤ値のはらつきが解消されることを見出した。また、このとき水素（Ｈ２）ガスに代えて窒素（Ｎ２）ガスを適用することによってＣＤ値のばらつきをある程度保持したままＣＤ値を一様に縮小できることを見出し、本発明に到達した。
【００６９】
図４は、本発明の実施の形態における基板処理方法を示す工程図である。
【００７０】
図４において、まず、シリコン基材５０上に下層レジスト膜としてのアモルファスカーボン膜５１、ハードマスクとしてのＳｉＯＮ膜５２、反射防止膜（ＢＡＲＣ膜）５３及びフォトレジスト膜５４が順に積層され、フォトレジスト膜５４が反射防止膜５３の一部を開口幅、例えば７５〜９５ｎｍで露出させる開口部５５を有するウエハＷを準備する（図４（Ａ））。そして、このウエハＷをプロセスモジュール１２（図２参照）のチャンバ２２内に搬入し、載置台２３上に載置する。
【００７１】
次いで、チャンバ２２内の圧力をＡＰＣバルブ２６等によって例えば２×１０Ｐａ（１５０ｍＴｏｒｒ）に設定する。また、ウエハＷの温度を、例えば６０℃に設定する。そして、シャワーヘッド２４の下層ガス供給部２９からＣＨＦ３ガスを流量２００ｓｃｃｍ、Ｈ２ガス及びＮ２ガスをそれぞれ所定流量、例えば３０ｓｃｃｍでチャンバ２２内へ供給すると共に、上層ガス供給部３０からＣＦ３Ｉガスを流量５０ｓｃｃｍでチャンバ２２内へ供給する。このときＣＨＦ３ガスとＣＦ３Ｉガスとの流量比は、４：１である。そして、載置台２３に７５０Ｗの高周波電力を励起電力として印加すると共に、３００Ｗの高周波電力をバイアス電力として印加する。また、シャワーヘッド２４に−３００Ｖの直流電圧を印加する。
【００７２】
このとき、ＣＨＦ３ガス、Ｈ２ガス、Ｎ２ガス及びＣＦ３Ｉガスが処理空間Ｓに印加された高周波電力によってプラズマになり、イオンやラジカルが発生する（図４（Ｂ））。ＣＨＦ３ガスから発生したイオンやラジカルはフォトレジスト膜５３の表面又は開口部５４の側壁面と衝突、反応し、当該部分にデポを堆積して開口部５５のＣＤ値をある程度狭くする。このとき、Ｈ２ガスから発生したラジカルによって、ＣＤ値の大きい開口部側壁面に多くのデポが堆積し、ＣＤ値の小さい開口部側壁面に比較的少ないデポが堆積するローディング効果が促進し、ＣＤ値のばらつきが吸収される。また、Ｎ２から発生したラジカルによって開口部側壁面及び底部に一様に、例えば窒化炭素からなる保護膜が形成され、これによって、ＣＨＦ３ガス及びＨ２ガスから発生したイオンやラジカルのデポ堆積作用と協働してＣＤ値を、例えば５０ｎｍ程度縮小させる。また、このとき、ＣＦ３Ｉガスから発生したイオンによる異方性エッチングによって、開口部の底部に堆積したデポ及び保護膜５６が除去されると共に、ＣＤ値が狭くなったフォトレジスト膜５４の開口幅で、ＢＡＲＣ膜５３及びＳｉＯＮ膜５２がエッチングされる。
【００７３】
従って、開口部５５の側壁面にデポ及び保護膜５６を堆積させて開口幅のばらつきを吸収しつつＣＤ値を縮小させ、且つ開口部底部のＳｉＯＮ膜５２がエッチングされる（ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップ）。このとき、開口部５５の側壁面へのデポ及び保護膜の堆積速度と開口部底部のＳｉＯＮ膜５２のエッチング速度とがバランスし、開口部５５の断面形状は下方ほど開口幅が小さいテーパ状になり、ＳｉＯＮ膜５２に、先端部がフォトレジスト膜５４の開口部５５の開口幅よりも縮小されたＣＤ値の開口部が形成される（図４（Ｃ））。
【００７４】
ＳｉＯＮ膜５２は下層レジスト膜としてのアモルファスカーボン膜５１が露出するまでエッチングされ、ＳｉＯＮ膜５２には、開口幅が、例えば３０ｎｍ程度まで縮小された開口部が形成される。
【００７５】
