(57)【要約】【課題】作業時間が増加することや、制御装置の負荷の増加や作業時間の増加をきたすことなどなく、液状体の配置量のばらつきに起因する膜厚のばらつきが視認されることを抑制することができる、液状体吐出装置、液状体吐出方法、基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列を備え、液状体が配置される基材とノズル列とを相対移動させると共に、複数の吐出ノズルにおけるそれぞれの吐出ノズルから選択的に液状体を吐出して、液状体を基材に配置する液状体吐出装置であって、基材は、液状体が配置される配置区画が第一の方向及び第一の方向と交差する第二の方向に配列されて格子状に配列する配置領域を備え、液状体の吐出を伴う基材とノズル列との相対移動における相対移動方向が、第一の方向及び第二の方向と交差する方向である。【選択図】図１２
2010145452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列を備え、前記液状体が配置さ
れる基材と前記ノズル列とを相対移動させると共に、前記複数の吐出ノズルにおけるそれ
ぞれの吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出して、前記液状体を前記基材に配置する
液状体吐出装置であって、
前記基材は、前記液状体が配置される配置区画が第一の方向及び前記第一の方向と交差
する第二の方向に配列されて格子状に配列する配置領域を備え、
前記液状体の吐出を伴う前記基材と前記ノズル列との相対移動における相対移動方向が
、前記第一の方向及び前記第二の方向と交差する方向であることを特徴とする液状体吐出
装置。
【請求項２】
１個の前記基材に対して、前記液状体の吐出を伴う前記相対移動を複数回実施し、前記
配置領域を構成する前記第二の方向と略平行な端辺が、第一の端辺と、前記第一の端辺と
反対側の第二の端辺とであって、
前記ノズル列が前記基材に対して、前記第二の端辺側から前記第一の端辺側に向かう方
向に相対移動する場合と、前記第一の端辺側から前記第二の端辺側に向かう方向に相対移
動する場合とで、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が異なることを特徴
とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項３】
１個の前記基材に対して、前記液状体の吐出を伴う前記相対移動を複数回実施し、
一回の前記相対移動ごとに、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を異な
らせることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項４】
一回の前記相対移動において、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を変
化させることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項５】
前記配置領域は、第一の配置領域と第二の配置領域とを含み、
前記液状体吐出装置に載置された前記基材において、前記第一の配置領域と前記第二の
配置領域とは、前記ノズル列における前記吐出ノズルの配列方向と略平行な境界領域を挟
んで配設されており、
一回の前記相対移動において、前記吐出ノズルから吐出された前記液状体が前記境界領
域に着弾する位置に前記ノズル列が位置する時点を境に、前記第一の方向に対する前記相
対移動の方向の角度を変化させることを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐出装置。
【請求項６】
前記基材と前記ノズル列とを第一の走査方向に相対移動させる第一走査手段と、
前記基材と前記ノズル列とを前記第一の走査方向と交差する第二の走査方向に相対移動
させる第二走査手段と、をさらに備え、
前記第一走査手段による相対移動と、前記第二走査手段による相対移動とを並行して実
施することによって前記相対移動を実施することを特徴とする、請求項２乃至５のいずれ
か一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項７】
前記第一走査手段による相対移動速度と、前記第二走査手段による相対移動速度との少
なくとも一方を変化させることによって、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の
角度を変化させることを特徴とする、請求項６に記載の液状体吐出装置。
【請求項８】
前記基材を載置する載置台と、前記載置台を前記載置台における前記基材を載置する面
に略垂直な軸まわりに回動可能な載置台回動手段と、をさらに備え、
前記載置台回動手段によって前記載置台の方向を変えることによって、前記載置台に載
置された前記基材の前記第一の方向を変えることを特徴とする、請求項２乃至５のいずれ
か一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項９】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、前記液状体が配置される
基材とを相対移動させると共に、前記複数の吐出ノズルにおけるそれぞれの吐出ノズルか
ら選択的に前記液状体を吐出して、前記液状体を前記基材に配置する吐出走査工程を有す
る液状体吐出方法であって、
前記基材は、前記液状体が配置される配置区画が第一の方向及び前記第一の方向と交差
する第二の方向に配列されて格子状に配列する配置領域を備え、
前記吐出走査工程における相対移動方向が、前記第一の方向及び前記第二の方向と交差
する方向であることを特徴とする液状体吐出方法。
【請求項１０】
１個の前記基材に対して、前記吐出走査工程を複数回実施し、前記配置領域を構成する
前記第二の方向と略平行な端辺が、第一の端辺と、前記第一の端辺と反対側の第二の端辺
とであって、
前記吐出走査工程は、前記相対移動の方向が、前記ノズル列が前記基材に対して、前記
第二の端辺側から前記第一の端辺側に向かう方向であって、前記第一の方向に対する前記
相対移動の方向の角度が第一の角度である第一の吐出走査工程と、前記相対移動の方向が
、前記ノズル列が前記基材に対して、前記第一の端辺側から前記第二の端辺側に向かう方
向であって、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が前記第一の角度とは異
なる第二の角度である第二の吐出走査工程と、を含むことを特徴とする、請求項９に記載
の液状体吐出方法。
【請求項１１】
１個の前記基材に対して、前記吐出走査工程を複数回実施し、
一回の前記吐出走査工程ごとに、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を
異ならせることを特徴とする、請求項９に記載の液状体吐出方法。
【請求項１２】
一回の前記吐出走査工程は、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が第一
角度である第一吐出走査工程と、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が前
記第一角度とは異なる第二角度である第二吐出走査工程と、を有することを特徴とする、
請求項９に記載の液状体吐出方法。
【請求項１３】
前記配置領域は、第一の配置領域と第二の配置領域とを含み、前記第一の配置領域と前
記第二の配置領域とは、前記ノズル列における前記吐出ノズルの配列方向と略平行な境界
領域を挟んで配設されており、
一回の前記吐出走査工程において、第一吐出走査工程と第二吐出走査工程とは、前記吐
出ノズルから吐出された前記液状体が前記境界領域に着弾する位置に前記ノズル列が位置
する時点を境に、それぞれ実施することを特徴とする、請求項１２に記載の液状体吐出方
法。
【請求項１４】
前記吐出走査工程では、前記基材と前記ノズル列とを第一の走査方向に相対移動させる
主吐出走査工程と、基前記材と前記ノズル列とを前記第一の走査方向と交差する第二の走
査方向に相対移動させる副吐出走査工程と、を並行して実施することを特徴とする、請求
項９乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
【請求項１５】
前記主吐出走査工程における相対移動速度と、前記副吐出走査工程における相対移動速
度とを変化させることによって、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を変
化させることを特徴とする、請求項１４に記載の液状体吐出方法。
【請求項１６】
前記基材を載置する載置台を前記載置台における前記基材を載置する面に略垂直な軸ま
わりに回動させることによって、前記載置台に載置された前記基材の方向を変える基材方
向転換工程をさらに有することを特徴とする、請求項９乃至１３のいずれか一項に記載の
液状体吐出方法。
【請求項１７】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが配列されたノズル列と、前記液状体が配置される
配置区画が第一の方向及び前記第一の方向と交差する第二の方向に配列されて格子状に配
列する配置領域を備える基板とを相対移動させると共に、前記複数の吐出ノズルにおける
それぞれの吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出して、前記液状体を前記配置区画に
配置する吐出走査工程を有する基板の製造方法であって、
前記吐出走査工程における相対移動方向が、前記第一の方向及び前記第二の方向と交差
する方向であることを特徴とする基板の製造方法。
【請求項１８】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体吐出装置、又は請求項９乃至１６のいず
れか一項に記載の液状体吐出方法を用いて、電気光学装置を構成する機能膜の少なくとも
一部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する液状体吐出装置、当該液状体吐出装置
における液状体吐出方法、液状体吐出装置及び液状体吐出方法を用いる基板の製造方法、
及び液状体吐出装置及び液状体吐出方法を用いる電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、吐出ヘッドと描画
対象物とを相対移動させると共に吐出ヘッドから液状体を吐出して、描画対象物上の任意
の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液状体吐
出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いることによって、カラー液晶装
置のカラーフィルター膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の
量だけ精度良く塗布することが可能である。塗布された液状体を固化させることによって
、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。
【０００３】
より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現す
ることが必要になっている。より精密な膜厚を実現するためには、機能膜を形成する区画
のそれぞれに、正確な量の液状体を配置することが必要である。正確な量の液状体を配置
するためには、それぞれの吐出ノズルから吐出される液状体の吐出量が、設定された吐出
量を正確に実現するものであることが必要である。
しかし、一般的に、全く同一の装置を形成することは厳密には不可能であり、周囲の状
態の影響を全く受けない装置を形成することもほとんど不可能である。多数の吐出ノズル
を有する液滴吐出ヘッドにおいては、規格を満たす範囲の微小な誤差ではあるが、吐出ノ
ズルごとに吐出量が異なる可能性がある。また、近接して形成された吐出ノズルが互いに
影響を及ぼしあうことによって、吐出量が変動する可能性がある。
特許文献１には、１個のフィルターエレメントに複数のノズルから吐出されたフィルタ
ー材料を配置することで、個々の吐出ノズルにおける吐出量のばらつきがフィルターエレ
メントに配置されるフィルター材料のばらつきに直接反映されることを抑制することによ
って、カラーフィルターの光学特性を平面的に均一にする、カラーフィルターの製造方法
及び製造装置などが開示されている。
特許文献２には、吐出機構を駆動する圧電素子に印加するパルス信号を工夫することに
よって、ヘッド間やヘッド内の吐出機構におけるインク滴体積のばらつきを補正できる液
滴吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出記録装置が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２１６１６号公報
【特許文献２】特開２００７−２７６４２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された方法や装置では、１個のフィルターエレメント
に向けて吐出を実施する回数が増えるため、作業時間が増加するという課題があった。特
許文献２に開示された方法や装置では、吐出機構（吐出ノズル）に印加するパルス信号を
個々の吐出機構ごとに個別に演算して制御する必要があるため、制御装置の負荷が著しく
増加すると共に、作業時間も増加するという課題があった。
さらに、個別の膜区画におけるフィルター膜のばらつきは視認できない微小なものであ
っても、１個の吐出ノズルによって液状材料を配置される膜区画は相対移動方向に整列さ
れるため、膜区画が連なった線状の領域間のばらつきとなって視認され易くなる可能性が
高いという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形
態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズル
が配列されたノズル列を備え、前記液状体が配置される基材と前記ノズル列とを相対移動
させると共に、前記複数の吐出ノズルにおけるそれぞれの吐出ノズルから選択的に前記液
状体を吐出して、前記液状体を前記基材に配置する液状体吐出装置であって、前記基材は
、前記液状体が配置される配置区画が第一の方向及び前記第一の方向と交差する第二の方
向に配列されて格子状に配列する配置領域を備え、前記液状体の吐出を伴う前記基材と前
記ノズル列との相対移動における相対移動方向が、前記第一の方向及び前記第二の方向と
交差する方向であることを特徴とする。
【０００８】
この液状体吐出装置によれば、液状体の吐出を伴う相対移動（以降、「吐出相対移動」
と表記する。）における基材とノズル列との相対移動方向が、第一の方向及び第二の方向
と交差する方向である。このため、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される
配置区画が第一の方向又は第二の方向に配列することを抑制することができる。
個別の配置区画における液状体の配置量のばらつきに起因する影響が視認できない微小
なものであっても、１個の吐出ノズルによって液状材料を配置される膜区画は相対移動方
向に整列されるため、膜区画が連なった線状の領域間のばらつきとなって視認され易くな
る可能性が高い。さらに、配置区画の配列方向に沿って、１個の吐出ノズルによって液状
体を配置される配置区画が整列することによって、より視認され易くなることを、本発明
の発明者らが見出した。
例えば、液晶表示装置のカラーフィルターにおいては、フィルター膜が形成されるそれ
ぞれの区画におけるフィルター膜の材料の配置量のばらつきに起因して膜厚のばらつきが
発生し、当該ばらつきが大きくなると、表示むらとして視認される。それぞれの画素にお
けるフィルター膜の膜厚のばらつきが視認できない程度の微小なものであっても、フィル
ター膜の配列方向に沿って略同じ膜厚のフィルター膜が形成されることによって、視認さ
れ易くなる。
この液状体吐出装置によれば、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配
置区画が、配置区画の配列方向である第一の方向又は第二の方向に配列することを抑制す
ることができる。このため、液状体の配置量のばらつきに起因する影響が視認され易くな
ることを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、１個の前記基材に対して、
前記液状体の吐出を伴う前記相対移動を複数回実施し、前記配置領域を構成する前記第二
の方向と略平行な端辺が、第一の端辺と、前記第一の端辺と反対側の第二の端辺とであっ
て、前記ノズル列が前記基材に対して、前記第二の端辺側から前記第一の端辺側に向かう
方向に相対移動する場合と、前記第一の端辺側から前記第二の端辺側に向かう方向に相対
移動する場合とで、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が異なることが好
ましい。
【００１０】
この液状体吐出装置によれば、吐出相対移動の際の移動方向が一方の方向に向かう場合
と略反対側に向かう場合とで、第一の方向に対する相対移動の方向の角度が異なっている
。これにより、吐出相対移動の方向が一方の方向に向かう場合と略反対側に向かう場合と
で、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配置区画の配列方向が、互いに
異なるため、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置された配置区画の配列方向が
少なくとも２方向となる。配列方向が少なくとも２方向となることによって、全て１方向
に配列している場合にくらべて、規則的に配列することで視認され易くなることを、より
抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、１個の前記基材に対して、
前記液状体の吐出を伴う前記相対移動を複数回実施し、一回の前記相対移動ごとに、前記
第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を異ならせることが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出装置によれば、一回の吐出相対移動ごとに、第一の方向に対する相対移
動の方向の角度が異なっている。これにより、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が
配置される配置区画の配列方向が、相対移動ごとに互いに異なるため、１個の吐出ノズル
から吐出された液状体が配置された配置区画の配列方向が複数の方向となる。配列方向が
複数の方向となることによって、全て１方向に配列している場合にくらべて、規則的に配
列することで視認され易くなることを、より抑制することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、一回の前記相対移動におい
て、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を変化させることが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出装置によれば、一回の吐出相対移動の中で、第一の方向に対する相対移
