(57)【要約】【課題】ブランク１枚毎に識別番号を有することで、枚葉単位で管理することを可能とし、要求品質に見合うフォトマスクブランクを自動的に選択することを可能とした品質管理方法及び品質管理システムを提供する。【解決手段】素ブランクに対する加工履歴取得保存段階と、検査履歴取得保存段階と、再生履歴取得保存段階と、再生処理によって発生する品質の変化を履歴情報として管理及び開示する履歴情報開示段階と、を具備し、前記履歴情報を基に検査品質判定テーブル、再生ダメージテーブル、及び品質変動テーブルを用いて前記ブランクの品質を判定することを特徴とする品質管理方法であり、履歴情報は、前記素ブランクの識別番号毎に、ネットワークを介した記録媒体に保存され、前記品質は、通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶されていて、通信ネットワークに接続されている端末で管理されている。【選択図】  図２
2010002819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素ブランク上にレジスト膜を形成してブランクを製造するブランク製造工程における品質管理方法において、
素ブランク上にレジスト膜を形成する加工工程の加工履歴を取得及び保存する加工履歴取得保存段階と、
レジスト膜形成後のブランクに対して欠陥の有無の検査を行った時の検査結果を検査履歴として取得及び保存する検査履歴取得保存段階と、
前記検査の結果、欠陥があると判明した前記ブランクのレジスト膜を洗浄剥離する再生処理を行った場合に生じる再生履歴を取得及び保存する再生履歴取得保存段階と、
前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴を履歴情報として取得、管理及び開示する履歴情報開示段階と、を具備し、
前記履歴情報を基に、予め記憶された品質基準に基づいて定められた、検査品質判定テーブル、再生ダメージテーブル、及び品質変動テーブルを用いて、前記ブランクの品質を判定することを特徴とする品質管理方法。
【請求項２】
前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴は、前記素ブランク１枚毎に付与された識別番号毎に、ネットワークを介した記録媒体に保存されていることを特徴とする請求項１記載の品質管理方法。
【請求項３】
前記ブランクの品質の判定結果は、通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶されていて、通信ネットワークに接続されている端末で管理されていることを特徴とする請求項１及び２に記載の品質管理方法。
【請求項４】
素ブランク上にレジスト膜を形成してブランクを製造するブランク製造工程における品質管理システムにおいて、
素ブランク上にレジスト膜を形成する加工工程の加工履歴を取得及び保存する加工履歴取得保存手段と、
レジスト膜形成後のブランクに対して欠陥の有無の検査を行った時の検査結果を検査履歴として取得及び保存する検査履歴取得保存手段と、
前記検査の結果、欠陥があると判明した前記ブランクのレジスト膜を洗浄剥離する再生処理を行った場合に生じる再生履歴を取得及び保存する再生履歴取得保存手段と、
前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴を履歴情報として取得、管理及び開示する履歴情報開示手段と、を具備し、
前記履歴情報を基に、予め記憶された品質基準に基づいて定められた、検査品質判定テーブル、再生ダメージテーブル、及び品質変動テーブルを用いて、前記ブランクの品質を判定することを特徴とする品質管理システム。
【請求項５】
前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴は、前記素ブランク１枚毎に付与された識別番号毎に、ネットワークを介した記録媒体に保存されていることを特徴とする請求項４記載の品質管理システム。
【請求項６】
前記ブランクの品質の判定結果は、通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶されていて、通信ネットワークに接続されている端末で管理されていることを特徴とする請求項４及び５に記載の品質管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばフォトマスクブランクのようにガラス基板上にレジストを塗布することによって製造する製品を検査し、必要ならばレジスト膜を洗浄剥離して素ブランクを再生し、再びレジスト塗布するような場合、それらの履歴情報をシステムで管理してブランクの品質評価を行い、品質評価の結果を製造者に提供する品質管理方法及び品質管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フォトマスクの高品質化により、ブランクの単価も上昇している。製造工程においてレジスト膜層に欠陥が発見され、使用できないと判断されたブランクを破棄することが、大幅なコスト高の要因となっている。
