(57)【要約】【課題】低締付力を維持しながら、最終組付け状態下での接触面圧を増加させて、密封性能を高める。【解決手段】第１接触凸部11と中間基部３と第２接触凸部12とを有するブロック状金属シールであって、第１・第２接触凸部11，12が４半円形である。【選択図】図３
2010242858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に平行な一対の平坦面（１）（２）の間に介装されて捩れ弾性変形を生ずるブロック型横断面形状であって、中間基部（３）と、上記平坦面（１）（２）の一方に当接する第１接触凸部（11）と、上記平坦面（１）（２）の他方に当接する第２接触凸部（12）と、を備え、上記第１接触凸部（11）を上記中間基部（３）の内径寄りに突設し、上記第２接触凸部（12）を上記中間基部（３）の外径寄りに突設した金属シールに於て、
上記第１接触凸部（11）・第２接触凸部（12）が、上記平坦面（１）（２）に直接に接触する直接当接部（20）の横断面形状を、円弧形状とすると共に、上記一対の平坦面（１）（２）がしだいに接近する途中の上記直接当接部（20）の内の途中当接円弧長（Ｃx ）よりも、最終接近状態の最終組付け当接円弧長（Ｃ1 ）を、小さくなるように、上記直接当接部（20）の最終端側に、逃げ部（Ｚ）を切欠形成したことを特徴とする金属シール。
【請求項２】
上記第１接触凸部（11）と上記第２接触凸部（12）は、各々、横断面略４半円形とした請求項１記載の金属シール。
【請求項３】
上記一対の平坦面（１）（２）は、非鏡面状態の機械加工面である請求項１又は２記載の金属シール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属シールに係り、特に、一対の平坦面間に介装されて捩り変形しつつ密封作用をなす金属シールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高真空・高圧（外圧・内圧）、高温・低温、あるいは、腐食性流体密封等の過酷な条件下では、金属シールが用いられることが多い。
そこで、本出願人は、上述のように、一対の平坦面間に介装されて捩り変形しつつ密封作用をなす、締付力が小さく、復元力も大きい金属シールとして、図６と図７に示すような形状（構成）のものを提案した（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４０９１３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図６と図７に示した従来の金属シール30は、相互に平行な一対の平坦面31，32間に介装され、捩れ弾性変形を生ずる、横断面形状が矩形状中間基部33と、半円形接触凸部34，35を有するブロック型であった。材質としてはＳＵＳ等の金属製であり、図６に示した自由状態（未装着状態）から、図７に示したように一対の上記平坦面31，32を相互に接近させて、捩れ弾性変形した最終接近状態（最終組付け状態）では、上記半円形接触凸部34，35が平坦面31，32に所定の面圧分布36をもって圧接して、流体密封作用をなす構成であった。
【０００５】
図７からも明らかなように、半円形の接触凸部34，35は、平坦面31，32に接触する最大面圧Ｐ0 が低く、当接円弧長Ｃ0 がやや大きく、面圧分布36が比較的なだらかな山型である。
このような従来の金属シール30は、相手面としての平坦面31，32を傷つけないメリットがあるといえども、次のような問題が残されている。即ち、 (ｉ) 平坦面31，32を鏡面加工する必要がある点、 (ii) 金属シール30の接触凸部34，35を超研磨仕上げする必要がある点、(iii) 気体の密封においてシール性がやや不十分であった点、を挙げることができる。
【０００６】
そこで、本発明は、このような問題点 (ｉ)(ii)(iii) を、簡易な形状によって解決して、相手面（平坦面）及び金属シール自体の鏡面加工や超研磨仕上げ等のシール面部の厳しい品質管理を不要とし、製作の容易化とコストダウンを図ることを目的とし、さらに、一層のシール性の向上を図ることを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、相互に平行な一対の平坦面の間に介装されて捩れ弾性変形を生ずるブロック型横断面形状であって、中間基部と、上記平坦面の一方に当接する第１接触凸部と、上記平坦面の他方に当接する第２接触凸部と、を備え、上記第１接触凸部を上記中間基部の内径寄りに突設し、上記第２接触凸部を上記中間基部の外径寄りに突設した金属シールに於て、上記第１接触凸部・第２接触凸部が、上記平坦面に直接に接触する直接当接部の横断面形状を、円弧形状とすると共に、上記一対の平坦面がしだいに接近する途中の上記直接当接部の内の途中当接円弧長よりも、最終接近状態の最終組付け当接円弧長を、小さくなるように、上記直接当接部の最終端側に、逃げ部を切欠形成したものである。
