(57)【要約】【課題】ＶＯＣを連続的に処理する脱臭装置では、排気ダクトの静圧を計測してＶＯＣ含有ガスの処理量を決めるので、排気ダクトの静圧は重要な観測値となる。そのため静圧調整装置は２重化され安全が図られているが、双方の静圧調節器が故障した場合は、正確でない静圧に基づいて脱臭装置が運転されるおそれがあり、製造装置の連続運転と安全性を担保できなくなる。【解決手段】静圧調節器（１２）からの異常信号Ｓｓを受信した制御装置（１０）は、送風ファン（１６、１８）およびダンパ（３０〜３５）を適宜操作し、予め決められた固定運転状態に設定する。【選択図】図１
2010169340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性化合物含有ガスを排気する排気ダクトと、
前記排気ダクトに設けられ、前記排気ダクトの静圧の情報と自己診断機能による異常信号を出力する２重化された静圧調節器と、
前記静圧調節器の下流に設けられた送風ファンと、
前記送風ファンに接続された脱臭手段と、
前記異常信号を受信した際には、前記送風ファンを固定運転するように制御する制御装置を有する脱臭装置。
【請求項２】
前記送風ファンは前記排気ダクトから前記脱臭手段に前記揮発性化合物含有ガスを送る主送風ファンと、前記排気ダクトから大気中に前記揮発性化合物含有ガスを放出する予備送風ファンを有し、
前記制御装置は、前記主送風ファンと前記予備送風ファンのどちらをも、固定出力で運転するように制御する請求項１に記載された脱臭装置。
【請求項３】
前記送風ファンは前記排気ダクトから前記脱臭手段に前記揮発性化合物含有ガスを送る主送風ファンと、前記排気ダクトから大気中に前記揮発性化合物含有ガスを放出する予備送風ファンを有し、
前記制御装置は、前記主送風ファンと前記予備送風ファンのうち、前記異常信号を受信した際に運転していた方の送風ファンを検出し、前記検出された送風ファンを固定出力で運転するように制御する請求項１に記載された脱臭装置。
【請求項４】
前記送風ファンは前記排気ダクトから前記脱臭手段に前記揮発性化合物含有ガスを送る主送風ファンと、前記排気ダクトから大気中に前記揮発性化合物含有ガスを放出する予備送風ファンを有し、
前記制御装置は、前記異常信号を受信した際に運転していた方の送風ファンの運転状態を維持するように制御する請求項１に記載された脱臭装置。
【請求項５】
前記固定出力は、前記送風ファンの運転履歴による制御パラメータの一定時間における加重平均である請求項２乃至４に記載された脱臭装置。
【請求項６】
静圧調節器による静圧に基づき、主送風ファンと、前記主送風ファンに連結された脱臭手段と、大気放出口に接続された予備送風ファンを制御装置で運転する脱臭装置の運転方法であって、
前記静圧調節器の故障信号を受信する工程と、
前記主送風ファンと前記予備送風ファンを固定運転する工程を有する脱臭装置の安全運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は揮発性有機化合物の脱臭装置に関するものである。本発明は、特に揮発ガス発生源から脱臭手段への送風路と、大気への放出路の２系統の未処理ガスの経路を有し、それぞれの経路の送風ファンの静圧を制御する静圧調節器が２重化されている脱臭装置およびその安全運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機溶媒は、溶解度が高く、沸点も低い物が多いので、塗料用の溶剤や洗浄液として広く利用されている。しかし、有機溶媒は分子構造が生体物質に似た構造の物も多く、そのまま吸引すると人体に影響が及ぶ場合もある。特に揮発性の高いものについては、揮発性有機化合物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ：以下「ＶＯＣ」と呼ぶ）と呼ばれる。ＶＯＣは、難分解性であることが多いため浸透して土壌や地下水を汚染したり、大気中に放出されると光化学反応によってオキシダントやＳＰＭ（浮遊粒子状物質）の発生源として関与していると考えられ、ＶＯＣを原因とする大気汚染での人体や環境に及ぼす影響が懸念される。
