(57)【要約】【課題】電機子のコイルに発生する熱の被駆動装置への伝達が十分に抑制される直線駆動装置およびその直線駆動装置を備えた電子回路部品装着機を提供する。【解決手段】リニアモータ７２の２列の磁石列１２０，１２２の間に移動可能に設けた電機子１３０の複数のコアブロックの配列方向の両端面にそれぞれ、連結アーム３０１，３０２の各一端の固定部３０６を固定し、アーム部３０８を磁石列１２２を越えて電機子１３０とは反対側へ延び出させ、固定部３０９においてＹ軸スライド６８に固定する。コイルへの電流供給により発生する熱は電機子１３０の上方に設けられた放熱装置３３０により放熱されて電機子１３０の温度上昇が抑制され、また、長い連結アーム３０１，３０２により連結されたＹ軸スライド６８には熱が伝わり難く、両者によりＹ軸スライド６８を始めとするヘッド移動装置の構成要素の温度上昇が抑制され、部品装着精度の低下が抑制される。【選択図】図２５
2010172071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
(a)複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成る磁石列と、(b)それぞれその磁石列に対向し、水平な対向方向に延びるコアが複数、水平な一直線に平行な整列方向に並ぶとともに、それら複数のコアの各々にそれぞれコイルが巻かれて成る電機子とを含み、それら磁石列と電機子とが互いに近接して配置され、コイルに電流が供給されることにより前記一直線に沿って相対移動するリニアモータと、
前記一直線に平行な方向に延びるガイドレールと、
そのガイドレールに相対移動可能に案内される可動部材と、
前記電機子の前記整列方向における両端面の各々と前記可動部材とをそれぞれ結合する結合装置と、
前記電機子の上方の空間に設けられ、その電機子内において発生した熱を放熱する放熱装置と
を含み、前記リニアモータにより前記可動部材を駆動することを特徴とする直線駆動装置。
【請求項２】
前記結合装置が、前記電機子の両端面の各々と、前記可動部材の前記両端面の各々に対応する部分とをそれぞれ結合する２つの結合部材を含む請求項１に記載の直線駆動装置。
【請求項３】
前記２つの結合部材が、前記一直線と交差する方向に延び、前記電機子と前記可動部材とを一体的に移動可能に連結する２つの連結アームである請求項２に記載の直線駆動装置。
【請求項４】
前記磁石列が、前記対向方向において互いに対向して２列配設され、前記電機子が、それら２列の磁石列の各々に対向する状態で前記複数のコアの群がそれぞれ配設され、各コア群にそれぞれ前記コイルが巻かれて成り、その電機子から、前記２つの連結アームが前記２列の磁石列の一方を越えて、その一方の磁石列に対して前記電機子とは反対側まで延び、その反対側において前記可動部材に結合された請求項３に記載の直線駆動装置。
【請求項５】
前記放熱装置が、
各一端部が前記電機子内部に挿入され、各他端部が前記電機子の外方へ突出した複数本のヒートパイプと、
それらヒートパイプの各々の前記突出した部分に設けられた放熱フィンと
を含む請求項１ないし４のいずれかに記載の直線駆動装置。
【請求項６】
前記放熱装置が、さらに、
前記整列方向に延び、前記電機子と共同して前記複数のヒートパイプに設けられた前記放熱フィンを囲む導風筒を形成するカバーと、
前記導風筒の少なくとも一端部に設けられ、その導風筒内に空気の流れを生じさせるファンと
を含む請求項５に記載の直線駆動装置。
【請求項７】
電子回路部品を供給する部品供給装置と、
回路基板を保持する基板保持装置と、
前記電子回路部品を保持する保持ヘッドと、
その保持ヘッドを前記基板保持装置に保持された回路基板に平行な平面内の任意の位置へ移動させるヘッド移動装置と
を含み、前記保持ヘッドにより前記部品供給装置から電子回路部品を受け取り、前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する電子回路部品装着機であって、
前記ヘッド移動装置が、請求項１ないし６のいずれかに記載の直線駆動装置を含む電子回路部品装着機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータを含む直線駆動装置およびその直線駆動装置を備えた電子回路部品装着機に関するものであり、特に、リニアモータの発熱に起因する問題の解決に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータを含む直線駆動装置は、例えば、下記の特許文献１に記載されている。この直線駆動装置は電子回路部品装着機に設けられ、電子回路部品を保持する保持ヘッドを水平面内において直交する２方向であるＹ軸方向およびＸ軸方向に移動させる第一直線駆動装置および第二直線駆動装置がそれぞれ、リニアモータを備えたものとされている。第一直線駆動装置は電子回路部品装着機の基台上に設けられ、第二直線駆動装置は第一直線駆動装置のスライダ上に設けられているが、各リニアモータの構成はいずれの直線駆動装置も同じであり、１列の磁石列および電機子を備えている。磁石列は、複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成り、電機子は複数のコアが一直線状に並ぶとともに、それぞれコイルが巻かれて成る。スライダがＸ軸方向に移動させられる第二直線駆動装置では、磁石列は、第一直線駆動装置のＹ軸方向に移動させられるスライダ上に設けられたビームにＸ軸方向に平行に固定され、ビームに磁石列と平行に設けられた１対のガイドレールに摺動可能に嵌合されたスライダの磁石列と対向する背面に電機子が取り付けられている。電機子はスライダに複数のスペーサを介して取り付けられ、電機子には、スペーサにより形成される電機子とスライダとの間の空隙へ突出する状態で放熱フィンがＸ軸方向に沿って設けられている。また、ビームの先端部にはファンが設けられ、電機子とスライダとの間の空隙にＸ軸方向の空気流を形成するようにされている。
保持ヘッドの移動時には、第一，第二直線駆動装置の各リニアモータの電機子のコイルに電流が供給され、コイルが発熱するが、スペーサは樹脂等の熱伝導率の小さい素材で形成されており、コイルが発生する熱のスライダへの伝導が抑制されるとともに、放熱フィンにより放熱され、スライダの温度上昇が抑制される。また、スライダの移動に伴って電機子との間の空隙が通気孔として機能し、その空隙を流れる空気流によって放熱フィンからの放熱が促され、スライダの停止時にはファンによって空隙に生じさせられる空気流によって放熱が促される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１０８９５０公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の直線駆動装置は、スライダに伝達される熱の抑制が未だ充分とは言えない。スライダと電機子との間隔が狭く、両者間の距離が短いため、電機子がスライダに熱伝導率の小さいスペーサを介して取り付けられても、一連の回路基板への電子回路部品の装着が行われる間に伝わる熱は少なくなく、また、放熱フィンはスライダと電機子との間の狭い空間に設けられるため、小さいものとせざるを得ず、空気流により放熱が促されても十分ではなく、スライダに伝達される熱が多いのである。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、電機子のコイルに発生する熱の被駆動装置への伝達が十分に抑制される直線駆動装置およびその直線駆動装置を備えた電子回路部品装着機の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題は、リニアモータにより可動部材を駆動する直線駆動装置を、(A)(a)複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成る磁石列と、(b)それぞれその磁石列に対向し、水平な対向方向に延びるコアが複数、水平な一直線に平行な整列方向に並ぶとともに、それら複数のコアの各々にそれぞれコイルが巻かれて成る電機子とを含み、それら磁石列と電機子とが互いに近接して配置され、コイルに電流が供給されることにより上記一直線に沿って相対移動するリニアモータと、(B)上記一直線に平行な方向に延びるガイドレールと、(C)そのガイドレールに相対移動可能に案内される可動部材と、(D)電機子の上記整列方向における両端面の各々と可動部材とをそれぞれ結合する結合装置と、(E)上記電機子の上方の空間に設けられ、その電機子内において発生した熱を放熱する放熱装置とを含むものとすることにより解決される。
【０００６】
上記の課題はまた、(i)電子回路部品を供給する部品供給装置と、(ii)回路基板を保持する基板保持装置と、(iii)電子回路部品を保持する保持ヘッドと、(iv)その保持ヘッドを基板保持装置に保持された回路基板に平行な平面内の任意の位置へ移動させるヘッド移動装置とを含み、保持ヘッドにより部品供給装置から電子回路部品を受け取り、基板保持装置に保持された回路基板に装着する電子回路部品装着機のヘッド移動装置を、本発明に係る直線駆動装置を含むものとすることにより解決される。
【発明の効果】
【０００７】
結合装置による電機子と可動部材との結合と放熱装置の設置とは、互いに許容されるように行われることは勿論であるが、磁石列の数も考慮して行われる。リニアモータが電機子の片側にのみ磁石列を備えるものである場合には、電機子の対向方向において磁石列が設けられていない側と、電機子の上下両側とに空間があるのに対し、磁石列が２列配設され、それら磁石列の間に電機子が配設されるものである場合には、電機子の上下両側に空間があるのみであるからである。
本発明に係る直線駆動装置では、結合装置が、電機子の整列方向における両端面の各々と可動部材とをそれぞれ結合するものとされ、放熱装置が電機子の上方に設けられることにより、磁石列が２列配設されていて、電機子の磁石列と対向する２側面を可動部材との結合や放熱装置の配設に利用することができなくても、電機子と可動部材とを結合することができるとともに、電機子の上方に空いた広い空間に大きい放熱装置を設け、上方へ伝わり易い熱が良好に放熱されるようにすることができ、電機子の温度上昇が良好に抑制される。
