(57)【要約】      （修正有）【課題】平板型スピーカに関し、特に平板型圧電スピーカを提供する。【解決手段】平板型圧電スピーカ１０は、第一表面１６２及び該第一表面１６２に対向する第二表面１６４を有する圧電素子１６と、前記圧電素子１６の第一表面１６２に電気的に接続された第一電極１２と、前記圧電素子１６の第二表面１６４に電気的に接続された第二電極１４と、を含む。前記第一電極／第二電極は、カーボンナノチューブ構造体を含む。前記カーボンナノチューブ構造体において、複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って平行に配列されている。【選択図】図１
2010273330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一表面及び該第一表面に対向する第二表面を有する圧電素子と、前記圧電素子の第一表面に電気的に接続された第一電極と、前記圧電素子の第二表面に電気的に接続された第二電極と、を含む平板型圧電スピーカにおいて、
前記第一電極及び／又は第二電極は、カーボンナノチューブ構造体を含み、
前記カーボンナノチューブ構造体において、複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って平行に配列されていることを特徴とする平板型圧電スピーカ。
【請求項２】
前記カーボンナノチューブ構造体は少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含み、
単一の前記カーボンナノチューブフィルムは複数のカーボンナノチューブのみからなることを特徴とする、請求項１に記載の平板型圧電スピーカ。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブ構造体は少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含み、
単一の前記カーボンナノチューブフィルムは複数のカーボンナノチューブを含み、
各々の前記カーボンナノチューブは導電金属層で被覆されていることを特徴とする、請求項１に記載の平板型圧電スピーカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板型スピーカに関し、特に平板型圧電スピーカに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、平板型圧電スピーカには、圧電体に加えられた力を電圧に変換する、あるいは電圧を力に変換する、圧電効果を利用した圧電素子が利用されている。該圧電素子において、電極に信号電圧を加えることにより圧電体が歪み、その振動が音（空気の振動）として聞こえる。
【０００３】
従来の平板型圧電スピーカは、圧電素子と、第一電極と、第二電極と、を含む。前記第一電極及び第二電極は、所定の距離で離れるように、それぞれ前記圧電素子に電気的に接続されている。一般に、前記第一電極及び第二電極は、前記圧電素子に金属を印刷して形成したものである。前記平板型圧電スピーカを利用する場合、前記圧電素子を何回も湾曲させるので、金属製の前記第一電極及び第二電極を損傷する問題がある。
【０００４】
これに対して、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）を電極として利用する技術が開発されている。しかし、ＩＴＯの電極を何回も湾曲させると、この電極も損傷する問題がある。また、ＩＴＯを圧電素子の表面に堆積させるための高温は、圧電素子の圧電効果に影響を及ぼすという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００７／００８１６８１号明細書
【特許文献２】特開２００９−１８４９０６号公報
【特許文献３】特開２００９−２８６６８８号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Ｋａｉｌｉ  Ｊｉａｎｇ、Ｑｕｎｑｉｎｇ  Ｌｉ、Ｓｈｏｕｓｈａｎ  Ｆａｎ、“Ｓｐｉｎｎｉｎｇ  ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｙａｒｎｓ”、Ｎａｔｕｒｅ、２００２年、第４１９巻、ｐ．８０１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に、圧電平板スピーカが開示されている。前記圧電平板スピーカにおいて、カーボンナノチューブを電極として利用する。