【０００３】
そこで、燃焼処理、触媒処理、微生物処理といった方法で、ＶＯＣを分解処理して大気に排出することが行われている。すなわち、有機溶媒の使用および使用によって生じたＶＯＣの分解処理は、ＶＯＣの種類、濃度、発生量などに応じて処理方法が選択されている。
【０００４】
特に大量のＶＯＣを分解処理する場合は、燃焼による処理が素早く分解できる点で好ましい。しかし、燃焼による分解処理では、７００℃乃至９００℃の温度を維持する必要があるので、ランニングコストがかかるという問題もある。
【０００５】
特許文献１には、これを解決する方法として、蓄熱式の燃焼処理装置が開示されている。この燃焼処理装置は、燃焼後の高熱のガスで蓄熱室を過熱し、未処理のガスをこの蓄熱室を通過させる。そこで、燃焼後のガスから未処理ガスへ熱交換を行い、未処理ガスの燃焼効率を高める。
【０００６】
有機溶媒を多量に連続して使用する製造工場においては、製造装置で発生するＶＯＣの分解処理システムも大規模になる。すると、分解処理システムが静圧調節器などの故障によって制御不能になると、ＶＯＣを発生する製造装置にも影響があり、製造装置をできるだけ停止しないように、安全に運転継続できる施策が必要となる。
【０００７】
このような場合、プロセス制御の二重化を行うことで安全性を高める方法は良く知られている。特許文献２には、処理装置を二重化し、両方の処理装置になんらかの故障が発生した場合は、人手に制御を返すシステムが開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１６１４２４号公報
【特許文献２】特許第３３０３１０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献２の技術を特許文献１の燃焼処理装置に適用した場合、安全性の高い自動運転脱臭装置を得ることが可能となる。しかし、２４時間の自動運転を継続するような製造装置に設置されるＶＯＣの燃焼処理装置の場合は、二重化したプロセス制御が故障したときに、制御が人手に渡るだけでは緊急事態に即応できるとは限らないという課題があり、よ
り信頼性の高いＶＯＣの脱臭装置およびその安全運転方法が要求されている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑み想到されたものであり、ＶＯＣの処理装置若しくは処理システムにおいて、二重化したプロセス制御が故障した場合に、人手に頼ることなく信頼性を高めて自動的に運転制御できる脱臭装置およびその安全運転方法を提供するものである。
【００１０】
すなわち、本発明は、
揮発性化合物含有ガスを排気する排気ダクトと、
前記排気ダクトに設けられ、前記排気ダクトの静圧の情報と自己診断機能による異常信号を出力する２重化された静圧調節器と、
前記静圧調節器の下流に設けられた少なくとも１つの送風ファンと、
前記主送風ファンに接続された脱臭手段と、
前記異常信号を受信した際には、前記送風ファンを固定運転するように制御する制御装置を有する脱臭装置を提供する。
【００１１】
また本発明の脱臭装置では、
前記送風ファンは前記排気ダクトから前記脱臭手段に前記揮発性化合物含有ガスを送る主送風ファンと、前記排気ダクトから大気中に前記揮発性化合物含有ガスを放出する予備送風ファンを有し、
前記制御装置は、前記主送風ファンと前記予備送風ファンのどちらをも、固定出力で運転するように制御する脱臭装置を提供する。
【００１２】
また、本発明の脱臭装置では、
