(57)【要約】【課題】焼成工程におけるセラミック成形体（セラミック基板）の反りや変形を抑制、防止しつつ、拘束層の構成材料の使用量を減らすことが可能で、反りや変形のない特性の良好なセラミック基板を効率よく製造することが可能なセラミック基板の製造方法を提供する。【解決手段】基板用シート積層体２２の一方主面側と他方主面側の少なくとも一方に、拘束層１Ａが配設された、平面形状が方形の未焼成複合積層体１０を形成する工程と、未焼成複合積層体を、拘束層１Ａを構成する難焼結性セラミック粉末が焼結しない温度で焼成する工程とを備えたセラミック基板の製造方法において、拘束層１Ａを構成する拘束層用グリーンシート１として、互いに対向する２辺側領域２ａの厚みが他の領域２ｂより厚く形成された拘束層用グリーンシート１を用い、平面視した場合における４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層１Ａを備えた未焼成複合積層体１０を形成する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼成後にセラミック基板となる未焼成セラミック成形体の一方主面側と他方主面側の少なくとも一方に、前記未焼成セラミック成形体の焼結温度では焼結しない難焼結性セラミック粉末を主たる成分とする拘束層が配設された、平面形状が方形の未焼成複合積層体を形成する工程と、
前記未焼成複合積層体を、前記セラミック成形体は焼結するが、前記拘束層を構成する前記難焼結性セラミック粉末が焼結しない温度で焼成する工程と、
前記未焼成複合積層体を焼成する工程が終了した後に、前記拘束層を除去する工程と
を備えたセラミック基板の製造方法であって、
前記拘束層を構成する拘束層用グリーンシートとして、１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の厚みが他の領域より厚く形成された拘束層用グリーンシートを用い、平面視した場合における４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備えた前記未焼成複合積層体を形成すること
を特徴とするセラミック基板の製造方法。
【請求項２】
前記未焼成セラミック成形体が、焼成後にセラミック層となる複数のセラミックグリーンシートを積層してなる積層体であり、前記未焼成複合積層体を焼成する工程を経て製造されるセラミック基板が多層セラミック基板であることを特徴とする請求項１記載のセラミック基板の製造方法。
【請求項３】
前記セラミック成形体の一方主面側と他方主面側の両方に拘束層が配設された未焼成複合積層体を形成することを特徴とする請求項１または２記載のセラミック基板の製造方法。
【請求項４】
前記一方主面側の前記拘束層を構成する拘束層用グリーンシートと、前記他方主面側の前記拘束層を構成する拘束層用グリーンシートとが、前記１辺側領域または互いに対向する前記２辺側領域の位置関係についてみた場合に、面対称となるような態様で配設されていることを特徴とする請求項３記載のセラミック基板の製造方法。
【請求項５】
前記拘束層用グリーンシートとして、シート成形時に全体が一体に形成された拘束層用グリーンシートを用いることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のセラミック基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック基板の製造方法に関し、詳しくは、焼成後にセラミック基板となるセラミック成形体に拘束層を配設して、収縮を抑制しつつ焼成を行う、いわゆる拘束焼成の工程を経て製造されるセラミック基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック電子部品の中でも、高い平面寸法精度が要求される多層セラミック基板などにおいては、焼成工程における平面方向の焼成収縮や、該収縮のばらつきなどが製品の品質に大きく影響する。
【０００３】
そこで、このような焼成工程における収縮を抑制しつつ、セラミック成形体を焼成する方法として、例えば、図１６に示すように、セラミック成形体５１の両主面に、セラミック成形体５１の焼成温度では実質的に焼結しない、アルミナなどの難焼結性材料を主たる成分とする拘束層５２ａ，５２ｂを形成した状態で焼成を行うことにより、実質的に、平面方向の焼成収縮が生じないように焼成を行うことができるようにした焼成方法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、この方法の場合、セラミック成形体の周縁部、特にコーナ部付近で拘束層による拘束力が不十分になる場合があり、焼成後に得られるセラミック基板などのセラミック成形体の周縁部に反りや変形が発生する場合がある。
