(57)【要約】【課題】  多種多様なＦＰＣ等の回路基板の検査を、能率よく、低廉な費用で実施することができる、電気検査ジグおよび電気検査装置を提供する。【解決手段】  この電気検査ジグ１０は、第１面および該第１面と反対の面の第２面に、端子７ａ，７ｂをもつピッチ変換基板７と、第１面および第２面の端子および両端子間の配線と重ならない領域に位置するプローブピン３とを備え、ピッチ変換基板の第１面の端子は、コンタクトシート５を介在させて被検査体７０の所定の電極７１に電気的に接続し、プローブピン３は、被検査体の所定の電極以外の電極７７に接触して電気的接続をとることを特徴とする。【選択図】        図１
2010043868.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の電極に電気的に接続して、その被検査体の検査をするために用いられる電気検査ジグであって、
第１面に第１面の端子、および該第１面と反対の面の第２面に、前記第１面の端子と配線で接続された第２面の端子をもつプリント回路基板と、
前記プリント回路基板の第１面の端子、第２面の端子、および前記両端子間の配線と重ならない領域に位置するプローブピンとを備え、
前記プリント回路基板の第１面の端子は、コンタクトシートを介在させて前記被検査体の所定の電極に電気的に接続し、
前記プローブピンは、前記被検査体の前記所定の電極以外の電極に接触して電気的接続をとることを特徴とする、電気検査ジグ。
【請求項２】
前記プリント回路基板は、前記第１面において、複数の端子が一定ピッチで並ぶ一定ピッチ配列を１つ以上備えることを特徴とする、請求項１に記載の電気検査ジグ。
【請求項３】
前記プリント回路基板の第１面の端子は、前記被検査体の規格化電極の配列に対応した規格化配列をなすことを特徴とする、請求項１または２に記載の電気検査ジグ。
【請求項４】
前記プローブピンは、被検査体のチップコンデンサ用電極または接地電極に接触するものであることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１つに記載の電気検査ジグ。
【請求項５】
一方の端で前記プリント回路基板の第２面の端子と電気的に接続し、他方の端にテスターに連絡するためのリード線が連結された接続部品を備えることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１つに記載の電気検査ジグ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の電気検査ジグを備え、前記電気検査ジグと前記被検査体とを重ねて加圧する加圧装置を備えることを特徴とする、電気検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気検査ジグおよび電気検査装置に関し、より具体的には、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）、半導体チップ等の電気検査に用いられる電気検査ジグおよびこれを組み込んだ電気検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩなどの半導体装置に用いられるＦＰＣなどの回路基板は、品質保証のため、製造ラインで全数の電気検査が行われる。電気検査に用いられる電気検査装置のヘッドを構成する電気検査ジグには、プローブピンが配置され、そのプローブピンにはテスターと連絡する配線が接続されている。テスターは、検査ジグのプローブピンがＦＰＣ等の電極に接触した状態で、所定電極間の回路の正常または異常を検査することができる。携帯電話等の機能増強にともない、ＦＰＣ等の電極数のピッチは狭くなり高密度化する傾向にある。これに合わせて、電気検査ジグのプローブピンも高精細なものとされ、プローブピン自体が高価となる。また、このプローブピンを１本ずつ電気検査ジグに実装するため、高精度の実装技術が必要であり、電気検査ジグの価格が高価になる。さらに、電気検査ジグの使用時に、不可避的にプローブピンの破損等が発生するが、このプローブピンの交換をする際にも、多くの工数と高精度の実装技術を要する。
【０００３】
