(57)【要約】【課題】より平坦な周波数帯域を有するスルー経路を備えた信号入力回路およびこれを用いた半導体テスタを実現すること。【解決手段】  低域通過フィルタを通過するフィルタ経路と低域通過フィルタをバイパスするスルー経路を半導体リレーで選択できるように構成されたアンプへの信号入力回路において、前記スルー経路に抵抗とコンデンサの並列回路よりなる高域通過フィルタが接続され、この高域通過フィルタの抵抗とこの高域通過フィルタの入力側と出力側に１個ずつ接続される半導体リレーのオン抵抗との合成値は、前記フィルタ経路の入力側と出力側に２個ずつ接続される半導体リレーのオン抵抗と等しいことを特徴とするとともにこれを用いた半導体テスタ。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
低域通過フィルタを通過するフィルタ経路と低域通過フィルタをバイパスするスルー経路を半導体リレーで選択できるように構成されたアンプへの信号入力回路において、
前記スルー経路に抵抗とコンデンサの並列回路よりなる高域通過フィルタが接続され、この高域通過フィルタの抵抗とこの高域通過フィルタの入力側と出力側に１個ずつ接続される半導体リレーのオン抵抗との合成値は、前記フィルタ経路の入力側と出力側に２個ずつ接続される半導体リレーのオン抵抗と等しいことを特徴とする信号入力回路。
【請求項２】
請求項１記載のアンプには、Ａ／Ｄ変換器が接続されていることを特徴とする信号入力回路。
【請求項３】
請求項１または２に記載の信号入力回路を用いて入力信号を取り込むように構成されたことを特徴とする半導体テスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号入力回路およびこれを用いた半導体テスタに関し、詳しくは、入力信号を取り込むのにあたり、低域通過フィルタを通過するフィルタ経路と低域通過フィルタをバイパスするスルー経路を半導体リレーで選択できるように構成された回路の周波数特性の改善に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
入力信号を取り込むのにあたり、入力信号を取り込む目的に応じて、取り込む入力信号の周波数帯域を、一定の周波数以下に制限したり、無制限にすることがある。
【０００３】
図３は、取り込む入力信号の周波数帯域が切り換えられるように構成された従来の信号入力回路の一例を示す回路図である。図３において、入力信号は、半導体リレー１、２→低域通過フィルタ３→半導体リレー４、５よりなるフィルタ経路を介して終端抵抗６とアンプ７の接続部に入力されるとともに、半導体リレー８〜１１の直列回路よりなるスルー経路を介して終端抵抗６とアンプ７の接続部に入力されている。
【０００４】
ここで、これら半導体リレーは、入力側には発光ダイオードが設けられ出力側にはＭＯＳＦＥＴが設けられた超小型フォトリレーであり、機械的な接点を有するメカニカルリレーに比べて耐久性が高くて実装面積を小さくでき、低コスト化が図れるというメリットがあることから、半導体テスタなどの計測機器で採用されつつある。
【０００５】
このような構成において、フィルタ経路の半導体リレーをオンにしてスルー経路の半導体リレーをオフにすることによりアンプ７には低域通過フィルタ３で一定の周波数以下に制限された信号が入力され、フィルタ経路の半導体リレーをオフにしてスルー経路の半導体リレーをオンにすることによりアンプ７には低域通過フィルタ３をバイパスした周波数帯域が無制限の信号が入力されることになる。
【０００６】
ところで、図３の回路では、入力・出力間のアイソレーション特性を高めるために、フィルタ経路とスルー経路のそれぞれの入力側と出力側には２個の半導体リレーが直列接続されている。
【０００７】
特許文献１には、フィルタと半導体スイッチとで構成された高周波領域でのアイソレーション特性のよいスイッチ回路の構成が記載されている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−３６５３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、図３の構成によれば、入力信号の周波数が高くなるにしたがってこれら半導体リレーのアイソレーション特性が悪化し、信号の「漏れ」を生じることになり、スルー経路が選択された場合に、この信号の「漏れ」によってスルー経路の通過帯域が制限されてしまうという問題がある。なお、このような帯域の制限は、低域通過フィルタ３の遮断周波数よりも高い周波数帯域で発生するので、フィルタ経路が選択された場合はその影響を受けることはない。
【００１０】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、より平坦な周波数帯域を有するスルー経路を備えた信号入力回路およびこれを用いた半導体テスタを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような問題を解決するため、請求項１記載の発明は、
