(57)【要約】【課題】判定時間の長期化を抑制しつつ、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を同時期に判定することが可能な半導体試験装置を提供する。【解決手段】半導体試験装置１は、被試験デバイス５０に対して信号を出力し、被試験デバイス５０の複数のピンから得られるそれぞれの結果信号に基づいて被試験デバイス５０の良否を判定するものである。この半導体試験須知１は、設定されたオフセット値及び分解能に基づいて、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を複数のピンからのそれぞれの結果信号毎に判断し、判断された切り替わり時間に応じて、次回のオフセット値を結果信号毎に設定すると共に、判定タイミング設定部より設定された分解能よりも次回の分解能を高く設定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスに対して信号を出力し、被試験デバイスから得られる結果信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する半導体試験装置であって、
ハイレベル又はロウレベルの信号を被試験デバイスに出力する信号出力部と、
被試験デバイスから得られる結果信号の判定開始時刻を示すオフセット値、及び、被試験デバイスから得られる結果信号を判定する際の分解能を設定する判定タイミング設定部と、
前記信号出力部から出力されたハイレベル又はロウレベルの信号に応じて、被試験デバイスから出力される結果信号を入力し、前記判定タイミング設定部により設定されたオフセット値及び分解能に基づいて、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を結果信号毎に判断する結果判断部と、
前記結果判断部により判断された切り替わり時間に応じて、次回のオフセット値を結果信号毎に算出すると共に、前記判定タイミング設定部より設定された分解能よりも次回の分解能を高くする判定タイミング制御部と、を備え、
前記判定タイミング設定部は、前記判定タイミング制御部によって算出されたオフセット量を結果信号毎に設定すると共に、前記判定タイミング制御部によって高くされた分解能を設定する
ことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
プログラムに従った信号を前記判定タイミング制御部に出力するパターン発生部と、
前記判定タイミング設定部が設定する分解能を複数記憶した記憶部と、を備え、
前記判定タイミング設定部は、前記分解能を設定する場合、前記判定タイミング制御部からの指示に従って、前記記憶部に記憶される複数の分解能から１つを選択する
ことを特徴とする請求項１に記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被試験デバイスに対して信号を出力し、被試験デバイスから得られるそれぞれの結果信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する半導体試験装置が知られている。この半導体試験装置では、被試験デバイスに所定の信号を入力し、得られた結果信号のハイロウの切り替わり時間を判定することで、被試験デバイスの良否を判定する構成となっている（特許文献１参照）。
【０００３】
図５は、従来の半導体試験装置の一例を示す構成図である。図５に示すように、従来の半導体試験装置１００は、パターン発生部１１０と、タイミング発生部１２０と、信号生成判定部１３０とを備えている。
【０００４】
信号生成判定部１３０は、被試験デバイス２００に信号を出力するものであると共に、被試験デバイス２００からの信号に基づいて結果信号のハイロウの切り替わり時間を判定して被試験デバイスの良否を判定するものである。タイミング発生部１２０は、信号生成判定部１３０が出力する信号のハイレベルとロウレベルとを切り替えるタイミング、及び、被試験デバイス２００からの結果信号を判定するタイミングを制御するものである。パターン発生部１１０は、プログラムに従った信号をタイミング発生部１２０に送信するものである。タイミング発生部１２０は、パターン発生部１１０からの信号に基づいて各タイミングを制御することとなる。
【０００５】
図６は、図５に示した従来の半導体試験装置によるハイロウの切り替わり時間の判定方法を示すタイミングチャートである。信号生成判定部１３０は、結果信号のハイロウの切り替わり時間を判定する場合、リニアサーチ又はバイナリサーチによって切り替わり時点を判定する
まず、図６（ａ）に基づいてリニアサーチについて説明する。リニアサーチは、結果信号を所定の分解能で順次判定していくサーチ方法である。すなわち、信号生成判定部１３０は、被試験デバイス２００に信号を出力した時点などから、所定の分解能で順次判定していき、例えば時刻ｔ１において被試験デバイス２００のピン１からの結果信号がロウレベルからハイレベルに切り替わったと判定する。その後、信号生成判定部１３０は、時刻ｔ１以降についても所定の分解能で順次判定していき、例えば時刻ｔ２において被試験デバイス２００のピン２からの結果信号がロウレベルからハイレベルに切り替わったと判定する。
