(57)【要約】【課題】  簡単な構造を持ちながら、感度を向上したガスセンサを提供することを目的とする。【解決手段】  本発明のガスセンサ１０は、白金線のプラス側電極１ａと、白金線のマイナス側電極１ｂと、プラス側電極およびマイナス側電極を被覆する触媒層３とを備え、プラス側電極とマイナス側電極とが、触媒層３を介在させて接続されていることを特徴とする。【選択図】        図１
2010043905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属のプラス側電極と、
金属のマイナス側電極と、
前記プラス側電極およびマイナス側電極を被覆する触媒層とを備え、
前記プラス側電極とマイナス側電極とが、前記触媒層を介在して接続されていることを特徴とする、ガスセンサ。
【請求項２】
前記プラス側電極およびマイナス側電極が、線材であることを特徴とする、請求項１に記載のガスセンサ。
【請求項３】
前記触媒層が、溶融塩めっき法により形成されていることを特徴とする、請求項１または２に記載のガスセンサ。
【請求項４】
加熱のためのヒータを備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１つに記載のガスセンサ。
【請求項５】
前記触媒が、ＺｎＯ、ＷＯ３、ＴｉＯ２、ＳｎＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ＭｏＯ３、Ｉｎ２Ｏ３、Ｇａ２Ｏ３、Ｆｅ２Ｏ３、ＣｕＯ、Ｃｒ２Ｏ３、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、等の半導体、のうちの少なくとも１種を主材料とすることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１つに記載のガスセンサ。
【請求項６】
前記金属が、白金（Ｐｔ）、ルテニウム（Ｒｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏｓ）等の白金族、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）等の鉄族、もしくはバナジウム（Ｖ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）等の貴金属、のうちのいずれか１つであるか、またはこれらを少なくとも１種含む合金であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１つに記載のガスセンサ。
【請求項７】
前記触媒層に、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、チタン（Ｔｉ），亜鉛（Ｚｎ）等の金属、およびＣｅＯ、ＣｕＯ、Ｆｅ２Ｏ３、ＭｏＯ３、ＮｉＯ、Ｓｂ２Ｏ５，ＳｎＯ２，Ｔａ２Ｏ５，ＴｉＯ２、ＷＯ３、ＺｎＯ等の酸化物、のうちの一種または二種以上を増感剤として含有することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１つに記載のガスセンサ。
【請求項８】
前記触媒層で被覆されたプラス側電極と、前記触媒層で被覆されたマイナス側電極とが、編まれて、孔を形成していることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１つに記載のガスセンサ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載のガスセンサを第１のガスセンサとして備え、その第１のガスセンサと異なる第２のガスセンサをさらに備え、その第２のガスセンサは、第１のガスセンサにおける触媒と異なる第２の触媒を持ち、該第２の触媒が、前記第１のガスセンサと同じ形態で、当該第２のガスセンサにおけるプラス側電極とマイナス側電極との間に介在しており、前記第１のガスセンサと第２のガスセンサとが、異なるガスを検知するためのものであることを特徴とする、ガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスセンサに関し、より具体的には、簡単な構造でありながら、検知感度を高めたガスセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガスセンサは、気体中に含まれる特定のガスに感応し、そのガス濃度に応じた強さの電気信号等を発する。ガスセンサは、１９６９年にわが国で最初に実用化された半導体ガスセンサ以来、種々のものが開発・実用化され、可燃性ガス漏れ警報器や、自動車排気ガス浄化システムなどに広範に用いられるに至っている。このなかで、酸化物半導体を用いるガスセンサは、酸化物半導体の表面にガス吸着が起きると、電気抵抗値が変化することを利用する。構造が簡単で、感度が高く、応答性、安定性にも優れている。通常は、セラミックヒータなどの加熱手段を備えて、感度が高まる高温での当該ガス吸着による電気抵抗変化を検知する。