上記のようなプローブピンへの依存を軽減するため、ＦＰＣ等の電気検査には、ピッチ変換基板（オフグリッドアダプタ）と異方導電性シートとを用いた電気検査の手法が使用されてきた。この手法によれば、被検査体の電極は、対面するオフグリッドアダプタの電極に接続され、そのオフグリッドアダプタの他方の面（テスター側）に配列された広いピッチ間隔の格子状の電極へと導通される。オフグリッドアダプタの上面の電極は、検査ヘッドに固定された普通のプローブピンまたはコネクタ等の接続部品に接続され、テスターへとリードされる。これによって、高精細なプローブピンは不要になり、普通のプローブピンを用いて電気検査ジグを形成することができる。
【０００４】
上記の電気検査ジグは、標準密度の電極配列をもつＦＰＣ等（標準密度回路基板）に対応することができる。一方、装置の小型化の要請に応えて、標準密度基板と同じ電極数で配列密度が高い回路基板（高密度回路基板）が、実用化されている。電気検査の効率向上や、電気検査装置の費用逓減のため、電気検査ヘッドのプローブピンの配列を変えることなく、標準密度回路基板と、これと同数の電極をもつ高密度回路基板の両方を電気検査することができる装置が提案された（特許文献１）。この提案の詳細は省くが、この電気検査装置では、オフピッチアダプタ、異方導電性シートおよびグリッド変換ボードを用いる。グリッド変換ボードは、狭い領域に配置された高密度回路基板の電極の配列と、より広い領域に配置された標準密度回路基板の電極の配列とを、共通に、被検査体側の面に設ける。そのグリッド変換ボードのテスター側の面には、標準密度回路基板に適合した電気検査ヘッドのプローブピンに合った配列の電極を設ける。そして、グリッド変換ボードの中で、高密度回路基板に対応する電極のいくつかは、標準密度回路基板に対応する電極の同数のものに、各別に接続される。このような電気検査ジグによって、標準密度回路基板、およびこれと同数の電極をもつ高密度回路基板の両方の検査をジグの変更なしに行うことができる。
【特許文献１】特開平５−１５９８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
携帯電話等のモデル変更の頻繁化により、ＦＰＣ等の電極の高密度化とともに、多種多様な電極配置パターンが用いられる趨勢にある。これに伴って、ＦＰＣ等の電極も多種多様な配列をもつ。たとえば、標準密度で規格化された配列をもつ電極と、その規格化配列の電極から離れて離散的に位置する数個の電極とをもつＦＰＣ等が、頻繁にその詳細配置を変えながら、製造される状況にある。このような多種多様な電極配列をもつＦＰＣ等は、電極数も機種ごとに異なり、離散的に位置する電極配列も機種ごとに異なる。上記特許文献１が対応する被検査体とは異なるため、特許文献１の提案する電気検査ジグでは対応できない。
【０００６】
一方、検査能率等を問題にしなければ、多種多様なＦＰＣ等に対して、異方導電性シートと、ピッチ変換基板とを用いる電気検査ジグによって検査することはできる。その場合、ＦＰＣ等の電極配列の領域全体を覆うように、ピッチ変換基板および異方導電性シートを配置し、ＦＰＣ等の機種ごとにピッチ変換基板を変更する必要がある。ピッチ変換基板は、設計などイニシャルコストが高いため、ＦＰＣ等の機種ごとに対応するピッチ変換基板の製作は大きなコスト増を招く。このため、ＦＰＣ等の機種ごとに対応したピッチ変換基板を用いていたのでは、高い検査能率および低廉な検査費用の要求に応えることはできない。
【０００７】
本発明は、多種多様なＦＰＣ等の回路基板の電気検査を、能率よく、低廉な費用で実施することができる、電気検査ジグおよび電気検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気検査ジグは、被検査体の電極に電気的に接続して、その被検査体の検査をするために用いられる。この電気検査ジグは、第１面に第１面の端子、および該第１面と反対の面の第２面に、第１面の端子と配線で接続された第２面の端子をもつプリント回路基板と、プリント回路基板の第１面の端子、第２面の端子、および両端子間の配線と重ならない領域に位置するプローブピンとを備える。そして、プリント回路基板の第１面の端子は、コンタクトシートを介在させて被検査体の所定の電極に電気的に接続し、プローブピンは、被検査体の所定の電極以外の電極に接触して電気的接続をとることを特徴とする。
【０００９】
