(57)【要約】【課題】  推進力を低下させることなく安定的に支持することができ、小型化できるようにした振動型アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】  アクチュエータ本体１を、一組のホルダ１１とカバー１２とからなる支持部材１０の内部に中空状態で保持する。ホルダ１１の内面とアクチュエータ本体１との隙間、およびカバー１２の内面とアクチュエータ本体１との隙間に、ディスペンサ等を用いて接着剤２１，２２を塗布する。この接着剤２１、２２は、シリコーンゴムなど硬化後に弾性を発揮する。このため、アクチュエータ本体１を加圧力によらず、接着力によって支持部材１０の内部に弾性的に支持することができるため、推進力を低下させることなく安定的に支持することが可能となる。また隙間に接着剤２１，２２を塗布するだけで支持できるため、小型の振動型アクチュエータとすることが可能となる。【選択図】図５
2010273529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒体、前記筒体の内部に進退自在に設けられた移動体及び前記筒体の周囲に設けられて前記筒体に屈曲運動を与える圧電素子を有するアクチュエータ本体と、前記アクチュエータ本体を支持する支持部材とを備えた振動型アクチュエータであって、
前記アクチュエータ本体が、弾性を有する接着剤により、前記支持部材に対して前記屈曲運動が可能な状態で支持されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記支持部材が、一組のホルダとカバーとからなり、前記アクチュエータ本体が前記ホルダと前記カバーとが組み合わされて形成される枠体の内側に支持されている請求項１記載の振動型アクチュエータ。
【請求項３】
前記接着剤が、前記アクチュエータ本体と前記ホルダの内面との間および前記アクチュエータ本体と前記カバーの内面との間に形成される隙間に塗布されている請求項２記載の振動型アクチュエータ。
【請求項４】
フレキシブルケーブルが前記圧電素子の周囲に設けられており、前記接着剤が前記フレキシブルケーブルの外面に塗布されている請求項３記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記ホルダ及び前記カバーは共に側部を有し、前記カバーの側部は前記ホルダの側部の外面に位置して組み合わされており、
前記ホルダの側部には、外面に前記カバーの側部との間で凹凸嵌合し前記ホルダと前記カバー間を位置決めする凸部と、前記凸部と対向する内面に前記接着剤の樹脂溜り部として機能する凹部が形成されている請求項２ないし４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記ホルダは、第１平面部と、前記第１平面部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に高さ方向に向けて形成された第１側部及び第２側部とを有し、
前記カバーは、第２平面部と、前記第２平面部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に、前記第１側部及び第２側部とは反対方向に向けて形成された第３側部及び第４側部とを有し、
前記アクチュエータ本体は、前記第１平面部、前記第１側部、前記第２側部、及び前記第２平面部にて囲まれた空間内にて、前記第１平面部の内面、前記第２平面部の内面、前記第１側部の内面、及び前記第２側部の内面に、夫々、前記接着剤を介して支持されている請求項５記載の振動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記第３側部及び前記第４側部の裾部には、前記左右方向の間隔が基端に向けて徐々に広がるガイド部が形成されている請求項６記載の振動型アクチュエータ。
【請求項８】
前記第１側部及び前記第２側部は、夫々、前記左右方向に対して直交する前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に複数に分離して形成されており、分離された前記第１側部間、あるいは前記第２側部間の少なくとも一方に前記第１平面部と一体となって延出する取付部が形成されており、
各第１側部と前記アクチュエータ本体との間、及び、各第２側部と前記アクチュエータ本体間に夫々、前記接着剤が塗布されている請求項６又は７に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項９】
前記第１側部と前記アクチュエータ本体との間、前記第２側部と前記アクチュエータ本体との間、前記第１平面部と前記アクチュエータ本体との間、及び、前記第２平面部と前記アクチュエータ本体との間に夫々、塗布された前記接着剤は、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に対して直交する同一の面内に位置している請求項６ないし８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記第１平面部及び前記第２平面部の内面の少なくとも一方に、塗布された前記接着剤を保持する凹部が形成されている請求項２ないし９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１１】
前記接着剤がシリコーンゴムである請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１２】
（ａ）ホルダーとカバーとを組み合わせることにより、枠体からなる支持部材を形成する工程と、
（ｂ）前記支持部材の内部に、アクチュエータ本体を前記ホルダの内面及び前記カバーの内面に接することなくそれぞれ所定の隙間を介して保持する工程と、
（ｃ）前記ホルダの内面と前記アクチュエータ本体との隙間および前記カバーの内部とアクチュエータ本体との隙間に接着剤を塗布する工程と、
を有する特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１３】
（ｄ）アクチュエータ本体を保持する工程と、
（ｅ）前記アクチュエータ本体を挟んだ両側の一方にホルダを、他方にカバーを対向配置する工程と、
（ｆ）前記ホルダの内面と前記アクチュエータ本体の一方及び前記カバーの内面と前記アクチュエータ本体の一方に接着剤をそれぞれ塗布する工程と、
（ｇ）前記ホルダと前記カバーとを組み合わせることにより、枠体からなる支持部材を形成する工程と、
を有する特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
前記ホルダには、外面に凸部と、前記凸部と対向する内面に凹部とが形成された側部を形成し、
前記カバーの側部を前記ホルダの側部の外面に位置させ、このとき、前記凸部により、前記ホルダの側部と前記カバーの側部とを凹凸嵌合して、前記ホルダと前記カバー間を位置決めし、
前記凹部を、前記ホルダの側部の内面に塗布された前記接着剤の樹脂溜り部として用いる請求項１２又は１３に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１５】
前記ホルダは、底部と、前記底部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に上方（Ｚ１）に向けて形成された第１側部及び第２側部とを有し、
前記カバーは、上部と、前記上部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に下方（Ｚ２）に向けて形成された第３側部及び第４側部とを有し、
前記ホルダの前記底部の内面、前記第１側部の内面、及び前記第２側部の内面に夫々、硬化前の接着剤を塗布する工程、
前記アクチュエータ本体を、前記ホルダの前記底部、前記第１側部及び前記第２側部にて囲まれた空間内に前記接着剤を介した状態で保持し、更に、前記アクチュエータ本体の上面に硬化前の接着剤を塗布する工程、
