(57)【要約】【課題】  比較的安価、簡単、かつコンパクトな構成でありながら、加工容易であると共に製品組立性に優れ、微少流量を制御する場合であっても、目詰まり等の発生を抑制してメンテナンスフリーとしつつ、温度による流量係数の変化を抑制して高精度な流量制御を実現可能な絞り装置を提供することを目的とする。【解決手段】  本発明の定流量制御装置に利用される絞り装置は、絞り要素２００において、複数の絞り穴２３１〜２３５を一枚の開口部材２３０上に設け、長穴２２１〜２２３、２４１〜２４３により形成される流路を介して、流体を前記絞り穴を順番に通過させる。これにより、流体が通過する絞り要素２００全体の圧力損失を比較的大きなものとすることができ、同一の流量に制御をする場合に、従来の定流量弁に比べて、絞り穴の有効面積を大きくすることができる。【選択図】図３
2010031922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路に介装され、当該流体通路を流れる流体に絞り穴を介して圧力損失を付与する絞り装置であって、
複数の絞り穴が開口された開口部材と、
前記複数の絞り穴を流体が順に通過するように、前記絞り穴に対応した長穴状の複数の圧力室を形成するための第一流路部材と、
前記開口部材を挟んで該第一流路部材と反対側に配置され、前記複数の絞り穴を流体が順に通過するように、前記絞り穴に対応した長穴状の複数の圧力室を形成するための第二流路部材と、
前記流体通路の上流側より流体を前記第一流路部材の一の圧力室に流入させる導入口を有し、流体が所定の経路以外に流出しないように該第一流路部材の片面を覆うように配置される第一通過部材と、
前記第二流路部材の一の圧力室から前記流体通路の下流側へ流体を流出させる排出口を有し、流体が所定の経路以外に流出しないように該第二流路部材の片面を覆うように配置される第二通過部材と、
を含んで構成されたことを特徴とする絞り装置。
【請求項２】
前記絞り装置は、前記複数の絞り穴の数を調整することにより、前記絞り穴の有効面積を所定以上に維持しつつ、所定の圧力損失を付与可能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載の絞り装置。
【請求項３】
前記導入口或いは前記排出口の少なくとも一方を絞り穴として機能するように構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の絞り装置。
【請求項４】
前記絞り穴は、当該絞り穴の有効面積と同じ面積を持つ円の直径ｄに対し、当該絞り穴の流体の流れ方向長さが１．５ｄ以下で形成されることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１つに記載の絞り装置。
【請求項５】
前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材をこの順番で積層して少なくとも２つの隣接するもの同士を一体的に構成したことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１つに記載の絞り装置。
【請求項６】
前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材を一体として成形した絞りモジュールとして構成されたことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか１つに記載の絞り装置。
【請求項７】
前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材をこの順番で積層して構成される絞り要素を含んで構成され、
前記絞り要素の下流側に、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材をこの順番で積層した多重化要素が少なくとも一つ接続されて構成されることを特徴とする請求項１〜請求項６の何れか１つに記載の絞り装置。
【請求項８】
前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材のうちの少なくとも２つの隣接するもの同士が一体的に成形或いは形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか１つに記載の絞り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流路断面積を絞る絞り装置に関し、詳しくは流体の温度変化に対する流量係数の変化を抑制することができる絞り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体の流量を制御する場合は、絞り部（或いは絞り要素）としてのオリフィスの上流側にガバナー等の減圧手段を配設し、当該減圧手段によりオリフィス入口の流体圧を略一定に調整することで、オリフィスを通過する流体の流量を一定に制御するようにしていた。
【０００３】
しかしながら、このようなガバナー等の減圧手段を使用する流量制御装置においては、コストが著しく上昇すると共に装置が大型化するなどの問題があった。
【０００４】
このため、従来より、種々の流量制御装置が提案されているが、例えば、特許文献１には、以下のような定流量弁が記載されている。
すなわち、特許文献１に記載されている定流量弁は、流体通路１に介装され、図３０に示すように、流体通路１の上流側より流体が流入する第一室２と、流体通路１の下流側と連通される第二室４と、前記第一室２と前記第二室４とを画成するダイヤフラム３と、前記ダイヤフラム３をバイパスして前記第一室２と前記第二室４とを連通するオリフィス５と、を含んで構成されている。
【０００５】
更に、前記定流量弁においては、前記ダイヤフラム３には弁体３Ａが略一体的に取り付けられ、当該弁体３Ａと、該弁体３Ａに対応して、前記第二室４と下流側の流体通路１とを連通する出口通路７の入口部に設けられる弁座７Ａと、の相対位置の変化により流路面積を所定に制御可能に構成されると共に、前記第一室２と前記第二室４との圧力差に抗するように、当該ダイヤフラム３或いは前記弁体３Ａを所定に付勢する弾性部材としてコイルスプリング６が配設されている。
【０００６】
このような構成を有する定流量弁においては、上流側の流体通路１から第一室２へ流入した流体は、オリフィス５で減圧されて第二室４へ流入し、第一室と第二室の圧力差が一定になるように所定の絞り効果をもった弁座７Ａと弁体３Ａとの間隙を通過して、出口通路７延いては下流側の流体通路１へ流出する。
【０００７】
そして、かかる定流量弁は、以下のように作用して当該定流量弁を通過する流体の流量を所定流量に制御する。
