(57)【要約】【課題】狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査することを可能とする渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置を提供することにある。【解決手段】可撓性基板３には、複数のコイル４が固定されており、被検査体２の表面に密着させて走査される。送り手段１３は、Ｖ字形に張架されたベルト６を備え、可撓性基板３の走査方向と異なる方向にベルト６に取り付けられた可撓性基板３を送る。押圧手段７は、ベルト６の内周側から外周側に向かってベルトを押圧して、可撓性基板３を被検査体２の曲面と平面を同時に押圧する。【選択図】図１
2010127767.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体表面に密着させて走査し、可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブであって、
前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送る送り手段と、
前記可撓性基板を被検査体の曲面と平面を同時に押圧する押圧手段とを備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項２】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記送り手段は、Ｖ字形に張架されたベルトを備え、
前記可撓性基板は、前記ベルトの外周に取り付けられ、
前記押圧手段は、前記ベルトの内周側から外周側に向かって前記ベルトを押圧することを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項３】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記送り手段は、
複数のコイルを固定した前記可撓性基板と接着し、走査方向と異なる方向に配置したベルトと、
前記ベルトの移動を可能とするモータと、
前記モータから動力を伝えると同時に、前記ベルトと接触し、送り方向を案内する複数の回転ローラーと、
これらローラーの回転軸を保持する本体とを備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項４】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記押圧手段は、
支持穴を有する本体と、
前記支持穴に嵌る突起部を有し、前記プローブの挿入する隙間に応じて移動する可動ブロックと、
前記本体に固定した固定ブロックと、
前記可動ブロックと前記固定ブロックの間に設置したバネとを備え、
前記可動ブロックで前記ベルトを押圧することを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項５】
請求項４記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可動ブロックは、その端部に、前記ベルトを押圧する板バネを有することを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項６】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記送り手段は、前記ベルトの緩みを調節するベルト緩み調節手段を備え、
該ベルト緩み調節手段は、前記複数の回転ローラーのうち少なくとも１つの回転軸が可動し、この回転軸の位置は、前記ベルトが常に張った状態を保つように移動する回転軸位置移動機構を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項７】
請求項６記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記回転軸位置移動機構は、支持穴を有する本体と、この支持穴で支持された回転軸をもつ回転ローラーと、この回転ローラーの回転軸に直交する方向に設けた支持軸とバネと、前記支持軸を案内しかつ前記バネの反発力を受け止める止め板と
を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項８】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記送り手段は、前記ベルトを一定の位置に保持する位置保持手段を備え、
前記位置保持手段は、前記ベルトの送り方向に設けた複数の穴と、前記ベルトとの接触面に前記複数の穴に嵌る突起部を設けた前記回転ローラーと、前記ベルトに接着した前記プローブの送り方向を案内する本体とを備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項９】
可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブと、該渦電流探傷プローブを被検査体表面に密着させて走査する走査手段と、前記コイルのうち検出用コイルからの探傷信号を表示する表示部とを有する渦電流検査装置であって、
