(57)【要約】【課題】高いエネルギーの光に対して結像性能を維持すると共に広い露光領域を確保することができる投影光学系及びそれを有する露光装置を提供する。【解決手段】ｉ線を光源に使用する露光装置の投影光学系は正負正負正の屈折力を有する５つのレンズ群を有する屈折光学系であって、第１物体面Ｏにおける開口数をＮＡＯ、結像倍率をβ、第１物体面Ｏから第２物体面Ｉまでの光軸ＯＡ上の距離をＴｄ、投影光学系全系の光軸上におけるレンズの厚みの総和をＤｔ、第１物体面Ｏにおける最大高さをＯＢ１ｍａｘ、第２物体面Ｉにおける最大高さをＯＢ２ｍａｘとすると、０．１２５≦ＮＡＯ、−０．２５１＜β＜−０．２４９、８０ｍｍ≦｜ＯＢ１ｍａｘ｜、２０ｍｍ≦｜ＯＢ２ｍａｘ｜、｜Ｄｔ／（ＮＡＯ・｜ＯＢ１ｍａｘ｜）｜≦６２．０、Ｄｔ／Ｔｄ≦０．６４５、０．０７２≦｜ＯＢ１ｍａｘ／Ｔｄ｜を満足する。【選択図】図１
2010091751.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｉ線を光源に使用する露光装置に使用され、第１物体面に配置された原版のパターンを第２物体面に配置された基板に投影する投影光学系であって、
アッベ数νｄ≦６２のレンズを含む複数種類の異なる硝材からなる複数のレンズを有し、
前記第１物体面から光路に沿って順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の屈折力を有する第５レンズ群と、を有し、
前記第１物体面における開口数をＮＡＯ、結像倍率をβ、前記第１物体面から前記第２物体面までの光軸上の距離をＴｄ、投影光学系全系の光軸上におけるレンズの厚みの総和をＤｔ、前記第１物体面における最大高さをＯＢ１ｍａｘ、前記第２物体面における最大高さをＯＢ２ｍａｘとすると、以下の条件式を満足することを特徴とする投影光学系。
０．１２５  ≦  ＮＡＯ
−０．２５１  ＜  β  ＜  −０．２４９
８０ｍｍ  ≦  ｜ＯＢ１ｍａｘ｜
２０ｍｍ  ≦  ｜ＯＢ２ｍａｘ｜
｜Ｄｔ／（ＮＡＯ・｜ＯＢ１ｍａｘ｜）｜≦  ６２．０
Ｄｔ／Ｔｄ  ≦  ０．６４５
０．０７２  ≦  ｜ＯＢ１ｍａｘ／Ｔｄ｜
【請求項２】
石英を除く屈折率１．４８以上の硝材からなるレンズのうち、前記第１物体面に最も近いレンズの第１物体面側の面と前記第１物体面との光軸上の空気換算距離をＳ１、石英を除く屈折率１．４８以上の硝材からなるレンズのうち、前記第２物体面に最も近いレンズの第２物体面側の面と前記第２物体面との光軸上の空気換算距離をＳ２とすると、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
１０２ｍｍ  ≦  Ｓ１
８０ｍｍ  ≦  Ｓ２
【請求項３】
前記第１レンズ群及び前記第２レンズ群の光軸上におけるレンズの厚みの総和をそれぞれｄ１及びｄ２とすると、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
（ｄ１  ＋  ｄ２）／Ｔｄ  ≦  ０．１６５
（ｄ１  ＋  ｄ２）／Ｄｔ  ≦  ０．２５０
【請求項４】
レンズ硝材の屈折率をＮ、レンズ硝材のアッベ数をνｄとすると、Ｎ≧１．５７又はνｄ≦６２である硝材から構成されるレンズの枚数をＫｔ、Ｎ≧１．５７又はνｄ≦６２である硝材から構成されるレンズの光軸上の硝材厚みの総和をＧｔとすると、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか一項に記載の投影光学系。
Ｋｔ  ≦  ５
Ｇｔ／Ｔｄ  ≦  ０．０５０
【請求項５】
瞳の第１物体面側に配置されて前記瞳に最も近いレンズの第２物体面側の面と前記瞳との光軸上の距離をＰ１、前記瞳の第２物体面側に配置されて前記瞳に最も近いレンズの第２物体面側の面と前記瞳との光軸上の距離をＰ２とすると、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の投影光学系。
０．０１０  ≦  ｜Ｐ１／Ｔｄ｜
０．０１４  ≦  ｜Ｐ２／Ｔｄ｜
【請求項６】
瞳の第１物体面側又は第２物体面側に配置されて前記瞳に最も近いレンズは石英から構成されることを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項７】
前記第２レンズ群は、少なくとも２枚の石英から構成されるレンズを有することを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項８】
請求項１〜７のうちいずれか一項に記載の投影光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項９】
請求項８に記載された露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は投影光学系及び露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ｉ線の投影露光装置においては、スループットを高めるために、光エネルギーを増大して広い露光領域を確保することが有効である。しかし、光は硝材に吸収されて熱に変化するため、光エネルギーを増大する際には投影光学系の光エネルギーに対する耐久性を高める必要がある。
【０００３】
特許文献１は、像面に最も近い負レンズに屈折率が１．５５以下の透過率の高い硝材を使用すると共にこのレンズに適切なパワーを持たせて光エネルギーによる影響を抑えた投影光学系を開示している。また、特許文献２は、屈折率が高くアッベ数の低い、耐久性の低い硝材の使用体積を制限することによって光エネルギーによる影響を抑えた投影光学系を開示している。
【特許文献１】特開２００３−２０２４９４号公報
【特許文献２】特開２００４−０４６１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１は、いずれの実施例においても、投影光学系全系としては屈折率１．５７以上の耐久性の低い硝材を使用し、また、投影光学系全系の厚みが大きいため、光エネルギーの影響を十分に低減しておらず、結像性能を悪化するという問題が発生する。また、特許文献２は、いずれの実施例においても、物体面（第１物体面）と像面（第２物体面）の最大高さが小さく広い露光領域を確保することができない。このように、従来のｉ線の投影露光装置は、スループットを十分に向上することができなかった。
【０００５】
本発明は、高いエネルギーの光に対して結像性能を維持すると共に広い露光領域を確保することができる投影光学系及びそれを有する露光装置を提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面としての投影光学系は、ｉ線を光源に使用する露光装置に使用され、第１物体面に配置された原版のパターンを第２物体面に配置された基板に投影する投影光学系であって、アッベ数νｄ≦６２のレンズを含む複数種類の異なる硝材からなる複数のレンズを有し、前記第１物体面から光路に沿って順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の屈折力を有する第５レンズ群と、を有し、前記第１物体面における開口数をＮＡＯ、結像倍率をβ、前記第１物体面から前記第２物体面までの光軸上の距離をＴｄ、投影光学系全系の光軸上におけるレンズの厚みの総和をＤｔ、前記第１物体面における最大高さをＯＢ１ｍａｘ、前記第２物体面における最大高さをＯＢ２ｍａｘとすると、０．１２５≦ＮＡＯ、−０．２５１＜β＜−０．２４９、８０ｍｍ≦｜ＯＢ１ｍａｘ｜、２０ｍｍ≦｜ＯＢ２ｍａｘ｜、｜Ｄｔ／（ＮＡＯ・｜ＯＢ１ｍａｘ｜）｜≦６２．０、Ｄｔ／Ｔｄ≦０．６４５、０．０７２≦｜ＯＢ１ｍａｘ／Ｔｄ｜を満足することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、高いエネルギーの光に対して結像性能を維持すると共に広い露光領域を確保することができる投影光学系及びそれを有する露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本発明の投影光学系について説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、実施例１の投影光学系１００の光路図である。投影光学系１００は、第１物体面（物体面）Ｏに配置された原版のパターンを第２物体面（像面）Ｉに配置された基板に投影する屈折光学系である。投影光学系１００は、アッベ数νｄ≦６２のレンズを含む複数種類の異なる硝材からなる複数のレンズを有する。
【００１０】
投影光学系１００は、第１物体面Ｏから光路に沿って順に第１レンズ群５１、第２レンズ群５２、第３レンズ群５３、第４レンズ群５４及び第５レンズ群５５を有する。なお、投影光学系１００は、収差補正用の光学系をこれらのレンズ群の間に更に有する場合がある。その場合には、収差補正用の光学系を除いて、第１レンズ群５１から第５レンズ群５５が存在すればよい。また、後述する条件式は、収差補正用の光学系が含まれていても成立する。
【００１１】
第１レンズ群５１は、レンズＬ１０１〜Ｌ１０４から構成され、正の屈折力を有する。第２レンズ群５２は、レンズＬ２０１〜Ｌ２０４から構成され、負の屈折力を有する。第３レンズ群５３は、レンズＬ３０１〜Ｌ３０４から構成され、正の屈折力を有する。第４レンズ群５４は、レンズＬ４０１〜Ｌ４０３から構成され、負の屈折力を有する。第５レンズ群５５は、レンズＬ５０１〜Ｌ５０８から構成され、正の屈折力を有する。第４レンズ群５４と第５レンズ群５５の間の光軸ＯＡ上の瞳位置Ｐの近傍に、開口絞り５６が配置されている。なお、レンズＬ１０２とレンズＬ１０３、また、レンズＬ５０５とレンズＬ５０６はそれぞれ接着剤を介して接合されている。
【００１２】
