(57)【要約】【課題】  ボンビング終了時からリークテスト開始時点までの経過時間を短くすることにより正確なリークテストを可能にし、しかも構造が簡単なテストガスボンビングシステムを提供する。【解決手段】  キャリア１０はロッド状をなし、軸方向に沿う収容凹部１２にワークを装填するようになっている。キャリア支持体２０は互いに独立した複数のチャンバ２１を有している。チャンバ２１は、互いに平行をなして直線的に延び同一平面上に配列されている。キャリア支持体２０は移動手段によりチャンバ２１の配列方向に移動され、１つのチャンバ２１が選択的に特定位置に位置させられる。特定位置にあるチャンバ２１のキャリア１０は搬送手段により出し入れされる。キャリア１０が収容位置にある時、チャンバ２１の開口端部内周とこれに対応する上記キャリア１０の端部外周との間がＯリング１４によりシールされ、チャンバ２１が密閉される。この密閉状態でテストガスがチャンバ２１に供給される。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）ロッド状をなし、その上面に軸方向に沿う収容凹部を有し、この収容凹部に複数のワークを装填するキャリアと、
（イ）上記キャリアを収容するための複数のチャンバを有し、これらチャンバが互いに独立しかつ平行をなして直線的に延び少なくとも一端部が開口するキャリア支持体と、
（ウ）上記チャンバ内の上記キャリアを、チャンバ内の収容位置と、チャンバ外の取出位置との間で、上記チャンバの軸方向に出し入れする搬送手段と、
（エ）上記キャリアが収容位置にある時、上記チャンバの開口端部内周とこれに対応する上記キャリアの端部外周との間をシールすることにより、上記チャンバを密閉するシール手段と、
（オ）ワーク装填状態のキャリアを収容したチャンバにテストガスを供給するテストガス供給手段と、
を備えていることを特徴とするテストガスボンビングシステム。
【請求項２】
（ア）ロッド状をなし、その上面に軸方向に沿う収容凹部を有し、この収容凹部に複数のワークを装填するキャリアと、
（イ）上記キャリアを収容するための互いに独立した複数のチャンバと、これらチャンバにそれぞれ供給ポートを介して連なるテストガス供給のための複数の接続手段とを有し、上記複数のチャンバが、互いに平行をなして直線的に延び同一平面上に配列されるとともに、少なくとも一端部が開口するキャリア支持体と、
（ウ）上記キャリア支持体を上記チャンバの配列方向に移動させ、上記複数のチャンバのうちの一つを選択的に特定位置に位置させる移動手段と、
（エ）上記特定位置にあるチャンバに対して、上記キャリアを、当該チャンバ内の収容位置と、当該チャンバ外の取出位置との間で、上記チャンバの軸方向に搬送する搬送手段と、
（オ）上記キャリアが収容位置にある時、上記チャンバの開口端部内周とこれに対応する上記キャリアの端部外周との間をシールすることにより、上記チャンバを密閉するシール手段と、
（カ）上記特定位置にあるチャンバに対応する上記接続手段に対して着脱可能に接続する供給端を有し、この供給端から当該チャンバにテストガスを供給するテストガス供給手段と、
を備えていることを特徴とするテストガスボンビングシステム。
【請求項３】
上記接続手段は弁手段を含み、この弁手段は、上記供給端を上記接続手段に接続してテストガスを供給する際に開き、上記供給端が上記接続手段から離れた状態では閉じることを特徴とする請求項２に記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項４】
上記弁手段はチェック弁からなることを特徴とする請求項３に記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項５】
上記キャリアは、上記テストガス供給の際に上記チャンバ内において上記収容位置から上記取出位置方向に偏移したガス供給位置にあり、テストガス供給終了後に上記収容位置まで移動し、
上記シール手段は、上記キャリアの外周に形成された環状溝に嵌るＯリングからなり、このＯリングは、上記キャリアが上記ガス供給位置にある時に、上記供給ポートから上記チャンバの開口端側に偏移した位置でキャリアの外周とチャンバの内周とをシールし、上記キャリアが上記収容位置にある時に、上記供給ポートから上記チャンバの開口端の反対側に偏移した位置でキャリアの外周とチャンバの内周とをシールすることにより、上記供給ポートと上記チャンバを遮断することを特徴とする請求項２に記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項６】
上記チャンバが上記キャリア支持体を貫通しており、上記チャンバの両端部内周と上記キャリアの両端部外周との間に、それぞれ上記シール手段が配置されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項７】
