(57)【要約】【課題】液状体の吐出量をより均等にした液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正する補正工程と、液滴吐出ヘッド１５をマザー基板５１に対してＹ方向に沿って所定距離Ｙ１移動させる工程と、液滴吐出ヘッド１５をマザー基板５１に対してＸ方向に沿って移動させながら液状体を吐出する工程と、を所定回数繰り返す走査工程と、を備え、補正工程では、ノズル列ＮＡにおいて少なくとも隣り合うノズルＮとの間における吐出量の平均値から算出される液状体の吐出量分布が略同様の特性となるように吐出量を補正するとともに、複数のノズルＮを複数のグループに分け、走査工程では、複数のグループのうち所定の１つのグループの幅が、所定距離Ｙ１の整数倍となるように液滴吐出ヘッド１５をマザー基板５１に対してＹ方向に沿って移動させる。【選択図】図８
2010274176.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するノズル列が設けられた液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから液状体を吐出する液滴吐出方法であって、
前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正工程と、
前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して第１走査方向に沿って所定距離移動させる工程と、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して第２走査方向に沿って移動させながら前記液状体を吐出する工程と、を所定回数繰り返す走査工程と、を備え、
前記補正工程では、前記ノズル列において少なくとも隣り合う前記ノズルとの間における吐出量の平均値から算出される前記液状体の吐出量分布が略同様の特性となるように吐出量を補正するとともに、前記複数のノズルを複数のグループに分け、
前記走査工程では、前記複数のグループのうち所定の１つのグループの幅が、前記所定距離の整数倍となるように前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して前記第１走査方向に沿って移動させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
複数ノズルを有するノズル列が設けられた液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから液状体を吐出する液滴吐出装置であって、
前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正手段と、
前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して第１走査方向及び第２走査方向に移動させる移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドの前記基板に対する前記第１走査方向に沿った所定距離の移動と前記第２走査方向に沿った移動との繰返し動作を制御する制御手段と、を備え、
前記補正手段は、前記ノズル列において少なくとも隣り合う前記ノズルとの間における吐出量の平均値から算出される前記液状体の吐出量分布が略同様の特性となるように吐出量を補正するとともに、前記複数のノズルを複数のグループに分け、
前記制御手段は、前記複数のグループのうち所定の１つのグループの幅が、前記所定距離の整数倍となるように前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して前記第１走査方向に沿って移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出ヘッドによってインクを吐出するインクジェット方式を用いてカラーフィルタを製造することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この製造方法では、基板に対して相対的に移動する液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥などによって固化させて画素に対応した着色膜を形成している。
【０００３】
ところで、インクジェット法を用いた製造方法では、例えば図９（ａ）に示すように、複数のノズルから吐出される液状体の吐出量にわずかながらのバラツキが生じる。そして、液状体の吐出量のバラツキを有する状態で描画すると、カラーフィルタに筋状の濃淡ムラが生ずる場合がある。このような筋ムラは視認されやすいため、カラーフィルタを介して表示される画像の画質が低下する。
