(57)【要約】【課題】占有面積が小さく、かつ、低損失な高周波フィルタを得る。【解決手段】上面に第１導体パターン、下面に１つあるいは複数の第１抜き穴を有する第２導体パターンを備え、両パターンを電気的に接続する複数の第１スルーホール３ａを備えた第１誘電体１ａと、上面に１つあるいは複数の電磁界結合手段６を備えた第３導体パターン、下面に第４導体パターンをそれぞれ備え、両パターンを電気的に接続する複数の第２スルーホール３ｂを備えた第２誘電体１ｂと、第１誘電体と第２誘電体との間に配置され、第２導体パターンと第３導体パターンとを物理的かつ電気的に接続する複数のボール状導体４とを含み、複数のボール状導体を介して第１誘電体と第２誘電体とを接続することにより形成される空気層を用いて１つあるいは複数の直列共振回路を構成する。【選択図】図１
2010130663.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に第１導体パターン、下面に１つあるいは複数の第１抜き穴を有する第２導体パターンをそれぞれ備えるとともに、前記第１導体パターンと前記第２導体パターンとを電気的に接続する複数の第１スルーホールを備えた平板状の形状を有する第１誘電体と、
上面に１つあるいは複数の電磁界結合手段を備えた第３導体パターン、下面に第４導体パターンをそれぞれ備えるとともに、前記第３導体パターンと前記第４導体パターンとを電気的に接続する複数の第２スルーホールを備えた平板状の形状を有する第２誘電体と、
前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に配置され、前記第２導体パターンと前記第３導体パターンとを物理的かつ電気的に接続する複数のボール状導体と
を含み、
前記複数のボール状導体を介して前記第１誘電体と前記第２誘電体とを接続することにより形成される空気層を用いて１つあるいは複数の直列共振回路を構成してなる
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項２】
請求項１に記載の高周波フィルタにおいて、
前記第２誘電体は、前記第３パターンの上面に前記第１抜き穴と同数以上の前記電磁界結合手段を備え、
前記複数のボール状導体は、前記第１抜き穴のそれぞれを囲むように配列され、
前記第３導体パターンと前記第４導体パターンと前記第２スルーホールとで囲まれてなり、外部回路とつながる入出力端子を両端に備えた導波管形の主線路を前記第２誘電体に有し、前記第１導体パターンと前記第１スルーホールと前記第２導体パターンと前記ボール状導体と少なくとも１つの前記電磁界結合手段を含む前記第３導体パターンとで囲まれた領域からなる１つあるいは複数の第１共振器が、前記領域を構成する第３導体パターン上に構成された電磁界結合手段を介して前記主線路と電磁界結合することで前記１つあるいは複数の直列共振回路を構成してなる
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項３】
請求項２に記載の高周波フィルタにおいて、
前記１つあるいは複数の第１共振器の少なくとも１つの第１共振器は、前記第２導体パターンに設けられた前記第１抜き穴内に、前記第２導体パターンとは電気的に接続されない共振器導体パターンが設けられ、前記共振器導体パターンは、少なくとも１つの共振器ボール状導体にて前記第３導体パターンと物理的かつ電気的に接続されている
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の高周波フィルタにおいて、
前記１つあるいは複数の第１共振器の少なくとも１つの第１共振器は、前記第２導体パターンに設けられた前記第１抜き穴内に、前記第２導体パターンとは電気的に接続されない共振器導体パターンが設けられるとともに、前記共振器導体パターンと対向する第３導体パターンに複数の電磁界結合手段を有する
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項５】
請求項１に記載の高周波フィルタにおいて、
前記第２誘電体は、上面に１つあるいは複数の前記電磁界結合手段および１つあるいは複数の第２抜き穴を備えた第３導体パターン、下面に第４導体パターンをそれぞれ備え、
前記複数のボール状導体は、前記第１抜き穴および前記第２抜き穴のそれぞれを囲むように配列され、
前記第３導体パターンと前記第４導体パターンと前記第２スルーホールとで囲まれてなり、外部回路とつながる入出力端子を一端に備えた導波管形の入力線路と出力線路を前記第２誘電体に有し、前記入力線路と前記出力線路との間に、前記第１導体パターンと前記第１スルーホールと前記第２導体パターンと前記ボール状導体と前記第３導体パターンとで囲まれた領域からなる１つあるいは複数の第１共振器と、前記第２導体パターンと前記ボール状導体と前記第３導体パターンと前記第２スルーホールと前記第４導体パターンとで囲まれた領域からなる１つあるいは複数の第２共振器とが交互に配列され、前記入力線路と前記第１共振器および前記第２共振器と前記出力線路とが相互に電磁界結合することで前記複数の直列共振回路を構成してなる
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載の高周波フィルタにおいて、
前記１つあるいは複数の第１共振器の少なくとも１つの第１共振器もしくは前記１つあるいは複数の第２共振器の少なくとも１つの第２共振器は、前記第１抜き穴内もしくは前記第２抜き穴内に、前記第２導体パターンもしくは前記第３導体パターンとは電気的に接続されない共振器導体パターンが設けられ、前記共振器導体パターンは、少なくとも１つの共振器ボール状導体にて前記第３導体パターンもしくは前記第２導体パターンと物理的かつ電気的に接続されている
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項７】
請求項５または６に記載の高周波フィルタにおいて、
前記１つあるいは複数の第１共振器の少なくとも１つの第１共振器もしくは前記１つあるいは複数の第２共振器の少なくとも１つの第２共振器は、前記第１抜き穴内もしくは前記第２抜き穴内に、前記第２導体パターンとは電気的に接続されない共振器導体パターンが設けられるとともに、前記共振器導体パターンと対向する前記第３導体パターンもしくは前記第２導体パターンに複数の電磁界結合手段を有する
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項８】
請求項５に記載の高周波フィルタにおいて、
前記１つあるいは複数の第２共振器は、前記第３導体パターンと前記第２スルーホールと前記第４導体パターンとで囲まれてなる前記第２誘電体に設けられた導波管形の共振器である
