(57)【要約】【課題】簡単に破損することなく取り扱い性の向上を図ることができるとともに、寸法精度の向上を図ることができる多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置を提供する。【解決手段】金属製のガス導入部材１１〜１７と、同じく金属製のガス吹き出し管１９〜２５とが別体構造であり、ガス吹き出し管１９〜２６同士の間のポート５８〜６５から燃料ガスおよび原料ガスを供給し、出発材となるガラスロッドの周囲に多孔質ガラスを堆積させて多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス製造用バーナ１０および多孔質ガラス製造装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料ガスや原料ガスなどのガスを供給するガス導入孔を有するガス導入部と、該ガス導入孔から突出した複数の同心円状の金属管からなるガス吹き出し管部とを備え、
前記ガス導入部を通じて前記ガス吹き出し管部の先端から前記燃料ガスおよび前記原料ガスなどのガスを吹き出す金属製の多重管バーナであって、
最外層を除く前記ガス吹き出し管部は、前記ガス導入部とは別体であり、バーナ組み立て時に該ガス導入部に組み付けられることを特徴とする多孔質ガラス製造用バーナ。
【請求項２】
前記ガス導入部は、最外層を除き中央部にガス吹き出し管固定部を有し、前記ガス吹き出し管部が締め付け部材を介して前記ガス吹き出し管固定部に嵌め込まれ、かつ前記ガス吹き出し管部の中途の位置で各層の管に設けたスペーサにより外層の管の内側に支持されることを特徴とする請求項１記載の多孔質ガラス製造用バーナ。
【請求項３】
出発材となるガラスロッドの周囲に多孔質ガラスを堆積させて多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス製造装置であって、
燃料ガスや原料ガスなどのガスを供給するガス導入孔を有するガス導入部と、該ガス導入孔から突出した複数の同心円状の金属管からなるガス吹き出し管部とを備え、
最外層を除く前記ガス吹き出し管部は、前記ガス導入部とは別体であり、バーナ組み立て時に該ガス導入部に組み付けられる多孔質ガラス製造用バーナを備えていることを特徴とする多孔質ガラス製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス導入部材を通じてガス吹き出し管部の先端から燃料ガスや原料ガスなどのガスを吹き出す金属製の多孔質ガラス製造用バーナ、および出発材となるガラスロッドの周囲に多孔質ガラスを堆積させて多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、コアとクラッドよりなる光ファイバは、多孔質母材を堆積し、これを加熱することにより透明化して光ファイバ母材とし、これを線引きすることにより製造される。この多孔質母材を堆積する方法として、例えばＶＡＤ法が挙げられる。このＶＡＤ法においては、複数のポートを有するバーナから、可燃性ガスと支燃性ガスからなる燃焼ガスやガラス原料ガスなどのガスを吹き出し、燃焼ガスの燃焼により生じる酸水素火炎中においてガラス原料を加水分解させる。これにより、軸状の出発材上にコアとなるべきガラス微粒子を堆積させるとともに、その周囲にクラッドとなるべきガラス微粒子を堆積させる。
【０００３】
従来の多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置の一例として、図６に示すように、中心に配置された石英管１０１の周囲に同心円状の７本の石英管１０２〜１０８を層状に配置し、ガス供給する８重管石英バーナであって、中心の石英管の肉厚Ｔを１．０ｍｍ〜２．０ｍｍとした石英バーナ１００が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２３３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記特許文献１に開示された石英バーナ１００では、石英管１０１〜１０８が石英製であるために、多孔質ガラスの製造中に、すすの落下や取り扱い時の衝突等によって破損し易いという課題がある。
