(57)【要約】【課題】被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減しつつ確実にガイドすることができ、かつ、小型化可能なリニア駆動型超音波モータを提供する。【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、超音波振動子を被駆動体に付勢する押圧部材と、被駆動部材を支持する球状の転動部材と、超音波振動子と押圧部材と転動部材とを収容するケース部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、ケース部材における、被駆動部材が駆動される方向に対して垂直な断面形状が略コの字型である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、
前記超音波振動子を前記被駆動体に付勢する押圧部材と、
前記被駆動部材を支持する球状の転動部材と、
前記超音波振動子と前記押圧部材と前記転動部材とを収容するケース部材と、
前記転動部材を介して前記被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、
を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、
前記ケース部材における、前記被駆動部材が駆動される方向に対して垂直な断面形状が、いずれの断面においても略コの字型であることを特徴とするリニア駆動型超音波モータ。
【請求項２】
前記被駆動部材が円筒面を有することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記ケース部材の略コの字断面形状における両端部が、前記押圧部材の付勢方向に延びて、前記転動部材と当接することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項４】
前記ベース部材に設けられた突出部が、前記ケース部材の外面側から当接して前記ケース部材に係止固定されたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項５】
前記ベース部材は平板形状を備え、かつ前記ケース部材に係止固定されて前記転動部材と当接したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項６】
前記ケース部材の内面に、曲げ突出部を有するガイド部材が対向して固着されて、前記ガイド部材と前記転動部材が当接し、かつ、前記曲げ突出部と前記ベース部材が係止固定されたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項７】
前記ケース部材の、前記被駆動部材が駆動される方向における端面から、前記超音波振動子に給電する給電部材が挿通されたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニア駆動型超音波モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータ装置において、主要な構成要件をパッケージしたユニット構造にすることは汎用性、特性安定化の点で有効であり、小型かつ高出力にすることが求められている。
【０００３】
従来の超音波モータ装置としては、例えば特許文献１記載の振動装置が挙げられる（図１１）。ここで、図１１は、従来のリニア駆動型超音波モータの構成を示す図であって、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は縦断面図である。
【０００４】
図１１に示す振動装置は、振動体９０１を収容したケース９０６、ケース９０６内を通って振動体９０１に接触する移動体９０４、及び、移動体９０４と振動体９０１とを加圧接触させる押圧力（付勢力）を発生する押圧バネ９０５を備えている。
【０００５】
押圧バネ９０５は、ケース９０６の外側に取り付けられている。ケース９０６の振動体９０１に面する側には開口部が形成され、押圧バネ９０５の押圧力は、開口部を通して振動体９０１に作用している。
【０００６】
すなわち、この振動装置は、押圧バネ９０５がケース９０６の開口部を覆いながらケース９０６の外側に取り付けられた構造をしており、押圧力を発生させる押圧バネ９０５の変形部（開口部を覆っている平面部）が露出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３５２４２４８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１記載の振動装置においては、ケース９０６の穴に設けられた滑り軸受けで、移動体９０４を移動方向及び移動体９０４の軸周りにガイドする構造をしている。この構造では、移動体９０４は押圧バネ９０５によってケース９０６に押圧されているため、ケース９０６の穴に設けられた滑り軸受けとの接触部の接触圧力が高く、移動体９０４が移動する際に滑り摩擦が大きい。
【０００９】
このため、摺動抵抗が大きくなり出力低下の要因となる。また、移動体９０４は振動体９０１によって振動しているために滑り摩擦部における磨耗が促進されるという問題がある。例えばこの部分に一般的に用いられているスラスト軸受けなどのベアリングを使用すると装置の大型化につながってしまう。
【００１０】