すなわち、上流側の流体通路１から第一室２への流体の流入流量と、弁座７Ａと弁体３Ａとの間を通過して流出する流出流量と、が等しい状態から、例えば、第一室２へ流入する流体の圧力が上昇して第二室４の流体の圧力との圧力差が設定差圧より大きくなると、ダイヤフラム３及び弁体３Ａはコイルスプリング６の弾性力に抗して閉弁方向（図３０において下方）へ移動される。その結果、弁座７Ａと弁体３Ａとの間隙が小さくなって、第一室２へ流入する流体の圧力と、第二室４の流体の圧力と、の圧力差が一定に保たれることにより、流体の圧力の上昇に伴って当該間隙を通過する流体の通過流量が増加するのを抑制して、前記流出流量を一定に維持するように機能する。
【０００８】
この逆に、第一室２へ流入する流体の圧力が低下すると、ダイヤフラム３及び弁体３Ａは開弁方向（図３０において上方）へ移動する。その結果、弁座７Ａと弁体３Ａとの間隙が大きくなって、第一室２へ流入する流体の圧力と、第二室４の流体の圧力と、の圧力差が一定に保たれることにより、流体の圧力の低下に伴って当該間隙を通過する流体の通過流量が減少するのを抑制して、前記流出流量を一定に維持するように機能する。
【特許文献１】特開平５−９９３５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここで、上述したような従来の定流量弁における流量と、絞り部（或いは絞り要素）であるオリフィス径（オリフィスの有効面積）と、の関係について、図２９に示す模式図を参照しつつ説明する。ここで有効面積とは、流体が通過する穴の最大投影面積を示す。
【００１０】
図２９に示したように、第一室２の流体圧をＰ１、第二室４の流体圧をＰ２、弁座７Ａを通過した流体の圧力をＰ３、ダイヤフラム３の有効受圧面積をＡＤ、コイルスプリングのバネ荷重をＦＳ、オリフィス５の有効面積をＳ、出口通路７（弁座７Ａ）の有効面積をＡＮとすると、以下の関係式が成り立つことが一般に知られている。
【００１１】
Ｐ１・ＡＤ＝Ｐ２・（ＡＤ−ＡＮ）＋Ｐ３・ＡＮ＋ＦＳ
（Ｐ１−Ｐ２）・ＡＤ＝ＦＳ−（Ｐ２−Ｐ３）・ＡＮ
Ｐ１−Ｐ２＝ΔＰとすると、
ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２＝（ＦＳ−（Ｐ２−Ｐ３）・ＡＮ）／ＡＤ
＝  ＦＳ／ＡＤ−ＡＮ／ＡＤ・（Ｐ２−Ｐ３）
となる。
【００１２】
ここで、ＡＮがＡＤに比べて十分に小さい場合、ＡＮ／ＡＤ項は無視することができる。更に、ＦＳは、微小変位の場合に、ＦＳ／ＡＤ＝ｃｏｎｓｔと言える。
よって、
ΔＰ≒ＦＳ／ＡＤ＝ｃｏｎｓｔ  となる。
従って、流量Ｑ＝ｋＳ（ΔＰ）１／２＝ｃｏｎｓｔ  ｋ：比例定数
流量Ｑ ∝ Ｓ（ΔＰ）１／２  ∝ Ｓ  を得る。
【００１３】
すなわち、流量Ｑは定流量（ｃｏｎｓｔ）であり、オリフィス５の有効面積Ｓに比例する関係にある。従って、微少流量を定量制御する場合、オリフィス５の有効面積Ｓは微小となることが理解される。
【００１４】
従って、特許文献１に記載されるような従来の定流量弁を利用して、微少流量を制御しようとした場合には、オリフィス５の有効面積が非常に小さな（高圧損な）ものとなり、かかる場合には、上流側にストレーナ等を配設したとしても、当該ストレーナ等を通過してくるスライム、異物、塵等により目詰まり等が発生し易く、例えば定期的なメンテナンスが必要となるなど信頼性に劣るといった惧れがある。
【００１５】
また、このような小径のオリフィスは、加工が困難であると共に、加工精度に流量が敏感に反応するため歩留まりも悪く、生産性に劣るといった問題がある。
【００１６】
このため、本出願人等は、特願２００７−０６９３７７号において、径を所定のサイズに維持しつつ高圧損を実現可能な定流量制御装置として、パイプ状の絞り要素や多段オリフィスを含んで構成した絞り部を有する定流量制御装置を提案した。
【００１７】
特願２００７−０６９３７７号において提案した定流量制御装置は、目詰まり等の発生を抑制すべく絞り部を所定の径サイズに維持しながら高圧損を実現した構成であるが、当該構成は、その根拠を「ハーゲン−ポアズイユの法則」に求めている。
【００１８】
つまり、
瞬間流量Ｑ＝（πｒ４／８η）×（ΔＰ／Ｌ）＝（πｒ４×ΔＰ）／（８η×Ｌ）
ｒ：管の内半径、η：流体の粘度、ΔＰ：圧力損失、Ｌ：流れ方向の長さ
なる関係に基づけば、同じ流量Ｑを得る場合、η及びΔＰが変わらないとすれば、Ｌ（流れ方向の長さ）を大きくすることで、ｒ（管の内半径）を大きくすることができ、以って目詰まり等を発生させることなく微少領域における定流量制御を高精度に達成しつつ同時に生産性も確保可能とすることができる、というものである。
【００１９】
すなわち、流体が流れる管の内壁と流体との間の剪断力或いは流体内部の剪断力による圧力損失を利用して高圧損を実現しつつ管の内径を大きいサイズにすることを狙ったものであるが、この一方で、これら剪断力は流体の粘度に大きく依存するという特性がある。
【００２０】
つまり、η（流体の粘度）は温度に依存して変化するものであり、η（流体の粘度）が温度に依存して変化すると、上式より、瞬間流量Ｑは温度の影響を受けて変化することになるため、例えば、パイプ状の絞り部を利用した定流量制御装置の場合、流体温度が変化するような使用条件下においては、流量が流体の温度変化に応じて変動し、定流量制御の制御範囲が変動する、或いは温度補償機構が必要となりコスト増になることが想定される。
【００２１】
また、特願２００７−０６９３７７号には、多段オリフィスを含んで構成した絞り部を有する定流量制御装置について記載があるが、当該構成は、その使用態様などによっては、部品点数が多く、高コストで、小型化が比較的困難で、生産性に劣る惧れなどがあるため、採用し難い場面も想定される。
【００２２】
このため、比較的安価、簡単、かつコンパクトな構成でありながら、加工容易であると共に製品組立性に優れ、微少流量を制御する場合であっても、目詰まり等の発生を抑制してメンテナンスフリーとしつつ、温度による制御流量の変化を抑制して高精度な流量制御を可能とし、以って生産性、信頼性の確保と定流量制御の高精度化の両立を図ることができる定流量制御装置を実現するのに適した絞り装置を提供することが求められる。
【００２３】
本発明は、かかる実情に鑑みなされたもので、比較的安価、簡単、かつコンパクトな構成でありながら、加工容易であると共に製品組立性に優れ、微少流量を制御する場合であっても、目詰まり等の発生を抑制してメンテナンスフリーとしつつ、温度による流量係数の変化を抑制して高精度な流量制御を実現可能な絞り装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記の目的を達成するために、本発明に係る絞り装置は、
流体通路に介装され、当該流体通路を流れる流体に絞り穴を介して圧力損失を付与する絞り装置であって、
複数の絞り穴が開口された開口部材と、
前記複数の絞り穴を流体が順に通過するように、前記絞り穴に対応した長穴状の複数の圧力室を形成するための第一流路部材と、
