(57)【要約】【課題】プローブカードとテストヘッドとを確実に電気的に接続でき、しかも、プローブカードのバンプ群の数量に左右されることなく、その小型化を図ることができること。【解決手段】コネクタ本体部１０Ａｉのスライダー部材２０が、配線基板１２上のロック部１４に対しロック状態とされるともに、コンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの下部接点部が配線基板１２のコンタクトパッド群１２Ｅに当接されるもの。【選択図】図１
2010287334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーブル部材の電極部に電気的に接続される第１の接点部、および、配線基板上の電極部に当接し電気的に接続される第２の接点部を有するコンタクト端子を複数個収容するコンタクト端子支持体と、
前記コンタクト端子支持体に連結され、前記配線基板上の電極部に隣接して設けられるロック部のロックピンに対し係合状態または非係合状態とされるフック部を有するスライダー部材を該配線基板における電極部が形成される表面に沿って移動可能に備えるハウジング部材と、
前記スライダー部材のフック部を前記ロック部のロックピンに対し係合状態または非係合状態とするスライダー部材駆動手段と、を備え、
前記スライダー部材駆動手段がスライダー部材のフック部を前記ロック部のロックピンに対し係合状態とすることにより、前記コンタクト端子支持体に収容されるコンタクト端子の第２の接点部が配線基板上の電極部に所定の圧力で当接せしめられることを特徴とするＺＩＦコネクタ。
【請求項２】
前記ケーブル部材は、プラグ部に設けられ同軸ケーブルであって、該同軸ケーブルの内部導体部が接続される端子プレートの端子が、前記コンタクト端子の第１の接点部に当接することを特徴とする請求項１記載のＺＩＦコネクタ。
【請求項３】
前記ケーブル部材は、プラグ部に結合されるフレキシブル配線基板であって、該フレキシブル配線基板の電極部が、前記コンタクト端子の第１の接点部に当接することを特徴とする請求項１記載のＺＩＦコネクタ。
【請求項４】
前記プラグ部は、前記ハウジング部材の内周部に形成される凹凸に対応して形成される凹凸を外周部に有することを特徴とする請求項１記載のＺＩＦコネクタ。
【請求項５】
前記ハウジング部材に形成される孔に嵌合する位置決め部材を有するプラグ連結部材をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のＺＩＦコネクタ。
【請求項６】
前記コンタクト端子支持体の外周部に昇降動可能に支持されるコンタクトプロテクター部材を備え、該コンタクトプロテクターは、該コンタクト端子支持体に設けられるガイドピンに係合する長孔を有し、該コンタクトプロテクターの外周面と該コンタクト端子支持体の内周面との間にリターンスプリングが設けられることを特徴とする請求項１記載のＺＩＦコネクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＺＩＦ（Ｚｅｒｏ  Ｉｎｓｅｒｔｉｏｎ  Ｆｏｒｃｅ）コネクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハ等の半導体装置に縦横に複数個形成された回路および回路パターンの
良否をそれぞれ判定するためにバーンインスクリーニングが行なわれている。このような
バーンインスクリーニングにおいては、例えば、特許文献１にも示されるような、プロー
ブカードを備える検査装置が用いられている。
【０００３】
プローブカードは、検査装置におけるテストヘッドに接続されている。プローブカードは、例えば、被検査物としてのシリコンウェーハの各回路パターンに電気的に接続されるバンプ群を複数個有する円板状のフレキシブル基板と、フレキシブル基板のバンプ群に直接的に接続される導電部を有する異方導電性シートと、フレキシブル基板のバンプ群に異方導電性シートの導電部を介して電気的に接続される導体層を有する配線基板とを含んで構成されている。
【０００４】
そのようなプローブカードの配線基板は、例えば、特許文献２にも示されるような、ＺＩＦコネクタを介してテストヘッドに電気的に接続される場合がある。
【０００５】
ＺＩＦコネクタは、例えば、接続部品に設けられる電気的端子と、コネクタ台に設けられるコネクタ部とを含んで構成されている。そのコネクタ部は、選択的に押圧されコネクタ部内に挿入される接続部品の電気的端子に対し接触する一対のコンタクトピンと、一対のコンタクトピンの接触部を電気的端子に対し互いに近接または離隔させる回転カムと、回転カムを回転させるハンドルとを含んで構成されている。
【０００６】
斯かる構成において、接続部品に設けられる電気的端子とコネクタ部の一対のコンタクトピンとを電気的に接続する場合、先ず、一対のコンタクトピンの接触部が電気的端子に対し互いに離隔した状態のとき、接続部品の電気的端子が一対のコンタクトピンの接触部相互間に挿入された後、次に、ハンドルの回動に連動して回転カムが回動されることにより、一対のコンタクトピンの接触部が押圧され電気的端子に対し互いに接触することとなる。これにより、接続部品に設けられる電気的端子とコネクタ部の一対のコンタクトピンとが電気的に接続されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１７２５５１号公報
