(57)【要約】      （修正有）【課題】堅牢な構造を維持しつつ、推力を適切に高めることができるようにしたリニアモータを提供する。【解決手段】所定の経路に沿って敷設される経路構造体１と、この経路構造体１に沿って設けられる二次側磁界発生部材２と、経路構造体１に移動可能に支持される移動体３と、二次側磁界発生部材２と移動体３の脚部３２との間に配置され経路と直交する方向のギャップＧを介して二次側磁界発生部材２に相対した状態で移動体３とともに移動可能な一次側磁界発生部材４とを備え、両磁界発生部材２，４の間に生じる磁気的作用によって移動体３に推力を得るように構成するにあたり、一次側磁界発生部材４と移動体３の脚部３２との対向部間に、一次側磁界発生部材４のギャップＧ方向に沿った変位を規制するネジ機構５を設けることとした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の経路に沿って敷設される経路構造体と、この経路構造体に沿って設けられる二次側磁界発生部材と、前記経路構造体に移動可能に支持される移動体と、前記二次側磁界発生部材と前記移動体の一部との間に配置され前記経路と直交する方向のギャップを介して前記二次側磁界発生部材に相対した状態で前記移動体とともに移動可能な一次側磁界発生部材とを具備し、両磁界発生部材の間に生じる磁気的作用によって前記移動体に推力を付与するものにおいて、
前記一次側磁界発生部材と前記移動体の一部とのギャップ方向の対向部間に、当該一次側磁界発生部材のギャップ方向に沿った変位を規制する規制部を設けてなることを特徴とするリニアモータシステム。
【請求項２】
前記規制部が、前記移動体の一部に支持された状態で前記一次側磁界発生部材を前記移動体側に引き寄せるネジ機構である請求項１記載のリニアモータシステム。
【請求項３】
前記ネジ機構が、前記移動体の一部に螺合させて内方端を所定位置に位置づけられる第１のネジ要素と、この第１のネジ要素に回転可能かつ軸方向移動不能に設けられ先端を前記一次側磁界発生部材に螺合させて当該一次側磁界発生部材を前記移動体の内方端に突き当たる位置まで引き寄せ得るようにした第２のネジ要素とを備えてなるレベル調整ネジである請求項２記載のリニアモータシステム。
【請求項４】
前記規制部が、前記一次側磁界発生部材と前記移動体の一部との対向部間に形成される凹凸係合部である請求項１記載のリニアモータシステム。
【請求項５】
前記一次側磁界発生部材は更に、前記経路方向及び前記ギャップ方向の双方に対して直交する方向に沿って当該一次側磁界発生部材を前記移動体の他の一部に引き寄せ可能な補助ネジ機構に支持されている請求項１〜４何れかに記載のリニアモータシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体を所定の経路に沿って移動させるリニアモータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のリニアモータは、特許文献１の図３等に示されるように、同図中、紙面垂直方向に敷設される経路構造体である軌道レールと、この軌道レールに沿って設けられる二次側磁界発生部材と、軌道レールに脚部を介して移動可能に支持される移動体と、前記二次側磁界発生部材にギャップを介して相対させた状態で前記移動体とともにギャップと直交する前記経路方向に移動可能な一次側磁界発生部材とを具備し、両磁界発生部材の間に構成される磁界発生機構の磁気的作用によって、移動体に経路方向の推力を付与するように構成されている。
【０００３】
一次側磁界発生部材は、一端を移動体の平板部にネジ止めされ、他端側を垂下させて、二次側磁界発生部材と対向する位置に配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３１５２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、この種のリニアモータに関し、コンパクト化を図りつつ磁気的作用を高めるために、近時、図９（ａ）に示すように、軌道レール１１と直交する方向に沿って二次側磁界発生部材２及び一次側磁界発生部材４の高さ寸法Ｌ２、Ｌ４を長寸にして、二次側磁界発生部材２と一次側磁界発生部材４との対向面積を確保するようにしたものが考えられている。
【０００６】
