(57)【要約】【課題】グリーンシートの表面に形成された電極パターンの歪みを補正することが可能であり、パターンズレが発生しにくいグリーンシートの製造方法、積層電子部品の製造方法およびグリーンシート製造装置を提供すること。【解決手段】可撓性を有する長尺状の支持シート２０の表面に長手方向に沿って連続的にグリーンシート１０Ａを形成する。グリーンシート１０Ａの表面に電極パターン１２ａ，１２ｂを印刷する。電極パターンが乾燥した後に、グリーンシートに形成してある位置検出マーク１２ｃ，１２ｄを基準に、支持シート２０の長手方向に垂直な幅方向両端における支持シート２０の長手方向に沿って、それぞれの第１端張力Ｆ１および第２端張力Ｆ２を調節する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有する長尺状の支持体の表面に長手方向に沿って連続的にグリーンシートを形成する工程と、
塗料化した電極要素を前記グリーンシートの表面に所定パターンで付与して電極パターンを形成する工程と、
前記電極パターンが乾燥した後に、前記グリーンシートに形成してある位置検出マークを基準に、前記支持体の長手方向に垂直な幅方向両端における前記支持体の長手方向に沿って、それぞれの第１端張力および第２端張力を調節する工程とを有するグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記位置検出マークが、前記電極パターンを形成するための形成法により前記電極パターンと同時に形成される請求項１に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記位置検出マークを、前記グリーンシートの幅方向両端部に、それぞれ前記グリーンシートの長手方向に沿って第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）で形成し、
前記位置検出マークの形成後に、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）を測定し、これらの測定結果に基づき、第１端張力および第２端張力を調節する請求項１または２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が等しくなるように、前記位置検出マークが形成され、
測定された前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が同じになるように、前記第１端張力および第２端張力を調節する請求項３に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）がそれぞれ等しくなるように、前記位置検出マークが形成され、
測定された前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が、それぞれ所定の基準間隔（Ｌ０）に等しくなるように、前記第１端張力および第２端張力を調節する請求項３に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項６】
電極パターンが形成されたグリーンシート付き支持体を、当該支持体の長手方向に沿って送り込み、ロール状に巻回する工程をさらに有し、
前記支持体がロール状に巻回される前に、前記第１端張力および第２端張力が調整される請求項１〜５のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項７】
前記グリーンシート付き支持体をロール状に巻回する直前において、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）を少なくとも測定し、これらの測定結果に基づき、第１端張力および第２端張力を調節する請求項６に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７に記載のグリーンシートの製造方法により得られたグリーンシートを切断する工程と、
切断された前記グリーンシートを積層してグリーン積層体を形成する工程と、
前記グリーン積層体を切断してグリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、
を有する積層電子部品の製造方法。
【請求項９】
長手方向に沿って送り出される可撓性を有する長尺状の支持体の表面に長手方向に沿って連続的に形成されたグリーンシートの表面に、電極パターンと位置検出マークとを同時に形成する印刷機と、
前記電極パターンが乾燥した後に、前記位置検出マークの位置を確認するマーク検出部と、
