(57)【要約】【課題】パターン端部の断面形状が良好なカラーフィルタを作製でき、パターン端部におけるパターン欠けを抑制できるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】着色剤及び／又は遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性樹脂層を、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有する露光マスクを介してパターン露光する露光工程と、パターン露光された感光性樹脂層を現像してパターンを得る現像工程と、現像して得られたパターンを加熱処理するポストベーク工程と、を含む。【選択図】図１
2010020146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤及び／又は遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性樹脂層を、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有する露光マスクを介してパターン露光する露光工程と、
パターン露光された感光性樹脂層を現像してパターンを得る現像工程と、
現像して得られたパターンを加熱処理するポストベーク工程と、
を含むカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記開口パターンの周辺部は、網点状の遮光領域群を有することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記開口パターンの周辺部における遮光領域群の密度は、該開口パターンの中央側からパターン端側に向かうにつれて高くなることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記開口パターンの周辺部における遮光領域のサイズは、前記開口パターンの中央側からパターン端側に向かうにつれて増大することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記感光性樹脂層が着色剤を含有し、基板上に樹脂ブラックマトリクスが形成された樹脂ブラックマトリクス付き基板上に形成された層であり、
前記露光工程は、前記感光性樹脂層のうち前記樹脂ブラックマトリクスとの重なり部を前記開口パターンの周辺部を介して露光し、前記感光性樹脂層のうち前記樹脂ブラックマトリクスとの非重なり部を前記開口パターンの中央部を介して露光することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記着色剤として赤色顔料を含有し、前記感光性樹脂層の全固形分中における前記赤色顔料の含有量が、３０質量％以上であることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
【請求項８】
請求項７に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶表示装置や固体撮像素子に不可欠な構成部品である。
例えば、液晶表示装置（液晶ディスプレイ；ＬＣＤ）用カラーフィルタについては、液晶ディスプレイがＴＶ用途として用いられるようになり、従来のノートパソコン、モニター用途のものに比し、より高品位な画質が求められている。また、大型ＴＶ生産のため基板サイズが拡大しており、歩留まりの向上やコスト削減の要求が大きくなっている。
【０００３】
上記画質の向上に関し、カラーフィルタの製造の際に、ブラックマトリクスと着色画素との境界部分で着色画素が盛り上がり、カラーフィルタが平坦とならないことが原因で画質の劣化が生ずることが問題となっていた（例えば、特許文献１参照）。前記境界部分の盛り上がりは、コントラスト低下や色ムラなどの問題を引き起こす場合がある。このため、従来は、画素作製後、カラーフィルタの表面を研磨したり、画素上にオーバーコート層（以下、「ＯＣ層」と称することがある）を形成することで対応していた。
しかし、研磨やＯＣ層の形成を行うと、カラーフィルタの製造工程が増えてコストが高くなる。その上、研磨の場合には、カラーフィルタが傷つくなどの弊害が発生することもあり、研磨工程やＯＣ層の形成工程を省略できる方法が求められていた。
【０００４】
これに対し、透過領域（開口パターン）の端部に半透過膜（半透過領域）を有する露光マスクを用いて露光を行うことにより、前記境界部分の盛り上がりの問題を解決することが試みられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−１２１８００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の半透過膜を有する露光マスクを用いてパターンを形成した場合、該パターン端部の断面形状が悪化したり（例えば、逆テーパー形となる）、パターン端部においてパターンの欠けが生じたりすることがある。
本発明は上記に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明は、パターン端部の断面形状が良好なカラーフィルタを作製でき、パターン端部におけるパターン欠けを抑制できるカラーフィルタの製造方法を提供すること、パターン端部におけるパターン欠けが抑制され、パターン端部の断面形状が良好なカラーフィルタを提供すること、及び、表示ムラが抑制され、高いコントラストを有する液晶表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞  着色剤及び／又は遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性樹脂層を、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有する露光マスクを介してパターン露光する露光工程と、パターン露光された感光性樹脂層を現像してパターンを得る現像工程と、現像して得られたパターンをポストベークするポストベーク工程と、を含むカラーフィルタの製造方法である。
【０００７】
＜２＞  前記開口パターンの周辺部は、網点状の遮光領域群を有することを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜３＞  前記開口パターンの周辺部における遮光領域群の密度は、該開口パターンの中央側からパターン端側に向かうにつれて高くなることを特徴とする＜２＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜４＞  前記開口パターンの周辺部における遮光領域のサイズは、前記開口パターンの中央側からパターン端側に向かうにつれて増大することを特徴とする＜２＞又は＜３＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【０００８】
＜５＞  前記感光性樹脂層は、基板上に樹脂ブラックマトリクスが形成された樹脂ブラックマトリクス付き基板上に形成された層であり、前記露光工程は、前記感光性樹脂層のうち前記樹脂ブラックマトリクスとの重なり部の少なくとも一部を前記開口パターンの周辺部を介して露光し、前記感光性樹脂層のうち前記樹脂ブラックマトリクスとの非重なり部の少なくとも一部を前記開口パターンの中央部を介して露光することを特徴とする＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜６＞  前記着色剤が赤色顔料を含有し、前記感光性樹脂層の全固形分中における前記赤色顔料の含有量が、３０質量％以上であることを特徴とする＜５＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【０００９】
＜７＞  ＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタである。
＜８＞  ＜７＞に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、パターン端部の断面形状が良好なカラーフィルタを作製でき、パターン端部におけるパターン欠けを抑制できるカラーフィルタの製造方法を提供すること、パターン端部におけるパターン欠けが抑制され、パターン端部の断面形状が良好なカラーフィルタを提供すること、及び、表示ムラが抑制され、高いコントラストを有する液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
≪カラーフィルタ及びその製造方法≫
本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色剤及び／又は遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性樹脂層を、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有する露光マスクを介してパターン露光する露光工程と、パターン露光された感光性樹脂層を現像してパターンを得る現像工程と、現像して得られたパターンをポストベークするポストベーク工程と、を含んで構成される。
また、本発明のカラーフィルタは、前記本発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造されたものである。
【００１２】
近年、フォトリソグラフィによりパターン周辺部（端部）の膜厚がパターン中央部の膜厚よりも薄いパターンを形成する技術として、開口パターン周辺部に半透過膜（遮光部よりも透過率の高い膜）を有する露光マスクを介して感光性樹脂層を露光し、現像することにより、パターン周辺部における露光量をパターン中央部における露光量よりも減少させる技術が検討されている。このような露光マスクは、一般にハーフトーンマスクとよばれている。
【００１３】
