(57)【要約】【課題】  長期間の使用における信頼性を向上させた太陽電池素子および太陽電池モジュール提供する。【解決手段】光電変換体１と、該光電変換体１の表面に設けられた電極２と、該電極２上に設けられた接続導体３と、を備え、接続導体３は、長手方向に沿って交互に隣接する複数の凸部３ａおよび凹部３ｂを有し、該凹部３ｂの底面部３ｂ’が電極２と電気的に接続されており、凸部３ａの頂面部３ａ ’ ’に屈曲部３ｃを有することを特徴とする。【選択図】図１
2010199533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換体と、
該光電変換体の表面に設けられた電極と、
該電極上に設けられた接続導体と、を備え、
前記接続導体は、長手方向に沿って交互に隣接する複数の凸部および凹部を有し、該凹部の底面部が前記電極と電気的に接続されており、前記凸部の頂面部に屈曲部を有することを特徴とする太陽電池素子。
【請求項２】
前記接続導体の長手方向と直交する方向の前記凸部の前記頂面部の厚みは、前記接続導体の長手方向と直交する方向の前記凹部の前記底面部の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池素子。
【請求項３】
前記接続導体の前記凹部の底面部は、前記電極の上面の略全面に亘って接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の太陽電池素子。
【請求項４】
前記接続導体は、前記凹部の前記底面部が前記電極と半田を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の太陽電池素子。
【請求項５】
光電変換体の表面に電極を設ける工程と、
長手方向に沿って交互に隣接する複数の凸部および凹部を有する接続導体を、該凸部の頂面部を前記電極の上面と離間させ、導電性接着剤を熱溶融させて前記凹部の底面部を前記電極上に接続する接続工程と、
前記凸部の前記頂面部に押圧部材で屈曲部を形成する押圧工程と、を備えた太陽電池素子の製造方法。
【請求項６】
前記接続工程後に、前記導電性接着剤を冷却する冷却工程をさらに備え、該冷却工程後に、前記押圧工程を行うことを特徴とする請求項５に記載の太陽電池素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれかに記載の太陽電池素子を複数備え、
隣接する前記太陽電池素子同士を、一方の太陽電池素子の前記接続導体と他方の太陽電池素子の前記電極とを電気的に接続してなることを特徴とする太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池素子及びその製造方法ならびにこれを用いた太陽電池モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールは、単結晶シリコン基板や多結晶シリコン基板のように単体で発電を行える太陽電池素子を、複数枚用いて直列または並列接続して構成される太陽電池素子列（太陽電池ストリング）を透光性基板と裏面部材とで挟み込み、充填材で太陽電池素子列を封止した積層体である。
【０００３】
太陽電池素子列は、太陽電池素子の表面に設けられた電極と、該太陽電池素子と隣接する太陽電池素子の表面もしくは裏面に設けられた電極とが銅箔等の接続導体で電気的に接続されている。また、電極および接続導体は、半田で接合されている。このとき、太陽電池素子に反りが生じていると、透光性基板、充填材、太陽電池素子および裏面部材のラミネート工程で太陽電池素子が平坦に伸ばされた際、接続導体とのせん断力によって太陽電池素子にクラックが生じる場合があった。
【０００４】
そのような中で、反りが発生した太陽電池素子を機械的に伸ばすのではなく、太陽電池素子を一旦冷却してから再加熱し、常温放置することにより、自己修復を利用して反りを除去する方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３２５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した方法では、十分に太陽電池素子の反りを低減することができなかった。
