(57)【要約】【課題】  発振周波数を補正するためのメモリなどが不要な温特補正機能付き発振回路およびその製造方法を実現する。【解決手段】  温特補正機能付き発振回路１０は、第１の発振回路２１と、第２の発振回路２２と、第１の発振回路２１が発生する発振周波数を理想の発振周波数に近い発振周波数に補正するための補正回路５０とを備える。補正回路５０は、第１の発振回路２１の発振周波数ｆ１と、第２の発振回路２２の発振周波数ｆ２との差分（ｆ１−ｆ２）を検出し、その検出した差分に補正係数αを乗じ（α・（ｆ１−ｆ２））、その補正された差分を第１の発振回路２１の発振周波数に加算し（ｆ１＋α・（ｆ１−ｆ２））、それを出力する動作を行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振周波数温度特性が相互に異なる第１および第２の発振回路を備えており、
前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とし、前記第１および第２の発振回路の各温度係数をＴ１，Ｔ２とした場合に、
ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×（Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１））を演算して求められる発振周波数を出力する補正回路を前記第１および第２の発振回路に接続してなることを特徴とする温特補正機能付き発振回路。
【請求項２】
発振周波数温度特性が相互に異なる第１および第２の発振回路を備えており、
前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とし、理想の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数と前記第１の発振回路の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数との差分をＦとし、前記第１および第２の発振回路の各発振周波数温度特性の前記所定の温度における各発振周波数の差分をΔＦとした場合に、
ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦを演算して求められる発振周波数を出力する補正回路を前記第１および第２の発振回路に接続してなることを特徴とする温特補正機能付き発振回路。
【請求項３】
前記補正回路は、
前記第１の発振回路が発生する発振周波数に応じた電圧を出力する第１の周波数電圧変換回路と、
前記第２の発振回路が発生する発振周波数に応じた電圧を出力する第２の周波数電圧変換回路と、
前記第１および第２の周波数電圧変換回路が出力する各電圧の差分をＴ１／（Ｔ２−Ｔ１）の増幅率で増幅する増幅回路と、
前記増幅回路の出力電圧と前記第１の周波数電圧変換回路の出力電圧とを加算する加算回路と、
前記加算回路の出力電圧に応じた周波数を出力する電圧周波数変換回路と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の温特補正機能付き発振回路。
【請求項４】
前記補正回路は、
前記第１の発振回路が発生する発振周波数に応じた電圧を出力する第１の周波数電圧変換回路と、
前記第２の発振回路が発生する発振周波数に応じた電圧を出力する第２の周波数電圧変換回路と、
前記第１および第２の周波数電圧変換回路が出力する各電圧の差分をＦ／ΔＦの増幅率で増幅する増幅回路と、
前記増幅回路の出力電圧と前記第１の周波数電圧変換回路の出力電圧とを加算する加算回路と、
前記加算回路の出力電圧に応じた周波数を出力する電圧周波数変換回路と、を備えることを特徴とする請求項２に記載の温特補正機能付き発振回路。
【請求項５】
発振周波数温度特性が相互に異なるように第１および第２の発振回路を製造する工程と、
前記第１および第２の発振回路の各温度係数をＴ１，Ｔ２とした場合に、Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１）を求める工程と、
前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とした場合に、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×（Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１））を演算して求められる発振周波数を出力する補正回路を製造する工程と、
