(57)【要約】【課題】先端の尖り先において異物が付着しにくい、さらに付着しても吹き飛ばせるようにし、異物付着を抑制して良好な放電特性の長期間の維持を実現するコロナ放電用の放電電極を提供する。【解決手段】内部にガス流路１１１を有する基体部１１０と、一部が尖頭体１２１であってこの尖頭体１２１の傾斜面１２１ａまで連通する傾斜面吹き出し流路１２３を内部に有する先端部１２０と、を備え、先端部１２０は、基体部１１０から尖頭体１２１が突出した状態で基体部１１０に機械的に固定され、基体部１１０と電気的に接続され、かつ、基体部１１０のガス流路１１１と傾斜面吹き出し流路１２３とが連通する放電電極１００とした。【選択図】図１
2010020913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的な導体で形成され、内部にガス流路を有する基体部と、
電気的な導体で形成され、一部が尖頭体であってこの尖頭体の傾斜面まで連通する傾斜面吹き出し流路を内部に有する先端部と、
を備え、先端部は、基体部から尖頭体が突出した状態で基体部に機械的に固定され、基体部と電気的に接続され、かつ、基体部のガス流路と傾斜面吹き出し流路とが連通することを特徴とする放電電極。
【請求項２】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された複数の小物体が固着されて尖頭体を含む形状として形成され、複数の小物体間の隙間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項３】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された複数の直線中実棒体が固着されて尖頭体を含む形状として形成され、複数の直線中実棒体間の隙間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項４】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された複数の直線中空管体が固着されて尖頭体を含む形状として形成され、複数の直線中空管体間の隙間および管内空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項５】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、可撓性を有する電気的な導体であって表面に複数の凸部が形成されるシート体を渦巻状に巻き回して尖頭体を含む形状として形成され、隣接する二枚のシート体と凸部との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項６】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された針状体の周りに一個の直線中空管体を固定して尖頭体を含む形状として形成され、針状体と直線中空管体との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項７】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された針状体の周りに半径が異なる複数個の直線中空管体を多重円筒状となるように固定して尖頭体を含む形状として形成され、針状体と直線中空管体との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項８】
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された針状体を前記基体部に固定して尖頭体を含む形状として形成され、針状体と前記基体部との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする放電電極。
【請求項９】
請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の放電電極において、
前記先端部の尖頭体は、多角錐体または円錐体であることを特徴とする放電電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コロナ放電用の放電電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
コロナ放電用の放電電極の従来技術として、例えば、特許文献１（特開２００７−１３４１４１号公報，発明の名称，イオン化装置の電極針ユニットおよびイオン化装置）に記載された発明が知られている。
特許文献１に記載の従来技術において、電極針は、電極針の基部に近い側の一部で支持部材により支持され、電極針の先端部周囲をエアが流れるようにしている。これにより、電極針の先端付近にある埃・ごみ等がエアにより吹き飛ばされることとなり、埃・ごみ等が付着しないようにしている。
【０００３】
また、他の従来技術として、例えば、特許文献２（特開平８−８８０７４号公報，発明の名称，イオン発生装置用放電電極）に記載された発明が知られている。
さらにまた、他の従来技術として、例えば、特許文献３（特開２００４−２４７１０７号公報，発明の名称，ノズル型放電電極）に記載された発明が知られている。
これら特許文献２，３に記載の従来技術において、ノズル先端を針状に形成し、ノズル中央から吹き出される高速の風にイオンを載せて遠距離までイオンを搬送する、というものである。これら特許文献２，３に記載の従来技術の放電電極でも、風により埃・ごみ等が付着しにくくなるという効果が見込める。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１３４１４１号公報（段落番号［００５５］，図１）
【特許文献２】特開平８−８８０７４号公報（図１，図２）
