(57)【要約】【課題】  パルス管冷凍機のロウ付け時において、溶融ロウが蓄冷材や高温側熱交換器へ浸入することを確実に防止し、かつ、容易にロウ付けの処理条件を決定可能とし、蓄冷器への熱流入を低減し、冷却性能が高い安定した品質を有する冷凍機を実現すること。【解決手段】  蓄冷管の一端と高温側熱交換器とを全周溶接により接合した後に、放熱器と蓄冷器および高温側熱交換器とのロウ付けを行う。また、上記に加え、蓄冷材を放熱器の外部に位置するように配置することにより、放熱器から蓄冷器への熱流入が減少させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機、高温側熱交換器を有する放熱器、蓄冷管に蓄冷材を装填した蓄冷器、コールドヘッド、パルス管、位相制御部により構成されるパルス管冷凍機において、
高温側熱交換器と蓄冷管とを外径が等しい円柱形状に形成し、
高温側熱交換器の端面と蓄冷器の端面とを外径が一致するように突合せ、境界を全周溶接により接合して一体として構成し、
高温側熱交換器および蓄冷管の外径と等しく形成した放熱器の穴に、一体として構成された高温側熱交換器と蓄冷器とを挿入し、ロウ付けにより接合したこと、
を特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項２】
圧縮機、高温側熱交換器を有する放熱器、蓄冷管に蓄冷材を装填した蓄冷器、コールドヘッド、パルス管、位相制御部により構成されるパルス管冷凍機において、
高温側熱交換器は、少なくとも、円柱形状の蓄冷管の外径と等しい第１の円柱部と、蓄冷管の内径と等しい第２の円柱部とを有し、
高温側熱交換器の第２の円柱部を蓄冷管に挿入し、高温側熱交換器と蓄冷管との境界を全周溶接により接合して一体として構成し、
高温側熱交換器および蓄冷管の外径と等しく形成した放熱器の穴に、一体として構成された高温側熱交換器と蓄冷器とを挿入し、ロウ付けにより接合したこと、
を特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項３】
高温側熱交換器が、第１の円柱部と第２の円柱部との間に第２の円柱部より外径が小さい第３の円柱部を有し、
高温側熱交換器の第２および第３の円柱部を蓄冷管に挿入し、第３の円柱部に位置する蓄冷管の一部を外径が小さくなるように変形させ、高温側熱交換器と蓄冷管の変形部分との境界を全周溶接により接合して一体として構成したこと、
を特徴とする請求項２に記載のパルス管冷凍機。
【請求項４】
高温側熱交換器は、第１の円柱部と第２の円柱部との間に、外径が第１の円柱部より小さく第２の円柱部より大きい第４の円柱部を有すること、
を特徴とする請求項２に記載のパルス管冷凍機。
【請求項５】
高温側熱交換器は、第１の円柱部と第３の円柱部との間に、外径が第１の円柱部より小さく第２の円柱部より大きい第５の円柱部を有すること、
を特徴とする請求項３に記載のパルス管冷凍機。
【請求項６】
蓄冷器の蓄冷材を放熱器外部に配置していること、
を特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載のパルス管冷凍機。
【請求項７】
同軸型パルス管冷凍機において、高温側熱交換器の円柱の中心軸にパルス管を挿入するための貫通孔が設けられていること、を特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパルス管冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパルス管冷凍機に関し、特に、放熱器に熱交換器と蓄冷器をロウ付け接合したパルス管冷凍機に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体窒素温度のような極低温を発生する小型の極低温冷凍機としては、パルス管冷凍機等がよく知られている。
図１３は従来のリターン型パルス管冷凍機の構成図である。パルス管冷凍機は、圧縮機７１０、放熱器７２０、蓄冷器７４０、コールドヘッド７５０、パルス管７６０および位相制御機構７７０から構成されており、これの冷凍作用発生原理は以下の通りに理解されている。
【０００３】
