(57)【要約】【課題】基板が回転制御された場合でも基板上の所定位置にスペーサが噴出されたか否かを高精度に検査できるようにする。【解決手段】インクジェットヘッド及び基板をそれぞれ反対方向に回転制御することによって、インクジェットヘッドのノズルピッチとスペーサ噴出位置のピッチとを一致させてインクジェットヘッドから噴射されたインクを基板上の所定位置に正確に塗布する。この場合に、光照射手段及び反射光検出手段からなる検出光学系を基板のθ軸方向の回転移動に合わせてθ軸方向に回転制御することによって、表示用パネル基板上に既に形成されているカラーフィルタの規則的な配列方向と検出光学系の配列方向が一致するので、インクジェットヘッドから噴射された球状粒子からなるスペーサが基板上の所定位置に正確に噴出することができたか否かを高精度に検出することができる。【選択図】図３
2010020144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に移動する表示用パネル基板に対して前記第１の方向に略直交する第２の方向に移動するインクジェットヘッド手段から球状粒子を含むインクを噴射することによってスペーサを形成し、前記表示用パネル基板上の前記第２の方向に沿って設けられた光照射手段から光を照射して、その反射光を反射光検出手段で受光し、その検出信号に基づいて前記インクジェットヘッド手段から前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査するスペーサ形成検査装置において、
前記表示用パネル基板がθ軸方向に回転移動制御された場合に、前記第２の方向に沿って設けられた前記光照射手段及び前記反射光検出手段からなる検出光学系を前記表示用パネル基板のθ軸方向の回転移動に合わせてθ軸方向に回転制御する制御手段
を備えたことを特徴とするスペーサ形成検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスペーサ形成検査装置において、前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射される前に前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射前信号を検出すると共に前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射された後であって前記インクの光沢が存在する状態で前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射後信号を検出し、前記噴射前信号及び前記噴射後信号を比較することによって、前記インクジェットヘッドから前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査することを特徴とするスペーサ形成検査装置。
【請求項３】
表示用パネル基板を搭載した状態でＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸方向にそれぞれ移動制御するステージ手段と、
前記表示用パネル基板上に球状粒子を含むインクを噴射するインクジェットヘッド手段と、
前記ステージ手段によって第１の方向に移動制御される前記表示用パネル基板に対して、前記第１の方向に略直交する第２の方向に前記インクジェットヘッド手段を移動制御すると共に前記インクジェットヘッド手段をθ軸方向に移動制御するフレーム手段と、
前記フレーム手段及び前記ステージ手段を移動制御することによって前記インクジェットヘッド手段と前記ステージ手段との間の相対的な位置関係を制御しながら前記インクジェットヘッド手段の噴射状態を制御して前記表示用パネル基板の所望位置に前記球状粒子を含むインクを噴射して前記球状粒子からなるスペーサを形成するスペーサ形成制御手段と、
前記第２の方向に沿って設けられた光照射手段から前記表示用パネル基板上に光を照射して、その反射光を反射光検出手段で受光し検出信号を出力し、その検出信号に基づいて前記インクジェットヘッド手段から前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査するスペーサ形成検査手段と、
前記ステージ手段によって前記表示用パネル基板がθ軸方向に移動制御された場合に、前記第２の方向に沿って設けられた前記光照射手段及び前記反射光検出手段からなる検出光学系を前記表示用パネル基板のθ軸方向の回転移動に合わせてθ軸方向に回転制御する制御手段と
を備えたことを特徴とするスペーサ形成装置。
【請求項４】
