(57)【要約】  【課題】  液体加圧室内の液体の温度調節のできる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。  【解決手段】  電気抵抗体からなるヒータープレート２２を含む複数のプレート２２〜３１が積層されてなる、複数の液体吐出孔８と複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０とヒータープレート２２の主面に形成されているヒーター配線４１、４２とを備える流路部材４と、複数の前記液体加圧室１０内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧手段（変位素子５０）とを備える液体吐出ヘッドである。  【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気抵抗体からなるヒータープレートを含む複数のプレートが積層されてなる、複数の液体吐出孔と該複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室と前記ヒータープレートの主面に形成されているヒーター配線とを備える流路部材と、前記複数の前記液体加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧手段とを備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数の液体加圧室の壁面を構成している前記プレートが前記ヒータープレートであるとともに、前記ヒーター配線が液体加圧室の近傍に形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の液体加圧室が前記流路部材の一方主面に開口しており、該一方主面を構成する前記プレートが前記ヒータープレートであることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ヒーター配線が前記ヒータープレートの両主面に互いに対向して形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記流路部材を積層方向から平面視したとき、前記流路部材は前記複数の液体加圧室がマトリックス状に配置された液体加圧室形成領域と該液体加圧室形成領域以外の液体加圧室形成領域外領域とを有し、前記ヒーター配線は、前記液体加圧室形成領域と前記液体加圧室形成領域外領域に同一のパターンを有することを特徴とする請求項４記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動および前記ヒータープレートの温度を制御する制御部とを備えることを特徴とする印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出させることにより画像を印刷する印刷装置に関し、特に、複数の液体吐出ヘッドを用いて画像を印刷する印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒーターを備え、ヒーターによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を加圧手段によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および主走査方向に関して記録媒体より長いヘッドを固定した状態で副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。
【０００５】
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。
【０００６】
そこで液体吐出ヘッドを、マニホールドとマニホールドから複数の液体加圧室をそれぞれ介して繋がる液体吐出孔を有した流路部材と、前記液体加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の加圧手段を有するアクチュエータユニットとを積層して構成する技術が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。液体吐出ヘッドでは、各液体吐出孔に繋がった液体加圧室を、それを覆うように設けられた加圧手段を変位させることで、各液体吐出孔からインクを吐出させ、主走査方向に６００ｄｐｉの解像度で印刷が可能とされている。
【０００７】
また、液体吐出孔から吐出される液滴の吐出特性を安定化させるために、流路部材の外部にヒーターを備え、流路部材の温度を一定に保たせようとする液体吐出ヘッドが知られている。
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、温度調節がもっとも必要とされるのは、温度により吐出特性の変動する可能性のある液体加圧室内の液体であるので、ヒーターを流路部材の外部に備えてもヒーターが液体加圧室内から離れているため、ヒーターの温度が上がってから液体加圧室内の液体の温度が上がるまで時間差が生じて、応答性が悪いという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、液体加圧室内の液体の温度調節のできる液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドは、電気抵抗体からなるヒータープレートを含む複数のプレートが積層されてなる、複数の液体吐出孔と該複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室と前記ヒータープレートの主面に形成されているヒーター配線とを備える流路部材と、前記複数の前記液体加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、前記複数の液体加圧室の壁面を構成している前記プレートが前記ヒータープレートであるとともに、前記ヒーター配線が液体加圧室の近傍に形成されていることが好ましい。
【００１２】
さらに、前記複数の液体加圧室が前記流路部材の一方主面に開口しており、該一方主面を構成する前記プレートが前記ヒータープレートであることが好ましい。
【００１３】
またさらに、前記ヒーター配線が前記ヒータープレートの両主面に互いに対向して形成されていることが好ましい。
【００１４】
さらにまた、前記流路部材を積層方向から平面視したとき、前記流路部材は前記複数の液体加圧室がマトリックス状に配置された液体加圧室形成領域と該液体加圧室形成領域以外の液体加圧室形成領域外領域とを有し、前記ヒーター配線は、前記液体加圧室形成領域と前記液体加圧室形成領域外領域に同一のパターンを有することが好ましい。
【００１５】
本発明の印刷装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動および前記ヒータープレートの温度を制御する制御部とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
