(57)【要約】【課題】形状が異なる複数種類の位置決め対象であっても、同一装置を用いることができ、かつ位置決め対象に応じて装置の動作を変更することなく統一的な位置決め処理を実現する。【解決手段】本発明の部品位置決め装置は、互いに対向する土台１・２に、第２の部品の突起物を把持するための作用面７ｃ・７ｄが互いに対向するように配された一対の把持部材７ａ・７ｂが設けられ、板状部材３・５は、土台１・２の移動方向の端部３ａ・５ａが土台１に固定されている一方、端部３ｂ・５ｂには、第１の部品における円筒形状または椀形状の内壁に当接する突起部６ａが設けられ、板状部材４は、土台１・２の移動方向の端部４ａが土台２に固定されている一方、端部４ｂには、第１の部品における円筒形状または椀形状の内壁に当接する突起部６ｂが設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状または椀形状を有する第１の部品及び突起物が形成された第２の部品を位置決めする部品位置決め装置であって、
互いに対向して配置された第１及び第２の土台と、
上記第１及び第２の土台を、互いに接近または離反するように移動させる移動手段と、
上記第１及び第２の土台の移動方向と平行となるように配置された第１及び第２の板状部材とを備え、
上記第１及び第２の土台には、上記第２の部品の突起物を把持するための第１及び第２の作用面が互いに対向するように配された一対の把持部材が設けられ、
上記第１の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第１の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状または椀形状の内壁に当接する第１の突起部が設けられ、
上記第２の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第２の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状または椀形状の内壁に当接する第２の突起部が設けられたことを特徴とする部品位置決め装置。
【請求項２】
上記第１及び第２の板状部材は、交互に並列して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の部品位置決め装置。
【請求項３】
上記第１及び第２の作用面の少なくとも一方が、他方の作用面側に開口したＶ溝の面になっていることを特徴とする請求項１または２に記載の部品位置決め装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の位置決め装置を用いて、円筒形状または椀形状を有する第１の部品及び突起物が形成された第２の部品を位置決めする部品位置決め方法であって、
上記第１及び第２の部品の位置決めのために、第１及び第２の土台を、互いに接近するように移動させる工程を含むことを特徴とする部品位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品位置決め装置、及びそれを用いた部品位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体分野では、ＣＶＤ装置が使用される。このＣＶＤ装置による製膜においては、裏面に円筒形状の突起物を２つ有する均熱板カバーや、リング形状またはお椀の底部に類似した形状を有する基板載置用トレイといった、形状が各々異なる部品を、製膜毎に、ＣＶＤ装置へ搬送する必要がある。そのため、ＣＶＤ装置による製膜においては、装置へ搬送される搬送物の位置決めが必要になる。
【０００３】
従来の部品位置決め装置として、例えば特許文献１及び２に記載の位置決め装置が挙げられる。特許文献１に記載の位置決め装置は、円筒形状の部品を位置決めすることが可能である。また、特許文献２に記載の位置決め装置は、リング形状の部品を位置決めすることが可能である。
【０００４】
図６は、特許文献１の実施の形態１に記載の位置決め装置の概略構成を示す平面図である。同図に示されるように、円筒小径部品５７の位置決めを行う位置決めユニットは、互いに対向する１対の移動ヘッド５１ａ及び５２ａと、部品台５９ａとから構成されている。移動ヘッド５１ａ及び移動ヘッド５２ｂは、互いに対向しており、接近離反可能に設けられている。
