(57)【要約】【課題】加圧エアーにより弁体を開閉するエアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給する小型化された連結部品を提供する。【解決手段】エアー駆動装置３００に使用する連結部品６００は、内部で分岐することにより一の入口に対して複数の出口を持つ空間が形成された中間継手６０５と、中間継手６０５の入口ｉｎに取り付けられ、エアー駆動装置３００と連通する第１の継手６１０と、中間継手６０５の複数の出口ｏｕｔのうち、第１の出口ｏｕｔ１に取り付けられ、中間継手６０５及び第１の継手６１０を経由して加圧エアーをエアー駆動装置３００に供給するエアー供給経路Ｐａを形成する第２の継手６１５と、中間継手６０５の第２の出口ｏｕｔ２に取り付けられ、エアー供給経路Ｐａの少なくとも一部を利用して配線されたヒーター線Ｌをエアー供給経路Ｐａの気密を保ちながら貫通させる第３の継手６２０と、を有する。【選択図】図６
2010031325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧エアーにより弁体を開閉するエアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給するための連結部品であって、
内部で分岐することにより一の入口に対して複数の出口を持つ空間が形成された中間継手と、
前記中間継手の入口に取り付けられ、前記エアー駆動装置と連通する第１の継手と、
前記中間継手の複数の出口のうち、第１の出口に取り付けられ、前記中間継手及び前記第１の継手を経由して加圧エアーを前記エアー駆動装置に供給するエアー供給経路を形成する第２の継手と、
前記中間継手の複数の出口のうち、第２の出口に取り付けられ、前記エアー供給経路の少なくとも一部を利用して配線された電線を前記エアー供給経路の気密を保ちながら貫通させる第３の継手と、を備えるエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項２】
前記中間継手の複数の出口のうち、第３の出口に取り付けられ、前記エアー供給経路の少なくとも一部を利用して配線されたセンサ線を前記エアー供給経路の気密を保ちながら貫通させる第４の継手をさらに備える請求項１に記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項３】
前記電線は、前記エアー駆動装置内の加熱部材に接続される請求項１又は請求項２のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項４】
前記センサ線は、前記加熱部材の温度を検知するセンサに接続され、
前記電線は、前記センサにより検知された温度に応じた電気を前記エアー駆動装置に供給する請求項１〜３のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項５】
前記連結部品は、真空容器の壁面を貫通して装着され、前記エアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給するとともに、真空と大気とを遮断する仕切りとなる請求項１〜４のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項６】
前記中間継手の入口は、前記真空容器の真空側に配置され、
前記中間継手の複数の出口は、前記真空容器の大気側に配置される請求項５に記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項７】
前記中間継手と前記真空容器の壁面との接触面にはシール材が設けられている請求項５又は請求項６のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項８】
前記中間継手は、フランジを介して前記真空容器の壁面に装着され、
前記フランジと前記真空容器の壁面との接触面にはシール材が設けられている請求項５又は請求項６のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項９】
前記連結部品は、前記エアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給する際、前記加圧エアーの圧力、前記真空容器内の真空圧及び大気圧を同時に受け得る位置に配置されている請求項５〜８のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項１０】
