(57)【要約】【課題】容器本体の開口部を蓋体により閉じる際の押し付け力を低減したり、蓋体の変形を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれやガタツキを防ぐことのできる基板収納容器及びその蓋体取り付け方法を提供する。【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体１の開口した正面部３を蓋体１０により開閉する収納容器であり、蓋体１０に支持されて容器本体１の半導体ウェーハＷに対して進退動可能なフロントリテーナ３０と、蓋体１０に内蔵され、外部からの操作に基づき駆動してフロントリテーナ３０を後退位置から半導体ウェーハＷ方向の進出位置に進出させ、このフロントリテーナ３０に半導体ウェーハＷの前部周縁を保持させる駆動機構４０とを備える。容器本体１の正面部３に蓋体１０を嵌合する際、半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０が接触しないので、嵌合時の蓋体１０に半導体ウェーハＷの反発力が作用することがない。【選択図】図２
2010141222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体の開口部を蓋体により開閉する基板収納容器であって、蓋体に設けられ、容器本体に収納された基板に対して進退動可能なリテーナと、蓋体に設けられ、外部からの操作に基づき駆動してリテーナを後退位置から基板方向の進出位置に進出させ、この進出したリテーナに基板の周縁部を保持させる駆動機構とを含んでなることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
リテーナが進出位置から後退位置に後退するのを規制する規制部材を含んでなる請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
リテーナは、蓋体の基板に対向する対向壁に重なる支持体と、この支持体に支持される弾性片と、この弾性片に形成されて基板の周縁部を保持する保持部とを含み、支持体に、蓋体の対向壁を貫通する従動子を設け、
駆動機構は、蓋体に動作可能に設けられ、リテーナの従動子に接触して動力を伝達する原動体と、この原動体に設けられて蓋体の外部から操作される被操作部とを含んでなる請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
リテーナの従動子の端部を溝形に形成し、駆動機構の原動体を基板と略直交する方向に往復動可能に指向させ、この原動体を部分的に屈曲して従動子の端部と嵌まり合うカム部を形成し、原動体を往動あるいは復動させることによりリテーナを進出位置に進出させるようにした請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
駆動機構の原動体を略円板形に形成して蓋体の対向壁に回転可能に支持させ、この原動体に、従動子と接触するカム部を立体的に形成し、原動体を回転させることによりリテーナを進出位置に進出させるようにした請求項３記載の基板収納容器。
【請求項６】
蓋体の対向壁と支持体の従動子との間にシール部材を介在した請求項３、４、又は５記載の基板収納容器。
【請求項７】
請求項１ないし６いずれかに記載した基板収納容器の容器本体の開口部を蓋体により閉じる基板収納容器の蓋体取り付け方法であって、
基板を収納した容器本体の開口部を蓋体により閉じる際、蓋体の駆動機構を外部から操作してリテーナを後退位置から基板方向の進出位置に進出させ、この進出したリテーナに基板の周縁部を保持させることを特徴とする基板収納容器の蓋体取り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送する基板収納容器及びその蓋体取り付け方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口した正面部を開閉する蓋体とを備え、半導体加工装置に搭載されて蓋体が蓋体開閉装置により自動的に取り付け、取り外しされる（特許文献１、２、３、４、５参照）。
【０００３】
蓋体は、容器本体の開口した正面部に嵌合される際に施錠する施錠機構が内蔵され、半導体ウェーハに対向する対向面に、半導体ウェーハの前部周縁を保持するフロントリテーナが装着されている。また、施錠機構は、様々なタイプがあるが、例えば蓋体開閉装置の操作ピンに回転操作される回転プレートと、この回転プレートの回転に伴い上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドに伴い蓋体から突出して容器本体の正面部内に係止する複数の係止爪とを備えて構成されている。
【０００４】
