(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルから滴下される配向膜材料の液滴の量を均一にすることができる配向膜形成装置を提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドが液晶表示パネル用の基板に対して滴下移動方向に相対的に移動可能に設けられ、インクジェットヘッドの滴下移動方向と交差する方向に沿って配設された複数のノズルから基板表面に滴下された配向膜材料の液滴の広がりにより配向膜を形成する配向膜形成装置であって、基板表面に形成された配向膜の膜厚を滴下移動方向と直交する方向に沿って測定する膜厚測定手段と、膜厚測定手段により測定された各ノズルの配向膜材料滴下位置での膜厚と所望膜厚との差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整手段とを備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドが液晶表示パネル用の基板に対して滴下移動方向に相対的に移動可能に設けられ、前記インクジェットヘッドの滴下移動方向と交差する方向に沿って配設された複数のノズルから前記基板表面に滴下された配向膜材料の液滴の広がりにより配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記基板表面に形成された前記配向膜の膜厚を測定する膜厚測定工程と、該膜厚測定工程により測定された各ノズルの配向膜材料滴下位置での膜厚と所望膜厚との差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整工程とを備えたことを特徴とする配向膜形成方法。
【請求項２】
前記膜厚測定工程においては、前記基板表面に形成された配向膜の膜厚を滴下移動方向に直交する方向に沿って測定することを特徴とする請求項１に記載の配向膜形成方法。
【請求項３】
前記膜厚測定工程においては、前記基板表面に形成された配向膜の略中央箇所を含む複数箇所を測定することを特徴とする請求項１または２に記載の配向膜形成方法。
【請求項４】
インクジェットヘッドが液晶表示パネル用の基板に対して滴下移動方向に相対的に移動可能に設けられ、前記インクジェットヘッドの滴下移動方向と交差する方向に沿って配設された複数のノズルから前記基板表面に滴下された配向膜材料の液滴の広がりにより配向膜を形成する配向膜形成装置であって、前記基板表面に形成された前記配向膜の膜厚を測定する膜厚測定手段と、該膜厚測定手段により測定された各ノズルの配向膜材料滴下位置での膜厚と所望膜厚との差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整手段とを備えたことを特徴とする配向膜形成装置。
【請求項５】
前記膜厚測定手段が前記基板表面に形成された配向膜の膜厚を滴下移動方向に直交する方向に沿って測定することを特徴とする請求項４に記載の配向膜形成装置。
【請求項６】
前記膜厚測定手段が前記基板表面に形成された配向膜の略中央箇所を含む複数箇所を測定することを特徴とする請求項４または５に記載の配向膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル用の基板にインクジェット方式により配向膜材料を滴下して配向膜を形成する配向膜形成方法および配向膜形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータやテレビなどの家電製品の表示部として、液晶表示パネルが広く用いられている。液晶表示パネルは、一般には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ基板とカラーフィルタ（ＣＦ）基板とからなる一対の基板が所定の間隔を置いて平行に対向配置され、両基板間に液晶が充填された構成をなしている。ＴＦＴアレイ基板には複数の画素電極がマトリクス状に形成され、ＣＦ基板にはほぼ全面に共通電極が形成されており、これら電極間に印加する電圧を変化させることで、液晶を配向制御することができるようになっている。
【０００３】
