(57)【要約】【課題】この発明は液晶セルにＴＣＰを実装する際、液晶セルを局部的に加圧し過ぎて損傷させることがないようにした実装装置を提供することにある。【解決手段】ＴＣＰ６を加圧ユニット１１によって加圧して液晶セル４の側辺部に実装する実装装置であって、  加圧ユニットは、シリンダ１６と、シリンダによって上下方向に駆動される取付け体１８と、下端が所定方向に沿って細長い加圧面２２ａに形成され取付け体に加圧面の長手方向に対して揺動可能に連結された加圧ツール１５を具備する。【選択図】      図４
2010287720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接続部品を加圧手段によって加圧して基板の側辺部に実装する実装装置であって、
上記加圧手段は、
上下駆動手段と、
この上下駆動手段によって上下方向に駆動される取付け体と、
下端が所定方向に沿って細長い加圧面に形成され上記取付け体に上記加圧面の長手方向に対して揺動可能に連結された加圧ツールと
を具備したことを特徴とする実装装置。
【請求項２】
一方向及びこの一方向と逆方向の他方向に揺動する上記加圧ツールの揺動方向のうち、上記一方向に上記加圧ツールを弾性的に付勢した弾性部材と、
上記加圧ツールの上記弾性部材によって付勢された上記一方向への揺動を制限するストッパと
をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の実装装置。
【請求項３】
上記取付け体と上記加圧ツールの間には中間連結体が設けられ、
この中間連結体の一端部は上記取付け体に上記加圧面の長手方向と交差する方向に対して角度調整可能に連結されていて、
上記加圧ツールは上記中間連結体の他端部に上記加圧面の長手方向に揺動可能に設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の実装装置。
【請求項４】
被接続部品を加圧手段によって加圧して基板の側辺部に実装する実装装置であって、
上記加圧手段は、
上下駆動手段と、
この上下駆動手段によって上下方向に駆動される取付け体と、
複数の取付け部を有し上記取付け体に揺動可能に連結された揺動部材と、
下端が所定方向に沿って細長い加圧面に形成され上記揺動部材のそれぞれの取付け部に上記加圧面の長手方向がそれぞれ上記揺動部材と同じ方向に揺動するよう連結された複数の加圧ツールと
を具備したことを特徴とする実装装置。
【請求項５】
一方向及びこの一方向と逆方向の他方向に揺動する上記揺動部材の揺動方向のうち、上記揺動部材を上記一方向に付勢した第１の弾性部材と、
上記複数の加圧ツールを上記揺動方向の一方向と他方向のうちの上記一方向にそれぞれ付勢した第２の弾性部材と、
上記揺動部材の上記第１の弾性部材によって付勢された一方向への揺動を制限する第１のストッパと、
上記複数の加圧ツールの上記第２の弾性部材によって付勢された一方向への揺動を制限する第２のストッパと
をさらに具備することを特徴とする請求項４記載の実装装置。
【請求項６】
上記取付け体と上記揺動部材との間には中間連結体が設けられ、
この中間連結体の一端部は上記取付け体に上記加圧面の長手方向と交差する方向に対して角度調整可能に連結されていて、
上記揺動体は上記中関連結体の他端部に上記加圧面の長手方向に沿って揺動可能に連結されていることを特徴とする請求項４記載の実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板に電子部品などの被実装部品を加圧ツールによって加圧して実装する実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての液晶セルには接着材料としてのテープ状の異方性導電部材を介して被接続部品であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）が接続される。上記液晶セルは、２枚のガラス板をシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらガラス板間に液晶を封入するとともに、各ガラス板の外面にそれぞれ偏光板を貼着して構成される。
【０００３】
そして、上記構成の液晶セルには、その一側部の上面に上記異方性導電部材を貼着し、この異方性導電部材に上記ＴＣＰを仮圧着した後、本圧着するようにしている。つまり、基板にＴＣＰを電気的に接続して実装するようにしている。
【０００４】
