(57)【要約】【課題】異なるインクを同じ工程で吐出して複数種の薄膜を形成する場合に、容易な制御によってそれぞれの薄膜の厚さを所望の厚さに形成できるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。【解決手段】液滴を吐出するノズルＮ及び各ノズルＮに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッド９と、駆動素子に駆動信号を供給して駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備えた液滴吐出装置である。ノズルＮは、互いに異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルＮを有している。制御部は、複数のノズルＮに対応する駆動素子に対して、複数のノズルＮから吐出するインクによって形成する薄膜（カラーフィルターＣＦ）がそれぞれ所望の膜厚になるように、複数のノズルＮにそれぞれ対応する駆動素子に対し、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように構成されている。【選択図】図５
2010247038.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドと、前記駆動素子に駆動信号を供給して該駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記ノズルは、互いに異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルを有し、
前記制御部は、前記複数のノズルに対応する駆動素子に対して、前記複数のノズルから吐出するインクによって形成する薄膜がそれぞれ所望の膜厚になるように、該複数のノズルにそれぞれ対応する駆動素子に対し、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記カラーフィルター形成用のインクが、赤、緑、青のカラーフィルターにそれぞれ対応するＲＧＢ系の３種類のインクと、イエロー、マゼンタ、シアンのカラーフィルターにそれぞれ対応するＹＭＣ系の３種類のインクとを有し、
前記制御部は、ＲＧＢ系の３種類のインクの液滴を吐出するＲＧＢ系のノズル群と、ＹＭＣ系の３種類のインクの液滴を吐出するＹＭＣ系のノズル群とのそれぞれに対応する二つの駆動素子群に対して、異なる駆動周波数の駆動信号を供給することを特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを用い、複数のノズルから互いに異なる種類のインクの液滴を吐出するに際して、
前記複数のノズルにそれぞれ対応する駆動素子に対し、該複数のノズルから吐出するインクによって形成する薄膜がそれぞれ所望の膜厚になるように、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであることを特徴とする請求項４記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記カラーフィルター形成用のインクが、赤、緑、青のカラーフィルターにそれぞれ対応するＲＧＢ系の３種類のインクと、イエロー、マゼンタ、シアンのカラーフィルターにそれぞれ対応するＹＭＣ系の３種類のインクとを有し、
ＲＧＢ系の３種類のインクの液滴を吐出するＲＧＢ系のノズル群と、ＹＭＣ系の３種類のインクの液滴を吐出するＹＭＣ系のノズル群とのそれぞれに対応する二つの駆動素子群に対して、異なる駆動周波数の駆動信号を供給することを特徴とする請求項５記載の液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置及び液滴吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルなどの表示パネルでは、ガラス基板に例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のカラーフィルターを形成することにより、フルカラー表示を可能にしている。このようなカラーフィルターの製造方法としては、従来ではスピンコート法やフレキソ印刷法が一般的であったが、近年では、インク使用量削減や工程数削減に効果的であるとして、液滴吐出法が用いられるようになってきている。
【０００３】
液滴吐出法によるカラーフィルターの製造では、特に異なるインク間で物性値が異なる場合、それぞれのインクから所望の膜厚のカラーフィルターを得るのが困難になっている。すなわち、通常は各ノズルから液滴の吐出を行わせるための駆動素子に対して、同一の駆動波形を供給することで、全てのノズルを同一に駆動制御し、同一の吐出量となるように吐出を行わせている。
【０００４】
ところが、インクの種類が異なり、例えば粘度、表面張力などの物性値や固形分濃度が異なると、得られるカラーフィルター間において、その色毎に膜厚差が生じ、カラー表示についての表示性能が損なわれてしまうおそれがある。
