(57)【要約】【課題】薄型でかつ光透過性が高く、製造が容易な信頼性の高い静電容量結合方式のタッチパネル装置、およびかかるタッチパネル装置を備えた高性能の電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】タッチパネル装置１が備えるタッチセンサー２は、タッチパネル基板２１と、タッチパネル基板２１上に設けられた下部配線２２と、下部配線２２の両端部がはみ出るように、下部配線２２上に設けられた絶縁膜２３と、これらの上に設けられた、複数の面状電極２４１および複数の上部配線２４２を備える電極パターン２４と、接着層２５を介してこれらの上方に載置された保護シート２６とを有している。絶縁膜２３は、液相成膜法により成膜された膜である。また、下部配線２２は液相成膜法により成膜され、電極パターン２４は気相成膜法により成膜されるのが好ましい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タッチパネル基板と、
該タッチパネル基板の一方の面側に設けられ、互いに離間した複数の面状電極と、
前記タッチパネル基板の第１の方向において隣接するそれぞれの面状電極間を接続する第１の配線と、
前記第１の方向と異なる第２の方向において隣接するそれぞれの面状電極間を接続し、前記面状電極と一体的に形成された第２の配線と、
前記第１の配線と前記第２の配線とを絶縁する液相成膜法により形成された絶縁膜とを有し、
前記タッチパネル基板の一方の面上に、前記第１の配線と、前記絶縁膜と、前記第２の配線とを、この順で重ねたものであることを特徴とするタッチパネル装置。
【請求項２】
前記絶縁膜の縁部の膜厚は、外縁に向かって漸減している請求項１に記載のタッチパネル装置。
【請求項３】
前記第１の配線は、液相成膜法により成膜されたものである請求項１または２に記載のタッチパネル装置。
【請求項４】
前記第１の配線の縁部の膜厚は、外縁に向かって漸減している請求項３に記載のタッチパネル装置。
【請求項５】
前記絶縁膜および前記第１の配線の少なくとも一方は、インクジェット法により成膜されたものである請求項１ないし４のいずれかに記載のタッチパネル装置。
【請求項６】
前記複数の面状電極および前記第２の配線は、気相成膜法により成膜されたものである請求項１ないし５のいずれかに記載のタッチパネル装置。
【請求項７】
前記複数の面状電極の少なくとも中央部は、それぞれ同一面上に位置している請求項１ないし６のいずれかに記載のタッチパネル装置。
【請求項８】
前記絶縁膜の平均膜厚は、０．５〜３μｍである請求項１ないし７のいずれかに記載のタッチパネル装置。
【請求項９】
電気光学素子と、該電気光学素子の一方の面側に配置された請求項１ないし８のいずれかに記載のタッチパネル装置とを有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル装置、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、現金自動預け払い機（ＡＴＭ）のように、電子機器を操作するための入力装置としてタッチパネル装置が普及している。このようなタッチパネル装置は、液晶表示装置等の各種表示装置の表示面側に搭載され、タッチパネル装置を透過して視認される表示装置の表示内容に応じて、タッチペン等の入力器具や人間の指等によりタッチ面の任意の位置を接触することにより、接触位置を特定して電子機器の各種操作、入力等を行う。このようなタッチパネル装置としては、例えば、抵抗膜方式、静電容量結合方式、弾性表面波方式等、種々の方式の装置が知られている。
【０００３】
特許文献１には、フィルム体の表面に設けられた互いに平行に延びる複数本の第１の電極と、フィルム体の裏面に設けられた第１の電極群に対して直交する方向に延びる互いに平行な複数本の第２の電極とを有するセンサ基板と、フィルム体の表面のうち、第１の電極群が存在しない領域に、第１の電極群と同等の厚さを有する充填層と、充填層および第１の電極群の表面に貼り付けられた保護シートとを有する静電容量結合方式の座標入力装置が開示されている。この座標入力装置では、使用者が手指を保護シートの表面に触れることにより、第１の電極群と第２の電極群との間の静電容量の変化に応じた電流値を測定して出力し、この電流出力値に基づいて、手指を押し当てた座標位置を検出できるようになっている。
【０００４】
図７は、従来の静電容量方式のタッチパネル装置の構成を模式的に示す断面図である。なお、以下の説明では、図７中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