前記渦電流探傷プローブは、
前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送る送り手段と、
前記可撓性基板を被検査体の曲面と平面を同時に押圧する押圧手段とを備えることを特徴とする渦電流検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置に係り、特に、狭隘部の曲面を検査する好適な渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
渦電流探傷試験は、コイルに交流電流を流し、交流磁場を発生させ、発生させた交流磁場を被検査体に照射し、被検査体表面のき裂や材質（導電率、透磁率）の変化に起因する磁場分布の変化を、別途記録しておいた正常部位との信号の差で評価する非破壊検査方法である。非接触で測定できるため、狭隘部や複雑な曲面の検査への応用が可能であるが、コイルと被検査体との距離が変わるとリフトオフノイズと呼ばれるノイズが発生し、検出したい信号、例えばき裂に起因する信号と区別がつきにくくなることがある。そのため、コイルと被検査体の間は密着もしくは一定の距離を保つほうが望ましい。
【０００３】
狭隘部をおける検査では、狭隘部に挿入可能なプレートの先端にセンサを設置することで、センサを狭隘部に挿入するセンサ送り装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、曲面をもつ金属構造物の渦電流探傷試験には、可撓性基板に固定されたコイルを備えた渦電流探傷プローブが用いられるようになり、弾性体を用いた曲面部の押圧手段をもち、リフトオフノイズの低減する渦電流探傷プローブが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２０７９２７号公報
【特許文献２】特開２００６−１９４６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のセンサ送り装置では、プレートの先端に設置したセンサを、平面に対しては十分な押圧力を与えることはできるが、狭隘部の曲面と平面に対して十分な押圧力を与えることは困難で、検査面の凹凸によるリフトオフノイズが発生し、正確に探傷が実施できない可能性がある。
【０００７】
また、特許文献２に記載の渦電流探傷プローブでは、プローブの挿入方向からの押圧力でプローブを検査面に密着させるため、狭隘部で曲面と平面が混在する検査の場合、両方の面に十分な押圧力を与えることが困難である。さらに、プローブの送りは、弾性体に接続させたアームの移動で実行されるため、探傷領域の広い検査が実施できない問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査することを可能とする渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）上記目的を達成するために、本発明は、被検査体表面に密着させて走査し、可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブであって、前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送る送り手段と、前記可撓性基板を被検査体の曲面と平面を同時に押圧する押圧手段とを備えるようにしたものである。  
かかる構成により、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査できるものとなる。
【００１０】
（２）上記（１）において、好ましくは、前記送り手段は、Ｖ字形に張架されたベルトを備え、前記可撓性基板は、前記ベルトの外周に取り付けられ、前記押圧手段は、前記ベルトの内周側から外周側に向かって前記ベルトを押圧するようにしたものである。
【００１１】
（３）上記（１）において、好ましくは、前記送り手段は、複数のコイルを固定した前記可撓性基板と接着し、走査方向と異なる方向に配置したベルトと、前記ベルトの移動を可能とするモータと、前記モータから動力を伝えると同時に、前記ベルトと接触し、送り方向を案内する複数の回転ローラーと、これらローラーの回転軸を保持する本体とを備えるようにしたものである。
【００１２】
（４）上記（１）において、好ましくは、前記押圧手段は、支持穴を有する本体と、前記支持穴に嵌る突起部を有し、前記プローブの挿入する隙間に応じて移動する可動ブロックと、前記本体に固定した固定ブロックと、前記可動ブロックと前記固定ブロックの間に設置したバネとを備え、前記可動ブロックで前記ベルトを押圧するようにしたものである。
【００１３】
（５）上記（４）において、好ましくは、前記可動ブロックは、その端部に、前記ベルトを押圧する板バネを有するものである。
【００１４】
（６）上記（１）において、好ましくは、前記送り手段は、前記ベルトの緩みを調節するベルト緩み調節手段を備え、該ベルト緩み調節手段は、前記複数の回転ローラーのうち少なくとも１つの回転軸が可動し、この回転軸の位置は、前記ベルトが常に張った状態を保つように移動する回転軸位置移動機構を備えるようにしたものである。
【００１５】