そこで、従来では、各色毎に複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて、カラーフィルターを製造する際、該複数のノズルの内の一部を選択して同時に複数の被着色部にインクを付与するのに先立って、上記選択されたノズルのみにインクを吐出させその際のインク吐出量のバラツキを測定し、その結果に基づいて使用するノズル毎に吐出条件を補正するようにした、カラーフィルターの製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この製造方法によれば、同じインクジェットヘッドの各ノズルからのインク吐出量を正確に把握して高精度な補正を行い、各画素を均一に着色することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−８９０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記の技術では、予めノズルについてインク吐出量のバラツキを測定し、その結果に基づいて使用するノズル毎に吐出条件を補正するので、特に物性値が異なる複数種のインクを同じ工程で吐出して複数種のカラーフィルターを同時に形成しようとした場合に、吐出条件の補正が複雑になってしまい、吐出制御が困難になってしまう。
【０００７】
また、近年では液晶表示装置において、マルチギャップ構造を採用して各色毎に最適な透過特性を得るようにし、表示特性を高めることが提案されている。このようなマルチギャップ構造を形成する手法の一つとして、カラーフィルターの厚さをＲＧＢ間で変えることにより、セルギャップを変えることが一部に提案されている。ところが、前述したように従来では、全てのノズルを同一に駆動制御し、同一の吐出量となるように吐出を行わせているので、このように異なるインクからなるカラーフィルターの厚さをＲＧＢ間で変えるべく、各カラーフィルターの厚さをそれぞれに所望の厚さにするのが困難になっている。
【０００８】
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、異なるインクを同じ工程で吐出して複数種の薄膜を形成する場合に、容易な制御によってそれぞれの薄膜の厚さを所望の厚さに形成できるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドと、前記駆動素子に駆動信号を供給して該駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記ノズルは、互いに異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルを有し、
前記制御部は、前記複数のノズルに対応する駆動素子に対して、前記複数のノズルから吐出するインクによって形成する薄膜がそれぞれ所望の膜厚になるように、該複数のノズルにそれぞれ対応する駆動素子に対し、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように構成されていることを特徴としている。
【００１０】
この液滴吐出装置によれば、異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルに対応する駆動素子に対して、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を制御部から供給するようにしたので、形成する複数種の薄膜についてそれぞれが所望の膜厚になるように、各ノズルからの単位時間あたりの吐出数を変化させ、各ノズル毎で吐出量を変えることができる。したがって、複雑な制御を行うことなく容易な制御により、同じ工程内で複数種の薄膜をそれぞれ所望の厚さに形成することができる。
【００１１】
また、前記液滴吐出装置においては、前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであってもよい。
このようにすれば、例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のカラーフィルターを形成する場合に、これらカラーフィルターの形成材料となるインク間で物性値が異なる場合にも、それぞれの物性に対応して吐出数を変え、所望の吐出量にすることでそれぞれのカラーフィルターを所望の膜厚に形成することができる。
【００１２】
また、前記液滴吐出装置においては、前記カラーフィルター形成用のインクが、赤、緑、青のカラーフィルターにそれぞれ対応するＲＧＢ系の３種類のインクと、イエロー、マゼンタ、シアンのカラーフィルターにそれぞれ対応するＹＭＣ系の３種類のインクとを有し、前記制御部は、ＲＧＢ系の３種類のインクの液滴を吐出するＲＧＢ系のノズル群と、ＹＭＣ系の３種類のインクの液滴を吐出するＹＭＣ系のノズル群とのそれぞれに対応する二つの駆動素子群に対して、異なる駆動周波数の駆動信号を供給するのが好ましい。
