(57)【要約】【課題】抵抗の低い透明導電膜を有し、コントラストに優れたカラーフィルタを提供する。【解決手段】基板上に、該基板側から順に、少なくとも１色の着色層と、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜と、を有するカラーフィルタである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、該基板側から順に、
少なくとも１色の着色層と、
表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜と、
を有するカラーフィルタ。
【請求項２】
前記透明導電膜は、表面抵抗が５Ω／□以上３０Ω／□以下である請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記透明導電膜が、酸化インジウムスズを含む請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
基板上に少なくとも１色の着色層を形成する着色層形成工程と、
前記少なくとも１色の着色層上に、少なくとも、基板温度１００℃以上１６０℃以下の条件下で行う第１スパッタ、及び、前記第１スパッタより後に基板温度１８０℃以上２４０℃以下の条件下で行う第２スパッタにより、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜を形成する透明導電膜形成工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記第１スパッタは、流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕０．０４以上０．１５以下の条件下で行う請求項４に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記第２スパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕が、前記第１スパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕より小さい請求項４又は請求項５に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
前記透明導電膜は、表面抵抗が５Ω／□以上３０Ω／□以下である請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
前記透明導電膜が、酸化インジウムスズを含む請求項４〜請求項７のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
前記透明導電膜形成工程前における前記着色層が形成された基板のコントラストが５０００以上である請求項４〜請求項８のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記着色層形成工程は、（ａ）顔料と、（ｂ）顔料分散剤と、（ｃ）バインダー樹脂と、（ｄ）光重合性モノマーと、（ｅ）光重合開始剤と、（ｆ）溶剤と、（ｇ）フッ素系界面活性剤と、（ｈ）前記（ｇ）とは異なり、ポリ（オキシエチレン）基と窒素原子とを分子中に含有するノニオン系界面活性剤と、を含有する着色感光性樹脂組成物を用いて前記少なくとも１色の着色層を形成する請求項４〜請求項９のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のカラーフィルタ、又は、請求項４〜請求項１０のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶表示装置や固体撮像素子に不可欠な構成部品である。
例えば、液晶表示装置（液晶ディスプレイ；ＬＣＤ）用カラーフィルタについては、液晶ディスプレイがＴＶ用途として用いられるようになり、従来のノートパソコン、モニター用途のものに比し、より高品位な画質が求められている。また、大型ＴＶ生産のため基板サイズが拡大しており、歩留まりの向上やコスト削減の要求が大きくなっている。
【０００３】
カラーフィルタは、通常、基板上に着色層（着色画素や着色パターンともいう）と、該着色層上に設けられた透明導電膜（例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等）と、を有して構成される。
透明導電膜を形成する技術については、これまでに種々の検討がなされている。
例えば、ＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）方式の液晶表示装置とした際の、ディスクリネーションラインに基づく「ざらつき」を抑制するために、配向膜の下地膜である透明導電膜の表面粗さを１．４〜２．８ｎｍとする技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、脱ガスを生じるような耐熱性に乏しい基材上に、低抵抗でパターニング特性に優れた透明導電膜を得るために、透明導電膜を、非晶質性の下層膜と結晶性の上層膜とを有する２層以上の構成とする技術が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平７−２３４４０７号公報
【特許文献２】特開平９−３１６３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の技術では、透明導電膜形成後のカラーフィルタのコントラストが低下する場合がある。また、このコントラストを向上しようとすると透明導電膜の抵抗が上昇してしまう場合がある。
本発明は上記に鑑みなされたものであり、抵抗が低い透明導電膜を有し、コントラストに優れたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに、パネルコントラストに優れ表示品質に優れた液晶表示装置を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は鋭意検討した結果、透明導電膜の性状（膜質）を特定することにより、カラーフィルタのコントラストの向上と、透明導電膜の抵抗の低減と、を両立できるとの知見を得、この知見に基づき本発明を完成した。
前記課題を解決するための具体的手段は以下のとおりである。
＜１＞  基板上に、該基板側から順に、少なくとも１色の着色層と、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜と、を有するカラーフィルタである。
【０００７】
＜２＞  前記透明導電膜は、表面抵抗が５Ω／□以上３０Ω／□以下である＜１＞に記載のカラーフィルタである。
＜３＞  前記透明導電膜が、酸化インジウムスズを含む＜１＞又は＜２＞に記載のカラーフィルタである。
【０００８】
＜４＞  基板上に少なくとも１色の着色層を形成する着色層形成工程と、前記少なくとも１色の着色層上に、少なくとも、基板温度１００℃以上１６０℃以下の条件下で行う第１スパッタ、及び、前記第１スパッタより後に基板温度１８０℃以上２４０℃以下の条件下で行う第２スパッタにより、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜を形成する透明導電膜形成工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。
【０００９】
＜５＞  前記第１スパッタは、流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕が０．０４以上０．１５以下の条件下で行う＜４＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜６＞  前記第２スパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕が、前記第１スパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕より小さい＜４＞又は＜５＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜７＞  前記透明導電膜は、表面抵抗が５Ω／□以上３０Ω／□以下である＜４＞〜＜６＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜８＞  前記透明導電膜が、酸化インジウムスズを含む＜４＞〜＜７＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１０】
＜９＞  前記透明導電膜形成工程前における前記着色層が形成された基板のコントラストが５０００以上である＜４＞〜＜８＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜１０＞  前記着色層形成工程は、（ａ）顔料と、（ｂ）顔料分散剤と、（ｃ）バインダー樹脂と、（ｄ）光重合性モノマーと、（ｅ）光重合開始剤と、（ｆ）溶剤と、（ｇ）フッ素系界面活性剤と、（ｈ）前記（ｇ）とは異なり、ポリ（オキシエチレン）基と窒素原子とを分子中に含有するノニオン系界面活性剤と、を含有する着色感光性樹脂組成物を用いて前記少なくとも１色の着色層を形成する＜４＞〜＜９＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１１】
＜１１＞  ＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタ、又は、＜４＞〜＜１０＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、抵抗が低い透明導電膜を有し、コントラストに優れたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに、パネルコントラストに優れ表示品質に優れた液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
≪カラーフィルタ≫
本発明のカラーフィルタは、基板上に、該基板側から順に、少なくとも１色の着色層と、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜と、を有する。
カラーフィルタを上記本発明の構成とすることにより、カラーフィルタ全体としてのコントラストが向上する。更に、上記構成とすることにより、透明導電膜の抵抗を低減できる。
本発明において、「カラーフィルタのコントラスト」は、以下のようにして求められる値を指す。
即ち、カラーフィルタを２枚の偏光板の間に配置し、２枚の偏光板の偏光軸を平行にした時の透過光の輝度と、２枚の偏光板の偏光軸を互いに直交させた時の透過光の輝度と、をそれぞれ測定し、それらの比〔平行時の輝度／直交時の輝度〕をカラーフィルタのコントラストとする。
【００１４】
＜透明導電膜＞
本発明のカラーフィルタは、着色層上に、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜を有する。
このような透明導電膜を形成する方法については特に限定はなく公知の成膜方法を用いることができ、例えば、スパッタリングにより好適に形成できる。特に好ましい形成方法については、後述のカラーフィルタの製造方法の項で詳述する。
【００１５】
また、本発明における透明導電膜には特に限定はないが、３８０ｎｍ〜７７０ｎｍの波長領域全域に渡り透過率が８０％以上である膜が好ましい。より好ましくは、透過率が前記の範囲であり、かつ、比抵抗１．０×１０−３Ω・ｃｍ以下である膜である。
【００１６】
本発明における透明導電膜としては、特に限定されず、例えば、酸化スズ、酸化インジウム、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化カドミウム、酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ；以下、「ＩＴＯ」ともいう）、及び酸化インジウム亜鉛（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ；以下、「ＩＺＯ」ともいう）の少なくとも１種を含む膜が挙げられる。
中でも、本発明における透明導電膜としては、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）を含む膜であることが、高透明性および低抵抗の点で好ましい。
酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）を含む膜における酸化スズの添加量は、５〜１５質量％の範囲が、抵抗値を小さくするためには好ましく、８〜１２質量％がさらに好ましい。
【００１７】
本発明における透明導電膜は、単層構成であっても、２層以上の構成（例えば、後述する第１透明導電膜及び第２透明導電膜を含む２層以上の構成）であってもよい。
２層以上の構成の場合、前記第１透明導電膜及び前記第２透明導電膜を含む透明導電膜全体としては、積層構造を明確に認識できる状態となっていてもよいし、層同士の界面が混ざり合って積層構造を明確に認識できない状態となっていてもよい。
また、２層以上の構成の場合、各層同士は、同一組成であっても異なる組成であってもよい。
【００１８】
前記透明導電膜の膜厚（２層以上の場合には総膜厚）は必要とされる表面抵抗値により異なるが、膜厚の均一性及び透明性の観点からは、０．１２μｍ〜０．１７μｍの範囲が好ましく、０．１３μｍ〜０．１６μｍがより好ましい。
前記透明導電膜の表面抵抗（２層以上の場合には該２層以上の膜全体としての表面抵抗）は、５Ω／□以上３０Ω／□以下が好ましく、５Ω／□以上２０Ω／□以下がより好ましい。
【００１９】
（表面粗さ（Ｒａ））
本発明における透明導電膜は、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下である。
本発明において、表面粗さ（Ｒａ）は、ＪＩＳ  Ｂ０６０１（１９９４）に規定されている算術平均粗さ（Ｒａ）を指す。本発明における表面粗さ（Ｒａ）は、以下の条件で測定された値を指す。
〜表面粗さ（Ｒａ）の測定条件〜
測定装置    …  ＡＦＭ装置（ナノワールド社製ナノスコープIIIａ）
探針        …  単結晶シリコン
測定条件    …  バネ定数４５Ｎ／ｍ、タッピングモード、フレームサイズ１μｍ
【００２０】
表面粗さ（Ｒａ）が２．５ｎｍを超えると、カラーフィルタのコントラストが低下する。
また、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ未満の透明導電膜は、実用上形成が困難である。
カラーフィルタのコントラストをより向上させる観点からは、前記表面粗さ（Ｒａ）は、０．５ｎｍ以上１．５ｎｍ以下が好ましい。
【００２１】
（結晶子の平均短径）
本発明における透明導電膜は、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である。
本発明において「結晶子の平均短径」は、以下のようにして求められた値を指す。
即ち、まず、（株）日立ハイテクノロジーズ製電子顕微鏡Ｓ−４８００を用いて、１０万倍の倍率で透明導電膜の写真を撮影する。撮影された写真より、１０個の結晶子の短径をそれぞれ測定し、１０個の測定値の平均値を求める。得られた平均値が、本発明における「結晶子の平均短径」である。
【００２２】
結晶子の平均短径が１５ｎｍ未満であると、透明導電膜の表面抵抗が高くなる。
結晶子の平均短径が３５ｎｍを超えると、カラーフィルタのコントラストが低下する。
コントラストをより向上させ、透明導電膜の抵抗を低減する観点からは、結晶子の平均短径は、１５ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２３】
＜着色層＞
本発明のカラーフィルタは、基板上に、少なくとも１色の着色層を有する。
本発明の着色層の材質には特に限定はないが、例えば、後述の着色感光性樹脂組成物を用いて作製できる。
【００２４】
また、本発明における着色層は、パターニングされていてもパターニングされていなくてもよいが、例えば、液晶表示装置の着色画素（着色パターン）としてパターニングされた形態が好適である。
ここで、着色画素は、例えば、格子状パターンであるブラックマトリクスにより区画された基板上の画素部に設けられることが好ましい。前記着色画素は、一画素毎（一画素領域）に孤立状パターン（「アイランド状パターン」、「島状パターン」ともいう）としてパターニングされていてもよいし、直線状に配列された複数画素にまたがって、棒状パターン（「連続パターン」、「ストライプ状パターン」ともいう）としてパターニングされていてもよい。
【００２５】
本発明における着色層の膜厚には特に限定はないが、コントラストや透過率の観点等からは、１．０μｍ〜３．０μｍが好ましい。ここにいう「着色層の膜厚」は、画素内における着色パターンの厚みを指す。
【００２６】
本発明のカラーフィルタの特に好ましい形態としては、格子状パターンであるブラックマトリクスにより区画された基板上の画素部に、赤色画素、青色画素、及び緑色画素の３色の着色層が設けられ、これら３色の着色層上に前述の透明導電膜が設けられた形態である。
【００２７】
＜ブラックマトリクス＞
本発明のカラーフィルタは前述のとおり、ブラックマトリクスを備えていてもよい。
ここで、ブラックマトリクスとしては、基板上を複数の画素領域に区画する格子状パターンや、ストライプ状パターンの形態が好適である。
前記ブラックマトリクスとしては、例えば、濃色樹脂組成物を用いて形成されたブラックマトリクス（樹脂ブラックマトリクス）を用いることができる。
【００２８】
前記ブラックマトリクスの光学濃度（ＯＤ値）には特に限定はないが、２．０以上８．０以下とすることが好ましく、３．０以上さらに好ましくは４．０以上６．０以下とすることがより好ましい。光学濃度が２．０以上であると、コントラスト低下抑制等表示装置の表示品位の低下を抑制することができる。
なお、ここで言う光学濃度とは、ＩＳＯ  Ｖｉｓｕａｌ透過光学濃度をいう。ＩＳＯ  Ｖｉｓｕａｌ透過光学濃度の測定に用いることができる測定器としては、例えば、サカタインクスエンジニアリング株式会社のＸ−Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ（Ｖ）を挙げることができる。
【００２９】
前記ブラックマトリクスの線幅としては、５〜３０μｍであることが、高開口率化による明度確保の観点から好ましい。
【００３０】
前記ブラックマトリクスの膜厚は、０．５μｍ〜２．０μｍであることが必要である。
該膜厚が０．５μｍ以上であれば、ＯＤ値をより高くすることができる。また、該膜厚が２．０μｍ以下であれば、着色層との境界付近の段差をより低減ことができ、液晶表示装置としたときの配向不良をより低減でき、液晶表示装置としたときのコントラストをより向上できる。
【００３１】
＜基板＞
本発明のカラーフィルタにおける基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス等；固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板（例えばシリコン基板等）；プラスチック基板等が挙げられる。これらの基板上には、下塗り層等が設けられていてもよい。
