(57)【要約】【課題】レーザ発振器の励起が安定したことを簡単な構造で簡単に判別することができるレーザ発振器の励起状態判定方法、レーザ発振器及びレーザ加工装置を提供する。【解決手段】温度検出センサ２５を筐体９に取着する。制御装置２７は、電源投入時点からその時々の筐体９の筐体温度を検出し、その筐体温度の温度変化量を求めた。制御装置２７は、その温度変化量が予め定めた基準値以下になった時、レーザ発振器８の励起が安定したと判定する【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体ケース内に収容されるレーザ発振器の筐体に取着され、筐体温度を検出する温度検出センサと、
前記レーザ発振器の電源投入時点から、前記温度検出センサからの検出信号に基づいて、前記レーザ発振器の前記筐体温度の温度変化量を演算する温度変化量演算手段と、
前記温度変化量演算手段が演算した前記筐体温度の温度変化量と予め定めた基準値とを比較し、前記筐体温度の温度変化量が予め定めた基準値以下に到達した時、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定する励起判定手段と
を備えたことを特徴とするレーザ発振器。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ発振器において、
前記励起判定手段は、前記筐体温度の温度変化量が、予め定めた基準値以下となる時間が予め定めた時間継続した時、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定することを特徴とするレーザ発振器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のレーザ発振器において、
前記レーザ発振器の励起が安定したことを報知する報知手段と、
前記励起判定手段が、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定したとき、前記報知手段を駆動させる駆動制御手段と
を備えたことを特徴とするレーザ発振器。
【請求項４】
励起光にて励起されてレーザを生成し、該レーザを加工対象物に出射するレーザ発振器を備えたレーザ加工装置であって、
前記レーザ発振器の励起が安定したことを報知する報知手段と、
前記レーザ発振器の筐体に取着され、筐体温度を検出する温度検出センサと、
前記温度検出センサからの検出信号に基づいて、前記レーザ発振器の電源投入時点から、前記レーザ発振器の前記筐体温度の温度変化量を演算する温度変化量演算手段と、
前記温度変化量演算手段が演算した前記筐体温度の温度変化量と予め定めた基準値とを比較し、前記筐体温度の温度変化量が予め定めた基準値以下に到達した時、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定する励起判定手段と、
前記励起判定手段が、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定したとき、前記報知手段を駆動させる駆動制御手段と
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項５】
少なくとも本体ケース内に収容される励起中のレーザ発振器の筐体温度を検出し、前記筐体温度の温度変化量が予め定めた基準値以下に到達したとき、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定することを特徴とするレーザ発振器の励起状態判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ発振器の励起状態判定方法、レーザ発振器及びレーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光は、その性質上、高エネルギーを得ることができることから、そのレーザ発振器は加工、医療、計測等、各分野で利用されている。例えば、レーザ加工分野においては、レーザ発振器から出射されたレーザ光を加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置がある。そのレーザ加工機の１つとしてのレーザマーキング装置は、金属、樹脂、セラミック、半導体装置、紙等の多種多様の加工物対象の表面に、レーザを照射して多種多様の文字、記号、模様、図形等のマーキングを行う。このレーザマーキング装置においても、より広い範囲で精度の高いマーキングを行うことができるとしてＳＨＧ（second harmonic generation）レーザ発振器を使ったマーキング装置が注目されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
