(57)【要約】【課題】空気噴き出しスリットより、長手方向に対して直角に、且つ、長手方向での吹き出し風速分布を均一にして噴き出すことができるエアカーテン用空気噴き出し装置に関する。【解決手段】筒状密閉容器１に、長手方向に空気噴き出しスリット２を設けたエアカーテン用空気噴き出し装置において、前記空気噴き出しスリット２に沿って、前記筒状密閉容器１内部に、空気の濾過、および内部圧力を均一にするための円筒状フィルタ３を設置すると共に、該円筒状フィルタ３の一方端に連通して前記筒状密閉容器外へ突設された空気供給パイプ３ａに空気供給口部６を備え、更に前記円筒状フィルタ３内部に空気の流れを整流する整流器７を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状密閉容器に、長手方向に空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔を設けたエアカーテン用空気噴き出し装置において、前記空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿って、前記筒状密閉容器内部に空気の濾過、および内部圧力を均一にするための円筒状フィルタを設置すると共に、該円筒状フィルタの一方端に連通して前記筒状密閉容器外へ突設された空気供給パイプに空気供給口部を備え、更に前記円筒状フィルタ内部に空気の流れを整流する整流器を設けたことを特徴とするエアカーテン用空気噴き出し装置。
【請求項２】
請求項１記載のエアカーテン用空気噴き出し装置において、円筒状フィルタの内部に設けられた空気の流れを整流する整流器が、ラセン状のリボン構造物より成ることを特徴とするエアカーテン用空気噴き出し装置。
【請求項３】
請求項１記載のエアカーテン用空気噴き出し装置において、円筒状フィルタの内部に設けられた空気の流れを整流する整流器が、多孔状の筒構造物より成ることを特徴とするエアカーテン用空気噴き出し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶および有機ＥＬの製造装置において使用されるエアカーテン用空気噴き出し装置であって、特に、空気噴き出しスリットより、長手方向に対して直角に、且つ、長手方向での吹き出し風速分布を均一にして噴き出すことができるエアカーテン用空気噴き出し装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、半導体、液晶および有機ＥＬ製造装置では、装置内部での半導体、液晶および有機ＥＬ基盤への塵埃の付着を防止するために、清浄空気によるエアカーテンで防止する方法が取られているが、半導体、液晶および有機ＥＬの性能が向上するに従い、半導体、液晶および有機ＥＬ製造装置の性能に対する要求も厳しくなっている。また、前記半導体、液晶および有機ＥＬ製造装置において使用されているエアカーテン用空気噴き出し装置に対しても、小型化、高清浄化、および噴き出し風速分布の均一性の要求が強くなってきている。
【０００３】
従来汎用されているエアカーテン用空気噴き出し装置においては、該エアカーテン用空気噴き出し装置の内部に、空気噴き出しスリットに沿って、円筒状フィルタを設置し、該円筒状フィルタによる空気の清浄化を図ると共に、前記円筒状フィルタ内部圧力の均一化により、スリットに沿った噴き出し風速分布の均一化を図る方法、または供給空気圧力を高くして、空気噴き出しスリットの幅を狭くし、スリットに沿った噴き出し風速分布の均一化を図る方法が取られている。
【０００４】
そして、円筒状フィルタを用いたエアカーテン用空気噴き出し装置につき、過去の特許文献を遡及検索すると、本出願人の出願に係る下記の特許文献１に記載されたものが公知である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１９０４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
最近の液晶および有機ＥＬの微細化、高性能化により、該半導体、液晶および有機ＥＬの製造装置における、エアカーテン用空気噴き出し装置のスリットに沿った噴き出し風速分布の均一性の要求仕様は、益々厳しくなってきているが、前記従来の、汎用されている空気噴き出し装置の内部に、空気噴き出しスリットに沿って、円筒状フィルタを設置する方法、または、供給空気圧力を高くして、空気噴き出しスリットの幅を狭くする方法では、前記要求仕様を満たすことができないという課題があった。