動の方向の角度が異なっている。これにより、一回の吐出相対移動によって液状体が配置
される配置区画において、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配置区画
の配列方向が、複数の方向となる。配列方向が複数の方向となることによって、一回の吐
出相対移動によって液状体が配置される配置区画が１方向に配列している場合にくらべて
、規則的に配列することで視認され易くなることを、より抑制することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記配置領域は、第一の配
置領域と第二の配置領域とを含み、前記液状体吐出装置に載置された前記基材において、
前記第一の配置領域と前記第二の配置領域とは、前記ノズル列における前記吐出ノズルの
配列方向と略平行な境界領域を挟んで配設されており、一回の前記相対移動において、前
記吐出ノズルから吐出された前記液状体が前記境界領域に着弾する位置に前記ノズル列が
位置する時点を境に、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を変化させるこ
とが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出装置によれば、吐出ノズルから吐出された液状体が境界領域に着弾する
位置にノズル列が位置する時点において、吐出相対移動の方向の第一の方向に対する角度
を変化させる。吐出相対移動の方向を変える際は、相対移動速度が変わるため、液状体を
着弾させる位置の着弾位置の誤差が大きくなる可能性がある。液状体を着弾させることが
ない境界領域に向けて液状体を吐出することはないため、着弾位置の誤差が大きくなるこ
となく、吐出相対移動の方向を変えることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材と前記ノズル列と
を第一の走査方向に相対移動させる第一走査手段と、前記基材と前記ノズル列とを前記第
一の走査方向と交差する第二の走査方向に相対移動させる第二走査手段と、をさらに備え
、前記第一走査手段による相対移動と、前記第二走査手段による相対移動とを並行して実
施することによって前記相対移動を実施することが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出装置によれば、第一走査手段による相対移動と、第二走査手段による相
対移動とが並行して実施される。これにより、第一の走査方向における相対移動と、第二
の走査方向における相対移動とが並行して実施されるため、吐出相対移動における相対移
動方向を、第一の走査方向及び第二の走査方向とは異なる方向にすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記第一走査手段による相
対移動速度と、前記第二走査手段による相対移動速度との少なくとも一方を変化させるこ
とによって、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を変化させることが好ま
しい。
【００２０】
この液状体吐出装置によれば、第一走査手段による相対移動速度と、第二走査手段によ
る相対移動速度との少なくとも一方を変えることによって、吐出相対移動における相対移
動の方向を変えることができる。これにより、第一走査手段による相対移動速度と、第二
走査手段による相対移動速度との少なくとも一方を調整することによって、吐出相対移動
における相対移動方向を調整することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記基材を載置する載置台
と、前記載置台を前記載置台における前記基材を載置する面に略垂直な軸まわりに回動可
能な載置台回動手段と、をさらに備え、前記載置台回動手段によって前記載置台の方向を
変えることによって、前記載置台に載置された前記基材の前記第一の方向を変えることが
好ましい。
【００２２】
この液状体吐出装置によれば、載置台回動手段を用いることによって、載置台に載置さ
れた基材の方向を変えることができる。これにより、液状体吐出装置における、載置台に
載置された基材の第一の方向を変えることができる。すなわち、液状体吐出装置における
ノズル列と基材との吐出相対移動における相対移動方向と、基材の第一の方向とがなす角
度を、基材の第一の方向を変えることで変えることができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズル
が配列されたノズル列と、前記液状体が配置される基材とを相対移動させると共に、前記
複数の吐出ノズルにおけるそれぞれの吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出して、前
記液状体を前記基材に配置する吐出走査工程を有する液状体吐出方法であって、前記基材
は、前記液状体が配置される配置区画が第一の方向及び前記第一の方向と交差する第二の
方向に配列されて格子状に配列する配置領域を備え、前記吐出走査工程における相対移動
方向が、前記第一の方向及び前記第二の方向と交差する方向であることを特徴とする。
【００２４】
この液状体吐出方法によれば、吐出走査工程における基材とノズル列との相対移動方向
が、第一の方向及び第二の方向と交差する方向である。このため、一回の吐出走査工程に
おいて１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配置区画が第一の方向又は第
二の方向に配列することを抑制することができる。
個別の配置区画における液状体の配置量のばらつきに起因する影響が視認できない微小
なものであっても、１個の吐出ノズルによって液状材料を配置される膜区画は相対移動方
向に整列されるため、膜区画が連なった線状の領域間のばらつきとなって視認され易くな
る可能性が高い。さらに、配置区画の配列方向に沿って、１個の吐出ノズルによって液状
体を配置される配置区画が整列することによって、より視認され易くなることを、本発明
の発明者らが見出した。
例えば、液晶表示装置のカラーフィルターにおいては、フィルター膜が形成されるそれ
ぞれの区画におけるフィルター膜の材料の配置量のばらつきに起因して膜厚のばらつきが
発生し、当該ばらつきが大きくなると、表示むらとして視認される。それぞれの画素にお
けるフィルター膜の膜厚のばらつきが視認できない程度の微小なものであっても、フィル
ター膜の配列方向に沿って略同じ膜厚のフィルター膜が形成されることによって、視認さ
れ易くなる。
この液状体吐出方法によれば、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配
置区画が、配置区画の配列方向である第一の方向又は第二の方向に配列することを抑制す
ることができる。このため、液状体の配置量のばらつきに起因する影響が視認され易くな
ることを抑制することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、１個の前記基材に対して
、前記吐出走査工程を複数回実施し、前記配置領域を構成する前記第二の方向と略平行な
端辺が、第一の端辺と、前記第一の端辺と反対側の第二の端辺とであって、前記吐出走査
工程は、前記相対移動の方向が、前記ノズル列が前記基材に対して、前記第二の端辺側か
ら前記第一の端辺側に向かう方向であって、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向
の角度が第一の角度である第一の吐出走査工程と、前記相対移動の方向が、前記ノズル列
が前記基材に対して、前記第一の端辺側から前記第二の端辺側に向かう方向であって、前
記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が前記第一の角度とは異なる第二の角度
である第二の吐出走査工程と、を含むことが好ましい。
【００２６】
この液状体吐出方法によれば、吐出走査工程の際の相対移動方向が一方の方向に向かう
第一の吐出走査工程と略反対側に向かう第二の吐出走査工程とで、第一の方向に対する相
対移動の方向の角度が異なっている。これにより、吐出走査工程の際の相対移動方向が一
方の方向に向かう場合と略反対側に向かう場合とで、１個の吐出ノズルから吐出された液
状体が配置される配置区画の配列方向が、互いに異なるため、１個の吐出ノズルから吐出
された液状体が配置された配置区画の配列方向が少なくとも２方向となる。配列方向が少
なくとも２方向となることによって、全て１方向に配列している場合にくらべて、規則的
に配列することで視認され易くなることを、より抑制することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、１個の前記基材に対して
、前記吐出走査工程を複数回実施し、一回の前記吐出走査工程ごとに、前記第一の方向に
対する前記相対移動の方向の角度を異ならせることが好ましい。
【００２８】
この液状体吐出方法によれば、一回の吐出走査工程ごとに、第一の方向に対する相対移
動の方向の角度が異なっている。これにより、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が
配置される配置区画の配列方向が、吐出走査工程ごとに互いに異なるため、１個の吐出ノ
ズルから吐出された液状体が配置された配置区画の配列方向が複数の方向となる。配列方
向が複数の方向となることによって、全て１方向に配列している場合にくらべて、規則的
に配列することで視認され易くなることを、より抑制することができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、一回の前記吐出走査工程
は、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が第一角度である第一吐出走査工
程と、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度が前記第一角度とは異なる第二
角度である第二吐出走査工程と、を有することが好ましい。
【００３０】
この液状体吐出方法によれば、一回の吐出走査工程の中で、第一吐出走査工程と第二吐
出走査工程とで、相対移動の方向の、第一の方向に対する角度が異なっている。これによ
り、一回の吐出走査工程によって液状体が配置される配置区画において、１個の吐出ノズ
ルから吐出された液状体が配置される配置区画の配列方向が、複数の方向となる。配列方
向が複数の方向となることによって、一回の吐出走査工程によって液状体が配置される配
置区画が１方向に配列している場合にくらべて、規則的に配列することで視認され易くな
ることを、より抑制することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記配置領域は、第一の
配置領域と第二の配置領域とを含み、前記第一の配置領域と前記第二の配置領域とは、前
記ノズル列における前記吐出ノズルの配列方向と略平行な境界領域を挟んで配設されてお
り、一回の前記吐出走査工程において、第一吐出走査工程と第二吐出走査工程とは、前記
吐出ノズルから吐出された前記液状体が前記境界領域に着弾する位置に前記ノズル列が位
置する時点を境に、それぞれ実施することが好ましい。
【００３２】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出走査工程と第二吐出走査工程との切り換えは、
吐出ノズルから吐出された液状体が境界領域に着弾する位置にノズル列が位置する時点に
おいて実施される。すなわち、当該時点において、吐出走査工程における相対移動の方向
の第一の方向に対する角度を変化させる。相対移動の方向を変える際は、相対移動速度が
変わるため、液状体を着弾させる位置の着弾位置の誤差が大きくなる可能性がある。液状
体を着弾させることがない境界領域に向けて液状体を吐出することはないため、着弾位置
の誤差が大きくなることなく、相対移動の方向を変えることができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出走査工程では、
前記基材と前記ノズル列とを第一の走査方向に相対移動させる主吐出走査工程と、基前記
材と前記ノズル列とを前記第一の走査方向と交差する第二の走査方向に相対移動させる副
吐出走査工程と、を並行して実施することが好ましい。
【００３４】
この液状体吐出方法によれば、吐出走査工程では、主吐出走査工程における相対移動と
、副吐出走査工程における相対移動とが並行して実施される。これにより、第一の走査方
向における相対移動と、第二の走査方向における相対移動とが並行して実施されるため、
吐出走査工程における相対移動方向を、第一の走査方向及び第二の走査方向とは異なる方
向にすることができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記主吐出走査工程にお
ける相対移動速度と、前記副吐出走査工程における相対移動速度とを変化させることによ
って、前記第一の方向に対する前記相対移動の方向の角度を変化させることが好ましい。
【００３６】
この液状体吐出方法によれば、主吐出走査工程における相対移動速度と、副吐出走査工
程における相対移動速度との少なくとも一方を変えることによって、主吐出走査工程にお
ける相対移動の方向を変えることができる。これにより、主吐出走査工程における相対移
動速度と、副吐出走査工程における相対移動速度との少なくとも一方を調整することによ
って、吐出走査工程における相対移動方向を調整することができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記基材を載置する載置
台を前記載置台における前記基材を載置する面に略垂直な軸まわりに回動させることによ
って、前記載置台に載置された前記基材の方向を変える基材方向転換工程をさらに有する
ことが好ましい。
【００３８】
この液状体吐出方法によれば、基材方向転換工程を実施することによって、載置台に載
置された基材の方向を変えることができる。これにより、載置台に載置された基材の第一
の方向を変えることができる。すなわち、吐出走査工程におけるノズル列と基材との相対
移動方向と、基材の第一の方向とがなす角度を、基材の第一の方向を変えることで変える
ことができる。
【００３９】
［適用例１７］本適用例にかかる基板の製造方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズ
ルが配列されたノズル列と、前記液状体が配置される配置区画が第一の方向及び前記第一
の方向と交差する第二の方向に配列されて格子状に配列する配置領域を備える基板とを相
対移動させると共に、前記複数の吐出ノズルにおけるそれぞれの吐出ノズルから選択的に
前記液状体を吐出して、前記液状体を前記配置区画に配置する吐出走査工程を有する基板
の製造方法であって、前記吐出走査工程における相対移動方向が、前記第一の方向及び前
記第二の方向と交差する方向であることを特徴とする。
【００４０】
この基板の製造方法によれば、吐出走査工程における基材とノズル列との相対移動方向
が、第一の方向及び第二の方向と交差する方向である。このため、一回の吐出走査工程に
おいて１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配置区画が第一の方向又は第
二の方向に配列することを抑制することができる。個別の配置区画における液状体の配置
量のばらつきに起因する影響が視認できない微小なものであっても、１個の吐出ノズルに
よって液状材料を配置される膜区画は相対移動方向に整列されるため、膜区画が連なった
線状の領域間のばらつきとなって視認され易くなる可能性が高い。さらに、配置区画の配
列方向に沿って、１個の吐出ノズルによって液状体を配置される配置区画が整列すること
によって、より視認され易くなることを、本発明の発明者らが見出した。例えば、液晶表
示装置のカラーフィルター基板においては、フィルター膜が形成されるそれぞれの区画に
おけるフィルター膜の材料の配置量のばらつきに起因して膜厚のばらつきが発生し、当該
ばらつきが大きくなると、表示むらとして視認される。それぞれの画素におけるフィルタ
ー膜の膜厚のばらつきが視認できない程度の微小なものであっても、フィルター膜の配列
方向に沿って略同じ膜厚のフィルター膜が形成されることによって、視認され易くなる。
この基板の製造方法によれば、１個の吐出ノズルから吐出された液状体が配置される配置
区画が、配置区画の配列方向である第一の方向又は第二の方向に配列することを抑制する
ことができる。このため、液状体の配置量のばらつきに起因するフィルター膜の膜厚のば
らつきが視認され易くなることを抑制することができる。
【００４１】
［適用例１８］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、上記適用例にかかる液状
体吐出装置、又は上記適用例にかかる液状体吐出方法を用いて、電気光学装置を構成する
機能膜の少なくとも一部を形成することを特徴とする。
【００４２】
この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の配置量のばらつきに起因する影響が視
認され易くなることを抑制することができる液状体吐出装置、又は液状体吐出方法を用い
て電気光学装置の機能膜が製造される。これにより、液状体の配置量のばらつきに起因す
る、例えば機能膜の厚さのばらつきが視認され易くなることを抑制して、好適な機能膜を
備える電気光学装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、液状体吐出装置、液状体吐出方法、基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方
法の一実施形態について図面を参照して、説明する。実施形態は、吐出ノズルを有する吐
出ヘッドの一例としての液滴を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを備える液滴
吐出装置を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜
上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００４４】
（第一の実施形態）
本実施形態は、液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶装置の、機能膜
の一例であるカラーフィルターを製造する工程を例に説明する。本実施形態に係る液滴吐
出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、液状体を液滴として吐出する液滴
吐出ヘッドを備えている。液滴吐出装置は、当該液滴吐出ヘッドにカラーフィルターなど
の材料を含む機能液を導入して、描画対象物上に当該機能液を配置することで、液晶装置
のカラーフィルターのフィルター膜などを形成するものである。
【００４５】
＜液滴吐出法＞
最初に、液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式
、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯
電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐
出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程
度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけ
ない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電
的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方
式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したも
ので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を
与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００４６】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に
気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるも
のである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料
のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。ま
た、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式など
の技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置
に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液
状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することに
よって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態で
は、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式
を用いる。
【００４７】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出
装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４８】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、描画ユニット２と、ワークユニット３と、機能
液供給ユニット４と、保守ユニット５とを備えている。
描画ユニット２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７（
図２参照）を有している。
ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワーク
Ｗを載置するワーク載置台３０を有している。
機能液供給ユニット４は、機能液タンク８１と、サブタンク８２と、中継ユニット８４
Ａ（中継タンク８４）と、給液管８３と、給液チューブ（図示省略）とを有し、当該給液
チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴
吐出ヘッド１７に供給される。
保守ユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態などの検査を実施する各装置、及び
液滴吐出ヘッド１７の各種の保守を実施する各装置を備えている。
液滴吐出装置１は、また、これら各ユニットなどを総括的に制御する吐出装置制御部６
を備えている。
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設
置された定盤９とを備えている。描画ユニット２と、ワークユニット３と、保守ユニット
５とは、平面視長方形形状の定盤９の上に配設されている。
【００４９】
ワークユニット３は、定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている
。ワークユニット３の上方には、描画ユニット２が、配設されている。描画ユニット２は
、ワークユニット３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在している。描画ユニット２は、定
盤９に固定された２本の支持柱で支持されて、ワークユニット３の上方でワークユニット
３と交差している。また、定盤９の傍らには、機能液供給ユニット４の機能液タンク８１
などが配置されている。描画ユニット２の一方の支持柱の近傍には、保守ユニット５がワ
ークユニット３と並んで配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が
収容されている。
【００５０】
描画ユニット２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニッ
ト２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２
とを備えている。描画ユニット２は、ヘッドキャリッジ２５と移動枠２２との組を６組備
えている。移動枠２２を、Ｙ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動させることで、液滴
吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。６個の
移動枠２２は、個別に移動させることも可能であり、２個から６個の移動枠２２を一緒に
移動させることも可能である。これにより、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が
備えるノズル列７８Ａ（図２参照）は、Ｙ軸走査機構１２によって、ワークＷに対して相
対移動させられる。Ｙ軸走査機構１２が、第二走査手段に相当する。Ｙ軸方向が、第二の
走査方向に相当する。
ワークユニット３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構３６によって、Ｘ軸方向に移
動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる
。また、移動した位置に保持する。これにより、ワークＷは、Ｘ軸走査機構３６によって
、描画ユニット２のヘッドユニット２１に対して相対移動させられる。Ｘ軸走査機構３６
が、第一走査手段に相当する。Ｘ軸方向が、第一の走査方向に相当する。
【００５１】
描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止
し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。あ
るいは、ワークＷのＸ軸方向の移動と、液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向の移動とを並行し
て実施し、ワークＷ上におけるＸ軸方向又はＹ軸方向とは異なる方向に沿う位置に向けて
機能液を液滴として吐出する。
Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に
制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面
形状の描画を実施することが可能である。
【００５２】
＜ワークユニット＞
ワークユニット３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。
ワーク載置台３０は、載置台３１と、θ機構３２と、載置台ベース３３と、スライダー
枠３４とを備えている。載置台ベース３３に固定された一対のスライダー枠３４，３４が
有するＸ軸スライダー（図示省略）を、Ｘ軸走査機構３６が備えるＸ軸リニアモーターに
よって駆動することによって、ワーク載置台３０をＸ軸方向に移動する。また、任意の位
置に保持する。
載置台３１は、θ機構３２を介して、載置台ベース３３に微小量の回動可能に取付けら
れている。θ機構３２は、載置台ベース３３に対して、載置台３１を、載置台３１のワー
クＷを載置する面に略垂直な回動軸（図１に記載したＺ軸に略平行な軸）回りに高分解能
で回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。
載置台３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）と、方向
規制体３１ａとを備えている。載置台３１にワークＷを給材する際は、ワークＷを方向規
制体３１ａに接触させることで、液滴吐出装置１における略所定の方向で、ワークＷを載
置台３１に載置する。続いて、θ機構３２を用いてアライメントを実施することで、ワー
クＷを液滴吐出装置１における所定の方向で位置させる。
【００５３】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッ
ドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外
観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図で
あり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。
【００５４】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連
の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基
板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレー
ト７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接
続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブ
に接続された機能液供給ユニット４から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対
のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキ
シブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦ
Ｃケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の
授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７
４が構成されている。
【００５５】
ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッ
ド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフラン
ジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対
形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保
持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定
される。
【００５６】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており
液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本の
ノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた
例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。ヘ
ッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配
設されている。
【００５７】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸
方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸
方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば
１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する
吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上
に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合
、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００５８】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポ
ンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動
板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供
給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動
板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。ま
た、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形
成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって
囲まれた空間が圧力室５８である。
【００５９】
圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と
吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置
する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力
室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり
、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省
略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して
略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形
成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んで
いる。
【００６０】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定され
ている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を
支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加
することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向
）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５
８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られること
で、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加する
ことから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、
電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電
素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る
。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少す
ることから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連
通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。
【００６１】
吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御する
ことにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より
詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴
の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、
基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノ
ズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を
選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの
範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる
。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動
させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位
置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。
【００６２】
＜ヘッドユニット＞
次に、描画ユニット２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照し
て説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸
及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、図１に
示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００６３】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート６１と、キャリッジ
プレート６１に搭載された９個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド
１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されている
。キャリッジプレート６１に固定された液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド本体７４がキャリ
ッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド
本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図３は、ノズルプレート
７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方
向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を３組、形
成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット２１が
液滴吐出装置１に取付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００６４】
一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに
隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対し
て、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置す
る位置に、配設されている。ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、
全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に
半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液
滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出
された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。一つのヘッ
ド組６２は、例えば１８０個の６倍、１０８０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向にお
けるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８のＹ軸方向にお
ける中心間距離は、約７５．５ｍｍである。ヘッド組６２を構成する３個の液滴吐出ヘッ
ド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２
を構成している。ヘッド組６２が有する６本のノズル列７８Ａからなるノズル列をヘッド
組ノズル列と表記する。
【００６５】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組６２は、それぞれが有する１本のヘッド組
ノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列７８Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に
、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘ
ッド組６２を構成する液滴吐出ヘッド１７の、一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッ
ド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド
１７の端の吐出ノズル７８が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設さ
れている。
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組６２における９個の液滴吐出ヘッド
１７が有する１８本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該
ノズル列は、例えば１８０個の１８倍、３２４０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向に
おけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離
（ノズル列長さ）は、約２２６．７ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出
ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３
２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００６６】
上述したように、移動枠２２は、Ｙ軸走査機構１２によって、独立して移動可能であり
、移動枠２２に吊着されているヘッドキャリッジ２５が有するヘッドユニット２１におけ
る液滴吐出ヘッド１７の相互の位置を調整可能である。図１に示した描画ユニット２のよ
うに、ヘッドユニット２１の相互の位置を最も近づけると、描画ユニット２が備える５４
個の液滴吐出ヘッド１７が有する１０８本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列のように
扱うことができる。当該ノズル列は、Ｙ軸方向におけるノズルピッチが例えば７０μｍで
あり、１９４４０個の吐出ノズル７８を有するノズル列である。
【００６７】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成につい
て、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロッ
ク図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止
などの制御指令の入力を行うことによって、制御される。制御装置６５は、演算処理を行
うホストコンピューター６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６
８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている
。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する
外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ
ー装置などである。
【００６８】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰ
Ｕ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（R
andom Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドド
ライバー１７ｄと、駆動機構ドライバー８ｄと、給液ドライバー４ｄと、保守ドライバー
５ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）９２と、を有している。これらは、データバス
４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００６９】
入出力インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制
御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制
御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６
５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ
４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制
御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演
算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。
【００７０】
ヘッドドライバー１７ｄには、ヘッドユニット２１を構成する液滴吐出ヘッド１７が接
続されている。ヘッドドライバー１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出
ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバー８ｄには、Ｙ軸
走査機構１２のＹ軸リニアモーターと、Ｘ軸走査機構３６のＸ軸リニアモーターと、ワー
ク載置台３０のθ機構３２と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構８０と、
が接続されている。各種駆動機構は、ワークのアライメントを実施する際にアライメント
カメラを移動するためのカメラ移動モーターや、ワーク載置台３０の吸引機構の駆動モー
ターなどである。駆動機構ドライバー８ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モ
ーターなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任
意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバー１７ｄと協働して、ワー
クＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００７１】
給液ドライバー４ｄには、機能液供給ユニット４が接続されている。給液ドライバー４
ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って機能液供給ユニット４の圧力付与部やバルブの
駆動源を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。
【００７２】
保守ドライバー５ｄには、保守ユニット５が備える吸引ユニットと、ワイピングユニッ
トと、吐出検査ユニットと、重量測定ユニットなどが接続されている。保守ドライバー５
ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット、又はワイピングユニットを駆
動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。また、吐出検査ユニットを駆動し
て、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させ
たり、重量測定ユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液の吐出重
量の測定を実施させたりする。
【００７３】
検出部インタフェイス９２には、各種センサーを有する検出部９１が接続されている。
検出部９１の各センサーによって検出された検出情報が検出部インタフェイス９２を介し
てＣＰＵ４４に伝達される。
【００７４】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する対象物の一例としての電気光学装置の
一例である液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図５参照）は、電
気光学装置の一例である液晶装置の一例であり、カラーフィルターの一例である液晶表示
パネル用のカラーフィルターを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図５を参照して説明する。図５は、液
晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図５に示した液晶表示パネル２００は
、駆動素子として薄膜トランジスター（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いる
アクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過
型の液晶装置である。
【００７５】
図５に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１
０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着さ
れた素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１０（ｋ）参
照）と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互い
に貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設さ
れている。
【００７６】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２
１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されてい
る。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されてお
り、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態
で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むこ
とで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内に
は画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に
欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲ま
れた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ
素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加
することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施
する。
走査線２１２は図５に示したＶ軸方向に延在しており、１本の走査線２１２に接続され
た複数のＴＦＴ素子２１５がそれぞれ通電制御する画素電極２１７は、Ｖ軸方向に配列し
ている。信号線２１４は図５に示したＷ軸方向に延在しており、１本の走査線２１２に接
続されたＴＦＴ素子２１５のそれぞれに１本の信号線２１４が接続されている。１本の信
号線２１４に接続された複数のＴＦＴ素子２１５は、信号線２１４を介して伝送されるデ
ータ信号に従って制御される。信号線２１４を介して伝送されるデータ信号は、走査線２
１２を介して走査信号が印加されたＴＦＴ素子２１５においてのみ有効になる。
１本の走査線２１２に接続されたＴＦＴ素子２１５のそれぞれに接続された信号線２１
４のそれぞれに、ＴＦＴ素子２１５をオン又はオフするデータ信号が印加され、走査線２
１２に走査信号が印加されることで、ＴＦＴ素子２１５はデータ信号によって指示された
状態となって、データ信号によって指示された表示が実施される。走査線２１２に走査信
号が印加され、その時点で信号線２１４のそれぞれに印加されているデータ信号に従って
線状の表示が実施され、Ｗ軸方向に並ぶ走査線２１２に順次走査信号が印加されることで
、表示領域全面に表示が実施される。
【００７７】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や
画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００７８】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィル
ター（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁
２０４と、赤色フィルター膜２０５Ｒと、緑色フィルター膜２０５Ｇと、青色フィルター
膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブ
ラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク
２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔
壁２０４によって、方形のフィルター膜領域２２５が形成されている。フィルター膜領域
２２５には、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ
ー膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ
、及び青色フィルター膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向
する位置及び形状に形成されている。
【００７９】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦
化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設け
られている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平
坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を
覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子
基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００８０】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う
配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼
り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜
２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間
に充填されている。
【００８１】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層
を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８２】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図６を参照して説明する。対向基板２２０は
、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述し
たＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガ
ラス基板２０１）に分割して形成される。図６（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に
示す平面図であり、図６（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図であ
る。図６に示したＶ軸方向及びＷ軸方向は、図５に示したＶ軸方向及びＷ軸方向と一致し
ている。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８など