そこで、液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号を調節することによって各ノズルから吐出される液状体の吐出量を平坦化して各ノズル間の吐出量のバラツキを低減する補正が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２１６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の液滴吐出方法においても、以下の課題が残されている。すなわち、あるノズルに対する駆動信号を調節してこのノズルから吐出される液状体の吐出量を変更すると、このノズルに隣接するノズルから吐出される液状体の吐出量も変更されてしまうため、駆動信号を調節しても、図９（ｂ）に示すように、平坦化することが困難であり、周期性が残存することがある。そのため、複数のノズルの配列方向で液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させる移動量がノズルから吐出される液状体の吐出量の周期と一致してしまうと、残存するわずかな吐出量のバラツキが強調されてしまうので、液状体の吐出量を均等にできないという問題がある。このような筋状の濃淡ムラは、複数の液滴吐出ヘッドを同時に移動させる場合において、各液滴吐出ヘッドでバラツキの周期が異なるときに発生しやすい。これは、複数の液滴吐出ヘッドのうちのいずれか１つにおいて吐出量のバラツキの周期と移動量とが一致する可能性が高くなるからである。
また、ノズル列を構成する複数のノズル全体で吐出量のバラツキに一定の周期性を有するとは限らないため、ノズルの配列方向における液滴吐出ヘッドの基板に対する相対的な移動量をバラツキの周期の半分としても、液状体の吐出量を均等にできないという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされてもので、液状体の吐出量をより均等にした液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明にかかる液滴吐出方法は、複数のノズルを有するノズル列が設けられた液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから液状体を吐出する液滴吐出方法であって、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正工程と、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して第１走査方向に沿って所定距離移動させる工程と、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して第２走査方向に沿って移動させながら前記液状体を吐出する工程と、を所定回数繰り返す走査工程と、を備え、前記補正工程では、前記ノズル列において少なくとも隣り合う前記ノズルとの間における吐出量の平均値から算出される前記液状体の吐出量分布が略同様の特性となるように吐出量を補正するとともに、前記複数のノズルを複数のグループに分け、前記走査工程では、前記複数のグループのうち所定の１つのグループの幅が、前記所定距離の整数倍となるように前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して前記第１走査方向に沿って移動させることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかる液滴吐出装置は、複数ノズルを有するノズル列が設けられた液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから液状体を吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正手段と、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して第１走査方向及び第２走査方向に移動させる移動機構と、前記液滴吐出ヘッドの前記基板に対する前記第１走査方向に沿った所定距離の移動と前記第２走査方向に沿った移動との繰返し動作を制御する制御手段と、を備え、前記補正手段は、前記ノズル列において少なくとも隣り合う前記ノズルとの間における吐出量の平均値から算出される前記液状体の吐出量分布が略同様の特性となるように吐出量を補正するとともに、前記複数のノズルを複数のグループに分け、前記制御手段は、前記複数のグループのうち所定の１つのグループの幅が、前記所定距離の整数倍となるように前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して前記第１走査方向に沿って移動させることを特徴とする。
【０００９】
この発明では、ノズル列において少なくとも隣接するノズルとの間における吐出量の移動平均を第１走査方向で所定距離の偶数倍の周期にすることで、筋状の濃淡ムラの発生をより確実に低減できる。