低域通過フィルタを通過するフィルタ経路と低域通過フィルタをバイパスするスルー経路を半導体リレーで選択できるように構成されたアンプへの信号入力回路において、
前記スルー経路に抵抗とコンデンサの並列回路よりなる高域通過フィルタが接続され、この高域通過フィルタの抵抗とこの高域通過フィルタの入力側と出力側に１個ずつ接続される半導体リレーのオン抵抗との合成値は、前記フィルタ経路の入力側と出力側に２個ずつ接続される半導体リレーのオン抵抗と等しいことを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載のアンプには、Ａ／Ｄ変換器が接続されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の発明は、
請求項１または２に記載の信号入力回路を用いて入力信号を取り込むように構成されたことを特徴とする半導体テスタである。
【発明の効果】
【００１４】
これらにより、より平坦な周波数帯域を有するスルー経路を備えた信号入力回路およびこれを用いた半導体テスタが実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明について図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例を示す回路図であり、図３と共通する部分には同一の符号を付けている。図１と図３の相違点は、図１では図３のスルー経路に直列接続されている半導体リレー９と１０を取り除き、代わりに抵抗１２ａとコンデンサ１２ｂの並列回路よりなる高域通過フィルタ１２を接続したことにある。
【００１６】
具体的には、抵抗１２ａの抵抗値は、スルー経路における半導体リレー８と１１のオン抵抗との直列合成値がフィルタ経路における半導体リレー１、２、４、５のオン抵抗の直列合成値と等しくなるように調整され、コンデンサ１２ｂの容量値は、半導体リレー１，２，４，５の端子間容量による周波数帯域制限を考慮して所望の通過周波数特性が得られるように適切な値に調整される。
【００１７】
たとえば半導体リレー単体のオン抵抗が３．５Ωとすると、抵抗１２ａの抵抗値は７Ωに調整される。そして、終端抵抗６の抵抗値は、フィルタ経路とスルー経路のそれぞれの直列合成抵抗値が１４Ωであることから、これらとの直列合成抵抗値が５０Ωになるように３６Ωに調整される。
【００１８】
このような構成において、スルー経路の半導体リレー８と１１がオンになったときの高域通過フィルタ１２を含む直列合成値はフィルタ経路の半導体リレー１、２、４、５のオン抵抗の直列合成値と等しく設定されているので、アンプ７の入力端でミスマッチを生じることはなく、より平坦な周波数特性が得られる。
【００１９】
なお、フィルタ経路が選択された場合には、スルー経路への漏れで帯域制限が発生するが、その現象が起こるのは低域通過フィルタ３の遮断周波数よりも高い周波数帯域で発生するので、フィルタ経路が選択された場合はその影響を受けることはない。
【００２０】
図２は、本発明の他の実施例を示すブロック図であり、アンプ７の出力端子にＡ／Ｄ変換器１３が接続されている。このような構成によれば、以下の２つの入力に対して共通の回路構成でサンプリングを行うことができる。
１）フィルタ経路によってＡ／Ｄ変換器１３のサンプリング周波数の１／２（ナイキスト周波数）に制限された信号
２）スルー経路による帯域制限の無い信号でありＡ／Ｄ変換器１３ではアンダーサンプリングを行う
【００２１】
そして、このように構成される信号入力回路を用いて入力信号を取り込むように半導体テスタを構成することにより、メカニカルリレーに比べて耐久性が高くて実装面積を小さくでき、低コスト化が図れる構成で、広帯域の信号を取り込むことができ、半導体テスタの小型化・高速化が図れる。
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、メカニカルリレーに比べて耐久性が高くて実装面積を小さくでき、低コスト化が図れる構成で、より平坦な周波数帯域を有するスルー経路を備えた信号入力回路およびこれを用いた半導体テスタが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施例を示す回路図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す回路図である。
【図３】従来の信号入力回路の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
【００２４】
１、２、４、５、８、１１  半導体リレー
３  低域通過フィルタ
６  終端抵抗
７  アンプ
１２  高域通過フィルタ
１３  Ａ／Ｄ変換器
【図１】
2010145091.tif 000003
【図２】
2010145091.tif 000004
【図３】
2010145091.tif 000005