前記送風ファンは前記排気ダクトから前記脱臭手段に前記揮発性化合物含有ガスを送る主送風ファンと、前記排気ダクトから大気中に前記揮発性化合物含有ガスを放出する予備送風ファンを有し、
前記制御装置は、前記主送風ファンと前記予備送風ファンのうち、前記異常信号を受信した際に運転していた方の送風ファンを検出し、前記検出された送風ファンを固定出力で運転するように制御する脱臭装置も提供する。
【００１３】
また、本発明の脱臭装置では、
前記送風ファンは前記排気ダクトから前記脱臭手段に前記揮発性化合物含有ガスを送る主送風ファンと、前記排気ダクトから大気中に前記揮発性化合物含有ガスを放出する予備送風ファンを有し、
前記制御装置は、前記異常信号を受信した際に運転していた方の送風ファンの運転状態を維持するように制御する脱臭装置も提供する。
【００１４】
また、上記の本発明の脱臭装置では、
前記固定出力は、前記送風ファンの運転履歴による制御パラメータの一定時間における加重平均である脱臭装置である。
【００１５】
また、本発明の脱臭装置の運転方法は、
静圧調節器による静圧に基づき、主送風ファンと、前記主送風ファンに連結された脱臭手段と、大気放出口に接続された予備送風ファンを制御装置で運転する脱臭装置の運転方法であって、
前記静圧調節器の故障信号を受信する工程と、
前記主送風ファンと前記予備送風ファンを固定運転する工程を有する脱臭装置の安全運転方法を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、二重化した静圧調節器が共に故障した場合に、所定の状態で送風ファンを運転し続けることとしたので、両方の静圧調節器が故障したとしても、ＶＯＣを発生する製造装置を停止することなく、自動的に故障に対応することができ、脱臭装置の異常運転を回避して、安全な運転を継続できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１には、本発明の処理システムの構成を示す。本発明の脱臭装置１は、脱臭手段としての燃焼炉１４と大気放出口３７、３８と、外気取り入れ口３６と、燃焼炉への送風ファン１８、大気への送風ファン１６、排気ダクト４０の静圧を測定する静圧調節器１２、装置全体を管理する制御装置１０および各所に設けられたダンパ３０乃至３５から構成される。
【００１８】
ＶＯＣの発生源７０は、揮発性溶剤を使用する場所であれば、特に限定されるものではない。例えば高温乾燥工程となる処理装置が設置してある場所には有効に利用することができる。一般的に燃焼処理で大部分のＶＯＣは分解することができる。なお、ＶＯＣ含有ガスを揮発性化合物含有ガスまたは単にＶＯＣとも呼ぶ。
【００１９】
ＶＯＣの発生源７０からは排気ダクト４０によってＶＯＣを本発明の装置内に吸入する。排気ダクトの数も特に限定されるものではなく、いくつ設置されていてもよい。図では、まとめて排気ダクト４０として表した。排気ダクト４０にはダンパ３０が直列に接続され、本発明の脱臭装置内１にＶＯＣを導入するか否かが選択される。
【００２０】
ダンパ３０の下流には静圧調節器１２が配置されている。なお、本明細書においては、気流の起源に近い方が上流であり、逆方向を下流と呼ぶ。静圧調節器１２は排気ダクト４０を流れるＶＯＣの流速を排気ダクト４０内の圧力と大気との間の圧力差で検出するものである。排気ダクト４０は脱臭装置側へＶＯＣを送るダクト４１と、大気へＶＯＣを放出する側のダクト４２に分かれて、ダンパ３１、３２を介して送風ファン１６、１８と連結される。
【００２１】
送風ファン１８は、燃焼炉１４へＶＯＣを送る送風機であり、主送風ファンと呼ぶ。主送風ファン１８は、ダクト４４を介して、ダンパ３３ａとダンパ３４ａと連結されている。それぞれのダンパからは、燃焼炉１４中を通過する燃焼ダクト２３、２４を介して、ダンパ３３ｂ、３４ｂに連結される。ダンパ３３ｂ、３４ｂはダクト４５を介して大気放出口３８と連結される。