また、前記基板として、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が配置されたＴＦＴ基板を用いることもできる（この場合、本発明のカラーフィルタは、カラーフィルタ・オン・アレイ（ＣＯＡ）基板となる）。
プラスチック基板には、その表面にガスバリヤー層及び／又は耐溶剤性層を設けることができる。
【００３２】
＜その他＞
本発明のカラーフィルタは上述した要素（透明導電膜、着色層、ブラックマトリクス、基板）以外にも、フォトスペーサー、配向制御用突起パターン、下塗り層等、公知の要素を有して構成されていてもよい。
また、前記カラーフィルタにおける着色パターン（着色画素）の色は、前述のとおり、３色以上であることがより好ましい。中でも、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色であることが特に好ましい。
また、本発明のカラーフィルタは、テレビ、パーソナルコンピューター、産業用や医療用等のモニター、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなど、種々の用途の表示装置に適用できる。
【００３３】
≪カラーフィルタの製造方法≫
前述の本発明のカラーフィルタを製造する方法については特に限定はないが、例えば、下記本発明のカラーフィルタの製造方法を用いて好適に作製できる。
即ち、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に少なくとも１色の着色層を形成する着色層形成工程と、前記少なくとも１色の着色層上に、基板温度１００℃以上１６０℃以下の条件下で行う第１スパッタ、及び、前記第１スパッタより後に基板温度１８０℃以上２４０℃以下の条件下で行う第２スパッタにより、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜を形成する透明導電膜形成工程と、を有して構成される。
カラーフィルタの製造方法を上記本発明の構成とすることにより、透明導電膜形成時の着色層のコントラストの低下を抑制できるので、コントラストが高いカラーフィルタを得ることができる。更に、抵抗が低い透明導電膜を得ることができる。
上記着色層のコントラストの低下は、比率〔（透明導電膜形成後のカラーフィルタのコントラスト（Ｃ２）／透明導電膜形成前の着色層付き基板のコントラスト（Ｃ１））×１００（％）〕を測定することにより確認することができ、この比率が、１００％に近いほど着色層のコントラストの劣化が少なく、良好である。
【００３４】
前記カラーフィルタの製造方法における、基板、透明導電膜、及び着色層の詳細については、既述の本発明のカラーフィルタの説明で述べたとおりであり、好ましい範囲も同様である。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程について説明する。
【００３５】
＜透明導電膜形成工程＞
本発明における透明導電膜形成工程は、着色層上に、少なくとも、基板温度１００℃以上１６０℃以下の条件下で行う第１スパッタ、及び、前記第１スパッタより後に基板温度１８０℃以上２４０℃以下の条件下で行う第２スパッタにより、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜を形成する工程である。
本発明における透明導電膜形成工程は、第１スパッタ及び第２スパッタに加え、その他のスパッタやその他の処理を行ってもよい。
本発明における透明導電膜形成工程では、前記第１スパッタにより下層側（基板に近い側）に第１透明導電膜が形成され、前記第２スパッタにより上層側（基板から離れた側）に第２透明導電膜が形成される。そして、前記第１透明導電膜及び前記第２透明導電膜を含む全体の透明導電膜として、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜が形成される。
【００３６】
前記第１透明導電膜及び前記第２透明導電膜を含む透明導電膜全体としては、透明導電膜の断面において積層構造を明確に認識できる状態となっていてもよいし、層同士の界面が混ざり合って積層構造を明確に認識できない状態となっていてもよい。
また、前記第１透明導電膜と前記第２透明導電膜とは同一組成であっても異なる組成であってもよい。
【００３７】
前記透明導電膜形成工程によって形成される透明導電膜の性状（材質、表面抵抗、膜厚、表面粗さ（Ｒａ）、結晶子の平均短径等）の好ましい範囲については、既述の本発明のカラーフィルタの項で説明したとおりである。
【００３８】
（第１スパッタ）
前記第１スパッタは、基板温度１００℃以上１６０℃以下の条件下で行うスパッタである。これにより、第１透明導電膜が形成される。
本発明において、第１スパッタにおける基板温度及び第２スパッタにおける基板温度は、日本シンテック株式会社製プロセス温度プロファイラー  Ｓｕｐｅｒ  Ｍ．Ｏ．Ｌ．Ｅ  Ｇｏｌｄ  に熱電対（Ｋ）を接続し、これらを耐熱テープで基板に固定してスパッタ装置内を通過させ、取り出して、データを読み出すことにより測定された値を指す。
【００３９】
前記第１スパッタにおける基板温度が１００℃未満であると、透明導電膜の抵抗が高くなる傾向がある。
前記第１スパッタにおける基板温度が１６０℃を超えると、透明導電膜形成による着色層の劣化（即ちコントラストの低下）が著しくなり、ひいてはカラーフィルタ全体としてのコントラストが低下する。
カラーフィルタのコントラストをより向上させ、透明導電膜の抵抗をより低減させる観点等からは、前記第１スパッタの基板温度は、１１０℃以上１４０℃以下がより好ましい。
【００４０】
また、前記第１スパッタの形態としては、酸素（以下、「酸素ガス」や「Ｏ２」ともいう）と、アルゴン（以下、「アルゴンガス」や「Ａｒ」ともいう）と、を導入しながら行う形態が好適である。
このとき、酸素の流量としては、抵抗を低く抑え、かつ着色も低く抑える観点から、１０〜６０ｓｃｃｍが好ましく、２０〜４５ｓｃｃｍがより好ましい。
また、アルゴンの流量としては、スパッタ効率を高くする観点から、３００〜８００ｓｃｃｍが好ましく、４００〜６００ｓｃｃｍがより好ましい。
前記第１のスパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕は、０．０４以上０．１５以下が好ましく、０．０５以上０．１０以下がより好ましい。
【００４１】
なお、本発明において、「ｓｃｃｍ」は「ｓｔａｎｄａｒｄ  ｃｃ／ｍｉｎ」の略であり、１分間に真空装置（例えば、スパッタ室）に導入される気体の体積（ｃｃ）を、標準状態（１０１３．２５ｈＰａ（１気圧）、０℃）に換算した値である。
例えば、本発明において「１ｓｃｃｍ」は、１０１３．２５ｈＰａ（１気圧）、０℃における気体の流量が、１ｃｍ３／ｍｉｎに相当することをいう。
【００４２】
また、第１スパッタ時の圧力には特に限定はないが、スパッタ効率の観点から、５×１０−４〜５×１０−２Ｐａが好ましく、１×１０−３〜１×１０−２Ｐａがより好ましい。
【００４３】
また、第１スパッタにおいて形成される第１透明導電膜の厚みは、着色防止の観点から、０．０１〜０．１０μｍが好ましく、０．０２〜０．０８μｍがより好ましい。
【００４４】
（第２スパッタ）
前記第２スパッタは、前記第１スパッタより後に基板温度１８０℃以上２４０℃以下の条件下で行うスパッタである。即ち、第１スパッタにより形成された第１透明導電膜上に、第２スパッタにより第２透明導電膜を基板温度１８０℃以上２４０℃以下の条件下で形成する工程である。
前記第２スパッタは、前記第１スパッタより後に行う限り、具体的形態には特に限定はない。例えば、第１スパッタ後、第１透明導電膜が形成された基板を大気圧に晒すことなく、連続的に前記第２スパッタを行っても良いし、第１スパッタ後、第１透明導電膜が形成された基板を大気圧に晒した後、前記第２スパッタを行っても良い。
【００４５】
前記第２スパッタにおける基板温度も、前記第１スパッタにおける基板温度と同様の方法により測定できる。
前記第２スパッタにおける基板温度が１８０℃未満であると、透明導電膜の抵抗が高くなる傾向がある。
前記基板温度が２４０℃を超えると、透明導電膜形成による着色層の劣化（即ちコントラストの低下）が著しくなり、ひいてはカラーフィルタ全体としてのコントラストが低下する。
【００４６】
また、前記第２スパッタの形態も前記第１スパッタと同様に、酸素とアルゴンと、を導入しながら行う形態が好適である。
このとき、酸素の流量としては、抵抗を低く抑え、かつ着色も低く抑える観点から、１０〜６０ｓｃｃｍが好ましく、２０〜４５ｓｃｃｍがより好ましい。
また、アルゴンの流量としては、スパッタ効率を高くする観点から、３００〜８００ｓｃｃｍが好ましく、４００〜６００ｓｃｃｍがより好ましい。
前記第２のスパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕は、０．０４以上０．１５以下が好ましく、０．０５以上０．１０以下がより好ましい。
【００４７】
特に、前記第２スパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕は、前記第１スパッタにおける流量比〔酸素流量／アルゴン流量〕より小さいことが好ましい。これにより、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜をより容易に形成でき、透明導電膜の抵抗低減とカラーフィルタのコントラスト向上とをより効果的に抑制できる。
【００４８】
また、第２スパッタ時の圧力には特に限定はないが、スパッタ効率の観点から、５×１０−４〜５×１０−２Ｐａが好ましく、１×１０−３〜１×１０−２Ｐａがより好ましい。
【００４９】
また、第２スパッタにおいて形成される第２透明導電膜の厚みは、着色を低く保ちかつ抵抗を低く保つ観点から、０．０５〜０．１５μｍが好ましく、０．０６〜０．１０μｍがより好ましい。
【００５０】
（その他の条件）
本発明における透明導電膜形成工程（第１スパッタ及び第２スパッタ）は、ＲＦマグネトロンスパッタリング法やＤＣマグネトロンスパッタリング法等を特に制限無く用いることができる。
【００５１】
また、前記透明導電膜形成工程に用いることができるスパッタ装置の形式としては、バッチ式、インライン式、枚葉式など、当該技術分野において公知のスパッタ装置の形式とすることができる。中でも、同一基板内における膜厚の面内均一性の観点や、複数の基板間における膜厚均一性の観点等からは、インライン式又は枚葉式が好適である。
【００５２】
また、本発明においては、前記第１スパッタと前記第２スパッタとを、同一のスパッタ装置で行っても、別々のスパッタ装置で行ってもよい。
また、前記第１スパッタと前記第２スパッタとを同一のスパッタ装置で行う場合、前記第１スパッタと前記第２スパッタとを同一のスパッタ室で行ってもよいし、これらを別々のスパッタ室で行ってもよい。
中でも、複数枚の基板に対し、透明導電膜を効率よく形成する観点からは、前記第１スパッタと前記第２スパッタとを、同一のスパッタ装置の別々のスパッタ室で行うことが好ましい。
スパッタ装置の具体的な構成については、積層膜を形成するためのスパッタ装置の構成として、当該技術分野において公知の構成を適用できる。
【００５３】
前記透明導電膜形成工程に用いることができるスパッタ装置の一例としては、基板搬送方向上流側から順に、第１スパッタ用のスパッタ室（以下、「第１スパッタ室」ともいう）と、第２スパッタ用のスパッタ室（以下、「第２スパッタ室」ともいう）と、が備えられたインライン式スパッタ装置が挙げられる。
前記第１スパッタ室の温度は、第１スパッタ中の基板温度が１００℃以上１６０℃以下となるように調整しておき、前記第２スパッタ室の温度は、第２スパッタ中の基板温度が１８０℃以上２４０℃以下となるように調整しておくことができる。温度調整機構は、公知のインライン式スパッタ装置の温度調整機構を特に制限無く用いることができる。
ここで、前記第１スパッタ室及び前記第２スパッタ室のそれぞれは、一室のみであってもよいし、二室以上であってもよい。
また、前記第１スパッタ室及び前記第２スパッタ室の少なくとも一方の上流側や、前記第２スパッタ室の下流側に、基板温度調節室や待機室（バッファ室）が設けられていてもよい。
【００５４】
上記のインライン式スパッタ装置では、まず、装置内に導入された基板に対し、第１スパッタ室にて第１スパッタにより第１透明導電膜が形成される。第１透明導電膜が形成された基板は、次に、第２スパッタ室に搬送される。次に、搬送された基板の第１透明導電膜上に、第２スパッタ室にて第２スパッタにより第２透明導電膜が形成される。
【００５５】
また、前記透明導電膜形成工程に用いることができるスパッタ装置の別の一例としては、待機室（バッファ室）に、第１スパッタ用のスパッタ室（以下、「第１スパッタ室」ともいう）と、第２スパッタ用のスパッタ室（以下、「第２スパッタ室」ともいう）と、がそれぞれ接続された、枚葉式スパッタ装置が挙げられる。
前記第１スパッタ室の温度は、第１スパッタ中の基板温度が１００℃以上１６０℃以下となるように調整しておき、前記第２スパッタ室の温度は、第２スパッタ中の基板温度が１８０℃以上２４０℃以下となるように調整しておくことができる。温度調整機構は、公知の枚葉式スパッタ装置の温度調整機構を特に制限無く用いることができる。
【００５６】
上記の枚葉式スパッタ装置では、まず、待機室から第１スパッタ室に基板が搬送され、搬送された基板に対し、第１スパッタ室にて第１スパッタにより第１透明導電膜が形成される。第１透明導電膜が形成された基板は、再び待機室に搬送され、次に第２スパッタ室に搬送される。次に、搬送された基板の第１透明導電膜上に、第２スパッタ室にて第２スパッタにより第２透明導電膜が形成される。
【００５７】
以上、前記透明導電膜形成工程に用いることができるスパッタ装置の例として、インライン式スパッタ装置及び枚葉式スパッタ装置について説明したが、第１スパッタ、第２スパッタの順に行うことができる構成の装置であれば、上記２例に限定されることはない。
【００５８】
また、前記第１スパッタ及び前記第２スパッタにおけるスパッタリングターゲットとしては、例えば、透明導電膜としてＩＴＯを含む膜を形成する場合には、ＩＴＯ焼結体を含むターゲットやインジウム−スズ合金ターゲット等の公知のターゲットを用いることができる。また、特開２００１−３０７５５３号公報段落００１７〜００２９、特開２００３−１００１５４号公報段落００１２〜００３２、特開２００４−１２８４６号公報段落００２４等に記載されている公知の透明導電膜用ターゲットを用いてもよい。
また、好ましいスパッタリングターゲットとして、例えば、日鉱金属（株）や三井金属鉱業（株）から提供されている、酸化スズを１０質量％含む酸化インジウムターゲット（密度７．１〜７．２ｇ／ｃｍ３、純度９９．９〜９９．９９％、Ｉｎ２Ｏ３（９０±０．５質量％−ＳｎＯ２（１０±０．５質量％））を挙げることができる。
【００５９】
＜着色層形成工程＞
前記着色層形成工程は、基板上に少なくとも１色の着色層を形成する工程である（以下、着色層が形成された基板を、「着色層付き基板」ともいう）。
前記着色層を形成する方法には特に限定はないが、例えば、着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布して作製できる。
前記着色層形成工程において形成する着色層の詳細については、前述の本発明のカラーフィルタの項で説明したとおりである。
【００６０】
本発明においては、カラーフィルタ（即ち、透明導電膜形成後の着色層付き基板）のコントラストをより向上させる観点から、前記透明導電膜形成工程前における着色層のコントラストを予め高くしておくことが好適である。即ち、前記着色層形成工程において、予めコントラストの高い着色層を形成しておくことが好適である。
具体的には、前記透明導電膜形成工程前における前記着色層付き基板のコントラストが５０００以上（より好ましくは１００００以上）であることが好ましい。
このような高いコントラストを有する着色層は、例えば、後述する着色感光性樹脂組成物を用いることで容易に形成できる。
【００６１】
前記着色層として、着色画素（着色パターン）を形成する場合、着色感光性樹脂組成物を用いて公知のフォトリソグラフィの技術を特に制限無く用いることができる。
例えば、基板上に（例えば、格子状のブラックマトリクスが形成された基板のブラックマトリクス形成面側に）、着色感光性樹脂組成物を用いて着色感光性樹脂組成物層を形成し（例えば、公知の塗布方法や転写方法により形成し）、形成された着色感光性樹脂組成物層をパターン露光し、パターン露光された着色感光性樹脂組成物層を現像することにより形成できる。
前記パターン露光前の着色感光性樹脂組成物層に加熱処理（プリベーク）を施してもよいし、現像後の着色感光性樹脂組成物層にポスト露光や加熱処理（ポストベーク）を施してもよい。
【００６２】
また、複数色の着色画素を形成する場合には、上記工程を色の数だけ繰り返してもよい。この際、ポスト露光や加熱処理（ポストベーク）は、各色ごとに行ってもよいし、全色の形成後にまとめて行ってもよい。
【００６３】
前記着色層として、着色画素（着色パターン）を形成する場合の一例を、さらに具体的に説明していくが、本発明はこれらの一例には限定されない。
【００６４】
基板上に着色感光性樹脂組成物層を塗布して形成する具体的な方法としては、着色感光性樹脂組成物を、直接又は他の層を介して基板に回転塗布、スリットダイコート塗布、流延塗布、ロール塗布、バー塗布等の塗布方法により塗布して、光硬化性の塗布膜を形成する方法が挙げられる。
前記スリットダイコート塗布は、スリット・アンド・スピン法、スリットダイコート塗布法（スピンレス）等のスリットノズルを用いる方法であり、特に好適な方法である。
スリット・アンド・スピン塗布法とスリットダイコート塗布法（スピンレス）は、塗布基板の大きさによって条件は異なるが、例えば第五世代のガラス基板（１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ）を塗布する場合、スリットノズルからの着色感光性樹脂組成物の吐出量は、通常、５００〜２０００マイクロリットル／秒、好ましくは８００〜１５００マイクロリットル／秒とすることができ、また塗工速度は、通常、５０〜３００ｍｍ／秒、好ましくは１００〜２００ｍｍ／秒とすることができる。着色感光性樹脂組成物の固形分としては通常、１０〜２０％、好ましくは１３〜１８％とすることができる。基板上に本発明の着色感光性樹脂組成物による塗膜を形成する場合、該塗膜の厚み（プリベーク処理後）としては、一般に０．３〜５．０μｍとすることができるが、望ましくは０．５〜４.０μｍ、最も望ましくは０．８〜３．０μｍである。
【００６５】
通常は塗布後にプリベーク処理を施すことが好ましい。
必要に応じ、プリベーク前に真空処理を施すことができる。真空乾燥の条件は、真空度が、通常、０．１〜１．０ｔｏｒｒ、好ましくは０．２〜０．５ｔｏｒｒ程度である。
プリベーク処理は、ホットプレート、オーブン等を用いて５０〜１４０℃の温度範囲で、好ましくは７０〜１１０℃程度であり、１０〜３００秒の条件にて行なうことができる。高周波処理などを併用しても良い。高周波処理は単独でも使用可能である。
【００６６】
次いでマスクを介して露光処理（パターン露光）を施すことができる。
