(57)【要約】      （修正有）【課題】外部電極と支持板との接触を防ぎ絶縁信頼性を向上できる積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体を提供する。【解決手段】圧電体層７と内部電極層９とを交互に積層してなり、一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面２０とを有する板状の積層体１３と、内部電極層９と電気的に接続された一対の外部電極１７、１９とを具備する積層型圧電素子１、３であって、積層体１３の一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ一方の主面の長手方向に傾斜するとともに一方の主面と連続する傾斜面２０ａとされ、該傾斜面２０ａに外部電極１７、１９が形成され、かつ一方の主面に、一対の外部電極１７、１９のうち一方が電気的に接続される表面電極層１５が形成されている。【選択図】図１
2010199272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなり、前記圧電体層で形成される一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面とを有する板状の積層体と、前記内部電極層と電気的に接続された一対の外部電極とを具備する積層型圧電素子であって、前記積層体の前記一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ前記一方の主面の長手方向に傾斜するとともに前記一方の主面と連続する傾斜面とされ、該傾斜面に前記外部電極が形成され、かつ前記一方の主面に、前記一対の外部電極のうち一方が電気的に接続された表面電極層が形成されていることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなるとともに、前記圧電体層で形成される一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面とを有し、該一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ前記一方の主面の長手方向に傾斜し、かつ前記一方の主面と連続する傾斜面とされた板状の積層体を準備する工程と、該積層体の前記傾斜面に前記内部電極層と電気的に接続する一対の外部電極をそれぞれ設ける工程とを具備することを特徴とする積層型圧電素子の製法。
【請求項３】
前記積層体の一方の主面に、前記一対の外部電極のうち一方が接続される表面電極層を、前記外部電極と同時に形成する工程を具備することを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電素子の製法。
【請求項４】
請求項１に記載の前記積層型圧電素子の前記表面電極層が形成されていない側の主面を、接着剤層により支持板に接合してなることを特徴とする振動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体に関し、特に、コンピュータ、携帯電話機または小型端末機器用の平面スピーカ装置に用いられるバイモルフ型の積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の積層型圧電素子は、圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなり、圧電体層の積層方向に形成された長方形状の一対の主面と内部電極層が長手方向に交互に引き出された一対の側面とを有する板状の積層体と、この積層体の長手方向の両端部に設けられた外部電極とを具備している。
【０００３】
従来の振動体は、図８に示すように、上記のような積層型圧電素子の一方の主面を支持板に接着剤を用いて接合することにより、バイモルフ型（図８（ａ））およびユニモルフ型（図８（ｂ））の振動体を作製していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
従来の振動体は、図８（ａ）に示すように、積層型圧電素子３０、３６を支持板３４の上下面に接着剤層３５で接合して構成されている。
【０００５】
すなわち、積層型圧電素子３０、３６は、７層の圧電体３１と６層の内部電極層３２とを交互に積層してなる積層体と、この積層体の上下の主面に形成された表面電極層３３ａと、積層体の長手方向の両端部にそれぞれ設けられた一対の外部電極３３ｂとを具備している。積層体は板状であり、上下の主面が長方形状とされ、積層体の長手方向には、内部電極層３２が交互に引き出された一対の側面を有し、この一対の側面にはそれぞれ外部電極３３ｂが設けられている。外部電極３３ｂは積層体の支持板側の主面よりも支持板３４側に突出している。
【０００６】
