(57)【要約】【課題】  微細加工及び経済性に優れた光硬化型のナノインプリント加工装置を提供することを目的とする。【解決手段】  本発明は、凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、前記レジストを前記基板に接触させる前に、前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段を有することを特徴とする。【選択図】  図１
2010076300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、
前記レジストを前記基板に接触させる前に、前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段を有することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段は、前記モールドを加振する加振装置であることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段は、前記モールド上を走査するブレードであることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項４】
前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段は、前記モールドにガスを吹き付ける手段であることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項５】
凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、
前記モールドは、複数の空洞を有するポーラス層で形成され、
前記空洞内を減圧するための圧力可変手段を有することを特徴とする加工装置。
【請求項６】
凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、
第１モールドヘッドと第２モールドヘッドとを有し、
前記第１モールドヘッドが保持するモールドにレジストを塗布する処理を含む準備工程と、前記第２モールドヘッドが保持するモールドに塗布されたレジストを基板に転写する転写工程とを並列して行うことを特徴とする加工装置。
【請求項７】
前記第２モールドヘッドが保持するモールドの転写が終了した後、前記第１モールドが保持するモールドに塗布されたレジストを基板に転写することを特徴とする請求項６に記載の加工装置。
【請求項８】
前記準備工程は、モールドにレジストを塗布する前にモールド上の異物を除去する清掃工程を含むことを特徴とする請求項６または７に記載の加工装置。
【請求項９】
前記準備工程において、レジストの塗布工程は減圧下においてなされることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項１０】
前記モールドヘッドは、前記モールドの外周に余分なレジストを受けるための回収口を有し、
転写工程につづく準備工程において、未硬化のレジストを前記回収口から回収する回収機構とを有することを特徴とする請求項６記載の加工装置。
【請求項１１】
前記モールドヘッドは、モールドの温度を調整するための温度調整器を有し、転写すべき倍率に合わせてモールドを膨張あるいは収縮させることを特徴とする請求項６記載の加工装置。
【請求項１２】
前記加工装置は、前記レジストを硬化するための光を照射する手段を更に有することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項１３】
前記モールドは、複数の空洞を有するポーラス層を含むことを特徴とする請求項１〜４、６〜１２のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のうちいずれか１項に記載の加工装置を用いて前記凹凸パターンを基板に転写するステップと、
前記基板にエッチングを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般には、加工装置に係り、特に、原版となるモールドのパターンをウエハ等の基板へ転写する加工装置に関する。本発明は、特に、ナノインプリント技術を利用する加工装置に好適である。
【背景技術】
【０００２】
