(57)【要約】【課題】薄膜化して熱抵抗を低減し効率的に放熱することができると共に電気的絶縁性を付与したシート材を提供する。【解決手段】（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）表面処理剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する樹脂組成物を、キャリア材の表面に塗布し半硬化状態に乾燥して形成された熱伝導性エポキシ樹脂シート材に関する。フィラーが平均粒径１μｍ以下かつ粒子数９９％以上の粒子の粒径が１０μｍ以下であるアルミナからなる。該アルミナの含有量が樹脂組成物の固形分全量に対して６０〜８５重量％である。シート厚が１５〜５０μｍである。樹脂組成物が、目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたもの、又は、アルミナを有機溶剤に分散して目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過したアルミナ分散液を配合して調製されたものである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）表面処理剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する樹脂組成物を、キャリア材の表面に塗布し半硬化状態に乾燥して形成された熱伝導性エポキシ樹脂シート材であって、
フィラーが平均粒径１μｍ以下かつ粒子数９９％以上の粒子の粒径が１０μｍ以下であるアルミナからなると共に該アルミナの含有量が樹脂組成物の固形分全量に対して６０〜８５重量％であり、シート厚が１５〜５０μｍであり、樹脂組成物が、目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたもの、又は、アルミナを有機溶剤に分散して目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過したアルミナ分散液を配合して調製されたものであることを特徴とする熱伝導性エポキシ樹脂シート材。
【請求項２】
シート厚が１５〜３０μｍであることを特徴とする請求項１に記載の熱伝導性エポキシ樹脂シート材。
【請求項３】
表面処理剤がカップリング剤であり、樹脂組成物が、該カップリング剤で処理されたアルミナをフィラーとして配合して調製されたものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の熱伝導性エポキシ樹脂シート材。
【請求項４】
樹脂組成物が、エポキシ樹脂及び硬化剤として液状樹脂又は軟化点７５℃以下の樹脂を樹脂成分全量に対して８０重量％以上含むものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱伝導性エポキシ樹脂シート材。
【請求項５】
溶剤がメチルエチルケトンを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の熱伝導性エポキシ樹脂シート材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁性を有すると共に熱伝導性の高いエポキシ樹脂シート材に関するものであり、より詳しくは、主にメタルベース基板、メタルコア基板、大電流基板などの金属基板、各種放熱モジュールの製造、放熱器表面の絶縁化、金属板とセラミック基板やＦＰＣとの貼り合せ、電子機器の筐体と発熱部材との接着などに好適な熱伝導性エポキシ樹脂シート材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の発熱の問題がクローズアップされている。電子機器から熱が発生した場合、一般にアルミ板や銅板などの熱伝導率の高い金属により形成された放熱器を用いて外気に熱を逃がしているが、その際、発熱体と放熱器との間に電気的に絶縁性が高く熱伝導率の高い材料を介在させることで熱の移動をスムーズにすることが行われている。そのような材料としては、シリコーン系やアクリル系の材料とともに、エポキシ系の材料が主に用いられ、その形態も液状、シート状、グリース状、熱硬化型グリース、粘着材フェーズチェンジ材料などが知られている。例えば、特許文献１にはエポキシ樹脂を用いた熱伝導性の高い樹脂組成物が開示されている。
【０００３】
