(57)【要約】【課題】  無駄な接着剤が増加せず、かつ、接着剤の塗布形状に誤差が発生することのない接着剤塗布装置を実現する。【解決手段】  基板２を露出させるための開口部６ａが形成されており、スクリーンマスク３を載置する固定ステージ６と、接着剤４の塗布面２ｃが固定ステージ６に載置されたスクリーンマスクと対向し、かつ、開口部６ａから露出するように基板２を載置する可動ステージ７と、可動ステージ７に載置された基板２がスクリーンマスク３と密着するように可動ステージ７を付勢するコイルバネ８と、を備えており、可動ステージ７は、コイルバネ７による付勢力に抗して昇降可能に構成されてなる。このため、基板２およびスクリーンマスク３間に隙間８０が形成され、それに接着剤４が入り込むおそれがない。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷法により、接着剤を基板に塗布するための接着剤塗布装置において、
前記基板を露出させるための開口部が形成されており、スクリーンマスクを載置する第１載置手段と、
前記接着剤の塗布面が前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクと対向し、かつ、前記開口部から露出するように前記基板を載置する第２載置手段と、
前記第２載置手段に載置された基板が前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクと密着するように前記第２載置手段を付勢する付勢手段と、を備えており、
前記第２載置手段は、前記付勢手段による付勢力に抗して移動可能に構成されてなることを特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項２】
スクリーン印刷法により、接着剤を基板に塗布するための接着剤塗布装置において、
前記基板を露出させるための開口部が形成されており、スクリーンマスクを載置する第１載置手段と、
前記接着剤の塗布面が前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクと対向し、かつ、前記開口部から露出するように前記基板を載置する第２載置手段と、
前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクが前記第２載置手段に載置された基板と密着するように前記第１載置手段を付勢する付勢手段と、を備えており、
前記第１載置手段は、前記付勢手段による付勢力に抗して移動可能に構成されてなることを特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項３】
前記付勢手段が前記第２載置手段を介して前記基板を付勢する力が、前記スクリーンマスクが前記基板を押圧する力よりも小さくなるように構成されてなることを特徴とする請求項１に記載の接着剤塗布装置。
【請求項４】
前記スクリーンマスクと密着した基板の塗布面と、前記開口部の前記スクリーンマスク側の開口面とが面一になるように構成されてなることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の接着剤塗布装置。
【請求項５】
前記第２載置手段は、前記スクリーンマスクを前記第１載置手段に載置していないときに前記塗布面が前記開口部から突出するように前記基板を載置するように構成されてなることを特徴とする請求項４に記載の接着剤塗布装置。
【請求項６】
前記基板を前記第２載置手段に吸着する吸着手段を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の接着剤塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スクリーン印刷法により接着剤を基板に塗布するための接着剤塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の接着剤塗布装置として図１１〜図１３に示すものが知られている。図１１〜図１３は従来の接着剤塗布装置の縦断面図であり、図１１（ａ）は基板上にスクリーンマスクが配置された印刷前の状態を示し、（ｂ）は基板およびスクリーンマスク間に形成された隙間の拡大図である。図１２（ａ）は印刷後の状態を示し、（ｂ）は接着剤が隙間に入った状態を示す拡大図である。図１３（ａ）はスクリーンマスクを外した状態を示し、（ｂ）は接着剤のにじみを示す拡大図である。
