(57)【要約】      （修正有）【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送する搬送システムにおいて、収容装置における入出庫作業を含めて被搬送物を効率良く搬送する。【解決手段】搬送システム１００は、搬送手段３と、収容装置３１に対応する積み降し用箇所に隣接して配置され、積み降し用箇所に位置する搬送手段との間で被搬送物２の積み降しが夫々行われる複数のポート１１と、複数のポートの各々と、収容装置における被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、被搬送物を移載可能な移載手段２１と、複数のポートのうち被搬送物が載置されていない一の未載置ポートを特定する特定手段と、特定された一の未載置ポートまで被搬送物を搬送すると共に特定された一の未載置ポートに被搬送物が載置されるように、搬送手段を制御する載置制御手段とを備える。【選択図】図２
2010013250.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容装置に対応する積み降し用箇所を含む経路に沿って被搬送物を搬送する搬送手段と、
前記積み降し用箇所に隣接して配置され、前記被搬送物を夫々載置可能であると共に前記積み降し用箇所に位置する前記搬送手段との間で前記被搬送物の積み降しが夫々行われる複数のポートと、
前記複数のポートの各々と、前記収容装置における前記被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、前記被搬送物を移載可能な移載手段と、
前記複数のポートのうち前記被搬送物が載置されていない一又は複数の未載置ポートを特定する特定手段と、
前記特定された一の未載置ポートまで前記被搬送物を搬送すると共に前記特定された一の未載置ポートに前記被搬送物が載置されるように、前記搬送手段を制御する載置制御手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記載置制御手段は、前記被搬送物を前記収容装置から前記移載手段を介して前記ポートに移載する旨の命令又は更に前記ポートから前記搬送手段に積む旨の命令が発行されるのに先立って、前記特定された一の未載置ポートに、前記被搬送物を搬送するように前記搬送手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記載置制御手段は、前記命令が発行されるのに先立って、前記被搬送物を搬送するように前記搬送手段を制御するのに並行して、前記ポート又は前記移載手段上に既に存在する被搬送物を前記収容装置に移載するように前記移載手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記特定手段は、前記複数のポートの各々と通信を行い、前記複数のポートのうち前記経路の最も上流側に位置する第１のポートから前記経路の下流側に向かって順番に、前記一又は複数の未載置ポートの特定を行うことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記特定手段は、前記一の未載置ポートを特定した場合に、前記特定された一の未載置ポートより下流側に配置される前記複数のポートの全てについて、前記特定を停止することを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記特定手段及び前記載置制御手段は、前記搬送手段に備えられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記複数のポートの各々は、前記移載手段との間で前記被搬送物を水平移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記移載手段は、前記複数のポート及び前記収容装置間に配置され、前記経路と並行に延びるコンベアであって、
前記コンベアは、前記出入口に隣接するコンベア部分を備えており、前記複数のポートの各々から水平移動された被搬送物を前記コンベア部分に搬送する
ことを特徴とする請求項７に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記収容装置の少なくとも一部は、
前記出入口が設けられている本体部と、前記本体部内に環状に配列されており、該環状の軌道に沿って回動可能であると共に、前記被搬送物を夫々収容又は載置可能である複数の載置部とを備え、