（７）上記（６）において、好ましくは、前記回転軸位置移動機構は、支持穴を有する本体と、この支持穴で支持された回転軸をもつ回転ローラーと、この回転ローラーの回転軸に直交する方向に設けた支持軸とバネと、支持軸を案内しかつバネの反発力を受け止める止め板とを備えるようにしたものである。
【００１６】
（８）上記（１）において、好ましくは、前記送り手段は、前記ベルトを一定の位置に保持する位置保持手段を備え、前記位置保持手段は、前記ベルトの送り方向に設けた複数の穴と、前記ベルトとの接触面に前記複数の穴に嵌る突起部を設けた前記回転ローラーと、前記ベルトに接着した前記プローブの送り方向を案内する本体とを備えるようにしたものである。
【００１７】
（９）また、上記目的を達成するために、本発明は、可撓性基板に固定された複数のコイルを有する渦電流探傷プローブと、該渦電流探傷プローブを被検査体表面に密着させて走査する走査手段と、前記コイルのうち検出用コイルからの探傷信号を表示する表示部とを有する渦電流検査装置であって、前記渦電流探傷プローブは、前記可撓性基板の走査方向と異なる方向に前記可撓性基板を送る送り手段と、前記可撓性基板を被検査体の曲面と平面を同時に押圧する押圧手段とを備えるようにしたものである。  
かかる構成により、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査できるものとなる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、狭隘かつ複雑な曲面の検査面に密着かつ追従でき、広い領域を検査することを可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図１〜図８を用いて、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブ及び渦電流検査装置の構成及び動作について説明する。  
最初に、図１及び図２を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。  
図１は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す正面図である。図２は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す分解斜視図である。なお、図１及び図２において、同一符号は同一部分を示している。
【００２０】
図１に示すように、渦電流探傷プローブ１は、被検査体２の表面に面する可撓性基板３を備えている。ここで、図２に示すように、可撓性基板３には、複数のコイル４が固定されている。また、図１に示すように、渦電流探傷プローブ１は、可撓性基板３に固定されたコイル４を被検査体２側に密着させる弾性体５と、弾性体５に接着したベルト６を介してコイル４を被検査体２側に押圧する押圧手段７を備えている。さらに、渦電流探傷プローブ１は、回転ローラー９，回転ローラー１０によってベルト６を送る送り手段１３を備えている。図２に示すように、回転ローラー１０には、モータ８が接続されている。
【００２１】
可撓性基板３は、例えば、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成されたものを基板としている。可撓性基板３はプリント配線を備えており、コイル４と渦電流探傷プローブ１に接続される外部の測定装置とが電気的に接続される。
【００２２】
コイル４は、銅線を巻いたものを可撓性基板３に接着したものや、可撓性基板３のプリント配線を渦状に施し、コイルとして使用できるものを用いている。
【００２３】
弾性体５は、例えば、ポリウレタンゴム製のスポンジで直方体上に形成され、可撓性基板３に面する側にコイル４を収容している。
【００２４】
次に、送り手段１３の構成について説明する。
【００２５】
ベルト６は、例えばポリイミドフィルムを複数層積層して形成した可撓性基板やプラスティック製のチェーン、キャタピラなどを用いており、回転ローラー９，１０，１１，１２に係合している。ベルト６は、回転ローラー１１によって、Ｖ字形に張架されており、狭隘部に挿入しやすい形状としている。回転ローラー１０は、図２に示すモータ８などの動力源と機械的に接続されており、この動力源によって回転ローラー９あるいは１０の回転し、ベルト６が送られる。また、図２に示すように、ベルト６には、ベルト送り方向１４に一定の間隔で穴１５が設けられている。回転ローラー９，１０とベルト６の接触面には、ベルト６に設けられた穴１５と噛み合わせるための突起１６が設けられており、ベルト６のベルト送り方向１４への案内と、ベルト６とモータ８の動力伝達と、渦電流探傷プローブ１の走査でベルト６の引きずりで発生する位置ずれを防止する。回転ローラー９，１０に用いる材料は、例えば、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性、磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材が望ましい。
【００２６】
