(57)【要約】【課題】明るい両側テレセントリックレンズシステムを提供する。【解決手段】拡大側１１から順に、正の第１のレンズ群Ｇ１および負の第２のレンズ群Ｇ２からなるテレタイプの拡大側レンズ群Ｇｍと、正の第３のレンズ群Ｇ３、絞りＳおよび正の第４のレンズ群Ｇ４からなる縮小側レンズ群Ｇｒとを有する両側テレセントリックなレンズシステム１０を提供する。絞りＳに面した第３のレンズ群Ｇ３のレンズＬ３３は絞りＳに対して凹の第１の対向面を備え、絞りＳに面した第４のレンズ群Ｇ４の拡大側のレンズは絞りＳに対して凹の第２の対向面を備え、第１の対向面の有効開口径Ｈｆ、第１の対向面と絞りとの空気間隔Ｄｆ、第２の対向面の有効開口径Ｈｂ、および、第２の対向面と絞りとの空気間隔Ｄｂは次の条件を満たす。      （Ｈｆ／２）＜Ｄｆ＜（３・Ｈｆ／２）      （Ｈｂ／２）＜Ｄｂ＜（３・Ｈｂ／２）・・・（Ａ）【選択図】図３
2010211160.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡大側から順に、正の屈折力の第１のレンズ群および負の屈折力の第２のレンズ群からなるテレタイプの拡大側レンズ群と、
正の屈折力の第３のレンズ群、絞りおよび正の屈折力の第４のレンズ群からなる縮小側レンズ群であって、前記拡大側レンズ群の縮小側に隣接した縮小側レンズ群とを有し、
前記拡大側レンズ群の拡大側および前記縮小側レンズ群の縮小側はテレセントリックであり、さらに、
前記絞りに面した前記第３のレンズ群の縮小側のレンズは前記絞りに対して凹の第１の対向面を備え、前記絞りに面した前記第４のレンズ群の拡大側のレンズは前記絞りに対して凹の第２の対向面を備え、前記第１の対向面の有効開口径Ｈｆ、前記第１の対向面と前記絞りとの空気間隔Ｄｆ、前記第２の対向面の有効開口径Ｈｂ、および、前記第２の対向面と前記絞りとの空気間隔Ｄｂは次の条件を満たすレンズシステム。
（Ｈｆ／２）＜Ｄｆ＜（３・Ｈｆ／２）
（Ｈｂ／２）＜Ｄｂ＜（３・Ｈｂ／２）
【請求項２】
請求項１において、さらに、以下の条件を満たす、レンズシステム。
（３・Ｈｆ／４）≦Ｄｆ≦（５・Ｈｆ／４）
（３・Ｈｂ／４）≦Ｄｂ≦（５・Ｈｂ／４）
【請求項３】
請求項１または２において、前記第３のレンズ群の合成焦点距離ｆ３と、前記第４のレンズ群の合成焦点距離ｆ４とは、以下の条件を満たす、レンズシステム。
１．２５＜（ｆ３＋ｆ４）／ｆ４＜２．２５
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、
前記第１のレンズ群は、２枚の拡大側に凸の正のメニスカスレンズにより構成され、
前記第２のレンズ群は、１枚の両凹の負レンズにより構成され、
前記第３のレンズ群は、拡大側から２枚の正レンズおよび１枚の負レンズにより構成され、
前記第４のレンズ群は、１枚の拡大側に凹の接合レンズ、１枚の正レンズ、および１枚の縮小側に凹の正のメニスカスレンズにより構成されている、レンズシステム。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のレンズシステムと、
撮像素子とを有し、
前記レンズシステムを、前記レンズシステムの拡大側を物体に向け、縮小側を前記撮像素子に向けて配置した、画像取得装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡大側および縮小側がテレセントリックな両側テレセントリックのレンズ系を含むレンズシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査対象物からの光を十分に取込める明るさを有し、検査精度を向上可能なテレセントリック光学系、およびそれを用いた検査装置を提供することが記載されている。そのため、前群および後群を備えたテレセントリック光学系であって、前群および後群の各構成レンズは、歪曲収差を極めて少なくするために、絞りＳＴＯを挟んで対称形に近い形状および配置としていることが記載されている。
【０００３】