一般に、ＲＧＢ系の３種類のインク、及びＹＭＣ系の３種類のインクについては、それぞれセットで使用されることから、それぞれの系のインク間では例えば同じ溶媒が用いられることなどにより、粘度、表面張力などの物性値や固形分濃度がほぼ同じに調製されている。ところが、ＲＧＢ系の３種類のインクとＹＭＣ系の３種類のインクとの間では、従来では併用することが少なかったため、これらの間では物性値や固形分濃度が異なるのが普通であった。
そこで、これら各系のインク間で異なる駆動周波数の駆動信号を供給し、対応する各系のノズル間で吐出量を変えるようにしたので、ＲＧＢ系のカラーフィルターとＹＭＣ系のカラーフィルターとを同じ工程で形成する場合にも、複雑な制御を行うことなく容易な制御により、これらを共に所望の厚さに形成することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出方法は、液滴を吐出するノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを用い、複数のノズルから互いに異なる種類のインクの液滴を吐出するに際して、
前記複数のノズルにそれぞれ対応する駆動素子に対し、該複数のノズルから吐出するインクによって形成する薄膜がそれぞれ所望の膜厚になるように、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給することを特徴としている。
【００１４】
この液滴吐出方法によれば、異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルに対応する駆動素子に対して、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給するので、形成する複数種の薄膜についてそれぞれが所望の膜厚になるように、各ノズルからの単位時間あたりの吐出数を変化させ、各ノズル毎で吐出量を変えることができる。したがって、複雑な制御を行うことなく容易な制御により、同じ工程内で複数種の薄膜をそれぞれ所望の厚さに形成することができる。
【００１５】
また、前記液滴吐出方法においては、前記インクが、カラーフィルター形成用のインクであってもよい。
このようにすれば、例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のカラーフィルターを形成する場合に、これらカラーフィルターの形成材料となるインク間で物性値が異なる場合にも、それぞれの物性に対応して吐出数を変え、所望の吐出量にすることでそれぞれのカラーフィルターを所望の膜厚に形成することができる。
【００１６】
また、前記液滴吐出方法においては、前記カラーフィルター形成用のインクが、赤、緑、青のカラーフィルターにそれぞれ対応するＲＧＢ系の３種類のインクと、イエロー、マゼンタ、シアンのカラーフィルターにそれぞれ対応するＹＭＣ系の３種類のインクとを有し、ＲＧＢ系の３種類のインクの液滴を吐出するＲＧＢ系のノズル群と、ＹＭＣ系の３種類のインクの液滴を吐出するＹＭＣ系のノズル群とのそれぞれに対応する二つの駆動素子群に対して、異なる駆動周波数の駆動信号を供給するのが好ましい。
ＲＧＢ系の３種類のインクとＹＭＣ系の３種類のインクとのインク間で異なる駆動周波数の駆動信号を供給し、対応するノズル間で吐出量を変えるようにしたので、ＲＧＢ系のカラーフィルターとＹＭＣ系のカラーフィルターとを同じ工程で形成する場合にも、複雑な制御を行うことなく容易な制御により、これらを共に所望の厚さに形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る液滴吐出装置の概略構成図である。
【図２】キャリッジに設けられた液滴吐出ヘッドを示す側面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は液滴吐出ヘッドの要部を説明するための図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は駆動波形を示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はインク吐出によるカラーフィルター形成の模式図である。
【図６】カラーフィルターを異なる膜厚に形成した場合の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。図１は、本発明の液滴吐出装置の一実施形態を示す概略構成図であって、図１中符号１は液滴吐出装置である。
【００１９】
