(57)【要約】【課題】シリコン酸化膜面に対して適度な粘着性と密着性とを有し、剥離除去する際には容易に剥離することができ、且つ、剥離後のシリコン酸化膜面への粘着フィルム由来の不純物転移性が軽微であるエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルムの提供。【解決手段】基材上に、粘着剤層と剥離層とが順次形成され、粘着剤層がアクリル系樹脂とイソシアネート系架橋剤と非イオン性界面活性剤とを含み、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離距離１５０ｍｍ、試験体幅２０ｍｍの１８０°剥離試験条件で測定した、シリコン酸化膜面に貼付して０．５時間経過後の剥離強度が０．０５〜０．２０Ｎ／２０ｍｍであって、貼付して２４時間経過後の剥離強度が、０．５時間経過後の剥離強度の−３０〜＋３０％であり、２４時間貼付した前記粘着フィルムの剥離後の、前記シリコン酸化膜面における炭素の全元素に対する割合が８〜１８％である粘着フィルム。【選択図】図１
2010084034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、粘着剤層と、剥離層とが順次形成された粘着フィルムにおいて、
前記粘着剤層がアクリル系樹脂と、イソシアネート系架橋剤と、非イオン性界面活性剤と、を含み、
剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離距離１５０ｍｍ、試験体幅２０ｍｍの１８０°剥離試験条件で測定した、シリコン酸化膜面に貼付して０．５時間経過後の剥離強度が０．０５〜０．２０Ｎ／２０ｍｍであって、貼付して２４時間経過後の剥離強度が、０．５時間経過後の剥離強度の−３０〜＋３０％であり、
２４時間貼付した前記粘着フィルムの剥離後の、前記シリコン酸化膜面における炭素の全元素に対する割合が８〜１８％であることを特徴とするエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【請求項２】
前記非イオン性界面活性剤が、前記アクリル系樹脂１００質量部に対して０．５〜１０質量部配合されていることを特徴とする請求項１に記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【請求項３】
前記非イオン性界面活性剤のＨＬＢが１０〜１６であることを特徴とする請求項１又は２に記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【請求項４】
前記アクリル系樹脂が、ブチルアクリレートと２−エチルヘキシルアクリレートとを主構成モノマーとする共重合体からなることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【請求項５】
前記シリコン酸化膜面のぬれ性が６０ｄｙｎ／ｃｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エピタキシャル膜が形成されるシリコン酸化膜面に長時間貼付した場合であっても、容易に剥離することができ、且つ、剥離後のシリコン酸化膜面への粘着フィルム由来の不純物転移性が軽微であるエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハは、その表面に回路パターンが形成された後、薄化のために裏面に研磨加工が施される。この研磨加工では、薄化したウエハの破損や、研磨屑等によるパターン面の汚染が生じ得るため、これらを防止するために保護用粘着フィルムが用いられている。このような保護用粘着フィルムは、研磨加工前にウエハの表面に貼付され、加工後には剥離除去されるものであるため、貼付されている間はウエハ表面に対して適度な粘着性と密着性とを有し、ウエハから剥離除去する際には薄化したウエハが破損しない程度の易剥離性を示すことが望ましい。そこで、粘着フィルムに対し、このような特性を付与するための試みが種々、なされている。
【０００３】
これまで、報告されているウエハ保護用粘着フィルムとしては、基材フィルムの片表面に放射線硬化型の粘着剤層と貯蔵弾性率が特定の範囲にある粘着剤層とを設けたもの（特許文献１参照）や、基材フィルム層と粘着層との間に熱分解性のヒドラジド化合物を含有する膨張層を有するもの（特許文献２参照）がある。
【０００４】
