(57)【要約】【課題】圧縮空気を除湿して得られた乾燥空気を供給先に供給する際に発生する騒音を低減することができる乾燥空気供給装置を提供する。【解決手段】乾燥空気供給装置１１は、コンプレッサ１２から供給された圧縮空気の流通方向においてドライヤ部Ｄの下流側に第１の減圧弁２３及び第２の減圧弁２４を備えるとともに第２の減圧弁２４の下流側に消音部Ｓを備える。消音部Ｓは、第２の減圧弁２４の下流側に配設された収容配管４０と、この収容配管４０内に収容された複数のサイレンサ６０及び複数のフィルタ６１とから構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給源から供給された圧縮空気を除湿するドライヤ部を備えるとともに前記圧縮空気から得られた乾燥空気を供給先に供給する乾燥空気供給装置であって、
前記供給源からの前記圧縮空気の流通方向において前記ドライヤ部の下流側に前記圧縮空気の流量調整機構を備えるとともに該流量調整機構の下流側に消音部を備え、
該消音部が、前記流量調整機構の下流側に配設された収容配管と、該収容配管内に収容されたサイレンサ及びフィルタのうちの少なくとも一方とから構成されている乾燥空気供給装置。
【請求項２】
前記消音部は、複数のサイレンサと、前記流通方向における前記サイレンサの下流側に配設された複数のフィルタとを備えている請求項１に記載の乾燥空気供給装置。
【請求項３】
前記複数のサイレンサ及び複数のフィルタそれぞれは、前記収容配管内において前記流通方向に対し並列に配設されている請求項２に記載の乾燥空気供給装置。
【請求項４】
前記収容配管は、該収容配管の上流側及び下流側の接続チューブの間に配設されるとともに、上流側の接続チューブと前記収容配管、及び前記下流側の接続チューブと前記収容配管とは、フランジ同士を接合して接続されている請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の乾燥空気供給装置。
【請求項５】
前記収容配管は、前記上流側の接続チューブと接続される第１配管部と、該第１配管部に接続されるとともに前記下流側の接続チューブに接続される第２配管部に分離可能に形成され、前記第１配管部と第２配管部はフランジ同士を接合して接続されている請求項４に記載の乾燥空気供給装置。
【請求項６】
前記収容配管は、前記流通方向における上流側から下流側に向けて徐々に拡径するように形成された拡径部を備える請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の乾燥空気供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供給源から供給された圧縮空気を除湿するドライヤ部を備えるとともに圧縮空気から得られた乾燥空気を供給先に供給する乾燥空気供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、樹脂の製造工場で用いられる乾燥空気は、圧縮空気を除湿して得られるが、この乾燥空気を製造し、供給する装置として、例えば、特許文献１の圧縮空気製造装置が挙げられる。この圧縮空気製造装置は、圧縮空気（湿潤空気）を供給するコンプレッサ、乾燥剤を充填した第１のチャンバ（第１のドライヤ）、第１のチャンバで得られた乾燥空気が供給される第１のレシーバタンクを備える。さらに、圧縮空気製造装置は、乾燥剤を充填した第２のチャンバ（第２のドライヤ）、第２のチャンバで得られた乾燥空気が供給される第２のレシーバタンクを備える。
【０００３】
圧縮空気製造装置によれば、コンプレッサで圧縮された圧縮空気は、第１のドライヤの第１のチャンバに供給され、この第１のチャンバで除湿されて乾燥される。そして、得られた乾燥空気は第１のレシーバタンクから乾燥空気の供給先に供給される。また、第１のレシーバタンクに蓄えられた乾燥空気は、第２のドライヤの第２のチャンバに供給され、さらに、乾燥されて第２のレシーバタンクに供給される。そして、この第２のレシーバタンクに蓄えられた乾燥空気は、第１のチャンバに充填された乾燥剤の再生用として第１のチャンバに供給される。
【特許文献１】特開２００２−３５５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１に開示の圧縮空気製造装置のように、圧縮空気から得られる乾燥空気はコンプレッサによって圧縮された高圧の気体である。このため、高圧の乾燥空気を供給先に供給する際は、高圧の乾燥空気が大気開放されることとなり、乾燥空気と大気との圧力差により乾燥空気の供給時に大きな騒音が発生するという問題があった。