【０００６】
また、ガス供給用の複数のガス導入部材のそれぞれに、石英管１０１〜１０８が一体成形されているため、これら石英管１０１〜１０８の出口側の寸法精度は確認できるものの、ガス導入部材側の寸法精度を確認し難かった。また、石英バーナ１００のガラス加工の精度を出すのが難しく、製作精度に個体差があるため、製造条件の調整を行うにも時間がかかり過ぎていた。
さらに、石英バーナ１００に個体差があるため、多孔質ガラス製造装置への取り付け時に個々に取り付け角度等の調整が必要であった。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単に破損することなく取り扱い性の向上を図ることができるとともに、寸法精度の向上を図ることができる多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決することのできる本発明に係る多孔質ガラス製造用バーナは、燃料ガスや原料ガスなどのガスを供給するガス導入孔を有するガス導入部と、該ガス導入孔から突出した複数の同心円状の金属管からなるガス吹き出し管部とを備え、前記ガス導入部を通じて前記ガス吹き出し管部の先端から前記燃料ガスや前記原料ガスなどのガスを吹き出す金属製の多重管バーナであって、最外層を除く前記ガス吹き出し管部は、前記ガス導入部とは別体であり、バーナ組み立て時に該ガス導入部に組み付けられることを特徴としている。
【０００９】
このように構成された多孔質ガラス製造用バーナによれば、ガス吹き出し管部およびガス導入部が金属製であるため、ガラスに比べて加工精度が出し易く、破損し難い。また、ガス吹き出し管部は、ガス導入部とは別体構造であり、バーナ組み立て時にガス導入部に組み付けられて一体化される。そのため、製造コストの低減を図ることができる。また、多孔質ガラスの製造中に、すすの落下や取り扱い時の衝突等によって簡単に破損する虞がなくなる。また、仮にガス吹き出し管部の一部が破損したとしても、破損したガス吹き出し管部のみを交換すればよいので、修繕費用等の大幅な削減を図ることができる。
また、ガス吹き出し管部とガス導入部が別々に製造されるので、個々に高い寸法精度を確保することができる。例えば、ガス吹き出し管部の出口側に加えて、ガス吹き出し管部のガス導入部側の寸法精度を確実に管理できる。特に、細径のガス吹き出し管部では、一体構造では内径の加工が難しいが、別体のため市販のパイプを流用することが可能であり、加工費の大幅な削減を図ることができる。これにより、簡単に破損することなく取り扱い性の向上を図ることができるとともに、寸法精度の向上を図ることができる。
なお、当該用途では腐食性ガスを使用するため、材質として耐腐食性が必要であり、その点で石英バーナの方が適していたが、腐食性のガスが残らないようなパージ方法が可能となったため、金属バーナも使用可能となっている。
【００１０】
また、本発明に係る多孔質ガラス製造用バーナにおいては、前記ガス導入部は、最外層を除き中央部にガス吹き出し管固定部を有し、前記ガス吹き出し管部が締め付け部材を介して前記ガス吹き出し管固定部に嵌め込まれ、かつ前記ガス吹き出し管部の中途の位置で各層の管に設けたスペーサにより外層の管の内側に支持されることが好ましい。
【００１１】
このように構成された多孔質ガラス製造用バーナによれば、ガス吹き出し管部が締め付け部材を介してガス導入部の中央部に設けられたガス吹き出し管固定部に嵌め込まれる。また、ガス吹き出し管部の中途位置で各層の管に設けたスペーサによって外層の管の内側に一定の間隔を保って支持される。これにより、例えばＯリング等の締め付け部材を介して、ガス吹き出し管部がガス導入部に高い寸法精度で組み付けられる。また、スペーサによって外層に対して各々ガス吹き出し管部の間隔を一定に保つように確実かつ容易に支持することができる。
【００１２】
