(57)【要約】【課題】高性能化を達成できる複数の溝を有する水晶振動子の生産性に優れた製造方法を提供する。また小型の水晶振動子の生産性に優れた製造方法を提供する。【解決手段】基部と振動脚と振動脚上に並列して形成される複数の溝を有する振動片と、振動片上に形成される電極を備える水晶振動子の製造方法であって、振動片上に電極膜を形成し、さらに電極膜上に電着法によって感光可溶性材料からなるレジスト層を形成する工程と、振動脚上に並列して形成される複数の溝のうちの最も外側に位置する２つの溝のうちの一方側の溝の外側側壁から他方側の溝の外側側壁までの間隔よりも狭く、且つ、一方側の溝の内側側壁から他方側の溝の内側側壁までの間隔よりも広い電極パターンを有する露光マスクでレジスト層を露光する工程を有する。【選択図】図１
2010109802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶からなり、基部と該基部から突出して形成される振動脚と該振動脚上に並列して形成される複数の溝を有する振動片と、該振動片上に形成される電極を備える水晶振動子の製造方法であって、
前記振動片上に電極膜を形成し、さらに該電極膜上に電着法によって感光可溶性材料からなるレジスト層を形成する工程と、
前記振動脚上に並列して形成される前記複数の溝のうちの最も外側に位置する２つの溝のうちの一方側の溝の外側側壁から他方側の溝の外側側壁までの間隔よりも狭く、且つ、前記一方側の溝の内側側壁から前記他方側の溝の内側側壁までの間隔よりも広い電極パターンを有する露光マスクで前記レジスト層を露光する工程と、
前記レジスト層を現像し、感光部分を溶解させ除去する工程と、
前記電極膜をエッチングして電極を形成する工程を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【請求項２】
前記レジスト層を露光する工程において、振動片の外形側壁と溝の外側側壁との間にある溝形成面上のレジスト層はすべて感光し、溝内部のレジスト層は感光しないように露光を行うことを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項３】
前記レジスト層を露光する工程において、前記溝内部がレジスト層によってすべて埋まっていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項４】
前記振動片の溝形成面上のレジスト層の厚みが溝幅の１／２以上であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項５】
前記レジスト層を露光する工程において、振動片の溝形成面に対して４０度〜６０度の方向から光を照射して露光することを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動脚に複数の溝を有する水晶振動子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やデジタルカメラ等の携帯型電子機器の普及に伴い、これら携帯型電子機器に用いるための小型で高い信頼性を有する水晶振動子の要求が急激に高まってきている。
【０００３】
図７は従来の水晶振動子の製造方法によって製造した水晶振動子の斜視図である。一般に水晶振動子１２は、水晶からなる振動片１００と、その振動片１００上に所定の形状で形成される複数の電極（第１電極２１０、第２電極２２０）とで構成されている。
【０００４】
そして、特に小型で高い信頼性を得ることを目的とした水晶振動子１２では、図７に示すように、基部１１０から突出して形成される複数本の振動脚１２０（図７では２本の振動脚１２０）に溝１３０を形成した振動片１００を用いる場合が多い。各振動脚１２０に溝１３０を形成することで、クリスタルインピーダンス値（ＣＩ値）を低くすることができ、その結果、小型化されても優れた振動特性を得ることができるからである。
【０００５】
さらに近年では、複数の溝を細く深く形成することによって、よりＣＩ値を低減させられることもわかってきており、振動脚に複数の溝を並列に形成した水晶振動子の製造も試みられている。
【０００６】
このような振動脚１２０に溝１３０を有する振動片１００を用いた水晶振動子１２を製造するにあたり、従来は以下に示すような製造方法が使われていた（例えば特許文献１）。
【０００７】
図８は、従来の水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。従来の製造方法では、まず溝１３０が形成された振動片１００上に導電性材料からなる電極膜２５０をスパッタリング法や蒸着法によって形成する。さらに電極膜２５０上に、スプレーコーティング法や静電塗布法により、表面も溝内部も均一の厚さになるようにしてレジスト層３５０を形成する。
【０００８】
次に、図８（ａ）に示すように、露光マスク４００によって、溝１３０の両脇の壁の頂上部の一部に光５００を照射し、レジスト層３５０を露光する。
