(57)【要約】【課題】本件発明は、多層圧電素子を採用して低電圧駆動と高トルクを実現しながら、構造が簡単で製造も容易な小型圧電モータを提供することを課題とする。【解決手段】上記課題を解決するために、多層圧電素子は、略長方形で長辺側の一方の側面端部に接地電極とする外部電極を備え、他方の側面端部に信号電極とする外部電極を備えるものとし、ステータは、内周円筒部の中心軸に対して垂直方向の断面形状が、隣接する固定平面部を離間する外周部が、内周円筒部の円形と断面円形中心を共通とする同心円の一部分である円弧形状であり、複数の多層圧電素子は、接地電極とする外部電極と信号電極とする外部電極とが固定平面部から離間するようにオーバーハングさせて固定平面部に固定していることを特徴とする圧電モータとする。【選択図】図１
2010273403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周円筒部を備え、複数の圧電素子を外周に配置したステータと、当該内周円筒部に挿入されたロータとを備え、当該複数の圧電素子に位相を制御した交流電圧信号を付加して当該ロータを駆動軸として回転させる圧電モータであって、
前記圧電素子は、略長方形の薄葉圧電セラミックス層と接地用内部電極層と信号用内部電極層とを交互に複数層積層した多層圧電素子であり、当該多層圧電素子は、接地用内部電極層同士を電気的に導通させる外部電極である接地電極を長辺側積層端面の一方に形成し、信号用内部電極層同士を電気的に導通させる外部電極である信号電極を長辺側積層端面の他方に形成したものであり、
前記ステータは、その外周に前記多層圧電素子を固定するための略長方形の固定平面部を備え、
前記ステータに固定した前記多層圧電素子は、前記接地電極と前記信号電極とが前記固定平面部からオーバーハングした状態で固定平面部から離間していることを特徴とする圧電モータ。
【請求項２】
前記ステータは、内周円筒部の中心軸に対して垂直方向の断面形状が、隣接する固定平面部を離間する外周部が、内周円筒部の円形と断面円形中心を共通とする同心円の一部分である円弧形状であり、当該円弧形状の両端と前記中心とを結ぶ２つの直線がなす中心角の角度が５度〜２５度である請求項１に記載の圧電モータ。
【請求項３】
前記固定平面部の端部と前記接地電極の端面又は前記信号電極の端面との最短離間距離が０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍである請求項１又は請求項２に記載の圧電モータ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の圧電モータを用いたことを特徴とするレンズ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件発明は、小型圧電モータ及びその小型圧電モータを用いたレンズ駆動装置並びにそのレンズ駆動装置を用いた撮像装置に関する。より詳細には、多層圧電素子を用いた小型圧電モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロマシンの実用化が推進されており、光学機器や医療機器への展開が積極的になされている。これらの中で光学機器に目を向けると、携帯電話に内蔵するカメラにオートフォーカス機能やズーム機能を付加するための機構がある。これらの機能を精度良く果たすためには、高精度の動作が保証された小型モータが欠かせない。そして、このような小型モータとして、圧電モータ（超音波モータ）が脚光を浴びている。この圧電モータの駆動軸を回転させる方式としては、駆動軸を接続したディスクをロータとして回転させる方式と、駆動軸をロータとして直接回転させる方式とがあり、後者の方式が小型化には適している。
【０００３】
そして、図３に示すように、駆動軸をロータとして直接回転させる方式の圧電モータ１０１では、厚さ０．２ｍｍ程度の圧電セラミックスの上下に電極層を配置した構成を備える圧電素子１０３Ａと圧電素子１０３Ｂとをそれぞれ２個ずつ用い、圧電素子１０３Ａ同士と圧電素子１０３Ｂ同士が対向するようにステータ１０２の表面に固定している。この圧電モータ１０１に、交流電圧源５Ａ、５Ｂを用い、それぞれ圧電素子１０３Ａと圧電素子１０３Ｂとに位相をずらした同周期の交流電圧信号を電圧４０Ｖ程度で付加すると、圧電素子１０３Ａと圧電素子１０３Ｂは異なる周期で発振する。その結果、隣接する圧電素子間の振動には位相差が存在することになり、この位相差を備える振動エネルギー利用してロータ４を回転させることができる。
