(57)【要約】【課題】シミュレーションモデルを評価するために、シミュレーションモデルによるシミュレーション結果と製造結果との誤差を精密に評価することが必要とされている。【解決手段】シミュレーション図形データ生成部１３は、シミュレーションモデルを用いるシミュレーションにより、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示すシミュレーション図形データ３６Ａ〜３６Ｄを生成する。図形抽出部１４は、前記マスク図形が形成されたフォトマスクを使用してウェハに形成された実回路のパターンとしての実図形と前記シミュレーション図形との排他的論理和としての差分図形群を抽出する。面積値取得部１５は、前記差分図形群の面積値群を取得する。誤差指標算出部１６は、前記面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの誤差指標を算出する。【選択図】図１
2010134236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シミュレーション図形データ生成部と、
図形抽出部と、
面積値取得部と、
誤差指標算出部と
を具備し、
前記シミュレーション図形データ生成部は、複数のシミュレーションモデルの各々について、前記シミュレーションモデルを用いるシミュレーションにより、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示すシミュレーション図形データを生成し、
前記図形抽出部は、前記マスク図形が形成されたフォトマスクを使用してウェハに形成された実回路のパターンとしての実図形を示す実図形データ及び前記シミュレーション図形データに基づいて、前記実図形と前記シミュレーション図形との排他的論理和としての差分図形群を抽出し、
前記面積値取得部は、前記差分図形群の面積値群を取得し、
前記誤差指標算出部は、前記面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの誤差指標を算出する
シミュレーションモデル評価装置。
【請求項２】
出力部を更に具備し、
前記図形抽出部は、
前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割し、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出し、
前記面積値取得部は、前記領域内差分図形群の全体の面積値を取得し、
前記出力部は、前記誤差指標及び前記面積値を出力する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項３】
出力部を更に具備し、
前記図形抽出部は、前記差分図形群から、前記実図形と共通部分を持たない第１図形群と前記シミュレーション図形と共通部分を持たない第２図形群とを抽出し、
前記面積値取得部は、前記第１図形群の第１面積値群を取得し、前記第２図形群の第２面積値群を取得し、
前記誤差指標算出部は、前記第１面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの第１誤差指標を算出し、前記第２面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの第２誤差指標を算出し、
前記出力部は、前記誤差指標、前記第１誤差指標及び前記第２誤差指標を出力する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項４】
誤差寸法取得部を更に具備し、
前記誤差寸法取得部は、前記第１図形群の寸法群としての第１誤差寸法群を取得し、前記第２図形群の寸法群としての第２誤差寸法群を取得し、
前記出力部は、前記第１誤差寸法群及び前記第２誤差寸法群を出力する
請求項３のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項５】
誤差寸法算出部を更に具備し、
前記領域内差分図形群は、領域内差分図形を含み、
前記誤差寸法算出部は、前記領域内差分図形の輪郭線のうち前記実図形部分及び前記シミュレーション図形部分の一方の輪郭線と共通する部分の長さで前記領域内差分図形の面積値を割った誤差寸法を算出し、
前記出力部は、前記誤差寸法を出力する
請求項２のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項６】
誤差寸法取得部と、
比較部と、
出力部と
を更に具備し、
前記誤差寸法取得部は、前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得し、
前記比較部は、前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較し、
前記出力部は、前記誤差寸法群が前記閾値を超える誤差寸法を含む場合に警告を出力する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項７】
誤差寸法取得部と、
比較部と
を更に具備し、
前記誤差寸法取得部は、前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得し、
前記比較部は、前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較し、
前記誤差寸法群は、前記閾値を超える誤差寸法を含み、
前記差分図形群は、前記誤差寸法に対応する差分図形を含み、
前記面積値群は、前記差分図形の面積値を含み、
前記誤差指標算出部は、重み付けされた前記面積値に基づいて、前記誤差指標を算出する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項８】
シミュレーションモデル選択部と、  
誤差寸法取得部と、
比較部と、
出力部と
を更に具備し、
前記シミュレーションモデル選択部は、前記誤差指標に基づいて、前記複数のシミュレーションモデルから誤差の小さいシミュレーションモデルとしての第１シミュレーションモデルを選択し、
前記誤差寸法取得部は、前記第１シミュレーションモデルについて、前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得し、
前記比較部は、前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較し、
前記出力部は、前記誤差寸法群が前記閾値を超える誤差寸法を含む場合に警告を出力する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項９】
シミュレーションモデル選択部と、  
誤差寸法取得部と、
比較部と
を更に具備し、
前記シミュレーションモデル選択部は、前記誤差指標に基づいて、前記複数のシミュレーションモデルから誤差の小さいシミュレーションモデルとしての第１シミュレーションモデルを選択し、
前記誤差寸法取得部は、前記第１シミュレーションモデルについて、前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得し、
前記比較部は、前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較し、
前記誤差寸法群は、前記閾値を超える誤差寸法を含み、
前記差分図形群は、前記誤差寸法に対応する差分図形を含み、
前記面積値群は、前記差分図形の面積値を含み、
前記誤差指標算出部は、前記面積値群に基づいて、且つ、重み付けされた前記面積値に基づいて、前記第１シミュレーションモデルの重み付き誤差指標を算出する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項１０】
比較部と、
出力部と、
面積率算出部と
を更に具備し、
前記図形抽出部は、
前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割し、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出し、
前記面積値取得部は、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得し、
前記実図形部分の面積値としての実図形部分面積値を取得し、
前記シミュレーション図形部分の面積値としてのシミュレーション図形部分面積値を取得し、
前記面積率算出部は、前記実図形部分面積値及び前記シミュレーション図形部分面積値の平均値で前記差分図形面積値を割った面積率を算出し、
前記比較部は、前記面積率と閾値とを比較し、
前記出力部は、前記面積率が前記閾値より大きい場合に警告を出力する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項１１】
比較部と、
出力部と、
面積率算出部と
を更に具備し、
前記図形抽出部は、
前記実回路の設計パターンとしての設計図形、前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割し、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出し、
前記面積値取得部は、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得し、
前記矩形領域及び前記矩形領域に隣接する矩形領域の全体に含まれる前記設計図形の部分の面積値としての設計図形部分面積値を取得し、
前記面積率算出部は、
前記設計図形部分面積値で前記差分図形面積値を割った面積率を算出し、
前記比較部は、前記面積率と閾値とを比較し、
前記出力部は、前記面積率が前記閾値より大きい場合に警告を出力する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項１２】
面積率算出部を更に具備し、
前記図形抽出部は、
前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割し、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出し、
前記面積値取得部は、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得し、
前記実図形部分の面積値としての実図形部分面積値を取得し、
前記シミュレーション図形部分の面積値としてのシミュレーション図形部分面積値を取得し、
前記面積率算出部は、前記実図形部分面積値及び前記シミュレーション図形部分面積値の平均値で前記差分図形面積値を割った面積率を算出し、
前記差分図形群及び前記面積値群は、前記領域内差分図形群及び前記差分図形面積値をそれぞれ含み、
前記誤差指標算出部は、前記面積率に基づいて重み付けされた前記差分図形面積値に基づいて前記誤差指標を算出する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項１３】
面積率算出部を更に具備し、
前記図形抽出部は、
前記実回路の設計パターンとしての設計図形、前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割し、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出し、
前記面積値取得部は、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得し、
前記矩形領域及び前記矩形領域に隣接する矩形領域の全体に含まれる前記設計図形の部分の面積値としての設計図形部分面積値を取得し、
前記面積率算出部は、
前記設計図形部分面積値で前記差分図形面積値を割った面積率を算出し、
前記差分図形群及び前記面積値群は、前記領域内差分図形群及び前記差分図形面積値をそれぞれ含み、
前記誤差指標算出部は、前記面積率に基づいて重み付けされた前記差分図形面積値に基づいて前記誤差指標を算出する
請求項１のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項１４】
前記誤差指標は、前記面積値群の二乗平均平方根である
請求項１乃至１３のいずれかに記載のシミュレーションモデル評価装置。
【請求項１５】
複数のシミュレーションモデルの各々について、前記シミュレーションモデルを用いるシミュレーションにより、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示すシミュレーション図形データを生成するステップと、
前記マスク図形が形成されたフォトマスクを使用してウェハに形成された実回路のパターンとしての実図形を示す実図形データ及び前記シミュレーション図形データに基づいて、前記実図形と前記シミュレーション図形との排他的論理和としての差分図形群を抽出するステップと、
