(57)【要約】【課題】放電セルと電極板を密着させた状態でも、電極板の膨張によって、放電セルが破損することを防止できるようにする。【解決手段】エキシマ光Ｌを放射する扁平状の複数の放電セル２１からなる放電体１５を備えている。また、複数の放電セル２１と交互に積層して配置されると共に複数の放電セル２１に接触する複数の電極板１６を備えている。そして、複数の電極板１６は、複数の放電セル２１と接触する方向に弾性を有している。これにより、放電セルに加わる圧力を電極板１６が弾性変形して吸収するため、放電セルが破損することを防止できる。【選択図】図１
2010020979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エキシマ光を放射する扁平状の複数の放電セルからなる放電体と、
前記複数の放電セルと交互に積層して配置されると共に前記複数の放電セルに接触し、かつ前記複数の放電セルと接触する方向に弾性を有する複数の電極板と
を備えたエキシマランプ。
【請求項２】
前記複数の電極板は、弾性を有する弾性シート部材と、導電性を有する導電性シート部材とを有しており、前記弾性シート部材を前記導電性シート部材で挟んだ少なくとも３層の積層体からなる
請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記複数の電極板は、更に、前記複数の放電セルからの熱を排出する熱伝導性シート部材を有する
請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記複数の電極板は、前記弾性シート部材を複数有する
請求項２又は３に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記複数の電極板は、前記導電性シート部材と前記熱伝導性シート部材が複数積層された積層シート部材を有する
請求項３又は４に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記熱伝導性シート部材は、気体又は液体、もしくは両方を冷媒として循環するシート状の冷却部材である
請求項３〜５のいずれかに記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記熱伝導性シート部材は、ヒートパイプである
請求項６に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記弾性シート部材は、板ばねである
請求項２〜７のいずれかに記載のエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の放電セルに充填された放電用ガスを放電させてエキシマ光を放射するエキシマランプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、塗料の硬化や、半導体ウエハ、ガラス基板等の表面洗浄、表面改質等を行うために、エキシマランプが用いられている。すなわち、エキシマランプから被処理対象物にエキシマ光を放射して、表面洗浄や表面改質等が行われている。
【０００３】
そして、この種のエキシマランプとしては、例えば特許文献１に記載されているようなものがある。この特許文献１に記載されたエキシマランプは、放電用ガスが充填された複数の放電セルと、この複数の放電セルに接触する複数の電極板を有している。また、複数の放電セルと複数の電極板が互いに密着するように交互に積層して配置している。そして、複数の電極板に高周波電圧が印加されると、複数の放電セル内で放電用ガスが放電する。これにより、複数の放電セルからエキシマ光が放射される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３０２７２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の複数の放電セルを有するエキシマランプでは、電極板に高周波電圧が印加されて放電セル内で放電が開始されると、放電セルに熱が発生する。そして、放電により発生した熱が放電セルを経て電極板に伝達される。そのため、伝達された熱により電極板が膨張する。また、電極板は、複数の放電セルと交互に配置されて、放電セルに密着している。その結果、電極板が膨張すると、放電セルに電極板から圧力が加わり、放電セルが破損する、という問題があった。
【０００６】
