(57)【要約】【課題】確実に所定の厚さで表面が平滑に製造でき、高い光学的性能を発揮できるガラス基板付き光学的ローパスフィルタおよびその製法を提供すること。【解決手段】本発明の光学的ローパスフィルタ１は、ガラス基板２と、ガラス基板の表面に配置された接着層４と、接着層上に配置され光重合性組成物からなるマトリックス層８と、マトリックス層内に配置されマトリックス層と屈折率が異なる複数の柱状構造体１０とを備えた屈折率変調型回折格子層６とを備え、接着層が、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを３０〜９０質量％、多官能のウレタン（メタ）アクリレートを１０〜３０質量％、（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を０〜３０質量部％、重量平均分子量が１０4〜１０6であるポリ（メタ）アクリル酸メチルを０．１〜３０質量％と、重合開始剤を含む重合性組成物を重合してなる重合体からなることを特徴とする。【選択図】図１
2010164767.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板と、
該ガラス基板の表面に配置された接着層と、
該接着層上に配置され、光重合性組成物からなるマトリックス層と、該マトリックス層内に配置され該マトリックス層と屈折率が異なる複数の柱状構造体とを備えた屈折率変調型回折格子層とを備え、
前記接着層が、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを３０〜９０質量％、多官能のウレタン（メタ）アクリレートを１０〜３０質量％、（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を０〜３０質量％、重量平均分子量が１０4〜１０6であるポリ（メタ）アクリル酸メチルを０．１〜３０質量％とを含む重合性組成物を重合してなる重合体からなる、
ことを特徴とする光学的ローパスフィルタ。
【請求項２】
前記重合性組成物１００質量部に対して０．００１〜２０質量部の重合開始剤を含有させ重合させる、
請求項１に記載の光学的ローパスフィルタ。
【請求項３】
ガラス基板上に屈折率変調型回折格子層が配置された光学的ローパスフィルタの製造方法であって、
前記ガラス基板の表面全体に第１の重合性組成物を配置するステップと、
前記第１の重合組成物を硬化させ前記ガラス基板上に接着層を形成するステップと、
前記接着層上に、光硬化性の第２の重合性組成物を配置するステップと、
前記光硬化性の第２の重合性組成物上にフォトマスクを配置するステップと、
波長全値半幅が１００ｎｍ以下であり光強度分布が略一定の平行光を、前記フォトマスクを通して前記光硬化性の重合性組成物に向けて照射し、前記平行光が照射された部位を、不完全な硬化状態に硬化させる第１の光照射ステップと、
前記フォトマスクを取り外して、更に波長半値全幅が１００ｎｍ以下であり光強度分布が略一定の平行光を前記光硬化性の重合性組成物に向けて照射して、硬化を完了させる第２の光照射ステップと、を備えている、
ことを特徴とする光学的ローパスフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記第１の重合性組成物が、
ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを３０〜９０質量％、
多官能のウレタン（メタ）アクリレートを１０〜３０質量％、
（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を０〜３０質量％、および
重量平均分子量が１０4〜１０6であるポリ（メタ）アクリル酸メチルを０．１〜３０質量％を含む重合性組成物である、
請求項３に記載の光学的ローパスフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記第１の重合性組成物１００質量部に対して０．００１〜２０質量部の重合開始剤を含有させ重合させる、
請求項４に記載の光学的ローパスフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的ローパスフィルタおよびその製造方法に関し、詳細には、屈折率が異なる複数の柱状構造体が内部に形成された光学的ローパスフィルタおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高性能化が著しいホームビデオカメラやデジタルスチルカメラにおいては、撮像手段として、ＣＣＤエリアイメージセンサやＣＭＯＳエリアイメージセンサが用いられている。これらのセンサは、シリコン基板上に二次元的に配置された複数の受光素子を備え、受光素子（撮像素子）は、格子状に規則的に配置されている。
【０００３】
受光素子で行われる光電変換によって発生した電荷は、ＣＣＤ素子、あるいはＣＭＯＳ回路で、外部に転送される。これらのセンサでは、撮像素子が格子状に規則的に配置されている。また、受光素子（ピクセル）毎にカラー情報を得るため、各ピクセル上には、例えばＲＧＢのカラーフィルタがストライプ状に、または４種のフィルタが方形モザイク状に配置されている。
【０００４】
このように、上述したＣＣＤエリアイメージセンサ等では、撮像素子等が格子状に規則的に配置されているため、生成された被写体の画像に、擬似信号（モアレ）を発生する等の色再現上の不都合が生じることがある。このような問題を解決するため、特定周波数以上をカットする光学ローパスフィルタが用いられている。このような光学的ローパスフィルタとしては、水晶の複屈折を利用した光学的ローパスフィルタが最もよく使用されている。
【０００５】
また、位相格子を利用した回折による光学的ローパスフィルタを設ける方法も提案されており、位相格子には、表面凹凸型と屈折率変化型がある。
【０００６】
表面凹凸型としては、透明媒体の表面に機械的な切削加工を行う方法や、型を押し当てるスタンパ法、あるいは、蒸着やイオンエッチング法などにより、規則的な凹凸構造を形成したものを使用する試みがなされている（特許文献１）。
【０００７】
屈折率変化型としては、例えば、ブロックポリマをフィルムの厚さ方向に垂直な面内で整列配置させたものが提案されている（非特許文献１）。
また、フィルム状の紫外線硬化性組成物に平行度の高い紫外線を照射することによって格子状に配列された複数の柱状構造体が内部に形成された、プラスチックフィルムからなる光学的ローパスフィルタが提案されている（特許文献２）。