【０００５】
図６に示された位置決め装置では、移動ヘッド５１ａ及び移動ヘッド５２ｂで円筒小径部品５７を挟持して、円筒小径部品５７を位置決めするようになっている。円筒小径部品５７を狭持するに際し、移動ヘッド５１ａは、円筒小径部品５７に一接点で当接するように、矩形形状になっている。また、移動ヘッド５２ａは、円筒小径部品５７に二接点で当接するように、円筒小径部品５７側へ開口したＶ溝形状になっている。
【０００６】
なお、図６に示されていないが、特許文献１の実施の形態１に記載の位置決め装置は、円筒大径部品の位置決めを行う位置決めユニットを備えている。この位置決めユニットは、図６に示された構成と同様に、互いに対向する１対の移動ヘッドと、部品台とから構成されている。
【０００７】
図６に示された位置決め装置では、移動ヘッド５１ａの矩形形状と、移動ヘッド５２ａのＶ溝形状とにより、円筒小径部品５７を３点で把持し、円筒小径部品５７の中心位置決めている。なお、図６に示された位置決め装置は、円筒形状を有する円筒部品であれば、位置決めすることが可能であり、例えば円筒形状に矩形の凸部を有する部品であっても、位置決めすることができる。
【０００８】
また、特許文献１の実施の形態２には、底部に腕部（凸部）が形成された部品を位置決めする位置決め装置が記載されている。実施の形態２の位置決め常置は、上述した１対の移動ユニット５１ａ及び５２ａのうちの少なくともどちらか一方を廃止し、代わりにＶ溝形状の底部に上記腕部を合わせた凹部を形成した移動ヘッドを用いた点が異なり、他の構成は、図６に示された構成と同一になっている。
【０００９】
また、例えば特許文献２には、リング形状を有する部品を位置決めする装置が記載されている。図７は、特許文献２の実施の形態１に記載の位置決め装置の概略構成を示す平面図である。
【００１０】
同図に示されるように、特許文献２の実施の形態１に記載の位置決め装置は、相対して独立あるいは同期して水平移動自在な一対の位置決めチャック７３及び７４と、位置決めチャック７３及び７４の内側端に配設された複数の回転自在なローラ７２及び７５とを備えている。図７に示された位置決め装置による位置決め方法では、まず、円形状のガスケット７１を位置決めチャック７３及び７４上に載置している。そして、位置決めチャック７３及び７４が互いに離反する方向に所定距離水平移動させることで、ローラ７２及び７５をガスケット７１の内周面に当接させて、ガスケット７１の位置決めおよびセンタリング動作を行っている。
【００１１】
また、特許文献２の実施の形態２には、ローラ７２及び７５をガスケット７１の外周面に当接させて、ガスケット７１の位置決めおよびセンタリング動作を行う方法が記載されている。
【００１２】
特許文献２の実施の形態２によれば、位置決めチャック７３及び７４を、互いに離反する方向に移動し、ローラ７２及び７５をガスケット７１の外径よりも外の位置に配置する。続いて、ガスケット７１を対向するローラ７２及び７５の間に設定して位置決めチャック７３及び７４上に載置する。その後、位置決めチャック７３及び７４を同期させて、互いに近接する方向に所定距離水平移動させ、ローラ７２及び７５を近接させて、ガスケット７１の外部円周端にローラ７２及び７５の外円周部を当接させることにより、ガスケット７１の位置決めおよびセンタリング動作を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平９−１９２９６９号公報（１９９７年  ７月２９日公開）
【特許文献２】特開２０００−２９９８９９号公報（２０００年１０月２４日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、上述した従来技術を用いて、様々な形状を有する複数の部品を位置決めするとき、位置決めのための制御を各部品毎に行う必要があり、複雑になってしまうという問題がある。
【００１５】
特許文献１に記載の位置決め装置は、円筒形状および円筒形状以外の形状の部品を位置決めできる。しかしながら、「円筒形状以外の形状」というのは、円筒形状に矩形の凸部が形成された形状のことを意味している。それゆえ、特許文献１に記載の位置決め装置では、円筒形状に矩形の凸部が形成された形状の部品でなければ、位置決めが不可能である。それゆえ、特許文献１に記載の位置決め装置に適用し得る部品の形状は、限定的である。