基板にＴＣＰを仮圧着したり、本圧着するためには実装装置が用いられる。実装装置は、上記基板の側辺部の下面を上端面によって支持するバックアップツール及びこのバックアップツールの上方に上下方向に駆動可能に設けられた加圧ツールを有する。
【０００５】
異方性導電部材を介してＴＣＰが圧着された基板の側部下面が上記バックアップツールの上端面に載置されると、上記加圧ツールが下降方向に駆動される。それによって、上記ＴＣＰが上記基板に仮圧着或いは本圧着されることになる。
【０００６】
基板にＴＣＰを本圧着する場合、上記加圧ツールによって上記異方性導電部材を加熱して溶融硬化させるため、上記ＴＣＰは上記加圧ツールによって高い圧力で加圧することになる。上記加圧ツールの下端面は所定方向に沿って細長い加圧面に形成され、その長手方向を上記ＴＣＰの幅方向に沿わせてこのＴＣＰを加圧するようにしている。
【０００７】
上記加圧ツールはシリンダなどの上下駆動手段によって上下方向に駆動される取付け体に取付けられ、この取付け体とともに下降して上記加圧面によってＴＣＰを加圧しながら加熱する。つまり、ＴＣＰを基板に本圧着する。加圧ツールによってＴＣＰを基板に本圧着する場合、複数のＴＣＰを同時に加圧加熱する場合と、複数のＴＣＰを１つずつ加圧加熱する場合がある。
【０００８】
上記基板は上述したようにガラス板によって形成されている。ガラス板の板面はうねりなどが生じることが避けられず、それによって部分的、つまりＴＣＰが仮圧着された部分ごとに異なる角度で傾斜した傾斜面となっていることがある。
【０００９】
上記加圧ツールは、加圧面が水平になるよう上記取付け体に対する取付け状態が調整されて固定される。加圧ツールの加圧面が水平になるよう調整されていても、上記基板の板面が基板に生じたうねりやバックアップツールの上端面のうねりによって部分的に傾斜していると、基板に仮圧着されたＴＣＰを加圧ツールの加圧面によって均一に加圧することができないということがある。
【００１０】
とくに、上記加圧ツールの加圧面は上述したように所定方向に沿って細長い形状であるから、加圧面の長手方向において基板に貼着されたＴＣＰを均一に加圧できないということが生じ易い。そして、そのような場合には、上記加圧面の一部が基板を局部的に強く押圧することになるから、基板の強く押圧された部分が割れたり、欠けが生じるなどのことがある。つまり、基板を損傷させてしまうことがある。
【００１１】
とくに、１つの加圧ツールによって１つのＴＣＰを加圧加熱して本圧着する場合、複数のＴＣＰを同時に本圧着する場合に比べて基板の局部的な変形に対して影響を受け易いから、基板に局部的なうねりなどがあると、基板を損傷させ易くなるということがある。
【００１２】
そこで、基板にＴＣＰを本圧着する場合、上記加圧面とＴＣＰとの間に耐熱性及びクッション性を有する材料、たとえばフッ素樹脂によってテープ状に形成されたシートを介在させる。
【００１３】
それによって、基板の板面がうねりなどによって変形している場合であっても、上記シートのクッション性によって上記加圧ツールの加圧面が基板の板面を局部的に強く加圧するのを緩和し、基板が欠けたり、割れるなどして損傷することがないようにしている。
【００１４】
基板に仮圧着されたＴＣＰを加圧加熱する際、加圧ツールの加圧面とＴＣＰとの間にシートを介在させる先行技術は特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００７−３２９１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、上述したように加圧ツールとＴＣＰの間にシートを介在させて基板が損傷するのを防止する場合、シートには熱や圧力に対して所定の耐久性があるから、シートの同じ部分を繰り返して使用することができないということがある。
【００１７】
そこで、シートを供給リールから繰り出し、加圧ツールによって加圧されることで使用されたならば、使用済みの部分を巻取りリールによって巻き取り、未使用の部分を繰り出すことで、その未使用の部分を介してＴＣＰの本圧着を行えるようにしている。
【００１８】
上記供給リールや巻取りリールは通常、カセット内に設けられ、このカセットを実装装置に対して着脱可能に装着できるようにしている。そして、供給リールに巻装されたシートを使い終わったならば、新たなカセットに交換するということが行われる。
【００１９】