【０００３】
従来の接着剤塗布装置９０は、基板２およびスクリーンマスク３を載置するための固定ステージ７０と、基板２を固定ステージ７０に吸着固定するための真空ポンプ１０と、基板２を固定ステージ７０に搬送するための搬送装置（図示せず）と、スクリーンマスク３を基板上に押圧するための押圧装置（図示せず）と、スキージ５を図中の矢印方向へ移動させるための移動装置（図示せず）とを備える。
【０００４】
固定ステージ７０の表面には、基板２を収容するための凹部７１が形成されている。また、固定ステージ７０の内部には、上記凹部７１と連通する排出口７２が形成されている。この排出口７２は、真空ポンプ１０と接続されている。真空ポンプ１０を駆動すると、凹部７１の空気が排出口７２を通じて排出され、凹部７１が減圧されるため、基板２が凹部７１の底部に吸着固定される。
【０００５】
スクリーンマスク３は、その裏面３ｂが基板２の表面２ａと密着するように押圧される。そして、図１２（ａ）に示すように、スキージ５が、その下端をスクリーンマスク３の表面３ａに当接させた状態で矢印方向へ移動すると、スクリーンマスク３の表面３ａに配置されている接着剤４がスキージ５によって移動する。これにより、接着剤４がスクリーンマスク３の開口部３ｃの中に充填され、基板２の塗布面２ｃに接着層４ａが形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−５７２２８号公報（第８段落、図１）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前述した固定ステージ７０の凹部７１は、基板２の厚さのばらつきを考慮して浅く形成されており、薄い基板２でもその表面２ａが凹部７１から突出し、スクリーンマスク３の裏面３ｂと密着する構造になっている。
しかし、図１１（ｂ）に示すように、スクリーンマスク３の裏面３ｂと基板２の表面２ａとの間に隙間８０が形成されるため、図１２（ｂ）に示すように、接着剤４が隙間８０に入り込み、図１３（ｂ）に示すように、接着剤４のにじみ４ｂが形成されてしまう。
したがって、無駄な接着剤が増加し、かつ、接着剤の塗布形状に誤差が発生するという問題がある。
【０００８】
そこでこの発明は、上述の諸問題を解決するためになされたものであり、無駄な接着剤が増加せず、かつ、接着剤の塗布形状に誤差が発生することのない接着剤塗布装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、この発明の第１の特徴は、スクリーン印刷法により、接着剤を基板に塗布するための接着剤塗布装置において、前記基板（２）を露出させるための開口部（６ａ）が形成されており、スクリーンマスク（３）を載置する第１載置手段（６）と、前記接着剤（４）の塗布面（２ｃ）が前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクと対向し、かつ、前記開口部から露出するように前記基板を載置する第２載置手段（７）と、前記第２載置手段に載置された基板が前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクと密着するように前記第２載置手段を付勢する付勢手段（８）と、を備えており、前記第２載置手段は、前記付勢手段による付勢力に抗して移動可能に構成されてなることにある。
【００１０】
付勢手段により、基板およびスクリーンマスクを密着させることができるため、従来のように、基板およびスクリーンマスク間に隙間が形成されることがない。
したがって、隙間に接着剤が入り込むという事態が発生しないため、無駄な接着剤が増加せず、かつ、接着剤の塗布形状に誤差が発生することがない。
【００１１】
また、この発明の第２の特徴は、スクリーン印刷法により、接着剤を基板に塗布するための接着剤塗布装置において、前記基板（２）を露出させるための開口部（５１）が形成されており、スクリーンマスク（３）を載置する第１載置手段（５０）と、前記接着剤（４）の塗布面（２ｃ）が前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクと対向し、かつ、前記開口部から露出するように前記基板を載置する第２載置手段（６５）と、前記第１載置手段に載置されたスクリーンマスクが前記第２載置手段に載置された基板と密着するように前記第１載置手段を付勢する付勢手段（５２）と、を備えており、前記第１載置手段は、前記付勢手段による付勢力に抗して移動可能に構成されてなることにある。
