(57)【要約】【課題】載置された機器類の稼動に伴い発生する衝撃力による振動を抑制する、載置台の支持装置を提供する。【解決手段】台座２２上面に凹部２８が形成されている。凹部２８の底面にはアーチ状支持板１２が摺動可能に配置され、折り曲げ部の一方の側面には印加電圧に対応して変形するアクチュエータ用圧電素子１４が接合されている。アクチュエータ用圧電素子１４に載置台２６が載せられ、アーチ状支持板１２で載置台２６を支持している。載置台２６の上の機器類２７から、運転情報が稼動タイミング出力手段１６に出力され、稼動タイミング出力手段１６から、稼動タイミングが制御手段１８に出力される。制御手段１８は、圧電発生手段２０に載置台２６の振動を低減させる制御信号を出力し、圧電発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４に発生させた電圧を印加する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アーチ形状とされ、頂部で機器類が載せられる載置台を支持するアーチ状支持板と、
前記アーチ状支持板の一方の側面に接合され、印加された電圧で変形し、前記アーチ状支持板の曲率を変える膜型のアクチュエータ用圧電素子と、
前記載置台の振動情報を出力する情報出力手段と、
前記情報出力手段からの情報に基づき、前記アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生し、電圧発生手段から前記アクチュエータ用圧電素子に前記電圧を印加させる制御手段と、
を有する載置台の支持装置。
【請求項２】
機器類が載せられる載置台に、鉛直方向に対して傾斜角度を付けて取り付けられ、
前記載置台を支持する一対の傾斜支持板と、
一対の前記傾斜支持板の間に架け渡され、印加された電圧で変形し、前記傾斜支持板の傾斜角度を変える膜型のアクチュエータ用圧電素子と、
前記載置台の振動情報を出力する情報出力手段と、
前記情報出力手段からの情報に基づき、前記アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生し、電圧発生手段から前記アクチュエータ用圧電素子に前記電圧を印加させる制御手段と、
を有する載置台の支持装置。
【請求項３】
一対の前記傾斜支持板は、側面視がハ字状とされ、上端部が前記載置台とピン接合されている請求項２に記載の載置台の支持装置。
【請求項４】
前記アーチ状支持板及び前記傾斜支持板の下端部は、台座の凹部に支持され、
前記凹部の底面の形状は、前記載置台の高さを一定に維持したとき、前記曲率を変化させたときの前記アーチ状支持板の下端部が描く軌跡、又は前記傾斜角度を変えたときの前記傾斜支持板の下端部が描く軌跡、とされている請求項１〜３のいずれか１項に記載の載置台の支持装置。
【請求項５】
前記台座の凹部には、前記凹部に沿ってボールベアリングが配置された溝部が設けられ、前記溝部には、前記アーチ状支持板又は前記傾斜支持板の下端部に設けられた脚部が挿入されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の載置台の支持装置。
【請求項６】
機器類が載せられる載置台を支持する空気バネと、
前記空気バネと並列に設けられ、上端部が前記載置台とピン接合され、下端部が前記空気バネの台座とピン接合され前記載置台を支持する支持板と、
前記支持板の板面に接合され、印加された電圧で変形し、前記支持板を変位させる膜型のアクチュエータ用圧電素子と、
前記載置台の振動情報を出力する情報出力手段と、
前記情報出力手段からの情報に基づき、前記アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生し、電圧発生手段から前記アクチュエータ用圧電素子に前記電圧を印加させる制御手段と、
を有する載置台の支持装置。
【請求項７】
前記アクチュエータ用圧電素子は、前記支持板を座屈させずに剛性を高くして、前記載置台を支持し、
前記アクチュエータ用圧電素子は、前記支持板を座屈させ剛性を弱くして、前記載置台を支持する請求項６に記載の載置台の支持装置。
【請求項８】
前記情報出力手段は、前記機器類が前記載置台を振動させる稼動タイミング情報を出力する稼動タイミング出力手段である請求項１〜７のいずれか１項に記載の載置台の支持装置。
【請求項９】
前記情報出力手段は、前記載置台に設けられ前記載置台の振動情報を出力する第１振動センサ、及び前記台座に設けられ前記床面の振動情報を出力する第２振動センサである請求項１〜７のいずれか１項に記載の載置台の支持装置。
【請求項１０】
前記情報出力手段は、前記アーチ状支持板の前記アクチュエータ用圧電素子が接合された接合面と反対面に接合され、前記アーチ状支持板の変位を検出する膜型のセンサ用圧電素子であり、
前記センサ用圧電素子は、前記載置台から伝播された振動による変位量を検出する第１センサ用圧電素子と、
前記アーチ状支持板を支持する支持部から伝播された振動による変位量を検出する第２センサ用圧電素子と、
を有する請求項１又は４に記載の載置台の支持装置。
【請求項１１】
前記情報出力手段は、前記傾斜支持板の前記アクチュエータ用圧電素子が接合された接合面と反対面に接合され、前記傾斜支持板のたわみ量を検出する膜型のセンサ用圧電素子であり、
前記センサ用圧電素子は、前記載置台から伝播された振動によるたわみ量を検出する第３センサ用圧電素子と、
前記支持板を支持する支持部から伝播された振動によるたわみ量を検出する第４センサ用圧電素子と、
を有する請求項２〜４に記載の載置台の支持装置。
【請求項１２】
前記情報出力手段は、前記支持板の前記アクチュエータ用圧電素子が接合された接合面と反対面に接合され、前記支持板のたわみ量を検出する膜型のセンサ用圧電素子であり、
前記センサ用圧電素子は、前記載置台から伝播された振動によるたわみ量を検出する第５センサ用圧電素子と、
前記支持板を支持する支持部から伝播された振動によるたわみ量を検出する第６センサ用圧電素子と、
を有する請求項６又は７に記載の載置台の支持装置。
【請求項１３】
前記センサ用圧電素子及び前記アクチュエータ用圧電素子は、シート状に成形された矩形圧電セラミック繊維の両面に、ポリイミドフィルム印刷電極を接合した圧電素子であり、前記アーチ状支持板、前記傾斜支持板、及び前記支持板は板バネである請求項１〜１２のいずれか１項に記載の載置台の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、載置台の支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
嫌振機器類（以下機器類と記す。）を周囲の振動から遮断する除振台は、周辺機器等による床振動が機器類を載置する載置台に伝わらないように、例えば、空気バネ等の軟らかい支持材を用いて載置台を支持している。軟らかい支持材が一定の振動数以上の床振動を吸収し、載置台の振動が抑制される。
【０００３】
また、空気バネに充填された空気の圧力を可変とし、空気バネをアクチュエータとして利用して、載置台に伝播される振動をより効果的に抑制する、アクティブ除振台も利用されている（特許文献１）。
【０００４】
即ち、図２５に示すように、特許文献１のアクティブ除振台８０は、床に設置されたベースプレート８１からコ字状に形成された支持部材８５を立ち上げ、支持部材８５の内側上部に設けられた吊り材８３が、第１エアータンク９０の下部を水平方向に移動可能に吊り下げている。
【０００５】
第１エアータンク９０の上部には第１空気バネ８４が設けられている。また、第１空気バネ８４の上部が第２エアータンク９２を支持し、第２エアータンク９２の上部には第２空気バネ８６が設けられている。更に、第２空気バネ８６の上部が第３エアータンク９４を支持している。そして、第３エアータンク９４の上部には第３空気バネ８８が設けられている。また、第３空気バネ８８の上部には載置台８２が載せられている。