前記複数の載置部は、前記出入口に隣接する一の載置部と、前記一の載置部及び前記コンベア部分間で前記出入口を介して前記被搬送物を水平移動する
ことを特徴とする請求項８に記載の搬送システム。
【請求項１０】
収容装置に対応する積み降し用箇所を含む経路に沿って被搬送物を搬送する搬送手段と、前記積み降し用箇所に隣接して配置され、前記被搬送物を夫々載置可能であると共に前記積み降し用箇所に位置する前記搬送手段との間で前記被搬送物の積み降しが夫々行われる複数のポートと、前記複数のポートの各々と、前記収容装置における前記被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、前記被搬送物を移載可能な移載手段とを備えた搬送システムに備えられるコンピュータを、
前記複数のポートのうち前記被搬送物が載置されていない一又は複数の未載置ポートを特定する特定手段と、
前記特定された一の未載置ポートまで前記被搬送物を搬送すると共に前記特定された一の未載置ポートに前記被搬送物が移載されるように、前記搬送手段を制御する載置制御手段と
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の被搬送物を搬送する搬送システム、及びコンピュータをこのようなシステムとして機能させるコンピュータプログラムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送システムは、例えば複数の貯蔵容器を有する縦型回転コンベヤストッカを備え、オーバーヘッドホイスト搬送車等の搬送手段が、複数の貯蔵容器の一つにアクセスすることにより、仕掛品パーツ等の被搬送物を、該縦型回転ストッカから直接に取り上げたり配置したりする（言い換えれば、入出庫する）ものがある（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特表２００５−５３０３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１の搬送システムによれば、搬送手段は一の貯蔵容器にしかアクセスできないために、多数の被搬送物の入出庫が一度に要求されると、搬送効率が著しく低下してしまいかねないという技術的問題点がある。
【０００５】
また、上述した貯蔵容器、言い換えれば、被搬送物を入出庫するためのポートが複数設定されたとしても、本発明者の研究したところによれば、次の問題点がある。例えば、入出庫（例えば、入出庫動作として、搬送先への移動、及び被搬送物の移載）等の搬送指示は、例えば当該搬送システムの上位にある製造システムのコントローラ（以下、単に「上位コントローラ」と言う）から、搬送手段に直接に送られる。この場合に、上位コントローラからの搬送指示は、ポートの数と同数の搬送手段に同時に送られる。即ち、ポートの数分の入出庫が一回に実行可能である。一方で、一回の搬送指示による入出庫が終了するまで、次の搬送指示を送ることができず、時間的にランダムな搬送が要求されると、搬送効率が、特許文献１に記載の搬送システムと同様にして、著しく低下してしまいかねないという技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、収容装置における入出庫作業を含めて被搬送物を効率良く搬送可能な搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、収容装置に対応する積み降し用箇所を含む経路に沿って被搬送物を搬送する搬送手段と、前記積み降し用箇所に隣接して配置され、前記被搬送物を夫々載置可能であると共に前記積み降し用箇所に位置する前記搬送手段との間で前記被搬送物の積み降しが夫々行われる複数のポートと、前記複数のポートの各々と、前記収容装置における前記被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、前記被搬送物を移載可能な移載手段と、前記複数のポートのうち前記被搬送物が載置されていない一又は複数の未載置ポートを特定する特定手段と、前記特定された一の未載置ポートまで前記被搬送物を搬送すると共に前記特定された一の未載置ポートに前記被搬送物が載置されるように、前記搬送手段を制御する載置制御手段とを備える。
【０００８】
