(57)【要約】      （修正有）【課題】製造コストの上昇を抑制するとともに、微細化が可能な半導体装置内蔵基板の製造方法を提供すること。【解決手段】半導体集積回路１０と、接続端子１２と、第１絶縁層１３とを有する半導体装置を準備する第１工程と、前記半導体装置１０を前記支持体面に配置する第２工程と、前記半導体装置１０の少なくとも側面部を埋めるように、第２絶縁層４１を形成する第３工程と、前記支持体を除去する第４工程と、反対側の面に、第３絶縁層４２を形成する第５工程と、第１配線パターンを有する配線基板を準備し、前記半導体装置１０及び前記第２絶縁層４１の、前記露出部と反対側の面に固着する第６工程と、前記第１配線パターンを露出するビアホール４１Ｘを形成する第７工程と、前記ビアホールを介して、前記露出部と前記第１配線パターンとを電気的に接続する第２配線パターンを形成する第８工程と、を有することを要件とする。【選択図】図１９
2010109180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路と、前記半導体集積回路と電気的に接続された接続端子と、前記接続端子の一部を露出する第１絶縁層と、を有する半導体装置を準備する第１工程と、
支持体を準備し、前記第１絶縁層から露出する前記接続端子の露出部が前記支持体の一方の面と対向するように、前記半導体装置を前記支持体の一方の面に配置する第２工程と、
前記支持体の一方の面に配置された前記半導体装置の少なくとも側面部を埋めるように、前記支持体の前記一方の面に第２絶縁層を形成する第３工程と、
前記支持体を除去する第４工程と、
前記半導体装置及び前記第２絶縁層の前記露出部と反対側の面に、第３絶縁層を形成する第５工程と、
第１配線パターンを有する配線基板を準備し、前記配線基板を前記第３絶縁層を介して、前記半導体装置及び前記第２絶縁層の、前記露出部と反対側の面に固着する第６工程と、
前記第２絶縁層及び前記第３絶縁層に、前記第１配線パターンを露出する第１ビアホールを形成する第７工程と、
前記第１絶縁層及び前記第２絶縁層の前記露出部側の面に、前記第１ビアホールを介して、前記露出部と前記第１配線パターンとを電気的に接続する第２配線パターンを形成する第８工程と、を有する半導体装置内蔵基板の製造方法。
【請求項２】
前記第１絶縁層及び前記第２絶縁層の前記露出部側の面に、前記第２配線パターンを覆うように第４絶縁層を形成する第９工程と、
前記第４絶縁層に、前記第２配線パターンを露出する第２ビアホールを形成する第１０工程と、
前記第４絶縁層上に、前記第２ビアホールを介して前記第２配線パターンと電気的に接続する第３配線パターンを形成する第１１工程と、を有する請求項１記載の半導体装置内蔵基板の製造方法。
【請求項３】
前記第３配線パターンを覆うように、更に絶縁層と配線パターンとを交互に形成する第１２工程を有する請求項２記載の半導体装置内蔵基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１工程は、前記半導体集積回路に形成された電極パッド上に、前記接続端子を形成する工程と、
前記接続端子を覆うように前記半導体集積回路上に前記第１絶縁層を形成する工程と、
前記第１絶縁層上に、前記第１絶縁層と対向する側の面が粗面とされた板状体を配設する工程と、
前記板状体の前記粗面を前記第１絶縁層に圧着することにより、前記接続端子の一部を前記第１絶縁層から露出させる工程と、
前記板状体を除去する工程と、を含む請求項１乃至３の何れか一項記載の半導体装置内蔵基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置を内蔵する半導体装置内蔵基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体装置を内蔵する配線基板（以降、半導体装置内蔵基板とする）が知られている。半導体装置内蔵基板の製造方法としては、例えば、半導体装置に、半導体装置の有する半導体集積回路と電気的に接続される接続端子であるバンプを形成して配線基板に埋め込み、絶縁層で半導体装置の周囲を被覆した後、絶縁層にレーザで孔明けしてバンプを露出させ、露出したバンプに配線パターン（再配線）を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
又、半導体装置に、半導体装置の有する半導体集積回路と電気的に接続される接続端子であるバンプを形成する第１の工程と、バンプ上に絶縁層を形成する第２の工程と、絶縁層にレーザで孔明けしてバンプに到達するビアホールを形成する第３の工程と、ビアホールに充填されるビア配線と、ビア配線に接続される配線パターン（再配線）とを形成する第４の工程と、を有し、ビアホールを形成する場合にバンプをレーザのストッパ層として用いる方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特許第２８４２３７８号
【特許文献２】特開２００５−３３２８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の半導体装置内蔵基板の製造方法では、半導体装置の有する半導体集積回路と配線パターン（再配線）とを電気的に接続する接続端子であるバンプが隠れるように半導体装置上に絶縁層を形成して半導体装置を埋め込み、レーザで孔明けしてバンプを露出させる。このため、レーザで孔明けする工程に時間がかかり、半導体装置内蔵基板の製造コストを上昇させるという問題があった。
【０００５】
又、レーザは所定のスポット径（例えば、直径７０μｍ程度）で照射されるので、半導体装置の有する半導体集積回路と配線パターン（再配線）とを電気的に接続する接続端子であるバンプの間隔を１５０μｍ程度までしか微細化できないという問題があった。