しかしながら、上記半透過膜を介した露光においては、露光に用いる光（以下、「露光光」ともいう）の強度が半透過膜を通過する際に弱くなりすぎる場合がある。その結果、感光性樹脂層表面（基板から離れた露出面）付近の硬化に比べて感光性樹脂層内部（前記表面よりも基板に近い部分。以下同じ）の硬化が極端に不足する場合があり、パターン端部の断面形状が悪化（例えば、逆テーパー形となる）したり、パターン端部の欠けが生じたりする場合がある。この傾向は、特に、赤色の感光性樹脂層において顕著である。
【００１４】
半透過膜を用いた露光マスクにおいて上記の問題を解決するには、半透過膜の膜厚を薄くすること等により半透過膜の透過率を調節する必要がある（例えば、スパッタや蒸着等により、遮光部より薄い膜厚の金属膜を形成する必要がある）。ところが、面内均一性良く形成できる膜厚には下限があり、半透過膜の透過率を所望の値に制御できないか、制御できても非常にコストがかかるという問題がある。特に、半透過膜の透過率を段階的に変化させたい場合には、各段階に対応した膜厚としなければならず、格段にコストがかかる。
これに対し、上記本発明では露光光の強度を、半透過膜の透過率（膜厚）ではなく透過領域密度（即ち、遮光領域の密度）により調節する。透過領域密度の調節は従来のマスク描画の技術を用いて行うことができるため、膜厚の調節に比べて格段に容易であり、低コストで行うことができる。
このため、本発明では、半透過膜を用いた露光マスクを用いる場合と比較して、感光性樹脂層内部の硬化を容易に進めることができる。
【００１５】
また、露光マスクの開口パターン周辺部に半透過膜を設けた場合には、露光光は開口パターン周辺部（半透過膜）の全面に渡って弱められた後、感光性樹脂層に照射される。
これに対し、本発明における露光マスクを用いた場合には、開口パターン周辺部の少なくとも一部（透過領域）において、露光光がほとんど弱められることなく感光性樹脂層に照射される。このため、後者においては感光性樹脂層内部にまで露光光を届かせることができ、該内部の硬化を容易に進めることができる。
【００１６】
以上のように、本発明によれば、感光性樹脂層内部の硬化を容易に進めることができ、形成されるパターンの端部の断面形状を向上させることができる。
さらに、樹脂ブラックマトリクスと着色パターンとが重なり部を有するカラーフィルタを作製する際、樹脂ブラックマトリクス及び着色パターンの少なくとも一方を、上記本発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することで、前記重なり部分における着色パターンの盛り上がりを低減できる。
【００１７】
本発明においては、樹脂ブラックマトリクスと着色パターンとの重なり部における着色パターンの盛り上がり（画素内における着色パターン表面から、重なり部における着色パターン表面の最高点までの高さ）を「ツノ高さ」ともいう。
本発明において「パターン」とは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）等の着色パターン（着色画素）や、樹脂ブラックマトリクス（遮光パターン）を指す。
【００１８】
また、本発明において、パターン端部の断面形状について「テーパー形」とは、例えば、図４（Ｂ）のパターン１０２のように、パターン端部の断面においてパターンが基板に密着し、かつ、該パターン端部の断面において基板表面に平行な方向についてパターン中央部側からパターン端部側に向かうにつれて膜厚が薄くなる形状をいう。
また、本発明において、パターン端部の断面形状について「逆テーパー形」とは、例えば、図７のパターン１０６のように、パターン上部側（基板から離れた側）が、パターン下部側（基板に近い側）に対し、基板と平行な方向について該パターンの非形成領域側に向かってひさし状に突き出した形状をいう。
また、本発明において、パターン端部の断面形状について「矩形」とは、例えば、図８の樹脂ブラックマトリクス１１０のように、パターン端部の断面においてパターンが基板に密着し、かつ、パターンと基板との接触面と、パターン側面と、のなす角が９０°である形状をいう。
【００１９】
以下、本発明に用いられる露光マスクについて説明し、引き続き、本発明における露光工程、現像工程、ポストベーク工程、その他の工程、カラーフィルタの製造方法の例、着色パターン、樹脂ブラックマトリクスについて説明し、更に、感光性樹脂層の形成に好適な感光性樹脂組成物について説明する。
【００２０】
＜露光マスク＞
本発明における露光マスクは、遮光パターンと開口パターンとを含んで構成されている。前記開口パターンは、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低くなっている。ここで、透過領域密度とは、単位面積当たりに占める透過領域面積の割合（％）を指す。
【００２１】
図１は、本発明に係る露光マスクにおける透過領域密度の例を概念的に示したグラフである。
図１に示すように、前記開口パターン中央部における透過領域密度は１００％となっており、前記開口パターン周辺部における透過領域密度は０％を超えて１００％未満となっている。遮光パターンにおける透過領域密度は０％となっている。
前記開口パターン周辺部における透過領域密度は、一定であってもよい（例えば、図１中の破線）が、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、開口パターン中央部側から開口パターン端側に向かうにつれて低下することが好ましい（例えば、図１中の実線）。低下の仕方は、図１中実線のように一次関数的に低下することには限られず、多次関数的に低下（不図示）してもよいし、不連続的に低下（例えば、図１中の一点鎖線）してもよい。
【００２２】
開口パターン周辺部において透過領域密度を一定とする場合には、開口パターン周辺部において遮光領域を等サイズとし、かつ遮光領域同士の間隔を等間隔とする形態が好適である。
また、開口パターン周辺部において、透過領域密度が開口パターン中央部側から開口パターン端側に向かうにつれて低下する形態としては、遮光領域のサイズ及び／又は遮光領域群の密度を開口パターン中央部側から開口パターン端側に向けて増大させる形態が好適である（例えば、後述する第１の例及び第２の例参照）。
【００２３】
前記開口パターン周辺部における透過領域密度の最大値（ＴＥ−ＭＡＸ）は、７０％以上１００％未満であることが好ましく、７０％以上９０％以下であることがより好ましい。
前記開口パターン周辺部における透過領域密度の最小値（ＴＥ−ＭＩＮ）は、０％を超えて２０％以下であることが好ましく、０％を超えて１０％以下であることがより好ましい。
前記開口パターン周辺部における透過領域密度の平均値（ＴＥ−ＡＶＥ）は、比率〔開口パターン周辺部における透過領域の全面積／開口パターン周辺部の全面積〕により求められる。前記ＴＥ−ＡＶＥには特に限定はなく、所望とする露光光の強度に応じて適宜調節できる。感光性樹脂層内部の硬化性の観点等からは、１０％以上７０％以下であることが好ましく、２０％以上６０％以下であることがより好ましい。
【００２４】
以下、本発明に用いられる露光マスクの例について、図２〜図６を参照して説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。
【００２５】
図２は、本発明に用いられる露光マスクの第１の例である露光マスク１０を示した平面図である。図２に示すように、露光マスク１０は、遮光パターン１６と開口パターン（開口パターン中央部１４及び開口パターン周辺部１２）とを有している。図２では開口パターンは１つのみとなっているが、１つの露光マスクの中に、このような開口パターンを複数有していてもよく、１つの露光マスクの中に、該開口パターンがマトリクス状に配列されていてもよい。
このような露光マスクにおいて、例えば、１つの開口パターンは、カラーフィルタの１つの着色画素の形成に用いられる。
開口パターン周辺部の幅Ｌには特に限定はないが、テーパー形状の観点からは、１〜８μｍが好ましく、３〜６μｍがより好ましい。
開口パターン全体（開口パターン中央部１４及び開口パターン周辺部１２）の幅（矩形の場合には短辺の長さ）の好ましい範囲については、形成しようとするパターンが着色パターン（着色画素）か樹脂ブラックマトリクスかによって異なる。
着色パターンを形成しようとする場合、開口パターン全体の幅は、８０〜９５μｍが好ましく、８２〜９０μｍがより好ましい。
樹脂ブラックマトリクスを形成しようとする場合、開口パターン全体の幅は、９５〜１０５μｍが好ましく、９７〜１０２μｍがより好ましい。
【００２６】
図３は、図２の露光マスク１０において開口パターン周辺部１２の付近を拡大した様子を示す平面図である。図３に示すように、開口パターン周辺部１２は、透過領域１２Ｂと、網点状に配列された遮光領域１２Ａの群と、から構成されている。一方、開口パターン中央部１４は、全て透過領域となっている。従って、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低くなっている。
更に、露光マスク１０では、遮光領域１２Ａのサイズは、前記開口パターンの中央側からパターン端に向かうにつれて増大している。このため、透過領域密度は前記開口パターンの中央側からパターン端に向かって低下している。
【００２７】
なお、遮光領域１２Ａの形状は、図３のような円形状に限られず、楕円形状、正方形、矩形、多角形状、棒状（又はストライプ状）など、あらゆる形状を適用できる。
遮光領域のサイズは、遮光領域が図３に示すように円形状の場合には直径を指し、遮光領域が楕円形状の場合には短径を指し、遮光領域が正方形の場合には一辺の長さを指し、遮光領域が矩形の場合には短辺の長さを指し、遮光領域が棒状又はストライプ状の場合には幅を指す。
【００２８】
前記第１の例において、開口パターン周辺部における遮光領域のサイズＷの最大値ＷＭＡＸとしては、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、１〜１０μｍが好ましく、１．５〜５μｍがより好ましく、２〜２．５μｍが特に好ましい。
