(57)【要約】【課題】高精度な接合が可能で、安定した吐出特性が得られるものとする。【解決手段】液滴吐出ヘッド１０を、加圧液室６が形成されたを備えた、圧電素子１２で振動される振動板２、ノズル４を備えたノズル板３、圧電素子１２を保持するフレーム部材１５で構成し、隣り合って配置される流路板１と振動板２とを、圧延加工された金属プレートを含むものとし、流路板１の金属プレートの圧延方向ａと直交する方向を加圧液室６の長手方向となるように配置し、振動板２の金属プレートの圧延方向ｂに沿った方向が加圧液室６の長手方向となるように構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
層構造をなす少なくとも２つの流路部品を備え、前記各流路部品は圧延された金属プレートを含んで構成された液滴吐出ヘッドにおいて、
隣り合わせて配置された金属プレートから成る前記流路部品のうちの少なくとも１組の流路部品の圧延方向が略直交していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
隣り合う前記金属プレートのうちの一方の金属プレートはその圧延方向に直交した方向を液室長手方向として配置され、他方の金属プレートはその圧延方向に沿った方向を液室長手方向として配置されていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記圧延方向に直交した方向を液室長手方向とした金属プレートを備えた流路部品を貫通形状の液室形成部品としたことを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記圧延方向に沿った方向を液室長手方向とした金属プレートを備えた流路部品を振動板とし、
ステンレス材と樹脂材の２層構造となっている複合材料をウエットエッチング加工で形成した流路部品を含むことを特徴とすることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記金属プレートの素材はステンレス材であり、打ち抜き加工で形成されることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか一項記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
請求項６記載のインクカートリッジを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流路部品、液滴吐出ヘッドインクカートリッジ及び画像形成装置に係り、特に層構造をなす少なくとも２以上の流路部品を備えてなり、流路部品は圧延された金属プレートを含んで構成された液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを備えるインクカートリッジ及びこの液滴吐出ヘッド又はインクカートリッジを備える画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドとして、例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、インクを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド等がある。この中でも、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、及びプリンタ、ファクシミリの機能を兼ね備えた複写機複合機等の各種画像形成装置としては、記録液（例えばインク）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド（印字ヘッド）をキャリッジに搭載して、このキャリッジを被記録媒体（以下「用紙」というが、材質を紙に限定するものではなく、また、記録媒体、記録紙、転写材などとも称される）の搬送方向に対して直交する方向にシリアルスキャンさせるとともに、被記録媒体を記録幅に応じて間歇的に搬送し、搬送と記録を交互に繰り返すことによって被記録媒体に画像を形成（記録、印刷、印字、印写も同義で使用する）するシリアル型画像形成装置、あるいは、ライン型の記録ヘッドを搭載したライン型画像形成装置がある。
このような画像形成装置の大きな技術課題として、高速化と高画質化がある。高画質化については高解像化に伴い液滴の小滴化やノズルを高密度化する方法が提案されている。また、高速化については液滴吐出の駆動周波数を上げる方法や１ヘッド当たりのノズル数を増やしたライン型の記録ヘッドに代表される記録ヘッドを長尺化する方法が提案されている。
【０００３】
近年、液滴吐出プリンタにおいては高速化が進み、液滴吐出ヘッドの長尺化に伴いノズル数の増加が求められている。長尺化に対応するためや、複雑な液流路形状を形成する流路板については、低コスト化が望まれるため金属プレートや樹脂プレートが選定される。特にシリコン材に関しては長尺化の対応が困難であり、またコストが嵩むため、ステンレス材が比較的有利であり選定されやすい。
一般的に、液滴吐出ヘッドは、数十ミクロンの大きさに形成したノズル孔及び液室を備えて構成されており、複数枚のプレートにて形成される流路ユニットとしては難接着材料とされるステンレス材を、接合プロセスが必要とされる多層構成として構成することは望ましくない。このような場合には金属板と樹脂板との積層材料を用いることも広く知られている。またこのように金属と樹脂材の複合板を加工する場合、ウエットエッチング加工や、打ち抜きによるプレス加工がよく使われる。