請求項３に記載のスペーサ形成装置において、前記スペーサ形成検査手段は、前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射される前に前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射前信号を検出すると共に前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射された後であって前記インクの光沢が存在する状態で前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射後信号を検出し、前記噴射前信号及び前記噴射後信号を比較することによって、前記インクジェットヘッドから前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査することを特徴とするスペーサ形成装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載のスペーサ形成装置を用いて表示用パネルを製造することを特徴とする表示用パネル製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示用パネル基板上にインクジェット方式でスペーサを形成した場合に表示用パネル基板上の所定位置に正確にスペーサを形成することができたか否かを検査するスペーサ形成検査装置、スペーサ形成装置及び表示用パネル製造方法に係り、特に表示用パネル基板が回転制御された場合でも基板上の所定位置にスペーサが噴出されたか否かを検査することができるスペーサ形成検査装置、スペーサ形成装置及び表示用パネル製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アクティブマトリクス駆動方式の液晶ディスプレイ装置において、液晶パネルは、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板とカラーフィルタ基板との間に液晶を封入して構成されている。製造工程では、ＴＦＴ基板又はカラーフィルタ基板の表面に、両基板の間隔を保つためのスペーサを形成し、形成したスペーサを介して、ＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板とを重ね合わせる。液晶は、ＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板とを重ね合わせる前に滴下する場合と、ＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板とを重ね合わせた後に注入する場合とがある。
【０００３】
スペーサは、カラーフィルタ基板の画素領域に配置すると液晶パネルの画質が悪化するため、各画素を区画する遮光層（ブラックマトリクス）の上方に正確に配置されなければならない。特許文献１には、スペーサを溶媒に懸濁させ、インクジェット装置を用いて、スペーサを基板上に配設する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−３１６３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の技術は、基板を加熱してインクジェット用の溶媒を蒸発させることにより、液滴中の複数のスペーサを１点に集めるようにしたものである。このように、インクジェットヘッドを用いてスペーサを基板上に配設するようにしたスペーサ形成装置においては、インクジェットヘッドのノズルピッチよりもスペーサ噴出位置のピッチが小さいため、インクジェットヘッドをθ軸方向に回転させて、インクジェットヘッドのノズルピッチとスペーサ噴出位置のピッチとを一致させるように調整している。
【０００５】
しかしながら、インクジェットヘッドだけをθ軸方向に回転制御したでけでは、インクジェットヘッドから噴射されたインクを基板上の所定位置に正確に塗布することが困難な場合があった。そこで、インクジェットヘッドのノズルピッチとスペーサ噴出位置のピッチとを一致させるために、インクジェットヘッドだけでなく、使用するノズルの塗布タイミングを調整し、かつ、基板側も同時にθ方向に回転させ、Ｙ軸位置と同期させ、Ｘ軸方向にステージを移動補正することにより、インクジェットヘッドから噴射されたインクを基板上の所定位置に正確に塗布することができることを実験的に知見するに至った。
【０００６】
この場合に、基板上の所定位置にスペーサが正確に塗布されたか否かを反射光を用いて検査しようとした場合、その光学系は固定的に設けられているため、基板ステージすなわち基板自体がθ軸方向に回転制御されると、その検出信号に誤差が生じ、正確にその噴出状態を検査することが困難になるという問題が生じるようになった。