また、特許文献１記載の振動装置においては、ケース９０６の内部に移動体９０４をガイドするガイド機構を設けることは小型化の観点で困難であり、さらに、小型化を維持しつつ摩擦抵抗の少ないガイド機構をケース内部に構成することも難しい。
【００１１】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減しつつ確実にガイドすることができ、かつ、小型化可能なリニア駆動型超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、超音波振動子を被駆動体に付勢する押圧部材と、被駆動部材を支持する球状の転動部材と、超音波振動子と押圧部材と転動部材とを収容するケース部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、ケース部材における、被駆動部材が駆動される方向に対して垂直な断面形状が、いずれの断面においても略コの字型であることを特徴としている。
【００１３】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータにおいて、被駆動部材は円筒面を有することが好ましい。
【００１４】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータにおいて、ケース部材の略コの字断面形状における両端部が、押圧部材の付勢方向に延びて、転動部材と当接することが好ましい。
【００１５】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータにおいて、ベース部材に設けられた突出部が、ケース部材の外面側から当接してケース部材に係止固定されることが好ましい。
【００１６】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータにおいて、ベース部材は平板形状を備え、かつ、ケース部材に係止固定されて転動部材と当接することが好ましい。
【００１７】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータにおいて、ケース部材の内面に、曲げ突出部を有するガイド部材が対向して固着されて、ガイド部材と転動部材が当接し、かつ曲げ突出部とベース部材が係止固定されることが好ましい。
【００１８】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータにおいて、ケース部材の、被駆動部材が駆動される方向における端面から、超音波振動子に給電する給電部材が挿通されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、被駆動部材を確実にガイドしながら被駆動部材の移動抵抗及び摩擦抵抗を低減可能な構成を備え、さらに小型化を維持又は促進可能である、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの構成を分解して示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るケース部材の幅方向（ｙ方向）の中心において直交する断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る超音波モータの構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る超音波モータの構成を分解して示す斜視図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る超音波モータの構成を示す斜視図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る超音波モータの構成を分解して示す斜視図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る超音波モータの構成を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係るケース部材の長手方向（ｘ方向）直交断面であって、転動部材における断面図である。
【図１１】従来のリニア駆動型超音波モータの構成を示す図であって、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明に係るリニア駆動型超音波モータの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００２２】
（第１実施形態）
第１実施形態に係る超音波モータ１００（リニア駆動型超音波モータ）について、図１から図４を参照しつつ説明する。ここで、図１は、超音波モータ１００の構成を示す斜視図である。図２は、超音波モータ１００の構成を分解して示す斜視図である。図３は、ケース部材１１０の幅方向（ｙ方向）の中心において直交する断面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
【００２３】
超音波モータ１００は、超音波振動子としての振動子１４０、被駆動部材１６０、押圧部材１３０、同一形状の複数の球からなる転動部材１８０、ベース部材１２０、及びケース部材１１０を備える。以下各部材について詳細に説明する。
【００２４】
振動子１４０は、超音波振動子（例えば圧電素子）によって構成される。振動子１４０を駆動するための信号は、給電部材１５１、１５２によって供給される。