【０００６】
これにより、地震時にベースプレート８１が水平方向に振動しても、３段に積層された空気バネ８４、８６、８８により順次振動が緩和され、同時に長い周期の振動となる。この長い周期の振動を、載置台８２に取付けた振動センサ（図示せず）で検出し、検出結果に基づいてリニアモータ（図示せず）が、振動を抑制する方向の制振力を載置台８２に加える。これにより、載置台８２の水平方向の振動が抑制される。
【０００７】
しかし、特許文献１のアクティブ除振台８０は、３段に積層された軟らかい空気バネ８４、８６、８８を使用しているため、載置台８２に設置された機器類自身の稼動に伴い発生する衝撃力によって、載置台８２が振動するのを防止できない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１−３０７５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記事実に鑑み、載置された機器類の稼動に伴い発生する衝撃力による振動を抑制する、載置台の支持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明に係る載置台の支持装置は、アーチ形状とされ、頂部で機器類が載せられる載置台を支持するアーチ状支持板と、前記アーチ状支持板の一方の側面に接合され、印加された電圧で変形し、前記アーチ状支持板の曲率を変える膜型のアクチュエータ用圧電素子と、前記載置台の振動情報を出力する情報出力手段と、前記情報出力手段からの情報に基づき、前記アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生し、電圧発生手段から前記アクチュエータ用圧電素子に前記電圧を印加させる制御手段と、を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、アクチュエータ用圧電素子が接合されたアーチ状支持板が、頂部で載置台を支持している。この載置台の振動情報を、情報出力手段が制御手段へ出力し、制御手段が振動情報に基づいて、アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生させ、電圧発生手段に出力する。電圧発生手段が電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子に印加する。アクチュエータ用圧電素子は、印加された電圧に従って変形し、アーチ状支持板の曲率を変化させる。
【００１２】
即ち、載置台の振動情報に基づき、アクチュエータ用圧電素子でアーチ状支持板の曲率を変化させ、載置台を支持する支持剛性を変化させる。具体的には、アーチ状支持板の曲率を小さくし、鉛直に近い角度で支持させて支持剛性を上げ、曲率を大きくし、水平に近い角度で支持させて支持剛性を下げる。
【００１３】
これにより、機器類の稼動により発生する衝撃力で載置台が振動したとき、支持剛性を上げて載置台が振動するのを抑制できる。一方、機器類が稼動していないときは、支持剛性を下げて、床から載置台に伝播される振動を抑制できる。
【００１４】
請求項２に記載の発明に係る載置台の支持装置は、機器類が載せられる載置台に、鉛直方向に対して傾斜角度を付けて取り付けられ、前記載置台を支持する一対の傾斜支持板と、一対の前記傾斜支持板の間に架け渡され、印加された電圧で変形し、前記傾斜支持板の傾斜角度を変える膜型のアクチュエータ用圧電素子と、前記載置台の振動情報を出力する情報出力手段と、前記情報出力手段からの情報に基づき、前記アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生し、電圧発生手段から前記アクチュエータ用圧電素子に前記電圧を印加させる制御手段と、を有することを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、一対の傾斜支持板が、鉛直方向に対して傾斜角度を付けて載置台を支持している。この載置台の振動情報を、情報出力手段が制御手段へ出力し、制御手段が、振動情報に基づき、アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生させ、電圧発生手段に出力する。電圧発生手段は、電圧を発生させアクチュエータ用圧電素子に印加する。アクチュエータ用圧電素子は、印加された電圧に従って変形し、傾斜支持板の傾斜角度を変化させる。
【００１６】
即ち、載置台の振動情報に基づき、アクチュエータ用圧電素子で一対の傾斜支持板の傾斜角度を変化させ、載置台を支持する支持剛性を変化させる。具体的には、一対の傾斜支持板を、鉛直に近い角度で支持させて支持剛性を上げ、水平に近い角度で支持させて支持剛性を下げる。
【００１７】
これにより、機器類の稼動により発生する衝撃力で載置台が振動したとき、支持剛性を上げて載置台が振動するのを抑制できる。一方、機器類が稼動していないときは、支持剛性を下げて、床から載置台に伝播される振動を抑制することができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の載置台の支持装置において、一対の前記傾斜支持板は、側面視がハ字状とされ、上端部が前記載置台とピン接合されていることを特徴としている。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、ハ字状とされた一対の傾斜支持板の上端部が載置台とピン接合されている。
これにより、傾斜支持板の上端部と載置台の位置が一定に保たれる。この状態で、一対の傾斜支持板の下端部を鉛直軸に対して左右対称に移動させ、一対の傾斜支持板の下端部の距離を変えることで傾斜支持板の傾斜角度を変化させることができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の載置台の支持装置において、前記アーチ状支持板及び前記傾斜支持板の下端部は、台座の凹部に支持され、前記凹部の底面の形状は、前記載置台の高さを一定に維持したとき、前記曲率を変化させたときの前記アーチ状支持板の下端部が描く軌跡、又は前記傾斜角度を変えたときの前記傾斜支持板の下端部が描く軌跡、とされていることを特徴としている。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、台座の凹部がアーチ状支持板、又は傾斜支持板の下端部を支持している。このとき、アーチ状支持板用の凹部の底面の形状は、曲率を変化させたときのアーチ状支持板の下端部が描く軌跡とされている。これにより、載置台の高さを一定に維持したまま、アーチ状支持板の曲率を変化させて、アーチ状支持板の支持剛性を変化させることができる。
【００２２】
一方、傾斜支持板用の凹部の底面の形状は、載置台の高さを一定に維持したとき、傾斜角度を変えたときの傾斜支持板の下端部が描く軌跡とされている。これにより、載置台の高さを一定に維持したまま、傾斜支持板の傾斜角度を変えて、傾斜支持板の支持剛性を変化させることができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の載置台の支持装置において、前記台座の凹部には、前記凹部に沿ってボールベアリングが配置された溝部が設けられ、前記溝部には、前記アーチ状支持板又は前記傾斜支持板の下端部に設けられた脚部が挿入されていることを特徴としている。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、台座の凹部に設けられた溝部のボールベアリングと、アーチ状支持板又は傾斜支持板の下端部に設けられた脚部が、溝部の内部で摺動可能とされている。
これにより、凹部の底面とアーチ状支持板の脚部、又は凹部の底面と傾斜支持板の脚部が滑らかに摺動できる。
