(57)【要約】【課題】高い結像性能を確保しつつ、可視領域から近紫外領域における複数の波長帯に対し、良好に色消しされた両側テレセントリックの投影光学系を提供する。【解決手段】最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、第３レンズ群は、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、条件式、１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５、を満たす投影光学系とする（ただし、ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）、ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ））。【選択図】図１
2010286687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視領域から近紫外領域における、複数の波長又は所定の範囲の波長帯域を使用する両側テレセントリックの投影光学系であって、拡大側から順に、
最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、
｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５
を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、
Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５
を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、
絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、
前記第３レンズ群は、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、
以下の条件式、
１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５                    （１）
を満たすことを特徴とする投影光学系。
ただし、
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｈ：ｈ線に対する屈折率
Ｎｉ：ｉ線に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
【請求項２】
以下の条件式、
０．０４＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．６          （２）
ただし、
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】
以下の条件式、
０．０１＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．５          （３）
ただし、
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影光学系。
【請求項４】
以下の条件式、
０．２５＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．８            （４）
を満たすことを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項５】
前記第３レンズ群の、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす少なくとも２枚の正レンズは、以下の条件式、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３                    （５）
ただし、
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を            通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項６】
前記第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズと、少なくとも２枚の負レンズを含むことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項７】
前記第１レンズ群の最も拡大側に配置された第１レンズは、両凸の正レンズであることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項８】
前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを含むことを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項９】
前記第１レンズ群が、拡大側から順に正レンズ、負レンズ、正レンズからなる群を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影光学系。
【請求項１０】
以下の条件式、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．５                  （６）
ただし、
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系への入射側及び射出側ともに主光線が光軸と概ね平行である両側テレセントリックの投影光学系に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
両側テレセントリックの光学系は、物体面や像面に対して光軸方向にずれが生じた場合であっても、その倍率が殆ど変わらないので、この特性が必要とされる場面で好んで使用されている。例えば、投影光学系に用いたならば、フォーカスずれによるディストーションの影響や、物体面、像面（投影面）の反りの影響を少なくすることができる。また、例えば、検査光学系に用いたならば、被写界深度を深く取ることによって、表面に凹凸のある物体でも精密な検査ができ、さらにはＣＣＤ等の撮像素子の位置決め誤差も回避することができる。
【０００３】
このような投影光学系として、ｇ線、ｈ線、ｉ線の色消しレンズ系であって、絞りに対し、物体側の前側レンズ系と、像側の後側レンズ系を配置し、前側レンズ系及び後側レンズ系内に、絞り側に凹面を向けた２枚の負のパワーのメニスカスレンズがそれぞれ配置されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対し色消しされ、瞳面に対しほぼ対称な前方群と後方群で構成された、ほぼ等倍の両側テレセントリック投影光学系が知られている（例えば、特許文献２参照）。また、拡大側の倍率が３倍程度の両側テレセントリック光学系が知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−２８８１１２号公報
【特許文献２】特開２００２−１４２８１号公報
【特許文献３】特開２００４−３５４８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
両側テレセントリック投影光学系の様々な用途を考えると、複数の波長帯を同時に、或いは必要に応じて切り替えながら利用できることが望ましい。この場合、投影光学系としては、使用される複数の波長帯に対し色消しされている必要がある。
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の色消しレンズ系は、軸上色収差の補正が不満足で、満足できる性能が得られていない。また、上記特許文献２に記載の両側テレセントリック投影光学系は、色収差が大きいという問題がある。また、上記特許文献３に記載の両側テレセントリック光学系は、単波長に対しては十分な性能を有しているが、複数の波長を使用する光学系としては使用するのにやや難がある。
【０００７】
本発明は上記問題に鑑み、高い結像性能を確保しつつ、可視領域から近紫外領域における複数の波長帯に対し、良好に色消しされた両側テレセントリックの投影光学系を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題は、下記の構成により達成される。
【０００９】
１）可視領域から近紫外領域における、複数の波長又は所定の範囲の波長帯域を使用する両側テレセントリックの投影光学系であって、拡大側から順に、
最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、
｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５
を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、
Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５
を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、
絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、
