(57)【要約】【課題】両側テレセントリック光学系において、装置サイズに比して投影面積を大きくするとともに高い解像力を得る。【解決手段】第１群Ｇ１を、２枚以上の正レンズＬ１，Ｌ２，Ｌ３からなるものとし、第２群Ｇ２を、縮小側（矢印ｓの側）から順に配された、絞りＳｔの側に凹面を向けた１枚の負レンズＬ５と絞りＳｔの側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズＬ６とからなるものとし、第３群Ｇ３を、縮小側から順に配された、絞りＳｔの側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズＬ７と絞りＳｔの側に凹面を向けた１枚の負レンズＬ８とからなるものとし、第４群Ｇ４を、正のパワーを持つものとし、最も縮小側に配された１枚以上の正レンズＬ９、Ｌ１０と、最も拡大側（矢印ｅの側）に配された２枚以上の正レンズＬ１３、Ｌ１４と、それらの間に配された１枚以上の負レンズＬ１１，１２とからなるものとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縮小側から拡大側に向けて順に、第１群、第２群、絞り、第３群、第４群を備え、
前記第１群は、２枚以上の正レンズを含み、
前記第２群は、前記縮小側から順に配置された、前記絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズと前記絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズとからなるものであり、
前記第３群は、前記縮小側から順に配置された、前記絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズと前記絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズとからなるものであり、
前記第４群は、正のパワーを持つものであり、最も前記縮小側に配置された１枚以上の正レンズからなるレンズ部と、最も前記拡大側に配置された２枚以上の正レンズからなるレンズ部と、前記縮小側に配置された前記レンズ部と前記拡大側に配置された前記レンズ部との間に配置された１枚以上の負レンズとを含むものであることを特徴とする両側テレセントリック光学系。
【請求項２】
前記第１群は、最も前記縮小側に配された前記正レンズが曲率半径の絶対値の大きい方のレンズ面を前記縮小側に向け、最も前記拡大側に配された前記正レンズが曲率半径の絶対値の大きい方のレンズ面を前記拡大側に向けてなるものであり、
前記第４群は、最も前記拡大側に隣接配置された２枚の前記正レンズが凸面を対向させて配置されたものであることを特徴とする請求項１記載の両側テレセントリック光学系。
【請求項３】
前記第１群が、３枚または４枚の正レンズからなるものであることを特徴とする請求項１または２記載の両側テレセントリック光学系。
【請求項４】
前記第４群が、正レンズのみが１枚以上配置された第１のレンズ部と、負レンズのみが１枚以上配置された第２のレンズ部と、正レンズのみが２枚以上配置された第３のレンズ部とからなり、前記第１のレンズ部、前記第２のレンズ部、前記第３のレンズ部を縮小側から拡大側に向けてこの順に配置してなるものであることを特徴とする請求項１または２記載の両側テレセントリック光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縮小側および拡大側のいずれにおいても主光線がレンズ光軸に対して平行な両側テレセントリック光学系に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、１μｍ未満の線幅からなる半導体素子の回路パターンを投影するための両側テレセントリック光学系からなる投影レンズが知られている。このような解像力の高い投影レンズとして、例えば、２０枚以上のレンズで構成され、縮小側のＮＡの値が０．６以上の高い解像力を有するものが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
