(57)【要約】 【課題】窒化ホウ素粉末の評価方法を提供すること。【解決手段】平均一次粒子径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下であり、拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークを有する窒化ホウ素粉末を良品として選別する。前記吸収ピークは、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基を示す吸収ピークである。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒化ホウ素粉末の平均一次粒径ｄ５０を測定するとともに、拡散反射赤外分光測定により窒化ホウ素粉末の吸収ピークを測定する測定工程と、
前記測定工程における測定結果が以下の（Ａ）、（Ｂ）を満たす窒化ホウ素粉末を、良品と評価する一方、
前記測定工程における測定結果が以下の（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくともいずれか一方の条件を満たさない窒化ホウ素粉末を、不良品であると評価する評価工程とを有する窒化ホウ素粉末の評価方法。
（Ａ）３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを有する
（Ｂ）平均一次粒径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下
【請求項２】
請求項１に記載の窒化ホウ素粉末の評価方法において、
前記測定工程は、拡散反射赤外分光測定により少なくとも３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲および、３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲において、窒化ホウ素粉末を測定する工程を含み、
前記評価工程では、前記（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品として評価された前記窒化ホウ素粉末のうち、前記測定工程における測定結果が以下の（Ｃ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別する工程を含む評価方法。
（Ｃ）拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークである第一の吸収ピークと、拡散反射赤外分光測定により３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲に検出される第二の吸収ピークとの強度の比（第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度）が０．２以上、３以下
【請求項３】
請求項１または２に記載の窒化ホウ素粉末の評価方法において、
前記測定工程は、前記窒化ホウ素粉末の酸素濃度を測定する工程を含み、
前記評価工程では、前記（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品として評価された前記窒化ホウ素粉末のうち、前記測定工程における測定結果が以下の（Ｄ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別する工程を含む評価方法。
（Ｄ）酸素濃度が、１重量％以下
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の窒化ホウ素粉末の評価方法において、
前記測定工程は、粒子径／厚みで示されるアスペクト比を測定する工程を含み、
前記評価工程では、前記（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品として評価された前記窒化ホウ素粉末のうち、前記測定工程における測定結果が以下の（Ｅ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別する工程を含む評価方法。
（Ｅ）前記アスペクト比が３０以下
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の窒化ホウ素粉末の評価方法において、
評価対象となる窒化ホウ素粉末は、六方晶の窒化ホウ素粉末、乱層構造の窒化ホウ素粉末、あるいは両者を混合した窒化ホウ素粉末である窒化ホウ素粉末の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化ホウ素粉末の評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ｈ−ＢＮ粉末（六方晶窒化ホウ素粉末）、ｔ−ＢＮ粉末（乱層構造窒化ホウ素粉末、turbostratic-BN）は低圧型窒化ホウ素であり、黒鉛と同様に層状構造をしており、熱伝導性、電気絶縁性、化学安定性、潤滑性、耐熱性等に優れている。近年、電子材料分野において、このｈ−ＢＮ粉末、ｔ−ＢＮ粉末の耐熱性、熱伝導性、電気絶縁性に優れた特性を活かし、ｈ−ＢＮ粉末、ｔ−ＢＮ粉末は、放熱用シート等に使用されつつある。
放熱用シートを製造する際には、これらの窒化ホウ素粉末を、ワニス等に分散させ、これをシート状に成形する。
ここで、ワニス等において窒化ホウ素粉末の分散性が悪い場合には、シート表面の平滑性が得られないばかりか、所望の熱伝導性を発揮できない等の問題が発生する。これは、窒化ホウ素粉末が凝集し、シート表面に凹凸が形成され、この凹凸内に空気層が残るため、熱伝導性が悪化するものと考えられる。
そこで、特許文献１では、粉砕等の方法により粒子径を調整し分散性の良い窒化ホウ素粉末を得る方法が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−０６７５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
放熱用シート等の熱伝導性を要求される製品を製造するにあたり、熱伝導性の高い製品を確実に製造することが求められる。そのため、放熱用シート等を製造する際に、使用する窒化ホウ素粉末が、分散性が良好な窒化ホウ素粉末か、分散性が良好でない窒化ホウ素粉末かを評価する必要がある。
【０００５】
本発明は、窒化ホウ素粉末の分散性を評価する評価方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らが鋭意検討を行った結果、分散性が良好である窒化ホウ素粉末には、以下の特徴（Ａ）（Ｂ）があることを見出した。
（Ａ）拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークを有する
（Ｂ）平均一次粒子径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下である
【０００７】
まず、（Ａ）について説明する。
拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークは、ＯＨ基由来のピークであると考えられる。ＯＨ基由来の波数が、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲にあること、また、窒化ホウ素粉末を熱処理しても、この吸収ピークは消失しないことから、Ｂ原子に共有結合したＯＨ基であると考えられる。
このＯＨ基の存在により、窒化ホウ素粉末は、有機溶媒、特に極性溶媒に分散しやすくなる。また、ＯＨ基を有することにより、このＯＨ基に対し、たとえば、シランカップリング剤等のカップリング剤を結合させることができる。これにより、より有機溶媒中に窒化ホウ素粉末を分散させやすくなる。
【０００８】
次に、（Ｂ）について説明する。
窒化ホウ素粉末の平均一次粒子径が０．２μｍ以上の場合には、粒子径が適度な大きさとなり、粒子同士が凝集して二次粒子となってしまうことを防止できる。そのため、一次粒子としての分散性を高めることができる。なお、粒子が凝集して、二次粒子を形成した場合には、粒子間に空気が入ってしまうため、熱伝導性が低下する。
一方で、窒化ホウ素粉末の平均一次粒子径が４μｍ以下である場合には、粒子全体の面積に対するＯＨ基の割合が小さくなりすぎず、窒化ホウ素粉末の分散性が良好となる。前述したＯＨ基は、窒化ホウ素の粒子の端面（Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した略六角網面構造の層（平板状の層）の積層方向に直交する側の面）に存在するＢ原子に共有結合される。そのため、粒径が大きい場合には、粒子全体の面積に対するＯＨ基の割合が小さくなってしまう。平均一次粒子径が４μｍ以下の窒化ホウ素粉末は、粒子全体の面積に対するＯＨ基の割合が小さくなりすぎず、分散性が良好となる。
【０００９】
本発明は、以上のような知見に基づいてなされたものである。
すなわち、本発明によれば、窒化ホウ素粉末の平均一次粒径ｄ５０を測定するとともに、拡散反射赤外分光測定により窒化ホウ素粉末の吸収ピークを測定する測定工程と、前記測定工程における測定結果が以下の（Ａ）、（Ｂ）を満たす窒化ホウ素粉末を、良品と評価する一方、前記測定工程における測定結果が以下の（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくともいずれか一方の条件を満たさない窒化ホウ素粉末を、不良品であると評価する評価工程とを有する窒化ホウ素粉末の評価方法が提供される。
（Ａ）３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを有する
（Ｂ）平均一次粒径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下
【００１０】
このような評価方法によれば、窒化ホウ素粉末の分散性を確実に評価でき、良品と不良品とを評価することができる。
【００１１】
さらに、本発明では、前記測定工程は、拡散反射赤外分光測定により少なくとも３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲および、３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲において、窒化ホウ素粉末を測定する工程を含み、前記評価工程では、前記（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品として評価された前記窒化ホウ素粉末のうち、前記測定工程における測定結果が以下の（Ｃ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別する工程を含むことが好ましい。
（Ｃ）拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークである第一の吸収ピークと、拡散反射赤外分光測定により３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲に検出される第二の吸収ピークとの強度の比（第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度）が０．２以上、３以下
【００１２】
ここで、第二の吸収ピークは、ホウ素原子に共有結合したＮＨ２基に由来するピークである。
第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度、すなわち、ＯＨ基のピーク強度／ＮＨ２基のピーク強度が０．２以上である窒化ホウ素粉末は、ＯＨ基を多く有するものとなり、より、分散性の優れたものとなる。従って、第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度の評価を行うことで、より分散性に優れた窒化ホウ素粉末であると評価することが可能となる。
【００１３】
さらに、本発明では、前記測定工程は、前記窒化ホウ素粉末の酸素濃度を測定する工程を含み、前記評価工程では、前記（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品として評価された前記窒化ホウ素粉末のうち、前記測定工程における測定結果が以下の（Ｄ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別する工程を含むことが好ましい。
（Ｄ）酸素濃度が１重量％以下
【００１４】
（Ｄ）の条件を満たす窒化ホウ素粉末は純度が高いものとなる。純度の高い窒化ホウ素粉末を放熱シート等に使用することで、放熱性を高めることができるため、放熱性を高めることができる窒化ホウ素粉末を選別することが可能となる。
【００１５】
また、前記測定工程は、粒子径／厚みで示されるアスペクト比を測定する工程を含み、前記評価工程では、前記（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品として評価された前記窒化ホウ素粉末のうち、前記測定工程における測定結果が以下の（Ｅ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別する工程を含むことが好ましい。
（Ｅ）前記アスペクト比が３０以下
【００１６】
ＯＨ基は、窒化ホウ素の粒子の端面（Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した平板状の層の積層方向に直交する側の面）に存在するＢ原子に共有結合される。
粒子のアスペクト比が、３０以下の場合には、相対的に窒化ホウ素粉末の粒子の端面の面積が大きくなる。これにより、窒化ホウ素の粒子の端面に存在するＢ原子が多くなり、これに共有結合するＯＨ基も多くなる。
ＯＨ基の量が増えることで、よりいっそう窒化ホウ素の分散性が良好となるので、より分散性に優れた窒化ホウ素粉末であると評価することが可能となる。
【００１７】
