(57)【要約】【課題】システム本体を小型に構成しつつ、処理装置に対して容易に固定する。【解決手段】移載システム（３０）は、搬送車（１０）が被搬送物（３）を移載する移載位置からポートに至る元移載進路を遮るように配置されており、搬送車との間で被搬送物を移載可能である第１棚と、被搬送物を載置可能である第２棚と、処理装置（２０）に対し接近及び離間する第１方向に、第１棚及びポートに対し被搬送物を往復移動可能であって、第１棚及びポートから被搬送物分だけ第１方向に離間した第１方向位置にて被搬送物を、第１方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段（３２）と、移載を要求する旨の第１系信号を搬送車から受信すると共に、移載を許可する旨の第２系信号を搬送車に対し送信可能であって、且つ処理装置に対し第１系信号を送信すると共に処理装置から第２系信号を受信可能な通信手段とを備える。【選択図】図６
2010184760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載システムであって、
前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第１棚と、
前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第２棚と、
前記処理装置に対して接近及び離間する方向である第１方向に、前記第１棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第１棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第１方向に離間した第１方向位置にて前記被搬送物を、前記第１方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段と、
前記搬送車に係る、移載を要求する旨の第１系信号を、前記搬送車から受信又は前記搬送車に対して送信すると共に、前記第１棚に係る、移載を許可する旨の第２系信号を、前記搬送車に対して送信又は前記搬送車から受信可能であって、且つ前記第１系信号を前記処理装置に対して送信又は前記処理装置から受信すると共に前記ポートに係る前記第２系信号を前記処理装置から受信又は前記処理装置に対して送信可能な通信手段と、
前記搬送車から前記第１棚に移載された又は前記第１棚から第２棚に移載された前記被搬送物を、前記ポートに移動させる場合に、前記処理装置との間で前記第１系信号及び前記ポートに係る前記第２系信号の送受信を行うように前記通信手段を制御すると共に、前記処理装置から受信又は前記処理装置に対して送信された前記ポートに係る前記第２系信号に応じて、前記ポートに移載するように前記移動手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする移載システム。
【請求項２】
前記第２棚は、前記第１方向位置のうち、前記移動手段が前記被搬送物を前記第１棚及び前記ポート間で前記第１方向及び前記第２方向に移動させる際の妨げとならない位置に、配置されていることを特徴とする請求項１に記載の移載システム。
【請求項３】
前記処理装置は、前記ポートを複数有し、
当該移載システム本体は、その外形寸法において前記ポートの配列ピッチ以下の幅を有すると共に、前記ポートが配列された方向に対して直交する方向に、前記第１方向が一致するように配置される
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の移載システム。
【請求項４】
前記搬送車は、前記被搬送物を鉛直方向に縦移載し、
前記第１方向は、前記鉛直方向に対して垂直である水平一方向であり、
前記第２方向は、前記鉛直方向である
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の移載システム。
【請求項５】
前記移動手段は、
前記被搬送物を把持する把持手段と、
前記把持手段を前記第１方向に往復移動可能な第１移動部と、
前記把持手段を前記第２方向に往復移動可能な第２移動部と
を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の移載システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置等の処理装置と、軌道に沿って走行するビークル等の搬送車との間で、半導体製造用の各種基板が収容された容器等の被搬送物を移載する移載システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の移載システムとして、処理装置の外枠或いは外函の外部に固定され、該処理装置との間、及び搬送車との間で夫々ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と呼ばれる容器等の被搬送物を移載するものが製品化されている。具体的には、この移載システムは、最上部に、搬送車との間でＦＯＵＰを移載するためのポート等の棚を２基装備し、ポートより下方にＦＯＵＰを一時的に載置するためのバッファストレージ等の棚を６基装備している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、ウェハ支持ポッド等の被搬送物を夫々支持可能な複数の棚と、該複数の棚を含んでいるＸ−Ｚ平面内のあらゆる位置に移動可能なグリッパとを備えるシステムが提案されている。具体的には、このシステムにより、半導体プロセスツール及び計測ツール等の処理装置にウェハ支持ポッドが供給される（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４１８２５２１号公報
【特許文献２】特表２００１−５０９４６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１及び２に記載の移載システムは、処理装置の外枠或いは外函に強固に固定される。即ち、当該移載システム本体を一度処理装置に固定してしまうと、その固定を解除する作業に多大な時間を要することになる。また、移載システム本体が処理装置に固定されている時には、処理装置の前面（特に、被搬送物出し入れ用のポートが存在している壁面部分）を塞いだ状態となる。このため、移載システム本体が固定されたまま、処理装置の改修、故障及びメンテナンスに係る作業を行うことは、困難或いは不可能を極める。即ち、改修等に係る作業を行うためには、移載システム本体を処理装置から取り外すという、手間の係る作業が発生してしまう。更にその後、移載システム本体を処理装置に再び固定する際には、ある程度の位置決め精度が要求される両者間の固定作業も新たに発生してしまう。