【０００８】
特許文献２に記載されたフィルム状の光学的ローパスフィルタは、安価であり、また且つ厚さが抑制されるので、光学長を短くすることが求められている光学系にも使用可能であるという特徴を有している。
【０００９】
【特許文献１】特開平９−２６３９３２号公報
【特許文献２】特開２００７−３４２６０号公報
【非特許文献１】Macromolecules, 2003, 36, p.3272-3288
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献２に記載された構成を有するフィルム状の光学的ローパスフィルタには、イメージセンサのＩＲカットカバーガラスのガラス基板と等と一体化して用いる場合、厚さの制御が困難となる、ガラス基板との密着性が悪化する等の問題がある。
【００１１】
例えば、フィルム状光学的ローパスフィルタをＩＲカットカバーガラス等のガラス基板に接着剤で貼り合せて使用する場合には、接着に用いる接着剤の厚さを均一にすることが困難であるため、接着後の製品の厚さを所定の厚さにすることが困難となるという問題がある。このため、ガラス基板に貼り合わせた後のフィルム状光学的ローパスフィルタの表面を完全に平滑にすることができず、光学性能が低下する等の問題がある。
【００１２】
また、フィルム状光学的ローパスフィルタをガラス基板上に直接、成形あるいはガラス基板に貼り合せてフィルム状光学的ローパスフィルタを製造する場合には、完成したフィルム状光学的ローパスフィルタを目的の大きさに割断する必要があるが、この割断工程で、光学的ローパスフィルタとガラス基板の間に剥がれが生じ、光学的性能が低下する等の問題がある。
【００１３】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、確実に所定の厚さで表面が平滑に製造でき、また、高い光学的性能を発揮できる、ガラス基板付き光学的ローパスフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明によれば、
ガラス基板と、
該ガラス基板の表面に配置された接着層と、
該接着層上に配置され、光重合性組成物からなるマトリックス層と、該マトリックス層内に配置され該マトリックス層と屈折率が異なる複数の柱状構造体とを備えた屈折率変調型回折格子層とを備え、
前記接着層が、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを３０〜９０質量％、多官能のウレタン（メタ）アクリレートを１０〜３０質量％、（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を０〜３０質量％、重量平均分子量が１０4〜１０6であるポリ（メタ）アクリル酸メチルを０．１〜３０質量％とを含む重合性組成物を重合してなる重合体からなる、
ことを特徴とする光学的ローパスフィルタが提供される。
【００１５】
このような構成によれば、予め接着層が設けられるので確実に所望の厚さで製造できるとともに、割断等に際しても、剥がれが生じにくくなる。
【００１６】
本発明の他の好ましい態様によれば、前記重合性組成物１００質量部に対して０．００１〜２０質量部の重合開始剤を含有させ重合させる光学的ローパスフィルタである。
【００１７】
本発明の他の態様によれば、
ガラス基板上に屈折率変調型回折格子層が配置された光学的ローパスフィルタの製造方法であって、
前記ガラス基板の表面全体に第１の重合性組成物を配置するステップと、
前記第１の重合組成物を硬化させ前記ガラス基板上に接着層を形成するステップと、
前記接着層上に、光硬化性の第２の重合性組成物を配置するステップと、
前記光硬化性の第２の重合性組成物上にフォトマスクを配置するステップと、
波長全値半幅が１００ｎｍ以下であり光強度分布が略一定の平行光を、前記フォトマスクを通して前記光硬化性の重合性組成物に向けて照射し、前記平行光が照射された部位を、不完全な硬化状態に硬化させる第１の光照射ステップと、
前記フォトマスクを取り外して、更に波長半値全幅が１００ｎｍ以下であり光強度分布が略一定の平行光を前記光硬化性の重合性組成物に向けて照射して、硬化を完了させる第２の光照射ステップと、を備えている、
ことを特徴とする光学的ローパスフィルタの製造方法が提供される。
【００１８】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記第一の重合性組成物が、
ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを３０〜９０質量％、
多官能のウレタン（メタ）アクリレートを１０〜３０質量％、
（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を０〜３０質量％、
重量平均分子量が１０4〜１０6であるポリ（メタ）アクリル酸メチルを０．１〜３０質量％、および
重合開始剤を０．００１〜２０質量％含む重合性組成物である。
【００１９】
本発明の他の好ましい態様によれば、前記第１の重合性組成物１００質量部に対して０．００１〜２０質量部の重合開始剤を含有させ重合させる光学的ローパスフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、確実に所定の厚さで製造でき、また、高い光学的性能を発揮できる、ガラス基板付き光学的ローパスフィルタおよびその製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態の光学的ローパスフィルタ１の製造方法を説明する。図１は本発明の好ましい実施形態の光学的ローパスフィルタ１の構成を模式的に示す部分斜視図である。
【００２２】
図１に示されているように、本実施形態の光学的ローパスフィルタ１は、ガラス基板２の一方の面の全体に第１の重合性組成物（接着層用重合性組成物）から形成された接着層４が設けられ、この接着層４の上に光硬化性の第２の重合性組成物から形成された屈折率変調型回折格子層６が設けられている積層構造を備えている。
【００２３】
