(57)【要約】【課題】振動型アクチュエータの製造に際し、部品寸法がばらついても共振周波数のばらつきを抑え、安定した特性の得られる振動型アクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】電気機械変換素子と軸状部材を接着する接着剤の特性を変更することにより、振動型アクチュエータの共振周波数を調定する振動型アクチュエータの製造方法とする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、
前記電気機械変換素子と前記軸状部材を接着する接着剤の特性を変更することにより、前記振動型アクチュエータの共振周波数を調定することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項２】
電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、前記電気機械変換素子に接着固定された固定体と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、
前記電気機械変換素子と前記軸状部材を接着する工程と、前記電気機械変換素子と前記固定体を接着する工程のうち、少なくとも製造順序が後となる工程において、接着剤の特性を変更することにより、前記振動型アクチュエータの共振周波数を調定することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項３】
電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、
製造された所定数の前記振動型アクチュエータの共振周波数を測定し、前記共振周波数の統計データを求める工程と、
前記共振周波数の統計データが所望の範囲内にあるか否かを判断する工程と、
前記共振周波数の統計データが所望の範囲外と判断された場合に、接着剤の特性を変更して製造する工程と、
を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項４】
電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、前記電気機械変換素子に接着固定された固定体と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、
製造された所定数の前記振動型アクチュエータの共振周波数を測定し、前記共振周波数の統計データを求める工程と、
前記共振周波数の統計データが所望の範囲内にあるか否かを判断する工程と、
前記共振周波数の統計データが所望の範囲外と判断された場合に、
前記電気機械変換素子と前記軸状部材を接着する工程と、前記電気機械変換素子と前記固定体を接着する工程のうち、少なくとも製造順序が後となる工程において接着剤の特性を変更して製造する工程と、
を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
前記軸状部材は前記電気機械変換素子の変位方向の端部に固定されているものであることを特徴とする請求項１又は３に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記軸状部材は前記電気機械変換素子の変位方向の一方の端部に固定され、前記固定体は前記電気機械変換素子の変位方向の他方の端部に固定されているものであることを特徴とする請求項２又は４に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
前記接着剤に混入する微粒子の体積を異ならせることで、前記接着剤の特性を変更することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項８】
前記微粒子は球状であることを特徴とする請求項７に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項９】
前記接着剤の弾性率又は密度の少なくとも一方を異ならせることで、前記接着剤の特性を変更することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子を用いた振動型アクチュエータの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子に軸状部材を接着固定し、軸状部材に移動体を摩擦係合させ、電気機械変換素子の電極に非対称な変動電圧を印加し、電気機械変換素子の伸長方向と収縮方向の加速度を異ならせることで、移動体を移動させる振動型アクチュエータが知られている。
【０００３】