【０００７】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、基板が回転制御された場合でも基板上の所定位置にスペーサが噴出されたか否かを高精度に検査することができるスペーサ形成検査装置、スペーサ形成装置及び表示用パネル製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のスペーサ形成検査装置の第１の特徴は、第１の方向に移動する表示用パネル基板に対して前記第１の方向に略直交する第２の方向に移動するインクジェットヘッド手段から球状粒子を含むインクを噴射することによってスペーサを形成し、前記表示用パネル基板上の前記第２の方向に沿って設けられた光照射手段から光を照射して、その反射光を反射光検出手段で受光し、その検出信号に基づいて前記インクジェットヘッド手段から前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査するスペーサ形成検査装置において、前記表示用パネル基板がθ軸方向に回転移動制御された場合に、前記第２の方向に沿って設けられた前記光照射手段及び前記反射光検出手段からなる検出光学系を前記表示用パネル基板のθ軸方向の回転移動に合わせてθ軸方向に回転制御する制御手段を備えたことにある。
インクジェットヘッド及び基板をそれぞれ反対方向に回転制御することによって、インクジェットヘッドのノズルピッチとスペーサ噴出位置のピッチとを一致させてインクジェットヘッドから噴射されたインクを基板上の所定位置に正確に塗布することができるようになる。この場合に、光照射手段及び反射光検出手段からなる検出光学系を基板のθ軸方向の回転移動に合わせてθ軸方向に回転制御することによって、表示用パネル基板上に既に形成されているカラーフィルタの規則的な配列方向と検出光学系の配列方向が一致するので、インクジェットヘッドから噴射された球状粒子からなるスペーサが基板上の所定位置に正確に噴出することができたか否かを高精度に検出することができる。
【０００９】
本発明のスペーサ形成検査装置の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載のスペーサ形成検査装置において、前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射される前に前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射前信号を検出すると共に前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射された後であって前記インクの光沢が存在する状態で前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射後信号を検出し、前記噴射前信号及び前記噴射後信号を比較することによって、前記インクジェットヘッドから前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査することにある。
インクジェットヘッドから噴射されるインクの液滴は、揮発性を有し、噴射後は低温加熱されてインクに含まれる熱硬化性樹脂の硬化現象を利用して、表示用パネル基板上に固着させている。この結果、インクが乾燥し、光沢がなくなると、反射光を用いての検査が非常に困難な状況になる。そこで、この発明では、インク噴射前の反射光信号（噴射前信号）と、インク噴射直後のインクが乾燥する前の反射光信号（噴射後信号）を検出し、両者を比較することによって、インクの噴射状態を検出するようにした。これによって、表示用パネル基板上の所定位置にスペーサが噴出されたか否かを容易に検査することができる。
【００１０】
本発明のスペーサ形成装置の第１の特徴は、表示用パネル基板を搭載した状態でＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ軸方向にそれぞれ移動制御するステージ手段と、前記表示用パネル基板上に球状粒子を含むインクを噴射するインクジェットヘッド手段と、前記ステージ手段によって第１の方向に移動制御される前記表示用パネル基板に対して、前記第１の方向に略直交する第２の方向に前記インクジェットヘッド手段を移動制御すると共に前記インクジェットヘッド手段をθ軸方向に移動制御するフレーム手段と、前記フレーム手段及び前記ステージ手段を移動制御することによって前記インクジェットヘッド手段と前記ステージ手段との間の相対的な位置関係を制御しながら前記インクジェットヘッド手段の噴射状態を制御して前記表示用パネル基板の所望位置に前記球状粒子を含むインクを噴射して前記球状粒子からなるスペーサを形成するスペーサ形成制御手段と、前記第２の方向に沿って設けられた光照射手段から前記表示用パネル基板上に光を照射して、その反射光を反射光検出手段で受光し検出信号を出力し、その検出信号に基づいて前記インクジェットヘッド手段から前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査するスペーサ形成検査手段と、前記ステージ手段によって前記表示用パネル基板がθ軸方向に移動制御された場合に、前記第２の方向に沿って設けられた前記光照射手段及び前記反射光検出手段からなる検出光学系を前記表示用パネル基板のθ軸方向の回転移動に合わせてθ軸方向に回転制御する制御手段とを備えたことにある。これは、前述のスペーサ形成検査装置の第１の特徴に記載のものをスペーサ形成手段として採用したスペーサ形成装置の発明である。
