(57)【要約】【課題】吸着ノズルの長ストローク移動と高精度荷重搭載制御を実現する。【解決手段】Ｚ軸２８による可動部３０と、これに軸回転と上下動が可能に支持されたノズル軸２０と、これを可動部に対して下方に押圧する加圧軸４８と、これによる押圧時にノズル軸に掛かる荷重を検出する荷重センサ５０とを備えた搭載ヘッドにおいて、可動部に対してノズル軸の軸回転と上下動を可能とする、複数のスプラインシャフト３６Ａ、４０Ａが配設され、検出軸５０Ａがノズル軸にオフセットされて加圧軸に連続形成され、ノズル軸に軸受５２を介して連結された、荷重アーム５４に荷重センサが係合され、加圧軸により押し下げられる荷重センサを介して該荷重アームが押し下げられ、ノズル軸が下方へ押圧される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直方向移動軸の動作によりベース部に対して上下方向に移動される可動部と、
該ベース部及び可動部に、それぞれ軸回転と上下動が可能に支持され、下端部に吸着ノズルが装着可能なノズル軸と、
該ノズル軸を下方に押圧する加圧軸と、
検出軸に支持され、該加圧軸による押圧時にノズル軸に掛かる荷重を検出する荷重センサとを備えた、部品搭載時に荷重制御を行なう電子部品搭載ヘッドにおいて、
前記ノズル軸には、前記可動部に対する軸回転と摺動抵抗の低い上下動とを可能とする低抵抗スプラインシャフトを含む、複数のスプラインシャフトが配設されていることを特徴とする電子部品搭載ヘッド。
【請求項２】
前記複数のスプラインシャフトは、それぞれ形式が異なっていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品搭載ヘッド。
【請求項３】
形式が異なるスプラインシャフトに、ボール循環式のスプラインシャフトと、低抵抗スプラインシャフトである有限ストローク式のスプラインシャフトとが含まれることを特徴とする請求項２に記載の電子部品搭載ヘッド。
【請求項４】
前記有限ストロークのスプラインシャフトが、前記可動部に軸回転のみ可能なリジッドカップリングに固定されている同スプラインナットに、摺動可能に支持されていることを特徴とする請求項３に記載の電子部品搭載ヘッド。
【請求項５】
荷重センサを下に向けた前記検出軸が、前記ノズル軸に対してオフセットして配設されていると共に、前記加圧軸の下部に連続形成され、
前記ノズル軸に軸受を介して荷重アームが連結されていると共に、該荷重アームに前記荷重センサが係合され、前記加圧軸により押し下げられる荷重センサを介して該荷重アームが押し下げられ、前記ノズル軸が下方へ押圧されることを特徴とする請求項１に記載の電子部品搭載ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搭載ヘッド、特に吸着ノズルを昇降させて電子部品を吸着保持したり、配線基板等の実装対象に搭載したりする際の荷重制御に適用して好適な電子部品搭載ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子部品搭載ヘッド（以下、単に搭載ヘッドともいう）においては、吸着ノズルで電子部品を部品供給装置から吸着保持したり、保持した電子部品を配線基板上に搭載したりする場合に、ノズル先端部により電子部品を所定荷重で下方に押し付ける荷重制御が行なわれている。
【０００３】
このような電子部品の荷重制御に適用される搭載ヘッドとしては、例えば特許文献１には図１に示すものが開示されている。
【０００４】
この従来の搭載ヘッドは、先端部で電子部品Ｃを吸着保持する吸着ノズル１１２と、該吸着ノズル１１２を保持する、ノズル軸の下端部を構成するノズルホルダ１１３と、ベース部１１１に対して上下動可能に支持された移動体１１４と、該移動体１１４を上下方向に駆動する第１の上下動手段１２０を構成するＺ軸モータ１２１と、前記移動体１１４に装備されるとともに該移動体１１４から前記吸着ノズル１１２を上下方向に沿って駆動する第２の上下動手段１３０を構成するボイルコイルモータ（ＶＣＭ）１３４と、前記吸着ノズル１１２と前記ノズルホルダ１１３との重さを相殺する荷重補償用圧縮ばね１１６と、前記吸着ノズル１１２の先端部にかかる加圧力を検出するロードセル１１５と、該ロードセル１１５とノズルホルダ側との間に介在され、上下方向へ荷重を伝達する圧縮ばね１１７とを備えている。