しかしながら、実装装置にカセットを装着するようにすると、装置構成の複雑化や大型化を招くということがあったり、供給リールに巻装されたシートを使い終わったときには、新たなカセットに交換しなければならないから、カセットの交換作業が煩雑であるということがあったり、交換時には実装装置の運転を休止しなければならないから、生産性の低下を招くなどのことがある。
【００２０】
この発明は、基板に実装される被接続部品と、この被接続部品を加圧する加圧ツールの加圧面との間にシートを介在させなくとも、上記被接続部品を局部的に強く押圧するのを抑制することができるようにした実装装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
この発明は、被接続部品を加圧手段によって加圧して基板の側辺部に実装する実装装置であって、
上記加圧手段は、
上下駆動手段と、
この上下駆動手段によって上下方向に駆動される取付け体と、
下端が所定方向に沿って細長い加圧面に形成され上記取付け体に上記加圧面の長手方向に対して揺動可能に連結された加圧ツールと
を具備したことを特徴とする実装装置にある。
【００２２】
一方向及びこの一方向と逆方向の他方向に揺動する上記加圧ツールの揺動方向のうち、上記一方向に上記加圧ツールを弾性的に付勢した弾性部材と、
上記加圧ツールの上記弾性部材によって付勢された上記一方向への揺動を制限するストッパと
をさらに具備することが好ましい。
【００２３】
上記取付け体と上記加圧ツールの間には中間連結体が設けられ、
この中間連結体の一端部は上記取付け体に上記加圧面の長手方向と交差する方向に角度調整可能に連結されていて、
上記加圧ツールは上記中間連結体の他端部に上記加圧面の長手方向に揺動可能に設けられていることが好ましい。
【００２４】
この発明は、被接続部品を加圧手段によって加圧して基板の側辺部に実装する実装装置であって、
上記加圧手段は、
上下駆動手段と、
この上下駆動手段によって上下方向に駆動される取付け体と、
複数の取付け部を有し上記取付け体に揺動可能に連結された揺動部材と、
下端が所定方向に沿って細長い加圧面に形成され上記揺動部材のそれぞれの取付け部に上記加圧面の長手方向がそれぞれ上記揺動部材と同じ方向に揺動するよう連結された複数の加圧ツールと
を具備したことを特徴とする実装装置にある。
【００２５】
一方向及びこの一方向と逆方向の他方向に揺動する上記揺動部材の揺動方向のうち、上記揺動部材を上記一方向に付勢した第１の弾性部材と、
上記複数の加圧ツールを上記揺動方向の一方向と他方向のうちの上記一方向に付勢した第２の弾性部材と、
上記揺動部材の上記第１の弾性部材によって付勢された上記一方向への揺動を制限する第１のストッパと、
上記複数の加圧ツールの上記第２の弾性部材によって付勢された上記一方向への揺動を制限する第２のストッパと
をさらに具備することが好ましい。
【００２６】
上記取付け体と上記揺動部材との間には中間連結体が設けられ、
この中間連結体の一端部は上記取付け体に上記加圧面の長手方向と交差する方向に対して角度調整可能に連結されていて、
上記揺動体は上記中関連結体の他端部に上記加圧面の長手方向に沿って揺動可能に連結されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２７】
この発明によれば、所定方向に沿って細長い加圧面を有する加圧ツールを、その加圧面の長手方向に沿って揺動可能に設けるようにした。
【００２８】
そのため、上記加圧面によって被接続部品を加圧して実装するとき、基板の板面やバックアップツールの上面にうねりがあっても、そのうねりに応じて上記加圧ツールが揺動するから、上記加圧面が基板を局部的に強く加圧するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。
【図２】（ａ）は側辺部にＴＣＰが実装された液晶セルの斜視図、（ｂ）は液晶セルのＴＣＰが実装された部分の側面図。
【図３】加圧ユニットの側面図。
【図４】加圧ユニットの正面図。
【図５】この発明の第２の実施の形態の加圧ユニットを示す正面図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００３１】
図１乃至図４はこの発明の第１の実施の形態を示し、図１は実装装置の概略的構成図を示す。この実装装置では、図２（ａ）、（ｂ）に示す基板としてのガラス製の液晶セル４の周縁部に、接着部材としてのテープ状の異方性導電部材５を介して仮圧着された被接続部品としての電子部品であるＴＣＰ６が本圧着される。なお、異方性導電部材５は粘着性を備えた熱硬化性樹脂によって形成されている。
【００３２】