を形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２
０１Ａと表記する。
【００８３】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０
１を用いて形成されている。図６（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２
０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０
８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルター膜領域２２５をドットパター
ン状、本実施形態ではドット・マトリックス状に形成し、当該フィルター膜領域２２５に
フィルター膜２０５を形成することによって形成されている。
【００８４】
図６（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには対向基板２２０を構成するＣＦ
層２０８がガラス基板２０１となる部分に形成されている。マザー対向基板２０１Ａには
、１２個所のＣＦ層２０８が形成されている。
【００８５】
マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には
、一対のアライメントマーク２８１，２８１が形成されている。アライメントマーク２８
１は、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を製造装置
に取付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
なお、マザー対向基板２０１Ａを効率良く使用するためには、ＣＦ層２０８を形成する
領域の相互間の間隔は可能な限り小さくすることが好ましい。マザー対向基板２０１Ａが
、基材に相当する。
【００８６】
＜カラーフィルター＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィル
ター膜２０５（赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィル
ター膜２０５Ｂ）の配列について、図７を参照して説明する。図７は、３色カラーフィル
ターのフィルター膜の配列例を示す模式平面図である。図７に示したＶ軸方向及びＷ軸方
向は、図５及び図６に示したＶ軸方向及びＷ軸方向と一致している。
【００８７】
図７に示すように、フィルター膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパ
ターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリックス状に並んだ複数
の例えば方形状のフィルター膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例え
ば、フィルター膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルター膜領域２２５に充填し
、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルター膜領域２２５を
埋める膜状のフィルター膜２０５を形成する。
【００８８】
３色カラーフィルターにおける赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ
、及び青色フィルター膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配
列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図７（ａ）に示したように、マ
トリックスの縦列が全て同色の赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、
又は青色フィルター膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図７（ｂ）に示した
ように、横方向の各行ごとにフィルター膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フ
ィルターの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルター膜２０５が３色となる配
列である。デルタ配列は、図７（ｃ）に示したように、フィルター膜２０５の配置を段違
いにし、３色フィルターの場合、任意の隣接する３つのフィルター膜２０５が異なる色と
なる配色である。
【００８９】
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した３色フィルターにおいて、フィルター膜２０５は
、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によっ
て形成されている。隣り合って形成された赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜
２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルター膜２０５の組で、
画像を構成する最小単位である絵素のフィルター（以降、「絵素フィルター２５４」と表
記する。）を形成している。一つの絵素フィルター２５４内の赤色フィルター膜２０５Ｒ
、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれら
の組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。
【００９０】
赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、青色フィルター膜２０５Ｂ、
及び絵素フィルター２５４は、上述したように、ドット・マトリックス状に形成されてお
り、図５、図６、及び図７に示したＶ軸方向及びＷ軸方向に配列している。Ｖ軸方向及び
Ｗ軸方向が、第一の方向又は第二の方向に相当する。
【００９１】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図８、図９、及び図１０を参照
して説明する。図８は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図
９は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルター膜を形成する工程などを示す断
面図であり、図１０は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程な
どを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１
０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【００９２】
図８に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成
する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルター膜領域２２５を区画形成する
ための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、そ
の上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成さ
れた隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図９（ａ）に示
すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルター
膜領域２２５が形成される。
【００９３】
次に、図８のステップＳ２では、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５
Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ
ー膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂは、フィルタ
ー膜領域２２５に、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フ
ィルター膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液２５２をそれぞれ充填して、当該機能液
２５２を乾燥させることによって形成する。
【００９４】
より詳細には、図９（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルター膜
領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。
当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルター膜２０５Ｒを形
成するべきフィルター膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによ
って、フィルター膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板
２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによっ
て、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルター膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２
Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図９（ｃ）に示
すように、フィルター膜領域２２５Ｒに赤色フィルター膜２０５Ｒを形成する。
【００９５】
同様にして、図９（ｂ）に示した、緑色フィルター膜２０５Ｇ又は青色フィルター膜２
０５Ｂを形成するべきフィルター膜領域２２５Ｇ又はフィルター膜領域２２５Ｂに、図９
（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能
液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図９（ｄ）に示すように
、フィルター膜領域２２５Ｇ及びフィルター膜領域２２５Ｂに緑色フィルター膜２０５Ｇ
又は青色フィルター膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルター膜２０５Ｒと合わせて、赤色
フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂから
なる３色カラーフィルターが形成される。
【００９６】
次に、図８のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図９（ｅ）に示すように、ＣＦ
層２０８を構成する赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、青色フィル
ター膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。
平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０
６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図８のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図９（ｆ）に示すように
、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルター膜２０５が形成された領
域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述し
た対向電極２０７である。
【００９７】
次に、図８のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２
８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１０（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液
滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向け
て配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を
矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を
形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させ
ることで、図１０（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施し
て、対向基板２２０が形成される。
【００９８】
図８に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成
する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成すること
で、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６な
どを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが
、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成す
る。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個の
ＴＦＴ素子２１５を形成する。
【００９９】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２
１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フ
ィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素
電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１００】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８
を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成
する。
図１０（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液
滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向け
て配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を
矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を
形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させ
ることで、図１０（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施し
て、素子基板２１０が形成される。
【０１０１】
次に、図８のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り
合わせて、図１０（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３
１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガ
ラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子
基板２１０を形成する場合には、マザー基板の状態で一体になった複数の液晶表示パネル
２００を形成し、複数の液晶表示パネル２００が形成された当該マザー基板を個別の液晶
表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、
対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後に、ステップＳ９を実施す
る。
ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１０２】
＜描画工程＞
次に、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８を形成する工程における、フィルタ
ー膜領域２２５に機能液２５２を配置する描画工程について、図１１、図１２及び図１３
を参照して説明する。描画工程は、上述した液滴吐出装置１を用いて実施する。図１１は
、描画工程を示すフローチャートである。図１２は、描画工程におけるマザー対向基板に
対するヘッドユニットの相対移動経路を示す説明図である。図１３は、フィルター膜領域
に対する機能液の液滴の着弾位置を示す説明図である。
【０１０３】
図１１のステップＳ２１では、液滴吐出装置１の給除材位置に在るワーク載置台３０に
マザー対向基板２０１Ａを給材する。マザー対向基板２０１Ａの給材は、給材ロボットな
どによって実施される。
【０１０４】
次に、ステップＳ２２では、ワーク載置台３０に載置されたマザー対向基板２０１Ａの
アライメントを実施する。マザー対向基板２０１Ａのアライメントは、アライメントカメ
ラによってマザー対向基板２０１Ａに形成されたアライメントマーク２８１の画像を取得
し、撮像結果に基づいて、θ機構３２によってマザー対向基板２０１Ａのθ補正を実行す
ることで実施する。マザー対向基板２０１Ａは、給材される際に方向規制体３１ａに当接
されることによって、略基準方向に向いているため、θ補正における補正量は微小である
。θ機構３２によって回動可能な角度は、例えば５°程度であり、θ補正を実施するため
には充分な回動可能角度である。ステップＳ２２を終了して、マザー対向基板２０１Ａの
Ｖ軸方向が、液滴吐出装置１におけるＸ軸方向に調整されている。
【０１０５】
次に、ステップＳ２３では、６個のヘッドユニット２１からなるヘッドユニット群２１
Ａを、マザー対向基板２０１Ａに対して吐出走査を開始する位置に位置させる。吐出走査
を開始する位置は、例えば、図１２に示したマザー対向基板２０１Ａに対して、ヘッドユ
ニット群２１Ａ１１の位置である。
図１２に示したＶ軸方向及びＷ軸方向は、図５、図６、及び図７に示したＶ軸方向及び
Ｗ軸方向と一致している。図１２に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１及び図３に示し
たＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。ワーク載置台３０に載置されたマザー対向基板
２０１Ａは、アライメントされることによって、フィルター膜２０５の配列方向が、液滴
吐出装置１におけるヘッドユニット２１の走査方向及びワーク載置台３０の走査方向と、
略一致している。
