(57)【要約】【課題】光軸ずれを小さくすることができるレンズ、半導体レーザモジュール、および光学デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】レンズ１は、複数の設置面ＳＡ１〜ＳＡ４を有し、各設置面ＳＡ１〜ＳＡ４と光軸Ｃとの間の距離が異なる四角柱である。各設置面ＳＡ１〜ＳＡ４は、光軸Ｃに対して垂直であり、四角柱の側面を形成している。各設置面ＳＡ１〜ＳＡ４と光軸Ｃとの間の最大距離と最小距離との差は、レンズ１が設置される被設置面ＳＢとレンズ１との間の公差以上である。レンズ１は、キャリア１０の被設置面ＳＢとの間が最小距離Ｄminとなるように設置面を選定し、接着用樹脂１３を介して固着される。この際、レンズ１の光軸Ｃは、接着用樹脂１３の収縮量を加味して半導体レーザ素子１２の光軸に調芯しておく。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の光学部材と基台からなり、前記第１の光学部材は直接あるいは第１の土台を介して前記基台に搭載され、前記第２の光学部材は直接あるいは第２の土台を介して前記基台に搭載され、かつ前記第１の光学部材と前記第２の光学部材の間で光の送受が行われる光モジュールにおいて、
前記第１の光学部材、前記第１の土台、前記基台、前記第２の光学部材、または前記第２の土台の少なくとも一つが製作時の公差を補償する手段を有することを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記第１の光学部材はレンズで、前記第２の光学部材は半導体レーザであることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項３】
前記レンズは周囲に複数の設置面を有する多角形であって、前記補償手段は前記レンズの光学中心から設置面までの距離の異なる少なくとも二つの設置面であり、公差を補償するために設置面が選択されることを特徴とする請求項２に記載の光モジュール。
【請求項４】
前記第１の土台、または前記第２の土台は長方体であって、前記補償手段は前記長方体の短辺と長辺であり、公差を補償するために設置面を短辺と長辺から選択することを特徴とする請求項１の光モジュール。
【請求項５】
前記第１の土台または前記第２の土台は階段状の土台であって、前記補償手段は段差であり、公差を補償するために最適な段を前記第１の光学部材または第２の光学部材の設置面として選択することを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項６】
複数の設置面を有し、各設置面と光学中心との間の距離が少なくとも一つ異なることを特徴とするレンズ部材。
【請求項７】
前記複数の設置面の法線は、前記レンズの光軸に対して垂直であり、前記複数の設置面が多角柱の側面を形成していることを特徴とする請求項６に記載のレンズ部材。
【請求項８】
各設置面と光軸中心との間の距離は、光軸周りに順次段階的に大きくしたことを特徴とする請求項６または請求項７に記載のレンズ部材。
【請求項９】
前記複数の設置面は、１つの設置面に対して平行な設置面を有することを特徴とする請求項６〜８のいずれか一つに記載のレンズ部材。
【請求項１０】
前記複数の設置面は、１つの設置面に対して垂直な一対の設置面を有することを特徴とする請求項６〜９のいずれか一つに記載のレンズ部材。
【請求項１１】
所定の設置面を識別する識別部を有することを特徴とする請求項６〜１０のいずれか一つに記載のレンズ部材。
【請求項１２】
前記設置面の少なくとも一つの表面の表面粗さＲａが50μｍ以上であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一つに記載の光モジュールまたはレンズ部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光軸のずれを小さくして配置することができるレンズ、これを用いた半導体レーザモジュール、およびこれを用いた光学デバイスの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示されるように、半導体レーザモジュールは、半導体レーザ素子、集光レンズ、出力光をモニタする光検出器、ペルチェ素子などの温度制御素子、アイソレータなどの多くの構成部品を備えている。この半導体レーザモジュールは、半導体レーザ素子からの出射光を、コリメートレンズを介して平行光とした後、光アイソレータを介して光ファイバに導き、光ファイバ内を導波して所望の用途に供している。
