(57)【要約】【課題】圧電素子の変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供することを目的とする。【解決手段】圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が、下記式（１）を充足する条件で圧電素子が駆動される構成とする。  Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）【選択図】図４
2010247404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられ前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、圧電体層と、該圧電体層の一方側に設けられる第１の電極と前記圧電体層の反対側に設けられる第２の電極とで構成されており、
前記圧電素子は、当該圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が下記式（１）を充足する条件で駆動されるものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
【請求項２】
前記最大電圧Ｖｍａｘが前記ピーク電圧Ｖ０よりも大きくなる範囲で、前記最小電圧Ｖｍｉｎが前記ピーク電圧Ｖ０よりも小さい値に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記圧電体層が、ペロブスカイト構造を有する材料からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧電体層が、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧電体層の結晶構造が菱面体晶系であることを特徴とする請求項３又は４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられ前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、圧電体層と、該圧電体層の一方側に設けられる第１の電極と前記圧電体層の反対側に設けられる第２の電極とで構成された液体噴射ヘッドと、
前記圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が下記式（１）を充足する条件で前記圧電素子を駆動する駆動手段と、を具備することを特徴とする液体噴射装置。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
【請求項７】
圧電体層と、該圧電体層の一方側に設けられる第１の電極と前記圧電体層の反対側に設けられる第２の電極とで構成される圧電素子を具備し、
前記圧電素子が、当該圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が下記式（１）を充足する条件で駆動されるものであることを特徴とするアクチュエーター。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の変位によりノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を具備するアクチュエーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、圧力発生手段によって圧力発生室内に圧力を発生させることで、インクからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドを構成する圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料からなる圧電体層を２つの電極で挟んだ圧電素子が挙げられ、この圧電素子を撓み変形させることで圧力発生室内に圧力を付与してノズルからインク滴を噴射させている。
【０００３】
そして、圧電素子に用いられる圧電体層の材料としては、例えば、ＰＺＴ等のペロブスカイト構造を有する材料が好適に用いられている。またこのような材料で形成されている場合、圧電体層は、主に菱面体晶系或いは正方晶系の結晶で構成されている。例えば、圧電体層に含まれるジルコニアとチタンとの組成Ｚｒ／Ｔｉを調整すると共に、その結晶を正方晶系としたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このように圧電体層の組成や結晶系等を調整することで、圧電体層の圧電特性を向上することができ、圧電素子の変位特性を向上することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１１９１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、圧電体層の組成や結晶系を調整するだけでは、圧電特性の向上には限界があり、圧電素子の変位特性を十分向上することができないという問題がある。また近年、圧電素子の変位特性のさらなる向上が望まれており、その要望を満たすことが難しくなってきている。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに用いられる圧電素子に限定されず、他の液滴を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる圧電素子においても存在し、さらには、液体噴射ヘッド以外のデバイスに用いられるアクチュエーターにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、圧電素子の変位特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられ前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、圧電体層と、該圧電体層の一方側に設けられる第１の電極と前記圧電体層の反対側に設けられる第２の電極とで構成されており、前記圧電素子は、当該圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が下記式（１）を充足する条件で駆動されるものであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
