(57)【要約】【課題】ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】圧電基板からなるインクジェットヘッドチップ１０と、このインクジェットヘッドチップ１０が取り付けられるノズルプレート保持部材１１と、インクジェットヘッドチップ１０およびノズルプレート保持部材１１に取り付けられるノズルプレート２１とを有する。ノズルプレート保持部材１１は、インクジェットヘッドチップ１０の裏面に当接している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表て面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと
を備え、
上記ノズルプレート保持部材は、上記第１共通インク室に連通する第１流路口と、上記第２共通インク室に連通する第２流路口とを有し、上記ノズルプレートは、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有し、
上記ノズルプレート保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材を備え、
上記ヘッド保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記インクジェットヘッドチップは、圧電基板の厚み方向にインクを吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記インクジェットヘッドチップの上記個別インク溝の開口方向の少なくとも一方の側面に外部引き出し用電極を形成していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記外部引き出し用電極に接続する外部引き出し用回路基板を有し、
上記外部引き出し用回路基板は、上記インクジェットヘッドチップの上記個別インク溝の開口方向の側面に接着固定されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記外部引き出し用電極に上記外部引き出し用回路基板を接続した状態で、上記インクジェットヘッドチップに有機保護膜を成膜していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッド保持部材の上記取り付け部には、位置決め用の孔又は位置決め用のピンが形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接幅は、上記インクジェットヘッドチップの上記複数の個別インク溝の配列方向の幅よりも短く、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材とは当接しない未接着領域を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項９】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接部には、切欠き部を有し、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材とは当接しない未接着領域を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項８または９に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面の上記未接着領域に、当接していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１１】
請求項１から１０の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、第１部分と第２部分とからなり、
上記第１部分は、上記第１共通インク溝を有し、上記第２部分は、上記第２共通インク溝を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１２】
請求項１から１１の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材における上記ノズルプレートに接着するノズルプレート接着面は、上記インクジェットヘッドチップを包囲しないことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１３】
請求項１から１２の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、接着剤を供給するための供給孔を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１４】
請求項１から１３の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、ＰＥＥＫにチタン酸カリウムからなる繊維を含むことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１５】
請求項１から１４の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレートは、ポリイミドにより作製されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１６】
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表て面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材と
を備えるインクジェットヘッドの製造方法であり、
上記ヘッド保持部材に、上記インクジェットヘッドチップの裏面を接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの表て面に、上記ノズルプレートを接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの裏面に、上記ノズルプレート保持部材を接着する工程と、
上記ノズルプレートと上記ノズルプレート保持部材との間に毛細管力にて接着剤を浸透させる工程と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばプリンタなどに用いられるインクジェットヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリンタにおいては、インパクト印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応しやすいインクジェット方式などのノンインパクト印字装置が急速に普及している。これに用いるインク噴射装置としてのインクジェットヘッドとしては、特に、印字に必要なインク滴のみを噴射するというドロップ・オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、低コスト化の容易さなどから注目されている。ドロップ・オン・デマンド型としては、カイザー（Kyser）方式やサーマルジェット方式が主流となっている。
【０００３】
しかし、カイザー方式は、小型化が困難で高密度化に不向きであるという欠点を有していた。また、サーマルジェット方式は、高密度化には適しているものの、ヒータでインクを加熱してインク内にバブル（泡）を生じさせて、そのバブルのエネルギーを利用して噴射させる方式であるため、インクの耐熱性が要求され、また、ヒータの長寿命化も困難であり、エネルギー効率が悪いため、消費電力も大きくなるという問題を有していた。
【０００４】
このような各方式の欠点を解決するものとして、圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式が提案されている。この方式は、圧電材料からなるインクチャンネルの壁（以下、「チャンネル壁」という。）の両側面に形成した電極を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードでチャンネル壁を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用してインク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【０００５】
最近はこのシェアモード変形を利用したインクジェットヘッドを産業用途に利用することが盛んに行われるようになり始めている。たとえば、インクとして導電材料を吐出させることによって配線を描画したり、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色のインクを吐出させることによってカラーフィルタを作製したり、熱硬化性または紫外線（ＵＶ）硬化性のインクを吐出させることによって、マイクロレンズやスペーサなどのような３次元構造物を作製したり、といった応用が進められている。
【０００６】
産業用途においては特に、ノズルの高密度化により高精細に吐出させるという要求の他に、液晶画面の大画面化に伴い、ノズルの低密度化への要求も現れ始めている。産業用途のインクジェットヘッドの利用と民生品のプリンタとしてのインクジェットヘッドの利用とを比較したとき、異なる点としては要求精度の厳しさを挙げることができる。産業用途の方が民生よりもはるかに厳しい精度での動作を要求される。産業用途では、指定されたアドレスに規定量の液滴を着弾させることが要求され、着弾精度、液滴量のコントロールを厳しく要求される。したがって、１つのインクジェットヘッドの中において、本来吐出可能であるべきインクチャンネルが何らかの障害によって吐出不可能となってしまうことは、それが民生用途では問題にならないレベルの発生率であっても、産業用途としてインクジェットヘッドを利用する際には重大な問題となる。
【０００７】
また、このように多岐にわたるインクジェット応用分野の発展に伴い、使用されるインクも多種多様になっている。たとえば、有機溶剤を含有して揮発性の高いインクや、強酸性・強アルカリ性のインク、顔料や樹脂成分を含むインク、ビーズなどの微粒子を含有するインク、さらにはこれらを複合したインクなどが挙げられる。中でもビーズなどの微粒子を含有するインクは、インクの溶媒と含有される微粒子の比重差により、微粒子が沈殿または浮遊し、インク中の微粒子濃度に分布の偏在が引き起こされるおそれがある。分布が偏った場合、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数にばらつきが生じてしまい、製品の性能劣化、不良発生をもたらす。このような事態を回避するためには、インクタンク内、インクジェットヘッド内でインクを循環、撹拌させることによって微粒子の沈殿を防止する必要がある。さらに厳密には、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数を安定させて吐出させるためには、上述のインクの循環、撹拌はインクがノズル孔の直近にある時点においてもなされることが重要である。
【０００８】
ノズル孔直近までインクを循環、撹拌させるための技術として、特開平１０−１１４０８１（特許文献１）に記載されたものがある。
【０００９】
また、特開平５−２２９１１６（特許文献２）または特開平９−９４９５２（特許文献３）には、上記インク溝と連通し、上記インクジェットヘッドチップを介して相対するように配置されたノズルプレート保持部材と同様の構成が示されている。
【特許文献１】特開平１０−１１４０８１号公報
【特許文献２】特開平５−２２９１１６号公報
【特許文献３】特開平９−９４９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述したように特許文献１に記載の記録装置では、インクはインクカートリッジとサブタンクとの間で往復循環する。第1導入口から供給されたインクは第１供給口、圧力発生室、第２供給口を通過し第２導入口に流れ込みますが、インクの流れとしては、大半が第１導入口と第２導入口間に設けられたバイパス部を通過するため、ノズル開口部である圧力発生室内を積極的にインク循環することが出来ない。
【００１１】
特許文献２に記載のインクジェットヘッドでは、インクはインク供給口から供給されるとの記載はあるが、両方のインク供給口から供給され、共通のインクだめより各溝に供給されるものであって、インクを循環するためのものではない。したがって文献１では本発明の目的を達成できない。
【００１２】
また、圧電基板の溝長さが長く、更には、インクの吐出に直接関係しない浅い溝部も圧電基板で作製しており、チップの取れ数が極端に少なくなるという問題がある。
