(57)【要約】【課題】不使用時においてダウンフローの妨げにならず製造装置や検査装置の省スペース化を図ることができる作業台を提供する。【解決手段】天板部２と、この天板部２の両端を支える少なくとも２つの支持脚部３とを備える門型形状の作業台１において、天板部２を、作業床面を構成する水平状態の位置と、この水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動させる天板回動機構６を備える構成とする。【選択図】図１Ａ
2010037822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天板部と、該天板部の両端を支える少なくとも２つの支持脚部とを備える門型形状の作業台において、
前記天板部を、作業床面を構成する水平状態の位置と、該水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動させる天板回動機構を備える、
ことを特徴とする作業台。
【請求項２】
前記作業台は、ガイド部に沿って移動可能であることを特徴とする請求項１記載の作業台。
【請求項３】
前記天板回動機構は、前記作業台が退避領域に移動している間に、前記天板部を、前記水平状態の位置から立ち上がった位置に回転させることを特徴とする請求項２記載の作業台。
【請求項４】
前記作業台は、作業対象物を跨ぐように配置され、
前記天板回動機構は、前記天板部を、前記水平状態の位置から前記立ち上がった位置に回転させることで、前記作業対象物の上方から退避させる、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の作業台。
【請求項５】
前記天板部を支持する天板支持部を更に備え、
前記天板回動機構は、一端に第１の回動軸部が設けられ該第１の回動軸部を中心に回動する回動アームと、該回動アームを回動させる回動駆動部とを有し、
前記天板支持部は、前記回動アームの残る他端に設けられた第２の回動軸部に接続され、
前記天板部は、前記天板支持部と共に前記第２の回動軸部を中心に回動するのに加え、前記天板支持部及び前記回動アームと共に前記第１の回動軸を中心に回動することで、前記水平状態の位置と前記立ち上がった位置とに移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の作業台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶パネル製造工場の製造ラインの高所においてメンテナンス等の作業を行うための作業台に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、作業者が高所で作業を行うための作業台として、長方形の作業床面を構成する天板部と、この天板部の両端を支え作業者が上り下りできるようにステップを備えた２つの支持脚部とを備える門型形状の作業台が知られている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
液晶パネル製造工場では、レジストコート、ベーク、露光、現像などのフォトリソグラフィ工程によりガラス基板（マザーガラス）にレジストパターニングを行って液晶パネルを製造している。さらに液晶パネル製造ラインには、フォトリソグラフィ工程で製造されたガラス基板を検査するための基板検査装置が配置されている。
【０００４】
現在、液晶パネル製造工場では、生産性を高めるために一辺が３０００ｍｍを超える大型基板が採用され、この大型ガラス基板を搬送する搬送ラインの高さが１７００ｍｍと高くなっている。基板製造装置や検査装置は、搬送ラインよりも高い位置に配置されるため、高所でのメンテナンス作業を強いられることになる。
【０００５】
メンテナンス作業を行う際には、ガラス基板を搬入・搬出させる基板搬送路を跨ぐように門型形状の作業台を配置し、作業台を移動させながら搬送面や処理ヘッドのメンテナンスの作業を行っている。作業台の天板部の高さは、基板搬送面をメンテナンスするために、基板搬送面に接触せず作業者の手の届く高さに設定されている。
【０００６】
作業台は、メンテナンス作業が終わると、ダウンフローの邪魔にならないように搬送路から外れた位置に退避される。
【特許文献１】特開２００８−１０６６０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、作業台の天板部は、作業者を載せるのに十分な広さを確保するために大型のものとなり、作業台を基板搬送路上に置いておくと天板部によりダウンフローが遮られて良好に流れないという問題が生ずる。この問題を回避するために、作業終了後に作業台を搬送路から外れた位置に退避させると大きな退避スペースが必要となり、製造装置または検査装置の設置スペースが大きくなるという問題が生ずる。
