(57)【要約】【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記回路部１１と前記検出素子１２とを電気的に接続する導体１３とを備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、前記基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記導体１３に接続された導体接続部１２Ｄと、前記導体接続部１２Ｄと前記基部１２Ａとを接続する梁１２Ｅと、を有する角速度センサを有する構成としたものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部と、
前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動し
コリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子と、
前記回路部と前記検出素子とを電気的に接続する導体とを備え、
前記検出素子が
基部と、
前記基部に接続されたアームと、
前記導体に接続された導体接続部と、
前記導体接続部と前記基部とを接続する梁と、
を有する
角速度センサ。
【請求項２】
前記導体が
前記基部における前記導体接続部の下面に電気的に接続された
請求項１に記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両制御やカーナビゲーション装置、デジタルカメラの手振れ補正等に用いられる角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の角速度センサは、図３に示すごとく、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動し、コリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子２と、前記回路部１と前記検出素子２とを電気的に接続する導体３とを備え、前記検出素子２が、図４に示すごとく、基部２Ａと、前記基部２Ａに対し水平方向に接続された駆動用アーム２Ｂ、検出用アーム２Ｃとを有し、前記導体３が前記基部２Ａの下面に電気的に接続される構成としていた。
【０００３】
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００８−１５１６３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の角速度センサでは、感度が低いことが問題となっていた。
【０００５】
すなわち、上記従来の構成においては、前記導体３との接続部を確保するため、前記基部２Ａの面積が大きくならざるを得ず、駆動用アーム２Ｂで発生したコリオリ力が検出用アーム２Ｃに伝達されにくくなってしまい、その結果として、感度が低くなってしまっていた。
【０００６】
そこで本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子と、前記回路部と前記検出素子とを電気的に接続する導体とを備え、前記検出素子が基部と、前記基部に接続されたアームと、前記導体に接続された導体接続部と、前記導体接続部と前記基部とを接続する梁と、を有する構成としたものである。
【発明の効果】
【０００８】
この構成により、導体との接続面積を基部が確保する必要が無く、前記基部の小面積化を図ることができるとともに、前記導体接続部と直接接続するのではなく、梁を介して接続される構成であるため、駆動用アームで発生したコリオリ力を検出用アームへと効率よく伝達することができ、その結果として、角速度センサの感度を向上させることができるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における角速度センサについて図面を参照しながら説明する。
【００１０】
図１に示すごとく、駆動信号を出力し、検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動し、コリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記回路部１１と前記検出素子１２とを電気的に接続する導体１３とを備えている。
【００１１】
そして、図２に示すごとく、前記検出素子１２が基部１２Ａと、前記基部１２Ａに対し水平方向に接続された駆動用アーム１２Ｂ、検出用アーム１２Ｃと、前記導体１３に接続された導体接続部１２Ｄと、前記導体接続部１２Ｄと前記基部１２Ａとを接続する梁１２Ｅとを有する構成としている。
【００１２】
前記回路部１１から駆動信号が前記導体接続部１２Ｄの下面に配置された電極（図示せず）に入力されると、この導体接続部１２Ｄから駆動用アーム１２Ｂにまで引き回された配線（図示せず）により前記駆動信号が前記駆動用アーム１２Ｂに伝達される。この駆動信号の伝達に伴い、前記駆動用アーム１２Ｂが駆動振動をする。
【００１３】
そして、当該角速度センサに角速度が印加されると、コリオリ力が発生し、前記駆動用アーム１２Ｂの駆動振動状態が変化する。
【００１４】
この駆動振動状態の変化が前記基部１２Ａを介して前記検出用アーム１２Ｃに伝達され、前記検出用アーム１２Ｃから検出信号が出力される。
【００１５】
この検出信号が、前記検出用アーム１２Ｃから前記導体接続部１２Ｄにまで引き回された配線（図示せず）により前記導体１３にまで伝達され、この導体を通じて図１に示した回路部１１にまで伝達されることにより、角速度の発生を検知する。
【００１６】
このような構成により、角速度センサの感度を向上させることができるのである。
【００１７】
即ち、前記検出素子１２が基部１２Ｃ以外に導体接続部１２Ｄを有することで、前記基部１２Ｃが導体との接続面積を確保する必要が無く、前記基部１２Ｃの小面積化を図ることができるとともに、前記基部１２Ｃと前記導体接続部１２Ｄとを直接接続するのではなく、梁１２Ｅを介して接続する構成であるため、駆動用アーム１２Ｂで発生したコリオリ力を検出用アーム１２Ｃへと効率よく伝達することができ、その結果として、角速度センサの感度を向上させることができるのである。
【００１８】
なお、導体１３が複数本あり、この複数の導体１３の全てをいずれかの導体接続部１２Ｄに接続する構成とすれば、基部１２Ａにおいて導体１３との接続面積を全く確保する必要がなくなるため、基部１２Ａの面積を最も小さくすることができ望ましいが、図２に示すごとく、複数の導体１３の内の何本かを導体接続部１２Ｄに接続するとともに、残りの何本かを基部１２Ａに接続する構成としても、基部１２Ａにおける導体との接続面積を小さくすることができるため、上述した角速度センサの感度を向上させることができるという効果を得ることはできる。
【００１９】
なお、本実施の形態においては、駆動用アーム１２Ｂが４本、検出用アーム１２Ｃが２本ある構成としたが、この実施の形態に限定されず、駆動用アーム１２Ｂと検出用アーム１２Ｃとが存在し、それらが基部１２Ａを介して接続されている構成であれば、本発明の効果を得ることができる。
【００２０】
また、本実施の形態においては、導体接続部１２Ｄが４つ存在する構成としたが、この実施の形態に限定されず、導体１３が導体接続部１２Ｄに接続されており、この導体接続部１２Ｄと基部１２Ａとが梁１２Ｅを介して接続される構成であれば、本発明の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の角速度センサは、耐衝撃性を向上させることができるという効果を有し、車両制御やカーナビゲーション装置、デジタルカメラの手振れ補正等において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１における角速度センサの断面図
【図２】本発明の実施の形態１における角速度センサの上面図
【図３】従来の角速度センサの断面図
【図４】従来の角速度センサの上面図
【符号の説明】
【００２３】
１１  回路部
１２  検出素子
１２Ａ  基部
１２Ｂ  駆動用アーム
１２Ｃ  検出用アーム
１２Ｄ  導体接続部
１２Ｅ  梁
１３  導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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