(57)【要約】【課題】コストダウンおよび耐久性アップが期待できるとともに、高精度な位置決めを行うことができる駆動・位置決め装置およびこれを用いた画像測定装置を提供する。【解決手段】ターレット３２を回転させる駆動手段４０と、この駆動手段によって回転されたターレットを位置決めする位置決め手段とを備える。駆動手段は、モータ４１と、このモータの出力軸に連結された減速器４２と、この減速器からの出力をターレットに伝達しターレットを回転させる動力伝達機構４３とを含んで構成される。動力伝達機構４３は、減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランス４６をもって係合し、減速器からの回転を伝達する第１の継手部材４４および第２の継手部材４５を含んで構成され、モータの駆動停止時に、ターレットの振動を吸収する振動吸収手段６０が設けられている。【選択図】図３
2010250142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部材を回転またはスライドさせる駆動手段と、この駆動手段によって回転またはスライドされた前記可動部材を位置決めする位置決め手段とを備え、
前記駆動手段は、モータと、このモータの出力軸に連結された減速器と、この減速器からの出力を前記可動部材に伝達し前記可動部材を回転またはスライドさせる動力伝達機構とを含んで構成された駆動・位置決め装置であって、
前記動力伝達機構は、前記減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、前記減速器からの回転を伝達する第１および第２の継手部材を含んで構成され、
前記モータの駆動停止時に、前記可動部材の振動を吸収する振動吸収手段が設けられている、ことを特徴とする駆動・位置決め装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動・位置決め装置において、
前記可動部材は、回転軸を中心に回転する回転部材によって構成され、
前記振動吸収手段は、出力軸が前記回転部材の前記回転軸に直結または連結部材を介して連結されるとともに配線が短絡または抵抗を介して接続されたモータにより構成されている、ことを特徴とする駆動・位置決め装置。
【請求項３】
請求項２に記載の駆動・位置決め装置において、
前記第１の継手部材は、前記減速器の出力軸に連結され先端面に係合部を有し、
前記第２の継手部材は、前記回転部材の回転軸に連結され先端面に前記係合部に対して前記減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合する被係合部を有する、ことを特徴とする駆動・位置決め装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の駆動・位置決め装置において、
前記位置決め手段は、前記回転部材の回転周面に切欠形成された凹部と、前記回転部材の回転周面に接するともに前記凹部内に係合可能な係合部材と、この係合部材を前記回転部材の回転周面に接する方向へ付勢する付勢手段とを含んで構成されている、ことを特徴とする駆動・位置決め装置。
【請求項５】
被測定物の像から被測定物の寸法や形状を測定する画像測定装置であって、
対物レンズと、この対物レンズより出射された光を結像させる倍率の異なる複数の光学レンズと、この光学レンズによって結像された被測定物の像を観察可能な観察光学系と、前記対物レンズと前記観察光学系との間に設けられ複数の前記光学レンズのいずれか１つを前記対物レンズの光軸上に選択的に切換可能な切換手段とを備え、
前記切換手段は、前記対物レンズの光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの光軸までの距離を半径とする円周上に複数の前記光学レンズを取り付けたターレットと、このターレットを回転させる駆動手段と、この駆動手段によって回転されいずれかの前記光学レンズが前記対物レンズの光軸に一致した位置で前記ターレットを位置決めする位置決め手段とを含んで構成され、
前記駆動手段は、モータと、このモータの出力軸に連結された減速器と、この減速器からの出力を前記ターレットに伝達し前記ターレットを回転させる動力伝達機構とを含んで構成され、
前記動力伝達機構は、前記減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、前記減速器からの回転を伝達する第１および第２の継手部材を含んで構成され、
前記モータの駆動停止時に、前記ターレットの振動を吸収する振動吸収手段が備えられている、ことを特徴とする画像測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動・位置決め装置および画像測定装置に関する。例えば、可動部材を回転またはスライドさせるとともに、所定位置に位置決めする駆動・位置決め装置およびこれを用いた画像測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