前記差分図形群の面積値群を取得するステップと、
前記面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの誤差指標を算出するステップと
を具備する
シミュレーションモデル評価方法。
【請求項１６】
前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割するステップと、
前記誤差指標を出力するステップと
を更に具備し、
前記差分図形群を抽出する前記ステップは、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するステップを含み、
前記面積値群を取得する前記ステップは、
前記領域内差分図形群の全体の面積値を取得するステップを含み、
前記誤差指標を出力する前記ステップは、
前記面積値を出力するステップを含む
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項１７】
前記差分図形群から、前記実図形と共通部分を持たない第１図形群と前記シミュレーション図形と共通部分を持たない第２図形群とを抽出するステップと、
前記第１図形群の第１面積値群を取得するステップと、
前記第２図形群の第２面積値群を取得するステップと、
前記第１面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの第１誤差指標を算出するステップと、
前記第２面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの第２誤差指標を算出するステップと、
前記誤差指標、前記第１誤差指標及び前記第２誤差指標を出力するステップと
を更に具備する
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項１８】
前記第１図形群の寸法群としての第１誤差寸法群を取得するステップと、
前記第２図形群の寸法群としての第２誤差寸法群を取得するステップと、
前記第１誤差寸法群及び前記第２誤差寸法群を出力するステップと
を更に具備する
請求項１７のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項１９】
前記領域内差分図形群は、領域内差分図形を含み、
前記領域内差分図形の輪郭線のうち前記実図形部分及び前記シミュレーション図形部分の一方の輪郭線と共通する部分の長さで前記領域内差分図形の面積値を割った誤差寸法を算出するステップと、
前記誤差寸法を出力するステップと
を更に具備する
請求項１６のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２０】
前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得するステップと、
前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較するステップと、
前記誤差寸法群が前記閾値を超える誤差寸法を含む場合に警告を出力するステップと
を更に具備する
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２１】
前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得するステップと、
前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較するステップと
を更に具備し、
前記誤差寸法群は、前記閾値を超える誤差寸法を含み、
前記差分図形群は、前記誤差寸法に対応する差分図形を含み、
前記面積値群は、前記差分図形の面積値を含み、
前記誤差指標は、重み付けされた前記面積値に基づいて算出される
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２２】
前記誤差指標に基づいて、前記複数のシミュレーションモデルから誤差の小さいシミュレーションモデルとしての第１シミュレーションモデルを選択するステップと、
前記第１シミュレーションモデルについて、前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得するステップと、
前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較するステップと、
前記誤差寸法群が前記閾値を超える誤差寸法を含む場合に警告を出力するステップと
を具備する
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２３】
前記誤差指標に基づいて、前記複数のシミュレーションモデルから誤差の小さいシミュレーションモデルとしての第１シミュレーションモデルを選択するステップと、
前記第１シミュレーションモデルについて、前記差分図形群の寸法群としての誤差寸法群を取得するステップと、
前記誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較するステップと、
前記面積値群に基づいて、且つ、重み付けされた面積値に基づいて、前記第１シミュレーションモデルの重み付き誤差指標を算出するステップと
を更に具備し、
前記誤差寸法群は、前記閾値を超える誤差寸法を含み、
前記差分図形群は、前記誤差寸法に対応する差分図形を含み、
前記面積値群は、前記差分図形の前記面積値を含む
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２４】
前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割するステップと、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するステップと、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得するステップと、
前記実図形部分の面積値としての実図形部分面積値を取得するステップと、
前記シミュレーション図形部分の面積値としてのシミュレーション図形部分面積値を取得するステップと、
前記実図形部分面積値及び前記シミュレーション図形部分面積値の平均値で前記差分図形面積値を割った面積率を算出するステップと、
前記面積率と閾値とを比較するステップと、
前記面積率が前記閾値より大きい場合に警告を出力するステップと
を更に具備する
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２５】
前記実回路の設計パターンとしての設計図形、前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割するステップと、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するステップと、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得するステップと、
前記矩形領域及び前記矩形領域に隣接する矩形領域の全体に含まれる前記設計図形の部分の面積値としての設計図形部分面積値を取得するステップと、
前記設計図形部分面積値で前記差分図形面積値を割った面積率を算出するステップと、
前記面積率と閾値とを比較するステップと、
前記面積率が前記閾値より大きい場合に警告を出力するステップと
を更に具備する
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２６】
前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割するステップと、
面積率を算出するステップと
を更に具備し、
前記差分図形群を抽出する前記ステップは、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するステップを含み、
前記面積値群を取得する前記ステップは、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得するステップを含み、
前記面積率を算出するステップは、
前記実図形部分の面積値としての実図形部分面積値を取得するステップと、
前記シミュレーション図形部分の面積値としてのシミュレーション図形部分面積値を取得するステップと、
前記実図形部分面積値及び前記シミュレーション図形部分面積値の平均値で前記差分図形面積値を割って前記面積率を算出するステップと
を含み、
前記誤差指標を算出する前記ステップにおいて、
前記誤差指標は、前記面積率に基づいて重み付けされた前記差分図形面積値に基づいて算出される
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２７】
前記実回路の設計パターンとしての設計図形、前記実図形及び前記シミュレーション図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンを用いて分割するステップと、
面積率を算出するステップと
を更に具備し、
前記差分図形群を抽出する前記ステップは、
前記複数の矩形領域の各々について、前記矩形領域に含まれる前記実図形の部分としての実図形部分と前記矩形領域に含まれる前記シミュレーション図形の部分としてのシミュレーション図形部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するステップを含み、
前記面積値群を取得する前記ステップは、
前記領域内差分図形群の全体の面積値としての差分図形面積値を取得するステップを含み、
前記面積率を算出する前記ステップは、
前記矩形領域及び前記矩形領域に隣接する矩形領域の全体に含まれる前記設計図形の部分の面積値としての設計図形部分面積値を取得するステップと、
前記設計図形部分面積値で前記差分図形面積値を割って前記面積率を算出するステップと
を含み、
前記誤差指標を算出する前記ステップにおいて、
前記誤差指標は、前記面積率に基づいて重み付けされた前記差分図形面積値に基づいて算出される
請求項１５のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２８】
前記誤差指標は、前記面積値群の二乗平均平方根である
請求項１５乃至２７のいずれかに記載のシミュレーションモデル評価方法。
【請求項２９】
請求項１５乃至２８のいずれかに記載のシミュレーションモデル評価方法をコンピュータに実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体リソグラフィ技術を用いて形成される回路の形状を予測するためのシミュレーションモデルを評価するシミュレーションモデル評価装置、シミュレーションモデル評価方法、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、フォトマスクパターン検証方法を開示している。このフォトマスクパターン検証方法においては、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）システムにより作成されたフォトマスクパターンのＣＡＤパターンデータとしてのフォトマスクパターンデータを変形して、フォトマスクパターンがウェハ上に露光転写されて形成されるパターンの予測形状を示す期待値パターンデータを生成する。フォトマスクパターンに対して光強度シミュレーションを行い、光強度シミュレーション結果を算出する。光強度シミュレーション結果を、ＣＡＤパターンデータとしてのシミュレーション図形データに変換する。シミュレーション図形データと期待値パターンデータとの図形どうしの排他的論理和処理を行って差分図形を抽出する。差分図形の寸法が所定の値以下であるかをチェックする。
【０００３】
上述したような光強度シミュレーションはシミュレーションモデルを用いて行われ、光強度シミュレーションの精度はシミュレーションモデルに依存する。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１２１９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者の検討によると、シミュレーションモデルを評価するために、シミュレーションモデルによるシミュレーション結果と製造結果との誤差を精密に評価することが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下に、（発明を実施するための最良の形態）で使用される番号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号は、（特許請求の範囲）の記載と（発明を実施するための最良の形態）との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号を、（特許請求の範囲）に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【０００７】