前記マーク検出部で検出された前記位置検出マークの位置を基準に、前記支持体の長手方向に垂直な幅方向両端における前記支持体の長手方向に沿って、それぞれ作用する第１端張力および第２端張力を調節する張力調節機構とを有するグリーンシートの製造装置。
【請求項１０】
前記グリーンシートを長手方向に沿って送り出す送り出しロールと、
前記張力調整機構で調整された第１端張力および第２端張力を持つ前記支持体を巻き取る巻き取りロールとをさらに有する請求項９に記載のグリーンシートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシートの製造方法、積層電子部品の製造方法およびグリーンシート製造装置に係り、さらに詳しくは、グリーンシートの表面に形成された電極パターンの歪みを補正することが可能であり、パターンズレが発生しにくいグリーンシートの製造方法、積層電子部品の製造方法およびグリーンシート製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサなどの電子部品を製造する過程においては、ＰＥＴフィルム等の可撓性支持体上に誘電体塗料を塗布乾燥し、さらに電極ペーストを印刷し、再度乾燥することで電極パターン付きグリーンシートを得る工程が必要とされる。
【０００３】
ＰＥＴフィルムなどの支持体は上記の乾燥工程で熱変形する。そのため、乾燥工程後には、支持体の上に形成された電極パターンが、支持体の変形に追従してパターンずれを起こす場合があった。
【０００４】
なお、特許文献１では、支持体加熱時の熱収縮に対し、支持体として用いるフィルム自体を、熱収縮し難いフィルムに変更することで、パターンズレを防止することが提案されている。
【０００５】
しかしながら、この特許文献１に記載の方法のように、熱収縮し難いフィルムを支持体として用いたとしても、電極パターンを形成後に乾燥する際の加熱に伴う電極パターンのパターンズレが発生することがあった。すなわち、この特許文献１に記載の方法を含めて、従来の方法では、特に支持体の長手方向に垂直な幅方向の両端で発生する電極パターンの不均一な熱収縮を考慮されておらず、効果的にパターンズレを防止することが困難であった。
なお、特許文献２に示すように、支持シートの熱収縮を抑制するために、予め熱処理されたＰＥＴフィルムを用いることも一般的に行われているが、この方法によっても、電極パターンを形成後に乾燥する際の加熱に伴う電極パターンのパターンズレを抑制することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−９２４０６号公報
【特許文献２】特開２００２−３６８４２６号公報の段落００１６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、グリーンシートの表面に形成された電極パターンの歪みを補正することが可能であり、パターンズレが発生しにくいグリーンシートの製造方法、積層電子部品の製造方法およびグリーンシート製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るグリーンシートの製造方法は、
可撓性を有する長尺状の支持体の表面に長手方向に沿って連続的にグリーンシートを形成する工程と、
塗料化した電極要素を前記グリーンシートの表面に所定パターンで付与して電極パターンを形成する工程と、
前記電極パターンが乾燥した後に、前記グリーンシートに形成してある位置検出マークを基準に、前記支持体の長手方向に垂直な幅方向両端における前記支持体の長手方向に沿って、それぞれの第１端張力および第２端張力を調節する工程とを有する。
【０００９】
本発明に係るグリーンシートの製造方法では、グリーンシートに形成してある位置検出マークを基準に、グリーンシートの変形量を簡便に測定でき、さらにその変形量に応じて支持体の張力を調整する。そのため本発明の方法では、特に電極パターンを形成後の乾燥工程において、幅方向の両端で発生する不均一な電極パターンの歪みを補正することができる。その結果、本発明の方法では、パターンズレに基づく切断ずれの発生などを効果的に抑制することができる。
【００１０】
支持体の幅方向の両端で発生する不均一な電極パターンの歪みが発生する原因は、必ずしも明らかではないが、たとえば幅方向の両端における乾燥条件の不均一、支持体を構成する樹脂フィルムの成形条件（たとえば延伸率）による不均一な残留応力などが考えられる。電極パターンの歪みを抑制するために、支持体の幅方向の両端における長手方向の張力を同じにするのみでは、必ずしも電極パターンの歪みを除去できないことが本発明者等の実験により明らかにされている。
【００１１】
好ましくは前記位置検出マークが、前記電極パターンを形成するための形成法（たとえば印刷法）により前記電極パターンと同時に形成される。位置検出マークを電極パターンと同時に形成することで、位置検出マークの位置ズレから電極パターンのズレを正確に検出することができる。
