(57)【要約】【課題】検査作業の効率化を図ることができる。【解決手段】検査対象パネルに設けられた複数の端子に複数のプローブをそれぞれ接触させて点灯検査を行うプローブブロックと、前記各端子に前記各プローブをそれぞれ接触させて点灯検査を行う際に前記検査対象パネルに線欠陥等の不具合が発生したときに各端子を短絡させる短絡装置とを備え、前記短絡装置が、前記各端子に対向して設けられて前記各端子に同時に接触して全端子を短絡させる短絡部材と、前記プローブブロック側に支持された状態で当該短絡部材を支持して前記不具合発生時に前記各端子に接触させる押圧機構とを備えて構成した。押圧機構で支持された短絡部材で各端子に接触させて、前記不具合がパネル起因によるものかプローブユニット起因によるものかを判別する。【選択図】図１
2010127706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象パネルに設けられた複数の端子に複数のプローブをそれぞれ接触させて点灯検査を行うプローブブロックと、
前記各端子に前記各プローブをそれぞれ接触させて点灯検査を行う際に各端子を短絡させる短絡装置とを備え、
前記短絡装置が、前記各端子に対向して設けられて前記各端子に同時に接触して全端子を短絡させる短絡部材と、前記プローブブロック側に支持された状態で当該短絡部材を支持して前記各端子に接触させる押圧機構とを備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
前記短絡部材が、前記検査対象パネルの複数の端子全体を覆って一度に接触する導電性ゴムで構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプローブユニットにおいて、
前記押圧機構が、前記短絡部材を前記検査対象パネルの端子に臨ませて支持した状態でスライドして前記短絡部材を前記端子に着脱させるスライド板部と、当該スライド板部を待機位置と短絡位置に移動させて支持する移動支持部とを備えたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項４】
請求項３に記載のプローブユニットにおいて、
前記移動支持部が、前記スライド板部を介して前記短絡部材を前記端子に押し付けるプッシャーと、当該プッシャーを前記スライド板部の待機位置と短絡位置とで支持するストッパーとを備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項５】
請求項３に記載のプローブユニットにおいて、
前記移動支持部が、前記スライド板部を介して前記短絡部材を前記端子に押し付ける駆動シリンダと、当該駆動シリンダを制御して前記スライド板部を待機位置と短絡位置とに移動させる制御部とを備えて構成されたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項６】
請求項５に記載のプローブユニットにおいて、
前記スライド板部が１つだけ設けられると共に、複数配設された前記プローブブロックにそれぞれ対応した枝部を有して全短絡部材を同時に支持し、
前記駆動シリンダが１つだけ設けられ、前記スライド板部を駆動して全短絡部材を同時に移動させることを特徴とするプローブユニット。
【請求項７】
請求項５に記載のプローブユニットにおいて、
前記スライド板部が、複数配設された前記プローブブロックにそれぞれ対応して複数設けられ、
前記駆動シリンダが、前記複数のスライド板部にそれぞれ設けられて各スライド板部を個別に駆動し、各駆動シリンダのうち不具合が発生した位置に対応する駆動シリンダのみを駆動させることを特徴とするプローブユニット。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のプローブユニットにおいて、
前記押圧機構を前記プローブブロック側に回動可能に支持する回動機構をさらに備えたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項９】
検査対象パネルの検査に用いる検査装置であって、