上記のような振動型アクチュエータにおいて、電気機械変換素子と軸状部材とを固定する接着剤の厚みと接着剤の縦弾性係数との比を所定の範囲内とすることにより、駆動効率を高めたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００８−４８４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、振動型アクチュエータを用いた駆動装置においては小型化が急速に進められており、これに伴い、振動型アクチュエータ自体も、より小型のものが望まれるようになっている。
【０００５】
また、振動型アクチュエータの特性としては、所定の周波数電圧の入力に対し、移動体の移動量のばらつきの少ない安定したものが望まれている。
【０００６】
図１１は、電気機械変換素子の長手方向の寸法が異なる場合の、所定の周波数の電圧を入力した際の振動型アクチュエータの共振周波数と、移動体の移動速度の変化を模式的に示す図である。
【０００７】
同図に示すように、部品寸法（本図では電気機械変換素子の長手方向の寸法）が異なると、アクチュエータの共振周波数は変化する。共振周波数が変化すると移動体の移動速度も共振周波数に伴って変化し、更に、共振周波数が高くなると、逆に移動体の速度が低下するようになり、振動型アクチュエータの移動体の移動特性が安定しなくなる問題がある。
【０００８】
すなわち、振動型アクチュエータの特性を安定させるには、所定の周波数入力に対し、共振周波数が略一定値となるように製造する必要がある。
【０００９】
一方、振動型アクチュエータは構成が簡素であるため、振動型アクチュエータを小型化しようとすると、部品である電気機械変換素子及び軸状部材等を小型化せざるを得ない。しかしながら、構成する各部品を小型化した場合、各部品の基準寸法に対する寸法公差の比率が増大し、上記特許文献１のような接着剤の厚みと縦弾性係数との比の管理のみでは、振動型アクチュエータの特性を十分に安定させることが困難となる場合がある。これに対し、特性のばらつきを小さくするために寸法公差を極度に小さく設定すると、部品コストの大幅な上昇を招くことになり、好ましくない。
【００１０】
本発明は上記問題に鑑み、振動型アクチュエータの製造に際し、部品寸法がばらついても共振周波数のばらつきを抑え、安定した特性の得られる振動型アクチュエータの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的は、下記に記載する発明により達成される。
【００１２】
（１）電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、前記電気機械変換素子と前記軸状部材を接着する接着剤の特性を変更することにより、前記振動型アクチュエータの共振周波数を調定することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【００１３】
（２）電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、前記電気機械変換素子に接着固定された固定体と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、前記電気機械変換素子と前記軸状部材を接着する工程と、前記電気機械変換素子と前記固定体を接着する工程のうち、少なくとも製造順序が後となる工程において、接着剤の特性を変更することにより、前記振動型アクチュエータの共振周波数を調定することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【００１４】
（３）電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、製造された所定数の前記振動型アクチュエータの共振周波数を測定し、前記共振周波数の統計データを求める工程と、前記共振周波数の統計データが所望の範囲内にあるか否かを判断する工程と、前記共振周波数の統計データが所望の範囲外と判断された場合に、接着剤の特性を変更して製造する工程と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【００１５】
（４）電圧の印加に基づいて変位する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に接着固定された軸状部材と、前記電気機械変換素子に接着固定された固定体と、を有する振動型アクチュエータの製造方法において、製造された所定数の前記振動型アクチュエータの共振周波数を測定し、前記共振周波数の統計データを求める工程と、前記共振周波数の統計データが所望の範囲内にあるか否かを判断する工程と、前記共振周波数の統計データが所望の範囲外と判断された場合に、前記電気機械変換素子と前記軸状部材を接着する工程と、前記電気機械変換素子と前記固定体を接着する工程のうち、少なくとも製造順序が後となる工程において接着剤の特性を変更して製造する工程と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【００１６】