【００１１】
本発明のスペーサ形成装置の第２の特徴は、前記第１の特徴に記載のスペーサ形成装置において、前記スペーサ形成検査手段は、前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射される前に前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射前信号を検出すると共に前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上に噴射された後であって前記インクの光沢が存在する状態で前記表示用パネル基板上に光を照射してその反射光に基づいた噴射後信号を検出し、前記噴射前信号及び前記噴射後信号を比較することによって、前記インクジェットヘッドから前記球状粒子を含むインクが噴射されたか否か、及び前記球状粒子を含むインクが前記表示用パネル基板上の所定位置に噴射されたか否かを検査することにある。これは、前述のスペーサ形成検査装置の第２の特徴に記載のものをスペーサ形成検査手段として採用したスペーサ形成装置の発明である。
【００１２】
本発明の表示用パネル製造方法の特徴は、前記第１又は第２の特徴に記載のスペーサ形成装置を用いて表示用パネルを製造することにある。これは、前述のスペーサ形成装置を用いて、表示用パネルにスペーサを形成するようにした表示パネル製造方法に関するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板が回転制御された場合でも基板上の所定位置にスペーサが噴出されたか否かを高精度に検査することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明の一実施の形態に係るスペーサ形成装置の概略構成を示す図である。図２は、図１のスペーサ形成装置を上から見た図である。本実施の形態は、液晶パネルのカラーフィルタ基板上にスペーサを配置するスペーサ形成装置の例を示すが、ＴＦＴ基板上にスペーサを配置する場合にも適応できる。スペーサ形成装置は、テーブル１０、ベース１１、Ｘガイド１２、スライドフレーム１３、移動台１４、インクジェットヘッド４０、インクタンク５０、制御装置６０、反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０を含んで構成されている。
【００１５】
テーブル１０は、カラーフィルタ基板２０を真空吸着して保持する。ベース１１には、テーブル１０を搭載するＸガイド１２が設けられており、テーブル１０は、Ｘガイド１２に沿ってＸ方向（図面横方向）へ移動する。なお、駆動手段としては、ボールネジやリニアモータ等が用いられるが、これらの図示は省略する。
【００１６】
ベース１１には、テーブル１０を跨ぐ門型のスライドフレーム１３が設けられており、スライドフレーム１３には移動台１４が取り付けられている。移動台１４は、スライドフレーム１３に沿ってＹ方向（図面奥行き方向）へ移動する。移動台１４には、インクジェットヘッド４０及びインクタンク５０が搭載されており、インクタンク５０は、後述するインクをインクジェットヘッド４０へ供給する。なお、図２では、移動台１４及びインクタンク５０の図示を省略してある。インクジェットヘッド４０は、テーブル１０のＸ方向への移動及び移動台１４のＹ方向への移動によって、インクタンク５０から供給されたインクを、カラーフィルタ基板２０の表面の任意の箇所へ噴射できる様になっている。また、インクジェットヘッド４０はノズル部分をθ軸方向に回転可能に構成されている。なお、テーブル１０とベース１１は、カラーフィルタ基板２０を搭載した状態でインクジェットヘッドユニット４０に対して相対的にＸ方向（図面横方向）及びＹ方向（図面奥行き方向）に移動可能であり、かつ、ＸＹ平面上でθ軸方向に回転可能な構成となっている。また、この実施の形態では、インクジェットヘッドユニット４０が１個の場合を示しているが、２個、４個、それ以上のインクジェットヘッドユニットを備えたものであってもよい。
【００１７】
