(57)【要約】      （修正有）【課題】２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられた回転駆動装置における駆動用回転軸が短く、小型化及び軽量化を図れることを利用し、装置を大型化することなく、設計上及びコスト上の負担の少ない上下移動機構を有する回転駆動装置を提供すること。【解決手段】駆動用回転軸１１７，１２７の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸１３９の昇降により前記駆動用回転軸１１７，１２７を同時に上下に移動させる上下移動機構を配置する。【選択図】図１
2010076073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の駆動用回転軸が、回転中心軸を共通にしてそれぞれモータハウジングに回転自在に支持され、この各駆動用回転軸が、それぞれ、モータハウジング側に固着されたステータと、駆動用回転軸側に固着されたロータとを対向配置したモータユニットにて駆動可能な回転駆動装置において、
各モータユニットのステータとロータとが、前記回転中心軸方向における同一位置に、同心円状に配置され、前記複数個の駆動用回転軸の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸の昇降により前記複数個の駆動用回転軸を同時に上下に移動させる上下移動機構が設けられていることを特徴とする回転駆動装置。
【請求項２】
前記各モータハウジングが一体に接続されていると共に、リニアガイドレールに沿ってスライド移動可能なスライドユニットに取り付け支持されていることを特徴とする請求項１に記載の回転駆動装置。
【請求項３】
上下移動機構が、前記複数の駆動用回転軸の下方に設けられた昇降用回転軸と、該昇降用回転軸を回転自在に支持するモータハウジングと、該モータハウジング側に固着されたステータ及び前記昇降用回転軸側に固着されたロータとを対向配置したモータユニットと、前記昇降用回転軸を中空として内側に設けられたボールナットと、ボールナットと螺合したボールネジで構成した昇降軸とを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の回転駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体装置や液晶表示装置等の基板を真空中で搬送するロボットアームなどの基板搬送装置の駆動に使用される回転駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送装置の駆動に使用される回転駆動装置としては、特許文献１〜４に示されるように、２本の駆動用回転軸を、回転中心軸を共通にしてそれぞれモータハウジングに回転自在に支持し、この駆動用回転軸を、それぞれ、モータハウジング側に固着されたステータと、駆動用回転軸側に固着されたロータとを対向配置したモータユニットにてそれぞれ回転駆動できるようにしたものが知られている。
【０００３】
さらに説明すると、特許文献１〜３に示される回転駆動装置は、２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットを上下に重ねて配置したものとなっている。また、特許文献３は、基板搬送装置が収容されたチャンバーの底部に、回転モータを備えるリードスクリューとガイドで回転駆動装置を吊設し、このリードスクリューの回転によって回転駆動装置をチャンバーに対して上下移動させる上下移動機構も開示している。
【０００４】
一方、特許文献４に示される回転駆動装置は、２本の回転軸を回転駆動させるための各モータユニットを、両回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に、同心円状に配置したものとなっている。
【０００５】
【特許文献１】ＵＳ５７２０５９０
【特許文献２】ＵＳ５８９９６５８
【特許文献３】特表平０８−５０６７７１号公報
【特許文献４】特開２０００−２１７３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１〜３に示される回転駆動装置の場合、下側のモータユニットで回転される駆動用回転軸が、上側のモータユニットで回転される駆動用回転軸の内側を貫通してチャンバー内の搬送装置に接続されるために長くなり、機械的剛性が低下しやすく、設計上の制約を受けやすい問題がある。また、特許文献３に示される、中心からずれた所に配置された２本のリードスクリューと２本の直線スライド（ガイド）による上下移動機構は、回転駆動装置の回転軸が接続されている基板搬送装置の重心位置の変化、例えばロボットアームの位置が変化することなどにより、２本のリードスクリューと２本の直線スライド（ガイド）に加わる負荷が変化するので、この負荷変動に拘わらず２本のリードスクリューで正確に上下移動させるための精密な機構が必要となり、設計上及びコスト上の負担が大きいという問題がある。