かかる本発明では、圧電素子の変位量の変化率が大きい電圧の範囲を利用して、圧電素子を効率的に変位させることができる。したがって、液滴の噴射特性を向上することができる。
【００１０】
ここで、前記最大電圧Ｖｍａｘが前記ピーク電圧Ｖ０よりも大きくなる範囲で、前記最小電圧Ｖｍｉｎが前記ピーク電圧Ｖ０よりも小さい値に設定されていることが好ましい。これにより、圧電素子をさらに効率的に変位させることができる。
【００１１】
また前記圧電体層が、ペロブスカイト構造を有する材料、例えば、前記圧電体層が、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成されていることが好ましい。特に、前記圧電体層の結晶構造が菱面体晶系であることが好ましい。これにより、所定電圧を印加した際の圧電体層の変位効率がさらに向上する。したがって、圧電素子をより効率的に変位させることができる。
【００１２】
また本発明は、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられ前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備し、該圧電素子が、圧電体層と、該圧電体層の一方側に設けられる第１の電極と前記圧電体層の反対側に設けられる第２の電極とで構成された液体噴射ヘッドと、前記圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が下記式（１）を充足する条件で前記圧電素子を駆動する駆動手段と、を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
かかる本発明では、圧電素子の変位量の変化率が大きい電圧の範囲を利用して、圧電素子を効率的に変位させることができる。したがって、液滴の噴射特性を向上することができる。
【００１３】
さらに本発明は、圧電体層と、該圧電体層の両側にそれぞれ設けられる第１の電極及び第２の電極とで構成される圧電素子を具備し、前記圧電素子が、当該圧電素子に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係が下記式（１）を充足する条件で駆動されるものであることを特徴とするアクチュエーターにある。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
かかる本発明では、圧電素子の変位量の変化率が大きい電圧の範囲を利用して、圧電素子を効率的に変位させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】圧電素子への印加電圧と変位との関係を示すグラフである。
【図４】圧電素子への印加電圧と変位の微分係数との関係を示すグラフである。
【図５】圧電素子に印加する最小電圧と変位幅との関係を示すグラフである。
【図６】一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向及び幅方向における平面図及び断面図である。
【００１６】
インクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板１０は、例えば、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、図１及び図２に示すように、複数の圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板のリザーバー部３２と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１００の一部を構成する。インク供給路１４は、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たし、本実施形態では、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されている。
【００１７】
また、流路形成基板１０の一方面側には、各圧力発生室１２に連通するノズル２１が列設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等によって接合されている。なお、ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。
【００１８】
一方、このような流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面には、酸化膜からなる弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、弾性膜５０とは異なる材料の酸化膜からなる絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１の電極６０と、圧電体層７０と、第２の電極８０とで構成される圧電素子３００が形成されている。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を複数の圧電素子３００に共通する共通電極とし、他方の電極を圧電体層７０と共に各圧力発生室１２に対向する領域にパターニングして個別電極としている。本実施形態では、第１の電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、第２の電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
【００１９】
なお、このような圧電素子３００と、圧電素子３００の駆動により変位が生じる部分である振動板とを合わせてアクチュエーターと称する。上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び第１の電極６０が振動板として作用するが、振動板の構成は、特に限定されず、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、第１の電極６０のみが振動板として機能するようにしてもよい。また、例えば、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２０】
