(57)【要約】【課題】歩留まりを改善する構造を有するセンサーチップを提供する。【解決手段】  センサーチップ１は、主面に受光部３を備えた半導体基板２と、半導体基板２の主面上に設けられ、受光部３の周囲及び上方を囲うように形成されることにより、半導体基板２との間の受光部３上方に中空部７を備える光透過性部材５と、光透過性部材５上に設けられた光透過性保護部材６とを有する。光透過性部材５が、半導体基板２の主面との接着性を有していてもよい。【選択図】  図１
2010199422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面に受光部を備えた半導体基板と、
前記半導体基板の主面上に設けられ、前記受光部の周囲及び上方を囲うように形成され
ることにより、前記半導体基板との間の前記受光部上方に中空部を備える光透過性部材と
、
前記光透過性部材上に設けられた光透過性保護部材と
を有することを特徴とするセンサーチップ。
【請求項２】
第１面に受光部を備えた半導体基板と、
前記半導体基板の第２面の前記受光部と対応する領域の周囲及び上方を囲うように形成
されることにより、前記半導体基板との間の前記受光部と対応する領域上方に中空部を備
える光透過性部材と、
前記光透過性部材上に設けられた光透過性保護部材と
を有することを特徴とするセンサーチップ。
【請求項３】
前記光透過性部材が前記半導体基板の主面との接着性を有することを特徴とする請求項
１または２に記載のセンサーチップ。
【請求項４】
前記光透過性部材の屈折率と、前記光透過性保護部材の屈折率との差が０．１以内であ
ることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項に記載のセンサーチップ。
【請求項５】
前記光透過性部材は外縁部において前記半導体基板との間に間隙を備え、かつ、前記光
透過性保護部材の外縁部まで形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれか１
項に記載のセンサーチップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサーチップ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）や、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅ
ｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセン
サなどを備えたセンサーチップが、デジタルカメラやカメラ付き携帯電話などの電子機器
に広く用いられている。近年、これらの電子機器の小型化、軽量化に伴い、これらの電子
機器に搭載されるセンサーチップの小型化、軽量化が求められている。センサーチップの
小型化、軽量化の技術としてチップサイズパッケージ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａ
ｇｅ、以下「ＣＳＰ」と言う。）が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ＣＳＰでは、例えば、表面にＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサーなどの撮像素子から構成される
受光部を有し、裏面に外部端子を有する半導体基板に、表裏面を貫通する貫通孔が設けら
れ、この貫通孔内に導電体層が形成される。さらに、受光部上にはカラーフィルタや、集
光用のマイクロレンズが形成される。この受光部、外部端子等は、半導体ウェハー上に複
数形成され、ダイシング加工されることにより個別のセンサーチップとなる。この製造工
程において、半導体基板の表面に形成された受光部を埃やごみから保護するため、受光部
を含む領域を覆うように光透過性保護部材（例えば、ガラス基板）を形成したセンサーチ
ップが開示されている（例えば、特許文献１、Ｆｉｇ３Ａ参照。）。このセンサーチップ
によれば、表面に受光部を有する半導体基板上に、受光部に開口部を有するパターンの接
着層を設け、この接着層を介して光透過性保護部材を半導体基板に接着する。これにより
、光透過性保護部材と半導体基板の間の受光部上に間隙部を備えるセンサーチップが形成
される。光透過性保護部材は、ガラスなどの無機材料からなる。接着層は、ポリイミド樹
脂などの有機材料からなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開２００５／０２２６３１号。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、歩留まりを改善する構造を有するセンサーチップを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のセンサーチップは、主面に受光部を備えた半導体基板と、前記半導体
