(57)【要約】【課題】装置の小型化を図るとともに出力光の波長を安定させること。【解決手段】光源装置１００は、レーザチップ１１０と、レーザマウント１２０と、ミラー１３２と、エタロン１４０と、受光素子１５０と、端子１０８と、を備えている。レーザチップ１１０は、制御回路による制御に応じた波長の光を出射する。レーザマウント１２０は、レーザチップ１１０を支持する支持面を有する。ミラー１３２は、レーザチップ１１０によって出射された光の進行方向が支持面に対する垂直方向に変化するように光を反射させる。エタロン１４０は、ミラー１３２によって反射した光を波長に応じた透過率で透過させる。受光素子１５０は、エタロン１４０を透過した光を受光する。端子１０８は、受光素子１５０により受光された光の強度を制御回路へ出力する。【選択図】図１
2010232337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前方出力光および後方出力光を出力する光源と、
前記光源を支持する支持面を有する支持部材と、
前記後方出力光を、前記光源からの出射方向に対し垂直な方向に反射させる反射手段と、
前記反射手段により反射した後方出力光を第１分岐光と第２分岐光に分岐する分岐手段と、
前記第１分岐光を波長に応じた透過率で透過させるフィルタと、
前記フィルタを透過した前記第１分岐光の強度をモニタする第１モニタ手段と、
前記第２分岐光の強度をモニタする第２モニタ手段と、
前記第１モニタ手段および前記第２モニタ手段のモニタ結果に基づき、前記光源の出力波長を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光源装置であって、
前記支持部材は内部に空間を有し、
前記反射手段および前記分岐手段は、前記第１分岐光を前記空間に伝搬させる位置および角度で配置され、
前記フィルタおよび前記第１モニタ手段が前記空間に設けられていることを特徴とする光源装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光源装置であって、前記支持部材の前記光源とは反対側に設けられた熱電クーラを備え、
前記空間は、前記支持部材における、前記光源と前記熱電クーラに挟まれる位置とは異なる位置に設けられていることを特徴とする光源装置。
【請求項４】
請求項１に記載の光源装置であって、前記反射手段は、反射面が凹の球面反射部を含むことを特徴とする光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光を出射する光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インターネットを中心とした急激な通信トラフィックの増大により、一本の光ファイバの通信容量を極力増大させることが重要となっている。一本の光ファイバの通信容量を増大させる方法として、ＷＤＭ（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ：波長分割多重）やＤＷＤＭ（Ｄｅｎｓｅ  Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ：高密度波長分割多重方式）がある。
【０００３】
ＷＤＭやＤＷＤＭは、一定間隔で波長が異なる複数の光信号を、一つの光信号に合波して一本の光ファイバで同時に伝送する方式である。これにより通信容量を大幅に増大させることが可能となるが、ある特定チャネルで動作しているＬＤ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ：レーザダイオード）の出力光の波長がずれて他チャネルの波長になった場合に、特定チャネルの光信号が他チャネルの信号光と干渉して通信障害が生じる。
【０００４】
このため、ＷＤＭを用いる通信システムの光源には高い波長安定性が必要となる。この高い波長安定性を実現するために用いられているのが波長ロッカである。波長ロッカは、ＬＤの出力光の一部をビームスプリッタで分岐し、分岐した光をエタロンに通してＰＤ（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ：フォトダイオード）によって受光する。
