(57)【要約】【課題】製造に係る属性の異なるデータに対する傾向監視を複合的に行って、製造状況に関して統一的な判定をする。【解決手段】装置データ管理データベースと、検査結果データ管理データベースと、傾向監視実行端末と、傾向監視結果管理サーバと、傾向監視結果参照端末とを備え、  装置データ管理データベースは、各装置の状態を表すデータを、各装置から受け取って格納し、  検査結果データ管理データベースは、各検査装置による検査結果を表すデータを、各検査装置から受け取って格納し、  傾向監視実行端末は、傾向監視設定情報を設定させ、傾向監視設定情報に従って、傾向監視実行結果情報を作成して、傾向監視結果管理サーバに送り、  傾向監視結果管理サーバは、傾向監視設定情報と、傾向監視実行結果情報とを受け取って格納し、  傾向監視結果参照端末は、傾向監視設定情報と傾向監視実行結果情報とを確認させる傾向監視システム。【選択図】図１
2010250401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置データ管理データベースと、検査結果データ管理データベースと、傾向監視実行端末と、傾向監視結果管理サーバと、傾向監視結果参照端末とを備え、
装置データ管理データベースは、製造工程を構成する各装置の状態を表すデータを、各装置から受け取って格納する手段を有し、
検査結果データ管理データベースは、製造工程を構成する各検査装置による検査結果を表すデータを、各検査装置から受け取って格納する手段を有し、
傾向監視実行端末は、どのような監視対象データに基づいて、どのようにして製造状況を判定をするのかを定める監視モデルと、監視モデルごとの判定結果を総合的に判定するためのルールと、総合判定が異常の場合の処置内容とを含む傾向監視設定情報を設定させて、傾向監視結果管理サーバに送る手段と、傾向監視設定情報に従って、監視モデルごとに、装置データ管理データベース或いは検査結果データ管理データベースから、監視対象データを取得して判定し、監視モデルごとの判定結果を総合的に判定し、監視モデルごとの判定に使用した監視対象データ及び判定結果と総合判定結果と総合判定結果が異常な場合に処置内容とを含む傾向監視実行結果情報を作成して、傾向監視結果管理サーバに送る手段とを有し、
傾向監視結果管理サーバは、傾向監視設定情報を受け取って格納する手段と、傾向監視実行結果情報を受け取って格納する手段とを有し、
傾向監視結果参照端末は、傾向監視結果管理サーバに格納されている傾向監視設定情報と傾向監視実行結果情報とを取り出して確認させる手段を有することを特徴とする傾向監視システム。
【請求項２】
装置の状態を表すデータが、装置が定期的に出力する装置パラメータ情報と、装置が基板を処理した時の基板に紐付く情報とであり、
検査結果を表すデータが、欠陥検査情報と、特性値情報とであることを特徴とする請求項１記載の傾向監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、傾向監視システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、カラーフィルタの製造現場では、品質管理、工程管理の活動の一環として、例えば、工程内の各装置の状態を表す情報（以後装置データとも云う）や、カラーフィルタ基板の検査情報として得られる欠陥情報や特性値情報など、カラーフィルタの製造に係り属性の異なるデータに対する傾向監視を、人手での集計や、リアルタイムにデータを集計して、カラーフィルタの製造状況に関して判定を行うシステムを導入することにより行っている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、この装置データ、欠陥情報、特性値情報など、カラーフィルタの製造に係り属性の異なるデータに対する傾向監視は、それぞれ独立で行っており、それぞれの関連性等で判定するような傾向監視は行っていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２２６７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、従来の傾向監視システムでは、装置データ、欠陥情報、特性値情報などと、傾向監視対象ごとに、それぞれ独立したシステムであるため、例えば１つの工程における傾向監視システムの判定結果として現在挙げているだけでも３種類のものが存在し、それぞれの判定結果に対して個別に対応するというような場面が存在することが考えられる。そういった場合には、工程としての対応方法が種々出てくるため、時として現場に混乱を招く恐れがある。
【０００６】
