(57)【要約】【課題】磁気ヘッドを搭載した高速回転シリンダーで薄手高性能磁気テープ上に記録再生するにあたって、エンベロープが安定せず、特に磁気ヘッドと磁気テープの摺動始め（入り側）においての磁気ヘッドと薄手高性能磁気テープの接触が安定せず、目詰まりやエンベロープが落ち込み良好なエラーレートが確保できない。【解決手段】本発明の磁気ヘッドは、ヘリカルに磁気テープ上に記録再生するシリンダーに搭載し、巻線コイルが巻回する巻線窓部７を有する磁気ヘッドコア半体を、その端面同士が対向するように配置して磁気ギャップ３を形成し、磁気ヘッドコア半体を接合させた磁気ヘッドであって、磁気ヘッドコアの摺動面端部に含フッ素硬質炭素膜を成膜した溝を有し、溝は、摺動始め（入り側）の摺動面端部において、摺動終り（出側）の摺動面端部より深いことを特徴とする。【選択図】図１
2010257499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘリカルに磁気テープ上に記録再生するシリンダーに搭載し、
巻線コイルが巻回する巻線窓部を有する磁気ヘッドコア半体を、その端面同士が対向するように配置して磁気ギャップを形成し、磁気ヘッドコア半体を接合させた磁気ヘッドであって、
磁気ヘッドコアの摺動面端部に含フッ素硬質炭素膜を成膜した溝を有し、
前記溝は、摺動始め（入り側）の摺動面端部において、摺動終り（出側）の摺動面端部より深いことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
磁気ヘッドコア入り側端面の溝切込み角度を２０°〜４５°で構成した
請求項１記載の磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波帯域で使用されるデバイス、例えばハイビジョンデジタルＶＴＲやデーターストリーマーなどの高周波信号を記録再生するのに適した磁気ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハイビジョンデジタルＶＴＲやデーターストリーマー等の高容量化や広帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んに行われており、磁気ヘッドとしても、これら高抗磁力媒体に対応できるような高飽和磁束密度を有し、高容量化に伴う狭トラック化に対応し、５０ＭＨｚ以上の高周波帯域での特性の優れた磁気ヘッドの開発が望まれている。また、磁気ヘッドは、高周波帯域での再生効率を高めるため狭磁気ギャップ化されてきている。
【０００３】
そこで、このような要求に対応するために、センダストやアモルファス磁性合金、ＦｅＴａＮ等の金属磁性膜と絶縁膜とを積層した金属磁性層の両側を非磁性基板で挟持した構造とし、高周波特性を向上させた磁気ヘッド、いわゆる積層型磁気ヘッドが開発されている。
【０００４】
また、非磁性基板としてはチタン酸マグネシウム系やチタン酸カルシュウム系等のセラミックス材料が多く用いられている。磁気記録媒体である磁気テープも、このような大量の情報を記録するための高容量化及び高記録密度化に伴い、磁気テープの厚みを薄くし、また、従来の酸化鉄系から合金粉末媒体や金属蒸着媒体等の高抗磁力媒体へと変わってきた。
【０００５】
また、高周波信号などを記録再生するドライブの磁気ヘッドを搭載したシリンダーにおいても、シリンダーの回転数を早くするなどした高転送レートが要求されている。
【０００６】
しかし、磁気テープの薄型化やシリンダーの高回転においても安定した記録再生を行うために、良好なエンベロープが求められている。その為にドライブの磁気テープのテンションやシリンダーの溝などの形状や溝本数などの提案がなされている。磁気ヘッドにおいては、磁気ヘッドと磁気テープとのヘッドタッチを改善安定させるために、磁気ヘッドの摺動面端部に面取り（特許文献１）や摺動面中央部或いは長手方向に溝を設ける（特許文献２）などの提案がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１−１５１０１９号公報