フロントリテーナは、例えば蓋体の半導体ウェーハに対向する対向面に装着される支持体と、この支持体内に配列される複数の弾性片と、各弾性片に形成されて半導体ウェーハの前部周縁を保持する保持部とを備え、半導体ウェーハの前後方向に対する位置ずれやガタツキを規制する。
【特許文献１】特開２００３−１７４０８１号公報
【特許文献２】特開２００７−１４２１８９号公報
【特許文献３】特開２００７−０１９３２８号公報
【特許文献４】特開２００５−３２００２８号公報
【特許文献５】特開平１０−７０１８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、容器本体の正面部に蓋体を嵌合して半導体ウェーハの前部周縁をフロントリテーナに保持させる際、蓋体に半導体ウェーハの反発力が作用するので、容器本体の正面部に蓋体を強く圧入して嵌合したり、フロントリテーナの保持力を増大させなければならず、この結果、蓋体開閉装置の負荷が増加したり、蓋体開閉装置がマシンダウンするという問題がある。また、蓋体にも大きな負荷が作用するので、蓋体が弓なりに膨らんで変形を招くおそれがある。
【０００６】
係る問題を解消するため、フロントリテーナの保持力を小さく設定すると、半導体ウェーハの保持力が不十分になるので、半導体ウェーハの保持に支障を来たし、基板収納容器の搬送や輸送に伴う振動・衝撃により、半導体ウェーハが回転して汚れてしまうという問題が新たに生じる。
【０００７】
本発明は上記に鑑みなされたもので、容器本体の開口部を蓋体により閉じる際の押し付け力を低減したり、蓋体の変形を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれやガタツキを防ぐことのできる基板収納容器及びその蓋体取り付け方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部を蓋体により開閉するものであって、
蓋体に設けられ、容器本体に収納された基板に対して進退動可能なリテーナと、蓋体に設けられ、外部からの操作に基づき駆動してリテーナを後退位置から基板方向の進出位置に進出させ、この進出したリテーナに基板の周縁部を保持させる駆動機構とを含んでなることを特徴としている。
【０００９】
なお、容器本体の開口部に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構を含み、この施錠機構は、蓋体に支持されて外部から回転操作される回転体と、この回転体の回転に伴い蓋体の内外方向にスライドする複数のスライド体と、各スライド体のスライドに伴い蓋体から突出して容器本体の開口部内に係止する複数の係止爪とを備えると良い。
また、リテーナが進出位置から後退位置に後退するのを規制する規制部材を含むことができる。
【００１０】
また、リテーナは、蓋体の基板に対向する対向壁に重なる支持体と、この支持体に支持される弾性片と、この弾性片に形成されて基板の周縁部を保持する保持部とを含み、支持体に、蓋体の対向壁を貫通する従動子を設け、
駆動機構は、蓋体に動作可能に設けられ、リテーナの従動子に接触して動力を伝達する原動体と、この原動体に設けられて蓋体の外部から操作される被操作部とを含むと良い。
【００１１】
また、リテーナは、蓋体の基板に対向する対向壁に重なる枠形の支持体と、この支持体内に支持される弾性片と、この弾性片に形成されて基板の周縁部を保持する保持部とを含むことができる。
また、枠形の支持体の相対向する両側部のうち、少なくとも一側部に弾性片を形成し、この弾性片に単数あるいは複数の保持部を形成することができる。
【００１２】
また、リテーナの従動子の端部を溝形に形成し、駆動機構の原動体を基板と略直交する方向に往復動可能に指向させ、この原動体を部分的に屈曲して従動子の端部と嵌まり合うカム部を形成し、原動体を往動あるいは復動させることによりリテーナを進出位置に進出させることができる。
【００１３】
また、駆動機構の原動体を略円板形に形成して蓋体の対向壁に回転可能に支持させ、この原動体に、従動子と接触するカム部を立体的に形成し、原動体を回転させることによりリテーナを進出位置に進出させることもできる。
また、蓋体の対向壁と支持体の従動子との間にシール部材を介在することが好ましい。
【００１４】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１ないし６いずれかに記載した基板収納容器の容器本体の開口部を蓋体により閉じる蓋体取り付け方法であって、
基板を収納した容器本体の開口部を蓋体により閉じる際、蓋体の駆動機構を外部から操作してリテーナを後退位置から基板方向の進出位置に進出させ、この進出したリテーナに基板の周縁部を保持させることを特徴としている。