【特許文献３】特開２００４−２４７１０７号公報（図１，図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の従来技術では、電極針の先端周囲をエアが流れる空間としているが、先端付近で電極針が尖っているため、エアが流れる空間が増大していくにつれてエアが分散して流れていき、特に先端付近の傾斜面ではエアの分散が顕著となってエアの勢いが弱くなるというものであり、万が一電極針の針先端の傾斜面に埃、ごみ、シロキサン等（以下、異物という）が付着すれば、エアで除去することは容易ではなく、異物が僅かではあるが堆積するおそれがあった。特にシリコン樹脂製品に含まれる低分子シロキサンが揮発したガス状のシロキサンが堆積して付着したシロキサンが異物である場合には、半導体用シリコンウェハーなどを製造しているクリーンルームにおいては電気回路の表面に付着すると接点障害が引き起こされるため特に問題があった。
【０００６】
特許文献２，３に記載の従来技術では、電極針の先端側には異物が付着するおそれを低くしているが、電極針の傾斜面や側面に異物が付着すれば、エアが流れていない場合には異物が僅かではあるが堆積するおそれがあった。また、電極が尖り先ではないため、針状の電極と比較して放電特性が良好ではないという問題もあった。
【０００７】
つまり放電電極の傾斜面では内側や外側の何れにエア流が流れていても異物が付着しやすく放電特性が劣化するおそれがあるという問題があった。また、放電電極を尖り先にして針状の放電電極と比較しても劣らない放電特性を確保したいという要請もあった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、先端の尖り先において異物が付着しにくい、さらに付着しても吹き飛ばせるようにし、異物付着を抑制して良好な放電特性の長期間の維持を実現するコロナ放電用の放電電極を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の請求項１に係る放電電極は、
電気的な導体で形成され、内部にガス流路を有する基体部と、
電気的な導体で形成され、一部が尖頭体であってこの尖頭体の傾斜面まで連通する傾斜面吹き出し流路を内部に有する先端部と、
を備え、先端部は、基体部から尖頭体が突出した状態で基体部に機械的に固定され、基体部と電気的に接続され、かつ、基体部のガス流路と傾斜面吹き出し流路とが連通することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の請求項２に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された複数の小物体が固着されて尖頭体を含む形状として形成され、複数の小物体間の隙間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項３に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された複数の直線中実棒体が固着されて尖頭体を含む形状として形成され、複数の直線中実棒体間の隙間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項４に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された複数の直線中空管体が固着されて尖頭体を含む形状として形成され、複数の直線中空管体間の隙間および管内空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項５に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、可撓性を有する電気的な導体であって表面に複数の凸部が形成されるシート体を渦巻状に巻き回して尖頭体を含む形状として形成され、隣接する二枚のシート体と凸部との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項６に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された針状体の周りに一個の直線中空管体を固定して尖頭体を含む形状として形成され、針状体と直線中空管体との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項７に係る放電電極は、
請求項１に記載の放電電極において、
前記先端部は、電気的な導体により形成された針状体の周りに半径が異なる複数個の直線中空管体を多重円筒状となるように固定して尖頭体を含む形状として形成され、針状体と直線中空管体との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項８に係る放電電極は、
前記先端部は、電気的な導体により形成された針状体を前記基体部に固定して尖頭体を含む形状として形成され、針状体と前記基体部との隙間空間により傾斜面吹き出し流路が形成されることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項９に係る放電電極は、
請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の放電電極において、
前記先端部の尖頭体は、多角錐体または円錐体であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
以上のような本発明によれば、先端の尖り先において異物が付着しにくい、さらに付着しても吹き飛ばせるようにし、異物付着を抑制して良好な放電特性の長期間の維持を実現するコロナ放電用の放電電極を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