上記キャリアの収容凹部が、キャリアの長手方向に等しいピッチで分割された複数の分割凹部を含むことを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項８】
さらに、所定のワーク供給位置にワークを供給するためのワーク供給装置を備え、
上記搬送手段は、上記キャリアを上記分割凹部のピッチ毎に上記特定位置のチャンバに向かって間欠搬送することにより、上記所定のワーク供給位置に空の分割凹部を順に位置させることを特徴とする請求項７に記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項９】
上記収容位置にあるキャリアにおいて上記チャンバの開口端部側に位置する端部が、上記キャリア支持体から突出しており、上記搬送手段は、上記キャリアの突出端部側に位置する少なくとも１つの搬送機構を有し、
上記搬送機構が上記チャンバの軸方向に移動する移動台と、この移動台に設けられ上記キャリアの突出端部を着脱可能にチャックするチャック機構とを備えていることを特徴とする請求項２〜８のいずれかに記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項１０】
上記キャリアの取出位置が、上記キャリア支持体の一方側におけるワーク供給のための第１取出位置と、キャリア支持体の他方側におけるワーク搬出のための第２取出位置とを含み、
上記収容位置にあるキャリアの両端部が上記キャリア支持体から突出しており、
上記少なくとも１つの搬送機構は、上記キャリア支持体の上記一方側に配置されたワーク供給のための第１搬送機構と、上記他方側に配置されたワーク搬出のための第２搬送機構とを含むことを特徴とする請求項９に記載のテストガスボンビングシステム。
【請求項１１】
上記搬送機構は、上記キャリアを上記取出位置において上記チャンバから離脱させるようになっており、
上記搬送機構は、上記チャック機構と上記キャリア支持体との間に配置された補助支持機構を備え、この補助支持機構は、支持部と、この支持部を昇降させる昇降部とを有し、
上記補助支持機構の支持部は、所定の下降位置にあって上記チャック機構の通過を許容し、上記キャリアが上記チャンバから離脱した状態では所定の上昇位置にあって上記キャリアの下側を支持することを特徴とする請求項９または１０に記載のテストガスボンビングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークのリークテストに先立ってワークにテストガスをボンビングするシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークのピンホール等の傷の有無を検査するために加圧エアを用いてエアリークテストを行うことは周知である。しかし、電子部品等の小型ワークのピンホール等を検査する場合、エアリークテストでは感度が低いために検出することができない。
そこで小型ワークを検査する場合、特許文献１に開示されているように、エアリークテストと併用してまたは単独でヘリウムリークテスト（テストガスリークテスト）を行うのが一般的である。
【０００３】
上記ヘリウムリークテストでは、事前に多数（例えば数百個）のワークをタンクに収容し、このタンクに加圧ヘリウムガス（テストガス）を供給して１〜２時間維持する（ボンビング）。ワークにピンホールがあれば、ワークの微小空間にヘリウムガスが侵入する。
【０００４】
上記ヘリウムガスのボンビング工程の後に、ワークカプセルにワークを密閉して収容し、このワークカプセルにヘリウム検出器を接続した状態で、ヘリウム検出を行う。ヘリウム検出が無い場合には、微小のピンホールが無いと判断し、ヘリウムを検出した場合には、ワークに微小のピンホール有りと判断する。
【０００５】
上記ヘリウムリークテストでは、ボンビングされたワークから所定数（例えば８個）ずつ取り出してテストするため、ボンビング終了時点からヘリウムリークテスト開始時点までに費やす時間が、ワークにより大きく相違してしまう。そのため、早い時期にテストされるワークでは支障なく微小漏れの検査を行えるが、遅い時期にテストされるワークではワーク内の微小空間に侵入したヘリウムが逃げてしまい微小漏れの検査を正確に行えなくなってしまう。
【０００６】
上記問題は、ワークの小型化が進むほど顕著なものとなる。この問題を解決するために、  特許文献２のヘリウムガスボンビングシステムは、矩形パレット状の多数のキャリアと、キャリア支持体とを備えている。キャリア支持体には、上記キャリアを個別に収容するための互いに独立した多数のチャンバが形成されている。
【０００７】
上記特許文献２のシステムにおいて、上記キャリアに所定数のワークをマトリックス状にセットしてチャンバに収容し、蓋を閉めてからチャンバにヘリウムガスを供給し、所定時間以上維持することにより、ボンビングを行ない、ボンビングが終了した順にキャリアをチャンバから取り出し、このキャリアにセットされた所定数のワークのヘリウムリークテストを行なっている。
【特許文献１】特開２０００−１２１４８１号公報