本発明の搬送システムによれば、例えばＦＯＵＰ等の被搬送物は、例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、ビークル等の搬送手段によって、例えばカルーセルリフタ、ストッカ（或いはスタッカ）等の収容装置間で搬送される。その搬送時には、搬送手段は、例えば半導体素子製造の工場内において、例えば天井又は床面に敷設されたレール等の経路における積み降し用箇所に停止される。ここに「積み降し用箇所」は、複数のポートの各々に対応しており、予め設定されている。このような積み降し用箇所で停止された搬送手段は、例えばグリップ機構により保持している被搬送物を、例えばホイスト機構により下方にあるポートに降す。逆に、積み降し用箇所で停止された搬送手段は、例えばグリップ機構により、ポートから被搬送物を積むことも可能である。尚、このような積み降しは、専ら搬送手段側に設けられたホイスト機構やグリップ機構により行われてもよいが、積み降し用の機構を少なくとも部分的にポート側に設けてもよい。
【０００９】
本発明では、例えば積み降し用箇所での停止時に、その積み降しに先立って、搬送手段又は当該搬送システムに備えられたコントローラ等の特定手段によって、複数のポートのうち一又は複数の未載置ポートが特定される。具体的には、例えば、コントローラが各ポートと接続されており、ポートに被搬送物が在るか否かを特定する。このような未載置ポートについての「特定」とは、例えば、センサ等の検知結果に基づいて判定、搬送工程のスケジュール等から推定等すればよく、何らかの形で未載置ポートを特定できればよい趣旨である。一又は複数の未載置ポートが特定されると、搬送手段又は当該搬送システムに備えられたコントローラ等の載置制御手段によって、一の未載置ポートに被搬送物が載置されるように、搬送手段が制御される。例えば各搬送手段で、このような特定及び制御を行う場合に、例えば、上位コントローラは、単に載置位置へ移動する旨の搬送指示を、搬送手段に送ってもよい。この場合に、上位コントローラは、載置すべきポートの特定、及び被搬送物の載置が終了するまで待機する必要がなく、少なくとも載置位置に到着した時点で次の搬送指示を送るようにしてもよい。これにより、ポートの数以上の入庫を同時に行うことが可能となる。
【００１０】
本発明では、一の未載置ポートに被搬送物が降されると、例えばコンベア、ロボットアーム等の移載手段によって、被搬送物が、ポートから収容装置の出入口へと移載される。この移載により、被搬送物が収容装置に入庫される。
【００１１】
このように、当該搬送システム内で、複数のポートのうち未載置ポートを特定し、搬送手段を予め特定された未載置ポートに呼び込むことによって、複数のポートのうち利用可能な未載置ポート及び移載手段を介して、収容装置へ入庫される被搬送物の数が増大される。よって、収容装置での出庫又は入庫作業における空き時間を効率良く短縮できる。
【００１２】
本発明の搬送システムの一態様では、前記載置制御手段は、前記被搬送物を前記収容装置から前記移載手段を介して前記ポートに移載する旨の命令又は更に前記ポートから前記搬送手段に積む旨の命令が発行されるのに先立って、前記特定された一の未載置ポートに、前記被搬送物を搬送するように前記搬送手段を制御する。
【００１３】
この態様によれば、例えば上位コントローラから、被搬送物を収容装置からポートに移載する旨の命令又は更に搬送手段に積む旨の命令が発行されるのに先立って、特定手段により特定された一の未載置ポートに、搬送手段が呼び込まれる。すると、搬送手段から未載置ポート及び移載手段を介して収容装置への収容を行うことが可能となる。よって、収容装置での出庫又は入庫作業における空き時間を効率良く短縮できる。
【００１４】
この態様では、前記載置制御手段は、前記命令が発行されるのに先立って、前記被搬送物を搬送するように前記搬送手段を制御するのに並行して、前記ポート又は前記移載手段上に既に存在する被搬送物を前記収容装置に移載するように前記移載手段を制御してもよい。
【００１５】
このように構成すれば、特定された一の未載置ポートに、搬送手段が呼び込まれるのと並行して或いは同時に、ポート又は移載手段上に既に存在する被搬送物については、収容装置に移載される。よって、収容装置での出庫又は入庫作業における空き時間を、より一層効率良く短縮できる。
【００１６】
本発明の搬送車の他の態様では、前記特定手段は、前記複数のポートの各々と通信を行い、前記複数のポートのうち前記経路の最も上流側に位置する第１のポートから前記経路の下流側に向かって順番に、前記一又は複数の未載置ポートの特定を行う。
【００１７】
