(57)【要約】【課題】安定した減衰効果を発揮することができるヘッドサスペンションアセンブリを提供する。【解決手段】金属薄板３５にはアーム３８が区画される。アーム３８は、ヘッドサスペンション２２の表面に接合される固定板３６と、表面にヘッドスライダ２３を支持する支持板３７とを接続する。アーム３８は支持板３７の姿勢変化を許容する。アーム３８は、固定板３６から支持板３７まで延びる絶縁層４２を少なくとも部分的に支持する。絶縁層４２の表面には配線パターン４３が形成される。アーム３８に平坦面４５が形成される。平坦面４５には粘弾性体４６が貼り付けられる。アーム３８は基材として機能する。その結果、アーム３８の振動は抑制される。しかも、粘弾性体４６は平坦面４５に貼り付けられることから、粘弾性体４６とアーム３８との間に隙間は形成されない。粘弾性体４６は安定した減衰効果を発揮することができる。【選択図】図４
2010218667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドサスペンションと、
前記ヘッドサスペンションの表面に受け止められる金属薄板と、
前記金属薄板に区画され、前記ヘッドサスペンションの表面に接合される固定板と、
前記固定板より前方で前記金属薄板に区画されて表面でヘッドスライダを支持し、裏面で前記ヘッドサスペンション上の突起に受け止められる支持板と、
前記金属薄板に区画されて前記固定板の前端から前記支持板まで延び、前記支持板の姿勢変化を許容するアームと、
前記固定板から前記支持板まで延び、少なくとも部分的に前記アームに支持される絶縁層と、
前記絶縁層の表面に形成される配線パターンと、
前記アーム、前記絶縁層および前記配線パターンのいずれか１つに形成される平坦面に貼り付けられる粘弾性体とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記粘弾性体の表面に貼り付けられて、前記平坦面との間に前記粘弾性体を挟み込む拘束材を備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記アームは、アーム部と、前記アーム部より大きく広がりつつ前記平坦面を規定する膨大部とを区画することを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記平坦面は、前記ヘッドサスペンションの輪郭の外側で前記アームの裏面に規定されることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記平坦面に形成されて、前記粘弾性体の取り付け位置を特定する位置決め穴を備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリを備えることを特徴とする記憶装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記憶装置に組み込まれるヘッドサスペンションアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤに組み込まれるキャリッジアームの先端にはヘッドサスペンションが取り付けられる。ヘッドサスペンションの表面にはフレキシャが貼り付けられる。フレキシャは金属薄板を備える。金属薄板は、ヘッドサスペンションの表面に接合される固定板と、固定板に一体化されてヘッドサスペンション上の突起に受け止められる支持板とから区画される。支持板の表面にはヘッドスライダが支持される。金属薄板上には絶縁層が形成される。絶縁層上には配線パターンが形成される。
【０００３】
磁気ディスクの回転速度の増大に応じて、磁気ディスクの表面に沿って生成される気流の流速は増大する。こうした気流がヘッドサスペンションに作用すると、フレキシャは振動する。振動はヘッドスライダの位置決め精度を悪化させる。フレキシャの振動の減衰にあたって、ヘッドサスペンション上ではフレキシャの表面に制振材が貼り付けられる。制振材は、フレキシャの表面に貼り付けられる粘弾性体と、粘弾性体上に貼り付けられる拘束材とを備える。こうした制振材の働きでフレキシャの振動は低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２２１７２６号公報
【特許文献２】特開２００７−２６５７５号公報
【特許文献３】特許第４１４４１９６号公報
【特許文献４】特許第４１４４１９７号公報
【特許文献５】特許第４１４４１９８号公報
【特許文献６】特許第４１４４１９９号公報
【特許文献７】特許第３２５５６６０号公報
【特許文献８】特許第２７３９９２７号公報
【特許文献９】特開平１１−１８５４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
