(57)【要約】【課題】冷却液の熱損失を抑制することにより、設定された温度における電子部品の温度を容易に調整することのできる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置Ｍ１は、電子部品である加速度センサの特性を検査するものであり、第２載置台１２に載置されるとともに加速度センサの温度を調整する温度調整機構３０と、第１載置台１１に載置されるとともに加速度センサを予め設定された角度に回転する回転機構２０とを備えている。そして、回転機構２０は、温度調整機構３０に対して、加速度センサを回転可能としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の特性を検査する検査装置において、
作業台に載置される載置台と、前記載置台に載置されるとともに電子部品の温度を調整する温度調整機構と、前記載置台に載置されるとともに前記電子部品を予め設定した角度に回転する回転機構とを備え、
前記回転機構は、前記電子部品を前記温度調整機構に対して回転可能とする
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
当該検査装置は、前記回転機構の回転軸に対して、直交する回転軸である垂直回転軸を有するとともに前記電子部品を前記温度調整機構に対して回転可能とする垂直回転機構と、前記温度調整機構の前記電子部品が載置される面に対して直交する面を有する垂直温度調整機構とを備える
ことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置において、
当該検査装置は、前記回転軸の前記回転軸に対して同軸であって、前記温度調整機構とは前記回転機構を介して反対側に位置する同軸温度調整機構を備える
ことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、
前記回転機構は、前記回転軸を中心に２７０°の範囲内において回転し、
前記垂直回転機構は、前記垂直回転軸を中心に１８０°の範囲内において回転する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項２〜請求項４のいずれか一項に記載の検査装置において、
当該検査装置は、前記電子部品を前記温度調整機構及び前記垂直温度調整機構に対して離間及び近接可能な駆動機構を備える
ことを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の検査装置において、
当該検査装置は、前記電子部品を載置する載置治具を備え、
前記載置治具には、前記電子部品を載置する載置部と、前記載置部に載置された前記電子部品と接触する端子である接触端子を有する電極部と、前記電極部を保持する電極保持部とが設けられ、
前記載置治具には、前記電極保持部を前記電子部品に向かい付勢することにより、前記電子部品の面と該面と対抗する前記電極部の対向面とを互いに平行に維持する付勢手段が設けられる
ことを特徴とする検査装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記電子部品には、重力を検出するセンサ部が設けられ、
当該検査装置には、前記温度調整機構及び前記回転機構の角度を調整する角度調整機構を備え、
前記センサ部は、前記電子部品の面に対して角度（Ａ）だけ傾斜し、
前記角度調整機構は、前記温度調整機構及び前記回転機構のそれぞれを前記センサ部の傾斜する方向とは反対側の方向に角度（Ａ）だけ傾斜させる
ことを特徴とする検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の検査装置において、
当該検査装置には、前記温度調整機構を載置する第１載置台と、前記回転機構を載置する第２載置台とを備え、
前記第１載置台及び前記第２載置台には、それぞれ前記角度調整機構が設けられ、
前記第１載置台及び前記第２載置台は、それぞれ互いに独立して傾斜可能である
ことを特徴とする検査装置。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載の検査装置において、
前記載置台には、前記作業台に当接する装置載置台が設けられ、
前記角度調整機構は、前記装置載置台よりも鉛直方向の上側に配置される
ことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の姿勢を変更することにより、各姿勢の電子部品の特性を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記電子部品において、例えば、アンチブロックブレーキシステム（ＡＢＳ）や車両安定制御やサスペンション制御システム等の車両の挙動検出のために加速度センサが用いられていることが知られている。この加速度センサは、加速度センサの内部に実装されたセンサ素子（例えば、ピエゾ素子）の作用により、静止加速度を含む加速度に応じた電圧を出力する。特に、加速度センサが静止状態においては、静止加速度に比例した電圧のみが出力される。この静止加速度は、加速度センサに加わる重力加速度のベクトル成分となるため、加速度センサが鉛直方向に対して傾斜している場合、加速度センサの出力電圧から加速度センサの傾斜角度を換算することができる。
【０００３】
この加速度センサのセンサ素子は、センサ素子自体の個体ごとのばらつきや、加速度センサへの実装状態のばらつきや、温度特性のばらつき等の様々な誤差要因を含んでいる。そのため、加速度センサの傾斜角度に対する理想的な電圧特性を得るためには、低温、常温、及び高温の環境下において、加速度センサの姿勢を０°〜２７０°の範囲で少なくとも２〜３点の角度に傾斜した状態にて、加速度センサの出力電圧を測定し、その測定結果に基づいて上記出力電圧の誤差を補正する必要がある。
【０００４】
以下、図１５及び図１６を参照して、加速度センサの姿勢及び温度を変更して、加速度センサの出力電圧を測定する従来の検査装置について説明する。
図１６に示すように、検査装置１は、板状の下ユニットベース２上に防振ゴム３を介して上ユニットベース４が載置されることにより、構成されている。そして、上ユニットベース４には、加速度センサが載置されるとともにこの加速度センサの温度を変更する温度調整部５と、温度調整部５が固定されるとともに上ユニットベース４内に収容された垂直回転軸６とが設けられている。
【０００５】
この温度調整部５は、冷却液が供給されることにより、加速度センサが載置される部位を加熱及び冷却を行う。そして、垂直回転軸６の回転に伴い、温度調整部５が回転することにより、加速度センサの姿勢が変更される。以上により、加速度センサの姿勢及び温度が変更される（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００５−３２６３８４号公報
【特許文献２】特開２００６−２９２７７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図１５に示すように、温度調整部５には、外部に設置された補助冷却装置から冷却液を供給するための冷却液供給部７が設けられている。この冷却液供給部７は、垂直回転軸６に接続される固定側ホース７ａと、垂直回転軸６に固定されるとともに固定側ホース７ａが接続されるロータリージョイント７ｂと、ロータリージョイント７ｂ及び温度調整部５を互いに接続するとともに垂直回転軸６とともに回転する回転側ホース７ｃとから構成されている。以上の構成により、温度調整部５が垂直回転軸６とともに回転したとしても、固定側ホース７ａ及び回転側ホース７ｃのそれぞれがねじれることを防ぐことができる。
【０００７】
しかしながら、冷却液供給部７にロータリージョイント７ｂが設けられるため、このロータリージョイント７ｂを通過する際に、冷却液の熱損失が発生してしまう。その結果、温度調整部５に供給される段階において、冷却液の温度が補助冷却装置の設定した温度と異なるため、測定のために設定する電子部品の温度と、実際の電子部品の温度が異なってしまう場合があった。したがって、電子部品の測定を高精度に行うことができなかった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、冷却液の熱損失を抑制することにより、設定された温度における電子部品の温度を容易に調整することのできる検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、電子部品の特性を検査する検査装置において、作業台に載置される載置台と、前記載置台に載置されるとともに電子部品の温度を調整する温度調整機構と、前記載置台に載置されるとともに前記電子部品を予め設定した角度に回転する回転機構とを備え、前記回転機構は、前記電子部品を前記温度調整機構に対して回転可能とすることを要旨とする。
