(57)【要約】【課題】  低温槽と、低温槽内で被検査物を搬送するコンベアを備えている検査装置において、コンベアのチェーンに堆積した氷を効果的に除去することができる検査装置を提供すること。【解決手段】  検査装置１００は、低温槽６とコンベア２ａ、２ｂを備えている。コンベア２ａ、２ｂは、低温槽６内で回転駆動されるチェーン４ａ、４ｂを備えている。チェーン４ａ、４ｂは、環状となるように連結される複数のプレート部材を有している。隣接するプレート部材の端部同士は回転可能に連結されている。プレート部材の端部同士を連結する連結部には、氷掻き取り用のリブが設けられている。チェーンが回転駆動してチェーン軌道の曲率が変化すると、プレート部材間で相対回転が生じ、リブによって連結部に堆積している氷が掻き取られる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
低温槽と、その低温槽内で被検査物を搬送するコンベアと、を備えている検査装置であり、
コンベアは、低温槽内で回転駆動されるチェーンを備えており、
そのチェーンは、環状となるように連結される複数のプレート部材を有しており、隣接するプレート部材の端部同士は回転可能に連結されており、
プレート部材の端部同士を連結する連結部に氷掻き取り用のリブが設けられていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記リブは、連結されている２つのプレート部材の対向する２つの面の少なくとも一方に複数形成されており、それら複数のリブが連結部の回転中心から外側に向かって伸びていることを特徴とする請求項１の検査装置。
【請求項３】
ヒータと、低温槽内に配置されるとともにその表面に形成される氷の厚みを検知するセンサと、そのセンサで検知された氷の厚みに応じてヒータを制御するヒータ制御装置をさらに備えており、
そのセンサは、直列に接続されている複数のコンデンサを備えており、その複数のコンデンサの電極板間の距離が各々異なっており、
前記ヒータ制御装置は、前記複数のコンデンサの合成容量の変化に基づいて前記ヒータを制御することを特徴とする請求項１又は２の検査装置。
【請求項４】
低温槽内で被検査物を搬送するコンベアであり、
モータと、
モータによって回転駆動されるチェーンと、
チェーンに取付けられており、被検査物が載置される載置部と、を備えており、
前記チェーンは、環状となるように連結される複数のプレート部材を有しており、隣接するプレート部材の端部同士は回転可能に連結されており、
プレート部材の端部同士を連結する連結部に氷掻き取り用のリブが設けられていることを特徴とするコンベア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低温状態で被検査物を検査する検査装置に関する。特に、低温槽と、低温槽内で被検査物を搬送するコンベアを備えている検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置等の電子部品を検査する方法の一つとして、低温における電子部品の動作を検査する検査方法が知られている。この方法では、低温槽内に被検査物をコンベア等で搬送して被検査物の動作を検査する。
【０００３】
コンベアは、モータ等によって回転駆動されるチェーンを備えている。チェーンは、通常、複数のプレート部材によって構成されている。複数のプレート部材は、端部同士を順に回転可能に連結し、最初のプレート部材の一端と最後のプレート部材の一端を回転可能に連結することで全体として環状に形成されている。チェーンには、通常、被検査物を載置する載置部（例えば、ベルト）が取付けられている。チェーンを回転駆動すると、載置部も回転駆動され、載置部上の被検査物が低温槽内で搬送される。低温槽内は通常０℃以下の雰囲気温度に設定されており、被検査物が低温槽内に搬入される際や低温槽内から搬出される際に低温槽内に外部雰囲気が流入するため、低温槽内で氷結が発生しやすい。コンベアのチェーンに氷結が発生すると、チェーンに堆積した氷によってチェーンの駆動ができなくなり、搬送不良の原因となる。特に、隣接するプレート部材を連結する連結部に氷が堆積すると、一方のプレート部材に対して他方のプレート部材が相対回転ができなくなる。これによって、チェーンの可撓性が失われ、チェーンの回転駆動が不能となる。