また、上記第１接触凸部と上記第２接触凸部は、各々、横断面略４半円形としたものである。
また、上記一対の平坦面は、非鏡面状態の機械加工面である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る金属シールによれば、最終組付け円弧長が小さくなった分だけ、平坦面に対する接触面圧が増加し、いわば圧力のピークを示し、流体漏洩が強く遮断されて、シール性（密封性能）が向上する。また、このように接触面圧が増加して、平坦面と接触凸部が強く圧接されるため、平坦面と接触凸部とが相互に圧接するシール面部を、（従来の）鏡面加工や超研磨仕上げが省略可能であり、品質管理が容易となると共に製作が容易となって、コストダウンにも貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の一形態を示す断面正面図である。
【図２】本発明の基本構成を説明する図である。
【図３】自由状態を示す要部拡大断面図である。
【図４】一対の平坦面がしだいに接近する途中の途中当接状態の要部拡大断面説明図である。
【図５】最終接近状態の要部拡大断面説明図である。
【図６】従来例の要部拡大断面図である。
【図７】従来例の最終接近状態の要部拡大断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施の形態を示す図面に基づき本発明を詳説する。
図１と図３に於て、金属シールＳの実施の一形態を示し、自由状態（未装着状態）の断面正面図であり、図４と図５は使用状態であって、図４は途中当接状態の説明図、図５は最終接近状態の説明図を示す。
【００１１】
半導体製造には各種の腐食性ガス等が使用され、本発明の金属シールＳは、そのような半導体製造装置の配管系統に好適なものであって、表面被覆層（コーティング層）を有さないSUS316L 材等の耐食性金属が、材質としては好ましい。
そして、この金属シールＳは、相互に平行な一対の平坦面１，２の間に介装され、捩れ弾性変形を生じて密封作用をなし、ブロック型横断面形状である。
【００１２】
横断面形状について、さらに詳しく説明すると、略矩形（長方形）の中間基部３と、一方の平坦面１に当接する第１接触凸部11と、他方の平坦面２に当接する第２接触凸部12と、を一体にブロック状に有する。また、第１接触凸部11は、中間基部３の内径寄りに突設され、第２接触凸部12は中間基部３の外径寄りに突設されている。
この第１接触凸部11の横断面形状について説明すると、第１接触凸部11が平坦面１に、（図示省略の装着未加圧状態から）図４に示すように一対の平坦面１，２がしだいに接近する途中の直接当接部20は、十分に大きい半径Ｒ0 の円弧形状とする。
【００１３】
そして、一対の平坦面１，２がしだいに接近する途中の、上記直接当接部20の内の途中当接円弧長をＣx とし（図２と図４参照）、最終接近状態の最終組付け当接円弧長をＣ1 とする（図２と図５参照）と、Ｃ1 ＜Ｃx となるように、上記直接当接部20の最終端側に、逃げ部Ｚを切欠形成する。
なお、逃げ部Ｚを切欠形成した切欠線５と直接当接部20との角部（エッジ部）６は、小さ目の半径Ｒ1 のアール面取りを、形成するのが望ましい。即ち、平坦面１の傷付きを防止できる。
【００１４】
上述のように、Ｃ1 ＜Ｃx とすることによって、図４に示した途中当接状態の最大面圧Ｐx よりも、最接近状態（最終組付け状態）の最大面圧Ｐ1 を、十分に大きく（高く）設定でき、これによって、流体―――特にガス（気体）―――の外部漏洩を阻止して、高いシール性（密封性能）を実現する。
