(57)【要約】【課題】適切な部品ライブラリを速やかに投入することができる実装部品検査装置を提供する。【解決手段】本発明にかかる実装部品検査装置は、検査対象部品の検査に用いられる検査用情報を保持する部品ライブラリと、その部品ライブラリを用いて検査対象部品を検査する検査処理部と、前記検査処理部による検査の結果を基に、検査用情報が検査に適しているかどうかの度合いを示す適合率を取得する適合率取得部と、更新前後の検査用情報のうちから適合率が高いものを選定する判定部と、を備える。さらに、部品ライブラリは、更新前後の検査用情報を保持可能であり、前記検査処理部は、部品ライブラリに保持されている更新前後の検査用情報を用いて検査を行い、前記判定部による選定が行われると、判定部により選定された検査用情報を用いて検査を行う。【選択図】図１
2010199564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の部品の検査に用いられる更新可能な検査用情報を保持する部品ライブラリを用いて、前記検査対象の部品を検査する検査処理部と、
前記検査処理部による検査の結果を基に、前記検査用情報が前記検査処理部による検査に適しているかどうかの度合いを示す適合率を取得する適合率取得部と、
更新前の検査用情報と更新後の検査用情報のうちから前記適合率が高い方の検査用情報を選定する判定部と、を備え、
前記部品ライブラリは、前記更新前後の検査用情報を保持可能であり、
前記検査処理部は、前記部品ライブラリに保持されている前記更新前後の検査用情報を用いて検査を行い、前記判定部による選定が行われると、前記判定部により選定された前記検査用情報を用いて検査を行う
ことを特徴とする実装部品検査装置。
【請求項２】
前記検査用情報を更新する情報が入力されると、その情報に基づいて更新した検査用情報を前記部品ライブラリに保持させる部品ライブラリ制御部を備えることを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項３】
前記更新前後の検査用情報の相違箇所を通知する相違箇所通知部を備えたことを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項４】
前記適合率取得部により取得された前記適合率を通知する適合率通知部を備えたことを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項５】
前記適合率は、前記検査用情報を用いた前記検査処理部による検査の結果が良であることを示すＯＫ情報をカウントしたカウント値を、前記検査用情報が使用された総数で除した値であることを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項６】
過剰な判定であることを示す情報を基に、過剰な判定がなされた割合を示す過剰判定率を取得する過剰判定率取得部を備えることを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項７】
前記過剰判定率は、過剰な判定であることを示す情報をカウントしたカウント値を、前記検査処理部による検査の結果が不良と判定された回数で除した値であることを特徴とする請求項６記載の実装部品検査装置。
【請求項８】
前記検査用情報にはリビジョン番号が付与されており、前記リビジョン番号は、部品ライブラリの提供元で付与されるグローバル設定番号と、部品ライブラリの提供先で変更可能なローカル設定番号とを有することを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項９】
前記判定部により前記更新後の検査用情報が選定されると、その更新後の検査用情報に付与されている前記ローカル設定番号をカウントアップするカウントアップ部を備えたことを特徴とする請求項８記載の実装部品検査装置。
【請求項１０】
更新前と更新後を区別するための評価時設定番号を前記更新前後の検査用情報に付与する部品ライブラリ制御部を備えることを特徴とする請求項１記載の実装部品検査装置。
【請求項１１】
基板に部品を実装する部品実装機であって、請求項１ないし１０のいずれかに記載の実装部品検査装置を備え、前記実装部品検査装置により、前記基板に実装されている部品を検査することを特徴とする部品実装機。
【請求項１２】
部品ライブラリに保持されている更新前後の検査用情報を用いて、検査対象の部品を検査し、
その検査の結果を基に、検査用情報が検査に適しているかどうかの度合いを示す適合率を、前記更新前後の検査用情報それぞれにつき取得し、
その取得された更新前後の検査用情報それぞれの適合率を基に、前記適合率の高い方の検査用情報を選定した後、
その選定された検査用情報を用いて、前記検査対象の部品を検査する
ことを特徴とする実装部品検査方法。
【請求項１３】
前記検査用情報を更新する情報が入力されると、その情報に基づいて更新した検査用情報を前記部品ライブラリに保持させることを特徴とする請求項１２記載の実装部品検査方法。
【請求項１４】
前記検査対象の部品のロットが切り替わるとき、前記検査用情報を更新する情報が入力されることを特徴とする請求項１３記載の実装部品検査方法。
【請求項１５】
前記更新前後の検査用情報のうちの前記適合率が低い方の検査用情報を前記部品ライブラリから破棄させることを特徴とする請求項１２記載の実装部品検査方法。
【請求項１６】
前記適合率は、前記検査用情報を用いた検査の結果が良であることを示すＯＫ情報をカウントしたカウント値を、前記検査用情報が使用された総数で除した値であることを特徴とする請求項１２記載の実装部品検査方法。
【請求項１７】
前記検査用情報にはリビジョン番号が付与されており、前記リビジョン番号は、部品ライブラリの提供元で付与されるグローバル設定番号と、部品ライブラリの提供先で変更可能なローカル設定番号とを有することを特徴とする請求項１２記載の実装部品検査方法。
【請求項１８】
前記更新後の検査用情報が選定されると、その更新後の検査用情報に付与されている前記ローカル設定番号をカウントアップすることを特徴とする請求項１７記載の実装部品検査方法。
【請求項１９】
前記検査用情報が更新される際に、更新前と更新後を区別するための評価時設定番号を前記更新前後の検査用情報に付与することを特徴とする請求項１２記載の実装部品検査方法。
【請求項２０】
前記部品ライブラリとともに、設備に固有のスケール変換データおよび明度補正データを用いて、前記検査対象の部品を検査することを特徴とする請求項１２記載の実装部品検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板上の所定位置における部品の有無や、回路基板上に実装された部品の理想的な位置からの位置ずれや、回路基板上に実装された部品の極性方向が正しいかどうかなどを検査する実装部品の検査に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、部品ライブラリに登録されたテンプレートを用いた実装部品の検査が実施されている。また、テンプレートを用いた実装部品の検査の一つとして、マスターのテンプレートとスペアのテンプレートを用いる検査が、特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示されている検査では、実装部品とマスターのテンプレートとの一致度が低いときなどに、使用するテンプレートが、マスターのテンプレートからスペアのテンプレートに切り替わる。このようにマスターとスペアを切り替えることにより、検査タクトが向上する、すなわち検査時間が短縮する。
【０００３】
図１５は、特許文献１に開示されている実装部品検査装置の構成を示す図である。図１６は、特許文献１に開示されている実装部品検査方法のフローチャートを示す図である。以下、これらの図１５および図１６を交えて、特許文献１に開示されている従来の実装部品の検査について説明する。
【０００４】
まず、従来の実装部品検査装置について図１５を交えて説明する。
図１５において、カメラ１は、ステージ２上に載置された基板３を撮像する。基板３は例えば回路基板等である。基板３上には部品４が実装されている。部品４は例えば電子部品等である。また、基板３には、照明部５から照明光が照射される。カメラ１により撮像された画像は、画像撮像部６を介して画像処理部７へ入力される。画像撮像部６は、カメラ１により撮像された画像の明度の補正や、メートル単位から画素単位への画像の尺度の変換を行う。
【０００５】