【０００５】
本発明は、圧縮空気を除湿して得られた乾燥空気を供給先に供給する際に発生する騒音を低減することができる乾燥空気供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、供給源から供給された圧縮空気を除湿するドライヤ部を備えるとともに前記圧縮空気から得られた乾燥空気を供給先に供給する乾燥空気供給装置であって、前記供給源からの前記圧縮空気の流通方向において前記ドライヤ部の下流側に前記圧縮空気の流量調整機構を備えるとともに該流量調整機構の下流側に消音部を備え、該消音部が、前記流量調整機構の下流側に配設された収容配管と、該収容配管内に収容されたサイレンサ及びフィルタのうちの少なくとも一方とから構成されていることを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の乾燥空気供給装置において、前記消音部は、複数のサイレンサと、前記流通方向における前記サイレンサの下流側に配設された複数のフィルタとを備えていることを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の乾燥空気供給装置において、前記複数のサイレンサ及び複数のフィルタそれぞれは、前記収容配管内において前記流通方向に対し並列に配設されていることを要旨とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の乾燥空気供給装置において、前記収容配管は、該収容配管の上流側及び下流側の接続チューブの間に配設されるとともに、前記上流側の接続チューブと前記収容配管、及び前記下流側の接続チューブと前記収容配管とは、フランジ同士を接合して接続されていることを要旨とする。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の乾燥空気供給装置において、前記収容配管は、前記上流側の接続チューブと接続される第１配管部と、該第１配管部に接続されるとともに前記下流側の接続チューブに接続される第２配管部に分離可能に形成され、前記第１配管部と第２配管部はフランジ同士を接合して接続されていることを要旨とする。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の乾燥空気供給装置において、前記収容配管は、前記流通方向における上流側から下流側に向けて徐々に拡径するように形成された拡径部を備えることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、圧縮空気を除湿して得られた乾燥空気を供給先に供給する際に発生する騒音を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化した乾燥空気供給装置の一実施形態を図１〜図３にしたがって説明する。
本実施形態の乾燥空気供給装置は樹脂の製造工場に設置され、樹脂の乾燥工程を行う際に、樹脂（供給先）に供給される乾燥空気を製造するものである。図２に示すように、乾燥空気供給装置１１は、クリーンルームＣＲ（図２の２点鎖線に示す）内に設置されている。そして、乾燥空気供給装置１１には、製造工場に設けられたコンプレッサ１２から水分を含んだ高圧の圧縮空気が供給されるようになっている。よって、コンプレッサ１２が乾燥空気供給装置１１における圧縮空気の供給源となっている。
【００１４】
図１に示すように、コンプレッサ１２から供給された圧縮空気の流通方向（矢印Ｙに示す）において、コンプレッサ１２の下流側にはエアフィルタ１３が接続されるとともに、このエアフィルタ１３の下流側にはオイルミストフィルタ１４が接続されている。図２に示すように、エアフィルタ１３には第１排出管２７が接続されている。第１排出管２７には逆止弁２７ａが設けられている。また、オイルミストフィルタ１４には第２排出管２８が接続されている。第２排出管２８には逆止弁２８ａが設けられている。そして、第１排出管２７と第２排出管２８は、集中排出管２９に接続されるとともに、この集中排出管２９はクリーンルームＣＲ外へ引き出されている。
【００１５】
