(57)【要約】【課題】洗浄水中に微細気泡が長時間浮遊することによって微細気泡洗浄と超音波洗浄の切り替え時間が長くなることを防止する。【解決手段】洗浄水として洗浄槽気泡の合一を抑制する添加剤を加えた液を使用し、洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、洗浄水に超音波を照射する超音波振動子とを備えた洗浄装置において、洗浄槽に洗浄水中の微細気泡を除去する機構を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射した後、洗浄槽に微細気泡を噴射させる洗浄方法において、
前記微細気泡の噴射を停止した後に前記洗浄槽に浮遊する微細気泡を微細気泡除去機構により除去する
ことを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
洗浄槽と、
前記洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水と、
前記洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、
前記洗浄槽に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射する超音波振動子と
を備えた洗浄装置において、
前記洗浄槽中の微細気泡を除去する微細気泡除去機構を備えた
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
請求項２に記載の洗浄装置において、
前記微細気泡除去機構は、前記洗浄槽に取り付けられた循環配管と、前記循環配管を通過する洗浄水に超音波を放射して洗浄水の微細気泡を破泡する超音波照射機構とを有し、前記超音波照射機構による超音波照射後の洗浄水を前記洗浄槽の底部から噴射させるようにした
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項３に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽の底部に、前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるよう噴射板を設置した
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
請求項４に記載の洗浄装置において、
前記噴射板の上部に、洗浄水を噴射するための噴射穴と、洗浄水の流れる方向を制御する突起とを設け、前記突起の角度を、前記噴射板の中央では前記噴射板と垂直になるようにし、前記洗浄槽の側面に近くなるほど前記噴射板に対して低角度になるようにした
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項２に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽の底部に、前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるよう噴射板が設置され、
前記微細気泡除去機構は、洗浄水の吸い込み口が前記洗浄槽内の上部位置に配置され、一部が洗浄に使用する前記超音波振動子の近傍に配置されるように前記洗浄槽に内設された後、前記洗浄槽の外部に引き出され、前記洗浄槽の底部から前記噴射板に接続された循環配管を有し、前記超音波振動子による超音波照射後の洗浄水を前記洗浄槽の底部から噴射させるようにした
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項７】
請求項２に記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽の底部に、前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるよう噴射板が設置され、
前記微細気泡除去機構は、洗浄水の吸い込み口が前記超音波振動子の近傍に配置されるように前記洗浄槽に内設された後、前記洗浄槽の外部に引き出され、前記洗浄槽の底部から前記噴射板に接続された循環配管を有し、前記超音波振動子による超音波照射後の洗浄水を前記洗浄槽の底部から噴射させるようにした
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項８】
請求項２に記載の洗浄装置において、