【０００３】
そこで従来、レジスト膜層の欠陥が発見されたブランクの当該レジスト膜層を剥離及び洗浄し、再度レジストを塗布することによりブランクの破棄を抑えるレジスト膜層の再生技術が用いられてきた。
【０００４】
例えば、特許文献１では、ガラス基板上に複数の加工工程による加工処理を施すことで製品を製造する場合に、各工程において処理した情報、及び、工程内の装置の設定情報等の工程条件を予め設定しておき、感度変化が許容範囲を超えるガラス基板を特定し、レジスト膜層を剥離する工程と、再度レジスト膜層を形成する工程と、を有する管理システムが用いられている。
【特許文献１】特開２００６−１５４８０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ブランクのレジスト膜を洗浄剥離して再生した後に再度レジスト膜層を形成する再生工程の過程では、レジスト膜層の下層にあたるクロム膜層上にパーティクルが発生する可能性があることから、クロム膜層自体にも影響を与えることが知られていたが、従来求められていたフォトマスクの品質では、当該パーティクルの発生は要求品質の許容範囲であった。
【０００６】
しかしながら、近年、高精細なパターンのフォトマスクが要求されていることに伴い、クロム膜層上に軽微なパーティクルが存在することも許されなくなってきている。
また、レーザー光を用いた露光装置でパターンニングを行う際、再生加工の過程でクロム膜層上の反射防止層が低減することにより、レーザー光の乱反射を招き、不良の原因となっている。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ブランク１枚毎に識別番号を有することで、加工履歴、検査履歴、及び再生履歴を枚葉単位で管理することを可能とし、履歴情報を用いてブランクの品質を判定し、製造するフォトマスクの要求品質に見合う最適なフォトマスクブランクを自動的に選択することを可能とした品質管理方法及び品質管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明では以下のような手段を講じる。
【０００９】
即ち、請求項１の発明は、素ブランク上にレジスト膜を形成してブランクを製造するブランク製造工程における品質管理方法において、素ブランク上にレジスト膜を形成する加工工程の加工履歴を取得及び保存する加工履歴取得保存段階と、レジスト膜形成後のブランクに対して欠陥の有無の検査を行った時の検査結果を検査履歴として取得及び保存する検査履歴取得保存段階と、前記検査の結果、欠陥があると判明した前記ブランクのレジスト膜を洗浄剥離する再生処理を行った場合に生じる再生履歴を取得及び保存する再生履歴取得保存段階と、前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴を履歴情報として取得、管理及び開示する履歴情報開示段階と、を具備し、前記履歴情報を基に、予め記憶された品質基準に基づいて定められた、検査品質判定テーブル、再生ダメージテーブル、及び品質変動テーブルを用いて、前記ブランクの品質を判定することを特徴とする品質管理方法である。
【００１０】
請求項２の発明は、前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴は、前記素ブランク１枚毎に付与された識別番号毎に、ネットワークを介した記録媒体に保存されていることを特徴とする請求項１記載の品質管理方法である。
【００１１】
請求項３の発明は、前記ブランクの品質の判定結果は、通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶されていて、通信ネットワークに接続されている端末で管理されていることを特徴とする請求項１及び２に記載の品質管理方法である。
【００１２】