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項９】
請求項５ないし８のいずれか１項に記載の高周波フィルタにおいて、
前記１つあるいは複数の第１共振器は、前記第２誘電体側に設けられ、
前記１つあるいは複数の第２共振器は、前記第１誘電体側に設けられる
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の高周波フィルタにおいて、
前記第１誘電体と前記第２誘電体のいずれか一方、あるいは双方が、内部に導体パターンを有する多層状の誘電体からなる
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の高周波フィルタにおいて、
前記第１誘電体と前記第２誘電体とが同一素材の誘電体からなる
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の高周波フィルタにおいて、
前記第１誘電体が複数個に分割されている
ことを特徴とする高周波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波帯、およびミリ波帯で用いられる高周波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、誘電体基板内に、その両主面に設けた２つの導体パターンと、これらの導体パターン間を電気的に接続するスルーホールとで誘電体充填タイプの小型導波管形線路を形成し、このような小型導波管形線路を用いて構成された方向性結合器やフィルタなどの機能性受動回路が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような高周波回路は、基本的に単層の誘電体基板で比較的簡単に作製できる。また、誘電体基板に用いられている誘電体の比誘電率に応じた波長短縮により、小型な導波管回路、すなわち、小型で比較的低損失な回路を得られやすいという利点がある。
【０００４】
たとえば、セラミック系の代表的な誘電体基板であるアルミナ基板であれば、その比誘電率は、１０程度である。従って、誘電体基板内に形成される誘電体充填タイプの導波管回路のボリュームは、中空導波管の１／３０以下にすることができる。さらに、誘電体の誘電正接も、マイクロ波帯であれば０．０００１程度と十分に小さいことから、線路断面における誘電体充填による誘電体損の増加も、比較的小さくて済む。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２２９７０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術には、以下のような課題がある。
アルミナ基板のような単層の誘電体基板では、誘電体基板内で上記のような小形導波管形線路を平面的にレイアウトせざるを得ない。図２９は、従来の多段フィルタの上面図であり、図３０は、従来の多段フィルタの側面図である。図２９に示した回路は、誘電体による波長短縮を図ったことにより、中空導波管で同様な回路を形成した場合に比べれば小さな外形になっている。
【０００７】
しかし、セラミック系の誘電体基板では、１００ミリ角を超えるような大きな基板を製造するのは難しい。このため、回路を動作させる周波数が低くなると、図２９のような回路、もしくは、図２９の回路に類するもので規模がもっと大きな回路は、実現困難となる。
【０００８】
回路の占有面積を小さくするための一方法としては、多層の誘電体基板を使用する方法が挙げられる。基板の厚さ方向に誘電体充填タイプの導波管回路を適宜積層すれば、占有面積の拡大を抑制できる。セラミック系の代表的な多層の誘電体基板としては、ＬＴＣＣ（低温同時焼成セラミック）基板がある。
【０００９】
しかしながら、ＬＴＣＣは、アルミナにガラスを混ぜて作られた材料であるため、ガラスの誘電正接の影響から、ＬＴＣＣの誘電正接は、アルミナのそれよりも一桁以上大きな値となることが通常である。一方、樹脂系の多層の誘電体基板では、セラミック系の材料のような低誘電正接は、望めない。
【００１０】
したがって、多層の誘電体基板を使用した場合には、占有面積を小さくすることと引き換えに、回路損失を犠牲にせざるを得ないという難点がある。本問題は、特に、高周波フィルタなど、複数の共振器を用いて構成される機能性受動回路においては、看過できない問題となる。
【００１１】
本発明は、前記のような課題を解決するためになされたものであり、占有面積が小さく、かつ、低損失な高周波フィルタを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る高周波フィルタは、上面に第１導体パターン、下面に１つあるいは複数の第１抜き穴を有する第２導体パターンをそれぞれ備えるとともに、第１導体パターンと第２導体パターンとを電気的に接続する複数の第１スルーホールを備えた平板状の形状を有する第１誘電体と、上面に１つあるいは複数の電磁界結合手段を備えた第３導体パターン、下面に第４導体パターンをそれぞれ備えるとともに、第３導体パターンと第４導体パターンとを電気的に接続する複数の第２スルーホールを備えた平板状の形状を有する第２誘電体と、第１誘電体と第２誘電体との間に配置され、第２導体パターンと第３導体パターンとを物理的かつ電気的に接続する複数のボール状導体とを含み、複数のボール状導体を介して第１誘電体と第２誘電体とを接続することにより形成される空気層を用いて１つあるいは複数の直列共振回路を構成してなるものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る高周波フィルタによれば、ボール状導体を用いて単層の誘電体を重ねるように回路を構成するとともに、ボール状導体を用いることにより２つの誘電体間に形成される空気層を活用して１つあるいは複数の直列共振回路を構成することにより、占有面積が小さく、かつ、低損失な高周波フィルタを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の高周波フィルタの好適な実施の形態につき図面を用いて説明する。
【００１５】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１における高周波フィルタの分解斜視図である。図２は、本発明の実施の形態１における図１の高周波フィルタを側方から見た図である。図３は、本発明の実施の形態１における図１の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。図４は、本発明の実施の形態１における図２の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。図５は、本発明の実施の形態１における図２の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【００１６】