【特許文献２】特開２００３−１８５５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献２のシステムでは、ヘリウムガス供給時およびその後のボンビングにチャンバを蓋で閉じてヘリウムガスの漏出を防止しなければならず、しかも、この蓋とキャリア支持体との間の平坦な対向面同士の間のシールを維持するために、蓋をロックする必要があった。そのため、蓋の開閉のための機構、ロックおよびロック解除のための機構が必要となり、構造が複雑になる欠点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明テストガスボンビングシステムは、（ア）ロッド状をなし、その上面に軸方向に沿う収容凹部を有し、この収容凹部に複数のワークを装填するキャリアと、（イ）上記キャリアを収容するための複数のチャンバを有し、これらチャンバが互いに独立しかつ平行をなして直線的に延び少なくとも一端部が開口するキャリア支持体と、（ウ）上記チャンバ内の上記キャリアを、チャンバ内の収容位置と、チャンバ外の取出位置との間で、上記チャンバの軸方向に出し入れする搬送手段と、（エ）上記キャリアが収容位置にある時、上記チャンバの開口端部内周とこれに対応する上記キャリアの端部外周との間をシールすることにより、上記チャンバを密閉するシール手段と、（オ）ワーク装填状態のキャリアを収容したチャンバにテストガスを供給するテストガス供給手段と、を備えている。
上記構成によれば、ロッド状のキャリアを用いるためチャンバの内周とキャリアの外周とのシールによりテストガスの漏出を防止でき、蓋や蓋をロックする機構が不要となるので、構造が簡単かつ安価になる。
【００１０】
さらに本発明の他の態様のテストガスボンビングシステムは、（ア）ロッド状をなし、その上面に軸方向に沿う収容凹部を有し、この収容凹部に複数のワークを装填するキャリアと、（イ）上記キャリアを収容するための互いに独立した複数のチャンバと、これらチャンバにそれぞれ供給ポートを介して連なるテストガス供給のための複数の接続手段とを有し、上記複数のチャンバが、互いに平行をなして直線的に延び同一平面上に配列されるとともに、少なくとも一端部が開口するキャリア支持体と、（ウ）上記キャリア支持体を上記チャンバの配列方向に移動させ、上記複数のチャンバのうちの一つを選択的に特定位置に位置させる移動手段と、（エ）上記特定位置にあるチャンバに対して、上記キャリアを、当該チャンバ内の収容位置と、当該チャンバ外の取出位置との間で、上記チャンバの軸方向に搬送する搬送手段と、（オ）上記キャリアが収容位置にある時、上記チャンバの開口端部内周とこれに対応する上記キャリアの端部外周との間をシールすることにより、上記チャンバを密閉するシール手段と、（カ）上記特定位置にあるチャンバに対応する上記接続手段に対して着脱可能に接続する供給端を有し、この供給端から当該チャンバにテストガスを供給するテストガス供給手段と、を備えている。
この構成によれば、ロッド状のキャリアを用いるためチャンバの内周とキャリアの外周とのシールによりテストガスの漏出を防止でき、蓋や蓋をロックする機構が不要となるので、構造が簡単かつ安価になる。しかも、キャリア支持体を移動して複数のチャンバのうちの１つを選択的に特定位置に位置させることにより、キャリアをチャンバに対して出し入れする搬送手段の構造と、チャンバへテストガスを供給するテストガス供給手段の構造を簡単にすることができる。
【００１１】
好ましくは、上記接続手段は弁手段を含み、この弁手段は、上記供給端を上記接続手段に接続してテストガスを供給する際に開き、上記供給端が上記接続手段から離れた状態では閉じる。
これによれば、接続手段からのテストガス漏出を防止できる。
【００１２】
さらに好ましくは、上記弁手段はチェック弁からなる。これによれば弁の制御なしにテストガス漏出を防止できる。
【００１３】
好ましくは、上記キャリアは、上記テストガス供給の際に上記チャンバ内において上記収容位置から上記取出位置方向に偏移したガス供給位置にあり、テストガス供給終了後に上記収容位置まで移動し、上記シール手段は、上記キャリアの外周に形成された環状溝に嵌るＯリングからなり、このＯリングは、上記キャリアが上記ガス供給位置にある時に、上記供給ポートから上記チャンバの開口端側に偏移した位置でキャリアの外周とチャンバの内周とをシールし、上記キャリアが上記収容位置にある時に、上記供給ポートから上記チャンバの開口端の反対側に偏移した位置でキャリアの外周とチャンバの内周とをシールすることにより、上記供給ポートと上記チャンバを遮断する。
これによれば、接続手段に弁手段を設けなくて済む。
【００１４】
好ましくは、上記チャンバが上記キャリア支持体を貫通しており、上記チャンバの両端部内周と上記キャリアの両端部外周との間に、それぞれ上記シール手段が配置されている。
これによれば、一対のシール手段が両端部に配置されているので、充填されたテストガスの圧力による両方向の力が均衡し、より一層安定したキャリア保持を行うことができる。