また、レンズＬ２０２の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ１となっている。レンズＬ２０３の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ２となっている。レンズＬ２０４の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ３となっている。レンズＬ３０１の第２物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ４となっている。レンズＬ４０２の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ５となっている。レンズＬ５０４の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ６となっている。レンズＬ５０７の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ７となっている。
【００１３】
そして、投影光学系１００は、第１物体面側と第２物体面側の両方においてテレセントリックな光学系となっている。
【００１４】
投影光学系１００は、第１物体面Ｏにおける開口数をＮＡＯ、結像倍率をβ、第１物体面Ｏにおける最大高さをＯＢ１ｍａｘ、第２物体面Ｉにおける最大高さをＯＢ２ｍａｘとすると、以下の条件式を満足している。
（数１）
０．１２５  ≦  ＮＡＯ  ≦  ０．２
（数２）
−０．２５１  ＜  β  ＜  −０．２４９
（数３）
８０ｍｍ  ≦  ｜ＯＢ１ｍａｘ｜  ≦  １００ｍｍ
（数４）
２０ｍｍ  ≦  ｜ＯＢ２ｍａｘ｜  ≦  ２５ｍｍ
数式１〜４は、いずれも、下限を下回ると広い露光領域を確保することが困難になり、上限を超えると良好な結像性能を維持することが困難になる。
【００１５】
また、投影光学系１００は、第１物体面Ｏから第２物体面Ｉまでの光軸上の距離をＴｄ、投影光学系全系の光軸上におけるレンズ硝材の厚みの総和をＤｔとすると、以下の条件式を満足している。
（数５）
５０  ≦  ｜Ｄｔ／(ＮＡＯ・｜ＯＢ１ｍａｘ｜)｜  ≦  ６２．０
（数６）
０．５  ≦  Ｄｔ／Ｔｄ  ≦  ０．６４５
（数７）
０．０７２  ≦｜ＯＢ１ｍａｘ／Ｔｄ｜  ≦  ０．１４
数式５及び６は、それぞれ、下限を下回ると良好な結像性能を維持することが困難になり、上限を超えると高いエネルギーの光に対する耐久性が悪化するおそれがある。数式５及び６は、レンズ硝材の厚みを薄くして光吸収量を低減するための条件式である。
【００１６】
数式７は、下限を下回ると露光領域に対し光学系全系が大型化し、光吸収量が大きくなって高いエネルギーの光に対する耐久性が悪化するおそれがあり、上限を超えると良好な結像性能を維持することが困難になる。
【００１７】
投影光学系１００は、第１物体面Ｏから、石英硝材を除く屈折率１．４８以上の硝材からなるレンズのうち、最も第１物体面Ｏに近いレンズの、第１物体面側の面までの光軸上の空気換算距離をＳ１とすると、以下の条件式を満足している。
（数８）
１０２ｍｍ  ≦  Ｓ１  ≦  １５０ｍｍ
また、投影光学系１００は、石英硝材を除く屈折率１．４８以上の硝材からなるレンズのうち、最も第２物体面Ｉに近いレンズの第２物体面側の面から、前記第２物体面までの光軸上の空気換算距離をＳ２とすると、以下の条件式を満足している。
（数９）
８０ｍｍ  ≦  Ｓ２  ≦  １２０ｍｍ
一般に低屈折率の硝材ほど透過率が高く、光エネルギーに対する耐久性が高い。例えば、ｉ線の基準波長λ＝３６５．０１８ｎｍに対する屈折率が１．４８より小さい硝材である石英は光エネルギーに対する耐久性が高い。また、一般的な投影光学系の第１物体面及び第２物体面それぞれの近傍は、露光中に光束の集光するために高照度となる。
【００１８】
数式８及び９は、それぞれ、加減を下回ると高照度となる位置にレンズが近づくために光エネルギーに対する耐久性を高めることが困難になる。また、数式８及び９は、透過率が高く吸収率の低い硝材を使用することによって光エネルギーに対する耐久性を高めることも提案している。数式８及び９は、上限を上回ると良好な結像性能を維持することが困難になる。
【００１９】
投影光学系１００は、第１レンズ群５１及び第２レンズ群５２の光軸上におけるレンズ硝材の厚みの総和をそれぞれｄ１及びｄ２とすると、以下の条件式を満足している。
（数１０）
０．１０  ≦  （ｄ１＋ｄ２）／Ｔｄ  ≦  ０．１６５
（数１１）
０．１５  ≦  （ｄ１＋ｄ２）／Ｄｔ  ≦  ０．２５０
結像倍率変化、歪曲収差及び像面湾曲は、光エネルギーの増大、あるいは積算露光時間の増大に伴って発生し、結像性能を悪化させる収差の中で比較的発生量が大きい。また、露光中の結像性能を維持するための収差補正機構による補正が困難な収差としては、結像倍率の方向差（所謂、縦横倍率差）がある。
【００２０】
結像倍率変化、歪曲収差、像面湾曲、結像倍率の方向差（所謂、縦横倍率差）は、投影光学系１００において、第１物体面Ｏの中心より発した軸上光束Ｆ１と、第１物体面Ｏの最大物高位置より発した最軸外光束Ｆ２が分離している領域において顕著となる。このため、軸上光束Ｆ１と最軸外光束Ｆ２が離れた領域に位置する、第１レンズ群及び第２レンズ群の厚みを抑制することは有効である。このため、数式１０及び１１の上限は、レンズ硝材の厚みを薄くして光吸収量を低減し、結像倍率変化、歪曲収差、像面湾曲、結像倍率の方向差（所謂、縦横倍率差）を抑制するための条件式である。また、数式１０及び１１は、下限を下回ると別の収差を抑制して良好な結像性能を維持することが困難になる。
【００２１】
また、投影光学系１００は、レンズ硝材の屈折率とアッベ数をそれぞれＮ及びνｄ、Ｎ≧１．５７又はνｄ≦６２の硝材からなるレンズの枚数と光軸上の硝材厚みの総和をそれぞれＫｔ及びＧｔとすると、以下の条件式を満足している。
（数１２）
２  ≦  Ｋｔ  ≦  ５
（数１３）
０．０２０  ≦  Ｇｔ／Ｔｄ  ≦  ０．０５０
一般に、高屈折率の硝材ほど分散が大きくアッベ数が小さいため、高屈折率のガラス硝材は、特に色収差の補正に用いられることが多いが、一般に、高屈折率の硝材ほど透過率が低く光エネルギーに対する耐久性が低い。このため、光エネルギーの増大による光学性能への悪影響を抑制するためには、高屈折率でアッベ数の小さいガラス硝材の使用枚数と厚みを抑制することが有効である。
【００２２】
数式１２及び１３の上限は、露光光エネルギーによる耐久性の低い、高屈折率またはアッベ数の小さいガラス硝材の枚数と光学系全長に占める厚みの割合を規定している。即ち、数式１２及び１３は、上限を超えると光エネルギーによる悪影響を低減することが困難となる。また、数式１２及び１３は、加減を下回るとその他の収差（色収差など）を抑制して結像性能を維持することが困難になる。
【００２３】
また、投影光学系１００は、瞳（又は瞳位置Ｐ）の第１物体面側に配置されて前記瞳に最も近いレンズＬ４０３の第２物体面側の面と前記瞳との光軸上の距離をＰ１とすると、以下の条件式を満足している。
（数１４）
０．０１０  ≦  ｜Ｐ１／Ｔｄ｜  ≦  ０．０２
また、投影光学系１００は、瞳（又は瞳位置Ｐ）の第２物体面側に配置されて前記瞳に最も近いレンズＬ５０１の第１物体面側の面と前記瞳との光軸上の距離をＰ２とすると、以下の条件式を満足している。
（数１５）
０．０１４  ≦  ｜Ｐ２／Ｔｄ｜  ≦  ０．０３
数式１４及び１５は、それぞれ、下限を下回ると露光中に高照度となる投影光学系瞳近傍の開口絞りに隣接するガラス硝材が多大な影響を受け、光学性能を劣化させる要因となる。これは、露光中に高照度となる投影光学系１００の瞳近傍に配置される開口絞り５６と、開口絞り５６の位置に隣接するガラス硝材（Ｌ４０３、Ｌ５０１）との距離を十分に確保して光エネルギーの増大による結像性能の劣化を抑制する条件式である。即ち、数式１４及び１５の下限は、高照度となる位置を避けるようにレンズを配置するためのものである。また、数式１４及び１５は、それぞれ、上限を上回ると他の収差が発生して良好な結像性能を維持することが困難になる。
【００２４】
また、投影光学系１００は、瞳（又は瞳位置Ｐ）の第１物体面側又は第２物体面側に配置されて瞳に最も近いレンズを石英から構成し、光エネルギーの増大に伴う結像性能の劣化を抑制している。
【００２５】
また、投影光学系１００は、負の屈折力を有する第２レンズ群５２に、光エネルギーに対する耐久性が極めて高く、かつ屈折率の低い石英を少なくとも２枚採用している。これにより、光エネルギーの増大に伴う結像性能の劣化要因の中で、特に第２レンズ群５２での発生寄与が大きい、結像倍率変化、歪曲収差、像面湾曲、結像倍率の方向差（所謂、縦横倍率差）の発生量を効果的に抑制することができる。更に、負レンズに低屈折率の石英を用いることにより、投影光学系全系におけるペッツバール和の補正を容易にし、像面湾曲、及び非点収差を良好に補正している。
【００２６】
以下、投影光学系１００の具体的な数値実施例１の主要な構成緒元を表１、詳細な数値データを表２及び３、非球面の形状を示す非球面係数を表４に示す。表２及び３記載の屈折率は、ｉ線を光源とした基準波長λ＝３６５．０１８ｎｍに対する屈折率である。表２及び３記載のアッベ数は前記請求項記載のνｄの値であり、ｄ線（５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄ、Ｆ線（４８６．１ｎｍ）に対する屈折率をｎＦ、Ｃ線（６５６．３ｎｍ）に対する屈折率をｎＣとしたときに、以下の式で定義される。
（数１６）
νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）
また、非球面の形状は次式で与えられる。
（数１７）
Ｘ＝（Ｈ２／４）／（１＋（（１−（１＋ｋ）・（Ｈ／ｒ）２））１／２）＋ＡＨ４＋ＢＨ６＋ＣＨ８＋ＤＨ１０＋ＥＨ１２＋ＦＨ１４＋ＧＨ１６
ここに、Ｘはレンズ頂点から光軸方向への変位量、Ｈは光軸からの距離、ｒｉは曲率半径、ｋは円錐定数、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇは非球面係数である。
【００２７】
なお、Ｓ１及びＳ２の値を規定している空気換算距離とは、厚みを媒質の屈折率で割った値で定義される。
（表１）