図７に示すタッチパネル装置９００は、基板９１０と、基板９１０の下面に形成されたＹ電極９２０と、基板９１０の上面に形成されたＸ電極９３０と、Ｘ電極９３０を介して基板９１０の上方に設けられた保護シート９５０と、基板９１０と保護シート９５０との間に充填され、これらを接着する粘着層９４０とを有する。保護シート９５０の上面が、タッチパネル装置９００におけるタッチ面であり、手指等がこのタッチ面に触れることにより、タッチパネル装置９００はそのタッチ位置を検出するようになっている。
【０００５】
ここで、Ｙ電極９２０およびＸ電極９３０は、互いに直交する方向に延在する複数の線状の電極であり、これらの電極９２０、９３０間には、静電容量が形成されている。タッチ面に手指等が触れる前後で、この静電容量が変化するため、タッチパネル装置９００は、各電極９２０、９３０においてその静電容量の変化を検出し、タッチ位置を特定するよう構成されている。
【０００６】
ところが、このようなタッチパネル装置９００では、Ｙ電極９２０とＸ電極９３０とが、基板９１０の異なる面に設けられているため、製造プロセスの複雑化を招く。特に、Ｙ電極９２０およびＸ電極９３０は、それぞれ、導電膜を成膜した後、フォトリソグラフィー法およびエッチング法により所望の形状にパターニングするという複雑なプロセスを経て形成されるため、タッチパネル装置９００の製造工程全体の高コスト化を招く。
【０００７】
また、基板９１０の両面にそれぞれ電極を設けたため、タッチパネル装置９００の薄型化が困難であった。
さらには、図７には図示していないものの、Ｙ電極９２０を保護する保護シートも必要となることから、タッチパネル装置９００を構成する層数が多くなることが避けられず、光透過性に劣ることも課題となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平９−３０５２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、薄型でかつ光透過性が高く、製造が容易な信頼性の高い静電容量結合方式のタッチパネル装置、およびかかるタッチパネル装置を備えた高性能の電気光学装置および電子機器を提供することにある。
また、液相成膜法で形成される絶縁膜が、下地の表面状態に応じて弾かれてしまうのを防止し、これにより液相成膜法で形成したとしても、輪郭の形状が目的とする形状になっており、絶縁性能に優れた絶縁膜を備えるタッチパネル装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のタッチパネル装置は、タッチパネル基板と、
該タッチパネル基板の一方の面側に設けられ、互いに離間した複数の面状電極と、
前記タッチパネル基板の第１の方向において隣接するそれぞれの面状電極間を接続する第１の配線と、
前記第１の方向と異なる第２の方向において隣接するそれぞれの面状電極間を接続し、前記面状電極と一体的に形成された第２の配線と、
前記第１の配線と前記第２の配線とを絶縁する液相成膜法により形成された絶縁膜とを有し、
前記タッチパネル基板の一方の面上に、前記第１の配線と、前記絶縁膜と、前記第２の配線とを、この順で重ねたものであることを特徴とする。
これにより、薄型でかつ光透過性が高く、製造が容易な信頼性の高い静電容量結合方式のタッチパネル装置が得られる。
【００１１】
本発明のタッチパネル装置では、前記絶縁膜の縁部の膜厚は、外縁に向かって漸減していることが好ましい。
これにより、絶縁膜の縁部が、緩やかな傾斜を伴った形状になるため、このような絶縁膜上に面状電極および第２の配線が積層された際に、絶縁膜の縁部において面状電極や第２の配線が寸断されてしまうのを防止することができる。
【００１２】
本発明のタッチパネル装置では、前記第１の配線は、液相成膜法により成膜されたものであることが好ましい。
これにより、複数の小面積の第１の配線を効率よく成膜することができる。また、タッチパネル基板の上面全体に導電膜を成膜した後、不要な領域の導電膜を除去する方法に比べて、原材料の消費量を抑制することができる。
【００１３】
本発明のタッチパネル装置では、前記第１の配線の縁部の膜厚は、外縁に向かって漸減していることが好ましい。
これにより、第１の配線の縁部が、緩やかな傾斜を伴った形状になるため、このような第１の配線上に絶縁膜、面状電極および第２の配線が積層された際に、第１の配線の縁部において、絶縁膜、面状電極および第２の配線が寸断されてしまうのを防止することができる。
