(57)【要約】【課題】破損を招くことなく基板の変形を確実に矯正する。【解決手段】基板１００をクランプする第１のクランプ部（クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ）および第２のクランプ部（クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ）を有するクランプ機構１０と、第１のクランプ部を移動させる移動機構と、クランプ機構１０による基板１００のクランプ処理、および移動機構によって第１のクランプ部を移動させて基板１００を伸張させる基板伸張処理をこの順で実行して基板１００を固定する制御部と、基板１００を吸着する吸着機構２０とを備え、制御部が、吸着機構２０による基板吸着処理と、第１のクランプ部による第１のクランプ処理と、移動機構によって第１のクランプ部を第２のクランプ部に対する離間方向に移動させる移動処理と、第２のクランプ部による第２のクランプ処理とを上記のクランプ処理としてこの順で実行する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板の対向する両端部の一方をクランプする第１のクランプ部および当該両端部の他方をクランプする第２のクランプ部を有するクランプ機構と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する接近方向および離間方向に移動させる移動機構と、前記クランプ機構を制御して前記回路基板の前記両端部をクランプさせるクランプ処理および前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対する前記離間方向に移動させて当該回路基板を伸張させる基板伸張処理をこの順で実行して当該回路基板を固定する制御部とを備えた回路基板固定装置であって、
前記回路基板の一方の面における前記両端部の間の所定部位を吸着する吸着機構を備え、
前記制御部は、前記吸着機構を制御して前記所定部位を吸着させる基板吸着処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの予め規定された一方を制御して前記両端部の一方をクランプさせる第１のクランプ処理と、前記移動機構を制御して前記予め規定された一方を他方から離間させる向きに移動させる移動処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの他方を制御して前記両端部の他方をクランプさせる第２のクランプ処理とを前記クランプ処理としてこの順で実行する回路基板固定装置。
【請求項２】
前記吸着機構は、前記回路基板の前記一方の面における複数の前記所定部位を別個独立してそれぞれ吸着する複数の吸着部を備えている請求項１記載の回路基板固定装置。
【請求項３】
前記吸着機構は、前記回路基板の前記一方の面における前記所定部位を吸着する吸着部を前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部の間の任意の位置に配置可能に構成されている請求項１または２記載の回路基板固定装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている前記回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている回路基板検査装置。
【請求項５】
第１のクランプ部および第２のクランプ部によって回路基板の対向する両端部をそれぞれクランプするクランプ処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する離間方向に移動させて当該回路基板を伸張させる基板伸張処理とをこの順で実行して当該回路基板を固定する回路基板固定方法であって、
前記回路基板の一方の面における前記両端部の間の所定部位を吸着機構によって吸着する基板吸着処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの予め規定された一方によって前記両端部の一方をクランプする第１のクランプ処理と、前記予め規定された一方を他方に対する離間方向に移動させる移動処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの他方によって前記両端部の他方をクランプする第２のクランプ処理とを前記クランプ処理としてこの順で実行する回路基板固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クランプ機構によって回路基板をクランプして固定する回路基板固定装置および回路基板固定方法、並びに、その回路基板固定装置を備えて回路基板に対する電気的検査を実行する回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板固定装置を備えた回路基板検査装置として、プリント基板固定装置（以下、「固定装置」ともいう）を備えた検査装置が特許２８９９４９２号公報に開示されている。この検査装置は、固定装置によって所定の検査位置に固定したプリント基板に測定用プローブを当接させてプリント基板を電気的に検査可能に構成されている。この場合、固定装置は、検査対象のプリント基板における対向する両端部をそれぞれ把持する一対の把持装置を備えている。この検査装置を用いてプリント基板を検査する際には、まず、固定装置の両把持装置によってプリント基板の両端部をそれぞれ把持する。次いで、移動機構によって両把持装置の一方を他方に対する離間方向に移動させる。この際には、プリント基板の両端部をそれぞれ把持している両把持装置が互いに離間させられることにより、プリント基板が引っ張られて、その反り（変形）が矯正される。これにより、プリント基板の固定が完了する。続いて、プローブ移動機構を制御して測定用プローブをプリント基板に当接させて所定の電気的検査を実行する。これにより、プリント基板の良否が検査される。