この冷凍機の内部に封入されている作動ガス（例えばヘリウムガス）は、所定の周波数で往復運動する圧縮機７１０によって繰り返し圧縮と膨張が行われる。まず、圧縮機７１０の圧縮過程によって圧縮熱を発生した作動ガスは、放熱器７２０で高温側熱交換器７３０を介して圧縮熱を外部に放出する（断熱圧縮行程）。圧縮された作動ガスは、蓄冷器５４０およびコールドヘッド７５０を通ってパルス管７６０に流入する（等温行程）。パルス管７６０においては、作動ガスは膨張して寒冷を発生する（断熱膨張行程）。この際、位相制御機構７７０によって、作動ガスの圧力と流速との位相が調整される。位相制御機構７７０はイナータンスチューブ７７１とバッファータンク７７２とで構成されており、作動ガスはこの中をほぼ正弦波的な圧力振幅を伴って流れる。電気回路に例えると、イナータンスチューブ７７１はインダクタンスおよび抵抗のインピーダンス成分に相当し、バッファータンク７７２はキャパシタンス成分に相当する。上記のようにして発生した寒冷によりコールドヘッド７５０から吸熱する。次に、圧縮機７１０の膨張過程においては、パルス管７６０で冷却された作動ガスが、蓄冷器７４０と準静的に熱交換しながら放熱器７２０を通って圧縮機７１０に戻ってくる（等温行程）。以上の４つの工程を繰り返すことによって、コールドヘッド７５０は極低温まで冷却される。
【０００４】
高温側熱交換器７３０は、円柱形状を有しており、作動ガスの流路として軸方向に多数の貫通孔を設けている。なお、材料は熱伝導性が高い銅が主に用いられる。蓄冷器７４０は、薄肉パイプからなる蓄冷管７４１に、金属メッシュや微細な金属球からなる蓄冷材７４２を内部に装填することにより構成されている。なお、蓄冷管７４１はコールドヘッド７５０への熱抵抗を大きくしたいため、材料として熱伝導率の低いステンレスが主に用いられている。
【０００５】
放熱器７２０、蓄冷器７４０、コールドヘッド７５０、パルス管７６０の接合には、異材質接合や熱抵抗低減および作動ガスの気密性確保の観点からロウ付けが多く用いられている。図１３および図１４において太線で記載された部分がロウ付けにより接合されている部分である。ロウ付けの種類は、材質に銅を使用している部分があるため、酸化防止を目的として真空雰囲気ロウ付けが用いられている。
【０００６】
特に、高温側熱交換器７３０と放熱器７２０との接触界面における接合は熱抵抗の低減、接合強度および作動ガスの気密性確保が重要となる。
図１４は、図１３に示すＢ部の拡大図である。また、図１５は、ロウ付け前の図１３に示すＢ部の拡大図である。
図１５に示すように、放熱器７２０には、ワイヤー状のロウ材７２２を設置しておくための溝７２１と、蓄冷器７４０と高温側熱交換器７３０との境界近傍にロウ溜り溝７２３と、が形成されている。ロウ溜り溝７２３は、真空炉内で溶融したロウ材が毛細管現象により境界面に流れ出した際に、蓄冷器７４０および高温側熱交換器７３０の作動ガスの流路内にロウ材が侵入することを防止するために設けられている。よって、適切なロウ付け処理がなされると、図１４の太線部分がロウ付けにより接合されることとなる。
【０００７】
この種の冷凍機における熱交換器の接合方法としては、特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開２００２−２５７４２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般的に適切なロウ付けを実施するためには、真空炉の設定温度や加熱時間などの多くの条件を調整する必要がある。この最適条件は、ロウ付け部品や炉内に設置された治具の熱容量、熱伝導率、放射率、炉内の配置位置と配置数など、複数のパラメータにより決定されるため、通常は経験や実験等により試行錯誤により決定される。
図１４に示すような構造においては、設定温度が低く加熱時間が短いと、溶融ロウが高温側熱交換器７３０および蓄冷管７４１と放熱器７２０との接触界面に十分に流れ込まず、ロウ付けによる接合強度、熱抵抗の低減、作動ガスの密封などの機能を発揮することができない。
【０００９】
一方、設定温度が高く加熱時間が長いと、図１６に示すように溶融ロウがロウ溜り溝７２３で止まらずに蓄冷材７４２や高温側熱交換器７３０の貫通孔まで浸入し、作動ガスの流路を塞いでしまう。このように作動ガスの流路が狭くなると冷凍機としての性能が著しく低下することとなる。