本発明によるシミュレーションモデル評価装置は、シミュレーション図形データ生成部（１３）と、図形抽出部（１４）と、面積値取得部（１５）と、誤差指標算出部（１６）とを具備する。前記シミュレーション図形データ生成部は、複数のシミュレーションモデルの各々について、前記シミュレーションモデルを用いるシミュレーションにより、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形（４５）を示すシミュレーション図形データ（３６Ａ〜３６Ｄ）を生成する。前記図形抽出部は、前記マスク図形が形成されたフォトマスク（４１）を使用してウェハ（４２）に形成された実回路（４３）のパターンとしての実図形（４４）を示す実図形データ（３４）及び前記シミュレーション図形データに基づいて、前記実図形と前記シミュレーション図形との排他的論理和としての差分図形群（４６Ａ〜４６Ｅ、４６Ａ−１，４６Ａ−２、４６Ｂ−１、４６Ｂ−２）を抽出する。前記面積値取得部は、前記差分図形群の面積値群を取得する。前記誤差指標算出部は、前記面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの誤差指標を算出する。
【０００８】
本発明によるシミュレーションモデル評価方法は、複数のシミュレーションモデルの各々について、前記シミュレーションモデルを用いるシミュレーションにより、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形（４５）を示すシミュレーション図形データ（３６Ａ〜３６Ｄ）を生成するステップと、前記マスク図形が形成されたフォトマスク（４１）を使用してウェハ（４２）に形成された実回路（４３）のパターンとしての実図形（４４）を示す実図形データ（３４）及び前記シミュレーション図形データに基づいて、前記実図形と前記シミュレーション図形との排他的論理和としての差分図形群（４６Ａ〜４６Ｅ、４６Ａ−１，４６Ａ−２、４６Ｂ−１、４６Ｂ−２）を抽出するステップと、前記差分図形群の面積値群を取得するステップと、前記面積値群に基づいて前記シミュレーションモデルの誤差指標を算出するステップとを具備する。
【０００９】
本発明によるプログラムは、上記シミュレーションモデル評価方法をコンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、シミュレーション結果と製造結果との誤差を精密に評価することが可能な、シミュレーションモデル評価装置、シミュレーションモデル評価方法、及びプログラムが提供される。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
添付図面を参照して、本発明によるシミュレーションモデル評価装置、シミュレーションモデル評価方法、及びプログラムを実施するための最良の形態を以下に説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置を示す。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）のような演算部１０と、ハードディスク装置やメモリのような記憶部３０と、記録媒体読取装置、スキャナー、キーボード又はマウスのような入力部５０と、表示装置や印刷装置のような出力部６０とを備える。記憶部３０は、設計データ３１、電子顕微鏡画像データ３２、プログラム３３、実図形データ３４、シミュレーションモデルデータ３５Ａ〜３５Ｄ、及びシミュレーション図形データ３６Ａ〜３６Ｄを記憶する。プログラム３３は、記録媒体７０に記録される。入力部５０は、記録媒体７０からプログラム３３を読み取り、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置に入力する。演算部１０は、プログラム３３に基づいて、実図形データ生成部１１と、シミュレーションモデル作成部１２と、シミュレーション図形データ生成部１３と、図形抽出部１４と、面積値取得部１５と、誤差指標算出部１６と、シミュレーションモデル選択部１７として機能する。
【００１３】
図２を参照して、設計データ３１、電子顕微鏡画像データ３２、実図形データ３４、シミュレーションモデルデータ３５Ａ〜３５Ｄ、及びシミュレーション図形データ３６Ａ〜３６Ｄの関係を説明する。設計データ３１、マスクデータ３７、実図形データ３４、シミュレーション図形データ３６Ａ〜３６Ｄの各々は、ＣＡＤデータである。設計データ３１は、実回路４３の設計パターンとしての設計図形を示す。設計データ３１と投影倍率とに基づいて、マスクデータ３７が生成される。マスクデータ３７は、設計図形に対応するマスク図形を示す。マスク図形が形成されたフォトマスク４１が作製される。フォトマスク４１を用いるリソグラフィ工程及びその後のエッチング工程を経て、ウェハ４２に実回路４３が形成される。図示されない走査型電子顕微鏡により、実回路４３の電子顕微鏡画像が取得される。実回路４３の電子顕微鏡画像を示す電子顕微鏡画像データ３２に基づいて、実回路４３のパターンとしての実図形を示す実図形データ３４が生成される。
【００１４】
シミュレーション図形データ３６Ａは、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示し、シミュレーションモデルデータ３５Ａが示すシミュレーションモデルＡを用いるリソグラフィ工程及びエッチング工程のシミュレーションにより設計データ３１から生成される。シミュレーション図形データ３６Ｂは、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示し、シミュレーションモデルデータ３５Ｂが示すシミュレーションモデルＢを用いるリソグラフィ工程及びエッチング工程のシミュレーションにより設計データ３１から生成される。シミュレーション図形データ３６Ｃは、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示し、シミュレーションモデルデータ３５Ｃが示すシミュレーションモデルＣを用いるリソグラフィ工程及びエッチング工程のシミュレーションにより設計データ３１から生成される。シミュレーション図形データ３６Ｄは、マスク図形に基づいてウェハに形成されるべき回路のパターンとしてのシミュレーション図形を示し、シミュレーションモデルデータ３５Ｄが示すシミュレーションモデルＤを用いるリソグラフィ工程及びエッチング工程のシミュレーションにより設計データ３１から生成される。シミュレーションモデルＡ〜Ｄは、設計データ群又はマスクデータ群を評価するためのシミュレーションのためのシミュレーションモデルの候補である。
【００１５】
図３に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４を備える。
【００１６】
ステップＳ１において、設計データ３１に基づいてマスクデータ３７を生成する。ステップＳ２において、マスクデータ３７に基づいてフォトマスク４１を作製する。ステップＳ３において、フォトマスク４１を用いるリソグラフィ工程及びその後のエッチング工程により、ウェハ４２に実回路４３を形成する。
【００１７】
ステップＳ４において、走査型電子顕微鏡は、実回路４３の電子顕微鏡画像を取得する。入力部５０は、実回路４３の電子顕微鏡画像を示す電子顕微鏡画像データ３２を本実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置に入力する。あるいは、入力部５０は、実回路４３の電子顕微鏡画像を読み取って電子顕微鏡画像データ３２を生成し、電子顕微鏡画像データ３２を本実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置に入力する。
【００１８】
ステップＳ５において、実図形データ生成部１１は、電子顕微鏡画像データ３２に基づいて実図形データ３４を生成する。
【００１９】
ステップＳ６において、シミュレーションモデル作成部１２は、シミュレーションモデルを特徴づけるパラメータ群の設定値群を探索範囲及び探索の細かさに基づいて設定することで、シミュレーションモデルデータ３５Ａ及び３５Ｂを生成する。探索の範囲及び探索の細かさは、例えば、オペレータが入力部５０を介して指定する。シミュレーションモデルＡ及びシミュレーションモデルＢは、パラメータ群の設定値群が互いに異なる。
【００２０】
ステップＳ７において、シミュレーション図形データ生成部１３は、シミュレーションモデルＡを用いるリソグラフィ工程及びエッチング工程のシミュレーションを実行し、設計データ３１からシミュレーション図形データ３６Ａを生成する。同様に、シミュレーション図形データ生成部１３は、シミュレーションモデルＢを用いるシミュレーションを実行し、設計データ３１からシミュレーション図形データ３６Ｂを生成する。
【００２１】
ステップＳ８において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、実図形データ３４及びシミュレーション図形データ３６Ａに基づいて、実図形データ３４が示す実図形としての実図形４４とシミュレーション図形データ３６Ａが示すシミュレーション図形としてのシミュレーション図形４５との排他的論理和としての差分図形４６Ａ〜４６Ｅを抽出する。
【００２２】
図４を参照して、実図形４４の輪郭は実線で示され、シミュレーション図形４５の輪郭は破線で示されている。差分図形４６Ａ〜４６Ｅには、ハッチングが施されている。差分図形４６Ａ及び差分図形４６Ｂの各々は、シミュレーション図形４５と共通部分を有し、実図形４４と共通部分を有しない。差分図形４６Ｃ〜４６Ｅの各々は、実図形４４と共通部分を有し、シミュレーション図形４５と共通部分を有しない。
【００２３】
ステップＳ８において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、実図形データ３４が示す実図形とシミュレーション図形データ３６Ｂが示すシミュレーション図形との排他的論理和としての差分図形群を抽出する。
【００２４】
ステップＳ９において、面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＡについて、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの各々の面積値を取得する。面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、差分図形群の面積値群を取得する。
【００２５】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に基づいてシミュレーションモデルＡの誤差指標を算出する。誤差指標は、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群の二乗平均平方根である。二乗平均平方根は、差分図形４６Ａの面積値の二乗、差分図形４６Ｂの面積値の二乗、差分図形４６Ｃの面積値の二乗、差分図形４６Ｄの面積値の二乗、及び差分図形４６Ｅの二乗の和を差分図形４６Ａ〜差分図形４６Ｅの個数で割った平均の平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標を算出する。
【００２６】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々の誤差指標を出力する。
【００２７】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標に基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。あるいは、オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【００２８】
以下、シミュレーションモデルＡが選択された場合について説明する。
【００２９】
ステップＳ１３において、オペレータは、シミュレーションモデルＡの誤差指標に基づいて、選択されたシミュレーションモデルＡの精度が十分かを判断し、入力部５０を介して判断結果を本実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置に入力する。精度が十分な場合、選択されたシミュレーションモデルＡが設計データ群又はマスクデータ群を評価するためのシミュレーションに用いられる。精度が十分でない場合、ステップＳ１４に進む。
【００３０】
