(57)【要約】【課題】連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施す基板処理装置における動作の履歴の解析を容易に行うことができるようにする。【解決手段】基板処理装置の動作履歴解析支援装置１００では、基板処理装置によって生成された動作履歴を表すログをログ取得手段１５１によって取得し、このログに基づいて、状態履歴情報作成手段１５２によって、時系列的に変化した基板処理装置の状態の履歴を特定し、所定の期間における時刻に関連付けられた基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成する。そして、この状態履歴情報に基づいて、表示制御手段１５４によって、指定情報取得手段１５３によって所得された指定情報によって指定された特定の時刻以降の期間における基板処理装置の複数の状態に対応する複数の模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置に表示させる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施すと共に、所定の期間における時刻に関連付けられた動作の履歴を表す動作履歴情報を生成する基板処理装置における動作の履歴の解析を支援する装置であって、
前記基板処理装置によって生成された前記動作履歴情報を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得した前記動作履歴情報に基づいて、時系列的に変化した前記基板処理装置の状態の履歴を特定し、前記所定の期間における時刻に関連付けられた前記基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成する状態履歴情報作成手段と、
前記所定の期間内における特定の箇所を指定するための指定情報を取得する指定情報取得手段と、
前記状態履歴情報に基づいて各状態に対応した前記基板処理装置の模擬画像を表示装置に表示させる機能を有し、前記指定情報によって指定された特定の箇所以降の期間における前記基板処理装置の複数の状態に対応する複数の前記模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置に表示させる表示制御手段と
を備えたことを特徴とする基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項２】
更に、前記状態履歴情報を出力する出力手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項３】
前記表示制御手段は、更に、前記動作履歴情報によって表される複数の動作を複数の動作項目として表示装置に表示させる機能を有し、
前記指定情報取得手段は、前記表示装置に表示された前記複数の動作項目の中から特定の動作項目を選択することを可能にする機能と、選択された特定の動作項目に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項４】
前記指定情報取得手段は、更に、前記表示装置に表示された前記複数の動作項目のうちの１つ以上をブックマークとして登録することを可能にする機能と、ブックマークとして登録された１つ以上の動作項目の中から前記特定の動作項目を選択することを可能にする機能とを有することを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項５】
前記基板処理装置は、更に、前記所定の期間における時刻に関連付けられたアラームの履歴を表すアラーム履歴情報を生成し、
前記取得手段は、前記動作履歴情報と共に、前記基板処理装置によって生成された前記アラーム履歴情報を取得し、
前記表示制御手段は、更に、前記アラーム履歴情報に対応したアラームの一覧を表示装置に表示させる機能を有し、
前記指定情報取得手段は、前記表示装置に表示された前記アラームの一覧の中から特定のアラームを選択することを可能にする機能と、選択された特定のアラームに対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項６】
前記指定情報取得手段は、特定の時刻の指定を可能にする機能と、指定された時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項７】
前記指定情報取得手段は、前記動作履歴情報によって表される複数の動作のうちの１つの動作の指定を可能にする機能と、指定された動作に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項８】
前記指定情報取得手段は、前記動作履歴情報によって表される複数の動作の中から特定の動作を検索するための検索情報の入力を可能にする機能と、入力された検索情報に基づいて前記特定の動作を検索する機能と、検索された前記特定の動作に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項９】
前記指定情報取得手段は、前記動作履歴情報によって表される複数の動作の中から所定の条件に合致する１つ以上の動作を抽出するための抽出情報の入力を可能にする機能と、入力された抽出情報に基づいて１つ以上の動作を抽出する機能と、抽出された１つ以上の動作の中から特定の動作を指定することを可能にする機能と、指定された特定の動作に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の基板処理装置の動作履歴解析支援装置。
【請求項１０】
連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施すと共に、所定の期間における時刻に関連付けられた動作の履歴を表す動作履歴情報を生成する基板処理装置における動作の履歴の解析を支援するために、コンピュータを、
前記基板処理装置によって生成された前記動作履歴情報を取得する取得手段、
前記取得手段によって取得した前記動作履歴情報に基づいて、時系列的に変化した前記基板処理装置の状態の履歴を特定し、前記所定の期間における時刻に関連付けられた前記基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成する状態履歴情報作成手段、
前記所定の期間内における特定の箇所を指定するための指定情報を取得する指定情報取得手段、および
前記状態履歴情報に基づいて各状態に対応した前記基板処理装置の模擬画像を表示装置に表示させる機能を有し、前記指定情報によって指定された特定の箇所以降の期間における前記基板処理装置の複数の状態に対応する複数の前記模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置に表示させる表示制御手段、
として機能させるための基板処理装置の動作履歴解析支援プログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置における動作の履歴の解析を支援するための基板処理装置の動作履歴解析支援装置、基板処理装置の動作履歴解析支援プログラムおよび記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に対してエッチングや成膜等の所定の処理を施すための基板処理装置は、例えば、基板に対する処理を行う処理システムと、この処理システムへの基板の搬入および処理システムからの基板の搬出を行う搬送システムと、処理システムおよび搬送システムを制御する制御部とを備えている。処理システムは、例えば、複数の処理ユニットを有している。制御部は、コンピュータを用いて構成される。
【０００３】
