(57)【要約】【課題】製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供すること。【解決手段】基板と、前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、前記基板に連結されたねじりばね部材と、前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする。【選択図】図１
2010002637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、
前記基板に連結されたねじりばね部材と、
前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、
前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、
前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記揺動部材が前記突出片部を有し、
前記光反射面は、前記突出片部には形成されていないことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記ねじりばね部材が、
前記基板に連結された分岐元部分と、
前記分岐元部分から分岐して前記揺動部材に連結された複数の分岐部分と、
を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記分岐元部分と前記分岐部分との曲折部分に丸みをつけたことを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記分岐元部分が直線状をなし、
前記分岐部分が、
前記分岐元部分の長手方向と直交する方向に分岐し、かつ、前記分岐元部分の長手方向の中心線の一側方と、他側方とにそれぞれ少なくとも１つずつ配置されていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の光走査装置。
【請求項６】
複数の前記分岐部分が、
前記分岐元部分の長手方向の中心線に対して対称に配置された一対の前記分岐部分を少なくとも含むことを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記ねじりばね部材及び前記揺動部材が、一枚の板材から一体に形成されており、
平面視で、前記分岐元部分の長手方向の中心線が、前記光反射面の中心を通過し、
平面視で、複数の前記分岐部分が、前記分岐元部分の長手方向の中心線に対して対称に配置された一対の前記分岐部分を少なくとも含むことを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項８】
平面視で、前記分岐元部分の長手方向の中心線が、前記揺動部材の中心からずれた位置を通過していることを特徴とする請求項７に記載の光走査装置。
【請求項９】
前記ねじりばね部材及び前記揺動部材が、一枚の板材から一体に形成されており、
平面視で、前記分岐元部分の長手方向の中心線が、前記揺動部材の中心からずれた位置を通過し、
複数の前記分岐部分が、
前記分岐元部分の長手方向の中心線よりも前記揺動部材の中心側に配置された第１の分岐部分と、前記分岐元部分の長手方向の中心線に対して前記第１の分岐部分と反対側に配置された第２の分岐部分と、を含み、
前記第１の分岐部分と前記揺動部材との連結点から前記中心線までの距離が、前記第２の分岐部分と前記揺動部材との連結点から前記中心線までの距離よりも長いことを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記基板、前記ねじりばね部材及び前記揺動部材が、一枚の板材から一体に形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイ、プリンタ等を含む広範な分野でＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を応用したデバイスの実用化が進んでいる。ＭＥＭＳ技術を応用したデバイスは、エレクトロニクス機器の小型化、低コスト化など高機能化の要望に答え得ることが期待されている。ＭＥＭＳ技術は、基板上に電気回路と共にセンサ、アクチュエーターなどのマイクロ構造体を半導体プロセスによって集積化する技術として発展し、半導体デバイス製造プロセスで形成可能な様々な材料を基板上に生成し、それらを高精度に加工する事を可能とした技術である。
【０００３】
このＭＥＭＳ技術の発展に伴い、様々な機器の高機能化・小型化が図られつつある。例えば、光走査装置を用いて光走査を行う、レーザビームプリンタ、ヘッドマウントディスプレイ等の画像表示装置、バーコードリーダ等の入力デバイスの光取り入れ装置等においても高機能化、小型化がなされ、より一層の小型化が要求されている。これらの要求を満たす光走査装置として、例えば、マイクロマシニング技術を用いて微小ミラーを捩り振動させる構成で光を走査する光走査装置が提案されている。このような、光を透過、反射、あるいは吸収する光学機能を持たせたデバイスは光学ＭＥＭＳと呼ばれている。光学ＭＥＭＳの中でも、例えばスキャナ等の描画機能を持つ反射ミラーとして作製されたＭＥＭＳミラーなどはマイクロミラーデバイスと呼ばれる。