しかしながら、これらのウエハ表面保護用粘着フィルムは、ウエハ表面に対する優れた密着性と易剥離性とを兼ね備えているものの、剥離の際には放射線照射や加熱といった煩雑な処理を必要とする。
【特許文献１】特開２００２−５３８１９号公報
【特許文献２】特開２００５−３３２９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ウエハ表面保護用粘着フィルムは、上記のような研磨加工の際の破損や汚染を防止する目的以外に、エピタキシャル膜の形成にも使用することができる。エピタキシャル膜の形成工程では、シリコンウエハの表面に酸化膜を形成させるが、その際に、ウエハの形状よりも一回り小さい寸法の粘着フィルムを酸化膜に貼付する。そして、粘着フィルムが貼付されていない部位の酸化膜を薬液処理によって除去した後、粘着フィルムを剥離し、酸化膜を成長させる。そうすることで、ウエハの形状をはみだすことなく酸化膜を成長させることができる。
【０００６】
しかしながら、酸化膜は、通常のウエハ表面に比して粘着フィルムの粘着性や密着性が劣り、また、粘着フィルムの貼付後は経時的にぬれが進行しやすく、剥離除去し難い貼付対象である。そのため、シリコンウエハの表面に形成された酸化膜面を保護するために好適な粘着フィルムの開発が望まれていた。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、貼付されている間はシリコン酸化膜面に対して適度な粘着性と密着性とを有し、シリコン酸化膜面から剥離除去する際には煩雑な処理を行うことなく容易に剥離することができ、且つ、剥離後のシリコン酸化膜面への粘着フィルム由来の不純物転移性が軽微であるエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、シリコンウエハの表面保護に好適な粘着フィルムを創製するために鋭意研究する中で、粘着剤層の主剤としてアクリル系樹脂を用い、これにイソシアネート系架橋剤と非イオン性界面活性剤とを配合することで、エピタキシャル膜を成長させるためにシリコンウエハ上に形成された酸化膜面（以下、シリコン酸化膜面とする。）を保護するために好適な粘着フィルムが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、以下のようなものを提供する。
【０００９】
（１）基材上に、粘着剤層と、剥離層とが順次形成された粘着フィルムにおいて、
前記粘着剤層がアクリル系樹脂と、イソシアネート系架橋剤と、非イオン性界面活性剤と、を含み、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離距離１５０ｍｍ、試験体幅２０ｍｍの１８０°剥離試験条件で測定した、シリコン酸化膜面に貼付して０．５時間経過後の剥離強度が０．０５〜０．２０Ｎ／２０ｍｍであって、貼付して２４時間経過後の剥離強度が、０．５時間経過後の剥離強度の−３０〜＋３０％であり、２４時間貼付した前記粘着フィルムの剥離後の、前記シリコン酸化膜面における炭素の全元素に対する割合が８〜１８％であることを特徴とするエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【００１０】
（２）前記非イオン性界面活性剤が、前記アクリル系樹脂１００質量部に対して０．５〜１０質量部配合されていることを特徴とする（１）に記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【００１１】
（３）前記非イオン性界面活性剤のＨＬＢが１０〜１６であることを特徴とする（１）又は（２）に記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【００１２】
（４）前記アクリル系樹脂が、ブチルアクリレートと２−エチルヘキシルアクリレートとを主構成モノマーとする共重合体からなることを特徴とする（１）から（３）のいずれかに記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【００１３】
