(57)【要約】【課題】マイクロクラックから発生する可能性のあるパーティクルを予め吸い込んでカウントすることにより、厳しい条件での検査を課し、その結果として、最終的にパーティクルの発生のきわめて少ない良品のガラス板を製造することを可能にするパーティクル測定方法を提供する。【解決手段】ガラス板Ｗの端面Ｗａに樹脂チューブ１０の先端１１を押し当てながらスライドさせることにより、当該ガラス板の端面に摩擦を加えて該端面のパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを吸引して、パーティクルカウンタ２０でその数を計数する。【選択図】図１
2010230646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の端面に該ガラス板より軟質の擦り取り部材を押し当てながらスライドさせることにより、当該ガラス板の端面に摩擦を加えて該端面のパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを吸引して、パーティクルカウンタでその数を計数することを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載のガラス板端面のパーティクル測定方法であって、
前記擦り取り部材が、前記ガラス板の厚みより内径の大きな樹脂チューブであり、その樹脂チューブの先端を前記ガラス板の端面に押し当てながらスライドさせることにより、当該ガラス板の端面のパーティクルを擦り取りながら、前記樹脂チューブの先端開口で吸引することを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定方法。
【請求項３】
ガラス板の端面に先端が押し当てられながらスライドさせられることで、当該ガラス板の端面のパーティクルを擦り取る前記ガラス板よりも軟質の樹脂チューブと、該樹脂チューブの基端側に接続されて該樹脂チューブの先端で擦り取ったパーティクルを該樹脂チューブを通して吸引する吸引装置と、該吸引装置によって吸引されたパーティクルの数を計数するパーティクルカウンタと、を備えることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載のガラス板端面のパーティクル測定装置であって、
更に、前記ガラス板を端面測定ができるように一定の姿勢で保持するガラス板保持台と、前記樹脂チューブを保持して、前記ガラス板保持台に保持されたガラス板の前記端面に対して前記樹脂チューブの先端を押し当て、押し当てた姿勢で前記樹脂チューブを前記ガラス板の端面に沿って平行に移動させる移動機構と、を備えることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載のガラス板端面のパーティクル測定装置であって、
前記移動機構と前記吸引装置とを制御する制御装置を備えており、該制御装置が、前記吸引装置の作動に合わせて前記移動機構を制御して、前記樹脂チューブの先端をガラス板の端面の所定の長さの範囲に対して所定の回数だけ往復移動させることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
【請求項６】
請求項５に記載のガラス板端面のパーティクル測定装置であって、
前記移動機構が、前記樹脂チューブを保持する移動ヘッドと、該移動ヘッドを前記ガラス板保持台に保持されたガラス板の端面に対して平行に移動するようにガイドするガイドレールと、該ガイドレールに沿って前記移動ヘッドを移動させる駆動装置とを具備しており、
一方、前記ガラス板保持台が、前記測定すべき端面を上に向けた立ち姿勢で前記ガラス板を保持するよう構成され、そのガラス板の保持位置よりも上側の位置に、前記移動機構のガイドレールが装備されていることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載のガラス板端面のパーティクル測定装置であって、
前記ガイドレールに、前記移動ヘッドの移動範囲を規定するための位置規制手段が設けられていることを特徴とすることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ等の製造に使用されるガラス板の端面のパーティクルの測定方法および測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、略して「ＦＰＤ」という）には、薄いガラス板が使用されており、近年ではディスプレイの大型化に伴ってサイズの大きなガラス板が使用されるようになってきている。
