(57)【要約】【課題】弾性体と圧電体とを一体化して構成することで、弾性体と圧電体との当てつけ・位置決め工程を必要とせず簡略化された工程により製造でき、且つ性能面でのばらつきを抑制可能な超音波モータを提供すること。【解決手段】複数の板状圧電素子から成る多層構造を採り且つ前記板状圧電素子に設けられた電極膜が分極されて圧電的に活性化された活性層と、当該圧電体部4bの高さ方向において前記活性層を挟み込むように設けられた不活性層と、を備えた圧電体部4bを具備し、前記活性層は、当該圧電体部4bの高さ方向と直角を為す面に対して所定の傾斜角度を有し、前記不活性層のうち前記駆動子に対向する面及び前記周波数調整部に対向する面は、当該圧電体部4bの高さ方向と垂直を為す面と平行であり且つ当該圧電体部4bにおける側面に対して直角を為す超音波モータ。【選択図】      図１
2010104156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体の伸縮振動を利用して、前記圧電体を含む振動体に縦振動と捻じれ振動とを同時に励起し、前記振動体の端面に設けられた駆動子に楕円運動を励起させて、前記駆動子によりロータを回転させる超音波モータであって、
前記振動体は、
複数の板状圧電素子から成る多層構造を採り且つ前記板状圧電素子に設けられた電極膜が分極されて圧電的に活性化された活性層と、前記圧電体の高さ方向において前記活性層を挟み込むように設けられた不活性層と、前記ロータ及び前記駆動子との中心位置決めをするシャフトを挿入する為の貫通孔と、を備える圧電体と、
前記縦振動及び前記捻じれ振動の周波数を調整する周波数調整部と、
を具備し、
前記活性層は、前記圧電体の高さ方向と直角を為す面に対して所定の傾斜角度を有し、前記不活性層のうち前記駆動子に対向する面及び前記周波数調整部に対向する面は、前記圧電体の高さ方向と垂直を為す面と平行であり且つ前記圧電体における側面に対して直角を為すことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記板状圧電素子は、電極膜形成面と側面とが直角を為しており、
前記圧電体は、積層された前記板状圧電素子を、前記活性層が前記圧電体の高さ方向と直角を為す面に対して所定の傾斜角度を有するように切断して形成されることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記板状圧電素子は円盤形状を採ることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記周波数調整部は、前記不活性層に溝部を設けることで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧電素子等の電気機械変換素子を駆動源とする超音波振動子を用いた超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして超音波モータが注目されている。超音波モータは、従来の電磁型モータに比べ以下のような利点を有している。
【０００３】
（利点１）ギヤなしで高トルクが得られる。
【０００４】
（利点２）電気ＯＦＦ時に保持力がある。
【０００５】
（利点３）高分解能である。
【０００６】
（利点４）静粛性に富んでいる。
【０００７】
（利点５）磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も受けない。
【０００８】
ところで、このような超音波モータに関連する技術として、例えば特許文献１には次のような技術が開示されている。
【０００９】
すなわち、特許文献１には、振動子と、この振動子の高さ方向の一部を占めるように挟持される状態で、かつ、振動子の高さ方向に対して所定の傾斜を持たせて配置されるとともに、厚み方向に分極され各々分割電極を備えた１枚若しくは複数枚の板状圧電素子と、前記振動子に押圧接触させた被駆動体と、を有する縦・捻り振動方式の超音波モータが開示されている。
【００１０】
換言すれば、特許文献１に開示されている超音波モータでは、厚み方向に分極され各々分割電極を備えた一枚もしくは複数枚の板状圧電素子が所定の傾斜を持つように配置されて圧電体が構成され、この圧電体は弾性体の傾斜に平行に且つ振動子の高さ方向の一部を占めるように弾性体に挟持された状態にされている。つまり、特許文献１に開示されている超音波モータは、弾性体と圧電体とを各々傾斜した平面同士で当て付けて組み立てる構成とされている。