【０００７】
一方、特許文献４に示される回転駆動装置の場合、２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられていることから、２本の駆動用回転軸を短くすることができ、小型化及び軽量化を図れる利点がある。
【０００８】
しかしながら、特許文献４の回転駆動装置は、上下移動機構を備えていないことから、上下に積み上げられた処理室、もしくは、基板受け渡しのステージが複数段積み上げられたパス室に基板を搬送する場合、上下移動機構を別途用意しなければならない問題がある。特許文献４の回転駆動装置に特許文献３に記載の上下移動機構を組み合わせることも考えられるが、特許文献３の上下移動機構が有する前記課題が残されることになる。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題点を解消するもので、２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられた回転駆動装置における駆動用回転軸が短く、小型化及び軽量化を図れることを利用し、装置を過剰に大型化することなく、設計上及びコスト上の負担の少ない上下移動機構を有する回転駆動装置とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的のために、本発明は、複数個の駆動用回転軸が、回転中心軸を共通にしてそれぞれモータハウジングに回転自在に支持され、この各駆動用回転軸が、それぞれ、モータハウジング側に固着されたステータと、駆動用回転軸側に固着されたロータとを対向配置したモータユニットにて駆動可能な回転駆動装置において、
各モータユニットのステータとロータとが、前記回転中心軸方向における同一位置に、同心円状に配置され、前記複数個の駆動用回転軸の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸の昇降により前記複数個の駆動用回転軸を同時に上下に移動させる上下移動機構が設けられていることを特徴とする回転駆動装置を提供するものである。
【００１１】
また、本発明は、前記各モータハウジングが一体に接続されていると共に、リニアガイドレールに沿ってスライド移動可能なスライドユニットに取り付け支持されていること、
前記上下移動機構が、前記複数の駆動用回転軸の下方に設けられた昇降用回転軸と、該昇降用回転軸を回転自在に支持するモータハウジングと、該モータハウジング側に固着されたステータ及び前記昇降用回転軸側に固着されたロータとを対向配置したモータユニットと、前記昇降用回転軸を中空として内面に設けられたボールナットと、ボールナットと螺合したボールネジで構成した昇降軸とを備えていること、
をその好ましい態様として含むものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の回転駆動装置は、複数個の駆動用回転軸の下方に設けられ、回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸の昇降により複数個の駆動用回転軸を同時に上下に移動させる上下移動機構を有する。昇降軸は回転中心軸の延長線上に中心軸を有しているので、基板搬送装置の重心位置が変化しても昇降軸の負荷変化はほとんど生じない。このため、昇降軸は簡便な機構で正確に上下動させることができ、設計上及びコスト上の負担が小さい。
【００１３】
また、駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、回転中心軸方向における同一位置に設けられているので、各回転軸を短くすることができる。このため、上記昇降軸が回転軸と直列に設けられていても、全体が過大に大きくなることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
まず、図１を参照して、本発明に係る回転駆動機構１００の全体構成について説明する。
【００１５】
