(57)【要約】【課題】副ポンプが排気通路に関して主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における最上流側の副ポンプにおける電力消費を抑制し、且つ効率的に排気も行えるようにする。【解決手段】ロードロックチャンバ３６内は、ブースタポンプ２７（副ポンプ）及び主ポンプ１０の作動によって所望の低圧状態（真空状態）にされる。主ポンプ１０の電動モータＭ１にはインバータ３８が電気接続されており、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２にはインバータ３９が電磁遮断器４０を介して電気接続されている。制御装置４１には回転数検出器４３が信号接続されている。回転数検出器４３は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数を検出する。電動モータＭ２の回転数が基準回転数Ｎｏ以下になると、制御装置４１は、電磁遮断器４０を一時的に遮断する。【選択図】図３
2010127107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動モータによって駆動される主ポンプ及び少なくとも１つの副ポンプが排気通路に関して複数直列に接続されており、前記副ポンプは、前記排気通路に関して前記主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における運転制御装置において、
吸引作用対象領域に対して吸引作用をもたらす最上流側の副ポンプの電動モータに対する電力供給を制御する制御手段と、
前記最上流側の副ポンプの電動モータの負荷、又は前記最上流側の副ポンプに接続する下流側の副ポンプの電動モータの負荷、又は前記最上流側の副ポンプに接続する主ポンプの電動モータの負荷を取得する負荷取得手段とを備え、
前記負荷取得手段によって取得された負荷が予め設定された閾値以上になった場合には、前記制御手段は、前記最上流側の副ポンプの電動モータに対する電力供給を一時的に停止して、前記最上流側の副ポンプの電動モータを慣性で回転させる慣性運転制御を行なう真空ポンプ装置における運転制御装置。
【請求項２】
前記負荷取得手段は、前記最上流側の副ポンプの電動モータの負荷を検出する上流側負荷取得手段である請求項１に記載の真空ポンプ装置における運転制御装置。
【請求項３】
前記負荷取得手段は、前記最上流側の副ポンプに接続する下流側の副ポンプの電動モータの負荷、又は前記最上流側の副ポンプに接続する主ポンプの電動モータの負荷を取得する下流側負荷取得手段であり、前記下流側負荷取得手段によって取得された負荷が予め設定された基準値以上から前記基準値未満になった場合には、前記制御手段は、前記慣性運転制御から通常制御へ移行し、前記基準値は、前記最上流側の副ポンプの電動モータを慣性で回転させているときの基準値として設定されている請求項１に記載の真空ポンプ装置における運転制御装置。
【請求項４】
前記最上流側の副ポンプに接続する下流側の副ポンプの電動モータ、又は前記最上流側の副ポンプに接続する主ポンプの電動モータに対して供給される電力の電流値を検出する電流検出手段を備え、前記下流側負荷取得手段は、前記電流検出手段であり、前記下流側負荷取得手段によって取得される負荷は、前記電流検出手段によって検出される電流値である請求項３に記載の真空ポンプ装置における運転制御装置。
【請求項５】
前記最上流側の副ポンプの電動モータの回転数を検出する回転数検出手段を備え、前記上流側負荷取得手段は、前記回転数検出手段であり、前記上流側負荷取得手段によって取得される負荷は、前記回転数検出手段によって検出される回転数の逆数である請求項２に記載の真空ポンプ装置における運転制御装置。
【請求項６】