外部から挿入された検査対象パネルを検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象パネルを支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットとして、請求項１乃至８のいずれか１項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の点灯検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の製造工程においては、そのパネルが仕様書通りの性能を有するか否か等の検査が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合、検査装置の各プローブを検査対象パネルの端子にフルコンタクトさせた状態で、検査信号を印加して点灯させることにより行われる。
【０００３】
このような検査装置では、点灯検査時に線欠陥等の不具合が発生すると、それがパネル起因によるものか、プローブユニット起因によるものかを判別するため、当該点灯検査工程と別に検査を行っている。具体的には、導電性ゴムを用いた簡易点灯検査用プローブユニットを用いた検査方法や、１Ｇ１Ｄ検査用プローブユニットを用いた検査方法を用いて、前記不具合が、パネル起因によるものか、プローブユニット起因によるものかを判別している。このような検査方法の例としては、特許文献１がある。
【特許文献１】特開平９−１３８４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記検査装置では、通常の点灯検査工程と別に検査を行っているため、２種類の検査工程が必要となり、検査効率が悪いという問題点がある。
【０００５】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、通常の点灯検査工程において、前記不具合がパネル起因によるものかプローブユニット起因によるものかを判別できるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、検査対象パネルに設けられた複数の端子に複数のプローブをそれぞれ接触させて点灯検査を行うプローブブロックと、前記各端子に前記各プローブをそれぞれ接触させて点灯検査を行う際に各端子を短絡させる短絡装置とを備え、前記短絡装置が、前記各端子に対向して設けられて前記各端子に同時に接触して全端子を短絡させる短絡部材と、前記プローブブロック側に支持された状態で当該短絡部材を支持して前記各端子に接触させる押圧機構とを備えて構成されたことを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る検査装置は、検査対象パネルの検査に用いる検査装置であって、外部から挿入された検査対象パネルを検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象パネルを支持して試験する測定部とを備え、前記測定部のプローブユニットとして、前記プローブユニットを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
前記構成において、前記検査対象パネルに線欠陥等の不具合が発生したときは、前記押圧機構で前記短絡部材を前記各端子に接触させて、検査信号を全端子に印加する。これにより、前記検査対象パネルの不具合がパネル起因かプローブユニット起因かを容易に判別でき、検査効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１０】
本実施形態に係る検査装置１は、図２に示すように主に、パネルセット部２と、測定部３とから構成されている。
【００１１】
パネルセット部２は、外部から挿入された液晶パネル５を測定部３へ搬送し、検査終了後の液晶パネル５を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部２は、開口部６の奥にパネル受渡装置７を有し、このパネル受渡装置７で液晶パネル５を外部から受け取り、搬送アーム８で支持して測定部３へ搬送する。また、パネル受渡装置７は、測定部３で検査終了後の液晶パネル５を受け取って外部へ搬送する。