上記の構成によれば、被検査体のすべての電極への接続を、（コンタクトシート／プリント回路基板）によって行う必要がない。コンタクトシートは面積によってコストが決まり、プリント回路基板の材料費も面積が広いほうが高額になる。このため、被検査体の一まとまりとできる所定領域に密集する電極への接続を、（コンタクトシート／プリント回路基板）によって行なうことで、（コンタクトシート／プリント回路基板）面積当たりの接続効率を高めることができる。そして、補完的に、他の電極への接続を、プローブピンで行う。これによって、（１）被検査体の電極配列のすべての領域を（コンタクトシート／プリント回路基板）でカバーするよりも、電気検査ジグ全体のコストを低減することができる。
【００１０】
また、電気検査装置では、被検査体の電極とプリント回路基板の端子とが、コンタクトシートを介して確実に導通するように、圧力を加えるが、（２）（コンタクトシート／プリント回路基板）の面積を小さくすることで、加圧のための荷重を小さくすることができる。このため、電気検査装置の製造費を抑えることができる。また、被検査体の電極は、狭い所定ピッチの規格化配列と、ランダムな非規格化配列とにしたがって設けられる。被検査体での多種多様な電極配列の変更は、主に非規格化配列においてなされ、標準的な規格化配列の部分は不変の場合が多い。このため、（３）被検査体の電極配列の頻繁な変更があっても、標準的な規格化配列の電極への接続をプリント回路基板が分担することで、プリント回路基板は変更する必要がない。直通のプローブピンで被検査体のモデルチェンジに対応することにより、大きな変更をすることなく対応することができる。このため、頻繁な被検査体の変更に対応して、低廉な電気検査を行うことが可能になる。この場合、電気検査ジグに設けてある被検査体の位置決めピンなどの変更は必要ない。直通のプローブピンの本数や位置を変更すればよく、プローブピンの全体の位置変更などは必要ない。
【００１１】
上記のプローブピンは、普通のプローブピンを用いるのがよいが、高精細のプローブピンを用いるのは自由である。第１面は、被検査体に面する面であり、第２面は、被検査体とは反対側の面であり、テスターに連絡されるリード線の側の面である。
【００１２】
上記のプリント回路基板は、第１面において、複数の端子が一定ピッチで並ぶ一定ピッチ配列を１つ以上備えることができる。これによって、被検査体の規格化配列された電極のすべて、または一部への接続を、（コンタクトシート／プリント回路基板）により行うことができる。
【００１３】
上記のプリント回路基板の第１面の端子は、被検査体の規格化電極の配列に対応した規格化配列をとることができる。これによって、被検査体の規格化配列された電極への接続を、（コンタクトシート／プリント回路基板）により行うことができる。
【００１４】
上記の直通のプローブピンは、被検査体のチップコンデンサ用電極または接地電極に接触する構成をとることができる。ＦＰＣ等の被検査体のモデルチェンジは、接地電極（グラウンド）やチップコンデンサの電極の位置の変更を伴うことが多く、これら接地電極やチップコンデンサの電極の位置は、規格化配列の電極から離れた領域に離散的に位置する。このため、これらの電極を、規格化配列の電極とともに、（コンタクトシート／プリント回路基板）でカバーすると、（コンタクトシート／プリント回路基板）の必要面積が増大し、コスト増を招く。連続した一枚の（コンタクトシート／プリント回路基板）でも、また離散的な複数枚の（コンタクトシート／プリント回路基板）を用いても、直通のプローブピンを補完的に用いる場合に比べてコスト増は避けられない。
【００１５】
一方の端でプリント回路基板の第２面の端子と電気的に接続し、他方の端にテスターに連絡するためのリード線が連結された接続部品を備えることができる。これによって、プリント回路基板ごとに膨大な数のリード線をまとめて配線しやすくできる。この接続部品としては、コネクタ、接続用プローブピン等を用いることができる。コネクタの場合は、プリント回路基板の第２面の端子は、絶縁性基台に固定されたコネクタの差込ピンまたは差込ピンの相手の受け側穴への配線の端子となる。テスターへのリード線は、そのコネクタの相手側（受け側穴または差込ピン）に連結される。上記「プリント回路基板の第２面の端子」の語は、本発明の趣旨を逸脱しないかぎり、できるだけ広義に解釈されるべきである。また、接続用プローブピンと区別するために、上記プリント回路基板の端子等に重ならない領域に位置するプローブピンを直通のプローブピンと呼ぶ場合がある。