しかも、これらの移載システム本体は、工場内における処理装置周囲の省スペース化を図る際に、無視し得ない程度に外観形状が嵩張り且つ固定場所も限定されているので、該省スペース化を図る際の大きな障害になるという技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、システム本体を小型に構成しつつ、処理装置に対して容易に固定し得る移載システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の移載システムは上記課題を解決するために、軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載システムであって、前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第１棚と、前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第２棚と、前記処理装置に対して接近及び離間する方向である第１方向に、前記第１棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第１棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第１方向に離間した第１方向位置にて前記被搬送物を、前記第１方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段と、前記搬送車に係る、移載を要求する旨の第１系信号を、前記搬送車から受信又は前記搬送車に対して送信すると共に、前記第１棚に係る、移載を許可する旨の第２系信号を、前記搬送車に対して送信又は前記搬送車から受信可能であって、且つ前記第１系信号を前記処理装置に対して送信又は前記処理装置から受信すると共に前記ポートに係る前記第２系信号を前記処理装置から受信又は前記処理装置に対して送信可能な通信手段と、前記搬送車から前記第１棚に移載された又は前記第１棚から第２棚に移載された前記被搬送物を、前記ポートに移動させる場合に、前記処理装置との間で前記第１系信号及び前記ポートに係る前記第２系信号の送受信を行うように前記通信手段を制御すると共に、前記処理装置から受信又は前記処理装置に対して送信された前記ポートに係る前記第２系信号に応じて、前記ポートに移載するように前記移動手段を制御する制御手段とを備える。
【０００８】
本発明における処理装置は、例えばプロセス装置、検査装置等の半導体製造装置であって、例えばＦＯＵＰ等の被搬送物、実際には、被搬送物の内部に収容されているウェハ等の被処理物に対して所定の処理（例えば、露光処理、成膜処理、熱処理等）を行う。該処理が行われる際に、典型的には、処理が行われる被搬送物が、例えば半導体製造工場等の施設における天井に敷設された軌道に沿って走行する例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の搬送車により、処理装置へ搬送されると共に、搬送車から又は搬送車へ移載可能であるポートに移載される。この後、例えば、ポート上の被搬送物に収容されている被処理物が、処理装置における移動手段により、被搬送物内部から取り出され、処理装置内部に出し入れされる。尚、処理対象として、処理装置内部に出し入れされる被処理物の形態として、例えば処理装置がバッファを備える装置であれば、上述したように被処理物単体でなくとも、被搬送物自体（即ち、被処理物が収納されている被搬送物のまま）であってもよい。尚、搬送車及び処理装置間の移載に係る制御及び動作は、典型的に、Ｅ８４  ＥＰＩ／Ｏ（Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｈａｎｄｏｆｆ  Ｐａｒａｌｌｅｌ  Ｉ／Ｏ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）（ＳＥＭＩ規格、以下、単に「Ｅ８４」と称する）に規定されるシーケンスに基づいて行われるが、何等この限りではない。
【０００９】
ここで、例えば半導体製造において、製造設備を拡大させることなく、より多くの生産量を確保するために、処理装置の稼働率を向上させることが課題となっている。例えば、一の搬送車により、処理が完了した被搬送物がポートから持ち去られてから、二の搬送車により、処理がこれから行われようとする被搬送物がポートに持ち運ばれるまでの、被搬送物の待ち時間（即ち、処理装置の非稼動時間）が数分であるとする。これに対して、１つの被搬送物における処理に同じ数分を要する場合に、処理装置の稼働率は５０％となってしまう。このように、待ち時間に応じて低下してしまう稼働率を向上させるためには、処理装置にて処理が完了した被搬送物をポートから逸早く取り去り、次に処理が行われる被搬送物を逸早くポートに載置する（即ち、ポート上の被搬送物を逸早く差し替える）ことにより、処理装置の非稼動時間を短縮することが要求される。
【００１０】
本発明の移載システムによれば、当該移載システムは、処理装置により処理が行われる又は行われた被搬送物を、一時的に載置或いは保持する例えばバッファリングシステム或いは装置等の一時保持システム或いは装置であって、各部に接続される、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を備えるコントローラ等の制御手段により、後述する移動手段及び通信手段が制御される。このような移載システムによれば、例えば、その動作時には先ず、当該移載システム、搬送車及び処理装置（以下、適宜「三要素」と称する）を統括的に制御する、例えば製造システムにおける制御手段により、例えば半導体製造スケジュールに基づいて、三要素に対して、一の被搬送物に対する搬送及び処理が要求される。すると、一の被搬送物を搬送する搬送車が第１棚に対応する位置で停止され、搬送車から第１棚に一の被搬送物が移載される。ここで「第１棚」とは、例えば、「ＯＨＴポート」と称される、搬送車から又は搬送車へ移載される被搬送物を載置可能な載置面を有する棚を意味する。該一の被搬送物が第１棚に移載される場合に、赤外線等の光通信可能な送受信機、又は通信先と相互に接続される通信ケーブル等の通信手段（即ち、通信先が搬送車である場合には、例えば送受信機）により、搬送車との間で、移載を要求する旨の第１系信号及び移載を許可する旨の第２系信号が送受信される。ここで「搬送車に係る、第１系信号」は、例えば第１棚に対する移載を行う旨を移載システムに伝達するための信号、又はポートに対する移載を行う旨を処理装置に伝達するための信号である。これに対して「第１棚に係る、第２系信号」は、例えば第１棚に対する移載を許可する旨を搬送車に伝達するための信号である。よって、一の被搬送物が第１棚に移載される場合には、移載を許可する旨の第２系信号が搬送車で受信されたことになる。第１棚に移載された一の被搬送物は、例えばＦＯＵＰのフランジを把持可能なロボットアーム、及び被搬送物をその下方から支持可能な移載機構等の移動手段により、第１棚からポートに移載される。該一の被搬送物がポートに移載される場合に、通信手段（即ち、通信先が処理装置である場合には、例えば通信ケーブル）により、処理装置との間で第１系信号及び第２系信号が送受信される。ここで、処理装置に係る「第１系信号」は、例えばポートに対する移載を行う旨を処理装置に伝達するための信号である。これに対して、「ポートに係る、第２系信号」は、例えばポートに対する移載を許可する旨を移載システムに伝達するための信号、又は同旨を搬送車に伝達するための信号である。よって、一の被搬送物がポートに移載される場合には、移載を許可する旨の第２系信号が移載システムで受信されたことになる。