【００１６】
一方、特許文献２に記載の位置決め装置は、一つのリング形状の部品を内周基準または外形基準で位置決めすることが可能である。しかしながら、特許文献２に記載の位置決め装置は、リング形状以外の異なる形状の部品を位置決めすることができない。
【００１７】
また、位置決めを行うべき各部品の形状が大きく異なり、例えば単純な直径の違いでは対応できない場合、特許文献１及び２に記載の位置決め装置を用いた、２つの位置決め方法を実施しなければならない。このような場合、２つの位置決め装置を並べた構成で位置決めを行うと、部品を把持するためのロボット等が２つ必要になるだけでなく、位置決め装置の設置面積が増大してしまう。
【００１８】
また、特許文献１に記載の位置決め装置では、円筒形状の部品を位置決めするに際し、移動ヘッド５１ａ及び移動ヘッド５２ｂを互いに近づく方向に水平移動するようになっている。一方、特許文献２に記載の位置決め装置では、リング形状の部品を内周基準で位置決めするに際し、位置決めチャック７３及び７４を互いに離反する方向に移動するようになっている。
【００１９】
それゆえ、特許文献１及び２に記載の位置決め装置について、単に部品を挟持するように移動させる１対の土台に着目して組み合わせただけでは、円筒形状の部品を位置決めするための１対の土台の移動方向と、リンク形状の部品を位置決めするための１対の土台の移動方向とが反対になる。
【００２０】
このため、上記のように組み合わせた位置決め装置では、位置決め対象の形状を複数種の形状のうちどの形状に属するのかを認識し、この認識した形状に適切な１対の土台の移動方向を決定する手段が必要になる。それゆえ、部品位置決めのための制御方法が複雑になるという問題がある。
【００２１】
また、この問題に対する解決策として、位置決め装置側の制御の流れから、位置決め対象の形状を複数種の形状のうちどの形状に属するのかを判断する方法が挙げられる。しかしながら、このような方法では、判断を誤って正しい方向と異なる方向に１対の土台を移動することで、装置の破壊等といった重大な事故が発生するおそれがある。それゆえ、通常、何らかの方法で、「いずれの位置決め対象にどの位置決め処理を行うか」を検知するセンサを設けることが一般的である。このセンサの設置がコスト増大の原因になる。
【００２２】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、形状が異なる複数種類の位置決め対象であっても、同一装置を用いることができ、かつ位置決め対象に応じて装置の動作を変更することなく統一的に位置決め処理を行うことができる部品位置決め装置、及びそれを用いた部品位置決め方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の部品位置決め装置は、上記の課題を解決するために、円筒形状または椀形状を有する第１の部品及び突起物が形成された第２の部品を位置決めする部品位置決め装置であって、互いに対向して配置された第１及び第２の土台と、上記第１及び第２の土台を、互いに接近または離反するように移動させる移動手段と、上記第１及び第２の土台の移動方向と平行となるように配置された第１及び第２の板状部材とを備え、上記第１及び第２の土台には、上記第２の部品の突起物を把持するための第１及び第２の作用面が互いに対向するように配された一対の把持部材が設けられ、上記第１の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第１の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状の内壁に当接する第１の突起部が設けられ、上記第２の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第２の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状の内壁に当接する第２の突起部が設けられたことを特徴としている。
【００２４】