【０００８】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、不使用時においてダウンフローの妨げにならず製造装置や検査装置の省スペース化を図ることができる作業台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の作業台は、天板部と、この天板部の両端を支える少なくとも２つの支持脚部とを備える門型形状の作業台において、上記天板部を、作業床面を構成する水平状態の位置と、この水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動させる天板回動機構を備える構成とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、天板回動機構により天板部を立ち上がらせることで、不使用時においてダウンフローの流れを阻害することなく製造装置や検査装置の省スペース化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施の形態に係る作業台について、図面を参照しながら説明する。
図１Ａ〜図１Ｄは、本発明の一実施の形態に係る作業台１を示す斜視図、右側面図、正面図及び平面図である。
【００１２】
図２は、上記作業台１の天板回動機構６を説明するための右側面図である。
図３は、上記作業台１の天板２が立ち上がった状態を示す斜視図である。
作業台１は、長い矩形状の天板部２と、この天板部２の両端を支える２つ（少なくとも２つ）の支持脚部３，３と、天板部２の長手方向の一辺に沿って配置された手摺り部５と、天板部２をほぼ垂直に立ち上げる天板回動機構６等を備える。
【００１３】
各支持脚部３は、４本の脚柱３ａ、脚部上面板３ｂ、踏板３ｃ、支持枠３ｄ、４つの車輪３ｅ，４つのガイド用ローラ３ｆを有する。
４本の脚柱３ａは、脚部上面板３ｂの４隅から下方に向かって作業台移動方向（矢印Ｄ１）へ徐々に下広がりになるように傾斜して配設され、側面視台形・正面視長方形を呈する。
【００１４】
４本の脚柱３ａのうち正面側の２本の脚柱３ａの間には、作業者が昇り降りするための梯子を構成するように水平方向に延びる踏板３ｃが一定間隔で配設されている。４本の脚柱３ａのうち両側面側及び背面側の脚柱３ａの間には、水平方向に延びる補強部材３ｄが数箇所に配設されている。なお、４本の脚柱３ａの下部には、それぞれ車輪３ｅが固定されている。
【００１５】
内側（他方の支持脚部３に対向する側）の最下部の補強部材３ｄには、作業台進行方向（矢印Ｄ１）に延びるガイド部４を挟むように位置する一対のガイド用ローラ３ｆが２箇所に配設されている。ガイド部４，４は、図３に示すようにフォトリソグラフィ製造ラインに配置される各種製造装置（基板修正装置を含む）または検査装置など作業対象装置１３が設置されるクリーンルームの床面に平行に一対敷設されている。
【００１６】
作業台１は、例えば図３に示す基板検査装置（作業対象装置）１３のメンテナンス作業に用いる際に、基板検査装置１３の基板搬入・搬出用の基板搬送路を跨ぐように配置される。ガイド部４，４は、基板搬送路の両側に沿って床面に敷設され、このガイド部４，４に沿うようにして作業台１が作業台進行方向Ｄ１に移動できるようになっている。本実施の形態では、作業者が作業台を押して移動させるようにしているが、作業台１がガイド用ローラ３ｆのモータなどの駆動機構を備え、遠隔操作により駆動機構を駆動させてガイド部４に沿って作業台１を任意の位置に移動させてもよい。
【００１７】
作業台１は、不使用時に基板検査装置１３の端または作業台１よりも狭い装置外装との間の退避領域に退避させるようになっている。
図２に示すように、本実施の形態の天板回動機構６は、直線運動を回転運動に変換する回転駆動部として伸縮自在なロッドを有する伸縮ステー７と回動アーム８とからなる。伸縮ステー７の下端は、支持脚部３の退避位置側に突出して設けられた支持部材９ａにブラケット７ａを介して揺動可能に固定されている。また、伸縮ステー７の上端は、回動アーム８の底面にブラケット７ｂを介して揺動可能に固定されている。
【００１８】
回動アーム８の一端は、伸縮ステー７の下端の固定揺動軸（ブラケット７ａ）より高い位置で、かつ水平に位置させた天板部２の端から退避側に所定距離Ｌだけ離れた位置に設けられた支持部材９ｂに揺動可能に接続されており、この接続位置が回動アーム８の回動中心となる第１の回動軸部１０となっている。
【００１９】
また、回動アーム８の他端は、天板部２の下部に配置され天板部２を支持する側面視略直角三角形状の天板支持部１２に接続されており、この接続位置が天板支持部１２の回動中心となる第２の回動軸部１１となっている。天板支持部１２は、回転アーム８に対して第２の回転軸部１１を中心に図２の実線で示す水平位置から二点破線で示す退避側に回動可能になっている。