【０００３】
この種のガラス板は、一般的に次の一連の工程、即ち、ガラス溶解炉における溶融工程、溶融ガラスを帯状のガラスリボンに成形する成形工程、ガラスリボンを目的のサイズのガラス板に切断する切断工程、切断したガラス板の端面や角部を切削および面取り加工する仕上工程、その後の洗浄工程、を順に経ることにより製品化されている。
【０００４】
この場合、製品であるガラス板の表面にパーティクルが存在すると、ＦＰＤの製造工程においてガラス板に傷が付いたり、電気回路を形成する際に品質を損ねたりするおそれがある。
【０００５】
例えば、ＦＰＤの製造工程の中にはガラス板上に薄膜トランジスタ用の電気回路を形成する工程があるが、この工程の際にガラス板の表面にパーティクルが付着していると、それが電気回路の不良の原因になる。この種のパーティクルには、微細な埃やガラス基板製造時の洗浄残物の他にガラス基板の端面から発生する微細なガラス粉がある。
【０００６】
そこで、通常は、端面の研削・研磨加工を行った後に洗浄工程を実施し、その後に抜き取り検査によりパーティクルの個数を測定して、検査をクリアしたものを製品として出荷している。また、検査結果を主に洗浄工程にフィードバックして、不良品率の少ない合理的な生産ができるようにしている。
【０００７】
ところで、ガラス板端面のパーティクルの測定に応用できる従来のパーティクル測定方法として、特許文献１に記載のものや特許文献２に記載のものが知られている。
【０００８】
特許文献１に記載のパーティクル測定方法は、図９に示すように、被測定体２００の表面に存在するパーティクル２１０を、吹出ノズル２０２からのエアで吹き飛ばしながら吸引ノズル２０１で吸引し、吸引ノズル２０１で吸引したパーティクル２１０をパーティクルカウンタ２０８で計数するようにしたものである。
【０００９】
また、特許文献２に記載のパーティクル測定方法は、ガラス基板を移送方向である長手方向にスキャンすることによって、単位領域に存在するパーティクルに関する情報をカメラ画像として取得し、取得した単位領域に関するカメラ画像のデータから、ガラス基板の全領域のパーティクルの個数を算出するようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平９−１４５５５５号公報
【特許文献２】特開２００５−１６４５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、本発明者が種々検討し調査した結果、上述した従来のパーティクル測定方法は、いずれも表面に既に付着しているパーティクルだけをカウントしているに過ぎないため、その方法でガラス板端面のパーティクルを測定した場合に、実際には隠れたパーティクルの見逃しが多く発生してしまい、その結果として、現実にそのガラス板を使用してＦＤＰ等を製造した場合に不良を引き起こしやすいことが分かった。
【００１２】
即ち、ガラス板の端面を研削・研磨した場合には、マイクロクラックというものがガラス板の端面に発生することが知られている。このマイクロクラックは、時間の経過と共に成長することがしばしばあり、成長した場合は、そのマイクロクラックから新たなパーティクルが発生し、そのパーティクルがガラス板の表面に拡がることで、ＦＰＤの製造の際の不良を引き起こすことが分かった。
【００１３】
マイクロクラックの成長に伴うパーティクルの発生過程は以下のように考えられる。まず、図８に示すように、ガラス板Ｗの切断後、断面が半月状になるよう端面Ｗａの面取り加工を行うが、その面取り加工を経ても微細なクラック（マイクロクラック）Ｗｃが存在する。この端面ＷａのマイクロクラックＷｃは経時的に成長することがあり、このマイクロクラックＷｃの成長に伴って微細なガラス粉（図示略）が発生する。そして、この端面Ｗａから発生したガラス粉が、ガラス板Ｗの表面に拡がることで、不良品発生の原因となる。
【００１４】
従来のパーティクル測定方法では、このマイクロクラックＷｃから時間の経過と共に発生するパーティクルを測定できないために、現実にＦＰＤの製造段階で起きる問題に確実に対処することはできなかった。
【００１５】