を有することを特徴とする温特補正機能付き発振回路の製造方法。
【請求項６】
発振周波数温度特性が相互に異なるように第１および第２の発振回路を製造する工程と、
理想の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数と前記第１の発振回路の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数との差分をＦとし、前記第１および第２の発振回路の各発振周波数温度特性の前記所定の温度における各発振周波数の差分をΔＦとした場合に、Ｆ／ΔＦを演算して求める工程と、
前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とした場合に、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦを演算して求められる発振周波数を出力する補正回路を製造する工程と、
を有することを特徴とする温特補正機能付き発振回路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、発振回路の温度特性による発振周波数の誤差を補正する機能を有する温特補正機能付き発振回路およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、温特補正機能付き発振回路として特許文献１に記載のものが知られている。このものは、温度検出回路と、この温度検出回路に接続されたメモリと、このメモリに接続されたデコード回路と、水晶発振回路と、この水晶発振回路およびデコード回路に接続されたスイッチトキャパシタ回路とを備える。温度検出回路は、発振周波数温度特性が相互に異なる第１および第２の発振回路と、各発振回路が出力するパルスを計数する第１および第２の計数回路と、第２の計数回路の計数値をラッチするデータラッチ回路とを有する温度検出回路とを備える。
【０００３】
そして、第１および第２の発振回路の温度に応じたパルス数の差分がデータラッチ回路に保持され、その差分に対応するデータがメモリから読出され、その読出されたデータに対応してスイッチトキャパシタ回路の容量が変化し、水晶発振回路の発振周波数が補正される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−７５０３６号公報（第６０〜７７段落、図７）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前述した従来のものは、発振周波数を補正するためのメモリなどが回路上に占める面積が大きいため、回路の小型化が難しいという問題がある。
【０００６】
そこでこの発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、発振周波数を補正するためのメモリなどが不要な温特補正機能付き発振回路およびその製造方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、この発明の第１の特徴は、発振周波数温度特性が相互に異なる第１および第２の発振回路（２１，２２）を備えており、前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とし、前記第１および第２の発振回路の各温度係数をＴ１，Ｔ２とした場合に、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×（Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１））を演算して求められる発振周波数を出力する補正回路（５０）を前記第１および第２の発振回路に接続してなる温特補正機能付き発振回路（１０）としたことにある。
【０００８】
この発明の第２の特徴は、発振周波数温度特性が相互に異なる第１および第２の発振回路（２１，２２）を備えており、前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とし、理想の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数と前記第１の発振回路の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数との差分をＦとし、前記第１および第２の発振回路の各発振周波数温度特性の前記所定の温度における各発振周波数の差分をΔＦとした場合に、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦを演算して求められる発振周波数を出力する補正回路（５０）を前記第１および第２の発振回路に接続してなる温特補正機能付き発振回路（１０）としたことにある。