【００２０】
各脚部上面板３ｂ、３ｂの各内側側縁部には、脚部上面板３ｂの前端部から退避側に延出する第１のガイドレール１５ａが設けられている。また、各脚部上面板３ｂ、３ｂの各外側側縁部より延出する第２のガイドレール１５ｂが設けられている。第１のガイドレール１５ａ、１５ａには、天板部２が載置される天板載置部１６,１６が移動可能に設けられている。天板載置部１６、１６の退避側の端部には、天板部２が揺動可能に連結され、天板回動機構６、６により天板部２を水平状態から垂直状態までに立ち上げる動作に連動して天板載置部１６が第１のガイドレール１５ａに沿って移動可能になっている。この両天板載置部１６の退避側の端部には、手摺り部５が固定されている。さらに、手摺り部５の両端は、第２のガイドレールに移動可能に設けられたスライダに固定されている。天板部２が水平位置から垂直に立ち上がって退避位置まで移動する際に、この動作に連動して天板載置部１６が第１のガイドレール１５ａに沿って移動することにより、手摺り部５が天板載置部１６により押されて退避位置まで移動する。
【００２１】
支持脚部３の退避側には、天板部２より退避側に延出する第１のガイドレール１５ａ及び第２のガイドレール１５ｂを支える補助用の支持枠１７が設けられている。
なお、第１の回動軸部１０は、天板部２の退避側側面を中心にして垂直に立ち上げて後退した位置とほぼ同じ位置に取り付けられる。また、第１の回動軸部１０は、作業台１が図３に示すように基板検査装置１３の端まで移動した際に、基板検査装置１３の上部空間から退避する位置となっている。このように第１の回動軸部１０を退避側に設けることにより、この第１の回動軸部１０を回転中心として回転アーム８が回動することにより天板部２が基板検査装置１３から外れた退避領域に位置することになる。
【００２２】
ここで、天板部２の回動動作について説明する。
まず、図示しない駆動手段により伸縮ステー７を上方に伸ばし（７´）、回動アーム８を第１の回動軸部１０を中心に上方に回転させる（８´）。そして、回動アーム８の回転動作により天板支持部１２が回動しながら退避側に移動する。このとき、天板部２の移動に連動して天板載置部１６が第１のガイドレール１５aに沿って退避側に移動する。天板支持部１２は、天板載置部１６と回転アーム８との連結関係により回転アーム８の回転角度よりも大きな角度で立ち上がる。
【００２３】
これにより、天板部２は、天板支持部１２と共に第２の回動軸部１１を中心に回動するのに加え、天板支持部１２及び回動アーム８と共に第１の回動軸１０を中心に回動することで、作業床面が鉛直方向に立ち上がった位置（２´）に移動する。なお、天板部２が立ち上がった位置（２´）に到達した際には、天板部２或いは天板支持部１２がロック部材１８により手摺り部５に固定される。図示例では、回転フック式の手動ロック部材１８を採用したが、天板部２の立ち上げを検出して自動でロックする電動式ロック部材を採用してもよい。
【００２４】
図３に示すように、天板部２は、垂直に立ち上がった位置（２´）に移動すると、手摺り部５も天板載置部１６の移動に連動して天板部２と同じ位置まで移動する。なお、天板部２は、基板検査装置１３の基板載置面（基板搬送面）に対して鉛直方向まで立ち上げる必要はなく、ダウンフローの流れを損なわない程度の傾斜角度、例えば鉛直方向から±２０°の範囲に立ち上げることでも、後述する省スペース化を図ることは可能でなる。
【００２５】
また、天板部２の回動動作は、作業台１の退避領域への移動開始前又は移動終了後に行ってもよいが、作業台１が退避領域に移動している間に行うことで、天板部２の基板検査装置１３からの退避動作を迅速に行うことができる。
【００２６】
天板部２を、立ち上がった位置（２´）から作業床面を構成する水平状態の位置に移動させる場合には、図示しない駆動手段により、回動アーム８が水平に延びる位置まで伸縮ステー７を縮ませ、第１の回動軸部１０及び第２の回動軸部１１を中心に、上述の立ち上げ動作と反対方向に天板部２を回動させればよい。なお、天板部２が水平状態の位置に到達した際にも、天板部２或いは天板支持部１２がロック部材１８により固定されるようにするとよい。
【００２７】
以上説明した本実施の形態によれば、天板回動機構６により天板部２を立ち上がらせることで、ダウンフローの流れを損なうことなく作業台１の省スペース化を図ることができる。
【００２８】
また、本実施の形態では、作業台１をガイド部４に沿って移動できるため、広い領域で作業を行うことができると共に、不使用時において作業台１を基板検査装置１３の端または退避領域に移動させることでスペースを有効活用することができる。
【００２９】