【０００４】
なお、特許文献１には、コンベアベルトに堆積した氷を除去することができる搬送装置が開示されている。この技術によると、コンベアベルトに対向してスクレーバを設けることによって、コンベアベルトがスクレーバ近傍を通過するときにコンベアベルトに堆積している氷が除去される。
【０００５】
【特許文献１】実開昭６２−１４４８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の技術は、コンベアベルトの表面に堆積した氷を除去するものであって、コンベアベルトを駆動するチェーンに堆積した氷を除去するものではない。このため、特許文献１の技術によってはチェーンに堆積した氷による搬送不良を解決することはできない。
【０００７】
上記の課題に鑑み、本発明は、低温槽と、低温槽内で被検査物を搬送するコンベアを備えている検査装置において、コンベアのチェーンに堆積した氷を除去することができる検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明は、低温槽とコンベアを備えている検査装置に関する。コンベアは、低温槽内で被検査物を搬送する。
本発明の検査装置では、コンベアが、低温槽内で回転駆動されるチェーンを備えている。チェーンは、環状となるように連結される複数のプレート部材を有している。隣接するプレート部材の端部同士は回転可能に連結されている。プレート部材の端部同士を連結する連結部には氷掻き取り用のリブが設けられている。
【０００９】
本発明の検査装置によると、チェーンを回転駆動することによってコンベアが駆動され、被検査物が搬送される。チェーンは環状に形成されているため、チェーンの軌道上には、その曲率が変化する部分が存在する。チェーン軌道の曲率が変化すると、その部分において、隣接するプレート部材間で相対回転が生じる。隣接するプレート部材間で相対回転が生じると、連結部に設けられているリブによって連結部に堆積している氷が掻き取られる。隣接するプレート部材間で相対回転が生じる度に連結部の氷が掻き取られるため、チェーンに堆積した氷を効果的に除去することができる。
【００１０】
本発明の検査装置では、氷掻き取り用のリブが、連結されている２つのプレート部材の対向する２つの面の少なくとも一方に複数形成されていることが好ましい。また、複数のリブが連結部の回転中心から外側に向かって伸びていることが好ましい。この構成によると、一方のプレート部材に対して他方のプレート部材が回転するときに、連結部の回転中心から外側に伸びるリブによって氷を効果的に掻き取ることができる。
【００１１】
本発明の検査装置は、ヒータとセンサとヒータ制御装置を備えていることが好ましい。センサは、低温槽内に配置されるとともにその表面に形成される氷の厚みを検知することが好ましい。ヒータ制御装置は、センサで検知された氷の厚みに応じてヒータを制御することが好ましい。このセンサは、直列に接続されている複数のコンデンサを備えていることが好ましい。また、複数のコンデンサの電極板間の距離が各々異なっていることが好ましい。ヒータ制御装置は、電極板間の合成容量の変化に基づいてヒータを制御することが好ましい。
【００１２】
低温槽内に発生した氷結を除去する方法として、ヒータでコンベア等に発生した氷結部を加熱することによって氷を溶解させる方法が挙げられる。しかし、ヒータを定常的にオンしていると、過大なエネルギーを消費してしまう。上記の構成によると、センサ内の複数のコンデンサの各々の電極板間に形成された氷の厚みに応じて複数のコンデンサの合成容量が変化する。この合成容量の変化に基づいてヒータが制御される。即ち、センサ内に形成された氷の厚みに応じてヒータが制御される。このため、ヒータを定常的にオンする必要を無くすことができ、省エネルギーを図ることができる。
【００１３】