評価対象となる窒化ホウ素粉末は、六方晶の窒化ホウ素粉末、乱層構造の窒化ホウ素粉末、あるいは両者を混合した窒化ホウ素粉末であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、分散性に優れた窒化ホウ素粉末を評価することができる評価方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態の窒化ホウ素粉末の評価方法の概要について説明する。
本実施形態の窒化ホウ素粉末の評価方法は、窒化ホウ素粉末の平均一次粒径ｄ５０を測定するとともに、拡散反射赤外分光測定により窒化ホウ素粉末の吸収ピークを測定する測定工程と、
前記測定工程における測定結果が以下の（Ａ）、（Ｂ）を満たす窒化ホウ素粉末を、良品と評価する一方、
前記測定工程における測定結果が以下の（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくともいずれか一方の条件を満たさない窒化ホウ素粉末を、不良品であると評価する評価工程とを含む。
（Ａ）３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを有する
（Ｂ）平均一次粒径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下
【００２０】
次に、図８を参照して、本実施形態の窒化ホウ素粉末の評価方法について詳細に説明する。
本実施形態の窒化ホウ素粉末の評価方法は、前述した測定工程と、評価工程とを含む。
【００２１】
なお、本実施形態にて、評価対象となる窒化ホウ素粉末は、六方晶あるいは、乱層構造の窒化ホウ素粉末、または、前述した六方晶の窒化ホウ素粉末と、乱層構造の窒化ホウ素粉末との混合粉末である。
六方晶の窒化ホウ素は、いわゆるｈ−ＢＮと呼ばれるものであり、グラファイトと類似の構造で、Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した六角網面構造の層が規則性を有して積層した結晶構造である。
一方、乱層構造の窒化ホウ素は、ｔ−ＢＮと呼ばれるものであり、六角網面構造の層の間の面方位のズレや積層形態に規則性がなくなったものである。
【００２２】
（工程Ｓ１）
この工程では、窒化ホウ素粉末の平均一次粒径ｄ５０を測定するとともに、拡散反射赤外分光測定により窒化ホウ素粉末の吸収ピークを測定する。
窒化ホウ素粉末の平均一次粒径ｄ５０は、次のようにして計測できる。
遠心式粒度分布測定装置を用いて、水中に窒化ホウ素粉末を１分間超音波処理することにより分散させ、測定を行い、ｄ５０を算出する。なお、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により、一次粒子径になっていることを確認できる。
また、拡散反射赤外分光測定では、たとえば、２０００〜４０００ｃｍ−１の範囲で、窒化ホウ素粉末の吸収ピークを測定する。
【００２３】
（工程Ｓ２）
この工程では、窒化ホウ素粉末の評価を行う。
工程Ｓ１における測定結果が以下の（Ａ）および（Ｂ）のうち少なくともいずれか一方の条件を満たさない窒化ホウ素粉末を、不良品であると評価する。また、（Ａ）および（Ｂ）を満たすものを良品であると評価する。
（Ａ）３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを有する
（Ｂ）平均一次粒径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下
【００２４】
ここで、（Ａ）の評価を行う理由は以下の通りである。
拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピーク（第一の吸収ピーク）は、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基であると同定される。
これは、以下の理由に基づくものである。
ＯＨ基由来の波数が、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲にある。また、窒化ホウ素の原料として、Ｏ原子がホウ素に結合したものを使用し（たとえば、硼砂、硼酸）、Ｏ原子がＮ原子に結合したものを使用しないことからも、ホウ素にＯＨ基が共有結合していると考えられる。
また、この第一の吸収ピークは、窒化ホウ素粉末を熱処理しても、消失することがない。たとえば、窒化ホウ素粉末を３００℃、１０分間熱処理した後でも、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される。この点からも、ホウ素にＯＨ基が共有結合していると考えられる。
また、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲と吸収ピークの検出範囲に多少幅を持たせているのは、窒化ホウ素粉末の粒径等により、ホウ素原子と、ＯＨ基との共有結合の強度が変化し、これが、吸収ピークの検出位置に影響を及ぼすためである。
ここで、窒化ホウ素のＯＨ基は、主として、窒化ホウ素の粒子の端面（Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した略六角網面構造の層（平板状の層）の積層方向に直交する側の面）に存在するＢ原子に共有結合される（図１参照）。なお、図１では、六方晶の窒化ホウ素を示し、白丸がＢ原子、黒丸がＮ原子を示す。
このＯＨ基の存在により、本実施形態の窒化ホウ素粉末は、有機溶媒、特に極性溶媒に分散しやすくなる。また、ＯＨ基を有することにより、このＯＨ基に対し、たとえば、シランカップリング剤等のカップリング剤を結合させることができる。これにより、より有機溶媒中に窒化ホウ素粉末を分散させやすくなる。
従って、（Ａ）の評価を行うことで、分散性が良好な窒化ホウ素粉末であるかどうかを判別することができる。
【００２５】
また、（Ｂ）の評価を行う理由は以下の通りである。
平均一次粒子径ｄ５０が０．２μｍ未満である場合には、粒子が凝集しやすくなり、二次粒子となりやすい。二次粒子となった場合には、容易に解砕できず、一次粒子とすることは困難である。二次粒子の塊には、内部に空気が介在することとなる。この空気層が、窒化ホウ素粉末を樹脂等と複合化し、シート等とした場合に熱伝導率を低下させる原因となる。
一方、平均一次粒子径ｄ５０を、４μｍを超えるものとした場合には、粒子全体の面積に対するＯＨ基の割合が小さくなり、窒化ホウ素粉末の分散性が低下する。前述したように、窒化ホウ素のＯＨ基は、主として、窒化ホウ素の粒子の端面（Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した略六角網面構造の層の積層方向に直交する側の面）に存在するＢ原子に共有結合される（図１参照）。そのため、粒子径が大きくなれば、なるほど粒子全体の面積に対するＯＨ基の割合が小さくなる。そのため、窒化ホウ素粉末の分散性が低下するのである。
従って、窒化ホウ素粉末の平均一次粒子径ｄ５０が、０．２μｍ以上、４μｍ以下であれば、より分散性の高い窒化ホウ素粉末であると評価できる。
