(57)【要約】【課題】  露光装置の制御ソフトウェアを安全かつ確実に更新する。【解決手段】  露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新することが可能な露光システムであって、少なくとも１つの露光装置と、露光装置の動作をテストするシミュレータと、前記露光装置の経時変化を示す情報を含む前記露光装置の構成の情報を出力する出力部と、前記出力部により出力された構成の情報に基づいて前記シミュレータに前記露光装置の経時変化を反映させる反映部と、前記シミュレータに組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する更新部と、を備える。【選択図】図１
2010232217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新することが可能な露光システムであって、
少なくとも１つの露光装置と、
露光装置の動作をテストするシミュレータと、
前記露光装置の経時変化を示す情報を含む前記露光装置の構成の情報を出力する出力部と、
前記出力部により出力された構成の情報に基づいて前記シミュレータに前記露光装置の経時変化を反映させる反映部と、
前記シミュレータに組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する更新部と、
を備えることを特徴とする露光システム。
【請求項２】
前記経時変化を示す情報は、前記露光装置の、投影光学系の光学性能、前記投影光学系を駆動するピエゾ素子の膨張率、基板又は原版を搬送する搬送機構の稼動速度及び光源から射出される光量の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１に記載の露光システム。
【請求項３】
前記シミュレータを用いて正常に動作すると判定された前記新たな制御ソフトウェアにより前記露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを更新する第２更新部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光システム。
【請求項４】
前記新たな制御ソフトウェアにより更新された前記シミュレータによる露光動作のログを取得する第１取得部と、
前記新たな制御ソフトウェアによる更新がなされる前の前記露光装置による露光動作のログを取得する第２取得部と、
前記第１取得部により取得されたログと前記第２取得部により取得されたログとを比較し、前記新たな制御ソフトウェアによる更新の影響を受けないと予め特定された露光動作が前記新たな制御ソフトウェアにより更新された前記シミュレータによって行われたか否かを確認する比較部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか1項に記載の露光システム。
【請求項５】
前記第１取得部及び前記第２取得部により取得されるログは、露光動作の内容、露光動作のパラメータ、露光動作の結果及び露光動作時刻の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項４に記載の露光システム。
【請求項６】
前記露光装置による露光動作と前記シミュレータによる露光動作とは、同一の条件で行われることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の露光システム。
【請求項７】
露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアの新たな制御ソフトウェアによる更新をテストする方法であって、
前記露光装置の経時変化を示す情報を含む前記露光装置の構成の情報を出力する出力工程と、
前記出力工程で出力された構成の情報に基づいて、露光装置の動作をテストするシミュレータ又はテスト用露光装置の状態に前記露光装置の経時変化を反映する反映工程と、
前記シミュレータ又は前記テスト用露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する更新工程と、
