(57)【要約】【課題】近接する一対の端子間に金属の異物が挟まることに起因した測定誤差の発生を確実に回避可能とする。【解決手段】測定対象体１４の電極１４ａに接触させる電流供給端子２および電圧検出端子３と、測定対象体１４の電極１４ｂに接触させる電流供給端子４および電圧検出端子５とを備え、各電流供給端子２，４を介して測定対象体１４に第１電流Ｉ１を供給した際に測定対象体１４の各電極１４ａ，１４ｂ間に生じる第１電圧Ｖ１の電圧値Ｖ１ｖと第１電流Ｉ１の電流値とに基づいて測定対象体１４のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定装置１であって、電極１４ａと非接触な状態における電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態を検出する第１接触検出部９と、電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態を検出する第２接触検出部１０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象体の一方の電極に接触させる一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子と、前記測定対象体の他方の電極に接触させる他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子とを備え、前記各電流供給端子を介して前記測定対象体に第１電流を供給した際に当該測定対象体の前記一方の電極および前記他方の電極間に生じる第１電圧の電圧値と前記第１電流の電流値とに基づいて前記測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、
前記一方の電極と非接触な状態における前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子間の接触状態を検出する第１接触検出部と、
前記他方の電極と非接触な状態における前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子間の接触状態を検出する第２接触検出部とを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項２】
前記第１接触検出部は、前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子の前記一方の電極との接触状態を検出し、
前記第２接触検出部は、前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子の前記他方の電極との接触状態を検出する請求項１記載のインピーダンス測定装置。
【請求項３】
出力部と処理部とを備え、
前記処理部は、前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子間の接触状態についての前記第１接触検出部による検出結果、並びに前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子間の接触状態についての前記第２接触検出部による検出結果を前記出力部に出力する請求項１または２記載のインピーダンス測定装置。
【請求項４】
前記各電流供給端子を介して前記測定対象体に前記第１電流を供給する第１電流供給部、および前記第１電圧の電圧値を測定する第１電圧測定部を備え、
前記第１接触検出部は、前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子間に第２電流を供給可能な第２電流供給部、並びに当該一方の電流供給端子および当該一方の電圧検出端子間の第２電圧を測定する第２電圧測定部を備え、
前記第２接触検出部は、前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子間に第３電流を供給可能な第３電流供給部、並びに当該他方の電流供給端子および当該他方の電圧検出端子間の第３電圧を測定する第３電圧測定部を備えている請求項１から３のいずれかに記載のインピーダンス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の電流供給端子および一対の電圧検出端子を備え、測定対象体のインピーダンスを四端子法を用いて測定する４線式のインピーダンス測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のインピーダンス測定装置として、出願人は、下記の特許文献１に開示されているインピーダンス測定装置を提案している。このインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子（一対の電流供給端子）を介して測定対象体（被測定試料）に交流の測定信号（電流）を供給する測定用信号源（電流供給部）と、測定信号により測定対象体に生じる電圧をＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子（一対の電圧検出端子）を介して測定する測定部（電圧測定部）とを備えているインピーダンス測定装置であって、測定対象体に対するＨｉ側の電流供給端子およびＨｉ側の電圧検出端子の接続状態を検出する第１断線検出手段と、測定対象体に対するＬｏ側の電流供給端子およびＬｏ側の電圧検出端子の接続状態を検出する第２断線検出手段とを含み、第１断線検出手段は、Ｈｉ側の電流供給端子およびＨｉ側の電圧検出端子を含むＨｉ側電流路に直流定電流を供給する第１直流定電流源と、第１直流定電流源の振幅と所定の第１基準電圧とを比較して判定信号を出力する第１比較器とを備え、第２断線検出手段は、Ｌｏ側の電流供給端子およびＬｏ側の電圧検出端子を含むＬｏ側電流路に直流定電流を供給する第２直流定電流源と、第２直流定電流源の振幅と所定の第２基準電圧とを比較して判定信号を出力する第２比較器とを備えている。この構成により、このインピーダンス測定装置では、第１断線検出手段および第２断線検出手段が、測定対象体のインピーダンス測定中においても断線検出を行うことが可能となっている。また、第１および第２基準電圧を可変とすることにより、コンタクトチェックレベル（接触抵抗の判定基準レベル）を任意に設定可能となっている。