６層の内部電極層３２と２層の表面電極層３３ａは交互に電極層とされており、一対の外部電極３３ｂには、積層体の側面において３層ずつの内部電極層３２及び１層ずつの表面電極層３３ａが電気的に接続されている。
【０００７】
通常、支持板３４に接着剤を塗布し、この接着剤層３５に積層型圧電素子３０、３６を押し当て、接合されるが、図８（ｂ）に示すように、支持板３４上に接着剤層３５を厚く、かつ積層型圧電素子３０、３６の主面の面積よりも広い面積で塗布し、この接着剤層３５が乾燥する前に積層型圧電素子３０、３６を押し当てた状態で乾燥させて接合していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−３２９４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の振動体では、外部電極３３ｂが、積層体の主面よりも支持板３４側に突出していたため、接着剤層３５の塗布量が十分でないと外部電極３３ｂと支持板３４が接触してしまい、絶縁性が確保できないという問題があった。
【００１０】
また、積層体の支持板３４側の主面には、積層型圧電素子３０、３６を有効に振動すべく、表面電極層３３ａが形成されており、この表面電極層３３ａと支持板３４との電気的導通を阻止するためにも、接着剤層３５の厚みｈを厚くせざるを得なかった。
【００１１】
本発明は、外部電極と支持板との接触を防ぎ絶縁信頼性を向上できる積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の積層型圧電素子は、圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなり、前記圧電体層で形成される一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面とを有する板状の積層体と、前記内部電極層と電気的に接続された一対の外部電極とを具備する積層型圧電素子であって、前記積層体の前記一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ前記一方の主面の長手方向に傾斜するとともに前記一方の主面と連続する傾斜面とされ、該傾斜面に前記外部電極が形成され、かつ前記一方の主面に、前記一対の外部電極のうち一方が電気的に接続された表面電極層が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の積層型圧電素子では、外部電極が積層体の側面の傾斜面に形成されており、積層体の表面電極層が形成されていない側の主面から突出していないため、例えば、積層型圧電素子における積層体の表面電極層が形成されていない側の主面を、支持板に接着剤層を介して接合した振動体を作製する場合、外部電極の支持板への接触を防止でき、外部電極と本来導通してはならない導体からなる支持板もしくは支持板に形成された配線導体とを確実に絶縁でき、振動体の絶縁信頼性を向上できる。
【００１４】
本発明の積層型圧電素子の製法は、圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなるとともに、前記圧電体層で形成される一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面とを有し、該一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ前記一方の主面の長手方向に傾斜し、かつ前記一方の主面と連続する傾斜面とされた板状の積層体を準備する工程と、該積層体の前記傾斜面に前記内部電極層と電気的に接続する一対の外部電極をそれぞれ設ける工程とを具備することを特徴とする。
【００１５】
本発明の積層型圧電素子の製法では、積層体の傾斜面に外部電極を形成するため、例えば、薄い積層体に外部電極を形成する場合であっても、外部電極の形成可能な面積を増加でき、外部電極の形成位置を容易に制御でき、外部電極が積層体の他方の主面から突出していない積層型圧電素子を容易に作製することができる。
【００１６】
すなわち、従来、主面と直角をなす側面に外部電極を形成していたため、例えば、薄い積層体の側面に外部電極を形成する場合、形成面積がごく僅かであり、外部電極の形成位置を制御することが困難であり、外部電極が主面から突出する場合があったが、本発明では、積層体に傾斜面を形成し、この傾斜面に外部電極を形成するため、外部電極形成面積を増加でき、外部電極の形成位置を容易に制御できるとともに、例えば、ローラにて外部電極と表面電極層を形成するペーストを積層体の主面に塗布した後、連続して傾斜面にまでペーストを塗布でき、外部電極と表面電極層を同時に形成することも可能となる。
【００１７】
