(57)【要約】【課題】液晶パネルの寿命検査にかかる時間を短縮するとともに、より現実に近い条件での検査を可能にする。【解決手段】液晶パネルＰに光を照射する照射部１３と、液晶パネルＰの比抵抗値を測定する比抵抗測定部１１と、基準となる寿命を有する基準液晶パネルＰｒに対して前記光と同等の光を照射した時に、基準液晶パネルＰｒの比抵抗値が所定の値だけ変化するのに要する基準期間を記憶する記憶部１６と、液晶パネルＰの比抵抗値が所定の値だけ変化するのに要した第１期間と基準期間とを比較することにより、液晶パネルの良否を判断する演算部１８とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルに光を照射する照射部と、
前記液晶パネルの比抵抗値を測定する比抵抗測定部と、
比較値を記憶する記憶部と、
前記比抵抗値と前記比較値とに基づいて、前記液晶パネルの良否を判断する演算部と、を備えることを特徴とする検査システム。
【請求項２】
請求項１に記載の検査システムにおいて、
前記比較値は比抵抗値の基準変化率であり、
前記基準変化率は、基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を基準期間照射することによる、前記基準液晶パネルの比抵抗値の変化率である、ことを特徴とする検査システム。
【請求項３】
請求項１または２に記載の検査システムにおいて、
前記比抵抗測定部は、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第１期間に対応して前記液晶パネルの第１比抵抗値を測定し、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第２期間に対応して前記液晶パネルの第２比抵抗値を測定し、
前記演算部は、前記第１期間と前記第２期間との合計期間における前記液晶パネルの比抵抗値の変化率である実測変化率を算出するものである、ことを特徴とする検査システム。
【請求項４】
請求項１に記載の検査システムにおいて、
前記比較値は比抵抗値の基準変化率であり、
前記基準変化率は、基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を基準期間照射することによる、前記基準液晶パネルの比抵抗値の変化率であり、
前記比抵抗測定部は、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第１期間に対応して前記液晶パネルの第１比抵抗値を測定し、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第２期間に対応して前記液晶パネルの第２比抵抗値を測定し、
前記演算部は、前記第１期間と前記第２期間との合計期間における前記液晶パネルの比抵抗値の変化率である実測変化率を算出し、前記基準期間と前記合計期間が同等である場合、前記実測変化率が前記基準変化率を上回るか否かによって前記液晶パネルの良否を判断する、ことを特徴とする検査システム。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の検査システムにおいて、
前記比抵抗測定部と前記照射部とを制御する制御部を備える、ことを特徴とする検査システム。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の検査システムにおいて、
前記比抵抗測定部は、
前記液晶パネルの画素外の領域に設けられた比抵抗測定用電極と、前記液晶パネルの対向電極の間に電圧を供給し、流れる電流を測定することにより、前記液晶パネルの比抵抗を測定する、ことを特徴とする検査システム。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の検査システムにおいて、
前記液晶パネルを設置する第１設置部と、
前記液晶パネルを設置する第２設置部と、
前記液晶パネルを前記第１設置部と前記第２設置部との間で搬送する搬送部と、を含み、
前記第１設置部に設置されている前記液晶パネルに前記照射部から前記光が照射され、前記第２設置部に設置されている前記液晶パネルの比抵抗値が前記比抵抗測定部により測定されるものである、ことを特徴とする検査システム。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の検査システムにおいて、
