(57)【要約】【課題】顕微鏡の各制御部に対する条件設定作業を対象試料の特性に応じて最適且つ容易に行うことができ、併せて顕微鏡の操作法も習得できる顕微鏡システムを提供する。【解決手段】コントローラ１１の記憶装置は、顕微鏡へサンプル１０の画像を取得する際の設定を行うための操作の内容を示す誘導情報と顕微鏡に対し設定される条件情報とを対応付けて記憶しておく。コントローラ１１は、記憶装置上の誘導情報の内容を表している操作誘導表示画面を操作の順序に従って表示部１２に表示して該操作の誘導を行うと共に、表示中の操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられている条件情報の内容を表している画面を表示する。ここで、コントローラ１１は、条件情報の指示を取得して、当該指示に係る条件情報で記憶装置に記憶されている条件情報を更新すると共に、顕微鏡を制御して、記憶装置に記憶されている条件情報に従った設定を顕微鏡に対して行う。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡へ対象試料の画像を取得する際の設定を行うための操作の内容を示す情報である誘導情報と該顕微鏡に対し設定される条件の情報である条件情報とを対応付けて記憶しておく記憶部と、
前記記憶部に記憶されている誘導情報の内容を表している操作誘導表示画面を当該操作の順序に従って表示して該操作の誘導を行う操作誘導部と、
前記操作誘導部により表示されている操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられて前記記憶部に記憶されている条件情報の内容を表している画面を表示する条件情報表示部と、
前記条件情報の指示を取得して、該指示に係る条件情報で前記記憶部に記憶されている条件情報を更新する条件情報指示取得部と、
前記顕微鏡を制御して、前記記憶部に記憶されている条件情報に従った設定を該顕微鏡に対して行う制御部と、
を有することを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項２】
前記記憶部は、前記顕微鏡によって過去に取得していた画像の取得時における前記条件情報を記憶しておくことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
【請求項３】
前記顕微鏡によって過去に取得していた画像についての画像データファイルから、若しくは、該画像についての観察レポートのデータが含まれているレポートデータファイルから、該画像の取得時における前記条件情報を取得する手本条件情報取得部を更に有し、
前記記憶部は、前記手本条件情報取得部が取得した条件情報を記憶しておく、
ことを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡システム。
【請求項４】
前記条件情報指示取得部は、前記条件情報の指示を取得したときに前記操作誘導部により表示されていた前記操作誘導表示画面に基づき、該操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられて前記記憶部に記憶されている条件情報を、取得した指示に係る条件情報に更新することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡システム。
【請求項５】
顕微鏡の制御をコンピュータに行わせるためのプログラムであって、
前記顕微鏡へ対象試料の画像を取得する際の設定を行うための操作の内容を示す情報である誘導情報と該顕微鏡に対し設定される条件の情報である条件情報とを対応付けて記憶部に記憶させておく記憶処理と、
前記記憶部に記憶されている誘導情報の内容を表している操作誘導表示画面を当該操作の順序に従って表示部に表示させて該操作の誘導を行う操作誘導処理と、
前記操作誘導処理によって表示されている操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられて前記記憶部に記憶されている条件情報の内容を表している画面を表示部に表示させる条件情報表示処理と、
前記条件情報の指示を取得して、該指示に係る条件情報で前記記憶部に記憶されている条件情報を更新する条件情報指示取得処理と、
前記顕微鏡を制御して、前記記憶部に記憶されている条件情報に従った設定を該顕微鏡に対して行う制御処理と、
を前記コンピュータに行わせるための顕微鏡制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡の技術に関し、特に、対象試料の観察や画像取得のために顕微鏡に対して行う各種条件の設定作業を支援する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡を使用して対象試料の観察や画像取得を行うために、顕微鏡の各制御部に各種の条件（動作条件）を設定する作業が行われる。
この作業を支援する技術に関し、設定する各種の条件を、観察条件ファイル単独として、あるいは画像ファイルに統合して、予め保存しておくという技術が知られている。この技術では、顕微鏡の使用時には、この観察条件ファイル若しくは画像ファイルから設定条件のデータを読み出し、このデータに従って各制御部へ条件の設定が行われる。
【０００３】
また、画像処理や計測を所定の手順で行う場合に、画像処理のパラメータを計測条件ファイル（レシピファイル）として予め登録しておき、この登録内容に従って一連の手順を装置が自動的に実行するという技術も知られている。
【０００４】
一方、対話形式で質問に答えていく、いわゆるウィザード形式により、顕微鏡の各制御部に対する条件設定の手順を提示することで、顕微鏡に不慣れなユーザでも容易に画像取得が行えるようにする技術も既に提案されている。
【０００５】
更に、例えば特許文献１には、三次元画像の像構築手順を誘導部に表示するという技術が開示されている。特許文献１によれば、この技術により、誘導部に表示される誘導に従ってユーザが装置を手動操作することで、画像取得に必要な手順を過不足なく行うことができるので、装置の操作に不慣れなユーザでも容易に三次元画像を観察し取得することができるとされている。
【特許文献１】特開２００６−４９１５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
既存の技術では、ある特定の条件（例えば、観察する試料が同一の場合や、試料の表面状態やその高さに変化がない場合等、保存されている条件で過去に画像を取得したときと、同等な試料の画像取得や観察をする場合）においては、有効である。以前に保存しておいた、同じような試料についての画像取得時や観察時の条件を、顕微鏡の制御部に反映して画像取得や観察を行うことができるからである。しかしながら、例えば、全く異なる試料の観察を行う場合や、一部が異なっている試料の観察を行う場合などには、既に保存されている条件を適用することが必ずしも適切であるとは限らない。
【０００７】
また、だからといって、これらの条件を全て設定し直すとしても、装置に対する理解を十分有してないと、熟練者が設定した場合と同等の結果を得ることは非常に困難であった。
【０００８】
更に、検査工程において、管理者（装置を熟知したオペレータ）は、画像取得時や観察時の条件と操作手順とを記載した作業手順書を作成し、この手順書で一般のオペレータ（装置に不慣れな者を含む）へ指示を出している。一般のオペレータは、この作業手順書に従って画像取得を行えば、装置に不慣れであっても、サンプルに応じた最適な画像を得ることができる。しかし、一般のオペレータは、このために、装置の設定画面と作業手順書とを交互に見比べて条件設定を行わなければならなかった。
【０００９】
このように、特に顕微鏡操作に不慣れな使用者にとって、顕微鏡の各制御部への条件設定作業は容易ではなく、試行錯誤を繰り返すことで多大な作業時間を要してしまうという問題も発生する。また、取得した試料の画像の画質や精度が、顕微鏡のユーザの熟練度に左右されてしまうという問題もあった。
【００１０】