【００２５】
請求項６に記載の発明に係る載置台の支持装置は、機器類が載せられる載置台を支持する空気バネと、前記空気バネと並列に設けられ、上端部が前記載置台とピン接合され、下端部が前記空気バネの台座とピン接合され前記載置台を支持する支持板と、前記支持板の板面に接合され、印加された電圧で変形し、前記支持板を変位させる膜型のアクチュエータ用圧電素子と、前記載置台の振動情報を出力する情報出力手段と、前記情報出力手段からの情報に基づき、前記アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生し、電圧発生手段から前記アクチュエータ用圧電素子に前記電圧を印加させる制御手段と、を有することを特徴としている。
【００２６】
請求項６に記載の発明によれば、空気バネと、アクチュエータ用圧電素子が接合された支持板が並列に設けられ、載置台を支持している。この載置台の振動情報を、情報出力手段が制御手段へ出力し、制御手段が、振動情報に基づき、アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を電圧発生手段に出力する。電圧発生手段は、電圧を発生させアクチュエータ用圧電素子に印加する。アクチュエータ用圧電素子は、印加された電圧に従って変形し、支持板を変位させる。
【００２７】
即ち、載置台の振動情報に基づき、アクチュエータ用圧電素子で支持板を変位させ、載置台の支持剛性を変化させる。
これにより、機器類の稼動により発生する衝撃力で載置台が振動したときは、支持板の支持剛性を上げて載置台が振動するのを抑制できる。一方、機器類が稼動していないときは、支持板の支持剛性を下げて、支持板を経由して、床から載置台に伝播される振動を抑制する。このとき、載置台は並列に設けられた空気バネが支持する。
【００２８】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の載置台の支持装置において、前記アクチュエータ用圧電素子は、前記支持板を座屈させずに剛性を高くして、前記載置台を支持し、前記アクチュエータ用圧電素子は、前記支持板を座屈させ剛性を弱くして、前記載置台を支持することを特徴としている。
【００２９】
請求項７に記載の発明によれば、アクチュエータ用圧電素子が、座屈していない支持板を座屈状態とさせたり、座屈している支持板を座屈していない状態に戻したりさせる。
即ち、支持板が座屈していない状態では、支持板が載置台を高い剛性で支持する。一方、支持板が座屈した状態では、支持板の剛性が低くなり、空気バネが載置台を支持する。
【００３０】
これにより、機器類の稼動により発生する衝撃力で載置台が振動したとき、支持板を座屈していない状態として、支持板の支持剛性を上げて載置台が振動するのを抑制できる。一方、機器類が稼動していないときは、支持板を座屈させて、支持板の支持剛性を下げ、空気バネに載置台を軟らかく支持させ、支持板を経由して、床から載置台に伝播される振動を抑制することができる。
【００３１】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の載置台の支持装置において、前記情報出力手段は、前記機器類が前記載置台を振動させる稼動タイミング情報を出力する稼動タイミング出力手段であることを特徴としている。
【００３２】
請求項８に記載の発明によれば、稼動タイミング出力手段が、機器類が載置台を振動させる稼動タイミング情報を出力する。
これにより、制御手段は、稼動タイミング情報に基づき、アクチュエータ用圧電素子の変形量を制御する制御信号を発生させ、電圧発生手段に出力する。電圧発生手段は、電圧を発生させアクチュエータ用圧電素子に印加する。アクチュエータ用圧電素子は、印加された電圧に従って変形し、アーチ状支持板、傾斜支持板、若しくは支持板の剛性を変化させる。
【００３３】
この結果、機器類の稼動により載置台が振動する前に、アーチ状支持板、傾斜支持板、若しくは支持板の剛性を高くできる。即ち、載置台を振動させることなく制御できるので、載置された機器類を効率よく稼動できる。また、載置台及び床面の振動を検出する振動センサが不要となる。
【００３４】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の載置台の支持装置において、前記情報出力手段は、前記載置台に設けられ前記載置台の振動情報を出力する第１振動センサ、及び前記台座に設けられ前記床面の振動情報を出力する第２振動センサであることを特徴としている。
【００３５】
請求項９に記載の発明によれば、第１振動センサが載置台に設けられ、載置台の振動情報を出力する。また、第２振動センサが台座に設けられ、床面の振動情報を出力する。
これにより、第１振動センサで検出された振動情報に基づいて、アーチ状支持板、傾斜支持板、又は支持板の剛性を上げ、載置台の振動を抑制できる。
【００３６】
このとき、第１振動センサの振動情報には、床面から載置台に伝播された振動も含まれているため、第２振動センサで検出された振動情報を利用して、第１振動センサの振動情報から、床面から載置台へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類による載置台の振動を正確に把握できる。
【００３７】
この修正された振動情報を用いることで、アーチ状支持板、傾斜支持板、及び支持板の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台の振動を抑制できる。
【００３８】
請求項１０に記載の発明は、請求項１又は４に記載の載置台の支持装置において、前記情報出力手段は、前記アーチ状支持板の前記アクチュエータ用圧電素子が接合された接合面と反対面に接合され、前記アーチ状支持板の変位を検出する膜型のセンサ用圧電素子であり、前記センサ用圧電素子は、前記載置台から伝播された振動による変位量を検出する第１センサ用圧電素子と、前記アーチ状支持板を支持する支持部から伝播された振動による変位量を検出する第２センサ用圧電素子と、を有することを特徴としている。
【００３９】
請求項１０に記載の発明によれば、センサ用圧電素子が、アーチ状支持板の変位を検出する。このとき、第１センサ用圧電素子が載置台の近くに設けられ、載置台から伝播された振動による変位量を検出する。また、第２センサ用圧電素子がアーチ状支持板を支持する支持部の近くに設けられ、アーチ状支持板を支持する支持部から伝播された振動による変位量を検出する。
【００４０】
これにより、第１センサ用圧電素子で検出された変位量に基づいて、アーチ状支持板の曲率を小さくして剛性を上げ、載置台の振動を抑制できる。
【００４１】
このとき、第１センサ用圧電素子の振動情報には、床面から載置台に伝播された振動も含まれているため、第２センサ用圧電素子で検出された振動情報を利用して、第１センサ用圧電素子の振動情報から、床面から載置台へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類による載置台の振動を正確に把握できる。
この修正された振動情報を用いることで、アーチ状支持板の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台の振動を抑制できる。
【００４２】
請求項１１に記載の発明は、請求項２〜４に記載の載置台の支持装置において、前記情報出力手段は、前記傾斜支持板の前記アクチュエータ用圧電素子が接合された接合面と反対面に接合され、前記傾斜支持板のたわみ量を検出する膜型のセンサ用圧電素子であり、  前記センサ用圧電素子は、前記載置台から伝播された振動によるたわみ量を検出する第３センサ用圧電素子と、前記傾斜支持板を支持する支持部から伝播された振動によるたわみ量を検出する第４センサ用圧電素子と、を有することを特徴としている。
【００４３】