このようにして、開口部５５の開口幅が縮小されると共に、ＳｉＯＮ膜５２がエッチングされたウエハＷをプロセスモジュール１２のチャンバ２２内から搬出し、トランスファモジュール１１を経由してプロセスモジュール１３のチャンバ内に搬入して載置台上に載置する。
【００７６】
次いで、チャンバ２２内の圧力をＡＰＣバルブ２６等によって、例えば２．６Ｐａ（２０ｍＴｏｒｒ）に設定する。そして、シャワーヘッド２４の下層ガス供給部からＯ２ガスを流量１８０ｓｃｃｍでチャンバ内へ供給すると共に、上層ガス供給部からＮ２ガスを流量２０ｓｃｃｍでチャンバ内へ供給する。そして、載置台２３に１０００Ｗの励起用電力を印加し、バイアス電力を０Ｗとする。このとき、Ｏ２ガス及びＮ２ガスが処理空間Ｓに印加された高周波電力によってプラズマになり、イオンやラジカルが発生する（図４（Ｄ））。これらのイオンやラジカルはアモルファスカーボン膜５１における、フォトレジスト膜５４、開口部５５の側壁面に堆積したデポ及び保護膜５６、並びにＳｉＯＮ膜５２によって覆われていない部分と衝突、反応し、当該部分をエッチングする。このとき、アモルファスカーボン膜５１はシリコン基材５０が露出するまでエッチングされ、アモルファスカーボン膜５１に、例えば開口幅が３０ｎｍ程度まで縮小された開口部が形成される。このとき、フォトレジスト膜５４及び該フォトレジスト膜５４の表面もしくは開口部５５の側壁面に堆積したデポ及び保護膜５６並びにＢＡＲＣ膜５３及びＳｉＯＮ膜５２が同時に除去される（図４（Ｅ））。
【００７７】
その後、ウエハＷをプロセスモジュール１３のチャンバから搬出し、本処理を終了する。
【００７８】
処理後のウエハＷについては、別途、公知の方法によってエッチング処理が施され、シリコン基材５０に目的とするパターン寸法の開口部が設けられたウエハＷが調製される。
【００７９】
本実施の形態によれば、ばらつき吸収・開口幅縮小エッチングステップにおいて、デポ性ガスとして開口部５５の側壁面にデポを堆積させ易いＣＨＦ３ガス、異方性エッチングガスとして底部へのデポの堆積を抑制し、下地層をエッチングし易いＣＦ３Ｉガスを用い、且つデポ堆積によるローディング効果を促進させるＨ２ガス、及び開口幅の開口部内壁面に一様の厚さの薄膜状の保護膜を形成して開口幅を縮小させるＮ２ガスを併用したので、フォトレジスト膜５４の開口部５５の開口幅のばらつきを吸収しつつ、ＣＤ値を一様に所定幅、例えば５０ｎｍ程度縮小し、縮小したＣＤ値に基づいてＳｉＯＮ膜５２及びアモルファスカーボン膜５１をエッチングすることができる。
【００８０】
すなわち、本実施の形態によれば、開口部５５の開口幅のばらつきを吸収しつつ、そのＣＤ値を縮小させるばらつき吸収ステップと、ＣＤ値を縮小させる開口幅値縮小ステップと、縮小したＣＤ値に基づいてＳｉＯＮ膜５２をエッチングするエッチングステップとを１ステップアプローチとして行うことができ、Ｈ２ガスの導入によるＣＤ値のばらつき吸収効果と、Ｎ２ガスの導入によるＣＤ値を一様に縮小させる開口幅縮小効果を独立して制御することができる。
【００８１】
従って、基板処理方法における制御性が向上し、近年における半導体デバイス小型化の要求に多様に対応することができると共に、ウエハＷの生産性が向上する。また、ロット間の開口幅の均一性及び開口幅のばらつき吸収効果を向上させることもできる。
【００８２】
本実施の形態において、ＳｉＯＮ膜５２はＳｉ成分を含んでいるのでＣＦ３Ｉガスから生じるイオンによってエッチングされ易い。従って、開口部５５の側壁面にデポ５５が十分に堆積するよりも速くＳｉＯＮ膜５２がエッチングされることになり、ばらつき吸収・開口幅縮小シュリンクエッチングステップ後の開口部５４の断面形状は、下方になるほど開口幅が小さいテーパ状となる。
【００８３】
ここで、Ｈ２ガスを添加することによって、ＣＤ値のばらつきが吸収される理由は必ずしも明確ではないが、デポ性ガスの含有成分であるＨ２を導入することによって、ＣＤ値の大きい開口部の側壁面に比較的多くのデポを堆積させると共に、ＣＤ値の小さい開口部の側壁面には比較的少ないデポを堆積させるローディング効果が促進されて、結果としてＣＤ値のばらつきが吸収されるものと考えられる。
