(57)【要約】      （修正有）【課題】被測定物にプローブを接触させてもピンが動かないようにするためのピンピッチ固定機構を設け、測定の安定性、再現性を向上させたプローブアクセサリを提供する。【解決手段】プローブ先端にピンピッチを変更できるピン３ａ、３ｂを使用した場合に、所定の角度でハ字状の孔が形成されたフィルム１１と、このフィルムの横方向への移動を規制すると共に縦方向に摺動可能に支持するフィルムガイド１３と、を備え、被測定物にプローブを接触させてもピンが動かないようにするためのピンピッチ固定機構を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の角度でハ字状の孔が形成されたフィルムと、このフィルムの横方向への移動を規制すると共に縦方向に摺動可能に支持するフィルムガイドと、を備えたことを特徴とするプローブアクセサリ。
【請求項２】
前記ハ字状の孔の幅はプローブ先端に取付けられたピンの径に対してわずかに大きく形成され、ハ字状の孔に沿ってプローブ先端ピンが摺動可能とされたことを特徴とする請求項１に記載のプローブアクセサリ。
【請求項３】
前記フィルムガイドの一端は円弧状に形成され、前記フィルムに形成されたハ字状の孔が前記円弧部分の頂部付近に位置するように配置されたことを特徴とする請求項１に記載のプローブアクセサリ。
【請求項４】
前記ハ字状の孔は前記円弧の頂部付近でハ字状の孔を形成した部分が前記円弧に沿って摺動するように形成されたことを特徴とする請求項１〜３に記載のプローブアクセサリ。
【請求項５】
前記フィルムガイドに目盛を設け、この目盛により先端ピンのピンピッチを読み取るように構成したことを特徴とする請求項１又は３に記載のプローブアクセサリ。
【請求項６】
前記フィルムガイドに前記フィルムの摺動を規制する規制手段を設けたことを特徴とする請求項１又は３又は５に記載のプローブアクセサリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピンやソケットピン等として用いられ、半導体ＩＣチップや液晶デバイス等の各端子に接触して電気的なテストを行うコンタクトプローブのアクセサリに関する。
【背景技術】
【０００２】
図２（ａ）は例えば、ディジタルオシロスコープ用プローブを示す斜視図である。このプローブ１の先端ヘッド部分２には１対のピン３ａ，３ｂが挿入されている。
図２（ｂ）はピン３の拡大図である。このピンは一端が鋭角に形成され途中で所定の角度θで折れ曲がっており、折れた部分から他端までは挿入部とされ、図２（ａ）のヘッド部分が形成されたソケット（図示省略）に挿入される。
【０００３】
ソケットはピンが挿入された状態で一定の保持力を有しており、ピンを回転させて動かすことができるようになっている。即ち、ピン自体がストレートタイプではなく、ある角度をもったアングルタイプとすることにより、ピンが回転することでピン先端のピッチを変えることができる。そして、このピンを被測定物に接触させ電気的特性を観測する。
【０００４】
被測定物が微小である場合、プローブ先端に挿入するアクセサリは主にピッチ変更が可能な１対のピン３ａ，３ｂを回転させ、ピンピッチを被測定物に合わせて手動で変更し、ピン（プローブ）３ａ，３ｂを被測定物に押し付け、接触させて測定を行う。
なお、コンタクトプローブに関する技術としては下記の特許文献が知られている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１５５１３１号公報
【特許文献２】特開平６−３１３７７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述の構成においては、被測定物が微小である場合、ピッチ変更が可能なピン３ａ，３ｂを挿入し、手動でピッチを調整していたが、ピン自体を保持する部分はプローブ先端のソケット部のみで、ピンピッチを固定する機構は存在しない。測定に際しては、被測定物にプローブを押し付けて接触させるため、押し付け力によってピンが動いてしまい、ピンピッチが変わってしまうという課題があった。
【０００７】
また、ピンが動いてしまうことで、測定していたデータを取りこぼしたり、プローブと被測定物の接触を繰り返したりと測定の工数が増えてしまい、更にピンが動いてピンピッチが変わってしまうことで、測定の安定性、再現性が損なわれるという課題があった。
また、ピンピッチも具体的に何ミリといったあわせ込みではなく、被測定物に合わせて調整していたため、同じ被測定物であっても測定の安定性、再現性が低いという課題もあった。
【０００８】
従って、本発明は、プローブ先端にピンピッチを変更できるピンを使用した場合に、被測定物にプローブを接触させてもピンが動かないようにするためのピンピッチ固定機構を設け、測定の安定性、再現性を向上させたプローブアクセサリを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載のプローブアクセサリにおいては、
所定の角度でハ字状の孔が形成されたフィルムと、このフィルムの横方向への移動を規制すると共に縦方向に摺動可能に支持するフィルムガイドと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２においては、請求項１に記載のプローブアクセサリの発明において、
前記ハ字状の孔の幅はプローブ先端に取付けられたピンの径に対してわずかに大きく形成され、ハ字状の孔に沿ってプローブ先端ピンが摺動可能とされたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３においては、請求項１に記載のプローブアクセサリの発明において、