また、上記課題を解決することのできる本発明に係る多孔質ガラス製造装置は、出発材となるガラスロッドの周囲に多孔質ガラスを堆積させて多孔質ガラス母材を製造する多孔質ガラス製造装置であって、燃料ガスや原料ガスなどのガスを供給するガス導入孔を有するガス導入部と、該ガス導入孔から突出した複数の同心円状の金属管からなるガス吹き出し管部とを備え、最外層を除く前記ガス吹き出し管部は、前記ガス導入部とは別体であり、バーナ組み立て時に該ガス導入部に組み付けられる多孔質ガラス製造用バーナを備えていることを特徴としている。
【００１３】
このように構成された多孔質ガラス製造装置によれば、多孔質ガラス製造用バーナのガス導入部と金属管からなるガス吹き出し管部が別々に製造され、バーナ組み立て時に組み付けられる。ガス吹き出し管部およびガス導入部が金属製であるため、ガラスに比べて加工精度が出し易く、破損し難い。また、個体差が少なく均一な多孔質ガラス製造用バーナを得ることができる。これにより、多孔質ガラス製造装置への取り付け時に取り付け角度等のセッティング調整が均一化され簡単に行うことができる。よって、簡単に破損することなく取り扱い性に優れた多孔質ガラス製造装置を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置によれば、ガス導入部を通じてガス吹き出し管部の先端から燃料ガスおよび原料ガスを吹き出す多孔質ガラス製造用バーナにおいて、簡単に破損することなく取り扱い性の向上を図ることができるとともに、寸法精度の向上を図ることができる多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１６】
図１〜図５は本発明に係る多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置の一実施形態を示すもので、図１は本発明の一実施形態に係る多孔質ガラス製造用バーナの断面図、図２は図１の多孔質ガラス製造用バーナのＩ−Ｉ線断面図、図３は図１のII−II線断面図、図４は図１の多孔質ガラス製造用バーナにおけるガス導入部材とガス吹き出し管の一つの層の分解断面図、図５は図１の多孔質ガラス製造用バーナを適用した多孔質ガラス製造装置の要部を説明する概略図である。
【００１７】
図１に示すように、本発明の一実施形態である多孔質ガラス製造用バーナ１０は、８重管バーナの一例であり、鉄やアルミニウム等の金属材料を含む耐熱性合金材料、例えば、ＳＵＳ３１６等を用いて作成された８個のガス導入部である第１のガス導入部材１１、第２のガス導入部材１２、第３のガス導入部材１３、第４のガス導入部材１４、第５のガス導入部材１５、第６のガス導入部材１６、第７のガス導入部材１７および第８のガス導入部材１８を備えている。また、同じく鉄やアルミニウム等の金属材料を含む耐熱性合金材料を用いて第１のガス導入部材１１〜第８のガス導入部材１８に対応して作成された同心円状の８個のガス吹き出し管部である第１のガス吹き出し管１９、第２のガス吹き出し管２０、第３のガス吹き出し管２１、第４のガス吹き出し管２２、第５のガス吹き出し管２３、第６のガス吹き出し管２４、第７のガス吹き出し管２５および第８のガス吹き出し管２６を備えている。
【００１８】
第１のガス導入部材１１は、予め定められた外径寸法および幅寸法の円板形状に形成されている。第１のガス導入部材１１は、中央部に第１のガス吹き出し管用固定部２７を有し、この第１のガス吹き出し管用固定部２７に気密性を確保するためのＯリング２８が嵌め込まれている。第１のガス吹き出し管用固定部２７は、第１のガス導入孔２９に連通接続されている。
【００１９】
また、第１のガス導入部材１１は、第２のガス導入部材１２側に、円環形状の第２のガス導入部材用嵌合突起３０が形成されている。この第２のガス導入部材用嵌合突起３０は、第１のガス吹き出し管用固定部２７の内径と同軸である。なお、他のガス導入部材用嵌合突起も対応するガス吹き出し管用固定部の内径と同軸である。
【００２０】
第１のガス導入部材１１には、第１のガス吹き出し管１９が組み付けられている。この第１のガス吹き出し管１９は、予め定められた内径寸法、外径寸法および長さ寸法を有しており、第１のガス導入部材１１の第１のガス吹き出し管用固定部２７にＯリング２８を介して嵌合されている。