【００１５】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００、φ３００、φ４５０ｍｍの半導体ウェーハ、ガラス基板、マスクガラス、液晶ガラス、記憶ディスク等が含まれる。また、容器本体や蓋体は、透明、不透明、半透明を特に問うものではない。容器本体は、フロントオープンボックスタイプやトップオープンボックスタイプを問うものではなく、上下前後左右に基板観察用の透視窓を適宜設けることができる。
【００１６】
リテーナの弾性片、保持部、従動子は、単数複数いずれでも良い。従動子の端部は、例えば断面略略Ｃ字形、略Ｕ字形、略半円形、略半楕円形等に形成することができる。また、駆動機構は、リンク機構等、各種の運動方向変換機構やカム機構を使用することができる。この駆動機構の被操作部には、凹部、凸部、各種の孔等が該当する。さらに、規制部材には、少なくとも摩擦力により相互に嵌まり合う凹部と凸部、各種のバネや弾性部材等が含まれる。
【００１７】
本発明によれば、容器本体の開口部を蓋体により閉じて基板の周縁部をリテーナに保持させる場合には、先ず、容器本体の開口部にリテーナが後退位置の蓋体を嵌め合わせれば、容器本体の正面部を蓋体により適切に閉じることができる。この際、基板の周縁部とリテーナとが非接触の関係なので、蓋体に基板の反発力が作用せず、蓋体を強く押し入れる必要がない。
容器本体を蓋体で閉じたら、蓋体の駆動機構を操作して駆動させれば良い。すると、この駆動機構の駆動に基づき、蓋体のリテーナが後退位置から基板方向の進出位置に進出し、このリテーナが基板の周縁部に接近して保持する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、容器本体の開口部を蓋体により閉じる際の押し付け力を低減したり、蓋体の変形を抑制することができるという効果がある。また、基板収納容器に加わる振動・衝撃で容器本体の基板が位置ずれしたり、ガタツクのを防ぐことができる。
また、リテーナが進出位置から後退位置に後退するのを規制する規制部材を使用すれば、基板からリテーナが不用意に離れるのを抑制して基板の損傷防止を図ることができる。
【００１９】
また、リテーナの従動子の端部を溝形に形成すれば、原動体に従動子の端部を一方向からのみ嵌めることができ、蓋体、リテーナ、駆動機構の組立作業の過誤を防ぐことができる。また、駆動機構の原動体を基板と略直交する方向に往復動可能に指向させ、この原動体を部分的に屈曲して従動子の端部と嵌まり合うカム部を形成し、原動体を往動あるいは復動させることによりリテーナを進出位置に進出させるようにすれば、比較的簡易な構成で複雑な運動をリテーナに伝達し、リテーナを進退動させることができる。
【００２０】
また、駆動機構の原動体を略円板形に形成して蓋体の対向壁に回転可能に支持させ、この原動体に、従動子と接触するカム部を立体的に形成し、原動体を回転させることによりリテーナを進出位置に進出させれば、比較的簡易な構成で複雑な運動をリテーナに伝達することが可能になる。
さらに、蓋体の対向壁と支持体の従動子との間にシール部材を介在すれば、リテーナの進退動に伴う塵埃の発生・拡散や基板の汚染等を防止することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明に係る基板収納容器の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図９に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを収納する容器本体１の開口した正面部３を着脱自在の蓋体１０により開閉する収納容器であり、蓋体１０に支持されて容器本体１の半導体ウェーハＷに対して進退動可能な左右一対のフロントリテーナ３０と、蓋体１０に内蔵され、外部操作に基づき駆動して各フロントリテーナ３０を基準位置である後退位置から半導体ウェーハＷ方向の進出位置に進出させ、このフロントリテーナ３０に半導体ウェーハＷを保持させる駆動機構４０と、各フロントリテーナ３０の位置を規制する複数の規制部材６０とを備えるようにしている。
【００２２】
半導体ウェーハＷは、図２、図６、図７に示すように、例えばφ３００ｍｍの薄く丸いシリコンウェーハからなり、周縁部に図示しない位置合わせや識別用のノッチが平面半円形に切り欠かれており、容器本体１に２５枚あるいは２６枚が整列して収納される。
【００２３】
容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料によりそれぞれ射出成形される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えば力学的性質や耐熱性等に優れるポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、あるいは環状オレフィン樹脂等があげられる。所定の樹脂には、カーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー、帯電防止剤、又は難燃剤等が必要に応じて選択的に添加される。