電気抵抗体からなるヒータープレートを含む複数のプレートが積層されてなる、複数の液体吐出孔と該複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室と前記ヒータープレートの主面に形成されているヒーター配線とを備える流路部材と、前記複数の前記液体加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧手段とを備えることにより、流路部材内にある液体加圧室の近くの前記ヒーターで前記液体加圧室内の液体を加熱することができるため、より細かい温度調整ができる。
【００１７】
また、前記複数の液体加圧室の壁面を構成している前記プレートが前記ヒータープレートであるとともに、前記ヒーター配線が液体加圧室の近傍に形成されている場合、前記液体加圧室内の液体を直接的に加熱することができるので、より細かい温度調整ができる。
【００１８】
さらに、前記複数の液体加圧室が前記流路部材の一方主面に開口しており、該一方主面を構成する前記プレートが前記ヒータープレートである場合、前記ヒーター配線と前記ヒーターの発熱を制御する制御部との電気的な接続を容易にすることができる。
【００１９】
またさらに、前記ヒーター配線が前記ヒータープレートの両主面に互いに対向して形成されている場合、前記ヒーターの熱を発する位置を容易に調整できる。
【００２０】
さらにまた、前記流路部材を積層方向から平面視したとき、前記流路部材は前記複数の液体加圧室がマトリックス状に配置された液体加圧室形成領域と該液体加圧室形成領域以外の液体加圧室形成領域外領域とを有し、前記ヒーター配線は、前記液体加圧室形成領域と前記液体加圧室形成領域外領域に同一のパターンを有する場合、前記ヒーター配線全てに対して一定の電圧差で電気を供給すれば、前記液体加圧室形成領域の単位面積あたりの発熱量と前記液体加圧室形成領域外領域の単位面積あたりの発熱量とがほぼ同じになるため、温度調整がしやすい。
【００２１】
本発明の印刷装置によれば、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドの駆動および前記ヒータープレートの温度を制御する制御部とを備えることにより、流路部材内の液体の温度差により生じる印刷ばらつきの少ない印刷ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッドを含む本発明の印刷装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、記録媒体である印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１内に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１の紙面手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。
【００２３】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる搬送手段を有している。具体的には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００２４】
給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。
【００２５】
給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラ１１８、１１８ａ、１１９、１１９ａによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００２６】
搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。
【００２７】
ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。
【００２８】
ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラ１３８、１３９は回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。
【００２９】
給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。
【００３０】
４つの液体吐出ヘッド２は、搬送ベルト１１１による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔８が設けられている（図３および４参照）。
【００３１】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた液体吐出孔８からは、同じ色の液体（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００３２】
搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液体が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
【００３３】
搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。
カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。
【００３４】
なお、印刷用紙Ｐの搬送方向についてもっとも上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。
【００３５】
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体１３について説明する。図２は、図１に示されたヘッド本体１３を示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体１３の一部である。なお、説明の都合上、図３には圧電アクチュエータユニット２１が二点鎖線で示している。また、本来破線で示されるべき流路部材４の内部や下面に形成されているしぼり１２や液体吐出孔８などは実線で示している。図４（ａ）は図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）の一部を拡大したものである。図５（ａ）はヒータープレート２２の平面図である。図５（ｂ）は図５（ａ）と同一場所のヒータープレート２２の平面図であり、パターンヒーター配線４２を省略し、グランドヒーター配線４１透過して示したものである。
【００３６】
ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に積層された圧電アクチュエータユニット２１とを有している。圧電アクチュエータユニット２１は、加圧手段である後述の変位素子５０を複数備えている。また、圧電アクチュエータユニット２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータユニット２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット２１の斜辺同士は、流路部材４の幅方向について部分的にオーバーラップしている。