この際、使用する放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線、ｊ線等の紫外線が好ましい。液晶表示装置用のカラーフィルタは、プロキシミティ露光機、ミラープロジェクション露光機で、主としてｈ線、ｉ線を使用した露光が好ましく、露光量としては５〜３００ｍＪ／ｃｍ２、より好ましくは１０〜１５０ｍＪ／ｃｍ２、さらに好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００６７】
現像処理では、露光後の未硬化部を現像液に溶出させ、硬化分のみを残存させる。現像温度としては、通常２０〜３０℃であり、現像時間としては２０〜９０秒である。
現像液としては、未硬化部における光硬化性の着色感光性樹脂組成物の塗膜を溶解する一方、硬化部を溶解しないものであれば、いずれのものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
【００６８】
前記有機溶剤としては、本発明の顔料分散組成物又は着色感光性樹脂組成物を調製する際に使用できる既述の溶剤が挙げられる。
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５，４，０］−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。アルカリ性水溶液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。
現像方式は、ディップ方式、シャワー方式、スプレー方式などいずれでもよく、これにスウィング方式、スピン方式、超音波方式などを組み合わせても良い。現像液に触れる前に、被現像面を予め水等で湿しておいて、現像むらを防ぐこともできる。また基板を傾斜させて現像することもできる。
【００６９】
現像処理後は、余剰の現像液を洗浄除去するリンス工程を経て、乾燥を施した後、硬化を完全なものとするために、加熱処理（ポストベーク）が施される。
リンス工程は通常は純水で行うが、省液のために、最終洗浄で純水を用い、洗浄はじめは使用済の純水を使用したり、基板を傾斜させて洗浄したり、超音波照射を併用したりできる。
【００７０】
リンスの後で水切り、乾燥をした後に、通常約２００℃〜２５０℃の加熱処理を行なう。この加熱処理（ポストベーク）は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行なうことができる。
以上の操作を所望の色相数に合わせて各色毎に順次繰り返し行なうことにより、複数色の着色された硬化膜が形成されてなるカラーフィルタを作製することができる。
【００７１】
＜その他の工程＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、必要に応じ、透明導電膜形成工程及び着色層形成工程以外のその他の工程（ブラックマトリクス形成工程、フォトスペーサー形成工程、下塗り層形成工程、オーバーコート層形成工程等）を有していてもよい。
上記その他の工程についても、前述の着色層形成工程と同様のフォトリソグラフィの手法を用いて行うことができる。
【００７２】
≪着色感光性樹脂組成物≫
本発明における着色層は、着色感光性樹脂組成物を用いて形成することができる。
着色感光性樹脂組成物としては、公知のカラーレジストを特に制限無く用いることができるが、透明導電膜形成工程前における着色層付き基板のコントラストを高くし、本発明のカラーフィルタのコントラストをより高くする観点等からは、下記の着色感光性樹脂組成物が好適である。
即ち、本発明における好適な着色感光性樹脂組成物（以下、「特定着色感光性樹脂組成物」ともいう）は、（ａ）顔料と、（ｂ）顔料分散剤と、（ｃ）バインダー樹脂と、（ｄ）光重合性モノマーと、（ｅ）光重合開始剤と、（ｆ）溶剤と、（ｇ）フッ素系界面活性剤と、（ｈ）前記（ｇ）とは異なり、ポリ（オキシエチレン）基と窒素原子とを分子中に含有するノニオン系界面活性剤と、を含有する。
【００７３】
（ａ）顔料
前記特定着色感光性樹脂組成物は、（ａ）顔料を少なくとも１種含有する。
前記特定着色感光性樹脂組成物に用いる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。
顔料は、無機顔料または有機顔料を問わず、高輝度なカラーフィルタを得るために高透過率であることが好ましいことを考慮すると、できるだけ粒子径が小さく微少な粒子サイズの顔料を使用することが好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、好ましくは平均一次粒子径０．０１〜０．３０μｍ、より好ましくは０．０１〜０．１５μｍの顔料である。該粒径が前記範囲内であると、透過率が高く、高色純度であると共に、高いコントラストのカラーフィルタを形成するのに有効である。
【００７４】
顔料の一次粒子径の観察には透過型電子顕微鏡が好適であり、例えば３〜１０万倍での観察試料中の全粒子数と０．０２μｍ未満、及び０．０８μｍを超える顔料の粒子数を計測することで粒度分布を把握できる。
一次粒子サイズについての、０．０２μｍ未満の一次粒子の割合、および０．０８μｍを超える一次粒子の割合は、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で観察し、個々の一次粒子の長径を測定し、０．０２μｍ未満及び０．０８μｍを超える顔料の粒子の割合（個数％）を算出することにより得ることができる。より具体的には、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で３〜１０万倍で観察し、写真を撮り、１０００個の一次粒子の長径を測定し、０．０２μｍ未満、及び０．０８μｍを超える一次粒子の割合を算出する。この操作を顔料粉体の部位を変えて合計で３箇所について行い、結果を平均した。
【００７５】
前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【００７６】
前記有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １、２、３、４、５、６、７、９、１０、１４、１７、２２、２３、３１、３８、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５２：１、５２：２、５３：１、５７：１、６０：１、６３：１、６６、６７、８１：１、８１：２、８１：３、８３、８８、９０、１０５、１１２、１１９、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５５、１６６、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４６、２５４、２７９、
【００７７】
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２０、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、２１３、２１４
【００７８】
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２、５、１３、１６、１７：１、３１、３４、３６、３８、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６２、６４、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７、１０、３６、３７
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １、２、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、６６、７９、７９のＣｌ置換基をＯＨに変更したもの、８０
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １、１９、２３、２７、３２、３７、４２
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｒｏｗｎ  ２５、２８
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １、７等を挙げることができる。
【００７９】
これらの中で好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３６，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２２，１５０，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９，２３，３２，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６，
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，３６，３７；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １、７
【００８０】
また、最も好ましくは、赤色（Ｒ）画素用の顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４とを併用するものであり、緑色（Ｇ）画素用の顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０とを併用するものであり、青色（Ｂ）画素用の顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３とを併用するものである。
【００８１】
前記特定着色感光性樹脂組成物において、必要に応じて、微細でかつ整粒化された有機顔料を用いることができる。顔料の微細化は、顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類と共に高粘度な液状組成物として、摩砕する工程である。
【００８２】
水溶性有機溶剤としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブタノール、ｎ−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテール、ジエチレングリコールモノエチルエーテール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレンゴリコールモノメチルエーテルアセテート等を挙げることができる。しかし少量用いることで顔料に吸着して、廃水中に流失しないならばベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、クロロベンゼン、ニトロベンゼン、アニリン、ピリジン、キノリン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、シクロヘキサン、メチルシクロヘササン、ハロゲン化炭化水素、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン等を用いても良く、また必要に応じて２種類以上の溶剤を混合して使用してもよい。
【００８３】
本発明において水溶性無機塩としては、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化バリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。
【００８４】
水溶性無機塩の使用量は顔料の１〜５０倍質量であり、多い方が摩砕効果はあるが、より好ましい量は生産性の点で１〜１０倍質量で、さらに水分が１％以下であることが好ましい。
水溶性有機溶剤の使用量は、顔料に対して５０質量％から３００質量％の範囲であり、好ましくは１００質量％から２００質量％の範囲である。本発明における湿式粉砕装置の運転条件については特に制限はないが粉砕メディアによる磨砕を効果的に進行させるため、装置がニーダーの場合の運転条件は、装置内のブレードの回転数は、１０〜２００ｒｐｍが好ましく、また２軸の回転比が相対的に大きい方が、摩砕効果が大きく好ましい。運転時間は乾式粉砕時間と併せて１時間〜８時間が好ましく、装置の内温は５０〜１５０℃が好ましい。また粉砕メディアである水溶性無機塩は粉砕粒度が５〜５０μｍで粒子径の分布がシャープで、且つ球形が好ましい。
【００８５】
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示すが、これに限定されるものではない。
例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料、ジスアゾ系顔料単独又はそれらの組み合わせと、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が挙げられ、ジスアゾ系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２４２が挙げられる。またイソインドリン系黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１３９、キノフタロン系黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１３８などをあげることができる。
【００８６】
また、最も好ましくは、赤色（Ｒ）画素用の顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４との組合せであり、特にカラーフィルタの色再現性の観点からは質量比で、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４が、１：９９〜２０：８０の範囲が好ましい。
【００８７】
また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を１種単独で又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン５８と、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５との混合が好ましい。
【００８８】
また、最も好ましくは、緑色（Ｇ）画素用の顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０との組合せであり、特にカラーフィルタの色再現性の観点からは、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０とが質量比で、７０：３０〜５０：５０範囲が好ましい。
【００８９】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を１種単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。特に好適な例として、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との混合を挙げることができる。特にカラーフィルタの色再現性の観点からＣ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との質量比は、１００：０〜９０：１０の範囲が好ましい。
【００９０】
また、ブラックマトリックス用途に好適な顔料としては、カーボンブラック、グラファイト、チタンブラック、酸化鉄、酸化チタン単独又は混合を用いることができ、カーボンブラックとチタンブラックとの組合せが好ましい。
また、カーボンブラックとチタンブラックとの質量比は、１００：０〜１００：６０の範囲が好ましい。１００：６１以上では、分散安定性が低下する場合がある。
【００９１】
前記特定着色感光性樹脂組成物においては、着色剤として染料を併用してもよい。
着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用途として用いられている公知の染料を使用できる。例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報、特開平８−２１１５９９号公報、特開平４−２４９５４９号公報、特開平１０−１２３３１６号公報、特開平１１−３０２２８３号公報、特開平７−２８６１０７号公報、特開２００１−４８２３号公報、特開平８−１５５２２号公報、特開平８−２９７７１号公報、特開平８−１４６２１５号公報、特開平１１−３４３４３７号公報、特開平８−６２４１６号公報、特開２００２−１４２２０号公報、特開２００２−１４２２１号公報、特開２００２−１４２２２号公報、特開２００２−１４２２３号公報、特開平８−３０２２２４号公報、特開平８−７３７５８号公報、特開平８−１７９１２０号公報、特開平８−１５１５３１号公報等に記載の色素である。
化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。
【００９２】
前記特定着色感光性樹脂組成物中における顔料の含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、１５〜５０質量％であり、２５〜３５質量％がより好ましい。顔料の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００９３】
前記特定着色感光性樹脂組成物としては、顔料の微細化工程あるいは分散工程で、顔料を高分子化合物で被覆したもの（被覆顔料）を用いることが好ましい。
顔料を高分子化合物で被覆することにより、微細化された顔料においても、２次凝集体の形成が抑制され、１次粒子の状態で分散させることができる。即ち、顔料を高分子化合物で被覆することにより、分散性を向上することができ、分散させた１次粒子が安定的に維持される性質（分散安定性）を向上させることができる。このように、分散性及び分散安定性が向上された着色感光性樹脂組成物を用いることにより、高いコントラストを有する着色層付き基板をより形成し易くなる。
以下、高分子化合物で被覆された顔料を、「被覆顔料」として説明する。
【００９４】
前記被覆顔料における「被覆」の好適な態様としては、微細化で生じた表面活性の高い顔料の新界面が、高分子化合物（例えば、後述する側鎖に複素環を有する高分子化合物）との強い静電的作用によって、該高分子化合物の強固な被覆層を形成し、より高い分散安定性を発現する態様が好ましい。このような態様において、被覆処理後の顔料は、高分子化合物を溶解する有機溶剤で洗浄しても、殆ど被覆した高分子化合物は遊離しない。
【００９５】
前記被覆顔料における「被覆」の好適な態様として、更に具体的には、有機顔料などの顔料粒子が側鎖に複素環等の極性基を有する高分子化合物で被覆されているものであり、該高分子化合物が顔料粒子表面の一部或いは全部に強固に被覆されることでより高い分散安定性の効果を奏する態様であることが好ましい。このような態様は、一般的な高分子分散剤が顔料に吸着してなるものとは異なるものである。
この態様に係る被覆状態は、以下に示す有機溶剤による洗浄で高分子化合物の遊離量（遊離率）を測定することにより確認できる。即ち、単に吸着してなる高分子化合物は有機溶剤による洗浄によりその殆ど、具体的には、６５％以上が遊離、除去されるが、本発明の如く表面被覆された顔料の場合には遊離率は極めて少なく、３０％以下である。