ここで、圧電素子３００を構成する第１及び第２の電極６０，８０の材料は、特に限定されないが、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等が挙げられる。また圧電体層７０は、電気機械変換作用を示す圧電材料、例えば、ペロブスカイト構造を有し金属としてＺｒやＴｉを含む強誘電体材料、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等からなる。具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、チタン酸ジルコン酸バリウム（Ｂａ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）又はマグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３）等が挙げられる。
【００２１】
なお圧電体層７０の結晶構造は、菱面体晶系（rhombohedral）、正方晶系（tetragonal）、単斜晶系（monoclinic）の何れであってもよいが、菱面体晶系であることが好ましい。また圧電体層７０は、（１００）面、（１１０）面又は（１１１）面の何れに優先配向していてもよいが、（１００）面に優先配向したものであることが好ましい。
【００２２】
これは、分極モーメントの方向が、印加する電界方向に対して一定の角度傾いているときに圧電変位量が極大になるという、エンジニアードドメイン構造に対応しているからである。つまり、圧電素子３００に所定電圧を印加し圧電体層７０を変形させると、菱面体晶系の結晶が正方晶系の結晶に相転移しその際に、圧電変位量が極大になる。したがって、このような結晶構造を有する圧電体層７０は変位特性に優れ、後述するように所定電圧を印加することで極めて大きな変位量を得ることができる。
【００２３】
ちなみに「優先配向」とは、結晶の配向方向が無秩序ではなく、特定の結晶面がほぼ一定の方向に向いている状態をいう。例えば、「（１００）面に優先配向する」とは、Ｘ線回折広角法によって圧電体層を測定した際に生じる（１００）面、（１１０）面及び（１１１）面の回折強度の比率（１００）／（（１００）＋（１１０）＋（１１１））が０．５より大きいことを意味する。
【００２４】
また圧電体層７０を（１００）面又は（１１０）面に優先配向させるには、第１の電極６０の下や上に所定の結晶配向を有する配向制御層を設けることや、第１の電極６０上にその配向を無効にするチタンなどを設け、圧電体層７０を形成する際の熱処理温度等を調整することで形成できる。また、（１１１）面に優先配向した圧電体層７０は、例えば、（１１１）面に優先配向する第１の電極６０上に直接形成することで、第１の電極６０の結晶性を踏襲したエピタキシャル成長による（１１１）面に優先配向した圧電体層７０を形成することができる。
【００２５】
なお、圧電体層７０は、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ（Metal-Organic Decomposition）法、スパッタリング法又はレーザーアブレーション法等のＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法等で形成することができる。
【００２６】
また圧電素子３００の個別電極である各第２の電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５５上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００２７】
圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００を保護するための空間である圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。また、保護基板３０には、リザーバー部３２が設けられており、このリザーバー部３２は、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成している。また保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられており、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、この貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００２８】
保護基板３０上には、圧電素子３００を駆動するための駆動手段としての駆動回路１２０が固定されており、この駆動回路１２０とリード電極９０とが、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。また保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってリザーバー部３２の一方面が封止されている。固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のリザーバー１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっており、リザーバー１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２９】
上記のような構成の本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、外部のインク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバー１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電素子３００に電圧を印加してたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル２１からインク滴が噴射される。
【００３０】
そして、このようなインクジェット式記録ヘッドに搭載される本発明の圧電素子３００は、以下に説明するように、駆動の際に圧電素子３００に印加される最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘが、下記式（１）を充足する条件で駆動されるものとなっている。すなわち、駆動手段としての駆動回路１２０によって圧電素子３００に印加される電圧（最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘ）が下記式（１）の関係を充足するように設定されている。