ガラス基板２は表面が平滑な板状部材であり、０．１ｍｍないし２．０ｍｍ程度のほぼ均一な厚さを有する。ガラス基板２は、ソーダガラス、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、色ガラス等で形成されている。ガラス基板２は、ＩＲカット機能を有するガラスから作られても、多層膜からなる近赤外線を反射するＩＲカットフィルタや近赤外線吸収ガラスを用いたＩＲカットフィルタなどが設けられてもよい。また、接着層４と反対側の表面に反射防止機能を付与したものでもよい。
【００２４】
接着層４は、後述する第１の重合性組成物（接着層用重合性組成物）を重合した重合体から形成され、２μｍないし２００μｍ程度のほぼ均一な厚さを有している。
接着層４は、上方に屈折率変調型回折格子層６が設けられ図１に示されているような光学的ローパスフィルタ１とされた状態で、屈折率変調型回折格子層６の上から碁盤目試験（ＪＩＳ−Ｋ５６００）を行ったとき、基板ガラス２と接着層４の界面、及び接着層４と屈折率変調型回折格子層６との界面の両方で剥がれが生じない強度でガラス基板２及び屈折率変調型回折格子層６と接着している。
【００２５】
また、屈折率変調型回折格子層６は、第２の重合性組成物からなり、薄板状のマトリックス８と、マトリックス内に配置された複数の柱状構造体１０とから構成される相分離構造を備えている。
【００２６】
マトリックス８は、１０μｍないし５００μｍ程度の範囲のほぼ均一な厚さ有した薄板体である。
各柱状構造体１０は、略同一形状を有し、その軸線が、薄板（フィルム）形状の屈折率変調型回折格子層６を厚さ方向に延びるように配向されている。詳細には、柱状構造体１０は、軸線方向の断面形状が円柱形状を有し、各柱状構造体は、軸線が同一方向を向くように、すなわち互いに略平行に配向され、マトリックス８の表面に沿って、規則的な格子状に配置されている。また、柱状構造体１０はマトリックス８と異なる屈折率を有する。
【００２７】
柱状構造体１０の配置パターンは、イメージセンサの撮像素子の配列パターンと同一とするのが好ましい。すなわち、光学的ローパスフィルタと共に使用される撮像素子が正方格子状に配置される場合は柱状構造体１０も正方格子状に配置され、撮像素子が三角格子状に配置される場合は柱状構造体１０も三角格子状に配置されるのが好ましい。
【００２８】
柱状構造体１０の形状、断面形状、直径、ピッチは特に限定されないが、柱状構造体１０が円柱の場合、断面の直径は８０ｎｍ〜２０μｍが好ましく、さらに好ましくは１μｍ〜１０μｍであり、ピッチは１２０ｎｍ〜３０μｍが好ましく、さらに好ましくは２μｍ〜２０μｍである。
【００２９】
このような構成を有する光学的ローパスフィルタ１では、光学的ローパスフィルタ１に主面方向（すなわち屈折率変調型回折格子層６側の表面に垂直な方向）から光が入射すると、柱状構造体１０の配列に起因して、光学的ローパスフィルタ１が回折スポットを与え、光回折格子として機能する。
【００３０】
次に、本発明の好ましい実施形態の光学的ローパスフィルタの製造方法を説明する。
接着層４の原料である第１の重合性組成物（接着層用重合性組成物）を、上述したガラス基板２の一方の面に、均一な厚さで、塗膜表面が平滑となるように、バーコーター、スリットダイコーター、スピンコーター、円コーター、グラビアコーター、CAPコーターなどの既知の方法によって塗布する。
【００３１】
使用される接着層用重合性組成物は、上述したように、図１に示されているような光学的ローパスフィルタ１とされ、屈折率変調型回折格子層６の上から碁盤目試験（ＪＩＳ−Ｋ５６００）を行ったとき、基板ガラス２と接着層４の界面、及び接着層４と屈折率変調型回折格子層６との界面の両方で剥がれが生じない強度でガラス基板２及び屈折率変調型回折格子層６と接着している接着層４を形成できるものであれば、特に限定されず、種々の活性エネルギー線硬化型重合性組成物（光重合性組成物）、または熱硬化型重合性組成物（熱重合性組成物）を用いることができる。
【００３２】
（モノマー）
重合性組成物に用いるモノマーとしては、（メタ）アクリロイル基を含む（メタ）アクリルモノマーや、ビニル基、アリル基等を含有するものが好ましい。以下、具体例を多官能モノマーと単官能モノマーに分けて述べる。
【００３３】
多官能モノマーの具体例としては、多官能のウレタン（メタ）アクリレート、多官能のエポキシ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、水添ジシクロペンタジエニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジアリルクロレンデート、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンビスマレイミド、ジアリルフタレート等が挙げられ、これらを単独であるいは２種以上の混合物として使用することができる。
【００３４】
単官能モノマーの具体例としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、３−（トリメトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレート、３−（トリエトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、エチルカルビトール（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、フェニルカルビトール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシエチルサクシネート、（メタ）アクリロイルオキシエチルフタレート、フェニル（メタ）アクリレート、シアノエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ｐ−ブロモベンジル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート化合物；スチレン、ｐ−クロロスチレン、ビニルアセテート、アクリロニトリル、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルナフタレン等のビニル化合物；エチレングリコールビスアリルカーボネート、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート等のアリル化合物等が挙げられ、これらを単独であるいは２種以上の混合物として使用することができる。
【００３５】