【００２２】
なお、ダンパ３２と主送風ファン１８の間は、ダンパ３５を介して外気取り入れ口３６が連結される。
【００２３】
一方、ＶＯＣを外気に放出する側のダクト４２にはダンパ３１が接続される。ダンパ３１の下流側には、送風ファン１６が接続される。送風ファン１６はダクト４６を介して大気放出口３７へ接続されている送風機であり、予備送風ファンと呼ぶ。主送風ファンと予備送風ファンを合わせて送風ファンと呼ぶ。
【００２４】
制御装置１０は、少なくとも静圧調節器１２と、送風ファン１６，１８と、燃焼炉１４と、各ダンパ３０〜３５とに電気的に接続されている。
【００２５】
次に各要素について詳細に説明する。制御装置１０は、メモリ（図示せず）を有し、メモリに記録された制御ソフトウェアで動作するコンピュータである。接続されている要素に対する接続ポートを有する。また、制御装置１０は、ハード的に組み上げたシーケンシ
ャル制御装置であってもよい。
【００２６】
静圧調節器１２は、設置された場所若しくは接続されたセンサの箇所の静圧を測定する。また、制御装置１０と電気的に接続され、排気ダクト４０の静圧を静圧信号Ｓｐにより通知する。また、静圧調節器１２は、デュアルシステムになっており、同じ構造の静圧調節器が対になって配置される。また、それぞれの静圧調節器は、自己診断機能を有しており、故障を検知すると、制御装置１０に故障信号Ｓｓを送信する。
【００２７】
送風ファン１６、１８は処理したいＶＯＣの量で設計時に最大出力を決めてよい。きめ細かい制御を行うためには、インバータ回路を搭載した送風ファンがよい。運転状態を周波数で制御できるからである。しかし、特に限定されるものではない。送風ファンは制御装置１０と電気的に接続され、制御装置１０からの駆動信号で運転制御できることが好ましい。
【００２８】
送風ファンには、主送風ファン１８と予備送風ファン１６がある。主送風ファン１８は、ダクト４０からＶＯＣを燃焼炉１４に送る送風ファンである。予備送風ファン１６は、故障などの緊急時や脱臭装置１の保守点検時にＶＯＣを大気に放出させるための送風ファンである。従って、主送風ファン１８と予備送風ファン１６は性能的に同じ出力のものを用いてよい。
【００２９】
また、主送風ファン１８への駆動信号Ｃｄｍと予備送風ファン１６への駆動信号Ｃｄｓも同じ種類の信号を用意することができる。本発明の脱臭装置１では、主送風ファン１８と予備送風ファン１６のそれぞれについて、少なくとも、ファン運転指示、ファン周波数指示、ファン固定周波数指示の３種の指示が含まれる。
【００３０】
燃焼炉１４は、燃焼室２０と、蓄熱室２２ａ、２２ｂと、燃焼ダクト２３、２４を有する。燃焼室２０は、燃料を燃焼させるバーナー２１を有する空間である。蓄熱室２２ａ、２２ｂはセラミックなどの多孔質材料で形成され、熱を保持することができる。燃焼ダクトは２系列有し、ＶＯＣをそれぞれのダクトに逆向きに流す。これによって燃焼ダクト２３からのＶＯＣは燃焼室２０中で、加熱分解され処理ガスとなって蓄熱室２２ａに入る。そして、蓄熱室２２ａで熱交換され蓄熱室２２ａの温度を上昇させる。
【００３１】
燃焼ダクト２４から燃焼炉１４に入るＶＯＣは蓄熱室２２ａで加熱され高い温度になってから燃焼室２０を通過する。このように、燃焼処理後の排気ガスの熱量で、未処理のガスを暖めて燃焼効率を高くする。
【００３２】
燃焼炉１４は、制御装置１０からの指示Ｃｂによって燃焼動作を行い、制御装置１０には、燃焼室２０内の温度や、消費燃料レート、蓄熱室の温度などの情報を状態信号Ｓｂとして返す。なお、本明細書では、燃焼炉１４を蓄熱型直燃炉として説明するが、他の燃焼炉であってもよい。
【００３３】
各種ダンパはそれぞれのダクトの間に配置され、制御装置１０からの指示Ｃｄによってダクトを開通状態若しくは閉状態にする。
【００３４】
