(57)【要約】【課題】処理対象体の隅々まで液体を浸透させて処理対象体に対する処理を十分に行い得る処理装置を提供する。【解決手段】洗浄液８１中に浸漬された部品８０に対して所定の処理を実行可能に構成され、洗浄液８１を貯留した状態で密閉可能に構成された貯留容器２と、貯留容器２内に気体を圧送して貯留容器２内を加圧する加圧処理を実行する加圧機構（給気ポンプ３等）と、貯留容器２に取り付けられた振動装置８とを備え、洗浄液８１が貯留されると共に洗浄液８１中に部品８０が浸漬された貯留容器に対する加圧機構による加圧処理の実行状態において、洗浄液８１を振動装置８によって振動させて部品８０を洗浄する洗浄処理を所定の処理として実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体中に浸漬された処理対象体に対して所定の処理を実行する処理装置であって、
前記液体を貯留した状態で密閉可能に構成された貯留容器と、当該貯留容器内に気体を圧送して当該貯留容器内を加圧する加圧処理を実行する加圧機構と、前記貯留容器に取り付けられた振動機構とを備え、
前記液体が貯留されると共に当該液体中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記加圧機構による前記加圧処理の実行状態において、当該液体を前記振動機構によって振動させて前記処理対象体に対して前記所定の処理を実行する処理装置。
【請求項２】
前記液体としての洗浄液が貯留されると共に当該洗浄液中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記加圧機構による前記加圧処理の実行状態において、当該洗浄液を前記振動機構によって振動させて前記処理対象体を洗浄する洗浄処理を前記所定の処理として実行する請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
前記液体としての含浸液が貯留されると共に当該含浸液中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記加圧機構による前記加圧処理の実行状態において、当該含浸液を前記振動機構によって振動させて当該含浸液を前記処理対象体に含浸させる含浸処理を前記所定の処理として実行する請求項１記載の処理装置。
【請求項４】
前記貯留容器内の気体を排気して当該貯留容器内を減圧する減圧処理を実行する減圧機構を備え、
前記減圧処理と前記加圧処理とを切り替えて実行可能に構成されている請求項１から３のいずれかに記載の処理装置。
【請求項５】
前記減圧機構、前記加圧機構および前記振動機構を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記減圧機構を制御して前記液体が貯留されると共に当該液体中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記減圧処理を実行させた後に、前記加圧機構を制御して当該貯留容器に対して前記加圧処理を実行させると共に前記振動機構を制御して当該加圧処理の実行状態において前記液体を振動させる請求項４記載の処理装置。
【請求項６】
処理対象体を液体中に浸漬させた状態で当該処理対象体に対して所定の処理を実行する処理方法であって、
貯留容器に前記液体を貯留させると共に当該液体中に前記処理対象体を浸漬させた状態で当該貯留容器を密閉し、当該貯留容器内に気体を圧送して当該貯留容器内を加圧する加圧処理を実行し、当該加圧処理の実行状態において前記液体を振動させて前記処理対象体に対して前記所定の処理を実行する処理方法。
【請求項７】
前記液体としての洗浄液を貯留させると共に当該洗浄液中に前記処理対象体を浸漬させて密閉した前記貯留容器に対する前記加圧処理の実行状態において、当該洗浄液を振動させて前記処理対象体を洗浄する洗浄処理を前記所定の処理として実行する請求項６記載の処理方法。
【請求項８】
前記液体としての含浸液を貯留させると共に当該含浸液中に前記処理対象体を浸漬させて密閉した前記貯留容器に対する前記加圧処理の実行状態において、当該含浸液を振動させて当該含浸液を前記処理対象体に含浸させる含浸処理を前記所定の処理として実行する請求項６記載の処理方法。
【請求項９】
