(57)【要約】【課題】傷サイズを精度良く求めることができるコイル傷検査方法の実用性を確保すべく、所望する既知の大きさで模擬的なコイル傷を再現性良く形成することができ、かつ、容易に安定的に得ることができる基準電極を提供する。【解決手段】基準電極１には、ベース基板２と、該ベース基板２上に形成されるパターン４と、該パターン４を覆って形成されるレジスト３と、を備えるプリント基板が用いられ、レジスト３を所定の大きさだけ除去して、パターン４を所定の大きさだけ露出させることによって、所定の既知の大きさで導体露出部５を形成する。【選択図】図１
2010145370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイル傷の大きさの検出対象物であるコイルと、
大きさが既知であるコイル傷を模擬するために既知の大きさで導体露出部が形成される第一基準電極と、
大きさが既知であるコイル傷を模擬するために前記第一基準電極とは異なる既知の大きさで前記導体露出部が形成される第二基準電極と、
前記コイル、前記第一基準電極、および前記第二基準電極とは異なる極性で直流電圧が印加される外部電極とを、
導電性を備えた溶液である検査液が注がれた検査槽の中に沈めた状態で、
前記外部電極と前記コイルの間、
前記外部電極と前記第一基準電極の間、
および前記外部電極と前記第二基準電極の間、
のそれぞれに前記検査液を介して同じ直流電圧を印加するとともに、
前記第一基準電極、前記第二基準電極および前記コイルの漏れ電流値をそれぞれに検出し、
前記第一基準電極および前記第二基準電極の各導体露出部の既知である大きさと、
検出した前記第一基準電極および前記第二基準電極の各漏れ電流値と、によって、
コイル傷の大きさと漏れ電流値との相関を求めて、
求めた相関と、検出した前記コイルからの漏れ電流値と、によって、
前記コイルのコイル傷の大きさを求める検査方法に用いられる前記第一基準電極および前記第二基準電極からなるコイル傷検査用の基準電極であって、
該基準電極には、
ベース基板と、
導体にて構成され、前記ベース基板上に形成されるパターンと、
絶縁体にて構成され、前記パターンを覆って形成されるレジストと、
を備えるプリント基板が用いられ、
前記レジストを所定の大きさだけ除去して、
前記パターンを所定の大きさだけ露出させることによって、
所定の既知の大きさで前記導体露出部を形成する、
ことを特徴とするコイル傷検査用基準電極。
【請求項２】
コイル傷の大きさの検出対象物であるコイルと、
大きさが既知であるコイル傷を模擬するために既知の大きさで導体露出部が形成される第一基準電極と、
大きさが既知であるコイル傷を模擬するために前記第一基準電極とは異なる既知の大きさで前記導体露出部が形成される第二基準電極と、
前記コイル、前記第一基準電極、および前記第二基準電極とは異なる極性で直流電圧が印加される外部電極とを、
導電性を備えた溶液である検査液が注がれた検査槽の中に沈めた状態で、
前記外部電極と前記コイルの間、
前記外部電極と前記第一基準電極の間、
および前記外部電極と前記第二基準電極の間、
のそれぞれに前記検査液を介して同じ直流電圧を印加するとともに、
前記第一基準電極、前記第二基準電極および前記コイルの漏れ電流値をそれぞれに検出し、
前記第一基準電極および前記第二基準電極の各導体露出部の既知である大きさと、
検出した前記第一基準電極および前記第二基準電極の各漏れ電流値と、によって、
コイル傷の大きさと漏れ電流値との相関を求めて、
求めた相関と、検出した前記コイルからの漏れ電流値と、によって、
前記コイルのコイル傷の大きさを求める検査方法に用いられる前記第一基準電極および前記第二基準電極からなるコイル傷検査用の基準電極であって、
該基準電極には、
ベース基板と、
導体にて構成され、前記ベース基板上に形成されるパターンと、
絶縁体にて構成され、前記パターンを覆って形成されるレジストと、
を備えるプリント基板が用いられ、
前記パターンを所定の部位を残して前記レジストによって覆い、