【００１５】
好ましくは、上記キャリアの収容凹部が、キャリアの長手方向に等しいピッチで分割された複数の分割凹部を含む。
これによれば、分割凹部にワークを１個ずつ装填することにより、ワークの供給、排出を容易に行うことができる。
【００１６】
好ましくは、さらに、所定のワーク供給位置にワークを供給するためのワーク供給装置を備え、上記搬送手段は、上記キャリアを上記分割凹部のピッチ毎に上記特定位置のチャンバに向かって間欠搬送することにより、上記所定のワーク供給位置に空の分割凹部を順に位置させる。
これによれば、ワーク供給位置が特定されているので、ワーク供給手段によるワークの軌跡を単純化でき、ワーク供給手段の構成を簡単にすることができる。
【００１７】
好ましくは、上記収容位置にあるキャリアにおいて上記チャンバの開口端部側に位置する端部が、上記キャリア支持体から突出しており、上記搬送手段は、上記キャリアの突出端部側に位置する少なくとも１つの搬送機構を有し、上記搬送機構が上記チャンバの軸方向に移動する移動台と、この移動台に設けられ上記キャリアの突出端部を着脱可能にチャックするチャック機構とを備えている。
これによれば、キャリアの出し入れを簡単に行うことができる。
【００１８】
好ましくは、上記キャリアの取出位置が、上記キャリア支持体の一方側におけるワーク供給のための第１取出位置と、キャリア支持体の他方側におけるワーク搬出のための第２取出位置とを含み、上記収容位置にあるキャリアの両端部が上記キャリア支持体から突出しており、上記少なくとも１つの搬送機構は、上記キャリア支持体の上記一方側に配置されたワーク供給のための第１搬送機構と、上記他方側に配置されたワーク搬出のための第２搬送機構とを含む。
これによれば、ワーク供給とワーク搬出の場所が重ならないので、作業が煩雑にならず、両者の干渉を防止するための構成も不要である。
【００１９】
好ましくは、上記搬送機構は、上記キャリアを上記取出位置において上記チャンバから離脱させるようになっており、上記搬送機構は、上記チャック機構と上記キャリア支持体との間に配置された補助支持機構を備え、この補助支持機構は、支持部と、この支持部を昇降させる昇降部とを有し、上記補助支持機構の支持部は、所定の下降位置にあって上記チャック機構の通過を許容し、上記キャリアが上記チャンバから離脱した状態では所定の上昇位置にあって上記キャリアの下側を支持する。
これによれば、キャリアをキャリア支持体から離脱させた状態で、ワークの供給と搬出を行うことができ、供給、搬出の自由度を高めることができる。また、補助支持機構を用いて離脱状態のキャリアを安定して支持することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、テストガスボンビング終了時からリークテスト開始時点までの経過時間を短くでき、正確な微小漏れを検出することができる。しかも、キャリアをロッド状にし、キャリアの外周とチャンバの内周との間のシール手段によりチャンバからのテストガス漏出を防止するため、チャンバを塞ぐ蓋や蓋のロック機構が不要となり、構造を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明に係わるヘリウムボンビングシステム（テストガスボンビングシステム）を、図面を参照しながら説明する。図１に示すように、このシステムは、ワークを保持するための多数の同一寸法、同一形状のキャリア１０を備えている。各キャリア１０は直線的に延びるロッド状をなしている。
【００２２】
図４〜図６に最も良く示すように、上記キャリア１０は、基本的には断面円形をなし全長にわたって同一径をなす。上記キャリア１０の上側は両端部を除き所定長さにわたって切り欠かれた形状をなし、平坦面１１を有している。
【００２３】
上記平坦面１１には、キャリア１０の軸方向に等ピッチをなして多数（複数）の分割凹部１２ａが形成されている。隣接する分割凹部１２ａは仕切壁１２ｂにより仕切られている。図５、図６に示すように、各分割凹部１２ａにはそれぞれ電子部品等の小型のワークＷが１個ずつ収容（装填）できるようになっている。
これら多数の分割凹部１２ａにより、軸方向に延びる収容凹部１２が構成されている。
【００２４】
上記キャリア１０の両端部外周には、上記平坦面１１寄りに環状溝１３が形成されており、この環状溝１３にはＯリング１４（シール手段）が装着されている。
また、キャリア１０の両端には平板形状の把持フランジ１５が形成されている。この把持フランジ１５にはキャリア１０の軸線と直交する係合穴１５ａが形成されている。
【００２５】
上記キャリア１０は、図１において左側のワーク供給ステージＡと中央のボンビングステージＢとの間で搬送され、このボンビングステージＢと右側のワーク搬出ステージＣとの間で搬送されるようになっている。
上記キャリア１０は、その軸線に沿って所定の高さを維持したまま搬送される。この搬送ラインを図２においてＬで示す。