前記液体を貯留させると共に当該液体中に前記処理対象体を浸漬させて密閉した状態の前記貯留容器内の気体を排気して当該貯留容器内を減圧させる減圧処理を実行した後に、当該貯留容器に対して前記加圧処理を実行する請求項６から８のいずれかに記載の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中に浸漬された処理対象体に対して所定の処理を実行する処理装置および処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の処理装置として、特開平９−１０７１１号公報に開示された洗浄装置が知られている。この洗浄装置は、密閉可能なチャンバー、タンクに充填された洗浄液（有機系洗浄剤）をチャンバー内に注入する液送ポンプ、および密閉されたチャンバー内を減圧する真空ポンプ等を備えて構成されている。この洗浄装置を用いて処理対象体（ワーク）を洗浄する際には、まず、処理対象体をチャンバー内にセットした後にチャンバーを閉じて密閉状態にする。次いで、タンク内の洗浄液を配管を通してチャンバー内に注入し、処理対象体を洗浄液に浸漬させる。続いて、真空ポンプを用いてチャンバー内を減圧する。この際に、洗浄液に浸漬された処理対象体の細部に残留している空気（エアートラップ）が気泡となって処理対象体から遊離する（除去される）。次いで、チャンバー内を大気圧に戻した後に、チャンバー内の洗浄液を配管を通してタンクに移す。続いて、上記の工程を複数回繰り返す。次いで、処理対象体を乾燥させた後にチャンバーから取り出す。これにより、処理対象体に付着していた汚れ（付着物）が除去されて洗浄が完了する。この場合、この洗浄装置では、上記したようにチャンバー内を減圧することで処理対象体の細部に残留していた空気を処理対象体から遊離させる（除去する）ことができるため、処理対象体の細部に洗浄液が浸入する結果、洗浄効率を高めることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１０７１１号公報（第２−４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の洗浄装置には、以下の問題点がある。すなわち、この洗浄装置では、チャンバー内を減圧することで残留していた空気を処理対象体から遊離させ、処理対象体の細部に洗浄液を浸入させて洗浄効率を高めている。しかしながら、チャンバー内を減圧したとしても、処理対象体から空気を完全に遊離させるのは困難である。このため、この洗浄装置では、処理対象体に空気が依然として残留することがあり、その空気の残留部分に洗浄液が行き渡らない（浸透しない）ことに起因して、処理対象体を隅々まで確実に洗浄することができないおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、処理対象体の隅々まで液体を浸透させて処理対象体に対する処理を十分に行い得る処理装置および処理方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の処理装置は、液体中に浸漬された処理対象体に対して所定の処理を実行する処理装置であって、前記液体を貯留した状態で密閉可能に構成された貯留容器と、当該貯留容器内に気体を圧送して当該貯留容器内を加圧する加圧処理を実行する加圧機構と、前記貯留容器に取り付けられた振動機構とを備え、前記液体が貯留されると共に当該液体中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記加圧機構による前記加圧処理の実行状態において、当該液体を前記振動機構によって振動させて前記処理対象体に対して前記所定の処理を実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記液体としての洗浄液が貯留されると共に当該洗浄液中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記加圧機構による前記加圧処理の実行状態において、当該洗浄液を前記振動機構によって振動させて前記処理対象体を洗浄する洗浄処理を前記所定の処理として実行する。
【０００８】
また、請求項３記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記液体としての含浸液が貯留されると共に当該含浸液中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記加圧機構による前記加圧処理の実行状態において、当該含浸液を前記振動機構によって振動させて当該含浸液を前記処理対象体に含浸させる含浸処理を前記所定の処理として実行する。
【０００９】
また、請求項４記載の処理装置は、請求項１から３のいずれかに記載の処理装置において、前記貯留容器内の気体を排気して当該貯留容器内を減圧する減圧処理を実行する減圧機構を備え、前記減圧処理と前記加圧処理とを切り替えて実行可能に構成されている。
【００１０】
