(57)【要約】【課題】高周波領域まで良好な特性を有し、必要な抵抗体の種類が少ない設計が容易な感温減衰器を提供する。【解決手段】入力信号電極００９又は出力信号電極０１０のいずれか一方に接し、第１シート抵抗値τ１の抵抗が分布する第１抵抗膜００４と、他方の電極と接し、残りの長さを有し、第１抵抗膜００４の幅と同じ幅を有し、第２シート抵抗値τ２の抵抗が分布する第２抵抗膜００７と、第１抵抗膜００４とアースパターン０１１に電気的に接続され、第３シート抵抗値τ３の抵抗が分布する第３抵抗膜００５と、第２抵抗膜００７とアースパターン０１１に電気的に接続され、第４シート抵抗値τ４の抵抗が分布する第４抵抗膜００８とを備え、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５で構成される第１減衰部００３における減衰量の温度係数がγ１であり、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８で構成される第２減衰部００６における減衰量の温度係数がγ２である。【選択図】図１
2010109690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定距離（Ｌ）離れて配置された入力信号電極と出力信号電極と、
前記入力信号電極又は前記出力信号電極のいずれか一方の電極に接し、前記所定距離より短い所定長（ａＬ，０＜ａ＜１）を有し、第１シート抵抗値τ１（Ω／□）の抵抗が分布する第１抵抗膜と、
他方の前記電極と接し、前記所定距離のうちの残りの長さ（（１−ａ）Ｌ）を有し、前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向と直交する方向の幅が前記第１抵抗膜の前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向と直交する方向の幅と同じ長さを有し、第２シート抵抗値τ２（Ω／□）の抵抗が分布する第２抵抗膜と、
前記第１抵抗膜の前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向の辺と該辺に並行するアースパターンとの間に、該辺とアースパターンに電気的に接続され、第３シート抵抗値τ３（Ω／□）の抵抗が分布する第３抵抗膜と、
前記第２抵抗膜の前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向の辺と該辺に並行するアースパターンとの間に、該辺とアースパターンに電気的に接続され、第４シート抵抗値τ４（Ω／□）の抵抗が分布する第４抵抗膜とを備え、
前記第１抵抗膜及び前記第３抵抗膜で構成される第１減衰部における減衰量の温度係数がγ１（ｄＢ／ｄＢ／℃）（γ１は、正又は負の値のいずれか。）であり、前記第２抵抗膜及び前記第４抵抗膜で構成される第２減衰部における減衰量の温度係数がγ２（ｄＢ／ｄＢ／℃）（γ２は正、０、又は負のいずれか）である、
ことを特徴とする分布定数型感温減衰器。
【請求項２】
前記第３抵抗膜及び前記第４抵抗膜はそれぞれ２つあり、それぞれ前記第１抵抗膜と前記第２抵抗膜との前記所定距離方向の相対する２つの辺のそれぞれに接して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の分布定数型感温減衰器。
【請求項３】
前記第１抵抗膜と前記第２抵抗膜とは間に挟んだ導体によって接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の分布定数型感温減衰器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号を減衰させる減衰器に関する。さらに詳しくは、高周波特性を改善できる分布定数型の減衰器に関し、さらには、温度の変化によって減衰量が変化するがインピーダンスがほぼ一定である感温減衰器に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な電子機器において信号を減衰させるために減衰器（アッテネータ：Ａｔｔｅｎｕａｔｏｒ）が使用されている。例えば、大きい信号を感度の高い測定器に直接接続した場合、測定器が飽和してしまう。そこで、減衰器を使って信号をある程度減衰させてから測定器に入力することにより、測定器の飽和を回避することが可能となる。また、発振器からレベルの小さな出力を得ようとする場合にも、発振器からある程度大きな信号を出力させ、その信号を減衰器で減衰させることで必要なレベルの信号を得ることが行われている。
【０００３】
そして、減衰器としては、Ｔ型、π型、又はブリッジＴ型等の集中定数型の減衰器がある。
【０００４】
さらに、減衰器の中には周囲の温度変化に対して減衰量が変化する感温減衰器（温度補償減衰器）がある。これは、周囲の温度変化により増幅器の出力レベルが変動する場合などに利用される。特に高周波増幅器などでは温度上昇にともない利得が減少するので、その特性を補正するためにこのような感温減衰器が用いられる。
【０００５】
従来、前述の集中定数型の減衰器を用いた感温減衰器が提案されている。例えば、特許文献１に記載された感温減衰器は、サーミスタと固定抵抗の並列抵抗回路を複数個、直列接続させたものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２０８８０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来の感温減衰器では、要求される減衰量や減衰量の温度係数に合わせてその都度個別に設計し感温減衰器を製造する必要があった。具体的には、例えば、室温２５℃での減衰量を１（ｄＢ）間隔で、１（ｄＢ）から１０（ｄＢ）までの１０段階に振り分けた感温減衰器を、その各感温減衰器に対し減衰量の温度係数を０．００１（ｄＢ／ｄＢ／℃）間隔で、−０．００１（ｄＢ／ｄＢ／℃）から−０．０１０（ｄＢ／ｄＢ／℃）までの１０段階に振り分けた感温減衰器を製造する場合、１０×１０×２＝２００種類の感温抵抗体を製造する必要があった。これは特許文献１に記載された感温減衰器でも同様である。
【０００８】
また、温度係数についても、個々の減衰器でｄＢ／ｄＢ／℃（減衰量の温度係数）が一定であることを要求される場合以外に、ｄＢ／℃（減衰量の温度特性）が一定であることを要求される場合の両方があり、その場合、さらに製造する感温抵抗体の種類が増えてしまう。
【０００９】
この様に多数の感温抵抗体を製造した場合、設計及び製造が煩雑になってしまう。また、抵抗体の種類が多くなると抵抗体の管理が複雑になってしまう。
【００１０】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、周波数特性及びインピーダンス特性が高周波領域まで良好な特性を有し、様々な温度特性を有する減衰量について設計が容易な感温減衰器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の分布定数型感温減衰器は、所定距離（Ｌ）離れて配置された入力信号電極と出力信号電極と、前記入力信号電極又は前記出力信号電極のいずれか一方の電極に接し、前記所定距離より短い所定長（ａＬ，０＜ａ＜１）を有し、第１シート抵抗値τ１（Ω／□）の抵抗が分布する第１抵抗膜と、他方の前記電極と接し、前記所定距離のうちの残りの長さ（（１−ａ）Ｌ）を有し、前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向と直交する方向の幅が前記第１抵抗膜の前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向と直交する方向の幅と同じ長さを有し、第２シート抵抗値τ２（Ω／□）の抵抗が分布する第２抵抗膜と、前記第１抵抗膜の前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向の辺と該辺に並行するアースパターンとの間に、該辺とアースパターンに電気的に接続され、第３シート抵抗値τ３（Ω／□）の抵抗が分布する第３抵抗膜と、前記第２抵抗膜の前記入力信号電極と前記出力信号電極とを結ぶ方向の辺と該辺に並行するアースパターンとの間に、該辺とアースパターンに電気的に接続され、第４シート抵抗値τ４（Ω／□）の抵抗が分布する第４抵抗膜とを備え、前記第１抵抗膜及び前記第３抵抗膜で構成される第１減衰部における減衰量の温度係数がγ１（ｄＢ／ｄＢ／℃）（γ１は、正又は負の値のいずれか。）であり、前記第２抵抗膜及び前記第４抵抗膜で構成される第２減衰部における減衰量の温度係数がγ２（ｄＢ／ｄＢ／℃）（γ２は正、０、又は負のいずれか）である、ことを特徴とするものである。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の分布定数型感温減衰器であって、前記第３抵抗膜及び前記第４抵抗膜はそれぞれ２つあり、それぞれ前記第１抵抗膜と前記第２抵抗膜との前記所定距離方向の相対する２つの辺のそれぞれに接して設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の分布定数型感温減衰器であって、前記第１抵抗膜と前記第２抵抗膜とは間に挟んだ導体によって接続されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る分布定数型感温減衰器によると、分布定数型抵抗を用いて減衰器を構成しているので、ＤＣから高周波領域まで良好な周波数特性及び特性インピーダンスを得ることが可能となる。
【００１５】
さらに、本発明に係る分布定数型の感温減衰器によると、単位長さ当たりの減衰量が同じで、減衰量の温度係数の異なる２つの減衰器、あるいは単位長さ当たりの減衰量が異なり、減衰量の温度係数が等しい２つの減衰器を組み合わせて用いているので、２つの減衰器の長さの割合を変えることで、様々な温度特性、減衰量の減衰器を容易に設計することが可能となる。
【００１６】
また、減衰量の温度係数（ｄＢ／ｄＢ／℃）及び減衰量の温度特性（ｄＢ／℃）の何れを用いても容易に設計することができる。例えば、減衰量の温度係数をａγとすると、減衰量の温度特性はΑａγ（Αは減衰量）と表わせる。そして、本発明での減衰量ΑはαＬ（αは単位長さ当たりの減衰量、Ｌは減衰器の長さ）と表わせる。したがって、減衰量の温度特性によっても容易に感温減衰器を設計することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
〔第１の実施形態〕