（数値実施例1  主要な構成緒元）
NAO
0.1425
β
-0.25
Td
1119.942
|OB1max|
84.4
|OB2max|
21.1
|OB1max/Td|
0.0754
S1
110.203
S2
84.819
Dt
706.983
Dt/(NAO*|OBmax1|)
58.783
Dt/Td
0.6313
d1
111.927
d2
48.652
d3
162.150
d4
36.272
d5
347.977
（d1 + d2）/Td  
0.1434
（d1 + d2）/Dt  
0.2271
Kt
4
Gt
45.472
Gt/Td
0.0406
|P1/Td|
0.0118
|P2/Td|
0.0166
Pの前後に石英
1
第２群に石英
4
（表２）
（数値実施例1  詳細な数値データ）
レンズ番号
面番号
曲率半径
厚み
屈折率
第１物体面
0.0000000   
110.2031716   
1(air)
L101
1
447.8668980   
37.7784437   
1.50409
2
-309.1426644   
1.1000000   
1(air)
L102
3
157.0965977   
13.4000000   
1.57920
4
91.0451075   
0.0030000   
1.53574
L103
5
91.0451075   
31.6100551   
1.50409
6
121.1618617   
19.3264729   
1(air)
L104
7
228.9131469   
29.1383737   
1.50409
8
-470.4000458   
1.1000004   
1(air)
L201
9
233.6310011   
11.9559115   
1.47452
10
165.5423180   
19.3682323   
1(air)
L202
11
-631.7414047   
9.0000005   
1.47452
12
130.1259043   
34.0299310   
1(air)
L203
13
-132.0396171   
9.0000000   
1.47452
14
217.6654160   
37.3808976   
1(air)
L204
15
-100.4502474   
18.6961816   
1.47452
16
-1080.6145131   
1.1000000   
1(air)
L301
17
1488.9018409   
28.3050447   
1.50409
18
-237.6583044   
1.1233800   
1(air)
L302
19
12822.9548287   
44.1575309   
1.50409
20
-183.7975990   
4.8251209   
1(air)
L303
21
199.9450723   
46.8398006   
1.50409
22
-67276.8610527   
19.1907485   
1(air)
L304
23
176.0937292   
42.8475982   
1.50409
24
-7752.3714547   
1.1011558   
1(air)
L401
25
202.7335752   
18.0000000   
1.50409
26
173.2761859   
30.4999815   
1(air)
L402
27
-378.8441011   
9.2716801   
1.57920
28
139.7279110   
40.3076711   
1(air)
L403
29
-121.7187238   
9.0000001   
1.61928
30
513.3402050   
13.2604213   
1(air)
31(開口絞り）
0.0000000   
18.6238305   
1(air)
L501
32
-1147.0757612   
31.3754010   
1.47452
33
-174.7772333   
1.1055239   
1(air)
L502
34
2709.8317611   
34.8153341   
1.50409
35
-279.8568302   
2.2651871   
1(air)
L503
36
445.8994545   
45.9058753   
1.50409
37
-420.8241977   
1.1041785   
1(air)
L504
38
268.6059521   
52.2876100   
1.50409
39
-1103.4855522   
1.1000008   
1(air)
L505
40
225.3239226   
58.4827928   
1.50409
41
-282.9352714   
0.0030000   
1.53574
L506
42
-282.9352714   
13.8000000   
1.61928
43
115.7410190   
21.4202614   
1(air)
L507
44
206.6044302   
35.5238239   
1.50409
45
-2672.3409479   
1.1137700   
1(air)
L508
46
95.8457318   
75.7857685   
1.47452
47
244.9967531   
32.3088085   
1(air)
第２物体面
0.0000000   
0.0000000   
（表３）
（数値実施例1  詳細な数値データ）
レンズ番号
面番号
アッベ数
有効径
第１物体面
168.800
L101
1
70.2
205.966
2
206.273
L102
3
45.8
190.403
4
165.640
L103
5
70.2
165.638
6
160.395
L104
7
70.2
160.097
8
157.663
L201
9
67.8
144.796
10
134.961
L202
11
67.8
133.462
12
124.133
L203
13
67.8
124.099
14
133.530
L204
15
67.8
136.533
16
173.758
L301
17
70.2
185.000
18
193.416
L302
19
70.2
210.024
20
215.477
L303
21
70.2
234.522
22
231.751
L304
23
70.2
206.170
24
199.244
L401
25
70.2
171.594
26
151.973
L402
27
45.8
147.886
28
132.741
L403
29
40.8
132.491
30
148.336
31(開口絞り）
156.263
L501
32
67.8
179.038
33
187.822
L502
34
70.2
222.395
35
227.818
L503
36
70.2
251.876
37
253.010
L504
38
70.2
247.418
39
241.120
L505
40
70.2
215.115
41
204.917
L506
42
40.8
204.914
43
159.592
L507
44
70.2
159.155
45
152.735
L508
46
67.8
134.158
47
82.435
第２物体面
42.200
（表４）
（数値実施例1  非球面係数）
面番号
k
A
B
C
11
-4.9690E-01
8.5712E-08
-8.3082E-12
7.1032E-16
13
-8.0180E-01
-3.9988E-08
1.6168E-11
2.2252E-18
15
-6.0931E-01
5.6285E-08
-1.0592E-12
-1.5621E-16
18
-1.0000E+00
6.0230E-08
-4.3217E-13
-3.8923E-17
27
1.0000E+00
-1.1081E-07
4.2795E-12
2.5688E-16
38
-8.8881E-01
5.7020E-09
-8.7700E-14
-1.8724E-18
44
8.7063E-01
1.8374E-08
1.1067E-12
7.4620E-17
面番号
D
E
F
G
11
-7.4874E-20
2.5721E-23
-4.3833E-27
3.7647E-31
13
-3.7871E-19
8.2575E-23
-1.0300E-26
7.3665E-31
15
5.8882E-20
-1.6081E-24
5.8141E-28
6.6365E-33
18
4.2800E-22
6.8286E-26
-1.1941E-29
5.4078E-34
27
-1.0341E-20
-1.4786E-24
1.0721E-28
-1.0860E-33
38
2.5970E-23
-2.5480E-27
1.5248E-31
-3.4605E-36
44
3.5731E-23
1.7337E-24
-2.1914E-28
1.6478E-32
数値実施例１の投影光学系１００は、表１に示すように、数式１〜１５の条件式を全て満足し、表２及び３に示すように、第２レンズ群５２のレンズＬ２０１〜Ｌ２０４の硝材に石英を使用している。また、数値実施例１の投影光学系１００は、開口絞り５６に隣接するレンズＬ５０１の硝材に石英を使用し、第２物体面Ｉに最も近いレンズＬ５０８の硝材に石英を使用している。
【００２８】
次に、数値実施例１の投影光学系１００の結像性能について詳細に説明する。図２は、数値実施例１の投影光学系１００の縦収差及び歪曲収差（ディストーション）を示している。図３は、その子午方向（タンジェンシャル方向）及び球欠方向（サジタル方向）における横収差（コマ収差）を示している。各収差図中において、像高は第２物体面における像高を示している。非点収差図中において、点線は子午像面（タンジェンシャル像面）、実線は球欠像面（サジタル像面）を示している。なお、球面収差は実線が基準波長のｉ線（３６５．０１５ｎｍ）、一点鎖線が基準波長に対し＋３ｎｍ（３６８．０１５ｎｍ）、二点鎖線が基準波長に対し−３ｎｍ（３６２．０１５ｎｍ）の収差を示している。横収差（コマ収差）についても同様に、実線が基準波長のｉ線（３６５．０１５ｎｍ）、一点鎖線が基準波長に対し＋３ｎｍ（３６８．０１５ｎｍ）、二点鎖線が基準波長に対し−３ｎｍ（３６２．０１５ｎｍ）の収差を示している。