続いて、本発明を実施するための最良の形態について図に基づいて説明する。図１は本形態の放電電極の説明図であり、図１（ａ）は放電電極の斜視外観図、図１（ｂ）は放電電極の平面図、図１（ｃ）は先端部の一部拡大図である。放電電極１００は、基体部１１０、先端部１２０を備えている。
【００２０】
基体部１１０は、電気的な導体で形成されており、さらにその内部にガス流路１１１を有する。このガス流路１１１にはガスが通流する。なお、本明細書中のガスとはエア（洗浄された空気）、窒素ガスなどの不反応性ガス、希ガス等であり、少なくとも被除電物に噴射可能な気体をいう。本形態では基体部１００は一定長さを有する円管体として形成されており、円管体内部の中空内部がガス流路１１１となる。
【００２１】
先端部１２０は少なくとも一部が円錐体である尖頭体１２１として形成される。本形態では先端部１２０は逆タワー状に形成されている。また、先端部１２０の尖頭体１２１以外の残る箇所の取付部は円柱状に形成されている。この取付部はガス流路１１１の形状・径と一致している。ここに、先端部１２０は、図１（ｃ）で示すように、電気的な導体である小物体１２２（本形態では金属などの電気的な導体による球体）を複数集め、小物体１２２同士の接触面のみ固着して形成した物体である。これは球体である小物体１２２の表面に半田による被膜を形成し、別途用意された治具の先端部と同一形状の穴部内に複数の小物体１２２を配置してから加熱して半田を融着させたのちに冷却して固着形成する。放電電極１００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。このようして形成された先端部１２０は、図１（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように隙間が形成されており、この隙間により尖頭体１２１の傾斜面１２１ａまで連通する傾斜面吹き出し流路１２３が内部に形成される。この傾斜面吹き出し流路１２３は途切れることがない連続する空間である。
【００２２】
そして、この先端部１２０のうち尖頭体１２１が基体部１１０から突出するような状態で、例えば半田付けにより機械的に固定されて放電電極１００が完成される。これにより、基体部１１０と先端部１２０とが電気的に接続されるとともに基体部１１０のガス流路１１１と、先端部１２０の傾斜面吹き出し流路１２３とが連通する。
【００２３】
このような放電電極１００の基体部１１０にガスを供給すると、ガス流路１１１を通じて先端部１２０の傾斜面吹き出し流路１２３へガスが導入され、尖頭部１２０の傾斜面１２１ａのほぼ全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極１００では、浮遊する異物が傾斜面１２１ａに近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、傾斜面１２１ａの全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００２４】
なお、本形態では小物体１２２として球体を想定して説明したが、球体に限定される趣旨ではなく、例えば導電性を有する材料で形成された楕円体、多角形体、凹凸を有する不特定形状の小物体等を用いることができる。
また、尖頭体１２１は、円錐体に限定する趣旨ではなく、例えば多角錐体（三角錐・六角錐等）として形成することができる。
また、基体部１１０も円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とさらに外周面の他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００２５】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体１２１でコロナ放電により直流でプラスイオンまたはマイナスイオン、さらに交流でプラスイオンおよびマイナスイオン（以下、直流と交流とを考慮した上で単にイオンという。）が生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
【００２６】
このような放電電極１００によればほぼ完全な尖頭体１２１であるにも拘わらず尖頭体１２１の傾斜面１２１ａのほぼ全面でガス噴射を行うため、ガス噴射により異物、特に尖頭体１２１の傾斜面１２１ａにガス状のシロキサンは到達できなくなって絶縁性を有するシロキサン等の異物が付着しなくなり、放電電極の長期間にわたる良好な放電特性の維持が可能となり、加えてシロキサン等の異物を被除電物に噴射するおそれもなくなり、被除電物に対して除電のみを確実に行う。また、生成したイオンを傾斜面１２１ａからのガス噴射により放電電極１００から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物の表面へ確実に到達する。
【００２７】
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図２は他の形態の放電電極の説明図であり、図２（ａ）は放電電極の斜視外観図、図２（ｂ）は放電電極の平面図、図２（ｃ）は先端部の平面拡大図、図２（ｄ）は他の先端部の平面拡大図である。放電電極２００は、基体部２１０、先端部２２０を備えている。
基体部２１０は、電気的な導体で形成されており、さらにその内部にガス流路２１１を有する。このガス流路２１１にはガスが通流する。本形態では基体部２１０は円管体として形成されており、管内の中空内部がガス流路２１１となる。
【００２８】