前記パターンを所定の大きさだけ露出させることによって、
所定の既知の大きさで導体露出部を形成する、
ことを特徴とするコイル傷検査用基準電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイル傷の検査方法に用いられるコイル傷検査用基準電極の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、導電性を備えた溶液中に、絶縁被覆されたコイルおよび漏れ電流計測用電極を浸し、コイルと漏れ電流計測用電極との間に電圧を印加するとともに、コイルと漏れ電流計測用電極との間の漏れ電流を計測し、計測した漏れ電流の大きさにより、コイル傷の大きさ（以下、傷サイズと記載する）を定量的に判定するコイル傷の検査方法に関する技術があり、以下に示す特許文献１にその技術が開示され公知となっている。
【０００３】
しかしながら、係る特許文献１に示された従来技術では、コイル等が浸される溶液（検査液）の濃度や温度が、経時変化等して、検査液自体の導電率が変化してしまうことによって、傷サイズの判定結果に誤差が生じるという問題があり、厳密な検査液の濃度および温度管理が必要となる等の点で、運用上の困難さが存在していた。
【０００４】
このような検査液の濃度および温度変化による影響を解消するための技術としては、コイルおよび漏れ電流計測用電極の他に、基準計測用電極および他の電極も同時に検査液中に浸し、コイルと漏れ電流計測用電極との間に電圧を印加するとともに、基準計測用電極と他の電極との間にも、コイルと漏れ電流計測用電極との間に印加した電圧と同じ電圧を印加し、コイルと漏れ電流計測用電極との間の漏れ電流と、基準計測用電極と他の電極との間の漏れ電流とを検出することによって、検査液の濃度および温度変化による影響を解消する技術が知られており、以下に示す特許文献２にその技術が開示され公知となっている。
【０００５】
そして、本発明の出願人によって、その後の更なる技術改良が行われ、前述した基準計測用電極および他の電極のそれぞれに、大きさは異なるが、その大きさが既知である模擬的なコイル傷が形成された基準電極を用いることによって、より精度良く傷サイズを検出することが可能となる技術が開発されるに至っている。
しかしながら、係る新たな技術では、如何にして所望する大きさで再現性良く模擬的なコイル傷を形成するかということや、如何にして容易かつ安定的に基準電極を得るかということが課題となって、係る新たな技術を実際の製造ラインに適用することが困難となっていた。
【特許文献１】特開２００２−１５６３５１号公報
【特許文献２】特許第３７３８７７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、係る現状を鑑みてなされたものであり、傷サイズを精度良く求めることができるコイル傷検査方法の実用性を確保すべく、所望する既知の大きさで模擬的なコイル傷を再現性良く形成することができ、かつ、容易に安定的に得ることができる基準電極を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
即ち、請求項１においては、コイル傷の大きさの検出対象物であるコイルと、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために既知の大きさで導体露出部が形成される第一基準電極と、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために前記第一基準電極とは異なる既知の大きさで前記導体露出部が形成される第二基準電極と、前記コイル、前記第一基準電極、および前記第二基準電極とは異なる極性で直流電圧が印加される外部電極とを、導電性を備えた溶液である検査液が注がれた検査槽の中に沈めた状態で、前記外部電極と前記コイルの間、前記外部電極と前記第一基準電極の間、および前記外部電極と前記第二基準電極の間、のそれぞれに前記検査液を介して同じ直流電圧を印加するとともに、前記第一基準電極、