【００１２】
付勢手段により、基板およびスクリーンマスクを密着させることができるため、従来のように、基板およびスクリーンマスク間に隙間が形成されることがない。
したがって、隙間に接着剤が入り込むという事態が発生しないため、無駄な接着剤が増加せず、かつ、接着剤の塗布形状に誤差が発生することがない。
【００１３】
さらに、この発明の第３の特徴は、前記第１の特徴において、前記付勢手段（８）が前記第２載置手段（７）を介して前記基板（２）を付勢する力が、前記スクリーンマスク（３）が前記基板を押圧する力よりも小さくなるように構成されてなることにある。
【００１４】
基板を付勢する力が、スクリーンマスクが基板を押圧する力よりも小さいため、基板がスクリーンマスクを押し上げることにより、基板およびスクリーンマスク間に隙間が形成され難くすることができる。
【００１５】
さらに、この発明の第４の特徴は、前記第１ないし第３の特徴のいずれか１つにおいて、前記スクリーンマスク（３）と密着した基板（２）の塗布面（２ｃ）と、前記開口部（６ａ，５１）の前記スクリーンマスク側の開口面とが面一になるように構成されてなることにある。
【００１６】
スクリーンマスクと密着した基板の塗布面と、第１載置手段に形成された開口部のスクリーンマスク側の開口面とが面一であるため、基板およびスクリーンマスク間に隙間がより一層形成され難くすることができる。
【００１７】
さらに、この発明の第５の特徴は、前記第４の特徴において、前記第２載置手段（７，６５）は、前記スクリーンマスク（３）を前記第１載置手段（６，５０）に載置していないときに前記塗布面（２ｃ）が前記開口部（６ａ，５１）から突出するように前記基板（２）を載置するように構成されてなることにある。
【００１８】
基板の塗布面が第１載置手段の開口部から突出しても、基板およびスクリーンマスクを密着させるときに、基板が載置された第２載置手段が付勢手段による付勢力に抗して移動するため、スクリーンマスクと密着した基板の塗布面と、第１載置手段に形成された開口部のスクリーンマスク側の開口面とを面一にすることができる。
したがって、基板の厚さにばらつきが存在する場合であっても、どの基板も第２載置手段に載置したときに塗布面が第１載置手段の開口部から突出するように設計しておくことにより、どの基板もスクリーンマスクと密着させることができるため、どの基板もスクリーンマスクとの間で隙間が形成され難くすることができる。
【００１９】
さらに、この発明の第５の特徴は、前記第１ないし第５の特徴のいずれか１つにおいて、前記基板（２）を前記第２載置手段（７，６５）に吸着する吸着手段（１０）を備えることにある。
【００２０】
基板を第２載置手段に吸着することができるため、接着剤を基板の塗布面に塗布する際に基板がずれるおそれがない。
したがって、接着剤の塗布形状に誤差が発生し難くすることができる。
【００２１】
なお、上記各括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の実施形態に係る接着剤塗布装置の縦断面図である。
【図２】図１に示す接着剤塗布装置の分解図である。
【図３】スキージを移動させた後の状態を示す説明図である。
【図４】スクリーンマスクを外した状態を示す説明図である。
【図５】接着剤の塗布工程を示す工程図である。
【図６】他の実施形態を示す説明図である。
【図７】他の実施形態を示す説明図である。
【図８】他の実施形態を示す説明図である。
【図９】他の実施形態を示す説明図である。
【図１０】他の実施形態を示す説明図である。
【図１１】従来の接着剤塗布装置の縦断面図であり、（ａ）は基板上にスクリーンマスクが配置された印刷前の状態を示し、（ｂ）は基板およびスクリーンマスク間に形成された隙間の拡大図である。
【図１２】従来の接着剤塗布装置の縦断面図であり、（ａ）は印刷後の状態を示し、（ｂ）は接着剤が隙間に入った状態を示す拡大図である。
【図１３】従来の接着剤塗布装置の縦断面図であり、（ａ）はスクリーンマスクを外した状態を示し、（ｂ）は接着剤のにじみを示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
この発明を実施するための形態について図を参照して説明する。図１は、この実施形態に係る接着剤塗布装置の縦断面図である。図２は、図１に示す接着剤塗布装置の分解図である。