【０００４】
そして、特許文献１には、円筒状の固定（振動）子の端面における振幅を大きくし、回転子の回転速度を高めるとともに、製造が容易な超音波マイクロモータ及びその固定子の製造方法が開示されている。具体的には、超音波マイクロモータにおいて、固定子を構成する金属からなる円筒殻と、この円筒殻の外周面に形成されるＰＺＴ膜と、この円筒殻の外周面の軸方向に形成される４個の電極からなる構成が例示されている。そして、これらの対向する電極に同位相の交流電圧信号を付加し、隣接する電極には逆位相の交流電圧信号を付加することで、前記円筒殻を振動させ回転子を回転させている。
【０００５】
また、特許文献２には、特許文献１の技術では高出力を得ることが困難であるとして、高出力及び高トルクが得られ、構造体としての強度を高めることと低い駆動電圧で動作させることが両立でき、生産性の向上が図れ、小型化の追求に好適なマイクロ超音波モータを実現する技術が開示されている。具体的には、柱状体を呈し、その柱状体の軸方向に並行して形成された複数の圧電駆動部を有し、その複数の圧電駆動部は、それぞれ交互に積層をされた複数の圧電体層と複数の電極層とが焼成一体化されてなる圧電素子そのものを、ステータの主構成要素として採用している。そして、実施例によれば、４辺の隣接する圧電駆動部に付加する交流電圧信号は、位相を逐次９０°ずらしたものとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２３１６８４号公報
【特許文献２】特開２００６−３４０４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献２に開示されている技術は、そのままでは正方形断面のステータの中に円形断面のロータを保持することになるため、安定したロータの回転を得ることは困難である。即ち、特許文献２の図５が示すような構造としたり、縦置きで使用する圧電モータとしてロータを垂直に支持するなど、何らかの工夫をこらした構造を備えるモータとすることが必要な技術である。
【０００８】
また、特許文献１に開示の技術で高出力が得られにくいのは、円筒状の固定（振動）子の端面における振幅のみを大きくしているためであると考えられる。したがって、特許文献２が開示する複層の圧電体を特許文献１が開示する技術に適用すれば、高出力が得られる可能性がある。具体的には、特許文献１が開示する技術を用いて複層の圧電素子層連続体を形成し、例えば４分割して４つの多層圧電素子を得ることが考えられる。しかし、特許文献１の技術で形成した多層圧電素子層を４分割する際には、薄膜の圧電セラミックス層の両側に配置した電極層間の回路ショートを避けることが必須となる。即ち、特許文献２が開示する複層の圧電体を特許文献１が開示する技術に適用した技術は、精密な加工技術が必要とされ、圧電素子の多層化による大きなコストアップを避けることができない技術である。
【０００９】
一方、上述した問題点を解消するために、多層圧電素子の単体を製作し、特性確認の済んだ多層圧電素子をステータに固定して用いれば、大きなコストアップを伴わずに圧電素子を多層化できる可能性がある。この場合には、例えば、図４に示すように、固定平面部１２１を備えるステータ１０２を用い、固定平面部１２１に接地電極３４と信号電極３５とが形成された多層圧電素子１０３を固定し、ステータ１０２を共通の接地側として用いることが考えられる。図４に示すステータ１０２は、肉厚金属管の外周面を切削加工して固定平面部１２１を形成したものとしており、固定平面部１２１の大きさは、固定する多層圧電素子１０３よりやや大きめである。
【００１０】
しかし、切削加工して形成した固定平面部１２１には、その端部に金属バリ１２３が存在する場合がある。そして、多層圧電素子１０３の接地電極３４と電気的に導通している金属バリ１２３と、接地電極３４の対極である信号電極３５との間で回路ショートが発生すると、所期の特性が得られないことになる。したがって、回路ショートの防止のためには、金属バリの発生しにくい放電加工法を用いてステータを加工したり、金属バリを溶解して除去するために切削加工したステータを薬液処理したり、多層圧電素子の信号電極の端面側を絶縁処理する等の、コストアップとなる対策が必要になる。
【００１１】
即ち、多層圧電素子を採用して低電圧駆動と高トルクとを実現しながら、構造が簡単で製造も容易な小型圧電モータに対する要求があった。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