また、本発明は、低温槽内で被検査物を安定して搬送することができるコンベアを提供する。本発明のコンベアは、モータと、モータによって回転駆動されるチェーンと、チェーンに取付けられており、被検査物が載置される載置部とを備えている。チェーンは、環状となるように連結される複数のプレート部材を有している。隣接するプレート部材の端部同士は回転可能に連結されている。プレート部材の端部同士を連結する連結部に氷掻き取り用のリブが設けられている。この構成であっても、隣接するプレート部材間で相対回転が生じると、連結部に設けられているリブによって連結部に堆積している氷が掻き取られる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、低温槽と、低温槽内で被検査物を搬送するコンベアを備えている検査装置において、コンベアのチェーンに堆積した氷を効果的に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
下記に説明する実施例の好ましい特徴を列記する。
（第１特徴）検査装置が、電子部品の低温動作を検査するための装置である。
（第２特徴）複数のリブが、連結部の中心から外側に向かって螺旋状に伸びている。
（第３特徴）複数のリブが、スプロケットの回転方向と逆方向に伸びる螺旋状に形成されている。
【実施例】
【００１６】
（第１実施例）
図１は、本発明の第１実施例に係る検査装置１００の模式的な側面図を示す。検査装置１００は、電子部品の低温動作を検査するための検査装置である。図１に示すように、検査装置１００は、低温槽６と、コンベア２ａ、２ｂと、ヒータ１２と、センサ８と、ヒータ制御装置１０を備えている。
【００１７】
低温槽６は、被検査物１４である電子部品を検査するための部屋である。低温槽６には、被検査物１４を搬入するための搬入口６ｂと、被検査物１４を搬出するための搬出口６ａが設けられている。低温槽６内は、図示しない冷却設備によって冷却され、雰囲気温度が０℃以下となるように構成されている。低温槽６内は、冷却エリア１６と検査エリア１８に区切られている。検査エリア１８には、図示しない検査装置（測定装置、コンタクトピン等）が配設されている。搬入口６ｂから搬入された被検査物１４は、冷却エリア１６で冷却される。冷却された被検査物１４は、検査エリア１８で検査される。すなわち、まず、コンタクトピンを被検査物１４に接触させることで、被検査物１４と測定装置が電気的に接続される。次いで、被検査物１４を電気的に駆動し、正常に動作するか否かが測定装置で測定される。検査された被検査物１４は搬出口６ａから搬出される。
【００１８】
コンベア２ｂは、低温槽６の冷却エリア１６内に配設されている。コンベア２ｂの始端は低温槽６の搬入口６ｂに位置し、コンベア２ｂの終端は冷却エリア１６と検査エリア１８の境界に位置している。搬入口６ｂから低温槽６内に搬入された被検査物１４は、コンベア２ｂ上に載置され、コンベア２ｂによって冷却エリア１６内を搬送される。
【００１９】
コンベア２ａは、低温槽６の検査エリア１８内に配設されている。コンベア２ａの始端は、コンベア２ｂの終端に接続されている。コンベア２ａの終端は、低温槽６外に位置している。コンベア２ａ上には、コンベア２ｂによって冷却エリア１６内を搬送された被検査物１４が載せられる。この被検査物１４は、コンベア２ｂによって検査エリア１６内を通って搬出口６ａより低温槽６外に搬出される。
【００２０】
ヒータ１２は、冷却エリア１６と検査エリア１８に跨って、コンベア３ａ、３ｂの側面と対向する位置に配設されている。ヒータ１２は、コンベア３ａ、３ｂを加熱する。ヒータ１２は、ヒータ制御装置１０に接続されている。ヒータ１２のオン／オフは、ヒータ制御装置１０によって制御される。
【００２１】
センサ８は、低温槽６内に配設されている。センサ８は、その表面に形成される氷の厚みを検知するためのセンサである。センサ８は、ヒータ制御装置１０に接続されている。センサ８で測定される周波数の値は、ヒータ制御装置１０に入力される。センサ８の詳細な構造は、後で説明する。
【００２２】