前記エアー駆動装置は、有機材料を気化させる蒸着源と、キャリアガスを用いて気化された有機材料分子を成膜装置に搬送する搬送路と、の間に設けられ、前記弁体の開閉により前記成膜装置への有機材料分子の搬送及び搬送の停止を制御する請求項１〜９のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項１１】
前記エアー駆動装置内の加熱部材は、有機材料分子を搬送する際、有機材料分子及びキャリアガスを加熱する請求項１０に記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【請求項１２】
前記エアー駆動装置は、
前記弁体と、該弁体を摺動可能に支持するボンネットと、前記弁体の一端を支持するように前記ボンネットと連結されて前記弁体を駆動させる弁駆動部と、前記弁体の他端側に位置するように前記ボンネットと連結された弁箱と、を備え、
前記弁駆動部は、周壁と、該周壁の両端を閉成する上蓋及び下蓋と、前記周壁の内部に一端が位置しかつ前記下蓋を貫通した他端で前記弁体の一端を支持した軸部と、前記周壁の内部を上蓋側と下蓋側とで隔絶するように前記軸部の一端と連結された第１ベローズと、前記下蓋と前記軸部の他端との間に配置されて前記下蓋の軸貫通穴を密閉する第２ベローズと、前記第１ベローズによって隔絶された前記上蓋と前記軸部の一端との間に形成された第１空間に連通された第１配管と、前記第１ベローズによって隔絶されかつ前記第２ベローズによって外部とも隔絶された前記下蓋と前記軸部の一端との間に形成された第２空間に連通された第２配管と、を有し、
前記第１、第２配管を経由して前記第１、第２空間内の流体量を相互的に増減することにより前記軸部を駆動する請求項１〜１１のいずれかに記載されたエアー駆動装置用の連結部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧エアーにより弁体を開閉するエアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給するための連結部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空容器内に設けられたエアー駆動装置をヒーターで加熱する場合、加圧エアーを装置に送るための配管と、温度制御のためにヒーターとコントローラとを接続する配線が必要である。このとき、一般的には、エアー配管とヒーター線とは、別々に配管、配線を引き回す。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−２９８７６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、エアー配管とヒーター線とを別々に引き回すと、大気側に配設されるエアー供給源やコントローラや電源等との配管及び配線のために真空装置からの取り出しポート数が増えてしまう。特に、真空容器の場合、容器内の真空の気密を保持する必要性から取り出しポート数に限りがある。また、エアー配管とヒーター線とを別々に引き回すと装置構成が複雑になる。
【０００５】
これに対して、エアー配管内にヒーター線を内蔵し、１個のポートから配線及び配管を取り出す方法も考えられる。その場合、大気側に加圧エアーの気密を保持するための専用容器を設置し、エアー駆動装置と専用容器とを連結するとともに、専用容器に配管用継手及び配線用継手を設ける。かかる構成によれば、エアー供給源からエアー駆動装置までの配管が長くなるため、エアーの供給に対して実際にエアー駆動装置が駆動するまでのレスポンスが遅くなり、エアー駆動装置の弁の開閉のタイミングが遅くなり、その後の処理に影響が出る場合がある。また、装置全体が大がかりになりコスト高となる。
【０００６】
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、加圧エアーにより弁体を開閉するエアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給する小型化された連結部品を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のある態様によれば、加圧エアーにより弁体を開閉するエアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給するための連結部品であって、内部で分岐することにより一の入口に対して複数の出口を持つ空間が形成された中間継手と、前記中間継手の入口に取り付けられ、前記エアー駆動装置と連通する第１の継手と、前記中間継手の複数の出口のうち、第１の出口に取り付けられ、前記中間継手及び前記第１の継手を経由して加圧エアーを前記エアー駆動装置に供給するエアー供給経路を形成する第２の継手と、前記中間継手の複数の出口のうち、第２の出口に取り付けられ、前記エアー供給経路の少なくとも一部を利用して配線された電線を前記エアー供給経路の気密を保ちながら貫通させる第３の継手と、を有するエアー駆動装置用の連結部品が提供される。
