(57)【要約】【課題】異種の液滴吐出ヘッドに対して一種類の配線板を共用化可能にする。【解決手段】配線群を備え、駆動ＩＣ１４１が搭載された中継配線部材１０６を介して液滴吐出ヘッドに電気的に接続可能な配線板であって、第１種の液滴吐出ヘッド１０１は駆動電極１２９、第１定電位電極１２８及び第２定電位電極１３０を備え、第２種の液滴吐出ヘッド２０１は駆動電極２２９及び第１定電位電極２３０を備え、配線群は駆動ＩＣ１４１に第１電圧を入力するための第１駆動配線１４４、駆動ＩＣ１４１に第２電圧を入力するための第２駆動配線１４３、第１定電位電極１２８，２２８に電気的に接続される第１定電位配線１４５、及び第２定電位電極１３０に電気的に接続可能な第２定電位配線１４６を有し、第２駆動配線１４３には第１ランド１６１が設けられ、第２定電位配線１４３には第２ランド１６２が設けられ、第１ランド１６１と第２ランド１６２とは互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに短絡可能になっている。【選択図】図６
2010228346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線群を備え、第１電圧と第２電圧とを選択的に出力する駆動ＩＣが搭載された中継配線部材を介して液滴吐出ヘッドに電気的に接続可能な配線板であって、
前記配線群は、二種類の液滴吐出ヘッドに対して電気的に接続可能に構成されており、
第１種の液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極と、前記第２電圧が印加される第２定電位電極とがそれぞれ圧電シートを介して積層された構成であり、
第２種の液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極とが圧電シートを介して積層された構成であり、
前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、前記第２定電位電極に電気的に接続可能な第２定電位配線と、を有し、
前記第２定電位配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが、互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに短絡可能に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド用の配線板。
【請求項２】
前記第２種の液滴吐出ヘッドは、前記第１定電位電極と電気的に接続された第１端子及び第２端子を備え、前記第１端子が前記中継配線部材を介して前記第１定電位配線と電気的に接続され、前記第２端子が前記中継配線部材を介して前記第２定電位配線と電気的に接続され、
前記第２定電位配線には第３ランドが設けられ、前記第１定電位配線には第４ランドが設けられ、前記第３ランドと前記第４ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに短絡可能に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド用の配線板。
【請求項３】
配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極と、前記第２電圧が印加される第２定電位電極とがそれぞれ圧電シートを介して積層された構成であり、
前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、前記第２定電位電極に電気的に接続される第２定電位配線と、を有し、
前記第２定電位配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設され、且つ導電材を介して互いに短絡されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
前記第２定電位配線には第３ランドが設けられ、前記第１定電位配線には第４ランドが設けられ、前記第３ランドと前記第４ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに絶縁されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記中継配線部材は、前記液滴吐出ヘッドに対して外側に引き出された一対の延在部を折り返すようにして設けられ、前記一対の延在部が互いに離れた状態で対向しており、
前記配線板は、前記一対の延在部を架け渡すようにして前記中継配線部材に重ねられており、
前記導電材が、前記配線板のうち前記中継配線部材と重ねられる側の面に形成され、かつ、前記中継配線部材の前記一対の延在部の間に配置されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極とが圧電シートを介して積層された構成であり、
前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、これら配線と並設されたダミー配線と、を有し、
前記ダミー配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて絶縁されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドは、前記第１定電位電極と電気的に接続された第１端子及び第２端子を備え、前記第１端子が前記中継配線部材を介して前記第１定電位配線と接続され、前記第２端子が前記中継配線部材を介して前記ダミー配線と接続され、
前記ダミー配線には第３ランドが設けられ、前記第１定電位配線には第４ランドが設けられ、前記第３ランドと前記第４ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに短絡されていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極とが圧電シートを介して積層された構成であり、
前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、これら配線と並設されたダミー配線と、を有し、
前記ダミー配線は前記中継配線部材上で前記第２駆動配線と電気的に接続され、
前記ダミー配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに短絡されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
前記ダミー配線には第３ランドが設けられ、前記第１定電位配線には第４ランドが設けられ、前記第３ランドと前記第４ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて絶縁されていることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記液滴吐出ヘッドは、前記第１定電位電極と電気的に接続された第１端子及び第２端子を備え、前記第１端子が前記中継配線部材を介して前記第１定電位配線と接続され、
前記中継配線部材に前記第１定電位配線に接続された並列定電位配線が設けられ、前記第２端子が前記並列定電位配線と接続されていることを特徴とする請求項８又は９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置の製造方法であって、
前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極、前記第１電圧が印加される第１定電位電極、及び前記第２電圧が印加される第２定電位電極がそれぞれ圧電シートを介して積層されてなる液滴吐出ヘッドのうち、前記駆動電極と前記第１定電位電極とで挟まれた領域、及び前記駆動電極と前記第２定電位電極とで挟まれた領域を分極する工程と、
前記配線板の前記配線群が前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線、前記第２定電位電極に電気的に接続可能な第２定電位配線を有し、前記第２定電位配線に設けられた第１ランドと前記第２駆動配線に設けられた第２ランドとを互いに電気的に接続する工程と、
前記配線板を、前記中継配線部材を介し、分極された前記液滴吐出ヘッドに電気的に接続する工程と