通常、液晶の配向を揃えるために、ポリイミドなどの有機材料からなる配向膜が上述した画素電極と共通電極を覆うように形成されている。このような配向膜は、電極が形成された基板表面に配向膜材料からなる薄膜を回転ローラにより転写して形成する方法の他に、図７に示されるようなインクジェットヘッドを用いて基板表面に配向膜材料を滴下して形成する方法がある（例えば下記特許文献１）。
【０００４】
図示されるように、千鳥状に配置された各インクジェットヘッド２には、複数のノズル２ｄが所定のピッチＰでＸ方向に沿って配列されており、これらインクジェットヘッド２を基板６０に対してＹ方向に相対的に移動させつつ、各ノズル２ｄから配向膜材料の液滴２０，２０，２０，２０，・・・・を連続的に滴下することができるようになっている。
【０００５】
ノズル２ｄから滴下された配向膜材料の各液滴２０は、着弾の瞬間に基板６０表面で濡れ広がり、隣接する液滴２０同士が接触すると、その接触位置からそれらの液滴２０同士が繋がって一体となり、配向膜材料が基板６０表面に一様に広がった単一の薄膜として形成される。その後、乾燥などの所定の工程を経ることで液滴２０に含まれる配向膜材料以外の溶剤等が除去されると、基板６０表面に所定の膜厚を有する配向膜が得られる。
【０００６】
この場合、例えば隣り合うノズル２ｄ，２ｄの間隔であるノズル間ピッチＰは数百μｍという長さとなっており、隣り合うノズル２ｄ，２ｄから滴下された配向膜材料の液滴２０は、図８に示されるように重ならないため、例えばノズル間ピッチＰの半分〜１／４（半ピッチ〜１／４ピッチ）の長さ分だけ各ノズル２ｄの配列方向（Ｘ方向）にずらすことを、インクジェットヘッド２の滴下移動方向（Ｙ方向）への複数回の移動毎に繰り返すことにより、各液滴２０が一体的に繋げられるようになっている。
【０００７】
より具体的には、例えばノズル間ピッチＰが８００μｍで、その１／４の長さ、つまり２００μｍ分だけＸ方向にずらす場合は、図７に示されるように、インクジェットヘッド２のＹ方向への滴下のための移動は４回なされることになる。この場合の滴下動作の手順について説明する。
【０００８】
先ず、図８に示されるように、インクジェットヘッド２の１回目のＹ方向下側への矢印３１の移動により、基板６０表面にＹ方向に沿って連続した配向膜材料の液滴２０の列２１を形成する。次に、図９に示されるようにインクジェットヘッド２のノズル間ピッチＰの１／４の長さ（１／４ピッチ）だけＸ方向右側への矢印３２の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド２の２回目のＹ方向上側への矢印３３の移動により、基板６０表面に配向膜材料の液滴２０の列２２を形成する。
【０００９】
次に、図１０に示されるようにインクジェットヘッド２のノズル間ピッチＰの１／４の長さだけＸ方向右側への矢印３４の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド２の３回目のＹ方向下側への矢印３５の移動により、基板６０表面に配向膜材料の液滴２０の列２３を形成する。そして、図１１に示されるようにインクジェットヘッド２のノズル間ピッチＰの１／４の長さだけＸ方向右側への矢印３６の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド２の４回目のＹ方向上側への矢印３７の移動により、基板６０表面に配向膜材料の液滴２０の列２４を形成する。
【００１０】
つまり、図８に示されるようなインクジェットヘッド２の基板６０への一回目のＹ方向への移動（矢印３１）によって基板６０表面に滴下して形成された複数の配向膜材料の液滴２０の列２１同士の間を埋めるように、インクジェットヘッド２を所定のずらし量（１／４ピッチ）でＸ方向（矢印３２，３４，３６）へずらしつつ、２回目、３回目、４回目とＹ方向（矢印３３，３５，３７）に移動させることにより、図７に示されるように配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４を形成することで、隣り合う各配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が繋がってこれらを一体的にすることができるようになっている。
【００１１】