さらに、本発明の積層型圧電素子の製法は、前記積層体の一方の主面に、前記一対の外部電極のうち一方が接続される表面電極層を、前記外部電極と同時に形成する工程を具備することを特徴とする。このような積層型圧電素子の製法では、例えば、ローラにて外部電極と表面電極層を形成するペーストを積層体の主面に塗布した後、連続して傾斜面にまでペーストを塗布して焼き付けることにより、外部電極と表面電極層を同時に形成することも可能となる。
【００１８】
本発明の振動体は、上記積層型圧電素子の前記表面電極層が形成されていない側の主面を、接着剤層により支持板に接合してなることを特徴とする。このような振動体では、積層型圧電素子は、外部電極が積層体の側面の傾斜面に形成されており、積層体の表面電極層が形成されていない側の主面から突出していないため、積層型圧電素子における積層体の表面電極層が形成されていない側の主面を、支持板に接着剤層を介して接合した振動体では、外部電極と、この外部電極と本来導通してはならない導体からなる支持板もしくは支持板に形成された配線導体とを確実に絶縁でき、振動体の絶縁信頼性を向上できる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の積層型圧電素子では、外部電極が積層体の側面の傾斜面に形成されており、積層体の表面電極層が形成されていない側の主面から突出していないため、例えば、積層型圧電素子における積層体の表面電極層が形成されていない側の主面を、支持板に接着剤層を介して接合した振動体を作製する場合、外部電極の支持板への接触を防止でき、外部電極と本来導通してはならない導体からなる支持板もしくは支持板に形成された配線導体とを確実に絶縁でき、振動体の絶縁信頼性を向上できる。
【００２０】
また、本発明の積層型圧電素子の製法では、積層体の傾斜面に外部電極を形成するため、例えば、薄い積層体に外部電極を形成する場合であっても、外部電極の形成可能な面積を増加でき、外部電極の形成位置を容易に制御でき、外部電極が積層体の他方の主面から突出していない積層型圧電素子を容易に作製することができる。
【００２１】
さらに、本発明の振動体では、積層型圧電素子は、外部電極が積層体の側面の傾斜面に形成されており、積層体の表面電極層が形成されていない側の主面から突出していないため、積層型圧電素子における積層体の表面電極層が形成されていない側の主面を、支持板に接着剤層を介して接合した振動体では、外部電極と、この外部電極と本来導通してはならない導体からなる支持板もしくは支持板に形成された配線導体とを確実に絶縁でき、振動体の絶縁信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のバイモルフ型の振動体の断面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】底面側の接着剤層と側面側の接着剤層で積層型圧電素子を支持板に接合した状態を示す断面図である。
【図４】導体層を有する本発明のバイモルフ型振動体を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図５】本発明の積層型圧電素子の製法を説明するための工程図である。
【図６】（ａ）は、積層体の長手方向側面が焼き肌面とされている積層型圧電素子を用いた振動体の断面図であり、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大して示す断面図である。
【図７】積層体の側面が傾斜面から形成されたほぼ台形状の積層型圧電素子を示す断面図である。
【図８】従来のバイモルフ型の振動体を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は接着剤層を広く形成し、この接着剤層に積層型圧電素子を押し当てて接合した場合の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１形態）
以下、本発明の積層型圧電素子を用いた振動体の一実施形態を図１、図２に基づいて説明する。図１は本発明のバイモルフ型の振動体の断面図を、図２は平面図を示す。
【００２４】
本発明のバイモルフ型の振動体は、図１、２に示すように、積層型圧電素子１、３を支持板５の上下面に底面側の接着剤層６によりそれぞれ接合して構成されている。なお、本発明は、バイモルフ型の振動体に限定されるものではなく、支持板５の片側に積層型圧電素子が接合されたユニモルフ型の振動体であっても本発明の効果は得られる。
【００２５】
積層型圧電素子１、３は、６層のセラミックスからなる圧電体層７と６層の内部電極層９とを交互に積層してなり、支持板５側の最外側に振動に寄与しない圧電体層７を有する積層体１３と、この積層体１３の支持板５と反対側に形成された表面電極層１５と、積層体１３の長手方向ｘの両端部にそれぞれ設けられた一対の外部電極１７、１９とを具備している。尚、図１は理解を容易にするため、積層型圧電素子１、３の厚みを拡大して記載した。支持板５側の最外側の圧電体層７は、言い換えれば支持板５側に表面電極層が形成されていない圧電体層７と言うことができ、さらに言い換えると不活性層ということができる（以後、積層体１３の支持板５側の最外側の圧電体層７を不活性層１１ということがある）。