また、装置データと特性値情報、装置データと欠陥情報というようなある程度関連性があり、同じ基準で傾向監視を行いたい場合が発生したときなどでは、実現が難しく、複合的な傾向監視というものができない状態にある。
【０００７】
本発明は斯かる背景技術に鑑みてなされたもので、製造に係る属性の異なるデータに対する傾向監視を複合的に行って、製造状況に関して統一的な判定をすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、装置データ管理データベースと、検査結果データ管理データベースと、傾向監視実行端末と、傾向監視結果管理サーバと、傾向監視結果参照端末とを備え、
装置データ管理データベースは、製造工程を構成する各装置の状態を表すデータを、各装置から受け取って格納する手段を有し、
検査結果データ管理データベースは、製造工程を構成する各検査装置による検査結果を表すデータを、各検査装置から受け取って格納する手段を有し、
傾向監視実行端末は、どのような監視対象データに基づいて、どのようにして製造状況を判定をするのかを定める監視モデルと、監視モデルごとの判定結果を総合的に判定する
ためのルールと、総合判定が異常の場合の処置内容とを含む傾向監視設定情報を設定させて、傾向監視結果管理サーバに送る手段と、傾向監視設定情報に従って、監視モデルごとに、装置データ管理データベース或いは検査結果データ管理データベースから、監視対象データを取得して判定し、監視モデルごとの判定結果を総合的に判定し、監視モデルごとの判定に使用した監視対象データ及び判定結果と総合判定結果と総合判定結果が異常な場合に処置内容とを含む傾向監視実行結果情報を作成して、傾向監視結果管理サーバに送る手段とを有し、
傾向監視結果管理サーバは、傾向監視設定情報を受け取って格納する手段と、傾向監視実行結果情報を受け取って格納する手段とを有し、
傾向監視結果参照端末は、傾向監視結果管理サーバに格納されている傾向監視設定情報と傾向監視実行結果情報とを取り出して確認させる手段を有することを特徴とする傾向監視システムとしたものである。
【０００９】
また請求項２の発明では、装置の状態を表すデータが、装置が定期的に出力する装置パラメータ情報と、装置が基板を処理した時の基板に紐付く情報とであり、
検査結果を表すデータが、欠陥検査情報と、特性値情報とであることを特徴とする請求項１記載の傾向監視システムとしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、製造に係る属性の異なるデータに対する傾向監視を複合的に行って、製造状況に関して統一的な判定をすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の傾向監視システムの構成を説明する図。
【図２】定期情報管理テーブルを説明する図。
【図３】基板紐付け情報管理テーブルを説明する図。
【図４】欠陥情報管理テーブルを説明する図。
【図５】特性値情報管理テーブルを説明する図。
【図６】傾向監視処理の全体的な流れを説明するフローチャート。
【図７】監視モデル処理の流れを説明するフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００１３】
１．全体構成
本発明の傾向監視システムは、図１に示すように、装置データ管理データベースと、検査結果データ管理データベースと、傾向監視実行端末と、傾向監視結果管理サーバと、傾向監視結果参照端末とを備え、装置データ管理データベースと工程内の全装置とは相互に通信可能に接続され、検査データ管理データベースと工程内の全検査装置とは相互に通信可能に接続され、装置データ管理データベース及び検査データ管理データベースと傾向監視実行端末とは相互に通信可能に接続され、傾向監視実行端末と傾向監視結果管理サーバとは相互に通信可能に接続され、傾向監視結果管理サーバと傾向監視結果参照端末とは相互に通信可能に接続されているものである。
【００１４】
２．装置データ管理データベース
装置データ管理データベースは、工程内の各装置の状態を表す情報の内、工程内の各装置が定期的に出力する装置パラメータ情報（以後定期情報とも云う）を、図２に示す定期情報管理テーブルに格納し、工程内の各装置が基板を処理した時の基板に紐付く情報を、図３に示す基板紐付け情報管理テーブルに格納して管理するコンピュータシステムである。
【００１５】
３．検査結果データ管理データベース
検査結果データ管理データベースは、工程内の各検査機による検査結果情報の内、欠陥検査結果情報を、図４に示す欠陥情報管理テーブルに格納し、特性値情報を、図５に示す特性値情報管理テーブルに格納して管理するコンピュータシステムである。
【００１６】
４．傾向監視実行端末
