(57)【要約】【課題】新規工場の構築時に、設備投資を最小に抑え、且つ立ち上げ期間を短縮できる。【解決手段】立上げ中の新規工場２２の各製造装置３７〜３９を、安定稼動状態の既存工場２１の各製造装置２３〜２５と略同じにする。また、新規工場２２の検査装置４０を、既存工場２１の検査装置２６と略同じにする。また、新規工場２２の第２要因分析部４２を、通信回線４９を介して既存工場２１の相関データベース２８に接続する。相関データベース２８には、互いに関連付けられた多くの品質情報,プロセス情報および復旧作業情報が蓄積されている。そのために、新規工場２２の製造装置を最適化する際に、第２要因分析部４２が不良要因を推定する場合に、相関データベース２８を利用できる。したがって、新規工場２２に相関データベースを設けて多くの上記情報を蓄積するための量産試作を行う必要がなく、設備投資を最小に抑え、立ち上げ期間を短縮できる。【選択図】図１
2010286880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に順次プロセス処理を施して製造品を製造する複数の製造装置と、上記プロセス処理が施された上記製造品の品質を検査する少なくとも１つの検査装置とを含む第１製造ラインと、
上記第１製造ラインの上記複数の製造装置と略同じ複数の製造装置と、上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じ少なくとも１つの検査装置とを含む第２製造ラインと、
上記第１製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを、上記製造品毎に関連付けて登録する相関データベースと、
上記第２製造ラインにおける上記検査装置からの検査結果に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したと判断した場合に、上記相関データベースの登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける複数の製造装置のうち不良発生要因となっている製造装置を推定する要因分析部と、
上記要因分析部による不良発生要因の推定結果を出力する結果出力部と
を備えたことを特徴とする不良要因推定システム。
【請求項２】
請求項１に記載の不良要因推定システムにおいて、
上記相関データベースと上記要因分析部との間で、通信回線を介して上記相関データベースの登録情報の送受信を行う情報送受信部を備え、
上記要因分析部は、上記通信回線と上記情報送受信部とを介して、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記製造装置からのプロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するようになっている
ことを特徴とする不良要因推定システム。
【請求項３】
請求項１に記載の不良要因推定システムにおいて、
上記第２製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを取得すると共に、上記要因分析部との間で、通信回線を介して、上記取得したプロセス情報および検査情報と、上記要因分析部による上記第２製造ラインに関する不良発生要因の推定結果との送受信を行う情報送受信部を備え、
上記要因分析部は、上記情報送受信部から上記第２製造ラインに関する上記プロセス情報および上記検査情報を受け取った場合には、当該検査情報に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したか否かを判別し、不良品が発生したと判断した場合には、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査情報と当該検査情報に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける不良発生要因を推定すると共に、推定結果を上記情報送受信部に送出するようになっており、
上記結果出力部は、出力すべき不良発生要因の推定結果を上記情報送受信部から受け取るようになっている
ことを特徴とする不良要因推定システム。
【請求項４】
請求項３に記載の不良要因推定システムにおいて、
上記第１製造ラインにおける上記検査装置からの検査結果に基づいて上記第１製造ラインに不良品が発生したと判断した場合に、上記相関データベースの登録情報を参照して、上記第１製造ラインにおける複数の製造装置のうち不良発生要因となっている製造装置を推定する第１製造ライン用要因分析部を備え、
上記要因分析部として、上記第１製造ライン用要因分析部を用いる
ことを特徴とする不良要因推定システム。
【請求項５】
請求項１から請求項４までの何れか一つに記載の不良要因推定システムにおいて、
上記相関データベースには、上記製造品毎に関連付けられた上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とに加えて、不良発生時に実行された復旧作業情報も関連付けられて登録されている
ことを特徴とする不良要因推定システム。
【請求項６】
請求項１から請求項５までの何れか一つに記載の不良要因推定システムにおいて、
上記相関データベースには、上記第１製造ラインにおける上記プロセス情報および上記検査情報に加えて、第２製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とが上記製造品毎に関連付けられて登録されている
ことを特徴とする不良要因推定システム。
【請求項７】
基材に順次プロセス処理を施して製造品を製造する複数の製造装置と、上記プロセス処理が施された上記製造品の品質を検査する少なくとも１つの検査装置とを含む第１製造ラインと、
上記第１製造ラインの上記複数の製造装置と略同じ複数の製造装置と、上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じ少なくとも１つの検査装置とを含む第２製造ラインと
を備え、
要因分析部によって、上記第２製造ラインにおける上記検査装置からの検査結果に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したと判断した場合に、上記第１製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを上記製造品毎に関連付けて登録した相関データベースの登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける複数の製造装置のうち不良発生要因となっている製造装置を推定し、
結果出力部によって、上記要因分析部による不良発生要因の推定結果を出力する
ことを特徴とする不良要因推定方法。
【請求項８】
請求項７に記載の不良要因推定方法において、
上記要因分析部によって、通信回線を介して、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記製造装置からのプロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定する
ことを特徴とする不良要因推定方法。
【請求項９】
請求項７に記載の不良要因推定方法において、
情報送受信部によって、上記第２製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを取得して、通信回線を介して上記要因分析部に送信する第１ステップと、
上記要因分析部によって、上記第１ステップにおいて上記情報送受信部から上記第２製造ラインに関する上記プロセス情報および上記検査情報を受け取った場合には、当該検査情報に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したか否かを判別し、不良品が発生したと判断した場合には、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査情報と当該検査情報に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける不良発生要因を推定すると共に、推定結果を上記情報送受信部に送出する第２ステップと、
上記情報送受信部によって、上記要因分析部による上記第２製造ラインにおける不良発生要因の推定結果を、上記通信回線を介して上記結果出力部に送出する第３ステップと、
上記結果出力部によって、上記要因分析部による不良発生要因の推定結果を出力する第４ステップと