また、上述したような問題を解消するために、放電セルと電極板との間に、電極板が膨張する分だけの隙間を予め設ける構造が考えられる。しかしながら、このような構造の場合、間隙によって熱が伝達されなくなり、また、電極板と放電セルとの間に不要な放電が発生する。そのため、放電セル内での放電が弱まり、必要なエキシマ光を得ることができなくなる、という不具合が発生する。
【０００７】
本発明の目的は、上述の問題点を考慮し、放電セルと電極板を密着させた状態でも、電極板の膨張によって、放電セルが破損することを防止できるエキシマランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のエキシマランプは、エキシマ光を放射する扁平状の複数の放電セルからなる放電体を備えている。そして、複数の放電セルと交互に積層して配置されると共に複数の放電セルに接触し、かつ複数の放電セルと接触する方向に弾性を有する複数の電極板を備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のエキシマランプによれば、電極板に弾性を付与しているため、放電セルに加わる圧力を電極板が弾性変形して吸収することができ、放電セルに破損が生じることを防止し、又は抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態例について、図１〜図９を参照して説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付している。また、本発明は、以下の形態に限定されるものではない。
【００１１】
１．エキシマランプの構成
まず、本発明の実施の形態例（以下、「本例」という。）としてのエキシマランプの構成を図１〜図５に従って説明する。図１は、本例のエキシマランプを正面から見た断面図、図２は、本例のエキシマランプを側面から見た断面図、図３は、本例のエキシマランプに係る放電ユニットを示す斜視図である。図４は、本例のエキシマランプに係る放電セルと電極板を分解して示す斜視図、図５は、本例のエキシマランプに係る電極板の断面図である。
【００１２】
本例のエキシマランプ１は、キセノン等の希ガスに高周波電圧を印加し、放電を生じさせることによってエキシマ光Ｌを放射させるものである。図１及び図２に示すように、エキシマランプ１は、筐体２と、筐体２内に収納された発光ユニット３と、電源４とを有している。
【００１３】
［筐体］
図１及び図２に示すように、筐体２は、一端が開口された円筒形をなしている。筐体２は、ケース６と、蓋体７とから構成されている。ケース６は、円筒形をなす中空の容器状をなしており、一面が全て開口している。そして、ケース６の開口を閉じるように蓋体７が重なり合っている。蓋体７は、略平板状をなしており、円形状の開口部８を有している。また、蓋体７には、その開口部８に円盤状をなす透明又は半透明の平面パネル９が嵌め込まれている。また、蓋体７の開口部８と平面パネル９との接合部分には、ガスケット１１が設けられている。これにより、筐体２内の気密性を確保することができる。
【００１４】
ケース６と蓋体７は、放熱し易い材質で、不純物ガスを発生しにくい材質で形成されることが好ましい。ケース６と蓋体７の材質としては、ステンレススチール、銅合金やアルミニウム等が挙げられる。また、平面パネル９の材質としては、例えば合成石英ガラス、フッ化マグネシウム結晶、フッ化カルシウム結晶等が挙げられる。
【００１５】
また、筐体２の内部空間に、発光ユニット３が収納されると共に不活性ガスが封入されている。不活性ガスとしては、窒素ガスを用いることができる。そして、筐体２のケース６には、不活性ガス流通路１２が設けられている。不活性ガス流通路１２は、不活性ガスをケース６内に導くものである。この不活性ガス流通路１２は、筐体２の外側で第１の封止バルブ１３に接続されている。第１の封止バルブ１３は、不活性ガスを筐体２内に封止するための封止手段である。
【００１６】
なお、ケース６の形状としては、円筒形だけでなく、中空の略直方体や六角柱状等に形成してもよい。さらに、蓋体７の開口部８及び平面パネル９は、円盤状だけでなく、六角形状や略四角形状等に形成してもよい、ことは勿論である。
【００１７】
［発光ユニット］
図３に示すように、発光ユニット３は、エキシマ光Ｌを放射する放電体１５と、電源４と接続された７つの電極板１６と、電極板１６を保持する２つの端子台１７ａ，１７ｂと、２つの放熱板１８，１８とを有している。
【００１８】