【００２４】
（接着剤塗布装置の構成）
この実施形態の接着剤塗布装置１は、固定ステージ６と、可動ステージ７と、複数のコイルバネ８と、シール材９と、真空ポンプ１０と、基板２を可動ステージ７の表面に搬送する搬送装置（図示せず）と、スクリーンマスク３を基板２の直上へ搬送するとともに基板２を押圧するスクリーンマスク搬送装置（図示せず）と、スクリーンマスク３の表面に接着剤を供給する接着剤供給装置（図示せず）と、スキージ５と、このスキージ５をスクリーンマスク３の表面に当接させた状態で移動させるスキージ移動装置（図示せず）とを備える。
【００２５】
基板２の裏面２ｂには、接着剤４を塗布する塗布面２ｃが設定されている。塗布面２ｃには、塗布パターンが設定されている。基板２の表面２ａには、ＩＣ、ＬＳＩなどの電子部品が搭載されている。
【００２６】
スクリーンマスク３は、接着剤４を基板２の塗布面２ｃに所定の塗布パターンで塗布するための部材である。スクリーンマスク３は、フィルム状に形成されており、基板２の塗布面２ｃに対応する領域には、前述した塗布パターンに対応する形状の開口部３ｃが形成されている。固定ステージ６は、スクリーンマスク３によって基板２の塗布面２ｃを覆う際にスクリーンマスク３を載置するための部材である。
【００２７】
固定ステージ６の内部には、可動ステージ７、コイルバネ８およびシール材９を収容する空間６ｄが形成されている。固定ステージ６の上面６ａは、スクリーンマスク３の裏面３ｂと密着するように平坦に形成されている。また、上面６ａには、空間６ｄと連通する開口部６ｃが形成されている。開口部６ｃは、空間６ｄの内壁６ｇの上端から内方へ張り出した張出し部６ｅによって囲まれた空間に形成されている。張出し部６ｅは、可動ステージ７の上昇を制限する役割をしており、その裏面６ｆは、可動ステージ７ａの上死点に設定されている。
【００２８】
開口部６ｃは、可動ステージ７に載置された基板２が露出可能な大きさに形成されている。固定ステージ６の底面６ｂには、空間６ｄ内の空気を排出するための排出口６ｅが形成されている。排出口６ｅには、空間６ｄ内を減圧するための真空ポンプ１０が接続されている。真空ポンプ１０が作動すると、空間６ｄ内の空気が排出口６ｅから排出され、空間６ｄ内が減圧される。
【００２９】
可動ステージ７は、基板２を載置するための部材である。可動ステージ７の略中央には、可動ステージ７の表面７ａに載置された基板２を吸着するための貫通孔７ｃが形成されている。可動ステージ７の裏面７ｂと、固定ステージ６の空間６ｄ内の底面６ｈとの間には、複数のコイルバネ８が介在されている。各コイルバネ８の下端はそれぞれ底面６ｈに取付けられており、上端はそれぞれ可動ステージ７の裏面７ｂに取付けられている。
つまり、可動ステージ７は、各コイルバネ８によって支持されており、各コイルバネ８の伸縮に応じて昇降可能になっている。
【００３０】
可動ステージ７の厚さおよび各バネのバネ長は、基板２がスクリーンマスク３によって押圧されていない状態において、可動ステージ７に載置された基板２が固定ステージ６の開口部６ｃから上面６ａを超えて突出するように設定されている。また、基板２の厚さには製造上の誤差があるが、どの基板でも開口部６ｃから突出するように可動ステージ７の厚さおよび各コイルバネのバネ長を設定する。コイルバネに代えて板バネ、ゴムなどの弾性部材を用いることもできる。
【００３１】
また、可動ステージ７は、各コイルバネ８のバネ力によって上方へ付勢され、これによって可動ステージ７に載置された基板２がスクリーンマスク３の裏面３ｂに押し付けられる。その基板２がスクリーンマスク３に押し付けられる力、つまり各コイルバネ８のバネ力は、スクリーンマスク３が基板２を押さえ付ける力よりも小さくなるように設定されている。
【００３２】
つまり、各コイルバネ８のバネ力が、スクリーンマスク３が基板２を押さえ付ける力よりも大きいと、スクリーンマスク３の開口部３ｃの開口端が上方へ反り返り、その開口端と基板２の塗布面２ｃとの間に隙間が形成され、その隙間に接着剤４が入り込み、無駄な接着剤４が増加し、かつ、接着剤４の塗布形状に誤差が発生するからである。
【００３３】
可動ステージ７と空間６ｄの内壁６ｇとの間には、シール材９が介在されている。シール材９は、可動部材７の下方に形成された空間の気密性を維持するための部材である。そのようにシール部材９が配置されているため、真空ポンプ１０が作動したときに可動ステージ７の上下の空間が非連通状態となり、可動ステージ７の下方に形成された空間を減圧することができる。
