(57)【要約】【課題】低価格化および小形化を実現すると共に検査効率の向上を実現する。【解決手段】平面視略矩形の載置台１１と、載置台１１に載置された基板１００を固定する固定部とを備え、固定部は、１つのエアシリンダ２１と、載置台１１の４つの縁部に沿ってそれぞれ移動可能に各縁部に１つずつ配設された４つのスライド部２２ａ〜２２ｄと、対向する載置台１１の縁部に向けて突出するように各スライド部２２ａ〜２２ｄにそれぞれ取り付けられて載置台１１に載置された基板１００の各端部１０１ａ〜１０１ｄを押圧するアーム２３ａ〜２３ｄと、エアシリンダ２１の駆動力を各スライド部２２ａ〜２２ｄに伝達してアーム２３ａ〜２３ｄが載置台１１の中心部Ｃ１に対して互いに同じ移動量で接離するように各スライド部２２ａ〜２２ｄを移動させる移動機構とを備えて構成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板を固定する固定部とを備えた基板固定装置であって、
前記載置台は、平面視略矩形に形成され、
前記固定部は、１つの駆動部と、前記載置台の４つの縁部に沿ってそれぞれ移動可能に当該各縁部に１つずつ配設された４つのスライド部と、対向する前記載置台の縁部に向けて突出するように前記各スライド部にそれぞれ取り付けられて当該載置台に載置された前記基板の各端部を押圧するアームと、前記駆動部の駆動力を前記各スライド部に伝達して前記アームが前記載置台の中心部に対して互いに同じ移動量で接離するように当該各スライド部を移動させる移動機構とを備えて構成されている基板固定装置。
【請求項２】
前記移動機構は、前記各スライド部に取り付けられた４つのラックギアと、当該各ラックギアに噛合して当該各ラックギアを介して前記各スライド部を連動させる１または複数のピニオンギアとを備えて構成され、
前記駆動部は、前記各スライド部の１つを前記載置台の縁部に沿って移動させる請求項１記載の基板固定装置。
【請求項３】
前記移動機構は、前記各スライド部に取り付けられた４つのラックギアと、当該各ラックギアに噛合して当該各ラックギアを介して前記各スライド部を連動させる１または複数のピニオンギアとを備えて構成され、
前記駆動部は、前記各ピニオンギアの１つを回転させる請求項１記載の基板固定装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板固定装置と、当該基板固定装置によって固定されている基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を固定する基板固定装置、およびその基板固定装置を備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、特開平１１−３０４８８５号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、検査対象の基板（回路基板）を保持する移動用トレイ、検査位置に移動用トレイを移動させる移動機構、および基板の回路パターンにプロービング治具を接触させて回路パターン間の電圧を測定する検査部などを備えて、基板に対する電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、移動用トレイは、エアシリンダによって突出する固定用部材および角当て部を備えて構成され、移動用トレイに載置した基板の１つの角部に対して固定用部材を突出させ、その角部に対向する角部を角当て部に押し付けることによって基板を固定可能に構成されている。ここで、この種の基板は、製造誤差に起因して外形寸法が個々に若干異なるため、角当て部に基板を押し付けた際に、移動用トレイの中心と基板の中心とが若干位置ずれすることがある。このため、この回路基板検査装置では、カメラによって位置ずれ量を特定して、その位置ずれ量に相当する分だけプロービング治具の位置を補正する補正処理を行っている。したがって、この処理を行う分、検査工程が複雑となっている。
【０００３】
この点を改善可能な手段として、特開２００８−１１２９０１号公報に開示された基板の位置決め装置が知られている。この位置決め装置は、４つの駆動装置を備えて構成され、各駆動装置が基準面プレートまたは押付プレートを移動させて基板（ガラス基板）の４つの縁部を押し付けることによって基板の中心位置と位置決めの基準となる位置とを位置合わせ（位置決め）することが可能となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３０４８８５号公報（第４−５頁、第１図）