【０００６】
上記の点に鑑み、製造コストの上昇を抑制するとともに、半導体装置の有する半導体集積回路と配線パターン（再配線）とを電気的に接続する接続端子の間隔の微細化が可能な半導体装置内蔵基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この半導体装置内蔵基板の製造方法は、半導体集積回路と、前記半導体集積回路と電気的に接続された接続端子と、前記接続端子の一部を露出するように形成された第１絶縁層とを有する半導体装置を準備する第１工程と、支持体を準備し、前記第１絶縁層から露出する前記接続端子の露出部が前記支持体の一方の面と対向するように、前記半導体装置を前記支持体の一方の面に配置する第２工程と、前記支持体の一方の面に配置された前記半導体装置の少なくとも側面部を埋めるように、前記支持体の前記一方の面に第２絶縁層を形成する第３工程と、前記支持体を除去する第４工程と、前記半導体装置及び前記第２絶縁層の、前記露出部と反対側の面に、第３絶縁層を形成する第５工程と、第１配線パターンを有する配線基板を準備し、前記配線基板を前記第３絶縁層を介して、前記半導体装置及び前記第２絶縁層の、前記露出部と反対側の面に固着する第６工程と、前記第２絶縁層及び前記第３絶縁層に、前記第１配線パターンを露出するビアホールを形成する第７工程と、前記ビアホールを介して、前記露出部と前記第１配線パターンとを電気的に接続する第２配線パターンを形成する第８工程と、を有することを要件とする。
【発明の効果】
【０００８】
開示の製造方法によれば、製造コストの上昇を抑制するとともに、半導体装置の有する半導体集積回路と配線パターン（再配線）とを電気的に接続する接続端子の間隔の微細化が可能な半導体装置内蔵基板の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。
【００１０】
［本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の構造］
始めに、本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の構造について説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の断面図である。図１を参照するに、半導体装置内蔵基板２０は、半導体装置１０と、配線基板７０と、配線パターン１４と、配線パターン４４と、ソルダーレジスト層１６と、外部接続端子１７と、絶縁層４１と、絶縁層４２と、絶縁層４３とを有する。
【００１１】
半導体装置１０は、半導体チップ１１と、接続端子１２と、絶縁層１３とを有する。半導体装置１０において、半導体チップ１１は、半導体基板２１と、半導体集積回路２２と、複数の電極パッド２３と、保護膜２４とを有する。半導体基板２１は、半導体集積回路２２を形成するための基板である。半導体基板２１は、薄板化されている。半導体基板２１の厚さＴ1は、例えば、５０μｍ〜５００μｍとすることができる。半導体基板２１は、例えば、薄板化されたＳｉウエハが個片化されたものである。
【００１２】
半導体集積回路２２は、半導体基板２１の一方の面に設けられている。半導体集積回路２２は、半導体基板２１に形成された拡散層（図示せず）、半導体基板２１上に積層された絶縁層（図示せず）、及び積層された絶縁層（図示せず）に設けられたビアホール（図示せず）及び配線等（図示せず）から構成されている。
【００１３】
電極パッド２３は、半導体集積回路２２上に複数設けられている。電極パッド２３は、半導体集積回路２２に設けられた配線（図示せず）と電気的に接続されている。電極パッド２３の材料としては、例えば、Ａｌ等を用いることができる。電極パッド２３の材料として、Ｃｕ層の上にＡｌ層を形成したもの、Ｃｕ層の上にＳｉ層を形成し、その上に更にＡｌ層を形成したもの等を用いても構わない。
【００１４】
保護膜２４は、半導体集積回路２２上に設けられている。保護膜２４は、半導体集積回路２２を保護するための膜であり、パッシベーション膜と呼ばれる場合もある。保護膜２４としては、例えばＳｉＮ膜、ＰＳＧ膜等を用いることができる。又、ＳｉＮ膜やＰＳＧ膜等からなる層に、更にポリイミド等からなる層を積層しても構わない。
【００１５】
接続端子１２は、電極パッド２３上に設けられている。接続端子１２は、突起部を有する形状である。接続端子１２の面１２Ａは絶縁層１３の面１３Ａから露出しており、配線パターン１４と電気的に接続されている。すなわち、接続端子１２は、半導体装置１０の有する半導体集積回路２２と配線パターン１４とを、電極パッド２３を介して電気的に接続する機能を有する。
【００１６】
接続端子１２の高さＨ１は、例えば、１０μｍ〜６０μｍとすることができる。接続端子１２としては、例えばＡｕバンプ、Ａｕめっき膜、無電解めっき法により形成されたＮｉ膜とそれを覆うＡｕ膜から構成される金属膜等を用いることができる。Ａｕバンプは、例えばワイヤボンディング装置を用いて、ボンディングワイヤにより形成することができる。又、めっき法により形成することもできる。
【００１７】
絶縁層１３は、半導体チップ１１の回路形成面（主面）を封止保護すると共に、配線パターン１４を形成する際のベース材の一部となるものである。絶縁層１３は、接続端子１２の面１２Ａを除く接続端子１２及び半導体チップ１１を覆うように設けられている。絶縁層１３の面１３Ａは、接続端子１２の面１２Ａと略面一とされている。
【００１８】