【特許文献１】特開平９−１１７１６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、当然ながら、傾斜した平面同士を精度良く当てつけて位置決めを実行しながら組み立て作業を行うことは非常に困難である。すなわち、弾性体の端面と圧電体の端面とを高精度に位置決めしないと理想的な当てつけが実現しない。さらには、弾性体の端面及び圧電体の端面それぞれの平面精度が良好である必要がある。この平面精度が悪い場合には、接触部の面積が変化して振動の伝達に支障が出てしまう。これは、各々の超音波モータの性能のばらつきに繋がる。
【００１２】
本発明は、前記の事情に鑑みてなされたものであり、弾性体と圧電体とを一体化して構成することで、弾性体と圧電体との当てつけ・位置決め工程を必要とせず簡略化された工程により製造でき、且つ性能面でのばらつきを抑制可能な超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するために、本発明の一態様による超音波モータは、
圧電体の伸縮振動を利用して、前記圧電体を含む振動体に縦振動と捻じれ振動とを同時に励起し、前記振動体の端面に設けられた駆動子に楕円運動を励起させて、前記駆動子によりロータを回転させる超音波モータであって、
前記振動体は、
複数の板状圧電素子から成る多層構造を採り且つ前記板状圧電素子に設けられた電極膜が分極されて圧電的に活性化された活性層と、前記圧電体の高さ方向において前記活性層を挟み込むように設けられた不活性層と、前記ロータ及び前記駆動子との中心位置決めをするシャフトを挿入する為の貫通孔と、を備える圧電体と、
前記縦振動及び前記捻じれ振動の周波数を調整する周波数調整部と、
を具備し、
前記活性層は、前記圧電体の高さ方向と直角を為す面に対して所定の傾斜角度を有し、前記不活性層のうち前記駆動子に対向する面及び前記周波数調整部に対向する面は、前記圧電体の高さ方向と垂直を為す面と平行であり且つ前記圧電体における側面に対して直角を為すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、弾性体と圧電体とを一体化して構成することで、弾性体と圧電体との当てつけ・位置決め工程を必要とせず簡略化された工程により製造でき、且つ性能面でのばらつきを抑制可能な超音波モータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係る超音波モータについて図面を参照して説明する。図１は、本第１実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図である。
【００１６】
本第１実施形態に係る超音波モータは、押圧部２と、駆動子３と、振動体部４と、中心軸シャフト６と、ロータ８と、を具備する縦・捻じり振動方式の超音波モータである。
【００１７】
前記押圧部２は、ナット２ａと、バネ２ｃと、を有する。前記振動体部４は、圧電体部４ｂと、周波数調整部４ｃと、を有する。
【００１８】
ここで、前記ロータ８、前記駆動子３、及び前記圧電体部４ｂの中央部には貫通孔が設けられている。該貫通孔には、前記中心軸シャフト６が挿入される。該中心軸シャフト６は、前記周波数調整部４ｃにおける縦振動の節部に、例えば螺子等により固定される。また、前記中心軸シャフト６は、前記ロータ８及び前記押圧部２の中心位置決めの機能を担っている。
【００１９】
前記押圧部２は、前記ロータ８の上部端面に配置されている。また、前記押圧部２は、前記中心軸シャフト６に設けられた螺子（不図示）により、前記ナット２ａが回転させられて前記バネ２ｃが撓ませられることで、前記ロータ８を加圧する押圧力を生じる。
【００２０】
前記ロータ８は、前記押圧部２により加圧された状態で、駆動子３を介して振動体部４により中心軸方向に回転自在に適正力で押圧される。前記駆動子３は、前記圧電体部４ｂの上部端面に接着固定されて設けられている。
【００２１】
前記周波数調整部４ｃは、前記圧電体部４ｂの下部端面に接着剤等により固定されており、縦振動と捻り振動の共振周波数差を調整する部材である。該周波数調整部４ｃと前記圧電体部４ｂとは、前記中心軸シャフト６の挿入方向に一体となるように接着固定されている。
【００２２】
以下、本第１実施形態に係る超音波モータの特徴部の一つである前記振動体部４について詳細に説明する。
【００２３】
前記圧電体部４ｂは、板状圧電素子が積層された構造を含む部材である。この圧電体部４ｂを構成する板状圧電素子の材質は、例えば、厚さ１００μｍのチタン酸ジルコン酸鉛（所謂ＰＺＴ）系圧電セラミックス素子である。
【００２４】