前記開口部材を挟んで該第一流路部材と反対側に配置され、前記複数の絞り穴を流体が順に通過するように、前記絞り穴に対応した長穴状の複数の圧力室を形成するための第二流路部材と、
前記流体通路の上流側より流体を前記第一流路部材の一の圧力室に流入させる導入口を有し、流体が所定の経路以外に流出しないように該第一流路部材の片面を覆うように配置される第一通過部材と、
前記第二流路部材の一の圧力室から前記流体通路の下流側へ流体を流出させる排出口を有し、流体が所定の経路以外に流出しないように該第二流路部材の片面を覆うように配置される第二通過部材と、
を含んで構成されたことを特徴とする。
【００２５】
本発明において、前記絞り装置は、前記複数の絞り穴の数を調整することにより、前記絞り穴の有効面積を所定以上に維持しつつ、所定の圧力損失を付与可能に構成されたことを特徴とすることができる。
【００２６】
本発明において、前記導入口或いは前記排出口の少なくとも一方を絞り穴として機能するように構成したことを特徴とすることができる。
【００２７】
本発明において、前記絞り穴は、当該絞り穴の有効面積と同じ面積を持つ円の直径ｄに対し、当該絞り穴の流体の流れ方向長さが１．５ｄ以下で形成されることを特徴とすることができる。
【００２８】
本発明において、前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材をこの順番で積層して少なくとも２つの隣接するもの同士を一体的に構成したことを特徴とすることができる。
【００２９】
本発明において、前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材を一体として成形した絞りモジュールとして構成されたことを特徴とすることができる。
【００３０】
本発明に係る絞り装置は、前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材をこの順番で積層して構成される絞り要素を含んで構成され、
前記絞り要素の下流側に、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材をこの順番で積層した多重化要素が少なくとも一つ接続されて構成されることを特徴とすることができる。
【００３１】
本発明において、前記第一通過部材、前記第一流路部材、前記開口部材、前記第二流路部材、前記第二通過部材のうちの少なくとも２つの隣接するもの同士が一体的に成形或いは形成されていることを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、比較的安価、簡単、かつコンパクトな構成でありながら、加工容易であると共に製品組立性に優れ、微少流量を制御する場合であっても、目詰まり等の発生を抑制してメンテナンスフリーとしつつ、温度による流量係数の変化を抑制して高精度な流量制御を実現可能な絞り装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に、本発明に係る絞り装置の実施例を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施例により、本発明が限定されるものではない。
以下の実施例に係る定流量制御装置の流量制御の対象物である流体は、非圧縮性流体、圧縮性流体のいずれにも適用可能である。また、水道水、純水等の液体は勿論、気体にも適用可能である。
【実施例１】
【００３４】
本発明の実施例１に係る定流量制御装置（定流量弁）は、図１、図２に示すように、流体通路１１０に介装され、該流体通路１１０の上流側より流体が流入される第一室１２０と、流体通路１１０の下流側と連通する第二室１４０と、前記第一室１２０と前記第二室１４０とを画成するダイヤフラム１３０と、前記第一室１２０と前記第二室１４０とを連通する絞り部１５０含んで前記ダイヤフラム１３０に一体的に設けられる可動弁体１５１と、を含んで構成されている。
【００３５】
前記可動弁体１５１は前記第二室１４０側にニードル弁１５０Ａを備えている。
前記第二室１４０と下流側の流体通路１１０とを連通する出口通路１７０の入口部には、当該ニードル弁１５０Ａに対応する弁座１７０Ａが設けられており、当該弁座１７０Ａに対する前記ニードル弁１５０Ａの相対位置の変化により流路面積を所定に制御可能に構成されている。
【００３６】
また、前記第一室１２０と前記第二室１４０との圧力差ΔＰに抗するように（前記ダイヤフラム１３０延いては前記ニードル弁１５０Ａの変位に抗するように）、当該ダイヤフラム１３０延いては前記可動弁体１５１を所定に付勢する弾性部材としてコイルスプリング１６０が配設されている。
【００３７】
ここで、本実施例に係る絞り部１５０について詳細に説明する。
既述したように、特許文献１に記載されているような定流量弁を利用して微少流量を制御しようとした場合には、絞り部であるオリフィスの有効面積が非常に小さなものとなり、スケール、スライム、異物、塵等により目詰まり等が発生し易く、例えば定期的なメンテナンス等が必要となるといった惧れがある。また、このような小径のオリフィスは、加工が困難であると共に、加工精度に流量が敏感に反応するため歩留まりも悪く、生産性に劣るといった問題がある。
【００３８】
更に、本出願人等による特願２００７−０６９３７７号に記載したような、長尺なパイプ状の絞り部を利用した定流量制御装置の場合には、絞り部において、流体が流れる内壁と流体との間で剪断力が生じる距離が長く（管摩擦係数が大きく）なるため、流体の温度変化による制御瞬間流量の変化が大きく、流体温度が変化し易い使用条件等によっては、瞬間流量を高精度に制御するためには温度補償機構を備えなければならない場合が想定される。
【００３９】
このため、本発明者等は、目詰まり等を発生させることなく、流体温度による瞬間流量変化も低減して定流量制御を高精度に達成しつつ同時に生産性も高いレベルに維持することができる絞り機構延いては定流量制御装置を提供すべく、種々の調査及び研究実験を繰り返した結果、以下の知見を得た。
【００４０】
すなわち、本発明者等は、第一室１２０、ダイヤフラム１３０、第二室１４０、第一室１２０と第二室１４０とを連通する絞り部１５０を備える種類の定流量制御装置であっても、目詰まり等を発生させることなく、流体の温度変化による流量係数延いては流量変化を改善し定流量制御を高精度に達成しつつ同時に生産性も確保することができる絞り部の構造を見い出した。
【００４１】
具体的には、本発明は絞り部で発生する縮流現象による圧力損失を利用している。
流体は流体内部の剪断力による摩擦力や、管壁と流体との剪断力による摩擦力（管摩擦）等に打ち克ちながら流れることにより圧力が減少（圧力損失）していくが、その摩擦力は流体の粘度に大きく依存し、また粘度は温度に大きく依存する。