【００２９】
図２及び図３から明らかなように、数値実施例１の投影光学系１００は、広い露光領域全域において、球面収差、非点収差、歪曲収差、コマ収差が良好に補正されている。また、数値実施例１の投影光学系１００は、色収差も含めた収差も露光領域全域においてバランス良く良好に補正されている。
【実施例２】
【００３０】
以下、実施例２の投影光学系１１０について説明する。投影光学系１１０は、第１物体面（物体面）Ｏに配置された原版のパターンを第２物体面（像面）Ｉに配置された基板に投影する屈折光学系である。投影光学系１１０は、アッベ数νｄ≦６２のレンズを含む複数種類の異なる硝材からなる複数のレンズを有する。
【００３１】
投影光学系１１０は、第１物体面Ｏから光路に沿って順に第１レンズ群６１、第２レンズ群６２、第３レンズ群６３、第４レンズ群６４及び第５レンズ群６５を有する。なお、投影光学系１１０は、収差補正用の光学系をこれらのレンズ群の間に更に有する場合がある。その場合には、収差補正用の光学系を除いて、第１レンズ群６１から第５レンズ群６５が存在すればよい。また、後述する条件式は、収差補正用の光学系が含まれていても成立する。
【００３２】
第１レンズ群６１は、レンズＬ１１１〜Ｌ１１４から構成され、正の屈折力を有する。第２レンズ群６２は、レンズＬ２１１〜Ｌ２１４から構成され、負の屈折力を有する。第３レンズ群６３は、レンズＬ３１１〜Ｌ３１４から構成され、正の屈折力を有する。第４レンズ群６４は、レンズＬ４１１〜Ｌ４１３から構成され、負の屈折力を有する。第５レンズ群６５は、レンズＬ５１１〜Ｌ５１８から構成され、正の屈折力を有する。第４レンズ群６４と第５レンズ群６５の間の光軸ＯＡ上の瞳位置Ｐに、開口絞り６６が構成されている。なお、レンズＬ１１２とレンズＬ１１３、また、レンズＬ５１５とレンズＬ５１６はそれぞれ接着剤を介して接合されている。
【００３３】
また、レンズＬ２１２の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ１となっている。レンズＬ２１３の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ２となっている。レンズＬ２１４の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ３となっている。レンズＬ３１１の第２物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ４となっている。レンズＬ４１２の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ５となっている。レンズＬ５１４の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ６となっている。レンズＬ５１７の第１物体面側のレンズ面は非球面ＡＳＰ７となっている。
【００３４】
そして、投影光学系１１０は、第１物体面側と第２物体面側の両方においてテレセントリックな光学系となっている。また、投影光学系１１０は数式１〜１５の条件式を満足している。
【００３５】
以下、投影光学系１１０の具体的な数値実施例２の主要な構成緒元を表５、詳細な数値データを表６及び７、非球面の形状を示す非球面係数を表８に示す。各緒元、数値の定義は数値実施例１と同様である。
（表５）
（数値実施例2  主要な構成緒元）
NAO
0.1425
β
-0.25
Td
1119.942
|OB1max|
84.4
|OB2max|
21.1
|OB1max/Td|
0.0754
S1
112.629
S2
84.929
Dt
704.133
Dt/(NAO*|OBmax1|)
58.546
Dt/Td
0.6287
d1
111.478
d2
48.777
d3
162.501
d4
36.360
d5
345.017
（d1 + d2）/Td  
0.1431
（d1 + d2）/Dt  
0.2276
Kt
4
Gt
45.560
Gt/Td
0.0407
|P1/Td|
0.0124
|P2/Td|
0.0141
Pの前後に石英
1
第２群に石英
2
（表６）
（数値実施例2  詳細な数値データ）
レンズ番号
面番号
曲率半径
厚み
屈折率
第１物体面
0.0000000   
112.6286711   
1(air)
L111
1
473.1564801   
37.4146228   
1.50409
2
-305.2791755   
1.1000000   
1(air)
L112
3
150.1461007   
13.4000000   
1.57920
4
90.1537197   
0.0030000   
1.53574
L113
5
90.1537197   
32.1166346   
1.50409
6
118.4568117   
20.2841344   
1(air)
L114
7
230.4911172   
28.5466724   
1.50409
8
-487.5028178   
1.1000000   
1(air)
L211
9
216.8064522   
11.5448368   
1.50409
10
157.6189962   
20.3613324   
1(air)
L212
11
-569.4887667   
9.0000000   
1.47452
12
128.1127826   
33.1255947   
1(air)
L213
13
-138.2109597   
9.0223326   
1.47452
14
217.7691238   
36.6466736   
1(air)
L214
15
-100.4414988   
19.2099276   
1.50409
16
-1097.0211571   
1.1000000   
1(air)
L311
17
1447.7914443   
28.4224653   
1.50409
18
-238.0079946   
1.1000000   
1(air)
L312
19
22112.0146345   
44.0579919   
1.50409
20
-182.0752303   
1.1355419   
1(air)
L313
21
200.4306189   
47.3873418   
1.50409
22
-8252.9740601   
16.7216123   
1(air)
L314
23
179.1812425   
42.6333442   
1.50409
24
-7807.2882207   
1.1000000   
1(air)
L411
25
211.5040325   
18.0000000   
1.50409
26
180.3904721   
30.8226252   
1(air)
L412
27
-374.8712584   
9.3577116   
1.57920
28
140.5101032   
42.0364529   
1(air)
L413
29
-121.6921706   
9.0019010   
1.61928
30
607.8962086   
13.8695625   
1(air)
31(開口絞り）
0.0000000   
15.7529775   
1(air)
L511
32
-1102.9938097   
32.5667697   
1.47452
33
-172.8782345   
1.1612406   
1(air)
L512
34
3301.5837592   
35.5078733   
1.50409
35
-271.2074827   
1.2158651   
1(air)
L513
36
474.3357677   
42.6690868   
1.50409
37
-473.5621078   
1.1000000   
1(air)
L514
38
259.1614066   
57.6048035   
1.50409
39
-873.3585395   
1.1000000   
1(air)
L515
40
228.3390186   
57.7150179   
1.50409
41
-296.0889856   
0.0030000   
1.53574
L516
42
-296.0889856   
13.8000000   
1.61928
43
115.0909129   
24.1953264   
1(air)
L517
44
206.7236431   
36.1699415   
1.50409
45
-2197.0490704   
1.1000019   
1(air)
L518
46
95.6510628   
68.9838054   
1.47452
47
242.9029784   
37.0453074   
1(air)
第２物体面
0.0000000   
0.0000000   
（表７）
（数値実施例2  詳細な数値データ）
レンズ番号
面番号
アッベ数
有効径
第１物体面
168.800
L111
1
70.2
206.226
2
206.593
L112
3
45.8
190.367
4
165.301
L113
5
70.2
165.300
6
159.686
L114
7
70.2
159.308
8
156.802
L211
9
70.2
143.495
10
133.753
L212
11
67.8
132.199
12
122.913
L213
13
67.8
122.927
14
131.994
L214
15
70.2
134.945
16
172.224
L311
17
70.2
183.641
18
192.394
L312
19
70.2
