(57)【要約】【課題】ガラス基板の検知センサとして現像装置などで使用される振り子センサがガラス基板の裏面に接触することによって発生する汚れを防止することができる現像装置を提供すること。【解決手段】振り子センサを移動させる機構が、該振り子センサを制御する装置に予め登録した現像処理される基板の情報に従って、前記現像処理される基板のパターンが形成されていない領域に自動的に移動する現像装置。また、前記振り子センサを移動させる機構の可動範囲が、前記現像装置が処理できる流れ方向に垂直な方向の基板寸法の最大値以上であることを特徴とする現像装置。【選択図】図４
2010286698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振り子センサを備えた現像装置であって、現像処理される基板の流れ方向に垂直な方向に振り子センサを移動させる機構を備えたことを特徴とする現像装置。
【請求項２】
前記振り子センサを移動させる機構の可動範囲が、前記現像装置が処理できる流れ方向に垂直な方向の基板寸法の最大値以上であることを特徴とする請求項１に記載の現像装置。
【請求項３】
前記振り子センサを移動させる機構が、該振り子センサを制御する装置に予め登録した現像処理される基板の情報に従って、前記現像処理される基板のパターン形成部が形成されていない領域に振り子センサを自動的に移動することを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の現像装置。
【請求項４】
前記振り子センサを移動させる機構が、該振り子センサを制御する装置に予め登録したデータの中から、該振り子センサを制御する装置に接続された読み取り装置が基板に付与された記号を読み取ることにより、予め登録された情報を読み出すことにより、前記現像処理される基板のパターン形成部が形成されていない領域に振り子センサを自動的に移動することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の現像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用のカラーフィルタ製造装置に関し、特に、感光性レジストの現像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＰＤは４０型を超える大型化が進んでいる。それに伴い、製造装置も大型化が進んでいる。
【０００３】
生産性を向上させる目的で、大型パネルを多面取りできるようにするため、大型の基板が使用されている。第８世代（Ｇ８）と呼ばれるＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用のガラス基板は、２４６０ｍｍ×２１６０ｍｍであり、５２型の液晶パネルを６面取りすることができるような大型のガラス基板であるが、生産性向上のため、更なる大型化も検討されている。
【０００４】
このような大型のガラス基板を処理する装置も当然、大型化が進められている。本発明は現像装置の中で処理中のガラス基板が装置のどこにあるのかを検知するためのセンサの配置方法に関するものである。現像装置で使用する現像液は比較的に透明度が高いものであるため、非接触式の基板の検知方法を採用することも不可能ではない。例えば、光学的な方法を用いることができるが、その欠点としては、現像液が汚れて来た場合やごみが付着すると、誤検知してしまう可能性が高い。その為、そのような欠点が少ない接触式の検知方法が多用されている。その代表的なセンサが振り子センサである。
【０００５】
振り子センサは、ガラス基板が装置内を搬送されて、振り子センサに接触すると振り子センサの一部が機械的に変位することにより、ガラス基板の存在を検知するセンサであるが、この振り子センサの欠点は、ガラス基板に裏面から接触する点である。接触することにより、ガラス基板の裏面に汚れをつけてしまう問題がある。特に、現像処理がなされて、レジスト成分が現像液に混入してくると、振り子センサがガラス基板と接触する部位にも、レジスト成分が堆積し、それがガラス基板の裏面を汚す問題がある。
【０００６】
このような汚れが発生すると、現像工程の後の検査工程にて、ガラス基板の汚れが検知され、工程不良品としてはじかれてしまうガラス基板が多く出てくる。これは、現像工程の時間稼働率を低下させることであり、その為に単位時間当たりの生産数量が減少する事態を引き起こすことになり、基板の大型化による生産性の向上を妨げる重大な問題となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２８４３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、ガラス基板の検知センサとして現像装置などで使用される振り子センサがガラス基板の裏面に接触することによって発生する汚れを防止することができる現像装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を達成するための手段として、請求項１に係る発明は、振り子センサを備えた
現像装置であって、現像処理される基板の流れ方向に垂直な方向に振り子センサを移動させる機構を備えたことを特徴とする現像装置である。
【００１０】
また請求項２に係る発明は、前記振り子センサを移動させる機構の可動範囲が、前記現像装置が処理できる流れ方向に垂直な方向の基板寸法の最大値以上であることを特徴とする請求項１に記載の現像装置である。
【００１１】
また請求項３に係る発明は、前記振り子センサを移動させる機構が、該振り子センサを制御する装置に予め登録した現像処理される基板の情報に従って、前記現像処理される基板のパターン形成部が形成されていない領域に振り子センサを自動的に移動することを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の現像装置である。