【００４２】
一方、図６に示すように、流体は絞り部を通過する際に、あらゆる方向からの流体の流れが絞り部に流入するために、流体の流れは流線方向を変えながら絞り部を進行し、流体の流れは、絞り部の穴径ｄ（直径）に対して絞り部の入口面から流体の流れ方向に約０．５ｄ程度進んだ付近で縮流部をもち、その後絞り部の入口面から流体の流れ方向に約１．５ｄ程度進んだ付近で流体の流れの断面は穴径ｄまで拡大し、以降は絞り部Ａの内壁に沿って流体が流れるといった特性がある。
【００４３】
これらのことから、絞り部における管摩擦等の剪断力の温度変化の流体流量に対する影響を小さくするためには、絞り部で管壁に接触する長さを小さくすることが効果的であり、その長さは絞り部の穴径ｄに対し絞り部の入口面から流体の流れ方向に１．５ｄ以下で形成されていることが効果的であるとの知見を得た。
【００４４】
ところで、本出願人等は、特願２００７−０６９３７７号において、意図的に何度も流体の流線方向を変えながら所定の大きさの絞り穴を通過させることにより、より微小な絞り穴を通過させたときと同じだけの圧力損失効果を得ることができるということを利用した多段オリフィスを有する定流量制御装置を提案しているが、かかる定流量制御装置における絞り部は、絞り部における管摩擦等の剪断力の温度変化の流体流量に対する影響に関しての配慮は不十分であると共に、微小開口を有する仕切り板を、流体の流れ方向に所定の間隔もって複数並べた構成であるため、部品点数が多く、生産性、コスト面などにおいて改善の余地がある。
【００４５】
そこで、本発明者等は、絞り部の穴径ｄに対して流体の流れ方向の長さＬが絞り部の入口面から１．５ｄ以下で形成される複数の絞り穴を一部品上に配置する構成を採用することとすれば、絞り穴のサイズを比較的大きなサイズ（穴径）に維持して目詰まり等の発生を抑制しながら、温度変化に起因する瞬間流量係数の変動延いては瞬間流量変動を抑制して高精度な定流量制御を実現しつつ、且つ部品点数削減による低コスト化、軽量・コンパクト化、生産性の改善を同時に実現することができることに着眼した。
【００４６】
かかる実情に鑑み、本実施例に係る絞り部１５０は、絞り部の流体の流れ方向の長さＬを各絞り穴径ｄに対して１．５ｄ以下にする構成が採用される。
【００４７】
本実施例に係る絞り部１５０は、図１、図２に示したように、ダイヤフラム１３０の中心部に取り付けられ第一室１２０側と第二室１４０側とを画成し、かつニードル弁１５０Ａと前記弁座１７０Ａの間隙が変化するように可動する可動弁体１５１を含んで構成される。
【００４８】
この可動弁体１５１は、第一室１２０側に臨んで開口される略筒状の円筒部１５２と、当該円筒部１５２の図１中下端側に設けられる下端壁１５３と、を含み、前記下端壁１５３には、当該下端壁１５３の一部に開口され前記円筒部１５２の内部空間１５４延いては第一室１２０と第二室１４０と連通する連通路１５５が設けられている。また、下端壁１５３の第二室１４０側には、図１において下方に向かって延伸するように下端壁１５３から既述したニードル弁１５０Ａが所定に突出して配設されている。
【００４９】
そして、前記円筒部１５２の内筒部には、図１、図２に示したように、絞り要素２００が挿入され、流体１１０の通路２６１が開口された固定部材２６０を介して前記円筒部１５２に取り付け固定されている。具体的には、円筒部材１５２の内筒部の内周にはネジが切られ、これに螺合するネジが固定部材２６０の外周に切られており、円筒部１５２に対して固定部材２６０を締め込むことで、絞り要素２００を、下端壁１５３と絞り要素２００との間に介装されるシール材１８０（例えば、Ｏ−リング等）に所定に押し付けることで取り付け固定するようになっている。
【００５０】
なお、シール材１８０は、所定弾性力を有するゴム、シリコンその他の樹脂製、或いは比較的柔らかい銅などの金属製などとすることができる。また、液状パッキン等の液状シール剤などをシール材１８０として採用することも可能である。
【００５１】
絞り要素２００は、図３、図４に示すように、第一通過部材２１０と、第一流路部材２２０と、開口部材２３０と、第二流路部材２４０と、第二通過部材２５０と、が流体１１０の流れ方向に対してこの順番で積層されて構成されている。なお、絞り要素２００が、本発明に係る絞り装置を構成している。
【００５２】
前記第一通過部材２１０は、薄い円板部材に流体が流入する入口穴２１１が開口されて形成されている。
【００５３】
前記第一流路部材２２０は、薄い円板部材に、例えば３つの長穴２２１、２２２、２２３が開口されて形成されている。なお、長穴２２１は、入口穴２１１に臨むように配設される。
【００５４】
前記開口部材２３０は、図５に拡大して例示したように、薄い円板部材に、５つの絞り穴２３１〜２３５が開口されて構成されている。絞り穴２３１は長穴２２１に臨むように配設され、絞り穴２３２、２３３は長穴２２２に臨むように配設され、絞り穴２３４、２３５は長穴２２３に臨むように配設される。
【００５５】
前記第二流路部材２４０は、薄い円板部材に、３つの長穴２４１、２４２、２４３が開口されて形成されている。長穴２４２は絞り穴２３１、２３２に臨むように配設され、長穴２４３は絞り穴２３３、２３４に臨むように配設され、長穴２４１には絞り穴２３５が臨むように配設される。
【００５６】
前記第二通過部材２５０は、薄い円板部材に、流体が流出する出口穴２５１が開口されて形成されている。出口穴２５１は、長穴２４１に臨むように配設されている。
【００５７】
なお、入口穴２１１、各絞り穴２３１〜２３５、出口穴２５１の周囲には、対面配置される長穴２２１〜２２３、２４１〜２４３に対する入口穴２１１、各絞り穴２３１〜２３５、出口穴２５１の位置決め等を確実なものとすることができるように、円板部材の表面から突出し、対応する長穴に収容可能な、入口穴２１１、各絞り穴２３１〜２３５、出口穴２５１と略同心の円筒状突出部がそれぞれ形成されている。但し、これら円筒状突出部は省略することも可能である。なお、当該円筒状突出部は図３以外は省略されている。
【００５８】
上述したような第一通過部材２１０、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０が、流体の流れ方向に対してこの順番で積層されて構成された絞り２００の各部材間は流体１１０をシールするように密着されている。
なお、各部材間のシールは部材間の面圧によるシールとすることができるが、使用流体の種類や圧力などの使用条件によっては、例えば、液状パッキン等の液状シール剤を適用したり、Ｏ−リング等のシール材を介装することも可能である。
【００５９】
従って、本実施例に係る絞り要素２００においては、図４（当該図４では、第一通過部材２１０と第二通過部材２５０の図示は省略されている）に示すように、第一室１２０に流入し通路２６１を介して導かれ第一通過部材２１０の入口穴２１１を通過した流体は、第一流路部材２２０の長穴２２１により画成（或いは形成）される流路（圧力室）に流入することになる。