【００３４】
（接着剤の塗布方法）
図３は、スキージを移動させた後の状態を示す説明図である。図４は、スクリーンマスクを外した状態を示す説明図である。図５は、接着剤の塗布工程を示す工程図である。
【００３５】
（工程１）
基板２を可動ステージ７の表面７ａに供給する（図５の工程１）。基板２を可動ステージ７の表面７ａに供給するための装置としては、たとえば、基板２を吸着して所定位置に搬送する公知の吸着コレット装置を用いることができる。
【００３６】
（工程２）
次に、真空ポンプ１０を作動し、固定ステージ６の空間６ｄ内を減圧し、基板２を可動ステージ７の表面７ａに吸着させる。このとき、基板２の裏面２ｂは固定ステージ６の開口部６ｃから上方へ僅かに突出した状態になる。
【００３７】
（工程３）
次に、図示しないスクリーンマスク搬送装置を作動し、スクリーンマスク３を基板２の直上へ移動させる。このとき、基板２の塗布面２ｃとスクリーンマスク３の開口部３ｃとが相対向した状態になる。
【００３８】
（工程４）
次に、上記のスクリーンマスク搬送装置により、スクリーンマスク３を下降させ、スクリーンマスク３の裏面３ｂを基板２の裏面２ｂに押圧する。このとき、スクリーンマスク３が基板２を押圧する力の方が、各コイルバネ８が基板２を上方へ付勢する力よりも大きいため、各コイルバネ８が縮み、可動ステージ７が下降する。
【００３９】
そして、スクリーンマスク３の裏面３ｂが、固定ステージ６の上面６ａに当接した時点でスクリーンマスク３の下降が停止する。このとき、スクリーンマスク３の裏面３ｂと基板２の塗布面２ｃとが密着し、塗布面２ｃが固定ステージ６の開口部６ｃのスクリーンマスク３側の開口面６ｃ１（図２）とが面一になる（図１）。
つまり、塗布面２ｃとスクリーンマスク３の裏面３ｂとの間に全く隙間が形成されていない状態を作ることができる。
【００４０】
（工程５）
次に、接着剤供給装置を作動し、接着剤４をスクリーンマスク３の表面３ａに供給する。そして、スキージ移動装置を作動し、スクリーンマスク３の表面３ａに供給された接着剤４をスクリーンマスク３の表面３ａに擦り付ける。これにより、スクリーンマスク３の開口部３ｃには、接着剤４が充填され、図３に示すように、開口部３ｃには、充填された接着剤４により形成された接着層４ａが形成される。これにより、基板２の塗布面２ｃに接着剤４が塗布（印刷）されたことになる。
【００４１】
（工程６）
次に、スクリーンマスク搬送装置を作動し、図４に示すように、スクリーンマスク３を上方へ離す。これにより、接着面２ｃに接着層４ａが形成された基板２が完成する。
【００４２】
（工程７）
次に、真空ポンプ１０の作動を停止し、固定ステージ６の空間６ｄの減圧を解除する。これにより、基板２の可動ステージ７に対する吸着状態が解除される。
【００４３】
（工程８）
次に、基板２を次工程へ排出するための基板排出装置（図示せず）を作動し、基板２をヒートシンクの取付工程などへ排出する。基板２を排出するための装置としては、たとえば、前述の吸着コレット装置を用いることができる。
【００４４】
（実施形態の効果）
（１）複数のコイルバネ８の付勢力により、基板２およびスクリーンマスク３を密着させることができるため、従来のように、基板２およびスクリーンマスク３間に隙間が形成されることがない。
したがって、隙間に接着剤４が入り込むという事態が発生しないため、無駄な接着剤が増加せず、かつ、接着剤の塗布形状に誤差が発生することがない。
【００４５】
（２）しかも、各コイルバネ８が基板２を付勢する付勢力が、スクリーンマスク３が基板２を押圧する力よりも小さいため、基板２がスクリーンマスク３を押し上げることにより、基板２およびスクリーンマスク３間に隙間が形成され難くすることができる。
【００４６】
（３）また、スクリーンマスク３と密着した基板２の塗布面２ｃと、固定ステージ６に形成された開口部６ｃのスクリーンマスク３側の開口面６ｃ１とが面一であるため、基板２およびスクリーンマスク３間に隙間がより一層形成され難くすることができる。
【００４７】
（４）さらに、基板２の塗布面２ｃが固定ステージ６の開口部６ｃから突出しても、スクリーンマスク３によって基板２を押圧するときに、基板２が載置された可動ステージ７が各コイルバネ８による付勢力に抗して下降するため、スクリーンマスク３と密着した基板２の塗布面２ｃと、固定ステージ６に形成された開口部６ｃのスクリーンマスク３側の開口面６ｃ１とを面一にすることができる。