画像処理部７は、画像撮像部６を介して入力された画像を画像処理することによって、基板３上の所定位置における部品の有無の検査や、基板３上の所定位置に所定の部品以外の間違った部品が実装されていないかどうかを確認する検査や、実装された部品４の位置の検査や、実装された部品４の理想的な実装位置からの位置ずれの量の検査などといった実装状態の検査を実施する。
【０００６】
具体的には、画像処理部７は、エッジ部分抽出部８、テンプレート構成／登録部９、マッチング演算部１０、部品位置計測部１１、テンプレート選択部１２およびテンプレート使用頻度更新／記憶処理部１３を備える。
【０００７】
エッジ部分抽出部８は、入力された画像から、検査対象の部品の輪郭の一部である電極部のエッジ部分を抽出する。テンプレート構成／登録部９は、抽出されたエッジ部分を基にテンプレートを構成し、その構成したテンプレートを図示しない部品ライブラリに登録する。マッチング演算部１０は、入力された画像に対して、登録されたテンプレートを用いて照合処理を行うことにより、上記した実装状態の検査を実施する。但し、実装された部品４の位置や実装された部品４の位置ずれの量は、画素数単位で検出される。部品位置計測部１１は、画素数単位で検出された部品４の位置や部品４の位置ずれの量をメートル単位の寸法に換算する。テンプレート選択部１２は、照合処理に用いるテンプレートを切り替える。テンプレート使用頻度更新／記憶処理部１３は、テンプレートの使用頻度を更新し、その更新後の使用頻度を図示しない部品ライブラリに記憶させる。
【０００８】
続いて、従来の実装部品検査方法について図１６を交えて説明する。
まず、ステップＳ１で、検査対象となる各メーカーの部品をカメラ１により撮像し、エッジ部分抽出部８により、各部品の電極部のエッジ部分を抽出する。具体的には、部品の本体部と電極部との境界線を除く電極部のエッジ部分が抽出される。
【０００９】
次にステップＳ２で、テンプレート構成／登録部９により、抽出されたエッジ部分を基に各部品のテンプレートを構成し、それらを登録する。
【００１０】
次にステップＳ３で、テンプレート選択部１２により、実装が予定されている部品種別のテンプレートのうちから、直近の使用頻度が最も高いテンプレート、すなわち実装される確率が最も高い部品のテンプレートを選択する。
【００１１】
次にステップＳ４で、マッチング演算部１０により、選択されたテンプレートを用いて上記した実装状態の検査を実施する。この際、照合の一致度などの照合処理の評価値が基準値よりも低いときには、ステップＳ３に戻り、使用するテンプレートが、テンプレート選択部１２により、使用頻度が次に高いテンプレートに自動的に切り替えられて、再度ステップＳ４で実装状態の検査が実施される。このように、テンプレート選択部１２は、使用するテンプレートを評価値が基準値よりも高いテンプレートへ切り替える。
【００１２】
次にステップＳ５で、テンプレート使用頻度更新／記憶処理部１３により、最終的に照合処理に使用されたテンプレートの使用頻度を更新する。
【００１３】
次にステップＳ６で、部品位置計測部１１により、画素数単位で検出された部品４の位置や部品４の位置ずれの量をメートル単位で計測する。
【００１４】
このステップＳ６以降、基板３上の検査が必要な全エリアの検査が完了するまで、上記したステップＳ３〜ステップＳ６を繰り返す。
【００１５】
このように従来の実装部品の検査では、使用頻度の高いテンプレートが優先的に使用される。これにより、テンプレートの切り替え回数を統計的に減少させて、照合処理にかかる時間を短縮させることができる。したがって、検査タクトが向上する、すなわち検査時間が短縮する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００３−１１０２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
以上説明したように、従来の実装部品の検査では、使用するテンプレートが、実際の評価値が基準値よりも高いテンプレートに切り替えられる。しかしながら、従来の実装部品の検査では、テンプレートを切り替えても認識率が向上しない場合に、テンプレートの変更を含む部品ライブラリの修正をしたとしても、その修正後の部品ライブラリが修正前の部品ライブラリに比べて改善されていることを保証することはできない。ここで、認識率とは、検査した回数に対する正しく認識できた回数の比率である。また、誤認識とは、正しく認識できないことである。
【００１８】
特に、１枚の基板に１０００点もの部品を実装する生産ラインにおいては、多種多数の部品を検査することになるので、数ＰＰＭ（パーツパーミリオン）レベル、具体的には１００万点に数点の誤認識が認められる程度の認識率が要求される。このような生産ラインにおいて、部品ライブラリを修正した直後の数枚の基板を用いて、認識が正しいか否かの確認が行われるだけでは、その修正により新たに発生する問題は顕在化されず、修正後の部品ライブラリが投入されてから、しばらくした後に認識率の良否が露呈する。そして、認識率の悪さが露呈した場合には、その時点で修正後の部品ライブラリを再修正して元の部品ライブラリに戻さなければならない。
【００１９】
このように、従来の実装部品の検査では、修正によって部品ライブラリの性能の向上が図られていることを定量的に確認する手段がないため、その性能の度合いの確認が取れるまでに時間がかかり、それ故、部品ライブラリの再修正に時間がかかっていた。さらに、認識率の良否が露呈するまでに時間がかかるために、修正前の部品ライブラリと修正後の部品ライブラリとの間の異同の記録が適切に管理されていないと、元の部品ライブラリに戻すための再修正にかかる時間が益々増加する。
【００２０】
これらの問題は特に、実装する部品の種類が多数あり、修正が必要な部品ライブラリが複数ある場合に、顕著に発現する。またこの場合、従来の実装部品の検査では、修正によって部品ライブラリの性能の向上が図られていることを定量的に確認する手段がないため、どの部品ライブラリを修正すればよいかを特定することが困難であった。また、実装する部品の種類が多数ある場合、修正前の部品ライブラリと修正後の部品ライブラリとの間の差異の記録の管理が煩雑であり、それが作業者の負担増加に繋がっていた。
【００２１】
以上のように、従来の実装部品の検査では、部品ライブラリの再修正を速やかに行うことができないでいた。
【００２２】
また、実装部品の検査においては、検査の対象物の形状は単一ではなく、複数の形状を持つ。そのため、検査に重要な要件となる部品ライブラリの作成や改善には、より高い専門性が求められる。しかしながら、昨今の実装現場には、十分な専門性を持つ専任担当者がいるとは限らず、それ故、そのような現場の実態を踏まえた上で部品ライブラリの能力向上を行わなければならない。
【００２３】
本発明は、上記した従来の問題に鑑み、実装部品の検査において、適切な部品ライブラリを速やかに投入する実装部品検査装置、およびその実装部品検査装置を備えた部品実装機、並びに実装部品検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するために、本発明にかかる実装部品検査装置は、検査対象の部品の検査に用いられる更新可能な検査用情報を保持する部品ライブラリを用いて、前記検査対象の部品を検査する検査処理部と、前記検査処理部による検査の結果を基に、前記検査用情報が前記検査処理部による検査に適しているかどうかの度合いを示す適合率を取得する適合率取得部と、更新前の検査用情報と更新後の検査用情報のうちから前記適合率が高い方の検査用情報を選定する判定部と、を備え、前記部品ライブラリが、前記更新前後の検査用情報を保持可能であり、前記検査処理部が、前記部品ライブラリに保持されている前記更新前後の検査用情報を用いて検査を行い、前記判定部による選定が行われると、前記判定部により選定された前記検査用情報を用いて検査を行うことを特徴とする。
【００２５】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、前記検査用情報を更新する情報が入力されると、その情報に基づいて更新した検査用情報を前記部品ライブラリに保持させる部品ライブラリ制御部を備えてもよい。
【００２６】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、前記更新前後の検査用情報の相違箇所を通知する相違箇所通知部を備えてもよい。
【００２７】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、前記適合率取得部により取得された前記適合率を通知する適合率通知部を備えてもよい。
【００２８】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、前記適合率は、前記検査用情報を用いた前記検査処理部による検査の結果が良であることを示すＯＫ情報をカウントしたカウント値を、前記検査用情報が使用された総数で除した値であってもよい。