【特許文献２】特開２００８−１１２９０１号公報（第６−７頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記の位置決め装置には、以下の問題点がある。すなわち、この位置決め装置では、４つの駆動装置を用いて基板の位置合わせを行っている。このため、この位置決め装置には、駆動装置の数が多い分、位置決め装置全体としての価格が高騰するという問題点が存在する。また、基板の各縁部を取り囲むように４つの駆動装置を配置しているため、広いスペースを必要とする結果、位置決め装置が大形化するという問題点も存在する。さらに、この位置決め装置には、基板の中心位置と位置決めの基準となる位置とを正確に位置合わせするために、各駆動装置よる押付プレートの移動量を予め調整する必要があるため、例えば、検査対象（処理対象）の基板のサイズが変更になるときには、検査前の段取りに長い時間を要する結果、検査効率の向上が困難であるという問題点も存在する。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、低価格化および小形化を実現すると共に、検査効率の向上を実現し得る基板固定装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板固定装置は、基板を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板を固定する固定部とを備えた基板固定装置であって、前記載置台は、平面視略矩形に形成され、前記固定部は、１つの駆動部と、前記載置台の４つの縁部に沿ってそれぞれ移動可能に当該各縁部に１つずつ配設された４つのスライド部と、対向する前記載置台の縁部に向けて突出するように前記各スライド部にそれぞれ取り付けられて当該載置台に載置された前記基板の各端部を押圧するアームと、前記駆動部の駆動力を前記各スライド部に伝達して前記アームが前記載置台の中心部に対して互いに同じ移動量で接離するように当該各スライド部を移動させる移動機構とを備えて構成されている。
【０００８】
また、請求項２記載の基板固定装置は、請求項１記載の基板固定装置において、前記移動機構は、前記各スライド部に取り付けられた４つのラックギアと、当該各ラックギアに噛合して当該各ラックギアを介して前記各スライド部を連動させる１または複数のピニオンギアとを備えて構成され、前記駆動部は、前記各スライド部の１つを前記載置台の縁部に沿って移動させる。
【０００９】
また、請求項３記載の基板固定装置は、請求項１記載の基板固定装置において、前記移動機構は、前記各スライド部に取り付けられた４つのラックギアと、当該各ラックギアに噛合して当該各ラックギアを介して前記各スライド部を連動させる１または複数のピニオンギアとを備えて構成され、前記駆動部は、前記各ピニオンギアの１つを回転させる。
【００１０】
請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板固定装置と、当該基板固定装置によって固定されている基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の基板固定装置によれば、１つの駆動部と、平面視略矩形の載置台における各縁部に１つずつ配設された４つのスライド部と、各スライド部にそれぞれ取り付けられたアームと、駆動部の駆動力を各スライド部に伝達して各スライド部を移動させる移動機構とを備えて固定部を構成したことにより、載置台の中心部と基板の中心部とを位置合わせした状態での基板の固定を１つの駆動部を用いて行うことができる。このため、この基板固定装置によれば、４つの駆動部（駆動装置）を用いて基板の位置合わせを行う従来の位置決め装置と比較して、駆動部の数が少ない分、基板固定装置の価格を十分に低減することができる。また、駆動部が１つであるため、駆動部を配設するためのスペースを少なくすることができる結果、基板固定装置を十分に小形化することができる。さらに、この基板固定装置では、駆動部によって１つのスライド部を移動させることで、各スライド部に取り付けられているアームを載置台の中心部に対して同じ移動量でそれぞれ接離させることができる。したがって、この基板固定装置によれば、４つの駆動部による押付プレートの移動量を予め調整する必要のある従来の位置決め装置とは異なり、サイズの異なる複数種類の基板を固定（検査）する場合であっても、検査前の移動量の調整作業を省略または簡素化することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００１２】
また、請求項２記載の基板固定装置によれば、各スライド部に取り付けられた４つのラックギアと、各ラックギアに噛合して各ラックギアを介して各スライド部を連動させるピニオンギアとを備えて移動機構を構成したことにより、簡易な構成でありながら１つの駆動部の駆動力を各スライド部に確実に伝達して各スライド部を確実に移動させることができる。また、この基板固定装置によれば、各スライド部の１つを載置台の縁部に沿って移動させる駆動部として例えばエアシリンダを用いることで、駆動部としてモータを用いる構成と比較して、作動時における低周波や高周波の発生を低く抑えることができるため、検査時における低周波や高周波による影響を十分に低減することができる。
