(57)【要約】【課題】ディスクリートパターンを形成する際のダストの発生を抑制する。【解決手段】磁気記録層の記録領域は、凹凸状のトラックパターン及びサーボパターンにより形成される非平滑面、かつその非記録領域は凹凸状の擬似パターンにより形成される非平滑面を各々有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔を有するディスク基板、及び該ディスク基板の少なくとも一主面上に設けられた磁気記録層を含み、前記磁気記録層の記録領域は凹凸状のトラックパターン及びサーボパターンにより形成される非平滑面を有し、かつその非記録領域は凹凸状の擬似パターンにより形成される非平滑面を有することを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記非平滑面は、前記磁気記録層の中心から９．１ｍｍよりも外側に設けられる請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記非平滑面は、前記磁気記録層の中心から１３．５ｍｍよりも外側に設けられる請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記非平滑面は、前記磁気記録層の一主面上の中心孔側端部から外周端部に亘って設けられる請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記擬似パターンの凹凸の深さは、前記記録トラックの溝深さ±２ｎｍである請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を支持および回転駆動する機構と、前記磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録層表面にディスクリートトラックを有する磁気記録媒体、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録装置であるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の媒体記録密度を向上するために、記録トラック同士を物理的に分離したディスクリートトラックレコーディング媒体（ＤＴＲ媒体）が提案されている。
【０００３】
これは媒体表面に溝を設けてトラックを分断し、トラック方向の記録密度を上げようというものである。この媒体では、トラック間に溝を設けるのと同時に、サーボパターンも凹凸で刻み込むことができるため、パターニングに工夫をすれば、これまでのようにサーボ信号を一枚一枚記録する必要がなく生産性も向上できる。
【０００４】
このＤＴＲ媒体の製造する過程では、磁気記録層表面に塗布されたレジストに対してインプリントスタンパーを押し付け、レジストに凹凸パターンを転写し、さらに、このレジストをマスクとして磁気記録層を加工する。
【０００５】
しかし、パターンの原盤を作製する電子ビーム描画工程では描画面積に比例した描画時間がかかるため、通常、パターンの必要とされる記録領域にのみ描画を行っており、そのため記録領域外はパターンのない平滑面となる。記録領域内のサーボパターンやトラックパターンなどの凹凸面と、記録領域の内周及び外周に設けられた非記録領域の平滑面とでは、エッチング速度が全く異なるために均一なエッチングを行うことが出来ない。このためレジストの剥離状態が不均一となり、マスクとして用いられるレジスト材料が最終製品に残りやすく、これがダスト源となって、媒体の汚染や磁気ヘッドのクラッシュなどの不具合を生み出す原因となっていた。
【０００６】
このようなことから、例えばＤＴＲ媒体製造プロセスにおいてダストが生じやすい磁気ディスク外周端に、テーパ状のリセス加工を施したＤＴＲ媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この媒体は、あらかじめ媒体表面を一段下げてダストが付着した場合でもヘッドのクラッシュを防ぐことを試みている。
【０００７】
しかしながら、最終製品にレジストが残ってしまう原因は、パターン形成後のレジスト剥離工程において、パターンがある領域とない領域とでエッチング速度の差が生じ、エッチング速度の遅い領域つまりパターンのない非記録領域が剥離不足になってしまうことにあることから、この剥離不足を解消する対策が望まれている。
【０００８】