従来、熱伝導率を高めて熱抵抗を低減させるアプローチとして、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化マグネシウムなどの熱伝導率の高いフィラーを粒子設計して高充填化することが行われてきた。また、さらなるアプローチとして、熱伝導性を有する絶縁性材料を薄膜化することにより熱抵抗を低減させることが可能である。しかしながら、シリコーン系やアクリル系の放熱性シート材料においては、薄膜化はせいぜい２００μｍ程度までしか行うことができず熱伝導性を高めることが難しかった。すなわち、膜の界面において放熱器と発熱体表面の凹凸のうねりを吸収するためには弾性体として形成し柔軟性（柔らかさ）を高める必要があるが、薄膜化されたものにおいて柔軟性を高めた場合、材料の応力に対する形状保持性が弱まってしまうのに加え、プロテクトフィルム（カバーフィルム）を剥離する際においてすら寸法変化を起こしてしまうといった問題が生じてしまうため、膜の厚みには限界があり薄膜化により熱伝導性を向上させることは容易ではなかった。また薄膜化した際、フィラーが原因となって膜表面の平滑性が失われ、塗布液の粘度ムラによってコーターヘッド通過後、いわゆるスジムラを発生してしまうという問題も生じていた。なお、スジムラとは、シート表面の微妙な厚みムラにより外観上スジのように見える現象、もしくは塗布液中に存在する粗大粒子がコーターのコーターヘッド部などにひっかかってシート内に爪でひっかいたような直線状のスジが発生する現象のことである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−４５１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、電子機器において放熱すべき熱量が年々高まる状況の中、上記の点に鑑み、より効率的に熱を逃がすために、薄膜化して熱抵抗を低減するとともに電気的絶縁性を付与したシート材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）表面処理剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する樹脂組成物を、キャリア材の表面に塗布し半硬化状態に乾燥して形成された熱伝導性エポキシ樹脂シート材であって、フィラーが平均粒径１μｍ以下かつ粒子数９９％以上の粒子の粒径が１０μｍ以下であるアルミナからなると共に該アルミナの含有量が樹脂組成物の固形分全量に対して６０〜８５重量％であり、シート厚が１５〜５０μｍであり、樹脂組成物が、目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたもの、又は、アルミナを有機溶剤に分散して目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過したアルミナ分散液を配合して調製されたものであることを特徴とする熱伝導性エポキシ樹脂シート材である。
【０００７】
請求項２に係る発明は、上記構成の熱伝導性エポキシ樹脂シート材であって、シート厚が１５〜３０μｍであることを特徴とする熱伝導性エポキシ樹脂シート材である。
【０００８】
請求項３に係る発明は、上記構成の熱伝導性エポキシ樹脂シート材であって、表面処理剤がカップリング剤であり、樹脂組成物が、該カップリング剤で処理されたアルミナをフィラーとして配合して調製されたものであることを特徴とする熱伝導性エポキシ樹脂シート材である。
【０００９】
請求項４に係る発明は、上記構成の熱伝導性エポキシ樹脂シート材であって、樹脂組成物が、エポキシ樹脂及び硬化剤として液状樹脂又は軟化点７５℃以下の樹脂を樹脂成分全量に対して８０重量％以上含むものであることを特徴とする熱伝導性エポキシ樹脂シート材である。
【００１０】