【０００７】
また、上述した方法で作製された太陽電池素子を有する太陽電池モジュールは、例えば高温下で長期間使用すると、太陽電池素子に再度反りが生じ、太陽電池素子の電極と接続導体との接合部に、該接続導体の長手方向に対して不均一に応力が集中し、太陽電池素子のクラックや接続導体の剥がれ等を引き起こす可能性があった。
【０００８】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、太陽電池素子および太陽電池モジュールの信頼性を向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の太陽電池素子は、光電変換体と、該光電変換体の表面に設けられた電極と、該電極上に設けられた接続導体と、を備え、前記接続導体は、長手方向に沿って交互に隣接する複数の凸部および凹部を有し、該凹部の底面部が前記電極と電気的に接続されており、前記凸部の頂面部に屈曲部を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明の太陽電池素子の製造方法は、光電変換体の表面に電極を設ける工程と、長手方向に沿って交互に隣接する複数の凸部および凹部を有する接続導体を、該凸部の頂面部を前記電極の上面と離間させ、導電性接着剤を熱溶融させて前記凹部の底面部を前記電極上に接続する接続工程と、前記凸部の前記頂面部に押圧部材で屈曲部を形成する押圧工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の太陽電池モジュールは、前記太陽電池素子を複数備え、隣接する前記太陽電池素子同士を、一方の太陽電池素子の前記接続導体と他方の太陽電池素子の前記電極とを電気的に接続してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の太陽電池素子および太陽電池モジュールによれば、接続導体に設けられた凸部の頂面部に屈曲部を有することにより、長期間の使用により、太陽電池素子に反りが生じても、前記接続導体が前記屈曲部を起点として前記接続導体の長手方向に伸縮することができる。その結果、本発明によれば、前記接続導体と電極との半田による接合部における応力集中を低減できるため、前記接続導体の剥がれ等の不具合を抑制し、信頼性を向上させることができる。
【００１３】
また、本発明の太陽電池素子の製造方法によれば、接続導体の凸部の頂面部に押圧部材で屈曲部を形成する押圧工程を有しているため、前記頂面部に容易に屈曲部を形成することができる。その結果、本発明によれば、製造工程において太陽電池素子に反りが発生しても、前記屈曲部を起点として前記接続導体が伸縮できるため、該伸縮に応じて太陽電池素子が元の形状に戻るようになり、反りが低減される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の太陽電池素子の実施形態を示すものであり、（ａ）は概略図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は（ｂ）の部分拡大図である。
【図２】本発明の実施形態に係る太陽電池素子に形成された電極の構造を説明するためのものであり、（ａ）は光電変換体を表面側からの平面図、（ｂ）は光電変換体の裏面側からの平面図である。
【図３】図３（ａ）は図２のＡ−Ａ方向の断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、接続導体の他の形態を示す側面図である。
【図５】本発明に係る太陽電池素子の一部である光電変換体を直列に接続した状態を示した模式図である。