【０００５】
この搭載ヘッドで吸着ノズル１１２に吸着されている電子部品Ｃを基板上に搭載する場合、ノズル軸の下端部に装着されている該吸着ノズル１１２を、前記Ｚ軸モータ１２１により移動体１１４と一体で基板近傍まで下降させた後、前記ＶＣＭ１３４によりノズル軸を下降させることにより該電子部品Ｃを基板上に加圧搭載している。
【０００６】
又、この搭載ヘッドでは、吸着ノズル１１２が下端部に装着されているノズル軸に、ベース部１１１や移動体１１４に対する上下動と軸中心の回転とを可能とするために、スプラインシャフトが採用されている。
【０００７】
このように、Ｚ軸モータ１２１により吸着ノズル１１２を上下動作させると共に、上下動作を妨げずにθ軸モータ１５４による回転をノズル軸に伝えるためのスプラインシャフトとしては、ボール循環式が用いられている。
【０００８】
ところが、ボール循環式のスプラインシャフトは、ボールが循環する際の摺動抵抗が大きいために、摩擦や振動によりノズル軸の下部１４１に抵抗が発生し、吸着ノズル１１２の先端が接触していないにも拘わらず、あたかも接触したかのように荷重を検出してしまうという問題もあった。
【０００９】
また、このような問題を解決するために、ボール間が非接触の構造となるように、ナットとシャフトの間にボールを保持するリテーナを設けたリテーナ式スプラインシャフトを採用し、微小荷重に対応できるようにした搭載ヘッドが特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−３２８６０号公報
【特許文献２】特許第３９６１０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、前記特許文献２に開示されている搭載ヘッドには、リテーナ式スプラインシャフトは、高精度の搭載荷重制御には有効であるものの、それ自体に高い加工精度が要求される等の制約から、ボール循環式のような長いストロークを有するスプラインシャフトを製作することが難しく、それ故にＺ軸モータによる長ストローク動作が要求される搭載ヘッドには採用することができないという問題があった。
【００１２】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、吸着ノズルを長ストロークで上下動可能であると共に、電子部品を搭載する際には高精度の荷重制御が実現できる搭載ヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、垂直方向移動軸の動作によりベース部に対して上下方向に移動される可動部と、該ベース部及び可動部に、それぞれ軸回転と上下動が可能に支持され、下端部に吸着ノズルが装着可能なノズル軸と、該ノズル軸を下方に押圧する加圧軸と、検出軸に支持され、該加圧軸による押圧時にノズル軸に掛かる荷重を検出する荷重センサとを備えた、部品搭載時に荷重制御を行なう電子部品搭載ヘッドにおいて、前記ノズル軸には、前記可動部に対する軸回転と摺動抵抗の低い上下動とを可能とする低抵抗スプラインシャフトを含む、複数のスプラインシャフトが配設されているようにしたことにより、前記課題を解決したものである。
【００１４】
本発明は、又、前記複数のスプラインシャフトは、それぞれ形式が異なっているようにしてもよい。その際、形式が異なるスプラインシャフトに、ボール循環式のスプラインシャフトと、低抵抗スプラインシャフトである有限ストローク式のスプラインシャフトとが含まれるようにしても良く、又、前記有限ストロークのスプラインシャフトが、前記可動部に軸回転のみ可能なリジッドカップリングに固定されている同スプラインナットに、摺動可能に支持されているようにしてもよい。
【００１５】
