(57)【要約】【解決手段】超高純度が求められる処理材料を測定するためのコリオリ質量流量計（１００）である。これは、コリオリ質量流量計の全体を、コリオリ質量流量計から流量計を通って流れる処理材料にイオンを移動させることのないＰＦＡプラスチック材料で形成することによって達成される。【選択図】図１
2010145422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超高純度を有する処理材料の流れを測定するためのコリオリ質量流量計において、
基板（１１６）と、
前記処理材料の流れを受け取る流管手段（１０２）であって、前記流管手段の両端部は、前記基板に連結されて、実質的に静止しているノードを前記両端部に形成する、前記流管手段（１０２）と、
前記処理材料の流れが入っている前記流管手段を加振するための、前記流管手段に連結されている励振器（Ｄ）と、
前記処理材料の流れが入っている前記振動している流管手段の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ装置（ＲＰＯ、ＬＰＯ）と、
前記ピックオフ装置から前記信号を受信し、前記処理材料の流れに関連する出力情報を作成するメーター電子機器（１２１）と、を備えており、
前記コリオリ質量流量計の濡れた流路全体は、前記流管手段を有し、ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）のような、前記流管手段から前記処理材料へ、イオンを移動させないか又はほとんど移動させない材料で作られていることを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】
前記流管手段は、力学的に不均衡な構造体を有する単一の略真っ直ぐな流管を備え、
前記基板は、前記流管と振動伝達するのに十分な大きさの質量を有しており、前記流管の端部ノード振動を均衡させることにより、力学的に均衡な構造体を形成することを特徴とする請求項１に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項３】
前記ピックオフ装置は、ビームを放射する光源とそのビームを受け取る光学検出器とを備えており、前記光源と前記光学検出器とは、前記流管から離間して、前記流管の両側部に位置決めされ、前記流管は、前記光源と前記光学検出器との間に位置決めされ、前記光学検出器が前記光源から受け取る光ビームの特性を変更し、前記光学検出器は、前記変更に応答して、前記コリオリ偏差を示す前記信号を発生させることを特徴とする、請求項１又は２に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項４】
前記基板（１０１、９１６、１０１６）は、平行六面体を画定する中実の矩形要素であり、前記流管は、前記基板（１０１）の上面（１６１５）に取り付けられている柱（１６４２、１６４４）に接続されていることを特徴とする、請求項１乃至３の何れか１項に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項５】
前記基板の質量は、処理材料を含む前記単一の流管の質量の少なくとも１００倍から１０００倍であることを特徴とする、請求項２乃至４の何れか１項に記載の記載のコリオリ質量流量計。
【請求項６】
前記ノードを振動が低減された状態に維持するために、前記ノードに近い前記基板に付けられている力学的平衡器手段（ＤＥ）を、更に備えていることを特徴とする、請求項２乃至５の何れか１項に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項７】
前記基板は、Ｕ字型で、下側面と、前記単一の流管を収容するための同軸に整列した開口部を備えた一対の上向へ伸張する側壁（１１９、１２０）と、を有していることを特徴とする、請求項２乃至６の何れか１項に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項８】
前記流管手段は、前記基板に連結され、互いに平行に配置されている第１の流管（６０２）及び第２の流管（６０３）を備えており、前記第１の流管及び前記第２の流管は、前記励振器（Ｄ）によって逆位相で加振されるようになっていることを特徴とする、請求項１に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項９】
前記流管手段は、単一の流管（１０２）を備えており、
前記基板は重く、且つ、前記単一の流管（１０２）の両端部に取り付けられ、前記両端部に静止ノードを作ることによって望ましくない振動を低減し、
前記コリオリ質量流量計は、更に、
前記重い基板に接続され、供給管から前記処理材料の流れを受け取るように作られている入口接続部（１０８）と、
前記入口接続部に取り付けられている前記単一の流管（１０２）の入口（４０５）であって、前記入口接続部は、前記単一の流管の前記入口を前記供給管（１０４）の出口に密閉可能に接続し、前記供給管内の前記処理材料の流れを、前記単一の流管へ伸張させるように構成されている前記単一の流管（１０２）の入口（４０５）と、
前記入口接続部を前記重い基板に対して固定された状態に維持するための、前記入口接続部の第１セットスクリュー（１３０）と、
前記処理材料の流れが入っている前記単一の流管を加振するための、前記単一の流管に取り付けられている励振器（Ｄ）と、
前記処理材料の流れを、出口管（１０６）を介してユーザー宛先に向け伸ばすための、第２接続部（１０９）に取り付けられている前記単一の流管の出口と、
前記振動している、材料が満ちている単一の流管の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための前記励振器の両側部において前記単一の流管に連結されている一対のピックオフ（ＬＰＯ、ＲＰＯ）と、
前記重い基板に、前記単一の流管と平行に接続されている戻り管（１０３）であって、前記単一の流管及び前記戻り管の両端部分は、前記単一の流管と前記戻り管とを前記重い基板に対して動かないように維持するため前記重い基板に接着する、前記戻り管と、
前記戻り管の入口と、
前記処理材料の流れを前記単一の流管の出口から前記戻り管へ伸ばすため、前記第２接続部を介して、前記単一の流管の前記出口及び前記戻り管の前記入口を接続する中間管（７０６）と、