反射光検出ヘッド７０は、スライドフレーム１３の長手方向に沿って設けられたＣＣＤアレイセンサから構成されている。反射光検出ヘッド７０の下側には検出照明８０が同じくスライドフレーム１３の長手方向に沿って設けられている。検出照明８０は複数のＬＥＤがアレイ状に配置されたＬＥＤ光源で構成されている。反射光検出ヘッド７０は、ＬＥＤ光源８０から照射された光の中でカラーフィルタ基板２０から反射した反射光を受光し、その反射光量に応じた反射光検出信号を制御装置６０に出力する。反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系は、スライドフレーム１３に対して全体的にθ軸方向に回転可能に構成されている。なお、θ軸方向の駆動手段としては、ボールネジやリニアモータ等の既存の技術が用いられるが、これらの図示は省略する。
【００１８】
制御装置６０は、テーブル１０のＸ方向及びＹ方向並びにθ軸方向の移動を制御し、インクジェットヘッドユニット４０の噴出条件、スライドフレーム１３に対する角度及びスライドフレーム１３に沿った方向の移動を制御し、さらに反射光検出ヘッド７０からの検出信号を処理すると共に反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系をテーブル１０のθ軸方向の回転に応じて回転制御する。
【００１９】
図３は、スペーサ形成装置のテーブル、インクジェットヘッドユニット及び検出光学系が制御装置によって回転制御された状態を示す図である。図において、インクジェットヘッドユニット４０は、図２に対してθ軸方向を時計方向に約１０度回転制御されている。反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系並びにテーブル１０は、図２に対してθ軸方向を半時計方向に約５度回転制御されている。従って、インクジェットヘッドユニット４０とテーブル１０上のカラーフィルタ基板２０とは、相対的にθ軸方向を約１５度の角度で交差したことになる。このとき、テーブル１０上のカラーフィルタ基板２０と反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系はθ軸方向においてほぼ同じ角度となる。これによって、検出光学系による基板上の所定位置にスペーサが塗布されたか否かを正確に検査することができるようになる。
【００２０】
図４は、本発明の一実施の形態に係るスペーサ形成装置及び液晶パネルの製造装置の処理の一例を示すフローチャートである。図４（ａ）は本発明の一実施の形態によるスペーサ形成装置の処理の一例を示すフローチャート、図４（ｂ）は本発明の一実施の形態による液晶パネルの製造装置の処理の一例を示すフローチャートである。
【００２１】
図４（ａ）のスペーサ形成装置の処理の一例では、まず、球状粒子（スペーサ）及び熱硬化性樹脂を含むインクを、図１〜図３に示したスペーサ形成装置のインクジェットヘッド４０を用いて、カラーフィルタ基板２０の表面へ噴射し（ステップ１０１）、カラーフィルタ基板２０上に球状粒子及び熱硬化性樹脂からなるスペーサを配置する。そして、カラーフィルタ基板２０を低温で加熱することにより（ステップ１０２）、熱硬化性樹脂を硬化させ、カラーフィルタ基板２０上に球状粒子及び熱硬化性樹脂からなるスペーサを形成する。
【００２２】
図５は、カラーフィルタ基板上のスペーサの配置例を示す図である。通常、カラーフィルタ基板２０の内部には、格子状の遮光層（ブラックマトリックス）２２が形成されており、この遮光層２２の格子内にＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタエレメント２３１〜２３４が形成されている。この実施の形態では、インクジェットヘッド４０を用いて、複数の球状粒子２１〜２８及び熱硬化性樹脂としてポリイミド樹脂を含むインク１を遮光層２２の上方の所定位置へ正確に噴射し、複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂からなるインク１を、遮光層２２の所定位置に塗布している。
【００２３】
図５において、各カラーフィルタエレメント２３１〜２３４は、矩形状をしており、その周囲は樹脂製又はクロムからなる遮光層（ブラックマトリックス）２２で仕切られている。各カラーフィルタエレメント２３１〜２３４にはＲＧＢのインクが噴出されており、Ｒ，Ｇ，Ｂの順番に並んでいる。
【００２４】
ポリイミド樹脂からなるインク１は、適度な粘性を有するので、インクジェットヘッド４０を用いてカラーフィルタ基板２０へ噴射したとき、カラーフィルタ基板２０上でインクの広がりが少なく、図５に示す様に、インク１に含まれる複数の球状粒子２１〜２８が狭い領域に集まって配置されるようになっている。
【００２５】
図４（ｂ）の液晶パネルの製造装置の処理の一例では、まず、図４（ａ）に示したスペーサ形成装置の処理の一例を用いてカラーフィルタ基板２０上の遮光層２２の所定位置に球状粒子２１〜２８からなるスペーサを形成する（ステップ２０１）。次に、カラーフィルタ基板２０の周囲にシール材を塗布し、カラーフィルタ基板２０上に液晶を滴下する（ステップ２０２）。そして、球状粒子２１〜２８からなるスペーサを介して、カラーフィルタ基板２０にＴＦＴ基板を重ね合わせる（ステップ２０３）。以上の処理を経て、液晶パネルが製造される。