接着層４にガラス基板２及び屈折率変調型回折格子層６との密着性を付与するためと、接着層４の塗膜物性向上のためにはここで挙げたモノマーあるいはオリゴマーのうち、ウレタン結合を有するモノマー、水酸基を有するモノマー、（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤といったモノマーあるいはオリゴマーを、単独あるいは２種以上選択して使用することが好ましい。ここで密着性と塗膜物性向上のために選択したモノマーあるいはオリゴマーの使用量は全体量のうち、１０〜１００質量％の範囲が好ましく、６５〜９５質量％の範囲がより好ましい。
【００３６】
（ポリマー、低分子化合物）
また、重合性組成物には、前記多官能モノマーあるいはオリゴマーと重合性炭素−炭素二重結合を持たない化合物を含む均一溶解混合物を用いることもできる。
【００３７】
重合性炭素−炭素二重結合を持たない化合物としては、例えば、ポリメタクリル酸メチル、ポリスチレン、ポリエチレンオキシド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ナイロン等のポリマー類、トルエン、ｎ−ヘキサン、シクロヘキサン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルアルコール、エチルアルコール、酢酸エチル、アセトニトリル、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフランのような低分子化合物、有機ハロゲン化合物、有機ケイ素化合物、可塑剤、安定剤のような添加剤等が挙げられる。
【００３８】
これら重合性炭素−炭素二重結合を持たない化合物は、接着層４を形成する際に重合性組成物の粘度を調節し取り扱い性を良くするためや、重合性組成物中のモノマー成分比率を下げて、硬化性を良くするために用いられ、その使用量は多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち１〜９９質量％の範囲とすることが好ましく、１〜５０質量％の範囲がより好ましい。
【００３９】
接着剤層４を構成する重合体に使用される重合性組成物としては、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートを３０〜９０質量％、多官能のウレタン（メタ）アクリレートを１０〜３０質量％、重量平均分子量が１０4〜１０6であるポリ（メタ）アクリル酸メチルを０．１〜３０質量％を含む組成物であることが好ましい。また、この組成物には、（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤を３０質量％以下の範囲で含有させることもできる。
【００４０】
（開始剤）
接着層４の原料である重合性組成物を光重合によって硬化させる場合に使用することができる光重合開始剤は、紫外線等の活性エネルギー線を照射して重合を行う通常の光重合で用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ベンゾフェノン、ベンジル、ミヒラーズケトン、２−クロロチオキサントン、ベンゾインエチルエーテル、ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピルフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、ジベンゾスベロン等が挙げられる。
【００４１】
これら光重合開始剤の使用量は、その他の重合性組成物１００質量部に対して０.００１〜２０質量部の範囲とすることが好ましく、屈折率変調型回折格子層６の透明性を落とさないようにするために０.０１〜５質量部とすることがより好ましい。
【００４２】
また、接着層４の原料である重合性組成物を熱重合によって硬化させる場合に使用することができる熱重合開始剤としては、重合性組成物を加熱して重合を行う通常の熱重合で用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、過酸化ベンゾイル、アゾビスイソブチロニトリル等が挙げられる。これら熱重合開始剤の使用量は、その他の重合性組成物１００質量部に対して０.００１〜１．０質量部の範囲とすることが好ましい。
【００４３】
次いで、接着層４を硬化させる。硬化方法は、接着層４の材料に応じて適宜選択する。例えば、重合性組成物に光重合開始剤が添加されている場合は、各光重合開始剤の吸収波長に対応した光源を用いて硬化させる。
また、重合性組成物として、熱重合性組成物を使用する場合は、重合に適した温度に重合性組成物を加熱する。
【００４４】
接着層４を半硬化させ、接着層４上に屈折率変調型回折格子層６を形成した後に完全に硬化させる構成でもよい。
【００４５】
第２の工程として、接着層４上に、屈折率変調型回折格子層６を形成する。屈折率変調型回折格子層６の原料である第２の重合性組成物を、均一な厚さで、かつ塗膜表面が平滑となるように、バーコーター、スリットダイコーター、スピンコーター、円コーター、グラビアコーター、CAPコーターなどの既知の方法によって塗布する。また、枠状の形を接着層４上に配置し、この形に第２の重合性組成物を充填してもよい。
【００４６】
第２の重合性組成物として、以下の材料を含む光重合性組成物を用いるのがよい。
【００４７】
（多官能モノマー）
光重合性組成物には、多官能モノマーが含まれることが好ましい。このような多官能モノマーとしては、（メタ）アクリロイル基を含む（メタ）アクリルモノマーや、ビニル基、アリル基等を含有するものが特に好ましい。
【００４８】
多官能モノマーの具体例としては、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、水添ジシクロペンタジエニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、多官能のエポキシ（メタ）アクリレート、多官能のウレタン（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジアリルクロレンデート、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンビスマレイミド、ジアリルフタレート等が挙げられ、これらを単独であるいは２種以上の混合物として使用することができる。
【００４９】
