(57)【要約】【課題】圧電体と弾性体との接合時における圧電体の欠け・割れの発生の可能性を低減する。【解決手段】圧電体（３）の励振により進行性振動波を発生する弾性体（４）と、前記弾性体（４）と加圧接触し、前記進行性振動波によって駆動される移動子（７）と、を備える振動アクチュエータ（１）の製造方法において、前記圧電体（３）に補強部材（９）を接合し、前記圧電体（３）に前記補強部材（９）が接合された状態で前記圧電体（３）を前記弾性体（４）に接合すること、を特徴とする。【選択図】図２
2010119211.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体の励振により進行性振動波を発生する弾性体と、
前記弾性体と加圧接触し、前記進行性振動波によって駆動される移動子と、
を備える振動アクチュエータの製造方法において、
前記圧電体に補強部材を接合し、
前記圧電体に前記補強部材が接合された状態で前記圧電体を前記弾性体に接合すること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性は、前記圧電体の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さいこと、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性は、前記弾性体の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さいこと、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材は、前記圧電体における前記弾性体が接合されている側と反対側の面に接合すること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材は、前記圧電体と前記弾性体との間に位置すること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材は、前記圧電体と前記弾性体との間の一部に配置すること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材は、薄膜であること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記補強部材の熱伝導率は、前記圧電体の熱伝導率より高いこと、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。
【請求項９】
圧電体の励振により振動波を発生する弾性体と、
前記弾性体と加圧接触し、前記振動波によって駆動される移動子と、
を備える振動アクチュエータにおいて、
前記圧電体は、補強部材を接合する接合面を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項９に記載の振動アクチュエータを備えることを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体の励振により弾性体に振動波を発生させ、この振動エネルギーを出力として取り出し、駆動力を得る振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及びそれを備えた光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動アクチュエータは、例えば、圧電体の伸縮を利用して、弾性体の振動面に進行性振動波を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせて、楕円運動の波頭に加圧接触した振動子を駆動するものである（例えば、特許文献１参照）。
近年、このような振動アクチュエータの小型化が進み、圧電体も小型化されている。圧電体が小型化されて径が小さくなると、所定の静電容量を確保するために、圧電体を薄くする必要がある。
【特許文献１】特開平６−６２５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、各部品の加工精度限界（平面度の悪さ）により、圧電体と弾性体の接合時に、部分的に荷重が集中する場合がある。圧電体が薄くなると、この荷重の集中により、接合時における圧電体の欠け・割れが発生する可能性がある。
本発明の課題は、圧電体と弾性体との接合時における圧電体の欠け・割れの発生の可能性を低減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００５】
請求項１に記載の発明は、圧電体（３）の励振により進行性振動波を発生する弾性体（４）と、前記弾性体（４）と加圧接触し、前記進行性振動波によって駆動される移動子（７）と、を備える振動アクチュエータ（１）の製造方法において、前記圧電体（３）に補強部材（９）を接合し、前記圧電体（３）に前記補強部材（９）が接合された状態で前記圧電体（３）を前記弾性体（４）に接合すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性は、前記圧電体（３）の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さいこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性は、前記弾性体（４）の前記圧電体と前記弾性体との