【００１１】
一の被搬送物がポートに移載された後、処理装置における例えば内外移動手段により、一の被搬送物内部に収容されている被処理物がポート上の一の被搬送物内部から処理装置内部に移動される。すると、処理装置内部にて被処理物に対して処理が行われる。続いて、三要素に対して、次に処理すべき二の被搬送物に対する搬送及び処理が要求される。すると、二の被搬送物を搬送する搬送車が第１棚に対応する位置で停止され、搬送車から第１棚に二の被搬送物が移載される（即ち、持ち運ばれる）。すると、第１棚上の二の被搬送物が、移動手段により、第１棚から第２棚に移載される。ここで「第２棚」とは、例えば「バッファ」或いは「バッファ棚」と称される、ポート上の被搬送物を、処理が完了した一の被搬送物から、この次に処理される第１棚上の二の被搬送物に差し替えるために、一又は二のいずれかの被搬送物を一時的に載置可能な載置面を有する棚を意味する。続いて、一の被処理物（実際には、一の被搬送物における被処理物）に対する処理が完了すると、内外移動手段により、被処理物が処理装置内部からポート上の一の被搬送物内部に移動される。すると、被搬送物を搬送していない空荷の搬送車のうち、当該移載装置或いは処理装置に最近の搬送車に対して、処理が完了した一の被搬送物の搬送（即ち、持ち去り）が要求される。この後に、移動手段により、ポート上の一の被搬送物がポートから第１棚に移載される（即ち、処理が完了した一の被搬送物がポートから離れる）ことに並行して、三要素に対して、二の被搬送物の次に処理すべき三の被搬送物に対する搬送及び処理（即ち、呼び込み）が要求される。続いて、第２棚上の二の被搬送物が第２棚からポートに移載され、ポート上の被搬送物の差し替えが逸早く行われる。この後、処理が完了した一の被搬送物の搬送を要求された搬送車により、第１棚上の一の被搬送物が第１棚から搬送車に移載される（即ち、持ち去られる）。一方、ポート上の二の被搬送物（実際には、二の被搬送物における被処理物）に対する処理が完了すると、空荷であって当該移載装置或いは処理装置に最近の搬送車に対して、処理が完了した二の被搬送物の搬送（即ち、持ち去り）が要求される。このように、処理がこれから行われる被搬送物が順次第１棚に移載され、該第１棚上の被搬送物と、ポート上の処理が完了した被搬送物とを、第２棚を使用して効率的に差し替えることにより、処理装置の稼働率を向上させることが可能である。尚、上述した例では、移載を要求する旨の第１系信号は、搬送車から移載システムに、移載システムから処理装置に夫々送信されると共に、移載を許可する旨の第２系信号は、移載システムから搬送車に、処理装置から移載システムに夫々送信されるが、第１及び第２系信号の送受信は、これと逆方向であってもよい。この場合、第１系信号は、移載システムから搬送車に、処理装置から移載システムに夫々送信されると共に、第２系信号は、搬送車から移載システムに、移載システムから処理装置に夫々送信される。即ち、移載を要求及び許可する対象が、上述した例とは反対になる。
【００１２】
上述したように、本発明の移載システムは、被搬送物を載置或いは移載可能である棚として、１つのポートにおける被搬送物の差し替えを行うための１つの第２棚と、搬送車との間で被搬送物を移載するための第１棚とを備えるだけであるから、当該移載システム本体を小型且つ軽量に構成することが可能である。また、移載システム本体が小型化された状況では、移載システム本体を１つのポート（或いは処理装置）に対して容易に固定することが可能であって、１つのポート、第１棚及び第２棚間を移動可能な移動装置を備えることからも、その接続をそもそも不用としてもよい。
【００１３】
また特に、本発明の移載システムにおける、例えば、赤外線等の光通信によりパラレル信号を通信可能な通信手段により、搬送車から受信される信号と、処理装置に送信される信号とは、移載する旨を示す第１系信号（例えば、Ｅ８４における「ＴＲ＿ＲＥＱ」）である。一方、搬送車に送信される信号と、処理装置から受信される信号とは、移載を許可する旨を示す第２系信号（例えば、Ｅ８４における「ＲＥＡＤＹ」）である。これは、移載システムを介さずに搬送車と処理装置との間で移載が行われる場合にも、本発明と同様にして、第１系信号及び第２系信号による通信が行われ得ることを意味する。即ち、本発明の実施に際して、搬送車及び処理装置におけるシステム上の変更を行う必要がない。従って、単純に、移載システムを取り除いても、搬送車及び処理装置間における第１及び第２系信号のやり取りには、殆ど又は全く変更の必要はない。逆に、移載システムを処理装置に取り付けても、搬送車及び処理装置間における第１及び第２系信号のやり取りには、殆ど又は全く変更の必要はない。言い換えれば、搬送車の立場からすれば、移載システムに対して信号の送受信をしているのか又は処理装置に対して信号の送受信をしているのかを（即ち、処理装置の手前に、移載システムが介在しているのか否かを）、意識する必要は殆ど又は全くない。逆に、処理装置の立場からすれば、移載システムに対して信号の送受信をしているのか又は搬送車に対して信号の送受信をしているのかを（即ち、搬送車の手前に、移載システムが介在しているのか否かを）、意識する必要は殆ど又は全くない。尚、通信手段により、搬送車に対して、上述の移載を許可する旨の第２系信号より前に、移載を要求する旨の第１又は第２系信号（例えば、Ｅ８４における「Ｌ＿ＲＥＱ」等）が送信されてもよい。
【００１４】
従って、システム上においても、移載システム本体を１つのポートに対して容易に固定することが可能である。
【００１５】
また、本発明の移載システムによれば、その内部配置及び外部配置について、先ず、第１棚は、搬送車が被搬送物を移載する移載位置、典型的には鉛直方向に縦移載する移載位置から、ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されている。このため、搬送車側から見れば、移載システムが存在していない場合におけるポートに対する移載動作と、移載システムが存在している場合における第１棚に対する移載動作とを、殆ど同様の要領で実行可能となる。
【００１６】
即ち、物理的配置についても、搬送車から見れば、移載システムに設けられた第１棚とポートとは、高さこそ違いはあれ、両者共に、同一の元移載進路に配置されているので、縦移載等の移載を行う上で、殆ど又は全く区別して行う必要がない。逆に、処理装置から見れば、搬送車と、移載システムが有する移動手段とは、高さこそ違いはあれ、両者共に、同一の元移載進路にて同一ポート上に被搬送物を移載する又は同一ポートから被搬送物を移載するので、いずれとの移載を行うかについては、殆ど又は全く区別して行う必要がない。