先端部２２０は、少なくとも一部が円錐体である尖頭体２２１として形成される。本形態では先端部２２０は逆タワー状に形成されている。また、先端部２２０の尖頭体２２１以外の残る箇所の取付部は円柱状に形成されている。この取付部はガス流路２１１との形状・径と一致している。ここに、先端部２１０は電気的な導体である直線中実棒体２２２（本形態では電気的な導体による直線丸棒）を複数集め、直線中実棒体２２２同士の接触面のみ固着して形成した物体である。これは直線丸棒である直線中実棒体２２２の表面に半田による被膜を形成し、別途用意された治具の丸穴部内に複数の直線中実棒体２２２を配置してから加熱して半田を融着させて形成する。放電電極２００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。さらに先端を切削加工して尖頭体２２１を形成する。このようして形成された先端部２２０は、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように直線中実棒体２２２の間に隙間が形成され、この尖頭体２２１の傾斜面２２１ａまで連通する傾斜面吹き出し流路２２３が内部に形成される。この傾斜面吹き出し流路２２３は周方向や半径方向には連続せず、上下方向にのみ連続する直線状の複数の空間である。
【００２９】
そして、この尖頭体２２１が基体部２１０から突出するような状態で、例えば半田付けにより機械的に固定されて放電電極２００が完成される。これにより、基体部２１０と先端部２２０とが電気的に接続されるとともに基体部２１０のガス流路２１１と、先端部２２０の傾斜面吹き出し流路２２３とが連通する。
【００３０】
このような放電電極２００の基体部２１０にガスを供給すると、ガス流路２１１を通じて先端部２２０の傾斜面吹き出し流路２２３へガスが導入され、傾斜面２２１ａのほぼ全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極２００では、浮遊する異物が傾斜面２２１ａに近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、傾斜面２２１ａの全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００３１】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体２２１でコロナ放電によりイオンが生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
また、本形態の特徴としてガス噴射の方向が下方に限定されるため、ガス噴射により下方へイオンが噴射されて被除電物へ確実に到達する。
【００３２】
なお、本形態では直線中実棒体として丸棒を想定して説明したが、丸棒に限定される趣旨ではなく、例えば楕円棒、多角形を有する角棒等を用いることができる。
また、尖頭体２２１は、円錐体に限定する趣旨ではなく、例えば多角錐体（三角錐・六角錐等）として形成することができる。
また、基体部２１０も円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とさらに他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００３３】
このような放電電極２００によればガス噴射により特に尖頭体２２１の傾斜面２２１ａに異物が付着しなくなり、良好な放電特性の維持が可能になる。また、生成したイオンを傾斜面２２１ａからの下方へのガス噴射により放電電極から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物へ確実に到達する。
【００３４】
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。この形態では先に図２を用いて説明した放電電極２００のうち丸棒等の直線中実棒体に代えて円管等の直線中空管体を採用した先端部とするものであり、先の形態を改良するものである。この放電電極２００では基体部２１０は先の説明と同じ構成を有するものであり、重複する説明を省略し相違点となる先端部２１０のみ説明する。
【００３５】
先端部２２０は、少なくとも一部が円錐体である尖頭体２２１として形成される。本形態では先端部２２０は逆タワー状に形成されている。また、先端部２２０の尖頭体２２１以外の残る箇所の取付部は円柱状に形成されている。この取付部はガス流路２１１との形状・径と一致している。ここに、先端部２１０は電気的な導体である直線中空管体２２４（本形態では電気的な導体による直線状の円管）を複数集め、直線中空管体２２４同士を接触面のみ固着して形成した物体である。これは円管である直線中空管体２２４の外周表面に半田による被膜を形成し、別途用意された治具の丸穴部内に複数の直線中空管体２２４を配置してから加熱して半田を融着させて形成する。放電電極２００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。さらに先端を切削加工して尖頭体２２１を形成する。このようして形成された先端部２２０は、図２（ｄ）で示すように直線中空管体間に形成される隙間および管内空間により、この尖頭体２２１の傾斜面２２１ａまで連通する傾斜面吹き出し流路２２５が内部に形成される。この傾斜面吹き出し流路２２５は周方向や半径方向には連続せず、上下方向にのみ連続する直線状の複数の空間である。
【００３６】
そして、この尖頭体２２１が基体部２１０から突出するような状態で、例えば半田付けにより機械的に固定されて放電電極２００が完成される。これにより、基体部２１０と先端部２２０とが電気的に接続されるとともに基体部２１０のガス流路２１１と、先端部２２０の傾斜面吹き出し流路２２５とが連通する。
【００３７】