請求項４の発明は、素ブランク上にレジスト膜を形成してブランクを製造するブランク製造工程における品質管理システムにおいて、素ブランク上にレジスト膜を形成する加工工程の加工履歴を取得及び保存する加工履歴取得保存手段と、レジスト膜形成後のブランクに対して欠陥の有無の検査を行った時の検査結果を検査履歴として取得及び保存する検査履歴取得保存手段と、前記検査の結果、欠陥があると判明した前記ブランクのレジスト膜を洗浄剥離する再生処理を行った場合に生じる再生履歴を取得及び保存する再生履歴取得保存手段と、前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴を履歴情報として取得、管理及び開示する履歴情報開示手段と、を具備し、前記履歴情報を基に、予め記憶された品質基準に基づいて定められた、検査品質判定テーブル、再生ダメージテーブル、及び品質変動テーブルを用いて、前記ブランクの品質を判定することを特徴とする品質管理システムである。
【００１３】
請求項５の発明は、前記加工履歴、前記検査履歴、及び前記再生履歴は、前記素ブランク１枚毎に付与された識別番号毎に、ネットワークを介した記録媒体に保存されていることを特徴とする請求項４記載の品質管理システムである。
【００１４】
請求項６の発明は、前記ブランクの品質の判定結果は、通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶されていて、通信ネットワークに接続されている端末で管理されていることを特徴とする請求項４及び５に記載の品質管理システムである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明によれば、ブランクが要求品質を満たすか否かの判定を、当該ブランクに対して行った加工履歴、検査履歴、及び再生履歴を基に、検査品質判定テーブル、再生ダメージテーブル、及び品質変動テーブルを用いて判定することができるので、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００１６】
請求項２の発明によれば、素ブランクに付与された固有の識別番号毎に履歴情報を保存することにより、任意の素ブランク１枚に対して施された加工履歴、検査履歴、及び再生履歴の関連付けが可能となるので、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００１７】
請求項３の発明によれば、品質管理作業を通信ネットワークに接続された端末を用いて行うことができ、さらに、品質に係る情報を通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶させることができるので、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００１８】
請求項４の発明によれば、ブランクが要求品質を満たすか否かの判定を、当該ブランクに対して行った加工履歴、検査履歴、及び再生履歴を用いて自動的に判定することができるので、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００１９】
請求項５の発明によれば、素ブランクに付与された固有の識別番号毎に履歴情報を保存することにより、任意の素ブランク１枚に対して施された加工履歴、検査履歴、及び再生履歴の関連付けが可能となるので、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００２０】
請求項６の発明によれば、品質管理作業を通信ネットワークに接続された端末を用いて行うことができ、さらに、品質に係る情報を通信ネットワークに接続されている記録媒体に記憶させることができるので、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００２１】
本発明の品質管理方法および品質管理システムによれば、素ブランクに施した加工処理、検査処理、及び再生処理の履歴を管理することにより、ブランクの品質を管理することが可能となる。また、当該ブランクの品質を管理することにより、高精細パターンのフォトマスクを製造する際に不良の発生原因となっていたクロム膜層の影響について評価することが可能となり、不良発生防止に寄与することができるようになる。
【００２２】
さらに、本発明の品質管理方法および品質管理システムによれば、フォトマスクを製造する際に仕様情報等をシステムに問い合わせると、当該ガラス基板の品質を評価したデータを基に当該仕様情報等に該当するブランクをシステムが自動的に選択することができるようになり、不良発生防止に寄与することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は、本実施例に係るフォトマスクブランクの断面図である。ガラス基板２上にクロム膜層３が積層され、このクロム膜層３の表面に反射防止層４が形成されている状態のブランクを素ブランク５という。