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、顕微鏡に不慣れなユーザであっても、各制御部に対する条件設定作業を対象試料の特性に応じて最適且つ容易に行うことができ、併せて顕微鏡の操作法の習得も可能な顕微鏡システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の態様のひとつである顕微鏡システムは、顕微鏡へ対象試料の画像を取得する際の設定を行うための操作の内容を示す情報である誘導情報と該顕微鏡に対し設定される条件の情報である条件情報とを対応付けて記憶しておく記憶部と、該記憶部に記憶されている誘導情報の内容を表している操作誘導表示画面を当該操作の順序に従って表示して該操作の誘導を行う操作誘導部と、該操作誘導部により表示されている操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられて該記憶部に記憶されている条件情報の内容を表している画面を表示する条件情報表示部と、該条件情報の指示を取得して、該指示に係る条件情報で該記憶部に記憶されている条件情報を更新する条件情報指示取得部と、該顕微鏡を制御して、該記憶部に記憶されている条件情報に従った設定を該顕微鏡に対して行う制御部と、を有する。
【００１２】
なお、上述した顕微鏡システムにおいて、該記憶部は、該顕微鏡によって過去に取得していた画像の取得時における該条件情報を記憶しておくように構成することができる。
なお、このとき、該顕微鏡によって過去に取得していた画像についての画像データファイルから、若しくは、該画像についての観察レポートのデータが含まれているレポートデータファイルから、該画像の取得時における該条件情報を取得する手本条件情報取得部を更に有し、該記憶部は、該手本条件情報取得部が取得した条件情報を記憶しておく、ように構成することができる。
【００１３】
また、前述した本発明に係る顕微鏡システムにおいて、該条件情報指示取得部は、該条件情報の指示を取得したときに該操作誘導部により表示されていた該操作誘導表示画面に基づき、該操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられて該記憶部に記憶されている条件情報を、取得した指示に係る条件情報に更新するように構成することができる。
【００１４】
本発明の別の態様のひとつである顕微鏡制御プログラムは、顕微鏡の制御をコンピュータに行わせるためのプログラムであって、該顕微鏡へ対象試料の画像を取得する際の設定を行うための操作の内容を示す情報である誘導情報と該顕微鏡に対し設定される条件の情報である条件情報とを対応付けて記憶部に記憶させておく記憶処理と、該記憶部に記憶されている誘導情報の内容を表している操作誘導表示画面を当該操作の順序に従って表示部に表示させて該操作の誘導を行う操作誘導処理と、該操作誘導処理によって表示されている操作誘導表示画面に関する誘導情報に対応付けられて該記憶部に記憶されている条件情報の内容を表している画面を表示部に表示させる条件情報表示処理と、該条件情報の指示を取得して、該指示に係る条件情報で該記憶部に記憶されている条件情報を更新する条件情報指示取得処理と、該顕微鏡を制御して、該記憶部に記憶されている条件情報に従った設定を該顕微鏡に対して行う制御処理と、を該コンピュータに行わせるというものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、顕微鏡に不慣れなユーザであっても、各制御部に対する条件設定作業を対象試料の特性に応じて最適且つ容易に行うことができ、併せて顕微鏡の操作法の習得も可能な顕微鏡システムを提供できるようになるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず図１について説明する。図１は、本発明を実施する顕微鏡システムの構成を示している。なお、この顕微鏡システムの構成は共焦点走査型レーザ顕微鏡システムについてのものであるが、本発明は、この構成での実施に限定されるものではなく、例えば、白色光源を使用したディスクスキャンなどによる共焦点顕微鏡や、特に共焦点光学系を有さない顕微鏡システムにおいても実施可能である。
【００１７】
図１に示す顕微鏡システムは、主に、顕微鏡本体１４、コントローラ１１、表示部１２から構成される。
コントローラ１１は標準的なコンピュータであり、ＭＰＵ（演算処理装置）、メインメモリ、インタフェース装置、及び記憶装置を備えているが、図１には図示していない。
【００１８】
ここで、ＭＰＵは、例えば記憶装置に記憶されている制御プログラムの実行によって、図１の顕微鏡システム全体の動作制御を行うものである。メインメモリは、ＭＰＵが必要に応じてワークメモリとして使用する半導体メモリである。インタフェース装置は、この共焦点走査型レーザ顕微鏡システムの各構成要素との間での各種データの授受を管理する。また、記憶装置は例えばハードディスク装置であり、この顕微鏡システムの制御をコントローラ１１で実現するための各種の制御プログラムやデータを記憶しておく。後述する、コントローラ１１が行う各種の制御動作は、当該制御動作をコントローラ１１に行わせるための顕微鏡システム制御プログラムをこの記憶装置に予め格納しておき、当該ＭＰＵが当該制御プログラムを読み出して実行することによって、実現される。
【００１９】
なお、コントローラ１１には、マウス装置等のポインティングデバイスやキーボード装置等の入力装置が接続されているが、図１においては図示していない。また、コントローラ１１には、表示部１２が接続されている。表示部１２は例えばディスプレイ装置であり、ＭＰＵによる制御の下で操作画面や観察画像等の表示を行う。
【００２０】
図１に示す顕微鏡システムでは、１／４λ板４、対物レンズ５、電動ＸＹステージ９、Ｚレボルバ１３、顕微鏡本体１４、及びレボルバ１５により、サンプル１０の画像の取得を行う顕微鏡を構成している。
【００２１】
図１の構成において、レーザ光源１から出射した光（レーザ光）は、ＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ：Polarization Beam Splitter）２を透過した後に二次元走査部３へと導かれる。二次元走査部３は、この光束を二次元に走査して対物レンズ５へと導く。この二次元走査部３は、対物レンズ５の瞳と共役な位置に配置されているので、対物レンズ５の瞳へ入射した光束は収束光となって、サンプル１０の焦点面上を走査する。また、このとき、この光束は、１／４λ板４を通過する際に、偏光特性が直線偏光から円偏光へと変換される。
【００２２】
この光はサンプル１０の表面で反射される。このときの反射光は、再び対物レンズ５から１／４λ板４及び二次元走査部３を介してＰＢＳ２に導かれる。このときの光束は、１／４λ板４を通過する際に、レーザ光源１からの出射時の光束とは直交する向きの直線偏光へと偏光特性が変換されるので、ＰＢＳ２により今度は反射された後に、結像レンズ６によりピンホール７の位置に集光される。
【００２３】
なお、二次元走査部３の走査振幅の大きさを調整することにより、この顕微鏡システムにより光学ズーム機能を提供することができる。
結像レンズ６により集光された反射光は、サンプル１０の集光点以外からの反射光がピンホール７によりカットされ、サンプル１０の集光点からの反射光のみがピンホール７を通過して光検出器８により受光されて検出される。光検出器８は、このときに受光した光の明るさ（輝度）に対応した大きさの信号を出力し、この出力は、コントローラ１１に導かれる。
【００２４】
なお、対物レンズ５が搭載されているレボルバ１５は、Ｚレボルバ１３を駆動させることにより、光軸方向（Ｚ方向）に移動可能である。なお、二次元走査部３による光走査動作と、Ｚレボルバ１３の駆動動作とはコントローラ１１によって制御される。
【００２５】
レボルバ１５は、複数の対物レンズ５を搭載可能であり、このうち光軸上に配置させる対物レンズ５の選択を、コントローラ１１が制御できる。
また、電動ＸＹステージ９は、載置されているサンプル１０をＸＹ方向（Ｚ方向に垂直な平面上での２方向）に移動させることができ、この移動動作を、コントローラ１１が制御できる。
【００２６】
ここで、対物レンズ５による集光位置はピンホール７の位置と光学的に共役の位置となるように配置されている。従って、サンプル１０が対物レンズ５による集光位置に在る場合には、サンプル１０からの反射光が集光されてピンホール７を通過できる。これに対し、サンプル１０が対物レンズ５による集光位置からずれた位置にある場合は、サンプル１０からの反射光はピンホール７の位置には集光しないので、ピンホール７を通過できない。
【００２７】
従って、このときの対物レンズ５とサンプル１０との相対位置と、光検出器８の出力との関係は以下のようになる。すなわち、サンプル１０が対物レンズ５の集光位置に在る場合には、光検出器８の出力は最大となる。そして、この位置から対物レンズ５とサンプル１０との相対位置が離れるに従い、光検出器８の出力は急激に低下する。ここで、二次元走査部３を制御して集光点をサンプル１０の表面上で二次元走査すると共に、光検出器８の出力を二次元走査部３の光走査動作に同期して画像化する。すると、このときに得られる画像は、サンプル１０のある特定の高さのみが画像化されて、サンプル１０を光学的にスライスしたかのような画像（共焦点画像）となる。