【特許文献１】特許２８９９４９２号公報（第２−４頁、第２−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、従来の検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の検査装置では、一対の把持装置によって検査対象のプリント基板（例えば、フレキシブル基板）における両端部を把持した状態において、一方の把持装置を他方の把持装置に対する離間方向に移動させることによってプリント基板を伸張させて、その反り（変形）を矯正する固定装置を備えて構成されている。この場合、図７に示すように、従来の検査装置１ｘ（以下、従来の検査装置に関係する構成要素については、符号の末尾に「ｘ」を付して説明する）では、両把持装置１４ａｘ，１４ｂｘによって把持した両端部（この例では、同図における左右両端部）の間に生じている反りの度合いが、その幅方向（同図における紙面奥手前方向）の各部において同程度となっている回路基板（プリント基板）１００については、把持装置１４ｂｘに対して把持装置１４ａｘを矢印Ａｘの向きに移動させることによって回路基板１００を引っ張って矯正することが可能となっている。しかしながら、図８に示すように、両把持装置１４ａｘ，１４ｂｘによって把持した両端部（この例では、同図における上下両端部）の間に生じている反りの度合いが、その幅方向（同図における左右方向）の各部において相違している回路基板１００については、その反りを矯正するのが困難となっている。
【０００４】
具体的には、図８に示す回路基板１００では、同図における左側部位に大きな反りが生じているものの、同図における右側部位には極く小さな反りしか生じていない（反りの状態が幅方向の各部において相違している状態の一例）。このため、左側部位に生じている反りを矯正するために、把持装置１４ｂｘに対して把持装置１４ａｘを矢印Ａｘの向きに移動させたとしても、把持装置１４ａｘを僅かに移動させた時点において右側部位が十分に伸張する結果、それ以上の把持装置１４ａｘの移動が妨げられる。このため、この例では、回路基板１００の左側部位に生じている反りを矯正することができない。このように、従来の検査装置１ｘでは、回路基板１００に生じている反りの状態によっては、その反りを矯正した状態で回路基板１００を固定するのが困難であるという問題点がある。また、上記の例において右側部位が十分に伸張した時点以降も把持装置１４ａｘを矢印Ａｘの方向に移動させようとした場合には、回路基板１００の右側部位に過剰に大きな引っ張り力が加わることに起因して、回路基板１００の破損を招くおそれもある。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、回路基板の破損を招くことなく、その反り（変形）を確実に矯正し得る回路基板固定装置、回路基板検査装置および回路基板固定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板固定装置は、回路基板の対向する両端部の一方をクランプする第１のクランプ部および当該両端部の他方をクランプする第２のクランプ部を有するクランプ機構と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する接近方向および離間方向に移動させる移動機構と、前記クランプ機構を制御して前記回路基板の前記両端部をクランプさせるクランプ処理および前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対する前記離間方向に移動させて当該回路基板を伸張させる基板伸張処理をこの順で実行して当該回路基板を固定する制御部とを備えた回路基板固定装置であって、前記回路基板の一方の面における前記両端部の間の所定部位を吸着する吸着機構を備え、前記制御部が、前記吸着機構を制御して前記所定部位を吸着させる基板吸着処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの予め規定された一方を制御して前記両端部の一方をクランプさせる第１のクランプ処理と、前記移動機構を制御して前記予め規定された一方を他方から離間させる向きに移動させる移動処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの他方を制御して前記両端部の他方をクランプさせる第２のクランプ処理とを前記クランプ処理としてこの順で実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の回路基板固定装置は、請求項１記載の回路基板固定装置において、前記吸着機構が、前記回路基板の前記一方の面における複数の前記所定部位を別個独立してそれぞれ吸着する複数の吸着部を備えている。
【０００８】