【０００９】
この発明の第３の特徴は、前述の第１の特徴において、前記補正回路（５０）は、前記第１の発振回路（２１）が発生する発振周波数（ｆ１）に応じた電圧（Ｖ１）を出力する第１の周波数電圧変換回路（２３）と、前記第２の発振回路（２２）が発生する発振周波数（ｆ２）に応じた電圧（Ｖ２）を出力する第２の周波数電圧変換回路（２４）と、前記第１および第２の周波数電圧変換回路が出力する各電圧の差分をＴ１／（Ｔ２−Ｔ１）の増幅率（α）で増幅する増幅回路（３１）と、前記増幅回路の出力電圧と前記第１の周波数電圧変換回路の出力電圧とを加算する加算回路（３２）と、前記加算回路の出力電圧に応じた周波数を出力する電圧周波数変換回路（４０）と、を備えることにある。
【００１０】
この発明の第４の特徴は、前述の第２の特徴において、前記補正回路（５０）は、前記第１の発振回路（２１）が発生する発振周波数（ｆ１）に応じた電圧（Ｖ１）を出力する第１の周波数電圧変換回路（２３）と、前記第２の発振回路（２２）が発生する発振周波数（ｆ２）に応じた電圧（Ｖ２）を出力する第２の周波数電圧変換回路（２４）と、前記第１および第２の周波数電圧変換回路が出力する各電圧の差分をＦ／ΔＦの増幅率（α）で増幅する増幅回路（３１）と、前記増幅回路の出力電圧と前記第１の周波数電圧変換回路の出力電圧とを加算する加算回路（３２）と、前記加算回路の出力電圧に応じた周波数を出力する電圧周波数変換回路（４０）と、を備えることにある。
【００１１】
この発明の第５の特徴は、発振周波数温度特性が相互に異なるように第１および第２の発振回路（２１，２２）を製造する工程と、前記第１および第２の発振回路の各温度係数をＴ１，Ｔ２とした場合に、Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１）を求める工程と、前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とした場合に、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×（Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１））を演算して求められる発振周波数を出力する補正回路（５０）を製造する工程と、を有する温特補正機能付き発振回路（１０）の製造方法としたことにある。
【００１２】
この発明の第６の特徴は、発振周波数温度特性が相互に異なるように第１および第２の発振回路（２１，２２）を製造する工程と、理想の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数と前記第１の発振回路の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数との差分をＦとし、前記第１および第２の発振回路の各発振周波数温度特性の前記所定の温度における各発振周波数の差分をΔＦとした場合に、Ｆ／ΔＦを演算して求める工程と、前記第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とした場合に、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦを演算して求められる発振周波数を出力する補正回路（５０）を製造する工程と、を有する温特補正機能付き発振回路（１０）の製造方法としたことにある。
【００１３】
なお、上記各括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明の効果】
【００１４】
前述の第１または第５の特徴によれば、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×（Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１））を演算して求められる発振周波数を出力する補正回路を備えるため、発振周波数を補正するためのデータを格納するメモリが不要となる。
