(57)【要約】【課題】生産性が向上されたワイヤソー切断装置とワークの切断方法を提供する。【解決手段】ワークステージ制御部によりワークステージを直線方向に移動させる移動手段と、第一のワイヤ制御部により第一のワイヤを往復移動させる第一の切断手段と、第二のワイヤ制御部により第二のワイヤを往復移動させる第二の切断手段とを備え、ワークステージが移動可能とする空間を移動空間としたとき、ワークステージから最も近い隣り合う第一のワイヤ用ローラに掛けられた第一のワイヤとワークステージから最も近い隣り合う第一のワイヤ用ローラに掛けられた第二のワイヤとが、移動空間内に設けられつつ、ワークステージの主面と平行であって、ワークステージの移動する直線方向と垂直である位置に設けられ、この第一のワイヤ用ローラに掛けられた第一のワイヤとこの第二のワイヤ用ローラに掛けられた第二のワイヤとが直交していることを特徴とするワイヤソー切断装置。【選択図】      図１
2010274371.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搭載するワークステージとワークステージ制御部とを有し、前記ワークステージ制御部により前記ワークステージを直線方向に移動させる移動手段と、
第一のワイヤと前記第一のワイヤが掛けられた第一のワイヤ用ローラと前記第一のワイヤを移動させる第一のワイヤ制御部とを有し、前記第一のワイヤ制御部により隣り合う前記第一のワイヤ用ローラ間で前記第一のワイヤを往復移動させる第一の切断手段と、
第二のワイヤと前記第二のワイヤが掛けられた第二のワイヤ用ローラと前記第二のワイヤを移動させる第二のワイヤ制御部とを有し、前記第二のワイヤ制御部により隣り合う前記第二のワイヤ用ローラ間で前記第二のワイヤを往復移動させる第二の切断手段と、
を備え、
前記ワークステージが移動可能とする空間を移動空間としたとき、
前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第一のワイヤ用ローラに掛けられた前記第一のワイヤが、移動空間内に設けられつつ前記ワークステージの主面と平行であって、前記ワークステージの移動する直線方向と垂直である位置に設けられ、
前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第二のワイヤ用ローラに掛けられた前記第二のワイヤが、移動空間内に設けられつつ前記ワークステージの主面と平行であって、前記ワークステージの移動する直線方向と垂直である位置に設けられ、
前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第一のワイヤ用ローラに掛けられた前記第一のワイヤが、前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第二のワイヤ用ローラに掛けられた前記第二のワイヤと直交している
ことを特徴とするワイヤソー切断装置。
【請求項２】
請求項１に記載のワイヤソー切断装置を用いてワークを切断するワークの切断方法であって、
前記ワークを前記ワークステージに搭載する搭載工程と、
前記移動手段の前記ワークステージが直線方向に移動し、往復移動している前記第一のワイヤに前記ワークが接触されて切り込まれ、往復移動している前記第二のワイヤに前記ワークが接触されて切り込まれて切断を完了する切断工程と、
前記ワークステージから前記ワークを取り外す取り外し工程と、
からなることを特徴とするワークの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、又は、その部材などのワークを切断するワイヤソー切断装置及びワークの切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤソー切断装置は、例えば、図９及び図１０に示すように、移動手段４０と切断手段５０とから構成されている。
【０００３】
移動手段４０は、図９に示すように、ワークＷを搭載するワークステージ４１とワークステージ制御部（図示せず）とを備えており、ワークステージ４１がワークステージ制御部により直線方向に移動させられる。
ここで、ワークＷは、ワイヤソー切断装置に於いて切断される被加工物とする。
移動手段４０では、例えば、ワークステージ制御部によりワークステージ４１が鉛直方向に上下に移動させられる。
【０００４】
切断手段５０は、図１０に示すように、例えば、ワイヤ５１とワイヤ制御部５２と３個のワイヤ用ローラ５３ａ，５３ｂ，５３ｃと２つ一対のワイヤ用リール５４ａ，５４ｂとを備えており、ワイヤ制御部５２によりワイヤ５１が往復移動させられる。
【０００５】
ワイヤ５１は、一方のワイヤ用リール５４ａに巻かれた状態で引き出され、３個のワイヤ用ローラ５３ａ，５３ｂ，５３ｃに所定の間隔で巻きかけられて、他方のワイヤ用リール５４ｂに巻き取られる。
３個のワイヤ用ローラ５３ａ，５３ｂ，５３ｃは、円筒形状となっており、ワイヤ５１を巻きかけるための多数の溝（図示せず）が外側の周面に沿って設けられている。
また、３個のワイ用ローラ５３ａ，５３ｂ，５３ｃは、三角形の頂点となる部分に設けられている。
所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａは、ワイヤ制御部５２に接続されており、ワイヤ制御部５２により、時計回り及び反時計回りに交互に回転駆動させられる。