上記液晶セル４は、一対のガラス板４ａを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに各ガラス板４ａの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板４ｂが貼着されている。下側のガラス板４ａの縁部上面には複数の上記ＴＣＰ６が上記異方性導電部材５を介して仮圧着されており、上記ＴＣＰ６は後述するように本圧着される。
【００３３】
図１に示すように、上記実装装置は加圧手段としての加圧ユニット１１及び後述する実装ステージ５７を水平方向（Ｘ、Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び上下方向（Ｚ方向）に駆動する位置決めユニット１２を備えている。上記加圧ユニット１１は架台１３を有し、この架台１３の上端に設けられた支持部１４には加圧ツール１５が上下駆動手段としてのシリンダ１６によって上下駆動可能に、しかも揺動機構１７によって揺動可能に設けられている。
【００３４】
上記揺動機構１７は、図３と図４に示すように上記シリンダ１６のロッド１６ａに取付けられた側面形状が逆Ｕ字状の取付け体１８を有する。この取付け体１８には角柱状の中間連結体１９の一端部である上端部が第１の支軸２１によって揺動可能に連結されている。上記中間連結体１９は上記取付け体１８に対し上記第１の支軸２１を支点として図３にＳｙで示す方向に揺動可能に取付けられている。
【００３５】
上記中間連結体１９の他端部である下端部は上記加圧ツール１５の上端部に形成された凹部１５ａに嵌め込まれている。上記加圧ツール１５の上端部は、上記中間連結体１９の下端部に、上記第１の支軸２１に対して軸線を水平方向に対して直交させた第２の支軸２０によって揺動可能に連結されている。つまり、上記加圧ツール１５は上記中間連結体１９と直交する方向に揺動可能となっている。この揺動方向を図４に矢印Ｓｘで示す。
【００３６】
上記加圧ツール１５の下端部には、下端面が上記加圧ツール１５の揺動方向Ｓｘに沿って細長い帯状であって、しかも平坦な加圧面２２ａに形成された加圧部２２が幅方向全長にわたって設けられている。上記加圧ツール１５の下端部には上記加圧部２２を加熱するヒータ２３が上記加圧部２２の長手方向に沿って埋設されている。
【００３７】
図４に示すように、上記中間連結体１９の下端部の上記加圧ツール１５の揺動方向Ｓｘに沿う一端部と他端部にはそれぞれ第１の取付け片２５と第２の取付け片２６が上記加圧ツール１５の上端面と対向するよう外方に向かって突設されている。
【００３８】
上記第１の取付け片２５の下端面と、上記加圧ツール１５の加圧面２２ａの長手方向に沿う一端部の上面に開放して形成された凹部２７との間には弾性部材としてのばね２８が圧縮されて設けられている。それによって、上記加圧ツール１５はばね２８は復元力によって上記揺動方向Ｓｘのうちの一方向（この方向を−Ｓｘ方向として図４に示す。）に付勢されている。
【００３９】
上記第２の取付け片２６には、先端が上記加圧ツール１５の幅方向の他端部の上面に当接するストッパとしての第１の規制ねじ２９が螺合されている。この第１の規制ねじ２９はそのねじ込み量に応じて上記加圧ツール１５の上記ばね２８の復元力による−Ｓｘ方向への揺動角度を制限するようになっている。
【００４０】
この実施の形態では、上記第１の規制ねじ２９は上記加圧ツール１５が−Ｓｘ方向へ１〜３度の微小な角度で傾斜するようそのねじ込み量が設定されている。それによって、加圧ツール１５は、図４に鎖線で示すように加圧部２２の加圧面２２ａが長手方向に対して微小な１〜３度の角度（この角度をθで示す）で傾斜した状態で上記中間連結体１９に上記ばね２８の復元力によって弾性的に保持される。
【００４１】
上記取付け体１８の開放した両側面、つまり上記中間連結体１９の揺動方向（この揺動方向をＳｙとし、図３に矢印で示す）に沿う両側面にはそれぞれ板部材３１が幅方向に架設されている。各板部材３１にはそれぞれ第２の規制ねじ３２が螺合されている。第２の規制ねじ３２は先端は上記中間連結体１９の揺動方向に位置する幅方向の一側面と他側面に当接する。それによって、上記中間連結体１９は揺動方向Ｓｙに対する角度が固定される。
【００４２】
つまり、上記中間連結体１９は、一対の第２の規制ねじ３２によって上記加圧ツール１５の加圧面２２ａの長手方向と交差する幅方向に対する角度が固定される。通常、上記加圧面２２ａの幅方向の傾斜角度が水平になるよう、上記取付け体１９の揺動方向Ｓｙに対する角度が設定される。
【００４３】
