(57)【要約】【課題】液滴を着弾させることなく着弾位置を補正できる再現性のよい、または、簡単な機構で着弾位置を補正ができる、あるいは、安価な機構で着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することである。【解決手段】本発明は、処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを具備するヘッドの特定の箇所を撮像し、交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のノズル部の前記特定箇所との前記撮像結果に基づいて、前記両箇所の位置ズレを補正することを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを具備するヘッドを有する塗布装置において、
前記ヘッドの特定の箇所を撮像する手段と、交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のヘッドの前記特定箇所との撮像結果に基づいて、前記両箇所の位置ズレを補正する手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記特定箇所は特定の前記ノズルの吐出口であること特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記特定箇所は前記ヘッドに設けられた複数のマークであることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記撮像する手段は、必要な分解能で前記特定箇所の画像を捉える高倍率レンズとカメラを有することを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記ヘッドを複数有し、前記位置ずれを補正したヘッドに基づいて他のヘッドの位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項６】
交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のヘッドの前記特定箇所とはそれぞれ複数あり、前記複数の特定箇所の撮像結果に基づいて、前記交換後の複数あるヘッドの全体の姿勢を調整することを特徴とする請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記機能液は、液晶基板のブラックマトリクスに分散されるスペーサ粒子分散液であることを特徴とする請求項１乃至６に記載の塗布装置。
【請求項８】
処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを具備するノズル部を有する機能液供給ヘッド部を調整する機能液供給ヘッド交換装置において、
前記ノズル部に設けられ、前記ノズルの配列方向に直線上に配列された複数の特定の箇所を撮像する手段と、前記撮像手段の結果に基づいて前記ノズル部の姿勢を調整する手段を有することを特徴とする機能液供給ヘッド交換装置。
【請求項９】
前記特定箇所は特定の前記ノズルの吐出口であること特徴とする請求項８に記載の機能液供給ヘッド交換装置。
【請求項１０】
前記特定箇所は前記ノズル部に設けられたマークであることを特徴とする請求項８に記載の機能液供給ヘッド交換装置。
【請求項１１】
前記撮像する手段は、必要な分解能で前記特定箇所の画像を捉える高倍率レンズとカメラを具備する撮像部を有することを特徴とする請求項８に記載の機能液供給ヘッド交換装置。
【請求項１２】
前記撮像する手段は、前記撮像部を前記配列方向に移動させる手段を有することを特徴とする請求項１１に記載の機能液供給ヘッド交換装置。
【請求項１３】
処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを具備するヘッドを交換する機能液供給ヘッド交換方法において、
前記ヘッドの特定の箇所を撮像する工程と、交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のノズル部の前記特定箇所との前記撮像結果に基づいて、前記両箇所の位置ズレを補正する工程を有することを特徴とする機能液供給ヘッド交換方法。
【請求項１４】
