(57)【要約】【課題】  被検査体とセンサ回路との間隔をより迅速に及びより微細に調整可能とすること【解決手段】  検査方法及び装置は、平板状の被検査体(12)を搬送装置(14)によりＹ方向に搬送しつつ、Ｙ方向と交差するＸ方向に配列された複数のセンサ回路を備えかつ被検査体の搬送路の上方に配置されたセンサ(44)により被検査体に供給された検査信号を検出すると共に、Ｘ方向及びＹ方向と交差するＺ方向における被検査体とセンサとの間隔を測定し、測定した間隔を基にＸ方向における被検査体に対するセンサの傾きを制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被検査体を搬送装置によりＹ方向に搬送しつつ、Ｙ方向と交差するＸ方向に配列された複数のセンサ回路を備えかつ被検査体の搬送路の上方に配置されたセンサにより被検査体に供給された検査信号を検出すると共に、Ｘ方向及びＹ方向と交差するＺ方向における被検査体と前記センサとの間隔を測定し、測定した間隔を基にＸ方向における被検査体に対する前記センサの少なくとも傾きを制御することを含む、平板状の検査方法。
【請求項２】
さらに、検出した検査信号を基に被検査体の良否を判定することを含む、請求項２に記載の検査方法。
【請求項３】
平板状の被検査体をＹ方向へ搬送する搬送装置と、被検査体に供給された検査信号を検出するセンサ装置であって、被検査体の上方に位置されたセンサ装置と、前記搬送装置及び前記センサ装置を支持する支持装置とを含み、
前記センサ装置は、前記支持装置に支持された支持体と、被検査体の搬送路の上方に位置するセンサホルダであって、被検査体と平行の面内をＹ方向に伸びるＹ軸線の周りに角度的に回転可能に前記支持体に支持されたセンサホルダと、前記センサホルダに支持された板状のセンサであって、前記検査信号を検出するように被検査体の搬送面と平行の面内をＹ方向と交差するＸ方向に配置された複数のセンサ回路を備えるセンサと、前記センサホルダを前記Ｙ軸線の周りに角度的に回転させる駆動機構とを含む、平板状の被検査体の検査装置。
【請求項４】
前記駆動機構は、前記センサホルダのＹ方向の側に被検査体から上方に間隔をおいて取り付けられた、カム及び該ガムのカム面に当接されたカムフォロワのいずれか一方と、前記カムを回転させる回転機構とを備える、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記センサホルダは、Ｘ方向に延在するホルダベースであって、前記センサが配置されたホルダベースと、該ホルダベースから上方に間隔をおいてＸ方向に延在すると共に、Ｘ方向に間隔をおいた箇所において前記ホルダベースに結合されたＹ軸回転ベースであって、前記支持体に角度的回転可能に支持されたＹ軸回転ベースとを備え、
前記カム及び前記ガムフォロワのいずれか一方は、前記Ｙ軸回転ベースに取り付けられている、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記Ｙ軸回転ベースは、当該Ｙ軸回転ベースの長手方向の中央部において前記支持体に支持されており、
前記カム、前記ガムフォロワ及び前記回転機構は、Ｘ方向に間隔をおいた少なくとも２箇所のそれぞれに配置されている、請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
さらに、前記支持体を前記支持装置に支持させる取り付け装置を含み、
前記支持体は、前記取り付け装置にＺ方向に移動可能に組み付けられており、
前記取り付け装置は、前記支持体の上方をＹ方向に延在する支持部材と、該支持部材をＺ方向に貫通して前記支持体の上部に結合された吊り下げ軸であって、前記支持部材の上側に当接可能の頭部を有する吊り下げ軸と、前記支持体と前記支持部材との間に配置されて、前記支持体を下方へ付勢する弾性体とを備える、請求項５及び６のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記弾性体は、前記吊り下げ軸の周りに配置された圧縮コイルばねを含む、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記取り付け装置は、さらに、前記支持装置に組み付けられた取り付けベースと、該取り付けベースにＺ方向へ移動可能に組み付けられたＺ移動ベースであって、前記支持体がＺ方向へ移動可能に組み付けられたＺ移動ベースと、該Ｚ移動ベースをＺ方向へ移動させるＺ移動機構とを備える、請求項５から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