一般的に、上記のような基板処理装置では、何らかの障害が発生した場合に、障害の原因を解明したり、障害に対して適切に対処したりすることができるように、それぞれテキスト情報である複数種類の履歴情報（以下、ログとも言う。）を生成するようになっている。ログの種類には、基板処理装置の動作の履歴を表すもの、操作者の操作の履歴を表すもの、障害発生等を知らせるアラーム（警告）の履歴を表すもの等がある。
【０００４】
従来、基板処理装置において障害が発生した場合には、障害の原因を解明したり、障害に対して適切に対処したりするために、人が複数種類のログを読んで解析して、障害発生時における基板処理装置の状況を把握することが行われていた。しかし、この作業は、専門的な知識と多大な労力とを必要としていた。そこで、以下に示すように、障害発生時の状況の解析を容易にするための種々の技術が提案されている。
【０００５】
特許文献１には、基板の搬送に関するログと、基板の処理状態に関するログと、アラームに関するログを、それぞれ、基板に関連付けて記録する技術が記載されている。
【０００６】
特許文献２には、エラーログに基づき故障発生順に装置故障リストを作成し、装置構成情報データベースに基づいて故障装置に関連する他の装置構成を取得し、更に、故障装置に関連する装置の運転状態を取得し、装置の種類別にエラー定義をデータベース化した装置故障データベースに基づいて故障装置の故障部位を同定し、同定された故障部位を表示出力する技術が記載されている。
【０００７】
特許文献３には、ログ検索に使用するキーワードを設定すると共に、ログ解析に使用する種類別ログファイルを設定し、設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し、そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成し、表示部に解析用ログファイルのログを表示すると共に、設定されたキーワードを含むログを解析用ログファイルから検索して強調表示させる技術が記載されている。
【０００８】
また、特許文献４には、故障が検出されたときに、通信回線を介して外部に故障の発生を通知し、故障原因を解析するための故障診断プログラムを受信し、これを実行することにより、故障原因を特定するための故障判定データを生成し、この故障判定データを通信回線に出力する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２７７２９８号公報
【特許文献２】特開２００７−２５７５８１号公報
【特許文献３】特開２００８−１４０２４８号公報
【特許文献４】特開平９−２９７６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
基板処理装置では、例えば基板の搬入または搬出に関連する一連の動作のように、連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施す。そのため、障害発生時における基板処理装置の状況を的確に把握するためには、障害発生時の基板処理装置の状態のみならず、障害発生時の前後における基板処理装置の連続する動作を把握することが重要になる場合が多い。しかしながら、従来、障害発生時の前後における基板処理装置の動作の履歴の把握を容易にするような技術はなかったため、障害発生時の前後における基板処理装置の動作の把握が難しいという問題点があった。
【００１１】
また、基板処理装置では、制御部のソフトウェアのバージョンアップに伴って連続する複数の動作の順番に変更等があった場合に、時間当たりの基板処理量（スループット）が低下する可能性がある。このようなスループットの低下のように、アラームが発生しない不具合が生じる場合もある。従来、このようなアラームが発生しない不具合の解明は、アラームのログを手掛かりにして行うことができず、膨大なログを解析して行うしかなかった。そのため、アラームが発生しない不具合の解明には特に多大な労力が必要になるという問題点があった。
【００１２】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施す基板処理装置における動作の履歴の解析を容易に行うことができるようにした基板処理装置の動作履歴解析支援装置、基板処理装置の動作履歴解析支援プログラムおよび記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置は、連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施すと共に、所定の期間における時刻に関連付けられた動作の履歴を表す動作履歴情報を生成する基板処理装置における動作の履歴の解析を支援する装置である。
【００１４】
本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置は、
前記基板処理装置によって生成された前記動作履歴情報を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得した前記動作履歴情報に基づいて、時系列的に変化した前記基板処理装置の状態の履歴を特定し、前記所定の期間における時刻に関連付けられた前記基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成する状態履歴情報作成手段と、
前記所定の期間内における特定の箇所を指定するための指定情報を取得する指定情報取得手段と、
前記状態履歴情報に基づいて各状態に対応した前記基板処理装置の模擬画像を表示装置に表示させる機能を有し、前記指定情報によって指定された特定の箇所以降の期間における前記基板処理装置の複数の状態に対応する複数の前記模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置に表示させる表示制御手段とを備えている。
【００１５】
本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置では、基板処理装置によって生成された動作履歴情報が取得手段によって取得され、この動作履歴情報に基づいて、状態履歴情報作成手段によって、時系列的に変化した基板処理装置の状態の履歴が特定され、所定の期間における時刻に関連付けられた基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報が作成される。そして、この状態履歴情報に基づいて、表示制御手段によって、指定情報によって指定された特定の箇所以降の期間における基板処理装置の複数の状態に対応する複数の模擬画像が、動画として、時系列的に表示装置に表示される。
【００１６】
本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置は、更に、前記状態履歴情報を出力する出力手段を備えていてもよい。
【００１７】
また、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置において、前記表示制御手段は、更に、前記動作履歴情報によって表される複数の動作を複数の動作項目として表示装置に表示させる機能を有し、前記指定情報取得手段は、前記表示装置に表示された前記複数の動作項目の中から特定の動作項目を選択することを可能にする機能と、選択された特定の動作項目に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有していてもよい。この場合、前記指定情報取得手段は、更に、前記表示装置に表示された前記複数の動作項目のうちの１つ以上をブックマークとして登録することを可能にする機能と、ブックマークとして登録された１つ以上の動作項目の中から前記特定の動作項目を選択することを可能にする機能とを有していてもよい。
【００１８】