【特許文献２】特開２０００−０８１４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のようなプローブカードに備えられるバンプ群の数量は、増大する傾向にある。また、上述のようなＺＩＦコネクタにおける接続部品に設けられる電気的端子およびコンタクトピンの数量もそのバンプ群の数量の増大するにつれて多くなるので一対のコンタクトピンを確実に作動させるために必要とされる回転カムのねじり剛性の観点から回転カムの直径をより大とする必要がある。従って、上述のような機構においては、ＺＩＦコネクタの小型化の要請から回転カムの直径をより大とすることにも限界があるので例えば、合計約１５０００本を超えるコンタクトピンを備えるプローブカードにあっては、そのような機構を適用することが困難となる虞がある。
【０００９】
以上の問題点を考慮し、本発明は、ＺＩＦコネクタであって、プローブカードとテストヘッドとを確実に電気的に接続でき、しかも、プローブカードのバンプ群の数量に左右されることなく、その小型化を図ることができるＺＩＦコネクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するために、本発明に係るＺＩＦコネクタは、ケーブル部材の電極部に電気的に接続される第１の接点部、および、配線基板上の電極部に当接し電気的に接続される第２の接点部を有するコンタクト端子を複数個収容するコンタクト端子支持体と、
コンタクト端子支持体に連結され、配線基板上の電極部に隣接して設けられるロック部のロックピンに対し係合状態または非係合状態とされるフック部を有するスライダー部材を配線基板における電極部が形成される表面に沿って移動可能に備えるハウジング部材と、
スライダー部材のフック部をロック部のロックピンに対し係合状態または非係合状態とするスライダー部材駆動手段と、を備え、スライダー部材駆動手段がスライダー部材のフック部をロック部のロックピンに対し係合状態とすることにより、コンタクト端子支持体に収容されるコンタクト端子の第２の接点部が配線基板上の電極部に所定の圧力で当接せしめられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るＺＩＦコネクタによれば、スライダー部材駆動手段がスライダー部材のフック部をロック部のロックピンに対し係合状態とすることにより、コンタクト端子支持体に収容されるコンタクト端子の第２の接点部が配線基板上の電極部に所定の圧力で当接せしめられるのでプローブカードとテストヘッドとを確実に電気的に接続でき、しかも、プローブカードのバンプ群の数量に左右されることなく、その小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るＺＩＦコネクタの第１実施例の要部の構成を概略的に示す構成図である。
【図２】本発明に係るＺＩＦコネクタの第１実施例を配線基板とともに示す斜視図である。
【図３】本発明に係るＺＩＦコネクタの第１実施例における構成要素を分解して示す斜視図である。
【図４】図２に示される例における配線基板の下面の一部を示す斜視図である。
【図５】図２に示されるＺＩＦコネクタを備えるコネクタユニットの一部を示す斜視図である。
【図６】図２に示される例におけるコンタクト端子支持体の内部構造を示す断面図である。
【図７】（Ａ）は、図６におけるＶＩＩＡ−ＶＩＩＡ線に沿って示される部分断面図であり、（Ｂ）は、図６に示されるコンタクト端子支持体の側面図である。
【図８】図６に示されるコンタクト端子支持体の下面を示す下面図である。
【図９】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、コネクタユニットの動作説明に供される説明図である。
【図１０】（Ａ），（Ｂ），および（Ｃ）は、それぞれ、スライダー部材を含むロック／アンロック機構の動作説明に供される説明図である。
【図１１】本発明に係るＺＩＦコネクタの第２実施例の要部の構成を概略的に示す構成図である。
【図１２】本発明に係るＺＩＦコネクタの第２実施例を配線基板とともに示す斜視図である。
【図１３】図１２に示される例における構成要素を分解して示す斜視図である。
【図１４】図１２に示される例におけるプラグ部の構造を示す部分断面図である。
【図１５】図１２に示される例におけるプラグ部の構造を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図５は、本発明に係るＺＩＦコネクタの第１実施例を複数個、円周方向に沿って所定の間隔で備えるコネクタユニットの一部を拡大して示す。
【００１４】
図５に示されるコネクタユニットは、例えば、図示が省略されるプローブカードとテストヘッドとの間を電気的に接続するものとされる。そのコネクタユニットは、後述するプローブカードにおける円盤状の配線基板１２上に配置されている。コネクタユニットは、後述するＺＩＦコネクタと、ＺＩＦコネクタに配線基板１２上の雄型のロック部１４（図２参照）に対する着脱動作を行わせるロック／アンロック用駆動円板２６とを含んで構成されている。
【００１５】
環状のロック／アンロック用駆動円板２６は、配線基板１２の外周部における円周方向に沿った外方に回動可能に配されている。ロック／アンロック用駆動円板２６の外周縁には、所定の間隔で歯部２６Ｔｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が形成されている。隣接する歯部２６Ｔｉ相互間には、溝部２６Ｇｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が形成されている。各溝部２６Ｇｉには、図９（Ａ）および（Ｂ）に拡大されて示されるように、ＺＩＦコネクタの一部を構成するアームローラ部２４Ｒの円筒状の外周部における一部が挿入されている。また、ロック／アンロック用駆動円板２６の外周縁よりも内側部分には、ＺＩＦコネクタのコネクタ本体部１０Ａｉが支持されている。