（５）前記軸状部材は前記電気機械変換素子の変位方向の端部に固定されているものであることを特徴とする（１）又は（３）に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【００１７】
（６）前記軸状部材は前記電気機械変換素子の変位方向の一方の端部に固定され、前記固定体は前記電気機械変換素子の変位方向の他方の端部に固定されているものであることを特徴とする（２）又は（４）に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【００１８】
（７）前記接着剤に混入する微粒子の体積を異ならせることで、前記接着剤の特性を変更することを特徴とする（１）乃至（６）のいずれかに記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【００１９】
（８）前記微粒子は球状であることを特徴とする（７）に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【００２０】
（９）前記接着剤の弾性率又は密度の少なくとも一方を異ならせることで、前記接着剤の特性を変更することを特徴とする（１）乃至（６）のいずれかに記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、部品寸法がばらついても共振周波数のばらつきの抑えられた、安定した特性の得られる振動型アクチュエータの製造方法を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明は、これに限定されるものではない。
【００２３】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータ１を示す模式図である。
【００２４】
同図に示す振動型アクチュエータ１は、電気機械変換素子４と、電気機械変換素子４の一方の端部に接着剤５により固定された軸状部材６と、軸状部材６に摩擦力により係合している移動体７とからなっている。
【００２５】
電気機械変換素子４には、２つの電極に変動電圧を印加するための、フレキシブルプリント基板８が導電性接着剤９により接続されている。
【００２６】
電気機械変換素子４は、印加された電圧パルスに応じて変位（本例の場合、伸縮する変位）し、軸状部材６を軸方向に往復移動させる。このような動作は例えば、電気機械変換素子４の共振周波数に対する電圧パルスの駆動周波数を適宜設定し、電気機械変換素子４へ印加することで達成できる。移動体７は、軸状部材６が緩慢に移動するときは、軸状部材６に摩擦係合したまま軸状部材６と共に移動するが、軸状部材６が急峻に移動するときは、自身の慣性によってその場に留まろうとして軸状部材６に対して滑り移動する。移動体７は、軸状部材６に対し一方向への滑り移動を繰り返すことで軸方向に移動させられる。
【００２７】
上記のような電気機械変換素子と接着剤により固定された軸状部材で形成される振動型アクチュエータは、電気機械変換素子と軸状部材の間の接着部を通過する縦波の通過時間によって、所定の周波数の変動電圧を入力した際の共振周波数が変化する。
【００２８】
電気機械変換素子と軸状部材の間の接着剤の厚みＬ、弾性率Ｅ、密度ρとすると、接着部を通過する縦波の速度Ｖは、Ｖ＝（Ｅ／ρ）０．５で表され、接着部を通過する時間ｔは、ｔ＝Ｌ／Ｖとなる。ｔを大きくすると共振周波数は下がり、ｔを小さくすると共振周波数は上がる。すなわち、接着剤の厚みＬ、弾性率Ｅ、密度ρのいずれかを変化させると接着部を通過する時間ｔを変えることができる。
【００２９】
この性質を利用し、接着剤に微粒子を混入し、接着時に適度の強さで電気機械変換素子と軸状部材を押圧し、微粒子の径によって接着剤の厚みＬを制御することで、作成される振動型アクチュエータを所望の共振周波数とすることができる。
【００３０】
図２は、電気機械変換素子と軸状部材が微粒子を混入した接着剤で接着された状態を示す拡大模式図である。
【００３１】
同図に示すように、接着時に適度の強さで電気機械変換素子４と軸状部材６を押圧することで、接着剤５の厚みＬを微粒子Ｒの径と略同等にできる。すなわち、径の異なる各種の微粒子Ｒを混入した接着剤５を適宜用いることで、接着剤５の厚みＬを制御することができ、これにより振動型アクチュエータを所望の共振周波数とすることができる。
【００３２】
以下に、より詳しく説明する。
【００３３】
接着剤５としては、例えば、絶縁性のエポキシ系接着剤が用いられる。接着剤５には、球体の微粒子が混入されている。微粒子は、例えばシリカ等の無機系の絶縁性の微粒子が体積比で例えば１０％混入されている。この微粒子の混入された接着剤は、単一の種類ではなく、混入される微粒子の直径の異なる複数種、例えば、直径が３μｍの微粒子が混入された接着剤、直径が５μｍの微粒子が混入された接着剤、直径が７μｍの微粒子が混入された接着剤、直径が１０μｍの微粒子が混入された接着剤、直径が２０μｍの微粒子が混入された接着剤、の５種が用意され、製造時に適宜選択して使用されるようになっている。なお、微粒子の材質、直径及び用意する接着剤の種類等は、一例であり、これに限るものでない。