【０００５】
エタロンは波長に対して周期的な透過率特性を有するため、レーザ光の波長が変動した場合はエタロンを透過した光の強度が変化する。よって、エタロンを通したレーザ光の強度をＰＤで検出することにより、レーザの出力光の波長変動を検出することができる。しかし、これだけでは、ＬＤチップの劣化等により出力光の強度が変動した場合と、実際に出力光の波長が変動した場合と、を区別することができない。
【０００６】
出力光の強度の変動に影響を受けることなく出力光の波長の変動を検出するためには、エタロンに通した出力光の強度を、エタロンを通さない出力光の強度で割って得られる値ΔＩをモニタする。これにより波長の変動を検出し、ＬＤの入力パラメータを制御することで出力光の波長を安定させる（たとえば、下記特許文献１参照。）。
【０００７】
通常、ＷＤＭやＤＷＤＭ用のトランスポンダベンダは、異なる波長のＬＤをそれぞれ製造して在庫を用意している。しかし、ＤＷＤＭでは８０から９０波にもなるチャネルすべての波長のＬＤを用意しておくのはトランスポンダベンダにとって大きな負担となる。そこで、近年は、一台でＷＤＭ、ＤＷＤＭに使用されるすべての範囲の波長を任意に選択して発振させることができるフルバンドチューナブルレーザが注目されている。
【０００８】
このフルバンドチューナブルレーザはどのチャネルにも対応できるので、トランスポンダベンダは波長ごとのＬＤの在庫を用意する必要がなくなり、在庫を最小限に抑えることができる。さらに、このフルバンドチューナブルレーザに半導体マッハツェンダー型変調器を内蔵したＬＤモジュールや、フルバンドチューナブルＬＤと半導体マッハツェンダーを１つのチップに一体化したものも登場している。
【０００９】
近年、波長多重化とともに光モジュールの小型化も急激に進んでおり、それに伴う光源装置への小型化要求も年々強まっている。そういった要求から、広帯域伝送用シテムの光源デバイスとして、ＴＯＳＡ（Ｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｒ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｓｕｂ−Ａｓｓｅｍｂｌｙ）と呼ばれる小型ＬＤモジュールが広く使用されている。
【００１０】
通常、高速長距離伝送用のＴＯＳＡにはＥＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ：電界吸収）型変調器とＬＤが一体型になったＥＭＬ（ＥＡ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｌａｓｅｒ  ｄｉｏｄｅ）が使用されている。ＴＯＳＡにおいてもＷＤＭやＤＷＤＭ用に異なる波長の出力光を生成することが必要であるため、ＴＯＳＡをフルバンドチューナブル化することが強く望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−２６４３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上述した従来技術では、ＰＤなどの複数の光学部品を含む波長ロッカを設けるには相当の空間が必要であるため、ＬＤモジュールに波長ロッカを設けるためにはＬＤモジュールを大型化せざるを得ないという問題がある。このため非常に小さなモジュールであるＴＯＳＡの内部に波長ロッカを設けることは困難である。
【００１３】
また、ＬＤチップにおいてＬＤを支持するレーザマウントの支持面には、ＬＤの他にも、変調器部分に電流を供給するための電極パターンやサーミスタなどの各種の回路が設けられているため、ＬＤの支持面に波長ロッカを設けることは非常に困難である。
【００１４】
また、フルバンドチューナブルのＴＯＳＡを製作する場合には、通常のＥＭＬチップより大きいＬＤチップ（たとえば半導体マッハツェンダー変調器一体集積型ＬＤチップ）を用いる必要があるため、ＴＯＳＡ内部に波長ロッカを設けることがさらに困難になる。
【００１５】