特に、 0.3・Ｃx ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃx の如く設定するのが好ましい。ところで、図７に於て示したように、本発明の切欠形成した逃げ部Ｚが無い場合の当接円弧長Ｃ0 は、途中当接円弧長Ｃx に対し（僅かに大きいが）略同等の値であるので、慨略、 0.3・Ｃ0 ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃ0 なる関係式も成立しているといえる。
【００１５】
次に、第２接触凸部12について説明すれば、第２接触凸部12が平坦面２に、（図示省略した装着未加圧状態から）図４の接近途中状態における直接当接部20は、半径Ｒ0 が十分に大きい円弧形状であり、途中当接円弧長Ｃx と、最終組付け当接円弧長Ｃ1 との間には、 0.3・Ｃx ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃx なる関係式が成立する。また、逃げ部Ｚを切欠形成した切欠線５と、直接当接部20との角部６は、小さ目の半径Ｒ1 のアール面取りとする点は、第１接触凸部11と同様である（図２参照）。
そして、第２接触凸部12の途中当接状態の最大面圧Ｐx と、最接近状態の最大面圧Ｐ1 との関係、及び、その作用に関しても、既述した第１接触凸部11と同様であり、重複説明を省略する（図２の概略構成図、及び、図４，図５の面圧グラフ参照）。
【００１６】
そして、図１、及び、図３〜図５に示した実施の形態では、この金属シールＳの第１接触凸部11と第２接触凸部12、各々、横断面略４半円形とされる。切欠部Ｚは、この第１接触凸部11・第２接触凸部12の横断面積よりも、僅かに小さな略４半円形である。
具体的には、従来の図６を切欠前の基本形状として説明すれば、中間基部33（３）の短辺33ａ（３ａ）と平行に、かつ、半円形の接触凸部34，35の円中心点Ｏを通る直線Ｌ0 を引き、この直線Ｌ0 と接触凸部34，35（11，12）との交点Ｅよりも小寸法Ｈだけ内方へ寄った位置で、短辺33ａ（３ａ）と平行に切断している。
【００１７】
なお、切欠形成した逃げ部Ｚの切欠線５は、図１と図３〜図５では、直角に交わる２本線にて構成した場合を示している。本発明では、この切欠線５の形状は、図２に示すように、曲線状としたり、その他の形状とするも自由であるが、最終接近状態下で、逃げ部Ｚの切欠線５が、平坦面１，２に非接触であれば十分である。特に、図２から、このような切欠線５によって形成される逃げ部Ｚの存在により、切欠逃げ部の無い（図６の）最終接近状態下での接触円弧長Ｃ0 が、十分に短い円弧長Ｃ1 となることが、判る。
【００１８】
このように、本発明では、最終組付け当接円弧長Ｃ1 が、途中当接円弧長Ｃx 、及び、従来例の（図６，図７の）当接円弧長Ｃ0 よりも、十分に小さくなり、これに伴って、平坦面１，２との接触面積が減少し、最終接近状態の最終組付け面圧分布16が、図５に示すように（図７と図４に比較して）著しくシャープな山型となり、最大面圧Ｐ1 は、図７の最大面圧Ｐ0 及び途中当接面圧の最大面圧Ｐx に比べて、著しく大きくなる。いわば、線接触状態となる。このように、低い締付力―――平坦面１と平坦面２とを接近方向に締付けるための力―――が低いにかかわらず、最大面圧Ｐ1 が上昇（増加）して、シール性（密封性能）が向上している。
【００１９】
また、このように最大面圧Ｐ1 が増加して、十分なシール性（密封性能）が得られることに伴って、本発明では、一対の平坦面１，２を非鏡面状態の機械加工面そのままであっても良くなる。さらに、金属シールＳ自身の凸部11，12の直接当接部20は、従来のような超研磨仕上げが省略可能となり、通常の研磨仕上げでも十分となる。即ち、両方のシール面部の仕上げ加工が多少ずつであったとしても、ヘリウム密封試験に於て、従来の鏡面仕上げと超研磨仕上げのものと、同等の良好なシール性（密封性能）を発揮できる。勿論、金属シールＳの表面への被覆層（コーティング層）の付着も省略できる。
【００２０】
なお、本発明は上述の実施の形態に限らず、設計変更自由であって、例えば、中間基部３は矩形以外に、平行四辺形や他の多角形状や丸味のある形状であっても良い。また、凸部11，12は、直接当接部20が滑らかに平坦面１，２との接触部位が、接近に伴って、移動する円弧状であれば、図示以外にもその形状は自由である。
【００２１】