また、請求項５記載の処理装置は、請求項４記載の処理装置において、前記減圧機構、前記加圧機構および前記振動機構を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記減圧機構を制御して前記液体が貯留されると共に当該液体中に前記処理対象体が浸漬された前記貯留容器に対する前記減圧処理を実行させた後に、前記加圧機構を制御して当該貯留容器に対して前記加圧処理を実行させると共に前記振動機構を制御して当該加圧処理の実行状態において前記液体を振動させる。
【００１１】
また、請求項６記載の処理方法は、処理対象体を液体中に浸漬させた状態で当該処理対象体に対して所定の処理を実行する処理方法であって、貯留容器に前記液体を貯留させると共に当該液体中に前記処理対象体を浸漬させた状態で当該貯留容器を密閉し、当該貯留容器内に気体を圧送して当該貯留容器内を加圧する加圧処理を実行し、当該加圧処理の実行状態において前記液体を振動させて前記処理対象体に対して前記所定の処理を実行する。
【００１２】
また、請求項７記載の処理方法は、請求項６記載の処理方法において、前記液体としての洗浄液を貯留させると共に当該洗浄液中に前記処理対象体を浸漬させて密閉した前記貯留容器に対する前記加圧処理の実行状態において、当該洗浄液を振動させて前記処理対象体を洗浄する洗浄処理を前記所定の処理として実行する。
【００１３】
また、請求項８記載の処理方法は、請求項６記載の処理方法において、前記液体としての含浸液を貯留させると共に当該含浸液中に前記処理対象体を浸漬させて密閉した前記貯留容器に対する前記加圧処理の実行状態において、当該含浸液を振動させて当該含浸液を前記処理対象体に含浸させる含浸処理を前記所定の処理として実行する。
【００１４】
また、請求項９記載の処理方法は、請求項６から８のいずれかに記載の処理方法において、前記液体を貯留させると共に当該液体中に前記処理対象体を浸漬させて密閉した状態の前記貯留容器内の気体を排気して当該貯留容器内を減圧させる減圧処理を実行した後に、当該貯留容器に対して前記加圧処理を実行する。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の処理装置および請求項６記載の処理方法では、貯留容器に液体を貯留させると共に液体中に処理対象体を浸漬させた状態で貯留容器を密閉し、貯留容器内に気体を圧送して貯留容器内を加圧する加圧処理を実行し、その加圧処理の実行状態において液体を振動させて処理対象体に対して所定の処理を実行する。このため、この処理装置および処理方法によれば、加圧処理によって処理対象体内に残留している気体を十分に小さな体積にまで圧縮したり、加圧処理や液体の振動によって処理対象体内に残留している気体を確実に押し出させたりすることができる。したがって、この処理装置および処理方法によれば、処理対象体の隅々まで液体を行き渡らせる（浸透させる）ことができる結果、処理対象体に対する処理を十分に行うことができる。
【００１６】
また、請求項２記載の処理装置および請求項７記載の処理方法によれば、洗浄液を貯留させると共に洗浄液中に処理対象体を浸漬させて密閉した貯留容器に対する加圧処理の実行状態において、洗浄液を振動させて処理対象体を洗浄する洗浄処理を所定の処理として実行することにより、処理対象体の隅々まで洗浄液を行き渡らせる（浸透させる）ことができる結果、処理対象体を隅々まで十分に洗浄することができる。
【００１７】
また、請求項３記載の処理装置および請求項８記載の処理方法によれば、含浸液を貯留させると共に含浸液中に処理対象体を浸漬させて密閉した貯留容器に対する加圧処理の実行状態において、含浸液を振動させて含浸液を処理対象体に含浸させる含浸処理を所定の処理として実行することにより、処理対象体の隅々まで含浸液を行き渡らせる（浸透させる）ことができる結果、処理対象体の隅々まで含浸液を十分に含浸させることができる。
【００１８】
また、請求項４記載の処理装置および請求項９記載の処理方法によれば、液体を貯留させると共に液体中に処理対象体を浸漬させて密閉した状態の貯留容器内の気体を排気して貯留容器内を減圧させる減圧処理を実行した後にその貯留容器に対して加圧処理を実行することにより、減圧処理によって処理対象体内に残留する気体を十分に少なくした上で、その気体を加圧処理によってさらに小さな体積に圧縮したり、減圧処理後の加圧処理および減圧処理や加圧処理中の液体の振動によって処理対象体内に残留する気体の量をさらに少なくしたりすることができるため、処理対象体のさらに隅々まで液体を行き渡らせる（浸透させる）ことができる結果、処理対象体に対する処理をさらに十分に行うことができる。
【００１９】
