(57)【要約】【課題】試料液体が流路以外の領域に侵入するのを確実に防いて、当該試料液体が流路内を円滑に流通することが可能なフローセルを提供する。【解決手段】第１基板１１と、第２基板１２と、該第２基板１２に形成された試料液体Ｓが導入される導入口１２ｃと、第１基板１１の上面及び第２基板１２の下面の間に形成され導入口１２ｃに一端側が接続されるとともに途中位置に金属薄膜２０が設置された流路１５とを備えるフローセル１において、流路１を、第１基板１１の上面と前第２基板１２の下面に形成された突条と微小間隙として形成し、該微小間隙の毛細管力によって試料液体を流通させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
該第１基板の上に配設される第２基板と、
該第２基板に形成された試料液体が導入される導入口と、
前記第１基板の上面及び前記第２基板の下面の間に形成され、前記導入口に一端側が接続されるとともに途中位置に検出部が設置された流路とを備えるフローセルにおいて、
該流路は、前記第１基板の上面と前記第２基板の下面とのいずれか一方の面に形成された突条と他方の面との間の微小間隙であって、該微小間隙の毛細管力によって前記試料液体が流通されることを特徴とするフローセル。
【請求項２】
前記第１基板の上面と前記第２基板の下面との間に形成されるとともに前記流路の他端側が接続されたポンプ部が備えられ、
該ポンプ部は、前記第１基板の上面と前記第２基板の下面とのいずれか一方の面から他方の面に向かって一段隆起したポンプ形成部を備え、
該ポンプ形成部と前記他方の面との間の微小間隙による毛細管力によって、前記導入口から前記流路を経て到達した前記試料液体を吸引することを特徴とする請求項１に記載のフローセル。
【請求項３】
前記ポンプ部における微小間隙が、該ポンプ部における前記流路との接続箇所から離間する方向に向かうに従って漸次大きくなることを特徴とする請求項２に記載のフローセル。
【請求項４】
前記ポンプ形成部と前記他方の面とを接続する複数のピラーが設けられたことを特徴とする請求項２又は３に記載のフローセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象となる液体中の生体関連物質、環境汚染物質、健康影響物質等の化学物質が流通されて測定装置によって測定が行われる測定流路を備えたフローセルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試料液体中の化学物質を測定する方法としては、例えば、分子選択性物質を予め固定化しておき、そこへ試料液体を流して、結合する分子を選択的に検出する光学的測定方法がある。この光学的測定方法の一種として、全反射光学系を用いる方法が知られており、この方法によれば、励起されるエバネッセント波をプローブ光として用い、表面近傍での結合を直接的かつ高感度に測定することができる。
このような全反射光学系の中では、全反射によって励起されたエバネッセント波が基板表面に形成された金属薄膜の表面の表面プラズモンに共鳴して吸収されるのを利用する表面プラズモン共鳴（ＳＰＲ）測定法が特によく用いられている。
【０００３】
表面プラズモン共鳴測定法により試料液体を測定するに際しては、基板上に微細な流路を形成し、その流路内に設置された金属膜上にプローブ分子を固定化した状態で、流路内に試料液体を通過させる。そして、この際のプローブ分子と試料液体中の測定対象物質の相互作用に基づいて、当該試料液体中に測定対象物質が含まれているか否かの測定が行われる（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
このような測定においては、上記のように基板上に流路を形成するとともに同じ基板の上に他の構成部品を設ける必要があるため作成が容易でない。また、例えば外部からの圧力で試料液体を移送する場合、流路を構成する基板以外にポンプや配管等の部品が別途必要となる。この結果、その配管等の移送経路のために試料液体の無駄が発生することになるので、試料液体の微量化には限界があった。
【０００５】