【００１０】
この発明によれば、回転機構及び電子部品が回転し、温度調整機構が固定される構成であるため、図１５及び図１６に示す従来構造と比較して、ロータリージョイントが不要となる。したがって、ロータリージョイントにて発生する冷却液の熱損失を回避することができるため、温度調整機構は、効率よく電子部品の温度を調整することができる。したがって、検査装置は、設定された温度における電子部品の温度を容易に調整することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置において、当該検査装置は、前記回転機構の回転軸に対して、直交する回転軸である垂直回転軸を有するとともに前記電子部品を前記温度調整機構に対して回転可能とする垂直回転機構と、前記温度調整機構の前記電子部品が載置される面に対して直交する面を有する垂直温度調整機構とを備えることを要旨とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の検査装置において、当該検査装置は、前記回転軸の前記回転軸に対して同軸であって、前記温度調整機構とは前記回転機構を介して反対側に位置する同軸温度調整機構を備えることを要旨とする。
【００１３】
図１５及び図１６に示す従来構造の検査装置は、１軸回転であるため、２軸の検査及び３軸の検査を行う場合、図１７に示すように、検査装置を２軸の場合では２台、３軸の場合では３台並べて、それぞれの検査装置において電子部品を測定する必要があった。そのため、検査装置を配置するスペースが増大するため、例えば、電子部品を生産する工場の省スペース化を困難にしていた。その上、電子部品の１軸を測定するごとに、次の検査装置に電子部品を搬送する必要があるため、電子部品の検査時間が増大してしまう問題があった。
【００１４】
これらの点において、本発明では、検査装置が垂直回転機構及び垂直温度調整機構を備えることにより、電子部品の２軸の検査を可能としている。また、さらに検査装置が同軸温度調整機構を備えることにより、電子部品の３軸の検査を可能としている。したがって、検査装置を２台及び３台並べる場合と比較して、検査装置が占める上記工場内のスペースを小さくすることができ、電子部品の搬送もないため、電子部品の検査時間の増大を抑制することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の検査装置において、前記回転機構は、前記回転軸を中心に２７０°の範囲内において回転し、前記垂直回転機構は、前記垂直回転軸を中心に１８０°の範囲内において回転することを要旨とする。
【００１６】
この発明によれば、３軸のそれぞれの正逆方向である６方向において、電子部品の特性を検査することが可能となる。したがって、１台の検査装置にて、３軸の電子部品の特性を正確に検査することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求項４のいずれか一項に記載の検査装置において、当該検査装置は、前記電子部品を前記温度調整機構及び前記垂直温度調整機構に対して離間及び近接可能な駆動機構を備えることを要旨とする。
【００１８】
この発明によれば、駆動機構により、電子部品を回転させる際には、電子部品を温度調整機構及び垂直温度調整機構に対して離間させることにより、電子部品と温度調整機構及び垂直温度調整機構との接触を防止することができる。そして、電子部品を回転させて、温度調整機構及び垂直温度調整機構が配置される位置に配置された場合、駆動機構により、電子部品を近接させることにより、温度調整機構及び垂直温度調整機構が電子部品の温度の調整を行うことが可能となる。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の検査装置において、当該検査装置は、前記電子部品を載置する載置治具を備え、前記載置治具には、前記電子部品を載置する載置部と、前記載置部に載置された前記電子部品と接触する端子である接触端子を有する電極部と、前記電極部を保持する電極保持部とが設けられ、前記載置治具には、前記電極保持部を前記電子部品に向かい付勢することにより、前記電子部品の面と該面と対抗する前記電極部の対向面とを互いに平行に維持する付勢手段が設けられることを要旨とする。
【００２０】
この発明によれば、付勢手段により、電子部品の面と電極保持部の対向面とが互いに平行に維持されるため、電子部品の面への接触端子の接触圧の、電極部の場所に起因するばらつきを抑制することができる。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の検査装置において、前記電子部品には、重力を検出するセンサ部が設けられ、当該検査装置には、前記温度調整機構及び前記回転機構の角度を調整する角度調整機構を備え、前記センサ部は、前記電子部品の面に対して角度（Ａ）だけ傾斜し、前記角度調整機構は、前記温度調整機構及び前記回転機構のそれぞれを前記センサ部の傾斜する方向とは反対側の方向に角度（Ａ）だけ傾斜させることを要旨とする。
【００２２】
この発明によれば、角度調整機構により、電子部品のセンサ部が角度（Ａ）だけ傾斜したものであっても、センサ部の傾斜する方向とは反対側に角度（Ａ）だけ傾斜することにより、センサ部の角度が相殺される。これにより、検査装置は、電子部品のセンサ部が傾いていないものと同様に検査を行うことができる。
【００２３】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の検査装置において、当該検査装置には、前記温度調整機構を載置する第１載置台と、前記回転機構を載置する第２載置台とを備え、前記第１載置台及び前記第２載置台には、それぞれ前記角度調整機構が設けられ、前記第１載置台及び前記第２載置台は、それぞれ互いに独立して傾斜可能であることを要旨とする。
【００２４】
この発明によれば、第１載置台及び第２載置台がそれぞれ独立に傾斜可能であるため、第１載置台の温度調整機構に第２載置台の回転機構に取り付けられた電子部品（または、電子部品を載置する載置治具）を確実に当接させることができる。その結果、温度調整機構から電子部品への伝熱を効率的に行うことができるため、電子部品の温度をより効率的に調整することができる。
【００２５】
請求項９に記載の発明は、請求項７または請求項８に記載の検査装置において、前記載置台には、前記作業台に当接する装置載置台が設けられ、前記角度調整機構は、前記装置載置台よりも鉛直方向の上側に配置されることを要旨とする。
【００２６】
この発明によれば、角度調整機構が装置載置台よりも鉛直方向の上側に配置されるため、例えば、検査装置を板状の作業台の上に載置したときに、作業台よりも鉛直方向の下側に角度調整機構が配置されてしまうことを抑制することができる。したがって、作業台に角度調整機構を配置するための貫通孔等のスペースを設ける必要がないため、検査装置を作業台に容易に設置することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、冷却液の熱損失を抑制することにより、設定された温度における電子部品の測定を高精度に行うことのできる検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
（第１の実施形態）
図１〜図８を参照して、本発明の検査装置を、加速度センサを測定するための検査装置として具体化した第１の実施形態について説明する。なお、図２において、温度調整機構３０の詳細な構造、及び角度調整機構５０を省略している。
【００２９】