紫外線やＸ線、あるいは、電子ビームによるフォトリソグラフィーを用いた半導体デバイスへの微細パターンの形成方法に代わる技術としてナノインプリントがある。ナノインプリントとは、電子ビーム露光等によって、微細なパターンを形成した雛型（モールド）を、レジストを塗布したウエハ等の基板に押し付ける（押印する）ことによって、レジスト上にパターンを転写するものである（例えば、非特許文献１参照）。既に１０ｎｍ程度の微細な形状の転写が可能であることが示されており、特に、磁気記録媒体の微細な周期構造の作成手段として注目されており、各地で盛んに研究開発が行われている。
【０００３】
ナノインプリントは、モールドと基板との間に気泡が入り込まないように、環境を真空にする場合もある。押印時のレジストの流動が容易になるように、レジストとして使用されるポリマーガラス転移温度以上に加熱して転写する方法（熱サイクル法）が提案されている。また、紫外線硬化型の樹脂をレジストとして使用し、透明なモールドで押印した状態で感光、硬化させてからモールドを剥離する方法（光硬化法）なども提案されている。
【０００４】
半導体集積回路の作成には、基板に既に描画されている回路パターン上に、高精度に位置合わせして次のパターンを転写する重ね合わせが必須である。熱サイクル法ではレジストを加熱するために、基板とモールドは温度上昇によって熱膨張してしまい、重ね合わせ精度を維持することは非常に困難である。そこで、ナノインプリントを半導体集積回路製造に適用する場合は、温度制御が比較的容易な光硬化法が適している。
【０００５】
半導体集積回路パターンは最小線幅が１００ｎｍ以下であり、モールドの微細な構造に確実にレジストが入り込むためには低粘度のレジスト材を使用する必要がある。また、ナノインプリント装置は、通常、ステップアンドリピート方式でウエハ面に逐次パターンを転写する。ここで、「ステップアンドリピート方式」は、ウエハのショットの一括転写ごとにウエハをステップ移動して、次のショットの転写領域に移動する方法である。この際、レジストの粘度が低いことから露光装置のように基板にレジストを予め塗布して搬送、装着することは困難である。このため、各ショットへの転写時に、モールドを押印する毎に適量を滴下する方法が提案されている（非特許文献２）。
【非特許文献１】Ｓ．Ｙ．Ｃｈｏｕ，ｅｔ．ａｌ．，Ｓｃｉｅｎｃｅ，ｖｏｌ．２７２，ｐ．８５−８７，５  Ａｐｒｉｌ  １９９６
【非特許文献２】Ｍ．Ｃｏｌｂｕｒｎ，Ｓ．Ｊｏｈｎｓｏｎ，Ｍ．Ｓｔｅｗａｒｔ，Ｓ．Ｄａｍｌｅ，Ｔ．Ｂａｉｌｅｙ，Ｂ．Ｃｈｏｉ，Ｍ．Ｗｅｄｌａｋｅ，Ｔ．Ｍｉｃｈａｅｌｓｏｎ，Ｓ．Ｖ．Ｓｒｅｅｎｉｖａｓａｎ，Ｊ．Ｇ．Ｅｋｅｒｄｔ  ａｎｄ  Ｃ．Ｇ．Ｗｉｌｌｓｏｎ．”Ｓｔｅｐ  ａｎｄ  Ｆｌａｓｈ  Ｉｍｐｒｉｎｔ  Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ：Ａ  ｎｅｗ  ａｐｐｒｏａｃｈ  ｔｏ  ｈｉｇｈ  ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ  ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ．”Ｐｒｏｃ．ＳＰＩＥ  ３６７６（Ｉ）：３７９（１９９９）．
【特許文献１】特開２００５−２８６０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の「ステップアンドリピート方式」によるナノインプリントでは、転写領域への移動、レジストの滴下、モールド押印によるレジストへの転写、レジスト硬化、モールド剥離、という一連の工程のための時間が必要である。このため、時間当りの基板処理能力を表すスループットを高めることに限界があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、より高いスループットを得ることが可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の側面は、凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、前記レジストを前記基板に接触させる前に、前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段を有することを特徴とする。
【０００９】
また、第２の側面は、凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、前記モールドは、複数の空洞を有するポーラス層で形成され、前記空洞内を減圧するための圧力可変手段を有することを特徴とする。
【００１０】