図１及び図３に示すように、放電体１５は、扁平状の略直方体をなす６つの放電セル２１と、６つの放電セル２１の間に介在されるスペーサ２２（図１参照）とを有している。この放電体１５は、６つの放電セル２１を並列に配置している。詳しくは、放電体１５は、６つの放電セル２１の後述する主面部２１ａを互いに対向させて、６つの放電セル２１を同一方向に積み重ねて配置している。そして、この６つの放電セル２１における隣り合う２つの放電セル２１，２１の間は、それぞれスペーサ２２を介して接合されている。これにより、６つの放電セル２１は、隣り合う２つの放電セル２１，２１の間に所定の間隔を開けた状態で一体に形成されている。
【００１９】
また、図２に示すように、放電体１５には、第１の放電用ガス流通路２３が接続されている。第１の放電用ガス流通路２３は、筐体２の外部から放電体１５の各放電セル２１に放電用ガスを導くものである。この第１の放電用ガス流通路２３は、不活性ガス流通路１２と同様に、筐体２の外側で第２の封止バルブ２４に接続されている。第２の封止バルブ２４は、放電用ガスを筐体２の外部から放電体１５の各放電セル２１に封止するための封止手段である。
【００２０】
さらに、放電体１５には、第２の放電用ガス流通路２６が設けられている。第２の放電用ガス流通路２６は、６つの放電セル２１とスペーサ２２を貫通するように形成されている。これにより、第１の放電用ガス流通路２３を各放電セル２１へ分岐させることなく、放電用ガスを各放電セル２１へ封入させることができ、ガス流通路の構成を簡略化することができる。
【００２１】
図４に示すように、放電セル２１は、中空の扁平状をなす略直方体として構成されている。この放電セル２１は、略長方形状をなして対向する２つの主面部２１ａ，２１aと、２つの主面部２１ａ，２１ａの一辺から略垂直をなして連続する放射面部２１ｂを有している。さらに、放電セル２１は、放射面部２１ｂと対向し２つの主面部２１ａ，２１ａ他辺から略垂直をなして連続する背面部２１ｃと、２つの主面部２１ａ，２１ａの残りの２辺から略垂直をなして連続する２つの側面部２１ｄ，２１ｅを有している。そして、放電セル２１は、放射面部２１ｂからエキシマ光Ｌが放射される（図３参照）。
【００２２】
また、放電セル２１には、放電用ガスが封入されている。放電用ガスとしては、キセノンガス、アルゴンガス、クリプトンガス等の希ガスの他にこれら各希ガスと塩素との混合ガス等を挙げることができる。なお、図３の照射面部２１ｂから得られるエキシマ光Ｌの中心波長は、放電用ガスの種類によって決定されるものである。例えば、キセノンガスの場合は１７２ｎｍ、アルゴンガスの場合は１２６ｎｍ、クリプトンガスの場合は１４６ｎｍである。そして、アルゴンと塩素の混合ガスの場合は１７５ｎｍ、キセノンと塩素の混合ガスの場合は３０８ｎｍ、クリプトンと塩素の混合ガスの場合は２２２ｎｍである。
【００２３】
さらに、図４に示すように、放電セル２１は、２つの主面部２１ａ，２１ａに、エキシマ光Ｌを反射させる反射膜２７が設けられている。この反射膜２７は、例えばアルミニウムを放電セル２１の２つの主面部２１ａ，２１ａに蒸着することで形成される。そして、放電セル２１内で発生したエキシマ光Ｌは、反射膜２７に反射される。これにより、エキシマ光Ｌが放電セル２１の主面部２１ａから漏れることを抑制することができる。その結果、放射強度が低下することを抑制して、エキシマ光Ｌの放射強度を向上させることができる。また、反射膜２７は、上記のアルミニウム異体に誘電体多層膜を用いることもできる。そして、反射膜２７に誘電体多層膜を用いたい場合には、２つの主面部２１ａ，２１ａだけでなく、放射面部２１ｂを除く全て面に設けてもよい。なお、本例におけるアルミニウムを用いた反射膜２７は、放電セル２１に電圧を印加する電極としての役割も有している。
【００２４】
放電セル２１の材質としては、誘電体材料が用いられており、例えば、合成石英ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム等が挙げられる。なお、スペーサ２２の材質としては、放電セル２１と熱による膨張率を等しくするために同様の材料を用いることが好ましい。また、放電セル２１及びスペーサ２２には、重ね合わせたときに第２の放電用ガス流通路２６を形成する貫通孔が設けられている。
【００２５】
そして、このような構成を有する放電セル２１は、上述したように、隣り合う２つの放電セル２１の互いの主面部２１ａを向かい合わせて配置される。
【００２６】