この態様によれば、ポートへの載置に先立って、特定手段によって、第１のポートについて未載置ポートの特定が行われる。特定方法として、具体的には、例えば、特定手段と、第１のポートとの間で無線又は有線の通信が行われる。この通信の状態で、第１のポートの載置面に取り付けられたセンサが、載置面に支持される物体を検知しない場合に、第１のポートに被搬送物が載置されていないとして、第１のポートを未載置ポートとして特定する。このような特定が、第１のポートより下流側にある他のポートについても順番に行われる。これにより、搬送手段が載置位置に到着する前に、未載置ポートを把握しておけば、載置時間が短時間で済み、被搬送物を効率良く搬送することが可能となる。
【００１８】
この態様では、前記特定手段は、前記一の未載置ポートを特定した場合に、前記特定された一の未載置ポートより下流側に配置される前記複数のポートの全てについて、前記特定を停止してもよい。
【００１９】
このように構成すれば、複数のポートについて未載置ポートの特定中に、特定手段によって、一の未載置ポートが特定されると、他のポートについて特定が停止される。これにより、より上流側にある未載置ポートに被搬送物を載置するように搬送手段を制御すれば、載置位置への到着時間が最短となり、被搬送物を効率良く搬送することが可能となる。
【００２０】
本発明の搬送システムの他の態様では、前記特定手段及び前記載置制御手段は、前記搬送手段に備えられている。
【００２１】
この態様によれば、各搬送手段に備えられた特定手段によって、未載置ポートの特定が行われた後、各搬送手段に備えられた載置制御手段によって、特定された未載置ポートに被搬送物が載置される。このような特定及び載置動作が、各搬送手段自身で制御されることによって、入庫される被搬送物の数が増大され、被搬送物を効率良く搬送することが可能となる。
【００２２】
本発明の搬送システムの他の態様では、前記複数のポートの各々は、前記移載手段との間で前記被搬送物を水平移動可能に構成されている。
【００２３】
この態様によれば、各ポートに被搬送物が載置されると、例えばスライダ機構、ロボットアーム等の水平移動手段によって、被搬送物が、例えば、搬送手段の走行方向と直交する方向に水平移動され、移載手段に載置される。これにより、各ポートに被搬送物が載置されると、即座に各ポートを未載置の状態とすれば、未載置ポートとして特定される時間が長くなり、被搬送物を効率よく搬送することが可能となる。尚、ロボットアームは、被搬送物を底面から支持する又は上部を把持可能とする。この場合に、ロボットアームの数は一又は複数である。
【００２４】
この態様では、前記移載手段は、前記複数のポート及び前記収容装置間に配置され、前記経路と並行に延びるコンベアであって、前記コンベアは、前記出入口に隣接するコンベア部分を備えており、前記複数のポートの各々から前記水平移動された被搬送物を前記コンベア部分に搬送してもよい。
【００２５】
このように構成すれば、各ポートの各々からコンベアに被搬送物が水平移動されると、コンベアが一方向に回動され、コンベアの上面に支持される被搬送物がコンベア部分に向かって水平移動される。これにより、複数のポートからコンベアに水平移動される被搬送物が複数であっても、複数の被搬送物を、一度にして簡単に効率よく搬送することが可能となる。
【００２６】
この態様によれば、前記収容装置の少なくとも一部は、前記出入口が設けられている本体部と、前記本体部内に環状に配列されており、該環状の軌道に沿って回動可能であると共に、前記被搬送物を夫々収容又は載置可能である複数の載置部とを備え、前記複数の載置部は、前記出入口に隣接する一の載置部と、前記一の載置部及び前記コンベア部分間で前記出入口を介して前記被搬送物を水平移動してもよい。
【００２７】
このように構成すれば、収容装置の少なくとも一部は、環状の軌道に沿って回動可能な多数の載置部を備える例えばカルーセルリフタである。ここに「環状」は、閉じた路であれば足りる趣旨であり、曲線をなす、即ち、円環状や楕円環状の他、一部に角や直線を含む環状であってもよい。被搬送物がコンベア部分に搬送されると、例えばスライダ機構、ロボットアーム等の水平移動手段によって、被搬送物が、例えば、移載手段の搬送方向と直交する方向に水平移動され、一の載置部に載置される。これにより、例えばカルーセルリフタの複数の載置部の各々に、一定間隔で、一の載置部にある被搬送物が、カルーセルリフタ内に収容（又は載置）され、被搬送物を効率良く入庫することが可能となる。
【００２８】