本発明のタッチパネル装置では、前記絶縁膜および前記第１の配線の少なくとも一方は、インクジェット法により成膜されたものであることが好ましい。
これにより、非成膜領域を覆うマスク等を用意しなくても部分的な成膜が可能になる。
【００１４】
本発明のタッチパネル装置では、前記複数の面状電極および前記第２の配線は、気相成膜法により成膜されたものであることが好ましい。
これにより、第１の配線の縁部および絶縁膜の縁部を覆うように面状電極および第２の配線を成膜する際に、部分的に膜厚が薄くなったり、亀裂が生じる等の不具合を招き難く、均一な膜を確実に得ることができる。
【００１５】
本発明のタッチパネル装置では、前記複数の面状電極の少なくとも中央部は、それぞれ同一面上に位置していることが好ましい。
これにより、タッチパネル装置のタッチ面と各面状電極との離間距離もほぼ等しくなり、使用者の手指と各面状電極との間に生じる静電容量のバラツキが抑制される。このため、静電容量の変化に基づいてタッチ位置を検出する際に、その検出精度を高めることができる。
本発明のタッチパネル装置では、前記絶縁膜の平均膜厚は、０．５〜３μｍであることが好ましい。
これにより、絶縁膜は、十分な光透過性を維持しつつ、絶縁性を確保することができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置は、電気光学素子と、該電気光学素子の一方の面側に配置された本発明のタッチパネル装置とを有することを特徴とする。
これにより、タッチパネル装置を備えた高性能の電気光学装置が得られる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高性能の電子機器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のタッチパネル装置の実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１に示すタッチパネル装置が備えるタッチセンサーの概略構成を示す平面図である。
【図３】図２に示すタッチセンサーのＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図３に示すタッチセンサーの製造方法を説明するための図である。
【図５】本発明の電気光学装置の実施形態を示す縦断面図である。
【図６】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図７】従来の静電容量方式のタッチパネル装置の構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明のタッチパネル装置、電気光学装置および電子機器について、添付図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。
＜タッチパネル装置＞
まず、本発明のタッチパネル装置について説明する。
図１は、本発明のタッチパネル装置の実施形態を示すブロック図、図２は、図１に示すタッチパネル装置が備えるタッチセンサーの概略構成を示す平面図、図３は、図２に示すタッチセンサーのＡ−Ａ線断面図である。なお、以下の説明では、図３中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図２には、ＸＹ平面を設定し、保護シートおよび接着層を透過して図示している。
【００１９】
図１に示すタッチパネル装置１は、タッチセンサー２と、タッチセンサー２に電気的に接続された制御回路３とを有している。
このようなタッチパネル装置１は、液晶表示素子や有機ＥＬ表示素子等の各種表示素子上に載置され、この表示素子の表示内容を透過しつつ、表示素子に対して各種入力を行う入力装置として機能する。
【００２０】
以下、各部の構成について詳述する。
タッチセンサー２は、図２および図３に示すように、タッチパネル基板２１と、タッチパネル基板２１上に設けられた下部配線（第１の配線）２２と、下部配線２２の一部がはみ出るように下部配線２２上に設けられた絶縁膜２３と、下部配線２２の一部と絶縁膜２３とを覆うように、タッチパネル基板２１上に設けられた電極パターン２４と、接着層２５を介してこれらの上方に載置された保護シート２６とを有している。
【００２１】
タッチパネル基板２１としては、光透過性および絶縁性を有する基板が用いられ、例えば、ソーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等の各種ガラス材料の基板や、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂等の各種樹脂材料の基板等が挙げられる。
