(57)【要約】【課題】  真空容器の軽量化、材料コストの低減を図り、比較的容易に製造し、運搬時の取り扱いを容易にする。【解決手段】  真空容器は、金属板が折り曲げられて形成され互いに結合されて内部に閉空間を構成する２枚を一組とする曲げ材と、一組の曲げ材の結合部を封止する閉曲線からなる１本のシール部材と、曲げ材の内面に当接されて閉空間に配置される構造体と、一組の曲げ材の結合部を結合する締結部材とを備える。【選択図】  図２
2010043352.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器であって、
金属板が折り曲げられて形成され、互いに結合されて内部に閉空間を構成する２枚を一組とする板材と、
前記一組の板材の結合部を封止する、閉曲線からなる１本のシール部材と、
前記一組の板材が形成する閉空間の内面に当接されて前記閉空間に配置される構造体と、
前記一組の板材の前記結合部を結合する締結部材と、
を備えることを特徴とする真空容器。
【請求項２】
前記閉空間は多面体の形状をしており、前記板材は前記多面体の辺を形成する折り目に沿って曲げ加工がなされていることを特徴とする請求項１に記載の真空容器。
【請求項３】
前記シール部材は、前記一組の板材のそれぞれの面と前記構造体とで挟まれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空容器。
【請求項４】
前記一組の板材が、それぞれの外周部でボルトにより固定されていることを特徴とする請求項1乃至３の何れか１項に記載の真空容器。
【請求項５】
前記一組の板材の外周部に、前記シール部材を押圧するシール部押圧部材が、前記結合部に沿って設けられていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の真空容器。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか1項に記載の真空容器を有し、
前記真空容器内において減圧下で被処理物に対する処理が実行されることを特徴とする真空処理装置。
【請求項７】
前記一組の板材の少なくとも何れか一方に開口部が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の真空処理装置。
【請求項８】
前記開口部を取り囲むように構造物が固定されていることを特徴とする請求項７に記載の真空処理装置。
【請求項９】
真空容器の製造方法であって、
金属板を曲げ加工して、互いに結合されて内部に閉空間を構成する２枚を一組とする板材を形成する第１工程と、
前記板材が結合して形成される閉空間の内面に当接される構造体を配置すると共に、前記一組の板材の結合部を封止する、閉曲線に形成された１本のシール部材を、前記一組の板材の内面と前記構造体の外面との間に、前記結合部にわたって配置する第２工程と、
前記一組の板材の前記結合部を締結部材によって結合する第３工程と、
を有することを特徴とする真空容器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶ディスプレイ用基板や半導体ウェハ等を処理する真空処理装置を構成するプロセスチャンバーや搬送チャンバー等の真空容器、真空容器を備える真空処理装置、及び真空容器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイ用基板や半導体ウェハ等に薄膜を形成したり、ドライエッチングや加熱等をしたりする処理は、主に真空中で行われている。また、これらを真空中で処理するための位置合わせや搬送等も同様に真空中で連続的に行われることが多い。これらの処理を行うために、複数の真空容器をゲートバルブで接続した真空処理装置が使用されている。
【０００３】
ところで、液晶ディスプレイ用基板は、近年益々大型化する傾向にあり、外周部の一辺の長さが３ｍを越える矩形状の基板も現れている。このような大型の基板を真空中で処理するためには、大型の真空容器が必要になる。小型の真空容器の場合には、１つの金属素材の内部を削り出して気密性が優れた真空容器を製造することも可能であった。しかしながら、大型の真空容器の場合には、巨大な金属素材の入手が難しいため、もはや小型の真空容器を製造する方法では大型の真空容器を製造することが困難になっている。