次に図１の装置の通常運転状態を説明する。制御装置１０は、燃焼炉１４からの状態信号Ｓｂによって、燃焼室２０および蓄熱室２２ａ、２２ｂの温度を検知し、それぞれが所定の温度になるように指示Ｃｂおよび主送風ファン１８への駆動信号Ｃｄｍと各ダンパの指示Ｃｄによって制御する。燃焼室２０の温度は、バーナー２１によって直接制御できるが、蓄熱室２２ａ、２２ｂの温度は、燃焼ダクト２３、２４にＶＯＣが流れないと上下しないからである。
【００３５】
従って、排気ダクト４０から送風ファン１８を経て、燃焼炉１４、大気放出口３８までの送風路が確保されるように、各ダンパも制御する。具体的には、ダンパ３０、３２、３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂを開き、ダンパ３１、３５を閉じる。また、開閉度も制御してよい。また、吸引ダクト４０内の圧力が所定の圧力になるように主送風ファン１８を制御する。
【００３６】
脱臭装置１が定常運転になっている場合は、上記のように各部が設定され、ＶＯＣ発生源７０からのＶＯＣは、排気ダクト４０、ダンパ３０、ダンパ３２、主送風ファン１８、ダクト４４を通って、燃焼炉１４に至る。そして、ＶＯＣは、燃焼炉１４の手前で、ダンパ３４ａと３３ａに分岐して、燃焼炉１４に供給される。
【００３７】
そして、燃焼ダクト２４を通るＶＯＣは蓄熱室２２ａで加熱され、さらに燃焼室２０で加熱され無害な炭素、水素、酸素に分解する。そして、処理後のガスは蓄熱室２２ｂを加熱し、ダンパ３３ｂから排出される。燃焼ダクト２３を通るＶＯＣは同じく、蓄熱室２２ｂで加熱され、燃焼室２０で分解された後、蓄熱室２２ａの温度を上げて、ダンパ３４ｂから排出される。これらの処理後のガスはダクト４５を通って、大気放出口３８から放出される。
【００３８】
次に二重化した送風ファンの静圧調節器１２が共に故障した場合の処理について説明する。静圧調節器１２は、２つの同じ静圧調節器を有し、排気ダクト４０内の静圧を静圧信号Ｓｐで制御装置１０に通知する。制御装置１０は、これらの信号を受け取り、主送風ファン１８と、各ダンパを制御する。
【００３９】
また、静圧調節器１２は自己診断機能を有する。そして、自己診断機能によって自身の静圧測定に異常をきたしていると判断した場合は、制御装置１０に自身の故障を故障信号Ｓｓで通知する。静圧調節器１２の異常とは、静圧センサの回路の故障などによって、正確な静圧を出力できなくなった場合をいう。
【００４０】
脱臭装置１は、ＶＯＣ発生源７０からの単位時間あたりのＶＯＣ処理量が予定されている。その処理量は排気ダクト４０を通過するガス量で検知するため、静圧調節器１２からの静圧信号の狂いは、脱臭装置１全体の処理量に影響を及ぼす。従って、制御装置１０は、故障信号Ｓｓが発信された静圧調節器１２からの静圧を表す静圧信号Ｓｐを無視し、残りの静圧調節器１２からの静圧信号Ｓｐによって、送風ファンや各ダンパを制御する。
【００４１】
ここで、残りの静圧調節器も自己診断機能によって自身の静圧測定に異常をきたしていると判断し制御装置１０に故障を信号Ｓｓで通知する場合がある。上述したように、排気ダクト４０の静圧の値が正確なものでない場合は適正に送風されないので、主送風ファン１８を運転しているときは、燃焼炉１４を正常に運転することができず、脱臭機能を発揮することができないだけでなく、燃焼炉１４を損傷する可能性がある。また、予備送風ファン１６を運転しているときは、ＶＯＣの屋外排出が十分ではなく、屋内にＶＯＣが滞留して安全衛生面で問題となる。
【００４２】
そこで、２重化された静圧調節器１２がいずれも故障した場合は、制御装置１０が静圧調節器１２に依存しない固定運転をするように制御することにより、ＶＯＣを適正に処理して製造装置１０の運転を継続させるものである。
【００４３】