更に、荷重センサを下に向けた前記検出軸が、前記ノズル軸に対してオフセットして配設されていると共に、前記加圧軸の下部に連続形成され、前記ノズル軸に軸受を介して荷重アームが連結されていると共に、該荷重アームに前記荷重センサが係合され、前記加圧軸により押し下げられる荷重センサを介して該荷重アームが押し下げられ、前記ノズル軸が下方へ押圧されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ノズル軸に、可動部に対する軸回転と摺動抵抗の低い上下動とを可能とする低抵抗スプラインシャフトを含む、複数のスプラインシャフトを配設したので、例えば長ストローク移動時にはボール循環式のスプラインシャフトを採用し、電子部品の搭載時には摺動抵抗の低い有限ストロークのスプラインシャフトを採用することにより、ノズルの迅速な上下動作と、電子部品の高精度の荷重搭載が同時に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来の搭載ヘッドの一例を示す縦断面図
【図２】本発明に適用可能な部品実装装置の全体を示す斜視図
【図３】本発明に係る第１実施形態の搭載ヘッドの特徴を模式的に示す断面図
【図４】本発明に係る第２実施形態の搭載ヘッドの特徴を模式的に示す要部断面の斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
まず、本発明に係る第１実施形態の搭載ヘッドが適用される電子部品実装装置の概要を説明する。
【００１９】
通常、電子部品実装装置１は、図２に示すように、左右方向に延在されている基板搬送路２により搬送され、位置決めされた基板Ｓ上に部品供給部３に供給される電子部品を実装する搭載ヘッド１０と、該搭載ヘッド１０をＸ方向及びＹ方向にそれぞれ移動させるＸ軸移動機構１２及びＹ軸移動機構１４を備えている。
【００２０】
Ｘ軸移動機構１２は、部品を吸着する１又は２以上の吸着ノズル１０Ａが装着可能な搭載ヘッド１０をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸移動機構１４は、Ｘ軸移動機構１２と一体で搭載ヘッド１０をＹ軸方向に移動させる。又、搭載ヘッド１０は、吸着ノズル１０ＡをＺ軸方向に昇降可能に移動させるＺ軸移動機構を備えていると共に、吸着ノズル１０Ａをノズル軸（吸着軸）を中心に回転させるθ軸回転機構を備えている。又、搭載ヘッド１０には、基板Ｓ上に形成された基板マークを撮像する基板認識カメラ１６が、支持部材を介して取付けられている。又、部品供給部３の側部には、吸着ノズル１０Ａに吸着された部品を下方から撮像する部品認識カメラ１８が配置されている。
【００２１】
上記のような電子部品実装装置１においては、チップ等の電子部品を搭載ヘッド１０が有する吸着ノズル１０Ａで吸着保持した後、位置決めされているプリント基板等の基板Ｓ上に搭載することが行われている。
【００２２】
本実施形態の搭載ヘッド１０は、図３にノズル軸２０の軸中心を通る断面図を模式的に示すように、前記Ｘ軸移動機構１２に固定され、Ｘ軸方向に移動されるベース部７０がヘッドプレート２２とこれに固定されたブラケット２４により構成されている。
【００２３】
このブラケット２４には、Ｚ軸モータ２６が取付けられており、該Ｚ軸モータ２６にＺ軸２８を構成するボールねじ２８Ａが、Ｚ軸カップリング２６Ａを介して回転可能に連結され、該ボールねじ２８Ａの回転により、ボールねじナット２８Ｂが固定されているＺスライダ（可動部）３０が、前記ヘッドプレート２２に対してリニアガイド３０Ａを介して上下動可能になっている。即ち、Ｚ軸モータ２６に連動するこれらの各要素によりＺ軸移動機構が構成されている。
【００２４】
また、このブラケット２４には、θ軸モータ３２が取付けられ、該θ軸モータ３２にはθカップリング３２Ａを介して円筒状のθハウジング３４が連結され、該θハウジング３４がθ軸ベアリング３４Ａを介して軸中心に回転可能に該ブラケット２４に支持されている。
【００２５】
また、このθハウジング３４の下端部にはボール循環式のスプラインナット３６が固定され、該スプラインナット３６には、下端部がリジッドカップリング３８に固定されたスプラインシャフト３６Ａが上下方向にのみ摺動可能に挿通されている。このスプラインシャフト３６Ａは、ボール循環式であるために長ストロークの上下動が可能になっている。
【００２６】
また、このリジッドカップリング３８は、カップリング用ベアリング３８Ａを介して、前記Ｚスライダ３０に対して軸回転のみ可能に固定されていると共に、該リジッドカップリング３８の下方内部には、有限ストロークのスプラインナット４０が固定されている。
【００２７】