【０００４】
そこで、従来の大型の真空容器は、図１４に示すように、複数の金属の板材１０１，１０２を組み合わせて、それぞれを溶接加工によって溶接部１０５で接合することで、枠状の構成部材を形成して機械的強度が確保されていた（特許文献１参照）。また、この大型の真空容器は、枠状の構成部材に一組の金属の板材１０３を組み付けることで気密性が保たれるように形成されていた。金属の板材は、例えばアルミニウムやステンレス等が使用され、厚さが２０ｍｍ程度から６０ｍｍ程度になる場合もある。これは、真空が受ける大気圧を板材が支え、板材に大きな変形が生じないようにするためである。
【０００５】
特許文献１のような方法で真空容器を製造した場合には、真空容器の重量が重くなるという問題がある。また、この方法では、厚く、大きな金属の板材を使用するので、材料としての金属素材のコストが高く、このような板材の入手も困難である。
【０００６】
また、真空容器の製造時の溶接加工に起因する問題としては、熱ひずみが生じることがあり、このため、溶接加工後に二次切削加工が必要である。そのため、加工工程が増加し、比較的大型の加工機も必要になり、製造コストが高くなり、製造に必要な時間も長くなる。また、溶接加工を用いる製造工程では、加工不良等が発生した場合には、修復することが難しいという問題もある。また、溶接加工された大型の真空容器は、運搬する際に運搬用車両の許容重量や幅、高さの制限や法律上の制約等を受けるので、運搬が困難な場合がある。
【０００７】
一方、溶接加工を用いない真空容器の製造方法としては、特許文献２，３等が提案されている。これらの製造方法では、比較的厚い金属板を組み立てて真空容器の形状を形成し、金属板同士が接合される接合部に沿ってシール部材を配置する方法が採られている。
【０００８】
また、比較的厚い金属板を使用しない方法としては、特許文献４，５，６，７により提案されている。特許文献４は、比較的厚い金属板を用いる代わりにハニカム構造を有する板材を使用する方法を提案している。また、特許文献５，６，７には、比較的薄い金属板を使用した真空容器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平８−６４５４２号公報
【特許文献２】特開平９−２０９１５０号公報
【特許文献３】特開２００７−２９９７８５号公報
【特許文献４】特開平５−１０３９７２号公報
【特許文献５】特開平５−３２６１９１号公報
【特許文献６】特開平６−２９１００号公報
【特許文献７】特開２００８−２１４８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、溶接加工を使用しないで真空容器を製造する方法である特許文献２，３では、シール部材の構造が複雑になる問題があった。また、特許文献２，３では、比較的厚い金属板を組み合わせて使用するので、真空容器の重量がかさみ、金属の板材の材料コストも高く、材料を入手することが困難であった。
【００１１】
また、特許文献４，５，６，７では、比較的薄い金属の板材を接合して閉空間を形成するために、これら金属の板材の溶接加工が必要であった。溶接加工することによって、溶接加工に起因する熱ひずみが生じる問題があった。そのため、二次加工が必要となり、加工工程が増加し、加工用の機械も大型なものが必要であり、製造コストが高くなった。また、溶接加工を用いる製造方法では、加工不良等が起きた場合に修復することが難しいという問題もあった。また、溶接加工された大型の真空容器を運搬する場合には、運搬用車両の許容重量や幅、高さの制限や法律上の制約等があるため、運搬することが困難な場合があった。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