前記第１の例において、開口パターン周辺部における遮光領域のサイズＷの最小値ＷＭＩＮとしては、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、０．１〜３．０μｍが好ましく、０．１〜２．０μｍがより好ましく、０．１〜１．５μｍが特に好ましい。
前記第１の例において、開口パターン周辺部における遮光領域のサイズＷの平均値ＷＡＶＥとしては、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、１．０〜３．０μｍが好ましく、１．３〜２．５μｍがより好ましく、１．８〜２．２μｍが特に好ましい。
【００２９】
前記第１の例において、開口パターン周辺部における遮光領域同士の距離Ｓ（遮光領域端から該遮光領域に隣接する遮光領域端又は遮光パターン端までの最短距離。以下同じ）の最大値ＳＭＡＸとしては、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、０．１〜６μｍが好ましく、１．０〜４．０μｍがより好ましく、１．５〜２．５μｍが特に好ましい。
前記第１の例において、開口パターン周辺部における遮光領域同士の距離Ｓの最小値ＳＭＩＮとしては、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、０〜１．０μｍが好ましく、０〜０．８μｍがより好ましく、０〜０．５μｍが特に好ましい。
前記第１の例において、開口パターン周辺部における遮光領域同士の距離Ｓの平均値ＳＡＶＥとしては、本発明の効果をより効果的に得る観点からは、０〜３．０μｍが好ましく、０〜２．０μｍがより好ましく、０〜１．０μｍが特に好ましい。
【００３０】
次に、第１の例に係る露光マスクを用いてパターンを形成する場合について説明する。
図４（Ａ）は、前記第１の例に係る露光マスク１０の断面図であり、図４（Ｂ）は、前記第１の例に係る露光マスク１０を用いて形成されたポストベーク後のパターン１０２の端部の断面図である。
露光マスク１０を介して行うパターン露光では、露光光は、露光マスク１０における遮光パターン１６及び遮光領域１２Ａが形成された面の反対面側から、該形成された面の側へ通過する（矢印Ｌの向き）。
露光マスク１０の開口パターン周辺部１２において、透過領域密度は前記開口パターンの中央側からパターン端に向かって低下しているため、露光光が通過する面積も前記開口パターンの中央側からパターン端に向かって減少する。
【００３１】
露光マスク１０を介してパターン露光された感光性樹脂層を現像し、さらにポストベーク（熱処理）することにより、図４（Ｂ）のパターン１０２のように、端部においてパターンが基板に密着し、かつ、基板表面に平行な方向についてパターン中央部側からパターン端部側に向かうにつれて膜厚が薄くなるテーパー形のパターン１０２を得ることができる。
ここで、パターン１０２端部の断面形状が、露光マスク１０の開口パターン周辺部の反転パターンではなく、図４（Ｂ）のようなテーパー形となる理由は、露光光の回折、感光性樹脂層における光ラジカルの拡散、ポストベークの熱による変形、等の作用によるものと推定される。これらの作用は、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の材料、露光条件、ポストベーク条件等に依存する。これらの好ましい条件については後述する。
【００３２】
図５は、本発明に用いられる露光マスクの第２の例として、露光マスク４０における開口パターン周辺部４２の付近を拡大した様子を示す平面図である。
露光マスク４０では、開口パターン周辺部４２において遮光領域４２Ａの密度が、開口パターンの中央部４４の側からパターン端（開口パターン周辺部４２と遮光パターン４６との境界線）に向かうにつれて高くなっている。即ち、第２の例においても前記第１の例と同様に、開口パターン周辺部４２において、透過領域４２Ｂの密度は開口パターンの中央側からパターン端に向かって低下している。
このため、第２の例に係る露光マスクを用いた場合においても、前記第１の例を用いた場合と同様に、端部がテーパー形のパターンを得ることができる。
【００３３】
第２の例における、ＷＭＡＸ、ＷＭＩＮ、ＷＡＶＥ、ＳＭＡＸ、ＳＭＩＮ、ＳＡＶＥの好ましい範囲は第１の例と同様である。
【００３４】
以上、開口パターン周辺部において開口パターン中央部側から開口パターン端側にむけて、（１）遮光領域のサイズを増大させる第１の例、及び、（２）遮光領域群の密度を増大させる第２の例について説明したが、（３）第１の例と第２の例とを組み合わせた形態（即ち、開口パターン中央部側から開口パターン端側にむけて、遮光領域のサイズ及び遮光領域群の密度を増大させる形態）としてもよい。この場合においても、ＷＭＡＸ、ＷＭＩＮ、ＷＡＶＥ、ＳＭＡＸ、ＳＭＩＮ、ＳＡＶＥの好ましい範囲は第１の例と同様である。
また、本発明においては上記（１）〜（３）のように、開口パターン周辺部における透過領域密度を開口パターン中央部側から開口パターン端側に向けて低下させる形態には限定されず、開口パターン周辺部における透過領域密度を一定としてもよい。
【００３５】
また、本発明における露光マスクの開口パターンの形状は、図２に示すような孤立状パターンであることには限定されず、形成しようとするパターン（着色パターンや樹脂ブラックマトリクス）の形状に応じた形状とすることができる。
例えば、図６に示す露光マスク２０のように一対のパターンエッジによって挟まれる棒状のパターン（開口パターン中央部２４及び開口パターン周辺部２２）としてもよい。この場合、遮光パターン２６と開口パターンとが交互に形成される。また、棒状パターンが複数集まったストライプ状としてもよい。
【００３６】
例えば、カラーフィルタの着色画素や樹脂ブラックマトリクスを孤立状パターンに形成する場合には、図２に示すような孤立状パターンを有する露光マスクを用いることができる。
また、カラーフィルタの着色画素や樹脂ブラックマトリクスをストライプ状パターンに形成する場合には、図６に示すような直線状パターンを有する露光マスクを用いることができる。
また、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスを形成する場合には、開口パターンを格子状パターンとすることができる。
【００３７】
以上、本発明における露光マスクについて説明したが、本発明における露光マスクは、公知の方法により作製できる。
例えば、マスク用基板（例えば、図４（Ａ）におけるマスク用基板１１）上に、金属膜を形成し、形成された金属膜を遮光パターン及び遮光領域（例えば、図４（Ａ）における遮光パターン１６及び遮光領域１２Ａ）に加工することにより作製できる。
本発明における露光マスクは、遮光パターン及び遮光領域を、同一材料かつ同一膜厚にて形成できるため、遮光パターン及び半透過膜（これらは異種材料又は異なる膜厚で形成する必要がある）を有する露光マスクと比較して、低コストで作製できる。
【００３８】
金属膜としては、クロム膜、クロム膜と酸化クロム膜とを含む積層クロム膜、等を用いることができる。
金属膜の加工は、レジスト塗布、描画装置による描画、現像、ウエットエッチング又はドライエッチング、レジスト剥離などの操作により行う公知の方法により加工できる。
前記マスク用基板としては、石英ガラス、ソーダライムガラス、低膨張ガラス（例えば、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、アルミノケイ酸ガラス、等）等の透明基板を用いることができる。
【００３９】
＜露光工程＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色剤及び／又は遮光剤、光重合開始剤、並びに重合性化合物を含む感光性樹脂層（感光性樹脂層の形成工程については後述する）を、前述の本発明の露光マスクを介してパターン露光する露光工程を有する。
ここで、パターン露光は、ｇ線、ｈ線、及びｉ線の少なくとも１種を含む光により行うことが好ましく、更には、ｇ線、ｈ線、及びｉ線の少なくとも１種を含み、かつ、ｊ線及びｋ線が遮断された光により行うことが好ましい。パターン露光の際の露光量としては、５〜５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜３００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、１０〜２００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。
露光量を上記範囲とすることで、より効果的に感光性樹脂層内部を露光することができ、パターン端部の断面形状をより良好にすることができる。
パターン露光に用いる露光装置は、プロキシミティ方式、ミラープロジェクション（アライナー）方式、及びステッパー方式のうち、いずれの方式の露光装置であってもよい。
【００４０】
＜現像工程＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記露光工程にてパターン露光された感光性樹脂層を現像してパターンを得る現像工程を有する。
現像工程としては、アルカリ現像処理が好適である。
アルカリ現像処理では、例えば、感光性濃色組成物又は感光性着色組成物がネガ型の場合には、上記パターン露光における光未照射部分を、アルカリ水溶液（現像液）に溶出させ、光硬化した部分だけを残すことができる。
現像液としては、有機アルカリ現像液や無機アルカリ現像液又はその混合液が使用される。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄（リンス）する。
【００４１】
次に、現像工程後の好ましい断面形状を図７を参照して説明する。
現像工程後のパターン端部の断面形状は、図７のパターン１０６のように、パターン上部側（基板から離れた側）が、パターン下部側（基板に近い側）に対し、基板と平行な方向について該パターンの非形成領域側に向かってひさし状に突き出した逆テーパー形となっていることが好ましい。
【００４２】