可動部材を回転またはスライドさせるとともに、所定位置に位置決めする駆動・位置決め装置として、例えば、画像測定機などにおいて、倍率の異なる複数の光学レンズを同一円周上に配置したターレットを、回転させたのち所定角度位置に位置決めして観察倍率を変更する機構が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
これは、対物レンズと、この対物レンズより出射された光を結像させる倍率の異なる複数の光学レンズと、この光学レンズによって結像された被測定物の像を観察可能な観察光学系と、対物レンズと観察光学系との間に設けられ複数の光学レンズのいずれか１つを対物レンズの光軸上に選択的に切換可能な切換手段とを備える。
【０００４】
切換手段は、対物レンズの光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられかつその中心から対物レンズの光軸までの距離を半径とする円周上に複数の光学レンズを取り付けたターレットと、このターレットを回転させる駆動手段と、この駆動手段によって回転されいずれかの光学レンズが対物レンズの光軸に一致した位置でターレットを位置決めする位置決め手段とを含んで構成されている。
【０００５】
駆動手段は、モータと、このモータの出力軸とターレットの回転軸とを連結するカップリングとを含んで構成されている。
位置決め手段は、ターレットの外周面の所定角度位置に切欠形成された凹部と、ターレットの外周面に接するとともに凹部内に係合可能なベアリングと、このベアリングをターレットの外周面に常時接する方向へ付勢する板ばねとから構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−３０４６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の構造では、ターレットの位置決めは板ばねの力により決まる。また、特許文献１に記載の構造において、モータには、通常、高減速比（約８０：１）のギヤヘッド付モータが用いられる。
このような構造の場合、カップリングを結合した状態において、モータの駆動が停止してから位置決め動作を行うためには、大きな減速比のギヤヘッドを出力軸側から回さなければならないため、板ばねに大きな力（強い板ばね）が必要となる。
また、ギヤヘッドの構造上、高減速比のギヤヘッドは効率も悪く、更に、板ばねを強くする必要がある。すると、強い板ばねに耐えるために、ターレットそのものを含む他の部品（例えば、ベアリングなど）も強くする必要があるため、コストアップにつながるうえ、耐久性に欠ける。
【０００８】
そこで、モータの駆動が停止してから位置決め動作を行う際、カップリングを分離するように構成すれば、ターレットがギヤヘッド付モータから分離されるため、上述した点を解消できる。
しかし、位置決め動作を行う際に、モータの駆動が停止したのち、カップリングを分離する制御を行わなければならないため、新たな制御が付加されるという課題が残る。
【０００９】
本発明の目的は、このような従来の課題を解消すべくなされたもので、コストダウンおよび耐久性アップが期待できるとともに、高精度な位置決めを行うことができる駆動・位置決め装置およびこれを用いた画像測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の駆動・位置決め装置は、可動部材を回転またはスライドさせる駆動手段と、この駆動手段によって回転またはスライドされた前記可動部材を位置決めする位置決め手段とを備え、前記駆動手段は、モータと、このモータの出力軸に連結された減速器と、この減速器からの出力を前記可動部材に伝達し前記可動部材を回転またはスライドさせる動力伝達機構とを含んで構成された駆動・位置決め装置であって、前記動力伝達機構は、前記減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、前記減速器からの回転を伝達する第１および第２の継手部材を含んで構成され、前記モータの駆動停止時に、前記可動部材の振動を吸収する振動吸収手段が設けられている、ことを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、駆動手段のモータを駆動すると、そのモータの回転は減速器で減速されたのち、動力伝達機構を介して可動部材に伝達される結果、可動部材が回転またはスライドされる。