【特許文献１】特開２００６−３２２８２１号公報（第５−８頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記のインピーダンス測定装置には、以下の解決すべき課題がある。すなわち、この種のインピーダンス測定装置では、図３に示すＨｉ側の電流供給端子２およびＨｉ側の電圧検出端子３を近接した状態で一体的に駆動し、かつＬｏ側の電流供給端子４およびＬｏ側の電圧検出端子５を近接した状態で一体的に駆動して、Ｈｉ側の一対の端子２，３およびＬｏ側の一対の端子４，５を測定対象体（ＤＵＴ）１４の対応する電極１４ａ，１４ｂに対してほぼ同時に接離させる構成を一般的に採用しているが、四端子法による測定の精度の向上という観点から、Ｈｉ側の一対の端子２，３の間隔およびＬｏ側の一対の端子４，５の間隔を可能な限り狭めている。
【０００４】
しかしながら、このインピーダンス測定装置には、間隔が大幅に狭められたことに起因して、Ｈｉ側の一対の端子２，３（近接する一対の端子）間や、Ｌｏ側の一対の端子４，５（近接する他の一対の端子）間に金属の異物（例えばハンダくずなど）が挟まり易いという傾向があり、例えば、図３に示すように、Ｌｏ側の一対の端子４，５間に金属の異物７１が挟まった（詰まった）場合には、図４に示すように、電流供給部６１から供給される電流Ｉの本来の経路Ａ（電流供給部６１から、Ｈｉ側の電流供給端子２、測定対象体１４およびＬｏ側の電流供給端子４を経由して電流供給部６１に戻る経路）以外に、異物７１を経由する経路Ｂ（電流供給部６１から、Ｈｉ側の電流供給端子２、測定対象体１４、Ｌｏ側の電圧検出端子５、異物７１およびＬｏ側の電流供給端子４を経由して電流供給部６１に戻る経路）が存在することになるため、各端子２，３，４，５と測定対象体１４のとの間での接触抵抗のうちのＬｏ側の電圧検出端子５と測定対象体１４との間での接触抵抗Ｒｃ、および異物７１のインピーダンスに起因して、各電圧検出端子３，５を介して電圧測定部６２で測定される電圧値に誤差が生じ、その結果として、電流供給部６１から供給される電流の電流値および電圧測定部６２で測定された電圧値に基づいて算出（測定）される測定対象体１４のインピーダンスに測定誤差が発生するという課題が存在している。
【０００５】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、近接する一対の端子間に金属の異物が挟まることに起因した測定誤差の発生を確実に回避し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、測定対象体の一方の電極に接触させる一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子と、前記測定対象体の他方の電極に接触させる他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子とを備え、前記各電流供給端子を介して前記測定対象体に第１電流を供給した際に当該測定対象体の前記一方の電極および前記他方の電極間に生じる第１電圧の電圧値と前記第１電流の電流値とに基づいて前記測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、前記一方の電極と非接触な状態における前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子間の接触状態を検出する第１接触検出部と、前記他方の電極と非接触な状態における前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子間の接触状態を検出する第２接触検出部とを備えている。
【０００７】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置は、請求項１記載のインピーダンス測定装置において、前記第１接触検出部は、前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子の前記一方の電極との接触状態を検出し、前記第２接触検出部は、前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子の前記他方の電極との接触状態を検出する。
【０００８】
また、請求項３記載のインピーダンス測定装置は、請求項１または２記載のインピーダンス測定装置において、出力部と処理部とを備え、前記処理部は、前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子間の接触状態についての前記第１接触検出部による検出結果、並びに前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子間の接触状態についての前記第２接触検出部による検出結果を前記出力部に出力する。
【０００９】
また、請求項４記載のインピーダンス測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載のインピーダンス測定装置において、前記各電流供給端子を介して前記測定対象体に前記第１電流を供給する第１電流供給部、および前記第１電圧の電圧値を測定する第１電圧測定部を備え、前記第１接触検出部は、前記一方の電流供給端子および前記一方の電圧検出端子間に第２電流を供給可能な第２電流供給部、並びに当該一方の電流供給端子および当該一方の電圧検出端子間の第２電圧を測定する第２電圧測定部を備え、前記第２接触検出部は、前記他方の電流供給端子および前記他方の電圧検出端子間に第３電流を供給可能な第３電流供給部、並びに当該他方の電流供給端子および当該他方の電圧検出端子間の第３電圧を測定する第３電圧測定部を備えている。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載のインピーダンス測定装置によれば、第１接触検出部が、測定対象体の一方の電極と非接触な状態における一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間の接触状態を検出し、第２接触検出部が、測定対象体の他方の電極と非接触な状態における他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間の接触状態を検出することにより、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間に金属製の異物が挟まっているか否かを確実に検出することができ、これにより、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間に金属製の異物が挟まった状態での測定対象体のインピーダンスの測定を確実に回避することができる結果、金属製の異物の存在に起因したインピーダンスについての測定誤差の発生を確実に回避することができる。