を有することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
【請求項１２】
配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置の製造方法であって、
前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極、前記第１電圧が印加される第１定電位電極がそれぞれ圧電シートを介して積層されてなる液滴吐出ヘッドのうち、前記駆動電極と前記第１定電位電極とで挟まれた領域を分極する工程と、
前記配線板の前記配線群が前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線、これら配線と並設されたダミー配線を有し、前記第２ダミー配線に設けられた第１ランドと前記第２駆動配線に設けられた第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて絶縁されたままとなっている配線板を、前記中継配線部材を介し、分極された前記液滴吐出ヘッドと電気的に接続する工程と
を有することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴吐出ヘッドに接続される配線板、該配線板と液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置、及び該液滴吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドには、圧電シートを積層してなる圧電式のアクチュエータを備えたものがある。圧電式のアクチュエータ内には異なる電位が印加される複数種の電極が設けられており、該電極間の電位差に基づき電極で挟まれた活性領域が変形可能となっている。アクチュエータはインクが流れる流路ユニットに重ねて設けられ、活性領域の変形によって流路ユニットに構成された圧力室内のインクに吐出圧力が付与される。
【０００３】
アクチュエータの表面には各種電極と電気的に導通している電極端子が設けられており、このアクチュエータの表面には配線部材が重ねて設けられる。配線部材には、各電極端子に所定の電位を付与するための配線群が設けられている。これら配線群の各端部に形成された配線端子を電極端子と電気的に導通させることによって、配線群を介してアクチュエータの電極に所定の電位を印加可能となる。
【０００４】
例えば特許文献１に開示されるアクチュエータには、定電位としてグランド電位が印加される定電位電極と、インク吐出を要しない待機時にはグランド電位が印加される一方、インク吐出を要する駆動時には高電位が印加される駆動電極とが設けられている。従って、アクチュエータの表面にはこれら電極に合わせて定電位電極端子及び駆動電極端子が設けられ、配線部材には定電位電極端子にグランド電位を付与するための配線と、駆動電極端子にグランド電位及び高電位を選択的に付与するための配線とが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１９６５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようにインクジェットヘッド用の配線部材に設けられる配線群は、アクチュエータに何種類の電極が設けられているのかに基づいて設計される。このため、特許文献１に開示されるような２種の電極を有するインクジェットヘッドに好適に用いられる配線部材を、３種以上の電極が設けられているインクジェットヘッドに対してそのまま適用することが難しい。逆も同じであり、例えば３種以上の電極を有するインクジェットヘッドに好適に用いられる配線部材を、２種の電極を有するインクジェットヘッドにそのまま適用することが難しいと考えられる。インクジェットヘッドの仕様に応じて異なる配線部材を準備しておくとなれば、インクジェットプリンタの製造効率が悪くなってコスト増に繋がってしまう。
【０００７】
そこで本発明は、異種の液滴吐出ヘッドに対して共用可能な配線板を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液滴吐出ヘッド用の配線板は、配線群を備え、第１電圧と第２電圧とを選択的に出力する駆動ＩＣが搭載された中継配線部材を介して液滴吐出ヘッドに電気的に接続可能な配線板であって、前記配線群は、二種類の液滴吐出ヘッドに対して電気的に接続可能に構成されており、第１種の液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極と、前記第２電圧が印加される第２定電位電極とがそれぞれ圧電シートを介して積層された構成であり、第２種の液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極とが圧電シートを介して積層された構成であり、前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、前記第２定電位電極に電気的に接続可能な第２定電位配線と、を有し、前記第２定電位配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが、互いに離隔した状態で対となるように並設されて互いに短絡可能に形成されていることを特徴としている。
【０００９】
本発明に係る第１の液滴吐出装置は、配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極と、前記第２電圧が印加される第２定電位電極とがそれぞれ圧電シートを介して積層された構成であり、前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、前記第２定電位電極に電気的に接続される第２定電位配線と、を有し、前記第２定電位配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設され、且つ導電材を介して互いに短絡されていることを特徴としている。
【００１０】
本発明に係る第２の液滴吐出装置は、配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドは、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極と、前記第１電圧が印加される第１定電位電極とが圧電シートを介して積層された構成であり、前記配線群は、前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線と、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線と、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線と、これら配線と並設されたダミー配線と、を有し、前記ダミー配線には第１ランドが設けられ、前記第２駆動配線には第２ランドが設けられ、前記第１ランドと前記第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて絶縁されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明に係る第１の液滴吐出装置の製造方法は、配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置の製造方法であって、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極、前記第１電圧が印加される第１定電位電極、及び前記第２電圧が印加される第２定電位電極がそれぞれ圧電シートを介して積層されてなる液滴吐出ヘッドのうち、前記駆動電極と前記第１定電位電極とで挟まれた領域、及び前記駆動電極と前記第２定電位電極とで挟まれた領域を分極する工程と、前記配線板の前記配線群が前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線、前記第２定電位電極に電気的に接続可能な第２定電位配線を有し、前記第２定電位配線に設けられた第１ランドと前記第２駆動配線に設けられた第２ランドとを互いに電気的に接続する工程と、
前記配線板を、前記中継配線部材を介し、分極された前記液滴吐出ヘッドに電気的に接続する工程とを有することを特徴としている。
【００１２】