ところが、このように構成すると、磁力が発生した際、磁気的作用によって可動子４が二次側磁界発生部材２により強く吸引され、その際に一次側磁界発生部材４がネジＶによって片持ち的に支持されていると、当該一次側磁界発生部材４に生じる倒れモーメントによって同図（ｂ）に示すように二次側磁界発生部材２との間のギャップＧが狂い易くなるばかりか、ネジＶが引っ張りと曲げによって破断し易く、磁界発生機構全体の故障につながり易いという問題が生じる。
【０００７】
また、二次側磁界発生部材２に対して上方から一次側磁界発生部材４を固定する構造においては、取付位置が決まってしまうので、ギャップ調整も困難なものとなる。
【０００８】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、堅牢な構造を保ちつつ推力を適切に高めることができ、推力調整も容易に行い得るようにした、新たな構造に基づくリニアモータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【００１０】
すなわち、本発明のリニアモータは、所定の経路に沿って敷設される経路構造体と、この経路構造体に沿って設けられる二次側磁界発生部材と、前記経路構造体に移動可能に支持される移動体と、前記二次側磁界発生部材と前記移動体の一部との間に配置され前記経路と直交する方向のギャップを介して前記二次側磁界発生部材に相対した状態で前記移動体とともに移動可能な一次側磁界発生部材とを具備し、両磁界発生部材の間に生じる磁気的作用によって前記移動体に推力を付与するものにおいて、前記一次側磁界発生部材と前記移動体の一部とのギャップ方向の対向部間に、当該一次側磁界発生部材のギャップ方向に沿った変位を規制する規制部を設けてなることを特徴とする。
【００１１】
このように構成すると、一次側磁界発生部材が磁気吸引力で二次側磁界発生部材に吸い寄せられようとしても、規制部を介して一次側磁界発生部材の変位が効果的に規制される。そして、この規制部は、一次側磁界発生部材と移動体の一部との対向部間にギャップ方向に設けられるため、一次側磁界発生部材に倒れモーメントを生じさせることがなく、上記ギャップを維持するために必要な取付強度を有効に実現することができる。
【００１２】
規制部は、完全な固着構造であってもよいが、簡易に採用できて適切な効果を得るためには、前記移動体の一部に支持された状態で前記一次側磁界発生部材を前記移動体側に引き寄せるネジ機構であることが好適である。
【００１３】
ネジ機構にギャップ調整機能を兼ねさせるためには、前記ネジ機構が、前記移動体の一部に螺合させて内方端を所定位置に位置づけられる第１のネジ要素と、この第１のネジ要素に回転可能かつ軸方向移動不能に設けられ先端を前記一次側磁界発生部材に螺合させて当該一次側磁界発生部材を前記移動体の内方端に突き当たる位置まで引き寄せ得るようにした第２のネジ要素とを備えてなるレベル調整ネジであることが特に望ましい。
【００１４】
一次側磁界発生部材を取付容易にしつつ磁気回路への影響を同時に排除するためには、前記規制部が、前記一次側磁界発生部材と前記移動体の一部との対向部間に形成される凹凸係合部であることが好ましい。
【００１５】
以上において、取付強度を補助するために、前記一次側磁界発生部材が更に、前記経路方向及び前記ギャップ方向の双方に対して直交する方向に沿って当該一次側磁界発生部材を前記移動体の他の一部に引き寄せ可能な補助ネジ機構に支持されている態様も有効となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、以上説明したように、一次側磁界発生部材のギャップ方向の変位を規制する規制部を、一次側磁界発生部材と移動体の一部とのギャップ方向の対向部間に設けたので、一次側磁界発生部材の堅牢な取付構造の下に、二次側磁界発生部材との間に所定のギャップを維持して、リニアモータとしての所期の性能、信頼性および耐久性を有効に向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態の要部を模式的に示す正面図。
【図２】同平断面図。
【図３】同実施例の変形例を示す図。
【図４】本発明の他の実施形態を示す図。
【図５】図４の変形例を示す図。
【図６】本発明の更に他の実施形態を示す図。
【図７】本発明の上記以外の実施形態を示す図。