固定運転は具体的に次のような場合があげられる。第１の方法は、主送風ファン１８と予備送風ファン１６をそれぞれに割り当てた固定周波数で運転する方法である。ここで、送風ファンはインバータ制御されているものとして説明する。この方法は、制御装置１０
のメモリ内に予め静圧調節器１２が両方とも故障した場合の、主送風ファン１８と予備送風ファン１６の運転周波数を記録しておき、その周波数でそれぞれの送風ファンを運転する。具体的には、主送風ファン１８、予備送風ファン１６とも最大出力の６０〜８０％の出力で運転する。なお、主送風ファン１８と予備送風ファン１６の出力が異なっていても良い。
【００４４】
また、この場合は、外気取り入れ用のダンパ３５以外の全てのダンパを開いて運転する。作業環境からの排気を確実に行うためである。
【００４５】
第２の方法としては、静圧調節器１２が共に故障する直前に運転していた送風ファンを固定周波数で運転する方法である。この場合は、ダクトの開閉を変更する必要がないので、制御装置１０の処理は容易である。
【００４６】
第３の方法としては、静圧調節器１２が共に故障する直前の運転状態をそのまま維持する方法である。この方法は制御装置１０の処理自体はより容易である。ダクトの開閉の変更もない。
【００４７】
次にこれらの処理をフローを用いて説明する。図２は脱臭装置１の処理フローの一例を示す。制御装置１０がスタートすると（Ｓ１００）、前処理を行う（Ｓ１０２）。前処理は、いわゆる脱臭装置１自体の立ち上げ処理であり、上記で説明した定常運転に至るまでの処理をすべて含む。
【００４８】
次に静圧を読み込む（Ｓ１０４）。これは静圧調節器１２からの静圧信号Ｓｐを取得することで行う。２つある静圧調節器１２のどちらも、異常のない場合は、一方の信号だけを取得してもよいし、両方取得してもよい。
【００４９】
そして、静圧調節器１２から信号に異常を知らせる故障信号Ｓｓの有無を判断する（Ｓ１０６）。もし、一方の静圧調節器１２に故障信号Ｓｓがあった場合（Ｓ１０６のＹ分岐）は、次にその故障信号は２度目か否かを判断する（Ｓ１０８）。故障信号Ｓｓが２度目である場合は、２つある静圧調節器１２のどちらもが故障しているのであるから、故障処理（Ｓ１１６）へ処理を移す。
【００５０】
２度目の故障信号でない場合、若しくは故障信号がそもそもなかった場合は、制御処理（Ｓ１１０）を行う。「制御処理」は、制御装置１０が定常運転の際に行う処理をすべて含む。特に、燃焼炉１４や送風ファンの運転の他に、故障信号Ｓｓを１度だけ受信した場合は、故障信号を発した静圧調節器１２からの信号を無視し、他方の静圧信号Ｓｐだけを採用する処理を含む。また、故障した方の静圧調節器１２を外部に通知、若しくは表示してもよい。
【００５１】
制御処理（Ｓ１１０）は、燃焼炉１４の温度と送風ファンへの出力が所定の値になるように各種パラメータを更新する。そしてその後、終了判断を行う（Ｓ１１２）。終了判断は、装置全体の停止指示がされたか否か、若しくは他の割り込み処理によって起動されてもよい。
【００５２】
装置を終了する場合は（Ｓ１１２のＹ分岐）、停止処理（Ｓ１１４）を行う。脱臭装置１は、大規模なバーナー２１で燃料を燃やしているので、装置に負担がかからないように運転を停止させるのは、一定の手順が必要になる。終了指示がない場合（Ｓ１１４のＮ分岐）は、再び静圧読み込み（Ｓ１０４）に戻る。
【００５３】
なお、本説明では、メインルーチン中で故障信号の有無を確認する処理を含めて説明し
たが、故障信号の有無は、割り込み処理によってメインルーチンから強制的に故障処理のフローに処理を移してもよい。
【００５４】
図３には、上記の第１の方法による故障処理のフローを示す。故障処理のフローに移ったら（Ｓ２００）、ダンパを設定する（Ｓ２０２）。具体的には、図１を参照して、ダンパ３０、３１、３２、３３（ａ，ｂ共）、３４（ａ，ｂ共）、を開にする。ダンパ３５は閉じておいてよい。
【００５５】