【００１１】
請求項２記載のインピーダンス測定装置によれば、第１接触検出部が、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子についての測定対象体の一方の電極との接触状態を検出し、第２接触検出部が、他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子についての他方の電極との接触状態を検出することにより、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子が一方の電極に確実に接触しているか否か、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子が他方の電極に確実に接触しているか否かを確実に検出することができる。したがって、常に、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間の接触状態が良好で、かつ一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子と一方の電極との接触状態、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子と他方の電極との接続状態が良好である状態において、測定対象体のインピーダンスを測定することができるため、測定誤差の発生する状態でのインピーダンス測定を一層確実に回避することができる。
【００１２】
請求項３記載のインピーダンス測定装置によれば、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間の接触状態についての検出結果、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間の接触状態についての検出結果を処理部が出力部に出力することにより、インピーダンス測定装置の使用者が、出力部に出力される検出結果に基づいて、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間の接触状態、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間の接触状態を確実に認識することができる。したがって、例えば、接触状態が不良の状態のときには、インピーダンスの測定を強制的に停止させたり、再測定をさせるなどの措置をとることができる。
【００１３】
請求項４記載のインピーダンス測定装置によれば、各電流供給端子を介して測定対象体に第１電流を供給する第１電流供給部、並びに測定対象体の各電極間に生じる第１電圧の電圧値を測定する第１電圧測定部を備え、第１接触検出部が、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間に第２電流を供給可能な第２電流供給部、並びに一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子間の第２電圧を測定する第２電圧測定部を備えると共に、第２接触検出部が、他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間に第３電流を供給可能な第３電流供給部、並びに他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子間の第３電圧を測定する第３電圧測定部を備えたことにより、ほぼ同等の回路構成の電流供給部および電圧測定部を３系統設けることで装置を構成できるため、回路設計に要するコストを大幅に削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係るインピーダンス測定装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１５】
最初に、インピーダンス測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１６】
インピーダンス測定装置１は、図１に示すように、第１電流供給端子２、第１電圧検出端子３、第２電流供給端子４、第２電圧検出端子５、駆動部６、第１電流供給部７、第１電圧測定部８、第１接触検出部９、第２接触検出部１０、処理部１１、記憶部１２および出力部１３を備え、四端子法によるインピーダンスの測定が可能な４線式インピーダンス装置として構成されて、搬送機構４０によって所定時間間隔で検査位置Ｘに搬送される測定対象体（ＤＵＴ）１４のインピーダンスＺを測定する。
【００１７】
第１の電流供給端子（本発明における一方の電流供給端子）２は、第１の電流供給部７の一方の出力端子（図示せず）に接続され、第２の電流供給端子（本発明における他方の電流供給端子）４は、第１電流供給部７の他方の出力端子（図示せず）に接続されている。第１の電圧検出端子（本発明における一方の電圧検出端子）３は、第１電圧測定部８の一方の入力端子（図示せず）に接続され、第２の電圧検出端子（本発明における他方の電圧検出端子）５は、第１電圧測定部８の他方の入力端子（図示せず）に接続されている。また、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３は、互いに近接した状態で配置されている。また、他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５も互いに近接した状態で配置されている。
【００１８】
駆動部６は、後述する搬送制御部４３によって制御されて、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５を検査位置Ｘに位置している測定対象体１４に対して接離させる。この場合、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３は、駆動部６によって測定対象体１４側に一体的に移動させられることにより、測定対象体１４の一方の電極１４ａに同時に接触させられる。同様にして、他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５も、駆動部６によって測定対象体１４側に一体的に移動させられることにより、測定対象体１４の他方の電極１４ｂに同時に、かつ各端子２，３と同じタイミングで接触させられる。
【００１９】