したがって、基板２の厚さにばらつきが存在する場合であっても、どの基板２も可動ステージ７に載置したときに塗布面２ｃが固定ステージ６の開口部６ｃから突出するように設計しておくことにより、どの基板２もスクリーンマスク３と密着させることができるため、どの基板２もスクリーンマスク３との間で隙間が形成され難くすることができる。
【００４８】
（５）さらに、真空ポンプ１０を作動して基板２を可動ステージ７に吸着することができるため、接着剤４を基板２の塗布面２ｃに塗布する際に基板２がずれるおそれがない。
したがって、接着剤４の塗布形状に誤差が発生し難くすることができる。
【００４９】
＜他の実施形態＞
（１）図６に示すように、コイルバネ８に代えてピストンシリンダ装置２０を用い、ピストンの弾性力によって可動ステージ７を昇降可能に支持することもできる。ピストンシリンダ装置２０としては、油圧式または空気圧式などを用いることができる。このピストンシリンダ装置２０を用いた場合も、前述の実施形態と同じ効果を奏することができる。
【００５０】
（２）図７に示すように、コイルバネ８に代えて永久磁石３０，３１を用い、同じ極性の面同士を相対向させて配置し、永久磁石３０，３１間に作用する斥力によって可動ステージ７を昇降可能に支持することもできる。この永久磁石３０，３１を用いた場合も、前述の実施形態と同じ効果を奏することができる。
【００５１】
（３）図８に示すように、コイルバネ８に代えて永久磁石３２，３３を用い、異なる極性の面同士を相対向させて配置し、永久磁石３２，３３間に作用する引力によって可動ステージ７を昇降可能に支持することもできる。この永久磁石３２，３３を用いた場合も、前述の実施形態と同じ効果を奏することができる。なお、永久磁石３２，３３の一方または両方を電磁石にすることもできる。この構成によれば、磁力を調整することができるため、基板２およびスクリーンマスク３の密着力を調整することができる。
【００５２】
（４）図９に示すように、基板２を吸着する構造を備えた可動ステージ４０をピストンシリンダ装置４１によって支持する構成でもよい。可動ステージは、真空チャック構造を備えており、真空ポンプ１０と接続されている。可動ステージ４０としては、たとえば、半導体ウエハを吸着する公知の真空チャックステージなどを用いることができる。
【００５３】
また、可動ステージ４０およびピストンシリンダ装置４１を移動させるための移動装置を用い、その移動装置を作動して可動ステージ４０およびピストンシリンダ装置４１を移動させることにより、基板２を吸着した状態で搬入または搬出することもできる。これらの構成を用いた場合も前述の実施形態と同じ効果を奏することができる。また、可動ステージ４０およびピストンシリンダ装置４１が基板２を弾性力を以て支持する役割と、基板２を搬送する役割とを兼用しているため、その分、装置の製造コストを低減することができる。
【００５４】
（５）図１０に示すように、基板２を固定ステージ６５に載置し、スクリーンマスク３を可動ステージ５０に載置する構成でもよい、固定ステージ６５は、上方に凸形状に形成されており、その上端に基板２が載置される。固定ステージ６５の凸部には、基板２の載置面に連通する貫通孔６６が形成されており、その貫通孔６６には真空ポンプ１０が接続されている。つまり、真空ポンプ１０を作動して基板２を固定ステージ６５に吸着する。
【００５５】
固定ステージ６５の凸部の両側には、複数のコイルバネ８を介して可動ステージ５０が配置されている。スクリーンマスク３を基板２に押圧すると、各コイルバネ８が縮退し、可動ステージ５０が下降し、基板２の塗布面２ｃとスクリーンマスク３の裏面３ｂとが面一になる。この構成を用いた場合も前述の実施形態と同じ効果を奏することができる。なお、この接着剤塗布装置が請求項２に係る発明に対応する。
【符号の説明】
【００５６】
１・・接着剤塗布装置、２・・基板、３・・スクリーンマスク、４・・接着剤、
５・・スキージ、６・・固定ステージ、７・・可動ステージ、８・・コイルバネ、
９・・、シール材、１０・・真空ポンプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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