前記新たな制御ソフトウェアにより更新され、かつ前記経時変化が反映されたシミュレータ又はテスト用露光装置を露光動作させて前記新たな制御ソフトウェアによる更新をテストするテスト工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の露光システムに備えられた露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光システム、露光装置のテスト方法及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ICやLSI等の半導体集積回路や液晶パネルの微細化や高集積化に伴い、これらの製品の製造装置である露光装置も高精度化や高機能化が進んでいる。このような露光装置としては、ステッパやスキャナと呼ばれる露光装置が用いられることが多い。これらの露光装置は、基板(例えばウェハ)をステップ移動しながら、原板(例えばレチクル)上に形成したパターンを基板の複数個所に順次転写する。この転写を一括で行う装置をステッパと呼び、ステージをスキャンしながら転写を行う装置をスキャナと呼んでいる。近年においては、露光装置の重要な性能である重ね合わせ精度及びスループットの向上という２つの要求を満たすため、基板を保持する基板ステージを２つ搭載した露光装置が実用化されている。また、原板の像を投影する投影光学系と基板との間に液体を挿入し転写を高解像度化した露光装置の開発も進んでいる。
【０００３】
このように露光装置の高精度化や高機能化が進む中、露光装置の制御を行う制御ソフトウェアも高精度化や高機能化の為に随時改良されている。このような制御ソフトウェアの改良は、新規に開発する露光装置だけで無く、既に稼動中の露光装置であっても適用可能な場合が多い。稼動中の露光装置に対しても組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する制御ソフトウェアのバージョンアップが頻繁に行われている。
【０００４】
次に、露光装置における従来の制御ソフトウェアのバージョンアップについて述べる。露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する露光システムの模式図を図７に示す。露光装置の設置場所の一例である半導体装置製造工場１には、露光装置１１と制御ソフトウェアの更新を行う更新部１５が配置されている。露光装置１１は、原板のパターンを介して基板を露光する露光部１２と、露光装置を制御する制御部１３と、露光装置を制御する際に使用する制御ソフトウェアを保持する保持部１４とを備えている。更新部１５は、１つ以上の露光装置１１と接続されて露光装置の制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアで更新する。
【０００５】
次に、図８に露光装置の制御ソフトウェアを更新する手順の一例を示す。ステップＳ８０１において、更新部１５は、制御ソフトウェアを更新すべき露光装置のハードウェア構成や必要機能を調査して、適用する制御ソフトウェアのバージョンを決める。ステップＳ８０２において、オペレータは、更新に必要な新たな制御ソフトウェアの入ったメディアを準備し、更新部１５にコピーする。具体的にはオペレータが新たな制御ソフトウェアの入った光磁気ディスク等のメディアを更新部１５に挿入し、新たな制御ソフトウェア及びそのインストーラー等の関連データを更新部１５にコピーする。事前にステップＳ８０１とステップＳ８０２を行った後、オペレータは、ステップＳ８０３で露光装置１１による露光処理を停止する。
【０００６】
次にステップＳ８０４において、更新部１５は、露光装置の制御ソフトウェアを更新する。具体的には、更新部１５は、ステップＳ８０２で保存された制御ソフトウェアを含むデータを用いて露光装置１１のデータ保持部１４に格納されている制御ソフトウェアを更新する。制御ソフトウェアの更新後に、露光装置１１の制御部１３及び露光部１２が起動し直される事で更新後のソフトウェアが反映される。最後に、ステップＳ８０５において、露光装置１１は、制御ソフトウェアが更新された後の露光装置をテストする。ステップＳ８０５のテストで問題がなければ、ステップＳ８０６において露光装置１１は露光処理を開始する。尚、ステップＳ８０５では、制御ソフトウェアの更新が正しく行われた事を確認するために、露光装置１１はテスト用の露光等を行う。
【０００７】
この様な露光装置の制御ソフトウェアを更新する例として、制御ソフトウェア等を保存する外部記憶装置の残りメモリ容量を確認して更新を行うことが特許文献１に開示されている。露光装置の制御ソフトウェアの更新は、稼動中の露光装置に対しても高精度化や高機能化を可能とし、露光装置の生産性向上に有効である。
【０００８】
一方、露光装置の制御ソフトウェアの開発においては、頻繁なバージョンアップに伴い、新しいバージョンを作成する毎に必要となる制御ソフトウェアのテストも頻繁に行われている。この制御ソフトウェアのテストは、露光装置で制御ソフトウェアの動作を確認する方法が一般的である。これに対し、露光装置の動作をシミュレートする装置（以下、シミュレータと呼ぶ）を用いて、制御ソフトウェアの動作を確認することが特許文献２で提案されている。シミュレータを用いる事で、テスト作業を効率化するとともに、テスト中の制御ソフトウェアによる露光装置の破損を防ぐ事ができる。