そこで、本件発明者は、鋭意研究の結果、多層圧電素子とこの多層圧電素子を固定する固定平面部との位置関係を見直す中で、多層圧電素子の発振領域を固定平面部の領域よりも大きくすることに想到し、本件発明を完成した。
【００１３】
本件発明に係る圧電モータ：  本件発明に係る圧電モータは、内周円筒部を備え、複数の圧電素子を外周に配置したステータと、内周円筒部に挿入されたロータとを備え、複数の圧電素子に位相を制御した交流電圧信号を付加してロータを駆動軸として回転させる圧電モータであって、圧電素子は、略長方形の薄葉圧電セラミックス層と接地用内部電極層と信号用内部電極層とを交互に複数層積層した多層圧電素子であり、当該多層圧電素子は、接地用内部電極層同士を電気的に導通させる外部電極である接地電極を長辺側積層端面の一方に形成し、信号用内部電極層同士を電気的に導通させる外部電極である信号電極を長辺側積層端面の他方に形成したものであり、ステータは、その外周に前記多層圧電素子を固定するための略長方形の固定平面部を備え、ステータに固定した多層圧電素子は、接地電極と信号電極とが固定平面部からオーバーハングした状態で固定平面部から離間していることを特徴としている。
【００１４】
本件発明に係る圧電モータにおいては、ステータは、内周円筒部の中心軸に対して垂直方向の断面形状が、隣接する固定平面部を離間する外周部が、内周円筒部の円形と断面円形中心を共通とする同心円の一部分である円弧形状であり、円弧形状の両端と中心とを結ぶ２つの直線がなす中心角の角度が５度〜２５度であることも好ましい。
【００１５】
本件発明に係る圧電モータにおいては、固定平面部の端部と接地電極の端面又は信号電極の端面との最短離間距離が０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍであることも好ましい。
【００１６】
本件発明に係るレンズ駆動装置：  本件発明に係るレンズ駆動装置は、本件発明に係る圧電モータを用いたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本件発明に係る圧電モータは、多層圧電素子をステータの固定平面部に固定しており、多層圧電素子の長辺側積層端面に形成した接地電極と信号電極とは、固定平面部からオーバーハングした状態で固定平面部から離間している。その結果、ステータの固定平面部を加工する時に金属バリが発生したとしても、このバリが原因となって回路ショートが発生することがない。即ち、本件発明に係る圧電モータは、安定した動作が保証された圧電モータである。そして、この圧電モータを用いたレンズ駆動装置は安定した動作が保証され、このレンズ駆動装置を用いた撮像装置は、被写体への追随性が優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本件発明に係る圧電モータにおける多層圧電素子の、ステータへの固定状態を模式的に示す断面図である。
【図２】本件発明に係る圧電モータの実施態様を模式的に示す断面図である。
【図３】圧電モータの一般的な駆動方式を採用した場合の配線の一例である。
【図４】金属バリがあるステータに、多層圧電素子を従来の方法で固定した圧電モータを模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本件発明の一例を模式的に示す図１及び図２を参照しつつ、本件発明を実施するための形態を詳細に説明する。
【００２０】
本件発明に係る圧電モータの形態：  本件発明に係る圧電モータ１は、図１に示すように、内周円筒部２２を備え、複数の圧電素子３を外周に配置したステータ２と、内周円筒部２２に挿入されたロータ４とを備え、交流電圧源５を用いて、複数の圧電素子３に位相を制御した交流電圧信号を付加してロータ４を駆動軸として回転させる圧電モータである。即ち、電圧でトルクを、周波数で回転数を制御できるため、変速機などの介在メカニズムを必要とせず、位置などの微調整に好適に用いることができるモータである。
【００２１】
本件発明では、前記圧電素子には、略長方形の薄葉圧電セラミックス層３１と接地用内部電極層３２と信号用内部電極層３３とを交互に複数層積層した多層圧電素子３を用いる。この多層圧電素子３を多層セラミックスコンデンサと対比してみると、圧電セラミックスを用いる点で多層セラミックスコンデンサとは異なるものの、構成が類似している。したがって、多層セラミックスコンデンサと同様の製造方法が採用でき、安定した品質の作り込みができると同時に、一つ一つの多層圧電素子の特性確認も容易である。そして、一つの圧電モータに用いる複数の多層圧電素子を、多層圧電素子間の特性バランスを重視して配置すれば、駆動軸の回転が安定しており、トルク変動も小さな圧電モータが得られる。