基板の主面上に設けられ、前記受光部の周囲及び上方を囲うように形成されることにより
、前記半導体基板との間の前記受光部上方に中空部を備える光透過性部材と、前記光透過
性部材上に設けられた光透過性保護部材とを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の別態様のセンサーチップは、  第１面に受光部を備えた半導体基板と、前記半
導体基板の第２面の前記受光部と対応する領域の周囲及び上方を囲うように形成されるこ
とにより、前記半導体基板との間の前記受光部と対応する領域上方に中空部を備える光透
過性部材と、前記光透過性部材上に設けられた光透過性保護部材とを有することを特徴と
する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、歩留まりを改善する構造を有するセンサーチップを提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例１に係るセンサーチップの装置断面図である。
【図２】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図３】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図４】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図５】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図６】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図７】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図８】本発明の実施例１に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図９】本発明の実施例２に係るセンサーチップの装置断面図である。
【図１０】本発明の実施例３に係るセンサーチップの装置断面図である。
【図１１】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１２】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１３】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１４】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１５】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１６】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１７】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１８】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図１９】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【図２０】本発明の実施例３に係るセンサーチップを製造するプロセスを説明する装置断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明の実施例１に係るセンサーチップ１を示す断面図である。図２から図８
は、本発明の実施例１に係るセンサーチップ１の製造工程の一部を示す断面図である。
【００１２】
センサーチップ１の半導体基板２の第１面（図１中の半導体基板２の上面）には、フォ
トダイオードやトランジスタ等が形成された受光部３が設けられている。また、半導体基
板２の第１面には、受光部３のフォトダイオードやトランジスタ等を結ぶ配線回路で構成
される能動素子領域（図示せず）が設けられている。さらに、半導体基板２の第１面には
、受光部３、能動素子領域に電気接続され、電気信号の入出力や、電源の供給などを行う
複数の電極（図示せず）が設けられている。受光部３、能動素子領域、電極は、所謂イメ
ージセンサを構成している。
【００１３】
半導体基板２には、半導体基板２の第１面と第２面（図１中の半導体基板２の下面）を
貫通する貫通孔８が形成され、貫通孔８の内壁面から半導体基板の第２面に亘って絶縁膜
（図示せず）が形成されている。貫通孔８内には貫通配線層９が形成されている。貫通配
線層９は、半導体基板２の第１面に形成された前述の電極（図示せず）と第２面に形成さ
れた外部端子１１（例えば、半田ボール）とを電気的に接続している。半導体基板２の第
２面の外部端子１１以外の領域は保護膜１０により覆われている。
【００１４】
半導体基板２の第１面に形成された受光部３上には、カラーフィルタ（図示せず）、オ