【０００９】
前述した様に、制御ソフトウェアの更新による露光装置の高精度化や高機能化は稼動中の露光装置の生産性を向上させるのに有効である。
【００１０】
背景技術でも述べた様に露光装置を制御する制御ソフトウェアは高機能化している。これに伴い、制御ソフトウェアの機能は複雑化している。特に、露光装置には多くのオプションが存在し、それに対応して制御ソフトウェアには多くの機能が設けられている。例えば、露光光をユーザの用途に合わせて選択するオプションや露光装置の設置場所に応じて基板を装置内に搬入する位置を選択するオプションがあり、それぞれに対応した機能が制御ソフトウェアに用意されている。また、制御ソフトウェア自体においても、ユーザの運用に合わせて制御方法を最適化する事により処理の高速化を計るオプションがある。また、制御ソフトウェアは複雑化に伴い巨大化しており、複数のソフトウェアを組み合わせて露光装置を制御する方法が主流となっている。このため、必要となるソフトウェアの数も増えている。
【００１１】
露光装置の制御ソフトウェアは、露光装置の開発元であるベンダーにおいて、開発及びテストされるのが一般的である。上述した様に、制御ソフトウェアが複雑化及び巨大化するのに伴い、制御ソフトウェアの開発とともに、制御ソフトウェアをテストするコスト（例えば、テスト時間）も増大している。特に、各種のハードウェアやソフトウェアのオプション、増加する各種機能及び露光装置を制御する各種ソフトウェアの組み合わせであるテスト項目は膨大となり、制御ソフトウェアのテストコストを増大させている。これに対し、背景技術で述べたシミュレータを用いる方法を用いる事により、制御ソフトウェアのテストを効率化する事も可能だが、よりテストを効率化する方法が要望されている。
【００１２】
また、露光装置は生産設備であるため、終日停止する事無く使用するのが一般的である。このため、メンテナンス等、露光処理以外の使用時間であるダウンタイムはユーザの生産性に影響を与える。制御ソフトウェアの更新も長期的には生産性の向上に有効であるが、制御ソフトウェアの更新中は露光装置の処理を止めなければならないため、一時的には生産性の低下となる。仮に、更新する制御ソフトウェアのテストが十分でないと、更新に失敗したり、更新後の制御ソフトウェアによる露光装置の破損が生じたりする。これにより、再度制御ソフトウェアのバージョンを戻す等の作業を行わなければならなくなり、その生産性の低下はより大きいものとなる。
【００１３】
露光装置は製造装置である事から、特定の製品を製造する為にのみ使用される側面を持つ。また、露光装置を用いる製造工場は一般的に大規模であり、その数も限られている。これらの事から、露光装置は一般的な製品と比べて、実際の使用場所や使用方法が限られている。すなわち、露光装置が備えるオプションや機能の組み合わせは膨大であるが、実際に使用されている組み合わせは限られる。
【００１４】
例えば露光装置の投影光学系の光学性能等は経時変化し、機種が同一であっても、露光装置の状態は機差が存在する。この経時変化による露光装置の状態を考慮せずに制御ソフトウェアの更新を行うと、更新に失敗したり、更新後の制御ソフトウェアにより露光装置が破損したりすることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開平１１−２９６３５２号公報
【特許文献２】特開平１１−１８６１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、この状況を踏まえ露光装置の制御ソフトウェアを安全にかつ確実に更新することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新することが可能な露光システムであって、少なくとも１つの露光装置と、露光装置の動作をテストするシミュレータと、前記露光装置の経時変化を示す情報を含む前記露光装置の構成の情報を出力する出力部と、前記出力部により出力された構成の情報に基づいて前記シミュレータに前記露光装置の経時変化を反映させる反映部と、前記シミュレータに組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する更新部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、露光装置の制御ソフトウェアを安全にかつ確実に更新することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施例の露光システムを示す模式図
【図２】第１実施例における制御ソフトウェアの更新方法のフローチャート
【図３】ユーザ用インターフェイス画面の例