前記液晶パネルの液晶層を透過する光を検出する受光部を含み、
前記液晶パネルが前記照射部から前記液晶パネルに照射される照射光を透過するものであり、前記受光部が前記透過光を受光する位置に配置されるものである、ことを特徴とする検査システム。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の検査システムにおいて、
前記液晶パネルの液晶層を透過する光を検出する受光部を含み、
前記液晶パネルが前記照射部から前記液晶パネルに照射される照射光を反射するものであり、前記受光部が前記反射光を受光する位置に配置されるものである、ことを特徴とする検査システム。
【請求項１０】
液晶パネルに光を照射する照射部と、
前記液晶パネルの比抵抗値を測定する比抵抗測定部と、
基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を照射した時に、前記基準液晶パネルの比抵抗値が所定変化率だけ変化するのに要する基準期間を記憶する記憶部と、
前記液晶パネルの比抵抗値が前記所定変化率だけ変化するのに要した第１期間と、前記基準期間とを比較することにより、前記液晶パネルの良否を判断する演算部と、を備えることを特徴とする検査システム。
【請求項１１】
液晶パネルに光を照射する照射部と、
前記液晶パネルの比抵抗値を測定する比抵抗測定部と、
前記液晶パネルのＶＴ特性を測定するＶＴ測定部と、を備え、
基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を照射した時に、前記基準液晶パネルの比抵抗値が所定変化率だけ変化するのに要する基準期間と、前記基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を照射した時に、前記基準液晶パネルのＶＴ特性が前記所定変化率だけ変化するのに要する基準寿命期間を記憶する記憶部と、
前記液晶パネルの比抵抗値が前記所定変化率だけ変化するのに要した第１期間と、前記基準期間と前記基準寿命期間に基づいて、前記液晶パネルのＶＴ特性が前記所定変化率だけ変化するのにかかる寿命期間を算出し、前記寿命期間と前記基準寿命期間とを比較することにより、前記液晶パネルの良否を判断する演算部と、を備えることを特徴とする検査システム。
【請求項１２】
第１期間において液晶パネルに照射部から光を照射する第１工程と、
前記第１工程のあと、前記液晶パネルの第１比抵抗値を測定する第２工程と、
前記第２工程のあと、第２期間において前記液晶パネルに前記光を照射する第３工程と、
前記第３工程のあと、前記液晶パネルの第２比抵抗値を測定する第４工程と、
前記第４工程のあと、前記第１期間と前記第２期間との合計期間における前記液晶パネルの比抵抗値の変化率である実測変化率を算出し、前記液晶パネルの良否を判断する第５工程と、を含むことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルから不良品を検出するための検査システム及び検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの耐光性寿命の検査には、現在、数ヶ月程度を要しており、より早く液晶パネルの寿命を見極める技術が望まれている。検査期間を短縮する手法の１つとして、実際の使用状況よりも過酷な条件による負荷をかけて試験を行い、その結果から長期間の使用後における劣化を予測する、いわゆる加速試験が知られている。例えば、特許文献１では、レーザ光を用いた加速試験法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−９３４３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、加速試験では現実の使用状況とは異なる条件で負荷をかけるため、現実とは異なる結果がでる可能性が懸念される。これは、照射する光の波長によって、液晶分解機構の違い等があるためである。
よって、より現実に即した予測を実現するためには、加速手法を用いず、プロジェクタ用などの実際の光源を用いて液晶パネルが劣化するまで試験をするのが望ましいが、この方法では、２０００〜１００００時間程度の非常に長い時間がかかるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、液晶パネルの検査にかかる時間を短縮するとともに、より現実に近い条件での検査を可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る検査システムは、液晶パネルに光を照射する照射部と、前記液晶パネルの比抵抗値を測定する比抵抗測定部と、比較値を記憶する記憶部と、前記比抵抗値と前記比較値とに基づいて、前記液晶パネルの良否を判断する演算部と、を備えるものである。