上記架台１３の上記支持部１４に設けられた加圧ツール１５の下方にはバックアップツール３３がその上端の受け面３３ａを上記加圧ツール１５の加圧面２２ａに対向させて設けられている。上記受け面３３ａの図１の紙面に直交する幅方向の寸法は、上記加圧面２２ａの長さ寸法とほぼ同じ或いはわずかに長く形成されている。  
上記位置決めユニット１２は上記加圧ユニット１１に隣接して配置されている。この位置決めユニット１２はＸステージ３８を有し、このＸステージ３８にはＸ駆動源３９によってＸ方向に駆動されるＸ可動体４０が設けられている。なお、上記加圧ユニット１１と平行な方向である、図１の紙面に対して直交する方向をＸ方向とし、上記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とする。このＹ方向は図１に矢印で示す。
【００４４】
上記Ｘ可動体４０の上面にはＹステージ４１が一体的に設けられている。このＹステージ４１の上面にはＹ可動体４２が設けられている。このＹ可動体４２はＹ駆動源４３によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。
【００４５】
上記Ｙ可動体４２上には側面形状がクランク状の支持体４５が立設されている。この支持体４５の上端に設けられた支持部４６と上記Ｙ可動体４２との間にはねじ軸４７とガイド軸４８とが軸線をＸ方向とＹ方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸４７は回転可能に設けられ、ガイド軸４８は固定的に設けられている。
【００４６】
上記ねじ軸４７にはＺ可動体４９が螺合されている。このＺ可動体４９には上記ガイド軸４８がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸４７を回転させれば、上記Ｚ可動体４９は回転することなく、上記ガイド軸４８に沿って上下動するようになっている。
【００４７】
上記ねじ軸４７の上端部は上記支持部４６の上面から突出し、その突出端には従動歯車５０が嵌着されている。この従動歯車５０には駆動歯車５１が噛合している。この駆動歯車５１は上記支持体４５に設けられたＺ駆動源５２の駆動軸５２ａに同軸に固定されている。したがって、Ｚ駆動源５２が作動してその駆動軸５２ａが回転すれば、噛合した一対の歯車５０、５１を介してねじ軸４７が回転されるから、上記Ｚ可動体４９がＺ方向に駆動されることになる。
【００４８】
上記Ｚ可動体４９にはＬ字状の取付け部材５４の一辺が固着されている。この取付け部材５４の水平となった他辺の上面には、θ駆動源５５によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体５６が設けられている。このθ可動体５６の上面には平面形状が矩形状の上述した実装ステージ５７がその中央部をθ可動体５６の回転中心に一致させて設けられている。この実装ステージ５７の上面には、図示しない複数の吸引孔が開口形成されている。各吸引孔は図示しない真空ポンプに連通しており、適宜真空吸着力を生じさせることができるように構成されている。
【００４９】
これにより、液晶セル４を構成する下側のガラス板４ａが実装ステージ５７の上面５７ａに開口した図示しない吸引孔によって吸着保持される。  
なお、液晶セル４は、図１に示すように、ＴＣＰ６が仮圧着された辺を実装ステージ５７のＸ方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で上記実装ステージ５７上に吸着保持される。
【００５０】
上記Ｙステージ４１の上面にはそれぞれレーザセンサなどからなる高さセンサ５８が設けられている。この高さセンサ５８は上記実装ステージ５７に吸着保持された液晶セル４の下面の高さ、つまり、下側のガラス板４ａの周縁部下面で、偏光板４ｂが設けられていない部分の高さを検出するようになっている。
【００５１】
上記実装ステージ３７の上方には、撮像カメラ５９が配設されている。この撮像カメラ５９は液晶セル４に設けられたアライメントマーク（図示せず）を撮像する。撮像カメラ５９の撮像信号は、画像処理装置６１に入力され、この画像処理装置６１で処理されてから制御装置６２に出力される。この制御装置６２には上記高さセンサ５８からの検出信号も入力される。
【００５２】
それによって、上記実装ステージ５７は、上記制御装置６２によって上記実装ステージ５７に保持された液晶セル４のＴＣＰ６が仮圧着された側辺部の下面が上記バックアップツール３３の受け面３３ａに支持されるよう、Ｘ、Ｙ及びＺ方向に位置決めされる。
