(57)【要約】【課題】安価なコストで、良好な駆動性能を達成可能な振動アクチュエータを提供する。【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（１０）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体（１１）と、前記振動体（１１）と加圧接触する接触面（３２ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（３２ａ）が駆動されることにより前記振動体（１１）に対して相対移動する相対移動部材（１５）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記相対移動部材（１５）は、樹脂で形成された第１の部材（３１）及び前記第１の部材（３１）より剛性の高い第２の部材（３０）を含み、前記接触面（３２ａ）と前記接触面（３２ａ）以外の少なくとも１面とを含む部分が、前記第１の部材（３１）で形成されていること、を特徴とする。【選択図】図２
2010104071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体と、
前記振動体と加圧接触する接触面を有し、前記振動波によって前記接触面が駆動されることにより前記振動体に対して相対移動する相対移動部材と、
を備える振動アクチュエータであって、
前記相対移動部材は、樹脂で形成された第１の部材及び前記第１の部材より剛性の高い第２の部材を含み、
前記接触面と前記接触面以外の少なくとも１面とを含む部分が、前記第１の部材で形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記相対移動部材は前記接触面と反対方向を向く面を含む部分が、前記第１の部材で形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、
前記相対移動は相対回転移動であり、前記相対回転移動の回転軸を含み、前記相対回転移動に応じて回転する軸部材をさらに備え、前記相対移動部材は、前記軸部材と接する内周面を含む部分が、前記第２の部材で形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項２に記載の振動アクチュエータであって、
前記第２の部材が前記第１の部材の内部に配置されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記接触面と反対方向を向く面を含む部分が、前記第２の部材で形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記相対移動部材が、前記第１の部材と前記第２の部材をインサート成型することにより製造されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えたレンズ鏡筒。
【請求項８】
請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えたカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体の伸縮を利用して移動子を駆動する振動アクチュエータおよびそれを備えたレンズ鏡筒、カメラに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子を駆動するものである。このような振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するという特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギアを省略することができる。このため、ギアによる騒音をなくすことで静寂化が達成可能であり、また位置決め精度が向上されるといった利点もある。
【０００３】
一方、近年、振動アクチュエータにおいて、径を従来の１／３〜１／５倍程度とする小型化、軽量化が進んでいる。小型化された振動アクチュエータは、外観上ロッド形状を有しており、安価な電磁モータと同じように使用される場合が多い。このため、小型化された振動アクチュエータにおける第１の課題は、コスト削減である。この課題に対して、様々な部材をモールド化して、コスト削減対策を行っており、移動子のプラスチックモールド化も検討されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平４−１１７１８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、振動アクチュエータにおいて、進行波に加圧接触された移動子は、進行波の波頭のみと接触し、他の部分は曲げ変形が生じている。移動子は、剛性が小さいと、曲げ変形が大きくなり、進行波の波底に接触し、良好な駆動性能を得ることが困難になる。したがって、移動子は、ある程度の剛性を確保しなければならない。
【０００５】
本発明の課題は、安価なコストで、良好な駆動性能を達成可能な振動アクチュエータおよびそれを備えたレンズ鏡筒、カメラを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００７】