請求項１１に記載の発明によれば、センサ用圧電素子が、アクチュエータ用圧電素子が接合された傾斜支持板のたわみ量を検出する。このとき、第３センサ用圧電素子が載置台の近くに設けられ、載置台から伝播された振動によるたわみ量を検出する。一方、第４センサ用圧電素子が、傾斜支持板を支持する支持部の近くに設けられ、傾斜支持板を支持する支持部から伝播された振動によるたわみ量を検出する。
【００４４】
これにより、第３センサ用圧電素子で検出されたたわみ量に基づいて、傾斜支持板の傾斜角度を鉛直に近づけて剛性を上げ、載置台の振動を抑制できる。
【００４５】
このとき、第３センサ用圧電素子の振動情報には、床面から載置台に伝播された振動も含まれているため、第４センサ用圧電素子で検出された振動情報を利用して、第３センサ用圧電素子の振動情報から、床面から載置台へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類による載置台の振動を正確に把握できる。
この修正された振動情報を用いることで、傾斜支持板の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台の振動を抑制できる。
【００４６】
請求項１２に記載の発明は、請求項６又は７に記載の載置台の支持装置において、前記情報出力手段は、前記支持板の前記アクチュエータ用圧電素子が接合された接合面と反対面に接合され、前記支持板のたわみ量を検出する膜型のセンサ用圧電素子であり、前記センサ用圧電素子は、前記載置台から伝播された振動によるたわみ量を検出する第５センサ用圧電素子と、前記支持板を支持する支持部から伝播された振動によるたわみ量を検出する第６センサ用圧電素子と、を有することを特徴としている。
【００４７】
請求項１２に記載の発明によれば、センサ用圧電素子が支持板のたわみ量を検出する。このとき、第５センサ用圧電素子が載置台の近くに設けられ、載置台から伝播された振動によるたわみ量を検出する。また、第６センサ用圧電素子が支持板を支持する支持部の近くに設けられ、支持板を支持する支持部から伝播された振動によるたわみ量を検出する。
【００４８】
これにより、第５センサ用圧電素子で検出されたたわみ量に基づいて、支持板を座屈させずに剛性を上げ、載置台の振動を抑制できる。
このとき、第５センサ用圧電素子の振動情報には、床面から載置台に伝播された振動も含まれているため、第６センサ用圧電素子で検出された振動情報を利用して、第５センサ用圧電素子の振動情報から、床面から載置台へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類による載置台の振動を正確に把握できる。
この修正された振動情報を用いることで、支持板の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台の振動を抑制できる。
【００４９】
請求項１３に記載の発明は、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の載置台の支持装置において、前記センサ用圧電素子及び前記アクチュエータ用圧電素子は、シート状に成形された矩形圧電セラミック繊維の両面に、ポリイミドフィルム印刷電極を接合した圧電素子であり、前記アーチ状支持板、前記傾斜支持板、及び前記支持板は板バネであることを特徴としている。
【００５０】
これにより、センサ用圧電素子及びアクチュエータ用圧電素子に使用する圧電素子の薄膜化が可能となる。また、アーチ状支持板、傾斜支持板、及び支持板に板バネを使用することで、軟らかく衝撃に強い圧電素子となる。この結果、センサ機能及びアクチュエータ機能が発揮される。
【発明の効果】
【００５１】
本発明は、上記構成としてあるので、載置された機器類の稼動に伴い発生する衝撃力による振動を抑制する、載置台の支持装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータ用圧電素子の基本構成を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るアーチ状支持板の基本構成を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る台座２２の凹部の形状を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るアーチ状支持板を変形させる制御フローを示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係るアーチ状支持板の支持剛性の試算条件を示す図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係るアーチ状支持板の支持剛性の試算結果を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るアーチ状支持板を変形させる制御フローを示す図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係るアーチ状支持板を変形させる制御フローを示す図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態に係る傾斜支持板の基本構成を示す図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態に係る台座２２の凹部の形状を示す図である。
【図１５】本発明の第４の実施の形態に係る傾斜支持板の支持剛性の試算条件、及び試算結果を示す図である。
【図１６】本発明の第５の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図１７】本発明の第６の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図１８】本発明の第７の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図１９】本発明の第８の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図２０】本発明の第８の実施の形態に係る載置台の支持装置において支持板を座屈させたときの構成を示す図である。
【図２１】本発明の第９の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図２２】本発明の第９の実施の形態に係る載置台の支持装置において支持板を座屈させたときの構成を示す図である。
【図２３】本発明の第１０の実施の形態に係る載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【図２４】本発明の第１０の実施の形態に係る載置台の支持装置において支持板を座屈させたときの構成を示す図である。
【図２５】従来例の載置台の支持装置の基本構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００５３】
（第１の実施の形態）
図１に示すように、第１の実施の形態に係る載置台の支持装置１０は、床面２４上に台座２２が設けられ、台座２２の上面には凹部２８が鉛直軸ｙ１と対象に形成されている。
凹部２８の底面にはアーチ状支持板１２が配置され、凹部２８の底面とアーチ状支持板１２の下端部は、摺動可能とされている。
【００５４】
アーチ状支持板１２は、板バネをアーチ状に折り曲げて形成され、折曲げ部の一方の側面には、アーチ部を覆う大きさで、印加された電圧に対応して変形するアクチュエータ用圧電素子１４が接合されている。また、アクチュエータ用圧電素子１４には、電圧を印加するためのリード線２１が接続されている。
【００５５】