制振材はフレキシャの表面に貼り付けられる。前述のように、フレキシャの金属薄板上には絶縁層や配線パターンが形成される。したがって、金属薄板上では絶縁層の輪郭との間に段差が形成される。同様に、絶縁層上では配線パターンの輪郭との間に段差が形成される。こうした段差に基づき粘弾性体はフレキシャに完全に密着することができない。粘弾性体はフレキシャから部分的に浮いたり剥がれたりする。その結果、制振材の減衰効果にはばらつきが生じてしまう。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、安定した減衰効果を発揮することができるヘッドサスペンションアセンブリを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、ヘッドサスペンションアセンブリの一具体例は、ヘッドサスペンションと、前記ヘッドサスペンションの表面に受け止められる金属薄板と、前記金属薄板に区画され、前記ヘッドサスペンションの表面に接合される固定板と、前記固定板より前方で前記金属薄板に区画されて表面でヘッドスライダを支持し、裏面で前記ヘッドサスペンション上の突起に受け止められる支持板と、前記金属薄板に区画されて前記固定板の前端から前記支持板まで延び、前記支持板の姿勢変化を許容するアームと、前記固定板から前記支持板まで延び、少なくとも部分的に前記アームに支持される絶縁層と、前記絶縁層の表面に形成される配線パターンと、前記アーム、前記絶縁層および前記配線パターンのいずれか１つに形成される平坦面に貼り付けられる粘弾性体とを備える。
【０００８】
こうしたヘッドサスペンションアセンブリによれば、アーム、絶縁層および配線パターンのいずれか１つに形成される平坦面に粘弾性体が貼り付けられる。アームや絶縁層、配線パターンは基材として機能する。その結果、アームや絶縁層、配線パターンの振動は抑制される。しかも、粘弾性体は平坦面に貼り付けられることから、粘弾性体は平坦面に完全に密着する。粘弾性体とアームや絶縁層、配線パターンとの間に隙間は形成されない。粘弾性体は安定した減衰効果を発揮することができる。
【０００９】
ヘッドサスペンションアセンブリの他の具体例は、ベースプレートと、前記ベースプレートから前方に所定の間隔で隔てられるロードビームと、前記ベースプレートおよび前記ロードビームを相互に連結し、前記ベースプレートおよび前記ロードビームの間で弾性変形部を区画するヒンジプレートと、前記ベースプレートの前後方向中心線に直交する稜線に沿って屈曲し、前記稜線より前方で前記弾性変形部に区画される平坦な前側領域と、前記稜線より後方で前記弾性変形部に区画される平坦な後側領域と、前記前側領域および前記後側領域のいずれかで前記ヒンジプレートに貼り付けられる粘弾性体とを備える。
【００１０】
こうしたヘッドサスペンションアセンブリによれば、弾性変形部の前側領域および後側領域のいずれかでヒンジプレートに粘弾性体が貼り付けられる。ヒンジプレートは基材として機能する。その結果、ヒンジプレートの振動は抑制される。しかも、前側領域や後側領域は平坦に形成されることから、粘弾性体はヒンジプレートに完全に密着する。粘弾性体およびヒンジプレートの間に隙間は形成されない。粘弾性体は安定した減衰効果を発揮することができる。しかも、粘弾性体は稜線より前方や後方でヒンジプレートに貼り付けられる。稜線に粘弾性体の貼り付けは回避される。その結果、弾性変形部の弾性力すなわち曲げ力は設計通りに実現される。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように開示のヘッドサスペンションアセンブリによれば、安定した減衰効果を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る記憶装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大平面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大背面図である。
【図５】図３の５−５線に沿った断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す側面図である。
【図７】ヒンジプレートの構造を概略的に示す部分拡大背面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大平面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大背面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大背面図である。
【図１１】本発明の第４実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大平面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大背面図である。
【図１３】本発明の第５実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す平面図である。
【図１４】本発明の第５実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大側面図である。
【図１５】本発明の第６実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す平面図である。