【００９６】
被覆処理後の顔料を１−メトキシ−２−プロパノールで洗浄して、遊離量を算出する。その方法は、顔料１０ｇを１−メトキシ−２−プロパノール１００ｍｌ中に投入し、振とう機で室温で３時間、振とうさせた。その後遠心分離機で８０，０００ｒｐｍで８時間かけて顔料を沈降させ、上澄み液部分の固形分を乾燥法から求めた。顔料から遊離した高分子化合物の質量を求め、初期の処理に使用した高分子化合物の質量との比から、遊離率（％）を算出する。
【００９７】
市販等の顔料の遊離率は、以下の方法で測定できる。即ち、顔料を溶解する溶剤（例えばジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、蟻酸、硫酸など）で、顔料全体を溶解した後に、高分子化合物と顔料とに、溶解性の差を利用して有機溶剤で分離して、「初期の処理に使用した高分子化合物の質量」として算出する。別途、顔料を１−メトキシ−２−プロパノールで洗浄して、得られた上記の遊離量を、この「初期の処理に使用した高分子化合物の質量」で除して遊離率（％）を求める。
遊離率は小さいほど顔料への被覆率が高く、分散性、分散安定性が良好である。遊離率の好ましい範囲は３０％以下、より好ましくは２０％以下、最も好ましくは１５％以下である。理想的には０％である。
【００９８】
被覆処理は、顔料の微細化工程で同時に行うことが好ましく、具体的には、ｉ）顔料と、ｉｉ）水溶性の無機塩と、ｉｉｉ）実質的にｉｉ）を溶解しない少量の水溶性の有機溶剤、およびｉｖ）高分子化合物を加え、ニーダー等で機械的に混練する工程（ソルトミリング工程と称する）、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で撹拌しスラリー状とする工程、及び、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥する工程を経て実施されることが好ましい。
【００９９】
上記したソルトミリングについて、さらに具体的に説明する。まず、ｉ）有機顔料とｉｉ）水溶性の無機塩の混合物に、湿潤剤として少量のｉｉｉ）水溶性の有機溶剤を加え，ニーダー等で強く練り込んだ後，この混合物を水中に投入し，ハイスピードミキサー等で攪拌しスラリー状とする。次に，このスラリーを濾過，水洗して必要により乾燥することにより，微細化された顔料が得られる。なお，油性のワニスに分散して用いる場合には，乾燥前の処理顔料（濾過ケーキと呼ぶ）を一般にフラッシングと呼ばれる方法で，水を除去しながら油性のワニスに分散することも可能である。また水系のワニスに分散する場合は，処理顔料は乾燥する必要がなく，濾過ケーキをそのままワニスに分散することができる。
ソルトミリング時に上記ｉｉｉ）有機溶剤にｉｖ）少なくとも一部可溶な樹脂を併用することにより、さらに微細で、表面がｉｖ）少なくとも一部可溶な樹脂による被覆された、乾燥時の顔料の凝集が少ないものが得られる。
なお、ｉｖ）高分子化合物を加えるタイミングは、ソルトミリング工程の初期にすべてを添加してもよく、分割して添加してもよい。また分散工程で添加することも可能である。
【０１００】
顔料の被覆に用いる高分子化合物は顔料への吸着性基を有するものならどのような高分子化合物であってもよいが、特に、側鎖に複素環を有する高分子化合物で被覆処理したものが好ましい。このような高分子化合物としては、下記一般式（１）で表される単量体、または、マレイミド、マレイミド誘導体からなる単量体に由来する重合単位を含む重合体であることが好ましい。
特に、着色層のコントラストの観点からは、前記高分子化合物が、下記一般式（１）で表される単量体に由来する重合単位を含む重合体であることが特に好ましい。
【０１０１】
【化１】
2010134137.tif 000002
【０１０２】
前記一般式（１）中、Ｒ１は、水素原子、又は置換若しくは無置換のアルキル基を表す。Ｒ２は、単結合、又は２価の連結基を表す。Ｙは、−ＣＯ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣ（＝Ｏ）−、又はフェニレン基を表す。Ｚは含窒素複素環構造を有する基を表す。
Ｒ１のアルキル基としては、炭素数１〜１２のアルキル基が好ましく、炭素数１〜８のアルキル基がより好ましく、炭素数１〜４のアルキル基が特に好ましい。
Ｒ１で表されるアルキル基が置換基を有する場合、該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜５、より好ましくは炭素数１〜３がより好ましい。）メトキシ基、エトキシ基、シクロヘキシロキシ基等が挙げられる。
【０１０３】
Ｒ１で表される好ましいアルキル基として具体的には、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基、２−ヒドロキシエチル基、３−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシプロピル基、２−メトキシエチル基が挙げられる。
Ｒ１としては、水素原子又はメチル基が最も好ましい。
【０１０４】
一般式（１）中、Ｒ２は、単結合又は２価の連結基を表す。該２価の連結基としては、置換若しくは無置換のアルキレン基が好ましい。該アルキレン基としては、炭素数１〜１２のアルキレン基が好ましく、炭素数１〜１２のアルキレン基がより好ましく、炭素数１〜８のアルキレン基が更に好ましく、炭素数１〜４のアルキレン基が特に好ましい。
Ｒ２で表されるアルキレン基は、ヘテロ原子（例えば、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子）を介して２以上連結したものであってもよい。
Ｒ２で表される好ましいアルキレン基として具体的には、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基が挙げられる。
Ｒ２で表される好ましいアルキレン基が置換基を有する場合、該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、等が挙げられる。
【０１０５】
Ｒ２で表される２価の連結基としては、上記のアルキレン基の末端において、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＣＯＮＨ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｓ−、−ＮＨＣＯＮＨ−、−ＮＨＣ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＮＨＣ（＝Ｏ）Ｓ−、−ＯＣ（＝Ｏ）−、−ＯＣＯＮＨ−、及び−ＮＨＣＯ−から選ばれるヘテロ原子又はヘテロ原子を含む部分構造を有し、該ヘテロ原子又はヘテロ原子を含む部分構造を介してＺと連結するものであってもよい。
【０１０６】
一般式（１）中、Ｚは複素環構造を有する基を表す。複素環構造を有する基としては、例えば、フタロシアニン系、不溶性アゾ系、アゾレーキ系、アントラキノン系、キナクリドン系、ジオキサジン系、ジケトピロロピロール系、アントラピリジン系、アンサンスロン系、インダンスロン系、フラバンスロン系、ペリノン系、ペリレン系、チオインジゴ系の色素構造や、例えば、チオフェン、フラン、キサンテン、ピロール、ピロリン、ピロリジン、ジオキソラン、ピラゾール、ピラゾリン、ピラゾリジン、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、オキサジアゾール、トリアゾール、チアジアゾール、ピラン、ピリジン、ピペリジン、ジオキサン、モルホリン、ピリダジン、ピリミジン、ピペラジン、トリアジン、トリチアン、イソインドリン、イソインドリノン、ベンズイミダゾロン、ベンゾチアゾール、コハクイミド、フタルイミド、ナフタルイミド、ヒダントイン、インドール、キノリン、カルバゾール、アクリジン、アクリドン、アントラキノン、ピラジン、テトラゾール、フェノチアジン、フェノキサジン、ベンズイミダゾール、ベンズトリアゾール、環状アミド、環状ウレア、環状イミド等の複素環構造が挙げられる。これらの複素環構造は、置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えば、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、脂肪族エステル基、芳香族エステル基、アルコキシカルボニル基、等が挙げられる。
【０１０７】
Ｚは、炭素数が６以上である含窒素複素環構造を有する基であることがより好ましく、炭素数が６以上１２以下である含窒素複素環構造を有する基であることが特に好ましい。炭素数が６以上である含窒素複素環構造として具体的には、フェノチアジン環、フェノキサジン環、アクリドン環、アントラキノン環、ベンズイミダゾール構造、ベンズトリアゾール構造、ベンズチアゾール構造、環状アミド構造、環状ウレア構造、及び環状イミド構造が好ましく、下記（２）、（３）又は（４）で表される構造であることが特に好ましい。
【０１０８】
【化２】
2010134137.tif 000003
【０１０９】
一般式（２）中、Ｅは、単結合、アルキレン基（例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基など）、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲＡ−、及び−Ｃ（＝Ｏ）−からなる群より選ばれるいずれかである。ここでＲＡは、水素原子又はアルキル基を表す。ＲＡがアルキル基を表す場合のアルキル基は、好ましくは炭素数１〜１８のアルキル基、より好ましくは炭素数１〜６のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクタデシル基などが挙げられる。
上記した中でも、一般式（２）におけるＥとしては、単結合、メチレン基、−Ｏ−、又は−Ｃ（＝Ｏ）−が好ましく、−Ｃ（＝Ｏ）−が特に好ましい。
【０１１０】
一般式（４）中、Ｙ１及びＹ２は、各々独立に、−Ｎ＝、−ＮＨ−、−Ｎ（ＲＢ）−、−Ｓ−、又は−Ｏ−を表す。ＲＢはアルキル基を表し、ＲＢがアルキル基を表す場合のアルキル基は、好ましくは炭素数１〜１８のアルキル基、より好ましくは炭素数１〜６のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクタデシル基などが挙げられる。
上記した中でも、一般式（４）における、Ｙ１及びＹ２としては、−Ｎ＝、−ＮＨ−、及び−Ｎ（ＲＢ）−が特に好ましい。Ｙ１及びＹ２の組み合わせとしては、Ｙ１及びＹ２のいずれか一方が−Ｎ＝であり他方が−ＮＨ−である組み合わせ、イミダゾリル基が挙げられる。
【０１１１】
一般式（２）、（３）、および（４）で、環Ｂ１、環Ｂ２、環Ｃ、及び環Ｄは、各々独立に、芳香環を表す。該芳香環としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、インデン環、アズレン環、フルオレン環、アントラセン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピロール環、イミダゾール環、インドール環、キノリン環、アクリジン環、フェノチアジン環、フェノキサジン環、アクリドン環、アントラキノン環等が挙げられ、中でも、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、ピリジン環、フェノキサジン環、アクリジン環、フェノチアジン環、フェノキサジン環、アクリドン環、アントラキノン環が好ましく、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環が特に好ましい。
【０１１２】
具体的には、一般式（２）における環Ｂ１、及び環Ｂ２としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、ピラジン環、等が挙げられる。一般式（３）における環Ｃとしては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、ピラジン環、等が挙げられる。一般式（４）における環Ｄとしては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、ピラジン環、等が挙げられる。
【０１１３】
一般式（２）、（３）および（４）で表される構造の中でも、分散性、分散液の経時安定性の点からは、ベンゼン環、ナフタレン環がより好ましく、一般式（２）又は（４）においては、ベンゼン環がさらに好ましく、一般式（３）においては、ナフタレン環がさらに好ましい。
【０１１４】
これらの具体的化合物は、以下に示すものの他、例えば特願２００６−２５９６７３号の〔００２９〕〜〔００３０〕、特願２００７−８５３８２号の〔００４４〕〜〔００４７〕、特願２００７−２３１６９５号の〔００４５〕〜〔００４７〕、および〔００７５〕〜〔００７６〕に開示されているものが使用できる。
【０１１５】
【化３】
2010134137.tif 000004
【０１１６】
【化４】
2010134137.tif 000005
【０１１７】
【化５】
2010134137.tif 000006
【０１１８】
【化６】
2010134137.tif 000007
【０１１９】
【化７】
2010134137.tif 000008
【０１２０】
【化８】
2010134137.tif 000009
【０１２１】
【化９】
2010134137.tif 000010
【０１２２】
【化１０】
2010134137.tif 000011
【０１２３】
【化１１】
2010134137.tif 000012
【０１２４】
【化１２】
2010134137.tif 000013
【０１２５】
（ｂ）顔料分散剤
前記特定着色感光性樹脂組成物は、（ｂ）顔料分散剤を少なくとも１種含有する。
即ち、前記特定着色感光性樹脂組成物は、顔料分散剤の少なくとも１種を用いて分散された顔料を含み、顔料分散組成物の形態で使用する。この顔料分散剤の含有により、顔料の分散性を向上させることができる。従って、高いコントラストを有する着色層をより形成し易くなる。
顔料分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
【０１２６】
具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮo.７５、Ｎo.９０、Ｎo.９５（共栄社化学工業（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（いずれもサンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（日本ルーブリゾール（株）社製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １０１，１０３，１０６，１０８，１０９，１１１，１１２，１１６，１３０，１４０，１４２，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７４，１７６，１８０，１８２，２０００，２００１，２０５０，２１５０（ビックケミー（株）社製）が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。
【０１２７】
顔料分散剤の顔料分散組成物中における含有量としては、既述の顔料の質量に対して、１〜１００質量％が好ましく、３〜７０質量％がより好ましい。
【０１２８】
上記した顔料分散組成物は、必要に応じて、顔料誘導体が添加される。顔料分散剤と親和性のある部分、あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを顔料分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として着色感光性樹脂組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。
【０１２９】
顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開平１１−４９９７４号公報、特開平１１−１８９７３２号公報、特開平１０−２４５５０１号公報、特開２００６−２６５５２８号公報、特開平８−２９５８１０号公報、特開平１１−１９９７９６号公報、特開２００５−２３４４７８号公報、特開２００３−２４０９３８号公報、特開２００１−３５６２１０号公報等に記載されているものを使用できる。
【０１３０】
前記顔料誘導体の顔料分散組成物中における含有量としては、顔料の質量に対して、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。
【０１３１】
分散の方法は、例えば、顔料と顔料分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機等を用いて微分散させることによって行なえる。
【０１３２】
（ｃ）バインダー樹脂
前記特定着色感光性樹脂組成物は、（ｃ）バインダー樹脂を少なくとも１種含有する。
前記バインダー樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基（例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基など）を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。このうち、更に好ましくは、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものである。
【０１３３】
バインダー樹脂の製造には、例えば公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
【０１３４】
上記の線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましい。例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等であり、さらに側鎖に（メタ）アクリロイル基を有する高分子重合体も好ましいものとして挙げられる。
【０１３５】
これらの中では特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。
このほか、２−ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの等も有用なものとして挙げられる。該ポリマーは任意の量で混合して用いることができる。
【０１３６】
上記以外に、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
【０１３７】
バインダー樹脂の具体的な構成単位については、特に（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。なお、本発明で（メタ）アクリル酸は、アクリル酸とメタクリル酸を合わせた総称であり、同様に（メタ）アクリレートは、アクリレートとメタクリレートの総称である。
【０１３８】