そこで、本発明は、上述の課題を鑑みてなされ、真空容器の軽量化、材料コストの低減を図り、比較的容易に製造し、運搬時の取り扱いを容易にすることができる真空容器、真空処理装置、真空容器の製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
本発明に係る真空容器は、金属板が折り曲げられて形成され、互いに結合されて内部に閉空間を構成する２枚を一組とする板材と、
前記一組の板材の結合部を封止する、閉曲線からなる１本のシール部材と、
前記一組の板材が形成する閉空間の内面に当接されて前記閉空間に配置される構造体と、
前記一組の板材の前記結合部を結合する締結部材と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、比較的薄い金属板からなる２枚で一組の板材によって真空容器を構成することによって、真空容器の軽量化が図られ、大型の金属素材を使用せずに真空容器を製造することが可能になるので、材料コストを低減することができる。
【００１５】
また、本発明によれば、一組の板材の結合部を閉曲線に形成された１本のシール部材で封止して締結部材で結合することによって、真空容器の製造工程で溶接加工を用いる必要がない。このため、真空容器を容易に製造することができると共に、組み立てる前の状態で運搬することが可能になり、運搬時の取り扱いを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施形態の真空容器を示す斜視図である。
【図２】前記真空容器を示す分解斜視図である。
【図３】一組の曲げ材を示す斜視図である。
【図４】構造体を示す斜視図である。
【図５】構造体の他の構成例を示す斜視図である。
【図６】シール部材を示す斜視図である。
【図７】シール部材による封止状態を説明するための断面図である。
【図８】開口部フランジを説明するため図である。
【図９】第２の実施形態の真空容器を示す斜視図である。
【図１０】第２の実施形態の真空容器のシール部を示す断面図である。
【図１１】第３の実施形態の真空容器の他の構成例を示す斜視図である。
【図１２】第４の実施形態の真空容器の他の構成例を示す斜視図である。
【図１３】真空処理装置を示す模式図である。
【図１４】従来の真空容器を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
（第１実施形態）
図１に、第１実施形態の真空容器を示す。本実施形態では、六面体の真空容器の一例を示す。図２に、真空容器の分解斜視図を示す。
【００１９】
図１及び図２に示すように、真空容器１は、金属板２，３が曲げ加工によって所定の形状に折り曲げて形成されて、互いに結合されて内部に閉空間を構成する板材としての２枚で一組の曲げ材２０，３０を備えている。また、真空容器１は、一組の曲げ材２０と曲げ材３０との結合部を封止するシール部材４と、曲げ材２０，３０の内面に当接されて閉空間に配置される立体格子状の構造体５と、一組の曲げ材２０，３０の結合部を結合する締結部材６と、を備えて構成されている。ここで、結合部とは、一組の曲げ材２０，３０同士が結合して閉空間を形成するにあたり、曲げ材２０，３０間の近接する部分とする。
【００２０】
なお、板材としては、少なくとも材質として機械的強度と加工性とを合わせ持ち、一組の曲げ材を組み合わせることで、１つの閉空間を構成することが可能な材料によって形成されていればよい。
【００２１】
曲げ材２０及び曲げ材３０は、それぞれ１枚の例えば、比較的薄肉であるが所望の機械的強度を備えた金属板２，３が曲げ加工されることによって形成されている。曲げ材２０と曲げ材３０との結合部分は、閉曲線に形成された１本のシール部材４で気密に封止され、２つの曲げ材２０及び曲げ材３０とで囲まれた空間が真空容器1となる。真空容器１における気密性は、２つの曲げ材２０及び曲げ材３０と、閉曲線に形成された１本のシール部材４とによって保たれる。
【００２２】
本実施形態の構成の場合、真空容器１は、六面体をなし、所望の剛性を有する構造体５を備えている。本実施形態における構造体５は、六面体の各面の辺に対応する部分が、１２本の支柱５０で組み立てられており、立体格子状に形成されている。構造体５は、一組の曲げ材２０と曲げ材３０とで囲まれた真空中に配置されており、真空容器１にかかる大気圧をさらに補強するために支え、真空容器１の変形を抑制する。