【０００９】
次に、図８（ｂ）に示すように、レジスト層３５０を現像し、レジストパターン３００を形成する。なおこの時、図８（ａ）の工程で露光された部分は除去されて、下層の電極膜２５０が露出することになる。
【００１０】
その後、レジストパターン３００をマスクとして利用し、その下層の電極膜２５０をエッチングすると、図８（ｃ）に示すように、レジストパターン３００の下に第１電極２１０、第２電極２２０が形成される。
【００１１】
最後にレジストパターン３００を剥離液で除去すると、図８（ｄ）に示すように、溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）の一部で分離された形状の第１電極２１０、第２電極２２０を有する水晶振動子１２が完成する。
【００１２】
またこれとは別の方法として、溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）には第１電
極２１０、第２電極２２０とも形成しない構成の水晶振動子を製造する方法も提案されている（例えば特許文献２）。以下にその製造方法を説明する。
【００１３】
図９は従来の焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。この製造方法では、まず溝１３０が形成された振動片１００上に導電性材料からなる電極膜２５０をスパッタリング法や蒸着法によって形成する。さらに電極膜２５０上に、スプレーコーティング法や静電塗布法により、表面も溝内部も均一の厚さになるようにしてレジスト層３５０を形成する。
【００１４】
次に、図９（ａ）に示すように、所定の焦点深度ｆに調整された光５００を溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）付近に照射し、その焦点深度ｆの領域だけレジスト層３５０を露光する。
【００１５】
次に、図９（ｂ）に示すように、レジスト層３５０を現像し、レジストパターン３００を形成する。なおこの時、図９（ａ）の工程で露光された部分は除去されて、下層の電極膜２５０が露出することになる。
【００１６】
その後、レジストパターン３００をマスクとして利用し、その下層の電極膜２５０をエッチングすると、図９（ｃ）に示すように、レジストパターン３００の下に第１電極２１０、第２電極２２０が形成される。
【００１７】
最後にレジストパターン３００を剥離液で除去すると、図９（ｄ）に示すように、溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）には第１電極２１０、第２電極２２０とも形成されない構成の水晶振動子が完成する。
【００１８】
【特許文献１】特許第３８９３８９２号公報（第３頁、図７）
【特許文献２】特開２００８−１１８２５４号公報（第３頁、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
図８、図９に示す従来の溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）の一部で第１電極２１０、第２電極２２０を分離する水晶振動子の製造方法の場合、第１電極２１０、第２電極２２０の間隔が狭いため、製造過程で発生した導電性を有する粉塵が、第１電極２１０、第２電極２２０の間に付着し、その結果、短絡不良が発生してしまうことが多々あった。
【００２０】
また、水晶振動子が小型化されればされるほど溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）の面積は狭くなるので、第１電極２１０と第２電極２２０の間を分離するパターニングがより難しくなり、生産性が悪くなるという欠点も有している。
【００２１】
従来の焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する水晶振動子の製造方法の場合、溝１３０の両脇の壁の頂上部（溝形成面Ａ）には第１電極２１０、第２電極２２０とも形成されないので、上述のような導電性を有する粉塵による短絡不良や、小型化による生産性の悪化といった課題に対しては有効であるが、以下に示すような欠点を有している。
【００２２】
図１０は従来の焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する水晶振動子の製造方法を利用して製造した複数の溝を有する振動脚の断面図である。近年では、ＣＩ値を低減させてより高性能化を図るために、振動片１００の振動脚１２０に複数の溝１３０を細く深く