絶縁層１３の材料としては、感光性を有する材料、感光性を有しない材料の何れを用いても構わない。絶縁層１３としては、例えば、粘着性を有するＢ−ステージ状態（半硬化状態）のシート状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＦ（Non Conductive Film））、ペースト状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＰ（Non Conductive Paste））、粘着性を有するシート状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film））、ペースト状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste））、ビルドアップ樹脂（フィラー入りのエポキシ樹脂又はフィラーなしのエポキシ樹脂）、液晶ポリマー（liquid crystal polymer）等を挙げることができる。ＡＣＰ及びＡＣＦは、エポキシ系樹脂をベースとする絶縁樹脂にＮｉ／Ａｕに被膜された小径球状の樹脂が分散されたものであり、鉛直方向に対しては導電性を有し、水平方向には絶縁性を有する樹脂である。絶縁層１３の厚さＴ２は、例えば１０μｍ〜６０μｍとすることができる。
【００１９】
絶縁層４１は、半導体装置１０の側面部を埋めるように設けられている。絶縁層４１は、配線パターン１４、絶縁層４２及び絶縁層４３を形成する際のベース材の一部となるものである。絶縁層４１の材料としては、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の樹脂材を用いることができる。
【００２０】
絶縁層４２は、半導体装置１０の裏面部１０Ｂ及び絶縁層４１の面４１Ｂと、配線基板７０との間に設けられている。絶縁層４２の材料としては、感光性を有する材料、感光性を有しない材料の何れを用いても構わない。絶縁層４２としては、例えば、粘着性を有するＢ−ステージ状態（半硬化状態）のシート状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＦ（Non Conductive Film））、ペースト状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＰ（Non Conductive Paste））、粘着性を有するシート状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film））、ペースト状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste））、ビルドアップ樹脂（フィラー入りのエポキシ樹脂又はフィラーなしのエポキシ樹脂）、液晶ポリマー（liquid crystal polymer）等を挙げることができる。ＡＣＰ及びＡＣＦは、エポキシ系樹脂をベースとする絶縁樹脂にＮｉ／Ａｕに被膜された小径球状の樹脂が分散されたものであり、鉛直方向に対しては導電性を有し、水平方向には絶縁性を有する樹脂である。
【００２１】
配線基板７０は、絶縁層７１と、ビアホール７１Ｘと、配線パターン７２と、配線パターン７３と、ソルダーレジスト層７４と、ソルダーレジスト層７５とを有する。配線基板７０において、配線パターン７２は、絶縁層７１の面７１Ａに設けられており、配線パターン７３は、絶縁層７１の面７１Ｂに設けられている。配線パターン７２は、絶縁層７１を貫通するビアホール７１Ｘを介して配線パターン７３と電気的に接続されている。
【００２２】
ソルダーレジスト層７４は、配線パターン７２を覆うように、絶縁層７１の面７１Ａに設けられている。ソルダーレジスト層７４は、配線パターン７２の一部を露出する開口部７４Ｘを有する。ソルダーレジスト層７５は、配線パターン７３を覆うように、絶縁層７１の面７１Ｂに設けられている。ソルダーレジスト層７５は、配線パターン７３の一部を露出する開口部７５Ｘを有する。開口部７４Ｘから露出する部分の配線パターン７２は、他の基板等と接続するための電極パッドとして機能する。開口部７５Ｘから露出する部分の配線パターン７３は、他の基板等と接続するための電極パッドとして機能する。
【００２３】
配線パターン１４は、接続端子１２の面１２Ａと接触するように、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに設けられている。配線パターン１４は、接続端子１２及び電極パッド２３を介して、半導体集積回路２２と電気的に接続されている。又、配線パターン１４は、ビアホール４１Ｘを介して、配線基板７０の配線パターン７２と電気的に接続されている。配線パターン１４は、いわゆる再配線と呼ばれる場合があり、電極パッド２３の位置と、外部接続端子１７の位置とを異ならせるため（ファンアウト及び任意の位置への端子配置をするため、所謂ピッチ変換のため）に設けられる。
【００２４】
配線パターン１４は、金属層２６及び金属層２７を有する。金属層２６としては、例えばＣｕ層、Ｃｕ層及びＣｒ層からなる積層体、Ｃｕ層及びＴｉ層からなる積層体等を用いることができる。又、無電解Ｃｕメッキ層でもよいし、蒸着法、塗布法又は化学気相成長法（ＣＶＤ）等により形成された金属薄膜層であってもよいし、上記の金属層形成方法を組み合わせてもよい。金属層２６の厚さＴ６は、例えば２μｍとすることができる。金属層２７としては、例えばＣｕ層等を用いることができる。金属層２７の厚さＴ７は、例えば１０μｍとすることができる。
【００２５】
絶縁層４３は、配線パターン１４を覆うように、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに設けられている。絶縁層４３の材料としては、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の樹脂材を用いることができる。配線パターン４４は、絶縁層４３の面４３Ａに設けられている。配線パターン４４は、絶縁層４３に形成されたビアホール４３Ｘを介して、配線パターン１４と電気的に接続されている。