【００２１】
第２のガス導入部材１２は、予め定められた外径寸法および幅寸法の円板形状に形成されている。第２のガス導入部材１２は、中央部に第２のガス吹き出し管用固定部３１を有し、この第２のガス吹き出し管用固定部３１にＯリング２８が嵌め込まれている。
【００２２】
また、第２のガス導入部材１２は、図１中の左方である第１のガス導入部材１１側に、円環溝形状の第１のガス導入部材用係合溝３２が形成されているとともに、第３のガス導入部材１３側に、円環溝形状の第３のガス導入部材用係合溝３３が形成されている。この第３のガス導入部材用係合溝３３は、第１のガス吹き出し管用固定部２７の内径と同軸である。なお、他のガス導入部材用係合溝も対応するガス吹き出し管用固定部の内径と同軸である。
【００２３】
第２のガス導入部材１２には、第２のガス吹き出し管２０が組み付けられている。この第２のガス吹き出し管２０は、第１のガス吹き出し管１９よりも大きく定められた内径寸法および外径寸法を有している。そして、第２のガス導入部材１２の第２のガス吹き出し管用固定部３１にＯリング２８を介して嵌合されている。
なお、第３のガス導入部材１３から第７のガス導入部材１７、および第３のガス吹き出し管２１から第７のガス吹き出し管２５は同様な構成であるため、説明を省略する。
【００２４】
第８のガス導入部材１８は、予め定められた外径寸法および幅寸法の円板形状に形成されている。第８のガス導入部材１８は、中央部に第８のガス吹き出し管２６が一体成形されている。
【００２５】
また、第８のガス導入部材１８は、第７のガス導入部材１７側に、円環溝形状の第７のガス導入部材用係合溝４９が形成されている。第８のガス吹き出し管２６は、第７のガス吹き出し管２５よりも大きく定められた内径寸法および外径寸法を有している。
【００２６】
第１のガス導入部材１１は、第１のガス導入孔２９が第１のガス吹き出し管１９内に連通されている。
【００２７】
また、第１のガス導入部材１１は、その第２のガス導入部材用嵌合突起３０が、気密性を確保するためのＯリング５０を収容している第１のガス導入部材用係合溝３２に嵌め込まれることで第２のガス導入部材１２が結合される。これにより、第２のガス導入部材１２に嵌合されている第２のガス吹き出し管２０内に連通する第２のガス導入孔５１が形成される。
【００２８】
第２のガス導入部材１２は、Ｏリング５０を収容している第３のガス導入部材用係合溝３３が、第３のガス導入部材１３の第４のガス導入部材用係合突起３５に嵌め込まれることで第３のガス導入部材１３が結合される。
なお、第３のガス導入部材１３から第７のガス導入部材１７の結合により形成される第３のガス導入孔５２から第７のガス導入孔５６は同様な構成であるため、説明を省略する。
【００２９】
第８のガス導入部材１８は、第７のガス導入部材１７に結合されることで、第７のガス導入部材１７を通じて第８のガス導入部材１８に一体形成されている第８のガス吹き出し管２６内に連通する第８のガス導入孔５７が形成される。
【００３０】
このとき、第８のガス導入部材１８に第８のガス吹き出し管２６が一体形成されているため、この第８のガス吹き出し管２６の吹き出し口を基準として、第７のガス吹き出し管２５の吹き出し口の位置を簡単に設定することができる。同様に、第６のガス吹き出し管２４、第５のガス吹き出し管２３、第４のガス吹き出し管２２、第３のガス吹き出し管２１、第２のガス吹き出し管２０、第１のガス吹き出し管１９の各々吹き出し口の位置を簡単に設定することができる。これにより、内層側の各管２５，２４，２３，２２，２１，２０，１９の位置決め精度の均一化を容易に図ることができるとともに、メンテナンス等による再現性が良好になる。
【００３１】
そして、第１のガス吹き出し管１９内が、第１のガス導入孔２９に連通する第１のポート５８となり、第１のガス吹き出し管１９と第２のガス吹き出し管２０との間が、第２のガス導入孔５１に連通する第２のポート５９となる。
なお、第３のガス導入孔５２に連通する第３のポート６０から第８のガス導入孔５７に連通する第８のポート６５は同様な構成であるため、説明を省略する。