さらに、請求項３記載の回路基板固定装置は、請求項１または２記載の回路基板固定装置において、前記吸着機構が、前記回路基板の前記一方の面における前記所定部位を吸着する吸着部を前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部の間の任意の位置に配置可能に構成されている。
【０００９】
また、請求項４記載の回路基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている前記回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えている。
【００１０】
また、請求項５記載の回路基板固定方法は、第１のクランプ部および第２のクランプ部によって回路基板の対向する両端部をそれぞれクランプするクランプ処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する離間方向に移動させて当該回路基板を伸張させる基板伸張処理とをこの順で実行して当該回路基板を固定する回路基板固定方法であって、前記回路基板の一方の面における前記両端部の間の所定部位を吸着機構によって吸着する基板吸着処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの予め規定された一方によって前記両端部の一方をクランプする第１のクランプ処理と、前記予め規定された一方を他方に対する離間方向に移動させる移動処理と、前記第１のクランプ部および前記第２のクランプ部のうちの他方によって前記両端部の他方をクランプする第２のクランプ処理とを前記クランプ処理としてこの順で実行する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の回路基板固定装置および請求項５記載の回路基板固定方法によれば、回路基板の一方の面における対向する両端部の間の所定部位を吸着機構によって吸着する基板吸着処理と、第１のクランプ部および第２のクランプ部のうちの予め規定された一方によって両端部の一方をクランプする第１のクランプ処理と、予め規定された一方を他方に対する離間方向に移動させる移動処理と、第１のクランプ部および第２のクランプ部のうちの他方によって両端部の他方をクランプする第２のクランプ処理とをクランプ処理としてこの順で実行した後に、第１のクランプ部および第２のクランプ部の少なくとも一方を他方に対する離間方向に移動させて回路基板を伸張させる基板伸張処理を実行して回路基板を固定することにより、回路基板の対向する両端部を把持装置によって把持した状態で回路基板を引っ張って反り等を矯正する構成の従来の検査装置とは異なり、吸着機構（各吸着部）によって回路基板を小さな力で吸着した状態で第１のクランプ部および第２のクランプ部のいずれか一方を移動させて回路基板を引っ張って回路基板に生じている皺や反り等の変形を矯正することで、回路基板において変形が生じていない部位に過剰に大きな引っ張り力が加わって回路基板の破損を招くことなく、その変形を十分に矯正することができる。このため、その後に両クランプ部の他方によって回路基板の他方の端部をクランプして両クランプ部を互いに離間させるようにして回路基板を引っ張る（伸張させる）ことにより、基板に生じている各種の変形を確実に矯正した状態で固定することができる。
【００１２】
また、請求項２記載の回路基板固定装置によれば、回路基板の一方の面における複数の所定部位を別個独立してそれぞれ吸着する複数の吸着部を備えて吸着機構を構成したことにより、例えば単一の吸着部によって回路基板を吸着する構成とは異なり、１つの吸着部当たりの吸着力が小さくても、吸着機構全体としての吸着力を十分に高めることができるため、基板吸着処理時や移動処理時に回路基板に対して部分的に大きな力を加えることなく、その変形を確実に矯正することができる。
【００１３】
さらに、請求項３記載の回路基板固定装置によれば、回路基板の一方の面における所定部位を吸着する吸着部を第１のクランプ部および第２のクランプ部の間の任意の位置に配置可能に吸着機構を構成したことにより、大きさが相違する各種の回路基板を確実に吸着することができる。
【００１４】
また、請求項４記載の回路基板検査装置によれば、上記のいずれかの回路基板固定装置と、回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて回路基板に対する所定の電気的検査を実行する検査部とを備えたことにより、皺や反り等の変形が存在しない状態の回路基板に検査用プローブを当接させることができるため、所望の検査ポイントに対して検査用プローブを確実に当接させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る回路基板固定装置、回路基板検査装置および回路基板固定方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１６】
図１に示す回路基板検査装置１（以下、「検査装置１」ともいう）は、本発明に係る回路基板検査装置の一例であって、回路基板固定装置２、プロービング装置３、検査部４および制御部５を備えて、回路基板１００に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、回路基板１００は、一例として、平面視矩形状に形成されたフレキシブル基板等で構成されている。一方、回路基板固定装置２（以下、「固定装置２」ともいう）は、クランプ機構１０、移動機構１８および吸着機構２０を備え、制御部５と相俟って本発明に係る回路基板固定装置を構成する。この場合、クランプ機構１０は、クランプ部１３ａ〜１３ｄ，１４ａ，１４ｂおよびコンプレッサ１５を備えている。また、図２に示すように、クランプ機構１０は、図示しない基台に固定された一対のレール１１，１１、および両レール１１，１１間に掛け渡された梁部材１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「梁部材１２」ともいう）を備えている。