また、請求項５記載の処理装置では、減圧機構、加圧機構および振動機構を制御する制御部を備えて、制御部が、減圧機構を制御して減圧処理を実行させた後に、加圧機構を制御して加圧処理を実行させると共に振動機構を制御して液体を振動させる。このため、この処理装置によれば、処理開始の指示操作をするだけで処理対象体に対する処理を自動的に行わせることができるため、作業の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】処理装置１の構成を示す構成図である。
【図２】貯留容器２の分解斜視図である。
【図３】貯留容器２の斜視図である。
【図４】洗浄処理１００および含浸処理３００のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る処理装置および処理方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２２】
最初に、処理装置１の構成について説明する。
【００２３】
図１に示す処理装置１は、本発明に係る処理装置の一例であって、処理対象体（一例とし、同図に示す部品８０）を洗浄する洗浄処理（本発明における所定の処理の一例）を本発明に係る処理方法に従って実行可能に構成されている。具体的には、処理装置１は、同図に示すように、収容容器２、給気ポンプ（コンプレッサ）３、排気ポンプ（真空ポンプ）４、給液ポンプ５、浄化装置６、貯留タンク７、振動装置８および制御部９を備えて構成されている。
【００２４】
貯留容器２は、耐圧性を有する容器であって、図１に示すように、洗浄液８１（本発明における液体の一例であって、例えば界面活性剤（洗剤）を添加した水を主体とする液体）を貯留した状態で密閉可能に構成されている。具体的には、貯留容器２は、図２に示すように、本体部１１、蓋部１２およびクランプ１３を備えて構成されている。本体部１１は、一例として、上部に開口部１１ｄを有する有底円筒状に構成されている。また、本体部１１は、十分な強度を有する材料（例えば、ステンレス）によって形成されている。
【００２５】
また、図１，２に示すように、本体部１１の底板１１ａには排液孔６１ａが形成されている。この場合、排液孔６１ａには排液管６２ａが接続され、この排液管６２ａには排液バルブ６３ａが取り付けられている。また、本体部１１の側壁１１ｂにおける上部（開口部１１ｄ側）には、給気孔３１、排気孔４１、排液孔６１ｂおよび圧力調整孔７１が形成されている。この場合、各孔３１，４１，６１ｂ，７１には給気管３２、排気管４２、排液管６２ｂおよび圧力調整管７２がそれぞれ接続され、これらの各管３２，４２，６２ｂ，７２には、給気バルブ３３、排気バルブ４３、排液バルブ６３ｂおよび圧力調整バルブ７３が取り付けられている。さらに、側壁１１ｂにおける下部（底板１１ａ側）には、給液孔５１が形成されている。この場合、給液孔５１には給液管５２が接続され、この給液管５２には給液バルブ５３が取り付けられている。また、側壁１１ｂにおける開口部１１ｄ側の縁部には、鍔部１１ｃが形成されている。
【００２６】
蓋部１２は、図２に示すように、一例として円板状に構成されている。また、蓋部１２は、本体部１１と同様にして、十分な強度を有する材料（例えば、ステンレス）によって形成されている。この場合、蓋部１２は、その直径が本体部１１の鍔部１１ｃの外径と同じ（ほぼ同じ）長さに規定されて、鍔部１１ｃの上に載置した状態において本体部１１の開口部１１ｄを閉塞可能に構成されている。クランプ１３は、一例として、フェルールクランプであって、同図に示すように、半円形の樋状に形成された２つのバンド部材１３ａ，１３ａと、各バンド部材１３ａにおける各々の一端部を回動可能に連結する連結部１３ｂと、各バンド部材１３ａにおける各々の他端部を近接させる（締め付ける）ためのボルト１３ｃおよびナット１３ｄとを備えて構成されている。この場合、クランプ１３は、本体部１１における鍔部１１ｃの上に載置された蓋部１２と鍔部１１ｃとをクランプすることによって蓋部１２を本体部１１に固定する（図３参照）。
【００２７】
給気ポンプ３は、図１に示すように、貯留容器２の本体部１１に形成されている給気孔３１に給気管３２および給気バルブ３３を介して繋がれて、貯留容器２内に空気（本発明における気体の一例）を圧送することによって貯留容器２内を加圧する加圧処理を実行する。この場合、給気ポンプ３は、制御部９の制御に従って作動する。また、給気バルブ３３は、電磁バルブで構成されて、制御部９の制御に従って作動することにより、給気孔３１から給気ポンプ３に至る給気経路の開閉を行う。なお、給気ポンプ３、給気管３２および給気バルブ３３によって本発明における加圧機構が構成される。この場合、処理装置１の外部から供給される圧縮空気（圧縮された気体）を用いるときには、給気ポンプ３を不要とすることができ、このような給気ポンプ３を備えていない構成では、給気管３２および給気バルブ３３によって本発明における加圧機構が構成される。