第１の実施形態に係る分布定数型感温減衰器について説明する。図１は本発明に係る分布定数型感温減衰器（以下では、単に「感温減衰器」という。また、減衰器は「アッテネータ」とも呼ばれる。）の構成を示す模式図である。図２（Ａ）は本発明に係る感温減衰器の模式的な上面斜視図の一例である。図２（Ｂ）は本発明に係る感温減衰器の模式的な底面斜視図の一例である。
【００１８】
本実施形態の図２に係る感温減衰器は、当出願人が先に出願した特願２００７−０４２６５２号公報の技術による分布定数型減衰器（等価的にはπ型の減衰器）を用いたものである。
【００１９】
本発明に係る感温減衰器００１は図１に示すように、第１抵抗膜００４（濃いドットで示された部材）（主抵抗体）、第２抵抗膜００７（格子で示された部材）（主抵抗体）、第３抵抗膜００５（左下がり斜め線で示された部材）（副抵抗体）、第４抵抗膜００８（右下がり斜め線で示された部材）（副抵抗体）、入力信号電極００９（向かって左側の横縞で示された部材）、出力信号電極０１０（紙面に向かって右側の横縞で示された部材）、及びアースパターン０１１（縦縞で示された部分）が誘電体基板００２の上に配置された構成である。ここで、第１抵抗膜００４と第３抵抗膜００５で構成される減衰部を第１減衰部００３、第２抵抗膜００７と第４抵抗膜００８で構成される減衰部を第２減衰部００６とする。
【００２０】
また、本発明に係る感温減衰器００１は、図２（Ｂ）に示すように入力信号電極００９及び出力信号電極０１０以外の部分の裏面（低面）が裏面アース０１４で覆われている。そして図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、裏面アース０１４とアースパターン０１１は側面アース０１２、端面アース０１３によって接続されている。以下では、アースパターン０１１、側面アース０１２、端面アース０１３、及び裏面アース０１４をまとめてアースパターン０１１と称する。
【００２１】
誘電体基板００２は、幅方向の長さｗ０（ｍｍ）、長手方向の長さＬ０（ｍｍ）を有する。ここで、後述する長さを利用するとｗ０＝ｗｓ＋２ｗｐ＋２ｗｇ、Ｌ０＝Ｌ＋２Ｌ３となる。また、誘電体基板００２は、比誘電率εｒを有する。このような誘電体基板００２は、例えばアルミナ、窒化アルミ、テフロン（登録商標）などの材質で構成される。
【００２２】
入力信号電極００９及び出力信号電極０１０は、幅方向（図１における縦方向）の長さｗｓ（ｍｍ）、及び長手方向の長さＬ３を有する。また、入力信号電極００９及び出力信号電極０１０は、良好な電気伝導度σ（Ｓ／ｍ）を有する。入力信号電極００９及び出力信号電極０１０は、金、銀、銅、錫などの厚膜又は薄膜で構成されている。
【００２３】
第１抵抗膜００４は、幅方向の長さｗｓ（ｍｍ）、長手方向（図１における横方向）の長さＬ１（ｍｍ）を持つ。また、第１抵抗膜００４は、シート抵抗値τ１（Ω／□）を持つ。そして、第１抵抗膜００４は自己の長手方向の一端の辺が入力信号電極００９と、他端の辺が第２抵抗膜００７と接する。そして、その状態で誘電体基板００２の上に形成される。第１抵抗膜００４は、例えば、ニクロム、窒化タンタル、酸化ルテニウムなどの厚膜又は薄膜で構成されている。
【００２４】
第２抵抗膜００７は、第１抵抗膜００４と同じ幅方向の長さｗｓ（ｍｍ）、長手方向（図１における横方向）の長さＬ２（ｍｍ）を持つ。また、第２抵抗膜００７は、シート抵抗値τ２（Ω／□）を有する。そして、第２抵抗膜００７は自己の長手方向の一端の辺が第１抵抗膜００４と、他端の辺が出力信号電極０１０と接する。すなわち、上述の第１抵抗膜００４の長手方向の長さＬ１（ｍｍ）と第２抵抗膜００７の長手方向の長さＬ２（ｍｍ）とを加えた距離は、入力信号電極００９から出力信号電極０１０までの距離と一致する（Ｌ＝Ｌ１＋Ｌ２）。そして、その状態で誘電体基板００２上に形成される。第２抵抗膜００７、例えば、ニクロム、窒化タンタル、酸化ルテニウムなどの厚膜又は薄膜で構成されている。
【００２５】
第３抵抗膜００５は、幅方向の長さｗｐ（ｍｍ）、第１抵抗膜００４同じ長手方向の長さＬ１（ｍｍ）を持つ。また、第３抵抗膜００５は、シート抵抗値τ３（Ω／□）を持つ。そして、第３抵抗膜００５は、自己の幅方向の一端の辺が第１抵抗膜００４の幅方向の一端の辺と接し、かつ他端の辺がアースパターン０１１に接するように、第１抵抗膜００４の幅方向の両辺（図１における上下）に２つ配置され、その状態で誘電体基板００２の上に形成される。第３抵抗膜００５は、例えば、ニクロム、窒化タンタル、酸化ルテニウムなどの厚膜又は薄膜で構成されている。
【００２６】
第４抵抗膜００８は、第３抵抗膜００５と同じ幅方向の長さｗｐ（ｍｍ）、第２抵抗膜００７と同じ長手方向の長さＬ２（ｍｍ）を持つ。また、第４抵抗膜００８は、シート抵抗値τ４（Ω／□）を持つ。そして、第４抵抗膜００８は、自己の幅方向の一端の辺が第２抵抗膜００７の幅方向の一端の辺と接し、かつ他端の辺がアースパターン０１１に接するように、第２抵抗膜００７の幅方向の両辺（図１における上下）に２つ配置され、その状態で誘電体基板００２の上に形成される。第４抵抗膜００８は、例えば、ニクロム、窒化タンタル、酸化ルテニウムなどの厚膜又は薄膜で構成されている。
【００２７】
さらに、図１で長さＬ１の間は第１減衰部００３を構成し、長さＬ２の間は第２減衰部００６を構成し、入出力電極間にそれらが直列に配置されている。すなわち、第１減衰部００３は第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５で構成され、減衰量の温度係数γ１（ｄＢ／ｄＢ／℃）を有する。さらに、第２減衰部００６は第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８で構成され、減衰量の温度係数γ２（ｄＢ／ｄＢ／℃）を有する。
【００２８】
アースパターン０１１は、長手方向の長さＬ０（ｍｍ）を有する。ただし、アースパターン０１１の長手方向の長さは他の長さでもよく、例えばＬ（ｍｍ）などでもよい。そして、アースパターン０１１は良好な電気伝導度σ（Ｓ／ｍ）を有する。さらに、アースパターン０１１は上下から第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８を挟み、自己の幅方向の一端の辺と第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の一端の辺（第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７に接していない辺）と接し、幅方向に第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８を挟むように（図１における上下）２つ配置され、その状態で誘電体基板００２の上に形成される。本実施形態では、幅方向のいずれのアースパターン０１１も幅方向の長さをｗｇ（ｍｍ）としている。そして、アースパターン０１１は誘電体基板００２の裏面のアースと、スルーホール又は誘電体基板００２の側面で電気的に結合している。ただし、放熱効率を考えた場合、側面で電気的に結合した方が好ましい。
【００２９】
以上の部材には、それぞれ、ガラス、樹脂などの保護膜を設けてもよい。
【００３０】
（構成）
《所望の特性インピーダンス及び減衰量を有する減衰器》
以下で、所望の特性インピーダンスＺ０（Ω）及び減衰量Α（ｄＢ）を構成するための各構成要素を説明する。この減衰量Αは、本実施形態に係る感温減衰器００１における長さＬ１間の第１減衰部００３の減衰量である第１減衰量Α１と、長さＬ２間の第２減衰部００６の減衰量である第２減衰量Ａ２とを合わせた長さＬ（＝Ｌ１＋Ｌ２）間の減衰量Α（＝Α１＋Α２）にあたる。
【００３１】
まず、誘電体基板００２の材質（比誘電率εｒ）及びそのサイズ（厚さｔ（ｍｍ）、幅方向の長さｗ０（ｍｍ）、長手方向の長さＬ０（ｍｍ））を決定する。次に、減衰しようとする回路もしくは信号ラインの特定インピーダンスを感温減衰器００１の特性インピーダンスＺ０として決定する。また、２５℃での減衰量Αを決定する。ここで、説明の都合上、誘電体基板００２のサイズとして、幅方向の長さｗ０（ｍｍ）、長手方向の長さＬ０（ｍｍ）を決定したが、実際にはマイクロストリップラインにおける特性インピーダンスＺ０を求める場合、及び、図１に示す感温減衰器００１における特性インピーダンスＺ０を考える場合には、無限遠の理想的な誘電体基板００２を使用するため誘電体基板００２の幅方向の長さ及び長手方向の長さは特には必要としない。
【００３２】
次に、決定した誘電体基板００２の材質及びサイズ、並びに必要とする高周波特性インピーダンスＺ０を基にマイクロストリップラインの幅ｗｓを算出し、これを第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓとする。以下その方法を説明する。
【００３３】
マイクロストリップラインの幅方向の長さｗｓは、
〈式１〉
ｗｓ／ｔ≦１のとき
Ｚ０＝（６０／εeff１／２）・ｌｎ（８ｔ／ｗｓ＋ｗｓ／４ｔ）
εeff＝（εｒ＋１）／２＋｛（εｒ−１）／２｝［｛１／（１＋１２ｔ／ｗｓ）＋０．０４（１−ｗｓ／ｔ）２｝］
〈式２〉
ｗｓ／ｔ≧１のとき
Ｚ０＝（１２０π／εeff１／２）／｛ｗｓ／ｔ＋１．３９３＋（２／３）ｌｎ（ｗｓ／ｔ＋１．４４４）｝
εeff＝（εｒ＋１）／２＋｛（εｒ−１）／２｝｛１／（１＋１２ｔ／ｗｓ）｝
という関係を有するので、ｗｓを求めることができる。
【００３４】
このマイクロストリップラインの幅方向の長さｗｓを本発明における第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓとする。
【００３５】
決定した誘電体基板００２の材質及びサイズ、必要とする高周波特性インピーダンスＺ０、求めた第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ、並びに決定した減衰量Α（Nepers）を基に、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の長手方向の長さを加えた長さ（第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の長手方向の長さを加えた長さ）Ｌ、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ、第１抵抗膜００４のシート抵抗値τ１（Ω／□）、第２抵抗膜００７のシート抵抗値τ２（Ω／□）、第３抵抗膜００５のシート抵抗値τ３（Ω／□）、及び第４抵抗膜００８のシート抵抗値τ４（Ω／□）の以下の関係式からそれぞれの値を求める。
【００３６】