【００１７】
従って、システム上のみならず物理配置上においても、移載システム本体を１つのポートに対して容易に固定することが可能である。
【００１８】
しかも、移動手段は、処理装置に対して、より具体的には処理装置におけるポートが設けられた外枠面若しくは外函面又は側面若しくは側壁に対して、接近及び離間する方向である第１方向（例えば、水平一方向）に、第１棚及びポートに対して被搬送物を往復移動可能である。更に、移動手段は、第１棚及びポートから少なくとも被搬送物分だけ第１方向に離間した第１方向位置（例えば、水平方向位置）にて被搬送物を、第２方向（例えば、鉛直方向）に往復移動可能である。よって、移載システム本体内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間を、極めて省スペースの中に収めることができる。特にバッファとして機能する第２棚の存在が、第１棚及びポート間で被搬送物を直接往復移動させる際における通路或いは空間を邪魔しないようにとの条件を加味すれば、このように移載システム本体内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間は、最小限に近いものにできる。即ち、ポートの幅以内に、移載システム本体内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間の幅を小さくできる。このため、複数のポートを備える１つの処理装置に対して、ポートと同数の移載システム本体を軌道に沿って一列に並ぶように配置することも可能である。即ち、移載システム本体の外枠或いは外函等の外形幅をポートのピッチと同一又は同一以下にすることも可能な訳である。これにより、各ポートに対して移載システムを使用するか否かを適宜選択することも可能である。
【００１９】
本発明の移載システムの一態様では、前記第２棚は、前記第１方向位置のうち、前記移動手段が前記被搬送物を前記第１棚及び前記ポート間で前記第１方向及び前記第２方向に移動させる際の妨げとならない位置に、配置されている。
【００２０】
この態様によれば、第２棚は、第１方向位置（例えば、処理装置におけるポートが設けられた外壁からの水平方向の距離が固定された位置）のうち、被搬送物を第１棚及びポート間で第１方向（例えば水平方向）及び第２方向（例えば、鉛直方向）に移動させる際の妨げとならない位置に、配置されている。具体的には例えば、第１棚の下方に配置されるポートに近い、ポートの若干下方に位置する水平方向位置における、移動手段の鉛直方向の可動範囲の下限付近に、第２棚は配置される。或いは、第１棚の若干上方に位置する水平方向位置における、移動手段の鉛直方向の可動範囲の上限付近に、第２棚は配置される。よって、特にバッファとして機能する第２棚の存在が、第１棚及びポート間で被搬送物を直接移動させる際における通路或いは空間を邪魔しないようにしつつ、移載システム本体内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間は、最小限に近いものにできる。よって、移載システム本体の外枠或いは外函等の外形形状を最小限に近いものにできる。
【００２１】
或いは本発明の移載システムの他の態様では、前記第２棚は、前記元移載進路における、前記第１棚及び前記ポート間に配置されている。
【００２２】
この態様によれば、第２棚は、元移載進路における、第１棚及びポート間に配置されており、これら第１棚及び第２棚並びにポートの三者は、いずれも元移載進路に相互間に距離を隔てた形で重ねて配置される。従って、第２方向位置において、これら三社間で被搬送物を移動させる際における通路或いは空間を邪魔しないようにしつつ、移載システム本体内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間は、最小限に近いものにできる。よって、移載システム本体の外枠或いは外函等の外形形状を最小限に近いものにできる。
【００２３】
本発明の移載システムの他の態様では、前記処理装置は、前記ポートを複数有し、当該移載システム本体は、その外形寸法において前記ポートの配列ピッチ以下の幅を有すると共に、前記ポートが配列された方向に対して直交する方向に、前記第１方向が一致するように配置される。
【００２４】
この態様によれば、移載システム本体は、その外形寸法においてポートの配列ピッチ以下の幅を有すると共に、典型的には、軌道に沿った方向であるポートが配列された方向に対して直交する方向に、第１方向が一致するので、複数の移載システム本体をポートに一対一対応させて配備することも可能となる。ポートの幅方向に対して移載システム本体の幅が狭いので、このように移載システム本体をポートの配列に合わせて複数配列することも可能となる。
【００２５】
本発明の移載システムの他の態様では、前記搬送車は、前記被搬送物を鉛直方向に縦移載し、前記第１方向は、前記鉛直方向に対して垂直である水平一方向であり、前記第２方向は、前記鉛直方向である。
【００２６】
この態様によれば、搬送車は、処理装置に移載システムが配備されていない場合には、鉛直方向に延びる元移載進路に沿ってポートに対して縦移載でき、処理装置に移載システムが配備されている場合にも、同じ要領で元移載進路に沿って第１棚に対して縦移載できる。しかも、移動手段によって、第１棚に載置されている被搬送物を、水平一方向及び鉛直方向に移動させることで、第２棚又はポートまで移動させることができる。或いは、移動手段によって、ポートに載置されている被搬送物を、水平一方向及び鉛直方向に移動させることで、第２棚又は第１棚まで移動させることができる。
【００２７】
この態様では、搬送車は、例えば被搬送物を昇降可能なホイスト機構を備えており、搬送時（即ち、搬送における走行時を含む）に、被搬送物を搬送車内に保持し、移載時には、例えば処理装置等のポート或いはストッカ等の移載用棚との間で、被搬送物を鉛直方向に降ろす或いは引き上げる。ここで、搬送車における「縦移載」とは、鉛直方向の移動により被搬送物を移載することを意味する。軌道の鉛直方向には、典型的に、処理装置におけるポートが設置される。この場合に、この態様によれば、第１棚は、移載位置に停止されている搬送車とポートとの間に配置され、第２棚は、この第１棚の下方には、具体的に第１棚とポートとの間、又はポートより下方に配置される。
【００２８】
本発明の移載システムの他の態様では、前記移動手段は、前記被搬送物を把持する把持手段と、前記把持手段を前記第１方向に往復移動可能な第１移動部と、前記把持手段を第２方向に往復移動可能な第２移動部とを有する。
【００２９】
この態様によれば、移動手段は、その動作時に、例えば被搬送物の上部を把持可能なグリッパ、被搬送物を下方から支持可能な移載機構等の把持手段により、被搬送物を把持する。続いて、例えばアクチュエータ、モータ等の動力により駆動される、例えば水平移動部である第１移動部と、例えば鉛直移動部である第２移動部とにより、ポート、第１棚及び第２棚間（即ち、３要素）における第１方向（例えば水平一方向）及び第２方向（例えば鉛直方向）で、被搬送物を把持する移動手段が移動される。このように、二方向の移動部による簡単な２軸動作によって、３要素におけるいずれの載置面にも迅速に被搬送物を移動させることが可能である。