ーバーコート膜（図示せず）、マイクロレンズ４が形成されている。カラーフィルタ、オ
ーバーコート膜、マイクロレンズ４は、一般に有機材料で構成される。
【００１５】
半導体基板２の第１面上には、受光部３の周囲及び上方を囲うように光透過性部材５が
形成されている。これにより、半導体基板２と光透過性部材５との間の受光部３上方に中
空部７が形成される。さらに、光透過性部材５上には、光透過性保護部材６が形成されて
いる。このように、光透過性部材５が半導体基板２の主面上に、受光部３の周囲及び上方
を囲うように形成され、さらに光透過性部材５上に光透過性保護部６が形成されることに
より、中空部７の光透過性保護部材６側は、すべて光透過性部材５で覆われる。このため
、中空部７内において、光透過性保護部材６と光透過性部材５の界面は露出されない。こ
れにより、従来のように、ドライエッチング法やＣＶＤ法、スパッタ法などの高真空プロ
セスの工程において、中空部の内圧が増加した場合に、光透過性保護部材と光透過性部材
（接着層）の界面において、界面角部を起点として剥離が生じ、光透過性保護部材が半導
体基板からはずれ、歩留まりが低下するという問題を低減することができる。
【００１６】
なお、有機材料から構成された光透過性部材５は、半導体基板２の第１面に形成された
有機材料から構成されるカラーフィルタ、オーバーコート膜、マイクロレンズ４等を介し
て半導体基板２の第１面に接合される。このため、半導体基板２の第１面と光透過性部材
５は、有機材料同士の接合であるため、半導体基板２の第１面と光透過性部材５との接着
性は良好である。
【００１７】
また、光透過性部材５は、半導体基板２の第１面との接着性を有していてもよいし、接
着性を有していなくてもよい。接着性を有する場合には、熱圧着、ＵＶ接着等により、光
透過性部材５が半導体基板２の第１面に直接接着される。また、接着性を有さない場合に
は、例えば、光透過性部材５と半導体基板２の第１面は、エポキシ系樹脂、ポリイミド系
樹脂、又はアクリル系樹脂等からなる接着剤を介して接着される。
【００１８】
また、一般に有機材料と無機材料の（単位面積当たりの）接着性は弱いが、本実施例で
は、有機材料である光透過性部材５と、無機材料である光透過性保護部材６の接着であっ
ても、光透過性部材５と光透過性部材６は従来に比べ広い面積で接着するため、接着強度
が増加する。
【００１９】
さらに、光透過性部材５は、光透過性保護部材６と同程度の屈折率を有することが好ま
しい。具体的には、光透過性部材５の屈折率と、光透過性保護部材６の屈折率との差が０
．１以内であることが好ましい。光透過性部材５は、光透過性保護部材６と共に、受光部
３を覆うように設けられている。このため、光や電子は、光透過性部材５と、光透過性保
護部材６を透過して受光部３に入射する。光透過性部材５の屈折率と、光透過性保護部材
６の屈折率とを同程度とすることにより、光透過性部材５と光透過性保護部材６との接着
面（界面）における入射光の屈折、反射等を考慮する必要がなくなり、従来の光学設計を
用いることができる。また、光透過性部材５の屈折率と、光透過性保護部材６の屈折率と
の差が０．１以内でない場合であっても、光透過性部材５の屈折率等の光学特性が既知で
あれば、光学設計の最適化は容易である。
【００２０】
次に、本実施例に係るセンサーチップの製造方法について、図２から図８を参照して説
明する。図２から図８には、同一半導体基板上に２つセンサーチップを同時に形成し、こ
の２つのセンサーチップを個片化することにより、２つの個別のセンサーチップを製造す
る工程を示す。
【００２１】
まず、図２に示すように、半導体基板２の第１面にフォトダイオードやトランジスタか
ら構成される受光部３と、フォトダイオードやトランジスタ等を結ぶ配線回路で構成され
る能動素子領域（図示せず）を形成する。さらに、受光部３、能動素子領域の周囲には、
受光部３、能動素子領域に電気接続され、電気信号の入出力や、電源の供給などを行う複
数の電極（図示せず）を形成する。次いで、半導体基板２の第１面には、有機材料からな
る、カラーフィルタ（図示せず）、オーバーコート膜（図示せず）、マイクロレンズ４を
形成する。
【００２２】
次に、図３、図４に順に示すように、光透過性部材５を表面に備えた光透過性保護部材
６を、光透過性部材５を介して半導体基板２の第１面上に接着する。光透過性部材５は、
受光部３の周囲及び上方を囲うように表面に突出部１２を備えている。光透過性保護部材
６は、突出部１２を備えた光透過性部材５を表面に備え、突出部１２を介して半導体基板
２に接着される。これにより、光透過性部材５と半導体基板２の間の受光部３上には中空
部７が形成される。
【００２３】
光透過性部材５は、半導体基板２の第１面に対して接着性を有していてもよい。その場
合、熱圧着、ＵＶ接着等により、光透過性部材５の突出部１２が半導体基板２の第１面に
直接接着される。また、光透過性部材５は、半導体基板２の第１面に対して接着性を有し