前記戻り管の出口から前記処理材料の前記流れを受け取るための、前記重い基板に接続されている出口接続部（７０７）であって、前記戻り管の前記出口は前記出口接続部に取り付けられており、前記出口接続部は、前記戻り管の前記出口を出口管の入口に密閉可能に接続し、前記戻り管内の前記処理材料の流れを前記出口管へ延長する、前記出口接続部と、
前記出口接続部を前記基板に対して固定された状態に維持するための、前記出口接続部の第２セットスクリュー（１３０）と、
メーター電子機器と、
前記ピックオフ信号を前記メーター電子機器（１２１）へ送るための、前記ピックオフから前記メーター電子機器まで伸張している導体（１２３）と、を備えており、
前記出口管は、前記処理材料の流れをユーザーの宛先へ延長し、
前記メーター電子機器は、前記ピックオフ出力信号を受信し、前記処理材料の流れに関する出力情報を作成することを特徴とする、請求項１に記載のコリオリ質量流量計。
【請求項１０】
前記流管手段は、高い可撓性を有し、金属又はガラスから作られている流管装置より略低い剛性を有しており、
前記流管手段は、前記処理材料が流れる前記流管手段の内部の径よりも略薄い壁を有し、
前記流管手段は、略一定の直径を有し、
前記流管手段は、前記流管手段の使用部分の軸方向長さの全体に亘っている駆動周波数偏差と、前記流管手段の使用部分の軸方向長さの全体に亘っているコリオリ偏差とを有していることを特徴とする、請求項１乃至９の何れか１項に記載のコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高純度を有する処理材料の流量を測定するコリオリ質量流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
１９８５年１月１日、Ｊ．Ｅ．スミスらに発行された米国特許第４，４９１，０２５号及び１９８２年２月１１日、Ｊ．Ｅ．スミスへのＲｅ．３１，４５０号に開示されているように、パイプラインを流れる材料に関する質量流量その他の情報を測定するのに、コリオリ効果質量流量計を使用することは知られている。流量計は、非直線、湾曲、又は不規則な形状をした１つ又は複数の流管を有している。各流管は、単純曲げ、捻り、又はひねり型などの一式の固有振動モードを有している。各材料が満たされた流管は、これら固有振動モードの内の１つの共鳴点で振動するよう駆動される。固有振動モードは、部分的には、流管と流管内の材料を合わせた質量によって決まる。必要ならば、流量計は、固有モードで駆動しなくともよい。
【０００３】
材料は、入口側に接続されている材料供給源から流量計に流れ込む。材料は、単一又は複数の流管を通過し、流量計の出口側を出る。
励振器は、流管を振動させるよう力を掛ける。材料の流れが無い場合、流管に沿う全ての点が、流管の第１曲げモードの同一位相で振動する。コリオリ加速度は、流管上の各点に、流管上の他の点とは異なる位相を持たせる。流管の入口側の位相は励振器より遅れ、出口側の位相は励振器より早い。流管の運動を示す正弦波信号を得るため、流管上にピックオフが配置されている。２つのセンサー信号の間の位相差を振動の周波数で割ると、材料の流れの質量流量に比例する遅延が得られる。
【０００４】
異なる流管構成を有する流量計を使用することは知られている。これらの構成には、単一管、二重管、直管、湾曲管、不規則な形状の流管が含まれる。大部分の流量計は、アルミニウム、鋼、ステンレス鋼及びチタンのような金属製である。ガラス流管も知られている。更に、最新技術である全ての直線直列経路流量計は、金属、特にチタン製か、或いはプラスチック、特にＰＴＦＥ又はＰＦＡで内張された金属管である。
【０００５】
これらの型式の流量計におけるチタンの好ましい属性は、高い強度と、低い熱膨張係数（ＣＴＥ）である。チタンの好ましくない属性は、金属的特性と、製造コストである。半導体ウェーハの処理では、金属イオンは汚染物質である。集積回路のウェーハ領域と接触する金属イオンは、短絡を引き起こし、装置を破損する。更に、チタンの流量計は、製作が難しく、経費が掛かる。
【０００６】
先行技術は、プラスチックの流管及びプラスチックの流量計も提案している。これには、流管だけがプラスチックで形成されているものばかりでなく、流量計全体がプラスチックである先行技術も含まれている。この先行技術の多くは、流量計を、鋼、ステンレス鋼、チタン又はプラスチックのような様々な材料で作ることができるという主張を含んでいるに過ぎない。この先行技術は、温度を含む作動条件の範囲に亘って情報を正確に出力できるプラスチック製のコリオリ質量流量計の開示に関する限り、啓発的ではない。
【０００７】
金属流管をプラスチック流管に単に置き換えただけでも、流量計に似た構造にはなる。しかしながら、その構造体は、作動条件の有用な範囲に亘って正確な出力情報を作成する流量計としては機能しない。流量計をプラスチックで作ることができるという主張のみでは、プラスチックを金属に置き換えることができるという抽象概念に過ぎない。それは、プラスチックの流量計を、作動条件の有用な範囲に亘って正確な情報を作成できるようにするには、どの様に製造するかについて教示してはいない。
【０００８】
典型的なコリオリ流量計が処理材料を汚染することは、幾つかの用途において問題である。超高純度の材料を流量計によってユーザー向けに送出しなければならないシステムにとって、これは望ましくない。処理材料流路の管から移動するイオンを含め汚染されていない処理材料を使用する必要のある半導体ウェーハの製作の場合が、これに相当する。そのような用途では、流管が汚染源となりかねない。流管の金属壁は、処理材料の流れにイオンを放出しかねない。放出されたイオンは、半導体ウェーハ上のチップに欠陥を生じさせかねない。鉛イオンをガラスから処理材料の流れに放出するガラスの流管にも同じことが当てはまる。従来型のプラスチックで形成されている流管にも同じことが当てはまる。
【０００９】
ＰＦＡと呼ばれるプラスチックは、それを構成している材料が有害なイオンを材料の流れに放出しないので、この障害がない。流管にＰＦＡを利用することは、バンダーポール（Ｖａｎｄｅｒｐｏｌ）に発行された米国特許第５，９１８，２８５号に提案されている。この特許は、正確な流れの情報を作成するためにＰＦＡ流管を有する流量計をどのように製造するかに関する情報を開示していないので、この提案は、バンダーポールの開示には付随的なものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第４，４９１，０２５号明細書