前記特定箇所は特定の前記ノズルの吐出口であること特徴とする請求項１３に記載の機能液供給ヘッド交換方法。
【請求項１５】
前記特定箇所は前記ノズル部に設けられた複数のマークであることを特徴とする請求項１３に記載の機能液供給ヘッド交換方法。
【請求項１６】
前記機能液は、液晶基板のブラックマトリクスに分散されるスペーサ粒子分散液であることを特徴とする請求項１３に記載の機能液供給ヘッド交換方法。
【請求項１７】
前記ヘッドを複数有し、前記位置ずれを補正したヘッドに基づいて他のヘッドの位置を調整する工程を有することを特徴とする請求項１３に記載の機能液供給ヘッド交換方法。
【請求項１８】
交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のヘッドの前記特定箇所とはそれぞれ複数あり、前記複数の特定箇所の撮像結果に基づいて、前記交換後の複数あるヘッドの全体の姿勢を調整する工程を有することを特徴とする請求項１７に記載の機能液供給ヘッド交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液供給塗布装置に関わり、特に高精度の着弾精度が求められる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶表示装置の製造方法においては、画素電極が形成された基板上にスペーサ粒子をランダムかつ均一に散布するため、画素電極上すなわち液晶装置の表示部（画素領域）にもスペーサ粒子が配置されてしまう。近年、スペーサ粒子は、液晶表示装置の表示部となる画素領域に配置されると、画質が低下することから、遮光領域のみに配置されるようになってきた。例えば、スペーサ粒子はブラックマトリクスの上に配置される。
【０００３】
液晶表示装置は、その表示品質向上の要求が高まるなかでより明るい画質にするために、画素領域を大きく、遮光領域を小さくする方向にある。これはスペーサ粒子を遮光領域に配置するに当たっては困難な方向にあって、高い精度で遮光領域にスペーサ粒子を配置しなくてはならない。
【０００４】
一般に、上記スペーサ粒子を含む分散液やカラーフィルタの機能液を供給する機能液供給ヘッドにおいては、長時間使用するとヘッドノズル表面の撥水性が劣化し、ヘッド表面に液滴が残留し、液滴の曲がりやノズル欠損を引き起こす要因となる。ノズル欠損が発生すると、例えば、その部位のみスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液が吐出されず一対の基板間の間隔を適正な液晶層の厚み（セルギャップ）を維持することができなくなる。そこで、ヘッド表面が劣化する前に定期的にヘッド交換を行なう必要がある。ヘッド交換を行なうと機能液供給塗布装置において機能液供給ヘッドから吐出された液滴の着弾位置ズレが生じ、再度位置合わせを行なう必要がある。
【０００５】
下記に示す従来技術は、ヘッド交換後の着弾位置合わせ手段として、実基板の上に機能液供給ヘッドにより液滴を吐出させ、着弾位置をカメラで撮像し、設定基準からの誤差を検出し、その誤差を補正値として、機能液供給ヘッド位置を補正することを開示している。
【０００６】
【特許文献１】特開2006-44059号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
最近のように着弾位置の高精細が要求され数十μｍ単位で補正する必要がある。装置を組立てる場合、機械的な精度で取付けても、加工限界により数十μｍ程度の誤差を生じてしまう。そこで、実際に使用に耐えた前回の着弾位置を再現することが重要になる。
【０００８】
しかしながら、上記従来技術では、下記のような課題がある。まず、第一に、上記従来技術では、設計基準からの誤差を元に補正しているが、設計基準からでは、上述した装置の機械的な癖を補正することができなく、着弾位置の再現性を維持することができない。また、上記従来技術では、各ヘッドのＸ軸、Ｙ軸及θ軸を駆動して自動補正しているが、前記自動補正する前に、如何にまず精度よく機械的に設置するかが重要になってきている。しかし、実基板の上に機能液供給ヘッドにより液滴を塗布する方法で、自動補正せず機械的に行なうためには、実基板の上に機能液供給ヘッドにより液滴を塗布し、着弾位置により補正作業を数回繰り返し行なう必要があり、多大な時間を費やしてしまうという課題がある。