加工した部品は、ヘッドとなるまでに少なくとも１回以上の接合プロセスを経て流路ユニットを形成することとなる。また流路ユニットは流路ユニットを支えるハウジングと接合を行うこととなる。従来、その接合工程では高精度な接合技術が要求され、また部品単位での加工精度や部品形状寸法にも高い精度が要求される。
【０００４】
特許文献１には、ヘッド流路部品の剛性と精度の確保のため、流路形成部品（流路板）にＳｉ材料を用いるものが記載されている。ここで安定した部品形状を得るためには様々なアプローチがなされており、液室パターンが形成されたプレートの反対面には、液室に似たダミー液室形状や肉抜きパターンが形成され、部品が反らないように考えられている。
また、特許文献２には、安価なステンレス材料に高精度な打ち抜き加工を行う場合、加工精度と部品形状の確保が困難となるため、ＳＵＳ材料を補強材として基材に貼り合わせて加工を行うことで、高精度なノズルを形成するものが記載されている。
更に、特許文献３には、部品の内部ストレス解放のために部品にスリット加工を施してヘッドにそりが発生しないようにしているものが記載されている。
【特許文献１】特許第３４７３６７５号
【特許文献２】特開２００２−１８７２７６公報
【特許文献３】特許第３０８８８４９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、近年においては、より小型化で高解像度化が期待され、それに伴い部品のプレート厚みは薄くする必要があり、特許文献１のものでは、ダミー液室パターンの形成は困難となり、部品のそりによる接合不良は吐出特性の不安定につながる他、Ｓｉ材料ではコストも嵩むという問題がある。
また、特許文献２のものは、部品だけを見れば高精度に製造できるものの、これらを接合する工程において熱でストレス変形をしてしまうという問題がある。
そして、特許文献３のものは、高解像度に対応するために薄板化した部品には、スリット加工が難しいという問題がある。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高精度な接合が可能で、安定した吐出特性が得られる流路部品、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、層構造をなす少なくとも２以上の流路部品を備えてなり、前記流路部品は圧延された金属プレートを含んで構成された液滴吐出ヘッドにおいて、前記２以上流路部品のうち隣り合わせて配置された流路部品のうち少なくとも１組の流路部品対の各金属プレートの圧延方向が略直交していることを特徴とする液滴吐出ヘッドである。
請求項２の発明は、前記隣り合う流路部品の金属プレートのうちの一方の金属プレートはその圧延方向に直交した方向を液室長手方向として配置され、他方の流路部品の金属プレートはその圧延方向に沿った方向を液室長手方向として配置されていることを特徴とする。
請求項３の発明は、前記圧延方向に直交した方向が液室長手方向とした金属プレートを備えた流路部品を貫通形状の液室形成部品としたことを特徴とする。
請求項４の発明は、前記圧延方向に沿った方向が液室長手方向となっている金属プレートを備えた流路部品を振動板とし、ステンレス材と樹脂材の２層構造となっている複合材料をウエットエッチング加工で形成した流路部品を含むことを特徴とすることを特徴とする。
請求項５の発明は、前記金属プレートの素材はステンレス材であり、打ち抜き加工で形成されることを特徴とする。
請求項６の発明は、前記液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とするインクカートリッジである。
請求項７の発明は、前記液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置である。
請求項８の発明は、前記インクカートリッジを備えることを特徴とする画像形成装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置によれば、隣り合わせて配置された流路部品のうち少なくとも１組の流路部品対の各金属プレートの圧延方向が略直交するようにしたので、高剛性で温度変化によるそりが少なく高精度な接合が可能で、安定した吐出特性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を添付図面に基づいて説明する。
図１は液滴吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図、図２は液滴吐出ヘッドの断面図、図３は液滴吐出ヘッドの断面図である。
液滴吐出ヘッド１０は、流路板１と、流路板１の外側（液滴吐出側）に接合されるノズル板３と、流路板１を挟んでノズル板３の反対側に接合される振動板２と、振動板２に接合されるフレーム部材１５とを備えている。液滴吐出ヘッド１０は、これらによってインク滴を吐出するノズル４とインク流路である加圧液室６と、加圧液室６にインクを供給するためのインク供給口９と、インク供給口９を介してノズル４に連通する共通液室８を構成している。
加圧液室６を備えた流路板１は、ステンレス鋼材をプレート状に成形したもので、例えばプレス加工で加圧液室６、インク供給路７、ダンパ室５０を形成し、ウエットエッチング加工でインク供給部を形成したものである。
インク供給口９を備えた振動板２は、２層構造の金属プレートに樹脂をコートして形成した積層材料を加工して構成したものであり、例えば金属プレートにはステンレス鋼、樹脂にはポリイミドを使って積層材料としている。加工方法は、ウエットエッチング加工法で作製される。
【０００９】
