(57)【要約】【課題】小型かつ高出力を実現しつつ、駆動効率の高いリニア駆動型超音波モータを提供する。【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、被駆動部材に当接する球状の複数の転動部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持する支持するベース部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、超音波振動子には被駆動部材と当接する二つの駆動子が設けられており、複数の転動部材は、被駆動部材が駆動される方向において、二つの駆動子の間に入らないような間隔で配置されている。【選択図】図１
2010226940.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、
前記超音波振動子と前記被駆動部材との間に摩擦力が生じるように前記超音波振動子を押圧する押圧部材と、
前記被駆動部材に当接する球状の複数の転動部材と、
前記転動部材を介して前記被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、
を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータにおいて、
前記超音波振動子には前記被駆動部材と当接する二つの駆動子が設けられており、
前記複数の転動部材は、前記被駆動部材が駆動される方向において、前記二つの駆動子の間に入らないような間隔で配置されていることを特徴とするリニア駆動型超音波モータ。
【請求項２】
前記被駆動部材が円筒面を有し、前記転動部材が４つであることを特徴とする請求項１に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項３】
前記超音波振動子及び前記押圧部材を収容するケース部材と、
前記被駆動部材に固定され、外部装置に前記被駆動部材の変位を伝達する連結部材と、を備え、
前記連結部材は、前記ケース部材と当接することで前記被駆動部材の移動距離を所望の距離とするストッパ機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【請求項４】
前記転動部材は案内部材に案内され、これにより、前記被駆動部材が駆動される方向における前記転動部材の間隔が、前記二つの駆動子の間隔に、前記被駆動部材の所定移動距離に対応して前記転動部材が転がる距離を加えた間隔となることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のリニア駆動型超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニア駆動型超音波モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータ装置において、主要な構成要件をパッケージしたユニット構造にすることは汎用性、特性安定化の点で有効であり、小型かつ高出力にすることが求められている。
従来の超音波モータ装置としては、例えば特許文献１記載の駆動装置が挙げられる（図１３）。ここで、図１３は、従来の駆動装置の構成を示す分解斜視図である。
【０００３】
図１３に示す駆動装置８２０は、駆動発生部８２１、摺動部材８２２、軸受部８２３、及び、付勢部８２４を備える。この駆動装置８２０では、駆動発生部８２１の振動アクチュエータ８０１が駆動を発生し、この駆動を受けた摺動部材８２２（シャフト８０５、コの字型ベース８０６）は駆動発生部８２１に対して相対的に駆動される。軸受部８２３は、摺動部材８２２を挟んで駆動発生部８２１と対向配置され、摺動部材８２２が駆動発生部８２１とは反対側へ変位することを規制する。また、付勢部８２４は、駆動発生部８２１と軸受部８２３とを互いに近づける方向に付勢する。
【０００４】
図１４は、従来の超音波モータ装置の駆動部分の概略構成を示す側面図であって、圧電素子を駆動する前の状態を示す図である。図１４に示す超音波モータ装置９００は、図１３の駆動装置８２０のようなリニア駆動型の超音波モータであって、圧電素子９４０（振動子）と、シャフト９６０と、転動部材９８１、９８２と、を備える。圧電素子９４０の上面には弾性体９４１が設けられ、下面には駆動子９４２、９４３が設けられている。転動部材９８１、９８２は、超音波モータ装置９００のケース内を移動可能な案内部材９７０に保持されている。シャフト９６０は、転動部材９８１、９８２上に移動可能に載置されるとともに、上側は駆動子９４２、９４３と接触している。圧電素子９４０には、弾性体９４１を介して押圧力が加えられている。また、転動部材９８１、９８２は、圧電素子９４０の駆動前の初期状態では、Ｘ方向（シャフト９６０の軸方向、図１４の左右方向）において駆動子９４２、９４３にそれぞれ対応する位置に配されている。
