(57)【要約】【課題】小型化を維持しつつ、平衡特性を改善することができる薄膜バランを提供する。【解決手段】本実施形態に係る薄膜バランは、第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２を備える不平衡伝送線路２と、第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２にそれぞれ磁気結合する第３のコイル部Ｃ３及び第４のコイル部Ｃ４を備えた平衡伝送線路３と、第３のコイル部Ｃ３に接続された第１の平衡端子Ｔ１と、第４のコイル部Ｃ４に接続された第２の平衡端子Ｔ２と、第３のコイル部Ｃ３と第１の平衡端子Ｔ１との間、及び／又は、第４のコイル部Ｃ４と第２の平衡端子Ｔ２との間に接続された補助コイル部Ｃ５とを有し、補助コイル部Ｃ１の巻回方向は、不平衡伝送線路２を構成する少なくとも第２のコイル部Ｃ２の巻回方向と異なる。【選択図】図１
2010109837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のコイル部及び第２のコイル部を備える不平衡伝送線路と、
前記第１のコイル部及び前記第２のコイル部にそれぞれ磁気結合する第３のコイル部及び第４のコイル部を備えた平衡伝送線路と、
前記第１のコイル部に接続された不平衡端子と、
前記第３のコイル部に接続された第１の平衡端子と、
前記第４のコイル部に接続された第２の平衡端子と、
前記第３のコイル部と前記第１の平衡端子との間、及び／又は、前記第４のコイル部と前記第２の平衡端子との間に接続された補助コイル部と、
を有し、
前記補助コイル部の巻回方向は、前記不平衡伝送線路を構成する少なくとも前記第２のコイル部の巻回方向と異なる、
薄膜バラン。
【請求項２】
前記補助コイル部の巻回方向は、前記第２のコイル部の巻回方向と逆向きである、
薄膜バラン。
【請求項３】
前記補助コイル部は、前記第４のコイル部と前記第２の平衡端子との間に接続された、
請求項１又は２に記載の薄膜バラン。
【請求項４】
前記補助コイル部の少なくとも一部が、前記第１及び／又は第２のコイル部のコイル開口に対向する領域に配置された、
請求項１〜３のいずれかに記載の薄膜バラン。
【請求項５】
前記補助コイル部が、前記第１及び第３のコイル部のコイル導体に対向する領域、並びに前記第２及び第４のコイル部のコイル導体に対向する領域のうち少なくともいずれか一方に配置された、
請求項１〜４のいずれかに記載の薄膜バラン。
【請求項６】
前記補助コイル部が、前記第２及び第４のコイル部のコイル導体に対向する領域に配置された、
請求項１〜５のいずれかに記載の薄膜バラン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、不平衡−平衡の信号変換を行なうバランであって、特に、小型薄型化に有利な薄膜プロセスにより形成された薄膜バランに関する。
【背景技術】
【０００２】
無線通信機器は、アンテナ、フィルタ、ＲＦスイッチ、パワーアンプ、ＲＦ−ＩＣ、バラン等の各種高周波素子によって構成される。これらのなかで、アンテナやフィルタ等の共振素子は、接地電位を基準とした不平衡型の信号を扱うが、高周波信号の生成や処理を行なうＲＦ−ＩＣは、平衡型の信号を扱うため、両者を接続する場合には、不平衡−平衡変換器として機能するバランが使用される。
【０００３】
上述したバランの設計では、近時の電子デバイスへの小型化の要求にも応えるべく、バランの小型化を維持しつつ、変換対象となる信号周波数において、所望の平衡特性が得られるように、コイル（線路部）の長さや形状が最適化される（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３８００１２１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、平衡特性を改善するためにコイルを同一平面上に長くすると、コイルの表面積が増加し、結果としてバランの小型化を維持することができない。このように、同一平面上にコイルの長さを増加させずに、平衡特性を改善することが求められている。
【０００５】