請求項１に記載の発明は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体（１１）と、前記振動体（１１）と加圧接触する接触面（３２ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（３２ａ）が駆動されることにより前記振動体（１１）に対して相対移動する相対移動部材（１５，１５’，１５’’）と、を備える振動アクチュエータ（１０，１０’，１０’’）であって、前記相対移動部材（１５，１５’，１５’’）は、樹脂で形成された第１の部材（３１，３１’，３１’’）及び前記第１の部材（３１，３１’，３１’’）より剛性の高い第２の部材（３０，３０’，３０’’）を含み、前記接触面（３２ａ）と前記接触面（３２ａ）以外の少なくとも１面とを含む部分が、前記第１の部材（３１，３１’，３１’’）で形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，１０’，１０’’）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０，１０’）であって、前記相対移動部材（１５，１５’）は前記接触面（３２ａ）と反対方向を向く面を含む部分が、前記第１の部材（３１，３１’）で形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，１０’）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の振動アクチュエータ（１０，１０’’）であって、前記相対移動は相対回転移動であり、前記相対回転移動の回転軸を含み、前記相対回転移動に応じて回転する軸部材（１８）をさらに備え、前記相対移動部材（１５，１５’’）は、前記軸部材（１８）と接する内周面を含む部分が、前記第２の部材（３０，３０’’）で形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，１０’’）である。
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータ（１０’）であって、前記第２の部材（３０’）が前記第１の部材（３１’）の内部に配置されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０’）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０’’）であって、前記接触面（３２ａ）と反対方向を向く面を含む部分が、前記第２の部材で形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０’’）である。
請求項６に記載の発明は、請求項１から５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，１０’，１０’’）であって、前記相対移動部材（１５，１５’，１５’’）が、前記第１の部材（３１，３１’，３１’’）と前記第２の部材（３０，３０’，３０’’）をインサート成型することにより製造されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，１０’，１０’’）である。
請求項７に記載の発明は、請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，１０’，１０’’）を備えたレンズ鏡筒（３）である。
請求項８に記載の発明は、請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，１０’，１０’’）を備えたカメラ（１）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、安価なコストで、良好な駆動性能を達成可能な振動アクチュエータおよびそれを備えたレンズ鏡筒、カメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明にかかる振動アクチュエータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、振動波モ一タとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にして説明する。
【００１０】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のカメラ１を説明する図である。第１実施形態のカメラ１は、撮像素子を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備えている。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
【００１１】
レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ１０等を備えている。本実施形態では、超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
【００１２】
図１において、レンズ鏡筒３内に設けられたレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【００１３】
図２は、第１実施形態の超音波モータ１０の断面図である。超音波モータ１０は、例えばφ１５以下の小型の超音波モータ１０であり、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。
【００１４】
振動子１１は、後述するように、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等の電気一機械変換素子（以下、圧電体と称する）１３と、圧電体１３が接合された弾性体１２とを有する略円環形状の部材である。
【００１５】
弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体１２は、櫛歯部１２ａ、ベース部１２ｂ、フランジ部１２ｃを有する。