【００１５】
また、前述の第２または第６の特徴によれば、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦを演算して求められる発振周波数を出力する補正回路を備えるため、発振周波数を補正するためのデータを格納するメモリが不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明の第１実施形態に係る温特補正機能付き発振回路の特徴を示す説明図である。
【図２】発振周波数温度特性の説明図である。
【図３】図２の各スケールを拡大した説明図である。
【図４】温特補正機能付き発振回路１０の回路例を示す説明図である。
【図５】図４に示す温特補正機能付き発振回路の回路例を示す回路図である。
【図６】図４に示す演算回路３０の回路例を示す回路図である。
【図７】温特補正機能付き発振回路１０の製造方法を示す工程図である。
【図８】他の実施形態に係る温特補正機能付き発振回路の特徴を示す説明図である。
【図９】回帰直線を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
〈第１実施形態〉
この発明に係る第１実施形態について図を参照して説明する。図１は、この第１実施形態に係る温特補正機能付き発振回路の特徴を示す説明図である。図２は、発振周波数温度特性の説明図である。図３は、図２の各スケールを拡大した説明図である。
【００１８】
［特徴］
図１に示すように、この実施形態に係る温特補正機能付き発振回路１０は、第１の発振回路２１と、第２の発振回路２２と、第１の発振回路２１が発生する発振周波数を理想の発振周波数に近い発振周波数に補正するための補正回路５０とを備える。図２に示すように、第１および第２の発振回路２１，２２は、相互に異なる発振周波数温度特性を有する。
【００１９】
補正回路５０は、第１の発振回路２１の発振周波数ｆ１と、第２の発振回路２２の発振周波数ｆ２との差分（ｆ１−ｆ２）を検出し、その検出した差分に補正係数αを乗じ（α・（ｆ１−ｆ２））、その補正された差分を第１の発振回路２１の発振周波数に加算し（ｆ１＋α・（ｆ１−ｆ２））、それを出力する動作を行う。
【００２０】
補正係数αは、理想の発振周波数温度特性および第１の発振回路２１の発振周波数温度特性の差と、第１および第２の発振回路２１，２２間の発振周波数温度特性の差との比に対応する値である。したがって、補正係数αは、第１および第２の発振回路２１，２２の各発振周波数温度特性に依存しており、少なくとも一方の発振周波数温度特性が変化すると変動する。
【００２１】
この実施形態では、補正係数αは、第１および第２の発振回路２１，２２の各温度係数によって求める。第１および第２の発振回路２１，２２の各温度係数をＴ１，Ｔ２とすると、補正係数αは、α＝Ｔ１／（Ｔ２−Ｔ１）を演算して求める。発振回路の温度係数は、発振回路の製造時に求めることができる。たとえば、第１および第２の発振回路２１，２２の各温度係数Ｔ１，Ｔ２が５００ｐｐｍ／℃，８００ｐｐｍ／℃であるとすると、補正係数α＝５００／（８００−５００）≒１．６７になる。
【００２２】
たとえば、図２において、周囲温度が５０℃のときの第１および第２の発振回路２１，２２の発振周波数ｆ１，ｆ２が、９８８Ｈｚ，９８１Ｈｚであるとすると、ｆ１ーｆ２＝９８８Ｈｚ−９８１Ｈｚ＝７Ｈｚとなる。そして、α・（ｆ１−ｆ２）＝１．６７×７Ｈｚ＝１１．４１Ｈｚとなる。したがって、ｆ１＋α・（ｆ１−ｆ２）＝９８８Ｈｚ＋１１．４１Ｈｚ＝９９９．４１Ｈｚとなり、理想の１，０００Ｈｚに近い発振周波数に補正される。
【００２３】
［回路例］
図４は、この実施形態に係る温特補正機能付き発振回路１０の回路例を示す説明図である。図５は、図４に示す温特補正機能付き発振回路の回路例を示す回路図である。図６は、図４に示す演算回路３０の回路例を示す回路図である。
【００２４】
図４に示すように、温特補正機能付き発振回路１０は、第１および第２の発振回路２１，２２と、各発振回路の発振周波数を電圧に変換する第１および第２の周波数電圧変換回路（Ｆ／Ｖ変換回路）２３，２４と、各周波数電圧変換回路２３，２４の発生する電圧Ｖ１，Ｖ２に基いて電圧Ｖ１を補正するアナログの演算回路３０と、この演算回路３０の出力電圧を周波数に変換する電圧周波数変換回路（Ｖ／Ｆ変換回路）４０とを備える。
【００２５】
