(57)【要約】【課題】大容量のガスを小スペースで、且つ安定して供給出来るガス供給装置を実現する。【解決手段】所定のガスを供給するガス供給装置において、前記所定のガスの冷媒が内蔵される冷媒コンテナと、この冷媒コンテナに設けられ前記冷媒を加熱する加熱手段と、この冷媒コンテナの出力口に接続された流量計と、前記冷媒コンテナに設けられた安全弁とを具備したことを特徴とするガス供給装置である。【選択図】図１
2010286006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のガスを供給するガス供給装置において、
前記所定のガスの冷媒が内蔵される冷媒コンテナと、
この冷媒コンテナに設けられ前記冷媒を加熱する加熱手段と、
この冷媒コンテナの出力口に接続された流量計と、
前記冷媒コンテナに設けられた安全弁と
を具備したことを特徴とするガス供給装置。
【請求項２】
前記冷媒は、ヘリウムが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載のガス供給装置
【請求項３】
前記加熱手段は、一端側が前記冷媒コンテナ内に設けられ他端側が前記冷媒コンテナ外に設けられた熱伝導棒
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のガス供給装置。
【請求項４】
前記熱伝導棒は銅材からなる棒体が使用されたこと
を特徴とする請求項３記載のガス供給装置。
【請求項５】
前記加熱手段は、前記流量計からの信号に基づき制御信号を出力する制御部と、
前記冷媒コンテナ内の冷媒内に設けられ前記制御信号に基づき制御されるヒータと
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のガス供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大容量のガスを供給するガス供給装置に関するものである。
さらに詳しくは、冷媒コンテナ内の冷媒をガス化して、大容量のガスを安定供給するガス供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図３は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
ガスをガス供給装置であるガスボンベから供給する図である。
図において、高圧ガス１１が入っているガスボンベ１２の出力口に、圧力レギュレーター１３が取り付けられている。
圧力レギュレーター１３の出力口には、流量計１４が取り付けられている。
【０００３】
以上の構成において、ガスボンベ１２の出力口に圧力レギュレーター１３が取り付けられる。
流量計１４でガス１１の流量を確認し、圧力レギュレーター１３で圧力を制御することで流量を調整する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０５−１７２３００号公報
【特許文献２】実開平０６−０７８６９９号公報
【特許文献３】特開平０７−００２２２３号公報
【特許文献４】特開２００２−１３０５９６号公報
【特許文献５】特開２００５−０５２７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような装置においては、以下の問題点がある。
ガスボンベは、例えば、１５ＭＰａと高圧な状態でガスを詰め込んでいる。
しかし、大気圧にすると、ボンベ容量の１５０倍しか得られない。
そのため大容量のガスを安定に供給するためには、何本ものガスボンベを用意し、配置、配管するスペースを必要とし、設置コストも掛かる。
【０００６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、大容量のガスを小スペースで、且つ安定して供給出来るガス供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のガス供給装置においては、
所定のガスを供給するガス供給装置において、前記所定のガスの冷媒が内蔵される冷媒コンテナと、この冷媒コンテナに設けられ前記冷媒を加熱する加熱手段と、この冷媒コンテナの出力口に接続された流量計と、前記冷媒コンテナに設けられた安全弁とを具備したことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２のガス供給装置においては、請求項１記載のガス供給装置において、
前記冷媒は、ヘリウムが使用されたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３のガス供給装置においては、請求項１又は請求項２記載のガス供給装置において、
前記加熱手段は、一端側が前記冷媒コンテナ内に設けられ他端側が前記冷媒コンテナ外に設けられた熱伝導棒を具備したことを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項４のガス供給装置においては、請求項３記載のガス供給装置において、
前記熱伝導棒は銅材からなる棒体が使用されたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項５のガス供給装置においては、請求項１又は請求項２記載のガス供給装置において、
前記加熱手段は、前記流量計からの信号に基づき制御信号を出力する制御部と、前記冷媒コンテナ内の冷媒内に設けられ前記制御信号に基づき制御されるヒータとを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
冷媒をガス化するので、大容量のガスを小スペースで供給できるガス供給装置が得られる。