本発明は、上記事情を考慮し、マイクロクラックから発生する可能性のあるパーティクルを予め吸い込んでカウントすることにより、厳しい条件での検査を課し、その結果として、最終的にパーティクルの発生のきわめて少ない良品のガラス板を製造することを可能にするパーティクル測定方法、および、その方法を実施するために直接使用するパーティクル測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の上記目的は、以下の構成によって達成される。
（１）ガラス板の端面に該ガラス板より軟質の擦り取り部材を押し当てながらスライドさせることにより、当該ガラス板の端面に摩擦を加えて該端面のパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを吸引して、パーティクルカウンタでその数を計数することを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定方法。
（２）上記（１）の構成において、
前記擦り取り部材が、前記ガラス板の厚みより内径の大きな樹脂チューブであり、その樹脂チューブの先端を前記ガラス板の端面に押し当てながらスライドさせることにより、当該ガラス板の端面のパーティクルを擦り取りながら、前記樹脂チューブの先端開口で吸引することを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定方法。
（３）ガラス板の端面に先端が押し当てられながらスライドさせられることで、当該ガラス板の端面のパーティクルを擦り取る前記ガラス板よりも軟質の樹脂チューブと、該樹脂チューブの基端側に接続されて該樹脂チューブの先端で擦り取ったパーティクルを該樹脂チューブを通して吸引する吸引装置と、該吸引装置によって吸引されたパーティクルの数を計数するパーティクルカウンタと、を備えることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
（４）上記（３）の構成において、
更に、前記ガラス板を端面測定ができるように一定の姿勢で保持するガラス板保持台と
、前記樹脂チューブを保持して、前記ガラス板保持台に保持されたガラス板の前記端面に対して前記樹脂チューブの先端を押し当て、押し当てた姿勢で前記樹脂チューブを前記ガラス板の端面に沿って平行に移動させる移動機構と、を備えることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
（５）上記（４）の構成において、
前記移動機構と前記吸引装置とを制御する制御装置を備えており、該制御装置が、前記吸引装置の作動に合わせて前記移動機構を制御して、前記樹脂チューブの先端をガラス板の端面の所定の長さの範囲に対して所定の回数だけ往復移動させることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
（６）上記（５）の構成において、
前記移動機構が、前記樹脂チューブを保持する移動ヘッドと、該移動ヘッドを前記ガラス板保持台に保持されたガラス板の端面に対して平行に移動するようにガイドするガイドレールと、該ガイドレールに沿って前記移動ヘッドを移動させる駆動装置とを具備しており、
一方、前記ガラス板保持台が、前記測定すべき端面を上に向けた立ち姿勢で前記ガラス板を保持するよう構成され、そのガラス板の保持位置よりも上側の位置に、前記移動機構のガイドレールが装備されていることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
（７）上記（５）または（６）の構成において、
前記ガイドレールに、前記移動ヘッドの移動範囲を規定するための位置規制手段が設けられていることを特徴とすることを特徴とするガラス板端面のパーティクル測定装置。
【発明の効果】
【００１７】
上記（１）の構成によれば、擦り取り部材をガラス板の端面に押し当てながらスライドさせることにより、ガラス板の端面のパーティクルを擦り取るので、ガラス板の端面にマイクロクラック（微細なクラック）が存在する場合にも、そのクラックが成長することで新たに発生するであろうパーティクルを一緒に吸引して計数することができる。従って、現在ガラス板の端面上に存在するパーティクルばかりでなく、時間の経過に伴って将来パーティクル化する可能性のあるものも含めて、パーティクルを吸引して計数することができるので、より厳しい条件での測定を行うことができる。そして、その厳しい条件をクリアした製品だけを出荷することにより、後の製造工程での不良品発生率を極めて低く抑えることができるようになる。
