(57)【要約】【課題】装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、移動対象物を変位させることが可能な技術を提供する。【解決手段】駆動装置であって、移動対象物を有する移動対象物層と、移動対象物層の一主面側に接合され、移動対象物層を所定方向に引っ張る第１弾性部を有する第１弾性部材層と、移動対象物層の他主面側に接合され、移動対象物層を上記所定方向とは反対方向に引っ張る第２弾性部を有する第２弾性部材層と、移動対象物に対して上記反対方向に力を付与することで、移動対象物を上記反対方向に移動させるアクチュエータ層とを備える。そして、第１弾性部の剛性が、第２弾性部の剛性よりも相対的に高くなるように設定されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動対象物を有する移動対象物層と、
前記移動対象物層の一主面側に接合され、該移動対象物層を所定方向に引っ張る第１弾性部を有する第１弾性部材層と、
前記移動対象物層の他主面側に接合され、該移動対象物層を前記所定方向とは反対方向に引っ張る第２弾性部を有する第２弾性部材層と、
前記移動対象物に対して前記反対方向に力を付与することで、該移動対象物を前記反対方向に移動させるアクチュエータ層と、
を備え、
前記第１弾性部の剛性が、
前記第２弾性部の剛性よりも相対的に高いことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置であって、
前記第１弾性部の前記所定方向の厚みが、
前記第２弾性部の前記所定方向の厚みよりも相対的に厚いことを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の駆動装置であって、
前記第１弾性部の幅を該第１弾性部の長さで除した値が、
前記第２弾性部の幅を該第２弾性部の長さで除した値よりも相対的に大きいことを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の駆動装置であって、
前記アクチュエータ層が、
前記第１弾性部材層のうちの前記移動対象物層が設けられている他主面側とは反対の一主面側に配設されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の駆動装置であって、
前記移動対象物が、
光学レンズを含むことを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の駆動装置と、
撮像素子を有する撮像素子層と、
を備え、
前記移動対象物が、
前記撮像素子または光学レンズを含むことを特徴とする撮像装置。
【請求項７】
請求項６に記載の撮像装置であって、
前記撮像素子層が、
前記第１弾性部材層のうちの前記移動対象物層が設けられている他主面側とは反対の一主面側に配設されていることを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置およびそれを備えた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロカメラユニット（Micro Camera Unit：ＭＣＵ）を搭載することで撮影機能が付加された小型の電子機器（例えば携帯電話機）が急速に普及している。これに伴い、ＭＣＵに採用されるカメラモジュールに対しては、更なる小型化が望まれている。
【０００３】
従来のカメラモジュールにおいては、レンズを支持するレンズバレルおよびレンズホルダ、赤外線（ＩＲ）カットフィルタを支持するホルダ、基板、撮像素子、並びに光学素子からなる積層体を保持する筐体、このような積層体を封止する樹脂等が必要とされている。このため、上記多数の部品の小型化を図り、各部品を精度良く組み合わせてカメラモジュールを作製することが困難であった。
【０００４】
このような問題に対して、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けて積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、撮像素子を含む層、およびレンズを含む層等をウエハ状態で（ウエハレベルで）積層させてカメラモジュールが形成される。このため、カメラモジュールにおいてオートフォーカスまたはズーム等の機能を実現するためのレンズを移動させる駆動機構を形成することが困難である。
【０００７】
そして、レンズを移動させる駆動機構を形成する際には、撮像装置の大型化および耐久性の低下を抑制することが要求される。このような要求は、移動対象物がレンズ以外の小型の駆動装置一般に共通する。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、移動対象物を変位させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、第１の態様に係る駆動装置は、移動対象物を有する移動対象物層と、前記移動対象物層の一主面側に接合され、該移動対象物層を所定方向に引っ張る第１弾性部を有する第１弾性部材層と、前記移動対象物層の他主面側に接合され、該移動対象物層を前記所定方向とは反対方向に引っ張る第２弾性部を有する第２弾性部材層と、前記移動対象物に対して前記反対方向に力を付与することで、該移動対象物を前記反対方向に移動させるアクチュエータ層とを備える。そして、前記駆動装置では、前記第１弾性部の剛性が、前記第２弾性部の剛性よりも相対的に高い。
【００１０】
また、第２の態様に係る駆動装置は、第１の態様に係る駆動装置であって、前記第１弾性部の前記所定方向の厚みが、前記第２弾性部の前記所定方向の厚みよりも相対的に厚い。
【００１１】
また、第３の態様に係る駆動装置は、第１の態様に係る駆動装置であって、前記第１弾性部の幅を該第１弾性部の長さで除した値が、前記第２弾性部の幅を該第２弾性部の長さで除した値よりも相対的に大きい。
【００１２】
また、第４の態様に係る駆動装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る駆動装置であって、前記アクチュエータ層が、前記第１弾性部材層のうちの前記移動対象物層が設けられている他主面側とは反対の一主面側に配設されている。
【００１３】
また、第５の態様に係る駆動装置は、第１から第４の何れか１つの態様に係る駆動装置であって、前記移動対象物が、光学レンズを含む。