【００３０】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施形態の移載システムを備える製造システムの全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１の移載装置の一方向における断面図である。
【図３】図１の移載装置の他方向における断面図である。
【図４】実施形態の移載動作処理を示すフローチャートである。
【図５】図１の製造システムのシステム構成を示すブロック図である。
【図６】図１の製造システムにおける通信方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３３】
＜実施形態＞
＜製造システムの構成＞
先ず、実施形態に係る移載システムを備える製造システムの構成について図１から図３を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る移載システムを備える製造システムの外観を模式的に示す斜視図であり、図２は、図１の移載装置を一方向（即ち、図１における前後方向）で切断した場合の断面を概略的に示す一方向断面図であり、図３は、図１の移載装置を他方向（即ち、図１における左右方向）で切断した場合の断面を概略的に示す他方向断面図である。
【００３４】
図１において、製造システム１００は、レール１と、ビークル１０と、製造装置２０と、バッファ装置３０とを備える。製造システム１００は、レール１に沿ってビークル１０を走行させると共に、複数のウェハを収容可能なＦＯＵＰ（即ち、本発明に係る「被搬送物」の一例）３を製造装置２０へ搬送する搬送機能と、製造装置２０にてＦＯＵＰ３内のウェハに各種処理を施すことにより半導体素子を製造する製造機能とを有する。
【００３５】
レール１は、本発明に係る「軌道」の一例として、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レール１は、製造システム１００が設置される施設の天井に敷設されている。
【００３６】
ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力として駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）であって、レール１に吊り下げられる形で取り付けられている。ビークル１０は、レール１に沿って走行すると共に、製造装置２０の他、不図示のストッカ、ＯＨＴバッファ及び大型ストッカ等にＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル１０における走行及び搬送等の動作は、後述するビークルコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール１上には、１台のビークル１０しか図示しないが、典型的に、より多く（例えば数十台或いは数百台）のビークル１０が備えられている。
【００３７】
ビークル１０は、内部に、不図示の巻き取り軸を有する巻き取り部１２と、巻き取りベルト１３と、グリッパ１４とから成るホイスト機構１１を備える。巻き取りベルト１３の一端は、巻き取り軸に固定されており、その他端は、グリッパ１４に固定されている。巻き取り部１２は、不図示のモータを動力として巻き取り軸を回転させ、巻き取りベルト１３を一端から巻き取り又は巻き出し可能に構成されている。グリッパ１４は、内側に屈曲された両端部にてＦＯＵＰ３の上部（即ち、フランジ）３ａを把持する把持状態、又はＦＯＵＰ３のフランジ３ａを解放する解放状態に変位可能に構成されている。このような構成を有するホイスト機構１１は、巻き取りベルト１３が巻き取られる又は巻き出されることにより、レール１の下方にてグリッパ１４を鉛直方向に昇降させると共に、鉛直位置にてグリッパ１４を変位させることにより、ＦＯＵＰ３をビークル１０側から後述するバッファ装置３０側へ移載する、又はバッファ装置３０側からビークル１０側へ移載可能である。このように本実施形態では、ビークル１０による移載進路が、ビークル１０の移載位置（即ち、図１に示される停止位置）から鉛直下方に延びており、ＦＯＵＰ３を縦移載するように構成されている。
【００３８】
製造装置２０は、本発明に係る「処理装置」の一例として、ＦＯＵＰ３、実際には、ＦＯＵＰ３に収容されているウェハに対して所定の処理を行う。製造装置２０は、内部にウェハに対して所定の処理を施す不図示の処理部を備えており、その処理部に処理すべきウェハを出し入れ可能である２つの開口Ｈ１，Ｈ２を設けている。製造装置２０は、２つの開口Ｈ１，Ｈ２に夫々隣接する外部に且つレール１の下方に、バッファ装置３０との間でＦＯＵＰ３を移載するためのポートとして機能する２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備える。製造装置２０は、２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２の各々に移載されたＦＯＵＰ３内部のウェハを、開口Ｈ１又はＨ２を介して処理部に出し入れする不図示の内外移載機構を備える。製造装置２０における所定の処理、ウェハの出し入れ等の動作は、後述する製造コントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール１の下方には、１機の製造装置２０しか図示しないが、典型的に、ＦＯＵＰ３に対して相異なる処理を行う、より多く（例えば数台或いは数百台）の製造装置２０が備えられる。また、開口及びロードポートの個数についても夫々、２個に限られず、３個以上あってもよく、それらの配置についても各種の態様が有り得る。
【００３９】
バッファ装置３０は、本発明に係る「移載システム」の一例として、ビークル１０と製造装置２０との間でＦＯＵＰ３が効率的に受け渡されるように、ビークル１０との間及び製造装置２０との間で夫々ＦＯＵＰ３を移載する。尚、ここでは説明の便宜上、２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備える製造装置２０には、一方のロードポートＬＰ１に対応する、１機のバッファ装置３０しか図示しないが、他の実施形態として、両方のロードポートＬＰ１，ＬＰ２に夫々対応する、２機のバッファ装置３０が備えられてもよい。
【００４０】
