(57)【要約】【課題】ダミー流路による排気性能を損なわずダミー流路と個別流路との干渉を避けやすい構成とした上で、液体吐出ヘッドをノズル配列方向に小型化する。【解決手段】複数のノズル４８が列をなして開口するノズル開口面４９を有した流路ユニット２１に、液体導入流路４２、共通液室４３、共通液室４３内の液体をノズル４８に供給する個別流路４７、及び個別流路４７とは独立しており共通液室４３に連通してノズル開口面４９に開口するダミー流路５９を形成する。共通液室４３は液体導入流路４２からノズル配列方向に延在する上流領域５３と、上流領域５３の先端部から液体導入流路４２側へと折り返してノズル配列方向に延在する下流領域５４とを有している。下流領域５４の末端部にダミー流路５９を連通させ、ノズル開口面４９においてダミー流路５９の開口を、液体導入流路４２側の末端に位置するノズル４８に対して液体導入流路４２側に配置する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数のノズルが列をなして開口するノズル開口面を有した流路ユニットを、備える液体吐出ヘッドであって、
前記流路ユニットは、液体が導入される液体導入流路と、前記液体導入流路からの液体が送られる共通液室と、前記ノズルの各々に個別対応して設けられており前記共通液室内の液体を対応するノズルに供給する個別流路と、前記個別流路とは独立しており前記共通液室に連通して前記ノズル開口面に開口するダミー流路とを有し、前記共通液室は、前記液体導入流路からノズル配列方向に沿って延在する上流領域と、前記上流領域の先端部から前記液体導入流路側に向かって折り返してノズル配列方向に沿って延在する下流領域とを有し、
前記ダミー流路は前記下流領域の末端部に連通し、前記ノズル開口面において前記ダミー流路の開口が、前記複数のノズルのうち前記液体導入流路側の末端に位置するノズルに対して前記液体導入流路側に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路ユニットは複数のプレート部材を積層してなり、
前記上流領域及び前記下流領域が前記プレート部材の積層方向に離れて配置され、
前記共通液室が、さらに、前記上流領域の前記先端部から前記積層方向に延在して前記下流領域に連通する折返し領域を有していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル開口面を下側に向けた状態としたときに、前記下流領域が前記上流領域に対して上側に配置されることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ノズル開口面を下側に向けた状態としたときに、前記上流領域が前記下流領域に対して上側に配置され、前記液体導入流路が前記上流領域に対して上側に向かって延在し、
前記下流領域の末端部が、前記上流領域の下側において、平面視で前記液体導入流路と重なる位置まで延在していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記流路ユニットが、前記複数のプレート部材の一部として、
前記上流領域をなす第１マニホールド孔を有する第１マニホールドプレート部材と、
前記下流領域をなす第２マニホールド孔を有する第２マニホールドプレート部材と、
前記第１及び第２マニホールドプレート部材の間に介在して前記第１及び第２マニホールド孔を積層方向に仕切り、前記折返し領域をなす連通孔を有する仕切プレート部材とを有し、
前記仕切プレート部材が、前記第１マニホールド孔を閉鎖して前記上流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第１ダンパー壁と、前記第２マニホールド孔を閉鎖して前記下流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第２ダンパー壁とを構成していることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路ユニットが前記複数のプレート部材の一部として、
前記上流領域をなす第１マニホールド孔を有する第１マニホールドプレート部材と、
前記下流領域をなす第２マニホールド孔を有する第２マニホールドプレート部材と、
前記第１及び第２マニホールドプレート部材の間に介在して前記第１及び第２マニホールド孔を積層方向に仕切り、前記折返し領域をなす連通孔を有する仕切プレート部材と、
前記第１マニホールドプレート部材に前記仕切プレート部材と反対側から接する第１ダンパープレート部材と、
前記第２マニホールドプレート部材に前記仕切プレート部材と反対側から接する第２ダンパープレート部材とを有し、
前記第１ダンパープレート部材が、前記第１マニホールド孔を閉鎖して前記上流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第１ダンパー壁を構成し、前記第２ダンパープレート部材が、前記第２マニホールド孔を閉鎖して前記下流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第２ダンパー壁を構成していることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記流路ユニットは複数のプレート部材を積層してなり、
前記上流領域及び前記下流領域が前記プレート部材の積層方向に関して同じ位置に並んで形成され、
前記共通液室が、前記上流領域及び前記下流領域と前記積層方向に関して同じ位置において、前記上流領域の前記先端部を前記下流領域に接続する折返し領域を有していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数のノズルが、単一の前記共通液室に対して２列に分かれて配列され、
一方の列をなすノズルに対応する前記個別流路が前記上流領域に連通し、他方の列をなすノズルに対応する前記個別流路が前記下流領域に連通していることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドのノズル開口面に離接可能な枠状のリップ部を有し、該リップ部を前記ノズル開口面に密着させることにより該リップ部の内側に前記ノズル開口面に開口している複数のノズル及びダミー流路を封止するキャップと、
前記各開口が封止されている状態で前記リップ部の内側に負圧を印加する負圧印加手段と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ等のように、液体を吐出するよう構成された液体吐出ヘッド及びこれを備える液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置の一例であるインクジェットプリンタは、インクを吐出するよう構成されたインクジェットヘッドを備え、用紙等の被記録媒体にインクジェットヘッドより吐出したインクを着弾させて画像や文字を記録する印刷動作を実行する構成となっている。
【０００３】
インクジェットヘッドは、インクを吐出するための複数のノズルを有する流路ユニットを備えており、流路ユニットの下面にはこれら複数のノズルが列をなして開口している。流路ユニットの内部には各ノズルにインクを供給するためのインク流路として、外部からインクが導入されるインク導入流路と、インク導入流路からインクが送られる共通インク室と、各ノズルに個別対応して設けられて共通インク室内のインクを対応するノズルに供給する個別流路とが形成されている。
【０００４】
インク流路内には外部からのインクと共にエアが侵入することがあり、プリンタが印刷動作を実行する際にこのエアがノズルまで到達すると、そのノズルより適量のインクが吐出されず印刷精度に影響を与えるおそれがある。このため、従来、個別流路とは独立した排気用のダミー流路を有した流路ユニットが知られている（例えば特許文献１参照）。ダミー流路は共通インク室に連通して下面（ノズル開口面）に開口しており、共通インク室内のエアがこのダミー流路を介して下面より外部へ排出され得るようにしている。
【０００５】
また、インクジェットプリンタには、インク流路内のエアを強制的に排出するためのキャップが設けられることがある。キャップは上下に昇降可能に設けられていて通常は下方に退避しており、インクジェットヘッドがキャップの上方に位置したときに必要に応じて上昇する。キャップが上昇すると、キャップの上部に形成されている枠状のリップ部がノズル開口面に密着し、リップ部の内側にはノズル及びダミー流路の各開口が封止される。この状態でリップ部の内側に負圧を印加すると、共通インク室内のエアが各ノズル及びダミー流路内のインクとともに強制的に排出される。この一連の動作はパージ動作とも呼ばれており、これを実行することにより印刷精度を維持又は回復することができる。
【特許文献１】特開２００７−１２５８０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１７は従来のインクジェットヘッド９００の底面図である。インクジェットヘッド９００は、流路ユニット９０１にアクチュエータ９１１が積層接着されてなり、図１７に示すように、流路ユニット９０１の記録用紙と対向する下面はノズル開口面９０２となっており、ここには複数のノズル９０３が列をなして開口している。図１８はこの図１７のXVIII−XVIII線に沿って切断して示す従来のインクジェットヘッド９００の横断面図である。図１７及び図１８に示すように、インク導入流路９０４はノズル配列方向の一方側端部に形成されて断面鉛直方向に延在しており、その上端開口を介して外部からインクが導入される。共通インク室９０５は、このインク導入流路９０４の下端部からノズル配列方向の他方側に向かって延在している。
【０００７】
共通インク室９０５内のインクはインク導入流路９０４との連通部分からノズル配列方向の他方側に向かって流れるが、共通インク室９０５内に侵入したエアも同様にして流れていく傾向にある。このため、共通インク室９０５の下流端部（すなわち、ノズル配列方向の他方側端部）にダミー流路９０６を連通させており、これにより共通インク室９０５内のエアをダミー流路９０６にトラップしやすくなる。但し、ダミー流路９０６は個別流路９０７との干渉を避ける必要があり、ダミー流路９０６をノズル配列方向の一方側に延在させるよう形成することは難しい。従って、図１７に示すように、ダミー流路９０６の開口は、ノズル開口面９０２において、ノズル配列方向の他方側末端に位置するノズル９０３Ａに対し、更に他方側に配置されている。
【０００８】
図１７にはパージ動作を実行する際に弾性体のキャップのリップ部９１０が密着すべき箇所を二点鎖線で示している。図１７に示すように、枠状のリップ部９１０に関しては、ノズル開口面９０２との密着度を高めるために外枠側の輪郭形状がノズル開口面９０２の外形輪郭形状よりも小さく、ノズル９０３及びダミー流路９０６の全開口を封止するために内枠側の輪郭形状がこれら開口の配置領域よりも大きいことが望まれる。言い換えると、ノズル開口面９０２には、上記末端のノズル９０３Ａとノズル開口面９０２の他方側辺縁９０２Ａとの間に、ダミー流路９０６の開口を配置するためのスペースと、リップ部９１０を密着させるためのスペースとを確保しておかなければならず、このことはインクジェットヘッド９００をノズル配列方向に小型化する上で障壁の一つとなっている。