【００１４】
また、第６の態様に係る撮像装置は、第１から第４の何れか１つの態様に係る駆動装置と、撮像素子を有する撮像素子層とを備える。そして、該撮像装置では、前記移動対象物が、前記撮像素子または光学レンズを含む。
【００１５】
また、第７の態様に係る撮像装置は、第６の態様に係る撮像装置であって、前記撮像素子層が、前記第１弾性部材層のうちの前記移動対象物層が設けられている他主面側とは反対の一主面側に配設されている。
【発明の効果】
【００１６】
第１から第５の何れの態様に係る駆動装置によっても、両側から第１および第２弾性部によって相互に引っ張られる移動対象物が釣り合う初期位置が、剛性が高い方の第１弾性部側に相対的に引き寄せられた位置となるため、第１弾性部材層の所定方向の端部から第２弾性部材層の反対方向の端部までの厚みが比較的薄くても、移動対象物が移動するための空間を確保することができる。また、移動対象物を移動させる際における第１弾性部の変形量を低減することができる。したがって、装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、移動対象物を変位させることができる。
【００１７】
第２の態様に係る駆動装置によれば、第１および第２弾性部の厚みを調整することで、第１および第２弾性部の剛性を容易に調整することができる。
【００１８】
第３の態様に係る駆動装置によれば、第１および第２弾性部に係る幅と長さとの比を調整することで、第１および第２弾性部の剛性を精度良く調整することができる。
【００１９】
第４の態様に係る駆動装置によれば、アクチュエータ層によって移動対象物が押されることで該移動対象物が移動するため、アクチュエータ層によって移動対象物に力を付与する構成を容易に実現することができる。
【００２０】
第５の態様に係る駆動装置によれば、装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、光学レンズを変位させることができる。
【００２１】
第６または第７の態様に係る撮像装置によれば、撮像装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、光学レンズまたは撮像素子を変位させることができる。
【００２２】
第７の態様に係る撮像装置によれば、撮像素子層と移動対象物との距離を順次に長くしていく制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る第１の筐体に着目した断面模式図である。
【図３】本発明の実施形態に係るカメラモジュールの断面模式図である。
【図４】レンズ層の断面模式図である。
【図５】レンズ層の下面外観図である。
【図６】レンズ構成層を作製する様子を示す図である。
【図７】第１および第２平行ばねの上面外観図である。
【図８】レンズ層に装着された第１平行ばねを示す図である。
【図９】アクチュエータ層の上面図である。
【図１０】アクチュエータ層の側面図である。
【図１１】カメラモジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【図１２】準備するシートの構成例を示す平面図である。
【図１３】準備されたシートを積層させて接合する様子を模式的に示す図である。
【図１４】光学ユニットが形成された状態を示す図である。
【図１５】光学ユニットにカバーが取り付けられる工程を示す図である。
【図１６】レンズ層の移動空間を確保する工程を説明するための図である。
【図１７】レンズ層の移動を説明するための図である。
【図１８】本発明の変形例に係る第１平行ばねの上面外観図である。
【図１９】撮像素子を移動させる態様を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態に係るカメラモジュール５００を搭載した携帯電話機１００の概略構成を示す模式図である。なお、図１および図１以降の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。
【００２６】
図１で示されるように、携帯電話機１００は、折り畳み式の携帯電話機として構成され、第１の筐体２００と、第２の筐体３００と、ヒンジ部４００とを有している。
【００２７】
第１の筐体２００および第２の筐体３００は、それぞれ板状の直方体であり、各種電子部材を格納する筐体としての役割を有している。具体的には、第１の筐体２００は、カメラモジュール５００および表示ディスプレイ（不図示）を有し、第２の筐体３００は、携帯電話機１００を電気的に制御する制御部とボタン等の操作部材（不図示）とを有している。
【００２８】
ヒンジ部４００は、第１の筐体２００と第２の筐体３００とを回動可能に接続している。これにより、携帯電話機１００は、折り畳み可能となっている。
【００２９】
図２は、携帯電話機１００のうち第１の筐体２００に着目した断面模式図である。
【００３０】
図１および図２で示されるように、カメラモジュール５００は、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が約３ｍｍ程度である小型の撮像装置、所謂マイクロカメラユニット(ＭＣＵ)となっている。
【００３１】
以下、カメラモジュール５００の構成、およびその製造工程等について順次説明する。
【００３２】
＜カメラモジュールの構成＞
図３は、カメラモジュール５００の断面模式図であり、矢印ＹＪ１の示す方向が＋Ｚ方向に相当する。なお、本実施形態では、−Ｚ方向が、本発明の所定方向に相当し、＋Ｚ方向が、本発明の所定方向に対する反対方向に相当する。
【００３３】
図３で示されるように、カメラモジュール５００は、撮影光学系としてのレンズ層１６を駆動する駆動機構ＫＢと、被写体像に関する撮影画像を取得する撮像部ＰＢとを有している。
【００３４】
撮像部ＰＢは、例えば、ＣＯＭＳセンサまたはＣＣＤセンサなどの撮像素子１１１を有する撮像素子層１１と、撮像素子ホルダ層１２と、赤外（ＩＲ）カットフィルタ層１３とをこの順序で積層した構成を有している。
【００３５】
撮像部ＰＢとカバー２０とで覆われた空間には、いずれもウエハ状態で（ウエハレベルで）作製される、レンズ層１６、レンズ層１６を保持する第１平行ばね（下層平行ばね）１５および第２平行ばね（上層平行ばね）１７、並びにアクチュエータ層（駆動層）１４が格納されている。