【００８４】
ＣＤ値ばらつき吸収作用を発現するＨ２ガスの供給量は、処理対象であるウエハＷの開口幅のばらつきの程度によって調節され、開口幅のばらつき幅が１０ｎｍ程度であれば、Ｈ２ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が、例えば３０±５％となるように調整され、開口幅のばらつき幅が２０ｎｍ程度であれば、Ｈ２ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給流量に対する体積比が６０±５％となるように調整される。
【００８５】
また、Ｎ２ガスを添加することによってＣＤ値のばらつきを保持しつつＣＤ値が縮小される理由としては、以下のように考えられる。すなわち、Ｎ２ガスから発生したラジカルは、別の処理ガス、例えばデポ性ガス中のＣ成分と反応し、窒化炭素からなる一様の厚さの薄膜状の保護膜を開口部５５の側壁面及び底部表面に形成し、この保護膜によって、初期のＣＤ値及びアスペクト比に関係なく、各開口幅が一様に縮小するので、結果としてＣＤ値のばらつきを保持したまま、その絶対値を縮小させるものと考えられる。
【００８６】
ＣＤ値縮小作用を発現するＮ２ガスの導入量は、デポ性ガスと、異方性エッチングガスだけを用いてエッチングした場合（シュリンクエッチングステップ）と比較してウエハＷのＣＤ値をどの程度縮小させたいかという目標縮小幅に従って調整される。すなわち、例えば目標縮小幅が１０ｎｍ程度であれば、Ｎ２ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が３０±５〜６０±５％程度に調整され、目標縮小幅が２５ｎｍ程度であれば、Ｎ２ガスの供給量は、異方性エッチングガスの供給量に対する体積比が１２０±５％程度に調整される。
【００８７】
本実施の形態において、Ｈ２ガスの導入量とＮ２ガスの導入量との関係は、特に限定されるものではない。
【００８８】
本実施の形態において、基本的な処理ガスとしてＣＨＦ３ガス及びＣＦ３Ｉガスを用い、ＣＤ値のばらつきを吸収させたい場合に、Ｈ２ガスを添加し、ＣＤ値の絶対値を縮小させたい場合に、Ｎ２ガスを添加し、必要に応じてＨ２ガスとＮ２ガスを併用する。ＣＨＦ３ガス及びＣＦ３ＩガスにＮ２ガスを添加してウエハＷのＣＤ値のばらつきを保持したまま、ＣＤ値を均等に所定幅だけ縮小させるばらつき保持シュリンクエッチングステップは、例えば、一のウエハＷ内に開口幅が異なる配線パターンを共存させる必要があり、しかも全体的に近年の半導体デバイスの小型化要求に適合させたい場合に利用される。
【００８９】
本実施の形態において、ＳｉＯＮ膜５２に形成される開口部の開口幅は、開口部５５の側壁面へのデポ及び保護膜５６の堆積速度に対する開口部５５の底部のＳｉＯＮ膜５２のエッチング速度比によって決定される。従って、開口部５５の縮小したＣＤ値の開口幅の開口部を確実にＳｉＯＮ膜５２に形成するために、ＣＨＦ３ガスの供給量を、ＣＦ３Ｉガスの供給量よりも大きくすることが好ましい。
【００９０】
本実施の形態において、ばらつき吸収・開口幅縮小エッチングステップにおけるデポ性ガスとしてＣＨＦ３ガスを用いたが、デポ性ガスは、一般式ＣｘＨｙＦｚ（ｘ、ｙ、ｚは０を含む整数）で表されるものであれば適用可能であり、ＣＨＦ３の外、例えば、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＣＨ３Ｆガス、Ｃ５Ｆ８ガス、Ｃ４Ｆ６ガスを適用することもできる。
【００９１】