さらに、Ｘ方向及びＹ方向と交差するＺ方向における被検査体と前記センサとの間隔を測定して前記間隔に対応する電気信号を出力すべく前記センサホルダにＸ方向に間隔をおいて配置された複数の測長器と、Ｘ方向における被検査体に対する前記センサの少なくとも傾きを制御するように、前記測長器からの出力信号を基に前記駆動機構を駆動させる制御処理装置と含む、請求項３から９のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画素電極や配線のような複数の被検出部を有する表示用基板を検査する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルに用いられるガラス基板のうち、複数の画素電極と、該画素電極毎に備えられた薄膜トランジスタのようなスイッチング素子とを備えたアレイ基板は、画素電極、スイッチング素子、それらの配線等の欠陥の有無の検査（すなわち、試験）をされる。
【０００３】
そのような検査を行う検査方法及び装置の1つとして、薄膜トランジスタのような複数のセンサ回路をガラス基板の一方の面に一方向（Ｘ方向）に配列したセンサを用い、アレイ基板をセンサに対向させた状態でセンサに対し他方向（Ｙ方向）へ搬送しつつ、アレイ基板のスイッチング素子のゲート電極及びソース電極に検査信号を供給し、それによりセンサ回路に得られる検査信号（電流又は電圧）を検出し、検出した検査信号を用いてアレイ基板の良否を判定する、いわゆる非接触タイプの技術がある（特許文献１及び２）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２４２８６０号公報
【特許文献２】特開２００７−１０７９８５号公報
【０００５】
特許文献１及び２の検査技術は、各センサ回路を画素電極に対し５０μｍ程度の間隔をおいて対向させた状態でアレイ基板を圧縮空気の噴射によりセンサに対しＹ方向へ搬送しつつ、アレイ基板のスイッチング素子のゲート電極及びソース電極に検査信号を供給し、そのときセンサ回路に流れる検査信号（電流又は電圧）を検出し、検出した検査信号を用いてアレイ基板の良否を判定する。
【０００６】
しかし、この種のアレイ基板（すなわち、平板状の被検査体）は、薄く、弾性変形しやすいことから、搬送用の圧縮空気の圧力差、センサ近傍の空間における空気の乱れ等により、被検査体がセンサの配置領域（被検査領域）においてセンサに対し傾斜する。その結果、センサと被検査体間との間隔（被検査体に対するセンサ回路の高さレベル）がセンサ回路毎に異なり、検査信号を正確に検出することができない。
【０００７】
特に、この種の検査技術に用いるセンサは複数のセンサ回路をガラス基板にＸ方向に配列しているものが用いられている。このため、Ｘ方向における一端部と他端部とにおけるセンサ回路と被検査体間との間隔が大きく異なると、各センサ回路による検出信号がそのような間隔の相違により、大きく変化してしまう。その結果、被検査体の良否を正確に判定することができない。
【０００８】
上記課題を解決すべく、特許文献１の技術においては、被検査体に吹き付ける圧縮空気の圧力をＸ方向における被検査体の傾斜の度合に応じて調整することにより、Ｘ方向における一端部と他端部とにおけるセンサ回路と被検査体間との間隔の差を低減させている。
【０００９】
しかし、圧縮空気の圧力の調整は、圧力調整バルブの開放量の変更、圧縮機による空気の圧縮の度合の変更等を迅速に行うことが難しく、したがって調整指令の発生時から実際の圧力調整の終了時までに時間を要する。このため、特許文献１の技術では、検査信号の微少な変化を正確に検出することができず、より正確な検査をすることができない。
【００１０】
特許文献２の技術においては、被検査体のＸ方向における一端部と他端部とを複数の支持部材で支持しつつ搬送する。しかし、支持部材を被支持体と共に搬送する搬送部の遊びのような機械的な遊び、被検査体とこれを支持する支持部材との間に存在する遊びのような被検査体の支持状態の差等が存在するから、Ｘ方向における一端部と他端部とにおけるセンサ回路と被検査体間との間隔の微細な差が生じることは避けることができない。