本発明のコンピュータプログラムは上記課題を解決するために、収容装置に対応する積み降し用箇所を含む経路に沿って被搬送物を搬送する搬送手段と、前記積み降し用箇所に隣接して配置され、前記被搬送物を夫々載置可能であると共に前記積み降し用箇所に位置する前記搬送手段との間で前記被搬送物の積み降しが夫々行われる複数のポートと、前記複数のポートの各々と、前記収容装置における前記被搬送物を出し入れ可能な出入口との間で、前記被搬送物を移載可能な移載手段とを備えた搬送システムに備えられるコンピュータを、前記複数のポートのうち前記被搬送物が載置されていない一又は複数の未載置ポートを特定する特定手段と、前記特定された一の未載置ポートまで前記被搬送物を搬送すると共に前記特定された一の未載置ポートに前記被搬送物が移載されるように、前記搬送手段を制御する載置制御手段ととして機能させる。
【００２９】
本実施形態のコンピュータプログラムによれば、当該コンピュータプログラムを格納するＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体から、当該コンピュータプログラムを、搬送システムに備えられたコンピュータに読み込んで実行させれば、或いは、当該コンピュータプログラムを通信手段を介してダウンロードさせた後に実行させれば、上述した本発明に係る搬送システムを比較的簡単に構築できる。これにより、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、複数のポートのうち未載置ポートを特定し、特定された未載置ポートに被搬送物を載置することによって、入庫される被搬送物の数が増大され、収容装置での出庫又は入庫作業における空き時間を効率良く短縮できる。
【００３０】
尚、本発明のコンピュータプログラムにおいても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３１】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３３】
実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。ここに図１は、実施形態に係る搬送システムの外観を示し、図２は、図１の搬送システムの一の階を模式的に示し、図３は、図１の搬送システムを機能的に示す。
【００３４】
図１において、搬送システム１００は、複数のレール１、複数のビークル３、複数のポート１１、コンベア２１、及びカルーセルリフタ３１を備える。
【００３５】
複数のレール１の各々は、本発明に係る「経路」の一例として、ビークル３が走行するための軌道の役割を果たす。本実施形態では、複数のレール１は、３つのレール１ａ〜１ｃから成っている。各レール１ａ〜１ｃは夫々、３つのフロアＦ１〜Ｆ３の天井に敷設されている。
【００３６】
複数のビークル３の各々は、本発明に係る「搬送手段」の一例として、リニアモータにより駆動される。各ビークル３は、レール１に沿って走行すると共に、不図示のストッカや製造装置、及びカルーセルリフタ３１の相互間で、本発明に係る「被搬送物」の一例であるＦＯＵＰ２を搬送する。各ビークル３は、不図示のグリップ機構及びホイスト機構を備えており、グリップ機構によりＦＯＵＰ２を保持可能であると共に、ホイスト機構によりグリップ機構を昇降させることでＦＯＵＰ２を昇降可能である。本実施形態では、各ビークル３は、ホイスト機構による縦移載により、複数のポート１１との間で、ＦＯＵＰ２を移載する。
【００３７】
複数のポート１１は、レール１の下方に配置され、ビークル３との間でＦＯＵＰ２を積み降し可能である。図２において、複数のポート１１は、５つのポート１１ａ〜１１ｅから成っており、走行方向Ｄ１における上流側から順に、ポート１１ａ，１１ｂ，１１ｃ・・として配置されている。本実施形態では、各ポート１１は、一対のローラ１２、及び不図示の回転機構を備える。一対のローラ１２は、ビークル３から載置されたＦＯＵＰ２を支持すると共に、回転機構により右回りに回動され、支持しているＦＯＵＰ２を方向Ｄ２へ水平移動させる。
【００３８】
図３において、各ポート１１は、光センサ１３、及び通信部１４を備える。センサ１３は、一対のローラ１２の間に取り付けられており、一対のローラ１２がＦＯＵＰ２を支持しているのを検知する。通信部１４は、各ポート１１に対応するレール１上の載置位置（即ち、本発明に係る「積み降し用箇所」の一例）にビークル３が停止すると、そのビークル３との間で赤外線通信を行う通信状態となる。通信部１４は、光センサ１３の検知結果を、通信状態のビークル３に送る。
【００３９】