を備えたことを特徴とする不良要因推定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、順次製造装置でプロセス処理を実行して製造品を製造する製造ラインに関して、不良品の発生要因となっている製造装置およびプロセス処理を推定する不良要因推定システムおよび不良要因推定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体あるいは液晶パネルの製造品は、基板に対して複数の製造装置でプロセス処理を順次実行して製造される。そして、検査装置で上記製造品の品質を検査し、必要に応じて上記製造品を良品と不良品との何れかに分類する。その結果、不良品に分類された製造品が増加して歩留りが低下していることが判明した場合には、上記複数のプロセス処理を実行する製造ラインにおける不良品発生要因を究明して対策を行うことが必要となる。
【０００３】
製造ラインにおける不良品発生要因を究明するシステムとして、特許第３９１９２９４号公報(特許文献１)に開示された「産業用機器の遠隔保守システム」がある。この産業用機器の遠隔保守システムにおいては、インターネットあるいはイントラネットを介して、産業用機器を監視する監視装置からの上記産業用機器の異常状態を表す情報を受信する受信手段と、上記異常状態の情報と当該常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースとを備え、異常に対する対処方法が上記データベースに登録されている場合には、その対処方法の情報を上記データベースから読み出して上記監視装置に送信するようにしている。
【０００４】
図４は、上記特許文献１に開示された従来の産業用機器の遠隔保守システムの構成を示す。以下、図４に従って、上記従来の産業用機器の遠隔保守システムについて説明する。
【０００５】
図４において、１は産業用機器を供給するベンダ(装置供給メーカ)の事務所であり、２〜４は産業用機器のユーザとしての半導体製造メーカの生産工場である。生産工場２〜４には、夫々、複数の産業用機器６と、それらを結ぶＬＡＮ(イントラネット)９と、各産業用機器６の稼動状況を監視する監視装置としてのホストコンピュータ７とが設けられている。そして、各生産工場２〜４に設けられたホストコンピュータ７は、インターネット５を介してベンダ１側の管理装置であるホストコンピュータ８に接続されている。
【０００６】
図４に示す構成において、トラブルが発生した場合には、トラブルが発生した生産工場の監視装置７から、インターネット５を介して、各産業用機器６の稼動状況を示すステータス情報(例えば、トラブルが発生した産業機器の症状)を、ベンダ１に通知する。そうすると、通知を受けたベンダ１のホストコンピュータ８は、図５に示すフローチャートに示す処理を行うことによって対応する。
【０００７】
すなわち、上記ホストコンピュータ８は、ステップＳ1で、トラブルの報告があると判別した場合には、ステップＳ2で、トラブルが発生した生産工場からの上記ステータス情報を取得する。そして、ステップＳ3で、上記取得したステータス情報に基づいて、各生産工場の産業用機器の保守を管理するためのトラブルデータベースＤＢ(図示せず)を参照して、過去に発生した同一の症状がトラブルデータベースＤＢに登録済みであるか否を判別する。その結果、登録済みである場合には、ステップＳ5で、トラブルデータベースＤＢに当該症状の対処法が登録済みか否かを判別し、対処法が登録済みである場合には、ステップＳ6で、トラブルデータベースＤＢに登録されている対処法(応答情報)(例えば、対処法を示すコードやメッセージ等)を、当該トラブルが発生した生産工場のホストコンピュータ７に、インターネット５を介して通知する。
【０００８】
上記ステップＳ3において、当該トラブルと同一の症状がトラブルデータベースＤＢに登録されていないと判別した場合には、ステップＳ4で、当該症状をトラブルデータベースＤＢに新規に登録した後、ステップＳ7に進む。また、上記ステップＳ5において、対処法がトラブルデータベースＤＢに登録されていないと判別した場合には、ステップＳ7に進む。
【０００９】
ステップＳ7で、上記ベンダ１の担当者に、トラブルの発生,トラブルの内容(ステータス情報),対処法(応答情報)通知の有無および現在の状況やその他の関連情報を通知する。ステップＳ8で、トラブルデータベースＤＢを更新して、処理を終了する。
【００１０】
上述のように、上記特許文献１に開示された従来の産業用機器の遠隔保守システムにおいては、製造装置が異常信号を発した場合には、迅速に対策することができるのである。
【００１１】
製造ラインにおける不良品発生要因を究明する他のシステムとして、特開２００５‐３２７９０９号公報(特許文献２)に開示された「不良要因推定対策出力装置」がある。この不良要因推定対策出力装置では、回路基板上に電子部品を実装する製造ラインにおいて、不良が発生すると当該不良に対して講ずるべき対策を出力するようにしている。
【００１２】
図６は、上記特許文献２に開示された従来の不良要因推定対策出力装置１１が適用されるシステム全体の構成を示す図である。
【００１３】
図６において、上記製造ラインの製造装置としての実装装置１２は、自装置にトラブルが発生すると、プロセス情報としての設備品質情報１３およびトラブル情報１４を出力する。設備品質情報１３は、実装装置１２における処理状況としての稼働条件を示す情報であって、例えば、圧力,温度,部品の吸着率等の情報である。トラブル情報１４は、実装装置１２で発生したトラブルの内容を示す情報である。トラブルの内容は、例えば、部品切れ,基板落下,ノズルつまり等である。
【００１４】
検査装置１５は、製造品としての回路基板(図示せず)の検査結果を実装品質情報１６として出力する。実装品質情報１６は、例えば、「接合材の供給量が不足している」こと、「装着された部品に位置ズレが発生している」こと、「部品の半田付け形状が不十分である」こと等の検査結果を示す情報である。
【００１５】
上記実装装置１２から出力された設備品質情報１３およびトラブル情報１４と、検査装置１５から出力された実装品質情報１６とは、不良要因推定対策出力装置１１のデータベースとしての関連性記録部１７に記録される。
【００１６】
また、設備にトラブルが発生した場合、あるいは、生産された製造品に不良が発生した場合には、作業者は、トラブルが発生した実装装置１２を復旧させるための操作や、部品を清掃する等のメンテナンス作業を行う。そして、作業者は、実装装置１２を復旧させるために行った操作の内容やメンテナンス作業の内容を示す復旧作業情報１８を作成し、復旧作業またはメンテナンス作業の対象となった設備品質情報１３,トラブル情報１４および実装品質情報１６と関連付けて関連性記録部１７に登録する。
【００１７】
その後、同様の不具合が発生した場合には、要因分析部としての対策分析部１９によって、関連性記録部１７を参照して、発生した不具合に対して行うべき復旧作業内容が決定される。そして、対策分析部１９によって決定された対策内容は、対策内容出力部２０から出力される。
【００１８】
このように、プロセス処理毎に検査工程が設けられている場合には、特許文献２に開示された従来の不良要因推定対策出力装置１１を用いることによって、品質異常が発生した場合に、製造装置に対して迅速な対策を講じることができるのである。
【００１９】
ところで、半導体や液晶パネル等の製造品は、数十から数百の製造装置でのプロセス処理を経て生産され、夫々の製造工程および製造装置の状況が最終製造品の品質に影響しているため、個々の製造装置がエラーを発していなくとも、最終製造品の品質に問題が生じる場合がある。そのため、数十から数百の製造装置での製造プロセスを経て生産される半導体や液晶パネル等の最終製造品に、一旦不良が発生すると、不良発生要因を特定することは一般に非常に困難なのである。
【００２０】
上記特許文献１に開示された従来の産業用機器の遠隔保守システムにおいては、ベンダ１のホストコンピュータ８は、トラブルが発生した生産工場の監視装置７からステータス情報が通知されて初めて、図５に示す対処法検索通知の処理を行うようにしている。したがって、上述のように、個々の製造装置がエラーを発していなくとも最終製造品の品質に問題が生ずるような場合には、対処することができないという問題がある。
【００２１】
また、上記特許文献２に開示された従来の不良要因推定対策出力装置においては、製造工程の後に、この製造工程でのプロセス処理後の製造品の検査を行う検査工程を設けているので、検査装置１５で歩留り低下が検出された場合には、その検査工程の直前に実行された製造工程が不良要因であることが容易に分かる。
【００２２】
しかしながら、実際の半導体や液晶パネル等の製造工場において、順次実行される製造工程毎に不良品発生要因を特定するための検査工程を設けた場合には、不良発生要因である製造工程の特定が容易になる反面、多数の検査装置を設けることによって多額の設備投資が必要となる。そればかりか、多数の検査装置に対するメンテナンス費用の発生、リードタイムが長くなる等の問題も生ずる。そのため、検査工程および検査装置は、必要最低限の数だけ設けるのが望ましい。