本発明は以上説明したように、相互に平行な一対の平坦面１，２の間に介装されて捩れ弾性変形を生ずるブロック型横断面形状であって、中間基部３と、上記平坦面１，２の一方に当接する第１接触凸部11と、上記平坦面１，２の他方に当接する第２接触凸部12と、を備え、上記第１接触凸部11を上記中間基部３の内径寄りに突設し、上記第２接触凸部12を上記中間基部３の外径寄りに突設した金属シールに於て、上記第１接触凸部11・第２接触凸部12が、上記平坦面１，２に直接に接触する直接当接部20の横断面形状を、円弧形状とすると共に、上記一対の平坦面１，２がしだいに接近する途中の上記直接当接部20の内の途中当接円弧長Ｃx よりも、最終接近状態の最終組付け当接円弧長Ｃ1 を、小さくなるように、上記直接当接部20の最終端側に、逃げ部Ｚを切欠形成した構成であって、簡易な形状であるにかかわらず、最終接近状態下での接触最大面圧Ｐ1 が十分に大きくなり、密封流体が気体（ガス）であったとしても、外部漏洩の流れを遮断して、優秀なシール性（密封性）を発揮する。しかも、締付力は低いままで十分である。また、接触最大面圧Ｐ1 が十分に高まるので、相手面としての平坦面１，２の鏡面加工を省略したり、金属シールＳ自体の接触凸部11，12の超研磨仕上げを省略できる。このように製造が容易となり、安価な製造を実現できる。
【００２２】
また、上記第１接触凸部11と上記第２接触凸部12は、各々、横断面略４半円形としたので、シンプルな横断面略半円形の逃げ部Ｚの切削加工で済み、製作が容易となる。
また、上記一対の平坦面１，２は、非鏡面状態の機械加工面であるので、平坦面１，２の従来の鏡面加工が省略できて、安価かつ容易に相手面の製作ができる。
【符号の説明】
【００２３】
１，２  平坦面
３  中間基部
11  第１接触凸部
12  第２接触凸部
20  直接当接部
Ｓ  金属シール
Ｚ  逃げ部
Ｃx   途中当接円弧長
Ｃ1   最終組付け当接円弧長
【図１】
2010242858.tif 000003
【図２】
2010242858.tif 000004
【図３】
2010242858.tif 000005
【図４】
2010242858.tif 000006
【図５】
2010242858.tif 000007
【図６】
2010242858.tif 000008
【図７】
2010242858.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月28日(2010.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属シールに係り、特に、一対の平坦面間に介装されて捩り変形しつつ密封作用をなす金属シールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高真空・高圧（外圧・内圧）、高温・低温、あるいは、腐食性流体密封等の過酷な条件下では、金属シールが用いられることが多い。
そこで、本出願人は、上述のように、一対の平坦面間に介装されて捩り変形しつつ密封作用をなす、締付力が小さく、復元力も大きい金属シールとして、図６と図７に示すような形状（構成）のものを提案した（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４０９１３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図６と図７に示した従来の金属シール30は、相互に平行な一対の平坦面31，32間に介装され、捩れ弾性変形を生ずる、横断面形状が矩形状中間基部33と、半円形接触凸部34，35を有するブロック型であった。材質としてはＳＵＳ等の金属製であり、図６に示した自由状態（未装着状態）から、図７に示したように一対の上記平坦面31，32を相互に接近させて、捩れ弾性変形した最終接近状態（最終組付け状態）では、上記半円形接触凸部34，35が平坦面31，32に所定の面圧分布36をもって圧接して、流体密封作用をなす構成であった。
【０００５】
図７からも明らかなように、半円形の接触凸部34，35は、平坦面31，32に接触する最大面圧Ｐ0 が低く、当接円弧長Ｃ0 がやや大きく、面圧分布36が比較的なだらかな山型である。
このような従来の金属シール30は、相手面としての平坦面31，32を傷つけないメリットがあるといえども、次のような問題が残されている。即ち、 (ｉ) 平坦面31，32を鏡面加工する必要がある点、 (ii) 金属シール30の接触凸部34，35を超研磨仕上げする必要がある点、(iii) 気体の密封においてシール性がやや不十分であった点、を挙げることができる。