【００２６】
次に各ステージＡ〜Ｃの構成を順を追って説明する。最初に中央のボンビングステージＢについて説明する。
図１、図３に示すように、上記ボンビングステージＢは、垂直に配置された矩形の板形状をなすキャリア支持体２０と、このキャリア支持体２０を昇降させる移動手段３０と、ヘリウムガス供給装置４０（テストガス供給手段）とを備えている。
【００２７】
上記キャリア支持体２０は、互いに独立した多数（複数）のチャンバ２１を有している。これらチャンバ２１は上記搬送ラインＬと平行をなして水平に直線的に延び、キャリア支持体２０を貫通し、上下方向に同一平面上に配列されている。通常、これらチャンバ２１の殆どに上記キャリア１０が収容されている。
【００２８】
図４に示すように、上記チャンバ２１は、断面円形をなしており、所定長さの大径部２１ａと両端部の小径部２１ｂとを有している。
上記キャリア支持体２０の各チャンバ２１に、上記キャリア１０が収容されるようになっている。キャリア１０の両端部は上記チャンバ２１の小径部２１ｂと同径をなしており、チャンバ２１への収容位置において、小径部２１ｂに支持される。
上記チャンバ２１の大径部２１ａは、キャリア１０より径が大きくヘリウムガス（テストガス）のための充填空間として提供される。
【００２９】
上記キャリア１０が上記チャンバ２１内の収容位置にある時、上記一対のＯリング１４によりキャリア１０の両端部外周とチャンバ２１の小径部２１ｂ内周との間がシールされ、チャンバ２１の充填空間の密閉状態が維持されるようになっている。
また、上記キャリア１０が上記チャンバ２１内の収容位置にある時、キャリア１０の両端部がキャリア支持体２０の両端面から突出している。
【００３０】
上記キャリア支持体２０のワーク供給ステージＡ側の端部には、各チャンバ２１に対応して筒状をなすカプラ２２（接続手段）が装着されており、このカプラ２２にはチェック弁２３（弁手段）が内蔵されている。カプラ２２の内部通路はキャリア支持体２０に形成された供給ポート２４を介して上記チャンバ２１に連なっている。
【００３１】
上記移動手段３０は、上記キャリア支持体２０を昇降させて、多数のチャンバ２１のうちの１つを選択的に上記搬送ラインＬ上の特定位置に位置させるものである。
図１、図３に示すように、上記移動手段３０は、垂直基台３１と、この垂直基台３１に固定された垂直方向に延びるリニアガイド３２と、このガイド３２にスライド可能に取り付けられたスライダ３３と、ボールねじ機構３４と、モータ３５とを有している。
【００３２】
上記スライダ３３と上記ボールねじ機構３４のナット３４ａは上記キャリア支持体２０に固定され、上記ボールねじ機構３４のねじ棒３４ｂは基台３１に回転可能に支持されている。基台３１の上端部に固定されたモータ３５を駆動すると、このモータ３５の出力軸に連結されたねじ棒３４ｂが回転し、これに伴い上記ナット３４ａが昇降し、ひいてはキャリア支持体２０が昇降するようになっている。
【００３３】
上記ヘリウムガス供給装置４０は、図１、図３に示すように、基台４１と、この基台４１に対して上記搬送ラインＬと直交する方向に移動可能な通路ブロック４２と、この通路ブロック４２を前進後退させるエアシリンダ４３と、通路ブロック４２に取り付けられたプラグ４４（供給端）および電磁弁４５と、この電磁弁４５に接続される装置本体４６とを有している。
上記装置本体４６は、ヘリウムガスボンベ、窒素ガスボンベ、真空ポンプ、および必要な通路構成および弁を備えている。
【００３４】
図４に示すように、上記プラグ４４は筒状をなし、通路ブロック４２に形成されたＬ字形の通路４２ａを介して電磁弁４５に連通している。
上記プラグ４４は、通路ブロック４２において上記キャリア支持体２０に対向する面に固定され、上記搬送ラインＬと同じ高さで搬送ラインＬと直交する方向に突出し、搬送ラインＬ上のチャンバ２１に連なるカプラ２２と同軸をなして対向している。
【００３５】
上記構造をなすヘリウムガス供給装置４０の作用を説明する。後述するようにワークＷを装填したキャリア１０が、ワーク供給ステージＡから搬送ラインＬ上の特定位置にあるチャンバ２１に搬送されるが、このキャリア１０が収容位置まで挿入された後またはその直前に、エアシリンダ４３を駆動して通路ブロック４２をキャリア支持体２０に近づける。これにより、プラグ４４がカプラ２２内に差し込まれ、チェック弁２３を押して強制的に開く。
【００３６】
次に、上記キャリア１０が収容位置にある状態で、電磁弁４５を開き、装置本体４６の真空ポンプにより特定位置のチャンバ２１内を真空吸引し、その後でヘリウムガスボンベから加圧ヘリウムガスをチャンバ２１に供給する。
【００３７】
上記のようにして所定量のヘリウムガスを供給した後、電磁弁４５を閉じ、エアシリンダ４３を駆動して通路ブロック４２を後退させることにより、プラグ４４をカプラ２２から引き抜く。このプラグ４４の引き抜きによりチェック弁２３が押圧状態を解除されて本来の機能を発揮するため、供給ポート２４を介してチャンバ２１内のヘリウムガスの漏出を防止できる。