上記の構成によれば、上記第１の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第１の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状の内壁に当接する第１の突起部が設けられているので、上記移動手段により上記第１及び第２の土台が互いに接近する方向に移動したとき、第１の板状部材の第１の突起部は、第２の土台の移動方向と反対方向に移動する（一方の端部（第１の土台側）から他方の端部（第２の土台側）へ向かう方向に移動する）。また、上記第２の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第２の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状の内壁に当接する第２の突起部が設けられているので、上記移動手段により上記第１及び第２の土台が互いに接近する方向に移動したとき、第２の板状部材における第２の突起部は、第１の土台の移動方向と反対方向に移動する（一方の端部（第２の土台側）から他方の端部（第１の土台側）へ向かう方向に移動する）。それゆえ、上記の構成によれば、上記第１及び第２の土台が互いに接近する方向に移動したとき、第１及び第２の突起部は、第１及び第２の土台の移動方向において、互いに離反する方向に移動する。したがって、上記の構成によれば、上記第１及び第２の土台を互いに接近する方向に移動させることで第１及び第２の突起部を互いに離反する方向に移動させ、これら第１及び第２の突起部を、円筒形状または椀形状の内壁に当接させることにより、第１の部品の位置決め動作が行われる。
【００２５】
また、上記の構成によれば、上記第１及び第２の土台には、上記第２の部品の突起物を把持するための第１及び第２の作用面が互いに対向するように配された一対の把持部材が設けられているので、上記移動手段により上記第１及び第２の土台が互いに接近する方向に移動したとき、１対の把持部材における第１及び第２の作用面は、互いに接近する方向に移動する。したがって、上記の構成によれば、上記第１及び第２の土台を互いに接近する方向に移動させることで第１及び第２の作用面を互いに接近する方向に移動させ、これら第１及び第２の作用面により、突起物を把持することにより、第２の部品の位置決め動作が行われる。
【００２６】
上記の構成によれば、互いに形状が異なる第１及び第２の部品の位置決めが、上記第１及び第２の土台を互いに接近する方向に移動させるという単一の動作で行われる。すなわち、単一の装置で、単一の動作で、第１の部品の位置決めと第２の部品の位置決めとの両方が可能になる。
【００２７】
したがって、上記の構成によれば、形状が異なる複数種類の位置決め対象であっても、同一装置を用いることができ、かつ位置決め対象に応じて装置の動作を変更することなく統一的に位置決め処理を行うことができる部品位置決め装置を実現することができる。
【００２８】
また、本発明の部品位置決め装置では、上記第１及び第２の板状部材は、交互に並列して配置されていることが好ましい。
【００２９】
これにより、互いに離反する方向に移動する第１及び第２の突起部が合計３つ以上になるので、第２の部品の位置決め精度が高くなる。
【００３０】
また、本発明の部品位置決め装置では、上記第１及び第２の作用面の少なくとも一方が、他方の作用面側に開口したＶ溝の面になっていることが好ましい。
【００３１】
これにより、１対の把持部材は、第１の部品における突起物と３点以上で当接することになるので、第１の部品の位置決め精度が高くなる。
【００３２】
本発明の部品位置決め方法は、上記の課題を解決するために、上述の位置決め装置を用いて、円筒形状または椀形状を有する第１の部品及び突起物が形成された第２の部品を位置決めする部品位置決め方法であって、上記第１及び第２の部品の位置決めのために、第１及び第２の土台を、互いに接近するように移動させる工程を含むことを特徴としている。
【００３３】