【００１６】
これにより、図９（Ａ）において、そのアームローラ部２４Ｒの外周部が、隣接する歯部２６Ｔｉ相互間にある状態で、ロック／アンロック用駆動円板２６が、矢印Ｌが示す方向に回動せしめられることにより、図９（Ｂ）に示されるように、そのアームローラ部２４Ｒの外周部が、歯部２６Ｔｉの端面に係合されて押圧され、後述するＺＩＦコネクタのスライダー部材がロック状態とされる。一方、ロック／アンロック用駆動円板２６が図９（Ｂ）に示される状態から矢印ＵＬが示す方向に回動せしめられることにより、そのアームローラ部２４Ｒの外周部が、歯部２６Ｔｉの端面から離隔され、後述するＺＩＦコネクタのスライダー部材がアンロック状態とされる。
【００１７】
ＺＩＦコネクタは、図２に拡大されて示されるように、ケーブル部材としてのフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）ＣＡ１およびＣＡ２のそれぞれの一端が接続される複数種類のコンタクト端子を有するコネクタ本体部１０Ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）と、配線基板１２上に配されコネクタ本体部１０Ａｉが固定されるロック部１４とを含んで構成されている。
【００１８】
略直方体の各ロック部１４は、図２に示されるように、円盤状の配線基板１２上に放射状に所定の間隔で配されている。各ロック部１４は、図４に示されるように、配線基板１２の孔を貫通する３本の小ネジＢＳにより配線基板１２に固定されている。なお、図２においては、１個のロック部１４を代表的に拡大して示す。
【００１９】
ロック部１４は、所定の間隔をもって４本のロックピン１４Ｐを有している。各ロックピン１４Ｐの両端は、相対向する２枚のプレートにより支持されている。ロック部１４における２本のロックピン１４Ｐの上方には、それぞれ、開口部１４Ｓ１および１４Ｓ２が形成されている。
【００２０】
配線基板１２におけるロック部１４の両脇部分には、それぞれ、複数個のコンタクトパッドから構成されるコンタクトパッド群１２Ｅが形成されている。各コンタクトパッド群１２Ｅは、千鳥掛け状に形成されるコンタクトパッド列が、ロック部１４の長手方向に沿って互いに平行に２列で形成されている。
【００２１】
コネクタ本体部１０Ａｉに接続されるフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）ＣＡ１およびＣＡ２は、それぞれ、例えば、ＹＦＬＥＸ（登録商標）と称され、保護層に覆われた複数の導電層が絶縁性基材上に形成された構成とされる。絶縁性基材は、例えば、厚さ５０μｍ程度の液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、あるいは、ポリカーボネイト（ＰＣ）からなる群の中から適宜選択される一つの材料で成形されている。また、導電層は、例えば、厚さ１２μｍ程度の銅合金の層で形成されている。保護層は、例えば、熱硬化型のレジスト層、あるいは、ポリイミドフィルムにより形成されている。フレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２の一端の一方の表面には、例えば、後述するコンタクト端子の配列に対応した端子部として形成される電極パッド群（不図示）が形成されている。その電極パッド群は、フレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２の内部の導電層に電気的に接続されている。
【００２２】
コネクタ本体部１０Ａｉは、図３に分解されて示されるように、後述するコンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）を支持するコンタクト端子支持体２２と、コンタクト端子支持体２２の上端部に係合されスライダー部材２０を往復動可能に支持するスライダーハウジング部材１８と、コンタクト端子支持体２２の下部の外周部に昇降動可能に支持されコンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの接点部を保護するコンタクトプロテクター部材２８と（図２および図７（Ａ）参照）、図６に示されるように、上述のフレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２の一端部が折り曲げられて結合されるプラグ部３０Ａおよび３０Ｂが着脱可能に連結されるプラグ連結部材１６と、コネクタ本体部１０Ａｉを上述のロック部１４に対し固定または解放するロック／アンロック機構部と、フレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２と配線基板１２とを電気的に接続するコンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉとを主な要素として含んで構成されている。
【００２３】