ここに、アクチュエータ用圧電素子１４は、図２（Ａ）に示すように、膜状とされた繊維状の圧電セラミック７６の両側面に、電極が印刷されたポリイミドフィルム７８をエポキシ樹脂７７で接合した構造である。
【００５６】
これにより、図２（Ｂ）に示すように、圧電セラミック７６の両側面にリード線２１を介して電圧を印加すれば、圧電セラミック７６に印加された電圧値に従った歪が生じ、アクチュエータ用圧電素子１４が矢印のＷ１、若しくはＷ２の方向に変形する。
【００５７】
このアクチュエータ用圧電素子１４を、図３（Ａ）に示すように、アーチ状支持板１２の折曲げ部となる場所の片面に接合している。
この状態で頂部となる位置を中心に所定の曲率で折り曲げればアーチ状支持板１２となる。アーチ状支持板１２は、折曲げ部の曲率を変化させれば、折曲げ部の頂部で荷重Ｐを受けた時の支持剛性を変化させることができる。
【００５８】
具体的には、図３（Ｂ）に示すように、アーチ部の曲率を大きくて荷重Ｐを支持する場合には、支持剛性は小さい値となる。一方、図３（Ｃ）に示すように、アーチ状支持板１２の曲率を小さくして荷重Ｐを支持する場合には、支持剛性は大きい値となる。なお、折曲げ部の曲率と支持剛性の関係については、詳細は後述する。
【００５９】
また、図４に示すように、台座２２の凹部２８の底面の形状は、アーチ状支持板１２の曲率を変化させたときの、アーチ状支持板１２の下端部が描く軌跡とされている。即ち、実線で示すアーチ状支持板１２Ａは、折曲げ部の曲率を大きくしたとき、２点鎖線で示すアーチ状支持板１２Ｂは、折曲げ部の曲率を小さくしたときの形状の例である。
【００６０】
これにより、載置台２６の高さを一定に維持したまま、アーチ状支持板１２の曲率を変化させて、アーチ状支持板１２の支持剛性を変化させることができる。
また、図１に示すように、アクチュエータ用圧電素子１４の頂部に載置台２６が載せられ、アーチ状支持板１２で載置台２６が支持されている。
【００６１】
載置台２６の上には精密加工を行う機器類２７が載せられ、機器類２７と稼動タイミング出力手段１６がリード線９６で接続されている。これにより、機器類２７の運転情報が、機器類２７から稼動タイミング出力手段１６に出力される。
【００６２】
稼動タイミング出力手段１６は、制御手段１８に接続され、機器類２７の運転情報から稼動タイミング情報を検出し、制御手段１８に出力する。
【００６３】
制御手段１８は、電圧発生手段２０に接続され、稼動タイミング出力手段１６からの稼動タイミング情報に基づいて、振動前に載置台２６の振動を低減させる制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、リード線２１でアクチュエータ用圧電素子１４と接続され、発生させた電圧を印加する。
このような構成とすることにより、図５に示す手順で載置台２６の振動を抑制できる。
【００６４】
即ち、機器類２７は運転情報を稼動タイミング出力手段１６に出力し、稼動タイミング出力手段１６は、運転情報から機器類２７の稼動タイミング情報を検出し、制御手段１８に出力する。制御手段１８は、機器類２７の稼動時刻が近づいたときは、稼動タイミングに一致させて、アーチ状支持板１２の曲率を小さくし、支持剛性を上げるよう電圧発生手段２０に制御出力を出す。電圧発生手段２０は、制御出力に従って印加する電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子１４に出力する。これにより、アーチ状支持板１２の曲率が小さくなり、載置台２６の振動が抑制される。
【００６５】
一方、機器類２７が次に稼動するまでの時間が所定値以上のときは、制御手段１８は、アーチ状支持板１２の曲率を大きくし、載置台２６を支持する支持剛性を下げるよう、電圧発生手段２０に制御信号を出力する。電圧発生手段２０は、制御出力に従って印加電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子１４に出力する。これにより、アーチ状支持板１２の曲率が大きくなり、床面２４から載置台２６へ伝播される振動が抑制される。
【００６６】
次に、アーチ状支持板１２の曲率と支持剛性の関係の試算結果について説明する。
試算方法は、図６（Ａ）に示すように、アーチ状支持板１２の試算モデルを決定し、載置台２６を想定してアーチ状支持板１２の頂部に荷重Ｐを加え、アーチ状支持板１２に生じる鉛直剛性を求めた。
【００６７】
具体的には、アーチ状支持板１２の素材は鉄板とし、鉄板の板厚は１．０ｍｍ、０．５ｍｍの２種類とした。また、計算処理の都合上、アーチ形状は複数の平板の折り曲げ形状で近似させた。アーチ状支持板１２の幅は１５０ｍｍとし、床面からアーチ部の頂部までの高さ（ｈ）は、荷重Ｐがない状態で８０ｍｍ、９０ｍｍ、１００ｍｍの３種類とした。
【００６８】
また、アーチ状支持板１２の下端部と床面の接合部の境界条件は、両方の下端部共にピン接続とし、ピン部１１で回転自由とした。また、荷重Ｐは１０００ｋｇの一点集中荷重とした。
【００６９】
結果の一例は、図６（Ｂ）に示すように、荷重Ｐを加える前の２点鎖線で示すアーチ状支持板１２Ａの形状は、荷重Ｐにより変形して実線で示すアーチ状支持板１２Ｂとなる。
この時の鉛直剛性の値は、図７（Ａ）に示すように、鉄板の厚さが１．０ｍｍのとき２．０×１０６（Ｎ／ｍ）、０．５ｍｍのとき２．５×１０５（Ｎ／ｍ）であった。
【００７０】
試算した全ての条件における結果を図７（Ｂ）に示す。横軸はライズ、縦軸は鉛直剛性である。ここに、ライズとは、荷重Ｐを加える前のアーチ状支持板１２の、最下部の平面部の床面からの立ち上がり量（床面の基準位置を１とした時の高さ）である。即ち、アーチ状支持板１２の曲率を小さくすればライズが大きくなる。
【００７１】
結果から、ライズを大きく（曲率を小さく）すれば、鉛直剛性は上昇する関係にあるといえる。このとき、板厚が１．０ｍｍの上昇の方が、板厚が０．５ｍｍの上昇より大幅に大きくなり、ライズが８（ｍｍ／ｍｍ）の条件では約８倍となる。
【００７２】
以上の試算から、アーチ状支持板１２の曲率を変化させれば、支持剛性を変化させることができるといえる。
なお、以上の説明において、台座２２を床面２４に設置した状態で説明したが、例えば従来の除振台の上に載せるなど、従来の除振台と併用して用いてもよい。
【００７３】
（第２の実施の形態）
図８に示すように、第２の実施の形態に係る載置台の支持装置４０は、載置台２６の上に、載置台２６の振動を検出する第１振動センサ３２が取付けられ、床面２４の振動を検出する第２振動センサ３３が、台座２２の上に取付けられている。
【００７４】
第１振動センサ３２と第２振動センサ３３は、いずれも制御手段１８に接続され、振動情報が制御手段１８に出力される。
【００７５】
制御手段１８は電圧発生手段２０に接続され、制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４とリード線２１で接続され、発生させた印加電圧をアクチュエータ用圧電素子１４に出力する。
【００７６】
他の構成は、第１の実施の形態における載置台の支持装置１０と同一であり、説明は省略する。
【００７７】
これにより、図９に示すように、第１振動センサ３２が、載置台２６の振動を検出するので、制御手段１８は、第１振動センサ３２で検出された振動情報に基づいて、アーチ状支持板１２の剛性を上げて、載置台２６の振動を抑制できる。また、載置台２６の振動が検出されないときは、アーチ状支持板１２の剛性を下げて、床面から載置台２６に伝播される振動を抑制できる。
【００７８】
なお、第１振動センサ３２の振動情報には、床面２４から載置台２６に伝播された振動（破線３６）が含まれ、第２振動センサ３３で検出された振動情報には、載置台２６から床面２４に伝播された振動（破線３７）が含まれている。このため、第２振動センサ３３で検出された振動情報を利用して、第１振動センサ３２の振動成分の中から、床面２４から載置台２６へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類２７による載置台２６の振動（直動外乱）を正確に把握できる。