【００２６】
配線パターン４４は、金属層４６及び金属層４７を有する。金属層４６としては、例えばＣｕ層、Ｃｕ層及びＣｒ層からなる積層体、Ｃｕ層及びＴｉ層からなる積層体等を用いることができる。又、無電解Ｃｕメッキ層でもよいし、蒸着法、塗布法又は化学気相成長法（ＣＶＤ）等により形成された金属薄膜層であってもよいし、上記の金属層形成方法を組み合わせてもよい。金属層４６の厚さＴ８は、例えば２μｍとすることができる。金属層４７としては、例えばＣｕ層等を用いることができる。金属層４７の厚さＴ９は、例えば１０μｍとすることができる。
【００２７】
ソルダーレジスト層１６は、配線パターン４４を覆うように、絶縁層４３の面４３Ａに設けられている。ソルダーレジスト層１６は、配線パターン４４の一部を露出する開口部１６Ｘを有する。ソルダーレジスト層１６の材料は、例えば感光性樹脂組成物である。
【００２８】
外部接続端子１７は、ソルダーレジスト層１６の開口部１６Ｘ内に露出する配線パターン４４上、及び／又は、ソルダーレジスト層７５の開口部７５Ｘ内に露出する配線パターン７３上に設けられている。外部接続端子１７は、例えばマザーボード等の実装基板（図示せず）に設けられたパッドと電気的に接続される端子である。外部接続端子１７としては、例えば、はんだバンプ等を用いることができる。外部接続端子１７の材料としては、例えばＰｂを含む合金、ＳｎとＣｕの合金、ＳｎとＡｇの合金、ＳｎとＡｇとＣｕの合金等を用いることができる。又、樹脂（例えばジビニルベンゼン等）をコアとするはんだボール（Ｓｎ−３．５Ａｇ）等を用いても構わない。
【００２９】
以上が、本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の構造である。
【００３０】
［本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造方法］
続いて、本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造方法について説明する。図２〜図２５は、本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図である。図２〜図２５において、図１に示す半導体装置内蔵基板２０と同一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する場合がある。図２〜図１１において、Ｃはダイシングブレードが半導体基板３１を切断する位置（以下、「基板切断位置Ｃ」とする）、Ａは複数の半導体装置形成領域（以下、「半導体装置形成領域Ａ」とする）、Ｂは複数の半導体装置形成領域Ａを分離する、基板切断位置Ｃを含むスクライブ領域（以下、「スクライブ領域Ｂ」とする）を示している。
【００３１】
始めに、図２及び図３に示す工程では、複数の半導体装置形成領域Ａと、複数の半導体装置形成領域Ａを分離する、基板切断位置Ｃを含むスクライブ領域Ｂとを有する半導体基板３１を準備する。図２は半導体基板を例示する断面図であり、図３は半導体基板を例示する平面図である。図２及び図３に示す半導体基板３１は、薄板化され、かつ基板切断位置Ｃにおいて切断されることにより、先に説明した半導体基板２１（図１参照）となるものである。半導体基板３１としては、例えばＳｉウエハ等を用いることができる。半導体基板３１の厚さＴ３は、例えば、５００μｍ〜７７５μｍとすることができる。
【００３２】
次いで、図４に示す工程では、半導体装置形成領域Ａに対応する半導体基板３１の一方の面に、周知の手法により、半導体集積回路２２、電極パッド２３、及び保護膜２４を有する半導体チップ１１を形成する。電極パッド２３の材料としては、例えばＡｌ等を用いることができる。電極パッド２３の材料として、Ｃｕ層の上にＡｌ層を形成したもの、Ｃｕ層の上にＳｉ層を形成し、その上に更にＡｌ層を形成したもの等を用いても構わない。保護膜２４としては、例えばＳｉＮ膜やＰＳＧ膜等を用いることができる。又、ＳｉＮ膜やＰＳＧ膜等からなる層に、更にポリイミド等からなる層を積層しても構わない。
【００３３】
次いで、図５に示す工程では、半導体装置形成領域Ａに設けられた複数の電極パッド２３上にそれぞれ接続端子１２を形成する。接続端子１２としては、例えばＡｕバンプ、Ａｕめっき膜、無電解めっき法やＡｌジンケート法により形成されたＮｉ膜とＮｉ膜上に積層されるＡｕ膜から構成される金属膜等を用いることができる。Ａｕバンプは、例えばワイヤボンディング装置を用いて、ボンディングワイヤにより形成することができる。又、めっき法により形成することもできる。なお、図５に示す工程で形成された複数の接続端子１２には、高さばらつきが存在する。
【００３４】
次いで、図６に示す工程では、接続端子１２が設けられた側の複数の半導体チップ１１及び接続端子１２を覆うように絶縁層１３を形成する。絶縁層１３の材料としては、感光性を有する材料、感光性を有しない材料の何れを用いても構わない。絶縁層１３としては、例えば、粘着性を有するＢ−ステージ状態（半硬化状態）のシート状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＦ（Non Conductive Film））、ペースト状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＰ（Non Conductive Paste））、粘着性を有するシート状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film））、ペースト状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste））、ビルドアップ樹脂（フィラー入りのエポキシ樹脂又はフィラーなしのエポキシ樹脂）、液晶ポリマー（liquid crystal polymer）等を挙げることができる。ＡＣＰ及びＡＣＦは、エポキシ系樹脂をベースとする絶縁樹脂にＮｉ／Ａｕに被膜された小径球状の樹脂が分散されたものであり、鉛直方向に対しては導電性を有し、水平方向には絶縁性を有する樹脂である。