さらに、第３の側面は、凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、第１モールドヘッドと、第２モールドヘッドと、前記第１モールドヘッドが保持するモールドにレジストを塗布する処理を含む準備工程と前記第２モールドヘッドが保持するモールドに塗布されたレジストを基板に転写する転写工程とを並列して処理を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、より高いスループットを得ることが可能な加工装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は基板への転写前にパターンの凹凸内部にレジストを侵入させておくことにより、モールドと基板の接触時間を短縮し、スループットの向上を実現するものである。
【００１３】
また、モールドヘッドを複数有し、片方が転写工程中に他方でレジストの塗布工程をおこなうことにより並列処理が可能となりスループットの向上を実現するものである。
【００１４】
以下に実施例とともに詳述する。
【００１５】
（実施例１）
添付図面を参照して、本発明の加工装置としての光硬化法のナノインプリント装置について説明する。なお、各図において、同一の部材については、同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１６】
従来はウエハ等の基板にレジストを塗布し、その後、微細なパターンを形成した雛型（モールド）を基板に押し付ける（押印する）場合、基板にモールドを押し付ける力によって微細なパターン（凹凸）の隅々までレジストを行き渡らせる必要があった。そのため、パターンの転写に時間が必要であった。
【００１７】
特許文献１には、パターンを上に向けたモールド上にレジストを塗布した後、被加工面を下向きに保持した基板面に押し付け、転写を行う構成が開示されている。しかし、単にモールド上に塗布しただけではレジストは微細な凹凸に侵入しにくく、パターンの転写には従来と同様に基板に押し付ける力が必要であった。
【００１８】
本実施例は、モールドにレジストを塗布した後、基板に押し付ける前に、パターンの凹凸にレジストを侵入させ、押印に要する時間を短縮するようにしたものである。
【００１９】
図１は、実施例１のナノインプリント装置１０の概略断面図である。
【００２０】
ナノインプリント装置１０は、光硬化手段と、モールド１１と、モールド駆動部と、ウエハ２１と、ウエハ駆動部と、レジスト供給手段と、レジスト回収手段と、その他の機構とを有する。
【００２１】
光硬化手段は、モールド１１を介してレジスト４２に紫外線を照射してレジストを硬化する手段であり、光源１５と、照明光学系１４とを有する。光源１５は、ＵＶ光を発生するハロゲンランプ（不図示）などからなる。照明光学系１４は、レジストを露光し、硬化させるための照明光を整えてレジスト面に照射するためのレンズ、アパーチャ、照射か遮光かを切り替えるためのシャッタなどを含む。
【００２２】
モールド１１は、転写すべき微細構造が形成されており、レジストを硬化するための露光光を透過するため、透明な部材で作られている。
【００２３】
モールド駆動部は、モールド１１を装置１０に保持するためのモールドヘッド１２と、モールド１１を上方向に押し付ける駆動部としてのインプリント機構部１３とを含む。インプリント機構部１３は、上下動作をさせるだけでなくモールド転写面とウエハ２１とが密着するように姿勢のかわし機構や姿勢制御、回転方法の位置合わせ機能も有する。
【００２４】
ウエハ２１は、モールド１１に形成されているパターンが転写され、後の工程を経て半導体集積回路が形成される対象であり、従来の半導体プロセスに用いられているものと同様である。
【００２５】
ウエハ駆動部は、ウエハ２１を保持するウエハチャック２２と、ウエハチャック２２の位置、姿勢調整するためのウエハステージ２３とを含む。ウエハステージ２３は、ｘ、ｙ平面方向に移動可能であり、ウエハ全面を転写可能としている。ウエハステージ２３は、高精密な位置決めも可能であり、微細なパターンの重ね合せを達成している。また、ウエハステージ２３は、位置決めだけではなく、ウエハ２１の表面の姿勢を調整する手段も有しており、ウエハ２１の表面の姿勢を調整する役割を有する。
【００２６】
レジスト供給手段は、紫外線照射前、つまり硬化前のレジスト４２を保持するタンク３１と、ウエハ面にレジストを滴下するためのノズル３２と、ノズル３２からレジスト４２を滴下するか停止するかを切り替えるバルブ（不図示）を含む。
【００２７】
レジスト回収手段は、回収口３３と回収機構（不図示）とを含む。回収口３３は、モールドヘッド１２の表面に設置され、モールドからこぼれ落ちたレジスト４２を吸引回収する。回収機構は、真空ポンプ、フィルタなど（いずれも不図示）から構成され、回収口下流を負圧状態にすることでレジストを回収する。