マザー対向基板２０１Ａに対して、ヘッドユニット群２１Ａをヘッドユニット群２１Ａ
１１の位置に位置させる操作は、ワーク載置台３０をＸ軸走査機構３６によってＸ軸方向
に移動し、ヘッドユニット群２１ＡをＹ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動すること
で実施する。
【０１０６】
次に、図１１のステップＳ２４では、第一領域におけるフィルター膜領域２２５に向け
て機能液２５２を吐出する吐出走査を実施する。第一領域は、図１２に示した仮想線Ｌ１
１と仮想線Ｌ１２とに挟まれた領域である。ヘッドユニット群２１Ａが有する全ての吐出
ノズル７８から機能液２５２を吐出することで、第一領域のＷ軸方向の幅全体に含まれる
フィルター膜領域２２５に機能液２５２を配置することが可能である。
この吐出走査におけるヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対移動
は、ヘッドユニット群２１ＡをＹ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動すると共に、マ
ザー対向基板２０１Ａが載置されたワーク載置台３０をＸ軸走査機構３６によってＸ軸方
向に移動することによって実施する。ヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａ
とは、図１２に示した矢印ａ１及び矢印ａ２の方向に相対移動させられる。矢印ａ１及び
矢印ａ２の方向は、Ｖ軸方向及びＷ軸方向に対して傾いており、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に
対しても傾いている。
【０１０７】
なお、上述したように、液滴吐出ヘッド１７は２列のノズル列７８Ａを備え、走査方向
がノズル列７８Ａの延在方向に対して略直角の場合、それぞれのノズル列７８Ａを構成す
る吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線
上に着弾する。矢印ａ１及び矢印ａ２の方向はＸ軸方向及びＹ軸方向に対して傾いている
ため、液滴吐出ヘッド１７における一方のノズル列７８Ａが吐出位置に在る時点と、もう
一方のノズル列７８Ａが同じ吐出位置に在る時点とで、液滴吐出ヘッド１７のＹ軸方向の
位置が異なっている。従って、吐出走査方向がＸ軸方向に対して傾いている本実施形態で
は、それぞれのノズル列７８Ａごとに、Ｙ軸方向の位置を考慮して吐出を制御する必要が
ある。同様に、ヘッド組６２を構成する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において
互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２を構成していることから、ヘ
ッド組ノズル列を構成するノズル列７８Ａは、それぞれのノズル列７８ＡごとにＹ軸方向
の位置を考慮して、吐出を制御する必要がある。
【０１０８】
図１３に示すように、吐出ノズル７８から吐出された赤色機能液２５２Ｒは、着弾点２
５２ｒに着弾する。吐出ノズル７８１から吐出された赤色機能液２５２Ｒは、着弾点２５
２ｒ１に着弾し、吐出ノズル７８２から吐出された赤色機能液２５２Ｒは、着弾点２５２
ｒ２に着弾する。
吐出走査の最初の方では、着弾点２５２ｒ１及び着弾点２５２ｒ２は、領域列２２５Ａ
１を構成するフィルター膜領域２２５Ｒに位置している。吐出走査が進んだ位置では、着
弾点２５２ｒ１は、領域列２２５Ａ２を構成するフィルター膜領域２２５Ｒに位置してお
り、着弾点２５２ｒ２は、領域列２２５Ａ１を構成するフィルター膜領域２２５Ｒに位置
している。さらに吐出走査が進んだ位置では、着弾点２５２ｒ１及び着弾点２５２ｒ２は
、領域列２２５Ａ２を構成するフィルター膜領域２２５Ｒに位置している。着弾点２５２
ｒ１が位置するフィルター膜領域２２５Ｒの列は、Ｖ軸方向に延在し、当該列は、Ｖ軸方
向においてフィルター膜領域２２５Ｇとフィルター膜領域２２５Ｂとを挟んで互いに隣接
するとともに、Ｗ軸方向に階段状にずれて延在している。
このように、矢印ａ１及び矢印ａ２の方向がＶ軸方向に対して傾いていることによって
、ヘッドユニット群２１Ａが有する吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が着弾す
るフィルター膜領域２２５のＷ軸方向の位置は、当該フィルター膜領域２２５のＶ軸方向
の位置によって異なっている。
ステップＳ２４を終了すると、ヘッドユニット群２１Ａは、図１２に示したマザー対向
基板２０１Ａに対して、二点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ１２の位置に位置する
。
【０１０９】
次に、図１１のステップＳ２５では、ヘッドユニット群２１ＡをＹ軸方向に移動する。
ヘッドユニット群２１Ａ１２の位置に位置していたヘッドユニット群２１Ａを移動させて
、ヘッドユニット群２１Ａ２１の位置に位置させる。ヘッドユニット群２１Ａ１２のＸ軸
方向の位置と、ヘッドユニット群２１Ａ２１のＸ軸方向の位置とは、図面上で重なること
を避けるためにずらして図示してあるが、実際は、Ｘ軸方向は同じ位置であってもよい。
【０１１０】
次に、ステップＳ２６では、第二領域におけるフィルター膜領域２２５に向けて機能液
２５２を吐出する吐出走査を実施する。第二領域は、図１２に示した仮想線Ｌ２１と仮想
線Ｌ２２とに挟まれた領域である。ヘッドユニット群２１Ａが有する全ての吐出ノズル７
８から機能液２５２を吐出することで、第二領域のＷ軸方向の幅全体に含まれるフィルタ
ー膜領域２２５に機能液２５２を配置することが可能である。
この吐出走査におけるヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対移動
も、上述した第一領域に対する吐出走査と同様に実施する。ヘッドユニット群２１Ａとマ
ザー対向基板２０１Ａとは、図１２に示した矢印ｂ１及び矢印ｂ２の方向に相対移動させ
られる。矢印ｂ１及び矢印ｂ２の方向は、矢印ａ１及び矢印ａ２の方向とはＶ軸方向に関
して対称な方向で、Ｖ軸方向及びＷ軸方向に対して傾いている。
矢印ｂ１及び矢印ｂ２の方向がＶ軸方向に対して傾いていることによって、矢印ａ１及
び矢印ａ２の方向がＶ軸方向に対して傾いていたことによる場合と同様に、ヘッドユニッ
ト群２１Ａが有する吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が着弾するフィルター膜
領域２２５のＷ軸方向の位置は、Ｖ軸方向の位置によって異なっている。
ステップＳ２６を終了すると、ヘッドユニット群２１Ａは、図１２に示したマザー対向
基板２０１Ａに対して、二点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ２２の位置に位置する
。ヘッドユニット群２１Ａ１１のＸ軸方向の位置と、ヘッドユニット群２１Ａ２２のＸ軸
方向の位置とは、図面上で重なることを避けるためにずらして図示してあるが、実際は、
Ｘ軸方向は同じ位置であってもよい。
【０１１１】
次に、図１１のステップＳ２７では、マザー対向基板２０１Ａにおける、機能液２５２
を配置するべき全てのフィルター膜領域２２５に対して機能液２５２を吐出して機能液の
配置が終了したか否かを判定する。
【０１１２】
全てのフィルター膜領域２２５に対して機能液２５２の配置が終了していなかった場合
（ステップＳ２７でＮＯ）には、ステップＳ２３に戻ってステップＳ２３からステップＳ
２６を繰り返す。
この場合のステップＳ２３では、ヘッドユニット群２１Ａを、マザー対向基板２０１Ａ
に対して、破線で示したヘッドユニット群２１Ａ３１の位置に位置させる。
この場合のステップＳ２４でフィルター膜領域２２５に向けて機能液２５２を吐出する
吐出走査を実施する対象の第一領域は、図１２に示した仮想線Ｌ１２と仮想線Ｌ３２とに
挟まれた領域である。
この場合のステップＳ２５では、一点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ３２の位置
に位置していたヘッドユニット群２１Ａを移動させて、破線で示したヘッドユニット群２
１Ａ４１の位置に位置させる。ヘッドユニット群２１Ａ３２のＸ軸方向の位置と、ヘッド
ユニット群２１Ａ４１のＸ軸方向の位置とは、図面上で重なることを避けるためにずらし
て図示してあるが、実際は、Ｘ軸方向は同じ位置であってもよい。
この場合のステップＳ２６でフィルター膜領域２２５に向けて機能液２５２を吐出する
吐出走査を実施する第二領域は、図１２に示した仮想線Ｌ２２と仮想線Ｌ４２とに挟まれ
た領域である。
この場合のステップＳ２６を終了すると、ヘッドユニット群２１Ａは、図１２に示した
マザー対向基板２０１Ａに対して、一点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ４２の位置
に位置する。ヘッドユニット群２１Ａ３１のＸ軸方向の位置と、ヘッドユニット群２１Ａ
４２のＸ軸方向の位置とは、図面上で重なることを避けるためにずらして図示してあるが
、実際は、Ｘ軸方向は同じ位置であってもよい。
本実施形態では、２回目のステップＳ２６を実施して、マザー対向基板２０１Ａにおけ
る、機能液２５２を配置するべき全てのフィルター膜領域２２５に対して、それぞれ２回
の機能液２５２の吐出が実施され、全てのフィルター膜領域２２５に対して機能液２５２
の配置が完了する。
【０１１３】
全てのフィルター膜領域２２５に対して機能液２５２の配置が終了していた場合（ステ
ップＳ２７でＹＥＳ）には、ステップＳ２８に進む。
ステップＳ２８では、機能液２５２の配置が終了しマザー対向基板２０１Ａを液滴吐出
装置１から除材する。
次に、ステップＳ２９では、次に機能液２５２を配置するマザー対向基板２０１Ａの有
無を判定する。次に機能液２５２を配置するマザー対向基板２０１Ａが有る場合（ステッ
プＳ２９でＹＥＳ）には、ステップＳ２１に戻り、ステップＳ２１からステップＳ２８を
繰り返す。
次に機能液２５２を配置するマザー対向基板２０１Ａが無い場合（ステップＳ２９でＮ
Ｏ）には、ステップＳ２９を終了して描画工程を終了する。
【０１１４】
赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、及び青色機能液２５２Ｂについて、それぞ
れ上述した描画工程を実施して、フィルター膜領域２２５Ｒ、フィルター膜領域２２５Ｇ
、及びフィルター膜領域２２５Ｂに、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０
５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂを形成する。これにより、赤色フィルター膜２０５
Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂからなる３色カラーフィ
ルターが形成される。
【０１１５】
＜３色吐出ヘッドユニット＞
次に、１個のヘッドユニット２１を用いて３種類の機能液２５２を並行して吐出する構
成にしたヘッドユニット３２１の構成について、図１４を参照して説明する。図１４は、
ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図１４では、ヘッドユニット３２１にお
ける各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７を示している。図１４に示したＸ軸及び
Ｙ軸は、ヘッドユニット３２１が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、図１に示
したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１１６】
図１４に示したヘッドユニット３２１の構成要素は、図３を参照して説明したヘッドユ
ニット２１の構成要素と同じである。
図３を参照して説明したように、ヘッドユニット３２１は、それぞれ３個ずつの液滴吐
出ヘッド１７を有するヘッド組６２を３組備えており、９個の液滴吐出ヘッド１７を備え
ている。ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７を、並び順に、液滴吐出ヘッド
１７１、液滴吐出ヘッド１７２、液滴吐出ヘッド１７３と表記する。
ヘッドユニット３２１における３組のヘッド組６２がそれぞれ備える液滴吐出ヘッド１
７１は、赤色機能液２５２Ｒが貯留された機能液タンク８１に接続されており、供給され
る赤色機能液２５２Ｒを吐出する赤色吐出ヘッド１７Ｒである。
ヘッドユニット３２１における３組のヘッド組６２がそれぞれ備える液滴吐出ヘッド１
７２は、緑色機能液２５２Ｇが貯留された機能液タンク８１に接続されており、供給され
る緑色機能液２５２Ｇを吐出する緑色吐出ヘッド１７Ｇである。
ヘッドユニット３２１における３組のヘッド組６２がそれぞれ備える液滴吐出ヘッド１
７３は、青色機能液２５２Ｂが貯留された機能液タンク８１に接続されており、供給され
る青色機能液２５２Ｂを吐出する青色吐出ヘッド１７Ｂである。
【０１１７】
ヘッドユニット３２１を用いる吐出走査では、赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２
Ｇ、及び青色機能液２５２Ｂの吐出を一回の吐出走査において並行して実施する。
一回の吐出走査で１種類の機能液２５２を配置できる幅は、ヘッドユニット２１では液
滴吐出ヘッド１７の９ヘッド分であるのに対して、３ヘッド分である。このため、上述し
た第一領域又は第二領域に機能液２５２を配置するために、２回のＹ軸方向におけるヘッ
ドユニット群２１Ａの移動を挟む、３回の図１２に示した矢印ａ１方向又は矢印ｂ１方向
に走査する吐出走査を実施する。この場合、Ｙ軸方向におけるヘッドユニット群２１Ａの
移動量は、移動一回あたり、液滴吐出ヘッド１７の１ヘッド分である。１１／８。
【０１１８】
＜相対移動経路例＞
次に、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８を形成する工程の中の、フィルター
膜領域２２５に機能液２５２を配置する描画工程における、マザー対向基板２０１Ａに対
するヘッドユニット群２１Ａの相対移動経路について、上述した相対移動経路とは異なる
例について、図１５を参照して説明する。図１５は、描画工程におけるマザー対向基板に
対するヘッドユニットの相対移動経路の例を示す説明図である。
【０１１９】
図１５（ａ）は、相対移動方向がＶ軸方向に対して同じになっている例を示している。
図１５（ａ）に示した仮想線Ｌａ１と仮想線Ｌａ２とに挟まれた領域、及び仮想線Ｌａ２
と仮想線Ｌａ３とに挟まれた領域が、ヘッドユニット群２１Ａを用いて一回の吐出走査で
機能液２５２を配置可能な領域である。ヘッドユニット群２１Ａを、マザー対向基板２０
１Ａに対して矢印ａ又は矢印ｂの方向に相対移動させながら吐出を実施することによって
、機能液２５２を配置する。矢印ａ及び矢印ｂの方向は、ヘッドユニット群２１Ａがマザ
ー対向基板２０１Ａに対して相対移動する方向が、Ｖ軸方向に対して左側に傾いている方
向である。矢印ａの方向のＶ軸方向に対する角度と、矢印ｂの方向のＶ軸方向に対する角
度とは同一である。一個所のフィルター膜領域２２５に対して複数回の吐出走査を実施し
、複数回の吐出走査で、必要な量の機能液２５２を配置することもできる。一個所の領域
に対して複数回の吐出走査を実施する場合には、矢印ａの方向に相対移動する吐出走査と
、矢印ｂの方向に相対移動する吐出走査とを繰り返す。
この相対移動経路による描画工程では、各吐出走査における相対移動方向が同じである
ことから、各吐出走査における吐出パターンが類似したパターンになる。このため、吐出
パターンの算出や、当該吐出パターンを実現するための制御などは、同じことを繰り返す
ことで実施できる部分が多くなり、吐出パターンの算出や、当該吐出パターンを実現する
ための制御を容易にすることができる。
【０１２０】
図１５（ｂ）は、一回の相対移動において、相対移動方向が異なる例を示している。図
１５（ｂ）に示した仮想線Ｌｂ１、Ｌｂ３、Ｌｂ５と、仮想線Ｌｂ２、Ｌｂ４、Ｌｂ６と
に挟まれた領域、及び仮想線Ｌｂ６、Ｌｂ４、Ｌｂ２と、仮想線Ｌｂ７、Ｌｂ８、Ｌｂ９
とに挟まれた領域が、ヘッドユニット群２１Ａを用いて一回の吐出走査で機能液２５２を
配置可能な領域である。
ヘッドユニット群２１Ａを、マザー対向基板２０１Ａに対して矢印ａ３１の方向、矢印
ａ３２の方向、矢印ａ３３の方向、又は矢印ｂ３１の方向、矢印ｂ３２の方向、矢印ｂ３
３の方向に相対移動させながら吐出を実施することによって、機能液２５２を配置する。
境界線Ｌ２０及び境界線Ｌ３０は、相対移動の方向が、矢印ａ３１の方向から矢印ａ３
２の方向に、矢印ａ３２の方向から矢印ａ３３の方向に、矢印ｂ３１の方向から矢印ｂ３
２の方向に、又は矢印ｂ３２の方向から矢印ｂ３３の方向に変わる位置を示している。境
界線Ｌ２０及び境界線Ｌ３０は、ＣＦ層２０８を形成する領域の間にある機能液２５２を
配置しない位置に設定されている。
境界線Ｌ２０又は境界線Ｌ３０を挟んで隣り合う、ＣＦ層２０８を形成する領域の一方
が、第一の配置領域に相当し、もう一方が、第二の配置領域に相当する。
一個所の領域に対して複数回の吐出走査を実施する場合には、矢印ａ３１の方向、矢印
ａ３２の方向、及び矢印ａ３３の方向に相対移動する吐出走査と、矢印ｂ３１の方向、矢
印ｂ３２の方向、及び矢印ｂ３３の方向に相対移動する吐出走査とを繰り返す。
【０１２１】
この相対移動経路による描画工程では、一回の吐出走査の中でＶ軸方向に対する相対移
動の方向の角度が３種類になっている。これにより、一回の吐出走査で機能液２５２を配
置可能な領域において、１個の吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置される
フィルター膜領域２２５の配列方向が、３種類の方向となる。配列方向が３種類の方向と
なることによって、一回の吐出相対移動によって機能液２５２が配置されるフィルター膜
領域２２５が１方向に配列している場合にくらべて、規則的に配列することで視認され易
くなることを、より抑制することができる。また、同じ傾きでＶ軸方向に相対移動する距
離が短くなるため、当該吐出走査におけるＷ軸方向の移動量が小さくなる。これにより、
ヘッドユニット群２１Ａが有する吐出ノズル７８の中で、吐出走査の途中において、マザ
ー対向基板２０１Ａのフィルター膜領域２２５に対向しない位置に位置する場合がある吐
出ノズル７８の数を少なくすることができる。言い換えると、同じヘッドユニット群２１
Ａを用いて、より幅の広い基板に、同じ回数の吐出走査で、機能液の配置を実施すること
ができる。
【０１２２】
図１５（ｃ）は、Ｖ軸方向における相対移動方向によって、相対移動方向のＶ軸方向に
対する傾きが異なる例を示している。図１５（ｃ）に示した、仮想線Ｌｃ１と仮想線Ｌｃ
２とに挟まれた領域、仮想線Ｌｃ３と、仮想線Ｌｃ４とに挟まれた領域、仮想線Ｌｃ２と
、仮想線Ｌｃ５とに挟まれた領域、仮想線Ｌｃ４と、仮想線Ｌｃ６とに挟まれた領域が、
ヘッドユニット群２１Ａを用いて一回の吐出走査で機能液２５２を配置可能な領域である
。
ヘッドユニット群２１Ａを、マザー対向基板２０１Ａに対して矢印ａ２の方向、矢印ｂ
２の方向、矢印ｃ２の方向、又は矢印ｄ２の方向に相対移動させながら吐出を実施するこ
とによって、機能液２５２を配置する。矢印ａ２の方向と矢印ｃ２の方向とは同じ方向で