また、電機子の整列方向における両端面は外部に面していて、両端面の間の部分に比較して熱が貯まり難く、結合装置が電機子のその両端面の各々と可動部材とをそれぞれ結合するため、熱が伝わり難く、可動部材への熱伝導が少なくて済む。さらに、電機子の整列方向における両端面以外の面側の空間が電機子と可動部材との結合のために使われることが少なく、直線駆動装置の設計の自由度が増す。
このように本発明に係る直線駆動装置によれば、電機子から可動部材への熱伝達の抑制と、放熱による電機子の温度上昇の抑制とが行われるが、いずれも十分に行われ、可動部材の温度上昇が良好に抑制される。
【０００８】
本発明に係る電子回路部品装着機においては、リニアモータによって可動部材が移動させられることにより保持ヘッドが移動させられる。リニアモータの電機子から可動部材への熱の伝達が抑制されることにより、可動部材を始めとするヘッド移動装置の構成要素の温度上昇が抑制され、それら構成要素の熱変形が抑制されて装着精度の低下が抑制される。
【発明の態様】
【０００９】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、少なくとも、請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」を含むが、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施形態の記載，従来技術等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１０】
なお、以下の各項において、（３）項と（１０）項とを合わせたものが請求項１に相当し、（４）項の結合部材を２つ含み、（３）項に従属する態様が請求項２に、（５）項の連結アームを２つ含み、（３）項に従属する態様が請求項３に、（８）項の連結アームを２つ含む態様が請求項４に、（１４）項が請求項５に、（１６）項が請求項６に、（１８）項が請求項７に、それぞれ相当する。
【００１１】
（１）(a)複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成る磁石列と、(b)それぞれその磁石列に対向する対向方向に延びるコアが複数、一直線に平行な整列方向に並ぶとともに、それら複数のコアの各々にそれぞれコイルが巻かれて成る電機子とを含み、それら磁石列と電機子とが互いに近接して配置され、コイルに電流が供給されることにより一直線に沿って相対移動するリニアモータと、
前記一直線に平行な方向に延びるガイドレールと、
そのガイドレールに相対移動可能に案内される可動部材と、
その可動部材と前記電機子とを一体的に移動可能に結合する結合装置と
を含み、前記リニアモータにより前記可動部材を駆動する直線駆動装置。
上記磁石列，電機子，ガイドレール，可動部材および結合装置によりリニアモータが構成されると考えることも、さらに、上記部材に、磁石列とガイドレールとを位置決めして保持する保持部材を加えたものによりリニアモータが構成されると考えることもできる。
複数のコアは一体に作られ、整列方向に並んでもよく、互いに独立したコアブロックとされ、それら複数のコアブロックが整列方向に配列され、連結装置によって連結されてもよい。
磁石列は、対向方向が水平となる状態で設けられても、鉛直となる姿勢で設けられてもよい。
（２）前記結合装置が、前記電機子の前記整列方向における両端部の各々と前記可動部材とをそれぞれ結合する装置である(1)項に記載の直線駆動装置。
（３）前記両端部がそれぞれ、前記電機子の前記整列方向における両端面の各々である(2)項に記載の直線駆動装置。
リニアモータが、電機子の片側にのみ磁石列を備えるものである場合には、その磁石列とは反対側において、電機子と可動部材とを連結することも可能である。しかし、(7)項におけるように２列の磁石列を含むものである場合には、電機子の磁石列と対向する２側面を可動部材との連結に利用することができず、また、(9)項におけるように、前記整列方向および前記対向方向と直交する方向において電機子に隣接する空間に放熱装置が設けられる場合には、電機子の放熱装置側の面も可動部材との連結に利用することができない。本項の構成によれば、そのような場合でも支障なく電機子と可動部材とを連結することができる。
可動部材は、電機子の両端面の各々と結合される場合、対向方向に並ぶ状態で結合されてもよく、直交方向に並ぶ状態で結合されてもよい。前者の場合、電機子と可動部材とは磁石列の両側に位置する状態で結合されてもよく、リニアモータが電機子の片側にのみ磁石列を備える単列型である場合、電機子の磁石列側とは反対側において可動部材が結合されてもよい。また、電機子と可動部材とが直交方向に並ぶ状態で結合される場合、例えば、直交方向が鉛直方向であり、(10)項に記載の直線駆動装置のように放熱装置が電機子の上方に設けられる場合、例えば、連結アームを使用し、可動部材が放熱装置の上側に位置する状態で電機子に連結することができる。この場合、連結アームを、例えば、開口を有するものとし、放熱装置の周辺の空気の流れを妨げないようにすることが望ましい。
（４）前記結合装置が、前記電機子と前記可動部材とを一体的に移動可能に結合する１つ以上の結合部材を含む(1)項ないし(3)項のいずれかに記載の直線駆動装置。
結合部材には、例えば、次項に記載の連結アームや、電機子と可動部材との間に挟まれ、両者を結合する部材がある。
本項が(1)項に従属する態様では、結合部材は可動部材を電機子のいずれの部分において結合する部材とされてもよい。
（５）前記１つ以上の結合部材が、前記一直線と交差する方向に延び、前記電機子と前記可動部材とを一体的に移動可能に連結する１つ以上の連結アームを含む(4)項に記載の直線駆動装置。
一直線と交差する方向には、一直線に対して直角な一平面内において一直線と交差する方向（この方向に一直線と直交する方向が含まれる）および一直線に対して直角以外の角度で交差する一平面内において一直線と交差する方向が含まれる。
連結アームは、電機子と可動部材との少なくとも一方と一体に形成されてもよく、電機子および可動部材とは別体の部材とされてもよい。連結アームが電機子と可動部材との一方と一体に形成される場合、連結アームは、電機子と可動部材との一方から一直線と交差する方向に延び出させられたアーム部と、アーム部の延出し端部に設けられた固定部とを備え、固定部において電機子と可動部材との他方に固定される。
また、連結アームが電機子および可動部材とは別の部材とされる場合、連結アームは、その両端部にそれぞれ固定部を備え、それら固定部において電機子と可動部材とにそれぞれ固定され、２つの固定部の間の部分が一直線と交差する方向に延びるアーム部を構成する。
連結アームは長く、電機子と可動部材とを互いに距離を隔てた状態で結合することができ、コイルに発生した熱の可動部材への伝達が良好に抑制され、可動部材の温度上昇が良好に抑制される。
なお、可動部材と電機子とが１つの連結アームのみあるいは２つ以上の連結アームのみによって連結される場合には、可動部材と電機子とを結合する装置を連結装置と称し、可動部材と電機子とが１つの連結アームあるいは２つ以上の連結アームによって連結されるとともに、その連結アームとは別の態様の結合部材によって結合される場合あるいは連結アームを用いないで結合される場合と、上記連結装置とを包含する広い用語として「結合装置」を使用する。
連結装置によれば、電機子と可動部材とを連結アームにより結合することによる効果を最も有効に享受することができるが、結合装置が連結アームとは別の態様の結合部材を含む場合でも、可動部材と電機子との少なくとも連結アームによって連結される部分については、電機子から可動部材への熱伝導が少なくて済み、結合装置全体における熱伝導が抑制される。
また、結合装置を、電機子と可動部材とを１つの連結アームにより連結するものとする場合より、２つの連結アームで連結するものとする方が、比較的横断面積の小さい連結アームにより両者を強固に連結することができ、電機子から可動部材への熱の伝達をより良好に抑制することができる。
本項が(2)項あるいは(3)項に従属する態様では、結合装置は２つの連結アームを含み、電機子の整列方向における両端部の各々あるいは両端面の各々と可動部材とがそれぞれ、連結アームにより連結される。電機子の整列方向における両端面の各々と可動部材とがそれぞれ連結アームによって連結される場合、２つの連結アームは電機子に、その整列方向の両端面において接触するため、熱が伝わり難く、可動部材への熱伝導が少なくて済む。
（６）前記１つ以上の連結アームが、前記電機子から前記磁石列を越えてその磁石列の反対側まで延び、その反対側において前記可動部材に結合された(5)項に記載の直線駆動装置。
電機子と可動部材とが連結アームによって連結される場合、連結アームは電機子の適宜の箇所と可動部材とを連結するものとされ得るが、磁石列を越えて両者を連結する連結アームは必然的に長くなり、コイルに発生した熱の可動部材への伝導が良好に抑制される。
（７）前記磁石列が、前記対向方向において互いに対向して２列配設され、前記電機子が、それら２列の磁石列の各々に対向する状態で前記複数のコアの群がそれぞれ配設され、各コア群にそれぞれ前記コイルが巻かれて成る(1)項ないし(6)項のいずれかに記載の直線駆動装置。
磁石列が２列配設されたリニアモータによれば、１列配設されたリニアモータに比較して大きい駆動力が得られる。
（８）前記結合装置が、前記一直線と交差する方向に延び、前記電機子と前記可動部材とを一体的に移動可能に連結する１つ以上の連結アームを含み、その連結アームが、電機子から前記２列の磁石列の一方を越えて、その一方の磁石列に対して前記電機子とは反対側まで延び、その反対側において前記可動部材に結合された(7)項に記載の直線駆動装置。
