(57)【要約】【課題】製造コストを低減できる同軸プローブ構造を実現する。【解決手段】プローブ本体と信号伝送プローブ用ソケットとを有する信号伝送用同軸プローブと、この信号伝送用同軸プローブの周囲のソケット保持用ブロックに設けられプローブ本体と接地電位用プローブ用ソケットとを有する複数の接地電位用プローブとを具備する同軸プローブ構造において、ソケット保持用ブロックを金属材料に替わって、表面が金属メッキされた第１の樹脂ブロックとこの第１の樹脂ブロックの一面に一面が固定された第２の樹脂ブロックとを有するソケット保持用ブロックに構成した同軸プローブ構造である。【選択図】図１
2010133763.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ本体と信号伝送プローブ用ソケットとを有する信号伝送用同軸プローブと、この信号伝送用同軸プローブの周囲のソケット保持用ブロックに設けられプローブ本体と接地電位用プローブ用ソケットとを有する複数の接地電位用プローブとを具備する同軸プローブ構造において、
表面が金属メッキされた第１の樹脂ブロックとこの第１の樹脂ブロックの一面に一面が固定された第２の樹脂ブロックとを有するソケット保持用ブロックと、
前記第１の樹脂ブロックと前記第２の樹脂ブロックとを貫通して設けられ前記第１の樹脂ブロックの部分の表面が金属メッキされた信号用同軸プローブ穴と、
この信号用同軸プローブ穴に挿入された信号伝送プローブ用ソケットと、
この信号伝送プローブ用ソケットと信号用同軸プローブ穴の前記第１の樹脂ブロック部分との間に設けられ前記ソケットと前記金属メッキ部との電気導通を得る電気接続用接点と、
この信号伝送プローブ用ソケットと信号用同軸プローブ穴の前記第２の樹脂ブロック部分との間に設けられこの信号伝送プローブ用ソケットを前記第２の樹脂ブロックに固定するソケット嵌合用接点と、
前記信号用同軸プローブ穴の周囲に前記第１の樹脂ブロックと前記第２の樹脂ブロックとを貫通して設けられ前記第１の樹脂ブロックの部分の表面が金属メッキされた複数の接地電位用プローブ穴と、
この接地電位用プローブ穴に挿入された接地電位用プローブ用ソケットと、
この接地電位用プローブ用ソケットと接地電位用プローブ穴の前記第１の樹脂ブロック部分との間に設けられ前記ソケットと前記金属メッキ部との電気導通を得る電気接続用接点と
を具備したことを特徴とする同軸プローブ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同軸プローブ構造に関するものである。
更に詳述すれば、半導体試験装置のＤＵＴインターフェス部にあって、インターポーザ基板との電気的接続を取るスプリング式コンタクトモジュールにおける高周波同軸プローブの保持構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
同軸プローブ構造に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３７３６１号公報
【０００４】
図２は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
４は信号伝送プローブ用ソケット３ａの一端に一端が接続された同軸ケーブルである。
図において、信号用同軸プローブ穴２は、ソケット保持用金属ブロック１を貫通して設けられている。
【０００５】
信号伝送プローブ用ソケット３ａは、信号用同軸プローブ穴２に挿入されている。
ここで、信号伝送プローブ用ソケット３ａは、信号伝送プローブ本体３ｂと共に信号伝送プローブ３を構成する。
接地電位用プローブ穴５は、信号用同軸プローブ穴２の周囲にソケット保持用金属ブロック１を貫通して設けられている。
この場合は、４個設けられている。
【０００６】
接地電位プローブ用ソケット６ａは、接地電位用プローブ穴５に挿入されている。
ここで、接地電位プローブ用ソケット６ａは、接地電位プローブ本体６ｂと共に接地電位プローブ６を構成する。
【０００７】
嵌合用接点７は、信号用同軸プローブ穴２と信号伝送プローブ用ソケット３ａとの間、あるいは、接地電位用プローブ穴５と接地電位プローブ用ソケット６ａとの間に設けられ、信号伝送プローブ３と接地電位プローブ６とが、ソケット保持用金属ブロック１に保持される。
【０００８】
以上の構成において、信号伝送用プローブ３の周辺に接地電位用プローブ６（帰還経路用）を配置し、特性インピーダンスを制御する。
接地電位用プローブ６は、特性インピーダンス制御のため適切な距離に近接設置する。
ソケット保持用金属ブロック１には、信号数に応じて多数の信号伝送用プローブ３が設置される。
この場合は、信号伝送用プローブ３は１個である。
【０００９】