【００２８】
その他の機構は、定盤５１、除振器２５、フレーム５２、アライメントスコープ２７、基準マーク台２８を含む。定盤５１は、装置１０全体を支え、除振器２５は、床からの振動を除去する機能を有し、定盤５１を支える。フレーム５２は、ウエハステージ２３の移動の基準平面を形成する。定盤５１は、モールド１１より下方に位置する構成部分の光源１５までを支える。アライメントスコープ２７は、ウエハ２１上のアライメントマーク位置を計測し、その結果に基づいてウエハステージ２３の位置決めを行う。基準マーク台２８は、基準マークを有し、アライメントスコープ２７の座標と、ウエハステージ２３の座標との位置合わせに使用される。
【００２９】
動作において、転写に供されるウエハ２１は、不図示のウエハ搬送系によってウエハチャック２２に載置される。ウエハチャック２２は真空吸着手段によってウエハ２１を保持する。ウエハステージ２３によって、ウエハ面上のアライメントマークを順にアライメントスコープ２７によって計測を行い、ウエハの位置を高精度に計測を行う。その計測結果から各転写座標を演算する。その結果に基づいて逐次転写（ステップアンドリピート）を行う。全ての転写が完了したら、ウエハが搬出され、次の転写ウエハが搬入される。
【００３０】
図２（ａ）は本発明の第１実施例を説明するため図１のモールドとノズル部分を拡大したものである。
【００３１】
ノズル３２はノズル駆動部３６によりモールド上を走査しながら適量のレジスト４２をモールド１１上に滴下する。モールドヘッド１２は加振機５４を有しており、水平および／または垂直の超音波振動をモールド１１に加える。その振動により微小凹凸の中にレジスト４２が侵入する。その後、ウエハステージ２３がウエハ２１を転写位置に移動し、位置決めを行う。位置決め完了後に、インプリント機構部１３がモールド１１を上昇させ、モールド１１をウエハ２１に押し付ける。押し付け完了の判断は、インプリント機構部１３の内部に設置された荷重センサによって行っている。加振によりレジスト４２は微小凹凸に侵入しているので、全面が接触し所定の厚みになった直後に、照明光を照射し、レジスト４２を硬化させる。レジスト硬化が終了した後、モールド１１を引き下げる。そして、次の転写位置（ショット）へウエハステージ２３を移動する。
【００３２】
モールド１１のパターン凹部へのレジスト侵入をさらに加速するために、モールド１１の表面の凹凸パターンは微小な空洞を多数有するポーラス層に形成されていてもよい。その一形態として図２（ｂ）に示すように、モールド１１をモールド基板６１と微小凹凸パターンの形成されたポーラス層（多孔質層）６０の２層で構成してもよい。凹凸パターン部をポーラス材料で構成することにより、空気が凹部に閉じ込められたとしても多孔質層に空気が吸収されるためレジストが短時間に凹部に侵入しやすくなる。ポーラス層としては、たとえばポーラスシリカ材料などの透明材料を使用することができる。ポーラスシリカ層は、シリカ原料とポリスチレン粒子などの高分子材料を分散した混合液を基板上に数ミクロンないし数１００ミクロンの厚さでコーティングし、熱を加えて高分子材料を除くことにより形成する方法などが知られており適用可能である。このようにしてモールド基板６１の上に数ナノメートル〜１０数ナノメートルの空洞が規則的あるいは不規則に配列されたポーラス層６０を得ることができる。数ナノメートル〜１０数ナノメートルという空洞のサイズはレジスト界面の表面張力でレジストがポーラス層内部に侵入しないための大きさである。
【００３３】
別の実施形態として、図２（ｃ）に示すようにモールド１１全体をポーラス材料で形成してもよい。そしてモールド背面（凹凸パターンの形成されていない面）に面する空間６２を不図示の圧力可変手段により減圧することによってポーラス材料の微小空洞内が減圧され、レジストには凹部へ引き込まれる力が加えられる。レジストを滴下する側の空間とモールド背面側の空間６２の気圧差は、レジストの凹部への侵入が促進されるがポーラス材料の微小空洞には入り込まないような条件とすればよい。
【００３４】
なお、レジスト硬化後にモールド１１をレジストから剥離する際には、モールド背面（凹凸パターンの形成されていない面）に面する空間６２を、先ほどとは逆に高圧にする。それにより、モールドの凹部から硬化したレジストが押し出されるため、きれいに短時間に剥離をおこなうことができる。短時間に剥離を行うと硬化したレジストの一部がモールド凹部に残ってしまい、レジストパターンの欠陥を生ずることがある。しかし、本方法によればモールド背面側からの気圧によってレジストが自然に押し出されるため、短時間に剥離をおこなっても欠陥を生じにくい。