（５）前記シリコン酸化膜面のぬれ性が６０ｄｙｎ／ｃｍ以下であることを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の粘着フィルムは、粘着剤層の主剤としてアクリル系樹脂を用い、これにイソシアネート系架橋剤と非イオン性界面活性剤とが配合されているので、シリコン酸化膜面であっても良好な粘着性と密着性とを得ることができる。また、長時間貼付した場合であっても、シリコン酸化膜面との間の剥離強度の変化が小さいので、シリコン酸化膜面から剥離除去する際には特別な処理を行うことなく容易に剥離することができ、さらに、剥離後のシリコン酸化膜面への粘着フィルム由来の不純物転移性が軽微である。したがって、エピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用として好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の具体的な実施形態について、詳細に説明する。
【００１６】
本発明のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム（以下、粘着フィルムとする。）は、基材上に、粘着剤層と、剥離層とが順次形成された粘着フィルムにおいて、前記粘着剤層がアクリル系樹脂と、イソシアネート系架橋剤と、非イオン性界面活性剤と、を含み、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離距離１５０ｍｍ、試験体幅２０ｍｍの１８０°剥離試験条件（「ＪＩＳ  Ｚ０２３７」に準拠）で測定した、シリコン酸化膜面に貼付して０．５時間経過後の剥離強度が０．０５〜０．２０Ｎ／２０ｍｍであって、貼付して２４時間経過後の剥離強度が、０．５時間経過後の剥離強度の−３０〜＋３０％であり、２４時間貼付した前記粘着フィルムの剥離後の、前記シリコン酸化膜面における炭素の全元素に対する割合が８〜１８％であることを特徴とする。
【００１７】
本発明の粘着フィルム１は、基材１１上に、粘着剤層１２と、剥離層１３とが順次形成されている（図１参照）。
【００１８】
基材１１は、必要な強度や柔軟性を有するものであれば、特に限定されず、一般的には合成樹脂フィルムが用いられる。合成樹脂フィルムの材料としては、ポリエステル系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリ（４−メチル−ペンテン−１）系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリビニルブチラール系樹脂、ポリアクリロニトリル系樹脂、酢酸セルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、パラ系アラミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂等の公知の樹脂が挙げられる。なお、本発明では、この中でも、剛性、伸長性、寸法安定性、柔軟性、積層適性等、耐薬品性の観点から、特に、ポリエステル系樹脂を用いることが好ましい。
【００１９】
ポリエステル系樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリアリレート、ポリテトラメチレンテレフタレート等が挙げられる。
【００２０】
基材１１の厚みは、特に限定されないが、好ましくは１２〜１８８μｍ、より好ましくは２５〜１００μｍである。上記範囲であれば、粘着フィルムの形態を維持することができるので、粘着フィルムの貼付や剥離等の作業性が良好となる。
【００２１】
粘着剤層１２は、アクリル系樹脂と非イオン性界面活性剤とイソシアネート系架橋剤とを含む。アクリル系樹脂を構成するモノマーとしては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、ヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、イソノニルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ｎ−オクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、ステアリルアクリレート等の炭素数１〜２０のアルキル基を有するアクリル酸アルキルエステルが挙げられ、これらの１種又は２種以上を併用してもよい。なお、本発明では、この中でも、貼付の際のシリコン酸化膜面に対する粘着性及び密着性、並びに汎用性の観点から、ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレートが好ましく、ブチルアクリレートと２−エチルヘキシルアクリレートとの併用がより好ましい。