【０００６】
また、バイナリサーチの場合、信号生成判定部１３０は、図６（ｂ）に示すようにまず、時刻ｔａと時刻ｔｂとにおいてピン１からの結果信号がハイレベルであるかロウレベルであるかを判定する。ここで、ピン１からの結果信号は、時刻ｔａではロウレベルであり、時刻ｔｂでハイレベルである。従って、信号生成判定部１３０は、時刻ｔａと時刻ｔｂとの間にハイロウの切り替わり時間が存在すると判定する。
【０００７】
次に、信号生成判定部１３０は、例えば時刻ｔａと時刻ｔｂとの中間的な時刻である時刻ｔｃと、時刻ｔｂにおいてピン１からの結果信号がハイレベルであるかロウレベルであるかを判定する。ここで、ピン１からの結果信号は、時刻ｔｃではロウレベルであり、時刻ｔｂでハイレベルである。従って、信号生成判定部１３０は、時刻ｔｃと時刻ｔｂとの間にハイロウの切り替わり時間が存在すると判定する。
【０００８】
さらに、信号生成判定部１３０は、例えば時刻ｔｃと時刻ｔｂとの中間的な時刻である時刻ｔｄと、時刻ｔｂにおいてピン１からの結果信号がハイレベルであるかロウレベルであるかを判定する。ここで、ピン１からの結果信号は、時刻ｔｄではロウレベルであり、時刻ｔｂでハイレベルである。従って、信号生成判定部１３０は、時刻ｔｄと時刻ｔｂとの間にハイロウの切り替わり時間が存在すると判定する。
【０００９】
このように、バイナリサーチでは、１回の判定毎に次の判定タイミングを決定している。すなわち、時刻ｔａと時刻ｔｂとの判定の後に、次の判定タイミングである時刻ｔｃと時刻ｔｂとを決定している。同様に、時刻ｔｃと時刻ｔｂとの判定の後に、次の判定タイミングである時刻ｔｄと時刻ｔｂとを決定している。そして、以上のような判定を繰り返すことにより、被試験デバイス２００のピン１からの結果信号についてハイロウの切り替わり時間を判定する。
【特許文献１】特開２００６−２１４９１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、従来の半導体試験装置１００においてリニアサーチでは、判定ポイントが多く、判定時間が長くなってしまう。特に、分解能が高い場合には、判定時間は一層長くなってしまう。
【００１１】
また、バイナリサーチでは、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を判定する場合、全てのピンについてハイロウの切り替わり時間が同じでないことから、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を同時期に判定することができない。すなわち、１つのピンからの結果信号に基づいてハイロウの切り替わり時間を判定した後に、他のピンからの結果信号に基づいてハイロウの切り替わり時間を判定しなければならない。
【００１２】
加えて、バイナリサーチでは、１回の判定毎に判定タイミングが異なるため、１回の判定結果毎にパターン発生部１１０からの信号に含まれるストローブ時間の情報を変更しなければならず、プログラムの書き換えが必要となって、判定時間が長くなってしまう。
【００１３】
本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、判定時間の長期化を抑制しつつ、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を同時期に判定することが可能な半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明に係る半導体試験装置は、被試験デバイスに対して信号を出力し、被試験デバイスから得られる結果信号に基づいて被試験デバイスの良否を判定する半導体試験装置であって、ハイレベル又はロウレベルの信号を被試験デバイスに出力する信号出力部と、被試験デバイスから得られる結果信号の判定開始時刻を示すオフセット値、及び、被試験デバイスから得られる結果信号を判定する際の分解能を設定する判定タイミング設定部と、信号出力部から出力されたハイレベル又はロウレベルの信号に応じて、被試験デバイスから得られる結果信号を入力し、判定タイミング設定部により設定されたオフセット値及び分解能に基づいて、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を結果信号毎に判断する結果判断部と、結果判断部により判断された切り替わり時間に応じて、次回のオフセット値を結果信号毎に算出すると共に、判定タイミング設定部より設定された分解能よりも次回の分解能を高くする判定タイミング制御部と、を備え、判定タイミング設定部は、判定タイミング制御部によって算出されたオフセット量を結果信号毎に設定すると共に、判定タイミング制御部によって高くされた分解能を設定することを特徴とする。
【００１５】