【００２９】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、過剰な判定であることを示す情報を基に、過剰な判定がなされた割合を示す過剰判定率を取得する過剰判定率取得部を備えてもよい。前記過剰判定率は、過剰な判定であることを示す情報をカウントしたカウント値を、前記検査処理部による検査の結果が不良と判定された回数で除した値であってもよい。
【００３０】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、前記検査用情報にはリビジョン番号が付与されており、前記リビジョン番号は、部品ライブラリの提供元で付与されるグローバル設定番号と、部品ライブラリの提供先で変更可能なローカル設定番号とを有してもよい。この場合、前記判定部により前記更新後の検査用情報が選定されると、その更新後の検査用情報に付与されている前記ローカル設定番号をカウントアップするカウントアップ部を備えてもよい。
【００３１】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査装置において、更新前と更新後を区別するための評価時設定番号を前記更新前後の検査用情報に付与する部品ライブラリ制御部を備えてもよい。
【００３２】
また、上記目的を達成するために、本発明にかかる部品実装機は、基板に部品を実装する部品実装機であって、上記した本発明にかかる実装部品検査装置を備え、前記実装部品検査装置により、前記基板に実装されている部品を検査することを特徴とする。
【００３３】
また、上記目的を達成するために、本発明にかかる実装部品検査方法は、部品ライブラリに保持されている更新前後の検査用情報を用いて、検査対象の部品を検査し、その検査の結果を基に、検査用情報が検査に適しているかどうかの度合いを示す適合率を、前記更新前後の検査用情報それぞれにつき取得し、その取得された更新前後の検査用情報それぞれの適合率を基に、前記適合率の高い方の検査用情報を選定した後、その選定された検査用情報を用いて、前記検査対象の部品を検査することを特徴とする。
【００３４】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査方法において、前記検査用情報を更新する情報が入力されると、その情報に基づいて更新した検査用情報を前記部品ライブラリに保持させてもよい。この場合、前記検査対象の部品のロットが切り替わるとき、前記検査用情報を更新する情報が入力されてもよい。
【００３５】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査方法において、前記更新前後の検査用情報のうちの前記適合率が低い方の検査用情報を前記部品ライブラリから破棄させてもよい。
【００３６】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査方法において、前記適合率は、前記検査用情報を用いた検査の結果が良であることを示すＯＫ情報をカウントしたカウント値を、前記検査用情報が使用された総数で除した値であってもよい。
【００３７】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査方法において、前記検査用情報にはリビジョン番号が付与されており、前記リビジョン番号は、部品ライブラリの提供元で付与されるグローバル設定番号と、部品ライブラリの提供先で変更可能なローカル設定番号とを有してもよい。この場合、前記更新後の検査用情報が選定されると、その更新後の検査用情報に付与されている前記ローカル設定番号をカウントアップしてもよい。
【００３８】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査方法において、前記検査用情報が更新される際に、更新前と更新後を区別するための評価時設定番号を前記更新前後の検査用情報に付与してもよい。
【００３９】
また、上記した本発明にかかる実装部品検査方法において、前記部品ライブラリとともに、設備に固有のスケール変換データおよび明度補正データを用いて、前記検査対象の部品を検査してもよい。
【発明の効果】
【００４０】
本発明の好ましい実施の形態によれば、修正によって部品ライブラリの性能の向上が図られていることを定量的に確認することができ、かつ適切な部品ライブラリを速やかに投入することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態１における実装部品検査装置の構成の概略を示す図
【図２】本発明の実施の形態１における部品ライブラリの構成の概略を示す図
【図３】本発明の実施の形態１におけるリビジョン番号の定義を示す図
【図４】本発明の実施の形態１における実装部品検査方法のフローチャートを示す図
【図５】本発明の実施の形態１における変更前後のテンプレートの相違箇所が明示されたディスプレイを示す図
【図６】本発明の実施の形態１における変更前後の認識パラメータの相違箇所が明示されたディスプレイを示す図
【図７】本発明の実施の形態１における適合率の表が明示されたディスプレイを示す図
【図８】本発明の実施の形態１における適合率の時系列のグラフが明示されたディスプレイを示す図
【図９】本発明の実施の形態２における、基板に部品を実装する量産ラインの構成の概略を示す図
【図１０】本発明の実施の形態２における装着後部品検査機による検査の結果の表を示す図
【図１１】本発明の実施の形態２における装着後部品検査機の構成の概略を示す図
【図１２】本発明の実施の形態２における部品ライブラリの構成の概略を示す図
【図１３】本発明の実施の形態２における量産ラインの他の構成の概略を示す図
【図１４】本発明の実施の形態３における部品ライブラリの配信方法を示す図
【図１５】従来の実装部品検査装置の構成を示す図
【図１６】従来の実装部品検査方法のフローチャートを示す図
【発明を実施するための形態】
【００４２】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１について、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実施の形態１における実装部品検査装置の構成の概略を示す図である。
【００４３】
図１において、カメラ２１は、ステージ２２上に載置された基板２３を撮像する。基板２３は例えば回路基板等である。基板２３上には部品２４が実装されている。部品２４は例えば電子部品等である。また、基板２３には、照明部２５から照明光が照射される。カメラ２１により撮像された画像は、画像撮像部２６を介して画像処理部２７へ入力される。画像撮像部２６は、設備固有データ記憶部２８に記憶されているスケール変換データおよび明度補正データを用いて、カメラ２１により撮像された画像の尺度のメートル単位から画素単位への変換や、画像の明度の補正を行う。スケール変換データはカメラ２１の分解能を示し、明度補正データは、照明およびレンズの特性を示す。
【００４４】
画像処理部２７は検査処理部の一例である。画像処理部２７は、部品ライブラリ記憶部２９に記憶されている設備内部品ライブラリを用いて、画像撮像部２６を介して入力された画像を画像処理することによって、実装部品の検査を実施する。
【００４５】
ここで、設備内部品ライブラリについて説明する。図２は、本発明の実施の形態１における部品ライブラリの構成の概略を示す図である。
【００４６】
図２において、設備内部品ライブラリ３０は各メーカーの部品ごとに作成されている。これは、同じ電気特性を有する部品であっても、メーカー間で部品の形状に若干の相違があるためである。
【００４７】
設備内部品ライブラリ３０は設備内部品ライブラリデータベース３１に保持されている。設備内部品ライブラリデータベース３１は、形状が異なる全ての部品の設備内部品ライブラリ３０を保持する。そこで保持される数は、一般的な現場で１００個を超えるのが通常である。設備内部品ライブラリ３０は、部品形状コードを識別ＩＤとして用いて、設備内部品ライブラリデータベース３１から検索することができる。
【００４８】
設備内部品ライブラリ３０は、設備内部品固有データ３２と判定閾値データ３３から構成される。設備内部品固有データ３２は検査用情報の一例であり、更新可能である。判定閾値データ３３は、後述する画像処理部２７による検査の結果の判定基準を示す。無論、判定閾値データ３３も更新可能にすることができる。
【００４９】