ワイヤ制御部５２は、所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａに接続されている。
２つ一対のワイヤ用リール５４ａ，５４ｂは、円筒の両端部にフランジが設けられた構造となっている。
また、２つ一対のワイヤ用リール５４ａ，５４ｂは、ワイヤ５１の張力が一定となるように、ワイヤ張力自動制御部（図示せず）がそれぞれ設けられている。
【０００６】
切断手段５０では、所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａがワイヤ制御部５２により時計回りに回転駆動させられると、ワイヤ５１が所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａ側から所定の他の一つのワイヤ用ローラ５３ｂ側へ時計回りに移動する。
このとき、ワイヤ５１の張力を一定としたまま、ワイヤ５１が一方のワイヤ用リール５４ａから巻かれた状態から引き出され、他方のワイヤ用リール５４ｂに巻き取られる。
同様に、切断手段５０では、所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａがワイヤ制御部５２により反時計回りに回転駆動させられると、ワイヤ５１が反時計回りに移動する。
このとき、ワイヤ５１の張力を一定にしたまま、ワイヤ５１が一方のワイヤ用リール５４ａに巻き取られ、他方のワイヤ用リール５４ｂから巻かれた状態から引き出される。
従って、切断手段５０は、所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａがワイヤ制御部５２により、時計回りと反時計回りに交互に回転駆動させられ、ワイヤ５１を往復移動させられる。
ここで、往復移動とは、ワイヤ５１が、時計回りの方向と反時計回りの方向とに交互に往復するように動いている状態である。
具体的には、往復移動は、例えば、図１０に示すように、張られているワイヤ５１が所定の一つのワイヤ用ローラ５３ａ側へ移動させられる状態と所定の他の一つのワイヤ用ローラ５３ｂ側へ移動させられる状態とが交互に往復する状態である。
【０００７】
このようなワイヤソー切断装置により、ワークステージ４１に搭載されたワークＷは、移動手段４０により直線方向に移動させられながら、切断手段５０の往復移動しているワイヤ５１に接触させられて、往復移動しているワイヤ５１の向きに切断される（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
また、特許文献１に示すようなワイヤソー切断装置を用いてワークＷを切断するワークの切断方法は、例えば、搭載工程、切断工程、取り外し工程とから構成されている。
ここで、ワークＷは、例えば、インゴットであり、単結晶である水晶からなるランバード人工水晶とする。
搭載工程は、ワークＷがワークステージ４１の固定部４１ｂに固定されることにより、ワークステージ４１に搭載される工程である。
切断工程は、ワークステージ４１に搭載されているワークＷが、移動手段４０により鉛直下向きに移動させられ、切断手段５０の往復移動しているワイヤ５１に接触させられ、往復移動しているワイヤ５１の向きに切断される工程である。
取り外し工程は、ワークステージからワークＷを取り外す工程である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許４０４９９００号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、ワークを従来のワイヤソー切断装置は、ワークステージに搭載されたワークをワイヤが往復移動している方向にしか切断することができない。
このため、異なる２つの方向に切断しようとする場合、つまり、ブロック状に切断しようとする場合、従来のワイヤソー切断装置は、切断方向が変わるときに、ワークをワークステージに搭載し直さなければならない。
従って、従来のワイヤソー切断装置は、ワークをブロック状に切断する場合、ワークを搭載し直すための手間や時間がかかり生産性が悪くなる恐れがある。
【００１１】
また、従来のワイヤソー切断装置は、ワークを直方体のブロック状に切断しようとする場合、最初の切断の際のワイヤの間隔を変えて用いる必要があるため、ワイヤ用ローラの交換作業及びワイヤの張替え作業が必要となる。
従って、従来のワイヤソー切断装置は、直方体のブロック状に切断しようとする場合、ワイヤ用ローラの交換作業及びワイヤの張替え作業に手間や時間がかかり生産性が悪くなる恐れがある。
【００１２】
また、従来のワークの切断方法は、ワイヤが往復移動している向き、つまり、一つの方向にしか切断できないワイヤソー切断装置を用いている。
従って、ワークをブロック状に切断する場合、従来のワークの切断方法では、ワークがワークステージに搭載され、移動手段により移動されたワークが往復移動しているワイヤに接触されて所定の一つの方向にワークが切り込まれた後、所定の一つの方向に切断されたワークがワークステージに搭載し直され、移動手段により移動されたワークが往復移動しているワイヤに接触されて所定の他の一つの方向にワークが切り込まれて、切断が完了される。
つまり、従来のワークの切断方法は、ワークを搭載し直す工程が必要となり、この工程の分だけ手間と時間がかかり生産性が悪くなる恐れがある。
【００１３】