コネクタ本体部１０Ａｉの外郭部における上部を形成するプラグ連結部材１６は、開口部１６Ｓ１および１６Ｓ２を互いに平行に有している。開口部１６Ｓ１および１６Ｓ２内には、フレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２を伴って後述するプラグ部３０Ａおよび３０Ｂが、通過する。開口部１６Ｓ１および１６Ｓ２の周囲には、プラグ連結部材１６と後述するスライダーハウジング部材１８とを連結する連結具１６Ｍが固着されている。連結具１６Ｍは、スライダーハウジング部材１８の各側面に形成される爪部にそれぞれ係合される孔を有する連結片１６ＭＬおよび１６ＭＲを有している。連結片１６ＭＬおよび１６ＭＲの孔を形成する内周部と後述するスライダーハウジング部材１８の爪部の外周部との間には、連結具１６Ｍがスライダーハウジング部材１８の各側面に対し相対的に所定値だけ移動し得るように隙間が設定されている。即ち、スライダーハウジング部材１８は、図３において示される直交座標の座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚに沿ってプラグ連結部材１６に対し移動可能とされる。その際、座標軸Ｘ，Ｙ，は、それぞれ、スライダーハウジング部材１８の長辺、短辺に対し平行に設定されている。また、座標軸Ｚは、後述する位置決めピン１６に対し平行に設定されている。
【００２４】
また、プラグ連結部材１６は、スライダーハウジング部材１８の所定位置に形成される孔１８Ｈに所定の隙間をもって嵌合される位置決めピン１６Ｐを有している。位置決めピン１６Ｐは、プラグ連結部材１６の下端面に対し略垂直方向に沿ってスライダーハウジング部材１８に向けて所定の長さだけ突出している。
【００２５】
従って、コネクタ本体部１０Ａｉがロック／アンロック用駆動円板２６に固定され、位置決めピン１６Ｐが孔１８Ｈに嵌合される場合、スライダーハウジング部材１８および後述するコンタクト端子支持体２２等の自重により、プラグ連結部材１６の下端面とスライダーハウジング部材１８の上端面との間に所定の隙間が形成されることとなる。
【００２６】
これにより、コネクタ本体部１０Ａｉが上述のロック部１４に連結される直前において、スライダーハウジング部材１８およびコンタクト端子支持体２２は、プラグ連結部材１６の下端面に対し所謂、所定距離、離隔したフローティング状態で、かつ、位置決めピン１６Ｐの外周部と孔１８Ｈの内周部との隙間に応じて移動量が規制される状態で上述の座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚに沿って所定の値の範囲内で移動可能とされる。その結果、後述するコンタクト端子支持体２２の凹部２２ＲＡの周縁とロック部１４の上端部とが干渉することなく、ロック部１４が、凹部２２ＲＡ内に円滑に挿入されることとなる。
【００２７】
また、開口部１６Ｓ１および１６Ｓ２にそれぞれ、連通する各プラグ収容部には、図６に示されるように、フレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２を伴うプラグ部３０Ａおよび３０Ｂがそれぞれ嵌合されている。これにより、フレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２の電極パッド群が、コンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの上部接点部に対し位置決めされることとなる。
【００２８】
コンタクト端子支持体２２は、図６に示されるように、その上端部が後述するスライダーハウジング部材１８の下端部に係合されている。また、上端部の所定位置にそれぞれ形成される孔に、スライダーハウジング部材１８の下端部にその孔に対応して設けられる爪部が係合されている。これにより、コンタクト端子支持体２２とスライダーハウジング部材１８とが連結されることとなる。
【００２９】
コンタクト端子支持体２２の内側の中央部には、図３および図６に示されるように、その内側のコンタクト端子収容部をその長手方向に沿って仕切る仕切壁が形成されている。仕切壁の上部には、後述するスライダー部材２０のフック部２０ＦＡおよび２０ＦＢ、２０ＦＣおよび２０ＦＤがそれぞれ、貫通するスリット２２Ｓ１および２２Ｓ２が形成されている。仕切壁の内部は、スリット２２Ｓ１および２２Ｓ２に連通する凹部２２ＲＡが形成されている。凹部２２ＲＡには、コネクタ本体部１０Ａｉとロック部１４とが接続されるとき、上述のロック部１４が挿入される。
【００３０】
上述の仕切壁により仕切られる二つのコンタクト端子収容部内には、それぞれ、コンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が設けられている。
【００３１】
薄板金属材料でプレス加工により作られるコンタクト端子３２ａｉおよび３４ａｉは、図６に示されるように、配線基板１２のコンタクトパッド郡１２Ｅに当接する下部接点部の形状を除き、互いに同一の構造を有している。コンタクト端子３２ａｉは、上述のフレキシブル配線基板ＣＡ２の電極パッド群に当接する上部接点部と、配線基板１２のコンタクトパッド郡１２Ｅに当接する下部接点部と、上部接点部と下部接点部とを連結する固定部とから構成されている。その上部接点部は、図１に示されるように、フレキシブル配線基板ＣＡ２の電極パッド群が形成される面に略直交する方向に弾性変位可能とされ、一方、その下部接点部は、上述の固定部から斜めに折り曲げられ、配線基板１２のコンタクトパッド群１２Ｅが形成される面に対し略直交する方向に弾性変位可能とされる。従って、上部接点部の弾性変位の方向は、下部接点部の弾性変位の方向に対し直交することとなる。
【００３２】
その内部の溝１８Ｓ（図６参照）に配されるスライダー部材２０を往復動可能に支持するスライダーハウジング部材１８は、図３および図１０（Ａ）に示されるように、内部に形成される溝にスライダー部材２０を移動可能に支持する支持軸１８Ｐを所定の間隔で４箇所に有している。各支持軸１８Ｐは、スライダー部材２０の移動方向に対し略直交する方向にスライダーハウジング部材１８をスライダー部材２０の長孔２０ａを介して貫通している。スライダーハウジング部材１８は、図３において、左端にロック／アンロック機構部の一部を構成する回転アーム部材２４の連結端部２４ＡＫを支持するブラケット２４Ｂおよび支持軸２４Ｓが設けられる凹部１８Ｒを有している。