その後、当該流路に流入した流体は、長穴２２１に臨んで開口されている絞り穴２３１を通過し、長穴２４２により画成される流路（圧力室）に流入する。
次に、当該流路に流入した流体は、長穴２４２に臨んで開口されている絞り穴２３２を通過し、長穴２２２により画成される流路（圧力室）に流入する。
次に、当該流路に流入した流体は、長穴２２２に臨んで開口されている絞り穴２３３を通過し、長穴２４３により形成される流路（圧力室）に流入する。
次に、当該流路に流入した流体は、長穴２４３に臨んで開口されている絞り穴２３４を通過し、長穴２２３により形成される流路（圧力室）に流入することになる。
次に、当該流路に流入した流体は、長穴２２３に臨んで開口されている絞り穴２３５を通過し、長穴２４１により形成される流路（圧力室）に流入することになる。
その後、この流体は、この長穴２４１に臨んで開口されている第二通過部材２５０の出口穴２５１を通過した後、円筒部１５２の内部空間１５４に流出するようになっている。
【００６０】
なお、本実施例に係る各絞り穴２３１〜２３５（入口穴２１１、出口穴２５１を絞り穴として形成し、これら複数の絞り穴として機能させることもできる）は、図５に示したように、その穴径ｄに対して流体の流れ方向の長さＬが入口面から１．５ｄ以下で形成されていると共に、複数の絞り穴２３１〜２３５を一部品である開口部材２３０上に配置する構成を採用したので、構成の簡略化、軽量コンパクト化を図りながら、絞り穴における管摩擦等の剪断力の温度変化の流体流量に対する影響を小さくしつつ高圧損な絞り要素２００を実現することができる。このため、絞り穴のサイズを比較的大きなサイズ（穴径）に維持して目詰まり等の発生を抑制しながら、温度変化に起因する瞬間流量変動を抑制して高精度な定流量制御を実現しつつ、且つ部品点数削減による低コスト化、軽量・コンパクト化、生産性の改善を同時に実現することが可能となっている。
ところで、ここでは、絞り穴が５個の場合について代表的に説明しているが、必要に応じて絞り穴の数は適宜増減させることが可能である。
【００６１】
ここで、図１の全体構成図に戻って、本実施例に係る定流量制御装置の流量制御の対象物である流体の全体的な流れについて説明する。
【００６２】
本実施例に係る定流量制御装置においては、上流側の流体通路１１０から第一室１２０へ流入した流体は、固定部材２６０の通路２６１を通って、絞り要素２００の第一通過部材２１０の入口穴２１１へ流入する。
【００６３】
その後、絞り要素２００では、この流体を、前述したように、長穴２２１〜２２３、２４１〜２４３により形成される流路を介して各絞り穴２３１〜２３５を通過するように導くことで、流体圧力を所定に減圧した後、第二通過部材２５０の出口穴２５１から流体を流出する。
【００６４】
このようにして絞り要素２００を通過した流体は、前記円筒部１５２の内筒空間１５４へ流出した後、前記円筒部材１５２の下端壁１５３に設けられている連通路１５５を介して、前記第二室１４０へ流出される。
【００６５】
そして、流体は、第一室と第二室の圧力差が一定になるように所定の絞り効果をもった弁座１７０Ａとニードル弁１５０Ａとの間隙を通過して、出口通路１７０延いては下流側の流体通路１１０へ流出されることになる。
【００６６】
また、本実施例に係る定流量制御装置においては、以下のように作用して、当該定流量制御装置を通過する流体の流量を所定流量（目標流量）に制御する。
【００６７】
すなわち、上流側の流体通路１１０から第一室１２０への流体の流入流量と、弁座１７０Ａとニードル弁１５０Ａとの間を通過して流出する流出流量と、が等しい状態から、例えば、第一室１２０へ流入する流体の圧力が上昇して、第二室１４０との圧力差が設定差圧より高くなると、ダイヤフラム１３０及び可動弁体１５１はコイルスプリング１６０の弾性力に抗して閉弁方向（図１において下方）へ移動される。その結果、弁座１７０Ａとニードル弁１５０Ａとの間隙が小さくなって、第一室１２０へ流入する流体の圧力と、第二室１４０の流体の圧力と、の圧力差が一定に保たれることにより、流体の圧力の上昇に伴って当該間隙を通過する流体の通過流量が増加するのを抑制して、前記流出流量を一定に維持するように機能する。
【００６８】
この逆に、第一室１２０へ流入する流体の圧力が低下すると、ダイヤフラム１３０及び可動弁体１５１は開弁方向（図１において上方）へ移動する。その結果、弁座１７０Ａとニードル弁１５０Ａとの間隙が大きくなって、第一室１２０へ流入する流体の圧力と、第二室１４０の流体の圧力と、の圧力差が一定に保たれることにより、流体の圧力の低下に伴って当該間隙を通過する流体の通過流量が減少するのを抑制して、前記流出流量を一定に維持するように機能する。なお、本実施例ではニードル弁は可動弁体の一部分になっているが、別部品で作られたニードル弁が可動弁体に一体的に取り付けられていてもよい。或いは可動的に取り付けられていても圧力差を制御する際は一体的に振舞う取り付け方法であってもよい。
【００６９】
このように、本実施例に係る定流量制御装置によれば、絞り要素２００において、複数の絞り穴２３１〜２３５（入口穴２１１、出口穴２５１を絞り穴として形成し、これら複数の絞り穴として機能させることもできる）を一枚の開口部材２３０上に設け、長穴２２１〜２２３、２４１〜２４３により形成される流路を介して、流体を前記絞り穴を順番に通過させることで、流体が通過する絞り要素２００全体の圧力損失係数を比較的大きなものとすることができ、同一の流量に制御をする場合に、従来の定流量弁に比べて、絞り穴の有効面積を大きくすることができる。
【００７０】
このため、本実施例に係る定流量制御装置によれば、微少流量に制御する場合（例えば、０．１ｋｇ／ｍｉｎレベルの微少流量や０．００１ｋｇ／ｍｉｎレベルの極微少流量に制御する場合）、オリフィス径が小さく、スケール、スライム、異物、塵等により目詰まり等が発生し易く、例えば定期的なメンテナンスが必要になるなどといった惧れを効果的に抑制することができる。なお、目詰まり等に対しては、絞り要素２００の絞り穴の形状は円形状であることが、異物等とのクリアランスの点で有利であるが、これに限定されるものではない。また、従来の小径のオリフィスを用いた定流量弁では、特に純水の場合、細菌等が混入すると増殖してオリフィスを詰まらせてしまうなどの惧れもあるが、このような惧れも効果的に抑制することができる。
【００７１】
また、本実施例によれば、絞り要素２００の絞り穴の径を比較的大きくできるので、加工を容易なものとすることができ、以って歩留まり性も良く、生産性や製品品質等の向上を図ることができると共に、延いては低コスト化を促進することができる。
【００７２】