一方、異方性エッチングガスとしては、ＣＦ３Ｉガスが好適に使用され、ＣＦ３Ｉガスは、例えばＨＢｒガスよりも毒性が低いので、取り扱いが容易である。ＣＦ３Ｉガス以外の外異方性エッチングガスとしては、ＣＦ３Ｂｒガス、ＣＦ３Ａｔガス、ＨＩガス、ＨＢｒガス等を適用することができる。また、異方性エッチングガスにおけるハロゲン元素に代えて周期律表第１６属元素であって、Ｓ及びＳよりも原子量の大きい元素を適用することもできる。これらのハロゲン元素、周期律表の第１６類元素を含有するガスも、揮発性が低く、開口部の横方向には拡散しにくく、底部にデポを堆積させず、下地層をエッチングして抜くことができるプラズマを生じるガスであり、デポ性ガスと組み合わせて使用することができる。なお、異方性エッチングガスのプラズマは、揮発性が低く、カーボンと反応して何らかの結合膜を作って開口部５５の側面を保護し、且つイオン力によって開口部の底部方向に向かって拡散してＳｉＯＮ膜５２をエッチングするものと考えられる。
【００９２】
本実施の形態において、ばらつき保持・開口幅縮小シュリンクエッチングステップにおけるバイアス電力は、１００Ｗ〜５００Ｗである。バイアス電力が１００Ｗ未満であると、開口部底部のエッチング効果が不十分となる。一方、バイアス電力が５００Ｗを超えると、スパッタリングによってフォトレジスト膜５４が荒れてしまう。
【００９３】
本実施の形態において、エッチング処理時のチャンバ内圧力は、２．６Ｐａ（２０ｍＴｏｒｒ）乃至２×１０Ｐａ（１５０ｍＴｏｒｒ）、好ましくは１×１０Ｐａ（７５ｍＴｏｒｒ〜２×１０Ｐａ（１５０ｍＴｏｒｒ）である。処理圧力が、低すぎると基板表面が荒れる。一方、処理圧力が高すぎると、基板表面が摩耗される。
【００９４】
本実施の形態において、エッチング処理時のウエハＷの温度は、特に限定されるものではないが、２０℃〜１００℃である。
【００９５】
本実施の形態における処理対象層は、下層レジスト膜としてのアモルファスカーボン膜５１としたが、処理対象層はこれに限られず、例えばＳｉＯ２膜、ＴｉＮ膜であってもよい。
【００９６】
本実施の形態において、ばらつき吸収・開口部縮小シュリンクエッチングステップとアモルファスカーボン膜５１をエッチングするエッチングステップを同一チャンバ内で連続して行うこともできる。
【実施例】
【００９７】
次に、本発明における具体的実施例について説明する。
【００９８】
実施例１
図２のプロセスモジュール１２を用い、チャンバ内圧力を２×１０Ｐａ（１５０ｍＴｏｒｒ）、ウエハＷの温度を６０℃、載置台２３の励起電力を７５０Ｗ、バイアス電力を３００Ｗ、シャワーヘッドの直流印加電圧を−３００Ｖとし、処理ガスとしてＣＨＦ３ガス２００ｓｃｃｍ、Ｈ２ガス３０ｓｃｃｍ、Ｎ２ガス３０ｓｃｃｍ、ＣＦ３Ｉガス５０ｓｃｃｍを供給して図３のウエハＷに対してプラズマエッチング処理を施したところ、処理開始前フォトレジスト膜５４のＣＤ値が７５〜９５ｎｍの範囲でばらついていたウエハＷにおいて、ＳｉＯＮ膜５２に、ほとんどばらつきがなくＣＤ値が３１〜３２ｎｍの開口部が形成された。
【００９９】
実施例２
実施例１におけるＮ２ガスの供給量を６０ｓｃｃｍに変更した以外は、実施例１と同様の条件で同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、ＳｉＯＮ膜５２に、ほとんどばらつきがなくＣＤ値が１８ｎｍの開口部が形成された。
【０１００】
実施例３
実施例１におけるＨ２ガスの供給量を０ｓｃｃｍとしてＨ２ガスを供給しなかった以外は、実施例１と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅の縮小作用を発現させることができ、ＳｉＯＮ膜５２に、ＣＤ値が３２〜４０ｎｍで、ばらつきのある開口部が形成された。
【０１０１】
実施例４