これに対して、ＬＤチップにおいてＬＤを支持するレーザマウントの支持面の面積を十分に確保して支持面上に波長ロッカの構成部品を設けることも考えられるが、この場合は装置が大型化するという問題がある。特に、ＴＯＳＡは長細い形状であるため、レーザマウントが短手方向に大きくなるとレーザマウントが筐体に収まらなくなる。
【００１６】
開示の光源装置は、上述した問題点を解消するものであり、装置の小型化を図るとともに出力光の波長を安定させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、この光源装置は、前方出力光および後方出力光を出力する光源と、前記光源を支持する支持面を有する支持部材と、前記後方出力光を、前記光源からの出射方向に対し垂直な方向に反射させる反射手段と、前記反射手段により反射した後方出力光を第１分岐光と第２分岐光に分岐する分岐手段と、前記第１分岐光を波長に応じた透過率で透過させるフィルタと、前記フィルタを透過した前記第１分岐光の強度をモニタする第１モニタ手段と、前記第２分岐光の強度をモニタする第２モニタ手段と、前記第１モニタ手段および前記第２モニタ手段のモニタ結果に基づき、前記光源の出力波長を制御する制御手段と、を備えたことを要件とする。
【００１８】
上記構成によれば、光源の出射光を支持部材の支持面に対して垂直方向に変化させることで、波長ロッカの構成部品であるフィルタや受光手段を、支持部材の支持面とは異なる高さに設けることができる。したがって、支持部材の支持面の面積を小さくすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
開示の光源装置によれば、装置の小型化を図るとともに出力光の波長を安定させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施の形態１にかかる光源装置の構成を示す側面断面図である。
【図２】図１に示した光源装置の一部を示す斜視図である。
【図３】実施の形態２にかかる光源装置の一部を示す斜視図である。
【図４】図３に示した光源装置を反対側からみた斜視図（その１）である。
【図５】図３に示した光源装置を反対側からみた斜視図（その２）である。
【図６】実施の形態２にかかる光源装置の構成を示す正面断面図である。
【図７】実施の形態３にかかる光源装置の一部を示す斜視図である。
【図８】図７に示したミラーの球面反射部を詳細に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に添付図面を参照して、この光源装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。この光源装置は、レーザマウントの内部スペースを利用して波長ロッカの各部品を設けることで光源装置の小型化を図る。
【００２２】
図１は、実施の形態１にかかる光源装置の構成を示す側面断面図である。実施の形態１にかかる光源装置１００は、筐体１０１内部に、ＴＥＣ１０２（Ｔｈｅｒｍｏ  Ｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｃｏｏｌｅｒ：熱電クーラ）と、レンズ保持部１０３と、ボールレンズ１０４と、固定部１０５と、アイソレータ１０６と、レーザチップ１１０と、レーザマウント１２０と、ボールレンズ１３１と、ミラー１３２と、ビームスプリッタ１３３と、エタロン１４０と、受光素子１５０，１６０と、を備えている。
【００２３】
光源装置１００は、長手方向（Ｘ軸のプラス方向）に光を出射するＴＯＳＡである。筐体１０１における光の出射方向（Ｘ軸のプラス方向）の面には窓１０１ｂが設けられている。筐体１０１の窓１０１ｂが設けられた面の外側には外部のコネクタと接続するためのレセプタクル１０７が設けられている。光源装置１００が出射する光は、窓１０１ｂおよびレセプタクル１０７を介して外部へ出射される。
【００２４】
筐体１０１における窓１０１ｂと反対側（Ｘ軸のマイナス方向）の面の外側には端子１０８が設けられている。端子１０８は、筐体１０１の内部の電子部品と、筐体１０１の外部の各種回路と、を電気的に接続している（不図示）。筐体１０１の内部の電子部品と端子１０８は、たとえばワイヤボンドなどによって接続されている。