パターン端部の断面形状を逆テーパー形とするために、概念的には、感光性樹脂層が標準的な場合には、通常よく用いられている現像条件よりもやや強い条件で現像を行うことが好ましい。
より強い条件とは、より高い温度、より長い時間、より多い流量、より高いシャワー圧、などが挙げられるが、中でも温度と時間の調整は特に重要である。
【００４３】
具体的には、現像温度としては２０℃〜３５℃が好ましく、２３℃〜３０℃がより好ましい。現像時間は、３０秒〜１２０秒が好ましく、４０秒〜９０秒がより好ましい。
これらのうち、現像温度と現像時間の好ましい組み合わせは、例えば、温度２５℃では５０秒〜１００秒であり、温度３０℃では４０秒〜８０秒であることが挙げられる。
また、シャワー圧は、パターンの欠けを防止できる点から、０．０１ＭＰａ〜０．５ＭＰａが好ましく、０．０５ＭＰａ〜０．３ＭＰａが好ましく、０．１ＭＰａ〜０．３ＭＰａが好ましい。
【００４４】
また、パターン端部の断面を逆テーパー形とする観点からは、後述する感光性樹脂層形成工程後であって前述の露光工程前にプリベーク工程を追加することが好ましい。プリベークの条件を弱くするほど逆テーパー形を得やすい。
【００４５】
＜ポストベーク工程＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記現像工程にて現像して得られたパターンを加熱処理（ポストベーク）するポストベーク工程を有する。
ポストベークにより現像後のパターン端部（例えば、図７のパターン１０６の端部のような逆テーパー形のパターン端部）を変形させ、テーパー形のパターン端部（例えば、図４（Ｂ）のパターン１０２の形状）を得ることができる。
ベーク温度は、１５０℃〜２６０℃が好ましく、１８０℃〜２６０℃がより好ましく、２００℃〜２４０℃が最も好ましい。ベーク時間は、１０分〜１５０分が好ましく、２０分〜１２０分がより好ましく、３０分〜９０分がもっとも好ましい。
上記条件範囲でベークすることで、現像後のパターン端部をより効果的に変形させることができ、パターン端部の断面形状をより良好にすることができる。
【００４６】
ベーク処理は、現像後の感光性濃色組成物層を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【００４７】
なお、樹脂ブラックマトリクス、及び、ＲＧＢ３色相等、複数色相の着色パターンを形成するときは、感光性樹脂組成物層の形成、露光、現像、及びベークのサイクルを、所望の色相数だけ繰り返してもよいし、色相ごとに感光性着色組成物層の形成、露光、及び現像を行ってから、最後に全色相分まとめてベークを行ってもよい。これにより、ブラックマトリクスと所望の色相よりなる着色画素を備えたカラーフィルタが作製される。
【００４８】
＜感光性樹脂層形成工程＞
本発明における感光性樹脂層は、以下の感光性樹脂層形成工程により基板上に形成された層であることが好ましい。
基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板が挙げられる。さらに、プラスチック基板も可能である。これらの基板は、まず、各画素を隔離するように格子状などにブラックマトリクスを形成し、格子の空いた部分に着色画素が形成される。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。基板は大型（おおむね１辺１ｍ以上）である方が、本発明の効果をより奏する点で好ましい。
【００４９】
基板上に感光性樹脂層を形成する方法としては、例えば、基板上へ感光性樹脂組成物を塗布等により付与する方法がある。
基板上への感光性樹脂組成物の付与方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の付与方法を適用することができる。中でもスリット塗布が精度と速さの観点で好ましい。
また、予め仮支持体上に上記付与方法によって付与して形成した塗膜を、基板上に転写する方法（転写方法）を適用することもできる。
転写方法に関しては特開２００６−２３６９６号公報の段落番号[００２３]、[００３
６]〜[００５１]や、特開２００６−４７５９２号公報の段落番号[００９６]〜[０１０８]に記載の作製方法を本発明においても好適に用いることができる。
【００５０】
感光性樹脂層の層厚としては特に限定はないが、パターンとして樹脂ブラックマトリクスを形成する場合には、光学濃度向上及びツノ高さ低減の観点等からは、０．５〜２．０μｍが好ましく、０．８〜１．５μｍであることがより好ましい。
また、パターンとして赤色、緑色、青色画素を形成する場合は、色再現域向上、透過率向上、ツノ高さ低減の観点等からは、１．０〜３．０μｍの範囲であることが好ましく、１．５〜２．５μｍの範囲であることがより好ましい。
【００５１】
＜プリベーク工程＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記感光性樹脂層形成工程後であって前記露光工程の前に、プリベーク工程を有してもよい。
前述のとおり、現像後のパターンを逆テーパー形とする観点からは、通常良く用いられているプリベーク条件よりも、低温で行うことが好ましい。
具体的には、ホットプレートによりプリベークを行う場合、プリベーク温度は、６５℃〜１１０℃が好ましい。６５℃以上とすることで、現像工程中に感光性樹脂層が剥れることを防止することができ、１１０℃以下とすることで、感光性樹脂層下部を、えぐれ易い状態にすることができる。より好ましくは、７０℃〜１００℃であり、７０℃〜９０℃が最も好ましい。また、プリベーク時間は、５０秒〜３００秒が好ましく、９０秒〜２００秒がより好ましく、１００秒〜１８０秒がもっとも好ましい。上記条件範囲でプリベークを行うことで、より効果的に現像後のパターンを逆テーパー形にすることができる。
なお、プリベークは、オーブンで行うこともでき、その場合も適宜上記と同等のプリベーク条件を設定することで、逆テーパー部の長さを調整することができる。
【００５２】
＜その他の工程＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、現像工程後ポストベーク工程前にポスト露光を行うポスト露光工程等、その他の工程を有していてもよい。
また、本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、前述の通り着色パターン又は樹脂ブラックマトリクスを形成することができるが、本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色パターン及び樹脂ブラックマトリクス以外の任意の要素（透明電極膜（例えば、ＩＴＯ膜等）、柱状スペーサ、配向制御用突起パターン等）を形成する工程等、その他の工程が設けられていてもよい。
【００５３】
＜カラーフィルタの製造方法の例＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前述の通り着色パターン又は樹脂ブラックマトリクスの形成に適用することができる。特に、赤色、緑色、又は青色の着色パターンの形成に好適である。
本発明のカラーフィルタの製造方法により着色パターンを形成する場合の具体的な形態としては、前記感光性樹脂層が着色剤を含有し、基板上に樹脂ブラックマトリクスが形成された樹脂ブラックマトリクス付き基板上に形成された層であり、前記露光工程は、前記感光性樹脂層のうち前記樹脂ブラックマトリクスとの重なり部を前記開口パターンの周辺部を介して露光し、前記感光性樹脂層のうち前記樹脂ブラックマトリクスとの非重なり部を前記開口パターンの中央部を介して露光する形態が好ましい。
【００５４】
図８に、本発明のカラーフィルタの製造方法により着色パターンを形成する形態により作製されたカラーフィルタの一例を示す。
図８に示すカラーフィルタ１１４は、端部が矩形に形成された樹脂ブラックマトリクス１１０と、上記形態により形成された着色パターン１１２とを備えている。
着色パターン１１２の、樹脂ブラックマトリクス１１０との重なり部Ｏは、前述した露光マスクの開口パターン周辺部を介した露光により形成されているため、後述の非重なり部Ｎより膜厚が薄くなっている。更に、着色パターン１１２の端部の断面形状は、テーパー形となっている。
一方、着色パターン１１２の、樹脂ブラックマトリクス１１０との非重なり部Ｎ（画素部）は、前述した露光マスクの開口パターン中央部を介した露光により形成されているため、前述の重なり部Ｏよりも膜厚が厚くなっている。
このように、カラーフィルタ１１４では、画素内における着色パターン１１２表面から、重なり部Ｏにおける着色パターン表面までの高さｈ（ツノ高さｈ）が低減されている。
【００５５】
以上のように、本発明のカラーフィルタの製造方法により着色パターンを形成することにより、ツノ高さが低減され、着色パターンの端部の断面形状が良好なカラーフィルタを得ることができる。
特に、赤色パターンを形成する場合には、透過領域のみからなる開口パターンを有する従来の露光マスクや、周辺部に半透過膜が設けられた開口パターンを有する従来の露光マスクを用いた場合には、赤色パターン端部の断面形状が逆テーパー形となったり、パターン欠けが生じたりし易いことが明らかとなっている。この原因については、感光性樹脂層に対する露光光の透過率が影響しているものと推定される。
従って、本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色パターンの中でも、赤色パターンを形成する用途（中でも、感光性樹脂層の全固形分中における前記赤色顔料の含有量が、２５質量％以上、より好ましくは３０質量％以上である場合の用途）に特に好適である。
【００５６】
また、図８を用いて説明したカラーフィルタの製造方法の一例において、着色パターンの形成だけでなく、樹脂ブラックマトリクスの形成においても本発明のカラーフィルタの製造方法を適用することができる。これにより本発明の効果をより効果的に得ることができる。
図９に示すカラーフィルタ１２４は、本発明のカラーフィルタの製造方法により形成された樹脂ブラックマトリクス１２０と、上記一例（本発明のカラーフィルタの製造方法により着色パターンを形成する形態）により形成された着色パターン１２２とを備えている。