以降では、検査装置Ｍ１において、重力方向に沿った方向を「上下方向」とし、回転機構２０及び温度調整機構３０が互いに並べられる方向を「左右方向」とし、これら上下方向及び左右方向のそれぞれに直交する方向を「前後方向」とする。また、上下方向において、載置台１０側を「下側」とし、回転機構２０及び温度調整機構３０側を「上側」とする。また、左右方向において、回転機構２０側を「右側」とし、温度調整機構３０側を「左側」とする。また、前後方向において、第１温度調整部３１を「前側」とし、第２温度調整部３２を「後側」とする。また、以降では、「上下方向」は、鉛直方向に沿った方向となる。
【００３０】
図１に示すように、検査装置Ｍ１は、左右方向に２個並べられる載置台１０と、左右方向の右側の第１載置台１１に載置された回転機構２０と、左右方向の左側の第２載置台１２に載置された２個の温度調整機構３０とにより構成されている。また、回転機構２０には、加速度センサＡを載置する載置治具であるヘッド部４０が固定されている。また、載置台１０には、この載置台１０を傾斜させる角度調整機構５０が取り付けられている。
【００３１】
この検査装置Ｍ１は、温度調整機構３０によって、測定対象の電子部品である加速度センサＡ（図７参照）の温度を所定の測定温度に設定した後、一の温度調整機構３０である第１温度調整部３１にヘッド部４０を当接した状態において、加速度センサＡ（図７参照）の出力電圧を測定する。そして、回転機構２０によって、加速度センサＡを保持した状態のヘッド部４０を回転させて、他の温度調整機構３０である第２温度調整部３２にヘッド部４０を当接させる。そして、この状態において、加速度センサＡの出力電圧を測定する。以上により、加速度センサＡの温度及び姿勢を変更した状態において、各状態における加速度センサＡの出力電圧を測定することができる。以下、各構成要素の詳細について説明する。
【００３２】
図１に示すように、載置台１０を構成する第１載置台１１及び第２載置台１２は、別部材となる板状により形成されている。そして、第１載置台１１及び第２載置台１２のそれぞれは、角度調整機構５０により、互いに独立して傾斜することが可能である。また、以降においては、第１載置台１１及び第２載置台１２を区別しないときは、「載置台１０」とする。
【００３３】
図２に示すように、回転機構２０は、第１載置台１１に固定されるとともに、上下方向の上側に延設される基台２１と、基台２１に固定される第１回転機構２２と、基台２１より左右方向の右側に配設されるとともに、第１回転機構２２によって基台２１に対して回転可能となる回転ユニット２３とにより構成されている。この第１回転機構２２により、回転ユニット２３は、左右方向に沿った軸を中心として回転する。
【００３４】
基台２１は、第１載置台１１に固定される平板状の下側固定部２１１と、下側固定部２１１の上面に固定される略四角柱形状の基部２１２と、基部２１２の上面に固定される平板状の上側固定部２１３とにより構成されている。
【００３５】
第１回転機構２２は、基部２１２より左右方向の右側に配設されるモータ部２２１と、上側固定部２１３の上面に固定される減速機２２２と、モータ部２２１及び減速機２２２を互いに接続するプーリ２２３とにより構成されている。プーリ２２３は、モータ部２２１の左右方向の右側に延設された出力軸に設けられた図示しない第１カップリングと減速機２２２の左右方向の左側に延設された軸部に設けられた第２カップリング２２４とをベルト２２５により接続することにより構成されている。ここで、プーリ２２３は、モータ部２２１と基部２１２との左右方向の間に配設されている。ここで、モータ部２２１は、例えば、ステッピングモータが使用され、減速機２２２は、例えば、１／５０に減速可能なハーモニックギアが使用される。
【００３６】
回転ユニット２３は、基台２１より左右方向の左側に配設されるとともに、上下方向に延設される板状の軸固定部２３１が減速機２２２の軸部のうち、第２カップリング２２４とは左右方向の反対側に部位に固定されることにより、基台２１に対して回転可能としている。そして、軸固定部２３１には、この軸固定部２３１に対して、図２において上下方向に移動可能な可動体２３２を移動させる駆動機構２３３が固定されている。また、可動体２３２には、ヘッド部４０を上下方向に沿った軸を中心軸Ｊ２（垂直回転軸）として回転させる垂直軸回転機構である第２回転機構２３４が設けられている。この第２回転機構２３４は、可動体２３２の上面に固定されたモータ部２３５と、可動体２３２に固定されて上下方向の下側に延設されるとともにモータ部２３５の出力軸と接続する減速機２３６とにより構成されている。また、減速機２３６の下面には、ヘッド部４０が固定されている。ここで、駆動機構２３３は、例えば、ステッピングモータと、このステッピングモータの回転を上下方向に沿った直線運動に変換する直線運動変換部とを組み合わせたアクチュエータが使用される。また、第２回転機構２３４は、例えば、モータ部２３５として、ステッピングモータが、減速機２３６として、１／５０に減速可能なハーモニックギアが使用される。
【００３７】
再び図１に示すように、温度調整機構３０は、第２載置台１２に固定される第１温度調整部３１と、第２載置台１２に支持台３２１を介して固定されるとともに第１温度調整部３１に対して垂直な方向に配設される垂直温度調整機構である第２温度調整部３２とにより構成されている。なお、第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２は、同一のものを使用しているため、第１温度調整部３１の説明を行い、第２温度調整部３２の説明は省略する。
【００３８】
第１温度調整部３１は、略直方体にて形成されるとともに、ヘッド部４０の下面と当接する板状の当接部３１１が設けられている。そして、当接部３１１の下面側には、冷却源及び加熱源となるペルチェ素子３１２が配置されている。そして、ペルチェ素子より上下方向の下側には、ペルチェ素子を加熱及び冷却する冷却ユニット３１３が配設されている。この冷却ユニット３１３は、図示しない補助冷却装置（チラー装置）に冷却ホースを介して接続される。これにより、補助冷却装置から冷却ホースを介して冷却液が冷却ユニット３１３に供給される。
【００３９】
ここで、加速度センサＡが載置される面である第１温度調整部３１の当接部３１１の当接面は、左右方向及び前後方向に沿った平面となるように配置されている。そして、第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面は、上下方向及び前後方向に沿った平面となるように配置されている。即ち、第２温度調整部３２の当接面は、第１温度調整部３１の当接面に対して直交する。また、各当接部３１１，３２２の当接面は、前後方向及び左右方向に沿った長方形にて構成された略十字形状にて形成されている。
【００４０】
図３（ａ）に示すように、ヘッド部４０は、加速度センサＡが載置された測定ユニット４１と、この測定ユニット４１を図１における前後方向に摺動可能とするとともに、測定ユニット４１を収容可能とするヘッド本体部４２とにより構成されている。
【００４１】
測定ユニット４１は、加速度センサＡを載置する載置部であるワーク治具４１１と、ワーク治具４１１より上下方向の上側に配置されるとともに各加速度センサＡに接続することにより各加速度センサＡの出力電圧を測定する電極部４１２とにより構成されている。
【００４２】
ワーク治具４１１は、前後方向が長手方向となる長方形の板状に形成されるとともに、１０個の加速度センサＡをそれぞれ保持する溝形状の保持部４１３が設けられている。この加速度センサＡは、前後方向に沿って一列にて並べられている。
【００４３】
電極部４１２は、ワーク治具４１１に対応した長方形に形成されるとともに、ワーク治具４１１に配置された１０個の加速度センサＡにそれぞれ対応する位置に上下方向に延設される接触端子であるプローブ４１４が設けられている。このプローブ４１４が加速度センサＡの各端子のそれぞれと電気的に接続することにより、加速度センサＡの出力電圧がプローブ４１４により検出される。
【００４４】
ヘッド本体部４２には、前後方向を長手方向とする長方形の板状の治具保持部４２２が設けられている。この治具保持部４２２には、ワーク治具４１１が前後方向に摺動可能となる、前後方向に沿った溝形状である治具収容部４２１が設けられている。そして、治具保持部４２２の前後方向の中央部には、前後方向に離間するとともに、治具収容部４２１の左右方向の両側を挟むように上下方向に沿って延設された４本の円柱であるガイド部４２３がそれぞれ固定されている。そして、各ガイド部４２３の上端部には、上下方向において間隙を介して治具収容部４２１と対向する、前後方向を長手方向とする長方形の板状の中間固定部４２４が固定されている。