上記の構成によれば、上述の部品位置決め装置を用いて、第１及び第２の土台を、互いに接近するように移動させて、上記第１及び第２の部品の位置決めを行っているので、形状が異なる複数種類の位置決め対象であっても、同一装置を用いることができ、かつ位置決め対象に応じて装置の動作を変更することなく統一的に位置決め処理を行うことができる部品位置決め方法を実現することができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明の部品位置決め装置は、以上のように、互いに対向して配置された第１及び第２の土台と、上記第１及び第２の土台を、互いに接近または離反するように移動させる移動手段と、上記第１及び第２の土台の移動方向と平行となるように配置された第１及び第２の板状部材とを備え、上記第１及び第２の土台には、上記第２の部品の突起物を把持するための第１及び第２の作用面が互いに対向するように配された一対の把持部材が設けられ、上記第１の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第１の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状または椀形状の内壁に当接する第１の突起部が設けられ、上記第２の板状部材は、上記移動方向の一方の端部が上記第２の土台に固定されている一方、他方の端部には、上記第１の部品における円筒形状または椀形状の内壁に当接する第２の突起部が設けられた構成である。
【００３５】
本発明の部品位置決め方法は、以上のように、上記位置決め装置を用いて、円筒形状または椀形状を有する第１の部品及び突起物が形成された第２の部品を位置決めする部品位置決め方法であって、上記第１及び第２の部品の位置決めのために、第１及び第２の土台を、互いに接近するように移動させる工程を含む構成である。
【００３６】
それゆえ、形状が異なる複数種類の位置決め対象であっても、同一装置を用いることができ、かつ位置決め対象に応じて装置の動作を変更することなく統一的に位置決め処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の一形態の位置決め装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す部品位置決め装置の対象となる第１の被位置決め部品の概略構成を示す平面図である。
【図３】図１に示す部品位置決め装置の対象となる第２の被位置決め部品の概略構成を示す平面図である。
【図４】図１に示す部品位置決め装置による第１の部品の位置決め動作を模式的に示した平面図である。
【図５】図１に示す部品位置決め装置による第２の部品の位置決め動作を模式的に示した平面図である。
【図６】特許文献１の実施の形態１に記載の位置決め装置の概略構成を示す平面図である。
【図７】特許文献２の実施の形態１に記載の位置決め装置の概略構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施の一形態について、図１〜図５に基づき、詳細に説明する。図１は、本実施形態の部品位置決め装置（以下、単に本位置決め装置と記す）の概略構成を示す平面図である。また、図２は、本位置決め装置の対象となる第１の被位置決め部品９の概略構成を示す平面図である。また、図３は、本位置決め装置の対象となる第２の被位置決め部品１０の概略構成を示す平面図である。
【００３９】
本位置決め装置は、リング形状または椀形状を有する第１の被位置決め部品９、及び突起物１０ａが形成された第２の被位置決め部品１０の両部品を位置決めすることができる装置である。
【００４０】
図１に示されるように、本位置決め装置は、土台１及び２と、複数の板状部材３、４、及び５と、１対の把持部材７ａ及び７ｂと、１対の把持部材８ａ及び８ｂと、土台１及び２を移動させる移動部（移動手段）１１とを備えている。
【００４１】
土台１及び２は、互いに対向して配置され、水平方向に移動可能になっている。そして、移動部１１は、土台１及び２を、互いに接近する方向Ａ（以下、単に接近方向Ａと記す）または互いに離反する方向Ｂ（以下、単に離反方向Ｂと記す）に移動させる。複数の板状部材３、４、及び５はそれぞれ、土台１及び２の移動方向Ａ及びＢと平行となるように設置されている。ここで、土台１及び２の移動方向をＸ方向とし、土台１及び２における複数の板状部材３、４、及び５の設置面の法線方向をＺ方向とし、Ｚ方向及びＸ方向に対し垂直な方向をＹ方向とする。図１に示された構成では、Ｙ方向は、土台１及び２の長手方向に相当し、Ｘ方向は、土台１及び２の幅方向に相当する。また、接近方向Ａ及び離反方向Ｂは、Ｘ方向に平行になっている。
【００４２】