本発明に係る第２の液滴吐出装置の製造方法は、配線群を有する配線板と、第１電圧及び第２電圧を選択的に出力する駆動ＩＣが搭載され、前記配線板に電気的に接続された中継配線部材と、前記中継配線部材と電気的に接続された液滴吐出ヘッドとを備える液滴吐出装置の製造方法であって、前記駆動ＩＣにより前記第１電圧と前記第２電圧とが選択的に印加される駆動電極、前記第１電圧が印加される第１定電位電極がそれぞれ圧電シートを介して積層されてなる液滴吐出ヘッドのうち、前記駆動電極と前記第１定電位電極とで挟まれた領域を分極する工程と、前記配線板の前記配線群が前記駆動ＩＣに前記第１電圧を入力するための第１駆動配線、前記駆動ＩＣに前記第２電圧を入力するための第２駆動配線、前記第１定電位電極に電気的に接続される第１定電位配線、これら配線と並設されたダミー配線を有し、前記第２ダミー配線に設けられた第１ランドと前記第２駆動配線に設けられた第２ランドとが互いに離隔した状態で対となるように並設されて絶縁されたままとなっている配線板を、前記中継配線部材を介し、分極された前記液滴吐出ヘッドと電気的に接続する工程とを有することを特徴としている。
【００１３】
このように、配線板を、３種の電極を備えた液滴吐出ヘッドに電気的に接続させる場合には、第１ランドと第２ランドとを互いに導通させる一方、２種の電極を備えた液滴吐出ヘッドに電気的に接続させる場合には、第１ランドと第２ランドと互いに導通させずに第２定電位配線をダミー配線等とすることにより、二種類の液滴吐出ヘッドに対して一種類の配線板を共用化することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、異種の液滴吐出ヘッドに対して一種類の配線板を共用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る液体吐出装置の実施形態として例示するヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】（ａ）が第１種ヘッドの平面図、（ｂ）が図２（ａ）のb−b線に沿って切断して示す第１種ヘッドの部分断面図である。
【図３】（ａ）が第１形態の第２種ヘッドの平面図、（ｂ）が図３（ａ）のb−b線に沿って切断して示す第１形態の第２種ヘッドの部分断面図である。
【図４】（ａ）が第１形態の配線板の平面図、（ｂ）が図４（ａ）のb−b線に沿って切断して示す第１形態の配線板の部分断面図である。
【図５】（ａ）が第１種ヘッドと第１形態の配線板とを備えた第１実施形態に係るヘッドユニットの製造工程を示すフロー図、（ｂ）が第１形態の第２種ヘッドと第１形態の配線板とを備えた第２実施形態に係るヘッドユニットの製造工程を示すフロー図である。
【図６】（ａ）が第１実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図、（ｂ）が第２実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図である。
【図７】（ａ）が第２形態の第２種ヘッドの平面図、（ｂ）が図７（ａ）のb−b線に沿って切断して示す第２形態の第２種ヘッドの部分断面図である。
【図８】（ａ）が第２形態の配線板の平面図、（ｂ）が図８（ａ）のb−b線に沿って切断して示す第２形態の配線板の部分断面図である。
【図９】（ａ）が第１種ヘッドと第２形態の配線板とを備えた第３実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図、（ｂ）が第２形態の第２種ヘッドと第２形態の配線板とを備えた第４実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図である。
【図１０】（ａ）が第２形態のＣＯＦの模式的配線図、（ｂ）が第３形態のＣＯＦの模式的配線図である。
【図１１】（ａ）が第１形態の第２種ヘッドと第３形態の配線板とを備えた第５実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図、（ｂ）が第１形態の第２種ヘッドと第４形態の配線板とを備えた第６実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図、（ｃ）が第２形態の第２種ヘッドと第５形態の配線板とを備えた第７実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図、（ｄ）が第１形態の第２種ヘッドと第６形態の配線板とを備えた第８実施形態に係るヘッドユニットの模式的配線図である。
【図１２】インクジェットヘッドに第７形態の配線板を備えてなる第９実施形態に係るヘッドユニットの斜視図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII矢視図であり、（ａ）が導電材設置部をアクチュエータ側に設けた場合を示す矢視図であり、（ｂ）が導電材設置部をアクチュエータと反対側に設けた場合を示す矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下これら図面を参照しながら本発明の複数の実施形態を説明する。各実施形態で共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を適宜省略する。
【００１７】
［ヘッドユニット］
図１に、本発明に係る液滴吐出装置の実施形態として、インクジェットプリンタに搭載されるヘッドユニットを例示している。なお、ヘッドユニットよりインクが吐出する方向を下方として説明する。
【００１８】
図１に示すヘッドユニットは、流路ユニット２に上側からアクチュエータ３を重ねてなるインクジェットヘッド１と、インクジェットヘッド１に上側から重ねられる配線板４とを備えている。アクチュエータ３の上面には、その内部に配された複数の内部電極と電気的に接続された複数の電極端子５が設けられており、配線部材４はその下面に露出する配線端子（図示せず）を電極端子５に電気的に導通させるようにしてアクチュエータ３の上面側に接合される。これにより配線部材４及び電極端子５を介してアクチュエータ３の内部電極に所定電位を付与することができ、アクチュエータ３は流路ユニット２内のインクを下方に吐出させるよう動作可能になる。配線部材４はアクチュエータ３に接合されるＣＯＦ（Chip On film）６と、ＣＯＦ６に接続されるフレキシブル配線板（以下「ＦＰＣ」と呼ぶ）７とを備え、ＦＰＣ７はインクジェットヘッド１から見て遠位の制御基板（図示せず）に接続される。ＣＯＦ６及びＦＰＣ７は何れも可撓性を有したシート状又はフィルム状に形成されており、半田付等の手法を用いて互いに接合されている。なお、ここでいう「ＣＯＦ」は、チップ状の駆動ＩＣだけでなく、この駆動ＩＣを実装するフィルム状の基板も含む概念であり、ＦＰＣとアクチュエータ３との間を中継する配線部材の概念である。
【００１９】
電極端子５の態様はアクチュエータ３の構成に応じて変わる。図２，図３及び図７に示すアクチュエータ１０３，２０３，３０３はいずれも図１に示すアクチュエータ３に適用され得るが、図２のアクチュエータ１０３は３種類の内部電極及び３種類の電極端子を有し、図３のアクチュエータ２０３は２種類の内部電極及び２種類の電極端子を有し、図７に示すアクチュエータ２０３は２種類の内部電極及び３種類の電極端子を有する。他方、配線部材４は、互いに電極端子５の態様が異なる複数種のアクチュエータに対して共用され得る構成になっている。なお、図２に示す３種類の内部電極を有したアクチュエータを「第１種アクチュエータ」、図３及び図７に示す２種類の内部電極を有したアクチュエータを「第２種アクチュエータ」と呼び、第１種アクチュエータを備えるインクジェットヘッドを「第１種ヘッド」、第２種アクチュエータを備えるインクジェットヘッドを「第２種ヘッド」と呼ぶ。
【００２０】
本実施形態の説明においては、１形態の第１種アクチュエータ１０３（図２参照）及び２形態の第２種アクチュエータ２０３，３０３（図３，図７参照）を例示する。また、４形態のＣＯＦ１０６，２０６，…４０６（図４，図１０（ａ），図１０（ｂ），図１２参照）及び３形態のＦＰＣ１０７，２０７，３０７（図４，図８，図１２参照）を例示し、その組み合わせとして７形態の配線部材１０４，２０４，…７０４（図４，図８，図１１（ａ）〜（ｄ），図１２参照）を例示する。これらを適宜組み合わせて第１乃至第９実施形態に係るヘッドユニット（図６（ａ），図６（ｂ），図９（ａ），図９（ｂ），図１１（ａ）〜（ｄ），図１２参照）が構成される。第１種及び第２種のアクチュエータに共通する事項を説明する際には単に「アクチュエータ３」と呼び、各配線部材１０４，２０４，…７０４に共通する事項を説明する際には単に「配線部材４」と呼ぶこととする。