２列の磁石列の一方を越える連結アームは、１つでも２つでもよく、３つ以上でもよい。
本項の、連結アームが磁石列を超えて延びる構成は、磁石列が電機子の両側に２列設けられる場合に特に有効であるが、電機子の片側のみに磁石列が設けられる場合でも、周囲の状況によっては有効な構成となる場合がある。電機子の片側のみに磁石列が設けられるとともに、放熱装置が設けられる場合、可動部材と電機子とを磁石列を越える連結アームにより連結し、電機子の磁石列が設けられていない側に放熱装置を設けてもよい。
本項が(3)項に従属する態様では、結合装置は２つの連結アームを含み、それら連結アームがそれぞれ、電機子の整列方向における両端面の各々から磁石列を越えて可動部材に結合される。
（９）前記電機子に前記整列方向および前記対向方向と直交する直交方向において隣接する空間に、その電機子内において発生した熱を放熱する放熱装置が設けられた(1)項ないし(8)項のいずれかに記載の直線駆動装置。
放熱装置が設けられる場合、リニアモータが、電機子の片側にのみ磁石列を備えるものである場合には、電機子の対向方向において磁石列が設けられていない側に隣接する１つの空間と、直交方向において電機子に隣接する２つの空間とのうちのいずれかにおいて可動部材が結合され、他の空間に放熱装置が設けられ得るが、磁石列が対向方向において２列配設され、それら磁石列の間に電機子が配設される場合、電機子の対向方向の両側に磁石列があって放熱装置は設けられ得ない。しかし、直交方向において電機子に隣接する２つの空間の少なくとも一方に放熱装置が設けられれば、リニアモータがいかなる構成であっても、空いた広い空間に大きい放熱装置を設けることができ、放熱が十分に行われ、電機子の温度上昇が良好に抑制される。
本項が(3)項，(7)項および(8)項に記載の要件を含む態様では、リニアモータが２列の磁石列を備えた直線駆動装置において、電機子と可動部材とが放熱装置と干渉することなく、２つの連結アームによって連結され、電機子の温度上昇抑制と、可動部材への熱伝達の抑制との両方による可動部材の温度上昇抑制効果が得られる。
本項が(1)項に従属する態様では、電機子と可動部材とは、電機子のいずれの側において結合される態様も含まれる。放熱装置が設けられた側においても、可動部材は放熱装置との干渉を避けて電機子に結合されればよい。
また、結合装置の態様は問わず、結合装置は、１つ以上の連結アームのみを含む連結装置とされてもよく、あるいは１つ以上の連結アームおよび連結アーム以外の結合部材を含む装置とされてもよく、連結アームを含まない装置とされてもよい。いずれにしても、放熱による電機子の温度上昇の抑制が行われることにより、可動部材の温度上昇が良好に抑制される。
（１０）前記整列方向と前記対向方向とが共に水平方向であり、前記電機子の上方に前記放熱装置が設けられる(9)項に記載の直線駆動装置。
熱は上方へ伝わるため、電機子の上方に放熱装置が設けられれば、放熱が良好に行われる。
（１１）前記結合装置が、前記電機子と前記可動部材とを一体的に移動可能に結合する１つ以上の結合部材を含む(9)項または(10)項に記載の直線駆動装置。
（１２）前記結合装置が、前記電機子と前記可動部材とを一体的に移動可能に結合する１つ以上の結合部材を含み、その結合部材が、前記対向方向の成分を有する方向に延びる連結アームである(9)項に記載の直線駆動装置。
対向方向の成分を有する方向は、対向方向と直交する平面内の方向以外の方向である。
本項に記載の特徴は(10)項に記載の特徴と組み合わせて採用することも可能である。
（１３）前記連結アームが前記対向方向と平行に延びる(12)項に記載の直線駆動装置。
（１４）前記放熱装置が、
各一端部が前記電機子内部に挿入され、各他端部が前記電機子の外方へ突出した複数本のヒートパイプと、
それらヒートパイプの各々の前記突出した部分に設けられた放熱フィンと
を含む(9)項ないし(13)項のいずれかに記載の直線駆動装置。
電流の供給によりコイルが発する熱はヒートパイプにより放熱フィンへ伝達され、放熱される。ヒートパイプがコイルに近接して配設され、コイルの熱が良好に放熱フィンへ伝達され、放熱が効率良く行われる。
（１５）前記複数のコアの前記整列方向において互いに隣接するもの同士に関して、前記コイルが、千鳥状にかつ前記対向方向に隙間を隔てて配設され、それらコイル間の前記隙間に、前記ヒートパイプの一端部が挿入された(14)項に記載の直線駆動装置。
整列方向において互いに隣接するコイル間の対向方向の隙間に配設されたヒートパイプは、２つのコイルの各々のいずれにも位置が近く、放熱を良好にかつ均等に行うことができる。そのため、放熱によるコイルの温度上昇抑制により得られる効果、例えば、コイルへの供給電流を増大させ、所定の推進力を得つつ、コイルの巻数を低減させることによる電機子の小形，軽量化の効果や、コイルの巻数を増やして電機子を大形化することなく、リニアモータの推進力を増大させることができる効果を良好に得ることができる。
（１６）前記放熱装置が、さらに、
前記整列方向に延び、前記電機子と共同して前記複数のヒートパイプに設けられた前記放熱フィンを囲む導風筒を形成するカバーと、
前記導風筒の少なくとも一端部に設けられ、その導風筒内に空気の流れを生じさせるファンと
を含む(14)項または(15)項に記載の直線駆動装置。
ヒートパイプから放熱フィンに伝達された熱は、ファンによって導風筒内に生じさせられた空気の流れによりフィン周辺から強制的に運び去られ、ヒートパイプおよび放熱フィンからの放熱が促される。可動部材の停止中も放熱フィンの周辺に空気流が得られ、放熱が良好に行われる。
（１７）さらに、
前記整列方向に延び、前記磁石列，前記電機子および前記放熱装置を囲むとともに、前記１つ以上の連結アームの移動を許容する長手形状の開口を有するカバーと、
そのカバーに接続されたダクトと、
前記カバー内部の空気を前記ダクトを経てカバー外部へ排出するファンと
を含む(12)項または(13)項に記載の直線駆動装置。
磁石列等がカバーによって囲まれることにより、可動部材の可動スペースから隔離され、放熱装置からの放熱により高温となった空気が可動部材周辺に流れて可動部材の温度を上昇させることが回避される。カバー内の高温の空気は、ファンによってカバー内部に生じさせられる空気流によって外部へ排出され、放熱が良好に行われる。
なお、本項に記載の特徴と、(14)項ないし(16)項のいずれかに記載の特徴とを合わせて採用することも可能である。
（１８）電子回路部品を供給する部品供給装置と、
回路基板を保持する基板保持装置と、
前記電子回路部品を保持する保持ヘッドと、
その保持ヘッドを前記基板保持装置に保持された回路基板に平行な平面内の任意の位置へ移動させるヘッド移動装置と
を含み、前記保持ヘッドにより前記部品供給装置から電子回路部品を受け取り、前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する電子回路部品装着機であって、
前記ヘッド移動装置が、前記(1)項ないし(17)項のいずれかに記載の直線駆動装置を含む電子回路部品装着機。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】一実施形態である直線駆動装置を備えた電子回路部品装着機を概略的に示す平面である。
【図２】図１に示す電子回路部品装着機を示す斜視図である。
【図３】図１に示すリニアモータの磁石列および電機子のコアブロックの一部を示す平面図（一部断面）である。
【図４】図１に示すリニアモータの電機子を示す平面図である。
【図５】図４に示す電機子を示す平面断面図である。
【図６】図４に示す電機子を示す側面図である。
【図７】図４に示す電機子を示す正面断面図である。
【図８】図４に示す電機子を示す正面図である。
【図９】図４に示す電機子を構成するコアブロックにボビンが嵌合された状態を示す斜視図である。
【図１０】図９に示すボビンを示す側面図である。
【図１１】図９に示すボビンを示す正面図である。
【図１２】図９に示すボビンを形成するボビン形成部材を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示すボビン形成部材を示す右側面図である。
【図１４】図１２に示すボビン形成部材を示す左側面図である。
【図１５】図１２に示すボビン形成部材を示す平面図である。
【図１６】図１２に示すボビン形成部材を示す正面図である。
【図１７】図１２に示すボビン形成部材を示す側面断面図である。
【図１８】図１２に示すボビン形成部材を溝が形成された部分において断面にして示す背面図である。
【図１９】図４に示す電機子におけるコアブロックについてのコイルの巻付け順序およびコイルの結線を説明する図である。
【図２０】図４に示す電機子について、３相のうちの１相を構成する３つのコアブロックへのコイルの巻付けを説明する図である。
【図２１】図４に示す電機子の一部のコアブロックの各々にボビンが嵌合され、コイルが巻かれた状態を示す平面図である。
【図２２】図４に示す電機子をヒートパイプおよびフィンと共に示す斜視図である。
【図２３】図２２に示す電機子にファンおよび連結アームが取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図２４】図２３に示す電機子にカバーが被せられた状態を示す斜視図である。
【図２５】図２４に示す電機子にＹ軸スライドが連結された状態を示す斜視図である。
【図２６】別の実施形態である直線駆動装置を概略的に示す側面図である。
【図２７】図２６に示す直線駆動装置を示す正面図（一部断面）である。
【図２８】図２６に示す直線駆動装置を示す平面図（一部断面）である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、請求可能発明のいくつかの実施形態を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１４】