ステップＳ１４において、シミュレーションモデル作成部１２は、シミュレーションモデルを特徴づけるパラメータ群の設定値群を探索範囲及び探索の細かさに基づいて設定することで、シミュレーションモデルデータ３５Ｃ及び３５Ｄを生成する。ここで、探索範囲はシミュレーションモデルＡについてのパラメータ群の設定値群を中心に設定され、探索の細かさは、ステップＳ６における探索の細かさよりも細かく設定される。
【００３１】
シミュレーションモデルＣ及びＤについて、上述のようにステップＳ７〜ステップＳ１０を実行して、シミュレーションモデルＣの誤差指標とシミュレーションモデルＤの誤差指標とを算出する。
【００３２】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡ、Ｃ及びＤの各々の誤差指標を出力する。
【００３３】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標に基づいて、シミュレーションモデルＡ、Ｃ及びＤを順位付けし、シミュレーションモデルＡ、Ｃ及びＤから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。あるいは、オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【００３４】
ステップＳ１３において、オペレータは、選択されたシミュレーションモデルの誤差指標に基づいて、選択されたシミュレーションモデルの精度が十分かを判断し、入力部５０を介して判断結果を本実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置に入力する。精度が十分な場合、選択されたシミュレーションモデルが設計データ群又はマスクデータ群を評価するためのシミュレーションに用いられる。精度が十分でない場合、再びステップＳ１４に進む。
【００３５】
図５を参照して、本実施形態による効果を説明する。図５に示す例においては、第１のシミュレーションモデルを用いた場合のシミュレーション図形９２Ａは、実図形９１の全周にわたって実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ａとの差分図形９３Ａは実図形９１の全周にわたって形成される。第２のシミュレーションモデルを用いた場合のシミュレーション図形９２Ｂは、実図形９１の長手方向の両端部分においてのみ実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｂとの差分図形９３Ｂは実図形９１の両端部分にのみ形成される。
【００３６】
図５に示されるように、第２のシミュレーションモデルは第１のシミュレーションモデルよりも精度が優れている。しかし、差分図形９３Ａの寸法としての誤差寸法９４Ａと差分図形９３Ｂの寸法としての誤差寸法９４Ｂとに基づく評価では、第１のシミュレーションモデルと第２のシミュレーションモデルとに差がつかない。一方、差分図形９３Ａの面積値と差分図形９３Ｂの面積値とに基づく評価では、第２のシミュレーションモデルは第１のシミュレーションモデルよりも高い評価を受ける。
【００３７】
本実施形態によれば、差分図形の面積値に基づいてシミュレーションモデルの誤差指標を求めることにより、シミュレーションモデルによるシミュレーション結果と製造結果との誤差を精密に評価することができる。更に、本実施形態によれば、計算量やデータ量が増加することを抑制しながらシミュレーション結果と製造結果との誤差を精密に評価することができる。
【００３８】
これに対し、差分図形の寸法のみに基づいてシミュレーション結果と製造結果との誤差を評価しようとした場合、次のような問題がある。差分図形の最大幅のような差分図形の一箇所における幅に基づいてシミュレーションモデルの誤差指標を算出する場合、局所的に大きい幅を有する差分図形と全体的に大きい幅を有する差分図形との違いが誤差指標に反映されない。差分図形の多数箇所における幅群に基づいてシミュレーションモデルの誤差指標を算出する場合、計算量及びデータ量が非常に大きくなる。
【００３９】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデルの評価装置と同様である。
【００４０】
図６に示すように、本発明の第２の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ２１を備える。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【００４１】
ステップＳ２１は、ステップＳ７の次に実行される。ステップＳ２１において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、実図形４４及びシミュレーション図形４５を複数の矩形領域で構成される分割パターンに当てはめて分割する。図７を参照して、複数の矩形領域は、矩形領域（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ１，Ｙ３）、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）〜（Ｘ２，Ｙ３）、及び矩形領域（Ｘ３，Ｙ１）〜（Ｘ３，Ｙ３）を含む。実図形４４は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分とを有し、その他の矩形領域に含まれる部分を有しない。シミュレーション図形４５は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分とを有し、その他の矩形領域に含まれる部分を有しない。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてシミュレーションモデルＡの場合と同様に、実図形及びシミュレーション図形を分割パターンに当てはめて分割する。
【００４２】
ステップＳ８において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡに関して、複数の矩形領域の各々について、矩形領域に含まれる実図形４４の部分とシミュレーション図形４５の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出する。図形抽出部１４は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）において差分図形４６Ａ−１を抽出し、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）において差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄを抽出し、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）において差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅを抽出する。差分図形４６Ａ−１及び４６Ａ−２は、差分図形４６Ａが分割パターンによって分割されたものである。差分図形４６Ｂ−１及び４６Ｂ−２は、差分図形４６Ｂが分割パターンによって分割されたものである。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢに関してもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、複数の矩形領域の各々について、矩形領域に含まれる実図形の部分とシミュレーション図形の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出する。
【００４３】
ステップＳ９において、面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＡについて、矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、複数の矩形領域について面積値群を取得する。面積値取得部１５は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）において差分図形４６Ａ−１の面積値を取得し、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）において差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄの全体の面積値を取得し、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）において差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅの全体の面積値を取得し、他の矩形領域についての面積値としてゼロを取得する。面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、複数の矩形領域について面積値群を取得する。
【００４４】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、複数の矩形領域について取得された面積値群に基づいてシミュレーションモデルＡの誤差指標を算出する。誤差指標は、面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、面積値群の二乗平均平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標を算出する。
【００４５】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡの誤差指標と矩形領域ごとの面積値とを出力し、シミュレーションモデルＢの誤差指標と矩形領域ごとの面積値とを出力する。
【００４６】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標と矩形領域ごとの面積値とに基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。あるいは、オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【００４７】
本実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【００４８】
図８を参照して、本実施形態による効果を説明する。図８に示す例においては、第１のシミュレーションモデルを用いた場合のシミュレーション図形９２Ｃは、実図形９１の全周にわたって実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｃとの差分図形９３Ｃは実図形９１の全周にわたって形成される。第２のシミュレーションモデルを用いた場合のシミュレーション図形９２Ｄは、実図形９１の長手方向の両端部分の一方のみにおいて実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｄとの差分図形９３Ｄは実図形９１の両端部分の一方にのみ形成される。
【００４９】
図８に示されるように、差分図形９３Ｃの寸法としての誤差寸法９４Ｃよりも差分図形９３Ｄの寸法としての誤差寸法９４Ｄの方が大きいため、第１のシミュレーションモデルは第２のシミュレーションモデルよりも精度が優れている。しかし、差分図形９３Ｃの全体の面積値及び差分図形９３Ｄの全体の面積値による評価では、差分図形９３Ｃの全体の面積値が差分図形９３Ｄの全体の面積値より大きいため、第１シミュレーションモデルは第２シミュレーションモデルよりも低く評価されてしまう。一方、矩形領域ごとの差分図形９３Ｃ及び９３Ｄの面積値も考慮して評価した場合、差分図形９３Ｄの矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分の面積値が非常に大きいため、第２シミュレーションモデルを候補から除外することが可能である。
【００５０】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置と同様に、演算部１０、記憶部３０、入力部５０、及び出力部６０を備える。図９に示すように、本実施形態において、演算部１０はプログラム３３に基づいて誤差寸法取得部１８としても機能する。
【００５１】
図１０に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ３１及びＳ３２を備える。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【００５２】