ノズル板３は、各加圧液室６に対応して直径１０〜３５μｍのノズル４が形成されている。このノズル板３は、ステンレス鋼などの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどを用いることができる。本例では、ステンレス鋼にプレス加工法によりノズル４を形成している。このノズル４の穴径はインク滴出口側の直径で約１０〜３５μｍとしている。更に、各列のノズルピッチは１５０ｄｐｉとしている。
ノズル板３のノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、撥水性の表面処理を施した撥水処理層（図示していない）を設けてインクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。撥水処理層としては、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定することができる。
フレーム部材１５は、例えばエポキシ系樹脂あるいはポリフェニレンサルファイトで射出成形されており、振動板２の外周部に接着剤で接合されている。このフレーム部材１５には、共通液室８を構成する凹部、この共通液室８に外部からインクを供給するためのインク供給穴１６が形成されている。
振動板２の外面側、即ち加圧液室６と反対面側の面には、各加圧液室６に対応して加圧液室６内のインクを加圧するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）である電気機械変換素子としての圧電素子１２が接合されている。この圧電素子１２はフレーム部材１５内に配置され、金属あるいはセラミックスなどの高剛性材料で形成したベース基板１３に接合されている。
【００１０】
圧電素子１２は、積層型の圧電素子であり、振動板２を駆動する柱状部材１２ａが加圧液室６に対応して配置され、支柱部１４が加圧液室６の隔壁部１ａに対応して配置されている。ここで、柱状部材１２ａは内部電極に駆動信号が印加されて、振動板２を駆動する。尚、柱状部材１２ａと支柱部１４とは、圧電素子１２をハーフカットのダイシングによるスリット加工を施して櫛歯状に分割して形成される。また、支柱部１４はその基本的構成を柱状部材１２ａと同じとするが、内部電極に駆動電圧を印加しないので駆動されない単なる支柱として作用する。
圧電素子１２は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層して構成したものであり、内部電極を交互に端面の端面電極（外部電極）である個別電極、共通電極に電気的に接続し、これらの電極にＦＰＣケーブル１７を介して駆動信号を供給するようにしたものである。この圧電素子１２は、圧電常数がｄ２３であり、柱状部材１２ａの伸縮により加圧液室６を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子１２に駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、圧電素子１２に充電された電荷が放電すると反対方向に収縮するようになっている。
本例では、上記の流路板１、振動板２、ノズル板３に形成した穴部１４１、１４２、１４３にピンを貫通させて整列させるアライメント方法で位置合わせを行い、それぞれを接合して流路ユニットを形成している。尚、これらの流路板１、振動板２、ノズル板３の整列は、光学アライメント法や外形合わせによるアライメント手法を用いて位置合わせを行い、接合することもできる。
【００１１】
以下、流路板１及び振動板２について詳説する。流路板１及び振動板２は、金属プレートを圧延加工して制作される。図４は流路板及び振動板を構成する部品材料の圧延方向を示す斜視図である。本例では流路板１は、図１及び図４に示すように、その圧延方向ａに直交した方向が加圧液室６の長手方向となるように配置されている。また、振動板２は圧延方向ｂに沿った方向が加圧液室６の長手方向となる、即ち圧延方向ｂと直交した方向がインク供給口９の配置長手方向となるように配置されている。このようにそれぞれ２枚のプレートの圧延方向がほぼ直交するように配置し接合することで部品の温度変化による変形やそりを抑制することができる。
図５は流路板の隔壁の形成状態を示す斜視図である。流路板１は打ち抜き加工法により加圧液室６を区画する隔壁６１を治具７１により圧延方向ａに直交した方向が加圧液室６の長手方向となるよう打ち抜きにより形成される。打ち抜かれた側が加圧液室６となり残った桟が隔壁６１となる。
この例では治具７１の１ショット毎に所定の送り量だけ矢印方向に流路板１が送られる。これを必要とする液室数だけ繰り返し加工することで流路板１を形成する。ここでは２本同時に打ち抜きした場合を図示しているが、１列毎に加工しても構わない。
【００１２】
流路板１の具体的な製造方法について説明する。図６は流路板の製造方法を示す図であり（ａ）はプレス装置の模式図、（ｂ）はプレス装置のパンチ周辺の断面模式図である。
このプレス装置は、上面にワークとなる板材３０を支持して矢印方向Ｃに移動させるダイ３４と、ダイ３４の厚さ方向に貫通する穴３４ａ内に上方から押し込まれて先端の刃部で板材３０を切断、打ち抜きするパンチ３３と、パンチによる打ち抜き時に板材３０をダイ３４との間で押さえ込むストリッパー３５と、を備えている。
このプレス装置において、ＳＵＳなどの圧延金属板である板材３０は矢印Ｃ方向にリニアで精度よく送られる。所定位置でストリッパー３５が降下して板材をダイ３４とで挟んで固定し、パンチ３３が降下して板材３０を打ち抜く。打ち抜かれたカス３６は下に落下する。パンチ３３、ダイ３４、ストリッパー３５は圧力室、流体抵抗等を構成する空所に対応した形状になっている。