前記第二基準電極および前記コイルの漏れ電流値をそれぞれに検出し、前記第一基準電極および前記第二基準電極の各導体露出部の既知である大きさと、検出した前記第一基準電極および前記第二基準電極の各漏れ電流値と、によって、コイル傷の大きさと漏れ電流値との相関を求めて、求めた相関と、検出した前記コイルからの漏れ電流値と、によって、前記コイルのコイル傷の大きさを求める検査方法に用いられる前記第一基準電極および前記第二基準電極からなるコイル傷検査用の基準電極であって、該基準電極には、ベース基板と、導体にて構成され、前記ベース基板上に形成されるパターンと、絶縁体にて構成され、前記パターンを覆って形成されるレジストと、を備えるプリント基板が用いられ、前記レジストを所定の大きさだけ除去して、前記パターンを所定の大きさだけ露出させることによって、所定の既知の大きさで前記導体露出部を形成するものである。
【０００９】
請求項２においては、コイル傷の大きさの検出対象物であるコイルと、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために既知の大きさで導体露出部が形成される第一基準電極と、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために前記第一基準電極とは異なる既知の大きさで前記導体露出部が形成される第二基準電極と、前記コイル、前記第一基準電極、および前記第二基準電極とは異なる極性で直流電圧が印加される外部電極とを、導電性を備えた溶液である検査液が注がれた検査槽の中に沈めた状態で、前記外部電極と前記コイルの間、前記外部電極と前記第一基準電極の間、および前記外部電極と前記第二基準電極の間、のそれぞれに前記検査液を介して同じ直流電圧を印加するとともに、前記第一基準電極、前記第二基準電極および前記コイルの漏れ電流値をそれぞれに検出し、前記第一基準電極および前記第二基準電極の各導体露出部の既知である大きさと、検出した前記第一基準電極および前記第二基準電極の各漏れ電流値と、によって、コイル傷の大きさと漏れ電流値との相関を求めて、求めた相関と、検出した前記コイルからの漏れ電流値と、によって、前記コイルのコイル傷の大きさを求める検査方法に用いられる前記第一基準電極および前記第二基準電極からなるコイル傷検査用の基準電極であって、該基準電極には、ベース基板と、導体にて構成され、前記ベース基板上に形成されるパターンと、絶縁体にて構成され、前記パターンを覆って形成されるレジストと、を備えるプリント基板が用いられ、前記パターンを所定の部位を残して前記レジストによって覆い、前記パターンを所定の大きさだけ露出させることによって、所定の既知の大きさで導体露出部を形成するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１１】
請求項１においては、精度良く所望する大きさの導体露出部が形成された基準電極を容易に再現性良く得ることができる。
【００１２】
請求項２においては、精度良く所望する大きさの導体露出部が形成された基準電極を容易に再現性良く得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の第一実施例に係る基準電極の全体構成について、図１を用いて説明をする。図１は本発明の一実施例に係る基準電極の全体構成を示す模式図、（ａ）第一基準電極および第二基準電極を示す平面模式図、（ｂ）第一基準電極のＡ−Ａ断面図である。
【００１４】
図１（ａ）に示す如く、本発明の一実施例に係る基準電極１は、第一基準電極１ａと第二基準電極１ｂからなる構成としており、各基準電極１ａ・１ｂには、ベース基板２、レジスト３、パターン４等によって形成されるプリント基板が用いられている。
【００１５】
ベース基板２は、絶縁性の基材からなる板状部材であるが、本発明の一実施例に係る基準電極１に用いられるベース基板２としては、柔軟性のないリジット基板を採用するのが好適である。
【００１６】
パターン４は、ベース基板２上に配置される導体部分であり、銅箔等が用いられる。