【００２４】
容器本体１は、図１や図２に示すように、例えば透明のフロントオープンボックスタイプに形成され、内部両側には、半導体ウェーハＷを支持する左右一対のティース２が上下方向に所定のピッチで並べて配設されており、横長の開口した正面部３を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置や気体置換装置上に位置決めして搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。この容器本体１は、その各ティース２が平面略く字形あるいは半円弧形に屈曲形成され、半導体ウェーハＷを水平に支持するよう機能する。
【００２５】
容器本体１の底板は、その四隅部付近に円筒形のフィルタボスがそれぞれ穿孔して配設され、この複数のフィルタボスに、容器本体１の内外を連通する給気用フィルタと排気用フィルタとがそれぞれＯリングを介し着脱自在に嵌合される。底板の前部両側と後部中央とには、細長い複数の高さ調整板がそれぞれ所定のピッチで並設され、この複数の高さ調整板に、基板収納容器、具体的には容器本体１を位置決めする位置決め具４が締結ビス等を介しそれぞれ螺着される。
【００２６】
容器本体１の底板には、複数の給気用フィルタ、排気用フィルタ、及び位置決め具４をそれぞれ露出させるボトムプレート５が締結ビスを介して水平に螺着される。このボトムプレート５は、例えば底板よりも一回り小さい類似の形に形成され、周縁部が起立して補強されており、左右両側部に搬送用のコンベヤレールがそれぞれ選択的に形成される。ボトムプレート５の後部には複数の識別孔が穿孔され、この複数の識別孔に着脱自在の情報識別パッドが選択的に挿入されることにより、基板収納容器の種類や半導体ウェーハＷの枚数等が半導体加工装置に識別される。
【００２７】
容器本体１の天板には、工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ６が締結ビスを介し水平に螺着され、容器本体１の背面壁の中央部には、透明の覗き窓が二色成形法等により縦長に形成されており、この覗き窓により、容器本体１の内部が外部から視覚的に観察・把握される。
【００２８】
容器本体１の両側壁の表面には、補強や変形防止の他、指等を干渉させることのできる握持用のグリップ７がそれぞれ装着される。また、容器本体１の正面部３は、周縁に外方向に張り出すリムフランジ８が膨出形成され、このリムフランジ８の内周面上下には、左右一対の係止穴９がそれぞれ穿孔されており、着脱自在の蓋体１０が蓋体開閉装置により嵌合される。
【００２９】
蓋体１０は、図１ないし図３に示すように、例えば容器本体１の開口した正面部３内に着脱自在に嵌合する横長の筐体１１と、この筐体１１の開口した表面（正面）を被覆する表面プレート１５と、これら筐体１１と表面プレート１５との間に介在される施錠機構１８とを備えて構成される。筐体１１は、基本的には浅底の断面略皿形に形成され、周壁の上下両側部に、施錠機構１８用の貫通孔がそれぞれ穿孔されており、各貫通孔が容器本体１の係止穴９に対向する。
【００３０】
筐体１１の半導体ウェーハＷに対向する対向壁１２には図５に示すように、フロントリテーナ３０用の連通孔１３が複数穿孔され、対向壁１２の対向面周縁部には枠形の嵌合溝が形成されており、この嵌合溝には、容器本体１の正面部３内に圧接するリップタイプのガスケット１４が密嵌される。このガスケット１４は、例えば耐熱性や耐候性等に優れるフッ素ゴム、シリコーンゴム、各種の熱可塑性エラストマー等を成形材料として弾性変形可能な枠形に成形され、外周面にはエンドレスの突片が一体形成されており、この突片が容器本体１の正面部３内に屈曲しながら圧接し、気密性を確保するよう機能する。
【００３１】
表面プレート１５は、筐体１１の開口した表面に対応するよう横長の平板に形成され、左右両側部には、施錠機構１８用の操作口１６と共に複数の取付孔がそれぞれ穿孔されており、この複数の取付孔を貫通した締結ビスが筐体１１の螺子ボスに螺挿されることにより、筐体１１の表面に位置決め固定される。この表面プレート１５の左右両側部には、駆動機構４０用の複数の操作孔１７がそれぞれ長孔に穿孔され、各操作孔１７に蓋体開閉装置の駆動機構用操作ピン７０が外部から挿入される（図５ないし図７参照）。
【００３２】
施錠機構１８は、詳細は図示しないが、例えば筐体１１の対向壁１２に軸支されて表面プレート１５の操作口１６を貫通した蓋体開閉装置の操作ピンに回転操作される左右一対の回転プレートと、各回転プレートの回転に伴い上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドに伴い筐体１１の周壁から突出して容器本体１の係止穴９に係止する出没可能な複数の係止爪１９とを備えて構成される。
【００３３】