前記最上流側の副ポンプの電動モータは、誘導モータである請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置における運転制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動モータによって駆動される主ポンプ及び少なくとも１つの副ポンプが排気通路に関して複数直列に接続されており、前記副ポンプは、前記排気通路に関して前記主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における運転制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プロセスチャンバ（処理室）に併設されたロードロックチャンバ（ロードロック室）内の圧力は、真空圧相当から大気圧相当に急変する。このようなロードロックチャンバ内を真空ポンプによって圧力低下させる場合、ロードロックチャンバ内の圧力が真空圧相当から大気圧相当に急変したときには、真空ポンプの負荷は、低負荷状態から最大負荷状態へ急変する。そうすると、真空ポンプは、過負荷となって破損するおそれがある。
【０００３】
このような事態を回避するため、特許文献２では、真空ポンプの単位時間当たりの負荷トルク増加量が急激に上昇したときには、真空ポンプの電動モータの回転速度を減速する制御が開示されている。
【０００４】
排気速度を高めるために副ポンプ（ブースタポンプ）が排気通路に関して主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置では、最上流側の副ポンプ（ブースタポンプ）における排気速度が下流側のポンプの排気速度よりも大きくしてある。そのため、ロードロックチャンバ内の圧力が真空圧相当から大気圧相当に急変したときには、最上流側の真空ポンプが過負荷になって高速回転できず、仕事をしない状態で電力が無駄に消費されてしまう。
【０００５】
特許文献１では、大気圧から所定の低圧までブースタポンプを停止させておく運転方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２０７９８４号公報
【特許文献２】特開２００４−１９７６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ブースタポンプを停止しておけば、電力が無駄に消費されることは回避できるが、ブースタポンプを停止した状態では、圧損が大きく効率的に排気することができない。
本発明は、副ポンプが排気通路に関して主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における最上流側の副ポンプにおける電力消費を抑制し、且つ効率的に排気も行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、電動モータによって駆動される主ポンプ及び少なくとも１つの副ポンプが排気通路に関して複数直列に接続されており、前記副ポンプは、前記排気通路に関して前記主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における運転制御装置を対象とし、請求項１の発明では、吸引作用対象領域に対して吸引作用をもたらす最上流側の副ポンプの電動モータに対する電力供給を制御する制御手段と、前記最上流側の副ポンプの電動モータの負荷、又は前記最上流側の副ポンプに接続する下流側の副ポンプの電動モータの負荷、又は前記最上流側の副ポンプに接続する主ポンプの電動モータの負荷を取得する負荷取得手段とを備え、前記負荷取得手段によって取得された負荷が予め設定された閾値以上になった場合には、前記制御手段は、前記最上流側の副ポンプの電動モータに対する電力供給を一時的に停止して、前記最上流側の副ポンプの電動モータを慣性で回転させる慣性運転制御を行なう。
【０００８】
電力供給を一時的に停止する制御が行われるため、電力消費が抑制される。しかも、電力供給を停止している間でも、最上流側の副ポンプの電動モータが慣性で回転するため、効率的に排気も行われる。
【０００９】
好適な例では、前記負荷取得手段は、前記最上流側の副ポンプの電動モータの負荷を検出する上流側負荷取得手段である。
最上流側の副ポンプの電動モータの負荷は、慣性運転制御を開始する時期や慣性運転制御を終了する時期を把握する上で、好適な情報である。
【００１０】
好適な例では、前記負荷取得手段は、前記最上流側の副ポンプに接続する下流側の副ポンプの電動モータの負荷、又は前記最上流側の副ポンプに接続する主ポンプの電動モータの負荷を取得する下流側負荷取得手段であり、前記下流側負荷取得手段によって取得された負荷が予め設定された基準値以上から前記基準値未満になった場合には、前記制御手段は、前記慣性運転制御から通常制御へ移行し、前記基準値は、前記最上流側の副ポンプの電動モータを慣性で回転させているときの基準値として設定されている。