【０００９】
そこで本発明は、ダミー流路による排気性能を損なわずダミー流路と個別流路との干渉を避けやすい構成とした上で、液体吐出ヘッドをノズル配列方向に小型化することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための複数のノズルが所定方向に配列されて開口しているノズル開口面を有した流路ユニットを備える液体吐出ヘッドであって、前記流路ユニットに、液体が導入される液体導入流路と、前記液体導入流路に導入された液体が送られる共通液室と、前記ノズルの各々に個別対応して設けられており前記共通液室内の液体を対応するノズルに供給する個別流路と、前記個別流路とは独立しており前記共通液室に連通して前記ノズル開口面に開口するダミー流路とが形成され、前記共通液室が、前記液体導入流路からノズル配列方向に延在する上流領域と、前記上流領域の先端部から前記液体導入流路側に向かって折り返してノズル配列方向に延在する下流領域とを有し、前記ダミー流路は前記下流領域の末端部に連通しており、前記ダミー流路の開口が、前記ノズル開口面にて、前記複数のノズルのうち前記液体導入流路側の末端に位置するノズルに対して前記液体導入流路側に配置されていることを特徴としている。
【００１１】
このような構成によれば、共通液室内に侵入したエアが溜まりやすい共通液室の末端部にダミー流路が連通しているため、ダミー流路にエアをトラップしやすくなり、ダミー流路による排気性能がよくなる。また、ダミー流路の開口がノズルに対して液体導入流路側に配置されているため、パージ動作の実行時には、キャップを液体導入流路側に変位させてノズル開口面に接触させることができる。従って、このキャップの変位分だけ、ノズル開口面のサイズをノズル配列方向に関して小型化することができる。そして、共通液室は液体導入流路からノズル配列方向に延びた後、液体導入流路側へと折り返す構造となっている。このため、上記作用を奏するべく共通液室の下流領域末端に連通するダミー流路の開口をノズル開口面上にて液体導入流路側に配置するにあたって、ダミー流路の構造を簡単にすることができ、且つダミー流路と個別流路との干渉を容易に避けることができる。さらには、共通液室が折り返す複雑な流路構造となっているため、共通液室内を流れる液体もこの流路に沿って折り返すように流れていく。このようにすると、個別流路側から共通液室内に圧力波が伝播してもこの圧力波を共通液室内で分散することができる。
【００１２】
前記複数のノズルが、単一の前記共通液室に対して２列配列され、一方の列をなすノズルに対応する前記個別流路が前記上流領域に連通し、他方の列をなすノズルに対応する前記個別流路が前記下流領域に連通していてもよい。このような構成によれば、２列間で互いに対向する隣接ノズルの個別流路を、上流領域と下流領域とに分けて配置することができる。このように隣接ノズルに対応する各個別流路が離れて配置されるため、隣接ノズル間でのクロストーク現象を抑えることができる。
【００１３】
前記流路ユニットは複数のプレート部材を積層してなり、前記上流領域及び前記下流領域が前記プレート部材の積層方向に離れて配置され、前記共通液室が、さらに、前記上流領域の前記先端部から前記積層方向に延在して前記下流領域に連通する連通孔を有していてもよい。このような構成によれば、共通液室を階層構造にした上で直列的な一方通行の流路とすることができる。
【００１４】
前記ノズル開口面を鉛直下側に向けた状態としたときに、前記下流領域が前記上流領域に対して鉛直上側に配置されていてもよい。このような構成によれば、ダミー流路が連通している下流領域側にエアを導きやすくなり、ダミー流路による排気性能が向上する。
【００１５】
前記ノズル開口面を鉛直下側に向けた状態としたときに、前記上流領域が前記下流領域に対して鉛直上側に配置され、前記液体導入流路が前記上流領域の端部から鉛直上側に向かって延在し、前記下流領域の末端部が、前記上流領域の鉛直下側にて、平面視で前記液体導入流路と重なる位置まで延在していてもよい。このような構成によれば、ノズル開口面のうち平面視で液体導入流路と重なる領域を利用してダミー流路の開口を配置することができ、ダミー流路の配置自由度が高くなる。さらには、複数のダミー流路を容易に形成することができる。
【００１６】
前記流路ユニットが前記複数のプレート部材の一部として、前記上流領域をなす第１マニホールド孔を有する第１マニホールドプレート部材と、前記下流領域をなす第２マニホールド孔を有する第２マニホールドプレート部材と、前記第１及び第２マニホールドプレート部材の間に介在して前記第１及び第２マニホールド孔を積層方向に仕切るとともに前記連通孔を有する仕切プレート部材とを有し、前記仕切プレート部材が、前記第１マニホールド孔を閉塞して前記上流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第１ダンパー壁と、前記第２マニホールド孔を閉塞して前記下流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第２ダンパー壁とを構成していてもよい。また、前記流路ユニットが前記複数のプレート部材の一部として、前記上流領域をなす第１マニホールド孔を有する第１マニホールドプレート部材と、前記下流領域をなす第２マニホールド孔を有する第２マニホールドプレート部材と、前記第１及び第２マニホールドプレート部材の間に介在して前記第１及び第２マニホールド孔を積層方向に仕切るとともに前記連通孔を有する仕切プレート部材と、前記第１マニホールドプレート部材に前記仕切プレート部材とは反対側から接する第１ダンパープレート部材と、前記第２マニホールドプレート部材に前記仕切プレート部材とは反対側から接する第２ダンパープレート部材とを有し、前記第１ダンパープレート部材が、前記第１マニホールド孔を閉塞して前記上流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第１ダンパー壁を構成し、前記第２ダンパープレート部材が、前記第２マニホールド孔を閉塞して前記下流領域内の圧力変動に応じて弾性変形可能な第２ダンパー壁を構成していてもよい。いずれの構成においても、共通液室がほぼ全体にわたってダンパー壁によって区画されることとなり、クロストーク現象を抑制することができる。
【００１７】
前記流路ユニットは複数のプレート部材を積層してなり、前記上流領域及び前記下流領域が、前記プレート部材の積層方向に関して同じ位置に並んで形成され、前記共通液室が、前記上流領域の先端部を前記下流領域に接続する折返し領域を有していてもよい。このような構成によれば、直列的な一方通行の流路構造となった共通液室を容易に実現可能となる。
【００１８】
また、本発明に係る液体吐出装置は、前述したような液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドのノズル開口面に離接する枠状のリップ部を有し、該リップ部を前記ノズル開口面に接触させて該リップ部内側に複数のノズル及びダミー流路の各開口を封止するキャップと、前記各開口が封止されている状態で前記リップ部の内側に負圧を印加する負圧印加手段とを備えることを特徴としており、前述した作用効果を奏する液体吐出装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、ダミー流路による排気性能が損なわれず、ダミー流路が個別流路と干渉するのを避けた上で、液体吐出ヘッドをノズル配列方向に小型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る液体吐出装置及び液体吐出ヘッドをインクジェットプリンタ及びインクジェットヘッドに適用した実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２１】
［インクジェットプリンタ］
図１は本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタ１の概要構成を平面視で示す模式図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、略水平の走査方向に延在する一対のガイドレール２，３を備え、これらガイドレール２，３にキャリッジ４が支持されている。ガイドレール３の各端部にはプーリ５，６が設けられ、これらプーリ５，６の間にはキャリッジ４に固定されたベルト７が巻き掛けられている。図示しない走査用のモータが駆動されると、プーリ５が回転してベルト７が周回し、これによりキャリッジ４がガイドレール２，３に沿って走査方向にスライドする。
【００２２】
インクジェットプリンタ１にはカートリッジ装着部８が設けられ、このカートリッジ装着部８には複数（例えば４つ等）のインクカートリッジ９が着脱自在に装着される。各インクカートリッジ９には互いに異なる色（例えばブラック、イエロー、シアン、マゼンタ等）のインクが貯留されている。インクカートリッジ９がカートリッジ装着部８に装着されると、インクカートリッジ９内のインクがインク供給チューブ１０を介してキャリッジ４に搭載されているインクジェットヘッド２０に供給可能となる。インクジェットヘッド２０は、インクカートリッジ９から供給されたインクを下向きに吐出可能に設置されている。つまり、インクジェットヘッド２０は、インクを吐出するための複数のノズル４８（図４参照）が開口するノズル開口面４９（図４参照）を有しているが、このノズル開口面４９を下側に向けた状態としてキャリッジ４に搭載されている。
【００２３】
インクジェットプリンタ１により実行される動作内容に従って、キャリッジ４の可動範囲を概ね走査方向一方側の印刷領域と、他方側のメンテナンス領域とに分けることができる。そのうち印刷領域の下方では、図示しない搬送機構によって被記録媒体たる用紙（図示せず）が走査方向と直交する略水平の搬送方向に搬送される。インクジェットプリンタ１は、キャリッジ４をこの印刷領域で往復させながらインクジェットヘッド２０よりインクを下向きに吐出し、吐出したインクを搬送中の用紙の適宜箇所に着弾させることにより、用紙に画像や文字を記録する印刷動作を実行することができる。
【００２４】
メンテナンス領域の下方では、ワイパー１２及びキャップ１３を備えたメンテナンスステーション１１が配設されている。ワイパー１２は、キャリッジ４がメンテナンス領域内で移動するときにインクジェットヘッド２０のノズル開口面４９（図４参照）に接触し、これによりノズル開口面４９に付着したインクを拭うワイピング動作が実行される。
【００２５】