前記板状圧電素子は、片面に複数の内部電極（電極膜）が設けられており、それら内部電極のうちの２つの内部電極は駆動用電極であり、残りの内部電極は振動検出用電極である。これら内部電極の材質としては、例えば、厚さ４μｍの銀パラジウム合金を挙げることができる。
【００２５】
図２Ａは、前記圧電体部４ｂの一構成例を示す図である。図２Ａに示すように、圧電体部４ｂは、内部電極が圧電的に分極された領域である活性層１１と、分極されていない領域である不活性層１３と、を備える。製造方法の詳細は後述するが、図２Ａに示すように活性層１１は前記内部電極が分極されて活性化された板状圧電素子１１ａが積層されて成る層であり、不活性層１３は不活性（未分極）部材１３ａから成る層である。ここで、不活性部材１３ａは、例えば板状圧電素子１１ａを積層して形成し且つ当該板状圧電素子１１ａの内部電極を圧電的に分極させない構成とすればよい。
【００２６】
前記不活性層１３は、従来の超音波モータにおける所謂“弾性体”に相当する。本第１実施形態に係る超音波モータでは、従来の超音波モータにおける“弾性体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの不活性層１３）と、従来の超音波モータにおける“圧電体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの活性層１１）と、を一体的に構成する。
【００２７】
前記活性層１１は、詳細には、＋極の内部電極が設けられた板状圧電素子１１ａと、−極の内部電極が設けられた板状圧電素子１１ａと、が交互に積層されて構成されている。このような積層化には接着剤を用いても良いし、一体焼成法によっても良い。
【００２８】
図２Ｂは、内部電極及び外部電極の配置例を示す図である。図２Ｂに示すように、内部電極としては駆動用内部電極１４Ａと、振動検出用内部電極１４Ｂとが設けられている。そして、これら駆動用内部電極１４Ａと振動検出用内部電極１４Ｂの各々について、外部電極として、活性層１１に対応する層に対して＋極の外部電極１５ａと−極の外部電極１５ｂとが設けられている。このように、各々同じ極且つ同じ相の内部電極同士が、それぞれ対応する外部電極により、電気的に接続され短絡されている。
【００２９】
そして、圧電的に活性化させたい領域に対応する板状圧電素子１１ａにおける＋極の内部電極と−極の内部電極との間に高電圧を印加することで、当該内部電極を分極して圧電的に活性化させ、活性層１１とすることができる。
【００３０】
上述したような構成を採り、前記活性層１１に所定の電圧を印加することで、振動体部４には縦一次振動及び捻り二次振動が生じる。この縦振動と捻り振動とが合成された振動によって、振動体部４とロータ８との接触部には楕円振動が生じる。この楕円振動によりロータ８が回転する。
【００３１】
ここで、圧電体部４ｂの全長と周波数調整部４ｃの全長との寸法比（換言すれば、圧電体部４ｂと周波数調整部４ｃとの接着部位である溝の位置）により、縦振動と捻り振動の共振周波数差は変化する。また、ロータ８と駆動子３との接触圧を適性にすることで、縦振動と捻り振動の共振周波数を一致させることができる。
【００３２】
以下、図１乃至図２Ｂに示す圧電体部４ｂの製造方法例を、図３乃至図７を参照して説明する。
【００３３】
≪製造方法例１≫
図３は圧電体部４ｂの製造方法の一例を示す図である。図３に示す例では、板状圧電素子１１ａを、高さ方向（図３に示す中心軸１００方向）に対し垂直となる面から所定の傾斜角度θを持たせた状態で、板状圧電素子１１ａの厚み方向に積層する。そして、前記板状圧電素子１１ａの上下端面を、図３に示すように当該上下端面と平行な上下端面を有する不活性部材１３ａで挟み込む。この不活性部材１３ａは、不活性層１３を形成する部材である。図３に示すように、前記板状圧電素子１１ａの上下端面と前記不活性部材１３ａの上下端面とは互いに平行である。そして、図３に示す切断領域１７に対応する領域で当該積層体を切断することで、圧電体部４ｂが切り出される。
【００３４】
換言すれば、製造方法例１では、内部電極としての電極膜を形成する表面と外形面とが直角を為すような形状の板状圧電素子１１ａを、その厚み方向に対し垂直となる面から、所定の傾斜角度で、所定の量且つ所定の方向にずらしながら、その厚み方向に積層する。このように積層した後、その上下面に、所定の厚みを有する不活性部材１３ａを設ける。その後、上述したように切断領域１７に対応する領域を切り出すように当該積層体を切断することで、前記圧電体部４ｂの上下端面がその外形面と直角を為すように形成される。このような工程によって、活性層１１は、圧電体部４ｂの上下端面から所定の傾斜角度もって設けられている構成の圧電体部４ｂが実現する。