【０００７】
更に、特許文献１に記載された円筒状フィルタには、空気噴き出しスリットに沿って、空気の濾過および内部圧力を均一にすべく、前記円筒状フィルタ内部に空気の流れを整流する手段が備えられていないので、前記スリットに沿った噴き出し風速分布の均一化が充分でないという課題があった。
【０００８】
本発明は、前記課題を解決すべくなされたものであって、筒状密閉容器に、長手方向に空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔を設けたエアカーテン用空気噴き出し装置において、前記空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿って、円筒状フィルタを設置すると共に、前記円筒状フィルタ内部に空気の流れを整流する整流器を設けることにより、前記空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿った噴き出し風速分布を均一にすることができるエアカーテン用空気噴き出し装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、筒状密閉容器に、長手方向に空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔を設けたエアカーテン用空気噴き出し装置において、前記空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿って、前記筒状密閉容器内部に空気の濾過、および内部圧力を均一にするための円筒状フィルタを設置すると共に、該円筒状フィルタの一方端に連通して前記筒状密閉容器外へ突設された空気供給パイプに空気供給口部を備え、更に前記円筒状フィルタ内部に空気の流れを整流する整流器を設けるという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、円筒状フィルタの内部に空気の流れを整流する整流器を設置することにより、空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿った噴き出し風速分布を均一にすることができるという効果を奏する。
【００１１】
そして、前記整流器は、ラセン状のリボン構造物より成るものであってもよく、また多孔状の筒構造物あってもよく、いずれの構造物も空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿った噴き出し風速分布を均一にすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明エアカーテン用空気噴き出し装置は、筒状密閉容器に、長手方向に空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔を設けたエアカーテン用空気噴き出し装置において、前記空気噴き出しスリット、または多数の空気噴き出し孔に沿って、円筒状フィルタを設置すると共に、該円筒状フィルタの一方端、または両端に空気供給口部を備え、且つ前記円筒状フィルタ内部に空気の流れを整流する整流器を設けた構成とすることを特徴とする。以下、本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明の実施例１を示す全体の斜視図、図２は、同一部を切欠いて示す要部の斜視図である。図１・図２に示すように、筒状密閉容器１には、長手方向に空気噴き出しスリット２が設けられ、且つ該筒状密閉容器１内部には、空気の濾過、および内部圧力を均一にするために、円筒状フィルタ３が配設されている。そして、前記円筒状フィルタ３は、前記筒状密閉容器１の内部と、通気空間となる隙間４を確保できる状態で、該筒状密閉容器１の両端に密に固定された固定部品５に、貫通してシールされると共に、該円筒状フィルタ３の一方端に連通して、前記筒状密閉容器１外へ突設された空気供給パイプ３ａに空気供給口部６を備え、更に、前記円筒状フィルタ３の内部には、該円筒状フィルタ３内に導入された空気の流れを整流する、帯板をラセン状に屈曲したリボン構造物より成る整流器７が設けられている。