ここで、ガラス板の端面に押し当てる擦り取り部材としては、樹脂製のヘラや棒などを用いることができるが、上記（２）の構成では、擦り取り部材として樹脂チューブを用い、その先端でパーティクルを擦り取りながらパーティクルをそのままチューブで吸引するので、漏れなく正確にパーティクルを吸引し、計数することができる。即ち、擦り取り操作と吸引操作が一緒に構成しているので、効率よくパーティクルを測定することができる。
また、上記（３）の構成によれば、樹脂チューブの先端をガラス板の端面に擦り付けながら吸引することにより、簡単にパーティクルをカウントすることができる。
また、上記（４）の構成によれば、測定対象のガラス板を一定の姿勢で保持するガラス板保持台と、樹脂チューブの先端をガラス板の端面に押し当てたまま移動させる移動機構を設けているので、人手による不安定作業の軽減を図ることができ、熟練した測定者に限らずに測定作業を行うことができる。
また、上記（５）の構成によれば、制御装置により自動的に、樹脂チューブの先端をガラス板の端面に擦り付けながら必要回数だけ往復移動させるので、人手を省きながら安定した測定が可能となる。
また、上記（６）の構成によれば、ガラス板を、測定すべき端面を上に向けた立ち姿勢で保持しながら測定するので、ガラス板の取り扱いが楽にできるようになる。また、ガイドレールに沿って移動ヘッドが移動させることにより、樹脂チューブの先端をガラス板の
端面に擦り付けながら移動させるので、動作が安定し測定の信頼性を高めることができる。
また、上記（７）の構成によれば、ガイドレールに、移動ヘッドの移動範囲を規定するための位置規制手段を設けているので、移動ヘッドの往復移動範囲を正確に決めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態のガラス板端面のパーティクル測定方法の説明図で、（ａ）はパーティクル測定装置を用いてガラス板端面のパーティクルを測定している状態を示す図、（ｂ）は測定装置の主要部品である樹脂チューブの先端をガラス板端面に対してスライドさせている状態を示す斜視図、（ｃ）はガラス板端面に押し当てる樹脂チューブの先端の径とガラス板の厚さの関係を示す図である。
【図２】実施形態の測定方法を実施するガラス板の対象部位を説明するための図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は実施形態の測定方法で用いる樹脂チューブの先端のバリエーションを示す図である。
【図４】本発明の他の実施形態のパーティクル測定方法の説明図である。
【図５】本発明のパーティクル測定方法を実施する前のガラス板端面の面取り工程（仕上工程）の進め方を説明するための図である。
【図６】本発明の実施形態のパーティクル測定装置の具体例を示す構成図で、（ａ）は全体構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のＶＩｂ部の拡大図、（ｃ）は（ａ）のＶＩｃ部の拡大図である。
【図７】（ａ）は図６（ａ）のＶＩＩａ部の拡大図、（ｂ）は（ａ）で示す部分の模式図である。
【図８】ガラス板の端面に発生するマイクロクラックの説明用の断面図である。
【図９】従来のパーティクル測定方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
図１は実施形態のガラス板端面のパーティクル測定方法の説明図で、（ａ）はパーティクル測定装置を用いてガラス板端面のパーティクルを測定している状態を示す図、（ｂ）は測定装置の主要部品である樹脂チューブの先端をガラス板端面に対してスライドさせている状態を示す斜視図、（ｃ）はガラス板端面に押し当てる樹脂チューブの先端の径とガラス板の厚さの関係を示す図である。
【００２０】
本実施形態のパーティクル測定方法は、図１（ａ）に示すような、幾つかの要素からなるパーティクル測定装置Ｍを用いて実施する。このパーティクル測定装置Ｍは、適当な長さ（吸引力を損なわない程度の長さ）の樹脂チューブ１０と、吸引装置（図示略）と、パーティクルカウンタ２０とを具備するものである。吸引装置は、ここではパーティクルカウンタ２０の中に内蔵されている。
【００２１】
樹脂チューブ１０は、ガラス板Ｗの端面Ｗａに開口した先端１１が押し当てられながら、ガラス板Ｗの端面Ｗａの長手方向に沿って矢印Ｘのようにスライドさせられることにより、当該ガラス板Ｗの端面Ｗａのパーティクルを擦り取るもので、ガラス板Ｗよりも軟質の樹脂材料よりなる。また、樹脂チューブ１０としては、図１（ｃ）に示すように、内径ｄがガラス板Ｗの厚みｔよりも大きく、ガラス板Ｗの端面Ｗａにバランス良く押し当てたときに、ガラス板Ｗの両側に吸引用の隙間Ｓができるようなサイズのものが使用されている。