【００３３】
ロック／アンロック機構部の一部を構成する回転アーム部材２４は、その一端に回転可能に支持されるアームローラ部２４Ｒと、他端に支持軸２４に支持される連結端部２４ＡＫと、アームローラ部２４Ｒと連結端部２４ＡＫとを連結する可動部２４Ａとを含んで構成されている。図２において、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印ＵＬの示す方向に回動されるとき、後述するスライダー部材２０がロック部１４に対しアンロック状態とされ、一方、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印Ｌの示す方向に回動されるとき、後述するスライダー部材２０がロック部１４に対しロック状態とされる。
【００３４】
薄板金属材料でプレス加工によって作られるスライダー部材２０は、図１０（Ａ）に示されるように、スライダーハウジング部材１８の内部の溝から凹部１８Ｒに向けて突出する駆動力伝達部２０Ｃと、駆動力伝達部２０Ｃの他端に連なるロックピン保持部とから構成されている。
【００３５】
駆動力伝達部２０Ｃは、回転アーム部材２４の連結端部２４ＡＫに係合される爪部（不図示）を一方の端部に有している。そのロックピン保持部は、上述の各支持軸１８Ｐが貫通される長孔２０ａを所定の間隔で有している。また、ロックピン保持部は、上述のロック部１４のロックピン１４Ｐに対し係合状態または非係合状態とされるフック部２０ＦＡ、２０ＦＢ、２０ＦＣ、および、２０ＦＤをロックピン１４Ｐの位置に対応した所定の間隔で下端に有している。フック部２０ＦＡ、２０ＦＢ、２０ＦＣ、および、２０ＦＤは、それぞれ、互いに同一方向、図１０（Ａ）において例えば、右側に向かって鉤状に折れ曲げられている。また、隣接するフック部２０ＦＡの屈曲部とフック部２０ＦＢの先端との間、隣接するフック部２０ＦＣの屈曲部とフック部２０ＦＤの先端との間には、ロックピン１４Ｐが通過し得る隙間が形成されている。また、フック部２０ＦＢとフック部２０ＦＣとの間には、コンタクト端子支持体２２のスリット２２Ｓ１とスリット２２Ｓ２との境界部分、および、ロック部１４における中央の分離壁が通過する隙間が形成されている。
【００３６】
斯かる構成において、コネクタ本体部１０Ａｉをロック部１４に固定するにあたり、図１０（Ａ）に示されるように、スライダー部材２０の長孔２０ａの右側の端部に支持軸１８Ｐが係合した状態で、図１０（Ｂ）に示されるように、コネクタ本体部１０Ａｉがロック部１４に対し配置される場合、ロック部１４のロックピン１４Ｐが、スライダー部材２０におけるフック部２０ＦＡ〜２０ＦＤ相互間の上述の隙間に挿入される。次に、図１０（Ｃ）に示されるように、回転アーム部材２４を介して伝達される駆動力により、スライダー部材２０が矢印Ｌの示す方向に押圧される。これにより、各ロックピン１４Ｐが、スライダー部材２０におけるフック部２０ＦＡ〜２０ＦＤの鉤状部により形成される溝に嵌合され、コネクタ本体部１０Ａｉのスライダー部材２０がロック部１４に対しロック状態とされる。
【００３７】
一方、コネクタ本体部１０Ａｉをロック部１４から取り外すにあたっては、回転アーム部材２４を介して伝達される駆動力により、スライダー部材２０が矢印ＵＬの示す方向に押圧される。これにより、図１０（Ｂ）に示されるように、ロック部１４のロックピン１４Ｐが、スライダー部材２０におけるフック部２０ＦＡ〜２０ＦＤ相互間の上述の隙間に解放され配置された後、コネクタ本体部１０Ａｉのスライダー部材２０がロック部１４に対しアンロック状態とされ、引き離されることにより、コネクタ本体部１０Ａｉがロック部１４から取り外し可能とされる。
【００３８】
従って、コネクタ本体部１０Ａｉにおけるロック／アンロック機構部は、回転アーム部材２４と、スライダー部材２０と、ロック部１４とを含んで構成されることとなる。
【００３９】
コンタクト端子支持体２２の下部の外周部には、図７（Ａ）および（Ｂ）に二点鎖線で示されるように、コンタクトプロテクター部材２８が所定の隙間をもって昇降可能に支持されている。コンタクトプロテクター部材２８は、コンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの下部接点部の配列に対応して開口部２８Ｈを下端に有している。開口部２８Ｈの周縁は、図７（Ａ）に示されるコンタクト端子支持体２２の下部の面取り部２２ＣＨ上を摺動可能とされる。コンタクトプロテクター部材２８の外周面とコンタクト端子支持体２２の下部の内周面との間には、コンタクト端子支持体２２の下部に一端が固定されるリターンスプリング２２ＬＳが配されている。リターンスプリング２２ＬＳの他端は、コンタクトプロテクター部材２８の外周面を図７（Ａ）において実線で示される位置に戻すように、配線基板１２の表面に対し略平行となる方向に付勢するものとされる。
【００４０】
また、コンタクトプロテクター部材２８は、コンタクト端子支持体２２の下部に設けられる複数個のガイドピン２２Ｐに係合される長孔２８Ｇを有している。長孔２８Ｇは、配線基板１２のコンタクトパッド形成面に対し所定の角度θ、例えば、４５°をなして傾いて形成されている。
【００４１】