キャップ１３はゴム等の弾性材から皿状に形成されて上側に開口するよう配置され、その上部には略矩形枠状に突出するリップ部１４が形成されている。キャップ１３は上下に昇降可能に設けられていて通常は下側で退避している。必要に応じて、キャリッジ４はインクジェットヘッド２０のノズル開口面４９（図４参照）がキャップ１３と上下に対向する位置で停止する。この状態でキャップ１３が上動すると、リップ部１４が下側からノズル開口面４９に密着してリップ部１４の内側にノズル４８（図４参照）の開口が封止される。リップ部１４の内側の空間には管１５を介してポンプ１６が接続されており、この封止の状態でポンプ１６が駆動されるとリップ部１４の内側の空間に負圧が印加される。この負圧の印加により、インクジェットヘッド２０内のインクがノズル周辺で乾燥したインク滓などとともに強制的に吸引され、また、インクジェットヘッド２０内に侵入したエアがインクとともに排出される。この動作はパージ動作とも呼ばれており、インクジェットプリンタ１は、これらワイピング動作やパージ動作を実行することによって印刷精度を維持又は回復可能になっている。
【００２６】
［インクジェットヘッド］
以下、インクジェットヘッドについて複数の実施形態を説明するが、各実施形態のインクジェットヘッドは前述したインクジェットプリンタ１にそれぞれ好適に適用される。前述したインクジェットプリンタ１はインクジェットヘッドを走査する方式として所謂シリアル方式を採用し、インクカートリッジからインクジェットヘッドにインクを供給する方式として所謂チューブ供給方式を採用しているが、各実施形態に係るインクジェットヘッドは他の方式を採用したプリンタにも適用可能である。
【００２７】
［第１実施形態］
図２は本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド２０の分解斜視図である。図２に示すように、インクジェットヘッド２０は、複数枚のプレートが積層された流路ユニット２１に圧電式のアクチュエータ２２を積層接着してなり、これら流路ユニット２１及びアクチュエータ２２はそれぞれ平面視で略矩形状に形成されている。
【００２８】
なお、以下の説明では、この略矩形をなす長辺の延在方向を「Ｘ方向」、短辺の延在方向でありＸ方向に直交する方向を「Ｙ方向」としている。また、インクは、プレートの積層体である流路ユニット２１の外面から直交する方向、言い換えるとＸ及びＹ方向に直交する方向となるプレート積層方向のうち一側に向けて吐出されるが、以下の説明では図１に例示したプリンタへの搭載状態に基づき、プレート積層方向を「上下方向」、インクの吐出方向を「下方」としている。
【００２９】
アクチュエータ２２は流路ユニット２１に対して上側から重ねて接合される。アクチュエータ２２の上面には表面電極２４が形成されており、外部機器との電気的接続を行うためのフレキシブルフラットケーブル２３が上側から重ねて接合される。このフレキシブルフラットケーブル２３の下面には端子（図示せず）が露出しており、接合時にこの端子がアクチュエータ２２の表面電極２４に電気的に導通される。
【００３０】
図２に示すように、流路ユニット２１はアクチュエータ２２よりも平面視での外形状が大きく、インクジェットヘッド２０は、流路ユニット２１にアクチュエータ２２を重ねたときに流路ユニット２１の上面のうちＸ方向一方側の領域を外部に露出させるように構成される。この露出領域にはＹ方向に並ぶ４個のインク流入口２５が形成されており、各インク流入口２５には、インクカートリッジ９（図１参照）の一つが接続される。流路ユニット２１の上面には各インク流入口２５を覆うフィルタ２６が設けられており、各インクカートリッジ９内のインクは、このフィルタ２６で濾過された後に対応するインク流入口２５に供給される。
【００３１】
各インク流入口２５は、流路ユニット２１内に形成されるインク流路４１（図３参照）を介し、流路ユニット２１の下面に開口する複数のノズル４８（図３参照）と連通している。Ｙ方向他方側の端部に配置されたインク流入口２５には２系統のインク流路が連通し、他のインク流入口２５の各々には１系統のインク流路が連通しており、この流路ユニット２１内には合計５系統のインク流路が形成されている。
【００３２】
流路ユニット２１の上面には多数の圧力室孔２７が形成されている。各圧力室孔２７は、Ｙ方向が長手方向となる矩形状に形成されており、アクチュエータ２２の下面で塞がれることによってインク流路４１（図３参照）の一部である圧力室４５（図３参照）を構成する。これら多数の圧力室孔２７はＸ方向に配列された複数の圧力室孔群２８を形成している。これら圧力室孔群２８はインク流路４１の各系統に対応し、ここでは５つの圧力室孔群２８が設けられている。各圧力室孔群２８は、複数の圧力室孔２７ＡがＸ方向に等間隔をおいて配列されてなる第１圧力室孔列２９と、この第１圧力室孔列２９に対してＹ方向他方側に近接して設けられ、複数の圧力室孔２７ＢがＸ方向に等間隔をおいて配列されてなる第２圧力室孔列３０とを有し、第１圧力室孔列２９を構成する圧力室孔２７Ａと第２圧力室孔列３０を構成する圧力室孔２７Ｂとは千鳥状に配列される。この「千鳥状に配列する」とは、一方の圧力室孔列を構成する圧力室孔のうちＸ方向に隣り合う２つの圧力室孔の各中心線Ａ１，Ａ１の間に、他方の圧力室孔列を構成する圧力室孔の中心線Ａ２を配置することであり、この「中心線」は、各圧力室孔列２９，３０の配列方向であるＸ方向に関する圧力室孔２７の中心線である。ここでは２つの圧力室孔列２９，３０の偏りのない千鳥配列を実現するため、上記各中心線Ａ１，Ａ１の中間を通る中心線Ａ１′が上記中心線Ａ２と一致するようにして各圧力室孔列２９，３０が設けられている。
【００３３】
図３は図２に示すインクジェットヘッド２０を組付状態としてIII−III線に沿って切断して示すインクジェットヘッド２０の部分縦断面図である。図３に示すように、流路ユニット２１は上から順に、圧力室プレート３１、第１接続流路プレート３２、第２接続流路プレート３３、第１マニホールドプレート３４、第１ダンパープレート３５、第２ダンパープレート３６、第２マニホールドプレート３７、カバープレート３８、及びノズルプレート３９を積層接着した構成となっている。ノズルプレート３９はポリイミド等の樹脂シートであり、それ以外の各プレート３１〜３８は４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）やステンレス等の金属板であり、各々５０〜１５０μｍ程度の肉厚を有している。
【００３４】
各プレート３１〜３９には、電解エッチング、レーザ加工、プラズマジェット加工等によって開口や凹部が形成されている。各プレート３１〜３９が積層されるとこれら開口や凹部が互いに連通し、流路ユニット２１には、インク流入口２５（図２参照）及びノズル４８を接続するインク流路４１が形成される。
【００３５】
前述したインク流入口２５（図２参照）及び多数の圧力室孔２７は、最上層の圧力室プレート３１に形成されている。そのうち各圧力室孔２７は、圧力室プレート３１を貫通して形成され、直下に配される第１接続流路プレート３２によってその下側開口が閉鎖され、流路ユニット２１に上側からアクチュエータ２２を重ねるとアクチュエータ２２の下面によりその上側開口が閉鎖される。これにより流路ユニット２１には、インク流路４１の一部をなす多数の圧力室４５が構成される。これら圧力室４５は、前述した多数の圧力室孔２７によって構成されるため、前述同様に千鳥状に配列されることとなる。なお、インク流路４１の他の要素（インク導入流路４２、共通インク室４３、接続流路４４、及びディセンダ４６）については後述する。
【００３６】
ノズル４８は最下層のノズルプレート３９に貫通形成されている。ノズルプレート３９の下面は、流路ユニット２１の下面であってインクジェットヘッド２０の下面となり、ノズル４８の下端が開口するノズル開口面４９をなしている。
【００３７】
図４は図３のIV−IV線に沿って示すインクジェットヘッド２０の底面図である。図４に示す多数のノズル４８は、各圧力室４５（図３参照）の略直下に個別対応して設けられている。つまり、これら多数のノズル４８はＸ方向に配列された５つのノズル群５０を形成し、各ノズル群５０は５系統のインク流路４１（図３参照）の夫々に対応する。各ノズル群５０は、複数のノズル４８ＡがＸ方向に等間隔をおいて配列されてなる第１ノズル列５１と、この第１ノズル列５１に対してＹ方向他方側に近接して設けられ、複数のノズル４８ＢがＸ方向に等間隔をおいて配列されてなる第２ノズル列５２とを有している。このように各インク流路４１に対して２列のノズル列５１，５２が設けられており、第１ノズル列５１を構成するノズル４８Ａと、第２ノズル列５２を構成するノズル４８Ｂとは前述同様に千鳥状に配列されている。この配列により各ノズル群５０が全体としてその解像度を向上させることができる。
【００３８】
図３に戻ると、アクチュエータ２２は、１枚の厚さが略３０μｍ程度のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる多数枚の圧電シート６１〜６６と、絶縁性を有するトップシート６７とが上下に積層接着された構成となっている。各圧電シート６１〜６６のうち下から数えて奇数番目の圧電シート６１，６３，６５の上面には、圧力室４５の全てに対応して連続配置された共通電極６８が印刷形成され、各圧電シート６１〜６６の下から数えて偶数番目の圧電シート６２，６４の上面には各圧力室４４に個別に対応して配置された複数の個別電極６９が印刷形成されている。共通電極６８は、圧電シート６１〜６６及びトップシート６７に設けられた中継配線（図示せず）を介して最上層のトップシート６７の上面に印刷形成された表面電極２４（図２参照）のうちの共通用表面電極２４ａ（図２参照）に電気的に導通されている。各個別電極６９も同様の中継配線（図示せず）を介して表面電極２４（図２参照）のうち個別用表面電極２４ｂ（図２参照）に電気的に導通されている。図２を参照すると、共通用表面電極２４ａはトップシート６７の上面においてＸ方向一方側の端部をＹ方向に延在している。複数の個別用表面電極２４ｂは圧力室孔２７と同様にして千鳥状に配列されている。
【００３９】
上記構成のインクジェットヘッド２０において、フレキシブルフラットケーブル２３（図２参照）を介してアクチュエータ２２の個別電極６９に選択的に電圧が印加されると、この個別電極６９と共通電極６８との間には電位差が生じ、これら電極６８，６９間に位置する圧電シート６１〜６６の活性部が分極方向（すなわち略積層方向）に歪み変形する。この活性部の変形により、電圧が印加された個別電極６９に対応する圧力室４５に圧力波が作用し、圧力が付与されたインクがノズル４８より下方に噴射される。
【００４０】
次に、図３乃至図６に基づいて各プレート３１〜３９とインク流路４１を詳細に説明する。５系統のインク流路４１のうちＹ方向他方側の端部に配置された系統のうちの１つを代表して説明するが、他の系統も同様の構成となっている。図５は図３と同様にして図２のV−V線に沿って切断して示すインクジェットヘッド２０の部分縦断面図、図６は図３乃至図５に示すVI−VI線に沿って切断して示すインクジェットヘッド２０の横断面図である。
【００４１】
