(57)【要約】      （修正有）【課題】専用で製作する部分を減少させ、製造コストの低減化、保管スペースの省略化を図り、且つ、製作部品の削減及び製作工数の減少を可能にする。【解決手段】検査治具２４にはスキャナー２５に接続した中継用接触針４２が設けられ、中継用接触針４２と検査用接触針２９との間には、両者を電気的に接続するための接続専用基盤４１が配設され、接続専用基盤４１の表面における検査用接触針２９の検査位置と対応する箇所に検査専用ランド５０が形成され、且つ、接続専用基盤４１の裏面における中継用接触針４２の固定位置と対応する箇所に中継汎用ランド５１が形成され、接続専用基盤４１の裏面側の中継汎用ランド５１及び中継用接触針４２を含む構成部分を汎用化できるように構成する。【選択図】図３
2010145381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキャナーに接続された昇降可能な一対の検査治具に夫々検査用接触針を取り付け、該一対の検査治具の間に被検査物としての配線基板を配置し、該配線基板の配線パターンの検査点に検査用接触針を接触させて、該配線パターンの断線や短絡等の検査を電気的に行えるようにした基板検査装置において、
前記検査治具にはスキャナーに接続した中継用接触針が設置され、該中継用接触針と前記検査用接触針との間には、該中継用接触針と検査用接触針とを電気的に接続するための接続専用基盤が配設され、
該接続専用基盤の表面における前記検査用接触針と対応する箇所に検査専用ランドが形成され、且つ、前記接続専用基盤の裏面における前記中継用接触針と対応する箇所に中継汎用ランドが形成され、該接続専用基盤の裏面側の中継汎用ランド及び前記中継用接触針を含む部分を汎用化できるように構成したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
上記中継用接触針と上記検査用接触針とを電気的に接続するための上記接続専用基盤が両面銅張り配線基板であって、該両面銅張り配線基板の表面及び裏面に夫々上記検査専用ランド及び上記中継汎用ランドが形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
上記中継用接触針と上記検査用接触針とを電気的に接続するための上記接続専用基盤が片面フレキシブルプリント配線板であって、該片面フレキシブルプリント配線板の表面の一側及び他側に夫々上記検査専用ランド及び上記中継汎用ランドが互いに離間して形成され、該片面フレキシブルプリント配線板は、前記中継用接触針と検査用接触針との間に設けたベースプレートの端縁部にＵ字状に巻き付けた状態で該ベースプレートの表裏両面に貼り付けられ、該ベースプレートの表面及び裏面に夫々前記検査専用ランド及び前記中継汎用ランドが配設されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の基板検査装置に用いられる検査治具の製造方法であって、
該検査治具に中継用接触針を設置すると共に、該中継用接触針と検査用接触針との間に、該検査用接触針と対応する検査専用ランド並びに中継用接触針と対応する中継汎用ランドが形成された接続専用基盤を配設する工程と、
前記中継汎用ランドに前記中継用接触針を接続する工程とを備え、
該中継汎用ランド及び前記中継用接触針を含む部分を汎用化できるようにしたことを特徴とする検査治具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板検査装置及び検査治具の製造方法に関するものであり、特に、プリント配線基板等の断線や短絡等を電気的に検査する基板検査装置及び検査治具の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面に配線パターンが形成されたプリント配線基板又は多層配線基板等の基板（以下、「配線基板」と称する。）の製造工程では、配線基板の表面に配線パターンを形成した後に、基板検査装置を用いて配線パターンの断線や短絡等の検査が行われる。この場合、配線パターンの複数の検査点から検査用電気信号を取得し、該検査用電気信号に基づいて検査点同士間の導通の有無や抵抗値などを検出することにより、配線パターンの断線や短絡の良否を検査している。
【０００３】