【００１１】
特に、被検査体が複数の原色表示画素によるカラー表示用のものであると、１つの原色表示画素に対応する画素電極に作用する電圧が少し変化するだけで、複数の原色表示画素からなる１つのカラー表示画素の明度及び色相が大きく異なってしまう。
【００１２】
上記のことから、この種の検査技術においては、センサ、特にセンサ回路と被検査体間との間隔の僅かな差であっても、検査信号の正確な検出に大きな影響を及ぼし、結果として被検査体の正確な検査をすることができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、被検査体とセンサ回路との間隔をより迅速に及びより微細に調整可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る検査方法は、平板状の被検査体を搬送装置によりＹ方向に搬送しつつ、Ｙ方向と交差するＸ方向に配列された複数のセンサ回路を備えかつ被検査体の搬送路の上方に配置されたセンサにより被検査体に供給された検査信号を検出すると共に、Ｘ方向及びＹ方向と交差するＺ方向における被検査体と前記センサとの間隔を測定し、測定した間隔を基にＸ方向における被検査体に対する前記センサの少なくとも傾きを制御することを含む。
【００１５】
本発明に係る検査方法は、さらに、検出した検査信号を基に被検査体の良否を判定することを含むことができる。また、Ｚ方向における被検査体と前記センサとの間隔は、非検査体の搬送路の上方にＸ方向に間隔をおいて配置された複数の測長器により測定することができる。
【００１６】
本発明に係る検査装置は、平板状の被検査体をＹ方向へ搬送する搬送装置と、被検査体に供給された検査信号を検出するセンサ装置であって、被検査体の搬送路の上方に位置されたセンサ装置と、前記搬送装置及び前記センサ装置を支持する支持装置とを含む。前記センサ装置は、前記支持装置に支持された支持体と、被検査体の上方に位置するセンサホルダであって、被検査体と平行の面内をＹ方向に伸びるＹ軸線の周りに角度的に回転可能に前記支持体に支持されたセンサホルダと、前記センサホルダに支持された板状のセンサであって、前記検査信号を検出するように被検査体の搬送面と平行の面内をＹ方向と交差するＸ方向に配置された複数のセンサ回路を備えるセンサと、前記センサホルダを前記Ｙ軸線の周りに角度的に回転させる駆動機構とを含む。
【００１７】
前記駆動機構は、前記センサホルダのＹ方向の側に被検査体から上方に間隔をおいて取り付けられた、カム及び該ガムのカム面に当接されたカムフォロワのいずれか一方と、前記カムを回転させる回転機構とを備えることができる。
【００１８】
前記センサホルダは、Ｘ方向に延在する板状のホルダベースであって、前記センサが配置されたホルダベースと、該ホルダベースから上方に間隔をおいてＸ方向に延在すると共に、Ｘ方向に間隔をおいた箇所において前記ホルダベースに結合されたＹ軸回転ベースであって、前記支持体に角度的回転可能に支持されたＹ軸回転ベースとを備えることができる。この場合、前記カム及び前記ガムフォロワのいずれか一方は、前記Ｙ軸回転ベースに取り付けられていてもよい。
【００１９】
前記Ｙ軸回転ベースは、当該Ｙ軸回転ベースの長手方向の中央部において前記支持体に支持されていることができる。この場合、前記カム、前記ガムフォロワ及び前記回転機構は、Ｘ方向に間隔をおいた少なくとも２箇所のそれぞれに配置されていてもよい。
【００２０】
本発明に係る検査装置は、さらに、前記支持体を前記支持装置に支持させる取り付け装置を含むことができる。この場合、前記支持体は、前記取り付け装置にＺ方向に移動可能に組み付けられていてもよい。また、前記取り付け装置は、前記支持体の上方をＹ方向に延在する支持部材と、該支持部材をＺ方向に貫通して前記支持体の上部に結合された吊り下げ軸であって、前記支持部材の上側に当接可能の頭部を有する吊り下げ軸と、前記支持体と前記支持部材との間に配置されて、前記支持体を下方へ付勢する弾性体とを備えていてもよい。
【００２１】
前記弾性体は、前記吊り下げ軸の周りに配置された圧縮コイルばねを含むことができる。
【００２２】
前記取り付け装置は、さらに、前記支持装置に組み付けられた取り付けベースと、該取り付けベースにＺ方向へ移動可能に組み付けられたＺ移動ベースであって、前記支持体がＺ方向へ移動可能に組み付けられたＺ移動ベースと、該Ｚ移動ベースをＺ方向へ移動させるＺ移動機構とを備えることができる。