ていなくてもよい。その場合、光透過性部材５の突出部１２と半導体基板２の第１面は、
エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、又はアクリル系樹脂等からなる接着剤を介して接着
される。
【００２４】
また、光透過性部材５は、例えば、所定のパターンのマスクを用いてドライエッチング
法又はウェットエッチング法で形成されてもよいし、又は光透過性保護部材５が感光性を
有する有機材料や無機材料、有機・無機ハイブリット材料などで構成される場合は、リソ
グラフィーによって形成されてもよい。また、光透過性部材５が光硬化性を有する有機材
料や無機材料、有機・無機ハイブリット材料などで構成される場合は、所定のスタンプマ
スクを用いて、ＵＶインプリント法や熱インプリント法によって形成されてもよい。
【００２５】
次に、図５に示すように、半導体基板２の第２面から機械研削、化学機械研磨（Ｃｈｅ
ｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）、ウェットエッチング、ドラ
イエッチング法等によりエッチングすることにより、半導体基板２を薄化する。これによ
り、半導体基板２の厚さを、５０〜１５０μｍ程度とする。
【００２６】
次に、図６に示すように、所定のパターンのマスクを用いて、プラズマエッチング法に
より半導体基板２の第２面から貫通孔８を形成する。これにより、貫通孔８から、半導体
基板２の第１面に形成されている電極を露出させる。
【００２７】
次に、図７に示すように、所定のパターンのマスクを用いて、スパッタ法、ＣＶＤ法（
Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法）、蒸着法、めっき法、印刷法
により、貫通孔８から露出された電極に内接するとともに、半導体基板２の第２面に亘る
貫通配線層９を形成する。貫通配線層９は、例えば、高抵抗金属材料（Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｔ
ｉＷ、Ｎｉ、ＮｉＶ、ＮｉＦｅ、Ｃｒ、ＴａＮ、ＣｏＷＰ等）、又は低抵抗金属材料（Ａ
ｌ、Ａｌ−Ｃｕ、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、半田材等）、導電性樹脂が単層
、若しくは複数層状に形成される。なお、貫通配線層９と半導体基板２の間には絶縁のた
め、貫通孔８内から半導体基板２の第２面に亘って、貫通配線層９と半導体基板２の間に
絶縁層（図示せず）を形成する。
【００２８】
次に、図８に示すように、半導体基板の第２面に、貫通配線層９に接して外部端子１１
を形成する。外部端子１１は、例えば、半田材で形成される。さらに、半導体基板２の第
２面の外部端子１１以外の領域に、保護膜１０を形成する。保護部材１０は、例えば、ポ
リイミド、エポキシ樹脂、ソルダーレジスト材で形成される。次いで、半導体基板２、光
透過性部材５、光透過性保護部材６をダイサーの切削ブレードにより切断することにより
、図１に示す個片のセンサーチップ１が得られる。
【００２９】
本実施例のセンサーチップの製造方法によれば、光透過性部材５を光透過性保護部材６
側にあらかじめ形成するため、光透過性部材５の形成に失敗しても、無機材料である光透
過性保護部材６上に形成された光透過性部材５は、有機剥離液などで容易に剥離・洗浄・
リワークが可能である。
【実施例２】
【００３０】
図９は、本発明の実施例２に係るセンサーチップ２１を示す断面図である。実施例１に
係るセンサーチップ１と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００３１】
実施例２に係るセンサーチップ２１は、光透過性部材５が半導体基板２の主面上に、受
光部３の周囲及び上方を囲うように形成され、さらに光透過性部材５上に光透過性保護部
６が形成されることにより、中空部７の光透過性保護部材６側は、すべて光透過性部材５
で覆うことにより、歩留まり低下するという従来の問題を低減している点で実施例１に係
るセンサーチップ１と同様である。
【００３２】
実施例２に係るセンサーチップ２１が、実施例１に係るセンサーチップ１と異なる点は
、光透過性部材５が外縁部において半導体基板２との間に間隙２２を備えている点である
。また、光透過性保護部材５は、実施例１と同様に光透過性保護部材６の外縁部まで形成
されていることである。
【００３３】
この構成により以下の効果が得られる。即ち、光透過性部材５が外縁部において間隙２
２を備えることにより、実施例１のセンサーチップの製造方法の説明の図８に示したよう
に、同一基板上に形成されたセンサーチップをダイサーで個片化する際に、間隙２２の位
置において半導体基板２、光透過性部材５、光透過性保護部材６を切断することにより、
切断箇所における光透過性部材５の厚さを薄くすることができる。これにより、切断に用
いる切削ブレードが光透過性部材５を切削する際に目詰まりが起こることを抑制でき、歩