【図８】本発明の更に上記以外の実施形態を示す図。
【図９】従来の不具合を説明するための模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は紙面に垂直な方向（Ｘ方向）を作動方向とするリニアモータの要部を模式的に示す正面図であり、図２は図１に対応した模式的な平断面図である。
【００２０】
これらの図に示されるように、この実施形態のリニアモータは、経路構造体１と、この経路構造体１に設けた二次側磁界発生部材２と、前記経路構造体１に移動可能に支持される移動体３と、この移動体３とともに移動可能な一次側磁界発生部材４とを具備している。
【００２１】
経路構造体１は、ベース１０上に軌道レール１１を敷設したもので、この軌道レール１１の延伸方向を経路方向（Ｘ方向）としている。
【００２２】
二次側磁界発生部材２は、前記ベース１０上に固定状態で立設した磁性材製の固定子（二次側コア）２１を主体とするもので、この固定子２１は軌道レール１１に平行に延伸して、同延伸方向に沿って側面に所定ピッチで歯部２１ａが形成されている。
【００２３】
移動体３は、平板状の本体部３１の端部に脚部３２を垂設したもので、脚部３２の先端部３２ｂを軌道レール１１に移動可能に支持させており、これら先端部３２ｂと軌道レール１１とによってリニアガイドを構成している。前記本体部３１はベース１０に対向した状態にある。
【００２４】
一次側磁界発生部材４は、積層鉄心構造である可動子４１（一次側コア）を主体とし、この可動子４１の内側に永久磁石４２を埋設して磁極４ａ、４ｂの歯となる部分を構成したもので、これらの磁極４ａ、４ｂにコイル４３が巻回されている。
【００２５】
この一次側磁界発生部材４は、前記二次側磁界発生部材２と前記移動体３の一部である脚部３２との間に配置され、前記経路方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）のギャップＧを介して磁極４ａ、４ｂの歯を前記固定子２１の歯２１ａに相対させ、磁気回路Ｃを構成するようにしている。図は磁気回路相数として二相を例示しているが、他に三相式、四相式など適宜のものが利用可能である。コイル４３には駆動パルスが入力されるが、その駆動方式も、磁気回路相数に応じて、一相励磁、二相励磁、または一・二相励磁が適宜採用可能である。勿論、三相交流等の交流を採用することもできる。本実施形態の磁気回路Ｃは、永久磁石４２を含んで構成され、いわゆるＰＭ形リニアモータと称されるものである。
【００２６】
作動原理は一般に知られているため詳細は省略するが、駆動パルスの入力により、図２に矢印で示すようにギャップＧに磁束Ｈが供給されると、磁極４ａ、４ｂが固定子２１に吸引されて磁気的に安定する方向へ可動子４１を引き付ける。このような磁気的作用が各相でピッチをずらして順次生起することにより、移動体４１は経路方向（Ｘ方向）に持続的に推力を得て推進する。
【００２７】
以上の構成において、本実施形態は、ギャップ方向（Ｙ方向）の対向部間、すなわち、可動子４１の裏面４１ａと移動体３の一部である前記脚部３２の内面３２ａとの対向部間に、当該一次側磁界発生部材４がギャップ方向（Ｙ方向）に変位することを規制する規制部たるネジ機構５を設けている。
【００２８】
このネジ機構５は、脚部３２の肉厚方向に設けた貫通孔５１にネジ５２を挿入し、そのネジ５２の貫通端を可動子４１の裏面のネジ孔５３に螺合させることによって、可動子４１を脚部３２に密着する方向に引き寄せて固定するようにしたものである。
【００２９】
加えてこの実施形態は、前記経路方向（Ｘ方向）及び前記ギャップ方向（Ｙ方向）の双方に直交する方向（Ｚ方向）に沿って当該可動子４を移動体３の他の一部である本体部３１に引き寄せるための補助ネジ機構６を採用している。この補助ネジ機構６は、移動体３の本体部３１に設けた貫通孔６１にネジ６２を挿入して、そのネジ６２を、可動子４１に貫通させて設けたネジ孔６３に螺合させることによって、可動子４を本体部３１に密着する方向に引き寄せて固定するようにしたものである。補助ネジ機構６のネジ６２やネジ孔６３は、規制部である前記ネジ機構５のネジ５２やネジ孔５３に対してＸ方向に変位させてあり、ねじれの位置関係にある。
【００３０】