Ｖｍｉｎ＜Ｖ０＜Ｖｍａｘ・・・（１）
（上記式（１）中、ピーク電圧Ｖ０とは、変位−電圧曲線から求められる変位の電圧による一次微分係数が最大値となる電圧値である。）
【００３１】
具体的に説明すると、圧電素子３００の変位量は、図３に示すように、圧電素子３００に印加する電圧の上昇に伴って増加する傾向を示す。このグラフから分かるように、圧電素子３００に印加する電圧に対する変位量の変化率（傾き）は、一定ではなく逐次変化している。そして、この図３のグラフの結果に基づいて、変位量の一次微分係数（変化率）を求めると、図４に示すような結果となる。すなわち、圧電素子３００の変化量の一次微分係数（変化率）は、図４に示すように、圧電素子３００に印加する電圧の上昇に伴って、ピーク電圧Ｖ０となるまで急激に上昇し、その後減少する。
【００３２】
そこで本発明では、圧電素子３００に印加される最小電圧Ｖｍｉｎをこのピーク電圧Ｖ０よりも小さい値に設定し、圧電素子３００に印加される最大電圧Ｖｍａｘをピーク電圧Ｖ０よりも大きい値に設定するようにした。つまり圧電素子３００に印加される電圧が上記式（１）の関係を充足するようにした。これにより、圧電素子３００の変位量の変化率が大きい電圧の範囲を利用して、圧電素子３００を効率的に変位させることができる。したがって、インク滴の噴射特性を向上することができる。
【００３３】
またこのように圧電素子３００を効率的に変位させることができることで、例えば、各ヘッド間で圧電素子３００の圧電特性にバラツキがあり印加する電圧を調整する必要が生じた場合でも、電圧を微調整することで圧電素子３００の変位量を容易に均一化することができる。
【００３４】
さらに、圧電素子３００に印加する最小電圧Ｖｍｉｎと最大電圧Ｖｍａｘとの電圧差（Ｖｍａｘ−Ｖｍｉｎ）を一定値（例えば、２０Ｖ，２５Ｖ）として圧電素子３００に最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘを印加し、そのときの変位量の差（変位幅）を測定した結果を図５に示す。図５に示すように、上記電圧差が一定である場合、電圧差が２０Ｖ，２５Ｖであるに拘わらず、変位幅は、基本的に最小電圧Ｖｍｉｎが小さいほど大きく最小電圧Ｖｍｉｎが大きくなるにつれて小さくなるという傾向を示す。
【００３５】
このため、圧電素子３００に印加する最小電圧Ｖｍｉｎと最大電圧Ｖｍａｘとの電圧差を所定値とする場合、この電圧差の中間値がピーク電圧Ｖ０よりも小さいことが好ましく、より好ましくは、最大電圧Ｖｍａｘがピーク電圧Ｖ０よりも大きくなる範囲で、最小電圧Ｖｍｉｎをピーク電圧Ｖ０よりも小さい値に設定する。これにより、圧電素子３００をさらに効率的に変位させることができる。
【００３６】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、勿論、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。上述の実施形態では、圧電素子３００を、印加する最小電圧Ｖｍｉｎ及び最大電圧Ｖｍａｘとピーク電圧Ｖ０との関係で規定したが、例えば、圧電素子３００に印加する電界強度の最小値（最小電界強度Ｅｍｉｎ）及び電界強度の最大値（最大電界強度Ｅｍａｘ）とピーク電界強度Ｅ０との関係で規定するようにしてもよい。なおピーク電界強度Ｅ０とは、歪み−電界強度曲線から求められる歪みの電界強度による一次微分係数が最大値となる電界強度値である。
【００３７】
すなわち、圧電素子３００が、圧電素子３００に印加される最小電界強度Ｅｍｉｎ及び最大電界強度Ｅｍａｘが下記式（２）を充足する条件で、駆動されるようにしてもよい。
Ｅｍｉｎ＜Ｅ０＜Ｅｍａｘ・・・（２）
【００３８】
歪み−電界強度曲線は、変位−電圧曲線に実質的に一致する。したがって、圧電素子３００に印加する電界強度の最小値（最小電界強度Ｅｍｉｎ）及び電界強度の最大値（最大電界強度Ｅｍａｘ）とピーク電界強度Ｅ０との関係も、最小電圧Ｅｍｉｎ及び最大電圧Ｅｍａｘとピーク電圧Ｖ０の関係と実質的に一致する。このため、圧電素子３００に印加する最小電界強度Ｅｍｉｎ及び最大電界強度Ｅｍａｘとピーク電界強度Ｅ０とが上記式（２）の関係を充足していることで、上述した実施形態の場合と同様に、圧電素子３００の変位量の変化率が大きい電界強度の範囲を利用して、圧電素子３００を効率的に変位させることができる。
【００３９】
なお上述したインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４０】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４１】
そして、上述の実施形態では、駆動手段としての駆動回路１２０がインクジェット式記録ヘッドに搭載された構成を例示したが、勿論、駆動手段は、記録装置側に設けられていてもよい。
【００４２】
さらに、上述した実施形態では、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録ヘッド及び液体噴射装置を挙げて本発明を説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００４３】
なお、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドだけでなく、他の装置に搭載されるアクチュエーターにも適用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ４０  コンプライアンス基板、  ４１  封止膜、  ４２  固定板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  第１の電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２の電極、  ９０  リード電極、  ３００  圧電素子
【図１】
2010247404.tif 000003
【図２】
2010247404.tif 000004
【図３】
2010247404.tif 000005
【図４】
2010247404.tif 000006
【図５】
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【図６】
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