設備内部品固有データ３２は、形状データ、認識パラメータ、テンプレート、テンプレートの使用頻度、適合率および適合基準値から構成される。ここで、テンプレートとテンプレートの使用頻度には、前述した特許文献１に開示されているものと同様のものを用いることができる。また、形状データは、該当部品の設計寸法データに基づくものである。認識パラメータは、該当部品の認識に寄与するものである。認識パラメータは、例えば、該当部品のサイズの変動公差に基づくパラメータを含む。この認識パラメータにより、変動公差の分だけ形状データやテンプレートを変化させることができる。また、適合率は、設備内部品固有データ３２が該当部品の検査に適しているかどうかの度合いを示すものである。適合基準値は、適合率の良否を判断するためのものである。
【００５０】
また設備内部品ライブラリ３０は、更新された設備内部品固有データ３２と、その更新前の設備内部品固有データ３２を同時に保持可能であり、画像処理部２７は、同時に保存された更新前後の設備内固有データ３２を切り替えながら両方を用いて、それらに該当する部品の実装状態を検査することができる。
【００５１】
また設備内部品ライブラリ３０は、該当部品の検査に必要なデータのみを持つ構造のため、設備に依存する条件を排除することができる。具体的には、設備内部品ライブラリ３０は、検査設備ごとに固有のデータである設備固有データ３４から分離されている。これにより、設備内部品ライブラリ３０は検査設備ごとの固有のデータとはならず、検査設備とは切り離して一元管理が可能なデータとなる。
【００５２】
設備固有データ３４は、前記したスケール変換データと明度補正データから構成される。スケール変換データと明度補正データは、設備の動作に必要な情報である設備固有のマシンパラメータ３５に含まれる。マシンパラメータ３５には、スケール変換データと明度補正データ以外に、例えばマシンオフセット、駆動軸の軸速度、加減速度、タイマー値などが含まれる。
【００５３】
カメラ分解能を示すスケール変換データが用いられるのは、検査設備間でカメラ分解能がわずかながらに相違している可能性があるためである。このカメラ分解能の差は、個々の検査設備での機構や光学系のわずかな公差の積み重ねにより起こる。例えば、設計分解能が１８μｍの場合であっても、Ａ号機のカメラ分解能は１８．１００μｍ／画素、Ｂ号機のカメラ分解能は１８．２００μｍ／画素ということは十分に起こりうる。
【００５４】
検査の処理系では、広く知られているように、画像処理のための演算が画素単位で行われるため、部品や基板を撮像した画像の尺度をメートル単位から画素単位へ変換する必要があり、それ故、このカメラ分解能の差が機差（検査設備間の差）の要因となりうる。
【００５５】
そこで、この実装部品検査装置では、スケール変換データを用いて、検査設備間のカメラ分解能の違いを吸収している。このスケール変換データは、機差を吸収するためのものであるので、各検査設備に保持されている。なお、設備内部品ライブラリ３０に保持させる寸法に関するデータは、メートル単位のものに限定しており、尺度を画素単位に変換するのに必要なスケール変換データは、設備内部品ライブラリ３０からは明確に分離されている。
【００５６】
照明およびレンズの特性を示す明度補正データが用いられる理由も、スケール変換データが用いられる理由と同様である。すなわち、検査設備間の明度の相違は、検査設備間の検査性能に差を与える可能性がある。特に、２次元の画像処理系における光学系のわずかな差がもたらす、２次元平面での照度分布のばらつきの相違は、検査性能に差を与える可能性が高い。
【００５７】
そこで、この実装部品検査装置では、明度補正データを用いて、検査設備間の明るさの違いを吸収している。現実に、照度分布の差を吸収できない検査設備が使用される場合、個々の検査設備で明るさの調整を実施しているのが実態である。この明度補正データもスケール変換データと同様に、機差を吸収するために、各検査設備に保持されている。
【００５８】
以上説明した設備内部品ライブラリ３０は、カスタマー等の部品ライブラリの提供先が保持する。一方、検査機メーカ等の部品ライブラリの提供元あるいは部品ライブラリを統括的に管理する管理者（以下、部品ライブラリの提供元または単に提供元と称す場合がある。）は、自身の管理下にある、形状が異なる全ての部品の基準部品ライブラリ３６を保持する。基準部品ライブラリ３６には、これまでに修正されたものが全て保持されている。また、基準部品ライブラリ３６は、基準部品ライブラリデータベース３７に保持されている。基準部品ライブラリ３６は、部品形状管理コードを識別ＩＤとして用いて、基準部品ライブラリデータベース３７から検索することができる。
【００５９】
基準部品ライブラリ３６には、設備内部品ライブラリ３０と同様に、形状データと認識パラメータが保持されているが、テンプレートは保持されていない。テンプレートは、部品ライブラリの提供先において実際に部品を撮像して作成されるためである。同様の理由により、基準部品ライブラリ３６はテンプレートの使用頻度も持たない。
【００６０】
また、設備内部品ライブラリ３０が、適合率というリアルタイムの情報を持つ一方で、基準部品ライブラリ３６は、当該基準部品ライブラリ３６に対応する設備内部品ライブラリ３０が保持する適合率の、これまでに得られた最大値および最小値のパラメータを持つ。このパラメータは、提供先の設備内部品ライブラリ３０が保持するリアルタイムに変化する適合率が、それまでに得られた最大値を超えたとき、または、それまでに得られた最小値を下回ったときに、提供先からの通知を受けて更新される。
【００６１】
また、設備内部品ライブラリ３０は判定閾値データ３３を持つが、基準部品ライブラリ３６は判定閾値データを持つことはない。判定閾値データは、生産工程の実態および品質管理基準により定められるものであり、部品ライブラリの提供元が一元管理する性質のものではない。
【００６２】
なお、設備内部品ライブラリ３０に識別ＩＤとして付与されている部品形状コードと基準部品ライブラリ３６に識別ＩＤとして付与されている部品形状管理コードとが異なる場合には、図２に示すように部品形状変換データベース３８を用いて、部品形状コードと部品形状管理コードとを１対１にリンクさせる。部品形状コードと部品形状管理コードとが同一の場合は、部品形状変換データベースは不要である。
【００６３】
続いて、リビジョン番号について説明する。リビジョン番号は、設備内部品ライブラリ３０に保持される設備内部品固有データ３２に付与される。またリビジョン番号は、基準部品ライブラリ３６に保持される、これまでに修正された基準部品ライブラリのそれぞれに付与される。
【００６４】
図３は、本発明の実施の形態１におけるリビジョン番号の定義を示す図である。
図３に示すように、リビジョン番号は２つのカテゴリを持つ。すなわち、リビジョン番号には、グローバルリビジョン番号とローカルリビジョン番号がある。グローバルリビジョン番号は、部品ライブラリの提供元が使用する。すなわち、部品ライブラリを提供する側において使用される。ローカルリビジョン番号は、部品ライブラリの提供先が使用する。すなわち、部品ライブラリが提供される側において使用される。
【００６５】
ローカルリビジョン番号は、グローバル設定番号、ローカル設定番号を有する。またローカルリビジョン番号は、設備内部品ライブラリ３０に更新前の設備内部品固有データ３２と更新後の設備内部品固有データ３２が保持されているときに、評価時設定番号を有する。一方、グローバルリビジョン番号は、グローバル設定番号とローカル設定番号からなる。
【００６６】
ここでは、グローバル設定番号とローカル設定番号が共に３桁であり、評価時設定番号が１桁である場合について説明するが、それらの番号の桁数は特に限定されるものではない。
【００６７】
グローバル設定番号は、グローバルに流通させるものであり、部品ライブラリの提供元が付与する。このグローバル設定番号は、部品ライブラリの提供先においてカウントアップすることはできない。また、グローバル設定番号は、通常「００１」から開始されるが、無論「００１」以外の番号から始めることも可能である。
【００６８】
ローカル設定番号には、部品ライブラリの提供元において、通常「０００」が付与される。このローカル設定番号は、部品ライブラリの提供先において変更が可能である、具体的にはカウントアップが可能である。またローカル設定番号は、通常「０００」から開始されるが、無論「０００」以外の番号から始めることも可能である。
【００６９】
評価時設定番号は、部品ライブラリの提供先において付与される。この評価時設定番号は、更新前後の設備内部品固有データ３２を区別するために使用される。具体的には、更新した設備内部品固有データ３２が作成されて、設備内部品ライブラリ３０に更新前後の設備内部品固有データ３２が保持されるときに、評価時設定番号は付与される。ここでは、更新前の設備内部品固有データ３２に評価時設定番号として「０」が付与され、更新後の設備内部品固有データ３２に評価時設定番号として「１」が付与される場合について説明するが、無論、他の番号であってもよい。