【００２６】
積層体１５は板状であり、上下の主面が長方形状とされ、これらの主面は圧電体層７で形成され、積層体１５の主面の長手方向ｘには、内部電極層９が交互に引き出された一対の側面２０を有している。
【００２７】
図１の積層型圧電素子１で説明すると、積層体１５の上側の主面は圧電体層７の上面で構成され、積層体１３の下側の主面は表面電極層が形成されていない圧電体層７（不活性層１１）の下面で構成されており、積層体１５の上側の主面には、表面電極層１５が形成されている。
【００２８】
この積層型圧電素子１、３の層構成を、図１の積層型圧電素子１で詳細に説明すると、不活性層１１と、この最下層の不活性層１１の上面に形成された内部電極層９と、この内部電極層９上に形成された圧電体層７と、この圧電体層７の上面に交互に積層された前記内部電極層９、前記圧電体層７と、さらに積層体１３の最上層の圧電体層７上に形成された表面電極層１５とを具備している。
【００２９】
１層の不活性層１１と、６層の圧電体層７と、不活性層１１と、６層の内部電極層９とは積層された状態で同時焼成されて構成されている。表面電極層１５は、後述するように、積層体１３を作製した後、ペーストを塗布し焼き付けて形成されている。
【００３０】
不活性層１１の厚みは任意に設定できるが、不活性層１１の厚みが厚くなると絶縁性を向上できるものの、不活性層１１による振動抑制が大きくなるため、良好な振動を得るという点からは薄い方が望ましい。
【００３１】
また、不活性層１１は製造上容易という点からは、電極層で挟まれた活性層となる圧電体層７と同一材料で同一厚みを有することが望ましい。これは、積層成形体を作成する際には、圧電体層７と同じグリーンシートを用いて作製することができるからである。
【００３２】
積層体１３の長方形状の主面は、幅が５ｍｍ以下で、長さが１０ｍｍ以上であることが望ましい。このような積層型圧電素子では、特に、主面の長手方向ｘの変位が大きくなり、支持板５に伝達される変位量が大きくなるため、好適に用いることができる。積層体１３の長方形状の主面は、特に幅が５ｍｍ以下で、長さが１７ｍｍ以上の場合に、本発明を好適に用いることができる。
【００３３】
そして、本発明の積層型圧電素子では、積層体の一対の側面２０の一方の主面側の部分は、それぞれ一方の主面の長手方向に傾斜した、一方の主面と連続する傾斜面２０ａとされ、この傾斜面２０ａに外部電極１７、１９が形成されている。すなわち、積層体１３の側面２０は、支持板側の主面に対してほぼ垂直に形成されている垂直側面２０ｂと、この垂直側面２０ｂから連続形成された傾斜面２０ａとから構成されており、外部電極１７、１９は、傾斜面２０ａに形成されている。
【００３４】
さらに、傾斜面２０ａに連続する一方の主面には、外部電極１９が電気的に接続する表面電極層１５が形成されている。
【００３５】
圧電体層７としては、ＰＺ、ＰＺＴ、またはＢｉ層状化合物、タングステンブロンズ構造化合物等の非鉛系圧電体材料等、従来用いられている圧電セラミックスを用いることができる。圧電体層７の厚みは、低電圧駆動という観点から、１０〜１００μｍとされている。
【００３６】
内部電極層９としては、銀とパラジウムからなる金属成分と圧電体層７を構成する材料成分を含有することが望ましい。内部電極層９に圧電体層７を構成する材料成分を含有することにより、圧電体層７と内部電極層９との熱膨張差による応力を低減することができ、積層不良のない積層型圧電素子１、３を得ることができる。内部電極層９は、特に、銀とパラジウムからなる金属成分に限定されるものではなく、また、セラミック成分として、圧電体層７を構成する材料成分に限定されるものではなく、他のセラミック成分であっても良い。
【００３７】
表面電極層１５と外部電極１７、１９は、銀からなる金属成分にガラス成分を含有することが望ましい。ガラス成分を含有することにより、圧電体層７や内部電極層９と、表面電極層１５または外部電極１７、１９との間に強固な密着力を得ることができる。
【００３８】
外部電極１７、１９は積層体１３の傾斜面２０ａに形成され、外部電極１７、１９は積層体１３の傾斜面２０ａから、支持板５と反対側の積層体１３の一方の主面の長手方向ｘの両端部まで、外部電極１７、１９が延設されており、支持板５と反対側の積層体１３の一方の主面の長手方向ｘの一方端部では、外部電極１９が表面電極層１５に接続され、他方端部では、外部電極１７は、圧電体層７上に接合している。
【００３９】
外部電極１７、１９は、積層体１３の傾斜面２０ａに形成されており、積層体１３の支持板５側の他方の主面には形成されていない。尚、本発明では、外部電極１７、１９は、積層体１３の支持板５側の主面から突出しないものであればよく、積極的に形成するものではないが、積層体１３の垂直側面２０ｂの一部および主面の幅方向の側面の一部にも形成されていても良い。