【００２３】
本発明に係る検査装置は、さらに、Ｘ方向及びＹ方向と交差するＺ方向における被検査体と前記センサとの間隔を測定して前記間隔に対応する電気信号を出力すべく前記センサホルダにＸ方向に間隔をおいて配置された複数の測長器と、Ｘ方向における被検査体に対する前記センサの少なくとも傾きを制御するように、前記測長器からの出力信号を基に前記駆動機構を駆動させる制御処理装置と含むことができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、被検査体に対するＸ方向におけるセンサの傾きの度合を調整することにより、センサ回路と被検査体間との間隔の差を修正することができるから、被検査体とセンサ回路との間隔のより迅速な及びより微細な調整が可能となる。
【００２５】
請求項６に係る発明によれば、Ｙ軸回転ベースをシーソーのように変位させることにより、センサ回路と被検査体間との間隔の差、特に被検査体に対するＸ方向におけるセンサの傾きの度合を修正することができるし、両カムを同時に同方向へ回転させることにより、被検査体に対するセンサの高さ位置を調整することができる。その結果、被検査体とセンサ回路との間隔のより迅速な及びより微細な調整が可能となる。
【００２６】
請求項７に係る発明によれば、Ｘ方向における一方側に配置されたカムを角度的に回転させ、他方側に配置されたカムを角度的に回転させることにより、弾性体の圧縮の度合が変化させて、センサの一端側を上方又は下方へ変位させることができる。
【００２７】
請求項９に係る発明によれば、センサを被検査体に対し大きく対比させることができる。
【００２８】
請求項１０に係る発明によれば、被検査体とセンサとの間隔の調整が自動的に行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明においては、図３に示すように、被検査体の搬送方向をＹ方向又は左右方向といい、被検査体と平行な面内にあってＹ方向と交差する方向をＸ方向又は前後方向といい、Ｘ方向及びＹ方向と交差する方向をＺ方向又は上下方向という。また、以下の説明では、被検査体を水平の状態で搬送するものとする。
【００３０】
しかし、本発明においては、被検査体を水平面に対し傾斜させた状態で搬送する等、被検査体を水平面に対し他の姿勢で搬送してもよい。したがって、本発明でいう「上」及び「下」とは、それぞれ、被検査体及びその搬送路に対し交差するＺ方向における「一端側」及び「他端側」のことをいう。
【実施例１】
【００３１】
図１を参照するに、検査装置１０は、液晶表示パネルに用いられるガラス基板のうち、複数の画素電極（図示せず）と、該画素電極毎に備えられた薄膜トランジスタのようなスイッチング素子（図示せず）とを一方の面にマトリクス状に備えたアレイ基板を平板状の被検査体１２とする。画素電極とスイッチング素子との各対は、カラー表示用である場合は１つの原色表示画素に対応し、単色表示用である場合は１つの単色表示画素に対応する。
【００３２】
そのような被検査体１２は、例えば特許文献２に記載されている。被検査体１２は、画素電極及びスイッチング素子が備えられた面を上方とされた状態で、連続的にＹ方向における一方側から他方側へ搬送されて、その間に検査装置１０により良否の検査をされる。
【００３３】
検査装置１０は、支持装置１４と、被検査体１２をＹ方向へ搬送するように支持装置１４に支持された搬送装置１６と、被検査体１２に供給された検査信号を検出すべく被検査体１２の上方に位置された複数のセンサ装置１８と、各センサ装置１８を支持装置１４に支持させる取り付け装置２０と、Ｚ方向における被検査体１２とセンサ１８との間隔を測定して前記間隔に対応する電気信号を出力する複数の測長器２２とを含む。
【００３４】
支持装置１４は、複数の長尺部材を結合したフレーム２４を板状のベース２６の上に設置し、門型の支持部材２８を支持部材２８が被検査体１２の搬送路及びフレーム２４を跨ぐ状態にベース２６に支持させている。
【００３５】
搬送装置１６は、一対のガイドレール３０をフレーム２４の上にＸ方向に間隔をおいてＹ方向へ伸びる状態に配置し、複数のガイド３２を各ガイドレール３０の長手方向に間隔をおいた箇所に該長手方向へ移動可能に嵌合させ、これらのガイド３２に板状の移動体３４を取り付けている。そのような搬送装置１４は、被検査体１２を移動台３４に載置し、移動台３４を移動させることにより、被検査体１２を搬送する。
