(57)【要約】【課題】安価な構成で、安定してコロナ放電を発生させることができるバー型イオナイザを提供する。【解決手段】バー型イオナイザ１１は、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部２１と、高電圧制御部２１により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部３１と、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１とを含む。フレーム４１は、導体であって、放電針に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極である。【選択図】図１
2010218696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有するバー型イオナイザであって、
前記放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、
前記高電圧制御部により発生および制御された高電圧を前記放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、
前記高電圧制御部および前記イオン発生部を収容するフレームとを含み、
前記フレームは、導体であって、前記放電針に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極である、バー型イオナイザ。
【請求項２】
長手方向に延在し、前記イオン発生部により発生させたイオンを吹き付けるための空気を挿通させるエアー流路が設けられており、
前記エアー流路の鉛直方向上方側には、基準電極である前記フレームが設けられており、
前記エアー流路の鉛直方向下方側には、長手方向に延在し、前記高電圧制御部により発生させた高電圧を前記放電針にかけるための導線が設けられている、請求項１に記載のバー型イオナイザ。
【請求項３】
前記フレームは、一対の側壁部と、それぞれ第一および第二の開口部を有する第一および第二の収容部を形成するように前記一対の側壁部を連結する仕切り部とを備え、
前記高電圧制御部は、前記第一の収容部に収容され、
前記イオン発生部は、前記第二の収容部に収容される、請求項１または２に記載のバー型イオナイザ。
【請求項４】
前記フレームを長手方向に交わる方向に切断した場合の断面形状は、略Ｈ字形状である、請求項１〜３のいずれかに記載のバー型イオナイザ。
【請求項５】
前記フレームの材質は、アルミニウムである、請求項１〜４のいずれかに記載のバー型イオナイザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、バー型イオナイザに関するものであり、特に、交流電圧をかけてイオンを発生させるバー型イオナイザに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来において、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）ガラス基板やフィルムにおける静電気破壊や静電気による塵付着、基板同士の貼りつきを防止するため、製造工程において発生した静電気を除去するに際し、静電気除去装置、いわゆる、イオナイザが用いられていた。イオナイザの種類としては、発生させたイオンを含む空気をファンにより除電対象物に吹き付けるファン型イオナイザや、いわゆる棒状であって、長手方向の複数の箇所からイオンを発生させ、イオンを含む空気を除電対象物に吹き付けるバー型イオナイザ等がある。
【０００３】
ここで、バー型イオナイザの構成について簡単に説明する。バー型イオナイザは、イオン発生用の高電圧の発生および制御を行なう高電圧制御部と、高電圧制御部により発生させた高電圧によりイオンを発生させ、除電対象物に吹き付けるイオン発生部と、高電圧制御部およびイオン発生部を収容するフレームとを備える。高電圧制御部およびイオン発生部は、鉛直方向、すなわち、高さ方向に二段となるようにフレーム内に組み込まれる。イオン発生部は、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を含む。この複数の放電針に対して高電圧制御部により発生させた高電圧をかけ、放電針の先端部近辺でコロナ放電させて空気をイオン化させ、除電対象物にイオンを含んだ空気を吹き付けて静電気を除去する。このような構成のバー型イオナイザは、例えば、ＦＰＤを製造するクリーンルーム内において、製造装置の出口の天井付近等に水平方向、すなわち、長手方向が天井に対して平行となるように（鉛直方向下向きまたは水平方向にイオンを吹き付けるように）取り付けられ、製造されたＦＰＤガラス基板等の最終的な静電気の除去等を行なう。