バッファ装置３０は、本体部３１と、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２と、移載機構３２とを備える。図２において、本体部３１は、ロードポートＬＰ１にその前面側（即ち、図２における左側）から組み付け可能に逆Ｌ字形に構成されている筐体である。本体部３１は、その組み付け時に、長手方向がレール１の方位に直交する方向（即ち、本発明に係る「水平一方向」の一例であって、図２におけるＸ方向）に沿うように配置される。本体部３１は、Ｘ方向に少なくとも２つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さ（即ち、図２における長さＬｘ）を有しており、レール１の方位に少なくとも１つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さ（即ち、図３における長さＬｗ）を有する。尚、ここでは説明の便宜上、本体部３１がロードポートＬＰ１に組み付けられた状態にあるバッファ装置３０の構成について説明する。
【００４１】
本体部３１内部には、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２と、移載機構３２とが設置されている。本体部３１は、レール１の鉛直方向（即ち、図２及び図３における一点鎖線Ｇ１で示される）に対応する上面に、ＯＨＴポートＰ１とビークル１０との間でＦＯＵＰ３を受け渡し可能である開口Ｈ１１を設けている。また、ロードポートＬＰ１上に載置されるＦＯＵＰ３に隣接する側面に、ロードポートＬＰ１（即ち、製造装置２０）との間でＦＯＵＰ３を受け渡し可能である開口Ｈ１２を設けている。
【００４２】
ＯＨＴポートＰ１は、本発明に係る「第１棚」の一例として、製造装置２０において所定の処理が行われる或いは行われたＦＯＵＰ３を、開口Ｈ１１を介してビークル１０との間で移載するための、バッファ装置３０におけるポートとして機能する。ＯＨＴポートＰ１は、ビークル１０が縦移載（即ち、移載時にＦＯＵＰ３が鉛直方向のみ移動される移載）により短時間でＦＯＵＰ３を移載可能に、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より上方に設置されている。図１〜図３から明らかなように、ＯＨＴポートＰ１は、仮にバッファ装置３０を取り去った場合に、ビークル１０が製造装置２０のロードポートＬＰ１に対してＦＯＵＰ３を縦移載する際における、移載進路（即ち、本発明に係る「元移載進路）を遮る位置に存在している。よって、ビークル１０から見ると、バッファ装置３０の存否に拘わらず、平面視して同一位置にある、即ち、移載位置の鉛直下方にあるポートに対して移載動作を行えば足りる。即ち、ビークル１０から見てポートの高さが異なるだけの違いであれば、ビークル１０が移載動作を行うことに対する制御は、バッファ装置３０の存否に拘わらず、殆ど同一で済むので実践上大変有利である。
【００４３】
バッファＰ２は、本発明に係る「第２棚」の一例として、製造装置２０において所定の処理が行われる或いは行われたＦＯＵＰ３を少なくとも一時的に載置するための一時載置棚として機能する。バッファＰ２は、後述する移載機構３２によるＦＯＵＰ３の移載を妨げないように、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より下方で且つそのＸ方向に設置されている。
【００４４】
移載機構３２は、本発明に係る「移動手段」の一例として、ロードポートＬＰ１と、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２との間を移動すると共に、それらの間でＦＯＵＰ３を移載する。移載機構３２は、把持部３３と、水平移動機構３４と、昇降機構３５とを備えており、本体部３１における最も前面側（即ち、図２における左側）に設置されている。把持部３３は、本発明に係る「把持部」の一例であって、一対の平板状の部位を有しており、この部位がフランジ３ａの下方にＸ方向から入り込むと共にフランジ３ａの両端部を下方から支持することにより、ＦＯＵＰ３を把持する。図２に示すように、水平移動機構３４は、本発明に係る「水平移動部」の一例であって、長手方向がＸ方向と平行になるように設置されているレール部３４ａと、そのレール部に沿ってＸ方向にスライド可能なスライド部３４ｂとを備える。水平移動機構３４の先端部（即ち、スライド部３４ｂにおける製造装置２０側の端部）には、把持部３３が固定されている。昇降機構３５は、本発明に係る「鉛直移動部」の一例であって、不図示のモータを動力源として鉛直方向に回動可能である回動帯３５ａと、その回動帯に固定されており、回動帯の回動に伴って鉛直方向に移動する昇降部３５ｂとを備える。昇降部３５ｂには、レール部３４ａの一端部が固定されている。
【００４５】
移載機構３２は、上述した水平移動機構３４及び昇降機構３５による相互動作により、把持部３３を、ロードポートＬＰ１、ＯＨＴポートＰ１及びバッファＰ２間でＸ方向（即ち本発明に係る「第１方向」の一例）及び鉛直方向（即ち本発明に係る「第２方向」の一例）に移動させると共に、把持部３３にてＦＯＵＰ３を把持又は解放することにより、それらの間でＦＯＵＰ３を移載する。移載機構３２における移動、ＦＯＵＰ３の移載等の動作は、後述するバッファコントローラにより制御される。
【００４６】
＜製造システムのシステム構成＞
次に、製造システム１００のシステム構成について図５及び図６を参照して説明する。ここに、図５は、図１の製造システム１００のシステム構成を示すブロック図であり、図６は、図５におけるバッファ装置３０、ビークル１０及び製造装置２０（本実施形態に係る移載システム、搬送車及び処理装置）間の通信方法を説明するための説明図である。
【００４７】
図５において、製造システム１００は、制御系として、製造指示部１０１と、搬送指示部１０２と、ビークル１０における各部を制御するビークルコントローラ１０ａと、製造装置２０における各部を制御する製造コントローラ２０ａと、バッファ装置３０における各部を制御するバッファコントローラ３０ａとを備える。
【００４８】
製造指示部１０１は、製造システム管理者により入力される情報から、半導体製造スケジュールを生成し、生成された半導体製造スケジュールに基づいて、有線により接続されている各製造コントローラ２０ａに対して、所定のＦＯＵＰ３（実際には、ＦＯＵＰ３に収容されているウェハ）に対する処理を指示すると共に、有線により接続されている搬送指示部１０２に対して、処理が施される所定のＦＯＵＰ３の搬送を指示する。製造指示部１０１は、製造システム１００におけるホストコンピュータとして機能する。
【００４９】
搬送指示部１０２は、ＯＨＶＣ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｖｅｈｉｃｌｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）を含んで構成されている。搬送指示部１０２は、製造指示部１０１からの要求に基づいて、搬送スケジュールを生成し、生成された搬送スケジュールに基づいて、無線により接続される各ビークルコントローラ１０ａに対して、レール１上における、所定のＦＯＵＰ３の搬送を指示すると共に、有線により接続されている各バッファコントローラ３０ａに対して、組み付けられる製造装置２０における処理が施される、所定のＦＯＵＰ３の移載を指示する。