図３乃至図６に示すインク流路４１は上流側から順に、インク導入流路４２（図４及び図６参照）、共通インク室４３（図３乃至図６参照）、接続流路４４（図３，図５及び図６参照）、前述した圧力室４５（図３及び図５参照）、及びディセンダ４６（図３及び図５参照）を有している。インク流路４１の各系統には、前述した第１及び第２ノズル列５１，５２（図４参照）をなす複数のノズル４８（図３乃至図５参照）が対応して設けられており、またインク導入流路４２及び共通インク室４３が単一のものとなっている。接続流路４４、圧力室４５及びディセンダ４６は、この単一の共通インク室４３から各ノズル４８にインクを供給する個別流路４７を構成し、個別流路４７は第１及び第２ノズル列５１，５２をなす複数のノズル４８に個別対応して設けられている。
【００４２】
図６を参照すると、インク導入流路４２は、圧力室プレート３１から第２接続流路プレート３３までの各プレートのＸ方向一方側の端部に形成された貫通孔３１ａ，３２ａ，３３ａが互いに上下に連通することにより構成される。圧力室プレート３１の貫通孔３１ａの上側開口がインク流入口２５を形成し、インク導入流路４２はこのインク流入口２５から下側へと延びている。圧力室プレート３１には上面に開口するインク流入口２５を覆うようにフィルタ２６が接着貼付されている。
【００４３】
共通インク室４３は、第２接続流路プレート３３からカバープレート３８までが積層されると構成され、インク導入流路４２から見てＹ方向他方側に延在する上流領域５３と、上流領域５３のＸ方向他方側の端部からＸ方向一方側に向かって折り返すようにしてＸ方向に延在する下流領域５４とを有している。また、この共通インク室４３が全体的に一方通行の折返し構造をなすよう、共通インク室４３は、上流領域５３と下流領域５４のＸ方向他方側の各端部を互いに接続する折返し領域５５を有している。
【００４４】
具体的には、第１マニホールドプレート３４にはＸ方向に延在する第１マニホールド孔３４ａが貫通形成され、第２マニホールドプレート３７にも同様の第２マニホールド孔３７ａが貫通形成されている。第１及び第２マニホールドプレート３４，３７の上下間に介在する第１及び第２ダンパープレート３５，３６には、Ｘ方向他方側の端部において連通孔３５ａ，３６ａが貫通形成されている。
【００４５】
上流領域５３は、第１マニホールド孔３４ａの上側開口が第２接続流路プレート３３によって閉鎖され、その下側開口が第１ダンパープレート３５によって閉鎖されることによって構成されている。第１マニホールド孔３４ａの上側開口は、Ｘ方向一方側の端部において第２接続流路プレート３３の貫通孔３３ａと連通しており、上流領域５３はＸ方向一方側の端部においてインク導入流路４２と連通する。また、下流領域５４は、第２マニホールド孔３７ａの上側開口が第２ダンパープレート３６によって閉鎖され、その下側開口がカバープレート３８によって閉鎖されることによって構成される。第１マニホールド孔３４ａの下側開口は、Ｘ方向他方側の端部において第１ダンパープレート３５の連通孔３５ａに連通しており、第２マニホールド孔３７ａの上側開口は、Ｘ方向他方側の端部において第２ダンパープレート３６の連通孔３６ａに連通している。第１及び第２ダンパープレート３５，３６の各連通孔３５ａ，３５ｂは、プレートの積層時に互いに上下に連通し、これら連通孔３５ａ，３６ａにより上流領域５３及び下流領域５４を互いに連通させる折返し領域５５が構成される。
【００４６】
上流領域５３と下流領域５４とは上下に互いに離れて配置され、折返し領域５５はこれら上流領域５３及び下流領域５４の上下間を延在している。また、第２マニホールド孔３７ａは第１マニホールド孔３４ａと同様にして形成されていることから、下流領域５４の末端部（Ｘ方向の一方側の端部）は、上流領域５３の下側においてインク導入流路４２と平面視で重なる位置まで延びている（図４及び図６参照）。
【００４７】
第１及び第２ダンパープレート３５，３６は上流領域５３及び下流領域５４を積層方向に仕切る仕切プレート４０として機能している。図３乃至図５を併せて参照すると、そのうち第１マニホールドプレート３４と接する第１ダンパープレート３５には、下面側をハーフエッチングして凹部３５ｂが形成されている。この凹部３５ｂは、連通孔３５ａの形成部位を除くと、平面視で第１マニホールド孔３５ａとほぼ重なる。第２マニホールドプレート３７と接する第２ダンパープレート３６にも上面側から同様の凹部３６ｂが形成されている。
【００４８】
第１及び第２ダンパープレート３５，３６が互いに積層されると互いの凹部３５ｂ，３６ｂの開口が閉鎖される。すると、上流領域５３を区画する底壁は第１ダンパープレート３５により構成されるが、この壁が凹部３５ｂの形成により薄肉となった第１ダンパー壁５７となる。同様にして、下流領域５４を区画する上壁は第２ダンパープレート３６の凹部３６ｂの形成により薄肉となった第２ダンパー壁５８となる。
【００４９】
図３に戻ると、インクを吐出すべくアクチュエータ２２が駆動して圧力室４５に圧力波が作用したときには、この圧力波が圧力室４５に対して上流側となる共通インク室４３に伝播する場合がある。これにより共通インク室４３の内圧が上昇することがあっても、各ダンパー壁５７，５８が弾性変形して圧力波を減衰することができる。このため、この圧力波の後退成分が共通インク室４３を介して他のノズルに対応する個別流路に伝播する現象である所謂クロストーク現象を抑制することができる。
【００５０】
また、本構成例においては、共通インク室４３が折返し領域５５を介して折り返し構造となっており、共通インク室４３内のインクは、上流領域５３の末端を区画する側壁に衝突するように流れ、さらに折返し領域５５へ導かれて下流領域５４へと折り返すよう流れていく。このようにすると、インクの吐出時に共通インク室４３内に圧力波が伝播しても、この圧力波を分散することができるようになる。
【００５１】
なお、図２のIII−III線、V−V線が表すとおり、図３には第１圧力室孔列２９をなす圧力室孔２７Ａの縦断面が示され、図５には第２圧力室孔列３０をなす圧力室孔２７Ｂの縦断面が示されている。以下では、図３に示すものと図５に示すものとを特に区別する場合には、図３に示す第１圧力室孔列２９により構成される圧力室を第１圧力室４５Ａ、これを含む個別流路を第１個別流路４７Ａ、これに繋がる接続流路及びディセンダを第１接続流路４４Ａ及び第１ディセンダ４６Ａと呼び、図５に示す第２圧力室孔列３０により構成される圧力室を第２圧力室４５Ｂ、以下同様にして第２個別流路４７Ｂ、第２接続流路４４Ｂ、第２ディセンダ４６Ｂとそれぞれ呼んで説明する。
【００５２】
図３に示す第１接続流路４４Ａは、第１接続流路プレート３２から第２マニホールドプレート３７までの各プレートに形成された孔３２ｃ，３３ｂ，３４ｂ，３５ｃ，３６ｃや凹溝３２ｂ，３７ｂが互いに連通してなり、図５に示す第２接続流路４４Ｂは、第１接続流路プレート３２から第１マニホールドプレート３４までの各プレートに形成された孔３２ｅ，３３ｃや凹溝３２ｄ，３４ｃが連通してなる。なお、図３及び図５の各凹溝３２ｂ，３２ｄ，３４ｃ，３７ｂはそれぞれハーフエッチングにより形成されている。
【００５３】
図３を参照すると、第２マニホールドプレート３７の上面には、第２マニホールド孔３７ａからＹ方向他方側に延びる凹溝３７ｂが開口している。第２接続流路プレート３３から第２ダンパープレート３６までの各プレートには互いに上下に連通する貫通孔３３ｂ，３４ｂ，３５ｃ，３６ｃが形成され、凹溝３７ｂは第２ダンパープレート３６の貫通孔３６ｃに連通している。第１接続流路プレート３２の下面にはＹ方向に延びる凹溝３２ｂが開口しており、この凹溝３２ｂは、Ｙ方向他方側の端部において第２接続流路プレート３３の貫通孔３３ｂと連通し、Ｙ方向一方側の端部において第１接続流路プレート３２に形成された貫通孔３２ｃと連通している。この貫通孔３２ｃは第１圧力室４４Ａを構成する圧力室孔２７Ａの下側開口に連通している。このように第１接続流路４４Ａは共通インク室４３の下流領域５４と第１圧力室４５Ａとを接続している。
【００５４】
図５を参照すると、第１マニホールドプレート３４の上面には第１マニホールド孔３４ａからＹ方向一方側に延びる凹溝３４ｃが開口している。第２接続流路プレート３３には貫通孔３３ｃが形成されており、第１マニホールドプレートの凹溝３４ｃの上側開口はＹ方向一方側の端部においてこの貫通孔３３ｃと連通している。第１接続流路プレート３２の下面にはＹ方向に延びる凹溝３２ｄが開口しており、この凹溝３２ｂは、Ｙ方向一方側の端部において第２接続流路プレート３３の貫通孔３３ｃと連通し、Ｙ方向他方側の端部において第１接続流路プレート３２に形成された貫通孔３２ｅと連通している。この貫通孔３２ｅは第２圧力室４４Ｂを構成する圧力室孔２７Ｂの下側開口に連通している。このように第２接続流路４４Ｂは共通インク室４３の上流領域５３と第２圧力室４５Ｂとを接続している。
【００５５】
また、図３に示す第１ディセンダ４６Ａは第１圧力室４４Ａと第１ノズル列５１をなすノズル４８Ａとを接続し、図５に示す第２ディセンダ４６Ｂは第２圧力室４４Ｂと第２ノズル列５２をなすノズル４８Ｂとを接続している。これらディセンダ４６はそれぞれ、第１接続流路プレート３２からカバープレート３８までの各プレートに形成された貫通孔３２ｆ，３３ｄ，３４ｄ，３５ｄ，３６ｄ，３７ｃ，３８ａが互いに上下に連通してなる。ディセンダ４６の上流端をなす第１接続流路プレート３２の貫通孔３２ａは圧力室孔２７の下側開口と連通し、ディセンダ４６の下流端をなすカバープレート３８の貫通孔３８ａはノズル４８の上側開口と連通している。ディセンダ４６は、圧力室４５を介して連通している接続流路４４とＹ方向に関して反対側に配置されている。
【００５６】
図６を参照すると、第１個別流路４７Ａの上流端は、下流領域５４をなす第２マニホールド孔３７ａの側面にＸ方向に配列された状態で開口し、第２個別流路４７Ｂの上流端は、上流領域５３をなす第１マニホールド孔３４ａの側面に同様にして開口している。例えばＸ方向一方側の末端に位置する第１個別流路４７Ａ１は、図４に示す第１ノズル列５１をなすノズル４８ＡのうちＸ方向一方側の末端に位置するノズル４８Ａ１に対応し、Ｘ方向一方側の末端に位置する第２個別流路４７Ｂ１は、図４に示す第２ノズル列５２をなすノズル４８ＢのうちＸ方向一方側の末端に位置するノズル４８Ｂ１に対応している。例示した２つのノズル４８Ａ１，４８Ｂ１は、千鳥配列により、Ｙ方向に分かれて配置されているもののＸ方向に関して互いに隣接した関係にある。
【００５７】
前述したように共通インク室４３は、それぞれノズル４８の配列方向であるＸ方向に延在する上流領域５３及び下流領域５４を有した折返し構造となっている。このため、Ｘ方向に隣接する２つのノズルへインクを送る個別流路４７を共通インク室４３に連通させるに際し、２つの個別流路４７（４７Ａ、４７B）の開口を、Ｘ方向に近接させつつも共通インク室４３の流路構造の観点からいえば互いに離れた箇所に配置することができる。
【００５８】