209.054
20
214.640
L313
21
70.2
234.200
22
231.527
L314
23
70.2
207.319
24
200.440
L411
25
70.2
173.807
26
154.440
L412
27
45.8
150.456
28
135.580
L413
29
40.8
135.515
30
152.808
31(開口絞り）
162.486
L511
32
67.8
180.375
33
189.388
L512
34
70.2
224.732
35
230.027
L513
36
70.2
253.404
37
254.564
L514
38
70.2
251.439
39
244.946
L515
40
70.2
216.778
41
206.657
L516
42
40.8
206.654
43
160.497
L517
44
70.2
159.925
45
153.375
L518
46
67.8
134.188
47
88.252
第２物体面
42.200
（表８）
（数値実施例2  非球面係数）
面番号
k
A
B
C
11
0.97034155
8.31E-08
-8.35E-12
7.16E-16
13
-0.73157715
-4.43E-08
1.63E-11
1.92E-16
15
-0.60280803
5.53E-08
-1.16E-12
-2.18E-16
18
-0.99536247
6.02E-08
-4.04E-13
-4.42E-17
27
0.953340762
-1.11E-07
4.08E-12
2.42E-16
38
-0.88100557
5.77E-09
-8.83E-14
-1.72E-18
44
0.875533337
1.85E-08
1.15E-12
7.13E-17
面番号
D
E
F
G
11
-6.80E-20
2.61E-23
-4.30E-27
3.95E-31
13
-3.93E-19
7.21E-23
-9.11E-27
6.18E-31
15
5.68E-20
-9.21E-25
8.71E-28
5.09E-33
18
5.71E-22
1.40E-25
-1.91E-29
7.21E-34
27
-9.78E-21
-1.18E-24
8.96E-29
-1.63E-33
38
5.20E-23
-5.26E-27
3.10E-31
-6.45E-36
44
6.16E-22
1.94E-24
-2.60E-28
1.87E-32
数値実施例２の投影光学系１１０は、表５に示すように、数式１〜１５の条件式を全て満足し、表６及び７に示すように、第２レンズ群６２のレンズＬ２１２及びＬ２１３の硝材に石英を使用している。また、数値実施例２の投影光学系１１０は、開口絞り６６に隣接するレンズＬ５１１の硝材に石英を使用し、第２物体面Ｉに最も近いレンズＬ５１８の硝材に石英を使用している。
【００３６】
次に、数値実施例２の投影光学系１１０の結像性能について詳細に説明する。図５は、数値実施例２の投影光学系１１０の縦収差及び歪曲収差（ディストーション）を示している。また、図６は、その子午方向（タンジェンシャル方向）及び球欠方向（サジタル方向）における横収差（コマ収差）を示している。図５及び図６における表記の定義は数値実施例１と同様である。
【００３７】
図５及び図６から明らかなように、数値実施例２の投影光学系１１０は、広い露光領域全域において、球面収差、非点収差、歪曲収差、コマ収差が良好に補正されている。また、数値実施例２の投影光学系１１０は、色収差も含めた収差も露光領域全域においてバランス良く良好に補正されている。
【００３８】
以上説明したように、投影光学系１００及び１１０は、レンズ硝材の光吸収による結像性能の悪化を抑制し、かつ広い露光領域と十分大きな開口数を確保して小型化を維持し、更に色収差も含めた諸収差を極めて良好に補正している。
【００３９】
以下、投影光学系１００又は１１０を有する露光装置について説明する。図７は露光装置のブロック図である。露光装置は、ステップアンドスキャン方式の露光装置（スキャナー）であるが、ステップアンドリピート方式の露光装置（ステッパー）にも適用可能である。露光装置は、光源１からの光を利用してマスク又はレチクルなどの原版１２を照明光学系で照明して投影光学系１３を介してウエハや液晶基板などの基板１４に投影する投影露光装置である。
【００４０】
光源１は、ｉ線の水銀ランプである。２は光源１からの光を集光するミラーであり、光源１とミラー２はランプハウスＡに収納されている。３は透明な平行平板であり、ランプハウスＡ内部と露光装置のほかの部分を空間的に分離する。
【００４１】
照明光学系は、内面反射部材５、リレーレンズ６、バンドパスフィルタ７、ハエの目レンズ８、コンデンサーレンズ９、マスキングブレード１０、リレーレンズ１１を有する。内面反射部材５は内面反射によって射出面において均一な光源分布を形成する。リレーレンズ６、１１は光束を折り曲げる。バンドパスフィルタ７は目的の波長の光を切り出す。ハエの目レンズ８は原版１２を均一に照明するための複数の二次光源を形成する。マスキングブレード１０は原版１２における照明領域を規定する。コンデンサーレンズ９はハエの目レンズ８によって波面分割された光を重畳した光強度分布をマスキングブレード１０に形成する。
【００４２】
投影光学系１３に投影光学系１００又は１１０を適用することができる。第１物体面Ｏには原版１２が配置され、第２物体面Ｉには基板１４が配置される。
【００４３】
基板１４は基板ステージ１５によって駆動される。
【００４４】
露光において、投影光学系１３は、光源１の出力を上げても広い露光領域で結像性能を維持するのでスループットが向上する。
【００４５】
デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）の製造方法は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板（ウエハ、ガラスプレート等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】実施例１の投影光学系の光路図である。
【図２】実施例１の投影光学系の縦収差図である。
【図３】実施例１の投影光学系の横収差図である。
【図４】実施例２の投影光学系の光路図である。
【図５】実施例２の投影光学系の縦収差図である。
【図６】実施例２の投影光学系の横収差図である。
【図７】実施例１又は実施例２の投影光学系を搭載可能な露光装置の光路図である。
【符号の説明】
【００４７】
１２              原版
１３、１００、１１０    投影光学系
１４              基板
５１、６１        第１レンズ群
５２、６２        第２レンズ群
５３、６３        第３レンズ群
５４、６４        第４レンズ群
５５、６５        第５レンズ群
【図１】
2010091751.tif 000003
【図２】
2010091751.tif 000004
【図３】
2010091751.tif 000005
【図４】
2010091751.tif 000006
【図５】
2010091751.tif 000007
【図６】
2010091751.tif 000008
【図７】
2010091751.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月9日(2009.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
なお、Ｓ１及びＳ２の値を規定している空気換算距離とは、厚みを媒質の屈折率で割った値で定義される。
（表１）
（数値実施例1  主要な構成緒元）
NAO                    0.1425
β                     -0.25
Td                     1119.942
|OB1max|               84.4
|OB2max|               21.1
|OB1max/Td|            0.0754
S1                     110.203
S2                     84.819
Dt                     706.983
Dt/(NAO*|OBmax1|)      58.783
Dt/Td                  0.6313
d1                     111.927
d2                     48.652
d3                     162.150
d4                     36.272
d5                     347.977
（d1 + d2）/Td         0.1434
（d1 + d2）/Dt         0.2271
Kt                     4
Gt                     45.472
Gt/Td                  0.0406
|P1/Td|                0.0118
|P2/Td|                0.0166
Pの前後に石英          1
第２群に石英           4
（表２）
（数値実施例1  詳細な数値データ）
レンズ番号    面番号         曲率半径         厚み          屈折率
第１物体面     0.0000000        110.2031716   1(air)
L101          1              447.8668980      37.7784437    1.50409
2              -309.1426644     1.1000000     1(air)
L102          3              157.0965977      13.4000000    1.57920
