(57)【要約】【課題】本発明は、試験装置及び試験方法に関し、例えば集積回路の試験装置に適用して、テストパターン等を印加している端子に対して別電源により高電圧を印加する場合に、安全に高電圧を印加することができるようにする。【解決手段】本発明は、直流電圧Ｖ１を低下させた状態で試験対象２のピン７に直流電圧Ｖ１を印加した後、動作試験用の出力信号Ｓ１の印加を中止し、その後、直流電圧Ｖ１１を耐久試験用の電圧に立ち上げる。【選択図】        図１
2010002194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動作試験用の出力信号を出力する計測ユニットと、
前記計測ユニットの出力信号を試験対象のピンに印加する計測ユニット側リレーと、
所定の直流電圧を出力する電源ユニットと、
前記直流電圧を前記ピンに印加する電源ユニット側リレーと、
前記計測ユニットと、前記計測ユニット側リレーと、前記電源ユニットと、前記電源ユニット側リレーとを制御する制御回路とを有し、
前記制御回路は、
前記計測ユニット側リレー及び前記電源ユニット側リレーをそれぞれオン状態及びオフ状態に設定し、前記計測ユニットから前記動作試験用の出力信号を出力して前記試験対象のピンに印加することにより、前記試験対象の動作試験を実行し、
前記出力信号の信号レベルを立ち上げた状態で前記動作試験を終了し、
前記出力信号の最大振幅値以下の電圧であって、前記最大振幅値の１／２以上の電圧に前記直流電圧を設定した状態で、続いて前記電源ユニット側リレーをオン状態に設定した後、前記計測ユニット側リレーをオフ状態に設定し、
続いて前記直流電圧を耐久試験用電圧に立ち上げて前記試験対象の耐久試験を開始する
ことを特徴とする試験装置。
【請求項２】
動作試験用の出力信号を出力する計測ユニットと、
前記計測ユニットの出力信号を試験対象のピンに印加する計測ユニット側リレーと、
所定の直流電圧を出力する電源ユニットと、
前記直流電圧を前記ピンに印加する電源ユニット側リレーとを有する試験装置による試験方法において、
前記計測ユニット側リレー及び前記電源ユニット側リレーをそれぞれオン状態及びオフ状態に設定し、前記計測ユニットから前記動作試験用の出力信号を出力して前記試験対象のピンに印加することにより、前記試験対象の動作試験を実行し、前記出力信号の信号レベルを立ち上げた状態で前記動作試験を終了する動作試験ステップと、
前記出力信号の最大振幅値以下の電圧であって、前記最大振幅値の１／２以上の電圧に前記直流電圧を設定した状態で、続いて前記電源ユニット側リレーをオン状態に設定した後、前記計測ユニット側リレーをオフ状態に設定する遷移ステップと、
続いて前記直流電圧を耐久試験用電圧に立ち上げて前記試験対象の耐久試験を実行する耐久試験ステップとを有する
ことを特徴とする試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置及び試験方法に関し、例えば集積回路の試験装置に適用することができる。本発明は、直流電圧を低下させた状態で試験対象のピンにこの直流電圧を印加した後、動作試験用の出力信号の印加を中止し、その後、直流電圧を耐久試験用の電圧に立ち上げることにより、テストパターン等を印加している端子に対して別電源により高電圧を印加する場合に、安全に高電圧を印加することができるようにする。
【背景技術】
【０００２】
従来、集積回路等の試験装置は、試験項目に応じた計測ユニットが用意され、リレーの切り換え制御により、各計測ユニットを順次試験対象に接続して各種の試験を実行する。
【０００３】
具体的に、試験装置は、例えば論理回路等の動作試験に対して、試験に供するテストパターンを発生するパターン信号発生回路と、テストパターンの印加により得られる応答を判定する判定回路とを一体化した動作試験用の計測ユニットが用意されている。また例えば漏れ電流を計測する試験に対しては、高電圧を発生する電源ユニット、微小電流を検出する電流検出ユニットが用意されている。
【０００４】
この種の試験装置に関して、特開平６−７５０１５号公報には、テストパターンを生成するメモリへのデータの設定により、パターン信号発生回路で直流電圧を生成する方法が開示されている。