【００１２】
測定部３は、パネルセット部２から渡された液晶パネル５を支持して試験するための装置である。測定部３は、ワークテーブル１０やプローブユニット１１等を備えて構成されている。
【００１３】
ワークテーブル１０は、液晶パネル５を支持してＸＹＺθ方向の調整をするための装置である。ワークテーブル１０は、搬送アーム８で搬送されてきた液晶パネル５を支持し、プローブユニット１１に対して正確に位置合わせして接触させる。液晶パネル５は、図７に示すように、映像が表示されるパネル表示部５Ａと、パネル表示部５Ａの周囲のパネル端子部５Ｂと、パネル端子部５Ｂに設けられてパネル表示部５Ａに信号を伝える端子５Ｃとから構成されている。プローブユニット１１は、端子５Ｃに対して正確に位置合わせされる。
【００１４】
プローブユニット１１は、液晶パネル５の端子５Ｃに接触して検査信号を印加して、液晶パネル５を検査のために点灯させるための装置である。プローブユニット１１は、図１、３〜７に示すように、プローブベース１２と、ブローブ装置１３と、アライメントカメラ１４と、短絡装置１５とを備えて構成されている。
【００１５】
プローブベース１２は、ブローブ装置１３やアライメントカメラ１４を一体的に支持するための板材である。このプローブベース１２は、装置本体側に固定された状態で、ブローブ装置１３、アライメントカメラ１４等を、ワークテーブル１０上の液晶パネル５に臨ませて支持されている。
【００１６】
ブローブ装置１３は、通常のフルコンタクトの点灯検査を行うための装置である。このブローブ装置１３は、図１，４に示すように、支持部１６と、プローブ組立体１７とから構成されている。
【００１７】
前記支持部１６は、その基端側が前記プローブベース１２に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体１７を支持するための部材である。この支持部１６は、前記プローブベース１２に直接取り付けられて全体を支持するサスペンションブロック１９と、このサスペンションブロック１９の先端部にガイドレール２０を介してスライド可能に支持されたスライドブロック２１と、このスライドブロック２１の下側面に一体的に取り付けられたプローブプレート２２とを備えて構成されている。スライドブロック２１は、サスペンションブロック１９に対して調整ネジ２３で高さ調整が行われる。
【００１８】
プローブ組立体１７は、液晶パネル５の回路の端子５Ｃに接触して検査信号を印加するための部材である。プローブ組立体１７は、プローブプレート２２の下側面に取り付けられている。このプローブ組立体１７は、プローブブロック２４と、プローブ２５とを備えて構成されている。プローブブロック２４はプローブプレート２２の下側面に直接取り付けられている。このプローブブロック２４にプローブ２５が取り付けられている。プローブ２５は、液晶パネル５の回路の端子５Ｃに接触して点灯検査のための検査信号を印加する針材である。プローブ２５は、プローブブロック２４の先端側に設けられ、液晶パネル５の端子５Ｃに直接接触する。プローブ２５は、図１に示すように、ＴＣＰ２７と、接続ＦＰＣ２８と、中継基板２９及びケーブル３０を介して信号発生器３１に接続されている。信号発生器３１は、検査信号を発生させるための装置である。信号発生器３１は、個別に検査信号を作成して、ＴＣＰ２７等を介して各プローブ２５に送信する。
【００１９】
アライメントカメラ１４は、図３に示すように、ブローブ装置１３のプローブブロック２４の各プローブ２５と、液晶パネル５の端子５Ｃとの位置合わせに際して、液晶パネル５の表面に設けられたアライメントマークを撮影するためのカメラである。アライメントカメラ１４は、３つのブローブ装置１３の両側にそれぞれ設けられている。
【００２０】
短絡装置１５は、液晶パネル５に線欠陥等の不具合が発生したときに短絡検査を行うための装置である。即ち、短絡装置１５は、液晶パネル５の各端子５Ｃにプローブブロック２４の各プローブ２５をそれぞれ接触させて液晶パネル５の点灯検査を行う際に、この液晶パネル５に不具合が発生したとき、液晶パネル５の各端子５Ｃを短絡させるための装置である。短絡装置１５は、図１，４〜７に示すように、短絡部材３３と、押圧機構３４とから構成されている。
