(57)【要約】【課題】マイクロミラーアレイにおいて、マイクロミラー素子の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラーのミラー占有率を高める。【解決手段】２軸を中心に回動するミラー３と、外フレーム８に接続されミラー３を支持する支持部（７，９）とを備えるマイクロミラー素子２を複数個配列してなるマイクロミラーアレイ１において、支持部（７，９）の幅Ｗ２は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一又はそれ以下であり、支持部（７，９）は、ミラー３と反対側の端部が外フレーム８に接続され、ミラー３側の端部はミラー３よりも外フレーム８との接続位置側に位置する構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２軸を中心に回動するミラーと、外フレームに接続され前記ミラーを支持する支持部とを備えるマイクロミラー素子を複数個配列してなるマイクロミラーアレイにおいて、
前記支持部の幅は、前記ミラーの幅と略同一又はそれ以下であり、
前記支持部は、前記ミラーと反対側の端部が前記外フレームに接続され、前記ミラー側の端部は前記ミラーよりも前記外フレームとの接続位置側に位置する、
ことを特徴とするマイクロミラーアレイ。
【請求項２】
前記ミラーは、第１の軸及び第２の軸の２軸を中心に回動し、
前記支持部は、前記ミラーを前記第１の軸を中心に回動可能に支持する内フレームと、一端が外フレームに接続され前記内フレームを前記第２の軸を中心に回動可能に支持する片持ち梁部とを有する、
ことを特徴とする請求項１記載のマイクロミラーアレイ。
【請求項３】
前記内フレームは、前記片持ち梁部を前記第２の軸として回動し、少なくとも前記ミラー側の端部又はその近傍において前記片持ち梁部により支持されることを特徴とする請求項２記載のマイクロミラーアレイ。
【請求項４】
前記内フレームは、該内フレームの一部を前記第２の軸として回動し、
前記内フレームの第２の軸は、前記ミラー側の端部が前記片持ち梁部により支持され、反対側の端部が前記外フレームにより支持される、
ことを特徴とする請求項２記載のマイクロミラーアレイ。
【請求項５】
前記内フレームの第２の軸は、前記片持ち梁部により前記ミラー側の端部に加え外周面をも支持されることを特徴とする請求項４記載のマイクロミラーアレイ。
【請求項６】
前記マイクロミラー素子は、前記内フレームと、該内フレームと共に前記第２の軸を中心に回動する部分との重心を、前記第２の軸に近づける錘部を更に備えることを特徴とする請求項２記載のマイクロミラーアレイ。
【請求項７】
前記錘部は、前記内フレームと、該内フレームと共に前記第２の軸を中心に回動する部分との重心を、前記第２の軸の長さ方向における中央に近づけるように配置されることを特徴とする請求項６記載のマイクロミラーアレイ。
【請求項８】
前記片持ち梁部は、該片持ち梁部を備えるマイクロミラー素子に隣接するマイクロミラー素子の内フレームを駆動するための駆動部を有することを特徴とする請求項２記載のマイクロミラーアレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、光スイッチ、光アッテネータ等に用いられるマイクロミラーアレイに関し、更に詳しくは、２軸を中心に回動（揺動）するミラーのミラー占有率を高めることができる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光伝送路中で光路を切り替える光スイッチにおいて、光ファイバから出射される光を、回動（揺動）するミラーにより任意の光ファイバの光路に反射させるマイクロミラー素子（ＭＥＭＳミラー素子）が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図５は、従来のマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
同図において、マイクロミラーアレイ５１は、複数のマイクロミラー素子５２を１方向に配列してなる。マイクロミラー素子５２のミラー５３は、ミラーアーム５４を介してミラー側可動電極（櫛歯電極）５５に接続されている。ミラー５３は、ミラーアーム５４において一対のトーションバー５６，５６を介して内フレーム５７に支持されており、トーションバー５６，５６を回動軸として回動（揺動）可能となっている。
【０００４】