ステップＳ３１は、ステップＳ８の次に実行される。図１１を参照して、ステップＳ３１を説明する。ステップＳ３１において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、差分図形４６Ａ〜４６Ｅから実図形４４をＮＯＴ演算することで、実図形４４と共通部分を持たない太り図形としての差分図形４６Ａ及び４６Ｂを差分図形４６Ａ〜４６Ｅから抽出する。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、差分図形４６Ａ〜４６Ｅからシミュレーション図形４５をＮＯＴ演算することで、シミュレーション図形４５と共通部分を持たない細り図形としての差分図形４６Ｃ〜４６Ｅを差分図形４６Ａ〜４６Ｅから抽出する。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、差分図形群から、実図形４４と共通部分を持たない太り図形群と、シミュレーション図形４５と共通部分を持たない細り図形群とを抽出する。
【００５３】
図１１を参照してステップＳ３２を説明する。ステップＳ３２において、誤差寸法取得部１８は、シミュレーションモデルＡについて、太り図形としての差分図形４６Ａ及び４６Ｂの各々の寸法としての誤差寸法を取得し、細り図形としての差分図形４６Ｃ〜４６Ｅの各々の寸法としての誤差寸法を取得する。差分図形４６Ａの誤差寸法としての誤差寸法８０Ａが示されている。各誤差寸法は、対応する図形を代表する寸法であって、例えば、差分図形の最大幅である。誤差寸法取得部１８は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、太り図形群の誤差寸法群と細り図形群の誤差寸法群とを取得する。
【００５４】
ステップＳ９において、面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＡについて、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群を取得し、太り図形群としての差分図形４６Ａ及び４６Ｂの面積値群を取得し、細り図形群としての差分図形４６Ｃ〜４６Ｄの面積値群を取得する。面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、差分図形群の面積値群を取得し、太り図形群の面積値群を取得し、細り図形群の面積値群を取得する。
【００５５】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に基づいてシミュレーションモデルＡの誤差指標を算出し、太り図形群としての差分図形４６Ａ及び４６Ｂの面積値群のみに基づいてシミュレーションモデルＡの太り誤差指標を算出し、細り図形群としての差分図形４６Ｃ〜４６Ｄの面積値群のみに基づいてシミュレーションモデルＡの細り誤差指標を算出する。例えば、誤差指標は、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に対する統計処理により算出される差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群の二乗平均平方根である。例えば、太り誤差指標は、差分図形４６Ａ及び４６Ｂの面積値群に対する統計処理により算出される差分図形４６Ａ及び４６Ｂの面積値群の二乗平均平方根である。例えば、細り誤差指標は、差分図形４６Ｃ〜４６Ｅの面積値群に対する統計処理により算出される差分図形４６Ｃ〜４６Ｅの面積値群の二乗平均平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標、太り誤差指標、細り誤差指標を算出する。
【００５６】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々の誤差指標、太り誤差指標、及び細り誤差指標を出力する。ここで、太り誤差指標及び細り誤差指標にそれぞれプラス及びマイナスの符号をつけて出力してもよい。出力部６０は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、太り図形群の誤差寸法群と、細り図形群の誤差寸法群とを出力する。ここで、太り図形の誤差寸法及び細り図形の誤差寸法にそれぞれプラス及びマイナスの符号をつけて出力してもよい。なお、太り誤差指標及び細り誤差指標を出力し、太り図形群の誤差寸法群及び細り図形群の誤差寸法群を出力しなくてもよい。この逆であってもよい。
【００５７】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標に加えて太り誤差指標及び細り誤差指標や太り図形群の誤差寸法群及び細り図形群の誤差寸法群に基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。あるいは、あるいは、オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【００５８】
本実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【００５９】
本実施形態によれば、太り誤差指標及び細り誤差指標により、シミュレーション図形が実図形よりも太くなる傾向があるのか、又は、細くなる傾向があるのかが分かる。太り図形の誤差寸法及び細り図形の誤差寸法によっても、シミュレーション図形が実図形よりも太くなる傾向があるのか、又は、細くなる傾向があるのかが分かる。これにより、シミュレーションモデルの特徴が把握される。更に、その特徴に基づいてシミュレーションモデルの正当性やパラメータ群の探索範囲について検討することにより、優れたシミュレーションモデルを短期間で作成することが可能になる。
【００６０】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置と同様に、演算部１０、記憶部３０、入力部５０、及び出力部６０を備える。図１２に示すように、本実施形態において、演算部１０はプログラム３３に基づいて輪郭線長取得部１９及び誤差寸法算出部２０としても機能する。
【００６１】
図１３に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ４１〜Ｓ４３を備える。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【００６２】
ステップＳ４１は、ステップＳ７の次に実行される。その次に、ステップＳ８及びＳ９が実行される。ステップＳ４１、Ｓ８及びＳ９は、第２の実施形態に係るステップＳ２１、Ｓ８及びＳ９とそれぞれ同じである。
【００６３】
ステップＳ４２において、輪郭線長取得部１９は、シミュレーションモデルＡについて、図７に示された差分図形４６Ａ−１、４６Ａ−２、４６Ｂ−１、４６Ｂ−２、４６Ｃ、４６Ｄ及び４６Ｅの各々の輪郭線のうち、実図形４４及びシミュレーション図形４５の一方の輪郭線と共通する部分の長さとしての輪郭線長を取得する。
【００６４】
図１４を参照して、輪郭線長を詳細に説明する。矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる差分図形４６Ｄの輪郭線としての輪郭線８１は、実図形４４の矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分の輪郭線と共通する部分としての輪郭線部分８１ａと、シミュレーション図形４５の矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分の輪郭線と共通する部分としての輪郭線部分８１ｂとを含む。差分図形４６Ｄの輪郭線長は、輪郭線部分８１ａ及び８１ｂの一方の長さである。
【００６５】
ステップＳ４２において、輪郭線長取得部１９は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、複数の矩形領域の各々について、領域内差分図形群の各領域内差分図形の輪郭線長を取得する。
【００６６】
ステップＳ４３において、誤差寸法算出部２０は、シミュレーションモデルＡについて、差分図形４６Ａ−１、４６Ａ−２、４６Ｂ−１、４６Ｂ−２、４６Ｃ、４６Ｄ及び４６Ｅの各々に対応する誤差寸法を算出する。誤差寸法は、差分図形の面積値をその差分図形の輪郭線長で割った商である。この誤差寸法は、平均誤差寸法と呼ばれる場合があり、シミュレーション図形４５の輪郭線が実図形４４の輪郭線に対して実図形４４の外側又は内側に平均でどれだけの距離ずれているかを示す。誤差寸法算出部２０は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、複数の矩形領域の各々について、領域内差分図形群の各領域内差分図形の平均誤差寸法を算出する。
【００６７】
ステップＳ１０は、第２の実施形態に係るステップＳ１０と同様である。
【００６８】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡについて、誤差指標、矩形領域ごとの面積値及び平均誤差寸法群を出力する。出力部６０は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、誤差指標、矩形領域ごとの面積値及び平均誤差寸法群を出力する。
【００６９】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標、矩形領域ごとの面積値及び平均誤差寸法群に基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。あるいは、オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【００７０】
本実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【００７１】
平均誤差寸法によれば、実図形とシミュレーション図形との誤差が直感的に把握できる。そのため、シミュレーションモデルの正当性やパラメータ群の探索範囲についてより適切に検討することが可能になる。
【００７２】
なお、本実施形態においては、矩形領域ごとの面積値を出力しなくてもよく、誤差の小さいシミュレーションモデルを選択するために矩形領域ごとの面積値を使用しなくてもよい。
【００７３】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置と同様に、演算部１０、記憶部３０、入力部５０、及び出力部６０を備える。図１５に示すように、本実施形態において、演算部１０はプログラム３３に基づいて誤差寸法取得部１８、比較部２１及び重み付け部２２としても機能する。
【００７４】
図１６に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ５１〜Ｓ５３を備える。ステップＳ５１〜Ｓ５３は、ステップＳ９とステップＳ１０との間に実行される。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【００７５】
図１１を参照してステップＳ５１を説明する。ステップＳ５１において、誤差寸法取得部１８は、シミュレーションモデルＡについて、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの各々の寸法としての誤差寸法を取得する。差分図形４６Ａの誤差寸法としての誤差寸法８０Ａが示されている。各誤差寸法は、対応する図形を代表する寸法であって、例えば、差分図形の最大幅である。誤差寸法取得部１８は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、差分図形群の誤差寸法群を取得する。
【００７６】
ステップＳ５２において、比較部２１は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較する。例えば、比較部２１は、差分図形４６Ａの誤差寸法８０Ａと閾値とを比較する。
【００７７】
ステップＳ５３において、重み付け部２２は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、閾値を超える誤差寸法に対応する差分図形の面積値に閾値を超えない誤差寸法に対応する差分図形の面積値の場合より大きい重みを付ける。例えば、誤差寸法８０Ａが閾値を超える場合、差分図形４６Ａの面積値に大きい重みを付ける。
【００７８】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、重みが付けられた差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に基づいて、シミュレーションモデルＡの誤差指標を算出する。誤差指標は、重みが付けられた差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、重みが付けられた差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群の二乗平均平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標を算出する。
