(57)【要約】【課題】接着シートの接着層を効率良く硬化させることが可能な光照射装置および光照射方法を提供すること。【解決手段】光照射装置は、１回の照射サイクルにおける積算光量を所定量に維持しつつ、接着シートの接着層の構成に応じて照射開始時における時間経過に伴う光の照度の増加量を調整可能な構成を有している。この構成により、接着層に与える光エネルギー量を所定量に維持しつつ、接着層に応じて照射する光の強さを徐々に大きくすることで、接着層を効率良く硬化させることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置であって、
単波長の光を発光可能な複数の発光源を有するとともに前記被照射体に対向配置された発光手段と、
前記発光手段から発せられる光の強度を制御可能な制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記被照射体の構成に応じて、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように、前記被照射体における光の照度の時間経過に伴う増加量および減少量のうちの少なくとも一方を調整可能に設けられていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記発光手段は、異なる単波長の光を発光可能な複数の前記発光源を備え、
前記制御手段は、同一の単波長の光を発光する発光源を一単位として、当該一単位ごとに光の強度を調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
前記発光源に電流および電圧のうちの少なくとも一方を供給する電力供給手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記電力供給手段により前記発光源に供給される電流および電圧のうちの少なくとも一方の供給量を制御することで、光の強度を調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光照射装置。
【請求項４】
前記発光源から発光される光を遮光可能な遮光手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記遮光手段による遮光状態を制御することで、前記被照射体における光の照度を調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光照射装置。
【請求項５】
光に反応する被照射体に光を照射する光照射方法であって、
単波長の光を発光可能な複数の発光源を有する発光手段と、
前記発光手段に対向する所定の前記被照射体に対して、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように、前記被照射体への照射開始時における時間経過に伴う光の照度の増加量および照射終了時における時間経過に伴う光の照度の減少量のうちの少なくとも一方を調整する制御に関する光調整情報を記憶する記憶手段と、
前記被照射体を特定する特定情報を設定入力可能な入力手段と、を用い、
前記入力手段で設定入力された特定情報を認識する特定情報認識工程と、
前記特定情報で特定される前記被照射体における光の照度を前記光調整情報に基づいて調整する制御工程と、を実施することを特徴とする光照射方法。
【請求項６】
前記発光手段は、異なる単波長の光を発光可能な複数の前記発光源を備え、
前記光調整情報は、同一の単波長の光を発光する発光源を一単位として、当該一単位ごとの光の強度を調整する制御に関するものであり、
前記制御工程では、前記被照射体に対して前記一単位ごとに光の強度を調整することを特徴とする請求項５に記載の光照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置および光照射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ（以下、単に、ウェハという）の処理装置においては、例えば、ウェハの回路面に保護テープを貼付して裏面研削を行ったり、ダイシングテープを貼付して複数のチップに個片化したりする処理が行われる。このような処理に使用されるテープには、接着剤に紫外線硬化型のものが採用されており、上記のような処理の後、紫外線照射装置により接着剤を硬化させることによって接着力を弱めて、ウェハが破損しないように容易に剥離が行えるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１の紫外線照射装置は、ピーク波長が異なる複数種の紫外線発光ダイオードを備えている。そして、紫外線発光ダイオードを発光させた状態で、当該紫外線発光ダイオードとウェハとを相対移動させることにより、ウェハに貼付された保護シートの接着層を硬化させてその接着力を弱めている。このような紫外線照射装置では、紫外線発光ダイオードからの光の中をウェハが移動するため、ウェハが光の中に入った瞬間に、所定照度の光が急激に照射されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１４１０３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら特許文献１に記載の紫外線照射装置のように、ウェハの接着シート（保護シート）に所定照度の光が急激に照射される方法を用いた場合、接着シートの接着層の構成によっては、接着層を効率良く硬化できないことがある。このことから、接着シートの接着層を効率良く硬化させる方法、すなわち被照射体を効率良く反応させる方法の開発が望まれている。