前記カバーの第３側部及び第４側部を前記ホルダの第１側部及び第２側部の外面に対向させて凹凸嵌合し前記ホルダとカバー間を位置決めする工程、
を有する請求項１４記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１６】
前記ホルダの側部の内面に形成された凹部よりも上方位置に、接着剤塗布の目印を設ける請求項１４又は１５に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【請求項１７】
前記接着剤がシリコーンゴムである請求項１２ないし１６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子などの駆動素子によって駆動子を加振させて、移動体を移動させる振動型アクチュエータ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下の特許文献１には、ねじ部を介して互いに嵌合している駆動子と移動子および前記駆動子を加振する圧電素子を有する振動型アクチュエータが開示されている。
【０００３】
前記圧電素子の駆動子に２軸且つ位相差のある屈曲運動（または屈曲振動、以下同じ）が繰り返されると、駆動子の運動は回転運動を行い、移動子に伝達されて、移動子が回転させられる。移動子は駆動子とねじ部を介して嵌合しているため、移動子は自らの回転力で、ねじの軸方向へ移動させられる。この種の振動型アクチュエータは、移動子が比較的低速で回転しながら前記中心軸に沿う方向へ進退移動でき、且つ大きな駆動トルクを得て大きな進退移動力（推進力）を発揮できるという利点を有する。
【０００４】
このような屈曲運動する長尺形状からなるアクチュエータの支持部材としては、例えば以下の特許文献２などが存在する。
【０００５】
特許文献２は、外周面に、駆動用、検出、及び共通アース用の電極パターンが形成され、各電極間に所定の電圧を印加すると全体として屈曲運動を行う長尺状の円柱圧電セラミックスからなる圧電振動子を利用した振動ジャイロに関するものである。
【０００６】
圧電振動子は、その両端から所定の距離を隔てた２箇所の位置に屈曲運動を行うためのノード（振動節）を有しており、このノードの近傍に弾性材質からなる環状支持部材がそれぞれ外挿され、この環状支持部材がホルダに立設された２箇所の鍔部の取り付け穴内にそれぞれ装着されることにより支持固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００７−５０５５９９号公報
【特許文献２】特開２００２−２２４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、長尺状の振動子の場合には、両端のノード（振動節）近傍をそれぞれ弾性材料で支持することで効率良い屈曲運動が可能となっている。
【０００９】
しかし、振動子を支持する位置は適切であっても加圧力が小さすぎると、屈曲運動の度に支持位置が長手方向にずれることがあり、屈曲運動が不安定となって結果として振動子の進退移動力（推進力）が低下してしまうという問題がある。
【００１０】
またこれとは逆に加圧力が大きすぎると、振動子の動きが拘束されて効率の良い屈曲運動を行うことができなくなるため、進退移動力（推進力）の低下を招くという問題がある。
【００１１】
さらに環状支持部材など振動子を支持する専用の部材を設ける必要があり、これを収納するスペースが必要となるため、小型化しにくく、また小型化すると製造しにくくなるという問題もある。
【００１２】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、振動子（移動体）を、推進力を低下させることなく安定的に支持することのできる振動型アクチュエータを提供することを目的としている。
【００１３】
また振動子（移動体）を小さなスペースで支持することにより、小型化できるようにした振動型アクチュエータを提供することを目的としている。
【００１４】
また本発明は小型の振動型アクチュエータを簡単に製造することのできる方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、筒体、前記筒体の内部に進退自在に設けられた移動体及び前記筒体の周囲に設けられて前記筒体に屈曲運動を与える圧電素子とを有するアクチュエータ本体と、前記アクチュエータ本体を支持する支持部材とを備えた振動型アクチュエータであって、
前記アクチュエータ本体が、弾性を有する接着剤により、前記支持部材に対して前記屈曲運動が可能な状態で支持されていることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明では、硬化後に程度な弾性を有する接着剤によってアクチュエータ本体を支持することにより、従来のように加圧力で支持する必要がない。このため、加圧力の調整が不要であり、アクチュエータ本体の屈曲運動を安定させることができる。その結果、移動体の推進力の低下を防止することができる。
【００１７】
例えば、前記支持部材が、一組のホルダとカバーとからなり、前記アクチュエータ本体が前記ホルダと前記カバーとが組み合わされて形成される枠体の内側に支持されているものとして構成される。
【００１８】
この場合、前記接着剤が、前記アクチュエータ本体と前記ホルダの内面との間および前記アクチュエータ本体と前記カバーの内面との間に形成される隙間に塗布される構成にできる。
【００１９】
上記手段では、アクチュエータ本体とホルダ及びカバーとの間に形成された隙間に接着剤を塗布することによりアクチュエータ本体を支持することができる。このため、弾性体を装着するための専用のスペースを確保する必要がなく、振動型アクチュエータを小型化することが可能となる。
【００２０】
例えば、フレキシブルケーブルが前記圧電素子の周囲に設けられており、前記接着剤が前記フレキシブルケーブルの外面に塗布されているものとして構成される。
【００２１】
上記手段では、各圧電素子との電気的な接続を確保しつつアクチュエータ本体を支持することができる。
【００２２】
また本発明では、前記ホルダ及び前記カバーは共に側部を有し、前記カバーの側部は前記ホルダの側部の外面に位置して組み合わされており、
前記ホルダの側部には、外面に前記カバーの側部との間で凹凸嵌合し前記ホルダと前記カバー間を位置決めする凸部と、前記凸部と対向する内面に前記接着剤の樹脂溜り部として機能する凹部が形成されていることが好ましい。
【００２３】
これにより、カバーのホルダに対する位置決めを簡単且つ高精度に行うことが出来るとともに、接着剤が外部へはみ出すのを抑制することが出来る。
【００２４】
また本発明では、前記ホルダは、第１平面部と、前記第１平面部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に高さ方向に向けて形成された第１側部及び第２側部とを有し、
前記カバーは、第２平面部と、前記第２平面部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に、前記第１側部及び第２側部とは反対方向に向けて形成された第３側部及び第４側部とを有し、
前記アクチュエータ本体は、前記第１平面部、前記第１側部、前記第２側部、及び前記第２平面部にて囲まれた空間内にて、前記第１平面部の内面、前記第２平面部の内面、前記第１側部の内面、及び前記第２側部の内面に、夫々、前記接着剤を介して支持されていることが好ましい。
【００２５】
アクチュエータ本体の上下左右を、支持部材との間で接着剤を介して支持でき、これにより外力に対してアクチュエータ本体を安定して支持できる。また、接着剤が外部へ流出しにくい構造に出来る。
【００２６】