図１に示すように、オイルミストフィルタ１４の下流側には予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５が接続されるとともに、この予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５の下流側には本除湿用高分子膜式ドライヤ１６が接続されている。予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５と本除湿用高分子膜式ドライヤ１６は、圧縮空気の流通方向へ直列に接続されている。予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５及び本除湿用高分子膜式ドライヤ１６内それぞれにはポリイミド製等の高分子浸透膜からなる多数本の多孔質中空糸膜（図示せず）が収容されている。
【００１６】
そして、オイルミストフィルタ１４を通過した圧縮空気は、予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５によって予備除湿された後、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６によって本除湿される。よって、予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５と本除湿用高分子膜式ドライヤ１６とが、本実施形態において圧縮空気を除湿して乾燥空気を得るためのドライヤ部Ｄを構成している。
【００１７】
また、図２に示すように、予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５には第１排気管２０の一端が接続されている。本除湿用高分子膜式ドライヤ１６には第２排気管２１の一端が接続されている。さらに、第１排気管２０と第２排気管２１の他端それぞれは、集中排気管２２の一端に接続されるとともに、集中排気管２２の他端はクリーンルームＣＲ外へ引き出されている。
【００１８】
また、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６の下流側には、パージ用管路３６が接続されるとともに、パージ用管路３６には第１分岐管路３７及び第２分岐管路３８が接続されている。第１分岐管路３７は予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５に接続されるとともに、第２分岐管路３８は本除湿用高分子膜式ドライヤ１６に接続されている。
【００１９】
図１に示すように、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６の下流側には、流量調整機構としての第１の減圧弁２３が接続されるとともに、第１の減圧弁２３の下流側には、流量調整機構としての第２の減圧弁２４が接続されている。第１の減圧弁２３と第２の減圧弁２４は、圧縮空気の流通方向に対して直列に接続されている。そして、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６を通過した圧縮空気（乾燥空気）が、第１の減圧弁２３と第２の減圧弁２４を通過することによって所定の流量に調整される結果、圧縮空気はコンプレッサ１２で圧縮された時点に比して減圧されるようになっている。
【００２０】
第２の減圧弁２４の下流側には、第１接続チューブ３１を介して収容配管４０の一端が接続されるとともに、この収容配管４０の他端には第２接続チューブ３２を介してヒータ２５が接続されている。すなわち、第２の減圧弁２４とヒータ２５の間には収容配管４０が配設されている。
【００２１】
図３に示すように、第１接続チューブ３１は、筒状をなすチューブ部３１ａと、このチューブ部３１ａの一端に設けられた螺着部（図示せず）と、チューブ部３１ａの他端外周面に接合された、フランジとしての円環状の接続用フランジ３１ｂとから形成されている。接続用フランジ３１ｂの外周寄りの位置には、複数のネジ孔３１ｃが接続用フランジ３１ｂの周方向に沿って等間隔おきに形成されている。そして、第１接続チューブ３１は、螺着部を第２の減圧弁２４の接続ポート（図示せず）に螺着することによって第２の減圧弁２４に接続されている。
【００２２】