電極パターン２４は、図２に示すように、タッチパネル基板２１上に規則的に並べられた複数の菱形をなす面状電極２４１と、各面状電極２４１のうち、Ｙ軸方向に隣接する面状電極２４１同士を接続する複数の線状をなす上部配線（第２の配線）２４２とを有している。なお、各上部配線２４２が設けられている領域以外では、各面状電極２４１同士の間は、間隔２４３を介して離間している。
【００２２】
一方、下部配線２２は、図２および図３に示すように、その両端部が、接続膜２３の左右からはみ出るように設けられている。これにより、下部配線２２は、各面状電極２４１のうち、Ｘ軸方向に隣接する面状電極２４１同士を、間隔２４３を跨ぐようにして接続している。
これにより、電極パターン２４は、Ｙ軸方向に並列した（Ｘ軸に沿って延びる）複数の電流経路と、Ｘ軸方向に並列した（Ｙ軸に沿って延びる）複数の電流経路とを有するものとなる。ここでは、前者を図２に示すＹ電極２４Ｙとし、後者を図２に示すＸ電極２４Ｘとした。
電極パターン２４および下部配線２２は、それぞれ酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化インジウムと酸化スズの混合物（ＩＴＯ）等の透明導電膜等の導電性材料で構成されており、光透過性を有している。
【００２３】
また、図２に示す各絶縁膜２３は、平面視で正方形をなしており、４つの面状電極２４１が隣接する領域に、４つの面状電極２４１の一部にかかるように設けられている。各絶縁膜２３は、各上部配線２４２と各下部配線２２との間に設けられ、これらを絶縁している。
このような各絶縁膜２３は、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、尿素樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、メラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、テトラフルオロエチレン樹脂、シリコーン樹脂（ポリシロキサン）等の各種樹脂材料、酸化ケイ素等の各種酸化物系材料等で構成されており、光透過性を有している。
【００２４】
また、各絶縁膜２３の平均厚さは、０．５〜３μｍ程度であるのが好ましく、１〜２μｍ程度であるのがより好ましい。このような厚さの絶縁膜２３は、十分な光透過性を維持しつつ、必要な絶縁性を確保することができる。
さらに、各絶縁膜２３の比誘電率は、４以下であるのが好ましく、３．５以下であるのがより好ましい。これにより、絶縁膜２３に生じる静電容量の大きさが最適化される。
また、各絶縁膜２３の屈折率は、２以下であるのが好ましく、１．７以下であるのがより好ましい。このような絶縁膜２３の屈折率は、タッチパネル基板２１、下部配線２２および電極パターン２４の屈折率と比較的近くなり、タッチパネル装置１全体の光透過性を高めることができる。
【００２５】
また、接着層２５は、電極パターン２４、絶縁膜２３および下部配線２２を備えるタッチパネル基板２１と保護シート２６とを接着するものであり、例えば、ウレタン系接着剤、エポキシ系接着剤、シリコーン系接着剤等が挙げられる。
さらに、保護シート２６としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、尿素樹脂、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂等のシート材が挙げられる。
この保護シート２６は、その上面がタッチパネル装置１の使用者がタッチするタッチ面となる。
【００２６】
ここで、タッチセンサー２の各部同士の間には、図１に示す静電容量が形成される。
また、タッチセンサー２に接続された制御回路３では、ある期間に、複数本のＹ電極２４Ｙのうち、１本または複数本を順次選択し、選択したＹ電極２４Ｙに電圧を印加する。この際、選択していないＹ電極２４Ｙは、電圧印加回路から分離しておく。そして、この電圧の印加に伴ってＸ電極２４Ｘの電圧を測定する。
一方、別の期間には、複数本のＸ電極２４Ｘのうち、１本または複数本を順次選択し、選択したＸ電極２４Ｘに電圧を印加する。この際、選択していないＸ電極２４Ｘは、電圧印加回路から分離しておく。そして、この電圧の印加に伴ってＹ電極２４Ｙの電圧を測定する。
【００２７】
