(57)【要約】【課題】設定したパルス条件との差分を補正するためのパルス条件を再設定可能な高周波モジュール評価システム提供する。【解決手段】パルス駆動回路１２を内蔵する高周波モジュール１の特性を評価するための高周波モジュール評価システム１００であって、設定したパルス条件のパルス信号を発生するパルスジェネレータ３と、基準となるＲＦ信号を発生するシンセサイザー４と、高周波モジュール１を搭載し、パルス信号を入力してパルス駆動回路１２を経由させ、入力したＲＦ信号にパルス信号を重畳させて出力する治具装置２と、治具装置２から出力されるＲＦ信号を取り込んで検波するオシロスコープ６と、パルスジェネレータ３で設定したパルス条件とオシロスコープ６で検波したパルス信号とを比較して差分を出力する差分出力装置７と、差分出力装置７から差分を取り込んで、差分を補正した再設定パルス条件を演算するＰＣ８とを備え、再設定したパルス条件をパルスジェネレータ３にフィードバックする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス駆動回路を内蔵する高周波モジュールの特性を評価するための高周波モジュール評価システムであって、
設定したパルス条件のパルス信号を発生するパルスジェネレータと、
基準となるＲＦ信号を発生するＲＦ信号発生器と、
前記高周波モジュールを搭載し、前記パルス信号を入力して前記パルス駆動回路を経由させ、入力した前記ＲＦ信号に前記パルス信号を重畳させて出力する治具装置と、
前記治具装置から出力される前記ＲＦ信号を取り込んで検波する検波装置と、
前記パルスジェネレータで設定したパルス条件と前記検波装置で検波したパルス信号とを比較して差分を出力する差分出力装置と、
前記差分出力装置から差分を取り込んで、差分を補正した再設定パルス条件を演算する演算装置とを備え、
再設定したパルス条件を前記パルスジェネレータにフィードバックすることを特徴とする高周波モジュール評価システム。
【請求項２】
パルス駆動回路を内蔵する高周波モジュールの特性を評価するための高周波モジュール評価システムであって、
設定したパルス条件のパルス信号を発生するパルスジェネレータと、
基準となるＲＦ信号を発生するＲＦ信号発生器と、
前記高周波モジュールを搭載し、前記パルス信号を入力して前記パルス駆動回路を経由させ、入力した前記ＲＦ信号に前記パルス信号を重畳させて出力する治具装置と、
前記治具装置から出力される前記ＲＦ信号を取り込んで検波する検波装置と、
前記検波装置とＧＰ−ＩＢケーブルで接続され、前記パルスジェネレータで設定したパルス条件と検波したパルス信号とを比較して差分を演算するとともに、差分を補正した再設定パルス条件を演算する演算装置とを備え、
再設定したパルス条件を前記パルスジェネレータにフィードバックすることを特徴とする高周波モジュール評価システム。
【請求項３】
前記ＲＦ信号発生器は、シンセサイザーであることを特徴とする請求項１または２記載の高周波モジュール評価システム。
【請求項４】
前記パルス条件は、パルス幅、パルス周期、デューティ比、ディレイ時間の少なくともいずれかで１つであることを特徴とする請求項１または２記載の高周波モジュール評価システム。
【請求項５】
前記検波装置は、オシロスコープであることを特徴とする請求項１または２記載の高周波モジュール評価システム。
【請求項６】
前記演算装置は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）であることを特徴とする請求項１または２記載の高周波モジュール評価システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波モジュール評価システムに関し、特にパルス条件を補正することができる高周波モジュール評価システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波モジュールは、大別すると、高周波部と制御部から構成され、制御部にはパルス駆動回路が組み込まれている。一般に、高周波モジュールは、それを搭載するシステムあるいは装置に組み込む前に評価している。これは、高周波モジュールには固体差があり、また適用する周波数帯によっても特性に影響を与えるからである。
【０００３】