【００２８】
また、サンプル１０の断面が、例えば図２に示すような形状であったとする。このとき、図２のＺ１からＺ２の範囲を所定の駆動ピッチでＺ方向に対物レンズ５を順次移動させながら共焦点画像（共焦点スライス画像）を複数取得し、各画素において光検出器８の出力が最大になる値を抽出してその画素の輝度値とする。こうすることで、サンプル１０の表面全体に亘り合焦している画像である全焦点画像を得ることができる。
【００２９】
次に、図１の顕微鏡システムにより提供されるユーザインタフェースについて、図３を用いて説明する。図３は、コントローラ１１が表示部１２に表示させるユーザインタフェース画面の画面例を示している。
【００３０】
まず、コントローラ１１にインストールされている、コントローラ１１が備えている記憶装置に予め記憶させていた顕微鏡システム制御プログラムを起動すると、図３に示す画面が表示部１２に表示される。この画面は、操作誘導画面３０１と観察画像表示部３０６とを含んでいる。
【００３１】
図３の画面例では、操作誘導画面３０１には、対物レンズ調整部３０２、光学ズーム制御部３０３、操作誘導部３０４、及び次工程指示部３０５が含まれている。
対物レンズ調整部３０２は、光軸上に配置される対物レンズ５の選択指示に使用される画面であり、光学ズーム制御部３０３は、前述した光学ズーム機能におけるズーム倍率の設定指示に使用される画面である。操作誘導画面３０１上のこれらの画面は、操作誘導により条件の設定を行う設定対象の変化に応じ、適宜切り替わる。
【００３２】
操作誘導部３０４には、顕微鏡に対し行われる操作の各手順において条件の設定を行う設定対象、その設定方法、その設定内容を、その操作の手順に従って切り替えて表示してユーザに対し操作の誘導を行う画面である。
【００３３】
次工程指示部３０５には、操作誘導部３０４に表示中の手順の操作完了後に、次の操作手順に移行する指示を行うために使用される指示ボタンである「次へ」ボタンと、前の操作手順に戻る指示を行うための指示ボタンである「戻る」ボタンとが備えられている。
【００３４】
観察画像表示部３０６には、観察の対象試料であるサンプル１０についての画像が表示される。
次に、図４について説明する。図４は、条件情報取得処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、過去に取得していた顕微鏡画像の取得時における条件情報を、操作誘導における手本として、その顕微鏡画像の画像データファイルから取得して記憶装置に記憶させる処理である。
【００３５】
この処理は、前述した顕微鏡システム制御プログラムを起動させることによって、コントローラ１１により直ちに開始される。
まず、Ｓ１０１では、図３に示したユーザインタフェース画面を表示部１２に表示させる処理が行われる。
【００３６】
Ｓ１０２では、条件情報の取得に好適な画像（例えば、図１の顕微鏡システムの熟練者がこのシステムを操作して過去に取得した画像など）の画像データファイルの指示を取得する処理が行われる。この処理では、まず、入力装置に対しユーザにより行われる所定の操作誘導情報作成指示の検出処理を行い、当該指示が検出された場合には、図５に示す画面例のような、画像データファイル選択指示画面の表示部１２への表示処理が行われる。そして、入力装置に対しユーザにより行われる所定の画像ファイル選択操作の検出処理を行い、当該指示が検出された場合には、表示部１２での図５の画面の表示を消去する処理と、当該指示に係る画像ファイルを参照する処理とが行われる。
【００３７】
Ｓ１０３では、Ｓ１０２の処理により参照中である画像データファイルのヘッダ部より、そこに格納されている条件情報を１つ抽出する処理が行われる。
図１の顕微鏡システムにより取得した画像についての画像データファイルのヘッダ部に含まれている、条件情報の例を図６に示す。
【００３８】
図６に示した例では、画像取得時に顕微鏡に設定されていた各種の条件と、その画像に対し施されていた画像処理についての内容、画像処理パラメータの内容、及び画像処理の処理順序とが、条件情報として示されている。
【００３９】
なお、本実施形態においては、条件情報には、顕微鏡の制御条件情報と操作条件情報との２種類の情報を有しているものとする。ここで、顕微鏡の制御条件情報とは、例えば、対物レンズ５の倍率、光学ズームの倍率、画像のサイズ、明るさの設定値などといった、画像の取得時に顕微鏡に設定されていた条件を指す。また、操作条件情報とは、例えば、取得した画像に対して行われる、画像処理や画像計測などの操作処理に関する情報（例えば、実行手順や実行時に設定したパラメータなどの情報）を指す。
【００４０】
図４の処理の説明に戻る。Ｓ１０４では、Ｓ１０３の処理により取得した条件情報を、後述する操作誘導処理においての設定項目に対応付けて記憶装置に記憶させる処理が行われる。
【００４１】
Ｓ１０５では、参照中である画像データファイルのヘッダ部に格納されていた条件情報を全て抽出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、条件情報を全て抽出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０６に処理を進める。一方、未抽出の条件情報が残っていると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０３へ処理を戻し、Ｓ１０３以降の処理が未抽出の条件情報に対して行われる。
【００４２】
Ｓ１０６では、コントローラ１１の動作状態を操作誘導の開始状態に移行する処理が行われ、その後はこの図４の処理を終了する。
以上までの処理が条件情報取得処理の第一の例である。この処理が終了すると、前述した顕微鏡システム制御プログラムを実行中のコントローラ１１は、続いて操作誘導処理を開始する。操作誘導処理は、サンプル１０の画像を取得させるために顕微鏡に対し行われる操作の手順を表している画面を操作誘導部３０４に表示して、ユーザに対し、その操作の誘導を行う処理である。また、ユーザがこの誘導に従って行った操作内容に応じた各種の条件の設定、例えば対物レンズ５の切り替えや、焦準の調整、電動ＸＹステージ９の駆動などを、顕微鏡に対して行う処理も併せて行われる。
【００４３】
次に図７について説明する。図７は、操作誘導処理の処理内容の概要をフローチャートで示したものである。
まず、Ｓ１５１では、サンプル１０の画像を取得するに際して顕微鏡に対し行う必要のある初期状態の設定のための操作誘導処理が行われる。
【００４４】
次に、Ｓ１５２では、サンプル１０における観察位置を大まかに設定するために行われる、電動ＸＹステージ９の移動操作のための操作誘導処理が行われる。
次に、Ｓ１５３では、取得するサンプル１０の画像の取り込み位置を決めるために行われる、サンプル１０に対する低倍率での観察のための操作誘導処理が行われる。なお、取り込み位置を変えながら取得したサンプル１０の複数の画像の貼り合わせを行う場合には、ここで、画像貼り合わせにおける貼り合わせ範囲を設定するための操作誘導処理も併せて行われる。
【００４５】
次に、Ｓ１５４では、サンプル１０の画像の取り込みにおける基本的な制御条件情報設定のための操作誘導処理が行われる。なお、本実施形態においては、ここでは、サンプル１０の二次元画像の取り込みに関する処理を行うものとする。また、ここでは、サンプル１０の画像の取り込みに実際に使用する観察倍率でサンプル１０の観察を行って画像の取り込み位置を決定するための操作誘導処理も行われる。
【００４６】
次に、Ｓ１５５では、サンプル１０の画像の取り込みにおける応用的な制御条件情報設定のための操作誘導処理が行われる。なお、本実施形態においては、ここでは、サンプル１０の三次元画像の取り込みに関する処理を行うものとする。
【００４７】
次に、Ｓ１５６では、以上のようにして行われる操作誘導に従ってユーザにより指示された条件設定に基づいたサンプル１０の画像の取り込みが開始され、この後はこの図７の処理が終了する。
【００４８】
図７に示した操作誘導処理は、以上のような手順で行われ、サンプル１０についての画像の最適な取り込みが可能となる。
次に、図７に概要を示した操作誘導処理について、図８を用いてより詳細に説明する。
【００４９】