【００３５】
≪製造方法例２≫
図４は圧電体部４ｂの製造方法の一例を示す図である。図４に示す例では、板状圧電素子１１ａを、高さ方向（図４に示す中心軸１００方向）に対し垂直となる面から所定の傾斜角度θを持たせた状態で、板状圧電素子１１ａの厚み方向に積層させる。そして、図４に示す切断領域１７で当該積層体を切断することで、圧電体部４ｂが切り出される。
【００３６】
その後、上述した分極処理を行う際に、不活性層１３とする領域の板状圧電素子１１ａの内部電極を分極させない。すなわち、活性層１１とする領域の板状圧電素子１１ａの内部電極に対応する＋極の外部電極１５ａと−極の外部電極１５ｂとの間に高電圧を印加して分極し、圧電的に活性化させる。このようにして、分極領域である活性層１１と、分極されていない領域である不活性層１３と、を設ける。
【００３７】
換言すれば、製造方法例２では、内部電極としての電極膜を形成する表面と外形面とが直角を為すような直方体形状の板状圧電素子１１ａを、その厚み方向に対し垂直となる面から、所定の傾斜角度で、所定の量且つ所定の方向にずらしながら厚み方向に積層する。このように積層した後、従来の超音波モータにおける“弾性体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの不活性層１３）を設ける為に、不活性層１３を形成する板状圧電素子１１ａを更に積層し且つ当該積層に係る板状圧電素子１１ａには分極処理を行わない。なお、上述したように切断領域１７に対応する領域を切り出すように当該積層体を切断することで、前記圧電体部４ｂの上下端面がその外形面と直角を為すように形成される。このようにして、製造方法例１を採る場合と同様の構成の圧電体部４ｂを製造することができる。
【００３８】
＜製造方法例１及び製造方法例２に特有の効果＞
製造方法例１及び製造方法例２によれば、従来の超音波モータにおける“弾性体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの不活性層１３）と、従来の超音波モータにおける“圧電体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの活性層１１）と、を一体的に構成する。従って、組立工数が大幅に削減されると共に、個々の超音波モータ間の性能ばらつきが大幅に抑制される。また、従来の超音波モータにおける“弾性体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの不活性層１３）と、従来の超音波モータにおける“圧電体”（本第１実施形態に係る超音波モータにおける圧電体部４ｂの活性層１１）に設けられた内部電極と、の回転方向における位置決めが不要になるため、更に性能のばらつきが低減される。つまり、高性能で性能ばらつきも小さい低コストの超音波モータが実現する。
【００３９】
換言すれば、内部電極が形成された面とその外形面とが直角を為している板状圧電素子を所定の傾斜角度で厚み方向に積層した後に外形を切断する製造方法を採ることで、圧電体部４ｂを製造する為の加工工程は非常に簡易な工程となる。板状圧電素子１１ａを積層する工程についても、外形を基準に位置決めすれば簡易に積層することが可能である。さらに、不要な領域については積層後の圧電体部４ｂの状態に応じて切断するので、より低コストな超音波モータを提供することができる。
【００４０】
≪製造方法例３≫
図５は圧電体部４ｂの製造方法の一例を示す図である。図５に示す例では、内部電極としての電極膜を形成する表面と、その外形面とが直角となっている長方形の板状圧電素子１１ａを、その厚み方向に平行に積層する。そして、前記板状圧電素子１１ａの上下端面を、図５に示すように当該上下端面と平行な上下端面を有する不活性部材１３ａで挟み込む。この不活性部材１３ａは、不活性層１３を形成する部材である。
【００４１】
その後、図５に示す切断領域１７に対応する領域を切断することで、四角柱形状の圧電体部４ｂが切り出される。すなわち、板状圧電素子１１ａが積層方向に対して所定の傾斜角度を持つように当該積層体の上下面について切断し、且つ上下端面と外形面とが直角となるように積層方向と平行な面についても切断する。
【００４２】
≪製造方法例４≫
図６は圧電体部４ｂの製造方法の一例を示す図である。図６に示す例では、内部電極としての電極膜を形成する表面とその外形面とが直角を為す板状圧電素子１１ａを、その厚み方向に平行に積層する。そして、このように板状圧電素子１１ａの積層で形成した積層体を、その上下端面が積層方向に対して所定の傾斜角度を持つように、当該積層体を切断する。つまり、図６に示す切断領域１７に対応する領域を切断することで、四角柱形状の圧電体部４ｂが切り出される。