前記第３レンズ群は、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、
以下の条件式、
１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５                    （１）
を満たすことを特徴とする投影光学系。
ただし、
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｈ：ｈ線に対する屈折率
Ｎｉ：ｉ線に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
である。
【００１０】
２）以下の条件式、
０．０４＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．６          （２）
ただし、
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）に記載の投影光学系。
【００１１】
３）以下の条件式、
０．０１＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．５          （３）
ただし、
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）又は前記２）に記載の投影光学系。
【００１２】
４）以下の条件式、
０．２５＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．８            （４）
を満たすことを特徴とする前記１）から前記３）までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【００１３】
５）前記第３レンズ群の、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす少なくとも２枚の正レンズは、以下の条件式、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３                    （５）
ただし、
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を            通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）から前記４）までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【００１４】
６）前記第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズと、少なくとも２枚の負レンズを含むことを特徴とする前記１）から前記５）までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【００１５】
７）前記第１レンズ群の最も拡大側に配置された第１レンズは、両凸の正レンズであることを特徴とする前記１）から前記６）までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【００１６】
８）前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを含むことを特徴とする前記１）から前記７）までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【００１７】
９）前記第１レンズ群が、拡大側から順に正レンズ、負レンズ、正レンズからなる群を含むことを特徴とする前記８）に記載の投影光学系。
【００１８】
１０）以下の条件式、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．５                  （６）
ただし、
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
を満たすことを特徴とする前記１）から前記９）までのいずれか一項に記載の投影光学系。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、高い結像性能を確保しつつ、可視領域から近紫外領域における複数の波長帯に対し、良好に色消しされた両側テレセントリックの投影光学系を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例１の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【図２】実施例１の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。
【図３】実施例１の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。
【図４】実施例２の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【図５】実施例２の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。
【図６】実施例２の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。
【図７】実施例３の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【図８】実施例３の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。
【図９】実施例３の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。
【図１０】実施例４の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【図１１】実施例４の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。
【図１２】実施例４の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２２】
本発明の両側テレセントリックの投影光学系は、可視領域から近紫外領域における、複数の波長又は所定の範囲の波長帯域を使用する両側テレセントリックの投影光学系であって、拡大側から順に、最も拡大側に配置された第１レンズを含む、正のパワーの第１レンズ群と、
｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズから、該負レンズを含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズまでの、負のパワーのレンズ群を第２レンズ群とし、
絞りを含む残りのレンズからなる、正のパワーのレンズ群を第３レンズ群としたとき、
前記第３レンズ群は、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ
を満たす、少なくとも２枚の正レンズを含み、以下の条件式、
１＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜５                  （１）
ただし、
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｈ：ｈ線に対する屈折率
Ｎｉ：ｉ線に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことを特徴としている。
【００２３】
なお、拡大側とは、該投影光学系の両側の最軸外主光線の高さのうち、高い方の側であり、該投影光学系の両側の最軸外主光線の高さのうち、低い方を縮小側という。
【００２４】
また、本願でいう両側テレセントリックとは、該投影光学系の両側の最軸外主光線の光軸となす角度が２度以内であるものをいう。
【００２５】
このような群構成にすることで、テレセントリック性を確保しながらも効率的に色収差を補正できる。上記正レンズを複数含むことで、効率的に２次スペクトルを抑え、色収差、とりわけ軸上色収差を補正できる。焦点距離に関する上記条件式（１）を満たすことで、テレセントリック性および所望の投影倍率を確保しながらも効率的に収差、とりわけ球面収差を補正できる。両側テレセントリック系の場合、拡大側群の焦点距離を、縮小側群の焦点距離よりも大きく設定することで、光線が光学系をスムーズに通り、収差の発生を最小限に抑えることができる。
【００２６】
条件式（１）の下限を下回ると、所望の投影倍率で投影する場合に、光線が発散しやすくなり、テレセントリック性を確保するのが困難になる。また、上限を上回ると、逆に光線が収束しやすくなり、同様にテレセントリック性を確保するのが困難になる。
【００２７】
この条件式は、
１．５＜｜ｆ１２／ｆ３｜＜４．５            （１′）
であれば、より好ましい。
【００２８】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．０４＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．６          （２）
ただし、ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。
【００２９】
条件式（２）を満足するように第１レンズ群を構成することで、テレセントリック性の確保が容易となる。
【００３０】