【００３２】
図２に示すように、第４のガス導入部材１４は、外周寄りに６個の貫通孔６６が周方向に等間隔に形成されている。この貫通孔６６は、第１のガス導入部材１１、第２のガス導入部材１２、第３のガス導入部材１３、第５のガス導入部材１５、第６のガス導入部材１６、第７のガス導入部材１７および第８のガス導入部材１８に共通して形成されている。
【００３３】
そのため、第１のガス導入部材１１側から第８のガス導入部材１８に向けて締結ボルト６７（図１参照）が挿通されて第８のガス導入部材１８にねじ込まれることで、各ガス導入部材１１〜１８が一体的に組み立てられる。
【００３４】
図３に示すように、各ガス吹き出し管１９〜２６の間には、各ポート５８〜６５を所定の間隔に保つためのスペーサ６８が組み込まれている。このスペーサ６８は、第１のガス吹き出し管２６を中心として放射方向に配置されている。これにより、各ポート５８〜６５の所定間隔を正確に保持することができる。このスペーサ６８は、バーナの組み立てを考慮してガス吹き出し管の外径側に固定し、各ガス吹き出し管の外層のガス吹き出し管内径に接して支持されるようにしている。
なお、スペーサ６８の位置は、先端に近い方が安定するが、ガス流量によってスペーサによる気流の乱れが下流で発生する可能性があり、本実施形態では先端部には設けていない。スペーサの位置は、ガスの種類、流量、流速等により設定する必要がある。
【００３５】
図４に示すように、第４のガス導入部材１４に組み付けられる第４のガス吹き出し管２２は、第４のガス導入部材１４の第４のガス吹き出し管用固定部３７に押圧挿入されることで、気密性を確保するためのＯリング２８に嵌入されて第４のガス吹き出し管用固定部３７に固定される。
【００３６】
このとき、第４のガス吹き出し管２２は、第４のガス導入部材１４とは、別体に形成されているため、第４のガス吹き出し管２２が仮に破損したとしても、第４のガス導入部材１４を交換することなく、第４のガス吹き出し管２２のみを交換することで、多孔質ガラス製造用バーナ１０の修繕を容易に行うことができる。また、第４のガス吹き出し管２２が、第４のガス導入部材１４とは別体に形成されているので、市販されているガス吹き出し管を第４のガス吹き出し管２２として援用することもできる。
なお、第４のガス導入部材１４と第４のガス吹き出し管２２を一例に説明したが、他のガス吹き出し管１９，２０，２１，２３，２４，２５についても同様である。
【００３７】
そして、上述した多孔質ガラス製造用バーナ１０が組み付けられた多孔質ガラス製造装置によれば、ガス導入部材１１〜１７とガス吹き出し管１９〜２５とを別々に形成して、バーナ組み立て時に一体に組み付けるので、個体差が少なく均一な多孔質ガラス製造用バーナ１０とすることができる。これにより、バーナ取り付け時に取り付け角度等のセッティング調整を簡単に行うことができ、取り扱い性に優れた多孔質ガラス製造装置とすることができる。
【００３８】
次に、多孔質ガラス製造装置による多孔質ガラスの製造方法について説明する。
図５に示すように、多孔質ガラスの製造方法は、ガラス微粒子堆積体８０を構成するコア部多孔質ガラス体（コアスート）８１とクラッド部多孔質ガラス体８２とを、多孔質ガラス製造用バーナ１０とクラッド用バーナ８３とで同時に形成する。上述したように多孔質ガラス製造用バーナ１０は、各ガス導入部材１１〜１７に別体の各ガス吹き出し管１９〜２５が組み付けられ、第８のガス導入部材１８と第８のガス吹き出し管２６のみが一体成形されている。
【００３９】
多孔質ガラス製造用バーナ１０により酸水素火炎８４を形成し、この火炎８４中にガラス原料ガスを吹き出して、火炎加水分解により原料ガスをガラス微粒子とし、このガラス微粒子を回転する軸状の出発材８５に堆積させて、コアスート８１を形成する。同様に、クラッド用バーナ８３により酸水素火炎８６を形成し、この火炎８６の中心よりガラス原料ガスを吹き出して、コア部多孔質ガラス体８１を取り囲むようにクラッド部多孔質ガラス体８２を形成し、コアスート８１及びクラッド部多孔質ガラス体８２よりなるガラス微粒子堆積体８０を得る。