【０００５】
この超音波モータ装置９００では、圧電素子９４０を駆動すると、駆動子９４２、９４３を介して所定の振動がシャフト９６０に伝達される。これにより、シャフト９６０は、その軸方向に沿った方向へ、圧電素子９４０に対して相対移動するように駆動される。このとき、転動部材９８１、９８２、および、案内部材９７０も転がり移動し、圧電素子９４０に対して相対的に移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−５４４５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、圧電素子９４０を駆動して転動部材９８１、９８２が相対移動すると、図１５に示すように、転動部材９８１、９８２の一部のＸ方向の位置が、圧電素子９４０に設けられた二つの駆動子９４２、９４３の間の位置となる場合が生ずる。ここで、図１５は、従来の超音波モータ装置の駆動部分の概略構成を示す側面図であって、Ｘ方向において転動部材の一部が駆動子の間の位置に入った状態を示す図である。
【０００８】
駆動子９４２、９４３と転動部材９８１、９８２とがこのような位置関係となると、駆動子９４２、９４３と転動部材９８１、９８２とがそれぞれ対応している状態（図１４）と比べて、駆動特性が低下するという問題がある。すなわち、転動部材９８１、９８２の一方が二つの駆動子９４２、９４３の間に位置するため、転動部材９８１、９８２のそれぞれにかかる負荷が均等でなくなると同時に圧電素子９４０とシャフト９６０との間の抗力が左右対称でなくなることから駆動力が十分に伝えられずに駆動特性が劣化する恐れがある。
【０００９】
また、このような場合、超音波モータ装置の動作時にも転動部材９８１、９８２が二つの駆動子９４２、９４３の間に位置することが考えられるため、初期の組み付けずれを抑える必要がある。このため、超音波モータ装置の組立時に治具などを用いて各部材の位置出しを行わなければならず、組立を困難にしていた。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型かつ高出力を実現しつつ、駆動効率の高いリニア駆動型超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、圧電素子を有する超音波振動子と、超音波振動子との間の摩擦力により相対的に駆動される被駆動部材と、超音波振動子と被駆動部材との間に摩擦力が生じるように超音波振動子を押圧する押圧部材と、被駆動部材に当接する球状の複数の転動部材と、転動部材を介して被駆動部材を移動可能に支持するベース部材と、を少なくとも具備するリニア駆動型超音波モータであって、超音波振動子には被駆動部材と当接する二つの駆動子が設けられており、複数の転動部材は、被駆動部材が駆動される方向において、二つの駆動子の間に入らないような間隔で配置されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータでは、被駆動部材が円筒面を有し、転動部材が４つであることが好ましい。
【００１３】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータでは、被駆動部材に固定され、外部装置に被駆動部材の変位を伝達する連結部材が、ケース部材と当接することで被駆動部材の移動距離を所望の距離とするストッパ機能を有することが好ましい。
【００１４】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータでは、転動部材は案内部材に案内され、これにより、被駆動部材が駆動される方向における転動部材の間隔が、二つの駆動子の間隔に、被駆動部材の所定移動距離に対応して転動部材が転がる距離を加えた間隔となることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、小型かつ高出力を実現しつつ、高い駆動効率を実現することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータの構成を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータの幅方向中央で直交する断面図である。
【図４】ケース部材、駆動子、シャフト、及び、転動部材の配置を示す概念図である。
【図５】案内部材を用いて転動部材を収容した状態のベース部材の構成を示す、Ｚ方向上側から見た斜視図である。