【００３６】
図示の例では、移動体３４は、電動機、該電動機により回転されるボールスクリュー、及び移動体の下面に取り付けられて前記ボールスクリューに螺合されたボールナットを備える駆動機構３６により、Ｙ方向へ往復移動されて、受けた被検査体１２をＹ方向における一方側から他方側へ搬送する。
【００３７】
しかし、電動機、ボールスクリュー、ボールナット及び駆動機構を省略し、ガイドレール３０及びガイド３２の代わりに、リニアモータの固定子及び可動子を用い、移動体３４を可動子に取り付け、可動子３４を往復移動させるようにしてもよい。いずれの場合も、被検査体１２は、移動体３４に受けられて、移動体と共に移動される。
【００３８】
図示の例では、被検査体１２のＸ方向に隣り合う領域を検査するように、２つのセンサ装置１８がＸ方向に隣りあって設けられている。取り付け装置２０及び測長器２２は、センサ装置１８毎に備えられている。
【００３９】
図２〜図７を参照するに、各センサ装置１８は、支持装置１４に支持された板状の支持体４０と、被検査体１２の上方に位置するように支持体４０に支持されたセンサホルダ４２と、Ｘ方向に延在するようにセンサホルダ４２に支持されたセンサ４４と、センサホルダ４２をＹ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる駆動機構４６とを含む。
【００４０】
支持体４０は、図４及び図８に詳細に示すように、Ｚ方向に延在する状態に取り付け装置２０に取り付けられたガイドレール４８と、ガイドレール４８にＺ方向へ移動可能に嵌合されていると共に支持体４０に取り付けられた複数のガイド５０とにより、取り付け装置２０にＹ方向へ移動可能に組み付けられている。
【００４１】
センサホルダ４２は、図２〜図７に詳細に示すように、Ｘ方向に延在する矩形の枠状をしたホルダベース５２と、ホルダベース５２から上方に間隔をおいてＸ方向に延在すると共に、Ｘ方向に間隔をおいた箇所においてホルダベース５２に結合されたＹ軸回転ベース５４とを備える。
【００４２】
センサホルダ４２は、図４及び図８に詳細に示すように、支持体４０に固定された支持軸５６と、支持軸５６に嵌合された軸受５８とにより、Ｙ軸回転ベース５４のＸ方向における中央部において支持体４０に被検査体１２と平行の面内をＹ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に支持されている。Ｙ軸回転ベース５４は、支持体４０に対し、被検査体１２の搬送方向における上流側に位置されている。
【００４３】
ホルダベース５２はセンサ４４を配置する開口６０を有しており、Ｙ軸回転ベース５４は開口に続く凹所６２を有する（図４参照）。凹所６２はセンサ４４をホルダベース５２に配置する際に利用される。
【００４４】
センサ４４は、図４〜図７に詳細に示すように、長方形の板状をしたガラス板のような基板部６４と、Ｘ方向に延在するように基板部６４の下面に装着された長方形の板状をしたセンサ部６６とを備える基板部６４及びセンサ部６６は、いずれも、光の通過を許すように、透明とされている。
【００４５】
センサ部６６は、薄膜トランジスタと、該トランジスタのゲート電極に接続されたセンサ電極とを備える複数のセンサ回路（図示せず）を薄いガラス基板の一方の面にＸ方向に配列した公知（例えば、特許文献２参照）ものである。
【００４６】
センサ４４は、基板部６４及びセンサ部６６がＸ方向に延在しかつセンサ部６６がホルダベース５２の開口６０に突出するように、基板部６４においてホルダベース５２に取り付けられている。
【００４７】
センサ４４がホルダベース５２に上記のように取り付けられた状態において、センサ部６６の各センサ電極は、搬送途中の被検査体１２の画素電極に対向することができる。
【００４８】
各取り付け装置２０は、図２から図８に示すように、支持装置１４（図１参照）に組み付けられた取り付けベース７０と、取り付けベース７０に配置されたＺ移動ベース７２と、Ｚ移動ベース７２をＺ方向へ移動させるＺ移動機構７４と、支持体４０の上方をＹ方向に延在するようにＺ移動ベース７２に取り付けられた支持部材７６と、支持部材７６をＺ方向に貫通して支持体３０の上部に結合された吊り下げ軸７８と、支持体４０と支持部材７６との間に配置されて支持体４０を支持部材７６に対して下方へ付勢する弾性体８０とを備える。