【００４０】
積層型圧電素子１は、６層の内部電極層９と１層の表面電極層１５が電極層とされており、一方（左側）の外部電極１７には、積層体１３の左側の側面において３層の内部電極層９が電気的に接続され、他方（右側）の外部電極１９には、積層体１３の右側の側面において３層の内部電極層９及び表面電極層１５が電気的に接続されている。
【００４１】
積層体１３の支持板５側の他方の主面と支持板５とが底面側の接着剤層６で接合されている。積層型圧電素子１、３と支持板５との間の底面側の接着剤層６の厚みｈ１は２０μｍ以下とされている。特には、底面側の接着剤層６の厚みｈ１は１０μｍ以下であることが望ましい。このように、底面側の接着剤層６の厚みｈ１が２０μｍ以下である場合には、積層体１３の振動を支持板５に伝えやすくなるため好ましい。一方、底面側の接着剤層６の厚みを薄くしても、不活性層１１が積層体１３の最外層であり、積層体１３の支持板５側の主面には表面電極層が形成されていないため、また、外部電極１７、１９は、傾斜面２０ａに形成され不活性層１１の支持板側の面から突出していないため、外部電極１７、１９と支持板５との接触が阻止され、積層体１３と支持板５との間の絶縁性を確保できる。
【００４２】
底面側の接着剤層６を形成するための接着剤としては、エポキシ系樹脂、シリコン系樹脂、ポリエステル系樹脂等公知のものを使用することができる。接着剤に使用する樹脂の硬化方法としては、熱硬化性、光硬化性、嫌気性硬化等いずれを用いても振動体を作製することができる。
【００４３】
本発明の積層型圧電素子１、３では、外部電極１７、１９が積層体１３の側面の傾斜面２０ａに形成されており、積層体１３の表面電極層１５が形成されていない側の他方の主面から突出していないため、例えば、積層型圧電素子１、３における積層体１３の表面電極層１５が形成されていない側の主面を、支持板５に接着剤層６を介して接合した振動体を作製する場合、外部電極１７、１９の支持板５への接触を防止でき、外部電極１７、１９と本来導通してはならない導体からなる支持板５もしくは支持板５に形成された配線導体とを確実に絶縁でき、振動体の絶縁信頼性を向上できる。
【００４４】
また、積層体１３の圧電体層７の積層数が３０層以下である場合には、特には、積層体１３の厚みが７００μｍ以下である場合には、積層体の側面に外部電極を支持板側の主面に形成しないように制御して形成することが困難であるため、本発明をより好適に用いることができる。
【００４５】
尚、図３に示すように、底面側の接着剤層６だけでなく、側面側の接着剤層２１により、積層型圧電素子１、３を支持板５に接合することにより、落下時等の衝撃による積層型圧電素子１、３の支持板５からの剥離を抑制できる。
【００４６】
本発明の振動体は、外部電極１９を絶縁性の支持板５に形成された電極パターン、または導電性の支持板５そのものに導通せしめ、この外部電極１７、１９間に電圧を印加し、積層型圧電素子が駆動することになる。また、積層型圧電素子１と積層型圧電素子３とは、一方が縮み他方が延びるように電圧が印加される。これにより、図１、３に示すようなバイモルフ型の振動体は、大きく振動することになる。
【００４７】
尚、図４に、支持板５が金属または合金からなり、一方の外部電極１７と支持板５とを導通するための導体層２５を形成した振動体を示す。
【００４８】
次に、本発明の積層型圧電素子の製造方法について説明する。まず、圧電材料の粉末にバインダー、分散剤、可塑剤、溶剤を混練し、スラリーを作製する。圧電材料としては、鉛系、非鉛系のうちいずれでも使用することができる。
【００４９】
次に、得られたスラリーをシート状に成形し、グリーンシートを得ることができ、グリーンシートに内部電極ペーストを印刷して内部電極パターンを形成し、この電極パターンが形成されたグリーンシートを所望の枚数積層し、最上層にはグリーンシートのみ積層して、図５（ａ）に示すような、電極パターン６１とグリーンシート６３とが交互に積層された積層成形体６５を作製する。
【００５０】
次に、積層成形体を脱脂、焼成することにより積層体１３を得ることができる。この後、積層体１３の長さ方向の角部をカットし、図５（ｂ）に示すように、積層体１３の側面を傾斜面２ａと垂直側面２ｂとから形成する。この傾斜面２０ａは、例えば、ダイシングを用いて切断することにより形成することができる。傾斜面２０ａを形成する範囲は、圧電体層７を挟持する内部電極９が重畳する範囲以外とされ、これにより、変位に影響を与えることがない。
【００５１】
積層体１３は、必要に応じて外周部を加工し、図５（ｃ）に示すように、積層体１３の圧電体層７の積層方向の片側主面に表面電極層１５のペーストを印刷し、引き続き、積層体１３の長手方向ｘの両傾斜面２０ａに外部電極１７、１９のペーストを印刷し、所定の温度で電極の焼付けを行うことにより、図５（ｃ）に示す積層型圧電素子１、３を得ることができる。