なお、窒化ホウ素粉末は、粒子の凝集性、さらには、結晶性の観点から、平均一次粒子径ｄ５０が、０．３μｍ以上であることが好ましく、さらには、０．５μｍ以上であることがより好ましい。結晶性が低下すると、窒化ホウ素自体の熱伝導性が悪化する可能性がある。
また、窒化ホウ素粉末は、分散性の観点から、平均一次粒子径ｄ５０が、２μｍ以下であることが好ましい。
【００２６】
（工程Ｓ３）
次に、工程Ｓ２にて、（Ａ）、（Ｂ）を満たし、良品と評価された窒化ホウ素粉末をさらに選別するために、以下の測定Ｓ３−１〜Ｓ３−３を行う。
（１）拡散反射赤外分光測定により少なくとも３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲および、３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲において、窒化ホウ素粉末を測定する（工程Ｓ３−１）。
（２）窒化ホウ素粉末の酸素濃度を測定する（工程Ｓ３−２）。
（３）粒子径／厚みで示されるアスペクト比を測定する（工程Ｓ３−３）
工程Ｓ３−１〜Ｓ３−３を実施する順番は特に限定されない。
【００２７】
（工程Ｓ３−１）
はじめに工程Ｓ３−１について説明する。
この工程では、拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲および、３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲の計測を行い、拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークである第一の吸収ピークと、拡散反射赤外分光測定により３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲に検出される第二の吸収ピークとの強度の比（第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度）を算出する。
【００２８】
（工程Ｓ３−２）
この工程では、窒化ホウ素粉末の酸素濃度を測定する。
酸素濃度は、ＬＥＣＯ社  型番ＴＣ４３６の酸素窒素同時分析装置を用いて全酸素量の測定を行うことができる。
サンプル粉をスズ製のカプセルおよびニッケル製のカプセルの２重のカプセル中に入れつぶした後、黒鉛坩堝に入れて、装置にセットする。標準測定にて、試料中の全酸素量を計測する。
【００２９】
（工程Ｓ３−３）
この工程では、粒子径／厚みで示されるアスペクト比を測定する。アスペクト比は、以下のようにして計測することができる。
窒化ホウ素粉末を、適量のIPA（イソプロピルアルコール）に浸し、試料台に載せ、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）にて写真撮影する。写真上の実測長をサンプルの長手方向の長さ（０００１面の長さ（粒径に相当））を５０個測定し、平均値を求め、平均長さDとする。次に、倍率を変えて厚み方向の長さを同様にランダムに選択し、５０個測定し、平均値を平均厚さｔとする。
この比Ｄ／ｔをアスペクト比とする。
【００３０】
（工程Ｓ４）
この工程では、工程Ｓ３にて測定した測定結果の評価を行い、窒化ホウ素粉末の選別を行う。
具体的には工程Ｓ３−１での測定結果が、
（Ｃ）拡散反射赤外分光測定により３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に検出される吸収ピークである第一の吸収ピークと、拡散反射赤外分光測定により３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲に検出される第二の吸収ピークとの強度の比（第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度）が０．２以上、３以下
を満たす場合、良品として選別する。
なお、（第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度）が０．５以上のものを良品としてさらに選別してもよい。
（Ｃ）の評価を行う理由は以下の通りである。
第二の吸収ピークとは、ホウ素原子に共有結合したＮＨ２基由来するピークである。（第一の吸収ピーク強度／第二の吸収ピーク強度）が０．２以上、３以下である場合には、窒化ホウ素粉末は、ＯＨ基を多く有するものとなり、より、分散性の優れたものとなる。
なお、ＮＨ２基も、主として、窒化ホウ素の粒子の端面（Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した略六角網面構造の層の積層方向に直交する側の面）に存在するＢ原子に共有結合される（図１参照）。
【００３１】
また、工程Ｓ３−２での測定結果が以下の（Ｄ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別してもよい。
（Ｄ）酸素濃度が１重量％以下
（Ｄ）の評価を行う理由は以下の通りである。
酸素濃度が１重量％以下である窒化ホウ素粉末は純度が高いものとなり、純度の高い窒化ホウ素粉末を放熱シート等に使用することで、放熱性を高めることができる。
なお、酸素濃度の下限値は、特に限定されないが、製造方法、原料純度等の関係から０．１重量％以上となることが好ましい。
【００３２】
また、工程Ｓ３−３での測定結果が以下の（Ｅ）を満たす窒化ホウ素粉末を良品としてさらに選別してもよい。
（Ｅ）アスペクト比（図２に示す粒子径（Ｄ）／厚み（ｔ）で示されるアスペクト比）が３０以下
さらに、アスペクト比が２０以下であるものを良品としてさらに選別してもよく、また、アスペクト比が２以上であり、３０以下（あるいは２０以下）であるものを選別してもよい。
ＯＨ基は、前述したように主として、窒化ホウ素の粒子の端面（Ｂ原子とＮ原子が交互に結合した略六角網面構造の層の積層方向に直交する側の面）に存在するＢ原子に共有結合される。
粒子のアスペクト比が、３０以下、なかでも、２０以下の場合には、窒化ホウ素粉末の粒子の端面の面積が大きくなる。これにより、窒化ホウ素の粒子の端面に存在するＢ原子が多くなり、これに共有結合するＯＨ基も多くなる。ＯＨ基の量が増えることで、よりいっそう窒化ホウ素の分散性が良好なものとなる。
また、粒子のアスペクト比が２以上であれば、六方晶、あるいは、乱層構造での窒化ホウ素の製造が一般の設備で製造できるため、生産性が良好であると評価することができる。
【００３３】
ここで、工程Ｓ４にて、選別を行う際には、たとえば、（Ａ）〜（Ｅ）のすべてを満たす窒化ホウ素粉末をランクＡ（最上級品）とし、（Ａ）、（Ｂ）を見たし、（Ｃ）〜（Ｅ）のうち、いずれか２つを満たすものをランクＢとし、（Ａ）、（Ｂ）を見たし、（Ｃ）〜（Ｅ）のうち、いずれか１つを満たすものをランクＣとして選別することができる。さらに、（Ａ）、（Ｂ）の２つのみを満たすものをランクＤとしてもよい。
【００３４】
なお、本実施形態では、上述した工程Ｓ３の各測定工程に加えて、窒化ホウ素粉末が単分散であるかどうか測定を行い、単分散であるものを良品としてさらに選別してもよい。