前記微細気泡除去機構は、前記洗浄槽の底部に設けられて、洗浄水に渦を発生させる回転体を有する
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項９】
請求項２に記載の洗浄装置において、
前記微細気泡除去機構は、前記洗浄槽内部を密閉する上蓋と、前記上蓋に取り付けられた排気配管を介して密閉された前記洗浄槽内部を減圧するための排気ポンプとを有する
ことを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、微細気泡と超音波によって部品や材料を洗浄する洗浄方法および洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、工業的洗浄の分野において、フロン系の溶剤や有機溶剤、石油系溶剤などの特別な洗浄剤が用いられてきたが、オゾン層の破壊や地下水、河川、海洋汚染といった環境問題を深刻化する重大な要因となることが明らかとされてきた。このため、これらの特殊な洗浄剤を用いない洗浄方法および洗浄装置の開発が進められている。
【０００３】
水を主体とした洗浄水に微細気泡を発生させ、そこに被洗浄物を浸漬することにより洗浄する洗浄方法は、特殊な洗浄剤を用いない方法として注目されている。微細気泡（一般的にマイクロバブルと呼ぶ）を充満させた洗浄水に被洗浄物を浸漬すると、微細気泡が被洗浄物表面の細部に到達し表面の汚れを気泡が吸着する。汚れを吸着した微細気泡は浮力によって上昇し、汚れは洗浄水表面に移動する。この汚れを洗浄水と共に洗浄槽からオーバーフローさせ、汚れと洗浄水を分離した後に洗浄水のみを洗浄槽へ戻せば、繰り返し洗浄を行うことができる。
【０００４】
気泡を用いた洗浄装置の特徴として、清浄度は気泡の径や密度に大きく依存する。安定的に高い清浄度を維持するためには、洗浄水中に微細な気泡を高密度に発生させることが必須となる。しかし、洗浄水中で気泡を大量に発生させると、気泡同士の衝突頻度が高まるため、気泡同士が合一して大きくなる。この課題をクリアするために、一般的に気泡同士の合一を抑制する作用を有するアルコール系化合物や界面活性剤などの添加剤が使用されている。
【０００５】
添加剤によって高密度の微細気泡を生成させても、被洗浄物の表面に気泡径よりも小さい凹凸が存在する時や、表面の汚れが固着している時には、洗浄が不十分になる。このような場合には、微細気泡による洗浄と物理的な洗浄を組み合わせることによって洗浄効果を高めることが出来る。
【０００６】
超音波洗浄は、洗浄水を通して被洗浄物に超音波を照射し、被洗浄物の表面で発生するキャビテーション現象を利用して汚れを分解、剥離させるものである。この超音波洗浄と微細気泡を利用した洗浄方法としては、例えば特許文献１に示すものがある。
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２７８８６０号公報
【０００８】
この特許文献１では、微細気泡と超音波を使って洗浄を行うため、被洗浄物を浸漬する洗浄槽に、気体加圧混入手段を有する循環配管と超音波発振手段を配置している。気体加圧混入手段を用いて循環する洗浄水に微細気泡を発生させて洗浄槽へ送り込むとともに、超音波発振手段によって洗浄槽に浸漬した被洗浄物に超音波を照射する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
気泡と超音波を同一槽で併用する場合には、超音波の伝播は気泡によって阻害されるという根本的な課題に直面する。特にマイクロバブルの場合には、滞留時間が長いためにこの課題が顕著となり、さらに添加剤を添加して高密度化させた場合にはさらに大きな課題となってしまう。特許文献１に示したような構成の洗浄装置に対して、気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水を使用した場合、高密度の微細気泡が発生するため、洗浄槽内部が微細気泡で充満する。
【００１０】
このような状態で超音波を照射すると、洗浄水と気泡の比重が大きく異なるために超音波が反射され、被洗浄物まで超音波が到達しなくなる。被洗浄物を交換して超音波と微細気泡による新たな洗浄を行う場合、超音波が被洗浄物に到達するようになるまで、洗浄槽内部に浮遊する気泡が浮力によって上昇して気液界面で消泡するのを長時間待つ必要があるという問題があった。また、同一被洗浄物の洗浄度を高めるため超音波と微細気泡による洗浄を繰り返し行う場合にも、同様に微細気泡の消泡を長時間待つ必要があった。