【００３５】
以上説明したように、ポーラス層の効果は気泡をモールド内部に吸収することであるため、図２のようにモールドに直接レジストを滴下する場合のみならず、基板にレジストを塗布した後モールドを押印する場合にも、押印時間を短縮することができる。
【００３６】
（実施例２）
図３を参照して第２実施例を説明する。
【００３７】
図３に示すノズル３２はインクジェットと同様の原理によりピエゾ等のアクチュエーター（不図示）によってタンク３１のレジスト４２を微小液滴としてモールド１１上に滴下する。ノズル３２は紙面に垂直方向に並んでおりレジスト４２を線状に滴下しながらモールド１１上を走査する。ノズル３２がモールド１１上を走査しレジスト４２を滴下した後、ブレード５５がその表面をなぞって走査する。ブレード５５により表面が平らに均されると同時に凹部にレジストを押し込む作用をする。ノズル３２とブレード５５の走査によりレジスト４２の塗布と凹凸部への侵入が促進すると同時に表面が平滑化される。その後、ウエハステージ２３の転写位置への移動と位置決めの完了後に、インプリント機構部１３がモールド１１を上昇させ、モールド１１をウエハ２１に押し付ける。
【００３８】
レジスト表面は平滑化されているため、短時間に全面が接触し所定の厚みになった直後に、光源１５からの照明光を照射し、レジスト４２を硬化させることができる。
【００３９】
（実施例３）
図４を参照して第３実施例を説明する。
【００４０】
図２、図３と同様に図４においてもノズル３２の走査により、モールド１１上にレジスト４２が滴下される。滴下後、送風管５６を通してガスが矢印５７で示したようにレジスト４２の表面に吹き付けられる。送風管５６は紙面に並行に並んでおり、モールド１１の幅全体に吹き付けるようになっている。この風圧によってレジスト４２は微小凹凸の内部に侵入する。その後、送風管５６はモールド１１の上部から退避し、第２実施例と同様の動作でインプリントを行う。
【００４１】
送風管５６は紙面に垂直な線状の吹出しをもつものでもよい。その場合は紙面内にスキャンをおこないモールド１１の面全体にガスを吹き付けるようにする。
【００４２】
ガスは大気でもよいが、二酸化炭素またはヘリウム混合ガスなどのレジストに可溶解なガスを使用することで、レジスト４２より先にガスがモールド１１の凹部に侵入しても気泡として残らないようにする効果がある。
【００４３】
また、ガスフロー５７をレジスト４２の滴下より前に使用することにより、モールド１１表面に付着した残留レジストや異物を吹き飛ばして除去することもできる。
【００４４】
図４では、モールドヘッド１２に温度調整器４８を配し、温度制御器４９で温度制御をおこなうことにより、モールドの大きさを膨張あるいは収縮により制御するようになっている。
【００４５】
標準のモールドサイズより倍率を大きくしたい場合には、温度制御器４９で温度調整器４８を加熱することによりモールド１１を膨張させ、所定の倍率に変形させた後、転写することができる。次の転写までの清掃・レジスト滴下の時間に次のショットサイズに倍率をあわせるための温度変更をおこなって温度を安定化させることができる。１つのモールドヘッドでは温度安定化のための時間が必要でスループットが低下するが、次に示す実施例のように複数のモールドヘッドを使用することで、スループットを低下することなく温度安定化の時間を確保することが可能となる。
【００４６】
（実施例４）
図５を参照して第４実施例を説明する。
【００４７】
図５は今まで説明してきたモールドヘッドを複数（図では２つの場合を示す。左側を第１モールドヘッド、右側を第２モールドヘッドとする。）具備した加工装置を示している。
【００４８】
図５では２つのモールドヘッドとその上部で被加工面を下向きに支持されたウエハ２１、ウエハを裏面から真空吸着して保持するウエハチャック２２、ウエハを位置決めするウエハステージ２３を取り出して示している。位置決めのためのアライメントスコープや全体を保持する定盤、除振器は図１と同様であるため省略している。
【００４９】
左側の第１モールドヘッドはウエハ面から降下した位置で第１ノズル３２によりレジスト４２を滴下した状態である。不図示であるが、図２のような加振機または図３のブレード、または図４のようなガスフローなどの手段を使用して、レジスト４２をモールド１１の凹凸パターンに侵入させれば時間を短縮する効果がある。
【００５０】
レジスト４２の滴下は大気中でおこなってもよいが、以下に述べるように減圧下でおこなってもよい。容器５８はモールドヘッド１２の部分をカバーする容器であり、モールドが降下した状態で、上部に蓋５９をスライドさせ内部を密閉する。そして不図示の真空配管により、容器５８の内部を減圧とすることができる。