ところで、レーザマーキング装置は、電源スイッチを操作して立ち上げた後、レーザ発振器の励起状態が安定するまでレーザ出力は低く不安定なためにマーキング濃度のムラが生じることから、予めメーカの推奨する時間だけ待機するようになっている。そして、励起が安定すると、レーザ出力が所望の出力に安定するため、スタートスイッチを操作してレーザ光を加工対象物に照射すれば、マーキング濃度のムラのない均一なマーキング加工が開始される。
【特許文献１】特開平１１−３０７８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、レーザマーキング装置は、電源を立ち上げて励起状態が安定するまでの時間が一様でなかった。そこで、どんな条件下においても、不安定な出力の小さいレーザを照射してムラのあるマーキングを未然に防止するために、事前に余裕を持たせてレーザ発振器の励起が安定するに十分な長い時間を待機時間としてユーザに推奨し、確実な作業を補償するようにしていた。従って、ユーザは、電源投入しても、この推奨する待機時間が経過するまでは、マーキング作業を開始することはできなかった。
【０００５】
ところで、レーザ発振器の励起が安定するのに要する時間は、前記したように一様でなく、レーザ発振器のその時々の使用環境によって変動する。従って、マーキング加工の確実性を補償するために設定した長時間の待機時間より早い時間に励起が安定する場合が多々ある。その結果、既にレーザ発振器の励起が安定したにも拘わらず推奨された待機時間経過しなければ、マーキング作業を開始できないとして作業効率を図る上で非常に不都合であった。
【０００６】
このことは、加工分野以外の医療、計測等の各分野で利用されるレーザ発振器においても同様な問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、レーザ発振器の励起が安定したことを簡単な構造で簡単に判別することができるレーザ発振器の励起状態判定方法、レーザ発振器及びレーザ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、本体ケース内に収容されるレーザ発振器の筐体に取着され、筐体温度を検出する温度検出センサと、前記レーザ発振器の電源投入時点から、前記温度検出センサからの検出信号に基づいて、前記レーザ発振器の前記筐体温度の温度変化量を演算する温度変化量演算手段と、前記温度変化量演算手段が演算した前記筐体温度の温度変化量と予め定めた基準値とを比較し、前記筐体温度の温度変化量が予め定めた基準値以下に到達した時、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定する励起判定手段とを備えたレーザ発振器。
【０００８】
請求項１の発明によれば、レーザ発振器の励起状態が安定したことを、筐体温度の推移を検出するだけで、簡単に判定することができる。
請求項２に記載の発明は、請求項２に記載のレーザ発振器において、前記励起判定手段は、前記筐体温度の温度変化量が、予め定めた基準値以下となる時間が予め定めた時間継続した時、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定する。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、より精度の高い判定をすることができる。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のレーザ発振器において、前記レーザ発振器の励起が安定したことを報知する報知手段と、前記励起判定手段が、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定したとき、前記報知手段を駆動させる駆動制御手段とを備えた。
【００１０】
請求項３の発明によれば、ユーザはレーザ発振器の励起状態が安定したことを報知手段の報知にて知ることができ、次の作業工程に効率よく進めることができる。