【００１１】
気泡の合一を抑制する添加剤を加えない洗浄水の場合、洗浄槽中で気泡の合一が生じるため、微細気泡の発生を止めると比較的短時間で洗浄槽内部の微細気泡は気液界面まで上昇して破泡する。しかし、気泡の合一を抑制する添加剤を加えない洗浄水では、マイクロバブル状態を維持しようとすると洗浄水中での気泡密度を低くせざるを得ないため、実用的な時間で十分な清浄度を得ることは困難である。
【００１２】
気泡密度を高めようとすると、気泡の合一現象のために、洗浄槽上部に近づくほど気泡径が大きくなるため、洗浄槽内で微細気泡の洗浄力にムラが生じるという問題があった。また、超音波洗浄槽と微細気泡洗浄槽を分離し、被洗浄物をこれらの洗浄槽の間で移動させて洗浄するという方法も考えられるが、洗浄装置が大きくなるばかりでなく、超音波洗浄槽には被洗浄物から剥離した汚れが蓄積するため、洗浄水の交換頻度が高くなるという問題もあった。
【００１３】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水を使用する場合においても、超音波による洗浄と微細気泡による洗浄を短時間で繰り返し実施することができるとともに、超音波洗浄と微細気泡洗浄を同一槽で実施できる洗浄方法および洗浄装置を得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明に係る洗浄方法は、洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射した後、洗浄槽に微細気泡を噴射させる洗浄方法において、前記微細気泡の噴射を停止した後に前記洗浄槽に浮遊する微細気泡を微細気泡除去機構により除去することを特徴とする。
【００１５】
また、この発明に係る洗浄装置は、洗浄槽と、前記洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水と、前記洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、前記洗浄槽に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射する超音波振動子とを備えた洗浄装置において、前記洗浄槽中の微細気泡を除去する微細気泡除去機構を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射した後、洗浄槽に微細気泡を噴射させる洗浄において、前記微細気泡の噴射を停止した後に前記洗浄槽に浮遊する微細気泡を微細気泡除去機構により除去することにより、気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水を用いた場合でも、短時間で微細気泡を除去して被洗浄物に超音波が照射される領域を生成することができ、これにより、被洗浄物に対して微細気泡洗浄を行った後に迅速に超音波洗浄の効果を発揮させることが可能となる。また、被洗浄物に対して超音波洗浄と微細気泡洗浄を迅速に繰り返し実施することが可能となり、被洗浄物の洗浄度を短時間で高めることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１による洗浄装置を示す概念図である。洗浄槽１には、気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水２が貯留されている。この洗浄槽１には、外壁に超音波振動子３が取り付けられており、超音波振動子３は、制御配線４を介して超音波発信器５とつながっている。また、洗浄槽１には、微細気泡生成器６と、オーバーフロー用配管７が取り付けられており、オーバーフロー用配管７の先には分離槽８が設置されている。分離槽８内部には循環水取込口９が設けられており、この循環水取込口９は水配管１０によって水用ポンプ１１を介して微細気泡生成器６とつながっている。微細気泡生成器６には、ガス供給配管１２を介してガス用ポンプ１３もつながっている。
【００１８】
さらに、洗浄槽１には、洗浄槽１の内部に上向きの液流を作り出すための噴液用配管１４が取り付けられており、噴液用配管１４の出口には、噴射板１５が設置されている。噴液用配管１４の途中には、噴液ポンプ１６と破泡用超音波振動子１７が取り付けられている。破泡用超音波振動子１７は、破泡用制御線１８を介して破泡用超音波発信器１９とつながっている。
【００１９】