【００１６】
本発明の電気検査装置は、上記のいずれか１つの電気検査ジグを備え、電気検査ジグと被検査体とを重ねて加圧する加圧装置を備えることを特徴とする。この電気検査装置によれば、安価な電気検査ジグを用いて、多種多様な電極配列をもつＦＰＣ等の検査を、大きな変更をすることなく遂行することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の電気検査ジグおよび電気検査装置によって、多種多様なＦＰＣ等の回路基板の検査を、能率よく、低廉な費用で実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における電気検査ジグ１０を用いた電気検査装置５０である。電気検査ジグ１０は、上下に位置する検査装置土台５１によってはさまれ、検査の際に、加圧される。ＦＰＣ等の被検査体７０は、電気検査ジグのテスター２０へのリード線２１の側に向く面に、電極７１，７７を有する。被検査体の電極７１は、コンタクトシート（異方導電性シート）５を介在させて、ピッチ変換基板７の表面（第１面）の端子７ａと導通する。ピッチ変換基板は、プリント回路基板の一種である。通常、本発明の実施の形態で用いられるプリント回路基板は、表面端子が密な配列をとり、裏面端子がそれよりピッチ間隔を大きい配列をとるので、ピッチ変換基板と言い換えてもよい。しかし、裏面で端子のピッチを広げないものであってもよい。ピッチ変換基板７では、表面の端子７ａは、裏面（第２面）において間隔（ピッチ）を広げられた端子７ｂへと導通している。被検査体７０の電極７１に導通する裏面端子７ｂは、接続用プローブピン１３に接続され、テスター２０へとリード線２１で連絡される。また、被検査体の電極７７は、絶縁性基台１１の貫通孔１１ｈを通る直通のプローブピン３に導通され、テスター２０へとリード線２１で連絡される。被検査体７０の電極７７はプローブピン３で電気的接続をとられ、電極７１は（コンタクトシート５／プリント回路基板７）で電気的接続をとられる点で相違する。
【００１９】
下側の検査装置土台５１にテーブル５３が取り付けられ、上側の検査装置土台５１に押し台５４が取り付けられている。下側のテーブル５３には、絶縁性基台１１が位置を合わせて固定される。また上側の押し台５４には、図示しないピンが設けられ、被検査体７０に設けられた位置決め孔に挿入され、位置合わせが行われる。電気検査装置５０では、電気的接続を確実にするために、位置合せを行ってセットした（被検査体７０／電気検査ジグ１０）を上下から加圧する。この加圧に対する弾力性または伸縮性は、コンタクトシート５自体がもつ弾力性およびプローブピン３，１３の取り付け構造に組み込む弾性部品等によって確保される。
【００２０】
図２は、被検査体７０の電極７１と、コンタクトシート５を介在させて電気的に接続するピッチ変換基板７の表面端子７ａと、を示す図である。コンタクトシート５は、絶縁性の多孔質樹脂シートに短いピッチで孔をあけ、その孔の内壁に金属めっきを施すことで形成される。この結果、コンタクトシート５は、短いピッチで配置される導通部５ａと、その間に位置して導通部５ａの間を絶縁する絶縁部５ｂとを備える。コンタクトシート５の導通部５ａは、被検査体７０の電極７１の配列のピッチよりも十分に短いピッチで配列する。このため、被検査体７０の電極７１の間を短絡せず、またピッチ変換基板７の表面端子７ａへ誤接続をすることはない。コンタクトシート５は、電極７１と表面端子７ａとを、１：１に接続する。このコンタクトシート５により、被検査体７０の電極７１と、ピッチ変換基板７の表面端子７ａとの間に、必要十分な接続を、高い精度で確実に実現することができる。
【００２１】
図３は、図１および図２の電気検査ジグ１０に組み込まれるピッチ変換基板を示す図である。ピッチ変換基板７は、第１面（表面）では端子７ａの配列は、被検査体７０の電極７１の配列と合致しており、同じピッチである。第２面（裏面）では、端子７ｂは、表面の端子７ａの配列方向と直交する方向に、１つおきにずらされて、配置される。このため、表面の端子７ａのピッチの２倍の長さのピッチとなる。このため、裏面の端子７ｂは、表面の端子７ａの配列よりも疎になり、裏面から電気的接続をとるのが容易になる。たとえば、裏面の端子７ｂには、普通のプローブピン１３や、後で説明するコネクタ等を用いることができる。