また、レジスト３は、例えばフォトリソグラフィの手法によって形成することができる絶縁層であり、絶縁体にて構成されるレジスト３でパターン４を覆うことによって、導体にて構成されるパターン４の外部に対する絶縁性を確保する役割を果たしている。本発明の一実施例に係る基準電極１では、パターン４は、単純な矩形形状（所謂、ベタパターン）のものを採用するのが好適である。
【００１７】
レジスト３には、該レジスト３が存在しない部位である孔部３ａ・３ｂが形成されており、該孔部３ａ・３ｂからパターン４を部分的に露出させることによって、導体露出部５（各導体露出部５ａ・５ｂ）が形成される構成としている。尚、本実施例で示す各基準電極１ａ・１ｂは片面基板としているが、両面基板とすることも可能である。
【００１８】
次に、本発明の一実施例に係る基準電極１の製造工程について、図２を用いて説明をする。図２は本発明の一実施例に係る基準電極の製造工程を示す図、（ａ）パターン貼付工程を示す模式図、（ｂ）レジスト塗布工程を示す模式図、（ｃ）フィルム貼付工程を示す模式図、（ｄ）露光工程を示す模式図、（ｅ）現像工程を示す模式図である。
本発明の一実施例に係る基準電極１を構成する各基準電極１ａ・１ｂは一般的なプリント基板を用いているため、その製造工程は一般的なプリント基板の製造工程と同様であり、以下に示す各工程を経て、各基準電極１ａ・１ｂを製造することができる。
【００１９】
（パターン貼付工程）
図２（ａ）に示す如く、本発明の一実施例に係る基準電極１を構成する各基準電極１ａ・１ｂの製造工程では、まず始めにパターン貼付工程が実施され、ベース基板２の上に略矩形状の銅箔であるパターン４が貼付けられる。
【００２０】
（レジスト塗布工程）
図２（ｂ）に示す如く、次にレジスト塗布工程が実施され、ベース基板２上のパターン４を覆うようにしてレジストインク３ｃが塗布される。この際、パターン４の一部分だけレジストインク３ｃによって覆われない部位を残すことによって、外部から配線を接続することができる接続部４ａが形成される。
【００２１】
（レジストフィルム貼付工程）
図２（ｃ）に示す如く、次にレジストフィルム貼付工程が実施され、ベース基板２上に塗布されたレジストインク３ｃの上にレジストフィルム６が貼付けられる。
レジストフィルム６は、各基準電極１ａ・１ｂによって模擬される所望する傷サイズに応じて、その大きさが設定される。例えば、本実施例では、第一基準電極１ａを製造する際のレジストフィルム６には直径Ｒ１の円形のものを使用して、第二基準電極１ｂを製造する際のレジストフィルム６には直径Ｒ２の円形のものを使用している。ここで、直径Ｒ１・Ｒ２の関係はＲ１＜Ｒ２としている。
【００２２】
（露光工程）
図２（ｄ）に示す如く、次に露光工程が実施され、露光光（紫外線等）がレジストインク３ｃに対して照射される。そして露光光が照射された部位のレジストインク３ｃは感光（硬化）され、レジスト３が形成される。一方、レジストフィルム６によって露光光が遮られていた部位ではレジストインク３ｃが感光（硬化）しないままに残される。
【００２３】
（現像工程）
図２（ｅ）に示す如く、次に現像工程が実施され、感光（硬化）せずに残されていたレジストインク３ｃが除去される。そして、各基準電極１ａ・１ｂのレジストインク３ｃが除去された部位には、感光（硬化）したレジスト３によって、それぞれレジスト３が存在しない直径Ｒ１の孔部３ａおよび直径Ｒ２の孔部３ｂが形成され、各孔部３ａ・３ｂからはパターン４が部分的に露出される。
【００２４】
このようにして、所望する大きさに形成された導体露出部５ａ・５ｂを備える各基準電極１ａ・１ｂが製造される。各基準電極１ａ・１ｂは、各導体露出部５ａ・５ｂの大きさが異なっているが、各導体露出部５ａ・５ｂの大きさは既知である。そして本実施例では、各導体露出部５ａ・５ｂの大きさＸＬ・ＸＨの関係は、ＸＬ＜ＸＨとなっている。
【００２５】