【００７９】
この修正された振動情報（直動外乱）を用いることで、アーチ状支持板１２の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台２６の振動を抑制できる。
【００８０】
（第３の実施の形態）
図１０に示すように、第３の実施の形態に係る載置台の支持装置４４は、アーチ状支持板１２のアクチュエータ用圧電素子１４が接合された接合面と反対面に、第１センサ用圧電素子３８と、第２センサ用圧電素子３４が接合されている。
【００８１】
第１センサ用圧電素子３８と第２センサ用圧電素子３４は、いずれも制御手段１８と接続され、制御手段１８に振動情報を出力する。制御手段１８は電圧発生手段２０に接続され、制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４とリード線２１で接続され、発生させた印加電圧をアクチュエータ用圧電素子１４に出力する。
【００８２】
ここに、第１センサ用圧電素子３８は、載置台２６の近くである折曲げ部に接合され、載置台２６から伝播された振動による変位量を検出し、第２センサ用圧電素子３４は、アーチ状支持板１２を支持する支持部の近くに設けられ、アーチ状支持板１２を支持する支持部から伝播された振動による変位量を検出する。
【００８３】
他の構成は、第１の実施の形態における載置台の支持装置１０と同一であり、説明は省略する。
【００８４】
これにより、図１１に示すように、第１センサ用圧電素子３８が、載置台２６の振動による変位量を検出するので、制御手段１８は、第１センサ用圧電素子３８で検出された振動情報に基づいて、アーチ状支持板１２の剛性を上げて、載置台２６の振動を抑制する。
【００８５】
また、載置台２６の振動が検出されないときは、アーチ状支持板１２の剛性を下げて、床面から伝播される振動による載置台２６の振動を抑制する。
【００８６】
なお、第１センサ用圧電素子３８の振動情報には、床面２４から載置台２６に伝播された振動（破線３６）が含まれ、第２センサ用圧電素子３４で検出された振動情報には、載置台２６から床面２４に伝播された振動（破線３７）が含まれている。このため、第２センサ用圧電素子３４で検出された振動情報を利用して、第１センサ用圧電素子３８の振動成分の中から、床面２４から載置台２６へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類２７による載置台２６の振動（直動外乱）を正確に把握できる。
【００８７】
この修正された振動情報（直動外乱）を用いることで、アーチ状支持板１２の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台２６の振動を抑制できる。
【００８８】
（第４の実施の形態）
図１２に示すように、第４の実施の形態に係る載置台の支持装置６０は、床面２４上に台座６２が設けられ、台座６２の上面には凹部６４が鉛直軸ｙ２と対象に形成されている。
【００８９】
凹部６４の底面には側面視がハ字状に配置された一対の傾斜支持板６６が配置され、凹部６４の底面と傾斜支持板６６の下端部は、摺動可能とされている。
【００９０】
傾斜支持板６６は、板バネで平板状に形成され、鉛直軸ｙ２に対して対象に設けられ、鉛直軸ｙ２に対する傾斜角度αで載置台２６を支持している。一対の傾斜支持板６６の上端部７０は、載置台２６の下面とピン接合７０されている。
【００９１】
傾斜支持板６６の下部には、印加された電圧で変形し、傾斜支持板６６の傾斜角度を変える膜型のアクチュエータ用圧電素子６８が円弧状に架け渡されている。
ここに、アクチュエータ用圧電素子６８は、第１の実施の形態で説明したアクチュエータ用圧電素子１４と同じ構造である。アクチュエータ用圧電素子６８には、電圧を印加するためのリード線２１が接続されている。
【００９２】
図１３（Ａ）に示すように、傾斜支持板６６とアクチュエータ用圧電素子６８の接合は、アクチュエータ用圧電素子６８の片面に、一対となる傾斜支持板６６の端部を、アクチュエータ用圧電素子６８の端部と一致させて重ね合せ、外側端部の接合面６９を接着剤で接合する。
【００９３】
これにより、傾斜支持板６６側を上にして中央部で折り曲げて、接着剤で接合された両側の端部を下して、台座６２の凹部６４に配置すれば図１２の構成となる。
【００９４】
このとき、図１３（Ｂ）に示すように、台座６２の凹部６４の底面の形状は、傾斜支持板６６の傾斜角度を変化させたときの、傾斜支持板６６の下端部が描く軌跡とされている。
これにより、載置台２６の高さを一定に維持したまま、傾斜支持板６６の傾斜角度を変化させて、傾斜支持板６６の支持剛性を変化させることができる。
【００９５】
即ち、図１４（Ａ）に示すように、傾斜支持板６６の傾斜角度αを大きくし、支持剛性を下げて載置台２６を支持することができる。一方、図１４（Ｂ）に示すように、傾斜角度αを小さくし、支持剛性を上げて載置台２６を支持することができる。なお、傾斜支持板６６の傾斜角度αと支持剛性の関係については後述する。
【００９６】
また、図１２に示すように、載置台２６には機器類２７が載せられ、機器類２７の運転は情報出力手段１６で制御されている。
載置台２６の上には精密加工を行う機器類２７が載せられ、機器類２７と稼動タイミング出力手段１６がリード線９６で接続されている。これにより、機器類２７の運転情報が機器類２７から稼動タイミング出力手段１６に出力される。
【００９７】
稼動タイミング出力手段１６は、制御手段１８に接続され、機器類２７の運転情報から稼動タイミング情報を検出し、制御手段１８に出力する。
【００９８】
制御手段１８は、圧電発生手段２０に接続され、稼動タイミング出力手段１６からの稼動タイミング情報に基づいて、振動前に載置台２６の振動を低減させる制御信号を電圧発生手段２０に出力する。圧電発生手段２０は、リード線２１でアクチュエータ用圧電素子６８と接続され、発生させた電圧を印加する。
このような構成とすることにより、次の手順で載置台２６の振動を抑制できる。
【００９９】
即ち、機器類２７は運転情報を稼動タイミング出力手段１６に出力し、稼動タイミング出力手段１６は、運転情報から機器類２７の稼動タイミング情報を検出し、制御手段１８に出力する。制御手段１８は、機器類２７の稼動時刻が近づいたときは、稼動タイミングに一致させて、傾斜支持板６６の傾斜角度αを小さくし、支持剛性を上げるよう電圧発生手段２０に制御出力を出す。電圧発生手段２０は、制御出力に従って印加する電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子６９に出力する。アクチュエータ用圧電素子６８は、印加された電圧に基づいて変形し、傾斜支持板６６の傾斜角度αを小さくさせる。
これにより、傾斜支持板６６の支持剛性が上がり、載置台２６の振動が抑制される。
【０１００】
一方、機器類２７が次に稼動するまでの時間が所定値以上のときは、制御手段１８は、傾斜支持板１２の傾斜角度αを大きくし、載置台２６を支持する支持剛性を下げるよう、電圧発生手段２０に制御出力を出す。電圧発生手段２０は、制御出力に従って印加電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子６８に出力する。アクチュエータ用圧電素子６８は、印加された電圧に基づいて変形し、傾斜支持板６６の傾斜角度αを大きくさせる。
【０１０１】
これにより、傾斜支持板６６の支持剛性が上がり、床面２４から載置台２６への振動が抑制される。
【０１０２】
次に、傾斜支持板６６の傾斜角度と支持剛性の関係の試算結果について説明する。