【０００４】
このようなマイクロミラーデバイスを用いた装置として、例えば、特許文献１に開示されてるような光走査装置がある。特許文献１に開示された光走査装置は、圧電体等の駆動源によって基板に板波振動を励起し、この板波振動を利用して基板と捩りばねで連結されたミラー部を揺動させるものである。そして、これらの共振を利用すれば、比較的小さな駆動力であっても大きな振れ角を得られ、少ない駆動エネルギで高速・高変位の駆動を可能としている。しかも、全体の構成が単純であり、かつ、基板、捩りばね及びミラー部を薄板から一体的に形成でき、コスト的な優位性がある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２９３１１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、このような光走査装置を大量生産する場合、各光走査装置に製造上のばらつきが生じ得る。このため、光走査装置間で振動特性が異なる場合があり、駆動条件を共通にすると、目的とする動作が得られない場合がある。例えば、共振周波数で駆動しようとする場合、光走査装置間で製造誤差により共振周波数が異なってしまい、駆動条件を共通にすると、共振しない場合がある。
【０００７】
本発明の目的は、製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、基板と、前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、前記基板に連結されたねじりばね部材と、前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする光走査装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
＜第１実施形態＞
図１（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る光走査装置１００の斜視図、図２は光走査装置１００の動作説明図である。光走査装置１００は、基板１０と、揺動部材２０と、捩りばね部材３０と、駆動素子４０と、支持部材５０と、を備える。基板１０は、その長手方向の一方端部は自由端、他方端部は支持部材５０に固定された固定端となっており、支持部材５０に片持ち支持されている。また、基板１０の自由端側には、基板１０の長手方向と直交する方向に離間した一対のアーム部１１が形成されている。アーム部１１には、突出片部１１ａが設けられている。その詳細は後述する。
【００１１】
揺動部材２０は、平面視で方形状の外形を有しており、その上面には光反射面２１が形成されてミラー部を構成している。揺動部材２０の外形は、例えば、円形、楕円形等としてもよい。光反射面２１は、揺動部材２０の表面に鏡面加工を施して形成してもよく、また、光反射材を揺動部材２０に貼り付けて形成してもよい。光反射材としては、例えば、単結晶Ｓｉウエハ片が挙げられる。なお、揺動部材２０を単結晶Ｓｉウエハから構成した場合、このような鏡面を形成する処理は不要である。これらの部材上に例えば、反射膜を真空蒸着法により成膜する事などにより、光反射面２１を形成できる。揺動部材２０には、突出片部２０ａが設けられている。詳細は後述する。
【００１２】
捩りばね部材３０は、揺動部材２０の各側部にそれぞれ１つずつ設けられており、基板１０の長手方向と直交する方向に延設されている。捩りばね部材３０はその一端が基板１０のアーム部１１に他端が揺動部材２０にそれぞれ連結されており、揺動部材２０とアーム部１１とを連結する梁を形成している。
【００１３】
本実施形態の場合、基板１０、揺動部材２０及び捩りばね部材３０は、一枚の板材から一体に形成されている。板材としては、金属薄板、例えば、厚さ数十から数百μｍのステンレス薄板（ＳＵＳ３０４）を挙げることができる。ＳＵＳ３０４は機械的剛性に優れ、降伏応力が比較的大きいことから好適な材料の一つである。また、金属薄板を用いた場合、プレス加工により金属薄板を方形状に打ち抜くと共に開口部１２、１２を打ち抜くことで、簡易に基板１０、揺動部材２０及び捩りばね部材３０を一体に備える部材を形成することができる。その際、金属薄板の表面に鏡面を形成し反射膜を生成しておけば、光反射面２１を予め形成できる。基板１０、揺動部材２０及び捩りばね部材３０は、また、Ｓｉウエハを用い、レジスト塗布とエッチングにより微細加工を行なう、いわゆるフォトリソプロセスからも一体に形成できるが、金属薄板をプレス加工する方が簡易である。
【００１４】
駆動素子４０は、基板１０上に設けられており、その振動により基板１０に板波振動を励起する。駆動素子４０は、本実施形態の場合、圧電体である。圧電体は、基板１０上に直接圧電膜を生成してもよいし、別途の圧電体を基板１０上に接着して固定してもよい。駆動素子４０は、圧電体以外にも磁性体等も採用可能である。
