(57)【要約】【課題】気液混合水により金属・電子機器部材を洗浄するコンパクトな気液混合水洗浄機を提供する。【解決手段】金属・電子機器部材を洗浄する洗浄槽１０と、気液混合水１５を生成する気液混合手段２０と、気液混合１５を安定化する気液混合水安定手段３０とを有し、気液混合手段２０は気液混合ポンプ２１とガス供給口２３と液体供給口２２とを有し、気液混合水安定手段３０は安定槽３６とガス分解器３４とを有し、気液混合手段２０により生成された気液混合水１５は、気液混合水安定手段３０及び洗浄槽１０を経由して、気液混合手段２０に循環する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属・電子機器部材を洗浄する気液混合水洗浄機であって、
前記金属・電子機器部材を洗浄する洗浄槽と、気液混合水を生成する気液混合手段と、前記気液混合水を安定化する気液混合水安定手段とを有し、
前記気液混合手段は気液混合ポンプとガス供給口と液体供給口とを有し、前記気液混合水安定手段は安定槽とガス分解器とを有し、
前記気液混合手段により生成された気液混合水は、前記気液混合水安定手段及び前記洗浄槽を経由して、前記気液混合手段に循環することを特徴とする気液混合水洗浄機。
【請求項２】
前記安定槽は、槽内に複数枚の邪魔板を具備し、前記ガス分解器は、ガス分解用触媒または活性炭を具備することを特徴とする請求項１に記載の気液混合水洗浄機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属・電子機器部材の洗浄に係り、詳しくは、気液混合水により金属・電子機器部材を洗浄するコンパクトな気液混合水洗浄機に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来の気液混合水洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図２において、気液混合水洗浄装置は、洗浄装置４０と気液混合水生成装置５０とから成っている。気液混合水生成装置５０は、水を電気分解することにより、水素ガスとオゾンガスとを生成する。ラインｃ〜Ａから供給されたオゾンガスは、気体透明膜を透過し水に溶解してオゾン水が生成される。ラインｂ〜Ａから供給された水素ガスは、同様に水に溶解して水素水が生成される。もしくは、ラインａ〜Ａによりガスボンベから例えば水素ガスを供給しても良く、同様に水に溶解して水素水が生成される。
【０００３】
これら生成された気液混合水は、それぞれ目的に応じて洗浄装置４０に供給され、洗浄装置４０による洗浄効果を高めている。また、水に溶解し切れなかった気体は、ガス分解されて大気中に放出される。このように、従来の気液混合水洗浄装置においては、気液混合水生成装置５０は洗浄装置４０に対して付帯設備的な意味合いが強く、独立した大掛かりな物となっていた。このため気液混合水洗浄装置の設置においては、装置全体の設置面積が大きくなり、設置コスト、メンテナンスコスト等に問題があった。
【０００４】
特許文献１には、被洗物を入れた洗浄槽内には気体溶解液体がポンプにより供給され、洗浄槽には圧力調整器、バルブを介して圧力気体が供給され、加圧下で被洗物は気体溶解液体中に所定時間浸漬され、その後、バルブを開いて洗浄槽内を一気に減圧すると被洗物、液体中で気泡が発生し、これにより被洗物が洗浄される、旨の記載がある。また特許文献２には、吸液配管及び吸気配管を、吸入配管を介して気液混合ポンプの吸入口に接続し、吐出口に吐出配管を接続し、吐出配管上に抵抗器を設け、抵抗器の内部に障壁板を設け、その下部に半月形状のオリフィスを形成し、気液混合ポンプにおいて、ケーシングの内周に径方向に狭い環状の流体通路を形成し、羽根車の外周に流体通路に突出する多数の攪拌羽根を設け、気液混合ポンプの回転速度をインバータで調整する、旨の記載がある。
【特許文献１】特開平５−６８９５５号公報
【特許文献２】特開２００３−１１７３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、気液混合水により金属・電子機器部材を洗浄するコンパクトな気液混合水洗浄機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の気液混合水洗浄機は、金属・電子機器部材を洗浄する気液混合水洗浄機であって、金属・電子機器部材を洗浄する洗浄槽と、気液混合水を生成する気液混合手段と、気液混合水を安定化する気液混合水安定手段とを有し、気液混合手段は気液混合ポンプとガス供給口と液体供給口とを有し、気液混合水安定手段は安定槽とガス分解器とを有し、気液混合手段により生成された気液混合水は、気液混合水安定手段及び洗浄槽を経由して、気液混合手段に循環することを特徴とする。
【０００７】