図１に、請求可能発明の一実施形態である直線駆動装置を含み、請求可能発明の一実施形態である電子回路部品装着機が概略的に示されている。本電子回路部品装着機は、装着機本体１０と、１対の電子回路部品装着部１２，１４とを備えている。これら電子回路部品装着部１２，１４は、基板搬送装置１６により搬送される回路基板１８の部品装着面に平行な平面、本電子回路部品装着機では水平面内において基板搬送方向と直交する方向に対して対称に設けられ、基板搬送方向に並んで設けられている。基板搬送方向をＸ軸方向、水平面内において基板搬送方向と直交する方向をＹ軸方向とする。基板搬送装置１６は、例えば、コンベヤの一種であるベルトコンベヤにより構成され、装着機本体１０を構成するベース２０上に電子回路部品装着部１２，１４にわたって設けられている。
【００１５】
電子回路部品装着部１２，１４の構成は同じであり、基板搬送方向において下流側の電子回路部品装着部１４を代表的に説明する。
電子回路部品装着部１４は、図１に示すように、１対の部品供給装置３０，３２，基板保持装置３４，１対の保持ヘッド３６，３８および１対のヘッド移動装置４０，４２を備えている。部品供給装置３０，３２はそれぞれ、Ｙ軸方向において基板搬送装置１６の両側に設けられ、例えば、フィーダ支持台（図示省略）上に取り付けられた部品供給具としての複数のフィーダ４４によって電子回路部品を供給するものとされている。これらフィーダ４４は、例えば、電子回路部品を部品保持テープに保持させた状態で供給するテープフィーダとされ、各部品供給部が基板搬送方向に平行な方向に沿って並ぶ状態で設けられている。フィーダは、バルクフィーダ，スティックフィーダ等、テープフィーダ以外の部品フィーダでもよい。また、部品供給装置は、トレイにより電子回路部品を供給する装置でもよく、フィーダとトレイとの両方によって電子回路部品を供給する装置でもよい。
【００１６】
基板保持装置３４は、例えば、支持面を備え、回路基板１８を下方から支持する支持部材としての複数の支持ピンおよびそれら支持ピンが着脱可能に取り付けられる支持台と、回路基板１８の基板搬送方向に平行な両縁部をクランプするクランプ装置とを含んで構成される。支持部材は、バキュームカップを備え、回路基板を負圧により吸着し、支持面に押し付けて保持する機能を備えた保持型の支持部材としてもよい。
【００１７】
保持ヘッド３６，３８およびヘッド移動装置４０，４２を説明する。
ヘッド移動装置４０，４２はそれぞれ、図１に示すように、Ｘ軸方向移動装置６０，６２およびＹ軸方向移動装置６４，６６を含む。Ｙ軸方向移動装置６４，６６はそれぞれ、Ｙ軸スライド６８，７０と、可動部材駆動装置たるリニアモータ７２，７４とを含み、Ｙ軸スライド６８，７０の移動は共通の案内装置７６により案内される。
【００１８】
案内装置７６は、図１および図２に示すように、前記ベース２０のＸ軸方向における中央部と、中央部からＸ軸方向において基板搬送方向の下流側（図１においては右側）に隔たった部分とにそれぞれ、Ｙ軸方向に平行に設けられた案内部材としてのガイドレール７８，８０を含む。ガイドレール７８は、ベース２０の上記中央部に設けられた取付台８２上に設けられ、ガイドレール８０は、ベース２０の上記下流側の端部に設けられた側壁部８４上に設けられている。
【００１９】
Ｙ軸スライド６８，７０はそれぞれ、図１に示すように、長手形状の本体部８５を備え、その本体部８５の長手方向の両端部にそれぞれ設けられた脚部８６の各々に、被案内部材としてのガイドブロック８８（図２参照）が設けられ、ガイドレール７８，８０にＹ軸方向に摺動可能に嵌合されている。Ｙ軸スライド６８，７０はそれぞれの移動領域の大部分が共通であり、案内装置７６はＹ軸方向移動装置６４，６６のそれぞれの構成要素である。リニアモータ７２，７４については、後に詳細に説明する。
【００２０】
前記Ｘ軸方向移動装置６０，６２はそれぞれ、図１および図２に示すように、Ｙ軸スライド６８，７０上に設けられ、可動部材としてのＸ軸スライド９０，９２，Ｘ軸スライド駆動装置９４，９６および案内装置９８，１００を含む。Ｘ軸スライド駆動装置９４は、図２５に示すように、駆動源たる電動回転モータの一種であるＸ軸移動用モータ１０２と、運動変換機構の一種である送りねじ機構たるボールねじ機構１０４とを含む。Ｘ軸移動用モータ１０２は、駆動源の一種である電動回転モータたるサーボモータにより構成されている。サーボモータは回転角度の精度の良い制御が可能なモータである。ボールねじ機構１０４は、Ｙ軸スライド６８上にＸ軸方向に平行に設けられたねじ軸１０６と、Ｘ軸スライド９０に設けられ、ボールを保持してねじ軸１０６に螺合されたナット１０８とを含む。Ｘ軸スライド９０にはガイドブロック１１０が設けられ、Ｘ軸スライド９０は１対のガイドレール１１２を含む案内装置９８により案内され、Ｙ軸スライド６８上においてＸ軸方向の任意の位置へ移動させられる。Ｘ軸スライド駆動装置９６および案内装置１００はそれぞれ、Ｘ軸スライド駆動装置９４および案内装置９８と同様に構成され、Ｘ軸スライド９２はＹ軸スライド７０上においてＸ軸方向の任意の位置へ移動させられる。
【００２１】
保持ヘッド３６，３８はそれぞれ、図１に示すように、Ｘ軸スライド９０，９２上に設けられ、水平面内において、２つの部品供給装置３０，３２のうち、Ｙ軸方向において同じ側に位置する部品供給装置から基板保持装置３４を含む領域の任意の位置へ移動させられる。本保持ヘッド３６，３８はそれぞれ、電子回路部品を負圧により吸着して保持する部品保持具としての少なくとも１つの吸着ノズル（図示省略）により、フィーダ４４から電子回路部品を受け取り、回路基板１８に装着する。
【００２２】
前記リニアモータ７２，７４を説明する。
前記ベース２０のＸ軸方向における中央部には、図１に示すように、前記取付台８２上に前記ガイドレール７８に隣接して２列の磁石列１２０，１２２がそれぞれ、Ｙ軸方向に平行に延びるとともに、Ｘ軸方向に距離を隔てて互いに対向して設けられている。ガイドレール７８と磁石列１２０，１２２とは、取付台８２への取付けにより、Ｘ軸方向およびＹ軸方向において互いに位置決めされた状態で保持される。Ｙ軸スライド６８，７０全体が可動部材と考えることも、１対の脚部８６あるいは１対の脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材と考えることも、ガイドレール７８により案内される脚部８６が可動部材と考えることも、その脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材と考えることもできる。Ｙ軸スライド６８，７０全体あるいは１対の脚部８６あるいはそれら脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材を構成すると考える場合、可動部材はガイドレール７８，８０により案内され、取付台８２，側壁部８４およびベース２０を含んで、磁石列とガイドレールとを位置決めして保持する保持部材が構成されると考えられる。また、ガイドレール７８により案内される脚部８６あるいはその脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材を構成すると考える場合、取付台８２が保持部材を構成すると考えられる。
【００２３】
２つの磁石列１２０，１２２はそれぞれ、図３に示すように、ヨーク１２４と、ヨーク１２４に固定された複数の永久磁石１２６とを含む。ヨーク１２４は長手形状を成し、その長手方向がＹ軸方向に平行となる姿勢で取付台８２上に固定され、複数の永久磁石１２６は、図３に示すように、磁石列１２０，１２２の各ヨーク１２４の互いに対向する面に、極性が交互に変わる状態で、ヨーク１２４の長手方向に適宜の間隔を隔てて、本リニアモータ７２，７４では等間隔に固定されている。
【００２４】
リニアモータ７２，７４はそれぞれ、上記磁石列１２０，１２２の間に磁束が通る隙間を有してＹ軸方向に移動可能に配設された電機子１３０，１３２を含む。本リニアモータ７２，７４は、磁石列１２０，１２２が固定子を構成し、電機子１３０，１３２が可動子を構成し、２列の磁石列１２０，１２２が対向する２列対向型のリニアモータである。磁石列１２０，１２２は、電機子１３０，１３２が近接して配置され、永久磁石１２６と電機子１３０，１３２のコアとの間に磁束が通る空隙が得られる間隔を隔てて対向させられ、電機子１３０，１３２の各々と２列の磁石列１２０，１２２との電磁作用により、Ｙ軸スライド６８，７０を移動させる推進力が生じさせられる。リニアモータ７２，７４はそれぞれ、２列の磁石列１２０，１２２を含み、固定子を共用していると考えることができる。電機子１３０，１３２は同様に構成されており、一方の電機子１３０を代表して説明する。
【００２５】
電機子１３０は、図４ないし図６に示すように、それぞれコイル１４０が巻かれ、互いに独立した複数のコアブロック１４２が結合装置としての連結装置１４４により連結されて成る。複数のコアブロック１４２はそれぞれ、強磁性材料、例えば、珪素鋼により作られ、図３に電機子１３０について示すように、磁石列１２０，１２２に対向する対向方向に延びる状態で配設されるとともに、複数の永久磁石１２６が並ぶ方向に平行に一直線に並んだ状態で配列され、連結装置１４４により連結されている。本リニアモータ７２，７４では、対向方向はＸ軸方向に平行であり、整列方向である配列方向はＹ軸方向に平行であり、いずれも水平である。
【００２６】
複数のコアブロック１４２はそれぞれ、図５および図９に示すように、横断面形状（対向方向に直角な方向の断面形状）が長方形の平板の両端であって、対向方向の両端にそれぞれフランジ１４６，１４８が形成され、中央部に連結部１５０が設けられた形状を有する。連結部１５０は、幅（配列方向に平行な方向の寸法）がフランジ１４６，１４８より大きくされ、コアブロック１４２の両端のフランジ１４６，１４８の各々と中央の連結部１５０との間の部分にそれぞれ、コイル巻付け部１５２，１５４が設けられている。また、連結部１５０には、対向方向と配列方向とに直交する直交方向に貫通して貫通穴１５６が形成されている。貫通穴１５６は、横断面形状が円形を成す。直交方向は、本リニアモータ７２，７４では鉛直である。