内フレーム５７は、ミラー５３及びミラー側可動電極５５を覆うように配置され、ミラー側可動電極５５に対向配置されたミラー側固定電極（櫛歯電極）５７ａを有している。そして、ミラー側可動電極５５とミラー側固定電極５７ａとが協働して発生させる静電気力により、ミラーアーム５４に接続されたミラー５３は、ミラーアーム５４及びミラー側可動電極５５と共に、トーションバー５６，５６を回動軸として回動（揺動）可能となっている。
【０００５】
内フレーム５７のミラー５３と反対側の端部には、内フレームアーム５７ｂが設けられており、その側面には内フレーム側可動電極（櫛歯電極）５７ｃが設けられている。外フレーム５８に一端が固定された外フレームアーム５８ａには、外フレーム側固定電極（櫛歯電極）５８ｂが設けられている。内フレーム側可動電極５７ｃと外フレーム側固定電極５８ｂとは、対向配置されている。内フレーム５７は、一端側の内フレームアーム５７ｂと他端側とにおいて、トーションバー５９，５９を介して外フレーム５８に回動可能に支持されている。
【０００６】
そして、内フレーム側可動電極５７ｃと外フレーム側固定電極５８ｂとが協働して発生させる静電気力により、内フレーム５７は、トーションバー５９，５９を回動軸として回動（揺動）可能となっている。
【０００７】
上述のマイクロミラー素子５２は、内フレーム５７がミラー５３を覆うように配置されるため、隣接する２つのミラー５３との間の両方に内フレーム５７が位置することとなり、ミラー配列方向におけるミラー占有率（ミラーピッチＷｐに対するミラー幅Ｗｍ）を大きくすることができない。
【０００８】
例えば、光波長選択スイッチでは入力ポートからの光多重信号を波長毎の単一信号に分光し、それらをマイクロミラーアレイで反射し、所望の出力ポートへ振り分けることになるが、ここで用いられるマイクロミラーアレイには光信号に対する広い反射（透過）帯域が要求される（狭い反射帯域では光信号の伝送品質の劣化を招く）。ミラーアレイは光多重信号の信号（波長）間隔に応じて配列されるが、光信号に対するミラーの反射（透過）帯域はミラー占有率により決定されるため、大きなミラー占有率が望まれる。
特許文献２記載のマイクロミラーアレイは、ミラーが突出するように配置されたマイクロミラー素子を、互いに対向するようにミラー配列方向に交互に配置してなり、ミラー配列方向においてミラーを近接させている。
【特許文献１】特開２００５−３０５５８２号公報
【特許文献２】米国特許第６９８４９１７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献２記載のマイクロミラーアレイは、ミラー配列方向におけるミラー占有率を高めるために、互いに対向するマイクロミラー素子を交互に配置する必要があり、マイクロミラー素子の配列に制限を伴うためマイクロミラーアレイのサイズが大きくなるという問題がある。
【００１０】
なお、上記特許文献２記載のマイクロミラー素子の向きを全て揃えると、ミラーを支持する部分の幅がミラーの幅よりも大きいため、ミラー占有率を高めることができない。
また内フレームの支持位置がミラー素子の方端（ミラーとは反対の端）に偏るっているため、ミラー素子の振動、衝撃に対する耐性の弱さが懸念される。
【００１１】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、マイクロミラー素子の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラーのミラー占有率を高めることができるマイクロミラーアレイを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明のマイクロミラー素子は、２軸を中心に回動（揺動）するミラーと、外フレームに接続され上記ミラーを支持する支持部とを備えるマイクロミラー素子を複数個配列してなるマイクロミラーアレイにおいて、上記支持部の幅は、上記ミラーの幅と略同一又はそれ以下であり、上記支持部は、上記ミラーと反対側の端部が上記外フレームに接続され、上記ミラー側の端部は上記ミラーよりも上記外フレームとの接続位置側に位置する構成とする。
【００１３】
上記構成によれば、マイクロミラー素子を互いに近接させて配列することで、ミラー配列方向においてミラーを互いに近接させることができる。
好ましくは、上記ミラーは、第１の軸及び第２の軸の２軸を中心に回動し、上記支持部は、上記ミラーを上記第１の軸を中心に回動可能に支持する内フレームと、一端が外フレームに接続され上記内フレームを上記第２の軸を中心に回動可能に支持する片持ち梁部とを有する構成とする。
【００１４】
上記構成によれば、ミラーを支持する構成を簡素にすることができると共に、外フレームに生じるひずみによりマイクロミラー素子にひずみが生じるのを回避することができる。
【００１５】