すなわち、この実施形態は、ネジ機構５によるギャップ方向（Ｙ方向）の締結力を利用した一次側磁界発生部材４の固定構造を、補助ネジ機構６によるギャップと直交する方向（Ｚ方向）の締結力を利用した固定構造によって補完するものであり、ネジ機構５の締結位置は、一次側磁界発生部材４に生じる倒れモーメントの大きい箇所を支持すべく、脚部３２の先端部３２ｂ側、すなわち補助ネジ機構６による取付端とは反対側の端部近傍に設定されている。これによりネジ５２、６２同士が離反して、互いの干渉回避にも奏功する。
【００３１】
なお、前述した磁束Ｈは、図２に矢印で示すように、可動子４に設けられた一方の磁極４ａの歯からギャップＧを介して固定子２１の歯２１ａに入り、固定子２１の他の歯２１ａからギャップＧを介して可動子４１に設けられた他方の磁極４ｂの歯より入って、可動子４１の内部に磁路を結ぶ。このため、不用意な部位にねじ孔５３，６３を設けてネジ５２，６２を差し込むと、磁気回路Ｃが狭められ、推力特性に悪影響を及ぼす。
【００３２】
これに対して、本実施形態は、磁路が磁極４ａ、４ｂ間にループを形成する位置に結ばれることに鑑みて、ネジ５２を磁気回路Ｃの背面側から差し込むようにしているので、磁気回路Ｃを極力遮らない構造が実現可能となっている。また、ネジ５２、６２やネジ孔５３，６３をＸ方向に沿って磁気回路Ｃの外側に位置づけている点も、磁気回路Ｃを遮らないための構造である。ネジ５２、６２同士、ネジ孔５３，６３同士は、ねじれの位置関係にあるため、同時に使用しても互いの干渉が有効に回避される構造となっている。
【００３３】
なお、ネジ６２を可動子４１に貫通させて設けたネジ孔６３に螺合させる態様は、ネジ孔６３を単にネジ６２を通過させる貫通孔として、その貫通端を図中想像線で示すナット等のねじ孔６３ｚに螺着するようにしてもよい。
【００３４】
以上のように、一次側磁界発生部材４と移動体３の一部である脚部３２とのギャップ方向（Ｙ方向）の対向部間（背面４１ａ−内面３２ａ間）に設けたネジ機構５が、一次側磁界発生部材４のギャップ方向（Ｙ方向）の変位を規制するので、一次側磁界発生部材４が磁気吸引力で二次側磁界発生部材２に吸い寄せられることを規制して、二次側磁界発生部材２との間に適正なギャップＧを維持することができる。しかも、ネジ機構５は、一次側磁界発生部材４と移動体３の脚部３２との対向部間にギャップ方向に設けられるため、一次側磁界発生部材４に倒れモーメントを生じることがなく、上記ギャップＧを維持するために必要な取付強度を有効に維持して、リニアモータとしての所期の推力性能を担保しつつ、その信頼性、耐久性を有効に向上させることが可能となる。
【００３５】
具体的には、規制部に上述したネジ機構５を採用することにより、構造簡素であるにも拘わらず移動体３の一部である脚部３２を足場にして一次側磁界発生部材４を脚部３側に有効に引き寄せて固定することができる。そして、一次側磁界発生部材４を構成する可動子４１の裏面４１ａに近いほど磁束Ｈが通らない部位が増えるため、リニアモータ全体への悪影響を排除しつつ一次側磁界発生部材４を脚部３に有効に固定することができる。さらに、裏面４１ａを脚部３２に密着させれば放熱性を高めることができ、高出力であっても安定して確実な動作を期待することができるとともに、ギャップ方向（Ｙ方向）に沿ってネジ５２を使用するため、引っ張りや曲げの力を受けにくく、ネジ５２ひいては機構全体を早期の破損から有効に保護することが可能となる。
【００３６】
また、一次側磁界発生部材４は更に、経路方向（Ｘ方向）及びギャップ方向（Ｙ方向）の双方に対して直交する方向（Ｚ方向）に沿って当該一次側磁界発生部材４を移動体３の他の一部である本体部３１に引き寄せ可能な補助ネジ機構６にも支持されているため、前記ネジ機構５とともに２方向から可動子４の取付強度を有効に高めることができる。
【００３７】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【００３８】
例えば、図１及び図２は二次側磁界発生部材２と一次側磁界発生部材４との相対関係、一次側磁界発生部材４と移動体３及び軌道レール１１との相対関係を示すだけで、図示しない部位を特に限定しないものであるが、図３に示すような具体的な構造を採用することが有効となる。同図のものは、移動体３の端部に設けた一対の脚部３２の先端３２ｂを経路構造体１の各々対応する一対の軌道レール１１に支持させて、両軌道レール１１，１１の中間位置に二次側磁界発生部材２を配置するとともに、移動体３の一部である各脚部３２に上記と同様にして一次側磁界発生部材４を取り付け、これらの一次側磁界発生部材３２を上記の二次側磁界発生部材２の両側にギャップＧを介して挟み込むように相対させたものである。図３において、図１と共通する部分には同一符号を付して説明を省略している。