また本発明では、前記第３側部及び前記第４側部の裾部には、前記左右方向の間隔が基端に向けて徐々に広がるガイド部が形成されていることが好ましい。これによりカバーの側部をホルダ１１の側部にスライド移動させて組み込むときに、ホルダの側部の外面に形成された凸部に前記カバーのガイド部が当接した際、前記ガイド部が前記カバーの第３側部及び第４側部間の左右方向の間隔を広げる方向に働き、スムースに、カバーの側部を、ホルダの側部の外面に沿って凹凸嵌合の位置まで組み込むことができる。
【００２７】
また本発明では、前記第１側部及び前記第２側部は、夫々、前記左右方向に対して直交する前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に複数に分離して形成されており、分離された前記第１側部間、あるいは前記第２側部間の少なくとも一方に前記第１平面部と一体となって延出する取付部が形成されており、
各第１側部と前記アクチュエータ本体との間、及び、各第２側部と前記アクチュエータ本体間に夫々、前記接着剤が塗布されていることが好ましい。
【００２８】
また本発明では、前記第１側部と前記アクチュエータ本体との間、前記第２側部と前記アクチュエータ本体との間、前記第１平面部と前記アクチュエータ本体との間、及び、前記第２平面部と前記アクチュエータ本体との間に夫々、塗布された前記接着剤は、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に対して直交する同一の面内に位置していることが好ましい。
【００２９】
これにより接着剤をアクチュエータ本体の上下左右にバランスよく塗布でき、特に、ノード（振動節）の位置の上下左右にバランスよく前記接着剤を塗布でき、筒体を効率良く屈曲運動させることができ、移動体の進退移動力を効果的に大きくすることができる。
【００３０】
また本発明では、前記第１平面部及び前記第２平面部の内面の少なくとも一方に、塗布された前記接着剤を保持する凹部が形成されていることが好ましい。
【００３１】
上記手段では、硬化前の接着剤を凹部に留めておくことができるため、接着剤の無駄を防止することができる。
【００３２】
あるいは接着剤が凹部に嵌り込むため、アクチュエータ本体が屈曲運動しても接着剤が位置ずれすることがなくなる。このため、アクチュエータ本体と支持部材との移動方向における相対的な位置関係を初期の状態に維持することができる。
【００３３】
また凹部によって接着剤を塗布する位置を規定することができる。
例えば、前記接着剤がシリコーンゴムである。
【００３４】
また本発明の振動型アクチュエータの製造方法は、
（ａ）ホルダーとカバーとを組み合わせることにより、枠体からなる支持部材を形成する工程と、
（ｂ）前記支持部材の内部に、アクチュエータ本体を前記ホルダの内面及び前記カバーの内面に接することなくそれぞれ所定の隙間を介して保持する工程と、
（ｃ）前記ホルダの内面と前記アクチュエータ本体との隙間および前記カバーの内部とアクチュエータ本体との隙間に接着剤を塗布する工程と、
を有する特徴とするものである。
【００３５】
あるいは、
（ｄ）アクチュエータ本体を保持する工程と、
（ｅ）前記アクチュエータ本体を挟んだ両側の一方にホルダを、他方にカバーを対向配置する工程と、
（ｆ）前記ホルダーの内面と前記アクチュエータ本体の一方及び前記カバーの内面と前記アクチュエータ本体の一方に接着剤をそれぞれ塗布する工程と、
（ｇ）前記ホルダーと前記カバーとを組み合わせることにより、枠体からなる支持部材を形成する工程と、
を有する特徴とするものである。
上記においては、前記接着剤がシリコーンゴムであるものが好ましい。
【００３６】
本発明では、アクチュエータ本体を、接着剤によって弾性的に支持される振動型アクチュエータを簡単に製造することができる。
【００３７】
本発明では、前記ホルダには、外面に凸部と、前記凸部と対向する内面に凹部とが形成された側部を形成し、
前記カバーの側部を前記ホルダの側部の外面に位置させ、このとき、前記凸部により、前記ホルダの側部と前記カバーの側部とを凹凸嵌合して、前記ホルダと前記カバー間を位置決めし、
前記凹部を、前記ホルダの側部の内面に塗布された前記接着剤の樹脂溜り部として用いることが好ましい。
【００３８】
上記により、カバーとホルダ間を確実且つ簡単に組み込むことが出来、またカバーのホルダーに対する位置決めを簡単且つ高精度に行うことができる。また、前記ホルダの側部の内面に塗布された前記接着剤が例えば流動性が高い材質であっても、前記凹部内に溜めることができ、接着剤が外部へ流出するのを抑制することができる。
【００３９】
また本発明では、前記ホルダは、底部と、前記底部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に上方（Ｚ１）に向けて形成された第１側部及び第２側部とを有し、
前記カバーは、上部と、前記上部の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側に下方（Ｚ２）に向けて形成された第３側部及び第４側部とを有し、
前記ホルダの前記底部の内面、前記第１側部の内面、及び前記第２側部の内面に夫々、硬化前の接着剤を塗布する工程、
前記アクチュエータ本体を、前記ホルダの前記底部、前記第１側部及び前記第２側部にて囲まれた空間内に前記接着剤を介した状態で保持し、更に、前記アクチュエータ本体の上面に硬化前の接着剤を塗布する工程、
前記カバーの第３側部及び第４側部を前記ホルダの第１側部及び第２側部の外面に対向させて凹凸嵌合し前記ホルダとカバー間を位置決めする工程、
を有することが好ましい。
【００４０】
これにより、アクチュエータ本体の上下左右を、支持部材との間で接着剤を介して支持でき、これにより外力に対してアクチュエータ本体を安定して支持できる。また、接着剤をカバーの側部よりも内側に位置するホルダの側部の内面に塗布するため接着剤が外部へ流出しにくい構造に出来る。
【００４１】
また本発明では、前記ホルダの側部の内面に形成された凹部よりも上方位置に、接着剤塗布の目印を設けることが好ましい。
【００４２】
これにより、ホルダの側部の内面への接着剤の塗布を容易に行うことができる。また、前記目印を基に、例えば目印表面に接着剤を塗布することで、アクチュエータ本体をホルダの側部間に接着剤を介して保持したとき、あるいは接着剤の自重により、接着剤が前記側部を伝って下方に流動しても、前記下方には凹部があるため、前記凹部内に接着剤を効果的に溜めることができ、前記接着剤が外部へ流出するのを適切に抑制することが出来る。
【発明の効果】
【００４３】
本発明では、接着剤の有する接着力でアクチュエータ本体を支持することができる。このため、加圧力の調整が不要となり、常にアクチュエータ本体を安定して支持することができる。よって、推進力の低下を防止できる。
【００４４】
また接着剤をアクチュエータ本体と支持部材との隙間に塗布することにより、アクチュエータ本体を支持することができるため、小型の振動型アクチュエータとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態としての振動型のアクチュエータ本体を示す斜視図、
【図２】図１の振動型のアクチュエータ本体の分解斜視図、
【図３】第１実施形態における振動型アクチュエータ（振動型のアクチュエータ本体が支持部材により支持された状態）を示す斜視図、
【図４】図３の振動型アクチュエータの分解斜視図、
【図５】振動型アクチュエータを図３の矢視Ｖ方向から見た状態を示す正面図、
【図６】第２実施形態における振動型アクチュエータの斜視図、
【図７】図６に示す振動型アクチュエータの正面図、
【図８】図６に示す振動型アクチュエータの分解斜視図（接着剤の図示なし）、
【図９】図６に示す振動型アクチュエータの分解斜視図（接着剤の図示あり）であり製造方法を示す一工程図、
【図１０】図９の次に行われる振動型アクチュエータの製造方法を示す一工程図（斜視図）、
【図１１】（ａ）は、アクチュエータ本体の側部に塗布される接着剤の好ましい塗布位置を示す模式図、（ｂ）は比較例を示す模式図、
【図１２】振動型アクチュエータの取付けの概略を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