そこで、本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型化を維持しつつ、平衡特性を改善することができる薄膜バランを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の薄膜バランは、第１のコイル部及び第２のコイル部を備える不平衡伝送線路と、第１のコイル部及び第２のコイル部にそれぞれ磁気結合する第３のコイル部及び第４のコイル部を備えた平衡伝送線路と、第１のコイル部に接続された不平衡端子と、第３のコイル部に接続された第１の平衡端子と、第４のコイル部に接続された第２の平衡端子と、第３のコイル部と第１の平衡端子との間、及び／又は、第４のコイル部と第２の平衡端子との間に接続された補助コイル部と、を有し、補助コイル部の巻回方向は、不平衡伝送線路を構成する少なくとも第２のコイル部の巻回方向と異なる。
【０００７】
かかる構成では、第３のコイル部と第１の平衡端子との間、及び／又は、第４のコイル部と第２の平衡端子との間に接続された補助コイル部のインダクタンス値を変えることにより、薄膜バランの平衡特性が調整される。特に、薄膜バランの平衡特性の改善のためには、補助コイル部は、不平衡伝送線路を構成する少なくとも第２のコイル部の巻回方向と異なる巻回方向をもつように形成すべきことが本願発明者により確認されている。異なる巻回方向の好適な例が、逆方向である。
【０００８】
例えば、補助コイル部は、第４のコイル部と第２の平衡端子との間に接続されることが好ましい。また、補助コイル部の位置に関しては、補助コイル部の少なくとも一部が、第１及び／又は第２のコイル部のコイル開口に対向する領域に配置されることが好ましい。あるいは、補助コイル部が、第１及び第３のコイル部のコイル導体に対向する領域、並びに第２及び第４のコイル部のコイル導体に対向する領域のうち少なくともいずれか一方に配置されることが好ましく、このうち、補助コイル部が、第２及び第４のコイル部のコイル導体に対向する領域に配置されることが好ましい。かかる構成では、詳細な作用は不明なものの、本願発明者により、薄膜バランの位相バランス及び出力バランスの改善の効果が確認されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第３のコイル部と第１の平衡端子との間、及び／又は、第４のコイル部と第２の平衡端子との間に電気的に接続され、かつ、当該補助コイル部が接続される第３のコイル部又は第４のコイル部の巻回方向と異なる巻回方向をもつ補助コイルを設けることにより、簡易な構成で、小型化を維持しつつ平衡特性に優れた薄膜バランを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、図面中、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、上下左右などの位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は、図示の比率に限定されるものではない。また、以下の実施の形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明をその実施の形態のみに限定する趣旨ではない。さらに、本発明は、その要旨を逸脱しない限り、さまざまな変形が可能である。
【００１１】
図１は、本実施形態に係る薄膜バラン１の等価回路図である。
図１に示すように、薄膜バラン１は、第１のコイル部Ｃ１と第２のコイル部Ｃ２とを備える不平衡伝送線路２と、第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２にそれぞれ磁気結合する第３のコイル部Ｃ３及び第４のコイル部Ｃ４を備えた平衡伝送線路３とを有する。また、薄膜バラン１は、第１のコイル部Ｃ１に接続された不平衡端子Ｔ０と、第３のコイル部Ｃ３に接続された第１の平衡端子Ｔ１と、第４のコイル部Ｃ４に接続された第２の平衡端子Ｔ２とを有する。そして、第４のコイル部Ｃ４と第２の平衡端子Ｔ２との間には、補助コイル部Ｃ５が設けられている。
【００１２】
より詳細に接続関係を説明すると、不平衡端子Ｔ０に第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２が直列接続され、第２のコイル部の第１のコイル部と反対側は終端している。また、第１の平衡端子Ｔ１及び第２の平衡端子Ｔ２の間に、第３のコイル部Ｃ３、第４のコイル部Ｃ４及び補助コイル部Ｃ５が直列接続されている。第３のコイル部Ｃ３と第４のコイル部Ｃ４の接続点は、接地電位に固定される。
【００１３】
上記のコイル部Ｃ１〜Ｃ４の長さは、薄膜バランの仕様に応じて異なるが、変換対象となる信号の１／４波長共振器回路となるよう設定される。
【００１４】
図１を参照して薄膜バラン１の基本的な動作について説明する。