更に、本実施例では、各絞り穴２３１〜２３５（入口穴２１１、出口穴２５１を絞り穴として形成し、これら複数の絞り穴として機能させることもできる）を、その穴径ｄに対して流体の流れ方向の長さＬが入口面から１．５ｄ以下で形成すると共に、複数の絞り穴２３１〜２３５を一部品である開口部材２３０上に配置する構成を採用したので、構成の簡略化、軽量コンパクト化を図りながら、絞り穴における管摩擦等の剪断力の温度変化の流体流量に対する影響を小さくしつつ高圧損な絞り要素２００を実現することができる。このため、絞り穴のサイズを比較的大きなサイズ（穴径）に維持して目詰まり等の発生を抑制しながら、温度変化に起因する瞬間流量変動を抑制して高精度な定流量制御を実現しつつ、且つ部品点数削減による低コスト化、軽量・コンパクト化、生産性の改善を同時に実現することができる。
【００７３】
また、本実施例では、絞り要素２００の第一通過部材２１０、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０をエッチング加工で製作し（例えば、エッチング加工の場合、これら部材の材質の一例としてステンレス材を用いることができる）、更にこれらを拡散接合等することにより、絞り機能を有するアッセンブリ品として一体的に構成することも可能であり、これにより、定流量制御装置の組立工程を簡素化できると共に、絞り要素単体での制御流量検査が可能になり検査工程も簡素化ができる。
なお、接合方法は、拡散接合に限らず、他の接合方法、例えば熱圧着、超音波溶着、熱溶着、接着剤による接合等の方法とすることもできる。
【００７４】
例えば、最終製品形態で流量検査を実施すれば、不良検知時は部品の廃棄、ばらし、不良箇所の調査などの部位が広範囲に及ぶことになるが、絞り要素２００を構成する部品を接合して機能部品をアッセンブリ化した状態（すなわち、上述した絞り機能を有するアッセンブリ品）で流量検査を実施可能とすることにより、機能部品単体での不良検知が可能であり、次工程以降への悪影響を未然に防ぐことができて、工数削減や不良部品組立リスク低減により、生産性を向上させることができる。
【００７５】
また、絞り要素２００は単体で機能化されているので、製品へ組み込まなくても単独で絞り特性（圧力損失）の検査が可能である。よって流体が水である場合においても、水密性を確保する工程まで組み立てなくても大気中でエアーでの特性検査に代替することも可能であり、通水検査後の乾燥工程などが不要になるという効果も併せ持つ。更に、絞り部１５０に一体的に取り付けられる絞り要素は、図８に示すように、絞り要素２００の下流側に、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０をこの順番で積層した多重化要素を積層した構成とすることができると共に、図９、図１０に示すように、複数の絞り要素２００を積層した構成とすることも可能である。
【００７６】
ところで、図１、図２では、固定部材２６０をねじ込みで固定する形態を示しているが、熱溶着による固定方式（図１１）や、超音波溶着による固定方式（図１２）、スナップフィットによる固定方式（図１３）、リング止めによる固定方式（図１４）、外歯座金による固定方式（図１５）、かしめ方式等などを採用することもできる。
【００７７】
ここで、例えば外形５０ｍｍ×５０ｍｍ以下の条件で定流量制御装置を設計した場合の実験データを図７に示しておく。当該図７から、例えば５°Ｃ付近の流量データを基準とした場合の６５°Ｃ付近の基準に対する流量変動率は、特願２００７−０６９３７７号に記載した３本のパイプ状絞り部構造の定流量制御装置（温度補償機構を搭載せず）では略１３０％増加しているのに対し、本発明に係る定流量制御装置（絞り穴を１３個配設した場合）では略１３％程度の増加に抑えられており、本発明により、流量制御特性の温度による影響を効果的に改善できることが確認されている。
【００７８】
なお、本実施例では、長穴２２１〜２２３、２４１〜２４３により画成される流路を圧力室として機能させる場合について説明したが、これに限らず、流体温度の変化が小さい使用条件等においては、当該流路の有効面積を小さなものとすることで、絞り部として機能させることも可能である。
【実施例２】
【００７９】
次に、本発明の実施例２について説明する。
実施例２は、実施例１において説明した定流量制御装置に対して、図１６、図１７に示すように、絞り部１５０に備えられる絞り要素の構造が異なっている。
従って、当該構成が異なる絞り要素について詳細に説明することとして、実施例１と同様の要素については、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８０】
実施例２では、絞り部１５０の絞り要素として、実施例１に係る絞り要素２００の代わりに絞り要素３００が採用されており、この絞り要素３００は、図１６、図１７に示したように、実施例１における第一通過部材２１０と第一流路部材２２０とが一体的に成形された入口側部材３２０と、開口部材３３０と、第二流路部材２４０と第二通過部材２５０とが一体的に成形された出口側部材３４０と、により構成されている。
【００８１】
また、絞り要素３００は、流体１１０の通路３６１が開口された固定部材３６０を介して前記円筒部１５２に取り付け固定されている。本実施例では、その固定方式としてスナップフィット方式で例示されており、具体的には、図１６に示したように、円筒部材１５２にはスナップフィット溝が形成され、当該スナップフィット溝に、固定部材３６０に略一体成形され所定弾性力を有するスナップフィット部を係合させることにより、絞り要素３００を、下端壁１５３に所定に押し付けつつ固定するようになっている。
【００８２】
なお、入口側部材３２０には流体が流入する入口穴３１１が開口され、出口側部材３４０には流体が流出する出口穴３５１が開口されている。
【００８３】
そして、前記開口部材３３０には、実施例１で説明したと同様に機能する絞り穴が  複数開口されていると共に、実施例１で説明した長穴と同様に機能して前記入口穴３１１から流入する流体を一の絞り穴へ導き、当該一の絞り穴から流出する流体を他の一の絞り穴へ順に導くことによって出口穴３５１から流体を流出させるための通路を形成する複数の長溝３２１、３４１が、入口側部材３２０の下面及び出口側部材３４０の上面に刻設されている。
【００８４】
なお、本実施例において、例えば使用流体が水の場合、入口側部材３２０や出口側部材３４０をゴムやウレタン等の弾性体で形成することで、第一室１２０と第二室１４０との間の水密性を所定に保持することが可能となり、実施例１で採用したようなシール材（Ｏ−リング等）１８０を省略することができる。ただし、これに限らず、使用流体に応じた所定のシール性を達成できる場合は、入口側部材３２０や出口側部材３４０を金属製や樹脂製等とすることも可能である。
【実施例３】
【００８５】
次に、本発明の実施例３について説明する。