次に主送風ファン１８と予備送風ファン１６に対して、固定周波数による運転指示を駆動信号Ｃｄｍ、Ｃｄｓにて行う。この固定周波数による運転指示は、固定周波数自身を指示するものであってもよいし、送風ファン１６、１８が予め設定された値を持っていて、その周波数で運転することを指示する内容であってもよい。
【００５６】
そして、送風ファン１６、１８が固定運転されているという表示を行う（Ｓ２０６）。この表示は、ランプ、警告音、画面表示など特に限定されるものではない。これら全般を含めて表示手段とする。
【００５７】
次に制御装置１０は待機状態になる（Ｓ２０８）。固定運転状態になったからである。なお、待機状態（Ｓ２０８）は、決められた周波数で送風ファン１６、１８が運転されているか否かを検出し、その周波数を制御するフローに置き換えてもよい。
【００５８】
図４には、第２の方法による故障処理のフローを示す。故障処理に制御が移ると（Ｓ２１０）運転している送風ファンを検知する（Ｓ２１２）。送風ファンからのステータスを得ることで知ってもよいし、最後に運転を指示した送風ファンの記録から判断してもよい。次に運転されていた送風ファンに対して固定周波数を指示する。運転中の送風ファンを使うので、もう一方の送風ファンや風路となるダクトの切り替えをダンパで行う必要はない。そして、固定運転表示をして、待機状態に移る。
【００５９】
図５には、第３の方法による故障処理のフローを示す。この方法では現在の運転状態を維持するだけであるので、故障処理に制御が移ったら（Ｓ２２０）、固定運転表示を行い（Ｓ２２２）、待機状態に入る（Ｓ２２４）。ここで、待機状態は、上記の説明のように送風ファンの現在の運転周波数を維持するような処理に置き換えてもよい。
【００６０】
なお、上記の説明で「固定周波数」は、予め設計時に決めておいた周波数であってもよいし、一定時間内の駆動周波数の加算平均であってもよい。また、脱臭手段として蓄熱式の燃焼炉１４を用いて説明したが、直接燃焼装置、触媒燃焼装置、活性炭吸着装置、気液接触装置などの他の脱臭装置を用いてもよい。
【００６１】
以上のように、本発明は、燃焼炉への送風路と大気放出への送風路への送風ファンの静圧調節器が故障しても、それぞれの送風ファンを固定運転するので、ＶＯＣを発生する製造装置を停止することなく、自動的にＶＯＣを脱臭処理または排気処理することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、有機溶媒を連続して使用する塗装工程や洗浄工程におけるＶＯＣ処理についても好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本願発明の脱臭装置の構成を示す図である。
【図２】本願発明の脱臭装置を運転する制御装置の処理フローを示す図である。
【図３】本願発明の脱臭装置の２重化された静圧調節器が共に異常をきたした場合の処理のフローの一例を示す図である。
【図４】本願発明の脱臭装置の２重化された静圧調節器が共に異常をきたした場合の処理のフローの一例を示す図である。
【図５】本願発明の脱臭装置の２重化された静圧調節器が共に異常をきたした場合の処理のフローの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１  脱臭装置
１０  制御装置
１２  静圧調節器
１４  燃焼炉(脱臭手段)
２０  燃焼室
２１  バーナー
２２ａ、２２ｂ  蓄熱室
２３、２４  燃焼ダクト
３０〜３５  ダンパ
３６  外気取り入れ口
３７、３８  大気放出口
４０〜４５  ダクト
７０  ＶＯＣ発生源
【図１】
2010169340.tif 000003
【図２】
2010169340.tif 000004
【図３】
2010169340.tif 000005
【図４】
2010169340.tif 000006
【図５】
2010169340.tif 000007