【００３４】
以下、第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータの製造方法の概略をフローチャートを用いて説明する。
【００３５】
図３は、第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータの本格的な量産の開始前の工程の流れを示すフローチャートであり、上記で例示した複数種の接着剤のうち、いずれを使用して量産を開始するかを決定するフローである。
【００３６】
図３に示すように、まず、複数種の接着剤をそれぞれ用い、電気機械変換素子と軸状部材を接着して、接着剤毎にそれぞれ小ロット数の振動型アクチュエータを作成する（ステップＳ１０１）。具体的には、上述の接着剤の場合を例にとると、直径が３μｍの微粒子が混入された接着剤を用いて例えば１００個、直径が５μｍの微粒子が混入された接着剤を用いて例えば１００個、直径が３μｍの微粒子が混入された接着剤を用いて例えば１００個、直径が７μｍの微粒子が混入された接着剤を用いて例えば１００個、直径が１０μｍの微粒子が混入された接着剤を用いて例えば１００個、直径が２０μｍの微粒子が混入された接着剤を用いて例えば１００個、作成するということである。
【００３７】
次いで、作成された振動型アクチュエータの共振周波数を全数測定する（ステップＳ１０２）。共振周波数の測定は、予め仕様等に基づいて決められた周波数の変動電圧を入力して測定される。
【００３８】
この後、測定された共振周波数の値は、各接着剤毎に平均値、分散等の統計データとして算出され（ステップＳ１０３）、所定の共振周波数範囲とするのに最も適切な接着剤が決定される（ステップＳ１０４）。所定の共振周波数範囲は、予め仕様等に基づいて決められた範囲である。
【００３９】
以上で、量産の開始にあたり、いずれの径の微粒子が混入された接着剤を使用するかが決定される。
【００４０】
図４は、第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータの量産時の概略の工程の流れを示すフローチャートである。
【００４１】
まず、電気機械変換素子と軸状部材を上記図３のステップＳ１０４で決定された接着剤を用いて接着し振動型アクチュエータを作成する（ステップＳ１１１）。次いで、この作成された振動型アクチュエータの共振周波数を測定する（ステップＳ１１２）。このステップＳ１１１とステップＳ１１２を所定の個数となるまで繰り返す（ステップＳ１１３）。この場合の、所定の個数は、例えば１万個程度であるが、これに限るものでない。
【００４２】
次いで、上記で得られた所定個数の共振周波数の値を用いて、平均値、分散等の統計データを算出する（ステップＳ１１４）。更に、得られた統計データのうち、例えば平均値が所定の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ１１５）。ここで、このステップＳ１１５の判断方法の例について説明する。
【００４３】
図５は、ステップＳ１１５における判断方法の一例を示す図である。同図に示すグラフは、縦軸に共振周波数を示し、横軸は製造順序を示している。
【００４４】
Ａは、共振周波数の許容される下限値、Ｂは共振周波数の許容される上限値である。また、ａは上記ステップＳ１１４において算出された共振周波数の平均値の許容される下限値であり、ｂは上記ステップＳ１１４において算出された共振周波数の平均値の許容される上限値である。ａとＡの差及びＢとｂの差は、統計データの分散の３σを若干越える程度に設定されていることが好ましい。
【００４５】
同図において、上記のステップＳ１１４において算出された共振周波数の平均値が、上記のａとｂの間にある場合は、ステップＳ１１５において所定の範囲内にあると判断し、共振周波数の平均値が、上記のａとＡ又はｂとＢの間にある場合は、ステップＳ１１５において所定の範囲内に無いと判断する。
【００４６】
図４に戻り、算出された共振周波数の平均値が所定の範囲内にあると判断された場合（ステップＳ１１５；Ｙｅｓ）には、予定数量の製造が完了したか否か判断する（ステップＳ１１６）。予定数量の製造が完了していない場合（ステップＳ１１６；Ｎｏ）は、ステップＳ１１１に戻り、上述のフローを繰り返す。また、予定数量の製造が完了した場合（ステップＳ１１６；Ｙｅｓ）は、終了する。
【００４７】
一方、ステップＳ１１５において、共振周波数の平均値が、所定の範囲内に無いと判断された場合には、図６に示すフローに移行する。
【００４８】