【００７９】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、誤差指標を出力する。出力部６０は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、閾値を超える誤差寸法がある場合に警告を出力することが好ましい。
【００８０】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標に基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。ここで、シミュレーションモデル選択部１７は、警告の有無にも基づいて、誤差の小さいシミュレーションモデルを選択することが好ましい。あるいは、オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【００８１】
本実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【００８２】
本実施形態においては、第１の実施形態と同様に、重みが付けられていない面積値群に基づいて誤差指標を算出し、且つ、閾値を超える誤差寸法がある場合に警告を出力してもよい。
【００８３】
図１７を参照して、本実施形態による効果を説明する。図１７に示す例においては、第１のシミュレーションモデルを用いた場合のシミュレーション図形９２Ｅは、実図形９１の全周にわたって実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｅとの差分図形９３Ｅは実図形９１の全周にわたって形成される。第２のシミュレーションモデルを用いたシミュレーション図形９２Ｆは、実図形９１の長手方向の両端部分の一方のみにおいて実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｆとの差分図形９３Ｆは実図形９１の両端部分の一方にのみ形成される。
【００８４】
図１７に示されるように、差分図形９３Ｅの寸法としての誤差寸法９４Ｅよりも差分図形９３Ｆの寸法としての誤差寸法９４Ｆの方が大きいため、第１のシミュレーションモデルは第２のシミュレーションモデルよりも精度が優れている。しかし、差分図形９３Ｅの全体の面積値及び差分図形９３Ｆの全体の面積値による評価では、差分図形９３Ｅの全体の面積値が差分図形９３Ｆの全体の面積値より大きいため、第１シミュレーションモデルは第２シミュレーションモデルよりも低く評価されてしまう。一方、閾値を超える誤差寸法の有無に基づいて評価したり、閾値を超える誤差寸法に対応する差分図形の面積値に重みを付けて算出した誤差指標に基づいて評価することにより、第２シミュレーションモデルを候補から除外することが可能である。
【００８５】
以下、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法の変形例を説明する。図１８を参照して、シミュレーションモデル評価方法の変形例は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ５１〜Ｓ５５を備える。ステップＳ５１〜Ｓ５５は、ステップＳ１２とステップＳ１３との間に実行される。本変形例は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【００８６】
以下、ステップＳ１２においてシミュレーションモデルＡが選択された場合について説明する。
【００８７】
ステップＳ５１において、誤差寸法取得部１８は、ステップＳ１２において選択されたシミュレーションモデルＡのみについて、差分図形４６Ａ〜４６Ｅの各々の寸法としての誤差寸法を取得する。
【００８８】
ステップＳ５２において、比較部２１は、ステップＳ１２において選択されたシミュレーションモデルＡのみについて、誤差寸法群の各誤差寸法と閾値とを比較する。
【００８９】
ステップＳ５３において、重み付け部２２は、ステップＳ１２において選択されたシミュレーションモデルＡのみについて、閾値を超える誤差寸法に対応する差分図形の面積値にのみ重みを付ける。
【００９０】
ステップＳ５４において、誤差指標算出部１６は、必要に応じて重みが付けられた差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に基づいて、シミュレーションモデルＡの重み付き誤差指標を算出する。重み付き誤差指標は、必要に応じて重みが付けられた差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、必要に応じて重みが付けられた差分図形４６Ａ〜４６Ｅの面積値群の二乗平均平方根である。
【００９１】
ステップＳ５５において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡの重み付き誤差指標を出力する。出力部６０は、シミュレーションモデルＡについて、閾値を超える誤差寸法がある場合に警告を出力することが好ましい。
【００９２】
本変形例におけるステップＳ１３及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【００９３】
本変形例においては、重み付き誤差指標を算出しないで、閾値を超える誤差寸法がある場合に警告を出力してもよい。本変形例によれば、計算時間及び計算に必要な資源が削減される。
【００９４】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置と同様に、演算部１０、記憶部３０、入力部５０、及び出力部６０を備える。図１９に示すように、本実施形態において、演算部１０はプログラム３３に基づいて面積率算出部２３、比較部２１及び重み付け部２２としても機能する。
【００９５】
図２０に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ６１〜Ｓ６４を備える。ステップＳ６１は、ステップＳ７及びＳ８の間に実行され、ステップＳ６２〜Ｓ６４はステップＳ９及びＳ１０の間に実行される。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【００９６】
ステップＳ６１は、ステップＳ７の次に実行される。その次に、ステップＳ８が実行される。ステップＳ６１及びＳ８は、第２の実施形態に係るステップＳ２１及びＳ８とそれぞれ同じである。
【００９７】
図７を参照してステップＳ９を説明する。ステップＳ９において、面積値取得部１５は、第２の実施形態の場合と同様に、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、複数の矩形領域について面積値群を取得する。
【００９８】
更にステップＳ９において、面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＡについて、矩形領域ごとに、実図形４４の矩形領域に含まれる部分の面積値とシミュレーション図形４５の矩形領域に含まれる部分の面積値とを取得する。例えば、面積値取得部１５は、実図形４４の矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれる部分の面積値（ゼロ）と、実図形４４の矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分の面積値と、実図形４４の矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分の面積値と、シミュレーション図形４５の矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれる部分の面積値と、シミュレーション図形４５の矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分の面積値と、シミュレーション図形４５の矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分の面積値とを取得する。面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、矩形領域ごとに、矩形領域に含まれる実図形の部分の面積値と矩形領域に含まれるシミュレーション図形の部分の面積値とを取得する。
【００９９】
ステップＳ６２において、面積率算出部２３は、シミュレーションモデルＡについて、矩形領域ごとに、実図形の部分の面積値とシミュレーション図形の部分の面積値との平均値で領域内差分図形群の全体の面積値を割って面積率を算出する。例えば、面積率算出部２３は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）について、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれる実図形４４の部分の面積値（ゼロ）と矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれるシミュレーション図形４５の部分の面積値との平均値で差分図形４６Ａ−１の面積値を割った面積率を算出する。面積率算出部２３は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）について、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる実図形４４の部分の面積値と矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれるシミュレーション図形４５の部分の面積値との平均値で差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄの全体の面積値を割った面積率を算出する。面積率算出部２３は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）について、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる実図形４４の部分の面積値と矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれるシミュレーション図形４５の部分の面積値との平均値で差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅの全体の面積値を割った面積率を算出する。なお、平均値がゼロの場合、面積率算出部２３は、面積率としてゼロを出力する。面積率算出部２３は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、矩形領域ごとに、実図形の部分の面積値とシミュレーション図形の部分の面積値との平均値で領域内差分図形群の全体の面積値を割って面積率を算出する。
【０１００】
ステップＳ６３において、比較部２１は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、矩形領域ごとに、面積率と閾値とを比較する。
【０１０１】
ステップＳ６４において、重み付け部２２は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、閾値を超える面積率に対応する領域内差分図形群の全体の面積値に閾値を超えない面積率に対応する領域内差分図形群の面積値の場合より大きい重みを付ける。
【０１０２】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、複数の矩形領域についての重み付き面積値群に基づいてシミュレーションモデルＡの誤差指標を算出する。誤差指標は、重み付き面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、重み付き面積値群の二乗平均平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標を算出する。
【０１０３】
ステップＳ１１において、出力部６０は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々の誤差指標を出力し、面積率が閾値を超える場合に対応するシミュレーションモデルについて警告を出力する。
【０１０４】
ステップＳ１２において、シミュレーションモデル選択部１７は、誤差指標に基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択する。シミュレーションモデル選択部１７は、警告の有無に更に基づいて、シミュレーションモデルＡ及びＢを順位付けし、シミュレーションモデルＡ及びＢから誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。オペレータが入力部５０を介して誤差の小さいシミュレーションモデルを選択してもよい。