【００２１】
短絡部材３３は、前記液晶パネル５の各端子５Ｃに同時に接触させて全端子５Ｃを短絡させるための部材である。短絡部材３３は、押圧機構３４に支持された状態で、前記液晶パネル５の各端子５Ｃに対向して設けられている。短絡部材３３は、立て板部３３Ａと、上部横板部３３Ｂとから構成されて、断面Ｌ字状になっている。短絡部材３３の長さは、プローブブロック２４の幅とほぼ同じ寸法に設定されている。短絡部材３３は導電性ゴムで構成されている。これにより、柔軟性があって薄い導電性ゴム製の立て板部３３Ａが、各端子５Ｃ全体を覆って一度に且つ確実に接触して（図７の状態）、全端子５Ｃを確実に短絡できるようになっている。
【００２２】
押圧機構３４は、短絡部材３３を支持して、液晶パネル５に不具合が発生した時に、短絡部材３３の立て板部３３Ａを前記各端子５Ｃに接触させるための機構である。押圧機構３４は、基板部３５と、支持腕部３６と、スライド板部３７と、ホルダー部３８と、移動支持部３９とから構成されている。
【００２３】
基板部３５は、支持腕部３６等を支持するための部材である。基板部３５は、支持部１６のサスペンションブロック１９の上側面に固定されている。基板部３５には複数のネジ穴３５Ａが設けられている。この基板部３５のネジ穴３５Ａに対応するサスペンションブロック１９の上側面にもネジ穴１９Ａが設けられている。これらのネジ穴３５Ａ，１９Ａにネジ４０がねじ込まれて、基板部３５がサスペンションブロック１９の上側面に固定されている。
【００２４】
基板部３５の上側面には、ヒンジ４１と、支持台部４２とが設けられている。ヒンジ４１は、押圧機構３４を構成する支持腕部３６等を前記プローブブロック２４側のスペンションブロック１９に回動可能に支持する回動機構である。具体的には、ヒンジ４１は、後述する支持腕部３６の水平板部４５の基端部をスペンションブロック１９に回動可能に支持するための部材である。支持台部４２は、支持腕部３６の水平板部４５を水平状態に支持するための部材である。支持台部４２の上側面は平坦面状に形成され、この支持台部４２の上側面が支持腕部３６の水平板部４５の側面（図１中の下側面）に当接するようになっている。そして、支持腕部３６の水平板部４５の基端部がヒンジ４１で支持された状態で、水平板部４５の中間部が支持台部４２に当接することで、これらヒンジ４１と支持台部４２とによって支持腕部３６の水平板部４５を水平に支持するようになっている。支持台部４２にはネジ穴４２Ａが設けられている。そして、このネジ穴４２Ａと、後述する支持腕部３６の水平板部４５のネジ穴４５Ａとに、ネジ４３がねじ込まれて、支持腕部３６が基板部３５に固定されるようになっている。
【００２５】
支持腕部３６は、前記ブローブ装置１３の支持部１６側に支持されて、スライド板部３７を前記プローブ２５が接触する液晶パネル５の複数の端子５Ｃ側に臨ませてスライド可能に支持するための部材である。支持腕部３６は、スライド板部３７を、スライド可能に且つ設定位置で固定して支持するようになっている。支持腕部３６は主に、水平板部４５と、垂直板部４６とから構成されている。水平板部４５は、スライド板部３７を液晶パネル５の複数の端子５Ｃ側に臨ませて支持した状態で、水平に配設される部材である。水平板部４５は、その基端部が前記基板部３５のヒンジ４１に回動可能に支持され、その一側面（図１中の下側面）が基板部３５の支持台部４２に当接されて、水平に支持されるようになっている。水平板部４５のうち前記支持台部４２のネジ穴４２Ａに対向する位置には、この支持台部４２のネジ穴４２Ａと同様のネジ穴４５Ａが設けられている。
【００２６】
垂直板部４６は、スライド板部３７をスライド可能に支持するための部材である。垂直板部４６は、水平板部４５と一体的に設けられている。垂直板部４６は、水平に支持された水平板部４５から垂直下方に垂下して形成されている。垂直板部４６には、垂直方向（水平板部４５が水平に配設された状態での垂直方向）にガイドレール５７が設けられている。
【００２７】