【００３６】
そして、ここでは、−Ｚ方向に向かって、第２平行ばね１７、レンズ層１６、第１平行ばね１５、アクチュエータ層１４、ＩＲカットフィルタ層１３、撮像素子ホルダ層１２、撮像素子層１１の順に設けられている。したがって、例えば、アクチュエータ層１４および撮像素子層１１は、第１平行ばね１５のうちのレンズ層１６が設けられている一主面側（ここでは、＋Ｚ側）とは反対の他主面側（ここでは、−Ｚ側）に配設されている。
【００３７】
そして、撮像部ＰＢとカバー２０とで覆われた空間に格納される各機能層は互いに協働してレンズ層１６を駆動させる駆動機構ＫＢを構成する。なお、本実施形態では、レンズ層１６が、本発明の光学レンズを有する移動対象物に相当し、駆動機構ＫＢが、本発明の駆動装置に相当する。
【００３８】
具体的には、カメラモジュール５００では、カバー２０および撮像部ＰＢは、レンズ層１６に対する固定部となる。
【００３９】
そして、レンズ層１６は、固定部に結合された第１平行ばね１５および第２平行ばね１７によって支持される。
【００４０】
より詳細には、レンズ層１６の一主面側（−Ｚ側）における撮像部ＰＢとレンズ層１６との間には、板状の第１平行ばね１５が介挿され、該第１平行ばね１５が、レンズ層１６の一主面側に接合される。なお、本実施形態では、第１平行ばね１５が、本発明の第１弾性部材層に相当する。
【００４１】
また、レンズ層１６の他主面側（＋Ｚ側）におけるカバー２０とレンズ層１６との間には、板状の第２平行ばね１７が介挿され、該第２平行ばね１７が、レンズ層１６の他主面側に接合される。なお、本実施形態では、第２平行ばね１７が、本発明の第２弾性部材層に相当する。
【００４２】
また、カメラモジュール５００が非駆動状態（駆動前の静止状態）にある場合には、第１平行ばね１５と第２平行ばね１７とは互いに弾性変形した状態となり、第１平行ばね１５の弾性力と第２平行ばね１７の弾性力とが釣り合う位置において、レンズ層１６が静止する。
【００４３】
アクチュエータ層１４は、レンズ層１６の一主面側から他主面側に向かう方向（＋Ｚ方向）に駆動変位を発生させる変位発生部を有し、レンズ層１６の一主面側に配置される。変位発生部は、レンズ層１６の一主面側に突出している突起部１６１と接触する。そして、変位発生部で生じる駆動変位は、突起部１６１を介してレンズ層１６に伝達される。このため、アクチュエータ層１４が、レンズ層１６に対して＋Ｚ方向に力を付与することで、該レンズ層１６を＋Ｚ方向に移動させる。
【００４４】
以上のように、カメラモジュール５００では、移動対象物であるレンズ層１６が、該レンズ層１６を介して互いに対向する位置に配置された弾性部材と結合され、該弾性部材がレンズ層１６に垂直な方向（レンズ層１６の垂直方向）に互いに弾性変形した状態でレンズ層１６を保持する。そして、レンズ層１６は、アクチュエータ層１４の変位発生部から駆動力を受けて、その位置を変位させる。
【００４５】
このようにして、カメラモジュール５００に設けられた駆動機構ＫＢは、ウエハレベルで作製されたレンズ層１６を、該レンズ層１６の光軸方向に変位させることができ、カメラモジュール５００を駆動装置として機能させる。
【００４６】
＜各機能層について＞
以下では、カメラモジュール５００を構成する各機能層の詳細について説明する。なお、各機能層においては、−Ｚ方向側の面を一主面側の面と称し、＋Ｚ方向側の面を他主面側の面と称するものとする。
【００４７】
○撮像素子層１１：
図３で示されるように、撮像素子層１１は、撮影光学系を通過した被写体光を受光して被写体像に関する画像信号を生成する撮像素子１１１と、その周辺回路、および撮像素子１１１を囲む外周部を備える部材である。
【００４８】
なお、撮像素子層１１の一主面（−Ｚ側の面）には、リフロー方式によるはんだ付けを行うためのはんだボールＨＢが設けられている。また、ここでは図示を省略しているが、撮像素子層１１の一主面には、撮像素子１１１に対する信号の付与、および撮像素子１１１からの信号の読み出しを行うための配線を接続するための各種端子が設けられている。
【００４９】
○撮像素子ホルダ層１２：
撮像素子ホルダ層１２は、例えば、樹脂などの素材によって形成され、接着剤などによって接合される撮像素子層１１を保持する部材である。撮像素子ホルダ層１２の略中央には、開口が設けられている。
【００５０】
○赤外カットフィルタ層１３：
赤外カットフィルタ層１３は、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜を多層化して構成される。
【００５１】
具体的には、赤外カットフィルタ層１３は、例えば、ガラスまたは透明樹脂で構成される基板の上面に屈折率の異なる多数の透明薄膜をスパッタリングなどで形成したもので、薄膜の厚みおよび屈折率の組合せにより、透過する光の波長帯が制御される。赤外カットフィルタ層１３としては、例えば、６００ｎｍ以上の波長帯の光を遮断するものが採用される。
【００５２】
○レンズ層１６：
レンズ層１６は、ガラス基板を基材としてウエハレベルで作製され、例えば、２枚以上のレンズを重ね合わせて構成される。本実施形態では、３枚のレンズを重ね合わせてレンズ層１６が構成される場合について例示する。図４は、レンズ層１６の断面模式図であり、矢印ＹＪ２の示す方向が＋Ｚ方向に相当する。図５は、レンズ層１６の下面外観図である。
【００５３】
図４で示されるように、レンズ層１６は、第１レンズＧ１を有するレンズ構成層ＬＹ１と、第２レンズＧ２を有するレンズ構成層ＬＹ２と、第３レンズＧ３を有するレンズ構成層ＬＹ３とを有し、各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３は、この順序でリブＲＢを介して結合されている。
【００５４】
また、図４および図５で示されるように、第１レンズＧ１を有するレンズ構成層ＬＹ１の一主面には、レンズとして機能しない非レンズ部において突起部１６１が設けられている。
【００５５】
各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３は、ガラス基板１６ＢＳを基材としていずれも同様の手法にて作製される。図６は、第３レンズＧ３を有するレンズ構成層ＬＹ３を作製する様子を示す図である。
【００５６】