ヒータ制御装置１０は、低温槽６内に配設されている。ヒータ制御装置１０は、センサ８とヒータ１２に接続されている。ヒータ制御装置１０には、センサ８で測定された周波数の値が入力される。ヒータ制御装置１０は、センサ８から出力される周波数の値に基づいてセンサ８の表面に形成された氷の厚みを判定し、氷の厚みが所定の厚み以上となるとヒータ１２をオンし、氷の厚みが所定の厚み未満となるとヒータ１２をオフする。なお、本実施例では、ヒータ制御装置１０を低温槽６内に配設したが、ヒータ制御装置１０を配設する位置は限定されない。ヒータ制御装置１０を低温槽６外に配設してもよい。
【００２３】
次に、コンベア２ｂ，２ａの構造を詳細に説明する。なお、コンベア２ａの構成は、コンベア２ｂと同一であるため、ここでは、コンベア２ｂのみを説明する。
コンベア２ｂは、モータ（図示しない）と、スプロケット３ｃ、３ｄと、チェーン４ｂと、ベルト（図示しない）を備えている。モータの出力軸には、図示しない伝達機構を介して駆動スプロケット３ｄが接続されている。駆動スプロケット３ｄはコンベア２ｂの始端に配されており、コンベア２ｂの終端には従動スプロケット３ｃが配されている。チェーン４ｂは、スプロケット３ｃ、３ｄに取付けられている。チェーン４ｂには、被検査物１４を載置するベルトが取付けられている。モータが回転すると、駆動スプロケット３ｄが反時計回り（図の矢印Ｂの方向）に回転する。駆動スプロケット３ｄが回転すると、チェーン４ｂが反時計回り（図の矢印Ａの方向）に回転する。チェーン４ｂが反時計回りに回転すると、ベルトも反時計回りに回転し、ベルト上の被検査物１４が低温槽６内で搬送される。
【００２４】
ここで、チェーン４ｂの詳細な構造について説明する。チェーン４ｂは、複数のプレート部材を有している。複数のプレート部材は環状となるように連結されている。図２に、チェーン４ｂの一部４ｂ１（図１参照）の上面を拡大した図を示す。図３に、チェーン４ｂの一部４ｂ１の側面を拡大した図を示す。図２、図３に示すように、チェーン４ｂは、複数のプレート部材２０ａ〜ｄ・・，２０ｈ〜ｅ・・と、連結ピン２２ａ〜ｄ・・を有している。
【００２５】
プレート部材２０ｂの一端（右端）は、連結ピン２２ｂに回転可能に取付けられている。この連結ピン２２ｂには、プレート部材２０ｃの一端（左端）も回転可能に取付けられている。これによって、プレート部材２０ｂは、プレート部材２０ｃに対して回転可能に連結されている。同様に、プレート部材２０ｃ，２０ｄ・・が回転可能に連結され、これらプレート部材２０ａ〜ｄ・・が全体として環状に連結されている。また、プレート部材２０ｈ〜ｅ・・も、プレート部材２０ａ〜ｄ・・と同様に回転可能に連結され、これらプレート部材２０ｈ〜ｅ・・が全体として環状に連結されている。プレート部材２０ａ〜ｄ・・，２０ｈ〜ｅ・・は、図示しない止め輪によって連結ピン２２ａ〜ｄ・・からの脱落が防止されている。なお、隣接する連結ピン（例えば、２２ａ，２２ｂ）と、これら連結ピンに連結されたプレート部材（例えば、２０ｂ，２０ｈ）によって囲まれる空間（例えば、２７ａ）には、スプロケット３ｃ，３ｄの外周に形成された歯が噛み合うようになっている。
【００２６】
図４に、隣接する２つのプレート部材２０ｅ、２０ｆの上面を拡大した図を示す。図４に示すように、プレート部材２０ｅの一方の端部（プレート部材２０ｆ側の端部）には、氷掻き取り部２４が形成されている。この氷掻き取り部２４は、プレート部材２０ｅのプレート部材２０ｆと対向する面に形成されている。プレート部材２０ｆの一端（プレート部材２０ｇ側の端部）にも氷掻き取り部２４が形成されている。同様に、全てのプレート部材２０ａ〜ｄ・・，２０ｈ〜ｅ・・には、それぞれ１つの氷掻き取り部２４が形成されている。即ち、隣接するプレート部材同士が連結された連結部には、それぞれ１つの氷掻き取り部２４が形成されている。これら氷掻き取り部２４の中心には、連結ピン２２ａ〜ｄ・・が貫通する貫通孔２５（図５に図示）が形成されている。隣接するプレート部材は、連結ピン２２ａ〜ｄ・・回り（すなわち、氷掻き取り部２４）回りに相対回転が可能となっている。
【００２７】
図５に、氷掻き取り部２４の側面を拡大した図を示す。図５に示すように、氷掻き取り部２４には複数のリブ２６が設けられている。複数のリブ２６は、連結ピン２２の回転中心２３から外側に向かって反時計回りの方向に伸びる螺旋状に形成されている。氷掻き取り部２４には貫通孔２５が設けられている。この貫通孔２５には、連結ピン２２が回転可能に差し込まれている。なお、氷掻き取り部２４（リブ２６）は、プレート部材２０と一体に製作してもよいし、プレート部材２０と別体に製作した後にプレート部材２０に固定してもよい。