板状部材３、４、及び５は、土台１及び２をＸ方向にまたがるように配置されており、その長手方向は互いに平行になっている。また、板状部材３、４、及び５はそれぞれ、Ｙ方向に並列して配置されている。
【００４３】
複数の板状部材３、４、及び５のうち、板状部材４（第１の板状部材）は、Ｘ方向の一方の端部４ａが土台１（第１の土台）に固定されており、他方の端部４ｂが固定されていない。この端部４ｂには、Ｚ方向に突出するように、突起部６ａ（第１の突起部）が形成されている。また、板状部材３及び５（第２の板状部材）はそれぞれ、Ｘ方向の一方の端部３ａ及び５ａが土台２（第２の土台）に固定されており、他方の端部３ｂ及び５ｂが固定されていない。この端部３ｂ及び５ｂには、Ｚ方向に突出するように、突起部６ｂ（第２の突起部）が形成されている。なお、突起部６ａ及び６ｂは、ともにＺ方向の同一側に突出して設けられている。板状部材４は、突起部６ａが設けられていない端部４ａが、土台１に固定されている。また、板状部材３、及び５はそれぞれ、突起部６ｂが設けられていない端部３ａ、及び５ａが、土台２に固定されている。このような構成により、本位置決め装置では、土台１及び２が接近方向Ａに移動すると、突起部６ａ及び６ｂが、Ｘ方向において、互いに離反するようになる。また、土台１及び２が離反方向Ｂに移動すると、突起部６ａ及び６ｂが、Ｘ方向において、互いに接近するようになる。突起部６ａが形成された板状部材４、及び突起部６ｂが形成された板状部材３及び５は、Ｙ方向に等間隔に交互に配置されている。これにより、互いに離反する方向に移動する突起部６ａ及び６ｂが合計３つになる。このため、後述する第１の被位置決め部品９の位置決め動作による位置決め精度が高くなる。なお、Ｙ方向に沿って交互に配置される板状部材４、３、及び５の数が多ければ多いほど、第１の被位置決め部品９の内壁に当接する突起部６ａ及び６ｂが多くなるので、第１の被位置決め部品９の位置決め精度が高くなる。
【００４４】
１対の把持部材７ａ及び７ｂはそれぞれ、土台１及び２に設けられており、作用面７ｃ及び７ｄを有している。作用面７ｃ（第１の作用面）及び作用面７ｄ（第２の作用面）は、第２の被位置決め部品１０の突起物１０ａを把持する面であり、互いに対向している。本位置決め装置では、土台１及び２が接近方向Ａに移動したとき、作用面７ｃ及び７ｄが互いに接近するようになっている。また、土台１及び２が離反方向Ｂに移動すると、作用面７ｃ及び７ｄが、互いに離反するようになっている。
【００４５】
また、１対の把持部材８ａ及び８ｂはそれぞれ、１対の把持部材７ａ及び７ｂと同様に土台１及び２に設けられており、互いに対向する作用面８ｃ及び８ｄを有している。そして、土台１及び２が接近方向Ａに移動したとき、作用面８ｃ及び８ｄが互いに接近し、第２の被位置決め部品１０の突起物１０ａを把持するようになっている。また、土台１及び２が離反方向Ｂに移動すると、作用面８ｃ及び８ｄが、互いに離反することになる。
【００４６】
また、本位置決め装置では、作用面７ｃ、７ｄ、８ｃ、及び８ｄのうち、作用面７ｄは、作用面７ｃ側に開口したＶ溝面になっており、残りの作用面７ｃ、８ｃ、及び８ｄは全て矩形面になっている。このように作用面７ｄがＶ溝面になっていることにより、１対の把持部材７ａ及び７ｂは、突起物１０ａと３点で当接するようになる。それゆえ、土台１及び２が接近方向Ａに移動したとき、１対の把持部材７ａ及び７ｂが突起物１０ａを安定して把持するので、第２の被位置決め部品１０の位置決め精度が高くなる。
【００４７】
以下、本位置決め装置の位置決め対象となる被位置決め部品について、説明する。
【００４８】
図２に示される第１の被位置決め部品９は、リング形状（円筒形状）を有する被位置決め部品である。本位置決め装置において、この第１の被位置決め部品９は、リング形状の軸がＺ方向に平行になるように載置される。なお、第１の被位置決め部品９は、リング形状が一部含む構成であれば、本位置決め装置により載置することが可能である。また、第１の被位置決め部品９は、リング形状を含む構成に限定されず、椀形状を含む構成であってもよい。
【００４９】