着色パターン１２２、重なり部Ｏ、非重なり部Ｎ（画素部）、ツノ高さｈについては、図８のカラーフィルタ１１４の説明で述べたとおりである。
加えて、図９のカラーフィルタ１２４では、樹脂ブラックマトリクス１２０も本発明のカラーフィルタの製造方法により形成されているため、端部の断面形状がテーパー形状となっている。その結果、図９の着色パターン１２２における重なり部Ｏの膜厚は、図８の着色パターン１１２における重なり部Ｏの膜厚に比べて更に薄くなり、着色パターン１２２におけるツノ高さｈは、着色パターン１１２におけるツノ高さｈに比べて更に低くなっている。
【００５７】
以上、本発明のカラーフィルタの製造方法について、図８及び図９を参照して説明したが本発明のカラーフィルタの製造方法はこれらの一例に限定されるものではない。
例えば、緑色パターンの形成に適用してもよいし、青色パターンの形成に適用してもよい。
３色のカラーフィルタにおいて、樹脂ブラックマトリクス、赤色パターン、緑色パターン、及び青色パターンの全てにおいて本発明のカラーフィルタの製造方法を適用することで、本発明の効果がより効果的に得られることはもちろんである。
【００５８】
＜着色パターン＞
次に、本発明における着色パターンについて説明する。
本発明において着色パターンは、着色剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性樹脂層を用いて形成される。
前記着色パターンは、例えば、後述の感光性着色組成物を用いて好適に形成できる。
【００５９】
着色パターンは、一画素毎に孤立した孤立状パターンであってもよいし、複数画素に渡って連続的に設けられるストライプ状パターンであってもよい。前記ストライプ状パターンにおける各一列は、直線状に配列された複数画素に渡って連続的に設けられる形態が好適である。
【００６０】
着色パターンの膜厚は、１．０μｍ〜３．０μｍであることが好ましく、１．５〜２．５μｍであることがより好ましい。
ここにいう「着色パターンの膜厚」は、画素内における着色パターンの厚みを指す。
該膜厚が１．０μｍ以上であると、ブラックマトリクスと重なる画素周辺部での段差が急峻となり光り抜けが生じて表示むらとなる現象を、より効果的に抑制できる。また、該膜厚が３．０μｍ以下であると、大面積での色層の膜厚均一性が悪化する現象を、より効果的に抑制できる。
【００６１】
＜樹脂ブラックマトリクス＞
次に、本発明における樹脂ブラックマトリクスについて説明する。
本発明において「樹脂ブラックマトリクス」とは、樹脂を含む材質からなるブラックマトリクスを指す。
本発明において樹脂ブラックマトリクスは、遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性樹脂層を用いて形成される。前記樹脂ブラックマトリクスは、例えば、後述の感光性濃色組成物を用いて好適に形成される。
【００６２】
樹脂ブラックマトリクスは、基板上を複数の画素に区画する格子状パターンとして形成されることが好ましい。
【００６３】
本発明における樹脂ブラックマトリクスの光学濃度（ＯＤ値）には特に限定はないが、２．０以上８．０以下とすることが好ましく、３．０以上さらに好ましくは４．０以上６．０以下とすることがより好ましい。光学濃度が２．０以上であると、コントラスト低下抑制等表示装置の表示品位の低下を抑制することができる。
なお、ここで言う光学濃度とは、ＩＳＯ  Ｖｉｓｕａｌ透過光学濃度をいう。ＩＳＯ  Ｖｉｓｕａｌ透過光学濃度の測定に用いることができる測定器としては、例えば、サカタインクスエンジニアリング株式会社のＸ−Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ（Ｖ）を挙げることができる。
【００６４】
本発明における樹脂ブラックマトリクスの線幅としては、５〜３０μｍであることが、高開口率化による明度確保の観点から好ましい。
【００６５】
樹脂ブラックマトリクスの膜厚は、前述の通り、０．５μｍ〜２．０μｍであることが好ましく、０．８〜１．５μｍであることがより好ましい。
該膜厚が０．５μｍ以上であるとＯＤ値を高くすることがより容易であり、遮光性をより向上させることができる。また、該膜厚が２．０μｍ以下であると、色層を積層したときの色層表面の傾きが急峻となり液晶の配向不良による光抜けが生じる現象を、より効果的に抑制できる。
【００６６】
＜感光性樹脂組成物＞
次に、本発明における感光性樹脂層の形成に好適な感光性樹脂組成物について説明する。前記感光性樹脂組成物は、着色剤及び／又は遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含んで好適に構成される。
中でも、着色パターンの形成に用いられる感光性樹脂組成物としては、着色剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性着色組成物が好ましい。
また、樹脂ブラックマトリクスの形成に用いられる感光性樹脂組成物としては、遮光剤と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性濃色組成物が好ましい。
【００６７】
＜感光性着色組成物＞
本発明のカラーフィルタの着色パターン形成用として用いることができる感光性着色組成物は、感放射線性組成物（例えば、ネガ型の場合には、光により硬化する感放射線性組成物）であり、（Ａ−１）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ−１）重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、及び、（Ｅ）溶剤、を含有することが好ましく、所望により、さらに、高分子分散剤や界面活性剤などのその他の添加物を含んでいてもよい。
【００６８】
−（Ａ−１）着色剤−
着色剤は、染料・顔料系を適宜選択することができ、着色剤として使用される顔料は、無機顔料であっても、有機顔料であってもよいが、高透過率とする観点から、なるべく粒子サイズの小さいものの使用が好ましい。平均粒子サイズは、１０ｎｍ〜１００ｎｍであることが好ましく、さらに好ましくは、１０ｎｍ〜５０ｎｍの範囲である。
さらに、本発明の液晶表示素子用カラーフィルタにおいては、感光性着色組成物に含有される顔料のうち、一次粒子径が０．０２μｍ未満の顔料の割合が、該顔料の全量中、１０％未満であり、かつ、一次粒子径が０．０８μｍを超える顔料の割合が、該顔料の全量中、５％未満であることが好ましい。
本発明に用いられる感光性着色組成物においては、後述する高分子分散剤を用いることで、着色剤のサイズが小さい場合であっても、顔料分散性、分散安定性が良好となるため、膜厚が薄くても色純度に優れる着色画素を形成しうる。
【００６９】
−−顔料の割合−−
本発明の液晶表示素子用カラーフィルタにおいては、感光性着色組成物に含有される顔料のうち、一次粒子径が０．０２μｍ未満の顔料の割合が、該顔料の全量中、１０％未満であり、かつ、一次粒子径が０．０８μｍを超える顔料の割合が、該顔料の全量中、５％未満であることが好ましい。
一次粒子径が０．０２μｍ未満の顔料の割合が、１０％未満であることで、耐熱性、色度変化を防止することができ、一次粒子径が０．０８μｍを超える顔料の割合が、５％未満であることで、コントラストが良く、感光性着色組成物塗布液の経時安定性が良く、さらには異物故障を防止することができる。
一次粒子径が０．０２μｍ未満の顔料の割合は、耐熱性、及び色度変化防止の観点から、５％未満であることが好ましい。
一次粒子径が０．０８μｍを超える顔料の割合は、コントラストを良くする観点から、３％未満であることが好ましい。
【００７０】
顔料の一次粒子径は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）を用いて測定することができる。すなわち、ＴＥＭ写真を画像解析して粒径分布を調べることにより行なう。例えば３〜１０万倍での観察試料中の全粒子数と、０．０２μｍ未満、及び０．０８μｍを超える顔料の粒子数を計測することで粒度分布を把握できる。
【００７１】
顔料の一次粒子径の観察には透過型電子顕微鏡が好適であり、例えば３〜１０万倍での観察試料中の全粒子数と０．０２μｍ未満、及び０．０８μｍを超える顔料の粒子数を計測することで粒度分布を把握できる。
一次粒子サイズについての、０．０２μｍ未満の一次粒子の割合、および０．０８μｍを超える一次粒子の割合は、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で観察し、個々の一次粒子の長径を測定し、０．０２μｍ未満及び０．０８μｍを超える顔料の粒子の割合（個数％）を算出することにより得ることができる。より具体的には、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で３〜１０万倍で観察し、写真を撮り、１０００個の一次粒子の長径を測定し、０．０２μｍ未満、及び０．０８μｍを超える一次粒子の割合を算出する。この操作を顔料粉体の部位を変えて合計で３箇所について行い、結果を平均した。
【００７２】
着色パターン（着色画素）形成用の着色剤として用いうる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で表される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物等を挙げることができる。
【００７３】
また、有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメント  イエロー  11、 24、 31、 53、 83、 93、 99、 108、 109、 110、
138、 139、 147、 150、 151、 154、 155、 167、 180、 185、 199；
C.I.ピグメント  オレンジ  36、 38、 43、 71；