本例によれば、このように加工することにより２列の加圧液室６間の亀裂破損を抑制することができる他、加工精度や冶具７１の摩耗耐久性を向上することができる。
【００１３】
次に振動板２の製造について説明する。振動板２は圧延方向ｂに沿った方向が加圧液室６の長手方向となるようウエットエッチング加工法により凸形成されている。このように加工することで、ウエットエッチング加工でのパターン形成精度が向上し、直進性も向上する。
このように本例によれば、流路板１及び振動板２を構成するそれぞれの金属プレート材料が圧延材料を用いて構成され、少なくとも１組以上の接合されるそれぞれの金属プレートは、その圧延方向がほぼ直交するよう組み立て接合されているので、温度変化による変形やそりを抑制することができ高精度な組み立てが行え、ひいては安定した吐出特性を持った液滴吐出ヘッドを製造することが可能となる。
【００１４】
次にフレーム部材１５について説明する。図７はフレーム部材を示す斜視図である。フレーム部材１５に形成された共通液室８は長手方向の端部で短手方向の幅が狭くなり深さが浅くなる形状となっている。このような形状によりインクの流れ性と、気泡排出性を良好にすることができる。
次に実施形態例に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクカートリッジについて説明する。図８はインクカートリッジを示す斜視図である。このインクカートリッジ１３０は、ノズル１３１等を有する上記各実施例に係る液滴吐出ヘッド１３２と、この液滴吐出ヘッド１３２に対してインクを供給するインクタンク１３３とを一体化したものである。
このようにインクタンク一体型ヘッドの場合、ヘッドの歩留まり不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながるので、上述したように液滴吐出特性の向上は、ヘッド一体型インクカートリッジの信頼性向上化を図ることができる。
【００１５】
次に、実施形態例に係る画像形成装置について説明する。図９は実施形態例に係る画像形成装置を示す斜視図、図１０は同画像形成装置の機構部を示す側面図である。
本例では画像形成装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを備えたインクカートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納し、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（あるいは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４あるいは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向（図１０の紙面直交方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド９４が複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列され、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。
【００１６】
またキャリッジ９３には記録ヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５が交換可能に装着されている。インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口を、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド６４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
ここで、キャリッジ６３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装され、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置されている。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００が張装され、このタイミングベルト１００はキャリッジ９３に固定されており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００１７】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３を記録ヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とが設けられている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９が設けられている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２が設けられ、更に用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とが配設されている。
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４が駆動されることにより、停止している用紙８３にインクが吐出されて１行分が記録され、用紙８３が所定量搬送された後次の行の記録が行われる。記録終了信号又は、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作が終了し用紙８３が排紙される。