【００１２】
好ましくは、前記位置検出マークを、前記グリーンシートの幅方向両端部に、それぞれ前記グリーンシートの長手方向に沿って第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）で形成し、
前記位置検出マークの形成後に、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）を測定し、これらの測定結果に基づき、第１端張力および第２端張力を調節する。
【００１３】
好ましくは、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が等しくなるように、前記位置検出マークが形成され、
測定された前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が同じになるように、前記第１端張力および第２端張力を調節する。
【００１４】
位置検出マークを形成した直後には、第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）は同じであるが、その後の電極パターンの乾燥工程を経ることで、第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）は相互に等しく無くなる場合がある。このような場合においては、測定後の間隔の差異｜Ｌ１−Ｌ２｜が電極パターンのズレに対応することから、本発明の方法では、測定された前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が同じになるように、前記第１端張力および第２端張力を調節する。その結果、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）がほとんど同じになり、電極パターンのズレを効果的に抑制することができる。
【００１５】
本発明の方法では、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）がそれぞれ等しくなるように、前記位置検出マークが形成され、
測定された前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が、それぞれ基準間隔（Ｌ０）に等しくなるように、前記第１端張力および第２端張力を調節してもよい。
【００１６】
この場合には、第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が、それぞれ基準間隔（Ｌ０）に対して如何ほどにずれているかが電極パターンのズレに対応する。本発明の方法では、測定された前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）が、それぞれ基準間隔（Ｌ０）に等しくなるように、前記第１端張力および第２端張力を調節する。その結果、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）がほとんど基準間隔（Ｌ０）に等しくなり、電極パターンのズレを効果的に抑制することができる。
【００１７】
好ましくは、本発明の方法は、電極パターンが形成されたグリーンシート付き支持体を、当該支持体の長手方向に沿って送り込み、ロール状に巻回する工程をさらに有し、
前記支持体がロール状に巻回される前に、前記第１端張力および第２端張力が調整される。
【００１８】
支持体がロール状に巻回される前に、前記第１端張力および第２端張力が調整されることで、ロール状に巻回された支持体の表面に形成してあるグリーンシートの電極パターンには、幅方向の両端でパターンズレが無い。そのため、その後の工程で、ロールから巻き解されたグリーンシートを切断して積層後に積層体を電極パターンに合わせて切断してグリーンチップとする際に、電極パターンの積層ズレや切断ズレを効果的に抑制することができる。
【００１９】
好ましくは、前記グリーンシート付き支持体をロール状に巻回する直前において、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）を少なくとも測定し、これらの測定結果に基づき、第１端張力および第２端張力を調節する。支持体がロール状に巻回される直前に、前記第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）を測定することで、ロール状に巻回される支持体の表面に形成してあるグリーンシートの電極パターンのパターンズレを効果的に抑制することができる。
【００２０】
本発明に係る積層電子部品の製造方法は、
上記に記載のグリーンシートの製造方法により得られたグリーンシートを切断する工程と、