【０００３】
ここで、半導体レーザモジュールでは、多くの構成部品によって半導体レーザ素子から光ファイバに至る光経路が形成され、レンズなどの光学部材が用いられる。レンズを設置する場合、レンズの光学中心を光経路の光軸に一致させる必要があり、レンズの光学中心と光経路の光軸とにずれが生じると、たとえばコリメートレンズから出射した光が光アイソレータの一部によってけられ、光の結合効率が低下するといった問題が生じる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２１６６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、半導体レーザモジュール内で、上述した半導体レーザ素子から出射されたレーザ光は、その近傍において、集光レンズによって集光され、あるいはコリメートレンズによって平行光に変換される。そして、この集光レンズやコリメートレンズなどのレンズを設置する際、このレンズは、被設置面との間に接着用樹脂を用いて光軸の調芯を行った後に固着される。ここで、モジュールの基台から半導体レーザ素子の出射口までの高さは製造上のばらつきによって公差が生じる。慣例的に、この公差はレンズと基台の被接着面との間に接着用樹脂を挿入し、その量（厚さ）を変える調整を行うことによって解消されてきた。
【０００６】
しかしながら、半導体モジュールに用いられるような光学素子間の軸ずれに対して、各部材を制作した際の設計値とのずれは大きく、それにつれて、レンズの設置面と基台の被接着面との間に介在させる接着用樹脂の量も多くなる。ここで、接着用樹脂の固着時の収縮率が一定の場合、接着用樹脂の収縮量を加味して光学系の光軸の調芯を行えばよいことになるが、実際には接着用樹脂を多く用いた場合はその材料の経年変化や強度の点で問題が生じる。また、現実の樹脂の収縮率は、接着用樹脂がポリマーであることから、分子量のばらつきがあり、収縮率は一定ではなく、接着用樹脂の量が多くなればなるほど、接着用樹脂の局所的な収縮量にばらつきが生じ、レンズの光軸ずれが発生するという問題点があった。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、接着用の樹脂の量を減少することができる、また、樹脂の収縮によって生じる光軸ずれを小さくすることができるレンズなどの光学部材、半導体レーザモジュール、および光学デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、この発明にかかる光モジュールは、第１および第２の光学部材と基台からなり、前記第１の光学部材は直接あるいは第１の土台を介して前記基台に搭載され、前記第２の光学部材は直接あるいは第２の土台を介して前記基台に搭載され、かつ前記第１の光学部材と前記第２の光学部材の間で光の送受が行われる光モジュールにおいて、前記第１の光学部材、前記第１の土台、前記基台、前記第２の光学部材、または前記第２の土台の少なくとも一つが製作時の公差を補償する手段を有することを特徴とする。
【０００９】
また、この発明にかかる光モジュールは、上記発明において、前記第１の光学部材はレンズで、前記第２の光学部材は半導体レーザであることを特徴とする。
【００１０】
また、この発明にかかる光モジュールは、上記発明において、前記レンズは周囲に複数の設置面を有する多角形であって、前記補償手段は前記レンズの光学中心から設置面までの距離の異なる少なくとも二つの設置面であり、公差を補償するために設置面が選択されることを特徴とする。
【００１１】
また、この発明にかかる光モジュールは、上記発明において、前記第１の土台、または前記第２の土台は長方体であって、前記補償手段は前記長方体の短辺と長辺であり、公差を補償するために設置面を短辺と長辺から選択することを特徴とする。
【００１２】
また、この発明にかかる光モジュールは、上記発明において、前記第１の土台または前記第２の土台は階段状の土台であって、前記補償手段は段差であり、公差を補償するために最適な段を前記第１の光学部材または第２の光学部材の設置面として選択することを特徴とする。
【００１３】