【００１３】
また、請求項３記載の基板固定装置によれば、各スライド部に取り付けられた４つのラックギアと、各ラックギアに噛合して各ラックギアを介して各スライド部を連動させるピニオンギアとを備えて移動機構を構成したことにより、簡易な構成でありながら１つの駆動部の駆動力を各スライド部に確実に伝達して各スライド部を確実に移動させることができる。また、この基板固定装置によれば、各ピニオンギアの１つを回転させる駆動部としてモータを用いることで、アームによって基板の各端部を押圧する際の押圧力や、アーム（スライド部）の移動速度の調整を容易に行うことができる。
【００１４】
また、請求項４記載の基板検査装置によれば、上記の基板固定装置を備えたことにより、上記の基板固定装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る基板固定装置および基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１６】
最初に、基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。図１に示す基板検査装置１は、本発明に係る基板検査装置の一例であって、基板固定装置２、搬送装置３、プロービング装置４、検査部５および制御部６を備えて、基板１００に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、基板１００は、一例として、電子部品が実装されていないベアボードであって、矩形に形成されると共にその表面に導体パターン（図示せず）が形成されて構成されている。
【００１７】
基板固定装置２は、本発明に係る基板固定装置の一例であって、図２，３に示すように、載置台１１および固定部１２を備えて構成されている。載置台１１は、平面視略矩形の板状に形成されて、図４に示すように、その表面１１ａに基板１００を載置可能に構成されている。また、図３に示すように、載置台１１における裏面１１ｂの４つの縁部５１ａ〜５１ｄ（以下、区別しないときには「縁部５１」ともいう）には、レール３１ａ〜３１ｄ（以下、区別しないときには「レール３１」ともいう）が取り付けられている。
【００１８】
固定部１２は、本発明における固定部の一例であって、基板１００の中心部Ｃ２（図４参照）と載置台１１の中心部Ｃ１（同図参照）とを位置合わせした状態で、載置台１１に載置された基板１００を載置台１１に固定可能に構成されている。具体的には、固定部１２は、図２，３に示すように、１つのエアシリンダ２１、４つのスライダ（本発明におけるスライド部）２２ａ〜２２ｄ（図４参照：以下、区別しないときには「スライダ２２」ともいう）、４つのアーム２３ａ〜２３ｄ（以下、区別しないときには「アーム２３」ともいう）、移動機構２４、コンプレッサ２５および電磁弁２６を備えて構成されている。
【００１９】
エアシリンダ２１は、本発明における駆動部の一例であって、図３に示すように、ロッド２１ｃの先端部がスライダ２２の１つ（この例では、スライダ２２ａ）に固定された状態で載置台１１の裏面１１ｂに配設されている。この場合、エアシリンダ２１は、コンプレッサ２５からの圧縮空気の供給によって同図に示す矢印Ａ，Ｅの向きへのロッド２１ｃの押し出しおよび引き込みを行うことにより、スライダ２２ａを縁部５１ａに沿った向き（同図に示す矢印Ａ，Ｅの向き）に移動させる。各スライダ２２ａ〜２２ｄは、各々の上面に形成された溝（図示せず）にレール３１ａ〜３１ｄがそれぞれ嵌め込まれた状態で、載置台１１の各縁部５１ａ〜５１ｄに沿ってそれぞれ移動可能に各縁部５１ａ〜５１ｄに１つずつ配設されている。
【００２０】
各アーム２３ａ〜２３ｄは、図４に示すように、各スライダ２２ａ〜２２ｄのスライド方向（図３に示す矢印Ａ〜Ｈの向き）に対して直交しかつ対向する縁部５１に向けて突出するように各スライダ２２ａ〜２２ｄにそれぞれ取り付けられている。この場合、各アーム２３ａ〜２３ｄは、図５に示すように、各スライダ２２ａ〜２２ｄが矢印Ａ〜Ｄの向きにそれぞれ移動させられたときに、載置台１１に載置された基板１００の各端部１０１ａ〜１０１ｄ（以下、区別しないときには「端部１０１」ともいう）を押圧する。
【００２１】