【００２２】
そして、多層圧電素子３で用いる薄葉圧電セラミックス層３１には、チタン酸バリウムやＰＺＴ等、超音波発信器や歪みゲージ等に用いられている圧電体であれば、要求される特性を勘案して任意に選択して用いることができる。しかし、小型で高トルクの圧電モータとするのであれば、ＰＺＴを用いるのが好ましい。また、内部電極は、ニッケルペーストなどを用い、図１に示すように、接地用内部電極３１は長辺側積層端面の一方の端面から他方の端面に向かって、他方の端面から一定の離間距離を備えるように形成し、信号用内部電極３２も同様にして、他方の端面から一方の端面に向かって形成する。
【００２３】
ところで、多層圧電素子の製造方法は、特許文献２でも採用しているように、貫通ビアホールを形成して同一機能の内部電極同士電気的な導通を取れば、多層圧電素子の側面全てを絶縁体で被覆できるため、接地電極と信号電極との間に起こり得る回路ショートの防止は容易である。しかし、ビアホール方式を採用した場合には、ビアホール径が小さいと露出する内部電極の断面積が小さいため接続信頼性に不安が残り、ビアホール径が大きいとビアホール部分での機械強度の低下及び性能の低下が懸念される。また、加工工程が複雑になり、且つ、工程が多くなることによるコストアップが問題となる。そこで、本件発明では導電性ペーストなどを用い、接地用内部電極層３２同士を電気的に導通させる外部電極である接地電極３４を長辺側積層端面の一方に形成し、信号用内部電極層３３同士を電気的に導通させる外部電極である信号電極３５を長辺側積層端面の他方に形成した多層圧電素子としている。ここで、接地電極３４と信号電極３５とを総称する場合には、単に「外部電極」と称することとする。上述の構成を備える多層圧電素子を製造する具体的な方法は、同様の構成を備える多層セラミックスコンデンサの製造方法をほぼ踏襲できるため、詳細な説明は省略する。
【００２４】
そして、多層圧電素子３を固定するステータ２は、その外周に多層圧電素子３を固定するための略長方形の固定平面部２１を備えている。金属製のステータであれば、金属ブロックから削り出したり、肉厚の金属管の外周を切削加工する等の製作方法を採用できる。削り出し法では、荒削りをした後に放電加工法を用いてステータ２の内周円筒部２１を仕上げれば、仕上げ精度は良好なものとなるが、加工コストは大きくなる。したがって、加工コストを抑制するためには、肉厚の金属管を出発材料として用い、フライス盤等を用いて外周を切削加工し、多層圧電素子３を固定する固定平面部２１を形成することが好ましい。
【００２５】
本件発明に係る圧電モータ１においては、前記ステータ２は、内周円筒部２２の中心軸に対して垂直方向の断面形状が、隣接する固定平面部２１を離間する外周部が、内周円筒部２２の円形と断面円形中心２５を共通とする同心円の一部分である円弧形状２４であり、円弧形状２４の両端と断面円形中心２５とを結ぶ２本の直線がなす中心角２６の角度が５度〜２５度であることが好ましい。ステータ２の外周断面がこのような形状であれば、多層圧電素子３は、その信号電極３４がオーバーハング３６を備え、接地電極３５がオーバーハング３７を備える状態で固定できる。
【００２６】
隣接する固定平面部を離間する部分の断面形状が、内周円筒部２２の同心円形状であれば、肉厚の金属管の表面の一部を切削加工すれば固定平面部２１を形成することができる。即ち、フライス盤などの汎用工作機械を用いれば、容易に所期の形状とすることができる。そして、切削加工しなかった部分が断面円形中心２５に対して中心角２６を備える円弧形状２４となる。この時用いる金属管の材質としては、真鍮など比較的軟質の素材を選択するのが一般的である。軟質材であれば、丸棒に穴明け加工したり、引き抜き加工によって容易に肉厚の金属管が得られるため内外径や肉厚精度に優れたものが得られると同時に、ロータ４を駆動する振動波形も安定したものが得られる。更に、軽量化が優先課題であれば、機械強度の大きい、ステンレススチールなどの金属でステータ２の主要部分を構成し、内周円筒部２２に真鍮のライナーを設けることもできる。
【００２７】