これにより、コネクタ本体部１０Ａｉがロック部１４に接続される場合、コンタクトプロテクター部材２８が、コンタクト端子支持体２２の下部に対し近接するように押圧される。その際、図７（Ａ）および（Ｂ）において二点鎖線で示されるように、コンタクトプロテクター部材２８の長孔２８Ｇがガイドピン２２Ｐに沿って案内されるとともに、開口部２８Ｈの周縁が、リターンスプリング２２ＬＳの付勢力に抗して図７（Ａ）に示されるコンタクト端子支持体２２の下部の面取り部２２ＣＨ上を摺動される。これにより、コンタクトプロテクター部材２８がコンタクト端子支持体２２の下部に対し傾くことなく、その下端面がコンタクト端子支持体２２の下部の端面に対し略平行となるように移動せしめられる。
【００４２】
一方、コネクタ本体部１０Ａｉがロック部１４に対し取り外される場合、コンタクトプロテクター部材２８が、コンタクト端子支持体２２に対し離隔するように、コンタクト端子支持体２２の下部の内側に設けられるリターンスプリング２２ＬＳの付勢力により下方に向けて押圧される。
【００４３】
斯かるフレキシブル配線基板ＣＡ１およびＣＡ２の一端が接続されるコネクタユニットにおいて、本発明に係るＺＩＦコネクタを配線基板１２に接続するにあたっては、先ず、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印ＵＬの示す方向に回動される。次に、図２に示されるように、コネクタ本体部１０Ａｉと上述のロック部１４とが向き合う状態で、コネクタユニットが、配線基板１２に載置される。これにより、ロック部１４が、コンタクト端子支持体２２の凹部２２ＲＡ内に挿入される。続いて、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印Ｌの示す方向に回動される。これにより、コネクタ本体部１０Ａｉのスライダー部材２０がロック部１４に対しロック状態とされるともに、コンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの下部接点部が配線基板１２のコンタクトパッド群１２Ｅに当接される。その際、コンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの下部接点部の弾性力により、下部接点部とコンタクトパッド群１２Ｅとの相互間に、所定の接触圧力が得られることとなる。
【００４４】
従って、コンタクト端子の数量に左右されることなく、スライダー部材２０によりコンタクト端子３２ａｉ，３２‘ａｉ，３４ａｉ，３４’ａｉの下部接点部をコンタクトパッド群１２Ｅに当接できるのでＺＩＦコネクタを大型化させることなく、高密度に配されるコンタクト端子の数量を増大させることができる。
【００４５】
一方、本発明に係るＺＩＦコネクタを配線基板１２に対し取り外すにあたっては、先ず、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印ＵＬの示す方向に回動される。次に、コネクタユニットが、配線基板１２から引き離される。これにより、ＺＩＦコネクタの配線基板１２に対する取り外しが完了する。
【００４６】
図１２は、本発明に係るＺＩＦコネクタの第２実施例を、配線基板とともに拡大して示す。図１２においては、複数個のＺＩＦコネクタのうちの１個のＺＩＦコネクタを代表的に示す。なお、図１２において、図２に示される例における構成要素と同一の構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
【００４７】
図１２に示されるＺＩＦコネクタを複数個備えるコネクタユニットは、図５に示される例と同様な構成を有し、例えば、図示が省略されるプローブカードとテストヘッドとの間を電気的に接続するものとされる。
【００４８】
ＺＩＦコネクタは、図１２に拡大されて示されるように、ケーブル部材としての同軸ケーブル群ＣＡ３を構成する各同軸ケーブルの一端が接続されるコンタクトプレート５０を有するコネクタ本体部７０Ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）と、配線基板１２上に配されコネクタ本体部７０Ａｉが固定されるロック部１４とを含んで構成されている。
【００４９】
コネクタ本体部７０Ａｉは、図１３に分解されて示されるように、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）を支持する薄板状のコンタクト端子支持体４４と、コンタクト端子支持体４４の上端部に係合され、同軸ケーブル群ＣＡ３の一端を保持するプラグ部４０Ａおよび４０Ｂを収容するプラグハウジング部４２と、プラグハウジング部４２に連結され、上述のスライダー部材２０を往復動可能に支持するスライダーハウジング部材１８と、プラグハウジング部４２を収容する開口部４８Ｈを有し、コンタクト端子支持体４４の外周部に昇降動可能に支持されＺ型コンタクト端子４４ａｉの下部接点部を保護するコンタクトプロテクター部材４８と、図６に示されるように、プラグ部４０Ａおよび４０Ｂにそれぞれ接続される同軸ケーブル群ＣＡ３を開口部１６Ｓ１および１６Ｓ２により整列させるプラグ連結部材１６と、コネクタ本体部７０Ａｉを上述のロック部１４に対し固定または解放するロック／アンロック機構部と、同軸ケーブル群ＣＡ３と配線基板１２とを電気的に接続するＺ型コンタクト端子４４ａｉとを主な要素として含んで構成されている。
【００５０】