このようにインクジェットヘッド２をＸ方向へずらしつつ基板６０に対してＹ方向に２往復動させることで、隣り合う各配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が繋がって各液滴２０が一体となり、これを乾燥させることで基板６０表面に単一の薄膜として配向膜が形成されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−４２３３０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、各インクジェットヘッド２に設けられた複数のノズル２ｄのうち、いずれかのノズル２ｄが詰まる等の不具合や滴下量のバラツキによって、そのノズル２ｄから滴下される液滴２０の量が少なかったり多かったりと適切な滴下量になっていない場合がある。
【００１４】
このような滴下量が適切でない不良ノズルがあると、上述したインクジェットヘッド２をＸ方向にずらしつつ、Ｙ方向への２往復の移動によって配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４を形成する場合、図１２に示されるように不良ノズル２ｈ，２ｈ（図中点線で囲んだノズル）から滴下されて形成される配向膜材料の液滴の列２１，２２，２３，２４は、隣り合うように連続して形成されてしまう。
【００１５】
したがって、例えば図示されるように左の不良ノズル２ｈの滴下位置に対応した滴下領域２６ｂの４つの液滴の列２１，２２，２３，２４の全てが多くなったり、または右の不良ノズル２ｈの滴下位置に対応した滴下領域２６ｉの４つの液滴の列２１，２２，２３，２４の全てが少なくなったりする結果、この部分の配向膜材料が他の部分より多くなったり少なくなったりしてしまうということが発生する。
【００１６】
このような配向膜材料の滴下量が適切でない部分を有した基板が、乾燥などの所定の工程を経ると、図４に示されるように、滴下領域２６ｂおよび滴下領域２６ｉの膜厚が他の部分の膜厚より不均一な状態の配向膜６２が基板表面に形成されてしまい、これが図１５に示されるような液晶表示パネル４０の画像表示においてすじ状のムラとなって表示されてしまう表示ムラ４１の原因となっていた。
【００１７】
このような基板表面に配向膜材料の滴下量が適切でない部分が存在してしまった場合は、この部分の配向膜材料の量が他の部分の配向膜材料の量と均一になるまで一定時間放置したり、または均一になるように基板を振動させたりすることが考えられるが、工程数の増加等により製造コストがアップするという問題がある。
【００１８】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルから滴下される配向膜材料の液滴の量を均一にすることができる配向膜形成方法および配向膜形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題を解決するため本発明は、インクジェットヘッドが液晶表示パネル用の基板に対して滴下移動方向に相対的に移動可能に設けられ、前記インクジェットヘッドの滴下移動方向と交差する方向に沿って配設された複数のノズルから前記基板表面に滴下された配向膜材料の液滴の広がりにより配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記基板表面に形成された前記配向膜の膜厚を測定する膜厚測定工程と、該膜厚測定工程により測定された各ノズルの配向膜材料滴下位置での膜厚と所望膜厚との差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整工程とを備えたことを要旨とするものである。
【００２０】
このような構成の配向膜形成方法によれば、液晶表示パネル用の基板表面にインクジェットヘッドのノズルから配向膜材料を滴下して配向膜を形成し、更にその配向膜の膜厚を測定した後、その膜厚測定データの膜厚と目標とする所望膜厚との差を、各ノズルの配向膜材料滴下位置ごとに算出して、各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる調整が行われる。このようにインクジェットヘッドの各ノズルからの配向膜材料の滴下量が均一になるように調整（補正）されるので、上述したように不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続して配向膜が不均一な部分が局所的に形成されてしまうことが防止される。
【００２１】