【０００９】
また、自動補正機構を設けるとその機構が複雑になり、高精細化に伴う十分なヘッドの設置スペースがとれないという課題がある。
さらに、そのような機構を有することによって、装置自体が高価になってしまうという課題がある。
【００１０】
従って、本発明の第1の目的は、液滴を着弾させることなく着弾位置を補正できる再現性のよい機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することである。
【００１１】
本発明の第２の目的は、簡単な機構で着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することである。
本発明の第３の目的は、安価な機構で着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は、処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを具備するヘッドの特定の箇所を撮像し、交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のノズル部の前記特定箇所との撮像結果に基づいて、前記両箇所の位置ズレを補正することを第１の特徴とする。
【００１３】
また、上記目的を達成するために、本発明は第１の特徴に加え、前記特定箇所は特定の前記ノズルの吐出口であること第２の特徴とする。
【００１４】
さらに、上記目的を達成するために、本発明は第１の特徴に加え、前記特定箇所は前記ノズル部に設けられた複数のマークであることを第３の特徴とする。
【００１５】
また、上記目的を達成するために、本発明は第１の特徴に加え、前記撮像する手段は、必要な分解能で前記特定箇所の画像を捉える高倍率レンズとカメラを有することを第４の特徴とする
また、上記目的を達成するために、本発明は第１の特徴に加え、前記機能液は、液晶基板のブラックマトリクスに分散されるスペーサ粒子分散液であることを第５の特徴とする。
【００１６】
さらに、上記目的を達成するために、本発明は第１の特徴に加え、前記ヘッドを複数有し、前記位置ずれを補正したヘッドに基づいて他のヘッドの位置を調整することを第６の特徴とする。
【００１７】
また、上記目的を達成するために、本発明は第６の特徴に加え、交換後のヘッドの前記特定箇所と交換前のヘッドの前記特定箇所とはそれぞれ複数あり、前記複数の特定箇所の撮像結果に基づいて、前記交換後の複数あるヘッドの全体の姿勢を調整することを第７の特徴とする
【発明の効果】
【００１８】
上記本発明によれば、液滴を着弾させることなく着弾位置を補正できる再現性のよい機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することができる。
【００１９】
また、上記本発明によれば、簡単な機構で着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することである。
さらに、上記本発明によれば、安価な機構で着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、液晶基板の遮光領域であるブラックマトリクスにスペーサ粒子分散液を機能液として塗布する塗布装置１００としての本発明の実施形態を示す概略図である。
塗布装置１００には、大別して機台２０と、機台２０を跨ぐように設けたガントリー３０がある。機台２０の上面には、液晶基板などの処理基板を載置する載置台４０をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２１があり、載置台４０はエンコーダ付きＸ軸リニアモータ２３によってＸ軸レール２２上を走行制御される。
【００２１】
一方、ガントリー３０には、4台の機能液供給ブロック１０a〜d(以下英文字である添え字において、第１添え字の小文字a〜dは機能液供給ブロックを、大文字Ｒ、Ｌは右サイド、左サイドを、その他の大文字は構成要素を示す)をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル３１がある。Ｙ軸テーブル３１は保護ケースで覆われており、その内部上部にＹ軸レール(図示せず)、その下部に機能液供給ブロック１０の位置を検出するＹ軸用リニアエンコーダ(図示せず)が設けられている。