【００２５】
ＴＥＣ１０２は、筐体１０１の内部の底面１０１ａ上に設けられている。ＴＥＣ１０２は、底面１０１ａに自身の下面の熱を発散させることで自身の上面を冷却、もしくはその逆を行う。図示しないが、ＴＥＣ１０２は端子１０８と接続されており、端子１０８を介して外部から供給される駆動電流に応じて自身の温度を変化させる。これにより、外部からの駆動電流を調節することによって、ＴＥＣ１０２上に設けられた部品の温度を制御することができる。
【００２６】
レーザマウント１２０はＴＥＣ１０２上に設けられている。レーザマウント１２０は、レーザチップ１１０を支持する支持面１２０ａを有する支持部材である。レーザマウント１２０の支持面１２０ａは、光源装置１００の長手方向（Ｘ軸方向）および底面１０１ａ（ＸＺ平面方向）と平行になっている。レーザマウント１２０は、たとえば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）などのセラミックである。
【００２７】
レーザチップ１１０は、レーザマウント１２０の支持面１２０ａ上に、ＡｇＳｎなどで固定されて支持されている。図示しないが、レーザチップ１１０は端子１０８と接続されている。そして、レーザチップ１１０は、端子１０８を介して外部から供給された駆動電流により光を出射する。レーザチップ１１０は、たとえばＤＦＢ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  Ｆｅｅｄｂａｃｋ：分布帰還型）レーザである。
【００２８】
レーザチップ１１０は、ボールレンズ１０４の方向（Ｘ軸のプラス方向）へ進行する前方出力光１１０ａと、ボールレンズ１３１の方向（Ｘ軸のマイナス方向）へ進行する後方出力光１１０ｂと、を同時に出射する。レーザチップ１１０が出射する前方出力光１１０ａと後方出力光１１０ｂの各波長は同じ波長である。
【００２９】
たとえば、レーザチップ１１０としてＤＦＢレーザを用いる場合は、ＤＦＢレーザの温度を調節することによってＤＦＢレーザの出射光の波長を制御することができる。ＤＦＢレーザの温度を調節するには、光源装置１００の外部の制御回路によって、端子１０８を介してＴＥＣ１０２へ供給する駆動電流を調節する。
【００３０】
ボールレンズ１０４は、レーザチップ１１０から出射された前方出力光１１０ａを平行光にしてアイソレータ１０６へ出射する。アイソレータ１０６は、ボールレンズ１０４から出射された前方出力光１１０ａを筐体１０１の窓１０１ｂから出射するとともに、窓１０１ｂ側からボールレンズ１０４の方向に入射する光を遮断する。窓１０１ｂから出射された前方出力光１１０ａは、レセプタクル１０７を介して外部へ出力される。
【００３１】
ボールレンズ１３１、ミラー１３２は、レーザチップ１１０から出射された後方出力光１１０ｂの進行方向が支持面１２０ａに対する垂直方向（Ｙ軸方向）に変化するように後方出力光１１０ｂを反射させる反射手段である。レーザマウント１２０の支持面１２０ａには、レーザチップ１１０の後方出力光１１０ｂの出射部付近にＶ字型の溝（図２の溝１２０ｃ）が設けられている。
【００３２】
ボールレンズ１３１は、溝１２０ｃにはめ込まれた状態でレーザチップ１１０の後方出力光１１０ｂの出射部付近に設けられている。ボールレンズ１３１は、レーザチップ１１０から出射された後方出力光１１０ｂを平行光にしてミラー１３２へ出射する。これにより、後方出力光１１０ｂをスポットサイズの小さい平行光にすることができる。
【００３３】
ミラー１３２は、ボールレンズ１３１から出射された後方出力光１１０ｂを筐体１０１の底面１０１ａの方向（Ｙ軸のマイナス方向）へ出射する反射部１３２ａを有する。ここで、レーザマウント１２０のミラー１３２が設けられた部分には、レーザマウント１２０の内部の空間１２０ｂへ貫通する穴１２０ｄが設けられている。
【００３４】