【００１３】
更には、インクだめを形成するための封止板と圧電基板の隔壁の相対高さを合わせこむ必要があり、この部分に段差がある場合は、上板を接着した場合に、インク漏れ等が発生する恐れがある。また、共通のインクだめを形成するためには、両端以外の隔壁を両端の隔壁よりも短く加工する必要があるが、この加工方法は開示されていない。
【００１４】
このように、ノズルプレートに対応する上板を接着する部分が圧電基板と他の構成部材で形成されている場合、双方の相対高さが接着剤の厚み以下でなければインク漏れが生じるため、相対高さ制御が重要となる。
【００１５】
相対高さを高精度に合わせるため、隔壁5と封止板とを上板と接着する面基準で、基準プレート等に押し当てて、位置調整を行うことも考えられるが、インクジェットヘッドチップ表面には、電極保護のため、有機保護膜（パリレン膜）を成膜しており、基準プレート等に当接させることにより、有機保護膜（パリレン膜）に傷がつき、その部分からインクが浸透し、ショート、腐食等の問題が生じる恐れがあることからインクジェットヘッドチップ表面を基準プレート等に当接させずに隔壁5と封止板との相対位置を高精度に位置決めする必要がある。
【００１６】
特許文献３に記載のインクジェットヘッドでは、両側の共通インク室よりインクを供給することにより、インク補充を迅速化するためのものであり、インクを循環するためのものではない。したがって、ノズル直近のインクを積極的に循環することが出来ない。
【００１７】
また、この構成では、流路基板とカバープレートの相対位置ずれにより、マニホールド部材のインク漏れ等が生じる恐れがある。マニホールド部材に当接させることで、相対位置決めを行うことは可能であるが、流路溝部に対してノズルの相対位置も高精度に合わせこむ必要があり、接着剤がある状態でカバープレートの相対位置を調整すると接着剤がノズル内に流れ込み、ノズル詰まりを引き起こすことも考えられる。
【００１８】
また、最近ではポリイミド樹脂などの絶縁材料をインクジェットで塗布することも行われており、その主溶媒であるＮＭＰ（N−メチルピロリドン）等の溶解性の高い有機溶媒を吐出させることから、インクに直接接する部材の耐インク性が重要になっており、インクに溶解、溶出しない部材選びが重要である。
【００１９】
同様に接着剤についてもインクと直接接するため、インクに溶解、溶出しない接着剤が必要であり、最近では加熱硬化形のエポキシ系接着剤の中でＮＭＰに対してインクに溶解、溶出しないものが見つかっている。
【００２０】
インクジェットヘッドを構成する材料は、安価に大量生産できることが望ましく、圧電基板からインクジェットヘッドチップの取れ数を出来るだけ多くするため、インクの吐出に影響しない部分は、圧電基板で作製せず、他の材料で作製することで取れ数の増大を図り、また、圧電基板以外のインクジェットヘッド構成材料は、安価に大量生産可能な樹脂材料での成型により、コストダウンを図っている。
【００２１】
樹脂材料として、インクに溶解、溶出しないＰＥＥＫ材料が選択されている。ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）材料は、濃硫酸や濃硝酸，飽和塩素水以外の無機・有機薬品に侵されない特徴があり、インクジェットヘッド構成材料に適しているが、熱膨張率が約４７×１０−６／℃であり、圧電基板の熱膨張率約３〜６×１０−６／℃に対して１桁大きい。
【００２２】
このＰＥＥＫ材料を加熱硬化形のエポキシ系接着剤を使用してインクジェットヘッドチップに接着を行った場合、加熱硬化温度で、インクジェットヘッドチップとＰＥＥＫ材料が伸びた状態で接着され、硬化完了後の室温状態では、熱膨張率が１桁大きいＰＥＥＫ材料はインクジェットヘッドチップに対して、より収縮するため、インクジェットヘッドチップには、圧縮応力がかかった状態となる。インクジェットヘッドチップとＰＥＥＫ材料との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じる。
【００２３】
これに対してＰＥＥＫ材料に低熱膨張材料であるカーボンフィラー等を混入させ、低熱膨張化を図っている事例もあるが、フィラー自体のサイズが大きく、部材から突出したフィラーが脱落するなどして、インク中に入り込み、ノズル詰まり等の問題を誘発していた。ＰＥＥＫ材料はインクジェットヘッドチップ直近に接着されており、フィルターで脱落したフィラーを捕集するなどの対策をとることが出来ない。
【００２４】
このように、インクジェットヘッドにおいては、単にＰＥＥＫの熱膨張を下げるだけではなく、インクと直接接する部材については、インクへの影響を考慮した部材選びが重要である。
【００２５】
そこで、この発明の課題は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
上記課題を解決するため、この発明のインクジェットヘッドは、
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表て面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと
を備え、
上記ノズルプレート保持部材は、上記第１共通インク室に連通する第１流路口と、上記第２共通インク室に連通する第２流路口とを有し、上記ノズルプレートは、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有し、
上記ノズルプレート保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接していることを特徴としている。
【００２７】
この発明のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行うことが出来る。圧電基板の厚みは、機械加工により、設定値±１０μｍ以下の厚み精度で加工することが可能である。
【００２８】
ノズルプレート保持部材は、樹脂材料による成型により作製し、成型厚さバラツキは設定値±１５μｍ程度で成型可能である。
【００２９】
ノズルプレート保持部材の圧電基板の裏面との当接部から、ノズルプレート接着表面までの距離を、圧電基板厚さより、約３０μｍ程度小さく設定し、成型することにより、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行った場合、ノズルプレート接着面における、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差は５μｍから５５μｍ程度の段差となり、いずれもインクジェットヘッドチップのほうがノズルプレート保持部材よりも僅かに突出した状態で位置決めすることができる。
【００３０】
ノズルプレートは、まずインクジェットヘッドチップのみに接着し、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドチップに対してノズルプレート保持部材を位置決め、接着して、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差、５μｍから５５μｍ程度の段差に対して接着剤を毛細管力で浸透させることにより、必要量の接着剤を供給することができる。これにより、インク漏れを防止することが可能となる。
【００３１】
また、インクジェットヘッドチップ表面には、電極保護のため、有機保護膜（パリレン膜）を成膜しているが、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行うため、インクジェットヘッドチップ表面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけることなく、インクジェットヘッドチップ表面を基準プレート等に当接させずにインクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置決めを行うことが可能である。
【００３２】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材を備え、
上記ヘッド保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接している。
【００３３】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行うため、インクジェットヘッドチップ表面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけることなく、インクジェットヘッドチップ表面を基準プレート等に当接させずにインクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との相対位置決めを行うことが可能である。
【００３４】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記インクジェットヘッドチップは、圧電基板の厚み方向にインクを吐出する。
【００３５】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、圧電基板に形成するインク溝がヘッド両端に開口した形状になっており、ノズルプレートは、まずインクジェットヘッドチップのみに接着し、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドチップに対してノズルプレート保持部材を位置決め、接着して、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差、５μｍから５５μｍ程度の段差に対して接着剤を毛細管力で浸透させることにより、インク室、共通インク室を形成している。圧電基板の厚み方向にインクを吐出するヘッド構成となっているため、ノズル孔直下には圧電基板の両端に開口したインク溝が形成されており、一方の共通インク室からインク室を通過し、他方の共通インク室へインクを循環させながらインクを吐出させることが可能となり、インク中に含まれる微粒子の沈殿を防止することができ、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数を安定させて吐出させることが可能となる。
【００３６】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記インクジェットヘッドチップの上記個別インク溝の開口方向の少なくとも一方の側面に外部引き出し用電極を形成している。
【００３７】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、外部引き出し用電極がインクジェットヘッドチップの側面に形成されており、インクジェットヘッドチップの投影面積を増加させないため、インクジェットヘッドは、インクを吐出させるために必要な駆動部分のみで構成することが可能となり、インクジェットヘッドチップの取れ数を最大にすることが可能となり、コストダウンに貢献できる。
【００３８】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記外部引き出し用電極に接続する外部引き出し用回路基板を有し、
上記外部引き出し用回路基板は、上記インクジェットヘッドチップの上記個別インク溝の開口方向の側面に接着固定されている。
【００３９】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、外部引き出し用電極がインクジェットヘッドチップの側面に形成されている。インクジェットヘッドチップの側面には、ノズルプレート保持部材も接着固定されるため、外部引き出し用電極に対して外部引き出し用回路基板は約１ｍｍ程度の接続幅で接続する必要がある。後工程の有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等では被成膜面を保持したりすると、ダストの付着や、汚染の問題があるため、被成膜面以外を保持して作業を行う必要があり、外部引き出し用回路基板を保持して作業を行うが、接続幅が狭く、付着強度が弱いため、接続部分が剥離し、電気的な導通が得られなくなったり、接続抵抗のバラツキが生じたりする問題があるが、接着剤による補強を行うことで、有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等に耐え得る付着強度を得ることが出来る。