【０００６】
そこで、本発明は、このような問題点 (ｉ)(ii)(iii) を、簡易な形状によって解決して、相手面（平坦面）及び金属シール自体の鏡面加工や超研磨仕上げ等のシール面部の厳しい品質管理を不要とし、製作の容易化とコストダウンを図ることを目的とし、さらに、一層のシール性の向上を図ることを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、相互に平行な一対の平坦面の間に介装されて捩れ弾性変形を生ずるブロック型横断面形状であって、中間基部と、上記平坦面の一方に当接する第１接触凸部と、上記平坦面の他方に当接する第２接触凸部と、を備え、上記第１接触凸部を上記中間基部の内径寄りに突設し、上記第２接触凸部を上記中間基部の外径寄りに突設した金属シールに於て、上記第１接触凸部・第２接触凸部が、上記平坦面に直接に接触する直接当接部の横断面形状を、円弧形状とすると共に、上記一対の平坦面がしだいに接近する途中の上記直接当接部の内の途中当接円弧長よりも、最終接近状態の最終組付け当接円弧長を、小さくなるように、上記直接当接部の最終端側に、逃げ部を切欠形成して、上記第１接触凸部と上記第２接触凸部は、各々、横断面略４半円形としたものである。
また、上記途中当接円弧長を（Ｃx ）とすると共に、上記最終組付け当接円弧長を（Ｃ1 ）とすると、 0.3・Ｃx ≦Ｃ1 ≦0.6・Ｃx の如く設定した。また、上記切欠形成した逃げ部が無い場合の当接円弧長を（Ｃ0 ）とすると共に、上記最終組付け当接円弧長を（Ｃ1 ）とすると、 0.3・Ｃ0 ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃ0 なる関係式が成立している。
また、上記一対の平坦面は、非鏡面状態の機械加工面である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る金属シールによれば、最終組付け円弧長が小さくなった分だけ、平坦面に対する接触面圧が増加し、いわば圧力のピークを示し、流体漏洩が強く遮断されて、シール性（密封性能）が向上する。また、このように接触面圧が増加して、平坦面と接触凸部が強く圧接されるため、平坦面と接触凸部とが相互に圧接するシール面部を、（従来の）鏡面加工や超研磨仕上げが省略可能であり、品質管理が容易となると共に製作が容易となって、コストダウンにも貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の一形態を示す断面正面図である。
【図２】本発明の基本構成を説明する図である。
【図３】自由状態を示す要部拡大断面図である。
【図４】一対の平坦面がしだいに接近する途中の途中当接状態の要部拡大断面説明図である。
【図５】最終接近状態の要部拡大断面説明図である。
【図６】従来例の要部拡大断面図である。
【図７】従来例の最終接近状態の要部拡大断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施の形態を示す図面に基づき本発明を詳説する。
図１と図３に於て、金属シールＳの実施の一形態を示し、自由状態（未装着状態）の断面正面図であり、図４と図５は使用状態であって、図４は途中当接状態の説明図、図５は最終接近状態の説明図を示す。
【００１１】
半導体製造には各種の腐食性ガス等が使用され、本発明の金属シールＳは、そのような半導体製造装置の配管系統に好適なものであって、表面被覆層（コーティング層）を有さないSUS316L 材等の耐食性金属が、材質としては好ましい。
そして、この金属シールＳは、相互に平行な一対の平坦面１，２の間に介装され、捩れ弾性変形を生じて密封作用をなし、ブロック型横断面形状である。
【００１２】
横断面形状について、さらに詳しく説明すると、略矩形（長方形）の中間基部３と、一方の平坦面１に当接する第１接触凸部11と、他方の平坦面２に当接する第２接触凸部12と、を一体にブロック状に有する。また、第１接触凸部11は、中間基部３の内径寄りに突設され、第２接触凸部12は中間基部３の外径寄りに突設されている。
この第１接触凸部11の横断面形状について説明すると、第１接触凸部11が平坦面１に、（図示省略の装着未加圧状態から）図４に示すように一対の平坦面１，２がしだいに接近する途中の直接当接部20は、十分に大きい半径Ｒ0 の円弧形状とする。
【００１３】