【００４５】
治具保持部４２２と中間固定部４２４の上下方向の間には、図１における電極部４１２を上下方向に移動可能とする一対の移動機構を備えた移動部である電極移動機構４２５が配設されている。具体的には、電極移動機構４２５に設けられた貫通孔である挿通部４２６にガイド部４２３をそれぞれ挿通されて、治具収容部４２１に対する電極移動機構４２５の位置が決定されている（図３（ｂ）参照）。
【００４６】
電極移動機構４２５には、左右方向に離間した一対の前後方向を長手方向とする長方形の板状の部材であるとともに、それぞれ前後方向に沿って配設されるとともに前後方向に離間した２本のガイド部４２３に挿通される電極保持部４２７が設けられている。また、電極保持部４２７において、互いに対向する対向面のそれぞれには、左右方向に凹む溝形状である電極挿入部４２８が設けられている。そして、電極部４１２は、電極挿入部４２８に前後方向に挿入することにより、電極保持部４２７に保持される（図３（ｂ）参照）。
【００４７】
また、電極保持部４２７のそれぞれの前後方向の中央部には、シリンダー４２９によって、レバー４３０に固定されるとともに、レバー４３０を、支点４３１を中心に上下方向に回動することにより、上下方向に移動するカムブロック４３２が設けられている。このカムブロック４３２は、電極保持部４２７とも固定されているため、カムブロック４３２の上下方向の移動に伴い、電極保持部４２７はガイド部４２３にガイドされて上下方向に移動する。これにより、電極保持部４２７に保持された電極部４１２が上下方向に移動可能となる。したがって、電極移動機構４２５により、電極部４１２が上下方向に移動して、加速度センサＡに対して、プローブ４１４の接続及び非接続の動作を行う。
【００４８】
この具体的な構造としては、カムブロック４３２の中央部には、レバー４３０と接続するカムフォロア４３３が設けられている。そして、レバー４３０は、カムフォロア４３３から前後方向に沿って延設されている。このレバー４３０の前後方向の後側には、このレバー４３０のそれぞれを左右方向に貫通する貫通孔である挿入部が設けられ、左右方向に沿って配置される円柱形状の軸体４３４がこれら挿入部に挿通されている。この軸体４３４が支点４３１を形成している。また、シリンダー４２９は、カムフォロア４３３と軸体４３４との前後方向の間に配設されるとともに、レバー４３０と接続している。このシリンダー４２９は、レバー４３０と接続される出力軸が上下方向に移動可能となるように配置されている。そして、シリンダー４２９の上下方向の移動に伴いレバー４３０が支点４３１を中心に上下方向に回動する。
【００４９】
また、電極保持部４２７の前後方向の後側の端部には、上下方向の上側に延設されるとともに、中間固定部４２４の前後方向の後側の端部に設けられた上側締結部４３５とボルトによって固定される下側締結部４３６が設けられている。上側締結部４３５には、前後方向に離間するとともに、ボルトを挿通するための２つの貫通孔が設けられ、下側締結部４３６には、上側締結部４３５の２つの貫通孔に対応した位置に設けられるとともに、ボルトを締結する締結孔が設けられている。
【００５０】
また、中間固定部４２４の上面には、前後方向が長手方向となる長方形の板状のヘッド固定部４３７が固定されている。これら中間固定部４２４及びヘッド固定部４３７のそれぞれの中央部には、ヘッド部４０の上下方向の下部を挿通する挿通部４３８，４３９が設けられている。
【００５１】
また、電極保持部４２７において、ガイド部４２３と左右方向に同位置、且つ前後方向の前側及び後側には、上下方向に貫通する貫通孔４４０が設けられている。また、治具保持部４２２及びヘッド固定部４３７において、貫通孔４４０と対応する位置には、それぞれ貫通孔４４１，４４２が設けられている。そして、これら貫通孔４４０〜４４２には、電極保持部４２７を上下方向の上側に付勢する付勢手段４４３が挿通されている。この付勢手段４４３は、４本の円柱形状の支持柱４４４に弾性部材であるコイルばね４４５がそれぞれ挿通された状態にて構成されている。これらコイルばね４４５は、ばね力が互いに等しく設定されている。そして、付勢手段４４３は、電極保持部４２７の上面にコイルばね４４５が当接するとともに圧縮された状態にて維持されている。これにより、電極保持部４２７は、ワーク治具４１１に向かい付勢された状態となる。したがって、電極保持部４２７に保持された電極部４１２がワーク治具４１１に載置された加速度センサＡに向かい付勢された状態となる。
【００５２】
また、付勢手段４４３により、電極保持部４２７を付勢する力が、電極保持部４２７の場所によってばらつくことを抑制することができる。したがって、電極保持部４２７と治具保持部４２２とを互いに平行に配置することが可能となる。即ち、加速度センサＡの上面Ａ２と、この上面Ａ２に上下方向に対向する電極部４１２の対向面４１２ａとを互いに平行に維持することができる。
【００５３】
次に、図１及び図４〜図６を参照して、検査装置Ｍ１が加速度センサＡを測定する態様について説明する。本実施形態の加速度センサＡにおいては、車両に搭載される電子機器に内蔵されることを想定して、温度範囲を−３０℃〜８５℃として測定を行っている。特に、本実施形態では、−３０℃、２５℃、及び８５℃の３段階の測定温度において、加速度センサＡの出力電圧を測定している。上記各測定温度において、検査装置Ｍ１の測定の態様は同様であるため、−３０℃の際の検査装置Ｍ１の測定の態様を説明し、２５℃及び８５℃の際の検査装置Ｍ１の測定の態様は省略する。
【００５４】
図１に示すように、まず、ヘッド部４０を第１温度調整部３１に当接した状態にて配置する。具体的には、回転ユニット２３の駆動機構２３３によって可動体２３２を上下方向の下側に移動させることにより、ヘッド部４０の治具保持部４２２が、第１温度調整部３１の当接部３１１の当接面に当接させる。この状態において、加速度センサＡのセンサ部Ａ１の上面Ａ２（図６参照）は、上記当接面と平行である上下方向に対して垂直方向（即ち、左右方向及び前後方向に沿って形成される平面方向）となる。
【００５５】
次いで、この加速度センサＡのセンサ部の配置状態において、検査装置Ｍ１は、加速度センサＡの出力電圧を測定する。具体的には、ヘッド部４０の電極移動機構４２５によって電極部４１２を上下方向に移動させることにより、電極部４１２を各加速度センサＡに電気的に接続する。そして、各加速度センサＡのセンサ部Ａ１の上面Ａ２に対して垂直方向の静止加速度を出力電圧として電極部４１２が検出する。これにより、検査装置Ｍ１は、図６に示す加速度センサＡのセンサ部Ａ１に加わる静止加速度Ｇ１による出力電圧を測定する。
【００５６】
次に、図４に示すように、第２温度調整部３２の温度を調整した後、第１回転機構２２によってヘッド部４０を９０°回転させることにより、治具保持部４２２を第２温度調整部３２に当接した状態にて配置する。具体的には、図１の状態から駆動機構２３３によって可動体２３２を上下方向の上側に移動させることにより、治具保持部４２２を第１温度調整部３１の当接部３１１の当接面から離間させる。次いで、第１回転機構２２により、第２カップリング２２４の中心において左右方向に沿った軸を中心軸Ｊ１として９０°回転させる。最後に、駆動機構２３３によって可動体２３２を前後方向の前側に移動させることにより、治具保持部４２２を第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面に当接させる。この状態において、加速度センサＡのセンサ部Ａ１の上面Ａ２は、当接部３２２の当接面と平行である左右方向に対して垂直方向（即ち、前後方向及び上下方向に沿って形成される平面方向）となる。なお、第２温度調整部３２の温度の調整は、第１温度調整部３１の温度の調整と同時に行ってもよい。
【００５７】
次いで、この加速度センサＡのセンサ部Ａ１の配置状態において、上述のように検査装置Ｍ１が加速度センサＡの出力電圧を測定する。これにより、電極部４１２は、各加速度センサＡのセンサ部Ａ１の上面Ａ３に対して水平方向の静止加速度を出力電圧として検出する。即ち、検査装置Ｍ１は、図６に示す加速度センサＡのセンサ部Ａ１に加わる静止加速度Ｇ２による出力電圧を測定する。