留まりを改善することができる
さらに、光透過性保護部材５は、実施例１と同様に光透過性保護部材６の外縁部まで形
成されていることにより、間隙２２内の光透過性保護部材６側は、全て光透過性部材５で
覆われ、間隙２２内に光透過性保護部材６と光透過性部材５の界面は露出されない。これ
により、光透過性保護部材と接着層の界面角部を起点として剥離が生じ、光透過性保護部
材が半導体基板からはずれ、歩留まりが低下するという問題を低減でき、さらに歩留まり
を改善することができる。
【００３４】
本発明の実施例２に係るセンサーチップの製造方法は、本発明の実施例１に係るセンサ
ーチップの製造方法と同様である。実施例１に係るセンサーチップの製造方法の図３に示
す工程において、図９に示すような突出部１２に間隙２２を備えた光透過性部材５を用い
ることで実施例２に係るセンサーチップ２１を製造することができる。また、実施例２に
係るセンサーチップの製造方法においても、実施例１に係るセンサーチップの製造方法に
よる効果と同様の効果が得られる。
【実施例３】
【００３５】
図１０は、本発明の実施例３に係るセンサーチップ３１を示す断面図である。図１１か
ら図２０は、本発明の実施例３に係るセンサーチップの製造工程の一部を示す断面図であ
る。実施例１に係るセンサーチップ１と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を
省略する。
【００３６】
本実施例は、本発明に係るセンサーチップに搭載される撮像素子として裏面照射型撮像
素子を用いた例である。
【００３７】
半導体基板２の第１面（図１０中の半導体基板２の下面）にはフォトダイオードやトラ
ンジスタ等が形成された受光部３が設けられている。また、半導体基板２の第１面には、
受光部３のフォトダイオードやトランジスタ等を結ぶ配線回路で構成される能動素子領域
（図示せず）が設けられている。さらに、半導体基板２の第１面には、受光部３、能動素
子領域に電気接続され、電気信号の入出力や、電源の供給などを行う複数の電極（図示せ
ず）が設けられている。受光部３は、半導体基板２の第２面（図１０中の半導体基板２の
上面）に入射し、半導体基板２を透過してくる光や電子等のエネルギー線を受光する。受
光部３、能動素子領域、電極は、所謂裏面照射型イメージセンサを構成している。
【００３８】
半導体基板２の第１面には、貫通孔３３を持つ支持材３２が貼り合わせられ、貫通孔３
３の内壁面から支持材３２の表面に亘って絶縁膜（図示せず）が形成されている。貫通孔
３３内には貫通配線層３４が形成されている。貫通配線３４は、半導体基板２の第１面に
形成された前述の電極（図示せず）と支持材３２の表面に形成された外部端子３６（例え
ば、半田ボール）とを電気的に接続している。支持材３２の表面の外部端子３６以外の領
域は保護膜３５により覆われている。
【００３９】
半導体基板２の第２面上にはカラーフィルタ（図示せず）、オーバーコート膜（図示せ
ず）、マイクロレンズ４が形成されている。カラーフィルタ、オーバーコート膜、マイク
ロレンズ４は、一般に有機材料で構成される。
【００４０】
半導体基板２の第２面上には、受光部３に対応する領域の周囲及び上方を囲うように光
透過性部材５が形成されている。ここで、「対応する」とは、半導体基板の第１面上の受
光部３が形成された領域と、その領域の裏面に位置する半導体基板の第２面上の領域との
関係を言う。これにより、半導体基板２と光透過性部材５との間の受光部３に対応する領
域上方に中空部７が形成される。さらに、光透過性部材５上には、光透過性部材５に平行
に光透過性保護部材６が形成されている。このように、光透過性部材５が半導体基板２の
主面上に、受光部３に対応する領域の周囲及び上方を囲うように形成され、さらに光透過
性部材５上に光透過性保護部６が形成されることにより、中空部７の光透過性保護部材６
側は、すべて光透過性部材５で覆われる。このため、中空部７内において、光透過性保護
部材６と光透過性部材５の界面は露出されない。これにより、従来のように、ドライエッ
チング法やＣＶＤ法、スパッタ法などの高真空プロセスの工程において、中空部の内圧が
増加すると、光透過性保護部材と光透過性部材（接着層）の界面において、界面角部を起
点として剥離が生じ、光透過性保護部材が半導体基板からはずれ、歩留まりが低下すると
いう問題を低減することができる。
【００４１】
また、本実施例の構造においても、実施例２で説明したように、光透過性部材５が外縁
部において半導体基板２との間に間隙２２を備え、かつ、光透過性保護部材６の外縁部ま
で形成されている構造としてもよい。こうすることにより、実施例２と同様の効果が得ら
れる。
【００４２】
さらに、本実施例のセンサーチップでは裏面照射型の撮像素子を用いるため、実施例１
のセンサーチップに比べ、受光部３における光損失を低減することができる。
【００４３】
次に、本実施例に係るセンサーチップの製造方法について、図１１から図２０を参照し