【特許文献２】特開平１−２３５０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ヘリカルに薄手高性能磁気テープ（以降磁気テープと記す）上に記録再生する高容量、高転送レートのドライブにおいて、磁気ヘッドを搭載した高速回転シリンダーで磁気テープ上に記録再生する際に、磁気ヘッドの磁気テープ摺動痕の中心位置が磁気ヘッドの磁気テープ摺動終わり（出側）に移動し、記録再生時のエンベロープが安定しないという問題点がある。回転シリンダーの窓形状や溝本数、形状などで磁気テープの吸い込み量などの改善を図っているが、十分な改善効果が得ることができない。特に磁気テープの摺動始め（入り側）の磁気ヘッドと磁気テープとの接触が安定せず、入側のエンベロープが落ち込み、良好なエラーレートが確保できないという問題点がある。また、磁気ヘッドと磁気テープの当たりを改善する為に、磁気テープのテンションを強くすることで、ドライブの走行系において磁気テープにダメージを与える不具合があり、磁気ヘッド摺動面に粉付きによる目詰まりなどの影響でエラーレート不良になる問題点がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気ヘッドは、ヘリカルに磁気テープ上に記録再生するシリンダーに搭載し、巻線コイルが巻回する巻線窓部を有する磁気ヘッドコア半体を、その端面同士が対向するように配置して磁気ギャップを形成し、磁気ヘッドコア半体を接合させた磁気ヘッドであって、磁気ヘッドコアは、摺動面端部に含フッ素硬質炭素膜を成膜した溝を有し、前記溝は、摺動始め（入り側）の摺動面端部において、摺動終り（出側）の摺動面端部より深いことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の磁気ヘッドは、上記構成により、シリンダー窓における磁気ヘッドの入り側の磁気テープの吸い込み量を抑制し、出側の吸い込み量とバランスがとれ、磁気ヘッドの摺動痕の中心位置が磁気テープの出側に移動する事を抑制し、磁気ヘッドの中心にある磁気ギャップと磁気テープとの接触が良好な状態となり、ドライブでの記録再生時のエンベロープの落ち込みや不安定を改善できるものであって、良好なエラーレートが確保出来る。また、磁気テープテンションを高くする必要がなく、ドライブの走行系による磁気テープへのダメージも改善できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１に於ける磁気ヘッドの構成図
【図２】本発明の実施の形態１に於ける磁気ヘッドの摺動部と平面図
【図３】本発明の実施の形態に於ける磁気ヘッドを搭載したドライブによる記録再生時の評価結果を表す図
【図４】エンベロープ平坦度を表す図
【図５】本発明の実施の形態に於ける磁気ヘッドを搭載したドライブによる連続運転時の評価結果を表す図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
磁気ヘッドと磁気テープとの良好なヘッドタッチを確保し、磁気テープへのダメージもなく良好なエンベロープが得られ、高容量で高転送レートであるドライブを実現した。
【００１３】
（実施の形態１）
磁気ヘッドの実施の形態１について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本実施の形態１における積層型磁気ヘッドの構成図である。積層型磁気ヘッドは、入り側磁気ヘッドコア１と、出側磁気ヘッドコア２と、磁気ギャップ３と、金属薄膜と非磁性膜を積層してなる、トラックである金属磁性層４と、非磁性基板５と、モールドガラス６と、巻線窓７と、摺動面出側溝８と、摺動面入側溝９とを含む。図２は本実施の形態１における積層型磁気ヘッドの摺動面部と平面図である。本実施の形態１では磁気コアである金属磁性層の金属磁性膜には飽和磁束密度が大きいアモルファス磁性合金のＦｅ−Ｔａ−Ｎを用いる。金属磁性膜は、Ｓｉ或いはＺｎなどの金属が含まれる物であっても良く、また、Ｃｏ系のＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ−Ｔａなどの物であっても良い。絶縁膜はＳｉ０２膜で、基板には非磁性のＮｉ−Ｔｉ−Ｍｇセラミックスであっても良く、非磁性単結晶フェライト基板であっても良い。接着層にはホウ珪酸ガラスを用いており、磁気ヘッドの構造としては金属磁性層４の両端を一対の基板５で挟持する構造の積層型磁気ヘッドである。尚、磁気ヘッドの構造はメタルインギャップ（ＭＩＧ）形、薄膜ヘッドであっても構わないものである。
【００１５】