移動機構２４は、図３に示すように、４つのラックギア４１ａ〜４１ｄ（以下、区別しないときには「ラックギア４１」ともいう）、および３つ（本発明における１または複数の一例）のピニオンギア４２ａ〜４２ｃ（以下、区別しないときには「ピニオンギア４２」ともいう）を備えて構成されている。各ラックギア４１ａ〜４１ｄは、各スライダ２２ａ〜２２ｄにそれぞれ取り付けられている。ピニオンギア４２ａは、互いに隣接するラックギア４１ａ，４１ｂの双方に噛合するように、載置台１１の裏面１１ｂに配設されている。ピニオンギア４２ｂは、互いに対向するラックギア４１ａ，４１ｃの双方に噛合するように、載置台１１の裏面１１ｂに配設され、ピニオンギア４２ｃは、互いに隣接するラックギア４１ｃ，４１ｄの双方に噛合するように、載置台１１の裏面１１ｂに配設されている。
【００２２】
この構成により、ラックギア４１ａ，４１ｂがピニオンギア４２ａを介して１：１のギヤ比で互いに連結され、ラックギア４１ａ，４１ｃがピニオンギア４２ｂを介して１：１のギヤ比で互いに連結され、ラックギア４１ｃ，４１ｄがピニオンギア４２ｃを介して１：１のギヤ比で互いに連結されている。このため、エアシリンダ２１によってスライダ２２ａが移動させられたときには、各ラックギア４１ｂ〜４１ｄが取り付けられている各スライダ２２ｂ〜２２ｄも、スライダ２２ａの移動分だけ各縁部５１ｂ〜５１ｄに沿って移動（各ラックギア４１ａ〜４１ｄを介して連動）し、これに伴って、各スライダ２２ａ〜２２ｄに取り付けられている各アーム２３ａ〜２３ｄの先端部６１が、載置台１１の中心部Ｃ１に対して互いに同じ移動量で接離する。つまり、移動機構２４は、エアシリンダ２１の駆動力（ロッド２１ｃの押し出し力および引き込み力）を各スライダ２２に伝達して各アーム２３の先端部６１側が載置台１１の中心部Ｃ１に対して互いに同じ移動量で接離するように各スライダ２２を移動させる機能を有している。
【００２３】
コンプレッサ２５は、エアシリンダ２１を駆動させるための圧縮空気を供給し、電磁弁２６は、制御部６の制御に従い、エアチューブによって連結されたカプラ２１ａ，２１ｂを介してのエアシリンダ２１に対する圧縮空気の供給および供給停止を行う。
【００２４】
搬送装置３は、制御部６の制御に従い、載置台１１に基板１００が載置（供給）される位置（供給位置）と、プロービング装置４によってプロービングが行われる位置（検査位置）との間で、載置台１１および載置台１１に取り付けられている（配設されている）エアシリンダ２１、スライダ２２、アーム２３および移動機構２４（以下、これらを合わせて「エアシリンダ２１等」ともいう）を搬送する。プロービング装置４は、制御部６の制御に従い、複数の検査用プローブを備えたプロービング治具４ａ（図１参照）を移動させて（具体的には、上下動させて）、基板１００の導体パターンに各検査用プローブを接触させる。
【００２５】
検査部５は、制御部６の制御に従い、プロービング治具４ａの各検査用プローブを介して入力した電気信号に基づき、基板１００についての所定の電気的検査を実行する。制御部６は、電磁弁２６を制御してエアシリンダ２１に対する圧縮空気の供給および供給停止を行うことにより、エアシリンダ２１を駆動させる。また、制御部６は、プロービング装置４によるプロービング治具４ａの移動を制御すると共に、検査部５による検査の実行を制御する。
【００２６】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。なお、この基板検査装置１では、初期状態においては、載置台１１および載置台１１に取り付けられているエアシリンダ２１等が、供給位置に位置しているものとする。また、初期状態においては、固定部１２の各スライダ２２ａ〜２２ｄが図３，４に示す初期位置にそれぞれ位置しているものとする。
【００２７】
まず、図４に示すように、載置台１１に基板１００を載置する。次いで、基板検査装置１を作動させる。この際に、コンプレッサ２５が、圧縮空気の供給を開始する。また、制御部６が、電磁弁２６を制御することにより、カプラ２１ａを介してエアシリンダ２１に圧縮空気を供給させる。これにより、エアシリンダ２１のロッド２１ｃが、図３に示す矢印Ａの向きに引き込まれ、これに伴って、スライダ２２ａがラックギア４１ａと共に同図および図４に示す矢印Ａの向きに移動する。この際に、ラックギア４１ａに噛合しているピニオンギア４２ａが図３に示す矢印Ｉの向きに回転し、これに伴って、ピニオンギア４２ａに噛合しているラックギア４１ｂがスライダ２２ｂと共に同図に示す矢印Ｂの向きに移動する。
【００２８】
また、ラックギア４１ａの矢印Ａの向きへの移動により、ラックギア４１ａに噛合しているピニオンギア４２ｂが図３に示す矢印Ｉの向きに回転し、これに伴って、ピニオンギア４２ｂに噛合しているラックギア４１ｃがスライダ２２ｃと共に同図に示す矢印Ｃの向きに移動する。さらに、ラックギア４１ｃの矢印Ｃの向きへの移動により、ラックギア４１ｃに噛合しているピニオンギア４２ｃが同図に示す矢印Ｉの向きに回転し、これに伴って、ピニオンギア４２ｃに噛合しているラックギア４１ｄがスライダ２２ｄと共に同図に示す矢印Ｄの向きに移動する。