【００３９】
これにより、構造簡素ながら共通の二次側磁界発生部材２及びその両側に設けた一次側磁界発生部材４によって大きな推力を得ることができ、その推力を左右の一次側磁界発生部材４で分担することで、一次側磁界発生部材４と脚部３２との間に作用する負荷を２箇所で分担、半減させて、より安定した取付状態を得ることができる。
【００４０】
勿論、図１〜図３においてネジ機構５のみによって一次側磁界発生部材４を移動体３の脚部３２に的確に固定できる場合には、図４（ａ）に示すように規制部たるネジ機構５のみを採用し、上記の補助ネジ機構６を不要にして、装置構成をより簡素化するとともに、図２に示した磁路を狭める要因を減らして、取付自由度の向上と性能確保との両立を図ることができる。勿論、補助ネジ機構６を不要にすると、ギャップ方向（Ｙ方向）への締付位置の制約がなくなり、一次側磁界発生部材４はＹ方向に可変となるため、例えば同図（ｂ）に示すように板状のスペーサＳを一次側磁界発生部材４の裏面４１ａと移動体３の一部である脚部３２の内面３２ａとの間に介在させるなどして、所期の性能を得るためのギャップＧの調整を容易にすることができる。この場合、脚部３２の内面３２ａから固定子２１の側面２１ｂまでの距離ｄ１、および、可動子４１の内面４１ｂから当該可動子４１の裏面４１ａまでの寸法ｄ２が予め明らかであれば、スペーサ４１ａの設定のみでギャップＧの調整を的確に行うことができるので、ギャップ調整作業を外側からの段取りのみで容易に行うことができるようになる。図４のネジ機構５は紙面に垂直なＸ方向へ変位した位置においても存在し、Ｚ方向に同じ高さで固定される態様のほか、ネジ機構５に対しＸ方向とＺ方向へ同時に変位させて同図中想像線で示すようにネジ機構５０を設けるようにしてもよい。このようにすれば、モーメントに対して取付構造が強くなり、さらにギャップ面との平行度も出し易くなるため、より高精度で安定した作動を期待することができるようになる。
【００４１】
また、規制部たるネジ機構として、図５に示すようにスペーサを兼ねたレベル調整ネジ７を用いることも有効である。このレベル調整ネジ７は、第１のネジ要素７１を移動体３の一部である脚部３２に螺合させて内方端７１ａを所定位置に位置づけ、この第１のネジ要素７１に回転可能かつ軸方向移動不能に設けた第２のネジ要素７２を一次側磁界発生部材４に螺合させて、当該一次側磁界発生部材４の背面４１ａを前記内方端７１ａに突き当たる位置まで引き寄せ得るように構成される。
【００４２】
このようなレベル調整ネジ７を利用すれば、第１のネジ要素７１でギャップ調整を行い、第２のネジ要素７２で一次側磁界発生部材４を脚部３２に的確に固定することができるので、一次側磁界発生部材４に対する変位規制機能と両磁界発生部材２，４間のギャップ調整機能とを合理的に実現する構成が可能となる。
【００４３】
さらに、規制部として、図６（ａ）に示すように、一次側磁界発生部材４又は移動体３の一部たとえば脚部３２のうち、一方の対向壁に形成される凸部８１と他方の対向壁に形成される凹部８２とからなる凹凸係合部８を採用することもできる。このような凹凸係合部８であれば、脚部３２に対してギャップ方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｚ方向）から一次側磁界発生部材４を脚部３２に同図中矢印に沿って差し込むだけで構成できるため、取付作業の簡素化が図れ、磁路を妨げる要因も排除することができる。
【００４４】
この場合、脚部３２の差込部分にはクリアランスが存するため、図６（ｂ）に示すように、移動体の一部である脚部３２側から適宜の手段によって凹凸係合部８をギャップ方向（Ｙ方向）に押し付けることで、図１に示したギャップＧを適正に保つことができる。
【００４５】