【００５１】
動作について以下に説明する。
【００５２】
ウエハ２１への１ショットのインプリントが終了して第１モールドヘッドが容器５８内に降下すると、容器５８の上部に蓋５９をスライドさせ、容器５８内を密閉する。不図示の真空配管により容器５８の内部を減圧した後に第１ノズル３２からレジスト４２を滴下しながらモールド１１の面を走査する。図５ではノズル駆動部３６を容器５８の外部に記してあるが、ノズル駆動部３６を容器５８内に置くことも可能である。容器５８の内部を真空にする必要はなく、容器外部の大気圧にくらべ８０％以下の減圧とすることで効果が得られる。真空度を上げすぎると内部温度が変化してしまい安定までの時間が必要になり、またレジストの揮発により物性が変化するなどの影響が生じてしまう。
【００５３】
レジストを滴下する環境を減圧状態とすることで、モールドパターンの凹部に空気の泡が残留することを防ぐことができ、滴下したレジストが凹部に侵入しやすくなる効果がある。
【００５４】
モールドの必要部分にレジストが滴下された後、図２のような加振機または図３のブレード、または図４のようなガスフローなどの手段を使用して、レジストを凹凸パターンにさらに侵入させる。蓋５９にガスの吹出し口を一体に設ければ、密閉の完了と同時にガスの吹出しの準備を完了することができる。
【００５５】
その後、上部の蓋５９を取り去るとレジスト表面に大気圧がかかり、パターン凹部に気泡が残留していたとしても、大気圧により押し出される効果がある。モールド１１の凹凸パターン面を図２のようなポーラス層としておくと、レジスト表面に大気圧がかかることにより、パターン凹部に閉じ込められた気泡はポーラス層の微細な空隙に吸収される。
【００５６】
次にインプリント機構部１３でモールド１１を上昇させる。その前にウエハステージ２３の転写位置への移動は行われていて、位置決めの完了後に、インプリント機構部１３でモールド１１をさらに上昇させ、モールド１１をウエハ２１に押し付ける。
【００５７】
レジストの全面が基板に接触し所定の厚みになった直後に照明光を照射してレジスト４２を硬化させる。すでに凹部へのレジストの侵入が促進されているため、短時間の接触でレジストを硬化させることが可能である。
【００５８】
硬化終了後、インプリント機構部１３でモールドヘッド１２を降下させると、硬化したレジストはウエハ表面に残り、照明光が照射されずに硬化しなかった周囲の残留レジストとともにモールドヘッド１２は容器５８内に戻る。
【００５９】
モールド表面の周囲に残った未硬化レジストや異物は、ガスフローなどを使用して清掃される。また、モールドヘッドの外周部に残留した余分な未硬化レジストは回収機構により回収口から回収配管を通じて回収される。
【００６０】
その後、再び容器５８を減圧しレジストの滴下が開始される。
【００６１】
図５の左側の第１モールドヘッドが清掃・レジスト滴下中は、右側の第２モールドヘッドが上昇してウエハ面へのレジスト転写を行う。第２モールドヘッドが下降して清掃・レジスト滴下にはいると、今度は第１モールドヘッドが上昇してレジスト転写を行う。
【００６２】
このように複数のモールドヘッドを交互に動作させることによって、他方がウエハへの転写中に、もう一方のモールドヘッドで清掃・レジスト滴下とパターン凹部へのレジスト侵入を並行して進めておくことができる。このため、ウエハ面への短時間のパターン転写を繰り返すことが可能となり、処理速度を速めることができる。
【００６３】
さらに図４で詳述したようにモールドヘッド１２に温度調整器を配して、温度制御をおこなうことにより、モールドの大きさを制御すればさらに効果がある。複数のモールドヘッドを使用することで、スループットを低下することなく温度安定化の時間を確保することが可能となる。
【００６４】
（実施例５）
以上、モールドヘッドをウエハの下側からインプリントする装置を説明してきたが、複数のモールドヘッドをウエハの上側に配置し、上側からインプリントする装置を図６により説明する。
【００６５】
図６においてウエハ駆動部は、ウエハ２１を保持するウエハチャック２２と、ウエハチャック２２の位置、姿勢調整するためのウエハステージ２３とを含む。ウエハステージ２３は、ｘ、ｙ平面方向に移動可能であり、ウエハ全面を転写可能としている。ウエハステージ２３は、高精密な位置決めも可能であり、微細なパターンの重ね合せを達成している。また、ウエハステージ２３は、位置決めだけではなく、ウエハ２１の表面の姿勢を調整する手段も有しており、ウエハ２１の表面の姿勢を調整する役割を有することは図１と同様である。