また、比較的レンズ枚数の少ない、両側テレセントリック光学系からなる投影レンズとして、１０枚程度のレンズからなり投影倍率の誤差を補正するためのフローティング機構を備えた投影レンズも知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−８６１２８号公報
【特許文献２】特開平０９−３３８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、例えば液晶マスク等を作成するための投影レンズとして、１μｍ未満の線幅の回路パターンを投影するほどの解像力は要求されないが、広い投影範囲の全体に亘って高精度な投影が可能で装置サイズを小さくした投影レンズを採用したいという要請がある。
【０００６】
しかしながら、上記線幅１μｍ未満の回路パターンの投影に用いられるような投影レンズは装置サイズが大きくなるという問題がある。一方、上記投影倍率の補正機構を有する投影レンズは、使用するレンズ枚数が少なく装置サイズが比較的小さいが、収差の補正が不十分であり、装置サイズに比して投影面積が小さいという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、装置サイズに比して投影面積が大きく高い解像力を有する両側テレセントリック光学系を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の両側テレセントリック光学系は、縮小側から拡大側に向けて順に、第１群、第２群、絞り、第３群、第４群を備え、第１群は２枚以上の正レンズを有するものであり、第２群は、前記縮小側から順に配置された、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズとからなるものであり、第３群は、縮小側から順に配置された、絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズとからなるものであり、第４群は、正のパワーを持つものであり、最も縮小側に配置された１枚以上の正レンズからなるレンズ部と、最も拡大側に配置された２枚以上の正レンズからなるレンズ部と、縮小側に配置された前記レンズ部と拡大側に配置された前記レンズ部との間に配置された１枚以上の負レンズとを有するものであることを特徴とするものである。
【０００９】
また、前記第２群は、２枚のレンズのみで構成されたものであり、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズ、絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズを縮小側からこの順に配置してなるものである。
【００１０】
また、前記第３群は、２枚のレンズのみで構成されたものであり、絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズ、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズを縮小側からこの順に配置してなるものである。
【００１１】
前記第１群を、最も縮小側に配された正レンズが曲率半径の絶対値の大きい方のレンズ面を縮小側に向け、最も拡大側に配された正レンズが曲率半径の絶対値の大きい方のレンズ面を拡大側に向けてなるものとし、前記第４群を、最も拡大側に隣接配置された２枚の正レンズが凸面を対向させて配置されたものとすることが望ましい。すなわち、前記第４群を、最も拡大側に隣接配置された２枚の正レンズのうち、拡大側に配置された一方の正レンズの縮小側のレンズ面が凸面をなし、この一方の正レンズの縮小側に隣接配置された他方の正レンズの拡大側のレンズ面が凸面をなすものとすることが望ましい。
【００１２】
前記第１群は、３枚または４枚の正レンズからなるものとすることができる。
【００１３】
前記第４群は、正レンズのみが１枚以上配置された第１のレンズ部と、負レンズのみが１枚以上配置された第２のレンズ部と、正レンズのみが２枚以上配置された第３のレンズ部とからなり、前記第１のレンズ部、前記第２のレンズ部、前記第３のレンズ部を縮小側から拡大側に向けてこの順に配置してなるものとすることができる。
【００１４】