【００２７】
複数のコアブロック１４２の各コイル巻付け部１５２，１５４にはそれぞれ、図５，図６および図９に示すように、ボビン１７０を介してコイル１４０が巻かれている。これらボビン１７０は同様に構成されており、１つを代表して説明する。
ボビン１７０は、図１０および図１１に示すように、非導電性材料の一種である合成樹脂、例えば、難燃性の合成樹脂の一種であるポリアミド系の合成樹脂製の２つのボビン形成部材１７２，１７４から成る。ボビン形成部材１７２，１７４はそれぞれ、ボビン１７０を、コアブロック１４２に嵌合された状態で前記直交方向の中央位置において、直交方向に直角な平面によって分割することにより得られる２つの部材に相当する。ボビン形成部材１７２，１７４は同じ形状，寸法のものであり、一方のボビン形成部材１７２を代表して説明する。なお、ボビン形成部材１７２の説明にあたり、その方向は、電機子１３０を構成する状態におけるコアブロック１４２およびボビン１７０と同様に、対向方向，配列方向および直交方向を使用する。
【００２８】
ボビン形成部材１７２は、図１２および図１４に示すように、横断面形状がコの字形を成す筒部形成部１８０と、図１５に示すように、筒部形成部１８０の前記対向方向に平行な方向の一端部と、その一端部から他端部側へ隔たった部分であって、対向方向における中央位置より一端部側の部分との２箇所からそれぞれ、外向きに突出させられた１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４とを備えている。
【００２９】
図１３および図１６に示すように、筒部形成部１８０のコの字の１対の側壁部１８６，１８８のうち、一方の側壁部１８６の、ボビン１７０の分割により得られる端面から突部１９０が直交方向に突出させられるとともに、その突部１９０の１対のフランジ形成部１８２，１８４の間に対応する部分にスリット１９２が形成されている。突部１９０は、側壁部１８６の１対のフランジ形成部１８２，１８４の間の部分より薄くされ、その内側面（側壁部１８８と対向する面）は、側壁部１８６の内側面と同一平面内に位置するが、外側面は、側壁部１８６の外側面の１対のフランジ形成部１８２，１８４の間の部分より内側面側へ引っ込まされている。
【００３０】
また、筒部形成部１８０の側壁部１８８のうち、１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分以外の部分は、図１６に示すように、直交方向において、外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分より短くされ、ボビン１７０の分割により得られる端面から引っ込んだ引込み部２００が形成されている。さらに、側壁部１８８の１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分は、図１３および図１４に示すように、その内側面の引込み部２００に対向方向において隣接する部分が外側面側へ引っ込まされて引込み部２０２が形成されるとともに、引込み部２０２の内側面に対向方向に延びる突条２０４が形成されている。
【００３１】
図１５，図１７および図１８に示すように、１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４のうち、対向方向において中央位置側の外向きフランジ形成部１８４の外向きフランジ形成部１８２と対向する内側面に、筒部形成部１８０の直交方向に平行な２つの外側面にそれぞれ接するとともに、内側面の外周縁（直交方向において、ボビン１７０の分割により得られる端面とは反対側の縁）に至る２つの溝２１０が形成されている。これら溝２１０は、深さが外周縁側ほど深くなり、外周縁側の部分（外向きフランジ形成部１８４の筒部形成部１８０より直交方向において突出した部分に形成された部分）は、ちょうどコイル１４０を形成する巻き線が収容される深さを有し、ボビン１７０の分割により得られる端面側の端は内側面内に位置するものとされている。
【００３２】
さらに、ボビン形成部材１７２には、図１５および図１８に示すように、溝２１０が形成された外向きフランジ形成部１８４にリブ２２０が形成され、強度の向上が図られている。また、リブ２２０および１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４の各外周縁の幅方向の中央部をそれぞれ、対向方向に平行に貫通して切欠２２２，２２４が形成されている。これら切欠２２２，２２４はそれぞれ、横断面形状が半円形を成す。
【００３３】
ボビン形成部材１７２，１７４は、図７に示すように、前記コアブロック１４２の２箇所のコイル巻付け部１５２，１５４の各々に嵌合されてボビン１７０を形成する。コアブロック１４２には、対向方向に隔たった２箇所にそれぞれボビン１７０が嵌合されるのであり、各ボビン１７０にコイル１４０が巻き付けられる。コイル巻付け部１５２を例に取れば、ボビン形成部材１７２は、筒部形成部１８０において、コアブロック１４２の前記直交方向における一方の側からコイル巻付け部１５２に嵌合され、ボビン形成部材１７４は他方の側から嵌合される。ボビン形成部材１７２，１７４は、対向方向において外向きフランジ形成部１８２，１８４が同じ側に位置する姿勢でコイル巻付け部１５２に嵌合され、互いに付き合わされるとともに、各々に形成された突条２０４がスリット１９２に嵌合され、直交方向において係合させられる。本ボビン１７０では、ボビン形成部材１７２，１７４にそれぞれ形成された係合突部たる突条２０４が第一係合部を構成し、係合凹部たるスリット１９２が第二係合部を構成している。
【００３４】
突部１９０のスリット１９２が形成されていない部分は、図１１に示すように、引込み部２００に嵌合され、突条２０４とスリット１９２との嵌合を許容する。また、突条２０４は筒部形成部１８０の側壁部１８８の内側面から引っ込んだ引込み部２０２の内側面に設けられ、スリット１９２が設けられた突部１９０は厚さが薄くされているため、突条２０４がスリット１９２に嵌入させられた状態では、図１０に示すように、ボビン形成部材１７２，１７４は、各筒部形成部１８０の内側面同士が同一平面内に位置し、凹凸のない平らな嵌合面が得られ、各外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分の外側面同士も同一平面内に位置し、凹凸のない平らなコイル巻付け面が得られる。
【００３５】
このようにボビン形成部材１７２，１７４がコアブロック１４２に嵌合され、互いに係合させられることにより形成されるボビン１７０は、図１０および図１１に示すように、ボビン形成部材１７２，１７４の各筒部形成部１８０により形成され、横断面形状が長方形状を成し、コアブロック１４２のコイル巻付け部１５２を囲む四角筒部２３０と、ボビン形成部材１７２，１７４の各外向きフランジ形成部１８２，１８４により形成される１対の外向きフランジ２３２，２３４とを有し、外向きフランジ２３２，２３４は、四角筒部２３０の対向方向に隔たった２箇所であって、その対向方向の中央位置より片側に寄った２箇所、本ボビン１７０では四角筒部２３０の対向方向の一端と、対向方向の中央位置から上記一端側に寄った部分とからそれぞれ外向きに突出させられる。
【００３６】
四角筒部２３０は、図９に示すように、対向方向において、コアブロック１４２の１対のフランジ１４６，１４８の各々と連結部１５０との間にちょうど嵌合される長さを有し、四角筒部２３０の１対の外向きフランジ２３２，２３４の間の部分がコイル巻付け部２３６を構成し、四角筒部２３０の中央位置側の外向きフランジ２３４に対して、外向きフランジ２３２とは反対側の部分はスペーサ２３８を構成し、スペーサ２３８により、１対の外向きフランジ２３２，２３４がコイル巻付け部１５２の対向方向において中央位置よりフランジ１４６側に寄った位置に位置する状態に保たれるとともに、コイル巻付け部１５２にコイル１４０が巻かれず、コイル１４０が千鳥状に配設されることを許容する部分が得られる。また、対向方向において中央位置側の外向きフランジ２３４の、外向きフランジ２３２と対向する内側面の４箇所に前記溝２１０が配置される。これら溝２１０は、四角筒部２３０の直交方向に平行な２つの外側面にそれぞれ接するとともに、外向きフランジ２３４の内側面の外周縁に至る状態で位置し、その外周縁側の部分の深さが最大である。１種類のボビン形成部材を２つ合わせることによってボビン１７０が得られ、ボビン１７０の形成が容易である。
【００３７】
コアブロック１４２のコイル巻付け部１５４にも同様に、ボビン形成部材１７２，１７４が嵌合されてボビン１７０が形成される。ボビン形成部材１７２，１７４はコイル巻付け部１５４に、図２１に示すように、対向方向において、コイル巻付け部１５２に嵌合されるボビン１７０と同じ向きに嵌合され、１対の外向きフランジ２３２，２３４は、四角筒部２３０の対向方向の中央位置より片側に寄った２つの位置からそれぞれ外向きに突出させられる。２つのボビン１７０は、対向方向において同じ向きに嵌合されるため、一方のボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４は連結部１５０側に位置し、他方のボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４はフランジ１４６側に位置することとなる。コアブロック１４２の２つのコイル巻付け部１５２，１５４および２つのフランジ１４６，１４８はそれぞれ、同じ形状，寸法のものであるため、２つのコイル巻付け部１５２，１５４および２つのフランジ１４６，１４８を区別することなく、２つのボビン１７０はコアブロック１４２に対向方向における向きが同じになるように嵌合されればよい。
【００３８】