【０００７】
本発明によれば、液晶パネルのＶＴ特性の変化と相関し、さらにＶＴ特性の変化よりも変化の速度が速い比抵抗値を用いることにより、液晶パネルの検査にかかる時間を短縮することができる。このため、現実に近い条件での検査を行うことが可能となる。
【０００８】
前記比較値は比抵抗値の基準変化率であり、前記基準変化率は、基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を基準期間照射することによる、前記基準液晶パネルの比抵抗値の変化率とすることができる。
これにより、あらかじめ基準液晶パネルに光を照射した際の比抵抗値を測定するだけで、容易かつ現実に即した比較値を得ることができる。
【０００９】
また、前記比抵抗測定部は、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第１期間に対応して前記液晶パネルの第１比抵抗値を測定し、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第２期間に対応して前記液晶パネルの第２比抵抗値を測定し、前記演算部は、前記第１期間と前記第２期間との合計期間における前記液晶パネルの比抵抗値の変化率である実測変化率を算出するものである。
これにより、あらかじめ基準液晶パネルの光照射時間と比抵抗値の関係を測定しておけば、容易かつ正確に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００１０】
また、前記比較値は比抵抗値の基準変化率であり、前記基準変化率は、基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を基準期間照射することによる、前記基準液晶パネルの比抵抗値の変化率であり、前記比抵抗測定部は、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第１期間に対応して前記液晶パネルの第１比抵抗値を測定し、前記照射部により前記液晶パネルに光が照射される第２期間に対応して前記液晶パネルの第２比抵抗値を測定し、前記演算部は、前記第１期間と前記第２期間との合計期間における前記液晶パネルの比抵抗値の変化率である実測変化率を算出し、前記基準期間と前記合計期間が同等である場合、前記実測変化率が前記基準変化率を上回るか否かによって前記液晶パネルの良否を判断するものである。
これにより、あらかじめ基準液晶パネルの光照射時間と比抵抗値の関係を測定しておけば、容易かつ正確に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００１１】
また、本発明に係る検査システムは、前記比抵抗測定部と前記照射部とを制御する制御部を備える。
これにより、液晶パネルの検査を自動的に効率よく行うことができる。
【００１２】
また、前記比抵抗測定部は、前記液晶パネルの画素外の領域に設けられた比抵抗測定用電極と、前記液晶パネルの対向電極の間に電圧を供給し、流れる電流を測定することにより、前記液晶パネルの比抵抗を測定するようにしてもよい。
これにより、液晶パネルの画素外の領域に比抵抗測定用電極を設けるだけで、簡易に比抵抗の測定を行うことができる。
【００１３】
また、本発明に係る検査システムは、前記液晶パネルを設置する第１設置部と、前記液晶パネルを設置する第２設置部と、前記液晶パネルを前記第１設置部と前記第２設置部との間で搬送する搬送部と、を含み、前記第１設置部に設置されている前記液晶パネルに前記照射部から前記光が照射され、前記第２設置部に設置されている前記液晶パネルの比抵抗値が前記比抵抗測定部により測定されるものである。
これにより、液晶パネルの検査を１つの装置で自動的に効率よく行うことができる。
【００１４】
また、本発明に係る検査システムは、前記液晶パネルの液晶層を透過する光を検出する受光部を含み、前記液晶パネルが前記照射部から前記液晶パネルに照射される照射光を透過するものであり、前記受光部が前記透過光を受光する位置に配置されるものである。