【００５２】
本発明の積層型圧電素子の製法では、積層体１３の傾斜面２０ａに外部電極１７、１９を形成するため、例えば、薄い積層体１３に外部電極１７、１９を形成する場合であっても、外部電極１７、１９の形成可能な面積を増加でき、外部電極１７、１９の形成位置を容易に制御でき、外部電極１７、１９が積層体１３の他方の主面から突出していない積層型圧電素子１、３を容易に作製することができる。
【００５３】
すなわち、従来、主面と直角をなす側面に外部電極を形成していたため、例えば、薄い積層体の側面に外部電極を形成する場合、形成面積がごく僅かであり、外部電極の形成位置を制御することが困難であり、外部電極が主面から突出する場合があったが、本発明では、積層体１３の傾斜面２０ａを形成し、この傾斜面２０ａに外部電極１７、１９を形成するため、外部電極形成面積を増加でき、外部電極１７、１９の形成位置を容易に制御できる。
【００５４】
次に、積層型圧電素子１、３に圧電性を付与するために表面電極層１５又は外部電極１７、１９を通じて直流電圧を印加して、積層型圧電素子１、３の分極を行う。
【００５５】
次に、支持板５に接着剤を塗布して、その支持板５上に積層型圧電素子１、３の表面電極層が形成されていない他方の主面を押し当て、この後、接着剤を熱や紫外線を照射することにより硬化させ、本発明の振動体を得ることができる。
【００５６】
表面電極層１５および外部電極１７、１９を形成するためのペーストは、図５（ｄ）に示すように、積層体１３の傾斜面２０ａから主面にかけてローラＲを用いて連続して塗布することもでき、外部電極１７、１９と表面電極層１５とを同時に形成することも可能となる。
【００５７】
本発明の振動体では、支持板５と不活性層１１との間の導通を考慮する必要がないので、接着剤層６の厚みを薄くでき、支持板５と不活性層１１との間の接着剤層６の厚みを薄くできるため、接着剤層６での変位吸収が少なくなり、積層型圧電素子１、３による変位を、支持板５に効果的に作用せしめることができ、従来よりも変位量を向上できる。また、外部電極１７、１９は、積層体１３の支持板５側の主面には形成されていないため、従来のように、積層型圧電素子１、３を接着剤層６で支持板５に接合する際にも、積層型圧電素子１、３に無理な力が作用せず、クラック発生を抑制することができる。
【００５８】
また、本発明の振動体では、積層型圧電素子１、３は、外部電極１７、１９が積層体１３の傾斜面２０ａに形成されており、積層体１３の表面電極層１５が形成されていない側の主面から突出していないため、積層型圧電素子１、３における積層体１３の表面電極層１５が形成されていない側の主面を、支持板５に接着剤層６を介して接合した振動体では、外部電極１７、１９と支持板５との接触を防止でき、外部電極１７、１９と、この外部電極１７、１９と本来導通してはならない導体からなる支持板５もしくは支持板５に形成された配線導体とを確実に絶縁でき、振動体の絶縁信頼性を向上できる。
（第２形態）
図１に示したように、積層体１３の主面の長さが長くなればなるほど、言い換えれば、積層体１３の長さが長くなればなるほど、内部電極層９の主面の長手方向ｘの収縮量が大きくなり、積層体１３の側面から内部電極層９の先端の凹み量が大きくなるため、通常は、焼成した後、カットして内部電極層９を積層体１３の側面に露出させ、この側面に外部電極１７、１９を形成し、接続信頼性を図ることが行われているが、本発明では、焼成後にカットすることなく、外部電極１７、１９の積層体１３側面への接合強度を向上するため、積層体１３の側面を焼き肌面とすることが望ましい。
【００５９】
この形態について、説明する。この形態の振動体では、図６に示すように、積層体１３の支持板５側の主面と支持板５とが底面側の接着剤層６で接合され、かつ外部電極１７、１９の露出面の一部と支持板５とが側面側の接着剤層２１で接合されている。言い換えれば、側面側の接着剤層２１は、外部電極１７、１９の露出面の一部に付着し、裾が広がるようにして支持板５の表面にも付着している。
【００６０】
側面側の接着剤層２１は、底面側の接着剤層６と連続しており、本発明では、不活性層１１と支持板５との間の接着剤層を底面側の接着剤層６とし、それよりも外側に位置する接着剤層を側面側の接着剤層２１と定義した。
【００６１】
そして、この形態では、積層体１３の一対の側面が焼き肌面とされている。従って、積層体１３の主面の長手方向ｘの側面は圧電体層７を構成するセラミック粒子による形状が反映され、図６（ｂ）に示すように、セラミック粒子により凹凸が形成されている。また、内部電極層９の焼成収縮により、積層体１３の傾斜面２０ａには開口部が形成されており、セラミック粒子による凹凸が形成されている。また、内部電極層９の焼成収縮による開口部を有する傾斜面２０ａに、外部電極１７、１９の電極ペーストを塗布して外部電極１７、１９を形成することにより、セラミック粒子による凹凸に外部電極材料が噛み込み、また開口部に外部電極材料が入り込み、この状態で焼き付き、積層体１３の傾斜面２０ａへの外部電極１７、１９の接合強度を向上することができる。