上記のようにコアブロック１４２に嵌合されたボビン１７０の１対の外向きフランジ２３２，２３４の間の部分に巻き線が巻き付けられてコイル１４０が形成される。本リニアモータ７２，７４は、Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の３相を有する三相交流により作動するものであり、電機子１３０は、図５および図１９に示すように、Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の各相毎に３つずつのコアブロック１４２にそれぞれコイル１４０が巻き付けられるとともに、各相のコイル１４０同士が結線されたコイル群を２セット含む。
【００３９】
コイル１４０は、Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の各相毎に、３つのコアブロック１４２に図１９に示す順序で巻かれ、３つずつのコアブロック１４２に連続して巻かれる。図１９が、コイル１４０の巻順および結線を下方から見た状態を示す図である。１つの相を例に取れば、図２０(a)に示すように、３つのコアブロック１４２を位置決め治具（図示省略）に直列に、かつ、各コアブロック１４２のボビン１７０が対向方向において同じ方向を向くとともに、外向きフランジ２３２，２３４が連結部１５０に隣接するボビン１７０が巻付け方向において上流側に位置する状態でセットする。そして、まず、１つ目のコアブロック１４２の巻付け方向において上流側のボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４の間にコイル１４０を巻き付ける。
【００４０】
コイル１４０は、図２０(b)に示すように、巻き始めが下向きとなり、巻き終わりが上向きとなるように巻かれる。図５においてＵ，Ｖ，Ｗの各相の符号に施された下線および上線はコイル１４０への通電方向を表し、コイル１４０は通電方向と同じ方向に巻かれる。コイル１４０の巻き始めの部分は、外向きフランジ２３４に形成された溝２１０に嵌め入れられ、溝２１０により四角筒部２３０の外側面に接する位置まで導かれた後、四角筒部２３０に巻き付けられる。溝２１０はボビン１７０の４箇所にある。この理由は後に説明する。
【００４１】
コイル１４０の巻き終わり部分は、図２０(a)に示すように、外向きフランジ２３２の切欠２２２に嵌め入れられ、外向きフランジ２３２に引っ掛けられた状態で、巻順において下流側のボビン１７０へ渡され、そのボビン１７０の外向きフランジ２３４の溝２１０に嵌め入れられ、四角筒部２３０に巻き付けられる。切欠２２２に嵌入させられた巻き線は、外向きフランジ２３２に、浮上がりおよび配列方向に平行な方向のずれを防止された状態で係合させられてボビン１７０からの外れが防止され、巻き線の巻きが緩んでコイル１４０がばらばらになることが防止される。切欠２２２は係合部の一種である係合凹部であり、外れ防止部を構成している。コイル１４０は、１つのコアブロック１４２の２つのボビン１７０に巻き付けられたならば、そのまま２つ目のコアブロック１４２の２つのボビン１７０に、１つ目のコアブロック１４２の２つのボビン１７０と同様に巻き付けられ、さらに３つ目のコアブロック１４２の２つのボビン１７０に巻き付けられる。同相の３つのコアブロック１４２にそれぞれ巻かれたコイル１４０は１本でつながっており、接続部がない。
【００４２】
３つのコアブロック１４２へのコイル１４０の巻付け後、図２０(c)に示すように、２つ目のコアブロック１４２を、１つ目および３つ目のコアブロック１４２に対して対向方向において１８０度反転（直交方向に平行な軸線まわりに１８０度回転）させ、各連結部１５０を互いに当接させる。それにより、図２１に示すように、１つ目および３つ目のコアブロック１４２と２つ目のコアブロック１４２とにおいて、対向方向におけるボビン１７０の向きが逆になり、配列方向において互いに隣接する２つのコアブロック１４２について、連結部１５０の両側においてそれぞれ、コイル１４０が対向方向における位置を互いに異にし、配列方向においてはコイル１４０の一部同士が互いに重なり合って、千鳥状に配設されるとともに、３つのコアブロック１４２についてコイル１４０が図１９に示す順序で巻かれた状態が得られる。図２０(a)，(c)は、コアブロック１４２を上から見た状態を示す図である。図１９は電機子１３０を下から見た状態を示す図であり、ａ，ｂに添えられた数字はコイル１４０の巻順を示し、図中、ＩＮはコイル１４０の巻き始めを示し、ＯＵＴは巻き終わりを示す。
【００４３】
さらに、ボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４は、対向方向において中央位置より端に寄った位置に設けられているため、隣接する２つのコアブロック１４２の各ボビン１７０の外向きフランジ２３４の各外側面（外向きフランジ２３２と対向する面とは反対側の面）間であって、千鳥状に配置され、配列方向において一部が重複する２つのコイル１４０の間に隙間２４０が形成される。
【００４４】
このようにコアブロック１４２に嵌合された２つのボビン１７０にはそれぞれ、対向方向における一部にのみコイル１４０が巻かれるが、配列方向においては、隣接するコアブロック１４２のボビン１７０との間の空間の全部を使ってコイル１４０を巻くことができるため、２つのボビン１７０についてそれぞれ、コイル１４０を千鳥状に配置することなく、コイル巻付け部１５２，１５４の各々の全部（隙間２４０の分は除く）にコイル１４０を巻く場合と同じ数、巻くことができる。
【００４５】
３相の各々について３つずつのコアブロック１４２に連続してコイル１４０が巻かれ、図１９に示すように、Ｗ相，Ｖ相，Ｕ相の順に配列される。この場合にも、相を異にし、互いに隣接するコアブロック１４２は、対向方向の向きが１８０度反転した姿勢となり、コイル１４０が相に関係なく、千鳥状に配置されるようにされる。そして、２セットのコイル群の各々においてＷ相，Ｖ相，Ｕ相の各コイル１４０が結線されるとともに、同相のコイル１４０同士が結線される。結線は、互いに結線されるべき２つの端部に嵌めたかしめ部材をかしめることにより機械的に行われ、合計５箇所、行われる。
【００４６】
上記のように配列された複数のコアブロック１４２は、図４，図６および図７に示すように、桁材２５０，２５２を用いて連結されている。桁材２５０，２５２はそれぞれ、横断面形状が矩形の棒状を成し、非磁性材料の一種であるアルミニウム合金により作られ、一方の桁材２５０は、複数のコアブロック１４２の各連結部１５０の上面に跨って当接させられ、他方の桁材２５２は各連結部１５０の下面に跨って当接させられる。そして、図７に示すように、結合部材としてのボルト２５４が、桁材２５２側から、連結部１５０の貫通穴１５６に嵌合されるとともに、桁材２５０に形成された雌ねじ穴２５６に螺合され、桁材２５０，２５２が複数のコアブロック１４２の連結部１５０の、直交方向の両端面に押し付けられ、複数のコアブロック１４２を連結する。ボルト２５４は、コアブロック１４２と同様に強磁性材料により作られ、貫通穴１５６は、ボルト２５４が０．０２５ｍｍ以下の片側隙間で挿通される大きさに形成されている。本リニアモータ７２，７４では、桁材２５０，２５２，複数ずつのボルト２５４および雌ねじ穴２５６が前記連結装置１４４を構成している。また、隣接するコアブロック１４２の間隔は、互いに当接させられた連結部１５０により規定され、隣接するフランジ１４６，１４８の間には隙間が形成される。本電機子１３０では、連結部１５０が複数のコアブロック１４２を配列方向に位置決めする位置決め部を構成している。
【００４７】
上記のように連結された複数のコアブロック１４２はそれぞれ、対向方向の２箇所にコイル１４０が巻かれ、２つのコアが一体に形成されたものと考えることができ、前記２列の磁石列１２０，１２２の各々に対向する状態で複数のコアの群が２群、配設されている。これら２群のコア群の各々において、複数のコアブロック１４２（コア）の隣接するもの同士に関してコイル１４０が千鳥状に配設されるとともに、それらコイル１４０間に隙間２４０が形成されている。
【００４８】
隣接するコイル１４０間に形成された隙間２４０は直交方向に延び、図５ないし図８に示すように、ヒートパイプ２８０の下端部が挿入されている。ヒートパイプ２８０は、図４，図５および図７に示すように、横断面形状が長方形を成し、隙間２４０に殆ど隙間なく挿入される挿入部２８２と、コアブロック１４２から上方へ、隙間２４０の外部へ突出させられ、横断面形状が円形を成す放熱部２８４とを備えている。隙間２４０は合成樹脂製のボビン１７０の外向きフランジ２３４によって画定されており、ヒートパイプ２８０は電気的に絶縁された状態で、隣接するコアブロック１４２の各ボビン１７０に巻かれた２つのコイル１４０の間に挿入されることとなる。挿入部２８２は、隙間２４０に直交方向の全体にわたって挿入され、その下端部は、図７に示すように、ボビン１７０から下方へ突出させられ、コイル１４０全体について熱の伝達を行う。ヒートパイプ２８０は、挿入部２８２も含めて全体が中空の筒状を成し、熱伝導性の高い金属であり、非磁性材料製である金属、例えば、銅により作られ、内周面に毛細管層が設けられるとともに熱媒液が含浸させられ、熱媒液の蒸発，凝縮により熱がヒートパイプ２８０の先端部である上端部へ伝達され、放熱される。ヒートパイプ２８０は、アルミニウム合金等、他の金属材料により作られてもよい。
【００４９】
放熱部２８４には、図６および図７に示すように、複数の放熱フィン（以後、フィンと略称する）２８６が取り付けられている。複数のフィン２８６はそれぞれ、アルミニウムにより作られ、対向方向に平行な方向における断面形状がコの字形を成し、図４および図７に示すように、２つのコア群の各々について、隣接する２つのヒートパイプ２８０の各放熱部２８４に跨って圧入されるとともに、積み重ねられており、配列方向に平行に２列のフィン群が設けられている。
【００５０】