特許文献２には、従来の対称型等倍両側テレセントリック光学系のような絞りに関して対称型の光学系では、球面収差や非点収差等の対称収差が２倍の量で出てしまうので、これらの補正が従来からの課題となっていることが記載されている。また、像面を良好に補正するためには、そのペッツバール和を減少させる必要があり、そのためには光学系内に強い負の成分が必要であることが記載されている。さらに、強い負の成分を有すると、これによって光線の強い跳ね上げが起こり、その強い跳ね上げ角度が原因となって、軸上光束と軸外光束で瞳の形状が異なる、いわゆる瞳収差が発生することが記載されている。また、瞳収差が発生すると、これが軸外光束の開口効率に影響を与え、軸上光束と軸外光束の照度に差が生じることになり、周辺照度比の悪化を招くこと、絞りに近い所ほど、光線の跳ね上げによる瞳収差への影響が大きくなる傾向があることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１３８８２８号公報（段落番号００２６）
【特許文献２】特開２００４−３５４８０６号公報（段落番号０００６、０００７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されているような、絞りに対して対称型の非等倍両側テレセントリック光学系においても、等倍両側テレセントリック光学系と同様の問題がある。さらに、非等倍のためにペッツバール和を減少させることがいっそう困難である。このため、非等倍両側テレセントリック光学系は、多くのケースは撮像系ではなく、収差性能がそれほど要求されない照明系として使用される。撮像系に使用される場合も、倍率を高くすることは困難であり、たとえば、特許文献１に記載の両側テレセントリック光学系は、倍率約０．６５５倍の縮小光学系が実現できているに過ぎない。したがって、検査などの目的のために、さらに高倍率で、明るい両側テレセントリック光学系が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、拡大側から順に、テレタイプの拡大側レンズ群と、拡大側レンズ群の縮小側に隣接した縮小側レンズ群であって、絞りを含んだ縮小側レンズ群とを有するレンズシステムである。拡大側レンズ群は、拡大側から順に、正の屈折力の第１のレンズ群と、負の屈折力の第２のレンズ群とからなる。縮小側レンズ群は、拡大側から順に、正の屈折力の第３のレンズ群と、絞りと、正の屈折力の第４のレンズ群とからなり、拡大側レンズ群の拡大側および縮小側レンズ群の縮小側はテレセントリックである。
【０００７】
このレンズシステムの、絞りに面した第３のレンズ群の縮小側のレンズは、絞りに対して凹の第１の対向面を備え、絞りに面した第４のレンズ群の拡大側のレンズは、絞りに対して凹の第２の対向面を備え、第１の対向面の有効開口径Ｈｆ、第１の対向面と絞りとの空気間隔Ｄｆ、第２の対向面の有効開口径Ｈｂ、および、第２の対向面と絞りとの空気間隔Ｄｂは次の条件を満たす。
（Ｈｆ／２）＜Ｄｆ＜（３・Ｈｆ／２）
（Ｈｂ／２）＜Ｄｂ＜（３・Ｈｂ／２）  ・・・（Ａ）
【０００８】
このレンズシステムは、拡大側レンズ群および縮小側レンズ群を有し、この拡大側レンズ群および縮小側レンズ群で構成される光学系は、拡大側および縮小側の両側がテレセントリックの両側テレセントリック光学系である。そして、拡大側レンズ群はテレタイプ（望遠型）であり、縮小側レンズ群は、絞りに対して実質的に対称型であり、このレンズシステムの両側テレセントリック光学系は全体として絞りに対し非対称である。この拡大側レンズ群と縮小側レンズ群との組み合わせにより、高倍率で、ペッツバール和の増加を抑制でき、さらに、収差が良好に補正された両側テレセントリック光学系を提供できる。
【０００９】