【００７０】
また、更新した設備内部品固有データ３２のグローバル設定番号とローカル設定番号には、更新前の設備内部品固有データ３２のグローバル設定番号とローカル設定番号を使用する。したがって更新前後の設備内部品固有データ３２は、評価時設定番号のみで区別される。
【００７１】
更新前後の設備内部品固有データ３２が評価された後、更新後の設備内部品固有データ３２が選定された場合には、その更新後の設備内部品固有データ３２のローカル設定番号はカウントアップされる。
【００７２】
以上説明した設備内部品ライブラリ３０が、図１に示す部品ライブラリ記憶部２９に記憶されている。具体的には、前記形状データが形状データ記憶部３９に、前記認識パラメータが認識パラメータ記憶部４０に、前記テンプレートがテンプレート記憶部４１に、前記テンプレートの使用頻度がテンプレート使用頻度記憶部４２に、前記適合率が適合率記憶部４３に、前記適合基準値が適合基準値記憶部４４に、判定閾値データ３３が判定閾値データ記憶部４５にそれぞれ記憶される。
【００７３】
前述した画像処理部２７は、設備内部品ライブラリ３０が保持する形状データ、認識パラメータ、テンプレートおよびテンプレートの使用頻度を用いて、入力された画像を画像処理することによって、基板２３上の所定位置における部品の有無の検査や、基板２３上の所定位置に所定の部品以外の間違った部品が実装されていないかどうかを確認する検査（誤実装の検査）や、実装された部品２４の極性方向が正しいかどうかの検査や、実装された部品２４の位置の検査や、実装された部品２４の理想的な実装位置からの位置ずれの量の検査などといった実装状態の検査を実施する。なお、基板２３上の所定位置における部品の有無の検査には、次工程以降で部品が実装される予定の位置に異物が無いことを確認する検査が含まれる。この検査は粗認識によって実施されるので、使用するテンプレートは任意である。
【００７４】
この画像処理部２７は、具体的には、エッジ部分抽出部４６、テンプレート構成／登録部４７、マッチング演算部４８、部品位置計測部４９、テンプレート選択部５０およびテンプレート使用頻度更新／記憶処理部５１を備えることができる。
【００７５】
これらのエッジ部分抽出部４６、テンプレート構成／登録部４７、マッチング演算部４８、部品位置計測部４９、テンプレート選択部５０およびテンプレート使用頻度更新／記憶処理部５１には、前述した特許文献１に開示されているものと同様のものを用いることができるので、それらの詳しい説明は省略し、ここでは簡単な説明に留める。
【００７６】
エッジ部分抽出部４６は、入力された画像から、検査対象の部品の輪郭の一部である電極部のエッジ部分を抽出する。このエッジ部分の抽出には、形状データと認識パラメータが用いられる。具体的には、エッジ部分の抽出時には、入力された画像にエッジ部分を検出する領域が設定される。その領域の設定に形状データと認識パラメータが用いられる。
【００７７】
テンプレート構成／登録部４７は、抽出されたエッジ部分を基にテンプレートを構成し、その構成したテンプレートを部品ライブラリ記憶部２９に登録する。テンプレートの構成には、形状データが用いられる。
【００７８】
マッチング演算部４８は、入力された画像に対して、登録されているテンプレートを用いて照合処理を行うことにより、上記した実装状態の検査を実施する。但し、実装された部品２４の位置や実装された部品２４の位置ずれの量は、画素数単位で検出される。この照合処理には、認識パラメータが用いられる。具体的には、検査対象の部品２４の変動公差の分だけテンプレートを拡大したり、縮小したり、またはテンプレートの形状を多少変形させるために、認識パラメータが用いられる。
【００７９】
部品位置計測部４９は、画素数単位で検出された、実装されている部品２４の位置や、実装されている部品２４の位置ずれの量を、メートル単位の寸法に換算する。さらに部品位置計測部４９は、認識パラメータを用いて、その換算された値に検査対象の部品２４の変動公差を加味した値を作成する。
【００８０】
テンプレート選択部５０は、照合処理に用いるテンプレートを切り替える。テンプレート使用頻度更新／記憶処理部５１は、テンプレートの使用頻度を更新し、その更新後の使用頻度を部品ライブラリ記憶部２９に記憶させる。
【００８１】
この実装部品検査装置は、部品ライブラリ制御部５２を備える。この部品ライブラリ制御部５２には、設備内部品固有データ３２を更新する情報が入力される。この情報は、例えば作業者により図示しない入力部が操作されることで生成される。その入力部には、例えば、キーボード等を使用することができる。
【００８２】
部品ライブラリ制御部５２は、設備内部品固有データ３２を更新する情報が入力されると、その情報に基づいて更新後の設備内部品固有データ３２を作成し、その作成した更新後の設備内部品固有データ３２を部品ライブラリ記憶部２９に記憶させる。
【００８３】
また部品ライブラリ制御部５２は、更新後の設備内部品固有データ３２を部品ライブラリ記憶部２９に記憶させる際に、更新前の設備内部品固有データ３２に評価時設定番号として「０」を付与し、更新後の設備内部品固有データ３２に評価時設定番号として「１」を付与する。
【００８４】
また、この実装部品検査装置は、結果判定部５３を備える。結果判定部５３は、画像処理部２７による検査の結果の良否を判定する。そして、結果判定部５３は、検査の結果が良である場合にはＯＫ情報を作成し、逆に検査の結果が不良である場合にはＮＧ情報を作成する。この良否の判定には判定閾値データ３３が用いられる。判定閾値データ３３は、例えば、実装されている部品２４の理想的な実装位置からの位置ずれの量の判定閾値などを含む。
【００８５】
また結果判定部５３は、適合率取得部の一例である適合率算出部５４を内包している。適合率算出部５４は、画像処理部２７による検査の結果とその検査に使用された設備内部品固有データ３２を識別する情報を基に、その使用された設備内部品固有データ３２の適合率を取得する。結果判定部５３は、その取得された適合率を部品ライブラリ記憶部２９に記憶させる。
【００８６】
また結果判定部５３は、更新前後の設備内部品固有データ３２を用いた検査が画像処理部２７により実施されると、それらの設備内部品固有データ３２を評価する。この評価には、更新前後の設備内部品固有データ３２の適合率が用いられる。具体的には、結果判定部５３は、更新前後の設備内部品固有データ３２のうちから、適合率が高い方の設備内部品固有データ３２を選定する。
【００８７】
このように、適合率は、更新前の設備内部品固有データ３２と更新後の設備内部品固有データ３２の評価、すなわち、それらのうちのいずれが画像処理部２７による検査に適しているのかを判定するのに用いられる。
【００８８】
また結果判定部５３は、適合率が低い方の設備内部品固有データ３２を破棄する。また結果判定部５３はカウントアップ部としての機能も有する。すなわち結果判定部５３は、更新後の設備内部品固有データ３２が選定された場合に、その更新後の設備内部品固有データ３２のローカル設定番号をカウントアップする。また結果判定部５３は、選定されて残った方の設備内部品固有データ３２に付与された評価時設定番号を破棄する。
【００８９】
画像処理部２７は、結果判定部５３による選定が行われると、その選定以降は、結果判定部５３により選定された設備内部品固有データ３２を用いて検査を実施する。
【００９０】
また、この実装部品検査装置は、更新前後の設備内部品固有データ３２が評価される期間を計測するための評価期間計測部５５を備える。ここでは評価期間計測部５５が、検査が実行された回数である検査数をカウントする場合について説明するが、更新後の設備内部品固有データ３２を用いて検査を実施する回数をカウントしてもよい。カウントは例えばカウンタによって実現することができる。
【００９１】
以上のように構成された実装部品検査装置は、更新前の設備内部品固有データ３２と更新後の設備内部品固有データ３２を用いて、所定の期間（評価期間）、それらに該当する実装部品の検査を実施し、それらの適合率を取得する。そして、この実装部品検査装置は、その取得された適合率を基に、更新前の設備内部品固有データ３２と更新後の設備内部品固有データ３２を評価し、それらに該当する実装部品の検査に、より適する方の設備内部品固有データ３２を、更新前後の設備内部品固有データ３２のうちから選定する。そして、その選定後、この実装部品検査装置は、選定された設備内部品固有データ３２を用いて実装部品の検査を行う。
【００９２】