【００６６】
本実施例ではモールド駆動部とレジスト供給手段とを複数有している。
【００６７】
モールド駆動部は、モールド１１を保持するためのモールドヘッド１２と、モールド１１を下方向に押し付ける駆動部としてのインプリント機構部１３とを含む。インプリント機構部１３は、上下動作をさせるだけでなくモールド転写面とウエハ２１とが密着するように姿勢のかわし機構や姿勢制御、回転方法の位置合わせ機能も有する。
【００６８】
レジスト供給手段は、レジストを保持するタンク３１と、ウエハ面にレジストを滴下するためのノズル３２と、ノズル３２からレジスト４２を滴下するか停止するかを切り替えるバルブ（不図示）を含む。タンク３１はノズルに対して一つずつ描かれているが、共通の一つのタンクから複数のノズルにレジストを供給するように設計することは同業者であれば容易である。
【００６９】
ノズルはそれぞれ独立に可動であり、他方のモールドヘッドがウエハに押印している間に次に押印する領域にノズルが移動しレジストを滴下することができるようになっている。このように複数のモールドヘッドをもつことにより、押印とレジスト滴下を並列的におこなうことができるためスループットの向上に効果がある。
【００７０】
Ｎ個のモールドヘッドを持つ場合、ウエハ上の領域をＮ個に分割し、それぞれの対応する領域を各モールドヘッドが押印することで、ウエハの移動距離を少なくしスループットを向上することができる。
【００７１】
図７は２個のモールドヘッド１２１、１２２とウエハ上の領域２１１、２１２を示している。図７ａは正面図であり、図７ｂはウエハの平面図である。左側に図示されている第１のモールドヘッド１２１はウエハ上の第１領域２１１（一点鎖線より左側の領域）、右側に図示されている第２のモールドヘッド１２２はウエハ上の第２領域２１２（一点鎖線より右側の領域）をインプリントする。ウエハの内部に描かれている長方形は一回のインプリントで形成されるショットをあらわしている。一回のショット毎にウエハはステージによって移動し次にインプリントすべきショット位置をモールドヘッドの対応する位置に移動する。図中２０１、２０２、〜２０７はショットの順番を例示したものである。ショット順はこの例示に限られずトータルの移動時間が短くなるように選ぶことができる。また、必ずしも順番に処理する必要はなく、インプリント時の光による基板の加熱膨張を考慮に入れて隣接しないショットの経路を選んでもよい。
【００７２】
ウエハの直径をＷとしたとき、モールドヘッドの間隔Ｌは、Ｌ＜Ｗとすることが好ましい。さらにＬはＷの２分の１程度とするとなお良い。
【００７３】
図７はモールドヘッドが２個の場合を図示したが、３個あるいは４個の場合はウエハ上を３分割または４分割し、それぞれの領域を各モールドヘッドに対応させればよいことは言うまでも無い。
【００７４】
次に、図８及び図９を参照して、上述のナノインプリント装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図８は、デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造を例に説明する。ステップ１（回路設計）では、デバイスの回路設計を行う。ステップ２（モールド製作）では、設計した回路パターンに対応するパターンを形成したモールドを製作する。ステップ３（ウエハ製造）では、シリコンなどの材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は、前工程と呼ばれ、モールドとウエハを用いてナノインプリント装置によってウエハ上に実際の回路を形成する。ステップ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップ４によって作成されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）では、ステップ５で作成された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テストなどの検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップ７）される。
【００７５】