すなわち、テレタイプは、第２のレンズ群として強い負の成分を導入しやすく、高倍率であってもペッツバール和の増加を抑制できる。したがって、高倍率であっても、対称型の縮小側レンズ群に強い負の成分を設けなくてもペッツバール和の増加を抑制でき、絞りの回りの強い跳ね上げを抑制できる。すなわち、収差補正に適した対称型の縮小側レンズ群であって、絞りに対向した面の負の成分を弱めることが可能となる。このため、上記（Ａ）式を満たす縮小側レンズ群を採用でき、レンズの有効開口径に対して開口数が十分に大きく、レンズの有効開口径を有効に利用して諸収差を良好に補正できる。したがって、高倍率の両側テレセントリックな光学系を含み、明るく、諸収差が良好に補正された画像を得られるレンズシステムを提供できる。
【００１０】
式（Ａ）の条件を下回ると球面収差、コマ収差の補正が難しくなる。一方、式（Ａ）の条件を上回るとレンズシステムが大型になる。式（Ａ）は、以下の式（Ａ´）であることがさらに望ましい。
（３・Ｈｆ／４）≦Ｄｆ≦（５・Ｈｆ／４）
（３・Ｈｂ／４）≦Ｄｂ≦（５・Ｈｂ／４）  ・・・（Ａ´）
【００１１】
絞りに対してほぼ対称型の縮小側レンズ群は、対称収差を抑制するためにパワーが非対称であることが望ましく、縮小側をテレセントリックにするには、拡大側の第３のレンズ群のパワーに対し縮小側の第４のレンズ群のパワーが大きいことが望ましい。このため、第３のレンズ群の合成焦点距離ｆ３と、第４のレンズ群の合成焦点距離ｆ４とは、以下の式（Ｂ）の条件を満たすことが望ましい。
１．２５＜（ｆ３＋ｆ４）／ｆ４＜２．２５  ・・・（Ｂ）
【００１２】
式（Ｂ）を下回ると、第４のレンズ群のパワーが小さすぎて収差の補正が難しくなる。式（Ｂ）を上回ると、第３のレンズ群のパワーが小さすぎて収差の補正、特に、歪曲収差を含めた収差の補正が難しくなる。
【００１３】
第１のレンズ群は、２枚の拡大側に凸の正のメニスカスレンズにより構成されていることが望ましい。簡易な構成で拡大側をテレセントリックにするのに適しており、高倍率が得られやすい。第２のレンズ群は、１枚の両凹の負レンズにより構成されていることが望ましい。最も簡易な構成で、ペッツバール和の低減に寄与させられる。また、第３のレンズ群は、拡大側から２枚の正レンズおよび１枚の負レンズにより構成されていることが望ましい。複数枚の正レンズを採用することによりペッツバール和の増加を抑制できる。第４のレンズ群は、１枚の拡大側に凹の接合レンズ、１枚の正レンズ、および１枚の縮小側に凹の正のメニスカスレンズにより構成されていることが望ましい。収差を良好に補正でき、さらに、ペッツバール和の増加を抑制できる。
【００１４】
本発明の他の態様は、上記のレンズシステムと、撮像素子とを有し、レンズシステムを、レンズシステムの拡大側を物体に向け、縮小側を撮像素子に向けて配置した、画像取得装置である。高拡大率で、明るく、さらに収差の少ない画像が得られるので、両側テレセントリック光学系を利用した検査などに適した画像取得装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】検査装置の概略構成図を示す図。
【図２】両側テレセントリックのレンズシステムのレンズ構成を光線とともに示す図。
【図３】両側テレセントリックのレンズシステムのレンズ構成を示す図。
【図４】図３に示すレンズシステムのレンズデータを示す図。
【図５】レンズシステムの縦収差図を示す図。
【図６】レンズシステムの横収差図を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図面を参照しながら、本発明についてさらに説明する。図１は、本発明のレンズシステムを用いた検査装置の概略構成を示すブロック図である。この検査装置１は、検査対象物８の画像データを、レンズシステム１０を通して撮像素子７により取得し、画像処理装置４により画像処理を行ったり、モニター３で対象物８を観察したりすることにより、対象物８の欠陥などを見つける装置である。
【００１７】