【０００５】
そこで、図１７に示すように、セラミックグリーンシートを積層してなるセラミック成形体（積層体）６１の両主面に配設される拘束層（拘束層用グリーンシート）６２ａ，６２ｂのうちの少なくとも一方（この例では積層体６１の上面側に配設された拘束層６２ａ）に、周縁部Ａの厚みを中央部Ｂの厚みより厚くした拘束層６２ａを配設して焼成するようにした、セラミック基板の製造方法が提案されている（引用文献２参照）。
この方法の場合、周縁部Ａの厚みを中央部Ｂの厚みより厚くした拘束層を用いていることから積層体の周縁部を中央部よりも大きい拘束力で確実に拘束して、セラミック基板の周縁部への反りや変形の発生を防止することが可能になる。
【０００６】
しかしながら、特許文献２の方法の場合、その段落００５８に記載されているように、通常は、拘束層用グリーンシートに打ち抜き加工を施して中央領域を打ち抜き、枠状の拘束層用グリーンシート（枠状シート）を形成した後、この枠状シートを、別の均一な厚みを有する拘束層用グリーンシートに積層するなどの方法で周縁部Ａの厚みを中央部Ｂの厚みより厚くした拘束層を作製することが必要になるため、工数の増加による生産効率の低下を招くという問題点がある。
また、打ち抜き加工の工程で発生する打ち抜き部分は、そのまま廃棄されることになるため、省資源および環境保護の見地から望ましくないという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−２４３９７８号公報
【特許文献２】特開２００４−１４６７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するものであり、焼成工程におけるセラミック成形体（セラミック基板）の反りや変形を抑制、防止しつつ、拘束層の構成材料の使用量を減らすことが可能で、反りや変形のない特性の良好なセラミック基板を効率よく製造することが可能なセラミック基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、発明者は、例えば、セラミックグリーンシートの積層体を焼成することにより形成されるセラミック基板に反りや変形が発生する原因や機構について、種々の検討を行い、平面形状が方形のセラミック基板の場合、周縁部、特に４隅の拘束力が不足しやすく、反りや変形が発生しやすいという知見を得た。
【００１０】
そして、４隅において拘束力が不足しやすいのは、周縁部の中でも４隅は９０°だけしか辺によって囲まれていないことによるものと考え、この４隅を、周縁部の他の領域よりも強く拘束することにより、反りや変形の発生を抑制できるのではないかと推測し、さらに実験、検討を重ねて本発明を完成した。
【００１１】
すなわち、本発明のセラミック基板の製造方法は、
焼成後に前記セラミック基板となる未焼成セラミック成形体の一方主面側と他方主面側の少なくとも一方に、前記未焼成セラミック成形体の焼結温度では焼結しない難焼結性セラミック粉末を主たる成分とする拘束層が配設された、平面形状が方形の未焼成複合積層体を形成する工程と、
前記未焼成複合積層体を、前記セラミック成形体は焼結するが、前記拘束層を構成する前記難焼結性セラミック粉末が焼結しない温度で焼成する工程と、
前記未焼成複合積層体を焼成する工程が終了した後に、前記拘束層を除去する工程と
を備えたセラミック基板の製造方法であって、
前記拘束層を構成する拘束層用グリーンシートとして、１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の厚みが他の領域より厚く形成された拘束層用グリーンシートを用い、平面視した場合における４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備えた前記未焼成複合積層体を形成すること
を特徴としている。
【００１２】
また、本発明のセラミック基板の製造方法は、前記未焼成セラミック成形体が、焼成後にセラミック層となる複数のセラミックグリーンシートを積層してなる積層体であり、前記未焼成複合積層体を焼成する工程を経て製造されるセラミック基板が多層セラミック基板であることを特徴としている。
【００１３】
また、拘束層は、セラミック成形体の一方主面側と他方主面側の両方に配設されることが望ましい。
【００１４】
本発明の多層セラミック基板の製造方法においては、前記一方主面側の前記拘束層を構成する拘束層用グリーンシートと、前記他方主面側の前記拘束層を構成する拘束層用グリーンシートとが、前記１辺側領域または互いに対向する前記２辺側領域の位置関係についてみた場合に、面対称となるような態様で配設されていることが望ましい。