【００２３】
以下、図３を参照して真空容器１を構成する曲げ材について、図４及び図５を参照して構造体５についてそれぞれ説明する。また、図６を参照してシール部材４について、図７を参照して一組の金属板２，３間の結合構造についてそれぞれ説明する。最後に、図８を参照して真空容器１の開口部に取り付けられる部材について説明する。
【００２４】
まず、図３を参照して、真空容器１を構成する曲げ材について説明する。
【００２５】
図３に示すように、例えば、２枚の平板状の長方形の金属板２，３を、長手方向に対してコ字状（Ｕ字状）になるようにそれぞれ曲げ加工することで、一組の曲げ材２０及び曲げ材３０がそれぞれ形成される。
【００２６】
曲げ材２０及び曲げ材３０は、コ字状に折り曲げられた内側が、真空容器１の真空側となり、真空容器１の内面を構成する。曲げ材２０には、２箇所に折り曲げ部２１が形成されている。曲げ材３０にも同様に、２箇所に折り曲げ部３１が形成されている。
【００２７】
これら２箇所の折り曲げ部２１，３１は、短手方向に平行な直線に沿って曲げられた直線状の折り目である。そして、折り曲げ部２１，３１は、真空容器１の閉空間を構成する多面体（立体）の一辺を形成している。
【００２８】
実施形態では、折り曲げ部２１，３１が直角に曲げ加工されている。また、折り曲げ部２１，３１は、曲げ加工の曲率半径が１００ｍｍから３００ｍｍ程度をなし、断面円弧状をなしている。なお、この曲率半径が小さい場合には、金属板２，３を曲げ加工するときに、金属板２，３の表面に凹凸が生じてしまうので好ましくない。
【００２９】
後述するが、一組の曲げ材２０と曲げ材３０とを組み合わせて結合されてなる真空容器1の気密性は、真空容器１を構成する曲げ材２０，３０の表面状態と、Ｏリング等のシール部材４（図２参照）とによって保たれる。
【００３０】
そのため、曲げ材２０，３０と、シール部材４とが接触する箇所における曲げ材２０，３０の表面は、滑らかに形成される必要がある。このため、折り曲げ部２１、３１の曲げ加工の曲率半径は大きくした方が、曲げ材２０，３０の表面に凹凸が生じるのが抑えられるので、シール部材４との接触性がよい。
【００３１】
曲げ材２０には、曲げ材３０に組み合わされる、長手方向の両端の角に位置にする角部２２も同様に、曲率半径が１００ｍｍから３００ｍｍ程度をなし、円弧状に切り取り加工されている。これは曲げ材２０を曲げ材３０と結合したときに、曲げ材３０の折り曲げ部３１の曲げ加工の曲率半径に合わせるためである。
【００３２】
金属板を曲げ加工して形成された曲げ材３０の外周部のうちで、曲げ加工が施されていない直線部分には、真空容器１の外面に対して垂直になるように真空容器１の外側に向かって曲げ加工された結合用折り曲げ部７がそれぞれ形成されている。また、結合用折り曲げ部７は、真空容器１の外側に突出する方向の幅が１０ｍｍから５０ｍｍ程度に形成されており、例えば、締結部材として締結ボルトやねじ等が通される穴としての複数の結合穴８が、直線部分に沿ってほぼ等間隔で設けられている。なお、結合用折り曲げ部７は、曲げ材２０と曲げ材３０とを締結ボルトで連結するためだけに用いられるので、曲げ加工の曲率半径が数ｍｍ程度に比較的小さく設定されてよい。
【００３３】
真空容器１には、通常、内部に対する基板の搬送用や、各種機器を取り付けるための開口部９が設けられている。本実施形態では、曲げ材３０における対向する２つの平面部に矩形状の開口部９がそれぞれ形成された構成を採っている。この開口部９には、他の真空容器や機器、又は蓋が取り付けられ、最終的には真空容器1の内部の気密性が保たれる。開口部９の詳細については後述する。
【００３４】