【図６】図５のベース部材の平面図である。
【図７】図６のベース部材をＸ方向右側から見た側面図である。
【図８】比較例に係るリニア駆動型超音波モータの構成を示す分解斜視図である。
【図９】転動部材が駆動子よりも内側にある場合と外側にある場合の被駆動部材の駆動特性を示すグラフである。
【図１０】変形例に係るリニア駆動型超音波モータのケース部材とベース部材の構成を示す側面図である。
【図１１】変形例に係るケース部材とベース部材との組み付けを開始したときの状態を示す断面図である。
【図１２】変形例に係るケース部材とベース部材との組み付けを終了したときの状態を示す断面図である。
【図１３】従来の駆動装置の構成を示す分解斜視図である。
【図１４】従来の超音波モータ装置の駆動部分の概略構成を示す側面図であって、圧電素子を駆動する前の状態を示す図である。
【図１５】従来の超音波モータ装置の駆動部分の概略構成を示す側面図であって、Ｘ方向において転動部材の一部が駆動子の間の位置に入った状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明に係るリニア駆動型超音波モータの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
図１は、本実施形態に係るリニア駆動型超音波モータ１００の構成を示す斜視図である。図２は、リニア駆動型超音波モータ１００の構成を示す分解斜視図である。図３は、リニア駆動型超音波モータ１００の幅方向（Ｙ方向）中央で直交する断面図である。
【００１８】
図１から図３に示すように、リニア駆動型超音波モータ１００は、圧電素子１４０及び駆動子１４２、１４３を有する超音波振動子と、円筒面を有する被駆動部材としてのシャフト１６０と、押圧部材１３０と、４つの転動部材１８１、１８２、１８３、１８４と、ベース部材１２０と、を備える。また、ベース部材１２０と結合して超音波振動子及び押圧部材１３０を内部に収容するケース部材１１０を備える。
【００１９】
略コの字型の断面形状を有するベース部材１２０の内部には、板状の案内部材１７０が配置されている。この案内部材１７０の側辺には、４つの切り欠き部１７１、１７２、１７３、１７４が形成されている。これらの切り欠き部は、案内部材１７０の対向する２つの側辺の対向する位置に２つずつ設けられている。
【００２０】
４つの転動部材１８１、１８２、１８３、１８４は、４つの切り欠き部１７１、１７２、１７３、１７４にそれぞれ収容され、これにより案内部材１７０に案内されてベース部材１２０の長手方向（Ｘ方向）に移動可能となる。
なお、転動部材は、案内部材１７０に対応する切り欠き部を設けて長手方向に移動可能となれば、４つより多くても良い。
【００２１】
シャフト１６０は、円筒面と平面からなる側面を備え、長手方向直交断面が略Ｄ字形状をなしている。このシャフト１６０は、円筒面が転動部材１８１、１８２、１８３、１８４に当接するように載置される。
シャフト１６０の長手方向両端には、シャフト１６０の駆動変位を外部装置に伝達するための連結部材１９１、１９２がそれぞれ設けられている。
【００２２】
一方、ケース部材１１０は箱型の形状をしており、Ｙ方向の一方の側面には２つの給電部材１５１、１５２がそれぞれ挿通される開口部１１１、１１２が設けられている。また、図３に示すように、Ｘ方向両端の側面には、シャフト１６０の両端がそれぞれ外部に延出する開口部１１３、１１４が設けられている。
【００２３】
ケース部材１１０の内部空間には、押圧部材１３０と、圧電素子１４０と、がＺ方向上側から順に内包される。ケース部材１１０の下部の四隅に設けた突起部１１５、１１６を、ベース部材１２０の上部にＸ方向に沿って設けた係止部１２１、１２２にそれぞれ係止することによって、ベース部材１２０とケース部材１１０とが互いに係止固定される。
【００２４】
図３に示すように、ケース部材１１０をベース部材１２０に組みつけたとき、駆動子１４２、１４３はシャフト１６０の上側に位置する平面に当接するとともに、押圧部材１３０は所定の量だけ撓んだ状態で長手方向略中央部分が支持部材１４１に当接する。押圧部材１３０の撓み量は、押圧部材１３０の長手方向両端が当接するケース部材１１０の内壁凸部１１７、１１８の突出形状と支持部材１４１の位置によって任意に設定できる。押圧部材１３０の撓み量を所望の値にすることによって、シャフト１６０に対して圧電素子１４０から所望の押圧力を発生し、駆動子１４２、１４３をシャフト１６０に付勢する。これにより、駆動子１４２、１４３とシャフト１６０との間に摩擦力が生じ、圧電素子１４０を駆動することにより、シャフト１６０はベース部材１２０に対して長手方向（ｘ方向、駆動方向）に移動可能となる。