【００１１】
最上流側の副ポンプに接続する下流側のポンプの電動モータの負荷は、慣性運転制御を終了する時期を把握する上で、好適な情報である。
好適な例では、前記最上流側の副ポンプに接続する下流側の副ポンプの電動モータ、又は前記最上流側の副ポンプに接続する主ポンプの電動モータに対して供給される電力の電流値を検出する電流検出手段を備え、前記下流側負荷取得手段は、前記電流検出手段であり、前記下流側負荷取得手段によって取得される負荷は、前記電流検出手段によって検出される電流値である。
【００１２】
下流側のポンプの電動モータに対して供給される電力の電流値の変動は、負荷の変動を精度良く反映している。下流側のポンプの電動モータに対して供給される電力の電流値は、慣性運転制御を終了するための最上流側の副ポンプの電動モータの負荷の情報として好適である。
【００１３】
好適な例では、前記最上流側の副ポンプの電動モータの回転数を検出する回転数検出手段を備え、前記上流側負荷取得手段は、前記回転数検出手段であり、前記上流側負荷取得手段によって取得される負荷は、前記回転数検出手段によって検出される回転数の逆数である。
【００１４】
最上流側の副ポンプの電動モータの負荷が上昇すると、該電動モータの回転数が低下し、該電動モータの負荷が低下すると、該電動モータの回転数が上昇する。最上流側の副ポンプの電動モータの回転数の逆数は、最上流側の副ポンプの電動モータの負荷の情報として好適である。
【００１５】
好適な例では、前記最上流側の副ポンプの電動モータは、誘導モータである。
最上流側の副ポンプの電動モータが永久磁石内蔵型の電動モータであるとすると、電力供給停止時に回転している電動モータが発電してしまうが、これは好ましくない。誘導モータは、このような不具合をもたらさない。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、副ポンプが排気通路に関して主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における最上流側の副ポンプにおける電力消費を抑制し、且つ効率的に排気も行えるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。
図１に示すように、ルーツポンプ型の主ポンプ１０のロータハウジング１１の前端にはフロントハウジング１２が連結されており、ロータハウジング１１の後端にはリヤハウジング１３が連結されている。ロータハウジング１１、フロントハウジング１２及びリヤハウジング１３は、真空ポンプである主ポンプ１０のポンプハウジングを構成する。
【００１８】
ロータハウジング１１内には複数の隔壁１４が設けられており、フロントハウジング１２と隔壁１４との間の空間、隣合う隔壁１４の間の空間、及びリヤハウジング１３と隔壁１４との間の空間は、それぞれポンプ室１５，１６，１７，１８，１９となっている。ポンプ室１５，１６，１７，１８，１９の容積は、この順に小さくなってゆくようにしてある。
【００１９】
フロントハウジング１２とリヤハウジング１３とには回転軸２０が回転可能に支持されている。又、フロントハウジング１２とリヤハウジング１３とには回転軸２１〔図２参照〕が回転可能に支持されている。互いに平行に配置された回転軸２０，２１は、各隔壁１４に通されている。
【００２０】
回転軸２０には複数のロータ２２が一体形成されており、回転軸２１には同数のロータ２３〔図２参照〕が一体形成されている。ポンプ室１５，１６，１７，１８，１９に収容された複数のロータ２２，２３は、回転軸２０，２１の軸方向に見て同形同大の形状をしている。隣り合うポンプ室１５，１６，１７，１８，１９は、隔壁１４内の通路１４１を介して連通している。
【００２１】
リヤハウジング１３にはギヤハウジング２４が組み付けられており、回転軸２０，２１は、リヤハウジング１３及びギヤハウジング２４を通されている。