【００２２】
各機能液供給ブロック(以下、ブロックと略す)１０a〜dは、図２に示す後述するような多数の機能液吐出ノズル(以下、ノズルと略す)を有する機能液供給ブロックヘッド部(以下、ヘッド部と略す)１１１〜４と、前記ヘッド部をブロック毎に回転させるヘッドブロック回転部１２a〜dと、前記ヘッド部に機能液を供給する機能液供給タンク１３a〜dとを有する。なお、図１には、ヘッド部１１a〜dが取り付けられていない状態を示している。また、図２では、符号が煩雑になり分かり難くなるのを防ぐために、ブロック１０a〜dは同じ構成であることから、ブロックを示す添え字a〜ｄを省略する。以下、特別に必要がない限り同様である。
【００２３】
そこで、４台(台数はこれに限らない)のブロック１０a〜ｄをＹ軸方向に配置し、載置台４０をＸ軸方向に移動させることによって、前記ノズルから、ブラックマトリクスにスペーサ粒子分散液の機能液を塗布することにより、スペーサ粒子を所望の位置に配置できる。
【００２４】
また、ガントリー３０の両サイドにはメンテナンス領域５０Ｒ、５０Ｌがあり、その領域にはヘッドのノズル欠損を検査するドット抜け検査ユニット４２Ｒ、４２Ｌや、定期的にノズルを洗浄するフラッシングユニット(図示せず)等が配設されている。また後述するノズル交換作業はこの領域で行なわれる。
【００２５】
図２は、ブロック１０におけるヘッド部１１とヘッドブロック回転部１２の構成を示したものである。
ヘッドブロック回転部１２は前述したように、ヘッド部１１をθ方向に回転するヘッド部回転部１２Ｈとヘッド部１１を取り付けるヘッド部取付部１２Ｔからなる。
【００２６】
一方、ヘッド部１１は、４つの機能液供給ヘッド (以下、単にヘッドと略す) １１１〜４からなる。各ヘッドは、Ｙ軸方向に一列に並んだ１２８個のノズル口を有するノズル部１１Ｈと、前記ノズル部を保持するノズル保持部１１Ｋと、ピエゾ素子(図示せず)を有し、前記各ノズルの吐出を制御する吐出制御部１１Ｃと、前記ノズル保持部１１Ｋを保持し、Z方向の高さを調節可能な調整用取付穴(図示せず)を有するＺ軸補正板１１Ｚと、前記Ｚ軸補正板を固定し、前記ヘッド部１１をヘッド部取付部１２Ｔに固定するヘッド部固定板１１Ｆに設けられた２つの調整用取付穴(図示せず)によって、前記ヘッド部１１のＸ軸、Ｙ軸の２軸を調節するＬ字上のＸＹ軸補正板１１ＸＹからなる。従って、各ノズル部１１a〜dにそれぞれ１２８×４=５１２個のノズル口を有し、装置全体としては５１２×４=２０４８個のノズル口を有していることになる。
【００２７】
図３は、図１に示すメンテナンス領域５０Ｌの概略側面図で、ノズル交換に関係する部分を示した図である。各メンテナンス領域には、ノズル部１１ＨのＺ軸方向の高さを測定するレーザ変位計６５と、ノズル口を所定の分解能で撮像するための高倍率レンズ６１を搭載したＣＣＤカメラ６２を有する撮像部６０を２台Ｒ，Ｌを設けている。レーザ変位計６５と２台の撮像部６０Ｌ、６０Ｒは、それぞれ必要なときにノズル部１１Ｈの真下で所定の役割を実行できるように、Ｘ、Ｙ軸方向の少なくとも一方に移動可能となっており、その移動精度は所定の精度を有している。
【００２８】
次に、以上述べた構成によって、ノズルを再現性良く如何に交換するかを説明する。基本的な考え方は、図４に示すように、交換後のノズル口の位置２を交換前の位置１に一致させるということである。そのために、本実施形態では、図３に示す高倍率レンズ６１を有するＣＣＤカメラ６２の撮像部６０で、図３に示すように下から同一ノズル口を交換前(図４(a))と後(図４(ｂ))で撮像し、その偏差をΔＸ、ΔＹを求め、交換後の位置２を交換後前の位置１になるように補正する。ΔＸ、ΔＹの値は、画面の持つ撮像領域の大きさから換算して求めることができる。なお、図４(a)では画像は、画面中央にあるが後述するように必ず中央にある必要はない。また、本実施形態に置けるノズル口の大きさは約３０μｍである。今後の説明では、各ヘッド部１１Ｈのノズル口の位置をＨα-β(α：ヘッド１１α、β：ヘッドα内の左からの位置)で表す。
【００２９】