開口部１６Ｓ１および１６Ｓ２の周囲には、プラグ連結部材１６とスライダーハウジング部材１８とを連結する連結具１６Ｍが固着されている。連結具１６Ｍは、スライダーハウジング部材１８の各側面に形成される爪部にそれぞれ係合される孔を有する連結片１６ＭＬおよび１６ＭＲを有している。連結片１６ＭＬおよび１６ＭＲの孔を形成する内周部と後述するスライダーハウジング部材１８の爪部の外周部との間には、連結具１６Ｍがスライダーハウジング部材１８の各側面に対し相対的に所定値だけ移動し得るように隙間が設定されている。即ち、スライダーハウジング部材１８は、図１３において示される直交座標の座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚに沿ってプラグ連結部材１６に対し移動可能とされる。その際、座標軸Ｘ，Ｙ，は、それぞれ、スライダーハウジング部材１８の長辺、短辺に対し平行に設定されている。また、座標軸Ｚは、後述する位置決めピン１６に対し平行に設定されている。
【００５１】
従って、コネクタ本体部７０Ａｉがロック／アンロック用駆動円板２６に固定され、位置決めピン１６Ｐが孔１８Ｈに嵌合される場合、スライダーハウジング部材１８および後述するコンタクト端子支持体４４等の自重により、プラグ連結部材１６の下端面とスライダーハウジング部材１８の上端面との間に所定の隙間が形成されることとなる。
【００５２】
これにより、コネクタ本体部７０Ａｉがロック部１４に連結される直前において、スライダーハウジング部材１８およびコンタクト端子支持体４４は、プラグ連結部材１６の下端面に対し所謂、所定距離、離隔したフローティング状態で、かつ、位置決めピン１６Ｐの外周部と孔１８Ｈの内周部との隙間に応じて移動量が規制される状態で、上述の座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚに沿って所定の値の範囲内で移動可能とされる。その結果、後述するプラグハウジング部４２の凹部４２ＲＡおよびコンタクト端子支持体４４の孔４４ＲＡの周縁とロック部１４の上端部とが干渉することなく、ロック部１４が、上述の凹部４２ＲＡおよび孔４４ＲＡ内に円滑に挿入されることとなる。
【００５３】
プラグハウジング部４２は、図１３に示されるように、その上端部がスライダーハウジング部材１８の下端部に係合されている。また、上端部の所定位置にそれぞれ形成される孔に、スライダーハウジング部材１８の下端部にその孔に対応して設けられる爪部が係合されている。これにより、プラグハウジング部４２とスライダーハウジング部材１８とが連結されることとなる。
【００５４】
プラグハウジング部４２の内側の中央部には、その内側のプラグ収容部をその長手方向に沿って仕切る仕切壁が形成されている。仕切壁の両脇のプラグ収容部には、それぞれ、一対のプラグ部４０Ａおよび４０Ｂが配される。
【００５５】
仕切壁の上部には、スライダー部材２０のフック部２０ＦＡおよび２０ＦＢ、２０ＦＣおよび２０ＦＤがそれぞれ、貫通するスリット４２Ｓ１および４２Ｓ２が形成されている。仕切壁の内部は、スリット４２Ｓ１および４２Ｓ２に連通する凹部４２ＲＡが形成されている。その凹部４２ＲＡには、図１５に示されるように、コネクタ本体部７０Ａｉとロック部１４とが接続されるとき、上述のロック部１４が挿入される。
【００５６】
プラグ部４０Ａは、同軸ケーブル群ＣＡ３の一端を保持するケーブルホルダープレート５０と、各同軸ケーブルの内部導体が接続される櫛歯状の端子５２ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）を有する端子プレート５２と、ケーブルホルダープレート５０および端子プレート５２を保持するハウジング部４０ＡＨとを含んで構成されている。
【００５７】
ハウジング部４０ＡＨは、例えば、樹脂材料で薄板状に成形され、図１４に示されるように、スライダーハウジング部材１８の溝に係合される突起をその外周部の両端にそれぞれ有している。また、ハウジング部４０ＡＨにおける外周部における長手方向に沿った面には、図１５に示されるように、凹凸が、形成されている。その凹凸は、スライダーハウジング部材１８の壁面の内周面に形成される凹凸に係合される。この複数の凹凸より、後述するように、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉを圧縮することにより生じた反発力が、ハウジング部４０ＡＨを介して全体に均等にスライダーハウジング部材１８に作用することとなる。
ハウジング部４０ＡＨの上部には、各同軸ケーブルが挿入される孔がそれぞれ形成されている。
【００５８】
薄板金属材料で成形されるケーブルホルダープレート５０は、所定の接地ラインに接続されており、図１４に示されるように、所定の間隔ごとに接地用端子５０Ｇを有している。接地用端子５０Ｇは、端子プレート５２の端子５２ａｉに接続されている。また、ケーブルホルダープレート５０は、図１５に示されるように、各同軸ケーブルの外部導体部が接続されている。薄板金属材料で所定の間隔で作られる端子プレート５２の端子５２ａｉの先端は、図１１に概略的に示されるように、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉの上部接点部に所定の圧力で当接するように折り曲げられている。その際、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉの下部接点部は、配線基板１２のコンタクトパッド群１２Ｅに所定の圧力で当接している。
【００５９】
プラグ部４０Ｂは、上述のプラグ部４０Ａと同様に、同軸ケーブル群ＣＡ３の一端を保持するケーブルホルダープレート５０と、各同軸ケーブルの内部導体が接続される櫛歯状の端子５２ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）を有する端子プレート５２と、ケーブルホルダープレート５０および端子プレート５２を保持するハウジング部４０ＢＨとを含んで構成されている。