傾向監視実行端末は、この傾向監視実行端末内に、あらかじめ設定、登録された傾向監視設定情報に従って、装置データ管理データベース及び検査結果データ管理データベースに管理される情報について傾向監視を行い、この傾向監視設定情報と傾向監視実行結果情報と実行ログ情報とを傾向監視結果管理サーバに送るコンピュータシステムである。
【００１７】
４．１．傾向監視設定情報
傾向監視設定情報は、一つの設定で種類の違うデータを監視する目的で、監視設定名、監視モデル群、総合異常判定ルール、異常時処置内容を設定する。
【００１８】
４．１．１．監視設定名
監視設定名は、個々の傾向監視設定情報を、識別する名前である。
【００１９】
４．１．２．監視モデル群
監視モデルは、装置データ管理データベース及び検査結果データ管理データベースに管理される情報を監視する方法を定義したモデルであって、一つの傾向監視設定情報内で任意の数だけ設定でき、監視方法は監視モデル毎に独立して設定される。監視モデルは、監視対象データ区分、監視対象データ群、異常判定パターン群を設定する。
【００２０】
４．１．２．１．監視対象データ区分
監視対象データ区分は、監視対象とするデータ区分であって、定期情報、基板紐付け情報、欠陥情報、特性値情報の何れかである。
【００２１】
４．１．２．２．監視対象データ群
監視対象データ群は、監視対象データ区分に属するデータの中で、監視対象となるものであって、データを唯一に識別するＩＤで設定する。このＩＤについては、最大Ｎ個まで設定可能である。但し、Ｎは整数である。
【００２２】
４．１．２．３．異常判定パターン群
異常パターンは、監視対象データ群に対して、どのように評価を下し、判定するのかのパターンであって、１つの監視モデル内で任意のパターン数だけ設定できる。異常判定パターンは、データ評価方法、データ管理方法、異常判定ルールを設定する。
【００２３】
４．１．２．３．１．データ評価方法
データ評価方法は、監視対象データ群を評価する評価データを得る方法である。データ評価方法の例を、以下に示す。まず第１の例として、監視データ群の中の指定データの生値を、評価データとするものがある。また第２の例として、監視データ群の最大値を、評
価データとするものがある。また第３の例として、監視対象データ群の最小値を、評価データとするものがある。また第４の例として、監視対象データ群の最大値から最小値を引いた値であるデータ範囲を、評価データとするものがある。また第５の例として、監視対象データ群の平均値を、評価データとするものがある。また第６の例として、監視対象データ群の中の指定データの累積値を、評価データとするものがある。
【００２４】
４．１．２．３．２．データ管理方法
データ管理方法は、設定したデータ評価方法より得られた評価データの管理法である。データ管理方法は、限界設定、管理値取得方法、固定時管理値の三つの項目を設定する。限界設定は、上限限界、下限限界、上下限限界の何れかを設定する。管理値取得方法は、上限値、下限値の取得方法が自動か固定かを設定する。固定時管理値は、管理値取得方法を固定に設定した場合、上限値、下限値を設定する。
【００２５】
４．１．２．３．３．異常判定ルール
異常判定ルールは、評価データ、データ管理方法を使用して、正常或いは異常を判定するルールを設定する。異常判定ルールの例を、Ｎを整数として、以下に示す。まず第１の例として、評価データが、上限或いは下限の範囲外であれば異常とするものがある。また第２の例として、評価データが、Ｎ点連続上昇或いは下降ならば異常とするものがある。また第３の例として、評価データが、Ｎ点連続で上昇下降を繰り返すと異常とするものがある。
【００２６】
４．１．２．４．一つの監視モデル内に異常判定パターンが複数設定されている場合、各異常判定パターンごとの判定結果を、この監視モデルの判定結果にまとめるためのルールも設定する。このルールの例を、Ｎを整数として、以下に示す。まず第１の例として、設定されている異常判定パターンの内、Ｎ個異常判定結果ならば異常とするものがある。また第２の例として、設定されている異常判定パターンの内、指定の異常判定パターンがＮ回連続で異常判定結果の場合、異常とするものがある。他方、一つの監視モデル内に異常判定パターンが一つだけ設定されている場合、この異常判定パターンの異常判定ルールによる判定結果が、この監視モデルの判定結果になる。
【００２７】
４．１．３．総合異常判定ルール
総合異常判定ルールは、設定した監視モデル群の判定結果を受けての、最終的に異常を判定するルールである。総合異常判定ルールの例を、Ｎを整数として、以下に示す。まず第１の例として、設定されている監視モデルの内、Ｎ個異常判定結果ならば異常とするものがある。また第２の例として、設定されている監視モデルの内、指定の監視モデルがＮ回連続で異常判定結果の場合、異常とするものがある。