しかし、図１４のように複雑な構造を有するロウ付けを実施においては、複数回の試作実験などによりロウ付けの各種条件を探索して決定しても、安定したロウ付け品質を得ることが非常に困難であるため、ロウ付け不良が発生しやすい。また、ロウ付け完了後にロウ付け品質を確認するには内部の状態を観察する必要があるが、Ｘ線検査装置等の非破壊で内部を検査可能である特殊な装置等が必要となる。
【００１０】
さらに、図１３に示すように蓄冷器７４０の一部が放熱器７２０の内部に位置することにより、放熱器７２０の熱が蓄冷器７４０に流入しやすいため、冷却効率の低下が発生する。
そこで、本発明は上記課題に鑑み、ロウ付け時に溶融ロウが蓄冷材７４２や高温側熱交換器７３０へ浸入することを確実に防止する構造とし、高温側熱交換器７３０と放熱器７２０の接触界面における熱抵抗を低減し、容易にロウ付けの処理条件を決定可能とし、蓄冷器への熱流入を低減することにより、冷却性能が高い安定した品質を有する冷凍機を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、圧縮機、高温側熱交換器を有する放熱器、蓄冷管に蓄冷材を装填した蓄冷器、コールドヘッド、パルス管、位相制御部により構成されるパルス管冷凍機において、高温側熱交換器と蓄冷管とを外径が等しい円柱形状に形成し、高温側熱交換器の端面と蓄冷器の端面とを外径が一致するように突合せ、境界を全周溶接により接合して一体として構成し、高温側熱交換器および蓄冷管の外径と等しく形成した放熱器の穴に、一体として構成された高温側熱交換器と蓄冷器とを挿入し、ロウ付けにより接合したこと、を特徴とする。
【００１２】
請求項２に係る発明は、圧縮機、高温側熱交換器を有する放熱器、蓄冷管に蓄冷材を装填した蓄冷器、コールドヘッド、パルス管、位相制御部により構成されるパルス管冷凍機において、高温側熱交換器は、少なくとも、円柱形状の蓄冷管の外径と等しい第１の円柱部と、蓄冷管の内径と等しい第２の円柱部とを有し、高温側熱交換器の第２の円柱部を蓄冷管に挿入し、高温側熱交換器と蓄冷管との境界を全周溶接により接合して一体として構成し、高温側熱交換器および蓄冷管の外径と等しく形成した放熱器の穴に、一体として構成された高温側熱交換器と蓄冷器とを挿入し、ロウ付けにより接合したこと、を特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載のパルス管冷凍機において、高温側熱交換器が、第１の円柱部と第２の円柱部との間に第２の円柱部より外径が小さい第３の円柱部を有し、高温側熱交換器の第２および第３の円柱部を蓄冷管に挿入し、第３の円柱部に位置する蓄冷管の一部を外径が小さくなるように変形させ、高温側熱交換器と蓄冷管の変形部分との境界を全周溶接により接合して一体として構成したこと、を特徴とする。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項２に記載のパルス管冷凍機において、高温側熱交換器は、第１の円柱部と第２の円柱部との間に、外径が第１の円柱部より小さく第２の円柱部より大きい第４の円柱部を有すること、を特徴とする。
請求項５に係る発明は、請求項３に記載のパルス管冷凍機において、高温側熱交換器は、第１の円柱部と第３の円柱部との間に、外径が第１の円柱部より小さく第２の円柱部より大きい第５の円柱部を有すること、を特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項２乃至５のいずれか１項に記載のパルス管冷凍機において、蓄冷器の蓄冷材を放熱器外部に配置していること、を特徴とする。
請求項７に係る発明は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパルス管冷凍機において、同軸型パルス管冷凍機であって、高温側熱交換器の円柱の中心軸にパルス管を挿入するための貫通孔が設けられていること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、蓄冷管の一端と高温側熱交換器とを全周溶接により接合することにより、放熱器と蓄冷器および高温側熱交換器とのロウ付けによる接合において、ロウ付け時に溶融ロウが蓄冷材や高温側熱交換器などへ浸入することを確実に防止できる。また、ロウ溜り溝を廃止できるため、高温側熱交換器と放熱本体の接触界面における熱抵抗を低減できる。ロウ付けの処理条件の決定に際しては、構造が簡単になるために試作実験などをせずとも適切なロウ付けの処理条件を決定することが可能となる。