この半導体試験装置によれば、設定されたオフセット値及び分解能に基づいて、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を結果信号毎に判断し、判断された切り替わり時間に応じて、次回のオフセット値を結果信号毎に設定すると共に、判定タイミング設定部より設定された分解能よりも次回の分解能を高く設定する。このように、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、これを繰り返すだけなので、リニアサーチのように判定ポイントが多くなり過ぎず、判定時間の長期化を抑制することができる。また、次回のオフセット値を結果信号毎に設定するため、結果信号それぞれについて、ハイとロウとの切り替わり時間が異なっていたとしても、オフセット値を結果信号毎に設定しおけば、切り替わり時間の相異に対応でき、同時期に判定することができる。また、オフセット値を設定しているため、パターン発生部等からの信号に含まれるストローブ時間を変更することなく、プログラムの書き換えが不要となる。よって、判定時間の長期化を抑制することができる。以上より、判定時間の長期化を抑制しつつ、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を同時期に判定することができる。
【００１６】
また、プログラムに従った信号を判定タイミング制御部に出力するパターン発生部と、判定タイミング設定部が設定する分解能を複数記憶した記憶部と、を備え、判定タイミング設定部は、分解能を設定する場合、判定タイミング制御部からの指示に従って、記憶部に記憶される複数の分解能から１つを選択することが好ましい。
【００１７】
この半導体試験装置によれば、プログラムに従った信号を判定タイミング制御部に出力するパターン発生部と、判定タイミング設定部が設定する分解能を複数記憶した記憶部と、を備え、判定タイミング制御部は、分解能を設定する場合、記憶部に記憶される複数の分解能から１つを選択する。このため、記憶部に対する分解能のセットにあたり、パターン発生部からの信号の変更、すなわちプログラムの書き換えが不要となり、プログラムの書き換えなく、分解能を変更でき、計測時間の長期化を一層抑制することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、判定時間の長期化を抑制しつつ、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を同時期に判定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る半導体試験装置を示す構成図である。図１に示すように、半導体試験装置１は、被試験デバイス５０に対して信号を出力し、被試験デバイス５０の複数のピンから得られるそれぞれの結果信号に基づいて被試験デバイス５０の良否を判定するものである。この半導体試験装置１は、パターン発生部１０と、タイミング発生部（判定タイミング設定部）２０と、信号生成判定部（信号出力部、結果判断部）３０と、タイミング判定制御部（判定タイミング制御部）４０とを備えている。なお、本実施形態では複数（２個）の被試験デバイス５０に対して信号を出力し、各被試験デバイス５１，５２の複数（２つ）のピンからの結果信号を入力して複数の被試験デバイス５０の良否を判定する半導体試験装置１について説明する。
【００２０】
パターン発生部１０は、プログラムに従った信号をタイミング判定制御部４０に出力するものである。パターン発生部１０からの信号には、「０」「１」を示すパターン、リターンゼロやノンリターンゼロを示すフォーマット、及びストローブ時間などの情報が含まれる。
【００２１】
信号生成判定部３０は、ハイレベル又はロウレベルの信号を被試験デバイス５０に出力
する信号出力機能を有している。さらに、信号生成判定部３０は、信号出力機能によって出力されたハイレベル又はロウレベルの信号に応じて、被試験デバイス５０の複数のピンから出力されるそれぞれの結果信号を入力し、結果信号毎にハイとロウとの切り替わり時間を判断する結果判断機能を有している。
【００２２】
タイミング発生部２０は、被試験デバイス５０から得られる結果信号の判定開始時刻を示すオフセット値、及び、結果信号を判定する際の分解能を設定するものである。このため、信号生成判定部３０は、タイミング発生部２０によって設定されるオフセット値及び分解能に基づいて、結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を判断することとなる。
【００２３】