並列に形成する構造の水晶振動子１２が提案されている。こうした複数の溝１３０を有する水晶振動子１２を、従来の焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する製造方法で製造すると、図１０に示すように、本来は繋がっていなくてはならない第１電極２１０（溝内に形成される電極）が、溝１３０と溝１３０の間の壁の頂上面（溝形成面Ａ）で断線してしまう。よって、複数の溝１３０を有する水晶振動子１２には焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する製造方法は使用することはできないという問題があった。
【００２３】
本発明の目的は、高性能化を達成できる複数の溝を有する水晶振動子の生産性に優れた製造方法を提供することにある。また小型の水晶振動子の生産性に優れた製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記課題を解決するために、本発明の水晶振動子の製造方法では、水晶からなり、基部と基部から突出して形成される振動脚とその振動脚上に並列して形成される複数の溝を有する振動片と、その振動片上に形成される電極を備える水晶振動子の製造方法であって、
記振動片上に電極膜を形成し、さらに電極膜上に電着法によって感光可溶性材料からなるレジスト層を形成する工程と、
振動脚上に並列して形成される複数の溝のうちの最も外側に位置する２つの溝のうちの一方側の溝の外側側壁から他方側の溝の外側側壁までの間隔よりも狭く、且つ、一方側の溝の内側側壁から他方側の溝の内側側壁までの間隔よりも広い電極パターンを有する露光マスクでレジスト層を露光する工程と、
レジスト層を現像し、感光部分を溶解させ除去する工程と、
電極膜をエッチングして電極を形成する工程を有することを特徴としている。
【００２５】
さらに、レジスト層を露光する工程において、振動片の外形側壁と溝の外側側壁との間にある溝形成面上のレジスト層はすべて感光し、溝内部のレジスト層は感光しないように露光を行うのが望ましい。
【００２６】
さらに、レジスト層を露光する工程において、溝内部がレジスト層によってすべて埋まっているのが望ましい。
【００２７】
さらに、振動片の溝形成面上のレジスト層の厚みが溝幅の１／２以上であるのが望ましい。
【００２８】
また、レジスト層を露光する工程において、振動片の溝形成面に対して４０度〜６０度の方向から光を照射して露光するのが望ましい。
【００２９】
（作用）
本発明の上記手段では、複数の溝のうちの最も外側に位置する２つの溝のうちの一方側の溝の外側側壁から他方側の溝の外側側壁までの間隔よりも狭く、且つ、一方側の溝の内側側壁から他方側の溝の内側側壁までの間隔よりも広い電極パターンを有する露光マスクでレジスト層を露光する点が大きな特徴である。
【００３０】
この露光マスクを用いることにより、溝形成面Ａのうち、振動片の外形側壁と溝の外側側壁との間にある壁の頂上面のレジスト層はすべて感光され、溝と溝の間にある壁の頂上面のレジスト層は感光されない。
【００３１】
さらに、溝内部がレジスト層によってすべて埋まっていれば、レジスト層で光が吸収されて溝の奥深くまで光が届くことはない。よって、溝内部のレジスト層は感光されない。
【００３２】
以上により、本発明の製造方法における露光工程では、振動片の外形側壁と溝の外側側壁との間にある壁の頂上面だけが感光され、その他の領域、すなわち溝内部や溝と溝の間の壁の頂上面は感光されないこととなる。
【００３３】
よって、この後にレジスト層を現像して感光部分を溶解させ除去し、さらに電極膜をエッチングすれば、振動片の外形側壁と溝の外側側壁との間にある壁の頂上面に電極を形成することなく、溝内部と、溝と溝の間の壁の頂上面には電極を形成することができる。
【００３４】
なお、等方的にレジストが成膜される特徴を有する電着法を用いて、溝幅の１／２以上の厚みでレジスト層を形成すれば、容易に溝内部をレジスト層によって埋めることができる。
【００３５】
また本発明では、レジスト層を露光する工程において、振動片の溝形成面に対して斜め方向から光を照射することが好ましい。そうすることによって、従来の焦点深度範囲を調整して露光する製造方法ではパターニングが不可能であった振動片の外形側壁にも、電極を所望の形状でパターニングすることが可能である。なお、斜めからの露光角度は溝形成面に対しても外形側壁に対しても光が反射しないように考慮すると、４０度〜６０度の角度が適している。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、小型で、高性能で、且つ生産性に優れた複数の溝を有する水晶振動子の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
（第１の実施形態）