このように各基準電極１ａ・１ｂは、一般的なプリント基板と同様の製造工程によって製造することが可能であり、レジストフィルム貼付工程で使用するレジストフィルム６の面積を適宜変更することによって、容易に再現性良く所望する大きさの導体露出部５を形成することができる。尚、本発明において言う導体露出部５やコイル傷の「大きさ」の概念は、単純に導体露出部の投影面積を意味するものではなく、導体露出部の表面性状（例えば、面粗さ等）をも含んで決定付けられる概念である。
【００２６】
次に、本発明の第二実施例に係る基準電極の全体構成について、図３を用いて説明をする。図３は本発明の第二実施例に係る基準電極の全体構成を示す模式図、（ａ）第一基準電極および第二基準電極を示す平面模式図、（ｂ）第一基準電極のＢ−Ｂ断面図である。
【００２７】
図３（ａ）に示す如く、本発明の第二実施例に係る基準電極１１は、第一基準電極１１ａと第二基準電極１１ｂからなる構成としており、各基準電極１１ａ・１１ｂには、ベース基板１２、レジスト１３、パターン１４等によって形成されるプリント基板が用いられている。
【００２８】
ベース基板１２は、絶縁性の基材からなる板状部材であるが、本発明の第二実施例に係る基準電極１１に用いられるベース基板１２としては、柔軟性のないリジット基板を採用するのが好適である。
【００２９】
パターン１４は、ベース基板１２上に配置される導体部分であり、銅箔等が用いられる。本発明の第二実施例に係る基準電極１１では、パターン１４は、第一実施例に係る基準電極１に採用されるような単純な矩形形状（所謂、ベタパターン）のものではなく、所望する大きさの導体露出部１５ａ・１５ｂを形成するための略円形状の基準パターン部１４ｂが形成される構成としている。
【００３０】
レジスト１３は、例えばフォトリソグラフィの手法によって形成することができる絶縁層であり、絶縁体にて構成されるレジスト１３でパターン１４を覆うことによって、導体にて構成されるパターン１４の外部に対する絶縁性を確保する役割を果たしている。
【００３１】
レジスト１３は、最終的に導体露出部１５ａ・１５ｂとなる部位である基準パターン部１４ｂと、後述する接続部１４ａを残して、その他の部分のパターン１４を覆うようにして絶縁層を形成している。尚、本実施例で示す各基準電極１１ａ・１１ｂは片面基板としているが、両面基板とすることも可能である。
【００３２】
次に、本発明の第二実施例に係る基準電極１１の製造工程について、図４を用いて説明をする。図４は本発明の第二実施例に係る基準電極の製造工程を示す図、（ａ）パターン貼付工程を示す模式図、（ｂ）レジスト塗布工程を示す模式図、（ｃ）露光工程を示す模式図である。
本発明の第二実施例に係る基準電極１１を構成する各基準電極１１ａ・１１ｂは一般的なプリント基板を用いているため、その製造工程は一般的なプリント基板の製造工程と同様であり、以下に示す各工程を経て、各基準電極１１ａ・１１ｂを製造することができる。
【００３３】
（パターン貼付工程）
図４（ａ）に示す如く、本発明の第二実施例に係る基準電極１１を構成する各基準電極１１ａ・１１ｂの製造工程では、まず始めにパターン貼付工程が実施され、ベース基板１２の上にパターン１４が貼付けられる。パターン１４は、所望する大きさの導体露出部となる基準パターン部１４ｂが形成された銅箔である。
【００３４】
（レジスト塗布工程）
図４（ｂ）に示す如く、次にレジスト塗布工程が実施され、ベース基板１２上のパターン１４を覆うようにしてレジストインク１３ｃが塗布される。この際、基準パターン部１４ｂはレジストインク１３ｃによって覆わないようにする。またさらに、パターン１４を部分的にレジストインク１３ｃによって覆わない部位を残して、外部から配線を接続することができる接続部１４ａが形成される。
【００３５】
（露光工程）
図４（ｃ）に示す如く、次に露光工程が実施され、露光光（紫外線等）がレジストインク１３ｃに対して照射される。そして露光光が照射された部位のレジストインク１３ｃは感光（硬化）され、レジスト１３が形成される。そして、各基準電極１１ａ・１１ｂのレジストインク１３ｃによって覆われていなかった部位には、それぞれレジスト１３が存在しない直径Ｒ１の基準パターン部１４ｂおよび直径Ｒ２の基準パターン部１４ｂが形成され、各基準パターン部１４ｂ・１４ｂによってパターン１４が部分的に露出された導体露出部１５ａ・１５ｂが形成される。