【図１６】本発明の第６実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す部分拡大側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１４】
図１は記憶装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は箱形のベース１３およびカバー（図示されず）から構成される。ベース１３は例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。カバーはベース１３の開口に結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。
【００１５】
収容空間には、記憶媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。ここでは、例えば磁気ディスク１４は垂直磁気記録ディスクに構成される。すなわち、磁気ディスク１４上の記録磁性膜では磁化容易軸は磁気ディスク１４の表面に直交する垂直方向に設定される。
【００１６】
収容空間にはキャリッジ１６がさらに収容される。キャリッジ１６はキャリッジブロック１７を備える。キャリッジブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に連結される。キャリッジブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。キャリッジブロック１７は例えば押し出し成型に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００１７】
個々のキャリッジアーム１９の先端にはヘッドサスペンションアセンブリ２１が取り付けられる。ヘッドサスペンションアセンブリ２１は、キャリッジアーム１９の先端に取り付けられるヘッドサスペンション２２を備える。ヘッドサスペンション２２はキャリッジアーム１９の先端から前方に延びる。ヘッドサスペンション２２の先端には後述のフレキシャが張り合わせられる。フレキシャの働きで浮上ヘッドスライダ２３はヘッドサスペンション２２に対してその姿勢を変化させることができる。浮上ヘッドスライダ２３にはヘッド素子すなわち電磁変換素子が搭載される。
【００１８】
磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２３には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２２の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２３は浮上し続けることができる。
【００１９】
こういった浮上ヘッドスライダ２３の浮上中にキャリッジ１６が支軸１８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２３は磁気ディスク１４の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。
【００２０】
キャリッジブロック１７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４といった動力源が接続される。このボイスコイルモータ２４の働きでキャリッジブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック１７の回転に基づきキャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２２の揺動は実現される。
【００２１】
図１から明らかなように、キャリッジブロック１７上には、フレキシブルプリント基板ユニット２５が配置される。フレキシブルプリント基板ユニット２５は、フレキシブルプリント基板２６に実装されるヘッドＩＣ（集積回路）２７を備える。ヘッドＩＣ２７は電磁変換素子の読み出し素子および書き込み素子に接続される。接続にあたってフレキシャ２８が用いられる。フレキシャ２８はフレキシブルプリント基板ユニット２５に接続される。
【００２２】
磁気情報すなわち２値情報の読み出し時には、ヘッドＩＣ２７から電磁変換素子の読み出し素子に向けてセンス電流が供給される。同様に、２値情報の書き込み時には、ヘッドＩＣ２７から電磁変換素子の書き込み素子に向けて書き込み電流が供給される。センス電流の電圧値は特定の値に設定される。ヘッドＩＣ２７には、収容空間内に配置される小型の回路基板２９や、ベース１３の底板の裏側に取り付けられるプリント回路基板（図示されず）から電流が供給される。
【００２３】