此種基板検査装置の従来例を図７に示す。同図に示すように、基板検査装置１は上下一対の上部検査治具３及び下部検査治具４を備え、該上部検査治具３及び下部検査治具４は、検査対象物としての配線基板Ｗの上下両側に位置するように配設されている。そして、上部検査治具３及び下部検査治具４は、エアシリンダ等の昇降駆動手段（図示せず）により昇降動作するように構成されている。
【０００４】
更に、上部検査治具３及び下部検査治具４は夫々、先端方向にバネ付勢された接触針２を複数備え、該接触針２はコネクタ（図示せず）を介して前記スキャナー５に接続されている。そして、個々の接触針２は、配線基板Ｗに形成された配線パターンの検査点、例えば、ランド又はパッドと対応する検査位置に配設され、該スキャナー５にはテスターコントローラ６、制御部７及び操作パネル８が直列に接続されている。
【０００５】
而して、上部検査治具３及び下部検査治具４を配線基板Ｗ側に接近させると、配線基板Ｗの配線パターンの検査点に前記接触針２が弾性的に接触する。そして、操作パネル８により検査開始の電気信号を入力すると、テスターコントローラ６からスキャナー５に制御信号が送信され、接触針２を介して前記配線基板Ｗの検査点に電気信号が出力される。
【０００６】
これにより、前記配線パターンの検査点から検査用電気信号が取得され、この検査用電気信号に基づいて、検査点同士間の導通の有無や抵抗値などが検出されることで、配線パターンの断線や短絡等の良否が検査される（例えば、特許文献１及び２参照）。
【特許文献１】特開２００５−１７２６０３号公報
【特許文献２】特開平６−１１２６９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来の基板検査装置によれば、上部検査治具３及び下部検査治具４は双方とも配線基板Ｗの配線パターンに応じて専用の治具として製作する必要がある。ここで、上部検査治具３及び下部検査治具４は、図８に示すように、ベースブロック１１と、該ベースブロック１１の上側に配設された２枚の位置決め板１２，１３とを備え、互いに略同一の構造を有している。依って、下部検査治具４の構造についてのみ説明し、上部検査治具３の構造の説明を省略するものとする。
【０００８】
図９に例示するように、２枚の位置決め板１２，１３は複数の支柱１０を介して互いに連結されている。そして、位置決め板１３の上側には垂直保持ブロック１４が設置され、該垂直保持ブロック１４及び位置決め板１２，１３には挿通孔１５，１６及び１７が夫々開穿され、該挿通孔１５，１６及び１７は、配線基板Ｗの検査点に対応する箇所に配設されている。
【０００９】
又、位置決め板１２，１３の挿通孔１６，１７には検査用の接触針２が上下動可能に嵌挿されている。図９では接触針２の取付構造は説明の都合上簡略化して示しているが、実際には、図１０に例示するように、挿通孔１６，１７に圧入固定したソケット（図示せず）に、上端開口部を有する円筒状のプローブスリーブ２０Ａが上下動可能に装着され、該プローブスリーブ２０Ａ内に接触針２が上下動可能に嵌挿されているとともに、接触針２の下端部とプローブスリーブ２０Ａ底面の間にはコイルバネ２０Ｂが介装されている。
【００１０】
接触針２の上端部は、垂直保持ブロック１４の上方に突出可能に臨んでいる。更に、ベースブロック１１における接触針２の下端部（可動部）２Ａに対応する箇所には、電極部（プローブ受けピン）１８が半田付けされている。更に、電極部１８の下端にはワイヤケーブル１９の一端部が接続され、該ワイヤケーブル１９の他端部はコネクタ２１を介して上記スキャナー５側に接続されている。従って、接触針２とスキャナー５間の電気信号の授受は、電極部１８及びワイヤケーブル１９を介して行われる。
【００１１】
上記下部検査治具４を製作する場合は、ベースブロック１１に接触針２と対応する個数の電極部１８を半田付けする工程と、該電極部１８及びコネクタ２１にワイヤケーブル１９を結線する工程を必要とするので、製作工数が増加すると共に製作部品の点数も多くなる。特に、近年では配線基板Ｗの高密度配線に伴い、接触針２の数が数千本に増加する傾向にあり、それに応じて電極部１８の個数も増加している。その結果、ベースブロック１１への電極部２２の半田付け作業、並びに電極部１８及びコネクタ２１へのワイヤケーブル１９の結線作業が非常に面倒になっている。このことは、上記上部検査治具３を製作する場合も同様である。
【００１２】