【００２３】
多くの製造工程および製造装置が必要な製造品の製造ラインであって、必要最低限の検査工程および検査装置が設置された製造ラインにおいて、製造品の特性不良が発生した場合に迅速に不良要因を推定して対策を講じるためには、多くの検査装置によって得られた検査データに関連付けて、プロセス情報および復旧作業情報を蓄積しておく必要がある。
【００２４】
上述したように、半導体や液晶パネル等のごとく、基板に対して複数のプロセス処理を順次実行して製造される製造品は、製造ラインが量産稼動状態にある場合には、当該製造ラインに設けられた検査装置によって製造品の品質を検査し、必要に応じて良品および不良品の何れかに分類する。その結果、不良品に分類された製造品が増加して歩留りが低下していることが判明した場合には、上記複数の製造プロセスを実行する製造ラインにおける不良品発生要因を究明して対策を行うことが重要である。
【００２５】
一方、新規工場を建設する場合あるいは新規製造ラインを構築する場合、多くの製造装置を導入し、立ち上げ、条件出しを行う必要がある。ところが、総ての製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態に仕上げるまでには、多くの不良品が発生する低歩留まりの状況を改善していく必要がある。したがって、このような新規工場あるいは新規製造ラインの構築の時こそ、不良要因の推定システムが必要とされる。
【００２６】
上記特許文献１に開示された従来の産業用機器の遠隔保守システムおよび上記特許文献２に開示された従来の不良要因推定対策出力装置においては、不良の要因を推定するために、上記トラブルデータベースＤＢあるいは上記関連性記録部１７に、検査装置からの検査情報、製造装置からのプロセス情報、不良発生時の復旧作業情報等が蓄積されていることが必要である。そして、これらの情報の蓄積が十分でない場合は正確な不良要因の推定が困難であるため、これらの情報を蓄積するための準備が必要である。
【００２７】
したがって、上述したような新規工場あるいは新規製造ラインの構築時においては、先ず、数多くの製造品を製造することによって、多くの検査情報,プロセス情報および復旧作業情報等を上記トラブルデータベースＤＢあるいは上記関連性記録部１７に蓄積することが必要となり、総ての製造装置の状態を最適化して量産稼動状態に仕上げるまでには長期間が必要となる。
【００２８】
このように、上記特許文献１に開示された従来の産業用機器の遠隔保守システムおよび上記特許文献２に開示された従来の不良要因推定対策出力装置では、新規工場および新規製造ラインの構築時において、立ち上げ期間の短縮を図ることができないという問題がある。また、上記特許文献１に開示された従来の産業用機器の遠隔保守システムおよび上記特許文献２に開示された従来の不良要因推定対策出力装置あるいはそれらが備える上記トラブルデータベースＤＢあるいは上記関連性記録部１７を、新規工場を建設する毎にあるいは新規製造ラインを構築する毎に、新たに設置することは設備投資コストの面でも課題となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２９】
【特許文献１】特許第３９１９２９４号公報
【特許文献２】特開２００５‐３２７９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３０】
そこで、この発明の課題は、新規工場あるいは新規製造ラインの構築時において、設備投資を最小に抑え、且つ立ち上げ期間を短縮できる不良要因推定システムおよび不良要因推定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記課題を解決するため、第１の発明の不良要因推定システムは、
基材に順次プロセス処理を施して製造品を製造する複数の製造装置と、上記プロセス処理が施された上記製造品の品質を検査する少なくとも１つの検査装置とを含む第１製造ラインと、
上記第１製造ラインの上記複数の製造装置と略同じ複数の製造装置と、上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じ少なくとも１つの検査装置とを含む第２製造ラインと、
上記第１製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを、上記製造品毎に関連付けて登録する相関データベースと、
上記第２製造ラインにおける上記検査装置からの検査結果に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したと判断した場合に、上記相関データベースの登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける複数の製造装置のうち不良発生要因となっている製造装置を推定する要因分析部と、
上記要因分析部による不良発生要因の推定結果を出力する結果出力部と
を備えたことを特徴としている。
【００３２】
ここで、上記第１製造ラインは、安定稼働状態にある既存の製造ライン(既存製造ライン)であり、上記第２製造ラインは、上記第１製造ラインが安定稼働状態に入った以降に構築される新規の製造ライン(新規製造ライン)である。
【００３３】
上記構成によれば、新規製造ラインである上記第２製造ラインにおける複数の製造装置を既存製造ラインである上記第１製造ラインの複数の製造装置と略同じにすると共に、検査装置を上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じにしている。したがって、上記要因分析部が、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定する場合には、上記第１製造ライン用の上記相関データベースの蓄積データを利用することができる。
【００３４】
したがって、上記第２製造ラインの上記製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げを行う場合に、上記第２製造ライン用の相関データベースに多くのプロセス情報および品質情報を蓄積するための量産試作を行わなくても上記第２製造ラインの不良発生要因の推定を迅速に行うことが可能であり、上記第２製造ラインを立上げ当初から高い歩留りで操業することが可能になる。したがって、上記第２製造ラインに高い能力を有する作業員を配置しなくとも、迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとが可能になる。
【００３５】
さらに、膨大なプロセス情報および品質情報が蓄積された上記第２製造ライン専用の相関データベースを備える必要がない。したがって、上記第２製造ラインに対する投資コストを抑制することができる。
【００３６】
また、１実施の形態の不良要因推定システムでは、
上記相関データベースと上記要因分析部との間で、通信回線を介して上記相関データベースの登録情報の送受信を行う情報送受信部を備え、
上記要因分析部は、上記通信回線と上記情報送受信部とを介して、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記製造装置からのプロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するようになっている。
【００３７】
この実施の形態によれば、情報送受信部によって、上記相関データベースと上記要因分析部との間で、通信回線を介して上記相関データベースの登録情報の送受信を行うようにしている。したがって、上記第２製造ライン,上記要因分析部および上記結果出力部を、上記第１製造ラインおよび上記相関データベースから遠く離れた位置に構築する場合であっても、上記第２製造ラインの迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとを可能にすることができる。
【００３８】
さらに、上記要因分析部は、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するようになっている。したがって、互いに関連付けられた多くのプロセス情報および品質情報が蓄積された上記相関データベースから、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するのに必要な登録情報のみを的確に検索することができ、不良要因の推定をより迅速に行うことができる。
【００３９】
また、１実施の形態の不良要因推定システムでは、