第１電流供給部７は、一例として定電流源で構成されて、予め決められた電流値Ｉ１ｖの定電流（本発明における第１電流）Ｉ１を一対の出力端子間に出力する。第１電圧測定部８は、一対の入力端子間の電圧（本発明における第１電圧）Ｖ１を測定してその電圧値Ｖ１ｖを出力する。
【００２０】
第１接触検出部９は、第２電流供給部２１、第１スイッチ２２および第２電圧測定部２３を備え、本例では処理部１１と共に本発明における第１接触検出部を構成する。第２電流供給部２１は、第１スイッチ２２と直列に接続されて、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間に配設（接続）されている。また、第２電流供給部２１は、電流（本発明における第２電流）Ｉ２を出力すると共に、電流Ｉ２の電流値Ｉ２ｖをリアルタイムで出力する。第１スイッチ２２は、処理部１１から出力される制御信号Ｓ１によってオン・オフ状態が切替制御される。したがって、第１スイッチ２２がオン状態に切り替えられているときには、第２電流供給部２１から一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間への電流Ｉ２の出力が可能な状態となる。第２電圧測定部２３は、その各入力端子に一対の電流供給端子２および電圧検出端子３が接続されて、これら端子２，３間の電圧（本発明における第２電圧）Ｖ２を測定してその電圧値Ｖ２ｖを出力する。
【００２１】
第２接触検出部１０は、第３電流供給部３１、第２スイッチ３２および第３電圧測定部３３を備え、本例では処理部１１と共に本発明における第２接触検出部を構成する。第３電流供給部３１は、第２スイッチ３２と直列に接続されて、一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間に配設（接続）されている。また、第３電流供給部３１は、電流（本発明における第３電流）Ｉ３を出力すると共に、電流Ｉ３の電流値Ｉ３ｖをリアルタイムで出力する。第２スイッチ３２は、処理部１１から出力される制御信号Ｓ２によってオン・オフ状態が切替制御される。したがって、第２スイッチ３２がオン状態に切り替えられているときには、第３電流供給部３１から一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間への電流Ｉ３の出力が可能な状態となる。第３電圧測定部３３は、その各入力端子に一対の電流供給端子４および電圧検出端子５が接続されて、これら端子４，５間の電圧（本発明における第３電圧）Ｖ３を測定してその電圧値Ｖ３ｖを出力する。
【００２２】
処理部１１は、一例としてＣＰＵで構成されて、記憶部１２に記憶されている動作プログラムに従って動作して、接触検出処理（端子間接触検出処理および測定対象体間接触検出処理）、インピーダンス算出処理および報知処理の各処理を含むインピーダンス測定処理５０を実行する。記憶部１２は、一例としてＲＯＭおよびＲＡＭなどの半導体メモリで構成されて、処理部１１のための動作プログラム、端子間接触検出処理で使用される第１しきい値Ｒｔｈ１、および測定対象体間接触検出処理で使用される第２しきい値Ｒｔｈ２が予め記憶されている。この場合、第１しきい値Ｒｔｈ１は、端子間接触検出処理において後述するように処理部１１で算出される一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値に基づき、各端子２，３間および各端子４，５間が良好な状態（オープン状態（非接触状態））にあるか否かを判別するための基準となる抵抗値である。この良好な状態での各端子２，３間および各端子４，５間の抵抗値が無限大または非常に大きな値となる。このため、第１しきい値Ｒｔｈ１として数百Ω以上のある程度大きな抵抗値が記憶されている。一方、第２しきい値Ｒｔｈ２は、測定対象体間接触検出処理において後述するように処理部１１で算出される一対の電流供給端子２および電圧検出端子３と、測定対象体１４の電極１４ａとの間の接触抵抗値、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５と、測定対象体１４の電極１４ｂとの間の接触抵抗値に基づき、各端子２，３と測定対象体１４とが良好な状態（短絡に近い状態）にあるか否か、および各端子４，５間と測定対象体１４とが良好な状態（短絡に近い状態）にあるか否かを判別するための基準となる抵抗値である。この良好な状態での抵抗値は、接触抵抗を考慮しても数Ω以下の非常に小さな値となる。このため、第２しきい値Ｒｔｈ２として、数十Ω程度のある程度小さな抵抗値が記憶されている。出力部１３は、本例では一例としてディスプレイ装置で構成されて、インピーダンス測定処理で測定されたインピーダンスＺ、および報知処理での報知内容が画面に表示される。
【００２３】
次に、搬送機構４０の構成について説明する。
【００２４】
搬送機構４０は、一例として、図１に示すように、コンベア４１、モータ４２および搬送制御部４３を備え、コンベア４１上に不図示の搬入機構によって搬入されて、コンベア４１上に並べられた測定対象体１４を間欠的に搬送することにより、所定時間間隔で検査位置Ｘに測定対象体１４を搬入する。具体的には、搬送制御部４３が、コンベア４１を駆動するモータ４２に対して、間欠的に作動させる制御を実行することにより、コンベア４１上の測定対象体１４を検査位置Ｘに搬入して一定時間Ｔ１だけ停止させ、この一定時間Ｔ１が経過した時点でこの測定対象体１４を検査位置Ｘから搬出すると共に、次の測定対象体１４を検査位置Ｘに搬入する。また、搬送制御部４３は、測定対象体１４の検査位置Ｘへの搬入が完了するタイミングに同期して、トリガ信号Ｓ３をインピーダンス測定装置１の処理部１１に出力する。また、搬送制御部４３は、トリガ信号Ｓ３の処理部１１への出力から一定時間Ｔ２（＜Ｔ１）を経過した時点で、駆動部６を制御して、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５を検査位置Ｘに位置している測定対象体１４に接触させると共に、測定対象体１４の検査位置Ｘへの搬入から一定時間Ｔ１が経過した時点で、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５を測定対象体１４から離反させる。
【００２５】
続いて、インピーダンス測定装置１による測定対象体１４についてのインピーダンスＺの測定動作について、図２を参照して説明する。なお、第１の電流供給端子２、第１の電圧検出端子３、第２の電流供給端子４および第２の電圧検出端子５は、搬送制御部４３によって制御された駆動部６により、検査位置Ｘから離反させられて、待機位置（図１において実線で示す位置）に予め移動させられているものとする。