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さいこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）は、前記圧電体（３）における前記弾性体（４）が接合されている側と反対側の面（３ａ）に接合すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）は、前記圧電体（３）と前記弾性体（４）との間に位置すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）は、前記圧電体（３）と前記弾性体（４）との間の一部に配置すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）は、薄膜であること、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１）の製造方法であって、前記補強部材（９）の熱伝導率は、前記圧電体（３）の熱伝導率より高いこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１）の製造方法である。
請求項９に記載の発明は、圧電体（３）の励振により振動波を発生する弾性体（４）と、前記弾性体（４）と加圧接触し、前記振動波によって駆動される移動子（７）と、を備える振動アクチュエータ（１）において、前記圧電体（３）は、補強部材（９）を接合する接合面（３ａ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１）である。
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の振動アクチュエータ（１）を備えることを特徴とする光学機器である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、又、少なくとも一部の他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、圧電体と弾性体との接合時における圧電体の欠け・割れの発生の可能性を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１実施形態の振動アクチュエータ１を備えるカメラ１００を説明する図である。カメラ１００は、撮像素子１０８を有するカメラボディ１０２と、レンズ１０７を有するレンズ鏡筒１０３とを備えている。レンズ鏡筒１０３は、カメラボディ１０２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒１０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
【０００８】
レンズ鏡筒１０３は、レンズ１０７、カム筒１０６、ギア１０４，１０５、超音波モータ１を備えている。本実施形態では、超音波モータ１は、カメラ１００のフォーカス動作時にレンズ１０７を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１から得られた駆動力は、ギア１０４，１０５を介してカム筒１０６に伝えられる。レンズ１０７は、カム筒１０６に保持されており、超音波モータ１の駆動力により、光軸方向（図１中に示す、矢印Ｌ方向）に略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
【０００９】
図１において、レンズ鏡筒１０３内に設けられたレンズ群（レンズ１０７を含む）によって、撮像素子１０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１０８によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【００１０】
図２は、超音波モータ１の全体断面図である。図示するように、超音波モータ１は、進行性振動波を回転エネルギーに変換して駆動力を発生することによりカム筒１０６を回転させるものである。図２に示すように、超音波モータ１は、装置基部３１、出力軸３２、固定部３３、振動子２、移動子７及び回転止め３７を備えている。
装置基部３１は、レンズ鏡筒１０３に固定される部材であり、超音波モータ１のベースとして機能する。
出力軸３２は、レンズ鏡筒１０３に備えられたレンズ群の光軸と略平行な方向に（図２におけるＹ方向）延在して設けられ、その一端側（図１におけるＹマイナス方向）にピニオンギア３４が固定されている。
【００１１】
固定部３３は、ベアリング保持部３３ａ及び回転止め装着部３３ｂを備えている。ベアリング保持部３３ａは、その内径側にベアリング３５が挿入された筒状となっており、装置基部３１に設けられた支持孔３１ａに挿入されている。ベアリング３５は、内輪部と外輪部との間にボールが配置されたラジアル玉軸受であり、内輪部の内径側に出力軸３２が貫通している。
回転止め装着部３３ｂは、ベアリング保持部３３ａよりも小径の筒状となっており、ベアリング保持部３３ａと一体に設けられている。
【００１２】
出力軸３２は、回転止め装着部３３ｂの内径側を貫通している。出力軸３２は、回転止め装着部３３ｂに対して摺動可能となっており、固定部３３に対して軸線方向（Ｙ軸方向）に移動可能となっていると共に、軸線回りの回転が可能となっている。回転止め装着部３３ｂは、外周面に雄ネジが形成されており、この雄ネジが回転止め３７の雌ネジと結合している。回転止め３７は、振動子２と固定部３３とを機械的に接続する部材であり、固定部３３に対する出力軸３２の回転を制限する。