この発明にかかるレンズ部材は、複数の設置面を有し、各設置面と光学中心との間の距離が少なくとも一つ異なることを特徴とする。
【００１４】
この発明にかかるレンズ部材は、上記発明において、前記複数の設置面の法線は、前記レンズの光軸に対して垂直であり、前記複数の設置面が多角柱の側面を形成していることを特徴とする。
【００１５】
この発明にかかるレンズ部材は、上記発明において、各設置面と光軸中心との間の距離は、光軸周りに順次段階的に大きくしたことを特徴とする。
【００１６】
この発明にかかるレンズ部材は、上記発明において、前記複数の設置面は、１つの設置面に対して平行な設置面を有することを特徴とする。
【００１７】
この発明にかかるレンズ部材は、上記発明において、前記複数の設置面は、１つの設置面に対して垂直な一対の設置面を有することを特徴とする。
【００１８】
この発明にかかるレンズ部材は、上記発明において、所定の設置面を識別する識別部を有することを特徴とする。
【００１９】
この発明にかかる光モジュールまたはレンズ部材は、上記発明において、前記設置面の少なくとも一つの表面の表面粗さＲａが50μｍ以上であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、光学素子、土台、あるいは基台が公差を補償する手段を持ち、特にレンズが、複数の設置面を有し、各設置面と光学中心との間の距離が異なり、レンズを設置する際に光学系の光軸とレンズの光学中心との間の製造誤差によって生じた公差を、最適な設置面を選択してその調整分で小さくし、この小さくした公差の影響を、調整がない場合に比べて少ない量の接着用樹脂で吸収するようにしている。これによって、接着用樹脂の収縮量のばらつきが小さくなり、結果的に光軸の調芯後の樹脂の硬化時の樹脂の収縮による光軸ずれを小さくすることができる。また、公差補償用に新たな部材を設ける必要もなくコストの点で有利となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の趣旨を簡単に説明すれば、本来、設置面ＳＢから半導体レーザ素子１２の出射口までの高さは、レンズの光学中心から設置面ＳＡまでの高さと調整用の樹脂の厚さで補償されていた。しかしながら実際のデバイスにおいては、公差により設計値からずれが生じていた。そして公差が出た場合は、調整用の樹脂層の厚みを加減することによって調整されていた。しかしながら、前後左右の調整も樹脂によって行われているので樹脂層の厚みには最低限必要な厚みがある（ただし、前後左右の調整の必要がない場合は考慮されない）。公差によってレーザ出射口の高さが低くなった場合にもこの最低限必要な厚みは必要なので実際の設計においてはこの余裕を考慮して厚めの調整用の樹脂を必要としていた。これに対して本願の場合は、公差補償用の部材は少なくとも二つの公差補償用の設置面を有しているのでプラスの公差、マイナスの公差のいずれにも対応できる。また、これによって必要以上に調整用の樹脂の厚みを設ける必要がなくなる。さらに、樹脂層を大きく設定しなければならない場合でも、設置時の調整長の長くなる設置面を利用することによって樹脂層の厚み（量）を削減することができる。
以下、図面を参照して、この発明にかかるレンズ、半導体レーザモジュール、および光学デバイスの製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によってこの発明が限定されるものではない。
【００２２】
図１は、この発明の実施の形態であるレンズを用いた半導体レーザモジュールの構成の一部を示す断面図である。また、図２は、図１に示したレンズの構成を示す図である。さらに、図３は、図１に示したレンズの構成を示す斜視図である。図１〜図３において、レンズ１は、コリメートレンズであり、断面が正方形となる角柱を形成し、４つの側面を設置面ＳＡ１〜ＳＡ４としている。なお、レンズ１の角は面取りがされている。また、レンズ１は、光軸Ｃから各設置面ＳＡ１〜ＳＡ４までの各距離ｄ１〜ｄ４が異なり、距離ｄ１＝４００μｍ、距離ｄ２＝４１０μｍ、距離ｄ３＝４３０μｍ、距離ｄ４＝４４０μｍとし、距離ｄ１→ｄ２→ｄ４→ｄ３の順に順次、１０μｍずつ大きくし、距離ｄ１から距離ｄ３までの間で３０μｍ異なる。すなわち、レンズ１は、３０μｍの公差の影響を吸収することができる。なお、断面が正方形であり、距離ｄ１，ｄ３の加算値と距離ｄ２，ｄ４の加算値とは、ともに４３０μｍとなる。