これにより、透過型の液晶パネルのＶＴ特性を測定することができる。
【００１５】
また、本発明に係る検査システムは、前記液晶パネルの液晶層を透過する光を検出する受光部を含み、前記液晶パネルが前記照射部から前記液晶パネルに照射される照射光を反射するものであり、前記受光部が前記反射光を受光する位置に配置されるものである。
これにより、反射型の液晶パネルのＶＴ特性を測定することができる。
【００１６】
本発明に係る検査システムは、液晶パネルに光を照射する照射部と、前記液晶パネルの比抵抗値を測定する比抵抗測定部と、基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を照射した時に、前記基準液晶パネルの比抵抗値が所定変化率だけ変化するのに要する基準期間を記憶する記憶部と、前記液晶パネルの比抵抗値が前記所定変化率だけ変化するのに要した第１期間と、前記基準期間とを比較することにより、前記液晶パネルの良否を判断する演算部と、を備えるものである。
本発明によれば、基準液晶パネルの比抵抗値が所定変化率だけ変化するのに要する基準期間を測定しておくだけで、短い時間で容易かつ現実に即した液晶パネルの良否判定を行うことができる。
【００１７】
本発明に係る検査システムは、液晶パネルに光を照射する照射部と、前記液晶パネルの比抵抗値を測定する比抵抗測定部と、前記液晶パネルのＶＴ特性を測定するＶＴ測定部と、を備え、基準となる寿命を有する基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を照射した時に、前記基準液晶パネルの比抵抗値が所定変化率だけ変化するのに要する基準期間と、前記基準液晶パネルに対して前記光と同等の基準光を照射した時に、前記基準液晶パネルのＶＴ特性が前記所定変化率だけ変化するのに要する基準寿命期間を記憶する記憶部と、前記液晶パネルの比抵抗値が前記所定変化率だけ変化するのに要した第１期間と、前記基準期間と前記基準寿命期間に基づいて、前記液晶パネルのＶＴ特性が前記所定変化率だけ変化するのにかかる寿命期間を算出し、前記寿命期間と前記基準寿命期間とを比較することにより、前記液晶パネルの良否を判断する演算部と、を備える
本発明によれば、基準液晶パネルの比抵抗値が所定変化率だけ変化するのに要する基準期間と、基準液晶パネルのＶＴ特性が所定変化率だけ変化するのに要する基準寿命期間を測定しておくことにより、短い時間で容易かつ現実に即した液晶パネルの良否判定を行うことができると共に、液晶パネルの寿命期間も算出することができる。
【００１８】
本発明に係る検査方法は、第１期間において液晶パネルに照射部から光を照射する第１工程と、前記第１工程のあと、前記液晶パネルの第１比抵抗値を測定する第２工程と、前記第２工程のあと、第２期間において前記液晶パネルに前記光を照射する第３工程と、前記第３工程のあと、前記液晶パネルの第２比抵抗値を測定する第４工程と、前記第４工程のあと、前記第１期間と前記第２期間との合計期間における前記液晶パネルの比抵抗値の変化率である実測変化率を算出し、前記液晶パネルの良否を判断する第５工程と、を含む。
本発明によれば、液晶パネルのＶＴ特性の変化と相関し、さらにＶＴ特性の変化よりも変化の速度が速い比抵抗値を用いることにより、液晶パネルの検査にかかる時間を短縮することができる。このため、現実に近い条件での検査を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施の形態１による、検査システムの構成を示す図である。
【図２】液晶パネルの構造を簡略化して示したものである。
【図３】液晶パネルの画素外の領域に設けた比抵抗測定用電極を示す図。
【図４】ＶＴ特性の測定結果を示すグラフ。
【図５】照射時間と、ＶＴ特性及び比抵抗の関係を示すグラフ。
【図６】照射時間と、比抵抗の関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【実施例】
【００２１】
図１は、実施の形態１による、検査システム１０の構成を示す図である。図に示すように、検査システム１０は、比抵抗測定部１１、ＶＴ測定部１２、照射部１３、保管部１４、搬送部１５、記憶部１６、制御部１７、及び演算部１８を備えている。
【００２２】