この装置１のレンズシステム１０には、物体側（拡大側）１１と、象側（縮小側）１２とがともにテレセントリックである両側テレセントリックの光学系を含むレンズシステム１０が用いられる。この検査装置１においては、レンズシステム１０の拡大側１１が物体側となり、対象物８に向けられている。レンズシステム１０の縮小側１２は象側となり、撮像素子７であるＣＣＤに向けられている。レンズシステム１０は、全体が両側テレセントリックレンズシステムであってもよい。レンズシステム１０が照明系を兼ねる場合は、レンズシステム１０が両側テレセントリック光学系に加え、縮小側１２にプリズムなどにより同軸落射照明系を加えたり、さらに、結像系（結像レンズ）を加えたりすることが可能である。
【００１８】
両側テレセントリック光学系は、物体面や像面に対して光軸方向にずれが生じた場合であっても、その倍率がほとんど変わらない。このため、様々な場面で使用されている。例えば、検査光学系においては、被写界深度を深く取ることによって、表面に凹凸のある物体でも精密な検査ができ、さらにはＣＣＤ等の撮像素子の位置決め誤差も回避することができる。
【００１９】
図２に、レンズシステム１０を抜き出して、幾つかの光線とともに示している。このレンズシステム１０は、対象物８に面した拡大側１１において絞りＳの中心を通る主光線が光軸Ｃと平行になっている。また、撮像素子７に面した縮小側１２においても、主光線が光軸Ｃと平行になっている。したがって、このレンズシステム１０は、拡大側１１および縮小側１２の両側がテレセントリックであり、両側テレセントリックと呼ばれるレンズ系である。
【００２０】
図３に、レンズシステム１０のレンズ構成を示している。また、図４に、各レンズのデータを示している。レンズデータにおいて、Ｒｉは拡大側１１から順番に並んだ各レンズ（各レンズ面）の曲率半径（ｍｍ）、ｄｉは拡大側１１から順番に並んだ各レンズ面の間の距離（ｍｍ）、ｈｉは拡大側１１から順番に並んだ各レンズ面の有効径（ｍｍ）、ｎｄは拡大側１１から順番に並んだ各レンズの屈折率（ｄ線）、νｄは拡大側１１から順番に並んだ各レンズのアッベ数（ｄ線）を示す。なお、０番目のデータは対象物８からの距離を示す。
【００２１】
レンズシステム１０は、拡大側１１から縮小側１２に向かって４つのレンズ群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３およびＧ４にグループ化された１０枚のレンズＬ１１、Ｌ１２、Ｌ２１、Ｌ３１〜Ｌ３３およびＬ４１〜Ｌ４４により構成されている。これらのレンズＬ１１、Ｌ１２、Ｌ２１、Ｌ３１〜Ｌ３３およびＬ４１〜Ｌ４４は、すべてガラス製の球面レンズである。
【００２２】
最も拡大側１１の第１のレンズ群Ｇ１は、全体が正の屈折力を備えたレンズ群であり、拡大側１１から順番に拡大側１１に凸の正のメニスカスレンズＬ１１と、同じく拡大側１１に凸の正のメニスカスレンズＬ１２とから構成されている。
【００２３】
第２のレンズ群Ｇ２は、全体が負の屈折力を備えたレンズ群であり、１枚の両凹の負レンズＬ２１により構成されている。
【００２４】
第１のレンズ群Ｇ１と第２のレンズ群Ｇ２とは、拡大側１１から正−負のテレタイプ（望遠型）の拡大側レンズ群Ｇｍを構成している。このような構成の拡大側レンズ群Ｇｍにより１０倍以上の拡大率βを確保している。
【００２５】
第３のレンズ群Ｇ３は、全体が正の屈折力を備えたレンズ群であり、拡大側１１から両凸の正レンズＬ３１と、同じく両凸の正レンズＬ３２と、両凹の負レンズＬ３３により構成されている。
【００２６】
第４のレンズ群Ｇ４は、全体が正の屈折力を備えたレンズ群であり、拡大側１１から接合レンズＬ４０を構成する両凹の負レンズＬ４１および両凸の正レンズＬ４２と、拡大側１１に凸（縮小側１２に凹）の正のメニスカスレンズＬ４３と、同じく拡大側１１に凸（縮小側１２に凹）の正のメニスカスレンズＬ４４とにより構成されている。接合レンズＬ４０は、全体として拡大側１１に凹の正のメニスカスレンズである。
【００２７】