上記本発明の両側テレセントリック光学系は、縮小側から拡大側に向けて順に、第１群、第２群、絞り、第３群、第４群を備え、第１群は、２枚以上の正レンズからなるものであり、第２群は、縮小側から順に配置された、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズとからなるものであり、第３群は、縮小側から順に配置された、絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズとからなるものであり、第４群は、正のパワーを持つものであり、最も縮小側に配置された１枚以上の正レンズからなるレンズ部と、最も拡大側に配置された２枚以上の正レンズからなるレンズ部と、縮小側に配置された前記レンズ部と拡大側に配置された前記レンズ部との間に配置された１枚以上の負レンズとからなるものとすることができる。
【００１５】
ここで、前記第１群は、正レンズのみで構成されたものであり、２枚以上のレンズからなるものである。
【００１６】
また、前記第２群は、２枚のレンズのみで構成されたものであり、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズ、絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズを縮小側からこの順に配置してなるものである。
【００１７】
また、前記第３群は、２枚のレンズのみで構成されたものであり、絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズ、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズを縮小側からこの順に配置してなるものである。
【００１８】
また、正のパワーを持つ前記第４群は、正レンズのみが１枚以上配置された第１のレンズ部と、負レンズのみが１枚以上配置された第２のレンズ部と、正レンズのみが２枚以上配置された第３のレンズ部とからなり、前記第１のレンズ部、前記第２のレンズ部、前記第３のレンズ部を縮小側から拡大側に向けてこの順に配置してなるものである。このように、本発明の両側テレセントリック光学系は、絞りより縮小側に負レンズが１枚のみ配置されるように構成されたものとすることができる。
【００１９】
前記第１群を、最も縮小側に配された正レンズが曲率半径の絶対値の大きい方のレンズ面を縮小側に向け、最も拡大側に配された正レンズが曲率半径の絶対値の大きい方のレンズ面を拡大側に向けてなるものとし、前記第４群を、最も拡大側に隣接配置された２枚の正レンズが凸面を対向させて配置されたものとすることが望ましい。すなわち、前記第４群を、最も拡大側に隣接配置された２枚の正レンズのうち、拡大側に配置された一方の正レンズの縮小側のレンズ面が凸面をなし、この一方の正レンズの縮小側に隣接配置された他方の正レンズの拡大側のレンズ面が凸面をなすものとすることが望ましい。
【００２０】
前記第１群を３枚または４枚の正レンズからなるものとし、前記第４群を、３枚または４枚の正レンズ、および１枚または２枚の負レンズからなるものとすることが望ましい。
【００２１】
なお、前記「絞り側」は、絞りの側を意味するものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の両側テレセントリック光学系によれば、第１群を２枚以上の正レンズを含むものとし、第２群を、縮小側から順に配置された、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズとからなるものとし、第３群を、縮小側から順に配置された、絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズとからなるものとし、第４群を、正のパワーを持つものとし、最も縮小側に配された１枚以上の正レンズからなるレンズ部と、最も拡大側に配置された２枚以上の正レンズからなるレンズ部と、前記縮小側に配置された前記レンズ部と前記拡大側に配置された前記レンズ部との間に配置された１枚以上の負レンズとを含むものとしたので、装置サイズに比して投影面積が大きく高い解像力を有する両側テレセントリック光学系を得ることができる。
【００２３】
すなわち、第１群に２枚以上の正レンズを、第４群の最も拡大側に２枚以上の正レンズを隣接配置するようにしたので、装置サイズ（全長と外径）を大きくすることなく諸収差（主に像面湾曲とコマ収差）の発生を抑制でき、大きな屈折力を得ることができる。