図２は本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ２１の構造を概略的に示す。ヘッドサスペンション２２は、キャリッジアーム１９の前端に取り付けられるベースプレート３１と、ベースプレート３１から前方に所定の間隔で隔てられるロードビーム３２とを備える。ベースプレート３１およびロードビーム３２の表面にはヒンジプレート３３が固定される。ヒンジプレート３３はベースプレート３１の前端およびロードビーム３２の後端の間で弾性変形部３４を区画する。こうしてヒンジプレート３３はベースプレート３１およびロードビーム３２を連結する。ベースプレート３１、ロードビーム３２およびヒンジプレート３３は例えばステンレス鋼板からそれぞれ形成される。
【００２４】
ヘッドサスペンション２２の表面には前述のフレキシャ２８が貼り付けられる。フレキシャ２８は金属薄板３５を備える。金属薄板３５は、ロードビーム３２およびヒンジプレート３３の表面に部分的に接合される固定板３６と、表面で浮上ヘッドスライダ２３の背面を受け止める支持板３７とを備える。支持板３７の裏面は、固定板３６より前方でロードビーム３２の表面に向き合う。支持板３７の裏面はロードビーム３２の表面に接合されない。浮上ヘッドスライダ２３は支持板３７の表面に接着される。固定板３６の接合にあたって例えば複数の接合スポットでスポット溶接が実施される。
【００２５】
図３を併せて参照し、金属薄板３５は、支持板３７の両側縁に沿って並列に延びる１対のアーム３８、３８を備える。アーム３８、３８同士の間に支持板３７が配置される。アーム３８はロードビーム３２の輪郭から外側に配置される。図４を併せて参照し、アーム３８は、固定板３６の前端に接続される基端から支持板３７の側縁に接続される先端まで延びるアーム部３８ａを備える。アーム３８の基端および先端の間でアーム部３８ａの内縁には支持板３７に向かって突き出る突部３８ｂが形成される。
【００２６】
アーム部３８ａの基端にはアーム部３８ａより大きく広がる膨大部３８ｃが形成される。膨大部３８ｃは例えば正円形状に形成される。膨大部３８ｃは、金属薄板３５で引き起こされる振動の腹の位置に相当する位置に配置される。膨大部３８ｃには位置決め穴３９が形成される。位置決め穴３９は例えば正円形状に規定される。ロードビーム３２の輪郭の外側で膨大部３８ｃの裏面にはダンパ部材４１が貼り付けられる。位置決め穴３９がダンパ部材４１の取り付け位置を特定する。金属薄板３５では、固定板３６、支持板３７およびアーム３８、３８は１枚のステンレス鋼板から形成される。
【００２７】
フレキシャ２８は、金属薄板３５の表面に形成される絶縁層４２を備える。絶縁層４２は、固定板３６の表面から支持板３７の表面まで延びる。絶縁層４２は例えばポリイミド樹脂といった絶縁材料から形成される。絶縁層４２は２筋の空中部４２ａ、４２ａを備える。空中部４２ａ、４２ａ同士の間に支持板３７が配置される。空中部４２ａは固定板３６および支持板３７の間でアーム３８上から外れた外側に配置される。同時に、空中部４２ａは部分的にロードビーム３２の輪郭から外側に配置される。空中部４２ａは少なくとも部分的にアーム３８の突部３８ｂに支持される。
【００２８】
絶縁層４２の表面には複数筋の配線パターン４３が形成される。配線パターン４３同士には並列に延びる。配線パターン４３は例えば銅といった導電材料から形成される。配線パターン４３の一端は浮上ヘッドスライダ２３に接続される。配線パターン４３の他端はフレキシブルプリント基板２６に接続される。こうした配線パターン４３の働きでヘッドＩＣ２７から浮上ヘッドスライダ２３にセンス電流や書き込み電流が供給される。固定板３６上で配線パターン４３上には保護層４４が覆い被さる。保護層４４は例えばポリイミド樹脂といった絶縁材料から形成される。
【００２９】
図５に示されるように、膨大部３８ｃの裏面には平坦面４５が形成される。平坦面４５に前述のダンパ部材４１が貼り付けられる。ダンパ部材４１は、平坦面４５に貼り付けられる例えば正円形状の粘弾性体４６と、粘弾性体４６上に貼り付けられる例えば正円形状の拘束材すなわち拘束板４７とを備える。拘束板４１の中心は位置決め穴３９の中心に一致する。拘束板４７は平坦面４５との間に粘弾性体４６を挟み込む。粘弾性体４６には例えばＶＥＭ（Visco Elastic Material）が用いられる。拘束板４７には例えばステンレス鋼板やポリイミド樹脂板が用いられる。粘弾性体４６や拘束板４７の貼り付けにあたって例えば接着剤が用いられる。
【００３０】
ダンパ部材４１の直径は例えば３００μｍ以上に設定される。粘弾性体４６の厚みは例えば２５μｍ〜５０μｍ程度に設定される。同様に、拘束板４７の厚みは例えば２５μｍ〜５０μｍ程度に設定される。したがって、ダンパ部材４１の厚みは例えば５０μｍ〜１００μｍ程度に設定される。その一方で、アーム部３８ａの幅は例えば１００μｍ程度に設定される。膨大部３８ｃの直径は例えば３００μｍ以上に設定される。膨大部３８ｃの直径はダンパ部材４１の直径に対応して設計されればよい。
【００３１】