なお、剥離不足となったところをさらにエッチングすると過剥離となり、パターンを損なったり磁性体にダメージを与えるため、エッチング速度の遅い領域に合わせることは出来ない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２０９９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、磁気記録層上にディスクリートパターンを形成する際のダストの発生を抑制し得る磁気記録媒体、及びこれを用いた磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の磁気記録媒体は、中心孔を有するディスク基板、及び該ディスク基板の少なくとも一主面上に設けられた磁気記録層を含み、前記磁気記録層の記録領域は凹凸状のトラックパターン及びサーボパターンにより形成される非平滑面を有し、かつその非記録領域は凹凸状の擬似パターンにより形成される非平滑面を有することを特徴とする。
【００１２】
また、中心孔を有するディスク基板、及び該ディスク基板の少なくとも一主面上に設けられた磁気記録層を含み、前記磁気記録層の記録領域は凹凸状のトラックパターン及びサーボパターンにより形成される非平滑面を有し、かつその非記録領域は凹凸状の擬似パターンにより形成される非平滑面を有する磁気記録媒体、及び前記垂直磁気記録媒体を支持および回転駆動する機構と、前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明を用いると、磁気記録層上にディスクリートパターンを形成する際のダストの発生を抑制し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の磁気記録媒体の一例を表す正面図である。
【図２】本発明に用いられる樹脂スタンパー成形用金型の構成を表す概略図である。
【図３】本発明に係る磁気記録媒体を形成する工程を表す断面図である。
【図４】レジスト剥離の様子の一例を表す図である。
【図５】インプリント工程の際の記録領域、非記録領域の位置を説明する図である。
【図６】本発明に係る磁気記録媒体の斜光観察結果を表す図である。
【図７】インプリント後の磁気記録媒体の一例におけるレジスト厚さムラ測定結果を表す図である。
【図８】インプリント後の磁気記録媒体の他の一例におけるレジスト厚さムラ測定結果を表す図である。
【図９】Ｎｉスタンパの製造方法の工程図である。
【図１０】本発明に係る磁気記録再生装置の一例を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の磁気記録媒体は、垂直磁気記録に用いられるもので、中心孔を有するディスク基板と、ディスク基板の少なくとも一主面上に設けられ、非平滑面を有する垂直磁気記録層とを含む。
【００１６】
この非平滑面は、上記垂直磁気記録層の記録領域及び非記録領域に設けられる。
【００１７】
上記記録領域の非平滑面は、凹凸状のトラックパターン及びサーボパターンにより形成され、また、上記非記録領域の非平滑面は、凹凸状の擬似パターンにより形成される。
【００１８】
また、本発明の磁気記録再生装置は、上記垂直磁気記録媒体、及び垂直磁気記録媒体を支持および回転駆動する機構と、垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、磁気ヘッドを垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備する。
【００１９】
本発明によれば、磁気記録層表面にディスクリートパターンを加工する際に、マスクとして形成するレジスト層が、記録領域のみならず非記録領域にも非平滑面を有するので、ドライエッチングの際のエッチング速度がより均一化して、均一なエッチングを行うことが出来る。均一なエッチングにより、レジストの剥離も均一となり、レジスト残りに起因するダストの発生を抑制することが出来る。
【００２０】
本発明に用いられる非平滑面は、１．８インチのディスク基板を使用する場合、磁気記録層の中心から９．１ｍｍよりも外側に設けることができる。これにより、レジストの剥離不足が発生しやすい磁気記録層の外周付近のエッチング速度を均一化し得る。
【００２１】
また、２．５インチのディスク基板を使用する場合、非平滑面は、磁気記録層の中心から１３．５ｍｍよりも外側に設けることができる。これにより、レジストの剥離不足が発生しやすい磁気記録層の外周付近のエッチング速度を均一化し得る。
【００２２】