【００４９】
取り付けベース７０は、図１に示す例では、支持部材２８のＸ方向へ伸びる箇所にＸ方向へ伸びる状態に取り付けられたリニアレールと、該リニアレールのＸ方向に間隔をおいた箇所のそれぞれにＸ方向へ移動可能に嵌合されたリニアガイドとを備える一対のリニアモータ８２により、支持部材２８にＸ方向へ移動可能に組み付けられている。
【００５０】
取り付けベース７０は、支持部材２８に対し、被検査体１２の搬送方向における上流側に位置されている。両リニアモータ８２は、Ｚ方向に間隔をおいており、また同期して駆動される。
【００５１】
Ｚ移動ベース７２は、取り付けベース７０の箇所にＸ方向に間隔をおいてＺ方向へ平行に伸びる状態に取り付けられた一対のガイドレール８４と、各ガイドレール８４にＺ方向へ移動可能に嵌合されたガイド８６とにより、被検査体１２の搬送方向における上流側の箇所であって取り付けベース７０の箇所にＺ方向へ移動可能に組み付けられている。Ｚ移動ベース７２は、取り付けベース７０に対し、被検査体１２の搬送方向における上流側に位置されている。
【００５２】
Ｚ移動機構７４は、図示の例では、Ｚ方向に伸びる軸線の周りに回転可能に取り付けベース７０に取り付けられたボールスクリュー８８と、ボールスクリュー８８を回転させる回転機構９０と、ボールスクリュー８８に螺合されかつＺ移動ベース７２に取り付けられたボールナット９２とを備える。
【００５３】
そのようなＺ移動機構７４は、ボールスクリュー８８を回転機構９０により正転又は逆転させることにより、Ｚ移動ベース７２を取り付けベース７０に対し上下動させる。
【００５４】
支持部材７６は、Ｙ方向に延在する状態にＺ移動ベース７２に片持ち梁状に取り付けられている。吊り下げ軸７８は、被検査体１２の搬送方向における下流側の支持部材７６の端部をＺ方向に貫通して先端部を支持体４０に螺合されかつ支持部材７６の上方部の頭部を有する頭付きボルトである。
【００５５】
弾性体８０は、吊り下げ軸の周りにあって支持体４０と支持部材７６との間に配置された圧縮コイルばねである。このため、支持体４０は、取り付け装置２０に対し、常時下方に付勢されている。しかし、支持体４０は、吊り下げ軸７８の頭部が支持部材７６の上面に当接することにより、Ｚ移動ベース７２に対する下降を規制される。
【００５６】
図２及び図３に示すように、各駆動機構４６は、Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に取り付け装置２０のＺ移動ベース７２にブラケット９４を介して取り付けられたカム９６と、センサホルダ４２のＹ方向の側に被検査体１２から上方に間隔をおいてＹ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に取り付けられたカムフォロワ９８と、カム９６をＹ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる回転機構１００とを備える。
【００５７】
カム９６は、図９に示す例では、カムフォロワ９８の高さ位置がカム９６のほぼ一回転される間漸次増大し、カム９６が一回転されたことにより元の高さ位置に戻る、いわゆる線形カムである。しかし、偏心カムのような他のカムであってもよい。
【００５８】
各測長器２２は、図１０に示すように、光線１０２をセンサ部６６及び被検査体１２に向けて指向させ、センサ部６６の下面及び被検査体１２の上面からの反射光１０４及び１０６を受光し、受光した反射光１０４及び１０６を基に、被検査体１２とセンサ部６６との間隔を求め、求めた間隔に対応する電気信号を出力する。そのような測長器２２として、レーザ測長器を用いることができる。
【００５９】
両測長器２２は、光線を下方に指向させて、センサ部６６及び被検査体１２からの反射光を受光部に受光するように、Ｙ軸回転ベース５４にＸ方向に間隔をおいて取り付けられている。
【００６０】
検査装置１０においては、移動体４０が取り付け装置２０に対し弾性体８０により常時下方に付勢されているから、カムフォロワ９６はカム９６のカム面に上方の部位に押圧されている。
【００６１】
また、センサ４４がＹ軸回転ベース５４の長手方向の中央部において支持体４０に支持されており、カム９６及びガムフォロワ９８がＸ方向に間隔をおいた配置されているから、一方の駆動機構４６のみを作動させると、Ｙ軸回転ベース５４の一方が側の部位だけをＺ方向に変位される。その結果、被検査体１２とセンサ部６６との間隔のより迅速な調整及びより微細な調整が可能となる。しかし、Ｙ軸回転ベース５４をシーソーのように変位させてもよい。