【００２４】
また、第４群の最も縮小側に１枚以上の正レンズを配し、この第４群の最も縮小側に配された１枚以上の正レンズからなるレンズ部と第４群の最も拡大側に配されたの２枚以上の正レンズからなるレンズ部との間に１枚以上の負レンズを配するようにしたので、コマ収差、像面湾曲、倍率色収差の発生を抑制することができる。これにより、上記のように装置サイズに比して投影面積が大きく高い解像力を有する両側テレセントリック光学系を得ることができる。
【００２５】
なお、第２群と第３群とを絞りを間に挟んで略対称形状とすれば、像面湾曲、歪曲収差、色収差を良好に補正することができる。
【００２６】
また、第２群および第３群を構成する各レンズについて、曲率半径の絶対値が小さい方のレンズ面の曲率中心をこのレンズ面よりも絞り側に位置するようにすれば、像面湾曲、歪曲収差、色収差をさらに良好に補正することができる。
【００２７】
また、第１群を、最も縮小側に配された正レンズを曲率半径の絶対値が大きい方の面を縮小側に向け、最も拡大側に配された正レンズを曲率半径の絶対値が大きい方の面を拡大側に向けて配置されたものとし、第４群を、最も拡大側に隣接配置された２枚の前記正レンズを凸面を対向させて配置されたものとすれば、第４群を通る光束を効率良く収束させることができるので、コマ収差と像面湾曲とを良好に補正することができる。
【００２８】
さらに、第１群を３枚または４枚の正レンズからなるものとし、第４群を、３枚または４枚の正レンズ、および１枚または２枚の負レンズからなるものとすれば、効果的に収差を補正することができるので、装置サイズをより小型化するとともに装置コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の投影レンズの概略構成を示す図
【図２】実施例１の投影レンズの概略構成を示す断面図
【図３】実施例２の投影レンズの概略構成を示す断面図
【図４】実施例３の投影レンズの概略構成を示す断面図
【図５】実施例４の投影レンズの概略構成を示す断面図
【図６】実施例５の投影レンズの概略構成を示す断面図
【図７】実施例１の投影レンズの諸収差を示す図
【図８】実施例２の投影レンズの諸収差を示す図
【図９】実施例３の投影レンズの諸収差を示す図
【図１０】実施例４の投影レンズの諸収差を示す図
【図１１】実施例５の投影レンズの諸収差を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の両側テレセントリック光学系を適用した投影レンズの実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３１】
図１は、本発明の投影レンズの概略構成を示す断面図である。
【００３２】
図示の投影レンズ１００は、主に液晶パネルに用いられる液晶マスクの像等を投影するためのものである。この投影レンズ１００は、両側テレセントリック光学系からなり、光軸から軸外までの投影性能の差を少なくするように構成したものであり、単色光に生じる±５ｎｍ程度の波長差について色収差が補正された、明るさが均一でケラレのない投影を実現する性能を有するものである。
【００３３】
この投影レンズ１００は、縮小側開口数；ＮＡ＝０．１〜０．２、共役長；Ｌ＝４７０〜５００ｍｍ、倍率；β＝１．６、縮小側像高；ｈｓ＝２２ｍｍ、拡大側像高；ｈｅ＝３５．２ｍｍの仕様に基づいて形成されたものである。
【００３４】
＜投影レンズの基本構成について＞
はじめに、投影レンズ１００の基本構成について具体的に説明する。
【００３５】
なお、この投影レンズ１００は、縮小側から拡大側に向けて順に、第１群、第２群、絞り、第３群、第４群を備え、第１群は、２枚以上の正レンズを有し、第２群は、縮小側から順に配置された、絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の正メニスカスレンズとからなるものであり、第３群は、縮小側から順に配置された、絞り側とは反対側に凸面を向けた１枚の正レンズと絞り側に凹面を向けた１枚の負レンズとからなるものであり、第４群は、正のパワーを持つものであり、最も縮小側に配置された１枚以上の正レンズのみからなるレンズ部と、最も拡大側に配置された２枚以上の正レンズのみからなるレンズ部と、縮小側に配置されたレンズ部と拡大側に配置されたレンズ部との間に配置された１枚以上の負レンズとを有するものである。