また、実装工程ではマイクロミラーアレイは外フレームを介してパッケージ等に固定されるが、この際、実装による歪みが外フレームからマイクロミラー素子に加わることになり、ミラーの共振周波数特性の変動要因となる。本発明では外フレームから延びた片持ち梁によりマイクロミラー素子が支持されているため、外フレームの歪みが内フレームに伝わらない構成となる。
【００１６】
好ましくは、上記内フレームは、上記片持ち梁部を上記第２の軸として回動し、少なくとも上記ミラー側の端部又はその近傍において上記片持ち梁部により支持される構成とする。
【００１７】
上記構成によれば、内フレームの２つの支持点の一方を内フレーム（マイクロミラー素子）の重心近傍で支持するため、縦回転（図面の水平方向を軸とした回転）を抑制し、振動、衝撃に強い構造となる。
【００１８】
好ましくは、上記内フレームは、この内フレームの一部を上記第２の軸として回動し、上記内フレームの第２の軸は、上記ミラー側の端部が上記片持ち梁部により支持され、反対側の端部が上記外フレームにより支持される構成とする。より好ましくは、上記内フレームの第２の軸は、上記片持ち梁部により上記ミラー側の端部に加え外周面をも支持される構成とする。
【００１９】
上記構成によれば、内フレームの第２の軸の上下動、縦回転（図面の水平方向を軸とした回転）を片持ち梁部によって抑制するため、振動、衝撃に強い構造となる。
好ましくは、上記マイクロミラー素子は、上記内フレームと、この内フレームと共に上記第２の軸を中心に回動する部分との重心を、上記第２の軸に近づける錘部を更に備える構成とする。
【００２０】
より好ましくは、上記錘部は、上記内フレームと、この内フレームと共に上記第２の軸を中心に回動する部分との重心を、上記第２の軸の長さ方向における中央に近づけるように配置される構成とする。
【００２１】
上記構成によれば、内フレームの縦回転に加えて、横回転も抑制できるため、振動、衝撃に対してより強い構造となる。
好ましくは、上記片持ち梁部は、この片持ち梁部を備えるマイクロミラー素子に隣接するマイクロミラー素子の内フレームを駆動するための駆動部を有する構成とする。
【００２２】
上記構成によれば、配置の自由度を高めることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、ミラーを支持する支持部の幅は、ミラーの幅と略同一又はそれ以下であり、支持部は、ミラーと反対側の端部が外フレームに接続され、ミラー側の端部はミラーよりも外フレームとの接続位置側に位置する。そのため、マイクロミラー素子を互いに近接させて配列することで、ミラー配列方向においてミラーを互いに近接させることができる。よって、本発明によれば、マイクロミラー素子の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラーのミラー占有率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態に係るマイクロミラーアレイ（ＭＥＭＳミラーアレイ）について、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。なお、同図においては、マイクロミラー素子２を２つのみ図示しているが、マイクロミラーアレイ１には、３つ以上のマイクロミラー素子２を配列することも可能である。
【００２５】
同図に示すマイクロミラーアレイ１は、マイクロミラー素子２を１方向（同図における左右方向）に配列してなる。詳しくは後述するが、各マイクロミラー素子２は、２軸を中心に回動するミラー３、並びに、外フレーム８に接続されミラー３を支持する支持部としての内フレーム７及び片持ち梁部９を備えている。
【００２６】
ミラー３は、ミラーアーム４を介してミラー側可動電極（櫛歯電極）５に接続されてい
る。内フレーム７は、ミラー側可動電極５を囲むように形成され、ミラー３側の開口部において、一対のトーションバー６，６（第１の軸Ａ１）によりミラーアーム４を支持している。
【００２７】
内フレーム７には、ミラー側可動電極５に対向するミラー側固定電極（櫛歯電極）７ａが設けられている。これらミラー側可動電極５とミラー側固定電極７ａとが協働して発生させる静電気力により、ミラーアーム４に接続されたミラー３は、ミラーアーム４及びミラー側可動電極５と共に、トーションバー６，６を第１の軸Ａ１として回動（揺動）可能となっている。
【００２８】
内フレーム７は、片持ち梁部９（第２の軸Ａ２）により回動可能に支持されている。この片持ち梁部９は、一端が外フレーム８に固定されている。内フレーム７は、ミラー３側の端部と、その反対側の端部とにおいて、トーションバー１０，１０を介して片持ち梁部９により支持されている。
【００２９】