すなわち、各ノズルから吐出される液状体の吐出量に意図的にバラツキを持たせることは、上述のように各ノズルから吐出される液状体の吐出量を均一にしてバラツキを低減することと比較して容易である。そこで、各ノズルから吐出される液状体の吐出量の移動平均の周期を所定距離の偶数倍にすることにより、第１走査方向における所定距離の移動前において周期の山に当たるノズルから吐出される領域は、第１走査方向で所定距離移動させた後に周期の谷に当たるノズルから吐出される。そのため、第１走査方向における移動を繰り返すことにより、周期性を持ったバラツキが相殺され、液状体の吐出量が均一化される。したがって、筋状の濃淡ムラの発生をより確実に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態における液滴吐出装置を示す斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。
【図３】補正前後のノズル間の液状体の吐出量のバラツキを示す図である。
【図４】駆動信号の波形を示す図である。
【図５】駆動信号の波形と液状体の吐出量との関係を説明する図である。
【図６】カラーフィルタ及びカラーフィルタ基板を示す概略平面図である。
【図７】カラーフィルタ層の配置を示す平面図である。
【図８】液滴吐出方法を説明する概略平面図である。
【図９】ノズル間の液状体の吐出量のバラツキを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明における液滴吐出方法及び液滴吐出装置の一実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために縮尺を適宜変更している。
【００１２】
［液滴吐出装置］
まず、本実施形態における液滴吐出装置について説明する。
液滴吐出装置１は、図１に示すように、例えばインクジェット方式により後述するマザー基板（基板）５１の所定領域に液状体を吐出して後述するカラーフィルタ層５５を形成する装置である。そして、液滴吐出装置１は、装置架台１１と、ワークステージ１２と、ステージ移動装置（移動機構）１３と、キャリッジ１４と、液滴吐出ヘッド１５と、キャリッジ移動装置（移動機構）１６と、チューブ１７と、第１から第３タンク１８〜２０と、制御装置２１と、を備えている。
【００１３】
装置架台１１は、ワークステージ１２及びステージ移動装置１３の支持台である。ワークステージ１２は、装置架台１１上においてステージ移動装置１３によって主走査方向であるＸ方向（第２走査方向）に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示略）から搬送されるマザー基板５１を真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持する。
ステージ移動装置１３は、リニアガイド及びボールネジなどの直動機構を備えており、制御装置から入力されるワークステージ１２の移動先のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ１２をＸ方向に移動させる。
キャリッジ１４は、液滴吐出ヘッド１５を保持しており、キャリッジ移動装置１６によって副走査方向であるＹ方向（第１走査方向）及びＺ方向に移動可能に設けられている。
【００１４】
液滴吐出ヘッド１５は、液状体のＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）に対応して設けられており、それぞれキャリッジ１４を介してチューブ１７と連結されている。
そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第１タンク１８からＲ（赤）用の液状体が供給され、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第２タンク１９からＧ（緑）用の液状体が供給され、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第３タンク２０からＢ（青）用の液状体が供給される。
【００１５】
液滴吐出ヘッド１５は、図２（ａ）に示すように、Ｙ方向で等間隔に配列された複数（例えば１８０）のノズルＮ１〜Ｎ１８０（以下、総称してノズルＮと称することもある）を備えている。これらノズルＮ１〜Ｎ１８０によってノズル列ＮＡが形成される。
なお、液滴吐出ヘッド１５は、ノズル列ＮＡを１列のみ備えているが、複数列備えていてもよく、ノズル列ＮＡを構成するノズルＮの数は、１８０に限られない。また、キャリッジ１４内に配置される液滴吐出ヘッド１５の数は、任意に変更可能である。さらに、キャリッジ１４は、サブキャリッジ単位で複数設けられてもよい。
ここで、複数のノズルＮ１〜Ｎ１８０のうち両端のノズル（例えばノズルＮ１〜Ｎ９、ノズルＮ１７１〜Ｎ１８０）については、液状体の吐出量のバラツキが大きいことから、液状体の吐出に使用しない場合があってもよい。
【００１６】
液滴吐出ヘッド１５は、図２（ｂ）に示すように、チューブ１７に連結される材料供給孔３１ａが設けられた振動板３１と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート３２と、振動板３１及びノズルプレート３２の間に設けられたリザーバ３３と、複数の隔壁３４と、複数の液溜部３５と、を備えている。