図１は、本発明の実施の形態としての振動型のアクチュエータ本体を示す斜視図、図２は、図１の振動型のアクチュエータ本体の分解斜視図である。
【００４７】
先ず、図１及び図２を参照しつつ振動型のアクチュエータ本体の基本的構造について説明する。
【００４８】
図１及び図２に示すように、振動型のアクチュエータ本体１は、振動筒体（駆動子）４と、この振動筒体４の内部に挿入される移動体２を有している。
【００４９】
振動筒体４は４つの側面を有しており、Ｘ１方向又はＸ２方向（前後方向）から見た端面の形状は略正方形状をしている。振動筒体４の中心には軸方向に貫通する貫通穴４ａが形成されており、この貫通穴４ａの内周面には雌ねじ部４ａ１が形成されている。なお、振動筒体４は一対のノード（振動節）をそれぞれ有している。一方のノードは長尺状の振動筒体４の一端側（Ｘ１）に設けられ、他方のノードは長尺状の振動筒体４の他端側（Ｘ２）に設けられている。
【００５０】
また振動筒体４の４つの側面には、駆動素子として機能する４つの圧電素子６，７，８，９がそれぞれ取り付けられている。圧電素子６，７，８，９は電歪効果を発揮する圧電セラミックで形成されており、それぞれの圧電素子６，７，８，９の誘電分極の向きは厚み方向である。
【００５１】
圧電素子６と圧電素子８は、振動筒体４の対向する側面４Ａ，４Ｃにそれぞれ設けられ、圧電素子７と圧電素子９はこれと直交する他の側面４Ｂ，４Ｄにそれぞれに設けられている。圧電素子６，７，８，９には、外側の面に外側電極６ａ，７ａ，８ａ，９ａが、側面４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄと対向する内側の面に内側電極６ｂ，７ｂ，８ｂ，９ｂがそれぞれ設けられている。
【００５２】
４つの圧電素子６，７，８，９の周囲には、フレキシブルケーブル５０が巻き付けられている。フレキシブルケーブル５０は、絶縁性及び可撓性を備えたポリイミドなどからなるフィルムで形成され、フィルムの内部には複数の導電パターンが配線されている。
【００５３】
フレキシブルケーブル５０は、Ｘ１方向に延出する部分を備えた複数の接続部５１，５２，５３，５４がＹ１−Ｙ２方向に連設されており、接続部５１の一端部から外部へ配線部５０Ａが延出して形成されている。接続部５１，５２，５３，５４は、それぞれ所定幅を有して形成されている。接続部５１，５２，５３，５４には貫通孔５５がそれぞれ形成されており、貫通孔５５の内面側の周囲には内部のいずれかの配線パターンと接続された接続電極（図示せず）が形成されている。
【００５４】
そして、フレキシブルケーブル５０を振動筒体４の周囲に圧電素子６，７，８，９を介して巻き付けると、４つの各接続部５１，５２，５３，５４が４つの各圧電素子６，７，８，９に対向する。このとき、接続部５１，５２，５３，５４に形成された接続電極が、圧電素子６，７，８，９の外面側の外側電極６ａ，７ａ，８ａ，９ａに対向する。このため、各貫通孔５５に半田５６（例えば図４参照）を流し込むことにより、圧電素子６，７，８，９の外面側の外側電極６ａ，７ａ，８ａ，９ａと接続部５１，５２，５３および５４の各接続電極とをそれぞれ半田付けすることができる。なお、圧電素子６，７，８，９の内面側の内側電極６ｂ，７ｂ，８ｂ，９ｂはグランド用であり、例えばワイヤ線（図示せず）を介してフレキシブルケーブル５０上に設けられたグランド電極（図示せず）に接続されている。
【００５５】
移動体２は軸体であり、その軸中心は直線状である。そして、移動体２の外周面には、軸方向（Ｘ１−Ｘ２方向）に向けて連続する雄ねじ部２ａが形成されている。
【００５６】
雄ねじ部２ａは、振動筒体４の内周面に形成された雌ねじ部４ａ１と同じピッチを有しているが、雄ねじ部２ａの有効径は雌ねじ部４ａ１の有効径よりもやや小さい。そのため、移動体２の雄ねじ部２ａが、振動筒体４の雄ねじ部４ａ１に嵌合したときに、移動体２は軸中心Ｏ１と直交する方向へ若干のがたつき（クリアランス）を有しているが、移動体２を軸中心Ｏ１に沿う方向へ移動させようとしても、雄ねじ部２ａのねじ山が、雌ねじ部４ａ１のねじ山を越えることはない。すなわち、移動体２は、振動筒体４に対して軸方向にがたつきを生じるように嵌合されているが、移動体２が振動筒体４に対して軸方向へ抜き出ることはない。
【００５７】
なお、雌ねじ部４ａ１は、上記のように振動筒体４側の貫通穴４ａ内にその全長に渡って形成されていてもよいが、貫通穴４ａ内の両端のノード近傍のみにそれぞれ形成される構成でもよい。このようにすると、雌ねじ部４ａ１と雄ねじ部２ａとの間の摩擦抵抗を低減することができるため、ねじ送りを効率良くスムースに行うことができるようになる。
あるいは、貫通穴４ａの中心部にのみ雌ねじ部４ａ１を形成する構成であってもよい。
【００５８】
各圧電素子６，７，８，９には、所定の駆動信号が図示しない駆動回路からフレキシブルケーブル５０を介して与えられる。すなわち、圧電素子６に伸び力を発生させる駆動振動が与えられるときには、これと対向する位置に設けられた圧電素子８に縮み力を発生させる駆動信号が与えられる。次に、圧電素子６に隣接する圧電素子７に伸び力を発生させる駆動信号が与えられるときには、これと対向する位置に設けられた圧電素子９に縮み力を発生させる駆動信号が与えられる。
【００５９】
以下同様に、互いに対向する一方の圧電素子に伸び力を与えると同時に他方の圧電素子に縮み力を与えるようにし、これを一定の周期で時計回り方向、または反時計回り方向に切り換えると、すなわち９０°位相の異なる駆動信号を各圧電素子６，７，８，９に与えると、振動筒体４に屈曲運動を繰り返して発生させることができる。このため、振動筒体４を屈曲運動が可能な状態で支持しておくことにより、貫通穴４ａ内に設けられた移動体２を軸方向にねじ送りすることができる。すなわち、移動体２は振動筒体４の内部に移動方向に沿って進退自在に設けられている。
【００６０】
このようなアクチュエータ本体１は、移動体２を軸方向にねじ送りすることにより、大きな駆動力を発生することができる。このため、例えばカメラ装置においてレンズを移動させるフォーカス機構などへの応用が見込まれる。
【００６１】
次に、上記振動型アクチュエータの支持部材について説明する。
図３は第１実施形態における振動型アクチュエータ（振動型のアクチュエータ本体が支持部材により支持された状態）を示す斜視図、図４は図３の振動型アクチュエータの分解斜視図、図５は振動型アクチュエータを図３の矢視Ｖ方向から見た状態を示す正面図である。
【００６２】
図３ないし図５に示すように、本発明のアクチュエータ本体１は、一組のホルダ１１とカバー１２とからなる枠状の支持部材１０を有し、これら支持部材１０からなる枠体の内部に支持されている。
【００６３】
ホルダ１１及びカバー１２は、金属板を板金加工することにより形成されている。
ホルダ１１は、板状の底部（第１平面部）１１Ａと、前方（Ｘ１側）の位置で底部１１Ａの両側からそれぞれ垂直に立設された一対の板状の前側部１１Ｂ，１１Ｂと、後方（Ｘ２側）の位置で底部１１Ａの両側からそれぞれ垂直に立設された一対の板状の後側部１１Ｃ，１１Ｃと、底部１１Ａの一部が前側部１１Ｂ，１１Ｂと後側部１１Ｃ，１１Ｃの間から一方のＹ１方向に延びた板状の取付部１１Ｄと、他方のＹ２方向に延びた板状の延出部１１Ｅと有しており、これらは金属板を板金加工することにより一体に形成されている。
【００６４】
底部１１Ａの内面には凹部１１ａが、外面には凸部１１ｂが形成されている。凹部１１ａと凸部１１ｂとは、底部１１Ａをプレス加工することにより、表裏一体の関係を有して形成されている（図５参照）。
【００６５】