【００３６】
このようにして、所望する大きさに形成された導体露出部１５ａ・１５ｂを備える各基準電極１１ａ・１１ｂが製造される。各基準電極１１ａ・１１ｂは、各導体露出部１５ａ・１５ｂの大きさが異なっているが、各導体露出部１５ａ・１５ｂの大きさは既知である。
【００３７】
このように各基準電極１１ａ・１１ｂは、先述した本発明の第一実施例に係る各基準電極１ａ・１ｂと同様に一般的なプリント基板と同様の製造工程によって製造することが可能であり、パターン貼付工程で使用するパターン１４に形成される基準パターン部１４ｂの面積を適宜変更することによって、容易に再現性良く所望する大きさの導体露出部１５を形成することができる。
また、このようにして製造される本発明の第二実施例に係る基準電極１１は、先述した本発明の第一実施例に係る基準電極１と同様の作用効果を得ることが可能であり、本発明の第一実施例に係る基準電極１に比して、寸法精度を確保しやすいという利点を有している。
【００３８】
次に、本発明の一実施例に係る基準電極を用いたコイル傷検査装置によるコイル傷の検査方法について、図５および図６を用いて説明をする。図５は本発明の一実施例に係る基準電極を用いたコイル傷検査装置の全体構成を示す模式図、図６は傷サイズと漏れ電流値との相関を示す図である。尚、本実施例では、コイル傷検査装置に先述した本発明の第一実施例に係る基準電極１を用いた場合を例示しているが、本発明の第二実施例に係る基準電極１１を用いることも可能である。
【００３９】
図５に示す如く、本発明の一実施例に係る基準電極１を用いたコイル傷検査装置２０は、検査対象物たるコイル２１について、コイル傷の有無および傷サイズを検査するための検査装置であり、第一基準電極１ａおよび第二基準電極１ｂからなる基準電極１、電源部２２、第一電流計２３、第二電流計２４、第三電流計２５、外部電極２６、検査槽２７等によって構成されている。また、検査槽２７には導電性液体である検査液２８が注がれている。検査液２８としては、例えば塩水やＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）等が用いられる。
【００４０】
コイル傷検査装置２０で用いられる各基準電極１ａ・１ｂは、各導体露出部５ａ・５ｂの大きさが異なっているが、各導体露出部５ａ・５ｂの大きさＸＬ・ＸＨは既知である。これらの各基準電極１ａ・１ｂを用いることによって、大きさが既知であるコイル傷を模擬することができる。尚、第一基準電極１ａに形成される小さい方の導体露出部５ａの大きさＸＬは、良品である規格範囲の下限値未満の大きさに設定し、かつ、第二基準電極１ｂに形成される大きい方の導体露出部５ｂの大きさＸＨは、良品である規格範囲の上限値を越える大きさに設定することが望ましい。
【００４１】
電源部２２は、直流電圧を印加することができる電源装置である。電源部２２の負極側には、外部電極２６が接続されており、電源部２２の正極側には、第一基準電極１ａ、第二基準電極１ｂ、コイル２１が並列に接続されている。また、第一基準電極１ａ、第二基準電極１ｂ、コイル２１には、それぞれ直列に第一電流計２３、第二電流計２４、第三電流計２５が接続されている。
このような構成により、第一基準電極１ａ、第二基準電極１ｂ、コイル２１に対して同電圧の直流電圧を印加することができるとともに、第一基準電極１ａ、第二基準電極１ｂ、コイル２１のそれぞれの漏れ電流値（第一基準電極１ａと外部電極２６との間、第二基準電極１ｂと外部電極２６との間、およびコイル２１と外部電極２６との間にそれぞれ流れる電流値）を検出することができる。
【００４２】