【０００３】
近年、廃ガス規制をクリアするために燃費のよいエンジンが重視され、希薄燃料濃度での燃焼によりエンジンの効率を高める開発が推進されている。この場合、排気ガス中のＮＯｘを精度よく検出し、燃料および空気の混合比、噴射タイミング、噴射時間等にフィードバックする必要がある（非特許文献１）。このため、多くのガスセンサの研究開発が進行している。たとえば、加熱手段のセラミックヒータと、焼結体の酸化物半導体とを、高熱伝導性絶縁基板を挟むように配置して、温度の均一性を確保するために、セラミックヒータの電極を櫛歯状にしたガスセンサが提案されている（特許文献１）。また、薄膜の形態の酸化物半導体を用いたガスセンサが、多く用いられる傾向にあり、電極には、金または白金を主成分とする薄膜電極が用いられる（特許文献２）。この金または白金を主成分とする薄膜電極は、金または白金を含むペーストをスクリーン印刷することによって形成される。
【非特許文献１】S.Nakagawa, T.Hori & M.Nagano，"ANew Feedback Control of a Lean NOx Trap Catalyst"，SAETechnical Paper Series, 2004-01-0527
【特許文献１】特開２００１−２８１１９０号公報
【特許文献２】特開２００３−２３２７６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の特許文献に開示された方法によれば、高温環境下でガスセンサの機能を得ることができる。しかし、ガス吸着によって電気抵抗が変化する変化率の大きさは限定的であり、このため検知感度について改良の余地が大きい。また、ガスセンサ全体の構造が複雑であり、より簡単な構造にして、高価な材料の使用量の削減と合わせて、製造コストの低減をはかることが望まれている。本発明は、簡単な構造を持ちながら、感度を向上したガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のガスセンサは、金属のプラス側電極と、金属のマイナス側電極と、プラス側電極およびマイナス側電極を被覆する触媒層とを備え、プラス側電極とマイナス側電極とが、触媒層を介在して接続されていることを特徴とする。
【０００６】
上記の構成によって、電極同士が被覆層をなす触媒層を挟んで位置するので、小さな電極間隔をもち、電気特性の変化率が大きいセンサを形成することができる。このため、簡単な構造でありながら感度の高いセンサを得ることができる。なお、金属のプラス側電極およびマイナス側電極が中空であり、触媒被覆体が、その中空構造の外側に触媒の被覆が施されたものであってよい。
【０００７】
上記のプラス側電極およびマイナス側電極を、線材とすることができる。これによって、取り扱いがしやすい線材を用いて、容易に触媒被覆線を形成することができる。そして、たとえば多数本のプラス側の線材と、多数本のマイナス側の線材とを被覆層を介在させて束ねることで、ガスの吸着容量の大きいガスセンサを得ることができる。この場合においても、線材は、中実線材でも中空線材でもよい。
【０００８】
上記の触媒の被覆層を、溶融塩めっき法により形成することができる。これによって、非常に能率よく高い被覆強度で、上記の電極を触媒層で被覆することができる。この溶融塩めっき法は、とくに線材の場合、高い生産能率と高品質とを兼備するという点で、他の方法の追随を許さない。また、この結果、製造コストを低減することができる。溶融塩めっき法で被覆された品物は、高温の溶融塩で作製するという特徴から基材との間に相互拡散層を持ち、他方で作製された物と容易に区別して特定することができる。なお、本発明において、上記のガスセンサの製造法は、溶融塩めっき法に限定されず、気相法で蒸着した金属相を、熱酸化法やシュウ酸陽極処理法などで酸化することで、酸化物半導体を形成してもよい。また、気相法で、直接、ＷＯ３膜を形成してもよい。
【０００９】