これに対応すべく、微細加工技術により２つの基板の対向する面の間に、毛細管現象により試料液体を移送する流路やポンプとなる領域を形成する手法が提案されている（例えば、非特許文献１又は２参照）。この技術により作成された測定チップ（フローセル）は、試料液体が導入される導入口と、その試料液体を吸引する毛細管ポンプとが設けられており、導入口に試料液体が導入されると、この導入口から測定流路及びポンプへと順次試料液体が流出し、毛細管ポンプに試料液体が到達すると該毛細管ポンプに生じる毛細管現象により当該試料液体が吸引される。これにより、導入口に貯留された試料液体が毛細管ポンプの吸引力によって、測定流路を流通してポンプへと流れるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２１４１３１号公報
【非特許文献１】Martin Zimmermann, Heinz Schmid, Patrick Hunziker and Emmanuel Delamarche, “Capillary pumps for autonomous capillary systems”, The Royal Society of Chemistry 2007, Lab Chip, 2007, 7, 119-125.First published as an Advance Article on the web 17th October 2006
【非特許文献２】Anal.Chem. 1998, 70, 4974-4984
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記のような測定チップは、通常、一方の基板の一面に流路を刻設するとともに当該一面に他方の基板を接合することによって構成されており、試料液体は２つの基板に閉塞された空間内を流路として流通する構成とされている。
ところが、このような構成の場合、２つの基板の接合面に間隙が生じると、当該間隙の毛細管力によって試料液体が接合面における流路以外の領域に流出してしまうという問題があった。また、毛細管力は間隙の幅が小さいほど大きくなるため、基板間の密着を完全にすることができない以上、ほんの僅かな間隙が生じれば試料液体は流路外に流出してしまう。
また、上記接合面における間隙をなくすために、一方の基板を軟質材料で形成し当該基板の弾性変形を利用することで基板同士を密着させる方法も考えられるが、これでは、材料選択上の制約を受けることになり生産性の低下を招いてしまう。
【０００７】
この発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、試料液体が流路以外の領域に侵入するのを確実に防いて、当該試料液体が流路内を円滑に流通することが可能なフローセルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、この発明は以下の手段を提案している。
即ち、本発明に係るフローセルは、第１基板と、該第１基板の上に配設される第２基板と、該第２基板に形成された試料液体が導入される導入口と、前記第１基板の上面及び前記第２基板の下面の間に形成され、前記導入口に一端側が接続されるとともに途中位置に検出部が設置された流路とを備えるフローセルにおいて、該流路は、前記第１基板の上面と前記第２基板の下面とのいずれか一方の面に形成された突条と他方の面との間の微小間隙であって、該微小間隙の毛細管力によって前記試料液体が流通されることを特徴としている。。
【０００９】
このような特徴のフローセルによれば、導入口に導入された試料液体は、一方の面の突条と他方の面との間の微小間隙の毛細管力によって該微小間隙が存在する箇所を流路として流通していく。
また、微小間隙とそれ以外の領域との間には急激な（階段上の）構造変化を設けることで、流路材料と液体の特性によって一義的に決定される液体の接触角も急激な変化が必要となる。その接触角の急激な変化は、液体の進行に対して抵抗として働き、液体が微小間隙から流出するのを防ぐことになり、外部へ流出することはない。
【００１０】
また、本発明に係るフローセルにおいては、前記第１基板の上面と前記第２基板の下面との間に形成されるとともに前記流路の他端側が接続されたポンプ部が備えられ、該ポンプ部は、前記第１基板の上面と前記第２基板の下面とのいずれか一方の面から他方の面に向かって一段隆起したポンプ形成部を備え、該ポンプ形成部と前記他方の面との間の微小間隙による毛細管力によって、前記導入口から前記流路を経て到達した前記試料液体を吸引することを特徴としている。
【００１１】
このような特徴のフローセルによれば、試料液体がポンプ部に至った時には、該ポンプ部が毛細管力によって吸引することにより試料液体を流路内において円滑に流通させることができる。