図２に示すモータ８は、回転ローラー１０を回転させ、ベルト６を送るためのものであり、ベルト６の送り量を精度良く制御できるステッピングモータや、ベルト６に加わる拘束力が強い時でも、ベルト６を送ることが可能な始動トルクの大きい直流モータを用いている。図示していないが、ギアボックスを設置し、このギアボックスを介してモータを接続すればベルト送りのトルクや速度を調節することができる。
【００２７】
回転ローラー１１は、ベルト６のベルト送り方向１４への案内を目的として設置されている。また、この部分は、渦電流探傷プローブ１が狭隘部に挿入される場合の先端部付近にあたり、コイル４を押付ける役目も担う。回転ローラー１１は、回転ローラー９，１０と同様に、ベルト６の穴１５との噛み合わせるのための突起１６を設けてもよいが、突起１６によってコイル４への圧力が局所的に高くなる可能性があるため、コイル４が変形する恐れがある。そのため、回転ローラー１１には、突起１６を設けなくてもよい。回転ローラー１１に用いる材料は、実際の検査の測定において、コイル４との距離が近くなる場合があるため、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材で構成されている。
【００２８】
次に、ベルト緩み調節手段の構成について説明する。
【００２９】
回転ローラー１２は、ベルト６の張りを自動調節するために設置されている。回転ローラー１２の回転軸の位置は、回転ローラー９，１０，１１と異なり、移動可能である。回転ローラー１２の回転軸と直交する方向に支持軸１７を設け、その支持軸１７にバネ１８を挿入してある。止め板２０には、支持軸１７の軸径より大きく、バネ１８の径より小さい径の貫通穴１９が設けられている。バネ１８を挿入した支持軸１７は、止め板２０の貫通穴１９を通してある。
【００３０】
止め板２０とローラー１２の回転軸は、図２に示すように、２枚板からなる本体２１に設けられた保持穴２２と支持穴２３に差し込み、両面から挟むことで、渦電流探傷プローブ１の位置を保つようにしている。その際、回転ローラー１２の回転軸を支持する支持穴２３は、回転ローラー１２の回転軸の位置が移動できるように、止め板２０で支持された支持軸１７と平行方向の長穴である。
【００３１】
ベルト６は、回転ローラー１２の支持軸１７と反対側に掛けられており、バネ１８の反発力を利用して、ベルト６の張りを保つ機能を有する。ベルト６の張りは、押圧手段７によりベルト６を押圧する程度によって変化する。すなわち、狭隘部の角度が図１に示すように、大きい場合には押圧手段７によるベルト６の張りは強くなり、図５で後述するようなＶ字形の狭隘部の角度が小さい場合には、押圧手段７によるベルト６の張りは弱くなる。このように狭隘部の角度によりベルト６の張りが変化するため、ベルト緩み調節手段を設けることで、ベルト６の張りが弱くなったときも自動的に張りが調節されるため、回転ローラー９，１０の突起１６とベルト６に設けられた穴１５の噛み合わせが保たれ、モータ８からの動力をベルト６に伝えることができるようになる。逆に、ベルト６の張りが強くなったときも自動的に張りが調節されるため、回転ローラー９，１０の突起１６とベルト６に設けられた穴１５の噛み合わせが保たれ、モータ８からの動力をベルト６に伝えることができるようになる。
【００３２】
次に、押圧手段７の構成について説明する。
【００３３】
弾性体５に接着したベルト６は、可動ブロック２４で押圧する。渦電流探傷プローブ１の内側に設置する固定ブロック２５と、可動ブロック２４の間にバネ２６を挿入してある。バネ２６の両端は、可動ブロック２４と固定ブロック２５に設けられている穴２７で位置が固定されている。バネ２６或いはダンパー１５０によって、渦電流探傷プローブ１の外側に向かって、可動ブロック２４に力を与え、ベルト６を介してコイル４を被検査体２の表面に押圧する。
【００３４】
可動ブロック２４は、例えば、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材を用いる。可動ブロック２４の側面には、コイル４の被検査体２側からの押し込みとバネ２６による反発力による移動を可能とし、本体２１で支持できるようにするための突起２８が備えられている。突起２８は、図２に示す本体２１に設けられた長穴２９に差し込むことができ、可動ブロック２４の移動範囲を案内となる。長穴２９の長手方向は、押圧方向と同一とすることで、バネ２６による反発力を効率よくコイル４への押圧力とすることができる。
【００３５】
固定ブロック２５は、例えば、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材を用いる。固定ブロック２５は、本体２１に接着または（図示していないが）ネジ止めするなどの方法で固定し、バネ２６の反発力を受け止める役目を果たす。固定ブロックの形は、押圧面に平行とし、長穴２９の長手方向が押圧方向と同一であれば、バネ２６による反発力を効率よくコイル４への押圧力とすることができる。
【００３６】