前記（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートの具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【０１３９】
また、前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、ＣＨ２＝ＣＲ６Ｒ７、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ６)(ＣＯＯＲ８)〔ここで、Ｒ６は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ７は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素環を表し、Ｒ８は炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１２のアラルキル基を表す。〕、等を挙げることができる。
【０１４０】
これら共重合可能な他の単量体は、１種単独であるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。好ましい共重合可能な他の単量体は、ＣＨ２＝ＣＲ６Ｒ７、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ６)(ＣＯＯＲ８)、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート及びスチレンから選択される少なくとも１種であり、特に好ましくは、ＣＨ２＝ＣＲ６Ｒ７、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ６)(ＣＯＯＲ８)である。
【０１４１】
バインダー樹脂の着色感光性樹脂組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、１〜１５質量％が好ましく、より好ましくは、２〜１２質量％であり、特に好ましくは、３〜１０質量％である。
【０１４２】
（ｄ）光重合性モノマー
前記特定着色感光性樹脂組成物は、（ｄ）光重合性モノマーを少なくとも１種含有する。
光重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上である化合物が好ましく、中でも４官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。
【０１４３】
前記少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上である化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリ（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることができる。
更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ.７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー
及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
【０１４４】
また、特開平１０−６２９８６号公報において一般式（１）及び（２）としてその具体例と共に記載の、前記多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後に（メタ）アクリレート化した化合物も用いることができる。
【０１４５】
中でも、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びこれらのアクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。
また、特公昭４８−４１７０８号、特開昭５１−３７１９３号、特公平２−３２２９３号、特公平２−１６７６５号に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号、特公昭５６−１７６５４号、特公昭６２−３９４１７号、特公昭６２−３９４１８号記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭６３−２７７６５３号、特開昭６３−２６０９０９号、特開平１−１０５２３８号に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＵＡ−７２００(新中村化学社製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）などが挙げられる。
また、酸基を有するエチレン性不飽和化合物類も好適であり、市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製のカルボキシル基含有３官能アクリレートであるＴＯ−７５６、及びカルボキシル基含有５官能アクリレートであるＴＯ−１３８２などが挙げられる。
【０１４６】
光重合性モノマーは、１種単独で用いる以外に、２種以上を組み合わせて用いることができる。光重合性モノマーの着色感光性樹脂組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分１００質量部に対して、３〜５５質量部が好ましく、より好ましくは１０〜５０質量部である。光重合性モノマーの含有量が前記範囲内であると、硬化反応が充分に行なえる。
【０１４７】
（ｅ）光重合開始剤
前記特定着色感光性樹脂組成物は、（ｅ）光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤は、光により分解し、前記（ｄ）光重合性モノマーの重合を開始、促進する化合物であり、波長３００〜５００ｎｍの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、前記光重合開始剤は、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。
【０１４８】
光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキソジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。
【０１４９】
有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Ｂｕｌｌ  Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ  Ｊａｐａｎ」４２、２９２４（１９６９）、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、Ｍ．Ｐ．Ｈｕｔｔ“Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”１（Ｎｏ３），（１９７０）」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【０１５０】
ｓ−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がｓ−トリアジン環に結合したｓ−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、２，４，６−トリス（モノクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２―ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−エポキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔１−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ブタジエニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ｉ−プロピルオキシスチリル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ナトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ベンジルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メトキシ−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１５１】
オキソジアゾール化合物としては、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。
【０１５２】
カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチル−１−（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２，４，６トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキシド、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。
【０１５３】
ケタール化合物としては、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
【０１５４】
ベンゾイン化合物としてはｍ−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
【０１５５】
アクリジン化合物としては、９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ジ（９−アクリジニル）エタン、１，３−ジ（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ジ（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ジ（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ジ（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ジ（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ジ（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ジ（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ジ（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ジ（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ジ（９−アクリジニル）ドデカン等のジ（９−アクリジニル）アルカン、などを挙げることができる。
【０１５６】
有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−オキサノイルパーオキサイド、過酸化琥珀酸、過酸化ベンゾイル、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシオクタノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ヘキシルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｐ−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、カルボニルジ（ｔ−ブチルパーオキシ二水素二フタレート）、カルボニルジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート）等が挙げられる。
【０１５７】
アゾ化合物としては、例えば、特開平８−１０８６２１号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
【０１５８】
クマリン化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を挙げることができる。
【０１５９】
アジド化合物としては、米国特許第２８４８３２８号明細書、米国特許第２８５２３７９号明細書ならびに米国特許第２９４０８５３号明細書に記載の有機アジド化合物、２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−エチルシクロヘキサノン（ＢＡＣ−Ｅ）等があげられる。
【０１６０】
メタロセン化合物としては、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号公報、特開昭６３−４１４８４号公報、特開平２−２４９号公報、特開平２−４７０５号公報、特開平５−８３５８８号公報に記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４−ジ−フルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、特開平１−３０４４５３号公報、特開平１−１５２１０９号公報に記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。
【０１６１】
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル））４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｏ’−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−トリフルオロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
【０１６２】
有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭６２−１４３０４４号公報、特開昭６２−１５０２４２号公報、特開平９−１８８６８５号公報、特開平９−１８８６８６号公報、特開平９−１８８７１０号公報、特開２０００−１３１８３７号公報、特開２００２−１０７９１６号公報、特許第２７６４７６９号公報、特願２０００−３１０８０８号公報等の各公報、及び、Ｋｕｎｚ，Ｍａｒｔｉｎ“Ｒａｄ  Ｔｅｃｈ’９８．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ  Ａｐｒｉｌ  １９−２２，１９９８，Ｃｈｉｃａｇｏ”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平６−１５７６２３号公報、特開平６−１７５５６４号公報、特開平６−１７５５６１号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平６−１７５５５４号公報、特開平６−１７５５５３号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平９−１８８７１０号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平６−３４８０１１号公報、特開平７−１２８７８５号公報、特開平７−１４０５８９号公報、特開平７−３０６５２７号公報、特開平７−２９２０１４号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。
【０１６３】
ジスルホン化合物としては、特開昭６１−１６６５４４号公報、特願２００１−１３２３１８号明細書等に記載される化合物等が挙げられる。
【０１６４】
オキシムエステル化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．  Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ  （１９７９  ）１６５３−１６６０）、Ｊ．Ｃ．Ｓ．  Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ  （１９７９）１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５）２０２−２３２、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物等が挙げられる。具体例としてはチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２などが好適である。
【０１６５】
オニウム塩化合物としては、例えば、Ｓ．Ｉ．Ｓｃｈｌｅｓｉｎｇｅｒ，Ｐｈｏｔｏｇｒ．Ｓｃｉ．Ｅｎｇ．，１８，３８７（１９７４）、Ｔ．Ｓ．Ｂａｌ  ｅｔ  ａｌ，Ｐｏｌｙｍｅｒ，２１，４２３（１９８０）に記載のジアゾニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、特開平４−３６５０４９号公報等に記載のアンモニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、同４，０６９，０５６号明細書の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第１０４、１４３号明細書、米国特許第３３９，０４９号明細書、同第４１０，２０１号明細書の各明細書、特開平２−１５０８４８号公報、特開平２−２９６５１４号公報の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。
【０１６６】
本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で２つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。
【０１６７】
本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第３７０，６９３号明細書、同３９０，２１４号明細書、同２３３，５６７号明細書、同２９７，４４３号明細書、同２９７，４４２号明細書、米国特許第４，９３３，３７７号明細書、同１６１，８１１号明細書、同４１０，２０１号明細書、同３３９，０４９号明細書、同４，７６０，０１３号明細書、同４，７３４，４４４号明細書、同２，８３３，８２７号明細書、独国特許第２，９０４，６２６号明細書、同３，６０４，５８０号明細書、同３，６０４，５８１号明細書の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が０より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
【０１６８】
また、オニウム塩化合物としては、Ｊ．Ｖ．Ｃｒｉｖｅｌｌｏ  ｅｔ  ａｌ，Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，１０（６），１３０７（１９７７）、Ｊ．Ｖ．Ｃｒｉｖｅｌｌｏ