これらの図１〜図５に示した高周波フィルタは、第１誘電体１ａ、第２誘電体１ｂ、第１導体パターン２ａ−１、第２導体パターン２ａ−２、第３導体パターン２ｂ−１、第４導体パターン２ｂ−２、第１スルーホール３ａ、第２スルーホール３ｂ、ボール状導体４、入出力端子５−１、５−２、結合スロット６−１、６−２、共振器導体パターン７−１、７−２、共振器ボール状導体８−１、８−２、主線路９、および第１抜き穴１６−１、１６−２を備えている。
【００１７】
第１誘電体１ａおよび第２誘電体１ｂは、誘電体基板に相当し、ともに同一の材料から構成されている。第１導体パターン２ａ−１は、第１誘電体１ａの上面に設けられている。一方、第２導体パターン２ａ−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられている。また、第３導体パターン２ｂ−１は、第２誘電体１ｂの上面に設けられている。一方、第４導体パターン２ｂ−２は、第２誘電体１ｂの下面のほぼ全面に設けられている。
【００１８】
第１スルーホール３ａは、第１誘電体１ａに複数個設けられ、第１導体パターン２ａ−１と第２導体パターン２ａ−２とを電気的に接続している。また、第２スルーホール３ｂは、第２誘電体１ｂに複数個設けられ、第３導体パターン２ｂ−１と第４導体パターン２ｂ−２との間を電気的に接続している。
【００１９】
ボール状導体４は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２と第２誘電体１ｂ上面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１との間を電気的に接続する、はんだボールなどのボール状導体である。入出力端子５−１、５−２は、主線路９の端部を指し、本実施の形態１の高周波フィルタの入出力端子に相当する。
【００２０】
結合スロット６−１、６−２は、第３導体パターン２ｂ−１に設けられた結合手段である。共振器導体パターン７−１、７−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられている。共振器ボール状導体８−１、８−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられた共振器導体パターン７−１、７−２のそれぞれと、第２誘電体１ｂ上面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１との間を電気的に接続する。
【００２１】
主線路９は、第２誘電体１ｂ、第３導体パターン２ｂ−１、第４導体パターン２ｂ−２、および第２スルーホール３ｂから形成された誘電体充填導波管形の主線路である。さらに、第１抜き穴１６−１、１６−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２に設けられている。
【００２２】
次に、本実施の形態１における高周波フィルタの具体的な動作について説明する。第１誘電体１ａの上面と下面に設けられた第１導体パターン２ａ−１および第２導体パターン２ａ−２と、第１スルーホール３ａと、ボール状導体４と、第２誘電体１ｂ上面の第３導体パターン２ｂ−１とで囲まれ、共振器導体パターン７−１、７−２と共振器ボール状導体８−１、８−２とを含む２つの領域が、それぞれ、２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２として機能する。さらに、これら２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２のそれぞれは、結合スロット６−１、６−２を介して主線路９と電磁界結合する。
【００２３】
図６は、本発明の実施の形態１の図３に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２の電磁界の分布領域を示したものである。さらに、図７は、本発明の実施の形態１における高周波フィルタの等価回路図である。図７における２つのシャント直列共振回路は、それぞれ第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２に対応する。また、図７における２つの共振回路の間の分布定数線路の電気長は、２つの結合スロット６−１、６−２間の主線路９の長さ（θ１２）に対応している。
【００２４】
このように、本実施の形態１の高周波フィルタは、第２誘電体１ｂに構成された主線路９に、第２誘電体１ｂ上方に設けられた２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２が、結合スロット６−１、６−２を介して電磁界結合してなる、図７に示すような２段の帯域阻止フィルタとして動作をする。
【００２５】
本実施の形態１の高周波フィルタは、主線路となる誘電体充填導波管の上方に重なるように、第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２が構成されており、回路の占有面積が小さくてすむ。このため、あまり大きな面積を製造できない基板でも、容易に高周波フィルタの機能を実現できるという利点がある。特に、低損失なセラミック系の誘電体基板を用いてフィルタを構成した場合には、低損失なフィルタが構成できることに加え、誘電体の外形が小さくてすむ。このため、低い周波数帯で動作する回路を実現しやすくなる効果も期待できる。
【００２６】
また、２つの第１共振器１１−１、１１−２は、その形状からわかるように、おおむね、直方体形状の誘電体充填形矩形導波管ＴＥ１０１モード共振器として機能する。そして、先の図６にその電磁界の分布領域を示したように、これら２つの第１共振器は、ボール状導体４と共振器ボール状導体８−１、８−２により第１誘電体１ａと第２誘電体１ｂとの間に形成される空気層を含んでいる。さらに、共振器導体パターン７−１、７−２および共振器ボール状導体８−１、８−２が、空気層の中央部に配置されている（図４参照）。
【００２７】
このため、２つの第１共振器１１−１、１１−２は、空気層と共振器導体パターン７−１、７−２および共振器ボール状導体８−１、８−２により、直方体形状の１つの面の中央部分が凹んだ、いわゆるリッジ状の形態を有する共振器となっている。この結果、共振器の容積が小さく、すなわち、第１誘電体１ａの外形が小さくなっている。このため、ボール状導体４により、第２誘電体１ｂ上に第１誘電体１ａを実装しやすくなるとともに、実装後の機械的信頼性が高くなるという効果が見込める。
【００２８】