図２に示すように、ギヤハウジング２４内の各回転軸２０，２１には歯車２５，２６が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング２４には電動モータＭ１〔図１参照〕が組み付けられている。回転軸２０は、電動モータＭ１によって図２の矢印Ｒ１の方向に回転される。回転軸２１は、歯車２５，２６を介して電動モータＭ１から駆動力を得ており、回転軸２１は、図２の矢印Ｒ２で示すように回転軸２０とは逆方向に回転する。
【００２２】
図１及び図２に示すように、ロータハウジング１１には吸入口１１１がポンプ室１５に連通するように形成されており、ロータハウジング１１には排気口１１２がポンプ室１９に連通するように形成されている。吸入口１１１からポンプ室１５に導入されたガスは、ポンプ室１６，１７，１８，１９の順に隣りのポンプ室へ移送される。ポンプ室１９へ移送されたガスは、排気口１１２からロータハウジング１１の外部へ排出される。
【００２３】
主ポンプ１０にはルーツポンプ型のブースタポンプ２７が連結されている。ブースタポンプ２７のロータハウジング２８内には単一のポンプ室２９が形成されている。
図２に示すように、ポンプ室２９にはロータ３０，３１が互いに噛合した状態で収容されている。ロータ３０は、回転軸３２に一体形成されており、ロータ３１は、回転軸３３に一体形成されている。
【００２４】
ロータハウジング２８には吸入口２８１が形成されている。吸入口２８１は、ポンプ室２９に接続されている。ロータハウジング２８には接続フランジ３４が一体形成されている。接続フランジ３４は、主ポンプ１０のロータハウジング１１に連結されている。接続フランジ３４内には接続通路３４１が形成されている。接続通路３４１は、主ポンプ１０の吸入口１１１に接続されていると共に、ブースタポンプ２７のポンプ室２９に接続されている。つまり、主ポンプ１０におけるポンプ室１５と、ブースタポンプ２７におけるポンプ室２９とは、接続通路３４１を介して連通している。
【００２５】
接続通路３４１は、ブースタポンプ２７及び主ポンプ１０の排気通路の一部である。ブースタポンプ２７は、主ポンプ１０に対して排気通路に関して直列になるように、主ポンプ１０の上流側に配置されている。ブースタポンプ２７は、最上流側の副ポンプである。
【００２６】
ブースタポンプ２７におけるその他の構成は、主ポンプ１０と同じである。そこで、ブースタポンプ２７の駆動源である電動モータＭ２を除いたブースタポンプ２７におけるその他の構成には主ポンプ１０と同じ符号を付し、その詳細説明は省略する。回転軸３２は、電動モータＭ２によって図２の矢印Ｒ３の方向に回転される。回転軸３３は、歯車２５，２６を介して電動モータＭ２から駆動力を得ており、回転軸３３は、図２の矢印Ｒ４で示すように回転軸３２とは逆方向に回転する。本実施形態では、電動モータＭ２は、誘導モータである。
【００２７】
ブースタポンプ２７における電動モータＭ２が作動すると、ロータ３０，３１が回転し、吸引作用対象領域内のガスが吸入口２８１を経由してポンプ室２９へ吸入される。ポンプ室２９へ吸入されたガスは、ロータ３０，３１の回転、及び主ポンプ１０における電動モータＭ１の作動によるロータ２２，２３の回転によって、接続通路３４１及び吸入口１１１を経由してポンプ室１５に移行する。ポンプ室１５に移行したガスは、ロータ２２，２３の回転によって、ポンプ室１６〜１９を順次経由して排気口１１２へ送られる。
【００２８】
ブースタポンプ２７における排気速度は、主ポンプ１０における排気速度よりも大きくしてある。
図３に示す３５は、例えば半導体製造の作業を行なうための真空チャンバである。３６は、真空チャンバ３５に供給される図示しないワークを待機させると共に、真空チャンバ３５で完成されたワークを搬出するために待機させるためのロードロックチャンバである。真空チャンバ３５内は、真空ポンプ３７によって所望の低圧状態（真空状態）にされる。ロードロックチャンバ３６にはブースタポンプ２７が接続されている。ロードロックチャンバ３６内は、ブースタポンプ２７及び主ポンプ１０の作動によって所望の低圧状態（真空状態）にされる。ロードロックチャンバ３６内は、ブースタポンプ２７に関する吸引作用対象領域である。
【００２９】
ロードロックチャンバ３６内は、真空チャンバ３５に供給されるワークをロードロックチャンバ３６内に搬入すると共に、完成したワークをロードロックチャンバ３６から搬出するために、電動ゲート３６１を開けて大気に開放される。ロードロックチャンバ３６内のワークは、電動ゲート３５１を開けて真空チャンバ３５に供給される。