一方、曲げ材２０についても、曲げ材３０と同様に平板状の長方形の薄肉金属板をコ字状に曲げ加工されて形成されたものである。曲げ材２０には、曲げ材３０が有する結合用折り曲げ部７が設けられていない直線部分が曲げ材３０の結合用折り曲げ部７と良好に重なり合うように、曲げ材２０の各辺の長さが曲げ材３０の各辺の長さよりもやや大きく形成されている。曲げ材２０，３０は、閉空間を構成する多面体の辺を形成する折り目に沿って曲げ加工がなされて折り曲げ部２１，３１が形成されている。
【００３５】
曲げ材２０の２箇所に形成された直線状の折り目である折り曲げ部２１の曲率半径（内面側の曲率半径）は、曲げ材３０の角部３２の曲率半径と等しくされている。一方、角部２２の曲率半径は、曲げ材３０の折り曲げ部３１の曲率半径よりもやや大きく形成して、曲げ材３０の結合用折り曲げ部７が曲げ材２０の直線部分と良好に重なり合うように形成されている。
【００３６】
曲げ材２０，３０の材質としては、例えばアルミニウムやステンレス等の金属材料が用いられる。曲げ材２０，３０の厚さとしては０．１ｍｍから３ｍｍ程度が好ましい。この程度の厚さに曲げ材が形成された場合、容易に曲げ加工を行うことができ、また曲げ加工部分の表面を滑らかに形成することができる。曲げ材が厚すぎる場合には、曲げ加工によって曲げ加工部分の表面に凹凸が生じてしまい、真空容器１内を封止することが困難になる。一方、曲げ材が薄すぎる場合には、真空容器１内を真空排気したときに曲げ材に変形が生じたり、Ｏリング等のシール部材を確実に押し潰すことができなくなったりして、真空容器内を封止することが困難になる。
【００３７】
次に、図４に構造体５の構成例を示す。
【００３８】
本実施形態において、構造体５は、六面体の各面の辺に相当する位置にある１２本の支柱５０から構成されている。支柱５０は、例えばステンレスやアルミニウム等の剛性を有する金属材料によって形成されている。各支柱５０は、それぞれが図示しない締結ボルトで固定されており、真空容器が受ける大気圧に抗して支えられる機械的強度をもって組み立てられている。各支柱５０は、すべて真空容器の内部に配置されるため、気密性を保つための工夫を施す必要はない。したがって、構造体５は、各支柱５０を溶接加工したり、各支柱５０にシール面を形成したりする必要もない。
【００３９】
構造体５の外形形状は、２つの曲げ材２０，３０を組み合わせることによって形成される、真空容器１の内面形状に対応して形成されている。したがって、構造体５をなす六面体が有する１２本の辺のうちで、４つの辺には真空容器１の内面形状に一致する曲面が形成されている。つまり、構造体５には、曲げ材２０，３０の各折り曲げ部２１，３１に対応する各角部に、これら折り曲げ部２１，３１に対応する曲面がそれぞれ形成によって変形が生じる可能性がある。真空容器１に生じた変形が大きくなると、閉空間の気密性を保てなくなったり、破損したりするおそれがある。
【００４０】
そのため、真空容器１の内壁を構成する曲げ材２０，３０の変形を更に小さく抑えるために、構造体５を構成する支柱５０が、図５-５０１ａに示すように柵状に配置されたり、図５-５０１ｂに示すように格子状に配置されたりする構成が好ましい。また、図５-５０１ｃに示すように、支柱５０で囲まれた少なくとも１つの面を平板材５１で覆うように構成することで、真空容器１の内壁の変形が極めて小さく抑えられる。
【００４１】
ただし、一方で、支柱５０の個数を増やしたり、支柱５０で囲まれた面を平板材５１で覆ったりすることで、真空容器１の重量が増え、製造コストもかさんでしまう。そのため、真空容器１の変形が許容できる範囲で、構造体５を構成する支柱５０の個数をなるべく少なく設定することが望ましい。
【００４２】
図６に、シール部材４の一例としてＯリングの斜視図を示す。シール部材４は、ゴム材によって形成されたＯリングであり、断面円形状の1つの環状に形成されたものが用いられる。図６に示すように、シール部材４は、２つの曲げ材２０，３０の結合部がなす形状と同じ形状に形成されており、２つの曲げ材２０，３０の結合部にわたって封止する。
【００４３】
図７-７０１ａ，７０１ｂに、本実施形態の一組の曲げ材２０，３０の結合状態を説明するための断面図を示す。
【００４４】