分子内に３個以上の重合性炭素−炭素二重結合を有する多官能性モノマーは、重合度差による架橋密度の粗密がより大きくなりやすく、柱状構造体が形成されやすくなるので好ましい。
【００５０】
特に好ましい３個以上の重合性炭素−炭素二重結合を有する多官能性モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートがある。
【００５１】
光重合性組成物として２種以上の多官能モノマーあるいはそのオリゴマーを使用する場合には、それぞれの単独重合体としたときに互いに屈折率が異なるものを使用することが好ましく、その屈折率差が大きいものを組み合わせることがより好ましい。
【００５２】
屈折率変調型回折格子層６で回折、偏向、拡散などの機能を高効率で得られるようにするためには、マトリックス８と柱状構造体１０との屈折率差を大きくとることが必要であり、その屈折率差が０．０１以上であることが好ましく、０．０５以上であることがより好ましい。また、重合過程でモノマーが拡散することにより屈折率差が大きくなるので、拡散定数の差が大きい組み合わせが好ましい。
【００５３】
なお、３種以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーを使用する場合は、それぞれの単独重合体の少なくともいずれか２つの屈折率差が上記範囲内となるようにすればよい。また、単独重合体の屈折率差が最も大きい２つのモノマーあるいはオリゴマーは、高効率な回折、偏向、拡散などの機能を得るために、重量比で１０：９０〜９０：１０の割合で用いることが好ましい。
【００５４】
（単官能モノマー）
また、光重合性組成物には、上記のような多官能モノマーあるいはオリゴマーとともに、分子内に１個の重合性炭素−炭素二重結合を有する単官能モノマーあるいはオリゴマーを使用してもよい。このような単官能モノマーあるいはオリゴマーとしては、（メタ）アクリロイル基を含む（メタ）アクリルモノマーや、ビニル基、アリル基等を含有するものが特に好ましい。
【００５５】
単官能モノマーの具体例としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、エチルカルビトール（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、フェニルカルビトール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシエチルサクシネート、（メタ）アクリロイルオキシエチルフタレート、フェニル（メタ）アクリレート、シアノエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ｐ−ブロモベンジル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート化合物；スチレン、ｐ−クロロスチレン、ビニルアセテート、アクリロニトリル、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルナフタレン等のビニル化合物；エチレングリコールビスアリルカーボネート、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート等のアリル化合物等が挙げられる。
【００５６】
これら単官能モノマーあるいはオリゴマーは屈折率変調型回折格子層６に柔軟性を付与するために用いられ、その使用量は多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち１０〜９９質量％の範囲が好ましく、１０〜５０質量％の範囲がより好ましい。
【００５７】
（ポリマー、低分子化合物）
また、光重合性組成物には、前記多官能モノマーあるいはオリゴマーと重合性炭素−炭素二重結合を持たない化合物を含む均一溶解混合物を用いることもできる。
重合性炭素−炭素二重結合を持たない化合物としては、例えば、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンオキシド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ナイロン等のポリマー類、トルエン、ｎ−ヘキサン、シクロヘキサン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルアルコール、エチルアルコール、酢酸エチル、アセトニトリル、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフランのような低分子化合物、有機ハロゲン化合物、有機ケイ素化合物、可塑剤、安定剤のような添加剤等が挙げられる。
【００５８】
これら重合性炭素−炭素二重結合を持たない化合物は、屈折率変調型回折格子層６を製造する際に光重合性組成物の粘度を調節し取り扱い性を良くするためや、光重合性組成物中のモノマー成分比率を下げて、硬化性を良くするために用いられ、その使用量は多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち１〜９９質量％の範囲とすることが好ましく、取り扱い性も良くしつつ規則的な配列を持った柱状構造体を形成させるためには１〜５０質量％の範囲がより好ましい。
【００５９】
（開始剤）
光重合性組成物に使用する光重合開始剤は、紫外線等の活性エネルギー線を照射して重合を行う通常の光重合で用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ベンゾフェノン、ベンジル、ミヒラーズケトン、２−クロロチオキサントン、ベンゾインエチルエーテル、ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピルフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、ジベンゾスベロン等が挙げられる。
これら光重合開始剤の使用量は、その他の光重合性組成物の重量に対して０.００１〜１０質量％の範囲とすることが好ましく、屈折率変調型回折格子層６の透明性を落とさないようにするために０.０１〜５質量％とすることがより好ましい。
【００６０】
次いで、屈折率変調型回折格子層６を以下の手順で硬化させる。
【００６１】
（フォトマスクによるテクスチャリング）
柱状構造体１０の配列パターンはフォトマスク１２によるテクスチャリングで任意に決定することができる。ここで述べるテクスチャリングとは、あらかじめ位置情報を入力することによって、形成される構造体に高い規則性をもたせる方法である。