図８は、図７に示した各処理において設定される具体的な設定項目と、各設定項目に対する初期状態の例を表で示したものである。つまり、この表は、顕微鏡へサンプル１０の画像を取得する際の設定を行うための操作の内容を示す情報（誘導情報）と、顕微鏡に対し設定される条件の情報（条件情報）とを対応付けたものである。
【００５０】
この表で表されている情報は、記憶装置に予め記憶されている。但し、表の各欄の設定項目のうち、図４に示した条件情報取得処理のＳ１０４の処理によって当該設定項目に対応付けて記憶装置に記憶させておいた条件情報が存在するものがある。このような場合には、原則として、その条件情報を、対応付けられている設定項目についての初期状態として、図８の表に示されているものよりも優先して用いるようにする。
【００５１】
これより説明する各処理では、次工程指示部３０５における「次へ」ボタンに対する操作がコントローラ１１により検出されると、そのときに操作誘導画面３０１内で設定内容が指示されていた条件情報が、その処理で誘導を行っていた設定項目についてのものとしてコントローラ１１により取得される。すると、コントローラ１１は、その条件情報を記憶装置に改めて記憶させて条件情報の更新を行うと共に、顕微鏡を制御して、取得した条件情報に従うように各種の設定を行い、その後に、次の処理に移行する。
【００５２】
まず、図７におけるＳ１５１の初期状態の設定のための操作誘導処理について、図８の表における「ガイダンス」が「初期化」の列の各欄を上から順に参照しながら、具体的な処理順に沿って説明する。
【００５３】
図８において、まず、７０１の欄は、対物レンズ５（レボルバ１５）を切り替えて初期状態とすることを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させ、更に対物レンズ調整部３０２を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。なお、この誘導による対物レンズ５の選択は、サンプル１０の画像の取得における最終的なものではないので、記憶装置に記憶させておいた条件情報を初期設定値としては利用しない。寧ろ、この選択では、焦点深度が深く焦点調整がしやすいことと、観察視野が広く位置調整がしやすいことが重視されるので、特に指定のない限り、レボルバ１５に取り付けられているもののうち最低倍率の対物レンズ５が光軸上に設定されることが望ましい。従って、図３に示した操作誘導部３０４の例には、初期状態として、図８の表に示されている初期状態の情報に従い、対物レンズ５として５倍（５ｘ）のものを選択することを誘導する文が表示されている。もちろん、このときの対物レンズ調整部３０２に対する操作によって、この他の対物レンズ５の選択指示を受け付けることができる構成としてもよい。
【００５４】
次に、７０２の欄は、Ｚレボルバ１３を光軸方向に移動させてその位置を初期状態とすることを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させ、更にＺレボルバ１３の位置の調整に用いる画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理を行われることを表している。図８の例では、この移動後のＺレボルバ１３の位置を、移動可能な最上部の位置とすることが初期状態として指示されている。ここで、この位置についての条件情報が画像データファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合には、この条件情報を記憶装置から読み出して、その位置を示す画面を操作誘導画面３０１に表示させると共に、この条件情報で示されている位置を初期状態として記憶装置に改めて記憶する処理を行うようにする。
【００５５】
次に、７０３の欄は、二次元走査部３による前述した光学ズーム機能における拡大倍率を初期状態とすることを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させ、更に光学ズーム制御部３０３を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。なお、この誘導による光学ズームの倍率設定は、サンプル１０の画像の取得における最終的なものではないので、記憶装置に記憶させておいた条件情報を初期設定値としては利用しない。寧ろ、この選択では、観察視野が広く位置調整がしやすいことから、特に指定のない限り最低倍率に設定されることが望ましい。もちろん、このときの光学ズーム制御部３０３に対する操作によって、この他の倍率の設定指示を受け付けることができる構成としてもよい。
【００５６】
次に、７０４の欄は、７０１から７０３の各欄で表されていた処理による誘導に応じた設定の下で顕微鏡観察画像の取得を開始して観察画像表示部３０６に表示させると共に、画像観察を開始することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われることを表している。
【００５７】
次に、７０５の欄は、サンプル１０を電動ＸＹステージ９上へ載置することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われることを表している。
次に、７０６の欄は、観察画像表示部３０６に表示される観察画像を見ながら、焦点を大まかに調整することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われることを表している。なお、この画面には、焦点の調整法として、Ｚレボルバ１３の位置調整を行う手法と、顕微鏡本体１４に搭載されている、対物レンズ５を光軸方向に上下動させる不図示の焦準ハンドルを操作して行う手法とがある旨のメッセージを操作誘導部３０４に表示するようにしてもよい。
【００５８】
以上までの処理が、初期状態の設定のための操作誘導処理である。
次に、図７におけるＳ１５２の電動ＸＹステージ９の移動操作のための操作誘導処理について、図８の表における「ガイダンス」が「ステージ操作」の列の各欄を上から順に参照しながら、具体的な処理順に沿って説明する。
【００５９】
まず、７１１の欄は、予め用意されている座標ファイルを参照して、当該座標ファイルに示されている、サンプル１０の観察位置を示すＸＹ座標を読み込む処理が行われることを表している。なお、ここで、このＸＹ座標についての条件情報が画像データファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合には、この条件情報を読み出し、この条件情報で示されている位置を示す画面を操作誘導画面３０１に表示させると共に、この位置を、ＸＹ座標の設定指示の取得結果として記憶装置に改めて記憶する処理が行われるようにする。
【００６０】
次に、７１２の欄は、ＸＹステージ座標系のアライメントを実施して、サンプル１０の設置状態と図１のシステムの現在状態との関係を適正なものとすることを誘導する画面を操作誘導表示部３０４に表示させる処理が行われることを表している。なお、この処理により、アライメントの作業手順についても、操作誘導表示部３０４の表示画面に併せて表示わせるようにする。
【００６１】
次に、７１３の欄は、７１１の欄で表されていた処理により読み込んでいたＸＹ座標のうちのひとつを選択することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この選択のために用いる位置選択用ＧＵＩコントロール画面（不図示）を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われる。このときに、位置選択用ＧＵＩコントロール画面を利用して位置が選択されると、その位置の観察画像が観察画像表示部３０６に表示されるように、電動ＸＹステージ９を移動させる制御が行われる。
【００６２】
次に、７１４の欄は、サンプル１０においての観察を所望する箇所が、観察画像表示部３０６に表示中の観察画像においてその中心となるように電動ＸＹステージ９のＸＹ位置を調整することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われる。この調整の指示は、位置選択用ＧＵＩコントロール画面を利用して行われ、当該指示がなされると、その指示に従うように電動ＸＹステージ９を移動させる制御が行われる。
【００６３】
以上までの処理が、電動ＸＹステージ９の移動操作のための操作誘導処理である。
次に、図７におけるＳ１５３である、低倍率での観察のための操作誘導処理について、図８の表における「ガイダンス」が「低倍率観察」の列の各欄を上から順に参照しながら、具体的な処理順に沿って説明する。
【００６４】