【００２５】
被駆動部材１６０は、円筒の一部がカットされた略Ｄカット形状の断面を備えた軸状部材であり、平面状の底面部１６０ａ、側面としての曲面部１６０ｂ、及び、平面状の上面部１６０ｃを備える。超音波モータ１００において、底面部１６０ａは、駆動子１４２、１４３を介して振動子１４０に接し、円筒面の一部をなす曲面部１６０ｂは、転動部材１８０に当接する。
【００２６】
押圧部材１３０は、長板状の板バネであり、その長手方向が、ケース部材１１０の長手方向（ｘ方向）に沿うように配置される。押圧部材１３０の両側面の長手方向中央には外側へ突出する位置決め突起１３１が設けられている。押圧部材１３０は、長手方向中央部において、保持部材１４１と当接している。ここで、保持部材１４１は、振動子１４０において、駆動子１４２、１４３が配置された面に対向する面の長手方向中央に固定されている。
【００２７】
ベース部材１２０は、長い平板形状をなしており、長手方向が、ケース部材１１０の長手方向に沿うように配置される。ベース部材１２０の一方の側面には、外方に突出する２つの係止突起１２２ａ、１２２ｂが設けられ、対向する他方の側面にも、外方に突出する２つの係止突起１２２ｃ、１２２ｄが設けられている。
【００２８】
ケース部材１１０は、長手方向（ｘ方向）、すなわち被駆動部材１６０が駆動される方向、に直交する断面が略コの字型の形状をしている。具体的には、ケース部材１１０において、その長手方向両端に第１側部開口１１３、第２側部開口１１４がそれぞれ形成され、上面に上部開口１１５が設けられており、このような構成によって、ケース部材１１０の内部には超音波モータ１００を構成する部材を収容する収容空間１１６が形成される。
【００２９】
ここで、ケース部材１１０の形状は、長手方向両端及び上面に開口が設けられていれば、略コの字型形状以外の断面形状、例えばＵ字形状であってもよい。
【００３０】
さらに、ケース部材１１０の断面形状は、その長手方向に渡って同一形状でなくてもよい。すなわち、長手方向の位置によっては、収容空間の幅や高さが変わっても良い。
【００３１】
ケース部材１１０内部に超音波モータ１００を構成する部材の組み付け方法について、順次説明する。ケース部材１１０の互いに対向する側壁１１０ａ、１１０ｂの内面の中央部には、高さ方向（ｚ方向）に延びる案内溝１１１がそれぞれ設けられている。
【００３２】
この案内溝１１１に、押圧部材１３０の位置決め突起１３１と、保持部材１４１の側面から突出する突起と、を嵌め込むことにより、押圧部材１３０、保持部材１４１、及び、保持部材１４１が固定された振動子１４０が、ｘ、ｙ位置を案内されつつ組み込まれる。
【００３３】
さらに、被駆動部材１６０は、ケース部材１１０の側壁１１０ａ、１１０ｂにｙ方向に案内されつつ、底面部１６０ａが駆動子１４２、１４３と当接するように載置される。
【００３４】
被駆動部材１６０の底面部１６０ａに対向する上面部１６０ｃには、転動部材１８０を保持案内する長板状の案内部材１７０が載置される。この案内部材１７０は、ケース部材１１０の側壁１１０ａ、１１０ｂにｙ方向を案内される。
【００３５】
４つの球からなる転動部材１８０は、案内部材１７０に設けられた４つの切り欠き部１７１にｘ、ｙ方向の位置をそれぞれ案内されるとともに、被駆動部材１６０の曲面部１６０ｂとケース部材１１０の側壁１１０ａ、１１０ｂに当接する。
【００３６】
また、ケース部材１１０の側壁１１０ａの上部には、突出する２つの係止部１１２ａ、１１２ｂが設けられている。同様に、ケース部材１１０の側壁１１０ｂの上部には、突出する２つの係止部１１２ｃ、１１２ｄが設けられている。
【００３７】
係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄは、ベース部材１２０の係止突起１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄに対応する位置にそれぞれ配置されている。
【００３８】
ベース部材１２０は、ケース部材１１０の収容空間１１６内に押圧部材１３０、振動子１４０、被駆動部材１６０、案内部材１７０、及び転動部材１８０を組み込んだ後に、ケース部材１１０に組み付ける。ケース部材１１０への組み付けは、係止突起１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄをケース部材１１０の係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄにそれぞれ係止固定することによって行う。
【００３９】
ベース部材１２０は、ケース部材１１０の係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄおよび側壁１１０ａ、１１０ｂにｙ方向を案内されつつ、押圧部材１３０を弾性変形させるように付勢しながら組みつけられる。
【００４０】
ベース部材１２０は、所定位置でケース部材１１０と係止固定されるため、押圧部材１３０は所望の量だけ撓むことで所望の押圧力を発生し、振動子１４０を被駆動部材１６０に付勢する。
【００４１】
また転動部材１８０は、被駆動部材１６０およびケース部材１１０と当接し、ベース部材がケース部材１１０に係止固定されることから、更にはベース部材と当接し、被駆動部材１６０を転がり支持する。
【００４２】