【００６２】
特に、外部電極１７、１９の支持板５側は、積層体１３の支持板５側の主面には形成されておらず、積層体１３への外部電極１７、１９の接合強度が低下し易いため、この形態を好適に用いることができる。また、焼結後、積層体１３の傾斜面２０ａを平坦にする等の加工をしないため、加工費用を削減でき、作製コストを削減できる。
【００６３】
ここで、焼き肌面とは、焼結後、ダイシングやバレルなどの積層体１３の側面を平坦にする等の加工をせず、焼結後そのままの磁器表面を有することをいう。
【００６４】
次に、上記振動体の製造方法について説明する。第１形態のようにして積層成形体を作製する。この積層成形体を所望の形状に、傾斜面を形成するように切断し、個片状の素子用積層成形体を作製する。切断する際は、内部電極パターンが積層成形体の傾斜面２０ａに、交互に露出するように切断する。
【００６５】
次に、この積層成形体を脱脂、焼成することにより積層体１３を得ることができる。焼成後、積層体１３の外部電極１７、１９が形成される傾斜面２０ａは、何ら加工されないため、圧電体層７の側面は、圧電体層７を構成するセラミック粒子により凹凸が形成されている。また、内部電極層９は圧電体層７に比べ焼結収縮が大きいため、外部電極１７、１９と接続されるはずの内部電極層９の先端は、積層体１３の傾斜面２０ａから少々凹んで存在しており、言い換えると、積層体１３の傾斜面には、内部電極層９の収縮による開口部が形成されている。
【００６６】
この後、積層体１３の圧電体層７の積層方向の主面に表面電極層１５のペーストを印刷し、引き続き、積層体１３の長手方向ｘの両側面に外部電極１７、１９のペーストを印刷し、所定の温度で電極の焼付けを行うことにより、図６に示す積層型圧電素子１、３を得ることができる。外部電極１７、１９のペーストを傾斜面２０ａに印刷、焼き付けすることにより、上記積層体１３の側面に形成された開口部には外部電極１７、１９のペーストが入り込み、内部電極層９に外部電極１７、１９が接続されることになる。尚、積層体１３の長さが長く、内部電極層９の焼成収縮量が大きく、開口部が長い場合には、真空引きすることにより、開口部に外部電極１７、１９のペーストを入り易くし、内部電極層９と外部電極１７、１９との接続を確実に行うことができる。
【００６７】
尚、図１〜図６では、積層体の側面が傾斜面２０ａと垂直側面２０ｂを有する場合について説明したが、本発明では、図７に示すように、積層体１３の側面が垂直側面を有しない、傾斜面２０ａだけで形成されたほぼ台形状とされていても、上記と同様に効果を得ることができる。
【実施例１】
【００６８】
Ｚｒの一部をＳｂで置換したチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含有する圧電粉末と、バインダーと、分散剤と、可塑剤と、溶剤とをボールミル混合により２４時間混練してスラリーを作製した。
【００６９】
得られたスラリーを用いてドクターブレード法によりグリーンシートを作製した。このグリーンシートに電極材料としてＡｇおよびＰｄを含有する電極ペーストをスクリーン印刷法により所定形状に塗布し、該電極ペーストが塗布されたグリーンシートを１２層積層し、最上層には電極ペーストが塗布されていないグリーンシートを１層重ね合わせて加圧し、積層成形体を作製した。そして、この積層成形体を５００℃、１時間、大気中で脱脂し、その後、１１００℃、３時間、大気中で焼成し、積層体を得た。
【００７０】
次に、得られた積層体の長手方向ｘの両側面をダイシング加工により斜めにカットし、傾斜面と垂直側面を形成し、内部電極層の先端を積層体の傾斜面に露出させ、積層体の片側主面に表面電極層を形成すべく、電極材料としてＡｇとガラスを含有する電極ペーストを、積層体の主面の片側にスクリーン印刷法により塗布し、その後、長手方向ｘの両側面の傾斜面に、外部電極材料としてＡｇとガラスを含有する電極ペーストを塗布し、７００℃、１０分、大気中で焼き付け、図１に示すような積層型圧電素子を作製した。
【００７１】
作製された積層体の支持板側の主面の寸法は幅３．５ｍｍ、長さ２６ｍｍであり、圧電体層の厚みは３０μｍ、内部電極層の厚みは３μｍであった。不活性層は圧電体層と同一材料からなり、その厚みは、圧電体層の厚みと同様３０μｍであった。積層体全体の厚みは、約４４０μｍであった。
【００７２】
次に、積層型圧電素子の外部電極を通して内部電極層間及び内部電極層と表面電極間に１００Ｖ、２分間電圧を印加し分極を行った。
【００７３】