【００６０】
ハウジング部４０ＢＨは、例えば、樹脂材料で薄板状に成形され、図１３に示されるように、スライダーハウジング部材１８における上述の共通の溝に係合される突起をその外周部の両端にそれぞれ有している。また、ハウジング部４０ＢＨにおける外周部における長手方向に沿った一方の面には、図１５に示されるように、凹凸が、形成されている。その凹凸は、スライダーハウジング部材１８の壁面の内周面に形成される凹凸に係合される。また、他方の面には、ハウジング部４０ＡＨの表面に形成される凹凸に係合される凹凸が形成されている。この複数の凹凸より、後述するように、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉを圧縮することにより生じた反発力が、ハウジング部４０ＢＨを介して全体に均等にスライダーハウジング部材１８に作用することとなる。
【００６１】
ハウジング部４０ＢＨの上部には、各同軸ケーブルが挿入される孔がそれぞれ形成されている。
【００６２】
コンタクト端子支持体４４は、例えば、厚さ約１ｍｍ程度に成形され、その中央部に細長い矩形状の穴４４ＲＡを有しており、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉは、例えば、特開２００８−２１４５９号公報に示されるようなコンタクトと同様な構成を有している。
【００６３】
Ｚ型コンタクト端子４４ａｉの形状は、上述のコンタクト端子３２ａｉの形状と比較される場合、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉの全長は、コンタクト端子３２ａｉの全長に比して小に設定されているので同軸ケーブル群ＣＡ３の一端からＺ型コンタクト端子４４ａｉを通じた基板１２までの伝送路長をより縮小できるので高速伝送における電気的特性を向上させることができる。また、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉは、コンタクト端子３２ａｉによって得られる接触力および接点部の変位量と同等の接触力および接点部の変位量を得ることができる。
【００６４】
斯かる同軸ケーブル群ＣＡ３の一端が接続されるコネクタユニットにおいて、本発明に係るＺＩＦコネクタを配線基板１２に接続するにあたっては、先ず、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印ＵＬの示す方向に回動される。次に、図１２に示されるように、コネクタ本体部７０Ａｉと上述のロック部１４とが向き合う状態で、コネクタユニットが、配線基板１２に載置される。これにより、ロック部１４が、プラグハウジング部４２の凹部４２ＲＡ内に挿入される。続いて、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印Ｌの示す方向に回動される。これにより、コネクタ本体部７０Ａｉのスライダー部材２０がロック部１４に対しロック状態とされるともに、Ｚ型コンタクト端子４４ａｉの下部接点部が配線基板１２のコンタクトパッド群１２Ｅに当接される。その際、コンタクト端子４４ａｉの下部接点部の弾性力により、下部接点部とコンタクトパッド群１２Ｅとの相互間に、所定の接触圧力が得られることとなる。
【００６５】
従って、コンタクト端子の数量に左右されることなく、スライダー部材２０によりコンタクト端子４４ａｉの下部接点部をコンタクトパッド群１２Ｅに当接できるのでＺＩＦコネクタを大型化させることなく、高密度に配されるコンタクト端子の数量を増大させることができる。
【００６６】
一方、本発明に係るＺＩＦコネクタを配線基板１２に対し取り外すにあたっては、先ず、ロック／アンロック用駆動円板２６に連動して可動部２４Ａが矢印ＵＬの示す方向に回動される。次に、コネクタユニットが、配線基板１２から引き離される。これにより、ＺＩＦコネクタの配線基板１２に対する取り外しが完了する。
【符号の説明】
【００６７】
１０Ａｉ，７０Ａｉ    コネクタ本体部
１２    配線基板
１２Ｅ    コンタクトパッド群
１４    ロック部
１４Ｐ    ロックピン
２０    スライダー部材
２２、４４    コンタクト端子支持体
３２ａｉ，３４ａｉ    コンタクト端子
３０Ａ、３０Ｂ、４０Ａ，４０Ｂ    プラグ部
４２    プラグハウジング部
４４ａｉ    Ｚ型コンタクト端子
５０    ケーブルホルダープレート
５２    端子プレート
５２ａｉ    端子
ＣＡ１、ＣＡ２    フレキシブル配線基板
ＣＡ３    同軸ケーブル群
【図１】
2010287334.tif 000003
【図２】
2010287334.tif 000004
【図３】
2010287334.tif 000005
【図４】
2010287334.tif 000006
【図５】
2010287334.tif 000007
【図６】
2010287334.tif 000008
【図７】
2010287334.tif 000009
【図８】
2010287334.tif 000010
【図９】
2010287334.tif 000011
【図１０】
2010287334.tif 000012
【図１１】
2010287334.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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