【特許文献１】特開平６−７５０１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところでテストパターンを印加して動作試験を実行している途中で、テストパターンを印加している端子に高電圧を印加することにより、試験対象の耐久試験を実行する場合がある。
【０００６】
しかしながらこの場合、テストパターンを出力するピンドライバに対して高電圧を発生させる電源ユニットから仕様外の電流が流入し、電源ユニット、ピンドライバに過大な負担が係り、甚だしい場合には電源ユニット、ピンドライバに損傷等の事故が発生する恐れがある。
【０００７】
この問題を解決する１つの方法として、リレーの制御により、ピンドライバと試験対象との接続を切り離した後、電源ユニットを試験対象に接続する方法が考えられるが、この方法では、テストパターンを印加している端子の電圧が一旦立ち下がることにより、試験対象の耐久試験を有効に実施できなくなる。
【０００８】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、テストパターン等を印加している端子に対して別電源により高電圧を印加する場合に、安全に高電圧を印加することができる試験装置及び試験方法を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため請求項１の発明は、試験装置に適用して、動作試験用の出力信号を出力する計測ユニットと、前記計測ユニットの出力信号を試験対象のピンに印加する計測ユニット側リレーと、所定の直流電圧を出力する電源ユニットと、前記直流電圧を前記ピンに印加する電源ユニット側リレーと、前記計測ユニットと、前記計測ユニット側リレーと、前記電源ユニットと、前記電源ユニット側リレーとを制御する制御回路とを有し、前記制御回路は、前記計測ユニット側リレー及び前記電源ユニット側リレーをそれぞれオン状態及びオフ状態に設定し、前記計測ユニットから前記動作試験用の出力信号を出力して前記試験対象のピンに印加することにより、前記試験対象の動作試験を実行し、前記出力信号の信号レベルを立ち上げた状態で前記動作試験を終了し、前記出力信号の最大振幅値以下の電圧であって、前記最大振幅値の１／２以上の電圧に前記直流電圧を設定した状態で、続いて前記電源ユニット側リレーをオン状態に設定した後、前記計測ユニット側リレーをオフ状態に設定し、続いて前記直流電圧を耐久試験用電圧に立ち上げて前記試験対象の耐久試験を開始する。
【００１０】
また請求項２の発明は、動作試験用の出力信号を出力する計測ユニットと、前記計測ユニットの出力信号を試験対象のピンに印加する計測ユニット側リレーと、所定の直流電圧を出力する電源ユニットと、前記直流電圧を前記ピンに印加する電源ユニット側リレーとを有する試験装置による試験方法に適用して、前記計測ユニット側リレー及び前記電源ユニット側リレーをそれぞれオン状態及びオフ状態に設定し、前記計測ユニットから前記動作試験用の出力信号を出力して前記試験対象のピンに印加することにより、前記試験対象の動作試験を実行し、前記出力信号の信号レベルを立ち上げた状態で前記動作試験を終了する動作試験ステップと、前記出力信号の最大振幅値以下の電圧であって、前記最大振幅値の１／２以上の電圧に前記直流電圧を設定した状態で、続いて前記電源ユニット側リレーをオン状態に設定した後、前記計測ユニット側リレーをオフ状態に設定する遷移ステップと、続いて前記直流電圧を耐久試験用電圧に立ち上げて前記試験対象の耐久試験を実行する耐久試験ステップとを有するようにする。
【００１１】