ガスの供給停止間隔を大幅に伸ばすことが出来、メンテナンスコストを低減できるガス供給装置が得られる。
熱伝導棒の冷媒コンテナへの挿入する長さを変えることで、冷媒への熱侵入量を制御して、冷媒のガス化する量を調整出来、ガスを安定に供給することができる。
【００１３】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
特に、ヘリウム回収装置用リザーバコンテナとして適用することで、ヘリウム供給間隔を大幅に伸ばすことが出来るガス供給装置が得られる。
【００１４】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
加熱手段は、一端側が冷媒コンテナ内に設けられ、他端側が冷媒コンテナ外に設けられた熱伝導棒が設けられたので、加熱手段が簡潔なガス供給装置が得られる。
【００１５】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
熱伝導棒は銅材からなる棒体が使用されたので、銅材は熱伝導率が良好なので、加熱手段の効率が良好なガス供給装置が得られる。
【００１６】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
加熱手段は、流量計からの信号に基づき制御信号を出力する制御部と、冷媒内に設けられ制御信号に基づき制御されるヒータとが設けられたので、冷媒のガス化する量を精度良く調整出来、ガスを精度良く、安定に供給することができるガス供給装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
【００１９】
図１において、冷媒コンテナ２１は、所定のガス２２の冷媒２３が内蔵される。
この場合は、ガス２２はヘリウムが使用されている。
加熱手段２４と、この冷媒コンテナ２１に設けられ、冷媒２３を加熱する。
【００２０】
この場合は、加熱手段２４は、一端側が冷媒コンテナ２１内に設けられ、他端側が冷媒コンテナ２１の外に設けられ、銅材からなる熱伝導棒２４１が使用されている。
流量計２５は、冷媒コンテナ２１の出力口２１１に接続されている。
安全弁２６は、冷媒コンテナ２１に設けられている。
【００２１】
以上の構成において、冷媒２３をガス化するために冷媒コンテナ２１の中に熱伝導棒２４１を入れて、その挿入する長さで、ガス２２の流量を調整するものである。
冷媒２３をガス化すると大容量のガス２２を得ることができる。例えばヘリウムの場合、冷媒をガス化して常温にすると約７５０倍の容量のガスを得ることができる。
熱伝導棒２４１を冷媒コンテナ２１内に挿入すると、冷媒２３への熱侵入量が増えてガス化する。
【００２２】
冷媒コンテナ２１の出力口２１１に付けられた流量計２５で流量を計測し、所定の流量が得られるだけ熱伝導棒２４１を挿入し固定することで、ガス２２が安定供給される。
この場合は、熱伝導棒２４１として、熱伝導の良い物質、たとえば銅などが使用される。
冷媒コンテナ２１は、ガスボンベのように圧力容器ではないので、安全弁２６が付けられる。
【００２３】
この結果、
冷媒２３をガス化するので、大容量のガス２２を小スペースで供給できるガス供給装置が得られる。
ガス２２の供給停止間隔を大幅に伸ばすことが出来、メンテナンスコストを低減できるガス供給装置が得られる。
【００２４】
熱伝導棒２４１の冷媒コンテナ２１への挿入する長さを変えることで、冷媒２３への熱侵入量を制御して、冷媒２３のガス化する量を調整出来、ガス２２を安定に供給することができるガス供給装置が得られる。
【００２５】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、加熱手段３１は、流量計２５からの信号に基づき制御信号を出力する制御部３１１と、冷媒コンテナ２１内の冷媒２３内に設けられ、制御信号に基づき制御されるヒータ３１２とを有する。
【００２６】
即ち、冷媒２３をガス化するために冷媒コンテナ２１の中にヒーター３１２を入れて、制御部３１１で電力を制御することでガス２２の流量を調整するものである。
冷媒２３をガス化すると大容量のガス２２を得ることができる。例えばヘリウムの場合、冷媒をガス化して常温にすると約７５０倍の容量のガスを得ることができる。
【００２７】
冷媒２３のガス化にはヒーター３１２を使用し、その電力で冷媒２３へ加える熱量を調整する。
出力口２１１に付けられた流量計２５で流量を計測し、流量が一定になるようにヒーター３１２の電力を制御することでガス２２を安定に供給する。
冷媒コンテナ２１はガスボンベのように圧力容器ではないので、安全弁２６が付けられる。
【００２８】
この結果、加熱手段３１は、流量計２５からの信号に基づき、制御信号を出力する制御部３１１と、冷媒２３内に設けられ、制御信号に基づき制御されるヒータ３１２とが設けられたので、冷媒２３のガス化する量を精度良く調整出来、ガス２２を精度良く、安定に供給することができるガス供給装置が得られる。
【００２９】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【符号の説明】
【００３０】
１１    高圧ガス
１２    ガスボンベ
１３    圧力レギュレータ
１４    流量計
２１    冷媒コンテナ
２１１  出力口
２２    ガス
２３    冷媒
２４    加熱手段
２４１  熱伝導棒
２５    流量計
２６    安全弁
３１    加熱手段
３１１  制御部
３１２  ヒータ
【図１】
2010286006.tif 000003
【図２】
2010286006.tif 000004
【図３】
2010286006.tif 000005