以上の構成より、被駆動部材１６０は、押圧部材１３０の弾性力によってベース部材１２０側に付勢され、かつ、振動子１４０の振動を受けて強制振動されて、長手方向（ｘ方向）に駆動される。このとき、転動部材１８０が被駆動部材１６０を転がり支持しているため、被駆動部材１６０の移動抵抗を小さくして出力の低減を防ぎ、磨耗を低減することができる。
【００４３】
さらに、超音波モータ１００の組み立ては、略コの字状の断面形状のケース部材１１０内に、押圧部材１３０、振動子１４０、被駆動部材１６０、案内部材１７０、転動部材１８０、及び、ベース部材１２０を順に積層するように行えばよいため、容易かつ確実に組立することが可能である。
【００４４】
ここで、案内部材１７０の脱落を防ぐために、ケース部材１１０のｘ方向の端部近傍において、ケース部材１１０の被駆動部材１６０に相対する面から突出部を設けるとよい。これにより、案内部材１７０の組み付けも容易となるため、超音波モータ１００の組立がさらに容易となる。なお、案内部材１７０の脱落を防ぐための突起部は、ベース部材１２０側に設けてもよい。
【００４５】
また、ケース部材１１０の係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄは、ベース部材１２０の平面視Ｌ字型の係止突起１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄが、突出部のｙ方向における外面側を規制するような係止構造をしている。これにより、ケース部材１１０の略コの字型の断面形状が広がるような変形を防ぐことが可能となる。
【００４６】
さらにまた、超音波モータ１００においては、給電部材１５１、１５２が被駆動部材１６０の駆動方向であるｘ方向に延出するように振動子１４０の底面に固定され、ケース部材１１０のｘ方向両端の開口部である第１側部開口１１３、第２側部開口１１４から外部にそれぞれ引き出される。
【００４７】
このように被駆動部材１６０をケース部材１１０から延出させるためには、ケース部材に第１側部開口１１３、第２側部開口１１４を設ける必要がある。これに対して、第１実施形態のケース部材１１０を略コの字形状とすることで、第１側部開口１１３、第２側部開口１１４に給電部材１５１、１５２の引き出しのための開口部の機能を持たせることが可能となるため、積層するような組立が可能となる。
【００４８】
ここで、仮に、ケース部材１１０の幅方向（ｙ方向）に引き出すように給電部材を振動子１４０に固着する場合、ケース部材１１０に振動子１４０を挿入する際に給電部材が当たらないように、ｘｚ方向に開口部を設けなければならない。
【００４９】
また、振動子１４０として超小型化の圧電素子を用いる場合、給電部材に接続する外部電極の面積はある程度の面積が必要なため、振動子１４０のｘ方向の長さのほとんどが電極となってしまい、給電部材の幅は振動子１４０のｘ方向の長さ分必要となる。その場合、ケース部材１１０にｘｚ方向に開口部を設けるとベース部材１２０との係止部は、振動子１４０の長さよりもｘ方向に延出した部分に設ける必要が生じるため、ケース部材１１０、およびベース部材１２０がｘ方向に大型化してしまう。
【００５０】
これらに対して、超音波モータ１００のように、給電部材１５１、１５２を振動子１４０からｘ方向に延出するように構成すれば、係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ、及び、係止突起１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄを振動子１４０のｘ方向の長さの範囲内に設けることができる。このため、超小型の振動子１４０を用いる場合にも小型化を損なうことなく構成できる。なお、給電部材１５１、１５２の引き出し部は縦振動を阻害しないように細くすることが望ましい。
【００５１】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る超音波モータ２００（リニア駆動型超音波モータ）においては、第１実施形態の係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ、及び、係止突起１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄに代えて、図５、図６に示すように、ケース部材２１０の上部に穴部２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄをそれぞれ設けるとともに、ベース部材２２０にこれらの穴部にそれぞれ対応する突起部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃ、２２２ｄを設けて、係止構造を形成している。
【００５２】
ここで、図５は、超音波モータ２００の構成を示す斜視図である。図６は、超音波モータ２００の構成を分解して示す斜視図である。
【００５３】
さらに、超音波モータ２００においては、図５、図６に示すようにケース部材２１０の内面上端に斜面状の面取り部２１６ａ、２１６ｂ、２１６ｃ、２１６ｄを設けている。これらの面取り部は、その下端が穴部２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄの上端に連なっている。
【００５４】
このような構成により、ケース部材２１０にベース部材２２０を組み付ける際にｙ方向のみならずｘ方向にも位置が案内されるため、より容易に組みつけることができる。
【００５５】