【００６２】
先ず、塗布した光重合性組成物と照射光源との間にフォトマスク１２を配置する。このとき、フォトマスク１２を、ガラス基板２上に形成した接着層４及び接着層４上に塗布した光重合性組成物の上面に対して略平行に配置する。より精密に柱状構造体１０の円径及びピッチを制御するためには、基材上に塗布した光重合性組成物の上面とフォトマスク１２との間の空隙を５０μｍ〜３００μｍにすることが好ましい。
【００６３】
フォトマスク１２を用いて柱状構造体１０の形成位置を定める本実施形態の方法では、マスク開口で紫外光が回折される点に注意する必要がある。回折により、フォトマスクとは異なるパターンに形成位置が定められてしまったり、パターンが劣化しすぎて形成位置を定めることができなかったりするので、フォトマスクと光重合性組成物との距離を正確に定めねばならない。
【００６４】
フォトマスク１２は、フォトリソグラフィー法で使用されているもの等が使用できる。マスク孔のパターンや孔径のサイズ、ピッチ、形状は特に限定されるものではない。形状は、例えば、円形、三角形や四角形、六角形、八角形などの多角形でもよい。マスク孔が円形の場合、孔径は８０ｎｍ〜２０μｍが好ましく、さらに好ましくは１μｍ〜１０μｍであり、ピッチは１２０ｎｍ〜３０μｍが好ましく、さらに好ましくは２μｍ〜２０μｍである。
【００６５】
柱状構造体を正方格子状に配列するためには、図２に示すように、円形のマスク孔１４が正方格子パターンで規則的に配列されたフォトマスク１２を用いる。
また、柱状構造体を三角格子状に配列するためには、図３に示すように、マスク孔１４が三角格子パターンで規則的に配列されたフォトマスク１６を用いる。
【００６６】
本実施形態では、柱状構造体１０を形成するためにフォトマスクによるテクスチャリングを使用しているが、これに限らず、可視あるいは紫外域の波長帯のレーザー光、Ｘ線、γ線等の放射線を走査照射して位置情報を入力してもよい。
【００６７】
（照射光源）
柱状構造体１０を高い規則性で配列するには、光学フィルム１の膜厚方向に垂直な平面内において重合反応を均一に進めることが必要である。このため、照射光源は、その光強度分布を照射範囲で略均一であるものを用いる。
照射光源は、基材上に塗布した光硬化性重合体に対して紫外線等の平行光を照射することができるものが用いられる。照射する光の平行度は、広がり角が±０．０３ｒａｄ以下であるものが好ましく、より好ましくは±０．００１ｒａｄ以下の範囲である。
【００６８】
照射光源は、平行光を照射可能であることに加えて、照射する平行光の進行方向に対する垂直断面内で、平行光の光強度分布を略一定であるものを用いる。具体的には、点光源や棒状光源からの光を、ミラーやレンズ等により光強度分布が略一定（ハット型分布）の平行光としたもの、あるいはＶＣＳＥＬ等の面状光源等を使用することができる。
なお、レーザー光線は平行度の点では好ましい光源であるが、その光強度分布がガウス型の分布を有しているため、適当なフィルタ等を用いて光強度分布を略一定にして使用することが好ましい。
【００６９】
照射光源は、照射エリアを複数の領域に分割して（本実施形態では、９領域）、各領域の光強度を測定し、式（１）で与えられる照度分布の値が、２．０％以下であるものを用いている。より好ましくは、１．０％以下であるものを用いている。
照度分布＝（最大値−最小値）／（最大値＋最小値）×１００・・・（１）
【００７０】
（第１の光照射ステップ）
第１の光照射ステップにおいて、光重合性組成物を不活性ガス雰囲気下に置くことが望ましい。不活性ガス雰囲気下への配置は、フォトマスク１２を配置する前に行っても、フォトマスク１２を配置した後に行っても良い。ただし、酸素が一定以上残存している条件下では、屈折率変調型回折格子層６の表面に硬化不良が発生する可能性が高い。不活性ガスとしては、窒素、アルゴン、ヘリウム、二酸化炭素などが挙げられる。不活性ガスを用いる目的は酸素を追い出すことであるので、酸素を含まない組成の気体であればどのような気体をも用いることができる。
【００７１】
不活性ガス雰囲気下で、照射対象範囲で波長全値半幅が１００ｎｍ以下であり光強度分布が略一定である紫外線等の平行光を照射光源から照射する。これにより、フォトマスクを通過した平行光が、光重合性組成物に所定パターンで照射される。
【００７２】
このようにして、第１の光照射ステップでは、光重合性組成物の平行光照射部位がゲル状に硬化するまで紫外線等の光を平行光として照射することによって、屈折率変調型回折格子層６の内部における柱状構造体１０の形成位置を定める。
【００７３】
具体的には、柱状構造体１０の規則性及び高回折効率を両立させるために、光重合性組成物の硬化度が１０％〜８０％の範囲となるまで、より好ましくは、２０％〜６０％の範囲となるまで照射する。本実施形態では、光ＤＳＣ法で、光重合性組成物が完全に反応し光照射してもそれ以上発熱しない状態を硬化率１００％としている。
【００７４】
（第２の光照射ステップ）
第１の光照射ステップに続き、第２の光照射ステップでは、フォトマスク１２を取り外して、さらに波長全値半幅が１００ｎｍ以下であり光強度分布が略一定の平行光を光重合性組成物に対して照射する。これにより、第１の光照射ステップで形成位置が定められた柱状構造体１０と、それ以外の部分であるマトリックス８とからなる相分離構造を膜厚方向に形成して、マトリックス８と柱状構造体１０との間の屈折率差を高めつつ光重合性組成物の硬化を完全に終了させる。
【００７５】
照射光として平行光を用いているので、柱状構造体１０は、明瞭な柱状構造としてマトリックス８中に、面方向に拡がらず且つ膜厚方向に平行に延びて形成される。これにより、屈折率変調型回折格子層６は、マトリックス８と柱状構造体１０との境界で、屈折率の変化が明瞭に現れるように形成される。
【００７６】
一般に、高圧水銀ランプ等の点状光源から放出された光を、ミラーやレンズにより照度の均一性や平行度を調整してフォトマスクに露光する際の解像度は、以下の通りである。フォトマスクのスリット幅をａ、ギャップをＬとすると、スリットを通過する光は、ａの大きさがＬに対して無視できない場合（ａとＬの値が近い場合）、フレネル回折で近似され、一方、ａの大きさがＬに対して無視できる場合（ａ＜＜Ｌの場合）、フラウンホーファ回折で近似される。回折による像の劣化を式（２）の関数Ｆで表すと、Ｆが２近くで解像度の限界が現れる。λは光の波長である。