そして、一対の平坦面１，２がしだいに接近する途中の、上記直接当接部20の内の途中当接円弧長をＣx とし（図２と図４参照）、最終接近状態の最終組付け当接円弧長をＣ1 とする（図２と図５参照）と、Ｃ1 ＜Ｃx となるように、上記直接当接部20の最終端側に、逃げ部Ｚを切欠形成する。
なお、逃げ部Ｚを切欠形成した切欠線５と直接当接部20との角部（エッジ部）６は、小さ目の半径Ｒ1 のアール面取りを、形成するのが望ましい。即ち、平坦面１の傷付きを防止できる。
【００１４】
上述のように、Ｃ1 ＜Ｃx とすることによって、図４に示した途中当接状態の最大面圧Ｐx よりも、最接近状態（最終組付け状態）の最大面圧Ｐ1 を、十分に大きく（高く）設定でき、これによって、流体―――特にガス（気体）―――の外部漏洩を阻止して、高いシール性（密封性能）を実現する。
特に、 0.3・Ｃx ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃx の如く設定するのが好ましい。ところで、図７に於て示したように、本発明の切欠形成した逃げ部Ｚが無い場合の当接円弧長Ｃ0 は、途中当接円弧長Ｃx に対し（僅かに大きいが）略同等の値であるので、慨略、 0.3・Ｃ0 ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃ0 なる関係式も成立しているといえる。
【００１５】
次に、第２接触凸部12について説明すれば、第２接触凸部12が平坦面２に、（図示省略した装着未加圧状態から）図４の接近途中状態における直接当接部20は、半径Ｒ0 が十分に大きい円弧形状であり、途中当接円弧長Ｃx と、最終組付け当接円弧長Ｃ1 との間には、 0.3・Ｃx ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃx なる関係式が成立する。また、逃げ部Ｚを切欠形成した切欠線５と、直接当接部20との角部６は、小さ目の半径Ｒ1 のアール面取りとする点は、第１接触凸部11と同様である（図２参照）。
そして、第２接触凸部12の途中当接状態の最大面圧Ｐx と、最接近状態の最大面圧Ｐ1 との関係、及び、その作用に関しても、既述した第１接触凸部11と同様であり、重複説明を省略する（図２の概略構成図、及び、図４，図５の面圧グラフ参照）。
【００１６】
そして、図１、及び、図３〜図５に示した実施の形態では、この金属シールＳの第１接触凸部11と第２接触凸部12、各々、横断面略４半円形とされる。逃げ部（切欠部）Ｚは、この第１接触凸部11・第２接触凸部12の横断面積よりも、僅かに小さな略４半円形である。
具体的には、従来の図６を切欠前の基本形状として説明すれば、中間基部33（３）の短辺33ａ（３ａ）と平行に、かつ、半円形の接触凸部34，35の円中心点Ｏを通る直線Ｌ0 を引き、この直線Ｌ0 と接触凸部34，35（11，12）との交点Ｅよりも小寸法Ｈだけ内方へ寄った位置で、短辺33ａ（３ａ）と平行に切断している。
【００１７】
なお、切欠形成した逃げ部Ｚの切欠線５は、図１と図３〜図５では、直角に交わる２本線にて構成した場合を示している。本発明では、この切欠線５の形状は、図２に示すように、曲線状としたり、その他の形状とするも自由であるが、最終接近状態下で、逃げ部Ｚの切欠線５が、平坦面１，２に非接触であれば十分である。特に、図２から、このような切欠線５によって形成される逃げ部Ｚの存在により、切欠逃げ部の無い（図６の）最終接近状態下での接触円弧長Ｃ0 が、十分に短い円弧長Ｃ1 となることが、判る。
【００１８】
このように、本発明では、最終組付け当接円弧長Ｃ1 が、途中当接円弧長Ｃx 、及び、従来例の（図６，図７の）当接円弧長Ｃ0 よりも、十分に小さくなり、これに伴って、平坦面１，２との接触面積が減少し、最終接近状態の最終組付け面圧分布16が、図５に示すように（図７と図４に比較して）著しくシャープな山型となり、最大面圧Ｐ1 は、図７の最大面圧Ｐ0 及び途中当接面圧の最大面圧Ｐx に比べて、著しく大きくなる。いわば、線接触状態となる。このように、低い締付力―――平坦面１と平坦面２とを接近方向に締付けるための力―――が低いにかかわらず、最大面圧Ｐ1 が上昇（増加）して、シール性（密封性能）が向上している。
【００１９】