各フロントリテーナ３０は、図３、図５ないし図８に示すように、例えば蓋体１０の対向壁１２対向面に接離可能に支持される左右一対の縦長の支持体３１と、この一対の支持体３１間の上下方向に並べて架設される複数の弾性片３４と、各弾性片３４に形成されて半導体ウェーハＷの前部周縁を保持する保持部３５とを備え、半導体ウェーハＷの前後方向に対する位置ずれやガタツキを規制するよう機能する。このフロントリテーナ３０は、例えばポリオレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系等の熱可塑性エラストマー、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン等の熱可塑性樹脂により成形される。
【００３４】
一対の支持体３１には、蓋体１０の対向壁１２の連通孔１３を貫通して表面プレート１５方向に指向する複数の従動子３２が屈曲してそれぞれ突出形成され、各従動子３２の端部が断面略Ｕ字の溝形に膨出形成されており、各従動子３２と蓋体１０の対向壁１２との間にはシール部材３３が介在される。このシール部材３３は、例えば従動子３２に貫通される伸縮可能な中空の円錐台形やベローズに形成され、蓋体１０の連通孔１３を被覆しており、フロントリテーナ３０の進退動に追従してフロントリテーナ３０の進退動に伴うパーティクルの拡散や半導体ウェーハＷの汚染を防止するよう機能する。
【００３５】
各弾性片３４は、例えば一対の支持体３１間に断面略皿形に屈曲して水平に架設され、半導体ウェーハＷに接近する中央に保持部３５が一体形成されており、この保持部３５には、半導体ウェーハＷの前部周縁を挟んで保持する断面略Ｖ字形の保持溝３６が切り欠かれる。
【００３６】
駆動機構４０は、図２ないし図７に示すように、筐体１１の対向壁１２に動作可能に設けられ、各フロントリテーナ３０の複数の従動子３２に摺接して動力を周期的に伝達する左右一対の原動体４１と、この一対の原動体４１に設けられて表面プレート１５の外部から操作される被操作部４７とを備えて構成される。
【００３７】
各原動体４１は、フロントリテーナ３０よりも幅広でその左右に間接的に位置し、半導体ウェーハＷと直交する上下方向（複数枚の半導体ウェーハＷの整列方向）に往復動可能に指向する左右一対の柱４２を備え、この一対の柱４２の間に複数の連結板４６が間隔をおいて水平に架設される。
【００３８】
各柱４２は、基本的には蓋体１０の上下方向に直線的に指向し、上下両端部にそれぞれ長孔４３が穿孔されており、各長孔４３を遊貫した脱落防止用の締結具４４が筐体１１の対向壁１２から突出した駆動機構用ボス２０に螺挿されることにより、筐体１１の対向壁１２に支持される。締結具４４としては、小径のビスやピン等が使用される。
【００３９】
柱４２は、蓋体１０の厚さ方向に部分的に屈曲、換言すれば、略階段形に部分屈曲して従動子３２の端部とスライド可能に嵌合する複数のカム部４５が間隔をおいて傾斜形成され、この傾斜したカム部４５が直動カムとして往動あるいは復動することによりフロントリテーナ３０を後退位置から進出位置、換言すれば、容器本体１の背面壁方向に進出させる。
【００４０】
各連結板４６の中央には、表面プレート１５の操作孔１７に対向する凹部あるいは孔が設けられ、この凹部あるいは孔が被操作部４７として表面プレート１５の操作孔１７を遊貫した駆動機構用操作ピン７０に操作されることにより、駆動機構４０が上下方向に駆動するとともに、フロントリテーナ３０が水平に進退動する。
【００４１】
各規制部材６０は、図９に示すように、各原動体４１の連結板端面に切り欠かれる凹部６１と、蓋体１０の筐体１１あるいは表面プレート１５に突出形成されて凹部６１と相互に噛合する凸部６２と、筐体１１あるいは表面プレート１５と各原動体４１の連結板４６の間に張架される付勢バネ６３とを備え、駆動機構４０を位置決め固定することにより、フロントリテーナ３０が進出位置から後退位置に後退するのを規制する。付勢バネ６３は、特に限定されるものではないが、例えばフロントリテーナ３０を進出位置に付勢するコイルバネや板バネ等が使用される。
【００４２】
上記構成において、容器本体１の開口した正面部３に蓋体１０を嵌合して半導体ウェーハＷの前部周縁をフロントリテーナ３０に保持させる場合には、先ず、容器本体１の開口した正面部３にフロントリテーナ３０が後退位置にある蓋体１０を蓋体開閉装置により嵌合すれば、容器本体１の正面部３を蓋体１０により簡単、かつ適切に閉塞することができる。
この際、各半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０の保持部３５とが非接触なので、蓋体１０を強く圧入する必要がない。
【００４３】
容器本体１の正面部３を蓋体１０で閉塞したら、蓋体開閉装置の駆動機構用操作ピン７０が表面プレート１５の操作孔１７を遊貫して駆動機構４０の被操作部４７に干渉（図６参照）し、下降して駆動機構４０の原動体４１を下降させる。