【００２２】
イソシアネート系架橋剤としては、フェニレンジイソシアネート、ジフェニルジイソシアネート、トリイソシアネートトルエン、トリイソシアネートベンゼン、ジフェニルエーテルジイソシアネート、ナフチレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネート、ブチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、シクロペンタンジイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート、トリメチルシクロヘキシルイソシアネート等の脂環族ポリイソシアネート、ジイソシアネートジメチルベンゼン、ジイソシアネートジエチルベンゼン等の芳香脂肪族ポリイソシアネートが挙げられ、これらの１種又は２種以上を併用してもよい。
【００２３】
イソシアネート系架橋剤の配合量は、粘着剤層１２の主剤であるアクリル系樹脂１００質量部に対し、好ましくは１．０〜５．０質量部であり、より好ましくは１．５〜３．０質量部である。２種以上を併用する場合には、全体としての配合量を意味する。上記範囲であれば、適切な架橋形成がなされるので、シリコン酸化膜面に対する適度な粘着性と密着性とを粘着フィルムに付与することができる。
【００２４】
非イオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンイソデシルエーテル、ポリオキシエチレンイソトリデシルエーテル、ポリオキシアルキレンイソトリデシルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレン分岐デシルエーテル等が挙げられ、ＨＬＢが１０〜１６であるものが好ましく、１０〜１５であるものがより好ましい。なお、本発明におけるＨＬＢの値は、グリフィン（Ｇｒｉｆｆｉｎ）の式（このグリフィンの式は、ＨＬＢ＝（親水基部分の分子量／界面活性剤の分子量）×（１００／５）で表されるもの（「新・界面活性剤入門」三洋化成工業株式会社、昭和６０年１１月１日発行、第１２８頁）である。）によるものである。
【００２５】
エピタキシャル膜の形成工程中には、薬液処理があることから、本発明では、界面活性剤種の中でも薬液耐性がある非イオン系界面活性剤を用いた。また、上記の中でも、有機溶剤への希釈性、粘着フィルム剥離後のシリコン酸化膜面への不純物転移性が軽微という観点から、ポリオキシアルキレン分岐デシルエーテルが好ましい。なお、ここでいう「ＨＬＢ」とは、界面活性剤のＨＬＢを加重平均して求めたものである。２種類以上の界面活性剤を併用する場合には、平均ＨＬＢを意味する。上記範囲であれば、粘着剤層１２表面の物性が疎水性を示すので、シリコン酸化膜面に対するぬれの進行が遅くなる。よって、粘着剤層１２表面とシリコン酸化膜面とが長時間接着した場合であっても、剥離強度の変化が小さいので、容易に剥離することができる。また、上記範囲であれば、常温で液体であり、且つ、有機溶剤への良好な溶解性を示す。
【００２６】
非イオン性界面活性剤の配合量は、粘着剤層１２の主剤であるアクリル系樹脂１００質量部に対し、好ましくは０．５〜１０質量部であり、より好ましくは０．５〜５質量部である。２種以上を併用する場合には、全体としての配合量を意味する。上記範囲であれば、粘着剤層１２表面の物性が疎水性を示すので、シリコン酸化膜面に対するぬれの進行が遅くなる。よって、粘着剤層１２表面とシリコン酸化膜面とが長時間接着した場合であっても、剥離強度の変化が小さいので、容易に剥離することができる。
【００２７】
その他、本発明の目的を損なわない範囲で必要に応じて、金属キレート剤、酸化防止剤、粘着付与剤、紫外線吸収剤等の各種添加剤を配合することができる。
【００２８】
粘着剤層１２の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、印刷、コーティング等による方法が挙げられる。また、粘着剤層１２の厚みは、シリコン酸化膜面の状態、形状等を勘案し、シリコン酸化膜面に対する粘着性と密着性とを損なわない範囲で適宜選択することができ、通常、１０〜６０μｍ、好ましくは２０〜５０μｍである。上記範囲であれば、シリコン酸化膜面に対する良好な密着性を示すので、薬液の侵入を防止できる。