【０００８】
これによれば、エアー駆動装置用の連結部品により、エアー駆動装置に加圧エアーを供給するエアー供給経路が形成されるとともに、エアー供給経路の少なくとも一部を利用して電線を通す。エアー供給経路を流れた加圧エアーは、中間継手の一の出口に通され、エアー供給経路を利用して配線された電線は、エアー供給経路の気密を保ちながら中間継手の他の出口から大気側に出される。
【０００９】
このようにして、中間継手の入口では、１個の継手（第１の継手）に加圧エアーと電線を通し、その出口では、加圧エアー用の継手（第２の継手）と電線取り出し用の継手（第３の継手）とを別々に設けることにより、エアー供給経路の気密を保持しながら、エアー供給経路に電線を収納することができる。これにより、加圧エアーの気密を保持するための専用容器を設けることなく、加圧エアーの供給のための連結部と電気系統の連結部とを一つの連結部品で実現することができ、連結部品の小型化を図ることができる。この結果、エアー供給源からエアー駆動装置までの配管が短くなるため、エアーの供給に対して実際にエアー駆動装置３００が駆動するまでのレスポンスを速くすることができる。この結果、エアー駆動装置の弁の開閉のタイミングが改善され、その後の処理に良好な結果をもたらすことができる。また、装置全体をシンプルに構成することができ、部品点数が少なくなるためコスト安となる。
【００１０】
前記中間継手の複数の出口のうち、第３の出口に取り付けられ、前記エアー供給経路の少なくとも一部を利用して配線されたセンサ線を前記エアー供給経路の気密を保ちながら貫通させる第４の継手をさらに備えてもよい。これによっても、エアー供給経路内部の気密を保持しながら、エアー供給経路に電線及びセンサ線を収納し、連結部品を小型化することができる。
【００１１】
前記電線は、前記エアー駆動装置内の加熱部材に接続されていてもよい。前記センサ線は、前記加熱部材の温度を検知するセンサに接続され、前記電線は、前記センサにより検知された温度に応じた電気を前記エアー駆動装置に供給してもよい。
【００１２】
前記連結部品は、真空容器の壁面を貫通して装着され、前記エアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給するとともに、真空と大気とを遮断する仕切りとすることもできる。その際、前記中間継手の入口は、前記真空容器の真空側に配置され、前記中間継手の複数の出口は、前記真空容器の大気側に配置されてもよい。これによれば、真空容器に配管及び配線を引き回す際に、導入ポートの数を少なくすることができる。
【００１３】
前記中間継手と前記真空容器の壁面との接触面にシール材を設けてもよい。また、前記中間継手を、フランジを介して前記真空容器の壁面に装着し、前記フランジと前記真空容器の壁面との接触面にシール材を設けてもよい。これによれば、真空容器内の気密を高めることができる。
【００１４】
前記連結部品は、前記エアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給する際、前記加圧エアーの圧力、前記真空容器内の真空圧及び大気圧を同時に受け得る位置に配置されていてもよい。
【００１５】
前記エアー駆動装置は、有機材料を気化させる蒸着源と、キャリアガスを用いて気化された有機材料分子を成膜装置に搬送する搬送路と、の間に設けられ、前記弁体の開閉により前記成膜装置への有機材料分子の搬送及び搬送の停止を制御してもよい。
【００１６】
これによれば、連結部品の小型化により、前述したように、エアーの供給に対してレスポンスよくエアー駆動装置を駆動することができる。この結果、エアー駆動装置の弁体の開閉のタイミングが改善され、効率よく成膜処理を実行することができるとともに、材料の使用効率を高めることができる。
【００１７】
前記エアー駆動装置内の加熱部材は、有機材料分子を搬送する際、有機材料分子及びキャリアガスを加熱してもよい。これによれば、有機材料分子を搬送する際、キャリアガスが配管内に付着することを防止することができる。
【００１８】