このような構成によると、洗浄槽１に浸漬された被洗浄物２０に対して、超音波発信器５からの信号を制御配線４によって超音波振動子３に伝えることで洗浄水２に超音波を放出し、被洗浄物２０の表面に付着した汚れを超音波によって発生するキャビテーションの力で剥離させることが出来る。ここで、キャビテーションを発生させるために使用する超音波の周波数は１０Ｈｚ〜１ＭＨｚの範囲である。
【００２０】
次に、超音波発信器５を停止して微細気泡発生器６にガス用ポンプ１３からガス供給配管１２を通してガスを送り、それとともに循環水取込口９から洗浄水２を水用ポンプ１１を用いて水配管１０から微細気泡生成器６に送り込む。これにより、微細気泡生成器６の内部で洗浄水２とガスが混合され、微細気泡２１が洗浄槽１に噴射される。被洗浄物２０に衝突した微細気泡２１は被洗浄物２０の表面に付着している汚れを吸着し、気液界面に浮上する。また、微細気泡２１は超音波によって剥離した汚れも吸着して気液界面に浮上する。気液界面の浮上汚れ２２は、オーバーフロー用配管７を通って洗浄槽１から流出し、分離槽８へ流れ込む。分離槽８では、洗浄水２と浮上汚れ２２が分離され、洗浄水２は循環水取込口９を通って微細気泡生成器６に流れ込む。この微細気泡２１による汚れの吸着により、被洗浄物２０に付着していた汚れや、超音波によって剥離した汚れが分離槽８へと移送され、洗浄槽１の洗浄水２から汚れが除去される。
【００２１】
微細気泡２１によって洗浄槽１の洗浄水２から汚れが除去された後で、被洗浄物２０を汚れが付着したものと交換し、次の洗浄を行うことができる。また、被洗浄物２０の表面に微細気泡１６よりも小さな凹凸がある場合には、超音波洗浄と微細気泡洗浄を繰り返すことで洗浄度を高めることが出来る。
【００２２】
この時、洗浄槽１の洗浄水２に微細気泡２１が高密度に浮遊していると、微細気泡２１が超音波を反射するため被洗浄物２０に超音波が到達できない。微細気泡２１は洗浄水２に比べて比重が軽いため、時間とともに浮上して気液界面で破泡する。しかし、気泡径が数百ミクロン以下の気泡は浮力が小さいため洗浄水２の中に長時間滞留し、超音波洗浄を再開するまで長時間を要することになる。
【００２３】
ところが、図１に示す構成によると、噴液ポンプ１６を使用して、微細気泡２１を含む洗浄水２を噴液用配管１４に流し、洗浄槽１の底部から噴射板１５を通して洗浄槽１に噴射させることが出来る。噴液用配管１４に取り付けられた破泡用超音波振動子１７は、破泡用超音波発信器１９から破泡用制御線１８を通して送られた信号により、噴液用配管１４を通過する洗浄水２に１００Ｈｚ〜１ＭＨｚ、望ましくは１ｋＨｚ〜１００ｋＨｚの超音波を放射する。この超音波により、噴液用配管１４を流れる洗浄水２の微細気泡２１が破泡されるため、噴射板１５からは微細気泡２１を含まない洗浄水２が上向きに噴出する。この液流は洗浄槽１に浮遊する微細気泡２１を上向きに押し上げて気液界面で破泡させる。このようにして、洗浄槽１の洗浄水２に浮遊する微細気泡２１を短時間で破泡させ、短時間で被洗浄物２０への超音波照射が可能になる。
【００２４】
図２は、超音波、微細気泡、及びこれらを併用した場合に、金属部品から除去された油汚れの量を示す。超音波、微細気泡単独に比べて、超音波と微細気泡を併用した洗浄は、部品表面に残留する残留油分濃度が明確に減少している。
【００２５】
さらに、図１においては、噴液用配管１４の途中に破泡用超音波振動子１７を設置したが、これ以外にも、フィルター（例えば、疎水性のビーズを詰めたもの）や光照射機などを設置することで微細気泡を破泡させることも出来る。
【００２６】
実施の形態２．
図３は、図１に示す洗浄槽１の底部に設置した噴射板１５の断面図である。噴射板１５の上部には、洗浄水２を噴射するための噴射穴２３と洗浄水２の流れる方向を制御する突起２４が設けられている。
【００２７】
このような構成の噴射板１５によれば、噴液用配管１４を通して流れる洗浄水２が噴射穴２３を通して洗浄槽１に噴射される。この時、噴射板１５に設けた突起２４の角度を、噴射板１５の中央では噴射板１５と垂直になるようにし、洗浄槽１の側面に近くなるほど突起２４の角度を噴射板１５に対して低角度になるようにすることで、洗浄槽１の中央では上向きの液流２５を、洗浄槽１の側面に近くなるほど側面に沿った液流２５を作ることが出来る。
【００２８】