【００３７】
流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータユニット２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
【００３８】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータユニット２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータユニット２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータユニット２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域に、互いに隣接してヘッド本体１３の長手方向に延在している。
【００３９】
流路部材４は、複数の液体加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの液体加圧室群９を有している。各液体加圧室群９の最も外側の液体加圧室１０より内側は、液体加圧室１０が形成された液体加圧室形成領域１５である。液体加圧室形成領域１５以外の領域は液体加圧室形成領域外領域１６である。液体加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域の略全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室１０によって形成された各液体加圧室群９は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータユニット２１が接着されることで閉塞されている。
【００４０】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００４１】
全体では、マニホールド５から繋がる液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室１０の数は、圧電アクチュエータユニット２１の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の液体吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等間隔に繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍの間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。
【００４２】
圧電アクチュエータユニット２１の上面における各液体加圧室１０に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。個別電極３５は液体加圧室１０より一回り小さく、液体加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００４３】
流路部材４の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔８が形成されている。これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータユニット２１と対向する領域内に配置されており、４つの液体吐出孔群となっている。これらの液体吐出孔群は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット２１の変位素子５０を変位させることにより液体吐出孔８から液滴が吐出できる。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
【００４４】
なお、これらの液体吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線上に、この仮想直線と垂直な方向から各液体吐出孔８の形成位置を射影した射影点が、印字の解像度に対応した間隔で等間隔に途切れずに並ぶような位置に形成されている。これによって、液体吐出ヘッド２は、流路部材４における液体吐出孔８が形成された領域の長手方向についてのほぼ全領域にわたって、印字の解像度に対応した間隔で途切れずに印字できるようになっている。
【００４５】
流路部材４の内部には、多数のしぼり１２が形成されている。これらのしぼり１２は、液体加圧室群９と対向する領域内に配置されている。本実施形態のしぼり１２は、水平面に平行な１方向に沿って延在している。しぼり１２の一方の端は、後述の個別供給流路６を介して副マニホールド５ａに繋がっている。また、しぼり１２の他方の端は、液体加圧室１０に繋がっている。
【００４６】
ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。詳細は後述するが、これらのプレートのうち少なくとも１つのプレートを電気抵抗体で作製し、発熱するヒータープレートとして使用する。また、各プレート２２〜３１には多数の孔が形成されている。各プレート２２〜３１は、これらの孔が互いに連通してマニホールド５および個別流路３２を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図４に示されているように、液体加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、液体吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室１０を介して副マニホールド５ａと液体吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００４７】
各プレート２２〜３１に形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された液体加圧室１０である。第２に、液体加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００４８】
第３に、液体加圧室１０の他端から液体吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には液体吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。
【００４９】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から液体吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室１０の一端部に至る。さらに、液体加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔８へと進む。