【００２２】
図２に示す矢印の電気信号は、テスター２０から発信されたもので、被検査体７０の回路に入力される。テスター２０は、被検査体７０の他の電極から出力される応答の電気信号を読み出し、被検査体７０が正常かどうか判断する。すなわち、テスターは自ら電気信号を発信し、被検査体７０のその電気信号に対する応答を受信して、検査をする。
【００２３】
図１に示す電気検査ジグ１０は、つぎのような利点を有する。
（１）図１に示す、直通のプローブピン３を用いることなく、すべてピッチ変換基板７およびコンタクトシート５でカバーすると、高価なコンタクトシート５を多量に使用することになる。被検査体７０がＦＰＣの場合、１つの絶縁性基台１１に、図１に示す（コンタクトシート５／ピッチ変換基板７）の組みを数十個並べて配置する。このため、コンタクトシート５の使用面積は大きなものとなり、そこコストも高額となる。また、プローブピン３で接続をとっている部分をカバーするために、ピッチ変換基板７の種類数を増やさなければならない場合も生じる。
（２）コンタクトシート５を用いた接続には、所定値以上の圧力が必要である。それは、次の理由による。多孔質の樹脂部の孔の内壁に導電性金属を付着させて導通部５ａは形成される。この際、導電性金属の付着量を適度に制御することによって、導通部での多孔質構造を保持することができる。導電性金属が多孔質構造の樹脂部の表面に沿って付着しているため、導電性金属層の部分が多孔質構造と一体となって多孔質状構造となっている。このため、接触時の導通部自身の変形容易性を得ることができる。他方で、これは、所定レベル以上の圧縮応力を加えられないと、導通部５ａの導通状態が得られないことを意味する。したがって、１つの絶縁性基台１１に用いるコンタクトシート５の面積が大きくなると、所定レベル以上の圧縮応力を得るために、大きな荷重を加える必要がある。電気検査装置５０に備えるプレスの荷重を大きくする必要があり、装置費用を大きく増大させる要因となる。直通のプローブピン３を用いた場合、プローブピン３は点であり、点部分の電気的接続に必要な弱いばね等で弾性力を与えられていても、大きなものとはならない。
【００２４】
（変形例）
図４は、本発明の電気検査ジグを組み込んだ電気検査装置を示す。この電気検査ジグは、図１に示す電気検査ジグの変形例である。図１に示す電気検査ジグでは、接続部品に接続用プローブピン１３を用いていた。しかし、図４では、コネクタ１５を用いている。このコネクタ１５は、コネクタ１５ｂがピッチ変換基板に実装されている。ピッチ変換基板にコネクタを配置するスペースがある場合、テスタからのケーブルに実装されるコネクタ１５ｂの相手コネクタ１５ａを用いることで、複数のケーブルを一括して接続できる。
【００２５】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２における電気検査ジグの絶縁性基台上のピッチ変換基板、およびプローブピンを示す図である。この図は、相手の被検査体７０の側から見た図であり、ピッチ変換基板７の裏面端子７ｂおよび配線は破線で示している。また、図６は、絶縁性基台１１の側から見た、被検査体７０の電極７１，７７の配列を示す図である。図６において、一定ピッチで並ぶ電極７１は、規格化電極であり、たとえばＦＰＣ等において標準的に採用される電極の配列を示す。規格化電極７１において標準的に使用される一定ピッチは、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ、０．５ｍｍ、０．６ｍｍ、０．８ｍｍである。一定ピッチで並ぶ規格化電極の列は、並列的に列状に配置されてもよいし、四角形の辺に沿うように配置されてもよい。
【００２６】
規格化電極７１は、その配列パターンの細部も含めて、多くの種類の機種に共通である。すなわち、各電極の位置は、所定グループの機種すべてに対して不変である。一方、左下に、ランダム状に配置された電極７７は、非規格化電極である。非規格化電極７７は、たとえばＦＰＣにおける接地電極、コンデンサ用電極、抵抗素子用電極などである。これら非規格化電極７７の位置は、機種によって変動するのが普通である。
【００２７】