この係止構造ではケース部材２１０の外面側を規制する構造ではないが、ケース部材２１０が十分な剛性を有している場合はこのような係止構造としてもよい。こうすることで、第１実施形態の係止部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄのように屈曲部を有する突出部を設ける必要がなく、より簡易な形状となる。
【００５６】
なお、ケース部材２１０の穴部２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄと、ベース部材２２０の突起部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃ、２２２ｄと、による係止構造以外の構成は、第１実施形態の超音波モータ１００と同様であって、超音波モータ２００の案内溝２１１、第１側部開口２１３、上部開口２１５、振動子２４０、給電部材２５１、２５２、被駆動部材２６０は、第１実施形態の超音波モータ１００の案内溝１１１、第１側部開口１１３、上部開口１１５、振動子１４０、給電部材１５１、１５２、被駆動部材１６０にそれぞれ対応する。また、図５、図６に示していない構成についても、第１実施形態の超音波モータ１００と同様である。
また、その他の作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００５７】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る超音波モータ３００（リニア駆動型超音波モータ）においては、図７、図８に示すように、振動子３４０の長手方向（ｘ方向）の両端面に、ｙ方向に延出するように給電部材３５１、３５２をそれぞれ固定している。これにより、振動子３４０をケース部材３１０内に組み付ける際に、給電部材３５１、３５２をわずかに広げるだけで容易に組みつけられる。
【００５８】
さらに、ケース部材３１０の側壁の長手方向端面に切り欠き部３１７、３１８を設けて給電部材３５１、３５２が収まるようにしている。これにより、振動子３４０のケース部材３１０内への組み付けがさらに容易となる。
【００５９】
また、給電部材３５１、３５２に切り欠き部３５１ａ、３５２ａをそれぞれ設けることで、給電部材３５１、３５２が変形しやすくなる。このため、振動子３４０の縦振動を阻害しにくい構成にすることが可能となる。
【００６０】
ここで、図７は、超音波モータ３００の構成を示す斜視図である。図８は、超音波モータ３００の構成を分解して示す斜視図である。
【００６１】
なお、ベース部材３２０は、ケース部材３１０の上部に設けた係止部３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ、３１２ｄに係止する。
【００６２】
また、これ以外の構成は、第１実施形態の超音波モータ１００と同様であって、超音波モータ３００の案内溝３１１、第１側部開口３１３、上部開口３１５、振動子３４０、駆動子３４２、３４３、被駆動部材３６０は、第１実施形態の超音波モータ１００の案内溝１１１、第１側部開口１１３、上部開口１１５、振動子１４０、駆動子１４２、１４３、被駆動部材１６０にそれぞれ対応する。また、図７、図８に示していない構成についても、第１実施形態の超音波モータ１００と同様である。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００６３】
（第４実施形態）
第４実施形態に係る超音波モータ４００（リニア駆動型超音波モータ）においては、図９、図１０に示すように、あらかじめケース部材４１０の側壁４１０ａ、４１０ｂの内面に２つのガイド部材４９１、４９２を接着固定している。側壁４１０ａ、４１０ｂは、長手方向（ｘ方向）直交断面が略コの字形状のケース部材４１０において互いに対向する２つの壁部である。
【００６４】
ここで、図９は、超音波モータ４００の構成を示す斜視図である。図１０は、ケース部材４１０の長手方向（ｘ方向）直交断面であって、転動部材４８０における断面図であって、図４に対応する図である。
【００６５】
ガイド部材４９１、４９２は長い平板状の金属部材であって、ケース部材４１０の長手方向に沿って互いに対向するように、それぞれ配置される。
【００６６】
ガイド部材４９１の上辺には、先端が他方のガイド部材４９２側に曲げられた２つの曲げ突出部４９１ａ、４９１ｂが設けられ、下辺中央には外側へ延びる位置決め突起４９１ｃが設けられている。ガイド部材４９１と同様に、ガイド部材４９２の上辺には、先端がガイド部材４９１側に曲げられた２つの曲げ突出部４９２ａ、４９２ｂが設けられ、下辺中央には外側へ延びる位置決め突起４９２ｃが設けられている。
【００６７】
また、ベース部材４２０の側辺には、外方に突出する突起状の４つの段差部４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄが形成されている。
【００６８】
ガイド部材４９１、４９２は、まず、ケース部材４１０の側壁４１０ａ、４１０ｂの内面にそれぞれ設けた案内溝４１１内に、位置決め突起４９１ｃ、４９２ｃを嵌め込んだ状態で接着固定される。次に、内側に突出する、曲げ突出部４９１ａ、４９１ｂ、４９２ａ、４９２ｂを押し広げるようにベース部材４２０をケース部材４１０内に押し込み、段差部４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄ上に曲げ突出部４９１ａ、４９１ｂ、４９２ａ、４９２ｂをそれぞれ係止固定させる。このとき、曲げ突出部４９１ａ、４９１ｂ、４９２ａ、４９２ｂは、段差部４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄと、側壁４１０ａ、４１０ｂの内面と、に当接挟持される。