液滴吐出装置１は、固形分として薄膜形成材料を含有し、これを溶媒に溶解しあるいは分散媒に分散させてなるインク（液状体）を、基板Ｐ上に吐出して薄膜を形成するものである。なお、本実施形態では、薄膜の形成性材料としてカラーフィルター材料を用い、したがって薄膜としてカラーフィルターを形成するものとする。また、このようなカラーフィルターは、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ装置において好適に用いられるものとされ、したがってガラス基板等の透明基板に形成されるものとする。
【００２０】
この液滴装置１は、前記基板Ｐを載置する基台２と、基台２上の基板Ｐを図１中のＸ方向（第１方向）に搬送する搬送装置３と、前記のカラーフィルター用のインクを吐出する液滴吐出ヘッド（図示せず）と、該液滴吐出ヘッドを保持するキャリッジ４と、このキャリッジ４を、前記Ｘ方向と直交するＹ方向（第２方向）に移動させる送り装置５と、を備えて構成されている。なお、本実施形態では、前記搬送装置３及び前記送り装置５により、基板Ｐとキャリッジ４とを、Ｘ方向及びこれに直交するＹ方向にそれぞれ相対移動させている。
【００２１】
搬送装置３は、基台２上に設けられたワークステージ６及びステージ移動装置７を備えて構成されたものである。ワークステージ６は、ステージ移動装置７によって基台２上をＸ方向に移動可能に設けられたもので、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送される基板Ｐを、例えば真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持するものである。ステージ移動装置７は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えたもので、制御装置（制御部）８から入力される、ワークステージ６のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ６をＸ方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２２】
キャリッジ４は、送り装置５に移動可能に取り付けられた矩形板状のもので、図２に示すようにその底面側に一つ（あるいは複数）の液滴吐出ヘッド９を保持したものである。
この液滴吐出ヘッド９は、多数（複数）のノズルを備えたもので、前記制御装置８から入力される駆動信号に基づいて、インクの液滴を吐出するものである。また、この液滴吐出ヘッド９は、本実施形態ではＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のカラーフィルターにそれぞれ対応するＲＧＢ系の３種類のインクと、Ｙ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）のカラーフィルターにそれぞれ対応するＹＭＣ系の３種類のインクとの計６種類のインクを、吐出するように構成されている。
【００２３】
すなわち、この液滴吐出ヘッド９には、図１に示すようにキャリッジ４を介して６本のチューブ（配管）１０が連結されており、これら６本のチューブ１０は、それぞれが異なる種類のインクを充填・貯蔵したタンク１１に接続されている。これらタンク１１は、前述したように、Ｒ（赤）のカラーフィルター用のインク、Ｇ（緑）のカラーフィルター用のインク、Ｂ（青）のカラーフィルター用のインク、Ｙ（イエロー）のカラーフィルター用のインク、Ｍ（マゼンタ）のカラーフィルター用のインク、Ｃ（シアン）のカラーフィルター用のインクを、それぞれ別々に貯蔵したものである。
【００２４】
前記の６種類のインクにおいて、ＲＧＢ系の３種類のインクについては、同一の溶媒を用いてほぼ同じ固形分濃度に調製されており、したがって、固形分濃度や粘度、表面張力などの物性値が、ほぼ同じになっている。同様に、ＹＭＣ系の３種類のインクについても、固形分濃度や物性値がほぼ同じになっている。これは、一般にＲＧＢ系の３種類のインク、及びＹＭＣ系の３種類のインクについては、それぞれセットで使用されることから、同じ系のインクどうしでは固形分濃度や物性値がほぼ同じに調製されているからである。しかし、ＲＧＢ系の３種類のインクと、ＹＭＣ系の３種類のインクとについては、従来では併用することが少なかったため、これらの間では物性値や固形分濃度が異なっている。
【００２５】
また、液滴吐出ヘッド９は、その底面図である図３（ａ）に示すように、複数（例えば１８０個）のノズルＮをＹ方向と交差する方向、本実施形態ではＸ方向に配列しており、これら複数のノズルＮによってノズル列ＮＡを形成している。なお、図３（ａ）では１列分のノズルＮを示したが、液滴吐出ヘッド９に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、例えばＸ方向に配列したノズル列ＮＡをＹ方向に複数列設けてもよい。
【００２６】
また、液滴吐出ヘッド９は、その部分斜視図である図３（ｂ）に示すように、チューブ１０と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバー（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティー（液室）２４とを備えて構成されている。ノズルプレート２１の表面（底面）は、複数のノズルＮを形成したノズル面２１ａとなっている。振動板２０上には、各ノズルＮに対応してピエゾ素子等の圧電素子からなる駆動素子ＰＺが配置されている。