また、ポンプ部による毛細管力は上記流路と同様に、ポンプ形成部と第２基板の対向する面との間の微小間隙により生じる構成とされているため、当該ポンプ部に到達した試料液体が、ポンプ部以外の領域に流出するのを防ぐことができる。
【００１２】
さらに、本発明に係るフローセルにおいては、前記ポンプ部における微小間隙が、該ポンプ部における前記流路との接続箇所から奥行き方向に離間するに従って漸次大きくなるものであってもよい。
【００１３】
これによって、より多くの試料液体を保持することが可能となり、ポンプ部の容量を増大させることができる。
【００１４】
さらにまた、本発明に係るフローセルにおいては、前記ポンプ形成部と前記他方の面とを接続する複数のピラーが設けられたものであってもよい。
ピラーによってポンプ部における表面積が増大し、これにともなって毛細管力が大きくなるため、より確実かつ円滑に流路の試料液体をポンプ部へと吸い上げることが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るフローセルによれば、試料液体の流路を第１基板と第２基板との間の微小間隙として形成して当該微小間隙の毛細管力により試料液体が流通する構成とすることで、試料液体が流路以外の領域に流出するのを確実に防ぎ、試料液体を流路内を円滑に流通させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係るフローセルの第１の実施形態について、図１から図６を用いて詳細に説明する。図１は第１の実施形態のフローセルの斜視図、図２は第１の実施形態のフローセルの内部構造を説明する平面図、図３は第１の実施形態のフローセルの分解斜視図、図４は図２のＡ−Ａ断面図、図５は図４のＣ−Ｃ断面図、図６は図２のＢ−Ｂ断面図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態のフローセル１は、平面視矩形状の略板状をなす下部基板（第１基板）１１と、該下部基板１１上にその外径寸法を同一にして配設される上部基盤（第２基板）１２とが積層されることによって形成されている。
【００１８】
このようなフローセル１には、図２に示すように、試料液体Ｓが導入される導入部１３と、第１基板１１と第２基板１２との間に２つ形成されたポンプ部１４、１４と、当該ポンプ部１４と導入部１３とを接続する流路１５とが設けられている。
この流路１５は、詳しくは、一端が導入部１３に接続されるとともに外部装置により測定光等が照射される測定流路１６と、一端が測定流路１６に接続されるとともに２つに分岐した他端がそれぞれポンプ部１４、１４に接続された接続流路１７とから構成されている。
【００１９】
第１基板１１は、例えばＢＫ７等の光学ガラスから成形され、板厚が１ｍｍ程度で一辺が１６ｍｍ程度の平面視略矩形の形状をしている。また、第１基板１１の上面（第１基板１１における第２基板１２に対向する面）１１ａには、金属薄膜２０が設けられている。この金属薄膜２０の材料としては例えばＡｕ等が用いられ、第１基板１１の上面１１ａに、蒸着、スパッタ、メッキ加工等が施されることによって形成されている。
なお、金属薄膜２０は、上記測定流路１６に対応する部分のみに形成するようにしてもよい。
【００２０】
第２基板１２は、０．５〜５ｍｍ程度の厚さを有するアクリル等の材料から形成され、第１基板１１に対応した平面視矩形状をなしており、この第２基板１２の一側寄りの略中央部には導入口１２ｃが貫通形成されている。
図３に示すように、この第２基板１２の下面（第１基板に対向する面）１２ａの外周縁部１２ｂは第１基板１１側に一段隆起しており、第１基板１１及び第２基板１２を接合した際には、この外周縁部１２ｂが第１基板１１の上面１１ａと密着するようになっている。なお、以下では第２基板１２の下面１２ａと言う場合には、外周縁部１２ｂの内側にあたる当該外周縁部１２ｂよりも一段凹んだ平面を指すものとする。
【００２１】
また、この第２基板１２の下面１２ａにおける導入口１２ｃの開口縁部には、当該第２基板１２の下面１２ａが第１基板１１側に一段隆起するようして形成された環状突条２１が形成されている。なお、当該環状突条２１と外周縁部１２ｂとの上記下面１２ａを基準とした高さを比較した場合、環状突条２１の方が外周縁部１２ｂよりも僅かに低くなっており、その差は例えば約５０μｍとされている。
【００２２】