請求項４に記載の発明は、励起光にて励起されてレーザを生成し、該レーザを加工対象物に出射するレーザ発振器を備えたレーザ加工装置であって、前記レーザ発振器の励起が安定したことを報知する報知手段と、前記レーザ発振器の筐体に取着され、筐体温度を検出する温度検出センサと、前記温度検出センサからの検出信号に基づいて、前記レーザ発振器の電源投入時点から、前記レーザ発振器の前記筐体温度の温度変化量を演算する温度変化量演算手段と、前記温度変化量演算手段が演算した前記筐体温度の温度変化量と予め定めた基準値とを比較し、前記筐体温度の温度変化量が予め定めた基準値以下に到達した時、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定する励起判定手段と、前記励起判定手段が、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定したとき、前記報知手段を駆動させる駆動制御手段とを備えた。
【００１１】
請求項４の発明によれば、レーザ加工機に備えたレーザ発振器の励起状態が安定したことを、筐体温度を推移検出するだけで、簡単に判定することができるとともに、ユーザはレーザ発振器の励起状態が安定したことを報知手段の報知にて知ることができ、次の作業工程に効率よく進めることができる。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、少なくとも本体ケース内に収容される励起中のレーザ発振器の筐体温度を検出し、前記筐体温度の温度変化量が予め定めた基準値以下に到達したとき、前記レーザ発振器の励起が安定したと判定するレーザ発振器の励起状態判定方法。
【００１３】
請求項５の発明によれば、レーザ発振器の励起状態が安定したことを、筐体温度の推移を検出するだけで、簡単に判定することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、レーザ発振器の励起が安定したことを簡単な構造で簡単に判別することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化したレーザマーキング装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、本実施形態のレーザ加工機としてのレーザマーキング装置１は、略直方体形状の本体ケースとしてのボディーハウジング２を有し、そのボディーハウジング２の基端側を本体部２ａとし、本体部２ａから先端側に延出した部分をヘッド部２ｂとしている。
【００１６】
ボディーハウジング２のヘッド部２ｂの下方には、搬送ベルトＢが配置されている。搬送ベルトＢは、ボディーハウジング２の長手方向（Ｘ方向）と直交して交差する方向（Ｙ方向）に敷設されている。そして、搬送ベルトＢの搬送面Ｂｓとボディーハウジング２の底面３とが平行となるように設定されている。
【００１７】
搬送ベルトＢは、加工対象物Ｗを載置し、Ｙ方向に搬送する。そして、搬送ベルトＢに載置された加工対象物Ｗが、ボディーハウジング２のヘッド部２ｂの直下に搬送された時、ボディーハウジング２の底面３に設けた窓４から出射するＸ方向及びＹ方向に２次元的に走査されたレーザ光が加工対象物Ｗの加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに照射される。これによって、加工対象物Ｗの加工面Ｗｓに、多種多様な文字、記号、図形等がマーキングされる。
【００１８】
図２は、ボディーハウジング２にケーシングされたレーザマーキング装置１の概略構成図を示す。図２において、ボディーハウジング２には、レーザ発振器８が配置されている。そのレーザ発振器８の筐体９には、励起光発生装置１０、光学レンズ系１２、固体レーザ結晶体１４、非線形光学結晶体１５及び出力ミラー１６が配置構成されている。
【００１９】
励起光発生装置１０は、本実施形態では励起光を出射する半導体レーザ１１を備えている。該半導体レーザ１１から出射された励起光は、光学レンズ系１２を介して集光されて固体レーザ結晶体１４に入射される。
【００２０】
固体レーザ結晶体１４は、光学レンズ系１２側に配置され集光された励起光を入射し、該励起光にて励起され固体レーザ結晶体１４内でレーザ基本波を発生する。固体レーザ結晶体１４の光学レンズ系１２側の面（励起光入射面）１４ａは、第１反射膜が形成されている。第１反射膜は、前記励起光の波長に対しては高い透過率を有し、固体レーザ結晶体１４内で発生したレーザ基本波に対しては高い反射率を有している。
【００２１】