そこで、本発明は、ワークの切断を容易に行わせて、生産性を向上させるワイヤソー切断装置及びワークの切断方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するため、ワークを搭載するワークステージとワークステージ制御部とを有し、前記ワークステージ制御部により前記ワークステージを直線方向に移動させる移動手段と、第一のワイヤと前記第一のワイヤが掛けられた第一のワイヤ用ローラと前記第一のワイヤを移動させる第一のワイヤ制御部とを有し、前記第一のワイヤ制御部により隣り合う前記第一のワイヤ用ローラ間で前記第一のワイヤを往復移動させる第一の切断手段と、第二のワイヤと前記第二のワイヤが掛けられた第二のワイヤ用ローラと前記第二のワイヤを移動させる第二のワイヤ制御部とを有し、前記第二のワイヤ制御部により隣り合う前記第二のワイヤ用ローラ間で前記第二のワイヤを往復移動させる第二の切断手段と、を備え、前記ワークステージが移動可能とする空間を移動空間としたとき、前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第一のワイヤ用ローラに掛けられた前記第一のワイヤが、移動空間内に設けられつつ前記ワークステージの主面と平行であって、前記ワークステージの移動する直線方向と垂直である位置に設けられ、前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第二のワイヤ用ローラに掛けられた前記第二のワイヤが、移動空間内に設けられつつ前記ワークステージの主面と平行であって、前記ワークステージの移動する直線方向と垂直である位置に設けられ、前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第一のワイヤ用ローラに掛けられた前記第一のワイヤが、前記ワークステージから最も近い隣り合う前記第二のワイヤ用ローラに掛けられた前記第二のワイヤと直交していることを特徴とする。
【００１５】
前記課題を解決するため、このようなワイヤソー切断装置を用いてワークを切断するワークの切断方法であって、前記ワークを前記ワークステージに搭載する搭載工程と、前記移動手段の前記ワークステージが直線方向に移動し、往復移動している前記第一のワイヤに前記ワークが接触されて切り込まれ、往復移動している前記第二のワイヤに前記ワークが接触されて切り込まれて切断を完了する切断工程と、前記ワークステージから前記ワークを取り外す取り外し工程と、からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
このようなワイヤソー切断装置は、移動手段と第一の切断手段と第二の切断手段とを備えており、移動手段により移動されたワークが、第一の切断手段の第一のワイヤに接触され切り込まれ、第二の切断手段の第二のワイヤに接触され切り込まれて切断が完了されている。
従って、このようなワイヤソー切断装置は、ワークステージにワークを搭載することによって、ワークステージの１回の移動で、ワークを搭載しなおすことなく、異なる２つの方向に切断することができる。
つまり、ワークをブロック状に切断する場合、このようなワイヤソー切断装置は、従来のワイヤソー切断装置のように、ワークをワークステージに搭載し直す必要がなくなり、切断を容易に行わせることができるので、生産性を向上させることができる。
【００１７】
また、ワークを直方体のブロック状に切断する場合、このようなワイヤソー切断装置は、予め直方体の大きさに合わせて第一の切断手段の第一のワイヤの間隔と第二の切断手段の第二のワイヤの間隔とを準備しておくことで、従来のワイヤソー切断装置を用いる場合のようなワイヤー用ローラの交換作業及びワイヤの張替え作業が不要となる。
つまり、このようなワイヤソー切断装置は、ワイヤ用ローラの交換作業及びワイヤの張替え作業が不要となり、手間や時間の分だけ生産性を向上させることができる。
【００１８】
このようなワークの切断方法は、移動手段と第一の切断手段と第二の切断手段とを備え、ワークを移動手段により移動させ、第一の切断手段の第一のワイヤにワークを接触させて切り込ませ、その後、第一のワイヤにより切り込まれたワークを移動手段により移動させ、第二の切断手段の第二のワイヤにワークを接触させて切り込ませ切断を完了させるワイヤソー切断装置を用いている。
従って、ワークをブロック状に切断する場合、このようなワークの切断方法では、ワークがワークステージに搭載され、ステージの１回の移動でワークを搭載し直すことなく、異なる２つの方向、つまりブロック状に切断できる。
つまり、ワークをブロック状に切断する場合、このようなワークの切断方法は、ワークをワークステージに容易に搭載することができ、ワークをワークステージに搭載し直す工程が不要となり、切断を容易に行わせることができ、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置の概念の一例を示す概念図である。
【図２】ワークが搭載されている移動手段の概念の一例を示す概念図である。
【図３】第一の切断手段及び第二の切断手段の一例を示す概念図である。
【図４】第一の切断手段及び第二の切断手段の概念の一例の断面図である。
【図５】ワークの一例を示す概念図である。
【図６】第一の切断手段における、ワークが切断されている状態の一例を示す概念図である。
【図７】第二の切断手段における、ワークが切断されている状態の一例を示す概念図である。