図１に示す感温減衰器００１において、まず、高周波成分による影響であるインダクタンス及びキャパシタンスを除いた、直流的特性インピーダンスＺＤＣを用いて関係式を作成する。ここで、値としてはＺＤＣ＝Ｚ０である。要するに、以下での関係式の計算は直流で行う意味である。
【００３７】
そこで、図１に示す感温減衰器００１において、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の入力信号電極００９と出力信号電極０１０の間に分布する抵抗値をＲ（Ω）とし、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の入力信号電極００９及び出力信号電極０１０とアースパターン０１１との間に分布するコンダクタンスをＧ（Ｓ）とすると、伝送線路理論から、直流的特性インピーダンスＺＤＣと減衰量Αは以下の式で表わされる。ここで、Ｒ及び２つのＧは、上記減衰器を等価的にπ型減衰器としたときの成分である。以下では、第１減衰部００３を例に説明する。
〈式３‐１〉直流的特性インピーダンス  ＺＤＣ＝（Ｒ／Ｇ）１／２（Ω）
〈式３‐２〉減衰量  Α＝（ＲＧ）１／２（Nepers）＝８．６８６（ＲＧ）１／２（ｄＢ）
ここで、Ｒ＝（τ１／ｗｓ）・Ｌ１、Ｇ＝（２／τ３ｗｐ）・Ｌ１である。
【００３８】
そこで、上述のＺ０及びΑの式にＲ、Ｇを代入すると、
〈式４〉
ＺＤＣ＝｛（τ１τ３）・（ｗｐ／ｗｓ）／２｝１／２
Α＝８．６８６｛２・（τ１／τ３）・（１／ｗｓｗｐ）｝１／２・Ｌ１
したがって、単位長さ当たりの減衰量α１は
α１＝８．６８６｛２・（τ１／τ３）・（１／ｗｓｗｐ）｝１／２である。
【００３９】
ここで、ＺＤＣ、α１は予め決定しており、さらにｗｓは求まっているので、第１抵抗膜００４の長手方向の長さ（並びに第３抵抗膜００５の長手方向の長さ）Ｌ１、第３抵抗膜００５の幅方向の長さｗｐを決定すれば、第１抵抗膜００４におけるシート抵抗値τ１（Ω／□）、第３抵抗膜００５におけるシート抵抗値τ３（Ω／□）を以下の式で求めることができる。
〈式５〉
τ１＝（ＺＤＣ・α１・ｗｓ）／（８．６８６・Ｌ１）
τ３＝１７．３７２（ＺＤＣ・Ｌ１）／（α１・ｗｐ）
【００４０】
これは、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８で構成される第２減衰部００６でも同様であり、τ２＝（ＺＤＣ・α２・ｗｓ）／（８．６８６・Ｌ２）、τ４＝１７．３７２（ＺＤＣ・Ｌ２）／（α２・ｗｐ）と求めることができる。
【００４１】
また、逆に第１抵抗膜００４のシート抵抗値τ１（Ω／□）、並びに第３抵抗膜００５のシート抵抗値τ３（Ω／□）を決定すれば、第１抵抗膜００４の長手方向の長さ（第３抵抗膜００５の長手方向の長さ）Ｌ１（ｍｍ）、並びに第３抵抗膜００５の幅方向の長さｗｐ（ｍｍ）を求めることができる。これは、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８でも同様である。
【００４２】
このように求めた関係式を用いて、第１抵抗膜００４のシート抵抗値τ１（Ω／□）、第３抵抗膜００５のシート抵抗値τ３（Ω／□）、第１抵抗膜００４の長手方向の長さ（第３抵抗膜００５の長手方向の長さ）Ｌ１（ｍｍ）、並びに第３抵抗膜００５の幅方向の長さｗｐを決定し、図１に示す第１減衰部００３を作成する。さらに、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８においても同様にして、第２抵抗膜００７のシート抵抗値τ２（Ω／□）、第４抵抗膜００８のシート抵抗値τ４（Ω／□）、第２抵抗膜００７の長手方向の長さ（第４抵抗膜００８の長手方向の長さ）Ｌ２（ｍｍ）、並びに第４抵抗体００８の幅方向の長さｗｐを決定し、図２に示す第２減衰部００６を作成する。そして、作成した第１減衰部００３及び第２減衰部００６で構成した減衰器に、高周波信号を入力して減衰量とＶＳＷＲ（Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｓｔａｎｄｉｎｇ  Ｗａｖｅ  Ｒａｔｉｏ）を計測した場合、減衰量及びＶＳＷＲのいずれにおいても良好な結果が得られる。
【００４３】
したがって、（特性インピーダンスＺ０）＝（直流的特性インピーダンスＺＤＣ）とすることが可能である。以下は、統一して特性インピーダンスＺ０で説明する。
【００４４】
すなわち、高周波の特性インピーダンスＺ０における、第１抵抗膜００４のシート抵抗値τ１（Ω／□）、第２抵抗膜００７のシート抵抗値τ２（Ω／□）、第３抵抗膜００５のシート抵抗値τ３（Ω／□）、第４抵抗膜００８のシート抵抗値τ４（Ω／□）、第１抵抗膜００４の長手方向の長さ（第３抵抗膜００５の長手方向の長さ）Ｌ１（ｍｍ）、第２抵抗膜００７の長手方向の長さ（第４抵抗膜００８の長手方向の長さ）Ｌ２（ｍｍ）、並びに第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐの関係式は以下の式で表わされる。
【００４５】
Ｚ０＝｛（τ１τ３／２）・（ｗｐ／ｗｓ）｝１／２＝｛（τ２τ４／２）・（ｗｐ／ｗｓ）｝１／２
Α１＝８．６８６｛２・（τ１／τ３）・（１／ｗｓｗｐ）｝１／２・Ｌ１
したがって、単位長さ当たりの減衰量αは
α１＝８．６８６｛２・（τ１／τ３）・（１／ｗＳｗｐ）｝１／２である。
同様に、
Α２＝８．６８６｛２・（τ２／τ４）・（１／ｗｓｗｐ）｝１／２・Ｌ２
したがって、単位長さ当たりの減衰量αは
α２＝８．６８６｛２・（τ２／τ４）・（１／ｗＳｗｐ）｝１／２である。
【００４６】
このように、第１減衰部００３及び第２減衰部００６のそれぞれの単位長さ当たりの減衰量α１及びα２を求めることができるので、第１減衰量Α１＝α１×Ｌ１、第２減衰量Ａ２＝α２×Ｌ２として求められる。つまり、Ａ＝α１Ｌ１＋α２Ｌ２である。
【００４７】
《所望の減衰量の温度係数（温度特性）を有する減衰器》
次に、第１減衰部００３についてまず説明し、次に第２減衰部００６について説明する。そこでまず、所望の第１減衰部００３の減衰量Ａ１の温度係数を構成するための各構成要素を説明する。
【００４８】
第１抵抗膜００４は抵抗値として第１抵抗値Ｒ１（Ω）を持つ。さらに、第１抵抗膜００４は抵抗温度係数ｒ１（Ω／Ω／℃）を有する。ここで、抵抗温度係数とは１℃の温度変化に対して変化する抵抗値の比率を表わすものである。
【００４９】
第３抵抗膜００５は、抵抗値として第３抵抗値Ｒ３（Ω）を持つ。さらに、第３抵抗膜００３は抵抗温度係数ｒ３（Ω／Ω／℃）を有する。
【００５０】
ここで、第１抵抗値Ｒ１及び第３抵抗値Ｒ３は〈式３−１〉におけるＲが第１抵抗値Ｒ１であり、〈式３−１〉における１／Ｇが第３抵抗値Ｒ３／２である。
【００５１】
また、抵抗温度係数ｒ１は第１抵抗膜００４のシート抵抗値τ１（Ω／□）の温度係数である。また、抵抗温度係数ｒ３は第３抵抗膜００５のシート抵抗値τ３（Ω／□）の温度係数である。
【００５２】
これは、基準温度をＴ０とした場合、１＋ｒ１（Ｔ−Ｔ０）が第１抵抗膜００４の温度依存特性を表わす関数であるＦ１（Ｔ−Ｔ０）であり、１＋ｒ３（Ｔ−Ｔ０）が第３抵抗膜００５の温度依存特性を表わす関数であるＦ３（Ｔ−Ｔ０）であり、
微分値{ΔＦ１（Ｔ−Ｔ０）／ΔＴ}＝ｒ１
微分値{ΔＦ３（Ｔ−Ｔ０）／ΔＴ}＝ｒ３
となる。
【００５３】
また、以下では、温度依存特性として抵抗温度係数を用いて説明しているが、これは第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５のそれぞれのＢ定数であるＢ１、Ｂ３を用いて求めることもできる。その場合には、exp｛Ｂ１（１／Ｔ−１／Ｔ０）｝が第１抵抗膜００４の温度依存特性Ｆ１（Ｔ−Ｔ０）であり、exp｛Ｂ３（１／Ｔ−１／Ｔ０）｝が第３抵抗膜００５の温度依存特性Ｆ３（Ｔ−Ｔ０）であり、
微分値{ΔＦ１（Ｔ−Ｔ０）／ΔＴ}＝Ｂ１
微分値{ΔＦ３（Ｔ−Ｔ０）／ΔＴ}＝Ｂ３
となる。
【００５４】
次に、得ようとする第１減衰部００３の減衰量Ａ１の温度係数に対して、設定する第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５の抵抗温度係数の求める方法を説明する。ここで、減衰量の温度係数とは１℃の温度変化に対して変化する減衰量の比率を表わすものである。また、減衰量の温度特性とは１℃の温度変化に対して変化する減衰量を表すものである。
【００５５】
まず、得ようとする第１減衰部の減衰量の温度係数γ１（ｄＢ／ｄＢ／℃）を決定する。
【００５６】
そして、基準温度Ｔ０（℃）のときの減衰量をＡ１t０（ｄＢ）、第１抵抗値Ｒ１をＲ１０（Ω）、第３抵抗値Ｒ３をＲ３０（Ω）とする。また、使用温度Ｔ（℃）のときの減衰量をＡ１t（ｄＢ）、第１抵抗値Ｒ１をＲ１（Ω）、第３抵抗値Ｒ３をＲ３（Ω）とした場合の、特性インピーダンスＺ０を一定になるように求める。
【００５７】
特性インピーダンスＺ０は〈式３‐１〉より、
Ｚ０＝（Ｒ１Ｒ３／２）１／２
＝［Ｒ１０Ｒ３０｛１＋ｒ１（Ｔ−Ｔ０）｝｛１＋ｒ２（Ｔ−Ｔ０）｝／２］１／２
で表わされる。
【００５８】
そこで、特性インピーダンスＺ０の温度依存をなくすために抵抗温度係数ｒ１及び抵抗温度係数ｒ３を、
〈式６〉ｒ１＝−ｒ３
とする。
【００５９】
このように選択した場合、ｒ１、ｒ３の小さい範囲では、
｛１＋ｒ１（Ｔ−Ｔ０）｝｛１＋ｒ３（Ｔ−Ｔ０）｝＝１
となる。
【００６０】
したがって〈式６〉のようにｒ１、ｒ３を選択すれば、
〈式７〉Ｚ０＝（Ｒ１０Ｒ３０／２）１／２＝（Ｒ１Ｒ３／２）１／２
を満たすといえる。
【００６１】
したがって、〈式６〉を満たすように減衰器を設計した場合、高周波の特性インピーダンスＺ０が温度変化に対して一定になる。
【００６２】
さらに、抵抗温度係数ｒ１及び抵抗温度係数ｒ３を
〈式８〉
ｒ１≒ｒ
ｒ３≒−ｒ
とする。
【００６３】
また、〈式３‐２〉より、
Ａ１ｔ＝（２Ｒ１／Ｒ３）１／２
＝８．６８６［２Ｒ１０｛１＋ｒ１（Ｔ−Ｔ０）｝／Ｒ３０｛１＋ｒ３（Ｔ−Ｔ０）｝］１／２
である。
【００６４】
これは、
〈式９〉
Ａ１ｔ＝Ａ１ｔ０[｛１＋ｒ１（Ｔ−Ｔ０）｝／｛１＋ｒ３（Ｔ−Ｔ０）｝] １／２
Ａ１ｔ０＝８．６８６（２Ｒ１０／Ｒ３０）１／２
と表わせる。
【００６５】
したがって、抵抗温度係数ｒ１及び抵抗温度係数ｒ３を〈式８〉のように選択した場合、ｒ１及びｒ３が小さい範囲では、
〈式１０〉
Ａ１ｔ＝Ａ１ｔ０｛１＋ｒ（Ｔ−Ｔ０）｝
Ａ１ｔ０＝８．６８６（２Ｒ１０／Ｒ３０）１／２
を満たすことがわかる。
また、この場合〈式６〉も満たす。
【００６６】