【特許文献２】米国特許第５，４０３，５３３号明細書
【特許文献３】米国特許第５，９１８，２８５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ディーター・マイヤー（Ｄｉｅｔｅｒ  Ｍｅｉｅｒ）への米国特許第５，４０３，５３３号に開示されている、ＰＦＡで内張されている流管は、金属とプラスチック両方の技術の好ましい属性を組み合わせようとしたが、新たな試練に遭遇し、本発明まで解決されなかった。ＰＦＡで内張されている金属流管でも、金属イオンは、ＰＦＡの薄い被覆層を通過して流体流れの中へ移動することができ、汚染を引き起こす。更に、金属流管の材料とＰＦＡ内張は、異なる熱的特性を有している。このため、ＰＦＡ内張が流管から剥がれ、漏れと性能問題が発生した。金属流管をＲＦＡで内張する製造工程も、非常に費用が掛かる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記及びその他の問題を解決し当該技術を進歩させるものであり、ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）プラスチックで形成されている少なくとも１つの流管を有するコリオリ流量計を開示しており、前記少なくとも１つの流管は、励振器と、少なくとも１つのピックオフセンサーとに連結され、ＰＦＡ流管が、材料の流れの作動条件の範囲に亘り正確な出力情報と、汚染物質を含まずイオンレベルのない材料の流れを必要とする半導体製作のような用途で用いるのに適した超高純度とを提供することのできるコリオリ流量計の一部として機能できるようにしている。
【００１３】
全体がＰＦＡで作られている流路は、ＰＦＡで内張されたチタン流管の多くの利点を欠点無しで有している。ＰＦＡは、優れた化学的耐性を有し、金属イオン放出が殆ど無く、粒子生成が少ないフルオロポリマーであり、多額の投資をしなくても製造できる。ＰＦＡ材料は強力で、高品質の薄壁管に押し出し成形することができる。薄壁のＰＦＡ管は、曲げ剛性が低いので、質量流量に対する感度を上げ、流管と処理パイプラインとの間の弾性力学的相互作用に対する不感性を改善することができる。ＰＦＡの材料特性と物理的特性により、高い応力レベルで大きな管の振動振幅が可能となり、結果的に疲労寿命のスパンが殆ど無限になる。更に、振動振幅が高いため小型の低質量変換器を使えるので、密度感度及びマウント振動に対する不感性が改善される。
【００１４】
本発明の第１の好適な代表実施形態は、流管の端部ノード振動を均衡させる重い金属基板に連結されている単一のＰＦＡプラスチック流管を有する流量計を備えている。基板はＵ字型であり、プラスチック流管は、Ｕ字の２つの脚部の同軸の穴を貫通して伸張している。プラスチック流管は、ロックタイト（Ｌｏｃｔｉｔｅ）４２０とも呼ばれているシアノアクリレートの様な適切な接着剤によって基板の穴に取り付けられている。流管の長手方向中央は、メーター電子機器から駆動信号を受信して、流管をその長手方向軸に対して交軸方向に加振する電磁励振器に取り付けられている。この振動は、流管の１次曲げ共鳴周波数の振動でもよい。流管は、振動している流管の材料の流れによるコリオリ応答を検出するピックオフにも連結されている。第１の実施形態では、ピックオフは、流管に取り付けられている磁石と基板に取り付けられているコイルとの従来型の電磁石の組み合わせである。或る別の実施形態では、ピックオフは、光ビームを生成し、それが流管の振動によって変調される光学装置である。光学感知式の実施形態は、振動する流管からピックオフ磁石の重量を取り除けるという利点を提供する。これは、密度感度を上げる。励振器は熱源であり、プラスチックの温度を上昇させ、プラスチックを熱膨張させ、生成される出力情報の精度を低下させる。この実施形態では、励振器は、使用時、好都合に流管の頂部に取り付けられている。この取り付け配置では、励振器によって生成される熱が流管から上向へ放射され好都合である。
【００１５】
もう１つの実施形態によれば、励振器とセンサーピックオフに付帯している磁石は、小さくて保磁子又は磁極片を有していないので、低質量である。磁石とコイルは、磁石をできるだけ小さく（低質量に）するよう最適化されている。磁石材料は、単位質量当たりの磁場ができるだけ最大なるように選択されている。管の形状は、できるだけ小さな駆動力で必要な運動が得られるように設計されている。ＰＦＡは、自然減衰が低いので、流管にこの材料を選択することにより、駆動力は自然と小さくなる。これらの要因全てが、流管上の変換器部品を低質量化するのに寄与する。こうすると、流管の物理的負荷が減じ、流量計の出力精度が向上するので好都合である。
【００１６】
単一流管は不均衡な構造を備えており、その振動は、重い基板によって最小化される。単一のプラスチックの流管にその磁性材料の質量を加えたものに対する基板の質量の割合は、３０００対１程度である。この結果、総重量約２グラムの流管に磁石と材料を加えた質量に対し、重い基板構造体の重量は、約１３ポンドになる。１３ポンドの重量は、流管のノードにおける振動を最小にするが、流量計がその一部を成す装置の重量が増すという不都合を有している。これらの振動は、力学的平衡器又は能動型力学的平衡器を使用することによって最小にできる。能動型力学的平衡器はメーター電子機器に信号を送り、メーター電子機器はその信号を分析して、望ましくない振動を低減するための制御信号を能動型力学的平衡器へ戻す。こうすると、基板構造体の全体重量が、１３ポンドから約２ポンドへ低減でき好都合である。
【００１７】
先に述べたように、第１の好適な実施形態は、不均衡モードで重い基板と協働して作動する単一の真っ直ぐな管を有するコリオリ質量流量計を備えている。本発明の他の実施形態では、別の流管構成が提供されている。本発明は、逆位相で振動する二重流管を使って具体化することもできる。これらの二重管は、真っ直ぐでも、Ｕ字型でも、不規則な形状でもよい。二重流管を使えば、流管を取り付けるのに必要な基板の重さを減じる力学的に均衡の取れた構造体が得られるので好都合である。
【００１８】
何れの管構成にも関連する追加の実施形態は、温度測定装置の装着である。好適な実施形態は、流管に取り付ける抵抗温度装置（ＲＴＤ）の使用である。所望であれば、温度は、赤外線温度測定装置を使って測定することができる。この装置の利点は、非接触式であり、管から離して配置できるので、管の質量を減らせることである。また、ＲＤＴは、振動している流管ではない、センサー内のもう１つの流れを運搬している管に取り付けることもできる。