そして、第２基板１２の下面１２ａには、一端が上記環状突条２１に接続して上記一側とは反端側の他側に向かって延びる直線突条２２と、該直線突条２２の他端に一端が接続されて複数の屈曲部を有しながらクランク状に蛇行して上記他側近傍にまで延びる蛇行突条２３と、該蛇行突条２３の他端に接続されて蛇行突条２３の両側に向かって延びる接続突条２４が形成されている。
これら直線突条２２、蛇行突条２３及接続突条２４は上記下面１２ａを基準として環状段部２１と同一の高さまでそれぞれ等しく第１基板１１側に突出している。
【００２３】
さらに、第２基板１２の下面１２ａには、２つの接続突条２４のそれぞれに接続するようにして、ポンプ形成部２５が形成されている。このポンプ形成部２５は、上記下面１２ａを基準として環状突条２１と同一の高さまで一段隆起しており、直線突条２２を対称軸とした左右対象に２つが配置されるとともに、上記直線突条２２の延在方向を長手方向とした平面視長方形状に形成されている。また、このポンプ形成部２５における上記一側には、第２基板１２を略矩形状に貫通する空気孔２６が形成されている。
【００２４】
以上のようにして本実施形態の第２基板１２においては、下面１２ａを基準として、環状突条２１、直線突条２２、蛇行突条２３、接続突条２４及びポンプ形成部２５が第１基板１１側に一段隆起し、外周縁部１２ｂがさらに一段第１基板１１側に隆起するように配置されている。
【００２５】
また、このような第２基板１２は、例えば所定のパターンが形成された金型を用いた射出成形加工、レーザー加工、エンドミル等による切削加工等によって作成することができる。
【００２６】
本実施形態におけるフローセル１は、それぞれ上述した第１基板１１と第２基板１２とを積層することによって形成される。
具体的には、第１基板１１の上面１１ａに第２基板１２の下面１２ａが対向するようにして積層させるとともに、第１基板１１を上面側から押圧する。この際、第２基板１２の外周縁部１２ｂの表面に粘着剤、接着剤又は両面シール等を介在させておくことにより、第１基板１１の上面１１ａと第２基板１２の外周縁部１２ｂとが接合されて、第１基板１１と第２基板１２とが固定一体化される。
【００２７】
この際、第２基板１２においては、環状突条２１、直線突条２２、蛇行突条２３、接続突条２４及びポンプ形成部２５が外周縁部１２ｂよりも僅かに凹んでいることから、当該環状段部２１、直線突条２２、蛇行突条２３、接続突条２４及びポンプ形成部２５と第１基板１１の上面１１ａとの間には微小間隙が形成される。この微小間隙の距離は、当該環状段部２１、直線突条２２、蛇行突条２３、接続突条２４及びポンプ形成部２５との外周縁部１２ｂとの高さ差によって決定され、本実施形態においては約５０μｍとされる。
本実施形態のフローセル１においては、このようにして形成された微小間隙が、それぞれ図２に示す導入部１３、測定流路１６、接続流路１７及びポンプ部１４とされて、試料液体Ｓを流通させるフローセル１が構成されている。
【００２８】
なお、微小間隙を形成する構成としては、上記の他、例えば第２基板の外周縁部１２ｂの高さを環状突条２１、直線突条２２等と略同一に形成するとともに外周縁部１２ｂの表面に両面シール等を介在させて第１基板１１と第２基板１２とを接合し、この両面シールの厚みを利用して環状段部２１、直線突条２２等と第１基板１１の上面１１ａとの間に微小間隙を形成したものであってもよい。この場合、両面シール等の厚みを適宜変更することによって微小間隙の距離を容易に調整することが可能となる。
【００２９】
次に本実施の形態に係るフローセル１の動作について説明する。
導入口１２ｃに試料液体Ｓが注入されると、当該試料液体Ｓは、第２基板１２の環状突条２１と第１基板１１の上面１１ａとの微小間隙、即ち導入部１３に毛細管現象により入り込む。すると、試料液体Ｓは同じく微小間隙である測定流路１６、接続流路１７の順に毛細管現象により進んでいく（図４参照）。
【００３０】
この際、試料液体Ｓは、微小間隙の存在領域である測定流路１６、接続流路１７のみを流通しそれ以外の部分に流出することはない。即ち、例えば図５に示すように、微小間隙を形成する直線突条１６と該直線突条１６から一段凹んだ第２基板１２の下面１２ａとの間には急激な構造変化があるため、試料液体Ｓが微小間隙外に流出しようとすると当該試料液体Ｓと第２基板１２との接触角が大きく変化する。この場合、その接触角の急激な変化は、液体の進行に対して抵抗として作用するため、当該試料液体Ｓは微小間隙内に留められ当該微小間隙外の領域に流出することはない。従って、試料液体Ｓは微小間隙の形成領域である測定流路１６、接続流路１７のみを確実かつ円滑に流通していく。