図３は、本実施形態に係る半導体試験装置１の動作を示すタイミングチャートである。例えば、図３に示すように、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号に対して、オフセット値が「０」であり、分解能が１００ｎｓである場合、信号生成判定部３０は、以下のようにして結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を判断する。すなわち、信号生成判定部３０は、まず、時間０ｎｓにおいて第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号がハイレベルであるかロウレベルであるかを判断する。ここで、信号生成判定部３０はロウレベルであると判断する。
【００２４】
次に、信号生成判定部３０は、時間１００ｎｓにおいて第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号がハイレベルであるかロウレベルであるかを判断する。そして、信号生成判定部３０はロウレベルであると判断する。次いで、信号生成判定部３０は、時間２００ｎｓにおいて第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号がハイレベルであるかロウレベルであるかを判断する。そして、信号生成判定部３０はハイレベルであると判断する。その後、信号生成判定部３０は、時間３００ｎｓ、時間４００ｎｓ及び時間５００ｎｓについても同様に判断し、結果信号がハイレベルであると判断する。
【００２５】
そして、以上のような結果から、信号生成判定部３０は、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号について、ハイとロウとの切り替わり時間が１００ｎｓ〜２００ｎｓであると判断する。このように、信号生成判定部３０は、設定されたオフセット値と分解能とに基づいて、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかを判定することにより、ハイとロウとの切り替わり時間を判断することとなる。
【００２６】
なお、信号生成判定部３０は、結果信号毎に、ハイとロウとの切り替わり時間を判断するため、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号、第２被試験デバイス５２のピン１からの結果信号、及び、第２被試験デバイス５２のピン２からの結果信号についても切り替わり時間を判断する。そして、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号の切り替わり時間が３００ｎｓ〜４００ｎｓであると判断し、第２被試験デバイス５２のピン１からの結果信号の切り替わり時間が２００ｎｓ〜３００ｎｓであると判断する。同様に、第２被試験デバイス５２のピン２からの結果信号の切り替わり時間が３００ｎｓ〜４００ｎｓであると判断する。
【００２７】
タイミング判定制御部４０は、信号生成判定部３０の結果判断機能によって判断された切り替わり時間に応じて、次回のオフセット値を結果信号毎に算出するものである。例えば、図３を参照して説明した第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号については、ハイとロウとの切り替わり時間が１００ｎｓ〜２００ｎｓである。このため、１００ｎｓ以前については、ハイとロウとの切り替わりがなく、タイミング判定制御部４０は、オフセット値を１００ｎｓと算出する。同様に、タイミング判定制御部４０は、第１被試験デバイス５１のピン２に対してオフセット値を３００ｎｓであると算出し、第２被試験デバイス５２のピン１に対してオフセット値を２００ｎｓであると算出する。同様に、第２被試験デバイス５２のピン２に対してはオフセット値を３００ｎｓであると算出する。
【００２８】
また、タイミング判定制御部４０は、タイミング発生部２０により設定された分解能よりも次回の分解能を高くするように、タイミング発生部２０に指示するものである。図３に示したように、まず、タイミング判定制御部４０は、分解能を１００ｎｓとしていたため、ハイとロウとの切り替わり時間を１００ｎｓの幅をもって判断していた。従って、より詳細に切り替わり時間を判断するためには、分解能を高める必要があり、タイミング判定制御部４０は、次回の切り替わり時間の判断に際し分解能を２０ｎｓとする。
【００２９】
図２は、図１に示したタイミング発生部２０の詳細を示す構成図である。図２に示すように、タイミング発生部２０は、タイミングデータメモリ（記憶部）２１と複数のオフセット追加部２２を備えている。タイミング判定制御部４０は、分解能を変更する場合、タイミング発生部２０に対して、その旨の信号を出力する。また、タイミング発生部２０は、タイミングデータメモリ２１に、設定０のタイミングデータ（分解能１００ｎｓ）、設定１のタイミングデータ（分解能２０ｎｓ）、及び、設定２のタイミングデータ（分解能４ｎｓ）を記憶しており、タイミング判定制御部４０からの信号に応じて、いずれか１つを選択することで、分解能を変更する。また、タイミング判定制御部４０は、算出したオフセット値を各オフセット追加部２２ａ〜２２ｄに送信する。タイミング発生部２０は、各オフセット追加部２２ａ〜２２ｄにおいて、算出されたオフセット値を追加し、信号生成判定部３０に送信する。