【００２８】
次に、センサ８の構造について詳細に説明する。図７に、センサ８の模式的な拡大図を示す。図７に示すように、センサ８は、直列に接続されている複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３と、発信回路３２と、周波数測定回路３４を備えている。コンデンサＣ１は、電極板２８ａと電極板２８ｂによって形成されている。コンデンサＣ２は、電極板２８ｂと電極板２８ｃによって形成されている。コンデンサＣ３は、電極板２８ｃと電極板２８ｄによって形成されている。複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３は、発信回路３２と直列に接続されている。発信回路３２は、複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３の両端に所定の周波数の正弦波信号を印加する。周波数測定回路３４は、複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３の両端に並列に接続されている。周波数測定回路３４は、複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３の合成容量に基づいて変化する周波数を測定する。図面中、参照符号３０は電極板２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄに堆積している氷を示す。電極板２８ａ〜２８ｄの間の距離は、距離が狭い箇所から順にＷ１、Ｗ２、Ｗ３となっている。電極板２８ａ〜２８ｄの面積は各々異なっている。このため、複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３の各々は静電容量が異なっている。
【００２９】
このセンサ８では、コンデンサＣ１の電極板間に形成されている氷３０の厚みが距離Ｗ１に達する前は、コンデンサＣ１〜Ｃ３の各々の電極板の間に電荷が蓄えられている。
電極板２８ａと電極板２８ｂの間に形成されている氷３０の厚みが増して距離Ｗ１に達すると、コンデンサＣ１の電極板間が短絡する。その結果、コンデンサＣ１〜Ｃ３の合成容量が変化する。
さらに、コンデンサＣ２の電極板間に形成されている氷３０の厚みが増して距離Ｗ２に達すると、コンデンサＣ２の電極板間が短絡して、コンデンサＣ１〜Ｃ３の合成容量がさらに変化する。
さらに、コンデンサＣ３の電極板間に形成されている氷３０の厚みが増して距離Ｗ３に達すると、コンデンサＣ３の電極板間が短絡して、コンデンサＣ１〜Ｃ３の合成容量がさらに変化する。
【００３０】
上述した検査装置１００によると、チェーン４ａ、４ｂを図示Ａ方向に回転駆動することによってコンベア２ａ、２ｂが駆動され、被検査物１４が低温槽６内で搬送される。チェーン４ｂは、スプロケット３ｄ〜３ｃ間ではチェーン４ｂの軌道が直線なので、隣接するプレート部材２０同士の間で相対回転が生じない。このため、この間をプレート部材２０が移動する間に、そのプレート部材２０の連結部に氷が堆積しやすい。チェーン４ｂが、スプロケット３ｃ，３ｄに噛み合い始めてから噛み合いが完全に完了するまでの間は、プレート部材同士が相対回転する。すなわち、先行するプレート部材が後行するプレート部材に対して反時計回りに回転する（図６（ａ）の状態）。チェーン４ｂが、スプロケット３ｃ，３ｄとの噛み合いが解かれ始めてから噛み合いが完全に解かれるまでの間は、プレート部材同士が相対回転する。すなわち、先行するプレート部材が後行するプレート部材に対して時計回りに回転する（図６（ｂ）の状態）。隣接するプレート部材同士で相対回転が生じると、リブ２６によって隣接するプレート部材の連結部に堆積している氷が効果的に掻き取られる。
同様にチェーン４ａにおいても、チェーン４ａがスプロケット３ａ，３ｂと噛み合い始める際、及び、スプロケット３ａ，３ｂとの噛み合いが解かれる際に、プレート部材同士が相対回転する。これによって、チェーン４ａに堆積している氷が掻き取られる。