ｅｔ  ａｌ，Ｊ．Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉ．，Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｃｈｅｍ．Ｅｄ．，１７，１０４７（１９７９）に記載のセレノニウム塩、Ｃ．Ｓ．Ｗｅｎ  ｅｔ  ａｌ，Ｔｅｈ，Ｐｒｏｃ．Ｃｏｎｆ．Ｒａｄ．Ｃｕｒｉｎｇ  ＡＳＩＡ，ｐ４７８  Ｔｏｋｙｏ，Ｏｃｔ（１９８８）に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
【０１６９】
アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。
【０１７０】
（ｅ）光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、３−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。
【０１７１】
さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。
【０１７２】
（ｅ）光重合開始剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の全固形分に対し０．１質量％〜２０質量％であることが好ましく、より好ましくは０．５質量％〜１５質量％、特に好ましくは１質量％〜１０質量％である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。
【０１７３】
（ｆ）溶剤
前記特定着色感光性樹脂組成物は、（ｆ）溶剤を少なくとも１種含有する。
溶剤を含むことによって上記した各成分を混合したり、着色感光性樹脂組成物として調合、調整したり、あるいは基板上に着色感光性樹脂組成物を塗布したりすることが容易にできる。また上述の顔料分散液の調製にも使用することができる。
このような（ｆ）溶剤としては、各種の有機溶剤を使用することができる。例えば、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類；３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン、等が挙げられる。
【０１７４】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、各成分の溶解性、ハンドリング性、蒸発性、沸点などを考慮して選択すればよく、単独で用いる以外に２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１７５】
（ｇ）フッ素系界面活性剤
前記特定着色感光性樹脂組成物では、界面活性剤として（ｇ）フッ素系界面活性剤と（ｈ）ノニオン系界面活性剤をともに含有する。（ｈ）ノニオン系界面活性剤としては、（ｇ）とは異なり、ポリ（オキシエチレン）基と窒素原子とを分子中に含有するノニオン系界面活性剤である。
【０１７６】
フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液としたときの液特性（特に流動性）を改善でき、塗布膜厚の均一性や省液性を改善することができる。すなわち、基板と塗布液との界面張力を低下させて基板への濡れ性が改善され、基板への塗布性が向上するので、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一な膜厚の膜形成が可能である点で有効である。
【０１７７】
このような（ｇ）フッ素系界面活性剤としては、フッ素系モノマーの重合反応により得ることができ、フッ素系モノマーとしては、例えば、下記一般式（Ｉ）〜（Ｖ）のいずれかで表されるフッ素系モノマーを挙げることができる。これらの中でも一般式（Ｉ）で表されるフッ素系モノマーが好ましい。
【０１７８】
ＣＨ２＝ＣＲ１１ＣＯＯＲ１２Ｒｆ        （Ｉ）
一般式（Ｉ）中、Ｒ１１は、水素原子、又はメチル基を表し、Ｒ１２は、−ＣｐＨ２ｐ−、−ＣｐＨ２ｐＣＨ（ＯＨ）ＣｎＨ２ｎ−、−Ｃ（ＣｐＨ２ｐ＋１）Ｈ−、−ＣＨ２Ｃ（ＣｐＨ２ｐ＋１）Ｈ−、又は−ＣＨ２ＣＨ２Ｏ−を表し、Ｒｆは、−ＣｎＦ２ｎ＋１、−（ＣＦ２）ｎＨ、−（ＣＦ２）ｐＯＣｎＨ２ｎＣｉＦ２ｉ＋１、−（ＣＦ２）ｐＯＣｍＨ２ｍＣｉＦ２ｉＨ、−Ｎ（ＣｐＨ２ｐ＋１）ＣＯＣｎＦ２ｎ＋１、又は−Ｎ（ＣｐＨ２ｐ＋１）ＳＯ２ＣｎＦ２ｎ＋１を表わす。
但し、ｐは１〜１０、ｎは１〜１６、ｍは０〜１０、ｉは０〜１６の整数である。
一般式（Ｉ）で好ましい化合物としては、Ｒ１２が−ＣｐＨ２ｐ−、Ｒｆが−ＣｎＦ２ｎ＋１、ｎが６の化合物である。
【０１７９】
ＣＦ２＝ＣＦＯＲｇ              （II）
一般式（II）中、Ｒｇは、炭素数１〜２０のパーフルオロアルキル基を表わす。
一般式（II）で好ましい化合物としては、Ｒｇが−Ｃ６Ｆ１３の化合物である。
【０１８０】
ＣＨ２＝ＣＨＲｇ              （III）
一般式（III）中、Ｒｇは、式(II)のＲｇと同義である。
一般式（III）で好ましい化合物としては、Ｒｇが−Ｃ６Ｆ１３の化合物である。
【０１８１】
ＣＨ２＝ＣＲ１３ＣＯＯＲ１５ＲｊＲ１６ＯＣＯＣＲ１４＝ＣＨ２        （ＩＶ）
一般式（ＩＶ）中、Ｒ１３、およびＲ１４は、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ１５およびＲ１６は、−ＣｑＨ２ｑ−、−Ｃ（ＣｑＨ２ｑ＋１）Ｈ−、−ＣＨ２Ｃ（ＣｑＨ２ｑ＋１）Ｈ−、又は−ＣＨ２ＣＨ２Ｏ−を表し、Ｒｊは−ＣｔＦ２ｔ−を表わす。
但し、ｑは１〜１０、ｔは１〜１６の整数である。
一般式（IV）で好ましい化合物としては、ＲｊがＣ６Ｆ１２の化合物である。
【０１８２】
ＣＨ２＝ＣＲ１７ＣＯＯＣＨ２ＣＨ（ＣＨ２Ｒｊ）ＯＣＯＣＲ１８＝ＣＨ２      （Ｖ）
一般式（Ｖ）中、Ｒ１７、Ｒ１８は、水素原子又はメチル基を表し、Ｒｊは、一般式（IV）と同義である。
一般式（Ｖ）で好ましい化合物としては、Ｒｊが−Ｃ６Ｆ１２−の化合物である。
【０１８３】
以下、前記特定着色感光性樹脂組成物に用いうるフッ素系モノマーの具体例を挙げるが、本発明はこれに制限されるものではない。
一般式（Ｉ）で示されるモノマーとしては、例えば、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）３ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）３ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦ（ＣＦ２）６（ＣＨ２）２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦ（ＣＦ２）４（ＣＨ２）２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦ（ＣＦ２）２（ＣＨ２）２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、
【０１８４】
ＣＦ３ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）４ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、Ｃ７Ｆ１５ＣＯＮ（Ｃ２Ｈ５）ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＳＯ２Ｎ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＳＯ２Ｎ（Ｃ３Ｈ７）ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ２Ｆ５ＳＯ２Ｎ（Ｃ３Ｈ７）ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦ（ＣＦ２）６（ＣＨ２）３ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦ（ＣＦ２）１０（ＣＨ２）３ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）４ＣＨ（ＣＨ３）ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）４ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、Ｃ２Ｆ５ＣＯＮ（Ｃ２Ｈ５）ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）２ＣＯＮ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｈ（ＣＦ２）６ＣＨ（Ｃ２Ｈ５）ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、Ｈ（ＣＦ２）８ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｈ（ＣＦ２）４ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｈ（ＣＦ２）ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＳＯ２Ｎ（ＣＨ３）ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＳＯ２Ｎ（ＣＨ３）（ＣＨ２）１０ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ２Ｆ５ＳＯ２Ｎ（Ｃ２Ｈ５）ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣ（ＣＨ３）＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＳＯ２Ｎ（ＣＨ３）（ＣＨ２）４ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ２Ｆ５ＳＯ２Ｎ（Ｃ２Ｈ５）Ｃ（Ｃ２Ｈ５）ＨＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２等が挙げられる。
【０１８５】
また、一般式（II）及び（III）で表わされるフルオロアルキル化オレフィンとしては、例えば、Ｃ３Ｆ７ＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ４Ｆ９ＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ１０Ｆ２１ＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ３Ｆ７ＯＣＦ＝ＣＦ２、Ｃ７Ｆ１５ＯＣＦ＝ＣＦ２及びＣ８Ｆ１７ＯＣＦ＝ＣＦ２などが挙げられる。
【０１８６】
一般式（IV）及び（Ｖ）で表わされるモノマーとしては例えば、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＣＨ２（ＣＦ２）３ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＣＨ２ＣＨ（ＣＨ２Ｃ８Ｆ１７）ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２などが挙げられる。
【０１８７】
また、前記一般式（Ｉ）〜（Ｖ）で表わされるもの以外のフッ素系モノマーの好ましい例として、ＣＦ３ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、Ｃ２Ｆ５（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦＯ（ＣＨ２）５ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２等も挙げられる。
【０１８８】
これらの中でも、環境安全性の観点から、パーフルオロアルキル基の炭素原子数は１以上６以下の範囲が好ましい。
また、界面活性能の観点からはパーフルオロアルキル基の末端がフッ素原子であることも好ましい。またパーフルオロアルキル基の末端が分岐していることも同じ観点で好ましい。
以上のような観点から最も好ましいフッ素系モノマーとして、ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、（ＣＦ３）２ＣＦ（ＣＦ２）４（ＣＨ２）２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、を挙げることができる。
【０１８９】
また、フッ素系界面活性剤に含まれるモノマーとしてはフッ素系以外のモノマーを含むことが好ましい。フッ素系以外のモノマーとしては、スチレン系、ビニル系、アクリル系の任意のモノマーを共重合させることが出来る。好ましくはアクリル系モノマーが好ましい。中でも、ポリ（オキシエチレン）基やポリ（オキシプロピレン）基等のグラフト構造を有するアクリル系モノマーが好ましい。
【０１９０】
（ｇ）フッ素系界面活性剤におけるフッ素原子の含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素原子の含有率が前記範囲内であると、塗布膜厚の均一性や省液性の点で効果的であり、着色感光性樹脂組成物中への溶解性も良好である
【０１９１】
（ｇ）フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。市販品の例としては、例えばメガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同７８０、同７８１、同Ｒ３０、同Ｒ０８、同Ｆ−４７２ＳＦ、同ＢＬ２０、同Ｒ−６１、同Ｒ−９０（大日本インキ（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１、Ｎｏｖｅｃ  ＦＣ−４４３０（住友スリーエム（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０５，７０００，９５０，７６００、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（旭ガラス（株）製）、エフトップＥＦ３５１、同３５２、同８０１、同８０２（ＪＥＭＣＯ（株）製）などである。
【０１９２】
フッ素系界面活性剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全質量に対して、０．００５〜１質量％が好ましく、より好ましくは０．０１〜０．１０質量％である。
【０１９３】
また、カラーフィルタ用着色感光性樹脂組成物に対する赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、および青色（Ｂ）の各色のフッ素系界面活性剤の含有量をそれぞれＲＦ、ＧＦ、およびＢＦとした場合、これらの含有量が  ＢＦ＜ＧＦ＜ＲＦ  の関係にあることが好ましい。
含有量が  ＢＦ＜ＧＦ＜ＲＦ  の関係にあると、もっとも膜厚の均一性が重要視される赤色（Ｒ）の膜厚均一性が向上し、また、過剰添加によるガラス／カラーフィルタ界面の密着性、カラーフィルタ／ＩＴＯ界面の密着性を損なうことがなく好ましい。
【０１９４】
（ｈ）（ｇ）とは異なり、ポリ（オキシエチレン）基と窒素原子とを分子中に含有するノニオン系界面活性剤
前記特定着色感光性樹脂組成物の界面活性剤としては、（ｇ）とは異なり、ポリ（オキシエチレン）基と窒素原子とを分子中に含有するノニオン系界面活性剤（以下、特定ノニオン系界面活性剤と称することがある）を含有する。このような特定ノニオン系界面活性剤としては以下の一般式（Ａ）、および（Ｂ）のものを挙げることが出来る。
【０１９５】
【化１３】
2010134137.tif 000014
【０１９６】
一般式（Ａ）、および（Ｂ）中、ＰＯはオキシプロピレン基を表し、ＥＯはオキシエチレン基を表す。Ｒ２１、およびＲ２２は、それぞれ独立に水素原子、炭素数が１から２０のアルキル基を表す。ａ、およびｆはそれぞれ独立に０〜４０の整数を表し、ｂ、およびｅはそれぞれ独立に１〜４０の整数を表し、ｃ、およびｄはそれぞれ独立に１〜４の整数を表す。
【０１９７】
（ｈ）特定ノニオン系界面活性剤を含有することで、着色感光性樹脂組成物（塗布液）のガラス基板に対する濡れ性を向上させ、スジや、液切れのない、均一な塗布膜を形成できる。
また、含Ｎ化合物としてピロール、ピリジン、ピリミジン、ピロリジン、アゾール、モルフォリン、ピロリドン、などの含窒素複素環化合物、シアノ、イソシアネート、イミド、アミドなどの含窒素官能基を有する化合物が含まれる。
【０１９８】
特定ノニオン系界面活性剤としてより好ましくは、上記式（Ａ）の構造の化合物が、ガラス基板との界面エネルギーを著しく低下させ、塗布性を向上させるため好ましい。
【０１９９】
前記特定着色感光性樹脂組成物には、さらに各種の界面活性剤を用いて構成することが好ましく、前述した（ｇ）フッ素系界面活性剤、（ｈ）特定ノニオン系界面活性剤のほかに、ノニオン系、カチオン系、アニオン系の各種界面活性剤を使用できる。中でもノニオン系界面活性剤が好ましい。
【０２００】
このようなノニオン系界面活性剤の例として、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が特に好ましい。具体的には、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-プロピレンポリスチリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、エチレンジアミンポリオキシエチレン−ポリオキシプロピレン縮合物などのノニオン系界面活性剤があり、これらは花王（株）、日本油脂（株）、竹本油脂(株)、（株）ＡＤＥＫＡ、三洋化成(株)などから市販されているものが適宜使用できる。上記の他に前述の分散剤も使用可能である。
【０２０１】
（ｉ）分子中に複数のエポキシ環を含有するエポキシ化合物
前記特定着色感光性樹脂組成物において、（ｉ）分子中に複数のエポキシ環を含有するエポキシ化合物（以下多官能エポキシ化合物と称することがある）を含有することが好ましい。この（ｉ）多官能エポキシ化合物とは、アルカリ可溶性樹脂やその他の添加剤のカルボキシル基、アミン、水酸基、チオールなどと熱架橋する化合物を言い、熱架橋することによって架橋密度が高くなり、耐薬品性の向上が図られる。
前記特定着色感光性樹脂組成物に使用できる多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などで、エポキシ環を分子中に複数有する化合物である。
【０２０２】
例えばビスフェノールＡ型としては、エポトートＹＤ−１１５、ＹＤ−１１８Ｔ、ＹＤ−１２７、ＹＤ−１２８、ＹＤ−１３４、ＹＤ−８１２５、ＹＤ−７０１１Ｒ、ＺＸ−１０５９、ＹＤＦ−８１７０、ＹＤＦ−１７０など（以上東都化成製）、デナコールＥＸ−１１０１、ＥＸ−１１０２、ＥＸ−１１０３など（以上ナガセ化成製）、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、Ｇ１０１、Ｇ１０２（以上ダイセル化学製）の他に、これらの類似のビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型も挙げることができる。またＥｂｅｃｒｙｌ