また、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置において、前記基板処理装置は、更に、前記所定の期間における時刻に関連付けられたアラームの履歴を表すアラーム履歴情報を生成し、前記取得手段は、前記動作履歴情報と共に、前記基板処理装置によって生成された前記アラーム履歴情報を取得し、前記表示制御手段は、更に、前記アラーム履歴情報に対応したアラームの一覧を表示装置に表示させる機能を有し、前記指定情報取得手段は、前記表示装置に表示された前記アラームの一覧の中から特定のアラームを選択することを可能にする機能と、選択された特定のアラームに対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有していてもよい。
【００１９】
また、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置において、前記指定情報取得手段は、特定の時刻の指定を可能にする機能と、指定された時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有していてもよい。
【００２０】
また、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置において、前記指定情報取得手段は、前記動作履歴情報によって表される複数の動作のうちの１つの動作の指定を可能にする機能と、指定された動作に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有していてもよい。
【００２１】
また、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置において、前記指定情報取得手段は、前記動作履歴情報によって表される複数の動作の中から特定の動作を検索するための検索情報の入力を可能にする機能と、入力された検索情報に基づいて前記特定の動作を検索する機能と、検索された前記特定の動作に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有していてもよい。
【００２２】
また、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置において、前記指定情報取得手段は、前記動作履歴情報によって表される複数の動作の中から所定の条件に合致する１つ以上の動作を抽出するための抽出情報の入力を可能にする機能と、入力された抽出情報に基づいて１つ以上の動作を抽出する機能と、抽出された１つ以上の動作の中から特定の動作を指定することを可能にする機能と、指定された特定の動作に対応する時刻の情報を前記指定情報として取得する機能とを有していてもよい。
【００２３】
本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援プログラムは、連続する複数の動作を伴って基板に対して所定の処理を施すと共に、所定の期間における時刻に関連付けられた動作の履歴を表す動作履歴情報を生成する基板処理装置における動作の履歴の解析を支援するために、コンピュータを、
前記基板処理装置によって生成された前記動作履歴情報を取得する取得手段、
前記取得手段によって取得した前記動作履歴情報に基づいて、時系列的に変化した前記基板処理装置の状態の履歴を特定し、前記所定の期間における時刻に関連付けられた前記基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成する状態履歴情報作成手段、
前記所定の期間内における特定の箇所を指定するための指定情報を取得する指定情報取得手段、および
前記状態履歴情報に基づいて各状態に対応した前記基板処理装置の模擬画像を表示装置に表示させる機能を有し、前記指定情報によって指定された特定の箇所以降の期間における前記基板処理装置の複数の状態に対応する複数の前記模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置に表示させる表示制御手段、
として機能させるものである。
【００２４】
本発明のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援プログラムを記録したものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の基板処理装置の動作履歴解析支援装置、基板処理装置の動作履歴解析支援プログラムまたは記録媒体によれば、動作履歴情報に基づいて、時系列的に変化した基板処理装置の状態の履歴を特定し、所定の期間における時刻に関連付けられた基板処理装置の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成し、この状態履歴情報に基づいて、指定された特定の箇所以降の期間における基板処理装置の複数の状態に対応する複数の模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置に表示させることが可能になる。これにより、本発明によれば、基板処理装置における動作の履歴の解析を容易に行うことが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態における基板処理装置を概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態における基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る動作履歴解析支援装置のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図４】図２における装置コントローラの機能構成を示す機能ブロック図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る動作履歴解析支援装置の機能構成を示す機能ブロック図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る動作履歴解析支援装置による表示画面の１つの状態を示す説明図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る動作履歴解析支援装置による表示画面の他の状態を示す説明図である。
【図８】マシンログの一部の例を示す説明図である。
【図９】アラームログの一部の例を示す説明図である。
【図１０】本発明の一実施の形態に係る動作履歴解析支援装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。始めに、図１を参照して、本発明の一実施の形態における基板処理装置の構成について説明する。図１は、本実施の形態における基板処理装置を概略的に示す平面図である。図１に示したように、本実施の形態における基板処理装置１は、連続する複数の動作を伴って、例えば半導体デバイス製造用の基板Ｗに対して、成膜処理、拡散処理、エッチング処理等の所定の処理を施す装置である。基板処理装置１は、基板Ｗに対する処理を行う処理システム２と、この処理システム２への基板Ｗの搬入および処理システム２からの基板Ｗの搬出を行う搬送システム３と、処理システム２および搬送システム３を制御する制御部４（図２参照）とを備えている。
【００２８】
処理システム２は、例えば、４つのプロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄと、移載室１１とを備えている。搬送システム３は、例えば、２つのロードロック室１５Ａ，１５Ｂと、搬送室２４と、オリエンタ２５と、複数（例えば３つ）のロードポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃとを備えている。移載室１１は、６つの側面を有している。プロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄおよびロードロック室１５Ａ，１５Ｂは、移載室１１の各側面に隣接するように配置されている。