【００１４】
前記円筒状フィルタ３の一方端に連通された空気供給パイプ３ａの空気供給口部６から供給される空気８は、ラセン状のリボン構造物より成る整流器７によって、空気の流れ方向が不均一となって乱流して整流されながら、円筒状フィルタ３内を進む。そして、前記円筒状フィルタ３で濾過された空気は、空気噴き出しスリット２から噴出空気９となり、隙間４内に噴き出される。この間、ラセン状のリボン構造物より成る整流器７の整流機能と、円筒状フィルタ３の圧力損失の効果で、前記隙間４内に噴き出された空気は、筒状密閉容器１の長手方向の空気圧力が均一になり、長手方向に設けられた空気噴き出しスリット２から、均一な風速の噴出空気９が得られる。
【実施例２】
【００１５】
図３は、本発明の実施例２を示す全体の斜視図、図４は、同一部を切欠いて示す要部の斜視図である。実施例１が、筒状密閉容器１の長手方向に空気噴き出しスリット２が設けられているのに対し、実施例２は、該空気噴き出しスリット２に代えて、前記筒状密閉容器１の長手方向に多数の空気噴き出し孔２ａを設けて形成されている。
【００１６】
そして、実施例２におけるその他の構成、および作用は実施例１のものと同一であるので、同一符号を用いて説明する。
【００１７】
すなわち、図３・図４に示すように、筒状密閉容器１には、長手方向に多数の空気噴き出し孔ａが設けられ、且つ該筒状密閉容器１内部には、空気の濾過、および内部圧力を均一にするために、円筒状フィルタ３が配設されている。そして、前記円筒状フィルタ３は、前記筒状密閉容器１の内部と、通気空間となる隙間４を確保できる状態で、該筒状密閉容器１の両端に密に固定された固定部品５に、貫通してシールされると共に、該円筒状フィルタ３の一方端に連通して、前記筒状密閉容器１外へ突設された空気供給パイプ３ａに空気供給口部６を備え、更に、前記円筒状フィルタ３の内部には、該円筒状フィルタ３内に導入された空気の流れを整流する、帯板をラセン状に屈曲したリボン構造物より成る整流器７が設けられている。
【００１８】
前記円筒状フィルタ３の一方端に連通された空気供給パイプ３ａの空気供給口部６から供給される空気８は、ラセン状のリボン構造物より成る整流器７によって、空気の流れ方向が不均一となって乱流して整流されながら、円筒状フィルタ３内を進む。そして、前記円筒状フィルタ３で濾過された空気は、多数の空気噴き出し孔２ａから噴出空気９となり、隙間４内に噴き出される。この間、ラセン状のリボン構造物より成る整流器７の整流機能と、円筒状フィルタ３の圧力損失の効果で、前記隙間４内に噴き出された空気は、筒状密閉容器１の長手方向の空気圧力が均一になり、長手方向に設けられた空気噴き出し孔２ａから、均一な風速の噴出空気９が得られる。
【実施例３】
【００１９】
図５は、本発明の実施例３を一部を切欠いて示す要部の斜視図であり、一方側の固定部品を省略して示されている。実施例３においては、実施例１と同一の構成および作用を有するものは、同一の符号を用いて説明し、その構成、および作用については説明を省略する。
【００２０】
実施例３は、図５に示すように、空気噴き出しスリット２を設けた筒状密閉容器１の内部に、円筒状フィルタ３が設置され、その内部には該円筒状フィルタ３内に導入された空気の流れを整流する、筒体に多数の小孔を穿設した多孔状の筒構造物より成る整流器１０が設けられている。
【００２１】
前記円筒状フィルタ３の一方端に連通された空気供給パイプ３ａの空気供給口部６から供給される空気８は、多孔状の筒構造物より成る整流器１０の多数の小孔を通して、空気の出入りを繰返して、空気の流れ方向が不均一となって乱流して整流されながら、円筒状フィルタ３内を進む。そして、前記円筒状フィルタ３で濾過された空気は、空気噴き出しスリット２から噴出空気９となり、隙間４内に噴き出される。この間、多孔状の筒構造物より成る整流器１０の整流機能と、円筒状フィルタ３の圧力損失の効果で、前記隙間４内に噴き出された空気は、筒状密閉容器１の長手方向の空気圧力が均一になり、長手方向に設けられた空気噴き出しスリット２から、均一な風速の噴出空気９が得られる。