【００６２】
図１１を参照するに、両測長器２２の出力信号を処理して、上記した機器を制御する制御処理装置１１０は、コンピュータ１１０と、コンピュータ１１２に対し電気信号の授受を行うＰＬＣ回路１１４とを含む。
【００６３】
両測長器２２の出力信号は、Ａ／Ｄコンバータ１１６において、アナログ信号からデジタル信号に変換されて、ＰＬＣ回路１１４に供給され、ＰＬＣ回路１１４からコンピュータ１１２に供給される。
【００６４】
回転機構９０の回転源として作用するモータは、コンピュータ１１２からＰＬＣ回路１１４を介して駆動信号を受けるモータドライバ１１８により駆動される。
【００６５】
各カム９６を回転させる回転機構１００の回転源として作用するモータは、コンピュータ１１２からＰＬＣ回路１１４を介して駆動信号を受けるモータドライバ１１６により駆動される。
【００６６】
ドライバ１１６，１１６，１１８は、対応する回転機構の回転源の角度的回転位置を表す回転位置信号を、ＰＬＣ回路１１４を介してコンピュータ１１２に出力する。
【００６７】
コンピュータ１１２は、Ａ／Ｄコンバータ１１４、モータドライバ１１６，１１６，１１８からの出力信号を基に、被検査体１２とセンサ部６６との間隔を算出して各回転源を制御する。
【００６８】
回転機構９０は、検査装置１０の保守点検作業の間、センサ装置１８を被検査体１２の搬送路から最も高い位置に移動させ、保守点検作業が終了すると、センサ装置１８を所定の高さ位置に戻す。これらは、作業開始指令、作業終了指令のような適宜な指令がコンピュータ１１２に入力されることにより、自動的に行われる。
【００６９】
各回転機構１００は、コンピュータ１１２のプログラムが間隔制御ルーチンになるたびに、自動的に行われる。しかし、被検査体１２とセンサ部６６との間隔制御は、作業者が間隔制御指令をコンピュータ１１２に入力することにより、行うようにしてもよい。
【００７０】
図１２，１３を参照して、コンピュータ１１２による間隔制御について説明する。
【００７１】
コンピュータ１１２による間隔制御のプロセスのフローチャートを図１２に示し、各回転機構１００による、被検査体１２からのセンサ部６６の間隔、すなわち距離（μｍ）と、制限位置（ＬＩＭＴ１Ｐ，２Ｐ，３Ｐ，１Ｍ，２Ｍ、３Ｍ）と、回転源であるモータの回転速度との関係を図１３に示す。
【００７２】
図１３において、原点位置は、センサ部６６がカム９６により最も高い位置（図１３に示す例では、２００μｍ）に変位されたときの位置である。制限位置（ＬＩＭＴ）の１，２及び３はモータの回転速度を示し、Ｐ及びＭは、それぞれ、正（広い）及び負（狭い）を示す。モータの回転速度は、１が最低速度、２が中速度、３が最大速度である。間隔はＡ／Ｄコンバータ１１４の出力信号の電圧値に比例する。
【００７３】
電源が投入されると、コンピュータ１１２は、既に記憶されている各種のパラメータを初期化し（ステップ２００）、センサ部６６を原点位置に戻すように回転源１００を回転させる（ステップ２０１）。
【００７４】
次いで、コンピュータ１１２は、ギャップ制御開始コマンドが発生されたか否かを判定する（ステップ２０２）。ギャップ制御開始コマンドが発生されないと、コンピュータ１１２はギャップ制御開始コマンドが発生されるまで待機する。
【００７５】
ギャップ制御開始コマンドが発生されると、コンピュータ１１２は、回転機構１００を僅かに駆動させ（ステップ２０３）、その動作が終了することを待つ（ステップ２０４）。
【００７６】
回転機構１００の僅かな駆動が終了すると、コンピュータ１１２は、Ｄ／Ａコンバータ１１４の電圧値を読み取り（ステップ２０５）、読み取った電圧値と、ＬＩＭＴ３に対応する電圧値との大小と極性（正負）とを判定する（ステップ２０６）。
【００７７】
電圧値がＬＩＭＴ３より大であると、コンピュータ１１２は、回転機構１００のモータを速度３で回転させる指令と、回転機構１００のモータを回転させる方向（正回転又は逆回転）を表す信号とを対応するモータドライバ１１６に出力する（ステップ２０７）。これにより、回転機構１００のモータが最大速度３で回転されて、センサ部６６が高速度で移動される。
【００７８】