【００２９】
プロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、それぞれ、その内部空間を所定の減圧雰囲気（真空状態）に維持できるように構成されたプロセスチャンバー１０Ａ１，１０Ｂ１，１０Ｃ１，１０Ｄ１と、各プロセスチャンバー内に配置された、各プロセスチャンバー内で行われる処理のための装置（図示せず）とを有している。また、各プロセスチャンバー１０Ａ１，１０Ｂ１，１０Ｃ１，１０Ｄ１内には、基板Ｗを載置する載置台としてのサセプタ１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄが配備されている。
【００３０】
プロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄでは、基板Ｗをサセプタに載置した状態で、基板Ｗに対して、前述のような各種の処理が行われる。基板処理装置１では、４つのプロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄで同種の処理を行ってもよいし、プロセスモジュール毎に異なる種類の処理を行ってもよい。なお、プロセスモジュールの数は４つに限らず、１つ以上であればよい。
【００３１】
移載室１１は、プロセスチャンバー１０Ａ１，１０Ｂ１，１０Ｃ１，１０Ｄ１と同様に所定の減圧雰囲気に保持できるように構成されている。基板処理装置１は、更に、移載室１１内に設けられた移載装置３１を備えている。移載装置３１は、進出、退避および旋回可能に構成されて基板Ｗを搬送するフォーク３１ａ，３１ｂを有している。この移載装置３１によって、プロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄとロードロック室１５Ａ，１５Ｂの間で基板Ｗの搬送が行われる。
【００３２】
処理システム２は、更に、ゲートバルブ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄを備えている。ゲートバルブ１２Ａは、移載室１１とプロセスチャンバー１０Ａ１との間に配置されている。ゲートバルブ１２Ｂは、移載室１１とプロセスチャンバー１０Ｂ１との間に配置されている。ゲートバルブ１２Ｃは、移載室１１とプロセスチャンバー１０Ｃ１との間に配置されている。ゲートバルブ１２Ｄは、移載室１１とプロセスチャンバー１０Ｄ１との間に配置されている。ゲートバルブ１２Ａ〜１２Ｄは、いずれも、隣接する２つの空間を仕切る壁に設けられた開口部を開閉する機能を有している。ゲートバルブ１２Ａ〜１２Ｄは、閉状態で各プロセスモジュールを気密にシールすると共に、開状態で各プロセスモジュールと移載室１１との間で基板Ｗの移送を可能にする。
【００３３】
搬送システム３のロードロック室１５Ａ，１５Ｂは、その内部空間を、大気圧状態と真空状態とに切り替えられるように構成されている。図示しないが、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂ内には、それぞれ、基板Ｗを載置する載置台が配備されている。
【００３４】
搬送室２４は、水平方向の断面が一方向（図１における左右方向）に長い矩形形状を有し、移載室１１との間にロードロック室１５Ａ，１５Ｂを挟むように配置されている。搬送室２４の１つの側面は、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂに隣接している。複数のロードポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃは、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂに隣接する側面とは反対側の搬送室２４の側面に隣接するように配置されている。ロードポート２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃには、それぞれ、カセット容器２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃを載置できるようになっている。各カセット容器２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ内には、基板Ｗを、上下に間隔を空けて多段に配置できるようになっている。オリエンタ２５は、搬送室２４の長手方向の一方の端部に連結されている。オリエンタ２５は、基板Ｗの位置合わせを行う装置である。
【００３５】
搬送システム３は、更に、搬送室２４内に配置され、図示しない案内レールに沿って搬送室２４の長手方向に移動可能な搬送装置３２を備えている。搬送装置３２は、進出、退避および旋回可能に構成されて基板Ｗを搬送するフォーク３２ａを有している。
【００３６】
搬送システム３は、更に、ゲートバルブ１６Ａ，１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂを備えている。ゲートバルブ１６Ａは、移載室１１とロードロック室１５Ａとの間に配置されている。ゲートバルブ１６Ｂは、移載室１１とロードロック室１５Ｂとの間に配置されている。ゲートバルブ１７Ａは、ロードロック室１５Ａと搬送室２４との間に配置されている。ゲートバルブ１７Ｂは、ロードロック室１５Ｂと搬送室２４との間に配置されている。ゲートバルブ１６Ａ，１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂは、いずれも、隣接する２つの空間を仕切る壁に設けられた開口部を開閉する機能を有している。ゲートバルブ１６Ａ，１６Ｂは、閉状態で移載室１１の気密性を維持すると共に、開状態で移載室１１とロードロック室１５Ａ，１５Ｂとの間で基板Ｗの移送を可能にする。ゲートバルブ１７Ａ，１７Ｂは、閉状態でロードロック室１５Ａ，１５Ｂの気密性を維持すると共に、開状態でロードロック室１５Ａ，１５Ｂと搬送室２４との間で基板Ｗの移送を可能にする。
【００３７】
次に、図２を参照して、本実施の形態における基板処理装置１の制御部４について説明する。図２は、基板処理装置１の制御部４のハードウェア構成を示すブロック図である。図２に示したように、基板処理装置１の制御部４は、装置コントローラ（Equipment Controller）（図２ではＥＣと記す。）６１と、２つのモジュールコントローラ（Module Controller）（図２ではＭＣと記す。）７１，８１と、装置コントローラ６１とモジュールコントローラ７１，８１とを接続するスイッチングハブ（図２ではＨＵＢと記す。）６２とを備えている。
【００３８】
装置コントローラ６１は、モジュールコントローラ７１，８１を統括して、基板処理装置１の全体の動作を制御する主制御部（マスタ制御部）である。モジュールコントローラ７１，８１は、それぞれ、装置コントローラ６１の制御の下で、処理システム２、搬送システム３の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。スイッチングハブ６２は、装置コントローラ６１からの制御信号に応じて、装置コントローラ６１に接続されるモジュールコントローラを切り替える。
【００３９】
装置コントローラ６１は、基板処理装置１で実行される基板Ｗに対する各種処理を実現するための制御プログラムと、処理条件データ等が記録されたレシピとに基づいて、モジュールコントローラ７１，８１に制御信号を送ることによって、処理システム２と搬送システム３の動作を制御する。また、装置コントローラ６１は、モジュールコントローラ７１，８１から送られてくる情報に基づいて、複数種類の履歴情報（以下、ログと言う。）を生成し記憶して、要求に応じて、この複数種類のログを外部に出力する。