【００２７】
リザーバー２２には、材料供給孔２０ａを介して供給されるインクが充填されるようになっている。キャビティー２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに対して１対１に対応して設けられている。また、各キャビティー２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバー２２から前記インクが導入されるようになっている。
【００２８】
前記駆動素子ＰＺは、液滴吐出ヘッド９の１ノズル分の部分断面図である図３（ｃ）に示すように、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したもので、一対の電極２６に駆動信号が印加されることにより、圧電材料２５が収縮するように構成されたものである。したがって、このような駆動素子（圧電素子）ＰＺが配置されている振動板２０は、駆動素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティー２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティー２４の容積が増大するようになっている。
【００２９】
よって、キャビティー２４内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺへの駆動信号の印加が停止すると、駆動素子ＰＺと振動板２０とは共に元の形状に戻り、キャビティー２４も元の容積に戻る。これにより、キャビティー２４内のインクの圧力が上昇し、ノズルＮから基板Ｐに向けてインクの液滴Ｌが吐出されるようになっている。
【００３０】
なお、このような構成からなる液滴吐出ヘッド９においては、各ノズルＮ及びこれに対応する駆動素子ＰＺが独立しており、したがって各ノズルＮに対応するキャビティー２４内には、前記チューブ１０を介して６種類のインクのうちのいずれか１種が流入するようになっている。また、このキャビティー２４は、対応する駆動素子ＰＺによって独立して吐出制御がなされるようになっており、これによってキャビティー２４内のインクは、対応する駆動素子ＰＺによってノズルＮから独立して吐出されるようになっている。
【００３１】
そして、本実施形態では、前記液滴吐出ヘッド９に分岐管（図示せず）を介して前記６本のチューブ１０が接続されていることにより、ノズル列ＮＡにおける一部のノズルＮはＲ（赤）のカラーフィルター用のインクを吐出するようになっており、他の一部のノズルＮはＧ（緑）のカラーフィルター用のインクを吐出するようになっており、以下、同様にしてＢ（青）のカラーフィルター用のインク、Ｙ（イエロー）のカラーフィルター用のインク、Ｍ（マゼンタ）のカラーフィルター用のインク、Ｃ（シアン）のカラーフィルター用のインクを、それぞれ吐出するようになっている。
【００３２】
キャリッジ４を移動させる送り装置５は、例えば基台２を跨ぐ橋梁構造をしたもので、Ｙ方向（第２方向）及びＸＹ平面に直交するＺ方向（第３方向）に対して、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えたものである。このような構成のもとに送り装置５は、制御装置８から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ方向（第２方向）に移動させるとともに、Ｚ方向（第３方向）にも移動させるようになっている。
【００３３】
制御装置（制御部）８は、ステージ移動装置７にステージ位置制御信号を出力し、送り装置５にキャリッジ位置制御信号を出力し、さらには液滴吐出ヘッド９の駆動回路基板（図示せず）を介して個々の駆動素子ＰＺに、それぞれ駆動信号を出力するものである。駆動信号は、例えば図４（ａ）、（ｂ）に示すような駆動波形を有するものであり、インクの単位吐出量（１ドットの量）はこの駆動波形によって変化する。
【００３４】
すなわち、駆動波形は、高電位ＶＨと低電位ＶＬとの電位差によって規定される駆動電圧を有し、基本的にこの駆動電圧によって１ドットの量（単位吐出量）Ｗが決まる。これに対し、単位時間当たりの吐出回数は、図４（ａ）、（ｂ）においてｔ１、ｔ２で示す周期の、１秒間（単位時間）における繰り返し回数である駆動周波数Ｆ１（＝１／ｔ１）、Ｆ２（＝１／ｔ２）によって決まる。したがって、単位時間当たりの吐出量も、駆動電圧が一定（すなわち単位吐出量が一定）である場合、吐出回数に比例することから、駆動周波数Ｆ１、Ｆ２によって決まる。つまり、図４（ａ）、（ｂ）に示したように駆動電圧が一定であり、駆動周波数Ｆ１が例えば２０ｋＨｚであり、駆動周波数Ｆ２が例えば３０ｋＨｚであるとすると、図４（ａ）に示した駆動波形の駆動信号が供給された駆動素子ＰＺに対応するノズルＮでは、図４（ｂ）に示した駆動波形の駆動信号が供給された駆動素子ＰＺに対応するノズルＮに比べ、その単位時間当たりの吐出量が、（２／３）になることになる。