この場合、前記膜厚測定工程においては、前記基板表面に形成された配向膜の膜厚を滴下移動方向に直交する方向に沿って測定する構成にすれば、各ノズルの配向膜材料滴下位置ごとに膜厚測定データの膜厚と目標とする所望膜厚との差を算出することが行いやすくなり、各ノズルが滴下した配向膜の膜厚を効率的に測定することができるので、測定バラツキを小さくすることができると共に、測定時間の短縮も可能となる。
【００２２】
また、前記膜厚測定工程においては、前記基板表面に形成された配向膜の略中央箇所を含む複数箇所を測定する構成にすれば、例えば、複数箇所で測定された複数の膜厚測定データの膜厚の値を平均化して用いることで膜厚測定の精度を向上させることができる。また、インクジェットヘッドが滴下移動している最中にいずれかのノズルからの配向膜材料の滴下量が変化する場合などの滴下移動方向に沿った配向膜の膜厚の変化も検出することができるので、滴下移動中に配向膜材料の滴下量が変化する不良ノズルの特定が容易になる。
【００２３】
また、上記課題を解決するために本発明は、インクジェットヘッドが液晶表示パネル用の基板に対して滴下移動方向に相対的に移動可能に設けられ、前記インクジェットヘッドの滴下移動方向と交差する方向に沿って配設された複数のノズルから前記基板表面に滴下された配向膜材料の液滴の広がりにより配向膜を形成する配向膜形成装置であって、前記基板表面に形成された前記配向膜の膜厚を測定する膜厚測定手段と、該膜厚測定手段により測定された各ノズルの配向膜材料滴下位置での膜厚と所望膜厚との差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整手段とを備えたことを要旨とするものである。
【００２４】
このような構成の配向膜形成装置によれば、液晶表示パネル用の基板表面にインクジェットヘッドのノズルから配向膜材料を滴下して配向膜を形成し、更にその配向膜の膜厚を膜厚測定手段により測定した後、その膜厚測定データの膜厚と目標とする所望膜厚との差を、各ノズルの配向膜材料滴下位置ごとに算出して、各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる調整が滴下量調整手段により行われる。このようにインクジェットヘッドの各ノズルからの配向膜材料の滴下量が均一になるように調整（補正）されるので、上述したように不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続して配向膜の膜厚が不均一な部分が局所的に形成されてしまうことが防止される。
【００２５】
この場合、前記膜厚測定手段が前記基板表面に形成された配向膜の膜厚を滴下移動方向に直交する方向に沿って測定する構成にすれば、各ノズルの配向膜材料滴下位置ごとに膜厚測定データの膜厚と目標とする所望膜厚との差を算出することが行いやすくなり、各ノズルが滴下した配向膜の膜厚を効率的に測定することができるので、測定バラツキを小さくすることができると共に、測定時間の短縮も可能となる。
【００２６】
また、前記膜厚測定手段が前記基板表面に形成された配向膜の略中央箇所を含む複数箇所を測定する構成にすれば、例えば、複数箇所で測定された複数の膜厚測定データの膜厚の値を平均化して用いることで膜厚測定の精度を向上させることができる。また、インクジェットヘッドが滴下移動している最中にいずれかのノズルからの配向膜材料の滴下量が変化する場合などの滴下移動方向に沿った配向膜の膜厚の変化も検出することができるので、滴下移動中に配向膜材料の滴下量が変化する不良ノズルの特定が容易になる。
【発明の効果】
【００２７】
上記構成を有する配向膜形成方法および配向膜形成装置によれば、インクジェットヘッドの各ノズルからの配向膜材料の滴下量が均一になるように調整（補正）されるので、従来技術で説明したように不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続して配向膜の膜厚が不均一な部分が局所的に形成されてしまうことが防止されることになり、図１３に示したような液晶表示パネルの画像表示におけるすじ状の表示ムラの発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態である配向膜形成装置の概略構成を示した図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドのノズルの駆動電圧の波形を時間軸に沿って示した図である。