【００３０】
主ポンプ１０の電動モータＭ１にはインバータ３８が電気接続されており、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２にはインバータ３９が電磁遮断器４０を介して電気接続されている。インバータ３８は、制御装置４１の指令制御に基づいて、交流電源４２を電源として電動モータＭ１の回転速度制御を行なう。インバータ３９は、制御装置４１の指令制御に基づいて、交流電源４２を電源として電動モータＭ２の回転速度制御を行なう。
【００３１】
制御装置４１は、インバータ３８から電動モータＭ１へ供給される電流の値を検出している。インバータ３８から電動モータＭ１に供給される電流値は、電動モータＭ１の負荷を反映している。即ち、制御装置４１は、電動モータＭ１の負荷を取得していることになる。インバータ３８及び制御装置４１は、電動モータＭ１の負荷を反映する電流値を検出して取得する電流検出手段を構成する。該電流検出手段は、最上流側の副ポンプであるブースタポンプ２７に接続する下流側の主ポンプ１０の電動モータＭ１の負荷（電流値）を検出する下流側負荷取得手段（負荷取得手段）である。
【００３２】
制御装置４１には回転数検出器４３が信号接続されている。回転数検出器４３は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数を検出する。回転数検出器４３によって検出された回転数検出情報は、制御装置４１へ送られる。
【００３３】
図３のグラフにおける曲線Ｇ１は、主ポンプ１０の電動モータＭ１の回転数の時間変化を表し、曲線Ｆ１は、電動モータＭ１に対して供給される電流の値の時間変化を表す。曲線Ｇ１，Ｆ１を表す座標の横軸は、時間ｔを示し、左側の縦軸は、回転数Ｎｓを示し、右側の縦軸は、電流値Ｅｓを示す。
【００３４】
図３のグラフにおける曲線Ｇ２は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数の時間変化を表し、曲線Ｆ２は、電動モータＭ２に対して供給される電流の値の時間変化を表す。曲線Ｇ２，Ｆ２を表す座標の横軸は、時間ｔを示し、左側の縦軸は、回転数Ｎｂを示し、右側の縦軸Ｅｂは、電流値を示す。
【００３５】
制御装置４１は、ロードロックチャンバ３６内が真空状態であるときの主ポンプ１０の電動モータＭ１の回転数Ｎｓが回転数Ｎ１〔図３参照〕となるように、インバータ３８の作動を制御する。又、制御装置４１は、ロードロックチャンバ３６内が真空状態であるときのブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数Ｎｂが回転数Ｎ２〔図３参照〕となるように、インバータ３９の作動を制御する。本実施形態では、Ｎ１＝Ｎ２である。
【００３６】
ロードロックチャンバ３６内が真空状態から大気圧状態へ変化したときには、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の負荷が急上昇し、電動モータＭ２の回転数Ｎｂが急激に低下する。電動モータＭ２の回転数Ｎｂが予め設定された閾値としての基準回転数Ｎｏ〔図３参照〕以下になると、つまり、回転数ＮｂがＮｏの逆数１／Ｎｏ以上になると、制御装置４１は、電磁遮断器４０を遮断状態（開状態）にする。つまり、制御装置４１は、電動モータＭ２に対する電力供給を一時的に停止して、電動モータＭ２を慣性で回転させる慣性運転制御を遂行する。図３に示す時間ｔ１は、ロードロックチャンバ３６内が真空状態から大気圧状態へ移行する途中のときを表しており、時間ｔ２は、ロードロックチャンバ３６内が真空状態へ移行したときを表している。
【００３７】
主ポンプ１０及びブースタポンプ２７の作動によってロードロックチャンバ３６内が大気圧状態から真空状態へ移行する途中、主ポンプ１０の電動モータＭ１に対して供給される電流値Ｅｓは、増大してから低下してゆく。この低下の途中の電流値Ｅｓが予め設定された基準値としての基準電流値Ｅｏ以下になると、制御装置４１は、電磁遮断器４０を通電状態（閉状態）にする。つまり、制御装置４１は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２に対する電力供給を再開して、慣性運転制御から通常制御へ移行する。図３に示す時間ｔ３は、前記した慣性運転制御から通常制御へ移行する時を表している。基準電流値Ｅｏは、電動モータＭ２が慣性で回転しているときの基準値として設定されている。