【００５８】
次に、図５に示すように、第２回転機構２３４によってヘッド部４０を前後方向を中心軸として９０°回転させた後に、治具保持部４２２を第２温度調整部３２に当接した状態にて配置する。具体的には、図４の状態から駆動機構２３３によって可動体２３２を前後方向の後側に移動させることにより、治具保持部４２２を第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面から離間させる。次いで、第２回転機構２３４により、減速機２３６の中心において前後方向に沿った軸を中心軸Ｊ２として、回転方向Ｘに向かい９０°回転させる。最後に、駆動機構２３３によって可動体２３２を前後方向の前側に移動させることにより、治具保持部４２２を第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面に当接させる。この状態において、加速度センサＡのセンサ部Ａ１の上面Ａ３は、図５の状態から左右方向を中心軸として９０°回転した状態となる。
【００５９】
次いで、この加速度センサＡのセンサ部の配置状態において、上述のように検査装置Ｍ１が加速度センサＡの出力電圧を測定する。これにより、図４の状態から中心軸Ｊ２を中心として回転方向Ｘに向かい９０°回転した状態における各加速度センサＡのセンサ部Ａ１の上面Ａ３に対して水平方向の静止加速度を出力電圧として電極部４１２は検出する。即ち、検査装置Ｍ１は、図６に示す加速度センサＡのセンサ部Ａ１に加わる静止加速度Ｇ３による出力電圧を測定する。
【００６０】
ここで、ヘッド部４０の中心軸Ｊ２を中心とした回転は、図４の状態から図５の状態への９０°の回転のみではなく、図５の状態からさらに回転方向Ｘに向かい９０°回転させた状態、及び図５の状態からさらに回転方向Ｘに向かい１８０°回転させた状態についても、同様に各加速度センサＡのセンサ部Ａ１の静止加速度を出力電圧として電極部４１２は検出する。これらにより、検査装置Ｍ１は、図６に示す加速度センサＡのセンサ部Ａ１に加わる静止加速度Ｇ４，Ｇ５による出力電圧をそれぞれ測定する。
【００６１】
以上の一連の検査装置Ｍ１の測定の態様は、温度が２５℃及び８５℃においても同様に行われる。なお、これら温度の変更に関しては、温度調整機構３０により行われる。これにより、検査装置Ｍ１によって、図６に示すＧ１〜Ｇ５の２軸の静止加速度について測定が可能となる。
【００６２】
次に、図７〜図１０を参照して、検査装置Ｍ１が、センサ部Ｂ１がパッケージ部Ｂ２に対して傾斜している加速度センサＢを測定する態様について説明する。
まず、図７を参照して、加速度センサＢの構成の概略、及び加速度センサＢの適用例について説明する。
【００６３】
図７に示すように、加速度センサＢは、センサ部Ｂ１がパッケージ部Ｂ２によって外囲された平面視において長方形にて形成されている。そして、センサ部Ｂ１は、パッケージ部Ｂ２の上面Ｂ３及び下面Ｂ４に対して１０°傾斜した状態にて、パッケージ部Ｂ２内に配置されている。
【００６４】
このような、加速度センサＢは、例えば、図８に示すように、車両に搭載されたカーナビゲーションＣの液晶モニターである画面Ｃ１の裏側に、画面Ｃ１と平行となるように配置された回路基板（例えば、硬質プリント配線板）Ｃ２に実装されている。この画面Ｃ１は、搭乗者が見やすいように、鉛直方向に対して所定角度（例えば、１０°）傾斜している。そのため、この画面Ｃ１と平行に配置された回路基板Ｃ２に実装された加速度センサＢも傾斜している。ところで、加速度センサＢのセンサ部Ｂ１がパッケージ部Ｂ２に対して傾斜しているため、センサ部Ｂ１は、鉛直方向に沿って配置されることになる。このセンサ部Ｂ１の配置構成により、加速度センサＢは、良好に静止加速度を出力電圧に変換することができる。
【００６５】
次いで、図９及び図１０を参照して、検査装置Ｍ１が加速度センサＢを測定する態様について説明する。特に、本実施形態では、ヘッド部４０が第２温度調整部３２に当接した状態の測定の態様について説明する。
【００６６】
まず、角度調整機構５０によって載置台１０が傾斜する構造について説明する。
図９及び図１０に示すように、検査装置１は、第１載置台１１及び第２載置台１２のそれぞれの左右方向の両端に設けられた設置部１１１，１２１と、２つの角度調整機構５０にそれぞれ設けられた設置部５１によって、作業台（不図示）に設置される。具体的には、設置部１１１，１２１は、作業台の上面に載置され、設置部５１は、作業台の下面に載置されて、それぞれをボルトによって固定する。これにより、検査装置Ｍ１は、作業台を上面及び下面から挟んだ上で、作業台に固定されるため、作業台に安定して載置される。
【００６７】
また、２つの角度調整機構５０は、第１載置台１１及び第２載置台１２の前後方向の後側の端部にそれぞれにジョイント部５２を介して接続されている。そして、角度調整機構５０は、モータ部５３の回転を直線運動（上下方向への移動）に変換された軸部５４により、第１載置台１１及び第２載置台１２のそれぞれを移動させる。
【００６８】
具体的には、設置部１１１，１２１のそれぞれには、第１載置台１１及び第２載置台１２のそれぞれに固定されるとともに、上下方向の下側に延設される回動部１１２，１２２（回動部１２２については、図２参照。）が設けられている。そして、回動部１１２，１２２の左右方向に近接して配置されるとともに、作業台に固定される軸受部１１３，１２３（軸受部１２３については、図２参照。）が設けられている。そして、これら回動部１１２，１２２及び軸受部１１３，１２３には、左右方向に貫通する貫通孔が設けられるとともに、これら貫通孔をそれぞれ左右方向に挿通する円柱形状の軸部１３が設けられている。
【００６９】
そして、図９に示すように、第１載置台１１を上下方向の上側に向かい傾斜させる際には、角度調整機構５０の軸部５４が第１載置台１１の前後方向の後側の端部を上側に押し上げる。このとき、第１載置台１１は、軸部１３を中心として、上下方向の上側に回動する。
【００７０】
次いで、検査装置Ｍ１の加速度センサＢの測定の態様について説明する。
図９に示すように、検査装置Ｍ１は、角度調整機構５０の軸部５４を上下方向の上側に移動させることにより、図２の第１載置台１１の状態から第１載置台１１を１０°傾斜させる。このとき、第２温度調整部３２は、第１載置台１１の傾斜に伴い、上下方向に対して、前後方向の前側に１０°傾斜する。即ち、第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面は、上下方向に対して、前後方向の前側に１０°傾斜した状態となる。次いで、図１１に示すように、同様に、第２載置台１２を１０°傾斜させる。これにより、当接部３２２の当接面と、ワーク治具４１１（即ち、加速度センサＢ）とが平行となる。そして、この状態において、駆動機構２３３により、前後方向の前側にヘッド部４０を移動させることによって、当接部３２２の当接面と治具保持部４２２とを当接させる。これにより、加速度センサＢのセンサ部Ｂ１の上面の傾斜方向に対して、第１載置台１１がその傾斜方向とは反対方向に傾斜させるため、加速度センサＢのセンサ部Ｂ１の上面は、前後方向及び左右方向によって形成された平面方向と平行な状態となる。
【００７１】
次いで、この当接部３２２の当接面と治具保持部４２２とを当接させた状態において、第１の実施形態と同様に、加速度センサＢの出力電圧を測定する。そして、また第１の実施形態と同様に、加速度センサＢを中心軸Ｊ２を中心として回転方向Ｘに向かい９０°、１８０°、２７０°にそれぞれ回転させた上で、加速度センサＢの出力電圧を測定する。以上により、加速度センサＢの測定される静止加速度は、上記加速度センサＡの測定される静止加速度Ｇ２〜Ｇ５と同様の方向において測定される。
【００７２】
以上の測定の態様は、第１温度調整部３１においても同様である。即ち、第１温度調整部３１を前後方向及び左右方向にて形成される平面に対して１０°傾斜させた上で、この当接部３１１の当接面と平行となるように治具保持部４２２を当接させる。この状態において、加速度センサＢのセンサ部Ｂ１の上面は、前後方向及び左右方向にて形成される平面方向に対して平行となり、加速度センサＢは、上記加速度センサＡの測定される静止加速度Ｇ１に相当する静止加速度が測定される。