【００２９】
この場合、この基板固定装置２では、上記したように、移動機構２４を構成する各ラックギア４１がピニオンギア４２を介して１：１のギヤ比で互いに連結されているため、各スライダ２２が、各縁部５１に沿って互いに同じ移動量で移動し、これに伴って、各スライダ２２に取り付けられている各アーム２３の先端部６１が、載置台１１の中心部Ｃ１に対して互いに同じ移動量で接離する。このため、図４に示すように、基板１００の中心部Ｃ２が載置台１１の中心部Ｃ１から位置ずれした状態で載置台１１に載置されていたとしても、スライダ２２ａの矢印Ａの向きへの移動に伴って、各アーム２３が同図に矢印で示すように載置台１１の中心部Ｃ１に対して同じ移動量で近接することにより、図５に示すように、両中心部Ｃ１，Ｃ２が一致するように（位置合わせされるように）基板１００が移動する。
【００３０】
続いて、各スライダ２２ａ〜２２ｄが矢印Ａ〜Ｄの向きにさらに移動させられたときには、図５に示すように、各アーム２３が基板１００の各端部１０１ａ〜１０１ｄを押圧することにより、基板１００の移動が規制される。これにより、同図に示すように、載置台１１の中心部Ｃ１と、基板１００の中心部Ｃ２とが位置合わせされた状態で基板１００が基板固定装置２（載置台１１）に固定される。
【００３１】
次いで、制御部６は、搬送装置３を制御して、固定された基板１００と共に基板固定装置２を検査位置に搬送させる。続いて、制御部６は、プロービング装置４を制御することにより、プロービング治具４ａを移動させて基板１００の導体パターンにプロービング治具４ａの各検査用プローブを接触させる。この場合、中心部Ｃ２と中心部Ｃ１とが位置合わせされた状態で基板１００が載置台１１に固定されているため、基板１００の各導体パターンにプロービング治具４ａの各検査用プローブが確実に接触される。
【００３２】
次いで、制御部６は、プロービング治具４ａの各検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて基板１００についての所定の電気的検査を実行する。この後、基板１００についての検査を終了したときには、制御部６は、プロービング装置４を制御してプロービング治具４ａを基板１００から離反させ、続いて、搬送装置３を制御して、基板固定装置２を検査位置から供給位置に搬送させる。
【００３３】
次いで、制御部６は、電磁弁２６を制御して、カプラ２１ｂを介してエアシリンダ２１に圧縮空気を供給させる。これにより、エアシリンダ２１のロッド２１ｃが、図３に示す矢印Ｅの向きに押し出され、これに伴って、スライダ２２ａがラックギア４１ａと共に矢印Ｅの向きに移動する。この際に、ラックギア４１ａに噛合しているピニオンギア４２ａが図３に示す矢印Ｊの向きに回転し、これに伴って、ピニオンギア４２ａに噛合しているラックギア４１ｂがスライダ２２ｂと共に同図に示す矢印Ｆの向きに移動する。
【００３４】
また、ラックギア４１ａの矢印Ｅの向きへの移動により、ラックギア４１ａに噛合しているピニオンギア４２ｂが図３に示す矢印Ｊの向きに回転し、これに伴って、ピニオンギア４２ｂに噛合しているラックギア４１ｃがスライダ２２ｃと共に同図に示す矢印Ｇの向きに移動する。さらに、ラックギア４１ｃの矢印Ｇの向きへの移動により、ラックギア４１ｃに噛合しているピニオンギア４２ｃが同図に示す矢印Ｊの向きに回転し、これに伴って、ピニオンギア４２ｃに噛合しているラックギア４１ｄがスライダ２２ｄと共に同図に示す矢印Ｈの向きに移動する。これにより、各スライダ２２ａ〜２２ｄに取り付けられているアーム２３ａ〜２３ｄの各先端部６１が載置台１１の中心部Ｃ１から同じ移動量で離反する結果、固定部１２（アーム２３）による基板１００の固定が解除される。以上により、基板１００についての検査が終了する。この後、この基板１００を載置台１１から取り外し、次の検査対象の基板１００を載置台１１に載置して同じ処理手順で検査を実行する。
【００３５】