上記の薄膜バラン１では、不平衡端子Ｔ０に不平衡信号が入力されると、不平衡信号は第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２を伝播する。そして、第１のコイル部Ｃ１においては第３のコイル部Ｃ３と磁気結合し、第２のコイル部Ｃ２においては第４のコイル部Ｃ４と磁気結合することによって、不平衡信号は位相が１８０°異なる２つの平衡信号に変換され、この２つ平衡信号が第１及び第２の平衡端子Ｔ１，Ｔ２から出力される。なお、平衡信号から不平衡信号の変換動作は、上述した動作を逆にしたものである。
【００１５】
上述したバランの動作から明らかなように、バランの平衡特性は重要な要素である。平衡特性は、２つの平衡信号の位相のずれが１８０°に近く、また、２つの平衡信号の出力（振幅）が近いほど、優れているといえる。
【００１６】
本願発明者は、上記の薄膜バラン１において、補助コイル部Ｃ５の巻回方向を規定することにより、平衡特性が改善されることを見出した。以下に、補助コイル部Ｃ５の具体的な形態について、各実施例を参照して説明する。
【００１７】
（実施例１）
図２〜図６は、実施例１の薄膜バラン１の各配線層の平面図である。このうち、図２は第１配線層１０の平面図であり、図３は第２配線層２０の平面図であり、図４は第３配線層３０の平面図であり、図５は第４配線層４０の平面図であり、図６は第５配線層５０の平面図である。第１配線層１０が最下層の配線層であり、第５配線層５０が最上層の配線層である。なお基板は図示していないが、最下層である第１配線層１０の下に位置している。つまり基板上に薄膜バランが形成された構成をとっている。
【００１８】
図２〜図６に示すように、第１配線層１０〜第５配線層５０の全ての層に、不平衡端子Ｔ０、第１の平衡端子Ｔ１、第２の平衡端子Ｔ２及び接地端子Ｔ３が形成されている。各端子Ｔ０〜Ｔ３はスルーホールＰを介して異なる層間において電気的に接続されている。なお、図２〜図６に示す全てのスルーホールＰには上下層を電気的に導通させるよう金属めっきが施されている。以下、各配線層の構成について詳細に説明する。
【００１９】
図２に示すように、第１配線層１０には、不平衡伝送線路２を構成する第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２が隣接して形成されている。各コイル部Ｃ１，Ｃ２は、１／４波長共振器相当を構成する。第１のコイル部Ｃ１を構成するコイル導体１１の外側の端部１１ａは不平衡端子Ｔ０に接続されており、コイル導体１１の内側の端部１１ｂはスルーホールＰに接続されている。第２のコイル部Ｃ２を構成するコイル導体１２の内側の端部１２ｂはスルーホールＰに接続されており、コイル導体１２の外側の端部１２ａは開放されている。第１のコイル部Ｃ１のコイル導体１１によってコイル開口Ａ１が画成され、第２のコイル部Ｃ２のコイル導体１２によってコイル開口Ａ２が画成される。
【００２０】
図３に示すように、第２配線層２０には、平衡伝送線路３を構成する第３のコイル部Ｃ３及び第４のコイル部Ｃ４が隣接して形成されている。各コイル部Ｃ３，Ｃ４は、１／４波長共振器相当を構成する。平衡伝送線路３の各コイル部Ｃ３，Ｃ４は、不平衡伝送線路２の各コイル部Ｃ１，Ｃ２に対向配置されており、対向している部分で磁気結合して結合器を構成する。第３のコイル部Ｃ３を構成するコイル導体２１の外側の端部２１ａは第１の平衡端子Ｔ１に接続されており、コイル導体２１の内側の端部２１ｂはスルーホールＰに接続されている。また、第４のコイル部Ｃ４を構成するコイル導体２２の外側の端部２２ａ及び内側の端部２２ｂは、それぞれスルーホールＰに接続されている。第３のコイル部Ｃ３のコイル導体２１によってコイル開口Ａ３が画成され、第４のコイル部Ｃ４のコイル導体２２によってコイル開口Ａ４が画成される。
【００２１】
図４に示すように、第３配線層３０には、第３のコイル部Ｃ３と第４のコイル部Ｃ４を接地端子Ｔ３に電気的に繋ぐ配線３１、及び第１のコイル部Ｃ１と第２のコイル部Ｃ３を電気的に繋ぐ配線３２が形成されている。配線３１は、２つのスルーホールＰと接地端子Ｔ３とを接続するように分岐した形状を有する。そして、配線３１は、２つのスルーホールＰを介してコイル導体２１の端部２１ｂ及びコイル導体２２の端部２２ｂに接続されている。また、配線３２はスルーホールＰを介してコイル導体１１の端部１１ｂ及びコイル導体１２の端部１２ｂに接続されている。
【００２２】
図５に示すように、第４配線層４０には、補助コイル部Ｃ５の一部を構成するコイル導体４１，４２が形成されている。コイル導体４２の一方の端部４２ａは第２の平衡端子Ｔ２に接続され、コイル導体４１の一方の端部４１ａはスルーホールＰを介して第４のコイル部Ｃ４を構成するコイル導体２２の端部２２ａに接続されている。