本実施の形態１では、Ｎｉ−Ｔｉ−Ｍｇセラッミクス基板に公知のスパッタリングによりＡｌ２０３膜を１．０μｍ成膜し、一対の金属磁性膜の磁化容易軸方向が磁気ギャップ面と層面内でほぼ平行であり、かつ一対の金属磁性膜以外の磁化容易軸方向が磁気ギャップ面とほぼ直交した金属磁性膜であるＦｅ−Ｔａ−Ｎを、同様に公知のスパッタリングにより０．４μｍ成膜し、非磁性膜であるＳｉ０２膜で０．００５μｍ成膜した金属磁性膜を６層成膜した多層金属磁性膜に、絶縁膜であるＳｉ０２膜を０．１５μｍ成膜した金属磁性層を３層積層した８．９μｍのトラック幅で構成された磁気コア半体を準備し、それぞれの磁気コア半体に巻線部となる溝を設けた磁気コア半体を作成する。作成された磁気コア半体をその端面同士が対向するように配置して、実行ＧＬが０．１３μｍになるようにホウ珪ガラスとパイレックス（登録商標）ガラスを用いて形成して、それぞれの磁気ヘッドコアを接合する。接合された磁気ヘッドの出側磁気ヘッドコア端部にθ２＝６０°で溝を入れ、入り側磁気ヘッドコア端部にθ１＝３０°で溝を入れ、それぞれの溝内壁にＤＶＣ法によりＣＦ４ガスを用いて１μｍの含フッ素硬質炭素膜を成膜する。含フッ素硬質炭素膜は公知のＲＦ法、ＤＣ法でも成膜できるものであって、導入するＣＦ系ガスはＣＦ４ガス以外にＣ２Ｆ４ガス、Ｃ２Ｆ６ガスなどやＣＦ系ガスとメタン、ブタン、エタンなどの炭素系ガスとの混合であっても良い。公知である円筒研削機を用いて磁気ヘッドコアの摺動曲率半径を６．５ｍｍで加工して、磁気ヘッドコア厚み８０μｍに切断して磁気ヘッドコアを準備する。その磁気ヘッドコアに巻線を１７ターン巻き、公知のテープ研磨装置によりギャップデプス１１μｍの積層型磁気ヘッドを作成する。
【００１６】
実施の形態２では、磁気ヘッドの出側磁気ヘッドコア端部にθ２＝６０°で溝を入れ、入り側磁気ヘッドコア端部にθ１＝４５°で溝を入れ、それ以外は実施の形態１と同仕様とする。尚、比較例として磁気ヘッドコア端部に溝を設けない以外は実施例１と同一仕様の磁気ヘッドを作成する（比較例１）。また、比較例２として出側磁気ヘッドコア端部にθ２＝４５°で溝を入れ、入り側磁気ヘッドコア端部にθ１＝６０°で溝を入れ、それ以外は実施例１と同一仕様の磁気ヘッドを作成する。
【００１７】
作成された積層型磁気ヘッドをデーターストリーマーであるＤＡＴ７２のドライブに搭載して、実施の形態１、実施の形態２、比較例１、及び比較例２について、それぞれ１０台準備し、５９ＭＨｚの高周波での記録再生を行い、その時のＣ／Ｎとエンベロープの平坦度とエラーレートを評価する。
【００１８】
その結果を図３に示す。尚、エンベロープ平坦度は図４に示す様にエンベロープ平均値Ａ、エンベロープ落ち込み量Ｂにおいて、エンベロープ平坦度＝Ｂ／Ａ（％）で求めている。
【００１９】
図３の結果において、磁気ヘッドコア端部に含フッ素を有した溝を設け、その溝深さについて出側端部より入り側端部を深くすることにより、磁気テープの入り側の吸い込み量と出側の吸い込み量のバランスが取れ、磁気ヘッドの磁気テープ摺動痕が磁気ヘッドの中心位置に安定し、磁気ギャップと磁気テープが十分接触することができ、エンベロープの落ち込みもなく良好な結果が得られる。また、溝深さも入り側が出側より深くすることで安定したエンベロープを確保することができる。
【００２０】
次に、上述の実施の形態１、実施の形態２、比較例１、及び比較例２の構成を用いて、５０℃、２０％の高温低湿環境下連続走行試験を１０００ｈ行い、１０００ｈ後のエンベロープ平坦度とエラーレートの評価の結果を図５に示す。
【００２１】
図５において、連続走行試験後であっても、継続して良好な磁気ヘッドと磁気テープの摺動が得られ、良好なエンベロープを確保でき、より信頼性の高い磁気ヘッドを得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明にかかる磁気ヘッドは、高周波帯域で使用されるデバイス、例えばハイビジョンデジタルＶＴＲやデーターストリーマーなどの高周波信号を記録再生するドライブなどに適用できる。
【符号の説明】
【００２３】
１    入り側磁気ヘッドコア半体
２    出側磁気ヘッドコア半体
３    磁気ギャップ
４    金属磁性層
５    非磁性基板
６    モールドガラス
７    巻線窓
８    出側磁気ヘッドコア端部溝
９    入り側磁気ヘッドコア端部溝
【図１】
2010257499.tif 000003
【図２】
2010257499.tif 000004
【図３】
2010257499.tif 000005
【図４】
2010257499.tif 000006
【図５】
2010257499.tif 000007