３７００、３７０１、６００（以上ダイセルユーシービー製）などのエポキシアクリレートも使用可能である。
【０２０３】
クレゾールノボラック型としては、エポトートＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、ＹＤＰＮ−７０２、ＹＤＰＮ−７０３、ＹＤＰＮ−７０４など（以上東都化成製）、デナコールＥＭ−１２５など（以上ナガセ化成製）、ビフェニル型としては３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’ジグリシジルビフェニルなどがあげられる。
【０２０４】
脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド２０２１、２０８１、２０８３、２０８５、エポリードＧＴ−３０１、ＧＴ−３０２、ＧＴ−４０１、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０（以上ダイセル化学製）、サントートＳＴ−３０００、ＳＴ−４０００、ＳＴ−５０８０、ＳＴ−５１００など（以上東都化成製）などを挙げることができる。他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートＹＨ−４３４、ＹＨ−４３４Ｌ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。
【０２０５】
これらの多官能エポキシ化合物の中で、好ましくは下記一般式（５）で示されるノボラック型エポキシ化合物であり、エポキシ当量が２００〜２２０のものが特に好ましい。このような素材としては大日本インキ社製エピクロンＮ−６６０、Ｎ−６６５、Ｎ−６７０、Ｎ−６７３、Ｎ−６８０、Ｎ−６９０、Ｎ−６９５、Ｎ−６８５−ＥＸＰ、Ｎ−６７２−ＥＸＰ、Ｎ−６５５−ＥＸＰ−Ｓ、Ｎ−８６５、Ｎ−８６５−８０Ｍ、ＹＤＣＮ−７０１、ＹＤＣＮ−７０２、ＹＤＣＮ−７０３、ＹＤＣＮ−７０４、ＹＤＣＮ−７０４Ｌなどが使用可能であり、エピクロンＮ−６６０、Ｎ−６６５、Ｎ−６７０、Ｎ−６７３、Ｎ−６８０、Ｎ−６９０、Ｎ−６９５、ＹＤＣＮ−７０４Ｌ等が特に好ましいものである。
【０２０６】
【化１４】
2010134137.tif 000015
式（５）中、ｌは５〜１００であり、Ｒは、Ｈ、またはＣＨ３である。
【０２０７】
前記特定着色感光性樹脂組成物においては、２種以上の多官能エポキシ化合物を含有してもよい。前記多官能エポキシ化合物の着色感光性樹脂組成物中における含有量としては、顔料を除いた全固形分に対して、２〜２０質量％が好ましく、３〜１０質量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、膜の耐溶剤性に優れる。また、多すぎるとベーク後の黄着色によって、カラーフイルタの品質が損なわれたり、少なすぎると耐溶剤性に問題が生じる場合がある。
【０２０８】
前記特定着色感光性樹脂組成物には、熱重合開始剤を含有させることも有効である。熱重合開始剤としては、例えば、各種のアゾ系化合物、過酸化物系化合物が挙げられ、前記アゾ系化合物としては、アゾビス系化合物を挙げることができ、前記過酸化物系化合物としては、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネートなどを挙げることができる。
【０２０９】
上記以外に、着色感光性樹脂組成物には各種の添加物を添加できる。添加物の具体例としては、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、ガラス、アルミナ等の充填剤；イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、アルコール可溶性ナイロン、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとから形成されたフェノキシ樹脂などのアルカリ可溶の樹脂などがある。
【０２１０】
また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、着色感光性樹脂組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、着色感光性樹脂組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０２１１】
前記特定着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、連鎖移動剤、熱重合防止剤、その他充填剤、上記のアルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することができる。
【０２１２】
前記特定着色感光性樹脂組成物に添加し得る連鎖移動剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステルなどのＮ，Ｎ−ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾールなどの複素環を有するメルカプト化合物、および脂肪族多官能メルカプト化合物などが挙げられる。
連鎖移動剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０２１３】
前記特定着色感光性樹脂組成物には、以上のほかに更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０２１４】
前記特定着色感光性樹脂組成物は、既述の（ａ）顔料に（ｂ）顔料分散剤とともに、好ましくは（ｃ）バインダー樹脂、（ｆ）溶剤と共に含有させ、これに必要に応じて界面活性剤等の添加剤を混合し、各種の混合機、分散機を使用して混合分散する混合分散工程を経ることによって調製することができる。
なお、混合分散工程は、混練分散とそれに続けて行なう微分散処理からなるのが好ましいが、混練分散を省略することも可能である。
【０２１５】
前記特定着色感光性樹脂組成物の製造方法の一例を以下に示す。
顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類との混合物を、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸もしくは２軸の押出機等の混練機を用いて、強い剪断力を与えながら顔料を摩砕した後、この混合物を水中に投入し、攪拌機等でスラリー状とする。次いで、このスラリーをろ過、水洗し、水溶性有機溶剤と水溶性無機塩を除去した後、乾燥し、微細化された顔料が得られる。微細化処理前に高分子化合物を添加して、顔料を被覆することが好ましい。
【０２１６】
顔料と顔料分散剤及び／又は顔料誘導体と溶剤とでビーズ分散を行なう。主として縦型もしくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を使用し、０．０１〜１ｍｍの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理し、顔料分散組成物を得る。また、顔料を微細化する処理を省くことも可能である。
なお、混練、分散についての詳細は、Ｔ．Ｃ．Ｐａｔｔｏｎ著”Ｐａｉｎｔ  Ｆｌｏｗａｎｄ Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ”（１９６４年  Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ
ａｎｄ  Ｓｏｎｓ社刊）等に記載されている。
そして、上記のようにして得られた顔料分散組成物に、（ｃ）バインダー樹脂、（ｄ）光重合性モノマー、（ｅ）光重合開始剤、（ｆ）溶剤、（ｇ）フッ素系界面活性剤、および（ｈ）特定ノニオン系界面活性剤などを添加して、前記特定着色感光性樹脂組成物を得る。
【０２１７】
以上、本発明における着色層を形成に好適に用いられる着色感光性樹脂組成物について説明したが、前記着色感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリクスを形成することもできる。前記着色感光性樹脂組成物をブラックマトリクスの形成に用いる場合には、着色感光性樹脂組成物における顔料としては、カーボンブラックやチタンブラック等の黒色顔料（濃色顔料）を用いることが好ましい。
【０２１８】
≪液晶表示装置≫
本発明の液晶表示装置は、前述の本発明のカラーフィルタ又は本発明のカラーフィルタの製造方法を用いて作製されたカラーフィルタを備えたものである。
即ち、本発明の液晶表示装置は、抵抗の低い透明導電膜を有し、コントラストに優れた本発明カラーフィルタを用いて作製されたものであるため、パネルコントラストに優れ表示品質に優れる。
本発明において、液晶表示装置のパネルコントラストは、カラーフィルタのコントラストとは区別して用いられる。液晶表示装置のパネルコントラストは、比率〔全白表示時の輝度／全黒表示時の輝度〕で求められる値を指す。
【０２１９】
カラーフィルタにフォトスペーサーを設ける場合、その方法については、塗布による作製方法や転写による作製方法を好適に用いることができる。塗布による作製方法は工程が簡単である点で好ましい。転写による作製方法はスペーサ高さの均一性が良い点で好ましい。転写による作製方法については特願２００７−１８５７９７記載の方法が特に好ましい。
表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【０２２０】
本発明は、中でも特に、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、ＳＴＮ、ＴＮ、ＶＡ、ＩＰＳ、ＯＣＳ、ＦＦＳ、及びＲ−ＯＣＢ等にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の遮光膜付基板はこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉（株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
【０２２１】
バックライトに関しては、ＳＩＤ  ｍｅｅｔｉｎｇ  Ｄｉｇｅｓｔ  １３８０（２００
５）（Ａ．Ｋｏｎｎｏ  ｅｔ．ａｌ）や、月刊デイスプレイ  ２００５年１２月号の１８
〜２４ページ  （島  康裕）、同２５〜３０ページ（八木  隆明）などに記載されている。
本発明のカラーフィルタは、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に赤、緑、青のＬＥＤ光源（ＲＧＢ−ＬＥＤ）をバックライトとすることによって輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
【実施例】
【０２２２】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
【０２２３】
≪複素環基を側鎖に有する高分子化合物である重合体の合成≫
（重合体１の合成）
Ｍ-１１（下記構造）  ２７．０ｇ、メチルメタクリレート  １２６．０ｇ、メタクリ
ル酸  ２７．０ｇ、および１-メトキシ-２-プロパノール  ４２０．０ｇを、窒素置換し
た三つ口フラスコに導入し、攪拌機（新東科学（株）：スリーワンモータ）にて攪拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して９０℃まで昇温する。これに２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（和光純薬（株）製Ｖ−６５）を１．６９ｇ加え、９０℃にて２時間加熱攪拌を行った。２時間後、さらにＶ−６５を１．６９ｇ加え、３時加熱攪拌の後、重合体１の３０質量％溶液を得た。得られた高分子化合物の重量平均分子量をポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）により測定した結果、２．０万であった。また、水酸化ナトリウムを用いた滴定から、固形分あたりの酸価は、９８ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０２２４】
（重合体２の合成）
Ｍ-６（下記構造）  ２７．０ｇ、メチルメタクリレート  １２６．０ｇ、メタクリル
酸  ２７．０ｇ、および１-メトキシ-２-プロパノール  ４２０．０ｇを、窒素置換した
三口フラスコに導入し、撹拌機（新東科学（株）：スリーワンモータ）にて撹拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して９０℃まで昇温する。これに２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（和光純薬（株）製Ｖ−６５）を１．８０ｇ加え、９０℃にて２時間加熱撹拌を行った。２時間後、さらにＶ−６５を１．８０ｇ加え、３時加熱撹拌の後、重合体２の３０質量％溶液を得た。ポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）により、得られた高分子化合物の重量平均分子量を測定した結果、２．１万であった。また、水酸化ナトリウムを用いた滴定から、固形分あたりの酸価は、９９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０２２５】
【化１５】
2010134137.tif 000016
【０２２６】
≪被覆顔料の調製≫
（被覆顔料１の調製）
顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４）  ５０部、塩化ナトリウム  ５００部、上記した重合体１の溶液  ２０部、およびジエチレングリコール１００部をステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、９時間混練した。次に、この混合物を約３リットルの水中に投入し、ハイスピードミキサーで約１時間撹拌した後に、ろ過、水洗して塩化ナトリウムおよび溶剤を除き、乾燥して被覆顔料１を調製した。
【０２２７】
（被覆顔料２の調製）
被覆顔料１の調製で、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７を用いて、他は被覆顔料１の調製と同様にして調製した。
（被覆顔料３の調製）
被覆顔料１の調製で、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６用いて、また重合体１の代わりに重合体２を用いて、他は被覆顔料１の調製と同様にして被覆顔料３を調製した。
（被覆顔料４の調製）
被覆顔料３の調製で、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０用いて、他は被覆顔料３の調製と同様にして被覆顔料４を調製した。
（被覆顔料５の調製）
被覆顔料３の調製で、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６用いて、他は被覆顔料３の調製と同様にして被覆顔料５を調製した。
（被覆顔料６の調製）
被覆顔料３の調製で、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３用いて、他は被覆顔料３の調製と同様にして被覆顔料６を調製した。
【０２２８】
（顔料分散液の調製）
被覆顔料１  １３．２８部に対し、顔料分散剤としてソルスパース２４０００ＧＲ（日本ルーブリゾール社製）２．２５部、溶剤：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート  ７１．０３部の組成にて、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３時間撹拌して混合し、混合溶液を調製し、さらに０．１ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル（寿工業社製）にて６時間分散処理を行なった。
同様に、被覆顔料種、顔料分散剤、バインダー樹脂、溶剤ＰＧＭＥＡの種と量とを、表１のように変更して、顔料分散液１〜６を得た。
【０２２９】
なお、使用した化合物の詳細は以下の通りである。
・ＰＲ２５４：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４（商品名：ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・ＲＰ１７７：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７（商品名：Ｃｒｏｍｏｐｈｔａｌ  Ｒｅｄ  Ａ２Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）  製）
・ＰＧ３６：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６（商品名：Ｒｉｏｎｏｌ  Ｇｒｅｅｎ６ＹＫ、東洋インキ製造（株）製）
・ＰＹ１５０：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０（商品名：Ｅ４ＧＮ‐ＧＴ：Ｐ．Ｙ．１５０、ランクセス社製）
・ＰＢ１５：６：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６（商品名：Ｒｉｏｎｏｌ  Ｂｌｕｅ  ＥＳ、東洋インキ製造（株）製）
・ＰＶ２３：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３（商品名：Ｈｏｓｔａｐｅｒｍ  Ｖｉｏｌｅｔ  ＲＬ−ＮＦ、  クラリアントジャパン（株）製）
・顔料分散剤：ソルスパース２４０００ＧＲ（日本ルーブリゾール（株）製）
・バインダー樹脂１：下記構造の化合物の３０質量％ＰＧＭＥＡ溶液
【０２３０】
【化１６】
2010134137.tif 000017
【０２３１】
・バインダー樹脂２：下記構造の化合物の３０質量％ＰＧＭＥＡ溶液
式Ｐ１のそれぞれのＡに、Ｐ１−２を介してＰ１−１が置換された構造である。
【０２３２】
【化１７】
2010134137.tif 000018
【０２３３】
・ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
【０２３４】
【表１】
2010134137.tif 000019
【０２３５】
≪着色感光性樹脂組成物の調製≫
（赤色感光性樹脂組成物の調製）
以下の組成の成分を撹拌混合して、赤色感光性樹脂組成物（塗布液）を調製した。
・顔料分散液１                                                …  ３４．００部
・顔料分散液２                                                …    １．６４部
・溶剤（ＰＧＭＥＡ）プロピレングリコールメチルエーテルアセテート…３６．７３部
・溶剤（ＥＥＰ）エチルエトキシプロピオネート＝８／２）        …  １７．００部
・バインダー樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７０／３０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝６，０００                        …    ４．９５部