以下、図１から図３に基づいて第１の実施形態における水晶振動子の製造方法について説明する。図２は本実施形態の水晶振動子の製造方法によって製造した水晶振動子の斜視図および要部断面図である。図２（ａ）は水晶振動子の斜視図である。本実施形態の水晶振動子１０は、図２（ａ）に示すように、基部１１０とその基部１１０から突出する２本の振動脚１２１、１２２を有する水晶からなる振動片１００と、その振動片１００上に所定の形状で形成される第１電極２１０、第２電極２２０とで構成されている。なお、本実施形態では２つの電極（第１電極２１０、第２電極２２０）を有する水晶振動子１０を一例としてあげたが、例えばジャイロセンサー等に用いられる水晶振動子１０のように３つ以上の電極を有する場合においても、本発明の水晶振動子の製造方法は適用可能である。
【００３８】
また、本実施形態の水晶振動子１０では、振動片１００に備わる２本の振動脚１２１、１２２に、振動脚１２１、１２２の長手方向に沿って並列に、複数の溝１３０が形成されている。一般に、水晶のエッチング加工では細い溝を加工すると、深く、且つ垂直に切り立った内壁を有する溝を形成できることが知られている。そうした形状の細溝（溝１３０）を振動脚１２１、１２２のそれぞれに複数本並列に形成すると、電界効率を向上させることができ、その結果クリスタルインピーダンス値（ＣＩ値）を低くすることができるので、図２に示す構造の水晶振動子１０は小型化されても優れた振動特性を得ることができる。
【００３９】
図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるＢ−Ｂ断面を示した図である。振動片１００の各振動脚１２１、１２２には、表側の溝形成面Ａと裏側の溝形成面Ａにそれぞれ３本ずつ溝１３０が加工されている。
【００４０】
第１電極２１０と第２電極２２０は、振動脚１２１と振動脚１２２でそれぞれ異なったパターンで形成されている。詳しくは、振動脚１２１では溝１３０の内壁に第１電極２１
０が形成され、外形側壁１０１に第２電極２２０が形成されており、一方、振動脚１２２では溝１３０の内壁に第２電極２２０が形成され、外形側壁１０１に第１電極２１０が形成されている。また、溝１３０の内壁に形成される電極（振動脚１２１では第１電極２１０、振動脚１２２では第２電極２２０）は各溝１３０の間の壁の頂上部（溝形成面Ａ）で接続されている。
【００４１】
なお本実施形態の水晶振動子の製造方法では、複数の溝１３０のうちの最も外側に位置する２つの溝１３０の外形側壁１０１側の内壁を外側側壁１３１と称し、外側側壁１３１に対向する内側の内壁を内側側壁１３２と称している。
【００４２】
図１は本実施形態の水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。図２に示す本実施形態の水晶振動子１０は、以下に示す本発明の製造方法によって製造することができる。
【００４３】
まずエッチング法によって外形形状及び溝１３０の形状が加工された振動片１００上に、導電性材料、例えば金（Ａｕ）や銀（Ａｇ）からなる電極膜２５０をスパッタリング法や蒸着法によって形成する。
【００４４】
さらにその電極膜２５０上に、感光部分が除去される感光可溶性材料からなるレジスト層３５０を、電着法によって形成する。電着法を用いると、いかなる場所にも同じように塗布することができるので、細く深い溝１３０の内部にも容易にレジスト層３５０を形成することができる。
【００４５】
また等方的にレジストが成膜される特徴を有する電着法を用いた場合、溝形成面Ａ上に塗布される厚みと溝１３０の内壁上に塗布される厚みが同じになるという効果を有している。これを利用し、溝形成面Ａ上に塗布されるレジスト層３５０の厚みを溝１３０の溝幅の１／２以上の厚みになるように形成すれば、溝１３０の内部では両方の内壁に同じ厚みのレジスト層３５０が形成され、その結果、図１（ａ）に示すように、溝１３０の内部をレジスト層３５０で完全に埋めることができる。本発明の水晶振動子の製造方法では、このように電鋳法を用いて、溝１３０の内部を埋める点が大きな特徴の一つである。
【００４６】
次に、図１（ａ）に示すように、遮光性を有する電極パターン４２０が描画された露光マスク４００を所定の位置に位置合わせして光５００を照射し、レジスト層３５０の所定の部分を露光する。なお本発明で用いる電極パターン４２０のパターン幅Ｐ１は、最も外側に位置する２つの溝１３０のうちの一方側の溝１３０の外側側壁１３１から他方側の溝１３０の外側側壁１３１までの間隔Ｄ１よりも狭く、且つ、一方側の溝１３０の内側側壁１３２から他方側の溝１３０の内側側壁１３２までの間隔Ｄ２よりも広くなるように形成されている。このような電極パターン４２０を用いることで、少なくとも溝１３０と溝１３０の間を仕切る壁の頂上部は露光されることはない。またその一方で、外形側壁１０１と溝１３０の間の壁の頂上部は完全に露光されることとなる。
【００４７】
その後、レジスト層３５０を現像すると、図１（ｂ）に示すように、露光された外形側壁１０１と溝１３０の間の壁の頂上部にあったレジスト層３５０が除去され、レジストパターン３００が形成される。なお先の露光工程（図１（ａ））において、最も外側に位置する２つの溝１３０にも、少なからず光５００が照射されるが、溝１３０の内部はレジスト層３５０が奥深くまで埋まっており、光５００はこのレジスト層３５０を通過する間に吸収されてしまうので、溝１３０の奥深くまで光５００が届くことはない。よって、図１（ｂ）に示すように、溝１３０の内部は現像されずにレジストパターン３００が残ることとなる。