以上のように、実施の形態１によれば、ボール状導体を用いて単層の誘電体を重ねるように回路を構成することで、多層の誘電体基板のように構造設計の自由度が増す。さらに、このことに加え、ボール状導体を用いることにより、２つの誘電体間に形成される空気層を活用することで、回路の一部（共振器等）の小形化とそれに伴う部材の小形化、機能向上、信頼性向上等が図れる。
【００２９】
なお、２つの第１共振器１１−１、１１−２の電磁界は、２つの誘電体の間に形成される空気層にも分布する。しかしながら、これらの電磁界は、ボール状導体４ならびに第１導体パターン２ａ−１、第２導体パターン２ａ−２、第３導体パターン２ｂ−１、第１スルーホール３ａにより囲まれ、電気的に遮蔽されている。このため、近隣の回路との不要な結合を起こすことも少なく、主線路９の遮蔽度の高さと相まって、高周波フィルタとして高アイソレーションな特性が期待できる。すなわち、本実施の形態１の高周波フィルタでは、阻止帯域において、大きな減衰量が得られやすいという効果がある。
【００３０】
さらに、第１誘電体１ａと第２誘電体１ｂは、同一の素材で形成されている。同一の素材であれば、線膨張係数が同一であるため、両者をボール状導体４でリジッドに接続しているものの、周囲温度の変化によって誘電体の収縮が起きても、ボール状導体４まわりで応力集中が少ない。このため、機械的な破壊の可能性が低く、非常に高い機械的信頼性を有する高周波フィルタが獲られる効果がある。
【００３１】
なお、必要な信頼性は、フィルタの用途により異なるはずであるから、必ずしも第１誘電体１ａと第２誘電体１ｂとを同一の素材で形成する必要はなく、また、２つの誘電体のいずれかあるいは双方を多層基板で構成しても、信頼性の点を除けば、同様な効果、あるいは、一部の効果が見込めることは言うまでもない。そのほか、第１誘電体１ａを複数個に分割し、異なる誘電体で構成すれば、設計の自由度がさらに増す。また、分割することで、個体は小さくなるため、場合によっては、機械的にもろい誘電体も使用できるようになる効果が見込める。
【００３２】
また、本実施の形態１の説明においては、２つの第１共振器１１−１、１１−２を用いた２段の帯域阻止フィルタからなる高周波フィルタについて説明したが、この構成に限定されるものではない。１つの第１共振器を用いた１段の帯域阻止フィルタからなる高周波フィルタを構成した場合にも、同様の効果を得ることができる。
【００３３】
実施の形態２．
先の実施の形態１では、２段の帯域阻止フィルタからなる高周波フィルタを説明した。本実施の形態２では、３段の帯域阻止フィルタからなる高周波フィルタについて説明する。図８は、本発明の実施の形態２における高周波フィルタの分解斜視図である。図９は、本発明の実施の形態２における図８の高周波フィルタを側方から見た図である。図１０は、本発明の実施の形態２における図８の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。図１１は、本発明の実施の形態２における図９の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。図１２は、本発明の実施の形態２における図９の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【００３４】
これらの図８〜図１２に示した高周波フィルタは、第１誘電体１ａ、第２誘電体１ｂ、第１導体パターン２ａ−１、第２導体パターン２ａ−２、第３導体パターン２ｂ−１、第４導体パターン２ｂ−２、第１スルーホール３ａ、第２スルーホール３ｂ、ボール状導体４、入出力端子５−１、５−２、結合スロット６−１、６−２、共振器導体パターン７−１〜７−３、共振器ボール状導体８−１〜８−３、入出力線路１０−１、１０−２、段間結合部１４−１、１４−２、第１抜き穴１６−１、１６−２、および第２抜き穴１７を備えている。
【００３５】
本実施の形態２の高周波フィルタは、３つの共振器導体パターン７−１〜７−３、３つの共振器ボール状導体８−１〜８−３を有するとともに、段間結合部１４−１、１４−２および第２抜き穴１７をさらに備えることで、３段構成のフィルタを実現している。
【００３６】
第１誘電体１ａおよび第２誘電体１ｂは、誘電体基板に相当し、ともに同一の材料から構成されている。第１導体パターン２ａ−１は、第１誘電体１ａの上面に設けられている。一方、第２導体パターン２ａ−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられている。また、第３導体パターン２ｂ−１は、第２誘電体１ｂの上面に設けられている。一方、第４導体パターン２ｂ−２は、第２誘電体１ｂの下面のほぼ全面に設けられている。
【００３７】
第１スルーホール３ａは、第１誘電体１ａに複数個設けられ、第１導体パターン２ａ−１と第２導体パターン２ａ−２とを電気的に接続している。また、第２スルーホール３ｂは、第２誘電体１ｂに複数個設けられ、第３導体パターン２ｂ−１と第４導体パターン２ｂ−２との間を電気的に接続している。
【００３８】
ボール状導体４は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２と第２誘電体１ｂ上面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１との間を電気的に接続する、はんだボールなどのボール状導体である。入出力端子５−１、５−２は、入出力線路１０−１、１０−２の端部を指し、本実施の形態２の高周波フィルタの入出力端子に相当する。
【００３９】
結合スロット６−１、６−２は、第３導体パターン２ｂ−１に設けられた結合手段である。共振器導体パターン７−１、７−３は、第１誘電体１ａの下面に設けられている。一方、共振器導体パターン７−２は、第２誘電体１ｂの上面に設けられている。
【００４０】
共振器ボール状導体８−１、８−３は、第１誘電体１ａの下面に設けられた共振器導体パターン７−１、７−３のそれぞれと、第２誘電体１ｂ上面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１との間を電気的に接続する。一方、共振器ボール状導体８−２は、第２誘電体１ｂの上面に設けられた共振器導体パターン７−２と第１誘電体１ａ下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２とを電気的に接続する
【００４１】
入出力線路１０−１、１０−２は、第２誘電体１ｂと第３導体パターン２ｂ−１と第４導体パターン２ｂ−２と第２スルーホール３ｂの一部から、誘電体充填導波管形の入出力線路として形成されている。第１抜き穴１６−１、１６−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２に設けられている。さらに、第２抜き穴１７は、第２誘電体１ｂの上面に設けられている。