まず、７２１の欄は、対物レンズ５（レボルバ１５）を切り替えて、初期状態以上の高さの倍率とすることを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させ、更に対物レンズ調整部３０２を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。なお、この誘導による対物レンズ５の選択も、サンプル１０の画像の取得における最終的なものではないので、記憶装置に記憶させておいた条件情報を初期設定値としては利用しない。すなわち、この選択においても、焦点深度が深く焦点調整がしやすいことと、観察視野が広く位置調整がしやすいことが重視されるので、特に指定のない限り、記憶装置に記憶させておいた条件情報で示されている倍率よりも低倍率のものが選択されることが望ましい。もちろん、このときの対物レンズ調整部３０２に対する操作によって、この他の対物レンズ５の選択指示を受け付けることができる構成としてもよい。
【００６５】
次に、７２２の欄は、観察画像表示部３０６に表示中の観察画像の明るさが適切なものになるように調整する処理が行われることを表している。７２２の欄に示されているように、この調整は、初期状態では「自動調整」となっており、この場合には、コントローラ１１が、光検出器８で検出される光の光量に基づき、光検出器８の検出感度の調整を行う。ここで、観察画像の明るさを「手動調整」する旨の設定がされていた場合には、図９に例示するように、まず、観察画像の明るさの調整と「自動調整」の指示とのどちらかを行うことを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われる。更に、この調整もしくは指示のために用いる明るさ調整用ＧＵＩコントロール画面３０７を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われる。このときに、明るさ調整用ＧＵＩコントロール画面３０７を利用して調整後の明るさが指示されると、その明るさで観察画像が観察画像表示部３０６に表示されるように、光検出器８の検出感度を調整する処理が、コントローラ１１により行われる。
【００６６】
次に、７２３の欄は、観察画像表示部３０６に表示される観察画像を見ながら、焦点を調整することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われることを表している。７２３の欄に示されているように、この調整は、初期状態では「ＡＦ」（オートフォーカス）となっており、この場合には、コントローラ１１が、例えば、観察画像のコントラストに基づき、そのコントラストが最大となるように、Ｚレボルバ１３の位置を調整する制御処理を行う。ここで、ユーザが入力装置を操作して所定の指示を与えることにより、焦点の調整を「Ｚレボルバ」で行うように設定を切り替えることが可能であり、この場合には、Ｚレボルバ移動用ＧＵＩコントロール画面（不図示）を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われる。このときに、Ｚレボルバ移動用ＧＵＩコントロール画面を利用してＺレボルバ１３の移動指示がされると、当該指示に従ってＺレボルバ１３を移動制御する処理が、コントローラ１１により行われる。
【００６７】
以上までの処理が、低倍率での観察のための操作誘導処理である。
次に、図７におけるＳ１５４である、基本的な制御条件情報設定のための操作誘導処理について、図８の表における「ガイダンス」が「取り込み条件  基本」の列の各欄を上から順に参照しながら、具体的な処理順に沿って説明する。
【００６８】
まず、７３１の欄は、サンプル１０の画像の取り込みにおいて、取り込み方法により画像を取得するかを選択することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この選択のために用いる画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われる。図８の例では、この選択指示として、観察画像表示部３０６に表示される観察画像の画像データを記録する「スナップ」（スナップショット撮影）、サンプル１０の全焦点画像の画像データを記録する「エクステンド」（エクステンド画像撮影）、及び、薄膜であるサンプル１０の膜厚の測定に好適である三次元画像を記録する「膜厚」（膜厚画像撮影）のいずれかの指示が可能である。なお、ここでは、この選択の初期状態として「スナップ」が選択されていることが図８の例には示されている。この他に、他の種類の画像、例えば、前述したサンプル１０の複数の画像の貼り合わせを行うための画像を選択できるように構成することもできる。
【００６９】
次に、７３２の欄は、対物レンズ５（レボルバ１５）を切り替えて画像取り込みにおける倍率のものとすることを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させ、更に対物レンズ調整部３０２を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。ここで、この対物レンズ５の倍率についての条件情報が画像データファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合には、まず、この条件情報を記憶装置から読み出して、この条件情報で示されている倍率の対物レンズ５に切り替え、その切り替え結果を示す画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理を行うようにする。更に、画像取り込み用の対物レンズ５の切り替え結果として記憶装置に改めて記憶させる処理を行うようにする。
【００７０】
次に、７３３の欄は、観察画像表示部３０６に表示中の観察画像の明るさが適切なものになるように調整する処理が行われることを表している。７３３の欄に示されているように、この調整は、初期状態では「自動調整」となっており、この場合には、コントローラ１１が、光検出器８で検出される光の光量に基づき、光検出器８の検出感度の調整を行う。ここで、観察画像の明るさを「手動調整」する旨の設定がされていた場合には、図９に例示したように、まず、観察画像の明るさの調整と「自動調整」の指示とのどちらかを行うことを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われる。更に、この調整もしくは指示のために用いる明るさ調整用ＧＵＩコントロール画面３０７を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われる。このときに、明るさ調整用ＧＵＩコントロール画面３０７を利用して調整後の明るさが指示されると、その明るさで観察画像が観察画像表示部３０６に表示されるように、光検出器８の検出感度を調整する処理が、コントローラ１１により行われる。
【００７１】
次に、７３４の欄は、観察画像表示部３０６に表示される観察画像を見ながら、実際の画像取り込みのための焦点の調整を誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われることを表している。７３４の欄に示されているように、この調整は、初期状態では「ＡＦ」（オートフォーカス）となっており、この場合には、コントローラ１１が、例えば、観察画像のコントラストに基づき、そのコントラストが最大となるように、Ｚレボルバ１３の位置を調整する制御処理を行う。ここで、ユーザが入力装置を操作して所定の指示を与えることにより、焦点の調整を「Ｚレボルバ」で行うように設定を切り替えることが可能であり、この場合には、Ｚレボルバ移動用ＧＵＩコントロール画面（不図示）を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われる。このときに、Ｚレボルバ移動用ＧＵＩコントロール画面を利用してＺレボルバ１３の移動指示がされると、当該指示に従ってＺレボルバ１３を移動制御する処理が、コントローラ１１により行われる。
【００７２】
次に、７３５の欄は、二次元走査部３による前述した光学ズーム機能における拡大倍率を実際の画像取り込みのものに調整することを誘導する画面を操作誘導表示部３０４に表示させ、更に光学ズーム制御部３０３を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。ここで、この光学ズームの倍率についての条件情報が画像データファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合には、まず、この条件情報を記憶装置から読み出して、光学ズームの倍率を、この条件情報で示されているものに設定し、その倍率を示す画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理を行うようにする。更に、その倍率を光学ズームの調整結果として記憶装置に改めて記憶させる処理を行うようにする。