【００１５】
次に、揺動部材２０の揺動動作について図２を参照して説明する。圧電体である駆動素子４０に対して、交流電圧を印加すると、駆動素子４０が収縮を繰り返し、これにより基板１０に板波振動が励起される。基板１０の板波振動は、捩りばね部材３０に連結された揺動部材２０に対して回転モーメントを与える力を作用させることができ、捩りばね部材３０が弾性的に捩れる。この結果、捩りばね部材３０に捩り振動が励起されて、捩りばね部材３０を揺動中心軸として揺動部材２０が揺動することになる。そして、これらの系の共振を利用すれば、比較的小さな駆動力であっても大きな揺動部材２０の振れ角を得られ、少ない電力で高速・高変位の駆動が可能となる。
【００１６】
しかして、不図示の光源からレーザ光を光反射面２１へ投射し、走査対象物へ反射させることで、走査対象物のレーザ光の走査を行うことができる。
【００１７】
次に、光走査装置１００の振動特性について説明する。基板１０、揺動部材２０及び捩りばね部材３０の振動特性は、その形状に大きな影響を受ける。例えば、揺動部材２０の慣性モーメントをＩ、捩りばね部材３０のばね定数をｋとすると、揺動部材２０と捩りばね部材３０とからなる振動モデルの共振周波数ｆは、
ｆ＝２π√（ｋ／Ｉ）
で表される。共振周波数は、揺動部材２０の慣性モーメントＩや捩りばね部材３０のばね定数ｋに大きく依存しており、これらは部材の物性のみならず、形状にも大きく依存する。
【００１８】
一方、光走査装置１００を大量生産する場合、基板１０、揺動部材２０及び捩りばね部材３０の形状等には製造上の誤差が存在する。このため、光走査装置１００間で振動特性が異なる場合があり、駆動条件を共通にすると、目的とする動作が得られない場合がある。例えば、共振周波数で駆動しようとする場合、光走査装置１００間で製造誤差により共振周波数が異なってしまい、駆動条件を共通にすると、共振しない場合がある。
【００１９】
このような製造誤差による振動特性の相違を解消するため、本実施形態では、トリミング用の突出片部１１ａ、２０ａを設けている。そして、製造誤差は、突出片部１１ａ、２０ａをトリミングすることにより較正する。突出片部１１ａ、２０ａは、基板１０、揺動部材２０と一体に形成されている。本実施形態では、基板１０及び揺動部材２０の双方に突出片部を設けたが、いずれか一方でもよい。
【００２０】
本実施形態の場合、突出片部１１ａは、基板１０の自由端に設けられており、アーム部１１の先端から突出するように形成されている。突出片部２０ａは、捩りばね部材３０から最も遠い、揺動部材２０の長手方向両端部から突出するように設けられている。なお、光反射面２０ａは突出片部２０ａに形成されないようにしている。これは、突出片部２０ａをトリミングした時に、光反射面２０ａが損傷しないようにしたものである。
【００２１】
突出片部１１ａ、２０ａは例えば、レーザにより局所的に破断したり、蒸発させることでトリミングする。図１（Ｂ）はトリミング後の光走査装置１００の斜視図であり、突出片部１１ａ'、２０ａ'に対してトリミングを行っている。また、このようなトリミングを行う場合、トリミング後に回転等の揺動のバランスを崩さないように、可能な限り、各突出片部２０ａは、均等に加工することが好ましい。各突出片部１１ａについても同様である。
【００２２】
このようなトリミングは、光走査装置１００の共振周波数の調整等を目的として行うことができる。つまり、製造誤差により光走査装置１００毎に共振周波数が異なる場合が生じ得るため、共振周波数を揃えて駆動素子４０の駆動条件をなるべく共通化するようにする。共振周波数の調整を目的とした場合、本実施形態のように、突出片部１１ａは自由端側に、突出片部２０ａは、捩りばね部材３０から最も遠い位置に設けることが望ましい。少量のトリミングで共振周波数を調整し易いからである。例えば、突出片部２０ａを捩りばね部材３０から最も遠い位置に設けると、揺動部材２０の慣性モーメントに対する影響が大きくなるので、少量のトリミングで共振周波数を調整し易くなる。
【００２３】
トリミングは、例えば、基板１０や、揺動部材２０を大型化しておいて、これらに直接施すことも可能である。しかし、そうすると、光走査装置１００全体が大きくなる等、問題が生じる。本実施形態のように、基板１０や揺動部材２０の一部を突出させてトリミングに用いることで、全体の大型化を招くことなく、製造誤差の較正ができる。
【００２４】
そして、上記第１及び第２実施形態の光走査装置１００として、本実施形態の光走査装置１００を用いることで、製造誤差については、出荷前に較正しておき、出荷後の使用時の較正については、上記第１及び第２実施形態の制御で対応することができる。
【００２５】
なお、本実施形態では、突出片部１１ａ、２０ａの外形を直方体形状としたが、半球状としたり、櫛歯状にする等、他の外形も採用可能である。また、突出片部１１ａ、２０ａの位置も任意に選択できる。
【００２６】
＜第２実施形態＞