本回転駆動機構１００は、チャンバー１６０に取り付けられており、駆動用回転軸（以下「Ｘ回転軸」という）１１７と、もう１本の駆動用回転軸（以下「θ回転軸」という）１２７と、昇降用回転軸（以下「Ｚ回転軸」という）１３７とを備えている。Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７は、それぞれ回転駆動可能となっている。Ｘ回転軸１１７は、θ回転軸１２７と回転中心を共通にして、中空のθ回転軸１２７内を軸方向に貫通して設けられている。また、Ｚ回転軸１３７は、上記Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７の下方に、Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７の共通の回転中心の延長線上に中心軸を位置させて設けられている。
【００１６】
Ｘ回転軸１１７は、θ回転軸１２７の内側でＸ回転軸１１７の軸方向の一部を取り囲んで真空隔壁を構成する内側モータハウジング１１２，１１３に回転自在に支持されており、θ回転軸１２７は、θ回転軸１２７の軸方向の一部をその外側から取り囲んで真空隔壁を構成する外側モータハウジング１２２，１２３に回転自在に支持されている。Ｚ回転軸１３７は、Ｚ回転軸１３７の周囲を取り囲んで真空隔壁を構成する下側モータハウジング１３２，１３３に回転自在に支持されている。また、Ｘ回転軸１１７を回転させるための内側モータユニット１１０と、θ回転軸１２７を回転させるための外側モータユニット１２０と、Ｚ回転軸１３７を回転させるための下側モータユニット１３０を有している。
【００１７】
Ｘ回転軸１１７を回転させる内側モータユニット１１０は、内側モータハウジング１１２に固定されたステータ１１４と、このステータ１１４に対向して、Ｘ回転軸１１７に固定されたロータ１１６とで構成されている。Ｘ回転軸１１７は、内側モータハウジング１１２，１１３に対してベアリング１５０を介して回転可能に支持されている。また、Ｘ回転軸１１７の上端部とθ回転軸１２７の上端部との間にもベアリング１５０が介在されている。
【００１８】
Ｘ回転軸１１７の下端には、内側モータユニット１１０による回転方向の位置検出サンサーとして、エンコーダーリング１４１が締結され、回転しない内側モータハウジング１１３には、エンコーダーセンサー１４０が固定されている。
【００１９】
θ回転軸１２７を回転させる外側モータユニット１２０は、外側モータハウジング１２２に固定されたステータ１２４と、このステータ１２４に対向して、θ回転軸１２７に固定されたロータ１２６とで構成されている。θ回転軸１２７は、外側モータハウジング１２２，１２３に対してベアリング１５０を介して回転可能に支持されている。
【００２０】
θ回転軸１２７の下端には、外側モータユニット１２０による回転方向の位置検出サンサーとして、エンコーダーリング１４１が締結され、回転しない外側モータハウジング１２２には、エンコーダーセンサー１４０が固定されている。
【００２１】
θ回転軸１２７の下端部は拡径した中空部となっており、この空間内に内側モータユニット１１０と、内側モータハウジング１１２，１１３が位置している。また、θ回転軸１２７のこの拡径した部分の外側を取り囲んで、外側モータユニット１２と、外側モータハウジング１２２，１２３が設けられている。内側モータユニット１１０のステータ１１４とロータ１１６及び外側モータユニット１２０のステータ１２４とロータ１２６は、Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７の共通した回転中心軸の方向において同一位置に、同心円状に配置されている。
【００２２】
Ｘ回転軸１１７を支持している内側モータハウジング１１２，１１３と、θ回転軸１２７を支持している外側モータハウジング１２２，１２３は一体に連結されており、チャンバー１６０側に位置する上部ベースフランジ１６１と、反対側の下部ベースフランジ１６３間に固定されたリニアガイドレール１５１に対して、スライドユニットブラケット１５３に取り付けられたスライドユニット１５２で、上下にスライド移動可能に支持されている。
【００２３】
Ｚ回転軸１３７を回転させる下側モータユニット１３０は、下側モータハウジング１３２に固定されたステータ１３４と、このステータ１３４に対向して、Ｚ回転軸１３７に固定されたロータ１３６とで構成されている。Ｚ回転軸１３７は、下側モータハウジング１３２，１３３に対してベアリング１５０を介して回転可能に支持されている。また、下側モータハウジング１３２，１３３は下部ベースフランジ１６３上に設けられている。
【００２４】
Ｚ回転軸１３７の下端には、下側モータユニット１３０による回転方向の位置検出サンサーとして、エンコーダーリング１４１が締結され、回転しない下側モータハウジング１３３には、エンコーダーセンサー１４０が固定されている。
【００２５】