ミラー１３２から底面１０１ａの方向へ出射された後方出力光１１０ｂは、穴１２０ｄを通過して空間１２０ｂへ出射される。ビームスプリッタ１３３、エタロン１４０および受光素子１５０は空間１２０ｂに設けられている。ミラー１３２から出射されて穴１２０ｄを通過した後方出力光１１０ｂはビームスプリッタ１３３へ入射する。
【００３５】
ビームスプリッタ１３３は、ミラー１３２から出射された後方出力光１１０ｂを分岐する部分反射部１３３ａを有する。ビームスプリッタ１３３は、分岐した各光のうちの一方を筐体１０１の底面１０１ａの方向（Ｙ軸のマイナス方向）へ出射し、分岐した各光のうちの他方を受光素子１５０の方向（Ｘ軸のプラス方向）へ出射する。
【００３６】
エタロン１４０は、ビームスプリッタ１３３から受光素子１５０の方向へ出射された光を透過させる。エタロン１４０は、波長に対する周期的な透過率特性を有し、入射した光を波長に応じた透過率で透過させるフィルタである。このため、エタロン１４０に入射した光の波長に応じて、エタロン１４０を透過した光の強度が変化する。
【００３７】
受光素子１５０は、エタロン１４０を透過した光を受光し、受光した光の強度に応じた電流を出力する。受光素子１６０は、ビームスプリッタ１３３から底面１０１ａの方向へ出射された光を受光し、受光した光の強度に応じた電流を出力する。図示しないが、受光素子１５０および受光素子１６０は端子１０８と接続されている。
【００３８】
受光素子１５０および受光素子１６０から出力された各電流は、端子１０８を介してレーザチップ１１０の制御回路（不図示）へ出力される。制御回路は、受光素子１６０から出力された電流に対する、受光素子１５０から出力された電流の割合に基づいてレーザチップ１１０の出射光の波長を監視する。制御回路は、監視する波長が一定になるように、端子１０８を介してＴＥＣ１０２へ供給する駆動電流を制御する。
【００３９】
図２は、図１に示した光源装置の一部を示す斜視図である。図２においては、図１に示したレーザチップ１１０、レーザマウント１２０、ボールレンズ１３１、ミラー１３２およびビームスプリッタ１３３を図示している。図２に示すように、レーザマウント１２０の支持面１２０ａ上には各種の回路２０１〜２０４が設けられている。
【００４０】
回路２０１〜２０４は、端子１０８から入力された駆動電流をレーザチップ１１０やＴＥＣ１０２へ供給する電極パターンや、レーザマウント１２０の温度を測定するためのサーミスタや、ノイズ低減用のバイパスコンデンサなどである。回路２０１〜２０４は、ワイヤボンドなどによって互いにあるいは端子１０８と接続されている。
【００４１】
このように、実施の形態１にかかる光源装置１００によれば、後方出力光１１０ｂを、支持面１２０ａに対して垂直方向に進行方向が変化するように反射させることができる。これにより、波長ロッカの構成部品であるビームスプリッタ１３３、エタロン１４０や受光素子１５０などを支持面１２０ａとは異なる高さに設けることができる。
【００４２】
たとえば、レーザマウント１２０の内部スペース（空間１２０ｂ）に波長ロッカの各部品（ビームスプリッタ１３３、エタロン１４０および受光素子１５０）を設けることができる。したがって、レーザマウント１２０の支持面１２０ａの面積（特に短手方向の距離）が小さくても、光源装置１００内に波長ロッカを設けることができる。
【００４３】
このため、光源装置１００の小型化を図るとともに出力光の波長を安定させることができる。たとえば、光源装置１００をＴＯＳＡの規格に基づいて製造することで、従来の大きさのＴＯＳＡ筐体中にフルバンドチューンナブルＬＤチップと波長ロッカを搭載したフルバンドチューンナブルＴＯＳＡを提供することが可能となる。
【００４４】
また、ミラー１３２によって反射した光をビームスプリッタ１３３によって分岐し、分岐した各光をエタロン１４０および受光素子１６０へ出射する。これにより、波長ロッカの構成部品である受光素子１６０も、支持面１２０ａとは異なる高さに設けることができる。このため、光源装置１００のさらなる小型化を図ることができる。
【００４５】