【００１６】
櫛歯部１２ａは、圧電体１３が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５に加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面１２ｄとなる。この駆動面には、Ｎｉ−Ｐ（ニッケル−リン）メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。櫛歯部１２ａを設ける理由は、圧電体１３の伸縮により駆動面１２ｄに生じる進行波の中立面をできる限り圧電体１３側へ近づけ、これにより駆動面１２ｄの進行波の振幅を増幅させるためである。
【００１７】
ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分であり、ベース部１２ｂの櫛歯部１２ａとは反対側の面である接合面１２ｅに、圧電体１３が接合されている。フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分である。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。
【００１８】
圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。本実施形態では、圧電体１３として圧電素子を用いたが、電歪素子等を用いてもよい。圧電体１３は、略円環形状の部材であり、弾性体１２の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相とＢ相との間には、１／４波長分の間隔が空けられている。この圧電体１３は、接着材等を用いて弾性体１２と接合されている。
【００１９】
フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３の各相の電極に接続されている。フレキシブルプリント基板１４には、後述の増幅部１０４，１０５（図３参照）から駆動信号が供給され、この駆動信号によって、圧電体１３が伸縮する。振動子１１には、この圧電体１３の伸縮により、弾性体１２の駆動面に進行波が発生する。本実施形態では、４波の進行波が発生している。
【００２０】
移動子１５は、後述するが、弾性体１２の駆動面１２ｄに生じる進行波によって回転駆動される部材である。出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２３を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転するように設けられている。ゴム部材２３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材２３は、ゴムによる粘弾性で移動子１５と出力軸１８とを一体に回転可能とする機能と、移動子１５からの振動を出力軸１８へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。
【００２１】
加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、ギア部材２０とベアリング受け部材２１との間に設けられている。本実施形態では、加圧部材１９は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。ギア部材２０は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア部材２０は、出力軸１８の回転とともに回転することにより、ギア４（図１参照）に駆動力を伝達する。
【００２２】
また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５は、振動子１１の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材１９とベアリング受け部材２１との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ１０の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。
【００２３】
図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の駆動装置１００を説明するブロック図である。超音波モータ１０の駆動装置１００は、発振部１０１と、制御部１０２と、移相部１０３と、増幅部１０４，１０５と、検出部１０６とを有する。発振部１０１は、制御部１０２の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する部分である。移相部１０３は、発振部１０１で発生した駆動信号を、９０°位相の異なる２つの駆動信号に分ける部分である。
【００２４】
増幅部１０４，１０５は、移相部１０３によって分けられた２つの駆動信号を、それぞれ所望の電圧に昇圧する部分である。増幅部１０４，１０５からの駆動信号は、超音波モータ１０に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１１に進行波が発生し、移動子１５が駆動される。
【００２５】
検出部１０６は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子１５の駆動によって駆動されたレンズ７の位置や速度を検出する部分である。制御部１０２は、カメラボディ２に設けられた不図示のＣＰＵからの駆動指令を基に、超音波モータ１０の駆動を制御する部分である。制御部１０２は、検出部１０６からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部１０１が発生する駆動信号の駆動周波数を制御する。