Ｚ回転軸１３７は中空で、内側にボールナット１３８が固定されている。また、このボールナット１３８には、ボールネジで構成された昇降軸１３９が螺合している。この昇降軸１３９は、前記Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７の共通した回転中心軸の延長線上に中心軸を有しており、先端が、一体となった内側モータハウジング１１２，１１３と外側モータハウジング１２２，１２３を乗せた昇降フランジ１６５に取り付けられている。従って、Ｚ回転軸１３７の回転により、ボールナット１３８が回転し、これと螺合している昇降軸１３９が昇降すると、一体となった内側モータハウジング１１２，１１３と外側モータハウジング１３２，１３３が、リニアガイドレール１５１に沿ってスライドユニット１５２を滑らせて、上下にスライド移動する。そして、内側モータハウジング１１２，１１３に支持されたＸ回転軸１１７と、外側モータハウジング１２２，１２３に支持されたθ回転軸１２７も上下に移動することになる。
【００２６】
なお、上記説明では、基板搬送装置に接続される駆動用回転軸はＸ回転軸１１７とθ回転軸１２７の２本であるが、これを３本以上とすることもできる。
【００２７】
次に、図１、図２、図３に基づき、本発明の回転駆動装置１００を用いた基板搬送装置（ロボットアーム）の動作を説明する。
【００２８】
図１、図２を参照するに、θ回転軸１２７はロボットアームの一方アームである第１アーム１８０（ケース）に連結されており、Ｘ回転軸１１７は第１アーム１８０の第１シャフト１９０を介して第１プーリー１９１に連結されている。第２アーム１８１は、第１アーム１８０の第２シャフト１９３の軸を中心として回転可能にボールベアリングで締結される。
【００２９】
第１プーリー１９１と、第２シャフト１９３に設けられた第２プーリー１９４とは、第１タイミングベルトで連結され、第２アーム１８１内の第３プーリ１９７に駆動力が伝わるようになっている。また、第３プーリー１９７と、第３シャフト１９６に設けられた第４プーリー１９８とは、第２タイミングベルトで連結されるため、Ｘ回転軸１１７が回転することにより、端部エフェクタ１８３に駆動力が伝わるようになっている。
【００３０】
一般に、第１プーリー１９１と第２プーリー１９４の直径の比と、第４プーリー１９８と第３プーリ１９７の直径の比とが等しい場合、端部エフェクタ１８３は直線運動をする。
【００３１】
角度θの動き、すなわち端部エフェクタ１８３を回転させるためには、両ロータ１１６，１２６が一方向に同時に回転させられる。
【００３２】
これらの動作は、２つのエンコーダからの入力を用いてコンピュータにより制御される。両ロータ１１６，１２６が一方向に同時に回転すると、Ｘ回転軸１１７、θ回転軸１２７もまたその方向に回転する。
【００３３】
図２、３を参照するに、Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７が時計回りに回転すると、第１アーム１８０が時計回りに回転するとともに、第２アーム１８１内の第３シャフト１９６も回転し、Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７の相対角度が変化しないため、端部エフェクタ１８３は、第１アーム１８０との相対位置で変化せず、ロボットアーム全体は、時計回りに回転する。
【００３４】
逆に、Ｘ回転軸１１７とθ回転軸１２７が反時計回りに回転すると、図２に示されるロボットアーム全体が反時計回りに回転する。
【００３５】
一方、θ回転軸１２７を停止させ、かつＸ回転軸１１７が時計回りに回転すると、第１アーム１８０の現状の位置を保ったまま、その位置を基準に端部エフェクタ１８３は、Ｘ回転軸１１７と第３シャフト１９６を結ぶ直線上を伸びる方向に移動する。
【００３６】
一方、θ回転軸１２７を停止させ、かつＸ回転軸１１７が反時計回りに回転すると、第１アーム１８０の現状の位置を保ったまま、その位置を基準に端部エフェクタ１８３は、Ｘ回転軸１１７と第３シャフト１９６を結ぶ直線上を縮む方向に移動する。
【００３７】
なお、図１において、基板を上下方向（Ｚ軸方向）に移動する場合には、Ｚ回転軸１３７を回転させ、このＺ回転軸１３７とボールナット１３８を介して取り付けられている昇降軸１３９を上下移動する。
【００３８】
次に上記基板搬送装置を基板処理装置に使用した場合の動作について説明する。
【００３９】
図４は、基板処理装置の平面概略図であり、図５は、図１のＡ−Ａにおける断面概略図である。
【００４０】
図４及び図５に示す装置は、中央に設けられた排気可能なセパレーションチャンバー３と、セパレーションチャンバー３の側面にゲートバルブ５を介して気密に接続されている排気可能なロードロックチャンバー２及び排気可能な処理チャンバー１１，１２と、セパレーションチャンバー３内に設けられていると共に、ロードロックチャンバー２から基板９を取り出して所定の順序で各処理チャンバー１１，１２に搬送した後にロードロックチャンバー２に戻す基板搬送装置４２とを備えている。各チャンバー１１，１２，２，３は専用の排気系１１１，１２１，２０１，３０１を備えた気密な真空容器である。