振動板３１上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して駆動素子ＰＺ１〜ＰＺＮ（以下、総称して駆動素子ＰＺと称することもある）が配置されている。駆動素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。
【００１７】
リザーバ３３には、材料供給孔３１ａを介して供給される液状体が充填されるようになっている。
液溜部３５は、振動板３１と、ノズルプレート３２と、一対の隔壁３４とによって囲まれることによって形成されている。また、液溜部３５は、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１で対応して形成されている。さらに、各液溜部３５には、一対の隔壁３４間に設けられた供給口３５ａを介して、リザーバ３３から液状体が導入されるようになっている。
【００１８】
駆動素子ＰＺは、図２（ｃ）に示すように、圧電材料３６と圧電材料を挟持する一対の電極３７とを備えている。そして、駆動素子ＰＺは、一対の電極３７間に駆動信号を印加することで圧電材料３６を収縮させ、圧電材料３６の収縮によって振動板３１を駆動素子ＰＺと共に同時に外側（液溜部３５の反対側）へ撓曲させて液溜部３５の容積を増大させる構成となっている。
したがって、液溜部３５内に増大した容積分に相当する液状体がリザーバ３３から供給口３５ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、駆動素子ＰＺ及び振動板３１は、元の形状に戻り、液溜部３５も元の容積に戻る。これにより、液溜部３５内の液状体の圧力が上昇し、ノズルＮ１からマザー基板５１に向けて液状体の液滴Ｌが吐出される。
【００１９】
キャリッジ移動装置１６は、図１に示すように、装置架台１１を跨ぐ橋梁構造をなしており、Ｙ方向及びＺ方向に沿ってリニアガイド及びボールネジなどの直動機構を備え、制御装置２１から入力されるキャリッジ１４の移動先のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいてキャリッジ１４をＹ方向及びＺ方向に移動させる。
【００２０】
チューブ１７は、第１から第３タンク１８〜２０とキャリッジ１４とを連結する液状体の供給用チューブである。
第１タンク１８は、Ｒ（赤）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。第２タンク１９は、Ｇ（緑）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。第３タンク２０は、Ｂ（青）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。
【００２１】
制御装置２１は、液滴吐出ヘッド１５の走査を制御する走査制御部４１と、各ノズルＮからの液状体の吐出を制御する吐出制御部（補正手段）４２と、を備えている。
走査制御部４１は、ワークステージ１２の移動によるマザー基板５１の位置決め動作と、キャリッジ１４の移動による液滴吐出ヘッド１５の位置決め動作とを制御する走査制御部４１と、を制御する。走査制御部４１は、ステージ移動装置１３にステージ位置制御信号を出力してマザー基板５１の位置決め動作を行い、キャリッジ移動装置１６にキャリッジ位置制御信号を出力して液滴吐出ヘッド１５の位置決め動作を行う。
【００２２】
吐出制御部４２は、液滴吐出ヘッド１５に描画データ及び駆動信号を出力し、各ノズルＮから液状体を吐出させる。ここで、各ノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して同一の駆動信号を供給すると、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量には、例えば図３に示すようなバラツキが発生する。そこで、吐出制御部４２は、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量のバラツキの移動平均が周期Ｔの正弦曲線を描くように各駆動素子ＰＺに供給する駆動信号を調節し、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正する。この周期Ｔは、液滴吐出ヘッド１５の副走査方向における移動量である距離Ｙ１の２倍になっている。なお、図３は、補正前後それぞれにおける各ノズルＮから吐出される吐出量のバラツキを示す隣接するノズルＮとの間の移動平均である。
【００２３】
具体的には、吐出制御部４２は、図４に示すような波形を有する駆動信号における電圧成分によって各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正している。