【００７３】
本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、回転機構２０及びこの回転機構２０に固定されたヘッド部４０に設けられたワーク治具４１１に載置された加速度センサＡは、第２載置台１２に固定された温度調整機構３０に対して、回転可能である構成とする。この構成によれば、温度調整機構３０は、第２載置台１２に固定されるため、静止しており、加速度センサＡは、回転機構２０のヘッド部４０に取り付けられるため、温度調整機構３０に対して回転する。
【００７４】
ここで、図１５及び図１６に示す従来構造の検査装置１では、温度調整部５と垂直回転軸６とが同時に回転するため、冷却液を通すホースのねじれを防止することを目的として、ロータリージョイント７ｂを設ける必要があった。その点において、本実施形態の検査装置Ｍ１は、回転機構２０のみが温度調整機構３０に対して回転するため、上記従来構造のようにロータリージョイント７ｂを設ける必要がなくなる。したがって、温度調整機構３０は、ロータリージョイントに冷却液が通ることにより発生する熱損失を回避することができる。その結果、温度調整機構３０は、治具保持部４２２及びワーク治具４１１を介して加速度センサＡの温度を容易に調整することができる。
【００７５】
（２）本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、回転機構２０は、第１回転機構２２と、第１回転機構２２の回転軸である中心軸Ｊ１に直交する回転軸である中心軸Ｊ２を有する第２回転機構２３４とを有し、温度調整機構３０は、第１温度調整部３１と、第１温度調整部３１の当接面に対して、垂直な当接面を有する第２温度調整部３２とを有する構成である。この構成によれば、加速度センサＡの姿勢を２軸に調整することが可能となる。
【００７６】
ここで、上記従来構造の検査装置１では、加速度センサＡの姿勢が１軸のみに適用される装置であるため、加速度センサＡの姿勢を２軸に調整する場合、例えば、図１７に示すように、検査装置１を２台並べて、それぞれの加速度センサＡの姿勢について検査する必要があった。これにより、検査装置１を配置するスペースが増大するため、例えば、加速度センサＡを製造する工場の製造ラインの省スペース化を困難にしていた。その上、加速度センサＡの各軸の姿勢を測定するごとに、次の検査装置１に加速度センサＡを搬送する必要があるため、加速度センサＡの２軸の姿勢を測定する際の測定時間が増大してしまう問題があった。
【００７７】
その点において、本実施形態の検査装置Ｍ１では、第１回転機構２２及び第２回転機構２３４と、第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２をそれぞれ有しているため、１台の検査装置Ｍ１において加速度センサＡの２軸の姿勢を測定することができる。したがって、図１７に示す従来構造と比較して、上記工場の製造ラインの省スペース化を達成するとともに、加速度センサＡを次の検査装置に搬送することもないため、加速度センサＡの測定時間の増大を抑制することができる。
【００７８】
（３）本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、温度調整機構３０の第１温度調整部３１の当接部３１１の当接面及び第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面に対して、ヘッド部４０を当接及び離間可能とする駆動機構２３３を備える構成である。この構成によれば、ヘッド部４０を第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２に対して回転する際には、駆動機構２３３により、ヘッド部４０を各当接面に対して離間させることにより、ヘッド部４０と各当接面との接触を回避することができる。そして、ヘッド部４０を回転した後、ヘッド部４０を第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２の各当接面に対向した位置に配置された際には、駆動機構２３３により、ヘッド部４０を各当接面に当接させる。これにより、第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２は、ヘッド部４０のワーク治具４１１に載置された加速度センサＡの温度の調整を行うことが可能となる。
【００７９】
また、駆動機構２３３は、ステッピングモータ等の電動モータと、この電動モータの回転を直線運動に変換する直線運動変換部とにより構成される。この構成によれば、駆動機構２３３をシリンダーとして構成した場合よりも、上記各当接面にヘッド部４０を当接させる際の衝撃を緩和することが可能となる。その結果、各当接面にヘッド部４０を当接させる際の衝撃により、ワーク治具４１１に対して加速度センサＡの位置がずれることを抑制することができる。その結果、ワーク治具４１１に対する加速度センサＡの位置ずれに起因して、加速度センサＡに対する電極部４１２の接触圧が変化してしまうことを抑制することができる。
【００８０】
（４）本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、ヘッド部４０には、電極保持部４２７を上下方向の上側に付勢する付勢手段４４３である４本の支持柱４４４、及び各支持柱４４４に挿通されるコイルばね４４５が設けられる構成である。この構成によれば、加速度センサＡの上面Ａ２と電極部４１２の対向面４１２ａとが互いに平行に維持することが可能であるため、ワーク治具４１１に保持された１０個の加速度センサＡに接触するプローブ４１４の配置位置に起因する接触圧のばらつきを抑制することができる。
【００８１】
（５）本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、センサ部Ｂ１がパッケージ部Ｂ２に対して傾斜した加速度センサＢを測定する際、角度調整機構５０により、第１載置台１１及び第２載置台１２を傾斜させることによって第１温度調整部３１の当接面及び第２温度調整部３２の当接面を傾斜させ、センサ部Ｂ１が前後方向及び左右方向にて形成される平面方向に対して平行となるように調整している。これによれば、角度調整機構５０により、センサ部Ｂ１のパッケージ部Ｂ２に対する傾きを相殺して、上記平面方向に平行とすることが可能となるため、センサ部Ｂ１が傾斜した加速度センサＢの測定においても、加速度センサＡと同様の測定にて測定することが可能となる。
【００８２】
（６）第１載置台１１及び第２載置台１２が一つの角度調整機構５０により、傾斜可能とした場合、第１温度調整部３１の当接面に対する第２回転機構２３４の中心軸Ｊ２の直角度、及び第２温度調整部３２の当接面に対する第２回転機構２３４の中心軸Ｊ２の直角度は、検査装置Ｍ１の組み立て状態に依存してしまう。そのため、これら上記直角度は、検査装置Ｍ１の組み立て後に調整することが困難であった。その結果、これら上記直角度がずれていた場合、上記当接面にヘッド部４０の治具保持部４２２が平行に当接することができず、加速度センサＡへプローブ４１４が接触する接触圧が、プローブ４１４の配置位置に起因してばらついてしまう可能性があった。
【００８３】
その点において、本実施形態の検査装置Ｍ１によれば、第１載置台１１及び第２載置台１２のそれぞれに角度調整機構５０が取り付けられ、第１載置台１１及び第２載置台１２のそれぞれは、独立に傾斜可能である構成とするため、検査装置Ｍ１の組み立て後においても、これら上記直角度の調整が可能である。したがって、加速度センサＡへプローブ４１４が接触する接触圧のばらつきを抑制することができる。その結果、検査装置Ｍ１は、加速度センサＡの高精度な測定を行うことができる。
【００８４】
（７）本実施形態の検査装置Ｍ１では、第１温度調整部３１の当接部３１１及び第２温度調整部３２の当接部３２２のそれぞれの当接面の形状は、直交する２つの長方形にて形成された略十字形状である。そして、各長方形の面積は、治具保持部４２２の下面の面積と略同一である。これにより、各当接面は、第２回転機構２３４によって治具保持部４２２を、中心軸Ｊ２を中心として０°、９０°、１８０°、及び２７０°回転した際に、治具保持部４２２の下面全面とそれぞれ上記一方の長方形の上面とのみ当接する。したがって、各当接面を第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２の各上面の全面である正方形としてそれぞれ形成した場合と比較して、各当接面と治具保持部４２２との接触しない部分の面積が減少するため、各当接面から外部へ放熱する熱損失を低減することが可能となる。