図１〜図３に示すように、放電体１５の６つの放電セル２１と交互に略平板状の７つの電極板１６が、配置されている。７つの電極板１６は、６つの放電セル２１の主面部２１ａと略平行をなしている。また、各放電セル２１の隣り合う２つの放電セル２１，２１の隙間に電極板１６が介在されている。そして、図４に示すように、２つの電極板１６，１６が、放電セル２１の反射膜２７を介して２つの主面部２１ａ，２１ａに接触する。この７つの電極板１６は、電源４に接続され高周波電圧が印加される３つの電極板１６からなる第１の電極群１６Ａと、アース２８に接続されて接地された４つの電極板１６からなる第２の電極群１６Ｂに分けられる。
【００２７】
図１及び図３に示すように、第１の電極群１６Ａは、放電体１５における各放電セル２１の第１の側面部２１ｄ側に配置された第１の端子台１７ａに固定されている。第２の電極群１６Ｂは、放電体１５における各放電セル２１の第２の側面部２１ｅ側に配置された第２の端子台１７ｂに固定されている。そして、第１の電極群１６Ａが、第１の端子台１７ａから第２の端子台１７ｂに向けて突出し、第２の電極群１６Ｂが、第２の端子台１７ｂから第１の端子台１７ａに向けて突出している。また、第１の電極群１６Ａと第２の電極群１６Ｂは、互い違いに配置されている。
【００２８】
第１の端子台１７ａと第２の端子台１７ｂは、それぞれ絶縁性の材料で形成されている。これにより、電極板１６が、その突出した先端部が放熱板１８やケース６との間で放電することを防止している。また、第１の端子台１７ａと第２の端子台１７ｂにおける電極板１６が固定された側と反対側には、それぞれ放熱板１８，１８が配置されている。放熱板１８は、水冷又は空冷式の放熱板であり、図１に示すように、矢印Ａの方向に沿って液体又は気体からなる冷媒が循環している。このため、端子台１７ａ，１７ｂの材質としては、絶縁性と熱伝導性とを兼ね備えた酸化アルミニウムや窒化アルミニウム等を用いることができる。
【００２９】
なお、放電体１５を構成する放電セル２１の数は、５つ以下あるいは７つ以上設けてもよく、少なくとも２つあればよい。また、電極板１６の数は、放電体１５を構成する放電セル２１に対応させて、６つ以下あるいは８つ以上設けてもよく、少なくとも３つあればよい。
【００３０】
［電極板の詳細な構成］
次に、図５を参照して第１の実施の形態例に係る電極板１６の詳細な構成について説明する。図５は、電極板１６の断面図である。
図５に示すように、電極板１６は、弾性を有する弾性シート部材３１を、２つの積層シート部材３２で挟んだ積層体である。そして、弾性シート部材３１と２つの積層シート部材３２は、長手方向の一端が端子台１７に固定されている。
【００３１】
弾性シート部材３１は、厚さ方向に弾性が付与された板ばねである。弾性シート部材３１は、例えば、ステンレス板や銅板からなる金属板を複数回折り曲げて形成されている。そのため、電極板１６は、放電セル２１と重ね合わせたときに、放電セル２１の主面部２１ａと直交する方向である厚さ方向に弾性を有している。これにより、電極板１６が放電セル２１からの熱で膨張した際に、弾性シート部材３１が弾性変形し、放電セル２１に加わる圧力を吸収することができる。その結果、電極板１６が膨張して放電セル２１を圧迫することを抑制できるため、放電セル２１が電極板１６の熱膨張によって破損することを防止することができる。
【００３２】
また、弾性シート部材３１である板ばねを、金属板の他に、ゴム、金網状等の弾性を有する部材から形成してもよい。
【００３３】
積層シート部材３２は、３つの導電性シート部材３３と２つの熱伝導性シート部材３４を交互に積層して構成されている。導電性シート部材３３は、電源４からの高周波電圧を放電セル２１に印加させるものである。この導電性シート部材３３は、例えばアルミニウム箔、ニッケル箔、ステンレス箔、銅箔あるいは銅とニッケルの合金箔などの金属箔により構成されている。なお、導電性シート部材３３の材質は、電気化学的及び化学的に安定であり、導通がとれるものであれば金属でなくてもよい。
【００３４】
また、熱伝導性シート部材３４は、例えばグラファイトシートなどの熱伝導性に優れた材料で構成されており、電極板１６の熱を外部に排出するものである。これにより、放電セル２１から電極板１６に伝達された熱を熱伝導性シート部材３４で端子台１７側に排出することができる。その結果、電極板１６が、放電セル２１からの熱によって膨張することを抑制することができる。なお、グラファイトシートは、脆く破損しやすい部材である。しかしながら、本例では、グラファイトシートから構成された熱伝導性シート部材３４を導電性シート部材３３で挟んで、熱伝導性シート部材３４を導電性シート部材３３で保護している。これにより、グラファイトシートからなる熱伝導性シート部材３４が外力等によって破損することを防止することができる。