【００２３】
図６に示すように、第５配線層５０には、補助コイル部Ｃ５の一部を構成するコイル導体５１が形成されている。コイル導体５１の端部は、それぞれコイル導体４１，４２の他方の端部に接続されている。
【００２４】
図５及び図６に示すように、コイル導体４２、コイル導体５１、及びコイル導体４１がスルーホールを介して接続されることにより、補助コイル部Ｃ５が構成される。補助コイル部Ｃ５の一端となるコイル導体４２の端部４２ａは第２の平衡端子Ｔ２に接続され、補助コイル部Ｃ５の他端となるコイル導体４１の端部４１ａは第４のコイル部Ｃ４のコイル導体２２に接続されている。
【００２５】
上述したように、実施例１の薄膜バラン１では、補助コイル部Ｃ５が、第４のコイル部Ｃ４と第２の平衡端子Ｔ２との間に電気的に接続されている。また、補助コイル部Ｃ５の巻回方向は、不平衡伝送線路２を構成するコイル部Ｃ１，Ｃ２の巻回方向と異なっており、より詳細には逆になっている。ここで、巻回方向は、基板上部から薄膜バラン１を眺め、不平衡端子Ｔ０を基準とする。この場合には、第１のコイル部Ｃ１及び第２のコイル部Ｃ２は右回り（時計回り）、第１の平衡端子Ｔ１を始点とすると第３のコイル部Ｃ３及び第４のコイル部Ｃ４は左回り（反時計回り）、第４のコイル部Ｃ４との接続点を始点とすると補助コイル部Ｃ５は左回りとなって、補助コイル部Ｃ５の巻回方向は、不平衡伝送線路２を構成する第２のコイル部Ｃ２のものと逆方向となる。
【００２６】
このように同一の第１の階層に不平衡伝送線路を構成する２つのコイルＣ１，Ｃ２を形成し、その第１の階層に隣り合う別の第２の階層に平衡伝送線路を構成する２つのコイルＣ３，Ｃ４を形成し、更にその第２の階層に隣り合う第１の階層とは逆側の第３の階層にコイルＣ１とＣ２を繋ぐ配線と、コイルＣ３とＣ４を繋ぐ配線を形成した薄膜バランの構成に対し、更にその第３の階層に隣り合う第２の階層とは逆側の第４の階層と、更にその第４の階層に隣り合う第３の階層とは逆側の第５の階層との２段の階層を用いて形成された補助コイルＣ５を形成した例を示したが、この補助コイルは第３の階層と第４の階層を用いて形成しても良い。このようにすることで磁気的な結合状態が変化することから、より特性の向上が期待出来る。
言うまでもないが、補助コイルは２段の階層に限らず第４の階層や第３の階層にのみ１段で形成しても良い。所望の特性にあわせ設計可能である。
【００２７】
補助コイル部Ｃ５の巻回方向が薄膜バラン１の平衡特性に与える影響について、種々の実施例及び比較例を用意して評価した。以下に、種々の実施例及び比較例のレイアウトを説明した後に、それらの平衡特性の評価結果について説明する。
【００２８】
（実施例２）
実施例２では、実施例１に比べてコイル導体を短くして、補助コイル部Ｃ５のインダクタンスを減少させた例である。図７及び図８は、このような実施例２の薄膜バラン１の第４配線層４０及び第５配線層５０を示す平面図である。なお、実施例２の薄膜バラン１の第１〜第３配線層１０〜３０の構成は、第１実施例と同様である。
【００２９】
図７及び図８に示すように、実施例２の補助コイル部Ｃ５を構成するコイル導体４３，５２は、実施例１のコイル導体４１，５１を、図中、上側に縮めたものであり、これによって、補助コイル部Ｃ５のインダクタンスを減少させている。コイル導体４２，４３，５２の接続関係は、実施例１のコイル導体４２，４１，５１と同様である。
【００３０】
（比較例１）
図９は、比較例１の薄膜バランの等価回路図を示す。比較例１の薄膜バラン１００は、第４のコイル部Ｃ４と第２の平衡端子Ｔ２との間に補助コイル部Ｃ５を有さない。具体的には、図３に示す第２配線層２０のコイル導体２２の端部２２ａを第２の平衡端子Ｔ２に接続し、図５及び図６に示す第４配線層４０及び第５配線層５０のコイル導体４１，４２，５１を設けないことにより、比較例１の薄膜バランが構成される。
【００３１】
（比較例２）
比較例２は、実施例１と比べて補助コイル部Ｃ５の巻回方向を逆にした例である。図１０及び図１１は、比較例２の薄膜バラン１の第４配線層４０及び第５配線層５０を示す平面図である。なお、比較例２の薄膜バラン１の第１〜第３配線層１０〜３０の構成は、第１実施例と同様である。
【００３２】
図１０及び図１１に示すように、比較例２のコイル導体４５，４６，５４により構成される補助コイル部Ｃ５の巻回方向は、実施例１の補助コイル部Ｃ５の巻回方向と逆になっており、その結果、不平衡伝送線路２を構成する第２のコイル部Ｃ２の巻回方向と同じ右回り（時計回り）になっている。