また前側部１１Ｂ，１１Ｂ及び後側部１１Ｃ，１１Ｃの外面には掛止凸部１１ｃ，１１ｃ，１１ｃ，１１ｃがそれぞれ形成されている。さらに取付部１１Ｄには取付穴１１ｄが穿設されている。また図５に示すように、取付部１１Ｄは基端から先端に向かって湾曲形成されており、その先端は水平面ＨＰよりも下方に位置している。また延出部１１Ｅの先端には、平面視略Ｔ字形状からなる掛止部１１Ｆが形成されている。なお、掛止部１１Ｆは先端の幅寸法は、フレキシブルケーブル５０の配線部５０Ａの幅寸法よりも広い。このため、上方から見たときに、延出部１１Ｅの上に配置された配線部５０Ａにより、延出部１１Ｅが隠れることがあっても、掛止部１１Ｆを配線部５０Ａの両側（Ｘ１及びＸ２方向）に突出させることができるため、後述するように取付時の作業を良好にできる。
【００６６】
カバー１２は、上部（第２平面部）１２Ａと、上部１２Ａの両側が下方に垂直に折り曲げられて形成された一対の側部１２Ｂ，１２Ｂを有している。上部１２Ａの長手方向の両端には、略Ｕ字形状に切り欠かれた逃げ部１２ａ，１２ａが形成されている。また上部１２Ａの内面には、プレス加工時の圧痕によって形成された逃げ凹部１２ｂ，１２ｂが設けられている。一対の側部１２Ｂ，１２Ｂの前後の位置には、掛止凹部１２ｃ，１２ｃ，１２ｃ，１２ｃが形成され、その近傍には逃げ穴１２ｄ，１２ｄ，１２ｄ，１２ｄが穿設されている。この実施形態では、掛止凹部１２ｃ，１２ｃ，１２ｃ，１２ｃは貫通孔で形成されている。また側部１２Ｂ，１２Ｂの下端には、一部を切り欠くことによりなる段差部１２ｆ，１２ｆがそれぞれ一体に形成されている。
【００６７】
ホルダ１１の前側部１１Ｂ，１１Ｂと後側部１１Ｃ，１１Ｃの外側に、カバー１２の側面１２Ｂ，１２Ｂを装着し、ホルダ１１側の掛止凸部１１ｃ，１１ｃ，１１ｃ，１１ｃをカバー１２側の掛止凹部１２ｃ，１２ｃ，１２ｃ，１２ｃにそれぞれ凹凸嵌合させることにより、支持部材１０を組み立てることができる。
【００６８】
次に、支持部材１０を利用してアクチュエータ本体１を支持することにより形成される、振動型アクチュエータの製造方法について説明する。
【００６９】
図４に示すように、アクチュエータ本体１を、図示しない冶具を用いて中空状態に保持する。続いて、アクチュエータ本体１を挟んでその一方にホルダ１１を、他方にカバー１２を対向配置する。
【００７０】
次に、ディスペンサを用いて、例えば、カバー１２の上部１２Ａの内面またはフレキシブルケーブル５０の接続部５２の表面の一方に接着剤２１を塗布する。同様に、例えば、ホルダ１１の底部１１Ａの内面とフレキシブルケーブル５０の接続部５４の表面の一方に接着剤２２を塗布する。この状態で、ホルダ１１とカバー１２とを嵌合させる。そして、接着剤２１，２２が硬化することにより、支持部材１０（ホルダ１１とカバー１２と）の内部に、アクチュエータ本体１を中空状態で弾性支持することができる。
【００７１】
なお、アクチュエータ本体１から移動体２を取り外した状態のもの、すなわち圧電素子６，７，８，９およびフレキシブルケーブル５０を備えた振動筒体４を、ホルダ１１とカバー１２とが対向する空間に配置し、これらの隙間を接着剤２１，２２で固定した後に、すなわち接着剤２１，２２の硬化後に、移動体２を振動筒体４内に装着するようにしてもよい。
【００７２】
あるいは、あらかじめホルダ１１とカバー１２とを嵌合させた状態の支持部材１０の内部にアクチュエータ本体１、または移動体２を取り外したアクチュエータ本体１を、図示しない冶具を用いてホルダ１１及びカバー１２の内面に触れることなく浮かせた中空状態に保持する。そして、ディスペンサを用いて、カバー１２の上部１２Ａの内面とフレキシブルケーブル５０の表面とが対向する隙間に接着剤２１を塗布し、同様にホルダ１１の底部１１Ａの内面とフレキシブルケーブル５０の表面とが対向する隙間に接着剤２２を塗布するようにしてもよい。
【００７３】
なお、フレキシブルケーブル５０の配線部５０Ａは、図３に示すように延出部１１Ｅと段差部１２ｆとの間に形成される隙間を介して、支持部材１０の外部に引き出される。
【００７４】
ここで、接着剤２１，２２は、硬化後はなるべく柔らかい状態を保って弾性力を発揮することが可能なものが好ましい。接着剤２１，２２の硬さとしてはデュロメータＡによる硬さが４３程度のものが好ましい。またディスペンサを用いる場合には、一液性でペースト状を有するものが好ましく、加えて常温で硬化し且つ硬化時間の短いものが好ましい。このような接着剤２１，２２としては、例えばシリコーンゴムなどが好適であるが、シリコーンゴムに限定されるものではない。
【００７５】
上記のように、ホルダ１１の底部１１Ａの内面には凹部１１ａ，１１ａが形成され、カバー１２の上部１２Ａの内面には逃げ凹部１２ｂ，１２ｂが形成されている。このため、塗布された接着剤２１及び接着剤２２を、凹部１１ａ，１１ａ及び逃げ凹部１２ｂ，１２ｂに溜めることができ、余計な部分に流れ込むことによる接着剤の無駄を防止することができる。すなわち凹部１１ａ，１１ａ及び逃げ凹部１２ｂ，１２ｂは硬化前の接着剤２１，２２を保持する機能を有している。よって、接着剤２１，２２の量が必要以上に増大することを防止することができ、少ない量で確実にアクチュエータ本体１を支持部材１０内に保持・固定することができる。
【００７６】
なお、ホルダ１１の凹部１１ａ，１１ａとカバー１２の逃げ凹部１２ｂ，１２ｂとは双方に形成されている構成が好ましいが、少なくとも一方に形成される構成であってもよい。特に、ホルダ１１の底部１１Ａに凹部１１ａ，１１ａが形成されていることが好適である。また硬化前の接着剤２１，２２の粘度が高く流動性が低いものである場合には、凹部１１ａ，１１ａ及び逃げ凹部１２ｂ，１２ｂを有さない構成とすることもできるが、凹部１１ａ，１１ａ及び逃げ凹部１２ｂ，１２ｂを有する構成の方が接着剤２１，２２を塗布する位置を視覚的に規定することができる点で好ましい。
【００７７】
アクチュエータ本体１は、支持部材１０とアクチュエータ本体１との間に形成される隙間に、上下方向から柔らかい接着剤２１，２２で挟まれた状態で、硬化後の接着剤２１，２２が有する接着力によって弾性支持される。
【００７８】
このように、本発明では、接着剤２１，２２が有する接着力によりアクチュエータ本体１が保持される構造であり、加圧力によって保持する構造ではないため、従来のように加圧力の大小に起因する問題を解消することができる。つまり接着剤２１，２２は、硬化後も弾性を有してアクチュエータ本体１を支持することができる。このため、振動駆動中のアクチュエータ本体１を安定的に支持することができ、推進力の低下を防止することができる。
【００７９】
また隙間に接着剤を塗布することにより支持することができるため、あらかじめ弾性部材を配置するための専用のスペースを支持部材１０の中に確保しておく必要がない。このため、振動型アクチュエータを小型化することができる。
【００８０】
接着剤を塗布する位置は、大きな推進力を得るためには、振動筒体４のノード（振動節）の部分が好ましいが、必ずしもノード（振動節）部分でなくてもよい。また接着剤の形状は、接着剤２１のように、半球状や円錐状等の形状でもよいし、接着剤２２のように、アクチュエータ本体１及び支持部材１０に対して、左右方向（Ｙ１−Ｙ２）よりも前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に長い接着面積を有しする形状であってもよい。
【００８１】
なお、上記実施の形態では、例えば、４つの圧電素子６，７，８，９の周囲に巻き付けたフレキシブルケーブル５０の接続部５２，５４の表面に接着剤２１，２２を塗布する構成を示しているが、フレキシブルケーブル５０を巻き付けない構成からなるアクチュエータの場合には、４つの圧電素子６，７，８，９のうち対向するいずれか２つの圧電素子の外側電極（例えば、外側電極６ａ，８ａ）の表面に接着剤２１，２２が塗布される構成であってもよい。
【００８２】
あるいは、接着剤２１，２２が振動筒体４に直接塗布される構成であってもよい。この場合、振動筒体４に４つの面取り部分（例えば、隣接する側面４Ａと側面４Ｂとの間の部分）のうち、互いに対向するいずれか２つの面取り部分に接着剤を塗布することで上記同様に中空状態で支持することが可能となる。
【００８３】