条件式（２）の上限を上回ると、第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎてテレセントリック性を確保するのが困難となり、下限を下回ると第１レンズ群のパワーが強くなりすぎて像面湾曲の補正が困難となる。
【００３１】
この条件式は、
０．０５＜｜ｆ１／ｆ１２｜＜０．５          （２′）
であれば、より好ましい。
【００３２】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．０１＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．５          （３）
ただし、
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。
【００３３】
条件式（３）を満足するように第２レンズ群に強い負のパワーを与えることで、テレセントリック性を確保しつつ、ペッツバール和を小さくでき、像面湾曲を小さくすることができる。
【００３４】
条件式（３）の上限を上回ると、第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎて像面湾曲の補正が困難となり、下限を下回ると第１及び第２レンズ群の合成パワーが弱くなりすぎて所望の投影倍率を確保することが困難となる。
【００３５】
この条件式は、
０．０２＜｜ｆ２／ｆ１２｜＜０．４          （３′）
であれば、より好ましい。
【００３６】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．２５＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．８            （４）
を満たすことが好ましい。
【００３７】
条件式（４）を満足するように第２レンズ群に強い負のパワーを与えることで、テレセントリック性を確保しつつ、ペッツバール和を小さくでき、像面湾曲を小さくすることができる。
【００３８】
条件式（４）の上限を上回ると、第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎて像面湾曲の補正が困難となり、下限を下回ると第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎてテレセントリック性を確保するのが困難となる。
【００３９】
この条件式は、
０．３＜｜ｆ２／ｆ１｜＜０．７５            （４′）
であれば、より好ましい。
【００４０】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第３レンズ群の、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす少なくとも２枚の正レンズは、以下の条件式、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３                    （５）
ただし、
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を            通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。
【００４１】
条件式（５）を満足するように、主光線が低い位置を通る位置に、
０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズを配置することで、より効率的に軸上色収差が補正できるようになる。
【００４２】
この条件式は、
｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．２５                  （５′）
であれば、より好ましい。
【００４３】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズと、少なくとも２枚の負レンズを含むことが好ましい。このように構成することでテレセントリック性を確保しながら、効率的に軸上色収差が補正できるようになる。
【００４４】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第１レンズ群の最も拡大側に配置された第１レンズは、両凸の正レンズであることが好ましい。このように構成することでテレセントリック性を確保することが容易になる。
【００４５】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを含むことが好ましい。このように構成することでレンズ全長が短いながらも、テレセントリック性の確保が容易となる。
【００４６】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、第１レンズ群が、拡大側から順に正レンズ、負レンズ、正レンズからなる群を含むことが好ましい。このように構成することで、テレセントリック性を確保するのに加えて、歪曲収差の補正を効率的に行うことができるようになる。
【００４７】
また、上記の両側テレセントリックの投影光学系において、以下の条件式、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．５                    （６）
ただし、
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
を満たすことが好ましい。
【００４８】
条件式（６）の上限を上回ると、縮小側レンズバックが長くなり各収差補正が困難になるだけでなく光学系全体が大型化してしまい、下限を下回ると保持部材等が干渉しやすくなる。
【００４９】
この条件式は、
０．１＜ＬＢ／ＴＬ＜０．４                    （６′）
であれば、より好ましい。
【００５０】
以下、本発明に係る両側テレセントリックの投影光学系の構成の実施例を以下に示す。
【実施例】
【００５１】
以下の実施例においては、
ｉ：面番号
Ｒ：曲率半径（ｍｍ）
ｄ：軸上面間隔（ｍｍ）
Ｈ：最軸外主光線が第ｎレンズを通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｈｎ：最軸外主光線が第ｎレンズ拡大側面を通過するときの光軸からの高さ（ｍｍ）
Ｙ：拡大側最大像高（ｍｍ）
Ｌｎ：第ｎレンズと第（ｎ＋１）レンズとの空気間隔（ｍｍ）
Ｌ１ａ：第１レンズの拡大側面頂点から絞り面までの距離（ｍｍ）
νｈ＝（Ｎｈ−１）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｐ＝（Ｎｉ−Ｎｈ）／（Ｎｉ−Ｎｇ）
Ｎｉ：ｉ線（３６５ｎｍ）に対する屈折率
Ｎｈ：ｈ線（４０５ｎｍ）に対する屈折率
Ｎｇ：ｇ線（４３６ｎｍ）に対する屈折率
ｆ１２：第１レンズ群及び第２レンズ群の合成焦点距離（ｍｍ）
ｆ１：第１レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
ｆ３：第３レンズ群の焦点距離（ｍｍ）
ＬＢ：縮小側レンズバック（ｍｍ）
ＴＬ：レンズ全長（ｍｍ）
Ｈｎｍｉｎ：最軸外主光線が第ｎレンズの拡大側面を通過するときの高さと縮小側面を
通過するときの高さのいずれか小さい方（ｍｍ）
を表すものとする。
【００５２】
（実施例１）
実施例１について、以下に説明する。
【００５３】
実施例１に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ      Ｒ        ｄ        Ni         Nh         Ng      νh      Ｐ      Ｈ
０（物体又は像面）
51.490
１    101.069                                                            15.00
5.395   1.636137   1.622592  1.615047   29.5   0.642
２   -327.642                                                            14.77
95.224
３    -35.405                                                             3.11
2.594   1.636137   1.622592  1.615047   29.5   0.642
４   -101.451                                                             3.00
11.252
５     47.870                                                             2.04
3.005   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
６    -46.719                                                             1.83
4.966
７    -32.339                                                             1.22