また、このように最大面圧Ｐ1 が増加して、十分なシール性（密封性能）が得られることに伴って、本発明では、一対の平坦面１，２を非鏡面状態の機械加工面そのままであっても良くなる。さらに、金属シールＳ自身の凸部11，12の直接当接部20は、従来のような超研磨仕上げが省略可能となり、通常の研磨仕上げでも十分となる。即ち、両方のシール面部の仕上げ加工が多少ずつであったとしても、ヘリウム密封試験に於て、従来の鏡面仕上げと超研磨仕上げのものと、同等の良好なシール性（密封性能）を発揮できる。勿論、金属シールＳの表面への被覆層（コーティング層）の付着も省略できる。
【００２０】
なお、本発明は上述の実施の形態に限らず、設計変更自由であって、例えば、中間基部３は矩形以外に、平行四辺形や他の多角形状や丸味のある形状であっても良い。
【００２１】
本発明は以上説明したように、相互に平行な一対の平坦面１，２の間に介装されて捩れ弾性変形を生ずるブロック型横断面形状であって、中間基部３と、上記平坦面１，２の一方に当接する第１接触凸部11と、上記平坦面１，２の他方に当接する第２接触凸部12と、を備え、上記第１接触凸部11を上記中間基部３の内径寄りに突設し、上記第２接触凸部12を上記中間基部３の外径寄りに突設した金属シールに於て、上記第１接触凸部11・第２接触凸部12が、上記平坦面１，２に直接に接触する直接当接部20の横断面形状を、円弧形状とすると共に、上記一対の平坦面１，２がしだいに接近する途中の上記直接当接部20の内の途中当接円弧長Ｃx よりも、最終接近状態の最終組付け当接円弧長Ｃ1 を、小さくなるように、上記直接当接部20の最終端側に、逃げ部Ｚを切欠形成した構成であって、簡易な形状であるにかかわらず、最終接近状態下での接触最大面圧Ｐ1 が十分に大きくなり、密封流体が気体（ガス）であったとしても、外部漏洩の流れを遮断して、優秀なシール性（密封性）を発揮する。しかも、締付力は低いままで十分である。また、接触最大面圧Ｐ1 が十分に高まるので、相手面としての平坦面１，２の鏡面加工を省略したり、金属シールＳ自体の接触凸部11，12の超研磨仕上げを省略できる。このように製造が容易となり、安価な製造を実現できる。
【００２２】
また、上記第１接触凸部11と上記第２接触凸部12は、各々、横断面略４半円形としたので、シンプルな横断面略半円形の逃げ部Ｚの切削加工で済み、製作が容易となる。
また、上記一対の平坦面１，２は、非鏡面状態の機械加工面であるので、平坦面１，２の従来の鏡面加工が省略できて、安価かつ容易に相手面の製作ができる。
【符号の説明】
【００２３】
１，２  平坦面
３  中間基部
11  第１接触凸部
12  第２接触凸部
20  直接当接部
Ｓ  金属シール
Ｚ  逃げ部
Ｃx   途中当接円弧長
Ｃ1   最終組付け当接円弧長
Ｃ0   逃げ部が無い場合の当接円弧長
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に平行な一対の平坦面（１）（２）の間に介装されて捩れ弾性変形を生ずるブロック型横断面形状であって、中間基部（３）と、上記平坦面（１）（２）の一方に当接する第１接触凸部（11）と、上記平坦面（１）（２）の他方に当接する第２接触凸部（12）と、を備え、上記第１接触凸部（11）を上記中間基部（３）の内径寄りに突設し、上記第２接触凸部（12）を上記中間基部（３）の外径寄りに突設した金属シールに於て、
上記第１接触凸部（11）・第２接触凸部（12）が、上記平坦面（１）（２）に直接に接触する直接当接部（20）の横断面形状を、円弧形状とすると共に、上記一対の平坦面（１）（２）がしだいに接近する途中の上記直接当接部（20）の内の途中当接円弧長（Ｃx ）よりも、最終接近状態の最終組付け当接円弧長（Ｃ1 ）を、小さくなるように、上記直接当接部（20）の最終端側に、逃げ部（Ｚ）を切欠形成して、上記第１接触凸部（11）と上記第２接触凸部（12）は、各々、横断面略４半円形としたことを特徴とする金属シール。
【請求項２】
上記途中当接円弧長を（Ｃx ）とすると共に、上記最終組付け当接円弧長を（Ｃ1 ）とすると、 0.3・Ｃx ≦Ｃ1 ≦0.6・Ｃx の如く設定した請求項１記載の金属シール。
【請求項３】
上記切欠形成した逃げ部（Ｚ）が無い場合の当接円弧長を（Ｃ0 ）とすると共に、上記最終組付け当接円弧長を（Ｃ1 ）とすると、 0.3・Ｃ0 ≦Ｃ1 ≦ 0.6・Ｃ0 なる関係式が成立している請求項１記載の金属シール。
【請求項４】
上記一対の平坦面（１）（２）は、非鏡面状態の機械加工面である請求項１記載の金属シール。