切断された前記グリーンシートを積層してグリーン積層体を形成する工程と、
前記グリーン積層体を切断してグリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、
を有する。
【００２１】
本発明に係るグリーンシートの製造装置は、
長手方向に沿って送り出される可撓性を有する長尺状の支持体の表面に長手方向に沿って連続的に形成されたグリーンシートの表面に、電極パターンと位置検出マークとを同時に形成する印刷機と、
前記電極パターンが乾燥した後に、前記位置検出マークの位置を確認するマーク検出部と、
前記マーク検出部で検出された前記位置検出マークの位置を基準に、前記支持体の長手方向に垂直な幅方向両端における前記支持体の長手方向に沿って、それぞれ作用する第１端張力および第２端張力を調節する張力調節機構とを有する。
【００２２】
本発明では、第１端張力と第２端張力とは、必ずしも同一に設定する必要はなく、位置検出マークの検出結果に基づき、パターンズレが無くなるように第１端張力および第２端張力を調節すればよい。
【００２３】
好ましくは、本発明の製造装置は、
前記グリーンシートを長手方向に沿って送り出す送り出しロールと、
前記張力調整機構で調整された第１端張力および第２端張力を持つ前記支持体を巻き取る巻き取りロールとをさらに有する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図である。
【図２】図２は図１に示すコンデンサを製造する過程で製造されるグリーンシートの切断前平面図である。
【図３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は図２に示すグリーンシートを切断後のグリーンシートの平面図である。
【図４】図４（Ａ）および図４（Ｂ）は図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すグリーンシートを交互に積層した後の積層体の例を示す断面図である。
【図５】図５は本発明の一実施形態に係るグリーンシート製造装置の概略図である。
【図６】図６は図５に示す製造装置の張力調節機構を説明するための概略斜視図である。
【図７】図７は図５に示すグリーンシート製造装置により製造されるグリーンシートの平面図である。
【図８】図８はパターンズレが無い電極パターンを有するグリーンシートの平面図である。
【図９】図９はパターンズレが存在する電極パターンを有するグリーンシートの平面図である。
【図１０】図１０（Ａ）は本発明の実施例に係る製造方法により得られたグリーンシートの巻き取り長さとパターンズレとの関係を示すグラフ、図１０（Ｂ）は本発明の比較例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
まず、本発明の一実施形態に係る積層電子部品の製造方法（グリーンシートの製造方法を含む）により製造される積層電子部品の一例として、積層セラミックコンデンサおよびその製造方法の概略について説明する。
【００２６】
図１に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ２は、コンデンサ素体４と、第１端子電極６と第２端子電極８とを有する。コンデンサ素体４は、誘電体層１０と、内部電極層１２とを有し、誘電体層１０の間に、これらの内部電極層１２が交互に積層してある。交互に積層される一方の内部電極層１２は、コンデンサ素体４の第１端部外側に形成してある第１端子電極６に電気的に接続してある。また、交互に積層される他方の内部電極層１２は、コンデンサ素体４の第２端部外側に形成してある第２端子電極８に電気的に接続してあり、第１端子電極６との間で、コンデンサ回路を形成している。
【００２７】
本実施形態では、この積層セラミックコンデンサ２を製造するために、図２に示すように、ＰＥＴフィルムなどで構成される支持シート（支持体）２０の表面に、その長手方向に沿って、図１に示す誘電体層１０となるべき誘電体グリーンシート１０Ａをドクターブレードなどで形成する。
【００２８】
グリーンシート１０Ａの表面には、図１に示す一方の内部電極層１０となる第１パターンの第１電極パターン層１２ａと、他方の内部電極層１０となる第２パターンの第２電極パターン層１２ｂと、がグリーンシート１０Ａの長手方向に沿って交互に形成される。これらのパターン層１２ａ，１２ｂの外周四隅位置には、位置決め用マーク（位置検出マーク）１２ｃ，１２ｄがそれぞれ形成される。
【００２９】