前記電極の製造方法により、カーボンナノチューブを含む溶液を、圧電素子の対向する二つの表面に塗布した後、５０〜７０度で前記溶液を蒸着させる。これにより、前記カーボンナノチューブを含む電極を、低温で前記圧電素子に形成させることができる。しかし、前記カーボンナノチューブはランダムに配列されるので、カーボンナノチューブの優れた伝導特性を機能させることができず、スピーカの反応速度が低いという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の平板型圧電スピーカは、第一表面及び該第一表面に対向する第二表面を有する圧電素子と、前記圧電素子の第一表面に電気的に接続された第一電極と、前記圧電素子の第二表面に電気的に接続された第二電極と、を含む。前記第一電極／第二電極は、カーボンナノチューブ構造体を含む。前記カーボンナノチューブ構造体において、複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って平行に配列されている。
【０００９】
前記カーボンナノチューブ構造体は少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含む。単一の前記カーボンナノチューブフィルムは複数のカーボンナノチューブのみからなる。
【００１０】
前記カーボンナノチューブ構造体は少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含む。単一の前記カーボンナノチューブフィルムは複数のカーボンナノチューブを含む。各々の前記カーボンナノチューブは導電金属層で被覆されている。
【発明の効果】
【００１１】
従来の技術と比べて、本発明の平板型圧電スピーカは次の優れた点がある。第一に、前記平板型圧電スピーカにおいて、第一電極／第二電極は同じ方向に沿って配列された複数のカーボンナノチューブを含むので、前記方向第一電極／第二電極の前記方向の導電性が優れている。従って、前記平板型圧電スピーカの感度及び安定性が高い。第二に、前記第一電極／第二電極におけるカーボンナノチューブ構造体が薄く、該カーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブが前記圧電素子の表面に平行しているので、前記第一電極／第二電極の光透過性が高い。第三に、前記カーボンナノチューブ構造体における各々のカーボンナノチューブの表面には金属層が被覆されるので、前記第一電極／第二電極の導電性を高めることができる。第四に、本発明の第一電極／第二電極の製造工程において、直接自立構造を有するカーボンナノチューブフィルムを圧電素子に設置して、第一電極／第二電極を形成するので、従来技術の高温が必要でなく、圧電素子の性能に影響を及す問題がない。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例１における平板型圧電スピーカの模式図である。
【図２】本発明のカーボンナノチューブフィルムのＳＥＭ写真である。
【図３】本発明のカーボンナノチューブセグメントの模式図である。
【図４】本発明における超配列カーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブフィルムを引き出すことを示す図である。
【図５】本発明の超長構造カーボンナノチューブフィルムのＳＥＭ写真である。
【図６】本発明のカーボンナノチューブフィルムセグメントの写真である。
【図７】本発明実施例１における、導電金属層で被覆されたカーボンナノチューブの模式図である。
【図８】本発明実施例１における、導電金属層で被覆されたカーボンナノチューブのＳＥＭ写真である。
【図９】本発明の実施例２における平板型圧電スピーカの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００１４】
（実施例１）
図１を参照すると、本発明の平板型圧電スピーカ１０は、圧電素子１６と、第一電極１２と、第二電極１４と、を含む。前記圧電素子１６は、第一表面１６２及び該第一表面１６２に対向する第二表面１６４を有する。前記第一電極１２は、前記圧電素子１６と電気的に接続するように、前記圧電素子１６の第一表面１６２に設置されている。前記第二電極１４は、前記圧電素子１６と電気的に接続するように、前記圧電素子１６の第二表面１６４に設置されている。
【００１５】