【００５３】
上記構成の実装装置によって液晶セル４に仮圧着されたＴＣＰ６を本圧着する場合、まず、実装ステージ５７に保持された液晶セル４を、撮像カメラ５９の撮像信号及び高さセンサ５８からの検出信号に基づいてバックアップツール３３の受け面３３ａに対して位置決めする。
【００５４】
つまり、液晶セル４は、そのＹ方向に沿う一側辺にＸ方向に対して所定間隔で仮圧着された複数のＴＣＰ６のうち、上記Ｘ方向の一端部に位置するＴＣＰ６が設けられた部分の下面がバックアップツール３３の受け面３３ａによって支持されるよう、上記実装ステージ５７によって位置決めされる。
【００５５】
このようにして液晶セル４が位置決めされたならば、加圧ユニット１１のシリンダ１６を作動させて加圧ツール１５を下降方向に駆動する。加圧ツール１５が下降すると、その下端の加圧面２２ａが液晶セル４に仮圧着されたＴＣＰ６の上面を幅方向（Ｘ方向）全長にわたって加圧するとともに、ヒータ２３の熱によって加熱する。
【００５６】
それによって、ＴＣＰ６を液晶セル４に仮圧着した異方性導電部材５が溶融硬化するから、上記ＴＣＰ６が液晶セル４に本圧着されることになる。このようにして、液晶セル４のＸ方向の一端部に位置するＴＣＰ６が本圧着されたならば、上記液晶セル４を実装ステージ５７によってＸ方向に所定のピッチで搬送し、つぎのＴＣＰ６を同じようにして本圧着することが繰り返され、上記液晶セル４のＸ方向の側辺部に設けられた複数のＴＣＰ６が本圧着されることになる。
【００５７】
ＴＣＰ６を液晶セル４に本圧着する際、上記液晶セル４の上記加圧ツール１５の加圧面２２ａによって加圧される部分がうねりなどによって傾いている場合がある。とくに、上記液晶セル４の上記加圧面２２ａによって加圧される部分が、この加圧面２２ａの長手方向である、Ｘ方向に対して傾いている場合があり、そのような場合には上記加圧面２２ａによって液晶セル４が局部的に強く加圧され、液晶セル４に欠けが生じたり、割れが生じる虞がある。
【００５８】
しかしながら、上記加圧ツール１５は、シリンダ１６のロッド１６ａに取付け体１８を介して取付けられた中間連結体１９に、第２の支軸２０を支点として図４にＳｘで示す揺動方向に対して揺動可能に取付けられている。つまり、加圧ツール１５は加圧面２２ａの長手方向に沿って揺動可能になっている。
【００５９】
そのため、上記加圧ツール１５が液晶セル４に仮圧着されたＴＣＰ６を加圧加熱する際、液晶セル４のＴＣＰ６が仮圧着された部分に上記加圧ツール１５の加圧面２２ａの長手方向に沿う傾きがあっても、上記加圧ツール１５は第２の支軸２０を支点として上記加圧面２２ａが液晶セル４の傾きに応じて揺動する。
【００６０】
したがって、加圧ツール１５の加圧面２２ａがＴＣＰ６を介して液晶セル４を局部的に強く加圧し過ぎるのが防止されるから、本圧着時に液晶セル４に割れが生じたり、欠けが生じるのを防止することができる。
【００６１】
上記加圧ツール１５はばね２８によって揺動方向Ｓｘのうちの一方向である、−Ｓｘ方向に付勢されているとともに、−Ｓｘ方向への揺動は第１の規制ねじ２９によって制限されている。
【００６２】
すなわち、加圧ツール１５は加圧面２２ａが−Ｓｘ方向に図４にθで示す微小な角度で傾いた状態で上記ばね２８によって弾性的に付勢されて中間連結体１９に揺動可能に保持されている。
【００６３】
そのため、本圧着時に加圧ツール１５が下降方向に駆動されると、その加圧面２２ａの長手方向の一端部がＴＣＰ６を介して液晶セル４に当たってから、上記ばね２８を付勢力に抗して弾性変形させながら＋Ｓｘ方向に揺動しながら加圧面２２ａ全体がＴＣＰ６に当たってこのＴＣＰ６を加圧することになる。
【００６４】
すなわち、加圧ツール１５の加圧面２２ａはＴＣＰ６を介して液晶セル４を徐々に加圧することになるから、上記加圧面２２ａがＴＣＰ６を介して液晶セル４に加える圧力も徐々に増大することになる。
【００６５】
つまり、上記加圧面２２ａがＳｘ方向に傾斜していない場合、液晶セル４はＴＣＰ６を介して上記加圧面２２ａによって急激に加圧されることになるが、上述したように加圧面２２ａがＴＣＰ６を加圧する前にＳｘ方向に弾性的に傾斜していることで、液晶セル４は徐々に加圧されるから、そのことによっても液晶セル４に欠けや割れが生じるのが防止されることになる。
【００６６】
なお、上記加圧面２２ａの初期状態におけるＳｘ方向の傾斜角度θは、液晶セル４のうねりによって生じるＴＣＰ６の最大の傾き角度よりもわずかに大きな角度に設定することが好ましい。その傾き角度θは、通常、上述したように１〜３度である。