以上のように、上部検査治具及び下部検査治具は、ベースブロックを基準とする配線基板側の構造（製品側部分）とスキャナー側の構造（設備側部分）との双方を、配線基板の配線パターンに対応した専用の構造に製作しなければならない。その結果、配線基板の製品規格や種類が変更された際、電極部の半田付け工程、並びにワイヤケーブルの結線工程を必要とする。従って、上部検査治具及び下部検査治具の製作部品が増加して、基板検査装置の製造コストが高騰するのみならず、製作部品を保管するために広いスペースが必要となる。又、製作工数が増加して製作工期も長くなるという問題があった。
【００１３】
そこで、配線基板の配線パターンに対応する検査治具の専用部分を減少させ、基板検査装置の製造コストの低減化、部品保管用スペースの縮小化を図り、且つ、部品点数の削減及び製作工数の減少を可能にするために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、スキャナーに接続された昇降可能な一対の検査治具に夫々検査用接触針を取り付け、該一対の検査治具の間に被検査物としての配線基板を配置し、該配線基板の配線パターンの検査点に検査用接触針を接触させて、該配線パターンの断線や短絡等の検査を電気的に行えるようにした基板検査装置において、前記検査治具にはスキャナーに接続した中継用接触針が設置され、該中継用接触針と前記検査用接触針との間には、該中継用接触針と検査用接触針とを電気的に接続するための接続専用基盤が配設され、該接続専用基盤の表面における前記検査用接触針と対応する箇所には検査専用ランドが形成され、且つ、前記接続専用基盤の裏面における前記中継用接触針と対応する箇所には中継汎用ランドが形成され、該接続専用基盤の裏面側の中継汎用ランド及び前記中継用接触針を含む部分を汎用化できるように構成したことを特徴とする基板検査装置を提供する。
【００１５】
この構成によれば、接続専用基盤の表面に検査専用ランドを形成し、且つ、該接続専用基盤の裏面に中継汎用ランドを形成する。そして、中継用接触針の設置位置と対応する箇所に中継汎用ランドを形成することで、該中継汎用ランドに中継用接触針が接触して接続される。
【００１６】
そのため、中継汎用ランド及び中継用接触針を含む部分は、汎用化された構造になるので、配線基板の製品規格や種類が変更された場合でも、中継汎用ランド及び中継用接触針を含む部分を新たに製作する必要はない。従って、検査用接触針及び検査専用ランドのみを専用部分として製作すればよい。
【００１７】
請求項２記載の発明は、上記中継用接触針と上記検査用接触針とを電気的に接続するための上記接続専用基盤が両面銅張り配線基板であって、該両面銅張り配線基板の表面及び裏面に夫々上記検査専用ランド及び上記中継汎用ランドが形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
【００１８】
この構成によれば、中継用接触針と検査用接触針とは、検査専用ランドと中継汎用ランドが形成された両面銅張り配線基板により電気的に接続される。そして、検査対象である配線基板Ｗの製品規格や種類が変更された場合には、両面銅張り配線基板の検査専用ランド側の配線パターンのみをレーザー加工等により形成すればよい。
【００１９】
請求項３記載の発明は、上記中継用接触針と上記検査用接触針とを電気的に接続するための上記接続専用基盤が該片面フレキシブルプリント配線板であって、片面フレキシブルプリント配線板の表面の一側及び他側に夫々上記検査専用ランド及び上記中継汎用ランドが互いに離間して形成され、該片面フレキシブルプリント配線板は、前記中継用接触針と検査用接触針との間に設けたベースプレートの端縁部にＵ字状に巻き付けた状態で該ベースプレートの表裏両面に貼り付けられ、該ベースプレートの表面及び裏面に夫々前記検査専用ランド及び前記中継汎用ランドが配設されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
【００２０】
この構成によれば、中継用接触針と検査用接触針とは、ベースプレートの上下両面に貼り付けた片面フレキシブルプリント配線板により電気的に接続される。そして、配線基板の製品規格や種類が変更された場合には、片面フレキシブルプリント配線板の検査専用ランドを含む配線パターンの部分のみをダイレクト露光加工等により形成すればよい。