また、支持面１２０ａに回路２０１〜２０４が設けられていても波長ロッカを設けることができる。また、回路２０１〜２０４に影響を与えることなく波長ロッカを設けることが可能になる。このため、波長ロッカを設けるために回路２０１〜２０４のレイアウトをやり直さなくてもよい。また、波長ロッカを設けても回路２０１〜２０４に影響がないため、回路２０１〜２０４のレイアウトの自由度を高めることができる。
【００４６】
図３は、実施の形態２にかかる光源装置の一部を示す斜視図である。図３において、図２に示した構成と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図３に示すように、実施の形態２にかかる光源装置１００においては、レーザマウント１２０の空間１２０ｂが、レーザマウント１２０における、レーザチップ１１０とＴＥＣ１０２に挟まれる位置とは異なる位置に設けられている。
【００４７】
具体的には、空間１２０ｂは、支持面１２０ａと平行な方向（ＸＺ平面方向）において、レーザチップ１１０とは異なる位置に設けられている。ミラー１３２は、ボールレンズ１３１から出射された光を、Ｙ軸のマイナス方向と、Ｚ軸のマイナス方向と、の合成方向へ反射させる角度でレーザマウント１２０に設けられている。
【００４８】
また、レーザマウント１２０の支持面１２０ａの端（Ｚ軸のプラス方向側）にレーザチップ１１０を設け、支持面１２０ａのレーザチップ１１０とは反対側の端（Ｚ軸のマイナス方向側）に回路２０１〜２０４を集中して設けている。これにより、回路２０１〜２０４のワイヤボンドを打つための十分なスペースを確保することができる。
【００４９】
図４は、図３に示した光源装置を反対側からみた斜視図（その１）である。図５は、図３に示した光源装置を反対側からみた斜視図（その２）である。図４および図５において、図１に示した構成と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図４は、ビームスプリッタ１３３およびエタロン１４０を設ける前の状態を示し、図５は、ビームスプリッタ１３３およびエタロン１４０を設けた後の状態を示している。
【００５０】
ビームスプリッタ１３３は、Ｙ軸のマイナス方向と、Ｚ軸のマイナス方向と、の合成方向でミラー１３２から出射された光を分岐する位置に設けられている。具体的には、ビームスプリッタ１３３は、図２に示した状態に対してＺ軸のプラス方向にずれた位置に設けられている。ビームスプリッタ１３３は、分岐した各光のうちの一方をＸ軸のプラス方向に反射させる角度でレーザマウント１２０に設けられている。
【００５１】
ビームスプリッタ１３３によって分岐された各光のうちの他方は、ビームスプリッタ１３３への入射時の角度のままビームスプリッタ１３３を通過する。エタロン１４０は、ビームスプリッタ１３３からＸ軸のプラス方向に出射された光を受光する位置に設けられている。具体的には、エタロン１４０は、図１に示した状態に対してＺ軸のプラス方向にずれた位置に設けられている。
【００５２】
ここで、レーザチップ１１０の後方出力光１１０ｂを受光素子１５０および受光素子１６０に受光させるための光学系の調整方法について説明する。たとえば、レーザチップ１１０、ボールレンズ１３１、ミラー１３２および受光素子１５０をレーザマウント１２０に固定した後、紫外線照射によって硬化する接着剤などをビームスプリッタ１３３に塗布してレーザマウント１２０に配置する。
【００５３】
そして、レーザチップ１１０を駆動し、受光素子１５０の出力電流を監視しながら、所望の特性が得られるように調整用器具などを用いてビームスプリッタ１３３の角度を調整する。その後に、紫外線を照射してビームスプリッタ１３３をレーザマウント１２０に固定する。次にエタロン１４０をレーザマウント１２０に紫外線照射等によって硬化する接着剤などを用いて設置し、受光素子１５０の出力電流を監視しながら所望の特性が得られるように調整する。
【００５４】
その後、後紫外線を照射してエタロン１４０をレーザマウント１２０に固定する。受光素子１５０の出力電流は、たとえば、レーザマウント１２０の側面に設けられた電極パターン４０１にプローブを当てるなどして測定することができる。このようにして作製したレーザマウント１２０を筐体１０１に設置されたＴＥＣ上に固定した後、ビームスプリッタ１３３を透過する光を受講できるように受光素子１６０の位置を調整し、筐体１０１下面に銀エポキシ等を用いて固定する。