【００２６】
搬送機構４０が作動している状態において、インピーダンス測定装置１では、第１電流供給部７、第２電流供給部２１および第３電流供給部３１が動作を開始して、定電流Ｉ１、電流Ｉ２および電流Ｉ３の出力をそれぞれ開始する。また、第２電流供給部２１および第３電流供給部３１は、それぞれの現在の電流値Ｉ２ｖ，Ｉ３ｖの処理部１１への出力も開始する。第１電圧測定部８、第２電圧測定部２３および第３電圧測定部３３は、それぞれの入力端子に入力される各電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３の電圧値Ｖ１ｖ，Ｖ２ｖ，Ｖ３ｖの測定を開始すると共に、測定した電圧値Ｖ１ｖ，Ｖ２ｖ，Ｖ３ｖの出力を開始する。また、処理部１１がインピーダンス測定処理５０を実行する。
【００２７】
このインピーダンス測定処理５０では、処理部１１は、まず、トリガ信号Ｓ３の入力を繰り返し検出しつつ（ステップ５１）、トリガ信号Ｓ３の入力を検出したとき（つまり、測定対象体１４が検査位置Ｘに搬入されたとき）には、接触検出処理を実行する（ステップ５２〜ステップ５５）。なお、処理部１１は、この接触検出処理と、インピーダンス算出処理および報知処理のうちの一方の処理とを、一定時間Ｔ１内に実行する。
【００２８】
この接触検出処理では、処理部１１は、まず、トリガ信号Ｓ３の入力を検出してから一定時間Ｔ２が経過するまでの間に（つまり、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５が測定対象体１４から離反しているときに）、端子間接触検出処理を実行する（ステップ５２）。この端子間接触処理では、処理部１１は、制御信号Ｓ１を第１接触検出部９の第１スイッチ２２に出力すると共に、制御信号Ｓ２を第２接触検出部１０の第２スイッチ３２に出力することにより、第１スイッチ２２および第２スイッチ３２をオフ状態からオン状態に切り替える。これにより、第２電流供給部２１による電流供給端子２および電圧検出端子３間への電流Ｉ２の出力が可能な状態となると共に、第３電流供給部３１による電流供給端子４および電圧検出端子５間への電流Ｉ３の出力が可能な状態となる。
【００２９】
次いで、処理部１１は、第２電流供給部２１から出力される電流値Ｉ２ｖおよび第２電圧測定部２３から出力される電圧値Ｖ２ｖに基づいて一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値Ｒ１を算出すると共に、記憶部１２から読み出した第１しきい値Ｒｔｈ１と比較することにより、電流供給端子２および電圧検出端子３についての接触状態（端子間接触状態）を検出する。
【００３０】
この場合、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間に金属製の異物７１が挟まっていないとき、つまり、電流供給端子２および電圧検出端子３が良好な状態のときには、第２電流供給部２１を含む閉ループが形成されないため、第２電流供給部２１からは電流Ｉ２がほとんど出力されない。これにより、電流Ｉ２の電流値Ｉ２ｖはほぼゼロに近い、極めて小さい値となる。したがって、電流値Ｉ２ｖおよび電圧値Ｖ２ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値Ｒ１は極めて大きな値（第１しきい値Ｒｔｈ１以上の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子２および電圧検出端子３間が良好な状態（離間状態）にあることを検出する。
【００３１】
一方、電流供給端子２および電圧検出端子３間に金属製の異物７１が挟まっているとき、つまり、電流供給端子２および電圧検出端子３が不良な状態のときには、異物７１を介して第２電流供給部２１を含む閉ループが形成されるため、第２電流供給部２１から電流Ｉ２が出力される。これにより、電流Ｉ２の電流値Ｉ２ｖは、先に説明した良好な状態（ほぼゼロとなる状態）と比べて大きな値となる。したがって、電流値Ｉ２ｖおよび電圧値Ｖ２ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値Ｒ１は小さな値（第１しきい値Ｒｔｈ１未満の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子２および電圧検出端子３間が不良な状態（接触状態）にあることを検出する。
【００３２】
また、処理部１１は、第３電流供給部３１から出力される電流値Ｉ３ｖおよび第３電圧測定部３３から出力される電圧値Ｖ３ｖに基づいて他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値Ｒ２を算出すると共に、第１しきい値Ｒｔｈ１と比較することにより、電流供給端子４および電圧検出端子５についての接触状態（端子間接触状態）を検査する。
【００３３】
この場合、一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間に異物７１が挟まっていないとき、つまり、電流供給端子４および電圧検出端子５が良好な状態のときには、第３電流供給部３１を含む閉ループが形成されないため、第３電流供給部３１からは電流Ｉ３がほとんど出力されない。これにより、電流Ｉ３の電流値Ｉ３ｖはほぼゼロに近い、極めて小さい値となる。したがって、電流値Ｉ３ｖおよび電圧値Ｖ３ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値Ｒ２は極めて大きな値（第１しきい値Ｒｔｈ１以上の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子４および電圧検出端子５間が良好な状態（離間状態）にあることを検出する。
【００３４】
一方、電流供給端子４および電圧検出端子５間に異物７１が挟まっているとき、つまり、電流供給端子４および電圧検出端子５が不良な状態のときには、異物７１を介して第３電流供給部３１を含む閉ループが形成されるため、第３電流供給部３１から電流Ｉ３が出力される。これにより、電流Ｉ３の電流値Ｉ３ｖは、良好な状態（ほぼゼロとなる状態）と比べて大きな値となる。したがって、電流値Ｉ３ｖおよび電圧値Ｖ３ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値Ｒ２は小さな値（第１しきい値Ｒｔｈ１未満の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子４および電圧検出端子５間が不良な状態（接触状態）にあることを検出する。最後に、処理部１１は、端子間接触検出処理での検出結果を記憶部１２に記憶させる。これにより、端子間接触検出処理が完了する。