3.192   1.535785   1.529768  1.526214   55.4   0.629
８     40.970                                                             1.01
3.223
９    136.729                                                             0.72
3.317   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
10    -50.706                                                             0.52
2.079
11      絞り                                                              0.32
1.467
12     40.673                                                             0.18
2.825   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
13    -32.111                                                             0.01
4.104
14    -29.234                                                             0.41
3.170   1.535785   1.529768   1.526214   55.4  0.629
15    -51.005                                                             0.62
42.731
16     57.655                                                             4.83
3.372   1.636137   1.622592  1.615047   29.5   0.642
17    -78.648                                                             4.92
3.156
18    -38.448                                                             4.93
2.838   1.504063   1.498983  1.495964   61.6   0.627
19     50.668                                                             5.09
9.220
20    -28.426                                                             6.11
3.137   1.504063   1.498983  1.495964   61.6   0.627
21    113.361                                                             6.73
77.168
22    705.694                                                            27.54
8.956   1.504063   1.498983  1.495964   61.6   0.627
23    -93.561                                                            28.20
0.650
24    691.691                                                            28.69
5.098   1.636137   1.622592  1.615047   29.5   0.642
25    130.000                                                            28.98
4.489
26    182.778                                                            29.75
8.593   1.511760   1.507205  1.504507   69.9   0.628
27   -128.267                                                            29.96
76.870
28（物体又は像面）                                                       30.00
図１は、実施例１の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【００５４】
同図に示すように、実施例１の投影光学系は１３枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが２７及び２６が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第１３レンズＬ１３である。
【００５５】
実施例１において、拡大側最大像高Ｙ＝３０．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第４レンズＬ４である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝１８０．９７５であり、第４レンズＬ４を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第６レンズＬ６である。
【００５６】
即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第３レンズＬ３が第１レンズ群Ｇｒ１、第４レンズＬ４〜第６レンズＬ６が第２レンズ群Ｇｒ２、第７レンズＬ７〜第１３レンズＬ１３が第３レンズ群Ｇｒ３である。
【００５７】
また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第８レンズＬ８、第９レンズＬ９、第１１レンズＬ１１の３枚である。
【００５８】
実施例１の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである第８レンズＬ８、第９レンズＬ９、第１１レンズＬ１１のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。
【００５９】
Ｈｎｍｉｎ          Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第８レンズ          ０．０１          ０．０００３
第９レンズ          ０．５２          ０．０１７３
第１１レンズ        １．８３          ０．０６１０
となり、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。
【００６０】
図２は、実施例１の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。
【００６１】
図３は、実施例１の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。
【００６２】
（実施例２）
実施例２について、以下に説明する。
【００６３】
実施例２に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ      Ｒ        ｄ        Ni         Nh         Ng      νh      Ｐ      Ｈ
０（物体又は像面）
66.200
１    245.031                                                            20.00
5.202   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
２   -179.327                                                            19.90
78.371
３    -75.265                                                            10.28
4.257   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
４   -147.618                                                            10.18
0.860
５    138.208                                                            10.06
4.283   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