【００１７】
また、上記に加え、蓄冷材を放熱器の外部に位置するように配置することにより、放熱器から蓄冷器への熱流入が減少し、かつ、蓄冷器の円柱軸方向の熱抵抗が増加することで高温部から低温端への流入熱量が減少し、冷却効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明に係るパルス管冷凍機の実施形態を図１乃至図１２に基づき説明する。なお、基本的な作動原理については、従来技術と同様であるため詳細な説明は省略する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係るパルス管冷凍機の断面図である。なお、図１はＵ字リターン型パルス管冷凍機に適用した場合の図である。図２は図１に記されたＡ部の拡大図である。図３は図１に記されたＡ部のロウ付け前の拡大図である。
【００１９】
Ｕ字リターン型パルス管冷凍機は、圧縮機１１０、放熱器１２０、蓄冷器１４０、コールドヘッド１５０、パルス管１６０および位相制御機構１７０から構成されている。位相制御機構１７０はイナータンスチューブ１７１とバッファータンク１７２とで構成されている。
高温側熱交換器１３０は円柱形状を有し、その外径は蓄冷器の蓄冷管１４１の外径と等しく形成されている。高温側熱交換器１３０の端面と蓄冷器１４０の端面とを外径が一致するように突き合わせ、その境界部１３６を全周溶接により接合して一体ユニットとして構成している。溶接には、レーザービーム溶接や電子ビーム溶接等の熱歪の発生が少ない溶接方法を採用することが望ましい。レーザービーム溶接の場合はアルゴンやヘリウムなどのイナートガス雰囲気中で行う。なお、溶接部１３６が蓄冷管１４１の外径より大きくなった場合には、切削や研磨により蓄冷管１４１の外径より小さくする。また、可能であればヘリウムリーク試験を行うとより良い。
【００２０】
放熱器１２０、高温側熱交換器１３０、蓄冷器１４０、コールドヘッド１５０、パルス管１６０の接合にはロウ付けが用いられている。図において太線で記載された部分がロウ付けにより接合されている部分である。
放熱器１２０、高温側熱交換器１３０、蓄冷器１４０のロウ付けについて、詳細に説明する。放熱器１２０には高温側熱交換器１３０および蓄冷管１４１の外径と等しい穴が形成されている。さらに、ワイヤー状のロウ材１２２を設置しておくための溝１２１も形成されている。なお、ロウ溜り溝は不用である。
【００２１】
前記の溝１２１にワイヤー状のロウ材１２２を設置して高温側熱交換器１２０と蓄冷管１４０との一体ユニットを放熱器の穴に挿入し、さらにその他の部品も組み立てた後に、真空雰囲気ロウ付けにより接合する。炉内での処理条件は、加熱時間は長めとし、加熱温度は高めとする。
本構成を採用することにより、ロウ付けの加熱時間を十分に長く、加熱温度を十分に高くすることができるため、溶融ロウが接触界面に十分に流れ込むことで、接合強度が高く、熱抵抗が小さく、作動ガスの漏れがない接合を実現できる。また、溶接部１３６が全周溶接されていることによって、蓄冷管１４１と高温側熱交換器１３０の境界面は完全に封鎖されており、溶融ロウが蓄冷材１４２や高温側熱交換器の貫通孔に達することはなく、作動ガスの流路を塞いでしまうことはない。さらに、ロウ溜り溝を不要としたことで、高温側熱交換器１３０と放熱器１２０の接触界面が増加するため、接触界面における熱抵抗が低減される。
【００２２】
図４は、本発明の第２の実施形態に係るパルス管冷凍機の図１に記されたＡ部の拡大図である。図５は高温側熱交換器２３０の形状を記した図である。なお、貫通孔は省略してある。
第１の実施形態と第２の実施形態との差異点は、高温側熱交換器の形状と高温側熱交換器と蓄冷管との位置決め方法のみであるため、その他の部分説明は省略する。
【００２３】
高温側熱交換器２３０は、蓄冷管１４１の外径と等しい第１の円柱部２３１と、蓄冷管の内径と等しい第２の円柱部２３２とを有している。高温側熱交換器の第２の円柱部２３２を蓄冷管１４１に挿入し、高温側熱交換器の第１の円柱部２３１と蓄冷管１４１との境界部１３６を全周溶接により接合して一体ユニットとして構成している。