アクチュエータ本体１が、支持部材１０の内部に保持された状態では、フレキシブルケーブル５０の接続部５４の表面に形成されている半田５６が、ホルダ１１のＸ１側の凹部１１ａに対向し、同様に接続部５２の表面に形成されている半田５６が、カバー１２のＸ１側の逃げ部１２ａに対向する。さらに、接続部５１，５３の表面に形成されている半田５６が、ホルダ１１の側部１２Ｂ，１２Ｂに形成された逃げ穴（逃げ部）１２ｄ，１２ｄに対向する。このため、アクチュエータ本体１が移動方向と直交する方向に屈曲運動しても、各半田５６の頂部が、支持部材１０を形成するホルダ１１の底部１１Ａ、前側面１１Ｂ，１１Ｂおよびカバー１２の上部１２Ａの各内面に当接することがない。よって、振動駆動中のアクチュエータ本体１と支持部材１０との干渉を避けることができるため、推進力の低下を防止することができる。
【００８４】
図３ないし図５に示すアクチュエータ本体１の支持構造では、アクチュエータ本体１の下面とホルダ１１の底部１１Ａの内面、及びアクチュエータ本体１の上面とカバー１２の上部１２Ａの内面との間に夫々、接着剤２１，２２が塗布された構造であった。
【００８５】
しかしながら、アクチュエータ本体１を、その上下だけで支持部材１０に支持する構成では、例えば側部方向からの外力が加わった場合に、上下の接着剤２１，２２の接着力だけでは、アクチュエータ本体１を支持部材１０に保持する力が弱く、アクチュエータ本体１が支持部材１０の内部で位置ずれを起こす等の問題があった。
【００８６】
そこで、例えば図３に示すカバー１２に形成された逃げ穴１２ｄから接着剤を注入して、アクチュエータ本体１の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側も前記接着剤を介して支持部材１０に支持する構造とすることで上記問題を解決することが出来る。
【００８７】
ただし図３の構造では、前記逃げ穴１２ｄがホルダ１１の側部１１Ｂ，１１Ｃの外面に位置するカバー１２の側部１２Ｂ，１２Ｂに形成されているから、図１１（ｂ）の模式図で示すように、流動性の高い、あるいは粘性の低い硬化前の接着剤４０，４０を逃げ穴１２ｄから注入すると、接着剤４０，４０がホルダ１１の側部１１Ｂ，１１Ｃとカバー１２の側部１２Ｂ，１２Ｂとの間を伝って外部に流出する可能性があり、あるいは、前記逃げ穴１２ｄから接着剤４０が外方にはみ出しやすく、外観を損ない、また振動型アクチュエータ使用時に異物が存在すると判断され、不良品扱いとなる場合があった。
【００８８】
そこで上記した実施形態の振動型アクチュエータの構造を次のように改良した。
図６は、第２実施形態における振動型アクチュエータの斜視図、図７は図６に示す振動型アクチュエータの正面図、図８は、図６に示す振動型アクチュエータの分解斜視図（接着剤の図示なし）、図９は図６に示す振動型アクチュエータの分解斜視図（接着剤の図示あり）であり製造方法を説明するための一工程図、図１０は、図９の次に行われる製造方法の一工程図（斜視図）である。なお図６ないし図１０において、図１ないし図５と同じ部分には同じ符号を付した。
【００８９】
図６ないし図８に示す振動型アクチュエータは、アクチュエータ本体１、ホルダ１１及びカバー１２を有して構成される。アクチュエータ本体１の構造は図１，図２，図４に示すアクチュエータ本体１と変わるところがないので説明を省略する。
【００９０】
図７，図８に示すようにホルダ１１は、板状の底部（第１平面部）１１Ａと、底部１１Ａの左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側から上方（Ｚ１）に延びる板状の第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２と、板状の第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２とを有して構成される。
【００９１】
図８に示すように、第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２は前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に分離して形成され、前側に形成された第１側部１１Ｇ１と、後側に形成された第１側部１１Ｇ２との間には、底部１１Ａと一体に形成された延出部１１Ｅ及び掛止部１１ＦがＹ１方向に向けて形成されている。
【００９２】
また図８に示すように、前側に形成された第２側部１１Ｈ１と、後側に形成された第２側部１１Ｈ２との間には、底部１１Ａと一体に形成された取付部１１ＤがＹ２方向に向けて形成されている。
【００９３】
図８に示すように底部１１Ａには、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に複数の有底の凹部１１ａ，１１ａが形成されている。
【００９４】
また図８に示すように、各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び、各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の外面には掛止凸部１１ｃが形成され、掛止凸部１１ｃと板厚方向で対向する内面には凹部１１ｅが形成されている。すなわち掛止凸部１１ｃと凹部１１ｅは表裏一体の関係にある。掛止凸部１１ｃ及び凹部１１ｅをプレス加工等で簡単に形成できる。図８に示す掛止凸部１１ｃの位置を、例えば、図４の掛止凸部１１ｃの位置よりも上方に位置させている。
【００９５】
図６ないし図８に示すように、カバー１２は、板状の上部（第２平面部）１２Ａと、上部１２Ａの左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の両側から下方（Ｚ２）に向けて形成された板状の第３側部１２Ｂ及び第４側部１２Ｂとを有して構成されている。
【００９６】
図６，図８に示すように、第３側部１２Ｂ及び第４側部１２Ｂには掛止凹部１２ｃが夫々、形成されている。この実施形態では、掛止凹部１２ｃは貫通孔で形成されている。掛止凹部１２ｃは、ホルダ１１とカバー１２とを組み合わせたときに、ホルダ１１に形成された各掛止凸部１１ｃと対向する位置に形成されている。
【００９７】
図６，図７，図８に示すように、カバー１２の第３側部１２Ｂ及び第４側部１２Ｂの裾部には、左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の間隔が基端（下方向）に向けて徐々に広がるガイド部１２Ｄ，１２Ｄが形成されている。
【００９８】
前記ガイド部１２Ｄ，１２Ｄは、図６のように、ホルダ１１とカバー１２とを組み合わせたときに、ガイド部１２Ｄ，１２Ｄが、フレキシブルケーブル５０の配線部５０Ａ及びホルダ１１の延出部１１Ｅ，掛止部１１Ｆに当接しないように、各ガイド部１２Ｄは、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に分離して形成され、前後方向に分離された各ガイド部１２Ｄの間には前記フレキシブルケーブル５０の配線部５０Ａを外方に適切に引き出すための空間部１２Ｅが形成されている。
【００９９】
本実施形態では例えば図９に示すように、硬化前の接着剤６１〜６６をホルダ１１に予め、塗布する。ホルダ１１の底部１１Ａの内面に塗布される接着剤６１，６２を、前記底部１１Ａの内面に形成された凹部１１ａ、１１ａの位置に塗布する。これにより、流動性が高い、あるいは、粘性が低い接着剤６１，６２であっても、前記接着剤６１，６２が底部１１Ａ表面に広がって外部に流れ出るのを抑制できる。
【０１００】
また図９に示すように、各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面に各接着剤６３〜６６を塗布する。
【０１０１】
図８，図９に示すように、各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面には凹部１１ｅよりも上方の位置に接着剤の塗布位置を知らせる目印６９を設けることが好適である。例えば目印６９は刻印であるが、目印６９の付け方は特に限定されるものでない。目印６９は、その付近に接着剤を塗布すれば好ましいことを示唆するものである。