【００２８】
排気ポンプ４は、図１に示すように、貯留容器２の本体部１１に形成されている排気孔４１に排気管４２および排気バルブ４３を介して繋がれて、貯留容器２内の気体を排気（吸引）することによって貯留容器２内を減圧する減圧処理を実行する。この場合、排気ポンプ４は、制御部９の制御に従って作動する。また、排気バルブ４３は、電磁バルブで構成されて、制御部９の制御に従って作動することにより、排気孔４１から排気ポンプ４に至る給気経路の開閉を行う。なお、排気ポンプ４、排気管４２および排気バルブ４３によって本発明における減圧機構が構成される。なお、排気ポンプ４に代えてまたは排気ポンプ４と共に、ベンチュリーやエアエジェクター等の各種の吸引装置を用いて減圧機構を構成することもできる。
【００２９】
給液ポンプ５は、図１に示すように、貯留容器２の本体部１１に形成されている給液孔５１に給液管５２および給液バルブ５３を介して繋がれて、貯留タンク７に貯留されている洗浄液８１を貯留容器２内に供給する。この場合、給液ポンプ５は、制御部９の制御に従って作動する。また、給液バルブ５３は、電磁バルブで構成されて、制御部９の制御に従って作動することにより、給液孔５１から給液ポンプ５に至る給液経路の開閉を行う。
【００３０】
浄化装置６は、図１に示すように、貯留容器２の本体部１１に形成されている排液孔６１ａ，６１ｂに排液管６２ａ，６２ｂおよび排液バルブ６３ａ，６３ｂを介して繋がれて、本体部１１から排出される洗浄液８１に含まれている汚れを除去する。貯留タンク７は、洗浄液８１を貯留可能に構成されている。この場合、貯留タンク７は、給液ポンプ５および浄化装置６に配管で繋がれており、外部から投入された洗浄液８１、および浄化装置６によって浄化された洗浄液８１を貯留すると共に、洗浄液８１を給液ポンプ５に供給する。振動装置８は、本発明における振動機構に相当し、本体部１１の底板１１ａの外部に配設されて、本体部１１、および本体部１１に貯留されている洗浄液８１を超音波振動させる。なお、振動装置８（超音波振動子）を本体部１１の内部（底板１１ａの内側や側壁１１ｂの内側）に配設する構成を採用することもできる。
【００３１】
制御部９は、図外の操作部が操作されたときに、所定の動作プログラムに従って図４に示す洗浄処理１００を実行する。この場合、制御部９は、処理装置１を構成する各構成要素、具体的には、給気ポンプ３、排気ポンプ４、給液ポンプ５、浄化装置６、振動装置８および各バルブ３３，４３，５３，６３ａ，６３ｂ，７３の動作を制御する。
【００３２】
次に、処理装置１を用いて処理対象体としての部品８０（図１参照）を洗浄する方法（本発明に係る処理方法）、およびその際の処理装置１を構成する各構成要素の動作について、図面を参照して説明する。なお、初期状態においては、処理装置１における貯留容器２の蓋部１２が本体部１１から取り外され、本体部１１には洗浄液８１が貯留されていないものとする。また、初期状態においては、処理装置１の各バルブ３３，４３，５３，６３ａ，６３ｂ，７３が閉塞状態となっているものとする。また、部品８０は、一例として、外部に連通する空間（図示せず）を内部に有しているものとする。
【００３３】
まず、貯留容器２内に部品８０を収容し、次いで、本体部１１における鍔部１１ｃの上に蓋部１２を載置する。続いて、図３に示すように、クランプ１３を用いて蓋部１２と鍔部１１ｃとをクランプすることにより、蓋部１２を本体部１１に固定する。これにより、本体部１１の開口部１１ｄが閉塞されて、貯留容器２が密閉状態となる。
【００３４】
次いで、図外の操作部を操作して、洗浄処理の開始を指示する。この際に、制御部９は、所定の動作プログラムに従って図４に示す洗浄処理１００を実行する。この洗浄処理１００では、制御部９は、まず、給液バルブ５３、排液バルブ６３ｂおよび圧力調整バルブ７３を開放させると共に、給液ポンプ５を作動させる（給液処理の実行：ステップ１０１）。この際に、貯留タンク７に貯留されている洗浄液８１が給液バルブ５３および給液管５２を通って給液孔５１から貯留容器２内に供給される。また、洗浄液８１の供給によって貯留容器２内に収容した部品８０が浸漬される。この場合、洗浄液８１の供給に伴い、貯留容器２内の空気が、圧力調整孔７１、圧力調整管７２および圧力調整バルブ７３を通って貯留容器２の外部に押し出されて排出される。また、貯留容器２内に供給された洗浄液８１の液面レベルが排液孔６１ｂの形成位置に達したときには、その後に供給される洗浄液８１が、排液孔６１ｂ、排液管６２ｂおよび排液バルブ６３ｂを通って浄化装置６に排出される。このため、洗浄液８１の液面レベルが、常に排液孔６１ｂの形成位置以下に維持される。