本発明の気液混合水洗浄機の安定槽は、槽内に複数枚の邪魔板を具備し、ガス分解器は、ガス分解用触媒または活性炭を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、気液混合水を循環方式にすることにより、金属・電子機器部材を洗浄するコンパクトな気液混合水洗浄機を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による気液混合水洗浄機の構成を示す洗浄機構成図である。図１において、気液混合水洗浄機１００は、金属・電子機器部材を洗浄する洗浄槽１０と、気液混合水を生成する気液混合手段２０と、気液混合水を安定化する気液混合水安定手段３０とを有している。
【００１０】
気液混合手段２０は、ガス供給口２３と液体供給口２２と吐出口２４とを具備する気液混合ポンプ２１と液体供給源２９とガス供給源２８と有し、気液混合水安定手段３０は安定槽３２とガス分解器３４とを有している。気液混合手段２０により生成された気液混合水１５は、気液混合水安定手段３０及び洗浄槽１０を経由して、気液混合手段２０に循環している。安定槽３０は、槽内に複数枚の邪魔板３６を具備し、ガス分解器３４は、ガス分解用触媒または活性炭を具備している。
【００１１】
再び図１において、気液混合手段２０の気液混合ポンプ２１には、ガス供給源２８からガス供給口２３に所定のガスが供給され、洗浄槽１０から溢れた液体が液体供給口２２に供給されて気液混合水１５を生成し、吐出口２４から生成した気液混合水１５を気液混合水安定手段３０に供給する。供給された気液混合水１５は、気液混合水安定手段３０の安定槽３２内の複数枚の邪魔板３６の作るパスを通り、洗浄槽１０に供給される。
【００１２】
気液混合水１５中の未混合または分解したガスは、邪魔板３６の作るパスをゆっくり通過する間に、安定槽３２の上部からガス分解器３４に取り込まれる。ガス分解器３４は、ガス分解用触媒または活性炭を具備しており、取り込まれたガスを分解または吸着し、清浄な気体が外部に排出される。これにより、安定化した気液混合水１５は、洗浄槽１０に供給され、洗浄に必要な所定の水量が蓄積されると共に、溢れた分が気液混合手段２０に戻される。
【００１３】
この循環してきた気液混合水１５に、循環中に失われたガスの量に相当するガスがガス供給源２８からガス供給口２３に供給されて気液混合ポンプ２１により混合され、再び循環を開始する。この循環動作は、洗浄開始から終了まで連続して行われる。この状態で被洗浄物（図示せず）が洗浄槽１０に供給され、洗浄が行なわれる。他に、循環してきた気液混合水１５に、酸性もしくはアルカリ性の液体を液体供給源２９から液体供給口２２に供給され、同時に循環中に失われたガスの量に相当するガスが、ガス供給源２８からガス供給口２３に供給されて気液混合ポンプ２１により混合され、酸性もしくはアルカリ性とした気液混合水１５を生成し、循環させても良い。
【００１４】
図２は、本発明による気液混合水洗浄機の気液混合ポンプの構成を示すポンプ構成図である。図２において、気液混合ポンプ２１は、回転シャフト２５により回転する羽根車２６と隔壁２７とガス供給口２３と液体供給口２２と吐出口２４とを有している。ガス供給源２８からガス供給口２３に所定のガスが供給され、洗浄槽１０から溢れた液体が液体供給口２２に供給されると、供給されたガスと液体は羽根車２６により攪拌されて混合され、気液混合水１５となる。隔壁２７は、供給されたガスと液体と混合された気液混合水１５とを隔離するために設けられている。混合された気液混合水１５は、吐出口２４から気液混合水安定手段３０へ送られる。気液混合ポンプ２１は気体透過膜が不用となるため、気液混合手段２０のコスト削減と長寿命化が可能となる。
【００１５】
以上説明したように本発明によれば、気液混合水を気液混合ポンプに循環させることにより、金属・電子機器部材を洗浄するコンパクトな気液混合水洗浄機を提供することが可能となる。このため、装置全体の設置面積がコンパクトとなり、設置コスト、メンテナンスコスト等が軽減される。また、安定槽と洗浄槽の接続距離を必要最短距離にすることが可能となり、気液混合水の洗浄力を長時間維持できる。さらに、気液混合ポンプにより気体透過膜が不用となるため、気液混合手段のコスト削減と長寿命化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明による気液混合水洗浄機の構成を示す洗浄機構成図。
【図２】本発明による気液混合水洗浄機の気液混合ポンプの構成を示すポンプ構成図。
【図３】従来の気液混合水洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【符号の説明】
【００１７】
１０  洗浄槽
１５  気液混合水
２０  気液混合手段
２１  気液混合ポンプ
２２  液体供給口
２３  ガス供給口
２４  吐出口
２５  シャフト
２６  羽根車
２７  隔壁
２８  ガス供給源
２９  液体供給源
３０  気液混合水安定手段
３２  安定槽
３４  ガス分解器
３６  邪魔板
４０  洗浄装置
５０  気液混合水生成装置
１００  気液混合水洗浄機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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