上記第２製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを取得すると共に、上記要因分析部との間で、通信回線を介して、上記取得したプロセス情報および検査情報と、上記要因分析部による上記第２製造ラインに関する不良発生要因の推定結果との送受信を行う情報送受信部を備え、
上記要因分析部は、上記情報送受信部から上記第２製造ラインに関する上記プロセス情報および上記検査情報を受け取った場合には、当該検査情報に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したか否かを判別し、不良品が発生したと判断した場合には、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査情報と当該検査情報に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける不良発生要因を推定すると共に、推定結果を上記情報送受信部に送出するようになっており、
上記結果出力部は、出力すべき不良発生要因の推定結果を上記情報送受信部から受け取るようになっている。
【００４０】
この実施の形態によれば、情報送受信部によって、上記要因分析部との間で、通信回線を介して、上記第２製造ラインにおける上記プロセス情報および上記検査情報と、上記要因分析部による上記第２製造ラインに関する不良発生要因の推定結果との送受信を行うようにしている。したがって、上記第２製造ラインおよび上記結果出力部を、上記第１製造ライン,上記要因分析部および上記相関データベースから遠く離れた位置に構築する場合であっても、上記第２製造ラインの迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとを可能にすることができる。
【００４１】
さらに、上記要因分析部は、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するようになっている。したがって、互いに関連付けられた多くのプロセス情報および品質情報が蓄積された上記相関データベースから、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するのに必要な登録情報のみを的確に検索することができ、不良要因の推定をより迅速に行うことができる。
【００４２】
また、１実施の形態の不良要因推定システムでは、
上記第１製造ラインにおける上記検査装置からの検査結果に基づいて上記第１製造ラインに不良品が発生したと判断した場合に、上記相関データベースの登録情報を参照して、上記第１製造ラインにおける複数の製造装置のうち不良発生要因となっている製造装置を推定する第１製造ライン用要因分析部を備え、
上記要因分析部として、上記第１製造ライン用要因分析部を用いる。
【００４３】
この実施の形態によれば、上記要因分析部として、上記第１製造ラインにおける不良発生要因を推定する第１製造ライン用要因分析部を用いるようにしている。したがって、上記第２製造ラインの不良発生要因推定用の相関データベースに加えて、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するための専用の上記要因分析部をも備える必要がない。したがって、上記第２製造ラインに対する投資コストをより抑制することができる。
【００４４】
また、１実施の形態の不良要因推定システムでは、
上記相関データベースには、上記製造品毎に関連付けられた上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とに加えて、不良発生時に実行された復旧作業情報も関連付けられて登録されている。
【００４５】
この実施の形態によれば、上記相関データベースには、上記プロセス情報および上記検査情報に加えて復旧作業情報も関連付けて登録されているので、上記第２製造ラインにおける不良発生要因の推定結果に加えて過去の復旧作業情報も得ることができる。したがって、不良品発生に伴う復旧作業の場合に過去の復旧作業情報を参考にすることができ、復旧作業の短縮を図ることができる。
【００４６】
また、１実施の形態の不良要因推定システムでは、
上記相関データベースには、上記第１製造ラインにおける上記プロセス情報および上記検査情報に加えて、第２製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とが上記製造品毎に関連付けられて登録されている。
【００４７】
この実施の形態によれば、上記相関データベースに、上記第１製造ラインにおける上記プロセス情報および上記検査情報に加えて、第２製造ラインにおける上記プロセス情報および上記検査情報を登録している。したがって、上記第２製造ラインにおける不良発生要因の推定の際に、上記第２製造ラインの上記プロセス情報および上記検査情報を参照することができ、上記第２製造ラインにおける不良発生要因の推定精度をより高めることができる。
【００４８】
また、第２の発明の不良要因推定方法は、
基材に順次プロセス処理を施して製造品を製造する複数の製造装置と、上記プロセス処理が施された上記製造品の品質を検査する少なくとも１つの検査装置とを含む第１製造ラインと、
上記第１製造ラインの上記複数の製造装置と略同じ複数の製造装置と、上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じ少なくとも１つの検査装置とを含む第２製造ラインと
を備え、
要因分析部によって、上記第２製造ラインにおける上記検査装置からの検査結果に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したと判断した場合に、上記第１製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを上記製造品毎に関連付けて登録した相関データベースの登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける複数の製造装置のうち不良発生要因となっている製造装置を推定し、
結果出力部によって、上記要因分析部による不良発生要因の推定結果を出力する
ことを特徴としている。
【００４９】
ここで、上記第１製造ラインは、安定稼働状態にある既存の製造ライン(既存製造ライン)であり、上記第２製造ラインは、上記第１製造ラインが安定稼働状態に入った以降に構築される新規の製造ライン(新規製造ライン)である。
【００５０】
上記構成によれば、新規製造ラインである上記第２製造ラインにおける複数の製造装置を既存製造ラインである上記第１製造ラインの複数の製造装置と略同じにすると共に、検査装置を上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じにしている。したがって、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定する場合には、上記第１製造ライン用の上記相関データベースの蓄積データを利用することができる。
【００５１】
したがって、上記第２製造ラインの上記製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げを行う場合に、上記第２製造ライン用の相関データベースに多くのプロセス情報および品質情報を蓄積するための量産試作を行わなくても上記第２製造ラインの不良発生要因の推定を迅速に行うことが可能であり、上記第２製造ラインを立上げ当初から高い歩留りで操業することが可能になる。したがって、上記第２製造ラインに高い能力を有する作業員を配置しなくとも、迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとが可能になる。
【００５２】
さらに、膨大なプロセス情報および品質情報が蓄積された上記第２製造ライン専用の相関データベースを備える必要がない。したがって、上記第２製造ラインに対する投資コストを抑制することができる。
【００５３】
また、１実施の形態の不良要因推定方法では、
上記要因分析部によって、通信回線を介して、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記製造装置からのプロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定する。
【００５４】
この実施の形態によれば、上記相関データベースと上記要因分析部との間で、通信回線を介して上記相関データベースの登録情報の送受信を行うようにしている。したがって、上記第２製造ライン,上記要因分析部および上記結果出力部を、上記第１製造ラインおよび上記相関データベースから遠く離れた位置に構築する場合であっても、上記第２製造ラインの迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとを可能にすることができる。