【００１９】
もう１つの実施形態は、上向へ伸張する側壁を有する重い基板と、両側壁の同軸の穴を貫通して伸張する単一の流管を備えている。基板は、内側と外側の対を成す上向へ伸張する壁を有している。内側の両壁には、流管の活動部分の静止振動ノードが位置しており、外側の両壁には、流管の入口が一方の端部で接続され、流管の出口が他方の端部で接続される接続部が取り付けられている。この配置は、単一の流管を備えた力学的に不均衡な構造体において、流管の活動部分のノードにおけるどの様な振動も、内側の対を成す上向へ伸張する壁によって抑制されるようにしている。
【００２０】
本発明の更に別の実施形態は、上向へ伸張する側壁を有する重い基板と、側壁の穴を貫通して伸張する一対の流管を備えている。２つの流管は、処理材料の流れに関する限り直列に接続されている。この接続は、基板の一端に長さの短いＵ字型のＰＦＡの管を配して形成されている。この長さの短いＵ字型の管は、第１の流管の出口端部を、基板内に第１の流管と平行に配置されている第２の流管の入口端部に接続している。この配列では、第１の流管の入口端部と第２の流管の出口端部は、重い基板の同一の上向へ伸張する壁に配置されている。２つの流管は、別々の励振器で逆位相に加振される。各流管は、材料の流れによる流管のコリオリ応答を検出する一対のピックオフも有している。
【００２１】
要約すると、本発明を具現化しているコリオリ質量流量計は、超高純度処理材料の測定と送出を行うのに好都合である。この純度は、流管材料から処理材料へのイオンの移動を容認する金属、ガラス及び通常のプラスチックより優れているＰＦＡプラスチック流管を用いることによって実現される。処理される材料としては、代表的には、半導体産業でウェーハの製作時に研磨剤として使用される有機化合物であるスラリーが挙げられる。この研磨作用は、ウェーハを平面にする。研磨作用には約１時間掛かることもあり、その間、スラリーは汚染を受けてはならない。半導体ウェーハ上に１つでも望ましくないイオンが付着すると、ウェーハの全部又は一部が短絡し、使用不能になりかねない。
【００２２】
本発明の或る態様は、超高純度を有する処理材料の流れを測定するためのコリオリ質量流量計であり、前記コリオリ質量流量計は、
基板と、
前記処理材料の流れを受け取る流管手段であって、前記流管手段の両端部は、前記基板に連結されて、実質的に静止しているノードを前記両端部に形成する、前記流管手段と、
前記処理材料の流れが入っている前記流管手段を加振するための、前記流管手段に連結されている励振器と、
前記処理材料の流れが入っている前記振動している流管手段の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための、前記流管手段に連結されているピックオフ装置と、
前記ピックオフ装置から前記信号を受信し、前記処理材料の流れに関連する出力情報を作成するメーター電子機器と、を備えており、
前記コリオリ質量流量計の濡れた流路全体は、前記流管手段を有し、ペルフルオロアルコキシ・コポリマー（ＰＦＡ）のような、前記流管手段から前記処理材料へ、イオンを移動させないか又はほとんど移動させない材料で作られていることを特徴としている。
【００２３】
好ましくは、前記流管手段は、力学的に不均衡な構造体を有する単一の略真っ直ぐな流管を備え、
前記基板は、前記流管と振動伝達するのに十分な大きさの質量を有しており、前記流管の端部ノード振動を均衡させることにより、力学的に均衡な構造体を形成している。
【００２４】
好ましくは、前記ピックオフ装置は、ビームを放射する光源とそのビームを受け取る光学検出器とを備えており、前記光源と前記光学検出器とは、前記流管から離間して、前記流管の両側部に位置決めされ、前記流管は、前記光源と前記光学検出器との間に位置決めされ、前記光学検出器が前記光源から受け取る光ビームの特性を変更し、前記光学検出器は、前記変更に応答して、前記コリオリ偏差を示す前記信号を発生させる。
【００２５】
好ましくは、前記基板は、平行六面体を画定する中実の矩形要素であり、前記流管は、前記基板の上面に取り付けられている柱に接続されている。
好ましくは、前記基板の質量は、処理材料を含む前記単一の流管の質量の少なくとも１００倍から１０００倍である。
【００２６】
好ましくは、前記ノードを振動が低減された状態に維持するために、前記ノードに近い前記基板に付けられている力学的平衡器手段を、更に備えている。
好ましくは、前記基板は、Ｕ字型で、下側面と、前記単一の流管を収容するための同軸に整列した開口部を備えた一対の上向へ伸張する側壁と、を有している。
【００２７】
好ましくは、前記流管手段は、前記基板に連結され、互いに平行に配置されている第１の流管及び第２の流管を備えており、前記第１の流管及び前記第２の流管は、前記励振器によって逆位相で加振されるようになっている。
【００２８】
好ましくは、前記流管手段は、単一の流管を備えており、
前記基板は重く、且つ、前記単一の流管の両端部に取り付けられ、前記両端部に静止ノードを作ることによって望ましくない振動を低減し、
前記コリオリ質量流量計は、更に、
前記重い基板に接続され、供給管から前記処理材料の流れを受け取るように作られている入口接続部と、
前記入口接続部に取り付けられている前記単一の流管の入口であって、前記入口接続部は、前記単一の流管の前記入口を前記供給管の出口に密閉可能に接続し、前記供給管内の前記処理材料の流れを、前記単一の流管へ伸張させるように構成されている前記単一の流管の入口と、
前記入口接続部を前記重い基板に対して固定された状態に維持するための、前記入口接続部の第１セットスクリューと、
前記処理材料の流れが入っている前記単一の流管を加振するための、前記単一の流管に取り付けられている励振器と、
前記処理材料の流れを、出口管を介してユーザー宛先に向け伸ばすための、第２接続部に取り付けられている前記単一の流管の出口と、
前記振動している、材料が満ちている単一の流管の誘導されたコリオリ偏差を示す信号を発生させるための前記励振器の両側部において前記単一の流管に連結されている一対のピックオフと、
前記重い基板に、前記単一の流管と平行に接続されている戻り管であって、前記単一の流管及び前記戻り管の両端部分は、前記単一の流管と前記戻り管とを前記重い基板に対して動かないように維持するため前記重い基板に接着する、前記戻り管と、