実施例３は、実施例１において説明した定流量制御装置に対して、図１８、図１９に示すように、絞り部１５０に備えられる絞り要素が異なっている。
従って、当該絞り要素について詳細に説明することとして、実施例１と同様の要素については、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８６】
実施例３では、絞り部１５０の絞り要素として、実施例１に係る絞り要素２００及び固定部材２６０の代わりに絞り要素４００が採用されており、この絞り要素４００は、図１８、図１９に示したように、実施例１における第一通過部材２１０、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０が積層されて固定部材４１０に、インサート成形やアウトサート成形等によって、その外周部分を包み込まれるようにして支持される構成となっている。
【００８７】
本実施例では、絞り要素４００の、絞り部１５０の円筒部１５２への固定方式として、図１９に示したように、超音波接合方式を採用したものを例示しているが、これに限定されるものではなく、例えば、図２０、図２１に示すように、可動弁体１５１の円筒部１５２にスナップフィット溝を形成し、当該スナップフィット溝に、固定部材４１０に略一体成形され所定弾性力を有するスナップフィット部を係合させることにより、シール材１８０を介して、絞り要素４００と、円筒部１５２の内側と、を所定のシール性を確保しつつ固定するように構成することもできる。
【００８８】
また、本実施例においても、ネジによる固定方式（図１等参照）、熱溶着による固定方式（図１１等参照）や、スナップリングによる固定方式（図１４等参照）、外歯座金による固定方式（図１５等参照）、かしめ方式（図２２等参照）等を採用することもできる。
【００８９】
ところで、本実施例に係る絞り要素４００は、例えばエッチング加工等により製造される第一通過部材２１０、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０を接合する前の状態において、成形時にこれらを重ね合わせてインサート成形やアウトサート成形等することで固定部材４１０と一体的に成形（例えば、一体成型）し、絞りモジュールとして製造することができる。この際の成形は、ゴム、ウレタン、シリコンその他の樹脂成形或いはアルミその他の金属を材料とする成形が可能である。
【００９０】
なお、第一通過部材２１０、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０を予め接合（拡散接合の他、熱圧着、超音波溶着、熱溶着、接着剤による接合など）した状態のものを、インサート成形やアウトサート成形により、固定部材４１０を一体成型した絞りモジュールとすることも可能である。
【００９１】
ところで、図２７に示したように、薄板状のブランクにエッチング加工や打ち抜き加工等により複数の第一通過部材２１０が細い支持部で支持されつつ形成されているプレートと、同様に複数の第一流路部材２２０が形成されたプレートと、同様に複数の開口部材２３０が形成されたプレートと、同様に複数の第二流路部材２４０が形成されたプレートと、同様に複数の第二通過部材２５０が形成されたプレートと、を重ね合わせ、これらのプレートを重ね合わせた状態で、インサート成形やアウトサート成形等することで、複数の固定部材４１０を同時に成形し、成形後に、固定部材４１０を個別に切り離して完成品とするような生産方法を採用することもできる。
【実施例４】
【００９２】
次に、本発明の実施例４について説明する。
実施例４は、図２２に示すように、例えば、絞り要素２００を、可動弁体１５１に直接熱かしめすることで固定した場合の一例を示している。
このように、絞り要素２００を可動弁体１５１で熱かしめして固定する構成とすれば、部品点数の削減、延いては組立工数の低減、部品の搬送やストックの面において延いては生産工程の容易化・簡略化が促進され、製品コストの低減をより一層促進することができる。
【実施例５】
【００９３】
次に、本発明の実施例５について説明する。
実施例５は、図２３、図２４に示すように、実施例２で説明したスナップフィット部を有する固定部材３６０と入口側部材３２０とを一体的に成形すると共に、出口側部材３４０と可動弁体１５１の下端部１５３とを一体的に成形し、これらの間に、開口部材３３０を介装することで、絞り部１５０を構成した場合の一例を示している。
【実施例６】
【００９４】
次に、本発明の実施例６について説明する。
実施例６は、図２５、図２６に示すように、実施例１と同様の絞り要素２００を備えるが、当該絞り要素２００の可動弁体１５１の円筒部１５２への取り付け固定方法が異なっている。
【００９５】
すなわち、本実施例では、コイルスプリング等の弾性部材５００を、固定部材２６０と第一通過部材２１０との間に介装し、固定部材２６０を可動弁体１５１に取り付け固定したときに、当該弾性部材５００の弾性力で、絞り要素２００を下端壁１５３に所定に押し付けつつ固定するようになっている。
【００９６】
かかる構成とすれば、接合し難い材料や熱に弱い材料により第一通過部材２１０、第一流路部材２２０、開口部材２３０、第二流路部材２４０、第二通過部材２５０などが構成される場合には、このような方法が各部のシール面圧を確保するうえで有効なものとなる。
【００９７】
なお、図１、図２等に示したシール材１８０も所定の弾性力を有しており同様の機能を奏することができるが、例えば、シール材１８０を採用した場合に使用流体の種類によってはシール材１８０が膨潤したり経たりなどが生じる惧れがあるような場合でも、本実施例によれば、各部のシール面圧を長期に亘って安定して維持することなどが可能となる。
【００９８】
ところで、上述した本発明の各実施例２〜６によれば、実施例１で説明したと同様、絞り部の流れ方向長さを１．５ｄ以下とした絞り部を採用し、かつ絞り部を複数設け、縮流回数を増やして圧力損失係数を大きくしているので、従来の定流量弁に比べて温度影響を抑制しつつも絞り要素の有効段面積を大きくすることができる。
また、複数の絞り穴を一部品である開口部材上に配置する構成を採用したので、構成の簡略化、軽量コンパクト化を図りながら、絞り穴における管摩擦等の剪断力の温度変化の流体流量に対する影響を小さくしつつ高圧損な絞り要素を実現することができるため、絞り穴のサイズを比較的大きなサイズ（穴径）に維持して目詰まり等の発生を抑制しながら、温度変化に起因する瞬間流量変動を抑制して高精度な定流量制御を実現しつつ、且つ部品点数削減による低コスト化、軽量・コンパクト化、生産性の改善を同時に実現することが可能である。
【００９９】