【００１５】
また、本発明の多層セラミック基板の製造方法においては、前記拘束層用グリーンシートとして、シート成形時に全体が一体に形成された拘束層用グリーンシートを用いることが望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のセラミック基板の製造方法は、拘束層を構成する拘束層用グリーンシートとして、１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の厚みが他の領域より厚く形成された拘束層用グリーンシートを用い、平面視した場合における４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備えた未焼成複合積層体を形成するようにしているので、被焼成物である、焼成後にセラミック基板となるセラミック成形体の４隅における反りや変形の発生を抑制することが可能になる。
【００１７】
すなわち、１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の厚みが他の領域より厚く形成された拘束層用グリーンシートを用い、必要に応じて、この拘束層用グリーンシートを、平面的に回転させずに、あるいは平面的に９０°もしくは１８０°回転させて、セラミック成形体の一方または他方主面に、所定の枚数を配設することにより、平面視した場合における４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備えた未焼成複合積層体を形成することが可能になり、焼成工程でセラミック成形体の４隅を十分に拘束して、セラミック成形体の４隅における反りや変形の発生を抑制することが可能になる。
なお、拘束層用グリーンシートの配設態様については、後述の実施例において詳しく説明する。
【００１８】
また、本発明において、上述のように、拘束層用グリーンシートとして、１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の厚みが他の領域より厚く形成された拘束層用グリーンシートを用いるようにしており、この１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の厚みが他の領域より厚い拘束層用グリーンシートは、例えば、ドクターブレード法などによりシート成形する場合に、ブレードとして、拘束層用グリーンシートの厚みが厚い部分と薄い部分に対応する凹部と凸部を有するブレードを用いることにより、シート成形の際に特別の工程を必要とせずに作製することが可能になる。
【００１９】
したがって、上述の従来技術において、周縁部が厚い拘束層用グリーンシートを作製する場合のように、別途、拘束層用グリーンシートに打ち抜き加工を施して枠状の拘束層用グリーンシートを形成した後、これを別の均一な厚みを有する拘束層用グリーンシートに積層したりすることを不要にして、生産性を向上させたり、廃棄すべき打ち抜き部分が発生することを防止して省資源化を図ったりすることが可能になる。
【００２０】
また、本発明のセラミック基板の製造方法を、多層セラミック基板の製造方法に適用することにより、反りや変形のない信頼性の高い多層セラミック基板を効率よく製造することが可能になる。
【００２１】
また、本発明においては、セラミック成形体の一方主面側にのみ拘束層を配設する（例えば、全体として十分な厚みを有し、かつ、４隅が他の領域よりもさらに厚い拘束層を配設する）ことによっても、本発明の基本的な効果を得ることが可能な場合があるが、拘束層をセラミック成形体の一方主面側と他方主面側の両方に配設することより、４隅部における反りや変形の少ないセラミック基板をより確実に製造することが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。
【００２２】
また、本発明のセラミック基板の製造方法においては、一方主面側の拘束層を構成する拘束層用グリーンシートと、他方主面側の拘束層を構成する拘束層用グリーンシートとを、１辺側領域または互いに対向する２辺側領域の位置関係についてみた場合に、面対称となるように配設することにより、拘束力の加わり方のバランスがよくなり、セラミック成形体の反りや変形をより確実に抑制、防止することができるため望ましい。
【００２３】