【００２６】
図６は、カラーフィルタ基板２０上のブラックマトリクス（フィルタエレメント）内にＲＧＢのインクが噴出された状態と反射光検出ヘッドの検出視野との位置関係を示す図である。図６において、各フィルタエレメントは、矩形状をしており、その周囲は樹脂製又はクロムで仕切られている。各フィルタエレメントにはＲＧＢのインクが噴出されており、上段左側からＢ，Ｒ，Ｇ，Ｂ，Ｒ，Ｇの順番に並んでいる。
【００２７】
点線で示す長方形７０ａ，７０ｂ，７０ｃは、反射光検出ヘッド７０の検出視野を模式的に示したものである。検出視野７０ａは、フィルタエレメント間のほぼ中間付近に反射光検出ヘッド７０が位置する場合を示し、検出視野７０ｂは、上下方向のフィルタエレメント間のほぼ中央付近に反射光検出ヘッド７０が位置する場合を示し、検出視野７０ｃは、図３に示すように、テーブル１０が半時計方向に約５度回転し、反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系が回転しなかった場合を示す。この場合、テーブル１０上のカラーフィルタ基板２０と反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系とは、相対的に約５度の角度で交差したことになる。
【００２８】
図７は、各検出視野における反射光検出ヘッドの検出信号の一例を示す図である。図７（Ａ）は図６の検出視野７０ａにおける反射光検出ヘッド７０の反射光検出信号、図７（Ｂ）は図６の検出視野７０ｂにおける反射光検出ヘッド７０の反射光検出信号、図７（Ｃ）は検出視野７０ｃにおける反射光検出ヘッド７０の反射光検出信号をそれぞれ示す図である。
【００２９】
図７（Ａ）の反射光検出信号は、図６に示すようにカラーフィルタエレメントのほぼ中央付近に反射光検出ヘッド７０の検出視野７０ａが存在し、インクジェットヘッド４０から複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１が噴射されていないか、又はインク噴出後であるがカラーフィルタ基板２０が低温加熱されて熱硬化性樹脂が硬化した後に、反射光検出ヘッド７０で受光された反射光検出信号の一例を示す。この反射光検出信号は樹脂製又はクロムからなる遮光層（ブラックマトリックス）２２上で反射が大きく、カラーフィルタエレメント上で反射が小さいことを示しており、カラーフィルタエレメントの配列に対応した規則正しい信号となっている。
【００３０】
図７（Ｂ）の反射光検出信号は、図６に示すように上下方向のカラーフィルタエレメントとカラーフィルタエレメントとの間の遮光層（ブラックマトリックス）２２のほぼ中央付近に反射光検出ヘッド７０の検出視野７０ｂがあり、インクジェットヘッド４０から複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１が噴射されていないか、又はインク噴出後であるがカラーフィルタ基板２０が低温加熱されて熱硬化性樹脂が硬化した後に、反射光検出ヘッド７０で受光された反射光検出信号の一例を示す。この反射光検出信号は反射の大きな樹脂製又はクロムからなる遮光層（ブラックマトリックス）２２上における反射信号なので、全体的に高い信号を示しており、同じくカラーフィルタエレメントの配列に対応した規則正しい信号となっている。
【００３１】
図７（Ｃ）の反射光検出信号は、図６の検出視野７０ｃに示すようにテーブル１０上のカラーフィルタ基板２０と反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系とが相対的に約５度の角度で交差した場合の信号の一例を示している。この反射光検出信号は反射光検出ヘッド７０の配列方向とフィルタエレメントの配列方向が一致しておらず、θ成分が存在するために不安定である。このような場合には、アライメントマークを使用して図７（Ａ）又は（Ｂ）のレベルに合致するように、反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系を回転制御する。
【００３２】
制御装置６０は、テーブル１０上のカラーフィルタ基板２０と反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０からなる検出光学系とがほぼ同じ角度となるように制御する場合に、両者の角度を機械的に同じになるように調整した後に、上述のように反射光検出信号に基づいて両者の角度を微調整するようにしてもよいし、いずれか一方の角度調整方法を実行するようにしてもよい。
【００３３】