4              91.0451075       0.0030000     1.53574
L103          5              91.0451075       31.6100551    1.50409
6              121.1618617      19.3264729    1(air)
L104          7              228.9131469      29.1383737    1.50409
8              -470.4000458     1.1000004     1(air)
L201          9              233.6310011      11.9559115    1.47452
10             165.5423180      19.3682323    1(air)
L202          11             -631.7414047     9.0000005     1.47452
12             130.1259043      34.0299310    1(air)
L203          13             -132.0396171     9.0000000     1.47452
14             217.6654160      37.3808976    1(air)
L204          15             -100.4502474     18.6961816    1.47452
16             -1080.6145131    1.1000000     1(air)
L301          17             1488.9018409     28.3050447    1.50409
18             -237.6583044     1.1233800     1(air)
L302          19             12822.9548287    44.1575309    1.50409
20             -183.7975990     4.8251209     1(air)
L303          21             199.9450723      46.8398006    1.50409
22             -67276.8610527   19.1907485    1(air)
L304          23             176.0937292      42.8475982    1.50409
24             -7752.3714547    1.1011558     1(air)
L401          25             202.7335752      18.0000000    1.50409
26             173.2761859      30.4999815    1(air)
L402          27             -378.8441011     9.2716801     1.57920
28             139.7279110      40.3076711    1(air)
L403          29             -121.7187238     9.0000001     1.61928
30             513.3402050      13.2604213    1(air)
31(開口絞り)   0.0000000        18.6238305    1(air)
L501          32             -1147.0757612    31.3754010    1.47452
33             -174.7772333     1.1055239     1(air)
L502          34             2709.8317611     34.8153341    1.50409
35             -279.8568302     2.2651871     1(air)
L503          36             445.8994545      45.9058753    1.50409
37             -420.8241977     1.1041785     1(air)
L504          38             268.6059521      52.2876100    1.50409
39             -1103.4855522    1.1000008     1(air)
L505          40             225.3239226      58.4827928    1.50409
41             -282.9352714     0.0030000     1.53574
L506          42             -282.9352714     13.8000000    1.61928
43             115.7410190      21.4202614    1(air)
L507          44             206.6044302      35.5238239    1.50409
45             -2672.3409479    1.1137700     1(air)
L508          46             95.8457318       75.7857685    1.47452
47             244.9967531      32.3088085    1(air)
第２物体面     0.0000000        0.0000000
（表３）
（数値実施例1  詳細な数値データ）           
レンズ番号    面番号         アッベ数      有効径
第１物体面                   168.800
L101          1              70.2          205.966
2                            206.273
L102          3              45.8          190.403
4                            165.640
L103          5              70.2          165.638
6                            160.395
L104          7              70.2          160.097
8                            157.663
L201          9              67.8          144.796
10                           134.961
L202          11             67.8          133.462
12                           124.133
L203          13             67.8          124.099
14                           133.530
L204          15             67.8          136.533
16                           173.758
L301          17             70.2          185.000
18                           193.416
L302          19             70.2          210.024
20                           215.477
L303          21             70.2          234.522
22                           231.751
L304          23             70.2          206.170
24                           199.244
L401          25             70.2          171.594
26                           151.973
L402          27             45.8          147.886
28                           132.741
L403          29             40.8          132.491
30                           148.336
31(開口絞り)                 156.263
L501          32             67.8          179.038
33                           187.822
L502          34             70.2          222.395
35                           227.818
L503          36             70.2          251.876
37                           253.010