第１および第２の発振回路２１，２２は、たとえば、図５に示すように、インバータＩＮＶ１〜ＩＮＶ３と、抵抗Ｒと、コンデンサＣとを有するＣＲ発振回路によりそれぞれ構成することができる。この発振回路では、インバータＩＮＶ１〜ＩＮＶ３が直列に接続されており、インバータＩＮＶ２の出力側とインバータＩＮＶ１の入力側とがコンデンサＣを介して接続されている。また、インバータＩＮＶ３の出力側とインバータＩＮＶ１の入力側とが抵抗Ｒを介して接続されている。
【００２６】
ここで、発振周波数ｆを決定するのは、抵抗ＲとコンデンサＣの充放電の時定数であり、ｆ値は抵抗Ｒでの抵抗値ＲａとコンデンサＣの容量Ｃ１との関係において、ｆ＝１／（ｋ・Ｒａ・Ｃ１）という式で求めることができる。ただし、ｋは定数（たとえば、約２．２）である。
【００２７】
図６に示すように、演算回路３０は、差動増幅回路３１と、加算回路３２と、極性反転回路３３とを備える。差動増幅回路３１を構成するオペアンプＯＰ１の非反転入力端子には、抵抗Ｒ１を介して第１の周波数電圧変換回路２３の出力電圧Ｖ１が印加され、反転入力端子には、負帰還抵抗Ｒ１を介して第２の周波数電圧変換回路２４の出力電圧Ｖ２が印加される。つまり、差動増幅回路３１は、第１および第２の周波数電圧変換回路２３，２４の出力電圧Ｖ１，Ｖ２の差分を差動増幅する。
【００２８】
負帰還抵抗Ｒ２，Ｒ１の各抵抗値をＲ２，Ｒ１とすると、この差動増幅回路３１の増幅率は、Ｒ２／Ｒ１で決定される。つまり、増幅率＝Ｒ２／Ｒ１となるように負帰還抵抗Ｒ２，Ｒ１の各抵抗値を決定すれば良い。この増幅率は、補正係数αに相当し、前述した例の場合、補正係数α＝１．６３であるため、Ｒ２／Ｒ１＝１．６３となるように負帰還抵抗Ｒ２，Ｒ１の各抵抗値を決定する。
【００２９】
加算回路３２を構成するオペアンプＯＰ２の反転入力端子には、抵抗Ｒを介して第１の周波数電圧変換回路２３の出力電圧Ｖ１が印加され、非反転入力端子には、抵抗Ｒを介して差動増幅回路３１の出力電圧（（Ｒ２／Ｒ１）・（Ｖ１−Ｖ２））が印加される。つまり、加算回路３２は、第１の周波数電圧変換回路２３の出力電圧Ｖ１と、差動増幅回路３１の出力電圧（（Ｒ２／Ｒ１）・（Ｖ１−Ｖ２））とを加算する。
【００３０】
極性反転回路３３を構成するオペアンプＯＰ３の反転入力端子には、抵抗Ｒを介して加算回路３２の出力電圧が印加される。つまり、極性反転回路３３は、加算回路３２の出力電圧の極性を反転した電圧（Ｖ１＋（Ｒ２／Ｒ１）・（Ｖ１−Ｖ２））を出力する。
そして、図４に示す電圧周波数変換回路４０は、演算回路３０の出力電圧を周波数（ｆ１＋α・（ｆ１−ｆ２））に変換する。
【００３１】
［温特補正機能付き発振回路の製造方法］
次に、温特補正機能付き発振回路１０の製造方法について、その工程図を示す図７を参照して説明する。
先ず、第１および第２の発振回路２１，２２を半導体基板上に形成する（工程１）。このとき、各発振回路は、発振周波数温度特性が相互に異なるように製造する。たとえば、ＣＲ発振回路で発振回路を構成する場合、抵抗を拡散抵抗で形成し、拡散抵抗の不純物濃度を発振回路間で異ならせることにより、各拡散抵抗の抵抗温度係数を異ならせる。これにより、各発振回路の温度係数が相互に異なり、発振回路間に温度依存性を持たせることができるため、各発振回路の発振周波数温度特性を相互に異ならせることができる。
【００３２】
次に、各発振回路の温度係数を求める（工程２）。たとえば、前述の例では、第１および第２の発振回路２１の温度係数は、それぞれ５００ｐｐｍ／℃，８００ｐｐｍ／℃である。
【００３３】
次に、各発振回路を形成した同じ半導体基板上に補正回路５０を形成する（工程３）。このとき、補正回路５０の演算回路３０を構成する差動増幅回路３１の増幅率は、工程２において求めた各温度係数によって求める。たとえば、各発振回路の温度係数Ｔ１，Ｔ２が５００ｐｐｍ／℃，８００ｐｐｍ／℃であるとすると、補正係数α＝５００／（８００−５００）≒１．６７になるから、増幅率が１．６７となるように差動増幅回路３１の増幅率を決定する。つまり、差動増幅回路３１を構成するオペアンプの負帰還抵抗Ｒ１，Ｒ２の抵抗値をＲ２／Ｒ１＝１．６７となるように決定する。
【００３４】
［第１実施形態の効果］
以上のように、第１実施形態の温特補正機能付き発振回路１０を実施すれば、アナログの補正回路５０によって第１の発振回路２１の発振周波数ｆ１を理想値に近い発振周波数に補正することができる。
したがって、発振周波数を補正するためのメモリが不要であるため、温特補正機能付き発振回路を小型化することができる。