窒化ホウ素粉末が単分散である場合には、例えば粒径の小さい粒子による凝集の発生を抑制でき、また、薄いシートなどに用いられる際に粒子による凹凸、表面粗さなどの発生を低減できる。
さらに、上述した工程Ｓ３の各測定工程に加えて、窒化ホウ素粉末の比表面積を測定し、評価してもよい。たとえば、窒化ホウ素粉末の比表面積が５〜５０m2/ｇである場合に、良品としてさらに選別してもよい。比表面積が５０m2/ｇより大きい場合には、実質的に１次粒子径が小さくなり、凝集体を形成する可能性がある。一方、比表面積が５m2/ｇより小さい場合には、ＯＨ基、ＮＨ２などの末端の官能基の割合が少なくなり、分散性が低下する可能性がある。
【００３５】
以上のような窒化ホウ素粉末の評価方法は、窒化ホウ素粉末の製造に利用することができる。
たとえば、以下のような製造方法により、窒化ホウ素粉末を製造する。
窒化ホウ素粉末の原料には、硼酸、硼砂、メラミンの３種類を用いる。これらの原料を均一に混合し下記する条件下で焼成し、洗浄によって不純物を除去し、機械的に1次粒子まで分散することによって、本実施形態の窒化ホウ素粉末を得ることが出来る。
【００３６】
硼酸、硼砂は市販される工業用のもので、純度は９９％以上のもので良い。また性状は顆粒、粉体とあるが、均一に混合するには粉体のほうが適している。
Ｎａには、比較的低温で焼成しても窒化ホウ素の結晶の成長を促す効果があり、これを含む化合物のうち、比較的取り扱いが容易な、Ｎａ２ＳＯ４、ＮａＣｌ、硼砂(Ｎａ２ＢＯ4Ｏ7・１０Ｈ2Ｏ)等が使用可能であるが、副生物による影響を考慮すると、硼砂が好ましい。
【００３７】
メラミンも市販される工業用の粉体のもので、純度は９９％以上のもので良い。
【００３８】
これら原料の硼酸と硼砂の配合割合は、Ｎａ／Ｂの原子比で０．０２〜０．３になるように配合することが好ましく、更に好ましくは０．０４〜０．２５、特に好ましくは０．１〜０．２の範囲が好適である。
【００３９】
Ｎａ／Ｂの原子の比が０．０２未満では、窒化ホウ素の０００１面及び端面の結晶成長が乏しく、窒化ホウ素の特性である熱伝導率が低下する場合があるので好ましくない。また０．３を超えると、収率が著しく低下してしまい、また結晶成長への効果も横這いとなる場合があることから好ましくない。
【００４０】
硼酸、硼砂中のＢとメラミン中のNの割合は、Ｎ／Ｂの原子比で１．５〜４に配合することが好ましく、更に好ましくは１．７〜３．５、特に好ましくは２〜３の範囲が好適である。
Ｎ／Ｂの原子比が１．５未満の場合、収率が著しく低下することがあるので好ましくない。一方、Ｎ／Ｂの原子比が４以下であると、メラミン中のＣ分の炭化を抑制できる。すなわち、メラミンの量が多い（Ｎが多い）ことによって、ＢＮの上部が白色でかたまり、下部に残分のメラミンの炭化物が残ることを抑制できる。これにより、白色の窒化ホウ素粉末に黒色粉末が混在するのを防止できる。
【００４１】
上記の配合により均一に混合された原料は、焼成することによって窒化ホウ素となる
焼成温度は、１１００〜１６００℃が好ましく、更に好ましくは１１５０〜１５００℃であり、特に好ましくは１２００〜１３５０℃の範囲が好適である。
焼成温度が１１００℃未満では、結晶化が不十分であり、酸素濃度が増加する。また、結晶粒が小さく、二次凝集化し、実質的な粒子径が大きくなり、一般的な解砕方法では、容易に一次粒子に解砕できず、実質的に大きい粒となり、ワニス、溶媒、樹脂等との分散性が低下する。また、窒化ホウ素の特性である熱伝導率が低下するため好ましくない。一方で、焼成温度が１６００℃を超えると結晶粒径が大きくなり、分散性が低下することから好ましくない。
また、１５００℃以下とした場合には、結晶のＯＨ基の減少を抑制し、窒化ホウ素粉末の分散性の低下を防止することができる。
【００４２】
焼成方法を行う際に、たとえば、焼成時の炉内の雰囲気が大気下である場合は、蓋付きの黒鉛坩堝に原料を入れて焼成を行う。
焼成時において、室温から４００℃に至るまでの温度範囲で、混合した原料が、硼酸メラミンに形態を変え、更に高温に成るに従い、ＢＮを形成していく。
従って、この間の昇温速度は、５０〜３００℃／ｈが好ましく、更に好ましくは５０〜２００℃である。
昇温速度が５０℃／ｈ以下では、製造時間が必要以上にかかり、高コストとなるので好ましくない。また、３００℃／ｈ以上では、硼酸メラミンと成る前に、メラミンが昇華してしまいＢＮの収率が低下してしまう。
原料中のＮ／Ｂの原子比、焼成における昇温速度、焼成温度、焼成雰囲気等の種々の条件を適宜調整することで、本実施形態の窒化ホウ素粉末を得ることができる。
【００４３】
焼成後は、窒化ホウ素の他にB2O3、NaBO2等とともに、塊となっている。
これを粗砕し、水、希塩酸、希硫酸等で洗浄濾過を行って、不純物を取り除き、乾燥を行う。更に、ハンマーミル、ボールミル、湿式／乾式ジェットミル、等を用いて解砕し、凝集物のほとんど無い窒化ホウ素粉末を得る。
このようにして得た窒化ホウ素粉末を上述した評価方法にて評価を行い、良品と、不良品とに選別する。
【００４４】
その後、良品と選別された窒化ホウ素粉末を使用して、シートを成形する。シートを成形する際には、上述したランクＡ〜Ｄの窒化ホウ素粉末のうち、どのランクの窒化ホウ素粉末を使用するかは、シートに求められる熱伝導性に依存する。
ランクＡの窒化ホウ素粉末のみを使用してもよく、また、ランクＡ〜Ｄのすべての窒化ホウ素粉末を使用しても良い。
【００４５】
シートの成形は、バッチ処理もしくは連続工程で行われる。
ここでは、ポリアミド酸ワニスを用いた例をあげて、シートの成形方法を述べる。
窒化ホウ素粉末を規定量秤量後、ポリアミド酸ワニスに加えミキサーにて混練し、ワニス中に窒化ホウ素粉末を十分攪拌させる。
本実施形態の窒化ホウ素粉末を用いることにより、分散性の良好な溶液が得れるが、さらに、窒化ホウ素粉末に、シランカップリング剤を加えることにより、より高分散性が得られることは言うまでも無い。
ワニスに用いる溶媒は、Ｎ−メチルピロリドン、N-Nジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、他、ワニスに適する有機溶媒を用いることができる。
このワニスをポリイミドフィルム上にコータを用いて、塗工した後、防爆型乾燥炉にて、溶媒を乾燥させる。その後、さらにキュアする温度まで上昇し、閉環反応によるイミド化と残溶媒の除去を行う。
塗工装置は、通常の塗工機を用いることができる。
【００４６】
次に、ポリイミドフィルムからシートを取り出して、シートを得る。
溶液のキャスト時の厚さ、窒化ホウ素粉末の充填量、ワニスの希釈割合、粘度調整などでシート厚みは所望に制御できるが、シートの厚さをさらに厚くしたい場合には、このシートを積層して用いてもよい。
特に、熱可塑性のポリイミドを用いることにより、重ねて一体化してシートを得ることができる。
前記ポリイミド上に作製したシートを、ポリイミドフィルム側を外にして、重ね、ポリイミドが流動する温度以上に加熱した後、熱プレスにてプレス成形し、そのまま冷却して、一体化したシートを得ることができる。
この操作を繰り返すことで、所望の厚さのシートを得ることができる。