【００１２】
また請求項４に係る発明は、前記振り子センサを移動させる機構が、該振り子センサを制御する装置に予め登録したデータの中から、該振り子センサを制御する装置に接続された読み取り装置が基板に付与された記号を読み取ることにより、予め登録された情報を読み出すことにより、前記現像処理される基板のパターン形成部が形成されていない領域に振り子センサを自動的に移動することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の現像装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明になる現像装置を使用すると、基板の存在を検知する振り子センサに付着する現像液と感光性レジストの混合物が、振り子センサが基板の裏面に接触するたびに振り子センサから基板の裏面に転写される現象による基板の裏面の汚れの発生を、基板のパターンが形成されている範囲外に発生するようにできるため、このことに起因する工程不良を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の現像装置にて処理する基板の一例を表す平面図
【図２】本発明の現像装置にて処理する基板の一例を表す平面図
【図３】振り子センサが基板のパターンにかかる位置に配置されている例を示す概念図
【図４】振り子センサが基板のパターンにかからない位置に配置されている例を示す概念図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は本発明の現像装置にて処理する基板の一例を表す平面図である。基板１の中に４面のパターン形成部２が形成されている例である。図２は本発明の現像装置にて処理する基板の一例を表す平面図で、基板１の中に８面のパターン形成部２が形成されている例である。これらから明らかなように処理する基板１の品種が異なる場合は、パターン形成部２が形成されている部位とパターン形成部２が形成されていない部位が異なってくる。
【００１６】
図３は、従来から使用している現像装置の中の現像処理ユニット４を示す概念図であり、基板が存在することを検知する振り子センサ３が、基板のパターン形成部２にかかる位置に固定して配置されている状況を示している。この場合、基板の裏面に接触する振り子センサ３に、現像液中の成分が堆積することによって、その堆積物が基板の裏面と接触する際に転写され、汚れとして検出されることになる。
【００１７】
図４は、本発明の現像装置の中の現像処理ユニット４を示す概念図であり、基板１が存在することを検知する振り子センサ３が、基板１のパターン形成部２にかからない位置に配置されている状況を示している。本発明になる現像装置の中の現像処理ユニット４に設置されている振り子センサ３は、図示はしていないが、固定されておらず、基板の流れ方
向とは垂直方向に移動することができるようになっている。移動させる手段はどのような手段でも良いが、例えば、現像液に腐食されないステンレス鋼製のガイドレールを使用して移動させる。移動のための駆動力は、既存の方法が採用できる。例えば、ステンレス鋼製のチェーンを振り子センサ３に連結して、チェーンをモータの駆動力を使用して引っ張ることにより、ガイドレール上を動き、所定の位置に移動させることができ、その位置でチェーンを固定することにより、振り子センサ３を所定の位置に固定することができる。
【００１８】
次に、振り子センサを配置すべき位置をどのように設定するか、について説明する。図１および図２に例示した基板１で分かるように、基板１には通常、パターン形成部２が多面付けされている。基板１からとれるパターン形成部２の数が最も多くなるようにパターン形成部２のサイズを決めている。逆に、パターン形成部２のサイズが優先なら、最も効率的な基板サイズを採用することになる。
【００１９】
本発明では、個々の基板のパターン形成部の位置情報を、予め振り子センサを駆動する機構を制御する装置のデータ記憶装置に記憶させて置くことによって、振り子センサがパターン形成部にかからない位置を割り出し、その位置に移動させるように振り子センサを駆動する装置を制御する。
【００２０】
記憶された基板のパターン形成部の位置情報の呼び出し方は、マニュアル操作でも良いし、自動的な方法でも良い。マニュアル操作で行う場合、これから処理する品種を指定することによって、記憶装置から情報を呼び出すことができる。自動的な方法は、基板に、品種を指定する情報をバーコードや文字や絵柄などで付与して置き、現像装置に基板が投入されたときに、それらの読み出し装置により品種を検知することができる。このことによって、記憶装置から情報を呼び出すことが可能である。また、記憶された情報を使用せずに、振り子センサの位置を人が目で確認しながら、手動操作で振り子センサを移動させて行うこともできる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明は、感光性レジストの現像装置で発生する基板の裏面汚れによる、工程内検査にて不良判定される割合を低減することができ、このことにより、現像装置の生産量を増大させることができるようになる。
【符号の説明】
【００２２】
１・・・基板
２・・・パターン形成部
３・・・振り子センサ
４・・・現像処理ユニット
５・・・基板の流れ方向
【図１】
2010286698.tif 000003
【図２】
2010286698.tif 000004
【図３】
2010286698.tif 000005
【図４】
2010286698.tif 000006