請求項１又は請求項２の構成によれば、試験対象のピンには、動作試験用の出力信号が印加された後、この出力信号の信号レベルを立ち下げることなく、最大振幅値以下、最大振幅値の１／２以上の電圧が印加され、その後、耐久試験用電圧が印加されることになる。従って動作試験の後、ピンの電圧を立ち下げることなく、耐久試験を開始することができ、耐久試験を有効に実施することができる。また動作試験用の後、耐久試験を開始するまでの間で、計測ユニット側リレーと電源ユニット側リレーとが共にオン状態に設定されることになるものの、この共にオン状態に設定されている期間では、電源ユニットの出力電圧が、出力信号の最大振幅値以下、最大振幅値の１／２以上の電圧に設定されていることから、計測ユニットへの過大な電流の流入を防止することができ、これにより過大な負担を防止し、さらには各部の損傷等を防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、テストパターン等を印加している端子に対して別電源により高電圧を印加する場合に、安全に高電圧を印加することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。
【実施例１】
【００１４】
（１）実施例の構成
図１は、本発明の実施例１の試験装置を示すブロック図である。この試験装置１は、例えば集積回路による試験対象２の動作試験等を実行する。このためこの試験装置１は、動作試験用の計測ユニット３が設けられ、この計測ユニット３に設けられたピンドライバ４の出力信号Ｓ１が抵抗５、リレー６を介して試験対象２の所定のピン７に出力される。また試験装置１は、高電圧を発生する電源ユニットであるピンメジャーユニット８が設けられ、このピンメジャーユニット８の出力電圧Ｖ１がリレー９を介して試験対象２のピン７に印加される。なおピンメジャーユニット８は、出力電圧Ｖ１における過電流を防止する電流制限機構が設けられ、出力電圧Ｖ１の出力端子からの電流値をコントローラ１０により設定される制限電流に制限できるように構成される。
【００１５】
試験装置１では、この試験装置１の動作を制御するコンピュータであるコントローラ１０による制御により、これら計測ユニット３、ピンメジャーユニット８を用いて各種試験が実行される。試験装置１では、この各種試験の中に動作試験、耐久試験が設けられる。
【００１６】
ここで図２は、この動作試験、耐久試験におけるコントローラ１０の各部の制御の説明に供するタイムチャートである。コントローラ１０は、動作試験において、リレー６及び９をオン状態及びオフ状態に設定して計測ユニット３によりテストパターンを生成し、このテストパターンによる出力信号Ｓ１を試験対象２に印加する（図２（Ａ）、（Ｃ）及び（Ｄ））。なおこの実施例では、出力信号Ｓ１を０〜５〔Ｖ〕の振幅で出力する。試験装置１は、計測ユニット３に設けられた判定回路によりこの出力信号Ｓ１の応答を判定するように構成されている。
【００１７】
コントローラ１０は、この動作試験が終了する前の所定の時点ｔ１で、ピンメジャーユニット８に制限電流値を設定した後、ピンメジャーユニット８の出力電圧Ｖ１を所定電圧に立ち上げる。ここでこの所定電圧は、出力信号Ｓ１の最大振幅値以下の電圧であって、この最大振幅値に近い所定電圧である。この実施例においてこの所定電圧は、出力信号Ｓ１の最大振幅値の５〔Ｖ〕に対して４．８〔Ｖ〕に設定されるものの、この所定電圧は、最大振幅値以下、最大振幅値の１／２以上の電圧に設定して、実用上充分に続く耐久試験を有効に実行することができる。従ってこの所定電圧は、この範囲で種々の電圧値に設定することができる。また制限電流は、例えば１〔ｍＡ〕に設定されるものの、実用上充分な範囲で種々の電流値に設定することができる。
【００１８】
コントローラ１０は、計測ユニット３の出力信号Ｓ１の信号レベルを最大振幅値に立ち上げた状態で、動作試験を終了する（図２（Ａ））。
【００１９】
コントローラ１０は、時点ｔ２により動作試験が終了すると、ピンメジャーユニット８側のリレー９をオン状態に設定し（図２（Ｄ））、これにより計測ユニット３をピン７に接続した状態で、ピンメジャーユニット８をピン７に接続する。
【００２０】
続いてコントローラ１０は、計測ユニット３側のリレー６をオフ状態に設定し（図２（Ｃ））、その後、時点ｔ３でピンメジャーユニット８の出力電圧Ｖ１を耐久試験用の電圧に立ち上げる。なおこの実施例では、この耐久試験用の電圧は、８〔Ｖ〕に設定される。
【００２１】
コントローラ１０は、一定時間の間、この耐久試験用の電圧を試験対象２に印加すると、試験対象２への出力電圧Ｖ１の印加を中止し、耐久試験を終了する。なお耐久試験の確認は、この耐久試験用の電圧を印加している期間の間の、ピン７の電流の監視等により実行される。
【００２２】