このような放電電極２００の基体部２１０にガスを供給すると、ガス流路２１１を通じて先端部２２０の傾斜面吹き出し流路２２５へガスが導入され、傾斜面２２１ａのほぼ全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極２００では、浮遊する異物が傾斜面２２１ａに近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、傾斜面２２１ａの全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００３８】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体２２１でコロナ放電によりイオンが生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
また、本形態の特徴としてガス噴射の方向が下方に限定され、かつ直線円管２２４の管内空間により流路が増加した傾斜面吹き出し流路２２５を通じてガス噴射が確実になされることとなり、ガス噴射により下方へイオンが噴射されて被除電物へ確実に到達する。
【００３９】
なお、本形態では直線中空管体２２４として円管体を想定して説明したが、円管体に限定される趣旨ではなく、例えば楕円管体、多角形穴を有する管等を用いることができる。
また、尖頭体２２１は、円錐体に限定する趣旨ではなく、例えば多角錐体（三角錐・六角錐等）として形成することができる。
また、基体部２１０も円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とさらに外周面の他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００４０】
このような放電電極２００によればガス噴射により特に尖頭体２２１の傾斜面２２１ａに異物が付着しなくなり、良好な放電特性の維持が可能になる。また、生成したイオンを傾斜面２２１ａからの下方へのガス噴射により放電電極から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物へ確実に到達する。
【００４１】
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図３は他の形態の放電電極の説明図であり、図３（ａ）は放電電極の斜視外観図、図３（ｂ）は放電電極の平面図、図３（ｃ）は先端部の平面拡大図、図３（ｄ）は先端部の側断面図である。図４は先端部の説明図であり、図４（ａ）は製造前の先端部の平面図、図４（ｂ）は製造前の先端部の正面図、図４（ｃ）は製造前の他の先端部の正面図である。放電電極３００は、基体部３１０、先端部３２０を備えている。
基体部３１０は、電気的な導体で形成されており、さらにその内部にガス流路３１１を有する。このガス流路３１１にはガスが通流する。本形態では基体部３１０は円管体として形成されており、管内の中空内部がガス流路３１１となる。
【００４２】
先端部３２０は、少なくとも一部が円錐体である尖頭体３２１として形成される。本形態では先端部３２０は逆タワー状に形成されている。また、先端部３２０の尖頭体３２１以外の残る箇所の取付部は円柱状に形成されている。この取付部はガス流路３１１との形状・径と一致している。ここに、先端部３２０は可撓性を有する電気的な導体（例えば金属板等）により形成され、図４（ａ），（ｂ）で示すように、表面に複数の凸部３２３がランダム配置されて形成されるシート体３２２を渦巻状に巻き回して尖頭体３２１を含むように形成し、接触面のみ固着して形成した物体である。これはシート体３２２および凸部３２３表面に半田による被膜を形成し、別途用意された治具の丸穴部内に、巻き回した状態のシート体３２２を配置してから加熱して半田を融着させて形成する。放電電極３００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。なお、本形態ではシート体の一辺を傾斜部３２２ａとして形成したためシート体３２２を巻き回せば螺旋状の尖り先ができるため、切削加工を不要としている。このようして形成された先端部３２０は、図３（ｃ），（ｄ）で示すように隣接する二枚のシート体３２２と凸部３２３とにより隙間空間が形成され、この尖頭体３２１の傾斜面３２１ａまで連通する傾斜面吹き出し流路３２４が内部に形成される。この傾斜面吹き出し流路３２４は螺旋方向にも連続する空間である。
【００４３】
そして、この尖頭体３２１が基体部３１０から突出するような状態で、例えば半田付けにより機械的に固定されて放電電極３００が完成される。これにより、基体部３１０と電気的に接続されるとともに基体部３１０のガス流路３１１と、先端部３２０の傾斜面吹き出し流路３２４とが連通する。
【００４４】
このような放電電極３００の基体部３１０にガスを供給すると、ガス流路３１１を通じて先端部３２０の傾斜面吹き出し流路３２４へガスが導入され、傾斜面３２１ａのほぼ全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極３００では、浮遊する異物が傾斜面３２１ａに近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、傾斜面３２１ａの全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００４５】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体３２１でコロナ放電によりイオンが生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
また、本形態の特徴としてガス噴射の方向が下方に限定されるため、ガス噴射により下方へイオンが噴射されて被除電物へ確実に到達する。
【００４６】
なお、本形態では図４（ａ），（ｂ）で示すような凸部３２３が形成されたシート体３２２を想定して説明したが、このようなシート体３２２に限定される趣旨ではなく、例えば図４（ｃ）で示すように、シート体３２２の一辺に巻き回し用の軸となる軸部３２５を設けても良い。