【００３５】
絶縁層１３として粘着性を有したシート状の絶縁樹脂を用いた場合は、図５に示す構造体の一方の面側にシート状の絶縁樹脂を貼り付ける。又、絶縁層１３としてペースト状の絶縁樹脂を用いた場合は、図５に示す構造体の一方の面側に印刷法等によりペースト状の絶縁樹脂を形成し、その後、プリベークして絶縁樹脂を半硬化させる。この半硬化した絶縁樹脂は接着性を有する。絶縁層１３の厚さＴ４は、例えば２０μｍ〜１００μｍとすることができる。
【００３６】
次いで図７に示す工程では、絶縁層１３の面１３Ａに板状体２５を配設する。板状体２５は、絶縁層１３の面１３Ａと対向する側の面２５Ｂが粗面とされている。板状体２５の厚さＴ５は、例えば１０μｍとすることができる。板状体２５としては、例えばＣｕ箔等の金属箔を用いることができる。又、板状体２５として、ＰＥＴ等よりなるテンポラリーフィルムを用いても構わない。更に、予め樹脂フィルムの片面にＣｕ箔が設けられた、片面銅箔付き樹脂フィルムを用いることも可能である。ここでは、板状体２５として、金属箔を用いた場合を例にとり、以下の工程を説明する。
【００３７】
次いで図８に示す工程では、図７に示す構造体を加熱した状態で、板状体２５の面２５Ａ側から板状体２５を押圧して、板状体２５を絶縁層１３に圧着する。これにより絶縁層１３は押圧され、接続端子１２の面１２Ａは絶縁層１３の面１３Ａから露出する。又、絶縁層１３の面１３Ａに、板状体２５の面２５Ｂの粗面が転写される。図７に示す構造体を加熱することにより、絶縁層１３は硬化する。圧着後の絶縁層１３の厚さＴ２は、例えば１０μｍ〜６０μｍとすることができる。
【００３８】
次いで図９に示す工程では、板状体２５をエッチング等により全て除去する。図７〜図９に示す工程により、後述する図１９の工程において、金属層２６と接続端子１２との密着性を高めることができる。
【００３９】
次いで図１０に示す工程では、半導体基板３１の裏面側から半導体基板３１を研磨又は研削して、半導体基板３１を薄板化する。半導体基板３１の薄板化には、例えばバックサイドグラインダー等を用いることができる。薄板化後の半導体基板３１の厚さＴ１は、例えば、５０μｍ〜５００μｍとすることができる。なお、図１０に示す工程は削除される場合もある。
【００４０】
次いで図１１に示す工程では、スクライブ領域Ｂに対応する半導体基板３１を基板切断位置Ｃに沿って切断することで、複数の半導体装置１０が製造される。半導体基板３１の切断は、例えば、ダイシング等によって行う。
【００４１】
次いで図１２に示す工程では、支持体４０を準備する。そして、接続端子１２の面１２Ａが支持体４０の面４０Ａと対向するように、複数の半導体装置１０を支持体４０の面４０Ａに配置する。支持体４０の面４０Ａは、例えば粘着性を有しており、配置された半導体装置１０は固定される。支持体４０の面４０Ａが粘着性を有していない場合には、例えば接着用テープ等により、配置された半導体装置１０を固定する。支持体４０としては、例えばＰＥＴフィルム、ポリイミドフィルム、金属板、ガラス板等を用いることができる。
【００４２】
次いで図１３に示す工程では、隣接して配置された半導体装置１０の、少なくとも側面部を埋めるように、支持体４０の面４０Ａに絶縁層４１を形成する。絶縁層４１の材料としては、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の樹脂材を用いることができる。絶縁層４１の形成方法の一例としては、支持体４０の面４０Ａにエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の樹脂フィルムをラミネートした後に、樹脂フィルムをプレス（押圧）し、その後、例えば１９０℃程度の温度で熱処理して硬化させることにより絶縁層４１を得ることができる。又、支持体４０の面４０Ａにエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の液状の樹脂を塗布した後に、例えば１９０℃程度の温度で熱処理して硬化させることにより絶縁層４１を得ることもできる。次いで図１４に示す工程では、図１３に示す支持体４０を除去する。
【００４３】
次いで図１５に示す工程では、周知の方法で製造された配線基板７０を準備する。次いで図１６に示す工程では、半導体装置１０の裏面部１０Ｂ及び絶縁層４１の面４１Ｂに絶縁層４２を形成する。絶縁層４２の材料としては、感光性を有する材料、感光性を有しない材料の何れを用いても構わない。絶縁層４２としては、例えば、粘着性を有するＢ−ステージ状態（半硬化状態）のシート状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＦ（Non Conductive Film））、ペースト状の絶縁樹脂（例えば、ＮＣＰ（Non Conductive Paste））、粘着性を有するシート状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film））、ペースト状の異方性導電樹脂（例えば、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste））、ビルドアップ樹脂（フィラー入りのエポキシ樹脂又はフィラーなしのエポキシ樹脂）、液晶ポリマー（liquid crystal polymer）等を挙げることができる。ＡＣＰ及びＡＣＦは、エポキシ系樹脂をベースとする絶縁樹脂にＮｉ／Ａｕに被膜された小径球状の樹脂が分散されたものであり、鉛直方向に対しては導電性を有し、水平方向には絶縁性を有する樹脂である。