高周波モジュール評価システム３００として、例えば、図５に示す構成が考えられる。図５において、高周波モジュール１はパルス条件を測定するための治具装置２に搭載されている。治具装置２にはパルス条件を設定するためのパルスジェネレータ３、ＲＦ信号を付与するためのシンセサイザー４が接続されている。治具装置２からの出力、すなわち高周波モジュール１を経たパルスは、ＲＦ出力先５に出力されるとともに、オシロスコープ６に取り込むように接続されている。
【０００４】
このような構成において、まず、パルスジェネレータ３にてパルス条件を設定し、パルスは治具装置２に設置された高周波モジュール１に入力される。パルスは高周波モジュール１の内部に構成されている制御部１１内にあるパルス駆動回路１２を経由して、高周波部１３に入力される。一方、シンセサイザー４からＲＦ信号を入力し、パルスはＲＦ信号としてＲＦ出力先５に出力される。このとき、オシロスコープ６で高周波モジュール１から出力されるパルスを検波する。かかる検波により、パルスジェネレータ３で設定したパルス条件が高周波モジュール１を経由することによって生じるズレが把握することができる。すなわち、検波された出力パルスはパルス駆動回路１２を経由することによって、パルス幅、パルスの周期、デューティ比、ディレイ時間等に、設定時のものからズレが生じている。このような場合、パルスジェネレータ３で設定したパルス条件を手動で変更し、出力パルスを修正する必要がある。このような調整はズレが解消するまで繰り返す必要がある。
【０００５】
従来、パルスの出力デューティ・サイクル比率の補正を行うことが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００６】
これは、デューティ・サイクル比率５０％以外で発振時には、誤差検出器によりデューティ・サイクル比率のズレを０Ｖからの電圧のズレに変換して変動電圧をしきい値電圧にフィードバックすることによってデューティ・サイクル比率を補正する手段を設けるものである。
【特許文献１】特開平８−２６５１１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
パルスジェネレータにて設定するパルス条件には、パルス幅、パルスの周期、デューティ比、ディレイ時間等とあるが、上記した特許文献１では、パルスのデューティ比にのみフォーカスしており、かつデューティ比は５０％と限定している。このため、デューティ比を５０％以外に可変することや、パルス幅、周期、ディレイ時間等の変動への対応については何等考慮されていないものであった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、高周波モジュールにパルスを入力する際に、パルスジェネレータで設定する高周波モジュールに入力するパルス条件と、パルス駆動回路を経由して、実際に高周波モジュールに入力されるパルスの誤差を補正することできる高周波モジュール評価システム提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、パルス駆動回路を内蔵する高周波モジュールの特性を評価するための高周波モジュール評価システムであって、設定したパルス条件のパルス信号を発生するパルスジェネレータと、基準となるＲＦ信号を発生するＲＦ信号発生器と、前記高周波モジュールを搭載し、前記パルス信号を入力して前記パルス駆動回路を経由させ、入力した前記ＲＦ信号に前記パルス信号を重畳させて出力する治具装置と、前記治具装置から出力される前記ＲＦ信号を取り込んで検波する検波装置と、前記パルスジェネレータで設定したパルス条件と前記検波装置で検波したパルス信号とを比較して差分を出力する差分出力装置と、
前記差分出力装置から差分を取り込んで、差分を補正した再設定パルス条件を演算する演算装置とを備え、再設定したパルス条件を前記パルスジェネレータにフィードバックすることを特徴とする高周波モジュール評価システムが提供される。
【００１０】