【００４２】
次に、本実施の形態１における高周波フィルタの具体的な動作について説明する。第１誘電体１ａの上面と下面に設けられた第１導体パターン２ａ−１および第２導体パターン２ａ−２と、第１スルーホール３ａと、ボール状導体４と、第２誘電体１ｂ上面の第３導体パターン２ｂ−１とで囲まれ、共振器導体パターン７−１、７−３と共振器ボール状導体８−１、８−３とを含む２つの領域が、それぞれ、２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２として機能する。そして、第１共振器１１ａ−１は、結合スロット６−１を介して入出力線路１０−１と電磁界結合し、第１共振器１１ａ−２は、結合スロット６−２を介して入出力線路１０−２と電磁界結合する。
【００４３】
さらに、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２と、第２誘電体１ｂの上面と下面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１および第４導体パターン２ｂ−２と、第２スルーホール３ｂの一部とに囲まれ、共振器導体パターン７−２と、共振器ボール状導体８−２とを含む領域が、第２共振器１１ｂとして機能する。
【００４４】
図１３は、本発明の実施の形態２の図１０に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で３つの共振器１１ａ−１、１１ｂ、１１ａ−２の電磁界の分布領域を示したものである。第２共振器１１ｂは、２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２とは基板厚さ方向で向きが逆向きとなっている。さらに、第２共振器１１ｂは、段間結合部１４−１にて第１共振器１１ａ−１と、段間結合部１４−２にて第１共振器１１ａ−２と、それぞれ電磁界結合している。
【００４５】
また、図１４は、本発明の実施の形態２における高周波フィルタの等価回路図である。図１４における３つの直列共振回路は、それぞれ第１共振器１１ａ−１、第２共振器１１ｂ、第１共振器１１ａ−２に対応する。また、図１４におけるそれぞれの共振回路の間の分布定数線路のシャントインダクタンスは、隣り合う共振器の電磁界結合の強さに対応している。
【００４６】
このように、本実施の形態２の高周波フィルタは、入出力線路１０−１、１０−２、第２誘電体１ｂ上方に設けられた第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２、および、第２誘電体１ｂ上方の空気層と第２誘電体１ｂ内部とに設けられた第２共振器１１ｂとが、結合スロット６−１、６−２、段間結合部１４−１、１４−２を介して相互に電磁界結合してなる、図１４に示すような３段の帯域通過フィルタとして動作をする。
【００４７】
本実施の形態２の高周波フィルタは、入出力線路となる誘電体充填導波管を構成した第２誘電体１ｂの上方に重なるように、別の第１誘電体１ａが設けられていることに加え、第２誘電体１ｂに設けられた２つの入出力線路の間の領域と、第２誘電体１ｂの内部と、第１誘電体１ａと第２誘電体１ｂとの間の空気層とを有効活用して３つの共振器が配置されており、回路の占有面積が小さくてすむ。このため、あまり大きな面積を製造できない基板でも、容易に高周波フィルタの機能を実現できるという利点がある。
【００４８】
以上のように、実施の形態２によれば、ボール状導体を用いて単層の誘電体を重ねるように回路を構成することで、基本的に先の実施の形態１の高周波フィルタと同様の効果を得ることができる３段構成の高周波フィルタを、容易に実現することができる。
【００４９】
実施の形態３．
先の実施の形態１、２では、それぞれ２段、３段の帯域阻止フィルタからなる高周波フィルタを説明した。本実施の形態３では、１つの構造体が２つの共振器として同時に機能するデュアルモード共振器が２つ構成された高周波フィルタについて説明する。
【００５０】
図１５は、本発明の実施の形態３における高周波フィルタの分解斜視図である。図１６は、本発明の実施の形態３における図１５の高周波フィルタを側方から見た図である。図１７は、本発明の実施の形態３における図１５の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。図１８は、本発明の実施の形態３における図１６の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。図１９は、本発明の実施の形態３における図１６の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【００５１】
これらの図１５〜図１９に示した高周波フィルタは、第１誘電体１ａ、第２誘電体１ｂ、第１導体パターン２ａ−１、第２導体パターン２ａ−２、第３導体パターン２ｂ−１、第４導体パターン２ｂ−２、第１スルーホール３ａ、第２スルーホール３ｂ、ボール状導体４、入出力端子５−１、５−２、結合スロット６−１〜６−４、主線路９、パッチ状導体１２−１、１２−２、および第１抜き穴１６−１、１６−２を備えている。
【００５２】
第１誘電体１ａおよび第２誘電体１ｂは、誘電体基板に相当し、ともに同一の材料から構成されている。第１導体パターン２ａ−１は、第１誘電体１ａの上面に設けられている。一方、第２導体パターン２ａ−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられている。また、第３導体パターン２ｂ−１は、第２誘電体１ｂの上面に設けられている。一方、第４導体パターン２ｂ−２は、第２誘電体１ｂの下面のほぼ全面に設けられている。
【００５３】
第１スルーホール３ａは、第１誘電体１ａに複数個設けられ、第１導体パターン２ａ−１と第２導体パターン２ａ−２とを電気的に接続している。また、第２スルーホール３ｂは、第２誘電体１ｂに複数個設けられ、第３導体パターン２ｂ−１と第４導体パターン２ｂ−２との間を電気的に接続している。
【００５４】
ボール状導体４は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２と第２誘電体１ｂ上面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１との間を電気的に接続する、はんだボールなどのボール状導体である。入出力端子５−１、５−２は、主線路９の端部を指し、本実施の形態３の高周波フィルタの入出力端子に相当する。
【００５５】
結合スロット６−１〜６−４は、第３導体パターン２ｂ−１に設けられた結合手段である。主線路９は、第２誘電体１ｂ、第３導体パターン２ｂ−１、第４導体パターン２ｂ−２、および第２スルーホール３ｂから形成された誘電体充填導波管形の主線路である。