【００３３】
（評価結果１）
上記の実施例１，２及び比較例１〜２の構造について、平衡特性をシミュレーションにより求めた。対象とする信号周波数は、２４００−２５００ＭＨｚとした。図１２は、位相バランスの測定結果を示す図であり、図１３は出力（振幅）バランスの測定結果を示す図であり、図１４は通過特性を示す図である。図１２〜１４では、Ｅ１は実施例１の結果、Ｅ２は実施例２の結果、Ｒ１は比較例１の結果、Ｒ２は比較例２の結果を示す。
【００３４】
位相バランス特性は、第１の平衡端子Ｔ１と第２の平衡端子Ｔ２から出力される２つの平衡信号の位相差であることから１８０ｄｅｇがより理想的な位相バランスとなる。出力バランス特性は、第１の平衡端子Ｔ１と第２の平衡端子Ｔ２から出力される２つの平衡信号の振幅差であることから０ｄＢがより理想的な出力バランスとなる。通過特性は、信号をどれだけ損失させずに通過させているかを示すものであり、少なくとも使用信号周波数においては０ｄＢが理想的な通過特性となる。
【００３５】
図１２及び図１３に示すように、実施例１（Ｅ１）は、比較例２及び３に比べて平衡特定に優れていることがわかる。また、実施例２（Ｅ２）に示すように、コイルのインダクタンスを調整することにより、平衡特性を調整できることがわかり、本例では、実施例１に比べてインダクタンスを減少させた実施例２が最も優れた平衡特性を示している。
【００３６】
また、図１４に示すように、実施例１，２は、対象となる信号周波数２４００−２５００ＭＨｚを中心とした周波数２０００ＭＨｚ〜２８００ＭＨｚの領域において、損失が１ｄＢ以下の通過特性を有しており、比較例Ｒ１，Ｒ２に比べて通過特性のピークが高周波側にシフトすることにより２．４Ｇ帯付近での通過特性は広い範囲で所望のスペックを超えている。つまり周波数の通過帯域が広がっていることがわかる。
【００３７】
このような平衡特性が得られる理由について考察する。補助コイル部Ｃ５を追加することにより、インダクタンスを調整することができ、この結果、薄膜バランの平衡特性が改善されると推定される。この補助コイル部Ｃ５の巻回方向を第２のコイル部Ｃ２に対して逆にすることにより、第２のコイル部Ｃ２を流れる電流により生じる磁束と、補助コイル部Ｃ５を流れる電流により生じる磁束のベクトルが反対方向となり、その結果、平衡―不平衡回路全体の磁気結合が弱まり、その結果、詳細な作用機序は不明なものの、平衡特性を改善する方向に作用するものと推定される。
【００３８】
次に、補助コイル部Ｃ５の形成位置が薄膜バラン１の平衡特性に与える影響について、さらに別の実施例３〜６を用意して評価した。以下に、実施例３〜６のレイアウトを説明した後に、それらの平衡特性の評価結果について説明する。
【００３９】
（実施例３）
実施例３では、補助コイル部Ｃ５のコイル導体が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口に重なって配置されている例である。図１５及び図１６は、このような実施例３の薄膜バラン１の第４配線層４０及び第５配線層５０を示す平面図である。なお、実施例３の薄膜バラン１の第１乃至第３配線層１０〜３０の構成は、第１実施例と同様である。
【００４０】
図１５及び図１６に示すように、補助コイル部Ｃ５は、第４配線層４０のコイル導体４１Ａ，４２Ａ及び第５配線層５０のコイル導体５１Ａにより構成されている。各コイル導体４１Ａ，４２Ａ，５１Ａは、実施例１のコイル導体４１，４２，５１をシフトさせたものであり、その接続関係については実施例１と同様である。
【００４１】
図１５及び図１６に示すように、実施例３では、補助コイル部Ｃ５のコイル導体４１Ａ，５１Ａが、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口に重なって配置されている。
【００４２】
（実施例４）
実施例４では、補助コイル部Ｃ５のコイル導体及びコイル開口が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口に重なって配置されている例である。図１７及び図１８は、このような実施例４の薄膜バラン１の第４配線層４０及び第５配線層５０を示す平面図である。なお、実施例４の薄膜バラン１の第１乃至第３配線層１０〜３０の構成は、第１実施例と同様である。
【００４３】