本発明では、動力伝達機構が、減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合する第１および第２の継手部材を含んで構成されているから、可動部材が所定位置まで回転またはスライドされたのち、モータの駆動を停止すると、動力伝達機構の第１および第２の継手部材の間の遊びクリアランスによって、可動部材が減速器から分離される。つまり、第１および第２の継手部材の間の遊びクリアランスだけ可動部材が移動できるから、位置決め手段によって可動部材は所定位置に位置決めされる。
このとき、可動部材が減速器から分離されると、可動部材には振動が発生するが、モータの駆動停止時に、可動部材の振動を吸収する振動吸収手段が設けられているから、可動部材の振動を抑えつつ、正確な位置決めを実現できる。
【００１２】
従って、本発明では、動力伝達機構を、減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合する第１および第２の継手部材を含んで構成するとともに、モータの駆動停止時に、可動部材の振動を吸収する振動吸収手段を設けるだけでよいから、コストダウンおよび耐久性アップが期待できるとともに、高精度な位置決めを行うことができる。
【００１３】
本発明の駆動・位置決め装置において、前記可動部材は、回転軸を中心に回転する回転部材によって構成され、前記振動吸収手段は、出力軸が前記回転部材の前記回転軸に直結または連結部材を介して連結されるとともに配線が短絡または抵抗を介して接続されたモータにより構成されている、ことが好ましい。
このような構成によれば、回転部材を所定角度位置に正確に位置決めできる。また、振動吸収手段は、出力軸が回転部材の回転軸に直結または連結部材を介して連結されるとともに配線が短絡または抵抗を介して接続されたモータにより構成されているから、振動吸収手段を簡単に実現できる。通常、モータの特性として、配線（給電用配線）が短絡時に高速回転させると、大きな回転抵抗が発生するが、低回転ではほとんど抵抗がない。また、配線が抵抗を介して接続された状態とすれば、高速回転時の回転抵抗を調整できる。このため、可動部材の振動時には強力なダンパー効果が期待できるとともに、位置決め時には抵抗がゼロになるため、簡単に振動吸収手段の機能を実現できる。
【００１４】
本発明の駆動・位置決め装置において、前記第１の継手部材は、前記減速器の出力軸に連結され先端面に係合部を有し、前記第２の継手部材は、前記回転部材の回転軸に連結され先端面に前記係合部に対して前記減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合する被係合部を有する、ことが好ましい。
このような構成によれば、例えば、円筒部材の端面に係合部や被係合部を形成して第１の継手部材や第２の継手部材を形成することができるから、簡単に動力伝達機構を構成できる。
【００１５】
本発明の駆動・位置決め装置において、前記位置決め手段は、前記回転部材の回転周面に切欠形成された凹部と、前記回転部材の回転周面に接するともに前記凹部内に係合可能な係合部材と、この係合部材を前記回転部材の回転周面に接する方向へ付勢する付勢手段とを含んで構成されている、ことが好ましい。
このような構成によれば、回転部材が所定角度位置に達したとき、モータの駆動が停止され、回転部材が減速器から分離されると、付勢手段によって回転部材の回転周面に接している係合部材に対して、凹部が入り込む方向へ回転部材が回転されるため、回転部材の位置決め機構を簡単に構成することができる。
【００１６】
本発明の画像測定装置は、被測定物の像から被測定物の寸法や形状を測定する画像測定装置であって、対物レンズと、この対物レンズより出射された光を結像させる倍率の異なる複数の光学レンズと、この光学レンズによって結像された被測定物の像を観察可能な観察光学系と、前記対物レンズと前記観察光学系との間に設けられ複数の前記光学レンズのいずれか１つを前記対物レンズの光軸上に選択的に切換可能な切換手段とを備え、前記切換手段は、前記対物レンズの光軸と異なる位置にその光軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられかつその中心から前記対物レンズの光軸までの距離を半径とする円周上に複数の前記光学レンズを取り付けたターレットと、このターレットを回転させる駆動手段と、この駆動手段によって回転されいずれかの前記光学レンズが前記対物レンズの光軸に一致した位置で前記ターレットを位置決めする位置決め手段とを含んで構成され、前記駆動手段は、モータと、このモータの出力軸に連結された減速器と、この減速器からの出力を前記ターレットに伝達し前記ターレットを回転させる動力伝達機構とを含んで構成され、前記動力伝達機構は、前記減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、前記減速器からの回転を伝達する第１および第２の継手部材を含んで構成され、前記モータの駆動停止時に、前記ターレットの振動を吸収する振動吸収手段が備えられている、ことを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、駆動手段によってターレットを回転させると、各光学レンズが対物レンズの光軸に一致したそれぞれの角度位置でターレットが位置決め手段によって位置決めされるから、各光学レンズを対物レンズの光軸に簡単に一致させることができる。