制御回路３では、このようにＹ電極２４ＹとＸ電極２４Ｘの入出力信号を時分割で制御し、Ｙ電極２４ＹまたはＸ電極２４Ｘの電圧を測定する。
ここで、測定される電圧は、Ｙ電極２４ＹとＸ電極２４Ｘとの静電容量の変化に基づいて生じたものである。
この静電容量の変化は、タッチパネル装置１の使用者がタッチ面に触れた際に生じる。これは、タッチ面のタッチに伴い、使用者の手指とＹ電極２４ＹまたはＸ電極２４Ｘとの間に容量が形成され、これに伴ってＹ電極２４ＹとＸ電極２４Ｘとの静電容量が変化するためである。
したがって、タッチパネル装置１では、Ｙ電極２４ＹまたはＸ電極２４Ｘで測定された電圧値に基づいて、タッチ面におけるタッチ位置を検出することが可能になる。
【００２８】
このようにして検出したタッチ位置を、制御回路３から各種表示装置の表示内容を制御する演算回路（ＣＰＵ等）に入力することにより、タッチパネル装置１は入力装置として機能する。
なお、このようなタッチパネル装置１では、各面状電極２４１が比較的広い面積を占めている。
【００２９】
このような面状電極は、従来、基板の両面にそれぞれ設けられていた。このため、面状電極の形成工程が少なくとも２回必要になり、製造工程の複雑化を招いていた。
また、基板の両面に面状電極を設けることは、タッチパネル装置の薄型化を図る観点からも不利であった。
さらには、基板の両面の面状電極を設けた場合、両面に、面状電極を保護する保護シートを設ける必要が生じるため、より一層薄型化が困難になるとともに、タッチパネル装置の光透過性が低下することが問題となっていた。
【００３０】
これに対し、タッチパネル装置１では、各面状電極２４１をタッチパネル基板２１の同一面側に形成するようにした。これにより、面状電極２４１の形成は１回の工程で行うことができ、タッチパネル装置１の低コスト化を図ることができる。
また、タッチパネル基板２１の一方の面のみに各面状電極２４１を設けたことにより、タッチパネル装置１の薄型化が図られるとともに、タッチパネル装置１に必要とされる層数を減らすことができるため、光透過性を高めることができる。
【００３１】
さらに、複数の面状電極２４１の少なくとも中央部は、それぞれがタッチパネル基板２１から等しい距離にある同一面上に位置している。この場合、タッチ面と各面状電極２４１との離間距離もほぼ等しくなり、使用者の手指と各面状電極２４１との間に生じる静電容量のバラツキが抑制される。このため、静電容量の変化に基づいてタッチ位置を検出する際に、その検出精度を高めることができる。
【００３２】
次に、このようなタッチパネル装置１のタッチセンサー２を製造する方法について説明する。
図４は、図３に示すタッチセンサーの製造方法を説明するための図である。
まず、タッチパネル基板２１を用意する。このタッチパネル基板２１の上面には、必要に応じて、下部配線２２や絶縁膜２３との親和性を高める表面処理を施しておいてもよい。
【００３３】
次に、図４（ａ）に示すように、タッチパネル基板２１の上面に、等間隔で配置された帯状の下部配線２２を成膜する。
下部配線２２は、真空蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等の気相成膜法の他、下部配線２２の原材料を含む液状材料をスクリーン印刷法、インクジェット法、ゾル・ゲル法等の液相成膜法により成膜することで行うことができる。
このうち、下部配線２２の成膜には、特に液相成膜法を用いるのが好ましく、インクジェット法を用いるのがより好ましい。このような成膜法によれば、複数の小面積の下部配線２２を、効率よく成膜することができる。また、全面に導電膜を成膜した後、不要な領域の導電膜を除去する方法に比べて、原材料の消費量を抑制することができる。
下部配線２２の原材料を含む液状材料としては、特に限定されないが、透明導電膜の微粒子を含む分散液、有機スズと有機インジウムとを含むような反応して透明導電膜を形成し得る有機化合物の溶液等が挙げられる。
【００３４】
液状材料の成膜後、得られた液状被膜を乾燥させる。
液状被膜の乾燥方法としては、加熱、減圧、ガスの吹き付け等の方法が挙げられる。
その後、乾燥した液状被膜を焼成することにより、透明導電膜からなる下部配線２２が得られる。
液状被膜の焼成温度は、特に限定されないが、１５０〜４５０℃程度であるのが好ましい。
【００３５】
次に、図４（ｂ）に示すように、下部配線２２上に絶縁膜２３を成膜する。絶縁膜２３は、図２に示すように、その上下端部を下部配線２２からはみ出させるとともに、下部配線２２の左右端部が絶縁膜２３で覆われないようにして成膜する。