【００４１】
各ロードロックチャンバー２は、一枚のみの基板９を保持する基板ホルダー２２を内部に有している。基板ホルダー２２は、三つの基板保持ピン２２１と、基板９の位置出しを行うための三つの位置出しブロック２２２とを備えている。三つの基板保持ピン２２１は、正三角形の頂点の位置関係になるようにロードロックチャンバー２の底面から上方に立てて設けられている。また、本例では、基板９として、円盤状の半導体ウェーハが想定されている。三つの位置出しブロック２２２は、この円形の基板９の輪郭上の位置からわずかに外側に位置するよう設けられている。
【００４２】
一方、ロードロックチャンバー２は、チャンバー本体２３と、不図示の蝶番を介してチャンバー本体２３に取り付けられた上蓋部２４とから構成されており、開閉可能となっている。基板９をロードロックチャンバー２に収容する際には、上蓋部２４を開けてマニュアル動作にて基板９を基板保持ピン２２１の上に載置する。この際、基板９は三つの位置出しブロック２２２の内側に位置させる必要があり、この載置動作を行うことで、基板９の位置出しが行えるようになっている。この結果、後述する処理チャンバー１１，１２に基板９が搬送された際、基板９は処理チャンバー１１，１２内で常に同じ所定の位置に配置されることが可能である。このため、処理の再現性の向上に貢献できる。尚、上蓋部２４とチャンバー本体２３との間には、Ｏリング等の封止部材が設けられていて、気密封止が確保されるようになっている。
【００４３】
次に、図４及び図５に示す装置の動作について説明する。まず、一方のロードロックチャンバー２の上蓋部２４を開けて未処理の基板９をロードロックチャンバー２に収容し、基板保持ピン２２１の上に載置する。この際、位置出しブロック２２２によって基板９の位置出しが同時に達成される。また、他方のロードロックチャンバー２についても、同様に未処理の基板９の収容と位置出しを行う。そして、排気系２０１が動作し、各ロードロックチャンバー２内が所定の圧力まで排気される。
【００４４】
次に、一方のロードロックチャンバー２とセパレーションチャンバー３との間のゲートバルブ５が開き、搬送機構４２によって基板９が一方のロードロックチャンバー２から取り出される。一方のロードロックチャンバー２とセパレーションチャンバー３との間のゲートバルブ５が閉じた後、セパレーションチャンバー３と予備加熱チャンバー１１との間のゲートバルブ５が開き、搬送機構４２が基板９を予備加熱チャンバー１１に搬送する。そして、セパレーションチャンバー３と予備加熱チャンバー１１との間のゲートバルブ５が閉じる。搬送された基板９は、ヒートステージ１１２の上に載置される。ヒートステージ１１２は加熱機構によって予め所定温度に加熱されており、ヒートステージ１１２に載置されることで基板９は所定温度まで予備加熱される。
【００４５】
所定時間予備加熱を行った後、セパレーションチャンバー３と予備加熱チャンバー１１との間のゲートバルブ５が開閉され、搬送機構４２が基板９を予備加熱チャンバー１１から基板９を取り出す。そして、セパレーションチャンバー３とスパッタチャンバー１２との間のゲートバルブ５が開閉され、基板９は搬送機構４２によってスパッタチャンバー１２に搬送される。また、これと並行して、搬送機構４２は他方のロードロックチャンバー２内の基板９を予備加熱チャンバー１１に搬送する。
【００４６】
スパッタチャンバー１２に搬送された基板９は、基板ホルダー１２３上に載置され、必要に応じて基板ホルダー１２３内の加熱機構によって加熱される。この状態で、不図示のガス導入系が動作して所定のガスがスパッタチャンバー１２内に導入され、不図示のスパッタ電源が動作してスパッタリングが行われる。この結果、基板９の表面に所定の薄膜が作成される。また、予備加熱チャンバー１１では、同様に次の基板９の予備加熱が行われる。
【００４７】
スパッタチャンバー１２内で基板９に作成されている薄膜が必要な厚さに達すると、スパッタ電源及びガス導入系が停止し、排気系１２１がスパッタチャンバー１２内を再度排気する。そして、ゲートバルブ５が開閉し、搬送機構４２が基板９をスパッタチャンバー１２から取り出す。そして、セパレーションチャンバー３と一方のロードロックチャンバー２との間のゲートバルブ５が開閉し、基板９は一方のロードロックチャンバー２に搬送される。基板９は、昇降ピン２２の動作によって基板保持ステージ２１に載置される。
【００４８】