前記圧電素子１６は、圧電液晶、圧電セラミック、圧電半導体、高分子材料のいずれか一種又は数種からなる。前記圧電液晶は、リチウムナイオベート（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、メタゲルマニウム酸二リチウム（ＬｉＧｅＯ３）、ガリウム酸リチウム（ＬｉＧａＯ３）又は酸化ビスマスゲルマニウム（Ｂｉ１２ＧｅＯ２０）である。前記圧電セラミックは、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、圧電セラミック又はニオブ酸ジルコン酸鉛である。前記圧電半導体は、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、硫化カドミウム（ＣｄＳ）、テルル化亜鉛（ＺｎＴｅ）、又はガリウムヒ素（ＧａＡｓ）である。前記高分子材料は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、フッ化ポリビニリデン（ＰＶＦ）又はポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）である。
【００１６】
前記第一電極１２及び第二電極１４の少なくとも一方は、カーボンナノチューブ構造体を含む。該カーボンナノチューブ構造体は大きな比表面積（例えば、１００ｍ２／ｇ以上）を有する。前記カーボンナノチューブ構造体には、複数のカーボンナノチューブが均一に分散されている。また、該複数のカーボンナノチューブは分子間力で接続され、同じ方向に沿って平行に配列されている。本実施例において、前記第一電極１２及び第二電極１４の両方が複数のカーボンナノチューブを含み、前記第一電極１２における複数のカーボンナノチューブは前記圧電素子１６の第一表面１６２に平行に配列され、前記第二電極１４における複数のカーボンナノチューブは前記圧電素子１６の第二表面１６４に平行に配列されている。前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、二層カーボンナノチューブ又は多層カーボンナノチューブである。前記カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブである場合、直径は０．５ｎｍ〜５０ｎｍに設定され、前記カーボンナノチューブが二層カーボンナノチューブである場合、直径は１ｎｍ〜５０ｎｍに設定され、前記カーボンナノチューブが多層カーボンナノチューブである場合、直径は１．５ｎｍ〜５０ｎｍに設定される。
【００１７】
前記カーボンナノチューブ構造体は、自立構造の薄膜の形状に形成されている。ここで、自立構造とは、支持体材を利用せず、前記カーボンナノチューブ構造体を独立して利用することができるという形態のことである。すなわち、前記カーボンナノチューブ構造体を対向する両側から支持して、前記カーボンナノチューブ構造体の構造を変化させずに、前記カーボンナノチューブ構造体を懸架させることができることを意味する。前記カーボンナノチューブ構造体は平板型であり、その厚さは０．５ｎｍ〜１ｍｍに設けられている。
【００１８】
本発明のカーボンナノチューブ構造体としては、以下の（一）〜（三）のものが挙げられる。
【００１９】
（一）ドローン構造カーボンナノチューブフィルム
前記カーボンナノチューブ構造体は、図２に示す、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルム１４３ａを含む。このカーボンナノチューブフィルムはドローン構造カーボンナノチューブフィルム（ｄｒａｗｎ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｆｉｌｍ）である。前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａは、超配列カーボンナノチューブアレイ（非特許文献１を参照）から引き出して得られたものである。単一の前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａは、分子間力で長さ方向端部同士が接続された複数のカーボンナノチューブを含む（図４を参照）。単一の前記カーボンナノチューブフィルムにおいて、複数のカーボンナノチューブがカーボンナノチューブフィルムの表面に平行し、該複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って、端と端が接続されている。ここで、極少のカーボンナノチューブは、ランダム配列されている。この極少のカーボンナノチューブより、隣接する平行なカーボンナノチューブを連通させて、前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａをネット状構造に形成させることができる。しかし、図３に示されるように、前記極少のカーボンナノチューブは、前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａの構造に対して影響を与えない。前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａの幅は１００μｍ〜１０ｃｍに設けられ、厚さは０．５ｎｍ〜１００μｍに設けられる。