【０００４】
近年においては、長手方向に長さの異なる複数の種類のバー型イオナイザがあるが、除電対象物となるＦＰＤガラス基板等は大型化されており、これに伴って、除電領域の長いバー型イオナイザの要求がある。
【０００５】
なお、このような構成のバー型イオナイザに関する技術については、特開２００５−２４３６５５号公報（特許文献１）に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２４３６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、このような構成のバー型イオナイザについて、交流電圧をかけてイオンを発生させる場合、コロナ放電を発生させる基準となる対向電極をバー型イオナイザに設ける必要がある。対向電極は、安定したコロナ放電を発生させるために、放電針の先端から数十ミリメートル程度の距離に設ける必要がある。また、直流電圧をかける場合においても、発生させるイオンのイオンバランスを制御するためにも、接地されたイオンバランス電極を設ける必要がある。なお、直流電圧方式におけるイオンバランス電極は、上記した交流電圧方式における対向電極と同様の構成で対応することができる。
【０００８】
図１２および図１３は、従来におけるバー型イオナイザの一部を示す図である。図１２は、従来におけるバー型イオナイザ１０１を、長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図を示し、図１３は、従来におけるバー型イオナイザ１０１を鉛直方向下方側、すなわち、図１２中の矢印ＸＩＩＩで示す放電針が配置されている側から見た図である。なお、理解の容易の観点から、以下に示す断面図において、一部の部材のハッチングを省略している。
【０００９】
図１２および図１３を参照して、従来においては、バー型イオナイザ１０１に設けられる対向電極１０２は、放電針１０４が設けられる間隔で開口する複数の貫通孔１０３を有する金属板であった。そして、放電針１０４が設けられる鉛直方向下方側の面において、貫通孔１０３が設けられた位置を放電針１０４が設けられた位置と一致させて、金属板を取り付けることとしていた。ここで、取り付けに際しては、バー型イオナイザの鉛直方向下方側からビス等でねじ止めすることとしていた。なお、図１３においては、ビス孔１０５のみを示している。
【００１０】
しかし、このような構成によると、バー型イオナイザの作動中の振動によりねじ止めが緩み、ビスが下方側に落下してしまうおそれがある。もちろん、金属板の取り付けも不十分なものとなってしまう。
【００１１】
ここで、金属板にバネのような弾性を付与し、これをバー型イオナイザに取り付ける方法もある。しかし、バー型イオナイザからの金属板の取り外しが困難となってしまうおそれもある。
【００１２】
さらに、図１４で示すバー型イオナイザ１０６、および図１５で示すバー型イオナイザ１１１のように、インサート成型により、対向電極１０７、１１２を樹脂部材の内部に組み込み、これを長手方向に複数連結するようにして形成したものもある。図１４および図１５は、従来におけるバー型イオナイザ１０６、１１１の断面図であり、それぞれ長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図を示す。しかし、このような構成においては、インサート成型自体、非常にコストが高く、製造コスト面で問題がある。なお、図１４においては放電針１０８を、図１５においては、エアー流路１１３を図示している。
【００１３】
この発明の目的は、安価な構成で、安定してコロナ放電を発生させることができるバー型イオナイザを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明に係るバー型イオナイザは、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有する。バー型イオナイザは、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部と、高電圧制御部により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部と、高電圧制御部およびイオン発生部を収容するフレームとを含む。フレームは、導体であって、放電針に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極である。
【００１５】