図２において、コンベア２１は、本発明に係る「移載手段」の一例として、複数のポート１１とカルーセルリフタ３１との間でＦＯＵＰ２を移載する。本実施形態では、コンベア２１は、複数のポート１１と並行に延びており、複数のポート１１に対応して、５つのコンベア部分２２から成っている。各コンベア部分２２は夫々、一対のローラ２３、及び不図示の回転機構を備える。一対のローラ２３は、各ポート１１から水平移動されたＦＯＵＰ２を支持すると共に、回転機構により同じ又は異なるタイミングで右回りに回動され、支持しているＦＯＵＰ２を方向Ｄ３又はＤ４へ水平移動させる。
【００４０】
５つのコンベア部分２２のうち、方向Ｄ３の最も下流側にある第５のコンベア部分２２ｅは、カルーセルリフタ３１の出入口Ｈ１に隣接しており、他の４つのコンベア部分２２より９０度傾けられて配置されている。このような第５のコンベア部分２２ｅは、他の４つのコンベア部分２２、又は対応するポート１１ａから水平移動されたＦＯＵＰ２を支持すると共に、方向Ｄ４へ水平移動させる。
【００４１】
図１において、カルーセルリフタ３１は、本発明に係る「収容装置」の一例として、３つのフロアＦ１〜Ｆ３間でＦＯＵＰ２を搬送可能とする。カルーセルリフタ３１は、本体部３１ａ、複数の載置部３２、及び不図示の回転機構を備える。本体部３１ａには、ＦＯＵＰ２の出入口Ｈ１が設けられている。複数の載置部３２は、本体部３１ａ内に、上下方向に環状に配列されている。各載置部３２は、ＦＯＵＰ２を収容（載置）可能であって、回転機構により、連帯して上下方向へ移動される。例えば、図２に示すように、一の載置部３２ａは、下方向に移動され、一の載置部３２ａに隣り合う載置部３２ｂは、上方向に移動される。
【００４２】
複数の載置部３２のうち、出入口Ｈ１に対応する位置、具体的には、第５のコンベア部分２２ｅと同じ水平位置に移動された一の載置部３２ａには、第５のコンベア部分２２ｅから、出入口Ｈ１を介して、ＦＯＵＰ２が水平移動される。
【００４３】
図３において、搬送システム１００は、制御系として、複数のビークル３を総括的に制御する搬送コントローラ１０、コンベア２１を総括的に制御する移載装置コントローラ３０、及びカルーセルリフタ３１を総括的に制御する収容装置コントローラ４０を備える。搬送システム１００は、これらコントローラ１０，３０，４０を総括的に制御して、半導体素子の製造を行う。このような搬送システム１００は、製造システム２００に組み込まれている。
【００４４】
製造システム２００は、製造コントローラ５０を備える。製造コントローラ５０は、製造工程のスケジューリングに従って、搬送コントローラ１０に対して、製造指示を送る。
【００４５】
搬送コントローラ１０は、製造コントローラ５０からの製造指示を受けて、搬送工程のスケジューリングを行い、スケジューリングの結果に従って、搬送指示を複数のビークル３に送る。本実施形態では、搬送指示の内容として、搬送元への走行、搬送元からのＦＯＵＰ２の積載、及び搬送先への走行が含まれている。特に、搬送先への走行として、５つのポート１１のうち、最も上流側にある第１ポート１１ａに対応する載置位置まで走行することが設定されている。
【００４６】
各ビークル３は、制御系として、ポート特定部８、及び制御部９を備えており、カルーセルリフタ３１への入庫前に、ポート特定処理を行う。
【００４７】
ポート特定部８は、本発明に係る「特定手段」の一例として、カルーセルリフタ３１に、積載しているＦＯＵＰ２を入庫するために、５つのポート１１のうちの一の未載置ポートを特定する。詳細には、ポート特定部８は、第１ポート１１ａに対応する載置位置で、第１ポート１１ａの通信部１４との間で通信を行う。この通信状態で、光センサ１３による検知の結果が取得可能となる。ポート特定部８は、光センサ１３の検知結果に従って、既に第１ポート１１ａにＦＯＵＰ２が載置されている場合に、第１ポート１１ａより下流側にある第２ポート１１ｂについて、未載置ポートの特定を行う。また、既に第２ポート１１ｂにＦＯＵＰ２が載置されている場合に、第２ポート１１ｂより下流側にある第３ポート１１ｃについて特定を行う。このように、一の未載置ポートを特定するまで、下流側にある他のポート１１ｄ，１１ｅについて順番に特定を行っていく。一方、第１ポート１１ａにＦＯＵＰ２が載置されていない場合に、第１ポート１１ａを未載置ポートとして特定する。
【００４８】
制御部９は、本発明に係る「載置制御手段」の一例として、ポート特定部８により特定された未載置ポートに、積載しているＦＯＵＰ２を載置するように、グリップ機構及びホイスト機構を制御する。この制御により、カルーセルリフタ３１への入庫時に、より上流側にあるポートに、入庫すべきＦＯＵＰ２が載置される。