【００３８】
上記のようにしてヘリウムガスの充填を終えた後、上記移動手段３０によりキャリア支持体２０を昇降させることにより、充填を終えたチャンバ２１を上記特定位置から外す。
上記ヘリウム充填後のチャンバ２１では、一対のＯリング１４によりキャリア１０の両端部とチャンバ２１の両端部内周との間をシールしているため、密閉状態を維持できヘリウムガスが漏出するのを防止できる。その結果、キャリア１０の分割凹部１２ａに装填されたワークＷにピンホール等の傷がある場合には、ヘリウムがワークＷの内部空間に侵入する。
【００３９】
ヘリウムガスの充填状態が所定時間以上経過した時には、いつでもヘリウムリークテストを行うことができる。上記移動手段３０はキャリア支持体２０を昇降させることにより、ボンビング時間が所定時間を経過したキャリア１０を選択して、上記搬送ラインＬ上の特定位置に戻す。この際、上記と同様に再び通路ブロック４２が前進し、プラグ４４がカプラ２２に差し込まれてチェック弁２３を開く。この状態で電磁弁４５を開き、チャンバ２１からのヘリウムガスの吸引、窒素ガスボンベからの窒素ガスによるワーク洗浄、チャンバ２１の大気圧戻しを実行し、その後で、通路ブロック４２を後退させ、プラグ４４をカプラ２２から引き抜く。この後で、キャリア１０はワーク搬出ステージＣへと搬送される。
【００４０】
次に、図１、図２を参照しながら、上記ボンビングステージＢの左側に位置する上記ワーク供給ステージＡについて説明する。このワーク供給ステージＡは、キャリア１０を搬送するための第１搬送機構５０Ａ（搬送手段）と、パーツフィーダ６０と、ワーク供給手段７０とを備えている。
【００４１】
上記第１搬送機構５０Ａは、水平基台５１と、この水平基台５１に固定され上記搬送ラインＬと平行に延びるリニアガイド５２と、このリニアガイド５２に沿って移動可能な移動台５３と、この移動台５３に取り付けられたチャック機構５４と、ボールねじ機構５５と、モータ５６とを有している。
【００４２】
上記ボールねじ機構５５は、上記移動台５３に固定されたナット５５ａと、上記水平基台５１に両端を回転可能に支持されて上記搬送ラインＬと平行に延びるねじ棒５５ｂとを有している。水平基台５１の端に固定されたモータ５６を駆動すると、このモータ５６の出力軸に連結されたねじ棒５５ｂが回転し、これに伴い移動台５３が搬送ラインＬに沿って水平移動するようになっている。
【００４３】
上記チャック機構５４は上記キャリア１０の端部を着脱可能にチャックするためのものであり、図１、図５に示すように、本体５４ａと、上記搬送ラインＬと直交する方向に対峙する一対の挟持片５４ｂ、５４ｃを有している。一方の挟持片５４ｂは本体５４ａに固定され、他方の挟持片５４ｃよりキャリア支持体２０に向かって長く延びており、その先端部には、上下一対のローラ５４ｄが回動可能に支持されている。他方の挟持片５４ｃは上記対峙方向に移動可能にして本体５４ａに取り付けられている。挟持片５４ｃにおいて挟持片５４ｂ側の面には、係合ピン５４ｅが設けられている
【００４４】
図２に示すように、上記第１搬送機構５０Ａは更に補助支持機構５７を有している。この補助支持機構５７は上記チャック機構５４から離れてキャリア支持体５０寄りに配置されている。より具体的にはキャリア支持体５０の近傍に配置されている。
【００４５】
上記補助支持機構５７は、後述するようにチャンバ２１から離脱したキャリア１０を支持するためのものであり、図２、図６に示すように、水平基台５１に固定されたエアシリンダ５７ａ（昇降部）と、このエアシリンダ５７ａにより昇降するベース部材５７ｂと、このベース部材５７ｂに回転可能に支持された一対のローラ５７ｃ（支持部）とを有している。一対のローラ５７ｃの回転軸は傾斜している。
【００４６】
上記構成をなす第１搬送機構５０Ａの作用について説明する。上記移動手段３０により、空のキャリア１０を収容した待機状態のチャンバ２１を上記搬送ラインＬ上の特定位置に位置させた状態で、上記モータ５６を駆動させて上記移動台５３を上記キャリア支持体２０に近づけ、上記キャリア１０の一方の突出端部を上記チャック機構５４でチャックする。詳述すると、挟持片５４ｃを挟持片５４ｂから離した状態で、チャック機構５４をキャリア１０に近づけると、挟持片５４ｂの一対のローラ５４ｄ間に上記キャリア１０の断面円形をなす突出端部が入り込み、その上下面がローラ５４ｄに接する。これにより、キャリア１０に対するチャック機構５４の上下方向の位置決めを行う。
【００４７】
さらにチャック機構５４をキャリア１０に向かって近づけると、キャリア１０の把持フランジ１５が挟持片５４ｂ、５４ｃ間に入り込む。次に、移動台５３を停止して挟持片５４ｃを挟持片５４ｂに向けて移動させることにより、挟持片５４ｃの係合ピン５４ｅが把持フランジ１５の係合穴１５ａに入り込むとともに、挟持体５４ｂ、５４ｃで把持フランジ１５を挟持する。
【００４８】