【００３０】
この結果、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号については、図３に示すようにして、ハイレベルであるかロウレベルであるかが判定されることとなる。すなわち、信号生成判定部３０は、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号に対して、時間１００ｎｓから時間２００ｎｓまで、２０ｎｓ刻みでハイレベルであるかロウレベルであるかを判定する。そして、図３に示す例において信号生成判定部３０は、ハイロウの切り替わり時間を１６０ｎｓ〜１８０ｎｓであると判断する。他の結果信号についても同様である。
【００３１】
次に、図３及び図４を参照して、本実施形態に係る半導体試験装置１の動作を詳細に説明する。図４は、本実施形態に係る半導体試験装置１の動作を示すフローチャートである。まず、タイミング判定制御部４０は、初回のオフセット値を「０」とする（Ｓ１）。次いで、タイミング判定制御部４０は、タイミング発生部２０のタイミングデータメモリ２１において設定０の分解能が選択されるように信号を送信する。これにより、設定０が選択される（Ｓ２）。そして、信号生成判定部３０は、タイミング発生部２０の指示に応じて、設定０、すなわち分解能１００ｎｓ、及びオフセット値「０」で、結果信号毎にハイとロウとの切り替わり時間を判断する（Ｓ３）。
【００３２】
これにより、信号生成判定部３０は、図３に示す例において第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号の切り替わり時間を１００ｎｓ〜２００ｎｓであると判断する。同様に、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号の切り替わり時間を３００ｎｓ〜４００ｎｓであると判断し、第２被試験デバイス５２のピン１からの結果信号の切り替わり時間を２００ｎｓ〜３００ｎｓであると判断し、第２被試験デバイス５２のピン２からの結果信号の切り替わり時間を３００ｎｓ〜４００ｎｓであると判断する。
【００３３】
そして、図４に示すように、タイミング判定制御部４０は、結果信号毎にオフセット値を算出する（Ｓ４）。具体的に、タイミング判定制御部４０は、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号、第２被試験デバイス５２のピン１の結果信号、及び、第２被試験デバイス５２のピン２の結果信号それぞれについて、オフセット値を１００ｎｓ、３００ｎｓ、２００ｎｓ及び３００ｎｓであると算出する。
【００３４】
その後、タイミング判定制御部４０は、タイミング発生部２０のタイミングデータメモリ２１において設定１の分解能が選択されるように信号を送信する。これにより、設定０が選択される（Ｓ５）。そして、信号生成判定部３０は、タイミング発生部２０の指示に応じて、設定１、すなわち分解能２０ｎｓ、及びステップＳ４において算出したオフセット値で、結果信号毎にハイとロウとの切り替わり時間を判断する（Ｓ６）。
【００３５】
具体的に図３に示す例の場合、信号生成判定部３０は、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号の切り替わり時間を１６０ｎｓ〜１８０ｎｓであると判断し、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号の切り替わり時間を３００ｎｓ〜３２０ｎｓであると判断する。また、第２被試験デバイス５２のピン１からの結果信号の切り替わり時間を２４０ｎｓ〜２６０ｎｓであると判断し、第２被試験デバイス５２のピン２からの結果信号の切り替わり時間を３８０ｎｓ〜４００ｎｓであると判断する。
【００３６】
その後、タイミング判定制御部４０は、結果信号毎にオフセット値を算出する（Ｓ７）。具体的に、タイミング判定制御部４０は、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号、第２被試験デバイス５２のピン１の結果信号、及び、第２被試験デバイス５２のピン２の結果信号それぞれについて、オフセット値を１６０ｎｓ、３００ｎｓ、２４０ｎｓ及び３８０ｎｓであると算出する。
【００３７】
次いで、タイミング判定制御部４０は、タイミング発生部２０のタイミングデータメモリ２１において設定２の分解能が選択されるように信号を送信する。これにより、設定０が選択される（Ｓ８）。そして、信号生成判定部３０は、タイミング発生部２０の指示に応じて、設定１、すなわち分解能４ｎｓ、及びステップＳ７において算出したオフセット値で、結果信号毎にハイとロウとの切り替わり時間を判断する（Ｓ９）。
【００３８】