【００２１】
各実施形態のヘッドユニットにおいて流路ユニットは共通である。例えば図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、流路ユニット２は複数枚のプレートの積層体であり、その上面には外部のインク供給源（図示せず）からのインクを導入するインク導入口１１が開口し、下面にはインクを下方に吐出するためのノズル１２が開口している。各プレートに形成された開口及び溝が互いに連通することにより、流路ユニット２内にはインク導入口１１からノズル１２にインクを導くインク流路１３が形成される。インク流路１３は、各インク導入口１１と連通する共通インク室１４、共通インク室１４から分岐する複数の接続流路１５、各接続流路１５に連通する複数の圧力室１６、及び各圧力室１６に連通する複数の流出路１７を有し、各流出路１７の下端にノズル１２が個別に連通している。圧力室１６は、流路ユニット２の上面に開口する圧力室孔１８がアクチュエータ３の下面で閉鎖されることで構成され、図２紙面直交方向に複数の列をなしている。そのため、共通インク室１４も同方向に延在しており、ノズル１２、流出路１７及び接続流路１５も同方向に複数の列をなすようにして配置されている。
【００２２】
［第１・第２実施形態］
第１実施形態に係るヘッドユニットは、図２に示す第１種ヘッド１０１に図４に示す第１形態の配線部材１０４を接続してなる。第２実施形態に係るヘッドユニットは、図３に示す第１形態の第２種ヘッド２０１に図４に示す第１形態の配線部材１０４を接続してなる。つまり、第１及び第２実施形態において配線部材が共通となっている。
【００２３】
図２（ｂ）に示すように、第１種アクチュエータ１０３は３枚の圧電シート１２１〜１２３の積層体である。最下層の圧電シート１２１と中間層の圧電シート１２２との間には各圧力室１３に対して共通の第１定電位電極１２８が介在し、最上層の圧電シート１２３の上面には各圧力室１６に個別の駆動電極１２９が設けられる。中間層の圧電シート１２２と最上層の圧電シート１２３との間には各圧力室に対して共通の第２定電位電極１３０が介在している。図２（ｂ）の記載では、第２定電位電極１３０が隣接する２個の圧力室１６に対応して個別に設けられているように示されているが、これら２箇所に離隔配置されている２つの第２定電位電極１３０は図示しない領域で互いに導通している。
【００２４】
図２（ａ）に示すように、第１種アクチュエータ１０３上面の電極端子１０５には、第１定電位電極１２８、駆動電極１２９及び第２定電位電極１３０と夫々導通する第１定電位電極端子１３１、駆動電極端子１３２、及び第２定電位電極端子１３３が含まれる。第１定電位電極端子１３１及び第２定電位電極端子１３３は上下に延びるスルーホール（図示せず）を介して第１定電位電極１２８及び第２定電位電極１３０に夫々導通している。駆動電極端子１３２は駆動電極１２９に連設される。
【００２５】
配線部材４を介して電極端子１０５に所定電位が付与されることにより、第１定電位電極１３１には定電位としてグランド電位が印加され、第２定電位電極１３０には定電位として所定の高電位（例えば２８Ｖ）が印加される。駆動電極１２２にはインク吐出を要しない待機時にグランド電位が付与される一方、インク吐出を要する駆動時に所定の高電位（例えば２８Ｖ）が印加される。
【００２６】
図２（ｂ）に示すように、駆動電極１２９は平面視において対応する圧力室１６と略完全に重なるようにして配置され、第２定電位電極１３０は平面視で投影したときに駆動電極１２９の内側領域に配置される。第１定電位電極１２８は平面視で投影したときに圧力室１６を完全に覆うようにして配置されている。このため、第１種アクチュエータ１０３には、駆動電極１２９と第１定電位電極１２８とで挟まれた第１活性部１３４と、駆動電極１２９と第２定電位電極１３０とで挟まれた第２活性部１３５とが形成され、第２活性部１３５が第１活性部１３４で外囲されるようにして配置される。
【００２７】
かかる第１種アクチュエータ１０３を備える第１種ヘッド１０１によると、待機時には第１活性部１３４が変形しない一方、第２活性部１３５が変形して最下層の圧電シート１２１を圧力室１６側に突出させる。ここでインク吐出のため駆動電極１２９に高電位が印加されると、第１活性部１３４が変形する一方、第２活性部１３５が変形状態から復帰する。これにより圧力室１６内が負圧になって共通インク室１４からインクが圧力室１６内へと供給される。次いで駆動電極１２９にグランド電位が再印加されると、第１活性部１３４が変形状態から復帰する一方、第２活性部１３５が再び変形して最下層の圧電シート１２１を圧力室１１側に突出させる。これにより、圧力室１６内のインクに吐出圧力が付与され、該インクがノズル１２より下方に吐出される。また、第１活性部１３４に対する電圧の印加と非印加との切替により第１活性部１３４の圧電層が変形するが、第２活性部１３５の圧電層が変形することで、第１活性部１３４の圧電層の変形が隣接する圧力室に伝播するのを抑制するように第２活性部１３５に対する電圧の印加と非印加とを切り替えられるので、クロストークの抑制効果が得られる。
【００２８】
図３（ｂ）に示すように、第１形態の第２種アクチュエータ２０３は、複数枚の圧電シート２２１〜２２６の積層体の上面に樹脂製のトップシート２２７を重ねてなる。下から数えて奇数枚目の圧電シート２２１，２２３，２２５の上面には各圧力室１６に対して共通の定電位電極２２８が設けられ、下から数えて偶数枚目の圧電シート２２２，２２４の上面には各圧力室１６に個別の駆動電極２２９が設けられている。駆動電極２２９は平面視において対応する圧力室１６と略完全に重なるように配置されている。よって、各圧力室１６の上方には定電位電極２２８と駆動電極２２９とが交互に配置されていくこととなる。
【００２９】
図３（ａ）に示すように、第２種アクチュエータ２０３の上面に設けられた電極端子２０５には、定電位電極２２８及び駆動電極２２９と夫々導通する定電位電極端子２３１及び駆動電極端子２３２が含まれる。定電位電極端子２３１は上下に延びるスルーホール（図示せず）を介して定電位電極２２８に導通している。駆動電極端子２３２も上下に延びるスルーホール（図示せず）を介し、対応する圧力室１１上に積層されている各駆動電極２２９に導通している。配線部材４を介して電極端子２０５に所定電位が付与されることにより、定電位電極２２８には定電位としてグランド電位が印加され、駆動電極２２９にはインク吐出を要しない待機時にグランド電位が付与される一方、インク吐出を要する駆動時に所定の高電位（例えば２８Ｖ）が印加される。
【００３０】
図３（ｂ）に示すように、第２種アクチュエータ２０３には、駆動電極２２２と定電位電極２２１とで挟まれた複数の活性部２３４が上下に並ぶようにして形成される。
【００３１】
かかる第２種アクチュエータ２０３を備えた第２種ヘッド２０１によると、待機時には活性部２３４が変形しない。インク吐出のため駆動電極２２９に高電位が印加されると、活性部２３４が変形して最下層の圧電シート２２１を圧力室１６内に突出させる。これにより、圧力室１６内のインクに吐出圧力が付与され、該インクがノズル１２より下方に吐出される。駆動電極２２９にグランド電位が再印加されると、活性部２２３が変形状態から復帰する。これにより圧力室１６内が負圧になって共通インク室１４からインクが圧力室１６内へと供給される。第２種アクチュエータ２０３は、第１種アクチュエータ１０３（図２参照）のようにクロストークの抑制等の機能が付加されているものではないが、電極が少ないため、生産性が良く低コストである。
【００３２】
なお、第１種及び第２種アクチュエータ１０３，２０３の各平面視形状は、略同寸法の矩形状である。第１種アクチュエータ１０３の第１及び第２定電位電極端子１３１，１３３と、第２種アクチュエータ２０３の定電位電極端子２３１とは何れも、アクチュエータ上面の２つの長辺縁に沿って設けられている。そのため、第１種アクチュエータ１０３を第２種アクチュエータ２０３に平面視で投影すると、第１及び第２定電位電極端子１３１，１３３が配置される領域と、定電位電極端子２３１が配置される領域とが重なる。第１定電位電極端子１３１と第２定電位電極端子１３３とは互いに微少距離をおいて短辺方向に離れて配置されている。