試算方法は、図１５（Ａ）に示すように、傾斜支持板６６の試算モデルを決定し、載置台２６を想定して傾斜支持板６６の持ち上げられた端部に荷重Ｐを加えた。この状態で、傾斜支持板６６に生じている鉛直剛性を算出した。
【０１０３】
具体的には、傾斜支持板６６の素材は鉄板とし、鉄板の板厚は１．０ｍｍ、０．５ｍｍの２種類とした。傾斜支持板１２の幅は１５０ｍｍとし、床面２４と傾斜支持板６６の間の傾斜角度θは、荷重Ｐがない状態で３０度、４５度、６０度の３種類とした。なお、試算における傾斜角度θは、床面２４と傾斜支持板６６のなす角度で表している。
【０１０４】
また、傾斜支持板６６の下端部と床面の接合部の境界条件は、下端部をピン接続とし、ピン接続部（図示せず）において回転自由とした。なお、荷重Ｐは１０００ｋｇの一点集中荷重とした。
試算した全ての条件における結果を図１５（Ｂ）に示す。横軸は傾斜角度θ（度）、縦軸は鉛直剛性（Ｎ／ｍ）である。
【０１０５】
結果から、傾斜角度θを大きくすると、鉛直剛性が上昇する傾向が把握できる。このとき、鉛直剛性の上昇割合は、板厚１．０ｍｍの方が、板厚０．５ｍｍより大きい。
【０１０６】
以上の試算結果から、傾斜角度θを変化させることで、傾斜支持板６６の支持剛性を変化させることができるといえる。
【０１０７】
（第５の実施の形態）
図１６に示すように、第５の実施の形態に係る載置台の支持装置７２は、載置台２６の上に、載置台２６の振動を検出する第１振動センサ３２が取付けられ、床面２４の振動を検出する第２振動センサ３３が、台座６２の上に取付けられている。
【０１０８】
第１振動センサ３２と第２振動センサ３３は、いずれも制御手段１８に接続され、振動情報が制御手段１８に出力される。
制御手段１８は電圧発生手段２０に接続され、制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４とリード線２１で接続され、発生させた印加電圧をアクチュエータ用圧電素子１４に出力する。
【０１０９】
他の構成は、第４の実施の形態における載置台の支持装置１０と同一であり、説明は省略する。
【０１１０】
これにより、第１振動センサ３２が、載置台２６の振動を検出するので、制御手段１８は、第１振動センサ３２で検出された振動情報に基づいて、傾斜支持板６６の剛性を上げて、載置台２６の振動を抑制できる。また、載置台２６の振動が検出されないときは、傾斜支持板６６の剛性を下げて、床面から載置台２６に伝播される振動を抑制できる。
【０１１１】
なお、第１振動センサ３２の振動情報には、床面２４から載置台２６に伝播された振動も含まれているため、第２振動センサ３３で検出された振動情報を利用して、第１振動センサ３２の振動成分の中から、床面２４から載置台２６へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類２７による載置台２６の振動（直動外乱）を正確に把握できる。
【０１１２】
この修正された振動情報（直動外乱）を用いることで、傾斜支持板６６の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台２６の振動を抑制できる。
【０１１３】
（第６の実施の形態）
図１７に示すように、第６の実施の形態に係る載置台の支持装置７４は、傾斜支持板６６のアクチュエータ用圧電素子６８が接合された接合面と反対面に、第３センサ用圧電素子１００と、第４センサ用圧電素子１０２が接合されている。
【０１１４】
第３センサ用圧電素子１００と第４センサ用圧電素子１０２は、いずれも制御手段１８と接続され、制御手段１８に振動情報を出力する。制御手段１８は電圧発生手段２０に接続され、制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子６８とリード線２１で接続され、発生させた印加電圧をアクチュエータ用圧電素子６８に出力する。
【０１１５】
ここに、第３センサ用圧電素子１００は、載置台２６の近くの上部に接合され、載置台２６から伝播された振動による変位量を検出し、第４センサ用圧電素子１０２は、傾斜支持板６６を支持する支持部の近くに設けられ、傾斜支持板６６を支持する支持部から伝播された振動による変位量を検出する。
【０１１６】
他の構成は、第４の実施の形態における載置台の支持装置６０と同一であり、説明は省略する。
【０１１７】
これにより、第３センサ用圧電素子１００が、載置台２６の振動による変位量を検出するので、制御手段１８は、第１センサ用圧電素子１００で検出された振動情報に基づいて、傾斜支持板６６の剛性を上げて、載置台２６の振動を抑制する。
【０１１８】
また、載置台２６の振動が検出されないときは、傾斜支持板６６の剛性を下げて、床面２４から伝播される振動による載置台２６の振動を抑制する。
【０１１９】
なお、第３センサ用圧電素子１００の振動による変位量の情報には、床面２４から載置台２６に伝播された振動も含まれているため、第４センサ用圧電素子１０２で検出された振動による変位量の情報を利用して、第３センサ用圧電素子１００の振動成分の中から、床面２４から載置台２６へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類２７による載置台２６の振動（直動外乱）を正確に把握できる。
【０１２０】
この修正された振動情報（直動外乱）を用いることで、傾斜支持板６６の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台２６の振動を抑制できる。
【０１２１】
（第７の実施の形態）
図１８（Ａ）に示すように、第７の実施の形態に係る載置台の支持装置５０は、台座２２の凹部２８に、凹部の底面２８に沿ってボールベアリング５２が配置された溝部５６が設けられている。
【０１２２】
図１８（Ｂ）に示すように、溝部５６は、断面視が矩形状とされ、入口部５８の幅Ｗ２より、奥の溝部５６の幅Ｗ１が広くされている。ボールベアリング５２は、全長に渡り、溝部５６の底壁、側壁、及び上壁にそれぞれ複数個が埋め込まれている。
【０１２３】
図１８（Ｃ）に示すように、アーチ状支持板１２の下端部１２Ｅは、溝部５６に挿入できるよう幅が狭められており、下端部１２Ｅの先端には脚部５４が取付けられている。また、脚部５４は凹部の傾斜に沿った曲面とされている。
【０１２４】
これにより、脚部５４を溝部５６の上面から挿入することができ、脚部５４とボールベアリング５２が滑らかに摺動する。このとき、凹部の底面２８で、脚部５４が溝部５６から外れることがない。
【０１２５】
なお、以上の説明は、第１の実施の形態における載置台の支持装置１０を例にとり説明したが、第２の実施の形態〜第６の実施の形態の載置台の支持装置４０、４４、６０、７２、７４に適用してもよい。
【０１２６】
（第８の実施の形態）
図１９に示すように、第８の実施の形態に係る載置台の支持装置１０４は、床面２４上に台座１１０が設けられ、台座１１０の上には空気バネ１０６が設けられている。
【０１２７】
空気バネ１０６は内部に空気が充填され、載置台２６を軟らかく支持する。空気バネ１０６の下部と台座１１０の間には、取付部材１０８が設けられている。また、空気バネ２８の上部と載置台２６の間には、取付部材１０９が設けられている。
これにより、空気バネ２８が台座１１０と載置台２６の間で、載置台２６を軟らかく支持する。
【０１２８】
空気バネ２８と並列に支持板１１２が鉛直方向に配置されている。支持板１１２は、直状の板バネとされ、上下端部にピン接合部１１４を有している。このピン接合部１１４により台座１１０の上面と支持板１１２の下端部、載置台２６の下面と支持板１１２の上端部は、回動可能とされている。
【０１２９】
支持板１１２の片側の側面には、印加された電圧に対応して変形するアクチュエータ用圧電素子１４が接合されている。アクチュエータ用圧電素子１４は、第１の実施の形態で説明したものと同じ構造である。アクチュエータ用圧電素子１４には、電圧を印加するためのリード線２１が接続されている。