第３のレンズ群Ｇ３および第４のレンズ群Ｇ４の間に絞りＳが配置されており、これら第３のレンズ群Ｇ３、絞りＳおよび第４のレンズ群Ｇ４により拡大側レンズ群Ｇｍに隣接した縮小側レンズ群Ｇｒが構成されている。この縮小側レンズ群Ｇｒにおいては、絞りＳの拡大側１１に、絞りＳの側から、絞りＳに凹面を向けた負レンズＬ３３と、絞りＳに凸面を向けた２枚の正レンズＬ３２およびＬ３１が配置され、縮小側１２に、絞りＳの側から、絞りＳに凹面を向けた接合レンズＬ４０と、絞りＳに凸面を向けた２枚の正のメニスカスレンズＬ４３およびＬ４４が配置されている。したがって、縮小側レンズ群Ｇｒは、絞りＳを中心にして（絞りＳに対して）凹の対向面を備えた第３のレンズ群Ｇ３および第４のレンズ群Ｇ４により略あるいは実質的に対称なレンズ配置を備えている。すなわち、第３のレンズ群Ｇ３の絞りＳに面した縮小側のレンズＬ３３は絞りＳに対して凹の第１の対向面（面１２）を備えている。また、第４のレンズ群Ｇ４の絞りＳに面した拡大側のレンズＬ４１（Ｌ４０）は絞りＳに対して凹の第２の対向面（面１４）を備えている。
【００２８】
しかしながら、この縮小側レンズ群Ｇｒでは、実際には、絞りＳの拡大側１１の第３のレンズ群Ｇ３が拡大側１１から正−正−負であるのに対し、縮小側１２の第４のレンズ群Ｇ４が拡大側から正−正−正であり、第４のレンズ群Ｇ４のパワーが第３のレンズ群Ｇ３のパワーよりも大きくなるようにしている。したがって、縮小側レンズ群Ｇｒは、パワーが絞りＳに対して非対称であり、球面収差や非点収差等の対称収差が２倍の量で出てしまうことを抑制している。
【００２９】
上述した条件を示す式（Ａ）および（Ｂ）に関する数値を含む、このレンズシステム１０の諸数値は以下の通りである。
Ｆナンバー：  １．５
倍率（縮小側：  ０．０５８、  拡大側  １７．２４）
第４のレンズ群Ｇ４の合成焦点距離ｆ４：  ２７．７４
合成焦点距離ｆ４と第３のレンズ群Ｇ３の合成焦点距離ｆ３との和
（ｆ３＋ｆ４）：  ４５．４８
第１の対向面（面１２）の有効開口径Ｈｆ（ｈ１２）：  ２０．２０
第１の対向面（面１２）と絞りＳとの空気間隔Ｄｆ（ｄ１２）：  ２１．００
第２の対向面（面１４）の有効開口径Ｈｂ（ｈ１４）：  ２６．８０
第２の対向面（面１４）と絞りＳとの空気間隔Ｄｂ（ｄ１３）：  ２０．００
Ｄｆ／Ｈｆ：  ０．９６
Ｄｂ／Ｈｂ：  ０．７５
（ｆ３＋ｆ４）／ｆ４：  １．６４
【００３０】
したがって、このレンズシステム１０は、式（Ａ）および式（Ｂ）の条件を満たし、さらに、式（Ａ´）の条件も満たす。
【００３１】
図５に、このレンズシステム１０の球面収差、非点収差および歪曲収差を縦収差図により示している。また、図６に、このレンズシステム１０の球面収差を横収差図により示している。なお、このレンズシステム１０は、波長６６０ｎｍの光をターゲットに設計された単波長対応のシステムであり、球面収差は、設計波長６６０ｎｍ（実線）と、６９０ｎｍ（破線）と、６３０ｎｍ（一点鎖線）とを示している。また、非点収差においては、タンジェンシャル光線（Ｘ）およびサジタル光線（Ｙ）の収差をそれぞれ示している。これらの図からわかるように、設計波長およびその近傍の波長において、諸収差の値は、良好に補正されており、このレンズシステム１０は、良好な光学性能を備えている。
【００３２】
このように、このレンズシステム１０は、高倍率を実現可能なテレタイプの拡大側レンズ群Ｇｍを備えており、１７．２４という高倍率を実現している。さらに、縮小側レンズ群Ｇｒは、収差の補正に適した絞りＳに対して実質的に対称型のレンズ配置を採用し、良好な収差補正能力を得ている。
【００３３】
その一方で、このレンズシステム１０は、テレタイプの拡大側レンズ群Ｇｍと、絞りＳに対してほぼ対称配置の縮小側レンズ群Ｇｒとを採用することにより、両側テレセントリック光学系としては全体として絞りＳに対し非対称とし、高倍率で、ペッツバール和の増加を抑制でき、Ｆナンバーが１．５と小さく、高開口率（高ＮＡ）で明るく、収差が良好に補正された両側テレセントリック光学系を提供している。
【００３４】
すなわち、テレタイプの拡大側レンズ群Ｇｍは、第２のレンズ群Ｇ２として強い負の成分を導入できる。このため、高倍率であってもペッツバール和の増加を抑制でき、レンズシステム１０としては高倍率を実現するとともに、対称型の縮小側レンズ群Ｇｒに強い負の成分を設けなくてもペッツバール和の増加を抑制できる。このため、絞りＳの回りの凹面による負の成分を抑制でき、それに起因する強い跳ね上げを抑制でき、高ＮＡを実現できる。