【００４４】
すると、原動体４１の柱４２の下降に伴い、傾斜したカム部４５に嵌合した従動子３２が蓋体１０の表面プレート１５方向から筐体１１の対向壁１２方向に進出するとともに、フロントリテーナ３０が後退位置から半導体ウェーハＷ方向の進出位置に進出し、規制部材６０の凹部６１と凸部６２とが相互に噛合してフロントリテーナ３０を位置決めし、このフロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁に接近して保持する（図７参照）。
【００４５】
なお、蓋体１０の施錠機構１８は、容器本体１の開口した正面部３に蓋体１０が嵌合された後、フロントリテーナ３０の進出前に蓋体開閉装置により施錠操作される。蓋体１０の施錠機構１８が施錠操作されると、フロントリテーナ３０が進出位置に進出して保持部３５に半導体ウェーハＷの前部周縁を保持させる。
【００４６】
容器本体１の正面部３から蓋体１０を取り外す場合には、先ず、蓋体開閉装置の駆動機構用操作ピン７０が表面プレート１５の操作孔１７を遊貫して駆動機構４０の被操作部４７に干渉し、上昇して駆動機構４０の原動体４１を上昇させる。
すると、柱４２の上昇に伴い、カム部４５に嵌合した従動子３２が進出位置から後退位置に後退するとともに、フロントリテーナ３０が進出位置から後退位置に後退し、このフロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁から離れることとなる。
【００４７】
フロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁から離れたら、容器本体１の正面部３に嵌合した蓋体１０を蓋体開閉装置により吸着して取り外せば、容器本体１の正面部３を開放することができる。フロントリテーナ３０が半導体ウェーハＷから離れた後、蓋体１０を取り外すので、蓋体１０の移動に伴う半導体ウェーハＷの位置ずれを防いだり、擦れによるパーティクルの発生を低減することができる。
なお、蓋体１０の施錠機構１８は、フロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁から離れる直前あるいは直後に蓋体開閉装置に解錠操作される。
【００４８】
上記構成によれば、容器本体１の正面部３に蓋体１０を嵌合する際、半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０とが接触しないので、嵌合時の蓋体１０に半導体ウェーハＷの反発力が作用することがない。したがって、容器本体１の正面部３に蓋体１０を強く圧入して嵌合したり、フロントリテーナ３０の保持力を増大させる必要が全くなく、蓋体開閉装置の負荷増加を抑制し、蓋体開閉装置がマシンダウンするのを防止することができる。
【００４９】
また、蓋体１０の嵌合時に半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０とが接触しない関係上、蓋体１０に大きな負荷が作用するのを防止することができるので、蓋体１０が弓なりに変形するおそれを有効に排除することができる。また、フロントリテーナ３０の保持力を小さく設定する必要がないので、半導体ウェーハＷの保持に支障を来たしたり、基板収納容器の搬送や輸送に伴う振動・衝撃により、半導体ウェーハＷが回転して汚れてしまうのを有効に防ぐことができる。
【００５０】
さらに、従動子３２の端部を溝形に形成するので、柱４２のカム部４５に従動子３２の端部を一方向からのみ、例えば蓋体１０の対向壁１２方向からのみ嵌合することが可能になる（図８参照）。したがって、蓋体１０の筐体１１にフロントリテーナ３０や駆動機構４０を配設した後に表面プレート１５をはじめて装着することができ、組立作業の過誤防止が大いに期待できる。
【００５１】
次に、図１０ないし図１３は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、従動子３２の端部から延長子３７を伸長し、駆動機構４０の各原動体４１を、フロントリテーナ３０に蓋体１０の対向壁１２を介して対向する細長い縦板４８に形成するようにしている。
【００５２】
各縦板４８は、その中央部に、表面プレート１５の操作孔１７に対向する凹部あるいは孔が設けられて被操作部４７とされ、フロントリテーナ３０の一対の支持体３１間に位置して複数の弾性片３４に対向する。この縦板４８には、長孔４３や複数のカム部４５の他、従動子３２の延長子３７に貫通される長孔４３Ａが穿孔されており、この長孔４３Ａを遊貫する延長子３７に脱落防止用の締結具４４が螺挿される。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００５３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、フロントリテーナ３０や駆動機構４０の構成の多様化を実現したり、複数の連結板４６等を省略して駆動機構４０の構成の簡素化が期待できるのは明らかである。