図１７及び図１８に示すように、補助コイル部Ｃ５は、第４配線層４０のコイル導体４３Ａ，４４Ａ及び第５配線層５０のコイル導体５２Ａにより構成されている。各コイル導体４３Ａ，４４Ａ，５２Ａは、実施例１のコイル導体４１，４２，５１を実施例３よりもさらにコイル開口側にシフトさせたものであり、その接続関係については実施例１と同様である。
【００４４】
図１７及び図１８に示すように、実施例４では、補助コイル部Ｃ５のコイル導体及びコイル開口が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口に重なって配置されている。すなわち、補助コイル部Ｃ５のほとんどの領域が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口に重なって配置されている。
【００４５】
（実施例５）
実施例５では、補助コイル部Ｃ５のコイル導体及びコイル開口が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル導体に重なって配置されている例である。図１９及び図２０は、このような実施例５の薄膜バラン１の第４配線層４０及び第５配線層５０を示す平面図である。なお、実施例５の薄膜バラン１の第１乃至第３配線層１０〜３０の構成は、第１実施例と同様である。
【００４６】
図１９及び図２０に示すように、補助コイル部Ｃ５は、第４配線層４０のコイル導体４５Ａ，４６Ａ及び第５配線層５０のコイル導体５３Ａにより構成されている。各コイル導体４５Ａ，４６Ａ，５３Ａは、実施例１のコイル導体４１，４２，５１を第２のコイル部Ｃ２のコイル導体上にシフトさせたものであり、その接続関係については実施例１と同様である。
【００４７】
図１９及び図２０に示すように、実施例５では、補助コイル部Ｃ５は、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル導体に対向する領域に配置されている。
【００４８】
（実施例６）
実施例６では、補助コイル部Ｃ５が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口及びコイル導体に重ならないように配置されている例である。図２１及び図２２は、このような実施例６の薄膜バラン１の第４配線層４０及び第５配線層５０を示す平面図である。なお、実施例６の薄膜バラン１の第１乃至第３配線層１０〜３０の構成は、第１実施例と同様である。
【００４９】
図２１及び図２２に示すように、補助コイル部Ｃ５は、第４配線層４０のコイル導体４７Ａ，４８Ａ及び第５配線層５０のコイル導体５４Ａにより構成されている。各コイル導体４７Ａ，４８Ａ，５４Ａは、実施例１のコイル導体４１，４２，５１を第２のコイル部Ｃ２の外側の領域にシフトさせたものであり、その接続関係については実施例１と同様である。
【００５０】
図２１及び図２２に示すように、実施例６では、補助コイル部Ｃ５が、第２のコイル部Ｃ２及び第４のコイル部Ｃ４のコイル開口及びコイル導体に重ならないように外側に配置されている。
【００５１】
（評価結果２）
上記の実施例３〜６及び比較例１の構造について、平衡特性をシミュレーションにより求めた。対象とする信号周波数は、２４００−２５００ＭＨｚとした。図２３は、位相バランスの測定結果を示す図であり、図２４は出力（振幅）バランスの測定結果を示す図である。図２３、２４では、Ｅ３は実施例３の結果、Ｅ４は実施例４の結果、Ｅ５は実施例５の結果、Ｅ６は実施例６の結果、Ｒ１は比較例１の結果を示す。
【００５２】
図２３及び図２４に示すように、実施例３〜６は、いずれも位相バランス及び出力バランスともに優れていることがわかる。図２３及び２４に示す結果から、薄膜バランの平衡特性は、コイル形成位置よりもコイルのインダクタンスに影響を受けることが推察される。
【００５３】
なお、上述したとおり、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない限度において様々な変形が可能である。本実施形態では、補助コイル部Ｃ５が、第２のコイル部Ｃ２の巻回方向と逆方向の例について説明したが、補助コイル部Ｃ５の一部に逆方向の巻回部を備えている部分を持てば特にコイル形状に制限はない。また、補助コイルは１回転以上巻回する必要もなく、例えば半回転であってもよい。また、例えば、実施例２とは逆に、補助コイル部Ｃ５のコイル導体を伸ばしてインダクタンスを増加させることで、平衡特性を改善させてもよい。例えば、本実施例では補助コイル部Ｃ５を形成する配線層に限定はない。また、第４のコイル部Ｃ４と第２の平衡端子Ｔ２の間に補助コイル部Ｃ５を設ける代わりに、またはそれに加えて、第３のコイル部Ｃ３と第１の平衡端子Ｔ１との間に補助コイル部Ｃ５を設けてもよい。