６   -240.639                                                             9.77
0.860
７    105.412                                                             9.55
4.175   1.535785   1.529768  1.526214   55.4   0.629
８     46.916                                                             8.95
32.863
９    -43.820                                                             5.93
3.826   1.559693   1.550656  1.545503   38.8   0.637
10   5557.109                                                             5.88
1.901
11     96.365                                                             5.84
6.252   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
12    -53.333                                                             5.66
3.679
13    -49.540                                                             5.31
3.011   1.535785   1.529768  1.526214   55.4   0.629
14    133.388                                                             5.23
4.785
15  -3314.774                                                             5.15
4.902   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
16    -56.522                                                             5.10
0.860
17    229.240                                                             5.04
4.411   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
18    -95.061                                                             4.85
0.860
19     76.624                                                             4.75
5.036   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
20   -173.093                                                             4.36
10.701
21     73.327                                                             2.97
4.581   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
22   -401.582                                                             2.52
10.226
23   -120.595                                                             0.98
3.664   1.535785   1.529768  1.526214   55.4   0.629
24     53.357                                                             0.64
4.657
25      絞り                                                              0.01
73.674
26     92.740                                                            10.32
5.614   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
27   -104.161                                                            10.51
4.724
28    -66.176                                                            10.53
2.925   1.504063   1.498983  1.495964   61.6   0.627
29     54.198                                                            10.80
11.990
30    -42.826                                                            12.53
3.087   1.504063   1.498983  1.495964   61.6   0.627
31   -181.634                                                            13.55
68.421
32    537.808                                                            35.37
11.036   1.511760   1.507205  1.504507   69.9   0.628
33   -117.093                                                            36.10
0.871
34   -466.904                                                            36.64
4.527   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
35    232.981                                                            37.49
6.170
36    656.500                                                            38.63
11.433   1.511760   1.507205  1.504507   69.9   0.628
37   -124.549                                                            39.23
1.027
38   1832.967                                                            39.73
7.298   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
39   -500.318                                                            39.90
107.622
40（物体又は像面）                                                       40.00
図４は、実施例２の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【００６４】
同図に示すように、実施例２の投影光学系は１９枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが３９及び３８が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第１９レンズＬ１９である。
【００６５】
実施例２において、拡大側最大像高Ｙ＝４０．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第５レンズＬ５である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝２１２．７９８であり、第５レンズＬ５を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第７レンズＬ７である。