請求項５に係る発明は、上記構成の熱伝導性エポキシ樹脂シート材であって、溶剤がメチルエチルケトンを含むことを特徴とする熱伝導性エポキシ樹脂シート材である。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によれば、エポキシ樹脂を樹脂成分として用いると共に熱伝導性が高く充填性の良好なアルミナをフィラーとして用い、薄膜化することにより、熱伝導性が高く形状安定性のよい絶縁性のシート材を得ることができる。そして、フィラーであるアルミナは、平均粒径１μｍ以下かつ粒子数９９％以上の粒子の粒径が１０μｍ以下であり、さらに樹脂組成物が、目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたもの、又は、アルミナを有機溶剤に分散して目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたアルミナ分散液を配合して調製されたものであることにより、フィラーが原因となって生じる不良を防ぐことが可能となって、スラリー状の樹脂組成物を塗布する際においてコーターヘッド部での液の詰まりなどが生じにくくなると共に、シート材の表面にスジムラなどの外観の乱れが生じにくくなり、厚みが薄く均一な膜を成膜することが可能となって、薄膜状のシート材を良好に得ることができるものである。
【００１２】
請求項２の発明によれば、熱抵抗をさらに低減することができ、熱伝導性がよく放熱性の高いシート材を得ることができるものである。
【００１３】
請求項３の発明によれば、樹脂組成物中におけるフィラーの分散性が良好になってフィラーの充填性が高くなり、熱伝導性を向上することができると共に、樹脂組成物の流動性が向上して成形性の高いシート材を得ることができるものである。
【００１４】
請求項４の発明によれば、可撓性が高く、フィラー充填性の高いシート材を得ることができると共に、樹脂組成物の流動性が向上して成形性の高いシート材を得ることができるものである。
【００１５】
請求項５の発明によれば、樹脂組成物におけるエポキシ樹脂の溶解性が高まって樹脂組成物の粘度が低下し、フィラーの分散性が向上して良好な薄膜のシート材を得ることができる。また、メチルエチルケトンの沸点は常圧で約８０℃と低いことから、乾燥時において樹脂の硬化が進みにくくなって過剰な硬化を抑制することができ、可撓性が高いと共に成形性が高いシート材を得ることができるものである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の熱伝導性エポキシ樹脂シート材は、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）表面処理剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する樹脂組成物を、キャリア材の表面に塗布し半硬化状態に乾燥して形成されたものである。
【００１７】
（Ａ）成分であるエポキシ樹脂としては、特に限定されるものではないが、好ましくは、液状エポキシ樹脂や、軟化温度が８０℃以下のエポキシ樹脂、より好ましくは、軟化温度が７５℃以下のエポキシ樹脂、さらに好ましくは、軟化温度が６０℃以下のエポキシ樹脂を用いる。このようなエポキシ樹脂は、フィラーである無機充填材の高充填化に適しているものである。また、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂を用いると、優れた信頼性を得ることができると共に、耐落下衝撃性を高く得ることができるので好ましい。その他、エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、トリグリシジルイソシアヌレート、脂環式エポキシ樹脂などを用いることができるが、これらのものに限定されるものではない。
【００１８】
（Ｂ）成分である硬化剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、フェノール系硬化剤、ジシアンジアミドをはじめとするアミン系硬化剤、酸無水物などを挙げることができる。また複数の硬化剤種を併用してもよい。フェノール系硬化剤としては、ノボラック型、アラルキル型、テルペン型などのものを用いることができるが、特に、フェノールノボラック樹脂を用いることが好ましく、その軟化温度が８０℃以下のものを用いることがより好ましく、軟化温度が７５℃以下のものを用いることがさらに好ましい。また、アラルキル型フェノール、特にフェノールフェニルアラルキル樹脂又はフェノールビフェニルアラルキル樹脂を用いる場合には、耐衝撃性を著しく向上させることができると共に、低吸湿率、高密着性を併せ持つことができ、信頼性の高い成形物（硬化物）を得ることができるので好ましい。また、酸無水物系の硬化剤に関しては、液状及び結晶状のどちらのものでも使用可能であるが、常温で液状のものや低分子量のものを用いることが、無機充填材を増量してもシート材の可撓性を保持することができるので好ましい。
【００１９】