【０００６】
本発明は、以上のような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、光に反応する被照射体を効率良く反応させることが可能な光照射装置および光照射方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明者が鋭意研究を重ねた結果、接着シートの接着層の構成に応じて、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように、被照射体への照射開始時における時間経過に伴う光の照度の増加量および照射終了時における時間経過に伴う光の照度の減少量のうちの少なくとも一方を調整して、接着層に与える光エネルギー量が所定量になるように、照射開始時の光の照度を徐々に多くあるいは照射終了時の光の照度を徐々に少なくすることで、接着層を効率良く反応させることが可能であることを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明の光照射装置は、光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置であって、単波長の光を発光可能な複数の発光源を有するとともに前記被照射体に対向配置された発光手段と、前記発光手段から発せられる光の強度を制御可能な制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記被照射体の構成に応じて、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように、前記被照射体における光の照度の時間経過に伴う増加量および減少量のうちの少なくとも一方を調整可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明の光照射装置では、前記発光手段は、異なる単波長の光を発光可能な複数の前記発光源を備え、前記制御手段は、同一の単波長の光を発光する発光源を一単位として、当該一単位ごとに光の強度を調整可能に設けられている、ことが好ましい。
また、本発明の光照射装置では、前記発光源に電流および電圧のうちの少なくとも一方を供給する電力供給手段をさらに備え、前記制御手段は、前記電力供給手段により前記発光源に供給される電流および電圧のうちの少なくとも一方の供給量を制御することで、光の強度を調整可能に設けられている、ことが好ましい。
さらに、本発明の光照射装置では、前記発光源から発光される光を遮光可能な遮光手段をさらに備え、前記制御手段は、前記遮光手段による遮光状態を制御することで、前記被照射体における光の照度を調整可能に設けられている、ことが好ましい。
【０００９】
一方、本発明の光照射方法は、光に反応する被照射体に光を照射する光照射方法であって、単波長の光を発光可能な複数の発光源を有する発光手段と、前記発光手段に対向する所定の前記被照射体に対して、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように、前記被照射体への照射開始時における時間経過に伴う光の照度の増加量および照射終了時における時間経過に伴う光の照度の減少量のうちの少なくとも一方を調整する制御に関する光調整情報を記憶する記憶手段と、前記被照射体を特定する特定情報を設定入力可能な入力手段と、を用い、前記入力手段で設定入力された特定情報を認識する特定情報認識工程と、前記特定情報で特定される前記被照射体における光の照度を前記光調整情報に基づいて調整する制御工程と、を実施する、という構成を採用している。
【００１０】
この際、本発明の光照射方法では、前記発光手段は、異なる単波長の光を発光可能な複数の前記発光源を備え、前記光調整情報は、同一の単波長の光を発光する発光源を一単位として、当該一単位ごとの光の強度を調整する制御に関するものであり、前記制御工程では、前記被照射体に対して前記一単位ごとに光の強度を調整する、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
以上のような本発明によれば、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように、被照射体の構成に応じて照射開始時における時間経過に伴う光の照度の増加量および照射終了時における時間経過に伴う光の照度の減少量のうちの少なくとも一方（以下、必要に応じて、照度変化量という）を調整可能としているため、被照射体に与える光エネルギー量が所定量になるように、被照射体における光の照度を徐々に大きくあるいは小さくすることができ、被照射体を効率良く反応させることができる。