図３に示される第２の被位置決め部品１０は、板状の部品本体の裏面に、Ｚ方向に突出した突起物１０ａが２つ形成された構成になっている。本位置決め装置において、この第２の被位置決め部品１０は、突起物１０ａの突出方向がＺ方向と平行になるように載置される。なお、第２の被位置決め部品１０は、突起物１０ａが形成された構成であれば、部品本体は板状に限らず任意の形状であってもよい。また、部品本体における突起物１０ａの位置及び数は、位置決め対象としての第２の被位置決め部品１０をどのような位置に位置決めするのかに応じて、適宜設定可能である。また、突起物１０ａの形状は、１対の把持部材７ａ及び７ｂ、または１対の把持部材８ａ及び８ｂが把持できる形状であれば、特に限定されないが、位置決め精度を向上させるためには、円柱形状であることが好ましい。
【００５０】
本位置決め装置は、例えば半導体分野で使用されるＣＶＤ装置への部品搬送に適用されることが好ましい。ＣＶＤ装置へ搬送される種々の部品のうち、第１の被位置決め部品９としては、例えば、リング形状またはお椀の底部に類似した形状を有する基板トレイが挙げられ、また、第２の被位置決め部品１０としては、例えば、裏面に突起物を２つ有する均熱板カバーが挙げられる。
【００５１】
本位置決め装置を用いた部品位置決め方法は、第１の被位置決め部品９及び第２の被位置決め部品１０の位置決めのために、土台１及び２を、互いに接近するように移動させる（すなわち、接近方向Ａに移動させる）工程を含むことを特徴としている。以下、本位置決め装置を用いた部品位置決め方法について、説明する。
【００５２】
まず、本位置決め装置を用いて第１の被位置決め部品９を位置決めする場合の動作について、図４を参照して、詳細に説明する。図４は、本位置決め装置による第１の被位置決め部品９の位置決め動作を模式的に示した平面図である。
【００５３】
同図に示されるように、まず、移動部１１により、土台１及び２を離反方向Ｂに移動させる。これにより、板状部材４は土台２の離反方向Ｂと反対方向に移動する一方、板状部材３及び５はそれぞれ、土台１の離反方向Ｂと反対方向に移動する。その結果、突起部６ａ及び６ｂは、Ｘ方向において、互いに接近した位置に配置される。
【００５４】
その後、土台１及び２に第１の被位置決め部品９を載置する。このとき、突起部６ａ及び６ｂがリング形状の内周面（内壁）に囲まれた領域内に位置するように、第１の被位置決め部品９を載置する。
【００５５】
続いて、土台１及び２を接近方向Ａに移動させる。これにより、板状部材４に形成された突起部６ａは土台２の接近方向Ａと反対方向に移動する一方、板状部材３及び５それぞれに形成された突起部６ｂは、土台１の接近方向Ａと反対方向に移動する。すなわち、突起部６ａ及び６ｂは、Ｘ方向において、互いに離反する方向に移動することになる。このように、突起部６及び６ｂを、Ｘ方向において互いに離反する方向に移動させ、突起部６ａ及び６ｂが全て、第１の被位置決め部品９のリング形状の内周面（内壁）に当接したとき、土台１及び２の移動を停止する。
【００５６】
上記の位置決め方法を実施することにより、第１の被位置決め部品９は、土台１及び２の一定の位置に位置決めされる。
【００５７】
次に、第２の被位置決め部品１０を位置決めする場合の動作について、図５を参照して、詳細に説明する。図５は、本位置決め装置による第２の被位置決め部品１０の位置決め動作を模式的に示した平面図である。
【００５８】
同図に示されるように、まず、移動部１１により、土台１及び２を離反方向Ｂに移動させる。これにより、１対の把持部材７ａ及び７ｂは、互いに離反する方向に移動する。また、１対の把持部材８ａ及び８ｂも、同様に、互いに離反する方向に移動する。
【００５９】
その後、土台１及び２に第２の被位置決め部品１０を載置する。このとき、２つの突起物１０ａがそれぞれ、作用面７ｃと作用面７ｄとの間、及び作用面８ｃと作用面８ｄとの間に位置するように、第２の被位置決め部品１０を載置する。
【００６０】
続いて、土台１及び２を接近方向Ａに移動させる。これにより、１対の把持部材７ａ及び７ｂは、互いに接近する方向に移動する。また、１対の把持部材８ａ及び８ｂも、同様に、互いに接近する方向に移動する。１対の把持部材７ａ及び７ｂが突起物１０ａと３点で当接し、かつ１対の把持部材８ａ及び８ｂが突起物１０ａと２点で当接したとき、土台１及び２の移動を停止する。
【００６１】