また、第２接続チューブ３２は、筒状をなすチューブ部３２ａと、このチューブ部３２ａの一端外周面に接合された、フランジとしての円環状の接続用フランジ３２ｂと、チューブ部３２ａの他端に設けられた螺着部（図示せず）とから形成されている。接続用フランジ３２ｂの外周寄りの位置には、複数のネジ孔３２ｃが接続用フランジ３２ｂの周方向に沿って等間隔おきに形成されている。そして、第２接続チューブ３２は、螺着部をヒータ２５の接続ポート（図示せず）に螺着することによってヒータ２５に接続されている。
【００２３】
収容配管４０は、圧縮空気の流通方向における上流側に位置する第１配管部４１と、流通方向において第１配管部４１の下流側に位置する第２配管部５１とを接続して形成されている。
【００２４】
第１配管部４１は、筒状部４２と、この筒状部４２の一端に接合されたフランジとしての円板状をなす第１フランジ４３と、筒状部４２の他端外周面に接合されたフランジとしての円環状をなす第２フランジ４４とから形成されている。筒状部４２の軸方向における中央部には、筒状部４２の一端側から他端側に向かうに従い内径及び外径が拡径する拡径部４２ａが形成されている。また、第１フランジ４３の外周寄りの位置には、複数のネジ孔４３ａが第１フランジ４３の周方向に沿って等間隔おきに形成されるとともに、第２フランジ４４の外周寄りの位置には、複数のネジ孔４４ａが第２フランジ４４の周方向に沿って等間隔おきに形成されている。
【００２５】
また、第２配管部５１は、直管状をなす筒状部５２と、この筒状部５２の一端に接合されたフランジとしての円板状をなす第１フランジ５３と、筒状部５２の他端外周面に接合されたフランジとしての円環状をなす第２フランジ５４とから形成されている。第１フランジ５３の外周寄りの位置には、複数のネジ孔５３ａが第１フランジ５３の周方向に沿って等間隔おきに形成されるとともに、第２フランジ５４の外周寄りの位置には、複数のネジ孔５４ａが第２フランジ５４の周方向に沿って等間隔おきに形成されている。
【００２６】
そして、第１接続チューブ３１の接続用フランジ３１ｂと、第１配管部４１の第１フランジ４３との間にガスケットＧ１を介在させた状態で、第１接続チューブ３１のネジ孔３１ｃと第１配管部４１のネジ孔４３ａとに固定部材３５を螺合することにより、第１接続チューブ３１と第１配管部４１とが接続されている。この接続状態では、第１配管部４１の第１フランジ４３が第１接続チューブ３１のチューブ部３１ａ内に面している。
【００２７】
また、第１配管部４１の第２フランジ４４と、第２配管部５１の第１フランジ５３との間にガスケットＧ２を介在させた状態で、第１配管部４１のネジ孔４４ａと第２配管部５１のネジ孔５３ａとに固定部材４５を螺合することにより、第１配管部４１と第２配管部５１とが接続されている。これにより、第１配管部４１と第２配管部５１とから収容配管４０が形成されている。この接続状態では、第２配管部５１の第１フランジ５３が第１配管部４１（筒状部４２）内に面している。
【００２８】
さらに、第２配管部５１の第２フランジ５４と、第２接続チューブ３２の接続用フランジ３２ｂとの間にガスケットＧ３を介在させた状態で、第２配管部５１のネジ孔５４ａと接続用フランジ３２ｂのネジ孔３２ｃとに固定部材３９を螺合することにより、第２配管部５１と第２接続チューブ３２とが接続されている。
【００２９】
第１フランジ４３には、複数（本実施形態では３つ）のサイレンサ６０が、圧縮空気の流通方向に対し並列となるように取り付けられている。複数のサイレンサ６０は、第１配管部４１の筒状部４２内に収容されている。サイレンサ６０の内部には塩化ビニリデンよりなるエレメント（図示せず）が収容されている。各サイレンサ６０は、一端が第１フランジ４３を貫通して第１接続チューブ３１のチューブ部３１ａ内に向けて開口しているとともに、他端が筒状部４２内に向けて開口している。
【００３０】
また、第２配管部５１内において、第１フランジ５３には、複数（本実施形態では３つ）のフィルタ６１が、圧縮空気の流通方向に対し並列となるように取り付けられている。複数のフィルタ６１は、第２配管部５１の筒状部５２内に収容されている。フィルタ６１の内部には中空糸膜よりなるエレメント（図示せず）が収容されている。各フィルタ６１は、一端が第１フランジ５３を貫通して第１配管部４１の筒状部４２内に向けて開口しているとともに、他端が第２配管部５１の筒状部５２内に向けて開口している。そして、収容配管４０と、この収容配管４０内に収容された複数のサイレンサ６０及び複数のフィルタ６１とから、圧縮空気の騒音を低減するための消音部Ｓが構成されている。
【００３１】