【００１２】
また、互いに異なる単波長の光を発光可能な発光源を設けるとともに、同一の単波長の光を発光する発光源を一単位として当該一単位ごとに光の強度を調整可能とすることで、被照射体が反応する光の波長が異なる場合でも、被照射体に応じて効率的に反応させることができる。さらに、発光源に供給する電流および電圧のうちの少なくとも一方の供給量を制御して光の強度を調整すれば、照度変化量の微調整が可能となり、被照射体を効率良く反応させることができる。そして、光を遮光可能な遮光手段を制御して被照射体における光の照度を調整すれば、従来のような所定照度の光が急激に照射される発光源を用いる場合でも、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように照度変化量を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光照射装置を示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図。
【図２】（Ａ）は第１実施形態の第１〜第４発光ユニットを示す図であり、（Ａ）は下から見た図、（Ｂ）は縦断面図。
【図３】第１実施形態の照度調整条件を示すグラフ。
【図４】第１実施形態の発光制御装置を示すブロック図。
【図５】第２実施形態の発光制御装置を示すブロック図。
【図６】第３実施形態の光照射装置の部分拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、光照射装置１は、ウェハＷの一面に貼付された被照射体としての接着シートＳに光Ｌを照射する装置であり、リングフレームＲＦと一体化されたウェハＷを保持するテーブル２と、このテーブル２の下方に設けられる単軸ロボット３と、接着シートＳに光Ｌを照射する発光手段４と、この発光手段４に電源を供給する電力供給手段５と、単軸ロボット３と電力供給手段５とを制御する発光制御装置６とを備えている。
接着シートＳの図示しない接着層の硬化開始剤は、任意の波長の光Ｌが照射された際に反応が始まるように設計されている。
テーブル２は、図示しない吸引口を備えており、マウント用シートＭＳ側からウェハＷおよびリングフレームＲＦを吸着保持可能に構成されている。単軸ロボット３は、そのスライダ３１がテーブル２の下面に固定され、このスライダ３１を介してテーブル２をＸ軸方向（図１（Ａ）の左右方向）にスライド移動させるように構成されている。
【００１５】
発光手段４は、保持板４１と、この保持板４１でＸ軸に沿って保持された複数の発光ユニット群４２を備えている。この発光ユニット群４２は、Ｘ軸に沿って設けられた第１発光ユニット４２Ａと、第２発光ユニット４２Ｂと、第３発光ユニット４２Ｃと、第４発光ユニット４２Ｄとを備えている。第１〜第４発光ユニット４２Ａ〜４２Ｄは、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、長方形箱状のＬＥＤ保持部４３を備えている。このＬＥＤ保持部４３は、長方形箱状の長手方向がＹ軸方向と略一致し、かつ、一面に設けられた開口部４３１が下側に位置するように（底面が開口部４３１となるように）設けられている。また、第１発光ユニット４２ＡのＬＥＤ保持部４３の内部には、発光源としての複数の第１ＬＥＤ（Light Emitting Diode）４４ＡがＹ軸に沿って設けられている。また、第２発光ユニット４２ＢのＬＥＤ保持部４３には発光源としての複数の第２ＬＥＤ４４Ｂが、第３発光ユニット４２Ｃには発光源としての複数の第３ＬＥＤ４４Ｃが、第４発光ユニット４２Ｄには発光源としての複数の第４ＬＥＤ４４Ｄが、それぞれＹ軸に沿って設けられている。これら第１，第２，第３，第４ＬＥＤ４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄは、それぞれ、ピーク波長が３６５ｎｍ，３２５ｎｍ，３９５ｎｍ，３０５ｎｍの単波長の光Ｌを発光する。そして、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄからの光Ｌは、拡散された状態で接着シートＳに照射される。なお、本実施形態における単波長の光としては、上述のピーク波長を中心にして若干その前後の波長の光を含むものであっても良い。
【００１６】
電力供給手段５は、発光制御装置６の制御により、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄのうちの少なくとも１種類に対して、同じタイミングで以下の表１に基づく条件で調整された所定量の電流や電圧を供給して、図３に示すように、接着シートＳにおける光の照度が所定照度になるように光Ｌを発光させる。なお、表１における積算光量とは、図３における光調整条件を表す線と横軸とで囲まれる台形の面積で表される。また、開始時増加量とは、照射開始時（照度が０から設定最大照度Ｒになるまで）の時間経過に伴う接着シートＳにおける光の照度の増加量である。また、終了時減少量とは、照射終了時（照度が設定最大照度Ｒから０になるまで）の時間経過に伴う接着シートＳにおける光の照度の減少量である。また、最大照度維持期間とは、設定最大照度Ｒの維持期間である。