信号伝送プローブ本体３ｂを嵌合し且つ同軸ケーブルの編組シールドに結線された信号伝送プローブ用ソケット３ａは、ソケット保持用金属ブロック１に加工された信号用同軸プローブ穴２に嵌合して保持される。
嵌合力は、信号伝送プローブ用ソケット３ａに設けられた嵌合用接点７により生じ、この嵌合用接点７はまたソケット保持用金属ブロック１との電気的接点となっている。
【００１０】
ソケット保持用金属ブロック１に、例えばアルミ等の導電性金属を使用するのは、接地電位プローブ６と信号伝送プローブ用ソケット３ａ（同軸ケーブルの編組シールドに接続）とを同電位とするためである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このような装置においては、以下の問題点がある。
金属を使用したソケット保持用金属ブロック１では、外形加工及びプローブを保持するための精密穴加工が切削加工で行われている。
その穴数は、例えば、１ブロックにつき現実には、１００〜２００個など、製造コストを低減できない１つの要因であった。
【００１２】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ソケット保持用ブロックを金属材料に替わって樹脂材料を用いることにより、従来の性能と品質を維持しながら製造コストを低減できる同軸プローブ構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の同軸プローブ構造においては、
プローブ本体と信号伝送プローブ用ソケットとを有する信号伝送用同軸プローブと、この信号伝送用同軸プローブの周囲のソケット保持用ブロックに設けられプローブ本体と接地電位用プローブ用ソケットとを有する複数の接地電位用プローブとを具備する同軸プローブ構造において、表面が金属メッキされた第１の樹脂ブロックとこの第１の樹脂ブロックの一面に一面が固定された第２の樹脂ブロックとを有するソケット保持用ブロックと、前記第１の樹脂ブロックと前記第２の樹脂ブロックとを貫通して設けられ前記第１の樹脂ブロックの部分の表面が金属メッキされた信号用同軸プローブ穴と、この信号用同軸プローブ穴に挿入された信号伝送プローブ用ソケットと、この信号伝送プローブ用ソケットと信号用同軸プローブ穴の前記第１の樹脂ブロック部分との間に設けられ前記ソケットと前記金属メッキ部との電気導通を得る電気接続用接点と、この信号伝送プローブ用ソケットと信号用同軸プローブ穴の前記第２の樹脂ブロック部分との間に設けられこの信号伝送プローブ用ソケットを前記第２の樹脂ブロックに固定するソケット嵌合用接点と、前記信号用同軸プローブ穴の周囲に前記第１の樹脂ブロックと前記第２の樹脂ブロックとを貫通して設けられ前記第１の樹脂ブロックの部分の表面が金属メッキされた複数の接地電位用プローブ穴と、この接地電位用プローブ穴に挿入された接地電位用プローブ用ソケットと、この接地電位用プローブ用ソケットと接地電位用プローブ穴の前記第１の樹脂ブロック部分との間に設けられ前記ソケットと前記金属メッキ部との電気導通を得る電気接続用接点とを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
プローブを保持するソケット保持用ブロックの材料を、金属に替えて樹脂を採用し、ソケット保持用ブロックをめっき有りと無しのブロックに２分割し、プローブの保持機能と電気接点機能を分離した。
【００１５】
この結果、切削加工の金属ブロックに対し、樹脂モールド化によるソケット保持用ブロックの製作コストは半分以下であり、性能は金属ブロックに比して同等であり、製造コストを低減できる同軸プローブ構造が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
図において、図２と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図２との相違部分のみ説明する。
【００１７】
図１において、ソケット保持用ブロック２１は、表面が金属メッキされた第１の樹脂ブロック２１ａとこの第１の樹脂ブロック２１ａの一面に一面が固定された第２の樹脂ブロック２１ｂとを有する。
信号用同軸プローブ穴２２は、第１の樹脂ブロック２１ａと第２の樹脂ブロック２１ｂとを貫通して設けられ、第１の樹脂ブロック２１ａの部分の表面が金属メッキ２１ｃされている。
【００１８】
信号伝送プローブ用ソケット２３ａは、この信号用同軸プローブ穴２２に挿入されている。
ここで、信号伝送プローブ用ソケット２３ａは、信号伝送プローブ本体２３ｂと共に信号伝送プローブ２３を構成する。
【００１９】
電気接続用接点２４は、信号伝送プローブ用ソケット２３ａと信号用同軸プローブ穴２２の第１の樹脂ブロック２１ａの部分との間に設けられ、信号伝送プローブ用ソケット２３ａと前記金属メッキ部２１ｃとの電気導通を得る。