【図８】取り外し工程後のワークの状態を示す概念図である。
【図９】従来のワイヤソー切断装置の概念の一例を示す概念図である。
【図１０】従来のワイヤソー切断装置の切断手段の一例を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための形態について説明する。
なお、各図面において、各構成要素の状態をわかりやすくするために誇張して図示している。
【００２１】
（第一の実施形態）。
本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置について説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置の一例を示す概念図である。
図２は、移動手段の概念の一例を示す概念図である。
図３は、第一の切断手段及び第二の切断手段の一例を示す概念図である。
図４は、第一の切断手段及び第二の切断手段の概念の一例の断面図である。
本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置は、移動手段１０と第一の切断手段２０と第二の切断手段３０とを備えている。
【００２２】
移動手段１０は、例えば、図１及び図２に示すように、ワークステージ１１とワークステージ制御部１２とを備えている。
【００２３】
ワークステージ１１は、アーム部１１ａと固定部１１ｂとから構成されている。
固定部１１ｂは、例えば、ガラスからなっている。
固定部１１ｂは、例えば、その主面がワークの主面の大きさと同じ大きさとなっている。
また、固定部１１ｂは、その主面と平行に往復移動される後述する第一のワイヤ２１と、その主面と平行に往復移動される後述する第二のワイヤ３１との最短距離よりも厚い厚みとなっている。
また、固定部１１ｂは、一方の主面がアーム部と接続されており、例えば、ボルト（図示せず）によりアーム部１１ａに固定されている。
なお、固定部１１ｂには、一方の主面にワークＷが接着剤等で接着される。
ここで、固定部１１ｂに搭載されるワークＷは、電子部品、その部材、成形材料、結晶材料、セラミック等の焼成材料などである。
アーム部１１ａは、後述する第一の切断手段２０の第一のワイヤ２１と接触せず、後述する第二の切断手段３０の第二のワイヤ３１と接触しない位置に設けられる。
また、アーム部１１ａは、ワークステージ制御部１２と接続されている。
アーム部１１ａは、例えば、ワークステージ制御部１２の歯車と接触する面に複数の凹部が設けられている。
この複数の凹部は、後述するワークステージ制御部１２の歯車に設けられている複数の凸部と嵌めあわされる大きさとなっている。
【００２４】
ワークステージ制御部１２は、図示しないが、例えば、歯車と第一のプーリーと第二のプーリーとモータとベルトとを備えている。
また、ワークステージ制御部１２は、後述するワークステージ１１に接続されている。
歯車は、円筒形状であって、その外周面に複数の凸部が設けられている。
この複数の凸部は、後述するワークステージ１１に設けられている複数の凹部と嵌めあわされる大きさとなっている、第一のプーリーは、歯車と接続されている。
第二のプーリーは、モータと接続されており、第一のプーリーより小さい大きさとなっている。
ベルトは、環状となっており、第一のプーリーと第二のプーリーに巻きかけられている。
従って、ワークステージ制御部１２は、モータが回転駆動することで、モータに接続された第二のプーリーが回転駆動させられ、第二のプーリーによりベルトが移動させられ、移動されたベルトにより第一のプーリーが回転駆動させられ、第一のプーリーにより歯車が回転駆動させられる構造となっている。
つまり、ワークステージ制御部１２は、モータが回転駆動することで、歯車が回転駆動させられる構造となっている。
【００２５】
移動手段１０は、歯車に設けられた複数の凸部とワークステージ１１に設けられた複数の凹部とが嵌めあうことにより、ワークステージ制御部１２のモータが回転駆動した場合にワークステージ制御部１２の歯車が回転駆動させられて、ワークステージ１１を直線方向に移動させる役割を果たす。
つまり、移動手段１０は、ワークステージ制御部１２によりワークステージ１１を直線方向に移動させることができる。
ここで、移動手段１０は、例えば、ワークステージ制御部１２によりワークステージ１１を鉛直方向に移動させることができる。
また、ここで、移動手段１０により、ワークステージ１１が移動可能とする空間を移動空間とする。
【００２６】
第一の切断手段２０は、図１，図３及び図４に示すように、第一のワイヤ２１と第一のワイヤ制御部２２と例えば複数の第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃと２個一対の第一のワイヤ用リール２４ａ，２４ｂとから主に構成されている。
【００２７】
複数の第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、例えば、３個設けられている。
３個の第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、円筒形状となっており、後述する第一のワイヤ２１を巻きかけるための多数の溝（図示せず）が外側の周面に沿って設けられている。
３個の第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、円筒の円の中心が三角形の頂点となる位置であって平行となるように設けられている。