【０１０５】
本実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１３及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【０１０６】
図８を参照して、本実施形態による効果を説明する。図８に示す例においては、第１のシミュレーションモデルを用いた場合のシミュレーション図形９２Ｃは、実図形９１の全周にわたって実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｃとの差分図形９３Ｃは実図形９１の全周にわたって形成される。第２のシミュレーションモデルを用いたシミュレーション図形９２Ｄは、実図形９１の長手方向の両端部分の一方のみにおいて実図形９１からはみ出し、その結果、実図形９１とシミュレーション図形９２Ｄとの差分図形９３Ｄは実図形９１の両端部分の一方にのみ形成される。
【０１０７】
図８に示されるように、差分図形９３Ｃの寸法としての誤差寸法９４Ｃよりも差分図形９３Ｄの寸法としての誤差寸法９４Ｄの方が大きいため、第１のシミュレーションモデルは第２のシミュレーションモデルよりも精度が優れている。しかし、差分図形９３Ｃの全体の面積値及び差分図形９３Ｄの全体の面積値による評価では、差分図形９３Ｃの全体の面積値が差分図形９３Ｄの全体の面積値より大きいため、第１シミュレーションモデルは第２シミュレーションモデルよりも低く評価されてしまう。一方、矩形領域ごとの面積率を考慮することで、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）における面積率が非常に大い第２シミュレーションモデルを候補から除外することが可能である。
【０１０８】
面積率は、上述の方法とは別の方法で算出されてもよい。以下、この場合における変更点を説明する。
【０１０９】
ステップＳ６１において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、実図形４４、シミュレーション図形４５及び設計データ３１が示す設計図形を複数の矩形領域で構成される分割パターンに当てはめて分割する。図２１は、設計データ３１が示す設計図形としての設計図形４７が分割パターンに当てはめられて分割された状態を示す。設計図形４７は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分とを有し、その他の矩形領域に含まれる部分を有しない。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてシミュレーションモデルＡの場合と同様に、設計図形４７、実図形及びシミュレーション図形を分割パターンに当てはめて分割する。
【０１１０】
ステップＳ９において、面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、複数の矩形領域について面積値群を取得する。面積値取得部１５は、更に、矩形領域ごとに、その矩形領域とこれに隣接する矩形領域の全体に含まれる設計図形４７の部分の面積値を取得する。
【０１１１】
ステップＳ６２において、面積率算出部２３は、シミュレーションモデルＡについて、矩形領域ごとに、その矩形領域とこれに隣接する矩形領域の全体に含まれる設計図形４７の部分の面積値でその矩形領域に含まれる領域内差分図形群の全体の面積値を割って面積率を算出する。例えば、面積率算出部２３は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）について、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）及びこれに隣接する矩形領域（Ｘ１，Ｙ１）、（Ｘ１，Ｙ２）、（Ｘ２，Ｙ２）、（Ｘ３，Ｙ１）及び（Ｘ３，Ｙ２）の全体に含まれる設計図形４７の部分の面積値で差分図形４６Ａ−１の面積値を割った面積率を算出する。面積率算出部２３は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）について、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）及びこれに隣接する矩形領域（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ１，Ｙ３）、（Ｘ２，Ｙ１）、（Ｘ２，Ｙ３）、及び（Ｘ３，Ｙ１）〜（Ｘ３，Ｙ３）の全体に含まれる設計図形４７の部分の面積値で差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄの全体の面積値を割った面積率を算出する。面積率算出部２３は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）について、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）及びこれに隣接する矩形領域（Ｘ１，Ｙ２）、（Ｘ１，Ｙ３）、（Ｘ２，Ｙ２）、（Ｘ３，Ｙ２）及び（Ｘ３，Ｙ３）の全体に含まれる設計図形４７の部分の面積値で差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅの全体の面積値を割った面積率を算出する。なお、領域内差分図形群が存在しない矩形領域について、面積率算出部２３は面積率としてゼロを出力する。面積率算出部２３は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、矩形領域ごとに、その矩形領域とこれに隣接する矩形領域の全体に含まれる設計図形４７の部分の面積値でその矩形領域に含まれる領域内差分図形群の全体の面積値を割って面積率を算出する。
【０１１２】
本実施形態においては、第２の実施形態の場合のように、重みが付けられていない面積値群に基づいて誤差指標が算出されてもよい。
【０１１３】
（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置と同様に、演算部１０、記憶部３０、入力部５０、及び出力部６０を備える。図２２に示すように、本実施形態において、演算部１０はプログラム３３に基づいて重み付け部２２としても機能する。図２３に示すように、本実施形態において、記憶部３０は、重み値データ３８も記憶する。重み値データ３８は、予め外部から与えられる。
【０１１４】
図２４を参照して、重み値データ３８のデータ構成を説明する。重み値データ３８は、複数の矩形領域で構成される分割パターンの各矩形領域に対して重み値を対応付けている。分割パターンは設計図形４７と対応している。設計図形４７の長手方向端を含む矩形領域には、重み値として０．１が対応付けられている。設計図形４７の長手方向端以外の部分を含む矩形領域には、重み値として１が対応付けられている。設計図形４７の部分を含まない矩形領域には重み値として０が対応付けられている。重み値は、小さい値、大きい値、その間の値のいずれかである。より詳細に説明すると、矩形領域（Ｘ１，Ｙ１）に対応する重み値Ｗ１１は０であり、矩形領域（Ｘ１，Ｙ２）に対応する重み値Ｗ１２は０であり、矩形領域（Ｘ１，Ｙ３）に対応する重み値Ｗ１３は０であり、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に対応する重み値Ｗ２１は０．１であり、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に対応する重み値Ｗ２２は１であり、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に対応する重み値Ｗ２３は１であり、矩形領域（Ｘ３，Ｙ１）に対応する重み値Ｗ３１は０であり、矩形領域（Ｘ３，Ｙ２）に対応する重み値Ｗ３２は０であり、矩形領域（Ｘ３，Ｙ３）に対応する重み値Ｗ３３は０である。
【０１１５】
図２５に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ７１及びＳ７２を備える。ステップＳ７１は、ステップＳ７及びＳ８の間に実行され、ステップＳ７２は、ステップＳ９及びＳ１０の間に実行される。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【０１１６】
ステップＳ７１において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、実図形４４及びシミュレーション図形４５を重み値データ３８の分割パターンに当てはめて分割する。図７を参照して、実図形４４は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分とを有し、その他の矩形領域に含まれる部分を有しない。シミュレーション図形４５は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）に含まれる部分と、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）に含まれる部分とを有し、その他の矩形領域に含まれる部分を有しない。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてシミュレーションモデルＡの場合と同様に、実図形及びシミュレーション図形を分割パターンに当てはめて分割する。
【０１１７】
ステップＳ８において、図形抽出部１４は、第２の実施形態の場合と同様に、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々に関して、複数の矩形領域の各々について、矩形領域に含まれる実図形の部分とシミュレーション図形の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出する。例えば、図７に示すように、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）において差分図形４６Ａ−１が抽出され、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）において差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄが抽出され、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）において差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅが抽出される。
【０１１８】
ステップＳ９において、面積値取得部１５は、第２の実施形態の場合と同様に、シミュレーションモデルＡ及びＢの各々について、矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、複数の矩形領域について面積値群を取得する。
【０１１９】
ステップＳ７２において、重み付け部２２は、シミュレーションモデルＡについて、矩形領域ごとに、面積値と重み値の積を算出することで、面積値に重みを付ける。例えば、重み付け部２２は、差分図形４６Ａ−１の面積値と重み値Ｗ２１との積を算出し、差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄの全体の面積値と重み値Ｗ２２との積を算出し、差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅの全体の面積値と重み値Ｗ２３との積を算出する。重み付け部２２は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、矩形領域ごとに、面積値と重み値の積を算出することで、面積値に重みを付ける。このような面積値と重み値の積は、重み付き面積値とも呼ばれる。
【０１２０】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、複数の矩形領域についての重み付き面積値群に基づいてシミュレーションモデルＡの誤差指標を算出する。誤差指標は、重み付き面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、重み付き面積値群の二乗平均平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標を算出する。
【０１２１】
本実施形態におけるステップＳ１１及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１１及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【０１２２】