したがって、抵抗温度係数ｒ１及び抵抗温度係数ｒ３を〈式８〉を満たすように作成した感温減衰器の減衰量は、減衰量の温度係数がｒ（ｄＢ／ｄＢ／℃）の感温減衰器とほぼ一致する。これにより、抵抗温度係数ｒ１及び抵抗温度係数ｒ３を〈式８〉のように選択し感温減衰器を作成することにより、減衰量が温度変化にほぼ比例の関係となる温度特性を有し、特性インピーダンスＺ０が一定である感温減衰器を作成することができる。
【００６７】
したがって、以上の式で表わされる値を基に、第１感温減衰部を作成することで、温度変化に対して減衰量がほぼ比例する第１減衰部を作成することができる。すなわち、抵抗温度係数ｒ１＝γ１、抵抗温度係数ｒ３＝−γ１と作成することで、減衰量の温度係数がγ（ｄＢ／ｄＢ／℃）を有する第１減衰部を作成することができる。
【００６８】
以上で説明した所望の温度係数を有する感温減衰器の設計は第２減衰部でも同様である。すなわち、
Ａ２ｔ＝Ａ２ｔ０｛１＋ｒ（Ｔ−Ｔ０）｝
Ａ２ｔ０＝８．６８６（２Ｒ２０／Ｒ４０）１／２
（Ｒ２０：基準温度Ｔ０での第２抵抗膜００７の第２抵抗値Ｒ２、Ｒ４０：基準温度Ｔ０での第４抵抗膜００８の第４抵抗値Ｒ４）
と表わせる。
【００６９】
《本実施形態に係る減衰器の減衰量の温度係数》
次に、本実施形態に係る感温減衰器００１における減衰量の温度係数について説明する。
【００７０】
第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５が構成する第１減衰部００３の２５℃での単位長さ当たりの減衰量をα１（ｄＢ／ｍｍ）とする。また、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８が構成する第２減衰部００６の２５℃での単位長さ当たりの減衰量をα２（ｄＢ／ｍｍ）とする。そして、第１減衰部００３の減衰量Ａ１の温度係数をγ１（ｄＢ／ｄＢ／℃）とする。さらに、第２減衰部００６の減衰量Ａ２の温度係数をγ２（ｄＢ／ｄＢ／℃）とする。
【００７１】
さらに、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５で構成される部分の長手方向の長さと第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８で構成される部分の長手方向の長さとを加えた長さは前述のようにＬ（ｍｍ）である。そして、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５で構成される部分の長手方向の長さＬ１（ｍｍ）をＬ１＝ａ×Ｌ（ｍｍ）（０＜ａ＜１）、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８で構成される部分の長手方向の長さＬ２（ｍｍ）をＬ２＝（１−ａ）×Ｌ（ｍｍ）（０＜ａ＜１）とする。
【００７２】
そして、２５℃での第１減衰部００３の減衰量Α１＝α１×ａ×Ｌ、同じく２５℃での第２減衰部００６の減衰量Α２＝α２×（１−ａ）×Ｌとなる。
【００７３】
そこで、Ｔ℃での本実施形態に係る感温減衰器００１の減衰量Α（ｄＢ）は、〈式１０〉より、次のようになる。
Α＝α１×ａ×Ｌ×｛１＋γ１×（Ｔ−２５）｝＋α２×（１−ａ）×Ｌ×｛１＋γ２×（Ｔ−２５）｝
＝｛ａα１＋（１−ａ）α２｝×Ｌ＋｛ａα１γ１＋（１−ａ）α２γ２｝×Ｌ×（Ｔ−２５）｝
【００７４】
したがって、本実施形態に係る感温減衰器００１の全体の２５℃での減衰量Ａ２５は、
Α２５＝｛ａα１＋（１−ａ）α２｝×Ｌ（ｄＢ）
となる。
【００７５】
また、感温減衰器００１の全体の減衰量の温度係数Γは
Γ＝[｛ａα１γ１＋（１−ａ）α２γ２｝×Ｌ]／Ａ２５（ｄＢ／ｄＢ／℃）
となる。
また、感温減衰器００１の全体の減衰量の温度特性Ｐは
Ｐ＝ａα１γ１＋（１−ａ）α２γ２｝×Ｌ（ｄＢ／℃）
となる。
【００７６】
ここで、α１＝α２＝α０とし、γ２＝０（この場合、第２減衰部は非感温減衰部である。ここでは、第１減衰部を「感温減衰部」、第２減衰部を「非感温減衰部」という。）とすると、
Α２５＝α０×Ｌ（ｄＢ）
Γ＝ａ×α０×γ１×Ｌ／Ａ２５（ｄＢ／ｄＢ／℃）＝ａγ１（ｄＢ／ｄＢ／℃）
Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ（ｄＢ／℃）
となる。
【００７７】
このように、２つの減衰部を感温減衰部と非感温減衰部で構成した場合、感温減衰部の長手方向の長さと非感温減衰部の長手方向の長さとを加えた長さＬで本実施形態に係る感温減衰器００１の２５℃での減衰量が決定する。すなわち、２５℃の減衰量が減衰器００１の長さＬに比例する。また、減衰量の温度係数は感温減衰部の長手方向の長さの比率ａにより決まる。
【００７８】
具体的には、感温減衰部の減衰量の温度係数が非感温減衰部によって影響を受ける（温度係数の絶対値が小さくなる）関係にある。すなわち、感温減衰部の長手方向の長さが短くなるとそれだけ全体の減衰量の温度係数の絶対値が小さくなることになる。そしてこれは、感温部の長さの比率ａが小さくなるに従い上述の温度係数Γが小さくなることと一致する。
【００７９】
したがって、感温減衰器００１の長さ及び感温減衰部及び非感温減衰部の長手方向の長さの比を決定すれば、求める減衰量及び減衰量の温度係数を有する感温減衰器００１を設計できるため、設計が容易であり、製造の管理も容易となる。
【００８０】
また、感温減衰部である第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５の長さをｃ（ｍｍ）として固定の長さとする。また、非感温減衰部である第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８の長さをｘ（ｍｍ）として可変の長さとする。そして、α１＝α２＝α０とし、γ２＝０とすると、
【００８１】
この場合、本実施形態に係る感温減衰器００１の全体の減衰量は、
Α＝α０×ｘ＋α０×ｃ×｛１＋γ１×（Ｔ―２５）｝
＝α０（ｘ＋ｃ）＋α０×ｃ×γ１（Ｔ−２５）
となる。
【００８２】
したがって、本実施形態に係る感温減衰器００１の全体の２５℃での減衰量は、
Α２５＝α０×（ｘ＋ｃ）（ｄＢ）
となる。
【００８３】
また、感温減衰器００１の全体の減衰量の温度特性Ｐは、
Ｐ＝α０×ｃ×γ１（ｄＢ／℃）
となる。
【００８４】
すなわち、非感温減衰部である第２減衰部００６の長手方向の長さ（ｘ）のみを変化させることで、一定の減衰量の温度特性を有する様々な減衰量に対応した感温減衰器００１が設計可能である。
【００８５】
また、α１＝α２＝α０とし、γ２＝−γ１とすると、
Α２５＝α０×Ｌ（ｄＢ）
Γ＝（２ａ−１）×α０×γ１×Ｌ／Α２５（ｄＢ／ｄＢ／℃）＝（２ａ−１）×γ１×（ｄＢ／ｄＢ／℃）
Ｐ＝（２ａ−１）×α０×γ１×Ｌ（ｄＢ／℃）
となる。
【００８６】
第１減衰部００３の長手方向の長さと第２減衰部００６の長手方向の長さとを加えた長さで本実施形態に係る感温減衰器００１の２５℃での減衰量が決定する。また、第１減衰部００３の長手方向の長さＬ１から第２減衰部００６の長手方向の長さＬ２引いた値Ｌ１−Ｌ２＝ａ×Ｌ−（１−ａ）Ｌ＝（２ａ−１）Ｌにより減衰量の温度係数が決まる。
【００８７】
この場合は、Γの値は−γ１＜Γ＜γ１で変化できる。これにより、温度係数として正の値も負の値も採ることが可能な感温減衰器を容易に設計することができる。
【００８８】
（実施例１）
第１の実施形態の具体的な一実施例を図３に示す。本実施形態に係る分布定数型感温減衰器における数値はこの例に限らない。図３は本実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図である。本実施形態に係る感温減衰器００１として、特性インピーダンスＺ０＝５０（Ω）、誘電体基板００２の材質を石英とし、その比誘電率をεｒ＝３．７８、板厚を０．５（ｍｍ）とする。さらに、２５℃における減衰器００１の全体の減衰量Α２５（ｄＢ）（減衰量Ａ１及び減衰量Ａ２を加えたもの）を、Α２５＝１０（ｄＢ）とする。すなわち単位当たりの減衰量α１＝α２＝α０＝１０÷２＝５（ｄＢ／ｍｍ）である。
【００８９】
本実施例では、図３に示すように、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５の長手方向の長さＬ１＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ１の温度係数γ１＝−０．０１（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８の長手方向の長さＬ２＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ２の温度係数γ２＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、シート抵抗値τ１＝τ２＝３４．５３（Ω／□）、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ＝０．５（ｍｍ）、シート抵抗値τ３＝τ４＝３４７．４（Ω／□）、入力信号電極００９の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、出力信号電極０１０の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、アースパターン０１１の長手方向の長さＬ０＝Ｌ＋２Ｌ３＝３．２（ｍｍ）、幅方向の長さｗｇ＝０．５（ｍｍ）として感温減衰器００１を構成する。また、本実施例における入力信号電極００９、出力信号電極０１０、及びアースパターン０１１の材質は銅（Ｃｕ）である。
【００９０】
ここで、特性インピーダンスがＺ０＝｛（τ１τ３／２）・（ｗｐ／ｗｓ）｝１／２＝｛（τ２τ４／２）・（ｗｐ／ｗｓ）｝１／２＝｛（３４．５３×３４７．４）／２×（０．５／１．２）｝１／２＝４９．９９（Ω）であり、おおよそ５０（Ω）となる感温減衰器であるように構成した。
【００９１】