ここで、エポキシ樹脂及び硬化剤として液状樹脂又は軟化点７５℃以下の樹脂が樹脂成分全量に対して８０重量％以上の含有率で樹脂組成物に含まれていることが好ましい。それにより、可撓性が高く、フィラー充填性の高いシート材を得ることができると共に、樹脂組成物の流動性が向上して成形性の高いシート材を得ることができる。なお樹脂成分とは、樹脂組成物の原料として用いられる樹脂の成分を意味し、無機充填材と溶剤を除くすべての有機成分、もしくは無機充填材を除く全ての固形分成分（溶剤を除く成分）のこと、すなわち、エポキシ樹脂と硬化剤、硬化促進剤、さらには必要に応じて分散剤、カップリング剤などの表面処理剤、レベリング剤などの添加剤、熱可塑性成分などの、無機充填材を除く全ての固形分成分（溶剤を除く成分）をあわせた成分のことである。
【００２０】
（Ｃ）成分であるフィラー（無機充填剤）としては、平均粒径１μｍ以下であり、かつ粒子数９９％以上（粒子１００個中９９個以上）の粒子の粒径が１０μｍ以下であるアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）からなるものを用いる。アルミナは、フィラーとして充填性がよいと共に熱伝導性がよく、またイオン性の不純物が少なく安定な物質であることから好適なフィラーであり、硬化物の絶縁信頼性を高くすることができる。特に、平均粒径１μｍ以下であり、かつ粒子数９９％以上の粒子の粒径が１０μｍ以下であるアルミナをフィラーとして用いれば、高充填化及び高熱伝導性が可能となるものである。アルミナの平均粒径が１μｍを超えたり、粒径が１０μｍを超えるアルミナ粒子が粒子数の１％を超えたりすると、シート材を薄膜化することが難しくなって膜厚の安定したシート材を得ることができなくなるおそれがあり、また、外観上も膜表面にスジムラなどが発生するおそれがある。このような粒度分布を有するアルミナフィラーとしては、例えば、アドマテックス社のＡＯ５０２やＡＯ８０２、電気化学工業社のＡＳＦＰ２０などを例示することができ、これらのフィラーを単独で、又は複数混合して用いることができる。なお、平均粒径の下限は実質上０．１μｍである。
【００２１】
アルミナの含有量は、樹脂組成物の固形分全量に対して６０〜８５重量％である。それにより、熱伝導率を高めて放熱性を十分に向上させつつ、樹脂組成物の塗工性が良好となって作製しやすく絶縁信頼性が高いシート材を得ることができる。アルミナの含有量が６０重量％より少なくなると、熱伝導率が低下してシート材の放熱性が低下することになる。一方、アルミナの含有量が８５重量％より多くなると、樹脂組成物を均一な膜厚で塗布することが難しくなり、膜表面の外観が悪くなったり、シート材が脆くなって取り扱い性が悪くなったりし、また成型時の流動性が低下することになる。
【００２２】
（Ｄ）成分である表面処理剤としては、フィラーの表面を処理することによりフィラーの分散性を向上させてマトリックス成分との相溶性を向上させるものであれば、特に限定されるものではないが、カップリング剤であることが好ましい。表面処理剤、特にカップリング剤を配合することにより、樹脂組成物中におけるフィラーの分散性が良好になってフィラーの充填性が高くなり、熱伝導性を向上することができ、また、樹脂組成物の流動性が向上して成形性の高いシート材を得ることができる。表面処理剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどを用いることができる。表面処理剤はフィラー１００重量部に対して０．１〜２０重量部の範囲で用いることが好ましく、この場合、不経済となることなく、フィラーの分散性を向上させることができる。さらに、表面処理剤がカップリング剤である場合、該カップリング剤で処理されたアルミナをフィラーとして樹脂組成物に配合することが好ましい。このように、あらかじめフィラーがカップリング剤で処理されていると、樹脂組成物中におけるフィラーの分散性がさらに良好になってフィラーの充填性が高くなり、熱伝導性を向上することができる。
【００２３】