【図６】本発明の太陽電池モジュールの実施形態を示す斜視図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は本発明の太陽電池素子の製造方法の実施形態を説明するための説明図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は本発明の太陽電池素子の製造方法の実施形態を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の太陽電池素子、該太陽電池素子の製造方法および太陽電池モジュールの実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
＜太陽電池素子＞
本発明の一実施形態に係る太陽電池素子Ｘは、図１に示すように、光電変換体１と、電極２と、接続導体３と、を備えている。なお、図１（ａ）は、太陽電池素子Ｘの斜視図、図１（ｂ）は太陽電池素子Ｘの側面図である。
【００１７】
光電変換体１は、外部より入射される光を電気に変換する機能を有している。このような光電変換体１は、内部に少なくとも１つの半導体によるＰＮ接合を有している。光電変換体１としては、例えば、多結晶シリコン基板、単結晶シリコン基板、アモルファスシリコンから成る半導体薄膜等が挙げられる。
【００１８】
電極２および電極２’は、光電変換体１で発生したキャリアを収集する機能を有する。電極２は、主として光電変換体の表面（第１の主面）に設けられており、光電変換体１の表面から裏面に亘って形成された貫通電極によって光電変換体１の裏面の一部まで延在している。また、電極２’は、主として光電変換体１の裏面に形成されている、この電極２と電極２’とは、収集するキャリア（正と負）が異なっており、互いに電気的に絶縁されている。次に、光電変換体１に設けられた電極２および電極２’の構成について図２および図３を参照しつつ説明する。
【００１９】
電極２は、図２（ａ）に示すように、光電変換体１の表面に形成された線状の複数の表面電極２ａと、該表面電極２ａと電気的に接続された貫通電極２ｂと、該貫通電極２ｂと電気的に接続され、光電変換体１の裏面の一部に形成された裏面電極２ｃと、を有している。表面電極２ａは、光電変換体１の表面側で発生したキャリアを集電する。貫通電極２ｂは、表面電極２ａで集電されたキャリアを裏面電極２ｃに運ぶ機能を有している。この貫通電極２ｂは、一つの表面電極２ａに対して複数個設ければ、一つの貫通電極２ｂにおける光電流の密度を小さくすることができ、光電変換体１の抵抗を小さくすることができる。裏面電極２ｃは、例えば、矩形状を成しており、貫通電極２ｂに対応する位置に間隔を空けて配置されている。この裏面電極２ｃの一つには、貫通電極２ｂが一つ又は複数個接続されている。この電極２の材質としては、例えば、銅、銀、アルミニウム等といった導電性を有する物質が好適に用いられる。
【００２０】
電極２’は、図２（ｂ）に示すように、裏面電極２ｃと離間し、光電変換体１の裏面に形成された第１電極２’ａと、該第１電極２’ａ上に部分的に形成された複数の第２電極２’ｂと、隣接する第２電極２’ｂ同士を電気的に接続する第３電極２’ｃを有している。第１電極２’ａは、例えば、アルミニウムを主成分とするような導電材から成り、光電変換体１の裏面側で発生したキャリアを集める機能を有している。第２電極２’ｂは、例えば、銀を主成分とする第１電極２’ａで集められたキャリアを集電して外部に出力する出力電極として機能する。この第２電極２’ｂは、略一直線上に形成された裏面電極２ｃを挟み込むように形成されている。第３電極２’ｃは、裏面電極２ｃを挟み込むように対を成す第２電極２’ｂ同士を電気的に接続している。また、第３電極２’ｃは、裏面電極２ｃと電気的に絶縁されている。
【００２１】
光電変換体１は、図３に示すように、一導電型を有する半導体基板５と、該半導体基板５の導電型と異なる逆導電型層５’（第一逆導電型層５’ａ、第二逆導電型層５’ｂ、第三逆導電型層５’ｃ）を有する。例えば、一導電型を示す半導体基板５として、Ｐ型のシリコン基板を使用する場合、逆導電型層５’はＮ型となる。また、光電変換体１の裏面において、逆導電形層５’が形成されていない部位に、Ｐ＋層５’’が形成されている。このＰ＋層５’’上に第１電極２’ａ、第２電極２’ｂの順で形成されている。このような構成によれば、一導電型のキャリアは電極２’で集電し、逆導電型のキャリアは電極２で集電される。