【００７３】
なお、以上の７３２から７３５の各欄で表されていた処理は、ユーザが必要に応じて行う、次工程指示部３０５における「戻る」ボタンに対する操作がコントローラ１１により検出されることで、繰り返し行われることもある。
【００７４】
次に、７３６の欄は、電動ＸＹステージ９のＸＹ位置を調整して、サンプル１０においての観察画像の取り込みを所望する箇所が、観察画像表示部３０６に表示中の観察画像におけるその中心となるようにすることを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させる処理が行われることを表している。この調整の指示は、位置選択用ＧＵＩコントロール画面を利用して行われ、当該指示がなされると、その指示に従うように電動ＸＹステージ９を移動させる制御が行われる。
【００７５】
次に、７３７の欄は、サンプル１０の画像の取り込みにおける、画像の取得条件の設定指示を誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この指示のために用いる画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。この取得条件の指示としては、例えば、レーザ走査共焦点画像の取得指示である「ＬＳＭ」や、可視光観察画像をＣＣＤ撮像素子で撮像してその画像を取得する指示である「ＣＣＤ」、あるいは、微分干渉観察画像を取得する指示である「ＤＩＣ」などがある。
【００７６】
以上までの処理が、基本的な制御条件情報設定のための操作誘導処理である。
次に、図７におけるＳ１５５の処理である、応用的な制御条件情報設定のための操作誘導処理について、図８の表における「ガイダンス」が「取り込み条件  応用」の列の各欄を上から順に参照しながら、具体的な処理順に沿って説明する。
【００７７】
まず、７４１の欄は、サンプル１０の三次元画像の取り込みにおける、高さ方向の精度、すなわち、三次元画像の生成のために複数取り込むサンプル１０の共焦点画像の取得間隔の設定を誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この指示のために用いる画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。ここでは、高さ精度の設定の指示として、共焦点画像の取得間隔が狭い「高精度」、取得間隔が中程度である「中精度」、取得間隔が広い「低精度」のうちから選択するものとする。なお、図８の例では、「高精度」が初期状態として選択されている。ここで、この高さ精度についての条件情報が画像データファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合がある。この場合には、この条件情報を記憶装置から読み出して、共焦点画像の取得間隔を、この条件情報で示されているものに設定し、その取得間隔を示す画面を操作誘導画面３０１に表示させると共に、その取得間隔を、高さ方向の精度の設定の取得結果として記憶装置に改めて記憶させる処理を行うようにする。
【００７８】
次に、７４２の欄は、サンプル１０の三次元画像の取り込みにおける、Ｚ方向（高さ方向）の取り込み範囲の設定を誘導する画面、すなわち、三次元画像の生成のために複数取り込むサンプル１０の共焦点画像のＺ方向の取り込み範囲の設定を誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この指示のために用いる画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。ここでは、取り込み範囲の設定指示として、その範囲を、画像取り込み動作の実行時にコントローラ１１に自動的に決定させる「自動設定」が初期状態として設定されている。ここで、ユーザが入力装置を操作して所定の指示を与えることにより、その範囲を示すＺ方向の上限及び下限の位置をユーザが指定する「手動設定」に切り替えることが可能である。この「手動設定」への切り替えが検出された場合には、コントローラ１１は、その範囲を示すＺ方向の上限及び下限の位置の指示を誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この誘導に応じて入力された位置の指示を、この取り込み範囲の設定として取得する。
【００７９】
次に、７４２の欄は、サンプル１０の三次元画像の取り込みにおける画像の明るさが適切なものにするための光検出器８の検出感度の自動調整（コントローラ１１による調整）を行うかどうかの設定指示を誘導する画面を操作誘導表示部３０４に表示させると共に、この指示のために用いる画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。ここでは、初期状態として、感度の自動調整を「しない」ように設定されている。ここで、ユーザが入力装置を操作して所定の指示を与えることにより、感度の自動調整を「する」ように設定を切り替えることが可能である。なお、ここで、この感度の自動調整についての条件情報が画像データファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合には、この条件情報を記憶装置から読み出して、この自動調整についての設定を、この条件情報で示されているものにし、その設定を示す画面を操作誘導画面３０１に表示させる処理を行うようにする。
【００８０】
以上までの処理が、応用的な制御条件情報設定のための操作誘導処理である。
以上までの各処理が行われた後、図７のＳ１５６の処理として、図８の表における７５１の欄で示されているように、サンプル１０の画像の取り込みが開始され、この後はこの操作誘導処理が終了する。
【００８１】
なお、上述した操作誘導処理においては、図８の表に表されている全ての欄の項目について、対応する誘導処理を行うようにしていた。この代わりに、項目毎に、対応する操作誘導処理を実行するかしないかを選択できるように構成することもできる。また、これらの項目の追加や削除、項目の内容の変更、各項目間の順序の変更など、設定されている条件を編集できるように構成することもできる。このためには、例えば、コントローラ１１が、図７の処理の実行の際に、このテーブルデータを記憶装置から読み出して対応する誘導処理を行うようにする。ここで、汎用の表計算ソフトウェアなどを用いて、このテーブルテータの内容を編集するようにする。また、このような構成とすると、各ユーザで固有のテーブルデータを作成することで、ユーザ毎に異なる操作誘導を行うようにすることもできる。
【００８２】
また、図４の条件情報取得処理では、過去に取得した顕微鏡画像の取得時における条件情報を画像データファイルから取得するようにしていた。ここで、操作条件情報については、更に、画像データファイルに記録されている画像処理の履歴情報から操作条件情報を抽出して、記憶装置に記憶するように構成することもできる。
【００８３】
また、図５に例示した画像データファイル選択指示画面は、図１０に例示した第二の例のような、いわゆるサムネイル表示を行うものであってもよい。このようなサムネイル表示を行うと、ユーザは、過去に取得していた顕微鏡画像を確認しながら、条件情報の取得に好適な画像の選択を行うことができる。ここで、サムネイル表示に対応する画像データファイルに含まれている条件情報を抽出し、抽出した条件情報を、文字情報として、そのサムネイル表示に併せて表示する構成とすることもできる。このようにすると、ユーザは、文字情報によっても条件情報を確認することができるので、条件情報の誤設定の防止に役立つ。
【００８４】
次に、図１１について説明する。図１１は、条件情報取得処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示したものである。
図４に示した条件情報取得処理の第一の例では、過去に取得した顕微鏡画像の取得時における条件情報を、操作誘導における手本として、その顕微鏡画像の画像データファイルから取得して記憶装置に記憶させる処理が行われる。これに対し、この第二の例では、過去に取得した顕微鏡画像と、その顕微鏡画像に対する各種の画像計測の処理結果とからなる観察レポートを表しているレポートデータファイルから、その顕微鏡画像の取得時における条件情報（制御条件情報及び操作条件情報）を、操作誘導における手本として取得して記憶装置に記憶させる処理を行う。