本発明においても、ターレットを回転させる動力伝達機構が、減速器の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、減速器からの回転を伝達する第１および第２の継手部材を含んで構成され、モータの駆動停止時に、ターレットの振動を吸収する振動吸収手段が備えられているから、上記と同様な効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る画像測定機の側面図。
【図２】図１のII−II線断面図。
【図３】同上実施形態の駆動手段および振動吸収手段を示す図。
【図４】同上実施形態の位置決め手段を示す拡大図。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図。
【図６】同上実施形態の振動吸収手段の変形例を示す図。
【図７】本発明の他の実施形態に係る切換機構を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を図を参照しながら詳細に説明する。
図１は本実施形態にかかる駆動・位置決め装置を適用した画像測定装置の正面図、図２は図１のII−II線断面図である。同画像測定装置は、被測定物を載置するテーブル２０と、このテーブル２０に対して図示省略のコラムを介して昇降自在に設けられた光学系ユニット２１とから構成されている。
光学系ユニット２１は、筺体２２を有する。筺体２２には、その下面に対物レンズ２３が取り付けられているとともに、上面にＣＣＤカメラ２４および照明装置２５がそれぞれ取り付けられている。ＣＣＤカメラ２４は、対物レンズ２３の光軸Ｌ上に配置され、被測定物の像を観察可能な観察光学系を構成している。
【００２０】
筺体２２内には、照明装置２５から出射された光を直角にかつ光軸Ｌに向かって反射させるミラー２６と、光軸Ｌ上においてミラー２６からの反射光を対物レンズ２３に反射させるビームスプリッタ２７と、倍率の異なる複数（たとえば、１Ｘ，２Ｘ，６Ｘ）の光学レンズとしてのチューブレンズ２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃと、これら複数のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃのいずれか１つを光軸Ｌ上に選択的に切換可能な切換手段３０とがそれぞれ設けられている。
【００２１】
切換手段３０は、光軸Ｌと異なる位置にその光軸Ｌと平行な回転軸３１を中心として回転可能に設けられかつその回転軸３１から光軸Ｌまでの距離を半径とする円周上に複数のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを等間隔（１２０度間隔）で取り付けた可動部材および回転部材としてのターレット３２と、このターレット３２を回転駆動させる駆動手段４０と、各チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃが光軸Ｌに一致したそれぞれの角度位置でターレット３２を位置決めする位置決め手段５０と、駆動手段４０の駆動停止時にターレット３２の振動を吸収する振動吸収手段６０とを含んで構成されている。
【００２２】
駆動手段４０は、モータ４１と、このモータ４１の出力軸に連結された減速器４２と、この減速器４２からの出力をターレット３２に伝達しターレット３２を回転させる動力伝達機構４３とを有する。従って、モータ４１が回転すると、減速器４２および動力伝達機構４３を介して回転軸３１が回転するから、ターレット３２が回転される。このとき、ターレット３２の回転角度は角度検出円盤４８によって検出されるようになっている。
【００２３】
動力伝達機構４３は、図３に示すように、減速器４２の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、減速器４２からの回転を伝達する第１の継手部材４４および第２の継手部材４５を含んで構成されている。
第１の継手部材４４は、円筒状で、基端面が減速器４２の出力軸に連結され、先端面に係合部４４Ａを有する。係合部４４Ａは、円筒の先端面に約１６０〜１７０度程度に角度範囲に渡って円弧壁が突出して形成されている。
第２の継手部材４５は、円筒状で、基端面がターレット３２の回転軸３１に連結され、先端面に係合部４４Ａに対して減速器４２の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランス４６をもって係合する被係合部４５Ａを有する。被係合部４５Ａは、円筒の先端面に約１６０〜１７０度程度に角度範囲に渡って円弧壁が切り欠き形成されている。