【００５０】
図６において、ビークルコントローラ１０ａは、Ｅ８４通信用の送受信部１０ｂを備えており、送受信部１０ｂを介して、赤外線によりバッファコントローラ３０ａと接続される。ビークルコントローラ１０ａは、ビークル１０からＯＨＴポートＰ１への移載時に、「Ｅ８４（Ａ）」信号（即ち、本発明に係る「第１系信号」の一例）をバッファコントローラ３０ａに送信する。ここで、ビークルコントローラ１０ａにおける「Ｅ８４（Ａ）」は、例えばＯＨＴポートＰ１上にＦＯＵＰ３を移載する旨（言い換えれば、移載の要求）を示す信号である。ビークルコントローラ１０ａは、バッファコントローラ３０ａからの返信に応じて、ＯＨＴポートＰ１にＦＯＵＰ３を移載するようにホイスト機構１１を制御する。
【００５１】
バッファコントローラ３０ａは、本発明に係る「制御手段」の一例及び「通信手段」の一部であって、ビークルコントローラ１０ａと同様の送受信部３０ｂ（本発明に係る「通信手段」の一部）を備えており、送受信部３０ｂを介して、ビークルコントローラ１０ａと接続される。バッファコントローラ３０ａは、ビークルコントローラ１０ａからの「Ｅ８４（Ａ）」信号に応答して、「Ｅ８４（Ｐ）」信号（即ち、本発明に係る「第２系信号」の一例）をビークルコントローラ１０ａに送信する。ここで、バッファコントローラ３０ａにおける「Ｅ８４（Ｐ）」は、例えばＯＨＴポートＰ１上にＦＯＵＰ３が載置されているか否か、及び／又はＯＨＴポートＰ１上にＦＯＵＰ３を移載可能であるか否かの旨（言い換えれば、移載の許可）を示す信号である。
【００５２】
一方、バッファコントローラ３０ａは、有線により製造コントローラ２０ａと接続されており、ＯＨＴポートＰ１又はバッファＰ２からロードポートＬＰ１への移載時に、ビークルコントローラ１０ａからバッファコントローラ３０ａに送信される信号と同系の「Ｅ８４（Ａ）」信号を製造コントローラ２０ａに送信する。ここで、バッファコントローラ３０ａにおける「Ｅ８４（Ａ）」は、例えばロードポートＬＰ１上にＦＯＵＰ３を移載する旨（言い換えれば、移載の要求）を示す信号である。バッファコントローラ３０ａは、製造コントローラ２０ａからの返信に応じて、ロードポートＬＰ１にＦＯＵＰ３を移載するように移載機構３２を制御する。
【００５３】
製造コントローラ２０ａは、バッファコントローラ３０ａからの「Ｅ８４（Ａ）」信号に応答して、バッファコントローラ３０ａからビークルコントローラ１０ａに送信される信号と同系の「Ｅ８４（Ｐ）」信号をバッファコントローラ３０ａに送信する。ここで、製造コントローラ２０ａにおける「Ｅ８４（Ｐ）」は、例えばロードポートＬＰ１上にＦＯＵＰ３が載置されているか否か、ロードポートＬＰ１上にＦＯＵＰ３を移載可能であるか否か、及び／又は製造装置２０内部において、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ３におけるウェハに対する処理が行われているか否かの旨（言い換えれば、移載の許可）を示す信号である。
【００５４】
上述したように、ビークルコントローラ１０ａが送信する信号と、バッファコントローラ３０ａが製造コントローラ２０ａに送信する信号とは同系であると共に、製造コントローラ２０ａが送信する信号と、バッファコントローラ３０ａがビークルコントローラ２０ａに送信する信号とは同系である。これにより、バッファ装置３０を経由する移載を行っても行わなくとも、ビークルコントローラ１０ａ及び製造コントローラ２０ａの各々においてやり取りされる信号、制御コマンド、プロセス或いはプログラム等を変更する必要がない。このため、システム上においても、ロードポートＬＰ１に対してバッファ装置３０を容易に組み付けることができ、バッファ装置３０の組み付けの自由度を高められる。尚、上述した「Ｅ８４（Ａ）」又は「Ｅ８４（Ｐ）」信号のやり取りを総称して、以下、「Ｅ８４通信」と適宜記載することとする。
【００５５】
＜製造システムにおける移載動作処理＞
次に、製造システム１００における移載装置を介する搬送車及び処理装置間の移載動作について、図４を参照して説明する。図４は、本実施形態の移載動作処理を示すフローチャートである。
【００５６】
図４において、先ず、製造指示部１０１による半導体製造スケジュールに基づいて、製造装置２０に対して、所定のＦＯＵＰ３に対する処理が指示される。また、該半導体製造スケジュールに基づいて、搬送指示部１０２により、ビークル１０に対して、製造装置２０における処理を施すべきＦＯＵＰ３の搬送が指示されると共に、バッファ装置３０に対して、製造装置２０における処理を施されるＦＯＵＰ３の移載が指示される。ここで、最初の搬送の対象となるＦＯＵＰを「ＦＯＵＰ０」とする。この後、ビークルコントローラ１０ａの制御下で、ビークル１０（即ち、図４において「ＯＨＴ」と記載される）がレール１に沿って走行し、バッファ装置３０に対応する所定の移載位置（即ち、図１から図３で示される停止位置）で停止される。すると、ビークルコントローラ１０ａ及びバッファコントローラ３０ａ間のＥ８４通信により、ビークル１０に搬送されているＦＯＵＰ０をビークル１０からＯＨＴポートＰ１に移載可能であることが確認される。すると、ホイスト機構１１により、ＦＯＵＰ０を把持するグリッパ１４が、ビークル１０内部からバッファ装置３０における開口Ｈ１１を介して鉛直方向に下降され、ＦＯＵＰ０がＯＨＴポートＰ１上面に接触する鉛直位置にて、グリッパ１４からＦＯＵＰ０が解放される。即ち、ビークル１０からＯＨＴポートＰ１にＦＯＵＰ０が移載される（ステップＳ５１）。
【００５７】
続いて、バッファ装置３０において、バッファコントローラ３０ａの制御下で、水平移動機構３４及び昇降機構３５により、把持部３３がＯＨＴポートＰ１上のＦＯＵＰ０のフランジ３ａ下方に移動された後に、把持部３３がフランジ３ａ下面に接触するまで上昇される。こうして、把持部３３によりＦＯＵＰ０が把持される。すると、バッファコントローラ３０及び製造コントローラ２０ａ間のＥ８４通信により、ＦＯＵＰ０をＯＨＴポートＰ１からロードポートＬＰ１に移載可能であることが確認される。すると、ＦＯＵＰ０を把持する把持部３３が、開口Ｈ１２を介してロードポートＬＰ１（即ち、図６において「Ｌポート」と記載される）上方に移動された後に、ＦＯＵＰ０がロードポートＬＰ１に接触するまで下降される。こうして、ＯＨＴポートＰ１からロードポートＬＰ１にＦＯＵＰ０が移載される（ステップＳ５２）。この後に、把持部３３は、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ０の側方へ水平移動され、把持部３３からＦＯＵＰ０が解放される。ロードポートＬＰ１に移載されたＦＯＵＰ０内部のウェハは、製造コントローラ２０ａの制御下で、製造装置２０内部に一旦収容され、その内部において所定の処理が施された後に再びロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ０内部に載置される。
【００５８】