前記戻り管の入口と、
前記処理材料の流れを前記単一の流管の出口から前記戻り管へ伸ばすため、前記第２接続部を介して、前記単一の流管の前記出口及び前記戻り管の前記入口を接続する中間管と、
前記戻り管の出口から前記処理材料の前記流れを受け取るための、前記重い基板に接続されている出口接続部であって、前記戻り管の前記出口は前記出口接続部に取り付けられており、前記出口接続部は、前記戻り管の前記出口を出口管の入口に密閉可能に接続し、前記戻り管内の前記処理材料の流れを前記出口管へ延長する、前記出口接続部と、
前記出口接続部を前記基板に対して固定された状態に維持するための、前記出口接続部の第２セットスクリューと、
メーター電子機器と、
前記ピックオフ信号を前記メーター電子機器へ送るための、前記ピックオフから前記メーター電子機器まで伸張している導体と、を備えており、
前記出口管は、前記処理材料の流れをユーザーの宛先へ延長し、
前記メーター電子機器は、前記ピックオフ出力信号を受信し、前記処理材料の流れに関する出力情報を作成する。
【００２９】
好ましくは、前記流管手段は、高い可撓性を有し、金属又はガラスから作られている流管装置より略低い剛性を有しており、
前記流管手段は、前記処理材料が流れる前記流管手段の内部の径よりも略薄い壁を有し、
前記流管手段は、略一定の直径を有し、
前記流管手段は、前記流管手段の使用部分の軸方向長さの全体に亘っている駆動周波数偏差と、前記流管手段の使用部分の軸方向長さの全体に亘っているコリオリ偏差とを有している。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１の実施形態の斜視図を開示している。
【図２】図１の実施形態の平面図である。
【図３】図１の実施形態の正面図である。
【図４】図２の４−４線に沿う断面図である。
【図５】一対の基板要素を有する代替実施形態の斜視図である。
【図６】Ｕ字型の基板を有する力学的に均衡の取れた流量計を開示している。
【図７】光学ピックオフを有する流量計を開示している。
【図８】光学ピックオフを有する流量計を開示している。
【図９】力学的平衡器を有する流量計を開示している。
【図１０】力学的平衡器を有する流量計を開示している。
【図１１】一対の略Ｕ字型流管を有する流量計を開示している。
【図１２】一対の力学的に均衡の取れた直線流管を有する流量計のもう１つの実施形態を開示している。
【図１３】一対の力学的に均衡の取れた直線流管を有する流量計のもう１つの実施形態を開示している。
【図１４】一つの流管を有し、戻り管のない代替実施形態を開示している。
【図１５】逆位相で加振される２つの流管を有する代替実施形態を開示している。
【図１６】一つの流管を有する代替実施形態を開示している。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図１の説明
図１は、本発明の第１の考えられる実施形態の斜視図であり、基板１０１の脚部１１７、１１８を通して挿入されている流管１０２を有する流量計１００を開示している。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯと励振器Ｄが、流管１０２に連結されている。流量計１００は、供給管１０４から処理材料の流れを受け取り、その流れを、接続部１０８を通して、流管１０２へ伸ばす。流量計１００は、基板１０１と、側壁１１９及び１２０と、正面壁１１６と、上部脚部１１７及び１１８とを有している。流管１０２は、その材料の流れを含む共鳴周波数で、励振器Ｄで加振される。共鳴周波数ではない周波数でも加振される。その結果生じるコリオリ偏差は、ピックオフＬＰＯとＲＰＯによって検出され、ピックオフＬＰＯとＲＰＯは、信号を、導線１１２及び１１４を介してメーター電子機器１２１へ送る。メーター電子機器１２１は、ピックオフ信号を受信し、信号間の位相差を求め、振動の周波数を求め、材料の流れに関係する出力情報を、出力経路１２２で利用回路（図示せず）へ送る。材料の流れは、流管１０２から、材料の流れの向きを直す管１０６を通り、戻り管１０３を通り、接続部１０７を通って、材料の流れをユーザーの使用先に送る出口管１０５を出る。このユーザーの使用先は、半導体処理設備などである。処理材料は、半導体ウェーハの表面に平坦面を形成するために供給される半導体スラリーなどである。図１に示す流管に用いられているＰＦＡ材料は、処理材料が、金属又はガラスの流管の壁から移送されかねないイオンのような不純物を含んでいないことを保証する。ロッキング穴１３０には、図４に示すように、セットスクリュー４１１をねじ込んで要素１１１を基板１０１に固定可能に接続する。図１のコリオリ質量流量計の振動構造体全体が、ＰＦＡ材料で形成される。
【００３２】
使用時、流管１０２は、ソーダ水のストローの直径の半分に近い小さな直径だが厚い壁を有しており、重量は、例えば０．８グラムに処理材料分が０．５グラムと無視できるほどである。これには、磁石の重量は入っていない。ピックオフ及び励振器に付帯する磁石は、それぞれ約０．２グラムの質量を有しているので、流管１０２と、取り付けられた磁石と、処理材料の合計質量は約２グラムとなる。振動している流管１０２は、力学的に不均衡な構造体である。基板１０２は、重くて、重量は約１２ポンドである。つまり、基板の質量と、材料が満ちている流管の質量の比は、約３０００対１になる。この質量の基板は、力学的に不均衡な、中を材料が流れている流管１０２によって引き起こされた振動を十分に吸収できる。
【００３３】
接続部１０７、１０８、１０９、１１０は、管１０４、１０５と、中間管１０６を、流管１０２と戻り管１０３の端部に接続する。これら接続部を、図４に詳細に示す。接続部は、ねじ１２４の切られた固定部分１１１を有している。接続部１０７から１１０の可動部分を、雄ねじ１２４上にねじ込んで、各管を、一部が固定部分１１１となっている接続部の固定本体に接続する。これらの接続部は、周知の銅管フレア式接続部と同様に機能し、管１０４、１０５、１０６を、流管１０２と戻り管１０３の端部に接続する。接続部に関する詳細は、更に図４に示している。ＲＴＤは、戻り管１０３の温度を検出し、検出した温度を示す信号を経路１２５でメーター電子機器へ送る、温度センサーである。
【００３４】
図２の説明