このため、これら隣接する２つのノズルのうち一方のノズルからインクを吐出するために該ノズルに対応する圧力室内のインクに圧力波を作用させた場合に、その後退成分が接続流路を介して共通インク室に伝播しても、これが他方のノズルに対応する個別流路に伝播しにくくなる。このように、本実施形態によれば、隣接した２つのノズルに対応する２つの個別流路をＸ方向に簡単に近接させることができるとともに、これら隣接するノズル間で生じうるクロストーク現象を効果的に抑制することができる。
【００５９】
図４及び図６に示すように、この流路ユニット２１のインク流路４１には、インク供給口２５を通じてインクとともにインク流路４１内に侵入したエアの排出性能を高めるため、個別流路４７とは独立した排気用のダミー流路５９が設けられている。ダミー流路５９は、共通インク室４３に連通し（図６参照）、ノズル開口面４９に開口している（図４参照）。本実施形態では２つのダミー流路５９が設けられている。
【００６０】
図７は図４及び図６のVII−VII線に沿って切断して示すインクジェットヘッド２０の部分縦断面図、図８は図４及び図６のVIII−VIII線に沿って切断して示すインクジェットヘッド２０の部分縦断面図である。以下では、２つのダミー流路を特に区別する場合、図７に示すものを第１ダミー流路５９Ａ、図８に示すものを第２ダミー流路５９Ｂと呼んで説明している。
【００６１】
図７を参照すると、第２マニホールドプレート３７には、第２マニホールド孔３７ａの側面から、第１ノズル列５１（図４参照）が配置されている側であるＹ方向一方側に延びる貫通孔３７ｄが形成されており、この貫通孔３７ｄのＹ方向一方側の端部には、カバープレート３８に形成された貫通孔３８ｂの上側開口が上下に連通しており、この貫通孔３８ｂの下側開口はノズルプレート３９に形成されたダミーノズル３９ａの上側開口に連通している。ダミーノズル３９ａの下端はノズル開口面４９に開口している。第１ダミー流路５９Ａは、これら貫通孔３７ｄ，３８ｂ及びダミーノズル３９ａが互いに連通してなり、共通インク室４３に対してＹ方向一方側に配置されている。
【００６２】
図８を参照すると、第２ダミー流路５７Ｂは、第１ダミー流路とＹ方向に関して対称に、第２ノズル列５２（図４参照）が配置されている側に配置されており、第２マニホールドプレート３７に形成された貫通孔３７ｅ、カバープレート３８に形成された貫通孔３８ｃ、及びノズルプレート３９に形成されたダミーノズル３９ｂが互いに連通してなる。
【００６３】
図６に示すように、第１及び第２ダミー流路５９Ａ，５８Ｂは何れも共通インク室４３の下流領域５４の末端部、すなわちＸ方向一方側の端部に連通している。前述したように、第２ノズル列５２（図４参照）をなすノズル４８Ｂ（図４参照）は、第１ノズル列５１（図４参照）をなすノズル４８Ａ（図４参照）に対してＸ方向一方側に配置されており、この第２ノズル列５２と同じ側に配置された第２ダミー流路５９Ｂは、第１ダミー流路５９Ａに対してＸ方向一方側に配置されている。このため、第１及び第２ダミー流路５９Ａ，５８Ｂにおいて下向きに延びる流路部分をＸ方向に傾斜させる必要がなく、各ダミー流路５９Ａ，５８Ｂの流路構造を簡単にすることができる。
【００６４】
図４に示すように、第１ダミー流路５９Ａは、２つのノズル列５１，５２のうちＹ方向一方側に配置された第１ノズル列５１に隣接して配置され、第２ダミー流路５９Ｂは、Ｙ方向他方側に配置された第２ノズル列５２に隣接して配置されている。第１ダミー流路５９Ａの開口は、第１ノズル列５１をなすノズル４８Ａのうち、Ｘ方向一方側の末端に位置するノズル４８Ａ１に対し、更にＸ方向一方側に配置されている。第２ダミー流路５９Ｂの開口は、第２ノズル列５２をなすノズル４８Ｂのうち、Ｘ方向一方側の末端に位置するノズル４８Ｂ１に対し、更にＸ方向一方側に配置されている。
【００６５】
この末端に位置するノズル４８Ａ１の開口と第１ダミー流路５９Ａの開口との間隔は、第１ノズル列５１をなすノズル４８Ａ同士の間隔とほぼ等しく、第１ダミー流路５９Ａの開口は、第１ノズル列５１をなすノズル４８ＡとともにＸ方向に配列された開口列を形成している。第２ダミー流路５９Ｂについても同様であり、その開口は、第２ノズル列５２をなすノズル４８ＢとともにＸ方向に配列された開口列を形成している。このように、ノズル開口面４９にはノズル４８と共にダミー流路５９Ａ，５８Ｂが開口しているため、流路ユニット２１を構成すべくプレートを積層接着する前段階においてノズルプレート３９には、ノズル４８と共にこれらダミーノズル３９ａ，３９ｂを形成するためのレーザ加工が施される。前述したように第１及び第２ダミー流路５９Ａ，５８Ｂの開口を、第１及び第２ノズル列５１，５２の開口とともに開口列をなすよう配置しているため、第１及び第２ダミー流路５９Ａ，５８Ｂの開口を形成するためだけにレーザの射出回数を増加させる必要がなく、流路ユニット２１の製造工程が複雑化するのを避けることができる。なお、この作用を奏するには、レーザの射出面積の範囲内であれば、必ずしもダミーノズルが前述したようにノズル列をなすノズルとともに開口列をなすよう配置されている必要はなく、ノズル列の列方向から僅かに外れて配置されていてもよい。
【００６６】
図４には、インクジェットヘッド２０を図１のインクジェットプリンタ１に搭載してパージ動作を実行する場合に、リップ部１４が密着する箇所が二点鎖線で示されている。パージ動作を適切に実行するには、リップ部１４が、ノズル４８及びダミー流路５９の全開口が配置される領域の外側であって、ノズル開口面４９の外形輪郭形状よりも内側に当接する必要がある。従来、図１７に示すように、ダミー流路９０６の開口がＸ方向他方側に配置されており、ノズル開口面９０２には、複数のノズル９０３のうちＸ方向他方側の末端に位置するノズル９０３ａから見てＸ方向他方側の領域に、ダミー流路９０６の開口を配置するためのスペースと、リップ部９１０を密着させるスペースとが確保されている。
【００６７】
本実施形態では、ダミー流路５９の開口がＸ方向一方側に配置されているため、ノズル開口面４９のＸ方向他方側の領域から、ダミー流路５９の開口を配置するためのスペースを省略可能となる。また、従来、図１７に示すように、ノズル開口面９０２においては、インク導入流路９０４の直下の領域がデッドスペースとなっており、元々ダミー流路９０６の開口を配置するだけのスペースが十分に確保されている。これは、従来の共通インク室９０５が、図１８に示すようにインク導入流路９０４から一方向へと延在するだけの構造であったことに起因する。また、圧力室プレート３１のインク導入流路９０４上にはフィルタを接着貼付させるために、インク導入流路９０４周辺には余肉面積が必要であり、ノズル開口面９０２のうちこの部分と平面視で重なる領域がデッドスペースと化していた。
【００６８】
従って、ダミー流路５９の開口の配置をインク導入流路４２が配置されたＸ方向一方側に転換するに際しては、ノズル開口面４９をＸ方向一方側に大型化する必要はなく、このデッドスペースを利用すればよい。そして、ノズル開口面４９に対するリップ部１４の密着箇所を、ダミー流路５９の開口を配置するためのスペース分だけ、Ｘ方向一方側に相対的に変位させるとよい。この結果として、ノズル開口面４９を、Ｘ方向他方側の領域に確保されていたダミー流路の配置スペース分だけ、ノズル４８の配列方向であるＸ方向に小型化することができるようになる。
【００６９】
また、インク供給口２５からインク流路４１内に侵入したエアは、共通インク室４３内をインクとともに下流側へと流れていく傾向にあり、下流領域５４の末端部に溜まりやすい。ダミー流路５９がこのような下流端部５４の末端部に連通しているため、ダミー流路５９による排気性能がよくなる。
【００７０】
そして、共通インク室４３はインク導入流路４２から見てＸ方向他方側に延在したのち再びＸ方向一方側へ向かって折り返すよう構成され、下流領域５４の末端部がＸ方向一方側に配置されている。このため、下流領域５４の末端部に連通するダミー流路５９をＸ方向一方側で開口させるにあたって、ダミー流路５９を斜めに延びるよう形成する等構造を複雑にする必要がなく、また、ダミー流路５９と個別流路４７との干渉を容易に避けることができる。
【００７１】
さらに、本実施形態では、上流領域５３が下流領域５４に対して上側に配置され、インク導入流路４２がこの上流領域５３に対して上側に延びている。このため、下流領域５４をインク導入流路４２と平面視で重なる位置まで延在させることができ、上記デッドスペースを有効活用したダミー流路５９の配置が容易になる。従って、ノズル開口面４９のＸ方向一方側に特別にスペースを確保することなく、複数のダミー流路５９を配置することもできる。このように複数のダミー流路５９を設けておけば、ある一つのダミー流路がインクの乾燥により目詰まりするような状況となっても、残りのダミー流路を利用してエアを排出可能な状況を保つことが可能となることから、パージ動作の信頼性が向上する。本実施形態によれば、この信頼性が向上したインクジェットヘッドをＸ方向に小型化した上で実現することができるようになる。
【００７２】
［第２実施形態］
図９は本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッド１２０の横断面図である。このインクジェットヘッド１２０は、第１実施形態に対して共通インク室の構造が相違している。以下では第１実施形態と同一の構成には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００７３】
図９に示すように、インクジェットヘッド１２０の流路ユニット１２１は上側から順に、圧力室プレート３１、第１接続流路プレート３２、第２接続流路プレート３３、第２マニホールドプレート１３７、第２ダンパープレート１３６、第１ダンパープレート１３５、第１マニホールドプレート１３４、カバープレート３８、及びノズルプレート３９を積層接着して構成されている。
【００７４】
流路ユニット１２１の内部にはインク流路１４１が形成されている。インク導入流路１４２は、圧力室プレート３１から第１ダンパープレート１３５までの各プレートに形成された貫通孔３１ａ，３２ａ，３３ａ，１３７ｆ，１３６ｅ，１３５ｅが互いに上下に連通してなり、インク供給口２５から下方に延びている。共通インク室１４３は、Ｘ方向他方側の端部の折返し領域１５５において、上下に互いに離れて配置された上流領域１５３及び下流領域１５４の間を接続した構成であり、全体として一方通行の折返し構造をなしている。下流領域１５４は上流領域１５３に対して上側に配置されている。
【００７５】