【００３８】
制御装置４１は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数Ｎｂが基準回転数Ｎｏ以下になった場合、つまり１／Ｎｂ≧１／Ｎｏになった場合には、電動モータＭ２に対する電力供給を一時的に停止して、電動モータＭ２を慣性で回転させる慣性運転制御を行なう制御手段である。回転数検出器４３は、電動モータＭ２の負荷（回転数の逆数）を取得する上流側負荷取得手段（負荷取得手段）としての回転数検出手段である。
【００３９】
第１の実施形態では以下の効果が得られる。
（１）回転数検出器４３によって取得された電動モータＭ２の回転数Ｎｂが予め設定された基準回転数Ｎｏ以下になった場合、つまり１／Ｎｂ≧１／Ｎｏになった場合には、制御装置４１は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２に対する電力供給を一時的に停止して、電動モータＭ２を慣性で回転させる慣性運転制御を行なう。
【００４０】
図３に鎖線で示す曲線Ｆ３は、慣性運転制御を行わない場合に電動モータＭ２に供給される電流値の変化を示す。曲線Ｆ３から明らかなように、慣性運転制御を行わない場合には、電動モータＭ２の回転数が低下して仕事をしていないのにも関わらず電動モータＭ２にて電力が無駄に消費される。
【００４１】
電力供給を一時的に停止する制御が電動モータＭ２に対して行われるため、電動モータＭ２は、慣性で回転しているだけの状態となり、ロードロックチャンバ３６からの排気が行われつつ、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２における電力消費が抑制される。
【００４２】
（２）ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の負荷が上昇すると、電動モータＭ２の回転数Ｎｂが低下（１／Ｎｂが増大）し、電動モータＭ２の負荷が低下すると、電動モータＭ２の回転数Ｎｂが上昇（１／Ｎｂが低減）する。従って、電動モータＭ２の回転数Ｎｂの逆数１／Ｎｂは、慣性運転制御を開始するための電動モータＭ２の負荷の情報として好適である。
【００４３】
（３）インバータ３８から制御装置４１によって取得された電流値Ｅｓが予め設定された基準電流値Ｅｏ未満から基準電流値Ｅｏ以上になった後に基準電流値Ｅｏ未満になった場合には、制御装置４１は、前記慣性運転制御から通常制御へ移行する。
【００４４】
図３に曲線Ｆ１で示すように、主ポンプ１０の電動モータＭ１に関する電流値Ｅｓの低下は、ロードロックチャンバ３６内の圧力が大気圧状態から大きく低下しているときであり、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の負荷が大きく低下しているときである。つまり、主ポンプ１０の電動モータＭ１に関する電流値Ｅｓの低下は、電力供給のないブースタポンプ２７の電動モータＭ２の負荷の低下（ロードロックチャンバ３６内の圧力の低下）を精度良く反映している。従って、最上流側のブースタポンプ２７に接続する下流側の主ポンプ１０の電動モータＭ１の電流値Ｅｓは、慣性運転制御を終了する時期を把握する上で、好適な情報である。
【００４５】
（４）ブースタポンプ２７の電動モータＭ２が永久磁石内蔵型の電動モータであるとすると、電力供給停止時に慣性で回転している電動モータＭ２が発電してしまうが、これは好ましくない。電動モータＭ２として用いられた誘導モータは、このような不具合をもたらさない。
【００４６】
本発明では以下のような実施形態も可能である。
○図４に示す第２の実施形態のように、主ポンプ１０〔図３（ａ）参照〕の電動モータＭ１〔図３（ａ）参照〕に対して供給される電流値Ｅｓの上昇が予め設定された基準電流値Ｅｅ以上になったときに、制御装置４１〔図３（ａ）参照〕が電磁遮断器４０〔図３（ａ）参照〕を遮断状態（開状態）にして慣性運転制御を開始するようにしてもよい。時間ｔ４は、上昇する電流値Ｅｓが基準電流値Ｅｅに達したときを表している。電動モータＭ１の電流値Ｅｓは、慣性運転制御を開始する時期を把握する上で、好適な情報である。