なお、本発明の各実施例によれば、微少流量に制御する場合、オリフィス径が小さく、スケール、スライム、異物、塵等により目詰まり等が発生し易く、例えば定期的なメンテナンスが必要になるなどといった惧れを効果的に抑制することができる。なお、目詰まり等に対しては、絞り要素２００の絞り穴の形状は円形状であることが、異物等とのクリアランスの点で有利であるが、これに限定されるものではない。また、従来の小径のオリフィスを用いた定流量弁では、特に純水の場合、細菌等が混入すると増殖してオリフィスを詰まらせてしまうなどの惧れもあるが、このような惧れも効果的に抑制することができる。
【０１００】
また、本発明の各本実施例によれば、絞り要素の絞り穴の径を比較的大きくできるので、加工を容易なものとすることができ、以って歩留まり性も良く、生産性や製品品質等の向上を図ることができると共に、延いては低コスト化を促進することができる。
【０１０１】
なお、前記第一通過部材２１０、前記第一流路部材２２０、前記開口部材２３０、前記第二流路部材２４０、前記第二通過部材２５０を拡散接合等により一体的に接合する場合、すべての要素を一体的に接合する場合に限らず、図２７Ａに示したように、各要素のうちの少なくとも２つの隣接するもの同士が一体的に接合（成形或いは形成）することも可能である。
【０１０２】
ところで、上記各実施例では、本発明に係る絞り装置を定流量制御装置に利用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、フラッシュバルブや開閉弁、比例弁等の絞り部にも適用できるものである。
なお、以上で説明した実施例は、本発明を説明するための例示に過ぎず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々変更を加え得るものである。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明は、比較的安価、簡単かつコンパクトな構成でありながら、加工容易で生産性に優れ、高圧損の絞りであっても、目詰まり等の発生を抑制してメンテナンスフリーとしつつ、温度による流量係数の変化を抑制することで高精度に絞り機能を維持することができ、以って生産性、信頼性の確保と絞り機能の高精度化との両立を図ることができ、定流量制御装置の絞り部のほか、フラッシュバルブや開閉弁や比例弁等に利用される流体の絞り部の機構として有益である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の実施例１に係る定流量制御装置の全体構成を示す断面図である。
【図２】図１の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図３】同上実施例の絞り要素を拡大して示す斜視図である。
【図４】同上実施例の絞り要素における流体の流れを説明するための斜視図である。
【図５】同上実施例の絞り穴の構造例を示す斜視図である。
【図６】絞り穴における流体の流れを説明するための図である。
【図７】本発明と従来装置の温度による流量変化を比較した図（実験結果）である。
【図８】同上実施例の多重化された絞り要素の構造例を示す斜視図である。
【図９】同上実施例の絞り要素を複数重ねた場合の構成例を示す断面図である。
【図１０】図９の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図１１】熱溶着方式の一例を示した断面図である。
【図１２】超音波接合方式の一例を示した断面図である。
【図１３】スナップフィット方式の一例を示した断面図である。
【図１４】スナップリング方式の一例を示した断面図である。
【図１５】外歯座金方式の一例を示した断面図である。
【図１６】本発明の実施例２に係る定流量制御装置の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図１７】同上実施例に係る定流量制御装置の全体構成を示す断面図である。
【図１８】本発明の実施例３に係る定流量制御装置（超音波接合方式）の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図１９】同上実施例に係る定流量制御装置（超音波接合方式）の全体構成を示す断面図である。
【図２０】同上実施例に係る定流量制御装置（スナップフィット方式）の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図２１】同上実施例に係る定流量制御装置（スナップフィット方式）の全体構成を示す断面図である。
【図２２】本発明の実施例４に係る定流量制御装置の全体構成を示す断面図である。
【図２３】本発明の実施例５に係る定流量制御装置の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図２４】同上実施例に係る固定部材の斜視図である。従来の定流量弁の構成例を示す断面図である。
【図２５】本発明の実施例６に係る定流量制御装置の各要素を分離してその断面を概略的に示した斜視図である。
【図２６】同上実施例に係る定流量制御装置の全体構成を示す断面図である。
【図２７】絞り要素のアッセンブリ方法の一例を説明する図である。
【図２８】絞り要素を構成する部材の接合例を説明するための斜視図である。
【図２９】定流量弁における流量とオリフィス径との関係について説明するための模式図である。
【図３０】従来の定流量弁の構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１１０            流体通路
１２０            第一室
１３０            ダイヤフラム
１４０            第二室
１５０            絞り部
１５０Ａ          ニードル弁
１５１            可動弁体
１６０            コイルスプリング
１７０Ａ          弁座
１８０            シール材
２００            絞り要素
２１０            第一通過部材（入口側）
２１１            入口穴
２２０            第一流路部材
２２１〜２２３    長穴
２３０            開口部材
２３１〜２３５    絞り穴
２４０            第二流路部材
２４１〜２４３    長穴
２５０            第二通過部材（出口側）
２５１            出口穴
３００            絞り要素
４００            絞り要素
５００            弾性部材
【図１】
2010031922.tif 000003
【図２】
2010031922.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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