また、拘束層用グリーンシートとして、シート成形時に全体が一体に形成された拘束層用グリーンシートを用いることにより、上記従来技術の場合のように、例えば、拘束層用グリーンシートに打ち抜き加工を施して枠状シートを形成した後、この枠状シートを、別の均一な厚みを有する拘束層用グリーンシートに積層したりすることを不要にして生産効率を高く保つことが可能になるとともに、打ち抜き部分を廃棄することによる資源の無駄遣いや、環境への負荷を増大させたりすることを防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例（実施例１）において多層セラミック基板を製造するのに用いた拘束層用グリーンシートを示す図であり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
【図２】本発明の実施例１において比較用の多層セラミック基板製造するのに用いた拘束層用グリーンシートを示す図であり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
【図３】本発明の実施例１において作製した、未焼成複合積層体の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例１において作製した、図３の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図５】本発明の実施例１において作製した、他の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図６】本発明の実施例１において作製した、さらに他の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図７】本発明の実施例１において作製した、さらに他の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図８】本発明の実施例１において作製した、比較用の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図９】本発明の他の実施例（実施例２）において多層セラミック基板を製造するのに用いた拘束層用グリーンシートを示す図であり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
【図１０】本発明の実施例２において作製した、未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図１１】本発明の実施例２において作製した、他の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図１２】本発明の実施例２において作製した、比較用の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図１３】本発明の実施例２において作製した、他の比較用の未焼成複合積層体の構成を模式的に示す分解斜視図である。
【図１４】本発明のセラミック基板の製造方法を実施するにあたって、拘束層用グリーンシートを形成する方法の一例を模式的に示す斜視図である。
【図１５】本発明のセラミック基板の製造方法を実施するにあたって、拘束層用グリーンシートを形成する方法の他の例を模式的に示す正面図である。
【図１６】従来の、難焼結性材料を主たる成分とする拘束層を用いてセラミック成形体を焼成（拘束焼成）する方法を示す図である。
【図１７】従来の、難焼結性材料を主たる成分とする拘束層を用いてセラミック成形体を拘束焼成する他の方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を示して、本発明をさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００２６】
［基板用グリーンシートの作製］
ＳｉＯ2、ＣａＯ、Ａｌ2Ｏ3およびＢ2Ｏ3の各粉末を混合したガラス粉末と、アルミナ粉末とを混合した。
【００２７】
この混合粉末に対し、アクリル系の有機バインダと、溶剤としてトルエンとエタノールを添加し、混合し、ボールミルにて十分に混練することにより、均一に分散させた後、減圧下で脱泡処理を行ってスラリーを得た。
【００２８】
このスラリーを、ドクターブレードを用いたキャスティング法にて、キャリアフィルム上にシート状に成形することにより、厚み０．２０ｍｍのガラスセラミック・グリーンシートを作製した。
【００２９】
そして、このガラスセラミック・グリーンシートを乾燥させた後、平面寸法が１５０ｍｍ□の大きさとなるようにキャリアフィルムごとカットした。
【００３０】
そして、カットされたグリーンシート（ガラスセラミック・グリーンシート）上にＡｇ導体ペーストをスクリーン印刷法にて形成して、導体パターン２１（図３参照）を備えた、多層セラミック基板のセラミック層を構成する基板用グリーンシート２０（図３参照）を作製した。