【００４０】
制御部４は、更に、サブネットワーク６０と、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード７２，８２と、入出力（以下、Ｉ／Ｏと記す。）モジュール７３，８３とを備えている。モジュールコントローラ７１は、サブネットワーク６０およびＤＩＳＴボード７２を介してＩ／Ｏモジュール７３に接続されている。モジュールコントローラ８１は、サブネットワーク６０およびＤＩＳＴボード８２を介してＩ／Ｏモジュール８３に接続されている。
【００４１】
Ｉ／Ｏモジュール７３は、複数のＩ／Ｏ部７０を有している。Ｉ／Ｏ部７０は、処理システム２の各構成要素に接続されている。各構成要素に対する制御信号は、それぞれＩ／Ｏ部７０から出力される。また、各構成要素からの出力信号は、それぞれＩ／Ｏ部７０に入力される。Ｉ／Ｏ部７０に接続された構成要素としては、例えば、プロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄにおける成膜原料ガスなどの各種ガスのＭＦＣ（マスフローコントローラ）、圧力ゲージおよびＡＰＣ（自動圧力制御）バルブや、移載装置３１や、ゲートバルブ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄが挙げられる。
【００４２】
Ｉ／Ｏモジュール８３は、Ｉ／Ｏモジュール７３と同様に、複数のＩ／Ｏ部８０を有している。Ｉ／Ｏ部８０は、搬送システム３の各構成要素に接続されている。各構成要素に対する制御信号は、それぞれＩ／Ｏ部８０から出力される。また、各構成要素からの出力信号は、それぞれＩ／Ｏ部８０に入力される。Ｉ／Ｏ部８０に接続された構成要素としては、例えば、搬送装置３２、オリエンタ２５、ゲートバルブ１６Ａ，１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂが挙げられる。
【００４３】
図示しないが、サブネットワーク６０には、Ｉ／Ｏ部７０，８０におけるデジタル信号、アナログ信号およびシリアル信号の入出力を制御するためのＩ／Ｏボードが接続されている。
【００４４】
装置コントローラ６１は、ＬＡＮ（Local Aria Network）５０を介して、基板処理装置１が設置されている工場全体の製造工程を管理するＭＥＳ（Manufacturing Execution System）としてのコンピュータ５１に接続されている。コンピュータ５１は、基板処理装置１の制御部４と連携して工場における工程に関するリアルタイム情報を基幹業務システムにフィードバックすると共に、工場全体の負荷等を考慮して工程に関する判断を行う。
【００４５】
本実施の形態に係る基板処理装置の動作履歴解析支援装置（以下、単に動作履歴解析支援装置と記す。）は、基板処理装置１における動作の履歴の解析を支援する装置である。基板処理装置１は、前述のように、連続する複数の動作を伴って基板Ｗに対して所定の処理を施すと共に、後で説明するように、所定の期間における時刻に関連付けられた動作の履歴を表す動作履歴情報を生成する。本実施の形態に係る動作履歴解析支援装置は、コンピュータが、本実施の形態に係る基板処理装置の動作履歴解析支援プログラム（以下、単に動作履歴解析支援プログラムと記す。）を実行することによって実現される。
【００４６】
動作履歴解析支援装置を実現するコンピュータは、コンピュータ５１でもよいし、図２に示した他のコンピュータ５２でもよい。コンピュータ５１によって動作履歴解析支援装置を実現する場合には、コンピュータ５１は、ＬＡＮ５０を介して装置コントローラ６１から複数種類のログを取得する。コンピュータ５２によって動作履歴解析支援装置を実現する場合には、コンピュータ５２は、ＬＡＮ５０または記録媒体を介して装置コントローラ６１から複数種類のログを取得してもよいし、一旦、コンピュータ５１が装置コントローラ６１から取得した複数種類のログを、ＬＡＮ、通信回線、記録媒体等を介してコンピュータ５１から取得してもよい。以下の説明では、一例として、コンピュータ５２によって動作履歴解析支援装置を実現するものとする。
【００４７】
次に、図３を参照して、本実施の形態に係る動作履歴解析支援装置のハードウェア構成、すなわちコンピュータ５２のハードウェア構成の一例について説明する。図３に示した動作履歴解析支援装置１００は、主制御部１０１と、キーボード、マウス等の入力装置１０２と、プリンタ等の出力装置１０３と、表示装置１０４と、記憶装置１０５と、外部インターフェース１０６と、これらを互いに接続するバス１０７とを備えている。主制御部１０１は、ＣＰＵ（中央処理装置）１１１、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）１１２およびＲＯＭ（リードオンリメモリ）１１３を有している。記憶装置１０５は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク装置または光ディスク装置である。また、記憶装置１０５は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体１１５に対して情報を記録し、また記録媒体１１５より情報を読み取るようになっている。記録媒体１１５は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスクまたは光ディスクである。記録媒体１１５は、本実施の形態に係る動作履歴解析支援プログラムを記録した記録媒体であってもよい。
【００４８】
図３に示した動作履歴解析支援装置１００では、ＣＰＵ１１１が、ＲＡＭ１１２を作業領域として用いて、ＲＯＭ１１３または記憶装置１０５に格納されたプログラムを実行することにより、動作履歴解析支援装置１００の機能を実現するようになっている。
【００４９】
図２におけるコンピュータ５１のハードウェア構成も、例えば、図３に示した構成になっている。また、図２に示した装置コントローラ６１とモジュールコントローラ７１，８１のハードウェア構成は、例えば、図３に示した構成、あるいは図３に示した構成から不要な構成要素を除いた構成になっている。
【００５０】
次に、図４を参照して、装置コントローラ６１の機能構成について説明する。図４は、装置コントローラ６１の機能構成を示す機能ブロック図である。なお、以下の説明では、装置コントローラ６１のハードウェア構成が図３に示した構成になっているものとして、図３中の符号も参照する。図４に示したように、装置コントローラ６１は、処理制御部１２１と、マシンログ記録部１２２と、アラームログ記録部１２３と、ログ収集部１２４と、入出力制御部１２５とを備えている。これらは、ＣＰＵ１１１が、ＲＡＭ１１２を作業領域として用いて、ＲＯＭ１１３または記憶装置１０５に格納されたプログラムを実行することによって実現される。
【００５１】
処理制御部１２１は、予め記憶装置１０５に保存されているレシピ１３０やパラメータ１３１等に基づいて、各モジュールコントローラ７１，８１に制御信号を送信することにより、基板処理装置１の処理システム２および搬送システム３を制御する。
【００５２】
マシンログ記録部１２２は、モジュールコントローラ７１，８１から送られてくる情報に基づいて、時刻に関連付けられた基板処理装置１の動作の履歴を表す動作履歴情報であるマシンログ１３２を生成し、これを記憶装置１０５によって記録する。
【００５３】
アラームログ記録部１２３は、モジュールコントローラ７１，８１から送られてくる情報に基づいて、時刻に関連付けられたアラームの履歴を表すアラーム履歴情報であるアラームログ１３３を生成し、これを記憶装置１０５によって記録する。なお、アラームは、基板処理装置１における障害発生等を知らせるものである。
【００５４】