さらにまた、非平滑面は、前記磁気記録層の一主面上の中心孔側端部から外周側端部に亘って設けることができる。例えば記録領域に加えて、記録領域の内周側に設けられた非記録領域から記録領域の外周に設けられた非記録領域までも非平滑面とすることが出来る。これにより、エッチング速度をより均一化することが可能となる。
【００２３】
また、擬似パターンの凹凸の深さは、記録トラックの溝深さと同程度であることが好ましく、最終的に磁気記録媒体に刻まれる非記録領域の擬似パターンの凹凸深さは記録トラックの溝深さ±２ｎｍとすることができる。記録トラックの溝深さ±２ｎｍの範囲外であると、エッチング速度の均一化が困難となる傾向がある。
【００２４】
また、例えばスタンパを用いてパターン転写を行う場合、例えばスピンコート方式やスプレー方式等の塗布方法によりスタンパにレジストを塗布して磁気記録媒体に押し付けるいわゆるインプリント工程において、非記録領域に擬似パターンがあればレジストの流れがそこで阻害されるため、スタンパの表面領域のみに選択的にレジストを塗布することが可能となり、余分なところへの汚染を防ぐことが出来る。
【００２５】
もし、レジストがスタンパの表面領域のみにとどまらず、磁気記録媒体外の不要な領域にまで流れると、それが回り込んで媒体の汚染、レジスト厚さムラ、及びなレジスト塗布装置の汚染などの諸問題を引き起こす。
【００２６】
また、非記録領域に擬似パターンを設けると、塗布時だけでなく、インプリント工程でスタンパを加圧するときに押されて流れ出たレジストが磁気記録媒体の縁にはみ出してくることを防ぐことも出来るため、ディスクリート型磁気記録媒体の汚染防止に効果が高い。
【００２７】
以下、図面を参照し、本発明をより詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明の磁気記録媒体の一例を表す正面図である。
【００２９】
図１に示すように、この磁気記録媒体４４は、中心孔を有するディスク基板、及びディスク基板の少なくとも一主面上に設けられた磁気記録層を含み、磁気記録層の記録領域４６は凹凸状のトラックパターン及びサーボパターンにより形成される非平滑面を有し、かつその内側に設けられた非記録領域４５及びその外側に設けられた非記録領域４７は各々凹凸状の擬似パターンにより形成される非平滑面を有する。
【００３０】
図１に示すように、本発明の磁気記録媒体の一例では、例えば非記録領域を含む内径孔から外径端までの媒体全面において凹凸パターンを形成し、平滑面を有しない構造とすることが出来る。このとき記録領域においては当然トラック溝とサーボパターンが刻まれるが、非記録領域においては任意の擬似パターンで良い。しかし、望ましくは、記録領域に刻まれたパターンと同程度のオーダーの寸法を持つ擬似パターンであればなお効果的である。
【００３１】
図２に、本発明に用いられる樹脂スタンパー成形用金型の構成の一例を表す概略図を示す。
【００３２】
図示するように、この樹脂スタンパー成形用金型３０は、ランダムな方向に鏡面研磨された金属スタンパー取り付け面１２を備えた固定側型板１と、金属スタンパー３と、固定側型板１に対し、金属スタンパー３を介して対向配置された移動側型板２とを有する。金属スタンパー３は、例えばスパイラルあるいは同心円状のディースクリートトラック、及びサーボ形状に応じた記録領域用凹凸形状と、記録領域用凹凸形状の内周及び外周に設けられ、この凹凸形状と同様の深さを有する例えばスパイラルあるいは同心円状のパターンからなる非記録領域用凹凸形状とを持つ一主面３ａと、鏡面研磨された他の主面３ｂとを有し、他の主面３ｂを金属スタンパー取り付け面１２に接触させて載置されている。４０は、この金型３０を用いて射出成形され得るディスク状の樹脂スタンパーを模式的に表す。
【００３３】
主面３ａに示すように、金属スタンパー３は、磁気記録層の記録領域のみならず、非記録領域に亘り非平滑面を有している。
【００３４】
なお、非記録領域用凹凸形状は、上記スパイラルあるいは同心円状に限定されるものではなく、非平滑面を形成し得る形状であれば、例えば擬似サーボパターン形状、放射形状、ドット形状、及び格子形状等の種々の形状を用いることが出来る。
【００３５】
図３に、図２に示す金型から得られた樹脂スタンパーを用いてディスクリートトラックを持つ磁気記録媒体を形成する工程を表す断面図を示す。
【００３６】