前記桁材２５０，２５２の長手方向（配列方向）の両端面にはそれぞれ、図４，図６および図８に示すように、取付部材としての取付板２９０，２９２がボルト２９４によって固定されている。取付板２９０，２９２にはそれぞれ、図６および図２２に示すように、温度検出装置たる熱電対２９６が取り付けられ、電機子１３０の温度が検出されて制御装置のコンピュータへ入力されるようにされている。コアブロック１４２，ボビン１７０，コイル１４０，ヒートパイプ２８０の挿入部２８２の全部，桁材２５０，２５２，取付板２９０，２９２および最下端のフィン２８６は、図８および図２２に示すように、合成樹脂、例えば、エポキシ樹脂の充填により形成された樹脂体２９８により固められている。但し、コアブロック１４２の対向方向の両端面および取付板２９０，２９２の各外側面はそれぞれ、合成樹脂により覆われず、外部に臨まされ、取付板２９０，２９２の各外側面は電機子１３０の配列方向における両端面を構成している。また、前述のように結線されたコイル１４０に接続されて電流を供給する電流供給線２９９の端部も樹脂体２９８に固定されている。
【００５１】
このように構成された電機子１３０には、図２５に示すように、結合装置たる連結装置３００によってＹ軸スライド６８が連結される。本連結装置３００は２つの結合部材たる連結アーム３０１，３０２を含む。連結アーム３０１，３０２は金属製、例えば、鉄製とされ、それぞれ、図４，図８および図２３に示すように、その長手方向の両端部に固定部３０６，３０９を備えている。連結アーム３０１，３０２は、ステンレス鋼製とされてもよい。固定部３０６は、上記取付板２９０，２９２にそれぞれ、固定装置たる複数のボルト３０４によって着脱可能に固定され、その固定部３０６から対向方向に平行な方向であって、前記ガイドレール７８側へ水平にアーム部３０８が延び出させられ、そのアーム部３０８の延び出し端部に固定部３０９が設けられている。アーム部３０８は板状を成し、図１および図２５に示すように、電機子１３０から磁石列１２２を越えて、磁石列１２２の反対側まで延び出させられ、その反対側において固定部３０９が前記Ｙ軸スライド６８のガイドレール７８に嵌合される脚部８６に、複数のボルト３１０によって着脱可能に固定されている。連結アーム３０１，３０２は電機子１３０の配列方向における両端面にそれぞれ固定され、複数のコアブロック１４２が並ぶ配列方向と直交する方向であって、対向方向に平行で水平な方向に延びて、電機子１３０とＹ軸スライド６８とを一体的に移動可能に連結している。本リニアモータ７２，７４では、２つの連結アーム３０１，３０２の各々の複数のコアブロック１４２の配列方向に平行な方向の寸法（図２３においてＬ１で表される）は、電機子１３０の配列方向に平行な方向の寸法（図２３においてＬ２で表される）のほぼ１０分の１とされている。上記寸法Ｌ１は、寸法Ｌ２の４分の１以下とすることが望ましく、６分の１以下、８分の１以下とすることがさらに望ましい。連結アーム３０１，３０２による電機子１３０とＹ軸スライド６８との連結により、コイル１４０に電流が供給され、電機子１３０が移動させられれば、Ｙ軸スライド６８がガイドレール７８，８０に案内されて電機子１３０と一体的にＹ軸方向に移動させられる。ガイドレール７８は電機子１３０の移動を案内する案内装置でもあり、電機子１３０は２列の磁石列１２０，１２２の間をＹ軸方向に平行な一直線に沿って移動させられる。
なお、結合部材は複数設けられることが望ましいが、１つとすることも可能である。また、結合部材は合成樹脂製としてもよい。
【００５２】
図２３に示すように、前記２列のフィン群の各々の両側にファン３２０が設けられている。これらファン３２０は、連結アーム３０１，３０２の各固定部３０６上に配設されている。また、前記複数のヒートパイプ２８０の各々に取り付けられた複数ずつのフィン２８６の全部が、図２４に示すようにカバー３２２によって覆われている。カバー３２２は配列方向に直角な断面形状がコの字形を成し、フィン２８６に被せられるとともに、配列方向の両端部がそれぞれ、取付部材としてのブラケット３２４に固定されている。ブラケット３２４は、アーム部３０８にを介して電機子１３０に固定されており、上記ファン３２０もこのブラケット３２４に取り付けられている。その結果、カバー３２２が樹脂体２９８と共同して配列方向に延びる導風筒３２６を形成しており、その導風筒３２６の両端部にそれぞれ、ファン３２０が２つずつ設けられた状態となっている。これら複数本のヒートパイプ２８０，フィン２８６，ファン３２０およびカバー３２２が放熱装置３３０を構成し、本放熱装置３３０は、電機子１３０に前記配列方向および対向方向と直交する方向において隣接する空間であって、上方において隣接する空間に設けられている。
【００５３】
前記ベース２０には、図２に示すように、Ｘ軸方向の中央部に、１対のコラム３５０がＹ軸方向に距離を隔てて立設されるとともに、それらコラム３５０の上端部間にカバー３５２が設けられ、リニアモータ７２，７４の上方を覆っている。カバー３５２には、１つ以上、本電子回路部品装着機では複数、例えば、６つの開口３５４が上に向かって開いた状態で設けられている。これら開口３５４は、Ｙ軸方向であってリニアモータ７２，７４の電機子１３０，１３２の移動方向に平行な方向に距離を隔てた３箇所であって、Ｙ軸方向における中央部と両端部とにそれぞれ、２つずつ、Ｘ軸方向に並んで設けられており、各開口３５４内にそれぞれファン３５６が設けられ、カバー３５２の下方の空気を上方へ排出する。なお、カバー３５２は、電子回路部品装着部１２のＹ軸方向移動装置６４，６６のリニアモータ７２，７４も覆い、カバー３５２に設けられた開口３５４およびファン３５６により、電子回路部品装着部１２，１４の各リニアモータ７２，７４について排気が行われる。
【００５４】
上記電子回路部品装着部１２，１４の各２つずつの保持ヘッド３６，３８は、制御装置３６０（図２参照）を構成する４つのコンピュータによりそれぞれ制御される。
【００５５】
以上のように構成された電子回路部品装着機においては、２つの電子回路部品装着部１２，１４においてそれぞれ、回路基板１８への電子回路部品の装着が並行して行われる。また、２つの電子回路部品装着部１２，１４の各々において２つの保持ヘッド３６，３８がそれぞれヘッド移動装置４０，４２により移動させられ、電子回路部品を回路基板１８に装着する。１つの電子回路部品装着部の２つの保持ヘッド３６，３８は回路基板１８に交互に電子回路部品を装着し、２つの保持ヘッド３６，３８の一方による電子回路部品の装着時に他方は部品供給装置へ移動してフィーダ４４から電子回路部品を受け取り、一方の保持ヘッドによる電子回路部品の装着後、その保持ヘッドと交替して回路基板１８に電子回路部品を装着する。
【００５６】
保持ヘッド３６，３８はそれぞれ、Ｙ軸方向へはリニアモータ７２，７４の駆動により移動させられ、Ｘ軸方向へはＸ軸移動用モータ１０２の駆動により移動させられる。リニアモータ７２，７４においてはそれぞれ、複数のコイル１４０へ電流が供給され、磁石列１２０，１２２の各永久磁石１２６との間の電磁作用により推進力が生じさせられ、電機子１３０，１３２が移動させられる。図示を省略するリニアエンコーダによりＹ軸スライド６８，７０の各位置が検出され、それに基づいてリニアモータ７２，７４が制御され、Ｙ軸スライド６８，７０が所定の位置へ移動させられる。コアブロック１４２には、図３に示すように磁力線が通る。コアブロック１４２を桁材２５０，２５２に固定するためのボルト２５４は強磁性材料により作られるとともに、貫通穴１５６との間の隙間は極く僅かであり、ボルト２５４も磁力線が通り、磁束密度が極端に高い部分が生じることがなく、良好に推進力が生じさせられる。また、ヒートパイプ２８０および桁材２５０，２５２は非磁性材料製であり、磁力線は通らない。そして、電機子１３０，１３２にそれぞれ連結されたＹ軸スライド６８，７０がガイドレール７８，８０により案内されつつＹ軸方向へ移動させられ、任意の位置において停止させられる。桁材２５０，２５２はアルミニウム合金製であり、コアブロック１４２より比重が小さく、電機子１３０，１３２の重量増大が抑えられ、走行速度の低下が回避される。
【００５７】
電機子１３０，１３２において複数のコイル１４０は、電流の供給により発熱する。その熱はヒートパイプ２８０によって運び出され、ヒートパイプ２８０の放熱部２８４およびフィン２８６によって放熱されるとともに、ファン３２０によって導風筒３２６に生じさせられる空気流によって電機子１３０，１３２の近傍空間外へ排出される。ヒートパイプ２８０の挿入部２８２は横断面形状が長方形状を成し、隣接するコアブロック１４２の各ボビン１７０の外向きフランジ２３４により画定された隙間２４０に挿入されて、外向きフランジ２３４および隙間を埋める合成樹脂を介してではあるが、２つのコイル１４０と面接触し、その接触面積が大きく、放熱性が良い。電機子１３０，１３２の各々において複数のコアブロック１４２の配列方向に隔たって設けられた２つずつのファン３２０は、導風筒３２６の一方の開口から導風筒３２６内に流入して他方の開口から流出する向きの空気流であって、互いに反対向きの開口、本リニアモータ７２，７４では、電機子１３０，１３２の各導風筒３２６の互いに対向する側の開口とは反対側の開口から空気が排出される向きの空気流を生じさせるように回転させられる。
【００５８】
また、リニアモータ７２，７４の上方に設けられたカバー３５２に設けられたファン３５６も回転させられる。それにより、ファン３５６の作用により、電機子１３０，１３２から放たれた熱により高温となり、導風筒３２６から排出された空気は開口３５４から電子回路部品装着機の外へ排出される。カバー３５２には６つの開口３５４がＹ軸方向に距離を隔てた３箇所にそれぞれ設けられて空気の排出が均等に行われるとともに、電機子１３０，１３２からの熱気の排出が、互いに反対向きであって、互いに対向する側とは反対側に行われるため、電機子１３０，１３２の位置にかかわらず、排熱が良好に行われる。
また、ファン３５６の回転により、保持ヘッド３６，３８が移動させられて電子回路部品の受取りおよび装着を行う装着エリアの空気がカバー３５２側へ流れ、開口３５４から排出され、装着エリア側へは戻らないため、リニアモータ７２，７４の近傍から装着エリア側へ高温の空気が流れて温度が上昇することが抑制される。
【００５９】