そして、第一基準電極１ａ、第二基準電極１ｂ、コイル２１および外部電極２６は、検査槽２７に注がれた検査液２８に浸された状態に配置される。尚、各基準電極１ａ・１ｂは、接続部４ａ・４ａにおいて電源部２２と接続されており、接続部４ａ・４ａは検査液２８に浸されず、かつ、各導体露出部５ａ・５ｂは検査液２８に浸される状態に配置される。
【００４３】
電源部２２によって、各基準電極１ａ・１ｂおよびコイル２１と外部電極２６に対して検査液２８を介して直流電圧を印加すると、コイル傷（またはコイル傷を模擬する導体露出部）が存在する場合であればコイル傷から進入する電子（ｅ−）を漏れ電流として各電流計２３・２４・２５によって検出することができる。
【００４４】
そして、電源部２２によって、各基準電極１ａ・１ｂおよびコイル２１と外部電極２６に対して検査液２８を介して直流電圧を印加した状態で、外部電極２６と第一基準電極１ａとの間に流れる漏れ電流値ＩＬを第一電流計２３によって検出し、外部電極２６と第二基準電極１ｂとの間に流れる漏れ電流値ＩＨを第二電流計２４によって検出し、外部電極２６とコイル２１との間に流れる漏れ電流値ＩＸを第三電流計２５によって検出する。
【００４５】
そして、第一基準電極１ａの既知の傷サイズをＸＬ、第二基準電極１ｂの既知の傷サイズをＸＨ、コイル２１の傷サイズをＸとするとき、各基準電極１ａ・１ｂから検出された各漏れ電流値ＩＬ・ＩＨと、既知である各傷サイズＸＬ・ＸＨとの関係をグラフ上にプロットすると、図６中に示す点Ａおよび点Ｂが得られる。そして、係る点Ａ・Ｂを通る直線Ｚとして、傷サイズＸと漏れ電流値ＩＸとの相関が求められる。この相関は、以下の数式１で表すこともできる。
【００４６】
【数１】
2010145370.tif 000003
【００４７】
そして、このような数式（数式１）およびグラフ（直線Ｚ）として求められた相関と、コイル２１から検出された漏れ電流値ＩＸとを用いて、コイル２１の傷サイズＸをリアルタイムで求めることができる。
【００４８】
このように、大きさが既知であるコイル傷と同視することができる各基準電極１ａ・１ｂについて、コイル２１と同時に同条件で漏れ電流値ＩＬ・ＩＨ・ＩＸを検出することによって、検査液２８の濃度および温度変化による影響を排除することができ、このような構成のコイル傷検査装置２０によれば、コイル２１の傷サイズを精度良く求めることが可能となる。
また、コイル傷検査装置２０を構成する基準電極として、本発明の一実施例に係る基準電極１のように、導体露出部５を有するプリント基板を用いることによって、基準電極１を再現性良く容易に得ることが可能となり、コイル傷検査装置２０の実用性が確保される。
【００４９】
即ち、本発明の第一実施例に係る基準電極１は、コイル傷の大きさ（傷サイズ）Ｘの検出対象物であるコイル２１と、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために既知の大きさＸＬで導体露出部５ａが形成される第一基準電極１ａと、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために第一基準電極１ａとは異なる既知の大きさＸＨで導体露出部５ｂが形成される第二基準電極１ｂと、コイル２１、および各基準電極１ａ・１ｂとは異なる極性で直流電圧が印加される外部電極２６とを、導電性を備えた溶液である検査液２８が注がれた検査槽２７の中に沈めた状態で、外部電極２６とコイル２１の間、外部電極２６と第一基準電極１ａの間、および外部電極２６と第二基準電極１ｂの間、のそれぞれに検査液２８を介して同じ直流電圧を印加するとともに、各基準電極１ａ・１ｂおよびコイル２１の漏れ電流値ＩＬ・ＩＨ・ＩＸをそれぞれに検出し、各基準電極１ａ・１ｂの各導体露出部５ａ・５ｂの既知である大きさＸＬ・ＸＨと、検出した各基準電極１ａ・１ｂの各漏れ電流値ＩＬ・ＩＨと、によって、傷サイズＸと漏れ電流値ＩＸとの相関を求めて、求めた相関と、検出したコイル２１の漏れ電流値ＩＸと、によって、コイル２１の傷サイズＸを求める検査方法に用いられる各基準電極１ａ・１ｂからなるコイル傷検査用の基準電極１であって、基準電極１には、ベース基板２と、該ベース基板２上に形成されるパターン４と、該パターン４を覆って形成されるレジスト３と、を備えるプリント基板が用いられ、レジスト３を所定の大きさだけ除去して、パターン４を所定の大きさだけ露出させることによって、所定の既知の大きさで導体露出部５を形成するものである。