これにより、洗浄槽１の底部から気液界面に向かう上昇流を洗浄槽１の全域に作り出し、微細気泡２１を気液界面に浮上させることが出来る。さらに、噴液用配管１４には散気配管２６を介して曝気ポンプ２７を接続することが出来る。曝気ポンプ２７からガスを吹き込むと、噴射穴２３を通して径の大きな気泡２８を噴出させることが出来る。径の大きな気泡２８は急速に気液界面まで浮上するとともに、微細気泡２１を押し上げる力を生み出すため、さらに短時間で被洗浄物２０の周囲の微細気泡２１を除去することができる。
【００２９】
実施の形態３．
実施の形態１においては、噴液用配管１４の途中に破泡用超音波振動子１７を設けていたが、破泡用超音波振動子１７を設置する代わりに、図４に示すように、噴液用配管１４を、その吸い込み口が洗浄槽１の内部の上部位置に配置され、噴液用配管１４の一部を洗浄に使用する超音波振動子３の近傍に来るように洗浄槽１に内設した後で洗浄槽１の外に引き出し、噴液ポンプ１６を介して洗浄槽１の底部から噴射板１５に接続してもよい。
【００３０】
このような構成によれば、噴液ポンプ１６によって洗浄水２を噴液用配管１４に流している時に、超音波振動子３から超音波を洗浄槽１の内部に照射することが出来る。この時、超音波振動子３から放出された超音波は噴液用配管１４を通して、噴液用配管１４を流れる洗浄水に照射させる。超音波振動子３から放射される超音波の周波数を１００Ｈｚ〜１ＭＨｚに設定しておけば、噴液用配管１４を流れる洗浄水２に含まれる微細気泡２１が破泡され、噴射板１５から微細気泡２１を含まない洗浄水２の上向きの液流が生成される。実施の形態１においては、洗浄と微細気泡の破泡に別々の超音波振動子を用いていたが、この構成では同じ超音波振動子で洗浄と微細気泡の破泡を行うことが可能となり、装置構成が簡素化される。
【００３１】
実施の形態４．
実施の形態３においては、噴液用配管１４を流れる洗浄水２に超音波を照射するように超音波振動子３の近傍に噴液用配管１４を設置していたが、図５に示すように、噴液用配管１４の吸い込み口を超音波振動子３の近傍になるように洗浄槽１に内設し、洗浄槽１から外部に引き出した噴液用配管１４と噴射板１５を、噴液ポンプ１６を介して接続することも出来る。
【００３２】
このような構成によれば、超音波振動子３から放射された超音波によって、超音波振動子３の近傍に浮遊している洗浄水２の微細気泡２１が破泡される。噴液ポンプ１６によって洗浄水２を噴液用配管１４に吸引し噴射板１５から噴射すると、超音波振動子３の近傍からは微細気泡２１を含まない洗浄水２が吸引されるため、噴射板１５からは微細気泡２１を含まない洗浄水２が放出され、洗浄水２中に浮遊する微細気泡２１を気液界面に押し流すことが出来る。このような構成にすることにより、噴液用配管１４の構造を簡略にすることが出来る。
【００３３】
実施の形態５．
実施の形態４においては、超音波によって微細気泡２１が破泡した洗浄水２を洗浄槽１の底部から噴射させ、その液流によって浮遊する微細気泡２１を気液界面で破泡させていた。このような上昇流を生成する代りに、図６に示すように、洗浄槽１の底部に回転体２９を設け、その回転によって洗浄水２に生成される渦３０に向けて超音波振動子３から超音波を照射することで微細気泡２１を破泡することも出来る。
【００３４】
この様な構成によれば、回転体２９によって生成された渦３０が、比重の軽い微細気泡２１を渦の中心に集める。そこに、超音波振動子３から超音波を照射すると、渦３０とともに回転している微細気泡２１が超音波振動子３と対向する位置に来たときに超音波で微細気泡２１が破泡される。微細気泡２１は渦の中央ほど密度が高く、また中央部の微細気泡２１が超音波で破泡されると周囲の微細気泡１６が中央部に順次引き寄せられる。このような渦の働きにより、洗浄槽１の微細気泡２１を超音波によって効率よく破泡することが出来るため、短時間で洗浄水２の微細気泡２１を除去することができる。
【００３５】
実施の形態６．
実施の形態１〜５では、超音波による破泡効果を利用していたが、減圧による微細気泡２１の膨張を利用することも出来る。図７は、洗浄槽１に開閉可能な密閉性の上蓋３１を設け、上蓋３１の中央に被洗浄物２０を保持する保持具３２を固定する固定棒３３を取り付け、固定棒３３の端に上下移動機構３４を設けたものである。上蓋３１には、排気配管３５も取り付けられており、排気配管３５は排気ポンプ３６とつながっている。また、上蓋３１には、ガスリーク配管３７が取り付けられており、その途中にはリークバルブ３８が接続されている。さらに、洗浄槽１の機密性を保つため、オーバーフロー用配管７の途中にオーバーフローバルブ３９が設置されており、微細気泡生成器６に接続された水配管１０には水配管バルブ４０が、ガス供給配管１２にはガス供給バルブ４１が取り付けられている。