【００４０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記外部引き出し用電極に上記外部引き出し用回路基板を接続した状態で、上記インクジェットヘッドチップに有機保護膜を成膜している。
【００４１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等では被成膜面を保持したりすると、ダストの付着や、汚染の問題があるため、被成膜面以外を保持して作業を行う必要があり、外部引き出し用回路基板を保持して作業を行うことで、ダストの付着や、汚染の問題を排除することが出来る。外部引き出し用電極と外部引き出し用回路基板との接続部分も有機保護膜が付着するため、仮にこの接続部分にインクが付着しても、有機保護膜により、接続部分のショートが発生せず、安全面でも有利である。
【００４２】
有機保護膜は、インクジェットヘッドチップ表面や、外部引き出し用回路基板表面に付着するため、外部引き出し用回路基板の制御回路との接続電極部にはマスキングを行うことで、有機保護膜の付着を防止する。
【００４３】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ヘッド保持部材の上記取り付け部には、位置決め用の孔又は位置決め用のピンが形成されている。
【００４４】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップは、ヘッド保持部材に接着されている。ヘッド保持部材は、インクジェットヘッドをプリンタや描画装置に搭載するための取り付け部を有しており、この取り付け部には基準であり、位置決め用の孔又はピンを形成することにより、ＸＹ方向の位置決めを行っている。ヘッド保持部材に対してインクジェットヘッドチップを接着する際にも、位置決め用の孔又はピンを基準にインクジェットヘッドチップを位置決めすることで、インクジェットヘッドをプリンタや描画装置に搭載後の位置決め用の孔又はピンに対するノズル孔位置を高精度に管理することが出来るため、インク吐出後の着弾位置を予想することが出来、指定アドレスに着弾できるように着弾位置補正をスムーズに行うことが出来る。また、インクジェットヘッドの交換においても同様に位置決め用の孔又はピンに対するノズル孔位置を高精度に管理することが出来るため、インクジェットヘッド交換、着弾補正に時間がかからず、生産装置への応用においても生産ロスを最小限に抑えることが出来る。
【００４５】
また、インクジェットヘッドのＺ方向の精度に関しては、ヘッド保持部材のプリンタや描画装置側の取り付け部への当接面から、ヘッド保持部材のインクジェットヘッドチップの当接面までの距離は研削加工により±１０μｍ程度の精度で加工を行うことが可能で、これに対し、インクジェットヘッドチップである圧電基板の厚みは、機械加工により、設定値±１０μｍ以下の厚み精度で加工することが可能である。接着厚さバラツキは±１μｍ程度で接着可能で、Ｚ方向の精度に関しても高精度に制御可能である。Ｚ方向の精度に関しては、装置として、Ｚ方向ステージに搭載されており、レーザ変位計等により計測された突き出し量を基に、突き出しを制御することも可能である。
【００４６】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接幅は、上記インクジェットヘッドチップの上記複数の個別インク溝の配列方向の幅よりも短く、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材とは当接しない未接着領域を有する。
【００４７】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、ヘッド保持部材は、上述のように研削加工を行い精度向上を図るため、金属、セラミクス等で作製するのが望ましく、熱膨張率が圧電基板に近い方がよい。また、価格的に安価なほうが望ましいことから、ＳＵＳ４１０を選択している。
【００４８】
ＳＵＳ４１０は磁性体であり、電磁チャックを使用した研削加工により、±１０μｍ程度の精度で充分に加工を行うことが可能である。また、装置の使用環境がクリーンルーム内であった場合、錆等のダスト発生要因を排除する点からもステンレス材料の使用が望ましい。
【００４９】
圧電基板の熱膨張率約３〜６×１０−６／℃に対し、ヘッド保持部材であるＳＵＳ４１０の熱膨張率は約９．９×１０−６／℃であり、ヘッド保持部材を加熱硬化形のエポキシ系接着剤を使用してインクジェットヘッドチップに接着を行った場合、加熱硬化温度で、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材が伸びた状態で接着され、硬化完了後の室温状態では、ヘッド保持部材はインクジェットヘッドチップに対して、より収縮するため、インクジェットヘッドチップには、圧縮応力がかかった状態となる。インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることが出来る。
【００５０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接部には、切欠き部を有し、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材とは当接しない未接着領域を有する。
【００５１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることが出来る。
【００５２】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ノズルプレート保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面の上記未接着領域に、当接している。
【００５３】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、ノズルプレート保持部材は、樹脂材料による成型により作製し、成型厚さバラツキは設定値±１５μｍ程度で成型可能である。
【００５４】
ノズルプレート保持部材の圧電基板の裏面との当接部から、ノズルプレート接着表面までの距離を、圧電基板厚さより、約３０μｍ程度小さく設定し、成型することにより、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行った場合、ノズルプレート接着面における、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差は５μｍから５５μｍ程度の段差となり、いずれもインクジェットヘッドチップのほうがノズルプレート保持部材よりも僅かに突出した状態で位置決めすることができる。
【００５５】
ノズルプレートは、まずインクジェットヘッドチップのみに接着し、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドチップに対してノズルプレート保持部材を位置決め、接着して、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差、５μｍから５５μｍ程度の段差に対して接着剤を毛細管力で浸透させることにより、必要量の接着剤を供給することができる。これにより、インク漏れを防止することが可能となる。
【００５６】
このようにインクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行う際に、上記ヘッド保持部材と上記インクジェットヘッドチップとの未接着領域部分を利用し、この未接着領域に対してノズルプレート保持部材の突き出し規制部を当接させることで、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすると共に、上述の位置決め精度を確保することが可能であり、インクジェットヘッドチップ表面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけることなく組み立てが可能である。
【００５７】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記ノズルプレート保持部材は、第１部分と第２部分とからなり、
上記第１部分は、上記第１共通インク溝を有し、上記第２部分は、上記第２共通インク溝を有する。
【００５８】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップに対してノズルプレート保持部材を接着する場合、部品点数は少ないほど作業効率は良いが、本発明によるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドチップを介して相対するように共通インク室を配置しており、また、インクジェットヘッドチップの投影面積を増加させないため、外部引き出し用電極がインクジェットヘッドチップの側面に形成されており、この外部引き出し用電極に対して外部引き出し用回路基板を接続しているため、ノズルプレート保持部材を接着するときには外部引き出し用回路基板がインクジェットヘッドチップの側面に形成された状態となっており、外部引き出し用回路基板をかわすようにノズルプレート保持部材を取り付ける必要がある。このためノズルプレート保持部材は２部品で構成し、それぞれのノズルプレート保持部材に共通インク室を備えた構成にすることで、インクジェットヘッドチップの１側面ずつ、ノズルプレート保持部材をインクジェットヘッドチップの裏面基準で位置合わせを行い、接着することにより、外部引き出し用回路基板をかわしながら接着を行うことが出来る。
【００５９】
また、ノズルプレート保持部材は２部品で構成したことで、それぞれのノズルプレート保持部材をインクジェットヘッドチップの側面に密着させて接着することができるため、接着剤の厚さを可能な限り薄く接着することが出来る。これに対し、ノズルプレート保持部材を１部品で構成した場合、ノズルプレート保持部材でインクジェットヘッドチップを挟み込むような配置となるため、インクジェットヘッドチップを配置する空間を設け、その部分にインクジェットヘッドチップを配置させる必要があることから、必然的にインクジェットヘッドチップ側面とノズルプレート保持部材間には隙間が出来てしまう。その隙間は接着剤で封止しなければインク漏れを生じてしまう。封止のために接着剤の厚みが厚くなると、接着剤の厚み方向の収縮の影響により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を受ける可能性がある。隙間を出来る限り小さくすれば、組み立て途中にノズルプレート保持部材により、インクジェットヘッドチップ側面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけ、インクにより電極間ショート等を引き起こす恐れがある。
【００６０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ノズルプレート保持部材における上記ノズルプレートに接着するノズルプレート接着面は、上記インクジェットヘッドチップを包囲しない。
【００６１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差は５μｍから５５μｍ程度の段差となり、いずれもインクジェットヘッドチップのほうがノズルプレート保持部材よりも僅かに突出した状態で位置決めすることができる。ノズルプレート保持部材のノズルプレート接着面がインクジェットヘッドチップを包囲しないため、インクジェットヘッドチップのインク室配列方向である長手方向側面にはノズルプレート保持部材は接着されておらず、圧電基板が露出した状態となっている。このような状態で、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材とに跨るようにノズルプレートを接着した場合、インクジェットヘッドチップのインク室配列方向である長手方向ではノズルプレートはノズル保持部材には接着されておらず、インクジェットヘッドの短辺方向でノズルプレートはノズル保持部材には接着されている状態となる。接着したノズルプレートのインクジェットヘッドの短辺方向の断面形状は、インクジェットヘッドチップが一番突出したように配置され、インクジェットヘッドチップより１段低い位置にインクジェットヘッドチップに相対するようにノズル保持部材が配置され、インクジェットヘッドチップとノズル保持部材に跨るようにノズルプレートが接着されている。したがってノズルプレートの断面形状は、凸状に変形した形状となる。
【００６２】
接着したノズルプレートのインクジェットヘッドチップインク室配列方向である長手方向の断面形状は、ヘッドチップの長辺方向幅以下にノズルプレートが接着されている状態で、ノズルプレートの断面形状は、平坦である。