なお、上述のように片持ち梁部９が外フレーム８に固定されることで、支持部としての内フレーム７及び片持ち梁部９は、ミラー３と反対側の端部において外フレームに接続されていることになる。
【００３０】
そして、支持部のミラー３側の端部、即ち、内フレーム７及び片持ち梁部９からなる部分のミラー３側の端部は、ミラー３よりも外フレーム８との接続位置（片持ち梁部９の支持端）側に位置する。そのため、マイクロミラー素子２を互いに近接させて配列することで、ミラー配列方向においてミラー３を互いに近接させて、ミラー３の幅ＷｍをミラーピッチＷｐに近づけることが可能となっている。
【００３１】
なお、内フレーム７のミラー３側の端部と片持ち梁部９のミラー３側の端部とは、互いにミラー３からの距離が同一となっている。
内フレーム７には、外フレーム側可動電極（櫛歯電極）７ｂが設けられている。また、外フレーム８からミラー３側に延びる外フレームアーム８ａには、外フレーム側固定電極（櫛歯電極）８ｂが設けられている。そして、外フレーム側可動電極７ｂと外フレーム側固定電極８ｂとは、対向配置されている。これら外フレーム側可動電極７ｂと外フレーム側固定電極８ｂとが協働して発生させる静電気力により、内フレーム７は、片持ち梁９を第２の軸Ａ２として回動（揺動）可能となっている。
【００３２】
以上のように、ミラー３は、トーションバー６，６を第１の軸Ａ１とする回動動作と、トーションバー６，６に直交する片持ち梁９を第２の軸Ａ２とする回動動作との２軸を中心にした回動動作が可能となっている。
【００３３】
ここで、内フレーム７の幅Ｗ１は、ミラー３の配列方向における幅Ｗｍよりも小さい。そして、内フレーム７と片持ち梁部９とからなる部分、即ち支持部の幅Ｗ２は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一となっている。
【００３４】
以上説明した本実施形態では、支持部（内フレーム７及び片持ち梁部９）の幅Ｗ２は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一であり、支持部は、ミラー３と反対側の端部が外フレーム８に接続され、ミラー３側の端部はミラー３よりも外フレーム８との接続位置（片持ち梁部９の支持端）側に位置する。そのため、マイクロミラー素子２を互いに近接させて配列することで、ミラー配列方向においてミラー３を互いに近接させることができる。よって、本実施形態によれば、マイクロミラー素子２の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラー３のミラー占有率（ミラーピッチＷｐに対するミラー幅Ｗｍ）を高めることができる。
【００３５】
また、本実施形態では、マイクロミラー素子２は、トーションバー６，６（第１の軸Ａ１）を介してミラー３を回動可能に支持する内フレーム７と、一端が外フレーム８に接続され内フレーム７を回動可能に支持する片持ち梁部９（第２の軸Ａ２）とを備えている。そのため、ミラー３を支持する構成を簡素にすることができ、したがって、マイクロミラー素子２の集積を容易にすることができる。また、外フレーム８に生じるひずみによりマイクロミラー素子２にひずみが生じるのを回避することもできる。
【００３６】
また、本実施形態では、内フレーム７は、片持ち梁部９を第２の軸Ａ２として回動し、少なくともミラー３側の端部においてトーションバー１０により片持ち梁部９により支持されている。そのため、ミラー３を支持する内フレーム７の重心がミラー３側に寄っても、片持ち梁部９により内フレーム７を安定させて支持することができる。更には、マイクロミラー素子２の振動耐性を向上させることも可能となる。
【００３７】
なお、本実施形態では、内フレーム７の幅Ｗ１がミラー３の幅Ｗｍよりも小さいものとして説明したが、片持ち梁部９を配置しない構成や、片持ち梁９を配置しても支持部の幅Ｗ２がミラー３の幅Ｗｍを大きく超えない構成などの場合には、内フレーム７の幅Ｗ１をミラー３の幅Ｗｍと略同一とすることができる。
【００３８】
また、本実施形態では、支持部の幅Ｗ２をミラー３の幅Ｗｍと略同一とした例について説明したが、支持部の幅Ｗ２をミラー３の幅Ｗｍより小さくしても、ミラー配列方向においてミラー３を互いに近接させることができるため、支持部の幅Ｗ２をミラー３の幅Ｗｍより小さくしてもよい。
【００３９】
また、本実施形態では、内フレーム７がミラー３側の端部とその反対側の端部とにおいて片持ち梁部９により支持される構成について説明したが、内フレーム７が少なくともミラー３側の端部又はその近傍において片持ち梁部９により支持される構成とすることで、片持ち梁部９により内フレーム７を安定させて支持することができると共に、マイクロミラー素子２の振動耐性を向上させることができる。