スライド板部３７は、短絡部材３３を液晶パネル５の端子５Ｃに臨ませて支持した状態でスライドして、短絡部材３３を端子５Ｃに適宜着脱させるための部材である。スライド板部３７は、平板状の部材で構成され、その一側面にガイド５８が設けられている。このガイド５８が前記垂直板部４６のガイドレール５７にスライド可能に嵌合されることで、スライド板部３７が垂直板部４６に上下方向にスライド可能に支持されている。
【００２８】
スライド板部３７の基端部（図１の上端部）には、後述するプッシャー４９のネジ棒部５４がねじ込まれるネジ穴３７Ａが設けられている。このネジ穴３７Ａにプッシャー４９のネジ棒部５４がねじ込まれてこのプッシャー４９を適宜回転させることで、スライド板部３７の位置が調整されるようになっている。スライド板部３７の先端部（図１の下端部）は、フランジ状に拡大して形成され、ホルダー部３８が取り付けられている。
【００２９】
ホルダー部３８は、短絡部材３３を支持するための部材である。ホルダー部３８の基端部がスライド板部３７の先端部に支持され、ホルダー部３８の先端部が短絡部材３３を液晶パネル５の端子５Ｃに臨ませた状態で支持している。
【００３０】
移動支持部３９は、スライド板部３７を設定位置（待機位置と短絡位置）で支持するための機構である。この移動支持部３９は、図５，６に示すように、水平板部４５の先端部に設けられている。この移動支持部３９は、プッシャー４９と、ストッパー５０とから構成されている。
【００３１】
プッシャー４９は、スライド板部３７等を介して短絡部材３３を端子５Ｃに押し付けるための部材である。水平板部４５の先端部には、この水平板部４５が水平に支持された状態で、垂直方向に貫通したプッシャー支持穴５１が設けられている。プッシャー４９は、このプッシャー支持穴５１にスライド可能に支持されている。プッシャー４９は、上端に頭部４９Ａ、下端にフランジ部４９Ｂが設けられて、プッシャー支持穴５１から抜け落ちないようになっている。さらに、プッシャー４９の頭部４９Ａ側にはバネ５２が設けられている。このバネ５２は、プッシャー４９を上方（支持腕部３６の水平板部４５が水平になった状態での上方）へ付勢している。さらに、バネ５２は、プッシャー支持穴５１に支持されたプッシャー４９が自由に回転しないように回り止めの機能も備えている。これは、プッシャー４９を回転させて、後述するネジ棒部５４でスライド板部３７の高さを微調整した後、プッシャー４９が回転してスライド板部３７の高さがずれないようにするためである。
【００３２】
プッシャー４９の中間部には、ストッパー５０が嵌合する嵌合溝５３が設けられている。この嵌合溝５３は、プッシャー４９の中間部に環状に形成されている。嵌合溝５３は、ストッパー５０がこの嵌合溝５３に嵌合してプッシャー４９を位置決め支持された状態で、スライド板部３７のホルダー部３８を介して支持された短絡部材３３が、液晶パネル５の複数の端子５Ｃに確実に接触する位置（短絡位置）に設けられている。プッシャー４９の下端部にはネジ棒部５４が設けられ、スライド板部３７にねじ込まれている。これにより、プッシャー４９は、ストッパー５０が嵌合溝５３に嵌合することで短絡位置に支持されて、液晶パネル５の端子５Ｃがプローブ２５に接触されるときに、スライド板部３７等を介して短絡部材３３を端子５Ｃに押し付ける。
【００３３】
ストッパー５０は、プッシャー４９を、待機位置と短絡位置とに切り替えるための部材である。このストッパー５０は、水平板部４５の先端部に設けられている。水平板部４５の先端部には、水平方向（水平板部４５が水平になった状態での水平方向）にストッパー支持穴５５が設けられている。このストッパー支持穴５５は、水平板部４５の先端部からプッシャー支持穴５１まで貫通して設けられている。ストッパー支持穴５５の内壁にはねじ山が形成され、ストッパー５０がねじ込まれるようになっている。ストッパー５０は、嵌合爪部５０Ａと、ネジ部５０Ｂと、ツマミ部５０Ｃとから構成されている。嵌合爪部５０Ａは、プッシャー４９の嵌合溝５３に嵌合してプッシャー４９を短絡位置で支持するための部分である。ネジ部５０Ｂは、ストッパー支持穴５５にねじ込むための部分である。ツマミ部５０Ｃは、ストッパー５０を回転させてストッパー支持穴５５内で移動させて、嵌合爪部５０Ａをプッシャー４９の嵌合溝５３に対して出し入れさせるための部分である。このツマミ部５０Ｃを回して、嵌合爪部５０Ａを嵌合溝５３から抜き取ることでプッシャー４９をバネ５２によって待機位置に移動させ、プッシャー４９を押し下げて嵌合爪部５０Ａを嵌合溝５３に嵌合させることでプッシャー４９を短絡位置に支持するようになっている。