【００５０】
このような流路部材４の液体加圧室１０に、それぞれ後述の変位素子５０を付け、変位素子５０を変形させることにより、液体吐出孔８から液滴を吐出させることができる。この時、液体加圧室１０内の液体の温度が変動すると、液体の粘度が変わるため、変位素子５０の変形が同じであっても、吐出される液滴の速度や量が変動し、印刷用紙Ｐに着弾する位置や、着弾後に広がる液体の面積が変わるため、印刷される画像等の精度が悪くなるおそれがある。
【００５１】
プレート２２〜３１の少なくとも１つを導体抵抗の高い電気抵抗体で作製して、ヒータープレートとし、ヒータープレートの主面にヒーター配線を形成して電気を流すことにより発熱させることができる。このようにすると、吐出特性にもっとも影響を与える液体加圧室１０内の液体の近くで発熱することになるため、発熱させてから液体加圧室１０内の液体の温度が上がるまでの時間が短くなり、またより細かい温度調節ができる。
【００５２】
ヒーター配線は、ヒータープレートの一方主面内に電圧差のできるヒーター配線を形成し、積層方向に垂直な方向に電流を流してもよく、ヒータープレートの一方主面と他方主面に電圧差のできるヒーター配線を形成し、積層方向に電流を流してもよい。前者では、ヒーター配線の形成を一方主面内だけにできるため製造工程が簡略化できるため好ましい。後者では、形成されるパターンにより発熱する部分および発熱量を容易に制御できるため好ましい。いずれのタイプのヒーター配線を形成するにしてもヒーター配線は液体加圧室１０の近傍に設けるのが好ましい。ここで、液体加圧室１０の近傍とは、積層方向では流路部材４の中であればどの位置でもよく、積層方向に垂直な方向では、１つの液体加圧室１０に対して、直近の液体加圧室１０よりも近い位置のことである。
【００５３】
また、プレート２２〜３１のうち、どのプレートをヒータープレートにしても良いが、液体加圧室１０のより近くで発熱させることのできるように、液体加圧室１０の壁面を構成しているプレート、すなわちキャビティプレート２２およびベースプレート２３の少なくとも一方をヒータープレートにすることが好ましい。また、キャビティプレート２２をヒータープレートにすると、キャビティプレート２２には、液体加圧室１０以外に開いている孔が少ないためヒーター配線を流路部材４の全体にほぼ均一に形成できるため好ましい。またさらに、流路部材４の変位素子５０の積層される主面を形成するプレートをヒータープレートにし、主面にヒーター配線を形成すると、ヒーター配線と制御部１００との電気的接続を容易にすることができる。
【００５４】
図５（ａ)、（ｂ）においてはキャビティプレート２２をヒータープレートとし、ヒーター配線として、キャビティプレート２２の一方主面にグランドヒーター配線４１が形成され、他方主面にパターンヒーター配線４２が形成されており、グランドヒーター配線４１とパターンヒーター配線４２には互いに対向している対向部がある。グランドヒーター配線４１とパターンヒーター配線４２との間には制御部１００により電圧が加えられ、対向部において電流が積層方向に流れ、電流が流れた部分のヒータープレートが発熱する。このような構成にすると、発熱するのは、ほぼ上下にヒーター配線が形成された対向部だけになり、発熱量は対向部の面積に比例するようになるため、パターンの設計によりヒータープレート各部の発熱量を調整することが容易にできる。また、同一面内に電位差のあるヒーター配線を近接して設けなくてもよいため、液体によりヒーター配線間がショートすることがない。
【００５５】
なお、ヒータープレートを貫通して配線を形成したい場合は、ヒータープレートに貫通孔を空け、貫通孔に導電体をいれるようにすればよい。この場合貫通孔は、液体加圧室１０、流路部材４の端部および電位差のあるパターンから十分離して（１ｍｍ以上）形成するのがよい。
【００５６】
グランドヒーター配線４１は図５（ｂ）に示すように、キャビティプレート２２の略全面に形成されている。液体加圧室１０の周囲にグランドヒーター配線４１の形成されていない部分を設けているのは、液体によりグランドヒーター配線４１が腐食されないためである。
【００５７】
パターンヒーター配線４２は、グランドヒーター配線４１と同様に液体加圧室１０の周囲に形成されない部分を設けてある。つまり、液体加圧室１０が一塊に形成されている液体加圧室形成領域１５には、液体加圧室に相似のヒーター配線非形成部が設けてある。また、液体加圧室１０が形成されていない液体加圧室形成領域外領域１６にも、ヒーター配線非形成部を設けてもよい。このようにすることにより、流路部材４全体が平均的に加熱されるため好ましい。この際、液体加圧室形成領域外領域１６のヒーター配線非形成部も、液体加圧室形成領域１５のヒーター配線非形成部と共通の形状および配置間隔にすると設計が容易になる。また、液体加圧室形成領域外領域１６のヒーター配線非形成部を、液体加圧室形成領域１５のヒーター配線非形成部と比較して相似でわずかに大きいものにしてもよい。このようにすると、液体が供給され続けるため、加熱が必要な液体加圧室形成領域１５よりも液体加圧室形成領域外領域１６の発熱が少なくなり、全体のバランスがとれる。
【００５８】
次に、パターンヒーター配線４２をいくつかの領域に分けて形成する応用例について、説明する。パターンヒーター配線４２の形成のされ方以外の構造は、ここまでの説明と同じである。
【００５９】
図６（ａ）は流路部材４−１の平面図であり、液体加圧室形成領域１５−１を含むようにパターンヒーター配線４２がパターンヒーター配線領域４２−１内に形成されている。図ではパターンヒーター配線４２の詳細は省略しているが、図５（ａ）と同様に液体加圧室１０と相似形状のヒーター配線非形成部が全体に設けられている。つまり、液体加圧室形成領域外領域にも、液体加圧室形成領域１５−１と同一のパターンヒーター配線が形成されている。なお、図示しないが、グランドヒーター配線４１はが図５（ｂ）と同様に形成されており、貫通孔の導体によりグランドヒーター配線４１と電気的に繋がっているグランドヒーター配線用電極４３−１が形成されている。そして、パターンヒーター配線領域４２−１のパターンヒーター配線は全て繋がっており、制御部１００からグランドヒーター配線４１との間に電圧が加えられ、パターンヒーター配線領域４２−１の領域内で、ほぼ均一に発熱する。
【００６０】
図６（ｂ）は流路部材４−２の平面図であり、液体加圧室形成領域１５−２を含むようにパターンヒーター配線４２がパターンヒーター配線領域４２−２内に形成されている。図ではパターンヒーター配線４２の詳細は省略しているが、図５（ａ）と同様に液体加圧室１０と相似形状のヒーター配線非形成部が全体に設けられている。つまり、液体加圧室形成領域外領域にも、液体加圧室形成領域１５−２と同一のパターンヒーター配線が形成されている。なお、図示しないが、グランドヒーター配線４１はが図５（ｂ）と同様に形成されており、貫通孔の導体によりグランドヒーター配線４１と電気的に繋がっているグランドヒーター配線用電極４３−２が形成されている。