【０１０２】
図９では、各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面に形成された各凹部１１ｅの表面に接着剤６３〜６６を塗布した図となっているが、特に、流動性の高い、あるいは粘性の低い接着剤６３〜６６である場合には、各凹部１１ｅよりも上方の位置に接着剤６３〜６６を塗布するのがよい。このとき、前記接着剤６３〜６６を各目印６９の表面に塗布してもよいし、目印６９よりもやや下方位置に塗布してもよい。いずれにしても、各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面に塗布する接着剤６３〜６６が凹部１１ｅの下方であっては樹脂溜り部として機能する凹部１１ｅを有効に利用できないため、接着剤６３〜６６を凹部１１ｅの表面か、それよりも上方位置に塗布するとよい。
【０１０３】
図９に示すように、ホルダ１１には６箇所に接着剤６１〜６６を塗布する。このとき、図９に示すように、前側（Ｘ１）に塗布する各接着剤６１，６３，６５が、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に直交する同一の面内（Ｙ１−Ｙ２方向とＺ１−Ｚ２方向とで形成される面）に位置するように、各接着剤６１，６３，６５の塗布位置を規制し、また、後側（Ｘ２）に塗布する各接着剤６２，６４，６６が、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に直交する同一の面内（Ｙ１−Ｙ２方向とＺ１−Ｚ２方向とで形成される面）に位置するように、各接着剤６２，６４，６６の塗布位置を規制する。
【０１０４】
また図９に示すようにアクチュエータ本体１の上面にも２箇所、接着剤６７，６８を塗布する。
【０１０５】
アクチュエータ１の上面には前側（Ｘ１）と後側（Ｘ２）に夫々、１箇所ずつ接着剤６７，６８を塗布するが、アクチュエータ本体１を支持部材１０内に組み込んだときに、アクチュエータ本体１の前側に塗布する接着剤６７が、ホルダ１１の前側に塗布された各接着剤６１，６３，６５とともに前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に直交する同一の面内（Ｙ１−Ｙ２方向とＺ１−Ｚ２方向とで形成される面）に位置し、アクチュエータ本体１の後側に塗布する接着剤６８が、ホルダ１１の後側に塗布された各接着剤６２，６４，６６とともに前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に直交する同一の面内（Ｙ１−Ｙ２方向とＺ１−Ｚ２方向とで形成される面）に位置するように、アクチュエータ本体１に塗布する各接着剤６７，６８の塗布位置を予め規定しておく。
【０１０６】
続いて、図１０に示すように、アクチュエータ本体１を、ホルダ１１の底部１１Ａ，各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２にて囲まれた空間内に６箇所の接着剤６１〜６６を介して所定の治具を用いて保持する。
【０１０７】
このとき、アクチュエータ本体１をホルダ１１内の所定位置まで移動させたとき、ホルダ１１の各側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面に、予め、塗布された各接着剤６３〜６６がアクチュエータ本体１の移動にひきずられて下方に移動したり、あるいは自重により下方に流動する可能性があるが、本実施形態では、各側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面に凹部１１ｅ（図８参照）を設けているため、前記凹部１１ｅが樹脂溜り部として機能し、各接着剤６３〜６６が各側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２の表面を、下方向に伝って外部へ流出するのを適切に抑制することが出来る。
【０１０８】
次に図１０に示すカバー１２を下方向に移動させ、ホルダ１１に組み合わせる。このとき、カバー１２の各側部１２Ｂをホルダ１１の第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２の外面に沿ってスライド移動させる。このとき、カバー１２の各側部１２Ｂの裾部に形成されたガイド部１２Ｄがホルダ１１の第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の外面を下方向へスライド移動し、やがて、第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の外面に形成された掛止凸部１１ｃに当接すると、基端（下方）にかけて徐々に左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の幅が広がって形成されたガイド部１２Ｄが容易に掛止凸部１１ｃ表面に乗り上がり、カバー１２の第３側部１２Ｂと第４側部１２Ｂ間の左右方向（Ｙ１−Ｙ２）の間隔を広げるように作用する。この結果、カバー１２の各側部１２Ｂ、１２Ｂをホルダ１１の各側部１１Ｇ１，１１Ｇ，１１Ｈ１，１１Ｈ２の外面に沿ってスムースに移動させることができる。
【０１０９】
そして、ホルダ１１に形成された掛止凸部１１ｃとカバー１２に形成された掛止凹部１２ｃとが凹凸嵌合すると、カバー１２がホルダ１１に固定されて位置決めされる。
【０１１０】
このとき、アクチュエータ本体１の上面に塗布された接着剤６７，６８は、カバー１２の上部１２Ａの内面に当接する。
【０１１１】
その後、常温にて所定時間、経過すると、各接着剤６１〜６８が硬化され、治具を取り外すことが出来る。なお、振動型アクチュエータの性能を損なわない範囲で接着剤の硬化に対する熱処理、加湿処理、ＵＶ光照射などの接着剤の硬化促進処理を施してもよい。
【０１１２】
図９，図１０の製造工程を経て形成された図６，図７に示す本実施形態の振動型アクチュエータでは、アクチュエータ本体１の上下左右が支持部材１０の内部で、接着剤６１〜６８を介して支持された状態となり、外力に対してアクチュエータ本体１を安定して支持することが出来る。
【０１１３】
また本実施形態では、ホルダ１１の各側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２の外面には掛止凸部１１ｃが形成され、内面には凹部１１ｅが形成され、前記掛止凸部１１ｃと凹部１１ｅとをプレス加工等で表裏一体に形成している。
【０１１４】
本実施形態では、前記掛止凸部１１ｃにより、カバー１２の各側部１２Ｂ，１２Ｂとホルダ１１の各側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２とを凹凸嵌合して、カバー１２とホルダ１１間を位置決めし、且つ、掛止凸部１１ｃの裏面に形成された凹部１１ｅを、ホルダ１１の各側部１１Ｇ１，１１Ｇ２，１１Ｈ１，１１Ｈ２の内面に塗布した各接着剤６３〜６６に対する樹脂溜り部として機能させることができる。これにより、側部の表裏面に形成した凸部と凹部とで、カバー１２のホルダ１１に対する位置決めを簡単且つ高精度に行うことができるとともに、接着剤６３〜６６が外部へ流出するのを効果的に抑制することが可能になる。
【０１１５】
図６，図７に示す本実施形態では、図１１（ａ）の模式図に示すように、アクチュエータ本体２と支持部材１０の側部との間に塗布する接着剤７０，７１を、前記側部のうち、アクチュエータ本体２側に位置するホルダ１１の側部１１Ｇ，１１Ｈの内面に付与し、しかも本実施形態では、この側部１１Ｇ，１１Ｈに樹脂溜り部となる凹部を設けているから、図１１（ｂ）に示す支持部材の構造に比べて接着剤が外部へ流出するのを効果的に抑制することが出来る。
【０１１６】