第１及び第２マニホールドプレート１３４，１３７には、Ｘ方向に延在する第１及び第２マニホールド孔１３４ａ，１３７ａが夫々貫通形成されているが、Ｘ方向一方側の端部の位置が互いに相違している。すなわち、第２マニホールド孔１３７ａにおいては、インク導入流路１４２を構成する貫通孔１３７ｆと干渉しないよう、当該端部が貫通孔１３７ｆに対してＸ方向他方側に位置しており、第１マニホールド孔１３４ａにおいては、当該端部がインク導入流路１４２を構成する貫通孔１３５ｅと平面視で重なる位置まで延在している。上流領域１５３は、第１マニホールド孔１３４ａの上側開口が第１ダンパープレート１３５によって閉鎖され、その下側開口がカバープレート１３８によって閉鎖されることによって構成される。第１マニホールド孔１３４ａの上側開口は第１ダンパープレート１３５の貫通孔１３５ｅと連通し、上流領域１５３はＸ方向一方側の端部においてインク導入流路１４２と連通する。下流領域１５４は、第２マニホールド孔１３７ａの上側開口が第２接続流路プレート３３によって閉鎖され、その下側開口が第２ダンパープレート１３６によって閉鎖されることによって構成されている。第１マニホールド孔１３４ａの上側開口はＸ方向他方側の端部において第１ダンパープレート１３５の連通孔１３５ａに連通し、第２マニホールド孔１３７ａの下側開口はＸ方向他方側の端部において第２ダンパープレート１３６の連通孔１３６ａに連通している。第１及び第２ダンパープレート１３５，１３６の各連通孔１３５ａ，１３５ｂはプレート積層時に互いに上下に連通し、これら連通孔１３５ａ，１３６ａにより上流領域１５３及び下流領域１５４を互いに連通させる折返し領域１５５が構成される。
【００７６】
第１及び第２ダンパープレート１３５，１３６は上流領域１５３及び下流領域１５４を積層方向に仕切る仕切プレート１４０として機能しており、第１実施形態と同様にこの仕切プレート１４０に薄肉で弾性変形可能な第１及び第２ダンパー壁１５７，１５８を集約的に配置している。第１ダンパープレート１３５には、上流領域１５３の上壁が第１ダンパー壁１５７を構成するよう上面側から凹部１３５ｂが形成され、第２ダンパープレート１３６には、下流領域１５４の底壁が薄肉の第２ダンパー壁１５８を構成するよう下面側から凹部１３６ｂが形成されている。
【００７７】
本実施形態では、第１及び第２ダンパープレート１３５，１３６にもインク導入流路１４２を構成する貫通孔１３５ｅ，１３６ｅが形成されているため、凹部１３５ｂ，１３６ｂのＸ方向一方側の端部は、これら貫通孔１３５ｅ，１３６ｅとの干渉を避けるため、これら貫通孔１３５ｅ，１３６ｅに対してＸ方向他方側に位置している。
【００７８】
本実施形態のノズル開口面は図４に示す第１実施形態とほぼ同様の構成であり、上流領域１５３には第１ノズル列５１（図４参照）をなすノズル４８Ａ（図４参照）に対応する第１個別流路１４７Ａが連通し、下流領域１５４には第２ノズル列５２（図４参照）をなすノズル４８Ｂ（図４参照）に対応する第２個別流路１４７Ｂが連通しており、第１実施形態と同様クロストーク現象の緩和が図られている。なお、第１及び第２個別流路１４７Ａ，１４７Ｂの断面形状は、図３及び図５に示す第１実施形態と概ね同様であるため、その詳細説明と図示を省略する。
【００７９】
図９に示すように、共通インク室１４３には２つのダミー流路１５９Ａ，１５９Ｂが連通している。なお、ダミー流路１５９Ａ，１５９Ｂの断面形状は、図７及び図８に示す第１実施形態に対し、仕切プレート１４０にもダミー流路用の貫通孔を形成する必要がある点を除けば概ね同様であるため、その詳細説明と図示を省略する。第１及び第２ダミー流路１５９Ａ，１５９Ｂは、Ｘ方向一方側に向かって延在する共通インク室１４３の下流領域１５４の末端部に連通しており、その開口は、第１実施形態と同様にして第１及び第２ノズル列５１，５２（図４参照）のそれぞれＸ方向一方側の末端に位置するノズル４８Ａ１，４８Ｂ１（図４参照）に対して更にＸ方向一方側に配置されている。このため、本実施形態においても、第１実施形態と同様、ダミー流路による排気性能を損なわずダミー流路と個別流路との干渉を避けやすい構成とした上で、ダミー流路を有したインクジェットヘッドをノズル配列方向に小型化することができる。
【００８０】
図６及び図９を参照すると、第１及び第２実施形態はいずれも、折返し構造の共通インク室の上流領域及び下流領域が上下に離れて配置され、インク導入流路が上流領域に対して上方に延び、排気用のダミー流路がエアの溜まりやすい下流領域の末端部に連通している。前述したように図６に示す第１実施形態では、上流領域５３の下側に配置した下流領域５４の末端部をインク導入流路４２の下側まで延在可能となり、ダミー流路５９の配置自由度が高くなる。他方、図９に示す第２実施形態では、下流領域１５３を上流領域１５４の上側に配置しているため、インクともに上流領域１５３を経て折返し領域１５５に達したエアが鉛直上側の下流領域１５４へと導かれやすくなり、ダミー流路１５９による排気性能が更に高くなる。このことは、第１実施形態を後述する第３実施形態と置き換えたり、第２実施形態を後述する第４実施形態と置き換えたりしても同様である。
【００８１】
また、第１及び第２実施形態はいずれも、上下に延びるインク導入流路の下端部に接続された共通インク室がノズル配列方向に沿って延びる上流領域と、インク導入流路側に向かって折り返すようにして延びる下流領域とを有し、これら領域が仕切プレートを介して上下に離れて配置され、この仕切プレートに各領域の上壁又は下壁を構成する薄肉の２つのダンパー壁を集約的に配置している。第１実施形態では、上流領域５３を下流領域５４の上側に配置したため、仕切プレート４０をインク導入流路４２の下側に配置することによってダンパー壁５７，５８をインク導入流路４２と干渉させずに共通インク室４３に沿って設けることができる。このため、共通インク室４３の流路長に対するダンパー壁５７，５８の面積が大きく確保され、共通インク室４３に伝播した圧力波の減衰効果が高くなる。
【００８２】
［第３実施形態］
図１０は本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド２２０の横断面図である。このインクジェットヘッド２２０は、第１実施形態に対してダンパー壁の配置が相違しており、ダミー流路及び接続流路の共通インク室に対する連通部位や、ノズル開口面上におけるダミー流路の開口とノズルの配置関係などは第１実施形態と同様である。以下では上記各実施形態と同一の構成には同一の符号を付してその詳細説明を省略する。
【００８３】
図１０に示すように、このインクジェットヘッド２２０の流路ユニット２２１は上側から順に、圧力室プレート３１、第１接続流路プレート３２、第２接続流路プレート３３、第１ダンパープレート２３５、第１マニホールドプレート３４、仕切プレート２４０、第２マニホールドプレート３７、第２ダンパープレート２３６、カバープレート３８、及びノズルプレート３９を積層接着して構成されている。
【００８４】
流路ユニット２２１の内部にはインク流路２４１が形成されている。インク導入流路２４２は、圧力室プレート３１から第１ダンパープレート２３５までの各プレートに形成された貫通孔３１ａ，３２ａ，３３ａ，２３５ｅが互いに上下に連通することにより構成され、インク供給口２５から下方に延びている。共通インク室２４３は、第１実施形態と同様、第１マニホールド孔３４ａの上下の開口を閉鎖してなる上流領域２５３と、第２マニホールド孔３７ａの上下の開口を閉鎖してなる下流領域２５４とを有し、上流領域２５３が下流領域２５４の上側に配置されている。上流領域２５３と下流領域２５４のＸ方向他方側の各端部を接続する折返し領域２５５は、第１及び第２マニホールドプレート３４，３７の上下間に介在する仕切プレート２４０に形成された連通孔２４０ａによって構成され、第１マニホールド孔３４ａの下側開口及び第２マニホールド孔３７ａの上側開口は、この仕切プレート１４０により夫々閉鎖されるとともに、連通孔２４０ａを介して互いに連通している。
【００８５】
第１マニホールド孔３４ａの上側開口は第１ダンパープレート２３５により閉鎖される。第１ダンパープレート２３５には上面側からハーフエッチングにより凹部２３５ａが形成され、このため第１ダンパープレート２３５によって構成される上流領域２５３の上壁が、薄肉で弾性変形可能な第１ダンパー壁２５７となる。同様に、第２マニホールド孔３７ａの下側開口を閉鎖する第２ダンパープレート２３６には下面側から凹部２３６ａが形成され、第２ダンパープレート２３６により構成される下流領域２５４の底壁が第２ダンパー壁２５８となる。凹部２３５ａ，２３６ａのＸ方向他方側の端部は、仕切プレート２４０に形成された連通孔２４０ａと平面視で重なる位置まで延在している。なお、本実施形態のノズル開口面は図４に示す第１実施形態とほぼ同様の構成であり、上流領域２５３には第１ノズル列５１（図４参照）をなすノズル４８Ａ（図４参照）に対応する第１個別流路２４７Ａが連通し、下流領域２５４には第２ノズル列５２（図４参照）をなすノズル４８Ｂ（図４参照）に対応する第２個別流路２４７Ｂが連通しており、第１実施形態と同様クロストーク現象の緩和が図られている。なお、第１及び第２個別流路２４７Ａ，２４７Ｂの断面形状は、図３及び図５に示す第１実施形態と概ね同様であるため、その詳細説明と図示を省略する。
【００８６】
図６及び図１０を参照すると、第１及び第３実施形態はいずれも、上下に離れて配置された共通インク室の上流領域及び下流領域の夫々に関してその上壁又は底壁を薄肉のダンパー壁としており、これにより共通インク室がほぼ全体にわたってダンパー壁で区画されるようにして圧力波の減衰効果をなるべく高くしている。図６に示す第１実施形態では、仕切プレート４０に本来の２つの領域を仕切る機能と２つのダンパー壁５７，５８を構成する機能とを併せ持たせているため、流路ユニット２１の構成に必要なプレートの枚数が少なくなる。他方、図１０に示す第３実施形態では、これら領域２５３，２５４を仕切る仕切プレート２４０側とは反対側にダンパー壁２５７，２５８を設けたため、仕切プレート２４０に形成される連通孔２４０ａと干渉させずにダンパー壁２５７，２５８を共通インク室２４３に沿って設けることができる。このため、共通インク室２４３の流路長に対するダンパー壁２５７，２５８の面積が大きく確保され、共通インク室２４３に伝播した圧力波の減衰効果がより高くなる。このことは、第１実施形態を第２実施形態と置き換えたり、第３実施形態を後述する第４実施形態と置き換えたりしても同様である。
【００８７】
［第４実施形態］
図１１は本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッド３４０の横断面図である。このインクジェットヘッド３４０は、第２実施形態の共通インク室の流路構造と第３実施形態のダンパー壁の配置とを組み合わせたものであり、ダミー流路や個別流路の共通インク室に対する連通部位や、ノズル開口面上におけるダミー流路の開口とノズルの配置関係などは第２実施形態と同様である。以下では、上記各実施形態と同一の構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００８８】
図１１に示すように、このインクジェットヘッド３４０は、流路ユニット３２１は上側から順に、圧力室プレート３１、第１接続流路プレート３２、第２接続流路プレート３３、第２ダンパープレート３３６、第２マニホールドプレート１３７、仕切プレート３４０、第１マニホールドプレート１３４、第１ダンパープレート３３５、カバープレート３８、及びノズルプレート３９を積層接着して構成されている。