なお、図示しないが、装置コントローラ６１は、上記のマシンログおよびアラームログ以外の基板処理装置１に関するログも生成し、記憶装置１０５によって記録する機能も有している。マシンログおよびアラームログ以外のログとしては、装置コントローラ６１におけるプログラムの動作の履歴を表すものや、操作者の操作の履歴を表すものや、装置コントローラ６１の起動処理の履歴を表すもの等がある。
【００５５】
入出力制御部１２５は、入力装置１０２からの入力の制御や、出力装置１０３に対する出力の制御や、表示装置１０４における表示の制御や、外部インターフェース１０６を介して行う外部とのデータ等の入出力の制御を行う。
【００５６】
ログ収集部１２４は、入出力制御部１２５を介して外部から与えられる指示等に応じて、所定の期間におけるマシンログ１３２、アラームログ１３３等のログを収集する。なお、所定の期間は、基板処理装置１が初期状態である任意の時刻から始まる任意の期間である。所定の期間は、操作者が任意に指定することができる。所定の期間としては、例えば、１つのレシピに基づいて基板処理装置１で実行される処理の期間や、装置のソフトウェアをバージョンアップしてからの期間がある。ログ収集部１２４によって収集されたログは、外部から与えられる指示等に応じて、入出力制御部１２５を介して外部へ出力することができる。
【００５７】
次に、図５を参照して、本実施の形態に係る動作履歴解析支援装置１００の機能構成について説明する。図５は、動作履歴解析支援装置１００の機能構成を示す機能ブロック図である。図５に示したように、動作履歴解析支援装置１００は、ログ取得手段１５１と、状態履歴情報作成手段１５２と、指定情報取得手段１５３と、表示制御手段１５４と、再生指示手段１５５と、画像データ記憶部１５６と、出力手段１５７とを備えている。ログ取得手段１５１、状態履歴情報作成手段１５２、指定情報取得手段１５３、表示制御手段１５４、再生指示手段１５５および出力手段１５７は、図３に示したＣＰＵ１１１が、ＲＡＭ１１２を作業領域として用いて、ＲＯＭ１１３または記憶装置１０５に格納されたプログラムを実行することによって実現される。画像データ記憶部１５６は、記憶装置１０５によって実現される。
【００５８】
ログ取得手段１５１は、基板処理装置１の装置コントローラ６１によって生成された所定の期間における複数種類のログのうちの少なくとも動作履歴情報であるマシンログとアラーム履歴情報であるアラームログを、ＬＡＮ、通信回線、記録媒体等を介して取得する。ログ取得手段１５１は、本発明における取得手段に対応する。
【００５９】
状態履歴情報作成手段１５２は、ログ取得手段１５１によって取得したマシンログに基づいて、時系列的に変化した基板処理装置１の状態の履歴を特定し、所定の期間における時刻に関連付けられた基板処理装置１の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成する。本実施の形態において、マシンログに基づいて状態履歴情報を作成する処理を、ログの解析と呼ぶ。時系列的に変化した基板処理装置１の状態の履歴の特定は、基板処理装置１の初期状態から、マシンログによって表される各動作の後の基板処理装置１の状態を順次特定してゆくことによって行われる。状態履歴情報は、それぞれ時刻に関連付けられた、基板処理装置１の初期状態および各動作の後の状態を表す情報を含んでいる。この状態履歴情報によれば、所定の期間内の任意の時刻における基板処理装置１の状態を特定することができる。状態履歴情報作成手段１５２は、作成した状態履歴情報を含むログ解析ファイル１６０を作成し、記憶装置１０５によって保存する。ログ解析ファイル１６０は、状態履歴情報の他に、少なくとも、ログ取得手段１５１によって取得したマシンログおよびアラームログを含んでいる。
【００６０】
指定情報取得手段１５３は、ログ取得手段１５１によって取得したログに対応する前記所定の期間内における特定の箇所すなわち特定の時刻を指定するための指定情報を取得する機能を有している。指定情報取得手段１５３は、動作項目選択手段１５３Ａ、ブックマーク登録・選択手段１５３Ｂ、アラーム選択手段１５３Ｃ、時刻指定手段１５３Ｄ、動作指定手段１５３Ｅ、検索手段１５３Ｆおよび抽出手段１５３Ｇを含んでいる。これらの手段１５３Ａ〜１５３Ｇについては、後で詳しく説明する。
【００６１】
表示制御手段１５４は、ログ解析ファイル１６０中の状態履歴情報に基づいて各状態に対応した基板処理装置１の模擬画像を表示装置１０４に表示させる機能を有している。また、表示制御手段１５４は、指定情報取得手段１５３が取得した指定情報によって指定された特定の箇所以降の期間における基板処理装置１の複数の状態に対応する複数の模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置１０４に表示させる機能を有している。本実施の形態において、複数の模擬画像を、動画として、時系列的に表示することを再生と言う。なお、動画における時間の経過の速度は、実際の時間の経過の速度と異なっていてもよく、例えば実際の時間の経過の速度よりも大きい。あるいは、実際の時間の経過よりも遅くなるように、複数の模擬画像を、一定の時間間隔で時系列的に表示してもよい。
【００６２】
再生指示手段１５５は、操作者の指示に応じて、表示制御手段１５４に対して、再生の開始または再生の停止を指示する機能を有している。画像データ記憶部１５６は、表示制御手段１５４が表示装置１０４に模擬画像等を表示させる際に使用する画像データを記憶している。出力手段１５７は、操作者の指示に応じて、状態履歴情報を含むログ解析ファイル１６０を外部に出力する機能を有している。
【００６３】
次に、図６および図７を参照して、表示制御手段１５４によって制御される表示装置１０４の表示画面について説明する。図６は、表示装置１０４の表示画面２００の１つの状態を示す説明図である。図７は、表示装置１０４の表示画面２００の他の状態を示す説明図である。図６および図７に示したように、表示画面２００は、状態表示部２０１と、ログ表示部２０２と、ブックマーク表示部２０３と、アラーム一覧表示部２０４と、アラーム詳細表示部２０５と、再生・停止指示部２０６とを含んでいる。表示制御手段１５４は、これらを含む表示画面２００を表示装置１０４に表示させる機能を有している。
【００６４】
状態表示部２０１は、基板処理装置の模擬画像２０１ａと、ログの番号を表示するログ番号表示部２０１ｂと、模擬画像２０１ａに対応する日時を表示する日時表示部２０１ｃと、それぞれプロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂに関する情報を表示する表示部２０１ｄ，２０１ｅ，２０１ｆ，２０１ｇ，２０１ｈ，２０１ｉと、使用している動作履歴解析支援プログラムに関する情報を表示する表示部２０１ｊとを含んでいる。
【００６５】
模擬画像２０１ａは、任意の状態における基板処理装置１を模擬した画像である。図６および図７に示したように、模擬画像２０１ａでは、基板Ｗを表す円形の図形の中に、基板Ｗの番号が記入されている。図７は、図６に示した状態においてプロセスチャンバー１０Ｃ１内に収容されていた、番号２２４が付された基板を、移載装置３１を用いて、プロセスチャンバー１０Ｂ１内へ移動した後の状態を表している。
【００６６】
ログ表示部２０２は、所定の期間内の全てのマシンログを表示する部分である。図８は、マシンログの一部の例を示している。図８における各行は、日時と、その日時における動作の内容を表している。ログ表示部２０２は、図８に示したようなマシンログによって表される複数の動作を、複数の動作項目として表示する。なお、ログ表示部２０２における各行が動作項目である。ログ表示部２０２は、スクロールボタンを含んでいる。そして、ログ表示部２０２に一度に全てのマシンログを表示できない場合であっても、スクロールボタンやキーボード等を操作して表示内容をスクロールすることによって、ログ表示部２０２に全てのマシンログを表示することが可能になっている。