具体的には、図６で示されるように、ガラス基板１６ＢＳの両面それぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線（ＵＶ）硬化樹脂が塗布される。そして、両面から各レンズ（図６では、第３レンズＧ３）の形状を有する透明のレンズ成型用型１６ＣＡが所定の圧力で押し当てられるとともに紫外線ＵＶ１が照射されて、ガラス基板１６ＢＳの各面にポリマーレンズＧＰ１，ＧＰ２がそれぞれ成形される。
【００５７】
このようにして作製された各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３には、２カ所以上の所定の場所に位置合わせのためのアライメントマークが形成されている。各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３は、リブＲＢを有するリブ層を各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３間に挟んで一体のレンズ層１６へと組み上げられる。
【００５８】
具体的には、各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３およびリブ層は、マスクアライナー等を用いてそれぞれのアライメントマークを確認しながら、基板形状のままアライメントされて接合される。接合方法としては、各レンズ構成層ＬＹ１〜ＬＹ３と接合させるリブ層の表面にＵＶ硬化層を設け、紫外線を照射することで接合する手法、或いは、リブ層の表面に不活性ガスのプラズマを照射し、リブ層の表面を活性化したまま張り合わせて接合する手法（表面活性化接合法）が採用される。
【００５９】
なお、カメラモジュール５００に絞りを形成する場合は、第２レンズＧ２を有する層にシャドウマスクを施した上で遮光材料薄膜を形成する手法、或いは別途黒色に色づけされた樹脂材料などで絞りレイヤーを構成する手法等が用いられる。
【００６０】
○第１平行ばね１５：
図７は、第１平行ばね１５の上面外観図である。図８は、レンズ層１６に装着された第１平行ばね１５を示す図である。
【００６１】
図７で示されるように、第１平行ばね１５は、固定枠体１５１と、弾性部１５２とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性部材層）となっている。
【００６２】
固定枠体１５１は、第１平行ばね１５の外周部を構成し、隣接するアクチュエータ層１４（詳細には、アクチュエータ層１４の枠体１４２（後述））と接合される。
【００６３】
弾性部１５２は、固定枠体１５１との接続部ＰＧ１と、レンズ層１６への接合部ＰＧ２とを有し、接続部ＰＧ１と接合部ＰＧ２とが板状部材ＥＢで繋がれている。
【００６４】
すなわち、第１平行ばね１５は、固定枠体１５１において隣接するアクチュエータ層１４と接合される。また、図８で示されるように、第１平行ばね１５は、弾性部１５２に設けられた接合部ＰＧ２においてレンズ層１６と接合される。
【００６５】
このような構成により、レンズ層１６が＋Ｚ方向に移動され、レンズ層１６とアクチュエータ層１４に接合された固定枠体１５１とが離れると、接続部ＰＧ１と接合部ＰＧ２とのＺ方向の位置がずれることになり、板状部材ＥＢは曲げ変形（たわみ変形）を生じ湾曲する。したがって、第１平行ばね１５は、板状部材ＥＢに弾性変形を発生させた状態で、ばね機構として機能する。そして、弾性部１５２が、その弾性力によってレンズ層１６を−Ｚ方向に引っ張る。
【００６６】
なお、第１平行ばね１５は、ＳＵＳ系の金属材料またはりん青銅などを用いて作製される。例えば、ＳＵＳ系の金属材料で第１平行ばね１５を作製する場合は、フォトリソグラフィで平行ばねの形状を金属材料上にパターンニングし、塩化鉄系のエッチング液に浸してウエットエッチングを行うことによって、平行ばねのパターンが形成される。
【００６７】
○アクチュエータ層１４：
アクチュエータ層１４は、金属またはシリコン(Ｓｉ)等の基板上に、駆動力を発生させる変位素子（「アクチュエータ素子」とも称する）を設けた薄板状の部材である。図９は、アクチュエータ層１４の上面図である。図１０は、アクチュエータ層１４の側面図である。
【００６８】
具体的には、図９で示されるように、アクチュエータ層１４は、外周部を構成する枠体１４２と、枠体１４２の内側の中空部分に対して該枠体１４２から突設される２枚の板状の梁部１４１とを備えている。そして、梁部１４１の他主面側には、薄膜状のアクチュエータ素子１４３が設けられている。
【００６９】
アクチュエータ素子１４３としては、例えば、形状記憶合金(ＳＭＡ)が用いられる。この場合、基板上にＳｉＯ2などの絶縁層、金属のヒータ層、およびアクチュエータ素子層をスパッタリング法などを用いて形成した後に、記憶させたい形状の型に梁部１４１をセットし、所定温度（例えば、６００℃）程度で加熱する処理（形状記憶処理）が施される。
【００７０】
ＳＭＡは、加熱されて所定の温度に達すると、予め記憶されている所定の縮み形状（「記憶形状」とも称する）に復元するという特性を有している。このため、ヒータ層の通電によってＳＭＡが加熱されると、ＳＭＡは、記憶形状に縮み変形し、梁部１４１の自由端ＦＴが＋Ｚ方向に移動する（図１０参照）。すなわち、梁部１４１の自由端ＦＴ側が、変位発生部として機能する。
【００７１】
なお、ヒータ層への通電は、撮像素子層１１に設けられた電極から行われるが、該電極からヒータ層への導電は、アクチュエータ層１４、赤外カットフィルタ層１３、および撮像素子ホルダ層１２の側面に貼り付けられた薄型の導電部材（不図示）を介して行えばよい。
【００７２】
アクチュエータ層１４の枠体１４２は、第１平行ばね１５の固定枠体１５１（図８参照）と接合される。接合された状態では、各梁部１４１の自由端ＦＴ側が対応する突起部１６１とそれぞれ接することになり、各梁部１４１の自由端ＦＴにおいて発生する変位が、各突起部１６１を介してレンズ層１６に伝えられる。このように、梁部１４１は、レンズ層１６に変位を伝達する作用部として機能する。
【００７３】
なお、梁部１４１の自由端ＦＴ側で発生する変位量は、ＳＭＡの加熱温度に応じて異なり、ヒータ層への通電量を制御することによって変位量を調整することができる。
【００７４】
また、ＳＭＡの変形にともなってヒータ層も変形することになるが、該ヒータ層の変形に応じてヒータ層の電気抵抗も変化する。このため、ヒータ層の電流抵抗値をモニタリングして変位量を制御してもよい。