【００８９】
流路ユニット３２１の内部にはインク流路３４１が形成されている。インク導入流路３４２は、圧力室プレート３１から仕切プレート３４０までの各プレートに形成された貫通孔３１ａ，３２ａ，３３ａ，３３６ｅ，１３７ｆ，３４０ｂが互いに上下に連通してなり、インク供給口２５から下方に延びている。共通インク室３４３は、第１マニホールド孔１３４ａの上下の開口が閉鎖されてなる上流領域３５３と、第２マニホールド孔１３７ａの上下の開口が閉鎖されてなる下流領域３５４とを有し、下流領域３５４が上流領域３５３に対して上側に配置されている。折返し領域３５５は仕切プレート３４０に形成された連通孔３４０ａにより構成され、上流領域３５３をなす第１マニホールド孔１３４ａの上側開口と下流領域３５４をなす第２マニホールド孔１３７ａとはこの連通孔３４０ａを介して互いに上下に連通している。なお、本実施形態のノズル開口面は図４に示す第１実施形態とほぼ同様の構成であり、上流領域３５３には第１ノズル列５１（図４参照）をなすノズル４８Ａ（図４参照）に対応する第１個別流路３４７Ａが連通し、下流領域３５４には第２ノズル列５２（図４参照）をなすノズル４８Ｂ（図４参照）に対応する第２個別流路３４７Ｂが連通しており、第１実施形態と同様クロストーク現象の緩和が図られている。なお、第１及び第２個別流路３４７Ａ，３４７Ｂの断面形状は、図３及び図５に示す第１実施形態と概ね同様であるため、その詳細説明と図示を省略する。
【００９０】
第１マニホールド孔１３４ａの下側開口は第１ダンパープレート３３５により閉鎖される。第１ダンパープレート３３５には下面側からハーフエッチングにより凹部３３５ａが形成され、このため第１ダンパープレート３３５によって構成される上流領域３５３の底壁が、薄肉で弾性変形可能な第１ダンパー壁３５７となる。同様に、第２マニホールド孔１３７ａの上側開口を閉鎖する第２ダンパープレート３３６には下面側から凹部３３６ａが形成され、第２ダンパープレート３３６により構成される下流領域３５４の上壁が第２ダンパー壁３５８となる。凹部３３５ａ，３３６ａのＸ方向他方側の端部は、仕切プレート３４０に形成された連通孔３４０ａと平面視で重なる位置まで延在している。
【００９１】
前述したとおり、本実施形態は、第２実施形態と同様の観点からダミー流路による排気性能がより高くなり、第３実施形態と同様の観点から圧力波の減衰効果がより高くなる。
【００９２】
さらに、本実施形態においては、第１及び第２ダンパー壁３５７，３５８を仕切プレート２４０に対して反対側に設けているとともに、上流領域３５３を下流領域３５４に対して鉛直下側に配置しており、これにより上流領域３５３に対応する第１ダンパー壁３５７が平面視でインク導入流路３４２と重なる位置まで延在している。従って、インク導入流路３４２からのインクが共通インク室３４３へと導入される時点において、そのインクの圧力波を第１ダンパー壁３５７によって吸収されやすい。また、そのようなインクが上流領域３５３に折り返されて流動していくため、圧力波が分散される効果もあり、インク導入流路３４２に近い側の第１個別流路３４７Ａに対する圧力変動が抑制されやすくなる。このように、インク導入時に発生し得る共通インク室３４３内の圧力変動の緩和に効果がある。
【００９３】
［第５実施形態］
図１２は本発明の第５実施形態に係るインクジェットヘッド４２０の底面図、図１３は図１２のXIII−XIII線に沿って切断して示すインクジェットヘッド４２０の部分縦断面図、図１４は図１２のXIV−XIV線に沿って切断して示すインクジェットヘッド４２０の部分縦断面図である。このインクジェットヘッド４２０は、第１乃至第４実施形態に対し、共通インク室の上流領域及び下流領域の配置関係が相違している。以下では上記実施形態と同一の構成については同一の符号を付してその詳細説明を省略する。
【００９４】
図１３及び図１４に示すように、流路ユニット４２１は上側から順に、圧力室プレート４３１、第１接続流路プレート４３２、第２接続流路プレート４３３、第１マニホールドプレート４３４、第２マニホールドプレート４３７、ダンパープレート４３５、カバープレート３８、及びノズルプレート３９を積層接着して構成されている。
【００９５】
図１２に示すように、本実施形態のノズル４８は、図４に示した第１実施形態と概ね同様に、Ｘ方向に配列された第１及び第２ノズル列５１，５２をなすようにしてノズル開口面４９に開口している。
【００９６】
図１２にはインク流路４４１の要素の一部としてインク導入流路４４２及び共通インク室４４３が平面視で投影されている。インク導入流路４４２は、第１実施形態と同様にして圧力室プレート４３１から第２接続流路プレート４３３までの各プレートに形成された貫通孔４３１ａ，４３２ａ，４３３ａが互いに上下に連通することによって構成されている（図１５，図１６参照）。
【００９７】
図１３及び図１４を参照すると、第１及び第２マニホールドプレート４３４，４３７には、略同一の形状の第１及び第２マニホールド孔４３４ａ，４３７ａが夫々貫通形成されており、共通インク室４４３は第１マニホールド孔４３４ａの上側開口が第２接続流路プレート３３により閉鎖され、第２マニホールド孔４３７ａの下側開口がダンパープレート４３５により閉鎖されることによって構成される。
【００９８】
図１２を参照すると、第１及び第２マニホールド孔４３４ａ，４３７ａは全体としてＵ字状に形成され、インク導入流路４２を構成する貫通孔４３３ａの直下からＸ方向他方側に延びる上流部４７０と、この上流部４７０のＹ方向一方側にこの上流部４７０と平行してＸ方向に延在する下流部４７１と、この上流部４７０と下流部４７１のＸ方向他方側の各端部を接続するよう平面視略円弧状に延びる折返し部４７２とを含んでいる。このため、共通インク室４４３もＵ字状の折返し構造をなすよう構成され、共通インク室４４３は、上流部４７０によって構成される上流領域４５３、折返し部４７２により構成される折返し領域４５５、及び下流部４７１によって構成される下流領域４５４を有している。
【００９９】
図１３及び図１４を参照すると、これら３つの領域は積層方向に関して互いに同じ位置に配置される（折返し領域４５５については図示略）。また、図１２を併せて参照すると、マニホールド孔４３４ａ，４３７ａの下流部４７１は、インク導入流路４２を構成する第２接続流路プレート３３の貫通孔４３３ａに対し、平面視でＹ方向にずれた位置に形成されている。
【０１００】
なお、図１３及び図１４に示すように、第２マニホールド孔４３７ａの下側開口はダンパープレート４３５により閉鎖されるが、このダンパープレート４３５には下面側からハーフエッチングにより凹部４３５ｂが形成されている。詳細図示を省略するが、この凹部４３５ｂは平面視でＵ字状をなしており、第１及び第２マニホールド孔４３４ａ，４３７ａと平面視で重なるように形成されている。このような凹部４３５ｂがカバープレート３８の上面で閉鎖されることにより、共通インク室４４３を区画する底壁は薄肉で弾性変形可能なダンパー壁４５７をなすこととなる。このように、本実施形態においては、ダンパー壁４５７が共通インク室４４３を区画する共通インク室４４３のほぼ全体にわたって設けられることとなるため、共通インク室４４３内に伝播した圧力室４５側からの圧力波の後退成分の減衰効果が高くなる。
【０１０１】
図１３に示す第１個別流路４４７Ａは共通インク室４４３の下流領域４５４に連通している。第１接続流路４４４Ａは、第１及び第２接続流路プレート４３２，４３３に形成された孔４３２ｃ，４３３ｂ及び凹溝４３２ｂが互いに連通して構成されており、下流領域４５４から上方に向けて延びた後、第１ノズル列５１をなすノズル４８Ａが配置されている側であるＹ方向一方側へと延び、さらに第１圧力室４５ＡのＹ方向一方側の端部に向かって上方へと延びている。第１圧力室４５Ａは、そのＹ方向一方側の端部に接続された第１ディセンダ４４６Ａを介し、ノズル４８Ａに接続されている。
【０１０２】
図１４に示す第２個別流路４４７Ｂは、共通インク室４４３の上流領域４５３に連通しており、第１個別流路４４７Ａと共通インク室４４３を基準にしてＹ方向に対称に配置されている。つまり、第２接続流路４４４Ｂは、第１及び第２接続流路プレート４３２，４３３に形成された孔４３２ｅ，４３３ｃ及び凹溝４３２ｄが互いに連通して構成されており、上流領域４５３から上方に向けて延びた後、第２ノズル列５１をなすノズル４８Ｂが配置されている側であるＹ方向他方側へと延び、さらに第２圧力室４５ＢのＹ方向一方側の端部に向かって上方へと延びている。第２圧力室４５Ｂは、そのＹ方向他方側の端部に接続された第２ディセンダ４４６Ｂを介し、ノズル４８Ｂに接続されている。
【０１０３】
図１２乃至図１４に示すように、第１及び第２ノズル列５１，５２はＹ方向に関して上流領域４５３及び下流領域４５４の間に配置されており、第１及び第２ディセンダ４５６Ａ，４５６Ｂはともにこの間の領域を上下に貫通するようにして形成されている。
【０１０４】
図１２に示すように、本実施形態においても２つのダミー流路４５９Ａ，４５９Ｂがノズル開口面４９に開口している。これらダミー流路４５９Ａ，４５９Ｂの開口は、第１及び第２ノズル列５１，５２のＸ方向一方側の末端に位置するノズル４８Ａ１，４８Ｂ１に対して更にＸ方向一方側に配置され、第１及び第２ノズル列をなすノズルとともにＸ方向に配列された開口列を形成している。これにより、第１実施形態と同様にして流路ユニット４２１の製造工程が複雑化するのを避けることができるが、必ずしもダミーノズルが前述したようにノズル列をなすノズルとともに開口列をなすよう配置されている必要はなく、ノズル列の列方向から僅かに外れて配置されていてもよい。
【０１０５】
図１５は図１２のXV−XV線に沿って切断して示すインクジェットヘッド４２０の部分縦断面図、図１６は図１２のXVI−XVI線に沿って切断して示すインクジェットヘッド４２０の部分縦断面図である。このXV−XV線，XVI−XVI線が表すとおり、図１５には第１ノズル列とともに開口列をなすよう配置された第１ダミー流路の縦断面形状が示され、図１６には第２ノズル列とともに開口列を成すよう配置された第２ダミー流路の縦断面形状が示されている。
【０１０６】
図１５を参照すると、第１ダミー流路４５９Ａは、第１マニホールドプレート４３４からノズルプレート３９までの各プレートに形成された貫通孔４３４ｅ，４３７ｄ，４３５ｅ，３８ｂやダミーノズル３９ａが互いに連通することによって構成され、共通インク室４４３の下流領域４５４の末端部に連通している。具体的には、第１マニホールドプレート４３４には、第１マニホールド孔４３４ａの下流部４７１からＹ方向一方側に延びる貫通孔４３４ｅが形成されており、この貫通孔４３４ｅの下側開口はＹ方向一方側の端部において、第２マニホールドプレート４３７からカバープレート３８までの各プレートに形成されて互いに上下に連通する貫通孔４３７ｄ，４３５ｅ，３８ｂに連通している。カバープレート３８の貫通孔３８ｂの下側開口は、ノズルプレート３９に形成されたダミーノズル３９ａの上側に開口している。
【０１０７】