このようにして得られた窒化ホウ素粉末が分散された前記シートは、熱伝導性の高いものとなる。
これは、分散性が良好な窒化ホウ素粉末を使用しているため、シート表面に凹凸が形成されにくく、熱伝導性が良好となるものと考えられる。
【００４７】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変更、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、工程Ｓ３−１〜工程Ｓ３−３を実施したが、工程Ｓ３−１〜３−３のうち、いずれか２つの工程を実施してもよく、また、いずれか１つの工程のみを実施してもよい。
このようにしても、熱伝導性の高いシートを成形できる窒化ホウ素粉末を評価することができる。
さらには、工程Ｓ３−１〜３−３すべてを実施しなくてもよい。このようにすることで、評価工程を簡略化することができる。
また、前記実施形態では、六方晶の窒化ホウ素粉末、乱層構造の窒化ホウ素粉末の評価を行うとした。これは、製造安定性、製造性の観点からは、六方晶の窒化ホウ素粉末が好ましく、分散性の観点からは、乱層構造の窒化ホウ素粉末が好ましいからである。
しかしながら、あらかじめ、結晶構造が不明である窒化ホウ素粉末の評価を行う場合には、窒化ホウ素粉末の結晶構造の測定および評価を行ってもよい。たとえば、窒化ホウ素粉末の結晶構造が、六方晶あるいは乱層構造であるものを良品として選別してもよい。
【００４８】
さらに、前記実施形態では、（Ａ）、（Ｂ）を満たす窒化ホウ素粉末に対し、工程Ｓ３−１〜３−３を実施していたが、評価対象となる全ての窒化ホウ素粉末に対し、工程Ｓ１、工程Ｓ３−１〜３−３を実施した後、評価をおこなってもよい。
【実施例】
【００４９】
次に、本発明の実施例について説明する。なお、以下の各実施例では、六方晶の窒化ホウ素粉末が得られている。
（実施例１）
硼酸１４８ｇと硼砂３０ｇ、メラミン１２６ｇを混合し、その成分中のNa／Bの原子比＝０．１、N／Bの原子比＝２とした。これを蓋付き黒鉛坩堝に入れ、電気炉を用い大気下で、１００℃／ｈで昇温し、１２５０℃で３時間保持して焼成した。
室温まで冷却後、ハンマーミルで粗砕し、その全量を３Ｌの市水で洗浄濾過を行った。濾過後のケーキを１％塩酸で洗浄濾過し、濾液pHが６になるまで、市水洗浄し、１３０℃で乾燥した。乾燥後の窒化ホウ素の重量は６３ｇで、Ｂベースでの収率は８５％であった。得られた窒化ホウ素を、乾式ジェットミルで分散化し、窒化ホウ素粉末を得た。
この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表１に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表１の通りである。
さらに、拡散反射赤外分光測定による吸収ピークのチャートを図３に示す。図３において、Ａで示した点線の範囲内にある吸収ピーク（図面下方に突出したピーク）は、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基のピーク（第一の吸収ピーク）である。また、図３において、Ｂで示した点線の範囲内にある吸収ピーク（図面下方に突出したピーク）は、ホウ素原子に共有結合したＮＨ２基のピーク（第二の吸収ピーク）である。
【００５０】
（実施例２）
硼酸１６５ｇと硼砂１５ｇ、メラミン１２６ｇを混合し、その成分中のNa／Bの原子比＝０．０５、N／Bの原子比＝２とした。これを蓋付き黒鉛坩堝に入れ、電気炉を用い大気下で、１００℃／ｈで昇温し、１４００℃で３時間保持して焼成した。
焼成することで得られた窒化ホウ素を室温まで冷却後、ハンマーミルで粗砕し、実施例１と同様の方法で洗浄及び乾燥した。乾燥後の重量は６１ｇで、Ｂベースでの収率は８３％であった。
これを、乾式ジェットミルで分散化し、窒化ホウ素粉末を得た。
この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表１に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表１の通りである。
【００５１】
（実施例３）
硼酸１５８ｇと硼砂２１ｇ、メラミン１２６ｇを混合し、その成分中のNa／Bの原子比＝０．０７、N／Bの原子比＝２とした。これを蓋付きＢＮ坩堝に入れ、電気炉を用い大気下で、１００℃／ｈで昇温し、１２５０℃で３時間保持して焼成した。
室温まで冷却後、ハンマーミルで粗砕し、実施例１と同様の方法で洗浄及び乾燥した。乾燥後の重量は６５ｇで、Ｂベースでの収率は８８％であった。
これを、乾式ジェットミルで分散化し、窒化ホウ素粉末を得た。
この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表１に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表１の通りである。
【００５２】
（実施例４）
硼酸１７５ｇと硼砂７ｇ、メラミン１２６ｇを混合し、その成分中のNa／Bの原子比＝０．０２３、N／Bの原子比＝２とした。これを蓋付き黒鉛坩堝に入れ、電気炉を用い大気下で、１００℃／ｈで昇温し、１２５０℃で２時間保持して焼成した。
室温まで冷却後、ハンマーミルで粗砕し、実施例１と同様の方法で洗浄及び乾燥した。乾燥後の重量は６７ｇで、Ｂベースでの収率は９１％であった。
これを、乾式ジェットミルで分散化し、窒化ホウ素粉末を得た。
この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比、平均一次粒子径は表１に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表１の通りである。
【００５３】
（実施例５）
焼成温度を１４００℃とした以外は、実施例１と同様の方法で行ない、窒化ホウ素粉末を得た。（乾燥後の重量は６２ｇ、Ｂベースでの収率は８４％）
この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表１に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表１の通りである。さらに、拡散反射赤外分光測定による吸収ピークのチャートを図４に示す。図４において、Ａで示した点線の範囲内にある吸収ピーク（図面下方に突出したピーク）は、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基のピークである。また、図４において、Ｂで示した点線の範囲内にある吸収ピーク（図面下方に突出したピーク）は、ホウ素原子に共有結合したＮＨ２基のピークである。
【００５４】
（実施例６）
焼成温度を１０５０℃とした以外は、実施例１と同様の方法で行ない、窒化ホウ素粉末を得た。
この窒化ホウ素粉末は、二次粒子として凝集していた。そのため、後述する測定方法では、一次粒子としての平均粒経を算出することは不可能であった。なお、ＳＥＭにより、粒子を観察して、一次粒子径を求めたところ、粒子径は０．１μｍ程度であった。