このような構成のバー型イオナイザによると、フレームを導体として、放電針に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極としているため、新たに金属板をビス止め等して基準電極を設ける必要がない。したがって、安価な構成とすることができる。また、この場合、ビスの落下等の問題も解消することができる。
【００１６】
好ましくは、長手方向に延在し、イオン発生部により発生させたイオンを吹き付けるための空気を挿通させるエアー流路が設けられている。エアー流路の鉛直方向上方側には、基準電極であるフレームが設けられている。エアー流路の鉛直方向下方側には、長手方向に延在し、高電圧制御部により発生させた高電圧を放電針にかけるための導線が設けられている。
【００１７】
さらに好ましくは、フレームは、一対の側壁部と、それぞれ第一および第二の開口部を有する第一および第二の収容部を形成するように一対の側壁部を連結する仕切り部とを備え、高電圧制御部は、第一の収容部に収容され、イオン発生部は、第二の収容部に収容される。
【００１８】
さらに好ましくは、フレームを長手方向に交わる方向に切断した場合の断面形状は、略Ｈ字形状である。
【００１９】
さらに好ましくは、フレームの材質は、アルミニウムである。
【発明の効果】
【００２０】
このような構成のバー型イオナイザによると、フレームを導体として、放電針に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極としているため、新たに金属板をビス止め等して基準電極を設ける必要がない。したがって、安価な構成とすることができる。また、この場合、ビスの落下等の問題も解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザを、長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。
【図２】図１に示すバー型イオナイザに含まれるフレームを示す断面図である。
【図３】この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの分解斜視図である。
【図４】この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの側面図であり、図１中の矢印ＩＶで示す方向から見た図である。
【図５】この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの側面図であり、図４中の矢印Ｖで示す方向から見た図である。
【図６】この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの側面図であり、図１中の矢印ＶＩで示す方向から見た図である。
【図７】図５に示すバー型イオナイザの一部を、図５中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面で切断した場合の断面図である。
【図８】図７に示すバー型イオナイザのうち、ＶＩＩＩで示す部分の拡大図である。
【図９】図７に示すバー型イオナイザのうち、ＩＸで示す部分の拡大図である。
【図１０】この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザに含まれるエンドキャップを示す斜視図である。
【図１１】図１０に示すエンドキャップを長手方向から見た図である。
【図１２】対向電極を鉛直方向下方側に取り付けた従来のバー型イオナイザの断面図である。
【図１３】図１２に示す従来のバー型イオナイザを、図１２中の矢印ＸＩＩＩの方向から見た図である。
【図１４】インサート成型により対向電極を内部に組み込んだ従来におけるバー型イオナイザの断面図である。
【図１５】インサート成型により対向電極を内部に組み込んだ従来におけるバー型イオナイザの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、この発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。まず、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの全体の構成について説明する。図１は、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザを、長手方向に交わる方向で切断した場合、ここでは、具体的には、長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。図２は、図１に示すバー型イオナイザに含まれるフレームを示す断面図である。