・光重合性モノマー１：日本化薬社製  ＤＰＨＡ                  …    ２．９８部
・光重合開始剤（トリアジン系）：４−［ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニル）アミノフェニル］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン
…    ０．７７部
・光重合開始剤（イミダゾール系）：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール                      …    ０．３３部
・ジエチルアミノベンゾフェノン                                …    ０．１５部
・Ｎ−フェニルメルカプトベンズイミダゾール                    …    ０．２０部
・エポキシ化合物：ＤＩＣ社製  エピクロン６９５                …    ０．７５部
・フッ素系界面活性剤１（構造を以下に示す）                    …  ０．０４２部
【０２３６】
【化１８】
2010134137.tif 000020
【０２３７】
・ノニオン系界面活性剤１（構造を以下に示す）                  …    ０．４５部
【０２３８】
【化１９】
2010134137.tif 000021
・禁止剤  ハイドロキノンモノメチルエーテル                    …  ０．００１５部
【０２３９】
（緑色感光性樹脂組成物の調製）
以下の組成の成分を撹拌混合して、緑色感光性樹脂組成物（塗布液）を調製した。
・顔料分散液３                                                …  ３１．２８部
・顔料分散液４                                                …    ３．１４部
・溶剤（ＰＧＭＥＡ）プロピレングリコールメチルエーテルアセテート…４０．６２部
・溶剤（ＥＥＰ）エチルエトキシプロピオネート＝８／２）        …  １７．００部
・バインダー樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７０／３０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝６，０００                        …    ２．０３部
・光重合性モノマー１：日本化薬社製  ＤＰＨＡ                  …    １．８９部
・光重合性モノマー２：新中村化学社製ＵＡ−７２００（構造を以下に示す。即ち、下記Ｐ２のそれぞれのＢに、下記Ｐ２−１が結合した構造である。）
…    １．８９部
【０２４０】
【化２０】
2010134137.tif 000022
【０２４１】
・光重合開始剤（イミダゾール系）：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール                      …    ０．５６部
・光重合開始剤（オキシム系）：  チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製ＯＸＥ−０１
…    ０．５６部
・ジエチルアミノベンゾフェノン                                …    ０．１７部
・Ｎ−フェニルメルカプトベンズイミダゾール                    …    ０．１６部
・エポキシ化合物：ダイセル化学工業（株）製  ＥＨＰＥ３１５０  …    ０．６０部
・前記フッ素系界面活性剤１                                    …  ０．０３５部
・前記ノニオン系界面活性剤１                                  …    ０．４５部
・禁止剤（ハイドロキノンモノメチルエーテル）                  …０．００１９部
【０２４２】
（青色感光性樹脂組成物の調製）
以下の組成の成分を撹拌混合して、青色感光性樹脂組成物（塗布液）を調製した。
・顔料分散液５                                                …  ３０．７１部
・顔料分散液６                                                …    ０．７４部
・溶剤（ＰＧＭＥＡ）プロピレングリコールメチルエーテルアセテート…３７．６１部
・溶剤（ＥＥＰ）エチルエトキシプロピオネート＝８／２）        …  １７．００部
・バインダー樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７０／３０[モル比]）との共重合体  重量平均分子量＝６，０００                        …    ８．１４部
・光重合性モノマー１：日本化薬社製  ＤＰＨＡ                  …    ３．８６部
・光重合開始剤（イミダゾール系）：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール                      …    ０．３３部
・光重合開始剤（オキシム系）：  チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製ＯＸＥ−０１
…    ０．３３部
・ジエチルアミノベンゾフェノン                                …    ０．１５部
・Ｎ−フェニルメルカプトベンズイミダゾール                    …    ０．２０部
・エポキシ化合物：ＤＩＣ社製  エピクロン６９５                …    ０．４５部
・前記フッ素系界面活性剤１                                    …  ０．０１７部
・前記ノニオン系界面活性剤１                                  …    ０．４５部
・禁止剤（ハイドロキノンモノメチルエーテル）                  …０．００１９部
【０２４３】
〔実施例１〕
実施例１として、コントラスト変化及び表面抵抗の、表面粗さ依存性及び結晶子の平均短径依存性を調査した。
≪カラーフィルタ（試料１−１〜試料１−１１）の作製≫
（着色層の形成）
ガラス基板に、上記で得られた赤色感光性樹脂組成物を、スリットとガラス基板との距離を１５０μｍに設定し、塗布速度１２０ｍｍ／秒でスリットダイコータにて塗布した。この塗布において、スリットからの赤色感光性樹脂組成物の吐出量は、ポストベーク後の膜厚は２．４μｍとなるように調節した。
上記塗布により得られた塗膜を、真空乾燥装置にて、真空度が６６Ｐａに到達するまで乾燥の後、１００℃のホットプレートで８０秒間乾燥させた（プリベーク）。
その後、マスクを介さずに塗膜の全面を露光量５０ｍＪ／ｃｍ２（照度２０ｍＷ／ｃｍ２）にて露光し、露光後の塗膜をアルカリ現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１％水溶液をシャワー状に散布して現像を行った。その後、純水をシャワー状に散布して現像液を洗い流した。
そして、上記のように露光処理及び現像処理が施された塗膜を２２０℃のオーブンで３０分加熱処理し（ポストベーク）、ガラス基板上の全面に、赤色の着色層（パターニングされていない膜（ベタ膜））を形成した。
【０２４４】
＜透明導電膜（ＩＴＯ膜）の形成＞
上記で得られた着色層上に更に、透明導電膜（透明電極）として、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）膜をスパッタリングにより形成した。
ＩＴＯ膜の形成は、基板搬送方向上流側から下流側に向かって、第１スパッタ用のスパッタ室（スパッタチャンバー）と第２スパッタ用のスパッタ室（スパッタチャンバー）とをこの順に有するインライン方式のスパッタ装置（エーケーティー（株）製）を用い、下記条件の第１スパッタにより第１ＩＴＯ膜を成膜し、成膜された第１ＩＴＯ膜上に下記条件の第２スパッタにより第２ＩＴＯ膜を成膜することにより行った。第１ＩＴＯ膜の膜厚と第２ＩＴＯ膜の膜厚との合計は、０．１５μｍであった。
【０２４５】
（第１スパッタ条件）
・スパッタ電力：ＤＣ９．１Ｗ
・ターゲット：ＩＴＯターゲット（密度７．１５５ｇ／ｃｍ３、純度９９．９９％）
・基板温度：１２０℃
・スパッタ時のチャンバー内圧力：５×１０−３Ｐａ
・導入ガス種：酸素（Ｏ２）及びアルゴン（Ａｒ）
・酸素（Ｏ２）の流量：３６ｓｃｃｍ
・アルゴン（Ａｒ）の流量：４６４ｓｃｃｍ
・第１のＩＴＯ膜の膜厚：０．０７５μｍ
【０２４６】
（第２スパッタ条件）
・スパッタ電力：ＤＣ９．１Ｗ
・ターゲット：ＩＴＯターゲット（密度７．１５５ｇ／ｃｍ３、純度９９．９９％）
・基板温度：２３０℃
・スパッタ時のチャンバー内圧力：５×１０−３Ｐａ
・導入ガス種：酸素（Ｏ２）及びアルゴン（Ａｒ）
・酸素（Ｏ２）の流量：３６ｓｃｃｍ
・アルゴン（Ａｒ）の流量：４６４ｓｃｃｍ
・第１のＩＴＯ膜の膜厚：０．０７５μｍ
【０２４７】
なお、第１スパッタ条件及び第２スパッタ条件とも、基板温度の測定は、日本シンテック株式会社製プロセス温度プロファイラー  Ｓｕｐｅｒ  Ｍ．Ｏ．Ｌ．Ｅ  Ｇｏｌｄ  に熱電対（Ｋ）を接続し、これらを耐熱テープで基板に固定してスパッタ装置内を通過させ、取り出して、データを読み出すことにより測定した。
【０２４８】
以上により、ガラス基板上に該ガラス基板側から順に、着色層、透明導電膜を有するカラーフィルタ（以下、「カラーフィルタ基板」ともいう）を得た（以下、このカラーフィルタを「試料１−３」とする）。即ち、このカラーフィルタの構造は、透明導電膜／着色層／ガラス基板となっている。
【０２４９】
別途、ガラス基板上に、上記と同様の第１スパッタ条件及び第２スパッタ条件により、ＩＴＯ膜を形成し（合計膜厚０．１５μｍ）、ＭＣＰＤ−３０００（大塚電子（株）製）を用い、このＩＴＯ膜の透過率を測定した。このＩＴＯ膜の透過率は、３８０ｎｍ〜７７０ｎｍの波長領域全域に渡り９７％以上であり、十分な透明性を有していた。
【０２５０】
上記第１スパッタ条件のうち、温度を８０℃〜２３０℃に調整することにより、ＩＴＯ膜の表面粗さ（Ｒａ）及び結晶子の平均短径を下記表２に示すように調整して、カラーフィルタ（試料１−１〜１−２、１−４〜１−１１）とした。
【０２５１】
≪測定及び評価≫
上記で得られたカラーフィルタ（試料１−１〜試料１−１１）について、以下の測定及び評価を行った。測定及び評価の結果を下記表２に示す。
【０２５２】
＜ＩＴＯ膜の表面粗さ（Ｒａ）＞
ＩＴＯ膜の表面粗さ（Ｒａ）を、以下の条件により測定した。
〜表面粗さ（Ｒａ）の測定条件〜
測定装置    …  ＡＦＭ装置（ナノワールド社製ナノスコープIIIａ）
探針        …  単結晶シリコン
測定条件    …  バネ定数４５Ｎ／ｍ、タッピングモード、フレームサイズ１μｍ
【０２５３】
＜ＩＴＯ膜の結晶子の平均短径＞
ＩＴＯ膜の結晶子の平均短径は、以下のようにして求めた。
まず、（株）日立ハイテクノロジーズ製電子顕微鏡Ｓ−４８００を用いて、１０万倍の倍率でＩＴＯ膜の写真を撮影した。
次に、撮影された写真より、１０個の結晶子の短径をそれぞれ測定し、１０個の測定値の平均値を求めた。得られた平均値を「結晶子の平均短径」とした。
【０２５４】
＜カラーフィルタのコントラスト測定＞
上記で得られたカラーフィルタ（ＩＴＯ膜形成後）を２枚の偏光板の間に配置し、２枚の偏光板の偏光軸を平行にした時の透過光の輝度と、２枚の偏光板の偏光軸を互いに直交させた時の透過光の輝度と、をそれぞれ測定し、それらの比〔平行時の輝度／直交時の輝度〕をコントラストとした（この評価法は、「１９９０年第７回  色彩光学コンファレンス、５１２色表示１０．４“サイズＴＦＴ−ＬＣＤ用カラーフィルター、植木、小関、福永、山中」を参考にした。）。得られたコントラストをＣ２とした。
ここで、透過光としては、バックライトユニット（３波長冷陰極管光源（東芝ライテック（株）製ＦＷＬ１８ＥＸ−Ｎ））に拡散板を設置したものを用いた。また、輝度の測定は、輝度計（（株）トプコン製ＢＭ−５）を用いた。
【０２５５】
また、ＩＴＯ膜形成前の着色層付き基板について上記と同様の方法により、コントラストの測定を行った。得られたコントラストをＣ１とした。
得られたコントラストＣ１（ＩＴＯ膜形成前）及びコントラストＣ２（ＩＴＯ膜形成後）を用い、ＩＴＯ膜形成前後のコントラストの変化（比率Ｃ２／Ｃ１）を算出した。
【０２５６】
＜ＩＴＯ膜の表面抵抗＞
上記で得られたカラーフィルタのＩＴＯ膜の表面抵抗（シート抵抗）を、三菱化学（株）製「ロレスタ」を用い、四探針法にて測定した。
基板内２５箇所についての表面抵抗の平均値を、そのカラーフィルタの表面抵抗（単位：Ω／□）とした。
【０２５７】
【表２】
2010134137.tif 000023
【０２５８】
表２に示すように、着色層上に、表面粗さ（Ｒａ）が０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下であり、結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下である透明導電膜を有するカラーフィルタ（試料１−１〜試料１−４、試料１−７〜試料１−１０）では、透明導電膜形成前後におけるコントラスト変化が少なく、コントラストに優れていた。
【０２５９】
また、本発明のカラーフィルタ（試料１−１〜試料１−４、試料１−７〜試料１−１０）について、イオン溶出試験を行ったところ、比較例（試料１−５、試料１−６、及び試料１−１１）と比べてイオン溶出量が低かった。
例えば、Ｎａイオンは、比較例のカラーフィルタが１５０ｐｐｂであったのに対し、本発明のカラーフィルタでは４０ｐｐｂであった。
なお、イオン溶出試験は、サンプル表面１０ｃｍ四方にＮＭＰを２ｍｌ滴下し、６０℃で１５分間放置してイオンの抽出を行い、その後、上記ＮＭＰを回収してイオン分析をすることにより行った。
以上により、本発明のカラーフィルタでは、作製方法によっては問題となりやすいイオン溶出問題も低減されることがわかった。
【０２６０】
〔実施例２〕
実施例２として、コントラスト変化及び表面抵抗の、スパッタ温度依存性を調査した。
具体的には、第１スパッタの基板温度及び第２スパッタ時の基板温度を下記表３に示すように調整した以外は実施例１と同様にしてカラーフィルタ（試料２−１〜試料２−１０）を作製し、実施例１と同様の測定及び評価を行った。
評価結果を後述の表３に示す。
【０２６１】
【表３】
2010134137.tif 000024
【０２６２】
表３に示すように、第１スパッタ時の基板温度を１００℃以上１６０℃以下、第２スパッタ時の基板温度を１８０℃以上２４０℃以下にて透明導電膜を形成した本発明のカラーフィルタ（試料２−２〜試料２−４、及び、試料２−７〜試料２−９）では、表面粗さ（Ｒａ）０．５ｎｍ以上２．５ｎｍ以下かつ結晶子の平均短径が１５ｎｍ以上３５ｎｍ以下となっていた。これらのカラーフィルタは、透明導電膜形成前後におけるコントラスト変化が少なく、コントラストに優れていた。
【０２６３】
また、本発明のカラーフィルタ（試料２−２〜試料２−４、及び、試料２−７〜試料２−９）について、イオン溶出試験を行ったところ、比較例（試料２−１，試料２−５，試料２−６，試料２−１０）と比べてイオン溶出量が低かった。
例えば、Ｎａイオンは、比較例のカラーフィルタが１５０ｐｐｂであったのに対し、本発明のカラーフィルタでは４０ｐｐｂであった。
なお、イオン溶出試験は、サンプル表面１０ｃｍ四方にＮＭＰを２ｍｌ滴下し、６０℃で１５分間放置してイオンの抽出を行い、その後、上記ＮＭＰを回収してイオン分析をすることにより行った。
以上により、本発明のカラーフィルタでは、作製方法によっては問題となりやすいイオン溶出問題も低減されることがわかった。
【０２６４】
≪３色のカラーフィルタの作製例≫
以上の実施例では、基板上にパターニングされていない着色層を形成し、形成された着色層上に透明導電膜を形成したが、フォトリソグラフィにより着色層をパターニングし、パターニングされた着色層上に透明導電膜を形成してもよい。また、赤色感光性樹脂組成物として、前述の赤色感光性樹脂組成物以外にも、市販の赤色カラーレジストを用いてもよい。
更に、例えば、基板上にブラックマトリクス及び３色の着色層（着色画素）を形成し、形成されたブラックマトリクス及び３色の着色画素上に透明導電膜を形成してカラーフィルタを作製してもよい。
以下、基板上にブラックマトリクス及び３色の着色層（着色画素）を有するカラーフィルタを作製する例について説明する。
【０２６５】
上記カラーフィルタ透明導電膜以外の要素（ブラックマトリクス、着色画素）については、公知の方法を用いて形成できる。
例えば、赤色画素は、上記の実施例における露光工程において、全面露光を、フォトマスクを介したパターン露光に変更することで形成できる。
青色画素は、例えば、前述の青色感光性樹脂組成物を用い（市販の青色カラーレジストを用いてもよい）、赤色画素と同様の方法により作製できる。
緑色画素は、例えば、前述の緑色感光性樹脂組成物を用い（市販の緑色カラーレジストを用いてもよい）、赤色画素と同様の方法により作製できる。
【０２６６】
≪液晶表示装置の作製例≫
次に、基板上にブラックマトリクス及び３色の着色層（着色画素）を有するカラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製する例について説明する。
【０２６７】
まず、上記カラーフィルタの透明導電膜上のブラックマトリクスの上方に相当する部分に柱状フォトスペーサを設ける。
次に、カラーフィルタの透明導電膜及び柱状フォトスペーサーが設けられた上に、更にポリイミドよりなる配向膜を設ける。
別途、対向基板としてＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を備えたアクティブマトリクス基板を用意し、ＴＦＴ形成面側にポリイミドよりなる配向膜を設ける。
【０２６８】
その後、カラーフィルタの着色画素群の周囲を取り囲むように設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＴＮモード用液晶を滴下して真空状態にて対向基板と貼り合わせ、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させる。このようにして液晶セルを得る。この液晶セルの両面に（株）サンリッツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付け、次いで冷陰極管のバックライトを構成して前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置を作製することができる。
【０２６９】
このようにして作製された液晶表示装置は、抵抗の低い透明導電膜を有し、コントラストに優れたカラーフィルタを備えているため、パネルコントラストが高く、表示品質に優れている。