また、本実施例の窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）は表２に記す通りであった。さらに、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表２の通りである。
【００５５】
（実施例７）
焼成温度を１７００℃で4時間の保持時間とした以外は実施例１と同様の方法で行い、窒化ホウ素粉末を得た。
この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表２に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、ＯＨ基の吸収ピーク強度／ＮＨ２基の吸収ピーク強度、分散性は、表２の通りである。
【００５６】
（実施例８）
ここでは、電気化学工業社製の商品名デンカボロンナイトライドHGPの窒化ホウ素粉末について、実施例１と同様の評価を行った。この窒化ホウ素粉末の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表２に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、分散性は、表２の通りである。さらに、拡散反射赤外分光測定による吸収ピークのチャートを図５に示す。図５では、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基の吸収ピークは見られない。なお、図５中、Ｃで示す点線で囲んだ部分は、窒化ホウ素に吸着した吸着水に基づくピークである。窒化ホウ素粉末を真空中においたり、また、加熱した場合には、この吸収ピークが消失していることからも、窒化ホウ素に吸着した吸着水に基づくピークであることがわかる。
【００５７】
（実施例９）
H.C.Starck社製  商品名A05の窒化ホウ素粉末について、実施例１と同様の評価を行った。この窒化ホウ素の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表２に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、分散性は、表２の通りである。さらに、拡散反射赤外分光測定による吸収ピークのチャートを図６に示す。図６では、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基の吸収ピークは見られない。
【００５８】
（実施例１０）
昭和電工社製  商品名UHP1の窒化ホウ素粉末について、実施例１と同様の評価を行った。この窒化ホウ素の酸素濃度、アスペクト比（D／ｔ）、平均一次粒子径は表２に記す通りであった。また、この窒化ホウ素粉末のＯＨ基の吸収ピークの有無、分散性は、表２の通りである。さらに、拡散反射赤外分光測定による吸収ピークのチャートを図７に示す。図７では、ホウ素原子に共有結合したＯＨ基の吸収ピークは見られない。
【００５９】
（参考例１〜５）
実施例１で作製した窒化ホウ素粉末を用い、表３に示すような窒化ホウ素粉末の含有量のシートを作製した。
シートの成形方法は以下のようである。
ポリアミド酸ワニスとして用いたポリアミド酸溶液は、４，４’−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニルと３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸ニ無水物とを１：０．９８の割合でN-Nジメチルアセトアミドの溶媒中で室温にて縮重合して得られたものである。このポリアミド酸ワニスの樹脂分を１８ｗｔ％に調整し、シート中の窒化ホウ素粉末の重量％が表３に示す割合となるように、窒化ホウ素粉末を秤量後、ワニスに加えた（重量％は、溶媒分を含まない、樹脂と樹脂マトリックスとの重量比から算出した）。
この溶液を、ハイブリットミキサーにて、混練した。
このスラリー状の溶液をポリイミドフィルム（宇部興産製  UPILEX―S）上にアプリケータを用いてギャップ２５０μｍとし、キャストした後、防爆型乾燥器にて、１５０℃で１０分乾燥後、１５０℃から２５０℃まで1時間で昇温し、１時間保持した。
このフィルムをポリイミドフィルム側を外にして、重ね、熱プレスにて２７０℃１５分３０MPa印加し、加圧したまま室温まで冷却した。上側のポリイミドシートを剥がして、熱伝導率測定用のサンプルとした。この際、熱プレス装置としては、東洋精機製ミニテストプレス−１０もしくは真空チャンバーを設けた熱プレスを用いた。
サンプルの厚さが概ね１００μｍになるように厚さを調整した。薄い場合には、シートの積層数を3層もしくは4層積層した。
3層分で一体化する場合には、2層で一体化したサンプルの片側のポリイミドフィルムを剥離し、さらに、１層のシートを同様に熱プレスにて一体化した。
４層分で一体化する場合には、2層で一体化したサンプルの片面のポリイミドフィルムを剥がしたものを2枚準備し、これを同様に熱プレスにより一体化して、4層分で一体化した厚みのシートを作製した。
（参考例６）
ここでは、実施例６の窒化ホウ素粉末を使用し、参考例１〜５と同様の方法で、シートを作製した。結果を表３に示す。
【００６０】
（参考例７）
実施例８の窒化ホウ素粉末を使用し、参考例１〜５と同様の方法で、シートを作製した。結果を表３に示す。
【００６１】
（評価方法）
（ＯＨ基の検出）
ＯＨ基の検出には、加熱拡散反射赤外分光法を使用した。
測定には、エスティー・ジャパン製型番ＳＴＪ−０１２３−ＮＴ-ＳＰの拡散反射赤外分光用のセルを用いて、ＦＴ−ＩＲにて赤外分光を測定した。セルの窓材にはＫＢｒ板を使用した。
試料の粉体をそのまま試料セルに入れ、蓋をする。このセルの減圧ラインにターボ分子ポンプを接続した。
測定は、最初に、試料そのままの状態にて赤外分光スペクトルを測定した。
次に減圧し、３０分後に減圧下でのスペクトルを測定した。これにより、吸着水、揮発性の不純物を除去した、スペクトルを得ることができる。３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲にチャート上に目視にて吸収ピークが検出されるかどうかを判定した。
３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲の吸収ピークは、ＯＨ基に基づくものである。より判定を確実なものとするために、粉末を加熱して、再度、吸収ピークの検出を行った。
具体的には、減圧下で、温度を２００℃、３００℃、４００℃、５００℃、６００℃、７００℃までぞれぞれ上昇し、１０分保持後、スペクトルを測定した。そして、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲にチャート上に目視にて吸収ピークが検出されるかどうかを判定した。たとえば、図３の点線で囲んだＡの部分の吸収ピークは、各温度にて消滅していないことがわかる。
【００６２】
（平均粒径ｄ５０）