図４における立上り期間ｔ１では、ノズルＮに隣接する液溜部３５の容積が増大し、液状体が液溜部３５内に供給される。ここで、立上り期間ｔ１では、液溜部３５の容積の増大によってメニスカスの位置も液溜部３５側に移動する。この移動量は、立上り期間ｔ１が短いほど大きい。これは、立上り期間ｔ１が短いほど勢いよくメニスカスが液溜部３５内に引き込まれるからである。そのため、図５（ａ）に示すように、メニスカスを液溜部３５側に大きく移動させ、そのまま素早く吐出動作に移れば、液状体の吐出量はメニスカスが引き込まれた分だけ少なくなる。逆に、立上り期間ｔ１を長くして液溜部３５側へのメニスカスの移動量を小さくすると、メニスカスの引き込み量が少ない分だけ液状体の吐出量が多くなる。
【００２４】
立ち上がる前の電位ＶＭ（中間電位）は、メニスカスの移動量に影響する。図５（ｂ）に示すように、中間電位ＶＭを充電状態の電位ＶＨに近づけて電位差ＶＨＭを小さくすると、立上り期間ｔ１を短くしてもメニスカスの移動がほとんど生じない。そのため、素早く吐出動作に移っても、液状体の吐出量がほとんど変化しない。一方、電位差ＶＨＭを大きくすると、メニスカスの移動量が大きくなるため、素早く吐出動作に移ると、メニスカスが引き込まれた分だけ吐出量が少なくなる。
【００２５】
液溜部３５側に引き込まれたメニスカスは、液溜部３５の容積変動が終了すると、元の位置に戻ろうとし、メニスカスは元の位置を基準として振動する。そのため、メニスカスが液溜部３５側に振動したタイミングで吐出動作に移ると、メニスカスが引き込まれている分だけ吐出量が少なくなる。一方、メニスカスが液溜部３５とは反対側に振動しているタイミングで吐出動作に移ると、メニスカスが外部に大きく張り出している分だけ吐出量が多くなる。したがって、図５（ｃ）に示すように、吐出量は、保持期間ｔ２の増大に伴って増減を繰り返す周期的な変動を示す。
【００２６】
図４における立下り期間ｔ３は、液状体をノズルＮから外部に押出すときの加圧力に影響する。立下り期間ｔ３が短い場合には、加圧力が大きくなり、立下り期間ｔ３が長い場合には、加圧力が小さくなる。図５（ｄ）に示すように、加圧力が大きい場合には、液状体は勢いよくノズルＮから飛び出すため、その分吐出量が多くなる。逆に加圧力が小さい場合には、液状体がゆっくり押出されるため、その分吐出量が少なくなる。
以上のように、メニスカスの挙動による吐出量の変動を積極的に利用し、駆動信号を制御することによって液状体の吐出量を補正できる。
【００２７】
［カラーフィルタ］
次に、以上のような構成の液滴吐出装置１を用いて製造されるカラーフィルタについて説明する。
カラーフィルタ５０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、ガラス、プラスチックなどで形成された大面積のマザー基板５１に複数のパネル領域ＣＡが設けられたカラーフィルタ基板５２をパネル領域ＣＡごとに分割することによって製造される。
パネル領域ＣＡは、マトリクス状に配置されており、バンク５３によって区画された複数の描画領域５４を有する。描画領域５４は、マトリクス状に配置されており、内部にカラーフィルタ層５５が形成されている。
【００２８】
カラーフィルタ層５５の配列は、一方向で同色となっており、これと直交する方向でＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の順で繰り返されている。すなわち、カラーフィルタ層５５の配列は、一方向で直線状に設けられた同色のカラーフィルタ層５５がこれと直交する方向で交互に配列された、ストライプ型となっている。
なお、カラーフィルタ層５５の配置は、図７（ａ）に示すようなストライプ型に限らず、図７（ｂ）に示すようなモザイク型や図７（ｃ）に示すようなデルタ型など、他の配置であってもよい。
【００２９】
［液滴吐出方法］
次に、以上のような構成の液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法について説明する。本実施形態では、液滴吐出方法を用いてカラーフィルタを製造する。
まず、図１に示すように、バンク５３が形成されたマザー基板５１をワークステージ１２上に載置し、マザー基板５１の上面と液滴吐出ヘッド１５とを対向させる。
【００３０】
そして、吐出制御部４２は、ノズル列ＮＡを構成する各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量の移動平均が後述する走査工程における副走査方向に沿って所定距離Ｙ１の２倍である周期Ｔを有するように、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正する（補正工程）。
【００３１】
続いて、ステージ移動装置１３及びキャリッジ移動装置１６をマザー基板５１に対して相対的に移動（走査）させながら液滴吐出ヘッド１５の複数のノズルＮから描画領域５４に向けて液状体を吐出させる（走査工程）。ここでは、液滴吐出ヘッド１５は、マザー基板５１に対して図８に示す主走査方向である矢印Ａ１に沿って相対的に移動された後に副走査方向であるＹ方向で相対的に所定距離Ｙ１だけ移動され、再び主走査方向である矢印Ａ２に沿って相対的に移動される。
【００３２】