【００３５】
続いて、処理部１１は、端子間接触検出処理での検出結果に基づき、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５が離間状態にあるか接触状態にあるかを判別し（ステップ５３）、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５の少なくとも一方が不良な状態（異物７１が挟まった状態（接触状態））のときには報知処理を実行して（ステップ５７）、その旨を報知内容として出力部１３に出力し、インピーダンス測定処理５０を終了させる。一方、処理部１１は、ステップ５３において、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５が良好な状態（離間状態）であると判別したときには、トリガ信号Ｓ３の入力を検出してから一定時間Ｔ２が経過するのを待って、つまり、図１において破線で示すように、駆動部６により、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５が測定対象体１４に接触させられるのを待って、次の測定対象体間接触検出処理を実行する（ステップ５４）。
【００３６】
この測定対象体間接触検出処理では、処理部１１は、第２電流供給部２１から出力される電流値Ｉ２ｖおよび第２電圧測定部２３から出力される電圧値Ｖ２ｖに基づいて一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値Ｒ１を算出すると共に、記憶部１２から読み出した第２しきい値Ｒｔｈ２と比較することにより、電流供給端子２および電圧検出端子３についての電極１４ａとの接触状態（測定対象体間接触状態）を検出する。
【００３７】
この場合、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３の双方が電極１４ａに接触しているとき、つまり、接触状態が良好な状態のときには、電極１４ａを介して第２電流供給部２１を含む閉ループが形成されるため、第２電流供給部２１から電流Ｉ２が出力される。また、良好な接触状態のときには、電流供給端子２および電圧検出端子３と電極１４ａとの間の各接触抵抗が非常に小さな値となることから、電流Ｉ２が流れることに起因して電流供給端子２および電圧検出端子３間に発生する電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２ｖは低くなる。したがって、電流値Ｉ２ｖおよび電圧値Ｖ２ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値Ｒ１は十分に小さな値（第２しきい値Ｒｔｈ２未満の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子２および電圧検出端子３の電極１４ａに対する接触状態が良好な状態にあることを検出する。
【００３８】
一方、電流供給端子２および電圧検出端子３の少なくとも一方が電極１４ａに接触していないか、または接触不良で接触抵抗が大きな状態のときには、第２電流供給部２１を含む閉ループが形成されないか、または形成されたとしても、閉ループの抵抗値が極めて大きな値となり、第２電流供給部２１からは電流Ｉ２がほとんど出力されないか、出力されたとしても接触抵抗が大きいことに起因して、電流供給端子２および電圧検出端子３間に発生する電圧Ｖ２の電圧値Ｖ２ｖは高くなる。したがって、電流値Ｉ２ｖおよび電圧値Ｖ２ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子２および電圧検出端子３間の抵抗値Ｒ１は極めて大きな値（第２しきい値Ｒｔｈ２以上の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子２および電圧検出端子３の電極１４ａに対する接触状態が不良な状態にあることを検出する。
【００３９】
また、処理部１１は、第３電流供給部３１から出力される電流値Ｉ３ｖおよび第３電圧測定部３３から出力される電圧値Ｖ３ｖに基づいて一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値Ｒ２を算出すると共に、第２しきい値Ｒｔｈ２と比較することにより、電流供給端子４および電圧検出端子５についての電極１４ｂとの接触状態（測定対象体間接触状態）を検出する。
【００４０】
この場合、一対の電流供給端子４および電圧検出端子５の双方が電極１４ｂに接触しているとき、つまり、接触状態が良好な状態のときには、電極１４ｂを介して第３電流供給部３１を含む閉ループが形成されるため、第３電流供給部３１から電流Ｉ３が出力される。また、良好な接触状態のときには、電流供給端子４および電圧検出端子５と電極１４ｂとの間の各接触抵抗が非常に小さな値となることから、電流Ｉ３が流れることに起因して電流供給端子４および電圧検出端子５間に発生する電圧Ｖ３の電圧値Ｖ３ｖは低くなる。したがって、電流値Ｉ３ｖおよび電圧値Ｖ３ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値Ｒ１は十分に小さな値（第２しきい値Ｒｔｈ２未満の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子４および電圧検出端子５の電極１４ｂに対する接触状態が良好な状態にあることを検出する。
【００４１】
一方、電流供給端子４および電圧検出端子５の少なくとも一方が電極１４ｂに接触していないか、または接触不良で接触抵抗が大きな状態のときには、第３電流供給部３１を含む閉ループが形成されないか、または形成されたとしても、閉ループの抵抗値が極めて大きな値となり、第３電流供給部３１からは電流Ｉ３がほとんど出力されないか、出力されたとしても接触抵抗が大きいことに起因して、電流供給端子４および電圧検出端子５間に発生する電圧Ｖ３の電圧値Ｖ３ｖは高くなる。したがって、電流値Ｉ３ｖおよび電圧値Ｖ３ｖに基づいて処理部１１が算出する電流供給端子４および電圧検出端子５間の抵抗値Ｒ１は極めて大きな値（第２しきい値Ｒｔｈ２以上の値）となることから、処理部１１は、電流供給端子４および電圧検出端子５の電極１４ｂに対する接触状態が不良な状態にあることを検出する。最後に、処理部１１は、測定対象体間接触検出処理での検出結果を記憶部１２に記憶させる。また、処理部１１は、各制御信号Ｓ１，Ｓ２を各接触検査部９，１０に出力することにより、第１スイッチ２２および第２スイッチ３２をオン状態からオフ状態に切り替える。これにより、測定対象体間接触検出処理が完了する。