【００３３】
図４に示すように、第１形態の配線部材１０４は、第１形態のＣＯＦ１０６と第１形態のＦＰＣ１０７とが接合されてなり、全体として帯状に形成されている。ＣＯＦ１０６にはインク吐出を要する駆動時に駆動用の信号を出力する駆動ＩＣ１４１が実装されている。駆動ＩＣ１４１は長手方向と直交する方向（以下これを「幅方向」と呼ぶ）に延びる端縁であってＦＰＣ１０７と接合される端縁に沿って配置されており、駆動ＩＣ１４１からはＣＯＦ１０６の中央部に向けて複数の個別駆動配線１４２が延びている。各個別駆動配線１４２の端部には図示しない複数の個別配線端子が形成されており、各個別駆動配線端子は第１種又は第２種アクチュエータの駆動電極端子１３２，２３２と電気的に導通され得る。
【００３４】
配線部材１０４に設けられる配線群には更に、第１駆動配線１４３、第２駆動配線１４４、第１定電位配線１４５、及び第２定電位配線１４６が含まれる。
【００３５】
第１駆動配線１４３は駆動ＩＣ１４１にグランド電位を供給するための配線であり、ＦＰＣ１０７上にＦＰＣ１０７の幅方向に延在するよう設けられた一対の配線１４７，１４７と、ＣＯＦ１０６上の配線１４８とが接続されてなる。一対の配線１４７はＦＰＣ１０７の延在方向と平行に延びている。配線１４８は、駆動ＩＣ１４１下を通過するよう平面視でコの字状に配置され、各配線１４７の端部同士をＣＯＦ１０６上で接続しており、駆動ＩＣ１４１に対して幅方向両側から配線１４８からの電圧が供給されるため駆動ＩＣ１４１内において電圧降下が起きないようになっている。また、配線１４８は、駆動ＩＣ１４１の下面に形成されている図示しない端子部と接続されている。
【００３６】
第２駆動配線１４４は駆動ＩＣ１４１に電源電位（例えば２８Ｖ）を供給するための配線であり、ＦＰＣ１０７上にＦＰＣ１０７の幅方向に延在するよう設けられた一対の配線１４９，１４９とＣＯＦ１０６上の配線１５０とが接続されてなる。一対の配線１４９，１４９もＦＰＣ１０７の長手方向と平行に延びており、第１駆動配線１４３の配線１４７，１４７に対してＦＰＣ１０７の長手方向と直交する方向（以下これを「幅方向」と呼ぶ）の外側に配置されている。配線１５０は駆動ＩＣ１４１下を通過するよう平面視でコの字状に配置され、各配線１４９の端部同士をＣＯＦ１０６上で接続しており、駆動ＩＣ１４１に対して幅方向両側から配線１５０からの電圧が供給されるため駆動ＩＣ１４１内において電圧降下が起きないようになっている。また、配線１５０は、駆動ＩＣ１４１の下面に形成されている図示しない端子部と接続されている。
【００３７】
一対の第１定電位配線１４５が配線部材１０４の幅方向に分かれて設けられている。各第１定電位配線１４５は、ＦＰＣ１０７上の配線１５１と、ＣＯＦ１０６上の配線１５２とが接続されてなり、駆動ＩＣ１４１に対し配線部材１０４の幅方向最外側を配線部材１０４の長手方向に沿って延在している。ＣＯＦ１０６上の配線１５２の端部には、アクチュエータの電極端子１３１，２３１と電気的に導通され得る第１定電位配線端子１５３が設けられている。ＦＰＣ１０７上の配線１５１は、第２駆動配線１４４をなす配線１４９の幅方向外側に配置されている。配線１５１の端部は、配線１４９を跨ぐジャンパ線１５４を介して第１駆動配線１４３の配線１４７と接続されている。よって、第１定電位配線１４５は第１駆動配線１４３と同様にしてグランド電位を付与するための配線として機能する。第１定電位配線１４５が幅方向両側に対をなして設けられていことにより、アクチュエータに対して幅方向両側から第１定電位配線１４５からの電圧を供給することができるため、アクチュエータ内での電圧降下による影響を小さくすることができる。なお、ジャンパ線１５４については、公知のジャンパ部材やジャンパチップを用いて接続されていても良いし、作業性を良くする観点から、ＦＰＣ１０７を基材部の両面に配線を形成することができる両面ＦＰＣを用い、配線１４７の裏面側に配線１５４を形成してスルーホール等で電気的に接続して行ってもよい。
【００３８】
一対の第２定電位配線１４６が配線部材１０４の幅方向に分かれて設けられている。各第２定電位配線１４６は、ＦＰＣ１０７上の配線１５５と、ＣＯＦ１０６上の配線１５６とが接続されてなり、配線部材１０４の幅方向に関して第１定電位配線１４５の内側であって駆動ＩＣ１４１の外側を配線部材１０４の長手方向に沿って延在している。ＣＯＦ１０６上の配線１５６の端部には、アクチュエータの電極端子と電気的に導通され得る第２定電位配線端子１５７が設けられている。
【００３９】
第２定電位配線１４６をなすＦＰＣ１０７上の配線１５５は、第１定電位配線１４５をなす配線１５１と第２駆動配線１４４をなす配線１４９との間に挟まれている。配線１５５及び配線１４９には、互いを短絡させるための導電材設置部１５８が設けられている。なお、第２定電位配線１４６も、幅方向両側に対をなして設けられており、アクチュエータに対して幅方向両側から第２定電位配線からの電圧を供給することができ、アクチュエータ内での電圧降下による影響を小さくすることができる。
【００４０】
図４（ｂ）に示すように、ＦＰＣ１０７は、その表面に配線１４７，１４９，１５１，１５５が形成されるポリイミドなどの樹脂製の基板部１５９と、基板部１５９の表面を被覆する絶縁性を有したレジスト部１６０とを備えている。導電材設置部１５８では、レジスト部１６０が部分的に切り欠かれており、配線１４９，１５５を部分的にレジスト部１６０外に露出させている。これら配線１４９及び配線１５５の各露出部の上には、導電性を有した第１ランド１６１及び第２ランド１６２が夫々設けられている。第１ランド１６１及び第２ランド１６２は配線部材１０４の幅方向に近接するものの離隔して離隔して対をなすよう並設され、基板部１５９の表面を介して絶縁されている。第１ランド１６１及び第２ランド１６２に跨るようにして半田等の導電材１６３を設置したときに、２つの配線１４９，１５５間を短絡することができる。この短絡がなされると、第２定電位配線１４６は、第２駆動配線１４４と同様にして高電位（例えば２８Ｖ）を付与するための配線として機能することになる。
【００４１】
第１実施形態に係るヘッドユニットは、図５（ａ）に示すフローに沿って製造され、図６（ａ）に示す配線構造を有する。その製造に際しては、流路ユニット２に第１種アクチュエータ１０３を重ねて第１種ヘッド１０１を組付け（工程Ｓ１）、第１種ヘッド１０１に第１形態のＣＯＦ１０６を接続し（工程Ｓ２）、第１種アクチュエータ１０３を分極する（工程Ｓ３）。同時的に、第１形態のＦＰＣ１０７を準備し、導電材設置部１５８に導電材１６３を設置して第１及び第２ランド１６１，１６２間を短絡する（工程Ｓ６）。そして、分極工程Ｓ３終了後の第１種ヘッド１０１に接続された第１形態のＣＯＦ１０６と、短絡工程Ｓ６終了後の第１形態の配線部材１０４とを接続する（工程Ｓ１０）。これにより第１実施形態に係るヘッドユニットが製造される。
【００４２】
なお、圧電アクチュエータの製造時に分極工程が必要なのは、活性部となるべき圧電層をインクを吐出させる駆動部として機能させるためである。この分極工程においては、駆動ＩＣを介して電圧が印加されることで、駆動ＩＣの規定電圧値を超して破壊されてしまうことがあるため、圧電アクチュエータを分極させる段階では両者が独立している方が都合がよい。これに対して分極後においては、インクジェットヘッドを駆動させるために両配線は短絡させておくことが望ましい。そのため、分極処理前後で配線の短絡の切替が必要となる。
【００４３】
ここで分極処理について、第１種アクチュエータを例に説明する。未分極の圧電アクチュエータにおいて、複数の活性部（電極部）に対して分極処理を行う必要があるため、本実施形態においては、第１形態のＣＯＦ１０６（図４（ａ）参照）と第１種ヘッド１０１を接合後、ＣＯＦ１０６を分極装置に接続して、ＣＯＦ１０６の配線を介して分極用の電圧を印加することで一括して分極処理が行う。ＣＯＦ１０６に接続された未分極のアクチュエータにおいては、約１００度の雰囲気下において第１及び第２定電位電極１２８，１３０と駆動電極１２９とに高電位差を生じさせることにより、第１及び第２活性部１３４，１３５の分極が行われる。例えば、図２（ｂ）においては、第２定電位電極に３６Ｖ、駆動電極に０Ｖの電位を夫々かけることにより、第２活性部１３５には高電圧が付与されて第２活性部１３５が上向きに分極する。そして、例えば第２定電位電極に２８Ｖ、第１定電位電極に−６０Ｖ、駆動電極に２８Ｖの電位を夫々かけることにより、第１活性部１３４と、最下層の圧電シート１２１における第１及び第２定電位電極１２８，１３０で挟まれた部位が下向きに分極する。これで分極工程が終了する。そして、分極装置からＣＯＦ１０６を外したのち、ＣＯＦ１０６に第１形態のＦＰＣ１０７（図４（ａ）参照）を接続する。このとき、第１定電位配線１４５は第１駆動配線１４３と既にジャンパ線１５４を介して接続されているため、ＦＰＣ１０７をＣＯＦ１０６に接続した時点で両配線１４３，１４５の短絡がなされる。その後、第２駆動配線１４４と第２定電位配線１４６とを短絡させるための導電材設置部１５８に導電材を設置することにより、これら配線１４４，１４６を互いに短絡させる。