【００５５】
さらに、上記要因分析部によって、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するようにしている。したがって、互いに関連付けられた多くのプロセス情報および品質情報が蓄積された上記相関データベースから、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するのに必要な登録情報のみを的確に検索することができ、不良要因の推定をより迅速に行うことができる。
【００５６】
また、１実施の形態の不良要因推定方法では、
情報送受信部によって、上記第２製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを取得して、通信回線を介して上記要因分析部に送信する第１ステップと、
上記要因分析部によって、上記第１ステップにおいて上記情報送受信部から上記第２製造ラインに関する上記プロセス情報および上記検査情報を受け取った場合には、当該検査情報に基づいて上記第２製造ラインに不良品が発生したか否かを判別し、不良品が発生したと判断した場合には、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査情報と当該検査情報に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける不良発生要因を推定すると共に、推定結果を上記情報送受信部に送出する第２ステップと、
上記情報送受信部によって、上記要因分析部による上記第２製造ラインにおける不良発生要因の推定結果を、上記通信回線を介して上記結果出力部に送出する第３ステップと、
上記結果出力部によって、上記要因分析部による不良発生要因の推定結果を出力する第４ステップと
を備えている。
【００５７】
この実施の形態によれば、情報送受信部によって、上記第２製造ラインと上記要因分析部との間で、通信回線を介して、上記第２製造ラインにおける上記プロセス情報および上記検査情報と、上記要因分析部による上記第２製造ラインに関する不良発生要因の推定結果との送受信を行うようにしている。したがって、上記第２製造ラインおよび上記結果出力部を、上記第１製造ライン,上記要因分析部および上記相関データベースから遠く離れた位置に構築する場合であっても、上記第２製造ラインの迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとを可能にすることができる。
【００５８】
さらに、上記要因分析部によって、上記相関データベースから、不良品が発生したと判断した上記検査結果と当該検査結果に対応する上記プロセス情報とに類似した値を有する登録情報を検索し、この検索された上記登録情報を参照して、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するようにしている。したがって、互いに関連付けられた多くのプロセス情報および品質情報が蓄積された上記相関データベースから、上記第２製造ラインの不良発生要因を推定するのに必要な登録情報のみを的確に検索することができ、不良要因の推定をより迅速に行うことができる。
【発明の効果】
【００５９】
以上より明らかなように、この発明によれば、第２製造ライン(新規製造ライン)における複数の製造装置を第１製造ライン(既存製造ライン)の複数の製造装置と略同じにすると共に、検査装置を上記第１製造ラインの上記検査装置と略同じにする。そして、要因分析部によって、上記第２製造ラインに不良品が発生したと判断した場合は、上記第１製造ラインにおける上記製造装置からのプロセス情報と上記検査装置からの検査情報とを上記製造品毎に関連付けて登録した相関データベースの登録情報を参照して、上記第２製造ラインにおける不良発生要因を推定するようにしている。
【００６０】
したがって、上記第２製造ラインの上記製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げを行う場合に、上記第２製造ライン用の相関データベースに多くのプロセス情報および品質情報を蓄積するための量産試作を行わなくても不良要因の推定を迅速に行うことができ、上記第２製造ラインを立上げ当初から高い歩留りで操業することができる。その結果、上記第２製造ラインに高い能力を有する作業員を配置しなくとも、迅速な立上げと立上げ当初からの高い歩留りとが可能になる。
【００６１】
さらに、膨大なプロセス情報および品質情報が蓄積された上記第２製造ラインの不良発生要因推定用の相関データベースを備える必要がない。したがって、上記第２製造ラインに対する投資コストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】この発明の不良要因推定システムにおける概略構成を示す図である。
【図２】従来の技術によって新規工場を構築した場合における既存工場および新規工場の概略構成を示す図である。
【図３】図１とは異なる不良要因推定システムにおける概略構成を示す図である。
【図４】従来の産業用機器の遠隔保守システムの構成を示す図である。
【図５】図４におけるベンダのホストコンピュータによって実行される対処法の検索通知の処理のフローチャートである。
【図６】従来の不良要因推定対策出力装置が適用されたシステム全体の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００６３】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００６４】
・第１実施の形態
図１は、本実施の形態の不良要因推定システムにおける概略構成を示す。図１においては、不良要因推定システムを構成する製造工場および製造ラインを模式的に示している。本不良要因推定システムは、基板に対して順次プロセス処理を行って製造される例えば半導体あるいは液晶パネルの製造工場であって、複数の製造工程を含む２つの製造工場から構成されている。そのうちの１つの製造工場は、既に生産稼動状態にある既存工場２１であり、今一つの製造工場は、現時点で立上げ中の新規工場２２である。
【００６５】
上記既存工場２１は、上記第１製造ラインである既存製造ラインに、複数の製造装置２３,２４,…,２５と、少なくとも１つの検査装置２６とを備えている。また、不良品が発生した場合に迅速に不良要因を推定するための第１不良要因推定装置２７を備えている。第１不良要因推定装置２７内には、要因分析に必要なデータを蓄積する相関データベース２８、相関データベース２８に蓄積されたデータに基づいて不良要因および対策を分析する第１要因分析部２９、第１要因分析部２９による分析の結果推定された対策を出力する第１結果出力部３０、相関データベース２８に蓄積された情報を外部に対して送受信するための第１情報送受信部３１が設けられている。
【００６６】
上記半導体または上記液晶パネル等の製造品は、破線の矢印で示すように移動する上記基材としての基板に対して、製造装置２３,２４,…,２５によって、順次プロセス処理が施されて完成する。製造装置２３,２４,…,２５によって施されるプロセス処理とは、例えば、洗浄処理,成膜処理,エッチング・パターニング処理等である。また、製造装置２３,２４,…,２５とは、例えば洗浄装置,コータデベロッパ,露光装置,スパッタ装置,ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長)装置,ドライエッチ装置,ウェットエッチ装置および印刷装置等である。
【００６７】
最終のプロセス処理が完了した後、製造品は検査装置２６によって検査が行われ、製造品が良品であるか不良品であるかが判定される。既存工場２１においては、各プロセス処理が施された基板に対して、検査装置２６によって各種の計測が行われる。そして、検査装置２６で計測された各計測項目等の品質情報３２が、相関データベース２８に記録して蓄積される。ここで、品質情報３２とは、例えば製造品が半導体の場合には、各種電気テストの結果や異物等の外観テストの結果等を表す情報である。
【００６８】
同様に、各製造装置２３,２４,…,２５においても、基板に対して実行されるプロセス処理に関する情報であるプロセス情報３３,３４,…,３５が出力され、相関データベース２８に記録して蓄積される。
【００６９】
また、上記第１不良要因推定装置２７の第１結果出力部３０から不良要因の推定結果が出力された際に、作業者が各製造装置２３,２４,…,２５の何れかに対して不良要因を取り除く対策を講じた場合には、作業者によって復旧作業情報３６が作成されて相関データベース２８に記録して蓄積される。
【００７０】