この第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている三角形の一辺であってワークステージに最も近い一辺は、その一部が前述したワークステージに移動可能な移動空間内に含まれており、ワークステージ１１の主面と平行であって、ワークステージの移動する直線方向と垂直となる位置に設けられている。
また、３個の第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、後述する第二の切断手段３０を構成する部品と接触しない位置に設けられている。
【００２８】
第一の制御部２２は、所定の一つのワイヤ用ローラ２３ａに接続されており、所定の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ａを時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転駆動させている。
【００２９】
２つ一対の第一のワイヤ用リール２４ａ，２４ｂは、例えば、円筒の両端部にフランジが設けられた構造となっている。
また２つ一対の第一のワイヤ用リール２４ａ，２４ｂは、図示しないが、それぞれの外周部に巻かれている後述する第一のワイヤ２１の張力を一定に保つ役割を果たす第一のワイヤ張力自動制御部が設けられている。
【００３０】
第一のワイヤ２１は、一方の第一のリール２４ａから巻かれた状態で引き出され、３個の第一のワイヤ用リール２３ａ，２３ｂ，２３ｃに所定の間隔で巻きかけられ、後述する他方の第一のリール２４ｂに巻き取られる。
また、第一のワイヤ２１は、後述する第二の切断手段３０と接触しないように設けられている。
従って、ワークステージ１１から最も近い隣り合う第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２２ｂに掛けられた第一のワイヤ２１は、移動空間内に設けられつつ、ワークステージ１１の主面と平行であって、ワークステージ１１の移動する直線方向と垂直である位置に設けられた状態となる。
【００３１】
第一の切断手段２０では、所定の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ａが第一のワイヤ制御部２２により時計回り方向に回転駆動させられとき、第一のワイヤ２１が所定の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ａ側から所定の他の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ｂ側へ移動、つまり、第一のワイヤ２１が時計回り方向へ移動する状態となる。
なお、このとき第一のワイヤ２１の張力を一定としたまま、第一のワイヤ２１が一方の第一のワイヤ用リール２４ａから巻かれた状態で引き出され、他方の第一のワイヤ用リール２４ｂに巻き取られる動作が行われる。
同様に、第一の切断手段２０では、所定の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ａが第一のワイヤ制御部２２により反時計回り方向に回転駆動させられたとき、第一のワイヤ２１が所定の他の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ｂ側から所定の一つの第一のワイヤ用ローラ２３ａ側へ移動、つまり第一のワイヤ２１が反時計回り方向へ移動する状態となる。
なお、このとき、第一のワイヤ２１の張力を一定としたまま、他方の第一のワイヤ用リール２４ｂから巻かれた状態で引き出され、一方の第一のワイヤ用リール２４ａに巻き取られる動作が行われる。
第一の切断手段２０は、第一のワイヤ制御部２２により所定の一つのワイヤ用ローラ２３ａを時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転駆動させ、第一のワイヤ２１を時計回り方向及び反時計回りに交互に移動させる、つまり、往復移動させることができる。
つまり、第一の切断手段２０は、ワークステージ１１から最も近い隣り合う第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂに掛けられた第一のワイヤ２１が、往復移動している状態であって、ワークステージ１１の主面と平行であって、ワークステージ１１の移動する直線方向と垂直な移動空間内の位置に設けられている。
【００３２】
第二の切断手段３０は、図１，図３及び図４に示すように、第二のワイヤ３１と第二のワイヤ制御部３２と例えば複数の第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃと２個一対の第二のワイヤ用リール３４ａ，３４ｂとから主に構成されている。
【００３３】
複数の第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、例えば、３個設けられている。
３個の第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、円筒形状となっており、後述する第二のワイヤ３１を巻きかけるための多数の溝（図示せず）が外側の周面に沿って設けられている。