また、この有限ストロークのスプラインナット４０には、スプラインシャフト４０Ａが挿通されており、このスプラインシャフト４０Ａは、ボール循環式のスプラインシャフト３６Ａと同軸上に支持され、その外周にスプラインナット４０が設けられており、前記特許文献２に開示されているリテーナ式と同一のものであり、短ストロークではあるが摺動抵抗が小さいという特徴がある。即ち、θ軸モータ３２に連動するこれらの各要素によりθ軸回転機構が構成されている。
【００２８】
本実施形態においては、ノズル軸２０が、前記θハウジング３４、ボール循環式のスプラインナット３６、同スプラインシャフト３６Ａ、リジッドカップリング３８、有限ストロークスプラインナット４０、同スプラインシャフト４０Ａを含んだ構成になっており、前記ブラケット２４及びＺスライダ３０に軸回転と上下動とが可能に支持され、その下部２０Ａの下端部には吸着ノズル１０Ａが装着可能になっている。
【００２９】
又、前記Ｚスライダ３０には、ＶＣＭ（ボイスコイルモータ）４６が固定され、該ＶＣＭ４６により該Ｚスライダ３０に固定されているＶＣＭスプラインナット４６Ａを介して、ノズル軸２０からはオフセットされ、且つ平行に支持されているＶＣＭ軸（加圧軸）４８を下方に押圧可能になっているとともに、該ＶＣＭ軸４８の下部にはロードセル（荷重センサ）５０を下端部に支持する検出軸５０Ａが一体的に連続形成されている。
【００３０】
一方、前記ノズル軸２０の途中には、ベアリングユニット（軸受）５２を介して直交するＹ方向に延びる荷重アーム５４が連結されている。このベアリングユニット５２では、ノズル軸２０の回転力がＶＣＭ軸４８に伝達されないように、内蔵されているベアリングを介して逃がすことできる機構になっている。
【００３１】
又、この荷重アーム５４は、ロードセルケース５６内に収納されている、上端部がロードセル５０に固定された与圧ばね５６Ａの下端部と、自重キャンセルばね５６Ｂの上端部とに連結され、該ケース５６内で上下方向に移動可能に支持されている。
【００３２】
従って、ＶＣＭ４６を駆動すると、ロードセル５０が与圧ばね５６Ａを介して荷重アーム５４を押し下げることになり、吸着ノズル１０Ａを下方に押し付けることができるとともに、そのときの荷重が該与圧ばね５６Ａを介してロードセル５０に伝達され、検出されるようになっている。
【００３３】
以上の構成からなる本実施形態の搭載ヘッド１０においては、Ｚ軸２８が、Ｚ軸モータ２６からの力を、直接該Ｚ軸２８を構成するボールねじ２８ＡによってＺスライダ３０及びリニアガイド３０Ａ等からなるスライダー部へ伝達している。
【００３４】
このＺスライダ３０に取付けられている前記ＶＣＭ４６、エアベアリング４４等はボールねじ２８Ａによって一体的に上下駆動され、搭載ヘッド１０のヘッドプレート２２に取付けられているレール２２Ａに従ってリニアガイド３０Ａによって上下に案内される。
【００３５】
前記ノズル軸２０では、これを構成するボール循環式のスプラインシャフト３６Ａによって上下方向に自由に動くことにより、Ｚスライダ３０の上下動作を妨げることなく、しかもθ軸モータ３２によるθ方向の回転動作を途中のθカップリング３２Ａ及びスプライン用カップリング４２等を介して連結されているノズル軸下部２０Ａに装着されている吸着ノズル１０Ａを回転させている。
【００３６】
そして、このノズル軸２０は、ボールねじ２８Ａによる移動に加えて、加圧するためのストローク分（±２ｍｍ）だけ、前記リテーナ式スプラインシャフト４０Ａを介して、ＶＣＭ軸４８を駆動するＶＣＭ４６により独立して動作するようになっている。
【００３７】
以上のように、本実施形態では上下動のみ可能なθ軸回転を伝達する機構に、ボール循環式と摩擦（摺動）抵抗の小さい有限ストローク（リテーナ式）の２種類の形式の異なるスプラインシャフトを用い、ノズル先端の荷重の誤検出を防止すると共に微小荷重の検出を可能としつつ、吸着ノズル１０Ａの長ストロークを確保するようにしたことに特徴がある。
【００３８】
以上の構成からなる本実施形態において、実装部品の吸着・搭載時に吸着ノズル１０Ａの先端に掛かる荷重を検出するときには、次のように動作する。
【００３９】