【００２３】
また、レンズ１は、設置面ＳＡ１上に光軸Ｃに平行な溝２０が設けられている。この溝２０は、設置面ＳＡ１であることを識別するためのものであり、レンズ１の凸面を含めて設置面ＳＡ１〜ＳＡ４の位置の識別を可能としている。さらに、図３に示すように、各設置面ＳＡ２〜ＳＡ４を個別に識別するマーク２１を設けるようにしてもよいし、溝２０に替えてマーク２１のみを設けるようにしてもよい。
【００２４】
このレンズ１は、半導体レーザモジュール内に配置される段差のあるキャリア１０上であって、段差の下部面である被設置面ＳＢ上に接着用樹脂１３を介して固着される。接着用樹脂としては、ＵＶ硬化樹脂、または熱硬化樹脂などが用いられている。また、先ず、少量のＵＶ硬化樹脂にて位置決めを行い、後にエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂によって固着を行ってもよい。一方、キャリア１０上であって段差の上部面である被設置面ＳＣ上には、半田１１を介して半導体レーザ素子１２が固着される。ここでは半田による固着を行ったが用途に応じては、Ｙａｇレーザによる溶接、接着剤による接着などによって固着することもできる。ここで、半導体レーザ素子１２は、レーザ光の出射口がキャリア１０の段差近傍となるように配置される。そして、レンズ１は、レンズの光学中心をとおる光軸Ｃが、レーザ光の光軸に一致するように高さ調整されて固着配置される。
接着用の樹脂１３と接触するレンズ１面、もしくは被設置面ＳＢ上の表面状態に関して、筆者らは慣例的にモジュールに用いられるレンズやキャリアの材料の表面状態と、慣例的に用いられる接着用樹脂との接着強度に関して実験を行い、多くの材料について表面粗さRa（JIS B O601−1994‘表面粗さ−定義及び表示’による）を50μｍ以上とする事により実用上十分な接着強度を得られることを発見した。これはアンカー効果により、より強固な接合強度を得られるようになったものと推測される。また別の表面状態としてレンズの接着面と被設置面ＳＢの間に嵌合する凹凸構造を設けてもよい。
【００２５】
レンズ１をキャリア１０の被設置面ＳＢ上に接着用樹脂１３を介して固着する場合、被設置面ＳＢと半導体レーザ素子１２の出射口との高さの設計値からのばらつきである公差は、キャリア１０の段差の高さｈ１、半導体レーザ素子１２の厚さｈ３、半田１１の厚さｈ２、レンズの光学中心をとおる光軸Ｃと設置面ＳＡ（ＳＡ４）との間の高さ（距離）ｈ４などの各ばらつきの兼ね合いとなる。ここでは、レーザ素子１２の出射口と設置面ＳＢとの公差が高さ方向に設計値から＋２３μｍのものを例として説明する。なお、後述するように、レンズ１の設置面ＳＡと被設置面ＳＢとの間の距離が、最小となる設置面、たとえば図１では設置面ＳＡ４が選択される。なお、レンズ１の基準となる設置面ＳＡは、光軸Ｃから各設置面ＳＡ１〜ＳＡ４までの距離のうち、最も小さい距離ｄ１をもつ設置面ＳＡ１であり、この基準となる設置面ＳＡ１から、順次距離が大きくなる設置面ＳＡ２→ＳＡ４→ＳＡ３が選択される。ここで、本発明によれば、従来よりも公差による厚みのうち２０μｍ分をレンズ部で吸収できるので接着用樹脂の収縮の効果を抑制することができる。仮に公差が＋５０μｍ以上である場合には、ＳＡ３面を選択すれば、従来は樹脂だけで吸収されることになった公差のうち、３０μｍ分をレンズ部材によって吸収することができる。
【００２６】
繰り返しになるが、図４に示すように、従来は、レンズ１の光軸調芯の際に、設置面ＳＡと被設置面ＳＢとの間の距離、すなわち公差ΔＤを接着用樹脂１３の厚さのみで調整していたが、この実施の形態では、設置面ＳＡと被設置面ＳＢとの間の距離が最小距離Ｄminとなるように、公差ΔＤに応じてレンズ１の設置面ＳＡ（ＳＡ１〜ＳＡ４）が選択され、レンズ１の一部を調整部分Ｌ１とし、接着用樹脂１３の厚さを極力小さくして、接着用樹脂１３の固着による収縮量のばらつきによる光軸ずれを少なくしている。
【００２７】
図５に示すように、公差ΔＤが公差ΔＤ´となっても、これに対応する設置面を選択することによって、常に１０μｍ以内の距離ΔＤ，ΔＤ´とすることができる。また、樹脂層が厚い場合にはレンズの光学中心から設置面までの距離が最大のＳＡ３面を選択することによって樹脂層の一部をレンズの公差補償部分で補うことができ、この分の収縮による影響を避けることができる。
【００２８】