【００６３】
ワイプブレードはインクジェットヘッドチップの短辺方向にワイプを行うため、インクジェットヘッドの短辺方向の断面形状である凸状に変形した形状をトレースする。ワイプブレードの形状は、突き出し量は数ｍｍ程度で、ブレード厚さは〜1ｍｍ程度であり、ノズルプレートに当接圧力を加えながら払拭する必要があることから。ワイプブレードを円弧状に変形させた状態で、ワイプブレードの先端エッジをノズルプレートに当接させ、常にノズルプレートに対して線接触した状態で払拭している。インクジェットヘッドヘッドチップとノズル保持部材の段差は最大５５μｍ程度であり、頂点であるインクジェットヘッドヘッドチップ部で最大の当接圧となるようにワイプブレードは変形し、常にノズルプレートに当接した状態を保ちながら払拭する。
【００６４】
ワイプブレードがノズルプレートを払拭する際、どのタイミングにおいてもワイプブレードとノズルプレートが当接しない領域が存在せず、ノズルプレート全域に接触しながらワイプブレードが払拭するため、ノズル吸引や、吐出時の跳ね返りインクが付着した場合においても、ノズルプレート上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができ、新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく着弾精度を劣化させる要因にならない。
【００６５】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ノズルプレート保持部材は、接着剤を供給するための供給孔を有する。
【００６６】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップを介して相対するように共通インク室を配置しており、また、インクジェットヘッドチップの投影面積を増加させないため、外部引き出し用電極がインクジェットヘッドチップの側面に形成されており、この外部引き出し用電極に対して外部引き出し用回路基板を接続しているため、ノズルプレート保持部材を接着するときには外部引き出し用回路基板がインクジェットヘッドチップの側面に形成された状態となっており、外部引き出し用回路基板をかわすようにノズルプレート保持部材を取り付ける必要がある。このためノズルプレート保持部材は２部品で構成し、それぞれのノズルプレート保持部材に共通インク室を備えた構成にすることで、インクジェットヘッドチップの１側面ずつ、ノズルプレート保持部材をインクジェットヘッドチップの裏面基準で位置合わせを行い、接着することにより、外部引き出し用回路基板をかわしながら接着を行うことが出来る。
【００６７】
インクジェットヘッドチップの側面にノズルプレート保持部材を密着させた状態で接着剤の供給を行うために、ノズルプレート保持部材に供給孔を設け、この供給孔に対してシリンジ状態で供給された接着剤のニードルを差し込んで、ディスペンサにて供給量をコントロールすることで、毛細管力により接着剤が浸透し、必要量の接着剤を的確に供給することが出来、ノズルプレート保持部材をインクジェットヘッドチップの側面に密着させて接着することができる。これにより、接着剤の厚さを可能な限り薄く接着することができ、接着剤の厚み方向の収縮の影響を排除することが可能である。
【００６８】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ノズルプレート保持部材は、ＰＥＥＫにチタン酸カリウムからなる繊維を含む。
【００６９】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、線径０．２〜０．６μｍ、長さ１０〜２０μｍの微細なチタン酸カリウム繊維をＰＥＥＫに混入させることで熱膨張率を１９×１０−６／℃程度まで下げることが可能となり、熱膨張差による影響を抑えることが可能で、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題を回避できる。また、フィラーサイズが小さく、成型時にフィラーが動きやすいため、フィラーが部材から突出することがなく、フィラーの脱落等の問題を生じないため、インクジェットヘッドチップ直近であるノズルプレート保持部材を作製してもインクに対して悪影響を及ぼさない。
【００７０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ノズルプレートは、ポリイミドにより作製されている。
【００７１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、ノズルプレートは、まずインクジェットヘッドチップのみに接着し、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドチップに対してノズルプレート保持部材を位置決め、接着して、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差、５μｍから５５μｍ程度の段差に対して接着剤を毛細管力で浸透させることにより、ノズルプレートとノズルプレート保持部材間に必要量の接着剤を供給することができる。これにより、インク漏れを防止することが可能となる。ノズルプレートを、ポリイミドにより作製することにより、毛細管力により浸透する接着剤を、ポリイミド越しに確認することが出来、接着剤の供給状態を把握することが可能である。
【００７２】
また、この発明のインクジェットヘッドの製造方法は、
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表て面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材と
を備えるインクジェットヘッドの製造方法であり、
上記ヘッド保持部材に、上記インクジェットヘッドチップの裏面を接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの表て面に、上記ノズルプレートを接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの裏面に、上記ノズルプレート保持部材を接着する工程と、
上記ノズルプレートと上記ノズルプレート保持部材との間に毛細管力にて接着剤を浸透させる工程と
を備えることを特徴としている。
【００７３】
この発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差、５μｍから５５μｍ程度の段差に対して接着剤を毛細管力で浸透させることにより、必要量の接着剤を供給することができる。これにより、インク漏れを防止することが可能となる。
【００７４】
また、インクジェットヘッドチップ表面には、電極保護のため、有機保護膜（パリレン膜）を成膜しているが、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行うため、インクジェットヘッドチップ表面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけることなく、インクジェットヘッドチップ表面を基準プレート等に当接させずにインクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置決めを行うことが可能である。さらにはノズルプレートを、ポリイミドにより作製することにより、毛細管力により浸透する接着剤を、ポリイミド越しに確認することが出来、接着剤の供給状態を把握することが可能である。
【発明の効果】
【００７５】
この発明のインクジェットヘッドおよびその製造方法によれば、ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７６】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００７７】
（第１の実施形態）
図１は、本実施の形態におけるインクジェットヘッド２５の斜視図を示している。図２は、インクジェットヘッド２５のノズルプレート２１を外した状態の斜視図を示している。図３は、図１におけるＣ−Ｃ線に関する矢視断面図を示している。
【００７８】
図１〜図３に示すように、このインクジェットヘッド２５は、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップ１０の裏面がヘッド保持部材４上に接着されており、インクジェットヘッドチップ１０の裏面には、ヘッド保持部材４とは接着しない未接着の領域を有する。
【００７９】
インクジェットヘッドチップ１０の表て面（上面）には、隔壁３によって互いに隔てられ、かつ内壁に電極が設けられた複数の個別インク溝２０ａを有する。各個別インク溝２０ａは、一方向（Ｘ軸方向）に延在して両端が開口している。上記複数の個別インク溝２０ａは、上記一方向に直交する他方向（Ｙ軸方向）に互いに間隔をおいて平行に配列されている。
【００８０】
インクジェットヘッドチップ１０には、ノズルプレート保持部材１１が取り付けられている。ノズルプレート保持部材１１は、第１部分１１ａおよび第２部分１１ｂからなる。
第１部分１１ａは、インクジェットヘッドチップ１０の一方の端面８ａに取り付けられている。第２部分１１ｂは、インクジェットヘッドチップ１０の他方の端面８ｂに取り付けられている。
【００８１】
第１部分１１ａは、複数の個別インク溝２０ａの一端側において複数の個別インク溝２０ａと連通する第１共通インク溝５０ａを有する。第２部分１１ｂは、複数の個別インク溝２０ａの他端側において複数の個別インク溝２０ａと連通する第２共通インク溝６０ａを有する。第１共通インク溝５０ａおよび第２共通インク溝６０ａは、ノズルプレート接着面１２に設けられた段差部により、形成される。
【００８２】
ノズルプレート２１は、インクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂのそれぞれに接着されている。ノズルプレート２１は、複数の個別インク溝２０ａ、第１共通インク溝５０ａおよび第２共通インク溝６０ａを上側から覆うように配置されている。ノズルプレート２１は、個別インク溝２０ａに対応する位置にノズル孔２０を有する。
【００８３】
ノズルプレート２１は、複数の個別インク溝２０ａと共に複数の個別インク室２を定義し、第１共通インク溝５０ａと共に第１共通インク室５を定義し、第２共通インク溝６０ａと共に第２共通インク室６を定義する。
【００８４】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂは、第１共通インク室５に連通する第１流路口としての供給孔５ａと、第２共通インク室６に連通する第２流路口としての排出孔６ａとを有する。供給孔５ａからインクを供給し、排出孔６ａからインクを排出する。第１、第２部分１１ａ、１１ｂの裏面側において、供給孔５ａおよび排出孔６ａと接続されたニップル（図示せず）を介してインクチューブ（図示せず）と接続されている。
【００８５】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂのチップ裏面当接部１３は、インクジェットヘッドチップ１０の裏面とヘッド保持部材４との未接着領域Ｅ（図１０参照）において、インクジェットヘッドチップ１０に当接している。
【００８６】
圧電基板１からなるインクジェットヘッドチップ１０の一方の端面８ａには外部引き出し用電極８が形成されている。外部引き出し用電極８には異方性導電フィルム（以下「ＡＣＦ」という。）を介して外部引き出し用回路基板２４が接続されている。なお、外部引き出し用電極８を、他方の端面８ｂに形成してもよい。
【００８７】
図２を参照して、インクの流れについて説明する。図示しない第１のインクタンクからインクジェットヘッド２５に供給されたインクは、インクチューブ（図示せず）を通ってニップル（図示せず）から供給孔５ａを通過して第１共通インク室５へと流入する。第１共通インク室５に至ったインクは、引き続き、圧電基板１に形成された複数の個別インク室２のいずれかを通過し、第２共通インク室６へと流れ込む。インクが個別インク室２を通過する際には、ノズル孔２０を形成しているインク室２のすべてがインク流路として用いられる。さらに、第２共通インク室６に至ったインクは、排出孔６ａを通過してニップル（図示せず）からインクチューブ（図示せず）を通過して、図示しない第２のインクタンクへと排出される。
【００８８】