【００１７】
【表１】
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【００１８】
電力供給手段５は、例えば第１ＬＥＤ４４Ａで光Ｌを発光させる場合、図３に示すように、照射開始時である時刻Ｔ０〜Ｔ１では３６５ｎｍの光Ｌの接着シートＳにおける照度を単位時間あたりＡｓずつ増加させ、最大照度維持期間である時刻Ｔ１〜Ｔ４では設定最大照度Ｒに維持し、照射終了時である時刻Ｔ４〜Ｔ５では単位時間あたりＡｅずつ減少させる。なお、開始時増加量Ａｓは、照射開始の瞬間に第１ＬＥＤ４４Ａに対して定格電流（あるいは定格電圧）を供給した場合の値である。
また、電力供給手段５は、第２〜第４ＬＥＤ４４Ｂ〜４４Ｄで光Ｌを発光させる場合、積算光量と終了時減少量とが第１ＬＥＤ４４Ａと同じ量に維持されるとともに、開始時増加量と最大照度維持期間とが接着シートＳの接着層が効率良く硬化する条件で光Ｌを発光させるように制御する。
なお、第２ＬＥＤ４４Ｂは、照射開始時に単位時間あたりＢｓずつ増加させて最大照度維持期間をＴ２〜Ｔ６まで維持、第３ＬＥＤ４４Ｃは、単位時間あたりＣｓずつ増加させて最大照度維持期間をＴ３〜Ｔ８まで維持、第４ＬＥＤ４４Ｄは、単位時間あたりＤｓずつ増加させて最大照度維持期間をＴ７〜Ｔ１０まで維持するように設定されている。
【００１９】
発光制御装置６は、利用者により設定入力される接着シートＳを特定する特定情報や、利用者により設定入力される図３に示すような１回の照射サイクルにおける第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの光調整条件に基づいて、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの光の強度を調整する。そして、発光制御装置６は、図４に示すように、入力手段６１と、記憶手段６２と、制御手段６３とを備えている。
入力手段６１は、利用者により操作されるキーボードなどを備えており、接着シートＳの名称や第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの光調整条件を設定する入力操作に対する信号を制御手段６３へ出力する。
記憶手段６２には、接着シートＳの接着層の構成に対応する光の照射条件に関する少なくとも１個の光調整情報６２１が記憶されている。この光調整情報６２１は、接着シートＳの名称に関する名称情報６２２と、図３に示すような１回の照射サイクルにおける第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの光調整条件に関する条件情報６２３とを備えている。
制御手段６３は、光調整情報６２１に記録された光調整条件、または、利用者により設定された光調整条件に基づいて、電力供給手段５を制御して第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄに供給する電流および電圧のうちの少なくとも一方を調整することで、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの光の強度を調整しながら接着シートＳに光Ｌを照射する。
【００２０】
次に、光照射装置１による光の照射動作として、利用者により接着シートＳの名称が設定入力されたときの動作について説明する。
まず、光照射装置１の制御手段６３は、テーブル２が発光手段４の下方に位置しない状態で、光照射対象の接着シートＳが例えば「シートＡ」である旨の特定情報としての操作信号を入力手段６１から取得する（特定情報認識工程）とともに、当該接着シートＳが貼付されたウェハＷがテーブル２に載置された状態を認識すると、図１（Ａ）に示すように、テーブル２でウェハＷを吸引保持させてテーブル２を発光手段４の下方まで移動させて位置決めする。また、制御手段６３は、「シートＡ」に対応する光調整情報６２１の条件情報６２３を取得する。そして、この取得した条件情報６２３に基づいて、全ての第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの接着シートＳにおける光の照度が図３に示すような照度となるように調整しながら３６５ｎｍ，３２５ｎｍ，３９５ｎｍ，３０５ｎｍの光Ｌを接着シートＳに照射する（制御工程）ことで、接着層を硬化させる。
【００２１】
次に、利用者により所定の光調整条件（開始時増加量、最大照度維持期間、終了時減少量）が設定入力されたときの動作について説明する。なお、上述した接着シートＳの名称が入力されたときの動作と同様の動作については、説明を適宜省略する。