これらの記録の際に、各製造装置２３,２４,…,２５から出力されるプロセス情報３３,３４,…,３５と、検査装置２６から出力される品質情報３２と、作業者によって入力される復旧作業情報３６とは、各処理基板毎に関連付けられて記録される。こうして、各処理基板毎に関連付けられて記録されたプロセス情報３３,３４,…,３５と品質情報３２と復旧作業情報３６とは、プロセス処理と製造品の品質との因果関係を分析するために使用される。ここで、プロセス情報３３,３４,…,３５とは、例えば製造装置２３,２４,…,２５がＣＶＤ装置である場合には、ガス圧,ガス流量,基板温度,投入電力および反射電力等の実測値である。
【００７１】
上記既存工場２１において、上記第１不良要因推定装置２７の第１要因分析部２９は、検査装置２６からの品質情報３２に基づいて、不良品が発生したと判断した場合には、相関データベース２８に蓄積されたデータ(互いに関連付けられたプロセス情報３３,３４,…,３５と品質情報３２と復旧作業情報３６とから成るデータ)の中から、不良と判定された品質情報３２に最も近い値を呈する品質情報を含むデータ(不良品データ)を検索し、この検索された過去の不良品データと現在発生しているプロセス情報３３,３４,…,３５および品質情報３２とを比較分析することによって、不良の原因となっている製造装置の不良要因を推定する。そして、この推定された不良要因と、上記検索された過去の不良品データに復旧作業情報(対策情報)３６が登録されている場合には対策内容とが、第１結果出力部３０から出力される。
【００７２】
そうすると、作業者は、上記第１結果出力部３０から出力された不良要因の推定結果と過去に行われた対策内容とに基づいて、上記対策内容を参考として、不良を発生している製造装置に対して不良要因を取り除く対策を講ずる。そして、当該対策が完了した後に、講じた対策が過去に行われた対策と異なる場合には、新たな対策情報として復旧作業情報３６を作成して相関データベース２８に記録するのである。
【００７３】
このようなサイクルを繰り返すことによって、上記相関データベース２８には、互いに関連付けられた多くのプロセス情報,品質情報および復旧作業情報が蓄積されて、不良が再発した場合に、第１要因分析部２９によって行われる不良要因の推定精度が向上し、対策を講ずるまでの時間を短縮できるようになっている。
【００７４】
一方、図１における立上げ中の新規工場２２は、既存工場２１が安定稼動状態になった後に建設された工場であり、上記第２製造ラインである新規製造ラインに、複数の製造装置３７,３８,…,３９を備えると共に、少なくとも１つの検査装置４０を備えている。新規工場２２においても、既存工場２１の場合と同様に、不良品が発生した場合に迅速に不良要因を推定するための第２不良要因推定装置４１を備えている。第２不良要因推定装置４１内には、不良要因および対策を分析する第２要因分析部４２、第２要因分析部４２による分析の結果推定された対策を出力する第２結果出力部４３、得られた情報を外部に対して送受信するための第２情報送受信部４４が設けられている。但し、要因分析に必要なデータを蓄積する相関データベースは設けられてはいない。
【００７５】
ここで、上記新規工場２２の各製造装置３７,３８,…,３９は、上記既存工場２１の各製造装置２３,２４,…,２５と略同じ装置である。また、新規工場２２の検査装置４０は、既存工場２１の検査装置２６と略同じ装置である。そして、新規工場２２の製造装置３７,３８,…,３９からは、既存工場２１の場合と同様のプロセス情報４５,４６,…,４７が出力される。また、検査装置４０からは、既存工場２１の場合と同様の品質情報４８が出力される。こうして出力されたプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８は、第２要因分析部４２に入力される。
【００７６】
上記新規工場２２において不良品が発生した場合には、第２不良要因推定装置４１によって、以下のようにして不良要因が推定される。すなわち、第２要因分析部４２は、検査装置４０からの品質情報４８に基づいて、不良品が発生したと判断した場合には、第２情報送受信部４４,通信回線４９および第１情報送受信部３１を介して、不良と判定された品質情報４８とこの品質情報４８を呈する処理基板に関するプロセス情報４５,４６,…,４７とに最も近い値を呈する品質情報とプロセス情報とを含むデータを、既存工場２１側の相関データベース２８から検索する。そして、この検索された過去の不良品データと現在発生しているプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８とを比較分析することによって、不良の原因となっている製造装置の不良要因を推定する。
【００７７】
上記新規工場２２の各製造装置３７,３８,…,３９は、既存工場２１の製造装置２３,２４,…,２５と同じである。そのために、新規工場２２での不良品発生の要因分析に、既存工場２１の相関データベース２８に蓄積されているデータを使用することが可能なのである。
【００７８】
上述のようにして推定された不良要因と、上記検索された過去の不良品データに復旧作業情報(対策情報)３６が登録されている場合には対策内容とが、第２結果出力部４３から出力される。
【００７９】
以上のごとく、本実施の形態の不良要因推定システムにおいては、現時点で立上げ中の上記新規工場２２の各製造装置３７,３８,…,３９を、安定稼動状態の既存工場２１の各製造装置２３,２４,…,２５と略同じにする。また、新規工場２２の検査装置４０を、既存工場２１の検査装置２６と略同じにする。また、新規工場２２の第２要因分析部４２は、通信回線４９を介して既存工場２１の相関データベース２８に接続する。
【００８０】
そして、上記安定稼動状態の既存工場２１においては、プロセス情報３３,３４,…,３５および品質情報３２の相関データベース２８への記録と、第１不良要因推定装置２７の第１要因分析部２９による不良要因の推定と、この推定された不良要因と対策内容との第１結果出力部３０からの出力と、作業者による復旧作業情報３６の相関データベース２８への記録とが繰り返されて、互いに関連付けられた多くの品質情報,プロセス情報および復旧作業情報が相関データベース２８に蓄積されている。この状態で、新規工場２２の製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げが行われることになる。
【００８１】
したがって、上記製造装置および検査装置が既存工場２１と同じである新規工場２２において、製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態へ仕上げるに際して、第２不良要因推定装置４１が不良要因の推定を行う場合には、互いに関連付けられた多くの品質情報,プロセス情報および復旧作業情報が蓄積されている既存工場２１側の相関データベース２８の蓄積データを利用することができる。
【００８２】
すなわち、本実施の形態によれば、上記新規工場２２の製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げを行う場合に、新規工場２２に設けられた相関データベースに多くのプロセス情報および品質情報を蓄積するための量産試作を行わなくても不良要因の推定を迅速に行うことが可能であり、新規工場２２を立上げ当初から高い歩留りで操業することが可能になる。
【００８３】
その結果、上記新規工場２２に、高い能力を有する作業員を配置しなくとも、迅速な立上げと、立上げ当初からの高い歩留りとが可能になる。
【００８４】
また、上記新規工場２２に、膨大なプロセス情報および品質情報を蓄積する相関データベースを備える必要がない。したがって、新規工場２２に対する投資コストを抑制することができる。生産工場毎に上記相関データベースを設ける場合には、第１情報送受信部３１,第２情報送受信部４４および通信回線４９を設ける必要がなくなる。しかしながら、近年インターネットが普及し、非常に安価なコストで通信インフラを構築することができるため、既存工場２１側に相関データベース２８を設ける方が、生産工場毎に上記相関データベースを設けるよりも投資削減の効果を得ることができるのである。
【００８５】
尚、本実施の形態においては、不良要因を推定する場合に、不良と判定された品質情報とプロセス情報とに最も近い値を呈する品質情報とプロセス情報とを相関データベース２８から検索するようにしている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、例えば不良と判定された品質情報およびプロセス情報との差異が所定範囲以下の値である品質情報およびプロセス情報を総て検索して、不良要因の推定時に利用しても差し支えない。
【００８６】