図６は、ステップＳ１１５において、共振周波数の平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合に行う工程の流れを示すフローチャートである。以下、図６のフローチャートを説明する。
【００４９】
共振周波数の平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合（図４のステップＳ１１５；Ｎｏ）は、量産前の小ロット数作成時の統計データに基づいて、共振周波数を高めたいか、低めたいかに応じ、異なる直径の微粒子が混入された接着剤を選択（ステップＳ１５１）し、小ロット数の振動型アクチュエータを作成する（ステップＳ１５２）。
【００５０】
具体的には、微粒子の径が大きいと共振周波数は下がり、微粒子の径が小さいと共振周波数は上がる。このため、平均値が図５に示すように共振周波数の平均値の許容される下限値ａを下回った場合には、より小さい径の微粒子が混入された接着剤を選択し、平均値の許容される上限値ｂを上回った場合には、より大きい径の微粒子が混入された接着剤を選択する。この選択された接着剤で振動型アクチュエータを小ロット数作成するということである。
【００５１】
異なる径の微粒子が混入された接着剤を用いて作成された小ロット数の振動型アクチュエータの共振周波数を全数測定する（ステップＳ１５３）。この後、測定された共振周波数の値は、平均値、分散等の統計データとして算出され（ステップＳ１５４）、平均値が所定の範囲内にあるか否かが判断される（ステップＳ１５５）。平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合（ステップＳ１５５；Ｎｏ）は、ステップＳ１５１に戻り、更に異なる直径の微粒子が混入された接着剤を選択して、ステップＳ１５１〜ステップＳ１５４を繰り返す。
【００５２】
具体的には、より小さい径の微粒子が混入された接着剤を選択しても、平均値の許容される下限値ａを下回る場合には、更に、より小さい径の微粒子が混入された接着剤を選択する。より大きい径の微粒子が混入された接着剤を選択しても、平均値の許容される上限値ｂを上回る場合には、更に、より大きい径の微粒子が混入された接着剤を選択するということである。
【００５３】
小ロット数の振動型アクチュエータの共振周波数の平均値が所定の範囲内にあると判断（ステップＳ１５５；Ｙｅｓ）された場合には、この接着剤を以降の工程で使用する接着剤と決定し（ステップＳ１５６）、図４に示すステップＳ１１１に戻り、図６に示す方法で決定された接着剤を用いて生産が続行される。
【００５４】
以上説明したように、電気機械変換素子及び軸状部材の形状寸法は、ロット間で微少なばらつきを有するのが一般的であり、単一の径の微粒子が混入された接着剤を用いた工程では作成された振動型アクチュエータの共振周波数が所望の値から徐々にずれてくる場合がある。このずれを、異なる特性の接着剤、すなわち異なる径の微粒子が混入された接着剤を用いることにより接着剤５の厚みＬを変更して使用し、形状寸法にばらつきを生じても、共振周波数を所望の値に調定して生産することが可能となる。これにより、寸法公差を極度に小さく設定することなく、低コストで安定した特性の振動型アクチュエータの得られる製造方法を提供することが可能となる。
【００５５】
なお、上記の例では、接着剤に混入される微粒子を異なる径のものに変えることで、電気機械変換素子と軸状部材の間の接着剤の厚みＬを変更し、共振周波数を調定する場合を説明したが、上述した式のうち、弾性率Ｅ又は密度ρ、或いはその両方を変更しても、接着部を通過する時間ｔを変えることができる。
【００５６】
すなわち、接着剤の特性である弾性率を変更しても同様の工程を用いて共振周波数を所望の値に調定して生産することができる。例えば、混入する微粒子の材料を異ならせることで接着剤の弾性率を変更することができ、上記と同様の効果を得ることができる。例えば、接着剤にシリカの微粒子を混入させることで弾性率を高くでき、接着剤にジビニルベンゼン或いはアクリルの微粒子を混入させることで弾性率を低くすることができる。
【００５７】
また、接着剤の特性である密度を変更しても同様の工程を用いて共振周波数を所望の値に調定して生産することができる。例えば、混入する微粒子の材料又は混合比を異ならせることで接着剤の密度を変更することができ、上記と同様の効果を得ることができる。
【００５８】
なお上述の式より、弾性率を大きくすると共振周波数を上げることができ、弾性率を小さくすると共振周波数を下げることができる。また、密度を大きくすると共振周波数を下げることができ、密度を小さくすると共振周波数を上げることができる。
【００５９】
（第２の実施の形態）
図７は、第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータ１を示す模式図である。
【００６０】