あり、矢印ｂ２の方向と矢印ｄ２の方向とは同じ方向であり、矢印ａ２の方向と矢印ｂ２
の方向とは異なっている。すなわち、マザー対向基板２０１Ａに対するヘッドユニット群
２１Ａの相対移動の方向が、マザー対向基板２０１Ａのアライメントマーク２８１に近い
方の端から遠い方の端に向かう場合と、マザー対向基板２０１Ａのアライメントマーク２
８１から遠い方の端から近い方の端に向かう場合とで、Ｖ軸方向に対する相対移動の方向
の傾きが異なっている。
アライメントマーク２８１に近い方の端又はアライメントマーク２８１から遠い方の端
が、第一の端辺又は第二の端辺に相当し、Ｖ軸方向が、第一の方向に相当する。
一個所の領域に対して複数回の吐出走査を実施する場合には、矢印ａ２の方向、矢印ｂ
２の方向、矢印ｃ２の方向、又は矢印ｄ２の方向に相対移動する吐出走査と、矢印ａ２の
方向、矢印ｂ２の方向、矢印ｃ２の方向、又は矢印ｄ２の方向に対して反対向きの方向に
相対移動する吐出走査とを繰り返す。
【０１２３】
この相対移動経路による描画工程では、一回の吐出走査が終了した時点でのマザー対向
基板２０１Ａに対するヘッドユニット群２１Ａの相対位置から、次の吐出走査の相対移動
を開始することができる。このため、一回の吐出走査が終了した時点での相対位置から、
次の吐出走査を開始する相対位置までの移動がほとんど不要であり、吐出を伴わない相対
移動の増加を抑制して、効率よく描画工程を実施することができる。また、同一のフィル
ター膜領域２２５に対して複数回数の吐出走査を実施しており、同一のフィルター膜領域
２２５に対して吐出走査を実施する際のＶ軸方向に対する相対移動の方向の角度が２種類
になっている。これにより、１個の吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置さ
れるフィルター膜領域２２５の列が交差するため、位置方向に配列する場合にくらべて、
より視認され難くすることができる。
【０１２４】
図１５（ｄ）は、吐出走査ごとに相対移動方向のＶ軸方向に対する傾きが異なる例を示
している。図１５（ｄ）に示した、仮想線Ｌｄ１と仮想線Ｌｄ２とに挟まれた領域、仮想
線Ｌｄ３と、仮想線Ｌｄ４とに挟まれた領域、仮想線Ｌｄ５と、仮想線Ｌｄ６とに挟まれ
た領域、仮想線Ｌｄ７と、仮想線Ｌｄ８とに挟まれた領域が、ヘッドユニット群２１Ａを
用いて一回の吐出走査で機能液２５２を配置可能な領域である。
ヘッドユニット群２１Ａを、マザー対向基板２０１Ａに対して矢印ａ４の方向、矢印ｂ
４の方向、矢印ｃ４の方向、又は矢印ｄ４の方向に相対移動させながら吐出を実施するこ
とによって、機能液２５２を配置する。矢印ａ４の方向と、矢印ｂ４の方向と、矢印ｃ４
の方向と、又は矢印ｄ４の方向とは、互いにＶ軸方向に対する傾きが異なっている。
一個所の領域に対して複数回の吐出走査を実施する場合には、矢印ａ４の方向、矢印ｂ
４の方向、矢印ｃ４の方向、又は矢印ｄ４の方向に相対移動する吐出走査と、矢印ａ４の
方向、矢印ｂ４の方向、矢印ｃ４の方向、又は矢印ｄ４の方向に対して反対向きの方向に
相対移動する吐出走査とを繰り返す。
【０１２５】
この相対移動経路による描画工程では、図１５（ｃ）に示した相対移動経路と同様に、
一回の吐出走査が終了した時点でのマザー対向基板２０１Ａに対するヘッドユニット群２
１Ａの相対位置から、次の吐出走査の相対移動を開始することができる。このため、一回
の吐出走査が終了した時点での相対位置から、次の吐出走査を開始する相対位置までの移
動がほとんど不要であり、吐出を伴わない相対移動の増加を抑制して、効率よく描画工程
を実施することができる。また、同一のフィルター膜領域２２５に対して複数回数の吐出
走査を実施しており、同一のフィルター膜領域２２５に対して吐出走査を実施する際のＶ
軸方向に対する相対移動の方向の角度が複数種類になっている。これにより、１個の吐出
ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置されるフィルター膜領域２２５の列が交差
するため、位置方向に配列する場合にくらべて、より視認され難くすることができる。さ
らに、マザー対向基板２０１ＡにおけるＷ軸方向の端に近い領域に機能液を配置する際は
、Ｖ軸方向に対する相対移動方向の傾きを小さくし、マザー対向基板２０１ＡにおけるＷ
軸方向の中央に近い領域に機能液を配置する際は、Ｖ軸方向に対する相対移動方向の傾き
を大きくすることができる。相対移動方向の傾きを小さくすることで、ヘッドユニット群
２１Ａが有する吐出ノズル７８の中で、吐出走査の途中において、マザー対向基板２０１
Ａのフィルター膜領域２２５に対向しない位置に位置する場合がある吐出ノズル７８の数
を少なくすることができる。相対移動方向の傾きを大きくすることで、相対移動回数を減
らして、描画吐出に要する時間を抑制することができる。
【０１２６】
第一の実施形態によれば、上述した各説明において記載した効果に加えて、以下に記載
する効果が得られる。
（１）図１２に矢印ａ１、矢印ｂ１、矢印ｃ１、矢印ｄ１などで示したヘッドユニット
群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対移動の方向は、マザー対向基板２０１Ａにお
けるフィルター膜領域２２５の配列方向であるＶ軸方向に対して傾いている。矢印ａ１及
び矢印ａ２の方向がＶ軸方向に対して傾いていることによって、ヘッドユニット群２１Ａ
が有する吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が着弾するフィルター膜領域２２５
のＷ軸方向の位置は、当該フィルター膜領域２２５のＶ軸方向の位置によって異なってい
る。これにより、１個の吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置されるフィル
ター膜領域２２５が、フィルター膜領域２２５の配列方向であるＶ軸方向に配列すること
を抑制することができる。
それぞれのフィルター膜領域２２５における機能液２５２の配置量のばらつきに起因し
て、フィルター膜２０５の膜厚のばらつきが発生し、当該ばらつきが大きくなると、表示
むらとして視認される。それぞれの画素におけるフィルター膜２０５の膜厚のばらつきが
視認できない程度の微小なものであっても、フィルター膜２０５の配列方向に沿って略同
じ膜厚のフィルター膜２０５が形成されることによって、視認され易くなる。１個の吐出
ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置されるフィルター膜領域２２５が、フィル
ター膜領域２２５の配列方向であるＶ軸方向に配列することを抑制することで、膜厚のば
らつきが視認され易くなることを抑制することができる。
【０１２７】
（２）着弾点２５２ｒ１が位置するフィルター膜領域２２５Ｒの列は、Ｖ軸方向に延在
し、当該列は、Ｖ軸方向においてフィルター膜領域２２５Ｇとフィルター膜領域２２５Ｂ
とを挟んで互いに隣接するとともに、Ｗ軸方向に階段状にずれて延在している。これによ
り、１個の吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置されるフィルター膜領域２
２５が、直線状に配列される長さを短くすることができる。
それぞれのフィルター膜領域２２５における機能液２５２の配置量のばらつきに起因し
て、フィルター膜２０５の膜厚のばらつきが発生し、当該ばらつきが大きくなると、表示
むらとして視認される。それぞれの画素におけるフィルター膜２０５の膜厚のばらつきが
視認できない程度の微小なものであっても、略同じ膜厚のフィルター膜２０５が略一直線
上に形成されることによって、視認され易くなる。１個の吐出ノズル７８から吐出された
機能液２５２が配置されるフィルター膜領域２２５が、直線状に配列される長さを短くす
ることで、膜厚のばらつきが視認され易くなることを抑制することができる。
【０１２８】
（３）図１５（ｂ）に示した相対移動経路では、ヘッドユニット群２１Ａの吐出ノズル
７８から吐出された機能液２５２が境界線Ｌ２０又は境界線Ｌ３０に着弾する位置におい
て、相対移動方向を変えている。境界線Ｌ２０及び境界線Ｌ３０は、ＣＦ層２０８を形成
する領域の間にある機能液２５２を配置しない位置に設定されている。相対移動の方向を
変える際は、相対移動速度が変わるため、機能液２５２を着弾させる位置の着弾位置の誤
差が大きくなる可能性がある。境界線Ｌ２０及び境界線Ｌ３０は、機能液２５２を配置し
ない位置に設定されており、境界線Ｌ２０及び境界線Ｌ３０の近傍に向けて機能液２５２
を吐出することはないため、着弾位置の誤差が大きくなることなく、相対移動の方向を変
えることができる。
【０１２９】
（４）ステップＳ２４では、ヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相
対移動は、ヘッドユニット群２１ＡをＹ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動すると共
に、マザー対向基板２０１Ａが載置されたワーク載置台３０をＸ軸走査機構３６によって
Ｘ軸方向に移動することによって実施されている。これにより、液滴吐出装置１における
Ｘ軸方向及びＹ軸方向と、マザー対向基板２０１ＡにおけるＶ軸方向及びＷ軸方向とを略
一致させた状態で、ヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対移動方向
をＶ軸方向に対して傾けることができる。
液滴吐出装置１におけるＸ軸方向及びＹ軸方向と、マザー対向基板２０１ＡにおけるＶ
軸方向及びＷ軸方向とが一致した状態は、液滴吐出装置１におけるヘッドユニット群２１
Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対位置を表す座標軸の軸方向と、マザー対向基板２０
１Ａにおけるフィルター膜領域２２５の配列位置を示す座標軸の軸方向とが一致した状態
である。Ｘ軸方向及びＹ軸方向と、Ｖ軸方向及びＷ軸方向とが一致した状態では、液滴吐
出装置１におけるフィルター膜領域２２５の位置を、座標軸の方向を変換することなく表
すことができるため、フィルター膜領域２２５の位置を簡単な数値で容易に表すことがで
きる。
【０１３０】
（第二の実施形態）
次に、液状体吐出装置、液状体吐出方法、基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方
法の第二の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態の描画対象物は、第
一の実施形態で説明した液晶装置と実質的に同一のものであるため、描画対象物に関する
説明は省略する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置
１と一部のみが異なるため、液滴吐出装置に関する説明は、液滴吐出装置１と構成が異な
る部分についてのみ説明する。液状体吐出方法についても、第一の実施形態と異なる部分
を主に説明する。
【０１３１】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置の全体構成について、図１６を参照して説明する。図１６は、液
滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【０１３２】
図１６に示すように、液滴吐出装置５０１は、描画ユニット２と、ワークユニット５０
３と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５と、を備えている。
描画ユニット２と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５とは、第一の実施形態で
説明した液滴吐出装置１における描画ユニット２、機能液供給ユニット４、及び保守ユニ
ット５と実質的に同等のものである。
【０１３３】
＜ワークユニット＞
次に、ワークユニット５０３について、図１７を参照して説明する。図１７は、ワーク
ユニットの概略構成を示す説明図である。図１７（ａ）は、ワークユニットの平面図であ
り、図１７（ｂ）は、ワークユニットの側面図である。
【０１３４】
図１７に示すように、ワークユニット５０３は、ワーク載置台５３０と、Ｘ軸走査機構
３６とを備えている。Ｘ軸走査機構３６は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１に
おけるＸ軸走査機構３６と実質的に同等のものである。
ワーク載置台５３０は、載置台５３１と、回動機構５３２と、載置台ベース５３３と、
スライダー枠３４とを備えている。載置台ベース５３３に固定された一対のスライダー枠
３４，３４が有するＸ軸スライダー（図示省略）を、Ｘ軸リニアモーターによって駆動す
ることによって、ワーク載置台５３０をＸ軸方向に移動する。また、任意の位置に保持す
る。スライダー枠３４は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１におけるスライダー
枠３４と実質的に同等のものである。
載置台５３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）と、方
向規制体５３１ａとを備えている。載置台５３１にワークＷを給材する際は、ワークＷを
方向規制体５３１ａに接触させることで、液滴吐出装置５０１における略所定の方向で、
ワークＷを載置台５３１に載置する。続いてアライメントを実施することで、ワークＷを
液滴吐出装置５０１における所定の位置に所定の方向で位置させる。
【０１３５】
載置台５３１は、回動機構５３２を介して、載置台ベース５３３に回動自在に取付けら
れている。回動機構５３２は、載置台ベース５３３に対して、載置台５３１を、載置台５
３１のワークＷを載置する面に略垂直な回動軸５３２ａ（図１６に記載したＺ軸に略平行
な軸）回りに回動可能であり、精度良く任意の位置に保持することが可能である。
図１７（ａ）に示した方向規制体５３１ａ０は、アライメントを実施して載置台５３１
の方向が固定された位置における方向規制体５３１ａを示している。図１７（ａ）に示し
た方向規制体５３１ａ１は、載置台５３１が基準方向から載置台５３１の上方側からみて
時計まわりに９０°回動された位置における方向規制体５３１ａを示している。図１７（
ａ）に示した方向規制体５３１ａ２は、載置台５３１が基準方向から載置台５３１の上方
側からみて１８０°回動された位置における方向規制体５３１ａを示している。図１７（
ａ）に示した方向規制体５３１ａ３は、載置台５３１が基準方向から載置台５３１の上方
側からみて時計まわりに２７０°回動された位置における方向規制体５３１ａを示してい
る。回動機構５３２が、載置台回動手段に相当する。
【０１３６】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置５０１を駆動するための電気的構成に
ついて、図１８を参照して説明する。図１８は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構
成ブロック図である。
液滴吐出装置５０１は、液滴吐出装置１と同様の制御装置６５を備えている。
【０１３７】
液滴吐出装置５０１の吐出装置制御部５０６は、液滴吐出装置１の吐出装置制御部６と
略同様の構成を有し、吐出装置制御部６の駆動機構ドライバー８ｄと一部のみ異なる駆動
機構ドライバー５０８ｄを備えている。駆動機構ドライバー５０８ｄには、駆動機構ドラ
イバー８ｄに接続されている各装置又は機構と略同様の装置又は機構が接続されている。
駆動機構ドライバー５０８ｄには、さらに、ワーク載置台３０におけるθ機構３２に代わ
る、ワーク載置台５３０の回動機構５３２が接続されている。
【０１３８】
＜描画＞
次に、ＣＦ層２０８を形成する工程における、液滴吐出装置５０１を用いて、図６を参
照して説明したマザー対向基板２０１Ａのフィルター膜領域２２５に機能液２５２を配置
する描画工程について、図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は、描画工程を示
すフローチャートである。図２０は、描画工程におけるマザー対向基板に対するヘッドユ
ニットの相対移動経路を示す説明図である。
【０１３９】
図１９のステップＳ４１及びステップＳ４２は、図１１のステップＳ２１又はステップ
Ｓ２２と同様の工程である。ステップＳ４２では、アライメントマーク２８１の画像を取
得し、撮像結果に基づいて、回動機構５３２によってマザー対向基板２０１Ａの方向を微
調整（θ補正）することで、マザー対向基板２０１Ａのアライメントを実施する。ステッ
プＳ４２を終了して、ワーク載置台５３０に載置されたマザー対向基板２０１ＡのＶ軸方
向が、液滴吐出装置５０１におけるＸ軸方向に調整されている。マザー対向基板２０１Ａ
は、アライメントされることによって、フィルター膜領域２２５の配列方向が、液滴吐出
装置５０１におけるヘッドユニット２１の走査方向及びワーク載置台５３０の走査方向と
、略一致している。
【０１４０】
ステップＳ４２の次に、ステップＳ４３では、マザー対向基板２０１Ａの方向調整を実
施する。回動機構５３２によってマザー対向基板２０１Ａが固定された載置台５３１を回
動して、例えば、図２０に示したように、マザー対向基板２０１ＡのＶ軸方向が、液滴吐
出装置５０１におけるＸ軸方向に対して４５°傾く方向に、マザー対向基板２０１Ａの方
向を調整する。
図２０に示したＶ軸方向及びＷ軸方向は、図５、図６、及び図７に示したＶ軸方向及び
Ｗ軸方向と一致している。図２０に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１６及び図１７に
示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
【０１４１】
次に、図１９のステップＳ４４では、６個のヘッドユニット２１からなるヘッドユニッ
ト群２１Ａを、マザー対向基板２０１Ａに対して吐出走査を開始する位置に位置させる。
吐出走査を開始する位置は、例えば、図２０に示したマザー対向基板２０１Ａに対して、
ヘッドユニット群２１Ａ５１の位置である。
マザー対向基板２０１Ａに対して、ヘッドユニット群２１Ａをヘッドユニット群２１Ａ
５１の位置に位置させる操作は、ワーク載置台５３０をＸ軸走査機構３６によってＸ軸方
向に移動し、ヘッドユニット群２１ＡをＹ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動するこ
とで実施する。
【０１４２】
次に、図１９のステップＳ４５では、第一領域におけるフィルター膜領域２２５に向け
て機能液２５２を吐出する吐出走査を実施する。ヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基
板２０１Ａとを相対移動させると共に、描画ユニット２が有する吐出ノズル７８から選択
的に機能液を吐出することによって、マザー対向基板２０１Ａの上の規定された位置に機
能液２５２を配置する。
【０１４３】
第一領域は、図２０に示した仮想線Ｌ５１と仮想線Ｌ５２とに挟まれた領域である。ヘ
ッドユニット群２１Ａが有する全ての吐出ノズル７８から機能液２５２を吐出することで
、第一領域のＷ軸方向の幅全体に含まれるフィルター膜領域２２５に機能液２５２を配置
することが可能である。
この吐出走査におけるヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対移動
は、マザー対向基板２０１Ａが載置されたワーク載置台５３０をＸ軸走査機構３６によっ