また、本実施の形態によれば、天板回動機構６は、作業台１が退避領域に移動している間に、天板部２を、図１Ａ等に示す水平状態の位置から図３に示す立ち上がった位置（２´）に回転させるため、天板部２の基板検査装置１３からの退避動作を迅速に行うことができる。
【００３０】
また、本実施の形態では、作業台１は、基板検査装置１３を跨ぐように配置され、図３に示す退避領域に移動すると共に天板回動機構６により天板部２を立ち上がった位置に移動させることで、天板部２を基板検査装置１３の上方から退避させる。したがって、基板検査装置１３へのダウンフローを妨げないようにすることができると共に、天板部２周辺から発生する塵埃が基板検査装置１３へ落下するのを防ぐことができる。
【００３１】
また、本実施の形態では、第１の回動軸１０は、作業台１が図３に示すように退避領域に位置する際に基板検査装置１３の上部空間から退避した位置に配置される。そのため、より有効に天板部２の退避動作を行うことができる。
【００３２】
また、本実施の形態では、天板部２は、天板支持部１２と共に第２の回動軸部１１を中心に回動するのに加え、天板支持部１２及び回動アーム８と共に第１の回動軸１０を中心に回動することで、作業床面を構成する水平状態の位置と、この位置から回転し立ち上がった位置とに移動する。そのため、図２に二点鎖線で示すように、天板部２´及びその周辺構造（天板支持部１２´、回動アーム８´及び伸縮ステー７´）の配置スペースを小さく抑えることができ、不使用時において作業台１の更なる省スペース化を図ることができる。
【００３３】
なお、本実施の形態では、作業台１の支持脚部３には車輪３ｅが設けられ、作業台１はガイド部４に沿って移動可能に構成されているが、作業台１は床面に固定されるものであってもよく、その場合でも、天板部２を立ち上がらせることで、不使用時に作業台１の省スペース化を図ることは可能である。
【００３４】
また、本実施の形態では、作業対象物として基板検査装置１３を例に説明したが、作業台１を用いて作業を行う対象物であれば、クリーンルーム内で使用される露光装置、現像装置、リペア装置、レビュー装置などダウンフロー下で用いられるその他の作業対象物であってもよい。
【００３５】
また、本実施の形態では、回動駆動部として伸縮ステー７を用いる例について説明したが、ギヤーなどの伝達機構を介して回転モータで回動させることも可能である。更には、天板回動機構としては、天板部２を水平状態から回転し立ち上げるだけでもダウンフローの流れを阻害することがないため、製造処理や検査処理の邪魔にならない位置に移動させることも可能である。
【００３６】
また、本実施の形態では、第１の回動軸部１０は、作業台１が図３に示すように退避領域に位置する際に基板検査装置１３の上部空間から退避した位置にある例を説明したが、第１の回動軸部１０は、天板部２の中央や端部に配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】本発明の一実施の形態に係る作業台を示す斜視図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施の形態に係る作業台を示す右側面図である。
【図１Ｃ】本発明の一実施の形態に係る作業台を示す正面図である。
【図１Ｄ】本発明の一実施の形態に係る作業台を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る作業台の天板回動機構を説明するための右側面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る作業台の天板が立ち上がった状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３８】
１      作業台
２      天板部
３      支持脚部
３ａ      脚柱
３ｂ      脚部上面板
３ｃ      踏板
３ｄ      補強部材
３ｅ      車輪
３ｆ      ガイド用ローラ
４      ガイド部
５      手摺り部
６      天板回動機構
７      伸縮ステー
８      回動アーム
９ａ，９ｂ      支持部材
１０      第１の回動軸部
１１      第２の回動軸部
１２      天板支持部
１３      基板検査装置（作業対象装置）
１５a      第１のガイドレール
１５b      第２のガイドレール
１６      天板載置部
１７      支持枠
１８      ロック部材
【図１Ａ】
2010037822.tif 000003
【図１Ｂ】
2010037822.tif 000004
【図１Ｃ】
2010037822.tif 000005
【図１Ｄ】
2010037822.tif 000006
【図２】
2010037822.tif 000007
【図３】
2010037822.tif 000008