電極パターン層１２ａ，１２ｂと位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄとは、同じ電極ペーストを用いて、たとえばグラビア印刷、好ましくはスクリーン印刷により、グリーンシート１０Ａの表面に形成される。なお、電極パターン層１２ａ，１２ｂと位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄとは、印刷以外の方法により形成しても良い。たとえばインクジェット方式で、塗料化した電極ペースト（電極要素）を所定パターンに吹き付けて、これらを形成してもよく、あるいは湿式の転写法により形成しても良い。
【００３０】
図２に示す電極パターン層１２ａ，１２ｂと位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄとが形成されたグリーンシート１０Ａは、各電極パターン層１２ａ，１２ｂ毎に、切断され、図３（Ａ）に示す第１グリーンシート１０ａと、図３（Ｂ）に示す第２グリーンシート１０ｂとが得られる。これらのグリーンシート１０ａ，１０ｂに形成してある電極パターン層１２ａ，１２ｂの各パターンは、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すようにグリーンシート１０ａ，１０ｂを交互に積層する際に所定ピッチずれるようなパターンである。
【００３１】
図３（Ａ）に示す第１グリーンシート１０ａと、図３（Ｂ）に示す第２グリーンシート１０ｂとは、図４（Ａ）または図４（Ｂ）に示すように交互に積層され、その後に、切断線１６に沿って切断されることで、図１に示すコンデンサ素体４となるグリーンチップ４ａが得られる。グリーンチップ４ａは、脱バインダ処理および焼成処理されて、図１に示すコンデンサ素体４となり、その後に端子電極６および８が形成されて図１に示す積層セラミックコンデンサ２となる。
【００３２】
図４（Ａ）または図４（Ｂ）から明らかなように、グリーンシート１２ａおよび１２ｂを交互に積層する際に、これらのグリーンシート１２ａおよび１２ｂが位置ズレして積層されると、コンデンサ回路を構成しないおそれがある。そのため、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、グリーンシート１０ａ，１０ｂには、位置決めマーク１２ｃ，１２ｄがそれぞれ形成してあり、これらのマーク１２ｃ，１２ｄを用いてグリーンシート１０ａ，１０ｂを正確に位置決めして積層することが重要である。
グリーンシート製造装置
【００３３】
本実施形態では、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すようなグリーンシート１０ａ，１０ｂを正確に位置決めして積層するために、図５に示すグリーンシート製造装置３０を用いて図７に示すグリーンシート１０Ａを製造している。
【００３４】
図５に示すように、本実施形態のグリーンシート製造装置３０は、送り出しロール３２を有する。送り出しロール３２には、図２および図７に示す電極パターン層１２ａ，１２ｂおよび位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄが形成される前のグリーンシート１０Ａが形成してある支持シート２０が巻回してあり、支持シート２０は、印刷機３４に向けて、矢印Ｘ方向に送り出されるようになっている。
【００３５】
支持シート２０の送り出し方向は、支持シート２０の長手方向に一致する。支持シート２０の表面には、グリーンシート１０Ａが、送り方向Ｘに細長く形成さしてあり、その送り方向Ｘに垂直な幅方向Ｙの両端幅は、支持シート２０の幅（Ｙ方向）よりもわずかに小さい。
【００３６】
印刷機３４では、グリーンシート１０ａの表面に、図２および図７に示す電極パターン層１２ａ，１２ｂおよび位置決め用マーク１２ｃ，１２ｄを、同じ電極ペーストを用いて、スクリーン印刷により形成する。
【００３７】
図７に示すように、各電極パターン層１２ａ（１２ｂも同様、以下省略）は、グリーンシート１０ａの表面で、送り方向Ｘと幅方向Ｙとで、行列状に多数形成される。各位置決め用マーク１２ｃ（１２ｄも同様、以下省略）は、グリーンシート１０ａの表面で、それぞれ行列状に配列された電極パターン層１２ａの周囲四隅位置に形成される。
【００３８】
図５に示す印刷機３４では、図７に示すように、グリーンシート１０Ａの幅方向Ｙの一端１０ｃ近くに形成される位置決め用マーク１２ｃ相互間の送り方向Ｘに沿う間隔Ｌ１は、グリーンシート１０Ａの幅方向Ｙの他端１０ｄ近くに形成される位置決め用マーク１２ｃ相互間の送り方向Ｘに沿う間隔Ｌ２と同じになるように形成される。
【００３９】
また、行列状の電極パターン層１２ａを囲む送り方向Ｘの前方に位置する位置決め用マーク１２ｃ相互間の幅方向Ｙに沿う間隔Ｌ３は、送り方向Ｘの後方に位置する位置決め用マーク１２ｃ相互間の幅方向Ｙに沿う間隔Ｌ４に等しい。この実施形態では、印刷直後では、間隔Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４が全て等しくなるように印刷を行う。