図２は、液晶パネルの構造を簡略化して示したものである。図に示すように、液晶パネルは、液晶層２１、液晶層２１を挟むように設けられた配向膜２２、配向膜２２の外側にそれぞれ設けられた画素電極２３と対向電極（共通電極）２４、２枚のガラス基板２５、及び偏光板２６を備えている。配向膜２２は、液晶分子をより規則的に並べることができるものであれば特に限定されないが、図の例では、表面に一定方向の溝が形成されており、液晶分子がこの溝に沿って並ぶよう構成されている。これにより液晶層２１の液晶分子を配向させることができる。画素電極２３と対向電極２４の間に電気信号を印加すると、電圧に応じて配向している液晶分子の基板２５に対する角度が変わり、光の透過率が変化する。２枚の偏光板２６は互いに偏光方向が直交しており、液晶層２１を通過することにより、光の振動方向が出射側の偏光板２６の偏光方向と同じになった場合にのみ光を透過させる。
【００２３】
なお、液晶パネルの後面からバックライトにより光を照射して透過した光で表示を行う透過型液晶パネルと、光を液晶パネルの表面にあて、液晶パネル内で光を反射させて反射光で表示を行う反射型液晶パネルがあるが、本発明はどちらのタイプの液晶パネルにも適用できる。
【００２４】
図１を用いて検査システム１０の各部の機能について説明する。
比抵抗測定部１１は、液晶パネルの比抵抗の測定を行うユニットである。比抵抗測定部１１には、液晶パネルの比抵抗を測定するための比抵抗測定器１１１が備えられている。比抵抗測定部１１では、液晶パネルに電圧を印加し、それに対する応答電流値を測定して比抵抗を求める。比抵抗測定のための電極は、例えば図３に示すように、液晶パネルの画素外の領域に設けた比抵抗測定用電極５０と、液晶パネルの対向電極（図示せず）とを用いるようにしてもよい。両電極間に電圧を印加し、比抵抗測定器１１１において、印加電圧とその時に流れる電流を測定し、測定した電圧と電流から液晶パネル内の液晶の比抵抗を測定することができる。
【００２５】
ＶＴ測定部１２は、液晶パネルのＶＴ特性（電圧−透過率特性）の測定を行うユニットである。ＶＴ測定部１２には、液晶パネルに電圧を印加するための電圧供給装置１２１、液晶パネルの透過率を測定するための、光源１２２及び受光センサ１２３が備えられている。ＶＴ測定部１２では、電圧供給装置１２１によって液晶パネルに電圧を印加した状態で、光源１２２から液晶パネルに照射し、受光センサ１２３によって液晶パネルを透過した光の光量を測定することにより、印加電圧に対応した液晶パネルの透過率を測定する。光源１２２は、実際の製品で用いられるのと同種のものや、紫外光、可視光等を発光する光源を用いることができる。
なお、図１に示す例は透過型の液晶ディスプレイの検査に対応したものであり、受光センサ１２３を光源１２２と同じ側に配置し、液晶パネル内で反射した光の光量を測定するようにすれば、反射型の液晶パネルの検査に対応することができる。
【００２６】
照射部１３は、光源１３１から出射される光を液晶パネルに照射するユニットである。液晶パネルへの照射時間は、記憶部１６に記憶されており、照射部１３では、所定の時間が過ぎると、制御部１７によって光源１３１が消灯される。また、照射される光の強度も記憶部１６に記憶されており、制御部１７によって調節される。光源１３１は実際の製品で用いられるのと同種のものが望ましいが、光の種類としては、紫外光、可視光等を用いることができる。
【００２７】
保管部１４は、検査対象の液晶パネルを保管するためのユニットである。保管部１４には、検査対象となる液晶パネルの他に、後述する参照データ取得用の良品の液晶パネルも格納されている。
【００２８】
搬送部１５は、液晶パネルを、保管部１４から照射部１３、ＶＴ測定部１２、比抵抗測定部１１へ移動させるための操作ユニットである。搬送部１５はロボットアーム等の搬送手段とその駆動装置を備え、液晶パネルを各ユニット間で移動可能に構成されている。
【００２９】
記憶部１６は、照射部１３における光照射時間、ＶＴ測定部１２における測定結果、比抵抗測定部１１における比抵抗値の測定結果等を記憶する。
【００３０】
制御部１７は、搬送部１５による液晶パネルの移動、比抵抗測定部１１およびＶＴ測定部１２における測定処理、照射部１３における照射等を制御する。
【００３１】
演算部１８は、比抵抗測定部１１及びＶＴ測定部１２において測定された結果を基に演算を行い、液晶パネルが良品か不良品かを判定する。
【００３２】
次に、検査システム１０を用いた液晶パネルの不良品検出のための検査方法について説明する。
まず、検査対象の液晶パネルの検査を行うに先立ち、良品の測定を行い、良、不良の判断のための参照データを取得する。以下良品の測定処理の流れを説明する。