本実施形態では、エアフィルタ１３と、オイルミストフィルタ１４と、ドライヤ部Ｄたる予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５及び本除湿用高分子膜式ドライヤ１６と、流量調整機構たる第１の減圧弁２３及び第２の減圧弁２４と、消音部Ｓと、ヒータ２５とから乾燥空気供給装置１１が構成されている。
【００３２】
さて、上記構成の乾燥空気供給装置１１によれば、コンプレッサ１２から供給された高圧の圧縮空気はエアフィルタ１３を通過し、オイルミストフィルタ１４に流入する。圧縮空気がエアフィルタ１３を通過する際、圧縮空気に含まれる塵芥等がエアフィルタ１３で除去される。また、オイルミストフィルタ１４を圧縮空気が通過する際に、オイルミストフィルタ１４により圧縮空気に含まれるオイルが除去される。
【００３３】
次に、予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５に圧縮空気が流入すると、予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５内の多孔質中空糸膜により圧縮空気は除湿される。予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５内の圧縮空気の一部は、第１排気管２０から集中排気管２２へ排出される。続けて、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６内に流入した圧縮空気は、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６内の多孔質中空糸膜により除湿され、低露点（例えば、マイナス９０°Ｃ以下の超低露点）となる。
【００３４】
なお、圧縮空気を除湿した両高分子膜式ドライヤ１５，１６の多孔質中空糸膜の再生は、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６から流出した低露点の圧縮空気（乾燥空気）によって行われる。図２に示すように、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６によって除湿された低露点の圧縮空気が、パージ用管路３６から第１及び第２分岐管路３７，３８を通過して両高分子膜式ドライヤ１５，１６内に導入される。すると、乾燥した圧縮空気（乾燥空気）が多孔質中空糸膜内に供給され、水分が浸透した多孔質中空糸膜から水分が除去されて多孔質中空糸膜が再生される。
【００３５】
本除湿用高分子膜式ドライヤ１６で除湿された圧縮空気（乾燥空気）の大部分は第１の減圧弁２３に流入するとともに、一部が第２排気管２１から集中排気管２２へ排出される。そして、予備除湿用高分子膜式ドライヤ１５から第１排気管２０に排出された圧縮空気と、本除湿用高分子膜式ドライヤ１６から第２排気管２１に排出された圧縮空気とは、集中排気管２２に纏められ、集中排気管２２からクリーンルームＣＲ外へ排出される。
【００３６】
本除湿用高分子膜式ドライヤ１６を通過した圧縮空気は、第１の減圧弁２３及び第２の減圧弁２４を連続して通過することにより、乾燥空気の供給先への供給量になるように徐々に流量が調整されると同時に徐々に減圧されていく。そして、第２の減圧弁２４を通過した圧縮空気は第１接続チューブ３１に流入する。
【００３７】
このとき、第１接続チューブ３１におけるチューブ部３１ａの他端開口には、第１配管部４１の第１フランジ４３が臨んでいるとともに、この第１フランジ４３には複数のサイレンサ６０の一端が開口している。このため、第１接続チューブ３１内に流入した圧縮空気は、各サイレンサ６０内に一端側から流入する。すると、圧縮空気は、複数のサイレンサ６０のエレメントによって減衰されて圧縮空気から発生する音が低減されるとともに、減圧される。
【００３８】
サイレンサ６０を通過した圧縮空気は、サイレンサ６０の他端から第１配管部４１の筒状部４２内に開放される。このとき、圧縮空気はサイレンサ６０内より広がった空間たる筒状部４２内に開放されるため、筒状部４２内で膨張し減圧される。さらに、筒状部４２は、圧縮空気の上流側から下流側に向けて拡径する拡径部４２ａを備える。このため、筒状部４２内に開放された圧縮空気は拡径部４２ａで確実に膨張し減圧される。
【００３９】