図４は、実施例１に係る感温減衰器００１について減衰量の温度変化のシミュレーションを行ったものである。図４は、各温度における減衰量をあらわしたグラフの図である。図４のグラフは縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を温度（℃）に採ったグラフである。そして、図４のグラフは、Ｌ１＝Ｌ２＝１．０（ｍｍ）とした場合を基準のポジションとし、ポジション０と称する。そして、０．１（ｍｍ）ずつＬ１の長さを増やした（０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを減らした）場合の各ポジションをポジション１〜ポジション９とする。さらに、ポジション０の位置から０．１（ｍｍ）ずつＬ１の長さを減らした（０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを増やした）場合の各ポジションをポジション−１〜ポジション−９とする。グラフ４０１がポジション０、グラフ４０２がポジション３、グラフ４０３がポジション６、グラフ４０４がポジション９、グラフ４０５がポジション−３、グラフ４０６がポジション−６、グラフ４０７がポジション−９、における感温減衰器００１の減衰量の温度変化を表すグラフである。
【００９２】
図４を参照すると、グラフ４０１〜グラフ４０７は温度が上がるに従って減衰量が下がる一次関数になっている。すなわち、温度変化に減衰量が比例する感温減衰器になる。そして、実施例１に係る感温減衰器００１のポジション０における減衰量の温度特性Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ（ｄＢ／℃）＝０．５×５×（−０．０１）×２．０＝−０．０５（ｄＢ／℃）を有する感温減衰器となっている。
【００９３】
さらに、図４を参照すると、Ｌ1の長さ及びＬ２の長さを変化させることで、Ｌ１の長さに比例して各グラフの傾きが小さくなっていく。
【００９４】
また、図５（Ａ）は実施例１に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図である。また、図５（Ｂ）は実施例１に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図である。図５（Ａ）は縦軸を減衰量温度係数に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図５（Ａ）に示すように、実施例１に係る感温減衰器００１は、ポジションに比例して減衰量温度係数が変化することがわかる。また、図５（Ｂ）は縦軸を減衰量に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図５（Ｂ）に示すように、実施例１に係る感温減衰器００１はポジションにかかわらず減衰量が一定であることがわかる。
【００９５】
以上で説明したように、Ｌ1及びＬ２の長さの比を調整することで容易に減衰量の温度変化が異なる様々な感温減衰器００１を作製でき、所望の温度特性を有する感温減衰器００１を容易に作製することが可能となる。さらに、上述の説明ではＬ1及びＬ２の長さを０．１（ｍｍ）毎単位で変化させたが、その間の長さを採用することもできるため、従来と異なり温度特性の細かな調整が容易となる。
【００９６】
（比較例）
次に比較例として、図６に示すような感温減衰部をなくして非感温減衰部のみにした分布定数型減衰器のシミュレート結果について説明する。ここで、図６は第１の実施形態に対する具体的な一比較例であり、比較例としての数値はこの例に限らない。図６は分布定数型の非感温減衰器の一例の模式図である。図６の非感温減衰器は図１に示す感温減衰器００１の感温減衰部（第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５）の部分まで非感温減衰部（第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８）に変えた構成である。
【００９７】
本比較例では、図６に示すように、減衰量の温度係数γ２＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）である非感温の減衰部である第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８の長手方向の長さ２．０（ｍｍ）、第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、シート抵抗値τ２＝３５．５（Ω／□）、第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ＝０．５（ｍｍ）、シート抵抗値τ４＝３３５（Ω）、入力信号電極００９の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、出力信号電極０１０の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、アースパターン０１１の長手方向の長さ３．２（ｍｍ）、幅方向の長さｗｇ＝０．５（ｍｍ）として非感温減衰器を構成する。
【００９８】
この非感温減衰器も特性インピーダンスがＺ０＝｛（τ２τ４／２）・（ｗｐ／ｗｓ）｝１／２＝｛（３５．５×３３５）／２×（０．５／１．２）｝１／２＝４９．７８（Ω）であり、おおよそ５０（Ω）となるように構成した。
【００９９】
この比較例に係る非感温減衰器の減衰量の温度変化は、非感温の減衰器であるので温度変化による減衰量の変化は見られない。
【０１００】
さらに、この比較例に係る非感温減衰器における減衰量の周波数特性のシミュレーション結果が図７である。また、この比較例に係る非感温減衰器におけるＶＳＷＲの周波数特性のシミュレーション結果が図８である。図７の縦軸は減衰量（ｄＢ）を表し、横軸は入力信号の周波数（ＧＨｚ）を表している。また、図８の縦軸はＶＳＷＲを表し、横軸は入力信号の周波数（ＧＨｚ）を表している。
【０１０１】
図７を参照すると、この比較例に係る非感温減衰器において、周波数１０（ＧＨｚ）以下では、減衰量はほぼ１０（ｄＢ）という一定値を維持している。また、図８を参照すると、この比較例に係る非感温減衰器において、周波数１０（ＧＨｚ）以下では、ＶＳＷＲはほぼ１．１（少なくとも、１．１５以下）でおさまっている。したがって、減衰量及びＶＳＷＲいずれにおいても良好な値が得られている。すなわち、この比較例に係る非感温減衰器では、高周波信号を入力した場合においても良好な整合特性を維持することができる。
【０１０２】
そして、実施例１に係る感温減衰器００１においても比較例に係る非感温減衰器と温度係数が異なるだけで、各周波数における特性インピーダンスは同一であるため、ＶＳＷＲや減衰量の周波数特性は同様のふるまいをする。したがって、実施例１に係る感温減衰器００１において、高周波信号を入力した場合においても比較例１と同様に良好な整合特性を維持することができる。
【０１０３】
以上では、温度特性で説明しているが、２５℃での感温減衰器００１の全体の減衰量Α２５は実施例１及び比較例の何れにおいても同一であり、減衰量の温度係数も温度特性と同様に減衰部の長手方向の長さに比例する関係といえる。
【０１０４】
以上で説明したように、上述のした直流的特性インピーダンスにおける簡単な抵抗値を求める式を使用して、高周波信号を使用する特性インピーダンスの整合性の良好な分布定数型感温減衰器を作成することができる。また、感温減衰部の長手方向の長さの割合を変更することで減衰量の温度係数及び温度特性を調整できる構成である。これにより、要求された減衰量及び減衰量の温度係数を有する抵抗体の設計を容易にすることができる。また、単に抵抗膜の長さを変えるだけで温度係数を調整できるため、必要な抵抗体の種類が少なくてする。そのため、抵抗体の管理が容易になる。
【０１０５】
〔第２の実施形態〕
第２の実施形態に係る分布定数型感温減衰器について説明する。図９は本実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図である。ここで、図９は第２の実施形態の具体的な一実施例を示す図であり、本実施形態に係る分布定数型感温減衰器における数値はこの例に限らない。本実施形態に係る分布定数型感温減衰器は、第１の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の第１減衰部及び第２減衰部を分離して、それぞれを導体で接続した構造を有する感温減衰器である。
【０１０６】
本実施形態に係る感温減衰器００１は図９に示すように、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５で構成される第１減衰部００３と第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８で構成される第２減衰部００６が分離され、さらに、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７が導体０１５で接続された構成であることが第１の実施形態と異なる。しかしながら、各要素の寸法、構造、及び性能特性は、第１の実施形態と同じに扱える。図９において図１と同様の符号が付された部材は、特に説明のない限り同じ機能・性能を有する部材を表している。
【０１０７】
（実施例２）
本実施形態に係る感温減衰器００１として、特性インピーダンスＺ０＝５０（Ω）、誘電体基板００２の材質を石英とし、その比誘電率をεｒ＝３．７８、板厚を０．５（ｍｍ）とする。さらに、感温減衰器００１の全体の減衰量Α２５（ｄＢ）を、Α２５＝１０（ｄＢ）とする。
【０１０８】
本実施例では、図９に示すように、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５の長手方向の長さＬ１＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ１の温度係数γ１＝−０．０１（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８の長手方向の長さＬ２＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ２の温度係数γ２＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、シート抵抗値τ１＝τ２＝３４．５３（Ω／□）、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ＝０．５（ｍｍ）、シート抵抗値τ３＝τ４＝３４７．４（Ω／□）、入力信号電極００９の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗＳ＝１．２（ｍｍ）、出力信号電極０１０の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、導体０１５の長手方向の長さＬｄ＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗＳ＝１．２（ｍｍ）、アースパターン０１１の長手方向の長さＬ０＝Ｌ＋Ｌｄ＋２Ｌ３＝３．８（ｍｍ）、幅方向の長さｗｇ＝０．５（ｍｍ）として感温減衰器００１を構成する。また、本実施例における入力信号電極００９、出力信号電極０１０、及びアースパターン０１１の材質は銅（Ｃｕ）である。