【００６７】
ブックマーク表示部２０３は、操作者が、ログ表示部２０２に表示された複数の動作項目の中から選択してブックマークとして登録した１つ以上の動作項目を表示する部分である。
【００６８】
アラーム一覧表示部２０４は、所定の期間内の全てのアラームログを表示する部分である。図９は、アラームログの一部の例を示している。図９における各行は、日時と、その日時におけるアラームの内容を表している。アラーム一覧表示部２０４は、図９に示したようなアラームログによって表される１つ以上のアラームを、１つ以上のアラーム項目として表示する。なお、アラーム一覧表示部２０４における各行がアラーム項目である。アラーム一覧表示部２０４は、スクロールボタンを含んでいる。そして、アラーム一覧表示部２０４に一度に全てのアラームログを表示できない場合であっても、スクロールボタンやキーボード等を操作して表示内容をスクロールすることによって、アラーム一覧表示部２０４に全てのアラームログを表示することが可能になっている。
【００６９】
アラーム詳細表示部２０５は、アラーム一覧表示部２０４に表示された１つ以上のアラーム項目の中から操作者が選択した１つのアラーム項目に対応するアラームの詳細な内容を表示する部分である。アラームの詳細な内容は、動作履歴解析支援装置１００に対してインターネット等を介して接続されたデータベースから取得してもよい。
【００７０】
再生・停止指示部２０６は、再生指示手段１５５によって制御され、操作者が再生指示と再生停止指示とを行うことを可能にする部分である。再生・停止指示部２０６は、例えば、再生停止状態では、再生指示を表すアイコンボタンを表示し、再生状態では、再生停止指示を表すアイコンボタンを表示する。操作者が再生指示を表すアイコンボタンを押す（カーソルを合わせてマウスをクリックする）と、再生指示手段１５５は、表示制御手段１５４に対して再生の開始を指示すると共に、再生指示を表すアイコンボタンを、再生停止指示を表すアイコンボタンに変える。操作者が再生停止指示を表すアイコンボタンを押すと、再生指示手段１５５は、表示制御手段１５４に対して再生の停止を指示すると共に、再生停止指示を表すアイコンボタンを、再生指示を表すアイコンボタンに変える。なお、再生指示と再生停止指示は、キーボードを操作して行うことも可能である。
【００７１】
ログ表示部２０２、アラーム一覧表示部２０４に表示される内容は、それぞれ、再生・停止指示部２０６による指示に応じて再生処理が行われている際には、日時表示部２０１ｃに表示される日時に連動してスクロール表示される。また、再生・停止指示部２０６による指示に応じて停止処理が行われたときには、ログ表示部２０２、アラーム一覧表示部２０４には、それぞれ、日時表示部２０１ｃに表示される日時に対応する項目を含む部分が表示されるようにする。停止後は、ログ表示部２０２、アラーム一覧表示部２０４には、それぞれスクロール操作によって、任意の場所を表示させることができる。
【００７２】
なお、図示しないが、表示画面２００には、種々の操作を可能にする複数のアイコンボタンや複数のメニュー項目も表示される。前述の操作者の指示は、これらアイコンボタンやメニュー項目、あるいはキーボードを操作して行うことができる。
【００７３】
次に、図５に示した指定情報取得手段１５３に含まれる手段１５３Ａ〜１５３Ｇについて詳しく説明する。
【００７４】
動作項目選択手段１５３Ａは、ログ表示部２０２に表示された複数の動作項目の中から特定の動作項目を選択することを可能にする機能と、選択された特定の動作項目に対応する時刻の情報を指定情報として取得する機能とを有している。動作項目の選択は、所望の動作項目にカーソルを合わせてマウスをクリックしたり、キーボードを操作したりして行うことができる。以下の説明中における他の項目の選択の操作についても同様である。
【００７５】
ブックマーク登録・選択手段１５３Ｂは、ログ表示部２０２に表示された複数の動作項目のうちの１つ以上をブックマークとして登録することを可能にする機能と、ブックマークとして登録された１つ以上の動作項目の中から、上記の特定の動作項目を選択することを可能にする機能とを有している。ログ表示部２０２に表示された複数の動作項目のうちの所望の動作項目をブックマークとして登録する操作は、例えば、所望の動作項目を選択した後、ブックマーク登録用のアイコンボタンやメニュー項目を操作することによって行うことができる。登録された動作項目は、ブックマーク表示部２０３に表示される。ブックマークとして登録された１つ以上の動作項目の中から特定の動作項目を選択する操作は、ブックマーク表示部２０３に表示された１つ以上の動作項目の中から、所望の動作項目を選択することによって行うことができる。
【００７６】
アラーム選択手段１５３Ｃは、アラーム一覧表示部２０４に表示されたアラームの一覧の中から特定のアラームを選択することを可能にする機能と、選択された特定のアラームに対応する時刻の情報を指定情報として取得する機能とを有している。特定のアラームの選択は、アラーム一覧表示部２０４に表示された１つ以上のアラーム項目の中から、所望のアラーム項目を選択することによって行うことができる。また、選択したアラーム項目にカーソルを合わせてマウスを右クリックすると、アラームの発生時とアラームの解除時のいずれかを選択できるメニューが表示される。このメニューにおいて、操作者がアラームの発生時を選択した場合にはアラームの発生時の時刻が指定情報となり、操作者がアラームの解除時を選択した場合にはアラームの解除時の時刻が指定情報となる。
【００７７】
時刻指定手段１５３Ｄは、特定の時刻の指定を可能にする機能と、指定された時刻の情報を指定情報として取得する機能とを有している。特定の時刻の指定は、日時表示部２０１ｃに日時を入力することによって行うことができる。
【００７８】
動作指定手段１５３Ｅは、動作履歴情報であるマシンログによって表される複数の動作のうちの１つ動作の指定を可能にする機能と、指定された動作に対応する時刻の情報を指定情報として取得する機能とを有している。マシンログによって表される複数の動作のうちの１つの動作の指定は、例えば、表示部２０１ｄ〜２０１ｉを用いて、以下のようにして行うことができる。表示部２０１ｄ〜２０１ｉは、それぞれ、対応する装置（プロセスモジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ、ロードロック室１５Ａ，１５Ｂ）の動作を表示する項目を含んでいる。この項目に表示される動作は、装置の起動または終了、装置のステータス（処理中、メンテナンス中、アラーム発生中）、レシピの開始または終了、基板の搬入または搬出等である。この項目にカーソルを合わせてマウスを右クリックすると、所定の期間中に行われた装置の複数の動作の中から所望の動作を選択できるメニューが表示される。操作者は、このメニューから所望の動作を選択することによって、複数の動作のうちの１つの動作を指定することができる。
【００７９】
検索手段１５３Ｆは、動作履歴情報であるマシンログによって表される複数の動作の中から特定の動作を検索するための検索情報の入力を可能にする機能と、入力された検索情報に基づいて特定の動作を検索する機能と、検索された特定の動作に対応する時刻の情報を指定情報として取得する機能とを有している。検索情報は、例えばキーワードである。検索情報の入力は、検索用のアイコンボタンやメニュー項目を操作して、表示画面２００に、検索情報入力フォームを表示させ、この検索情報入力フォームに検索情報を入力することによって行うことができる。
【００８０】