吸着ノズル１０Ａで受けた垂直方向の力は、エアベアリング４４を通してベアリングユニット５２と、そこから水平に延びる荷重アーム５４に伝達される。この荷重アーム５４は与圧ばね５６Ａと自重キャンセルばね５６Ｂによってバランスが保たれており、そこに吸着ノズル１０Ａからの力が荷重アーム５４に伝達され、更に与圧ばね５６Ａを介してロードセル５０に伝わることにより荷重を検知することができる。
【００４０】
また、部品搭載時に吸着ノズル１０Ａから実装部品へ荷重を掛けるときは、以下のように動作する。
【００４１】
ＶＣＭ４６がロードセル５０を押し下げることにより、与圧ばね５６Ａに力が加わる。その力が荷重アーム５４とベアリングユニット５２に伝達され、エアベアリング４４を通して吸着ノズル１０Ａを押し下げることで実装部品を加圧することができる。
【００４２】
また、θ軸を回転させるときは、以下のように動作する。
【００４３】
θ軸モータ３２からの回転力は、θカップリング３２Ａを介してθハウジング３４に伝わる。このθハウジング３４は、ブラケット２４にθ軸ベアリング３４Ａによって回転運動を逃がすように、即ち軸回転可能に固定されている。
【００４４】
このθハウジング３４には、循環式スプラインナット３６が取付けられているため、回転運動は循環式スプラインナット３６を通してそのスプラインシャフト３６Ａ、更にリジッドカップリング３８に伝わり、該リジッドカップリング３８に取付けられている有限ストロークスプラインナット４０に伝達される。この場合、前記θ軸ベアリング３４Ａと同様にして、リジッドカップリング３８はＺスライダ３０にカップリング用ベアリング３８Ａによって回転力を逃がすようにして取付けられている。
【００４５】
有限ストロークスプラインナット４０まで伝達された回転運動は、そのスプラインシャフト４０Ａを通じてスプライン用カップリング４２によって連結されてエアベアリングシャフト（ノズル軸下部）２０Ａを介して吸着ノズル１０Ａまで回転力として伝達される。なお、荷重アーム５４は、前述した如く図示されていないベアリングが内蔵されているベアリングユニット５２によって回転運動を妨げないようになっている。
【００４６】
更に、Ｚ軸が動作するときは次のように動作する。
【００４７】
Ｚ軸２８では、Ｚ軸モータ２６からの回転力をＺ軸カップリング２６Ａを介してボールねじ２８Ａに伝達する。このボールねじ２８Ａによって回転運動は直線運動に変換され、Ｚスライダ３０に伝達される。
【００４８】
このＺスライダ３０には、ＶＣＭ４６、エアベアリング４４等が取付けられており、これらがボールねじ２８Ａによって一体で駆動され、ヘッドプレート２２に取付けられているレール２２Ａに従ってリニアガイド３０Ａによって上下に案内される。
【００４９】
但し、前述した如く、ノズル軸下部２０Ａ、ＶＣＭ軸４８は、ボールねじ２８Ａにより移動されるＺスライダ３０に対して、加圧するためのストローク分（±２ｍｍ）だけＶＣＭ４６によって独立して動作するようになっている。そして、ヘッドプレート２２は、前記Ｘ軸移動機構１２に取付けられた状態で、ＸＹ方向に移動されることにより、電子部品の吸着・搭載が可能となっている。
【００５０】
このＺ軸２８の動作時にθ軸モータ３２の回転運動を伝えるためのスプラインシャフトとしては、Ｚ軸モータ２６でＺスライダ３０を駆動したときは、循環式スプラインシャフト３６ＡのみがＺ軸方向に上下し、有限ストロークスプラインシャフト４０Ａは動かない。
【００５１】
一方、ＶＣＭ４６でノズル軸下部２０Ａを上下動させるときは、有限ストロークスプラインシャフト４０ＡのみがＺ軸方向に上下し、循環式スプラインシャフト３６Ａが動作しない機構になっている。
【００５２】
以上詳述した本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
【００５３】
（１）ノズル軸２０に対してθ軸モータ３２による回転運動を伝えるためのスプラインシャフトを、二重（２段）に使用する構造にしたので、Ｚ軸モータ２６でＺ軸方向（上下方向）に動作しても循環式スプラインシャフト３６Ａのみが動作する。それにより、θ軸モータ３２による回転運動を伝えるために、ストロークが短い有限ストロークスプラインシャフト４０Ａを用いる場合でも、Ｚ軸方向の長いストローク動作を確保した上で、θ軸方向の回転運動を伝達できるようになった。