【００２１】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の基板検査装置に用いられる検査治具の製造方法であって、該検査治具に中継用接触針を設置すると共に、該中継用接触針と検査用接触針との間に、該検査用接触針と対応する検査専用ランド並びに中継用接触針と対応する中継汎用ランドが形成された接続専用基盤を配設する工程と、前記中継汎用ランドに前記中継用接触針を接続する工程とを備え、中継汎用ランド及び前記中継用接触針を含む部分を汎用化できるようにしたことを特徴とする検査治具の製造方法を提供する。
【００２２】
この製造方法によれば、先ず、検査治具に中継用接触針を設置すると共に、該中継用接触針と前記検査用接触針との間に、検査専用ランド及び中継汎用ランドが形成された接続専用基盤を配設する。この場合、接続専用基盤は両面銅張り配線基板又は片面フレキシブルプリント配線板を用いて形成できる。次に、前記中継汎用ランドに前記中継用接触針を接続する。
【００２３】
このようにして製造された検査治具は、中継汎用ランド及び中継用接触針を含む部分が汎用化される。そのため、配線基板の製品規格や種類が変更された場合、中継汎用ランド及び中継用接触針を含む部分を新たに製作する必要はない。従って、検査用接触針及び検査専用ランドを含む製品側治具部分のみを専用部分として製作すればよい。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１記載の発明は、配線基板の製品規格や種類が変更された場合には、検査用接触針及び検査専用ランドを含む製品側部分のみを製作すればよいので、従来例に比して専用で製作しなければならない部分が半減する。なお、これまでに述べた「接続専用基盤」とは、上記中継用接触針と検査用接触針とを電気的に接続するためのプリント基板を総称したものである。
【００２５】
斯くして、電極部の半田付け工程及びワイヤケーブルの結線工程が不要になるため、検査治具の製作部品が減少して製造コストが低減し、しかも、製作部品を保管するためのスペースを縮小することができる。又、製作工数が減少するので製作工期を短縮させることができる。
【００２６】
請求項２記載の発明は、配線基板の製品規格や種類が変更された場合には、両面銅張り配線基板の検査専用ランド側の配線パターンのみをレーザー加工等により形成すればよいので、請求項１記載の発明の効果に加えて、上部検査治具及び下部検査治具の製作工期が一層短縮し、且つ、上部検査治具及び下部検査治具を安価に量産化することができる。
【００２７】
請求項３記載の発明は、配線基板の製品規格や種類が変更された場合には、片面フレキシブルプリント配線板の検査専用ランドを含む配線パターンの部分のみをダイレクト露光加工等により形成すればよいので、請求項１記載の発明の効果に加えて、上部検査治具及び下部検査治具の製作工期が一層短縮し、且つ、上部検査治具及び下部検査治具を安価に量産化することができる。
【００２８】
請求項４記載の発明は、配線基板の製品規格や種類が変更された場合には、検査用接触針及び検査専用ランドを含む製品側治具部分のみを製作すればよいので、従来例に比して専用で製作しなければならない部分が半減する。その結果、電極部の半田付け工程及びワイヤケーブルの結線工程が不要になるため、検査治具の製作部品が減少して製造コストが低減する。加えて、製作部品用の保管スペースを縮小でき、又、製作工数が減少して製作工期を短縮させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明は、基板の配線パターンに対応する専用構造の部分を減少させ、基板検査装置の製造コストの低減化、部品保管用スペースの縮小化を図り、且つ、製作部品の削減及び製作工数の減少を可能にするという目的を達成するために、スキャナーに接続された昇降可能な一対の検査治具に夫々検査用接触針を取り付け、該一対の検査治具の間に被検査物としての配線基板を配置し、該配線基板の配線パターンの検査点に検査用接触針を接触させて、該配線パターンの断線や短絡等の検査を電気的に行えるようにした基板検査装置において、前記検査治具にはスキャナーに接続した中継用接触針が設置され、該中継用接触針と前記検査用接触針との間には、該中継用接触針と検査用接触針とを電気的に接続するための接続専用基盤が配設され、該接続専用基盤の表面における前記検査用接触針と対応する箇所には検査専用ランドが形成され、且つ、前記接続専用基盤の裏面における前記中継用接触針と対応する箇所には中継汎用ランドが形成され、該接続専用基盤の裏面側の中継汎用ランド及び前記中継用接触針を含む部分を汎用化できるように構成したことにより実現した。