また、本実施形態では、ミラー３等を回動させるための駆動部を櫛歯電極として説明したが、回動のための駆動方法は、櫛歯電極に限定されない。
【００４０】
＜第２実施形態＞
本実施形態では、内フレーム１７がその一部１７ｃを第２の軸Ａ２として回動する点及びそれに伴う構成を除いて、上記第１実施形態と同様であるため、同一の部材には図２に同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４１】
図２は、本発明の第２実施形態に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
同図に示すマイクロミラーアレイ１１のマイクロミラー素子１２では、ミラー３を支持する内フレーム１７の回動軸部１７ｃ（第２の軸Ａ２）は、ミラー３側の端部が片持ち梁部１９に、反対側の端部が外フレーム８に、それぞれトーションバー２０，２０を介して接続されている。これらトーションバー２０，２０は、回動軸部１７ｃから回動軸部１７ｃの長手方向に延びている。
【００４２】
片持ち梁部１９は、外フレーム８（支持端）側から内フレーム１７の回動軸部１７ｃと平行に延び、先端（自由端）側で回動軸部１７ｃ側に屈曲している。そして、片持ち梁部１９は、内フレーム１７のミラー３側の端部のみの１点で内フレーム１７を支持している。
【００４３】
以上説明した本実施形態においても、支持部（内フレーム１７及び片持ち梁部１９）の
幅Ｗ２は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一であり、支持部は、ミラー３と反対側の端部が外フレーム８に接続され、ミラー３側の端部はミラー３よりも外フレーム８との接続位置側に位置する。そのため、マイクロミラー素子１２を互いに近接させて配列することで、ミラー配列方向においてミラー３を互いに近接させることができる。よって、本実施形態によっても、マイクロミラー素子１２の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラー３のミラー占有率を高めることができる。
【００４４】
また、本実施形態では、内フレーム１７は、その一部１７ｃを第２の軸として回動し、この回動軸部１７ｃは、ミラー３側の端部が片持ち梁部１９により支持され、反対側の端部が外フレーム８により支持されている。そのため、片持ち梁部１９によって内フレーム１７を安定させて支持することができる。更には、マイクロミラー素子１２の振動耐性を向上させることも可能となる。
【００４５】
なお、本実施形態では、片持ち梁部１９は、ミラー３側の端部のみにおいて回動軸部１７ｃを支持する構成について説明したが、図３に示すように、回動軸部１７ｃを、ミラー３側の端部に加え外周面においてもトーションバー２０により支持するようにすることで、より一層、内フレーム１７を安定させて支持することができると共に振動耐性を向上させることができる。また、回動軸部１７ｃの外周面を、２以上のトーションバー２０を介して片持ち梁部１９により支持するようにしてもよい。
【００４６】
＜第３実施形態＞
本実施形態では、内フレーム２７に錘部２７ｄを形成した点、及び、隣接するマイクロミラー素子２２の内フレーム２７を駆動するための駆動部としての外フレーム側固定電極（電極）２９ｂを片持ち梁部２９に形成した点を除いて、上記第２実施形態と同様であるため、上記第２実施形態と同一の部材には図４に同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４７】
図４は、本発明の第３実施形態に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
同図に示すマイクロミラーアレイ２１のマイクロミラー素子２２では、ミラー３を支持する内フレーム２７の回動軸部２７ｃ（第２の軸Ａ２）は、上記第２実施形態と同様に、ミラー３側の端部が片持ち梁部２９に、反対側の端部が外フレーム８に、それぞれトーションバー２０，２０を介して接続されている。但し、本実施形態の内フレーム２７には、回動軸部２７ｃの外フレーム８側の端部に錘部２７ｄが設けられている。
【００４８】
錘部２７ｄは、内フレーム２７と、この内フレーム２７と共に回動する部分（本実施形態では、ミラー３、ミラーアーム４、ミラー側可動電極５、トーションバー６，６，２０，２０）との重心を、ミラー３の配列方向において内フレーム２７の回動軸部２７ｃ（第２の軸Ａ２）に近づけるように、且つ、回動軸部２７ｃ（第２の軸Ａ２）の長さ方向における中央２７ｅに近づけるように配置されている。
【００４９】