C.I.ピグメント  レッド  81、 105、 122、 149、 150、 155、 171、 175、 176、 177、209、 220、224、 242、 254、 255、 264、 270；
C.I.ピグメント  バイオレット  19、 23、 32、 37、39；
C.I.ピグメント  ブルー  1、 2、 15、 15:1、 15:3、 15:6、 16、 22、 60、 66；
C.I.ピグメント  グリーン  7、 36、 37；
C.I.ピグメント  ブラウン  25、 28；
C.I.ピグメント  ブラック  1
等、及び下記一般式（Ａ）で表される化合物を挙げることができる。
【００７４】
【化１】
2010020146.tif 000003
【００７５】
前記一般式（Ａ）中、Ｒは、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基、−Ｎ（ＣＨ３）２、−Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２、−ＣＦ３、塩素原子、又は臭素原子を表す。
中でも、Ｒは、塩素原子、水素原子、メチル基、又はフェニル基であることが好ましく、塩素原子、水素原子、又はメチル基であることがより好ましい。
【００７６】
本発明においては特に限定されるものではないが、下記の顔料がより好ましい。
前記一般式（Ａ）で表される化合物；
C.I.ピグメント  イエロー  11、 24、 108、 109、 110、 138、 139、 150、 151、 154、 167、 180、 185；
C.I.ピグメント  オレンジ  36、 71；
C.I.ピグメント  レッド  122、 150、 171、 175、 177、 209、 224、 242；
C.I.ピグメント  バイオレット  19、 23、 37；
C.I.ピグメント  ブルー  15:1、 15:3、 15:6、 16、 22、 60、 66；
C.I.ピグメント  グリーン  7、 36、 37；
【００７７】
これら有機顔料は、単独若しくは、色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色相（Ｒ）用の顔料として、前記一般式（Ａ）で表される化合物、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料単独又はそれらの少なくとも一種と、ビスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４が挙げられ、前記一般式（Ａ）で表される化合物としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４（前記一般式（Ａ）におけるＲが塩素原子）が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びＮＴＳＣ目標色相からのずれを抑制する観点から、１００：５〜１００：５０が好ましい。特に、前記質量比としては、１００：１０〜１００：３０の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００７８】
また、緑色相（Ｇ）用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとビスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びＮＴＳＣ目標色相からのずれを抑制する観点から、１００：５〜１００：１５０が好ましい。質量比としては１００：３０〜１００：１２０の範囲が特に好ましい。
【００７９】
青色相（Ｂ）用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：５０が好ましく、より好ましくは１００：５〜１００：３０である。
【００８０】
本発明に用いられる感光性着色組成物層中における（Ａ−１）着色剤（顔料）の含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、２５質量％〜７５質量％が好ましく、３２質量％〜７０質量％がより好ましい。（Ａ−１）着色剤（顔料）の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００８１】
本発明では特に着色剤として有機顔料を用い、且つ顔料の微細化工程あるいは分散工程で、顔料を高分子化合物で被覆したものを用いることが好ましい。顔料を高分子化合物で被覆することによって微細化された顔料においても、２次凝集体の形成が抑制され、１次粒子の状態で分散させることができる分散性が向上された被覆顔料、分散させた１次粒子が安定的に維持される分散安定性に優れた被覆顔料を用いることができる。
【００８２】
本発明で好適な態様である被覆顔料とは、高分子化合物で顔料が被覆されたものであるが、被覆とは微細化で生じた表面活性の高い顔料の新界面が、本発明の側鎖に複素環を有する高分子化合物との強い静電的作用によって、該高分子化合物の強固な被覆層を形成するため、より高い分散安定性を有する被覆顔料が得られるものと考えられる。即ち、本発明においては、被覆処理後の顔料は、高分子化合物を溶解する有機溶剤で洗浄しても、殆ど被覆した高分子化合物は遊離しない。
【００８３】
本発明でいう被覆顔料は、有機顔料などの顔料粒子が側鎖に複素環等の極性基を有する高分子化合物で被覆されているものであり、該高分子化合物が顔料粒子表面の一部或いは全部に強固に被覆されることでより高い分散安定性の効果を奏するものであり、一般的な高分子分散剤が顔料に吸着してなるものとは異なるものである。この被覆状態は以下に示す有機溶剤による洗浄で高分子化合物の遊離量（遊離率）を測定することにより確認できる。即ち、単に吸着してなる高分子化合物は有機溶剤による洗浄によりその殆ど、具体的には、６５％以上が遊離、除去されるが、本発明の如く表面被覆された顔料の場合には遊離率は極めて少なく、３０％以下である。
【００８４】
被覆処理後の顔料を１−メトキシ−２−プロパノールで洗浄して、遊離量を算出する。その方法は、顔料１０ｇを１−メトキシ−２−プロパノール１００ｍｌ中に投入し、振とう機を用いて室温で３時間、振とうさせた。その後遠心分離機で８０，０００ｒｐｍで８時間かけて顔料を沈降させ、上澄み液部分の固形分を乾燥法から求めた。顔料から遊離した高分子化合物の質量を求め、初期の処理に使用した高分子化合物の質量との比から、遊離率（％）を算出した。
【００８５】
市販等の顔料の遊離率は、以下の方法で測定できる。即ち、顔料を溶解する溶剤（例えばジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、蟻酸、硫酸など）で、顔料全体を溶解した後に、高分子化合物と顔料とに、溶解性の差を利用して有機溶剤で分離して、「初期の処理に使用した高分子化合物の質量」として算出する。別途、顔料を１−メトキシ−２−プロパノールで洗浄して、得られた上記の遊離量を、この「初期の処理に使用した高分子化合物の質量」で除して遊離率（％）を求める。
遊離率は小さいほど顔料への被覆率が高く、分散性、分散安定性が良好である。遊離率の好ましい範囲は３０％以下、より好ましくは２０％以下、最も好ましくは１５％以下である。理想的には０％である。
【００８６】
被覆処理は、顔料の微細化工程で同時に行うことが好ましく、具体的には、ｉ）顔料と、ii）水溶性の無機塩と、iii）実質的にii）を溶解しない少量の水溶性の有機溶剤、およびiv）高分子化合物を加え、ニーダー等で機械的に混練する工程（ソルトミリング工程と称する）、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で撹拌しスラリー状とする工程、及び、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥する工程を経て実施される。
【００８７】
上記したソルトミリングについて、さらに具体的に説明する。まず、ｉ）有機顔料とii）水溶性の無機塩の混合物に、湿潤剤として少量のiii）水溶性の有機溶剤を加え，ニーダー等で強く練り込んだ後，この混合物を水中に投入し，ハイスピードミキサー等で攪拌しスラリー状とする。次に，このスラリーを濾過，水洗して必要により乾燥することにより，微細化された顔料が得られる。なお，油性のワニスに分散して用いる場合には，乾燥前の処理顔料（濾過ケーキと呼ぶ）を一般にフラッシングと呼ばれる方法で，水を除去しながら油性のワニスに分散することも可能である。また水系のワニスに分散する場合は，処理顔料は乾燥する必要がなく，濾過ケーキをそのままワニスに分散することができる。
ソルトミリング時に上記iii）有機溶剤にiv）少なくとも一部可溶な樹脂を併用することにより、さらに微細で、表面がiv）少なくとも一部可溶な樹脂による被覆された、乾燥時の顔料の凝集が少ないものが得られる。
なお、iv）高分子化合物を加えるタイミングは、ソルトミリング工程の初期にすべてを添加してもよく、分割して添加してもよい。また分散工程で添加することも可能である。
【００８８】
顔料の被覆に用いる高分子化合物は顔料への吸着性基を有するものなら何でもよい。特に、側鎖に複素環を有する高分子化合物で被覆処理したものが好ましい。このような高分子化合物としては、下記一般式（１）で表される単量体、または、マレイミド、マレイミド誘導体からなる単量体に由来する重合単位を含む重合体であることが好ましく、下記一般式（１）で表される単量体に由来する重合単位を含む重合体であることが特に好ましい。
【００８９】
【化２】
2010020146.tif 000004
【００９０】
前記一般式（１）中、Ｒ１は、水素原子、又は置換若しくは無置換のアルキル基を表す。Ｒ２は、単結合、又は２価の連結基を表す。Ｙは、−ＣＯ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣ（＝Ｏ）−、又はフェニレン基を表す。Ｚは含窒素複素環構造を有する基を表す。