【図４】第２実施例の露光システムを示す模式図
【図５】ログの一例を示す図
【図６】第２実施例におけるの制御ソフトウェアの更新方法のフローチャート
【図７】従来の露光システムを示す模式図
【図８】従来の制御ソフトウェアの更新方法のフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に係る、露光装置に組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新することが可能な露光システム及び当該更新をテストする方法について以下説明する。
【００２１】
［第１実施例］
図１は第１実施例の露光システムの模式図である。第１実施例の露光システムは、通常の露光処理を行う露光装置１１とは別に、露光装置の更新に使用する制御ソフトウェアをテストするためのテスト用露光装置２１を備える。テスト用露光装置２１としては、制御ソフトウェアを更新する露光装置とは別の露光装置を使用し得る。また、露光装置の更新に使用する制御ソフトウェアをテストするために、別の露光装置に替えて露光装置の動作をテストするシミュレータを使用し得る。また、露光システムは、テストの正確性を向上させるために、露光装置１１の経時変化を示す情報を含む露光装置１１の構成の情報を出力する出力部１６を備える。さらに、露光システムは、出力部１６により出力された露光装置１１の構成の情報に基づいてテスト用露光装置２１の構成の状態に露光装置１１の経時変化を反映させる反映部２６を備えている。
【００２２】
図１において、符号１は、露光装置の設置場所であり、例えば、半導体装置の製造工場を示している。符号２は、例えば、露光装置の製造会社であり露光装置の開発や管理を行っているベンダー施設を示している。
【００２３】
半導体装置の製造工場１には、少なくとも１つの露光装置１１が設置されている。露光装置１１は、原板のパターンを介して基板を露光する露光部１２と、制御ソフトウェアにより露光部１２を制御する制御部１３と、制御ソフトウェアを含むデータを保持するデータ保持部１４を備える。データ保持部１４は、具体的には公知のハードディスクである。また、半導体装置の製造工場１には、新たな制御ソフトウェアにより露光装置１１に組み込まれた制御ソフトウェアを更新する第２更新部１５が配置されている。第２更新部１５は、テスト用露光装置２１を用いて正常に動作すると判定された新たな制御ソフトウェアにより、データ保持部１４に保持されている制御ソフトウェアを更新する。第２更新部１５により行われる更新の内容としては、例えば、データ保持部１４に制御ソフトウェアの複製を保存する作業や、データベースの更新等などの作業が挙げられる。
【００２４】
更に、半導体装置製造工場１には、露光装置１１の構成の情報を出力する出力部１６が設置される。出力部１６は、露光装置１１の構成の情報を露光装置１１の外部に出力する。露光装置１１の構成の情報には、露光装置１１のハードウェア構成、ソフトウェア構成及び経時変化を示す情報が含まれる。構成の情報に含まれるハードウェア構成についての情報は、露光装置１１のハードウェアオプションの有無や構成するハードウェアの型番等である。構成の情報に含まれるソフトウェア構成についての情報は、露光装置１１で動作しているソフトウェア名、そのバージョン名、ソフトウェアオプションの設定等である。露光装置１１の経時変化を示す情報は、例えば、基板の像を投影する投影光学系の光学性能、基板又は原版を搬送する搬送機構の稼動速度、投影光学系を駆動するピエゾ素子の膨張率、光源から射出される光量等である。露光装置では、装置状態を検出して露光装置の経時変化を示す情報を取得し、経時変化の影響を補正している。
【００２５】
一方、ベンダー施設２には、１つ以上のテスト用露光装置２１が設置されている。テスト用露光装置２１は、原板のパターンを介して基板を露光する、又は、露光を模擬的に実行するテスト用露光部２２を備えている。また、テスト用露光装置２１は、制御ソフトウェアによりテスト用露光部２２を制御するテスト用制御部２３と、制御ソフトウェアを含むデータを保持するテスト用データ保持部２４をさらに備えている。テスト用露光部２２としては、露光装置１１の露光部１２と同等の振る舞いを擬似的に行うシミュレータを用いることができる。テスト用制御部２３は、テスト用露光装置２１の操作者が操作することができるよう、例えば、ユーザ用インターフェイスを備えている。即ち、テスト用露光装置２１は、露光装置１１と同等の露光装置又は露光装置１１と同等の動作をシミュレーション可能な装置である。
【００２６】