【００４４】
絶縁層４２として粘着性を有したシート状の絶縁樹脂を用いた場合は、図１４に示す構造体の一方の面側にシート状の絶縁樹脂を貼り付ける。又、絶縁層４２としてペースト状の絶縁樹脂を用いた場合は、図１４に示す構造体の一方の面側に印刷法等によりペースト状の絶縁樹脂を形成し、その後、プリベークして絶縁樹脂を半硬化させる。この半硬化した絶縁樹脂は接着性を有する。
【００４５】
次いで図１７に示す工程では、配線基板７０のソルダーレジスト層７４と図１６に示す構造体の絶縁層４２とが対向するように、配線基板７０と図１６に示す構造体とを貼り合わせる。その後、配線基板７０及び図１６に示す構造体を加熱することにより絶縁層４２を硬化させる。
【００４６】
次いで、図１８に示す工程では、配線パターン７２が露出するように、レーザ加工法等を用いて絶縁層４１及び絶縁層４２を貫通する貫通穴であるビアホール４１Ｘを形成する。レーザとしては、例えばＣＯ２レーザやＹＡＧレーザ等を使用することができる。
【００４７】
次いで、図１９に示す工程では、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに、接続端子１２の面１２Ａと接触するように金属層２６及び金属層２７を有する配線パターン１４を形成する。配線パターン１４は、接続端子１２及び電極パッド２３を介して、半導体集積回路２２と電気的に接続される。配線パターン１４の厚さは、例えば１２μｍとすることができる。
【００４８】
配線パターン１４は、具体的には以下に示すように形成する。始めに、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａにスパッタ法等により金属層２６を形成する。金属層２６と接続端子１２とは、電気的に接続される。金属層２６としては、例えばＣｕ層、Ｃｕ層及びＣｒ層からなる積層体、Ｃｕ層及びＴｉ層からなる積層体等を用いることができる。又、無電解Ｃｕメッキ層でもよいし、蒸着法、塗布法又は化学気相成長法（ＣＶＤ）等により形成された金属薄膜層であってもよいし、上記の金属層形成方法を組み合わせてもよい。金属層２６の厚さＴ６は、例えば２μｍとすることができる。
【００４９】
次いで、金属層２６の面を覆うように、例えば金属層２６を給電層として、電解メッキ法等により金属層２７を形成する。金属層２７としては、例えばＣｕ層等を用いることができる。金属層２７の厚さＴ７は、例えば１０μｍとすることができる。次いで、金属層２７の面にレジストを塗布し、このレジストをフォトリソグラフィ法により露光、現像することで配線パターン１４の形成領域に対応する部分の金属層２７の上部にレジスト膜を形成する。
【００５０】
次いで、レジスト膜をマスクとして金属層２６及び金属層２７をエッチングし、レジスト膜が形成されていない部分の金属層２６及び金属層２７を除去することで、配線パターン１４を形成する。その後、レジスト膜を除去する。その後、配線パターン１４の粗化処理を行う。配線パターン１４の粗化処理は、黒化処理又は粗化エッチング処理等の方法により行うことができる。上記粗化処理は、配線パターン１４の上面及び側面に形成される絶縁層４３と配線パターン１４との密着性を向上させるためのものである。
【００５１】
次いで、図２０に示す工程では、図１９に示す構造体の絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに配線パターン１４を覆うように絶縁層４３を形成する。絶縁層４３の材料としては、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の樹脂材を用いることができる。絶縁層４３の形成方法の一例としては、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに配線パターン１４を覆うようにエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の樹脂フィルムをラミネートした後に、樹脂フィルムをプレス（押圧）し、その後、例えば１９０℃程度の温度で熱処理して硬化させることにより絶縁層４３を得ることができる。又、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに配線パターン１４を覆うようにエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等の液状の樹脂を塗布した後に、例えば１９０℃程度の温度で熱処理して硬化させることにより絶縁層４３を得ることもできる。
【００５２】
次いで、図２１に示す工程では、配線パターン１４が露出するように、レーザ加工法等を用いて絶縁層４３を貫通する貫通穴であるビアホール４３Ｘを形成する。レーザとしては、例えばＣＯ２レーザやＹＡＧレーザ等を使用することができる。なお、絶縁層４３として感光性樹脂膜を用い、フォトリソグラフィによりパターニングしてビアホール４３Ｘを形成する方法を用いてもよいし、スクリーン印刷により開口部が設けられた樹脂膜をパターニングしてビアホール４３Ｘを形成する方法を用いても構わない。
【００５３】
次いで、図２２に示す工程では、絶縁層４３の面４３Ａに、金属層４６及び金属層４７を有する配線パターン４４を形成する。配線パターン４４は、ビアホール４３Ｘを介して、配線パターン１４と電気的に接続される。配線パターン４４の厚さは、例えば１２μｍとすることができる。
【００５４】