【００３４】
以上のように構成されたプローブユニット１１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、プローブユニット１１の作用を中心に説明する。
【００３５】
ワークテーブル１０に支持された液晶パネル５が正確に位置合わせされて、液晶パネル５の端子５Ｃと、プローブブロック２４のプローブ２５とが互いに接触される。
【００３６】
次いで、信号発生器３１で発生させた検査信号をケーブル３０等を介してプローブ２５から液晶パネル５の端子５Ｃに印加されて液晶パネル５の点灯検査が行われる。
【００３７】
このとき、不具合が発生すると、その不具合が発生した位置に対応するプローブユニット１１の短絡装置１５を待機モードから、短絡検査を行う短絡モードに切り替える。
【００３８】
通常は、待機モードになっている。即ち、ストッパー５０の嵌合爪部５０Ａが、プッシャー４９の嵌合溝５３から外れて、スライド板部３７がバネ５２で上方へ押し上げられて待機位置に待機された待機モードになっている。これにより、短絡部材３３が端子５Ｃから離れた位置に支持されている。この待機モードから短絡モードに切り替える。
【００３９】
短絡モードでは、プッシャー４９を押し下げて、プッシャー４９の嵌合溝５３と、ストッパー５０の嵌合爪部５０Ａの位置を整合させてストッパー５０をねじ込んで、嵌合爪部５０Ａを嵌合溝５３に嵌合させる。これにより、短絡部材３３の先端部（下端部）が、プローブ２５の先端と同じ高さか、プローブ２５の先端よりも低い位置に支持される。
【００４０】
この状態で、ワークテーブル１０を作動させて、液晶パネル５の端子５Ｃをプローブ２５に接触させると、これと同時にプローブ２５が接触した全ての端子５Ｃに短絡部材３３が接触して、これらの端子５Ｃを全て短絡させる。
【００４１】
この状態で、信号発生器３１で検査信号を発生させると、不具合がプローブユニット起因による場合であっても、各プローブ２５に送信された検査信号が、短絡部材３３によって短絡した状態で全ての端子５Ｃに印加される。即ち、各端子５Ｃに検査信号が確実に印加される。
【００４２】
この短絡モードでも、液晶パネル５に不具合が発生する場合は、パネル起因による不具合であることが分かる。一方、短絡モードで、液晶パネル５に不具合が発生しない場合は、プローブユニット起因による不具合であることが分かる。これに基づいて、以降の処理がなされる。
【００４３】
プローブユニット１１では、ストッパー５０を弛めて嵌合爪部５０Ａを嵌合溝５３から外して、スライド板部３７を待機位置に戻す。
【００４４】
メンテナンスの際には、図４に示すように、ネジ４３を外して、回動機構であるヒンジ４１を中心に短絡装置１５を回動させる。この状態で、プローブブロック２４等のメンテナンスを行う。短絡装置１５自体のメンテナンスも行う。
【００４５】
以上のように、ブローブ装置１３に短絡装置１５を設けて、待機モードと短絡モードに切り替えることができるようにしたので、点灯検査工程において不具合が発生したとき、その不具合がパネル起因によるものかプローブユニット起因によるものかを、容易に且つ確実に判別することができるようになる。
【００４６】
これにより、点灯検査工程と別の検査工程を設ける必要がなくなり、検査作業の効率化を図ることができる。
【００４７】
また、短絡装置１５が回動機構であるヒンジ４１を中心に回動するため、メンテナンスを容易に行うことができる。
【００４８】
短絡部材３３を、液晶パネル５の複数の端子５Ｃ全体を覆って一度に接触する導電性ゴムで構成したので、全端子５Ｃを容易に且つ確実に短絡させることができる。
【００４９】