図３は、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの分解斜視図である。図４、図５および図６は、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザの側面図である。図４は、図１中の矢印ＩＶで示す方向から見た図である。図５は、図４中の矢印Ｖで示す方向から見た図である。図６は、図１中の矢印ＶＩで示す方向から見た図である。図７は、この発明に係るバー型イオナイザを、図５中のＶＩＩ−ＶＩＩ断面で切断した場合の断面図である。図８は、図７中のＶＩＩＩで示す部分の拡大図である。図９は、図７中のＩＸで示す部分の拡大図である。図１０は、図１に示すバー型イオナイザに含まれるエンドキャップを示す斜視図である。図１１は、図１０に示すエンドキャップを長手方向から見た図である。なお、理解の容易の観点等から、図４、図６、図７および図９において、バー型イオナイザの長手方向の一部の図示を省略している。
【００２３】
図１〜図１１を参照して、この発明の一実施形態に係るバー型イオナイザ１１は、棒状であって、長手方向に所定の間隔を開けて設けられる複数の放電針を有する。放電針を含む放電ユニットの構成については、後述する。
【００２４】
バー型イオナイザ１１は、放電針によるイオン発生用の高電圧を発生すると共に発生させた高電圧の制御を行なう高電圧制御部２１と、高電圧制御部２１により発生および制御された高電圧を放電針にかけてイオンを発生させるイオン発生部３１と、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１とを含む。
【００２５】
高電圧制御部２１は、高電圧を発生する高電圧モジュール２２と、高電圧モジュール２２により発生させた高電圧を制御する制御モジュール２３と、外部電源との入出力のインターフェースとなる入出力モジュール２４と、長手方向の長さ寸法調整および配線のみを行なうダミーモジュール２５とを含む。高電圧モジュール２２は、発生させた高電圧をイオン発生部３１に出力するための端子２６を含む。高電圧モジュール２２においては、例えば、約±７．５ｋＶ程度の交流電圧を発生させる。制御モジュール２３は、動作状態等を示す複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）からなる表示灯２７と、発生させた交流電圧の周波数を切り替える周波数切り替えスイッチ２８と、高電圧を制御する制御回路を有する基板２９とを含む。高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、入出力モジュール２４およびダミーモジュール２５は、それぞれ棒状であって、長手方向に連なるように、後述するフレーム４１内に収容され、配置される。ダミーモジュール２５は、長手方向の長さに応じて複数設けられるが、高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、および入出力モジュール２４については、一つのバー型イオナイザ１１について、一つずつ設けられている。
【００２６】
イオン発生部３１は棒状の複数の放電モジュール３２と、放電モジュール３２に取り付けられる複数の針モジュール３３とを含む。放電モジュール３２内には、高電圧用の導線３４が長手方向に延在するように配置されている。また、放電モジュール３２内には、長手方向に貫通するように、エアーの通路となるエアー流路３５が設けられている。複数の放電モジュール３２は、長手方向に連結して連なるように配置される。連結された際に、隣接する放電モジュール３２間において、上記した導線３４およびエアー流路３５が連結されるよう構成されている。また、放電モジュール３２内には、エアー流路３５の連結に際し、エアーの漏れを防止するようＯリング３６が設けられている。
【００２７】
針モジュール３３は、その先端が鋭利に尖っており、導電性を有する金属製の放電針３７と、放電針３７を支持すると共に、放電針３７を保護する放電針ホルダ３８とを含む。放電針３７は、鉛直方向に延びるように配置される。針モジュール３３には、放電針３７の周囲において、鉛直方向に延びるように貫通するエアー流路３９も設けられている。放電針ホルダ３８は、放電針３７の先端が針モジュール３３から露出しないよう構成されている。針モジュール３３は、放電モジュール３２に取り付けた際に、放電針３７と放電モジュール３２に設けられた導線３４とが接触し、エアー流路３９と放電モジュール３２に設けられたエアー流路３５とが連なるよう構成されている。
【００２８】