Ｒ１のアルキル基としては、炭素数１〜１２のアルキル基が好ましく、炭素数１〜８のアルキル基がより好ましく、炭素数１〜４のアルキル基が特に好ましい。
Ｒ１で表されるアルキル基が置換基を有する場合、該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜５、より好ましくは炭素数１〜３がより好ましい。）メトキシ基、エトキシ基、シクロヘキシロキシ基等が挙げられる。
【００９１】
Ｒ１で表される好ましいアルキル基として具体的には、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基、２−ヒドロキシエチル基、３−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシプロピル基、２−メトキシエチル基が挙げられる。
Ｒ１としては、水素原子又はメチル基が最も好ましい。
【００９２】
一般式（１）中、Ｒ２は、単結合又は２価の連結基を表す。該２価の連結基としては、置換若しくは無置換のアルキレン基が好ましい。該アルキレン基としては、炭素数１〜１２のアルキレン基が好ましく、炭素数１〜１２のアルキレン基がより好ましく、炭素数１〜８のアルキレン基が更に好ましく、炭素数１〜４のアルキレン基が特に好ましい。
Ｒ２で表されるアルキレン基は、ヘテロ原子（例えば、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子）を介して２以上連結したものであってもよい。
Ｒ２で表される好ましいアルキレン基として具体的には、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基が挙げられる。
Ｒ２で表される好ましいアルキレン基が置換基を有する場合、該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、等が挙げられる。
【００９３】
Ｒ２で表される２価の連結基としては、上記のアルキレン基の末端において、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＣＯＮＨ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｓ−、−ＮＨＣＯＮＨ−、−ＮＨＣ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＮＨＣ（＝Ｏ）Ｓ−、−ＯＣ（＝Ｏ）−、−ＯＣＯＮＨ−、及び−ＮＨＣＯ−から選ばれるヘテロ原子又はヘテロ原子を含む部分構造を有し、該ヘテロ原子又はヘテロ原子を含む部分構造を介してＺと連結するものであってもよい。
【００９４】
一般式（１）中、Ｚは複素環構造を有する基を表す。複素環構造を有する基としては、例えば、フタロシアニン系、不溶性アゾ系、アゾレーキ系、アントラキノン系、キナクリドン系、ジオキサジン系、ジケトピロロピロール系、アントラピリジン系、アンサンスロン系、インダンスロン系、フラバンスロン系、ペリノン系、ペリレン系、チオインジゴ系の色素構造や、例えば、チオフェン、フラン、キサンテン、ピロール、ピロリン、ピロリジン、ジオキソラン、ピラゾール、ピラゾリン、ピラゾリジン、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、オキサジアゾール、トリアゾール、チアジアゾール、ピラン、ピリジン、ピペリジン、ジオキサン、モルホリン、ピリダジン、ピリミジン、ピペラジン、トリアジン、トリチアン、イソインドリン、イソインドリノン、ベンズイミダゾロン、ベンゾチアゾール、コハクイミド、フタルイミド、ナフタルイミド、ヒダントイン、インドール、キノリン、カルバゾール、アクリジン、アクリドン、アントラキノン、ピラジン、テトラゾール、フェノチアジン、フェノキサジン、ベンズイミダゾール、ベンズトリアゾール、環状アミド、環状ウレア、環状イミド等の複素環構造が挙げられる。これらの複素環構造は、置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えば、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、脂肪族エステル基、芳香族エステル基、アルコキシカルボニル基、等が挙げられる。
【００９５】
Ｚは、炭素数が６以上である含窒素複素環構造を有する基であることがより好ましく、炭素数が６以上１２以下である含窒素複素環構造を有する基であることが特に好ましい。炭素数が６以上である含窒素複素環構造として具体的には、フェノチアジン環、フェノキサジン環、アクリドン環、アントラキノン環、ベンズイミダゾール構造、ベンズトリアゾール構造、ベンズチアゾール構造、環状アミド構造、環状ウレア構造、及び環状イミド構造が好ましく、下記（２）、（３）又は（４）で表される構造であることが特に好ましい。
【００９６】
【化３】
2010020146.tif 000005
【００９７】
一般式（２）中、Ｘは、単結合、アルキレン基（例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基など）、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲＡ−、及び−Ｃ（＝Ｏ）−からなる群より選ばれるいずれかである。ここでＲＡは、水素原子又はアルキル基を表す。ＲＡがアルキル基を表す場合のアルキル基は、好ましくは炭素数１〜１８のアルキル基、より好ましくは炭素数１〜６のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクタデシル基などが挙げられる。
上記した中でも、一般式（２）におけるＸとしては、単結合、メチレン基、−Ｏ−、又は−Ｃ（＝Ｏ）−が好ましく、−Ｃ（＝Ｏ）−が特に好ましい。
【００９８】
一般式（４）中、Ｙ及びＺは、各々独立に、−Ｎ＝、−ＮＨ−、−Ｎ（ＲＢ）−、−Ｓ−、又は−Ｏ−を表す。ＲＢはアルキル基を表し、ＲＢがアルキル基を表す場合のアルキル基は、好ましくは炭素数１〜１８のアルキル基、より好ましくは炭素数１〜６のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−オクタデシル基などが挙げられる。
上記した中でも、一般式（４）における、Ｙ及びＺとしては、−Ｎ＝、−ＮＨ−、及び−Ｎ（ＲＢ）−が特に好ましい。Ｙ及びＺの組み合わせとしては、Ｙ及びＺのいずれか一方が−Ｎ＝であり他方が−ＮＨ−である組み合わせ、イミダゾリル基が挙げられる。
【００９９】
一般式（２）、（３）、および（４）で、環Ａ、環Ｂ、環Ｃ、及び環Ｄは、各々独立に、芳香環を表す。該芳香環としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、インデン環、アズレン環、フルオレン環、アントラセン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピロール環、イミダゾール環、インドール環、キノリン環、アクリジン環、フェノチアジン環、フェノキサジン環、アクリドン環、アントラキノン環等が挙げられ、中でも、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、ピリジン環、フェノキサジン環、アクリジン環、フェノチアジン環、フェノキサジン環、アクリドン環、アントラキノン環が好ましく、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環が特に好ましい。
【０１００】
具体的には、一般式（２）における環Ａ及び環Ｂとしては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、ピラジン環、等が挙げられる。一般式（３）における環Ｃとしては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、ピラジン環、等が挙げられる。一般式（４）における環Ｄとしては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、ピラジン環、等が挙げられる。
【０１０１】
一般式（２）、（３）および（４）で表される構造の中でも、分散性、分散液の経時安定性の点からは、ベンゼン環、ナフタレン環がより好ましく、一般式（２）又は（４）においては、ベンゼン環がさらに好ましく、一般式（３）においては、ナフタレン環がさらに好ましい。
【０１０２】
これらの具体的化合物として、下記ＭＡ−１〜ＭＡ−１３、及び下記Ｍ−１〜Ｍ−３３を挙げることができるが、本発明は、これらに限られるものではない。
【０１０３】
【化４】
2010020146.tif 000006
【０１０４】
【化５】
2010020146.tif 000007
【０１０５】
【化６】
2010020146.tif 000008
【０１０６】
【化７】
2010020146.tif 000009
【０１０７】
【化８】
2010020146.tif 000010
【０１０８】
【化９】
2010020146.tif 000011
【０１０９】
【化１０】
2010020146.tif 000012
【０１１０】
【化１１】
2010020146.tif 000013
【０１１１】
また、上記ＭＡ−１〜ＭＡ−１３、及びＭ−１〜Ｍ−３３以外に、下記の化合物を挙げることができる。
【０１１２】
【化１２】
2010020146.tif 000014
【０１１３】
【化１３】
2010020146.tif 000015
【０１１４】
上記した被覆処理した顔料を用いる場合でも、分散剤の少なくとも１種を使用して顔料を分散し、顔料分散組成物として使用することがさらに好ましい。この分散剤の含有により、顔料の分散性を向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
【０１１５】