図１６を参照すると、第２ダミー流路４５９Ｂも同様にして構成されて共通インク室４４３の下流領域４５４の末端部に連通している。第２ダミー流路４５９Ｂは第２ノズル列５２に対応して配置されることから、第２ダミー流路４５９Ｂのダミーノズル３９ｂは、第１ダミー流路４５９のダミーノズル３９ａに比べてＹ方向他方側に配置されている。従って、第１マニホールドプレート４３４に形成される貫通孔についても、第２ダミー流路４５９Ｂを構成するための貫通孔４３７ｅは、第１ダミー流路４５９Ａを構成するための貫通孔４３７ｄに比べてＹ方向への寸法が短くなっている。
【０１０８】
図１２に戻ると、本実施形態においても、共通インク室４４３がインク導入流路４４２から見てＸ方向他方側に延在する上流領域４５３と、この上流領域４５３の先端部からインク導入流路４４２が配置されている側であるＸ方向一方側に向かって折り返して延在する下流領域４５４とを有している。ダミー流路４５９Ａ，４５９Ｂはこの下流領域４５４の末端部に連通しており、第１及び第２ノズル列５１，５２に対してインク導入流路４４２が配置されている側であるＸ方向一方側に配置されている。このため、第１乃至第４実施形態と同様にして、リップ部１４のノズル開口面４９に対する密着箇所を、Ｘ方向一方側にダミー流路４５９Ａ，４５９Ｂを配置するために確保したスペース分だけ、Ｘ方向一方側に相対的に変位させれば、パージ動作を適切に実行可能となる。このようにして、ダミー流路による排気性能を損なわずダミー流路と個別流路との干渉を避けた上で、ダミー流路を有したインクジェットヘッドをＸ方向に小型化することができるようになる。
【０１０９】
図６，図９乃至図１２を参照すると、第１乃至第５実施形態はいずれも、共通インク室がインク導入流路からノズル配列方向に沿って延びる上流領域と、上流領域の先端部からインク導入流路側に向かって折り返すよう延びる下流領域とを有しており、この構造とダミー流路のレイアウトの特徴とに基づきノズル配列方向（Ｘ方向）に小型化可能なヘッドを実現している。図６，図９乃至図１１に示す第１乃至第４実施形態では、上流領域及び下流領域が上下に離れて平面視で重なるように配置されているため、流路ユニットをノズル配列方向と直交する方向（Ｙ方向）への大型化を抑えることができる。他方、図１２に示す第５実施形態では、上流領域及び下流領域が積層方向（上下方向）に関して同じ位置に配置されているため、流路ユニットの構成に必要なプレートの枚数が少なくなり、積層方向への大型化を抑えることができる。また、第１乃至第４実施形態の折返し領域は、第５実施形態と比較して流路断面積を容易に大きくすることができるとともにその流路長を短くすることができる。このため、第１乃至第４実施形態では共通インク室内のインクの流れがスムーズとなる。
【０１１０】
これまで、本発明に係る実施形態について説明したが、上記実施形態の構成は本発明の範囲内において適宜変更可能である。
【０１１１】
例えば、第１ノズル列に対応する接続流路が上流領域に連通し、第２ノズル列に対応する接続流路が下流領域に連通している場合を例示したが、逆であってもよい。また、単一の共通インク室に対応して２つのノズル列を配列する構成を例示したが、単一の共通インク室に対応して１列又は３列以上のノズル列が配列されていてもよい。
【０１１２】
また、ダミー流路の構造は一例を示しているに過ぎず、本発明の範囲内、すなわち共通インク室の下流領域の末端部に連通しておりノズル開口面においてインク導入流路側で開口していれば、どのような流路構造となっていてもよい。例えば、個別流路と全く同じ構造であってもよいし、パージ動作による排気効率を上げるためにインクを吐出するノズルへのインク流路よりも流路抵抗を低くするように構成されていてもよい。さらに個別流路と同じ構造ではなくてもアクチュエータと接着される圧力室プレートに形成された孔によってダミー流路の一部が構成されるようにしてもよい。このような場合には、ダミー流路内のインクにも圧力波を作用させることができるよう、ダミー流路に対応する個別電極をアクチュエータに設けてダミー流路内のインクをノズル開口面より吐出可能としてもよい。また、単一の共通インク室に対して２つのダミーノズルを配置する場合を例示したが、ダミーノズルの個数は１つまたは３つ以上であってもよい。
【０１１３】
流路ユニットを構成するプレートの枚数は適宜変更可能である。例えば第１乃至第４実施形態の第１マニホールドプレートは共通インク室の上流領域をなす第１マニホールド孔が形成されたプレート部材であるが、このプレート部材を２枚以上のプレート群に替えてもよい。第５実施形態の第１及び第２マニホールドプレートは、互いに上下に連通してともに共通インク室をなすマニホールド孔が形成されたプレート部材であるが、このプレート部材を１枚のプレートに替えてもよく、３枚以上のプレート群に替えてもよい。また、本実施形態では、流路ユニットが複数枚のプレートを積層してなる積層型流路ユニットであるが、本発明の範囲内であれば一体的に形成されているなどしても適用できる。  リップ部１４の平面視形状を矩形枠状として、パージ動作時に全てのノズルの開口が同一の空間内に封止される構成を例示したが、染料インクを噴射するノズルの開口と、顔料インクを噴射するノズルの開口とで別々の空間に封止されるよう、リップ部の平面視形状を日の字状に形成してもよい。このように形成しても、リップ部１４のサイズが大きくなる方向はノズル列の並ぶ方向（Ｙ方向）であるため、本発明が奏するノズル配列方向（Ｘ方向）に関するヘッドの小型化を阻害することはない。
【０１１４】
上記各実施形態は本発明をインクジェットプリンタ及びこれを備えたインクジェットヘッドに適用したものであるが、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置や、導電液を吐出して電気配線を形成する装置などに使用する液体吐出装置及びこれに搭載される液体吐出ヘッドにも好適に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
このように本発明は、ダミー流路による排気性能を損なわずにダミー流路と個別流路との干渉を避けやすい構成とした上で、液体吐出ヘッドをノズル配列方向に小型化可能となるという優れた作用効果を奏するものであり、インクジェットヘッド及びこれを備えたインクジェットプリンタ等に適用すると有益である。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明に係る液体吐出装置の一例として示すインクジェットプリンタの概要構成を示す平面視模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例として示すインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】図２に示すインクジェットヘッドを組付状態として図２のIII−III線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図４】図３のIV−IV線に沿って示すインクジェットヘッドの底面図である。
【図５】図２に示すインクジェットヘッドを組付状態として図２のV−V線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図６】図３乃至図５のVI−VI線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの横断面図である。
【図７】図６のVII−VII線に沿って示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図８】図６のVIII−VIII線に沿って示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例として示すインクジェットヘッドの横断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例として示すインクジェットヘッドの横断面図である。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例として示すインクジェットヘッドの横断面図である。
【図１２】本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例として示すインクジェットヘッドの流路ユニットの底面図である。
【図１３】図１２のXIII−XIII線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図１４】図１２のXIV−XIV線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図１５】図１２のXV−XV線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図１６】図１２のXVI−XVI線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。
【図１７】従来のインクジェットヘッドの底面図である。
【図１８】図１７のXVIII−XVIII線に沿って切断して示す従来のインクジェットヘッドの横断面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１  インクジェットプリンタ（液体吐出装置）
１３  キャップ
１４  リップ部
１６  ポンプ（負圧印加手段）
２０，１２０，２２０，３２０，４２０  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
２１，１２１，２２１，３２１，４２１  流路ユニット
３４，１３４，４３４  第１マニホールドプレート（第１マニホールドプレート部材）
３５，１３５，２３５，３３５  第１ダンパープレート（第１ダンパープレート部材）
３６，１３６，２３６，３３６  第２ダンパープレート（第２ダンパープレート部材）
３７，１３７，４４７  第２マニホールドプレート（第２マニホールドプレート部材）
４０，２４０  仕切プレート（仕切プレート部材）
４２，１４２，２４２，３４２  インク導入流路（液体導入流路）
４３，１４３，２４３，３４３，４４３  共通インク室（共通液室）
４７，４４７  個別流路
４８  ノズル
４９  ノズル開口面
５１，４５１  第１ノズル列
５２，４５２  第２ノズル列
５３，１５３，２５３，３５３，４５３  上流領域
５４，１５４，２５４，３５４，４５４  下流領域
５５，１５５，２５５，３５５，４５５  折返し領域
５７，１５７，２５７，３５７  第１ダンパー壁
５８，１５７，２５７，３５７  第２ダンパー壁
５９，４５９  ダミー流路
４３５  ダンパープレート
４５７  ダンパー壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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