【００４４】
導電材設置部１５８を介して第２駆動配線１４４と第２定電位配線１４６とを短絡した状態で分極工程を行うと、第２駆動配線１４４と第２定電位配線１４６とが同電位となるため、駆動ＩＣ１４１には第２駆動配線１４４を介し、第２定電位電極１３０に印加される３６Ｖの高電圧が付与される。駆動ＩＣ１４１の最大定格電圧は一般に、駆動ＩＣ自体の電源電圧とアクチュエータ駆動用の電源電圧とに基づいて規定されるため、導電材設置部１５８を介した配線１４４，１４６の短絡がなされている状態で分極すると、駆動ＩＣ１４１には最大定格電圧を超える高電圧が付与され、駆動ＩＣ１４１の破壊を招く。同様に、第１定電位配線１４５と第１駆動配線１４３とが同電位となるため、第１駆動配線１４３を介して最大定格電圧を超える６０Ｖの高電位が駆動ＩＣ１４１に付与され、駆動ＩＣ１４１の破壊を招くおそれがある。そのため、ＣＯＦ１０６が接合されたアクチュエータの分極を終了した後に、ＦＰＣ１０７を接続するだけで、第１駆動配線１４３と第１定電位配線１４５との短絡、及び第２駆動配線１４４と第２定電位配線１４６との短絡が行われ得るようになっている。
【００４５】
なお、本実施形態では、この分極工程において、各電極にかかる分極に必要な電圧が駆動ＩＣ１４１の最大定格電圧を超えるため、両短絡配線を分極工程後に短絡させるように構成しているが、アクチュエータの種類や電圧によって必ずしも両方の配線を短絡させる必要はなく、例えば、第２活性部１３５を分極させるときに、駆動ＩＣ１４１の最大定格電圧３３Ｖであると、第２定電位電極１３０には３０Ｖ、駆動電極１２９には０Ｖの電位をかけて第２活性部１３５を分極させることができれば、駆動ＩＣ１４１の最大定格電圧を超えないように分極させることができる。このような場合であれば、分極工程の前後で短絡の切替えることはなく、分極工程前に短絡させてもよい。
【００４６】
第１形態のＦＰＣ１０７によれば、第１定電位配線１４５と第１駆動配線１４３とは予めジャンパ線１５４で接続されているため、ＦＰＣ１０７をＣＯＦ１０６に接続した時点で両者は短絡される。よって、短絡のために半田を設置するなどの作業が不要となり、製造効率が向上する。第１定電位配線１４５と第１駆動配線１４３との短絡箇所、及び第２定電位配線１４６と第２駆動配線１４４との短絡箇所は何れも、駆動ＩＣ１４１から可及的に近づけることによって電圧降下の影響を小さくしている。よって、第１定電位配線１４５と第１駆動配線１４３との短絡のために半田等の導電材を設置する必要がないため、第２定電位配線１４５と第２駆動配線１４４とを短絡するために導電材設置部１５８に設置した導電材１６３が半田ブリッジを生じさせることもない。
【００４７】
なお、第１種アクチュエータ１０３を例にして分極工程を説明したが、第２種アクチュエータ２０３も同様に分極工程が行われるため、その説明は割愛する。第２種アクチュエータ２０３においても、駆動ＩＣの最大定格電圧を超えるような分極用の高電圧が各電極に印加されるため、分極工程前後で短絡を切り替える必要がある。
【００４８】
図６（ａ）に示すように、接続工程Ｓ１０においては、第１定電位配線端子１５３と第１定電位電極端子１３１とが電気的に導通し、第２定電位配線端子１５７と第２定電位配線端子１３３とが電気的に導通される。このため、第１定電位配線１４５は、第１定電位電極１２８にグランド電位を定電位として付与するための配線（ＣＯＭ）として機能し、第２定電位配線１４６は、第２定電位電極１３０に所定高電位（例えば２８Ｖ）を定電位として付与するための配線（ＶＣＯＭ）として機能する。よって、このヘッドユニットの第１種ヘッド１０１は前述したように動作してインクを吐出可能となる。
【００４９】
第２実施形態に係るヘッドユニットは図５（ｂ）に示すフローに沿って製造され、図６（ａ）に示す配線構造を有する。第２実施形態に係るヘッドユニットは、流路ユニット２に第１形態の第２種アクチュエータ２０３を重ねて第２種ヘッド２０１を組付け（工程Ｓ１）、第２種ヘッド２０１に第１形態のＣＯＦ１０６を接続し（工程Ｓ２）、第２種アクチュエータ２０３を分極する（工程Ｓ３）。そして、導電材設置部１５８に導電材を設置せず、第１及び第２ランド１６１，１６２間を絶縁したままにしておき、分極工程Ｓ３終了後の第２種ヘッド２０１に接続されているＣＯＦ１０６と、第１形態のＦＰＣ１０７とを接続する（工程Ｓ１０）。これにより第２実施形態に係るヘッドユニットが製造される。
【００５０】
図６（ａ）に示すように、接続工程Ｓ１０においては、第１定電位配線端子１５３と定電位電極端子２３１とが電気的に導通するが、第２定電位配線端子１５７はオープンになっている（白抜丸印参照）。このため、第１定電位配線１４５は、定電位電極２２８にグランド電位を定電位として付与するための配線（ＣＯＭ）として機能する。他方、第２定電位配線１４６は、配線部材１０４内の他の配線と絶縁されていると共に導通する相手方の電極端子が無いため、ダミー配線として機能する。また、導電材設置部１５８には、半田等の導電材１６３が設置されない。よって、このヘッドユニットの第１種ヘッド１０１は前述したように動作してインクを吐出可能となる。
【００５１】
このように、第１形態の配線部材１０４においては、アクチュエータの電極に定電位を付与可能に構成された第２定電位配線１４６が、駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための第２駆動配線１４４と短絡可能となっている。このため、これら配線１４４，１４６を短絡するか否かを選択することによって、所定高電位が定電位として印加されるべき電極を有する第１種ヘッド１０１、及びこのような電極を有しない第２種ヘッド２０１に対して配線部材１０４を共用することができるようになり、例えば、ヘッドユニットを生産するにあたり、機能が異なる第１種ヘッド１０１と第２種ヘッド２０１とを、品質、コスト、生産性を考慮して、２種類のヘッドを切り替えて生産する場合でも、配線部材１０４は共用化できるため、生産ラインの変更など生産効率に影響を少なくできる。
【００５２】
［第３・第４実施形態］
次に、第３及び第４実施形態について説明する。第３実施形態に係るヘッドユニットは、図２に示す第１種ヘッド１０１に図８に示す第２形態の配線部材２０４を接続してなる。第４実施形態に係るヘッドユニットは、図７に示す第２形態の第２種ヘッド３０１に図８に示す第２形態の配線部材２０４を接続してなる。つまり、第３及び第４実施形態において配線部材が共通となっている。
【００５３】
第２形態の第２種アクチュエータ３０３の内部構造は第１形態と同じである（図３（ｂ）及び図７（ｂ）参照）。図７（ａ）に示すように第２形態の第２種アクチュエータ３０３の上面に設けられた電極端子３０５には、第１形態と同様にして駆動電極２２９と導通する駆動電極端子２３２が含まれると共に、定電位電極２２８と導通する第１定電位電極端子３３１及び第２定電位電極端子３３２とが含まれる。各定電位電極端子３３１，３３２は、上下に延びるスルーホール（図示せず）を介して定電位電極２２８に導通している。
【００５４】
図２を併せて参照すると、第２形態の第２種アクチュエータ３０３の平面視形状は、第１種アクチュエータ１０３と略同寸である。また、第１種アクチュエータ１０３を第２形態の第２種アクチュエータ３０３に平面視で投影すると、第１及び第２定電位電極端子１３１，１３３が配置される領域と、第１及び第２定電位電極端子３３１，３３２が配置される領域とが重なるようになっている。
【００５５】
図８に示すように、第２形態の配線部材１０４は、図４（ａ）に示した第１形態のＣＯＦ１０６と、第２形態のＦＰＣ２０７とが接合されてなる。このＦＰＣ２０７には、第２定電位配線１４６をなすＦＰＣ２０７上の配線１５５と、第１定電位配線１４５をなす配線１５１とを互いに短絡させるための導電材設置部２６４が設けられている。