【００２２】
また、光電変換体１には、図２に示すように、表面から裏面に貫通する貫通孔Ｈが設けられている。この貫通孔Ｈは、光電変換体１に形成される電極の位置決めや光電変換体１を接続導体３で接続する際の位置決めを精度よく行うときの基準として利用できる。貫通孔Ｈの大きさは、特に限定されるものではないが、直径が０．１〜０．３ｍｍ程度であればよい。また、貫通孔Ｈの数は、特に限定されるものではないが、図２に示すように、半導体基板５の両端部付近に１つずつ設ければ、半導体基板５の機械的強度を過度に劣化させることなく、上述した位置決めが容易になる。また、貫通孔Ｈは、半導体基板５の側面よりも中央側に設ければ、半導体基板５の端部で割れ等の発生を低減することができる。具体的に、貫通孔Ｈは、略一直線上に配列された複数の貫通電極２ｂのうち、その両端に位置する貫通電極２ｂよりも半導体基板５の中央側に設ければよい。また、貫通孔Ｈは、半導体基板５の中央線Ｌに近い位置に設ければ、スクリーンプリント法で電極を形成したときに、使用するスクリーン製版の伸びを中央線の両側に振り分けることが可能となり、半導体基板５の面内におけるプリント位置をより正確にすることが可能となる。なお、中央線Ｌとは、図２（ａ）に示すように半導体基板５の対向する上下の辺をそれぞれ２等分する点を結んだ直線である。
【００２３】
次に、光電変換体１の製造方法の一例について説明する。まず、一導電型を示す半導体基板５として、例えばボロンなどがドープされたＰ型のシリコン基板を準備する。シリコン基板は、シリコンインゴットから切り出された単結晶シリコン基板や多結晶シリコン基板からなるシリコン基板を用いればよく、シリコン基板の大きさは例えば一辺１４０〜１８０ｍｍ程度の正方形又は矩形で、その厚みは、３００μｍ以下にすることが好ましく、より好ましくは２００μｍ以下、さらに好ましくは１５０μｍ以下にすればよい。
【００２４】
次いで、半導体基板５に貫通電極２ｂが形成される電極用貫通孔と貫通孔Ｈを形成する。電極用貫通孔と貫通孔Hは、例えば機械的ドリル、ウォータージェット或いはレーザー装置等を用いて、半導体基板５の裏面側から表面側に向けて形成される。特に貫通孔形成時又は形成後のマイクロクラックの発生防止のために、ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザーやＹＶＯ４（イットリウム・バナデイト）レーザーなどが好適に用いられる。電極用貫通孔２８は略一定のピッチで複数形成され、その直径は５０μｍ以上３００μｍ以下であればよい。
【００２５】
次に、半導体基板５の表面に第一逆導電型層５’ａを形成し、電極用貫通孔の内壁に第二逆導電型層５’ｂを形成し、裏面に第三逆導電型層５’ｃを形成する。逆導電型を形成するためのＮ型化ドーピング元素としては、例えば、Ｐ（リン）を用い、シート抵抗が６０〜３００Ω／□程度のＮ＋型とする。これによって上述のＰ型バルク領域との間にＰＮ接合部が形成される。
【００２６】
次に、半導体基板５に表面電極２ａおよび貫通電極２ｂを形成する。これらの電極は、半導体基板５の表面にスクリーン印刷法などの塗布法を用いて導電性ペーストを塗布すればよく、例えば銀等からなる導電性ペーストを、最高温度５００〜８５０℃で数十秒〜数十分程度焼成することにより形成される。次に、半導体基板５の裏面に電極２’を形成する。上述のスクリーン印刷法を用いて、半導体基板５の裏面に、例えば、アルミニウム等からなる導電性ペーストを塗布し、最高温度５００〜８５０℃で数十秒〜数十分程度焼成することにより第１電極２’ａを形成する。この第１電極２’ａを形成することでＰ＋層５’’が形成される。次に、半導体基板５の裏面に、裏面電極２ｃ、第２電極２’ｂおよび第３電極２’ｃを形成する。これらの電極は、上述したような塗布法を用いて、半導体基板５の裏面に例えば、銀等からなる導電性ペーストを所定の電極形状となるように塗布し、最高温度５００〜８５０℃で数十秒〜数十分程度焼成することにより形成される。