同図に示す振動型アクチュエータ１は、電気機械変換素子４と、電気機械変換素子４の一方の端部に接着剤５により固定された軸状部材６と、軸状部材６に摩擦力により係合している移動体７と、電気機械変換素子４の他方の端部に接着剤３により固定された固定体２とからなる。その他は、図１に示す振動型アクチュエータ１と同様である。
【００６１】
以下、第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータの製造方法の概略をフローチャートを用いて説明する。
【００６２】
図８は、第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータの本格的な量産の開始前の概略の工程の流れを示すフローチャートであり、上記で例示した複数種の接着剤のうち、いずれを使用して量産を開始するかを決定するフローである。
【００６３】
図８に示すように、まず、固定体と電気機械変換素子を接着する（ステップＳ２００）。この工程は、予め決められた接着剤を使用して接着が行われる。例えば、絶縁性のエポキシ系接着剤のみ、或いは直径が７μｍの微粒子が混入された接着剤等が用いられる。すなわち、固定体と電気機械変換素子との接着条件については、すべて同じである。
【００６４】
次いで、複数種の接着剤をそれぞれ用い、電気機械変換素子と軸状部材を接着して、接着剤毎にそれぞれ小ロット数の振動型アクチュエータを作成する（ステップＳ２０１）。具体的には、図３で説明した異なる径の微粒子が混入された接着剤を、それぞれ用いて例えば１００個ずつ、作成するということである。
【００６５】
次いで、作成された振動型アクチュエータの共振周波数を全数測定する（ステップＳ２０２）。
【００６６】
この後、測定された共振周波数の値は、各接着剤毎に平均値、分散等の統計データとして算出され（ステップＳ２０３）、所定の共振周波数範囲とするのに最も適切な接着剤が決定される（ステップＳ２０４）。
【００６７】
以上で、量産の開始にあたり、電気機械変換素子と軸状部材の接着に、いずれの径の微粒子が混入された接着剤を使用するかが決定される。
【００６８】
図９は、第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータの量産時の概略の工程の流れを示すフローチャートである。
【００６９】
まず、固定体と電気機械変換素子を接着する（ステップＳ２１０）。この接着条件は、図８のステップＳ２００と同じである。
【００７０】
次いで、電気機械変換素子と軸状部材を上記図８のステップＳ２０４で決定された接着剤を用いて接着し振動型アクチュエータを作成する（ステップＳ２１１）。次いで、この作成された振動型アクチュエータの共振周波数を測定する（ステップＳ２１２）。このステップＳ２１０〜ステップＳ２１２を所定の個数となるまで繰り返す（ステップＳ２１３）。この場合の、所定の個数は、例えば１万個程度であるが、これに限るものでない。
【００７１】
次いで、上記で得られた所定個数の共振周波数の値を用いて、平均値、分散等の統計データを算出する（ステップＳ２１４）。更に、得られた統計データのうち、例えば平均値が所定の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ２１５）。ここで、このステップＳ２１５の判断方法は、図５での説明と同様である。
【００７２】
算出された共振周波数の平均値が所定の範囲内にあると判断された場合（ステップＳ２１５；Ｙｅｓ）には、予定数量の製造が完了したか否か判断する（ステップＳ２１６）。予定数量の製造が完了していない場合（ステップＳ２１６；Ｎｏ）は、ステップＳ２１０に戻り、上述のフローを繰り返す。また、予定数量の製造が完了した場合（ステップＳ２１６；Ｙｅｓ）は、終了する。
【００７３】
一方、ステップＳ２１５において、共振周波数の平均値が、所定の範囲内に無いと判断された場合には、図１０に示すフローに移行する。
【００７４】
図１０は、ステップＳ２１５において、共振周波数の平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合に行う工程の流れを示すフローチャートである。以下、図１０のフローチャートを説明する。
【００７５】
共振周波数の平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合（図９のステップＳ２１５；Ｎｏ）は、図８のステップＳ２００と同じ接着条件で、固定体と電気機械変換素子を接着（ステップＳ２５０）する。次いで、量産前の小ロット数作成時の統計データに基づいて、共振周波数を高めたいか、低めたいかに応じ、異なる直径の微粒子が混入された接着剤を選択（ステップＳ２５１）し、小ロット数の振動型アクチュエータを作成する（ステップＳ２５２）。
【００７６】