【００５６】
図８（ｂ）に示すように、この導電材設置部２６４においても、レジスト部１６０が部分的に切り欠かれており、配線１５１，１５５を部分的にレジスト部１６０外に露出させている。これら配線１５１及び配線１５５の各露出部の上には、導電性を有した第３ランド２６５及び第４ランド２６６が夫々設けられている。第３ランド２６５及び第４ランド２６６は配線部材２０４の幅方向に近接するものの離隔して対をなすよう並設され、基板部１５９の表面を介して絶縁されている。第３ランド２６５及び第４ランド２６６に跨るようにして半田等の導電材２６７を設置すると、配線１５１，１５５間を短絡することができる。この短絡がなされると、第２定電位配線１４６は、第１駆動配線１４３及び第１定電位配線１４５と同様にしてグランド電位を付与するための配線として機能する。
【００５７】
図９（ａ）に示すように、第３実施形態に係るヘッドユニットにおいては、導電材設置部１５８に導電材１６３を設置して第１及び第２ランド１６１，１６２（図４（ｂ）参照）間が短絡される一方、導電材設置部２６４には導電材が設置されず第３及び第４ランド２６５，２６６（図８（ｂ）参照）間が絶縁されたままとなっている。このため、第１実施形態と同様にして、第１定電位配線１４５は第１定電位電極１２８に定電位としてグランド電位を印加するための配線（ＣＯＭ）として機能し、第２定電位配線１４６は第２定電位電極１３０に定電位として所定高電位（例えば２８Ｖ）を印加するための配線ＶＣＯＭ）として機能する。
【００５８】
図９（ｂ）に示すように、第４実施形態に係るヘッドユニットにおいては、導電材設置部１５８には導電材が設置されず第１及び第２ランド１６１，１６２（図４（ｂ）参照）間が絶縁されたままとなる一方、導電材設置部２６４に導電材２６７が設置されて第３及び第４ランド２６５，２６６（図８（ｂ）参照）間が短絡される。
【００５９】
また、配線部材２０４を第２形態の第２種ヘッド２０１に接続するときには、第１定電位配線端子１５３と第１定電位電極端子３３１とが電気的に導通し、第２定電位配線端子１５７と第２定電位配線端子３３３とが電気的に導通される。
【００６０】
このため、第１定電位配線１４５は、定電位電極２２８にグランド電位を定電位として付与するための配線（ＣＯＭ）として機能する。また、第２定電位配線１４６も、定電位電極２２８にグランド電位を定電位として付与するための配線（ＣＯＭ）として機能する。
【００６１】
このように、第２形態の配線部材２０４においては、アクチュエータの電極に定電位を付与可能に構成された第２定電位配線１４６が、アクチュエータの電極にグランド電位を定電位として付与するための第１定電位配線１４５と短絡可能となっている。このため、これら配線１４５，１４６を短絡するか否かを選択することによって、所定高電位が定電位として印加されるべき電極を有する第１種ヘッド１０１に接続するときには第２定電位配線を該電極に高電位を印加するための配線として機能させることができ、このような電極を有しない第２種ヘッド３０１に対してはグランド電位を印加するための配線として機能させることができる。このようにグランド電位を印加するための配線本数を増加させることができるため、第２種ヘッド３０１の動作安定性を向上させることができる。
【００６２】
なお、図８の第２形態の配線部材２０４を、図３に記載の第１形態の第２種ヘッド２０１に接続することもできる。その場合は、導電材設置部１５８，２６４はどちらも絶縁状態としておく。
【００６３】
［第５・第６実施形態］
次に、第５及び第６実施形態について説明する。図１０（ａ）は第２形態のＣＯＦ２０６の配線図である。第２形態のＣＯＦ２０６には、第１形態における配線１５６（図４（ａ）参照）に替えて配線２６８が設けられている。この配線２６８は、第１形態の配線１５６と同様にして、ＦＰＣ１０７，２０７側の配線１５５と接続可能になっており、ＣＯＦ２０６上で第２駆動配線をなす配線１５０に接続され得る。
【００６４】
図１１（ａ）に示す第３形態の配線部材３０４は、この第２形態のＣＯＦ２０６に図４に示す第１形態のＦＰＣ１０７を接合してなり、図１１（ｂ）に示す第４形態の配線部材４０４は、この第２形態のＣＯＦ２０６に図８に示す第２形態のＦＰＣ２０７を接合してなる。そして、図１１（ａ）に示す第５実施形態に係るヘッドユニットは、第３形態の配線部材３０４を図３に示す第１形態の第２種ヘッド２０１に接続してなり、図１１（ｂ）に示す第６実施形態に係るヘッドユニットは、第４形態の配線部材４０４を図３に示す第１形態の第２種ヘッド２０１に接続してなる。
【００６５】
図１１（ａ）に示すように、第５実施形態に係るヘッドユニットにおいては、導電材設置部１５８に導電材１６３を設置して第１及び第２ランド１６１，１６２（図４（ｂ）参照）間が電気的に短絡される。このため、配線部材３０４には、ＦＰＣ１０７側の配線１５５とＣＯＦ２０６側の配線２６８とが接続されることによって第２駆動配線１４４に並列の並列駆動配線２６９が形成されることなる。よって、並列駆動配線２６９は第２駆動配線１４４と共に駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線（ＶＤＤ２）として機能する。
【００６６】
図６に示したように第２実施形態では、第１実施形態とＦＰＣ１０７及びＣＯＦ１０６の両方が共通化されており、配線部材の在庫管理が容易になるなど製造効率が向上する点で有利である。図１１（ａ）に示す第５実施形態においては、第１実施形態とＦＰＣ１０７を共通化しているため上記同様にして製造効率の向上を図ることができる一方、ＣＯＦ１０６，２０６が別個になっている。このようにＣＯＦ２０６を第１形態の第２種ヘッド２０１に専用のものにすると、駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線パターンを強化することができる点で有利である。
【００６７】
図１１（ｂ）に示すように、第６実施形態に係るヘッドユニットにおいては、導電材設置部１５８に導電材１６３を設置して第１及び第２ランド１６１，１６２（図４（ｂ）参照）間が電気的に短絡される一方、導電材設置部２６４には導電材を設置せず第３及び第４ランド２６５，２６６（図８（ｂ）参照）が絶縁したままとなる。このため、配線部材４０４には、第５実施形態と同様、第２駆動配線１４４に並列接続されて第２駆動配線１４４と共に駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線（ＶＤＤ２）として機能する並列駆動配線２６９が形成されることなる。
【００６８】
この第６実施形態においては、第３実施形態とＦＰＣ２０７を共通化しているため製造効率の向上を図ることができる一方、ＣＯＦ１０６，２０６が別個になっている。このようにＣＯＦ２０６を第１形態の第２種ヘッド２０１に専用のものにすると、駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線パターンを強化することができる点で有利である。
【００６９】
［第７・第８実施形態］
次に第７及び第８実施形態について説明する。図１０（ｂ）は第３形態のＣＯＦ３０６の配線図である。第３形態のＣＯＦ３０６は、第２形態と同様の配線２６８を有すると共に、第１定電位配線１４５をなす配線１５２から分岐する配線３７０を有している。この配線３７０の端部には第２定電位配線端子３７１が設けられており、この第２定電位配線端子３７１は、第１形態の第２定電位配線端子１５７（図４（ａ）参照）と同じ箇所に配置されている。
【００７０】
図１１（ｃ）に示す第５形態の配線部材５０４は、この第３形態のＣＯＦ３０６に図４に示す第１形態のＦＰＣ１０７を接合してなり、図１１（ｄ）に示す第６形態の配線部材６０４は、この第３形態のＣＯＦ３０６に図８に示す第２形態のＦＰＣ２０７を接合してなる。そして、図１１（ｃ）に示す第７実施形態に係るヘッドユニットは、第５形態の配線部材５０４を図７に示す第２形態の第２種ヘッド３０１に接続してなり、図１１（ｄ）に示す第８実施形態に係るヘッドユニットは、第６形態の配線部材６０４を図３に示す第２形態の第２種ヘッド３０１に接続してなる。
【００７１】