図５に示す絶縁性基台１１および図６に示す被検査体７０は、図１または図４に示す電気検査装置に組み込まれる。その組み込みの際に、被検査体７０の規格化電極７１は、間にコンタクトシートを介在させて、ピッチ変換基板７の表面端子７ａと、電気的に接続される。また、被検査体７０の非規格化電極７７に対しては、直通のプローブピン３が接触し、電気的接続をとる。直通のプローブピン３と、非規格化電極７７との間には、コンタクトシートは介在しない。図７は、ピッチ変換基板７の表面端子と、被検査体７０の規格化電極７１との間に介在するコンタクトシート５を示す図である。コンタクトシート５は、高価なので、図７に示すように、使用面積をできるだけ小さくするのがよい。
【００２８】
図６および図７を参照して、本実施の形態の作用効果を説明する。
（１）図７に示すプローブピン３の代わりに、所定のピッチ変換基板と、コンタクトシート５とを用いて、テスターへのリード線を引き出すことは可能である。しかし、その場合、非規格化電極７７は、機種ごとに変化するので、ピッチ変換基板を機種ごとに設計し、製造しなければならない。ピッチ変換基板は、設計等の初期コストが大きく、機種ごとにピッチ変換基板を変えることは、大きなコスト増になる。直通のプローブピン３を取り付ける構造は、簡単な周知の構造を用いることができる。取り付け構造には、絶縁性基台に孔を設け、孔にソケットを圧入し、このソケットにプローブピンを差し込む。非規格化電極の数は少ないので、上記の直通のプローブピン３の取り付けは、容易かつ簡単に行なうことができる。したがって、上記の電気検査ジグによって、機種変更を頻繁に繰り返す装置のＦＰＣの電気検査において、大きな効果を得ることができる。
（２）図７に示すプローブピン３の代わりに、所定のピッチ変換基板と、コンタクトシート５とを用いた場合には、上述のコンタクトシートの費用の問題が生じる。すなわち、図７に示すプローブピン３の領域を覆うためには、コンタクトシート５のどれよりも大きな面積のコンタクトシートを用いる必要がある。図７に示す絶縁性基台１１へのピッチ変換基板７の配列パターンは、基本パターンであり、実際は、図７の基本パターンが、２０パターン程度繰り返される。このため、図７に示す１つの基本パターン内でのコンタクトシートの節約は、電気検査ジグ全体では大きなものとなる。
（３）上述と同じ理由により、１つの絶縁性基台１１に用いるコンタクトシート５の面積を抑制することにより、所定圧力に必要な荷重を抑制できる。上述のように、電気検査ジグ全体でのコンタクトシート面積の節減は大きく、その結果、プレス荷重も小さくてすむ。電気検査装置におけるプレス装置の費用が占める割合は大きく、プレス容量を低くすることで、電気検査装置の価格を低減することができる。
（４）絶縁性基台１１へのピッチ変換基板７等の取り付けにおいて、ピッチ変換基板製作上の誤差が生じることがある。位置の誤差が生じる場合、すべてを１枚のピッチ変換基板により電気的接続をとる構造では、修正することは、ピッチ変換基板の再製作を要する。しかし、基板を小さく分割することでピッチ変換基板の精度誤差を、ピッチ変換の実装時の位置調整で位置の修正を簡単に行うことができる。
【００２９】
上記の効果のうち、本実施の形態では、（１）の効果についてとくに詳しく説明した。所定のグループの機種内では、そのグループ内で被検査体の電極配列の頻繁な変更があっても、直通のプローブピンの位置変更で対応することができる。所定のグループ内では、被検査体のモデルチェンジがあっても、規格化電極は変更がないので、ピッチ変換基板を変えることなく、対応することができる。この結果、頻繁な被検査体の変更に対応して、低廉な電気検査を行うことが可能になる。
【実施例】
【００３０】
図８は、被検査体のＦＰＣシート７０を示す図である。基本パターンＡは、２個のＦＰＣが中心に対称に左右に形成されたパターンである。１枚のＦＰＣシート７０に、基本パターンＡが１０程度繰り返されている。１個のＦＰＣには、規格化電極７１と、非規格化電極が設けられている。非規格化電極は、一方の端部に位置する大きな矩形の電極７７ａ、側部に位置する電極７７ｂ、他方の端部に外れて位置する２個一組の電極７７ｃ，７７ｄとがある。ＦＰＣシート７０には、位置決め孔７９が設けられる。
【００３１】