したがって、本実施の形態におけるインクジェットヘッド２５の構成によれば、インクは、第１共通インク室５から第２共通インク室６へと移動する際に複数の個別インク室２に分かれて流れる。複数の個別インク室２のうちノズル孔２０を形成しているインク室２を通ったインクの一部はノズル孔２０から圧電基板１の厚み方向に吐出されることによって消費されるが、インク室２を通ったインクのうちノズル孔２０から吐出されなかったインクは全て第２共通インク室６へと円滑に流れる。
【００８９】
したがって、インクを円滑に循環させることが可能となり、ノズル孔２０の直近の空間であるインク室２の内部においても通過するインク流れを積極的に形成することが可能となる。このことにより、インク中に微粒子が含まれている場合であってもその微粒子が沈殿または浮遊することが抑制され、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数を安定させることができる。
【００９０】
インクの流れは上述の向きに限定されるものではなく、逆向きであってもよい。
【００９１】
インクに流れを生じさせる方法としては、水頭差を利用する方法、インクタンクの圧力制御を行なう方法などが考えられる。第１インク流通手段とは、たとえば水頭差を設ける構造またはインクタンクの圧力を制御する装置を指す。
【００９２】
たとえば図示しない第１のインクタンクからインクジェットヘッド２５を経由して図示しない第２のインクタンクへとインクを流す場合、第２のインクタンクに排出されたインクが一定量に到達した時点で、インクの供給方向を逆転させればよい。図示しない第２のインクタンクから供給されたインクはインクジェットヘッド２５を経由して図示しない第１のインクタンクへと排出されることとなる。
【００９３】
このように、２つのインクタンクの間でインクを行き来させることで、エンドレスでインクを循環させることができる。こうすることによって、インクジェットヘッド２５内には常にいずれかの向きのインク流れがあるようにすることができる。インクジェットヘッド２５内のインク室２においてはいずれかの向きのインク流れが通過することとなり、この結果、ノズル孔２０の直近の空間を通過するインク流れを積極的に形成することが可能となる。
【００９４】
従来技術によるインクジェットヘッドであれば、ビーズなどの微粒子を含有したインクを供給した場合は、インクの溶媒と含有される微粒子の比重差により、微粒子が沈殿または浮遊し、インク中の微粒子濃度に分布が引き起こされるおそれがあり、その結果、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数にばらつきが生じ、製品の性能劣化、不良発生が引き起こされるおそれがあったが、本発明の構成によれば、ノズル孔直近のインク室内を通過するインク流れを積極的に形成することが可能となるため、微粒子が沈殿または浮遊することが抑制され、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数を安定させて吐出させることができる。
【００９５】
図３は、図１におけるＣ−Ｃ線に関する矢視断面図である。
【００９６】
本発明のインクジェットヘッド２５のノズルプレート２１と、ワイプブレード２２の接触状態を示しており、ワイプブレード２２の払拭方向の側面図である。
【００９７】
図３に示すように、ワイプブレード２２の払拭方向において、インクジェットヘッドチップ１０を挟み込むように第１、第２部分１１ａ、１１ｂが配置されており、第１、第２部分１１ａ、１１ｂよりもインクジェットヘッドチップ１０がノズルプレート２１側に突出している。
【００９８】
ノズルプレート２１は、インクジェットヘッドチップ１０、第１、第２部分１１ａ、１１ｂに跨るように接着されている。
【００９９】
このような構成のインクジェットヘッド２５のノズルプレート２１表面にインク液滴や塵埃、及び含有微粒子などが堆積した場合、ゴムなどの弾性体で形成されたワイプブレード２２で払拭し、付着物を物理的に除去している。ワイプブレード２２はブレードベース２３に固定され、インクジェットヘッド２５に対して相対移動することにより、ワイピングを行う。
【０１００】
ワイプブレード２２の払拭方向のノズルプレート２１は、インクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂとの段差を覆うようにノズルプレート２１が接着されているため、ワイプブレード２２が追従可能ななだらかな形状変化を伴っている。
【０１０１】
ワイプブレード２２の払拭方向に対して直交方向のノズルプレート２１は、段差がない。
【０１０２】
したがって、ノズルプレート２１に対してワイプブレード２２が相対移動し、ノズルプレート２１表面を払拭する場合、ワイプブレード２２が撓むように配置させることで、ワイプ時にノズルプレート２１に対して当接圧力を付与し、常にワイプブレード２２の先端エッジをノズルプレート２１に対して線接触した状態で、ノズルプレート２１のなだらかな形状変化に追従しながら払拭することが可能で、ノズルプレート上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができる。
【０１０３】
図３に示すように第１、第２部分１１ａ、１１ｂよりもインクジェットヘッドチップ１０がノズルプレート２１側に突出している場合は、ワイプブレード２２がノズルプレート２１を払拭する際に、インクジェットヘッドチップ１０付近の当接圧が最大となるようにワイプブレードが変形し、固着したインクを掻き落とすことができ、信頼性の高いワイプ動作を行うことが出来る。
【０１０４】
次に、インクジェットヘッドの製造方法について説明する。
【０１０５】
まず、圧電基板１を作製する。そのためには、図４に示すように分極方向の異なる２枚の上板１ａおよび下板１ｂを貼り合わせる。こうしてウエハ状の圧電基板１を得る。
【０１０６】
圧電基板１に対して溝加工を行なうことによって、複数の個別インク溝２０ａを形成する工程を行なう。この工程は、図４に示すように、一般的なダイシングマシンに使用されるダイシングブレード３０を繰返し走行させて溝加工することによって行なうことができる。１枚の圧電基板１はのちに分割されて多数の圧電基板１となるものである。
【０１０７】
図４に示すように、溝加工により形成される複数の個別インク溝２０ａは、互いに平行に並んでおり、互いに平行に並ぶ複数の細長い隔壁３によって隔てられている。個別インク溝２０ａは所定の幅と深さを有する細長い溝であればよく、溝加工は一直線状に行われる。
【０１０８】
実際には厚さ３ｍｍのウエハ状の圧電基板１に対して幅８０μｍのダイシングブレード３０を用いて、１つの圧電基板１となるべき部分に深さ２６０μｍの個別インク溝２０ａを１３４本加工する。
【０１０９】
次に、溝加工を行ったウエハ状圧電基板１をダイシングブレード３０で分割し、図５に示すように、インクジェットヘッドチップ１０が２個つながったサイズの圧電基板１とする。続いて、複数の個別インク溝２０ａの内壁に導電体膜を形成することによって電極とする工程を行なう。
【０１１０】
ここで形成する電極は、インクジェットヘッド完成後に隔壁３をシェアモードで駆動させるための電極である。電極は銅の膜であり、ＲＦ（Radio Frequency）マグネトロンスパッタ装置を用いて、スパッタリング法により成膜される。成膜により、電極は、隔壁３の両側面のみならず、隔壁３の上面、圧電基板１の側面および上面も覆うように形成される。
【０１１１】
したがって、圧電基板１の側面に電極を形成するためには電極を形成したい圧電基板の側面を露出させた状態で成膜する必要があるため、ウエハ状態の圧電基板１から、各インクジェットヘッド２５に対応する圧電基板１に切断した状態で電極成膜を行う必要があるが、多数の圧電基板１に分断した状態での成膜は作業性が悪い。
【０１１２】
外部引き出し用電極８は圧電基板１の１側面に形成されていれば良いため、インクジェットヘッドチップ１０が２つ分繋がった状態で電極成膜を実施し、後に中央部で分断することで圧電基板１の１側面に電極が形成された状態を作り上げることが可能である。
【０１１３】
これにより、個別の圧電基板１に分断した状態で電極成膜を行い場合に比較して１/２の作業量でよくなり、作業効率が向上する。
【０１１４】
次に、圧電基板１の上面に対してダイシングブレード３０によって除去量が１０μｍになるように研削することにより、圧電基板１の上面を覆う不要な電極を除去する。このとき、各隔壁３の上面を覆っていた電極も同時に除去されるので、上から見た状態としては個別インク溝２０ａごとに電極が分離される。
【０１１５】
圧電基板１の厚みは、以上の機械加工により、設定値±１０μｍ以下の厚み精度で加工することが可能である。
【０１１６】
続いて、上述したように、圧電基板１をダイシングブレード３０により点線Ｄ−Ｄに示す位置で半分に切断し、図６に示すように、インクジェットヘッドチップ１０の１つ分のサイズにする。こうして個別のインクジェットヘッドチップ１０が得られる。この切断により、圧電基板１の両端面のうち、切断によって生じた新たな端面には電極がないが、反対側の端面には電極がある状態となる。
【０１１７】
図６では、一方の端面８ａに電極があり、他方の端面８ｂに電極がないものとする。この時点では、各個別インク溝２０ａ内の電極同士は、この一方の端面８ａを覆う電極によって互いに導通した状態となっている。
【０１１８】
次に、一方の端面８ａが上向きになるように圧電基板１を固定し、ダイシングブレード３０によって、端面８ａの隔壁３の中心線に対応する部分の電極をそれぞれ線状に研削除去する。
【０１１９】
こうすることによって、図７に示すように、この時点で各個別インク溝２０ａ内の電極は完全に個別に電気的に分離された状態となる。端面８ａの個別インク溝２０ａに対応する部分では電極が研削除去されておらず、残っている。この残った電極が外部引き出し用電極８となる。このような除去方法以外に、レーザで端面８ａの隔壁３の中心線に対応する部分をそれぞれ線状にスキャンさせることで、電極の除去加工を行うことも可能である。それ以外の方法として、フォトリソにより、エッチングを行う方法等が挙げられる。
【０１２０】
続いて、図８に示すように、外部引き出し用電極８に対して外部基板としての外部引き出し用回路基板２４をＡＣＦ（図示せず）を介して接続する。これにより、圧電基板１の各個別インク溝２０ａの両側の隔壁３に画像データに基づいた電圧を印加することが可能となり、外部からインクチャンネルを駆動することが可能となる。
【０１２１】
インクジェットヘッドチップ１０の側面には、後述するノズルプレート保持部材も接着固定されるため、外部引き出し用電極８に対して外部引き出し用回路基板２４は約１ｍｍ程度の接続幅で接続する必要がある。次に、外部引き出し用回路基板２４とインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａを接着剤で補強する。
【０１２２】
本発明では、外部引き出し用電極８がインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａに形成されており、インクジェットヘッドチップ１０の投影面積を増加させないため、インクジェットヘッドチップ１０は、インクを吐出させるために必要な駆動部分のみで構成することが可能となり、インクジェットヘッドチップ１０の取れ数を最大にすることが可能となり、コストダウンに貢献できる。
【０１２３】
なお、外部引き出し用回路基板２４との接続方法としては、上述のＡＣＦ（図示せず）を用いた接続方法以外にも、外部引き出し用回路基板２４のリードを圧電基板１の外部引き出し用電極８に直接接続する方法や、外部引き出し用回路基板２４のリードを圧電基板１の外部引き出し用電極８にワイヤボンディングする方法などがある。
【０１２４】
次いで、圧電基板１の各個別インク溝２０ａの内壁面に形成された電極を保護するために、電極保護膜としての有機保護膜（図示せず）を約１０μｍの厚さで形成する。この有機保護膜は、その形成工程においては圧電基板１および外部引き出し用回路基板２４の露出するあらゆる表面に付着するため、付着させる必要のない外部引き出し用回路基板２４には予めマスキングテープなどでマスクすることによって、有機保護膜が付着しないようにしておく。
【０１２５】
外部引き出し用回路基板２４とインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａを接着剤で補強しており、有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等では被成膜面を保持したりすると、ダストの付着や、汚染の問題があるため、被成膜面以外を保持して作業を行う必要があり、外部引き出し用回路基板２４を保持して作業を行うが、接続幅が狭く、付着強度が弱いため、接続部分が剥離し、電気的な導通が得られなくなったり、接続抵抗のバラツキが生じたりする問題があるが、接着剤による補強を行うことで、有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等に耐え得る付着強度を得ることが出来る。