【００１７】
この場合、このクランプ機構１０では、検査対象の回路基板１００の大きさに応じて、基台に対するレール１１，１１の固定位置（両レール１１，１１間の距離）を調整可能に構成されている。また、このクランプ機構１０では、一例として、梁部材１２ｂが両レール１１，１１間に掛け渡された状態でレール１１，１１に固定されると共に、梁部材１２ａがスライダー（図示せず）を介して両レール１１，１１に対してスライド可能に取り付けられて、移動機構１８によって矢印Ａ１（本発明における離間方向）および矢印Ａ２の向き（本発明における接近方向）に移動させられる構成が採用されている。さらに、このクランプ機構１０では、クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ（本発明における「第１のクランプ」の一例）が梁部材１２ａに取り付けられると共に、クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ（本発明における「第２のクランプ」の一例）が梁部材１２ｂに取り付けられている。
【００１８】
この場合、クランプ部１３ａ，１３ｂは、梁部材１２ａ上を矢印Ｂ１，Ｂ２の向きで任意に移動させて取り付け位置を調整可能に構成されている。また、クランプ部１３ｃ，１３ｄは、梁部材１２ｂ上を矢印Ｂ１，Ｂ２の向きで任意に移動させて取り付け位置を調整可能に構成されている。また、クランプ部１４ａ，１４ｂは、梁部材１２ａ，１２ｂの長手方向中央部に固定されている。さらに、クランプ部１３ａ〜１３ｄ（以下、区別しないときには、「クランプ部１３」ともいう）、およびクランプ部１４ａ，１４ｂ（以下、区別しないときには、「クランプ部１４」ともいう）は、梁部材１２ａ，１２ｂに対して取り付けるためのベース部、およびベース部と相俟って回路基板１００を挟持（クランプ）する爪部をそれぞれ備えている。また、クランプ部１３，１４は、コンプレッサ１５から供給される圧縮エアによって図示しないエアシリンダが作動して、ベース部に対して爪部が回動させられることでベース部および爪部の間に回路基板１００を挟み込むようにしてクランプする構成が採用されている。
【００１９】
吸着機構２０は、図１に示すように、移動機構２１、レール２２，２２（図２，３参照）、吸着部２３ａ〜２３ｃ（以下、区別しないときには「吸着部２３」ともいう）およびコンプレッサ２４を備えている。移動機構２１は、図３に示すように、両レール２２，２２間に掛け渡されている各吸着部２３を矢印Ｃ１の向き（各クランプ部１３，１４によってクランプされている回路基板１００の下面に対して各吸着部２３を接近させる方向）、および矢印Ｃ２の向き（各クランプ部１３，１４によってクランプされている回路基板１００から各吸着部２３を離間させる方向）に移動させる。吸着部２３は、本発明における吸着部の一例であって、図２，３に示すように、コンプレッサ２４に連結された複数の吸入口Ｈ，Ｈ・・が形成されて、後述するように、この吸入口Ｈ，Ｈ・・を介してその突端面（この例では上面）と回路基板１００との間の空気を吸引することによって回路基板１００を吸着可能に構成されている。この場合、この吸着機構２０では、吸着すべき回路基板１００の大きさに応じてレール２２，２２に対する各吸着部２３の取り付け位置を調整可能に構成されている。
【００２０】
プロービング装置３は、図１に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａ（以下、「移動機構３ａ」ともいう）および検査用プローブ３ｂを備え、後述するようにして、移動機構３ａによって検査用プローブ３ｂを移動させて回路基板１００の導体パターン（図示せず）に検査用プローブ３ｂの先端部を接触させる構成が採用されている。なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、１組の移動機構３ａおよび検査用プローブ３ｂを備えたプロービング装置３を図示しているが、実際には、２組以上の移動機構３ａおよび検査用プローブ３ｂを備えてプロービング装置３が構成されている。検査部４は、検査用プローブ３ｂを介して入力した電気信号Ｓに基づいて回路基板１００についての所定の電気的検査を実行する。
【００２１】
制御部５は、検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部５は、コンプレッサ１５を制御して各クランプ部１３，１４に圧縮エアを供給することにより、回路基板１００の対向する両端部（図２における上下両端部）をそれぞれクランプさせる処理（本発明における第１のクランプ処理および第２のクランプ処理）を実行する。また、制御部５は、移動機構１８（本発明における移動機構の一例）を制御して、梁部材１２ｂ上のクランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂに対して接近する接近方向（矢印Ａ２の向き）および離間する離間方向（矢印Ａ１の向き）に梁部材１２ａ（クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ）を移動させる処理（本発明における移動処理および基板伸張処理）を実行する。さらに、制御部５は、コンプレッサ２４を制御して各吸着部２３の吸入口Ｈ，Ｈ・・を介して各吸着部２３と回路基板１００との間の空気を吸引させると共に、移動機構２１を制御して各吸着部２３を回路基板１００の下面に接近させることによって各吸着部２３に回路基板１００の下面を吸着させる処理（本発明における基板吸着処理）とを実行する。