また、この実装部品検査装置は、表示制御部５６を備える。この表示制御部５６は、結果判定部５３により不良（ＮＧ）と判定された基板２３の不良箇所の通知を行う。また、表示制御部５６は、後述するように、更新前後の設備内部品固有データ３２の相違箇所の通知と、適合率の通知と、所定の基準値である適合基準値以下の適合率の通知を行う。それらの通知は、例えば、ディスプレイや紙にそれらを明示させることで実現できる。この表示制御部５６は、相違箇所通知部と適合率通知部を実現する。
【００９３】
また、この実装部品検査装置は、警告処理部５７を備える。この警告処理部５７は、適合率が適合基準値を下回ったときに警告する。警告方法としては、例えば、当該設備の停止、警報、ＬＡＮなどの通信回線を用いた当該設備のメンテナンスが可能な者への通知などが可能である。警告のタイミングとしては、適合基準値を適合率が下回った瞬間に警告する、適合基準値を適合率が下回ってから一定時間が経過した後に警告する、適合率が適合基準値を下回る頻度に応じて警告することが可能である。
【００９４】
なお、この実装部品検査装置の画像処理部２７、部品ライブラリ制御部５２、結果判定部５３、評価期間計測部５５、表示制御部５６および警告処理部５７は、例えばパーソナルコンピュータ等のプログラムを実行する機器で実現できるように、プログラム化されていてもよい。
【００９５】
続いて、以上のように構成された実装部品検査装置の動作について説明する。但し、通常検査時の動作は、前述した特許文献１に開示されている動作と同様であるので、その説明はここでは省略し、以下では、更新前後の設備内部品固有データ３２を評価し、それらのうちの１つを選定する際の実装部品検査装置の動作について、図４を用いて説明する。図４は、本発明の実施の形態１における実装部品検査方法のフローチャートを示す図である。
【００９６】
まず、ステップＳ１１で、評価期間計測部５５により検査数をカウントする。次にステップＳ１２で、画像処理部２７により、更新後の設備内部品固有データを用いた検査が実施されると、次にステップＳ１３で、その実施された検査の結果が良（ＯＫ）の場合、適合率算出部５４により、更新後の設備内部品固有データの適合数Ａがカウントアップされ、その適合数Ａが、評価期間中に更新後の設備内部品固有データが使用された総数Ａで除されて、適合率Ａが算出される。適合数Ａは、結果判定部５３が作成するＯＫ情報をカウントしたカウント値を表す。
【００９７】
次にステップＳ１４で、評価期間計測部５５により、検査数が所定値に到達しているか否かがチェックされ、検査数が所定値に到達していない場合（ＮＯ）は、評価期間を経過していないと判断されて、ステップＳ１５へ移り、ステップＳ１２で検査された部品に対して、再度、画像処理部２７により、更新前の設備内部品固有データを用いた検査が実施される。
【００９８】
次にステップＳ１６で、ステップＳ１５で実施された検査の結果が良（ＯＫ）の場合、適合率算出部５４により、更新前の設備内部品固有データの適合数Ｂがカウントアップされ、その適合数Ｂが、評価期間中に更新前の設備内部品固有データが使用された総数Ｂで除されて、適合率Ｂが算出される。適合数Ｂは、結果判定部５３が作成するＯＫ情報をカウントしたカウント値を表す。
【００９９】
ステップＳ１６で適合率Ｂが算出されると、ステップＳ１１へ移り、検査数が所定値に達するまで、つまり評価期間が経過するまで、前述したステップＳ１１〜ステップＳ１６の動作を繰り返す。
【０１００】
なお、評価期間計測部５５が、更新後の設備内部品固有データ３２を用いて検査を実施する回数をカウントする場合、そのカウント値である検査数は、総数Ａおよび総数Ｂと同じ値となる。
【０１０１】
ステップＳ１４で、検査数が所定値に達した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１７へ移り、結果判定部５３により、適合率Ａと適合率Ｂが比較されて、適合率Ａが適合率Ｂよりも大きい場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１８で、結果判定部５３により、更新後の設備内部品固有データ３２のローカル設定番号が更新されると共に、更新前の設備内部品固有データ３２が破棄される。一方、適合率Ａが適合率Ｂよりも小さい場合（ＮＯ）は、ステップＳ１９で、結果判定部５３により、更新後の設備内部品固有データ３２が破棄され、それにより設備内部品ライブラリ３０は更新前のものに戻る。
【０１０２】
上記したステップＳ１３およびステップＳ１６において、実施された検査の結果が不良（ＮＧ）の場合は、適合数がカウントアップされずに適合率が算出されて、次の処理へ移る。
【０１０３】
続いて、更新前後の設備内部品固有データ３２の相違箇所の通知について、その相違箇所をディスプレイに明示する場合を例に説明する。
【０１０４】
前記した表示制御部５６は、設備内部品固有データ３２が保持するテンプレートの形状が変更された場合、例えば図５に示すように、テンプレート５８の形状の相違箇所をディスプレイに明示させてもよい。具体的には、例えば表示制御部５６は、相違の無い箇所５８ａと相違する箇所５８ｂの色を変えるなどして、更新前後のテンプレート５８を並べてディスプレイに表示させる。
【０１０５】
また表示制御部５６は、設備内部品固有データ３２が保持する認識パラメータが変更された場合、例えば図６に示すように、認識パラメータの相違箇所をディスプレイに明示させてもよい。具体的には、例えば表示制御部５６は、相違するパラメータにアンダーラインを付記するなどして、更新前後の認識パラメータを並べてディスプレイに表示させる。図６には、テンプレートのプラスＸ方向およびマイナスＸ方向それぞれの最大変動値を示すサイズ変動探索ＸｍｉｎおよびＸｍａｘ、並びにテンプレートのＸ方向の変動ステップ幅を示すサイズ変動探索Ｘｓｔｅｐが変更されたことが明示された場合を示している。
【０１０６】
なお図６には、認識パラメータの一例として、上記したサイズ変動探索Ｘｍｉｎ、ＸｍａｘおよびＸｓｔｅｐ以外に、テンプレートのプラスＹ方向およびマイナスＹ方向それぞれの最大変動値を示すサイズ変動探索ＹｍｉｎおよびＹｍａｘ、テンプレートのＹ方向の変動ステップ幅を示すサイズ変動探索Ｙｓｔｅｐ、並びに実装部品とテンプレートとの一致度などの照合処理の評価値の基準値を示す粗認識リミット評価値および精認識リミット評価値が例示されている。粗認識リミット評価値は、照合処理時に実装部品を粗く認識した場合の基準値であり、精認識リミット評価値は、照合処理時に実装部品を精密に認識した場合の基準値である。
【０１０７】
続いて、適合率の通知と適合基準値以下の適合率の通知について、それらをディスプレイに明示する場合を例に説明する。
【０１０８】
前記した表示制御部５６は、例えば図７に示すように、部品の名称ごとに区分けした適合率の表をディスプレイに明示させてもよい。具体的には、例えば表示制御部５６は、部品の名称とその部品の設備内部品固有データ３２のローカルリビジョン番号、並びにその設備内部品固有データ３２が保持する適合率をディスプレイに表示させる。
【０１０９】
また表示制御部５６は、現在評価中の設備内部品ライブラリを明示させることができる。図７には、部品０６０３Ｒ−０．１と部品ＳＳＳ３Ｐの設備内部品ライブラリが評価中であることが明示された場合を示している。具体的には、例えば表示制御部５６は、評価中の設備内部品固有データの適合率とそれ以外の設備内部品固有データの適合率の色を変えるなどする。
【０１１０】
また表示制御部５６は、例えば図７に示すように、適合基準値である警告閾値５９をディスプレイに表示させることで、適合基準値以下の適合率をディスプレイに明示させてもよい。
【０１１１】
また表示制御部５６は、例えば図８に示すように、適合率の時系列のグラフをディスプレイに表示させてもよい。この図８において、６０は更新前の設備内部品固有データの適合率のグラフを示し、６１は更新後の設備内部品固有データの適合率のグラフを示している。
【０１１２】
表示制御部５６は、適合率を時系列で表示する場合には、所定の単位時間ごとの適合率をグラフで表示してもよい。図８には、３時間おきの適合率の変化が表示された場合を示している。
【０１１３】
設備内部品固有データが更新された場合には、評価期間中、更新前の設備内部品固有データの適合率のグラフ６０と、更新後の設備内部品固有データの適合率のグラフ６１が並列に表示される。なお、設備内部品固有データの更新は、ちょうど区切りのよいタイミングでなされるとは限らない。例えば図８に即して言えば、更新前後の設備内部品固有データの適合率のグラフ６０、６１は−２１時間を始点としているが、実際の始点は−２１時間であるとは限らない。
【０１１４】