【００３１】
このようにして各流路１５を経た試料液体Ｓはポンプ部１４、１４に流入する。このポンプ部１４も微小間隙により形成されているので毛細管現象が発現し、当該ポンプ部１４に至った試料液体Ｓがその内部を進行していく（図６参照）。また、上記と同じ作用により試料液体Ｓがポンプ部１４の形成領域外に流出することなく内部に留められる。
そして、試料液体Ｓが空気孔２６に到達すると、当該試料液体Ｓと第２基板１２のポンプ形成部２５との接触角が大きく変化し、これが液体の進行に対して抵抗として作用するため、試料液体Ｓの進行が停止される。これにより、ポンプ部１４による試料液体Ｓの吸入動作は終了する。
【００３２】
このようにして試料液体Ｓが流通されるフローセル１においては、試料液体Ｓが導入口１２ｃに注入されてポンプ部１４、１４まで吸入される過程における測定流路１６にて、表面プラズモン共鳴現象を利用した試料液体Ｓの測定が行われる。
表面プラズモン共鳴現象を利用した測定は、測定対象の検体が接触した金属（本実施形態においては金属薄膜２０）の表面における、エバネッセント波と表面プラズモン波との共鳴を用いるものである。
【００３３】
この測定では、図１１及び図１２に示すように、光源１０１から出射された光を入射側レンズ１０２で集光してプリズム１０３に入射させ、プリズム１０３の上面部１０４に密着させているフローセル１の測定部として機能する金属薄膜２０に照射する。この金属薄膜の表面に検体である試料液体Ｓが接触して配置され、集光されるとともにフローセル１の第１基板１１を透過してきた光が金属薄膜２０の裏面に照射される。
このようにして照射された光は、第１基板１１と金属薄膜２０との界面で反射し、いわゆるＣＣＤイメージセンサ等の撮像素子よりなる光検出部１０６で光強度が測定され、上記共鳴が起こる角度で反射率が低くなる谷が観測される。
【００３４】
このような測定では、金属薄膜２０の表面（検出部側）に固定された抗体やＤＮＡ断片に、選択的に結合する検体の有無を検出するものであるが、検出部に試料液体を配置した状態では、対象となる検体と抗体とが反応したことによる変化と、検出部に異物が沈降して堆積した状態による変化との区別はない。これに対し、金属薄膜２０上に試料液体が流れているようにすることで異物の沈降が抑制されるようになり、上述した反応による変化を選択的に検出して、測定を確実に行うことができるようになっている。
【００３５】
以上のようにして、本実施形態のフローセル１においては、第１基板１１と第２基板１２との間の微小間隙を流路１５及びポンプ部１４として、これら微小間隙の毛細管力により試料液体Ｓの流通及び吸引を行うことにより、試料液体Ｓが流路１５及びポンプ部１４以外の領域に流出することを確実に防止することが可能となる。
【００３６】
また、例えば、一方の基板の一面に流路を刻設するとともに当該一面に他方の基板を接合することによってフローセルを形成した場合、接合面に間隙が生じると当該間隙の毛細管力によって試料液体Ｓが接合面における流路以外の領域に侵入してしまう。従って、このような場合、両基板の密着を精密に行う必要があるため、生産工程が技術的に複雑になる他、密着が可能な材料を選定する必要があり、生産コストが増加してしまう。
ところが、本実施形態のフローセル１においては、間隙を意図的に形成して流路１５として利用するため、両基板１１、１２の接触面の密着性が確実でなく当該接触面に多少の間隙が生じたとしても、流路１５及びポンプ部１４に影響を与えることはない。従って、製造を容易として生産コストを低下させることが可能となる。
【００３７】
なお、このような第１の実施形態における変形例として、第２基板１２におけるポンプ形成部２５が、例えば図７に示すように、ポンプ部１４における流路１５との接続部から空気孔２６に向かうにしたがって、第１基板１１から離間する方向に傾斜しているものであってもよい。
これによって、ポンプ部１４の奥に行くほど微小間隙が大きくなることから、より多くの試料液体Ｓのポンプ部１４内に留めることが可能となり、ポンプ部１４の容量を増大させることが可能となる。
【００３８】
次に本発明の第２の実施形態に係るフローセル３０について、図８及び図９を用いて説明する。図８は第２の実施形態のフローセルの内部構造を示す平面図、図９は図８におけるＤ−Ｄ断面図である。図８及び図９においては、第１の実施形態のフローセル１と同じ構成部材には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３９】