本発明では、絶縁膜２３は、液相成膜法により成膜されるが、好ましくはインクジェット法により成膜される。液相成膜法によれば、簡単な設備で効率よく成膜することができる。
【００３６】
また、下部配線２２が液相成膜法により成膜されている場合には、タッチパネル基板２１の上面は下部配線２２の成膜に対して最適化されていることが一般的であるため、液相成膜法により成膜される絶縁膜２３の成膜にも良好な表面状態になっている。さらに、液相成膜法により成膜された下部配線２２の表面も、絶縁膜２３を成膜するための液状材料に対して高い親和性を有するものとなる。このため、絶縁膜２３は、タッチパネル基板２１および下部配線２２に対してより優れた密着性を発揮する。
【００３７】
また、下部配線２２および絶縁膜２３を液相成膜法により成膜した場合、下部配線２２の縁部２２１の断面形状および絶縁膜２３の縁部２３１の断面形状は、それぞれ急峻な段差にはならず、緩やかな傾斜を伴った形状になっている。換言すれば、下部配線２２の縁部２２１の膜厚および絶縁膜２３の縁部２３１の膜厚は、それぞれ外縁に向かって漸減している。このため、このような形状の下部配線２２上に絶縁膜２３を成膜した場合、緩やかな傾斜を伴った縁部２２１に沿って絶縁膜２３が積層されることになるため、縁部２２１において絶縁膜２３が寸断されてしまうのを防止することができる。
これと同様に、下部配線２２および絶縁膜２３を覆うように電極パターン２４を成膜した場合も、緩やかな傾斜に沿って電極パターン２４が積層されることになるため、下部配線２２の縁部２２１や絶縁膜２３の縁部２３１において電極パターン２４が寸断されてしまうのを防止することができる。
【００３８】
また、特にインクジェット法により下部配線２２や絶縁膜２３を成膜する場合、非成膜領域を覆うマスク等を用意しなくても部分的な成膜が可能なため、成膜の効率が高いが、他の塗布法、印刷法に比べて、流動性を高めた液状材料を用いる必要がある。このため、例えばこのような液状材料を下部配線２２上に成膜した場合、液状被膜が縁部２２１において流れ落ちてしまい、寸断されるおそれがより高くなってしまう。かかる観点から、絶縁膜２３をインクジェット法により成膜する場合には、下部配線２２の縁部２２１の膜厚が外縁に向かって漸減していることが特に重要である。
【００３９】
次いで、タッチパネル基板２１、下部配線２２および絶縁膜２３を覆うように電極パターン２４を成膜する。
電極パターン２４も、上述したような各種成膜法により成膜することができるが、特に気相成膜法を用いるのが好ましく、スパッタリング法を用いるのがより好ましい。これにより、広い領域に対して効率よく電極パターン２４を成膜することができる。
気相成膜法により電極パターン２４を成膜する場合、まず、図４（ｃ）に示すように、成膜領域全体に原材料となる導電膜２４’を成膜する。
次いで、フォトリソグラフィー法およびエッチング法により、図４（ｄ）に示すように、この導電膜２４’を所定の形状にパターニングする。これにより、前述した間隔２４３を形成し、各面状電極２４１および各上部配線２４２を形成する。
【００４０】
このような導電膜を液相成膜法により成膜した場合、下部配線２２と絶縁膜２３の２層分の厚さの段差を跨ぐように導電膜を形成する必要があるため、導電膜が途中で途切れたりする等の不具合が生じるおそれがある。一方、気相成膜法によれば、図３に示すような、下部配線２２の縁部２２１および絶縁膜２３の縁部２３１を覆うように電極パターン２４を成膜する場合でも、部分的に膜厚が薄くなったり、亀裂が生じる等の不具合を招き難く、均一な導電膜２４’を確実に得ることができる。
【００４１】
このようにして電極パターン２４を形成した後、電極パターン２４上に接着層２５を塗布し、その接着層２５上に保護シート２６を載置することにより、図４（ｅ）に示すタッチパネル装置１が得られる。
このようなタッチパネル装置１では、タッチパネル基板２１側から、下部配線２２、絶縁膜２３および電極パターン２４がこの順で積層されている。
【００４２】
一方、タッチパネル装置１における下部配線２２、絶縁膜２３および電極パターン２４の積層順序を逆にした場合、次のような問題が生じる。
まず、電極パターン２４上に絶縁膜２３を成膜する必要があるが、各面状電極２４１および各上部配線２４２の上面と、間隔２４３に露出するタッチパネル基板２１の上面との間で互いに表面状態が異なるため、これらを跨ぐように液相成膜法により絶縁膜２３を成膜したとしても、液状材料が弾かれる等して液状被膜の輪郭の形状が変形するおそれがある。
【００４３】