てＸ軸方向に移動することによって実施する。相対移動方向は、マザー対向基板２０１Ａ
のＶ軸方向及びＷ軸方向に対して傾いており、フィルター膜領域２２５の配列方向に対し
て傾いている。
相対移動方向は、ヘッドユニット群２１Ａが有するノズル列７８Ａの延在方向と略直交
する方向であり、ヘッドユニット群２１Ａが有する全ての吐出ノズル７８は、２本のノズ
ル列７８Ａ間の吐出タイミングを制御するだけで、あたかも１列に配列した一本のノズル
列のように扱うことが可能である。
【０１４４】
ステップＳ４５を終了すると、ヘッドユニット群２１Ａは、マザー対向基板２０１Ａに
対して、図２０に二点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ５２の位置に位置する。
ステップＳ４５における吐出走査の回数は、複数回であってもよい。複数回の吐出走査
ごとに、ヘッドユニット群２１ＡのＹ軸方向の位置をわずかにずらしてもよい。ヘッドユ
ニット群２１ＡのＹ軸方向の位置をずらすことで、単一のフィルター膜領域２２５に対し
て、同じ吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２が配置されることを抑制することが
できる。回数が偶数回の場合には、ステップＳ４５を終了すると、ヘッドユニット群２１
Ａは、マザー対向基板２０１Ａに対して、元のヘッドユニット群２１Ａ５１の位置に位置
する。
【０１４５】
次に、図１９のステップＳ４６では、ヘッドユニット群２１Ａを、マザー対向基板２０
１Ａに対して、次の第二領域に対する吐出走査を開始する位置に移動する。ヘッドユニッ
ト群２１Ａ５２の位置に位置していたヘッドユニット群２１Ａを移動させて、第二領域に
対する吐出走査を開始する位置であるヘッドユニット群２１Ａ６１の位置に位置させる。
ヘッドユニット群２１Ａ５２のＸ軸方向の位置と、ヘッドユニット群２１Ａ６１のＸ軸
方向の位置とは、図２０に示したように異なっていてもよいし、一致させてもよい。一致
させる場合には、ステップＳ４５の吐出走査において、ヘッドユニット群２１ＡのＸ軸方
向の位置が次の吐出走査を開始する際の位置に至るまで、相対移動させる。液滴吐出装置
５０１においては、マザー対向基板２０１Ａが固定されたワーク載置台５３０をＸ軸走査
機構３６によって移動させる。
【０１４６】
次に、図１９のステップＳ４７では、ステップＳ４５と同様にして、第二領域における
フィルター膜領域２２５に向けて機能液２５２を吐出する吐出走査を実施する。第二領域
は、図２０に示した仮想線Ｌ５２と仮想線Ｌ５３とに挟まれた領域である。ヘッドユニッ
ト群２１Ａが有する全ての吐出ノズル７８から機能液２５２を吐出することで、第二領域
のＷ軸方向の幅全体に含まれるフィルター膜領域２２５に機能液２５２を配置することが
可能である。
ステップＳ４７を終了すると、ヘッドユニット群２１Ａは、マザー対向基板２０１Ａに
対して、図２０に二点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ６２の位置に位置する。
【０１４７】
次に、図１９のステップＳ４８では、ステップＳ４６と同様に、ヘッドユニット群２１
Ａを、マザー対向基板２０１Ａに対して、次の第三領域に対する吐出走査を開始する位置
であるヘッドユニット群２１Ａ７１の位置に移動する。
【０１４８】
次に、図１９のステップＳ４９では、ステップＳ４５又はステップＳ４７と同様にして
、第三領域におけるフィルター膜領域２２５に向けて機能液２５２を吐出する吐出走査を
実施する。第三領域は、図２０に示した仮想線Ｌ５３と仮想線Ｌ５４とに挟まれた領域で
ある。ヘッドユニット群２１Ａが有する全ての吐出ノズル７８から機能液２５２を吐出す
ることで、第三領域のＷ軸方向の幅全体に含まれるフィルター膜領域２２５に機能液２５
２を配置することが可能である。
ステップＳ４９を終了すると、ヘッドユニット群２１Ａは、マザー対向基板２０１Ａに
対して、図２０に二点鎖線で示したヘッドユニット群２１Ａ７２の位置に位置する。
【０１４９】
次に、図１９のステップＳ５０では、描画が実施されたマザー対向基板２０１Ａを、液
滴吐出装置５０１から除材する。
次に、ステップＳ５１では、次に描画するマザー対向基板２０１Ａの有無を判定する。
次に描画するマザー対向基板２０１Ａが有る場合（ステップＳ５１でＹＥＳ）には、ステ
ップＳ４１に戻り、ステップＳ４１からステップＳ５０を繰り返す。
次に描画するマザー対向基板２０１Ａが無い場合（ステップＳ５１でＮＯ）には、ステ
ップＳ５１を終了して描画工程を終了する。
【０１５０】
赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、及び青色機能液２５２Ｂについて、それぞ
れ上述した描画工程を実施して、フィルター膜領域２２５Ｒ、フィルター膜領域２２５Ｇ
、及びフィルター膜領域２２５Ｂに、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０
５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂを形成する。これにより、赤色フィルター膜２０５
Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂからなる３色カラーフィ
ルターが形成される。
【０１５１】
あるいは、液滴吐出装置５０１のヘッドユニット２１を、第一の実施形態において説明
したヘッドユニット３２１にして、当該ヘッドユニット３２１を用いて３種類の機能液２
５２を並行して配置することもできる。
【０１５２】
＜相対移動経路例＞
液滴吐出装置５０１を用いてフィルター膜領域２２５に機能液２５２を配置する描画工
程における、マザー対向基板２０１Ａに対するヘッドユニット群２１Ａの相対移動経路に
ついても、上述した相対移動経路とは異なる経路をとることができる。
上述したステップＳ４６やステップＳ４８を実施する際に、ステップＳ４３のマザー対
向基板の方向を調整するステップも実施することによって、図１２に示した相対移動経路
や、図１５（ｃ）や図１５（ｄ）に示した相対移動経路と実質的に同等の経路をとること
ができる。吐出走査において、ヘッドユニット群２１Ａが図１５（ｂ）の境界線Ｌ２０又
は境界線Ｌ３０を越える位置まで走査したところで、ステップＳ４３のマザー対向基板２
０１Ａの方向を調整するステップを実施して方向を変え、その相対移動方向で続きの吐出
走査を実施することで、図１５（ｂ）に示したような相対移動経路と実質的に同等の経路
をとることもできる。
【０１５３】
第二の実施形態によれば、上述した第一の実施形態による効果に加えて、以下に記載す
る効果が得られる。
（１）回動機構５３２は、載置台ベース５３３に対して、載置台５３１を、載置台５３
１のワークＷを載置する面に略垂直な回動軸５３２ａ回りに回動可能であり、精度良く任
意の位置に保持することが可能であり、回動機構５３２を用いて、載置台５３１に載置さ
れたマザー対向基板２０１Ａの、相対移動方向に対する方向を変えることができる。これ
により、ヘッドユニット群２１Ａとマザー対向基板２０１Ａとの相対移動の方向を変える
ことなく、マザー対向基板２０１ＡのＶ軸方向と、ヘッドユニット群２１Ａとマザー対向
基板２０１Ａとの相対移動の方向とを、傾けることができる。
【０１５４】
（２）相対移動方向は、ヘッドユニット群２１Ａが有するノズル列７８Ａの延在方向と
略直交する方向であり、ヘッドユニット群２１Ａが有する全ての吐出ノズル７８は、２本
のノズル列７８Ａ間の吐出タイミングを制御するだけで、あたかも１列に配列した一本の
ノズル列のように扱うことが可能である。これにより、相対移動方向と、ノズル列の延在
方向とが傾いており、吐出ノズルごとに個別に吐出タイミングを制御する必要がある場合
にくらべて、吐出ノズル７８からの吐出の制御を容易にすることができる。
【０１５５】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は
、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１５６】
（変形例１）前記実施形態においては、吐出走査における相対移動の経路は直線状又は
直線状の経路をつなぎあわせた経路であったが、相対移動の経路が直線状であることは必
須ではない。相対移動の経路は、例えば円弧の一部のような曲線や、曲線が連なる経路な
どであってもよい。
【０１５７】
（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出装置を使用して液状体を配置する対象
物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルターを備える液晶表示パネル２
００において、フィルター膜２０５を形成する際の描画吐出について説明した。しかし、
液状体を配置する対象物は、液晶装置に限らない。液状体を配置する対象物は、上述した
ような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装
置であれば、どのような装置であってもよい。
【０１５８】
（変形例３）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は
、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５
Ｂの３色のフィルター膜を有する３色フィルターであったが、カラーフィルターは、さら
に多くの種類のフィルター膜を有する多色のカラーフィルターであってもよい。多色のカ
ラーフィルターとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色の
シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラ
ーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加
えた４色カラーフィルターなどがあげられる。
【０１５９】
（変形例４）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の
液滴吐出ヘッドであったが、液滴吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであ
ることは必須ではない。上述した液状体を配置する液滴吐出ヘッドは、インクジェット方
式とは異なる方式の液滴吐出ヘッドであってもよい。
【０１６０】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐出
する構成であったが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の種類は一種類に限らない。液滴
吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体を
供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。
【０１６１】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２列
備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であっ
たが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構
成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐
出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であ
ってもよい。
【０１６２】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列７８Ａを２列
備えており、それぞれのノズル列７８Ａは１８０個の吐出ノズル７８を有する構成であっ
たが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構
成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐
出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であ
ってもよい。
【０１６３】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置５０１のヘッ
ドユニット２１は９個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液
滴吐出ヘッドの数は、９個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備え
る構成であってもよい。
【０１６４】
（変形例９）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は９個の液滴吐出ヘッド１
７を備えており、液滴吐出ヘッド１７は、それぞれの吐出ノズル７８がＹ軸方向において
ノズル列７８Ａにおけるノズルピッチで連続する位置に配設されていた。しかし、複数の
液滴吐出ヘッドを、それぞれの液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルが液滴吐出ヘッドにお
ける吐出ノズルの配列方向においてノズルピッチで連続するように配設することは必須で
はない。液滴吐出ヘッドを、それぞれの液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルが液滴吐出ヘ
ッドにおける吐出ノズルの配列方向において、ノズルピッチより広い間隔を隔てて位置す
るように配設してもよいし、吐出ノズルの配列方向において、吐出ノズルの位置が互いに
重なる位置に配設してもよい。
【０１６５】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置５０１は６
個のヘッドユニット２１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは６個に
限らない。液滴吐出装置は、何個のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【０１６６】
（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置５０１は、
マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台３０又はワーク載置台５３０を移動
させて、吐出ノズル７８の配列方向と略直交するＸ軸方向における吐出ノズル７８とマザ
ー対向基板２０１Ａとの相対移動を実施していた。また、ヘッドユニット２１を移動させ
て、吐出ノズル７８の配列方向と略平行なＹ方向における吐出ノズル７８とマザー対向基
板２０１Ａとの相対移動を実施していた。しかし、ノズル列を備える液滴吐出ヘッドと基
材との、ノズル列を構成する吐出ノズルの配列方向に交差する方向における相対移動を基
材を移動させることで実施することも、ノズル列を構成する吐出ノズルの配列方向におけ
る相対移動を液滴吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
液滴吐出ヘッドと基材との吐出ノズルの配列方向に交差する方向における相対移動を、
液滴吐出ヘッドを吐出ノズルの配列方向に交差する方向に移動させることで実施してもよ
い。液滴吐出ヘッドと基材との吐出ノズルの配列方向の相対移動を、基材を吐出ノズルの
配列方向に移動させることで実施してもよい。液滴吐出ヘッドと基材との、吐出ノズルの
配列方向に交差する方向及び吐出ノズルの配列方向の相対移動を、液滴吐出ヘッド、又は
基材のどちらか一方を、吐出ノズルの配列方向に交差する方向及び吐出ノズルの配列方向
に移動させることで実施してもよい。あるいは、液滴吐出ヘッド、及び基材の両方を、吐
出ノズルの配列方向に交差する方向及び吐出ノズルの配列方向に移動させることで実施し
てもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１６７】
【図１】第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図５】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図６】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図７】３色カラーフィルターのフィルター膜の配列例を示す模式平面図。
【図８】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図９】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルター膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１０】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１１】描画工程を示すフローチャート。
【図１２】描画工程におけるマザー対向基板に対するヘッドユニットの相対移動経路を示す説明図。
【図１３】フィルター膜領域に対する機能液の液滴の着弾位置を示す説明図。
【図１４】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図１５】描画工程におけるマザー対向基板に対するヘッドユニットの相対移動経路の例を示す説明図。
【図１６】第二の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図１７】（ａ）は、ワークユニットの平面図。（ｂ）は、ワークユニットの側面図。
【図１８】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図１９】描画工程を示すフローチャート。
【図２０】描画工程におけるマザー対向基板に対するヘッドユニットの相対移動経路を示す説明図。
【符号の説明】
【０１６８】
１…液滴吐出装置、２…描画ユニット、３…ワークユニット、４…機能液供給ユニット
、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２１Ａ…ヘッド
ユニット群、３０…ワーク載置台、３１…載置台、３２…θ機構、３６…Ｘ軸走査機構、
４４…ＣＰＵ、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、２
００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０８…ＣＦ
層、２１０…素子基板、２２０…対向基板、２２５…フィルター膜領域、２２５Ａ…領域
列、２５２…機能液、２５２ｒ…着弾点、３２１…ヘッドユニット、５０１…液滴吐出装
置、５０３…ワークユニット、５０６…吐出装置制御部、５３０…ワーク載置台、５３１
…載置台、５３２…回動機構、５３２ａ…回動軸、５３３…載置台ベース、７８１…吐出
ノズル、７８２…吐出ノズル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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