【００３５】
さらに、収差補正に適した対称型の縮小側レンズ群Ｇｒにおいて、絞りＳに対向した面１２および面１４の負の成分を弱めることが可能となる。このため、上記（Ａ）式を満たす縮小側レンズ群Ｇｒを採用でき、絞りＳの周囲のレンズの有効開口径に対して開口数が十分に大きく、絞りＳの周囲のレンズの有効開口径を有効に利用して諸収差を良好に補正できる。したがって、高倍率の両側テレセントリック光学系を実現でき、さらに、Ｆナンバーが小さく、明るい、鮮明な画像を形成できるレンズシステム１０を提供できる。このレンズシステム１０により、両側テレセン性を維持しつつ拡大率βが１０倍あるいはそれ以上を実現し、さらに、歪曲収差を小さくすることが出来る。この両側テレセントリック光学系を含むシステム１０は、主に検査用に用いられるため歪曲収差はできるだけ小さくすることが望ましい。
【００３６】
また、テレタイプの拡大側レンズ群Ｇｍは、第１のレンズ群Ｇ１を２枚の正のメニスカスレンズＬ１１およびＬ１２で構成し、第２のレンズ群Ｇ２は１枚の負レンズＬ２１により構成している。このレンズシステム１０においては、このような最小構成に近い極めて簡易な構成で収差の少ない画像を得ることが可能であり、コンパクトで高倍率の両側テレセントリック光学系が得られる。式（Ａ）または（Ａ´）を満たすことは、さらにレンズシステム１０をコンパクトにするのに有効である。
【００３７】
また、第３のレンズ群Ｇ３は、拡大側１１から少なくとも（連続した）２枚の正レンズＬ３１およびＬ３２と、１枚の負レンズＬ３３とにより構成されている。複数枚の正レンズを配置することにより球面収差、ペッツバール和を大きくすること無く、第３のレンズ群Ｇ３に正のパワーを持たせることができ、光線を収束させることができる。また、この構成は、上述した式（Ａ）または（Ａ´）を導くために重要である。すなわち、絞りＳの前後のレンズは絞りＳに対して凹面を向け、さらに、式（Ａ）および（Ａ´）の条件に当てはめることができる。式（Ａ）または（Ａ´）の条件は、球面収差・コマ収差を補正し、小型化にすることに有効である。すなわち、式（Ａ）または（Ａ´）の条件式の範囲内で球面収差・コマ収差の補正が良好にでき、さらに、小型化と両立させることができる。
【００３８】
また、第４のレンズ群Ｇ４は、縮小側１２から少なくとも（連続した）２枚の正レンズＬ４３およびＬ４４を備えており、特に、最も縮小側１２のレンズＬ４４は縮小側１２に凹面を向けた正メニスカスレンズとなっている。この構成は、球面収差・コマ収差・像面の倒れ（ペッツバール和）を大きくすること無く像側テレセントリック性を維持するために有効である。
【００３９】
さらに、式（Ａ）または（Ａ´）を満たすように設計することにより、絞りＳの有効径も大きくなる。絞りＳの範囲内であれば絞りＳの中心と同等に収差が補正されているので、絞りＳの範囲で２つ以上の絞りを開けて様々な用途に使用できる。１つは、２つ以上の絞りを開けてフォーカスに使うことである。２またはそれ以上の絞りを、中心（光軸）と、中心から径方向にずれた位置とに設け、これらの絞りから２重に写った像を重ねるようにフォーカス調整用のレンズを動かすことにより、レンズシステム１０のフォーカスを精度よく簡単に調整することが可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１  検査装置、  ７  撮像素子
１０  レンズシステム、  １１  拡大側、  １２  縮小側
【図１】
2010211160.tif 000003
【図２】
2010211160.tif 000004
【図３】
2010211160.tif 000005
【図４】
2010211160.tif 000006
【図５】
2010211160.tif 000007
【図６】
2010211160.tif 000008