図２は、図１の流量計１００の平面図である。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯと励振器Ｄとは、それぞれコイルＣを含んでいる。これら各要素は、更に、図３に示すように、流管１０２の底部に取り付けられる磁石を含んでいる。これら各要素は、更に、励振器Ｄ用の１３３の様な薄片材料だけでなく、励振器Ｄ用の１４３の様な基板を含んでいる。薄片材料は、コイルＣ及びその巻き線端末が固定されているプリント配線盤を備えてもよい。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯも、対応する基板要素と、基板要素の上部に取り付けられている薄片とを有している。この配置により、磁石ＭをＰＦＡ流管の下側に接着する段階と、コイルＣを（励振器Ｄ用の）プリント配線盤１３３に接着する段階と、コイルＣの開口部を磁石Ｍの回りに配置する段階と、磁石ＭがコイルＣの開口部に完全に入り込むようにコイルＣを上方へ動かす段階と、次いで基板要素１４３をプリント配線盤１３３の下に配置する段階と、基板１４３の底部が接着剤によって重い基板１０１の表面に取り付けられるように、これらの要素を一体に接着、又はボルト止めする段階とによって、励振器又はピックオフを容易に取り付けられるようになる。
【００３５】
接続部１０７−１１０の雄ねじ１２４を図２に示す。これら各要素の内部詳細を図４に示す。開口部１３２は、導線１１２、１１３、１１４を収容する。図面の複雑さを最小に押させるため、図１のメーター電子機器１２１は、図２には示していない。しかしながら、導線１１２、１１３、１１４は、開口部１３２を通って伸張し、更に、図１の経路１２３を通り、図１のメーター電子機器１２１まで伸張しているものと理解されたい。
【００３６】
図３の説明
図３は、流管１０２の底部に取り付けられている磁石Ｍと、各要素ＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄの基板に取り付けられているコイルＣとを備えているピックオフＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄを示している。
【００３７】
図４の説明
図４は、図２の４−４線に沿う断面である。図４は、図３の全ての要素と、接続部１０８及び１０９とＯリング４３０の更なる詳細を開示している。Ｏリング４３０は、流管１０２を基板４０１に連結する。図４は、更に、基板１０１内の開口部４０２、４０３、４０４を開示している。これらの各開口部の上部は、ピックオフＬＰＯ、ＲＰＯ及び励振器Ｄの基板の下面まで伸張している。これら各要素に付帯するコイルＣ及び磁石Ｍも、図４に示している。図１のメーター電子機器１２１は、図面の複雑さを最小に押さえるため、図３及び図４には示していない。接続部１０８の要素４０５は流管１０２の入口であり、接続部１０９の要素４０６は流管１０２の出口である。
【００３８】
接続部１０８の固定部分１１１は、基板４０１にねじ込んで、固定部分１１１を基板１０１の区画４０１に固定する雄ねじ４０９を有している。右側の接続部１０９の固定本体は、同様に構成され、ねじ４０９によって、基板１０１の要素４０１内に設けられた収容穴４２０に取り付けられている。
【００３９】
接続部１０８の固定部分１１１は、更にねじ部１２４を有しており、このねじは、接続部１０８の可動部分４１５と噛み合う。接続部１０９も同様に構成されている。接続部１０８の固定部分１１１は、更に、その左側に円錐形の突出部(stub)４１３を有しており、これは、可動要素４１５と共にフレア式管継手として作用し、入口管１０４の右端を、固定部分１１１の円錐形突出部４１３上に押し付ける。これは、供給管１０４のフレア加工された開口部を、接続部の固定部分１１１の円錐形突出部部分４１３上にシール可能に取り付ける圧縮管継手を形成する。流管１０２の入口は、接続部の固定部分１１１内に配置され、突出部４１３の外側面と面一になっている。このため、供給管１０４によって送られる処理材料は、流管１０２の入口４０５で受け入れられる。処理材料は、右へ、流管１０２を通って接続部１０９の固定部分１１１へと流れ、そこでは、流管１０２の出口４０６が接続突出部４１３の端部と面一になっている。これにより、流管１０２の出口が接続部１０９にシール可能に取り付けられる。図１の他の接続部１０７及び１１０は、図４の接続部１０８及び１０９に関して詳細に説明されている接続部と同じである。
【００４０】
図５の説明
図５は、流量計５００の基板が単一の要素ではなく別体の構造物５１７と５１８を備えていることを除き図１の実施形態と同様の本発明の代替実施形態として、流量計５００を開示している。流管５０２及び戻り管５０３は、要素５１７、５１８を通り、接続部５１０を通って５０７まで伸張しており、これは全ての点で図１の接続部１１０を通って１０７に到るものに匹敵する。流量計基板要素５１７、５１８は別体になっており、それぞれ、流管５０２を含む力学的に不均衡な構造体に励振器Ｄが付与する振動を最小化できるだけの質量を有している。基板要素５１７及び５１８は、基板要素５１７及び５１８を支持している要素５１６の表面５１５上に載っている。
【００４１】
図５に示す全要素は、図１の相当する要素と同じ様式で作動する。この対応は、各要素の標記において、要素の部品番号の最初の数字だけを変えることで示している。従って、図１の供給管１０４は、図５の供給管５０４に対応する。
【００４２】
図６の説明
図６は、本発明の更に別の、図１の実施形態とは異なる流量計６００を備えた実施形態を開示しており、流量計６００は、２つの能動流管６０２及び６０３を有し、図１の基板１０１のような重い基板を必要としない力学的に均衡の取れた構造体を備えている。基板６０１の質量は、図１の基板よりかなり小さくてもよい。流量計６００は、図１の接続部１０７−１１０に匹敵する接続部６０７−６１０を有している。これに加えて、接続部６１１、６１２も有している。処理材料は、供給管６０４から流量計６００に入る。材料は、接続部６０８を介して、流管６０２の左端部まで延長される。流管６０２は、基板６０１の脚部６１８を通って接続部６０９へと伸張し、そこで管６１５に接続され、管６１５は、ループを描いて戻り、接続部６０７を介して流管６０３に到る。流管６０３は、励振器Ｄによって、流管６０２とは逆の位相で加振される。振動する流管６０２及び６０３のコリオリ応答は、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯによって検出され、導線（図示せず）を介してメーター電子機器（図の複雑さを最小化するために図示せず）に送られる。