【０１２６】
また、外部引き出し用回路基板２４を保持して作業を行うことで、ダストの付着や、汚染の問題を排除することが出来る。外部引き出し用電極８と外部引き出し用回路基板２４との接続部分も有機保護膜が付着するため、仮にこの接続部分にインクが付着しても、有機保護膜により、接続部分のショートが発生せず、安全面でも有利である。
【０１２７】
有機保護膜は、インクジェットヘッドチップ１０表面や、外部引き出し用回路基板２４表面に付着するため、外部引き出し用回路基板２４の制御回路との接続電極部にはマスキングを行うことで、有機保護膜の付着を防止する。
【０１２８】
図９は、ヘッド保持部材４の斜視図であり、図１０は、ヘッド保持部材４にインクジェットヘッドチップ１０を接着した状態を示す斜視図である。
【０１２９】
ヘッド保持部材４は、インクジェットヘッド２５をプリンタや描画装置などの他の装置に搭載するための取り付け部２６を有しており、この取り付け部２６には基準である位置決め用の孔７を形成することにより、ＸＹ方向の位置決めを行っている。なお、位置決め用の孔７の代わりに、位置決め用のピンを形成してもよい。また、取り付け部２６には、取り付け用ネジが通る貫通穴２８を形成しており、プリンタや描画装置にネジ止めし、搭載する。
【０１３０】
インクジェットヘッド２５のＺ方向の精度に関しては、ヘッド保持部材４のプリンタや描画装置側の取り付け部への当接面であり、インクジェットヘッド２５のＺ方向の基準面である取り付け部２６から、ヘッド保持部材４のインクジェットヘッドチップ１０の当接面までの距離は研削加工により±１０μｍ程度の精度で加工を行うことができる。
【０１３１】
ヘッド保持部材４のインクジェットヘッドチップ１０の裏面への当接幅は、上記インクジェットヘッドチップ１０の複数の個別インク溝２０ａの配列方向の幅よりも短く形成し、インクジェットヘッドチップ１０の裏面には、ヘッド保持部材４とは接着しない未接着領域Ｅを設け、この未接着領域Ｅに、後述する第１、第２部分１１ａ、１１ｂのチップ裏面当接部１３を当接させる。
【０１３２】
インクジェットヘッドチップ１０である圧電基板１の厚みは、機械加工により、設定値±１０μｍ以下の厚み精度で加工することが可能である。接着厚さバラツキは±１μｍ程度で接着可能で、Ｚ方向の精度に関しても高精度に制御可能である。Ｚ方向の精度に関しては、装置上ではＺ方向ステージに搭載されており、レーザ変位計等により計測された突き出し量を基に、突き出しを制御することも可能である。
【０１３３】
インクジェットヘッドチップ１０をヘッド保持部材４に接着する際に位置決め用の孔７を基準にインクジェットヘッドチップ１０を位置決めすることで、インクジェットヘッド２５をプリンタや描画装置に搭載後の位置決め用の孔７に対するノズル孔２０の位置を高精度に管理することが出来る。
【０１３４】
これによりインク吐出後の着弾位置を予想することが出来、指定アドレスに着弾できるように着弾位置補正をスムーズに行うことが出来る。また、インクジェットヘッド２５の交換においても同様に位置決め用の孔７に対するノズル孔２０の位置を高精度に管理することが出来るため、インクジェットヘッド２５の交換、着弾補正に時間がかからず、生産装置への応用においても生産ロスを最小限に抑えることが出来る。
【０１３５】
ヘッド保持部材４は、上述のように研削加工を行い精度向上を図るため、金属、セラミクス等で作製するのが望ましく、熱膨張率が圧電基板１に近い方がよい。また、価格的に安価なほうが望ましいことから、ＳＵＳ４１０を選択している。
【０１３６】
ＳＵＳ４１０は磁性体であり、電磁チャックを使用した研削加工により、±１０μｍ程度の精度で充分に加工を行うことが可能である。また、装置の使用環境がクリーンルーム内であった場合、錆等のダスト発生要因を排除する点からもステンレス材料の使用が望ましい。
【０１３７】
インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることが出来る。
【０１３８】
圧電基板１の熱膨張率約３〜６×１０−６／℃に対し、ヘッド保持部材４であるＳＵＳ４１０の熱膨張率は約９．９×１０−６／℃であり、ヘッド保持部材４を加熱硬化形のエポキシ系接着剤を使用してインクジェットヘッドチップ１０に接着を行った場合、加熱硬化温度で、インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４が伸びた状態で接着され、硬化完了後の室温状態では、ヘッド保持部材４はインクジェットヘッドチップ１０に対して、より収縮するため、インクジェットヘッドチップ１０には、圧縮応力がかかった状態となる。
【０１３９】
インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることが出来る。
【０１４０】
図１１は、ノズルプレート２１のインクジェットヘッドチップ１０への接着状態を示す斜視図である。
【０１４１】
ノズルプレート２１は、ポリイミドにより形成されており、ノズルプレート２１表面には、予めインクに対して撥液性の薄膜をコーティングした状態でインクジェットヘッドチップ１０の個別インク溝２０ａの形成ピッチと同一になるようにエキシマレーザによりノズル孔２０を加工する。ノズルプレート２１の外形サイズはインクジェットヘッドチップ１０の長さと同等でインクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂを足し合わせた幅程度に加工を行う。
【０１４２】
ヘッド保持部材４に接着されたインクジェットヘッドチップ１０に対してノズルプレート２１を接着するため、まず、インクジェットヘッドチップ１０に対して接着剤を転写する。接着剤は、ガラス基板上に接着剤を滴下し、スピンコートにより均一な接着剤層を得る。スピンコートの回転数、時間により所望の接着剤厚を調整することが可能である。
【０１４３】
次にガラス基板にコーティングされた接着剤層に対してインクジェットヘッドチップ１０をスタンプすることで、表面に接着剤を転写する。この際にガラス基板にコーティングされた接着剤層の約半分がインクジェットヘッドチップ１０表面に転写される。
【０１４４】
インクジェットヘッドチップ１０に形成された個別インク溝２０ａとノズルプレート２１の相対位置を合わせ、接着を行う。
【０１４５】
以上の工程は、ＩＣチップを基板上に搭載するボンダーマシンを利用し、位置決め精度±５μｍ程度の精度でノズルプレート２１を接着することが出来る。
【０１４６】
図１２は、第１、第２部分１１ａ、１１ｂの斜視図である。
【０１４７】
第１共通インク室５および第２共通インク室６となるべき段差部を設けた、第１、第２部分１１ａ、１１ｂを、圧電基板１に取り付ける工程である。まず、図１２に示す第１、第２部分１１ａ、１１ｂを予め作製しておく。
【０１４８】
インクジェットヘッドチップ１０に対して第１、第２部分１１ａ、１１ｂを接着する場合、部品点数は少ないほど作業効率は良いが、本発明では、インクジェットヘッドチップ１０を介して相対するように第１共通インク室５および第２共通インク室６を配置しており、また、インクジェットヘッドチップ１０の投影面積を増加させないため、外部引き出し用電極８がインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａに形成されており、この外部引き出し用電極８に対して外部引き出し用回路基板２４を接続しているため、第１、第２部分１１ａ、１１ｂを接着するときには外部引き出し用回路基板２４がインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａに形成された状態となっており、外部引き出し用回路基板２４をかわすようにノズルプレート保持部材１１を取り付ける必要がある。
【０１４９】
このため、ノズルプレート保持部材１１を第１、第２部分１１ａ、１１ｂの２部品で構成することで、それぞれの第１、第２部分１１ａ、１１ｂに第１共通インク室５および第２共通インク室６を備えた構成にすることで、インクジェットヘッドチップ１０の１端面ずつ、第１、第２部分１１ａ、１１ｂをインクジェットヘッドチップ１０の裏面基準で位置合わせを行い、接着することにより、外部引き出し用回路基板２４をかわしながら接着を行うことが出来る。
【０１５０】
また、第１、第２部分１１ａ、１１ｂの２部品とすることで、それぞれの第１、第２部分１１ａ、１１ｂをインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａ、８ｂに密着させて接着することができるため、接着剤の厚さを可能な限り薄く接着することが出来る。
【０１５１】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂのノズルプレート接着面１２に対して、圧電基板１のインク室２の深さよりも深い２ｍｍの深さで、圧電基板１のインク室２の形成幅以上の段差部を設け、第１共通インク室５、第２共通インク室６を形成する。この第１共通インク室５、第２共通インク室６はインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａ、８ｂと接着することで、インクジェットヘッドチップ１０の両端に開口した複数のインク室２と連通する。
【０１５２】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂにはインクを供給、排出するための供給孔５ａ、排出孔６ａを形成しており、第１、第２部分１１ａ、１１ｂの裏面側においてこの供給孔５ａ、排出孔６ａと接続されたニップル（図示せず）を介してインクチューブ（図示せず）と接続されている。
【０１５３】
また、第１、第２部分１１ａ、１１ｂは、インクジェットヘッドチップ１０の裏面とヘッド保持部材４との未接着領域Ｅにおいて、チップ裏面当接部１３がインクジェットヘッドチップ１０と当接している。
【０１５４】
また、第１部分１１ａとインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａ、８ｂに対しては、側方から深さ０．２５ｍｍで、幅は外部引き出し用回路基板２４と同程度でザグリ加工を行ない、図１２に示すように配線基板用凹部２７を形成する。配線基板用凹部２７により外部引き出し用回路基板２４の接続部分がインクと直接接触せず、インクによる外部引き出し用回路基板２４の溶解、溶出を防止する。
【０１５５】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂは、厚さ５ｍｍのＰＥＥＫ材料にチタン酸カリウムからなる繊維を混入させた材料で形成する。本材料を射出成型により第１、第２部分１１ａ、１１ｂを形成することが可能であり、成型厚さバラツキは設定値±１５μｍ程度で成型可能である。
【０１５６】
チタン酸カリウムからなる繊維は、線径０．２〜０．６μｍ、長さ１０〜２０μｍの微細な繊維であり、これをＰＥＥＫに混入させることで熱膨張率を１９×１０−６／℃程度まで下げることが可能となり、熱膨張差による影響を抑えることが可能で、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題を回避できる。また、フィラーサイズが小さく、成型時にフィラーが動きやすいため、フィラーが第１、第２部分１１ａ、１１ｂの形状から外側に突出することがなく、フィラーの脱落等の問題を生じないため、インクジェットヘッドチップ直近である第１、第２部分１１ａ、１１ｂを作製してもインクに対して悪影響を及ぼさないことを確認している。
【０１５７】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂのチップ裏面当接部１３からノズルプレート接着面１２までの距離を、圧電基板１の厚さより、約３０μｍ程度小さく設定し、成型する。成型厚さバラツキは設定値±１５μｍ程度で成型可能である。
【０１５８】
実際の組み立ては以下の通りである。
【０１５９】