前記フィルムガイドの一端は円弧状に形成され、前記フィルムに形成されたハ字状の孔が前記円弧部分の頂部付近に位置するように配置されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４においては、請求項１〜３に記載のプローブアクセサリの発明において、
前記ハ字状の孔は前記円弧の頂部付近でハ字状の孔を形成した部分が前記円弧に沿って摺動するように形成されたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５においては、請求項１又は３に記載のプローブアクセサリの発明において、
前記フィルムガイドに目盛を設け、この目盛により先端ピンのピンピッチを読み取るように構成したことを特徴とする。
【００１４】
請求項６においては、請求項１又は３又は５に記載のプローブアクセサリの発明において、
前記フィルムガイドに前記フィルムの摺動を規制する規制手段を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項１〜３によれば、所定の角度でハ字状の孔が形成されたフィルムと、このフィルムの横方向への移動を規制すると共に縦方向に摺動可能に支持するフィルムガイドとを備え、フィルムガイドの一端を円弧状に形成し、ハ字状の孔が円弧の頂部付近で円弧に沿って摺動するので、ハ字状の孔にプローブ先端の２本のピンを通しフィルムを摺動させればピン間の距離を測定対象に合せて変更することができる。
【００１６】
請求項４,５においては、フィルムガイドに設けた目盛でフィルムの摺動状態を読み取るように構成し、フィルムの摺動を規制する規制手段を設けたので、ピン間の距離（ピンピッチ）を調整した状態で固定することができ、測定の安定性、再現性を向上させることができる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１（ａ〜ｄ）は本発明のプローブアクセサリの要部構成図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は側面図である。
なお、正面図（ｃ）と側面図（ｄ）には図２（ａ）で示したプローブ１が取付けられた状態を示している。
【００１８】
これらの図において、１０はフィルムガイドであり、一端が円弧状に形成され他端は円弧の一端から直線状に延長されている。このフィルムガイドは左右一対で構成され、円弧部から延長された直線部がフィルムガイド支持部材１３で連結されて固定されている。
【００１９】
左右一対で構成された円弧部を含むフィルムガイド１０の内側面には例えば幅０．１２〜０．５２ｍｍ程度で深さ２ｍｍ程度の溝１０ｂが形成され、この溝１０ｂに沿って例えば厚さ０．１〜０．５ｍｍ程度のフィルム（可撓性帯状部材）１１が摺動可能にはめ込まれている。なお、溝の幅や深さはフィルムの幅や厚さにより調整するものとする。
【００２０】
このフィルム１１はフィルムガイドの円弧部１０ａの一端付近から直線部の途中（Ａで示す部分）までの長さに形成されており、フィルムガイド１０を構成するフィルムガイド支持部材１３の上面に密着した状態で摺動する。
【００２１】
フィルムガイド支持部材１３の表面にはフィルムの端部に平行な目盛１３ａが刻まれており、この目盛りは先端のピンピッチの目安となるものである。つまりフィルム１１の端部を目盛りに合わせることで、先端ピンのピンピッチを合わせることが可能になっている。
９ａ，９ｂはフィルム１１に形成されたハ字状の孔（ピンガイド）で、フィルムを溝１０ｂにはめ込んだ状態で円弧部１０ａの頂部付近に位置するように配置されている。このハ字状の孔９ａ，９ｂの幅は図２（ａ）に示すプローブ１に回動自在に挿入されたピン３ａ，３ｂの径よりもわずかに大きく形成されている。
【００２２】
フィルムガイド支持部材１３の左右にはスライダ１４が設けられ、フィルムの左右の端部を挟んでフィルムを容易に摺動できると共に所定の位置でフィルムを固定することが可能となっている。１２ａ，１２ｂはフィルムガイド支持部材１３の両端付近に設けられた第１，第２プローブ固定部材であり、図１（ｄ）の側面図に示すようにプローブ１のピン３ａ，３ｂをハ字状のピン孔に差し込んだ状態で抱き込んで固定する。
【００２３】
上述の構成において、スライダ１４によりフィルムを摺動させるとハ字状の孔（ピンガイド）９ａ，９ｂに拘束されたピン３ａ，３ｂの先端はピンガイドに沿って回動しピン間の幅が変化する。
そして、所望の幅になったところでスライダ１４の固定機構によりフィルム１１を固定すれば、ピン幅が測定などによる押圧力により変動することがない。従って、測定の安定性、再現性を向上させたプローブアクセサリを実現することができる。
【００２４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のプローブアクセサリの実施形態の一例を示す要部構成図である。
【図２】プローブの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１      プローブ
２      ヘッド部分
３      ピン
４      挿入部
９      ピンガイド
１０    フィルムガイド
１０ａ  円弧部
１０ｂ  溝
１１    フィルム（可撓性帯状部材）
１２ａ  第１プローブ固定部材
１２ｂ  第２プローブ固定部材
１３    フィルムガイド支持部材
１３ａ  目盛
１４    スライダ（フィルム固定部材）
【図２】
2010002354.tif 000003
【図１】
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