（Ｅ）成分である溶剤としては、エポキシ樹脂シート材に用いることが可能なものであれば特に限定されるものではないが、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）やＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、メトキシプロパノールなどの溶剤を好適に用いることができる。また、常圧における沸点が１００℃以下の溶剤のみを用いることが好ましく、それにより、乾燥条件を低温にすることができ、エポキシ樹脂と硬化剤との反応を進めずに効率的に溶剤を除去することができ、良好なシート材を得ることができるものである。特に、溶剤としてメチルエチルケトンを含むことが好ましく、さらにメチルエチルケトンからなる溶剤を用いることが好ましい。それにより、樹脂組成物におけるエポキシ樹脂の溶解性が高まって樹脂組成物の粘度が低下し、フィラーの分散性が向上して良好な薄膜のシート材を得ることができる。また、メチルエチルケトンの沸点は常圧で約８０℃と低いことから、乾燥時において樹脂の硬化がより進みにくくなり、可撓性が高いと共に成形性が高いシート材を得ることができる。
【００２４】
また、樹脂組成物中におけるフィラーの分散性を向上させるために、樹脂組成物に分散剤を添加することが好ましい。分散剤としては、エポキシシラン系、メルカプトシラン系、アミノシラン系、ビニルシラン系、スチリルシラン系、メタクリロキシシラン系、アクリロキシシラン系、チタネート系などのカップリング剤や、アルキルエーテル系、ソルビタンエステル系、アルキルポリエーテルアミン系、高分子系などの分散剤が例示できる。
【００２５】
さらに、樹脂組成物には、硬化促進剤やレベリング剤、安定化剤など、その他の成分を適宜配合することができる。
【００２６】
樹脂組成物は、上記の（Ａ）〜（Ｅ）の成分に、必要に応じて適宜の成分が添加されて構成されるものであるが、さらに樹脂組成物は、目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたもの、又は、アルミナを有機溶剤に分散して目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過されたアルミナ分散液を配合して調製されたものである。すなわち、熱伝導性エポキシ樹脂シート材の第一の態様は、樹脂組成物を目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過した後に、キャリア基材の上に塗布されたものである。また、熱伝導性エポキシ樹脂シート材の第二の態様は、アルミナを有機溶剤に分散して目開き７５μｍ以下のフィルターでろ過してアルミナ分散液を調製し、このアルミナ分散液を用いて樹脂組成物を調製し、この調製された樹脂組成物をキャリア基材の上に塗布されたものである。このとき有機溶剤としては（Ｅ）成分の溶剤を用いることができる。このように、フィルターでろ過する工程を経た樹脂組成物を用いることにより、フィラーが原因となって生じる不良を防ぐことが可能となって、スラリー状の樹脂組成物を塗布する際においてコーターヘッド部での液の詰まりなどが生じにくくなると共に、シート材の表面にスジムラなどの外観の乱れが生じにくくなり、厚みが薄く均一な膜を成膜することが可能となって薄膜状のシート材を得ることができるものである。なお、目開き７５μｍ以下のフィルターとしては２００メッシュ以上のフィルターを用いることができる。
【００２７】
キャリア材としては、フィルム材を用いることができ、具体的には、高分子フィルムあるいは金属フィルム等を用いることができる。高分子フィルムとしては、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル、ポリカーボネート、アセチルセルロース、テトラフルオロエチレン、ポリフェニレンサルファイド等を用いることができ、高分子フィルムの片面または両面に予め離型処理が施されたものを用いると、シートの剥離を容易にすることが可能となるので好ましい。また、金属フィルムとしては、銅箔、アルミニウム箔、ニッケル箔などの金属箔を用いることができる。キャリア材としては、価格、耐熱性などの観点から、ポリエステル、特にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用いることが好ましい。また、金属フィルムの場合は、銅箔を用いることが好ましい。キャリア材としては一般的な厚みである１０〜２００μｍのものを用いることができる。なお、離型処理は、例えば、オルガノポリシロキサン、変性オルガノポリシロキサン、フッ素系ポリマー等の高分子をキャリア材の表面にコートすることによって施すことができる。
【００２８】