【００３５】
〈第２実施形態〉
次に、この発明の第２実施形態について説明する。
第１および第２の発振回路が発生する各発振周波数をｆ１，ｆ２とする。また、図２に示すように、理想の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数と第１の発振回路２１の発振周波数温度特性の所定の温度における発振周波数との差分をＦとし、第１および第２の発振回路２１，２２の各発振周波数温度特性の前記所定の温度における各発振周波数の差分をΔＦとする。
【００３６】
そして、補正回路５０は、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦを演算して求められる発振周波数を出力する。ここで、補正係数α＝Ｆ／ΔＦを求めてみる。たとえば、５０℃のときの第１および第２の発振回路２１，２２の発振周波数ｆ１，ｆ２が、９８８Ｈｚ，９８１Ｈｚであり、理想の発振周波数が１，０００Ｈｚであるとすると、Ｆ＝１，０００Ｈｚ−９８８Ｈｚ＝１２Ｈｚとなり、ΔＦ＝９８８Ｈｚ−９８１Ｈｚ＝７Ｈｚとなるから、補正係数α＝Ｆ／ΔＦ＝１２Ｈｚ／７Ｈｚ≒１．７１となる。
したがって、補正回路５０が出力する発振周波数は、ｆ１＋（ｆ１−ｆ２）×Ｆ／ΔＦ＝９８８Ｈｚ＋（９８８Ｈｚ−９８１Ｈｚ）×１．７１≒９９９．９７Ｈｚとなり、理想の１，０００Ｈｚに近い発振周波数に補正される。
【００３７】
なお、この実施形態の温特補正機能付き発振回路の製造工程では、前述の第１実施形態にて説明した製造方法の工程２において、各発振回路の温度係数を求めることに代えて、ＦおよびΔＦを求め、差動増幅回路３１の増幅率（補正係数）を求める。
【００３８】
［第２実施形態の効果］
以上のように、第２実施形態の温特補正機能付き発振回路１０を実施すれば、アナログの補正回路５０によって第１の発振回路２１の発振周波数ｆ１を理想値に近い発振周波数に補正することができる。
したがって、発振周波数を補正するためのメモリが不要であるため、温特補正機能付き発振回路を小型化することができる。
【００３９】
〈他の実施形態〉
（１）前述の第２実施形態では、補正係数αを温特補正機能付き発振回路１０の製造工程において予め求めたが、実際に温特補正機能付き発振回路１０を使用しているときに補正係数αをリアルタイムに演算して第１の発振回路２１の発振周波数ｆ１を補正することもできる。この構成を用いれば、図８に示すように、第１の発振回路２１の発振周波数ｆ１を理想の発振周波数に限りなく近付けることができるため、発振周波数ｆ１の補正制度を高めることができる。
【００４０】
（２）第１および第２の発振回路２１，２２の発振周波数の対応関係を回帰式を用いて演算し、その演算結果に基いて発振周波数を補正することもできる。たとえば、第１および第２の発振回路２１，２２の発振周波数を測定する測定点を、周囲温度の変化に応じてｎ個設定する。そして、各測定点における周囲温度を変数ｙとし、各測定点における各発振回路の発振周波数を変数ｘとして次の式（１）で示す回帰式に代入し、回帰直線を求める。
【００４１】
【数１】
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【００４２】
図９は、上記のように求めた回帰直線である。同図に示すように、回帰直線は、理想の発振周波数温度特性に対して誤差が小さいため、周囲温度の変化に対して変動の小さい発振周波数を出力することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
この発明に係る温特補正機能付き発振回路およびその製造方法は、発振回路を備えた各種のセンサなどに適用することができる。たとえば、蒸発燃料濃度センサ、圧力センサ、衝突センサ、湿度センサ、加速度センサなど、静電容量の偏差を発振回路を利用して取り出すことにより、物理量を検出するセンサに用いることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０・・温特補正機能付き発振回路、２１・・第１の発振回路、
２２・・第２の発振回路、３０・・演算回路、３１・・差動増幅回路、
３２・・加算回路、５０・・補正回路、α・・補正係数。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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