【００７５】
○第２平行ばね１７：
図７で示されるように、第２平行ばね１７は、第１平行ばね１５と同様の構成および機能を有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性部材層）となっている。そして、該第２平行ばね１７は、固定枠体１７１と弾性部１７２とを備えている。
【００７６】
ここでは、第１平行ばね１５と第２平行ばね１７とが同様な弾性率を有する同じ素材で形成されており、第１平行ばね１５のＺ方向の厚みが、第２平行ばね１７のＺ方向の厚みよりも相対的に厚くなるように設定されている。このため、弾性部１５２の剛性が、弾性部１７２の剛性よりも相対的に高くなっている。なお、第１および第２平行ばね１５，１７のような板ばねにおいては、厚みの増加の約３乗に比例して弾性部の剛性が上昇することが知られている。
【００７７】
第２平行ばね１７の固定枠体１７１は、カバー２０と接合され、弾性部１７２に設けられた接合部ＰＧ２は、レンズ層１６の他主面と接合される。このような構成により、レンズ層１６とカバー２０とが離れると、板状部材ＥＢにおいて弾性変形が発生し、第２平行ばね１７は、ばね機構として機能する。そして、弾性部１７２が、その弾性力によってレンズ層１６を＋Ｚ方向に引っ張る。
【００７８】
○カバー２０
カバー２０は、樹脂材料を素材として、型を用いたプレス加工によって成形される。このカバー２０は、駆動機構ＫＢを保護するとともに、移動対象物（レンズ層１６）に対する固定部となる。なお、樹脂材料に格子状に多数成形されたカバー２０は、一つ一つのカメラモジュール５００用にダイシングされる。
【００７９】
＜カメラモジュール５００の製造工程＞
ここで、カメラモジュール５００の製造工程について詳述する。
【００８０】
図１１は、カメラモジュール５００の製造工程を示すフローチャートである。図１１で示すように、(工程Ａ)シートの準備（ステップＳＰ１）、(工程Ｂ)シートの接合（ステップＳＰ２）、(工程Ｃ)ダイシング（ステップＳＰ３）、(工程Ｄ)カバー２０の取付（ステップＳＰ４）、および(工程Ｅ)移動空間の確保（ステップＳＰ５）が順次に行われて、カメラモジュール５００が製造される。以下、各工程について説明する。
【００８１】
○シートの準備（工程Ａ）：  
まず、ステップＳＰ１では、カメラモジュール５００を形成する各機能層に関するシートが、層ごとに形成される。図１２は、準備されるシートの構成例を示す平面図である。なお、ここでは、円盤状のシートが準備されるものとする。
【００８２】
機能層ごとのシートには、該機能層に係る部材に相当するチップがマトリクス状に所定配列で多数形成されている。
【００８３】
例えば、図１２で示されるように、撮像素子ホルダ層１２のシート（撮像素子ホルダシート）Ｕ１２には、撮像素子ホルダ層１２に相当するチップが所定配列で多数形成される。なお、ここでは、「所定配列」という表現を、多数のチップを所定の方向に所定の間隔で配列した状態を含む意味で用いている。
【００８４】
撮像素子ホルダシートＵ１２は、例えば、樹脂材料を素材として、金属金型を用いたプレス加工によって作製される。
【００８５】
このようにステップＳＰ１では、撮像素子ホルダシートＵ１２と同様に、撮像素子層１１、赤外カットフィルタ層１３、アクチュエータ層１４、第１平行ばね１５、レンズ層１６、および第２平行ばね１７の各機能層に関するチップを含む各シートＵ１，Ｕ３〜Ｕ７がそれぞれ準備される。
【００８６】
○シートの接合（工程Ｂ）：
ステップＳＰ２では、各シートＵ１〜Ｕ７が接合される。図１３は、準備されたシートＵ１〜Ｕ７を順次に積層させて接合する様子を模式的に示す図である。
【００８７】
具体的には、図１３で示されるように、撮像素子シートＵ１、撮像素子ホルダシートＵ１２、赤外カットフィルタシートＵ３、アクチュエータシートＵ４、第１平行ばねシートＵ５、レンズシートＵ６、および第２平行ばねシートＵ７について、各シートＵ１〜Ｕ７に含まれる各チップが互いに積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。そして、各シートＵ１〜Ｕ７が接着剤等を用いて接合される。
【００８８】
○ダイシング（工程Ｃ）：
次のステップＳＰ３では、７つのシートＵ１〜Ｕ７を積層して形成された積層部材が、ダイシングテープ等で保護された後、ダイシング装置によってチップ毎に切り離される。これにより、図１４に示されるような積層された７つの層１１〜１７を有する光学系のユニット（光学ユニット）５０が多数生成される。
【００８９】
○カバー２０の取付（工程Ｄ）：
ステップＳＰ４では、光学ユニット５０にカバー２０が取り付けられる。図１５は、カバー２０が取り付けられた光学ユニット５０を示す図である。
【００９０】
具体的には、図１５で示されるように、組み立て治具ＪＧ１上に光学ユニット５０が設置される。そして、光学ユニット５０にカバー２０が被せられ、第２平行ばね１７の固定枠体１７１とカバー２０とが接着剤等によって接合される。
【００９１】
このとき、組み立て治具ＪＧ１の設置面の傾きは、水平面に対して５分（１／１２度）以内であることが好ましい。
【００９２】
○移動空間の確保（工程Ｅ）：
ステップＳＰ５では、移動対象物（レンズ層１６）の移動空間が確保される。図１６は、レンズ層１６の移動空間を確保する工程を説明するための図である。
【００９３】
具体的には、図１６で示されるように、カバー２０の上部にカバー押し上げ治具ＧＧ１が設置される。カバー押し上げ治具ＧＧ１は、カバー２０を保持可能な真空チャック部ＶＣを有している。また、カバー押し上げ治具ＧＧ１は、ＡＣサーボモータとピエゾアクチュエータとの組合せによりサブミクロンの押し上げ精度を有している。カバー２０は、この機構を用いて、＋Ｚ方向（図１６中の矢印ＹＪ１の示す方向）に引き上げられる。
【００９４】
本実施形態では、カバー２０は、レンズ層１６の移動空間を確保する分（例えば、２００μｍ）引き上げられる。
【００９５】
そして、引き上げられたカバー２０の下部と光学ユニット５０との隙間ＫＧにＵＶ硬化樹脂ＫＪ１が挿入され（図３参照）、紫外線の照射によってＵＶ硬化樹脂ＫＪ１が硬化される。このＵＶ硬化樹脂ＫＪ１の硬化によって、カバー２０と撮像部ＰＢとは相対的に固定される。
【００９６】
なお、カバー２０を固定する際には、カバー２０を引き上げた距離とカバー２０の傾きの変化とをモニタリングすることによってカバー２０の傾きが抑制される。