このように、電機子１３０，１３２においてはそれぞれ、ヒートパイプ２８０およびフィン２８６による放熱およびファン３２０による排気によって冷却が行われるとともに、電機子１３０，１３２とＹ軸スライド６８，７０とはそれぞれ、２つの連結アーム３０１，３０２の各アーム部３０８によって連結されているのみであり、両者の接触部分が少なく、また、磁石列１２２を越えて延びる連結アーム３０１，３０２は、横断面積が小さく、かつ、連結方向に長いため、電機子１３０，１３２からＹ軸スライド６８，７０へ熱が伝わり難く、Ｙ軸スライド６８，７０やガイドレール７８等の熱変形が抑制される。ファン３２０，３５６は、一連の回路基板１８への電子回路部品の装着が行われる間、常時、作動させられており、Ｙ軸スライド６８，７０が停止させられている間も導風筒３２６内に空気の流れが生じさせられ、また、カバー３５２の開口３５４から熱気が排出され、電機子１３０，１３２が冷却される。
【００６０】
磁石列，電機子および放熱装置をカバーにより囲み、そのカバーにダクトを接続し、カバー内部の空気をファンによりダクトを経てカバー外部へ排出するようにしてもよい。その実施形態を図２６ないし図２８に基づいて説明する。
本実施形態の直線駆動装置は、前記実施形態と同様に、電子回路部品装着機において電子回路部品装着部の１対のヘッド移動装置の各Ｙ軸方向移動装置８００，８０２を構成し、図２７および図２８に概略的に示すように、Ｙ軸方向移動装置８００，８０２の各リニアモータ８０４，８０６は、取付台８０８にＹ軸方向に平行に設けられた２列の磁石列８１０，８１２を備え、それら磁石列８１０，８１２の間に、Ｙ軸方向に移動可能に、かつ近接して配設された電機子８１４，８１６にはそれぞれ、前記リニアモータ７２，７４の電機子１３０，１３２と同様に、結合装置の一種である連結装置８１８の１対の連結アーム８２２，８２４により、Ｙ軸スライド８２６，８２８の各一方の脚部８３０が連結されている。連結アーム８２２，８２４は、前記連結アーム３０１，３０２と同様に構成されている。また、脚部８３０は、取付台８０８にＹ軸方向に平行に設けられたガイドレール８３２に摺動可能に嵌合され、移動を案内される。なお、Ｙ軸スライド８２６，８２８は、図２６ないし図２８においては、それぞれの１対の脚部の一方のみが図示されている。また、図２６においては、ガイドレール８３２の図示は省略されている。
【００６１】
電機子８１４，８１６は、前記電機子１３０，１３２と同様に構成され、それぞれ、千鳥状に配設されたコイル間の隙間に一端部である下端部が挿入されたヒートパイプ８４０およびヒートパイプ８４０のコイルから上方への突出部に設けられた複数の放熱フィン８４２を含む放熱装置８４４，８４６により、コイルに発生した熱が放熱される。
【００６２】
２列の磁石列８１０，８１２，電機子８１４，８１６および放熱装置８４４，８４６は、図２６および図２７に示すように、Ｙ軸方向に延びるカバー８５０により囲まれている。カバー８５０は、図２７に示すように、横断面形状がコの字形を成し、取付台８０８と共同して磁石列８１０，８１２等を囲み、そのＹ軸スライド８２６，８２８側の側壁には、Ｙ軸方向に延びる開口８５２が形成されている。２つの連結装置８１８の各１対の連結アーム８２２，８２４は、開口８５２を通ってカバー８５０の外へ突出させられており、開口８５２によりＹ軸方向の移動を許容される。
【００６３】
カバー８５０のＹ軸方向の両端開口部にはそれぞれ、図２６および図２８に示すように、ダクト８５６，８５８が接続されている。これらダクト８５６，８５８はそれぞれ、上方へ延び出させられ、取付台８０８の上方に設けられてリニアモータ８０４，８０６を覆うカバー８６０の開口８６２，８６４に接続されている。また、カバー８４０とダクト８５６，８５８との接続部にはそれぞれ、ファン８６６，８６８が設けられている。
【００６４】
コイルへの電流供給により電機子８１４，８１６が移動させられ、Ｙ軸スライド８２６，８２８が移動させられるとき、コイルが発生する熱は放熱装置８４４，８４６により、カバー８５０および取付台８０８によって囲まれた空間内へ放熱される。ファン８６６，８６８はそれぞれ、電子回路部品装着機の作動中、Ｙ軸スライド８２６，８２８の停止中も含めて常時、カバー８５０内の空気をダクト８５６，８５８へ送り込む向きに作動させられており、開口８５２を通ってカバー８５０外の空気がカバー８５０内へ吸い込まれるとともに、ダクト８５６，８５８へ向かう空気流が生じさせられる。そのため、放熱装置８４４，８４６周辺の放熱により高温となった空気は、カバー８５０内に生じさせられた空気流によりダクト８５６，８５８へ送られ、カバー８６０の開口８６２，８６４からカバー８５０，８６０の外部へ排出されて放熱装置８４４，８４６からの放熱が促される。
【００６５】
磁石列８１０，８１２の間を２つの電機子８１４，８１６が移動するが、カバー８５０の電機子８１４，８１６の移動方向の両端にそれぞれダクト８５６，８５８が設けられるとともに、ファン８６６，８６８が設けられているため、電機子８１４，８１６のいずれについても同様に、高温の空気がダクト８５６，８５８を経てカバー８５０の外部へ良好に排出される。
【００６６】
開口８６２，８６４にもファンを設け、ダクト８５６，８５８内の空気のカバー８６０外への排出が促進されるようにしてもよい。
また、磁石列に対して配設された電機子が１つである場合、ダクトおよびファンをカバーの、電機子の移動方向の一方の端部にのみ設けてもよく、さらに、カバーの他方の端部は壁により閉じるとともに開口を設け、その開口を通ってカバー内に空気が吸い込まれ、カバー内に、カバーの他端部から一端部に向かう空気流も生じさせられるようにしてもよい。
さらに、磁石列８１０，８１２，電機子８１４，８１６および放熱装置８４４，８４６をカバー８５０により囲み、カバー８５０内部の空気をファン８６６，８６８によりダクト８５６，８５８を経てカバー８５０の外部へ排出するのに加えて、前記放熱装置３３０と同様に、放熱フィン８４２をカバーにより囲んで導風筒を形成するとともに、導風筒の少なくとも一端部にファンを設け、その導風筒内に空気の流れを生じさせるようにしてもよい。この場合、カバー８５０は取付台８０８と共同して、磁石列８１０，８１２および電機子８１４，８１６を囲むとともに、放熱フィン８４２を囲むカバーを囲むことになる。
【００６７】
可動部材と電機子とは、結合装置により、可動部材が電機子の上側に位置する状態で結合されてもよく、下側に位置する状態で結合されてもよい。結合装置が連結アームを含むのであれば、連結アームは、電機子の上側あるいは下側において鉛直方向に延びて可動部材と電機子とを連結する。
【００６８】
電機子においてコイルは千鳥状に配設されることは不可欠ではなく、複数のコアの整列方向において互いに隣接するもの同士に関して、対向方向において同じ位置にコイルが配設されてもよい。
【００６９】
また、ヘッド移動装置は、基板保持装置に保持された回路基板に平行な平面内において直交する２方向の両方についてそれぞれ、保持ヘッドをリニアモータにより移動させる装置とし、両者に請求可能発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１２，１４：電子回路部品装着部    １８：回路基板    ３０，３２：部品供給装置    ３４：基板保持装置    ３６，３８：保持ヘッド    ４０，４２：ヘッド移動装置    ６８，７０：Ｙ軸スライド    ７２，７４：リニアモータ    １２０，１２２：磁石列    １２４：ヨーク    １２６：永久磁石    １３０，１３２：電機子    １４０：コイル    ２４０：隙間    ２８０：ヒートパイプ    ２８６：放熱フィン    ３０１，３０２：連結アーム    ３２０：ファン    ３２２：カバー    ３２６：導風筒    ３３０：放熱装置    ８００，８０２：Ｙ軸方向移動装置    ８０４，８０６：リニアモータ    ８１０，８１２：磁石列    ８１４，８１６：電機子    ８１８：連結装置    ８２２，８２４：連結アーム    ８２６，８２８：Ｙ軸スライド    ８４０：ヒートパイプ    ８４２：放熱フィン    ８４４，８４６：放熱装置    ８５０：カバー    ８５２：開口    ８５６，８５８：ダクト    ８６６，８６８：ファン
【図１】
2010172071.tif 000003
【図２】
2010172071.tif 000004
【図３】
2010172071.tif 000005
【図４】
2010172071.tif 000006
【図５】
2010172071.tif 000007
【図６】
2010172071.tif 000008
【図７】
2010172071.tif 000009
【図８】
2010172071.tif 000010
【図９】
2010172071.tif 000011
【図１０】
2010172071.tif 000012
【図１１】
2010172071.tif 000013
【図１２】
2010172071.tif 000014
【図１３】
2010172071.tif 000015
【図１４】
2010172071.tif 000016
【図１５】
2010172071.tif 000017
【図１６】
2010172071.tif 000018
【図１７】
2010172071.tif 000019
【図１８】
2010172071.tif 000020
【図１９】
2010172071.tif 000021
【図２０】
2010172071.tif 000022
【図２１】
2010172071.tif 000023
【図２２】
2010172071.tif 000024
【図２３】
2010172071.tif 000025
【図２４】
2010172071.tif 000026
【図２５】
2010172071.tif 000027
【図２６】
2010172071.tif 000028
【図２７】
2010172071.tif 000029
【図２８】
2010172071.tif 000030