【００５６】
パッチ状導体１２−１、１２−２は、第２誘電体１ｂの下面に設けられた、おおよそ正方形の共振器導体パターンである。また、これらパッチ状導体１２−１、１２−２の一角には、パターンカット１３−１、１３−２が設けられている。さらに、第１抜き穴１６−１、１６−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２に設けられている。
【００５７】
次に、本実施の形態３における高周波フィルタの具体的な動作について説明する。第１誘電体１ａの上面と下面に設けられた第１導体パターン２ａ−１および第２導体パターン２ａ−２と、第１スルーホール３ａと、ボール状導体４と、第２誘電体１ｂ上面の第３導体パターン２ｂ−１とで囲まれ、パッチ状導体１２−１を含む領域が、２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２として機能する。
【００５８】
一方、第１誘電体１ａの上面と下面に設けられた第１導体パターン２ａ−１および第２導体パターン２ａ−２と、第１スルーホール３ａと、ボール状導体４と、第２誘電体１ｂ上面の第３導体パターン２ｂ−１とで囲まれ、パッチ状導体１２−２を含む領域が、２つの第１共振器１１ａ−３、１１ａ−４として機能する。
【００５９】
つまり、本実施の形態３における高周波フィルタは、１つの構造体が２つの共振器として同時に機能するデュアルモード共振器が２つ構成されていることになる。
【００６０】
第１共振器１１ａ−１は、結合スロット６−１を介して主線路９と電磁界結合し、第１共振器１１ａ−２は、結合スロット６−２を介して主線路９と電磁界結合する。第１共振器１１ａ−１と１１ａ−２との間の結合量は、主に、パッチ状導体１２−１に設けられたパターンカット１３−１により調整される。
【００６１】
一方、第１共振器１１ａ−３は、結合スロット６−３を介して主線路９と電磁界結合し、第１共振器１１ａ−４は、結合スロット６−４を介して主線路９と電磁界結合する。第１共振器１１ａ−３と１１ａ−４との間の結合量は、主に、パッチ状導体１２−２に設けられたパターンカット１３−２により調整される。
【００６２】
図２０は、本発明の実施の形態３の図１７に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で４つの第１共振器１１ａ−１〜１１ａ−４の電磁界の分布領域を示したものである。図２０では、デュアルモード共振器として動作する領域を、１５−１、１５−２として示している。
【００６３】
さらに、図２１は、本発明の実施の形態３における高周波フィルタの等価回路図である。図２１では、デュアルモード動作をする部位を１５−１、１５−２として示している。
【００６４】
図２１における隣り合う２つの共振回路の間の分布定数線路の電気長は、隣り合う結合スロットの物理的な間隔に対応している。このように、本実施の形態３における高周波フィルタは、第２誘電体１ｂに構成された主線路９に、第２誘電体１ｂ上方に設けられた第１共振器が、結合スロットを介して電磁界結合してなる、図２１に示すような４段の帯域阻止フィルタとして動作をする。
【００６５】
本実施の形態３の高周波フィルタは、主線路となる誘電体充填導波管の上方に重なるように、第１共振器１１ａ−１〜１１ａ−４が構成されており、回路の占有面積が小さくてすむ。このため、あまり大きな面積を製造できない基板でも、容易に高周波フィルタの機能を実現できるという利点がある。特に、低損失なセラミック系の誘電体基板を用いてフィルタを構成した場合には、低損失なフィルタが構成できることに加え、誘電体の外形が小さくてすむ。このため、低い周波数帯で動作する回路を実現しやすくなる効果も期待できる。
【００６６】
また、本実施の形態３の高周波フィルタで用いられる共振器は、前述のように、正方形パッチ状導体によるＴＭ１１０モード系のデュアルモード共振器として機能する。このため、４つの共振器が本来必要な４段のフィルタを２つの共振器で実現でき、小さな占有面積でフィルタが実現できる。
【００６７】
さらに、先の図２０にその電磁界の分布領域を示したように、本実施の形態３における共振器の電磁界は、ボール状導体４により第１誘電体１ａと第２誘電体１ｂとの間に形成される空気層にも分布する。パッチ状導体を用いているため、パッチ状導体上の電流集中による導体損が見込まれる。しかしながら、空気層における非常に小さい誘電正接から比較的共振器の無負荷Ｑ値が高く維持することができるため、結果的に、小形で低損失なフィルタが得られる。つまり、空気層を活用できる本発明の構造ならではの効果がある。
【００６８】
以上のように、実施の形態３によれば、ボール状導体を用いて単層の誘電体を重ねるように回路を構成することで、基本的に先の実施の形態１の高周波フィルタと同様の効果を得ることができるデュアルモード共振器を２つ備えた高周波フィルタを、容易に実現することができる。
【００６９】
なお、パターンカット１３は、第１共振器１１ａ−１と１１ａ−２、第１共振器１１ａ−３と１１ａ−４とを相互に結合させ、帯域阻止フィルタとして有極形の周波数特性を実現するためのものである。阻止帯域中心周波数付近にて大きな減衰量を得たい場合などでは、有極化する必要はなく、共振器間の結合は、むしろ不要である。従って、パターンカット１３は、本実施の形態３のフィルタを実現する上で必須ではない。
【００７０】
また、図２１の等価回路では、簡単化のため、共振器間の結合がない場合の回路を記載している。さらには、パッチ状導体は、デュアルモード共振を促す形状であればよく、本実施の形態３のような正方形形状に限るものではなく、円形、楕円形等であってもよいことは言うまでもない。
【００７１】
実施の形態４．
先の実施の形態３では、デュアルモード共振器を２つ備えた高周波フィルタを説明した。本実施の形態４では、２つのデュアルモード共振器の間に、さらに第２共振器を設けた高周波フィルタについて説明する。
【００７２】
図２２は、本発明の実施の形態４における高周波フィルタの分解斜視図である。図２３は、本発明の実施の形態４における図２２の高周波フィルタを側方から見た図である。図２４は、本発明の実施の形態４における図２２の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。図２５は、本発明の実施の形態４における図２３の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。図２６は、本発明の実施の形態４における図２３の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【００７３】