図６は、接着用樹脂の厚さに対する接着用樹脂の収縮量の関係を示している。図６に示すように、接着用樹脂の厚さが小さくなればなるほど、接着用樹脂の収縮量のばらつきは小さくなる。したがって、従来のように、公差ΔＤを全て接着用樹脂の厚さで吸収しようとすると、接着用樹脂の収縮率のばらつきδＤ２は大きく、１０μｍ以内の接着用樹脂の厚さである距離Ｄminとすると、接着用樹脂の収縮率のばらつきδＤ１は小さくなり、結果的に、レンズ１を調芯して固着する場合に、接着用樹脂の収縮率のばらつきを小さくでき、光軸ずれを小さくすることができる。
【００２９】
ここで、図７を参照して、レンズ１の光軸調芯をして光学デバイスを製造する手順について説明する。なお、ここでいう光学デバイスは、半導体レーザ素子１２を有し、半導体レーザ素子１２から出射されたレーザ光をコリメート光として変換出力するデバイスである。図７（ａ）に示すように、レーザ変位計３０を用いて、まずキャリア１０の被設置面ＳＢと半導体レーザ素子１２の光軸面ＳＤとの間の距離ｄ２０を測定する。すなわち、レーザ変位計３０によって、レーザ変位計３０と被設置面ＳＢとの間の距離ｄ１０と、レーザ変位計３０と光軸面ＳＤとの間の距離ｄ１１との差を、距離ｄ２０として測定する。なお、距離ｄ２０が測定できればよく、たとえば段差近傍の画像を取得することによって距離ｄ２０を測定してもよい。
【００３０】
その後、この距離ｄ２０よりも短く最も近い距離ｄ１〜ｄ４を有する設置面ＳＡ１〜ＳＡ４を選択し、レンズ１の設置面ＳＡとする。そして、図７（ｂ）に示すように、被設置面ＳＢ上に、収縮後の厚さが１０μｍ以上となるような厚さをもつ接着用樹脂１３を付着させる。この際、画像認識や距離測定などのレンズ倒れ角度測定や、収差測定によるレンズ傾き度の測定を行い、光軸がレンズ面に対する法線になるように設置することにより、より高い結合効率が得られるようになる。また意図的に戻り光の影響を削減するために２度程度傾けて配置することもできる。
【００３１】
その後、図７（ｃ）に示すように、選択したレンズ１の設置面ＳＡを被設置面ＳＢ側に向けるとともに、接着用樹脂１３が固着した場合の収縮量を加味したレンズ１の光軸調芯を行い、レンズ１を固着する。これによって、接着用樹脂１３の収縮量を小さくできるので、固着時の接着用樹脂１３の厚さのばらつきを小さくすることができ、結果的に、光軸ずれを小さくすることができる。
【００３２】
ここで、図７（ｃ）に示すレンズ１の光軸調芯時にレンズ１を把持する必要がある。このレンズ１の把持は、図８に示すように、光軸Ｃを跨いだレンズ１の設置面ＳＡの反対側の設置面ＳＡ´に対して真空吸着するは把持具４０を用いることができる。この把持具４０を用いる場合、設置面ＳＡに平行な設置面ＳＡ´を持たせておくことが好ましく、たとえばレンズ１を四角柱、六角柱などの偶数の設置面を有するものが好ましい。
【００３３】
また、図９に示すように、設置面ＳＡに垂直で、光軸Ｃを臨む一対の設置面ＳＡ″を持たせるようにし、この設置面ＳＡ″を水平方向からアーム４１ａ，４１ｂでレンズ１を把持する把持具４０を用いてもよい。この図９に示した把持具４０を用いる場合、たとえばレンズ１を四角柱、八角柱など４の倍数の設置面を有するものとすることが好ましい。
【００３４】
ここで、上述したレンズ１を用いた半導体レーザモジュールについて説明する。図１０に示すように、第１温度調節部としての第１ペルチェ素子５１が、半導体レーザモジュール５０の筐体６０の底部に配置される。第１ペルチェ素子５１の上部には、熱伝導率が高いベース５２が配置される。ベース５２の一端側の低部にはさらに第２温度調節部としての第２ペルチェ素子５３が設けられる。第２ペルチェ素子５３の上部には熱伝導率が高く段差を有したキャリア１０が設けられ、上述したように、さらにキャリア１０の上部であって段差の上部平面端部に半導体レーザ素子１０が配置される。そして、キャリア１０の低部である被設置面には、上述したレンズ１がコリメートレンズとして配置される。このキャリア１０上のレンズ１の光軸調芯した固着は、図７に示した工程によって行われる。なお、第２ペルチェ素子５３は、主として半導体レーザ素子１２に対する温度調節を行う。一方、ベース５２の段差上部平面には、アイソレータ５４、レーザ光をモニタするためのビームスプリッタ５５，５６が設けられ、同一平面上で光軸調芯が行われる。
【００３５】