また、本実施の形態においては、上記既存工場２１および新規工場２２の何れも、検査装置２６,４０を、最終段の製造装置２５,３９の次段の１工程のみに設置している。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、各製造装置２３,２４,…,２５；３７,３８,…,３９の途中に検査装置を設置しても差し支えない。このように複数の検査装置を設置して、複数の製造装置の途中での品質情報をも相関データベース２８に蓄積する方が、不良要因の推定の正確性が向上する。
【００８７】
また、本実施の形態においては、上記新規工場２２の立上げのみを例に説明したが、新規工場２２が安定稼動状態になった後においての不良要因の推定の場合にも、新規工場２２よりも既存工場２１の方が累積製造量が多いため、既存工場２１の方が蓄積できるプロセス情報および品質情報の数が多い。そして、不良要因を推定する場合には多くのプロセス情報および品質情報が蓄積されている方が推定の正確性が向上する。したがって、新規工場２２が安定稼動状態になった後でも、新規工場２２を既存工場２１の相関データベース２８に接続することによって、新規工場２２の第２要因分析部４２による不良要因推定の正確性を向上させることができるのである。
【００８８】
また、本実施の形態においては、上記新規工場２２側で、プロセス情報および品質情報を相関データベースに記録してはいない。しかしながら、第２情報送受信部４４,通信回線４９および第１情報送受信部３１を介して、新規工場２２の第２要因分析部４２で取得されたプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８を、既存工場２１の相関データベース２８に追加蓄積することによって、新規工場２２の第２要因分析部４２による不良要因推定の正確性を、さらに向上させることができる。
【００８９】
また、本実施の形態においては、既存工場２１に対して、１つの新規工場２２を新設した場合の例に説明しているが、複数の新規工場を新設した場合にも、夫々の新規工場を既存工場２１に通信回線４９を介して接続することによって、１つの新規工場２２を新設した場合と同様の効果を奏することができる。寧ろ、人材の削減効果および投資削減効果の点では、既存工場２１に接続される新規工場の数が多いほど高い効果を奏することが可能になる。
【００９０】
＜比較例＞
以下、従来の技術によって新規工場を構築する場合を比較例に挙げて、本実施の形態との比較を行う。
【００９１】
図２は、従来の技術によって新規工場を構築した場合における既存工場および新規工場の概略構成を示す。尚、図２においては、図１と同じ構成には図１と同じ番号を付して、詳細な説明は省略する。
【００９２】
本比較例においては、新規工場２２の第２不良要因推定装置４１に、既存工場２１の第１不良要因推定装置２７の場合と同様に、相関データベース５１を設けている。そして、新規工場２２側においては、第２不良要因推定装置４１の第２要因分析部４２は、相関データベース５１に蓄積されたデータに基づいて不良要因および対策を分析するのである。以下、上記既存工場２１の相関データベース２８と新規工場２２の相関データベース５１とを区別するために、既存工場２１の相関データベース２８を第１相関データベース２８とし、新規工場２２の相関データベース５１を第２相関データベース５１とする。
【００９３】
したがって、上記既存工場２１と新規工場２２との間での通信回線４９を介した上記データの送受信を行う必要はない。そのため、既存工場２１は、本実施の形態における既存工場２１とは、第１不良要因推定装置２７に第１情報送受信部３１を含んでいない点で異なる。同様に、新規工場２２は、本実施の形態における新規工場２２とは、第２不良要因推定装置４１に第２情報送受信部４４を含んでいない点で異なる。
【００９４】
本比較例における上記既存工場２１は、本実施の形態における既存工場２１の場合と同様に安定稼働状態になっており、互いに関連付けられた多くの品質情報,プロセス情報および復旧作業情報が第１相関データベース２８に蓄積されている。その結果、不良が再発した場合に、第１要因分析部２９おける不良要因の推定確度が向上し、対策を講ずるまでの時間を短縮できるようになっている。
【００９５】
これに対し、上記新規工場２２は、既存工場２１が安定稼動状態になった後に建設された工場であり、最も歩留りの低い工場立上げ時には、第２相関データベース５１に、互いに関連付けられた多くのプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８は蓄積されていない。そのため、不良が発生した場合には、作業者の経験によって不良要因の特定あるいはプロセス処理条件の調整等を行い、作業者が作成した復旧作業情報５２を入力することによって、時間をかけて、各処理基板毎に互いに関連付けられた多くのプロセス情報４５,４６,…,４７と品質情報４８と復旧作業情報５２とが第２相関データベース５１に蓄積されることになる。以下、既存工場２１の復旧作業情報３６と新規工場２２の復旧作業情報５２とを区別するために、既存工場２１の復旧作業情報３６を第１復旧作業情報３６とし、新規工場２２の復旧作業情報５２を第２復旧作業情報５２とする。
【００９６】
したがって、本比較例の場合には、上記新規工場２２の製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げを行う場合に、新規工場２２に設けられた第２相関データベース５１に多くのプロセス情報,品質情報および第２復旧作業情報を蓄積するための量産試作を行う必要があり、新規工場２２の立上げには時間を要するのである。
【００９７】
また、本比較例においては、上記第１実施の形態の場合に比較して、相関データベースを各工場２１,２２毎に構築する必要がある。そのために、投資コストが掛かることになる。
【００９８】
・第２実施の形態
図３は、本実施の形態の不良要因推定システムにおける概略構成を示す。図３においては、不良要因推定システムを構成する製造工場および製造ラインを模式的に示している。尚、図３においては、図１と同じ構成には図１と同じ番号を付して、詳細な説明は省略する。
【００９９】
本実施の形態においては、立上げ中の新規工場２２に、不良品が発生した場合に迅速に不良要因を推定するための第２要因分析部４２を設けてはいない。そして、新規工場２２側での不良品が発生した場合の不良要因の推定を、安定稼働している既存工場２１側の第１不良要因推定装置２７の第１要因分析部２９で行うのである。つまり、上記第１実施の形態においては、上記比較例における新規工場２２の構成から、第２不良要因推定装置４１の第２相関データベース５１を削除したのに対して、第２要因分析部４２をも削除しているのである。
【０１００】
したがって、本実施の形態においては、上記既存工場２１の第１不良要因推定装置２７に、第１要因分析部２９と通信回線４９との間で、新規工場２２からのプロセス情報および品質情報と第１要因分析部２９からの新規工場２２側の不良要因の推定結果とを送受信する第１情報送受信部５５を設けている。同様に、新規工場２２に、プロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８が入力されると共に、通信回線４９と、プロセス情報および品質情報と第１要因分析部２９からの新規工場２２側の不良要因の推定結果とを送受信する第２情報送受信部５６を設けている。
【０１０１】
上記既存工場２１においては、上記第１実施の形態の場合と同様に、上記製造装置２３,２４,…,２５から出力されるプロセス情報と、検査装置２６から出力される品質情報と、作業者によって入力される復旧作業情報とが、各処理基板毎に関連付けられて相関データベース２８に記録される。そして、第１不良要因推定装置２７の第１要因分析部２９が、検査装置２６からの品質情報３２に基づいて不良品が発生したと判断した場合には、相関データベース２８に蓄積されたデータ(互いに関連付けられたプロセス情報と品質情報と復旧作業情報とから成るデータ)に基づいて、不良となっている製造装置の不良要因を推定する。こうして、相関データベース２８には、各処理基板毎に関連付けられた多くのプロセス情報,品質情報および復旧作業情報が蓄積されるのである。
【０１０２】
これに対し、上記新規工場２２の製造装置３７,３８,…,３９は、既存工場２１の製造装置２３,２４,…,２５と略同じであり、新規工場２２の検査装置４０は既存工場２１の検査装置２６と略同じである。そして、製造装置３７,３８,…,３９から出力されたプロセス情報４５,４６,…,４７および検査装置４０から出力された品質情報４８は第２情報送受信部５６に入力され、通信回線４９を介して、既存工場２１の第１不良要因推定装置２７に送信される。さらに、第１不良要因推定装置２７の第１情報送受信部５５で受信された新規工場２２側のプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８は、第１要因分析部２９に入力される。