【００１３】
図３は、振動子２の断面図である。また、図４は、振動子２の部分切り欠き斜視図である。
振動子２は、超音波モータ１のステータとして機能する部分であり、回転止め装着部３３ｂの外径側に配置されている。振動子２は、圧電体３と、弾性体４とを備えている。圧電体３における弾性体４との反対側には、補強部材９が接合されている。この補強部材９は、後述するが、振動子２の組み立ての後に、圧電体３から剥離・除去してもよく、圧電体３に接合したままの状態としてもよい。
【００１４】
圧電体３は、電圧を印加されると、印加された電圧に応じて伸縮動作を行う。圧電体３としては、例えば、ピエゾ素子等を用いることができる。圧電体３は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）５と電気的に接続されており、ＦＰＣ５を介してカメラ本体から駆動信号が伝達されることにより、圧電体３は伸縮動作を行う。
【００１５】
弾性体４は、ベース部４ａ、駆動部４ｂ及びつば部４ｃを備えている。ベース部４ａは、金属材料によって円環状に形成されており、その一方の端面に圧電体３が接合されている。
【００１６】
駆動部４ｂは、移動子７を駆動する部分であり、ベース部４ａに対して圧電体３とは反対側に設けられている。図４に示すように、駆動部４ｂは、ベース部４ａと一体に形成された櫛歯部４ｄと、ベース部４ａの径方向に延在する溝部４ｅとがベース部４ａの周方向に交互に配置された形状となっている。
【００１７】
つば部４ｃは、ベース部４ａから内径側につば状に突き出された円環状となっており、ベース部４ａに一体に形成されている。つば部４ｃは、装置基部３１と回転止め３７との間に挟まれてクランプされている。これによって、振動子２は装置基部３１に対して出力軸３２の軸線方向への移動が拘束されている。
【００１８】
図２に戻り、移動子７は、超音波モータ１のロータとして機能するものであり、摺動部７ａ及び出力軸保持部７ｂを備えている。摺動部７ａは、振動子２側に向かって延びる円環状となっており、一方の端面が弾性体４の駆動部４ｂに摺動可能に接触している。摺動部７ａと弾性体４の駆動部４ｂは、付勢バネ３８によって図中Ｙ軸方向に加圧接触されている。
【００１９】
出力軸保持部７ｂは、摺動部７ａと一体に形成された円筒状となっている。出力軸保持部７ｂの内径側には、出力軸３２が貫通している。出力軸３２は、その外周面の一部がＤカット、平行カット等により平面状に形成されており、移動子７はこの平面状の部分に嵌合することにより出力軸３２と移動子７とが一体的に回転するようになっている。
【００２０】
移動子７に対し、弾性体４とは反対側に円環状の防振ゴム３９が設けられている。防振ゴム３９は、振動子２から伝達される振動を吸収して振動が出力軸３２に伝達されることを防止する。この防振ゴム３９及び移動子７は、出力軸３２の多段側に設けられた円環状の押え板４０及びＥリング４１によって出力軸３２から抜け止めがなされている。
【００２１】
上述した付勢バネ３８は、ピニオンギア３４とベアリング３５との間に設けられたコイルバネからなり、その内径側に出力軸３２が貫通している。この場合、出力軸３２は固定部３３に対してＹ軸方向に摺動可能となっているため、振動子２は付勢バネ３８によって移動子７に対して加圧接触される。
【００２２】
図３及び図４に戻り、圧電体３は円環形状となっており、圧電体３の一方の面３ａに弾性体４が接合され、圧電体３の他方の面３ｂに補強部材９が接合される。すなわち、本実施形態の補強部材９は、圧電体３における弾性体４が接合されている側と反対側の面３ｂに接合されるものであり、面３ｂは補強部材９を接合する接合面３ｂとなっている。補強部材９には、ＦＰＣ５の実装面が接触する。
【００２３】
補強部材９は、圧電体３と同様に円環状となっている。又、補強部材９の径は、圧電体３とほぼ同じとなっている。従って、本実施形態では、補強部材９は圧電体３の接合面３ｂの略全面を覆うように接合される。ここで、補強部材９の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性は、圧電体３の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さく、また、弾性体４の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さい。補強部材９の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性を小さくするためには、補強部材９を薄膜化したり、補強部材９としてヤング率の小さな材料を用いることにより可能である。
【００２４】
補強部材９としては、圧電体３よりも高い熱伝導率の材料を用いることが好ましい。補強部材９として熱伝導率の高い材料を用いることにより、放熱性が良好となるため弾性体４の温度上昇を抑制することができる。
【００２５】
次に、本実施形態の製造方法を説明する。まず、圧電体３の接合面３ｂに接触するように補強部材９を積層させ、この積層体をゴム等の加圧体により挟んで加圧して接合（接着）する。この際、補強部材９の剛性が圧電体３よりも小さいことにより、圧電体３と補強部材９との接合において、補強部材９が圧電体３の接合面３ｂに倣うように変形するため、圧電体３に部分的な応力が加わりにくく、圧電体３が割れにくい。また圧電体３と補強部材９とを接合することにより、その後の取り扱いにおいても圧電体３が補強されて割れにくくなる。