【００３５】
そこで、本実施形態の制御装置８は、前記複数のノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して、これらノズルＮから吐出するインクによって形成するカラーフィルターがそれぞれ所望の膜厚になるように、これらノズルＮにそれぞれ対応する駆動素子ＰＺに対し、それぞれ異なる駆動周波数Ｆの駆動信号を供給するようにしている。具体的には、赤、緑、青のカラーフィルター、及びイエロー、マゼンタ、シアンのカラーフィルターが、全て同じ膜厚になるように、液滴吐出ヘッド９の各ノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して、それぞれに駆動信号を供給している。
【００３６】
すなわち、本実施形態では、前述したように前記の６種類のインクのうち、ＲＧＢ系の３種類のインクについては、固形分濃度や物性値がほぼ同じになっており、同様に、ＹＭＣ系の３種類のインクについても、固形分濃度や物性値がほぼ同じになっている。また、ＲＧＢ系の３種類のインクと、ＹＭＣ系の３種類のインクとについては、これらの間で固形分濃度や物性値が異なっている。
【００３７】
したがって、予めこれらＲＧＢ系のインクとＹＭＣ系のインクとの固形分濃度や物性値の違いによる１ドットの量（単位吐出量）の差ΔＷを調べておき、例えばキャリッジ４を一回走査する際の所定時間での吐出において、この差が無くなるように吐出回数を変えるべく、これらＲＧＢ系のインクを吐出するノズルＮ群に対応する駆動素子ＰＺと、ＹＭＣ系のインクを吐出するノズルＮ群に対応する駆動素子ＰＺとに対して、異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように、制御装置８を構成している。
【００３８】
また、制御装置８は、このような駆動素子ＰＺに対する駆動信号の供給とは別に、基板Ｐとキャリッジ４とを相対移動させるべく、ワークステージ６の移動による基板Ｐの位置決め動作、及びキャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド９の位置決め動作の同期制御を行うようになっている。これにより、制御装置８は液滴吐出ヘッド９に液滴吐出動作を行わせることにより、基板Ｐ上の所定の位置にインクの液滴を配することができるようになっている。
【００３９】
このような構成の液滴吐出装置１により、基板Ｐに対してインクを吐出してカラーフィルターを形成するには、まず、図１に示した基台２上の搬送装置３のワークステージ６上に基板Ｐをセットする。
次いで、搬送装置３及び送り装置５により、基板Ｐとキャリッジ４とを、Ｘ方向及びＹ方向にそれぞれ相対移動させつつ、制御装置８によって各ノズルＮの駆動素子ＰＺに、吐出するインクに対応した駆動周波数の駆動信号を供給する。
【００４０】
その際、例えばＲＧＢ系のインクはその固形物濃度や物性値により、図４（ａ）、（ｂ）に示した駆動波形による一回の吐出量がＷ１[ｎｇ]であり、ＹＭＣ系のインクはＷ２[ｎｇ]であるとし、それぞれの固形分濃度が同じであるとする。そして、液滴吐出ヘッド９が設定された時間内（例えば一回走査する間）で、単一のカラーフィルターの形成領域に吐出する回数（吐出回数）を、ＲＧＢ系のインクを吐出するノズルＮ群とＹＭＣ系のインクを吐出するノズルＮ群とで異ならせるべく、ＲＧＢ系のインクを吐出するノズルＮ群に対応する駆動素子ＰＺと、ＹＭＣ系のインクを吐出するノズルＮ群に対応する駆動素子ＰＺとに対して、制御装置８から前述したように異なる駆動周波数の駆動信号を供給する。
【００４１】
すなわち、図５（ａ）に示すように、基板Ｐ上に隔壁Ｋによって区画されたカラーフィルターの形成領域１５に対し、形成するＲＧＢのカラーフィルターとＹＭＣのカラーフィルターとが同じ膜厚になるように、例えばＲＧＢについてのカラーフィルターの形成領域１５（Ｒ、Ｇ、Ｂ）に吐出するノズルＮの駆動素子ＰＺに対しては、図４（ａ）に示した駆動周波数Ｆ１（周期ｔ１）の駆動波形からなる駆動信号を供給し、ＹＭＣについてのカラーフィルターの形成領域１５（Ｙ、Ｍ、Ｃ）に吐出するノズルＮの駆動素子ＰＺに対しては、図４（ｂ）に示した駆動周波数Ｆ２（周期ｔ２）の駆動波形からなる駆動信号を供給する。
【００４２】
これにより、図５（ｂ）に示すように乾燥後に形成されるカラーフィルターＣＦを、ＲＧＢ系のものとＹＭＣ系のものとが同じ膜厚になるように、すなわち６種類のカラーフィルターＣＦが全て同じ膜厚になるように形成することができる。