【００３５】
なお、積層シート部材３２を構成する導電性シート部材３３と熱伝導性シート部材３４の数は、上述したものに限定されるものではない。例えば、導電性シート部材３３を２つ、熱伝導性シート部材３４を１つでもよく、あるいは導電性シート部材３３を４つ以上設け、熱伝導性シート部材３４を３つ以上設けてもよい。さらに、積層シート部材３２は、導電性シート部材３３と熱伝導性シート部材３４が交互に積層され、且つシートの一番外側の層が導電性シート部材３３であれば、その目的を達成できるものである。
【００３６】
２．エキシマランプの組み立て
このような構成を有するエキシマランプ１は、例えば次のようにして組み立てることができる。
まず、図３に示すように、７つの電極板１６と６つの放電セル２１を交互に配置して重ね合わせると共に各放電セル２１のそれぞれの間にスペーサ２２（図１）を介在させる。このとき、７つの電極板１６のうち３つの電極板１６は、その長手方向の一端が放電セル２１の第１の側面部２１ｄ側から外側に突出して配置して第１の電極群１６Ａを構成させる。そして、７つの電極板１６のうち残りの４つの電極板１６は、その長手方向の他端が放電セル２１の第２の側面部２１ｅ側から外側に突出させて配置して第２の電極群１６Ｂを構成させる。さらに、第１の電極群１６Ａと第２の電極群１６Ｂは、互い違いに配置する。
【００３７】
そして、各放電セル２１とスペーサ２２を接合する。このとき、６つの放電セル２１とスペーサ２２に設けられた第２の放電用ガス流通路２６（図２）を形成する貫通孔の位置を合わせて、６つの放電セル２１とスペーサ２２を重ね合わせる。これにより、６つの放電セル２１から構成された放電体１５が形成される。そして、放電体１５の第２の放電用ガス流通路２６に第１の放電用ガス流通路２３を接続する。
【００３８】
なお、スペーサ２２の厚さは、電極板１６の厚さと略等しいか或いはやや小さく設定されている。そのため、各放電セル２１とスペーサ２２を接合したときに、電極板１６は、弾性シート部材３１の弾性により厚さ方向に若干縮まる。これにより、電極板１６を放電セル２１の主面部２１ａに密着させることができる。その結果、電極板１６と放電セル２１の隙間を解消することができ、不要な放電の発生を抑制することと、熱の伝達を良好にすることが可能である。
【００３９】
次に、第１の電極群１６Ａを電源４に接続して、第１の端子台１７ａに固定する。また、第２の電極群１６Ｂをアース２８に接続すると共に第２の端子台１７ｂに固定する。なお、第１の端子台１７ａ及び第２の端子台１７ｂには、予め放熱板１８，１８が取り付けられている。これにより、放電体１５、電極板１６、２つの端子台１７ａ，１７ｂと２つの放熱板１８，１８が一体化された発光ユニット３が構成される。
【００４０】
次に、発光ユニット３をケース６の開口から内部に収納する。そして、発光ユニット３を収納したケース６の開口を閉じるように蓋体７を取り付ける。なお、予め蓋体７の開口部８には、ガスケット１１を介して平面パネル９が嵌め込まれている。これにより、ケース６と蓋体７からなる筐体２が構成される。そして、筐体２に不活性ガス流通路１２を接続する。また、不活性ガス流通路１２を第１の封止バルブ１３に接続すると共に、第１の放電用ガス流通路２３を第２の封止バルブ２４に接続する。次に、放電体１５の各放電セル２１に放電用ガスを封止すると共に筐体２内に不活性ガスを封止する。これにより、エキシマランプ１の組み立てが完了する。
【００４１】
３．エキシマランプの動作
次に、本例のエキシマランプ１の動作について説明する。
電源４から、発光ユニット３の電極板１６に高周波電圧を印加する。印加する電圧は、放電条件により適宜決定されるものである。通常は、１０ｋＨｚから２０ＭＨｚ程度の高周波領域あるいは数ＧＨｚのマイクロ波領域において、０．５ｋＶｐ−ｐから２０ｋＶｐ−ｐ程度の電圧が使用される。電極板１６に電圧が印加されることで、放電体１５の各放電セル２１内に封入された放電用ガスが放電し、エキシマ光Ｌが発生する。上述したように、放電セル２１の対向する２つの主面部２１ａ，２１ａには、エキシマ光Ｌを反射させる反射膜２７が設けられている。これにより、エキシマ光Ｌが主面部２１ａから反射されて放射面部２１ｂから放射される。