【実施例】
【００３０】
以下、本発明の好適な一実施例を図１乃至図６に従って説明する。本実施例に係る基板検査装置の基本的な構成は、検査治具を除いて図７の従来例と略同様である。図１に示すように、基板検査装置２２は、一対の上部検査治具２３及び下部検査治具２４を備え、該上部検査治具２３及び下部検査治具２４は配線基板（検査対象物）Ｗの上下両側に位置するように設置され、昇降駆動手段（図示せず）により昇降動作するように構成されている。
【００３１】
更に、上部検査治具２３及び下部検査治具２４は夫々、先端方向にバネ付勢された検査用接触針２９を多数本、例えば、数百本乃至千本以上備え、該検査用接触針２９は、図３に示すように、接続専用基盤４１、中継用接触針４２及びワイヤケーブル４０を介してスキャナー２５に接続されている。そして、個々の検査用接触針２９は、配線基板Ｗに形成された配線パターンのランド又はパッド等の検査点と対応する検査位置に配設されている。尚、図２では、検査用接触針２９及び中継用接触針４２は説明の都合上１本のみを示している。
【００３２】
図１に示すように、上記スキャナー２５にはテスターコントローラ２６、制御部２７及び操作パネル２８が直列に接続されている。而して、上部検査治具２３及び下部検査治具２４を配線基板Ｗに接近すべく昇降駆動すると、上部検査治具２３及び下部検査治具２４の検査用接触針２９が配線基板Ｗの検査点に弾性的に接触する。
【００３３】
そして、操作パネル２８により検査開始の電気信号を入力すると、テスターコントローラ２６からスキャナー２５に制御信号が送信され、ワイヤケーブル４０、中継用接触針４２、接続専用基盤４１及び検査用接触針２９を介して配線基板Ｗの検査点に電気信号が出力される。これにより、配線基板Ｗの検査点から検査用電気信号が取得され、該検査用電気信号に基づいて、検査点同士間の導通の有無や抵抗値などが検出されることで、配線基板Ｗの配線パターンの断線や短絡等の良否が検査される。
【００３４】
ここで、上部検査治具２３及び下部検査治具２４は、配線基板Ｗの製品規格や種類等に応じて専用で製作されるが、本発明では、専用で製作する上部検査治具２３及び下部検査治具２４の部分を少なくするために、接続専用基盤４１を基準とする設備側構成部分は、配線基板Ｗの製品規格や種類等に関係なく汎用化できるように構成されている。
【００３５】
尚、上部検査治具２３及び下部検査治具２４は、上下関係を除いて互いに略同一の構造を有するので、以下、下部検査治具２４についてのみ説明し、上部検査治具２３の説明を省略するものとする。
【００３６】
下部検査治具２４は、図２に例示するように、平面視矩形状の製品側専用部分３８と、該製品側専用部分３８よりも形状寸法の大きい設備側汎用部分３９とから成る。前記製品側専用部分３８は、該中継用接触針４２と前記検査用接触針２９とを電気的に接続するための接続専用基盤４１と、該接続専用基盤４１の上側に配設された上下２枚の位置決め板３２，３３とを備え、該位置決め板３２，３３同士は複数の支柱３０により互いに連結されている。
【００３７】
尚、接続専用基盤４１の上下両面には所定の配線パターンが形成されているが、特に、接続専用基盤４１の上面の配線パターンは、前記配線基板Ｗのランドまたはパッド等の検査点と同一箇所にランドが設けられるように配線されている。又、上側の位置決め板３２の上方には垂直保持ブロック（図示せず）を設置することができる。
【００３８】
前記位置決め板３２，３３には挿通孔３４，３５が夫々開穿され、該挿通孔３４，３５は、配線基板Ｗの検査点と対応する箇所に配設されている。又、挿通孔３４，３５には従来例と同様にソケット（図示せず）を介して検査用接触針２９が挿着され、該検査用接触針２９の上端部は、位置決め板３２の上方に突出可能に臨んでいる。
【００３９】
一方、設備側汎用部分３９は、図２に示すように、上下一対の治具ベースブロック４３，４４を備え、該治具ベースブロック４３，４４同士は、複数の支柱４５を介して互いに連結されている。図４に示すように、上側の治具ベースブロック４３は枠体状に形成され、該治具ベースブロック４３の上方から製品側専用部分３８を挿入することで、設備側汎用部分３９内の所定位置に製品側専用部分３８を着脱自在にセットできるように構成されている。又、下側の治具ベースブロック４４上には支柱４７を介して保持ブロック４６が連結固定され、該保持ブロック４６は、接続専用基盤４１と対応する寸法形状を有している。