【００３１】
また、検査装置１００では、複数のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３の合成容量が変化すると、周波数測定回路３４で測定される周波数の値が変化する。ヒータ制御装置１０では、センサ８の周波数測定回路３４で測定された周波数の変化に基づいて、ヒータ１２を制御する。即ち、センサ８内に形成された氷の厚みに応じてヒータ１２が制御される。このため、ヒータ１２を定常的にオンする必要を無くすことができ、省エネルギーを図ることができる。
【００３２】
チェーン４ａ、４ｂに堆積した氷によってチェーン４ａ、４ｂの可撓性が失われると、チェーン４ａ、４ｂの回転駆動速度が減少し、検査槽６内で被検査物１４が搬送される時間が長くなる。このため、被検査物１４である電子部品の表面に氷結が発生しやすい。電子部品の表面に氷結が発生すると、検査エリア１８で被検査物１４の検査が行われるときに、コンタクトピンと電子部品との間で接触不良が生じやすい。検査装置１００によると、チェーン４ａ、４ｂに堆積している氷を除去することによって、チェーン４ａ、４ｂの回転駆動速度が減少することを防止することができ、被検査物１４となる電子部品の表面に氷結が発生するのを防止することができる。このため、コンタクトピンと電子部品との接触性を確保することができる。これによって、電子部品の低温動作検査をより確実に行うことができる。
【００３３】
また、検査装置１００では、チェーン４ａ，４ｂの軌道が直線上の位置では、プレート部材の連結部から氷が掻き取られず、チェーン４ａ，４ｂに氷が堆積しやすい。このため、チェーン４ａ，４ｂが、直線軌道からスプロケット３ｃ，３ｄに噛み合い始め、その噛み合いが完了するまでの間（図６（ａ）の状態）は、プレート部材の連結部から多くの氷が掻き取られる。検査装置１００では、複数のリブ２６が、スプロケット３ｃ，３ｄの回転方向と逆方向にシフトする螺旋状に形成されているので、スプロケット３ｃ，３ｄに噛み合い始めてから噛み合いが完了するまでの間は、氷が掻き取られる方向に向かってリブ２６が螺旋状に伸びる形状となっている。このため、より効果的に氷を掻き取ることができる。
【００３４】
上記の実施例では、リブ２６の形状が螺旋状になっているが、リブ２６の形状は限定されない。例えば、隣接プレート部材の連結部の回転中心２４ａから外側に向かって放射状に伸びていてもよいし、楔形状に伸びていてもよい。この場合であっても、隣接するプレート部材間で相対回転が生じる度に、リブ２６によって連結部に堆積した氷が掻き取られる。
【００３５】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施例である検査装置１００の模式的な側面図を示す。
【図２】検査装置１００のチェーンの一部の上面を拡大した図を示す。
【図３】検査装置１００のチェーンの一部の側面を拡大した図を示す。
【図４】隣接する２つのプレート部材の上面を拡大図した図を示す。
【図５】連結部の側面を拡大した図を示す。
【図６】プレート部材の一部が、スプロケットの一部に接触したときの側面を拡大した図を示す。
【図７】センサの拡大図を示す。
【符号の説明】
【００３７】
２：コンベア
３ａ〜３ｄ：スプロケット
４ａ、４ｂ：チェーン
４ｂ１：チェーンの一部
６：低温槽
６ａ：搬出口
６ｂ：搬入口
８：センサ
１０：ヒータ制御装置
１２：ヒータ
１４：被検査物
１６：冷却エリア
１８：検査エリア
２０ａ〜２０ｈ：プレート部材
２２：連結ピン
２３：回転中心
２４：氷掻き取り部
２５：貫通孔
２６：リブ
２８ａ〜２８ｄ：電極板
３０：氷
３２：発信回路
３４：周波数測定回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010076892.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2010076892.tif 000008
【図７】
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