【図３】図２のインクジェットヘッドのノズルの駆動電圧の増加割合と形成される配向膜の膜厚の増加量との関係を示したグラフである。
【図４】配向膜形成装置によりガラス基板上に形成された配向膜を示した横断面図である。
【図５】配向膜形成装置により滴下量調整後にガラス基板上に形成された配向膜を示した横断面図である。
【図６】液晶表示パネルの概略構成を示した図である。
【図７】インクジェットヘッドによって基板表面に配向膜材料の液滴を滴下した状態を示した図である。
【図８】図７のインクジェットヘッドの１回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第１列を形成した状態を示した図である。
【図９】図７のインクジェットヘッドの２回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第２列を形成した状態を示した図である。
【図１０】図７のインクジェットヘッドの３回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第３列を形成した状態を示した図である。
【図１１】図７のインクジェットヘッドの４回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第４列を形成した状態を示した図である。
【図１２】図７のインクジェットヘッドに滴下量が不適切な不良ノズルが存在する場合の滴下状態を示した図である。
【図１３】液晶表示パネルの画像表示においてすじ状の表示ムラがある場合を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に、本発明に係る配向膜形成方法および配向膜形成装置の実施の形態ついて、図面を参照して詳細に説明する。
【００３０】
先ず、本発明が適用される液晶表示パネルについて説明する。図６は、液晶表示パネルの平面図と１画素の断面図の概略構成を示している。図示されるように液晶表示パネル４０は、画素が縦方向および横方向に複数配列された構成になっている。図中の断面図に示されるように、この液晶表示パネル４０は、一対の対向するガラス基板（ＴＦＴアレイ基板）５０とガラス基板（ＣＦ基板）６０の間に、液晶７０が充填された構成となっている。下側のガラス基板５０上には、１画素ごとに設けられた画素電極５１がマトリクス状に配列して形成され、上側のガラス基板６０の下には、ほぼ全面にわたって共通電極６１が形成されている。
【００３１】
各画素電極５１の周囲には、ソース電極５２と図示しないゲート電極とが相互に直交するように形成されている。ソース電極５２とゲート電極は、その交差部において、ゲート絶縁膜５５を介してソース電極５２が上側、ゲート電極が下側になるように交差しており、交差部には図示しないＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が形成されており、このＴＦＴが画素電極５１に図示しないドレイン電極を介して接続されている。この場合、ＴＦＴは、ゲート電極より供給される走査信号電圧によってオン／オフ制御され、その際にソース電極５２より供給される画像表示信号電圧が、ドレイン電極を介して画素電極５１に印加されるようになっている。また、図示されるように画素電極５１は、ソース電極５２とゲート電極で囲まれ領域に層間絶縁膜５４を介して設けられている。
【００３２】
各画素電極５１が設けられたガラス基板５０には、これら各画素電極５１を覆うように配向膜５３が形成されている。また、共通電極６１が形成されたガラス基板６０には、この共通電極６１を覆うように配向膜６２が形成されている。これら配向膜５３，６２に、絹布等を用いて配向膜５３，６２表面を所定の方向に擦るラビング処理や、配向膜５３，６２表面に対して所定の方向から紫外線などを照射する光配向処理を施すと、配向膜５３，６２表面に所定の配向特性が与えられて、これら配向膜５３，６２に接触される液晶７０の配向を揃えることができるようになっている。
【００３３】
また、共通電極６１が設けられたガラス基板６０には、ブラックマトリクス６３が形成されている。このブラックマトリクス６３により、ガラス基板５０側のソース電極５２、ゲート電極およびＴＦＴが形成された領域が遮光されるようになっている。また、このガラス基板６０には、各画素に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）のうちのいずれか１色の着色層６４が形成されている。