具体的に図３に示す例の場合、信号生成判定部３０は、第１被試験デバイス５１のピン１からの結果信号の切り替わり時間を１６８ｎｓ〜１７２ｎｓであると判断し、第１被試験デバイス５１のピン２からの結果信号の切り替わり時間を３１２ｎｓ〜３１６ｎｓであると判断する。また、第２被試験デバイス５２のピン１からの結果信号の切り替わり時間を２４８ｎｓ〜２５２ｎｓであると判断し、第２被試験デバイス５２のピン２からの結果信号の切り替わり時間を３９２ｎｓ〜４９６ｎｓであると判断する。そして、図４に示す処理は終了する。
【００３９】
その後、半導体試験装置１は、ステップＳ９において得られた切り替わり時間をもとに、被試験デバイス５０の良否を判定することとなる。
【００４０】
このようにして、本実施形態に係る半導体試験装置１によれば、設定されたオフセット値及び分解能に基づいて、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、結果信号のハイとロウとの切り替わり時間を複数のピンからのそれぞれの結果信号毎に判断し、判断された切り替わり時間に応じて、次回のオフセット値を結果信号毎に設定すると共に、判定タイミング設定部より設定された分解能よりも次回の分解能を高く設定する。このように、所定回数だけハイレベルであるかロウレベルであるかの判定を行い、これを繰り返すだけなので、リニアサーチのように判定ポイントが多くなり過ぎず、判定時間の長期化を抑制することができる。
【００４１】
また、次回のオフセット値を結果信号毎に設定するため、各ピンからの結果信号それぞれについて、ハイとロウとの切り替わり時間が異なっていたとしても、オフセット値を結果信号毎に設定しおけば、切り替わり時間の相異に対応でき、同時期に判定することができる。
【００４２】
また、オフセット値を設定しているため、パターン発生部１０からの信号に含まれるストローブ時間を変更することなく、プログラムの書き換えが不要となる。従って、判定時間の長期化を抑制することができる。
【００４３】
以上より、判定時間の長期化を抑制しつつ、複数のピンからのハイロウの切り替わり時間を同時期に判定することができる。
また、プログラムに従った信号をタイミング判定制御部４０に出力するパターン発生部１０と、タイミング発生部２０が設定する分解能を複数記憶したタイミングデータメモリ２１と、を備え、タイミング発生部２０は、分解能を設定する場合、タイミング判定制御部４０からの指示に応じてタイミングデータメモリ２１に記憶される複数の分解能から１つを選択する。このため、タイミングデータメモリ２１に対する分解能のセットにあたり、パターン発生部１０からの信号の変更、すなわちプログラムの書き換えが不要となり、プログラムの書き換えなく、分解能を変更でき、計測時間の長期化を一層抑制することができる。
【００４４】
以上、本発明に係る半導体試験装置１を実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、変更を加えてもよい。例えば、本実施形態では複数の被試験デバイス５０を有する例を説明したが、これに限らず、被試験デバイス５０は１つであってもよい。また、各被試験デバイス５１，５２の複数のピンからの結果信号を入力して良否を判定する例を説明したが、これに限らず、複数の被試験デバイス５０の１つのピンのみから結果信号を入力して良否を判定するようにしてもよい。
【００４５】
また、本実施形態に係る半導体試験装置１は、切り替わり時間の判断にあたり、分解能を１００ｎｓ、２０ｎｓ及び４ｎｓとし、３回繰り返す構成となっていたが、これに限らず２回又は４回以上繰り返す構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体試験装置を示す構成図である。
【図２】図１に示したタイミング発生部の詳細を示す構成図である。
【図３】本実施形態に係る半導体試験装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図４】本実施形態に係る半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】従来の半導体試験装置の一例を示す構成図である。
【図６】図５に示した従来の半導体試験装置によるハイロウの切り替わり時間の判定方法を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００４７】
１  半導体試験装置
１０  パターン発生部
２０  タイミング発生部
２１  タイミングデータメモリ
２２  オフセット追加部
３０  信号生成判定部
４０  タイミング判定制御部
５０  被試験デバイス
【図１】
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【図２】
2010002187.tif 000004
【図３】
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【図４】
2010002187.tif 000006
【図５】
2010002187.tif 000007
【図６】
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