【００３６】
上記投影レンズ１００は、図１に示すように、縮小側（図中矢印ｓの示す側）から拡大側（図中矢印ｅの示す側）に向けて順に、第１群Ｇ１、第２群Ｇ２、開口絞りＳｔ、第３群Ｇ３、第４群Ｇ４を備えている。
【００３７】
なお、図１中の符号Ｌ１〜Ｌ１４は、投影レンズ１００を構成する各レンズを縮小側（図中矢印ｓの示す側）から拡大側（図中矢印ｅの示す側）に向けて順に示すものである。
【００３８】
また、図１中の符号Ｒ１〜Ｒ２９は、上記レンズＬ１〜Ｌ１４の各レンズ面（２８面）と開口絞りＳｔとを示すものである。
【００３９】
符号Ｒ１〜Ｒ１２が、レンズＬ１〜Ｌ６の各レンズ面（１２面）を縮小側から拡大側に向けて順に示している。符号Ｒ１３が開口絞りＳｔを示している。符号Ｒ１４〜Ｒ２９が、レンズＬ７〜Ｌ１４の各レンズ面（１６面）を縮小側から拡大側に向けて順に示している。
【００４０】
第１群Ｇ１は２枚以上の正レンズからなるものであり、ここでは、レンズＬ１、レンズＬ２、レンズＬ３、レンズＬ４の４枚の正レンズから構成されている。
【００４１】
第２群Ｇ２は、縮小側から順に配された、絞り側である開口絞りＳｔの側に凹面Ｒ１０を向けた１枚の負レンズであるレンズＬ５と開口絞りＳｔの側に凹面Ｒ１２を向けた１枚の正メニスカスレンズであるレンズＬ６とから構成されている。
【００４２】
第３群Ｇ３は、縮小側から順に配された、開口絞りＳｔの側に凹面Ｒ１４を向けた１枚の正メニスカスレンズであるレンズＬ７と開口絞りＳｔの側に凹面Ｒ１６を向けた１枚の負レンズであるレンズＬ８とから構成されている。
【００４３】
第４群Ｇ４は正のパワーを持つものである。この第４群Ｇ４は、最も縮小側に配された１枚以上の正レンズからなるレンズ部であるレンズＬ９、Ｌ１０と、最も拡大側に配置された２枚以上の正レンズからなるレンズ部であるレンズＬ１３、１４と、上記縮小側の１枚以上の正レンズであるレンズＬ９、Ｌ１０と上記拡大側の２枚以上の正レンズであるレンズＬ１３、１４との間に配された１枚以上の負レンズであるレンズＬ１１、Ｌ１２とからなるものである。
【００４４】
上記第２群Ｇ２と第３群Ｇ３とは開口絞りＳｔ（Ｒ１３）を間に挟んで略対称な形状をなしている。
【００４５】
また、この投影レンズ１００は、開口絞りＳｔ（Ｒ１３）よりも縮小側に負レンズが１枚のみ配置されるように構成されたものである。
【００４６】
なお、この投影レンズ１００が上記拡大側に像を投影するものとして説明するが、上記縮小側に像を投影するものとして用いることもできる。
【００４７】
上記第１群Ｇ１は、最も縮小側（図中矢印ｓの側）に配された正レンズであるレンズＬ１が曲率半径の絶対値が大きい方のレンズ面Ｒ１を縮小側に向け、最も拡大側（図中矢印ｓの側）に配された正レンズであるレンズＬ４は曲率半径の絶対値が大きい方のレンズ面Ｒ８を拡大側に向けるように構成されている。
【００４８】
上記第４群Ｇ４には、最も拡大側に隣接配置された２枚の正レンズであるレンズＬ１３、１４が、凸面であるレンズ面Ｒ２７と凸面であるレンズ面Ｒ２８とが対向するように配されている。
【００４９】
すなわち、最も拡大側に配された正レンズであるレンズＬ１４の縮小側のレンズ面であるレンズ面Ｒ２８が凸面をなし、このレンズＬ１３に対して縮小側に隣接するレンズであるレンズＬ１３の拡大側のレンズ面であるレンズ面Ｒ２７が凸面をなす。したがって、レンズＬ１３とレンズＬ１４とが凸面を対向させて配置されている。
【００５０】
ここで、上記対向配置されるレンズ面Ｒ２７、Ｒ２８が、レンズＬ１３の曲率半径の絶対値の小さい方のレンズ面とレンズＬ１４の曲率半径の絶対値の小さい方のレンズ面であることが望ましい。
【００５１】
なお、第１群Ｇ１を、３枚または４枚の正レンズからなるものとし、第４群Ｇ４を、３枚または４枚の正レンズ、および１枚または２枚の負レンズからなるものとすることが望ましい。なお、この投影レンズ１００は、第１群Ｇ１が４枚の正レンズからなり、第４群Ｇ４が４枚の正レンズおよび２枚の負レンズからなるものである。
【００５２】
＜具体的な実施例＞
次に、図２〜図１１および表１〜表５を参照し、本発明による実施例１〜実施例５の各投影レンズに係る数値データ等についてまとめて説明する。なお、図２〜図６は、実施例１〜実施例５の投影レンズそれぞれの概略構成を示す断面図である。