これに対し、上述したようなタッチパネル装置１における積層順序であれば、前述したように、タッチパネル基板２１や下部配線２２が、絶縁膜２３の液状材料に対して親和性が高いことから、これらの問題を解消することができる。また、下部配線２２は、その形状が帯状であり、面積も小さいものであるため、絶縁膜２３の成膜に対する影響が小さいと言える。このため、本発明によれば、目的とする形状の絶縁膜２３を確実に成膜することができる。
【００４４】
また、電極パターン２４が気相成膜法と、フォトリソグラフィー法およびエッチング法とにより形成されている場合、電極パターン２４の縁部の断面形状は、急峻な段差を伴っている場合が多い。このため、このような形状の電極パターン２４上に絶縁膜２３を成膜した場合、電極パターン２４の縁部の段差で、絶縁膜２３が寸断されてしまうおそれがある。
これに対し、上述したようなタッチパネル装置１における積層順序であれば、絶縁膜２３は、下部配線２２上に成膜されることになるため、これらの問題点を解消することができる。その結果、信頼性の高いタッチパネル装置１が得られる。
【００４５】
＜電気光学装置＞
次に、本発明のタッチパネル装置を電気光学素子に装着した電気光学装置について、電気光学素子が液晶表示素子である場合を例にして説明する。
図５は、本発明の電気光学装置の実施形態を示す縦断面図である。なお、以下の説明では、図５の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００４６】
電気光学装置１０は、液晶表示素子１０１と、図１に示すタッチパネル装置１とを有している。
液晶表示素子１０１は、ガラス等の透明材料からなる１対の下部基板１００および上部基板２００が対向配置されている。下部基板１００と上部基板２００との間にはスペーサー（図示せず）が配置され、両者の間隔が例えば５μｍ程度に保持されている。また、下部基板１００および上部基板２００は、それぞれ、熱硬化型や紫外線硬化型などの接着剤からなる封止部材３００によって、周縁部が接合されている。
また、下部基板１００と上部基板２００と封止部材３００とによって囲まれた空間には、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶などの液晶材料が封入されている。
【００４７】
下部基板１００の内面には、ＩＴＯ等の透明導電材料からなるコモン電極１２０がストライプ状に形成されている。また上部基板２００の内面には、ＩＴＯ等の透明導電材料からなるセグメント電極２２０がストライプ状に形成されている。なおセグメント電極２２０およびコモン電極１２０は直交するように配置され、その交点付近が液晶表示素子１０１の表示画素となっている。
一方、下部基板１００の外側には入射側偏光板１８０が配置され、上部基板２００の外側には出射側偏光板２８０が配置されている。なお入射側偏光板１８０および出射側偏光板２８０は、それぞれの透過軸が所定角度（例えば約９０°）で交差するように配置されている。また、入射側偏光板１８０の外側には、バックライト２０が配置されている。
【００４８】
図５に示すように、下部基板１００の内面には、複数の画素４０に対応して、カラーフィルターを構成する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の色材層１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂが形成されている。なお、各色材層１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂの間には遮光膜１５０が形成され、隣接する画素４０からの光洩れが防止されている。また、各色材層１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂおよび遮光膜１５０の表面には平坦化膜（保護膜）１７０が形成され、その平坦化膜１７０の表面にコモン電極１２０が形成されている。そのコモン電極１２０の表面には、電界無印加時における液晶の配向状態を規制する配向膜１４０が形成されている。
【００４９】
一方、上部基板２００の内面にはセグメント電極２２０が形成されている。そのセグメント電極２２０の表面には、電圧無印加時における液晶の配向状態を規制する配向膜２４０が形成されている。なお、上部基板２００の配向膜２４０による液晶の配向方向と、下部基板１００の配向膜１４０による液晶の配向方向とが、所定角度（例えば約９０°）で交差するように各配向膜１４０、２４０が形成されている。