【００４２】
続いて、処理部１１は、測定対象体間接触検出処理での検出結果に基づき、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５の対応する電極１４ａ，１４ｂに対する接触状態を判別し（ステップ５５）、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５の少なくとも一方の接触状態が不良な状態のときには報知処理を実行して、その旨を報知内容として出力部１３に出力し（ステップ５７）、インピーダンス測定処理５０を終了させる。
【００４３】
一方、処理部１１がステップ５５において、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５が良好な状態であると判別したときには、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態、他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３と測定対象体１４の電極１４ａとの間の接触状態、並びに他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５と測定対象体１４の電極１４ｂとの間の接触状態がすべて良好な状態にある。このため、第１電流供給部７の一方の出力端子から電流供給端子２、測定対象体１４の一方の電極１４ａ、測定対象体１４本体、測定対象体１４の他方の電極１４ｂおよび電流供給端子４を経由して他方の出力端子に戻る閉ループが形成されて、第１電流供給部７から出力される定電流Ｉ１が測定対象体１４に供給されている状態となっている。このため、処理部１１は、インピーダンス算出処理を実行する（ステップ５６）。
【００４４】
このインピーダンス算出処理では、処理部１１は、まず、第１電流供給部７から出力される定電流Ｉ１の電流値Ｉ１ｖおよび第１電圧測定部８から出力される電圧値Ｖ１ｖに基づいて各電圧検出端子３，５間に接続されている測定対象体１４のインピーダンスＺを算出して記憶部１２に記憶させる。次いで、処理部１１は、インピーダンスＺを出力部１３に表示させる。これにより、インピーダンス算出処理が完了し、インピーダンス測定処理５０についてもすべて完了する。なお、上記したように、測定対象体１４の検査位置Ｘへの搬入から一定時間Ｔ１が経過した時点で、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３、並びに一対の電流供給端子４および電圧検出端子５は、駆動部６により、測定対象体１４から離反させられて、待機位置に移動させられる。
【００４５】
その後、処理部１１は、搬送機構４０からトリガ信号Ｓ３を入力する都度、上述したインピーダンス測定処理５０を実行する。これにより、搬送機構４０によって検査位置Ｘに順次搬入される測定対象体１４についてのインピーダンスＺの測定が、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態、他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態、一対の電流供給端子２および電圧検出端子３と測定対象体１４の電極１４ａとの間の接触状態、並びに他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５と測定対象体１４の電極１４ｂとの間の接触状態がすべて良好な状態において、インピーダンス測定装置１によって確実に実行される。
【００４６】
このように、このインピーダンス測定装置１によれば、第１接触検出部９および処理部１１が、測定対象体１４の一方の電極１４ａと非接触な状態における一対の電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態を検出し、第２接触検出部１０および処理部１１が、測定対象体１４の他方の電極１４ｂと非接触な状態における他の一対の電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態を検出することにより、電流供給端子２および電圧検出端子３間、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５間に金属製の異物７１が挟まっているか否かを確実に検出することができ、これにより、電流供給端子２および電圧検出端子３間、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５間に金属製の異物７１が挟まった状態での測定対象体１４のインピーダンスＺの測定を確実に回避することができる結果、金属製の異物７１の存在に起因したインピーダンスＺについての測定誤差の発生を確実に回避することができる。
【００４７】
また、このインピーダンス測定装置１によれば、第１接触検出部９および処理部１１が、電流供給端子２および電圧検出端子３についての測定対象体１４の一方の電極１４ａとの接触状態を検出し、第２接触検出部１０および処理部１１が、電流供給端子４および電圧検出端子５についての他方の電極１４ｂとの接触状態を検出することにより、電流供給端子２および電圧検出端子３が一方の電極１４ａに確実に接触しているか否か、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５が他方の電極１４ｂに確実に接触しているか否かを確実に検出することができる。したがって、常に、電流供給端子２および電圧検出端子３間、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態が良好で、かつ電流供給端子２および電圧検出端子３と一方の電極１４ａとの接触状態、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５と他方の電極１４ｂとの接続状態が良好である状態において、測定対象体１４のインピーダンスＺを測定することができるため、測定誤差の発生する状態でのインピーダンス測定を一層確実に回避することができる。
【００４８】