図７-７０１ａは、真空容器１の内部を真空に排気する前の状態を示す断面図である。図７-７０１ａに示すように、シール部材４は、支柱５０の側面と、曲げ材２０及び曲げ材３０との３つの面で挟まれている。支柱５０は、シール部材４と当接する面が、真空容器１の内壁、つまり曲げ材２０，３０の内面に対して４５°の角度をなすように加工されており、本実施形態では、シール部材４を囲む３つの面がなす断面形状が直角二等辺三角形となるように構成されている。
【００４５】
曲げ材２０と曲げ材３０は、例えば、締結ボルト等の締結部材６によって比較的小さな締結力で固定されている。本実施形態の構成によれば、締結部材６はシール部材４を僅かに変形させる程度の力で締め付けておくだけでよい。締結部材６の役割は、不図示の真空ポンプで真空容器１を排気する際に、シール部４ａに比較的大きな隙間を生じさせずに、荒引きを可能にすることである。締結部材６を強く締め付けた場合には、薄肉である曲げ材２０，３０はシール部材４を完全に潰すほど剛性が十分にないためシール部４ａ付近で変形し、シール部４ａに隙間ができてしまい好ましくない。排気前はシール部４ａに比較的大きな隙間が生じていなければ、真空ポンプによる荒引きは可能であるため比較的小さな締結力で固定するだけでよい。
【００４６】
ここで、シール部４ａとは、シール部材４と曲げ材２０とが接する部分、及びシール部材４と曲げ材３０とが接する部分である。シール部材４と支柱５０との間の位置は、シール部４ａではなく、支柱５０はシール部材４を支持する機能のみを有している。
【００４７】
図７-７０１ａに示したように、真空容器１を排気する前の時点では、２つの曲げ材２０，３０によってシール部材４が押し潰されていないので、２つの曲げ材２０，３０は支柱５０と当接されていない。
【００４８】
続いて、図７-７０１ｂは、真空容器１を真空に排気した後の状態を示す。２つの曲げ材２０と曲げ材３０とによって構成される真空容器１の内壁は、大気圧によって真空側に押圧力を受け、支柱５０の側面に当接するまで移動されている。それによって、シール部材４を適度に押し潰して、シール性能が良好になる。
【００４９】
このとき、シール部材４によって形成されるシール部４ａも、シール部材４と曲げ材２０の間、及びシール部材４と曲げ材３０の間にそれぞれ形成される。このシール部４ａによって真空容器１の結合部の全域にわたって封止することによって、真空容器１の内部は気密性が良好に保たれる。この際、曲げ材２０，３０によりシール部材４を押しつぶすために、曲げ材２０，３０にかかる大気圧の力はシール部４ａ付近まで及んでおり、薄肉で剛性が弱い曲げ材２０，３０においても変形せずにシール部材４を押しつぶすことができる。なお、支柱５０は、この場合も真空中でシール部材４を支持するための役割をする。
【００５０】
上述したように、実施形態の真空容器の製造方法は、構造体５を配置すると共に、シール部材４を曲げ材２０，３０の内面と構造体５の外面との間に、結合部にわたって配置する工程と、曲げ材２０，３０を締結部材６によって結合する工程と、を有している。
【００５１】
次に、図８を参照して、本実施形態の真空容器１の開口部９の構造について説明する。
【００５２】
真空容器１の開口部９には、比較的重い重量物が取り付けられる場合が多い。また、開口部９に取り付けられる部品は、通常、真空フランジと呼ばれる構造であり、その真空フランジを真空容器１に取り付けるためにはシール面とボルト用の穴が真空容器１側に設けられる必要がある。
【００５３】
本実施形態では、真空容器１を構成する曲げ材２０，３０の機械的強度を考慮すると、曲げ材２０，３０に重量が大きなものを直接取り付けることができない。また、曲げ材２０，３０が比較的薄いので、貫通せずにボルト用の穴を直接形成することが難しい。
【００５４】
そこで、図８-８０１ａに示すように、開口部板体９０の開口部９には、真空側、つまり真空容器１の内面側に開口部支柱９１を配置すると共に、大気側、つまり真空容器１の外面側に、一体に形成された開口部フランジ９２を配置する必要がある。
【００５５】