【００６９】
このように、位置決め突起４９１ｃ、４９２ｃを案内溝４１１に嵌め込むことにより、ガイド部材４９１、４９２のｘ方向の位置決めがなされる。さらに、曲げ突出部４９１ａ、４９１ｂ、４９２ａ、４９２ｂが、側壁４１０ａ、４１０ｂの内面およびベース部材４２０に設けられた段差部４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄと当接することにより、ベース部材４２０のｙｘ方向の位置が決まる。したがって、各部材のケース部材４１０内への組み付けが容易になる。
【００７０】
また、ガイド部材４９１、４９２は、転動部材４８０と当接するように配置されている。このため、転動部材４８０とケース部材４１０の内面との接触摩耗を防ぐことが可能となり、ケース部材４１０を樹脂部材とすることができる。
【００７１】
なお、案内溝４１１、第１側部開口４１３、上部開口４１５、位置決め突起４３１、保持部材４４１、駆動子４４２、４４３、給電部材４５１、４５２は、第１実施形態の案内溝１１１、第１側部開口１１３、上部開口１１５、位置決め突起１３１、保持部材１４１、駆動子１４２、１４３、給電部材１５１、１５２にそれぞれ対応する。
また、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００７２】
以上本発明の実施形態について説明したが、本発明に係る超音波モータ（リニア駆動型超音波モータ）は、被駆動部材は転がり支持されるので、振動子によってベース部材側に付勢されていたとしても移動抵抗は低減される。
【００７３】
また、略コの字状の断面形状のケース部材内に押圧部材４３０、振動子４４０、被駆動体４６０、４７０、転動部材４８０、ベース部材４２０の順に積層するように組み立てることができるため、容易に組立が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
以上のように、本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、小型機器の精度の高い駆動に適している。
【符号の説明】
【００７５】
１００  超音波モータ（リニア駆動型超音波モータ）
１１０  ケース部材
１１０ａ、１１０ｂ  側壁
１１１  案内溝
１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄ  係止部
１１３  第１側部開口
１１４  第２側部開口
１１５  上部開口
１１６  収容空間
１２０  ベース部材
１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄ  係止突起
１３０  押圧部材
１３１  位置決め突起
１４０  振動子
１４１  保持部材
１４２、１４３  駆動子
１５１、１５２  給電部材
１６０  被駆動部材
１６０ａ  底面部
１６０ｂ  曲面部
１６０ｃ  上面部
１７０  案内部材
１７１  切り欠き部
１８０  転動部材
２００  超音波モータ（リニア駆動型超音波モータ）
２１０  ケース部材
２１１  案内溝
２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ  穴部
２１３  第１側部開口
２１５  上部開口
２１６ａ、２１６ｂ、２１６ｃ、２１６ｄ  面取り部
２２０  ベース部材
２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃ、２２２ｄ  突起部
２４０  振動子
２５１、２５２  給電部材
２６０  被駆動部材
３００  超音波モータ（リニア駆動型超音波モータ）
３１０  ケース部材
３１１  案内溝
３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ、３１２ｄ  係止部
３１３  第１側部開口
３１５  上部開口
３１７、３１８  切り欠き部
３２０  ベース部材
３４０  振動子
３４２、３４３  駆動子
３５１  給電部材
３５１ａ  切り欠き部
３５２  給電部材
３５２ａ  切り欠き部
３６０  被駆動部材
４００  超音波モータ（リニア駆動型超音波モータ）
４１０  ケース部材
４１０ａ、４１０ｂ  側壁
４１１  案内溝
４１３  第１側部開口
４１５  上部開口
４２０  ベース部材
４２２ａ、４２２ｂ、４２２ｃ、４２２ｄ  段差部
４３０  押圧部材
４３１  位置決め突起
４４０  振動子
４４１  保持部材
４４２、４４３  駆動子
４５１、４５２  給電部材
４６０  被駆動部材
４７０  案内部材
４８０  転動部材
４９１  ガイド部材
４９１ａ、４９１ｂ  曲げ突出部
４９１ｃ  位置決め突起
４９２  ガイド部材
４９２ａ、４９２ｂ  曲げ突出部
４９２ｃ  位置決め突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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