上記のセンサは、加熱のためのヒータを備えることができる。これによって、センサにとって、感度を高めることができる高温度域でガスセンサ本体を稼動することができる。ヒータには、たとえばセラミックヒータ（ＰＴＣヒータなど）を用いることができる。
【００１０】
前記触媒を、ＺｎＯ、ＷＯ３、ＴｉＯ２、ＳｎＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ＭｏＯ３、Ｉｎ２Ｏ３、Ｇａ２Ｏ３、Ｆｅ２Ｏ３、ＣｕＯ、Ｃｒ２Ｏ３、Ｃｏ３Ｏ４、Ｂｉ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、等の半導体、のうちの少なくとも１種を主材料とすることができる。一般に、検知対象ガスが決まると、触媒の半導体の種類は決められる。たとえば、触媒ＷＯ３またはＧａ２Ｏ３は、選択的にＮＯに対する感受性が高く、他のガスには感応しにくい。上記の触媒により、検査対象ガスの種類に応じて最適な触媒を用いて、高い感度でセンシングすることができる。「触媒」の用語は、上記の場合、酸化物半導体を対象とし、電気的特性は電気抵抗が対象となる。
【００１１】
上記の金属を、白金（Ｐｔ）、ルテニウム（Ｒｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏｓ）等の白金族、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）等の鉄族、もしくはバナジウム（Ｖ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）等の貴金属、のうちのいずれか１つであるか、またはこれらを少なくとも１種含む合金とすることができる。これによって、高温環境で耐久性の高い電極を得ることができる。
【００１２】
上記の触媒層に、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛（Ｚｎ）等の金属、およびＣｅＯ、ＣｕＯ、Ｆｅ２Ｏ３、ＭｏＯ３、ＮｉＯ、Ｓｂ２Ｏ５、ＳｎＯ２、Ｔａ２Ｏ５，ＴｉＯ２、ＷＯ３、ＺｎＯ等の酸化物、のうちの一種または二種以上を増感剤として含有することができる。これによって、検知ガスの選択感度を高め、精度よく検知ガスの検出を行うことができる。
【００１３】
上記の触媒層で被覆されたプラス側電極と、触媒層で被覆されたマイナス側電極とが、編まれて、孔を形成する形態をとることができる。これによって、周囲のガスと触媒層との接触面積を大きくして、検知感度を向上することができる。
【００１４】
上記のいずれか１つのガスセンサを第１のガスセンサとして備え、その第１のガスセンサと異なる第２のガスセンサをさらに備え、その第２のガスセンサは、第１のガスセンサにおける触媒と異なる第２の触媒を持ち、該第２の触媒が、第１のガスセンサと同じ形態で、当該第２のガスセンサにおけるプラス側電極とマイナス側電極との間に介在しており、第１のガスセンサと第２のガスセンサとが、異なるガスを検知するためのものとすることができる。これによって、たとえばＮＯとＮＯ２のように、両者が混在することが多く、両者を個々に精度よく検知することが必要な場合、小型で、かつ簡単な構造をもつ上記のガスセンサを用いることができる。車両エンジンの排気ガスに含まれるＮＯおよびＮＯ２の両方を、ともに精度よく検知して、エンジンの稼働条件を制御するのにフィードバックする場合等、上記のガスセンサは、狭隘な場所に配置することができ、威力を発揮することができる。なお、上記の第２のガスセンサに加えて、さらに多くのガスセンサを備えてもよいことは言うまでもない。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡単な構造を持ちながら、感度を向上したガスセンサを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるガスセンサ１０を示す図である。このガスセンサ１０は、定電圧電源３１と、電流計３３とが２つの電極１１，１２の外部に接続されている。プラス側集電端子１１には、複数本のプラス側電極１ａが接続されている。また、マイナス側集電端子１２には、複数本のマイナス側電極１ｂが接続されている。プラス側電極１ａおよびマイナス側電極１ｂは、ともに白金線から形成されている。プラス側電極１ａとマイナス側電極１ｂの中間にガス検知部Ｓが形成されている。ガス検知部Ｓは、触媒３と、その触媒３に被覆された白金線１ａ，１ｂから形成されている。触媒層３の厚みは、０．０１μｍ〜１μｍとするのがよい。
【００１７】