針モジュール３３は、放電モジュール３２の下部側、具体的には、放電モジュール３２の下面から突出するように設けられる。１つの放電モジュール３２には、合計３つの針モジュール３３が所定の間隔を開けて設けられる。この場合、長手方向に左右非対称となるように、具体的には、両端部に配置される針モジュール３３において、一方端部側が一方端部に近い位置に、他方端部側が他方端部から遠い位置に設けられる。こうすることにより、１つの針モジュール３３により構成される放電モジュール１７を用いて、放電モジュール３２を連結した際に、バー型イオナイザ１１の両端部に近い位置に針モジュール３３を位置させることができ、長手方向の効率的な除電を行うことができる。具体的には、バー型イオナイザ１１の長手方向の両端部側にまで、イオンを含んだ空気を吹き付けることができる。
【００２９】
また、針モジュール３３は、放電モジュールに着脱自在に設けられている。具体的には、針モジュール３３を所定の角度回転させて、放電モジュール３２への取り付けおよび放電モジュール３２からの離脱を行なう。こうすることにより、消耗品である針モジュール３３の交換や放電針３７部分の清掃、洗浄等が容易となり、バー型イオナイザ１１のメンテナンス性が向上する。
【００３０】
なお、この実施形態においては、１つの放電モジュール３２には、３つの針モジュール３３が設けられることとしたが、これに限らず、１つの放電モジュール３２に対し、１つや２つの針モジュール３３を設けてもよいし、４つ以上の針モジュール３３を設けることとしてもよい。さらに、複数の針モジュール３３が設けられる位置についても、長手方向に左右非対称とならなくてもよく、例えば、長手方向に左右対称に設けることとしてもよい。すなわち、針モジュール３３を設ける数や位置、複数の針モジュール３３間の間隔等については、例えば、要求されるバー型イオナイザ１１の特性や、エアーの圧力等によって、任意に選択される。
【００３１】
ここで、バー型イオナイザ１１におけるイオン発生のメカニズムについて、簡単に説明する。高電圧モジュール２２により発生させた交流の高電圧は、制御モジュール２３によって所定の周波数とされる。そして、導線３４を通じて放電針３７に電圧がかけられる。そうすると、放電針３７の先端部の周辺の空気が電気分解され、プラスイオンおよびマイナスイオンが発生する。そして、エアー流路３５、３９により送られてきたエアーにより、放電針３７の先端部周辺において発生させたイオンを含む空気を、鉛直方向下方側に吹き付けるようにして送風する。ここで、電圧は交流であるため、放電針３７からは、プラスイオンおよびマイナスイオンが、時間的に交互に発生する。交互に発生されたプラスイオンおよびマイナスイオンは、長手方向に層となって除電対象物に吹き付けられる。
【００３２】
ここで、鉛直方向においては、鉛直方向上方側から、高電圧モジュール、導線、エアー流路、放電針の順序で配置されている。すなわち、放電針の鉛直方向上方側には、長手方向に延在し、イオン発生部により発生させたイオンを吹き付けるための空気を挿通させるエアー流路が設けられており、エアー流路の鉛直方向上方側には、長手方向に延在し、高電圧制御部により発生させた高電圧を放電針にかけるための導線が設けられている。こうすることにより、放電針と導線との間に形成されるコンデンサの容量を小さくすることができ、効率的に電圧を供給することができる。
【００３３】
また、バー型イオナイザ１１は、長手方向の両端部に、一対のエンドキャップ１２、１３を備える。また、バー型イオナイザ１１は、エンドキャップ１２、１３にそれぞれ取り付けられ、バー型イオナイザ１１の内部へ空気を供給する一対のエアー供給口１５、１６を備える。第一のエンドキャップ１２は、一方端部側に配置された高電圧モジュール２２と、放電モジュール３２とを一方端部側から押さえるようにしてバー型イオナイザ１１に取り付けられる。第二のエンドキャップ１３についても同様に、他方端部側に配置された入出力モジュール２４と放電モジュール３２とを他方端部側から押さえるようにしてバー型イオナイザ１１に取り付けられる。第一のエンドキャップ１２は、上下方向に延びるように設けられる金属製のプレート１４を含む。このプレート１４により、高電圧モジュール２２に含まれる端子２６と、放電モジュール３２に設けられる導線３４とを連結する。すなわち、第一のエンドキャップ１２を取り付けた際に、端子２６とプレート１４の一方端部とが電気的に接続され、導線３４とプレート１４の他方端部とが電気的に接続される。そして、高電圧制御部２１とイオン発生部３１とが導通されることになる。第二のエンドキャップ１３については、プレート１４が設けられておらず、単に入出力モジュール２４と放電モジュール３２とを上下方向に連結するのみである。
【００３４】