【０１０３】
そうすると、上記第１要因分析部２９は、新規工場２２側からの品質情報４８に基づいて、新規工場２２で不良品が発生したか否かを判別する。そして、不良品が発生したと判断した場合には、既存工場２１の相関データベース２８に蓄積された既存工場２１に関するデータ(互いに関連付けられたプロセス情報と品質情報と復旧作業情報とから成るデータ)の中から、不良と判定された新規工場２２側からの品質情報４８とプロセス情報４５,４６,…,４７とに最も近い値を呈する品質情報とプロセス情報とを含むデータを検索し、この検索された過去の不良品データと現在発生している新規工場２２側のプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８とを比較分析することによって、不良の原因となっている新規工場２２側の製造装置の不良要因を推定するのである。
【０１０４】
このように、上記新規工場２２の各製造装置３７,３８,…,３９は、既存工場２１の製造装置２３,２４,…,２５と同じであるため、新規工場２２側の不良要因を推定する際に、既存工場２１の相関データベース２８に蓄積された相関データを使用することが可能なのである。
【０１０５】
上述のようにして、上記既存工場２１の第１不良要因推定装置２７で推定された不良要因の推定結果および対策内容等の情報は、第１情報送受信部５５から通信回線４９を介して新規工場２２に送信される。そして、新規工場２２の第２情報送受信部５６で受信された不良要因の推定結果および対策内容等の情報は、第２結果出力部４３から出力されるのである。
【０１０６】
上述したように、本実施の形態においては、現時点で立上げ中の上記新規工場２２の各製造装置３７,３８,…,３９を、量産稼動状態である既存工場２１の各製造装置２３,２４,…,２５と略同じにする。また、新規工場２２の検査装置４０を、既存工場２１の検査装置２６と略同じにする。また、新規工場２２の各製造装置３７,３８,…,３９からのプロセス情報４５,４６,…,４７および検査装置４０からの品質情報４８が入力される第２情報送受信部５６を、通信回線４９および第１情報送受信部５５を介して既存工場２１の第１要因分析部２９に接続する。
【０１０７】
そして、上記既存工場２１の第１要因分析部２９は、新規工場２２の検査装置４０からの品質情報４８に基づいて、新規工場２２で不良品が発生したと判断した場合には、既存工場２１の相関データベース２８に蓄積された既存工場２１に関する相関データに基づいて、不良の原因となっている新規工場２２側の製造装置の不良要因を推定するようにしている。
【０１０８】
したがって、上記製造装置および検査装置が既存工場２１と同じである新規工場２２において、製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態へ仕上げるに際して、新規工場２２側の不良要因の推定を行う場合には、互いに関連付けられた多くの品質情報,プロセス情報および復旧作業情報が蓄積されている既存工場２１側の相関データベース２８の蓄積データと第１要因分析部２９とを利用することができる。
【０１０９】
すなわち、本実施の形態によれば、上記新規工場２２の製造装置の状態を最適化し、量産稼動状態への仕上げを行う場合に、新規工場２２に設けられた相関データベースに多くのプロセス情報および品質情報を蓄積するための量産試作を行わなくても、不良要因の推定を迅速に行うことが可能であり、新規工場２２を立上げ当初から高い歩留りで操業することが可能になるのである。
【０１１０】
その結果、上記新規工場２２に、高い能力を有する作業員を配置しなくとも、迅速な立上げと、立上げ当初からの高い歩留りとが可能になる。
【０１１１】
また、上記新規工場２２に、膨大なプロセス情報および品質情報を蓄積する相関データベースと要因分析部とを含む不良要因推定装置を備える必要がない。したがって、新規工場２２に対する投資コストを抑制することができる。生産工場毎に上記相関データベースおよび要因分析部を含む不良要因推定装置を設ける場合には、第１情報送受信部５５,第２情報送受信部５６および通信回線４９を設ける必要がなくなる。しかしながら、近年インターネットが普及して、非常に安価なコストで通信インフラを構築することができるため、既存工場２１側に相関データベース２８および第１要因分析部２９を含む第１不良要因推定装置２７を設ける方が、生産工場毎に上記相関データベースおよび要因分析部を含む不良要因推定装置を設けるよりも投資削減の効果を得ることができるのである。
【０１１２】
尚、本実施の形態においては、不良要因を推定する場合に、不良と判定された品質情報とプロセス情報とに最も近い値を呈する品質情報とプロセス情報とを相関データベース２８から検索するようにしている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、例えば不良と判定された品質情報およびプロセス情報との差異が所定範囲以下の値である品質情報およびプロセス情報を総て検索して、不良要因の推定時に利用しても差し支えない。
【０１１３】
また、本実施の形態においては、上記既存工場２１および新規工場２２の何れでも、検査装置２６,４０を、最終段の製造装置２５,３９の次段の１工程のみに設置している。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、各製造装置２３,２４,…,２５；３７,３８,…,３９の途中に検査装置を設置しても差し支えない。このように複数の検査装置を設置して、複数の製造装置の途中での品質情報をも相関データベース２８に蓄積する方が、不良要因の推定の正確性が向上する。
【０１１４】
また、本実施の形態においては、上記新規工場２２の立上げのみを例に説明したが、新規工場２２が安定稼動状態になった後においての不良要因の推定の場合にも、新規工場２２よりも既存工場２１の方が累積製造量が多いため、既存工場２１の方が蓄積できるプロセス情報および品質情報の数が多い。そして、不良要因を推定する場合には多くのプロセス情報および品質情報が蓄積されている方が推定の正確性が向上する。したがって、新規工場２２が安定稼動状態になった後でも、新規工場２２を既存工場２１の相関データベース２８および第１要因分析部２９を含む第１不良要因推定装置２７に接続することによって、新規工場２２における不良要因推定の正確性を向上させることができるのである。
【０１１５】
また、本実施の形態においては、上記新規工場２２側で、プロセス情報および品質情報を相関データベースに記録してはいない。しかしながら、第２情報送受信部５６,通信回線４９および第１情報送受信部５５を介して、新規工場２２のプロセス情報４５,４６,…,４７および品質情報４８を、既存工場２１の相関データベース２８に追加蓄積することによって、新規工場２２の不良要因推定の正確性を、さらに向上させることができる。
【０１１６】
また、本実施の形態においては、既存工場２１に対して、１つの新規工場２２を新設した場合の例に説明しているが、複数の新規工場を新設した場合にも、夫々の新規工場を既存工場２１に通信回線４９を介して接続することによって、１つの新規工場２２を新設した場合と同様の効果を奏することができる。寧ろ、人材の削減効果および投資削減効果の点では、既存工場２１に接続される新規工場の数が多い程高い効果を奏することが可能になる。
【０１１７】
また、上記各実施の形態においては、上記既存工場２１が生産稼働状態である場合に、新規工場２２を建設する場合を例に挙げてこの発明を説明している。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、製造装置２３,２４,…,２５および検査装置２６を含む生産稼働状態にある既存製造ラインに対して、製造装置３７,３８,…,３９および検査装置４０を含む新規製造ラインを構築する場合であっても、この発明を適用することができる。
【符号の説明】
【０１１８】
２１…既存工場、
２２…新規工場、
２３,２４,〜,２５,３７,３８,〜,３９…製造装置、
２６,４０…検査装置、
２７…第１不良要因推定装置、
２８…相関データベース、
２９…第１要因分析部、
３０…第１結果出力部、
３１,５５…第１情報送受信部、
３２,４８…品質情報、
３３,３４,〜,３５,４５,４６,〜,４７…プロセス情報、
３６…復旧作業情報、
４１…第２不良要因推定装置、
４２…第２要因分析部、
４３…第２結果出力部、
４４,５６…第２情報送受信部、
４９…通信回線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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