【００２６】
図２に戻り、移動子１５は、出力軸１８の外周に嵌合された円環状部材であり、ステンレンス鋼からなる剛性補強部３０と、その剛性補強部３０を覆う摺動部材からなる本体部３１とを備える。
【００２７】
剛性補強部３０は、出力軸１８の外周に沿って軸方向に延びる円筒状の第１部分３０ａと、第１部分３０ａの端部（ゴム部材２３）から外方に延びる第２部分３０ｂと、第２部分３０ｂの外方側端部から、第１部分３０ａと平行に軸方向に延びる第３部分３０ｃとを備え、半径方向の断面がコの字形状を有している。第１部分３０ａの内径側は露出し、出力軸１８と嵌合している。
【００２８】
本体部３１は、摺動部材で製造され、剛性補強部３０における第１部分３０ａの内径側の、上述の露出している面以外を覆っている。本体部３１における、弾性体１２の駆動面１２ｄと接触する部分は、出力軸１８を中心とした円周に沿った凸状部３２として形成され、この凸状部３２の駆動面１２ｄと接触して摺動する摺動面（接触面）３２ａは、研磨工程等により良好な平面度を有している。そして、上述の剛性補強部３０の第３部分３０ｃは、この凸状部３２と径方向における略同じ位置を、軸方向に延びている。本体部３１を構成する摺動部材は、高分子材を主成分として構成されているが、ポリイミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、ＰＥＳ、ＰＥＥＫ等の射出成形が可能な物が好適である。
【００２９】
移動子１５は、インサートモールド法という射出成形の方法で作成される。まず、モールド型にプレス工程で製造した剛性補強部材をインサートした後にモールド樹脂である摺動部材を注入し、一体に成形する。モールド樹脂材は、熱膨張係数が補強部材である金属材料より大きいため、成形後は補強部材に機械的に結合された状態となる。その後に、摺動面３２ａをラッピング工程により研磨し、ある程度の平面度を確保する、これは、振動子１１に発生した進行波の楕円運動を、効率的に摩擦伝達することに対して、必要な工程である。
【００３０】
本実施形態の超音波モータ１０は、以下のように動作する。まず、制御部１０２に目標位置が伝達される。発振部１０１からは、駆動信号が発生し、その信号から、移相部１０３により９０°位相の異なる２つの駆動信号が生成され、増幅部１０４，１０５により所望の電圧に増幅される。
【００３１】
駆動信号は、超音波モータ１０の圧電体１３に印加され、圧電体１３が励振され、その励振によって、弾性体１２には、４次の曲げ振動が発生する。駆動信号は、それぞれ圧電体１３のＡ相とＢ相とに印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは、位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは、９０°位相がずれているため、２つの曲げ振動は、合成され、４波の進行波となる。
【００３２】
図４は、移動子１５で発生する進行波と振動子１１との様子を説明する図である。圧電体１３によって上述したように弾性体１２に進行波が発生すると、進行波の波頭には、楕円運動Ａが生じる。弾性体１２の駆動面１２ｄと剛性補強部３０の摺動面３２ａは加圧接触されているので、移動子１５は、この楕円運動によって摩擦駆動されて回転する。移動子１５が回転すると、その回転はゴム部材２３により出力軸１８に伝達され、出力軸１８が回転する。出力軸１８の回転よりギア部材２０が回転され、ギア４，５を介してカム筒６が回転し、レンズ７が移動される。
【００３３】
光学式エンコーダ等の検出部１０６は、移動子１５の駆動により駆動されたカム筒６の位置や速度を検出し、電気パルスとして、制御部１０２に伝達される。制御部１０２は、この信号を基に、レンズ７の現在の位置と現在の速度とを得ることが可能となり、発振部１０１が発生する駆動周波数は、これらの位置情報、速度情報及び目標位置情報を基に制御される。
【００３４】
以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）図４に示すように、移動子１５は、進行波の波頭で弾性体１２と接触し、他の部分は曲げ変形が生じている。図５は移動子１５の剛性が低い場合を例として示した図であり、図示するように移動子１５の剛性が小さいと、移動子１５の曲げ変形が大きくなり、進行波の波底においても弾性体１２と接触する。波底では波頭の楕円運動と逆方向の楕円運動が発生している。したがって波底においても移動子１５と弾性体１２とが接触すると、移動子１５を良好に駆動することができなくなる。したがって、移動子１５には、ある程度の剛性が必要である。
【００３５】
ここで、移動子１５を全て金属で製造すると、大型化せずに高い剛性を確保することができるが、コストがかかる。また、移動子をプラスチックで製造すると、安価であるが、所望の剛性を得るには、大型化する。弾性率を金属とプラスチックで比較すると、アルミニウムが約７０ＧＰａ（≒７０万ｋｇｆ／ｃｍ＾２）に対して、剛性が大きいといわれているエンジニアプラスチックでも５〜１０ＧＰａと、約１／１０程度である。したがってアルミニウムと同等の曲げ剛性をプラスチックで確保するためには、幅で約１０倍（剛性は幅に比例）、または、厚さで２倍以上（剛性は厚さの３乗に比例）の大きさが必要となる。
【００３６】