これらにより試験対象２のピン７の電圧Ｖ７は、図２（Ｅ）に示すように、テストパターンにより０〜５〔Ｖ〕の振幅で変化した後、４．８〔Ｖ〕の電圧に一時的に保持され、その後、耐久試験用の電圧８〔Ｖ〕に一定時間保持されることになる。これによりこの試験装置１では、動作試験と耐久試験との間に、出力信号Ｓ１の最大振幅値以下、最大振幅値の１／２以上の電圧にピン７の電圧Ｖ７を保持する、動作試験から耐久試験への遷移期間が設けられることになる。
【００２３】
（２）実施例の動作
以上の構成において、この試験装置１では、コントローラ１０による制御により、計測ユニット３から出力信号Ｓ１が出力され、この出力信号Ｓ１がリレー６を介して試験対象２に印加され、またその応答が計測ユニット３で処理され、これにより試験対象２の動作試験が実行される。
【００２４】
またこの種の試験対象である集積回路では、実装時、サージ等により過電圧が印加される場合もある。そこで試験装置１では、ピンメジャーユニット８で生成された高電圧による直流電圧Ｖ１を試験対象２に印加して耐久試験が実行される。
【００２５】
しかしながらこのような耐久試験では、実際の動作状態に近い状態で実行することが求められることから、出力信号Ｓ１の信号レベルを立ち上げた状態で、直流電圧Ｖ１を印加することが必要になる。しかしながら何ら対応策を講じないで、出力信号Ｓ１の信号レベルを立ち上げた状態で、直流電圧Ｖ１を印加すると、ピンメジャーユニット８から計測ユニット３のピンドライバ４に過大な電流が流れ、ピンメジャーユニット８、ピンドライバ４に過大な負担をかけることになる。
【００２６】
そこでこの試験装置１では、出力信号Ｓ１の信号レベルを立ち上げた状態で動作試験を終了した後、この出力信号Ｓ１の最大振幅値以下、最大振幅値の１／２以上の電圧であって、最大振幅値に近い電圧に直流電圧Ｖ１を設定した状態で、出力信号Ｓ１を印加し続けている試験対象２のピン７に直流電圧Ｖ１が印加される。
【００２７】
またその後、リレー６をオフ状態に設定して出力信号Ｓ１の印加が中止された後、直流電圧Ｖ１が耐久試験用の電圧に立ち上げられる。
【００２８】
これによりこの試験装置１では、動作試験の後、端子の電圧を立ち下げることなく、耐久試験を開始することができ、耐久試験を有効に実施することができる。
【００２９】
また動作試験の後、耐久試験を開始するまでの間で、計測ユニット側リレーと電源ユニット側リレーとが共にオン状態に設定されることになるものの、この共にオン状態に設定されている期間では、電源ユニットの出力電圧が、出力信号の最大振幅値以下、最大振幅値の１／２以上の電圧に設定されていることから、計測ユニットへの過大な電流の流入を防止することができる。これによりピンメジャーユニット８、ピンドライバ４の過大な負担を防止し、さらには損傷等を防止することができる。
【００３０】
（３）実施例の効果
以上の構成によれば、直流電圧を低下させた状態で試験対象のピンに直流電圧を印加した後、動作試験用の出力信号の印加を中止し、その後、直流電圧を耐久試験用の電圧に立ち上げることにより、テストパターン等を印加している端子に対して別電源により高電圧を印加する場合に、安全に高電圧を印加することができる。
【実施例２】
【００３１】
なお上述の実施例においては、集積回路を試験する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、各種半導体素子等を試験する場合に広く適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、例えば集積回路の試験装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施例１の試験装置を示すブロック図である。
【図２】図１の試験装置の動作の説明に供するタイムチャートである。
【符号の説明】
【００３４】
１……試験装置、２……試験対象、３……計測ユニット、６、９……リレー、８……ピンメジャーユニット、１０……コントローラ
【図１】
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【図２】
2010002194.tif 000004