実施例１におけるＮ２ガスの供給量を０ｓｃｃｍとしてＮ２ガスを供給しなかった以外は、実施例１と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅のばらつき吸収作用を発現させることができ、ＳｉＯＮ膜５２にＣＤ値が３７〜３９ｎｍのばらつきのない開口部が形成された。
【０１０２】
比較例１
実施例１におけるＮ２ガスの供給量及びＨ２ガスの供給量をそれぞれ０ｓｃｃｍとしてＮ２ガス及びＨ２ガスを供給しなかった以外は、実施例１と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、ウエハＷの開口部の開口幅は、ある程度縮小すると共にばらつきが吸収されてＣＤ値が３８〜４７ｎｍの開口部が形成された。なお、ＣＨＦ３ガス供給量を増加させることによってある程度ＣＤ絶対値が小さくなったが、ＣＤ値のばらつき吸収作用及びＣＤ値縮小作用の発現はなりゆきであり、それぞれ単独に制御することはできなかった。
【０１０３】
実施例及び比較例の試験条件及び結果を表１に示した。また、結果を図５に示した。
【０１０４】
【表１】
2010283213.tif 000003
【０１０５】
図５は、実施例及び比較例の結果を示す図である。
【０１０６】
図５において、処理ガスとしてＣＨＦ３ガス、ＣＦ３Ｉガス及びＮ２ガスを用いた実施例３は、処理ガスとしてＣＨＦ３ガス、ＣＦ３Ｉガスだけを用いた比較例１と比較して、各ＣＤ値を結ぶ直線が、８ｎｍ程度下方に平行移動しており、ＣＤ値のばらつきを保持したままＣＤ値が縮小している。すなわち、比較例１の条件に、Ｎ２ガスを添加することによってＣＤ値縮小効果が得られることが分かる。
【０１０７】
また、処理ガスとしてＣＨＦ３ガス、ＣＦ３Ｉガスに加えＨ２ガス及びＮ２ガスを用いた実施例１は、比較例１と比較して、各ＣＤ値を結ぶ直線が下方に移行すると共に、その傾きがなくなりほぼ水平になっている。すなわち、比較例１の条件に、Ｈ２ガス及びＮ２ガスを添加することによってＣＤ値のばらつき吸収効果とＣＤ値縮小効果が得られることが分かる。
【０１０８】
また、Ｎ２ガスの添加量をＨ２ガスの添加量の２倍にした実施例２は、実施例１に比べて各ＣＤ値を結ぶ直線が１２〜１３ｎｍ相当分下方に移行している。すなわち、Ｎ２ガス添加量を増加させることによってＣＤ値縮小効果が増大することが分かる。
【０１０９】
次に、本発明の別の実施例について説明する。
【０１１０】
本発明において、Ｈ２ガスは、デポ堆積によるローディング作用を促進させるものであり、本発明者による種々の実験の結果、Ｈ２ガスに代えてデポガス、例えばＣＨＦ３ガス、ＣＨ２Ｆ２ガス等を適用しても同様の結果が得られることが分かった。
【０１１１】
実施例５
実施例１におけるＨ２ガスに代えてデポ性ガスであるＣＨＦ３ガスを用い、ＣＨＦ３ガスの添加量を比較例１におけるＣＨＦ３ガス供給量よりも４０ｓｃｃｍだけ多くした以外は、実施例１と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、処理開始前フォトレジスト膜５４のＣＤ値が７５〜９５ｎｍの範囲でばらついていたウエハＷにおいて、ＳｉＯＮ膜５２に、ほとんどばらつきがなくＣＤ値が３１〜３２ｎｍの開口部が形成された。
【０１１２】
実施例６
実施例５におけるＣＨＦ３ガスの追加添加量を６０ｓｃｃｍとした以外は、実施例５と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、ＳｉＯＮ膜５２に、ほとんどばらつきがなくＣＤ値が２３ｎｍの開口部が形成された。
【０１１３】
実施例７
実施例５におけるＮ２ガスの添加量を０ｓｃｃｍとしてＮ２ガスを添加しなかった以外は、実施例５と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅のばらつき吸収作用を発現させることができ、ＳｉＯＮ膜５２に、ほとんどばらつきがなくＣＤ値が３４〜３９ｎｍの開口部が形成された。