なお、その他に、コア部の周りにクラッド部を形成するジャケット付けやＯＶＤ法で製造する場合などのバーナとしても使用可能である。
【００４０】
このとき、多孔質ガラス製造用バーナ１０には、例えば、中心の第１のポート５８にＳｉＣｌ４ガス、ＧｅＣｌ４ガス、Ｈ２ガスを供給する。また、第２，第６のポート５９，６３にＨ２ガスを、第４，第８のポート６１，６５にＯ２ガスを供給する。また、第３，第５，第７のポート６０，６２，６４にシール用の不活性ガスであるＡｒガスを供給する（図１参照）。
【００４１】
以上説明したように、本発明の一実施形態に係る多孔質ガラス製造用バーナ１０によれば、金属製のガス吹き出し管１９〜２５と、同じく金属製のガス導入部材１１〜１７とは別体構造になっている。そして、ガス吹き出し管１９〜２５は、Ｏリング２８である締め付け部材を介してガス導入部材１１〜１７にそれぞれ組み付けられる。そのため、多孔質ガラスの製造中に、すすの落下や取り扱い時の衝突事故等によって破損する虞がなくなる。このとき、ガス吹き出し管１９〜２５の一部分が仮に破損したとしても、破損したガス吹き出し管のみを交換すればよいので、修繕費用等の大幅な削減を図ることができる。
【００４２】
また、ガス吹き出し管１９〜２５の出口側に加えて、ガス吹き出し管１９〜２５のガス導入部材側の寸法精度を簡単に確認できる。特に、細径のガス吹き出し管の内径加工が難しいが、ガス導入部材１１〜１７とは別体構造であるため、一体構造のものと比べて簡単に製造することができ、加工費の大幅な削減を図ることができる。これにより、破損し難く、取り扱い性の向上を図ることができるとともに、個体差が少なく寸法精度の向上を図ることができる多孔質ガラス製造用バーナ１０を得ることができる。
【００４３】
また、本発明の一実施形態に係る多孔質ガラス製造装置によれば、多孔質ガラス製造用バーナ１０は、金属製のガス吹き出し管１９〜２５が、同じく金属製のガス導入部材１１〜１７とは別体構造になっており、Ｏリング２８である締め付け部材を介してガス導入部材１１〜１７に一体的に組み付けられる。そして、ガス吹き出し管１９〜２６同士の間のポート５８〜６５から燃料ガスおよび原料ガスを供給し、出発材８５となるガラスロッドの周囲に多孔質ガラスを堆積させて多孔質ガラス母材が製造される。これにより、バーナ取り付け時に取り付け角度等のセッティング調整を簡単に行うことができ、取り扱い性に優れた多孔質ガラス製造装置とすることができる。
【００４４】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が自在である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置場所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【００４５】
以上説明したように、本発明に係る多孔質ガラス製造用バーナおよび多孔質ガラス製造装置によれば、簡単に破損することなく取り扱い性の向上を図ることができる。また、寸法精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態に係る多孔質ガラス製造用バーナの断面図である。
【図２】図１の多孔質ガラス製造用バーナのＩ−Ｉ線断面図である。
【図３】図１のII−II線断面図である。
【図４】図１の多孔質ガラス製造用バーナにおけるガス導入部材とガス吹き出し管の一つの層の分解断面図である。
【図５】図１の多孔質ガラス製造用バーナを適用した多孔質ガラス製造装置を説明する概略図である。
【図６】従来の多孔質ガラス製造用バーナの断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０    多孔質ガラス製造用バーナ
１１〜１８    ガス導入部材（ガス導入部）
１９〜２６    ガス吹き出し管（ガス吹き出し管部）
５８〜６５    ポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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