上記チャック作業の後、モータ５６を逆転させて移動台５３を後退させることにより、上記空のキャリア１０をワーク供給のための第１取出位置へと引き出す。本実施形態ではキャリア１０はこの取出位置においてチャンバ２１から離脱される。
【００４９】
上記補助支持機構５７のローラ５７ｃは、チャック機構５４がキャリア１０に近づく過程では、下降位置にありチャック機構５４との干渉を回避する。そして、チャック機構５４によりキャリア１０をチャックしてキャリア１０を引き抜く過程で、キャリア１０の他端部がチャンバ２１から離脱する前に上昇して当該端部の下側を支持する。
【００５０】
次に、モータ５６の駆動によりキャリア１０を特定位置にあるチャンバ２１に向けて移動する過程で、ワークＷをキャリア１０の分割凹部１２ａに１つずつ装填する。上記補助支持機構５７のローラ５７ｃは、キャリア１０をチャンバ２１に戻す過程の途中まで、少なくともキャリア１０の端部がキャリア１０に挿入されるまでは、上昇位置にあり上記キャリア１０を支持し、上記チャック機構５４が近づく前に下降位置に戻り、チャック機構５４との干渉を避ける。補助支持機構５７は離脱したキャリア１０をチャンバ２１へ戻す際の位置決めの役割も担っている。
【００５１】
なお、上記チャック機構５４によるキャリア１０のチャック状態において、上記一対のローラ５７ｃは、キャリア１０を搬送ラインＬ上に維持する役割も担っている。
【００５２】
上記第１搬送機構５０Ａは、キャリア１０を搬送ラインＬ上の特定位置にあるチャンバ２１に対して前述した収容位置まで挿入した後、チャック機構５４によるキャリア１０のチャック状態を解除し、チャック機構５４を上記第１取出位置またはそれより手前の所定位置まで後退させる。
【００５３】
次に、上記キャリア１０にワークＷを供給するための構成について詳述する。
図１、図２に示すように、ワーク供給ステージＡは、さらにパーツフィーダ６０とワーク供給手段７０を備えている。
【００５４】
上記パーツフィーダ６０は多数のワークＷの姿勢を揃え一列に整列させるようにして排出口６１へ排出する。本実施形態では、パーツフィーダ６０の排出口６１は、上記第１取出位置にあるキャリア１０の最初の分割凹部１２ａ（キャリア支持体２０に最も近い分割凹部１２ａ）の真横またはその近傍に位置する。
【００５５】
上記ワーク供給手段７０は、上記第１搬送機構５０Ａ、パーツフィーダ６０より上方に配置され、吸着ノズル７１と、モータとカム機構を有し上記吸着ノズル７１を上に凸の湾曲軌跡に沿って図２の紙面と略直交する方向に移動させるノズル移動手段７２（詳細構造は省略する）とを備えている。
【００５６】
上記構成において、上記第１搬送機構５０Ａは、モータ５６の間欠駆動により、キャリア１０を分割凹部１２ａのピッチ毎にチャンバ２１に向かって間欠搬送し、空の分割凹部１２ａを順に特定のワーク供給位置に位置させる。
【００５７】
上記ワーク供給手段７０では、ワーク供給位置にある分割凹部１２ａにワークＷを１個ずつ装填する。詳述すると、吸着ノズル７１を下降させてパーツフィーダ６０の排出口６１のワークＷを吸着し、上記湾曲軌跡に沿って搬送して上記ワーク供給位置にある分割凹部１２ａに落とし込む。その後、再び同じ軌跡を戻って次のワークＷの吸着、装填を行う。上記キャリア１０の間欠搬送によりワーク供給位置が特定されているので、この吸着ノズル７１の移動軌跡は簡単である。
上記ワーク装填作業の途中でキャリア１０が搬送ラインＬ上の特定位置にあるチャンバ２１に挿入され始める。ワーク装填作業が完了した後、キャリア１０は一気にチャンバ２１の収容位置まで送られる。
【００５８】
次に、図１においてボンビングステージＢの右側に位置するワーク搬出ステージＣについて説明する。ワーク搬出ステージＣは、ワーク供給ステージＡの第１搬送機構５０Ａと同様の構成をなす第２搬送機構５０Ｃを備えている。また、この第２搬送機構５０Ｃ全体を搬送ラインＬと直交する方向に搬送してリークテストステージに送る第３の搬送機構（図示しない）を備えている。
【００５９】
上記ワーク搬出ステージＣの作用について説明する。移動手段３０により、所定以上のボンビング時間が経過したチャンバ２１を搬送ラインＬ上の特定位置に位置させた状態で、第２搬送機構５０Ｃのチャック機構５４によりキャリア１０の他方の端部をチャックし、第２取出位置まで引き出す。この第２取出位置ではキャリア１０はチャンバ２１から離脱されるが、図示しない補助支持機構により支持されることは第１搬送機構５０Ａの場合と同様である。
【００６０】
第２取出位置まで引き出されたキャリア１０は、ボンビングされたワークＷを装填しており、第２搬送機構５０Ａのチャック機構５４と補助支持機構で支持されたまま、第３搬送機構によりテストステージに送られる。そして、このテストステージにおいて、キャリア１０上の所定数のワークＷがリークテスト装置の所定数のカプセルに１つずつ装填される。このワークＷの排出は、ワーク供給と同様であるので詳細な説明を省略する。
また、リークテストに関しては従来技術と同様であるので説明を省略する。