上述では、ステータ２の外周に４個の多層圧電素子３を配置する形態について説明してきた。しかし、ここでは、多層圧電素子３に付加する交流電圧信号の位相制御を変更すれば、配置する多層圧電素子３の個数を変更することもできることを断っておく。例えば、ステータ２の外周に配置する複数の固定平面部２１が略３角形を構成するようにして３個の多層圧電素子３を固定し、交流電圧信号の位相を逐次１２０°ずらして付加することもできる。しかしながら、角数を増やすと円形に近づくため、オーバーハングを形成することが次第に困難になる。したがって、外部電極のオーバーハングを前提とすれば、ステータ２の外周に取り付け可能な多層圧電素子３の数は、６個程度が上限と考えられる。
【００２８】
そして、上述の円弧形状に該当する部分は、多層圧電素子の外部電極をオーバーハングさせたり、接地端子などを形成したりする空間である。例えば、隣接して配置した多層圧電素子の対向する両端面を接地側とすれば、ステータに形成する接続端子は１個を共用できるため、固定平面部２１を広くできるため好ましい。しかし、接地端子を共用可能とする配置であっても、円弧形状２４の中心角２６が５度を下回ると、圧電モータ１の運転中に、オーバーハングしている多層圧電素子の接地電極３４同士が発振状態で接触する機会が増加する。接地電極３４同士の接触では回路ショートが発生することはないが、多層圧電素子３の長辺側積層端部にクラックが入る場合がある。多層圧電素子３の長辺側積層端部にクラックが入ると、内部電極にもクラックが入ることになり、断線と結線とがハンチングする状態となることが多い。その結果、この圧電モータでは、駆動軸の回転が不安定になるため好ましくない。一方、円弧形状２４の中心角２６が２５度を上まわると、固定平面部２１が小さくなり、多層圧電素子３が発振する振動エネルギーを効果的にロータ４に伝えることが困難になり、この圧電モータでは、高トルクが得られにくくなるため好ましくない。以上の観点から、中心角２６は１０度〜２０度とすることがより好ましい。
【００２９】
そして、本件発明に係る圧電モータ１においては、ステータ２に固定した多層圧電素子３は、外部電極が固定平面部２１からオーバーハングした状態で固定平面部２１から離間していることを特徴としている。上述のように、フライス盤などを用いて肉厚金属管を切削加工してステータ２を製作すると、バフ仕上げなどの最終仕上げを施したとしても、固定平面部２１の端部には、図２に示すように、金属バリ２３が残存する場合がある。しかし、金属バリ２３のサイズが０．０５ｍｍ程度より大きければ目視や触診で検出できるため、エメリーペーパー等を用いて補修できる。そして、多層圧電素子３が接地電極３４と信号電極３５とを備える構造では、ステータ２を接地として用いることが多いため、固定平面部２１の信号電極３５を配置する側の端部に金属バリ２３が存在していると、回路ショートが発生する場合があることは、上述の通りである。
【００３０】
そこで、本件発明に係る圧電モータ１においては、前記固定平面部２１の端部と外部電極の端面との最短離間距離が０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍであることを好ましいとしている。この最短離間距離は、接地電極３２又は信号電極３４が固定平面部２１の端部からオーバーハングしている長さでもある。前述のように、金属バリ２３のサイズが０．０５ｍｍ程度よりも大きければ目視や触診で検出してエメリーペーパー等を用いて補修できる。そして、外部電極は、積層端面との密着性を保証するために、多層圧電素子の上下面の一部も覆うようにして、厚さ１０μｍ程度の皮膜を導電性ペースト等を用いて形成する。しかし、このような構成でも、上下面側には１０μｍを超えて導電性ペースト等を塗布することはないのが通常である。そして、上述した外部電極の部分０．０１ｍｍと金属バリ２３の長さ０．０５ｍｍとを合計すると０．０６ｍｍであり、計算上は離間距離が０．０５ｍｍではショートが発生することになる。しかし、切削加工で発生し、検査で発見し得ない金属バリは非常に細いものであり、固定平面部の仕上げ状態を触診検査すれば変形する。そのため、離間距離を０．０５ｍｍとしておけば、サイズが０．０５ｍｍの金属バリ２３の存在を前提としても、図２に示すように、信号電極３５とステータ２との間における回路ショートは回避できる。
【００３１】