なお、内フレーム２７が片持ち梁部２９を第２の軸として回動する場合（例えば、上記第１実施形態）には、片持ち梁部２９の回動軸部に錘部を設け、上記重心を片持ち梁部２９の回動軸部に近づけるようにするとよい。
【００５０】
片持ち梁部２９は、ミラー３側の端部（自由端）から回動軸部２７ｃと平行に延び、内フレーム２７の錘部２７ｄとの干渉を避けるように回動軸部２７ｃから遠ざかる方向（ミラー配列方向）に屈曲して延びた後、再び屈曲して回動軸部２７ｃと平行に延びている。
【００５１】
支持部の幅、即ち内フレーム２７及び片持ち梁部２９の幅は、ミラー側固定電極２７ａにおける幅Ｗ２のみならず、錘部２７ｄにおける幅Ｗ３も、ミラー３の幅Ｗｍと略同一と
なっている。
【００５２】
片持ち梁部２９の回動軸部２７ｃから遠ざかるように延びる部分からは片持ち梁アーム２９ａがミラー３側に延びている。この片持ち梁アーム２９ａには、隣接するマイクロミラー素子２２の内フレーム２７を駆動するための外フレーム側固定電極（櫛歯電極）２９ｂが、隣接する内フレーム２７の外フレーム側可動電極２７ｂと対向するように配置されている。
【００５３】
以上説明した本実施形態においても、支持部（内フレーム２７及び片持ち梁部２９）の幅Ｗ２，Ｗ３は、ミラー３の幅Ｗｍと略同一であり、支持部は、ミラー３と反対側の端部が外フレーム８に接続され、ミラー３側の端部はミラー３よりも外フレーム８との接続位置側に位置する。そのため、マイクロミラー素子２２を互いに近接させて配列することで、ミラー配列方向においてミラー３を互いに近接させることができる。よって、本実施形態によっても、マイクロミラー素子２２の配列に制限を伴うことなく、２軸を中心に回動するミラー３のミラー占有率を高めることができる。
【００５４】
また、本実施形態では、錘部２７ｄは、内フレーム２７と、この内フレーム２７と共に回動する部分（ミラー３、ミラーアーム４、ミラー側可動電極５、トーションバー６，６，２０，２０）との重心を、ミラー配列方向において内フレーム２７の回動軸部２７ｃ（第２の軸Ａ２）に近づけるように、且つ、回動軸部２７ｃ（第２の軸Ａ２）の長さ方向における中央２７ｅに近づけるように配置されている。そのため、内フレーム２７を安定させて支持することができる。更には、マイクロミラー素子２２の振動耐性を向上させることも可能となる。
【００５５】
また、本実施形態では、片持ち梁部２９は、隣接するマイクロミラー素子２２の内フレーム２７を駆動するための外フレーム側固定電極２９ｂを有する。そのため、例えば、錘部２７ｄを回動軸部２７ｃの端部に配置することができるなど、配置の自由度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
【図３】本発明の第２実施形態の変形例に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係るマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
【図５】従来のマイクロミラーアレイを示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１      マイクロミラーアレイ
２      マイクロミラー素子
３      ミラー
４      ミラーアーム
５      ミラー側可動電極
６      トーションバー
７      内フレーム
７ａ      ミラー側固定電極
７ｂ      外フレーム側可動電極
８      外フレーム
８ａ      外フレームアーム
８ｂ      外フレーム側固定電極
９      片持ち梁部
１０      トーションバー
１１      マイクロミラーアレイ
１２      マイクロミラー素子
１７      内フレーム
１７ａ      ミラー側固定電極
１７ｂ      外フレーム側可動電極
１７ｃ    回動軸部
１９      片持ち梁部
２０      トーションバー
２１      マイクロミラーアレイ
２２      マイクロミラー素子
２７      内フレーム
２７ａ      ミラー側固定電極
２７ｂ      外フレーム側可動電極
２７ｃ      回動軸部
２７ｄ      錘部
２７ｅ      長さ方向中央部分
２９      片持ち梁部
２９ａ      片持ち梁アーム
２９ｂ      外フレーム側固定電極
【図１】
2010014902.tif 000003
【図２】
2010014902.tif 000004
【図３】
2010014902.tif 000005
【図４】
2010014902.tif 000006
【図５】
2010014902.tif 000007