しかし、電圧値がＬＩＭＴ３より小であると、コンピュータ１１２は、読み取った電圧値と、ＬＩＭＴ２に対応する電圧値との大小と極性（正負）とを判定する（ステップ２０８）。
【００７９】
電圧値がＬＩＭＴ２より大であると、コンピュータ１１２は、回転機構１００のモータを速度２で回転させる指令と、回転機構１００のモータを回転させる方向（正解点又は逆回転）を表す信号とを対応するモータドライバ１１６に出力する（ステップ２０９）。これにより、回転機構１００のモータが速度２で回転されて、センサ部６６が中速度で移動される。
【００８０】
しかし、電圧値がＬＩＭＴ２より小であると、コンピュータ１１２は、読み取った電圧値と、ＬＩＭＴ１に対応する電圧値との大小と極性（正負）とを判定する（ステップ２１０）。
【００８１】
電圧値がＬＩＭＴ１より大であると、コンピュータ１１２は、回転機構１００のモータを速度１で回転させる指令と、回転機構１００のモータを回転させる方向（正解点又は逆回転）を表す信号とを対応するモータドライバ１１６に出力する（ステップ２１０）。これにより、回転機構１００のモータが速度２で回転されて、センサ部６６が低速度で移動される。
【００８２】
しかし、電圧値がＬＩＭＴ２より小であると、コンピュータ１１２は、回転機構１００のモータを回転させる指令を出力することなく（ステップ１１２）、ギャップ制御開始コマンドの発生を待つステップ２に戻る。
【００８３】
上記のように制限位置ＬＩＭＴが１，２及び３のいずれの場合も、回転機構１００のモータは、制限位置ＬＩＭＴに対する電圧値の極性が、正（大）であると、正転（下降）されてセンサ部を下降させ、負（小）であると、逆転されてセンサ部６６を上昇させる。
【００８４】
検査装置１０によれば、Ｙ軸回転ベース５４をシーソーのように変位させることにより、センサ回路と被検査体間との間隔の差、特に被検査体１２に対するＸ方向におけるセンサ４４の傾きの度合を修正することができるし、両カム９６を同時に同方向へ回転させることにより、被検査体１２に対するセンサ４４の高さ位置を調整することができる。その結果、被検査体１２とセンサ回路との間隔のより迅速な及びより微細な調整が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
搬送装置１４は、上記実施例のように検査体１２を移動台３４に載せ、移動台３４を移動させる装置の以外に、例えば、圧縮空気の噴射により搬送する装置、特許文献２に記載のように被検査体のＸ方向における一端部と他端部とを複数の支持部材で支持しつつ搬送する装置、両者を組み合わせた装置等、他の装置を用いてもよい。
【００８６】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す斜視図。
【図２】図１に示す検査装置で用いるセンサ装置の近傍の一実施例を示す斜視図。
【図３】検査装置に対する被検査体の搬送方向の関係を示す図。
【図４】センサ装置近傍の一実施例を示す縦断面図。
【図５】センサ装置近傍の一実施例を示す平面図。
【図６】センサ装置と被検査体との関係を示す平面図。
【図７】センサ装置と被検査体との関係を示す正面図。
【図８】取り付け装置及び駆動機構の近傍の一実施例を示す斜視図。
【図９】カムの近傍の一実施例を示す図。
【図１０】測長器による測定の原理を示す図。
【図１１】制御処理装置の一実施例を示す電気回路のブロック図。
【図１２】間隔調整法の一実施例を示す図。
【図１３】制御処理装置の動作を説明するためのフローチャートを示す図。
【符号の説明】
【００８８】
１０  検査装置
１２  被検査体
１４  指示装置
１６  搬送装置
１８  センサ装置
２０  取り付け装置
２２  測長器
４０  支持体
４２  センサホルダ
４４  センサ
４６  駆動機構
５２  ホルダベース
５４  Ｙ軸回転ベース
５６  指示軸
６４  基板部
６６  センサ部
７０  取り付けベース
７２  Ｚ移動ベース
７４  Ｚ移動機構
７６  支持部材
７８  吊り下げ軸
８０  弾性体
９０  駆動機構
９４  ブラケット
９６  カム
９８  カムフォロワ
１００  制御処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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