【００８５】
（第２の実施形態）
図１１及び図１２を参照して、本発明の検査装置を、加速度センサを測定するための検査装置として具体化した第２の実施形態について説明する。本実施形態は、第１の実施形態と比較して、温度調整機構３０の構成が異なるのみであるため、同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００８６】
まず、図１１を参照して、検査装置Ｍ２の構造について説明する。
図１１に示すように、温度調整機構３０は、第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２に加え、同軸温度調整機構である第３温度調整部３３が設けられている。具体的には、第２温度調整部３２の支持台３２１には、第２温度調整部３２より上下方向の上側に延設された上、前後方向の後側に延設される延長部３２３が設けられている。そして、第３温度調整部３３は、この延長部３２３に固定されている。より具体的には、第３温度調整部３３は、第１温度調整部３１に対して、第１回転機構２２の中心軸Ｊ２を中心に１８０°離間した位置に配置されている。また、第３温度調整部３３は、第１温度調整部３１の前後方向及び左右方向の位置と同位置である。即ち、第３温度調整部３３は、第１温度調整部３１と同軸に配置される。
【００８７】
次いで、図１２を参照して、検査装置Ｍ２が加速度センサＡを測定する態様について説明する。以下、温度調整機構３０により、加速度センサＡの測定温度は予め設定されている。
【００８８】
図１２に示すように、ヘッド部４０は、第１回転機構２２により、図１１に示すヘッド部４０の位置から、さらに９０°回転した位置に移動される。具体的には、図１１に示すヘッド部４０の位置から、まず、駆動機構２３３によりヘッド部４０を前後方向の後側に移動させて、第２温度調整部３２の当接部３２２の当接面と治具保持部４２２とを離間させる。次いで、第１回転機構２２によりヘッド部４０を９０°回転した位置に移動させる。最後に、駆動機構２３３によりヘッド部４０を上下方向の上側に移動させることにより、第３温度調整部３３の当接部３３１の当接面と治具保持部４２２とを当接させる。
【００８９】
次いで、この当接部３３１の当接面と治具保持部４２２とを当接させた状態において、電極部４１２（図１１参照）により、加速度センサＡの出力電圧を測定する。これにより、検査装置Ｍ２は、図６に示す加速度センサＡのセンサ部Ａ１に加わる静止加速度Ｇ７による出力電圧を測定する。
【００９０】
また、加速度センサＢを測定する場合においても、第１の実施形態の加速度センサＢの測定の態様と同様である。即ち、角度調整機構５０により、第１載置台１１及び第２載置台１２をそれぞれ傾斜させることにより、加速度センサＢのセンサ部Ｂ１の上面（図７参照）が、前後方向及び左右方向によって形成される平面方向に沿うようにした上で、電極部４１２によって加速度センサＢの出力電圧を測定する。
【００９１】
本実施形態の検査装置Ｍ２によれば、第１の実施形態の検査装置Ｍ１の効果（１）、（３）〜（７）に加え、以下の効果を奏することができる。
（８）本実施形態の検査装置Ｍ２によれば、第１温度調整部３１と同軸であり、第２温度調整部３２と垂直な位置に配置されるとともに、第１温度調整部３１とは、ヘッド部４０を介して反対側に配置された第３温度調整部３３を備える構成である。この構成によれば、加速度センサＡ，Ｂのそれぞれを３軸の姿勢において測定することが可能となる。したがって、図１７に示す従来構造のように加速度センサＡを測定するために、検査装置１を３台並べる必要がなくなる。その結果、上記工場の製造ラインの省スペース化を達成するとともに、加速度センサＡを次の検査装置に搬送することもないため、加速度センサＡの測定時間の増大を抑制することができる。
【００９２】
（第３の実施形態）
図１３及び図１４を参照して、本発明の検査装置を、加速度センサを測定するための検査装置として具体化した第３の実施形態について説明する。本実施形態は、第１の実施形態と比較して、角度調整機構５０の構成が異なり、設置台６０が追加された構成であるため、変更部分についてのみ説明し、同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００９３】
図１３及び図１４に示すように、検査装置Ｍ３は、載置台１０の上下方向の下側に間隙を介して配置されるとともに、２つの角度調整機構５０を介して、載置台１０を保持する装置載置台である設置台６０が設けられている。即ち、２つの角度調整機構５０は、載置台１０及び設置台６０の上下方向の間に配置されている。言い換えれば、角度調整機構５０は、装置載置台より鉛直方向の上側に配置されている。
【００９４】
具体的には、まず２つの角度調整機構５０は、それぞれ検査装置Ｍ３の左右方向の端部に配置されるとともに、設置台６０に固定されたＬ字形状の板である角度調整機構保持部６１によって保持されている。ここで、２つの角度調整機構５０は、それぞれ前後方向に沿った状態にて、角度調整機構保持部６１に固定されている。
【００９５】
次いで、角度調整機構５０の軸部５４は、連結部材６２を介して、設置台６０の前後方向の前側の端部に設けられた載置台移動機構６３と接続されている。この載置台移動機構６３には、設置台６０の前後方向の前側の端部に固定される軸受体６３１が設けられている。そして、軸受体６３１の左右方向の両側には、連結部材６２と接続する第１レバー６３２と、第１レバー６３２と左右方向において軸受体６３１の反対側に配置される第２レバー６３３とが設けられている。そして、軸受体６３１、第１レバー６３２、及び第２レバー６３３には、それぞれ左右方向に沿った貫通孔が設けられており、その貫通孔に軸部６３４が挿通されている。ここで、軸部６３４は、第１レバー６３２及び第２レバー６３３に対しては固定され、軸受体６３１に対して摺動可能となっている。また、第２レバー６３３の前後方向の後側の端部は、第１載置台１１の前後方向の前側において上下方向の下側に向かい延設される第１レバー固定部１４及び第２載置台１２の前後方向の前側において上下方向の下側に向かい延設される第２レバー固定部１５にそれぞれ接続されている。
【００９６】
以下、載置台移動機構６３により第１載置台１１が傾斜する原理について説明する。
この載置台移動機構６３は、角度調整機構５０の軸部５４が前後方向の前側に移動した場合、第１レバー６３２の連結部材６２と接続される上端部が軸部６３４を中心として前後方向の前側に回動することに伴い、軸部６３４を介して第２レバー６３３が軸部６３４を中心として上下方向の上側に回動する。第２レバー６３３は、第１レバー固定部１４に接続されているため、軸部１３を中心として第１載置台１１の前後方向の前側が上側となるように傾斜する。
【００９７】
一方、角度調整機構５０の軸部５４が前後方向の後側に移動した場合、第１レバー６３２の連結部材６２と接続される上端部が軸部６３４を中心として前後方向の後側に回動することに伴い、軸部６３４を介して第２レバー６３３が軸部６３４を中心として上下方向の下側に回動する。これに伴い、第１載置台１１の前後方向の前側が下側となるように傾斜する。また、第２載置台１２についても、第１載置台１１と同様の原理にて傾斜する。
【００９８】
以上の構成により、検査装置Ｍ３は、作業台に設置台６０が載置された上、角度調整機構５０が前後方向に沿って配設されるため、検査装置Ｍ３が作業台よりも上下方向の下側に突出するものがなくなる。
【００９９】
本実施形態の検査装置Ｍ３によれば、第１の実施形態の検査装置Ｍ１の効果（１）〜（７）に加え、以下の効果を奏することができる。
（９）本実施形態の検査装置Ｍ３によれば、角度調整機構５０が載置台１０及び設置台６０の上下方向の間に配置される構成とする。この構成によれば、角度調整機構５０が作業台より上下方向の下側に突出することがないため、作業台に角度調整機構５０を挿通するための貫通孔を設ける必要がなくなる。したがって、作業台に検査装置Ｍ３を容易に設置することができる。