この作業をすべてのノズル口に対して行なうのは大変である。本実施形態では、各ヘッド１１１〜４単位で補正する。そして、あるノズル部１１Ｈに基準ノズル口を設け、前記基準ノズル口を基に各ノズル部１１Ｈを補正することとし、基準ノズル口としてＨ1-1を選んだ。そして、各ノズル部１１Ｈを補正後、両端のノズル口Ｈ1-1とＨ4-128でヘッド部１１の全体を調整することとした。
【００３０】
以下、図５に示す各ブロックにおける補正フローを、図６から図８を参照して説明する。図６は、各ステップにおける対象ノズル口と撮像部６０の関係を示した図である。図７は、各ブロックのノズル部を下から見た時の位置関係を示す図で、また、数字の１、６５、１２８は各ノズル部１１Ｈのノズル口の位置を示し、図８は、各ノズル１１Ｈの関係を示す。
【００３１】
まず、ブロック１０をメンテナンス領域６０ＲＬの交換位置まで移動させる(Step１)。ヘッド部全体の姿勢の再現性を得るために、図６(b)に示しように、２台の撮像部６０Ｌ、６０Ｒをヘッド部の両端、即ちノズル口Ｈ1-1とＨ4-128真下に移動させ、それらのノズル口画像を得て、交換前のＨ1-1、Ｈ4-128のノズル口位置（Ｘ０、Ｙ０）(Ｘ128、Ｙ128)を求める。そして、ヘッド部１１の傾きθＨを式(1)により求める。(Step２)。
θＨ＝ＴＡＮ−1(Ｘ128−Ｘ０)/(Ｙ128−Ｙ０)      ・・・・(１)
次に、交換前の使用済みヘッド部１１を取り外し、交換する新たなヘッド部１１を機能液供給ヘッド部取付部１２Ｔに固定する(Step３)。
【００３２】
その後、レーザ変位計６５をＸ軸方向に移動させノズル口の下に配置する。そして、レーザ変位計６５をＹ軸方向に走査させて、各ヘッドのノズル口Ｈｎ-1とＨｎ-128(n＝１〜４)の高を測定し、各ノズル部１１ＡをＺ軸補正板１１Ｄに設けられた２箇所の調整用取付穴によって所定の高さ(Ｚ軸方向)に設定する。図７はその結果を示したもので、ノズル口Ｈ１−１を基準として５．３μｍ〜−３．８μｍの範囲に収めることができ、目標の基準位置から１０μｍ以内を満足することがきた(Step４)。
【００３３】
次に、レーザ変位計６５と入れ替わって、図６(a)に示すように撮像部６０L、６０Ｒをそれぞれノズル口Ｈ1-1、Ｈ1-128の真下に移動させ、両者の画像を撮る。ここで、Ｈα−βのノズル口位置を（Ｘα−β、Ｙα−β）と表すと、図４で説明したように、交換後のノズル口Ｈ1-1の画像位置をステップ１で得た交換前の画像位置に来るように、且つ、ヘッド１１１がＹ軸と平行になるよう次式に従って、ＸＹ軸補正板１１ＸＹに設けた調整用取付穴で補正する。
ノズル口Ｈ1-1      Ｘ1-1＝Ｘ０
Ｙ1-1＝Ｙ０               ・・・・(２)
ノズル口Ｈ1-128    Ｘ1-128＝Ｘ1-1
Ｙ1-128＝Ｙ1-1＋ＮＢ      ・・・・(３)
ここで  ＮＢ：ノズル幅(図８参照))
実際は、この数字に合わせる事は非常に難しいので、それぞれ目標位置を図４(b)に示すように画面上に丸い破線で示す、両画面を見ながらそれぞれの位置が一致するように調整する(Step5)。
【００３４】
その後、撮像部６０Ｌ、６０Ｒを、それぞれノズル口Ｈ2-１、Ｈ2-128と移動させ、それぞれの撮像を得て、Step５と同様に画面上による目標位置の提示を受けながら、ノズル口Ｈ2-１がノズル口Ｈ1-１を基準に所定の間隔を持ち、且つ、ヘッド１１２がＹ軸と平行になるよう、ＸＹ軸補正板１１ＸＹに設けた調整用取付穴で補正する。この場合の目標位置は、以下となる(Step6)
ノズル口Ｈ2-1      Ｘ2-1＝Ｘ1-1
Ｙ2-1＝Ｙ０＋ＨＢ          ・・・・(４)
ノズル口Ｈ2-128    Ｘ2-128＝Ｘ1-1
Ｙ2-128＝Ｙ1-1＋ＨＢ＋ＮＢ ・・・・(５)
ここで  ＨＢ：Ｈ2−1のＨ1−1との間隔(図８参照))
前記Step６の作業を、ヘッド１１３、１１４に対して行なう(Step７)。
最後に交換後のヘッド部１１aのノズル口の傾きがθとなるようにヘッド部回転部１２Ｈを制御し補正する(Step８)。
【００３５】
上記の補正の結果の例として、図８の表に示すように、Ｈ1-1を基準としてＸ軸方向では、８．４５μｍ〜−４．６６μｍの範囲内に、Ｙ軸方向では２．３３μｍ〜−７．５７μｍの範囲内に収めることができ、目標の±１０μｍを満足することができた。
【００３６】