【００２７】
本実施の形態では、各種電極を形成する工程、とりわけ光電変換体１の表面と裏面の電極の位置関係を精度よく行うため、貫通孔Ｈが用いられている。貫通孔Ｈは、このような電極形成工程以外にも、例えば、第三逆導電型層５’ｃとＰ＋層５’’とを分離するＰＮ分離工程、裏面電極２ｃと電気的に接続された接続導体３と第３電極２’’ｃとをより確実に絶縁するために、第３電極２’’ｃ上に設けられる絶縁膜の形成工程等でも利用できる。特に、ＰＮ分離工程に用いられるのがレーザ加工法、絶縁膜形成工程で用いられるスクリーンプリント法であれば、各々の工程で正確な位置決めが可能となる。具体的な位置決めは、貫通孔Ｈをカメラなどの撮像装置で確認し、画像処理を用いて行うことができる。
【００２８】
接続導体３は、電極２と電気的に接続されるものであり、電極２で収集したキャリアを伝送する機能を有している。この接続導体３は、電極２と半田４で接合されている。接続導体３は、例えば、幅１〜３ｍｍ程度、厚み０．１〜０．８ｍｍ程度の長尺状の銅箔に半田がメッキ等で被覆されている。そのため、接続導体３は、接合する電極２上に配置した後、熱をかけることで接合することができる。
【００２９】
本実施形態における接続導体３は、図１（ｂ）に示すように、長尺状を成し、長手方向に沿って交互に隣接する複数の凸部３ａおよび凹部３ｂを有している。換言すれば、接続導体３は、長手方向に沿って複数の屈曲部を有する波形状を成している。そして、接続導体３は、凹部３ｂの底面部３ｂ’の下面と電極２の上面とが電気的に接続されている。一方で、本実施形態において、図１（ｃ）に示すように、接続導体３の凸部３ａは、頂面部３ａ’および該頂面部３ａ’の両側にある側面部３ａ’’を有しており、頂面部３ａ’が電極２と接続されないように、電極２の上面と離間している。換言すれば、接続導体３は、凸部３ａの頂面部３ａ’が電極２と非接触となるように電極２と接合されている。
【００３０】
そして、接続導体３は、図１（ｃ）に示すように、凸部３ａの頂面部３ａ’に屈曲部３ｃを有している。このような屈曲部３ｃを設けた接続導体３は、屈曲している箇所を起点とし、接続導体３の長手方向に伸縮しやすくなっている。そのため、このような接続導体３は、光電変換体１の形状変化、例えば、平板状の光電変換体１に反りが発生した場合、該反りの方向に追従するような伸縮を起こすようになる。これにより、本実施形態では、長期間の使用により、太陽電池素子Ｘ（特に、光電変換体１）に反りが生じても、接続導体３と電極２との半田４による接合部における応力集中を低減できるため、接続導体３の剥がれ等の不具合を抑制し、信頼性を向上させることができる。
【００３１】
次に、接続導体３の他の形態について図４を参照しつつ説明する。図４（ａ）に示した接続導体３は、頂面部３ａ’の両側にある側面部３ａ’’が、接続導体３の長手方向と直交する方向に対して傾斜している。また、図４（ｂ）に示した接続導体３は、側面部３ａ’’がなく、頂面部３ａ’全体が凸面を有してなる。この図２（ｂ）に示した形態では、屈曲部３ｃを設けることができる領域が広くなるため、製造が簡易になるという点で好適である。また、図４（ｃ）に示した接続導体３は、接続導体３の長手方向と直交する方向の凸部３ａの頂面部３ａ’の厚みは、接続導体３の長手方向と直交する方向の凹部３ｂの底面部３ｂ’の厚みよりも小さい。この図４（ｃ）に示した形態では、頂面部３ａ’の厚みを小さくしているため、頂面部３ａ’に屈曲部３ｃを容易に形成することができるとともに、該屈曲部３ｃを起点として接続導体３が伸縮しやすくなる。図４（ｃ）に示した形態において、接続導体３の寸法としては、例えば、頂面部３ａ’の厚みが０．１〜０．３ｍｍ、底面部３ｂ’の厚みが０．１〜０．８ｍｍである。
【００３２】