なおここでは、部品ライブラリ制御部５２が、作業者により入力された情報を基に、更新後の設備内部品固有データ３２を作成する場合について説明したが、検査対象の部品のロットが切り替わるときに、画像処理部２７がその切り替え後の部品の画像を基に新たなテンプレートを構成し、その新たなテンプレートを用いて、部品ライブラリ制御部５２が更新後の設備内部品固有データ３２を作成してもよい。また、部品ライブラリ制御部５２が、部品ライブラリの提供元から配信された新しい基準部品ライブラリ３６に基づく設備内部品固有データ３２を作成し、それを更新後の設備内部品固有データ３２として設備内部品ライブラリ３０に保持させてもよい。
【０１１５】
この実施の形態１によれば、１枚の基板に実装される検査対象の部品が１０００点にも及び、かつ１００万点の部品検査に数点の誤認識のみが認められる程度の認識率が要求される生産ラインにおいて、高レベルの検査を実現するための、検査能力の実態に応じた設備内部品ライブラリの調整を、適切に行うことができる。
【０１１６】
（実施の形態２）
続いて、本発明の実施の形態２について、図面を参照して詳細に説明する。但し、前述の実施の形態１で説明した事項と同じ事項については説明を省略し、実施の形態１と異なる点を説明する。
【０１１７】
図９は本発明の実施の形態２における、基板に部品を実装する量産ラインの構成の概略を示す図である。
図９において、印刷機６２は、当該量産ラインを流れる図示しない基板にクリームはんだを印刷する。高速マウンタ６３は、クリームはんだが印刷された前記基板に、主に小型チップ部品を実装する。装着後部品検査機６４は実装部品検査装置の一例であり、前述の実施の形態１と同様に、設備内部品ライブラリ３０を用いた画像処理によって、高速マウンタ６３により部品が実装された前記基板に対して実装状態の検査を実施する。この検査の結果が良、すなわちＯＫである場合、そのＯＫと判断された前記基板は、次工程である多機能マウンタ６５へ搬送される。一方、装着後部品検査機６４による検査の結果が不良、すなわちＮＧであった場合、そのＮＧが発生している前記基板はＮＧバッファ６８へ振り分けられる。
【０１１８】
多機能マウンタ６５は、大型パッケージ商品を前記基板に実装する。大型パッケージ商品は、例えばＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＢＧＡ（Ball Grid Array）、コネクター、シールドケースなどである。リフロー６６は、前記基板とその前記基板に実装されている部品とをはんだ付けする。外観検査機６７は、部品がはんだ付けされた前記基板の外観を検査する。
【０１１９】
ＮＧバッファ６８には、上述したようにＮＧ基板が振り分けられる。ＮＧバッファ６８として、専用のバッファ装置を設けてもよいし、装着後部品検査機６４と多機能マウンタ６５との間の搬送レール上に前記基板を停止させてもよい。
【０１２０】
ＮＧ表示部６９は、ＮＧ基板のＮＧ箇所を作業者に明示的に知らしめる。図９にはＮＧ表示部６９がディスプレイである場合を示しているが、ＮＧ表示部６９は、例えば印刷機等であってもよい。ＮＧ箇所の表示は、前述の実施の形態１で説明した表示制御部５６により制御される。
【０１２１】
作業者は、ＮＧ表示部６９により明示されたＮＧ箇所を参考にして、ＮＧバッファ６８に振り分けられた前記基板を目視等して、装着後部品検査機６４によりＮＧと判断された箇所が、真の不良であるのか、過剰な判定であるのかを確認する。この確認された情報は、例えば作業者により図示しない入力部が操作されることで、装着後部品検査機６４へ入力される。入力部には、例えば、キーボード等を使用することができる。過剰な判定であると判断された基板は、ＮＧバッファ６８から多機能マウンタ６５へ搬入される。
【０１２２】
図１０に本発明の実施の形態２における装着後部品検査機６４による検査の結果の表を示す。図１０に示すように、検査機６４による検査の結果には、ＯＫとＮＧがあり、ＯＫには、真の正常の場合と、見逃しの場合つまり実際には正常ではないが検査機６４により正常であると判断される場合が含まれる。一方、ＮＧには、真の不良の場合と、過剰な判定の場合つまり実際には不良ではないが検査機６４により不良であると判断される場合が含まれる。しかしながら、通常、見逃しは認められず、見逃し数が０となるように、過剰な判定を増やす方向にテンプレート等が構成される。
【０１２３】
前述の実施の形態１では、実装部品検査装置がＯＫと判定した回数のみがカウントされて、ＮＧであることを正しく判定した回数、つまり真の不良の回数はカウントされない。そのため、検査に適した設備内部品固有データを使用している場合でも、真の不良が多いときには適合率が悪化するので、設備内部品固有データの無用な調整が行われることになる。
【０１２４】
そこで、この実施の形態２では、ＮＧバッファ６８に搬送されたＮＧ基板を作業者が目視等により確認し、真の不良であるか過剰な判定であるかを示す情報を装着後部品検査機６４へ入力し、真の不良であることを示す情報が入力された場合には、適合率の算出に用いる適合数をカウントアップするようにした。
【０１２５】
図１１は本発明の実施の形態２における装着後部品検査機６４の構成の概略を示す図、図１２は本発明の実施の形態２における部品ライブラリの構成の概略を示す図である。但し、前述の実施の形態１と同じ要素については説明は省略し、それと異なる要素についてのみ説明する。
【０１２６】
図１１に示すように、この装着後部品検査機６４は、画像処理部２７による検査の結果が不良（ＮＧ）の場合に、その不良が真の不良であるのか過剰な判定であるのかを示す情報（真の不良情報・過剰判定情報）が適合率算出部５４に入力され、真の不良であるときには、適合率の算出に用いる適合数がカウントアップされる点が前述の実施の形態１と異なる。これにより、真の不良が多い場合でも適合率が悪化することはなくなる。
【０１２７】
また、過剰な判定は極限まで減らすことが要求されている。そこで、この実施の形態２では、画像処理部２７による検査の結果がＮＧと判定された回数に占める過剰な判定の割合を示す過剰判定率を、適合率と同様に、作業者へ通知できるようにした。さらに適合率と同様に、過剰判定率の良否を判断するための過剰判定基準値を警告閾値として作業者へ通知できるようにした。
【０１２８】
すなわち、図１２に示すように、設備内部品ライブラリ３０に、適合率および適合基準値とは別に、過剰判定率と過剰判定基準値を保持させている。なお、図１２に示すように、設備内部品ライブラリ３０が、過剰判定率というリアルタイムの情報を持つ一方で、基準部品ライブラリ３６は、当該基準部品ライブラリ３６に対応する設備内部品ライブラリ３０が保持する過剰判定率の、これまでに得られた最大値および最小値のパラメータを持つ。このパラメータは、提供先の設備内部品ライブラリ３０が保持するリアルタイムに変化する過剰判定率が、それまでに得られた最大値を超えたとき、または、それまでに得られた最小値を下回ったときに、提供先からの通知を受けて更新される。
【０１２９】
前記の過剰判定率と過剰判定基準値は、図１１に示すように、それぞれ過剰判定率記憶部７０と過剰判定基準値記憶部７１に記憶されている。また図１１に示すように、装着後部品検査機６４は、過剰判定率取得部の一例である過剰判定率算出部７２を備える。過剰判定率算出部７２は、結果判定部５３による検査の判定が不良であることを示す情報（ＯＫ情報・ＮＧ情報）と、その不良が真の不良であるか過剰判定であるかを示す情報（真の不良情報・過剰判定情報）と、その検査に使用された設備内部品固有データ３２を識別する情報を基に、その使用された設備内部品固有データ３２の過剰判定率を取得する。さらに過剰判定率算出部７２は、その取得された過剰判定率を部品ライブラリ記憶部２９に記憶させる。
【０１３０】
過剰判定率の算出は、前述した適合率と同様の算出方法で実現できる。すなわち、設備内部品固有データを用いた検査が実施されると、その実施された検査の結果が不良（ＮＧ）で、かつ真の不良ではないが過剰な判定である場合に、過剰判定率算出部７２により、当該設備内部品固有データの過剰判定数がカウントアップされ、その過剰判定数が、当該設備内部品固有データを使用して実施された検査の結果が不良であると結果判定部５３により判定された回数で除されて、過剰判定率が算出される。過剰判定数は、真の不良ではないが過剰な判定であることを示す情報をカウントしたカウント値を表し、過剰判定率は、過剰な判定がなされた割合を示す。
【０１３１】
また表示制御部５６が、適合率の通知と、所定の基準値である適合基準値以下の適合率の通知と同様に、過剰判定率の通知と、所定の基準値である過剰判定基準値以上の過剰判定率の通知を行う。この表示制御部５６は、過剰判定率通知部を実現する。
【０１３２】