【００２０】
前記カーボンナノチューブ構造体は、積層された複数の前記カーボンナノチューブフィルムを含むことができる。この場合、隣接する前記カーボンナノチューブフィルムは、分子間力で結合されている。隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブは、それぞれ０°〜９０°の角度で交差している。隣接する前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブが０°以上の角度で交差する場合、前記カーボンナノチューブ構造体に複数の微孔が形成される。又は、前記複数のカーボンナノチューブフィルムは、隙間なく並列されることもできる。
【００２１】
前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法は次のステップを含む。
【００２２】
第一ステップでは、カーボンナノチューブアレイを提供する。該カーボンナノチューブアレイは、超配列カーボンナノチューブアレイ（Ｓｕｐｅｒａｌｉｇｎｅｄ  ａｒｒａｙ  ｏｆ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅｓ，非特許文献１を参照）であり、該超配列カーボンナノチューブアレイの製造方法は、化学気相堆積法を採用する。該製造方法は、次のステップを含む。ステップ（ａ）では、平らなベースを提供し、該ベースはＰ型のシリコンベース、Ｎ型のシリコンベース及び酸化層が形成されたシリコンベースのいずれか一種である。本実施例において、４インチのシリコンベースを選択することが好ましい。ステップ（ｂ）では、前記ベースの表面に、均一的に触媒層を形成する。該触媒層の材料は鉄、コバルト、ニッケル及びその２種以上の合金のいずれか一種である。ステップ（ｃ）では、前記触媒層が形成されたベースを７００℃〜９００℃の空気で３０分〜９０分間アニーリングする。ステップ（ｄ）では、アニーリングされたベースを反応炉に置き、保護ガスで５００℃〜７４０℃の温度で加熱した後で、カーボンを含むガスを導入して、５分〜３０分間反応を行って、超配列カーボンナノチューブアレイ（Ｓｕｐｅｒａｌｉｇｎｅｄ  ａｒｒａｙ  ｏｆ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅｓ，非特許文献１）を生長させることができる。該カーボンナノチューブアレイの高さは１００マイクロメートル以上である。該カーボンナノチューブアレイは、互いに平行し、ベースに垂直に生長する複数のカーボンナノチューブからなる。該カーボンナノチューブは、長さが長いため、部分的にカーボンナノチューブが互いに絡み合っている。生長の条件を制御することによって、前記カーボンナノチューブアレイは、例えば、アモルファスカーボン及び残存する触媒である金属粒子などの不純物を含まなくなる。
【００２３】
本実施例において、前記カーボンを含むガスとしては例えば、アセチレン、エチレン、メタンなどの活性な炭化水素が選択され、エチレンを選択することが好ましい。保護ガスは窒素ガスまたは不活性ガスであり、アルゴンガスが好ましい。
【００２４】
本実施例から提供されたカーボンナノチューブアレイは、前記の製造方法により製造することに制限されず、アーク放電法またはレーザー蒸発法で製造してもよい。
【００２５】
第二ステップでは、前記カーボンナノチューブアレイから、少なくとも、一枚のカーボンナノチューブフィルムを引き伸ばす。まず、ピンセットなどの工具を利用して複数のカーボンナノチューブの端部を持つ。例えば、一定の幅を有するテープを利用して複数のカーボンナノチューブの端部を持つ。次に、所定の速度で前記複数のカーボンナノチューブを引き出し、複数のカーボンナノチューブセグメントからなる連続のカーボンナノチューブフィルムを形成する。
【００２６】