上述した補正工程において、吐出制御部４２は、ノズル列ＮＡを構成する各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量の移動平均が副走査方向に沿って所定距離Ｙ１の２倍である周期Ｔを有するように、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正している。そのため、所定距離Ｙ１だけ移動されると、移動前において吐出量の移動平均の周期の山に当たるノズルＮから吐出される描画領域５４は、移動後において周期の谷に当たるノズルＮから吐出されることになる。同様に、移動前において吐出量の移動平均の周期の谷に当たるノズルＮから吐出される描画領域５４は、移動後において周期の山に当たるノズルＮから吐出されることになる。
したがって、移動前において吐出量の多いノズルＮから液状体が吐出された領域は、移動後において吐出量の少ないノズルＮから液状体が吐出される。そのため、各描画領域５４では、各ノズルＮの吐出量のバラツキが相殺され、液状体の吐出量が均等になる。
【００３３】
このように、主走査方向に沿った相対的な移動と副走査方向に沿った相対的な所定距離Ｙ１の移動とを繰り返すことにより、液滴吐出ヘッド１５は、１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻ってすでに吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向であるＹ方向に沿って走査を行う。そして、このような走査を複数回行った後に吐出した液状体を乾燥させることにより、パネル領域ＣＡ内すべての描画領域５４に所望の膜厚のカラーフィルタ層５５を形成する。ここで、各描画領域５４における液状体の吐出量が均等になるため、筋状の濃淡ムラの発生が抑制されたカラーフィルタ層５５が形成される。
【００３４】
なお、液滴吐出ヘッド１５は、副走査方向であるＹ方向に沿って配置されているが、ノズルＮのピッチと描画領域５４のピッチとを所定の対応関係とするためにＹ方向に対して斜めに傾けられてもよい。このような場合においても、各ノズルＮ間の吐出量の移動平均の副走査方向であるＹ方向における周期は、液滴吐出ヘッド１５のＹ方向での移動量である距離Ｙ１の２倍となるように吐出制御部４２によって補正される。
以上のようにして、カラーフィルタ基板５２を製造する。その後、パネル領域ＣＡごとにマザー基板５１を分割して個別のカラーフィルタ５０を製造する。
【００３５】
以上のように、本実施形態における液滴吐出方法及び液滴吐出装置１では、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を均一にしてバラツキを低減するのではなく、ノズル列ＮＡにおいて少なくとも隣接するノズルＮとの間における吐出量の移動平均を距離Ｙ１の２倍の周期にすることで、副走査方向における移動を繰り返すことで周期性を持ったバラツキが相殺されるので、液状体の吐出量が均一化される。したがって、筋状の濃淡ムラの発生をより確実に抑制できる。
【００３６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、吐出量の移動平均の周期は、副走査方向における移動量の偶数倍であれば、移動量の２倍に限られない。
吐出制御部は、移動平均が正弦曲線を描くように各ノズルの吐出量を補正しているが、移動平均の周期が副走査方向における移動量の偶数倍となっており、副走査方向における移動前後で吐出量バラツキを相殺できれば、正弦曲線に限られない。
液滴吐出装置及び液滴吐出方法は、カラーフィルタにおけるカラーフィルタ層の形成に用いられているが、例えば有機ＥＬ装置における発光層を構成する各層の形成など、液状体を基板上の所定領域に吐出することによって薄膜を形成するものであれば、他の用途に用いられてもよい。
移動機構は、ステージ移動装置及びキャリッジ移動装置によって構成されているが、液滴吐出ヘッドがマザー基板に対して相対的に移動できればよく、キャリッジ移動装置がＸＹ面内で移動可能である構成など、他の構成であってもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１  液滴吐出装置、１３  ステージ移動装置（移動機構）、１５  液滴吐出ヘッド、１６  キャリッジ移動装置（移動機構）、４１  走査制御部（制御手段）、４２  吐出制御部（補正手段）、５１  マザー基板（基板）、Ｎ，Ｎ１〜Ｎ１８０  ノズル、Ｙ１  距離Ｙ１
【図１】
2010274176.tif 000003
【図２】
2010274176.tif 000004
【図３】
2010274176.tif 000005
【図４】
2010274176.tif 000006
【図５】
2010274176.tif 000007
【図６】
2010274176.tif 000008
【図７】
2010274176.tif 000009
【図８】
2010274176.tif 000010
【図９】
2010274176.tif 000011