【００９７】
このようなカバー２０の引き上げによってカバー２０と撮像部ＰＢとはレンズ層１６の垂直方向に引き離され、第１平行ばね１５および第２平行ばね１７は、それぞれ弾性変形する。
【００９８】
具体的には、第１および第２平行ばね１５，１７においてそれぞれ弾性変形を生じ、レンズ層１６が、第１平行ばね１５によって−Ｚ方向に引っ張られるとともに、第２平行ばね１７によって＋Ｚ方向に引っ張られる状態となる。
【００９９】
このとき、第１平行ばね１５と第２平行ばね１７とが、レンズ層１６を介して引っ張り合う。このため、レンズ層１６は、第１平行ばね１５の弾性力によってレンズ層１６が引っ張られる力と、第２平行ばね１７の弾性力によってレンズ層１６が引っ張られる力とが釣り合う位置に配置される。この位置が、レンズ層１６の初期位置となり、レンズ層１６は、この初期位置を基準として＋Ｚ方向に移動可能な状態となる。
【０１００】
また、ここでは、レンズ層１６が初期位置から＋Ｚ方向に移動可能な距離（移動可能距離）は、初期位置に配置されたレンズ層１６の他主面のＺ座標と、第２平行ばね１７の固定枠体１７１の一主面のＺ座標との差に相当する距離となる。
【０１０１】
したがって、レンズ層１６の所定の移動可能距離を確保するために、このステップＳＰ５では、初期位置に配置されたレンズ層１６の他主面のＺ座標と、第２平行ばね１７の固定枠体１７１の一主面のＺ座標との差が、移動可能距離となるまで、カバー２０が引き上げられる。別の観点から言えば、弾性部１７２の弾性変形の量（弾性変形量）が所定量となるように、カバー２０が引き上げられる。
【０１０２】
このようにして、ステップＳＰ５では、取り付けられたカバー２０が＋Ｚ方向に引き上げられ、レンズ層１６の移動空間が確保される。
【０１０３】
ところで、上述したように、弾性部１５２の剛性が、弾性部１７２の剛性よりも高くなるように設定されている。このため、レンズ層１６が配置される初期位置のＺ座標は、弾性部１５２の剛性と弾性部１７２の剛性とが等しい場合よりも、−Ｚ方向にずれた、撮像素子層１１寄りのＺ座標となる。別の観点から言えば、レンズ層１６の初期位置は、固定枠体１７１よりも固定枠体１５１に近い位置となる。そして、このとき、弾性部１５２における弾性変形量は、弾性部１７２における弾性変形量よりも相対的に小さくなっている。
【０１０４】
したがって、ここでは、弾性部１７２における弾性変形量が所定量となる際の弾性部１５２における弾性変形量が、弾性部１５２の剛性と弾性部１７２の剛性とが等しい場合と比較して、相対的に小さくなる。
【０１０５】
その結果、ここでは、弾性部１７２の弾性変形量が所定量となるまでのカバー２０の引き上げ量が、弾性部１５２の剛性と弾性部１７２の剛性とが等しい場合と比較して、小さくて済む。このため、駆動機構ＫＢのＺ方向の厚みが低減されることによる駆動機構ＫＢの小型化、更にはカメラモジュール５００全体のＺ方向の厚みが低減されることによるカメラモジュール５００の小型化が図られる。
【０１０６】
また、突起部１６１によって−Ｚ方向に押し曲げられていたアクチュエータ層１４の梁部１４１における曲げ変形（図１５参照）は、カバー２０の引き上げによって緩和される（図１６参照）。
【０１０７】
ＵＶ硬化樹脂ＫＪ１によってカバー２０が固定された状態（図３参照）では、梁部１４１は、突起部１６１による−Ｚ方向への押し曲げによって若干の曲げ変形を有していることが好ましい。換言すれば、カバー２０が固定された状態において、梁部１４１は、突起部１６１と接して（当接して）いることが好ましい。
【０１０８】
合焦動作などでレンズ層１６を駆動する際には、アクチュエータ層１４の梁部１４１が突起部１６１を＋Ｚ方向に押し上げることになるが、例えば、駆動前の静止状態において梁部１４１と突起部１６１とが離れていた場合は、駆動の際に梁部１４１が突起部１６１に接触するまで所定の時間を要する。すなわち、駆動に際して空振り区間が存在することになる。
【０１０９】
しかし、カバー２０が固定された状態、すなわち駆動前の静止状態において梁部１４１と突起部１６１とが予め接触している場合は、空振り区間が存在しないため、梁部１４１で発生した駆動変位を無駄なく迅速に突起部１６１に伝えることができる。
【０１１０】
このように、突起部１６１は、梁部１４１で発生した駆動変位を移動対象物であるレンズ層１６に効率良く伝える役割を果たしている。
【０１１１】
＜カメラモジュール５００の動作＞
図１７は、レンズ層１６を移動させるカメラモジュール５００の動作を説明するための図である。
【０１１２】
図３で示されるように、カメラモジュール５００は、非駆動状態（駆動前の静止状態）では、レンズ層１６は、固定枠体１７１よりも固定枠体１５１に近い初期位置に配置される。そして、図１７で示されるように、アクチュエータ層１４の梁部１４１が突起部１６１を＋Ｚ方向に押し上げることで、レンズ層１６が＋Ｚ方向に移動する。
【０１１３】
ところで、本実施形態に係るカメラモジュール５００では、レンズ層１６が初期位置に配置されている場合には、弾性部１５２における弾性変形量は、弾性部１７２における弾性変形量よりも相対的に小さい。そして、このときの弾性部１５２における弾性変形量は、弾性部１５２の剛性と弾性部１７２の剛性とが等しい場合よりも小さい。
【０１１４】
このため、レンズ層１６を＋Ｚ方向に所定量だけ移動させた際に弾性部１５２の板状部材ＥＢにおいて生じる弾性変形量が、弾性部１５２の剛性と弾性部１７２の剛性とが等しい場合よりも小さくなる。
【０１１５】
したがって、本実施形態に係るカメラモジュール５００では、弾性部１５２の剛性と弾性部１７２の剛性とが等しい場合と比較して、弾性部１５２の板状部材ＥＢにおける応力集中等に起因する塑性変形の発生が防止される。
【０１１６】
なお、弾性部１５２の板状部材ＥＢにおける応力集中については、弾性部１５２の板状部材ＥＢの剛性が高められることで、生じる傾向にある。しかしながら、ここでは、剛性の上昇によって弾性部１５２の板状部材ＥＢにおいて応力集中が起こり易くなる度合いよりも、弾性変形量の減少に起因して弾性部１５２の板状部材ＥＢにおいて応力集中が起こり難くなる度合いの効果の方が大きい。
【０１１７】