押圧機構３４を、短絡部材３３を液晶パネル５の端子５Ｃに臨ませて支持した状態でスライドして短絡部材３３を端子５Ｃに着脱させるスライド板部３７と、このスライド板部３７を待機位置と短絡位置に移動させて支持する移動支持部３９とを備えたので、不具合が発生したときに、手動で容易に短絡モードに切り替えることができ、検査作業の効率化を図ることができる。
【００５０】
移動支持部３９を、スライド板部３７を介して短絡部材３３を各端子５Ｃに押し付けるプッシャー４９と、当該プッシャー４９を前記スライド板部３７の待機位置と短絡位置とで支持するストッパー５０とを備えて構成したので、短絡モードと待機モードとに手動で容易に切り替えることができる。
【００５１】
［第１変形例］
前記実施形態では、移動支持部３９を、プッシャー４９とストッパー５０とからなる手動式の移動支持部として構成したが、自動式の移動支持部としても良い。具体的には、図８に示すように構成しても良い。
【００５２】
図８は駆動シリンダを１つだけ設けた例である。検査装置の全体構成は前記実施形態と同様であるため、ここではプローブユニットの短絡装置を中心に説明する。図８のプローブユニットでは、短絡装置５９は、支持腕部６０と、スライド板部６１と、駆動シリンダ６２と、制御部６３とを備えている。
【００５３】
支持腕部６０は、プローブベース１２に回動可能に支持されている。この支持腕部６０は、広い板状に形成され、５つのプローブブロック２４をカバーできるようになっている。支持腕部６０は、その基端部をヒンジ６５でプローブベース１２に回動可能に支持されている。ヒンジ６５の端部にはストッパー６６が設けられている。このストッパー６６は、ピン状に形成され、ヒンジ６５の回転軸に固定された直方体状のピン受け６７に取り付けられる。ピン受け６７には、直交方向に２つのピン穴６８が設けられている。このピン穴６８に対応するプローブベース１２には、ピン支持穴６９が設けられている。ストッパー６６は、ピン受け６７のピン穴６８に通されて、プローブベース１２のピン支持穴６９に嵌合することで固定されて、支持腕部６０を回動しないように固定している。そして、ストッパー６６を抜き取ることで、支持腕部６０を回動して、メンテナンス等を行うことができるようになっている。
【００５４】
支持腕部６０は、側面形状がＬ字型に形成され、その立て板部６０Ａが各プローブブロック２４を覆うように配設されている。立て板部６０Ａには、ガイドレール７１が縦方向に設けられている。
【００５５】
スライド板部６１は、１枚の板材で構成され、５つのプローブブロック２４にそれぞれ対応した５つの枝部６１Ａが設けられている。スライド板部６１の裏面にはガイド(図示せず)が設けられ、ガイドレール７１に嵌合されて、スライド板部６１を上下にスライド可能に支持している。
【００５６】
各枝部６１Ａの先端（下端）に、前記実施形態と同様のホルダー部３８が設けられ、このホルダー部３８に短絡部材３３が取り付けられている。これにより、１つのスライド板部６１で全短絡部材３３を同時に支持している。
【００５７】
駆動シリンダ６２は、スライド板部６１を上下方向に移動させるための駆動装置である。駆動シリンダ６２は、延出した位置と引き込んだ位置の２つに位置でスライド板部６１を支持して、短絡位置と待機位置とに移動させるようになっている。この駆動シリンダ６２でスライド板部６１を延出させて短絡位置にした状態で、ワークテーブル１０によって液晶パネル５の端子５Ｃをプローブ２５に接触させることにより、短絡部材３３が各端子５Ｃに押し付けられるようになっている。
【００５８】
制御部６３は、駆動シリンダ６２を制御してスライド板部６１を待機位置と短絡位置とに移動させるための装置である。制御部６３は、検査装置１の全体を制御する制御部を利用したり、駆動シリンダ６２の専用の制御部を設けたりする。
【００５９】
以上の構成により、液晶パネル５に不具合が発生すると、制御部６３が駆動シリンダ６２を作動させてスライド板部６１を待機状態から短絡状態に移動させる。この状態で、ワークテーブル１０によって液晶パネル５の端子５Ｃをプローブ２５に接触させて、上記実施形態同様に判断する。
【００６０】
これにより、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができると共に、液晶パネル５の検査ラインで、自動的に不具合の原因を判断することができる。この結果、検査作業の効率化を図ることができる。