まず、制御部１７の制御により、搬送部１５が良品の液晶パネルＰｒを保管部１４から照射部１３へ移動する。次に、照射部１３において、液晶パネルＰｒへ光照射を行う。照射時間は、記憶部１６に予め記憶されており、所定の時間の照射後、制御部１７により自動的に照射が終了する。光の照射が終了すると、制御部１７の制御により、搬送部１５が液晶パネルＰｒをＶＴ測定部１２へ移動する。
【００３３】
次に、ＶＴ測定部１２において、液晶パネルＰｒのＶＴ特性（電圧−透過率特性）の測定を行う。具体的には、電圧供給装置１２１からの入力電圧周波数を３０Ｈｚとし、入力電圧範囲を０〜５Ｖの間で０．０５Ｖきざみで変化させる条件で測定する。各々の入力電圧における透過率の測定結果は記憶部１６に保存する。特に、中間調（入力電圧１．５Ｖ）における透過率の測定結果は記憶部１６に記憶する。図４は、ＶＴ特性の測定結果をグラフにしたものである。
【００３４】
ＶＴ特性の測定が終了したら、制御部１７の制御により、搬送部１５が液晶パネルＰｒを比抵抗測定部１１へ移動する。続いて、比抵抗測定部１１において、液晶パネルＰｒの比抵抗の測定を行う。具体的には、入力電圧周波数を３０Ｈｚ、入力電圧５Ｖの条件で測定する。測定した比抵抗は記憶部１６に保存する。
【００３５】
次に、演算部１８において、測定した中間調における透過率と比抵抗を、それぞれの初期値で除算する。初期値は、それぞれ照射ゼロ時間における中間調での透過率と比抵抗の値である。
以上の、照射→ＶＴ測定→比抵抗測定→初期値で除算、の処理を繰り返し行い、中間調での透過率が初期値の半分になるまで、すなわち除算結果が０．５になるまで処理を繰り返す。処理を繰り返すごとに液晶パネルＰｒへの照射時間は増加していく。図５は、照射時間と、中間調での透過率（ＶＴ）及び比抵抗をそれぞれの初期値で除算した値の関係をグラフにしたものである。
【００３６】
次に、演算部１８において、比抵抗の値が初期値の５０％になるまでに要した照射時間（図５に示す期間Ａ）、中間調透過率の値が初期値の５０％になるまでに要した照射時間（図５に示す期間Ｂ）、及び期間Ｂ／期間Ａの値（期間Ｃとする。）を求め、記憶部１６へ記憶する。次に、制御部１７の制御により、搬送部１５が液晶パネルＰｒを比抵抗測定部１１から保管部１４へ移動する。
以上で、液晶パネルの良、不良の判断のための参照データの取得処理が終了する。なお、ここでは、中間調透過率と比抵抗の値が初期値の５０％になるまでの時間を求めるようにしたが、この変化率はどのような値でもかまわない。ここでは、仮に中間調透過率が初期の５０％になるまでの期間を液晶パネルの寿命と考え設定している。
【００３７】
次に、検査対象の液晶パネルＰの良否の検査の手順について説明する。なお、下記の各ユニットにおける処理は、制御部１７により制御される。
まず、搬送部１５によって、検査対象の液晶パネルＰを保管部１４から照射部１３へ移動する。
【００３８】
次に、照射部１３において、液晶パネルＰへの光照射を行う。照射時間は参照データ取得のために良品の液晶パネルＰｒに照射した時間と同じであり、記憶部１６に予め記憶されている。所定の時間の照射後、制御部１７により自動的に照射が終了し、光の照射が終了すると、搬送部１５が液晶パネルＰを比抵抗測定部１１へ移動する。
【００３９】
続いて、比抵抗測定部１１において、液晶パネルＰの比抵抗の測定を行う。測定条件は、良品の液晶パネルＰｒの条件と同じであり、入力電圧周波数３０Ｈｚ、入力電圧５Ｖの条件で測定する。測定した比抵抗は記憶部１６に保存する。
【００４０】
次に、演算部１８において、測定した比抵抗を初期値で除算する。初期値は照射ゼロ時間における比抵抗の値である。
以上の、照射→比抵抗測定→初期値で除算、の処理を繰り返し行い、比抵抗が初期値の半分になるまで、すなわち除算結果が０．５になるまで処理を繰り返す。処理を繰り返すごとに液晶パネルＰへの照射時間は増加していく。図６は、照射時間と、比抵抗を初期値で除算した値の関係をグラフにしたものである。
【００４１】
次に、演算部１８において、比抵抗の値が初期値の５０％になるまでに要した照射時間（図６に示す期間Ａ’）、及び液晶パネルＰの推定寿命Ｄを求める。推定寿命Ｄは下記の式（１）により求める。
Ｄ＝Ｃ×Ａ’…（１）
ただし、Ｃは上述の期間Ｂ／期間Ａの値である。
【００４２】