まず、制御手段６３は、所定の光調整条件を特定する旨の操作信号を入力手段６１から取得すると、テーブル２を発光手段４の下方で位置決めする。そして、利用者により設定入力された光調整条件に基づいて、全ての第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄのうち照射する必要があるＬＥＤの光の強度を調整しながら光Ｌを接着シートＳに照射することで、接着層を硬化させる。
【００２２】
以上のような第１実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、１回の照射サイクルにおける積算光量を所定量に維持しつつ、接着シートＳの接着層の構成に応じて開始時増加量を調整可能としている。このため、接着層に与える光エネルギー量を所定量に維持しつつ、接着層に応じて照射する光Ｌの照度を徐々に大きくすることができ、接着層を効率良く硬化させることができる。
また、互いに異なる単波長の光Ｌを発光可能な第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄをそれぞれ有する第１〜第４発光ユニット４２Ａ〜４２Ｄを設けるとともに、第１〜第４発光ユニット４２Ａ〜４２Ｄごとに光の強度を調整可能としている。このため、硬化開始剤が硬化する波長によらず、接着層を効率良く硬化させることができる。
また、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄに供給する電流あるいは電圧を制御しているため、光の強度を微調整でき接着層をより効率良く硬化させることができる。
【００２３】
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。なお、第２実施形態の光照射装置と第１実施形態の光照射装置１との相違点は、発光ユニット群４２を４個の第１発光ユニット４２Ａのみで構成した点と、発光制御装置６の代わりに図５に示す発光制御装置６Ａを設けた点である。
この第２実施形態で光Ｌの照射対象となる接着シートＳの接着層の硬化開始剤は、３６５ｎｍ付近の光Ｌが照射された際に反応が始まるように設計されている。
【００２４】
電力供給手段５は、発光制御装置６Ａの制御により、全ての第１ＬＥＤ４４Ａに対して、同じタイミングで以下の表２に基づく条件で調整された所定量の電力や電圧を供給して、図３に示すように、接着シートＳにおける光の照度が所定照度になるように光Ｌを発光させる。
【００２５】
【表２】
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【００２６】
電力供給手段５は、名称が「シートＢ」の接着シートＳに対して第１ＬＥＤ４４Ａで３６５ｎｍの光Ｌを発光させる場合、図３に示すように、照射開始時である時刻Ｔ０〜Ｔ１では３６５ｎｍの光Ｌの接着シートＳにおける照度を単位時間あたりＡｓずつ増加させ、最大照度維持期間である時刻Ｔ１〜Ｔ４では設定最大照度Ｒに維持し、照射終了時である時刻Ｔ４〜Ｔ５では単位時間あたりＡｅずつ減少させる。
また、電力供給手段５は、名称が「シートＣ」、「シートＤ」、「シートＥ」の接着シートＳに対して３６５ｎｍの光Ｌを発光させる場合、積算光量と終了時減少量とが「シートＢ」と同じ量に維持されるとともに、開始時増加量と最大照度維持期間とが接着シートＳの接着層が効率良く硬化する条件に設定された光Ｌを発光させる。
なお、シートＣは、単位時間あたりＢｓずつ増加させて最大照度維持期間をＴ２〜Ｔ６まで維持、シートＤは、単位時間あたりＣｓずつ増加させて最大照度維持期間をＴ３〜Ｔ８まで維持、シートＥは、単位時間あたりＤｓずつ増加させて最大照度維持期間をＴ７〜Ｔ１０まで維持するように設定されている。
【００２７】
発光制御装置６Ａは、図５に示すように、第１実施形態の光調整情報６２１の代わりに光調整情報６２１Ａを記憶手段６２に記憶させるとともに、制御手段６３の代わりに制御手段６３Ａを設けた構成を有している。
光調整情報６２１Ａは、名称情報６２２と、図３に示すような１回の照射サイクルにおける第１ＬＥＤ４４Ａの光調整条件に関する条件情報６２３Ａとを備えている。
【００２８】
制御手段６３Ａは、利用者により設定入力された接着シートＳの名称が「シートＢ」である旨の操作信号を入力手段６１から取得する（特定情報認識工程）と、光調整情報６２１Ａから「シートＢ」に対応する条件情報６２３Ａを取得する。そして、この条件情報６２３Ａに基づいて、第１ＬＥＤ４４Ａに供給する電流および電圧のうちの少なくとも一方を制御することで、図３に示すように、接着シートＳにおける光の照度を調整しながら接着シートＳに光Ｌを照射する（制御工程）。また、制御手段６３Ａは、所定の光調整条件を特定する旨の操作信号を入力手段６１から取得すると、この操作信号に基づく光調整条件で第１ＬＥＤ４４Ａを制御して、接着シートＳに光Ｌを照射する。
【００２９】