さらに、筒状部４２内には、第２配管部５１の第１フランジ５３の内面が臨んでいるとともに、この第１フランジ５３には複数のフィルタ６１の一端が開口している。このため、筒状部４２内に流入した圧縮空気は、各フィルタ６１内に一端側から流入する。すると、圧縮空気は、複数のフィルタ６１のエレメントによって減衰されて圧縮空気から発生する音が低減されるとともに、減圧される。また、圧縮空気に含まれる塵芥等がフィルタ６１のエレメントで除去される。
【００４０】
そして、フィルタ６１を通過した圧縮空気は、フィルタ６１の他端から第２配管部５１の筒状部５２内に開放される。このとき、圧縮空気はフィルタ６１内より広がった空間たる筒状部５２内に開放されるため、筒状部５２内で膨張し減圧される。そして、圧縮空気が筒状部５２内で減圧されることにより、圧縮空気は大気圧に近い圧力まで減圧される。
【００４１】
その後、筒状部５２内の圧縮空気は、第２接続チューブ３２を通過した後、ヒータ２５によって所定の温度にまで加熱される。なお、ヒータ２５によって加熱される圧縮空気の温度（所定の温度）とは、樹脂の乾燥工程に用いられるのに適した温度であり、乾燥対象に応じて適宜変更される。そして、ヒータ２５を通過した圧縮空気が、乾燥空気として大気開放されるとともに供給先に供給される。
【００４２】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）乾燥空気供給装置１１は、ドライヤ部Ｄの下流側に第１の減圧弁２３及び第２の減圧弁２４を備えるとともに、第２の減圧弁２４の下流側に消音部Ｓを備えている。そして、消音部Ｓは、収容配管４０と、この収容配管４０に収容されたサイレンサ６０及びフィルタ６１とから構成されている。このため、第１の減圧弁２３及び第２の減圧弁２４で減圧された圧縮空気は、消音部Ｓを通過する際にサイレンサ６０及びフィルタ６１で減衰される。さらに、サイレンサ６０を通過した圧縮空気は収容配管４０内で膨張して減圧されるとともに、フィルタ６１を通過した圧縮空気は収容配管４０内で膨張して減圧される。よって、高圧の圧縮空気を消音部Ｓによって減衰させ大気圧近くまで減圧することができるため、圧縮空気と大気との圧力差を小さくして、圧縮空気が大気に開放されるときに発生する騒音を低減することができる。
【００４３】
（２）消音部Ｓは、サイレンサ６０と、流通方向におけるサイレンサ６０の下流側に配設されたフィルタ６１を備えている。このため、サイレンサ６０によって圧縮空気から発生する騒音を低減させた後、さらにフィルタ６１によって圧縮空気から発生する騒音を低減させることができる。よって、圧縮空気から発生する騒音を確実に低減させることができる。
【００４４】
（３）消音部Ｓは、複数のサイレンサ６０と複数のフィルタ６１を備えている。このため、例えば、消音部Ｓが、サイレンサ６０及びフィルタ６１を一つずつ備える場合に比して、収容配管４０内でのサイレンサ６０及びフィルタ６１それぞれにおける圧縮空気の通路断面積を大きくすることができる。したがって、消音部Ｓでの圧縮空気の減衰効率を向上させ、騒音を確実に低減させることができる。
【００４５】
（４）複数のサイレンサ６０及び複数のフィルタ６１それぞれは収容配管４０内に並列に配設されている。このため、各サイレンサ６０及び各フィルタ６１を通過した圧縮空気を、一括して収容配管４０内で膨張させることができる。よって、例えば、複数のサイレンサ６０及び複数のフィルタ６１それぞれを直列に接続する場合に比して、効率良く圧縮空気を減圧させることができる。
【００４６】
（５）収容配管４０は第１配管部４１と第２配管部５１を接合してなるとともに、収容配管４０は第１接続チューブ３１と第２接続チューブ３２の間に配設されている。そして、第１接続チューブ３１と第１配管部４１は接続用フランジ３１ｂと第１フランジ４３を接合し、第１配管部４１と第２配管部５１は第２フランジ４４と第１フランジ５３を接合し、第２配管部５１と第２接続チューブ３２は第２フランジ５４と接続用フランジ３２ｂを接合して接続されている。よって、収容配管４０は、第１配管部４１と第２配管部５１それぞれを個別に分離することができる。その結果、第１配管部４１内に収容されたサイレンサ６０、及び第２配管部５１内に収容されたフィルタ６１を、収容配管４０に対し容易に着脱することができる。したがって、サイレンサ６０及びフィルタ６１のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００４７】