前記複数のカーボンナノチューブを引き出す工程において、前記複数のカーボンナノチューブがそれぞれ前記ベースから脱離すると、分子間力で前記カーボンナノチューブセグメントが端と端で接合され、連続のカーボンナノチューブフィルムが形成される（図４を参照）。図２及び図３を参照すると、単一の前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａは、複数のカーボンナノチューブセグメント１４３ｂを含む。前記複数のカーボンナノチューブセグメント１４３ｂは、長さ方向に沿って分子間力で端と端が接続されている。それぞれのカーボンナノチューブセグメント１４３ｂは、相互に平行に、分子間力で結合された複数のカーボンナノチューブ１４５を含む。単一の前記カーボンナノチューブセグメント１４３ｂにおいて、前記複数のカーボンナノチューブ１４５の長さが同じである。前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａを有機溶剤に浸漬させることにより、前記カーボンナノチューブフィルム１４３ａの強靭性及び機械強度を高めることができる。有機溶剤に浸漬された前記カーボンナノチューブフィルムの単位体積当たりの熱容量が小さくなる。
【００２７】
（二）超長構造カーボンナノチューブフィルム
前記カーボンナノチューブ構造体は、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムを含む。このカーボンナノチューブフィルムは超長構造カーボンナノチューブフィルム（ｕｌｔｒａ−ｌｏｎｇ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｆｉｌｍ）である。図５を参照すると、単一の前記カーボンナノチューブフィルムは、ほぼ同じ長さを有する複数のカーボンナノチューブを含む。単一の前記カーボンナノチューブフィルムにおいて、前記複数のカーボンナノチューブは、同じ方向に沿って、均一に並列されている。単一の前記カーボンナノチューブフィルムの厚さは、１０ｎｍ〜１００μｍである。前記複数のカーボンナノチューブは、それぞれ前記複数のカーボンナノチューブフィルムの表面に平行に配列され、相互に平行に配列されている。隣接する前記カーボンナノチューブは所定の距離で分離して設置される。前記距離は０〜５μｍである。前記距離が０μｍである場合、隣接する前記カーボンナノチューブは分子間力で接続されている。前記カーボンナノチューブフィルムにおける各々の前記カーボンナノチューブの長さは、前記カーボンナノチューブフィルムの長さと同じである。単一の前記カーボンナノチューブの長さは、１ｃｍ以上であり、１ｃｍ〜３０ｃｍであることが好ましい。即ち、カーボンナノチューブの長さが超長である。さらに、各々の前記カーボンナノチューブ１４５に結節がない。本実施形態において、前記カーボンナノチューブフィルムの厚さは１０μｍである。単一の前記カーボンナノチューブ１４５の長さは１０ｃｍである。
【００２８】
前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法は、反応容器を備える成長装置を提供する第一ステップと、一つの表面に触媒層を有する第二基板、及び第一基板を前記成長装置の反応容器の中に設置する第二ステップと、カーボンを含むガスを前記成長装置の中に導入して、前記第二基板にカーボンナノチューブを成長させる第三ステップと、前記カーボンを含むガスの導入を止めて、前記カーボンナノチューブの大部分を前記第一基板に付着させる第四ステップと、触媒を有する新たな第二基板を、前記カーボンナノチューブが成長された第二基板に替えて、前記成長装置の中に設置する第五ステップと、を含む。詳しい説明は、特許文献２に掲載されている。
【００２９】
（三）カーボンナノチューブフィルムセグメント
前記カーボンナノチューブ構造体は、一つのカーボンナノチューブフィルムセグメントを含む。図６を参照すると、前記カーボンナノチューブフィルムセグメントにおけるカーボンナノチューブは、相互に平行し、所定の方向に沿って配列されている。前記カーボンナノチューブフィルムセグメントにおいて、少なくとも一本のカーボンナノチューブの長さは、前記カーボンナノチューブフィルムセグメントの全長と同じである。従って、前記カーボンナノチューブフィルムセグメントの一つの寸法は、前記カーボンナノチューブの長さによって制限されている。前記カーボンナノチューブ構造体は、積層された複数の前記カーボンナノチューブフィルムセグメントを含むことができる。この場合、隣接する前記カーボンナノチューブフィルムセグメントは、分子間力で結合されている。前記カーボンナノチューブフィルムセグメントの厚さは、０．５ｎｍ〜１００μｍである。
【００３０】