【００５５】
このように調整したレーザチップ１１０、レーザマウント１２０、ボールレンズ１３１、ミラー１３２、ビームスプリッタ１３３、エタロン１４０および受光素子１５０をＴＥＣ１０２（図１参照）上に固定する。このとき、エタロン１４０とＴＥＣ１０２の隙間を接着剤などで埋めることで、レーザマウント１２０の熱がエタロン１４０を介してＴＥＣ１０２へ伝わり、レーザチップ１１０の冷却効率を向上させることができる。
【００５６】
図６は、実施の形態２にかかる光源装置の構成を示す正面断面図である。図６において、図１に示した構成と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図６に示すように、受光素子１６０は、ビームスプリッタ１３３への入射時の角度のままビームスプリッタ１３３を通過した光を受光する位置に設けられている。具体的には、受光素子１６０は筐体１０１の側面の内側に設けられている。
【００５７】
このように、実施の形態２にかかる光源装置１００によれば、実施の形態１にかかる光源装置１００の効果を奏するとともに、レーザマウント１２０の空間１２０ｂを、レーザマウント１２０における、レーザチップ１１０とＴＥＣ１０２に挟まれる位置とは異なる位置に設ける。これにより、レーザマウント１２０において、レーザチップ１１０の熱をＴＥＣ１０２へ伝える部分を確保することができる。
【００５８】
したがって、レーザチップ１１０の熱が空間１２０ｂに遮られてＴＥＣ１０２へ伝わらなくなることを回避することができる。これにより、ＴＥＣ１０２によるレーザチップ１１０の温度制御を安定させつつ、レーザマウント１２０の内部スペース（空間１２０ｂ）に波長ロッカの各部品を設けることができる。このため、光源装置１００の小型化を図りつつ、出力波長をさらに安定させることができる。
【００５９】
図７は、実施の形態３にかかる光源装置の一部を示す斜視図である。図７において、図３に示した構成と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。図７に示すように、実施の形態３にかかる光源装置１００においては、図３に示したボールレンズ１３１およびミラー１３２に変えてミラー７１１が設けられている。
【００６０】
ミラー７１１は、反射面が凹の球面反射部７１１ａ（図８参照）を有している。ミラー７１１は、球面反射部７１１ａによって、レーザチップ１１０から出射された後方出力光１１０ｂを、Ｙ軸のマイナス方向と、Ｚ軸のマイナス方向と、の合成方向へ反射させる角度でレーザマウント１２０に設けられている。
【００６１】
球面反射部７１１ａの反射面が凹であるため、レーザチップ１１０から拡散して出射され、球面反射部７１１ａによって反射した後方出力光１１０ｂは平行光になる。したがって、図３に示したボールレンズ１３１を設けなくても、後方出力光１１０ｂを平行光にした状態でエタロン１４０へ入射させることができる。
【００６２】
図８は、図７に示したミラーの球面反射部を詳細に示す図である。断面図８１０は、点Ａ１〜Ａ４を含む平面によってミラー７１１を切断した様子を示している。断面図８２０は、点Ｂ１〜Ｂ４を含む平面によってミラー７１１を切断した様子を示している。断面図８１０および断面図８２０に示すように、球面反射部７１１ａは、反射面（点Ａ１および点Ａ４側、あるいは点Ｂ４側の面）が凹になった球面となっている。
【００６３】
このように、実施の形態３にかかる光源装置１００によれば、実施の形態２にかかる光源装置１００の効果を奏するとともに、反射面が凹の球面反射部７１１ａを有するミラー７１１によってレーザチップ１１０の出射光を反射させる。これにより、レーザチップ１１０の出射光を平行光にするためのレンズ（たとえば図１のボールレンズ１３１）を設けなくても、レーザチップ１１０の出射光を平行光にすることができる。
【００６４】
このため、構成部品を少なくして、光源装置１００のさらなる小型化および製造コストの低減を図ることができる。また、レーザチップ１１０の出射光を平行光にするためのレンズを設ける必要がないため、図７に示すように、長手方向の距離が長いレーザチップ１１０を支持面１２０ａに設けることも可能になる。