【００４２】
なお、放電セル２１で放電が開始されると、放電セル２１に熱が発生する。そして、放電セル２１と電極板１６を密着しているため、放電セル２１に発生した熱は、電極板１６に伝達される。しかしながら、上述したように、電極板１６には、熱伝導性シート部材３４が設けられている。これにより、放電セル２１からの熱を熱伝導性シート部材３４によって、外部に排出することができる。その結果、熱による電極板１６の膨張を抑制することができる。
【００４３】
さらに、電極板１６は、放電セル２１の主面部２１ａと直交する方向に弾性を有する弾性シート部材３１を有している。この弾性シート部材３１は、電極板１６が放電セル２１からの熱によって膨張した際に、弾性変形するものである。これにより、電極板１６から放電セル２１に加わる圧力を、弾性シート部材３１で吸収することができる。その結果、放電セル２１に加わる圧力を軽減することができ、放電セル２１が破損することを防止することができる。
【００４４】
４．電極板の第２の実施の形態例
次に、図６を参照して本発明のエキシマランプに係る電極板の第２の実施の形態例を説明する。図６は、第２の実施の形態例に係る電極板の断面図である。
この図６に示すように、第２の実施の形態例に係る電極板４０は、弾性シート部材４１を２つの導電性シート部材４２で挟んだものであり、第１の実施の形態例に係る電極板１６から熱伝導性シート部材３４を除いたものである。弾性シート部材４１は、前述した第１の実施の形態例に係る弾性シート部材３１と同様の構成を有しており、その厚さ方向に弾性を有している。また、２つの導電性シート部材４２は、前述した第１の実施の形態例に係る導電性シート部材３３と同様の構成を有している。
【００４５】
その他の構成は、第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有する電極板４０によっても、前述した第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様の作用効果を得ることができる。
【００４６】
なお、２つの導電性シート部材４２の材質を、熱伝導性に優れた銅やアルミニウム等を用いることで、導電性シート部材４２が熱伝導性シート部材としての役割を持たせることができる。また、第２の実施の形態例に係る電極板４０は、３つのシート部材で構成しているため、第１の実施の形態例に係る電極板１６よりも部品点数を削減することができ、コストダウンを図ることができると共に製造を容易にすることができる。
【００４７】
５．電極板の第３の実施の形態例
次に、図７を参照して本発明のエキシマランプに係る電極板の第３の実施の形態例を説明する。図７は、第３の実施の形態例に係る電極板の断面図である。
図７に示すように、第３の実施の形態例に係る電極板５０は、第１の実施の形態例に係る電極板１６と同様に、弾性を有する弾性シート部材５１を、２つの積層シート部材５２で挟んだ積層体である。この電極板５０を構成する弾性シート部材５１は、例えば天然ゴム、クロロプレンゴム、ニトリルブタジエンゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム等その他各種のゴムを用いたものである。また、積層シート部材５２は、第１の実施の形態に係る電極板１６の積層シート部材３２と同一の構成を有するものである。
【００４８】
その他の構成は、第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有する電極板５０によっても、前述した第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様の作用効果を得ることができる。
【００４９】
６．電極板の第４の実施の形態例
次に、図８を参照して本発明のエキシマランプに係る電極板の第４の実施の形態例を説明する。図８は、第４の実施の形態例に係る電極板の断面図である。
図８に示すように、第４の実施の形態例に係る電極板６０は、複合シート部材６１を２つの導電性シート部材６２で挟んだ積層体である。複合シート部材６１は、例えばシリコンゲルなどの弾性を有し、且つ熱伝導性に優れた材料で形成されている。これにより、複合シート部材６１は、弾性シート部材と熱伝導性シート部材の２つの役割を有している。また、導電性シート部材６２は、第１の実施の形態に係る電極板１６の導電性シート部材３３と同一の構成を有している。