【００２９】
剥離層１３は、粘着剤層１２の上に積層された剥離性を有する剥離部材からなり、粘着剤層１２の表面を保護する機能を有する。剥離部材は、必要な強度や柔軟性を有するものであれば、特に限定されず、一般的にはシリコーン離型処理した合成樹脂フィルムが用いられる。合成樹脂フィルムの材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリアリレート、ポリテトラメチレンテレフタレート等ポリエステル系樹脂が好ましい。なお、剥離層１３の厚みは、特に限定されないが、好ましくは２５〜１２５μｍである。
【００３０】
本発明の粘着フィルム１は、有機溶剤に溶解させた粘着剤（以下、粘着剤溶液とする。）を基材１１に塗布し、これを乾燥して、所望の厚さの粘着剤層１２を形成することにより製造できる。有機溶剤としては、特に限定されず、例えば、トルエン、ヘキサン、アセトン、酢酸エチル等が挙げられる。基材に粘着剤溶液を塗布する方法としては、従来公知の方法、例えばロールコート法、グラビアコート法、マイクログラビアコート法、リバースコート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、含浸法、カーテンコート法、ダイコート法、ドクターブレード法、コンマコート法等が挙げられる。塗布された粘着剤の乾燥条件は、特に限定されないが、通常、４０〜１２０℃の温度範囲において３０秒〜３分間乾燥する。本発明の粘着フィルム１の厚みは、目的に応じて適宜選択することができるが、通常、４７〜３７３μｍである。
【００３１】
本発明の粘着フィルム１は、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離距離１５０ｍｍ、試験体幅２０ｍｍの１８０°剥離試験条件（「ＪＩＳ  Ｚ０２３７」に準拠）で測定した、シリコン酸化膜面に貼付して０．５時間経過後の剥離強度が０．０５〜０．２０Ｎ／２０ｍｍであって、貼付して２４時間経過後の剥離強度が、０．５時間経過後の剥離強度の−３０〜＋３０％であることを特徴とし、好ましくは−１０〜＋１０％である。本発明の粘着フィルム１は、貼付されている間はシリコン酸化膜面に対して、薄化したシリコンウエハの破損や薬液の侵入を防止できる程度の粘着性と密着性とを有する。そして、長時間貼付した場合であっても、シリコン酸化膜面との間の剥離強度の変化が小さいので、シリコン酸化膜面から剥離除去する際には特別な処理を行うことなく容易に剥離することができる。
【００３２】
また、本発明の粘着フィルム１は、２４時間貼付した前記粘着フィルムの剥離後の、前記シリコン酸化膜面における炭素の全元素に対する割合が８〜１８％であることを特徴とし、好ましくは８〜１７％であり、より好ましくは８〜１６％である。本発明の粘着フィルム１は、剥離後のシリコン酸化膜面への粘着フィルム由来の不純物である炭素の転移性が軽微である。
【００３３】
また、本発明の粘着フィルム１は、粘着剤層において、水の滴下３０２秒間経過後の水の接触角が、滴下直後の４０〜９０％であることが好ましく、５０〜９０％であることがさらに好ましい。本発明の粘着フィルム１は、シリコン酸化膜面に対して適度なぬれ性を有するので、貼付されている間はシリコン酸化膜面に対して、薄化したシリコンウエハの破損や薬液の侵入を防止できる程度の粘着性と密着性とを有する。一般に、粘着フィルムの粘着力は、被着体に貼付後、時間の経過とともに高まる。これは、粘着フィルムの粘着剤と被着体とがぬれなじんでいくことによる。本発明の粘着フィルム１は、ぬれ性の経時変化が非常に緩やかであり、粘着力の変化が小さいので、シリコン酸化膜面に長時間貼付した場合であっても、容易に剥離することができる。
【００３４】
さらに、本発明の粘着フィルム１は、保護対象が６０ｄｙｎ／ｃｍ以下のぬれ性（ＪＩＳ  Ｋ６７６０準拠）を示すシリコン酸化膜面であることが好ましい。本発明の粘着フィルム１は、このようなぬれ性を有するシリコン酸化膜面に長時間貼付した場合であっても、特別な処理を行うことなく容易に剥離することができる。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３６】
［粘着フィルムの形成方法］
＜実施例１＞