【００３１】
［拘束層用グリーンシートの作製］
アルミナ粉末に対して、有機バインダとしてポリビニルブチラールと、溶剤としてトルエンとエタノールを添加、混合し、ボールミルにて十分に混練することにより、均一に分散した後、減圧下で脱泡処理を行い、スラリーを得た。
【００３２】
このスラリーを、ドクターブレードを用いたキャスティング法にて、キャリアフィルム上にシート状に成形することにより、成形方向に沿った互いに対向する２辺側領域の厚みが０．２０ｍｍで、該２辺側領域に挟まれた中央領域の厚みが０．１０ｍｍとなるグリーンシートを得た。
【００３３】
そして、このグリーンシートを乾燥させた後、平面寸法が１５０ｍｍ□の大きさとなるようにキャリアフィルムごとカットして、図１に示すように、対向する２辺側領域２ａの厚みが０．２０ｍｍで、該二２辺側領域２ａに挟まれた中央領域２ｂの厚みが０．１０ｍｍとなる拘束層用グリーンシート１を作製した。
なお、この実施例では、平面寸法が１５０ｍｍ□の拘束層用グリーンシート１について、成形方向から見た場合に中央領域２ｂの平面寸法（幅）が９５ｍｍ、対向する２辺側領域２ａの平面寸法（幅）がそれぞれ２７．５ｍｍになるように作製した。
【００３４】
さらに、図２に示すように、平面寸法が、１５０ｍｍ□で、平面内の全領域の厚みが０．１０ｍｍとなる拘束層用グリーンシート５２を作製した。
なお、図１および図２では、キャリアフィルムを除いた状態の拘束層用グリーンシート１，５２を示している。
【００３５】
なお、例えば、ドクターブレード法により、成形方向に沿った互いに対向する２辺側領域の厚みが厚く（厚み：０．２０ｍｍ）、該２辺側領域に挟まれた中央領域の厚みが薄い（厚み：０．１０ｍｍ）拘束層用グリーンシートを作製する場合、例えば、図１４に示すように、ドクターブレードとして、下端側刃部が両側に２つの凹部３１と中央に一つの凸部３２を有するドクターブレード３０を備えた設備を用い、キャリアフィルム３３を矢印Ａの方向（成形方向）に移動させて（ただし、ドクターブレード３０を移動させることも可能である）、成形方向に沿う一対の２辺側領域２ａの厚みが厚く中央領域２ｂの厚みが薄い拘束層用グリーンシート１を成形することにより、複数の工程を経ることなく、効率よく全体が一体に形成された拘束層用グリーンシート１を得ることができる。
【００３６】
また、図１５に示すように、凹部３１と凸部３２とを複数個ずつを備えたドクターブレード３０を用いて、成形方向に沿って、凹部と凸部が形成されたシートを成形し、これをカットラインＬに沿って切断し、さらに、成形方向に直行する所定の位置で切断することより、複数の拘束層用グリーンシートを効率よく作製することができる。
【００３７】
いずれにしても、本発明において、拘束層用グリーンシートを作製する方法に特別の制約はなく、その他の方法を用いて拘束層用グリーンシートを成形することも可能であり、例えば、ブレードのあて方を調節する方法、最初に平坦なシートを作製し、その後、両辺側に２度目のシート成形を行って、両辺側の厚みが厚い拘束層用グリーンシートを形成する方法、短冊状のシートを平坦なシートの両辺側に積層する方法、スクリーン印刷により平坦なシートの両辺側にのみセラミックペーストを印刷する方法などを適用することも可能である。
【００３８】
［多層セラミック基板の作製］
上述のようにして作製した基板用グリーンシート２０と拘束層用グリーンシート１を用いて、以下の手順で、図３および図４に示すような未焼成複合積層体１０を作製した。
【００３９】
未焼成複合積層体１０を作製するにあたっては、まず、上述のようにして形成した導体パターンを備えた６層の基板用グリーンシート（ガラスセラミック・グリーンシート）２０を所定の順序で積層し、積層体（基板用シート積層体）２２を作製した。なお、各基板用グリーンシート２０は、積層する際にキャリアフィルムから剥がして順次積層した。
【００４０】
それから、基板用シート積層体２２の両主面側に、キャリアフィルムから剥がした拘束層用グリーンシート１（図１）を、積層し、積層方向にプレスすることにより、平面寸法が１５０ｍｍ□の大きさを有する未焼成でカット前の積層体を作製した。
【００４１】
次に、上記の未焼成でカット前の積層体を、その中心から５２．５ｍｍの位置で各端縁に対して平行に切断し、平面形状が正方形で、１辺の長さが１０５ｍｍ（すなわち１０５ｍｍ□）の未焼成複合積層体１０（図３および図４）を作製した。これにより、拘束層用グリーンシート１は、中央領域２ｂの平面寸法（幅）が９５ｍｍ、対向する２辺側領域２ａの平面寸法（幅）がそれぞれ５ｍｍとなる。