【００２４】
位置決め手段５０は、図２に示すように、ターレット３２の外周面（回転周面）の１２０度間隔位置に切欠形成された３つの凹部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃと、ターレット３２の外周面に接するとともに凹部５１Ａ〜５１Ｃに係合可能に係合部材としてのベアリング５２とを含んで構成されている。ベアリング５２は、図４および図５に示すように、筺体２２の上面に取り付けられたＬ字状ブラケット５３に片持ち支持構造の板ばね５４を介して支持されている。つまり、位置決め手段５０は、ベアリング５２をターレット３２の外周面に接する方向へ常時付勢する付勢手段としての板ばね５４を備えている。
【００２５】
振動吸収手段６０は、図１および図３に示すように、ターレット３２の回転軸３１に直結されたモータ６１により構成されている。モータ６１は、単相モータで、取付部材６５を介して筐体２２に固定されているとともに、通常電源に接続される給電用の配線６１Ａ，６１Ｂが短絡されている。つまり、配線６１A，６１Ｂは、電源に接続されず互いに短絡されている。
通常、モータの特性として、給電用の配線が短絡時に高速回転させると、大きな回転抵抗が発生するが、低回転ではほとんど抵抗がない。なお、配線が抵抗を介して接続された状態にすれば、高速回転時の回転抵抗を調整できる。このため、ターレット３２の振動時には強力なダンパー効果が期待できるとともに、ターレット３２の位置決め時には抵抗がゼロになるため、簡単に振動吸収手段の機能を実現できる。
なお、モータ６１とターレット３２との接続は、直結に限らず、連結部材を介して連結してもよい。連結部材としては、例えば、バックラッシュレスのタイミングベルト、あるいは、滑りがあることを前提として、ベルト（丸ベルトやＶベルト）などを介して連結するようにしてもよい。
【００２６】
以上の構成において、測定にあたっては、いずれかのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを光軸Ｌ上に位置させる。これには、駆動手段４０のモータ４１を所定角度だけ回転させたのち、停止させる。すると、いずれかのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃが光軸Ｌの近傍に達するとともに、ベアリング５２が対応する凹部５１Ａ〜５１Ｃに嵌合し始める。
ここで、モータ４１の駆動が停止すると、減速器４２がターレット３２から切り離されるから、つまり、動力伝達機構４３の第１の継手部材４４と第２の継手部材４５との間の遊びクリアランス４６だけターレット３２は回転できるから、ターレット３２は嵌合し始めた凹部５１Ａ〜５１Ｃがベアリング５２に完全に嵌まり込む角度位置まで自動的に回転されて位置決めされる。
【００２７】
このとき、ターレット３２が減速器４２から分離されると、ターレット３２には板ばね５４により共振振動が発生する。すると、モータ４１の駆動停止時に、ターレット３２の振動を吸収する振動吸収手段６０が設けられているから、ターレット３２の振動が抑えられ、正確な位置決めを実現できる。
【００２８】
この状態において、照明装置２５から光を出射すると、その光は、ミラー２６で反射されたのち、ビームスプリッタ２７で反射されて対物レンズ２３を通じてテーブル２０上に載置された被測定物に照射される。被測定物で反射され対物レンズ２３を通過した光は、ビームスプリッタ２７を通ったのち、選択されたチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃの倍率に拡大または縮小され、ＣＣＤカメラ２４に結像される。従って、ＣＣＤカメラ２４で撮像された被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定することができる。
【００２９】
＜実施形態の効果＞
（１）対物レンズ２３とＣＣＤカメラ２４との間に、倍率の異なる３つのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを円周状に配置したターレット３２を回転自在に設け、このターレット３２を含んでいずれか１つのチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを対物レンズ２３の光軸Ｌ上に切換る切換手段３０を構成したので、１本の対物レンズで対応できる。つまり、複数本の対物レンズを必要としないから、安価にでき、かつ、リング照明などの外付け照明も利用できる。また、ズームレンズによる変倍機構に比べ、光学系の組立調整も容易にできるとともに、高精度化も可能である。
【００３０】
（２）ターレット３２の回転軸３１に駆動手段４０を連結し、この駆動手段４０によってターレット３２を回転させるようにしたので、ターレット３２を自動的に所定角度位置まで回転させることができる。