ソケット嵌合用接点２５は、信号伝送プローブ用ソケット２３ａと信号用同軸プローブ穴２２の第２の樹脂ブロック２１ｂの部分との間に設けられ、信号伝送プローブ用ソケット２３ａを第２の樹脂ブロック２１ｂに固定する。
【００２０】
接地電位用プローブ穴２６は、信号用同軸プローブ穴２２の周囲に、第１の樹脂ブロック２１ａと第２の樹脂ブロック２１ｂとを貫通して設けられ、第１の樹脂ブロック２１ａの部分の表面が金属メッキされ複数設けられている。
【００２１】
接地電位用プローブ用ソケット２７ａは、接地電位用プローブ穴２６に挿入されている。
ここで、接地電位プローブ用ソケット２７ａは、接地電位プローブ本体２７ｂと共に接地電位プローブ２７を構成する。
【００２２】
電気接続用接点２８は、接地電位用プローブ用ソケット２７ａと接地電位用プローブ穴２６の第１の樹脂ブロック２１ｂの部分との間に設けられ、接地電位用プローブ用ソケット２７ａと金属メッキ２１ｃ部との電気導通を得る。
２９は信号伝送プローブ用ソケット２３ａの一端に一端が接続された同軸ケーブルである。
【００２３】
以上の構成において、例えば、ＤＵＴにインターフェスする基板にコンタクトさせるプローブは、信号伝送用プローブ２３とその周囲に配置する接地電位用プローブ２７（帰還経路用）とがある。
接地電位用プローブ２７は、特性インピーダンス制御のため、適切な距離に信号伝送用プローブ２１に近接設置する。
【００２４】
信号伝送用プローブ２３は信号数に応じて多数本配置される。
信号伝送用プローブ２３は、信号伝送プローブ用ソケット２３ａに信号伝送プローブ本体２３ｂが嵌合されて構成されている。
接地電位用プローブ２７は、接地電位プローブ用ソケット２７ａに接地電位プローブ本体２７ｂが嵌合されて構成されている。
【００２５】
信号伝送プローブ用ソケット２３ａには同軸ケーブル２９が結線され、ケーブルの編組シールドと電気的に接続される。
信号伝送プローブ用ソケット２３ａを保持するソケット保持用ブロック２１は、外形と穴を一体成形し、金属めっきを施した樹脂モールド品の第１の樹脂ブロック２１ａと、同様に外形と穴を一体成形しためっき無しの樹脂モールド品の第２の樹脂ブロック２１ｂとの２個のブロックから構成される。
【００２６】
信号伝送プローブ用ソケット２３ａは、ソケット嵌合用接点２５により第２の樹脂ブロック２１ｂに嵌合保持され、電気接続用接点２４にて第１の樹脂ブロック２１ａに電気的接続が取られる。
【００２７】
このようにソケット保持用ブロック２１を、第１の樹脂ブロック２１ａと第２の樹脂ブロック２１ｂとに、２個に分割することにより、接地電位用プローブ２７と信号伝送プローブ用ソケット２３ａ（同軸ケーブルの編組シールドに接続）とを同電位とする機能と、信号伝送プローブ２３を保持する機能とを両立させることができる。
信号伝送プローブ２３の保持力としては３ｋｇｆ以上で、電気接続用接点２４としては２００ｇｆ以上あれば十分である。
【００２８】
この結果、
信号伝送プローブ２３と接地電位プローブ２７を保持するソケット保持用ブロック２１の材料を、金属に替えて樹脂を採用し、ソケット保持用ブロック２１をめっき有りと無しのブロック２１ａ，２１ｂに２分割し、信号伝送プローブ２３と接地電位プローブ２７の保持機能と電気接点機能を分離した。
【００２９】
したがって、切削加工の金属ブロックに対し、樹脂モールド化によるソケット保持用ブロック２１の製作コストは半分以下であり、性能は金属ブロックに比して同等であり、製造コストを低減できる同軸プローブ構造が得られる。
【００３０】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
１      ソケット保持用金属ブロック
２      信号用同軸プローブ穴
３      信号伝送プローブ
３ａ    信号伝送プローブ用ソケット
３ｂ    信号伝送プローブ本体
４      同軸ケーブル
５      接地電位用プローブ穴
６      接地電位プローブ
６ａ    接地電位プローブ用ソケット
６ｂ    接地電位プローブ本体
７      嵌合用接点
２１    ソケット保持用ブロック
２１ａ  第１の樹脂ブロック
２１ｂ  第２の樹脂ブロック
２１ｃ  金属メッキ
２２    信号用同軸プローブ穴
２３    信号伝送プローブ
２３ａ  信号伝送プローブ用ソケット
２３ｂ  信号伝送プローブ本体
２４    電気接続用接点
２５    ソケット嵌合用接点
２６    接地電位用プローブ穴
２７    接地電位プローブ
２７ａ  接地電位用プローブ用ソケット
２７ｂ  接地電位プローブ本体
２８    電気接続用接点
２９    同軸ケーブル
【図１】
2010133763.tif 000003
【図２】
2010133763.tif 000004