【００６５】
以上説明したように、開示の光源装置１００によれば、レーザマウント１２０の内部スペースを利用して波長ロッカの各部品を設けることで光源装置の小型化を図ることができる。なお、上述した各実施の形態においては、レーザチップ１１０の出力光の波長を制御する制御回路を光源装置１００の外部に設ける構成について説明したが、このような構成に限られない。たとえば、制御回路を光源装置１００の筐体１０１の内部に設ける構成にしてもよい。上述した実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【００６６】
（付記１）前方出力光および後方出力光を出力する光源と、
前記光源を支持する支持面を有する支持部材と、
前記後方出力光を、前記光源からの出射方向に対し垂直な方向に反射させる反射手段と、
前記反射手段により反射した後方出力光を第１分岐光と第２分岐光に分岐する分岐手段と、
前記第１分岐光を波長に応じた透過率で透過させるフィルタと、
前記フィルタを透過した前記第１分岐光の強度をモニタする第１モニタ手段と、
前記第２分岐光の強度をモニタする第２モニタ手段と、
前記第１モニタ手段および前記第２モニタ手段のモニタ結果に基づき、前記光源の出力波長を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする光源装置。
【００６７】
（付記２）付記１に記載の光源装置であって、
前記反射手段は、前記後方出力光を前記支持面に対して垂直な方向に反射し、
前記分岐手段は、前記第１分岐光を前記支持面に対して平行な方向に反射することを特徴とする光源装置。
【００６８】
（付記３）付記１に記載の光源装置であって、
前記反射手段は、前記後方出力光を前記支持面に対して斜めの方向に反射し、
前記フィルタおよび前記第１モニタ手段が、前記支持面内で前記光源より離間した位置に設けられていることを特徴とする光源装置。
【００６９】
（付記４）付記１に記載の光源装置であって、
前記支持部材は内部に空間を有し、
前記反射手段および前記分岐手段は、前記第１分岐光を前記空間に伝搬させる位置および角度で配置され、
前記フィルタおよび前記第１モニタ手段が前記空間に設けられていることを特徴とする光源装置。
【００７０】
（付記５）付記４に記載の光源装置であって、前記支持部材の前記光源とは反対側に設けられた熱電クーラを備え、
前記空間は、前記支持部材における、前記光源と前記熱電クーラに挟まれる位置とは異なる位置に設けられていることを特徴とする光源装置。
【００７１】
（付記６）付記１に記載の光源装置であって、
前記支持面の前記光源の前記後方出力光の出射部付近に設けられた溝と、
前記溝に設けられ、前記後方出力光を平行光にするレンズを備え、
前記反射手段は、前記レンズを通過した後方出力光を反射させることを特徴とする光源装置。
【００７２】
（付記７）付記１に記載の光源装置であって、前記反射手段は、反射面が凹の球面反射部を含むことを特徴とする光源装置。
【符号の説明】
【００７３】
１００  光源装置
１０１  筐体
１０１ａ  底面
１０１ｂ  窓
１０２  ＴＥＣ
１０３  レンズ保持部
１０４，１３１  ボールレンズ
１０５  固定部
１０６  アイソレータ
１０７  レセプタクル
１０８  端子
１１０  レーザチップ
１１０ａ  前方出力光
１１０ｂ  後方出力光
１２０  レーザマウント
１２０ａ  支持面
１２０ｂ  空間
１２０ｃ  溝
１２０ｄ  穴
１３２，７１１  ミラー
１３２ａ  反射部
１３３  ビームスプリッタ
１３３ａ  部分反射部
１４０  エタロン
１５０，１６０  受光素子
２０１〜２０４  回路
４０１  電極パターン
７１１ａ  球面反射部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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