このガス検知部Ｓに検知対象のガス種が吸着されて、電気抵抗の変化を生じて、吸着されたガス量を検知することができる。ガス検知部Ｓは、（１）検知対象のガスに対する選択性を持たなければならない。すなわち、検知対象のガス種のみを吸着して、他のガス種を吸着しない機能を持つ必要がある。たとえば、ＮＯ２は吸着するが、ＮＯは吸着しないことが必要である。（２）上記の選択性を備えた上で、ガスセンサが置かれた環境での検知対象のガス濃度に比例して、吸着されるガス量も増減する必要がある。（２）の条件は、希薄濃度の場合は満足されるのが普通である。
【００１８】
図２は、一本のマイナス側電極１ｂまたはプラス側電極１ａの縦断面図である。白金線１ａ，１ｂと、その白金線を被覆する触媒層３とから構成されている。白金線１ａ，１ｂと、それを被覆する触媒層３とが、触媒被覆体Ｃを形成する。すなわち白金線１ａ，１ｂが触媒３に被覆されたものを、触媒被覆体Ｃと呼ぶ。上記のガス検知部Ｓは、触媒被覆体Ｃの集合によって形成されている。図３は、図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。プラス側の触媒被覆体Ｃとマイナス側の触媒被覆体Ｃとが、交互に挿入されて触媒被覆体Ｃの集合が形成されている。白金線１ａ，１ｂは導電体であるが、触媒３は酸化物半導体であり、プラス／マイナス間に電気抵抗Ｒを形成する。検知対象のガスは、選択的に触媒に吸着され、電気抵抗Ｒの変化ΔＲを生じる。
【００１９】
電気抵抗Ｒおよびその変化ΔＲは、プラス側集電端子１１と、マイナス側集電端子１２との間に生じる。したがって、プラス側の触媒被覆体Ｃと、マイナス側の触媒被覆体Ｃとは、できるだけ相互に接触するように配置されることが、電気抵抗の変化を検知する上で、すなわち高い感度を確保する上で、望ましい。上記の配置の下、電気抵抗の変化ΔＲは、ガス吸着量に比例して生じる。プラス側電極の白金線１ａと、マイナス側電極の白金線１ｂとの間の距離は、触媒層３の厚みの２倍程度である。したがって、電極間距離は、０．０２μｍ〜２μｍであり、非常に小さい。電気抵抗Ｒは電極間の距離に比例するので、上記の小さい電極間距離は小さい電気抵抗Ｒをもたらす。その結果、ガス吸着に起因する電気抵抗の変化ΔＲが生じるとき、電気抵抗の変化率（ΔＲ／Ｒ）は大きな値となる。これは、上記の白金線を用いた電極配列をもつガスセンサの感度が高いことを意味する。また、プラス側の触媒被覆体Ｃとマイナス側触媒被覆体Ｃとが接触する、どこか一カ所でガス吸着が生じて電気抵抗が下がれば、直ちに、電流計３３に明示される。
【００２０】
上記の触媒３は、それだけでガス選択性をもつが、より一層、ガス選択性を向上させるために、増感剤を添加するのが普通である。図４は、触媒３に増感剤５を添加した状態の触媒被覆体Ｃの断面を示す図である。増感剤の添加量は、通常は数原子％以下であるが、触媒に対して５重量％程度、添加する場合もある。表１に、検知対象ガスと、その検知対象ガスに高い選択性をもつ触媒（感応層）、およびその触媒に対応した増感剤の例を示す。上記は、例示したものであり、この他にも、触媒、感応剤があってよい。
【００２１】
【表１】
2010043905.tif 000003
【００２２】
酸化物半導体を触媒として用いる場合、感度は３００℃〜４５０℃の範囲内で最大になる材料が多い。このため、ヒータによる加熱が必要となる。図５は、上述の触媒被覆体Ｃの集合の間に、ヒータ２１を絶縁層２９で被覆して配置した例を示す図である。図５に示す程度のヒータの配置で、すべての触媒被覆体Ｃは、ヒータ２１，２９に接触する。このため、ガスセンサ１０では、熱的に特異な材料や構造を用いることはないので、図５に示すよりも疎らなヒータ２１，２９の配置によって、温度の均一性を確保することができる。
【００２３】
次に、図１〜図３に示すガスセンサ１０の製造方法について説明する。まず、電極１ａ，１ｂとなる白金線を触媒３で被覆する。触媒３は、たとえばＷＯ３とする。この場合、溶融塩めっき法で触媒被覆する方法と、気相法と酸化法とを組み合わせる方法とがある。
（溶融塩めっき法＋酸化法）：６７モル％のＫＦと、２６モル％のＢ２Ｏ３と、７モル％のＷＯ３とを、カーボン製のルツボ中で８５０℃に加熱して溶融塩を形成する。その溶融塩中に陰極として白金線の所定部分を、対極としてタングステン棒を浸漬して、電流密度３０ｍＡ／ｃｍ２で４分間電解する。その後、白金線を溶融塩から取り出し、付着した塩を水洗することで、タングステン（Ｗ）めっきされた白金線を得ることができる。溶融塩めっき法は常圧プロセスのため、連続処理が容易で、能率が良く、また、基材との間に相互拡散層を有するため接着強度が高いめっき層を白金線に形成することができる。このようにして白金線上にタングステン（Ｗ）をめっきした後、熱酸化法でＷＯ３を形成する。上記の複数の特徴によって、ガスセンサの製品によって特定することができる。