【００４７】
○図５に示す第３の実施形態のように、ロードロックチャンバ３６内の圧力を圧力検出器４４によって検出し、制御装置４１が圧力検出器４４によって検出された圧力検出情報に基づいて電磁遮断器４０の開閉を制御するようにしてもよい。この場合、検出された圧力が真空状態から上昇して予め設定された閾値としての基準圧力Ｐ１（例えば大気圧）以上になったときに、制御装置４１が慣性運転制御を行なえばよい。そして、検出された圧力が基準圧力Ｐ１から低下して予め設定された基準圧力Ｐ２（＜Ｐ１）以下になったときに、制御装置４１が慣性運転制御を終了して通常制御へ移行すればよい。基準圧力Ｐ２は、電動モータＭ２が慣性で回転しているときの基準値として設定されている。
【００４８】
圧力検出器４４は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の負荷（ロードロックチャンバ３６内の圧力）を検出する上流側負荷取得手段（負荷取得手段）である。
第３の実施形態においても、第１の実施形態における（１）項と同様の効果が得られる。又、ロードロックチャンバ３６内の圧力の検出情報のみから慣性運転制御の開始時期と慣性運転制御の終了時期とを把握でき、制御システムが簡素になる。
【００４９】
○第１の実施形態における期間（ｔ３−ｔ１）を試験によって特定しておき、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数が基準回転数Ｎｏに低下した時から期間（ｔ３−ｔ１）が経過したら、制御装置４１は、慣性運転制御を終了して通常制御へ移行する制御を行なうようにしてもよい。期間（ｔ３−ｔ１）は、主ポンプ１０の電動モータＭ１の過負荷を推定する負荷推定情報であり、制御装置４１は、負荷推定情報〔期間（ｔ３−ｔ１）〕を取得する負荷取得手段である。
【００５０】
○第１の実施形態において、主ポンプ１０の電動モータＭ１に供給される電流値Ｅｓが最大値に達してから基準時間後に、慣性運転制御を終了して通常制御へ移行するようにしてもよい。この基準時間は、期間（ｔ３−ｔ１）と同様に、試験を行なうことによって特定される。
【００５１】
○第１の実施形態において、電磁遮断器４０の代わりに、リレーを用いてもよい。
○第１の実施形態において、電磁遮断器４０を無くし、慣性運転制御の際には、インバータ３９から出力される電力を零とするようにしてもよい。
【００５２】
○主ポンプ１０とブースタポンプ２７との間に第２の副ポンプを介在してもよい。
前記した実施形態から把握できる技術思想について以下に記載する。
〔１〕吸引作用対象領域の圧力を検出する圧力検出手段を備え、前記上流側負荷取得手段は、前記圧力検出手段であり、前記上流側負荷取得手段によって取得される負荷は、前記圧力検出手段によって検出される吸引作用対象領域の圧力である請求項２に記載の真空ポンプ装置における運転制御装置。
【００５３】
制御システムが簡素になる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】第１の実施形態を示す主ポンプ及び副ポンプを示す側断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】（ａ）は、制御ブロック図。（ｂ）は、慣性運転制御を説明するためのグラフ。
【図４】第２の実施形態を示す慣性運転制御を説明するためのグラフ。
【図５】第３の実施形態を示す制御ブロック図。
【符号の説明】
【００５５】
１０…主ポンプ。２７…副ポンプとしてのブースタポンプ。３４１…排気通路の一部である接続通路。３６…吸引作用対象領域としてのロードロックチャンバ。３８…下流側負荷取得手段としての電流検出手段を構成するインバータ。４１…下流側負荷取得手段としての電流検出手段を構成し、制御手段としての制御装置。４３…回転数検出手段としての回転数検出器。Ｍ１…主ポンプの電動モータ。Ｍ２…副ポンプの電動モータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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