溶接には、前記と同じようにレーザービーム溶接や電子ビーム溶接等を採用することが望ましい。また、溶接部１３６が蓄冷管１４１の外径より大きくなった場合には、切削や研磨により蓄冷管１４１の外径より小さくする。
【００２４】
上記構成により、高温側熱交換器２３０と蓄冷器１４０との溶接に際する位置決めが容易となり、かつ、蓄冷管１４１が高温側熱交換器２３０に挿入することで溶接の接合部１３６がモーメント加重に対して強くなる。
さらに、蓄冷器１４０と高温側熱交換器２３０との一体ユニットを放熱器１２０に挿入してロウ付け接合した場合に、蓄冷材１４２が放熱器１２０の外部に位置するように第２の円柱部２３２の軸方向長さを決定しても良い。係る構成により、放熱器１２０から蓄冷材１４２への熱流入が減少することで、蓄冷器の円柱軸方向の熱抵抗が増加して高温部から低温端への流入熱量が減少し、冷却効率が向上する。
【００２５】
図６は、本発明の第３の実施形態に係るパルス管冷凍機の図１に記されたＡ部の拡大図である。図７は高温側熱交換器３３０の形状を記した図である。なお、貫通孔は省略してある。
第１の実施形態と第３の実施形態との差異点は、高温側熱交換器の形状と高温側熱交換器と蓄冷管との位置決め方法のみであるため、その他の部分説明は省略する。
【００２６】
高温側熱交換器３３０は、蓄冷管１４１の外径と等しい第１の円柱部３３１と、蓄冷管の内径と等しい第２の円柱部３３２と、第１の円柱部３３１と第２の円柱部３３２との間に第２の円柱部より外径が小さい第３の円柱部３３３とを有している。高温側熱交換器の第２の円柱部３３２および第３の円柱部３３３を蓄冷管１４１に挿入し、第３の円柱部に位置する蓄冷管１４１の一部を外径が小さくなるように変形させ、高温側熱交換器の第１の円柱部２３１と蓄冷管１４１との境界部１３６を全周溶接により接合して一体ユニットとして構成している。
【００２７】
溶接には、前記と同じようにレーザービーム溶接や電子ビーム溶接等を採用することが望ましい。なお、溶接部１３６は蓄冷管１４１の外径が小さくなった部分に該当するため、切削や研磨をすることなく、放熱器１２０に高温側熱交換器３３０と蓄冷器１４０との一体ユニットを挿入できる。
図８は、本発明の第４の実施形態に係るパルス管冷凍機の図１に記されたＡ部の拡大図である。図９は高温側熱交換器４３０の形状を記した図である。なお、貫通孔は省略してある。
【００２８】
第１の実施形態と第４の実施形態との差異点は、高温側熱交換器の形状と高温側熱交換器と蓄冷管との位置決め方法のみであるため、その他の部分についての説明は省略する。
高温側熱交換器４３０は、蓄冷管１４１の外径と等しい第１の円柱部４３１と、蓄冷管の内径と等しい第２の円柱部４３２と、第１の円柱部４３１と第２の円柱部４３２との間に外径が第１の円柱部より小さく第２の円柱部より大きい第４の円柱部４３４とを有している。高温側熱交換器の第２の円柱部４３２を蓄冷管１４１に挿入し、高温側熱交換器の第４の円柱部４３４と蓄冷管１４１との境界部１３６を全周溶接により接合して一体ユニットとして構成している。
【００２９】
溶接には、前記と同じようにレーザービーム溶接や電子ビーム溶接等を採用することが望ましい。なお、溶接部１３６は第４の円柱部４３４の外径が小さくなった部分に該当するため、切削や研磨をすることなく、放熱器１２０に高温側熱交換器４３０と蓄冷器１４０との一体ユニットを挿入できる。
図１０は、本発明の第５の実施形態に係るパルス管冷凍機の図１に記されたＡ部の拡大図である。図１１は高温側熱交換器５３０の形状を記した図である。なお、貫通孔は省略してある。
【００３０】
第１の実施形態と第４の実施形態との差異点は、高温側熱交換器の形状と高温側熱交換器と蓄冷管との位置決め方法のみであるため、その他の部分についての説明は省略する。
高温側熱交換器５３０は、蓄冷管１４１の外径と等しい第１の円柱部５３１と、蓄冷管の内径と等しい第２の円柱部５３２と、第１の円柱部３３１と第２の円柱部５３２との間であって第２の円柱部５３２に隣接する第２の円柱部より外径が小さい第３の円柱部５３３と、第１の円柱部５３１と第３の円柱部５３３との間に外径が第１の円柱部より小さく第２の円柱部より大きい第５の円柱部５３５と、を有している。高温側熱交換器の第２の円柱部５３２および第３の円柱部５３３を蓄冷管１４１に挿入し、第３の円柱部に位置する蓄冷管１４１の一部を外径が小さくなるように変形させ、高温側熱交換器の第５の円柱部５３５と蓄冷管１４１との境界部１３６を全周溶接により接合して一体ユニットとして構成している。