本実施形態では、図８に示すように、ホルダ１１に形成された第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２を前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に分離して形成し、各第１側部１１Ｇ１，１１Ｇ２及び各第２側部１１Ｈ１，１１Ｈ２の間から、電子機器等に取り付けるための取付部１１Ｄ及び掛止部１１Ｆを底部１１Ａと一体に簡単な構成で形成することができる。
【０１１７】
しかも、図６，図７に示す振動型アクチュエータでは、アクチュエータ本体１を支持部材１０の内部で前側の上下左右、後側の上下左右の計８箇所にて接着剤６１〜６８を介して支持する構造となり、アクチュエータ本体１をより安定して支持することが出来る。
【０１１８】
またアクチュエータ本体１の前側に塗布される接着剤６１，６３，６５，６７が、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に直交する同一の面内（Ｙ１−Ｙ２とＺ１−Ｚ２とで形成される表面）に位置するように、各接着剤６１，６３，６５，６７の塗布位置を規制し、アクチュエータ本体１の後側に塗布される接着剤６２，６４，６６，６８が、前後方向（Ｘ１−Ｘ２）に直交する同一の面内（Ｙ１−Ｙ２とＺ１−Ｚ２とで形成される表面）に位置するように、各接着剤６２，６４，６６，６８の塗布位置を規制することで、ノード（振動節）の位置に各接着剤６１〜６８の塗布位置を合わせることができ、振動筒体４を効率良く屈曲運動させることができ、移動体２の進退移動力を効果的に大きくすることが可能である。
【０１１９】
図８，図９に示すように、ホルダ１１の底部１１Ａの内面には、塗布された接着剤６１，６２を保持する有底の凹部１１ａ，１１ａが形成されている。これにより、硬化前の接着剤６１，６２を適切に凹部１１ａ，１１ａに留めることができ、外部へ流出するのを抑制できる。
【０１２０】
図６，図７に示す振動型アクチュエータでは、図９に示すように、アクチュエータ本体１の前側（Ｘ１）に塗布される接着剤６１，６３，６５，６７は、前記アクチュエータ本体１に設けられたフレキシブルケーブル５０の各接続部５１〜５４の表面に付与される。このとき、半田５６の位置に重ねて接着剤６１，６３，６５，６７を付与することが出来る。一方、アクチュエータ本体１の後側（Ｘ２）に塗布される接着剤６２，６４，６６，６８は、前記アクチュエータ本体１に設けられた各圧電素子６〜９の各表面に付与される。
【０１２１】
ただし、アクチュエータ本体１に対する接着剤の付与される場所は特に限定されるものではない。また上記では、半田５６の位置に接着剤６１，６３，６５，６７を付与しているため、図３，図４の構成と異なって、半田５６と対向する支持部材１０の位置に逃げ部を設けていない。
【０１２２】
次に、振動型アクチュエータを他の電子機器への固定方法について説明する。
本発明の振動型アクチュエータのホルダ１１は、例えばカメラなどの電子機器の筐体内に固定される。
【０１２３】
図１２に示すように、電子機器内の筐体３０には、掛止部３１と、凹部３２と、螺子穴３３が設けられている。振動型アクチュエータは、Ｙ１方向に張り出した掛止部１１Ｆを、筐体３０側の掛止部３１に挿入して係止させるとともに、ホルダ１１の底部１１Ａの外面に突出している凸部１１ｂを筐体３０側の凹部３２に嵌合させる。
【０１２４】
このとき図３に示すように、掛止部１１Ｆの幅広部分がフレキシブルケーブル５０の配線部５０Ａの両側に露出しており、視認しながら掛止部１１Ｆを掛止部３１に挿入することが可能となり、取付時の作業を良好とすることが可能である。
【０１２５】
上記においては、ホルダ１１側の凸部１１ｂを筐体３０側の凹部３２に嵌合させることにより、支持部材１０を位置決めされた状態で筐体３０に高精度に取り付けることができる。またホルダ１１側の外面の凸部１１ｂは、その内面の凹部１１ａと表裏一体の関係にあるところ、外面では凸部１１ｂが筐体３０に対する支持部材１０の取付位置を規定し、内面では凹部１１ａが接着剤２２の塗布位置として規定される。すなわち、本発明では、凹部１１ａと凸部１１ｂとが、振動型アクチュエータ全体を筐体３０に対して精度良く取り付けるための取付基準部として機能している。
【０１２６】
次に、取付部１１Ｄに形成された取付穴１１ｄと筐体３０側の螺子穴３３とを重ねる。そして、取付穴１１ｄ及び螺子穴３３を螺子３５で螺着する。水平方向から下方向に向けて変位した状態の取付部１１Ｄが、螺子３５で締め付けられる際、水平状態に変形されて加圧力が発生するため、スプリングワッシャー（ばね座金）やウェーブワッシャー（波形座金）を用いなくとも振動型アクチュエータを筐体に強固に固定することが可能である。
【０１２７】
また取付部１１Ｄ及び延出部１１Ｅは、移動方向（Ｘ方向）に対し直交するＹ方向に張り出すように形成されている。このため、振動型アクチュエータの筐体３０への取付け作業の際に、螺子３５を締め付けるドライバーなどの工具が、移動方向に延びる移動体２に当接するなどの干渉を避けることができる。このため、振動型アクチュエータを筐体にスムース且つ確実に取り付けることが可能となる。
【０１２８】
なお、振動型アクチュエータを図３，図６の状態から上下１８０度、回転させた状態、あるいは所定角度傾けた状態で電子機器等に取り付けることも可能である。特に、図６のようにアクチュエータ本体１の上下左右を支持部材１０との間で接着剤を介して支持した構成では、アクチュエータ本体１を安定して中立状態に支持でき、したがって振動型アクチュエータの取付の自由度を高めることが可能である。
【０１２９】
以上のように、本発明では、一組のホルダ１１とカバー１２とからなる支持部材１０の内部に中空状態で保持されたアクチュエータ本体１を、ホルダ１１の内面とアクチュエータ本体１との隙間、およびカバー１２の内面とアクチュエータ本体１との隙間に塗布した接着剤２１，２２により弾性支持することができる。アクチュエータ本体１は加圧力によらず、接着力によって支持部材１０の内部に弾性的に支持することができるため、推進力を低下させることなく安定的に支持することができる。
【０１３０】
また隙間に接着剤２１，２２を塗布するだけでアクチュエータ本体１を支持することができるため、小型の振動型アクチュエータとすることが可能である。
【符号の説明】
【０１３１】
１  アクチュエータ本体
２  移動体
４  振動筒体
４ａ  貫通穴
６，７，８，９  圧電素子
６ａ，７ａ，８ａ，９ａ  圧電素子の外側電極
６ｂ，７ｂ，８ｂ，９ｂ  圧電素子の内側電極
１０  支持部材
１１  ホルダ（支持部材）
１１Ａ  底部
１１Ｂ  前側部
１１Ｃ  後側部
１１Ｄ  取付部
１１Ｅ  延出部
１１Ｆ  掛止部
１１Ｇ１，１１Ｇ２  第１側部
１１Ｈ１，１１Ｈ２  第２側部
１１ａ  凹部
１１ｂ  凸部
１１ｃ  掛止凸部
１１ｄ  取付穴
１１ｅ  凹部
１２  カバー（支持部材）
１２Ａ  上部
１２Ｂ  側部
１２Ｄ  ガイド部
１２ａ  逃げ部
１２ｂ  逃げ凹部
１２ｃ  掛止穴
１２ｄ  逃げ穴
１２ｆ  段差部
２１，２２，４０，６１〜６８，７０，７１  接着剤
３０  筐体
３１  掛止部
３２  凹部
３３  螺子穴
５０  フレキシブルケーブル
５０Ａ  配線部
５１，５２，５３，５４  接続部
５６  半田
６９  目印
【図１】
2010273529.tif 000003
【図２】
2010273529.tif 000004
【図３】
2010273529.tif 000005
【図４】
2010273529.tif 000006
【図５】
2010273529.tif 000007
【図６】
2010273529.tif 000008
【図７】
2010273529.tif 000009
【図８】
2010273529.tif 000010
【図９】
2010273529.tif 000011
【図１０】
2010273529.tif 000012
【図１１】
2010273529.tif 000013
【図１２】
2010273529.tif 000014