【００２５】
以上の構成のリニア駆動型超音波モータ１００においては、シャフト１６０がベース部材１２０側へ押圧された状態で長手方向（ｘ方向）に駆動されると、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４はシャフト１６０との当接点においてシャフト１６０の長手方向の駆動力を受けて転がり運動をする。
【００２６】
また、連結部材１９１、１９２は、シャフト１６０の両端部に対して固定されている。固定は、例えば、ネジ止めや接着によって行う。これにより、シャフト１６０の変位は、連結部材１９１、１９２に結合された外部装置に伝達される。
【００２７】
連結部材１９１、１９２は、ケース部材１１０と当接することでシャフト１６０の長手方向の移動距離を所望の距離に規制するストッパ機能を有する。より具体的には、本実施形態のリニア駆動型超音波モータ１００では、図４に示すように、圧電素子１４０のＸ方向の中心位置（図４の位置Ｃ）にシャフト１６０の長手方向の中心を合わせた初期位置において、連結部材１９１、１９２は、ケース部材１１０に対して間隔Ｌだけそれぞれ離間している。すなわち、シャフト１６０は、初期位置から、連結部材１９１、１９２がケース部材１１０にそれぞれ当接するまでの距離ＬだけＸ方向に移動可能である。ここで、図４は、ケース部材１１０、駆動子１４２、１４３、シャフト１６０、及び、転動部材１８１、１８２の配置を示す概念図である。なお、シャフト１６０が移動可能な距離Ｌは、連結部材１９１、１９２のそれぞれと、ベース部材１２０とが離間する距離で規定してもよい。
【００２８】
なお、連結部材１９１、１９２の当接先は、シャフト１６０のストッパの機能を果たせば、ケース部材１１０に代えてベース部材１２０を用いることもできる。
【００２９】
リニア駆動型超音波モータ１００では、４つの転動部材１８１、１８２、１８３、１８４は、シャフト１６０が駆動されるＸ方向において、２つの駆動子１４２、１４３の間に入らないような間隔で配置されている。以下、図５から図７を参照して、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４と、２つの駆動子１４２、１４３と、の位置関係について具体的に説明する。図５は、案内部材１７０を用いて転動部材１８１、１８２、１８３、１８４を収容した状態のベース部材１２０の構成を示す、Ｚ方向上側から見た斜視図である。図６は、図５のベース部材１２０の平面図である。図７は、図６のベース部材１２０をＸ方向右側から見た側面図である。
【００３０】
まず、ベース部材１２０の内側の底面の中央には、Ｘ方向に沿って延びる突出部１２３が形成されている。また、ベース部材１２０の内側の底面のＸ方向両端には、Ｙ方向において対向するように位置規制部１２４がそれぞれ形成されている。突出部１２３は、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４が当接する、Ｙ方向両端部よりも上方に、すなわち案内部材１７０側へ突出している。このように突出部１２３を設けることによって、案内部材１７０とベース部材１２０の底面との接触面積を限定して摺動抵抗を少なくすることができる。さらに、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４が当接する底面より突出部１２３の高さ分だけ案内部材１７０が高い位置で移動するため、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４が転がるときに案内部材１７０に乗り上げることを防ぐことができる。
【００３１】
また、Ｘ方向において、案内部材１７０の一方の側辺に設けた切り欠き部１７１と切り欠き部１７２との間隔、及び、案内部材１７０の他方の側辺に設けた切り欠き部１７３と切り欠き部１７４との間隔をそれぞれＬ’としている。したがって、切り欠き部１７１、１７２、１７３、１７４内にそれぞれ収容される、転動部材１８１と転動部材１８２との間隔、及び、転動部材１８３と転動部材１８４との間隔もそれぞれＬ’となる。
【００３２】
一方、Ｘ方向における駆動子１４２と駆動子１４３との間隔をＡとしている。転動部材１８１と転動部材１８２との間隔Ｌ’、及び、転動部材１８３と転動部材１８４との間隔Ｌ’は、駆動子１４２と駆動子１４３との間隔Ａよりも十分広くなるように設定している。
【００３３】
シャフト１６０がＸ方向に駆動されると、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４は転がり移動し、案内部材１７０も同時に移動する。転動部材１８１、１８２、１８３、１８４は、ベース部材１２０の内側の底面に対して１点で接触するとともに、内側の側面に対して１点で接触しつつ転がる。このような形態において、シャフト１６０のＸ方向における移動距離は、Ｘ方向のうちの一方への移動で最大でＬ／２1/2である。