【００１８】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７が配置されている。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段とを有している。
キャリッジ９３は、印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良が防止される。また、記録途中などに記録と関係しないインクが吐出されることにより、全ての吐出口のインク粘度が一定にされ、安定した吐出性能が維持される。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段が記録ヘッド９４の吐出口（ノズル）が密封され、チューブを通して吸引手段により吐出口からインクとともに気泡等が吸い出され、吐出口面に付着したインクやゴミ等がクリーニング手段で除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００１９】
次に、画像形成装置の他の例について説明する。図１１は画像形成装置の他の例を示す模式的斜視図である。この液体吐出装置１２０は、ノズル配列方向が用紙Ｐの送り方向に対して略直交しており、用紙の記録可能領域の全幅にわたって複数の吐出口が配された、いわゆるフルラインヘッド１２１を有している。フルラインヘッド１２１は、搬送ドラム１２２による用紙Ｐの搬送経路上に搬送経路を横切るように配置されており、用紙Ｐの記録可能領域の全幅に一括して記録を行うことができる。フルライン型インクジェット記録装置の液体吐出ヘッドは特に長尺のものが必要とされ、長尺なチャンバープレートに対して、本発明は特に有効である。
尚、本発明に係る液体吐出ヘッドは、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対して記録を行うプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、更に各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用することができる。
【００２０】
また、本発明における「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対してインク等の液体を付与することだけでなく、全面あるいはパターン等の意味を持たない画像を被記録媒体に付与することをも意味し、画像形成、印写、印字、印刷も同義語で使用するものである。
更に、上記例では液滴吐出記録装置としてインクジェットプリンタを例として説明したが、インクジェットコピー、インクジェットファクシミリ、あるいはそれらの複合型記録装置にも適用できる。また、インクジェット記録装置以外にも、インクジェット技術を用いたカラーフィルタ製造装置、金属配線製造装置、捺染装置、ＤＮＡチップ製造装置などの工業用製造装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】液滴吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図４】流路板及び振動板を構成する部品材料の圧延方向を示す斜視図である。
【図５】流路板の隔壁の形成状態を示す斜視図である。
【図６】流路板の製造方法を示す図であり（ａ）はプレス装置の模式図、（ｂ）はプレス装置のパンチ周辺の断面模式図である。
【図７】フレーム部材を示す斜視図である。
【図８】インクカートリッジを示す斜視図である。
【図９】画像形成装置を示す斜視図である。
【図１０】画像形成装置の機構部を示す側面図である。
【図１１】画像形成装置の他の実施形態例を示す模式的斜視図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  流路板、１ａ  隔壁部、２  振動板、３  ノズル板、４  ノズル、６  加圧液室、７  インク供給路、８  共通液室、９  インク供給口、１０  液滴吐出ヘッド、１２ａ  柱状部材、１２  圧電素子、１３  ベース基板、１４  支柱部、１５  フレーム部材、１６  インク供給穴、１７  ＦＰＣケーブル、３０  板材、３３  パンチ、３４  ダイ、３４ａ  穴、３５  ストリッパー、３６  カス、５０  ダンパ室、６１  隔壁、６３  キャリッジ、６４  ヘッド、７１  冶具、８１  記録装置本体、８２  印字機構部、８３  用紙、８４  給紙カセット、８５  トレイ、８６  排紙トレイ、９１  主ガイドロッド、９２  従ガイドロッド、９３  キャリッジ、９４  記録ヘッド、９５  インクカートリッジ、９７  主走査モータ、９８  駆動プーリ、９９  従動プーリ、１００  タイミングベルト、１０１  給紙ローラ、１０２  フリクションパッド、１０３  ガイド部材、１０４  搬送ローラ、１０５  搬送コロ、１０６  先端コロ、１０７  副走査モータ、１０９  印写受け部材、１１１  搬送コロ、１１２  拍車、１１３  排紙ローラ、１１４  拍車、１１５、１１６  ガイド部材、１１７  回復装置、１２０  液体吐出装置、１２１  フルラインヘッド、１２２  搬送ドラム、１３０  インクカートリッジ、１３１  ノズル、１３２  液滴吐出ヘッド、１３３  インクタンク、１３４  搬送ローラ、１４１、１４２、１４３  穴部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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