また、尖頭体３２１は、円錐体に限定する趣旨ではなく、例えば多角錐体（三角錐・六角錐等）として形成することができる。
また、傾斜部のない長方形状のシート体３２２を巻き回して固着して円柱体を形成し、この円柱体の先端を切削加工して尖頭体３２１を形成するようにしても良い。
また凸部３２３も図４（ｂ），（ｃ）のようにランダムに配置したものではなく、格子状や千鳥状という規則性を有する配置としても良い。
また、基体部３１０も円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とさらに外周面の他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００４７】
このような放電電極３００によればガス噴射により特に尖頭体３２１の傾斜面３２１ａに異物が付着しなくなり、放電特性の維持が可能になる。
また、生成したイオンを傾斜面３２１ａからの下方へのガス噴射により放電電極から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物へ確実に到達する。
【００４８】
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図５は他の形態の放電電極の説明図であり、図５（ａ）は放電電極の斜視外観図、図５（ｂ）は放電電極の平面図、図５（ｃ）は先端部の側断面図である。放電電極４００は、基体部４１０、先端部４２０を備えている。
基体部４１０は、電気的な導体で形成されており、さらにその内部にガス流路４１１を有する。このガス流路４１１にはガスが通流する。本形態では基体部４１０は円管体として形成されており、管内の中空内部がガス流路４１１となる。
【００４９】
先端部４２０は、電気的な導体により形成された針状体４２１とその周りに針状体４２１とは半径が異なる直線中空管体４２３とを支持部４２４により半田付けや銀ロー付け等により固定して針状体４２１の先端と直線中空管体４２３の端部とが傾斜面４２２内にあるように形成されており、このような傾斜面４２２を有する尖頭体と見なされる。この傾斜面４２２には基体部４１０の端部も含めるようにする。この場合針状体４２１は、直線中空管体４２３から突出した構成となる。針状体４２１と直線中空管体４２３との隙間空間により傾斜面吹き出し流路４２５が形成される。本形態では直線中空管体４２３と基体部４１０との隙間空間も含まれる。放電電極４００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。このようして形成された先端部４２０は、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように隙間が形成され、この尖頭体の傾斜面４２２まで連通する傾斜面吹き出し流路４２５が内部に形成される。
【００５０】
そして、この尖頭体が基体部４１０から突出するような状態で、例えば半田付けにより機械的に固定されて放電電極４００が完成される。これにより、基体部４１０と先端部４２０とが電気的に接続されるとともに基体部４１０のガス流路４１１と、先端部４２０の傾斜面吹き出し流路４２５とが連通する。
【００５１】
このような放電電極４００の基体部４１０にガスを供給すると、ガス流路４１１を通じて先端部４２０の傾斜面吹き出し流路４２５へガスが導入され、傾斜面４２２のほぼ全域、特に針状体４２１の周囲の全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極４００では、浮遊する異物が針状体４２１に近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、針状体４２１の全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００５２】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体のうち特に針状体でコロナ放電によりイオンが生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
また、本形態の特徴としてガス噴射の方向が下方に限定されるため、ガス噴射により下方へイオンが噴射されて被除電物へ確実に到達する。
【００５３】
なお、本形態では基体部や先端部の管体が、円管体であるとして説明したが、円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とその外周面に他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００５４】
このような放電電極４００によればガス噴射により尖頭体の傾斜面４２２、特に針状体４２１に異物が付着しなくなり、放電特性の維持が可能になる。また、生成したイオンを下方へのガス噴射により放電電極から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物へ確実に到達する。
【００５５】
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図６は他の形態の放電電極の説明図であり、図６（ａ）は放電電極の斜視外観図、図６（ｂ）は放電電極の平面図である。図７は他の形態の放電電極の説明図であり、図７（ａ）は先端部の斜視外観図、図７（ｂ）は針状体の支持部の説明図、図７（ｃ）は接続部の説明図、図７（ｄ）は接続部の説明図、図７（ｅ）は先端部の断面図である。放電電極５００は、基体部５１０、先端部５２０を備えている。
基体部５１０は、電気的な導体で形成されており、さらにその内部にガス流路５１１を有する。このガス流路５１１にはガスが通流する。本形態では基体部５１０は円管体として形成されており、管内の中空内部がガス流路５１１となる。
【００５６】