前記エアー駆動装置は、前記弁体と、該弁体を摺動可能に支持するボンネットと、前記弁体の一端を支持するように前記ボンネットと連結されて前記弁体を駆動させる弁駆動部と、前記弁体の他端側に位置するように前記ボンネットと連結された弁箱と、を備え、前記弁駆動部は、周壁と、該周壁の両端を閉成する上蓋及び下蓋と、前記周壁の内部に一端が位置しかつ前記下蓋を貫通した他端で前記弁体の一端を支持した軸部と、前記周壁の内部を上蓋側と下蓋側とで隔絶するように前記軸部の一端と連結された第１ベローズと、前記下蓋と前記軸部の他端との間に配置されて前記下蓋の軸貫通穴を密閉する第２ベローズと、前記第１ベローズによって隔絶された前記上蓋と前記軸部の一端との間に形成された第１空間に連通された第１配管と、前記第１ベローズによって隔絶されかつ前記第２ベローズによって外部とも隔絶された前記下蓋と前記軸部の一端との間に形成された第２空間に連通された第２配管と、を有し、前記第１、第２配管を経由して前記第１、第２空間内の流体量を相互的に増減することにより前記軸部を駆動してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、加圧エアーにより弁体を開閉するエアー駆動装置に加圧エアー及び電気を供給する連結部品を小型化することにより、エアー供給に対するレスポンスを速めるとともに装置全体をシンプルに構成することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の一実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、同一の構成及び機能を有する構成要素については、同一符号を付することにより、重複説明を省略する。
【００２１】
本発明の一実施形態に係るエアー駆動装置用の連結部品について説明するにあたり、まず、エアー駆動装置用の連結部品が利用される６層連続成膜装置について、その概略構成を示した図１を参照しながら説明する。
【００２２】
（６層連続成膜装置）
６層連続成膜装置１０は、矩形状の真空容器Ｃｈの内部に３個の蒸着源ユニット１００の組が６つ、６本の搬送路２００及び蒸着源ユニット１００と対になっている３つのエアー駆動装置３００の組が６つ、６つの吹き出し機構４００及び７枚の隔壁５００を有している。蒸着源ユニット１００、搬送路２００、エアー駆動装置３００及び吹き出し機構４００から構成される６つの成膜装置２０は、すべて同一構造である。
【００２３】
成膜装置２０は、真空容器Ｃｈの内部に所定の間隔をおいて他の５つの成膜装置２０とともに設置されている。真空容器Ｃｈの内部は、図示しない排気装置により所望の真空状態に保たれている。成膜装置２０は、３個の蒸着源ユニット１００ａ〜１００ｃ及び吹き出し機構４００を有していて、その間は搬送路２００により連結されている。
【００２４】
蒸着源ユニット１００は、ＳＵＳ等の金属から形成されている。石英等は有機材料と反応しにくいため、蒸着源ユニット１００は、石英等でコーティングされた金属から形成されていてもよい。なお、蒸着源ユニット１００は、材料を気化する蒸着源の一例であり、ユニット型の蒸着源である必要はなく、一般的なるつぼであってもよい。
【００２５】
蒸着源ユニット１００の内部には、異なる種類の有機材料が納められている。蒸着源ユニット１００の壁面には、図示しないヒーターが埋設されている。ヒーターは、蒸着源ユニット１００を所望の温度に温め、有機材料を気化させる。なお、気化とは、液体が気体に変わる現象だけでなく、固体が液体の状態を経ずに直接気体に変わる現象（すなわち、昇華）も含んでいる。
【００２６】
気化された有機分子は、搬送路２００を通って、吹き出し機構４００まで運ばれ、吹き出し機構４００の上部開口Ｏｐから吹き出される。隔壁５００は、各吹き出し機構４００の間に設けられ、隣り合う吹き出し機構４００の間を仕切ることにより、各吹き出し機構４００の上部開口Ｏｐからそれぞれ吹き出される有機分子同士が混ざり合うことを防止する。
【００２７】
つぎに、図１の１−１断面を示した図２を参照しながら、一の成膜装置２０を例に挙げてその内部を説明する。なお、他の成膜装置２０は同一構造であるためその説明を省略する。
【００２８】
蒸着源ユニット１００（蒸着源ユニット１００ａ〜１００ｃ）は、材料投入器１１０と外部ケース１２０とを有している。材料投入器１１０は、有機成膜材料を収納する材料容器１１０ａとキャリアガスの導入流路１１０ｂとを有する。外部ケース１２０は、ボトル状に形成され、中空の内部に材料投入器１１０が着脱可能に装着されるようになっている。材料投入器１１０が外部ケース１２０に装着されると、有機成膜材料の気化分子を搬送する搬送路１１０ｃが画定される。
【００２９】
材料投入器１１０の端部には、図示しないガス供給源に接続され、ガス供給源から供給されるアルゴンガスを流路１１０ｂに導入する。アルゴンガスは、材料容器１１０ａに収納された成膜材料の有機分子を搬送するキャリアガスとして機能する。よって、キャリアガスは、アルゴンガスに限られず、ヘリウムガスやクリプトンガスなどの不活性ガスであればよい。
【００３０】
成膜材料の有機分子は、蒸着源ユニット１００の搬送路１１０ｃから搬送路２００を通って吹き出し機構４００に搬送され、バッファ空間Ｓに一時滞留してから、その上部開口Ｏｐを通って吹き出し、直上の基板Ｇ上に付着する。