【００４３】
管６０３を通る材料の流れは右へ進み、接続部６１０を介して管６０６まで延長される。管６０６は、ループを描いて戻り、接続部６１１及び管６１６を経由し、接続部６１２を通って戻り管６０５まで伸びる。戻り管６０５は、材料の流れをエンドユーザーの使用工程へと送る。
【００４４】
流量計６００は、ＰＦＡ材料で形成されている流管６０２及び６０３を有する力学的に均衡の取れた構造体を備えている点で優れている。力学的に均衡の取れた構造体は、図１の重い基板１０１が不要な点で優れている。基板６０１が普通の質量であれば、振動するＰＦＡ管６０２及び６０３が材料の流れに関する出力情報を提供する。ＰＦＡ流管は、材料の流れが超高純度であることを保証する。
【００４５】
図７及び図８の説明
図７は、図１の流量計１００に匹敵する流量計７００の平面図を開示している。２つの実施形態の違いは、流量計７００が、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯに光学検出器を使用していることである。光学検出器の詳細を図８に示すが、光学検出器は、ＬＥＤとフォトダイオードとの間に挟まれている流管７０２と共に、ＬＥＤ光源とフォトダイオードを備えている。流管の静止位置で、基準量の光が、ＬＥＤからフォトダイオードへ送られ、基準出力信号を発生させる。流管が下方向に動くと、フォトダイオードが受け取る光の量が増し、流管が上向へ動くと、フォトダイオードが受け取る光の量が減少する。フォトダイオードが受け取る光の量は、ＬＥＤと光源に関わる流管７０２部分のコリオリ振動の大きさを示す出力電流に変換される。フォトダイオードの出力は、導線７３０と７３２を通りメーター電子機器に送られるが、メーター電子機器は、図の複雑さを最小化するため図７には示していない。それ以外は、図７の実施形態は、全ての点で図１の実施形態と同じであり、供給管７０４、出口管７０５を、接続部７０７から７１０、流管７０２及び出口管７０３と共に含んでいる。流量計７００の部品と図１の相当する部品は、対応を付け易いように、各要素の番号の最初の数字を違えているだけである。
【００４６】
図９の説明
図９は、流量計９００に力学的平衡器９３２及び９３３が備えられている点を除き、図１の流量計１００と同じ流量計９００を開示している。基盤９０１は、図１の１０１よりも小さくて質量も少ない。力学的平衡器は、材料が満たされた振動している流管９０２を備えている力学的に不均衡な構造体によって、基板９０１の脚部９１７及び９１８に付与されている振動を打ち消す役割を果たす。図１の実施形態では、これらの振動は、重い基板１０１によって吸収される。この実施形態では、磁石が取り付けられている材料が満たされた流管の質量は約２グラムであり、基板の重量は約１２ポンドである。材料が満たされた振動流管１０２の寸法と質量の上限は、不均衡な振動を吸収するために備えなければならない基板の質量によって制限されるので、図１の流管の商業的な用途の範囲は制限されることになる。基板の質量と材料が満たされた振動流管の質量との間の比が、３０００対１のものを使えば、材料が満たされた流管の質量が１ポンド増えると、基板１０１の質量を３０００ポンド増さなければならないことになる。このことが、図１の流管１００の商業的用途の範囲を制限することは明らかである。
【００４７】
図９の流量計９００は、力学的平衡器９３２及び９３３が脚部９１７及び９１８に取り付けられており、力学的に不均衡な振動流管９０２によって脚部に付与される振動の大部分を吸収するので、商業的用途の範囲が広い。実際、力学的平衡器（ＤＢ）は、力学的平衡器の技術で周知の従来型の質量−ばね系を含む、どの様な型式のものでもよい。
【００４８】
図１０の説明
図１０は、図１０の力学的平衡器が能動型（ＡＤＢ）で、１０３２と１０３３で示されている点を除き、流量計９００と同じである流量計１０００を開示している。この能動型力学的平衡器は、経路１０２３、１０２４、１０２５、及び１０２６でメーター電子機器１０２１と、信号を交換することによって制御される。メーター電子機器１０２１は、力学的に不均衡な振動流管１００２が脚部１０１７へ掛けている振動を示す信号を、経路１０２３を介して能動型力学的平衡器１０３２から受信する。メーター電子機器は、これらの信号を受信し、流管の振動を打ち消すために経路１０２４を介して能動型力学的平衡器１０３２に掛けられる制御信号を発生させる。この様に作動させると、能動型力学的平衡器１０３２を制御して、脚部１０１７の振動を所望の大きさに低減し、基板１００１の質量が、結果的に流量計１０００の商業的用途に受け入れられるレベルとなるようにすることができる。基板１００１の脚部１０１８の上に取り付けられてい能動型力学的平衡器１０３３は、脚部１０１７に取り付けられている能動型力学的平衡器について説明したのと同じ様式で作動する。
【００４９】
図１１の説明
図１１は、略Ｕ字型で、右側脚部１１０３、１１０４と、左側脚部１１０５、１１０６を有する二重流管１１０１、１１０２を含んでいる流量計１１００を備えた更に別の代替実施形態を開示している。側方脚部の底部は、「Ｙ」区画１１０７及び１１０８を形成するために接続され、「Ｙ」区画１１０７及び１１０８は、適当な基板に接続されてもよい。ここで、この適当な基板は、図面が複雑になるのを最小限にするために、図示していない。流量計１１００の二重流管は、ブレース・バー１１０９及び１１１０の軸Ｗ−Ｗ及び軸Ｗ’−Ｗ’の回りに力学的に均衡の取れた要素として振動する。流管１１０１及び１１０２は、Ｕ字型流管の上部に取り付けられている励振器Ｄによって、逆位相で駆動される。振動している材料が満たされた流管によって付与されるコリオリ偏差は、右ピックオフＲＰＯ及び左ピックオフＬＰＯによって検出される。メーター電子機器１１２１は、経路１１２３で信号を送り、励振器Ｄに、流管１１０１、１１０２を逆位相で振動させる。コリオリ応答は、ピックオフＲＰＯ及びＬＰＯで検出され経路１１２２、１１２４を介してメーター電子機器１１２１へ送られ、メーター電子機器は、信号を処理し、材料の流れの情報を導き出し、それを、出力経路１１２４を介して利用回路（図示せず）へ送る。
【００５０】
図１２及び図１３の説明