【００５０】
その他の構成は、第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有する電極板６０によっても、前述した第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様の作用効果を得ることができる。
【００５１】
７．電極板の第５の実施の形態例
次に、図９を参照して本発明のエキシマランプに係る電極板の第５の実施の形態例を説明する。図９は、第５の実施の形態例に係る電極板の断面図である。
図９に示すように、第５の実施の形態例に係る電極板７０は、水冷式の冷却部材からなる第１の熱伝導性シート部材７１と、板ばねからなる２つの弾性シート部材７２，７２と、２つの積層シート部材７３，７３から構成されている。この電極板７０は、第１の熱伝導性シート部材７１を２つの弾性シート部材７２，７２で挟み、さらにその外側を２つの積層シート部材７３，７３で挟んだ積層体である。
【００５２】
第１の熱伝導性シート部材７１は、シート状の容器内を水などの液体からなる冷媒が循環するものである。なお、第１の熱伝導性シート部材７１に、冷媒として気体が循環する空冷式又は液体と気体の両方が冷媒として循環する冷却部材や、ヒートパイプを用いてもよいことは言うまでもない。積層シート部材７３は、グラファイトシートからなる第２の熱伝導性シート部材７４を導電性シート部材７５で挟んだものである。また、弾性シート部材７２は、第１の実施の形態に係る電極板１６の弾性シート部材３１と同一の構成を有するものである。
【００５３】
その他の構成は、第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有する電極板７０によっても、前述した第１の実施の形態にかかる電極板１６と同様の作用効果を得ることができる。
【００５４】
なお、第１の熱伝導性シート部材７１に、前述した第４の実施の形態例に係る電極板６０のようにシリコンゲルを用いてもよい。さらに、２つの弾性シート部材７２に、前述した第３の実施の形態例に係る電極板５０のようにゴムを用いてもよい。
【００５５】
なお、本発明は前述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能であることはいうまでもない。例えば、上述した実施の形態例では、発光ユニットを筐体に収納した例を説明したが、筐体を無くし、発光ユニットだけでエキシマランプを構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明のエキシマランプの実施の形態例を正面から見た断面図である。
【図２】本発明のエキシマランプの実施の形態例を側面から見た断面図である。
【図３】本発明のエキシマランプの実施の形態例に係る発光ユニット示す斜視図である。
【図４】本発明のエキシマランプの実施の形態例に係る放電セルと電極板を示す分解斜視図である。
【図５】本発明のエキシマランプに係る電極板の第１の実施の形態例を示す断面図である。
【図６】本発明のエキシマランプに係る電極板の第２の実施の形態例を示す断面図である。
【図７】本発明のエキシマランプに係る電極板の第３の実施の形態例を示す断面図である。
【図８】本発明のエキシマランプに係る電極板の第４の実施の形態例を示す断面図である。
【図９】本発明のエキシマランプに係る電極板の第５の実施の形態例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…エキシマランプ、  ２…筐体、  ３…発光ユニット、  ４…電源、  ６…ケース、  ７…蓋体、  ８…開口部、  ９…平面パネル、  １５…放電体、  １６，４０，５０，６０，７０…電極板、  １６Ａ…第１の電極群、  １６Ｂ…第２の電極群、  ２１…放電セル、  ２１ａ…主面部、  ２１ｂ…放射面部、  ２２…スペーサ、  ３１，４１，５１，７３…弾性シート部材、  ３２，５２，７３…積層シート部材、  ３３，４２，６２，７５…導電性シート部材、  ３４…熱伝導性シート部材  ６１…複合シート部材  ７１…第１の熱伝導性シート部材  ７４…第２の熱伝導性シート部材  Ｌ…エキシマ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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