【００６１】
そして、パターンヒーター配線４２は、圧電アクチュエータユニット２１に対応した液体加圧室形成領域１５−２をそれぞれ含んだ４つのパターンヒーター配線領域４２−２ａ〜ｄに分けて形成されている。すなわち、パターンヒーター配線領域４２−２ａ〜ｄに形成されたパターンヒーター配線４２は互いに繋がっておらず、それぞれの領域のパターンヒーター配線に流す電流量を変えることにより各領域の発熱量を変えることができる。各領域に温度センサを付ければ、各領域の状態に合わせて温度を調節することができる。また、各圧電アクチュエータユニット２１の特性に差がある場合に、領域毎に温度設定を変えて、圧電アクチュエータユニット２１の特性の差を相殺させるように調節することもできる。例えば、ある圧電アクチュエータ２１の有する変位素子５０の変位量の平均が、他の圧電アクチュエータ２１の有する変位素子５０の変位量の平均より低い場合、その圧電アクチュエータ２１に対応する領域の、温度を上げて液体の粘度を下げることにより、少ない変位量でも液滴の量が多く、液滴の速度も速くなるので、液体吐出特性のばらつきを少なくすることができる。
【００６２】
図６（ｃ）は流路部材４−３の平面図であり、液体加圧室形成領域１５−３を含むようにパターンヒーター配線がパターンヒーター配線領域４２−３内に形成されている。図ではパターンヒーター配線の詳細は省略しているが、５（ａ）と同様に液体加圧室１０と相似形状のヒーター配線非形成部が全体に設けられている。つまり、液体加圧室形成領域外領域にも、液体加圧室形成領域１５−３と同一のパターンヒーター配線が形成されている。なお、図示しないが、グランドヒーター配線４１はが図５（ｂ）と同様に形成されており、貫通孔の導体によりグランドヒーター配線４１と電気的に繋がっているグランドヒーター配線用電極４３−３が形成されている。
【００６３】
そして、パターンヒーター配線は、副マニホールド５ａに沿った４つのパターンヒーター配線領域４２−３ａ〜ｄに分けて形成されている。すなわち、パターンヒーター配線領域４２−３ａ〜ｄに形成されたパターンヒーター配線は互いに繋がっておらず、それぞれに形成されたパターンヒーター配線に流す電流量を変えることにより各領域の発熱量を変えることができる。各領域に温度センサ付ければ、領域毎の状態に合わせて温度を調節することができる。
【００６４】
また、図６（ｂ）と図６（ｃ）の分割の仕方を合わせて、パターンヒーター配線４２を、圧電アクチュエータユニット２１に対応した領域の副マニホールド５ａ毎に１６のパターンヒーター配線領域に分けて形成してもよい。このようにすることにより、より細かい領域に分けて調整することができる。また、このような液体吐出ヘッド２では、流路部材４と圧電アクチュエータユニット２１を熱硬化性樹脂で接合する際に、圧電アクチュエータ２１に熱膨張係数差により圧縮圧力が加わることにより圧電アクチュエータユニット２１の台形の短辺側の変位素子５０の方が長辺側の変位素子５０よりも変位が大きくなることがあるが、そのような場合、圧電アクチュエータユニット２１の台形の短辺側の領域に流す電流量を少なくし、その変位素子５０に対応した副マニホールド５ａに流れる液体の粘度を高くすることにより、吐出特性のばらつきを少なくすることもできる。
【００６５】
またさらに、開口５ｂ近くの副マニホールド５ａに分岐する前のマニホールド５の上の領域のパターンヒーター配線４２を分けて形成し、別に温度制御してもよい。開口５ｂからは流路部材４と温度差のある液体が入ってくることがあり、温度変動が大きくなることがあるため、このようにすると、この変動を少なくすることができるため好ましい。
【００６６】
次に、圧電アクチュエータユニット２１について説明する。圧電アクチュエータユニット２１は、図４に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット２１全体の厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の液体加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。
【００６７】
圧電アクチュエータユニット２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極３５を有している。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する位置に配置されている。個別電極３５の一端は、液体加圧室１０と対向する領域外に引き出されて接続電極３６が形成されている。この接続電極３６は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極３６は、図示されていないＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部１００からＦＰＣを通じて吐出信号が供給される。
【００６８】
共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域内の全ての液体加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上において、個別電極３５からなる電極群を避ける位置に個別電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層２１ｂの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極３５と同様に、ＦＰＣ上の別の電極と接続されている。
【００６９】
図４に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００７０】
そして、個別電極３５に選択的に所定の吐出信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する液体加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出孔８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット２１における各液体加圧室１０に対向する部分は、各液体加圧室１０および液体吐出孔８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が液体加圧室１０毎に、液体加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット２１には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出孔８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。
【００７１】
多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。
【００７２】