配線パターン４４は、具体的には以下に示すように形成する。始めに、絶縁層４３の面４３Ａ及びビアホール４３Ｘ内に金属層４６を形成する。金属層４６と配線パターン１４とは、電気的に接続される。金属層４６としては、例えばＣｕ層、Ｃｕ層及びＣｒ層からなる積層体、Ｃｕ層及びＴｉ層からなる積層体等を用いることができる。又、無電解Ｃｕメッキ層でもよいし、蒸着法、塗布法又は化学気相成長法（ＣＶＤ）等により形成された金属薄膜層であってもよいし、上記の金属層形成方法を組み合わせてもよい。金属層４６の厚さＴ８は、例えば２μｍとすることができる。
【００５５】
次いで、金属層４６の面を覆うように、例えば金属層４６を給電層として、電解メッキ法等により金属層４７を形成する。金属層４７としては、例えばＣｕ層等を用いることができる。金属層４７の厚さＴ９は、例えば１０μｍとすることができる。次いで、金属層４７の面にレジストを塗布し、このレジストをフォトリソグラフィ法により露光、現像することで配線パターン４４の形成領域に対応する部分の金属層４７の上部にレジスト膜を形成する。
【００５６】
次いで、レジスト膜をマスクとして金属層４６及び金属層４７をエッチングし、レジスト膜が形成されていない部分の金属層４６及び金属層４７を除去することで、配線パターン４４を形成する。その後、レジスト膜を除去する。その後、配線パターン４４の粗化処理を行う。配線パターン４４の粗化処理は、黒化処理又は粗化エッチング処理等の方法により行うことができる。上記粗化処理は、配線パターン４４の上面及び側面に形成されるソルダーレジスト層１６と配線パターン４４との密着性を向上させるためのものである。
【００５７】
次いで、図２３に示す工程では、配線パターン４４及び絶縁層４３の面４３Ａを覆うように、配線パターン４４の一部を露出する開口部１６Ｘを有するソルダーレジスト層１６を形成する。具体的には、始めに配線パターン４４及び絶縁層４３の面４３Ａを覆うように、例えば感光性樹脂組成物を塗布する。次いでフォトリソグラフィ法により感光性樹脂組成物を露光、現像し、外部接続端子１７に対応する部分の感光性樹脂組成物をエッチングにより除去し、配線パターン４４の一部を露出する開口部１６Ｘを形成することで、開口部１６Ｘを有するソルダーレジスト層１６を形成する。
【００５８】
次いで、図２４に示す工程では、開口部１６Ｘ内に露出する配線パターン４４上、及び／又は、開口部７５Ｘ内に露出する配線パターン７３上に外部接続端子１７を形成する。外部接続端子１７としては、例えば、はんだバンプ等を用いることができる。外部接続端子１７の材料としては、例えばＰｂを含む合金、ＳｎとＣｕの合金、ＳｎとＡｇの合金、ＳｎとＡｇとＣｕの合金等を用いることができる。又、樹脂（例えばジビニルベンゼン等）をコアとするはんだボール（Ｓｎ−３．５Ａｇ）等を用いても構わない。これにより、半導体装置内蔵基板２０に相当する複数の構造体が形成される。
【００５９】
次いで、図２５に示す工程では、図２４に示す構造体を絶縁層４１の略中央で切断することで、複数の半導体装置内蔵基板２０が製造される。図２４に示す構造体の切断は、例えばダイシング等によって行う。
【００６０】
以上が、本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造方法である。
【００６１】
本発明の実施の形態によれば、始めに、接続端子１２の面１２Ａが絶縁層１３から露出した半導体装置１０を製造する。そして、少なくとも半導体装置１０の側面部を埋めるように絶縁層４１を形成する。更に、半導体装置１０の裏面部１０Ｂ及び絶縁層４１の面４１Ｂに絶縁層４２を介して、周知の方法で製造された配線パターン７２を有する配線基板７０を固着する。そして、絶縁層４１及び絶縁層４２に、配線パターン７２を露出するビアホール４１Ｘを形成する。そして、絶縁層１３の面１３Ａ及び絶縁層４１の面４１Ａに、ビアホール４１Ｘを介して、接続端子１２の面１２Ａと配線パターン７２とを電気的に接続する配線パターン１４を形成する。その結果、絶縁層にレーザで孔明けし接続端子を露出する工程が必要ないため、半導体装置内蔵基板２０の製造コストの上昇を抑制することができる。
【００６２】
又、絶縁層にレーザで孔明けし接続端子を露出する工程が必要ないため、接続端子１２の間隔はレーザのスポット径（例えば、直径７０μｍ程度）に制限されない。その結果、半導体装置１０の有する半導体集積回路２２と配線パターン１４（再配線）とを電気的に接続する接続端子１２の間隔の微細化が可能となる。接続端子１２の間隔は、配線パターンのＬ／Ｓ（ライン／スペース）と同程度まで微細化（例えば、間隔１００μｍ以下。最短間隔１μｍ程度）することができる。
【００６３】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳説したが、本発明は、上述した実施の形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００６４】
例えば、本発明の実施の形態では、配線基板として基板の両面に配線パターンが形成された両面（二層）配線基板を用いる例を示したが、配線基板はこれに限定されることはない。一例を挙げれば、ビルドアップ工法により製造されたコア部を備える多層配線基板、ビルドアップ工法により製造されたコアレスの多層配線基板、各層の配線パターンをスルービアで接続する貫通多層配線基板、ＩＶＨ（Interstitial Via Hole）で特定の層の配線パターンを接続するＩＶＨ多層配線基板等の様々な配線基板を用いることができる。
【００６５】
又、絶縁層４３の面４３Ａ側、及び／又は、絶縁層７１の面７１Ｂ側に、更に絶縁層と配線パターンとを交互に形成することにより、多層の配線パターン（ビルドアップ配線層）を有する半導体装置内蔵基板を実現することができる。
【００６６】
又、絶縁層４１は、半導体装置１０の側面部及び裏面部に形成しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１）である。