従って、固体レーザ結晶体１４内で発生したレーザ基本波は、励起光入射面１４ａと反対側の面（出射面）から出射する。
固体レーザ結晶体１４の出射面に隣接した位置には、非線形光学結晶体１５が配置されている。非線形光学結晶体１５は、固体レーザ結晶体１４からのレーザ基本波を入射し、レーザ基本波の波長を変換し、固体レーザ結晶体１４と反対側に配置された出力ミラー１６に出射する。
【００２２】
出力ミラー１６の非線形光学結晶体１５側の面１６ａは、第２反射膜が形成されている。第２反射膜は、前記非線形光学結晶体１５で波長変換されたレーザ光の波長に対しては高い透過率を有し、固体レーザ結晶体１４内で発生したレーザ基本波に対しては高い反射率を有している。
【００２３】
そして、第１反射膜と第２反射膜との間で、光共振器が構成される。詳述すると、半導体レーザ１１（励起光発生装置１０）から出射された励起光にて、固体レーザ結晶体１４を励起させることによって、光共振器内で、１０６４ナノメートルの波長のレーザ発振が起こり、さらに、非線形光学結晶体１５によって５３２ナノメートルの波長のレーザ光に変換され、その波長が５３２ナノメートルに変換されたレーザ光の一部が出力ミラー１６から出射される。
【００２４】
つまり、レーザ発振器８は、固体レーザ結晶体１４で発生した波長が１０６４ナノメートルのレーザ光を、波長が５３２ナノメートルのレーザ光に変換して出射する、いわゆるＳＨＧ（second harmonic generation）レーザ発振器である。
【００２５】
出力ミラー１６から出射されたレーザ光は、ビームエキスパンダ２１に出射される。ビームエキスパンダ２１は、レーザ光を入射する入射レンズ２１ａと、入射レンズ２１ａを通過したレーザ光を走査部２２に出射する出射レンズ２１ｂを備えている。ビームエキスパンダ２１は、入射レンズ２１ａと出射レンズ２１ｂとの相対距離を変化させることができるようになっている。
【００２６】
ビームエキスパンダ２１は、入射レンズ２１ａと出射レンズ２１ｂとの相対距離を変化させることで、走査部２２及び窓４を介して加工対象物Ｗへ集光されるレーザ光の焦点位置を、光軸方向に移動させるようになっている。
【００２７】
ビームエキスパンダ２１を通過したレーザ光は走査部２２に出射される。走査部２２は、Ｘ軸ガルバノミラー２２ａ及びＹ軸ガルバノミラー２２ｂを備えている。
Ｘ軸ガルバノミラー２２ａは、回動して、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光を、加工対象物Ｗに対して、搬送方向（Ｙ方向）と直交するＸ方向に走査させるミラーである。Ｘ軸ガルバノミラー２２ａは、図示しないＸ軸ガルバノモータの回転軸に固着され、Ｘ軸ガルバノモータの駆動により回動されて、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光を、加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに対してＸ方向に走査させる。
【００２８】
Ｙ軸ガルバノミラー２２ｂは、回動して、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光を、加工対象物Ｗに対して、搬送方向（Ｙ方向）に走査させるミラーである。Ｙ軸ガルバノミラー２２ｂは、図示しないＹ軸ガルバノモータの回転軸に固着され、Ｙ軸ガルバノモータの駆動により回動されて、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光を、加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに対してＹ方向に走査させる。
【００２９】
従って、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光は、Ｘ軸ガルバノミラー２２ａ及びＹ軸ガルバノミラー２２ｂにより、加工対象物Ｗの加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに対して、Ｘ方向及びＹ方向に走査される。
【００３０】
走査部２２のＸ軸ガルバノミラー２２ａ及びＹ軸ガルバノミラー２２ｂにてＸ及びＹ方向に走査されたレーザ光は、底面３に設けた保護ガラスよりなる窓４を介して集光されて加工対象物Ｗの加工面Ｗｓに照射される。そして、加工対象物の加工面Ｗｓに照射されたレーザ光により、多種多様な文字、記号、図形等がマーキングされる。
【００３１】