【０１０９】
ここで、特性インピーダンスがＺ０＝｛（τ１τ３／２）・（ｗＳ／ｗｐ）｝１／２＝｛（τ２τ４／２）・（ｗＳ／ｗｐ）｝１／２＝｛（３４．５３×３４７．４）／２×（０．５／１．２）｝１／２＝４９．９９（Ω）であり、おおよそ５０（Ω）となる感温減衰器であるように構成した。
【０１１０】
図１０（Ａ）及び（Ｂ）は上述の条件で、図９の構成の感温減衰器００１について２５℃における整合特性のシミュレーションを行ったものである。図１０（Ａ）は２５℃での各周波数における減衰量の測定値をあらわしたグラフの図である。  図１０（Ｂ）は２５℃での各周波数におけるＶＳＷＲの測定値をあらわしたグラフの図である。図１０（Ａ）のグラフは左側の縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を入力信号の周波数（ＧＨｚ）に採ったグラフである。また、図１０（Ｂ）のグラフは左側の縦軸をＶＳＲＷ（ｄＢ）、横軸を入力信号の周波数（ＧＨｚ）に採ったグラフである。
【０１１１】
そして、図１０（Ａ）のグラフを参照すると、１０（ＧＨｚ）以下では、減衰量をほぼ１０（ｄＢ）に維持することができる。また、図１０（Ｂ）のグラフを参照すると、ＶＳＷＲについても１０（ＧＨｚ）以下では１．１５以下で収まっている。したがって、減衰量及びＶＳＷＲのいずれにおいても良好な値が得られている。したがって、本実施例に係る感温減衰器００１を使用すれば特性インピーダンスの整合をとることができる。
【０１１２】
さらにここで、Ｌ１＝Ｌ２＝１．０（ｍｍ）とした場合を基準のポジションとし、ポジション０と称する。そして、ポジション０から０．１（ｍｍ）ずつＬ１の長さを増やした（０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを減らした）場合の各ポジションをポジション１〜ポジション９とする。また、ポジション０から０．１（ｍｍ）ずつＬ１の長さを減らした（０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを増やした）場合の各ポジションをポジション−１〜ポジション−９とする。
【０１１３】
図１１（Ａ）は実施例２に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図である。また、図１１（Ｂ）は実施例２に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図である。図１１（Ａ）は縦軸を減衰量温度係数に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図１１（Ａ）に示すように、実施例２に係る感温減衰器００１は、ポジションに比例して減衰量温度係数が変化することがわかる。また、図１１（Ｂ）は縦軸を減衰量に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図１１（Ｂ）に示すように、実施例２に係る感温減衰器００１はポジションにかかわらず減衰量が一定であることがわかる。
【０１１４】
さらに、図１２は、実施例２に係る感温減衰器００１について各ポジションにおいて減衰量の温度変化のシミュレーションを行ったものである。図１２のグラフは縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を温度（℃）に採ったグラフである。グラフ１１１がポジション０、グラフ１１２がポジション３、グラフ１１３がポジション６、グラフ１１４がポジション９、グラフ１１５がポジション−３、グラフ１１６がポジション−６、グラフ１１７がポジション−９、における感温減衰器００１の減衰量の温度変化を表すグラフである。
【０１１５】
図１２を参照すると、グラフ１１１〜グラフ１１７は温度が上がるに従って減衰量が下がる一次関数になっている。すなわち、温度変化に減衰量が比例する感温減衰器になる。そして、実施例２に係る感温減衰器００１のポジション０における減衰量の温度特性Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ（ｄＢ／℃）＝０．５×５×（−０．０１）×２．０＝−０．０５（ｄＢ／℃）を有する感温減衰器となっている。
【０１１６】
さらに、図１２を参照すると、Ｌ1の長さ及びＬ２の長さを変化させることで、Ｌ1の長さに比例して各グラフの傾きは小さくなっていく。
【０１１７】
以上で説明したように、本実施形態においても第１の実施形態と同様に、Ｌ1及びＬ２の長さの比を調整することで容易に減衰量の温度変化が異なる様々な感温減衰器００１を作製でき、所望の温度特性を有する感温減衰器００１を容易に作製することが可能となる。さらに、上述の説明ではＬ1及びＬ２の長さを０．１（ｍｍ）毎単位で変化させたが、その間の長さを採用することもできるため、従来と異なり温度特性の細かな調整が容易となる。さらに、本実施形態では第１抵抗膜００４と第２抵抗膜００７との間に導体０１５を挟みそれにより各々を接続しているため、製造時に第１抵抗膜００４と第２抵抗膜００７とを重ねることにより減衰量が変化してしまう恐れが軽減でき、より正確に所望の減衰量及び温度特性を有する感温減衰器を作製することが可能となる。
【０１１８】
〔第３の実施形態〕
第３の実施形態に係る分布定数型感温減衰器について説明する。図１３及び図１４は本実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図である。ここで、図１３及び図１４は第３の実施形態の具体的な一実施例であり、本実施形態に係る分布定数型感温減衰器における数値はこの例に限らない。本実施形態に係る分布定数型感温減衰器は、第１の実施形態又は第２の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の片側の第３抵抗膜、第４抵抗膜、及びアース用電極を省いた構造を有する感温減衰器である。
【０１１９】
本実施形態に係る感温減衰器００１は図１３及び図１４に示すように、第３抵抗膜００５、第４抵抗膜００８、及びアースパターン０１１が、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の片側にのみ配置された構成であることが第１の実施形態及び第２の実施形態と異なる。しかしながら、各要素の寸法、構造、及び性能特性は、第１及び第２の実施形態と同じに扱える。図１３及び図１４において図１又は図９と同様の符号が付された部材は、特に説明のない限り同じ機能・性能を有する部材を表している。
【０１２０】
本実施形態では、第３抵抗膜００５、第４抵抗膜００８、及びアースパターン０１１が、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の片側にのみ配置されていることから、上述した第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の入力信号電極００９及び出力信号電極０１０とアースパターン０１１との間に分布するコンダクタンスＧは、τ１＝τ２、τ３＝τ４の場合、Ｇ＝（１／τ３ｗｐ）・Ｌ＝（１／τ４ｗｐ）・Ｌであり、ＺＤＣ＝｛（τ１τ３）・（ｗｐ／ｗＳ）｝１／２＝｛（τ２τ４）・（ｗｐ／ｗＳ）｝１／２である。
【０１２１】
（実施例３）
本実施例は、図１３に示すように、第１の実施形態に係る感温減衰器の片側の第３抵抗膜００５、第４抵抗膜００８、及びアースパターン０１１を省いた構成である。本実施形態に係る感温減衰器００１として、特性インピーダンスＺ０＝５０（Ω）、誘電体基板００２の材質を石英とし、その比誘電率をεｒ＝３．７８、板厚を０．５（ｍｍ）とする。さらに、減衰器全体の減衰量Α２５（ｄＢ）を、Α２５＝１０（ｄＢ）とする。
【０１２２】
本実施例では、図１３に示すように、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５の長手方向の長さＬ１＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ１の温度係数γ１＝−０．０１（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８の長手方向の長さＬ２＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ２の温度係数γ２＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、シート抵抗値τ１＝τ２＝３４．５３（Ω／□）、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ＝０．５（ｍｍ）、シート抵抗値τ３＝τ４＝１７３．７２（Ω／□）、入力信号電極００９の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、出力信号電極０１０の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗＳ＝１．２（ｍｍ）、アースパターン０１１の長手方向の長さＬ０＝Ｌ＋２Ｌ３＝３．２（ｍｍ）、幅方向の長さｗｇ＝０．５（ｍｍ）として感温減衰器００１を構成する。また、本実施例における入力信号電極００９、出力信号電極０１０、及びアースパターン０１１の材質は銅（Ｃｕ）である。
【０１２３】
ここで、特性インピーダンスがＺ０＝｛（τ１τ３）・（ｗｐ／ｗＳ）｝１／２＝｛（τ２τ４）・（ｗｐ／ｗＳ）｝１／２＝｛（３４．５３×１７３．７２）×（０．５／１．２）｝１／２＝４９．９９（Ω）であり、おおよそ５０（Ω）となる感温減衰器であるように構成した。
【０１２４】
図１５（Ａ）及び（Ｂ）は上述の条件で、図１３の構成の感温減衰器００１について２５℃における整合特性のシミュレーションを行ったものである。図１５（Ａ）は２５℃での各周波数における減衰量の測定値をあらわしたグラフの図である。  図１５（Ｂ）は２５℃での各周波数におけるＶＳＷＲの測定値をあらわしたグラフの図である。図１５（Ａ）のグラフは左側の縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を入力信号の周波数（ＧＨｚ）に採ったグラフである。また、図１５（Ｂ）のグラフは左側の縦軸をＶＳＲＷ（ｄＢ）、横軸を入力信号の周波数（ＧＨｚ）に採ったグラフである。