【００３１】
本実施形態にかかる６層連続成膜装置１０では、成膜装置２０を、図１に示したように並行して６つ配置し、基板Ｇは１〜６番目の吹き出し機構４００の上方をある速度で進行する。これにより、図３に示したように、基板ＧのＩＴＯ上に順に、第１層のホール注入層、第２層のホール輸送層、第３層の青発光層、第４層の緑発光層、第５層の赤発光層、第６層の電子輸送層が形成される。このうち、第３層〜第５層の青発光層、緑発光層、赤発光層がホールと電子の再結合により発光する発光層である。また、有機層上のメタル層は、スパッタリングにより成膜される。
【００３２】
これにより、有機層を陽極（アノード）および陰極（カソード）にてサンドイッチした構造の有機ＥＬ素子がガラス基板上に形成される。有機ＥＬ素子の陽極および陰極に電圧を印加すると、陽極からはホール（正孔）が有機層に注入され、陰極からは電子が有機層に注入される。注入されたホールおよび電子は有機層にて再結合し、このとき発光が生じる。
【００３３】
図２及び図２の２−２断面を示した図４を参照しながら説明を続ける。搬送路２００は、エアー駆動装置３００を経由して気化有機分子を吹き出し機構４００側へ搬送する。このとき、後述するように、エアー駆動装置３００の弁体は、加圧エアーにより開閉する。これにより、有機分子の搬送が制御される。具体的には、エアー駆動装置３００の弁体は成膜するときには開くため、気化された有機分子及びキャリアガスは、図４に示した搬送路２００内の往路２０５ａから復路２０５ｂに通され、吹き出し機構４００まで搬送される。一方、エアー駆動装置３００の弁体は成膜しないときには閉じるため、往路２０５ａと復路２０５ｂとは閉塞され、有機分子及びキャリアガスの搬送は停止させる。
【００３４】
エアー駆動装置３００は、エアー駆動装置用の連結部品６００に連結されている。連結部品６００は、真空容器Ｃｈの側壁を貫通して装着され、真空容器内部の真空と外部の大気とを遮断する仕切りとなる。連結部品６００は、大気側にてエアー供給源７００、ヒーター電源８００、温度センサ（Ｔ／Ｃ）９００と接続されていて、エアー駆動装置３００の弁体を開閉するためにエアー駆動装置３００加圧エアーを供給するとともに、エアー駆動装置３００の内部ヒーターの加熱のために電気を供給するようになっている。温度センサ９００は、エアー駆動装置３００の内部ヒーターの温度を検知する。コントローラ１０００は、エアー供給源７００、ヒーター電源８００、温度センサ９００と接続され、検知されたヒーターの温度に応じてヒーター電源８００の出力値を制御する。コントローラ１０００は、また、エアー駆動装置３００の弁体の開閉のタイミングに応じてエアー供給源７００の出力値を制御する。
【００３５】
（エアー駆動装置）
次に、図２の３−３断面を示した図５を参照しながら、エアー駆動装置３００の内部構成及び動作について説明する。エアー駆動装置３００は、円筒状であって、略中央に弁体３０５が設けられ、弁体３０５の周囲に、中央周縁のボンネット３１０，エアー吸入及び排出側（図左側）の弁駆動部３１５，開閉側（図右側）の弁箱３２０が設けられている。弁体３０５は、ボンネット３１０に設けられた軸受部材３１０ａに摺動可能に支持され、ボンネット３１０は、外周側の両端にて弁駆動部３１５及び弁箱３２０に連結している。
【００３６】
弁駆動部３１５は、周壁３１５ａ、周壁３１５ａの両端を閉成する上蓋３１５ｂ及び下蓋３１５ｃ、軸部３１５ｄ、第１ベローズ３１５ｅ、第２ベローズ３１５ｆ、第１配管３１５ｇ及び第２配管３１５ｈを有する。
【００３７】
軸部３１５ｄは、略Ｔ字状であって、周壁３１５ａ、上蓋３１５ｂ及び下蓋３１５ｃに囲まれ、下蓋３１５ｃを貫通し、弁体３０５の根本側と連結する。第１ベローズ３１５ｅは、その一端を軸部３１５ｄに接合し、他端を上蓋３１５ｂに接合することにより、周壁３１５ａの内部空間を上蓋３１５ｂ側と下蓋３１５ｃ側とで隔絶するようになっている。第２ベローズ３１５ｆは、その一端を軸部３１５ｄの一端に接合し、他端を下蓋３１５ｃに接合することにより、第１ベローズ３１５ｅにより仕切られた下蓋３１５ｃ側の空間を下蓋３１５ｃ側と弁体３０５側とで隔絶するようになっている。
【００３８】
第１配管３１５ｇは、第１ベローズ３１５ｅによって隔絶された上蓋３１５ｂ側の第１の空間Ｕｓと連通し、エアー供給源７００から出力された加圧エアーを第１の空間Ｕｓに供給する。第２配管３１５ｈは、第１ベローズ３１５ｅ及び第２ベローズ３１５ｆによって隔絶された下蓋３１５ｃ側の第２の空間Ｌｓと連通し、エアー供給源７００から出力された加圧エアーを第２の空間Ｌｓに供給する。
【００３９】