次いで、異なる径の微粒子が混入された接着剤を用いて作成された小ロット数の振動型アクチュエータの共振周波数を全数測定する（ステップＳ２５３）。この後、測定された共振周波数の値は、平均値、分散等の統計データとして算出され（ステップＳ２５４）、平均値が所定の範囲内にあるか否かが判断される（ステップＳ２５５）。平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合（ステップＳ２５５；Ｎｏ）は、ステップＳ２５０に戻り、更に異なる直径の微粒子が混入された接着剤を選択して、ステップＳ２５０〜ステップＳ２５４を繰り返す。
【００７７】
小ロット数の振動型アクチュエータの共振周波数の平均値が所定の範囲内にあると判断（ステップＳ２５５；Ｙｅｓ）された場合には、この接着剤を以降の工程で、電気機械変換素子と軸状部材の接着に使用する接着剤と決定し（ステップＳ２５６）、図９に示すステップＳ２１０に戻り、図１０に示す方法で決定された接着剤を用いて生産が続行される。
【００７８】
なお、第２の実施の形態においては、先の工程である固定体と電気機械変換素子の接着条件を固定し、後の工程の電気機械変換素子と軸状部材の接着に際し、接着剤の特性を変更することで共振周波数を調定する例で説明したが、電気機械変換素子と軸状部材の接着工程が先で、固定体と電気機械変換素子の接着工程が後の場合には、電気機械変換素子と軸状部材の接着条件を固定し、固定体と電気機械変換素子の接着に際し、接着剤の特性を変更することで共振周波数を調定してもよい。
【００７９】
すなわち、接着工程が２工程ある場合には、少なくとも製造順序が後となる工程において、接着剤の特性を変更して製造することが好ましい。
【００８０】
なお、第２の実施の形態においても、接着剤に混入する微粒子の径を変えることで、共振周波数を調定する方法で説明したが、第１の実施の形態と同様に、接着剤の弾性率や密度を変更して共振周波数を調定してもよい。
【００８１】
また、上記の第１及び第２の実施の形態においては、統計データの内、平均値を用いて接着剤の特性を変更すべきか否かを判定するもので説明したが、これに限るものでなく、分散等も加味して判定するように構成してもよい。
【００８２】
なお、本発明に用いる振動型アクチュエータは、以上記載の構成に限定されたものではない。例えば、円盤状のセラミックタイプの圧電素子２枚で金属板を挟んで重ねて構成し、一方の圧電素子上の接着部に接着固定された軸状部材と、軸状部材の摩擦力により係合している移動体とで構成される振動型アクチュエータであってもよい。この場合、圧電素子に駆動電圧を与えることにより円盤状の圧電素子が凸凹に変位することで移動体を移動させるタイプにおいても用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータを示す模式図である。
【図２】電気機械変換素子と軸状部材が微粒子を混入した接着剤で接着された状態を示す拡大模式図である。
【図３】第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータの本格的な量産の開始前の工程の流れを示すフローチャートである。
【図４】第１の実施の形態に係る振動型アクチュエータの量産時の概略の工程の流れを示すフローチャートである。
【図５】ステップＳ１１５における判断方法の一例を示す図である。
【図６】ステップＳ１１５において、共振周波数の平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合に行う工程の流れを示すフローチャートである。
【図７】第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータを示す模式図である。
【図８】第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータの本格的な量産の開始前の概略の工程の流れを示すフローチャートである。
【図９】第２の実施の形態に係る振動型アクチュエータの量産時の概略の工程の流れを示すフローチャートである。
【図１０】ステップＳ２１５において、共振周波数の平均値が所定の範囲内に無いと判断された場合に行う工程の流れを示すフローチャートである。
【図１１】電気機械変換素子の長手方向の寸法が異なる場合の、所定の周波数の電圧を入力した際の振動型アクチュエータの共振周波数と、移動体の移動速度の変化を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  振動型アクチュエータ
２  固定体
３  接着剤
４  電気機械変換素子
５  接着剤
６  軸状部材
７  移動体
９  導電性接着剤
Ｒ  微粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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