３個の第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、円筒の円となる中心が三角形の頂点となる位置であって、平行となるように設けられている。
また、この３個の第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、第一の切断手段２０の第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂ，２３ｃと直交する位置に設けられている。
この第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃが設けられている三角形の一辺であってワークステージに最も近い一辺は、その一部が前述したワークステージに移動可能な移動空間内に含まれており、ワークステージ１１の主面と平行であって、ワークステージ１１の移動する直線方向と垂直となる位置に設けられている。
また、この一辺は、第一の切断手段２０のワークステージに最も近い第一のワイヤ２１よりも離れたた位置であって、この第一のワイヤ２１と直交する位置に設けられている。
また、３個の第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、第一の切断手段２０を構成する部品と接触しない位置に設けられている。
【００３４】
第二の制御部３２は、所定の一つのワイヤ用ローラ３３ａに接続されており、所定の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ａを時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転駆動させている。
【００３５】
２つ一対の第二のワイヤ用リール３４ａ，３４ｂは、例えば、円筒の両端部にフランジが設けられた構造となっている。
また２つ一対の第二のワイヤ用リール３４ａ，３４ｂは、図示しないが、それぞれの外周部に巻かれている後述する第二のワイヤ３１の張力を一定に保つ役割を果たす第一のワイヤ張力自動制御部が設けられている。
【００３６】
第二のワイヤ３１は、一方の第二のリール３４ａから巻かれた状態で引き出され、３個の第二のワイヤ用リール３３ａ，３３ｂ，３３ｃに所定の間隔で巻きかけられ、後述する他方の第二のリール３４ｂに巻き取られる。
また、第二のワイヤ３１は、第一の切断手段２０と接触しないように設けられている。
従って、ワークステージ１１から最も近い隣り合う第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３２ｂに掛けられた第二のワイヤ３１は、移動空間内に設けられつつ、ワークステージ１１の主面と平行であって、ワークステージ１１の移動する直線方向と垂直である位置に設けられた状態となる。
【００３７】
第二の切断手段３０では、所定の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ａが第二のワイヤ制御部３２により時計回り方向に回転駆動させられとき、第二のワイヤ３１が所定の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ａ側から所定の他の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ｂ側へ移動、つまり、第二のワイヤ３１が時計回り方向へ移動する状態となる。
なお、このとき第二のワイヤ３１の張力を一定としたまま、第二のワイヤ３１が一方の第二のワイヤ用リール２４ａから巻かれた状態で引き出され、他方の第二のワイヤ用リール３４ｂに巻き取られる動作が行われる。
同様に、第二の切断手段３０では、所定の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ａが第二のワイヤ制御部３２により反時計回り方向に回転駆動させられたとき、第二のワイヤ３１が所定の他の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ｂ側から所定の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ａ側へ移動、つまり第二のワイヤ３１が反時計回り方向へ移動する状態となる。
なお、このとき、第二のワイヤ３１の張力を一定としたまま、他方の第二のワイヤ用リール３４ｂから巻かれた状態で引き出され、一方の第二のワイヤ用リール３４ａに巻き取られる動作が行われる。
第二の切断手段３０は、第二のワイヤ制御部３２により所定の一つの第二のワイヤ用ローラ３３ａを時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転駆動させ、第二のワイヤ３１を時計回り方向及び反時計回りに交互に移動させる、つまり、往復移動させることができる。
つまり、第二の切断手段２０は、ワークステージ１１から最も近い隣り合う第二のワイヤ用ローラ３３ａ，３３ｂに掛けられた第二のワイヤ３１が、往復移動している状態であって、ワークステージ１１の主面と平行であって、ワークステージ１１の移動する直線方向と垂直な移動空間内の位置で、かつ、ワークステージ１１から最も近い隣り合う第一のワイヤ用ローラ２３ａ，２３ｂに掛けられた第一のワイヤ２１の往復移動している向きと直交した向きに設けられている。
【００３８】