【００２８】
４．１．４．異常時処置内容
異常時処置内容は、総合異常判定ルールによる判定で異常となった場合の製造現場のオペレータへの通知内容を設定するものである。異常時処置内容の例を、以下に示す。まず第１の例として、対象装置の設定変更を通知するものがある。また第２の例として、対象装置の払出停止を通知するものがある。
【００２９】
５．傾向監視結果管理サーバ
傾向監視結果管理サーバは、傾向監視データ管理データベースを有し、傾向監視実行端末から、傾向監視に使用する傾向監視設定情報、傾向監視実行結果、実行ログ情報を受け受け取り、これら傾向監視設定情報、傾向監視実行結果情報、実行ログ情報を、この傾向監視データ管理データベースに格納して管理するコンピュータシステムである。
【００３０】
５．１．傾向監視実行結果情報
傾向監視実行結果情報は、少なくとも、傾向監視設定名、傾向監視判定結果、傾向監視実行時判定使用データ、傾向監視実行時通知データを含む。
【００３１】
５．１．１．傾向監視設定名
傾向監視設定名は、傾向監視実行時において、この傾向監視に使用している傾向監視設定情報の監視設定名である。
【００３２】
５．１．２．傾向監視実行日時
傾向監視実行日時は、傾向監視を実行した日時である。
【００３３】
５．１．３．傾向監視判定結果
傾向監視判定結果は、傾向監視実行時において、各監視モデルごとの正常或いは異常の判定結果である。
【００３４】
５．１．４．傾向監視実行時判定使用データ
傾向監視実行時判定使用データは、傾向監視実行時において、各監視モデルごとの判定に使用した監視対象データ群の生値である。
【００３５】
５．１．５．傾向監視実行時通知データ
傾向監視実行時通知データは、傾向監視実行時において、正常或いは異常の総合判定結果と、総合判定結果が異常の場合の製造現場への通知内容とを含む。
【００３６】
６．傾向監視結果参照端末
傾向監視結果参照端末は、傾向監視結果管理サーバ内の傾向監視データ管理データベースで管理している、傾向監視設定情報と、指定した傾向監視設定情報による傾向監視実行結果情報のモニタリングを行うコンピュータシステムである。
【００３７】
製造現場のオペレータへの各傾向監視設定情報による最新の各判定結果は、この傾向監視結果参照端末によって通知を行い、総合判定結果が異常の場合、アラーム発報しても良い。
【００３８】
傾向監視結果参照端末では、傾向監視設定情報ついては、詳細な情報が確認でき、傾向監視実行結果情報については、指定した傾向監視実行結果情報による傾向監視実行結果情報そのものだけでなく、これら傾向監視実行結果情報及び傾向監視実行結果情報に基づいて、判定推移、評価データのトレンド情報等も確認できる。
【００３９】
７．傾向監視処理
以下に、傾向監視実行端末が、ある特定の傾向監視設定情報に従って行う傾向監視の処理の全体的な流れを、図６のフローチャートで説明する。
【００４０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
傾向監視実行端末は、当該傾向監視設定情報を傾向監視実行端末内或いは傾向監視データ管理データベースから読み込み、当該傾向監視設定情報を取得して、当該傾向監視設定情報の中の監視設定名を、傾向監視実行結果情報の傾向監視設定名にセットする。
【００４１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
傾向監視実行端末は、当該傾向監視設定情報の中の各監視モデルに従って、各監視モデルごとに、後述の監視モデル処理を行う。
【００４２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
傾向監視実行端末は、各監視モデルに従った処理の結果として得られる各監視モデルごとの判定結果を収集する。
【００４３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
傾向監視実行端末は、傾向監視実行結果情報の中の総合異常判定ルールに従って、各監視モデルごとの判定結果に基づいて、総合異常判定を行う。
【００４４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
傾向監視実行端末は、総合判定結果が正常であるならば、ＳＴＥＰ６に進み、他方、総合判定結果が異常であるならば、ＳＴＥＰ７に進む。
【００４５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）６；