【００６６】
即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第４レンズＬ４が第１レンズ群Ｇｒ１、第５レンズＬ５〜第７レンズＬ７が第２レンズ群Ｇｒ２、絞り〜第１９レンズＬ１９が第３レンズ群Ｇｒ３である。
【００６７】
また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４の５枚である。
【００６８】
実施例２の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４、のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。
【００６９】
Ｈｎｍｉｎ          Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第９レンズ          ２．５２          ０．０６３０
第１０レンズ        ４．３６          ０．１０９０
第１１レンズ        ４．８５          ０．１２１３
第１２レンズ        ５．１０          ０．１２７５
第１４レンズ        ５．６６          ０．１４１５
となり、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。
【００７０】
図５は、実施例２の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。
【００７１】
図６は、実施例２の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。
【００７２】
（実施例３）
実施例３について、以下に説明する。
【００７３】
実施例３に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ      Ｒ        ｄ        Ni         Nh         Ng      νh      Ｐ      Ｈ
０（物体又は像面）
64.000
１     76.927                                                             6.67
4.206   1.511760   1.507205  1.504507   69.9   0.628
２    -67.734                                                             6.56
1.187
３    101.948                                                             6.40
3.499   1.607243   1.599721  1.595297   50.2   0.630
４     29.703                                                             6.08
2.475
５     22.475                                                             6.06
5.126   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
６    -89.735                                                             5.68
4.363
７    -32.612                                                             5.01
3.042   1.607243   1.599721  1.595297   50.2   0.630
８     32.076                                                             4.86
3.213
９     32.210                                                             4.95
4.673   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
10    -37.667                                                             4.84
3.297
11     21.482                                                             4.43
5.607   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
12   -266.587                                                             3.74
2.397
13     30.000                                                             3.21
3.914   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
14     98.222                                                             2.56
4.441
15    -23.554                                                             1.50
1.971   1.607243   1.599721  1.595297   50.2   0.630
16     20.293                                                             1.25
7.374
17      絞り                                                              0.07
16.966
18    102.855                                                             2.66
3.425   1.636137   1.622592  1.615047   29.5   0.642
19    -46.494                                                             2.95
25.172
20    -20.007                                                             5.48
2.641   1.636137   1.622592  1.615047   29.5   0.642
21     99.268                                                             6.10
30.651
22   -100.605                                                            15.79
5.600   1.511760   1.507205  1.504507   69.9   0.628
23    -33.715    5.600                                                   16.48
17.803
24    222.698                                                            19.62
8.817   1.504063   1.498983  1.495964   61.6   0.627
25   -111.344                                                            20.00
36.684
26（物体又は像面）                                                       20.00
図７は、実施例３の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【００７４】
同図に示すように、実施例３の投影光学系は１２枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが２５及び２４が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第１２レンズＬ１２である。
【００７５】
実施例３において、拡大側最大像高Ｙ＝２０．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第３レンズＬ３である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝１１６．６７６であり、第３レンズＬ３を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第３レンズＬ３である。