【００２２】
また、樹脂チューブ１０の材料には、樹脂チューブ１０の先端１１でガラス板端面Ｗａ
のマイクロクラック中に存在するパーティクルを擦り取るため、適度な硬さも必要である。その場合の硬さ（ショアＡ硬さ）は、「ＪＩＳ  Ｋ６２５３」に準ずる条件において、ショアＡ３０〜９９の範囲にあることが望ましく、さらに望ましくはショアＡ３０〜９５の範囲にあることがよく、最も望ましくはショアＡ５０〜９０の範囲にあることがよい。比較の参考までに、「ＪＩＳ  Ｋ６２５３」のサンプル値を目安として挙げると、次の通りである。
ショアＡ９５・・・ゴルフボール
ショアＡ９０・・・野球の硬球
ショアＡ７０・・・野球の軟球
ショアＡ５０・・・プラスチック消しゴム
ショアＡ３０・・・自転車のタイヤチューブ
【００２３】
具体的な樹脂チューブ１０の材料としては、ウレタン樹脂、ポリシリコン樹脂、フッ素系樹脂、天然ゴム、ナイロン、テフロン（登録商標）、オレフィン樹脂などが採用可能である。特に最も優れてるものはウレタン樹脂であり、クリーンルーム内での使用が可能なウレタン樹脂チューブを用いれば、クリーンルーム内での作業が可能になる。
【００２４】
吸引装置は、樹脂チューブ１０の基端１２側に接続されて樹脂チューブ１０の先端１１で擦り取ったパーティクルを樹脂チューブ１０を通して吸引するものである。パーティクルカウンタ２０は、吸引装置によって吸引されたパーティクルの数を計数するものである。
【００２５】
次にパーティクル測定方法を説明する。
ガラス板Ｗの端面Ｗａのパーティクルを測定する場合は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ガラス板Ｗの端面Ｗａに擦り取り部材としての樹脂チューブ１０の先端１１を押し当てながら、ガラス板Ｗの端面Ｗａの長手方向に沿って矢印Ｘのように樹脂チューブ１０の先端をスライドさせる。そして、ある程度の力を加えながら押し付けてスライドさせることにより、ガラス板Ｗの端面Ｗａに摩擦を加えて、ガラス板Ｗの端面Ｗａのパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを、樹脂チューブ１０を通して吸引装置で吸引して、パーティクルカウンタ２０でその数を計数する。
【００２６】
この場合、ガラス板Ｗが割れない程度の接触圧力で樹脂チューブ１０の先端１１をガラス板Ｗの端面Ｗａに押し付けて摩擦を加える。摩擦を加える面積は、例えば、７０ｍｍ２〜１００ｍｍ２程度が作業性の面から効率的であり、樹脂チューブ１０の先端１１を適当な範囲で往復スライドさせる。
【００２７】
なお、測定の開始前には、最初に空回し（空吸引）して、樹脂チューブ１０の中に残存するパーティクルを排除しておく。空回しは、１回の測定の終了ごとに実施する。空回し時間は、パーティクルのカウント値がゼロになるまでである。クリーンルーム内で実施する場合は、周囲の空気中に存在するパーティクルの影響は無視することができる。
【００２８】
抜き取り検査においては、図２に示すように、抜き取ったサンプルのガラス板Ｗを台１００に載せ、ガラス板Ｗの４辺の適当な箇所Ｐについて、それぞれ吸引による測定を実施する。そして、ガラス板Ｗの端面の４辺の測定を全て終了することで、１枚のサンプルのガラス板Ｗのパーティクル発生量をカウントする。
【００２９】
また、このようなパーティクル測定方法は、図５に示すような面取り工程（仕上工程）後の洗浄工程の後に実施する。面取りは、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、ガラス板Ｗの端面Ｗａに研磨ホイール６０の研磨面を押し当てながら研磨ホイールを回転させることで行う。研磨するに従い、研磨ホイール６０の研磨面には、図５（ｃ）に示すように、ガ
ラス板Ｗの研磨枚数に応じて溝６１ができる。溝６１が深くなると研磨不良となるので、例えば、６００枚ごとに、図６（ｄ）に示すように研磨ホイール６０の位置換えや交換をする。
【００３０】
パーティクルは、この研磨ホイール６０の位置換えや交換の直後に発生しやすいので、パーティクル測定の抜き取り検査は、研磨ホイール６０の位置換えや交換の直後に実施する。例えば、６００枚に１回の割合で実施する。従って、工程中におけるパーティクル個数の最大値を測定していることになり、一番厳しい条件で検査していると見なせる。
【００３１】