2010164767.tif 000003
【００７７】
Ｆ＝２，λ＝０．４の場合、式（２）から、ａ＝０．８９・√Ｌを得る。このａが解像限界線幅である。Ｌを１５０μｍとした場合には、解像度は１０．９μｍになる。したがって、柱状構造体の孔径が好ましくは、８０ｎｍ〜２０μｍであるから、単にフォトマスクを用いて柱状構造体を形成しようとしても、フラウンホーファ回折（ａ＜＜Ｌ）による像の劣化が激しく、このような系ではフィルム内にアスペクト比１０以上の柱状構造体が形成されるとは考えられない。
【００７８】
すなわち、従来のように、第１の光照射ステップのみで柱状構造体を完全に形成すると、フォトマスクを通過した光は、回折によってマスク孔の投影領域（すなわち、柱状構造体の領域）からマトリックスの領域まで広がって届いてしまう。このため、従来のように第１の光照射ステップの後に、第２光照射ステップを行ったとしても、マトリックスと柱状構造体との間に有意な屈折率差が生じなくなる。
【００７９】
しかしながら、本実施形態では、第１の光照射ステップで柱状構造体１０を完全には硬化させず、形成位置を定めるのみである。そして、第２の光照射ステップにおいて、マトリックス８と柱状構造体１０とがある程度の硬度差にある未完全硬化状態で、全体に平行光を照射し、全体を完全に硬化させている。このとき、柱状構造体１０の重合自己促進効果によるマトリックス８との架橋密度差と、柱状構造体１０とマトリックス８との間での反応拡散による組成分布により、両者間に有意な屈折率差を与えることができ、また、屈折率変調型回折格子層６の膜厚方向に略平行に延びるアスペクト比の高い柱状構造体１０を形成することができる。
【００８０】
（光学的ローパスフィルタの割断）
以上の方法で製造した光学的ローパスフィルタ１は、ガラス基板２と接着層４の境界面及び接着層４と屈折率変調型回折格子層６の境界面に剥がれを生じることなく所望の大きさに割断することができる。
【００８１】
光学的ローパスフィルタ１を割断するためには、先ず光学的ローパスフィルタ１の裏面すなわちガラス基板が露出している面側に種々のガラスカッターを用いて切れ込みを入れ、ガラス基板２部分を割断する。次に接着層４及び屈折率変調型回折格子層６を形成した側の表面に張力などを加えることで容易に光学的ローパスフィルタ１を割断できる。
【００８２】
あらかじめ屈折率変調型回折格子層６及びガラス基板２に両面から切れ込みを入れることで、割断時に張力などを加えずに作業を行うことも可能である。また、屈折率変調型回折格子層６からの切断作業とガラス基板２への切れ込みを入れる作業とを同時に行ってもよい。
【００８３】
（回折効率の算出）
製造した光学的ローパスフィルタ１に、標準正規分布の強度分布を持つレーザー光線を入射させて０次、１次、２次の回折スポットの強度を測定し、１次の回折スポットの測定強度を、入射光全体の強度で除した値を光学的ローパスフィルタ１の回折効率として算出する。回折スポットが複数点現れる場合は、それらの合計の強度を入射光全体の強度で除した値とする。
本実施形態の光学的ローパスフィルタ１は、回折効率が１０％以上（１０％≦回折効率≦１００％）である。
【００８４】
光学的ローパスフィルタ１は、光学的ローパスフィルタに用いることができる。デジタルカメラ等の撮影系では、しばしばモアレ（偽色）が問題となる。この原因は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等のセンサが規則的に配列しているため撮影対象に含まれる規則的パターンと干渉してしまうことにある。この問題を解決する手段の一つとして、光学的ローパスフィルタを用いる。光学的ローパスフィルタは、入力された光を複数点に分離することにより干渉の影響を抑え、モアレを抑制する効果を有する。
【００８５】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【実施例】
【００８６】
以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。
（実施例１）
接着層の原料として、アクリル酸２−ヒドロキシエチル（東京化成工業株式会社製）６５質量部と、ＮＫ−オリゴＵ−２ＰＰＡ（新中村化学工業株式会社製）２０質量部と、ＫＢＭ−５１０３（信越化学工業株式会社製）１０質量部、ＰＭＭＡ（三菱レイヨン株式会社製、Ｍｗ＝１２０,０００）５質量部とからなる混合物に１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：IRGACURE１８４、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）１．０質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。
【００８７】
次に、屈折率変調型回折格子層の原料として、フェノキシエチルアクリレート１５質量部と、ポリエチレングリコールジメタクリレート（商品名：ＮＫ−エステル１４Ｇ、新中村化学工業株式会社製）５０質量部と、ＮＫ−オリゴ Ｕ−２ＰＰＡ（新中村化学工業株式会社製）２５質量部と、トリメチロールプロパントリメタクリレート１０質量部とからなる混合物に、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：IRGACURE１８４、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）０．６質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。
【００８８】
得られた接着層用の光重合性組成物を、１００ｍｍ角、厚さ０．５ｍｍのガラス基板上にスピンコーターを用いて塗工した。スピンコーターの塗工条件は、第１のステップとして１００ｒｐｍで５秒間回転し、続いて第２のステップとして３００ｒｐｍで２０秒間回転した。次いで、接着層用の光重合性組成物の上部から、紫外光を１２００ｍＪ／ｃｍ2で照射し、硬化させた。
【００８９】
次に、硬化させた接着層の上面にスピンコーターを用いて屈折率変調型回折格子層用の原料を塗工・積層した。スピンコーターの塗工条件は、第１のステップとして１００ｒｐｍで５秒間回転し、続いて第２のステップとして３００ｒｐｍで１２秒間回転した。
【００９０】