【００３５】
続いて、制御部９は、給液ポンプ５の作動開始から所定時間経過した時点で、給液バルブ５３、排液バルブ６３ｂおよび圧力調整バルブ７３を閉塞させると共に、給液ポンプ５を停止させる。次いで、制御部９は、排気バルブ４３を開放させると共に、排気ポンプ４を作動させる（減圧処理の実行：ステップ１０２）。この際に、貯留容器２内における洗浄液８１の液面と貯留容器２の内面とによって構成される空間（以下、「内部空間２ａ」ともいう：図１参照）に残留している空気が、排気孔４１、排気管４２および排気バルブ４３を通って排気ポンプ４によって排気されることにより、内部空間２ａが減圧される。この場合、部品８０内に空気が残留しているときには、内部空間２ａの気圧に対して相対的に高い気圧となった部品８０内の空気が膨張して洗浄液８１中に気泡となって排出される。なお、上記した減圧処理を実行して貯留容器２内を減圧し、この減圧による貯留容器２内と貯留容器２外との圧力差を利用して、貯留タンク７に貯留されている洗浄液８１を貯留容器２内に供給させる構成および方法（つまり、減圧処理および給液処理を実行する順序が上記の順序と逆となる構成および方法）を採用することもできる。この場合、この構成および方法では、給液ポンプ５を不要とすることができる。
【００３６】
続いて、制御部９は、排気ポンプ４の作動開始から所定時間経過した時点で、排気バルブ４３を閉塞させると共に、排気ポンプ４を停止させる。次いで、制御部９は、圧力調整バルブ７３を開放する（圧力調整処理の実行：ステップ１０３）。この際に、圧力調整バルブ７３および圧力調整管７２を通って貯留容器２外の空気が内部空間２ａに流入することにより、内部空間２ａの気圧が大気圧に復帰する（圧力調整される）。
【００３７】
続いて、制御部９は、圧力調整バルブ７３を閉塞させ、次いで、給気バルブ３３を開放させると共に、給気ポンプ３を作動させる（加圧処理の実行：ステップ１０４）。この際に、給気ポンプ３によって圧送される空気が給気管３２および給気バルブ３３を通って内部空間２ａに供給されて、内部空間２ａの気圧が増加して貯留容器２内が加圧される。この場合、上記した減圧処理の際に部品８０内の全ての空気が排出しきれずに、部品８０内に依然として残留していたとしても、貯留容器２内の加圧により、部品８０内に残留している空気が十分に小さな体積にまで圧縮されたり押し出されたりする。
【００３８】
続いて、制御部９は、振動装置８を作動させる（振動処理の実行：ステップ１０５）。この際に、貯留容器２、および貯留容器２内に貯留されている洗浄液８１が超音波振動させられる。この結果、部品８０に付着している付着物（汚れ）が、洗浄液８１の超音波振動に伴って生じるキャビテーション効果によって部品８０から剥離されて洗浄液８１中に排出される。この場合、上記したように、加圧処理によって部品８０内に残留している空気が十分に小さな体積にまで圧縮されたり押し出されたりしている。また、加圧処理の実行に先立って減圧処理を実行して部品８０内の空気を排出することで、加圧処理の実行前（減圧処理の実行後）に部品８０内に空気が残留していたとしても、その量が十分に少なくなっている。このため、減圧処理および加圧処理をこの順序で実行したことで、部品８０内に残留している空気が極めて小さな体積となっている。したがって、この処理装置１および処理方法では、部品８０の内部の隅々まで洗浄液８１が行き渡る結果、部品８０を隅々まで十分に洗浄することが可能となっている。
【００３９】
次いで、制御部９は、内部空間２ａの気圧が所定の圧力に達した時点、または振動装置８の作動開始から所定時間が経過した時点で、振動装置８を停止させる。続いて、制御部９は、給気バルブ３３を閉塞させると共に、給気ポンプ３を停止させる。なお、給気ポンプ３を作動させ続けた状態で（給気ポンプ３を停止させることなく）給気バルブ３３の開放および閉塞を行うことで加圧処理の開始および終了を行う構成および方法を採用することもできる。次いで、制御部９は、圧力調整バルブ７３を開放する（圧力調整処理の実行：ステップ１０６）。この際に、圧力調整管７２および圧力調整バルブ７３を通って内部空間２ａの空気が内部空間２ａに排出されることにより、内部空間２ａの気圧が大気圧に復帰する（圧力調整される）。続いて、制御部９は、排液バルブ６３ａを開放させる（排液処理の実行：ステップ１０７）。この際に、貯留容器２内に貯留されている洗浄液８１が排液管６２ａおよび排液バルブ６３ａを通って浄化装置６に排出される。