アプリケータを用いて、剥離層１３（ＰＥＴセパレーターフィルム，商品名「００１０ＢＤ」，膜厚５０μｍ，藤森工業社製）に乾燥後の膜厚が４０μｍとなるように、粘着剤溶液（アクリル系粘着剤（主構成：２−エチルヘキシルアクリレート及びブチルアクリレート，商品名「サイビノールＡＴＲ３４０」，サイデン化学社製）と、イソシアネート系架橋剤（商品名「Ｋ２００」，サイデン化学社製）２．３質量部と、非イオン性界面活性剤（商品名「ＸＬ−８０」，第一工業製薬社製）と、アルミ系金属キレート剤（商品名「Ｍ２」，サイデン化学社製）０．２３質量部と、を希釈溶剤であるトルエン６０質量部に溶解したもの）を塗工し、粘着剤層１２を形成した。次いで、粘着剤層１２中の希釈溶剤をオーブンにより揮発させ（９０℃，１分間）、乾燥後の粘着剤層１２の塗工面に基材１１（ＰＥＴフィルム，商品名「Ｓ１０５」，膜厚５０μｍ，東レ社製）のコロナ処理面をラミネートし、４０℃で３日間のエージング処理を行い、図１に示すような粘着フィルム１を形成した。なお、粘着剤層の主剤は、アクリル系粘着剤であり、主剤及び非イオン性界面活性剤の配合量は、表１に示したとおりである。
【００３７】
＜実施例２＞
粘着剤溶液における非イオン性界面活性剤の配合量が１質量部である以外は、実施例１と同様である。
【００３８】
＜実施例３＞
粘着剤溶液における非イオン性界面活性剤の配合量が２質量部である以外は、実施例１と同様である。
【００３９】
＜実施例４＞
粘着剤溶液における非イオン性界面活性剤の配合量が５質量部である以外は、実施例１と同様である。
【００４０】
＜実施例５＞
粘着剤溶液における非イオン性界面活性剤の配合量が１０質量部である以外は、実施例１と同様である。
【００４１】
＜比較例１＞
粘着剤溶液における非イオン性界面活性剤の配合量が２０質量部である以外は、実施例１と同様である。
【００４２】
＜比較例２＞
粘着剤溶液における非イオン性界面活性剤の配合量が３０質量部である以外は、実施例１と同様である。
【００４３】
＜比較例３＞
粘着剤溶液に非イオン性界面活性剤を配合しない以外は、実施例１と同様である。
【００４４】
［剥離強度の測定］
粘着フィルム１を２０ｍｍ幅に切断し、試験片を作製した。この試験片を、ＣＶＤ炉にて、ターゲット：２０Å、雰囲気：ヘリウムガスベース，モノシラン，酸素ガス、温度：４００℃、保持時間：１５秒の条件でＣＺ法により単結晶シリコンウエハ面にＣＶＤ酸化膜を形成した酸化膜面に２ｋｇローラーを用いてラミネートし、室温にて３０分〜２４時間放置した。そして、引張り試験機（ＲＴＦ−１１５０−Ｈ）を用いて、常湿常温下での剥離強度を測定（速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ，剥離距離：１５０ｍｍ，剥離角：１８０°）した（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠）。その結果を表１及び図２に示す。
【００４５】
【表１】
2010084034.tif 000003
【００４６】
主剤であるアクリル系樹脂１００質量部に対する界面活性剤の配合量が０．５〜１０質量部である粘着フィルム１（実施例１〜５）は、シリコン酸化膜面への粘着後、２４時間経過しても剥離強度の変化が見られなかった。このことから、粘着剤に配合する非イオン性界面活性剤の量をコントロールすることで、貼付後の時間経過に伴う粘着力の変化が抑制できることがわかった。また、界面活性剤を含まない粘着フィルム１（比較例３）についても、剥離強度が安定していた。
【００４７】
［元素分析］
次に、粘着フィルム１剥離後のシリコン酸化膜面における粘着剤由来の残渣を元素分析により確認した。測定条件を以下に示す。シリコン酸化膜面に粘着する前の粘着フィルム１の粘着面、粘着フィルム１剥離後のシリコン酸化膜面、粘着フィルム１を粘着する前のシリコン酸化膜面の分析結果を表２に示す。
＜測定条件＞
測定機器：ＸＰＳ（ＥＳＣＡＬＡＢ  ２２０ｉ−ＸＬ）
Ｘ線光源：単色化Ｘ線
Ｘ線出力：１０ｋＶ・１７．５ｍＡ（１７５Ｗ）
レンズ：磁場レンズ
測定領域：７００μｍφ
【００４８】
【表２】
2010084034.tif 000004
【００４９】
界面活性剤を配合していない粘着フィルム１（比較例３）は、上記の剥離強度の測定では、経時安定性を示していたが、粘着フィルム１剥離後のシリコン酸化膜面における粘着剤由来の残渣である炭素が、界面活性剤を配合した粘着フィルム１（実施例１〜３）よりも多かった。このことから、界面活性剤を配合することで、シリコン酸化膜面の汚染が抑制されることがわかった。