【００３１】
（３）ターレット３２を回転させる駆動手段４０は、モータ４１と、このモータ４１の出力軸に連結された減速器４２と、この減速器４２からの出力をターレット３２に伝達する動力伝達機構４３とを含んで構成され、動力伝達機構４３は、減速器４２の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランスをもって係合し、減速器４２からの回転を伝達する第１の継手部材４４および第２の継手部材４５を含んで構成されているから、ターレット３２が所定位置まで回転されたのち、モータ４１の駆動を停止すると、動力伝達機構４３の第１の継手部材４４と第２の継手部材４５の間の遊びクリアランス４６によって、ターレット３２が減速器４２から分離される。すると、位置決め手段５０によってターレット３２は所定位置に位置決めされるから、簡易かつ安価な構成で、ターレット３２を位置決めできる。
【００３２】
（４）このとき、ターレット３２が減速器４２から分離されると、ターレット３２には振動が発生するが、モータ４１の駆動停止時に、ターレット３２の振動を吸収する振動吸収手段６０が設けられているから、ターレット３２の回転振動を抑えつつ、正確な位置決めを実現できる。従って、動力伝達機構４３の構成に加え、モータ４１の駆動停止時に、ターレット３２の振動を吸収する振動吸収手段６０を設けるだけでよいから、コストダウンおよび耐久性アップが期待できるとともに、高精度な位置決めを行うことができる。
【００３３】
（５）第１の継手部材４４は、減速器４２の出力軸に連結され先端面に係合部４４Ａを有し、第２の継手部材４５は、ターレット３２の回転軸３１に連結され先端面に係合部４４Ａに対して減速器４２の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランス４６をもって係合する被係合部４５Ａを有する構成であるから、例えば、円筒部材の端面に係合部４４Ａや被係合部４５Ａを形成して第１の継手部材４４や第２の継手部材４５を形成することができるから、簡単に動力伝達機構を構成できる。
【００３４】
（６）位置決め手段５０は、ターレット３２の外周面に切欠形成された凹部５１Ａ〜５１Ｃと、ベアリング５２と、このベアリング５２をターレット３２の外周面に接する方向へ付勢する板ばね５４とを含んで構成されているから、ターレット３２が所定角度位置に達したとき、つまり、ベアリング５２にいずれかの凹部５１Ａ〜５１Ｃが嵌まり始めたとき、モータ４１の駆動が停止すると、ベアリング５２に凹部５１Ａ〜５１Ｃが入り込む方向にターレット３２が自動的に回転されるため、簡単な構成によりターレット３２を正確に位置決めすることができる。
【００３５】
＜変形例＞
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
【００３６】
前記実施形態では、動力伝達機構４３は、減速器４２の回転方向とは反対方向に対して遊びクリアランス４６をもって係合する円筒状の継手部材４４，４５によって構成したが、これに限られない。
例えば、継手部材４４，４５の一方に長孔を形成し、他方に長孔に遊びクリアランス４６をもって嵌り込むピンを突設した構造でもよい。または、ターレット３２の回転軸３１に歯車を取り付け、減速器４２の出力軸に回転軸の歯車と噛み合う歯車を取り付けた構造、あるいは、ターレット３２の回転軸３１および減速器４２の出力軸にそれぞれプーリを取り付け、このプーリ間にベルトを掛け回した構造であってもよい。
なお、歯車による動力伝達機構４３の場合、継手部材を構成する歯車の間のバックラッシュを比較的大きくして遊びクリアランス４６として構成する。また、プーリおよびベルトによる動力伝達機構４３の場合、継手部材を構成するプーリとベルトとの間のすべりや遊びを大きくして遊びクリアランス４６として構成する。
【００３７】
前記実施形態では、振動吸収手段６０として、モータ６１をターレット３２の回転軸３１に直結または連結部材を介して連結したが、振動吸収手段６０の構成としては、これに限られない。
例えば、図６に示すように、振動吸収手段６０として摩擦部材６２を、ターレット３２の外周面に当接させるようにしてもよい。つまり、モータ４１が駆動停止した際、摩擦部材６２を、ターレット３２の外周面に当接させるように構成しても、ターレット３２の振動を吸収できるから、同様な効果が期待できる。
あるいは、ターレット３２の回転軸３１に羽根車を取り付け、この羽根車を粘性流体中に沈めた、いわゆる、回転ダンパであってもよい。
【００３８】
前記実施形態では、切換手段３０を、対物レンズ２３の光軸Ｌと異なる位置にその光軸と平行な回転軸３１を中心として回転可能に設けられかつその中心から対物レンズ２３の光軸までの距離を半径とする円周上に前記複数のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを取り付けたターレット３２を含んで構成したが、切換手段３０の構成はこれに限られない。