上記の位置決め方法を実施することにより、第２の被位置決め部品１０は、１対の把持部材７ａ及び７ｂが突起物１０ａと３点で把持することで突起物１０ａの中心位置が位置決めされる。また、１対の把持部材８ａ及び８ｂが突起物１０ａと２点で把持することで水平位置が位置決めされる。これにより、第２の被位置決め部品１０が土台１及び２上の一定の位置に位置決めされる。
【００６２】
図５及び図６に示された位置決め動作によれば、互いに形状が異なる第１の被位置決め部品９及び第２の被位置決め部品１０に対し、共通して土台１及び２を接近方向Ａに移動させる動作を行っている。すなわち、本位置決め装置は、第１の被位置決め部品９を位置決めするための土台１及び２の移動方向と、第２の被位置決め部品９を位置決めするための土台１及び２の移動方向とを同じにすることが可能である。それゆえ、互いに形状が異なる第１の被位置決め部品９及び第２の被位置決め部品１０に対しても、同一の位置決め装置を用いることができる。さらに、本位置決め装置を用いると、被位置決め部品の形状に応じて、位置決め動作を変更させる必要がなく、統一的な位置決め動作を行うことができる。
【００６３】
したがって、本位置決め装置によれば、位置決め装置数を削減できるとともに、位置決めのための各種部材の制御方法を単純化することができる部品位置決め方法を実現することができる。さらには、被位置決め部品の形状を認識するセンサ等を省略することができるので、コストを削減することがきる。
【００６４】
（本発明の別表現）
本発明は、以下のように表現することができる。
【００６５】
すなわち、本発明は、接近離脱可能な２個の土台と、前記２個の土台に、互いに作用面が向かい合うように配置された、少なくとも２個の部品から構成される突起物把持部材２組と、それぞれの長辺方向のどちらか一端の面に固定された突起物を有する３個の板とから構成され、前記複数の板は、それぞれが有する突起物の突出する方向がすべて同じ方向に配置され、且つ前記突起物が固定されていない一端が前記土台のどちらか一方に固定されており、且つ隣り合う板が固定される土台がそれぞれ異なっていることを特徴とする、複数種物位置決め装置であると表現することができる。
【００６６】
上記の構造にすることにより、円形形状の部品（第１の部品）を位置決めする際の位置決めする方向と、リング形状またはお椀の底に類似した形状の部品（第２の部品）の内周基準で位置決めする方向が等しくなる。これにより、複数種類の位置決め対象であっても同一の位置決め装置を用いることができ、かつ、位置決め対象によって位置決め装置の動作を変更する必要がなく、統一的に処理を行うことができる。したがって、上記の構成によれば、位置決め装置数の削減や制御方法の単純化、センサの省略によるコスト削減が可能な部品位置決め装置を提供することができる。
【００６７】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、形状が異なる複数種類の位置決め対象であっても、同一装置を用いることができ、かつ位置決め対象に応じて装置の動作を変更することなく統一的に位置決め処理を行うことができるので、例えば半導体分野で用いられるＣＶＤ装置への部品搬送に利用することができる。
【符号の説明】
【００６９】
１    土台（第１の土台）
２    土台（第２の土台）
３    板状部材（第１の板状部材）
３ａ    端部（一方の端部）
３ｂ    端部（他方の端部）
４    板状部材（第２の板状部材）
４ａ    端部（一方の端部）
４ｂ    端部（他方の端部）
５    板状部材（第１の板状部材）
５ａ    端部（一方の端部）
５ｂ    端部（他方の端部）
６ａ    突起部（第１の突起部）
６ｂ    突起部（第２の突起部）
７ａ    把持部材（１対の把持部材）
７ｂ    把持部材（１対の把持部材）
７ｃ    作用面（第１の作用面）
７ｄ    作用面（第２の作用面）
８ａ    把持部材（１対の把持部材）
８ｂ    把持部材（１対の把持部材）
８ｃ    作用面（第１の作用面）
８ｄ    作用面（第２の作用面）
９    第１の被位置決め部品（第１の部品）
１０    第２の被位置決め部品（第２の部品）
１０ａ  突起物
１１    移動部（移動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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