揺動部材２０には、高速揺動、高剛性という性能が要求される。揺動部材２０の剛性が不足すると、揺動時に慣性力により撓み（以下、動撓みという）が生じる場合がある。動撓みが生じると光反射面２１も撓むことから、光反射面２１で反射される反射光を歪めてしまい、光反射面２１の光学特性を低下させる。
【００２７】
動撓みによる撓み量は、揺動部材２０のサイズや変位角、駆動周波数、更には揺動部材２０の物性値である密度やヤング率などによって決定される。通常、揺動部材２０のサイズや変位角、駆動周波数などは、光走査装置１００の用途によって求められる仕様値が決まってしまう為、これらを調整する事で動撓みを低減する事には限界がある。
【００２８】
一方、本実施形態では、揺動部材２０にトリミング用の突出片部２０ａを設けており、共振周波数の調整の点では、上記の通り、捩りばね部材３０から最も遠い位置に設けることが望ましい。しかし、その結果、揺動部材２０の慣性モーメントが増大して、動撓みが生じ易くなる。
【００２９】
本実施形態は、捩りばね部材３０を分岐することで、揺動部材２０の支持剛性を高めるものである。図３は本発明の第２実施形態に係る光走査装置１００の斜視図である。上記第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明を割愛し、異なる構成のみ説明する。
【００３０】
本実施形態の捩りばね部材３０は、基板１０に連結された分岐元部分３１と、分岐元部分３１から分岐して揺動部材２０に連結された複数の分岐部分３２と、を有している。図４（Ａ）は捩りばね部材３０の平面視図（静止時の基板１０の法線方向から見た図）である。
【００３１】
分岐元部分３１は、基板１０の長手方向と直交する方向に直線状に延設されており、揺動部材２０の揺動中心軸となる。分岐部分３２は、分岐元部分３１と交差する方向に直線状に延設されており、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬの一側方と、他側方とにそれぞれ１つずつ、合計２つ配置されている。２つの分岐部分３２は、分岐元部分３１から分岐元部分３１の長手方向と直交する方向に分岐しており、各分岐部分３２の揺動部材２０との連結端は中心線ＣＬと直交する方向で、揺動部材２０の面方向に互いに離間している。本実施形態の場合、分岐部分３２は、中心線ＣＬに対称に配置され、捩りばね部材３０は平面視でＹ字型をなしている。また、中心線ＣＬ（突出片部２０ａのトリミングが無い設計上の形状での中心線。以下、同じ。）は揺動部材２０の長手方向の長さをＬとすると、その半分の位置（突出片部２０ａのトリミングが無い設計上の形状で半分の位置）を通過しており、したがって、平面視で揺動部材２０の中心（重心）を通っている。なお、揺動部材２０の形状は、平面視で中心線ＣＬに対して対称である。また、同図の例の場合、光反射面２１は揺動部材２０の長手方向全体に渡って形成されるため、中心線ＣＬは平面視で光反射面２１の中心を通過している。このように捩りばね部材３０を分岐することで、揺動部材２０の支持剛性を高めることができ、動撓みを生じ難くすることができる。
【００３２】
捩りばね部材３０は図３及び図４（Ａ）に示した形状以外に、種々の形状を採用できる。図４（Ｂ）乃至（Ｅ）及び図５（Ａ）及び（Ｂ）は捩りばね部材３０の他の形状例を示す平面視図である。
【００３３】
図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の例において、分岐元部分３１と分岐部分３２との曲折部分（分岐点）に半径Ｒの丸みをつけたものである。本実施形態のように捩りばね部材３０を分岐させた構成の場合、曲折部分に応力が集中する可能性がある。図４（Ｂ）の例では、曲折部分に丸みをつけることで、応力集中を回避するようにしている。なお、図４（Ｂ）の例では、分岐部分３２と揺動部材２０との連結部位においても半径Ｒの丸みを形成している。これも連結部位に応力が集中することを回避するものである。なお、図には示していないが、分岐元部分３１と基板１０（アーム部１１）との連結部位においても丸みを形成することが望ましい。
【００３４】
図４（Ｃ）及び（Ｄ）の例は、分岐部分３２を弧状にしたものである。このように分岐部分３２は湾曲していてもよい。
【００３５】
また、図４（Ａ）乃至（Ｄ）の例では、分岐部分３２を、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬの一側方と、他側方とにそれぞれ１つずつ配置しているが、２つ以上配置してもよい。図４（Ｅ）の例は、分岐部分３２を、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬの一側方と、他側方とにそれぞれ２つずつ配置し、合計４つ配置した例である。図４（Ｅ）の例においても、分岐部分３２は、中心線ＣＬに対称に配置されている。分岐部分３２の数を増やすと、揺動部材２０の支持剛性を更に高められる。
【００３６】