ボンネット３１０と弁体３０５の頭部３０５ａには、軸線方向に配置された第３のベローズ３１０ｂの両端がそれぞれ接合され、これにより、有機分子及びキャリアガスの搬送路の往路３２０ａ及び復路３２０ｂとボンネット内部の空間とを隔絶するようになっている。ボンネット３１０には、ボンネット３１０と弁駆動部３１５との間の密閉空間内をパージするパージポート３１０ｃが設けられている。また、ボンネット３１０と弁駆動部３１５との接触部分並びにボンネット３１０と弁箱３２０との接触部分には、密閉性を確保するためにシール用の金属製ガスケット３２５、３３０が配設されている。これにより、エアー駆動装置３００を真空環境下での使用に適した構造とすることができる。
【００４０】
かかる構成によれば、エアー駆動装置３００は、第１配管３１５ｇ及び第２配管３１５ｈを経由して第１の空間Ｕｓ及び第２の空間内Ｌｓの流体量を相互的に増減することにより、軸部３１５ｄを介して弁体３０５を駆動する。具体的には、第１配管３１５ｇから加圧エアーが供給されると、第１の空間Ｕｓ内の容積が増えるため、軸部３１５ｄを介して弁体３０５が押圧され、弁体３０５が前進し、弁箱３２０に形成された搬送路の往路３２０ａに当接する。これにより、弁体３０５の頭部３０５ａが搬送路の往路３２０ａを閉塞し、有機分子及びキャリアガスが、往路３２０ａから復路３２０ｂへ流れて吹き出し機構４００に運搬されるのを停止することができる。
【００４１】
一方、第２配管３１５ｈから加圧エアーが供給されると、第２の空間Ｌｓ内の容積が増え、第１の空間Ｕｓ内の加圧エアーが第１配管３１５ｇから放出されて、第１の空間Ｕｓ内の容積が減ることとなる。これにより、軸部３１５ｄから弁体３０５への押力が小さくなり、弁体３０５が後退する。これにより、弁体３０５の頭部３０５ａが往路３２０ａから離れ、往路３２０ａと復路３２０ｂが連通し、有機分子及びキャリアガスが、往路３２０ａから復路３２０ｂへ流れて吹き出し機構４００に運搬され、基板Ｇに成膜処理が施される。
【００４２】
なお、加圧エアーは、第１配管３１５ｇのみから吸気及び排気してもよい。この場合には、第１配管３１５ｇからの吸気及び排気に伴う第１の空間Ｕｓ内の容積変化に応じて第２配管３１５ｈから加圧エアーが従動的に排気及び吸気される。
【００４３】
（連結部品）
次に、一般的な連結部品と本実施形態に係る連結部品６００との相違をわかりやすく説明するために、まず、一般的なエアー配管及び配線を図８及び図９を参照しながら説明し、その後、図２の４−４断面を示した図６を参照しながら、エアー駆動装置３００に使用される連結部品６００について説明する。
【００４４】
たとえば、図８に示したように、一般的に、ヒーター１３０５は、ニクロム線１３０５ａをシース管１３０５ｂにて覆うことにより形成されるが、エアー配管Ｔとヒーター線Ｌとを別々に引き回すと、ヒーター線Ｌの配線の溶接Ｍが必要になったり、真空容器Ｃｈからの取り出しポート数が増加して、装置構成がより複雑になる。
【００４５】
これに対して、図９に示したように、エアー配管内にヒーター線Ｌやセンサ線Ｓｃを収納し、１個のポートから配線及び配管を取り出す方法も考えられる。その場合、大気側に加圧エアーの気密を保持するための専用容器Ｂｘを設置し、エアー駆動装置３００と専用容器Ｂｘとを連結するとともに、専用容器Ｂｘにエアー配管用継手７０５及び配線用継手８０５，９０５を設け、真空容器Ｃｈの壁面にも継手１１００を設ける。かかる構成によれば、エアー供給源７００からエアー駆動装置３００までの配管が長くなるため、フットプリントが大きくなり、エアーの供給に対して実際にエアー駆動装置３００が駆動するまでのレスポンスが遅くなる。また、装置全体が大がかりになりコスト高となる。
【００４６】
そこで、本実施形態では、図６に示したエアー駆動装置用の連結部品を使用する。図６（ａ）は、連結部品６００の横断面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の５−５断面を示した連結部品６００の縦断面図である。
【００４７】
連結部品６００は、中間継手６０５、第１の継手６１０、第２の継手６１５、第３の継手６２０、第４の継手６２５を有している。中間継手６０５は、内部で分岐することにより一の入口ｉｎに対して複数の出口ｏｕｔ１〜３を持つ空間が形成されている。第１の継手６１０は、中間継手６０５の入口ｉｎに取り付けられ、エアー駆動装置３００と連通する。
【００４８】
第２の継手６１５は、中間継手６０５の複数の出口ｏｕｔのうち、第１の出口ｏｕｔ１に取り付けられ、中間継手６０５及び第１の継手６１０を経由して加圧エアーをエアー駆動装置３００に供給するエアー供給経路Ｐａを形成する。
【００４９】
第３の継手６２０は、中間継手６０５の複数の出口ｏｕｔのうち、第２の出口ｏｕｔ２に取り付けられ、エアー供給経路Ｐａの少なくとも一部を利用して配線されたヒーター線Ｌをエアー供給経路Ｐａの気密を保ちながら貫通させる。