【００４３】
その後、上述した分極処理を行う際に、不活性層１３とする領域の板状圧電素子１１ａの内部電極を分極させない。すなわち、活性層１１とする領域の板状圧電素子１１ａの内部電極に対応する＋極の外部電極１５ａと−極の外部電極１５ｂとの間に高電圧を印加して分極し、圧電的に活性化させる。このようにして、分極領域である活性層１１と、分極されていない領域である不活性層１３と、を設ける。このようにして、上下端面が外形面と直角を為し、不活性層１３に挟まれた活性層１１は上下端面から所定の傾斜角度もって配置された構成の圧電体部４ｂが形成される。
【００４４】
＜製造方法例３及び製造方法例４に特有の効果＞
製造方法例３及び製造方法例４によれば、製造方法例１及び製造方法例２に特有の効果を奏する上に、次のような効果を奏する。すなわち、板状圧電素子１１ａの積層工程において積層方向が単純に厚み方向と平行な方向である為、より簡易な積層工程となる。
【００４５】
≪製造方法例５≫
図７Ａは圧電体部４ｂの製造方法の一例を示す図である。図７Ａに示すように、圧電体部４ｂを構成する圧電素子として、電極膜を形成する面が円形形状の円盤状圧電素子１１ｂを用いてもよい。この場合にも、製造方法例１及び製造方法例３のように、円盤状圧電素子１１ｂをその厚み方向と平行な方向に積層して活性層１１を形成し、且つ該活性層１１の上下面には、図７Ａに示すように当該上下端面と平行な上下端面を有する不活性部材１３ａで挟み込む。この不活性部材１３ａは、不活性層１３を形成する部材である。
【００４６】
その後、不活性部材１３ａを所定の傾斜角度で切断することで、活性層１１を構成する円盤状圧電素子１１ｂの電極膜形成面と、圧電体部４ｂの上下端面と、が所定の傾斜角度を有する構成の圧電体部４ｂが形成される。
【００４７】
なお、製造方法例２及び製造方法例４の製造方法を本製造方法例５に適用しても勿論よい。すなわち、高さ方向全体に渡って円盤状圧電素子１１ｂを積層後、積層方向に対して所定の傾斜角度で、圧電体部４ｂを切断して圧電体部４ｂを切り出す。なお、このとき切断に係る上下端面は互いに平行な面となる。そして、上述した分極処理を行う際に、不活性層１３とする領域の板状圧電素子１１ａの内部電極を分極させない。
【００４８】
図７Ｂに示すように、円盤状圧電素子１１ｂには、内部電極として駆動用内部電極１４Ａと、振動検出用内部電極１４Ｂとが設けられている。そして、活性層１１とする領域の板状圧電素子１１ａの内部電極に対応する＋極の外部電極１５ａと−極の外部電極１５ｂとの間に高電圧を印加して分極し、圧電的に活性化させる。このようにして、分極領域である活性層１１と、分極されていない領域である不活性層１３と、を設ける。
【００４９】
＜製造方法例５に特有の効果＞
上述したように円盤状圧電素子１１ｂを用いることで、圧電体部４ｂは円柱形状となる。円柱形状は捻じれ振動を起こし易い形状である。さらには、円柱形状を採ることで圧電体部４ｂの対称性が高まり、超音波モータ全体としての形状も対称性が高まる。この為、本製造方法例５によれば、より高効率の超音波モータが実現する。
【００５０】
以上説明したように、本第１実施形態によれば、従来より超音波モータの製造工程で必要とされている弾性体と圧電体との当てつけ・位置決め工程を必要とせず、大幅に簡略化された製造工程で製造でき、且つ性能面でのばらつきを大幅に抑制可能な超音波モータを提供することができる。
【００５１】
［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、説明の重複を避ける為、第１実施形態に係る超音波モータとの相違点を説明する。図８は、本第２実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図である。
【００５２】
本第２実施形態に係る超音波モータでは、第１実施形態に係る超音波モータの中心軸シャフト６の代わりに、心棒６´が図８に示すように周波数調整部４ｃと一体に設けられている。心棒６´は、その先端から中央部に渡ってねじ山加工されてねじ山が設けられている。圧電体部４ｂは心棒６´に挿入されており、上方からナット９によって押圧されている。このようにして圧電体部４ｂと周波数調整部４ｃとが強固に固定される。そして、心棒６´を基準に、ナット９の上面に駆動子３が接着され、更にロータ８、押圧部２がこの順に心棒６´に挿入されて構成される。