さらに、演算部１８において、液晶パネルＰの良、不良の判定を行う。具体的には、Ｄ≧期間Ｂであれば良品、Ｄ＜期間Ｂであれば不良品と判定する。判定後、判定結果を記憶部１６へ記憶し、搬送部１５が液晶パネルＰを比抵抗測定部１１から保管部１４へ移動する。
【００４３】
なお、良品、不良品の判定結果は、液晶パネルに予め付与されている製造番号に対応させて記憶部１６に記憶するようにしてもよい。また、判定結果をディスプレイ（図示せず）に表示するようにしてもよい。このときそれぞれの液晶パネルの推定寿命Ｄも共に表示してもよい。
【００４４】
ここで、液晶パネルへの光照射により、ＶＴ特性及び比抵抗が低下する理由について説明する。ここでは、フッ素系の液晶材料を用いた場合を例に説明する。液晶に光を照射すると、フッ素系液晶化合物が光励起され、フッ素イオンの脱離が生じる。フッ素イオンが脱離することにより液晶化合物同士のポリマー化が生じる。すなわち、光を照射し続けることにより液晶のポリマー化が進み、ポリマー成分が液晶パネルの配向膜に付着することにより、配向膜による液晶の配向を規制する力が低下していく。このため、液晶パネルのＶＴ特性が低下する。
【００４５】
また、フッ素イオンなどのイオン性物質は液晶の比抵抗を低下させる。そして、比抵抗の低下はＶＴ特性の低下よりも早く起こる。よって、本実施形態のように、光照射時間に対するＶＴ特性と比抵抗の変動の相関を予め測定しておくことにより、比抵抗を用いてＶＴ特性の低下の状態を予測することが可能となる。すなわち、良品の参考値よりも比抵抗の低下速度が遅ければ良品であり、速ければ不良品である。例えば、本実施形態では、ＶＴ特性が５０％低下するまでに要する光照射時間と比抵抗が５０％低下するまでに要する光照射時間の比を測定しておき、各々の製品について、この比を用いて良否を判定している。上述したように、比抵抗の低下の速度のほうがＶＴ特性の低下の速度よりも速いので、ＶＴ特性そのものを測定するよりも、格段に早く不良品検査を行うことができる。
【００４６】
なお、本実施形態では、良品の液晶パネルＰｒの比抵抗の値が初期値の５０％になるまでに要した照射時間（基準期間）を記憶部１６に記憶しておき、検査対象の液晶パネルＰの比抵抗の値が初期値の５０％になるまでに要した照射時間（第１期間）と比較することにより液晶パネルＰの良否を判断しているが、例えば、良品と検査品の比抵抗値の変化率を比較するようにしてもよい。
【００４７】
すなわち、参考用の液晶パネルＰｒに一定時間（基準期間）光照射した時の比抵抗の変化率（基準変化率）を測定して記憶部１６に記憶しておく。比抵抗測定部１１では、検査品の液晶パネルＰに基準期間光を照射したときの比抵抗の変化率（実測変化率）を求める。そして演算部１８において、この実測変化率が基準変化率を上回るか否かによって液晶パネルＰの良否を判断するようにしてもよい。
【００４８】
また、図５に示すような、参考用の液晶パネルＰｒにおける照射時間と比抵抗値の推移の関係を記憶部１６に記憶しておくことにより、比抵抗測定部１１おいて、検査品の液晶パネルＰに対し、ある期間光照射したときの比抵抗値を測定し、演算部１８において参考品に同等の時間光照射した際の比抵抗値と比較し、検査品の比抵抗値の方が大きければ良品と判定し、小さければ不良品を判定するようにしてもよい。この時、１点のみの測定（第１期間のみ）で比較することもできるが、２点以上の測定（第１期間、第２期間）において測定した値を用いて比較すれば、より正確に良否判定を行うことができる。
【００４９】
なお、本発明による手法はフッ素系の液晶に限らずシアノ系液晶など、他の系の材料を用いた液晶についても適用できる。シアノ系液晶の場合、光照射によりシアノ基の脱離、転移、アミン生成等により、ＶＴ特性及び比抵抗が低下する。そして、この場合にも比抵抗の低下のほうがＶＴ特性の低下よりも進行が速い。
【符号の説明】
【００５０】
１０  検査システム、１１  比抵抗測定部、１１１  比抵抗測定器、１２  ＶＴ測定部、１２１  電圧供給装置、１２２  光源、１２３  受光センサ、１３  照射部、１３１  光源、１４  保管部、１５  搬送部、１６  記憶部、１７  制御部、１８  演算部、２１  液晶層、２２  配向膜、２３  画素電極、２４  対向電極、２５  ガラス基板、２６  偏光板、５０  比抵抗測定用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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