【００４０】
前記保持ブロック４６の所定箇所には、検査用接触針２９と対応する個数の挿通孔（図示せず）が形成されている。各挿通孔には中継用接触針４２が嵌挿固定され、該中継用接触針４２の上端部は、前記保持ブロック４６上面より所定寸法だけ突出している。又、中継用接触針４２の下端にはワイヤケーブル４０の一端部が接続され、該ワイヤケーブル４０の他端部は、図３に示すように、上記スキャナー２５にコネクタ３７を介して接続されている。
【００４１】
同図に示すように、接続専用基盤４１は、中継用接触針４２と前記検査用接触針２９との間に配設されている。又、接続専用基盤４１の上面及び下面には検査専用ランド５０及び中継汎用ランド５１が夫々形成され、該中継汎用ランド５１は検査専用ランド５０に電気的に接続されている。
【００４２】
更に、検査専用ランド５０は、検査用接触針２９の検査位置と対応する箇所に配置され、又、中継汎用ランド５１は、中継用接触針４２の設置位置と対応する箇所に配置されている。従って、検査用接触針２９とスキャナー２５間の電気信号の授受は、接続専用基盤４１、中継用接触針４２及びワイヤケーブル４０を介して行われる。
【００４３】
次に、下部検査治具２４の製造工程の一例を説明する。先ず、図２に示す如く、製品側専用部分３８と設備側汎用部分３９を夫々別々に製作する。この場合、特に接続専用基盤４１の上下両面には、レーザー加工機、ダイレクト露光加工機等の既存のプリント配線パターン用加工機により１工程で配線パターンを形成できる。
【００４４】
そして、同図に示すように、設備側汎用部分３９の上方に製品側専用部分３８を配置する。このあと、枠体状の治具ベースブロック４３の内側に製品側専用部分３８を挿入することで、設備側汎用部分３９内の所定位置に製品側専用部分３８を固定する。
【００４５】
これにより、中継用接触針４２と検査用接触針２９との間に接続専用基盤４１が配設され、この場合、検査用接触針２９は検査専用ランド５０に接触可能な検査位置にセットされる。然る後、中継用接触針４２の上端を中継汎用ランド５１に電気的に接触させるべく位置固定すると共に、中継用接触針４２の下端にワイヤケーブル４０を介してスキャナー２５側のコネクタ３７に結線して接続する。以上により、下部検査治具２４の製造が完了する。
【００４６】
このように本実施例は、中継用接触針４２と対応する箇所に中継汎用ランド５１が形成されているので、中継用接触針４２は中継汎用ランド５１に接触した状態で位置固定される。そのため、中継汎用ランド５１及び中継用接触針４２を含む設備側汎用部分３９が共用化される。従って、配線基板Ｗの製品規格や種類が変更された場合でも、中継汎用ランド５１及び中継用接触針４２を含む部分を新たに製作する必要はない。
【００４７】
ここで、中継用接触針４２と検査用接触針２９とを接続するための接続専用基盤４１は、図５に示す両面銅張り配線基板５２を用いて形成することができる。同図に示すように、両面銅張り配線基板５２の上面には検査専用ランド５０が形成されているとともに、両面銅張り配線基板５２の下面には中継汎用ランド５１が形成されている。そして、検査専用ランド５０と中継汎用ランド５１は、スルーホール５３を通過する導体（金属メッキ）５４を介して接続されている。
【００４８】
このように構成すると、検査専用ランド５０からスルーホール５３まで配線部分が専用の配線パターンにより形成されているので、配線基板Ｗの製品規格や種類が変更された場合には、両面銅張り配線基板５２上面側の配線パターンのみを公知のレーザー加工機により形成すればよい。
【００４９】
又、図６に示すように、接続専用基盤４１としては片面フレキシブルプリント配線板５５を用いて形成することもできる。同図に示すように、片面フレキシブルプリント配線板５５における配線パターン面の一側及び他側には夫々、検査専用ランド５０及び中継汎用ランド５１が互いに離間して形成されている。
【００５０】
前記片面フレキシブルプリント配線板５５は、その配線パターン面が外側になるようにＵ字状に湾曲させる。そして、中継用接触針４２と検査用接触針２９の間に配設した製品側専用部分３８の固定ブロック（ベースプレート）５７の端縁部に片面フレキシブルプリント配線板５５を巻き付け、その状態で固定ブロック５７の上下両面に片面フレキシブルプリント配線板５５の裏面を貼り付ける。