【００６７】
上記中間連結体１９は取付け体１８に対して加圧ツール１５の加圧面２２ａの幅方向に沿う揺動方向Ｓｙに対して揺動可能に取付けられている。そして、中間連結体１９の上記Ｓｙ方向に対する角度は一対の第２の規制ねじ３２によって固定される。
【００６８】
そのため、上記加圧ツール１５の加圧面２２ａの長手方向に対して直交する幅方向の傾き角度を、バックアップツール３３の上端の受け面３３ａと平行となるよう設定することができる。
【００６９】
それによって、加圧面２２ａの幅方向において、この加圧面２２ａと上記受け面３３ａとで液晶セル４を平行に加圧することができるから、そのことによっても液晶セル４に欠けや割れが生じるのを防止することができる。
【００７０】
なお、上記加圧面２２ａの幅方向は長手方向に対して十分に小さいため、本圧着時に加圧ツール１５が上記幅方向、つまりＳｙ方向に対して揺動しなくとも、液晶セル４を損傷させるということはほとんどない。
【００７１】
上記第１の実施の形態において、取付け体１８に中間連結体１９を介して加圧ツール１５を取付けるようにしたが、中間連結体１９をなくし、取付け体１８に加圧ツール１５を、加圧面２２ａの長手方向に沿うＳｘ方向に沿って揺動可能に直接取付けるようにしてもよい。
【００７２】
また、液晶セル４に対してＴＣＰ６を１つずつ本圧着する場合を例に挙げて説明したが、加圧ツール１５を複数のＴＣＰ６を同時に加圧できる長さにし、複数のＴＣＰ６を同時に本圧着するようにしてもよい。
【００７３】
図５はこの発明の第２の実施の形態を示す。なお、第１の実施の形態と同一部分には同一記号を付して詳細な説明は省略する。この第２の実施の形態は上下駆動手段としてのシリンダ１６のロッド１６ａに取付けられた取付け体１８に、中間連結体１９の上端が第１の支軸２１によって揺動方向をＳｙ方向にして揺動可能に取付けられている。
【００７４】
上記中間連結体１９は、第１の実施の形態と同様、上記取付け体１８に対して板部材３１に螺合された第２の規制ねじ３２によってＳｙ方向に対して所定の角度で固定できるようになっている。
【００７５】
上記中間連結体１９の下端には、一対の取付け部７２を有する揺動部材７３が支軸７５によって上記中間連結体１９の揺動方向Ｓｙと垂直方向に対して直交する方向に揺動可能に取付けられている。揺動部材７３の揺動方向をＳｘとし、図５に矢印で示す。
【００７６】
なお、上記揺動部材７３の中途部には上面に開放する凹部７３ａが形成され、この凹部７３ａに上記中間連結体１９下端部が挿入されて支軸７５により揺動可能に連結されている。
【００７７】
上記揺動部材７３の一対の取付け部７２には下端面に開放した凹溝７４が形成され、各凹溝７４にはそれぞれ側面形状が逆Ｔ字状の加圧ツール１５Ａの上端部が支軸７５によって揺動可能に連結されている。
【００７８】
上記加圧ツール１５Ａは上記揺動部材７３と同方向である、Ｓｘ方向に揺動するようになっている。各加圧ツール１５Ａの下端部には、上記第１の実施の形態の加圧ツール１５と同様、下端面が加圧面２２ａに形成された加圧部２２が設けられているとともに、加圧部２２を加熱するヒータ２３が上記加圧面２２ａの長手方向に沿って埋設された構造となっている。
【００７９】
上記中間連結体１９の下端部の揺動方向に沿う幅方向の両側面にはそれぞれ取付け片７７ａ，７７ｂが幅方向外方に向かって突設されている。一方の取付け片７７ａと揺動部材７３の揺動同方向の一端部の上面に形成された凹部７８との間には第１の弾性部材としてのばね７９が圧縮されて設けられ、他方の取付け片７７ａには先端が上記揺動部材７３の揺動同方向の他端部の上面に当接する第１のストッパとしての規制ねじ８１が螺合されている。
【００８０】
それによって、上記揺動部材７３はばね７９の復元力によって揺動方向Ｓｘのうちの一方向（この方向を＋Ｓｘとする）に付勢されていて、その方向への揺動角度は上記取付け片７７ａに螺合された規制ねじ８１のねじ込み量によって設定される。
【００８１】
上記揺動部材７３の一対の取付け部７２の下端部の、各加圧ツール１５Ａの揺動方向に沿う幅方向の両側面にはそれぞれ取付け片８２ａ，８２ｂが突設されている。一方の取付け片８２ａの下面と加圧ツール１５Ａの揺動方向Ｓｘの一端部上面に形成された凹部８３との間には第２の弾性部材と賭してのばね８４が圧縮されて設けられている。
【００８２】