熱伝導性エポキシ樹脂シート材は、上記の樹脂組成物が、キャリア材の表面において半硬化状態となって形成されているものである。半硬化状態とは、いわゆるＢステージ状態のことであり、樹脂組成物を加熱することにより、エポキシ樹脂の硬化反応を一部行わせた状態である。したがって、熱伝導性エポキシ樹脂シート材は、従来のプリプレグと同様に、積層成形の加熱加圧によって一旦溶融した後に硬化する性質を備えているものである。
【００２９】
熱伝導性エポキシ樹脂シート材においては、乾燥後に残存する溶剤の量が、シート層（樹脂組成物が乾燥されて形成される層）の全量に対して、３重量％未満（下限は０重量％）であることが好ましい。乾燥後の溶剤量が３重量％以上になると、成形時にボイドの発生が生じやすくなる。
【００３０】
熱伝導性エポキシ樹脂シート材におけるシート厚（シート層の厚み）は、１５〜５０μｍである。シート厚が１５μｍより薄いと、絶縁破壊電圧が低下することから十分な絶縁性を確保することができない。一方、シート厚が５０μｍ以上になると、絶縁性は向上するものの厚みの増加により熱抵抗が上昇することから放熱性が低下してしまう。したがって、シート厚を上記の範囲にすることにより、絶縁性と放熱性を両立させることが可能になるものである。さらに、シート厚は、１５〜３０μｍであることが好ましい。それにより、熱抵抗をさらに低減することができ、熱伝導性がよく放熱性の高いシート材を得ることができる。
【００３１】
次に、本発明の熱伝導性エポキシ樹脂シート材の製造について説明する。
【００３２】
まず、（Ａ）エポキシ樹脂、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）表面処理剤、及び必要に応じて分散剤、硬化促進剤などを（Ｅ）溶剤に溶解・分散させることによって、樹脂組成物としてスラリー状のワニスを調製する。その際、第一の態様では、樹脂組成物を目開き７５μｍ以下（２００メッシュ以上）のフィルターでろ過する。また、第二の態様では、（Ｃ）フィラーであるアルミナを（Ｅ）溶媒の一部（又は全部）に分散させてアルミナの分散液を調製し、この分散液を目開き７５μｍ以下（２００メッシュ以上）のフィルターでろ過し、このろ過したアルミナ分散液に他の成分を加えて樹脂組成物を調製する。また、第一及び第二のどちらの態様においても、好ましくは、樹脂組成物を混合する前に、（Ｃ）フィラーと（Ｄ）表面処理剤とをあらかじめ混合しておく。
【００３３】
次に、このスラリー状のワニスをキャリア材の表面に塗布する。塗布は、バーコーターやコンマコーターなどのコーターで行うことができる。そして、この塗布された樹脂組成物を熱風吹き付け等により加熱することによって半硬化状態になるまで乾燥させる。このようにして、熱伝導性エポキシ樹脂シート材を得ることができるものである。
【００３４】
本発明に係る熱伝導性エポキシ樹脂シート材では、従来のプリント回路基板に用いられているガラスクロス等の基材を含まず、この基材の代わりにフィラー（無機充填材）のみが用いられており、それにより信頼性の向上を図ると共に、可撓性を確保し、樹脂流動性を低くすることができるものである。また、２枚の熱伝導性エポキシ樹脂シート材をシート層が重なるようにシート同士で貼り合せた後に、片面のキャリア材を剥離すればシート層が２枚分の厚みになった熱伝導性エポキシ樹脂シート材を得ることができる。このとき、キャリア材の表面に離型処理が施されているものを用いることで、より容易に剥離することができる。また、そのように形成された熱伝導性エポキシ樹脂シート材のシート層と、他の熱伝導性エポキシ樹脂シート材のシート層とを重ねてシート同士で貼り合せれば、さらにシート層が複数枚分の厚みになった熱伝導性エポキシ樹脂シート材を得ることができる。このように、熱伝導性エポキシ樹脂シート材を重ねた後キャリア材を剥がすことにより、シート層の厚みを調製することができることから、あらかじめ複数枚分のシート層を形成してラミネートすることが可能である。これにより、仮に１枚の熱伝導性エポキシ樹指シートの一部分に欠陥が存在していたとしても、２枚以上重ねることによりボイドなどの欠陥の確率を著しく低下させ、絶縁不良の防止を図ることができるものである。
【００３５】
上記のような熱伝導性エポキシ樹脂シート材を硬化させることにより、成形品を得ることができる。成形については、プレス成形やラミネータなどにより行うことができる。プレス成形では、例えば、プレス圧力０．５〜１０ＭＰａ、温度１００〜２００℃、時間１０〜２４０分の条件で加熱して硬化させることができる。成形品の具体例としては、金属基板やメタルコア基板などを挙げることができる。また、ラミネータ成形では、例えば、０．１〜１．５ＭＰａ、温度６０〜１５０℃の条件で圧着させた後、キャリア材を取り除き、乾燥機などのオーブンで温度１００〜２００℃、時間１０〜２４０分の条件で加熱することにより硬化させることができる。