前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法は、基板を提供する第一ステップと、該基板に、少なくとも一つのストリップ状の触媒層を堆積させる第二ステップと、ＣＶＤ法により、前記基板に少なくとも一つのカーボンナノチューブアレイを成長させる第三ステップと、前記基板の表面に平行な方向に沿って前記カーボンナノチューブアレイを倒して、少なくとも一枚のカーボンナノチューブフィルムセグメントを形成する第四ステップと、を含む。詳しい説明は、特許文献３に掲載されている。
【００３１】
前記カーボンナノチューブ構造体の機械強度及び強靭性を高めるために、二枚以上の前記カーボンナノチューブフィルムを積層させて前記カーボンナノチューブ構造体を形成することができる。前記カーボンナノチューブ構造体の光透過率は、積層された前記カーボンナノチューブフィルムの枚数に関係する。即ち、積層された前記カーボンナノチューブフィルムの枚数は多いほど、前記カーボンナノチューブ構造体が厚くなり、その光透過率が低くなる。本実施例において、前記カーボンナノチューブ構造体の厚さは、０．５ｎｍ〜１ｍｍである。前記カーボンナノチューブ構造体の厚さが、０．５ｎｍ〜９９ｎｍである場合、前記カーボンナノチューブ構造体の光透過率は８６％〜９５％に達することができる。
【００３２】
本実施例において、前記第一電極１２及び第二電極１４はそれぞれ前記ドローン構造カーボンナノチューブフィルムを含む。前記第一電極１２／第二電極１４におけるカーボンナノチューブは同じ方向に沿って平行に配列されているので、前記第一電極１２／第二電極１４は、前記カーボンナノチューブの配列方向に沿う導電性が非常に優れている。
【００３３】
カーボンナノチューブの粘着性が強いので、前記カーボンナノチューブ構造体を直接前記圧電素子１６の第一表面１６２又は第二表面１６４に接着させて、前記第一電極１２又は第二電極１４を形成することができる。この他、粘着性を利用して、前記第一電極１２又は第二電極１４を前記圧電素子１６の第一表面１６２又は第二表面１６４に形成することもできる。
【００３４】
前記第一電極１２又は第二電極１４におけるカーボンナノチューブは、同じ方向に沿って、前記圧電素子１６の第一表面１６２又は第二表面１６４に平行に配列されているので、前記平板型圧電スピーカ１０の導電性が高くなると共に、その光透過性が優れている。前記第一電極１２／第二電極１４は、カーボンナノチューブからなるので、その柔軟性及び湾曲度が優れている。本願発明のカーボンナノチューブ構造体は自立構造を有するので、前記カーボンナノチューブ構造体を直接圧電素子に付着させて前記第一電極１２又は第二電極１４を形成することができる。従って、本願発明の電極の製造方法は簡単であり、コストが低い。また、本願発明の電極の製造方法において、従来技術のような高温が必要でないので、圧電素子の性能に影響を及ぼすことができない。
【００３５】
図７及び８を参照すると、前記カーボンナノチューブ構造体は、複数のカーボンナノチューブ１１１及び各々の該カーボンナノチューブ１１１に被覆された導電金属層１１２を含む。前記導電金属層１１２は、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）、チタニウム（Ｔｉ）のいずれか一種又は数種からなる。前記導電金属層１１２の厚さは１ｎｍ〜１００ｎｍであり、１ｎｍ〜２０ｎｍであることが好ましい。前記導電金属層１１２は、濡れ層１１２１と、導電層１１２２と、を含む。前記濡れ層１１２１は、最も前記カーボンナノチューブ１１１の外表面に近く設置し、前記カーボンナノチューブ１１１の外表面に接触する。前記導電層１１２２は、前記濡れ層１１２１を覆うように設置されている。カーボンナノチューブが金属で濡れ難いので、前記濡れ層１１２１を設置することにより、前記カーボンナノチューブ１１１と前記導電層１１２２とを有効に結合させることができる。前記濡れ層１１２１は、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）、チタニウム（Ｔｉ）及びそれらの一種の合金からなる。前記濡れ層１１２１の厚さは、１ｎｍ〜１０ｎｍである。本実施形態において、前記濡れ層１１２１はニッケルからなり、その厚さが２ｎｍである。前記濡れ層１１２１を設置しないことができる。前記導電層１１２２は、前記カーボンナノチューブ複合物の導電性を高めるために設置されている。前記導電層１１２２は、金、銅、銀及びその一種の合金からなる。前記導電層１１２２の厚さは、１ｎｍ〜２０ｎｍである。本実施形態において、前記導電層１１２２は金からなり、その厚さが１５ｎｍである。
【００３６】