図４（Ａ）乃至（Ｅ）の例では、分岐部分３２を、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬの一側方と、他側方とにそれぞれ同じ数だけ配置したが、異なっていてもよく、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬの一側方と、他側方とにそれぞれ少なくとも一つずつ分岐部分３２を設ければよい。特に、平面視で中心線ＣＬが揺動部材２０の中心からずれた位置を通過している場合には、分岐部分３２の数を異ならせるとよい。
【００３７】
図５（Ａ）の例は、平面視で中心線ＣＬが揺動部材２０の中心からずれた位置を通過している例である。中心線ＣＬＧは、揺動部材２０の長手方向の長さの半分の位置を通る線であり、中心線ＣＬは中心線ＣＬＧとずれている。この場合、揺動部材２０の揺動中心軸は、揺動部材２０の重心からずれた位置となる。
【００３８】
捩りばね部材３０は、分岐元部分３１と、２つの分岐部分３２ａと、１つの分岐部分３２ｂと、から構成されている。一方の分岐部分３２ａ（同図左側）と、分岐部分３２ｂとは、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬよりも揺動部材２０の中心側（中心線ＣＬＧ側）に配置され、他方の分岐部分３２ａ（同図右側）は、中心線ＣＬに対して反対側に配置されている。
【００３９】
そして、分岐部分３２ｂと揺動部材２０の連結点から中心線ＣＬまでの距離Ｄ１が、他方の分岐部分３２ａと揺動部材２０の連結点から中心線ＣＬまでの距離Ｄ２よりも、長くなっている。２つの分岐部分３２ａは中心線ＣＬに対して対称である。
【００４０】
図５（Ａ）の例において、分岐部分３２ａのみの構成とすると、中心線ＣＬは中心線ＣＬＧとがずれているため、揺動部材２０の動撓みが、中心線ＣＬＧ側、つまり、重心側において顕著に生じる可能性がある。図５（Ａ）の例では、分岐部分３２ｂを設けたことにより、揺動部材２０の重心側での支持剛性を高めることができる。
【００４１】
捩りばね部材３０を分岐させることによる、支持剛性の向上は、光反射面２１の歪み防止にある。したがって、光反射面２１が揺動部材２０の一部に形成されている場合には、その部分の支持剛性を向上できれば足りる。
【００４２】
図５（Ｂ）は、光反射面２１が揺動部材２０の長手方向全体に渡って形成されておらず、揺動部材２０の中心線ＣＬＧよりも同図で右に偏って形成されている。光反射面２１の長手方向の長さをＬ'とすると、分岐元部分３１の長手方向の中心線ＣＬは、平面視で光反射面２１の中心を通過している一方、図５（Ａ）の例と同様に、揺動部材２０の中心からずれた位置を通過している例である。
【００４３】
一対の分岐部分３２は、平面視で中心線ＣＬに対して対称に配置されている。図５（Ｂ）の例の場合、揺動部材２０の動撓みが、中心線ＣＬＧ側、つまり、重心側において顕著に生じる可能性があるが、光反射面２１の周囲については分岐部分３２により支持剛性が高められ、光反射面２１の歪みを防止できる。なお、図５（Ｂ）の例においても、図５（Ａ）の分岐部分３２ｂのような分岐部分を増設することは無論可能であり、中心線ＣＬが平面視で光反射面２１の中心を通過し、分岐部分が、中心線ＣＬに対して対称な一対の分岐部分を少なくとも含めばよい。
【００４４】
＜第３実施形態＞
本発明の光走査装置は、例えば、レーザビームプリンタ等の画像形成装置、ヘッドマウントディスプレイ等の画像表示装置、バーコードリーダ等の入力装置等の各種装置に適用可能である。また、本発明の光走査装置により２次元スキャナを構成した平板ディスプレイや、読取センサに対する原稿走査用光スキャナへの応用も可能である。
【００４５】
また、本発明の光走査装置を上記のような各種の装置に適用する場合、光走査装置の配置方向に制約はないが、基板（１０）の静的な撓みを考慮し、基板の長手方向を、重力方向となるように配置することが、より好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る光走査装置１００の斜視図、（Ｂ）はトリミング後の光走査装置１００の斜視図である。
【図２】光走査装置１００の動作説明図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る光走査装置１００の斜視図である。
【図４】（Ａ）乃至（Ｅ）は捩りばね部材３０の形状例を示す平面視図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は捩りばね部材３０の形状例を示す平面視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１００  光走査装置
１０  基板
１１ａ、２０ａ  突出片部
２０  揺動部材
３０  捩りばね部材
【図１】
2010002637.tif 000003
【図２】
2010002637.tif 000004
【図３】
2010002637.tif 000005
【図４】
2010002637.tif 000006
【図５】
2010002637.tif 000007