【００３４】
図１は、上述した構成の液晶表示パネル４０が備えるガラス基板（ＴＦＴアレイ基板）５０への配向膜５３の形成およびガラス基板（ＣＦ基板）６０への配向膜６２の形成に用いられる配向膜形成装置の概略構成を示した図である。尚、以下の説明では、ガラス基板（ＣＦ基板）６０に配向膜６２を形成する態様について説明し、ガラス基板（ＴＦＴアレイ基板）５０に配向膜５３を形成する態様については同様であるので省略する。
【００３５】
図示されるように配向膜形成装置１は、複数のインクジェットヘッド２と、このインクジェットヘッド２に対してガラス基板６０を相対的にＸＹ方向に移動可能にする滴下ステージ３と、インクジェットヘッド２の各ノズル２ｄからの配向膜材料の滴下動作と、滴下ステージ３の移動を制御する滴下コントローラ４を備えている。
【００３６】
また、配向膜形成装置１は、インクジェットヘッド２からの配向膜材料の滴下によりガラス基板６０表面に形成された配向膜６２の膜厚を滴下移動方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）に沿って測定する膜厚測定器５と、この膜厚測定器５に対してガラス基板６０を相対的にＸＹ方向に移動可能にする測定ステージ６と、膜厚測定器５の測定動作と測定ステージ６の移動を制御する膜厚測定コントローラ７を備えている。
【００３７】
更に、配向膜形成装置１は、滴下コントローラ４と膜厚測定コントローラ７を制御する制御部８と、配向膜の目標とする所望膜厚データが記憶された記憶部９と、膜厚測定器５により測定された各ノズル２ｄの配向膜材料滴下位置での膜厚測定データと、目標とする所望膜厚データとの差に基づいて各ノズルからの配向膜材料の滴下量を増減させる滴下量調整部１０を備えている。
【００３８】
滴下ステージ３は、その上面に載置されたガラス基板６０を吸着保持可能となっており、ガラス基板６０をインクジェットヘッド２に対してＸＹ方向に移動させることができる。
【００３９】
各インクジェットヘッド２には、供給タンク１３内の配向膜材料を含む配向膜溶液（例えば、ポリイミド樹脂５％，溶剤９５パーセント）１２が供給管１４を介して接続されており、供給ポンプ１５によって供給タンク１３内の配向膜溶液１２が送出されて各インクジェットヘッド２に供給されるようになっている。
【００４０】
図示されるように、各インクジェットヘッド２は、Ｘ方向に沿って千鳥状になるように配置されている。また、各インクジェットヘッド２には、図７にも示されるようにＸ方向に沿って複数のノズル２ｄが所定のピッチＰで配列されており、ガラス基板６０のほぼ全面に、配向膜材料の液滴２０を滴下できるようになっている。
【００４１】
インクジェットヘッド２は、図２に示されるように、配向膜溶液１２が収容される液収容室２ａが形成されたヘッド本体２ｂと、液収容室２ａを封止するように設けられた可撓性の振動板２ｃと、ヘッド本体２ｂに設けられ液収容室２ａと連通するノズル２ｄが穿設されたノズルプレート２ｅとを備える。ヘッド本体２ｂは角柱形状を有しており、このヘッド本体２ｂには長手方向に沿って複数の液収容室２ａが所定間隔で区画形成されている。
【００４２】
液収容室２ａは、ヘッド本体２ｂの上面と下面とにそれぞれ開口されており、上面の開口は振動板２ｃによって閉塞され、下面の開口はノズルプレート２ｅによって閉塞されている。このノズルプレート２ｅには各液収容室２ａに連通するノズル２ｄがそれぞれ設けられている。
【００４３】
振動板２ｃの液収容室２ａとは反対側の面には板状の圧電セラミックス２ｆが固着して設けられており、この圧電セラミックス２ｆには滴下コントローラ４から所定の駆動電圧が供給されるようになっている。この圧電セラミックス２ｆに滴下コントローラ４から供給される駆動電圧を印可して作動させ、振動板２ｃを振動させて液収容室２ａ内の配向膜溶液１２に圧力が加えられると、配向膜溶液１２を各ノズル２ｄから液滴状に吐出させることができるようになっている。
【００４４】
ヘッド本体２ｂには液収容室２ａに一端を連通させた液供給路２ｇが設けられており、この液供給路２ｇの他端はヘッド本体２ｂの側面に開口して、供給管１４を介して供給タンク１３に接続されている。これにより液収容室２ａ内は配向膜溶液１２で満たされるようになっている。