傾向監視実行端末は、正常との総合判定結果を、傾向監視実行結果情報の中の傾向監視実行時通知データにセットし、現在の日時を、傾向監視実行結果情報の中の傾向監視実行日時にセットして、傾向監視実行結果情報を傾向監視データ管理データベースに登録する。そして、傾向監視実行端末は、ＳＴＥＰ８に進む。
【００４６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）７；
傾向監視実行端末は、異常との総合判定結果と、傾向監視実行結果情報の中の異常時処置内容とを、傾向監視実行結果情報の中の傾向監視実行時通知データにセットし、現在の日時を、傾向監視実行結果情報の中の傾向監視実行日時にセットして、傾向監視実行結果情報を傾向監視データ管理データベースに登録する。
【００４７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）８；
傾向監視実行端末は、監視終了要求が入力されているならば、監視を終了し、他方、監視終了要求が入力されていないならば、ＳＴＥＰ１に戻る。
【００４８】
８．監視モデル処理
以下に、傾向監視実行端末が、ある特定の傾向監視設定情報の中の、ある特定の監視モデルに従って行う処理の詳細な流れを、図７のフローチャートで説明する。
【００４９】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２１；
傾向監視実行端末は、傾向監視データ管理データベースにて、当該傾向監視設定情報の中の監視設定名と一致する傾向監視名を有する傾向監視実行結果情報において、傾向監視実行時判定使用データとして、過去に当該監視モデルの判定に使用した監視対象データ群が格納されているかを確かめ、格納されている場合、この過去に当該監視モデルの判定に使用した監視対象データ群を過去情報として、傾向監視実行日時と一緒に取得する。
【００５０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２２；
傾向監視実行端末は、当該監視モデルの監視対象データ区分及び監視対象データ群における設定に従って、各監視対象データの最新値を、各監視対象データを管理している装置データ管理データベース或いは検査結果データ管理データベースから取得し、傾向監視実行日時が最も新しい過去情報の最新値と比較して、各監視対象データの最新値が、過去に当該監視モデルの判定に使用したものではない最新のデータであるかを確かめる。
【００５１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２３；
傾向監視実行端末は、各監視対象データの最新値が最新データであるならば、ＳＴＥＰ２４に進み、各監視対象データの最新値が最新データでないならば、ＳＴＥＰ２７に進む。
【００５２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２４；
傾向監視実行端末は、当該監視モデルの各異常パターンに設定されているデータ評価方法に従って、各異常パターンごとに、監視対象データ群の最新値を評価して評価データを得る。
【００５３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２５；
傾向監視実行端末は、当該監視モデルの各異常パターンに設定されているデータ管理方法及び異常判定ルールに従って、各異常パターンごとに、評価データを判定する。
【００５４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２６；
傾向監視実行端末は、当該監視モデルに設定されている各異常パターンごとの判定結果を当該監視モデルの判定結果にまとめるためのルールに従って、各異常パターンごとの判定結果から、当該監視モデルとして、正常或いは異常の判定結果を決定する。また傾向監視実行端末は、当該監視モデルの判定に使用した監視対象データ群の最新値を、傾向監視実行結果情報の中の傾向監視実行時判定使用データにセットし、当該監視モデルの判定結果を、傾向監視実行結果情報の中の傾向監視判定結果にセットする。そして、当該監視モデルの処理結果を、当該監視モデルの判定結果として、監視モデル処理を終了する。
【００５５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２７；
傾向監視実行端末は、監視対象データ群の最新値に対しては、判定を行わずに、当該監視モデルの処理結果を、無判定として、監視モデル処理を終了する。
【図１】
2010250401.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2010250401.tif 000008
【図７】
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