【００２６】
その後、圧電体３の反対側の面３ａに弾性体４を積層し、これらをゴム等の加圧体により挟んで加圧して接合（接着）する。この際、圧電体３には補強部材９が貼着されているため、加圧の際に圧電体３に加わる荷重が補強部材９によって分散されるため、圧電体３が割れや欠けを生じることなく接合することができる。このように組み立てて、振動子２を作成し、この振動子２にＦＰＣ５を貼着して、さらに他部品を組み合わせて図１に示す超音波モータ１を製造する。
【００２７】
本実施形態では、圧電体３を割れや欠けが生じることなく弾性体４に接合することができる。なお、圧電体３と補強部材９とを積層した接合体を弾性体４に接合した後、補強部材９を剥離して除去してもよい。これにより、圧電体３の振動特性の減衰を防止することができる。又、補強部材９を接合することによる厚みの増大をなくすことができる。
【００２８】
以上、本実施形態によると以下の効果を有する。
（１）圧電体３に補強部材９を接合した状態で、圧電体３と弾性体４とを接合するため、圧電体３への荷重集中を緩和することができる。このため、接合の際に、圧電体３に割れや欠けが発生することを防止できる。また、接合の際に圧電体３に割れや欠けが発生することを防止することができるので、圧電体３と弾性体４とを比較的高い加圧力で挟むことができ、短時間で接合させることができる。圧電体３と弾性体４とを高い加圧力および短時間で接合させることにより、圧電体３と弾性体４との間の接着層をより均一かつ薄くすることができる。また、圧電体３と弾性体４とを高い加圧力および短時間で接合させることができるので、各部品の加工精度を向上させることなく超音波モータ１の製造に用いることができる。
（２）補強部材９として、高い熱伝導率の材料を用いることにより、放熱性が良好となる。このため、ステータの温度上昇を抑制することができる。
（３）圧電体３に補強部材９を接合した状態で超音波モータ１として用いるので、圧電体３の変形（歪み等）を抑制することができる。圧電体３が変形すると静電容量が低下するなどの弊害が生じるおそれがあるが、本実施形態によれば圧電体３の変形を抑制して静電容量の低下量を小さくすることができる。
（４）補強部材９は薄膜であり、圧電体３と弾性体４との接合の際に挟みこむ方向に沿った補強部材９の厚みは圧電体３の厚みより小さくなっている。補強部材９は、十分な剛性が得られるならばできる限り薄く構成するのが好ましい。補強部材９を薄くすることにより、圧電体３の振動の減衰を抑制することができるとともに超音波モータ１の小型化が可能である。
【００２９】
（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
上述の実施形態では、補強部材９の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性は、弾性体４の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性よりも小さいものとして説明したが、これに限定されず、補強部材９の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性が弾性体４の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性より大きくてもよい。圧電体３と補強部材９との接合は、圧電体３と弾性体４との接合よりもゆるい接着が可能であるからであり、補強部材９の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性が弾性体４の圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向の剛性より大きくとも、補強部材９との接着時における圧電体３の割れや欠けは生じにくいからである。なお、圧電体３と弾性体４との接合面に対し垂直な方向とは、圧電体３と弾性体４との接合の際に加圧される方向である。よって、本実施形態は、圧電体３と弾性体４との間に他の部材を介在させる場合を排除するのもではない。
【００３０】
（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態における振動子１１を示す。この実施形態の振動子１１は、補強部材９が圧電体３と弾性体４との間に挟まれて接合されている。他の構成は第１実施形態と同様であるので、その説明は省略する。
【００３１】
図５に示す振動子１１の製造は、以下のようにして行う。まず、圧電体３に補強部材９を積層して、これらをゴム等の加圧体により挟んで加圧する。その後、補強部材９の圧電体３との反対側の面と弾性体４とを接触させて、ゴム等の加圧体により挟んで加圧する。これにより、圧電体３と弾性体４とによって補強部材９をサンドイッチした構造の振動子１１を作成することができる。
【００３２】
本実施形態においても、補強部材９の径及び幅は、圧電体３の径及び幅、さらに、弾性体４のベース部４ａにおける径及び幅と略同等となっている。従って、補強部材９の両面は、圧電体３及び弾性体４のベース部４ａによって覆われる。しかし、これに限らず、補強部材９としては圧電体３及び弾性体４よりも大きな径であってもよい。この場合には、補強部材９が圧電体３及び弾性体４よりも外側に広がった状態となる。この場合には、補強部材９として導電材料を用いることにより、グランドや電源供給部として使用することができる。
【００３３】
（第３実施形態）