【実施例４】
【００２２】
図６は、本発明の実施例４を一部を切欠いて示す要部の斜視図である。実施例３が、筒状密閉容器１の長手方向に空気噴き出しスリット２が設けられているのに対し、実施例４は、該空気噴き出しスリット２に代えて、前記筒状密閉容器１の長手方向に一列状に、多数の空気噴き出し孔２ａを設けて形成されている。
【００２３】
そして、実施例４におけるその他の構成、および作用は実施例３のものと同一であるので、同一符号を用いて説明する。
【００２４】
実施例４は、図６に示すように、長手方向に多数の空気噴き出し孔２ａを設けた筒状密閉容器１の内部に、円筒状フィルタ３が設置され、その内部には該円筒状フィルタ３内に導入された空気の流れを整流する、筒体に多数の小孔を穿設した多孔状の筒構造物より成る整流器１０が設けられている。
【００２５】
前記円筒状フィルタ３の一方端に連通された空気供給パイプ３ａの空気供給口部６から供給される空気８は、多孔状の筒構造物より成る整流器１０の多数の小孔を通して、空気の出入りを繰返して、空気の流れ方向が不均一となって乱流して整流されながら、円筒状フィルタ３内を進む。そして、前記円筒状フィルタ３で濾過された空気は、多数の空気噴き出し孔２ａから噴出空気９となり、隙間４内に噴き出される。この間、多孔状の筒構造物より成る整流器１０の整流機能と、円筒状フィルタ３の圧力損失の効果で、前記隙間４内に噴き出された空気は、筒状密閉容器１の長手方向の空気圧力が均一になり、長手方向に設けられた多数の空気噴き出し孔２ａから、均一な風速の噴出空気９が得られる。
【００２６】
次に、前記構成より成る本発明のエアカーテン用空気噴き出し装置と、従来のエアカーテン用空気噴き出し装置との性能を比較テストした結果を下記に示す。なお、前記従来のエアカーテン用空気噴き出し装置は、その内部に、空気噴き出しスリットに沿って、円筒状フィルタを設置し、円筒状フィルタによる空気の清浄化と、円筒状フィルタの濾材を空気が通過するときの圧力損失により、前記スリットに沿った噴き出し風速分布の均一化を図っている。すなわち、従来のエアカーテン用空気噴き出し装置は、本発明の実施例１によるエアカーテン用空気噴き出し装置の内部から、整流器を取り除いたものである。
【００２７】
前記比較テスト方法は、従来のエアカーテン用空気噴き出し装置と、本発明の実施例２によるエアカーテン用空気噴き出し装置に、同一条件で空気を供給し、多数の空気吹き出し孔からの噴き出し風速分布を測定することにより行った。
【００２８】
前記比較テストによる測定結果を、図７に示す。図７の測定結果より、本発明のエアカーテン用空気噴き出し装置では、従来のエアカーテン用空気噴き出し装置より均一な風速分布の噴き出し空気が得られることが証明できた。
【００２９】
なお、比較テストはしていないが、実施例１、実施例３、および実施例４によるエアカーテン用空気噴き出し装置でも、前記比較テストの場合と同様の測定結果が得られるものと推測できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明エアカーテン用空気噴き出し装置の実施例１を示す全体の斜視図である。
【図２】同一部を切欠いて示す要部の斜視図である。
【図３】本発明エアカーテン用空気噴き出し装置の実施例２を示す全体の斜視図である。
【図４】同一部を切欠いて示す要部の斜視図である。
【図５】本発明エアカーテン用空気噴き出し装置の実施例３の一部を切欠いて示す要部の斜視図である。
【図６】本発明エアカーテン用空気噴き出し装置の実施例４の一部を切欠いて示す要部の斜視図である。
【図７】本発明エアカーテン用空気噴き出し装置と従来のエアカーテン用空気噴き出し装置の風速分布比較図である。
【符号の説明】
【００３１】
１    筒状密閉容器
２    空気噴き出しスリット
２ａ  多数の空気噴き出し孔
３    円筒状フィルタ
３ａ  空気供給パイプ
６    空気供給口部
７    ラセン状のリボン構造物より成る整流器
１０  多孔状の筒構造物より成る整流器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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