外部引き出し用回路基板２４を接続した側のインクジェットヘッドチップ１０の一方の端面８ａに対し第１部分１１ａを配置し、他方の端面８ｂに第２部分１１ｂを配置し、それぞれの第１、第２部分１１ａ、１１ｂのチップ裏面当接部１３をインクジェットヘッドチップ１０の裏面の未接着領域Ｅに当接させることで、インクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂとの段差は、インクジェットヘッドチップ１０の高さバラツキ±１０μｍ、成型厚さバラツキは±１５μｍであり、５μｍから５５μｍ程度インクジェットヘッドチップ１０が突出した状態にすることができる。
【０１６０】
この状態でインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａ、８ｂに第１、第２部分１１ａ、１１ｂを押し当てるように加圧しながら接着剤を毛細管力により浸透させ、加熱、硬化させることにより、インクジェットヘッドチップ側面に対し第１、第２部分１１ａ、１１ｂの突き出しを高精度に規制しながら配置することが出来る。
【０１６１】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂのインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａ、８ｂに接する部分には、接着剤を供給するための（図示しない）供給孔を設けている。インクジェットヘッドチップの端面８ａ、８ｂに第１、第２部分１１ａ、１１ｂを密着させた状態で接着剤の供給を行うために、第１、第２部分１１ａ、１１ｂに供給孔を設け、この供給孔に対してシリンジ状態で供給された接着剤のニードルを差し込んで、ディスペンサにて供給量をコントロールすることで、毛細管力により接着剤が浸透し、必要量の接着剤を的確に供給することができ、第１、第２部分１１ａ、１１ｂをインクジェットヘッドチップ１０の端面８ａ、８ｂに密着させて接着することができる。これにより、接着剤の厚さを可能な限り薄く接着することが出来る。
【０１６２】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂのノズルプレート接着面１２は、インクジェットヘッドチップ１０を包囲しない構造となっている。
【０１６３】
インクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂとの段差は５μｍから５５μｍ程度の段差となり、いずれもインクジェットヘッドチップ１０のほうが第１、第２部分１１ａ、１１ｂよりも僅かに突出した状態で位置決めすることができる。第１、第２部分１１ａ、１１ｂのノズルプレート接着面１２がインクジェットヘッドチップ１０を包囲しないため、インクジェットヘッドチップ１０のインク室２の配列方向である長手方向側面には第１、第２部分１１ａ、１１ｂは接着されておらず、圧電基板１が露出した状態となっている。
【０１６４】
このような状態で、インクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂとに跨るようにノズルプレートを接着した場合、インクジェットヘッドチップ１０のインク室２の配列方向である長手方向の延長線上ではノズルプレート２１はインクジェットヘッドチップ１０にしか接着されておらず、段差がない。
【０１６５】
インクジェットヘッドチップ１０の短辺方向でノズルプレート２１はインクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂに接着されている状態となる。接着したノズルプレートのインクジェットヘッド２５の短辺方向の断面形状は、インクジェットヘッドチップ１０が一番突出したように配置され、インクジェットヘッドチップ１０より１段低い位置にインクジェットヘッドチップ１０に相対するように第１、第２部分１１ａ、１１ｂが配置され、インクジェットヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂに跨るようにノズルプレート２１が接着されている。したがってノズルプレート２１の断面形状は、凸状に変形した形状となる。
【０１６６】
接着したノズルプレート２１のインクジェットヘッドチップ１０のインク室２の配列方向である長手方向の断面形状は、ヘッドチップの長辺方向幅以下にノズルプレートが接着されている状態で、ノズルプレート２１の断面形状は、平坦である。
【０１６７】
メンテナンス時は、図３に示すように、ワイプブレード２２はインクジェットヘッドチップ１０の短辺方向にワイプを行うため、インクジェットヘッド２５の短辺方向の断面形状である凸状に変形した形状をトレースする。ワイプブレード２２の形状は、突き出し量は数ｍｍ程度で、ブレード厚さは〜1ｍｍ程度であり、ノズルプレート２１に当接圧力を加えながら払拭する必要があることから、ワイプブレード２２を円弧状に変形させた状態で、ワイプブレード２２の先端エッジをノズルプレート２１に当接させ、常にノズルプレート２１に対して線接触した状態で払拭している。
【０１６８】
インクジェットヘッドヘッドチップ１０と第１、第２部分１１ａ、１１ｂの段差は最大５５μｍ程度であり、頂点であるインクジェットヘッドチップ１０で最大の当接圧となるようにワイプブレード２２は変形し、常にノズルプレート２１に当接した状態を保ちながら払拭する。
【０１６９】
ワイプブレード２２がノズルプレート２１を払拭する際、どのタイミングにおいてもワイプブレード２２とノズルプレート２１が当接しない領域が存在せず、ノズルプレート２１全域に接触しながらワイプブレード２２が払拭するため、ノズル吸引や、吐出時の跳ね返りインクが付着した場合においても、ノズルプレート２１上にインク液滴を残すことなく、均一な当接状態でワイプを行うことができ、新たに吐出されたインク液滴は、固着したインク等に接触することなく着弾精度を劣化させる要因にならない。
【０１７０】
第１、第２部分１１ａ、１１ｂとノズルプレート２１との隙間は５μｍから５５μｍ程度になっており、この隙間に対して接着剤を毛細管力で第１、第２部分１１ａ、１１ｂとノズルプレート２１との隙間に浸透させることで、ノズルプレート２１と第１、第２部分１１ａ、１１ｂ間に必要量の接着剤を供給することができる。これにより、インク漏れを防止することが可能となる。ノズルプレート２１を、ポリイミドにより作製することにより、毛細管力により浸透する接着剤を、ポリイミド越しに確認することが出来、接着剤の供給状態を確認することが可能である。
【０１７１】
以上の工程により、ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッド２５であって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、安価に大量生産可能なインクジェットヘッド２５を作製することが可能である。
【０１７２】
（第２の実施形態）
図１３は、この発明のインクジェットヘッドの第２の実施形態を示している。上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第２の実施形態では、ヘッド保持部材の構成が相違する。なお、この第２の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
【０１７３】
図１３に示すように、ヘッド保持部材４Ａのインクジェットヘッドチップ１０の裏面への当接部には、切欠き部２９を有する。インクジェットヘッドチップ１０の裏面には、ヘッド保持部材４Ａとは当接しない未接着領域Ｅを有する。この未接着領域Ｅに、第１、第２部分１１ａ、１１ｂのチップ裏面当接部１３を当接させる。
【０１７４】
この構成によれば、インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４Ａとの接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、インクジェットヘッドチップ１０の裏面への当接部に切欠き部２９を形成することにより、インクジェットヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅を小さくすることで、熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることが出来る。
【０１７５】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１７６】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドのノズルプレートを外した状態の斜視図である。
【図３】図１におけるＣ−Ｃ線に関する矢視断面図である。
【図４】ウエハ状の圧電基板を示す斜視図である。
【図５】インクジェットヘッドチップが２つ分繋がった状態を示す斜視図である。
【図６】個別に分離したインクジェットヘッドチップの斜視図である。
【図７】外部引き出し用電極を形成したインクジェットヘッドチップの斜視図である。
【図８】インクジェットヘッドチップに外部引き出し用回路基板を接続した状態を示す斜視図である。
【図９】ヘッド保持部材の斜視図である。
【図１０】ヘッド保持部材にインクジェットヘッドチップを搭載した状態の斜視図である。
【図１１】インクジェットヘッドチップにノズルプレートを接着した状態の斜視図である。
【図１２】第１、第２部分１１ａ、１１ｂの斜視図である。
【図１３】本発明のインクジェットヘッドの第１実施形態を示すヘッド保持部材の斜視図である。
【符号の説明】
【０１７７】
１  圧電基板
１ａ  上板
１ｂ  下板
２  個別インク室
２０ａ  個別インク溝
３  隔壁
４、４Ａ  ヘッド保持部材
５  第１共通インク室
５ａ  （第１流路口）供給孔
５０ａ  第１共通インク溝
６  第２共通インク室
６ａ  （第２流路口）排出孔
６０ａ  第２共通インク溝
７  位置決め用の孔
８  外部引き出し用電極
８ａ、８ｂ  端面
１０  インクジェットヘッドチップ
１１  ノズルプレート保持部材
１１ａ  第１部分
１１ｂ  第２部分
１２  ノズルプレート接着面
１３  チップ裏面当接部
２０  ノズル孔
２１  ノズルプレート
２２  ワイプブレード
２３  ブレードベース
２４  外部引き出し用回路基板
２５  インクジェットヘッド
２６  取り付け部
２７  配線基板用凹部
２８  貫通穴
２９  切欠き部
【図１】
2010076368.tif 000003
【図２】
2010076368.tif 000004
【図３】
2010076368.tif 000005
【図４】
2010076368.tif 000006
【図５】
2010076368.tif 000007
【図６】
2010076368.tif 000008
【図７】
2010076368.tif 000009
【図８】
2010076368.tif 000010
【図９】
2010076368.tif 000011
【図１０】
2010076368.tif 000012
【図１１】
2010076368.tif 000013
【図１２】
2010076368.tif 000014
【図１３】
2010076368.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成21年12月18日(2009.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと
を備え、
上記ノズルプレート保持部材は、上記第１共通インク室に連通する第１流路口と、上記第２共通インク室に連通する第２流路口とを有し、上記ノズルプレートは、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有し、
上記ノズルプレート保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接し、
上記インクジェットヘッドチップは、上記ノズルプレート保持部材よりも、上記ノズルプレート側に突出し、上記ノズルプレート保持部材と上記ノズルプレートとの間の隙間に接着剤が浸透していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材を備え、