過剰判定率の通知は、適合率の通知と同様に、部品の名称ごとに区分けした過剰判定率の表をディスプレイ等に明示させてもよいし、時系列の過剰判定率のグラフをディスプレイ等に明示させてもよい。
【０１３３】
また適合率の通知と同様に、部品の名称ごとに区分けした過剰判定率の表をディスプレイ等に明示させる場合、例えば、評価中の設備内部品固有データの過剰判定率とそれ以外の設備内部品固有データの過剰判定率の色を変えるなどして、現在評価中の設備内部品ライブラリを明示させてもよい。さらに、過剰判定基準値である警告閾値を明示させることで、過剰判定基準値以上の過剰判定率を明示させてもよい。
【０１３４】
また適合率の通知と同様に、過剰判定率を時系列で表示する場合には、所定の単位時間ごとの過剰判定率をグラフで表示してもよい。
【０１３５】
このように、過剰判定率と、その過剰判定率の良否を判断するための過剰判定基準値を作業者へ通知することで、過剰な判定がより着目されやすくなる。
【０１３６】
なお、上記した過剰判定率算出部７２は、例えばパーソナルコンピュータ等のプログラムを実行する機器で実現できるように、プログラム化されていてもよい。
【０１３７】
以上説明したように、この実施の形態２によれば、装着後部品検査機６４による検査結果の判定のみで設備内部品固有データの適合率を算出するのではなく、真の不良の情報も使って適合率を算出するので、真の不良が多数発生する場合の適合率の精度を向上させることができる。また、過剰な判定の情報を使って過剰判定率を算出し、その算出した過剰判定率を作業者に通知するので、過剰な判定に着目した設備内部品ライブラリの修正が可能となる。
【０１３８】
なお、以上の説明では、装着後部品検査機６４が、高速マウンタ６３と多機能マウンタ６５との間に個別に配置されている場合について説明したが、例えば図１３に示すように、高速マウンタ６３に装着後部品検査機６４を設けてもよい。この高速マウンタ６３は、装着後部品検査機６４により実装部品の検査を実施することができる。
【０１３９】
（実施の形態３）
続いて、本発明の実施の形態３について、図面を参照して詳細に説明する。但し、前述の実施の形態１および２で説明した事項と同じ事項については詳しい説明を省略する。
【０１４０】
図１４は本発明の実施の形態３における部品ライブラリの配信方法を示す図である。
図１４において、カスタマー（部品ライブラリの提供先）はメーカー（部品ライブラリの提供元）と部品ライブラリのサポート契約を締結している。
【０１４１】
カスタマーが使用している部品ライブラリの適合率が警告閾値よりも低くなった場合に、カスタマーからメーカーに通知が行われる（ステップＳ２１）。具体的には、カスタマーは、問題となる部品の画像のうちから、正しく認識されなかった時の画像である誤認識画像を日報として日々収集しており、それらの誤認識画像と共に、それらが撮像された時の適合率、判定閾値データ３３、スケール変換データと明度補正データからなる設備固有データ３４をメーカーへ通知する。
【０１４２】
カスタマーは、収集した誤認識画像を、日々の検査状況を知らしめる日報として使う。一方、メーカーには、上述したように、誤認識画像と共に、適合率、判定閾値データ３３、スケール変換データおよび明度補正データが通知されており、メーカーでカスタマーにおける検査状況を再現できるようになっている。
【０１４３】
通知を受けたメーカーは、該当の部品の基準部品ライブラリ３６に、アップデートされた基準部品ライブラリが存在するか否かを確認し、アップデートされた基準部品ライブラリが存在する場合には、それを用いて実装部品の検査を実施する。その検査の結果、カスタマーの誤認識が解消された場合には、そのアップデートされた基準部品ライブラリを配信する（ステップＳ２２）。
【０１４４】
配信を受けたカスタマーは、一定期間、これまで使用していた設備内部品固有データと、配信された基準部品ライブラリに基づく設備内部品固有データとを併用して、それらの設備内部品固有データの適合率を評価する（ステップＳ２３）。評価には、過剰判定率を用いてもよい。この評価の結果はメーカーに配信される。
【０１４５】
配信された基準部品ライブラリに基づく設備内部品固有データの適合率が、これまで使用していた設備内部品固有データの適合率よりも高い場合は、例えば、メーカーはカスタマーに課金請求を行うようにする（ステップＳ２４）。
【０１４６】
課金請求を受けたカスタマーが支払いを済ませた後に、アップデートされた基準部品ライブラリに基づく設備内部品固有データは正式に使用可能になり、これまで使用していた設備内部品固有データと入れ替えられる。一方、カスタマーによる支払いが一定期間確認されない場合は、配信された基準部品ライブラリの使用は許可されず、それまで使用していた設備内部品固有データに戻される。
【０１４７】
ステップＳ２２にて、アップデートされた基準部品ライブラリが存在しない場合に、メーカーとカスタマーとの契約内容によっては、メーカーにて部品ライブラリを新たにアップデートして配信することもできる。同様に、ステップＳ２３にて、配信された基準部品ライブラリに基づく設備内部品固有データの適合率が、これまで使用していた設備内部品固有データの適合率よりも低い場合にも、メーカーとカスタマーとの契約内容によっては、メーカーにて部品ライブラリを新たにアップデートして配信することもできる。
【０１４８】
また、メーカーがサポートするのは、設備固有データ３４から分離された設備内部品固有データ３２のみであるので、メーカーは個々の設備毎に調整したデータを作成する必要はない。
【０１４９】
以上説明したように、この実施の形態３によれば、十分な専門知識を持つ専任担当者がいない現場においても、カスタマーの検査機の状況を部品形状別にメーカーが適合率という数値で把握し、メーカーが保有する最新の基準部品ライブラリを逐次提供できるため、検査機を高度なレベルで運用することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１５０】
本発明にかかる実装部品検査装置、およびその実装部品検査装置を備えた部品実装機、並びに実装部品検査方法は、修正によって部品ライブラリの性能の向上が図られていることを定量的に確認することができ、かつ適切な部品ライブラリを速やかに投入することができ、基板に部品を実装する生産ラインにおける実装部品の検査以外に、例えば、半導体分野におけるデバイス検査等の用途にも適用できる。
【符号の説明】
【０１５１】
１、２１      カメラ
２、２２      ステージ
３、２３      基板
４、２４      部品
５、２５      照明部
６、２６      画像撮像部
７、２７      画像処理部
８、４６      エッジ部分抽出部
９、４７      テンプレート構成／登録部
１０、４８      マッチング演算部
１１、４９      部品位置計測部
１２、５０      テンプレート選択部
１３、５１      テンプレート使用頻度更新／記憶処理部
２８      設備固有データ記憶部
２９      部品ライブラリ記憶部
３０      設備内部品ライブラリ
３１      設備内部品ライブラリデータベース
３２      設備内部品固有データ
３３      判定閾値データ
３４      設備固有データ
３５      マシンパラメータ
３６      基準部品ライブラリ
３７      基準部品ライブラリデータベース
３８      部品形状変換データベース
３９      形状データ記憶部
４０      認識パラメータ記憶部
４１      テンプレート記憶部
４２      テンプレート使用頻度記憶部
４３      適合率記憶部
４４      適合基準値記憶部
４５      判定閾値データ記憶部
５２      部品ライブラリ制御部
５３      結果判定部
５４      適合率算出部
５５      評価期間計測部
５６      表示制御部
５７      警告処理部
５８      テンプレート
５９      警告閾値
６０      更新前の設備内部品固有データの適合率のグラフ
６１      更新後の設備内部品固有データの適合率のグラフ
６２      印刷機
６３      高速マウンタ
６４      装着後部品検査機
６５      多機能マウンタ
６６      リフロー
６７      外観検査機
６８      ＮＧバッファ
６９      ＮＧ表示部
７０      過剰判定率記憶部
７１      過剰判定基準値記憶部
７２      過剰判定率算出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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