ベンダー施設２には、シミュレータに組み込まれた制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する更新部（第１更新部）２５が配置されている。第１更新部２５は、テスト用データ保持部２４に保持されている制御ソフトウェアを更新する。第１更新部２５は、テスト用データ保持部２４に制御ソフトウェアの複製を保存するとともにテスト用データ保持部２４のデータベースを更新する事により、テスト用露光装置２１の制御ソフトウェアを更新する。即ち、第１更新部２５は、第２更新部１５が露光装置１１の制御ソフトウェアを更新するのと同等な方法で、テスト用露光装置２１の制御ソフトウェアを更新する。
【００２７】
更にベンダー施設２には、テスト用露光装置２１の状態に露光装置１１の経時変化を反映させる反映部２６が設置されている。反映部２６は、出力部１６が出力した露光装置１１の構成の情報を受け取り、露光装置１１の構成と同等になる様にテスト用露光装置２１の構成を更新する。
【００２８】
出力部１６と反映部２６とは通信網で接続され、第２更新部１５と第１更新部２５とは通信網で接続されている。出力部１６と反映部２６とは、この通信網を介して露光装置１１の構成の情報を受け渡しする。また、通信網を介すかわりに、ＣＤ−ＲＯＭや光磁気ディスク等のメディアを介して露光装置１１の構成の情報を受け渡ししても構わない。
【００２９】
第２更新部１５、出力部１６、第１更新部２５及び反映部２６は、公知の計算機やボードコンピュータで実現可能である。また、第２更新部１５を実現するための計算機やボードコンピュータは、出力部１６を兼用しても構わない。第１更新部２５を実現するための計算機やボードコンピュータも同様に、反映部２６を兼用しても構わない。
【００３０】
本実施例は、ベンダー施設２に、テスト用露光装置２１、第１更新部２５、反映部２６を設置しているが、これに限るものでは無い。例えば、テスト用露光装置２１、第１更新部２５、反映部２６を半導体装置製造工場１に設置しても構わない。
【００３１】
次に、本実施例における露光装置１１の制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する方法及び制御プログラムの更新をテストする方法について述べる。一連の処理の中でのポイントは、露光装置１１の制御ソフトウェアを更新する前に、テスト用露光装置２１の構成を露光装置１１の構成と同様又はそれに準ずる環境に設定してテスト用露光装置２１で更新のテストすることにある。図２は出力部１６が露光装置１１の構成の情報を出力し、更新のテストを行い、露光装置１１の制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアで更新するまでのフローチャートである。
【００３２】
図２のステップＳ１０１で、出力部１６は露光装置１１の構成の情報を出力する。この構成の情報は前述の通り、例えば露光装置１１のハードウェア構成、ソフトウェア構成、露光装置１１の経時変化を示す情報を含んでいる。ここで、出力部１６が露光装置１１の構成の情報を取得する方法について説明する。最初に、ハードウェア構成を取得する方法の一例について述べる。露光装置１１の製造時に、露光装置１１のハードウェアオプションの有無や構成するハードウェアの型番などをハードウェア構成に関する情報としてデータ保持部１４に記述する。又はハードウェアの交換、修理時などにも、データ保持部に記述してある上記情報を更新する。出力部１６は、このハードウェア構成に関する情報を出力する。次に、出力部１６がソフトウェア構成を取得する方法の一例について述べる。制御ソフトウェアの更新時において第２更新部１５は、データ保持部１４に制御ソフトウェアを保存するとともに、制御ソフトウェアのソフトウェア名、バージョン等の情報も保存する。出力部１６は、これらのソフトウェア構成の情報を出力する。また、出力部１６は、露光装置１１におけるソフトウェアオプション設定等のソフトウェア上の設定情報もデータ保持部１４から読み出す事で出力する。
【００３３】
最後に、出力部１６が、機差がある経時変化を示す情報を取得する方法の一例について述べる。経時変化を示す情報の一例である、露光装置１１に基板を搬入する際のアーム駆動速度の取得方法について説明する。例えば、アーム駆動速度は、基板の搬入開始から搬入終了までの時間から測定する。測定結果を構成の情報としてデータ保持部１４に保持する。一定時間内の露光回数を計るスループット計測のようなテストを行う場合、アーム駆動速度によってテスト結果が変わってくる。つまり、ハードウェア、ソフトウェア共に同じ環境の露光装置同士でも、アーム駆動速度に挙げられるような装置状態が異なることが、更新のテストの結果に影響を与える。そのため、構成の情報をテストに利用する。測定結果は構成の情報としてデータ保持部１４に保持される。出力部１６はこのアーム駆動速度を出力する。尚、経時変化を示す情報はハードウェアの取り付け位置等のハードウェアの調整値も含んでいる。