【００６１】
［第２変形例］
前記第１変形例では、駆動シリンダ６２を１つだけ設けて、１つのスライド板部６１を駆動して全短絡部材３３を一度に移動させるようにしたが、各プローブブロック２４に対応して複数設けても良い。本変形例のプローブユニットの全体構成は、前記第１変形例のプローブユニットとほぼ同様であるため、ここでは短絡装置を中心に説明する。
【００６２】
本変形例の短絡装置は、駆動シリンダを各プローブブロック２４毎に設けたものである。
【００６３】
スライド板部７３は、各プローブブロック２４にそれぞれ対応して５つ設けられている。支持腕部６０の立て板部６０Ａに、ガイドレール７１を介してスライド可能に支持されている。
【００６４】
駆動シリンダ７４は、前記各スライド板部７３にそれぞれ設けられて各スライド板部７３を個別に駆動している。各駆動シリンダ７４は、制御部６３（図８参照）にそれぞれ接続され、制御部６３によって個別に制御されるようになっている。そして、制御部６３によって、各駆動シリンダ７４のうち不具合が発生した位置に対応する駆動シリンダ７４のみが駆動されて、短絡検査が行われる。
【００６５】
この場合も、前記実施形態及び第１変形例と同様の作用、効果を奏することができる。さらに、本変形例では、各駆動シリンダ７４で各短絡部材３３を個別に端子５Ｃに接触させるため、迅速に検査作業を行うことができる。
【００６６】
［他の変形例］
前記実施形態に係るプローブユニット１１を備えた検査装置１は、前述した検査装置１に限るものではなく、プローブユニット１１を備えることができるすべての検査装置に対して本願発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す一部破断側面図である。
【図２】検査装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るプローブユニットの短絡装置を回動させた状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係るプローブユニットの短絡装置を一部破断した状態で示す要部拡大図である。
【図６】本発明の実施形態に係るプローブユニットの短絡装置を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローブユニットをその短絡装置を取り外した状態で示す平面図である。
【図８】第１変形例を示す斜視図である。
【図９】第２変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６８】
１：検査装置、２：パネルセット部、３：測定部、５：液晶パネル、５Ａ：パネル表示部、５Ｂ：パネル端子部、５Ｃ：端子、６：開口部、７：パネル受渡装置、８：搬送アーム、１０：ワークテーブル、１１：プローブユニット、１２：プローブベース、１３：ブローブ装置、１４：アライメントカメラ、１５：短絡装置、１６：支持部、１７：プローブ組立体、１８：短絡装置、１９：サスペンションブロック、２０：ガイドレール、２１：スライドブロック、２２：プローブプレート、２３：調整ネジ、２４：プローブブロック、２５：プローブ、３１：信号発生器、３３：短絡部材、３４：押圧機構、３５：基板部、３６：支持腕部、３７：スライド板部、３８：ホルダー部、３９：移動支持部、４１：ヒンジ、４２：支持台部、４５：水平板部、４６：垂直板部、４８：位置調整部、４９：プッシャー、５０：ストッパー、５１：プッシャー支持穴、５３：嵌合溝、５４：ネジ棒部、５５：ストッパー支持穴、５７：ガイドレール、５８：ガイド、５９：短絡装置、６０：支持腕部、６１：スライド板部、６２：駆動シリンダ、６３：制御部、６５：ヒンジ、６６：ストッパー、６７：ピン受け、６８：ピン穴、６９：ピン支持穴、７１：ガイドレール、７３：スライド板部、７４：駆動シリンダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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