【００４８】
次に、レジストパターン３００をマスクとして利用し、その下層の電極膜２５０をエッチングすると、図１（ｃ）に示すように、レジストパターン３００の下に第１電極２１０、第２電極２２０が形成される。
【００４９】
最後に、レジストパターン３００を剥離液で除去すると、図２（ｂ）に示すような、各溝１３０の内壁と各溝１３０の間の壁の頂上部（溝形成面Ａ）に連続して形成される第１電極２１０と、外形側壁１０１に形成される第２電極２２０が完成する。
【００５０】
本製造方法によって製造された水晶振動子１０は、第１電極２１０と第２電極２２０を外形側壁１０１と溝１３０の間の壁の頂上部（溝形成面Ａ）全体を使って分離するため、導電性を有する粉塵が多少付着しても短絡不良になる危険性は少ない。また水晶振動子１０が小型化されても確実に第１電極２１０と第２電極２２０を分離することができるので生産性にも優れている。
【００５１】
また各溝１３０の間の壁の頂上部（溝形成面Ａ）にも確実に電極が形成されるので断線不良の危険性も少ない。
【００５２】
さらに本実施形態の水晶振動子の製造方法は、以下に示すような利点も有している。
【００５３】
図３は本実施形態の水晶振動子の製造方法において、露光マスクが位置ずれした時の図である。例えば、仮に図３（ａ）のように、露光工程時に露光マスク４００が所定の位置よりもずれて露光されたとしても、間隔Ｄ１より内側に、且つ間隔Ｄ２よりも外側に電極パターン４２０のパターン幅Ｐ１が位置していれば、現像工程では図３（ｂ）に示すようにレジストパターン３００が形成され、その結果、図３（ｃ）の電極膜２５０のエッチング工程では、図２（ｂ）と同じ形状の第１電極２１０と第２電極２２０が形成される。このように、本実施形態の水晶振動子の製造方法では露光マスクが多少位置ずれを起こしたとしても、同じ形状で電極を形成できる点が特徴であり利点である。
【００５４】
なお、一般に広く利用されているコンタクト露光装置を用いれば、数μｍ程度の位置精度で露光マスク４００を位置合わせすることができるので、電極パターン４２０のパターン幅Ｐ２は数μｍ程度の許容量を見込んで設計するのが望ましい。
【００５５】
（第２の実施形態）
図４から図６に基づいて第２の実施形態における水晶振動子の製造方法について説明する。図６は本実施形態の水晶振動子の製造方法によって製造した側面に配線電極を有する水晶振動子の斜視図および要部断面図である。図６（ａ）は水晶振動子１１の斜視図である。また、図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるＢ−Ｂ断面を示した図であり、図６（ｃ）は、図６（ａ）におけるＣ−Ｃ断面を示した図である。
【００５６】
本実施形態の水晶振動子１１は、図６（ａ）に示すように、基部１１０とその基部１１０から突出する２本の振動脚１２１、１２２を有する水晶からなる振動片１００と、その振動片１００上に所定の形状で形成される第１電極２１０、第２電極２２０とで構成されている。
【００５７】
また第１電極２１０、第２電極２２０の基部１１０側には、細長い形状でパターン化された配線電極２１１、２２１が形成されている。このように基部１１０近傍を細い配線電極２１１、２２１で配線することで、基部１１０近傍に不必要な電界が発生せず、より安定した振動特性を得ることができる。なお、本実施形態の水晶振動子１１では、外形側壁１０１にも所望の形状で配線電極２２１がパターニングされている。
【００５８】
本実施形態の水晶振動子の製造方法では、このように外形側壁１０１に配線電極２２１を所望の形状でパターニングすることも可能である。以下にその製造方法について説明する。
【００５９】
図４は本実施形態の斜め方向から露光して行う水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。まず図６（ｂ）に示す水晶振動子１１の溝１３０近傍の第１電極２１０、第２電極２２０を形成するにあたっては、図４（ａ）に示すように、遮光性を有する電極パターン４２０、４２０ａが描画された露光マスク４００を所定の位置に位置合わせして、振動片１００の溝形成面Ａに対して４０度〜６０度の方向から光５００を照射し、水晶片１００に成膜された電極膜２５０上のレジスト層３５０の所定の部分を露光する。
【００６０】
なおこの時、電極パターン４２０は第１の実施形態と同様に設計すれば良い。また、電極パターン４２０ａについては、外形側壁１０１に光５００が届かないように適正な形状に設計すれば良い。
【００６１】
その後、レジスト層３５０を現像すると、図４（ｂ）に示すように、溝形成面Ａ上の露光された部分が除去され、レジストパターン３００が形成される。
【００６２】