図９は、図８のＦＰＣシート７０の電気検査を行うための電気検査ジグ１０を示す図である。ピッチ変換基板７は、絶縁性基台１１に固定された薄い樹脂板１９上に取り付けられている。プローブピン３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは、その樹脂板１９から外れた領域に、押し込み自由に、絶縁性基台１１から突き出している。どのプローブピン３の箇所にも、絶縁性基台１１にはピン孔１１ｈが設けられ、また各プローブピンにはばね機構が形成されている。このばね機構も含めて、各プローブピンの絶縁性基台１１への取り付け構造は、周知のものであり、取り付け作業は、簡単である。またプローブピンは、普通のプローブピンを用いるのがよい。ＦＰＣシート７０の非規格化電極と、プローブピンとの接続関係は、（電極７７ａ／プローブピン３ａ）、（電極７７ｂ／プローブピン３ｂ）、（電極７７ｃ／プローブピン３ｃ）、（電極７７ｄ／プローブピン３ｄ）である。
【００３２】
図９に示す電気検査ジグ１０を用いることで、つぎのような利点を得ることができた。
（１）ピッチ変換基板を規格化したことで、従来のジグに比べて、約３割減のコストでジグを製造することができる。
（２）従来のジグに比べて、約半分の荷重で検査することができる。このため小型の装置で電気検査をすることができる。
（３）ジグ異常時の対処において、異常箇所のみコンタクトシートを張り替えるだけで済ますことができる。このため、従来のジグに比べて、修理時間を短縮することができる。
【００３３】
上記において、本発明の実施の形態および実施例について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態および実施例は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明は、金属ばねおよび樹脂シートの両方が弾性変形して、ストロークを大きくでき、半導体装置等の接続端子の厚み方向位置のばらつきを吸収できれば、どのような金属ばねの形態および樹脂シートの形態であっても、本発明の技術的範囲に属させるものである。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、プローブピンと、ピッチ変換基板とで、被検査体の電極への電気的接続を実現する。このため、ピッチ変換基板のみを用いる場合に比べて、被検査体のモデルチェンジに対して安価に適応でき、かつコンタクトシートの使用面積を減らすことができる。さらに、コンタクトシートに必要な応力を得るのに必要なプレス装置の容量を減らし、位置の修正の適応性を高めることができる。今後、本分野での貢献が期待される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態１における電気検査ジグを組み込んだ電気検査装置を示す図である。
【図２】図１に示す電気検査ジグにおいて、ピッチ変換基板の端子と被検査体の電極との電気的接続の部分を示す図である。
【図３】ピッチ変換基板を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１における変形例の電気検査ジグを組み込んだ電気検査装置を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２における電気検査ジグを示す図である。
【図６】図５の電気検査ジグが検査する被検査体の電極を示す図である。
【図７】図５の電気検査ジグにコンタクトシートを配置した状態を示す図である。
【図８】実施例の被検査体であるＦＰＣシートを示す図である。
【図９】図８のＦＰＣシートを検査する電気検査ジグを示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ  プローブピン、５  コンタクトシート、５ａ  導通部、５ｂ  絶縁部、７  ピッチ変換基板（プリント回路基板）、７ａ  表面端子、７ｂ  裏面端子、１０  電気検査ジグ、１１  絶縁性基台、１１ｈ  直通のプローブピン孔、１３  接続用プローブピン、１９  樹脂板、２０  テスター、２１  テスターへのリード線、５０  電気検査装置、５１  検査装置土台、５３  テーブル、５４  押し台、７０  被検査体（ＦＰＣシート）、７１  規格化電極、７７，７７ａ，７７ｂ，７７ｃ，７７ｄ  被検査体電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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