以上のように本実施形態のパーティクル測定方法によれば、擦り取り部材としての樹脂チューブ１０の先端１１をガラス板Ｗの端面Ｗａに押し当てながらスライドさせることにより、ガラス板Ｗの端面Ｗａのパーティクルを擦り取るので、ガラス板Ｗの端面Ｗａに図６に示すようなマイクロクラック（微細なクラック）が存在する場合にも、そのクラックが成長することで新たに発生するであろうパーティクルを一緒に吸引して計数することができる。
【００３２】
従って、現在ガラス板Ｗの端面Ｗａ上に存在するパーティクルばかりでなく、時間の経過に伴って将来パーティクル化する可能性のあるものも含めて、パーティクルを吸引して計数することができ、より厳しい条件での測定を行うことができる。そして、その厳しい条件をクリアした製品だけを出荷することにより、後の製造工程での不良品発生率を極めて低く抑えることができるようになる。
【００３３】
特に本実施形態では、ガラス板Ｗの端面Ｗａに押し当てる擦り取り部材として樹脂チューブ１０を用いているので、その先端１１でパーティクルを擦り取りながらパーティクルをそのまま樹脂チューブ１０で吸引することができ、漏れなく正確に、効率よく、しかも簡単にパーティクルを吸引して計数することができる。
【００３４】
次に、幾つかのサンプルＡ、Ｂ、Ｃについてパーティクルを測定した結果を表１にあげる。
ここでのサンプルは、ダウンドロー法にて成形したＦＰＤ用の厚み０．７ｍｍのガラス板である。
【００３５】
【表１】
2010230646.tif 000003
【００３６】
なお、樹脂チューブ１０の先端１１の形状は、図３の各例に示すように設定することができる。
例えば、（ａ）の樹脂チューブの先端１１Ａは、チューブの長手方向に垂直にカットした単純な形状をなしている。また（ｂ）の樹脂チューブの先端１１Ｂは、チューブの長手方向に斜めにカットした形状をなしている。このように斜めにカットした場合は、先端開
口の面積を大きくできるので、吸引効率の向上が図れる。
【００３７】
また、（ｃ）の樹脂チューブの先端１１Ｃは、チューブの長手方向に垂直にカットし、その上で先端縁にガラス板Ｗの端面Ｗａの面取り形状に合わせた大きめの凹み１５を設けた形状をなしている。また、（ｄ）の樹脂チューブの先端１１Ｄは、チューブの長手方向に垂直にカットし、その上で先端縁にガラス板Ｗの端面Ｗａの面取り形状に合わせた小さめの凹み１６を設けた形状をなしている。（ｃ）および（ｄ）のように、ガラス板Ｗの端面Ｗａの形状に合せた凹み１５、１６を設けた場合は、測定対象のガラス板Ｗの端面Ｗａに効率よく摩擦を加えることができるので、パーティクルの擦り取り効果が高まる。
【００３８】
また、上記実施形態においては、擦り取り部材として樹脂チューブ１０を用いた場合を示したが、図４に示すように、ヘラ状の擦り取り樹脂部材３０を、ガラス板Ｗの端面Ｗａの押し押し当てながらスライドさせることにより、ガラス板Ｗの端面Ｗａに摩擦を加えて、該ガラス板Ｗの端面Ｗａのパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを樹脂チューブ１０で吸引して、パーティクルカウンタ２０（図１参照）でその数を計数するようにしてもよい。
【００３９】
この場合の擦り取り部材としては、上記のヘラ状のものに限らず、棒状、針状、ボール状など、あらゆる形状のものが使用可能である。
【００４０】
次に自動的にパーティクルの測定ができるようにしたパーティクル測定装置について、図６および図７を参照して説明する。
図６は同パーティクル測定装置の構成図で、（ａ）は全体構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のＶＩｂ部の拡大図、（ｃ）は（ａ）のＶＩｃ部の拡大図、図７の（ａ）は図６（ａ）のＶＩＩａ部の拡大図、（ｂ）は（ａ）で示す部分の模式図である。
【００４１】
図６（ａ）に示すように、このパーティクル測定装置１２０は、基本要素として、図１に示したものと同様に、適当な長さ（吸引力を損なわない程度の長さ）の樹脂チューブ１０と、樹脂チューブ１０の基端に接続されたパーティクルカウンタ２０（図１参照）と、吸引装置（パーティクルカウンタ２０の中に内蔵）とを具備しており、その上で更に、ガラス板Ｗを端面Ｗａの測定ができるように一定の姿勢で保持するガラス板保持台１３０と、樹脂チューブ１０を保持して、ガラス板保持台１３０に保持されたガラス板Ｗの端面Ｗａに対して樹脂チューブ１０の先端を押し当て、押し当てた姿勢で樹脂チューブ１０をガラス板Ｗの端面Ｗａに沿って平行に移動させる移動機構１４０と、この移動機構１４０と吸引装置内蔵のパーティクルカウンタ２０とを制御する制御装置（図示略）とを具備している。この場合の制御装置は、吸引装置内蔵のパーティクルカウンタ２０の作動に合わせて移動機構１４０を制御して、樹脂チューブ１０の先端部分を、ガラス板Ｗの端面Ｗａの所定の長さの範囲に対して所定の回数だけ往復移動させる機能を果たす。