【００８５】
コントローラ１１がレポートデータファイルに基づいて表示部１２に表示させる観察レポートの表示画面例を図１２に示す。この表示画面例には画像表示部９０１、画像情報表示部９０２、プロファイルライン表示部９０３、及び計測結果情報表示部９０４を備えている。
【００８６】
画像表示部９０１は、レポートデータファイルに含まれている（若しくは対応付けられている）画像データファイルにより表されている画像の表示部である。
画像情報表示部９０２は、画像表示部９０１に表示されている画像の取得時における制御条件情報や、その画像について実施した画像計測の種別（２点間距離計測や体積計測など）や計測条件（計測に必要な座標情報や閾値情報など）などといった、その画像についての操作条件情報の表示部である。なお、操作条件情報としては、この他に、例えば、画像について実施した画像処理の種別（例えば、メディアンフィルタやコントラスト強調処理など）を含むこともある。
【００８７】
プロファイルライン表示部９０３は、画像表示部９０１に表示されている画像について設定したプロファイルライン上における計測情報（例えば高さ情報など）の表示部である。
【００８８】
計測結果情報表示部９０４は、画像表示部９０１に表示されている画像について実施した画像計測処理の結果（測定値など）の表示部である。
このように、レポートデータファイルには、画像データファイル、制御条件情報、操作条件情報、及び処理結果情報が含まれている。ここで、制御条件情報は、図６に示したように、画像データファイルのヘッダ部に含まれているものとする。
【００８９】
図１１の処理を具体的に説明する。なお、この処理は、前述した顕微鏡システム制御プログラムを起動させることによって、コントローラ１１により直ちに開始される。
まず、Ｓ２０１では、図３に示したユーザインタフェース画面を表示部１２に表示させる処理が行われる。
【００９０】
Ｓ２０２では、条件情報の取得に好適な観察レポートが表されているレポートデータファイルの指示を取得する処理が行われる。この処理では、まず、入力装置に対しユーザにより行われる所定の操作誘導情報作成指示の検出処理を行い、当該指示が検出された場合には、図５若しくは図１０に例示した画像データファイル選択指示画面と同様の態様である、レポートデータファイル選択指示画面の表示部１２への表示処理が行われる。そして、入力装置に対しユーザにより行われる所定のレポートデータファイル選択操作の検出処理を行い、当該指示が検出された場合には、表示部１２での画像データファイル選択指示画面の表示を消去する処理と、当該指示に係るレポートデータファイルを参照する処理とが行われる。
【００９１】
Ｓ２０３では、Ｓ２０２の処理により参照中であるレポートデータファイルに含まれている（若しくは対応付けられている）画像データファイルのヘッダ部より、そこに格納されている制御条件情報を１つ抽出する処理が行われる。
【００９２】
Ｓ２０４では、Ｓ２０３の処理により取得した制御条件情報を、前述した操作誘導処理（図７及び図８）においての設定項目に対応付けて記憶装置に記憶させる処理が行われる。
【００９３】
Ｓ２０５では、参照中であるレポートデータファイルに含まれている（若しくは対応付けられている）画像データファイルのヘッダ部に格納されていた制御条件情報を全て抽出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、制御条件情報を全て抽出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ２０６に処理を進める。一方、未抽出の制御条件情報が残っていると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ２０３へ処理を戻し、Ｓ２０３以降の処理が未抽出の制御条件情報に対して行われる。
【００９４】
Ｓ２０６は、参照中であるレポートデータファイルに含まれて格納されている操作条件情報を１つ抽出する処理が行われる。
Ｓ２０７では、Ｓ２０３の処理により取得した操作条件情報を、前述した操作誘導処理（図７及び図８）においての設定項目に対応付けて記憶装置に記憶させる処理が行われる。
【００９５】
Ｓ２０８では、参照中であるレポートデータファイルに含まれて格納されている操作条件情報を全て抽出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、操作条件情報を全て抽出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ２０６に処理を進める。一方、未抽出の操作条件情報が残っていると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ２０６へ処理を戻し、Ｓ２０６以降の処理が未抽出の操作条件情報に対して行われる。
【００９６】
Ｓ２０９では、コントローラ１１の動作状態を操作誘導の開始状態に移行する処理が行われ、その後はこの図１１の処理を終了する。
以上までの処理が条件情報取得処理の第二の例である。この処理が終了すると、前述した顕微鏡システム制御プログラムを実行中のコントローラ１１は、続いて、前述した操作誘導処理を開始する。すると、コントローラは、まず、図７及び図８に示した処理を行って制御条件情報の設定に関する誘導とその設定に関する指示を取得する。そして、この処理に続き、図８のものと同様の表で図１３に示した、レポートデータファイルを用いた操作誘導処理により、操作条件情報の設定に関する誘導とその設定に関する指示を取得する。
【００９７】
図１３について説明する。図１３は、レポートデータファイルのための操作誘導処理において追加して設定される具体的な設定項目と、各設定項目に対する初期状態の例を表示したものである。
【００９８】
まず、画像処理のための操作誘導処理について、図１３の表における「ガイダンス」が「画像処理」の列の各欄を上から順に参照しながら、具体的な処理順に沿って説明する。なお、この図１３の例では、画像処理を２回実行し、その後に画像計測を２回実行することが示されている。
【００９９】
図１３において、まず、８０１の欄は、図１４に例示するように、第一の画像処理の種別及び処理のパラメータを設定することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この設定のために用いる画像処理設定画面３０８を、操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。この例では、第一の画像処理として、「３ｘ３」のメディアンフィルタ処理の実行が、操作条件情報としてレポートデータファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合を示している。すなわち、この場合には、この操作条件情報を記憶装置から読み出して、この操作条件情報で示されている「メディアンフィルタ」処理に画像処理の種別を設定すると共に、この操作条件情報で示されている、この画像処理における処理パラメータとして「３ｘ３」が選択される。もちろん、このときの画像処理設定画面３０８に対する操作によって、この他の種別の画像処理や処理パラメータの指示を受け付けることもできる。ここで、次工程指示部３０５における「次へ」ボタンに対する操作が検出されると、コントローラ１１は、サンプル１０の画像に対し、指示された画像処理を、指示されたパラメータに従って実施する。
【０１００】
８０２の欄は、第二の画像処理の種別及び処理のパラメータを設定することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この設定のために用いる画像処理設定用の画面を、操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。この例では、第二の画像処理として、「レベル３」のコントラスト強調処理の実行が、操作条件情報としてレポートデータファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合を示している。すなわち、この場合には、この操作条件情報を記憶装置から読み出して、この操作条件情報で示されている「コントラスト強調」処理に画像処理の種別を設定すると共に、この操作条件情報で示されている、この画像処理における処理パラメータとして「レベル３」（コントラスト強調の程度を示す値）が選択される。もちろん、このときの設定画面に対する操作によって、この他の種別の画像処理や処理パラメータの指示を受け付けることもできる。ここで、次工程指示部３０５における「次へ」ボタンに対する操作が検出されると、コントローラ１１は、サンプル１０の画像に対し、指示された画像処理を、指示されたパラメータに従って実施する。