なお、上述した実施の形態では、レンズ１が正四角柱であったが、これに限らず、図１１に示すように、断面が長方形の四角柱であってもよい。この場合、図に向かって右回りに、順次段階的に１０μｍずつ、光軸Ｃと設置面ＳＡ１１〜ＳＡ１２との間の距離が増大するように配置することができる。
【００３６】
また、図１２に示すように、八角柱であってもよい。図１２では、図に向かって矢印Ａ１で示すように左回りに、４００μｍから順次５μｍずつ段階的に増大し、最終的に４３５μｍの距離となるようにしている。この図１２に示すレンズでは、最大距離と最小距離との差が、３５μｍとなるようにしている。したがって３５μｍの公差ΔＤまで光軸調芯を行うことができる。
【００３７】
なお、正八角柱としたレンズであってもよい。さらには、三角柱であってもよい。また、各距離の差は、上述した例では、１０μｍ、あるいは５μｍと同じ値であったが、これに限らず、異なる値であってもよい。
【００３８】
次に図１３に本発明の他の実施例を示す。図１３はレンズ１あるいは半導体レーザ素子１２を土台７０あるいは土台７１上に設置し、公差を補償する例を示す。土台７０は高さｈ５をもつ長辺と高さｈ６をもつ短辺からなる直方体、土台７１は高さｈ８をもつ長辺と高さｈ７をもつ短辺からなる直方体であり、これらのいずれかの辺を設置面として用いることによって公差を補償する。公差を補償する土台としては土台７０と土台７１の組み合わせでも、どちらか一方でもよい。図１４は階段状の段差でそれぞれ高さｈ９、ｈ１０、ｈ１１をもつ土台７２をレンズの土台として用いて段差によって公差を補償する例を示した。ここで土台７２は光軸に対して前後に移動されて補償する高さを選択しているが、段差を光軸に垂直方向に移動するように設定してもよい。また、図では土台７２はレンズ１の土台として用いられているが、レーザ１２の土台として用いてもよい。最後に図１５にレンズ１の下部に公差補償用のロッド７３を設ける例を示した。ここで、キャリア１０のレンズ１の固定される位置にレンズ１の光軸に対して前後左右に調整する余裕ｗをもつ穴７４を設け、レンズ１のロッド７３の穴７４への挿入深さを調整することによって高さを調整する。この場合は高さ調整に樹脂を利用しないので高さ方向の変化が少ない。また、図ではロッド７３はレンズ１の土台として用いられているが、レーザ１２の土台として用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の実施の形態であるレンズを用いた半導体レーザモジュールの構成の一部を示す断面図である。
【図２】図１に示したレンズの構成を示す図である。
【図３】図１に示したレンズの構成を示す斜視図である。
【図４】従来のレンズ固着とこの実施の形態のレンズ固着とを比較した図である。
【図５】公差の大きさと接着用樹脂の厚さとの関係を示した図である。
【図６】接着用樹脂の厚さに対する接着用樹脂の収縮量のばらつきを示す図である。
【図７】この実施の形態であるレンズを用いた光学デバイスの製造方法を示す図である。
【図８】この実施の形態であるレンズとこのレンズを把持する把持具との一例を示す図である。
【図９】この実施の形態であるレンズとこのレンズを把持する把持具との他の一例を示す図である。
【図１０】この実施の形態であるレンズが適用される半導体レーザモジュールの断面図である。
【図１１】断面が長方形である四角柱のレンズの一例を示す図である。
【図１２】八角柱のレンズの一例を示す図である。
【図１３】本発明の他の実施例を示す図である。
【図１４】本発明の他の実施例を示す図である。
【図１５】本発明の他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  レンズ
１０  キャリア
１１  半田
１２  半導体レーザ素子
１３  接着用樹脂
２０  溝
２１  マーク
４０  把持具
５０  半導体レーザモジュール
５１  第１ペルチェ素子
５２  ベース
５３  第２ペルチェ素子
５４  アイソレータ
５５，５６  ビームスプリッタ
６０  筐体
７０，７１，７２  土台
７３  ロッド
ＳＡ，ＳＡ１〜ＳＡ４，ＳＡ１１〜ＳＡ１４，ＳＡ２１〜ＳＡ２８  設置面
ＳＢ，ＳＤ  被設置面
ＳＣ  光軸面
Ｃ  光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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