【００５０】
［界面活性剤の検討］
アプリケータを用いて、剥離層１３（ＰＥＴセパレーターフィルム，商品名「００１０ＢＤ」，膜厚５０μｍ，藤森工業社製）に乾燥後の膜厚が４０μｍとなるように、粘着剤溶液（アクリル系粘着剤（主構成：２−エチルヘキシルアクリレート及びブチルアクリレート，商品名「サイビノールＡＴＲ３４０」，サイデン化学社製）と、イソシアネート系架橋剤（商品名「Ｋ２００」，サイデン化学社製）２．３質量部と、非イオン性界面活性剤と、アルミ系金属キレート剤（商品名「Ｍ２」，サイデン化学社製）０．２３質量部と、を希釈溶剤であるトルエン６０質量部に溶解したもの）を塗工し、粘着剤層１２を形成した。次いで、粘着剤層１２中の希釈溶剤をオーブンにより揮発させ（９０℃，１分間）、乾燥後の粘着剤層１２の塗工面に基材１１（ＰＥＴフィルム，商品名「Ｓ１０５」，膜厚５０μｍ，東レ社製）のコロナ処理面をラミネートし、４０℃で３日間のエージング処理を行い、図１に示すような粘着フィルム１を形成した。なお、粘着剤層の主剤は、アクリル系粘着剤である。非イオン性界面活性剤の種類と、主剤及び非イオン性界面活性剤の配合量と、は表３に示したとおりである。
次に、上記方法にて形成した粘着フィルム１を２０ｍｍ幅に切断し、試験片を作製した。この試験片を、ＣＶＤ炉にて、ターゲット：２０Å、雰囲気：ヘリウムガスベース，モノシラン，酸素ガス、温度：４００℃、保持時間：１５秒の条件でＣＺ法により単結晶シリコンウエハ面にＣＶＤ酸化膜を形成した酸化膜面に２ｋｇローラーを用いてラミネートし、室温にて３０分〜２４時間放置した。そして、引張り試験機（ＲＴＦ−１１５０−Ｈ）を用いて、常湿常温下での剥離強度を測定（速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ，剥離距離：１５０ｍｍ，剥離角：１８０°）した（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠）。その結果を表３に示す。
【００５１】
【表３】
2010084034.tif 000005
【００５２】
ＨＬＢ１０．５のノイゲンＸＬ−４０及びＨＬＢ１４．７のノイゲンＸＬ−１００ともに、その配合量を増加させた粘着フィルムでは、剥離強度の経時変化が認められた。このことから、ＨＬＢの異なる界面活性剤を配合しても、その配合量をコントロールすることで、貼付後の時間経過に伴う粘着力の変化が抑制できることがわかった。
【００５３】
［接触角の測定］
２５℃、湿度５０％の環境下で、粘着フィルム１の表面（粘着剤層１２）に２ｃｍの高さから純水を２ｄＬ滴下し、その接触角を測定（ＪＩＳ  Ｒ３２５７準拠）した。滴下から測定までの時間は、２〜３０２秒間とした。その結果を表４に示す。
【００５４】
【表４】
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【００５５】
主剤であるアクリル系樹脂に対する界面活性剤の配合量が多いと、時間経過に伴う水の接触角は大きな変化を示した。この結果は、界面活性剤の配合量が多いと、粘着面の物性がより親水性を示すので、シリコン酸化膜面に対するぬれの進行が速くなるためと考えられる。すなわち、界面活性剤の配合量が多いと、粘着面のシリコン酸化膜面に対する相溶性が高まることで、経時変化に伴って剥離強度が高まると考えられる。このことから、粘着剤に配合する非イオン性界面活性剤の量を調整することで、貼付後の時間経過に伴うぬれの変化をコントロールできることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】一実施形態のエピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルムを示す断面図である。
【図２】剥離強度の経時変化を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１      エピタキシャル膜形成のためのシリコン酸化膜面保護用粘着フィルム
１１    基材
１２    粘着剤層
１３    剥離層
【図１】
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【図２】
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