さらに、図６（ｃ）に示すように、移動体の一部である脚部３２側において上方から落とし込んだ一次側磁界発生部材４を受ける位置に底壁３３を設けてもよく、或いは、一次側磁界発生部材４が両端を同図（ａ）及び（ｂ）の凹凸係合部８で支持された際に吸引力によって中央が膨出することを防ぐために、上記底壁３３などを利用して、一次側磁界発生部材４と移動体３の脚部３２との間に、当該一次側磁界発生部材４の端部から中央部までを脚部３２に係合させる凸部９１及び凹部９２からなる凹凸係合部９を構成することも有効となる。
【００４６】
さらにまた、ネジ機構や補助ネジ機構を端板を利用して固定する構造も実施可能である。例えば、図７（ａ）にように、コイル１４３の巻回された積層構造の可動子１４１の同積層方向端部に、積層状態を安定させるための端板１６３ｚが設けられる場合があり、この端板１６３ｚは塊状をなすため、当該端板１６３ｚにネジ孔を設ければ補助ネジ機構１０６のネジ１６２を適切に固定することができる。同図のものは、可動子１４１の下側に端板１６３ｚを設け、この端板１６３ｚと移動体１０３の下向面との間に可動子１４１を挟持するように取り付けた構造である。また、図７（ｂ）に示すように、可動子１４１の上側にネジ孔を有する端板１６３ｚ´を設け、この端板１６３ｚ´に補助ネジ機構１０６のネジ１６２を螺着するようにしてもよい。勿論、端板１６３ｚ´に別異のネジ孔を設けて本発明の規制部であるネジ機構１０５を構成するネジ１５２を端板１６３ｚ´に固定することも可能である。同図のものは、可動子１４１の下側にも端板１６３ｚが設けてある。さらに、図７（ａ）においても、ネジ１５２の位置を下げれば、本発明の規制部であるネジ機構１０５を端板１６３ｚとの間に適用することが可能である。
【００４７】
なお、図中符号１３２ａで示すものは移動体１０３の一部として当該移動体１０３の頂部から垂下させた取付片であり、この取付片１３２ａは一次側磁界発生部材１０４との対向部間に当該一次側磁界発生部材１０４のギャップ方向に沿った変位を規制する規制部たるネジ機構１０５を構成するためのものである。これに対して、図中符号１３２ｂに示すものは脚部であり、この脚部１３２ｂは移動体１０３を経路構造体に移動可能に支持させるためのものである。このように、本発明に言う「移動体の一部」は脚部に限定されるものではない。同様に、本発明に言う「移動体の他の一部」も本体部である必要はない。
【００４８】
図８はその一例を示すもので、所定の経路に沿って敷設される経路構造体３０１と、この経路構造体３０１に沿って設けられる二次側磁界発生部材３０２と、前記経路構造体３０１に移動可能に支持される移動体３０３と、前記二次側磁界発生部材３０２と前記移動体３０１の一部である本体部（頂壁部）３３１との間に配置され前記経路と直交する方向のギャップＧｘを介して前記二次側磁界発生部材３０２に相対した状態で前記移動体３０３とともに移動可能な一次側磁界発生部材３０４とを具備し、両磁界発生部材３０２，３０４の間に生じる磁気的作用によって前記移動体３０３に推力を付与するものである。このようなものにおいて、前記一次側磁界発生部材３０４と前記移動体３０３の一部である本体部３３１とのギャップＧｘ方向の対向部間に、当該一次側磁界発生部材３０４のギャップ方向に沿った変位を規制する規制部３０５を設ければ、上記に準じた作用効果を奏することができる。勿論、この規制部３０５は、ネジ機構以外にレベル調整ネジ、凹凸係合部等を用いたものであっても構わず、直交方向に更に補助ネジ機構を採用することもできる。
【００４９】
さらにまた、図７（ｃ）に例示するように、規制部２０５を構成するネジ２５２の脚部２３２や可動子２４１への適用場所は何処であっても構わない。
【００５０】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１…経路構造体
【００５２】
２…二次側磁界発生部材
【００５３】
３…移動体
【００５４】
４…一次側磁界発生部材
【００５５】
５…規制部（ネジ機構）
【００５６】
６…補助ネジ機構
【００５７】
７…規制部（ネジ機構）
【００５８】
８，９…凹凸係合部
【００５９】
３２…脚部
【００６０】
７１…第１のネジ要素
【００６１】
７１ａ…内方端
【００６２】
７２…第２のネジ要素
【００６３】
Ｇ…ギャップ
【図１】
2010226834.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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