【００３４】
ステップＳ１０２では、まず、出力部１６から出力された構成の情報に合わせて、テスト用露光装置２１の構成を更新する。露光装置の構成の情報は、ハードウェア、ソフトウェア、経時変化を示す情報に及ぶ。ステップＳ１０２でテスト用露光装置によるテスト環境に露光装置１１の経時変化が反映される。ステップＳ１０３で第１更新部２５は、構成の情報が更新されたテスト用露光装置２１の制御ソフトウェアを露光装置１１の更新に用いる制御ソフトウェアにより更新する。テスト用露光装置２１の制御ソフトウェアを更新する方法は、第１更新部２５の説明で述べたとおりである。ここで、テスト用露光装置２１の構成を更新する方法について説明する。最初に、テスト用露光装置２１のハードウェア構成を更新する方法の一例について述べる。テスト用露光部２２として露光装置１１の露光部１２と同等な手段を用いる場合、例えばハードウェアを交換する事でテスト用露光部２２のハードウェア構成を更新する。また、必要に応じてハードウェアを調整する。テスト用露光部２２としてシミュレータを用いている場合は、シミュレータの設定を変更し、露光装置１１と同じ構成にする。例えば、構成の情報の１つである、露光装置のハードウェアオプション有無の情報に合わせて、シミュレータにおけるハードウェアユニットの有無の設定を変更する。次に、テスト用露光装置２１のソフトウェア構成を更新する方法の一例について述べる。必要に応じて、テスト用露光装置２１の制御ソフトウェアを更新する前の露光装置における制御ソフトウェアのバージョンに更新する。また、ソフトウェアオプション設定等のソフトウェア上の設定情報もテスト用データ保持部２４に保存する。最後に、テスト用露光装置２１の経時変化を示す装置状態を更新する方法の一例について述べる。経時変化を示す装置状態を更新する一例として、ウェハ搬送ユニットを挙げる。構成の情報であるアーム駆動情報に合わせて、ウェハ搬送ユニットのアーム部分の駆動速度を調節する。もしくは、同程度の速度で駆動するアーム部分に交換する。これらの例で挙げたように、テスト用露光装置２１の構成を露光装置１１の構成に合わせることで、制御ソフトウェアの更新における精度の向上が期待できる。
【００３５】
Ｓ１０４で、新たな制御ソフトウェアにより制御ソフトウェアが更新されたテスト用露光装置２１を用いて制御ソフトウェアの更新作業のテストが行われる。更新作業のテストの例としては、更新前にできていたオペレーションが、更新後にできなくなっていないかといったリグレッションテスト、更新で追加された機能が正常に動作するかといった新規項目テストなどがある。このテスト結果が正常であった場合には、ステップＳ１０５に進む。テスト結果が異常であった場合は、ステップＳ１０５には進まず、テスト結果が異常であった旨を表示して終了する。
【００３６】
ステップＳ１０５では、テスト用露光装置２１にインストールした新たな制御ソフトウェアを、第２更新部１５を用いて露光装置１１にインストールする。即ち、第２更新部１５は、露光装置１１の制御ソフトウェアを新たな制御ソフトウェアにより更新する。更新の方法は、第２更新部１５の説明で述べたとおりである。
【００３７】
尚、露光装置１１に対する制御ソフトウェアの更新を伴わずに、制御ソフトウェアのテストのみを行う場合には、図２を用いて説明した更新方法においてステップＳ１０５を除いたテスト方法を用いれば良い。この場合、図１のシステムにおいて、第２更新部１５が不要となる。
【００３８】
次に、第２更新部１５におけるユーザ用インターフェイスの説明をする。図３は、ユーザ用インターフェイスの画面である。このインターフェイスを利用して、露光装置１１の操作者は露光装置１１、テスト用露光装置２１の操作と確認を行う。ユーザ用インターフェイス画面では、操作するためのボタンとして、テスト環境選択ボタン３２、制御ソフトウェア選択ボタン３３、装置構成情報出力ボタン３４、テスト実行ボタン３５を持つ。また、テスト対象環境を確認するための画面として、テスト対象環境確認画面３１を持つ。テスト環境選択ボタン３２を押下することで、テストをするためのテスト用露光装置２１を選択することができる。制御ソフトウェア選択ボタン３３を押下することで、更新作業のテストをする制御ソフトウェアを選択することができる。選択されたテスト用露光装置名と制御ソフトウェア名はテスト対象環境確認画面３１で露光装置の操作者が確認できる。装置構成情報出力ボタン３４を押下することで、露光装置１１の装置構成情報を出力することができる。テスト実行ボタン３５を押下することで、選択したテスト環境、制御ソフトウェア、出力した装置構成情報を元にして更新作業のテストを行うことができる。また、テスト結果を確認するための画面として、テスト結果確認画面３６を持つ。実行した更新作業のテストの結果はここに表示される。表示される内容としては、露光装置１１の装置構成とテスト用露光装置２１の装置構成が同等か、テストした制御ソフトウェア名、テストを実行した結果が挙げられる。ここでは、第２更新部１５で操作するユーザ用インターフェイスについて説明したがこれに限るものでは無い。例えば、露光装置１１、テスト用露光装置２１、第１更新部２５のいずれかにおいて、このユーザ用インターフェイスを用いた操作を行う構成であっても構わない。