図６に示されるように、浮上ヘッドスライダ２３の背後で支持板３７は、ロードビーム３２の表面に形成されるドーム状の突起４８に受け止められる。支持板３７はアーム３８、３８で支持されることから、アーム３８、３８の変形に基づき突起４８上で支持板３７すなわち浮上ヘッドスライダ２３の姿勢変化が許容される。図７を併せて参照し、前述の弾性変形部３４でヒンジプレート３３は、ベースプレート３１の前後方向中心線Ｌに直交する稜線Ｒに沿って屈曲する。弾性変形部３４には、稜線Ｒより前方に規定される前側領域３４ａと、稜線Ｒより後方に規定される後側領域３４ｂとが区画される。前側領域３４ａおよび後側領域３４ｂでヒンジプレート３３は平らに広がる。前側領域３４ａはロードビーム３２に平行に広がる。後側領域３４ｂはベースプレート３１に平行に広がる。
【００３２】
ヒンジプレート３３は、弾性変形部３４の稜線Ｒに沿った屈曲に基づき所定の弾性力すなわち曲げ力を発揮する。この曲げ力の働きでロードビーム３２の前端には磁気ディスク１４の表面に向かう押し付け力が付与される。この押し付け力は突起４８の働きで支持板３７の背後から浮上ヘッドスライダ２３に作用する。浮上ヘッドスライダ２３は、気流の働きで生成される浮力に基づき姿勢を変化させることができる。このとき、前述のように、支持板３７の姿勢変化に応じてアーム３８、３８は変形する。同時に、絶縁層４２の空中部４２ａ、４２ａは変形する。
【００３３】
以上のようなＨＤＤ１１では、磁気ディスク１４の回転中に磁気ディスク１４の表面に沿って気流が生成される。浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子の位置決めにあたってヘッドサスペンションアセンブリ２１は磁気ディスク１４上に配置される。気流はアーム３８に作用する。アーム３８の基端にはダンパ部材４１が貼り付けられる。アーム３８は基材として機能する。その結果、アーム３８すなわちフレキシャ２８の振動は抑制される。しかも、ダンパ部材４１はアーム３８上の平坦面４５に貼り付けられることから、粘弾性体４６はアーム３８に完全に密着する。粘弾性体４６およびアーム３８の間に隙間は形成されない。ダンパ部材４１は安定した減衰効果を発揮することができる。電磁変換素子は目標の記録トラックに高い精度で位置決めされる。２値情報の書き込みや読み出しは高い精度で実施される。
【００３４】
次に、ヘッドサスペンションアセンブリ２１の製造方法を説明する。まず、ヘッドサスペンション２２が組み立てられる。その一方で、フレキシャ２８が組み立てられる。ヘッドサスペンション２２の表面には所定の位置にフレキシャ２８が接合される。接合にあたってスポット溶接が実施される。接合後、ヘッドサスペンション２２の表側で金属薄板３５の表面が支持される。金属薄板３５の表面には比較的に大きな面積が確保されることから、金属薄板３５は比較的に容易に支持される。ダンパ部材４１の供給ロボット（図示されず）は、金属薄板３５の裏側から位置決め穴３９の中心にダンパ部材４１の中心を位置決めする。こうして供給ロボットは平坦面４５にダンパ部材４１を接着する。その後、支持板３７の表面には浮上ヘッドスライダ２３が接着される。
【００３５】
図８は本発明の第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ２１ａの構造を概略的に示す。このヘッドサスペンションアセンブリ２１ａでは、膨大部３８ｃは、突部３８ｂに隣接してアーム部３８ａに形成される。膨大部３８ｃは、前述と同様に、金属薄板３５で引き起こされる振動の腹の位置に相当する位置に配置される。図９を併せて参照し、膨大部３８ｃの裏面には平坦面４５が形成される。平坦面４５にはダンパ部材４１が貼り付けられる。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ２１と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。こうしたヘッドサスペンションアセンブリ２１ａによれば、前述と同様の作用効果が実現される。
【００３６】
図１０は本発明の第３実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ２１ｂの構造を概略的に示す。このヘッドサスペンションアセンブリ２１ｂでは、膨大部３８ｃは、アーム部３８ａの先端に配置される。膨大部３８ｃは、前述と同様に、金属薄板３５で引き起こされる振動の腹の位置に相当する位置に配置される。膨大部３８ｃの裏面には平坦面４５が形成される。平坦面４５にはダンパ部材４１が貼り付けられる。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ２１と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。こうしたヘッドサスペンションアセンブリ２１ｂによれば、前述と同様の作用効果が実現される。
【００３７】