【００５４】
（２）循環式スプラインシャフト３６Ａと有限ストロークスプラインシャフト４０Ａが、ノズル軸２０に上下方向の動きが規制されたリジッドカップリング３８を介して接続され、上下の動きが分離された構造にしたことによって、Ｚ軸２８の駆動時に循環式スプラインシャフト３６Ａが長ストローク動作したとしても、その動作時の摩擦や振動の影響をノズル先端まで伝わらないようにすることが可能となった。
【００５５】
（３）循環式スプラインシャフト３６Ａと有限ストロークスプラインシャフト４０Ａが、ノズル軸２０に上下方向の動きが規制されたリジッドカップリング３８を介して接続され、上下の動きが分離された構造にしたことによって、Ｚ軸２８による長ストローク動作を確保した上で、低摩擦の摺動が可能な有限ストロークスプラインシャフト４０Ａを用いてノズル先端にθ軸モータ３２による回転運動を伝えることが可能となると共に、荷重検出を高精度で実現することが可能となった。
【００５６】
（４）ＶＣＭ４６により上下動されるＶＣＭ軸４８に連続形成され、下端部にロードセル５０が連結されている検出軸５０Ａと、ノズル軸２０の位置関係をオフセットさせることにより、該ノズル軸２０を軸回転させたとしても、ロードセル５０は回転しないようにできるため、従来のようにロードセルのケーブル（図示しない）が引きずられ、切断されることを確実に防止できる。
【００５７】
次に、θ軸方向の回転運動を伝えると共に、低抵抗の直線運動を可能にする装置として、前記有限ストロークスプラインナット４０・シャフト４０Ａの代わりにエアベアリングを用いることを特徴とする第２実施形態について説明する。
【００５８】
図４は、本実施形態で採用されるエアベアリング６０の軸中心を通る縦方向の要部断面を模式的に示す斜視図である。
【００５９】
このエアベアリング６０は、エアスプラインナット６２とエアスプラインシャフト６２Ａを、それぞれ前記図３に示した有限ストロークスプラインナット４０とそのスプラインシャフト４０Ａに置換えたものである。エアスプラインナット６２はリジッドカップリング３８内に収容された、空気を通しやすい焼結金属等の多孔質材料からなり、エアスプラインシャフト６２Ａは該エアスプラインナット６２に対して僅かに小さく作られている。
【００６０】
そのため、エア供給部６４からエアスプラインナット６２に加圧空気が供給されると、多孔質材質を通りエアスプラインナット６２とシャフト６２Ａの間の僅かな隙間には空気圧が発生する。従って、その中でエアスプラインシャフト６２Ａはエアスプラインナット６２に対して非接触状態になるため、低摩擦の摺動により上下動可能となる。また、エアスプラインシャフト６２Ａは四角柱状からなるため、エアスプラインナット６２に嵌合う部分が四角形状（多角形状）になっているので、θ軸方向の回転運動を確実に伝達することができる。なお、同一種類のスプラインシャフトについて、それぞれがストロークなどの条件を異なるように設定したスプラインシャフトを複数設置しても良い。
【符号の説明】
【００６１】
１０Ａ…吸着ノズル
２０…ノズル軸
２２…ヘッドプレート
２４…ブラケット
２６…Ｚ軸モータ
２８…Ｚ軸
２８Ａ…ボールねじ
３０…Ｚスライダ（可動部）
３０Ａ…リニアガイド
３２…θ軸モータ
３４…θハウジング
３６…循環式スプラインナット
３６Ａ…循環式スプラインシャフト
３８…リジットカップリング
３８Ａ…カップリング用ベアリング
４０…有限ストロークスプラインナット
４０Ａ…有限ストロークスプラインシャフト
４２…スプライン用カップリング
４４…エアベアリング
４６…ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）
４８…ＶＣＭ軸（加圧軸）
５０…ロードセル（荷重センサ）
５０Ａ…検出軸
５２…ベアリングユニット（軸受）
５４…荷重アーム
５６…ロードセルケース
５６Ａ…与圧ばね
５６Ｂ…自重キャンセルばね
６０…エアベアリング
６２…エアスプラインナット
６２Ａ…エアスプラインシャフト
７０…ベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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