従って、このような本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置は、移動手段１０と第一の切断手段２０と第二の切断手段３０とを備えており、移動手段１０により移動されたワークＷが、第一の切断手段２０の第一のワイヤ２１に接触され切り込まれ、第二の切断手段３０の第二のワイヤ３１に接触され切り込まれて切断が完了されている。
つまり、このようなワイヤソー切断装置は、ワークステージ１１にワークＷを搭載することによって、ワークステージ１１の１回の移動で、ワークＷを搭載しなおすことなく、異なる２つの方向に切断することができる。
これにより、ワークＷをブロック状に切断する場合、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置は、従来のワイヤソー切断装置のように、ワークＷをワークステージ１１に搭載し直す必要がなくなるため、生産性を向上させることができる。
【００３９】
また、ワークＷを直方体のブロック状に切断する場合、このような本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置は、予め直方体の大きさに合わせて第一の切断手段２０の第一のワイヤ２１の間隔と第二の切断手段３０の第二のワイヤ３１の間隔とを準備しておくことで、従来のワイヤソー切断装置を用いる場合のようなワイヤ用ローラの交換作業及びワイヤの張替え作業が不要となる。
つまり、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置は、ワイヤ用ローラの交換作業及びワイヤの張替え作業が不要となるため、生産性を向上させることができる。
【００４０】
次に、第一の実施形態に係るワークの切断方法について説明する。
ここで、ワークＷは、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置に於いて切断される被加工物とする。
また、ワークＷは、板状、又は、ブロック状に形成されているものであれば、第一の実施形態に係るワーク切断方法に用いることができる。
ワークＷは、例えば、素子ウエハＷＡと基板部材ウエハＷＴと蓋部材ＷＨウエハとが接合されて複数の電子部品が連なった集合基板状になっている。
このようなワークＷは、図５に示すように、素子ウエハＷＡが基板部材ウエハＷＴと蓋部材ＷＨとで挟まれつつ接合された状態となっている。
基板部材ウエハＷＴは、複数の基板部材Ｔとなる部分が設けられた状態となっている。
蓋ウエハＷＨは、複数の蓋部材Ｈとなる部分が設けられた状態となっている。
素子ウエハＷＡは、複数の振動素子Ａとなる部分が設けられた状態となっている。
つまり、ワークＷは、基板部材Ｔとなる部分と蓋部材Ｈとなる部分とで振動素子Ａとなる部分を挟んだ状態で接合して振動子Ｃとなる部分が、複数、設けられている状態となっている。
従って、第一の実施形態に係るワークの切断方法では、複数の振動子Ｃが設けられるように、ワークＷが異なる２つの方向、つまり、ブロック状に切断される。
【００４１】
第一の実施形態に係るワークの切断方法は、第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置を用いており、例えば、搭載工程、切断工程、取り外し工程とからなっている。
【００４２】
搭載工程は、前記ワークを前記ワークステージに搭載する工程である。
搭載工程では、ワークステージ１１の固定部１１ｂに接着剤等によりワークを接着する工程である。
接着工程では、ワークＷの主面がワークステージ１１の固定部の主面と平行で、かつ、ワークの主面が移動手段１０によりワークステージ１１の移動する直線方向と垂直となるようにワークステージ１１に設けられる。
【００４３】
切断工程は、前記移動手段１０の前記ワークステージ１１が直線方向に移動し、往復移動している前記第一のワイヤ２１に前記ワークＷが接触されて切り込まれ、往復移動している前記第二のワイヤ３１に前記ワークＷが接触されて切り込まれて切断を完了する工程である。
つまり、切断工程は、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置のワークステージ１１に搭載されたワークＷを、異なる２つの方向、つまりブロック状に切断することができる。
この切断工程では、まず、搭載工程でワークステージ１１に搭載されたワークＷが、移動手段１０においてワークステージ１１と共に直線方向に移動され、図６に示すように、第一の切断手段２０の往復移動している第一のワイヤ２１に接触されて、第一のワイヤ２１が往復移動している方向にワークＷが切り込まれる。
この切断工程では、次に、第一の切断手段２０に於いて切り込まれたワークＷが、ワークステージ１１に搭載されたまま、移動手段１０に於いてワークステージ１１と共に直線方向にさらに移動され、図７に示すように、第二の切断手段３０の往復移動している第二のワイヤ３１に接触されて、第二のワイヤ３１が往復移動している方向にワークが切り込まれる。
この切断工程では、最後に、ワークステージ１１の固定部１１ｂが、第二の切断手段３０の往復移動している第二のワイヤ３１に接触され、第二のワイヤ３１が往復移動している方向に切り込まれて、切断が完了される。
つまり、切断工程では、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソー切断装置により、搭載工程でワークステージ１１に搭載されたワークＷが、移動手段１０に於いて移動させられ、第一の切断手段２０に於いて所定の一つの方向に切り込まれ、第二の切断手段３０に於いて所定の他の一つの方向に切り込まれ、最後に第二の切断手段３０に於いて固定部材が切り込まれ、切断が完了する。