【００４２】
この未焼成複合積層体１０は、図３および図４に示すように、導体パターン２１を備えた複数のセラミックグリーンシート（基板用グリーンシート）２０を積層してなる積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方主面側に、拘束層用グリーンシート１が配設された構造を有している。また、この未焼成複合積層体１０においては、図３および図４に示すように、一方主面側の拘束層１Ａを構成する拘束層用グリーンシート１と、他方主面側の拘束層１Ａを構成する拘束層用グリーンシート１とは、厚みが厚い２辺側領域２ａの位置関係についてみた場合に、面対称となるような態様で配設されている。
【００４３】
それから、この未焼成複合積層体１０を、基板用シート積層体２２は焼結するが、拘束層用グリーンシート１は焼結しない温度、この実施例では、８００〜１０５０℃で焼成した。
【００４４】
そして、焼結後の複合積層体から、その両主面に残っている拘束層を除去することにより、試料番号１の多層セラミック基板を得た。
【００４５】
さらに、図１に示した拘束層用グリーンシート１を用いて、以下の(１)，(２)，(３)の各未焼成複合積層体を作製した。
(１)図５に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側の拘束層１Ａを構成する拘束層用グリーンシート１と、他方主面側の拘束層１Ａを構成する拘束層用グリーンシート１とが、厚みが厚い２辺側領域２ａの位置関係についてみた場合に、９０°回転させた態様で配設された未焼成複合積層体１０であって、試料番号２の多層セラミック基板となるもの。
【００４６】
(２)図６に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方主面側の両側に、２層ずつ拘束層用グリーンシート１を面対称となるように配設した未焼成複合積層体１０であって、試料番号３の多層セラミック基板となるもの。
【００４７】
(３)図７に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方主面側の両側に、２層ずつの拘束層用グリーンシート１が配設され、一方主面側（上面側）および他方主面側（下面側）の２層の拘束層用グリーンシート１はそれぞれ９０°回転した態様で配設され、上面側と下面側の拘束層用グリーンシート１を２層一組と考えると、上面側と下面側とで、拘束層用グリーンシート１が面対称となるように配設された未焼成複合積層体１０であって、試料番号４の多層セラミック基板となるもの。
【００４８】
また、比較のため、図２に示す、平面寸法が、１５０ｍｍ□で、平面内の全領域の厚みが０．１０ｍｍとなる拘束層用グリーンシート５２（図２参照）を用いて、上記実施例の場合と同様の方法で、図８に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方主面側に、一層ずつ拘束層用グリーンシート５２が配設された構造を有する未焼成複合積層体１０であって、積層後かつ焼成前に１０５ｍｍ□に切断した、試料番号５の比較例の多層セラミック基板となるものを作製した。
【００４９】
そして、図５〜８に示す、これらの未焼成複合積層体１０についても、同様に、基板用シート積層体２２は焼結するが、拘束層用グリーンシート１または５２は焼結しない温度、すなわち８００〜１０５０℃で焼成した。
【００５０】
そして、焼結後の複合積層体から、その両主面に残っている拘束層を除去することにより、試料番号２〜５の多層セラミック基板を得た。
【００５１】
[特性の評価]
作製した多層セラミック基板（試料番号１〜５の試料）の反り量を以下に示す方法により調べ、評価した。
まず、多層セラミック基板の中心部の厚みをノギスなどにより測定した。
それから、２００ｍｍ□サイズのガラス板と２００ｍｍ×４０ｍｍサイズのガラス板を準備し、２枚のガラス板の間に既知の厚みの金属プレートを挟んで、ワニ口クリップで固定し隙間ゲージを作製した。そして、その隙間ゲージに各試料（多層セラミック基板）を通し、完全に通過するか否かを調べて反りの大きさを評価した。例えば、０．５００ｍｍ厚の多層基板が０．７００ｍｍの隙間を通過し、０．６９０ｍｍの隙間で通らなくなった場合、反り量としては０．１９０ｍｍ〜０．２００ｍｍであると考えられるが、その場合は大きい側の０．２００ｍｍを反り量とした。
【００５２】
表１に、各未焼成複合積層体を焼成することにより得た試料番号１〜５の試料の多層セラミック基板の反り量の測定結果および評価結果を示す。
【００５３】
【表１】
2010229000.tif 000003