前記レーザ発振器８の筐体９の外側面には、温度検出センサ２５が設けられている。温度検出センサ２５は、本実施形態では、熱電対で形成され、筐体９のその時々の温度（筐体温度Ｔn）を検出信号として出力する。
【００３２】
また、ボディーハウジング２の外側面には、報知手段としての待機時間終了ランプ２６が設けられている。待機時間終了ランプ２６は、レーザ発振器８が半導体レーザ１１から出射された励起光により、励起され該レーザ発振器８の励起状態が安定したことを点灯して知らせるためのランプである。
【００３３】
温度変化量演算手段、励起判定手段及び駆動制御手段としての制御装置２７は、中央処理装置（ＣＰＵ）及び記憶装置（ＲＯＭ及びＲＡＭ）を備え、記憶装置に記憶した制御プログラム及びアプリケーションプログラムに従って、レーザ発振器８、ビームエキスパンダ２１及び走査部２２等、をそれぞれ駆動制御する。
【００３４】
制御装置２７は、図示しない入力装置から入力した電源スイッチに基づいて立ち上がると、起動信号をレーザ発振器８に出力する。レーザ発振器８はこの起動信号に応答して駆動して、励起光発生装置１０を介して半導体レーザ１１を駆動させ励起光を出射させる。従って、半導体レーザ１１の励起光の出射により、レーザ発振器８は励起される。
【００３５】
一方、制御装置２７は、温度検出センサ２５からの検出信号を入力しその時々の筐体９の温度（筐体温度Ｔn）を検出する。
制御装置２７は、電源投入時点から一定の時間毎に、温度検出センサ２５からの検出信号を入力し、筐体温度Ｔnの推移をＲＡＭに記憶する。そして、新しい筐体温度Ｔnを検出する毎に、先に検出した筐体温度Ｔn-1とで、筐体９の筐体温度Ｔnの変動値ΔＴn（＝Ｔn−Ｔn-1）を求め、その求めた変動値ΔＴn（＝Ｔn−Ｔn-1）と１つ前に求めた変動値ΔＴn-1（＝Ｔn-1−Ｔn-2）と比較する。そして、制御装置２７は、新たに求めた変動値ΔＴn（＝Ｔn−Ｔn-1）と１つ前に求めた変動値ΔＴn-1（＝Ｔn-1−Ｔn-2）から演算した筐体温度Ｔnの温度変化量ΔＴａ（＝ΔＴn−ΔＴn-1）が予め定めた基準値ΔＴｋ以下になったかどうか演算する。
【００３６】
この予め定めた基準値ΔＴkは、電源スイッチに基づいてレーザマーキング装置１に電源が投入され、レーザ発振器８が励起されその励起が安定したか否かを判定するための指標する値である。詳述すると、本出願人（本発明者）は、筐体９の筐体温度Ｔnが、レーザ発振器８の励起状態に大きく左右するものと考え、その関係で検証を試みた。その結果、筐体９の筐体温度Ｔnが、レーザ発振器８の励起が安定したかどうかについて一定の関係を有していることを見出した。
【００３７】
図３は、電源投入時の筐体温度Ｔ0に対するその時々の筐体温度Ｔnの変動値ΔＴ（＝Ｔn−Ｔ0）の推移（温度変動曲線Ｌｔ）と、電源投入１０ミリ秒後のレーザ発振器８のレーザ出力に対するその時々のレーザ発振器８のレーザ出力の変化率ΔＰ（％）の推移（出力変動曲線Ｌｐ）を示す。
【００３８】
図３から明らかなように、時間ｔ１経過すると、筐体温度Ｔnの変動値ΔＴが一定（すなわち、温度変化量ΔＴａが小さくなる（ΔＴが−２．５℃前後））につれて、レーザ出力の変動（出力変化率ΔＰ（±０．５〜１．０％の範囲））が小さくなりレーザ発振器８の励起が安定することがわかった。
【００３９】
また、周囲の温度を変えて行っても、同様に、筐体温度Ｔnの変動（温度変化量ΔＴａ）が小さくなるにつれて、レーザ出力の変動（出力変化）が小さくかつ一定になりレーザ発振器８の励起が安定することがわかった。
【００４０】
これは、筐体９の外側と筐体９の内側との熱収支バランスが平衡に保たれたことにより、レーザ発振器８は外と内との温度差による熱変動が収束する。レーザ発振器８に備えた固体レーザ結晶体１４や、非線形光学結晶体１５等がこの熱変動の影響が小さくなって、励起が安定すると考えられる。
【００４１】
そこで、レーザ発振器８の励起が安定する領域になるのに、筐体温度Ｔnの変動（温度変化量ΔＴａ）がどのくらい小さくなるかを、試験、実験等で求めた。そして、その求めた筐体温度Ｔnの変動（温度変化量ΔＴａ）を、本実施形態では、予め定めた基準値ΔＴｋとしている。
【００４２】
制御装置２７は、その時々の筐体温度Ｔnの温度変化量ΔＴａ（＝ΔＴn−ΔＴn-1）を求め、その温度変化量ΔＴａが基準値ΔＴｋ以下になると、レーザ発振器８の励起が安定したと判定して、待機時間終了ランプ２６を点灯する。
【００４３】