本実施形態のフローセル３０は、ポンプ部３１の構成について第１の実施形態のポンプ部１４とは相違しており、ポンプ部３１は、図８及び図９に示すように第１基板１１と第２基板１２とを接続する複数のピラー３２が設けられている。
即ち、本実施形態においては、第２基板１２のポンプ形成部２５と第１基板１１の上面１１ａとをフローセル３０の厚さ方向に連結する略円柱状のピラー３２が等間隔で複数配設されている。これによって、当該ピラー３２がない場合に比べてポンプ部３１の単位体積あたりの表面積が大きくなる。したがって、ピラー３２間を通過する試料液体Ｓにはより大きな毛細管力が作用することになり、より円滑かつ確実に試料液体Ｓを吸引することが可能となる。
【００４０】
また、この第２の実施形態のフローセル３０の変形例として、第１の実施形態と同様、例えば図１０に示すように、ポンプ形成部２５が、ポンプ部３１における流路１５との接続部から空気孔２６に向かうにしたがって、第１基板１１から離間する方向に傾斜しているものであってもよい。これによって、ポンプ部３１の試料液体Ｓの容量を増大させることができる。
なお、ピラー３２の形状は円柱状に限定されることはなく、多角形状のものやその他の形状のものであってもよい。
さらにまた、このピラー３２の代わりに、もしくはピラー３２とともに、第１基板１１と第２基板１２とを接続する複数の突条を設け、該突条によってポンプ部３１内に複数の細い流路が集積して形成された構造をなすものであってもよい。
【００４１】
以上、本発明の実施形態に係るフローセル１、３０について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲の設計変更も含まれる。
例えば、本実施形態においては２つのポンプ部１４、３１が形成されたものを示したが、これに限定されることはなく、単一又は３つ以上のポンプ部１４、３１を備えたものであってもよい。また、流路１５についても、本実施形態の態様に限定されず、設計に応じて適宜形状を変更することも可能である。
即ち、本実施形態に係るフローセル１、３０は、２つの基板１１、１２間に意図的に形成した微小間隙を流路１５として用いることが本質であり、このような技術的内容が具現化されている以上、いかなる実施態様をも包含する。
【００４２】
また、実施形態においては、特に表面プラズモン共鳴減少を利用した測定について説明したが、これに限定されず、他の光学的測定方法であっても試料液体Ｓをハンドリングするものであればいかなる用途へも応用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】第１の実施形態のフローセルの斜視図
【図２】第１の実施形態のフローセルの内部構造を説明する平面図
【図３】第１の実施形態のフローセルの分解斜視図
【図４】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ断面図である。
【図６】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】第１の実施形態の変形例を説明する図である。
【図８】第２の実施形態の内部構造を説明する平面図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ断面図である。
【図１０】第２の実施形態の変形例を説明する図である。
【図１１】ＳＰＲ測定装置の構成例を示す構成図である。
【図１２】図１１におけるフローセルの拡大図である。
【符号の説明】
【００４４】
１      フローセル
１１    第１基板
１２    第２基板
１２ｃ  導入口
１５    流路
１６    測定流路
１７    接続流路
１４    ポンプ部
２２    直線突条（突条）
２３    蛇行突条（突条）
２４    接続突条（突条）
２５    ポンプ形成部
２０    金属薄膜（検出部）
３０    フローセル
３１    ポンプ部
３２    ピラー
３３    ポンプ形成部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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