【００３９】
以上、本発明を適用した第１実施例について述べた。本実施例のシステムは、通常の露光処理を行う露光装置１１とは別に、露光装置１１に適用する制御ソフトウェアとその更新作業をテストするためのテスト用露光装置２１を備える。また、テスト用露光装置２１の装置構成を、更新作業を行う露光装置１１の装置構成と同等にする反映部２６を備える。これにより、露光装置の制御ソフトウェアの更新のための事前テストをより効率化できる事が期待できる。
【００４０】
［第２実施例］
第２実施例として、本発明を適用した露光システム、制御ソフトウェアの更新のテスト方法及び露光装置の制御ソフトウェアの更新方法の別例について説明する。本実施例の露光システムでは、第１実施例で説明したテスト方法に加え、更新する制御ソフトウェアの機能の中で、改良を行っていない機能のテストを効率的に行う事を目的としている。つまり、更新前後の制御ソフトウェアで動作が変わらない機能のテストを行うものであり、リグレッションテストと呼ばれている。本来制御ソフトウェアに改良を施していない機能であるので、その動作も変わらないはずであるが、他の改良に伴い動作が変わってしまう事象を抽出する為にこのテストを行う。この事象は、露光装置で動作する複数のソフトウェア間の関係や１つのソフトウェア内での機能間の関係が複雑化する程発生しやすくなる。背景技術で述べた様に露光装置の制御ソフトウェアは巨大化及び複雑化しており、この事象に対するテストの重要性は増している。この為に、本実施例の露光システムは、更新前後における制御ソフトウェアによる露光動作の記録（以下、ログと呼ぶ）を収集し、両ログを比較する。
【００４１】
図４は本実施例における露光システムの模式図である。図４において、第２取得部１７、第１取得部２７及び比較部２８を除く部分は図１を用いて説明した第１実施例と同じである。このため、図４における、半導体装置製造工場１に配置される、露光装置１１、露光部１２、制御部１３、データ保持部１４、第２更新部１５、出力部１６の説明は省略する。また、図４における、ベンダー施設２に配置される、テスト用露光装置２１、テスト用露光部２２、テスト用制御部２３、テスト用データ保持部２４、第１更新部２５、反映部２６の説明も省略する。
【００４２】
第２取得部１７は、露光装置１１と接続され、新たな制御ソフトウェアによる更新がなされる前の露光装置１１による露光動作のログを取得する。第１取得部２７は、テスト用露光装置２１と接続され、新たな制御ソフトウェアにより更新された後のテスト用露光装置２１による露光動作のログを取得する。両露光装置１１，２１で動作する制御ソフトウェアは、露光動作中の情報をデータ保持部１４又はテスト用データ保持部２４にログとして保存する機能を備えている。第２取得部１７及び第１取得部２７は、データ保持部１４又はテスト用データ保持部２４から両露光装置１１，２１が保存したログを取得する。露光動作の記録であるログは、制御ソフトウェアで実行する処理の予め設定した複数のタイミングで、露光動作の内容、露光動作のパラメータ、露光動作の結果等を動作記録識別子と露光動作時刻とともに保存したものである。例えば、ログはこれらの情報を文字列として記述した計算機上のファイルとして保存される。図５にログの一例を示す。ログ５１の各行は、１回の動作記録に対応している。各動作記録は、処理時刻５２、動作記録識別子５３、記録内容５４から構成されている。
【００４３】
比較部２８は、第２取得部１７により取得された露光装置１１のログと第１取得部２７により取得されたテスト用露光装置２１のログを比較する。例えば、ログが動作記録を文字列として保存しているファイルである場合は、両ファイルの文字列を比較する事で実現する。但し、ログは、処理時刻や各露光装置固有のデータの様に、動作比較をする上では不要なデータも含んでいる。この為、比較部２８は、比較を行わないデータを予め設定しておく機能を備えている。例えば、比較を行わないデータをその識別子を用いて設定しておく。２つのログを比較した結果は、不示図のモニタ等の表示部に表示する。ユーザは、この表示により、更新前後の制御ソフトウェア間で動作が変わらないかを確認する。すなわち、比較部２８は、新たな制御ソフトウェアによる更新の影響を受けないと予め特定された露光動作が新たな制御ソフトウェアにより更新されたテスト露光装置２１によって行われたか否かを確認する。