本実施形態の渦電流探傷プローブ１を構成する部品を固定もしくは支持する本体２１は、コイル４から発生する磁場分布に影響を与えない（導電性及び磁性がない）アクリル樹脂材、ピーク材、ポリカーボネート、高分子ポリエチレン材などのプラスティック材の板２枚で構成されている。本体２１は、狭隘部の表面形状に応じて先端に尖がりをもつ形で、各部品を差し込み可能な保持穴もしくは支持穴を有し、前記２枚の板２１で、前記部品を挟んで固定もしくは支持する。回転ローラー９，１０，１１の回転軸は、それぞれ、図２に示す保持穴３０，３１，３２に差し込まれ、回転ローラー１２の回転軸は、支持穴２３に差し込まれ、止め板２０は、保持穴２２に差し込まれ、可動ブロック２４に設けられている突起２８は、長穴２９に差し込まれ、保持もしくは支持されている。固定ブロック２５は、接着または、図示していないが、ネジ止めするなどの方法で、本体２１に固定している。
【００３７】
次に、図３を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブのコイルを送ったときの状態について説明する。  
図３は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブのコイルを送ったときの状態を示す正面図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。
【００３８】
ベルト６は、回転ローラー９，１０，１１，１２に引っ掛けられ、回転ローラー１０がモータ８などの動力源と機械的に接続されており、この動力源による回転ローラー１０の回転で弾性体５に接着したベルト６が送られ、弾性体５に装着されている可撓性基板３に固定された複数のコイル４がベルト送り方向１４に沿って移動する。
【００３９】
本実施形態の渦電流探傷プローブ１では、狭隘部の曲面検査における広領域探傷のためのコイル４の位置移動は、狭隘部に挿入したまま、ベルトの送り手段１３で実行することができる。
【００４０】
次に、図４及び図５を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態について説明する。  
図４及び図５は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態を示す正面図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。
【００４１】
図４は、本実施形態の渦電流探傷プローブ１を狭隘部な形状をもつ被検査体２に挿入し、コイル４が完全に密着する前段階を示し、図５は、図４の状態からさらに狭隘部な形状をもつ被検査体２の最も奥部まで押し込んだ状態を示している。
【００４２】
図４において、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、図面上方の狭隘部入口から挿入方向５０へ向かって押し込んでいる。長穴２９によって支持され、バネ２６の反発力によって渦電流探傷プローブ１の外側に向かう力が与えられている可動ブロック２４の突起２８は、コイル４が被検査体２に押し込まれていない状態では、本体２１に備えられた長穴２９の最も被検査体２側に位置する。これにより、可動ブロック２４は、渦電流探傷プローブ１の最も被検査体２側に位置し、ベルト６は、より被検査体２側に位置する。
【００４３】
すべての可動ブロック２４の突起２８が、長穴２９において渦電流探傷プローブ１の最も被検査体２側に位置する時、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、最も幅をもった状態である。渦電流探傷プローブ１の幅が広くなる場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１それぞれの間でベルト６の長さを長くする必要がある。
【００４４】
そこで、回転ローラー１２と回転ローラー９，１のそれぞれの間にあるベルト６の長さを利用する。渦電流探傷プローブ１の幅が広くなった場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１のそれぞれの間でベルト６の長さを長くなるため、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが短くなる。回転ローラー１２の回転軸の位置は、回転ローラー１２の回転軸を支持する支持穴２３に従って移動可能であるため、ベルト６が回転ローラー１２に引っかかる位置が変わり、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さを短くすることが可能となる。
【００４５】
さらに、回転ローラー１２の回転軸と直交する方向に支持軸１７を設け、その支持軸１７にバネ１８を挿入し、前記支持軸が通る貫通穴１９を設けた止め板２０によって、回転ローラー１２は、バネ１８の反発力を利用して常にベルト６の張りをもたせるような位置になる。
【００４６】
図４に示す場合、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが短くなるため、回転ローラー１２の位置は、回転ローラー９，１０に近い、渦電流探傷プローブ１の上方になり、バネ１８は収縮する。
【００４７】
図５において、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、図面上方の狭隘部入口から挿入方向５０へ向かって押し込んでいる。長穴２９によって支持され、バネ２６の反発力によって渦電流探傷プローブ１の外側に向かう力が与えられている可動ブロック２４の突起２８は、コイル４が被検査体２に押し込まれている状態では、本体２１に備えられた長穴２９の本体２１中央側に位置する。これにより可動ブロック２４は、渦電流探傷プローブ１の内側に位置する。