【００２２】
次に、検査装置１を用いて回路基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。
【００２３】
まず、基台に対する各レール１１の取り付け位置、各梁部材１２に対する各クランプ部１３の取り付け位置、および各レール２２に対する各吸着部２３の取り付け位置をそれぞれ調整する。この際に、基台に対する各レール１１の取り付け位置や、各梁部材１２に対する各クランプ部１３の取り付け位置を調整可能に構成されたこの検査装置１では、後述する各クランプ処理時において、各種大きさの回路基板１００を各クランプ部１３，１４によってクランプすることが可能となっている。また、各レール２２に対する各吸着部２３の取り付け位置を調整可能に構成されたこの検査装置１では、後述する基板吸着処理時において各種サイズの回路基板１００を吸着することが可能となっている。
【００２４】
次いで、図示しない操作部の操作スイッチを操作して検査開始を指示する。この際には、制御部５が、移動機構２１を制御して吸着機構２０の各吸着部２３（両レール２２，２２）を図３に示す矢印Ｃ１の向きで移動させて各吸着部２３を基板吸着位置（一例として、各吸着部２３の突端面が各クランプ部１３，１４のベース部の上面と同一平面上に位置する状態：図４参照）に位置させる。次いで、クランプ機構１０における各レール１１および各梁部材１２によって囲われた枠内、すなわち、基板吸着位置まで上昇させられた各吸着部２３の上に検査対象の回路基板１００を載置した後に、操作スイッチを操作する。これに応じて、制御部５は、コンプレッサ２４を制御して、各吸着部２３の吸入口Ｈ，Ｈ・・を介しての空気の吸引を開始させる。この際には、回路基板１００の下面（本発明における一方の面の一例）と各吸着部２３の突端面（同図における上面）との間の空気が各吸入口Ｈ，Ｈ・・を介して吸引されることにより、図４に示すように、回路基板１００の下面の３カ所（本発明における所定部の一例）が各吸着部２３の突端面に吸着した状態となる（本発明における「基板吸着処理」）。なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、回路基板１００に生じている皺や反り等の変形を誇張して大きく変形させて図示している。
【００２５】
次いで、図４に示すように、回路基板１００の対向する両端部の一方（この例では、同図における左側の端部）をクランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａによってクランプする。具体的には、制御部５がコンプレッサ１５を制御してクランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａに圧縮エアを供給することにより、クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａの爪部が図示しないエアシリンダによってベース部に対して回動させられて、爪部とベース部との間に回路基板１００の端部が挟持される。これにより、本発明における第１のクランプ処理が完了する。次いで、制御部５が移動機構１８を制御することによって梁部材１２ａ（クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ：本発明における予め規定された一方）を梁部材１２ｂ（クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ）に対する離間方向（矢印Ａ１の向き）に移動させる（本発明における移動処理の実行）。
【００２６】
この際には、回路基板１００における両端部間の各部（本発明における所定部位）が各吸着部２３に吸着した状態において、梁部材１２ａ（クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ）の移動に伴って回路基板１００の端部が矢印Ａ１の向きに引っ張られることにより、図５に示すように、まず、クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａと吸着部２３ａとの間において回路基板１００に生じている皺や反り等の変形が矯正される。次いで、回路基板１００が矢印Ａ１の向きにさらに引っ張られることにより、吸着部２３ａ上を滑るようにして回路基板１００が移動して吸着部２３ａ，２３ｂの間の皺や反り等の変形が矯正される。続いて、回路基板１００が矢印Ａ１の向きにさらに引っ張られることにより、吸着部２３ａ，２３ｂ上を滑るようにして回路基板１００が移動して吸着部２３ｂ，２３ｃの間の皺や反り等の変形が矯正される。この場合、図８に示す回路基板１００と同様にして回路基板１００の幅方向（図２に示す回路基板１００の左右方向）の一方だけに反り等の変形が生じていたとしても、この時点においては、クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂによる回路基板１００のクランプ処理が実行されていないため、回路基板１００において反り等の変形が生じていない部位に過剰に大きな引っ張り力が加わることなく、その変形が矯正される。