次に、２つの光電変換体１、１’と接続導体３との接続について図５を参照しつつ説明する。まず、光電変換体１を作業台上の所定の位置に載置する。次に、光電変換体１’を光電変換体１に対し、向きを１８０°回転した状態で載置する。このとき、光電変換体１’は、光電変換体１に対し、Ｙ方向には１〜５ｍｍ程度の所定の間隔をあけ、Ｘ方向には貫通孔Ｈが互いに所定の距離Ｔだけ離間した状態で配置する。この距離Ｔは、光電変換体１の第２電極２’ｂと光電変換体１’の裏面電極２ｃが一直線上に並ぶように決定された距離であり、予め光電変換体の裏面電極の設計図面などから求めておけば良い。このような光電変換体の接続方法によれば、接続する光電変換体の互いの貫通孔Ｈを距離Ｔだけ離間して配置するだけで正確な配列が可能となる。
【００３３】
また、通常行われるような半導体基板５の角部を基準として配置する例に比べて、半導体基板５の大きさにバラツキがあった場合でも、貫通孔Ｈを基準としているため、光電変換体のＹ方向に沿った端面を精度良く合わせることができる。
【００３４】
＜太陽電池モジュール＞
本発明の実施形態に係る太陽電池モジュールＹは、図６に示すように、隣接する太陽電池素子Ｘ同士を該太陽電池素子Ｘが有する接続導体３で電気的に接続された太陽電池ストリングＺを有している。太陽電池ストリングＺは、複数の太陽電池素子Ｘを接続導体３で直列または並列に組み合わせて任意の電圧・電流値が得られるように電気的に接続されて成る。太陽電池ストリングＺは、透光性基板６と裏面シート９との間に配されている。また、太陽電池ストリングＺは、受光面側充填材７を介して透光性基板６と接着しており、非受光面側充填材８を介して裏面シート９と接着している。
【００３５】
また、太陽電池モジュールＹは、図４に示すように、隣接する太陽電池素子Ｘの表面に形成された電極２と部分的に接合された接続導体３により、太陽電池素子Ｘ同士を電気的に接続している。なお、接続導体３の接続の様子については、上述した太陽電池素子の実施形態と同様である。
【００３６】
＜太陽電池素子の製造方法＞
次に、本発明の太陽電池素子の製造方法の実施形態について図７を参照しつつ説明する。
【００３７】
まず、上述した方法で作製した光電変換体１を準備する。次いで、光電変換体１の電極２（裏面電極２ｃ）に導電性接着剤である半田４で接続導体３を接合する工程について説明する。接続導体３は、凸部３ａの頂面部３ａ’を電極２（裏面電極２ｃ）の上面と離間させつつ、導電性接着剤である半田４を熱溶融させて凹部３ｂの底面部３ｂ’の下面を電極２（裏面電極２ｃ）上に接続する。接続導体３は、半田４を１４０℃〜２２０℃程度に加熱して電極２に対して熱溶着する。また、接続導体３は、電極２（裏面電極２ｃ）の上面に少なくとも一部に電気的に接合されていればよいが、電極２（裏面電極２ｃ）の上面の略全面に亘って接合すれば、接合面積が増えて、接合強度が高まるという観点で好適である。
【００３８】
この接続導体３の接続工程では、光電変換体１の電極２（裏面電極２ｃ）上に設けられた銅箔よりなる接続導体３の方がシリコンを主成分としてなる光電変換体１よりも熱膨張が大きいため、光電変換体１に比べて接続導体３が相対的に伸びた状態となる。それゆえ、接続導体３は、熱によって膨張した状態で半田接合される。そのため、半田接合した後に溶融された半田４を冷却すると、上述した熱膨張によって伸びた接続導体３が半田接合前の長さに近づくように縮むようになる。これにより、図７（ａ）に示すように、光電変換体１は、引張応力を受け、接続導体３が接合されていない面が凸になる方向に反りが生じる場合がある。
【００３９】
そこで、本実施形態では、接続導体３の頂面部３ａ’を図７（ａ）に示すように、押圧部材１０で押圧し、頂面部３ａ’に屈曲部３ｃを形成するように、接続導体３の一部を変形させている。このような屈曲部３ｃを形成すれば、接続導体３の長手方向に沿った接続導体３の２つの側面部３ａ’’間の距離Ａ’は、図７（ａ）および（ｂ）に示すように、屈曲部３ｃを形成する前の距離Ａに比べて長くなる。すなわち、接続導体３は、上記押圧工程を経ることにより、側面部３ａ’’が外方に向かって広がるように長手方向に伸びる。それゆえ、本実施形態では、光電変換体１に生じていいた接続導体３による引張応力が緩和されるため、光電変換体１に生じていた反りを低減することができる。