図１１は本発明の第４実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ２１ｃの構造を概略的に示す。このヘッドサスペンションアセンブリ２１ｃでは、絶縁層４２に膨大部５１が形成される。膨大部５１の表面には平坦面５２が形成される。膨大部５１は、ロードビーム３２の輪郭の外側に配置される。平坦面５２には前述のダンパ部材４１が貼り付けられる。ここで、膨大部５１は、絶縁層４２で引き起こされる振動の腹に相当する位置に貼り付けられる。図１２を併せて参照し、絶縁層４２には位置決め穴５３が形成される。位置決め穴５３の中心はダンパ部材４１の中心に一致する。膨大部５１は裏面でアーム３８に支持される。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ２１と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。こうしたヘッドサスペンションアセンブリ２１ｃによれば、前述と同様の作用効果が実現される。
【００３８】
こうしたヘッドサスペンションアセンブリ２１ｃの製造にあたって、前述と同様に、ヘッドサスペンション２２の表面にフレキシャ２８が接合される。接合後、ロードビーム３２の輪郭の外側でヘッドサスペンション２２の裏側からアーム３８および膨大部５１が支持される。ダンパ部材４１の供給ロボットは、絶縁層４２の表側から位置決め穴５３の中心にダンパ部材４１の中心を位置決めする。こうして供給ロボットは平坦面５２にダンパ部材４１を接着する。その後、支持板３７の表面には浮上ヘッドスライダ２３が接着される。こうしてヘッドサスペンションアセンブリ２１ｃは製造される。
【００３９】
図１３は本発明の第５実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ２１ｄの構造を概略的に示す。このヘッドサスペンションアセンブリ２１ｄでは、ヒンジプレート３３の裏面で弾性変形部３４の後側領域３４ｂに１対のダンパ部材４１が貼り付けられる。ダンパ部材４１は、例えばベースプレート３１の前後方向中心線Ｌに直交する方向に長尺に延びる。図１４を併せて参照し、後側領域３４ｂでヒンジプレート３３の裏面には平坦面５４が形成される。この平坦面５４にダンパ部材４１は貼り付けられる。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ２１と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００４０】
こうしたヘッドサスペンションアセンブリ２１ｄによれば、ヒンジプレート３３は基材として機能する。その結果、ヒンジプレート３３の振動は抑制される。しかも、ダンパ部材４１はヒンジプレート３３上の平坦面５４に貼り付けられることから、粘弾性体４６はヒンジプレート３３に完全に密着する。粘弾性体４６およびヒンジプレート３３の間に隙間は形成されない。ダンパ部材４１は安定した減衰効果を発揮することができる。電磁変換素子は目標の記録トラックに高い精度で位置決めされる。２値情報の書き込みや読み出しは高い精度で実施される。
【００４１】
しかも、ダンパ部材４１は、稜線Ｒより後方の後側領域３４ｂでヒンジプレート３３に貼り付けられる。稜線Ｒにダンパ部材４１の貼り付けは回避される。その結果、弾性変形部３４の弾性力すなわち曲げ力は変化しない。ロードビーム３２の前端に付与される押し付け力は変化しない。浮上ヘッドスライダ２３の浮上姿勢は設計通りに確立される。加えて、後側領域３４ｂはベースプレート３１に平行に広がることから、ダンパ部材４１の貼り付けにあたってベースプレート３１の表面は簡単に支持される。ヒンジプレート３３の裏面にダンパ部材４１は簡単に貼り付けられる。
【００４２】
図１５は本発明の第６実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ２１ｅの構造を概略的に示す。このヘッドサスペンションアセンブリ２１ｅでは、ヒンジプレート３３の裏面で弾性変形部３４の前側領域３４ａに１対のダンパ部材４１が貼り付けられる。前述と同様に、ダンパ部材４１は、例えばベースプレート３１の前後方向中心線Ｌに直交する方向に長尺に延びる。図１６を併せて参照し、前側領域３４ａでヒンジプレート３３に平坦面５５が形成される。この平坦面５５にダンパ部材４１は貼り付けられる。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ２１と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。こうしたヘッドサスペンションアセンブリ２１ｅによれば、前述のヘッドサスペンションアセンブリ２１ｄと同様の作用効果が実現される。
【００４３】
以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ２１〜２１ｅは相互に組み合わせられてもよい。例えばフレキシャ２８上にダンパ部材４１が貼り付けられる一方で、ヒンジプレート３３上にダンパ部材４１が貼り付けられてもよい。その他、配線パターン４２上に平坦面が形成されてもよい。この平坦面にダンパ部材４１が貼り付けられてもよい。また、ダンパ部材４１の形状は正円形状に限定されない。ダンパ部材４１は例えば長方形状に形成されてもよい。こうした長方形状のダンパ部材４１は、例えばアーム部３８ａ上に形成される平坦面に貼り付けられればよい。
【００４４】
以上の実施形態に関し出願人はさらに以下の付記を開示する。
【００４５】
（付記１）  ヘッドサスペンションと、