【００２４】
（気相法＋酸化法）：スパッタリング法またはＣＶＤ(Chemical  Vapor  Deposition)法によって、タングステン（Ｗ）からなる金属薄膜を白金線表面に形成する。（Ａ１）次いで、酸化雰囲気で加熱処理することで、ＷＯ３にまで酸化する。または（Ｂ１）タングステン薄膜を硝酸陽極処理によって、酸化してＷＯ３とする。気相法＋酸化処理によれば、蒸着条件や酸化条件を適当に選択することによって、気孔の多い触媒層を形成することができる。気孔を多くすることで、検査対象のガスとの接触面積を増やして、電気抵抗の変化ΔＲを大きくすることができる。
【００２５】
触媒層３で被覆された白金線１ａ、１ｂを、マイナス側とプラス側とに分けて、一方の極側の触媒被覆体Ｃが、他方の極側の触媒被覆体Ｃと、できるだけ交互に接触するように配置して、結束する。結束して白金線が露出しているほうの端を、それぞれの集電端子１１，１２に接続する。一方の極側の触媒被覆体Ｃが、他方の極側の触媒被覆体Ｃと、ガス検知部Ｓを形成しながら結束する結束方法は、被覆層となっている触媒の焼結によってもよいし、または他の線材による締結、焼結によって固化する接着剤を用いてもよい。
【００２６】
上記の方法によれば、白金線の触媒シース体Ｃの交互挿入集合という簡単な構造によって、ガス検知部Ｓを形成することができる。しかも触媒シースの厚みは非常に薄いため、ガス吸着による電気抵抗の変化率を大きくすることができ、高い感度を確保することが可能である。
【００２７】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２におけるガスセンサ１０を示す図である。このガスセンサ１０では、プラス側の触媒被覆体Ｃとマイナス側触媒被覆体Ｃとが、編まれて、孔（編目）８が形成されている点に特徴を有する。このため、プラス側とマイナス側のすべての接続点９は、雰囲気と十二分に接触することができる。電気抵抗の変化は、プラス側の触媒被覆体Ｃと、マイナス側の触媒被覆体Ｃとが交差する接続点で、最も敏感に捕捉される。とくに、図６に示す格子状のネットにおいて、ガス吸着により電気抵抗が低下する場合、１つの接続点（格子点）９で電気抵抗が低下すると、その電気抵抗の低下は直ちに電流の変化をもたらし、電流計がその変化を敏感に捕捉することができる。このため、雰囲気の組成の変化が激しく生じる場合などでは、雰囲気の組成変化を鋭敏に捕捉することができる。編目８のサイズは、格子を構成する触媒被覆体Ｃの密度を変えることで、簡単に調節することができる。その他の、構造は、実施の形態１と同じ構成および効果を有する。
【００２８】
図７は、本発明の実施の形態であり、図６の変形例を示す図である。この変形例では、プラス側またはマイナス側の触媒被覆体Ｃをラセン状に巻き、その内側に、ラセン状の触媒被覆体Ｃと交差する箇所で接続点９を形成しながら、軸線方向に延在する触媒被覆体Ｃを配置する。このような、ラセン状配置と、その内面への軸線方向に沿う延在配置とは、”編み”を構成する、といってよい。触媒被覆体Ｃ同士の接続は、被覆層を形成している触媒３同士の焼結によるのが好ましい。図６に示す格子状のネットと同様に、図７に示す構造でも、ガス吸着により電気抵抗が低下する場合、１つの接続点（格子点）９で電気抵抗が低下すると、その電気抵抗の低下は直ちに電流の変化をもたらし、電流計がその変化を敏感に捕捉することができる。
【００２９】
図７に示す変形例の場合、円筒内を、検知対象ガスを含む雰囲気が流れる構造の場合、感度上、好ましい。また、図示はしないが、ラセン状触媒被覆体Ｃの外側に、軸線方向に延在する直線状の触媒被覆体Ｃを配置する場合には、接続点９は外側に位置するので、円筒の外を雰囲気が流れるようにするのがよい。
【００３０】
（実施の形態３）
図８は、本発明の実施の形態３におけるガスセンサ１０を示す図である。また、図９は、図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。このガスセンサ１０は、同時に２種の検知ガスを検知することができる。２種のガスを同時に検知することによって、有用性を高められる場合が多い。そのような例として、ＮＯｘをあげることができる。ＮＯｘとは、ＮＯとＮＯ2という２種類の気体をさす用語である。ＮＯとＮＯ2とは、化学反応などで相互に変換したり、比較的、同様の特性を示すことが多いので、一緒に取り扱ったほうが便利であるため、両方のガス種をまとめてＮＯｘという用い方が普及している。ガソリンエンジン、ディーゼルエンジンなどでは、排気ガス中のＮＯとＮＯ２との比を正確に知ることで、上述のフィードバックをより適切に行うことが可能になる場合がある。なお、上記２種のガスを検知するガスセンサに限らず、３種以上のガスを区別して検知するガスセンサとしてもよい。