【０１３０】
この構成において、アクチュエータ用圧電素子１４に電圧を印加して変形させれば、支持板１１２を、座屈していない状態から座屈させることができる。一方、座屈している状態から座屈していない状態に戻すこともできる。
【０１３１】
具体的には、図１９に示すように、支持板１１２を座屈していない状態の直状とし、支持剛性を上げて載置台２６を支持させることができる。一方、図２０に示すように、支持板１２を変形させて座屈させ、載置台２６を支持する支持剛性を下げることができる。このとき、支持板１１２の支持剛性を下げた分、空気バネ１０６が載置台２６を軟らかく支持する。
【０１３２】
載置台２６の上には精密加工を行う機器類２７が載せられ、機器類２７と稼動タイミング出力手段１６がリード線９６で接続されている。これにより、機器類２７の運転情報が、機器類２７から稼動タイミング出力手段１６に出力される。
【０１３３】
稼動タイミング出力手段１６は、制御手段１８に接続され、機器類２７の運転情報から稼動タイミング情報を検出し、制御手段１８に出力する。
【０１３４】
制御手段１８は、圧電発生手段２０に接続され、稼動タイミング出力手段１６からの稼動タイミング情報に基づいて、振動前に載置台２６の振動を低減させる制御信号を電圧発生手段２０に出力する。圧電発生手段２０は、リード線２１でアクチュエータ用圧電素子１４と接続され、発生させた電圧を印加する。
このような構成とすることにより、次の手順で載置台２６の振動を抑制できる。
【０１３５】
即ち、機器類２７は運転情報を稼動タイミング出力手段１６に出力し、稼動タイミング出力手段１６は、運転情報から機器類２７の稼動タイミング情報を検出し、制御手段１８に出力する。制御手段１８は、機器類２７の稼動時刻が近づいたときは、稼動タイミングに一致させて、座屈している支持板１１２を座屈していない状態にし、支持剛性を上げるよう電圧発生手段２０に制御出力を出す。電圧発生手段２０は、制御出力に従って印加する電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子１４に出力する。アクチュエータ用圧電素子１４の変形で支持板１１２が座屈していない状態になり、支持剛性を上げて載置台２６を支持する。
これにより、載置台２６の振動が抑制できる。
【０１３６】
一方、機器類２７が次に稼動するまでの時間が所定値以上のときは、制御手段１８は、支持板１１２を座屈させ、載置台２６を支持する支持剛性を下げるよう、電圧発生手段２０に制御出力を出す。電圧発生手段２０は、制御出力に従って印加電圧を発生させ、アクチュエータ用圧電素子１４に出力する。アクチュエータ用圧電素子１４の変形で支持板１１２が座屈し、支持剛性を下げ、空気バネ１０６が載置台２６を軟らかく支持する。
これにより、床面２４から載置台２６に伝播される振動を抑制できる。
【０１３７】
（第９の実施の形態）
図２１に示すように、第９の実施の形態に係る載置台の支持装置１２０は、載置台２６の上に、載置台２６の振動を検出する第１振動センサ１２２が取付けられ、台座１１０の上に床面２４の振動を検出する第２振動センサ１２４が取付けられている。
【０１３８】
第１振動センサ１２２と第２振動センサ１２４は、いずれも制御手段１８に接続され、振動情報が制御手段１８に出力される。
【０１３９】
制御手段１８は電圧発生手段２０に接続され、制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４とリード線２１で接続され、発生させた印加電圧をアクチュエータ用圧電素子１４に出力する。
他の構成は、第８の実施の形態における載置台の支持装置１０４と同一であり、説明は省略する。
【０１４０】
これにより、第１振動センサ１２２が、載置台２６の振動を検出するので、制御手段１８は、第１振動センサ１２２で検出された振動情報に基づいて、支持板１１２の剛性を上げて、載置台２６の振動を抑制できる。
【０１４１】
また、図２２に示すように、載置台２６の振動が検出されないときは、支持板１１２の剛性を下げて空気バネ１０６に支持させ、床面２４から載置台２６に伝播される振動を抑制できる。
【０１４２】
なお、第１振動センサ１２２の振動情報には、床面２４から載置台２６に伝播された振動も含まれているため、第２振動センサ１２４で検出された振動情報を利用して、第１振動センサ１２２の振動成分の中から、床面２４から載置台２６へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類２７による載置台２６の振動（直動外乱）を正確に把握できる。
【０１４３】
この修正された振動情報（直動外乱）を用いることで、支持板１１２の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台２６の振動を抑制できる。
【０１４４】
（第１０の実施の形態）
図２３に示すように、第１０の実施の形態に係る載置台の支持装置１３０は、支持板１１２のアクチュエータ用圧電素子１４が接合された接合面と反対面に、第５センサ用圧電素子１３２と、第６センサ用圧電素子１３４が接合されている。
【０１４５】
第５センサ用圧電素子１３２と第６センサ用圧電素子１３４は、いずれも制御手段１８と接続され、制御手段１８に振動情報を出力する。制御手段１８は電圧発生手段２０に接続され、制御信号を電圧発生手段２０に出力する。電圧発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４とリード線２１で接続され、発生させた印加電圧をアクチュエータ用圧電素子１４に出力する。
【０１４６】
ここに、第５センサ用圧電素子１３２は、載置台２６の近くの上部に接合され、載置台２６から伝播された振動による変位量を検出し、第６センサ用圧電素子１３４は、支持板１１２を支持する支持部の近くに設けられ、支持板１１２を支持する支持部から伝播された振動による変位量を検出する。
他の構成は、第８の実施の形態における載置台の支持装置１０４と同一であり、説明は省略する。
【０１４７】
これにより、第５センサ用圧電素子１３２が、載置台２６の振動による変位量を検出するので、制御手段１８は、第５センサ用圧電素子１３２で検出された振動情報に基づいて、支持板１１２の剛性を上げて、載置台２６の振動を抑制できる。
【０１４８】
また、載置台２６の振動が検出されないときは、制御手段１８は、支持板１１２の剛性を下げて、空気バネ１０６で軟らかく支持させ、床面２４から載置台２６に伝播される振動を抑制する。
【０１４９】
なお、第５センサ用圧電素子１３２の振動による変位量の情報には、床面２４から載置台２６に伝播された振動も含まれているため、第６センサ用圧電素子１３４で検出された振動による変位量の情報を利用して、第５センサ用圧電素子１３２の振動成分の中から、床面２４から載置台２６へ伝播された振動成分を差し引くことで、機器類２７による載置台２６の振動（直動外乱）を正確に把握できる。
【０１５０】
この修正された振動情報（直動外乱）を用いることで、支持板１１２の剛性をより正確に調整でき、効果的に載置台２６の振動を抑制できる。
【符号の説明】
【０１５１】
１０  載置台の支持装置
１２  アーチ状支持板
１４  アクチュエータ用圧電素子
１６  情報出力手段
１８  制御手段
２０  電圧発生手段
２２  台座
２６  載置台
２８  凹部
３１  第１振動センサ
３２  第２振動センサ
３４  第２センサ用圧電素子
３８  第１センサ用圧電素子
５２  ボールベアリング
５６  溝部
６６  傾斜支持板
１０６  空気バネ
１１２  支持板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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