【００６１】
上記キャリア支持体２０では、多数のワークＷが収容され、十分な時間ボンビングできるにも拘わらず、ワークＷはチャンバ２１毎（換言すればキャリア１０毎）に小分けにされているため、ボンビング完了からヘリウムリークテスト開始までの時間を十分に短くすることができる。そのため、ワークＷにピンホールがあり、ボンビングによりヘリウムがワークＷの微小空間に侵入した場合、ヘリウムリークテスト開始までにこの微小空間内に検出可能な数のヘリウムを留めることができ、微小漏れを正確に検出することができる。
【００６２】
次に、本願発明の第２実施形態について図７を参照しながら説明する。第２実施形態では、カプラ２２内のチェック弁が省かれている。
図７（Ａ）に示すように、ワークＷを装填したキャリア１０は、第１搬送機構によりチャンバ２１内に搬送されるが、上記テストガス供給の際に上記収容位置と上記第１取出位置との間のガス供給位置において一旦停止し、この位置でヘリウムガスの供給を受ける。この際、一対のＯリング１４は、キャリア１０の両端部外周とチャンバ２１の両開口端部の内周とをシールしている。しかも左側（ワーク供給ステージ側）のＯリング１４は供給ポート２４からチャンバ２１の開口端側に偏移しており、これにより、供給ポート２４を介してチャンバ２１にヘリウムガスを供給することができる。
【００６３】
所定量のヘリウムガス供給が終了した後、第１搬送機構によりキャリア１０をチャンバ２１内の収容位置まで押し込む。このキャリア１０の収容位置において、一対のＯリング１４はキャリア１０の両端部外周とチャンバ２１の両開口端部の内周とをシールしている。しかも左側のＯリング１４は、上記供給ポート１４から開口端の反体側に偏移しており、供給ポート１４とチャンバ２１を遮断している。その結果、プラグ４４をカプラ２２から引き抜いても、チャンバ２１から供給通路２４、カプラ２２を経てヘリウムガスが漏出することはない。
【００６４】
なお、第２実施形態では、補助的に左側のＯリング１４よりも開口端側にＯリング１９が設けられており、これにより、左側のＯリング１４が供給ポート２４を越えた時にカプラ２２およびこれに連なるヘリウムガス供給装置の通路から供給ポート２４を経て加圧ヘリウムガスが外部に漏れるのを防止できる。
【００６５】
本発明は上記実施形態に制約されず、種々の態様を採用可能である。例えば、搬送手段が１つの搬送機構を備え、この搬送機構がキャリア支持体の一方側においてワークの供給とワーク搬出を行うためにキャリアを出し入れするようにしてもよい。
また、キャリアは取出位置においてチャンバから離脱せず、その端部をチャンバに残して、この状態でワークの供給、搬出を行ってもよい。この場合、補助支持機構は不要である。
チャンバが配列される平面は傾斜していてもよいし水平であってもよい。
キャリア支持体は移動しなくてもよい。この場合、搬送手段が固定位置にあるチャンバを選択してキャリアを出し入れする。この場合、チャンバは同一平面上に配列していなくてもよいし、テストガス供給手段は常時全てのチャンバに接続されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１実施形態をなすヘリウムボンビングシステムの概略平面図である。
【図２】同システムのワーク供給ステージの構成を示す正面図である。
【図３】同システムのボンビングステージの構成を図１において右方向から見た側面図である。
【図４】上記ボンビングステージの要部を拡大して示す平断面図である。
【図５】上記ワーク供給ステージのチャック機構およびキャリアの要部を、一部断面にして示す拡大正面図である。
【図６】上記ワーク供給ステージの補助支持機構およびキャリアを一部断面にして示す拡大側面図である。
【図７】本発明の第２実施形態をなすキャリア支持体の要部を拡大して示す平断面図であり、（Ａ）はヘリウムガス供給時の状態、（Ｂ）はヘリウムガス供給を完了してキャリアを収容位置まで押し込んだ状態をそれぞれ示す。
【符号の説明】
【００６７】
Ｗ  ワーク
Ａ  ワーク供給ステージ
Ｂ  ボンビングステージ
Ｃ  ワーク搬出ステージ
１０  キャリア
１２ａ  分割凹部
１２  収容凹部
１３  環状溝
１４  Ｏリング（シール手段）
２０  キャリア支持体
２１  チャンバ
２２  カプラ（接続手段）
２３  チェック弁（弁手段）
２４  供給ポート
３０  移動手段
４０  ヘリウムガス供給装置（テストガス供給手段）
４４  プラグ（供給端）
５０Ａ  第１搬送機構（搬送手段）
５０Ｃ  第２搬送機構（搬送手段）
５３  移動台
５４  チャック機構
５７  補助支持機構
５７ａ  エアシリンダ（昇降部）
５７ｃ  ローラ（支持部）
７０  ワーク供給手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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