先端部５２０は、電気的な導体により形成された針状体５２１とその周りに半径が異なる複数個の直線中空管体５２３とを支持部５２４により半田付けや銀ロー付け等により固定して針体５２１の先端と直線中空管体５２３の端部とが傾斜面５２２内にあるように形成されており、このような傾斜面５２２を有する尖頭体と見なされる。この傾斜面５２２には基体部５１０の端部も含めるようにする。この場合針状体５２１は、直線中空管体５２３から突出した構成となる。ここでより具体的には、図７（ａ）で示すように、径がそれぞれ異なる直線中空管体（大）５２３ａ、直線中空管体（中）５２３ｂ、直線中空管体（小）５２３ｃという３個の円管体により形成すれば良い。さらに支持部５２４として、図７（ｂ）で示すように針状体５２１から突出する突起とし、直線中空管体５２３の内部に設けられる溝部５２３ａに一方の側から挿入されて図７（ｃ），（ｄ）で示すように回転や摺動ができないような状態とし、半田付けや銀ロー付け等により強固に固定する接続部を形成するようにすれば良い。また、針状体５２１と直線中空管体５２３との隙間空間および隣接する二個の直線中空管体５２３の隙間空間により傾斜面吹き出し流路５２５が形成される。本形態では直線中空管体５２３と基体部５１０との隙間空間も含まれる。放電電極５００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。このようして形成された先端部５２０は、図６（ａ），（ｂ）や図７（ａ），（ｅ）で示すように隙間空間が形成され、この尖頭体の傾斜面５２２まで連通する傾斜面吹き出し流路５２５が内部に形成される。
【００５７】
そして、この尖頭体が基体部５１０から突出するような状態で、例えば半田付けにより機械的に固定されて放電電極５００が完成される。これにより、基体部５１０と先端部５２０とが電気的に接続されるとともに基体部５１０のガス流路５１１と、先端部５２０の傾斜面吹き出し流路５２５とが連通する。
【００５８】
このような放電電極５００の基体部５１０にガスを供給すると、ガス流路５１１を通じて先端部５２０の傾斜面吹き出し流路５２５へガスが導入され、傾斜面５２２のほぼ全域、特に針状体５２１の周囲の全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極５００では、浮遊する異物が傾斜面５２２や針状体５２１に近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、傾斜面５２２や針状体５２１の全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００５９】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体のうち特に針状体でコロナ放電によりイオンが生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
また、本形態の特徴としてガス噴射の方向が下方に限定されるため、ガス噴射により下方へイオンが噴射されて被除電物へ確実に到達する。
【００６０】
なお、本形態では基体部や先端部の管体が、円管体であるとして説明したが、円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とその外周面に他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００６１】
このような放電電極５００によればガス噴射により特に尖頭体の傾斜面５２２、特に針状体５２１に異物が付着しなくなり、放電特性の維持が可能になる。また、生成したイオンを下方へのガス噴射により放電電極から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物へ確実に到達する。
【００６２】
続いて、本形態による放電電極における効果について実験を行ったので説明する。図８は放電電極における異物の付着具合を説明する写真であり、図８（ａ）は従来方式の放電電極の写真、図８（ｂ）は本発明の放電電極の使用初期の写真、図８（ｃ）は本発明の放電電極の所定期間経過後の写真である。図８（ｂ），（ｃ）は、図７（ｅ）で示した放電電極５００の針状体５２１の先端であり、図７（ｅ）のＡ部で示した箇所である。従来方式の放電電極では所定期間経過後に図８（ａ）で示すように異物（シロキサン）が付着するが、本発明の方式では図８（ｂ）の使用の初期から図８（ｃ）の所定期間経過後まで経過した後も初期と変わりなく、異物は付着しないことが確認された。
【００６３】
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図９は他の形態の放電電極の説明図であり、図９（ａ）は放電電極の斜視外観図、図９（ｂ）は放電電極の平面図、図９（ｃ）は先端部の側断面図である。放電電極６００は、基体部６１０、先端部６２０を備えている。
基体部６１０は、電気的な導体で形成されており、さらにその内部にガス流路６１１を有する。このガス流路６１１にはガスが通流する。本形態では基体部６１０は円管体として形成されており、管内の中空内部がガス流路６１１となる。
【００６４】
先端部６２０は、電気的な導体により形成された針状体６２１を、同じく電気的な導体により形成された支持部６２３により半田付けや銀ロー付け等により固定して針状体６２１の先端が傾斜面６２２内にあるように形成されており、このような傾斜面６２２を有する尖頭体と見なされる。この傾斜面６２２には基体部６１０の端部も含めるようにする。この場合針状体６２１は、基体部６１０から突出した構成となる。針状体６２１と基体部６１０との隙間空間により傾斜面吹き出し流路６２４が形成される。放電電極６００の放電時の温度よりも融点が高い半田を選択することで、電極として使用できるようになる。このようして形成された先端部６２０は、図９（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように隙間が形成され、この尖頭体の傾斜面６２２まで連通する傾斜面吹き出し流路６２４が内部に形成される。さらに、基体部６１０と先端部６２０とが電気的に接続されるとともに基体部６１０のガス流路６１１と、先端部６２０の傾斜面吹き出し流路６２４とが連通する。