図９は、ステップ４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ１１（酸化）では、ウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）では、ウエハ上に電極を蒸着などによって形成する。ステップ１４（イオン打ち込み）では、ウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（転写処理）では、ウエハに感光剤を塗布しつつモールドをウエハに押し付け、紫外線を照射して回路パターンをウエハに転写する。ステップ１６（エッチング）では、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）によってパターニングを完了する。ステップ１７（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。デバイス（半導体素子、ＬＣＤ素子、撮像素子（ＣＣＤなど）、薄膜磁気ヘッドなど）を製造する。これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００７６】
本発明のデバイス製造方法によれば、光硬化法を使用するので重ね合わせ精度を高くすることが可能となる。さらに、低粘度のレジストを使用するので微細なモールドパターンにレジストが入り込み易くなり、微細加工を実現することが可能となる。また、周辺ショットにもモールドパターンを転写することが可能となるので経済性に優れた装置を提供することが可能となる。更に、レジストを回収するのでレジストによる装置やウエハの汚染を防止することが可能となり、高品位のデバイスを製造することが可能となる。このように、本発明のナノインプリント装置を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。また、本発明は、かかるデバイス製造方法の中間及び最終結果物であるデバイス自体もカバーする趣旨である。また、かかるデバイスは、例えば、ＬＳＩやＶＬＳＩなどの半導体チップ、ＣＣＤ、ＬＣＤ、磁気センサ、薄膜磁気ヘッドなどを含む。
【００７７】
本発明は以上に述べたように、微細なモールドのパターンをウエハ等の基板へ転写する加工装置、特に、ナノインプリント装置に好適であり、微細加工及び経済性に優れたナノインプリント装置を提供することができる。
【００７８】
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変形及び変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の第１実施例としての加工装置の概略断面図である。
【図２】図１に示す加工装置のモールド部の拡大断面図である。
【図３】本発明の第２実施例としての加工装置に適用可能なモールド部の拡大断面図である。
【図４】本発明の第３実施例としての加工装置に適用可能なモールド部の拡大断面図である。
【図５】本発明の第４実施例としてのモールドヘッドを複数具備した加工装置の要部断面図である。
【図６】本発明の第５実施例としてのモールドヘッドを複数具備した別の加工装置の腰部断面図である。
【図７】本発明のモールドヘッドとウエハの領域の関係を表す図である。
【図８】上述の加工装置を使用してデバイス（ＩＣヤＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図９】図８に示すステップ４の詳細なフローチャートである。
【符号の説明】
【００８０】
１０  ナノインプリント装置
１１  モールド
１２  モールドヘッド
１３  インプリント機構部
１４  照明光学系
１５  光源
２１  ウエハ
２２  ウエハチャック
２３  ウエハステージ
２５  除振器
２７  アライメントスコープ
２８  基準マーク台
３１  タンク
３２  ノズル
３３  回収口
３６  ノズル駆動部
４２  転写用レジスト
４８  温度調整器
４９  温度制御器
５１  定盤
５２  ステージ支持フレーム
５４  加振機
５５  ブレード
５６  送風管
５７  ガスフロー
５８  容器
５９  蓋
６０  ポーラス層
６１  モールド基板
６２  モールドの背面側空間
１２１  第１のモールドヘッド
１２２  第２のモールドヘッド
２０１〜２０７  ショット
２１１  ウエハの第１領域
２１２  ウエハの第２領域
【図１】
2010076300.tif 000003
【図２】
2010076300.tif 000004
【図３】
2010076300.tif 000005
【図４】
2010076300.tif 000006
【図５】
2010076300.tif 000007
【図６】
2010076300.tif 000008
【図７】
2010076300.tif 000009
【図８】
2010076300.tif 000010
【図９】
2010076300.tif 000011