並行して、予備加熱チャンバー１１とセパレーションチャンバー３との間のゲートバルブ５が開閉し、搬送機構４２が予備加熱チャンバー１１内の次の基板９を予備加熱チャンバー１１から取り出す。そして、スパッタチャンバー１２とセパレーションチャンバー３との間のゲートバルブ５が開閉し、次の基板９をスパッタチャンバー１２内に搬送する。
【００４９】
そして、スパッタチャンバー１２内では、次の基板９に対して同様に成膜処理が行われる。この間、一方のロードロックチャンバー２の不図示のベントバルブが開けられ、内部が大気圧に戻される。そして、上蓋部２４が開けられ、処理済みの基板９が一方のロードロックチャンバー２から取り出される。そして、次の未処理の基板９が同様に一方のロードロックチャンバー２に収容され位置出しされる。この基板９は、搬送機構４２により、同様に予備加熱チャンバー１１に搬送され、予備加熱される。
【００５０】
さらに、スパッタチャンバー１２での成膜処理が終了すると、搬送機構４２はこの基板９を他方のロードロックチャンバー２に搬送する。そして、同様に他方のロードロックチャンバー２が大気圧に戻され、処理済みの基板９が他方のロードロックチャンバー２から取り出される。そして、同様に次の未処理の基板９が他方のロードロックチャンバー２に収容され位置出しされる。このようにして、二つのロードロックチャンバー２への基板９の収容及び二つのロードロックチャンバー２からの基板９の取り出しを順次行いながら、予備加熱と成膜処理とを各基板９に施すようにする。
【００５１】
図６は、他の基板処理装置の例示す平面概略図であり、中央に設けられたセパレーションチャンバー３と、セパレーションチャンバー３の周囲に設けられた複数の処理チャンバー１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８及び複数のロードロックチャンバー２とからなるチャンバー配置になっている。セパレーションチャンバー３は八角形の筒状であり、その各辺に処理チャンバー１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８又はロードロックチャンバー２が接続されている。尚、セパレーションチャンバー３と各処理チャンバー１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８及びロードロックチャンバー２は、ゲートバルブ５を介在させて気密に接続されている。
【００５２】
上記のような基板搬送装置を使用すれば、ロードロックチャンバー及び又は処理チャンバーが積層されている基板処理装置において、ロードロックチャンバー内で基板の位置出しが行えるので、処理チャンバー内で常に同じ所定の位置に配置されることが可能であり、処理の再現性の向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る回転駆動機構の一例を示す縦断面図である。
【図２】基板搬送装置（ロボットアーム）の動作の説明図である。
【図３】基板搬送装置（ロボットアーム）の縦断面図である。
【図４】図３に示される基板搬送装置（ロボットアーム）を備えた基板処理装置の平面概略図である。
【図５】図５におけるＡ−Ａ断面概略図である。
【図６】他の基板処理装置の例を示す平面概略図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００  回転駆動機構
１１０  内側モータユニット
１１２  内側モータハウジング
１１３  内側モータハウジング
１１４  ステータ
１１６  ロータ
１１７  駆動用回転軸（Ｘ回転軸）
１２０  外側モータユニット
１２２  外側モータハウジング
１２３  外側モータハウジング
１２４  ステータ
１２６  ロータ
１２７  駆動用回転軸（θ回転軸）
１３０  下側モータユニット
１３２  下側モータハウジング
１３３  下側モータハウジング
１３４  ステータ
１３６  ロータ
１３７  昇降用回転軸（Ｚ回転軸）
１３８  ボールナット
１３９  昇降軸
１４０  エンコーダーセンサー
１４１  エンコーダーリング
１５０  ベアリング
１５１  リニアガイドレール
１５２  スライドユニット
１５３  スライドユニットブラケット
１６０  チャンバー
１６１  上部ベースフランジ
１６３  下部ベースフランジ
１６５  昇降フランジ
【図１】
2010076073.tif 000003
【図２】
2010076073.tif 000004
【図３】
2010076073.tif 000005
【図４】
2010076073.tif 000006
【図５】
2010076073.tif 000007
【図６】
2010076073.tif 000008