バー型イオナイザ１１は、上記した放電モジュール３２を長手方向に複数連ねて構成されており、バー型イオナイザ１１の組み立てに際しては、要求されるバー型イオナイザ１１の長手方向の長さに対して、長手方向に連結する放電モジュール３２の個数を調整する。すなわち、要求されるバー型イオナイザ１１の長手方向の長さに応じて、フレーム４１および要求される長さに相当する個数の放電モジュール３２を準備し、これらを長手方向に連結して対応することが可能である。なお、高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、および入出力モジュール２４については、一つのバー型イオナイザ１１について、それぞれ一つずつでよいため、放電モジュール３２の個数に応じた長さ方向の寸法の調整については、上記したダミーモジュール２５が用いられる。すなわち、ダミーモジュール２５を放電モジュール３２の個数に応じて準備し、長手方向に連ねて配置して、高電圧制御部２１における長さ調整を行なう。
【００３５】
次に、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１の構成について説明する。フレーム４１は、一対の側壁部４２、４３を備える。一対の側壁部４２、４３は、それぞれ長手方向に長い平板状である。一対の側壁部４２、４３は、それぞれ長手方向に略平行になるように設けられている。また、一対の側壁部４２、４３は、それぞれ上方端部および下方端部が鉛直方向に揃うように設けられている。具体的には、側壁部４２の上方端部５１の鉛直方向の位置は、側壁部４３の上方端部５２の鉛直方向の位置と同じであり、側壁部４２の下方端部５３の鉛直方向の位置は、側壁部４３の下方端部５４の鉛直方向の位置と同じである。
【００３６】
また、フレーム４１は、第一の開口部４５を有する第一の収容部４７を形成し、第二の開口部４６を有する第二の収容部４８を形成するように、一対の側壁部４２、４３を連結する仕切り部４４を備える。すなわち、フレーム４１は、それぞれ第一および第二の開口部４５、４６を有する第一および第二の収容部４７、４８を形成するように一対の側壁部４２、４３を連結する仕切り部４４を備える。仕切り部４４についても、長手方向に長い平板状である。仕切り部４４は、一対の側壁部４２、４３とそれぞれ直交するように設けられている。仕切り部４４は、側壁部４２、４３の鉛直方向中央部から延びるように設けられている。側壁部４２、４３、および仕切り部４４のいわゆる板厚については、ほぼ等しく構成されている。一対の側壁部４２、４３および仕切り部４４によって構成されるフレーム４１の断面形状、具体的には、フレーム４１を長手方向に直交する平面で切断した場合の断面形状は、略Ｈ形状である。また、図２に示す断面において、フレーム４１の上下左右方向の形状が、対称となるよう構成されている。
【００３７】
ここで、第一の収容部４７を、鉛直方向上方側とし、第二の収容部４８を鉛直方向下方側とすると、第一の収容部４７には、上記した高電圧制御部２１、具体的には、高電圧モジュール２２、制御モジュール２３、入出力モジュール２４および複数のダミーモジュール２５が収容される。この場合、第一の開口部４５を用いて、それぞれの部材が鉛直方向上方側に収容される。一方、第二の収容部４８には、上記したイオン発生部３１、具体的には、複数の放電モジュール３２が収容される。この場合、第二の開口部４６を用いて、鉛直方向下方側に収容される。
【００３８】
このような構成のバー型イオナイザ１１によると、高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を収容するフレーム４１は、一対の側壁部４２、４３および仕切り部４４を含むため、断面係数を高くして、剛性を高くすることができる。また、フレーム４１の内部に高電圧制御部２１およびイオン発生部３１を第一および第二の収容部４７、４８にそれぞれ収容する際に、第一および第二の開口部４５、４６を利用して、容易に収容することができる。したがって、このようなバー型イオナイザ１１は、組み立てが容易であって、かつ、剛性を高くすることができる。この場合、剛性が高いため、バー型イオナイザ１１の天井への取り付け作業時等において、複数人の作業者を要せずとも、バー型イオナイザ１１の取り付け時における撓みを抑制することができる。また、バー型イオナイザ１１の輸送時においても、梱包を簡素化することができる。
【００３９】