【００７６】
即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第２レンズＬ２が第１レンズ群Ｇｒ１、第３レンズＬ３のみが第２レンズ群Ｇｒ２、第４レンズＬ４〜第１２レンズＬ１２が第３レンズ群Ｇｒ３である。
【００７７】
また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第１０レンズＬ１０、第１２レンズＬ１２の５枚である。
【００７８】
実施例３の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第１０レンズＬ１０、第１２レンズＬ１２のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。
【００７９】
Ｈｎｍｉｎ          Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第６レンズ          ２．５６          ０．１２８０
第７レンズ          ３．７４          ０．１８７０
第８レンズ          ４．８４          ０．２４２０
第１０レンズ        ５．６８          ０．２８４０
第１２レンズ        ６．５６          ０．３２８０
となり、第６レンズＬ６、第７レンズＬ７、第８レンズＬ８、第１０レンズＬ１０の４枚のレンズは、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。
【００８０】
図８は、実施例３の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。
【００８１】
図９は、実施例３の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。
【００８２】
（実施例４）
実施例４について、以下に説明する。
【００８３】
実施例４に係る投影光学系の面データを以下に示す。
ｉ      Ｒ        ｄ        Ni         Nh         Ng      νh      Ｐ      Ｈ
０（物体又は像面）
112.095
１   -793.311                                                            21.15
6.563   1.636658   1.622941  1.615298   29.2   0.642
２   -165.667                                                            21.21
26.525
３    151.259                                                            19.34
8.772   1.666450   1.650811  1.642171   26.8   0.644
４   -306.210                                                            18.72
23.524
５   -226.630                                                            14.19
5.463   1.580215   1.572874  1.568579   49.2   0.631
６  -1497.218                                                            13.63
13.406
７    110.359                                                            11.40
3.776   1.535939   1.529930  1.526387   55.5   0.629
８     76.205                                                            10.85
10.543
９   -100.143                                                             9.57
7.561   1.612806   1.605502  1.601204   52.2   0.630
10   -253.339                                                             9.19
43.424
11   -543.179                                                             4.85
7.348   1.559693   1.550656  1.545503   38.8   0.637
12    344.977                                                             4.40
3.661
13    356.339                                                             4.08
5.949   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
14   -141.036                                                             3.70
5.224
15    -87.489                                                             3.15
5.777   1.619384   1.606803  1.599765   30.9   0.641
16    472.182                                                             2.86
2.628
17    546.900                                                             2.65
7.818   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
18   -111.868                                                             2.21
1.073
19    423.091                                                             2.12
6.819   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
20   -139.396                                                             1.68
0.242
21    174.206                                                             1.66
6.129   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
22   -435.992                                                             1.23
0.242
23    134.903                                                             1.20
6.688   1.449860   1.446451  1.444423   82.1   0.627
24   -580.217                                                             0.71
5.886
25      絞り                                                              0.07
11.122
26   -331.959                                                             1.13
2.991   1.580215   1.572874  1.568579   49.2   0.631
27    123.445                                                             1.33
134.723
28    174.752                                                            17.08
6.620   1.666450   1.650811  1.642171   26.8   0.644
29  -5362.359                                                            17.25
63.451