【０１００】
また、温度調整機構３０によって、加速度センサＡ，Ｂの温度を調整する場合、密閉可能な筐体に検査装置Ｍ３を収容することによって行われる。この場合において、作業台より上下方向の下側に角度調整機構５０が突出し、作業台（もしくは、筐体）に貫通孔を設けなければならない場合、検査装置Ｍ３を密閉にするために、貫通孔にシール構造を設けなければならない。また、貫通孔にシール構造を設けたとしても、完全に密閉できないため、温度調整機構３０による加速度センサＡ，Ｂの温度の調整が困難であった。
【０１０１】
この点において、本実施形態の検査装置Ｍ３は、角度調整機構５０が作業台より上下方向の下側に突出することがなく、作業台（もしくは、筐体）に貫通孔を設ける必要がないため、検査装置Ｍ３を密閉状態にすることが可能となる。その結果、温度調整機構３０による加速度センサＡ，Ｂの温度の調整を容易に行うことができる。
【０１０２】
（その他の実施形態）
本発明の検査装置は、上記実施形態の検査装置Ｍ１〜Ｍ３に限定されることなく、以下の変更が可能である。
【０１０３】
・第３の実施形態の検査装置Ｍ３では、温度調整機構３０が第１温度調整部３１及び第２温度調整部３２により構成されていたが、温度調整機構３０の構成は、これに限定されることはない。例えば、第２の実施形態と同様に、第３温度調整部３３を備えていてもよい。
【０１０４】
・第２の実施形態の検査装置Ｍ２では、第２温度調整部３２の支持台３２１の延長部３２３に第３温度調整部３３が固定される構成であったが、第２温度調整部３２及び第３温度調整部３３の構成は、これに限定されることはない。例えば、支持台３２１の延長部３２３に第３温度調整部３３が固定されるのではなく、別部材の支持台を用意し、その支持台に第３温度調整部３３を固定する構成であってもよい。この場合において、上記別部材の支持台は、第２載置台１２に固定されることが望ましい。この構成により、第２載置台１２の傾斜に伴い、第３温度調整部３３の当接部３３１の当接面を傾斜させることが可能となる。
【０１０５】
・第１〜第３の実施形態の検査装置Ｍ１〜Ｍ３では、駆動機構２３３として、電動モータに回転直線運動変換機を組み合わせたアクチュエータを用いたが、駆動機構２３３の構成は、これに限定されることはない。例えば、駆動機構２３３に替えて、空気圧のシリンダーを用いてもよい。
【０１０６】
・第１〜第３の実施形態の検査装置Ｍ１〜Ｍ３では、温度調整機構３０から治具保持部４２２を離間させるのに、駆動機構２３３を用いたが、温度調整機構３０とワーク治具４１１との離間手段は、これに限定されることはない。例えば、角度調整機構５０を用いて、当接部３１１側を移動させることにより、治具保持部４２２から当接面を離間させてもよい。
【０１０７】
・第１〜第３の実施形態の検査装置Ｍ１〜Ｍ３では、加速度センサＢの傾斜角度が１０°であるため、角度調整機構５０によって、第１載置台１１及び第２載置台１２をそれぞれ１０°傾斜したが、第１載置台１１及び第２載置台１２の傾斜角度は、これに限定されることはない。加速度センサＢの傾斜角度と同じ角度を傾斜すればよいため、例えば、加速度センサＢの傾斜角度が５°であれば、第１載置台１１及び第２載置台１２の傾斜角度は、５°であればよい。また、一般に、加速度センサＢの傾斜角度は、５°〜１５°の範囲内であるため、第１載置台１１及び第２載置台１２の傾斜角度も５°〜１５°の範囲内であればよい。
【０１０８】
・第１〜第３の実施形態の検査装置Ｍ１〜Ｍ３では、電子部品として加速度センサＡ，Ｂの出力電圧を測定するために検査装置Ｍ１〜Ｍ３を用いたが、検査装置Ｍ１〜Ｍ３の用途は、これに限定されることはない。例えば、検査装置Ｍ１〜Ｍ３は、傾斜センサ等の他の電子部品の測定に用いられてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の検査装置を、加速度センサを検査する検査装置として具体化した第１の実施形態について、同実施形態の検査装置の全体の斜視構造を示す斜視図。
【図２】同実施形態の検査装置について、同検査装置の全体の斜視構造を図１とは別の角度から示す斜視図。
【図３】（ａ）同実施形態の検査装置について、同検査装置のヘッド部の分解斜視構造を示す斜視図。（ｂ）同実施形態の検査装置について、同検査装置のヘッド部の分解斜視構造を示す斜視図。
【図４】同実施形態の検査装置について、図１の状態からヘッド部が中心軸Ｊ１を中心に９０°回転した場合の態様の斜視構造を示す斜視図。
【図５】同実施形態の検査装置について、図４の状態からヘッド部が中心軸Ｊ２を中心に９０°回転した場合の態様の斜視構造を示す斜視図。
【図６】同実施形態の検査装置について、同検査装置によって測定される加速度センサの模式的な斜視構造を示す斜視図。
【図７】（ａ）同実施形態の検査装置について、同検査装置によって測定される加速度センサの模式的な側面構造を示す側面図。（ｂ）同加速度センサの模式的な平面構造を示す平面図。
【図８】（ａ）加速度センサを搭載したカーナビゲーションの模式的な側面構造を示す側面図。（ｂ）（ａ）の破線円の拡大構造を示す拡大図。
【図９】同実施形態の検査装置について、図５の状態から第２載置台が傾斜した態様の斜視構造を示す斜視図。
【図１０】同実施形態の検査装置について、図９の状態から第１載置台が傾斜した態様の斜視構造を示す斜視図。
【図１１】本発明の検査装置を、加速度センサを検査する検査装置として具体化した第２の実施形態について、同実施形態の検査装置の全体の斜視構造を示す斜視図。
【図１２】同実施形態の検査装置について、図１１の状態からヘッド部が中心軸Ｊ１を中心に９０°回転した場合の態様の斜視構造を示す斜視図。
【図１３】本発明の検査装置を、加速度センサを検査する検査装置として具体化した第３の実施形態について、同実施形態の検査装置の全体の斜視構造を示す斜視図。
【図１４】同実施形態の検査装置について、同検査装置の側面構造を示す側面図。
【図１５】従来の検査装置について、同検査装置の正面構造を示す正面図。
【図１６】同従来の検査装置について、同検査装置の側面構造を示す側面図。
【図１７】同従来の検査装置について、同検査装置にて３軸の加速度センサを測定する態様を示す平面図。
【符号の説明】
【０１１０】
Ａ，Ｂ…加速度センサ（電子部品）、Ａ１…センサ部、Ａ２…上面（電子部品の面）、Ａ３…上面、Ｂ１…センサ部、Ｂ２…パッケージ部、Ｃ…カーナビゲーション、Ｃ１…画面、Ｃ２…回路基板、１，１ａ，１ｂ…検査装置、１０…載置台、１１…第１載置台、１１１…設置部、１２…第２載置台、１２１…設置部、１３…軸部、１４…第１レバー固定部、１５…第２レバー固定部、２０…回転機構、２１…基台、２１１…下側固定部、２１２…基部、２１３…上側固定部、２２…第１回転機構、２２１…モータ部、２２２…減速機、２２３…プーリ、２２４…第２カップリング、２２５…ベルト、２３…回転ユニット、２３１…軸固定部、２３２…可動体、２３３…駆動機構、２３４…第２回転機構（垂直回転機構）、２３５…モータ部、２３６…減速機、３０…温度調整機構、３１…第１温度調整部（温度調整機構）、３１１…当接部、３２…第２温度調整部（垂直温度調整機構）、３２１…支持台、３２２…当接部、３３…第３温度調整部（同軸温度調整機構）、３３１…当接部、４０…ヘッド部、４１…測定ユニット、４１１…ワーク治具、４１２…電極部、４１２ａ…対向面、４１３…保持部、４１４…プローブ（接触端子）、４２…ヘッド本体部、４２１…治具収容部、４２２…治具保持部、４２３…ガイド部、４２４…中間固定部、４２５…電極移動機構（移動部）、４２６…挿通部、４２７…電極保持部、４２８…電極挿入部、４２９…シリンダー、４３０…レバー、４３１…支点、４３２…カムブロック、４３３…カムフォロア、４３４…挿入部、４３５…上側締結部、４３６…下側締結部、５０…角度調整機構、５１…設置部（装置載置台）、５２…ジョイント部、５３…モータ部、５４…軸部、６０…設置台、６１…角度調整機構保持部、６２…連結部材、６３…載置台移動機構、６３１…軸受体、６３２…第１レバー、６３３…第２レバー、６３４…軸部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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