L504          38             70.2          247.418
39                           241.120
L505          40             70.2          215.115
41                           204.917
L506          42             40.8          204.914
43                           159.592
L507          44             70.2          159.155
45                           152.735
L508          46             67.8          134.158
47                           82.435
第２物体面                   42.200
（表４）
（数値実施例1  非球面係数）
面番号  k              A              B              C
11      -4.9690E-01    8.5712E-08     -8.3082E-12    7.1032E-16
13      -8.0180E-01    -3.9988E-08    1.6168E-11     2.2252E-18
15      -6.0931E-01    5.6285E-08     -1.0592E-12    -1.5621E-16
18      -1.0000E+00    6.0230E-08     -4.3217E-13    -3.8923E-17
27      1.0000E+00     -1.1081E-07    4.2795E-12     2.5688E-16
38      -8.8881E-01    5.7020E-09     -8.7700E-14    -1.8724E-18
44      8.7063E-01     1.8374E-08     1.1067E-12     7.4620E-17
面番号  D              E              F              G
11      -7.4874E-20    2.5721E-23     -4.3833E-27    3.7647E-31
13      -3.7871E-19    8.2575E-23     -1.0300E-26    7.3665E-31
15      5.8882E-20     -1.6081E-24    5.8141E-28     6.6365E-33
18      4.2800E-22     6.8286E-26     -1.1941E-29    5.4078E-34
27      -1.0341E-20    -1.4786E-24    1.0721E-28     -1.0860E-33
38      2.5970E-23     -2.5480E-27    1.5248E-31     -3.4605E-36
44      3.5731E-23     1.7337E-24     -2.1914E-28    1.6478E-32
数値実施例１の投影光学系１００は、表１に示すように、数式１〜１５の条件式を全て満足し、表２及び３に示すように、第２レンズ群５２のレンズＬ２０１〜Ｌ２０４の硝材に石英を使用している。また、数値実施例１の投影光学系１００は、開口絞り５６に隣接するレンズＬ５０１の硝材に石英を使用し、第２物体面Ｉに最も近いレンズＬ５０８の硝材に石英を使用している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
以下、投影光学系１１０の具体的な数値実施例２の主要な構成緒元を表５、詳細な数値データを表６及び７、非球面の形状を示す非球面係数を表８に示す。各緒元、数値の定義は数値実施例１と同様である。
（表５）
（数値実施例2  主要な構成緒元）
NAO                   0.1425
β                    -0.25
Td                    1119.942
|OB1max|              84.4
|OB2max|              21.1
|OB1max/Td|           0.0754
S1                    112.629
S2                    84.929
Dt                    704.133
Dt/(NAO*|OBmax1|)     58.546
Dt/Td                 0.6287
d1                    111.478
d2                    48.777
d3                    162.501
d4                    36.360
d5                    345.017
（d1 + d2）/Td        0.1431
（d1 + d2）/Dt        0.2276
Kt                    4
Gt                    45.560
Gt/Td                 0.0407
|P1/Td|               0.0124
|P2/Td|               0.0141
Pの前後に石英         1
第２群に石英          2
（表６）
（数値実施例2  詳細な数値データ）                  
レンズ番号    面番号         曲率半径        厚み          屈折率
第１物体面     0.0000000       112.6286711   1(air)
L111          1              473.1564801     37.4146228    1.50409
2              -305.2791755    1.1000000     1(air)
L112          3              150.1461007     13.4000000    1.57920
4              90.1537197      0.0030000     1.53574
L113          5              90.1537197      32.1166346    1.50409
6              118.4568117     20.2841344    1(air)
L114          7              230.4911172     28.5466724    1.50409
8              -487.5028178    1.1000000     1(air)
L211          9              216.8064522     11.5448368    1.50409
10             157.6189962     20.3613324    1(air)
L212          11             -569.4887667    9.0000000     1.47452
12             128.1127826     33.1255947    1(air)
L213          13             -138.2109597    9.0223326     1.47452
14             217.7691238     36.6466736    1(air)
L214          15             -100.4414988    19.2099276    1.50409
16             -1097.0211571   1.1000000     1(air)
L311          17             1447.7914443    28.4224653    1.50409
18             -238.0079946    1.1000000     1(air)
L312          19             22112.0146345   44.0579919    1.50409
20             -182.0752303    1.1355419     1(air)
L313          21             200.4306189     47.3873418    1.50409
22             -8252.9740601   16.7216123    1(air)
L314          23             179.1812425     42.6333442    1.50409
24             -7807.2882207   1.1000000     1(air)
L411          25             211.5040325     18.0000000    1.50409
26             180.3904721     30.8226252    1(air)
L412          27             -374.8712584    9.3577116     1.57920
28             140.5101032     42.0364529    1(air)
L413          29             -121.6921706    9.0019010     1.61928
30             607.8962086     13.8695625    1(air)