そして、回路ショートを回避する観点からは、最短離間距離は大きい方が安全サイドである。しかし、最短離間距離が０．１５ｍｍを超えてオーバーハングさせると、自身の発振の影響などを受け、多層圧電素子３の固定平面部２１の端部に固定している部分にクラックが入りやすくなる。また、多層圧電素子３からステータ２に振動エネルギーを伝達する面積が減少して圧電モータ１のトルクが低下する傾向が見られるようになるため好ましくない。
【００３２】
一方、多層圧電素子３の短辺側の積層端面は、絶縁処理することを前提とすれば、オーバーハングの必要性は小さく、固定平面部２１の領域内に固定しても構わない。そして、狭小な筐体内に圧電モータ１を配置することを考えると、駆動軸方向に多層圧電素子３のオーバーハングがあっては設置が困難になる場合もある。また、短辺側は長辺側に比べてオーバーハング部分にクラックが入りやすいことも明らかである。したがって、多層圧電素子３の短辺側積層端面は絶縁処理し、固定平面部２１の端部とほぼ一致させるのが好ましい。
【００３３】
本件発明に係る圧電モータ１で用いる多層圧電素子３は、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍの薄葉圧電セラミックス層を１０層以上備えるものであることが好ましい。従来の圧電モータでは、厚さ０．２ｍｍ程度の圧電素子に電圧が４０Ｖ程度の位相を制御した交流電圧信号を付加して発振させている。ところが、携帯機器に適用する場合には電池を動力源とするため、現在広汎に用いられているリチウムイオン二次電池の初期放電電圧である４Ｖ程度での動作が要求される。そして、長時間の使用に耐えるためには、動作電圧は３．０Ｖを下回ることが好ましい。即ち、従来の単層圧電素子と同等の特性を発揮するためには、厚さ０．２ｍｍの薄葉圧電セラミックス層３１を１０層とした多層構造や、厚さ０．１５ｍｍの薄葉圧電セラミックス層３１を１５層程度とした多層構造とすることになる。したがって、携帯機器が内蔵する各種二次電池の特性を勘案すれば、本件発明に係る圧電モータは、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍの薄葉圧電セラミックス層３１を１０層以上備える多層圧電素子３を用いるのが好ましい。
【００３４】
本件発明に係るレンズ駆動装置の形態：  本件発明に係るレンズ駆動装置は、本件発明に係る圧電モータ１を用いたことを特徴とするものである。本件発明に係る圧電モータ１は、低電圧駆動が可能であり、トルクの変動が小さいなど、動作特性も安定しているものである。したがって、この圧電モータ１を用いたレンズ駆動装置は、レンズ枠を駆動する際のブレが小さく、撮像用レンズの駆動に用いれば、光学系の光軸を安定して維持しながら移動させることができるレンズ駆動装置である。
【００３５】
そして、本件発明に係るレンズ駆動装置を用いて撮像用レンズが駆動される撮像装置は、撮像用レンズの移動前後における光軸のブレが小さく、位置合わせも精確になされている。即ち、ズーミングを行ったとしてもピントが甘くならず、鮮明な画像が得られる撮像装置である。また、手ぶれ補正用のレンズ駆動では、精確な位置合わせがなされるため、効果的なブレの補正がなされた、鮮明な映像を得ることが可能な撮像装置である。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本件発明に係る圧電モータでは、特性を評価済みの多層圧電素子を、両端に備える外部電極がオーバーハングした状態でステータに固定している。そのため、交流電圧を付加する信号電極と接地側のステータとは回路ショートすることがない。また、複数の多層圧電素子を最適な特性バランスになるように組み合わせて用いることができる。その結果、安定した動作が保証できると同時に、多層圧電素子の能力を最適に発揮させることができるため、発熱が少なく、エネルギー効率の良好な圧電モータとして、光学機器に限らず、各種分野の機器に用いることができる。
【符号の説明】
【００３７】
１、１０１  圧電モータ
２、１０２  ステータ
３、１０３  （多層）圧電素子
４  ロータ
５  交流電圧源
２１  固定平面部
２２  内周円筒部
２３、１２３  金属バリ
２５  断面円形中心
２６  中心角
３１  薄葉圧電セラミックス層
３２  接地用内部電極層
３３  信号用内部電極層
３４  接地電極（外部電極）
３５  信号電極（外部電極）
３６、３７  オーバーハング
【図１】
2010273403.tif 000003
【図２】
2010273403.tif 000004
【図３】
2010273403.tif 000005
【図４】
2010273403.tif 000006