本発明の品質管理方法及び品質管理システムでは、素ブランク５上にレジスト膜層６を形成した状態であるブランクの品質を管理する。
【００２５】
図２は、本実施例に係る品質管理方法を用いた品質管理システムの構成例を示す概念図である。
【００２６】
すなわち、品質管理システム１０は、品質情報データベース１１及び品質判定部１２を含み、通信ネットワーク１３を介して、仕様情報データベース１４及び仕様情報入力端末１５と、加工履歴データベース２１及び加工履歴入力端末２２と、検査履歴データベース３１及び検査履歴入力端末３２と、再生履歴データベース４１及び再生履歴入力端末４２と、がそれぞれ接続されていて、品質判定部１２で判定した結果を品質判定結果表示部１６に表示するようになっている。
なお、仕様情報入力端末１５は複数あっても良いし、加工履歴入力端末２２、検査履歴入力端末３２、及び再生履歴入力端末４２は、各工程に対して単数であっても良いし複数あっても良い。
【００２７】
図３は、本実施例に係る品質情報の一例を示している。品質情報５０は、複数の品質条件５１と、それぞれの品質条件５１に対しての実績値５２が履歴として登録されていて、複数の品質条件５１及び実績値５２は、固有の識別番号５３に紐付けて関連付けて管理されている。
なお、品質条件５１及び実績値５２の内容は何れも図３の内容に限定するものではなく、どのような内容であっても、本実施例に係る品質管理方法及び品質管理システムでの適用が可能である。また、品質条件５１のそれぞれの関連性についても図３の内容に限定するものではない。
【００２８】
品質管理システム１０における品質管理は、素ブランクが入庫されてきたことを契機として開始される。
【００２９】
素ブランク５が入庫されて来ると、図４に示すように、図示しない識別番号付与部が、素ブランク５のガラス基板１枚毎に固有の識別番号５３を付与する（Ｓ１）。固有の識別番号５３が付与された素ブランク５はレジスト塗布工程へと進み、素ブランク上にレジスト膜が形成される。加工履歴入力端末は、当該レジスト膜の形成工程を加工履歴として加工履歴データベース２１に入力・保存する（Ｓ２）。
【００３０】
その後、検査工程へと進んだブランクの検査を行う。検査履歴入力端末３２は、当該ブランクの検査結果を検査履歴データベース３１に入力・保存する（Ｓ３）。
【００３１】
当該検査の結果、塗布ミスが発生していた場合には、当該ブランクは再生工程へと進む。
再生工程へと進んだ当該ブランクは、レジスト膜を洗浄剥離（再生）された後、再度レジスト膜の形成工程へと進む。再生履歴入力端末４２は、レジスト膜剥離を再生履歴として、再生履歴データベース４１に入力・保存する（Ｓ４）。
【００３２】
レジスト膜の形成工程において、塗布ミスが発生しなかった場合には、当該ブランクは品質評価工程へと進む。検査履歴データベースは、検査履歴として塗布ミスのない旨が入力されたブランクの識別番号５３を、通信ネットワーク１３を介して品質情報データベース１１へと入力する（Ｓ５）。
【００３３】
ブランクの識別番号５３が品質情報データベース１１に入力されると、図示しない品質情報端末は、通信ネットワーク１３を介して、加工履歴データベース２１、検査履歴データベース３１、及び再生履歴データベース４１に対して、当該ブランクに対しての加工履歴、検査履歴、及び再生履歴を、品質情報データベース１１へ入力するように促す（Ｓ６）。
加工履歴データベース２１、検査履歴データベース３１、及び再生履歴データベース４１は、品質情報端末からの要求を受けて、該当する履歴情報をそれぞれ通信ネットワーク１３を介して品質情報データベース１１へ識別番号５３毎に入力する（Ｓ７）。
【００３４】
ブランクの品質判定システムは、Ｓ７で識別番号５３毎に紐付けられた履歴情報が品質情報データベース１１に入力されたことを契機として開始される。
【００３５】
図５に示すように、識別番号５３毎に紐付けられた履歴情報が品質情報データベース１１に入力されると、品質判定部１２は、加工履歴データベース２１より判定対象ブランクのレジスト材料及びレジスト膜厚を、検査履歴データベース３１より判定対象のブランクに存在するパーティクル（欠陥）数を、それぞれ読み出し、表１に示したような検査品質判定テーブルを参照して、レジスト材料、クロム膜層の材料及び欠陥サイズから検査品質階級を決定する（Ｓ８）。
ここで、検査品質判定テーブルは、予め使用レジスト材料毎にサイズ別の欠陥数から品質階級が一義的に決まるように設定されており、各サイズの欠陥の個数及び合計数に対応する品質階級のうち、最も低い品質階級を検査品質階級として決定する。また、欠陥サイズＸＸＳ、ＸＳ、Ｓ、Ｍ、及びＬは、この順に欠陥のサイズが大きくなるように予め設定しておく。