開口部支柱９１は、開口部板体９０の開口部９よりもやや小さい開口部９１ａが設けられており、剛性を有する構造物として形成されている。開口部支柱９１は、開口部板体９０に真空側から当接する位置に配置されている。開口部支柱９１は、開口部フランジ９２や取り付けられる真空フランジの重量を支えたり、他の力を受けたりするので、変形が生じないような十分な剛性を有するように形成されている。ただし、開口部支柱９１は、真空中に配置される構造部材であるため、ここにシール面を設ける必要はなく、溶接加工によって一体構造に形成したりする必要もない。
【００５６】
図８-８０１ｂに、開口部支柱９１及び開口部フランジ９２が取り付けられた真空容器１の開口部の断面図を示す。
【００５７】
曲げ材３０は、真空中において開口部支柱９１に開口部板体固定ボルト９２２で固定される。この固定構造は、開口部支柱９１に対して開口部９を位置決めするためであり、必ずしも必要ではない。
【００５８】
開口部フランジ９２は、機械的強度を確保するために開口部支柱９１に開口部フランジ固定ボルト９２１で固定される。開口部フランジ９２と曲げ材３０との間の気密性は、開口部フランジ固定ボルト９２１の外側で、曲げ材３０と開口部フランジ９２との間に配置されたＯリング９２３によって保たれている。
【００５９】
したがって、開口部フランジ９２には継ぎ目がなく、１枚の金属板から削り出し加工等で一体構造として作製された部材である必要がある。開口部フランジ９２の大気側には、貫通しないボルト用穴が設けられることにより、通常の真空フランジとして機能する。この開口部フランジ９２に通常の方法で外部のフランジ９５を取り付けることができる。
【００６０】
上述したように、本実施形態の真空容器１によれば、比較的薄い金属板からなる一組の曲げ材２０，３０によって真空容器１を構成することで、真空容器の軽量化が図られ、従来のような大型の金属素材を使用せずに真空容器を製造することが可能になる。このため、本実施形態によれば、真空容器の材料コストを低減することができる。また、本実施形態によれば、一組の曲げ材２０，３０の結合部を閉曲線に形成された１本のシール部材４で封止して締結部材６で結合することによって、真空容器の製造工程で溶接加工を用いる必要がない。このため、容易に製造することができると共に、組み立てる前の状態で運搬することが可能になり、真空容器の運搬時の取り扱いを容易にすることができる。
【００６１】
（第２実施形態）
次に、第２の実施形態の真空容器について、図９及び図１０を参照して説明する。
【００６２】
図９に、第２の実施形態の真空容器の斜視図を示す。図１０に、本実施形態の真空容器のシール部の断面図を示す。
【００６３】
図９及び図１０に示すように、本実施形態では、曲げ材２０，３０の結合部を封止するＯリング等のシール部材４を、真空容器１の真空排気を行う前から強制的に押し潰して、良好なシール部４ａを形成するための構成を採っている。なお、図１０では、図３に示した曲げ材３０の結合用折り曲げ部７はなく、曲げ材２０，３０の結合穴８は外周部で直線部分、及び曲線部分全域にわたってほぼ等間隔に配置されている。
【００６４】
図９に示すように、曲げ材２０，３０の大気側の面の外周部には、結合部の全域にわたって、シール部材４を押圧するシール部押圧部材としての複数のシール部固定板１０が配置されている。このシール部固定板１０は、図１０に示すように、真空容器１を真空に排気したときに曲げ材２０，３０がシール部材４と、このシール部材４を支える支柱５０とにそれぞれ当接する部分に配置されている。また、金属板２，３の曲げ加工をした部分（図３に示した折り曲げ部２１，３１）にも、円弧状のシール部固定板１０が配置されている。
【００６５】
シール部固定板１０は、曲げ材２０，３０よりも厚い金属板によって所望の剛性を有するように形成されている。シール部固定板１０は、曲げ材２０，３０を間に挟んで、締結部材６によって支柱５０に固定されており、曲げ材２０，３０を支柱５０に対して押し当てると共に、シール部材４を押し潰すことによって、良好な気密性を保つシール部４ａを形成している。
【００６６】
また、締結部材６は、真空容器１の真空側、つまり曲げ材２０，３０の内面側から、曲げ材２０，３０の結合穴８を通してシール部固定板１０に挿入されているため、締結部材６近傍を封止する必要がある。このため、締結部材６の周囲であって、シール部固定板１０と曲げ材２０、３０との間にはＯリング小１０１が配置されている。