【００４０】
印刷機３４の送り方向Ｘの後段には、乾燥炉３６が配置してある。乾燥炉３６では、印刷機３４にてグリーンシート１０ａの表面に形成された電極パターン層１２ａおよび位置決め用マーク１２ｃの乾燥処理を行う。乾燥条件は、特に限定されないが、乾燥温度は、好ましくは８０〜１００°C、乾燥時間は２０〜６０秒である。
【００４１】
乾燥炉３６の内部を支持シート２０が送り方向Ｘに所定の速度で進行することで、支持シート２０の表面に存在するグリーンシート１０ａの表面に形成された電極パターン層１２ａおよび位置決め用マーク１２ｃの乾燥処理が行われる。乾燥処理に際しては、ＰＥＴフィルムなどで形成された支持シート２０が加熱され、その影響で、電極パターン層１２ａの配列に歪みが生じることがある。ＰＥＴフィルムなどで形成された支持シート２０は、熱収縮を少なくするために、通常、予め熱処理されているが、それでも、電極パターン層１２ａの配列に歪みが生じることがある。
【００４２】
たとえば以下に示す本発明の実施形態に係る装置および方法を用いない場合には、図９に示すように、乾燥炉３６にて乾燥処理後の支持シート２０の表面では、行列状に配置された電極パターン層１２ａの配列パターンに歪みが生じることが多い（図９のα部分とβ部分参照）。なお、図８は、下述する本発明の実施形態に係る装置および方法を適用した場合における電極パターン層１２ａの配列パターンを示し、配列に歪みが生じ無いことが分かる。
【００４３】
図５に示すように、乾燥炉３６の送り方向Ｘの後段には、撮像カメラ３８が配置してあり、図７に示すグリーンシート１０Ａの表面に形成してある位置決めマーク１２ｃを読み取り可能になっている。この撮像カメラ３８にて検出された位置決めマーク１２ｃの位置情報は、図５に示す制御装置４０に送られる。
【００４４】
制御装置４０では、撮像カメラから得られる位置決めマーク１２ｃの位置情報に基づき、図７に示すグリーンシート１０Ａの幅方向Ｙの一端１０ｃ近くに形成される位置決め用マーク１２ｃ相互間の送り方向Ｘに沿う間隔Ｌ１を求める。同様にして、制御装置４０は、グリーンシート１０Ａの幅方向Ｙの他端１０ｄ近くに形成される位置決め用マーク１２ｃ相互間の送り方向Ｘに沿う間隔Ｌ２を求める。
【００４５】
さらに制御装置４０は、行列状の電極パターン層１２ａを囲む送り方向Ｘの前方に位置する位置決め用マーク１２ｃ相互間の幅方向Ｙに沿う間隔Ｌ３を求めると共に、送り方向Ｘの後方に位置する位置決め用マーク１２ｃ相互間の幅方向Ｙに沿う間隔Ｌ４を求める。
【００４６】
図５に示す印刷機３４により電極パターン層１２ａを形成した直後では、上述した間隔Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４は、全て同じ値、たとえば基準間隔Ｌ０に設定してある。乾燥炉３６を通過した後では、これらの間隔Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４は、時間の経過（図５に示す巻き取りロール５０への巻き取り長さ）と共に、たとえば図１０(Ｂ）に示すように変化することが本発明者等の実験により確認されている。
【００４７】
図５に示す撮像カメラ３８にて位置決めマーク１２ｃを撮像した後の支持シート２０は、張力検出ローラ４２に送られる。張力検出ローラ４２には、張力検出器４４が取り付けられ、図７に示す支持シート２０における幅方向Ｙの第１端２０ａにおける送り方向Ｘに沿う第１端張力Ｆ１と、幅方向Ｙの第２端２０ｂにおける送り方向Ｘに沿う第２端張力Ｆ２とを測定可能になっている。張力検出器４４にて測定された支持シート２０の両端２０ａ，２０ｂにおける送り方向Ｘの張力データは、制御装置４０へと入力される。
【００４８】
図５に示す張力検出ローラ４２にて張力測定された支持シート２０は、次に、張力調節ローラ４６へと送られる。張力調節ローラ４６には、張力調節機構４８が装着してある。張力調節機構４８は、制御装置４０により制御される。制御装置４０により張力調節機構４８を制御することで、図６に示すように、張力調節ローラ４６の回転軸４６ａを、ローラ中心４６ｂを中心として所定角度θで変化させることが可能になっている。
【００４９】
張力調節ローラ４６の回転軸４６ａを、所定角度θを変化させることで、そのローラ４６により送り方向Ｘに送られる支持シート２０の第１端張力Ｆ１および第２端張力Ｆ２を調節することが可能になっている。たとえば図１０（Ａ）に示すように、撮像カメラ３８で撮像された位置決めマーク１２ｃの間隔Ｌ１に対して、間隔Ｌ２が小さい場合には、間隔Ｌ２が間隔Ｌ１に近づくように、第２端張力Ｆ２を大きくして第１端張力Ｆ１を小さくするように、制御装置４０は張力調節機構４８を制御する。