そして、待機時間終了ランプ２６の点灯を見て、ユーザがレーザ発振器８の励起が安定したと判断して加工開始スイッチを操作すると、レーザマーキング装置１は、レーザを加工対象物Ｗに照射しマーキング加工を開始する。
【００４４】
従って、ユーザは、安全を見越して、一方的に決められた固定の待機時間に縛られることなく、理にかなった最適な時間に、マーキング加工が実行できる。
以上、本実施形態によれば、以下のような作用・効果を得ることができる。
【００４５】
（１）本実施形態によれば、レーザ発振器８の励起が安定したことを、筐体９の温度（筐体温度Ｔn）に依存することを見出し、筐体９の筐体温度Ｔnを検出し、その筐体温度Ｔnの温度変化量ΔＴａを求めた。そして、その温度変化量ΔＴａが基準値ΔＴｋ以下になった時、レーザ発振器８の励起が安定したと判定するようにした。従って、ユーザは、一方的に決められた固定の待機時間に縛られることなく、理にかなった最適な時間に、マーキング加工を開始することができる。
【００４６】
（２）本実施形態によれば、筐体温度Ｔnの温度変化量ΔＴａを求め、その温度変化量ΔＴａに基づいてレーザ発振器８の励起が安定したかどうか判定するようにした。つまり、温度変化量ΔＴａは、レーザマーキング装置１が設置され使用されている環境温度の相違に依存しない。従って、レーザマーキング装置１が設置され使用されている環境温度が相違していても、確実にレーザ発振器８の励起が安定したことを判定することができる。
【００４７】
（３）本実施形態によれば、温度検出センサ２５を筐体９に取着するだけの簡単な構成で、レーザ発振器８の励起が安定したことを検出することができる。
（４）本実施形態によれば、レーザ発振器８の励起が安定したことを待機時間終了ランプ２６の点灯で報知するようにしたので、ユーザは、マーキング加工作業を効率よく進めることができる。
【００４８】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、制御装置２７は温度変化量ΔＴａが基準値ΔＴｋ以下になった時、レーザ発振器８の励起が安定したと判定するようにした。これを、温度変化量ΔＴａが基準値ΔＴｋ以下（ΔＴが絶対値で０．５〜１．５℃の範囲に収束）となる時間が予め定めた時間継続した時、レーザ発振器８の励起が安定したと判定するようにしてもよい。このようにすれば、より精度の高い判定をすることができる。
【００４９】
・上記実施形態では、報知手段として待機時間終了ランプ２６を用いたが、ブザーやスピーカ等を用いて音や音声でユーザに知らせるようにして実施してもよい。
・上記実施形態では、温度検出センサ２５を筐体９の外側面に取着したが、筐体９の内側面に取着してもよい。
【００５０】
・上記実施形態では、温度検出センサ２５を１つ筐体９に取着したが、筐体９に複数個取着してもよい。そして、例えば、複数個の温度検出センサから検出した各箇所の筐体温度から平均値を求め、その平均値を筐体温度としてレーザ発振器８の励起が安定したことを判定に使用してもよい。
【００５１】
・上記実施形態では、レーザ発振器８がＳＨＧレーザ発振器を用いたレーザマーキング装置１に具体化したが、それ以外のレーザ発振器を用いたレーザマーキング装置に応用してもよい。
【００５２】
・上記実施形態では、レーザマーキング装置１という加工分野のレーザ発振器８に具体化したが、加工分野以外の医療、計測等のその他の分野で利用されるレーザ発振器に応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】レーザマーキング装置を上方から見た斜視図。
【図２】レーザマーキング装置の概略構成図。
【図３】電源投入時の筐体温度に対するその時々の筐体温度の変動値の推移を示す温度変動曲線と、電源投入１０ミリ秒後のレーザ発振器のレーザ出力に対するその時々のレーザ発振器のレーザ出力の変化率の推移を示す出力変動曲線を示す図。
【符号の説明】
【００５４】
１…レーザマーキング装置、８…レーザ発振器、９…筐体、１０…励起光発生装置、１１…半導体レーザ、１２…光学系、１４…固体レーザ結晶体、１５…非線形光学結晶体、１６…出力ミラー、２１…ビームエキスパンダ、２２…走査部、２５…温度検出センサ、２６…待機時間終了ランプ、２７…制御装置、Ｂ…搬送ベルト、Ｗ…加工対象物、Ｗｓ…加工面、Ｚ…マーキング領域。
【図１】
2010109289.tif 000003
【図２】
2010109289.tif 000004
【図３】
2010109289.tif 000005