30    -98.453                                                            20.25
8.509   1.474480   1.469610  1.466690   60.3   0.625
31    117.788                                                            21.51
14.049
32    -70.216                                                            23.47
5.269   1.535939   1.529930  1.526387   55.5   0.629
33   -195.345                                                            25.62
8.521
34    -71.893                                                            27.38
10.708   1.535939   1.529930  1.526387   55.5   0.629
35   -244.969                                                            32.71
21.237
36   -191.503                                                            42.69
13.223   1.666450   1.650811  1.642171   26.8   0.644
37   -104.607                                                            45.74
0.834
38   3565.595                                                            49.91
20.872   1.535939   1.529930  1.526387   55.5   0.629
39   -153.927                                                            52.39
0.242
40    337.037                                                            54.42
19.260   1.512054   1.507470  1.504754   69.5   0.628
41   -469.965                                                            54.88
167.827
42（物体又は像面）                                                       55.00
図１０は、実施例４の両側テレセントリックの投影光学系の構成を示す断面図である。
【００８４】
同図に示すように、実施例４の投影光学系は２０枚構成であり、レンズデータに示す面番号ｉが４１及び４０が最も拡大側に配置された第１レンズＬ１であり、面番号ｉが２及び１が最も縮小側に配置された第２０レンズＬ２０である。
【００８５】
実施例４において、拡大側最大像高Ｙ＝５５．００であり、拡大側から順にみて、｜Ｈｎ／Ｙ｜＜０．７５、を満たす最初の負レンズは第４レンズＬ４である。また、第１レンズＬ１の拡大側面頂点から絞り面までの距離Ｌ１ａ＝３４１．６３２であり、第４レンズＬ４を含む以降のレンズのうち、Ｌｎ／Ｌ１ａ＞０．１５、を満たす最初のレンズは第６レンズＬ６である。
【００８６】
即ち、図示の如く、拡大側より順に、第１レンズＬ１〜第３レンズＬ３が第１レンズ群Ｇｒ１、第４レンズＬ４〜第６レンズＬ６が第２レンズ群Ｇｒ２、第７レンズＬ７〜第２０レンズＬ２０が第３レンズ群Ｇｒ３である。
【００８７】
また、第３レンズ群Ｇｒ３において、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズは、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４の５枚である。
【００８８】
実施例３の第３レンズ群Ｇｒ３のうち、０．６６２＜０．０００５５×νｈ＋Ｐ、を満たす正レンズである、第９レンズＬ９、第１０レンズＬ１０、第１１レンズＬ１１、第１２レンズＬ１２、第１４レンズＬ１４のＨｎｍｉｎの値及び、Ｈｎｍｉｎ／Ｙの値を以下に示す。
【００８９】
Ｈｎｍｉｎ          Ｈｎｍｉｎ／Ｙ
第９レンズ          ０．７１          ０．０１２９
第１０レンズ        １．２３          ０．０２２４
第１１レンズ        １．６８          ０．０３０５
第１２レンズ        ２．２１          ０．０４０２
第１４レンズ        ３．７０          ０．０６７３
となり、条件式（５）の｜Ｈｎｍｉｎ／Ｙ｜＜０．３を満たしている。
【００９０】
図１１は、実施例４の投影光学系の球面収差及び非点収差を示す図である。同図（ａ）に示す球面収差図は、ｇ線を実線、ｉ線を破線、ｈ線を一点鎖線で示している。同図（ｂ）はｇ線の非点収差、同図（ｃ）はｈ線の非点収差、同図（ｄ）はｉ線の非点収差を示している。また、非点収差の図においては、実線でメリディオナル像面を示し、破線でサジッタル像面を示している。
【００９１】
図１２は、実施例４の投影光学系の歪曲収差及び倍率色収差を示す図である。同図（ａ）はｈ線での歪曲収差、同図（ｂ）に示す倍率色収差は、実線がｇ線を、破線がｉ線を示している。
【００９２】
以下に、上記実施例１〜４の投影光学系の各緒元及び、条件式（１）〜（４）と条件式（６）に対応する値をまとめて示す。
【００９３】
緒元又は条件式        実施例１    実施例２    実施例３    実施例４
倍率              -2.0        -2.0        -3.0        -2.6
ＮＡ               0.020       0.033       0.020      0.050
拡大側最大像高Ｙ          30.00       40.00       20.00       55.00
ｆ３             150.55      147.17       63.77     404.31
ｆ２             -43.74      -91.02      -26.52     -47.95
ｆ１             116.10      134.91       64.18     111.75
ｆ１２           317.62      293.21      205.21     1634.71
条件式（１）｜ｆ１２／ｆ３｜     2.11        2.05        3.22       4.04
条件式（２）｜ｆ１／ｆ１２｜     0.37        0.46        0.31       0.07
条件式（３）｜ｆ２／ｆ１２｜     0.14        0.31        0.13       0.03
条件式（４）｜ｆ２／ｆ１｜       0.38        0.67        0.41       0.43
Ｌ１ａ           180.975     212.798     116.676    341.632
ＴＬ             315.222     417.023     177.463    556.672
ＬＢ              51.490      66.200      64.000    112.095
条件式（６）ＬＢ／ＴＬ           0.163       0.159       0.361      0.201
上記実施例１〜４は、条件式（１）〜（４）及び条件式（６）を全て満たしている。
【符号の説明】
【００９４】
Ｌ１  第１レンズ
Ｌ２  第２レンズ
Ｌ３  第３レンズ
Ｌ４  第４レンズ
Ｌ５  第５レンズ
Ｌ６  第６レンズ
Ｌ７  第７レンズ
Ｌ８  第８レンズ
Ｌ９  第９レンズ
Ｌ１０  第１０レンズ
Ｌ１１  第１１レンズ
Ｌ１２  第１２レンズ
Ｌ１３  第１３レンズ
Ｌ１４  第１４レンズ
Ｌ１５  第１５レンズ
Ｌ１６  第１６レンズ
Ｌ１７  第１７レンズ
Ｌ１８  第１８レンズ
Ｌ１９  第１９レンズ
Ｌ２０  第２０レンズ
Ｇｒ１  第１レンズ群
Ｇｒ２  第２レンズ群
Ｇｒ３  第３レンズ群
【図１】
2010286687.tif 000003
【図２】
2010286687.tif 000004
【図３】
2010286687.tif 000005
【図４】
2010286687.tif 000006
【図５】
2010286687.tif 000007
【図６】
2010286687.tif 000008
【図７】
2010286687.tif 000009
【図８】
2010286687.tif 000010
【図９】
2010286687.tif 000011
【図１０】
2010286687.tif 000012
【図１１】
2010286687.tif 000013
【図１２】
2010286687.tif 000014