これらの図２２〜図２６に示した高周波フィルタは、第１誘電体１ａ、第２誘電体１ｂ、第１導体パターン２ａ−１、第２導体パターン２ａ−２、第３導体パターン２ｂ−１、第４導体パターン２ｂ−２、第１スルーホール３ａ、第２スルーホール３ｂ、ボール状導体４、入出力端子５−１、５−２、結合スロット６−１〜６−４、入出力線路１０−１、１０−２、パッチ状導体１２−１、１２−２、および第１抜き穴１６−１、１６−２を備えている。
【００７４】
第１誘電体１ａおよび第２誘電体１ｂは、誘電体基板に相当し、ともに同一の材料から構成されている。第１導体パターン２ａ−１は、第１誘電体１ａの上面に設けられている。一方、第２導体パターン２ａ−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられている。また、第３導体パターン２ｂ−１は、第２誘電体１ｂの上面に設けられている。一方、第４導体パターン２ｂ−２は、第２誘電体１ｂの下面のほぼ全面に設けられている。
【００７５】
第１スルーホール３ａは、第１誘電体１ａに複数個設けられ、第１導体パターン２ａ−１と第２導体パターン２ａ−２とを電気的に接続している。また、第２スルーホール３ｂは、第２誘電体１ｂに複数個設けられ、第３導体パターン２ｂ−１と第４導体パターン２ｂ−２との間を電気的に接続している。
【００７６】
ボール状導体４は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２と第２誘電体１ｂ上面に設けられた第３導体パターン２ｂ−１との間を電気的に接続する、はんだボールなどのボール状導体である。入出力端子５−１、５−２は、入出力線路１０−１、１０−２の端部を指し、本実施の形態４の高周波フィルタの入出力端子に相当する。
【００７７】
結合スロット６−１〜６−４は、第３導体パターン２ｂ−１に設けられた結合手段である。入出力線路１０−１、１０−２は、第２誘電体１ｂと第３導体パターン２ｂ−１と第４導体パターン２ｂ−２と第２スルーホール３ｂの一部から、誘電体充填導波管形の入出力線路として形成されている。
【００７８】
パッチ状導体１２−１、１２−２は、第２誘電体１ｂの下面に設けられた、おおよそ正方形の共振器導体パターンである。また、これらパッチ状導体１２−１、１２−２の一角には、パターンカット１３−１、１３−２が設けられている。さらに、第１抜き穴１６−１、１６−２は、第１誘電体１ａの下面に設けられた第２導体パターン２ａ−２に設けられている。
【００７９】
次に、本実施の形態４における高周波フィルタの具体的な動作について説明する。第１誘電体１ａの上面と下面に設けられた第１導体パターン２ａ−１および第２導体パターン２ａ−２と、第１スルーホール３ａの一部と、ボール状導体４の一部と、第２誘電体１ｂ上面の第３導体パターン２ｂ−１とで囲まれ、パッチ状導体１２−１を含む領域が、２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２として機能する。
【００８０】
一方、第１誘電体１ａの上面と下面に設けられた第１導体パターン２ａ−１および第２導体パターン２ａ−２と、一部以外のその他の第１スルーホール３ａと、一部以外のその他のボール状導体４と、第２誘電体１ｂ上面の第３導体パターン２ｂ−１とで囲まれ、パッチ状導体１２−２を含む領域が、２つの第１共振器１１ａ−３、１１ａ−４として機能する。
【００８１】
つまり、本実施の形態４における高周波フィルタは、１つの構造体が２つの共振器として同時に機能するデュアルモード共振器が２つ構成されている。加えて、第２誘電体１ｂの中央部にて、第３導体パターン２ｂ−１と、第４導体パターン２ｂ−２と、第２スルーホール３ｂの一部とに囲まれた領域が、第２共振器１１ｂとして機能する。
【００８２】
第１共振器１１ａ−１は、結合スロット６−１を介して入出力線路１０−１と電磁界結合する一方、主にパッチ状導体１２−１の一角に設けられたパターンカット１３−１の及ぼす作用により、第１共振器１１ａ−２と一定量の電磁界結合をする。また、第１共振器１１ａ−２は、結合スロット６−２を介して第２誘電体１ｂ内に設けられた第２共振器１１ｂと電磁界結合する。
【００８３】
さらに、第２共振器１１ｂは、結合スロット６−３を介して第１共振器１１ａ−３に電磁界結合する。第１共振器１１ａ−３は、パッチ状導体１２−２の一角に設けられたパターンカット１３−２の及ぼす作用により第１共振器１１ａ−４と電磁界結合する。そして、第１共振器１１ａ−４は、結合スロット６−４を介して入出力線路１０−２に電磁界結合する。
【００８４】
図２７は、本発明の実施の形態４の図２４に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で５つの共振器の電磁界の分布領域を示したものである。第１共振器１１ａ−１と１１ａ−２は、パッチ状導体１２−１を含む同一の物理構造内で共振するいわゆるＴＭ１１０モードによるデュアルモード共振器であり、共振器１１ａ−３と１１ａ−４も同様である。
【００８５】
一方、第２共振器１１ｂは、誘電体充填矩形導波管形構造のＴＥ１０１モードによる共振器となっている。図２７では、デュアルモード共振器として動作する領域を１５−１、１５−２として示している。
【００８６】
図２８は、本発明の実施の形態４における高周波フィルタの等価回路図である。図２８では、５つの共振器に対応する回路要素を破線で囲むとともに、図２７と同様に、デュアルモード動作をする部位を１５−１、１５−２として示している。デュアルモード共振器内の結合は、磁界的な結合と捉えてインダクタによるトランスで表示し、２つのデュアルモード共振器に挟まれた第２共振器１１ｂについては、シリーズの直列共振回路で表している。
【００８７】
上記トランス以外のシャントのインダクタは、結合スロットにおける電磁界結合を表すものである。上記のトランスは、３つのインダクタンスからなるＴ型の回路で置き換えられる。この結果、図２８の回路は、５つのシリーズの直列共振回路と外部回路とが、シャントのインダクタで相互に結合する回路となる。
【００８８】
このように、本実施の形態４の高周波フィルタは、入出力線路１０−１、１０−２、第２誘電体１ｂ上方に設けられた第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２、第２誘電体１ｂ内の共振器１１ｂ、および第２誘電体１ｂ上方に設けられた第１共振器１１ａ−３、１１ａ−４が、結合スロット６−１〜６−４、パッチ状導体１２−１、１２−２に設けたパターンカット１３−１、１３−２により相互に電磁界結合してなる、５段の帯域通過フィルタとして動作をする。
【００８９】