【０１２５】
そして、図１５（Ａ）のグラフを参照すると、１０（ＧＨｚ）以下では、減衰量をほぼ１０（ｄＢ）に維持することができる。また、図１５（Ｂ）のグラフを参照すると、ＶＳＷＲについても１０（ＧＨｚ）以下ではほぼ１．１以下で収まっている。したがって、減衰量及びＶＳＷＲのいずれにおいても良好な値が得られている。したがって、本実施例に係る感温減衰器を使用すれば特性インピーダンスの整合をとることができる。
【０１２６】
さらにここで、Ｌ１＝Ｌ２＝１．０（ｍｍ）とした場合を基準のポジションとし、ポジション０と称する。そして、ポジション０から０．１（ｍｍ）ずつＬ１の長さを増やした（０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを減らした）場合の各ポジションをポジション１〜ポジション９とする。また、ポジション０から０．１（ｍｍ）ずつＬ１の長さを減らした（０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを増やした）場合の各ポジションをポジション−１〜ポジション−９とする。
【０１２７】
図１６（Ａ）は実施例３に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図である。また、図１６（Ｂ）は実施例３に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図である。図１６（Ａ）は縦軸を減衰量温度係数に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図１６（Ａ）に示すように、実施例３に係る感温減衰器００１は、ポジションに比例して減衰量温度係数が変化することがわかる。また、図１６（Ｂ）は縦軸を減衰量に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図１６（Ｂ）に示すように、実施例３に係る感温減衰器００１はポジションにかかわらず減衰量が一定であることがわかる。
【０１２８】
さらに、図１７は、実施例３に係る感温減衰器００１について各ポジションにおいて減衰量の温度変化のシミュレーションを行ったものである。図１７のグラフは縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を温度（℃）に採ったグラフである。グラフ１７１がポジション０、グラフ１７２がポジション３、グラフ１７３がポジション６、グラフ１７４がポジション９、グラフ１７５がポジション−３、グラフ１７６がポジション−６、グラフ１７７がポジション−９、における感温減衰器００１の減衰量の温度変化を表すグラフである。
【０１２９】
図１７を参照すると、グラフ１７１〜グラフ１７７は温度が上がるに従って減衰量が下がる一次関数になっている。すなわち、温度変化に減衰量が比例する感温減衰器になる。そして、実施例３に係る感温減衰器００１が減衰量の温度特性Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ（ｄＢ／℃）＝０．５×５×（−０．０１）×２．０＝−０．０５（ｄＢ／℃）を有する感温減衰器となっている。
【０１３０】
さらに、図１７を参照すると、Ｌ1の長さ及びＬ２の長さを変化させることで、Ｌ1の長さに比例して各グラフの傾きは小さくなっていく。
【０１３１】
以上で説明したように、本実施形態においても第１の実施形態と同様に、Ｌ1及びＬ２の長さの比を調整することで容易に減衰量の温度変化が異なる様々な感温減衰器００１を作製でき、所望の温度特性を有する感温減衰器００１を容易に作製することが可能となる。さらに、上述の説明ではＬ1及びＬ２の長さを０．１（ｍｍ）毎単位で変化させたが、その間の長さを採用することもできるため、従来と異なり温度特性の細かな調整が容易となる。
【０１３２】
（実施例４）
本実施例は、図１４に示すように、第２の実施形態に係る感温減衰器の片側の第３抵抗膜００５、第４抵抗膜００８、及びアースパターン０１１を省いた構成である。本実施形態に係る感温減衰器００１として、特性インピーダンスＺ０＝５０（Ω）、誘電体基板００２の材質を石英とし、その比誘電率をεｒ＝３．７８、板厚を０．５（ｍｍ）とする。さらに、感温減衰器００１の全体の減衰量Α２５（ｄＢ）を、Α２５＝１０（ｄＢ）とする。
【０１３３】
本実施例では、図１４に示すように、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５の長手方向の長さＬ１＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ１の温度係数γ１＝−０．０１（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８の長手方向の長さＬ２＝１．０（ｍｍ）、減衰量Ａ２の温度係数γ２＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、シート抵抗値τ１＝τ２＝３５．５（Ω／□）、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ＝０．５（ｍｍ）、シート抵抗値τ３＝τ４＝１６７（Ω／□）、入力信号電極００９の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、出力信号電極０１０の長手方向の長さＬＳ＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗＳ＝１．２（ｍｍ）、アースパターン０１１の長手方向の長さＬ０＝Ｌ＋２Ｌ３＝３．２（ｍｍ）、幅方向の長さｗｇ＝０．５（ｍｍ）として感温減衰器００１を構成する。また、本実施例における入力信号電極００９、出力信号電極０１０、及びアースパターン０１１の材質は銅（Ｃｕ）である。
【０１３４】
ここで、特性インピーダンスがＺ０＝｛（τ１τ２）・（ｗ２／ｗ１）｝１／２＝｛（３５．５×１６７）×（０．５／１．２）｝１／２＝４９．７０（Ω）であり、おおよそ５０（Ω）となる感温減衰器であるように構成した。
【０１３５】
図１８（Ａ）及び（Ｂ）は上述の条件で、図１４の構成の感温減衰器００１について２５℃における整合特性のシミュレーションを行ったものである。図１８（Ａ）は２５℃での各周波数における減衰量の測定値をあらわしたグラフの図である。  図１８（Ｂ）は２５℃での各周波数におけるＶＳＷＲの測定値をあらわしたグラフの図である。図１８（Ａ）のグラフは左側の縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を入力信号の周波数（ＧＨｚ）に採ったグラフである。また、図１８（Ｂ）のグラフは左側の縦軸をＶＳＲＷ（ｄＢ）、横軸を入力信号の周波数（ＧＨｚ）に採ったグラフである。
【０１３６】
そして、図１８（Ａ）のグラフを参照すると、１０（ＧＨｚ）以下では、減衰量をほぼ１０（ｄＢ）に維持することができる。また、図１８（Ｂ）のグラフを参照すると、ＶＳＷＲについても１０（ＧＨｚ）以下ではほぼ１．１以下で収まっている。したがって、減衰量及びＶＳＷＲのいずれにおいても良好な値が得られている。したがって、本実施例に係る感温減衰器００１を使用すれば特性インピーダンスの整合をとることができる。
【０１３７】
〔第４の実施形態〕
第４の実施形態に係る分布定数型感温減衰器について説明する。図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）、及び図１９（Ｃ）は本実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図である。ここで、図１９（Ａ）〜（Ｃ）は第４の実施形態の具体的な一実施例を示すものであり、本実施形態に係る分布定数型感温減衰器における数値はこの例に限らない。本実施形態に係る分布定数型感温減衰器は、第１の実施形態と構成はほぼ同様であるが、第１減衰部００３を感温減衰部、第２減衰部００６を非感温減衰部（γ２＝０）とし、感温減衰部の部分の長手方向の長さを固定して、非感温減衰部の部分の長手方向の長さを３段階に変更させたものである。しかしながら、各要素の寸法、構造、及び性能特性は、第１及び第２の実施形態と同じに扱える。
【０１３８】
（実施例５）
本実施例に係る感温減衰器００１として、特性インピーダンスＺ０＝５０（Ω）、誘電体基板００２の材質を石英とし、その比誘電率をεｒ＝３．７８、板厚を０．５（ｍｍ）とする。
【０１３９】
本実施例では、図１９（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、第１抵抗膜００４及び第３抵抗膜００５（感温減衰部）の長手方向の長さＬ１＝０．４（ｍｍ）、減衰量の温度係数γ１＝−０．０１（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第１抵抗膜００４及び第２抵抗膜００７の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、シート抵抗値τ１＝τ２＝３４．５３（Ω／□）、第３抵抗膜００５及び第４抵抗膜００８の幅方向の長さｗｐ＝０．５（ｍｍ）、シート抵抗値τ３＝τ４＝３４７．４（Ω／□）、入力信号電極００９の長手方向の長さＬ３＝０．６（ｍｍ）、幅方向の長さｗＳ＝１．２（ｍｍ）、第２抵抗膜００７の長手方向の長さ（Ｌ２）と出力信号電極０１０の長手方向の長さとを加えた長さ２．２（ｍｍ）、出力信号電極０１０の幅方向の長さｗｓ＝１．２（ｍｍ）、アースパターン０１１の長手方向の長さＬ０＝Ｌ１＋Ｌ３＋２．２＝３．２（ｍｍ）、幅方向の長さｗｇ＝０．５（ｍｍ）として感温減衰器００１を構成する。また、本実施例における入力信号電極００９、出力信号電極０１０、及びアースパターン０１１の材質は銅（Ｃｕ）である。そのうえで、第２抵抗膜００７及び第４抵抗膜００８を減衰量の温度係数γ２＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）の非感温減衰部とし、その長手方向の長さを０．１（ｍｍ）間隔で０．１（ｍｍ）から１．６（ｍｍ）まで変化させる。ここで、Ｌ２＝１．０（ｍｍ）の状態を基準のポジションとし、この状態をポジション０と称する。そして、ポジション０から０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを増やした場合の各ポジションをポジション−１〜ポジション−６とする。また、ポジション０から０．１（ｍｍ）ずつＬ２の長さを減らした場合の各ポジションをポジション１〜ポジション９とする。例えば、図１９（Ａ）はポジション−６の状態を表し、図１９（Ｂ）はポジション−２の状態を表し、図１９（Ｃ）はポジション２の状態を表している。