次に、厚み０．２ｍｍの４２アロイ（合金製）の支持板を準備し、支持板の片側主面に熱硬化型のエポキシ樹脂からなる接着剤を塗布し、接着剤を塗布した支持板の部分に積層型圧電素子を押し付け、１２０℃、１時間、空気中で接着剤を硬化させ、厚さ５μｍの底面側の接着剤層を形成した。さらに外部電極の表面に導体層を形成し支持板と電気的に接合し、一つの積層型圧電素子だけ支持板に接合した、ユニモルフ型の振動体を１０個作製した。
【００７４】
作製されたユニモルフ型振動体１０個について、支持板と積層型圧電素子の外部電極間の絶縁抵抗を測定したところ、１０個とも１ＧΩ以上であり、全て絶縁性が良好であった。また、作製されたユニモルフ型振動体について、振動体に外部電極を介して５Ｖの電圧を印加して変位させ、その変位量をレーザー変位計で測定したところ、１８．２〜１８．８μｍであった。
【００７５】
比較例として、電極ペーストが塗布されたグリーンシートを１２層積層し、最上層には電極ペーストが塗布されていないグリーンシートを１層重ね合わせて加圧し、積層成形体を作製し、上記と同様にして焼成した後、カットして積層体を作製した。この積層体の両主面に表面電極層を形成した積層型圧電素子を形成し、この積層型圧電素子を、厚さ２５μｍの底面側の接着剤層で支持板に接合した、図８に示すような振動体を１０個作製した。
作製されたユニモルフ型振動体１０個について、支持板と積層型圧電素子の外部電極間の絶縁抵抗を測定したところ、１０個中１個が１０ＭΩ以下であり、絶縁性が低いものであった。また、本発明品と同様、変位量を測定したところ、１７．３〜１７．９μｍであった。
【実施例２】
【００７６】
上記実施例１と同様に、電極ペーストが塗布されたグリーンシートを１２層積層し、最上層には電極ペーストが塗布されていないグリーンシートを１層重ね合わせて加圧し、積層成形体を作製した。この積層成形体を、長手方向の側面が傾斜面と垂直側面とで構成され、傾斜面に内部電極層の電極パターンが一層おきに露出するように所定形状に切断して、積層成形体を作製した。
【００７７】
そして、これらの積層成形体を５００℃、１時間、大気中で脱脂し、その後、１１００℃、３時間、大気中で焼成し、積層体を得た。
【００７８】
次に、積層体の片側主面に表面電極層を形成すべく、電極材料としてＡｇとガラスを含有する電極ペーストを、積層体の主面にスクリーン印刷法により塗布し、その後、長手方向ｘの両側面の傾斜面に、外部電極材料としてＡｇとガラスを含有する電極ペーストを塗布し、７００℃、１０分、大気中で焼き付け、図６に示すような、積層型圧電素子を作製した。
【００７９】
作製された積層体の支持板側の主面の寸法は幅３．５ｍｍ、長さ２６ｍｍであり、圧電体層の厚みは３０μｍ、内部電極層９の厚みは３μｍであった。不活性層は圧電体層と同一材料からなり、その厚みは、圧電体層の厚みと同様３０μｍであった。積層体全体の厚みは、約４４０μｍであった。
【００８０】
次に、積層型圧電素子の外部電極を通して内部電極層間及び内部電極層と表面電極間に１００Ｖ、２分間電圧を印加し分極を行った。
【００８１】
次に、厚み０．２ｍｍの４２アロイ（合金製）の支持板を準備し、支持板の片側主面に熱硬化型のエポキシ樹脂からなる接着剤を塗布し、接着剤を塗布した支持板の部分に積層型圧電素子を押し付け、１２０℃、１時間、空気中で接着剤を硬化させ、厚さ５μｍの底面側の接着剤層を形成した。さらに外部電極の表面に導体層を形成し支持板と電気的に接合し、一つの積層型圧電素子だけ支持板に接合した、ユニモルフ型の振動体を１０個作製した。
【００８２】
積層体の側面部を観察したところ、図６（ｂ）に示すように、圧電体層の側面の形状が圧電材料の粒子形状を反映した凹凸形状であった。また、内部電極層が積層体の側面まで到達しておらず、外部電極が内部電極層の開口部に入り込んだ状態であった。
【００８３】
これについても、支持板と積層型圧電素子の外部電極間の絶縁抵抗を測定したところ、１０個とも１ＧΩ以上であり、全て絶縁性が良好であった。また、変位量を測定したところ、変位量は１８．５〜１９μｍであった。
【符号の説明】
【００８４】
１、３・・・積層型圧電素子
５・・・支持板
６・・・底面側の接着剤層
７・・・圧電体層
９・・・内部電極層
１１・・・不活性層
１３・・・積層体
１５・・・表面電極層
１７、１９・・・外部電極
２０・・・側面
２０ａ・・・傾斜面
２０ｂ・・・垂直側面
ｘ・・・主面の長手方向
【図１】
2010199272.tif 000003
【図２】
2010199272.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010199272.tif 000006
【図５】
2010199272.tif 000007
【図６】
2010199272.tif 000008
【図７】
2010199272.tif 000009
【図８】
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