【実施例】
【００３６】
以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。
【００３７】
［樹脂組成物の成分］
（Ａ）成分として
・ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量１８８、液状）、ＤＩＣ社製「エピクロン８５０Ｓ」）
・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（エポキシ当量２１０、軟化点７０℃、ＤＩＣ社製「Ｎ６６５」）
・ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂（エポキシ当量２７５、軟化点６０℃、日本化薬社製「ＮＣ３０００」）
の各エポキシ樹脂を用いた。
【００３８】
（Ｂ）成分として
・ジシアンジアミド（当量２１、結晶（軟化点なし）、日本カーバイド社製）
・フェノールノボラックＡ（フェノール当量１０６、軟化点９２℃、明和化成工業社製「ＤＬ９２」）
・フェノールノボラックＢ（フェノール当量１０６、軟化点７５℃、明和化成工業社製「ＤＬ７５」）
の各硬化剤を用いた。
【００３９】
（Ｃ）成分として
・アルミナ１（電気化学工業社製「ＡＳＦＰ−２０」、平均粒径０．２μｍ、最大粒径（粒子数９９％の範囲内で最も大きい粒径）２μｍ）
・アルミナ２（アドマテックス社製「ＡＯ８０２」平均粒径０．７μｍ、最大粒径（粒子数９９％の範囲内で最も大きい粒径）５μｍ）
・アルミナ３（電気化学工業社製「ＤＡＷ０５」平均粒径５μｍ、最大粒径（粒子数９９％の範囲内で最も大きい粒径）３０μｍ）
・アルミナ４（電気化学工業社製「ＤＡＷ４５」平均粒径４５μｍ、最大粒径（粒子数９９％の範囲内で最も大きい粒径）１００μｍ）
の各フィラーを用いた。
【００４０】
（Ｄ）成分として、カップリング剤であるγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを表面処理剤として用いた。
【００４１】
（Ｅ）成分として、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）を溶剤として用いた。
【００４２】
また、硬化促進剤として、２−エチル−４−メチルイミダゾール（四国化成工業社製「２Ｅ４ＭＺ」）を用いた。また、レベリング剤としてＤＩＣ株式会社製「メガファック」を用いた。
【００４３】
［樹脂組成物の調製］
（調製法１）
まず、（Ｃ）成分のフィラーと（Ｄ）成分の表面処理剤とを直接法でカップリング剤原液を所定量噴霧して処理を行った。その後、反応を促進させる為に９０℃で１時間熱処理を実施したのち室温で１日保管してカップリング剤処理フィラーを作製した。次にこの混合物に、（Ａ）成分のエポキシ樹脂、（Ｂ）成分の硬化剤、及び硬化促進剤、（Ｅ）成分の溶剤の一部を加えて、プラネタリーミキサーにて混練した。その後、（Ｅ）成分の溶剤の残りとレベリング剤を加えて希釈し、粘度を約１０００ｍＰａｓに調整した。この混合物を目開き７５μｍ（２００メッシュ）のフィルターでろ過し、樹脂組成物としてスラリー状ワニスを得た。なお、アルミナ４を用いたものについては、目開き７５μｍ（２００メッシュ）のフィルターでろ過するとフィルターの詰まりが発生したことから目開き約１５０μｍ（１００メッシュ）のフィルターを用いた。
【００４４】
（調製法２）
まず、（Ｃ）成分のフィラーと（Ｄ）成分の表面処理剤とを直接法でカップリング剤原液を所定量噴霧して処理を行った。その後、反応を促進させる為に９０℃で１時間熱処理を実施したのち室温で1日保管してカップリング剤処理フィラーを作製した。これに（Ｅ）成分の溶剤の一部を加えてアルミナの分散液を得て、そして、この分散液を目開き７５μｍ（２００メッシュ）のフィルターでろ過し、アルミナ分散液を得た。このアルミナ分散液に、（Ａ）成分のエポキシ樹脂、（Ｂ）成分の硬化剤、及び硬化促進剤を混合し、プラネタリーミキサーにて混練した。その後、（Ｅ）成分の溶剤の残りとレベリング剤を加えて希釈し、粘度を約１０００ｍＰａｓに調整した。
【００４５】
（調製法３）