【００３６】
このような構成によると、上蓋３１に取り付けられたガスリーク配管３７のリークバルブ３８と、オーバーフローバルブ３９と水配管バルブ４０とガス供給バルブ４１をそれぞれ閉じ、排気ポンプ３６を動作させて洗浄槽１の空気を排気配管３５から引き抜くことで、洗浄槽１の内部を減圧させることが出来る。減圧状態になると洗浄水２に浮遊している微細気泡２１は膨張し、浮力が急増する。このため、微細気泡２１は急激に気液界面まで浮遊して破泡する。洗浄水２に浮遊する微細気泡２１が消失した時点で排気ポンプ３６を止め、リークバルブ３８を開いて洗浄槽１に空気を取り込むことで、洗浄水２には微細気泡２１がなくなり、超音波による洗浄を短時間で開始することが出来る。
【００３７】
次に、図７に示した構成における被洗浄物２０の洗浄手順を説明する。まず、上蓋３１を洗浄槽１から取り外した状態で被洗浄物２０を保持具３２に取り付ける。次に、リークバルブ３８を開いたまま上蓋３１を洗浄槽１に取り付け、被洗浄物２０が洗浄水２に浸漬するように、上下移動機構３４で固定棒３３を上下させる。被洗浄物２０が洗浄水２に浸漬した状態で超音波振動子３から超音波を照射し、被洗浄物２０の汚れを剥離させる。
【００３８】
超音波振動子３を停止した後、オーバーフローバルブ３９と水配管バルブ４０、ガス供給バルブ４１を開き、水用ポンプ１１とガス用ポンプ１３を動作させて、微細気泡生成器６から微細気泡２１を発生させる。この微細気泡２１により、被洗浄物２０の表面汚れと超音波によって剥離した汚れが微細気泡２１とともに気液界面まで浮上する。この浮上汚れ２２はオーバーフロー用配管７を通って分離槽８へ流れ込み、浮上汚れ２２と洗浄水２に分離する。
【００３９】
浮上汚れ２２が洗浄槽１から分離槽８へすべて流出したあと、水用ポンプ１１とガス用ポンプ１３を止め、微細気泡２１の発生を停止する。ここで、オーバーフローバルブ３９と水配管バルブ４０、ガス供給バルブ４１、リークバルブ３８を閉じ、洗浄槽１を密閉状態にする。この状態で排気ポンプ３６を動作させて洗浄槽１の内部を減圧し、微細気泡２１を膨張させて気液界面で破泡させる。微細気泡２１の破泡が終了した後でリークバルブ３８を開き、洗浄槽１の内部を大気圧に戻す。被洗浄物２０を交換する場合は、上蓋３１を取り外し、保持具３２に取り付けた被洗浄物２０を取り替える。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の実施の形態１による洗浄装置を示す概略図である。
【図２】油汚れが付着した部品を超音波、微細気泡またはこれらの併用で洗浄した後の残留油分量を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態２による噴射板の要部を示す概略図である。
【図４】この発明の実施の形態３による微細気泡除去機構の要部を示す概略図である。
【図５】この発明の実施の形態４による微細気泡除去機構の要部を示す概略図である。
【図６】この発明の実施の形態５による微細気泡除去機構の要部を示す概略図である。
【図７】この発明の実施の形態６による微細気泡除去機構の要部を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  洗浄槽、２  洗浄水、３  超音波振動子、４  制御配線、５  超音波発信器、６  微細気泡生成器、７  オーバーフロー用配管、８  分離槽、９  循環水取込口、１０  水配管、１１  水用ポンプ、１２  ガス供給配管、１３  ガス用ポンプ、１４  噴液用配管、１５  噴射板、１６  噴液ポンプ、１７  破泡用超音波振動子、１８  破泡用制御線、１９  破泡用超音波発信器、２０  被洗浄物、２１  微細気泡、２２  浮上汚れ、２３  噴射穴、２４  突起、２５  液流、２６  散気配管、２７  曝気ポンプ、２８  径の大きな気泡、２９  回転体、３０  渦、３１  上蓋、３２  保持具、３３  固定棒、３４  上下移動機構、３５  排気配管、３６  排気ポンプ、３７  ガスリーク配管、３８  リークバルブ、３９  オーバーフローバルブ、４０  水配管バルブ、４１  ガス供給バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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