【００５３】
また、以下に示す表１〜表５は、実施例１〜実施例５の投影レンズそれぞれの基本的なデータを示す表である。各表中の上部に投影レンズのレンズデータを、下部に投影レンズの概略仕様を記載する。
【００５４】
ここで、実施例１、実施例５はレンズ１４枚で構成されるものである。実施例２、実施例３、および実施例４は、コストダウンを狙って、上記実施例１実施例５よりもレンズを１枚減らしたレンズ１３枚で構成されるものである。
【表１】
2010250124.tif 000003
【表２】
2010250124.tif 000004
【表３】
2010250124.tif 000005
【表４】
2010250124.tif 000006
【表５】
2010250124.tif 000007
【００５５】
表１〜表５の各表中の上部のレンズデータにおいて、レンズ等の面番号を縮小側から拡大側に向かうに従い順次増加するｉ番目（ｉ＝１〜２７、あるいはｉ＝１〜２９）の面番号として示す。なお、これらのレンズデータには、開口絞りＳｔの面番号（ｉ＝１３、またはｉ＝１１）をも含めて記載している。
【００５６】
Ｒｉはｉ番目（ｉ＝１、２、３、…）の面の曲率半径を示し、Ｄｉ（ｉ＝１、２、３、…）はｉ番目の面とｉ＋１番目の面との光軸Ｚ１（図２〜図６参照）上の面間隔を示す。なお、レンズデータの符号Ｒｉは、各図（図２、図３、図４、図５、図６）中のレンズ面や開口絞りを示す符号Ｒｉ（ｉ＝１、２、３、…）と対応している。
【００５７】
また、各レンズデータ中の、ｎ＜４００＞、ｎ＜４０５＞、ｎ＜４１０＞それぞれは、縮小側から拡大側に向かうに従い順次増加するｊ番目（ｊ＝１、２、３、…）の光学要素の波長４００ｎｍ、波長４０５ｎｍ、波長４１０ｎｍそれぞれに対する屈折率を示している。
【００５８】
また、曲率半径および面間隔の単位はｍｍであり、曲率半径の符号は縮小側に凸の場合を正、拡大側に凸の場合を負としている。
【００５９】
表１〜表５の各表中の下部の概略仕様を示す各項目は、以下の内容に対応するものである。
【００６０】
すなわち、各表中には、波長λ＝４０５ｎｍにおける焦点距離；ｆ（ｍｍ）、縮小側開口数；ＮＡ、倍率；β、物点から像面までの距離である共役長；Ｌ（ｍｍ）、縮小側像高；ｈｓ（ｍｍ）、拡大側像高；ｈｅ（ｍｍ）の各項目に関する概略仕様が示されている。なお、この内容については既に説明済みである。
【００６１】
図７〜図１１は、実施例１〜実施例５の投影レンズそれぞれの、各波長についての諸収差を示す図である。
【００６２】
なお、ディストーションの図は、レンズの倍率β、縮小側における物点の光軸からの高さｈ（変数扱い、０≦ｈ≦ｈｅ）を用いて、拡大側の理想像高をｈ×｜β｜とし、それからのずれ量を示す。
【００６３】
各収差図は拡大側に像を投影した状態を表し、像高は各表中の下部に示す拡大側像高に対応する。
【００６４】
実施例１〜５の基本的なデータおよび諸収差を示す図等から分かるように、本発明の投影レンズによれば、装置サイズに比して投影面積が大きく回折限界の性能に近い性能を有する両側テレセントリック光学系を得ることができる。
【００６５】
なお、本発明は、上記実施の形態および各実施例に限定されず種々の変形実施が可能である。例えば、各レンズ成分の曲率半径、面間隔および屈折率の値などは、上記各図中に示した数値に限定されず、他の値を取り得る。
【符号の説明】
【００６６】
Ｇ１    第１群
Ｇ２    第２群
Ｇ３    第３群
Ｇ４    第４群
Ｌ１〜Ｌ１４    レンズ
Ｒ１〜Ｒ２９    レンズ面または開口絞り
Ｓｔ    開口絞り
【図１】
2010250124.tif 000008
【図２】
2010250124.tif 000009
【図３】
2010250124.tif 000010
【図４】
2010250124.tif 000011
【図５】
2010250124.tif 000012
【図６】
2010250124.tif 000013
【図７】
2010250124.tif 000014
【図８】
2010250124.tif 000015
【図９】
2010250124.tif 000016
【図１０】
2010250124.tif 000017
【図１１】
2010250124.tif 000018