【００４８】
すべての可動ブロック２４の突起２８が、長穴２９において最も本体２１中央側に位置する時、本実施形態の渦電流探傷プローブ１は、幅が狭くなる状態である。渦電流探傷プローブ１の幅が狭くなる場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１のそれぞれの間でベルト６の長さを短くする必要がある。
【００４９】
そこで、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さを調節する。渦電流探傷プローブ１の幅が狭くなった場合、可動ブロック２４と回転ローラー９，１０，１１のそれぞれの間でベルト６の長さを短くなるため、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが長くなる。回転ローラー１２の回転軸の位置は、回転ローラー１２の回転軸を支持する支持穴２３に従って移動可能であるため、ベルト６が回転ローラー１２に引っかかる位置が変わり、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さを長くすることが可能となる。
【００５０】
さらに、回転ローラー１２の回転軸と直交する方向に支持軸１７を設け、その支持軸１７にバネ１８を挿入し、支持軸１７が通る貫通穴１９を設けた止め板２０によって、回転ローラー１２は、バネ１８の反発力を利用して常にベルト６の張りをもたせるような位置になる。
【００５１】
図５に示す場合、回転ローラー１２と回転ローラー９，１０のそれぞれの間にあるベルト６の長さが長くなるため、回転ローラー１２の位置は、回転ローラー９，１０に遠い、渦電流探傷プローブ１の中央になり、バネ１８は伸張する。なお、バネ１８は、図６のように、空気圧や油圧を利用したダンパー１５０と置き換えて押圧力を供給してもよい。このとき、空気圧や油圧を各ダンパーに供給するためにチューブ１５１を用いて、プローブ１外部に設置するポンプ（図示なし）と接続する。チューブ１５１は、他の押圧手段７や送り手段１３の機能を妨げないように穴１５２などを設置し、プローブ１の外部に引き出す。
【００５２】
以上説明した構成及び動作により、ベルト６は、回転ローラー９，１０，１１に対する引っ掛かりが緩まず、ベルト送り手段１３を機能させることができるようになる。
【００５３】
なお、可動ブロック２４の移動範囲が広くなったり、渦電流探傷プローブ１の本体２１の幅がさらに狭くなったりするような場合、可動ブロック２４の回転ローラー１１側と回転ローラー１１でお互いに物理的な干渉を起こす可能性が高くなる。そこで、可動ブロック２４の先端３３を細く板ばね状にすることで解決できる。また、板ばね３３は、可動ブロック２４の弾性によってベルト６に対する押圧効果を生む。
【００５４】
板ばね３３を可動ブロック２４に設ける場合、板ばね３３の先端でベルト６を損傷させる恐れがある。これを解決するために板ばね３３の先端３４の形状を工夫することでベルト６の損傷を押えることができる。
【００５５】
次に、図７を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブの押圧手段７に用いる可動ブロック２４の構成について説明する。  
図７は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの押圧手段に用いる可動ブロックの構成を示す正面図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。
【００５６】
図７は、板ばね３３の先端３４の形状を変えた可動ブロック２４の例を示している。
【００５７】
図７（Ａ）は、図１に示した可動ブロック２４を拡大して図示したものである。可動ブロック２４の端部に儲けられた板ばね３３の先端は、尖形としている。板ばね３３の先端は、コイル４を押付ける場合、ベルト６をひっかくことがある。
【００５８】
ここで、例えば、ベルト６の材料として、ポリイミドフィルムを複数層積層して形成したものを用いた場合、その剛性が高くあまり問題とはならないが、プラスティック製のチェーンやキャタピラを用いた場合には、ベルトを損傷させる可能性がある。その場合には、図７（Ｂ）や図７（Ｃ）に示す板ばねの形状とする。
【００５９】
図７（Ｂ）や図７（Ｃ）に示す可動ブロック２４Ｂ、２４Ｃの板ばねの先端は、曲面を有し、ベルト６の潤滑性が高いため、ベルトの損傷の可能性が低くなる。特に可動ブロック２４Ｃの板ばねの先端３４Ｃは、先端まで弾性を持ち、なおかつ、省スペースとなるため、回転ローラー１１やもう一方の可動ブロック２４Ｂに対する物理的な干渉を低減することが可能となる。
【００６０】
一方では、図７（Ａ）に示した構成の板ばねは、図７（Ｂ）や図７（Ｃ）に示す板ばねに比べて、ベルトと接触する有効長を長くすることができる。従って、ベルト６に作用する押圧力を大きくすることができる。
【００６１】