さらに、前記導電金属層１１２は過渡層（図示せず）及び抗酸化層（図示せず）を含む。前記過渡層は、前記濡れ層１１２１を覆うように設置されている。前記抗酸化層は、前記導電層１１２２を覆うように設置されている。前記過渡層は、前記濡れ層１１２１と前記導電層１１２２とを結合させるために設置されている。前記過渡層は、銅、銀及びその一種の合金からなる。前記過渡層の厚さは、１ｎｍ〜１０ｎｍである。本実施形態において、前記過渡層は銅からなり、その厚さが２ｎｍである。前記過渡層を設置しないことができる。前記抗酸化層は、前記カーボンナノチューブ複合物の酸化を防ぐために設置されている。前記抗酸化層は、銅、白金などの抗酸化金属及びその一種の合金からなる。前記抗酸化層の厚さは、１ｎｍ〜１０ｎｍである。本実施形態において、前記抗酸化層は白金からなり、その厚さが２ｎｍである。前記抗酸化層を設置しないことができる。
【００３７】
前記カーボンナノチューブ構造体が一枚のカーボンナノチューブフィルムを含む場合、前記導電金属層１１２は、真空蒸着法又はスパッタ法などの物理気相堆積法（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ＰＶＤ）により、前記カーボンナノチューブフィルムにおけるカーボンナノチューブ１１１の表面に堆積されて形成される。本実施形態において、真空蒸着法を利用する。前記カーボンナノチューブ構造体は数枚のカーボンナノチューブフィルムを含む場合、前記カーボンナノチューブフィルムの一つずつに前記導電金属層１１２を堆積させた後、前記導電金属層１１２が積層されたカーボンナノチューブを積層させる。
【００３８】
前記カーボンナノチューブ１１１に異なる金属を堆積させた後の、前記複合物の抵抗は以下の表１に示されている。表１に示されるように、前記カーボンナノチューブ１１１の表面に金属を堆積させることにより、前記カーボンナノチューブ構造体の抵抗を低減させる。従って、前記カーボンナノチューブ構造体を含む前記第一電極１２／第二電極１４の抵抗が低くなる。
【００３９】
【表１】
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【００４０】
逆圧電効果原理に従って、オーディオ信号入力装置１８から前記圧電素子１６に信号を転送する場合、前記圧電素子１６が変形するという現象が起こす。本実施例において、前記圧電素子１６は前記第一電極１２／第二電極１４と接続されているので、前記圧電素子１６の変形と伴って、前記第一電極１２／第二電極１４はそれぞれ振動して、周辺の空気を振動させることになる。
【００４１】
（実施例２）
図９を参照すると、本実施例の平板型圧電スピーカ２０は、圧電素子２６と、第一電極２２と、第二電極２４と、を含む。前記圧電素子２６は、第一表面２６２及び該第一表面２６２に対向する第二表面２６４を有する。前記第一電極２２は、前記圧電素子２６と電気的に接続するように、前記圧電素子２６の第一表面２６２に設置されている。前記第二電極２４は、前記圧電素子２６と電気的に接続するように、前記圧電素子２６の第二表面２６４に設置されている。
【００４２】
本実施例の平板型圧電スピーカ２０は実施例１と比べて、次の異なる点がある。即ち、本実施例の平板型圧電スピーカ２０において、前記第一電極２２又は第二電極２４の表面に振動膜２９が設置されている。前記振動膜２９は粘着性で前記第一電極２２又は第二電極２４の表面に接着されることができる。前記振動膜２９は、樹脂、紙、金属材料のいずれか一種からなる。
【００４３】
前記平板型圧電スピーカ２０を作動させる場合、オーディオ信号入力装置２８からのオーディオ信号は、前記第一電極２２又は第二電極２４により前記圧電素子２６まで転送され、逆圧電効果の原因で前記圧電素子２６は振動し始める。この同時、前記圧電素子２６の振動に従って、前記振動膜２９は振動し始める。従って、前記平板型圧電スピーカ２０は、従来のラウドスピーカの磁石システム又はコイル無しで、音を発することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０  平板型圧電スピーカ
１２  第一電極
１４  第二電極
１４３ａ  カーボンナノチューブフィルム
１４３ｂ  カーボンナノチューブセグメント
１６  圧電素子
１８  オーディオ信号入力装置
２０  平板型圧電スピーカ
２２  第一電極
２４  第二電極
２６  圧電素子
２８  オーディオ信号入力装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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