図８は、インクジェットヘッドからスペーサを含むインクが噴射された直後の各検出視野における反射光検出ヘッドの検出信号の一例を示す図である。図８（ａ）は、図７（Ａ）に対応したものであり、インクジェットヘッド４０から複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１が遮光層（ブラックマトリックス）２２のほぼ中央付近に噴射された直後に、反射光検出ヘッド７０で受光された反射光検出信号の一例を示す。この反射光検出信号は遮光層（ブラックマトリックス）２２上で反射が大きく、カラーフィルタエレメント上で反射が小さく減衰していることを示しているが、複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１がその遮光層（ブラックマトリックス）２２のほぼ中央付近に噴出塗布された直後なので、光沢を有するインク１による反射によって遮光層（ブラックマトリックス）２２からの反射光が激減するために、図８（ａ）に示すように、図７（Ａ）の波形に比べて、約３０パーセント程度の波高値の減衰が見られる。
【００３４】
図８（ｂ）は、図７（Ｂ）に対応したものであり、インクジェットヘッド４０から複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１が遮光層（ブラックマトリックス）２２のほぼ中央付近に噴射された直後に、反射光検出ヘッド７０で受光された反射光検出信号の一例を示す。この反射光検出信号は遮光層（ブラックマトリックス）２２上における反射信号なので、全体的に高い信号を示しており、カラーフィルタエレメントの配列に対応した規則正しい信号となっているが、複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１がその遮光層（ブラックマトリックス）２２のほぼ中央付近に噴出塗布された直後なので、光沢を有するインク１による反射によって遮光層（ブラックマトリックス）２２からの反射光が減少するために、図７（Ｂ）の波形に比べて、図８（ａ）と同様の減衰が見られる。
【００３５】
この実施の形態では、反射光検出ヘッド７０及びＬＥＤ光源８０を用いて、複数の球状粒子２１〜２８及びポリイミド樹脂を含むインク１の未塗布状態で、図７（Ａ）及び（Ｂ）の検出信号を取り、それに基づいてスペーサ形成用パッド表面の汚れ、表面状態、形状欠陥等を検出し、欠陥が連続したり、欠陥限度を超えた場合は、早期にプロセス問題として抽出する。また、検出された図７（Ａ）及び（Ｂ）の信号を一時的に記憶しておき、塗布後の図８（ａ）及び（ｂ）の波形と比較検討して、スペーサ形成用のインク１の未塗布位置を特定したり、未噴出ノズルの特定を行なう。未塗布位置や未噴出ノズルが特定された場合、リペア及びノズル詰まり修正限度を発見し、プロセス問題として抽出する。
【００３６】
上述の実施の形態では液晶パネルを例に説明したが、これに限らず、本発明は、スペーサを介して２枚の表示用パネル基板を重ね合わせた表示用パネル等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスペーサ形成装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１のスペーサ形成装置を上から見た図である。
【図３】スペーサ形成装置のテーブル、インクジェットヘッドユニット及び検出光学系が制御装置によって回転制御された状態を示す図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るスペーサ形成装置及び液晶パネルの製造装置の処理の一例を示すフローチャートである。
【図５】カラーフィルタ基板上のスペーサの配置例を示す図である。
【図６】カラーフィルタ基板上のブラックマトリクス（フィルタエレメント）内にＲＧＢのインクが噴出された状態と反射光検出ヘッドの検出視野との位置関係を示す図である。
【図７】各検出視野における反射光検出ヘッドの検出信号の一例を示す図である。
【図８】インクジェットヘッドからスペーサを含むインクが噴射された直後の各検出視野における反射光検出ヘッドの検出信号の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０…テーブル
１１…ベース
１２…Ｘガイド
１３…スライドフレーム
１４…移動台
２０…カラーフィルタ基板
２１〜２８…球状粒子
２２…遮光層
２３１〜２３４…カラーフィルタエレメント
４０…インクジェットヘッド
５０…インクタンク
６０…制御装置
７０…反射光検出ヘッド
８０…ＬＥＤ光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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