【００２７】
次いで、制御部５がコンプレッサ１５を制御してクランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂに圧縮エアを供給することにより、クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂの爪部が図示しないエアシリンダによってベース部に対して回動させられて、爪部とベース部との間に回路基板１００の他方の端部が挟持される。これにより、本発明における第２のクランプ処理が完了する（本発明における一連のクランプ処理の完了）。続いて、制御部５は、吸着機構２０による回路基板１００の吸着を停止する吸着停止処理を開始する。具体的には、制御部５は、コンプレッサ２４を制御して空気の吸引を停止させると共に、移動機構２１を制御して各吸着部２３（両レール２２，２２）を図５に示す矢印Ｃ２の向き（各吸着部２３が回路基板１００から離間する向き）で移動させて各吸着部２３を待避位置に位置させる。これにより、吸着停止処理が完了する。
【００２８】
次いで、制御部５は、移動機構１８を制御することによって梁部材１２ａ（クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ：本発明における少なくとも一方）を梁部材１２ｂ（クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ）に対する離間方向（矢印Ａ１の向き）にさらに移動させる。この際には、図６に示すように、回路基板１００が十分に伸張させられることにより、クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂによるクランプ処理を実行していない状態において回路基板１００を引っ張った際に矯正し切れなかった極く小さな変形がほぼ完全に矯正される。これにより、本発明における基板伸張処理が完了する。この後、制御部５は、移動機構３ａを制御して検査用プローブ３ｂを回路基板１００の上面における所定の検査ポイントに当接させた状態において、検査用プローブ３ｂを介して回路基板１００に検査用信号を出力する。これに応じて、検査部４は、検査用プローブ３ｂを介して入力した電気信号Ｓに基づき、回路基板１００の良否（導体パターンの良否）を電気的に検査する。以上により、回路基板１００についての一例の検査処理が完了する。
【００２９】
このように、この回路基板固定装置２および回路基板固定装置２による回路基板１００の固定方向によれば、回路基板１００の一方の面における対向する両端部の間の所定部位を吸着機構２０によって吸着する基板吸着処理と、第１のクランプ部（この例では、クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ）および第２のクランプ部（この例では、クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ）のうちの予め規定された一方（この例では、第１のクランプ部）によって回路基板１００の両端部の一方をクランプする第１のクランプ処理と、予め規定された一方（この例では、第１のクランプ部）を他方（第２のクランプ部）に対する離間方向に移動させる移動処理と、第１のクランプ部および第２のクランプ部のうちの他方によって回路基板１００の両端部の他方をクランプする第２のクランプ処理とをクランプ処理としてこの順で実行した後に、第１のクランプ部および第２のクランプ部の少なくとも一方（この例では、この例では、第１のクランプ部だけ）を他方（この例では、第２のクランプ部）に対する離間方向に移動させて回路基板１００を伸張させる基板伸張処理を実行して回路基板１００を検査位置に固定することにより、回路基板１００の対向する両端部を把持装置１４ａｘ，１４ｂｘによって把持した状態で回路基板１００を引っ張って反り等を矯正する構成の従来の検査装置１ｘとは異なり、吸着機構２０（各吸着部２３）によって回路基板１００を小さな力で吸着した状態で第１のクランプ部（クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ）を移動させて回路基板１００を引っ張って回路基板１００に生じている皺や反り等の変形を矯正することで、回路基板１００において変形が生じていない部位に過剰に大きな引っ張り力が加わって回路基板１００の破損を招くことなく、その変形を十分に矯正することができる。このため、その後に第２のクランプ部（クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ）によって回路基板１００の他方の端部をクランプして両クランプ部を互いに離間させるようにして回路基板１００を引っ張る（伸張させる）ことにより、基板に生じている各種の変形を確実に矯正した状態で固定することができる。
【００３０】