（６）収容配管４０における第１配管部４１は、流通方向における上流側から下流側に向けて徐々に拡径するように形成された拡径部４２ａを備える。このため、拡径部４２ａにより、収容配管４０内で圧縮空気を膨張させて減圧することができ、騒音低減に寄与することができる。
【００４８】
（７）サイレンサ６０及びフィルタ６１は収容配管４０内に収容されている。このため、サイレンサ６０及びフィルタ６１を圧縮空気が通過する際にサイレンサ６０及びフィルタ６１から発生する騒音を、収容配管４０によって漏れるのを抑えることができる。
【００４９】
（８）消音部Ｓにおいて、圧縮空気を減衰させる構造としてフィルタ６１を用いた。フィルタ６１は中空糸膜よりなるエレメントを備える。このため、フィルタ６１により圧縮空気を減衰させつつ塵芥等も除去することができる。よって、圧縮空気を供給先へ供給する直前で塵芥等を除去することができ、クリーンな圧縮空気（乾燥空気）を供給先に供給することができる。
【００５０】
（９）消音部Ｓにおいて、複数のサイレンサ６０及び複数のフィルタ６１は収容配管４０内で並列に収容されている。このため、収容配管４０内に流入した圧縮空気は収容配管４０内で各サイレンサ６０及び各フィルタ６１に向かって流れる。すなわち、各サイレンサ６０及び各フィルタ６１に圧縮空気を流すために、第２の減圧弁２４の後の流路を複数の分岐管に分岐し、各分岐管にサイレンサ６０及びフィルタ６１を接続する構成を採用していない。よって、本実施形態の乾燥空気供給装置１１は、圧縮空気を複数の分岐管に分岐することによって発生する曲げ配管が存在せず、圧縮空気が曲げ配管を通過する際に発生する騒音を無くすことができる。
【００５１】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○  収容配管４０において、筒状部４２の拡径部４２ａは無くてもよい。
○  図４に示すように、収容配管４０において、第１配管部４１における筒状部４２に、実施形態の拡径部４２ａに加え、さらに拡径部４２ｂを設けて第１配管部４１を段階的に拡径させてもよい。この場合、第１配管部４１におけるサイレンサ６０は無くてもよく、消音部Ｓは、収容配管４０と、この収容配管４０内に収容されたフィルタ６１とから構成されていてもよい。
【００５２】
○  第２配管部５１に拡径部を設けてもよい。
○  複数のサイレンサ６０は第１配管部４１内で直列に接続して設けられていてもよく、フィルタ６１は筒状部４２内で直列に接続して設けられていてもよい。
【００５３】
○  消音部Ｓにおいて、第１配管部４１内にサイレンサ６０を一つだけ設けてもよく、第２配管部５１内にフィルタ６１を一つだけ設けてもよい。また、収容配管４０内において、サイレンサ６０及びフィルタ６１のうち一方だけを一つだけ設け他方は複数設けてもよい。
【００５４】
○  収容配管４０内において、上流側にフィルタ６１を配設するとともに、フィルタ６１の下流側にサイレンサ６０を配設してもよい。
○  収容配管４０は第１配管部４１と第２配管部５１に分離できない構成、すなわち、収容配管４０を一つの管体としてもよい。
【００５５】
○  実施形態では流量調整機構として第１の減圧弁２３及び第２の減圧弁２４に具体化したが、流量調整機構を流量調整弁に具体化してもよい。また、流量調整機構として減圧弁を一つだけ設けてもよい。
【００５６】
○  消音部Ｓを、収容配管４０と、この収容配管４０内に設けたサイレンサ６０とから構成してもよい。
○  ヒータ２５は無くてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】実施形態の乾燥空気供給装置を示す図。
【図２】乾燥空気供給装置を模式的に示す図。
【図３】消音部を示す断面図。
【図４】消音部の別例を示す断面図。
【符号の説明】
【００５８】
Ｄ…ドライヤ部、Ｓ…消音部、１１…乾燥空気供給装置、１２…供給源としてのコンプレッサ、２３…流量調整機構としての第１の減圧弁、２４…流量調整機構としての第２の減圧弁、３１…第１接続チューブ、３１ｂ…接続用フランジ、３２…第２接続チューブ、３２ｂ…接続用フランジ、４０…収容配管、４１…第１配管部、４２ａ，４２ｂ…拡径部、４３…第１フランジ、４４…第２フランジ、５１…第２配管部、５３…第１フランジ、５４…第２フランジ、６０…サイレンサ、６１…フィルタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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