【００５１】
このように構成すると、固定ブロック５７の上面及び下面に夫々検査専用ランド５０及び中継汎用ランド５１が配設され、又、検査用接触針２９は、検査専用ランド５０、配線５６及び中継汎用ランド５１を介して中継用接触針４２に電気的に接続される。
【００５２】
更に、検査専用ランド５０から片面フレキシブルプリント配線板５５の上面が専用の配線パターンにより形成されている。従って、配線基板Ｗの製品規格や種類が変更された場合には、片面フレキシブルプリント配線板５５上面の専用の配線パターンのみを公知のダイレクト露光加工機等により形成すればよい。
【００５３】
叙上の如く本発明によると、中継用接触針４２と検査用接触針２９との間に配設した接続専用基盤４１の表面に検査専用ランド５０を形成し、且つ、接続専用基盤４１の裏面に中継汎用ランド５１を形成する。この場合、中継汎用ランド５１は、中継用接触針４２の固定位置と対応する箇所に設けることで、該中継汎用ランド５１に中継用接触針４２が電気的に接続される。
【００５４】
そのため、中継汎用ランド５１及び中継用接触針４２を含む部分は汎用化されるので、配線基板Ｗの製品規格や種類が変更された場合でも、中継汎用ランド５１及び中継用接触針４２を含む部分を新規に製作する必要はない。従って、検査用接触針２９及び検査専用ランド５０のみを、配線基板Ｗの検査点に対応する専用部分として製作すればよいので、専用で製作しなければならない部分が大幅に減少する。
【００５５】
斯くして、上部検査治具２３及び下部検査治具２４の製作する際に従来例で必要であった電極部や配線等の部品点数が減少して、基板検査装置２２の製造コストが低減するのみならず、製作部品を保管するためのスペースを縮小する。又、半田付け工程や結線工程などの製作工数を省略又は激減できるので、製作工期を大幅に短縮させることができる。
【００５６】
又、中継用接触針４２と検査用接触針２９とを電気的に接続するための接続専用基盤４１は、両面銅張り配線基板５２又は片面フレキシブルプリント配線板５５を使用して形成することができる。このように構成すると、配線基板Ｗの製品規格や種類が変更された際には、両面銅張り配線基板５２又は片面フレキシブルプリント配線板５５における検査専用ランド５０側の配線パターンのみを変更した配線パターンをレーザー加工機又はダイレクト露光加工機等の既知の配線基板用製造機械により短時間で容易に形成できる。従って、上部検査治具２３及び下部検査治具２４の製作工期が一層短縮し、且つ、上部検査治具２３及び下部検査治具２４を安価に量産化することができる。
【００５７】
本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係る一実施例を示し、基板検査装置全体のブロック構成図。
【図２】一実施例に係る下部検査治具の専用部分及び汎用部分を示す説明図。
【図３】一実施例に係る下部検査治具の要部を一部断面して示す説明図。
【図４】一実施例に係る下部検査治具の治具ベースブロックを示す平面図。
【図５】本発明に係る接続専用基盤を両面銅張り配線基板で形成した実施形態を一部断面して示す説明図。
【図６】本発明に係る接続専用基盤を片面フレキシブルプリント配線板で形成した他の実施形態を一部断面して示す説明図。
【図７】従来例を示し、基板検査装置全体のブロック構成図。
【図８】従来例に係る検査治具の要部を示す説明図。
【図９】従来例に係る下部検査治具の要部を一部断面して示す説明図。
【図１０】従来例に係る接触針の具体例を一部断面して示す説明図。
【符号の説明】
【００５９】
２２  基板検査装置
２３  上部検査治具
２４  下部検査治具
２５  スキャナー
２９  検査用接触針
３８  製品側専用部分
３９  設備側汎用部分
４１  接続専用基盤
４２  中継用接触針
４３  治具ベースブロック
４４  治具ベースブロック
５０  検査専用ランド
５１  中継汎用ランド
５２  両面銅張り配線基板（接続専用基盤）
５５  片面フレキシブルプリント配線板（接続専用基盤）
５７  固定ブロック（ベースプレート）
Ｗ    配線基板（被検査物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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