また、例えば、各端子Ｔ０〜Ｔ３の配置に限定はない。また、薄膜バラン１を構成する配線構造は、４層未満又は５層以上であってよい。また、第１配線層１０を最上層に形成し、第５配線層５０を最下層に形成するよう、層構成が全く逆の構造でもよい。さらに、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々のコイル配置を採用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の薄膜バランは、小型化を維持しつつ、平衡特性を改善した薄膜バランを実現できるため、特に小型化が要求される無線通信機器への適用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施形態に係る薄膜バラン１の等価回路図である。
【図２】実施例１の薄膜バラン１の第１配線層１０を示す平面図である。
【図３】実施例１の薄膜バラン１の第２配線層２０を示す平面図である。
【図４】実施例１の薄膜バラン１の第３配線層３０を示す平面図である。
【図５】実施例１の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図６】実施例１の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図７】実施例２の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図８】実施例２の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図９】比較例１の薄膜バラン１の等価回路図である。
【図１０】比較例２の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図１１】比較例２の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図１２】実施例１、２及び比較例１、２の位相バランスの測定結果を示す図である。
【図１３】実施例１、２及び比較例１、２の出力バランスの測定結果を示す図である。
【図１４】実施例１〜３及び比較例１、２の通過特性の測定結果を示す図である。
【図１５】実施例３の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図１６】実施例３の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図１７】実施例４の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図１８】実施例４の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図１９】実施例５の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図２０】実施例５の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図２１】実施例６の薄膜バラン１の第４配線層４０を示す平面図である。
【図２２】実施例６の薄膜バラン１の第５配線層５０を示す平面図である。
【図２３】実施例３〜６及び比較例１位相バランスの測定結果を示す図である。
【図２４】実施例３〜６及び比較例１の出力バランスの測定結果を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，１００…薄膜バラン、２…不平衡伝送線路、３…平衡伝送線路、１０…第１配線層、１１…コイル導体、１１ａ，１１ｂ…端部、１２…コイル導体、１２ａ，１２ｂ…端部、２０…第２配線層、２１…コイル導体、２１ａ，２１ｂ…端部、２２…コイル導体、２２ａ，２２ｂ…端部、３０…第３配線層、３１，３２…配線、４０…第４配線層、４１〜４６，４１Ａ〜４８Ａ…コイル導体、５０…第５配線層、５１〜５４，５１Ａ〜５４Ａ…コイル導体、Ｐ…スルーホール、Ｃ１…第１のコイル部、Ｃ２…第２のコイル部、Ｃ３…第３のコイル部、Ｃ４…第４のコイル部、Ａ１〜Ａ４…コイル開口、Ｃ５…補助コイル部、Ｔ０…不平衡端子、Ｔ１…第１の平衡端子、Ｔ２…第２の平衡端子、Ｔ３…接地端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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