次に、図８を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブを用いた渦電流探傷装置の構成について説明する。  
図７は、本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いた渦電流探傷装置の構成を示す斜視図である。なお、図１及び図２と同一符号は、同一部分を示している。
【００６２】
本実施形態の渦電流探傷装置１００は、被検査体２の表面に渦電流プローブを走査させるスキャナ装置１０１と、スキャナ装置１０１や図１及び図２にて説明した送り手段１３におけるモータ８を制御する制御装置１０２と、探傷結果を表示する表示装置１０３とから構成されている。
【００６３】
スキャナ装置１０１は、被検査体２の表面に吸盤や磁石により固定する固定具１０４を備えた一対の枠体１０５Ａ，１０５Ｂと、枠体１０５Ａ，１０５Ｂ間に跨って設置された案内レール１０６と、枠体１０５Ａ，１０５Ｂ間に軸支され案内レール１０６と平行に設置されたねじ棒１０７と、ねじ棒１０７を回転駆動するモータ１０８と、案内レール１０６に案内されねじ棒１０７に螺合するスキャナヘッド１０９と、スキャナヘッド１０９に押圧ばね１１０を介して支持された渦電流探傷プローブ１とを備えている。
【００６４】
制御装置１０２は、渦電流探傷プローブ１の複数のコイル４に探傷条件を設定する手段としてのコンピュータ１１１と、コンピュータ１１１の指令により電圧を発生させる発信回路１１２と、発信回路１１２の電圧を設定しながら供給して各コイル４に励磁する励磁回路１１３と、発信回路１１２の電圧を参照し各コイル４のうち検出用のコイルからの探傷信号を入力する位相器１１４と、位相器１１４からの信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器１１５と、Ａ／Ｄ変換器１１５からの信号を順に電子データとして蓄積するメモリ１１６とを備えている。
【００６５】
表示装置１０３は、メモリ１１６に蓄積した電子データをコンピュータ１１１の指令に基づいて表示する。
【００６６】
上記構成の渦電流探傷装置１００は、各コイル４の探傷を終了した後、コンピュータ１１１の指令により、モータ１０８を駆動してねじ棒１０７を回転させる。ねじ棒１０７の回転により、スキャナヘッド１０９は案内レール１０６に沿って被検査体２の表面上を移動する。次の探傷、すなわち、スキャナ装置１０１の移動方向（走査方向）と異なる方向の位置にコイル４を移動させる時、制御装置１０２より、本発明の渦電流探傷プローブ１の送り手段におけるモータ８を制御し、前記モータを動力源としてベルト６をベルト送り方向１４へ送る。
【００６７】
以上説明したように、本実施形態によれば、狭隘部の曲面と平面が混在する検査面でも、広い領域の探傷ができ、コイルが検査面を密着かつ追従でき、正確な探傷が行える。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブのコイルを送ったときの状態を示す正面図である。
【図４】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態を示す正面図である。
【図５】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて狭隘部曲面検査する際の状態を示す正面図である。
【図６】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いて押圧手段に用いる押圧源の構成を示す正面図である。
【図７】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブの押圧手段に用いる可動ブロックの構成を示す正面図である。
【図８】本発明の一実施形態による渦電流探傷プローブを用いた渦電流探傷装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
１…渦電流探傷プローブ
２…被検査体
３…可撓性基板
４…コイル
５…弾性体
６…ベルト
７…押圧手段
８…モータ
９，１０，１１，１２…回転ローラー
１３…送り手段
１４…ベルト送り方向
１５…穴
１６…突起
１７…支持軸
１８…バネ
１９…貫通穴
２０…止め板
２１…本体
２２…保持穴
２３…支持穴
２４…可動ブロック
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ…可動ブロック
２５…固定ブロック
２６…バネ
２７…穴
２８…突起
２９…長穴
３０，３１，３２…保持穴
３３…板ばね
５０…押し込み方向
１００…渦電流探傷装置
１０１…スキャナ装置
１０２…制御装置
１０３…表示装置
１０４…固定具
１０５Ａ，１０５Ｂ…枠体
１０６…案内レール
１０７…ねじ棒
１０８…モータ
１０９…スキャナヘッド
１１０…押圧ばね
１１１…コンピュータ
１１２…発信回路
１１３…励磁回路
１１４…位相器
１１５…Ａ／Ｄ変換器
１１６…メモリ
１５０…ダンパー
１５１…チューブ
１５２…穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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