他方の取付け片８２ｂには第２のストッパとしての規制ねじ８５が設けられ、この規制ねじ８５のねじ込み量を調整することで、上記ばね８４の復元力による上記加圧ツール１５Ａの加圧部２２の加圧面２２ａの長手方向に沿う揺動角度、つまりＳｘ方向の揺動角度を設定できるようになっている。
【００８３】
このように、揺動部材７３に２つの取付け部７２を設け、各取り付け部７２に加圧ツール１５Ａを加圧面２２ａの長手方向に対して揺動可能に取付けるようにしたから、上記第１の実施の形態と同様、液晶セル４にＴＣＰ６を本圧着するとき、液晶セル４のＴＣＰ６が本圧着される部分が上記加圧面２２ａの長手方向に対して傾斜していても、その傾きに応じて上記加圧ツール１５Ａが揺動しながらＴＣＰ６を加圧する。したがって、液晶セル４を局部的に強く加圧して損傷させるのを防止することができる。
【００８４】
しかも、１つのシリンダ１６によって２つの加圧ツール１５Ａを上下駆動させることができるから、その分、シリンダ１６の数を少なくすることができる。
【００８５】
一対の加圧ツール１５Ａは、中間連結体１９に揺動可能に連結された揺動部材７３の一対の取付け部７２にそれぞれ揺動可能に取付けられている。すなわち、加圧ツール１５Ａは加圧面２２ａの長手方向に対して２段階で揺動できるようになっている。
【００８６】
そのため、揺動部材７３の２つの取付け部７２に取付けられた一対の加圧ツール１５Ａの加圧面２２ａが液晶セル４に仮圧着されたＴＣＰ６を加圧加熱して本圧着する際、一対の加圧ツール１５Ａの加圧面２２ａがそれぞれ液晶セル４に仮圧着されたＴＣＰ６に当たると、まず、液晶セル４の一対のＴＣＰ６が仮圧着された部分の高さの差に応じて揺動部材７３が中間連結体１９に対してＳｘ方向に揺動する。
【００８７】
さらに、加圧ツール１５Ａが下降方向に駆動されると、各加圧ツール１５Ａは液晶セル４のそれぞれのＴＣＰ６が本圧着される部分の傾きに応じて加圧面２２ａの長手方向に対して揺動する。
【００８８】
すなわち、揺動部材７３に２つの取付け部７２を設け、各取り付け部７２にそれぞれ加圧ツール１５Ａを揺動可能に設けるとともに、上記揺動部材７３を中間取付け体１９に上記加圧ツール１５Ａの揺動方向と同じ方向に揺動可能に取付けるようにした。
【００８９】
そのため、２つの加圧ツール１５Ａの加圧面２２ａが加圧する液晶セル４の各ＴＣＰ６が取付けられた部分の高さに差があっても、各ＴＣＰ６をそれぞれの加圧ツール１５Ａが２段階で揺動する構成であるから、各加圧ツール１５Ａの加圧面２２ａによってＴＣＰ６を確実に加圧して本圧着することが可能となる。
【００９０】
なお、第２の実施の形態において、取付け体に中間連結体を介して揺動部材を取付けるようにしたが、中間連結体をなくして揺動部材を取付け体に直接、Ｓｘ方向に揺動可能に連結するようにしてもよい。
【００９１】
また、揺動部材に加圧ツールが取付けられる取付け部を２つ設けるようにしたが、取付け部の数は３つ以上の複数であってもよい。
【００９２】
上記各実施の形態では基板としての液晶セルに被接続部品としてのＴＣＰを接続することを例に挙げて説明したが、基板としては液晶セルに限られず、たとえば太陽電池モジュールや回路基板などであってもよく、被接続部品としてはリード線やＴＣＰ以外の電子部品などであってもよい。
【００９３】
また、基板のうねりに対して加圧ツールを揺動させるようにしたが、基板を支持するバックアップツーの上端面にうねりがあることがあり、そのような場合にも本願発明は有効である。
【００９４】
また、各実施例では異方性導電部材を溶融加熱してＴＣＰを液晶セルに本圧着する場合を例に挙げて説明したが、上記ＴＣＰを仮圧着する場合にも適用することができる。
【００９５】
また、各実施の形態では加圧ツールを上方に配置し、その下方にバックアップツールが配置されている場合を例に挙げて説明したが、バックアップツールが上方で、加圧ツールが下方に配置される場合であっても差し支えない。
【符号の説明】
【００９６】
４…液晶セル（基板）、６…ＴＣＰ（被接続部品）、１１…加圧ユニット（加圧手段）、１５，１５Ａ…加圧ツール、１７…揺動機構、１８…取付け体、１９…中間連結体、２２…加圧部、２２ａ…加圧面、２３…ヒータ、２８…ばね（弾性部材）、２９…第１の規制ねじ（ストッパ）、３３…バックアップツール、７３…揺動部材、７９…ばね（第１の弾性部材）、８１…規制ねじ（第１のストッパ）、８４…ばね（第２の弾性部材）、８５…規制ねじ（第２のストッパ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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