抽出手段１５３Ｇは、動作履歴情報であるマシンログによって表される複数の動作の中から所定の条件に合致する１つ以上の動作を抽出するための抽出情報の入力を可能にする機能と、入力された抽出情報に基づいて１つ以上の動作を抽出する機能と、抽出された１つ以上の動作の中から特定の動作を指定することを可能にする機能と、指定された特定の動作に対応する時刻の情報を指定情報として取得する機能とを有している。抽出情報の入力は、例えば、抽出用のアイコンボタンやメニュー項目を操作して、抽出情報を入力できる状態にした後、抽出情報を入力することによって行うことができる。抽出情報の入力は、ログ表示部２０２における列見出し毎に、対応する列において選択可能な複数の抽出情報を表示するプルダウンメニューを表示させ、このプルダウンメニューの中から所望の抽出情報を選択することによって行うようにしてもよい。
【００８１】
本実施の形態に係る動作履歴解析支援プログラムは、基板処理装置１における動作の履歴の解析を支援するために、コンピュータを、図５に示した各手段として機能させるものである。この動作履歴解析支援プログラムは、図３における記録媒体１１５またはＲＯＭ１１３に記録されている。
【００８２】
次に、図１０のフローチャートを参照して、動作履歴解析支援装置１００の動作について説明する。動作履歴解析支援装置１００は、まず、ステップＳ１０１で、ログ取得手段１５１によって、基板処理装置１の装置コントローラ６１によって生成された所定の期間における複数種類のログのうちの少なくともマシンログとアラームログを取得する。
【００８３】
動作履歴解析支援装置１００は、次に、ステップＳ１０２で、取得したログの解析を行う。より詳しく説明すると、ステップＳ１０２では、取得したマシンログに基づいて、状態履歴情報作成手段１５２によって、時系列的に変化した基板処理装置１の状態の履歴を特定し、所定の期間における時刻に関連付けられた基板処理装置１の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成し、更に、この状態履歴情報を含むログ解析ファイル１６０を作成し、このログ解析ファイル１６０を記憶装置１０５によって保存する。
【００８４】
動作履歴解析支援装置１００は、次に、ステップＳ１０３で、表示制御手段１５４によって、表示装置１０４の表示画面２００に、初期状態の画面を表示させる。初期状態の画面は、所定の期間における基板処理装置１の初期状態を表すものである。この時点では、模擬画像２０１ａは、所定の期間における基板処理装置１の初期状態を表す静止画である。
【００８５】
動作履歴解析支援装置１００は、次に、ステップＳ１０４で、操作者によって動作履歴解析支援プログラムの終了が指示されたか否かを判断する。動作履歴解析支援プログラムの終了が指示された場合（Ｙ）は、動作履歴解析支援装置１００は動作を終了する。動作履歴解析支援プログラムの終了が指示されなかった場合（Ｎ）は、ステップＳ１０５に進む。
【００８６】
ステップＳ１０５では、動作履歴解析支援装置１００は、指定情報取得手段１５３が指定情報を取得したか否かを判断する。指定情報取得手段１５３が指定情報を取得した場合（Ｙ）は、ステップＳ１０６で、表示制御手段１５４によって、表示装置１０４の表示画面２００に、指定情報によって指定された特定の箇所（時刻）における基板処理装置１の状態を表示させて、ステップＳ１０７に進む。ステップＳ１０５において、指定情報取得手段１５３が指定情報を取得していない場合（Ｎ）は、表示装置１０４の表示画面２００を変更することなく、ステップＳ１０７に進む。
【００８７】
ステップＳ１０７では、動作履歴解析支援装置１００は、再生指示手段１５５による再生の指示があったか否かを判断する。再生の指示がなかった場合（Ｎ）は、ステップＳ１０４に戻る。再生の指示があった場合（Ｙ）は、ステップＳ１０８で、表示制御手段１５４によって再生を開始する。このとき、再生が開始される箇所（時刻）は、指定情報による特定の箇所（時刻）の指定が１回以上あった場合には最後に指定情報によって指定された特定の箇所（時刻）であり、一度も指定情報による特定の箇所（時刻）の指定がなかった場合には所定の期間における最初の箇所（時刻）である。
【００８８】
動作履歴解析支援装置１００は、次に、ステップＳ１０９で、再生指示手段１５５による再生停止の指示があったか否かを判断する。再生停止の指示があった場合（Ｙ）は、ステップＳ１１１で、表示制御手段１５４によって再生を停止して、ステップＳ１０４に戻る。ステップＳ１０９において再生停止の指示がなかった場合（Ｎ）は、動作履歴解析支援装置１００は、ステップＳ１１０で、模擬画像２０１ａを表示する箇所（時刻）が所定の期間における最後の時点に達したか否かを判断する。模擬画像２０１ａを表示する箇所（時刻）が最後の時点に達した場合（Ｙ）には、ステップＳ１１１に進んで再生を停止して、ステップＳ１０４に戻る。ステップＳ１１０において、模擬画像２０１ａを表示する箇所（時刻）が最後の時点に達していない場合（Ｎ）には、ステップＳ１０９に戻る。
【００８９】
以上説明したように、本実施の形態によれば、動作履歴情報であるマシンログに基づいて、時系列的に変化した基板処理装置１の状態の履歴を特定し、所定の期間における時刻に関連付けられた基板処理装置１の状態の履歴を表す状態履歴情報を作成し、この状態履歴情報に基づいて、指定された特定の箇所以降の期間における基板処理装置１の複数の状態に対応する複数の模擬画像を、動画として、時系列的に表示装置１０４に表示させることが可能になる。これにより、本実施の形態によれば、基板処理装置１における過去の動作を容易に把握することが可能になる。そのため、本実施の形態によれば、人がログを読んで解析する従来の方法で必要とされていた専門的な知識と多大な労力とを必要とせずに、基板処理装置１における動作の履歴の解析を容易に行うことが可能になる。
【００９０】
また、本実施の形態によれば、制御部４のソフトウェアのバージョンアップに伴って基板処理装置１のスループットが低下した場合のように、基板処理装置１において、アラームが発生しない不具合が生じた場合でも、上述のように複数の模擬画像を動画として時系列的に表示装置１０４に表示させることにより、不具合の解明を容易に行うことが可能になる。
【００９１】
また、本実施の形態に係る動作履歴解析支援装置１００によれば、指定情報取得手段１５３によって、多様な方法で、容易に、所望の再生開始箇所を指定することができる。
【００９２】
また、本実施の形態に係る動作履歴解析支援装置１００では、作成したログ解析ファイル１６０を外部に出力することができる。そのため、本実施の形態に係る動作履歴解析支援プログラム、あるいは動作履歴解析支援プログラムからログ取得手段１５１および状態履歴情報作成手段１５２を実現する機能を省いたプログラムがインストールされたコンピュータによって、ログ解析ファイル１６０を用いて、ログ解析ファイル１６０の作成以外、動作履歴解析支援装置１００と同様の処理を行うことが可能になる。
【００９３】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明は、図１に示した構成の基板処理装置１に限らず、種々の構成の基板処理装置に適用することができる。また、基板処理装置で処理対象とする基板Ｗとしては、半導体デバイス製造用の基板に限らず、例えばフラットパネルディスプレイ製造用のガラス基板、太陽電池パネル製造用の基板等でもよい。
【符号の説明】
【００９４】
１…基板処理装置、２…処理システム、３…搬送システム、１００…動作履歴解析支援装置、１０１…主制御部、１０２…入力装置、１０３…出力装置、１０４…表示装置、１０５…記憶装置、１０６…外部インターフェース、１１５…記録媒体、１５１…ログ取得手段、１５２…状態履歴情報作成手段、１５３…指定情報取得手段、１５４…表示制御手段、１５５…再生指示手段、１５６…画像データ記憶部、１５７…出力手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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