本実施形態においては、設計図形４７の部分ごとの重要度が考慮されて誤差指標が算出される。
【０１２３】
（第８の実施形態）
本発明の第８の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置と同様に、演算部１０、記憶部３０、入力部５０、及び出力部６０を備える。
【０１２４】
図２６に示すように、本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、ステップＳ１〜ステップＳ１４に加えて、ステップＳ８１を備える。ステップＳ８１は、ステップＳ７及びＳ８の間に実行される。本実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法は、下記説明を除いて第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法と同様である。
【０１２５】
ステップＳ８１において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、実図形４４、シミュレーション図形４５及び設計データ３１が示す設計図形４７を複数の矩形領域で構成される分割パターンに当てはめて分割する。図２１を参照して、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）〜（Ｘ２，Ｙ３）の各々は、設計図形４７を含むが、他の矩形領域は設計図形４７を含まない。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてシミュレーションモデルＡの場合と同様に、設計図形４７、実図形及びシミュレーション図形を分割パターンに当てはめて分割する。
【０１２６】
ステップＳ８において、図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＡについて、設計図形４７を含む矩形領域ごとに、実図形４４の部分とシミュレーション図形４５の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するが、設計図形４７を含まない矩形領域については実図形４４の部分とシミュレーション図形４５の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出しない。図７を参照して、図形抽出部１４は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）〜（Ｘ２，Ｙ３）の各々については領域内差分図形群を抽出するが、矩形領域（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ１，Ｙ３）及び（Ｘ３，Ｙ１）〜（Ｘ３，Ｙ３）の各々については領域内差分図形群を抽出しない。図形抽出部１４は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＡの場合と同様に、設計図形４７を含む矩形領域ごとに、実図形の部分とシミュレーション図形の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出するが、設計図形４７を含まない矩形領域については実図形の部分とシミュレーション図形の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出しない。
【０１２７】
ステップＳ９において、面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＡについて、ステップＳ８で領域内差分図形群が抽出された矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、面積値群を取得する。図７を参照して、誤差指標算出部１６は、矩形領域（Ｘ２，Ｙ１）について差分図形４６Ａ−１の面積値を取得し、矩形領域（Ｘ２，Ｙ２）について差分図形４６Ａ−２、４６Ｂ−１及び４６Ｄの全体の面積値を取得し、矩形領域（Ｘ２，Ｙ３）について差分図形４６Ｂ−２、４６Ｃ及び４６Ｅの全体の面積値を取得するが、他の矩形領域について面積値を取得しない。面積値取得部１５は、シミュレーションモデルＢについてもシミュレーションモデルＢの場合と同様に、ステップＳ８で領域内差分図形群が抽出された矩形領域ごとに領域内差分図形群の全体の面積値を取得することで、面積値群を取得する。
【０１２８】
ステップＳ１０において、誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡについて、ステップＳ９で取得した面積値群に基づいてシミュレーションモデルＡの誤差指標を算出する。誤差指標算出部１６は、設計図形４７を含まない矩形領域についての面積値を誤差指標の算出に用いない。誤差指標は、面積値群に対する統計処理により算出される。例えば、誤差指標は、面積値群の二乗平均平方根である。誤差指標算出部１６は、シミュレーションモデルＡの場合と同様に、シミュレーションモデルＢの誤差指標を算出する。
【０１２９】
本実施形態におけるステップＳ１１及びその後のステップとして、第１の実施形態におけるステップＳ１１及びその後のステップが上述の説明に対応するように変更されたステップが実行される。
【０１３０】
本実施形態においては、設計図形４７が存在しないために評価上重要ではない矩形領域についての面積値を誤差指標の算出に使用しないため、誤差指標を算出するための計算時間及び計算のためのメモリ量が節約される。
【０１３１】
なお、ステップＳ８において、図形抽出部１４は、設計図形４７を含まない矩形領域であっても、設計図形４７を含む矩形領域のいずれか一つに隣接する矩形領域については、実図形の部分とシミュレーション図形の部分との排他的論理和としての領域内差分図形群を抽出してもよい。
【０１３２】
上記各実施形態は、適宜変更することが可能である。例えば、設計データ３１のかわりにマスクデータ３７を用いてもよく、設計図形４７のかわりにマスクデータ３７が示すマスク図形を用いてもよい。
【０１３３】
上記各実施形態は、他の一つ又は複数の実施形態と組み合わせることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置のブロック図である。
【図２】図２は、データ間の関係を示す説明図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図４】図４は、第１の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法において抽出される差分図形を示す。
【図５】図５は、第１の実施形態による効果を説明する説明図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図７】図７は、第２の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法において抽出される差分図形を示す。
【図８】図８は、第２の実施形態による効果を説明する説明図である。
【図９】図９は、本発明の第３の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置が備える演算部を示す。
【図１０】図１０は、第３の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図１１】図１１は、第３の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法において抽出される差分図形を示す。
【図１２】図１２は、本発明の第４の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置が備える演算部を示す。
【図１３】図１３は、第４の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図１４】図１４は、第４の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法における誤差寸法算出を説明する説明図である。
【図１５】図１５は、本発明の第５の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置が備える演算部を示す。
【図１６】図１６は、第５の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図１７】図１７は、第５の実施形態による効果を説明する説明図である。
【図１８】図１８は、第５の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法の変形例のフローチャートである。
【図１９】図１９は、本発明の第６の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置が備える演算部を示す。
【図２０】図２０は、第６の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図２１】図２１は、第６の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法において分割される設計図形を示す。
【図２２】図２２は、本発明の第７の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置が備える演算部を示す。
【図２３】図２３は、第７の実施形態に係るシミュレーションモデル評価装置が備える記憶部を示す。
【図２４】図２４は、重み値データのデータ構成を示す。
【図２５】図２５は、第７の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【図２６】図２６は、第８の実施形態に係るシミュレーションモデル評価方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３５】
１０…演算部
１１…実図形データ生成部
１２…シミュレーションモデル作成部
１３…シミュレーション図形データ作成部
１４…図形抽出部
１５…面積値取得部
１６…誤差指標算出部
１７…シミュレーションモデル選択部
１８…誤差寸法取得部
１９…輪郭線長取得部
２０…誤差寸法算出部
２１…比較部
２２…重み付け部
２３…面積率算出部
３０…記憶部
３１…設計データ
３２…電子顕微鏡画像データ
３３…プログラム
３４…実図形データ
３５Ａ〜３５Ｄ…シミュレーションモデルデータ
３６Ａ〜３６Ｄ…シミュレーション図形データ
３７…マスクデータ
３８…重み値データ
４１…フォトマスク
４２…ウェハ
４３…実回路
４４…実図形
４５…シミュレーション図形
４６Ａ〜４６Ｅ、４６Ａ−１、４６Ａ−２、４６Ｂ−１、４６Ｂ−２…差分図形
４７…設計図形
５０…入力部
６０…出力部
７０…記録媒体
８０Ａ…誤差寸法
８１…輪郭線
８１ａ、８１ｂ…輪郭線部分
９１…実図形
９２Ａ〜９２Ｆ…シミュレーション図形
９３Ａ〜９３Ｆ…差分図形
９４Ａ〜９４Ｆ…誤差寸法
【図１】
2010134236.tif 000003
【図２】
2010134236.tif 000004
【図３】
2010134236.tif 000005
【図４】
2010134236.tif 000006
【図５】
2010134236.tif 000007
【図６】
2010134236.tif 000008
【図７】
2010134236.tif 000009
【図８】
2010134236.tif 000010
【図９】
2010134236.tif 000011
【図１０】
2010134236.tif 000012
【図１１】
2010134236.tif 000013
【図１２】
2010134236.tif 000014
【図１３】
2010134236.tif 000015
【図１４】
2010134236.tif 000016
【図１５】
2010134236.tif 000017
【図１６】
2010134236.tif 000018
【図１７】
2010134236.tif 000019
【図１８】
2010134236.tif 000020
【図１９】
2010134236.tif 000021
【図２０】
2010134236.tif 000022
【図２１】
2010134236.tif 000023
【図２２】
2010134236.tif 000024
【図２３】
2010134236.tif 000025
【図２４】
2010134236.tif 000026
【図２５】
2010134236.tif 000027
【図２６】
2010134236.tif 000028