また、本発明の別の一態様によれば、パルス駆動回路を内蔵する高周波モジュールの特性を評価するための高周波モジュール評価システムであって、設定したパルス条件のパルス信号を発生するパルスジェネレータと、基準となるＲＦ信号を発生するＲＦ信号発生器と、前記高周波モジュールを搭載し、前記パルス信号を入力して前記パルス駆動回路を経由させ、入力した前記ＲＦ信号に前記パルス信号を重畳させて出力する治具装置と、前記治具装置から出力される前記ＲＦ信号を取り込んで検波する検波装置と、前記検波装置とＧＰ−ＩＢケーブルで接続され、前記パルスジェネレータで設定したパルス条件と検波したパルス信号とを比較して差分を演算するとともに、差分を補正した再設定パルス条件を演算する演算装置とを備え、再設定したパルス条件を前記パルスジェネレータにフィードバックすることを特徴とする高周波モジュール評価システムが提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高周波モジュール内におけるパルスのディレイ時間、パルス幅といったパルス条件をパルスジェネレータにフィードバックすることで、パルスジェネレータで設定するパルス条件と、実際に高周波モジュールに入力されるパルスとの誤差を補正し、個々の高周波モジュールを円滑にしかも的確に評価することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。尚、各図において同一箇所については同一の符号を付すとともに、重複した説明は省略する。
【００１３】
はじめに、図1に1周期分のパルスの概要図を示す。図１において、横軸は時間ｔ、縦軸は振幅Ａであり、パルス幅Ｐと1周期Ｔからそのパルスのデューティ比が得られ、パルス条件が決まる。
【００１４】
図２は、本発明の実施形態に係る差分出力装置を付加した高周波モジュールの評価システム１００の構成例を示す概略図である。図２に示すように、高周波モジュール１は、大別すると、制御部１１と高周波部１３から構成され、制御部１１にはＤＣ制御を行うパルス駆動回路１２が組み込まれている。高周波モジュール１はパルス条件を測定するための治具装置２に搭載されている。治具装置２には、パルスジェネレータ３、シンセサイザー４が接続され、それぞれから信号が印加されている。パルスジェネレータ３は、パルス条件を設定するとともに、パルス信号源として機能するものである。シンセサイザー４は、基準信号となるＲＦ信号を付与するためのＲＦ信号源として機能するものである。治具装置２からの出力、すなわち高周波を掃引しＲＦ信号に重畳されたパルスは、ＲＦ出力先５に出力されるとともに、オシロスコープ６に取り込むように接続されている。オシロスコープ６の出力ラインには、差分出力装置７が接続している。差分出力装置７は、設定したパルス条件との誤差、すなわち、高周波モジュールを経由したことによって生じる設定条件とのズレの大きさを算出するためのものである。差分出力装置７からの出力はＰＣ（パーソナルコンピュータ）８に接続している。ＰＣ８の記憶部には、誤差分を解消するのに当初のパルス条件をどのように再設定するかを演算するプログラムが格納されている。ＰＣ８で演算された再設定条件は、ＰＣ８からパルスジェネレータ３に対する指令として送られる。
【００１５】
このような構成において、まず、パルスジェネレータ３にてパルス条件を設定し、パルスは治具装置２に設置された高周波モジュール１に入力される。パルスは高周波モジュール１の内部に構成されている制御部１１内にあるパルス駆動回路１２のＤＣ制御を経由して、高周波部１３に入力される。一方、シンセサイザー４からＲＦ信号を入力し、パルスはＲＦ信号としてＲＦ出力先５に出力される。このとき、オシロスコープ６で高周波モジュール１から出力されるパルスを検波する。
【００１６】
検波したパルスは、差分出力装置７に取り込まれる。差分出力装置７では、設定したパルス条件との誤差、すなわち、高周波モジュール１のパルス駆動回路１２を経由したことによって生じる設定条件とのズレの大きさを算出する。
【００１７】
さらに、差分出力装置７の出力は、ＰＣ８に取り込まれる。ＰＣ８では、パルスジェネレータ３で設定したパルス条件と、オシロスコープ６で検波した実際に高周波モジュール１から出力されるパルスの誤差を補正するための補正値を演算する。すなわち、誤差分を解消するのに当初のパルス条件をどのように再設定するが演算される。ＰＣ８での演算結果は、パルスジェネレータ３にフィードバックされ、パルスジェネレータ３では修正したパルス条件を設定する。
【００１８】
次に、図３は、差分出力装置を組み込んだ高周波モジュール評価システム１００における処理の流れを示すフローチャートである。
【００１９】