樹脂スタンパーを用いて磁気記録媒体を形成するには、図２の金型を用いて射出成形することにより樹脂スタンパー４０を得る。まず、固定側型板１上にディスクリートトラック及びサーボパターンに応じた凹凸パターン３ａを有する金属たとえばＮｉスタンパー３を、その凹凸パターン３ａが移動側型板２に向くように載置して、固定側型板１と移動側型板２を合わせて、そのキャビティ内に固定側型板１中央部に通じる注入孔６から、溶融した射出成形樹脂を射出する。続いて、型締めにより加圧した後、冷却することにより、射出成形を行う。成形体の中心部分を図示しないカットパンチにより打ち抜き、中心孔を有するディスク状の樹脂スタンパー４０が得られる。金属スタンパー３の表面３ａには、記録領域におけるトラックとサーボパターンのみならず、その内周及び外周側に設けられた非記録領域においても凹凸が刻み込まれている。このため、これを型として成形された樹脂スタンパー４０には、記録領域のトラック及びサーボパターンに応じた凹凸と、その内周及び外周に設けられた非記録領域の凹凸が転写されている。射出成形樹脂材料としては、例えばシクロオレフィンポリマーやポリカーボネート、アクリルなどを使用することができる。
【００３７】
次に、図３（ａ）に示すように、ディスク基板４８とこの上に形成された磁気記録層４１を持つ磁気記録媒体４４を用意し、その磁気記録層４１表面に紫外線硬化樹脂４３を塗布し、その上へこの樹脂スタンパー４０を押し付けて紫外線を照射して硬化させる（ＵＶインプリント）。
【００３８】
続いて、図３（ｂ）に示すように、樹脂スタンパー４０を紫外線硬化樹脂から剥す。樹脂スタンパーを剥離して、トラックとサーボパターンのみならず、その内周及び外周側に設けられた非記録領域においても凹凸が転写された紫外線硬化樹脂層を露出させる。
【００３９】
その後、図２（ｃ）に示すように、例えばＣＦ４ガスやＯ２ガスドライエッチングにより、パターン凹部の紫外線硬化樹脂４３の残渣を除去し、凹凸パターンの凹部に磁気記録媒体４１表面が露出するまで底出しを行う。
【００４０】
さらに、図３（ｄ）に示すように、例えばＡｒ等のイオンミリングにより、紫外線硬化樹脂４３をマスクとして磁気記録層４１表面の加工を行う。これにより磁気記録層４１表面にトラックとサーボパターンの凹凸及びその内周及び外周側に設けられた非記録領域においても凹凸が形成される。イオンミリングにより、磁気記録媒体４１表面を加工する。
【００４１】
その後、図３（ｅ）に示すように、紫外線硬化樹脂４３をドライエッチングにより除去することにより、ディスクリートトラック型磁気記録媒体４４’が得られる。
【００４２】
得られた磁気記録媒体に、必要に応じて、パターン凹部への非磁性体の埋め込みや、潤滑剤の塗布、及びテープ研磨などの後工程を行うことが出来る。
【００４３】
なお、ここで取り扱う磁気記録媒体は１．８インチとし、例えば、直径４８ｍｍ±０．２ｍｍ、中心孔の径１２．０１ｍｍ±０．０１ｍｍ、厚み０．５０８ｍｍ±０．０５ｍｍ  とするが、２．５インチ媒体（直径６５ｍｍ±０．２ｍｍ、中心孔の直径２０．０１ｍｍ±０．０１ｍｍ、厚み０．６３５ｍｍ±０．０５ｍｍ）を用いることも出来る。
【００４４】
この図３（ｄ），（ｅ）へ至るレジスト（ここでは紫外線硬化樹脂）剥離の工程において、レジスト材料が最終製品に残り発塵源となる問題が発生する。
【００４５】
図４に、レジスト剥離の様子の一例を説明する図を示す。
【００４６】
図４（ａ），図４（ｂ）に示すように、パターンのある領域（記録領域）１０１とパターンの無い領域（非記録領域）１０２では表面積が違うため、ドライプロセスによるアッシング剥離（例えばＣＦ４ガスやＯ２ガス）の際に、剥離のレートが大きく異なる。具体的にはパターンの無い部分の方が剥離レートが遅く、パターンのある領域１０１のマスク４３の剥離が終了して磁気記録媒体４４のパターンが露出した段階においても、パターンのない領域１０２にはレジスト残渣４３’が図４（ｃ）に示すように残っている。また露出したパターンに対してドライエッチングを続けると、磁性体の特性及びパターン形状にダメージを与えるため、それ以上のレジスト剥離は出来ない。
【００４７】
そこで、非記録領域を含む内径孔から外径端までの媒体全面において凹凸パターンを形成し、平らな部分(ミラー部)を有しないこととすれば、媒体全面にてレジスト剥離のレートが均一になり、このようなレジスト残りの問題を防ぐことが出来る。更に言えば、このとき非記録領域に記録される擬似パターンは、記録領域に刻まれたパターンと同程度のオーダー（例えば数十nm）の寸法を持つパターンであれば、よりレジスト剥離のレートが一致して効果的である。
【００４８】
図３のインプリント工程の一例と、本発明のもう一つの効果について、図５を用いて説明する。
【００４９】