前記ヘッドサスペンションの表面に受け止められる金属薄板と、
前記金属薄板に区画され、前記ヘッドサスペンションの表面に接合される固定板と、
前記固定板より前方で前記金属薄板に区画されて表面でヘッドスライダを支持し、裏面で前記ヘッドサスペンション上の突起に受け止められる支持板と、
前記金属薄板に区画されて前記固定板の前端から前記支持板まで延び、前記支持板の姿勢変化を許容するアームと、
前記固定板から前記支持板まで延び、少なくとも部分的に前記アームに支持される絶縁層と、
前記絶縁層の表面に形成される配線パターンと、
前記アーム、前記絶縁層および前記配線パターンのいずれか１つに形成される平坦面に貼り付けられる粘弾性体とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００４６】
（付記２）  付記１に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記粘弾性体の表面に貼り付けられて、前記平坦面との間に前記粘弾性体を挟み込む拘束材を備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００４７】
（付記３）  付記１または２に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記アームは、アーム部と、前記アーム部より大きく広がりつつ前記平坦面を規定する膨大部とを区画することを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００４８】
（付記４）  付記１〜３のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記平坦面は、前記ヘッドサスペンションの輪郭の外側で前記アームの裏面に規定されることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００４９】
（付記５）  付記１〜４のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記平坦面に形成されて、前記粘弾性体の取り付け位置を特定する位置決め穴を備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００５０】
（付記６）  付記１〜５のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリを備えることを特徴とする記憶装置。
【００５１】
（付記７）  ベースプレートと、
前記ベースプレートから前方に所定の間隔で隔てられるロードビームと、
前記ベースプレートおよび前記ロードビームを相互に連結し、前記ベースプレートおよび前記ロードビームの間で弾性変形部を区画するヒンジプレートと、
前記ベースプレートの前後方向中心線に直交する稜線に沿って屈曲し、前記稜線より前方で前記弾性変形部に区画される平坦な前側領域と、
前記稜線より後方で前記弾性変形部に区画される平坦な後側領域と、
前記前側領域および前記後側領域のいずれかで前記ヒンジプレートに貼り付けられる粘弾性体とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００５２】
（付記８）  付記７に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記粘弾性体の表面に貼り付けられて、前記ヒンジプレートとの間に前記粘弾性体を挟み込む拘束材を備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００５３】
（付記９）  付記７または８に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記粘弾性体は前記ヒンジプレートの裏面に貼り付けられることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【００５４】
（付記１０）  付記６〜９のいずれか１項に記載のヘッドサスペンションアセンブリを備えることを特徴とする記憶装置。
【符号の説明】
【００５５】
１１  記憶装置（ハードディスク駆動装置）、２１〜２１ｅ  ヘッドサスペンションアセンブリ、２２  ヘッドサスペンション、２３  ヘッドスライダ（浮上ヘッドスライダ）、３１  ベースプレート、３２  ロードビーム、３３  ヒンジプレート、３４  弾性変形部、３４ａ  前側領域、３４ｂ  後側領域、３５  金属薄板、３６  固定板、３７  支持板、３８  アーム、３８ａ  アーム部、３８ｃ  膨大部、３９  位置決め穴、４２  絶縁層、４３  配線パターン、４５  平坦面、４６  粘弾性体、４７  拘束材（拘束板）、Ｌ  前後方向中心線、Ｒ  稜線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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