遠心式粒度分布測定装置(HORIBA社製  CAPA-700)を用いて、水中に試料を１分間超音波処理することにより分散させ、測定を行った。ｄ５０値を平均一次粒径とする。平均粒径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下のものを○とし、０．２μｍ未満、４μｍを超えるものを×とした。
なお、実施例１〜１０において、一次粒径になっていることは、ＳＥＭでも確認した。
【００６３】
（ピーク強度比）
ＯＨ基の検出の際に得られた赤外分光スペクトルに基づき、ＯＨ基のピーク強度／ＮＨ２基のピーク強度を求めた。赤外分光スペクトルは、３００℃、大気圧中で計測したものである。
ホウ素に共有結合したＮＨ２基のピークは、例えば図３の点線で囲んだＢの部分の３３５０ｃｍ−１〜３５００ｃｍ−１の範囲に現れる。
ピーク強度比が０．２以上、３以下のものを○とした。また、ピーク強度比が０．２未満、３を超えるものを×とした。
【００６４】
（酸素濃度）
ＬＥＣＯ社  型番ＴＣ４３６の酸素窒素同時分析装置を用いて全酸素量の測定を行った。
サンプル粉をスズ製のカプセルおよびニッケル製のカプセルの２重のカプセル中に入れつぶした後、黒鉛坩堝に入れて、装置にセットする。標準測定にて、試料中の全酸素量を計測する。
酸素量が少ないほど、結晶自体が高純度であることを示している。
酸素濃度が１重量％以下であるものを○とし、１重量％を超えるものを×とした。
【００６５】
（アスペクト比の測定）
試料を適量のIPAに浸し、試料台に載せ、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）にて写真撮影した。写真上の実測長をサンプルの長手方向の長さ（０００１面の長さ（粒径に相当））を５０個測定し、平均値を求め、平均長さDとした。次に、倍率を変えて厚み方向の長さを同様にランダムに選択し、５０個測定し、平均値を平均厚さｔとした。
この比Ｄ／ｔをアスペクト比と定義した。
アスペクト比が３０以下のものを○、アスペクト比が３０を超えるものを×とした。
【００６６】
（分散性の評価）
ポリアミド酸ワニス（参考例1〜５に記載されたものと同様のもの）に対し、窒化ホウ素粉末が１２ｗｔ％となるように加え、均一に混合し、容量１0mlのメスシリンダーに１0mlをいれて静止した。48時間後の上澄液層が１ｍl以下であるものを分散性良好（○）とし、３ｍｌを超えるものを分散性が悪い（×）と判断した。
【００６７】
（熱伝導性の評価）
次に、参考例1〜７で作製したシートの熱伝導度を測定した。熱伝導度の測定は以下のようである。
<測定装置>
メーカー：Hot Disk AB（スウェーデン）
名称：Hot Disk Thermal Constants Analyser
型番：「TPS1500」同等品をアレンジして用いた。ブリッジ回路と解析ソフトは前記装置を用いた。
装置構成：(1)電流供給ユニット(Keithley 2400 Sourcemeter)、(2)ブリッジ回路、(3)ブリッジ回路の電位変化測定ユニット(Keithley 2000 Multimeter)、(4)制御用コンピュータ、(5)Hot Disk Sensor
(1)と(3)は(2)のブリッジ回路に接続し、(5)Hot disk センサーへの電流供給やブリッジ回路の電位変化測定を行う。(5)は(2)に取り付けて使用する。
(4)の制御用コンピュータにより集中制御し、（１）と（３）をトリガーにてリンクさせて動作する。
また、測定サンプルはシート状のため、ホットディスク法のスラブ法（高熱伝導度薄板試料測定法）による測定方法を用いた。
<試料のセッティング>
測定用シートは２枚１組で準備する。測定用シートで（５）ホットディスクセンサー（センサー半径2mm）をセンサーの円盤部分がシートの中央に位置するように挟み、さらに２枚の断熱材（発泡スチロール板）でセンサーを挟んだ測定用シートを挟み、重しを乗せ固定する。このとき、センサー部と測定用シートとの間に隙間が出来ないように注意する。
<測定>
測定温度は室温（23℃付近）のみとし、測定は３回行った。測定の際に生じるサンプルの温度上昇を放熱させるため、測定は１０分間ごとに行った。
【００６８】
（結果）
結果を表１〜３に示す。
【００６９】
【表１】
2010076956.tif 000003
【００７０】
【表２】
2010076956.tif 000004
【００７１】
【表３】
2010076956.tif 000005
【００７２】
実施例１〜５では、いずれも、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１で吸収ピークを有し、平均一次粒子径ｄ５０が０．２μｍ以上、４μｍ以下であり、分散性が良好であることがわかった。これにより、実施例１〜５の窒化ホウ素粉末は、良品であると確認できた。
これに対し、実施例６では、３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１で吸収ピークを有するものの、一次粒子径ｄ５０が０．２μｍ未満であり、二次粒子として凝集していた。そのため、一次粒子としての分散性が悪く、さらには、シートを作製した際の熱伝導性に劣るものとなることがわかった。
実施例７では、拡散反射赤外分光測定結果から３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１の範囲に明確な吸収ピークが検出され、ホウ素に結合するOH基が存在することがわかった。ただし、一次粒子径ｄ５０が４μｍを超えており、粒子全体の面積に対するＯＨ基の割合が小さくなりすぎ、窒化ホウ素粉末の分散性が低下していることがわかる（分散性評価では、上澄み液面が８ｍｌとなった）。
実施例８〜１０では、いずれも３６００ｃｍ−１〜３７５０ｃｍ−１で吸収ピークを有しておらず、分散性が悪いことがわかる。
以上より、本発明の評価方法によれば、分散性が良好である窒化ホウ素粉末を評価することができることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】窒化ホウ素の構造を示す図である。
【図２】窒化ホウ素の構造を示す図である。
【図３】実施例１の拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを示す図である。
【図４】実施例５の拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを示す図である。
【図５】実施例８の拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを示す図である。
【図６】実施例９の拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを示す図である。
【図７】実施例１０の拡散反射赤外分光測定による吸収ピークを示す図である。
【図８】本実施形態の評価方法を示す図である。
【図１】
2010076956.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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