【０１４０】
さらに、単位当たりの減衰量α０が５．０（ｄＢ／ｍｍ）であるので、例えば、図１９（Ａ）〜（Ｃ）に示されている感温減衰器００１は、それぞれ２５℃での感温減衰器００１の全体の減衰量Α２５を１０（ｄＢ）、８（ｄＢ）、６（ｄＢ）としたものである。
【０１４１】
ここで、特性インピーダンスがＺ０＝｛（τ１τ３）・（ｗｐ／ｗＳ）｝１／２＝｛（τ２τ４）・（ｗｐ／ｗＳ）｝１／２＝｛（３４．５３×３４７．４）／２×（０．５／１．２）｝１／２＝４９．９９（Ω）であり、おおよそ５０（Ω）となる感温減衰器であるように構成した。
【０１４２】
図２０（Ａ）は実施例５に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図である。また、図２０（Ｂ）は実施例５に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図である。図２０（Ａ）は縦軸を減衰量温度係数に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図２０（Ａ）に示すように、実施例５に係る感温減衰器００１は、Ｌ２の長さを短くするにつれ、すなわち第２減衰部００６の減衰量が減るにつれ、減衰量温度係数が低下していくことがわかる。また、図２０（Ｂ）は縦軸を減衰量に採り、横軸をポジションに採ったグラフである。図２０（Ｂ）に示すように、実施例５に係る感温減衰器００１はポジションに比例して減衰量が減少していくことが分かる。
【０１４３】
図２１は実施例５に係る感温減衰器００１の各ポジションにおける温度変化に対する減衰量の変化のシミュレーションを行ったものである。図２１のグラフは縦軸を減衰量（ｄＢ）、横軸を温度（℃）に採ったグラフである。グラフ２１１がポジション０、グラフ２１２がポジション−３、グラフ２１３がポジション−６、グラフ２１４がポジション３、グラフ２１５がポジション６、グラフ２１６がポジション９、における感温減衰器００１の減衰量の温度変化を表すグラフである。
【０１４４】
そして、図２１のグラフを参照すると、それぞれグラフの傾きは一定の一次関数で表わされている。具体的には、図１９（Ａ）〜（Ｃ）のそれぞれの減衰量の温度特性は、Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ＝０．２×５．０×（−０．０１）×２．０＝−０．０２（ｄＢ／℃）、Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ＝０．２５×５．０×（−０．０１）×１．６＝−０．０２（ｄＢ／℃），Ｐ＝ａ×α０×γ１×Ｌ＝（０．４／１．２）×５．０×（−０．０１）×２．０＝−０．０２（ｄＢ／℃）となる。すなわち、何れも同じ減衰量の温度特性を有している。これはａ×Ｌが常に一定なためである。
【０１４５】
したがって、実施例５に係る感温減衰器００１は、図２１のグラフに示すように、各温度での減衰量が異なるが減衰量の温度係数が等しい感温減衰器を容易に作製することが可能となる。また、以上の説明ではＬ２の長さを０．１（ｍｍ）単位で変化させたポジションを用いて説明したがその間の値をとることもでき、より細かい減衰量の設定を容易に行うことが可能となる。
【０１４６】
以上で説明したように、本実施形態に係る感温減衰器によれば各温度での減衰量が異なるが減衰量の温度係数が等しい感温減衰器を容易に作成することが可能となる。
【０１４７】
なお、各実施形態において、第１減衰部及び第２減衰部の単位当たりの減衰量をすべて同じ５ｄＢ、また、減衰量温度係数も、第１減衰部＝−０．０１（ｄＢ／ｄＢ／℃）、第２減衰部＝０（ｄＢ／ｄＢ／℃）のものについて説明したが、これらは目的に応じて適宜構成・組み合わせることが可能であり、第１減衰部と第２減衰部の単位当たりの減衰量を異ならせることにより全体の減衰量を調整したり、第１減衰部と第２減衰部をともに感温減衰器（正と正あるいは正と負の組み合わせ）で構成することも可能である。また、以上の各実施形態での説明では、第１減衰部が入力信号電極に接し、且つ第２減衰部が出力信号電極に接した構成で説明したが、これは第１減衰部と第２減衰部とを入れ替えて、第１減衰部が出力信号電極に接し、且つ第２減衰部が入力信号電極に接する構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】第１の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の模式図
【図２】（Ａ）第１の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の模式的な上面斜視図（Ａ）第１の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の模式的な底面斜視図
【図３】実施例１に係る分布定数型感温減衰器の模式図（第１の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図）
【図４】実施例１に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の温度変化のシミュレーション結果の図
【図５】（Ａ）実施例１に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図、（Ｂ）実施例１に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図
【図６】比較例に係る分布定数型減衰器の模式図
【図７】実施例１及び比較例に係る分布定数型減衰器の減衰量の周波数特性を表すグラフの図
【図８】実施例１及び比較例に係る分布定数型減衰器のＶＳＷＲの周波数特性を表すグラフの図
【図９】実施例２に係る分布定数型感温減衰器の模式図（第２の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図）
【図１０】（Ａ）実施例２に係る分布定数型感温減衰器の２５℃における減衰量の周波数特性を表すグラフの図、（Ｂ）実施例２に係る分布定数型感温減衰器の２５℃におけるＶＳＷＲの周波数特性を表すグラフの図
【図１１】（Ａ）実施例２に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図、（Ｂ）実施例２に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図
【図１２】実施例２に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の温度変化のシミュレーション結果の図
【図１３】実施例３に係る分布定数型感温減衰器の模式図（第３の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図）
【図１４】実施例４に係る分布定数型感温減衰器の模式図（第３の実施形態に係る分布定数型感温減衰器の構成の一例を示す模式図）
【図１５】（Ａ）実施例３に係る分布定数型感温減衰器の２５℃における減衰量の周波数特性を表すグラフの図、（Ｂ）実施例３に係る分布定数型感温減衰器の２５℃におけるＶＳＷＲの周波数特性を表すグラフの図
【図１６】（Ａ）実施例３に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図、（Ｂ）実施例３に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図
【図１７】実施例３に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の温度変化のシミュレーション結果の図
【図１８】（Ａ）実施例４に係る分布定数型感温減衰器の２５℃における減衰量の周波数特性を表すグラフの図、（Ｂ）実施例４に係る分布定数型感温減衰器の２５℃におけるＶＳＷＲの周波数特性を表すグラフの図
【図１９】（Ａ）第４の実施形態に係る減衰量１０（ｄＢ）の分布定数型感温減衰器の模式図、（Ｂ）第４の実施形態に係る減衰量８（ｄＢ）の分布定数型感温減衰器の模式図、（Ｃ）第４の実施形態に係る減衰量６（ｄＢ）の分布定数型感温減衰器の模式図
【図２０】（Ａ）実施例５に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量温度係数の変化を表すグラフの図、（Ｂ）実施例３に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の変化を表すグラフの図
【図２１】実施例５に係る感温減衰器の各ポジションにおける減衰量の温度変化のシミュレーション結果の図
【符号の説明】
【０１４９】
００１  分布定数型感温減衰器
００２  誘電体基板
００３  第１減衰部
００４  第１抵抗膜（主抵抗体）
００５  第３抵抗膜（副抵抗体）
００６  第２減衰部
００７  第２抵抗膜（主抵抗体）
００８  第４抵抗膜（副抵抗体）
００９  入力信号電極
０１０  出力信号電極
０１１  アースパターン
０１２  側面パターン
０１３  端面パターン
０１４  裏面パターン
０１５  導体
Α  感温減衰器全体の減衰量
α  単位長さ当たりの減衰量
τ  シート抵抗値
Ｒ  抵抗値
ｒ  抵抗温度係数
Γ  減衰器全体の減衰量の温度係数
γ  各減衰部の減衰量の温度係数
Ｐ  減衰量の温度特性
ｐ  各減衰部の減衰量の温度特性
ｔ  厚さ
Ｌ  長手方向の長さ
ｗ  幅方向の長さ
ａ  第１減衰部の長手方向の長さの割合
σ  電気伝導度
【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１８】
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【図２０】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図９】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１７】
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【図１９】
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【図２１】
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