続いて、搬送指示部１０２からの新たな指示に基づいて、ステップＳ５１の動作と同様にして、ビークルコントローラ１０ａの制御下で、バッファコントローラ３０ａとの間のＥ８４通信により、ＯＨＴポートＰ１にＦＯＵＰ３を移載可能であることが確認された上で、但し前回とは異なる新たに移載位置に到着したビークル１０から、ＯＨＴポートＰ１に第２の搬送の対象となるＦＯＵＰｎ（即ち、「ｎ」はＦＯＵＰ３が搬送される順番を示す変数）が移載される（ステップＳ５３）。すると、バッファコントローラ３０ａの制御下で、水平移動機構３４及び昇降機構３５により、ＯＨＴポートＰ１におけるＦＯＵＰｎを把持する把持部３３が、バッファＰ２上方に移動された後に、ＦＯＵＰｎがバッファＰ２に接触するまで下降される。こうして、ＯＨＴポートＰ１からバッファＰ２にＦＯＵＰｎが移載される（ステップＳ５４）。
【００５９】
続いて、バッファコントローラ３０ａ及び製造コントローラ２０ａ間のＥ８４通信により、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）に対して、製造装置２０における所定の処理が完了しているか否かが判定される（ステップＳ５５）。この判定の結果、所定の処理が未完了であると判定される場合に（ステップＳ５５:ＮＯ）、所定の処理が完了するまで待機状態となる。
【００６０】
一方、ステップＳ５５の判定の結果、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）に対して、所定の処理が完了していると判定される場合に（ステップＳ５５：ＹＥＳ）、移載機構３２により、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了したＦＯＵＰが移載される（ステップＳ５６）。この際、処理が完了したＦＯＵＰは、バッファＰ２に載置されているＦＯＵＰｎの上方を擦り抜けるようにして、ＯＨＴポートＰ１まで移動される。続いて、バッファコントローラ３０ａ及び製造コントローラ２０ａ間のＥ８４通信により、ロードポートＬＰ１にＦＯＵＰ３を移載可能であることが確認された上で、空荷となった（即ち、もはやＦＯＵＰ３を把持していない）移載機構３２によって、バッファＰ２からロードポートＬＰ１にＦＯＵＰｎが移載される（ステップＳ５７）。
【００６１】
この後に、搬送指示部１０２からの指示に基づいて、空荷（即ち、ＦＯＵＰ３を把持していない）のビークル１０が所定の移載位置で停止される。すると、ビークルコントローラ１０ａの制御下で、バッファコントローラ３０ａとの間のＥ８４通信により、ＯＨＴポートＰ１に、移載すべきＦＯＵＰ３が載置されていることが確認された上で、ホイスト機構１１により、空荷のグリッパ１４が開口Ｈ１１を介して鉛直方向に下降され、グリッパ１４により、処理が完了したＦＯＵＰが把持される。即ち、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０に、処理が完了したＦＯＵＰが移載される（ステップＳ５８）。この後に、ホイスト機構１１により、処理が完了したＦＯＵＰを保持するグリッパ１４が上昇され、ビークル１０内部に保持される。こうして、ビークル１０が走行可能な状態となる。
【００６２】
続いて、ビークル１０及びバッファ装置３０間のＥ８４通信により、搬送指示部１０２による、処理を施すべきＦＯＵＰ３の搬送の指示が有るか否かが判定される（ステップＳ５９）。この判定の結果、その指示が有ると判定される場合に（ステップＳ５９：ＹＥＳ）、第３の搬送の対象となるＦＯＵＰを「ＦＯＵＰｎ＋１」とする（ステップＳ６０）。すると、ステップＳ５１の動作と同様にして、再びステップＳ５３の動作として、但し前回とは異なる新たに移載位置に到着したビークル１０からＯＨＴポートＰ１に第３の搬送の対象となるＦＯＵＰｎ＋１が移載される。この後に、ステップＳ５４からＳ５９の動作として、ＯＨＴポートＰ１からバッファＰ２にＦＯＵＰｎ＋１が移載される。続いて、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰｎ）に対して、所定の処理が完了しているか否かが判定され、所定の処理が完了していると判定されたところで、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了しているＦＯＵＰが移載される。続いて、バッファＰ２からロードポートＬＰ１にＦＯＵＰｎ＋１が移載された後に、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０に処理が完了しているＦＯＵＰが移載されると、処理を施すべきＦＯＵＰ３の搬送の指示が更に有るか否かが判定される。
【００６３】
一方、ステップＳ５９の判定の結果、更なる指示が無いと判定される場合に（ステップＳ５９：ＮＯ）、ステップＳ５５，Ｓ５６及びＳ５８の動作として、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰｎ＋ｘ（即ち、「ｎ＋ｘ」は最後の搬送の対象となるＦＯＵＰ３に示される））に対して、所定の処理が完了しているか否かが判定され、所定の処理が完了していれば、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了した最後のＦＯＵＰが移載されると、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０にその最後のＦＯＵＰが移載される。これにより、製造装置２０にて所定の処理が施された全てのＦＯＵＰ３が、バッファ装置３０を介してビークル１０に移載され、一連の移載動作処理が終了する。
【００６４】
このように、本実施形態の移載動作処理によれば、ロードポートＬＰ１におけるＦＯＵＰ３の差し替えを行うためのバッファＰ２を使用して、処理がこれから施されるＦＯＵＰ３と、処理が完了したＦＯＵＰ３とを効率的に差し替えることにより、製造装置２０の稼働率を向上させることが可能である。
【００６５】
尚、ステップＳ５８の動作は、ステップＳ５６の動作として、ＯＨＴポートＰ１に、処理が完了したＦＯＵＰ３が移載された後であれば、ステップＳ５７と相前後して行われてもよい。
【００６６】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う移載装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。例えば、２つのポートに対して２つの第２棚を備える（即ち、実施形態のバッファ装置３０を２体並べて配置する）移載システムは、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６７】
１…軌道、３…ＦＯＵＰ、１０…ビークル、２０…製造装置、３０…バッファ装置、３２…移載機構、１００…製造システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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