本実施形態によると、高分子材を主成分とした摺動材で構成される本体部３１の内部に、ステンレス鋼からなる補強部材で構成される剛性補強部３０を配置したため、移動子全体を薄くしても、十分な移動子の摺動部の曲げ剛性を確保することができる。それにより、移動子１５と弾性体１２との接触が、弾性体１２の進行波の波頭のみとなり、十分な駆動性能が確保でき、重量も比較的軽量とすることができる。さらに、金属部分も少量で住むため、移動子１５全体を金属で製造するよりもコストが安価となる。
【００３７】
（２）また、剛性補強部３０をプレス工程で製造し、インサートモールド法を採用した工程で摺動部材を製造したため、安価なコストを達成できる。
【００３８】
（３）また、小径型の振動アクチュエータは、移動子の回転数が高い使用方法が多く、この場合、移動子１５の摺動面３２ａには摩擦駆動により摩擦熱が発生し、これをすばやく放熱する必要がある。すばやく放熱できない場合には、摺動面３２ａの温度が極端に上昇し、駆動信号を一定周波数として定速駆動させようとしても、雰囲気温度よりも高い温度で駆動された場合と同じとなり、回転数が下がる現象が生じ、駆動制御に影響する。本実施形態のように、金属の剛性補強部３０を摺動面３２ａの近傍まで延ばせば、摺動面３２ａに発生した摩擦熱を、金属の剛性補強部３０に素早く放熱でき、摺動面３２ａの温度を抑制でき、駆動制御への影響を低減できる。
【００３９】
（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態における超音波モータ１０’の移動子１５’の部分を示した図である。第２実施形態は、移動子１５’以外、第１実施形態と同様であるので、同様な部分の説明は省略する。
【００４０】
第２実施形態の移動子１５’の剛性補強部３０’は、径方向に延びる円環状部材である。すなわち、第１実施形態の剛性補強部３０における第１部分３０ａと第３部分３０ｃとを有さない第２部分３０ｂのみと同様の形状である。摺動部材からなる本体部３１’は、剛性補強部３０’の全体を覆い、移動子１５’は、本体部３１’の内径側で出力軸１８と嵌合している。
【００４１】
この第２実施形態によると、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を有する。
剛性補強部３０’が平板であるので、軸Ｃ方向の幅を小さくすることができる。したがって、第１実施形態よりもさらに移動子１５’を薄くすることが可能である。また、剛性補強部３０’の形状が簡単であるので、第１実施形態よりもさらに安価に製造することができる。
【００４２】
（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態における超音波モータ１０’’の移動子１５’’の部分を示した図である。第３実施形態は、移動子１５’’以外、第１実施形態と同様であるので同様な部分の説明は省略する。
【００４３】
第３実施形態の移動子１５’’は、第１実施形態の剛性補強部３０と同様の形状であり、出力軸１８の外周に沿って延びる円筒状の第１部分３０ａ’’と、第１部分３０ａ’’の端部から径方向に外方に延びる第２部分３０ｂ’’と、第２部分３０ｂ’’の外径側端部から、第１部分３０ａ’’と平行に延びる第３部分３０ｃ’’とを備え、半径方向の断面がコの字形状を有している。第１実施形態と異なる点は、第２部分３０ｂ’’の振動子と反対側の面及び第３部分３０ｃ’’の外径側が摺動部材で覆われていない点である。すなわち、剛性補強部３０が露出している。
【００４４】
この第３実施形態によると、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を有する。
剛性補強部３０’’を本体部３１’’に対して接着により結合することができる。
さらに、剛性補強部３０’’が外部に露出しているので、摺動面３２ａに発生し、剛性補強部３０に伝達した摩擦熱を、外部に対して素早く放熱できる。
【００４５】
（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）上述の実施形態では、剛性補強部をステンレス鋼としたが、高分子材料より縦弾性係数が大きい材料なら、例えば、鉄鋼材、アルミニウム材、真鍮材でもよい。
（２）さらに、縦振動、ねじり振動といった定在波を組み合わせた振動アクチュエータでも、移動子または相対運動部材の剛性が必要な場合には、本発明を同様に適応でき、小型化や低コスト化といった同様の効果が得られる。
（３）また、上述の実施形態では、小型の超音波モータ振動アクチュエータを例にして説明したが、例えば、φ３０〜８０位の円環状の進行波型振動アクチュエータでも同様に適用でき、小型化や低コスト化といった同様の効果が得られる。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第１実施形態のカメラを説明する図である。
【図２】第１実施形態の超音波モータの断面図である。
【図３】超音波モータの駆動装置を説明するブロック図である。
【図４】実施形態における移動子で発生する進行波と振動子との様子を説明する図である。
【図５】移動子の剛性が低い場合における移動子で発生する進行波と振動子との様子を説明する図である。
【図６】第２実施形態における超音波モータの移動子の部分を示した図である。
【図７】第３実施形態における超音波モータの移動子の部分を示した図である。
【符号の説明】
【００４７】
１：カメラ、１０，１０’，１０’’：超音波モータ、１５，１５’，１５’’：移動子、１８：出力軸、３０，３０’，３０’’：剛性補強部、３１，３１’，３１’’：本体部、３２ａ：摺動面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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