したがって、本実施形態の液滴吐出装置１、及びこの液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法によれば、各系のインク間で異なる駆動周波数の駆動信号を供給し、対応する各系のノズル間で吐出量を変えるようにしたので、ＲＧＢ系のカラーフィルターＣＦとＹＭＣ系のカラーフィルターＣＦとを同じ工程（例えば一回の走査）で形成する場合にも、複雑な制御を行うことなく、予め駆動周波数を適宜に設定しておくだけの容易な制御により、これらを全て所望の同じ膜厚に形成することができる。
【００４３】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では、ＲＧＢ系のカラーフィルターＣＦとＹＭＣ系のカラーフィルターＣＦとの、合計６種類のカラーフィルターＣＦを形成する場合に本発明を適用したが、従来の一般的なＲＧＢ系（あるいはＹＭＣ系）のみの３種類のカラーフィルターＣＦを形成する場合にも、本発明を適用することができる。
【００４４】
すなわち、先の実施形態では、ＲＧＢ系の３種類のインク間においては、固形分濃度や物性値がほぼ同じになっており、同様に、ＹＭＣ系の３種類のインク間においても、固形分濃度や物性値がほぼ同じになっていることを前提としたが、使用するインクによっては、これら同じ系のインク間においても、固形分濃度や物性値が比較的大きく異なっており、したがって１ドットの量（単位吐出量）Ｗがインク間で異なってしまうこともある。
【００４５】
そこで、このように同じ系のインク間においても１ドットの量（単位吐出量）Ｗが異なってしまう場合には、先の実施形態においてＲＧＢ系とＹＭＣ系とで各駆動素子ＰＺに供給する駆動信号の駆動周波数を異ならせたように、同じ系のインク間においても、各駆動素子ＰＺに対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給するようにする。これにより、各ノズルＮからの単位時間あたりの吐出数を変化させ、各ノズルＮ毎で吐出量を変えることができる。よって、形成する複数種のカラーフィルターＣＦについて、複雑な制御を行うことなく容易な制御により、それぞれを所望の同じ膜厚にすることができる。
【００４６】
また、本発明は、例えばマルチギャップ構造を形成するために、カラーフィルターの厚さをＲＧＢ間（あるいはＹＭＣ間）で変える場合にも、適用可能である。すなわち、例えばＲＧＢのカラーフィルターＣＦを、それぞれ所望の異なる膜厚に同じ工程（例えば一回の走査）で形成する場合にも、各駆動素子ＰＺに対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給することにより、例えば図６に示すようにＲＧＢのカラーフィルターＣＦをそれぞれ所望の膜厚にすることができる。
【００４７】
その場合に、ＲＧＢ（あるいはＹＭＣ）の３種類のインク間において、固形分濃度や物性値が同じか否か、すなわち、これら３種類のインク間において１ドットの量（単位吐出量）Ｗが同じか否かに拘わらず、本発明の液滴吐出装置１又はこれによる液滴吐出方法を適用することができる。つまり、３種類のインク間において１ドットの量（単位吐出量）Ｗが同じである場合には、各駆動素子ＰＺに対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給することにより、ＲＧＢのカラーフィルターＣＦをそれぞれ所望の膜厚にすることができる。
【００４８】
また、３種類のインク間において１ドットの量（単位吐出量）Ｗが異なる場合にも、それぞれのインクの１ドットの量（単位吐出量）Ｗの比[Ｗ（Ｒ）：Ｗ（Ｇ）：Ｗ（Ｂ）]が、形成するカラーフィルターＣＦのそれぞれの所望膜厚Ｔの比[Ｔ（Ｒ）：Ｔ（Ｇ）：Ｔ（Ｂ）]に一致していない場合には、各インクに対応するノズルＮ間で単位時間あたりの吐出回数を変える必要がある。したがって、その場合にも、各駆動素子ＰＺに対して異なる駆動周波数の駆動信号を供給することにより、ＲＧＢのカラーフィルターＣＦをそれぞれ所望の膜厚に形成することができる。
【００４９】
また、前記実施形態では本発明をカラーフィルターの形成に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、例えば金属配線など、回路パターンを構成する際に、異なる薄膜要素を同時に形成する場合などにも、本発明を適用することができる。
さらに、前記実施形態では、一つの液滴吐出ヘッドにおける複数のノズルＮから、異なる種類のインクを吐出するようにしたが、複数の液滴吐出ヘッド間において、それぞれのノズルから異なる種類のインクを吐出させる場合にも、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１…液滴吐出装置、９…液滴吐出ヘッド、Ｆ１、Ｆ２…駆動周波数、Ｎ…ノズル、Ｐ…基板、ＣＦ…カラーフィルター（薄膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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