次いで、光重合性組成物の上部に４μｍ角の正方形の光通過域が８μｍピッチで正方格子状に配列したフォトマスクを配置した。フォトマスクの上部方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を９００ｍＪ／ｃｍ2で照射した。
その後、フォトマスクを取り外し、更に１２００ｍＪ／ｃｍ2で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化し光学的ローパスフィルタを得た。
【００９１】
得られた光学的ローパスフィルタは、硬化後の厚みが接着層と屈折率変調型回折格子層の合計で、９５μｍであり、接着層が３０μｍ、屈折率変調型回折格子層が６５μｍであった。アスペクト比はおよそ１６で、回折効率は約６７％であり、光学的ローパスフィルタとして用いるのに十分な性能を持つことを確認した。
【００９２】
この光学的ローパスフィルタの碁盤目試験（ＪＩＳ−Ｋ５６００）を行った。オルファ製カッターナイフを用いて２ｍｍ間隔で切込みを入れ、ニチバン製セロハンテープで剥離試験を行った。その結果、この光学的ローパスフィルタの試験片に一切剥がれは無く、ガラス基板と接着層、接着層と屈折率変調型回折格子層は良好な接着性を示すことがわかった。
【００９３】
また、作製した光学的ローパスフィルタのガラス基板面にガラスカッターを用いて切れ込みを入れて割断したところ、ガラス基板と接着層及び屈折率変調型回折格子層が一体のまま一切の剥がれや割れなどが無く光学的ローパスフィルタ全体を割断することができた。
【００９４】
（実施例２）
接着層の原料として、アクリル酸２−ヒドロキシエチル（東京化成工業株式会社製）７０質量部と、ＮＫ−オリゴＵ−２ＰＰＡ（新中村化学工業株式会社製）２０質量部と、ＰＭＭＡ（三菱レイヨン株式会社製、Ｍｗ＝１２０,０００）１０質量部とからなる混合物に１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：IRGACURE１８４、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）１．０質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。
光学的ローパスフィルタの原料は実施例１と同様とし、塗工及び光硬化も実施例１と全く同じ条件で光学的ローパスフィルタを得た。
【００９５】
得られた光学的ローパスフィルタは、硬化後の厚みが接着層と屈折率変調型回折格子層の合計で、１６２μｍであり、接着層が９７μｍ、屈折率変調型回折格子層が６５μｍであった。アスペクト比はおよそ１６で、回折効率は約６７％であり、光学的ローパスフィルタとして用いるのに十分な性能を持つことを確認した。
【００９６】
この光学的ローパスフィルタの碁盤目試験（ＪＩＳ−Ｋ５６００）を行った。オルファ製カッターナイフを用いて２ｍｍ間隔で切込みを入れ、ニチバン製セロハンテープで剥離試験を行った。その結果、この光学的ローパスフィルタの試験片に一切剥がれは無く、ガラス基板と接着層、接着層と屈折率変調型回折格子層は良好な接着性を示すことがわかった。
【００９７】
また、作製した光学的ローパスフィルタのガラス基板面にガラスカッターを用いて切れ込みを入れて割断したところ、ガラス基板と接着層及び屈折率変調型回折格子層が一体のまま一切の剥がれや割れなどが無く光学的ローパスフィルタ全体を割断することができた。
【００９８】
（比較例１）
比較例１は、実施例１と異なり、接着層を設けずにガラス基板に直接屈折率変調型回折格子層を成形した例である。
実施例１と同様の光学的ローパスフィルタ用の光重合性組成物を用い、１００ｍｍ角、厚さ０．５ｍｍのガラス基板上にスピンコーターを用いて塗工した。スピンコーターの塗工条件は、第１のステップとして１００ｒｐｍで５秒間回転し、続いて第２のステップとして３００ｒｐｍで１２秒間回転した。
【００９９】
次いで、光重合性組成物の上部に４μｍ角の正方形の光通過域が８μｍピッチで正方格子状に配列したフォトマスクを配置した。フォトマスクの上部方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を９００ｍＪ／ｃｍ2で照射した。
その後、フォトマスクを取り外し、更に１２００ｍＪ／ｃｍ2で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化し光学的ローパスフィルタを得た。
【０１００】
得られた光学的ローパスフィルタは、屈折率変調型回折格子層の厚みが６５μｍであった。アスペクト比はおよそ１６で、回折効率は約６７％であり、光学的ローパスフィルタとして用いるのに十分な性能を持つことを確認した。
【０１０１】
この光学的ローパスフィルタの碁盤目試験（ＪＩＳ−Ｋ５６００）を行った。オルファ製カッターナイフを用いて２ｍｍ間隔で切込みを入れ、ニチバン製セロハンテープで剥離試験を行った。その結果、この光学的ローパスフィルタの試験片の屈折率変調型回折格子層が完全に剥離して、セロハンテープに付着した。また、作製した光学的ローパスフィルタのガラス基板面上にガラスカッターで切れ込みを入れてガラス基板を割断したところ、屈折率変調型回折格子層はガラス基板から完全に剥がれた状態となった。
【０１０２】
以上のように、接着層をガラス基板と屈折率変調型回折格子層の間に成形した実施例１、２では、ガラス基板と屈折率変調型回折格子層の密着性が付与できることを確認した。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の好ましい実施形態の製造方法による光学的ローパスフィルタの構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態の製造方法で用いるフォトマスクの構成を示す模式的な平面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態の製造方法で用いる別のフォトマスクの構成を示す模式的な平面図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１：光学的ローパスフィルタ
２：ガラス基板
４：接着層
６：屈折率変調型回折格子層
【図１】
2010164767.tif 000004
【図２】
2010164767.tif 000005
【図３】
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