【００５４】
表１に示すように、試料番号５の比較例の試料の場合、反り量の値が３．００ｍｍと大きかったのに対して、試料番号１〜４の本発明の実施例にかかる試料では、いずれも、０．５ｍｍ未満であることが確認された。
【００５５】
これは、試料番号１〜４の場合、基板用シート積層体の両主面に拘束層（拘束層用グリーンシート）が配設された未焼成複合積層体の段階で、「いずれか一方の拘束層についてみた場合に、少なくとも４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備える」という本発明の要件を満たしており、基板用シート積層体の４隅が確実に拘束されるため、基板用シート積層体（焼成後の多層セラミック基板）の反りや変形の発生が抑制されたものと考えられる。
【００５６】
また、実施例の試料である試料番号１〜４のなかでも、基板用シート積層体の両主面側にそれぞれ２層の拘束層用グリーンシートが配設された試料番号３および４の場合、両主面側にそれぞれ１層の拘束層用グリーンシートが配設された試料番号１および２の試料よりも反り量が小さくなることが確認された。
【実施例２】
【００５７】
この実施例２では、図９に示すように、１辺側領域１２ａのみが他の領域１２ｂより厚く、該１辺側領域１２ａの厚みが０．２０ｍｍで、他の領域１２ｂの厚みが０．１０ｍｍの拘束層用グリーンシート１１を作製した。
なお、この実施例２の、１辺側領域１２ａのみが他の領域１２ｂより厚い拘束層用グリーンシート１１も、実施例１で示した方法に準じる方法により効率よく形成することができる。
なお、成形方向から見た場合の平面寸法は、１辺側領域１２ａが２７．５ｍｍ、他の領域１２ｂが１２２．５ｍｍになるよう作製した。これにより、積層圧着後の積層体をその中心から５２．５ｍｍの位置で各端縁に対して切断した場合に、１辺側領域１２ａの幅は５ｍｍ、他の領域１２ｂの幅は１００ｍｍとなる。
【００５８】
そして、１辺側領域１２ａのみが他の領域１２ｂより厚い、この拘束層用グリーンシート１１を用いて、以下に説明する未焼成複合積層体１０を作製した。
【００５９】
まず、図１０に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方側主面の両方に、それぞれ２層ずつ拘束層用グリーンシート１１を配設し、一方主面側の２層の拘束層用グリーンシート１１が互いに１８０°回転した状態で配設され、また、他方主面側の２層の拘束層用グリーンシート１１も互いに１８０°回転した状態で配設され、かつ、一方主面側と他方主面側の拘束層用グリーンシート１１を２層一組と考えると、一方主面側と他方主面側とで、拘束層用グリーンシート１１が面対称となるように配設された、４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層１Ａを備えた未焼成複合積層体（本発明の要件を備え未焼成複合積層体）１０。
【００６０】
図１１に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方側主面の両主面側に、それぞれ４層ずつ拘束層用グリーンシート１１を配設し、一方主面側の４層の拘束層用グリーンシート１１が順に９０°ずつ回転した状態で配設され、また、他方主面側の４層の拘束層用グリーンシート１１も順に９０°ずつ回転した状態で配設され、かつ、一方主面側と他方主面側の拘束層用グリーンシート１１を４層一組と考えると、一方主面側と他方主面側とで、拘束層用グリーンシート１１が面対称となるように配設された、４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層１Ａを備えた未焼成複合積層体（本発明の要件を備えた未焼成複合積層体）１０。
【００６１】
また、比較のため、上記と同様にして、以下の(ａ)，(ｂ)の未焼成複合積層体を作製した
(ａ)図１２に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方側主面の両主面側に、１辺側領域１２ａのみが他の領域１２ｂより厚い拘束層用グリーンシート１１が１層ずつ配設され、一方主面側と他方主面側の２層の拘束層用グリーンシート１１とが互いに１８０°回転した状態で配設された、「一方主面側と他方主面側のいずれか一方の拘束層についてみた場合に、少なくとも４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層１Ａを備える」という本発明の要件を満たしていない比較用の未焼成複合積層体１０。
【００６２】