【００４０】
押圧部材１０は、例えば、油圧やエアーで上下するシリンダーを具備した装置に取り付けられ、自在に動かすことができる。また、押圧部材１０の形状は、形成する屈曲部の形状によって適宜選択すればよく、例えば、円柱状、四角柱等の角柱状、円錐状、角錐状等を選択することができる。また、押圧部材１０の先端面が比較的弱い力でも屈曲部３ｃを形成できる押圧部材１０の先端部は、鋭角な針状や、線状にするほうが好ましい。また、押圧部材１０は、複数の凸部３ａの頂面部３ａ’を接続導体３の長手方向に沿って順に押圧してもよいし、複数の押圧部材１０でもってほぼ同時に押圧してもよい。上述したように、頂面部３ａ’を順に押圧するような押圧工程では、凸部３ａを順次伸ばしていくことができるため、光電変換体１の反りを直す方向にかかる力が徐々に作用させることができ、光電変換体１に局部的に力がかかるのを低減することができる。さらに、頂面部３ａ’を順に押圧するような押圧工程では、接続導体３の長手方向に沿って、
光電変換体１の中央付近から外側に向かって行うと、光電変換体１の反りが大きい両端側に向かって順次、反りを緩和させることができるため、光電変換体１に生じるストレスを小さくすることができる。また、押圧部材１０を複数有するような装置を用いれば、装置の移動などの時間ロスが無く、工程の時間を短くできる。
【００４１】
次に、本発明の太陽電池素子の製造方法の他の実施形態について図８を参照しつつ説明する。本実施形態では、太陽電池ストリングＺを吸着装置１１で吸着しながら接続導体３を押圧するという点で上述した実施形態と相違する。具体的に、本実施形態では、光電変換体１に生じている反りを低減するように
太陽電池ストリングＺを吸着して保持した状態で接続導体３を押圧している。以下、本実施形態の詳細について説明する。
【００４２】
まず、図８（ａ）に示すように、エアーを吸い込むことができる貫通孔１１ｂを複数設けた吸着装置１１の上面１１ａに太陽電池ストリングＺを載置する。次いで、貫通孔１１ｂよりエアー吸引を行い、太陽電池ストリングＺを吸着装置１１の上面に吸着させて固定する。このとき、太陽電池ストリングＺは、図８（ｂ）に示すように、吸着装置１１の上面１１ａに光電変換体１（太陽電池素子Ｘ）の反りが伸ばされた状態で固定される。このとき、吸着によって反りが伸ばされた太陽電池素子Ｘに接続された接続導体３は、上記吸着によって張力が生じている。そのため、このような状態下で接続導体３を押圧すれば、接続導体３が伸びやすくなり、光電変換体１に作用するストレスを低減させることができる。また、本実施形態では、光電変換体１の生じている反りを、一旦機械的に伸ばして光電変換体１を略平板状にしているため、反りが生じた光電変換体１を押圧する形態に比べて、簡易な構成を有する押圧部材１０で押圧することができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、光電変換体１がシリコン、接続導体３が銅箔で説明をしたが、本発明ではこのような形態に限定されることなく、光電変換体に比べて接続導体の方が、熱膨張係数が大きい組み合わせの場合に適用できる。
【符号の説明】
【００４４】
Ｘ：太陽電池素子
Ｙ：太陽電池モジュール
Ｚ：太陽電池ストリング
１、１’：光電変換体
２、２’：電極
２ａ：表面電極
２ｂ：貫通電極
２ｃ：裏面電極
２’ａ：第１電極
２’ｂ：第２電極
２’ｃ：第３電極
３：接続導体
３ａ：凸部
３ａ’：頂面部
３ａ’ ’：側面部
３ｂ：凹部
３ｂ：底面部
４：半田
５：半導体基板
５’：逆導電型層
５’ａ：第一逆導電型層
５’ｂ：第二逆導電型層
５’ｃ：第三逆導電型層
５’’：Ｐ＋層
６：透光性基板
７：受光面側充填材
８：非受光面側充填材
９：裏面シート
１０：押圧部材
１１：吸着装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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