はじめに、パルスジェネレータでパルス条件を設定し、高周波モジュール評価システムにパルスを入力する(ステップＳ３０１)。入力されたパルスは、高周波モジュールの制御部内にあるパルス駆動回路を経由して高周波部に送られる。一方、シンセサイザーからＲＦ信号を入力する(ステップＳ３０２)。ＲＦ信号となったパルスはＲＦ出力先に出力されるが、このとき、ＲＦ出力先に出力される直前のところで、オシロスコープにてパルスを検波する(ステップＳ３０３)。検波したパルスはＰＣに取り込まれ、パルスジェネレータにて設定したパルス条件と、オシロスコープで検波したパルスの誤差を演算する(ステップＳ３０４)。このパルス誤差の演算により、パルスジェネレータにおける設定条件に対して、パルスの誤差の有無を判断する(ステップＳ３０５)。誤差が有る場合には、差分を補正した再設定パルス条件を演算し、パルスジェネレータにフィードバックする(ステップＳ３０６)。誤差が無い場合は、そのまま設定されたパルス条件を維持する(ステップＳ３０７)。以上の評価を個々の高周波モジュールに対して行うことにより、その高周波モジュールの特性を的確に把握することができる。
【００２０】
本発明の実施形態によれば、差分出力装置により、パルスジェネレータで設定するパルス条件と、実際に、高周波モジュールに入力されるパルスの誤差を補正することにより、随時、所望のパルス条件を高周波モジュールに入力することが可能となる。
【００２１】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。図４は、第２の実施形態に係る高周波モジュールの評価システム２００の構成例を示す概略図である。ここでは、第１の実施形態と相違する点に絞って説明する。図４に示すように、第２の実施形態では、オシロスコープ６からの出力はＰＣ８に接続している。両者は、例えば、IEEE488として標準化されたインターフェースケーブルであるＧＰ−ＩＢ(General Purpose Interface Bus)ケーブル９で接続するのが好適である。ＧＰ−ＩＢケーブル９による接続によれば、ケーブルの両端に雄雌を背中合わせにした、いわゆるpiggy-backと呼ばれる特殊なコネクタが付いているので、オシロスコープ６で検波した出力をダイレクトにＰＣ８に取り込むのに適しているからである。ＰＣ８はパルス条件を取得し、パルスジェネレータ３で設定したパルス条件をしきい値として保持している。ＰＣ８の記憶部には、高周波モジュール１を経由することで生じた当初パルス条件との差分を補正する新たなパルス条件を演算するプログラムが格納されている。ＰＣ８で演算された再設定条件は、ＰＣ８からパルスジェネレータ３に対する指令として送られる。
【００２２】
本発明の実施形態によれば、ＰＣを介してパルスジェネレータで設定するパルス条件と、実際に、高周波モジュールに入力されるパルスの誤差を補正することにより、随時、所望のパルス条件を高周波モジュールに入力することが可能となる。
【００２３】
また、本発明は上記の実施形態のそのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】1周期分のパルスを示した概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る高周波モジュールの評価システムの構成例を示す概略図である。
【図３】差分出力装置を組み込んだ高周波モジュール評価システムにおける処理の流れを示すフローチャートである。
【図４】第２の実施形態に係る高周波モジュールの評価システムの構成例を示す概略図である。
【図５】パルス条件の自動補正を行わない高周波モジュールの評価システムの構成例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２５】
１００、２００、３００・・・高周波モジュール評価システム、１・・・高周波モジュール、２・・・治具装置、３・・・パルスジェネレータ、４・・・シンセサイザー、５・・・ＲＦ出力先、６・・・オシロスコープ、７・・・差分出力装置、８・・・ＰＣ、１１・・・制御部、１２・・・パルス駆動回路、１３・・・高周波部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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