(ｂ)図１３に示すように、積層体（基板用シート積層体）２２の一方主面側と他方側主面の両主面側に、それぞれ２層ずつ拘束層用グリーンシート１１が配設され、一方主面側の２層の拘束層用グリーンシート１１が互いに９０°回転した状態で配設され、また、他方主面側の２層の拘束層用グリーンシート１１も互いに９０°回転した状態で配設された未焼成複合積層体１０であって、「一方主面側と他方主面側のいずれか一方の拘束層についてみた場合に、少なくとも４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備える」という本発明の要件を満たしていない比較用の未焼成複合積層体１０。
【００６３】
そして、上記実施例の場合と同様に、図１０〜１３に示す、各未焼成複合積層体１０を、基板用シート積層体２２は焼結するが、拘束層用グリーンシート１１は焼結しない８００〜１０５０℃の温度で焼成した。
そして、焼結後の複合積層体から、その両主面に残っている拘束層を除去することにより、各多層セラミック基板を得た。
【００６４】
上記実施例１の場合と同様の方法で、反り量を測定したところ、図１０および図１１の未焼成複合積層体１０を焼成する工程を経て製造される、本発明の要件を備えた方法による多層セラミック基板の場合、上記実施例１の試料番号１〜４の場合に準じる、反り量の小さい多層セラミック基板を得ることができた。これは、図１０および図１１の未焼成複合積層体１０の場合、「一方主面側と他方主面側のいずれか一方の拘束層についてみた場合に、少なくとも４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備える」という本発明の要件を満たしており、基板用シート積層体の４隅を十分に拘束できたことによるものである。
【００６５】
一方、図１２および図１３の未焼成複合積層体１０を焼成する工程を経て製造した、比較用の試料である多層セラミック基板の場合、上記の図１０および図１１の未焼成複合積層体１０を焼成する工程を経て製造された多層セラミック基板のように反り量の小さい多層セラミック基板を得ることはできなかった。これは、図１２および図１３の未焼成複合積層体１０が「一方主面側と他方主面側のいずれか一方の拘束層についてみた場合に、少なくとも４隅の厚みが中央部分よりも厚い拘束層を備える」という本発明の要件を満たしておらず、基板用シート積層体の４隅を十分に拘束できなかったことによるものである。
【００６６】
なお、上記実施例では、拘束層を積層体（基板用シート積層体）の両主面側に配設するようにした場合を例にとって説明したが、例えば厚みの厚い拘束層を積層体（基板用シート積層体）の一方主面側にのみ配設することによっても反りや変形を抑制することができる場合がある。
【００６７】
また、拘束層用グリーンシートの構成材料としては、基板用シート積層体の焼結温度で焼結せず、焼成工程で必要な拘束力を発揮できるものであれば特別の制約はなく、例えば、ガラス成分を含むようなものも用いることが可能である。ただし、ガラスを含有させると焼成工程の後で除去する際の除去性が低下する傾向があるため、ガラスを含まない方が好ましい。
【００６８】
本発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、セラミック基板を構成する材料の種類、セラミック層の積層数、内部電極パターンなどの導体の配設態様その他に関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることができる。
【符号の説明】
【００６９】
１Ａ              拘束層
１                拘束層を構成する拘束層用グリーンシート
２ａ              ２辺側領域
２ｂ              中央領域
１０              未焼成複合積層体
１１              拘束層用グリーンシート
１２ａ            １辺側領域
２０              基板用グリーンシート
２１              導体パターン
２２              積層体（基板用シート積層体）
３０              ドクターブレード
３１              ドクターブレードの凹部
３２              ドクターブレードの凸部
３３              キャリアフィルム
Ａ                成形方向を示す矢印
Ｌ                カットライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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