(57)【要約】【課題】循環冷却装置が稼動状態でも、カプラ内部に背圧が加わった状態とならず、ヒートシンクのカプラ着脱時に冷却流体の飛散を発生させる恐れのない半導体試験装置を実現する。【解決手段】循環冷却装置からテストヘッドに設けられたカプラを介してヒートシンクに冷媒を供給する半導体試験装置において、前記テストヘッドに設けられ前記ヒートシンクをはずす際に第１の信号を発し前記ヒートシンクが接続された際に第２の信号を発する信号発生回路と、前記循環冷却装置の出力側と前記テストヘッドの入力側との間に設けられ前記第１の信号に基づき所定時間経過後に前記冷媒の前記テストヘッドへの入力を止めて前記循環冷却装置の入力側へ返還し、前記第２の信号に基づき前記冷媒の前記入力側への返還を止めて前記テストヘッドに入力する三方弁とを具備したことを特徴とする半導体試験装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
循環冷却装置からテストヘッドに設けられたカプラを介してヒートシンクに冷媒を供給する半導体試験装置において、
前記テストヘッドに設けられ前記ヒートシンクをはずす際に第１の信号を発し前記ヒートシンクが接続された際に第２の信号を発する信号発生回路と、
前記循環冷却装置の出力側と前記テストヘッドの入力側との間に設けられ前記第１の信号に基づき所定時間経過後に前記冷媒の前記テストヘッドへの入力を止めて前記循環冷却装置の入力側へ返還し、前記第２の信号に基づき前記冷媒の前記入力側への返還を止めて前記テストヘッドに入力する三方弁と
を具備したことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記信号発生回路と前記三方弁との間に設けられ前記第１の信号に基づき所定時間後に前記三方弁に動作信号を発するタイマー
を具備したことを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体試験装置に関するものである。
更に詳述すれば、ヒートシンクを、カプラ部分から着脱する際に循環冷却装置を停止させず、カプラ部分からの流体飛散を防止できる半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−０９４７０６号公報
【特許文献２】特開２００1−００４７１８号公報
【特許文献３】特開平１０−３０３５８６号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
図において、循環冷却装置１は、テストヘッド２に設けられたヒートシンク２１を冷却する。
ヒートシンク２１は、テストヘッド２に設けられたカップラ２２に着脱される。
循環冷却装置１は、熱交換器１１、タンク１２、ポンプ１３を有する。
この場合は、冷媒は水が使用されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような装置においては、以下の間題点がある。
カプラ部分からヒートシンクを着脱する際、循環冷却装置１が稼動しているのでカプラ２２の内部では背圧がかかった状態である。
このために、カプラ２２の着脱時に、流体の飛散が起こる。
【０００６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、循環冷却装置が稼動状態でも、カプラ内部に背圧が加わった状態とならず、ヒートシンクのカプラ着脱時に冷却流体の飛散を発生させる恐れのない半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体試験装置においては、
循環冷却装置からテストヘッドに設けられたカプラを介してヒートシンクに冷媒を供給する半導体試験装置において、前記テストヘッドに設けられ前記ヒートシンクをはずす際に第１の信号を発し前記ヒートシンクが接続された際に第２の信号を発する信号発生回路と、前記循環冷却装置の出力側と前記テストヘッドの入力側との間に設けられ前記第１の信号に基づき所定時間経過後に前記冷媒の前記テストヘッドへの入力を止めて前記循環冷却装置の入力側へ返還し、前記第２の信号に基づき前記冷媒の前記入力側への返還を止めて前記テストヘッドに入力する三方弁とを具備したことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２の半導体試験装置においては、請求項１記載の半導体試験装置において、
前記信号発生回路と前記三方弁との間に設けられ前記第１の信号に基づき所定時間後に前記三方弁に動作信号を発するタイマーを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
冷却を必要とするヒートシンクを、カプラ部分から着脱する際に経路内の循環冷却流体を循環させている循環冷却装置を停止させず、カプラ部分からの流体飛散を防止できる半導体試験装置が得られる。
【００１０】
ヒートシンクのカプラ着脱時に、背圧がかかった状態で流体飛散が起こるようなカプラが使用できるので、カプラ自体を、安価なカプラが使用でき、安価な半導体試験装置が得られる。
テストヘッド側での装置の変更が無いので、既往の半導体試験装置を容易に改造できる半導体試験装置が得られる。
【００１１】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
信号発生回路と三方弁との間に設けられ、第１の信号に基づき所定時間後に、三方弁に動作信号を発するタイマーが設けられたので、三方弁の動作時間を変更することが可能になり、
ヒートシンクの冷却時間を適切な時間に容易に変更できる半導体試験装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の動作説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００１３】
図１において、
信号発生回路３１は、テストヘッド２に設けられ、ヒートシンク２１をはずす際に、第１の信号を発し、ヒートシンク２１が接続された際に、第２の信号を発する。
三方弁４１は、循環冷却装置１の出力側とテストヘッド２の入力側との間に設けられ、第１の信号に基づき、所定時間経過後に冷媒のテストヘッド２への入力を止めて、循環冷却装置１の入力側へ返還し、第２の信号に基づき、冷媒の入力側への返還を止めてテストヘッド２に入力する。
【００１４】
以上の構成において、
カードを着脱しない、通常の動作状況について以下に示す。
（１）通常の動作では、図１に示す如く、ヒートシンク２１に冷却流体が流れる。
【００１５】
カードを着脱する際の動作について以下に示す。
（１）ヒートシンク２１外す為にテストヘッド２の電源をOFFにする。
（２）テストヘッド２の電源がOFFになった信号を、循環冷却装置１が受信する。
（３）循環冷却装置１内に設置された三方弁４１によりテストヘッド２の側に流体が供給されなくなる。
（４）ヒートシンク２１をカプラ２２より外す。
【００１６】
（５）メンテナンスなど終了後、ヒートシンク２１をカプラ２２に接続して、ヒートシンク２１をテストヘッド２内に設置する。この状態では、テストヘッド２側には冷却流体が供給されない。
（６）テストヘッド２を電源ONにする。自動的に三方弁４１が作動してテストヘッド２側に冷却流体を供給する。
【００１７】
この結果、
冷却を必要とするヒートシンク２１を、カプラ２２の部分から着脱する際に、経路内の循環冷却流体を循環させている循環冷却装置１を停止させず、カプラ２２の部分からの流体飛散を防止できる半導体試験装置が得られる。
【００１８】
ヒートシンク２１のカプラ２２への着脱時に、背圧がかかった状態で流体飛散が起こるようなカプラが使用できるので、カプラ２２自体を、安価なカプラが使用でき、安価な半導体試験装置が得られる。
テストヘッド１側での装置の変更が無いので、既往の半導体試験装置を容易に改造できる半導体試験装置が得られる。
【００１９】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図３において、タイマー５１は、信号発生回路３１と三方弁４１との間に設けられ、第１の信号に基づき所定時間後に、三方弁４１に動作信号を発する。
【００２０】
この結果、三方弁４１の動作時間を変更することが可能になり、ヒートシンク２１の冷却時間を適切な時間に容易に変更できる半導体試験装置が得られる。
【００２１】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００２３】
１      循環冷却装置
１１    熱交換器
１２    タンク
１３    ポンプ
２      テストヘッド
２１    ヒートシンク
２２    カップラ
３１    信号発生回路
４１    三方弁
５１    タイマー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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