図６は、本発明の第３実施形態における振動子１２を示す。本実施形態においては、第１実施形態と同様に補強部材９が圧電体３と弾性体４との間に配置されるものである。この場合、補強部材９としては、圧電体３よりも小さな幅の円環形状に形成されている。圧電体３との接合に際し、補強部材９は、圧電体３の外周側にだけ接合され、圧電体３の内周部分は、圧電体３が接合されることがない露出部分３ｃとなっている。このように補強部材９が圧電体３の外周側にだけ接合された構造であっても、補強部材９が圧電体３の補強を行うため、圧電体３の周方向の変形を防止することができる。また、弾性体４との接合時における圧電体３の割れや欠けを防止できる。
【００３４】
弾性体４のベース部４ａには、補強部材９に対応した段状溝１３が形成されている。段状溝１３は、弾性体４のベース部４ａにおける外周側に位置しており、その幅が補強部材９の幅と略同等となっている。段状溝１３には、補強部材９が嵌まり込む。このような構造では、圧電体３の露出部分３ｃが弾性体４のベース部４ａと接合することができる。すなわち、本実施形態の振動子１２においては、圧電体３と弾性体４とが部分的に接合される構造となっている。
【００３５】
本実施形態では、圧電体３の露出部分３ｃが弾性体４と接合されるため、圧電体３と弾性体４とが部分的に接合された構造となっている。このような構造では、圧電体３の振動が補強部材９によって減衰されることを抑制することができるため、圧電体３の振動伝達効率を大きくすることが可能となる。
【００３６】
図７は、第３実施形態における第１変形形態を示す。本形態では、補強部材９が幅小となっており、補強部材９は圧電体３の中央部分にだけ接合され、圧電体３の内周側及び外周側が露出部分３ｃとなっている。又、弾性体４のベース部４ａには、補強部材９の対応した溝部１４が形成されており、補強部材９が溝部１４に嵌り込むことが可能となっている。補強部材９が溝部１４に嵌り込むことにより、圧電体３における内周側及び外周側の露出部分３ｃを弾性体４に接合することができる。
【００３７】
図７の形態においても、圧電体３と弾性体４とが部分的に接合された構造となっているため、圧電体３の振動が補強部材９によって減衰されることを抑制することができ、圧電体３の振動伝達効率を大きくすることが可能となる。
【００３８】
図８は、第３実施形態における第２変形形態を示す。本形態では、補強部材９が圧電体３の径方向に伸びた直線形状となっており、直線状の複数の補強部材９が放射状となって圧電体３に接合されている。従って、補強部材９が接合されていない圧電体３の他の部分は露出部分３ｃとなっている。このように補強部材９が圧電体３の径方向に伸びていることにより、圧電体３の径方向の反りや変形を補強することができる。この場合、補強部材９としては、放射状とすることなく、圧電体３に発生している反りや変形に応じた箇所に配置することができる。図示を省略するが、補強部材９に対応した溝部が弾性体４のベース部４ａに形成されており、補強部材９はそれぞれの溝部に嵌り込む。このため、図８の形態においても、圧電体３の露出部分３ｃは弾性体４と接合する。
【００３９】
このような図８の形態においても、圧電体３と弾性体４とが部分的に接合された構造となっているため、圧電体３の振動が補強部材９によって減衰されることを抑制することができ、圧電体３の振動伝達効率を大きくすることが可能となる。
【００４０】
図９は、第３実施形態における第３変形形態を示す。本形態では、補強部材９が細幅で且つ所定長さの円弧状に形成されており、圧電体３の周方向に分散して接合されている。従って、補強部材９が接合されていない圧電体３の他の部分は、露出部分３ｃとなっている。一方、図示を省略するが、補強部材９に対応した溝部が弾性体４のベース部４ａに形成されており、補強部材９がそれぞれの溝部に嵌り込むため、図９の形態においても、圧電体３の露出部分３ｃが弾性体４と接合する。
【００４１】
図９の形態においても、圧電体３と弾性体４とが部分的に接合された構造となっているため、圧電体３の振動が補強部材９によって減衰されることを抑制することができ、圧電体３の振動伝達効率を大きくすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１実施形態の振動アクチュエータを備えるカメラを説明する図である。
【図２】本発明の振動アクチュエータを示す全体断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態における振動子の断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態における振動子の部分切り欠き斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態における振動子の断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態における振動子の部分切り欠き斜視図である。
【図７】第３実施形態の第１変形形態を示す部分切り欠き斜視図である。
【図８】第３実施形態の第２変形形態を示す部分切り欠き斜視図である。
【図９】第３実施形態の第３変形形態を示す部分切り欠き斜視図である。
【符号の説明】
【００４３】
１：振動アクチュエータ、２、１１、１２：振動子、３：圧電体、４：弾性体、７：移動子、９：補強部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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