【００４５】
このようなインクジェットヘッド２は、図示されるように液供給路２ｇから供給される配向膜溶液１２で満たされた液収容室２ａの容積を、印可される駆動電圧に応じて変形する圧電セラミックス２ｆで増加・縮小させることによって、液収容室２ａに連通されたノズル２ｄから配向膜溶液の液滴２０を吐出することができるようになっている。
【００４６】
具体的には、図２に示されるように圧電セラミックス２ｆへの印可電圧がＶＬの待機状態から吐出動作の直前にＶＨの電圧を印可すると圧電セラミックス２ｆは上側に湾曲変形する。これに伴い振動板２ｃも上側に変位して液収容室２ａの容積が増加して、配向膜溶液１２が液供給路２ｇを介して液収容室２ａに供給される。そして、その直後にＶＬの電圧を印可すると上側に湾曲変形していた圧電セラミックス２ｆが下側に湾曲変形する。これに伴い上側に変位していた振動板２ｃも下側に変位することにより液収容室２ａの容積が待機状態にまで縮小して、配向膜溶液１２がノズル２ｄから押し出されて液滴２０が吐出される。
【００４７】
このようなインクジェットヘッド２を基板６０に対してＹ方向に相対的に移動させつつ、各ノズル２ｄから配向膜材料の液滴２０，２０，２０，２０，・・・・を連続的に滴下することで、ガラス基板６０表面には、図１に示されるように１２個のノズル２ｄに対応した１２の滴下領域２６ａ〜２６ｌに配向膜６２が形成される。尚、インクジェットヘッド２のガラス基板６０表面への滴下動作の手順は、上述した図８〜図１１を用いて説明したものと同じであるので、省略する。
【００４８】
測定ステージ６は、その上面に載置されたガラス基板６０を吸着保持可能となっており、ガラス基板６０を膜厚測定器５に対してＸＹ方向に移動させることができる。この場合、膜厚測定器５としては、ガラス基板６０の表面に形成された配向膜６２の膜厚を測定可能であれば、任意の測定手段を用いることができる。本実施形態においては、一例として、光干渉式の膜厚測定器５を用いる。
【００４９】
光干渉式の膜厚測定器５は、配向膜６３が形成されているガラス基板６０に対して所定角度傾斜した光を照射する。照射された光によって、配向膜６２の表面において反射する反射光と、配向膜６２とガラス基板６０との界面において反射する反射光が発生し、これらの２つの反射光の干渉を計測することによって配向膜６２の膜厚が測定される。
【００５０】
この場合、膜厚測定器５は、測定ステージ６の移動により、ガラス基板６０に形成された配向膜６２の各滴下領域２６ａ〜２６ｌを、滴下移動方向Ｙに直交する方向（Ｘ方向）に沿って配向膜６２の膜厚を測定する。この場合、図１に示されるように、ガラス基板６０表面に形成された配向膜６２の略中央箇所を含む複数箇所の膜厚を測定すれば、例えば、複数箇所で測定された複数の膜厚測定データにおける膜厚の値を平均化して用いることで膜厚測定の精度を向上させることができる。また、インクジェットヘッド２が滴下移動している最中にいずれかのノズル２ｄからの配向膜材料の滴下量が変化する場合などの滴下移動方向（Ｙ方向）に沿った配向膜６２の膜厚の変化も検出することができるので、滴下移動中に配向膜材料の滴下量が変化する不良ノズルの特定が容易になる。
【００５１】
滴下量調整部１０は制御部８に接続されており、膜厚測定器５からの膜厚測定データが制御部８を介して入力される。記憶部９は、配向膜６２の各滴下領域２６ａ〜２６ｌにおける目標とする所望膜厚データが記憶されている。
【００５２】
記憶部９は滴下量調整部１０と接続されており、滴下量調整部１０は、制御部８から入力される膜厚測定器５からの膜厚測定データと、記憶部９から入力される所望膜厚データとの差をとり、各滴下領域２６ａ〜２６ｌにおける膜厚差を算出する。また、算出された各滴下領域２６ａ〜２６ｌにおける膜厚差に基づいて、各ノズル２ｄからの滴下量を増減調整する。このような各ノズル２ｄからの滴下量の増減調整は、具体的にはインクジェットヘッド２に設けられた圧電セラミック２ｆに印可される駆動電圧ＶＨの増減によりなされる。
【００５３】