また、浄化装置６に排出された洗浄液８１は、浄化装置６によって汚れが除去された後に、貯留タンク７に貯留される。以上により、制御部９が洗浄処理１００を終了し、この結果、部品８０の洗浄が完了する。次いで、クランプ１３による蓋部１２と鍔部１１ｃとのクランプを解除して、蓋部１２を本体部１１から取り外し、洗浄の完了した部品８０を本体部１１から取り出す。この場合、汚れの状態に応じて上記の洗浄処理１００を複数回繰り返して実行してもよい。次に、他の処理対象体を洗浄するときには、上記と同様にして、貯留容器２内にその処理対象体を収容して貯留容器２を密閉状態とした後に、洗浄処理の開始を指示する。なお、貯留容器２に貯留させた洗浄液８１を繰り返して用いるときには、上記した洗浄処理１００におけるステップ１０１（給液処理）およびステップ１０７（排液処理）を省略することができる。
【００４０】
このように、この処理装置１および処理方法では、貯留容器２に洗浄液８１を貯留させた状態で貯留容器２を密閉し、貯留容器２内に空気を圧送して貯留容器２内を加圧する加圧処理を実行し、その加圧処理の実行状態において貯留容器２内に貯留されている洗浄液８１を振動させて部品８０を洗浄する。したがって、この処理装置１および処理方法によれば、加圧処理によって部品８０内に残留している空気を十分に小さな体積にまで圧縮したり押し出したりすることができるため、部品８０の隅々まで洗浄液８１を行き渡らせることができる結果、部品８０を隅々まで十分に洗浄することができる。
【００４１】
また、この処理装置１および処理方法によれば、洗浄液８１を貯留させて密閉した状態の貯留容器２内の空気を排気して貯留容器２内を減圧させる減圧処理を実行した後に加圧処理を実行することにより、減圧処理によって部品８０内に残留する空気を十分に少なくした上で、その空気を加圧処理によってさらに小さな体積に圧縮することができるため、部品８０の内部のさらに隅々まで洗浄液８１を行き渡らせることができる結果、部品８０をさらに隅々まで十分に洗浄することができる。
【００４２】
また、この処理装置１では、減圧機構、加圧機構および振動装置８を制御する制御部９を備えて、制御部９が、減圧機構に対して減圧処理を実行させた後に加圧機構に対して加圧処理を実行させると共に振動装置８に対して洗浄液を振動させる洗浄処理１００を実行する。このため、この処理装置１によれば、洗浄開始の指示操作をするだけで処理対象体を自動的に洗浄させることができるため、洗浄作業の効率化を図ることができる。
【００４３】
なお、本発明は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、処理装置１を用いて、処理対象体（上記の例では、部品８０）を洗浄する洗浄処理を行う（つまり、処理装置１を洗浄装置として機能させる）例について上記したが、処理装置１を用いて、多孔質の材料で形成された処理対象体（例えば、図１に示す部品９０）に対して含浸液９１（本発明における液体の他の一例：同図参照）を含浸させる含浸処理（本発明における所定の処理の他の一例）を行う（つまり、処理装置１を含浸装置として機能させる）こともできる。この使用形態では、まず、貯留容器２内に部品９０を収容して貯留容器２を密閉状態とする。次いで、図外の操作部を操作して、含浸処理の開始を指示する。この際に、制御部９は、所定の動作プログラムに従って図４に示す含浸処理３００を実行する。この含浸処理３００では、制御部９は、上記した洗浄処理１００におけるステップ１０１と同様の給液処理を実行して（ステップ３０１）、貯留タンク７に貯留されている含浸液９１を貯留容器２内に供給させる。
【００４４】
続いて、制御部９は、洗浄処理１００におけるステップ１０２と同様の減圧処理を実行して（ステップ３０２）、内部空間２ａを減圧させる。この場合、部品９０内に空気が残留しているときには、内部空間２ａの気圧に対して相対的に高い気圧となった部品９０内の空気が膨張して含浸液９１中に気泡となって排出される。次いで、制御部９は、洗浄処理１００におけるステップ１０３と同様の圧力調整処理を実行した後に（ステップ３０３）、洗浄処理１００におけるステップ１０４と同様の加圧処理を実行して（ステップ３０４）、貯留容器２内を加圧させる。この場合、上記した減圧処理の際に部品９０内の全ての空気が排出しきれずに、部品９０内に依然として残留していたとしても、貯留容器２内の加圧により、部品９０内に残留している空気が圧縮されたり押し出されたりして、部品９０内の隅々まで含浸液９１が浸透する。
【００４５】