本実施の形態４の高周波フィルタは、入出力線路となる誘電体充填導波管を構成した第２誘電体１ｂの上方に重なるように別の第１誘電体１ａが設けられている。このことに加え、第２誘電体１ｂに設けられた２つの入出力線路の間の領域と、第２誘電体１ｂの内部と、第１誘電体１ａと第２誘電体１ｂの間の空気層とを活用し、さらに、一部の共振器を、空気層を活用した小形低損失なデュアルモードの共振器としている。この結果、５段のフィルタとしては、回路の占有面積が非常に小さい。このため、あまり大きな面積を製造できない基板でも、容易に高周波フィルタの機能を実現できる利点がある。
【００９０】
以上のように、実施の形態４によれば、ボール状導体を用いて単層の誘電体を重ねるように回路を構成することで、ボール状導体により誘電体間に形成される空気層を共振器の一部として活用することで、近隣の回路への不要な結合やアイソレーションの劣化を招くことなく、小形化、低損失化、高い機械的信頼性の確保を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の実施の形態１における高周波フィルタの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１における図１の高周波フィルタを側方から見た図である。
【図３】本発明の実施の形態１における図１の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１における図２の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。
【図５】本発明の実施の形態１における図２の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【図６】本発明の実施の形態１の図３に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で２つの第１共振器１１ａ−１、１１ａ−２の電磁界の分布領域を示したものである。
【図７】本発明の実施の形態１における高周波フィルタの等価回路図である。
【図８】本発明の実施の形態２における高周波フィルタの分解斜視図である。
【図９】本発明の実施の形態２における図８の高周波フィルタを側方から見た図である。
【図１０】本発明の実施の形態２における図８の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２における図９の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。
【図１２】本発明の実施の形態２における図９の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【図１３】本発明の実施の形態２の図１０に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で３つの共振器１１ａ−１、１１ｂ、１１ａ−２の電磁界の分布領域を示したものである。
【図１４】本発明の実施の形態２における高周波フィルタの等価回路図である。
【図１５】本発明の実施の形態３における高周波フィルタの分解斜視図である。
【図１６】本発明の実施の形態３における図１５の高周波フィルタを側方から見た図である。
【図１７】本発明の実施の形態３における図１５の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態３における図１６の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。
【図１９】本発明の実施の形態３における図１６の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【図２０】本発明の実施の形態３の図１７に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で４つの第１共振器１１ａ−１〜１１ａ−４の電磁界の分布領域を示したものである。
【図２１】本発明の実施の形態３における高周波フィルタの等価回路図である。
【図２２】本発明の実施の形態４における高周波フィルタの分解斜視図である。
【図２３】本発明の実施の形態４における図２２の高周波フィルタを側方から見た図である。
【図２４】本発明の実施の形態４における図２２の高周波フィルタのＡ−Ａ'断面の断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態４における図２３の高周波フィルタのＢ面を矢印の方向に見た図である。
【図２６】本発明の実施の形態４における図２３の高周波フィルタのＣ面を矢印の方向に見た図である。
【図２７】本発明の実施の形態４の図２４に示したＡ−Ａ’断面図に対して、破線で５つの共振器の電磁界の分布領域を示したものである。
【図２８】本発明の実施の形態４における高周波フィルタの等価回路図である。
【図２９】従来の多段フィルタの上面図である。
【図３０】従来の多段フィルタの側面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１ａ  第１誘電体、１ｂ  第２誘電体、２ａ−１  第１導体パターン、２ａ−２  第２導体パターン、２ｂ−１  第３導体パターン、２ｂ−２  第４導体パターン、３ａ  第１スルーホール、３ｂ  第２スルーホール、４  ボール状導体、５−１、５−２  入出力端子、６−１〜６−４  結合スロット（結合手段）、７−１〜７−３  共振器導体パターン、８−１〜８−３  共振器ボール状導体、９  主線路、１０−１、１０−２  入出力線路、１１ａ−１〜１１ａ−４  第１共振器、１１ｂ  第２共振器、１２−１、１２−２  パッチ状導体（共振器導体パターン）、１３−１、１３−２  パターンカット、１４−１、１４−２  段間結合部、１５−１、１５−２  デュアルモード共振器、１６  第１抜き穴、１７  第２抜き穴。
【図１】
2010130663.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2010130663.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2010130663.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2010130663.tif 000019
【図１８】
2010130663.tif 000020
【図１９】
2010130663.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
2010130663.tif 000023
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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