上記ヘッド保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接し、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接幅は、上記インクジェットヘッドチップの上記複数の個別インク溝の配列方向の幅よりも短く、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材とは当接しない未接着領域を有し、この未接着領域に、上記ノズルプレート保持部材に設けられたチップ裏面当接部を当接させることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記インクジェットヘッドチップは、圧電基板の厚み方向にインクを吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記インクジェットヘッドチップの上記個別インク溝の開口方向の少なくとも一方の側面に外部引き出し用電極を形成していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記外部引き出し用電極に接続する外部引き出し用回路基板を有し、
上記外部引き出し用回路基板は、上記インクジェットヘッドチップの上記個別インク溝の開口方向の側面に接着固定されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記外部引き出し用電極に上記外部引き出し用回路基板を接続した状態で、上記インクジェットヘッドチップに有機保護膜を成膜していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッド保持部材の上記取り付け部には、位置決め用の孔又は位置決め用のピンが形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接部には、溝状の切欠き部を有し、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材の上記切欠き部とは当接しない未接着領域を有し、
上記ノズルプレート保持部材の上記チップ裏面当接部は、上記ヘッド保持部材の上記切欠き部に嵌め込まれて、上記未接着領域に当接することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項９】
請求項１から８の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、第１部分と第２部分とからなり、
上記第１部分は、上記第１共通インク溝を有し、上記第２部分は、上記第２共通インク溝を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項１から９の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材における上記ノズルプレートに接着するノズルプレート接着面は、上記インクジェットヘッドチップを包囲しないことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１１】
請求項１から１０の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、接着剤を供給するための供給孔を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１２】
請求項１から１１の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレート保持部材は、ＰＥＥＫにチタン酸カリウムからなる繊維を含むことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１３】
請求項１から１２の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレートは、ポリイミドにより作製されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１４】
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材と
を備えるインクジェットヘッドの製造方法であり、
上記ヘッド保持部材に、上記インクジェットヘッドチップの裏面を接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの表面に、上記ノズルプレートを接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの裏面に、上記ノズルプレート保持部材を接着して、上記インクジェットヘッドチップを上記ノズルプレート保持部材よりも上記ノズルプレート側に突出させて、上記ノズルプレート保持部材と上記ノズルプレートとの間に隙間を形成する工程と、
上記ノズルプレートと上記ノズルプレート保持部材との間の上記隙間に毛細管力にて接着剤を浸透させる工程と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記課題を解決するため、この発明のインクジェットヘッドは、
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと
を備え、
上記ノズルプレート保持部材は、上記第１共通インク室に連通する第１流路口と、上記第２共通インク室に連通する第２流路口とを有し、上記ノズルプレートは、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有し、
上記ノズルプレート保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接し、
上記インクジェットヘッドチップは、上記ノズルプレート保持部材よりも、上記ノズルプレート側に突出し、上記ノズルプレート保持部材と上記ノズルプレートとの間の隙間に接着剤が浸透していることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材を備え、
上記ヘッド保持部材は、上記インクジェットヘッドチップの裏面に当接し、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接幅は、上記インクジェットヘッドチップの上記複数の個別インク溝の配列方向の幅よりも短く、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材とは当接しない未接着領域を有し、この未接着領域に、上記ノズルプレート保持部材に設けられたチップ裏面当接部を当接させる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行うため、インクジェットヘッドチップ表面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけることなく、インクジェットヘッドチップ表面を基準プレート等に当接させずにインクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との相対位置決めを行うことが可能である。
また、ヘッド保持部材は、上述のように研削加工を行い精度向上を図るため、金属、セラミクス等で作製するのが望ましく、熱膨張率が圧電基板に近い方がよい。また、価格的に安価なほうが望ましいことから、ＳＵＳ４１０を選択している。
ＳＵＳ４１０は磁性体であり、電磁チャックを使用した研削加工により、±１０μｍ程度の精度で充分に加工を行うことが可能である。また、装置の使用環境がクリーンルーム内であった場合、錆等のダスト発生要因を排除する点からもステンレス材料の使用が望ましい。
圧電基板の熱膨張率約３〜６×１０−６／℃に対し、ヘッド保持部材であるＳＵＳ４１０の熱膨張率は約９．９×１０−６／℃であり、ヘッド保持部材を加熱硬化形のエポキシ系接着剤を使用してインクジェットヘッドチップに接着を行った場合、加熱硬化温度で、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材が伸びた状態で接着され、硬化完了後の室温状態では、ヘッド保持部材はインクジェットヘッドチップに対して、より収縮するため、インクジェットヘッドチップには、圧縮応力がかかった状態となる。インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることが出来る。
また、ノズルプレート保持部材は、樹脂材料による成型により作製し、成型厚さバラツキは設定値±１５μｍ程度で成型可能である。
ノズルプレート保持部材の圧電基板の裏面との当接部から、ノズルプレート接着表面までの距離を、圧電基板厚さより、約３０μｍ程度小さく設定し、成型することにより、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行った場合、ノズルプレート接着面における、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差は５μｍから５５μｍ程度の段差となり、いずれもインクジェットヘッドチップのほうがノズルプレート保持部材よりも僅かに突出した状態で位置決めすることができる。
ノズルプレートは、まずインクジェットヘッドチップのみに接着し、ノズルプレートを接着したインクジェットヘッドチップに対してノズルプレート保持部材を位置決め、接着して、インクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との段差、５μｍから５５μｍ程度の段差に対して接着剤を毛細管力で浸透させることにより、必要量の接着剤を供給することができる。これにより、インク漏れを防止することが可能となる。
このようにインクジェットヘッドチップとノズルプレート保持部材との相対位置を圧電基板からなるインクジェットヘッドチップの裏面を基準として位置合わせを行う際に、上記ヘッド保持部材と上記インクジェットヘッドチップとの未接着領域部分を利用し、この未接着領域に対してノズルプレート保持部材の突き出し規制部を当接させることで、インクジェットヘッドチップとヘッド保持部材との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすると共に、上述の位置決め精度を確保することが可能であり、インクジェットヘッドチップ表面の有機保護膜（パリレン膜）を傷つけることなく組み立てが可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記ヘッド保持部材の上記インクジェットヘッドチップの裏面への当接部には、溝状の切欠き部を有し、
上記インクジェットヘッドチップの裏面には、上記ヘッド保持部材の上記切欠き部とは当接しない未接着領域を有し、
上記ノズルプレート保持部材の上記チップ裏面当接部は、上記ヘッド保持部材の上記切欠き部に嵌め込まれて、上記未接着領域に当接する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
また、この発明のインクジェットヘッドの製造方法は、
一方向に延在して両端が開口する複数の個別インク溝を表面に有し、この複数の個別インク溝が上記一方向に直交する他方向に互いに間隔をおいて平行に配列されると共に、圧電基板からなるインクジェットヘッドチップと、
このインクジェットヘッドチップが取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するノズルプレート保持部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を上側から覆うように配置され、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと、
上記インクジェットヘッドチップを他の装置に取り付けるための取り付け部を有するヘッド保持部材と
を備えるインクジェットヘッドの製造方法であり、
上記ヘッド保持部材に、上記インクジェットヘッドチップの裏面を接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの表面に、上記ノズルプレートを接着する工程と、
上記インクジェットヘッドチップの裏面に、上記ノズルプレート保持部材を接着して、上記インクジェットヘッドチップを上記ノズルプレート保持部材よりも上記ノズルプレート側に突出させて、上記ノズルプレート保持部材と上記ノズルプレートとの間に隙間を形成する工程と、
上記ノズルプレートと上記ノズルプレート保持部材との間の上記隙間に毛細管力にて接着剤を浸透させる工程と
を備えることを特徴としている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
インクジェットヘッドチップ１０の表面（上面）には、隔壁３によって互いに隔てられ、かつ内壁に電極が設けられた複数の個別インク溝２０ａを有する。各個別インク溝２０ａは、一方向（Ｘ軸方向）に延在して両端が開口している。上記複数の個別インク溝２０ａは、上記一方向に直交する他方向（Ｙ軸方向）に互いに間隔をおいて平行に配列されている。