【００３４】
リニア駆動型超音波モータ１００においては、シャフト１６０が駆動されるＸ方向における転動部材１８１と転動部材１８２の間隔（転動部材１８３と転動部材１８４との間隔）Ｌ’が、二つの駆動子１４２、１４３の間隔Ａに、シャフト１６０の最大移動距離Ｌ／２1/2（所定移動距離）に対応して転動部材が転がる距離の２倍よりも大きな間隔となる
ように、案内部材１７０に切り欠き部１７１、１７２、１７３、１７４をそれぞれ配置している。
【００３５】
なお、ベース部材１２０への案内部材１７０の初期の組み付け位置がかならずＸ方向に関して中立位置とは限らない。別言すると、案内部材１７０の初期の組み立て位置によっては、転動部材１８１と転動部材１８２との中間位置、転動部材１８３と転動部材１８４との中間位置、及び、駆動子１４２と駆動子１４３との中間位置、が同一とならないことがある。このため、その位置ずれ分を考慮してＬ’は広く取ることが望ましい。
【００３６】
一方、間隔Ｌ’の距離を大幅に長くした場合には、ベース部材１２０のＸ方向の寸法を長くする必要があり、リニア駆動型超音波モータ１００の大型化につながるため、一般的に許容可能な組立時の位置ずれ量だけ大きくとるとよい。
【００３７】
このように、Ｘ方向において、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４の間隔Ｌ’を駆動子１４２、１４３の間隔Ａよりも十分広く配置することにより、シャフト１６０が所定移動距離Ｌ／２1/2だけ移動した場合にも、転動部材１８１、１８２、１８３、１８４が二つの駆動子１４２、１４３の間に移動することを防止でき、これにより駆動特性劣化を防止することが可能となる。
【００３８】
ここで、図８、図９を参照して、Ｘ方向において転動部材が駆動子よりも内側にある場合と外側にある場合の被駆動部材の駆動特性の違いについて説明する。図８は、比較例に係るリニア駆動型超音波モータ２００の構成を示す分解斜視図である。図９は、転動部材が駆動子よりも内側にある場合（四角印）と外側にある場合（丸印）の被駆動部材の駆動特性を示すグラフである。図９の横軸は圧電素子１４０の駆動周波数（Ｈｚ）であり、縦軸は圧電素子１４０の駆動によるシャフト１６０の移動速度（ｍｍ／ｓ）である。
【００３９】
比較例に係るリニア駆動型超音波モータ２００は、シャフト１６０の両端に連結部材１９１、１９２を固定していない点が上述の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータ１００と異なる。また、圧電素子１４０への給電方法は特に限定せず、ケース部材２１０は簡略表示している。
【００４０】
リニア駆動型超音波モータ２００においては、ストッパ機能を果たす連結部材１９１、１９２が設けられていないため、シャフト１６０の駆動により転動部材１８１、１８２、１８３、１８４は任意の位置まで転がる為、転動部材が駆動子の間に入り込む場合がある。
【００４１】
図９において転動部材が駆動子よりも内側にある場合（四角印）は、リニア駆動型超音波モータ２００において、４つの転動部材１８１、１８２、１８３、１８４のうちの対向する２つの転動部材が、Ｘ方向において、２つの駆動子１４２、１４３の間に入った場合の駆動特性を示している。
【００４２】
一方、図９において、転動部材が駆動子よりも外側にある場合（丸印）は、リニア駆動型超音波モータ２００において、４つの転動部材１８１、１８２、１８３、１８４のすべてが、Ｘ方向において、２つの駆動子１４２、１４３の間に入っていない場合の駆動特性を示している。この駆動特性は、４つの転動部材１８１、１８２、１８３、１８４のすべてが２つの駆動子１４２、１４３の間に入らないように配置された、上述の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータ１００に対応する。
【００４３】
図９に示すように、転動部材が駆動子よりも外側にある場合（丸印）、駆動周波数全域において得られる移動速度が、転動部材が駆動子よりも内側にある場合（四角印）に比べ高く、駆動特性がよいことが分かる。
【００４４】
次に、図１０から図１２を参照して変形例について説明する。図１０は、変形例に係るリニア駆動型超音波モータのケース部材３１０とベース部材３２０の構成を示す側面図である。図１１は、変形例に係るケース部材３１０とベース部材３２０との組み付けを開始したときの状態を示す断面図である。図１２は、変形例に係るケース部材３１０とベース部材３２０との組み付けを終了したときの状態を示す断面図である。なお、図１０においては、ケース部材３１０とベース部材３２０以外の部材の図示を省略している。また、図１１、１２においては、ケース部材３１０内の詳細な構成の図示を省略している。