まず、（Ｃ）成分のフィラーと（Ｄ）成分の表面処理剤とを直接法でカップリング剤原液を所定量噴霧して処理を行った。その後、反応を促進させる為に９０℃で１時間熱処理を実施したのち室温で１日保管してカップリング剤処理フィラーを作製した。次にこの混合物に、（Ａ）成分のエポキシ樹脂、（Ｂ）成分の硬化剤、及び硬化促進剤、（Ｅ）成分の溶剤の一部を加えて、プラネタリーミキサーにて混練した。その後、（Ｅ）成分の溶剤の残りとレベリング剤を加えて希釈し、粘度を約１０００ｍＰａｓに調整した。
【００４６】
［シート材の作製］
厚み５０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製フィルムからなるキャリア材の表面に、樹脂組成物（ワニス）をコンマコーターにて塗布した。なお、キャリア材としては、あらかじめ表面にオルガノポリシロキサンで離型処理が施されているものを用いた。その後、樹脂組成物が塗布されたキャリア材を９０℃で数分間または１４０℃で数分間、加熱乾燥することにより、キャリア材の表面に、厚み１５〜２００μｍ（ａ：１５、ｂ：３０、ｃ：５０、ｄ：２００μｍの４種類）で、半硬化状態（Ｂステージ状態）の樹脂組成物からなる、表１の各シート材を得た。
【００４７】
各実施例、参考例及び比較例における上記成分の配合量や調製法については、表１に示す通りである。
【００４８】
［評価］
各実施例、参考例及び比較例について、以下の評価を実施した。
【００４９】
（外観状態）
各シート材を目視で観察することにより外観の評価を実施した。評価基準は、
○：  スジムラが発生していない
△：  スジムラがわずかに発生している
×：  スジムラが多発している
で行った。
【００５０】
（熱伝導率）
５０μｍのシート材を２０枚用い、シート層を貼り合せて片面のキャリア材を剥離するという作業を繰り返し、計２０枚分のシート層が重なったシート材を作製した。このシート材をラミネートした後、真空プレス機を用いて１７０℃、２時間の条件で硬化を行い、キャリア材を剥離して、１ｍｍ厚のシート成形品を作製した。
【００５１】
このシート成型品（測定サンプル）と、標準試料であるパイレックスガラス（パイレックス７７４０、λ＝１．１０Ｗ／ｍＫ）の１ｍｍ厚成形品との温度差を比較する方法（定常状態平行平板比較法）で熱伝導率を測定した（パイレックスは登録商標）。温度差としては３０℃と６０℃に設定し、標準試料及び測定サンプルにおける両面の各温度を測定することにより、温度差を計測して熱伝導率を算出した。
【００５２】
（結果）
結果を表１に示す。
【００５３】
【表１】
2010229269.tif 000002
実施例１、２、及び比較例１〜３、並びに実施例１及び２と同じ組成の樹脂組成物を用いた２００μｍ厚のシート材（参考例１、２）は、アルミナの含有量が樹脂組成物の固形分全量に対して７９重量％である例である。実施例１及び２、参考例１及び２のシート材（１５〜２００μｍの厚み）においては、いずれの厚みでも良好な外観状態が得られた。一方、樹脂組成物が実施例１と同様の組成で、ろ過を行わなかった比較例１では、５０μｍ以下の厚みの範囲でスジムラが多発し外観が不十分であった。また、ろ過を行ったものであっても、平均粒径５μｍのアルミナを用いた比較例２では１５、３０μｍの厚みでスジムラが多発して外観が不十分であった。さらに、平均粒径４５μｍのアルミナを用いた比較例３では５０μｍ以下の厚みでスジムラが多発して外観が不十分であり、事実上シートを形成することはできなかった。
【００５４】
実施例３、４、及び比較例４、並びに実施例３及び４と同じ組成の樹脂組成物を用いた２００μｍ厚のシート材（参考例３、４）は、アルミナの含有量が樹脂組成物の固形分全量に対して８５重量％である例であるが、この場合も、上記７９重量％の場合と同様の傾向が見られ、平均粒径５μｍのアルミナを用いた比較例４では５０μｍ以下の厚みでスジムラが多発して外観が不十分であり、事実上シートを形成することはできなかった。
【００５５】
比較例５〜８は、アルミナの含有量が樹脂組成物の固形分全量に対して８９又は９２重量％である例である。これらのものにおいては、１５〜５０μｍの厚みで良好な外観を得られたものはなかった。
【００５６】
また、実施例１よりもアルミナの含有量の低い実施例５や、実施例１とは溶剤や乾燥条件を変更した実施例６においても、良好な外観が得られた。
【００５７】
熱伝導率については、実施例１〜６のいずれのものも良好な結果が得られた。なお、それぞれのシート材自体については、シート厚が薄くなるほど熱伝導率が高くなるものである。