図５は、トラック及びサーボパターンの形成されたスタンパを、レジスト材料を介して磁気記録媒体に貼り合わせてパターンを転写する、インプリント工程の際の記録領域、非記録領域の位置を説明する図である。
【００５０】
ここでは、スタンパを射出成形により作成した樹脂スタンパ（一般にはシクロオレフィンポリマーやポリカーボネート、アクリルなど）とするが、射出成形工程を省いて金属スタンパ（一般にはＮｉ）を直接用いても良い。またレジスト材料には、ＵＶ光で硬化する紫外線硬化樹脂（アクリル系、エポキシ系）、加圧にて転写するＳＯＧ（スピンオンガラス）材料などが用いられる。スタンパと磁気記録媒体では内径と外径が違っていても良い。  図示するように、媒体の内径と外径を Min, Mout 、情報記録領域の内径と外径を Pin, Pout、擬似パターンの内径と外径を DPin, DPout とした時、
下記関係を満たすようにする。
【００５１】
DPout ≧ Mout ＞ Pout
DPin  ≦ Min  ＜ Pin
つまり、媒体の内径端から外径端までを覆うように擬似パターンが存在することとする。こうすれば、媒体内の各所でマスク剥離のレートが均一化される。
【００５２】
次に、図３に示す方法を用い、直径４８ｍｍ，中心孔径１２ｍｍのガラス製ディスク基板と、ＣｏとＰｔからなる４０ｎｍの厚さの磁気記録層とを有する磁気記録媒体の記録面上に、紫外線樹脂マスク材料として、アクリル系（またはエポキシ系）樹脂を使用して、記録領域及び非記録領域に凹凸形状を有し、ディスクリートトラックを持つ磁気記録媒体を形成した。
【００５３】
また、比較として、非記録領域に凹凸形状を形成しない磁気記録媒体を作成した。
【００５４】
得られた磁気記録媒体について、田中機販  社製  ＭｉｃｒｏＭａｘ  にて斜光観察を行った。
【００５５】
レジスト材料が最終製品に残ることなく剥離できた媒体の測定結果を図６に示す。
【００５６】
図６は、本発明に係るＤＴＲ媒体の斜光観察結果を表す図である。
【００５７】
。図６（ａ）は、本発明に係るＤＲＴ媒体の測定結果を示す。
【００５８】
図示するように、このように本発明の効果によって外周の汚染源が除去され、レジスト残渣は見られない。
【００５９】
図６（ｂ）は、本発明の比較例を表す図であって、外周部に設けられた非記録領域に凹凸形状を有していない。
【００６０】
図６（ｂ）では、外周に白く輝くレジスト残りがあるのがわかる。
【００６１】
また、このようにすることで本発明のもう一つの効果が発生する。レジストの塗布は一般的にスピンコートかスプレー方式で行われる。レジスト材料は数十nmの厚みで塗布して微細なパターンを転写する必要上、数mPas(一般には30mPas以下)の極低粘度である。そのため記録領域外及び媒体外の不要な領域にまで樹脂が流れてしまい、それが回り込んで媒体の汚染やレジスト厚さムラなどの諸問題を引き起こす。そこで本発明のように、非記録領域にも擬似パターンを設けておけば、擬似パターンの凹凸がレジストの流れを阻害し、余分なところへの汚染を防ぐことが出来る。
【００６２】
上記に述べたレジスト材料が余分な所例えばレジスト塗布装置等へ流れ込む不具合を防いだ例として、インプリント後媒体のレジスト厚さムラ測定結果を表す図を図７に示す
ここでは、インプリント後、レジストからスタンパを剥離した例えば図３（ｂ）に示すような磁気記録媒体を、田中機販社製  ＭｉｃｒｏＭａｘに載置し、偏向光を照射して観察した。得られた画像では、厚さムラが濃淡によって測定される。
【００６３】
内周部に溝を設けた本発明に係る媒体では、内周部の溝で余分な所へのレジストの流れが阻害され、図７（ａ）に示すように、上記の厚さムラ問題はおきていないことがわかる。
【００６４】
一方、内周部に溝の無い比較例では、図７（ｂ）に示すように、内周に流れ込んだレジストが内径孔（もしくはスピン時に内径孔を固定する冶具）に接触し、スピン振り切り時に流れが変わって渦巻状の厚さムラが発生していることがわかる。
【００６５】
さらに、２．５インチのディスク基板を使用し、磁気記録層の中心から１３．５ｍｍよりも外側の記録領域及び非記録領域に凹凸を設けた場合について、同様に、インプリント後、レジストからスタンパを剥離した磁気記録媒体に偏向光を照射してその表面状態を観察したところ、図８に示すように、レジストの厚さムラはほとんど見られないことがわかる。
【００６６】
金型に装着する金属（Ｎｉ）スタンパの製造方法を図９に従って述べる。
【００６７】
図９（ａ）に示すように、まず、Ｓｉウエハ上に電子線レジストを塗布する。
【００６８】