【００５３】
以上説明したように、本第２実施形態によれば、第１実施形態に係る超音波モータと同様の効果を奏する上に次のような効果を奏する超音波モータを提供することができる。すなわち、本第２実施形態に係る超音波モータは、周波数調整部４ｃと圧電体部４ｂとは互いの平面部同士により接触する為、性能的により安定した超音波モータが実現する。また、周波数調整部４ｃと圧電体部４ｂとは、上述した心棒６´に設けられたねじ山を利用したねじの締め込み作用で強固に固定される為、これらを接着する為の工程が必要無くなる。従って、超音波モータとしては温度特性等における安定性がより向上する。
【００５４】
［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態に係る超音波モータについて説明する。なお、説明の重複を避ける為、第１実施形態に係る超音波モータとの相違点を説明する。図９は、本第３実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図である。
【００５５】
本第３実施形態では、振動体部４の各部が次のような工程によって全て一体に形成されている。すなわち、本第３実施形態に係る超音波モータでは、不活性層として、第１実施形態と同様に活性層１１を挟み込む不活性層１３の他に、周波数調整部として機能する周波数調整不活性層１３´を形成する。
【００５６】
換言すれば、活性層１１の下部に設けられた不活性層１３に溝部を設ける加工を施して前記周波数調整不活性層１３´を形成する。これにより、振動体部４全体を一体として形成することができる。
【００５７】
なお、前記振動体部４には貫通孔が設けられており、その貫通孔には端部にフランジ６ａが設けられた中心軸６´´が挿通されている。また、図９に示すように、振動体部４の下部から前記中心軸６´´が挿入される構成を採ることで、振動体部４の上部から前記中心軸６´“が抜けてしまうことがない。また、図示はしていないが、振動体部４の上部には第１実施形態に係る超音波モータと同様にロータや押圧部等が配置されている。
【００５８】
以上説明したように、本第３実施形態によれば、第１実施形態に係る超音波モータと同様の効果を奏する上に、次の様な効果を奏する超音波モータを提供することができる。すなわち、本第３実施形態に係る超音波モータによれば、振動体部４に周波数調整部を設ける工程（接着工程）が不要となる為、より高性能でばらつきが少なく且つ低コストな超音波モータを提供することができる。
【００５９】
以上、第１実施形態乃至第３実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で、種々の変形及び応用が可能なことは勿論である。
【００６０】
さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示する複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示す全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図。
【図２Ａ】圧電体部の一構成例を示す図
【図２Ｂ】内部電極及び外部電極の配置例を示す図。
【図３】圧電体部の製造方法の一例を示す図。
【図４】圧電体部の製造方法の一例を示す図。
【図５】圧電体部の製造方法の一例を示す図。
【図６】圧電体部の製造方法の一例を示す図。
【図７Ａ】圧電体部の製造方法の一例を示す図。
【図７Ｂ】内部電極及び外部電極の配置例を示す図。
【図８】本発明の第２実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図。
【図９】本発明の第３実施形態に係る超音波モータの一構成例を示す図。
【符号の説明】
【００６２】
２…押圧部、  ３…駆動子、  ４…振動体部、  ４ｂ…圧電体部、  ４ｃ…周波数調整部、  ６…中心軸シャフト、  ６´…心棒、  ６ａ…フランジ、  ６´´…中心軸、  ８…ロータ、  ９…ナット、  １１…活性層、  １１ａ…板状圧電素子、  １１ｂ…円盤状圧電素子、  １３…不活性層、  １３ａ…不活性部材、  １３´…周波数調整不活性層、  １４Ａ…駆動用内部電極、  １４Ｂ…振動検出用内部電極、  １５ａ，１５ｂ…外部電極、  １５ａ…外部電極、  １５ｂ…外部電極。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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