図１２及び図１３は、励振器Ｄによって逆位相で加振される一対の流管１２０１及び１２０２を有する力学的に均衡の取れた流量計１２００を開示している。流管は、材料の流れを受け取り、励振器Ｄは、メーター電子機器１２２１から経路１２２３を介して受信した駆動信号に応じて両流管を逆位相で加振する。材料が満たされた振動流管のコリオリ応答は、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯで検出され、それらの出力は、導線１２２１及び１２２４を介してメーター電子機器に送られ、メーター電子機器は、受信した信号を処理して、材料の流れの情報を作成し、出力経路１２２５を介して利用回路（図示せず）へ送る。
【００５１】
図１４の説明
図１４は、内側の一対の上方向伸張側壁１４１７及び１４１８に加えて、外側の一対の上方向伸張側壁１４４３及び１４４４を有する重い基板１４０１を備えている本発明の代替実施形態１４００を開示している。一本の流管１４０２が、左側の入力接続部１４０８から、４つの上方向伸張側壁を通って、右側の出力接続部１４０９まで伸張している。流管１４０２は、励振器Ｄによって加振され、その結果、材料が中を流れている振動している流管に生じるコリオリ偏差を、ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯが検出し、表示されている経路を介して、信号を、図１で先に述べたのと同じ様式で機能するメーター電子機器１４２１へ送る。温度感知装置ＲＴＤは、材料が満たされた流管の温度を感知し、その情報を経路１４２５を介して、メーター電子機器１４２１へ送る。
【００５２】
図１４の流量計は、図１の流量計と２つの顕著な点で異なっている。第１は、図１４の実施形態は、単一の流管１４０２を使用している点である。材料の流れは、入力接続部１４０８からこの流管を通って延長され、流管の出力は、出力接続部１４０９を通して出力管１４０６へ送られ、ユーザーに供される。図１４の実施形態は、図１の部材１０３に匹敵する戻り流管を有さない。
【００５３】
重い基板１４０１は、二対の上方向伸張壁を有しているのに対して、図１の実施形態では、重い基板１０１は、一対の上方向伸張壁１１７及び１１８を有しているだけである。図１の一対の壁は、接続部１０７から１１０用の取り付け機能だけでなく、動きがゼロである振動の節(node)としての機能も果たしている。図１４では、内側対の壁１４１７及び１４１８が、流管１０２の動作部分の両端の動きがゼロである振動の節として機能する。外側対の上方向伸張壁１４４３及び１４４４は、左側に接続部１４０８を、右側に接続部１４０９を取り付けている。
【００５４】
使用時、処理材料を、接続部１４０８に接続されている管１４０４から受け取る。流管１４０２の入口も、接続部１４０８に接続されている。流管１４０２は、右へ、二対の側壁を通して、出力管１４０６が接続されている出力接続部１４０９まで、処理材料の流れを延長する。
【００５５】
上で具体的に述べていない図１４内の部品番号は、図１を含む上記各図内の対応する要素に類似しており、同じ機能を果たす。
図１５の説明
図１５は、殆どの点で図１の実施形態と同様な代替実施形態１５００を開示している。主な違いは、実施形態１５００では、後方流管１５０３は、図１の実施形態の戻り管１０３ほどには休止状態にないことである。代わりに、図１５では、後方管１５０３は、その励振器ＤＡで加振され、その結果生じる、この材料が中を流れている振動管のコリオリ偏差は、ピックオフＬＰＯＡ及びＲＰＯＡにより検出される。それらの出力信号は、経路１５４２及び１５４４を介してメーター電子機器１５２１へ送られ、メーター電子機器は、流管１５０２のピックオフＬＰＯ及びＲＰＯからの信号だけではなく、これらの信号も受信し、材料の流れの情報を作成する。
【００５６】
処理材料は、図１５では流管１５０２を通って右へ流れ、管１５００を通り、そして流管１５０３を通って左へ流れる。この組になったピックオフの位相の逆転は、ピックオフＬＰＯＡ及びＲＰＯＡに対する接続部を逆にし、メーター電子機器１５２１が受信する全ピックオフからのコリオリ信号が加え合わされ、メーターの感度を高めるようにことによって補償することができる。
【００５７】
上で具体的に述べていない図１５内の部品は、機能において、図１５内の対応する要素と同じである。
図１６の説明
図１６は、図１４の実施形態と同様の代替実施形態１６００を開示している。この実施形態は、基板６０１，是面１６１６，側壁１４４４，及び前壁面１６４２を有する。違いは、上向へ伸張する内側の取り付け柱１６１７及び１６１８が、図１４の壁１４１７及び１４１８に替わっていることである。更に、上向へ伸張する外側の取り付け柱１６４３及び１６４５も、図１４の壁１４４３及び１４４５に替わっている。外側柱１６４３及び１６４５は、流管１６０２が柱１６１７及び１６１８を軸としてその回りに回転しないようにする。接続部１６０８及び１６０９は随意であり、必要であれば、流管１６０２が、柱１６４３及び１６４５を通って外方向に伸張し、入口管１６０４及び出口管１４０２に置き換わってもよい。伸張された流管は、ユーザーにより、下流及び上流でユーザーの設備に接続される。柱１４４３及び１４４５は、接続部１６０８及び１６０９を使う際には、それらの取り付け具として機能する。
【００５８】
本発明の請求内容は、上記好適な実施形態の説明に限定されるものではなく、この他の修正及び変更を包含することを、明確に理解頂きたい。例えば、ここに示している流量計の実施形態は上下逆向きとして作動させてもよく、その場合、励振器Ｄを、振動流管の上に配置し、励振器の熱を流管から上向へ逃がせるようにするのが望ましい。そうすると、流量計の精度又は出力データを悪化させる恐れのある熱応力から、流管をうまく隔離することができる。更に、ここに開示しているコリオリ流量計は、ここに開示した以外の用途を有している。例えば、開示されているコリオリ質量流量計は、流す処理材料が硝酸のように腐食性で、金属の湿潤流路を有する流量計を用いるには不適合である用途にも用いることができる。ここに開示されているコリオリ質量流量計の全ての実施形態は、全体がＰＦＡのようなプラスチック材で形成されている振動構造体を有している。
【符号の説明】
【００５９】
１００      質量流量計
１０１      基板
１０２      流管
１０７      処理接続部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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