（ポート特定処理）
【００４９】
次に、本実施形態の特定手段及び載置制御手段によるポート特定処理について図４から図６を参照して説明する。ここに図４は、本実施形態のポート特定処理を示し、図５は、図４のポート特定処理において、第１ポートへの載置が成功する場合の三者（即ち、製造システム、搬送システム、及び搬送手段）の動作を示し、図６は、第１ポートへの載置が失敗する場合の三者の動作を示す。
【００５０】
図４において、先ず、製造コントローラ５０によって、搬送コントローラ１０に対して製造指示が送られる（ステップＳ５１）。すると、搬送コントローラ１０によって、ビークル３に対して搬送指示が送られる（ステップＳ５２）。この際、搬送指示の内容として、カルーセルリフタ３１との間の積み降ろしに対応するポート１１まで走行する旨が含まれている。すると、ビークル３の制御部９によって、ビークル３本体が搬送元へ移動され、搬送元からＦＯＵＰ２が積載される（ステップＳ５３）。続いて、搬送先であるカルーセルリフタ３１へ向けて移動され、第１ポート１１ａに対応する載置位置で停止される（ステップＳ５４）。すると、定数ｎが「１」とされ（ステップＳ５５）、ポート特定部８によって、第ｎポート、即ち、第１ポート１１ａにＦＯＵＰ２が載置可能か否かが判定される（ステップＳ５６）。この判定の結果、既に第１ポート１１ａに他のＦＯＵＰ２が載置されており、載置不可能であれば（ステップＳ５６：ＮＯ）、図６に示すように、ビークル３によって、搬送システム１００に対して、指示された搬送が失敗した旨を示す信号が送られ、搬送コントローラ１０によって、ビークル３に対して新たな搬送指示が送られた後に、ポート特定部８によって、定数ｎが「ｎ＋１」とされる（ステップＳ５７）。この場合に、ポート特定部８によって、第１ポート１１ａの場合と同様に、第ｎ＋１ポート、即ち、第２ポート１１ｂにＦＯＵＰ２が載置可能か否かが判定される（ステップＳ５６）。この判定の結果に従って、載置可能である未載置ポートが見つかるまでステップＳ５６及びＳ５７の処理が繰り返される。
【００５１】
一方、ステップＳ５６の判定の結果、ＦＯＵＰ２が第１ポート１１ａに載置可能であれば（ステップＳ５６：ＹＥＳ）、制御部９によって、ホイスト機構及びグリップ機構が駆動され、第１ポート１１ａにＦＯＵＰ２が移載される（ステップＳ５８）。すると、定数ｎが「０」とされ（ステップＳ５９）、一連のポート特定処理が終了される。
【００５２】
この後、図５及び図６において、ビークル３によって、搬送システム１００に対して、指示された搬送が成功した旨を示す信号が送られる。すると、搬送システム１００によって、製造システム２００に対して、該信号が送られる。
【００５３】
このように、本実施形態のポート特定処理によれば、当該搬送システム１００内で、未載置ポートを特定することによって、未載置ポート及びコンベア２１を介して、カルーセルリフタ３１へ入庫されるＦＯＵＰ２の数が増大される。よって、カルーセルリフタ３１での入庫作業における空き時間を効率良く短縮できる。
【００５４】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うコンピュータプログラムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る搬送システムの外観を示す斜視図である。
【図２】図１の搬送システムの一の階を模式的に示す平面図である。
【図３】図１の搬送システムを機能的に示すブロック図である。
【図４】本発明のポート特定処理を示すフローチャートである。
【図５】図４のポート特定処理を行うシステム及び搬送手段の動作の一例を示すシークエンスチャートである。
【図６】図４のポート特定処理を行うシステム及び搬送手段の動作の他の例を示すシークエンスチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
１…レール、２…ＦＯＵＰ、３…ビークル、８…ポート特定部、９…制御部、１０…搬送コントローラ、１１…ポート、２１…コンベア、３１…カルーセルリフタ、１００…搬送システム
【図１】
2010013250.tif 000003
【図２】
2010013250.tif 000004
【図３】
2010013250.tif 000005
【図４】
2010013250.tif 000006
【図５】
2010013250.tif 000007
【図６】
2010013250.tif 000008