さらに、このインピーダンス測定装置１によれば、電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態についての検出結果、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態についての検出結果を処理部１１が出力部１３に出力することにより、インピーダンス測定装置１の使用者が、出力部１３に出力される検出結果に基づいて、電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態を確実に認識することができる。したがって、例えば、接触状態が不良の状態のときには、インピーダンスの測定を強制的に停止させたり、再測定をさせるなどの措置をとることができる。
【００４９】
また、このインピーダンス測定装置１によれば、処理部１１が、電流供給端子２および電圧検出端子３と一方の電極１４ａとの接触状態についての検出結果、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５と他方の電極１４ｂとの接触状態についての検出結果を出力部１３に出力することにより、インピーダンス測定装置１の使用者が、出力部１３に出力される検出結果に基づいて、電流供給端子２および電圧検出端子３が一方の電極１４ａに確実に接触しているか否か、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５が他方の電極１４ｂに確実に接触しているか否かを確実に認識することができる。したがって、例えば、接触状態が不良の状態のときには、インピーダンスの測定を強制的に停止させたり、再測定をさせるなどの措置をとることができる。
【００５０】
また、このインピーダンス測定装置１によれば、各電流供給端子２，４を介して測定対象体１４に第１電流Ｉ１を供給する第１電流供給部７、並びに第１電圧Ｖ１の電圧値を測定する第１電圧測定部８を備え、第１接触検出部９が、電流供給端子２および電圧検出端子３間に第２電流Ｉ２を供給可能な第２電流供給部２１、並びに電流供給端子２および電圧検出端子３間の第２電圧Ｖ２を測定する第２電圧測定部２３を備えると共に、第２接触検出部１０が、電流供給端子４および電圧検出端子５間に第３電流Ｉ３を供給可能な第３電流供給部３１、並びに電流供給端子４および電圧検出端子５間の第３電圧Ｖ３を測定する第３電圧測定部３３を備えたことにより、ほぼ同等の回路構成の電流供給部および電圧測定部を３系統設けることで装置を構成できるため、回路設計に要するコストを大幅に削減することができる。
【００５１】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、端子間接触検出処理および測定対象体間接触検査処理をインピーダンス測定処理５０に先立って実行する好ましい例について上記したが、端子間接触検出処理については、電流供給端子２および電圧検出端子３、並びにの電流供給端子４および電圧検出端子５が測定対象体１４と非接触な状態であれば上記のタイミングに限定されず、いつでも実行することができる。
【００５２】
また、搬送機構４０によって検査位置Ｘに所定時間間隔で搬入される測定対象体１４に対するインピーダンスＺの測定にインピーダンス測定装置１を適用し、搬送機構４０から出力されるトリガ信号Ｓ３に基づいてインピーダンス測定処理５０を実行する例について上記したが、図１に示すように、例えば測定開始ボタン（図示せず）を備えた操作部１５を設け、測定開始ボタンが操作された際に操作部１５がトリガ信号Ｓ３を処理部１１に出力する構成を採用することもできる。この構成によれば、インピーダンス測定装置１に対して手動でインピーダンス測定処理５０を実行させることができるため、検査位置Ｘに測定対象体１４を手動で搬入する構成（トリガ信号Ｓ３を発生させる機器が存在しない構成）にもインピーダンス測定装置１を適用させることができる。また、この構成によれば、必要に応じて測定開始ボタンに対する操作を繰り返すことにより、同一の測定対象体１４に対してインピーダンス測定処理５０を所望の回数だけ実行することができる。
【００５３】
また、第１接触検出部９および処理部１１で本発明における第１接触検出部を構成し、第２接触検出部１０および処理部１１で本発明における第２接触検出部を構成する例について上記したが、第２電圧測定部２３から出力される電圧値Ｖ２ｖと基準電圧値とを比較するコンパレータ（図示せず）を第１接触検出部９に配設して、このコンパレータの出力信号を一方の電流供給端子２および電圧検出端子３についての接触状態を示す検出信号とし、かつ第３電圧測定部３３から出力される電圧値Ｖ３ｖと基準電圧値とを比較するコンパレータ（図示せず）を第２接触検出部１０に配設して、このコンパレータの出力信号を一対の電流供給端子４および電圧検出端子５についての接触状態を示す検出信号とする構成を採用することもできる。この構成では、各コンパレータに入力される基準電圧値が本発明における第１しきい値として機能し、コンパレータを含む第１接触検出部９のみで本発明における第１接触検出部が構成され、コンパレータを含む第２接触検出部１０のみで本発明における第２接触検出部が構成される。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】インピーダンス測定装置１の構成図である。
【図２】インピーダンス測定装置１のインピーダンス測定処理５０を説明するためのフローチャートである。
【図３】一般的な４線式のインピーダンス測定装置の構成図であり、電流供給端子４および電圧検出端子５間に異物７１が挟まった状態の構成図である。
【図４】図３に示すインピーダンス測定装置において、電流供給部から供給される電流の経路Ａ，Ｂを説明するための回路図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  インピーダンス測定装置
２，４  電流供給端子
３，５  電圧検出端子
９  第１接触検出部
１０  第２接触検出部
１１  処理部
１３  出力部
１４  測定対象体
１４ａ，１４ｂ  電極
２１  第２電流供給部
２３  第２電圧測定部
３１  第３電流供給部
３３  第３電圧測定部
Ｉ１  第１電流
Ｉ２  第２電流
Ｉ３  第３電流
Ｖ１  第１電圧
Ｖ１ｖ  第１電圧の電圧値
Ｖ２  第２電圧
Ｖ３  第３電圧
Ｚ  インピーダンス
【図１】
2010127724.tif 000003
【図２】
2010127724.tif 000004
【図３】
2010127724.tif 000005
【図４】
2010127724.tif 000006