【０１１４】
実施例８
実施例７におけるＣＨＦ３ガスの追加添加量を６０ｓｃｃｍとした以外は、実施例７と同様にして同様のプラズマエッチング処理を行ったところ、主として開口幅のばらつき吸収作用を発現させることができ、ＳｉＯＮ膜５２に、ほとんどばらつきがなくＣＤ値が３０〜３２ｎｍの開口部が形成された。
【０１１５】
実施例及び比較例の試験条件及び結果を表２に示した。また、結果を図６に示した。
【０１１６】
【表２】
2010283213.tif 000004
【０１１７】
図６は、実施例及び比較例の結果を示す図である。
【０１１８】
図６において、実施例５及び６の結果から、Ｈ２ガスに代えてデポ性ガスであるＣＨＦ３ガスを用いても、Ｈ２ガスを用いた場合と同様にＣＤ値のばらつき吸収作用が発現され得ることが分かった。また、実施例７及び８から、Ｈ２ガスに代えてＣＨＦ３ガスを用いても、Ｈ２ガスを用いた場合よりも独立制御性はやや劣るが２パラメータあるので、ＣＤ値のばらつき吸収作用と、開口幅縮小作用とをそれぞれ無関係に制御できることが分かった。
【０１１９】
上述した各実施の形態において、プラズマ処理が施される基板は半導体デバイス用のウエハに限られず、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）を含むＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等に用いる各種基板や、フォトマスク、ＣＤ基板、プリント基板等であってもよい。
【０１２０】
また、本発明の目的は、上述した各実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記憶した記憶媒体を、システム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ等）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出し実行することによっても達成される。
【０１２１】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した各実施の形態の機能を実現することになり、そのプログラムコード及び該プログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【０１２２】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等を用いることができる。または、プログラムコードをネットワークを介してダウンロードしてもよい。
【０１２３】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上述した各実施の形態の機能が実現されるだけではなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【０１２４】
さらに、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その拡張機能を拡張ボードや拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【符号の説明】
【０１２５】
１０  基板処理システム
１２，１３，１４  プロセスモジュール
５０  シリコン基材
５１  アモルファスカーボン膜（下層レジスト膜）
５２  ＳｉＯＮ膜
５３  ＢＡＲＣ膜
５４  フォトレジスト膜
５５  開口部
５６  デポ及び保護膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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