【００３１】
図８に示すように、このガスセンサ１０では、ガス検知部Ｓ１でＮＯを検知し、またガス検知部Ｓ２でＮＯ２を検知する。両者の間には、図９に示すようにヒータ２１，２９が配置されている。ガス検知部Ｓ１の電極１ａ，１ｂおよびガス検知部Ｓ２の電極５１ａ，５１ｂは、ともに白金線を用いるのがよい。しかし、触媒および増感剤については、両者は異なるものを用いる。たとえば、ガス検知部Ｓ１では、触媒３にはＧａ２Ｏ３を、また増感剤５にはＴａ２Ｏ５を用いるのがよい。また、ガス検知部Ｓ２では、触媒５３にはＣｒ２Ｏ３を、増感剤５５にはＴｉＯ２を用いるのがよい。
【００３２】
実施の形態１で説明したように、白金線に触媒および増感剤を被覆した触媒被覆体をプラス側とマイナス側に分けて、できるだけ交互に接触するように挿入しあった集合体の構造は、簡単である。この簡単な触媒被覆体の集合体を２つ形成して、間にヒータ２１，２９を挟む構造は、２種のガスを同時に検知するガスセンサとしては非常に簡単である。このため、容積も小さくすることができるので、たとえば、自動車の内燃機関の排気ガス経路などの狭隘な場所に、簡単に取り付けることができる。そして、上記のガスセンサ１０を構成する部材はすべて耐熱性に優れている。このためガスセンサ１０自体も耐熱性に優れており、長期間、安定してガスセンサの機能を保持することができる。
【００３３】
（他の実施の形態）
上記の実施の形態における説明では、自動車の内燃機関の排気ガスを引き合いに出すことが多かったが、本発明のガスセンサは、自動車の内燃機関の排気ガスに限定されない。（１）各種ボイラの排気、（２）公共施設、居住空間における雰囲気の監視、（３）雰囲気制御した各種の工場施設の雰囲気の監視、などに用いることができる。また、いわゆるガスだけでなく、におい（臭気）のセンサにも用いることができる。
【００３４】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明によれば、簡単な構造で、感度の高いガス検知を行うことができ、かつその簡単な構造を生かして、２種の同時ガス検知装置などを容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるガスセンサを示す図である。
【図２】図１に示すガスセンサにおける１本の触媒被覆体を示す図である。
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】触媒と増感剤とで線材を被覆した触媒被覆体の断面図である。
【図５】ヒータを配置したガス検知部を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２におけるガスセンサを示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２におけるガスセンサの変形例を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態３におけるガスセンサを示す図である。
【図９】図８におけるＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１ａ，１ｂ，５１ａ，５１ｂ  白金線（電極）、３，５３  触媒（感応層）、５，５５  増感剤、９  接続点（格子点）、１０  ガスセンサ、１１，１２，６１，６２  集電端子、２１  ヒータ、２９  絶縁体、３１，８１  定電圧電源、３３，８３  電流計、Ｃ  触媒被覆体、Ｓ，Ｓ１，Ｓ２  ガス検知部。
【図１】
2010043905.tif 000004
【図２】
2010043905.tif 000005
【図３】
2010043905.tif 000006
【図４】
2010043905.tif 000007
【図５】
2010043905.tif 000008
【図６】
2010043905.tif 000009
【図７】
2010043905.tif 000010
【図８】
2010043905.tif 000011
【図９】
2010043905.tif 000012