【００５０】
第４の継手６２５は、中間継手６０５の複数の出口ｏｕｔのうち、第３の出口ｏｕｔ３に取り付けられ、エアー供給経路Ｐａの少なくとも一部を利用して配線されたセンサ線Ｓｃをエアー供給経路Ｐａの気密を保ちながら貫通させる。
【００５１】
第３の継手６２０及び第４の継手６２５は、同一構造を有しているので、第３の継手６２０を代表して、図７の拡大図を参照しながら説明する。図７（ａ）に示したように、第３の継手６２０は、チューブ６２０ａ、ナット６２０ｂ、ワッシャー６２０ｃ、Ｏリング６２０ｄ、環状のＳＵＳ６２０ｅ１及び充填材６２０ｅ２を有している。
【００５２】
図７（ａ）の６−６断面を示した図７（ｂ）を見ると、環状のＳＵＳ６２０ｅ１の内部は、酸化マグネシウムＭｇｏからなる充填材６２０ｅ２で充填され、その略中央にヒーター線Ｌが貫通している。ＳＵＳ６２０ｅ１の表面粗さＲａは０．６３μｍより小さいものを使用している。
【００５３】
チューブ６２０ａの先端の外周部分及びナット６２０ｂの先端の内周部分には、ねじ溝が設けられている。ナット６２０ｂの中心には、ねじ穴が貫通していて、ヒーター線Ｌを貫通させたＳＵＳ６２０ｅ１及び充填材６２０ｅ２により閉塞されている。
【００５４】
ＳＵＳ６２０ｅ１にワッシャー６２０ｃ及びＯリング６２０ｄを通した状態で、チューブ６２０ａをナット６２０ｂに螺合させる。これにより、エアー供給経路Ｐａの気密を保ちながら、ヒーター線Ｌを大気に引き出すことができる。
【００５５】
ヒーター線Ｌ及びセンサ線Ｓｃは、第１の継手６１０を介して図５に示したエアー駆動装置内のヒーター８１０に接続される。センサ線Ｓｃは、ヒーター８１０の温度を検知する温度センサ９００に接続され、ヒーター線Ｌは、温度センサ９００により検知された温度に応じてヒーター電源８００から供給された電力をエアー駆動装置３００に印加する。エアー駆動装置内のヒーター８１０は、有機材料分子を搬送する際、有機材料分子及びキャリアガスを加熱し、搬送中にこれらの分子が配管に付着することを防ぐ。
【００５６】
なお、ヒーター線Ｌ及びセンサ線Ｓｃは、エアー供給経路Ｐａの少なくとも一部を利用して配線された電線の位置例であり、エアー駆動装置３００ｂの電気系統に電気を供給する線であればいずれであってもよい。
【００５７】
かかる構成の連結部品６００は、真空容器Ｃｈの壁面を貫通して装着され、エアー駆動装置３００に加圧エアー及び電気を供給するとともに、真空と大気とを遮断する仕切りとなる。具体的には、図６に示したように、中間継手６０５は、フランジ６３０を介して真空容器Ｃｈの壁面に装着され、フランジ６３０と真空容器Ｃｈの壁面との接触面にはシール材としてのＯリング６３５が設けられている。中間継手６０５の入口ｉｎは、真空容器Ｃｈの真空側に配置され、中間継手６０５の複数の出口ｏｕｔは、真空容器Ｃｈの大気側に配置される。なお、フランジ６３０は必ずしも必要ではなく、たとえば、中間継手６０５を真空容器Ｃｈの壁面に直接接触させて、その接触面にＯリング６３５を設けてもよい。
【００５８】
これによれば、エアー駆動装置用の連結部品６００により、エアー駆動装置３００に加圧エアーを供給するエアー供給経路Ｐａを形成することができるとともに、エアー供給経路Ｐａの少なくとも一部を利用してヒーター線Ｌやセンサ線Ｓｃなどの電線を通すことができる。これにより、エアー供給経路Ｐａを流れた加圧エアーは、中間継手６０５の一の出口ｏｕｔを通過し、エアー供給経路Ｐａを利用して配線された電線は、中間継手６０５の他の出口ｏｕｔをエアー供給経路Ｐａの気密を保ちながら貫通する。
【００５９】
このようにして、中間継手６０５の入口ｉｎでは、１個の継手（第１の継手６１０）に加圧エアーと電線（ヒーター線Ｌ、センサ線Ｓｃ）を通し、その出口ｏｕｔでは、加圧エアー用の継手（第２の継手６１５）と電線取り出し用の継手（第３の継手６２０、第４の継手６２５）とを別々に設けることにより、エアー供給経路Ｐａの気密を保持しながら、エアー供給経路Ｐａである空間に配線を収納することができる。
【００６０】
これにより、加圧エアーの気密を保持するための専用容器を設けることなく、加圧エアーの配管及び電気系統の配線を一つの連結部品で実現することができ、連結部品の小型化を図ることができる。この結果、エアー供給源７００からエアー駆動装置３００までの配管が短くなるため、エアーの供給に対して実際にエアー駆動装置３００が駆動するまでのレスポンスを速くすることができる。この結果、エアー駆動装置３００の弁体の開閉のタイミングが改善され、効率よく成膜処理を実行することができるとともに、材料の使用効率を高めることができる。
【００６１】