また、この回路基板固定装置２によれば、回路基板１００の一方の面における複数の所定部位を別個独立してそれぞれ吸着する複数の吸着部２３ａ〜２３ｃを備えて吸着機構２０を構成したことにより、例えば単一の吸着部によって回路基板１００を吸着する構成とは異なり、１つの吸着部２３当たりの吸着力が小さくても、吸着機構２０全体としての吸着力を十分に高めることができるため、本発明における基板吸着処理時や本発明における移動処理時に回路基板１００に対して部分的に大きな力を加えることなく、その変形を確実に矯正することができる。
【００３１】
さらに、この回路基板固定装置２によれば、回路基板１００の一方の面における所定部位を吸着する吸着部２３ａ〜２３ｃを第１のクランプ部（この例では、クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ）および第２のクランプ部（この例では、クランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ）の間の任意の位置に配置可能に吸着機構２０を構成したことにより、大きさが相違する各種の回路基板１００を確実に吸着することができる。
【００３２】
また、この回路基板検査装置１によれば、回路基板固定装置２と、回路基板固定装置２によって固定されている回路基板１００に対して検査用プローブ３ｂを接触させるプロービング装置３と、検査用プローブ３ｂを介して入力した電気信号Ｓに基づいて回路基板１００に対する所定の電気的検査を実行する検査部４とを備えたことにより、皺や反り等の変形が存在しない状態の回路基板１００に検査用プローブ３ｂを当接させることができるため、所望の検査ポイントに対して検査用プローブ３ｂを確実に当接させることができる。
【００３３】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、各梁部材１２に２つのクランプ部１３と１つのクランプ部１４とを配設した構成について説明したが、本発明における第１のクランプ部および第２のクランプ部として両梁部材１２に配設するクランプ部の数はこれに限定されず、それぞれ単一のクランプ部によって本発明における第１のクランプ部および第２のクランプ部を構成したり、それぞれ２つ以上のクランプ部によって本発明における第１のクランプ部および第２のクランプ部を構成したりすることができる。また、本発明における複数の吸着部としての３つの吸着部２３ａ〜２３ｃを備えた吸着機構２０について説明したが、本発明に吸着部の数はこれに限定されず、単一または２つ以上の任意の数の吸着部を備えて吸着機構２０を構成することができる。
【００３４】
さらに、上記の検査装置１では、梁部材１２ｂに対して梁部材１２ａを移動させることによって、梁部材１２ｂに取り付けられているクランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ（本発明における第２のクランプ部）に対する接近方向および離間方向にクランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ（本発明における第１のクランプ部）を移動させる構成（第１および第２のクランプ部の一方だけが他方に対する接近方向および離間方向に移動する構成）を採用しているが、本発明はこれに限定されない。具体的には、一例として、上記の構成において、梁部材１２ａ，１２ｂの双方がレール１１，１１上をスライドし得る構成を採用し、クランプ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ（本発明における第１のクランプ部）、およびクランプ部１３ｃ，１３ｄ，１４ｂ（本発明における第２のクランプ部）の双方が接近方向および離間方向にそれぞれ移動する構成を採用することができる。
【００３５】
また、上記の検査装置１では、回路基板１００の下面（一方の面）と各吸着部２３の突端面との間の空気を吸引することで回路基板１００を吸着する構成の吸着機構２０を備えているが、本発明における吸着部（吸着機構）の構成はこれに限定されない。例えば、磁力や静電気によって回路基板１００を吸着する構成の吸着部（吸着機構）を備えて回路基板固定装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】回路基板検査装置１における回路基板固定装置２の平面図である。
【図３】回路基板検査装置１における回路基板固定装置２の断面図である。
【図４】本発明における吸着処理および第１のクランプ処理を実行している状態の回路基板固定装置２の断面図である。
【図５】本発明における移動処理を実行している状態の回路基板固定装置２の断面図である。
【図６】本発明における基板伸張処理を実行している状態の回路基板固定装置２の断面図である。
【図７】把持装置１４ａｘ，１４ｂｘによって回路基板１００を把持して固定した状態の検査装置１ｘの断面図である。
【図８】把持装置１４ａｘ，１４ｂｘによって他の回路基板１００を把持して固定した状態の検査装置１ｘの平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  回路基板検査装置
２  回路基板固定装置
３  プロービング装置
３ｂ  検査用プローブ
４  検査部
５  制御部
１０  クランプ機構
１３ａ〜１３ｄ，１４ａ，１４ｂ  クランプ部
１８  移動機構
２０  吸着機構
２３ａ〜２３ｃ  吸着部
１００  回路基板
Ｓ  電気信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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