【００４４】
第２取得部１７、第１取得部２７、比較部２８は、公知の計算機やボードコンピュータで実現可能である。また、第２更新部１５や出力部１６を実現するための計算機やボードコンピュータは、第２取得部１７を兼用しても構わない。第１更新部２５、反映部２６を実現するための計算機やボードコンピュータも同様に、第１取得部２７及び比較部２８を兼用しても構わない。
【００４５】
次に、本実施例における露光装置１１の制御ソフトウェアの更新方法及び更新のテスト方法について述べる。図６は本実施例における露光装置１１の制御ソフトウェアの更新方法を示すフローチャートである。図６において、ステップＳ１０６、Ｓ１０７を除く工程は図２を用いて説明した第１実施例と同じである。このため、図６における、ステップＳ１０１、Ｓ１０２、Ｓ１０３、Ｓ１０４、Ｓ１０５の説明は省略する。
【００４６】
ステップＳ１０６は、更新前後の露光装置で同一の操作をした時のログを取得する工程である。具体的には、制御ソフトウェアが更新される前の露光装置１１と制御ソフトウェアが更新された後のテスト用露光装置２１において、露光動作のログが取得される。つまり、第２取得部１７は露光装置１１から更新前のログを、第１取得部２７はテスト用露光装置２１から更新後のログをそれぞれ取得する。ログの取得は、第２取得部１７が、データ保持部１４から露光装置１１が保存したログを収集する事で行う。また、第１取得部２７が、テスト用データ保持部２４からテスト用露光装置２１が保存したログを収集する事で行う。具体的なログの内容は、第２取得部１７及び第１取得部２７の説明で述べた通りである。ここで、本実施例では、露光装置１１及びテスト用露光装置２１における制御ソフトウェア以外の装置構成を同一にするために、ステップＳ１０１、Ｓ１０２の工程を事前に行う。更に、露光装置１１及びテスト用露光装置２１での操作を同一にする為に、露光動作の条件を設定するファイル（以下レシピと呼ぶ）も、両露光装置１１，２１で同一のものを使用する。レシピは一般的に計算機上のファイルとして実現されており、例えば、第２更新部１５及び第１更新部２５を介して転送する事により、両露光装置１１，２１で同じファイルを保持する事が可能である。また、露光装置１１及びテスト用露光装置２１における操作で用いる基板及び原板も同じもしくは同等のものを用いる。
【００４７】
ステップＳ１０７は、制御ソフトウェアの更新前後の改良を行っていない機能において、更新前後の露光動作に変化が無い事がテストされる。具体的には、ステップＳ１０５で取得された、同一操作をした時の両露光装置１１，２１のログを比較部２８により比較することでテストされる。具体的なログの比較方法は、比較部２８の説明で述べた通りである。ステップＳ１０７において、更新前後で改良を行っていない機能における動作の変化を検出した場合は、更新作業のテストを行うステップＳ１０５と同様に、ステップＳ１０５を中止する。尚、制御ソフトウェアの更新を伴わずに、制御ソフトウェアの更新作業のテストのみを行う場合には、図６を用いて説明した更新方法においてステップＳ１０５除いたテスト方法を用いれば良い。
【００４８】
以上、本発明を適用した第２実施例について述べた。本実施例は、第１実施例で説明したテスト方法に加え、更新する制御ソフトウェアの機能の中で、改良を行っていない機能のテストを効率的に行う事が可能である。これにより、露光装置の制御ソフトウェアの更新のための事前テストをより効率化できる事が期待できる。
【００４９】
本発明は露光システム、制御ソフトウェアの更新方法及び当該更新のテスト方法に適用可能である。具体的には、マスクやレチクル等の原板のパターンを半導体ウェハやガラス基板等の基板に露光する露光装置と、露光装置の制御ソフトウェアを更新する際に事前テストをするシステムに適用可能である。また、前記システムを用いて露光装置の制御ソフトウェアを更新する方法及び更新作業をテストする方法に適用可能である。
【００５０】
［デバイス製造方法］
デバイスは、前述の走査露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、露光工程で露光された基板を現像する現像工程と、現像工程で現像された基板を加工する他の周知の工程とを経ることによって製造される。他の周知の工程は、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング工程などである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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