ここで、フレーム４１は、金属製、すなわち、導体であって、放電針３７に対する放電の基準となる基準電位を有する基準電極である。ここでは、交流電圧において、イオンを発生させるため、フレーム４１は、対向電極となる。具体的には、フレーム４１の側壁部４２、４３における下方端部５３、５４が放電針３７の所定の距離内となるように設けられており、フレーム４１が接地されている。このような構成のバー型イオナイザ１１によると、フレーム４１を対向電極としているため、新たな部材として対向電極としての金属板を準備し、これをバー型イオナイザ１１の下方側、具体的には、放電モジュール３２側にビス止め等して設ける必要がない。したがって、安価な構成とすることができる。さらに、ビスの落下等の問題も解消することができる。なお、上記構成のフレーム４１については、直流電圧をかける場合においても、発生させるイオンのイオンバランスを制御するイオンバランス電極となる。
【００４０】
また、鉛直方向においては、鉛直方向上方側から、高電圧モジュール２２、フレーム４１、エアー流路３５、導線３４、放電針３７の順序で配置されている。すなわち、長手方向に延在し、イオン発生部３１により発生させたイオンを吹き付けるための空気を挿通させるエアー流路３５の鉛直方向上方側にはフレーム４１が設けられており、エアー流路３９の鉛直方向下方側には、長手方向に延在し、高電圧制御部２１により発生させた高電圧を放電針３７にかけるための導線３４が設けられている。放電針３７および導線３４と基準電極となるフレーム４１、具体的にはフレーム４１に含まれる仕切り部４４との間に比誘電率が小さなエアー流路３５を設けることにより、この間に形成される寄生容量を小さくすることができ、効率的に電圧を供給することができる。
【００４１】
なお、フレーム４１は、押し出し成型で製造されている。ここで、フレームの製造方法について簡単に説明すると、金属材料を長手方向に押し出すようにして製造されている。このような製造方法によると、比較的容易に製造することができる。なお、このような押し出し成型で製造されたフレーム４１については、その材質の内部や表面近傍における材料の流れ方向の状態から、例えば、削り出し製造におけるフレームとの違いを把握することができる。
【００４２】
また、フレーム４１の材質は、アルミニウムにすることが好ましい。このような材質とすることにより、例えば、フレーム４１、引いては、バー型イオナイザ１１の高剛性化を図ることができる。
【００４３】
なお、上記の実施の形態においては、フレームについては、平板状の一対の側壁部を含むこととしたが、これに限らず、例えば、側壁部は、湾曲していてもよく、その表面に曲面等を有していてもよい。また、上下左右が対称な形状でなくともよい。さらに、仕切り部についても、側壁部の略中央でなくともよく、上下方向に多少ずれた位置であって、第一および第二の収容部の容積が大きく異なっていてもよい。さらに、仕切り部についても、湾曲形状であってもよい。さらに、側壁部および仕切り部において、必要に応じ、切り欠きや開口穴、凹部や凸部等が設けられていてもよい。
【００４４】
また、上記の実施の形態においては、フレームを金属製とすることとしたが、これに限らず、導体であればよく、樹脂と金属とを組み合わせた部材であってもよい。また、一体成型されていなくともよく、複数の部材を組み合わせて、上記構成としてもよい。
【００４５】
なお、上記の実施の形態においては、フレームの断面形状は、略Ｈ字形状としたが、これに限らず、例えば、他の形状、例えば、略Ｕ字形状であってもよいし、複数の部材から構成されていてもよい。
【００４６】
以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示した実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
この発明に係るバー型イオナイザは、長手方向に長い長尺のバー型イオナイザに、有効に利用される。
【符号の説明】
【００４８】
１１  バー型イオナイザ、１２，１３  エンドキャップ、１４  プレート、１５，１６  エアー供給口、２１  高電圧制御部、２２  高電圧モジュール、２３  制御モジュール、２４  入出力モジュール、２５  ダミーモジュール、２６  端子、２７  ＬＥＤ、２８  周波数切り替えスイッチ、２９  基板、３１  イオン発生部、１７，３２  放電モジュール、３３  針モジュール、３４  導線、３５，３９  エアー流路、３６  Ｏリング、３７  放電針、３８  放電針ホルダ、４１  フレーム、４２，４３  側壁部、４４  仕切り部、４５，４６  開口部、４７，４８  収容部、５１，５２，５３，５４  端部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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