また、ヒーター線Ｌの配線にエアー配管内を利用するため、真空容器Ｃｈからの取り出しポート数を減らすことができる。さらに、装置全体をシンプルに構成することができ、部品点数を少なくしてコスト安を実現できる。
【００６２】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６３】
たとえば、本発明に係る連結部品では、中間継手の出口は、２つ以上であればいくつでもよい。連結部品内に２つ以上の電線を配線する場合には、電線毎に継手を設けるのが好ましいが、エアー供給経路の気密が保持できれば、複数の電線に対して１つの継手を設け、１つの継手から複数の電線を外部に出すようにしてもよい。
【００６４】
また、本発明に係るエアー駆動装置は、ガスやエアーにより開閉弁を駆動できる装置であれば、加圧エアーを用いて駆動する場合に限られない。また、本発明に係る真空容器は、有機膜を成膜する装置に限られず、内部を真空に保持して所望の処理を施す装置に用いられる容器であればよい。
【００６５】
また、本発明に係る成膜装置の成膜材料には、パウダー状（固体）の有機材料を用いることができる。成膜材料に主に液体の有機金属を用い、気化させた成膜材料を加熱された被処理体上で分解させることにより、被処理体上に薄膜を成長させるＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：有機金属気相成長法）に用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施形態に係る６層連続成膜装置の概略斜視図である。
【図２】同実施形態に係る成膜装置２０の断面図である。
【図３】同実施形態に係る６層連続成膜装置により形成される有機ＥＬ素子の模式図である。
【図４】同実施形態に係る蒸着源及び搬送路の断面図である。
【図５】同実施形態に係るエアー駆動装置の断面図である。
【図６】図６（ａ）は、同実施形態に係る連結部品６００の横断面図であり、図６（ｂ）は、同実施形態に係る連結部品６００の縦断面図である。
【図７】同実施形態に係る第３の継手６２０の拡大した断面図である。
【図８】一比較例として示したエアー駆動装置の断面図である。
【図９】一比較例として示したエアー駆動装置と各電源との連結部分の模式図である。
【符号の説明】
【００６７】
１０                ６層連続成膜装置
２０                成膜装置
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ  蒸着源ユニット
１１０              材料投入器
１１０ａ            材料容器
１１０ｂ            流路
１２０              外部ケース
１１０ｃ、２００    搬送路
２１０              材料投入器
３００              エアー駆動装置
３０５              弁体
３１０              ボンネット
３１５              弁駆動部
３２０              弁箱
３１５ａ            周壁
３１５ｂ            上蓋
３１５ｃ            下蓋
３１５ｄ            軸部
３１５ｅ            第１ベローズ
３１５ｆ            第２ベローズ
３１５ｇ            第１配管
３１５ｈ            第２配管
３２０ａ            搬送路の往路
３２０ｂ            搬送路の復路
４００              吹き出し機構
５００              隔壁
６００              連結部品
６０５              中間継手
６１０              第１の継手
６１５              第２の継手
６２０              第３の継手
６２５              第４の継手
６３０              フランジ
６２０ｄ、６３５              Ｏリング
７００              エアー供給源
８００              ヒーター電源
８１０              ヒーター
９００              温度センサ
Ｃｈ                真空容器
Ｐａ                エアー供給経路
Ｌ                  ヒーター線
Ｓｃ                センサ線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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