【０１０１】
８１１の欄は、図１５に例示するように、第一の画像計測の種別及び計測条件のパラメータを設定することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この設定のために用いる画像計測設定画面３０９を、操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。この例では、第一の画像計測として、「Ｙ：５１２、Ｘ：２５６−７６８」の距離計測（画像における（２５６，５１２）と（７６８，５１２）との各座標に対応するサンプル１０上の位置間の距離の計測）の実行が、操作条件情報としてレポートデータファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合を示している。すなわち、この場合には、この操作条件情報を記憶装置から読み出して、この操作条件情報で示されている「距離計測」に画像計測の種別を設定すると共に、この操作条件情報で示されている、この画像計測における計測パラメータとして「Ｙ：５１２、Ｘ：２５６−７６８」が選択される。もちろん、このときの画像計測設定画面３０９に対する操作によって、この他の種別の画像計測や計測パラメータの指示を受け付けることもできる。ここで、次工程指示部３０５における「次へ」ボタンに対する操作が検出されると、コントローラ１１は、サンプル１０の画像に対し、指示された画像計測を、指示されたパラメータに従って実施する。
【０１０２】
８１２の欄は、第二の画像計測の種別及び計測条件のパラメータを設定することを誘導する画面を操作誘導部３０４に表示させると共に、この設定のために用いる設定画面を、操作誘導画面３０１に表示させる処理が行われることを表している。この例では、第二の画像計測として、「Ｙ：２５６、Ｘ：２５６−７６８」の距離計測（画像における（２５６，２５６）と（７６８，２５６）との各座標に対応するサンプル１０上の位置間の距離の計測）の実行が、操作条件情報としてレポートデータファイルから抽出されて記憶装置に記憶されている場合を示している。すなわち、この場合には、この操作条件情報を記憶装置から読み出して、この操作条件情報で示されている「距離計測」に画像計測の種別を設定すると共に、この操作条件情報で示されている、この画像計測における計測パラメータとして「Ｙ：２５６、Ｘ：２５６−７６８」が選択される。もちろん、このときの画像計測設定画面３０９に対する操作によって、この他の種別の画像計測や計測パラメータの指示を受け付けることもできる。ここで、次工程指示部３０５における「次へ」ボタンに対する操作が検出されると、コントローラ１１は、サンプル１０の画像に対し、指示された画像計測を、指示されたパラメータに従って実施する。
【０１０３】
レポートデータファイルのための操作誘導処理は、以上のようにして行われる。
なお、上述したレポートデータファイルのための処理では、レポートデータファイルから、その顕微鏡画像の取得時における条件情報として、制御条件情報及び操作条件情報の両方を取得して記憶装置に記憶させ、この両者の設定のための操作について操作誘導を行うようにしていた。この代わりに、レポートデータファイルから、操作条件情報のみを取得して記憶装置に記憶させ、この設定のための操作について操作誘導を行うようにしてもよい。
【０１０４】
また、図１３の例では、レポートファイルから抽出した条件操作情報を全て利用していた。この代わりに、レポートファイルから抽出した条件操作情報の利用をするかしないかを、項目毎に選択可能な構成とすることもできる。また、図１３の表に表されている全ての欄の項目について、対応する誘導処理を行う代わりに、項目毎に、対応する操作誘導処理を実行するかしないかを選択できるように構成することもできる。更に、これらの項目の追加や削除、項目の内容の変更、各項目間の順序の変更など、設定されている条件を編集できるように構成することもできる。このためには、例えば、図１３の表を表しているテーブルデータを記憶装置に記憶させておくようにし、コントローラ１１が、操作誘導処理の実行の際に、このテーブルデータを読み出して対応する誘導処理を行うようにする。ここで、汎用の表計算ソフトウェアなどを用いて、このテーブルテータの内容を編集するようにする。また、このような構成とすると、各ユーザで固有のテーブルデータを作成することで、ユーザ毎に異なる操作誘導を行うようにすることもできる。
【０１０５】
以上のように、図１の顕微鏡システムによれば、顕微鏡に不慣れなユーザであっても、サンプル１０の特性に応じた最適な顕微鏡制御部の調整（条件設定）が容易に可能である。また、サンプル１０の画像を取得させるために顕微鏡に対し行われる操作の手順を表している画面が当該操作の順序に従って表示されて該操作の誘導が行われるので、この誘導に従って顕微鏡を操作してサンプル１０の画像を取得する作業をユーザが反復して行うことで、顕微鏡の操作方法の習得が可能である。
【０１０６】
また、顕微鏡によって過去に取得していた画像についての画像データファイルから、若しくは、その画像についての観察レポートのデータが含まれているレポートデータファイルから、その画像の取得時における条件情報を取得し、その条件情報に従った設定を顕微鏡に対して行うので、過去に取得していた画像の取得時と同一条件の下でサンプル１０の画像の取得を行うことができる。
【０１０７】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】本発明を実施する顕微鏡システムの構成を示す図である。
【図２】サンプルの断面形状の一例を示す図である。
【図３】ユーザインタフェース画面の画面例（その１）を示す図である。
【図４】条件情報取得処理の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図５】画像データファイル選択指示画面の第一の画面例を示す図である。
【図６】条件情報の例を示す図である。
【図７】操作誘導処理の処理内容の概要をフローチャートで示した図である。
【図８】図７に示した各処理において設定される具体的な設定項目と、各設定項目に対する初期状態の例を表示した図である。
【図９】ユーザインタフェース画面の画面例（その２）を示す図である。
【図１０】画像データファイル選択指示画面の第二の画面例を示す図である。
【図１１】条件情報取得処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図１２】観察レポートの表示画面例を示す図である。
【図１３】レポートデータファイルのための操作誘導処理において追加して設定される具体的な設定項目と、各設定項目に対する初期状態の例を表示した図である。
【図１４】ユーザインタフェース画面の画面例（その３）を示す図である。
【図１５】ユーザインタフェース画面の画面例（その４）を示す図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１  レーザ光源
２  ＰＢＳ
３  二次元走査部
４  １／４λ板
５  対物レンズ
６  結像レンズ
７  ピンホール
８  光検出器
９  電動ＸＹステージ
１０  サンプル
１１  コントローラ
１２  表示部
１３  Ｚレボルバ
１４  顕微鏡本体
１５  レボルバ
３０１  操作誘導画面
３０２  対物レンズ調整部
３０３  光学ズーム制御部
３０４  操作誘導部
３０５  次工程指示部
３０６  観察画像表示部
３０７  明るさ調整用ＧＵＩコントロール画面
３０８  画像処理設定画面
３０９  画像計測設定画面
９０１  画像表示部
９０２  画像情報表示部
９０３  プロファイルライン表示部
９０４  計測結果情報表示部
【図２】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１】
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【図３】
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【図５】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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