次に、図９（ｂ）に示すように、電子線レジストに電子ビームでトラックとサーボパターンに加えて、磁気記録媒体の領域に応じて擬似パターンの露光を行う。但し、記録時間や露光機の性能上の制約もあるため、擬似パターンはあまり細かい構造であることは望ましくない。その深さは、トラックやサーボパターンと同程度のオーダーであることが望ましい。
【００６９】
続いて、図９（ｃ）に示すように、電子線レジストを現像処理することにより露光部または未露光部を溶解させ、トラックとサーボパターンを含む記録領域、及びこれらの記録領域の内周及び外周の非記録領域用に凹凸２２’を形成する。
【００７０】
さらに、図９（ｄ）に示すように、この電子線レジストの凹凸２２’上に導電化処理を行った後、Ｎｉメッキを行い、Ｎｉによりパターンを複製して、Ｎｉファザースタンパー２３を作製する。
【００７１】
その後、Ｎｉファザースタンパー２３からＮｉメッキにより、Ｎｉマザースタンパー２４を作製する。
【００７２】
必要に応じて、サンスタンパー、ドータースタンパーを作成することができる。
【００７３】
更に、図９（ｆ）に示すように、Ｎｉマザースタンパー２４の裏面を研磨し、中心孔及び外周を加工して、ドーナツ型にせしめ、射出成形金型に取り付けられるようにする。
【００７４】
ここでは、このＮｉスタンパを金型に取り付けて射出成形により樹脂スタンパを作製するが、Ｎｉスタンパを用いたインプリントにより磁気記録媒体上に直接パターニングを行っても良い。
【００７５】
図１０に、本発明のディスクリート型磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の一例を表す構成図を示す。
【００７６】
本発明に係る情報を記録するための剛構成の磁気ディスク１２１はスピンドル１２２に装着されており、図示しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動される。磁気ディスク１２１にアクセスして情報の記録を行う例えば単磁極型記録ヘッド及び情報の再生を行うためのＭＲヘッドを搭載したスライダー１２３は、薄板状の板ばねからなるサスペンション１２４の先端に取付けられている。サスペンション１２４は図示しない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアーム１２５の一端側に接続されている。
【００７７】
アーム１２５の他端側には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１２６が設けられている。ボイスコイルモータ１２６は、アーム１２５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークにより構成される磁気回路とから構成されている。
【００７８】
アーム１２５は、固定軸１２７の上下２カ所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ１２６によって回転揺動駆動される。すなわち、磁気ディスク１２１上におけるスライダー１２３の位置は、ボイスコイルモータ１２６によって制御される。なお、図１２中、１２８は蓋体を示している。
【００７９】
以上のように、本発明では、磁気記録媒体にトラック溝とサーボパターンを転写する場合に、記録領域のみならず内径孔から外径端までのディスク全面において凹凸パターンを形成し、平滑面を有さないこととした。これにより、パターニング時にマスクとして用いたレジスト材料を、ドライエッチングにより剥離除去する際に、非記録面を含むディスク全面でレジスト剥離のレートを均一化して、ダストの発生を抑制することが可能となる。
【００８０】
なお上記の効果に加えて、例えばスタンパを用いてパターン転写を行う場合、スタンパにレジストをスピンコート方式やスプレー方式で塗布して磁気記録媒体に押し付ける工程いわゆるインプリント工程において、記録領域の外まで擬似パターンがあればレジストの流れがそこで阻害されるため、記録領域のみに選択的にレジストを塗布することが可能となる。これも結果的には最終媒体特に媒体のエッジ部にレジスト材料が残ることなどの汚染を防ぎ、製品から発塵源を取り除くことが可能になる。
【符号の説明】
【００８１】
４８…ディスク基板、４１…磁気記録層、４４…磁気記録媒体、４３…レジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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