このような構成により、精度良く所望する大きさの導体露出部５が形成された基準電極１を容易に再現性良く得ることができる。
【００５０】
また、本発明の第二実施例に係る基準電極１１は、コイル傷の大きさ（傷サイズ）Ｘの検出対象物であるコイル２１と、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために既知の大きさＸＬで導体露出部１５ａが形成される第一基準電極１１ａと、大きさが既知であるコイル傷を模擬するために第一基準電極１１ａとは異なる既知の大きさＸＨで導体露出部１５ｂが形成される第二基準電極１１ｂと、コイル２１、および各基準電極１１ａ・１１ｂとは異なる極性で直流電圧が印加される外部電極２６とを、導電性を備えた溶液である検査液２８が注がれた検査槽２７の中に沈めた状態で、外部電極２６とコイル２１の間、外部電極２６と第一基準電極１１ａの間、および外部電極２６と第二基準電極１１ｂの間、のそれぞれに検査液２８を介して同じ直流電圧を印加するとともに、各基準電極１１ａ・１１ｂおよびコイル２１の漏れ電流値ＩＬ・ＩＨ・ＩＸをそれぞれに検出し、各基準電極１１ａ・１１ｂの各導体露出部１５ａ・１５ｂの既知である大きさＸＬ・ＸＨと、検出した各基準電極１１ａ・１１ｂの各漏れ電流値ＩＬ・ＩＨと、によって、傷サイズＸと漏れ電流値ＩＸとの相関を求めて、求めた相関と、検出したコイル２１の漏れ電流値ＩＸと、によって、コイル２１の傷サイズＸを求める検査方法に用いられる各基準電極１１ａ・１１ｂからなるコイル傷検査用の基準電極１１であって、基準電極１１には、ベース基板１２と、該ベース基板１２上に形成されるパターン１４と、該パターン１４を覆って形成されるレジスト１３と、を備えるプリント基板が用いられ、パターン１４を所定の部位（基準パターン部１４ｂ）だけを残してレジスト１３によって覆い、パターン１４を所定の大きさだけ露出させることによって、所定の既知の大きさで導体露出部１５を形成するものである。
このような構成により、精度良く所望する大きさの導体露出部１５が形成された基準電極１１を容易に再現性良く得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第一実施例に係る基準電極の全体構成を示す模式図、（ａ）第一基準電極および第二基準電極を示す平面模式図、（ｂ）第一基準電極のＡ−Ａ断面図。
【図２】本発明の第一実施例に係る基準電極の製造工程を示す図、（ａ）パターン貼付工程を示す模式図、（ｂ）レジスト塗布工程を示す模式図、（ｃ）フィルム貼付工程を示す模式図、（ｄ）露光工程を示す模式図、（ｅ）現像工程を示す模式図。
【図３】本発明の第二実施例に係る基準電極の全体構成を示す模式図、（ａ）第一基準電極および第二基準電極を示す平面模式図、（ｂ）第一基準電極のＢ−Ｂ断面図。
【図４】本発明の第二実施例に係る基準電極の製造工程を示す図、（ａ）パターン貼付工程を示す模式図、（ｂ）レジスト塗布工程を示す模式図、（ｃ）露光工程を示す模式図。
【図５】本発明の一実施例に係る基準電極を用いたコイル傷検査装置の全体構成を示す模式図。
【図６】傷サイズと漏れ電流値との相関を示す図。
【符号の説明】
【００５２】
１    基準電極
１ａ  第一基準電極
１ｂ  第二基準電極
２    ベース基板
３    レジスト
３ａ  孔部
４    パターン
５    導体露出部
６    レジストフィルム
２０  コイル傷検査装置
２１  コイル
２６  外部電極
２７  検査槽
２８  検査液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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