このように、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、駆動部としての１つのエアシリンダ２１と、載置台１１の各縁部５１に１つずつ配設した４つのスライダ２２と、各スライダ２２にそれぞれ取り付けたアーム２３と、エアシリンダ２１の駆動力を各スライダ２２に伝達して各スライダ２２を移動させる移動機構２４とを備えて固定部１２を構成したことにより、中心部Ｃ１，Ｃ２を位置合わせした状態での基板１００の固定を１つの駆動部を用いて行うことができる。このため、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、４つの駆動部（駆動装置）を用いて基板の位置合わせを行う従来の位置決め装置と比較して、駆動部の数が少ない分、基板固定装置２および基板検査装置１の価格を十分に低減することができる。また、駆動部が１つであるため、駆動部を配設するためのスペースを少なくすることができる結果、基板固定装置２および基板検査装置１を十分に小形化することができる。さらに、この基板固定装置２および基板検査装置１では、エアシリンダ２１によって１つのスライダ２２を移動させることで、各スライダ２２に取り付けられているアーム２３の先端部６１側を載置台１１の中心部Ｃ１に対して同じ移動量でそれぞれ接離させることができる。したがって、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、４つの駆動部による押付プレートの移動量を予め調整する必要のある従来の位置決め装置とは異なり、サイズの異なる複数種類の基板を固定（検査）する場合であっても、検査前の移動量の調整作業を省略または簡素化することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００３６】
また、この基板検査装置１および基板固定装置２によれば、各スライダ２２に取り付けられた４つのラックギア４１と、各ラックギア４１に噛合して各ラックギア４１を介して各スライダ２２を連動させるピニオンギア４２とを備えて移動機構２４を構成したことにより、簡易な構成でありながら１つのエアシリンダ２１の駆動力を各スライダ２２に確実に伝達して各スライダ２２を確実に移動させることができる。また、エアシリンダ２１を駆動部として用いたことにより、例えば駆動部としてモータを用いる構成と比較して、作動時における低周波や高周波の発生を低く抑えることができるため、検査時における低周波や高周波による影響を十分に低減することができる。
【００３７】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、駆動部としてエアシリンダ２１を用いた例について上記したが、エアシリンダ２１に代えて、油圧シリンダや磁気式のアクチュエーター等を用いる構成を採用することもできる。また、エアシリンダ２１に代えて、モータを用いる基板固定装置を採用することもできる。この場合、この基板固定装置では、上記した各ピニオンギア４２ａ〜４２ｃの１つをモータで回転させることで、モータの駆動力（この場合、回転力）が各スライダ２２に伝達されて、各アーム２３の先端部６１が載置台１１の中心部Ｃ１に対して互いに同じ移動量で接離するように各スライダ２２が移動する。したがって、駆動部としてモータを用いたこの基板固定装置、およびこの基板固定装置を備えた基板検査装置においても、上記した基板固定装置２および基板検査装置１と同様の効果を実現することができる。また、この基板固定装置によれば、駆動部としてモータを用いることで、アーム２３によって基板１００の端部１０１を押圧する際の押圧力や、アーム２３（スライダ２２）の移動速度の調整を容易に行うことができる。
【００３８】
また、３つのピニオンギア４２で４つのラックギア４１を連結した移動機構２４を例に挙げて説明したが、移動機構は、この構成に限定されない。例えば、１つまたは２つのピニオンギア４２で各ラックギア４１を連結する構成を採用することもできる。さらに、電子部品が実装されていない基板１００の固定および検査を行う例について上記したが、固定対象および検査対象の基板としては、電子部品が実装された基板や、導体パターンや電子部品が内蔵された部品内蔵型基板が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板固定装置２の構成を示す構成図である。
【図３】載置台１１の裏面１１ｂ側から見た基板固定装置２の平面図である。
【図４】載置台１１の表面１１ａ側から見た基板固定装置２の平面図である。
【図５】基板１００を固定した状態における基板固定装置２の平面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  基板検査装置
２  基板固定装置
４  プロービング装置
４ａ  プロービング治具
５  検査部
１１  載置台
１２  固定部
２１  エアシリンダ
２２ａ〜２２ｄ  スライダ
２３ａ〜２３ｄ  アーム
２４  移動機構
４１ａ〜４１ｄ  ラックギア
４２ａ〜４２ｃ  ピニオンギア
５１ａ〜５１ｄ  縁部
１００  基板
１０１ａ〜１０１ｄ  端部
Ｃ１，Ｃ２  中心部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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