【００４４】
取り外し工程は、前記ワークステージ１１から前記ワークＷを取り外す工程である。
取り外し工程は、脱着工程と剥離工程とからなる。
脱着工程は、切断工程を終えたワークＷをワークステージ１１の固定部１１ｂに接着させたまま、工程部１１ｂごと取り外す工程である。
なお、脱着工程では、固定部１１ｂに接着されているワークＷは、ワークステージ１１の固定部１１ｂが完全に切断されていないので、切断工程により切断が完了しているが個片にならない状態となっている。
また、脱着工程では、例えば、固定部１１ｂがアーム部１１ａにボルトで固定されているので、容易に取り外すことができる。
剥離工程は、ワークステージ１１の固定部１１ｂの接着されたワークＷから、接着強度を弱めて、固定部１１ｂを剥離させ個片化させる工程である。
剥離工程は、例えば、固定部１１ｂとワークＷとを接着している接着剤を溶解させて、固定部１１ｂを取り外し、図８に示すように、ブロック状に個片化させる工程である。
【００４５】
このような本発明の第一の実施形態に係るワークの切断方法は、移動手段１０と第一の切断手段２０と第二の切断手段３０とを備え、ワークＷを移動手段１０により移動させ、第一の切断手段２０の第一のワイヤ２１にワークＷを接触させて切り込ませ、その後、第一のワイヤ２１により切り込まれたワークＷを移動手段１０により移動させ、第二の切断手段３０の第二のワイヤ３１にワークＷを接触させて切り込ませ切断を完了させるワイヤソー切断装置を用いている。
従って、ワークＷをブロック状に切断する場合、本発明の第一の実施形態に係る切断方法では、ワークＷがワークステージ１１に搭載され、ワークステージ１１の１回の移動でワークＷを搭載し直すことなく、異なる２つの方向、つまりブロック状に切断できる。
つまり、ワークをブロック状に切断する場合、本発明の第一の実施形態に係るワークの切断方法は、ワークＷをワークステージ１１に搭載し、ワークＷを搭載し直すことなく容易に切断することができるので、ワークＷをワークステージ１１に搭載し直す工程が不要となり、生産性を向上させることができる。
【００４６】
なお、移動手段に於いてワークステージ制御部が歯車を利用している場合について説明したが、ワークステージを直線上に動かすことができれば、例えば、油圧ポンプや油圧ジャッキを利用してもよい
【００４７】
なお、固定部の主面がワークの主面と同じ大きさの場合について説明したが、アーム部に固定することができ、かつ、ワークステージの移動する直線方向と垂直となるようにワークを接着できれば、固定部の主面が、例えば、長方形であってもよい
【００４８】
なお、固定部がガラスからなる場合について説明したが、第一の切断手段の第一のワイヤ及び第二の切断手段の第二のワイヤで切断可能な材質であれば、例えば、樹脂や金属でもよい
【００４９】
なお、第一の切断手段に於いて第一のワイヤ用ローラが３個設けられている場合について説明したが、第一の切断手段の第一のワイヤを往復移動させることができる個数を、例えば、４個設けてもよい
【００５０】
なお、第二の切断手段に於いて第二ワイヤ用ローラが３個設けられている場合について説明したが、第二の切断手段の第二のワイヤを往復移動させることができる個数を、例えば、４個設けてもよい
【００５１】
なお、切断する異なる２つの方向が直角の場合、つまり、個片化された主面の外形形状が長方形の場合について説明したが、個片化された主面の外形形状が平行四辺形の形状としても良い
【００５２】
なお、切断する方向が２方向の場合について説明したが、切断する方向が３方向以上であってもよい
この場合、切断する一つの方向につき切断手段を１つ設ける
【００５３】
なお、切断されるワークが複数の振動子となる部分が設けられた接合されているウエハとなっている場合について説明したが、振動子の他に電子部品でもよく、水晶板、ブロック状の形状となっているインゴットでもよい
【符号の説明】
【００５４】
１０  移動手段
１１  ワークステージ
１１ｂ  固定部
１１ａ  アーム部
１２  ワークステージ制御部
２０  第一の切断手段
２１  第一のワイヤ
２２  第一のワイヤ制御部
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ  第一のワイヤ用ローラ
２４ａ，２４ｂ  第一のリール
３０  第二の切断手段
３１  第二のワイヤ
３２  第二のワイヤ制御部
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ  第二のワイヤ用ローラ
３４ａ，３４ｂ  第二のリール
４０  従来の移動手段
４１  従来のワークステージ
４２  従来のワークステージ制御部
５０  従来の切断手段
５１  従来のワイヤ
５２  従来のワイヤ制御部
５３ａ，５３ｂ，５３ｃ  従来のワイヤ用ローラ
５４ａ，５４ｂ  従来のリール
Ｗ  ワーク
Ａ  圧電振動素子
Ｔ  素子搭載部材
Ｈ  蓋部材
Ｃ  水晶振動子
ＷＡ  素子ウエハ
ＷＴ  基板部材ウエハ
ＷＨ  蓋部材ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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