【００６７】
上述のように構成することで、本実施形態によれば、真空容器１の気密性を容易かつ確実に維持することが可能になる。
【００６８】
（第３実施形態）
第３の実施形態の真空容器について、図１１を参照して説明する。
【００６９】
図１１-１１０１ａ，１１０１ｂに示すように、本実施形態の真空容器７１は、一組の曲げ材７０，７５を結合して構成されている。曲げ材７０及び曲げ材７５は、それぞれ略菱形状に形成された金属板が、その菱形における１つの対角線に沿って曲げ加工されて形成されている。一組の曲げ材７０と曲げ材７５は、その結合部が、シール部材（不図示）によって封止されて、真空容器７１を構成している。この真空容器７１の内部には、構造体（不図示）が設置されている。なお、曲げ材７０と曲げ材７５との結合には、上述した結合構造が採用されている。
【００７０】
本実施形態によれば、曲げ材７０と曲げ材７５を組み合わせることで、四面体の真空容器７１を形成することができる。
【００７１】
（第４実施形態）
第４の実施形態の真空容器について、図１２を参照して説明する。
【００７２】
図１２-１２０１ａ，１２０１ｂに示すように、本実施形態の真空容器８１は、一組の曲げ材８０，８５を結合して構成されている。一方の曲げ材８０は、１枚の長方形の金属板を４箇所で曲げ加工して形成されている。他方の曲げ材８５は、１枚の金属板を六角形、長方形、六角形の３つの面を形成する形状を形成して、２ヶ所で曲げ加工して形成されている。一組の曲げ材８０，８５は、その結合部がシール部材（不図示）によって封止され、真空容器８１の内部には、構造体（不図示）が配置されている。
【００７３】
本実施形態によれば、曲げ材８０と曲げ材８５を組み合わせることで、八面体の真空容器８１を形成することができる。
【００７４】
図１３に、本実施形態の真空容器を備える真空処理装置の一例を示す。
【００７５】
図１３に示すように、真空処理装置は、例えば、枚葉式の真空処理装置であって、第１スパッタリング用の真空処理室（Ｐｒｏ１）４２及び第２スパッタリング用の真空処理室（Ｐｒｏ２）４３を備えている。また、この真空処理装置は、搬送機構を備えるセパレーション室（Ｓｅｐ）４０と、加熱・冷却室（Ｈ／Ｃ）４１とを備えている。これら各室４０，４１，４２，４３は、本実施形態の真空容器を有して構成されており、セパレーション室４０にそれぞれ隣接して配置されている。
【００７６】
また、真空処理装置は、ロード室（Ｌ）４４とセパレーション室４０との間、セパレーション室４０と加熱・冷却室４１との間、各真空処理室４２及び４３とセパレーション室４０との間には、仕切弁（ゲートバブル）４６がそれぞれ設けられている。真空処理装置は、減圧下である真空中で処理を行う被処理物としての基板４５の搬入及び搬出を行うことができるように、それぞれ仕切弁（ゲートバブル）４６で仕切られ、各室で独立に真空を維持できるように構成されている。
【００７７】
そして、ロード室４４に搬送された基板４５は、ロード室４４が不図示の排気系によって所定圧力まで真空排気された後、セパレーション室４０に搬送される。続いて、基板４５は、所望の成膜処理を行うために、このセパレーション室４０から、各種プロセスに応じて加熱・冷却室４１、各真空処理室４２，４３に送られる。真空処理の終了後、基板４５は、セパレーション室４０を介してアンロード（ＵＬ）室４４から搬出される。
【００７８】
なお、本実施形態では、真空処理装置としてスパッタリングによる成膜装置を一例として挙げたが、成膜装置としてスパッタリング方式に限定されるものではない。本実施形態は、例えば化学的蒸着法等の成膜方法による成膜装置も採用することが可能であり、また、エッチング装置等の処理装置にも適用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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