【図３】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その２）である。
【図４】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その３）である。
【図５】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その４）である。
【図６】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その５）である。
【図７】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その６）である。
【図８】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その７）である。
【図９】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その８）である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その９）である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１０）である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１１）である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１２）である。
【図１４】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１３）である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１４）である。
【図１６】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１５）である。
【図１７】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１６）である。
【図１８】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１７）である。
【図１９】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１８）である。
【図２０】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その１９）である。
【図２１】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その２０）である。
【図２２】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その２１）である。
【図２３】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その２２）である。
【図２４】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その２３）である。
【図２５】本発明の実施の形態に係る半導体装置内蔵基板の製造工程を例示する図（その２４）である。
【符号の説明】
【００６８】
１０  半導体装置
１０Ｂ，１２Ａ，１３Ａ，２５Ａ，２５Ｂ，４０Ａ，４１Ａ，４１Ｂ，４３Ａ，４３Ｂ，７１Ａ，７１Ｂ  面
１１  半導体チップ
１２  接続端子
１３，４１，４２，４３，７１  絶縁層
１４，４４，７２，７３  配線パターン
１６，７４，７５  ソルダーレジスト層
１６Ｘ，７４Ｘ，７５Ｘ  開口部
１７  外部接続端子
２０  半導体装置内蔵基板
２１，３１  半導体基板
２２  半導体集積回路
２３  電極パッド
２４  保護膜
２５  板状体
２６，２７，４６，４７  金属層
４０  支持体
４１Ｘ，４３Ｘ，７１Ｘ  ビアホール
Ａ  半導体装置形成領域
Ｂ  スクライブ領域
Ｃ  基板切断位置
Ｔ1〜Ｔ９  厚さ
Ｈ１  高さ
【図１】
2010109180.tif 000003
【図２】
2010109180.tif 000004
【図３】
2010109180.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010109180.tif 000007
【図６】
2010109180.tif 000008
【図７】
2010109180.tif 000009
【図８】
2010109180.tif 000010
【図９】
2010109180.tif 000011
【図１０】
2010109180.tif 000012
【図１１】
2010109180.tif 000013
【図１２】
2010109180.tif 000014
【図１３】
2010109180.tif 000015
【図１４】
2010109180.tif 000016
【図１５】
2010109180.tif 000017
【図１６】
2010109180.tif 000018
【図１７】
2010109180.tif 000019
【図１８】
2010109180.tif 000020
【図１９】
2010109180.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2010109180.tif 000024
【図２３】
2010109180.tif 000025
【図２４】
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【図２５】
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