【表１】
2010002819.tif 000003
【００３６】
その後、品質判定部１２は、再生履歴データベース４１より判定対象ブランクの再生履歴の有無を読み出し（Ｓ９）、再生履歴が無い、すなわち再生回数が０回の場合には、検査品質階級のままで品質を確定する（Ｓ１０）。一方、再生が行われていた場合には、表２（ａ）に示したような再生ダメージテーブルを参照して、レジスト材料、反射防止層の材質、及び再生回数から再生工程によるブランクへのダメージ値を決定し、表２（ｂ）に示したような品質変動テーブルを参照して、Ｓ８で決定した検査品質階級からの変動を決定し、検査品質階級から変動した結果を品質として得る（Ｓ１１）。
そして、品質管理システム１０は、Ｓ１０及びＳ１１で得た品質を、品質判定結果表示部１６へと送出する（Ｓ１２）。
【表２】
2010002819.tif 000004
【００３７】
例えば、あるブランクの品質を決定する場合には、加工履歴データベースからレジスト材料及びレジスト膜厚の情報を、検査履歴データベースから欠陥数を、それぞれ読み出し、表１で示したような検査品質判定テーブルを参照して各欠陥サイズの個数から品質階級を決定する。例として、ＸＸＳサイズの欠陥が４個、Ｓサイズの欠陥が２個、Ｌサイズの欠陥が１個ある場合には、品質階級は「通常」となる。
【００３８】
品質階級を決定した後、再生履歴がある場合には、表２（ａ）で示したような再生ダメージテーブルを参照して再生処理回数から再生によるダメージ値を決定する。再生処理回数が２回の場合には、レジスト材料がレジスト１、反射防止層の材質がＢの場合、ダメージ値は１０となる。
そして、表２（ｂ）で示したような品質変動テーブルを用いて、ダメージ値から品質階級の変動値を決定する。
【００３９】
ここでの例では、検査品質判定テーブルで定めた品質階級「通常」に対し、再生によるダメージ値は１０であるから、品質階級変動値は±０となり、最終的な品質判定の結果は「通常」となる。
【００４０】
さらに、図６に示すように、製品受注者からの要求品質がある場合には、当該要求品質が仕様情報データベースへ入力されることを契機に、ブランク抽出システムが開始される。
【００４１】
仕様情報入力端末１５が製品受注者からの要求品質を、仕様情報として仕様情報データベース１４へと入力する（Ｓ１３）ことにより、使用情報データベース１４は当該仕様情報を通信ネットワーク１３を介して品質判定部１２へと送信する（Ｓ１４）。
品質管理システムは、仕様情報を受信すると、品質判定部１２で判定されたブランクの中から仕様情報に合致するブランクを抽出し（Ｓ１５）、その結果を品質判定結果表示部１６へ送出する（Ｓ１６）。
【００４２】
以上、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。また、表１及び２のテーブル中の値も、一例であり、ここで挙げた数値に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係るブランクの断面図の一例である。
【図２】本発明の実施例に係る品質管理システムが適用される構成の一例を示すブロック図である。
【図３】本発明に係る品質情報の一例を示す模式図である。
【図４】本発明に係る履歴情報取得方法を説明するフローチャートである。
【図５】本発明に係る品質評価方法を説明するフローチャートである。
【図６】本発明に係る仕様該当ブランク抽出方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００４４】
１    ブランク
２    ガラス基板
３    クロム膜層
４    反射防止層
５    素ブランク
６    レジスト膜層
１０  品質管理システム
１１  品質情報データベース
１２  品質判定部
１３  通信ネットワーク
１４  仕様情報データベース
１５  仕様情報入力端末
２１  加工履歴データベース
２２  加工履歴入力端末
３１  検査履歴データベース
３２  検査履歴入力端末
４１  再生履歴データベース
４２  再生履歴入力端末
５０  品質情報
５１  品質条件
５２  実績値
５３  識別情報
【図１】
2010002819.tif 000005
【図２】
2010002819.tif 000006
【図３】
2010002819.tif 000007
【図４】
2010002819.tif 000008
【図５】
2010002819.tif 000009
【図６】
2010002819.tif 000010