【００５０】
その結果、図５に示す張力調節ローラ４６から巻き取りロール５０へと送られる支持シート２０における位置決めマーク１２ｃの間隔Ｌ１は、図１０（Ａ）に示すように、間隔Ｌ２にほぼ等しくなる。その制御を継続して行えば、図５に示す巻き取りロール５０に巻き取られる支持シート２０の表面に形成してある位置決めマークの間隔Ｌ１〜Ｌ４は、ほとんど等しくなり、基準間隔Ｌ０に近くなり、時間の経過によっても、その状態を維持する。すなわち、図８に示すように、支持シート２０の表面に形成してある電極パターン層１２ａは、位置ズレすることなく、図５に示す巻き取りロール５０に巻き取られる。
【００５１】
巻き取りロール５０に巻き取られた支持シート２０は、他のグリーンシート製造装置にて、同様にして巻き解され、その支持シート２０の表面に形成してある電極パターン層１２ａの隙間に、誘電体塗料から成る余白パターン層が印刷されても良い。その場合においても、本実施形態と同様にして、位置決めマークの間隔Ｌ１〜Ｌ４が等しくなるように制御して支持シート２０を巻き取る。
【００５２】
その後に、支持シート２０から電極パターン層１２ａと必要に応じて余白パターン層が形成してあるグリーンシート１０ａを切断して積層してグリーン積層体を得る。その後に、グリーン積層体を切断してグリーンチップとして、グリーンチップは、脱バインダ処理および焼成処理されて、図１に示すコンデンサ素体４となり、その後に端子電極６および８が形成されて図１に示す積層セラミックコンデンサ２となる。
【００５３】
本実施形態に係るグリーンシートの製造装置３０およびそれを用いたグリーンシートの製造方法では、グリーンシート１０Ａに形成してある位置検出マーク１２ｃ（１２ｄも同様）を基準に、グリーンシート１０Ａの変形量を簡便に測定でき、さらにその変形量に応じて支持シート２０の張力を調整する。そのため、電極パターン層１２ａ（１２ｂも同様）を印刷後の乾燥工程において、幅方向の両端で発生する不均一な電極パターン層１２ａの歪みを補正することができる。その結果、本実施形態の方法では、パターンズレに基づく切断ずれの発生などを効果的に抑制することができる。
【００５４】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。たとえば図５に示す実施形態では、張力検出ローラ４２と張力調節ローラ４６とを別々に設けたが、これらは共用化して単一のローラとし、張力検出器４４と張力調節機構４８とを共通のローラに取り付けても良い。さらに、張力調節機構４８は、巻き取りロール５０と一体化しても良い。
【００５５】
また、上述した実施形態では、乾燥炉３６の直後に、撮像カメラ３８を設けたが、撮像カメラ３８は、張力調節ローラ４８と巻き取りロール５０との間に設けて、支持シート２０の表面に形成してある位置決めマーク１２ｃを読み取るようにしても良い。
【００５６】
その場合には、支持シート２０がロール状に巻回される直前において、第１所定間隔（Ｌ１）および第２所定間隔（Ｌ２）を測定することになり、ロール状に巻回される支持シート２０の表面に形成してあるグリーンシート１０Ａの電極パターン１２ａ，１２ｂのパターンズレを効果的に抑制することができる。
【００５７】
また、上述した実施形態では、支持シート２０として、予め加熱されたＰＥＴフィルムを用いた場合でも、効果的にパターンズレを抑制することができたが、事前に熱処理していないＰＥＴフィルムを用いた場合にも、パターンズレを効果的に抑制することができる。
さらに、上述した実施形態では、積層セラミックコンデンサを製造しているが、本発明の方法または装置により製造される積層型電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限らず、積層インダクタ、積層バリスタ、積層サーミスタ、積層圧電素子、ＬＴＣＣ（低温同時焼成セラミックス）基板などが例示される。
【符号の説明】
【００５８】
２…  積層セラミックコンデンサ
４…  コンデンサ素体
６，８…  端子電極
１０…  誘電体層
１０Ａ，１０ａ，１０ｂ…  グリーンシート
１２…  内部電極層
１２ａ…  第１電極パターン層
１２ｂ…  第２電極パターン層
１２ｃ，１２ｄ…  位置決め用マーク（位置検出マーク）
２０…  支持シート
３０…  グリーンシート製造装置
３２…  送り出しロール
３４…  印刷機
３６…  乾燥炉
３８…  撮像カメラ
４０…  制御装置
４４…  張力検出器
４８…  張力調節機構
５０…  巻き取りロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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