例えば、図７に示すような切換手段７０の構成でもよい。図７に示す切換手段７０は、対物レンズ２３の光軸Ｌに対して直交する方向へスライド可能に設けられかつそのスライド方向に複数のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃを取り付けた可動部材としてのスライダ７２を含んで構成されている。スライダ７２のスライド側面には、ラック７２Ａがスライド方向に沿って形成されている。
【００３９】
また、スライダ７２をスライドさせる駆動手段４０は、モータ４１と、減速器４２と、動力伝達機構４３と、この動力伝達機構４３からの回転によって回転されラック７２Ａに噛合されたピニオン４７とから構成されている。これにより、モータ４１が回転すると、スライダ７２が光軸Ｌに対して直交する方向へスライドされる。
また、スライダ７２を所定位置に位置決めする位置決め手段５０は、スライダ７２のスライド側面の所定間隔位置に切欠形成された３つの凹部５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃと、スライダ７２のスライド側面に接するとともに凹部５１Ａ〜５１Ｃに係合可能に係合部材としてのベアリング５２と、ベアリング５２をスライダ７２のスライド側面に接する方向へ常時付勢する付勢手段としての板ばね５４とを含んで構成されている。
【００４０】
このような構成において、動力伝達機構４３を前記実施形態と同様に構成するとともに、モータ４１の駆動停止時に、スライダ７２のスライド側面に摩擦部材６２を当接させるように構成しても、前記実施形態と同様な効果が期待できる。
なお、摩擦部材６２を省略し、前記実施形態と同様に、配線が短絡または抵抗を介して接続されたモータの出力軸をピニオン４７の軸に直結または連結部材を介して連結するようにしても、同様な効果が期待できる。
あるいは、スライダ７２のスライド側面（ラック７２Aとは反対側の側面）にスライダ７２の移動方向と平行な摺動ガイド面を形成するとともに、上述したモータ（筐体２２に固定）の出力軸にローラを取り付け、このローラをスライダ７２の移動方向と平行な摺動ガイド面に当接させるようにしてもよい。
【００４１】
また、上記実施形態では、３本のチューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃをターレット３２，７２およびスライダ７２に取り付けたが、チューブレンズの本数については、２本または４本以上でもよい。
【００４２】
また、位置決め手段５０についても、上記実施形態で述べた機械的構造に限らず、電気的に位置決めする方法でもよい。たとえば、モータ４１の回転をエンコーダで検出し、このエンコーダで検出された回転角度と予め設定してある回転角度とを比較しながら、モータの駆動を制御するようにしてもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃで結像された被測定物の像をＣＣＤカメラ２４で撮像するようにしたが、チューブレンズ２８Ａ〜２８Ｃで結像された被測定物の像を観察光学系としての接眼レンズで観察しなから測定するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、画像測定機のターレットの駆動・位置決め装置のほか、工作機械や測定機械などにおいて、可動部材を回転またはスライドさせるとともに、所定位置に位置決めする駆動・位置決め装置に利用できる。
【符号の説明】
【００４５】
２３…対物レンズ、
２４…ＣＣＤカメラ（観察光学系）、
２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ…チューブレンズ（光学レンズ）、
３０…切換手段、
３２…ターレット（可動部材、回転部材）、
４０…駆動手段、
４１…モータ、
４２…減速器、
４３…動力伝達機構、
４４…第１の継手部材、
４４Ａ…係合部、
４５…第２の継手部材、
４５Ａ…被係合部、
４６…遊びクリアランス、
５０…位置決め手段、
５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ…凹部、
５２…ベアリング（係合部材）、
５４…板ばね（付勢手段）
７２…スライダ（可動部材）。
【図１】
2010250142.tif 000003
【図２】
2010250142.tif 000004
【図３】
2010250142.tif 000005
【図４】
2010250142.tif 000006
【図５】
2010250142.tif 000007
【図６】
2010250142.tif 000008
【図７】
2010250142.tif 000009