本実施形態における圧電アクチュエータユニット２１においては、個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加すると、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、液体加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、液体加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御手段により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは液体加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００７３】
本実施の形態における実際の駆動手順は、予め個別電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、液体加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、液体加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から液体加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが液体加圧室１０側へ凸となるように変形し、液体加圧室１０の容積減少により液体加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む吐出信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から液体吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、液体加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００７４】
また、階調印刷においては、液体吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する液体吐出孔８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。
【００７５】
以上のような液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。
【００７６】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極３４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入する。
【００７７】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極２５を印刷して、焼成した後、Ａｇペーストを用いて接続電極３６を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータユニット２１を作製する。
【００７８】
次に、流路部材４を、プレート２２〜３１を接着剤層４５を介して積層して作製する。プレート（ヒータープレート）２２は窒化珪素などの高導体抵抗の電気抵抗体で、上述の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂと同様に、窒化珪素の粉末をテープに成型し、液体加圧室１０となる孔をパンチングで開け、非酸化雰囲気で焼成した後、Ｃｕペーストでグランドヒーター配線４１、パターンヒーター配線４２を印刷し、非酸化雰囲気で焼成した。必要に応じてパターンヒーター配線４２を保護する保護層を形成してもよい。
【００７９】
プレート２３〜３１は、圧延法等によりプレートを作製した後、マニホールド５、個別流路３２およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工して作製する。これらプレート２３〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００８０】
圧電アクチュエータ２１と流路部材４とは、例えば接着層４５を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ２１と流路部材４とを加熱接合することができる。
【００８１】
ヒータープレート２２とプレート２１あるいは圧電アクチュエータ２１とを接着する接着剤層４５は、絶縁性の接着剤を使用しても、導電性の接着剤を使用してもよい。導電性の接着剤を使用すると、ヒータープレート２２のグランド側の電気的接続を流路部材４のプレートを通じて行なうことができるので好ましい。
【００８２】
この後必要に応じて、ヒーター配線と制御部１００とを電気的に接続するための配線や、圧電アクチュエータ２１と制御部１００とを電気的に接続するためのＦＰＣなどを接合し、液体吐出ヘッド２を得ることができる。
【００８３】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の一実施形態である液体吐出ヘッドを用いたプリンタを示す概略構成図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体を示す平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。
【図４】（ａ）図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図である。（ｂ）（ａ）の一部を拡大した拡大図である。
【図５】（ａ）図２の一部を拡大した拡大図である。（ｂ）図２（ａ）と同一場所の拡大図であり、パターンヒーター配線４２を省略し、グランドヒーター配線４１を透過させて示したものである。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の変形例に用いられる流路部材の模式図である。
【符号の説明】
【００８５】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・開口
６・・・個別供給流路
８・・・液体吐出孔
９・・・液体加圧室群
１０・・・液体加圧室
１２・・・しぼり
２１・・・圧電アクチュエータユニット
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２・・・プレート（ヒータープレート）
２３〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極
３５・・・個別電極
３６・・・接続電極
４１・・・グランドヒーター配線
４２・・・パターンヒーター配線
５０・・・変位素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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