以上のような第２実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、１回の照射サイクルにおける積算光量を所定量に維持しつつ、接着シートＳの接着層の構成に応じて開始時増加量を調整可能としているため、接着層に与える光エネルギー量を所定量に維持しつつ、接着層に応じて照射する３６５ｎｍの光Ｌの照度を徐々に大きくすることができ、接着層を効率良く硬化させることができる。
【００３０】
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
図６は、第３実施形態に係る光照射装置１Ｂの部分拡大図である。
光照射装置１Ｂは、図６に示すように、第１実施形態の光照射装置１のテーブル２と発光手段４との間にウェハＷを覆う大きさの遮光手段７Ｂを新たに設けるとともに、発光制御装置６の代わりに発光制御装置６Ｂを設けたものである。
遮光手段７Ｂは、発光手段４からの光Ｌを必要に応じて遮るものであり、枠状の本体部７１Ｂを備えている。本体部７１Ｂには、Ｘ軸に沿って設けられた複数のブラインド７２Ｂが設けられている。このブラインド７２Ｂは、第１〜第４発光ユニット４２Ａ〜４２Ｄの真下において、Ｙ軸方向に延びて本体部７１Ｂを架けるように設けられた回動軸７３Ｂを中心に回動する。そして、発光制御装置６Ｂの図示しない制御手段は、図４に示すような所定の接着シートＳに対応する条件情報６２３に基づいて、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄのうちの少なくとも１種類に対して、同じタイミングで例えば定格電流を供給することで設定最大照度Ｒの光Ｌを発光させるとともに、当該発光させるＬＥＤの真下にあるブラインド７２Ｂの回動角度を制御することで、図３に示すように、接着シートＳにおける光Ｌの照度を調整する。また、制御手段は、利用者により設定入力された光調整条件に基づいて、設定最大照度Ｒの光Ｌを発光させるとともに、発光させるＬＥＤの真下にあるブラインド７２Ｂの回動角度を制御することで接着シートＳに照射される光Ｌの照度を調整する。
【００３１】
以上のような第３実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、遮光手段７Ｂの制御で照度を調整しているため、従来のような所定照度の光が急激に照射されるＬＥＤを用いる場合でも、１回の照射サイクルにおける積算光量が所定量になるように開始時増加量を調整することができ、接着層を効率良く硬化させることができる。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３３】
すなわち、第３実施形態の遮光手段７Ｂを第２実施形態の光照射装置に設けても良い。このような構成の場合、例えば、各第１発光ユニット４２Ａの真下にブラインド７２Ｂを設けるとともに、全てのブラインド７２Ｂの回動角度を同時に制御可能にすることで、光照射装置と同様に光の強度を調整できる。さらには、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄの点滅速度を制御することで、開始時増加量や終了時減少量を調整しても良い。
また、第１〜第３実施形態では、終了時減少量を各接着シートＳあるいは各波長のＬＥＤで同じ量に設定していたが、接着シートＳごとあるいは各波長のＬＥＤごとに、接着層が効率良く硬化する条件に調整しても良い。また、終了時減少量を各接着シートＳごとに効率良く硬化するように調整する場合、開始時増加量を各接着シートＳあるいは各波長のＬＥＤで同じ量に設定してもよい。さらには、最大照度維持期間をなくしても良いし、最大照度維持期間における照度が変化するようにしても良い。また、開始時増加量あるいは終了時減少量の時間経過に伴う変化量を経過時間によらず一定としたが（図３において直線で表されるようにしたが）、時間経過に伴い変化させても良い（曲線で表されるようにしても良い）。さらに、接着シートＳごとあるいは各波長のＬＥＤごとに、積算光量を上述の所定量に維持せずに、当該所定量と異なるように接着シートＳにおける光の照度を調整しても良い。
また、第１〜第４ＬＥＤ４４Ａ〜４４Ｄとして、赤外線や可視光など波長が上述した値と異なっているものを適用しても良いし、波長がさらに異なるＬＥＤを設けても良い。さらに、発光源としては、キセノンフラッシュなど、単波長の光を発光可能ないずれのものを適用しても良い。そして、被照射体としては、所定の波長の光に反応するものであれば、いかなるものを適用しても良い。さらに、遮光手段としては、機械的や電気的あるいは化学的な反応で遮光するものを用いても良い。
【符号の説明】
【００３４】
１，１Ｂ…光照射装置
４…発光手段
５…電力供給手段
７Ｂ…遮光手段
４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ…第１，第２，第３，第４ＬＥＤ（発光源）
６１…入力手段
６２…記憶手段
６３，６３Ａ…制御手段
６２１，６２１Ａ…光調整情報
Ｓ…接着シート（被照射体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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