図１１（ｃ）に示すように、第７実施形態に係るヘッドユニットにおいては、導電材設置部１５８に導電材１６３を設置して第１及び第２ランド１６１，１６２（図４（ｂ）参照）間が短絡される。このため、配線部材５０４には、ＦＰＣ１０７側の配線１５５とＣＯＦ３０６側の配線２６８とが接続されることによって第２駆動配線１４４に並列の並列駆動配線２６９が形成される。よって、並列駆動配線２６９は第２駆動配線１４４と共に駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線（ＶＤＤ２）として機能する。
【００７２】
また、配線部材５０４を第２形態の第２種ヘッド２０１に接続するときには、第１定電位配線端子１５３と第１定電位電極端子３３１とが電気的に導通する。このため、第１定電位配線１４５は、定電位電極２２８にグランド電位を定電位として付与するための配線（ＣＯＭ）として機能する。更に、第２定電位配線端子３７１が第２定電位配線端子３３３と電気的に導通されるため、配線部材５０４には、配線３７０によって第１定電位配線１４５に並列の並列定電位配線３７２が形成される。この並列定電位配線３７２は第１定電位配線１４５と共に定電位電極２２８にグランド電位を定電位として付与するための配線（ＣＯＭ）として機能する。
【００７３】
この第７実施形態では、第１実施形態とＦＰＣ１０７を共通化しているため製造効率の向上を図ることができる一方、ＣＯＦ１０６，３０６が別個になっている。このようにＣＯＦ３０６を第２形態の第２種ヘッド３０１に専用のものとすると、駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線パターンを強化し、且つアクチュエータ３０３にグランド電位を付与するための配線パターンを強化することができる点で有利である。
【００７４】
図１１（ｄ）に示すように、第８実施形態に係るヘッドユニットにおいては、導電材設置部１５８に導電材１６３を設置して第１及び第２ランド１６１，１６２（図４（ｂ）参照）間が電気的に短絡される一方、導電材設置部２６４には導電材を設置せず第３及び第４ランド２６５，２６６（図８（ｂ）参照）が絶縁したままとなる。このため、配線部材６０４には、第７実施形態と同様にして、第２駆動配線１４４に並列接続されて第２駆動配線１４４と共に駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線（ＶＤＤ２）として機能する並列駆動配線２６９が形成され、第１定電位配線１４５に並列接続されて第１定電位配線１４５と共に定電位電極２２８にグランド電位を定電位として付与する配線（ＣＯＭ）として機能する並列定電位配線２７２が形成される。
【００７５】
この第８実施形態では、第３実施形態とＦＰＣ２０７を共通化しているため製造効率の向上を図ることができる一方、ＣＯＦ１０６，３０６が別個になっている。このようにＣＯＦ３０６を第２形態の第２種ヘッド３０１に専用のものとすると、駆動ＩＣ１４１に電源電圧を供給するための配線パターンを強化し、且つアクチュエータにグランド電位を付与するための配線パターンの強化することができる点で有利である。
【００７６】
このように第５実施形態及び第７実施形態に係るヘッドユニットは、第１実施形態に係るヘッドユニットとの間でＦＰＣを共通化することができる。第１、第５及び第７実施形態においては、導電材設置部に対して導電材を設ける態様も同じである。このため、導電材設置部を設けることなく、短絡すべき箇所では短絡させて絶縁すべき箇所では絶縁させるような配線構造をなしたＦＰＣが用いられてもよい。これは、第６及び第８実施形態に係るヘッドユニットと、第３実施形態に係るヘッドユニットとの間の関係においても同様のことが言える。このようにすることで、分極工程後に単にＦＰＣを配置させるだけで短絡できるため、ソルダポイントを設ける工程は削減できる。
【００７７】
［第９実施形態］
次に第９実施形態について説明する。図１２に示す第９実施形態に係るヘッドユニットは、図２，図３，図７に示す何れのインクジェットヘッドが適用されてもよい。本実施形態のヘッドユニットは、かかるインクジェットヘッド１に第７形態の配線部材７０４を接続してなり、この配線部材７０４は第４形態のＣＯＦ４０６と第３形態のＦＰＣ３０７とを接合してなる。第１乃至第６形態の配線部材は、ＣＯＦ及びＦＰＣの連設により全体として帯状に形成されているが、第４形態のＣＯＦ４０６はアクチュエータ３の上面に接合される接合部４７３と、この接合部４７３から互いに反対側に延在する一対の延在部４７４，４７５とを有している。一対の延在部４７４，４７５は夫々、接合部４７３から上向きに折り曲げられた後、更に互いに向き合うようにして折り返されている。このとき、各延在部４７４，４７５の端縁は互いに離れるようにして配置される。ＦＰＣ３０７はこの互いに向き合って離隔した一対の延在部４７４，４７５に架け渡されるようにして、各延在部４７４，４７５の端縁部に重ねられて接合される。ＦＰＣ３０７には第１及び第２形態と同様にして図示しない導電材設置部が設けられており、アクチュエータ３の種類に応じて導電材設置部には適宜導電材３７６（図１３参照）が設置されるようになっている。
【００７８】
図１３（ａ）には、導電材設置部がＦＰＣ３０７のうちＣＯＦ４０６に重ねられる側の面に設けた場合を例示している。このとき導電材設置部は、ＦＰＣ３０７のうち一対の延在部の端縁間の領域に設けられていることが好ましい。これにより導電材設置部に設置された導電材３７６がＦＰＣ３０７から盛り上がるようなことがあっても、ＦＰＣ３０７の下面とＣＯＦの接合部の上面との間に収容される。よって、導電材３７６が外部部品と接触するのを避けることができ、ヘッドユニットに電気的な不具合が生じるのを防ぐことができる。
【００７９】
図１３（ｂ）には、導電材設置部がＦＰＣ３０７のうちＣＯＦと接合される側とは反対側の面に設けられている場合を例示している。この場合、導電材設置部に設置された導電材３７６を被覆する被覆材３７７をＦＰＣ３０７に貼り付けることが好ましい。これにより導電材３７６が外部部品と接触するのを避け、ヘッドユニットに電気的な不具合が生じるのを防ぐことができる。なお、このような被覆材３７７は前述した第１及び第２形態のＦＰＣ１０７，２０７にも同様にして適用することができる。
【００８０】
これまで本発明に係る実施形態を説明したが、上記構成は本発明の範囲内で適宜変更可能である。これまで、ＣＯＦ及びＦＰＣが可撓性を有するシート状又はフィルム状に形成される配線部材であるとしたが、剛性を有したボード状の配線部材であってもよい。
【００８１】
また、本実施形態ではインクジェットプリンタに搭載されてインクを吐出するインクジェットヘッドを備えたヘッドユニットを例示したが、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置、導電液を吐出して電気配線を形成する装置などに使用する液滴吐出装置に適用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は異種の液滴吐出ヘッドに対して一種類の配線部材を共用することができるという作用効果を奏し、インクジェットプリンタのヘッドユニットに適用すると有益である。
【符号の説明】
【００８３】
１  インクジェットヘッド
２  流路ユニット
３  アクチュエータ
４  配線部材
５  電極端子
６  ＣＯＦ
７  ＦＰＣ
１０１  第１種ヘッド
１０３  第１種アクチュエータ
１２８  第１定電位電極
１２９  駆動電極
１３０  第２定電位電極
２０１，３０１  第２種ヘッド
２０３，３０３  第２種アクチュエータ
２２８  定電位電極
２２９  駆動電極
３３１  第１定電位端子
３３３  第２定電位端子
１０４，２０４，３０４，４０４，５０４，６０４，７０４  配線部材
１０６，２０６，３０６，４０６  ＣＯＦ
１０７，２０７，３０７  ＦＰＣ
１４１  駆動ＩＣ
１４３  第１駆動配線
１４４  第２駆動配線
１４５  第１定電位配線
１４６  第２定電位配線、ダミー配線
１５８  導電材設置部
１６１  第１ランド
１６２  第２ランド
２６４  導電材設置部
２６５  第３ランド
２６６  第４ランド
２６９  並列駆動配線
３７２  並列定電位配線
４７４，４７５  延在部
【図１】
2010228346.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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