【００３１】
溶接には、前記と同じようにレーザービーム溶接や電子ビーム溶接等を採用することが望ましい。なお、溶接部１３６は第４の円柱部５３５の外径が小さくなった部分に該当するため、切削や研磨をすることなく、放熱器１２０に高温側熱交換器５３０と蓄冷器１４０との一体ユニットを挿入できる。
図１２は、本発明に係る第６の実施形態に係る同軸リターン型パルス管冷凍機の断面図である。
【００３２】
Ｕ字リターン型パルス管冷凍機と同軸リターン型パルス管冷凍機とは蓄冷器とパルス管との配置が異なるが、基本的な動作原理は同じである。また、本発明に関する部分での差異点は熱交換器の形状であるので、その他の部分の説明は省略する。
同軸リターン型パルス管冷凍機の熱交換器６３０とＵ字リターン型パルス管冷凍機の熱交換器との差異点は、パルス管１６０が挿入される孔の有無のみであり、その他の部分は共通である。
【００３３】
よって、図１２においては、前記第２の実施形態に相当する熱交換器の形状にパルス管用の貫通孔を形成したものとなっているが、この形状に限定するものではない。前記第１乃至第５の実施形態に相当する熱交換器の形状にパルス管用の貫通孔を形成した何れの熱交換器を同軸リターン型パルス管冷凍機の熱交換器に採用しても、前記したＵ字リターン型パルス管冷凍機の場合と同様の効果を得られる。
【００３４】
なお、直列型パルス管冷凍機における放熱器と蓄冷器と熱交換器は、Ｕ字リターン型パルス管冷凍機と同様の構造とすることができる。よって、直列型パルス管冷凍機に本発明を適用することで、Ｕ字リターン型パルス管冷凍機の場合と同様の効果を得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るパルス管冷凍機の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るＡ部拡大図である。
【図３】図２におけるロウ付け前のＡ部拡大図である
【図４】本発明の第２の実施形態に係るＡ部拡大図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る高温側熱交換器の形状を記した図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るＡ部拡大図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係る高温側熱交換器の形状を記した図である。
【図８】本発明の第４の実施形態に係るＡ部拡大図である。
【図９】本発明の第４の実施形態に係る高温側熱交換器の形状を記した図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係るＡ部拡大図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態に係る高温側熱交換器の形状を記した図である。
【図１２】本発明の第６の実施形態に係るパルス管冷凍機の断面図である。
【図１３】従来技術のパルス管冷凍機の断面図である。
【図１４】従来技術のパルス管冷凍機のＢ部拡大図である。
【図１５】図１４におけるロウ付け前のＢ部拡大図である。
【図１６】従来技術においてロウ付け不良が発生したときの状態を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１１０，７１０    圧縮機
１２０，７２０    放熱器
１３０，２３０，３３０，４３０，５３０，６３０，７３０    熱交換器
１４０，７４０    蓄冷器
１５０，７５０    コールドヘッド
１６０，７６０    パルス管
１７０，７７０    位相制御機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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