31(開口絞り)   0.0000000       15.7529775    1(air)
L511          32             -1102.9938097   32.5667697    1.47452
33             -172.8782345    1.1612406     1(air)
L512          34             3301.5837592    35.5078733    1.50409
35             -271.2074827    1.2158651     1(air)
L513          36             474.3357677     42.6690868    1.50409
37             -473.5621078    1.1000000     1(air)
L514          38             259.1614066     57.6048035    1.50409
39             -873.3585395    1.1000000     1(air)
L515          40             228.3390186     57.7150179    1.50409
41             -296.0889856    0.0030000     1.53574
L516          42             -296.0889856    13.8000000    1.61928
43             115.0909129     24.1953264    1(air)
L517          44             206.7236431     36.1699415    1.50409
45             -2197.0490704   1.1000019     1(air)
L518          46             95.6510628      68.9838054    1.47452
47             242.9029784     37.0453074    1(air)
第２物体面     0.0000000       0.0000000            
（表７）
（数値実施例2  詳細な数値データ）
レンズ番号    面番号         アッベ数      有効径
第１物体面                   168.800
L111          1              70.2          206.226
2                            206.593
L112          3              45.8          190.367
4                            165.301
L113          5              70.2          165.300
6                            159.686
L114          7              70.2          159.308
8                            156.802
L211          9              70.2          143.495
10                           133.753
L212          11             67.8          132.199
12                           122.913
L213          13             67.8          122.927
14                           131.994
L214          15             70.2          134.945
16                           172.224
L311          17             70.2          183.641
18                           192.394
L312          19             70.2          209.054
20                           214.640
L313          21             70.2          234.200
22                           231.527
L314          23             70.2          207.319
24                           200.440
L411          25             70.2          173.807
26                           154.440
L412          27             45.8          150.456
28                           135.580
L413          29             40.8          135.515
30                           152.808
31(開口絞り)                 162.486
L511          32             67.8          180.375
33                           189.388
L512          34             70.2          224.732
35                           230.027
L513          36             70.2          253.404
37                           254.564
L514          38             70.2          251.439
39                           244.946
L515          40             70.2          216.778
41                           206.657
L516          42             40.8          206.654
43                           160.497
L517          44             70.2          159.925
45                           153.375
L518          46             67.8          134.188
47                           88.252
第２物体面                   42.200
（表８）
（数値実施例2  非球面係数）        
面番号  k              A              B              C
11      0.97034155     8.31E-08       -8.35E-12      7.16E-16
13      -0.73157715    -4.43E-08      1.63E-11       1.92E-16
15      -0.60280803    5.53E-08       -1.16E-12      -2.18E-16
18      -0.99536247    6.02E-08       -4.04E-13      -4.42E-17
27      0.953340762    -1.11E-07      4.08E-12       2.42E-16
38      -0.88100557    5.77E-09       -8.83E-14      -1.72E-18
44      0.875533337    1.85E-08       1.15E-12       7.13E-17
面番号  D              E              F              G
11      -6.80E-20      2.61E-23       -4.30E-27      3.95E-31
13      -3.93E-19      7.21E-23       -9.11E-27      6.18E-31
15      5.68E-20       -9.21E-25      8.71E-28       5.09E-33
18      5.71E-22       1.40E-25       -1.91E-29      7.21E-34
27      -9.78E-21      -1.18E-24      8.96E-29       -1.63E-33
38      5.20E-23       -5.26E-27      3.10E-31       -6.45E-36
44      6.16E-22       1.94E-24       -2.60E-28      1.87E-32
数値実施例２の投影光学系１１０は、表５に示すように、数式１〜１５の条件式を全て満足し、表６及び７に示すように、第２レンズ群６２のレンズＬ２１２及びＬ２１３の硝材に石英を使用している。また、数値実施例２の投影光学系１１０は、開口絞り６６に隣接するレンズＬ５１１の硝材に石英を使用し、第２物体面Ｉに最も近いレンズＬ５１８の硝材に石英を使用している。