て説明する。図１１から図２０には、同一半導体基板上に２つセンサーチップを同時に形
成し、この２つのセンサーチップを個片化することにより、２つの個別のセンサーチップ
を形成する工程を示す。
【００４４】
まず、図１１に示すように、半導体基板２の第１面にフォトダイオードやトランジスタ
から構成される受光部３と、フォトダイオードやトランジスタ等を結ぶ配線回路で構成さ
れる能動素子領域（図示せず）を形成する。さらに、受光部３、能動素子領域の周囲には
、受光部３、能動素子領域に電気接続され、電気信号の入出力や、電源の供給などを行う
複数の電極（図示せず）を形成する。
【００４５】
次に、図１２、図１３に順に示すように、半導体基板２の第１面と、支持部材３２を貼
り合わせる。貼り合わせの方法は、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
等からなる接着剤を介して貼り合わせてもよいし、水素結合や陽極酸化接合等により直接
貼り合わせてもよい。支持部材３２は、例えば、シリコン、ガリウムヒ素、ホウ圭酸ガラ
ス、石英ガラス、ソーダ石灰ガラス、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等で構成される。
【００４６】
次に、図１４に示すように、半導体基板２の第２面から、機械研磨、化学機械研磨、ウ
ェットエッチング、ドライエッチング法等によりエッチングすることにより、半導体基板
２を薄化する。半導体基板２は、第２面に入射する光や電子等のエネルギー線が半導体基
板２を透過し、第１面に形成された受光部３のフォトダイオードで収集できる厚さまで薄
化する。このため、半導体基板２の厚さは、例えば、１〜２０μｍ程度であることが望ま
しい。次いで、半導体基板２の第２面上に、カラーフィルタ（図示せず）、オプティカル
ブラック層（図示せず）、マイクロレンズ４を形成する。
【００４７】
次に、図１５、図１６に順に示すように、光透過性部材５を表面に備えた光透過性保護
部材６を、光透過性部材５を介して半導体基板２の第１面上に接着する。光透過性部材５
は、受光部３の周囲及び上方を囲うように表面に突出部１２を備えている。光透過性保護
部材６は、突出部１２を備えた光透過性部材５を表面に備え、突出部１２を介して半導体
基板２に接着される。これにより、光透過性部材５と、半導体基板２の第１面に形成され
た受光部３に対応する第２面上の領域との間に中空部７が形成される。
【００４８】
次に、図１７に示すように、支持材３２の表面から、機械研磨、化学機械研磨、ウェッ
トエッチング、ドライエッチング法等によりエッチングすることにより、支持材３２を薄
化する。これにより、支持材３２の厚さを、５０〜５０μｍ程度とする。
【００４９】
次に、図１８に示すように、所定のパターンのマスクを用いて、プラズマエッチング法
により支持材３２の表面から貫通孔３３を形成する。これにより、貫通孔３３から、半導
体基板２の第１面に形成されている電極を露出させる。
【００５０】
次に、図１９に示すように、所定のパターンのマスクを用いて、スパッタ法、ＣＶＤ法
、蒸着法、めっき法、印刷法により、貫通孔３２から露出された電極に内接するとともに
、支持材３２の表面に亘る貫通配線３４を形成する。なお、例えば、支持材３２がシリコ
ン等で構成される場合には、貫通配線３４と支持材３２の間の絶縁のため、貫通孔３３内
から支持材３２の表面に亘って、貫通配線３４と支持材３２の間に絶縁層（図示せず）を
形成する。
【００５１】
次に、図２０に示すように、支持材３２の表面に、貫通配線３３に接して外部端子３６
を形成する。次いで、支持材３２の表面の外部端子３６以外の領域に、保護膜３５を形成
する。次いで、支持材３２、半導体基板２、光透過性部材５、光透過性保護部材６をダイ
サーの切削ブレードにより切断することにより、図１０に示す個片のセンサーチップ３１
が得られる。
【００５２】
本実施例に係るセンサーチップの製造方法においても、実施例１に係るセンサーチップ
の製造方法による効果と同様の効果が得られる。
【００５３】
なお、前述した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を
限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／
改良されうると共に、本発明にはその等価物も含まれる。
【符号の説明】
【００５４】
１、 ２１、３１  センサーチップ
２  半導体基板
３  受光部
４  マイクロレンズ
５  光透過性部材
６  光透過性保護部材
７  中空部
８、３３  貫通孔
９、３４  貫通配線層
１０、３５  保護膜
１１、３６  外部端子
２２  間隙
３２  支持材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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