また、弾性部１７２については、レンズ層１６が初期位置に配置されている場合に、最も弾性変形量が大きくなる状態に設定され、その状態から、レンズ層１６が＋Ｚ方向に移動することで、弾性変形量が減少した状態となる。このため、第２平行ばね１７では、板状部材ＥＢの弾性変形量が比較的大きくはならず、応力集中による問題が生じ難い。
【０１１８】
以上のように、本実施形態に係るカメラモジュール５００では、Ｚ方向の両側から第１および第２平行ばね１５，１７によって相互に引っ張られるレンズ層１６が釣り合う初期位置が、剛性が相対的に高い第１平行ばね１５側に相対的に引き寄せられた位置となる。
【０１１９】
このため、第１平行ばね１５を構成する固定枠体１５１の一主面のＺ座標と、第２平行ばね１７を構成する固定枠体１７１の他主面のＺ座標との差、すなわち固定枠体１５１の一主面から固定枠体１７１の他主面までの厚みが比較的薄くても、レンズ層１６の移動空間を確保することができる。また、このような構成では、レンズ層１６を移動させる際の弾性部１５２における弾性変形量を低減することができる。したがって、装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、ウエハレベルで作製される移動対象物（ここでは、光学レンズ）を変位させることができる。
【０１２０】
また、弾性部１５２，１７２の厚みを調整することで、弾性部１５２，１７２の剛性を容易に調整することができる。
【０１２１】
また、アクチュエータ層１４が、第１平行ばね１５の一主面側（−Ｚ側）に設けられており、アクチュエータ層１４によってレンズ層１６が押されることで該レンズ層１６が＋Ｚ方向に移動する。このため、アクチュエータ層１４とレンズ層１６とを接合するような特別な機構を設けることなく、アクチュエータ層１４によってレンズ層１６に力を付与する構成を容易に実現することができる。
【０１２２】
また、レンズ層１６の初期位置が、レンズ層１６が移動する範囲の最も撮像素子層１１に近い位置となっている。このため、撮像素子層１１とレンズ層１６との距離を順次に長くしていく制御を行うことができる。そして、このような制御により、例えば、レンズ層１６が初期位置に配置される場合に、カメラモジュール５００からの無限遠に存在する被写体に対して合焦し、撮像素子層１１からレンズ層１６が離れれば離れる程、より近距離に存在する被写体に対して合焦する一般的なオートフォーカス制御が実現可能となる。
【０１２３】
＜変形例＞
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【０１２４】
◎例えば、上記実施形態では、第１および第２平行ばね１５，１７の厚みが調整されることで、弾性部１５２の剛性が、弾性部１７２の剛性よりも高められたが、これに限られない。
【０１２５】
例えば、弾性部１５２の板状部材ＥＢの延設距離を、弾性部１７２の板状部材ＥＢの延設距離よりも相対的に短くしたり、弾性部１５２の板状部材ＥＢの幅を、弾性部１７２の板状部材ＥＢの幅よりも太くすることで、弾性部１５２の剛性が、弾性部１７２の剛性よりも高められても良い。すなわち、弾性部１５２の板状部材ＥＢの幅を、該板状部材ＥＢの長さ（延設距離）で除した値（以下「第１アスペクト比」と称する）が、弾性部１７２の板状部材ＥＢの幅を、該板状部材ＥＢの長さ（延設距離）で除した値（以下「第２アスペクト比」と称する）よりも相対的に大きくなるように設定されても良い。
【０１２６】
ここで、弾性部１５２の板状部材ＥＢの延設距離を、弾性部１７２の板状部材ＥＢの延設距離よりも相対的に短くする具体的な一態様について説明する。
【０１２７】
図１８は、変形例に係る第１平行ばね１５Ａの上面外観図である。図１８で示されるように、第１平行ばね１５Ａは、上記実施形態に係る第１平行ばね１５と比較して、板状部材ＥＢが、接続部ＰＧ１から接合部ＰＧ２までの延設距離が短縮された板状部材ＥＢＡに変更され、その変更に伴って、弾性部１５２が弾性部１５２Ａとなっている点が異なる。その他の構成については、同様となるため、同じ符号を付して説明を省略する。
【０１２８】
また、ここで、弾性部１５２，１７２の厚みを調整することで弾性部１５２，１７２の剛性の大小を設定する手法と、弾性部１５２，１７２の板状部材ＥＢの延設距離を調整することで弾性部１５２，１７２の剛性の大小を設定する手法とを比較する。
【０１２９】
上述したように、第１および第２平行ばね１５，１７のような板ばねにおいては、厚みを変更する場合には厚みの増加の約３乗に比例して弾性部の剛性が上昇することが知られている。これに対して、幅を変更する場合には幅の増加の約２乗に比例して弾性部の剛性が上昇することが知られている。
【０１３０】
このため、第１および第２アスペクト比を適宜設定することで弾性部１５２，１７２の剛性を調整するよりも、弾性部１５２，１７２の厚みを適宜設定することで弾性部１５２，１７２の剛性を調整する方が、弾性部１５２，１７２を製造する際のサイズの誤差が板状部材ＥＢの剛性の誤差により大きく反映される。すなわち、弾性部１５２，１７２の厚みを調整するよりも、弾性部１５２，１７２に係る第１および第２アスペクト比を調整する方が、弾性部１５２，１７２の剛性を精度良く調整することができる。
【０１３１】
したがって、弾性部１５２，１７２の剛性を所望の剛性に設定して、所望の変位を生じさせる駆動機構ＫＢを実現する観点から言えば、弾性部１５２，１７２の厚みを調整するよりも、弾性部１５２，１７２に係る第１および第２アスペクト比を調整する方が好ましい。
【０１３２】
更に、弾性部１５２の剛性を、弾性部１７２の剛性よりも高める他の方法としては、例えば、弾性部１５２の板状部材ＥＢを、弾性部１７２の板状部材ＥＢよりも太くする方法などが考えられる。
【０１３３】
なお、弾性部１５２，１７２における厚み、長さ（延設距離）、幅が均一でない場合には、例えば、それらの平均値を用いて、弾性部１５２，１７２の板状部材ＥＢの厚みの相対的な設定、および該弾性部１５２，１７２のアスペクト比の相対的な設定などを行うことで、弾性部１５２，１７２の剛性を適宜調整すれば良い。
【０１３４】
◎また、上記実施形態では、弾性部１５２の剛性を、弾性部１７２の剛性よりも相対的に高めたが、これに限られない。例えば、弾性部１７２の剛性を、弾性部１５２の剛性よりも相対的に高め、アクチュエータ層によってレンズ層１６が−Ｚ方向に移動されるような構成を採用しても良い。
【０１３５】