【００５０】
そして、バックライト２０からの光が入射側偏光板１８０に入射すると、入射側偏光板１８０の透過軸に沿った直線偏光のみが入射側偏光板１８０を透過する。入射側偏光板１８０を透過した直線偏光は、両基板１００、２００に挟持された液晶層３５０を透過する過程で、電界無印加時における液晶の配向状態にしたがって旋光する。液晶層３５０を透過した直線偏光のうち、出射側偏光板２８０の透過軸と一致する成分のみが、出射側偏光板２８０を透過する。
【００５１】
また、コモン電極１２０またはセグメント電極２２０のいずれか一方にデータ信号が供給され他方に走査信号が供給されると、両電極１２０、２２０の交点の画素４０に配置された液晶層３５０に電圧が印加される。その電圧レベルに応じて液晶分子の配向状態が変化し、液晶層３５０に入射した直線偏光の旋光角度が調整される。これにより、液晶表示素子１０１の画素４０ごとに光透過率が制御され、画像表示が行われるようになっている。
そして、この電気光学装置１０では、以上のように構成された液晶表示素子１０１に、図１に示すタッチパネル装置１が装着されている。
【００５２】
タッチパネル装置１は、そのタッチセンサー２が備えるタッチパネル基板２１の下面が、液晶表示素子１０１の出射側偏光板２８０の上面に、接着剤９０を介して接着されるとともに、検出したタッチ入力位置のデータに基づいて液晶表示素子１０１の駆動が制御されるように、液晶表示素子１０１に電気的に接続されている。これにより、タッチパネル装置１を介して入力操作を行い、この入力操作の情報に基づいて液晶表示素子１０１の表示を変化させることができるので、電気光学装置１０は、直観的な操作が可能な表示素子となる。
【００５３】
＜電子機器＞
次に、前述したような電気光学装置１０を備える本発明の電子機器について、図６に示す実施形態に基づき説明する。
図６は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、前述の電気光学装置１０と、図示しないバックライトとを備えている。
【００５４】
なお、本発明の電子機器は、図６の携帯電話機の他にも、例えば、パーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、ディジタルスチルカメラ、投射型表示装置、テレビ、ビデオカメラ、ビューファインダー型、モニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーターなどが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部、モニター部として、前述した本発明のタッチパネル装置が適用可能なことは言うまでもない。
以上、本発明のタッチパネル装置、電気光学装置および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のタッチパネル装置、電気光学装置および電子機器では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１……タッチパネル装置  ２……タッチセンサー  ３……制御回路  ２１……タッチパネル基板  ２２……下部配線  ２２１……縁部  ２３……絶縁膜  ２３１……縁部  ２４……電極パターン  ２４Ｘ……Ｘ電極  ２４Ｙ……Ｙ電極  ２４’……導電膜  ２４１……面状電極  ２４２……上部配線  ２４３……間隔  ２５……接着層  ２６……保護シート  １０……電気光学装置  １０１……液晶表示素子  ２０……バックライト  ４０……画素  ９０……接着剤  １００……下部基板  １２０……コモン電極  １４０……配向膜  １５０……遮光膜  １６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂ……色材層  １７０……平坦化膜  １８０……入射側偏光板  ２００……上部基板  ２２０……セグメント電極  ２４０……配向膜  ２８０……出射側偏光板  ３００……封止部材  ３５０……液晶層  １２００……携帯電話機  １２０２……操作ボタン  １２０４……受話口  １２０６……送話口  ９００……タッチパネル装置  ９１０……基板  ９２０……Ｙ電極  ９３０……Ｘ電極  ９４０……粘着層  ９５０……保護シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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