以上説明した図6に示す補正フローを各ブロック行なうことにより、塗布装置全体として調整することができる。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態によれば、全体として交換前と略変わらない、即ち再現性が良い機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することができる。
また、本実施形態によれば、簡単な調整用取付穴を設けることで着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することができる。
さらに、上記本発明によれば、複雑な補正機構を用いることなく、安価な補正機構で着弾位置を補正ができる機能液供給ヘッドの交換装置及び交換方法並びに機能液供給塗布装置を提供することができる。
【００３８】
以上の説明において、基準ノズル口としてＨ1-1を用いたが他のものを選んでもよい。また、前記基準ノズル口を基に当該ノズル部１１Ｈを補正し、その後当該ノズル部に対して他のノズル部を補正してもよい。
【００３９】
また、ブッロク間の調整が必要であるならば、例えば、１１aの補正基準であるＨ1-1を基準に１１ｂの１１１を調整し、以後同様に行なえばよい。
【００４０】
最後に、交換後の調整を全てメンテナンス領域で実施したが、図５の補正フローにおいて、Step１乃至３及び8をメンテナンス領域で行ない、Step4から７は別の領域に設けた補正装置で行なってもよい。そうすることによって、全体の交換時間を短縮することができる。
【００４１】
上記実施形態では、ノズル口を撮像することによって補正したが、例えば、ヘッドに基準マークを複数個設けて、その基準マークを撮像することによって、上記実施形態と同様な装置あるいは手順で補正してもよい。
【００４２】
以上の説明では、液晶基板にブラックマトリクスにスペーサ粒子を塗布することを重点に説明してきたが、インクなどのその他のものを塗布する装置においても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】液晶基板のブラックマトリクスにスペーサ粒子分散液を機能液として塗布する塗布装置として本発明の実施形態を示す外観図である。
【図２】図１に示すブロック１０におけるヘッド部１１とヘッドブロック回転部１２の構成を示したものである。
【図３】図１に示すメンテナンス領域の概略側面図で、ノズル交換に関係する部分を示した図である。
【図４】本発明の実施形態における補正の基本的な考え方を示す図。
【図５】本発明の実施形態における補正フロー示す図である。
【図６】(a)ノズル部補正時における２台の撮像部の関係を示す図である。(b)ヘッド部補正時におけるヘッド部の傾きを測定する際の２台の撮像部の関係を示す図である。
【図７】各ヘッドにおけるノズル口の位置関係を示した図と、Ｚ軸方向の補正結果例を示す表である。
【図８】ヘッド部における各ヘッドの寸法及び位置関係を示した図と、Ｘ軸、Ｙ軸の補正結果例を示した表である。
【符号の説明】
【００４４】
１：交換前のノズル口位置            ２：交換後のノズル口位置
１０：ブロック(機能液供給ブロック)  １１：ヘッド部(機能液供給ブロックヘッド部)
１１１〜４：ヘッド部内の各ヘッド(機能液供給ヘッド)
１１Ｃ：吐出制御部                １１Ｈ：ノズル部
１１Ｋ：ノズル保持部              １１Ｆ：ヘッド部固定板
１１ＸＹ：ＸＹ軸補正板            １１Ｚ：Ｚ軸補正板
１２：ヘッドブロック回転部        １２Ｈ：ヘッド部回転部
１２Ｔ：ヘッド部取付部            １３：機能液供給タンク
２０：機台                        ３０：ガントリー
４０：載置台                      ５０：メンテナンス領域
６０：撮像部                      ６１：高倍率レンズ
６２：ＣＣＤカメラ              １００：塗布装置
添え字1〜４：ヘッド部内の各ヘッドの位置
添え字a〜d：ブロックの位置          Ｒ：右側      Ｌ：左側。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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