続いて、制御部９は、洗浄処理１００におけるステップ１０５と同様の振動処理を実行して（ステップ３０５）、貯留容器２、および貯留容器２内に貯留されている含浸液９１を超音波振動させる。この際に、例えば、上記した減圧処理および加圧処理によってもなお部品９０内に空気が残留していたときには、その空気が超音波振動によって離脱させられて部品９０内から含浸液９１中に排出される。この結果、含浸液９１が部品９０内の隅々まで確実に浸透して含浸液９１が十分に含浸する。次いで、制御部９は、洗浄処理１００におけるステップ１０６と同様の圧力調整処理を実行した後に（ステップ３０６）、洗浄処理１００におけるステップ１０６と同様の排液処理を実行して（ステップ３０７）、含浸液９１を浄化装置６に排出させる。以上により、制御部９が含浸処理３００を終了し、部品９０に対する含浸液９１の含浸が完了する。なお、貯留容器２に貯留した含浸液９１を繰り返して用いるときには、上記した含浸処理３００におけるステップ３０１（給液処理）およびステップ３０７（排液処理）を省略することができる。このように、処理装置１を含浸装置として機能させて含浸処理を行う処理方法においても、加圧処理の実行状態において含浸液９１を超音波振動させることにより、部品９０の隅々まで含浸液９１を行き渡らせる（浸透させる）ことができるため、部品９０の隅々まで含浸液９１を十分に含浸させることができる。
【００４６】
また、減圧処理および加圧処理の双方を実行する例について上記したが、加圧処理のみを実行して、その実行状態において洗浄液８１や含浸液９１を超音波振動させて洗浄処理や含浸処理を行う構成および方法を採用することもできる。また、制御部９が各構成要素を制御することによって洗浄処理や含浸処理を自動的に行う構成について上記したが、各構成要素（各ポンプ等）に対する作動指示や停止指示、および各バルブの開放や閉塞等を手動で行う（つまり洗浄処理や含浸処理を手動で行う）構成を採用することもできる。
【００４７】
また、貯留容器２を構成する本体部１１や蓋部１２の形状は上記の形状に限定されず、任意に規定することができる。また、本体部１１と蓋部１２とを固定する手段として、フェルールクランプを用いる構成および方法について上記したが、両者を固定する構成および方法はこれに限定されない。例えば、本体部１１の鍔部１１ｃ、および蓋部１２の外周部に孔または切り込みを設けてその孔または切り込みにねじ（ボルト）を通して両者を固定する構成および方法や、本体部１１の開口部１１ｄ側の内周面および蓋部１２の外周面にねじ山を設けて、蓋部１２を体部１１に直接ねじ込んで固定する構成および方法などを採用することができる。また、本体部１１と蓋部１２との接触部位にシール材（パッキン）を配設することによって気密性（密閉性）を高める構成および方法を採用することもできる。
【００４８】
さらに、界面活性剤（洗剤）が添加された水を主体とする洗浄液８１を用いる例について上記したが、洗浄液としては、これに限定されず、有機溶剤、水（純粋）、および酸やアルカリの溶液等を用いることができる。また、ヒータを備えて洗浄液８１を加熱しつつ洗浄する構成を採用して洗浄効果を高めることもできる。また、本発明における気体には、空気以外の各種の気体が含まれる。また、加圧処理の実行状態においてのみ振動処理を実行する例について上記したが、加圧処理の実行状態に加えて、減圧処理の実行状態においても振動処理を実行する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法によれば、振動処理の処理時間が長くなる分、洗浄効率や含浸効率を高めることができる。また、上記したように、処理装置１の外部から供給される圧縮空気を用いるときには給気ポンプ３を不要とすることができるのと同様に、処理装置１の外部の吸引装置を用いるときには、排気ポンプ４を不要とすることができる。また、浄化装置６を備えることなく、貯留容器２から排出した洗浄液８１や含浸液９１をそのまま再使用する構成および方法や、貯留容器２から排出した洗浄液８１や含浸液９１を廃棄する（再使用しない）構成および方法を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４９】
１  処理装置
２  貯留容器
３  給気ポンプ
４  排気ポンプ
８  振動装置
９  制御部
３２  給気管
３３  給気バルブ
４２  排気管
４３  排気バルブ
８０，９０  部品
８１  洗浄液
９１  含浸液
１００  洗浄処理
３００  含浸処理
【図１】
2010184215.tif 000003
【図２】
2010184215.tif 000004
【図３】
2010184215.tif 000005
【図４】
2010184215.tif 000006