【００４２】
ガラス板保持台１３０は、測定すべき端面Ｗａを上に向けた立ち姿勢でガラス板Ｗを保持するもので、ベース板１３１の上に左右の支柱１３２をやや傾けて立設し、それら左右の支柱１３２の間に水平方向に延びる複数の桟部材を渡し、下側桟部材１３５と上側桟部材１３６に、ガラス板Ｗをベース板１３１から浮かせた位置で立てかけるための複数の受け具１３８、１３７を取り付けた構成をなしている。符号１３３で示すものは、斜めに傾けた支柱１３１を支えるサポート材である。また、上側の受け具１３７は、図６（ｂ）に示すように、ガラス板Ｗを受ける面にクッション材としてのゴム１３７ａを有している。また、下側の受け具１３８は、図６（ｃ）に示すように、ガラス板Ｗの下縁を載せるためのピン１３８ａを有している。
【００４３】
一方、樹脂チューブ１０を移動させる移動機構１４０は、図７（ａ）に示すように、樹
脂チューブ１０を保持部１４３を介して保持する移動ヘッド１４１と、移動ヘッド１４１をガラス板保持台１３０に保持されたガラス板Ｗの端面Ｗａに対して平行に移動するようにガイドするガイドレール１４２と、ガイドレール１４２に沿って移動ヘッド１４１を移動させる駆動装置（図示略）とを具備している。駆動装置としては、例えばエアシリンダやリニアモータ等が採用できる。
【００４４】
ガイドレール１４２は、ガラス板Ｗの保持位置よりも上側の位置に水平に渡されており、移動ヘッド１４１を、測定すべきガラス板Ｗの端面Ｗａに沿って矢印Ｘ方向に平行に移動するよう案内する。ガイドレール１４２には、図７（ｂ）に示すように、移動ヘッド１４１が所定の移動範囲Ｓ内で往復移動できるように規制する位置センサ（位置規制手段）が設けられている。従って、例えば移動ヘッド１４１は、図中左側に向けて移動していて左側の位置センサ１５１に当たると、右側に移動方向を切り替え、右側の移動センサ１５２に当たると、左側に移動方向を切り替え、それを繰り返すことで往復移動するようになっている。
このとき使用するセンサとしては、上述のような接触式のものでも、光電センサ、近接センサのような非接触式のものでも良い。
【００４５】
このような構成のパーティクル測定装置１２０を使用した場合、ガラス板Ｗを立ち姿勢でガラス板保持台１３０にセットしさえすれば、後は自動的にパーティクルの測定を行うことができるので、人手による作業を最小限に抑えながら、熟練した測定者に限らずに、安定してパーティクル測定作業を行うことができる。特に、樹脂チューブ１０を保持した移動ヘッド１４１をガイドレール１４２に沿って移動させるので、動作が安定し測定の信頼性を高めることができる。また、ガイドレール１４２に２つの位置センサ１５１、１５２を取り付けることで、移動ヘッド１４１の移動範囲を規制するようにしているので、容易に動作の正確さを期することができる。また、立てた姿勢のままガラス板Ｗを多少持ち上げて回すことにより、別の測定すべき端面Ｗａを上向きにセットすることができるので、ガラス板Ｗの取り扱いが楽にできるようになる。
【符号の説明】
【００４６】
Ｍ  パーティクル測定装置
Ｗ  ガラス板
Ｗａ  端面
１０  樹脂チューブ（擦り取り部材）
１１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ  先端
１２  基端
２０  パーティクルカウンタ（吸引装置を含む）
３０  擦り取り部材
１２０  パーティクル測定装置
１３０  ガラス板保持台
１４０  移動機構
１４１  移動ヘッド
１４２  ガイドレール
１５１，１５２  位置センサ（位置規制手段）
【図１】
2010230646.tif 000004
【図２】
2010230646.tif 000005
【図３】
2010230646.tif 000006
【図４】
2010230646.tif 000007
【図５】
2010230646.tif 000008
【図６】
2010230646.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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