【００５４】
次に、図１４ないし図１８は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、フロントリテーナ３０の従動子３２の端部を溝形ではなく、半球形に膨出形成し、駆動機構４０の原動体４１を複数化して各原動体４１を円板に形成するとともに、この原動体４１を蓋体１０の対向壁１２に円筒ボス４９を介し回転可能に軸支させ、原動体４１の蓋体対向壁１２に対向する対向面には、従動子３２の端部と摺接するカム部４５Ａを立体的に傾斜形成し、原動体４１を所定の方向に回転させることでフロントリテーナ３０を後退位置から進出位置に進出させるようにしている。
【００５５】
原動体４１は、図１８に示すように、断面略ハット形に形成され、対向壁１２方向に凹んだ中心部が被操作部４７として表面プレート１５の操作孔１７を遊貫した駆動機構用操作ピン７０に回転操作される。この原動体４１の中心部と対向壁１２の円筒ボス４９との間には、フロントリテーナ３０を進出位置に付勢する捻りバネ等の付勢バネが必要に応じて嵌入される。
【００５６】
カム部４５Ａの従動子３２と摺接する接触面には、従動子３２を定位置に保持する保持面５０が選択的に凹み形成される。また、原動体４１の周縁部には、規制部材６０の凸部６２が複数突出形成され、この凸部６２と噛合する規制部材６０の凹部６１が蓋体１０の筐体１１あるいは表面プレート１５に複数形成される。
なお、蓋体１０の表面プレート１５には、各原動体４１に僅かな隙間をおいて対向する複数の突部２２が選択的に形成され、この複数の突部２２が原動体４１の円筒ボス４９からの脱落やガタツキ等を規制したり、原動体４１の回転角度を規制するよう機能する。
【００５７】
上記構成において、容器本体１の開口した正面部３に蓋体１０を嵌合して半導体ウェーハＷの前部周縁をフロントリテーナ３０に保持させる場合には、先ず、容器本体１の開口した正面部３にフロントリテーナ３０が後退位置にある蓋体１０を蓋体開閉装置により嵌合すれば、容器本体１の正面部３を蓋体１０により簡単、かつ適切に閉塞することができる。
この際も、各半導体ウェーハＷの前部周縁とフロントリテーナ３０の保持部３５とが非接触なので、蓋体１０を強く圧入する必要がない（図１４、図１５参照）。
【００５８】
容器本体１の正面部３が蓋体１０に閉塞され、この蓋体１０の施錠機構１８が蓋体開閉装置に施錠操作されたら、蓋体開閉装置の駆動機構用操作ピン７０が表面プレート１５の操作孔１７を遊貫して駆動機構４０の被操作部４７に挿入され、一方向に回転して駆動機構４０の原動体４１を同方向に回転させる。
【００５９】
すると、原動体４１の回転に伴い、カム部４５Ａに摺接した従動子３２が蓋体１０の表面プレート１５方向から筐体１１の対向壁１２方向に進出するとともに、フロントリテーナ３０が半導体ウェーハＷ方向の進出位置に進出し、規制部材６０の凹部６１と凸部６２とが噛合してフロントリテーナ３０を位置決めし、このフロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁を保持する（図１６、図１７参照）。
【００６０】
容器本体１の正面部３から蓋体１０を取り外す場合には、先ず、蓋体開閉装置の駆動機構用操作ピン７０が表面プレート１５の操作孔１７を遊貫して駆動機構４０の被操作部４７に挿入され、他方向に回転して駆動機構４０の原動体４１を同方向に回転させる。
すると、原動体４１の回転に伴い、カム部４５Ａに摺接した従動子３２が後退位置に後退するとともに、フロントリテーナ３０が後退位置に後退し、このフロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁から離隔することとなる。
【００６１】
フロントリテーナ３０の保持部３５が半導体ウェーハＷの前部周縁から離れたら、蓋体１０の施錠機構１８が蓋体開閉装置に解錠操作され、その後、容器本体１の正面部３に嵌合した蓋体１０を蓋体開閉装置により取り外せば、容器本体１の正面部３を開放することができる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、カムの種類を直動カムから斜面カムに変更して駆動機構４０の構成の多様化を実現することができるのは明らかである。
【００６２】
なお、上記実施形態の容器本体１の背面壁には、半導体ウェーハＷの後部周縁を保持するリヤリテーナを設けても良い。また、上記実施形態ではティース２を平面略く字形あるいは半円弧形に屈曲形成したが、何らこれに限定されるものではなく、例えばティース２を前部、中央部、後部に三分割する等、複数に分割形成しても良い。また、フロントリテーナ３０の一対の支持体３１は、枠形に形成しても良い。
【００６３】