図３は、圧電セラミックス２ｆに印可される駆動電圧ＶＨの増加割合（%）と形成される配向膜６２の膜厚の増加量（ｎｍ）との関係を示したグラフである。図示されるように、駆動電圧ＶＨの増加割合と配向膜６２の膜厚の増加量との間にはほぼ線形の一定の関係がある。そこで、この駆動電圧ＶＨの増加割合と配向膜６２の膜厚の増加量との間の関係を利用して、上述した膜厚差が補正されるノズル２ｄから滴下される液滴２０の量を、滴下させる駆動電圧ＶＨに換算することで、各ノズル２ｄからの滴下量を増減調整することができるようになっている。
【００５４】
図４は、各滴下領域２６ａ〜２６ｌにおける配向膜６２の形成状態を示した横断面図である。例えば、図示されるように、左から１番目に配置されたインクジェットヘッド２の中央の不良ノズル２ｈの滴下量が他のノズル２ｄの滴下量よりも多く、左から３番目に配置されたインクジェットヘッド２の右側の不良ノズル２ｈの滴下量が他のノズル２ｄの滴下量よりも少ない場合となっており、これら不良ノズル２ｈ，２ｈに対応する配向膜６２の滴下領域２６ｂと滴下領域２６ｉには、所望膜厚Ｔａに対して膜厚が大きい膜厚大部Ｔｂと同じく所望膜厚Ｔａに対して膜厚が小さい膜厚小部Ｔｃを有している。
【００５５】
このような配向膜６２が膜厚大部Ｔｂと膜厚小部Ｔｃを有している場合は、それらの領域への配向膜６２の形成に用いた不良ノズル２ｈ，２ｈの滴下量を増減調整する。具体的には、所望膜厚Ｔａが例えば１００ｎｍであるのに対して膜厚大部Ｔｂが１１２ｎｍである場合には、図３に示されるインクジェットヘッド２のノズル２ｄの駆動電圧ＶＨの増加割合と膜厚の増加量との関係から不良ノズル２ｈの圧電セラミックス２ｆへの駆動電圧ＶＨを５%減少させることで、膜厚大部Ｔｂを図５に示すように所望膜厚Ｔａに近づけることができる。
【００５６】
また、同様に所望膜厚Ｔａが例えば１００ｎｍであるのに対して膜厚小部Ｔｂが９０ｎｍである場合には、図３に示されるインクジェットヘッド２のノズル２ｄの駆動電圧ＶＨの増加割合と膜厚の増加量との関係から不良ノズル２ｈの圧電セラミックス２ｆへの駆動電圧ＶＨを４%増加させることで、膜厚小部Ｔｃを図５に示すように所望膜厚Ｔａに近づけることができる。
【００５７】
以上説明したように、ガラス基板６０表面にインクジェットヘッド２のノズル２ｄから配向膜材料を滴下して配向膜６２を形成し、更にその配向膜６２の膜厚をノズル２ｄの滴下移動方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）に沿って測定した後、その膜厚測定データの膜厚と目標とする所望膜厚との差を、各ノズル２ｄの配向膜材料滴下位置（領域）ごとに算出して、各ノズル２ｄからの配向膜材料の滴下量を増減させる調整が行われる。このようにインクジェットヘッド２の各ノズル２ｄからの配向膜材料の滴下量が均一になるように調整（補正）されるので、不良ノズル２ｈから滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が隣り合うように連続して配向膜の膜厚が不均一な部分が局所的に形成されてしまうことが防止される。これにより図１３に示したような液晶表示パネル４０の画像表示におけるすじ状の表示ムラ４１の発生が防止されることになる。
【００５８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。例えば、インクジェットヘッド２によって形成された配向膜６２の膜厚測定を、配向膜６２を乾燥させた後に行っても良く、上述した実施の形態には限定されない。
【符号の説明】
【００５９】
１  滴下装置
２  インクジェットヘッド
２ｄ  ノズル
２ｆ  圧電セラミックス
２ｈ  不良ノズル
３  滴下ステージ
４  滴下コントローラ
５  膜厚測定器
６  測定ステージ
７  膜厚測定コントローラ
８  制御部
９  記憶部
２０  配向膜材料の液滴
２１〜２４  配向膜材料の液滴の列
２６ａ〜２６ｌ  滴下領域
Ｔａ  配向膜の所望膜厚
Ｔｂ  膜厚過剰部
Ｔｃ  膜厚不足部
３１，３３，３５，３７  Ｙ方向への移動を示す矢印
３２，３４，３６  Ｘ方向への移動を示す矢印
４０  液晶表示パネル
５０  ガラス基板（ＴＦＴアレイ基板）
５３  配向膜
６０  ガラス基板（ＣＦ基板）
６２  配向膜
７０  液晶
Ｐ  ノズル間ピッチ
Ｘ  滴下移動方向に直交する方向
Ｙ  滴下移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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