【００６５】
このような放電電極６００の基体部６１０にガスを供給すると、ガス流路６１１を通じて先端部６２０の傾斜面吹き出し流路６２４へガスが導入され、傾斜面６２２のほぼ全域、特に針状体６２１の周囲の全域でガス噴射された状態となる。このような放電電極６００では、浮遊する異物が針状体６２１に近づくと噴射されるガスにより遠方へ吹き飛ばされることとなり、針状体６２１の全面において異物が付着するおそれを著しく低減している。
【００６６】
このようにガス供給しながら直流または交流の高電圧を印加すれば、尖頭体のうち特に針状体でコロナ放電によりイオンが生成され、また、ガス噴射により遠方へイオンが噴射されて被除電物へ到達する。
また、本形態の特徴としてガス噴射の方向が下方に限定されるため、ガス噴射により下方へイオンが噴射されて被除電物へ確実に到達する。
【００６７】
なお、本形態では基体部や先端部の管体が、円管体であるとして説明したが、円管体に限定するものではなく多角形穴を有する管体、管体とその外周面に他の立体（固定用の突体など）が一体になった形状などを採用しても良い。
【００６８】
このような放電電極６００によればガス噴射により尖頭体の傾斜面、特に針状体６２１に異物が付着しなくなり、放電特性の維持が可能になる。
また、生成したイオンを下方へのガス噴射により放電電極から遠方へ遠ざけるため、イオンが被除電物へ確実に到達する。
【００６９】
以上説明した各形態の放電電極は、異物を付着しないようにしたため、良好な放電特性の維持を図り、また、異物を被除電物に噴射しないようにして、被除電物の除電のみを確実に行うようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明を実施するための最良の形態の放電電極の説明図であり、図１（ａ）は放電電極の斜視外観図、図１（ｂ）は放電電極の平面図、図１（ｃ）は先端部の一部拡大図である。
【図２】他の形態の放電電極の説明図であり、図２（ａ）は放電電極の斜視外観図、図２（ｂ）は放電電極の平面図、図２（ｃ）は先端部の拡大図、図２（ｄ）は他の先端部の平面拡大図である。
【図３】他の形態の放電電極の説明図であり、図３（ａ）は放電電極の斜視外観図、図３（ｂ）は放電電極の平面図、図３（ｃ）は先端部の平面拡大図、図３（ｄ）は先端部の側断面図である。
【図４】先端部の説明図であり、図４（ａ）は製造前の先端部の平面図、図４（ｂ）は製造前の先端部の正面図、図４（ｃ）は製造前の他の先端部の正面図である。
【図５】他の形態の放電電極の説明図であり、図５（ａ）は放電電極の斜視外観図、図５（ｂ）は放電電極の平面図、図５（ｃ）は先端部の側断面図である。
【図６】他の形態の放電電極の説明図であり、図６（ａ）は放電電極の斜視外観図、図６（ｂ）は放電電極の平面図である。
【図７】他の形態の放電電極の説明図であり、図７（ａ）は先端部の斜視外観図、図７（ｂ）は針状体の支持部の説明図、図７（ｃ）は接続部の説明図、図７（ｄ）は接続部の説明図、図７（ｅ）は先端部の断面図である。
【図８】放電電極における異物の付着具合を説明する写真であり、図８（ａ）は従来方式の放電電極の写真、図８（ｂ）は本発明の放電電極の使用初期の写真、図８（ｃ）は本発明の放電電極の所定期間経過後の写真である。
【図９】他の形態の放電電極の説明図であり、図９（ａ）は放電電極の斜視外観図、図９（ｂ）は放電電極の平面図、図９（ｃ）は先端部の側断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１００：放電電極
１１０：基体部
１１１：ガス流路
１２０：先端部
１２１：尖頭体
１２１ａ：傾斜面
１２２：小物体
１２３：傾斜面吹き出し流路（隙間）
２００：放電電極
２１０：基体部
２１１：ガス流路
２２０：先端部
２２１：尖頭体
２２１ａ：傾斜面
２２２：直線中実丸棒体（丸棒）
２２３：傾斜面吹き出し流路（隙間）
２２４：直線中空円管体（円管）
２２５：傾斜面吹き出し流路（隙間，管内空間）
３００：放電電極
３１０：基体部
３１１：ガス流路
３２０：先端部
３２１：尖頭体
３２１ａ：傾斜面
３２２：シート体
３２２ａ：傾斜部
３２３：凸部
３２４：傾斜面吹き出し流路（隙間）
３２５：軸部
４００：放電電極
４１０：基体部
４１１：ガス流路
４２０：先端部
４２１：針状体
４２２：傾斜面
４２３：直線中空管体
４２４：支持部
４２５：傾斜面吹き出し流路（隙間空間）
５００：放電電極
５１０：基体部
５１１：ガス流路
５２０：先端部
５２１：針状体
５２２：傾斜面
５２３：直線中空管体
５２３ａ：直線中空管体（大）
５２３ｂ：直線中空管体（中）
５２３ｃ：直線中空管体（小）
５２４：支持部（突起）
５２５：傾斜面吹き出し流路（隙間空間）
６００：放電電極
６１０：基体部
６１１：ガス流路
６２０：先端部
６２１：針状体
６２２：傾斜面
６２３：支持部
６２４：傾斜面吹き出し流路（隙間空間）
【図１】
2010020913.tif 000003
【図２】
2010020913.tif 000004
【図３】
2010020913.tif 000005
【図４】
2010020913.tif 000006
【図５】
2010020913.tif 000007
【図６】
2010020913.tif 000008
【図７】
2010020913.tif 000009
【図９】
2010020913.tif 000010
【図８】
2010020913.tif 000011