また、従動子３２の延長子３７に貫通される長孔４３Ａを蓋体１０の表面プレート１５に穿孔し、この長孔４３Ａを遊貫する延長子３７に脱落防止用の締結具４４を螺挿したり、延長子３７を被操作部４７としても良い。さらに、円板形の原動体４１の周縁部と蓋体１０との間に、フロントリテーナ３０を進出位置に付勢する付勢バネ６３を必要に応じ張架することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す断面説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体、フロントリテーナ、駆動機構を模式的に示す説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における駆動機構を模式的に示す説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体、フロントリテーナ、駆動機構を模式的に示す断面説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器及びその蓋体取り付け方法の実施形態における後退位置のフロントリテーナを模式的に示す断面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器及びその蓋体取り付け方法の実施形態における進出位置のフロントリテーナを模式的に示す断面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるフロントリテーナの従動子と駆動機構との関係を模式的に示す説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における駆動機構と規制部材を模式的に示す説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における蓋体、フロントリテーナ、駆動機構を模式的に示す説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す断面説明図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における蓋体の表面プレートを模式的に示す説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるフロントリテーナの従動子と駆動機構との関係を模式的に示す説明図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態におけるフロントリテーナが後退位置にある場合の駆動機構を模式的に示す断面説明図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態における後退位置のフロントリテーナを模式的に示す断面説明図である。
【図１６】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態におけるフロントリテーナが進出位置にある場合の駆動機構を模式的に示す断面説明図である。
【図１７】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態における進出位置のフロントリテーナを模式的に示す断面説明図である。
【図１８】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態におけるフロントリテーナの従動子と駆動機構との関係を模式的に示す断面説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
１        容器本体
３        正面部（開口部）
１０      蓋体
１１      筐体
１２      対向壁
１３      連通孔
１５      表面プレート
１７      操作孔
１８      施錠機構
３０      フロントリテーナ（リテーナ）
３１      支持体
３３      シール部材
３４      弾性片
３５      保持部
３６      保持溝
３７      延長子
４０      駆動機構
４１      原動体
４２      柱
４５      カム部
４５Ａ    カム部
４６      連結板
４７      被操作部
４８      縦板
６０      規制部材
６１      凹部
６２      凸部
６３      付勢バネ
７０      駆動機構用操作ピン
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
2010141222.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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