【００４５】
変形例に係るリニア駆動型超音波モータでは、ケース部材３１０にスライド溝３１１、３１２を設け、ベース部材３２０に係止部３２１、３２２を設けている点が上述の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータ１００と異なる。これ以外の構成は、上述の実施形態に係るリニア駆動型超音波モータ１００と同様であるため、その詳細な説明は省略し、同じ部材には同じ符号を付する。
【００４６】
係止部３２１、３２２は、ベース部材３２０のＸ方向に延びる側壁３２３の上部からＹ方向（Ｘ方向及びＺ方向に垂直な方向）に延びる突起である。係止部３２１、３２２は、Ｘ方向において互いに離間するように所定位置に配置されている。
【００４７】
スライド溝３１１、３１２は、ケース部材３１０を構成する壁部のうち、Ｙ方向（図１０から図１２の紙面に垂直な方向）に直交する壁部３１３の下部に形成されている。このスライド溝３１１、３１２は、側面視で同一の略逆Ｌ字状の溝形状をなしており、一端は、ケース部材３１０の下面から上方へ向かうように形成された開口部３１１ａ、３１２ａとなっており、他端は、開口部３１１ａ、３１２ａからＸ方向へ延びる経路からＺ方向下側へ広がる凹部３１１ｂ、３１２ｂとなっている。開口部３１１ａ、３１２ａは、係止部３２１、３２２と同じ間隔で形成されている。また、スライド溝３１１、３１２内で係止部３２１、３２２がＸ方向に移動できる距離をＬとしている。
【００４８】
ケース部材３１０とベース部材３２０との組み付けは、まず、開口部３１１ａ、３１２ａから係止部３２１、３２２をそれぞれ挿入して、係止部３２１、３２２の上面がスライド溝３１１、３１２の内壁に当接するまで、ケース部材３１０とベース部材３２０をＺ方向に相対移動させる。係止部３２１、３２２の上面がスライド溝３１１、３１２の内壁に当接したとき、図１１に示すように、ベース部材３２０のＸ方向両端に設けた位置規制部３２４の一方が連結部材１９２に当接する。
【００４９】
次に、係止部３２１、３２２をスライド溝３１１、３１２内でＸ方向に移動させる。係止部３２１、３２２は、距離Ｌだけ移動すると、凹部３１１ｂ、３１２ｂに嵌合可能な位置に到達する。ここで、ケース部材３１０とベース部材３２０をＺ方向に相対移動させて、係止部３２１、３２２を凹部３１１ｂ、３１２ｂ内に嵌合させると、Ｘ方向におけるケース部材３１０とベース部材３２０の相対移動が規制され、組み付けが完了する。このとき、図１２に示すように、ケース部材３１０とベース部材３２０のＸ方向の中心位置が一致する。
【００５０】
変形例に係るリニア駆動型超音波モータにおいては、スライド溝３１１、３１２の形状に沿って係止部３２１、３２２を移動させるように、ケース部材３１０とベース部材３２０を相対移動させるだけで、自動的に、容易かつ確実に、ケース部材３１０とベース部材３２０の位置を合わせることができ、組み付けのずれを抑えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上のように、本発明に係るリニア駆動型超音波モータは、小型機器の精度の高い駆動に適している。
【符号の説明】
【００５２】
１００    リニア駆動型超音波モータ
１１０    ケース部材
１１１、１１２、１１３、１１４  開口部
１１５、１１６  突起部
１１７、１１８  内壁凸部
１２０    ベース部材
１２１、１２２  係止部
１２３    突出部
１３０    押圧部材
１４０    圧電素子
１４１    支持部材
１４２、１４３  駆動子
１５１、１５２  給電部材
１６０    シャフト
１７０    案内部材
１７１、１７２、１７３、１７４  切り欠き部
１８１、１８２、１８３、１８４  転動部材
１９１、１９２  連結部材
２００    リニア駆動型超音波モータ
２１０    ケース部材
３１０    ケース部材
３１１    スライド溝
３１１ａ  開口部
３１１ｂ  凹部
３１２    スライド溝
３１２ａ  開口部
３１２ｂ  凹部
３１３    壁部
３２０    ベース部材
３２１、３２２    係止部
３２３    壁部
３２４    位置規制部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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