次に、レジストパターン３００をマスクとして利用し、その下層の電極膜２５０をエッチングすると、図４（ｃ）に示すように、レジストパターン３００の下に所望の形状の第１電極２１０、第２電極２２０が形成される。
【００６３】
最後に、レジストパターン３００を剥離液で除去すると、図６（ｂ）に示すような、各溝１３０の内壁と各溝１３０の間の壁の頂上部（溝形成面Ａ）に形成される第１電極２１０と、外形側壁１０１のほぼ全面に形成される第２電極２２０が完成する。
【００６４】
図５は本実施形態の斜め方向から露光して行う水晶振動子の製造方法における基部１１０近傍の配線電極の形成過程を示す図である。図６（ｃ）に示す水晶振動子１１の基部１１０近傍の配線電極２１１、配線電極２２１は以下のようにして形成される。
【００６５】
まず図５（ａ）に示すように、遮光性を有する配線電極パターン４２１、４２２が描画された露光マスク４００を所定の位置に位置合わせして、振動片１００の溝形成面Ａに対して４０度〜６０度の方向から光５００を照射し、水晶片１００に成膜された電極膜２５０上のレジスト層３５０の所定の部分を露光する。斜め方向から露光することにより、外形側壁１０１にも光５００が照射され、配線電極パターン４２２は外形側壁１０１に形状が転写されることとなる。
【００６６】
その後、レジスト層３５０を現像すると、図５（ｂ）に示すように、溝形成面Ａ上に配線電極パターン４２１を転写したレジストパターン３００が形成され、外形側壁１０１上に配線電極パターン４２２を転写したレジストパターン３００が形成される。
【００６７】
次に、レジストパターン３００をマスクとして利用し、その下層の電極膜２５０をエッチングすると、図５（ｃ）に示すように、レジストパターン３００の下に所望の形状の配線電極２１１、２２１が形成される。
【００６８】
最後に、レジストパターン３００を剥離液で除去すると、図６（ｃ）に示すような、溝形成面Ａに形成される配線電極２１１と、外形側壁１０１に所望の形状で形成される配線電極２２１が完成する。
【００６９】
なお本実施形態では、斜め方向からの露光角度を４０度〜６０度にしたが、これは溝形成面Ａに対しても外形側壁に対しても光が反射しないように考慮すると、４０度〜６０度の露光角度が最も適しているからである。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１の実施形態における水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における水晶振動子の製造方法によって製造した水晶振動子の斜視図および要部断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態における水晶振動子の製造方法において、露光マスクが位置ずれした時の図である。
【図４】本発明の第２の実施形態における斜め方向から露光して行う水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態における斜め方向から露光して行う水晶振動子の製造方法における側面の配線電極の形成過程を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施形態における水晶振動子の製造方法によって製造した側面に配線電極を有する水晶振動子の斜視図および要部断面図である。
【図７】従来の水晶振動子の製造方法によって製造した水晶振動子の斜視図である。
【図８】従来の水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。
【図９】従来の焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する水晶振動子の製造方法における溝近傍の電極の形成過程を示す図である。
【図１０】従来の焦点深度範囲を調整して露光する工程を有する水晶振動子の製造方法を利用して製造した複数の溝を有する振動脚の断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０、１１、１２  水晶振動子
１００  振動片
１０１  外形側壁
１１０  基部
１２０、１２１、１２２  振動脚
１３０  溝
１３１  外側側壁
１３２  内側側壁
２１０  第１電極
２１１、２２１  配線電極
２２０  第２電極
２５０  電極膜
３００  レジストパターン
３５０  レジスト層
４００  露光マスク
４２０、４２０ａ  電極パターン
４２１、４２２  配線電極パターン
５００  光
【図１】
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【図２】
2010109802.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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