このような構成では、Ｚ方向の両側から第１および第２平行ばね１５，１７によって相互に引っ張られるレンズ層１６が釣り合う初期位置が、剛性が相対的に高い第２平行ばね１７側に相対的に引き寄せられた位置となる。そして、上記実施形態と同様に、第１平行ばね１５を構成する固定枠体１５１の一主面のＺ座標と、第２平行ばね１７を構成する固定枠体１７１の他主面のＺ座標との差、すなわち固定枠体１５１の一主面から固定枠体１７１の他主面までの厚みが比較的薄くても、レンズ層１６の移動空間を確保することができる。したがって、上記実施形態と同様に、装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、ウエハレベルで作製される移動対象物（ここでは、光学レンズ）を変位させることができる。
【０１３６】
なお、このような構成では、例えば、レンズ層１６が初期位置に配置されている場合に、カメラモジュールから近距離に存在する被写体に対して合焦し、レンズ層１６が初期位置から撮像素子層１１側に移動されると、徐々に、カメラモジュールから遠方に存在する被写体に対して合焦するようなオートフォーカス制御が実現される。このようなオートフォーカス制御は、いわゆるＱＲコードの撮影等を主に行うカメラモジュール等に適している。
【０１３７】
◎また、上記実施形態では、撮像素子層１１に設けられた電極からヒータ層への導電を、アクチュエータ層１４、赤外カットフィルタ層１３、および撮像素子ホルダ層１２の側面に設けられた薄型の導電部材（不図示）を介して行っていたが、これに限定されない。
【０１３８】
例えば、カバー２０と光学ユニット５０との隙間ＫＧを埋める接着剤を導電性を有する導電接着剤ＫＪ３（図３参照）とし、該導電接着剤をアクチュエータ層１４、赤外カットフィルタ層１３、および撮像素子ホルダ層１２の側面に渡って設けるようにしてもよい。これによれば、撮像素子層１１の電極からヒータ層への導電を、導電接着剤を介して行うことが可能になる。
【０１３９】
◎また、上記実施形態では、アクチュエータ素子１４３としてＳＭＡを用いていたが、これに限定されない。
【０１４０】
例えば、アクチュエータ素子として、例えば、無機圧電体（ＰＺＴ）または有機圧電体（ＰＶＤＦ）等の圧電体素子の薄膜（圧電体薄膜）を用いることができる。アクチュエータ素子として圧電体薄膜を用いる場合は、Ｓｉ基板上に電極、圧電体薄膜、および電極がこの順序でスパッタリング法などを用いて形成され、高電界をかけたポーリングが行われる。
【０１４１】
また、アクチュエータ素子として、いわゆるバイメタル（Bi-metallic strip）を用いてもよい。アクチュエータ素子にバイメタルを採用した場合には、ＳＭＡの代わりに、基板とは熱膨張率が異なる素材の膜を形成すればよい。つまり、梁部が、基板と、該基板上に形成され且つ該基板とは熱膨張率が異なる薄膜とを有して構成されれば良い。
【０１４２】
具体例としては、Ｓｉ製の基板の一主面側に、アルミニウムやニッケル等の金属素材の層（金属層）が形成されるような構成が挙げられる。このような構成では、ヒータ層への通電により、基板と金属層とが加熱されると、熱膨張率の差によって、梁部が変形し、該梁部の自由端が＋Ｚ方向に変位する。
【０１４３】
◎また、上記実施形態では、梁部１４１によって移動される対象物（移動対象物）が、光学レンズを含むレンズ層１６であったが、これに限られない。例えば、撮像素子などのその他の部材を移動対象物としても良い。例えば、レンズ層を固定し、上記実施形態のレンズ層１６を移動させる構成と同様な構成によって撮像素子層をＺ方向に移動させても良い。
【０１４４】
図１９は、レンズ層１６ａを固定して、該レンズ層１６ａの光軸Ａｘに沿って撮像素子層１１ａを前後に移動させる一態様の概念図を例示する図である。図１９では、撮像素子層１１ａを光軸Ａｘに沿って前後に移動させる撮像部ＰＢＡが描かれている。このような構成では、アクチュエータ層の動作に応じて撮像素子層１１ａが光軸Ａｘに沿って前後に移動されて、レンズ層１６ａと撮像素子層１１ａとの距離が変更されることで、オートフォーカス制御が実現される。
【０１４５】
このような構成によっても、上記実施形態と同様に、装置の大型化および耐久性の低下を抑制しつつ、移動対象物（ここでは、撮像素子）を変位させることができる。
【０１４６】
◎また、上記実施形態では、梁部によって移動される対象物（移動対象物）が、オートフォーカス装置を構成する光学レンズ等の部材であったが、これに限られない。例えば、移動対象物は、撮像装置において手振れ補正機構を構成する光学レンズや、光ピックアップ装置を構成する光学レンズなど、その他の光学レンズであっても良いし、更に、光学レンズ以外の種々の小型の移動対象物であっても良い。つまり、本発明は、移動対象物を移動させる小型の駆動装置一般に適用することができる。
【０１４７】
なお、手振れ補正機構としては、例えば、２つの梁部１４１の変位により、移動対象物である光学レンズが上下左右に２次元的に駆動する構成などが考えられる。
【符号の説明】
【０１４８】
１１，１１ａ  撮像素子層
１４  アクチュエータ層
１５  第１平行ばね
１６，１６ａ  レンズ層
１７  第２平行ばね
１００  携帯電話機
１１１  撮像素子
１５２，１７２  弾性部
５００  カメラモジュール
ＥＢ，ＥＢＡ  板状部材
【図１】
2010169800.tif 000003
【図２】
2010169800.tif 000004
【図３】
2010169800.tif 000005
【図４】
2010169800.tif 000006
【図５】
2010169800.tif 000007
【図６】
2010169800.tif 000008
【図７】
2010169800.tif 000009
【図８】
2010169800.tif 000010
【図９】
2010169800.tif 000011
【図１０】
2010169800.tif 000012
【図１１】
2010169800.tif 000013
【図１２】
2010169800.tif 000014
【図１３】
2010169800.tif 000015
【図１４】
2010169800.tif 000016
【図１５】
2010169800.tif 000017
【図１６】
2010169800.tif 000018
【図１７】
2010169800.tif 000019
【図１８】
2010169800.tif 000020
【図１９】
2010169800.tif 000021