具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮo.７５、Ｎo.９０、Ｎo.９５（共栄社化学工業（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（いずれもサンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（日本ルーブリゾール（株）製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ  １０１，１０３，１０６，１０８，１０９，１１１，１１２，１１６，１３０，１４０，１４２，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７４，１７６，１８０，１８２，２０００，２００１，２０５０，２１５０（ビックケミー（株）社製）が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。
【０１１６】
分散剤の顔料分散組成物中における含有量としては、既述の顔料の質量に対して、１〜１００質量％が好ましく、３〜７０質量％がより好ましい。
【０１１７】
上記した顔料分散組成物は、必要に応じて、顔料誘導体が添加される。分散剤と親和性のある部分、あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として硬化性組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。
【０１１８】
顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開平１１−４９９７４号公報、特開平１１−１８９７３２号公報、特開平１０−２４５５０１号公報、特開２００６−２６５５２８号公報、特開平８−２９５８１０号公報、特開平１１−１９９７９６号公報、特開２００５−２３４４７８号公報、特開２００３−２４０９３８号公報、特開２００１−３５６２１０号公報等に記載されているものを使用できる。
【０１１９】
本発明に係る顔料誘導体の顔料分散組成物中における含有量としては、顔料の質量に対して、１〜３０質量％が好ましく、３〜２０質量％がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。
【０１２０】
分散の方法は、例えば、顔料と分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機等を用いて微分散させることによって行なえる。
【０１２１】
−（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂−
本発明の前記感光性着色組成物は、皮膜特性向上、現像特性付与などの目的で、アルカリ可溶性樹脂（バインダーポリマー）を含有することが好ましい。
本発明で使用するアルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基（例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基など）を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
【０１２２】
上記アルカリ可溶性樹脂としてより好ましいものは、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、特開昭５９−７１０４８号公報の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等のアクリル系共重合体のものが挙げられる。
酸価としては、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇ、更に好ましくは５０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲のものが好ましい。
【０１２３】
アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。前記（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートとしては、ＣＨ２＝Ｃ(Ｒ１)(ＣＯＯＲ３) 〔ここで、Ｒ１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ３は炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１２のアラルキル基を表す。〕具体的にはメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート（アルキルは炭素数１〜８のアルキル基）、ヒドロキシグリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等を挙げることができる。
【０１２４】
また、分子側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有する樹脂も好ましいものである。前記ポリアルキレンオキサイド鎖としては  ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖、ポリテトラメチレングリコール鎖あるいはこれらの併用も可能であり、末端は水素原子あるいは直鎖もしくは分岐のアルキル基である。
ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖の繰り返し単位は１〜２０が好ましく、２〜１２がより好ましい。これらの側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有するアクリル系共重合体は、例えばポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール−プロピレングリコール）モノ（メタ）アクリレートなどおよびこれらの末端ＯＨ基をアルキル封鎖した化合物、例えばメトキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシポリ（エチレングリコール−プロピレングリコール）モノ（メタ）アクリレートなどを共重合成分とするアクリル系共重合体である。
【０１２５】
前記ビニル化合物としては、ＣＨ２＝ＣＲ１Ｒ２  〔ここで、Ｒ１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ２は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素環を表す。〕具体的には、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等を挙げることができる。
共重合可能な他の単量体は、１種単独であるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中では特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。
【０１２６】
アクリル系樹脂は、既に述べたように、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲の酸価を有する。酸価が２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、アクリル系樹脂がアルカリに対する溶解性が大きくなりすぎず、現像適正範囲（現像ラチチュード）が狭くなることを防止することができる。一方、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上あれば、アルカリに対する溶解性が小さくなり難いので、現像時間の長時間化を防止することができる。
また、アクリル系樹脂の重量平均分子量Ｍｗ（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）は、感光性着色組成物を塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するために、また膜強度を確保するために、２,０００〜１００,０００であることが好ましく、より好ましくは３,０００〜５０,０００である。
【０１２７】
また、本発明における感光性着色組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基をアルカリ可溶性樹脂に有した樹脂を単独もしくは重合性基を有しないアルカリ可溶性樹脂と併用してもよく、アリール基、（メタ）アクリル基、アリールオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等が有用である。重合性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像液での現像が可能であって、さらに光硬化性と熱硬化性を備えたものである。これら重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、１分子中に、ＣＯＯＨ基、ＯＨ基等のアルカリ可溶性基と炭素−炭素間不飽和結合とを含むものであれば下記に限定されない。
【０１２８】
（１）予めイソシアネート基とＯＨ基を反応させ、未反応のイソシアネート基を１つ残し、かつ（メタ）アクリロイル基を少なくとも１つ含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、（２）カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、
（３）酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、
（４）ＯＨ基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する２塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂。
上記のうち、特に（１）及び（２）の樹脂が好ましい。
【０１２９】
具体例として、ＯＨ基を有する例えば２−ヒドロキシエチルアクリレートと、ＣＯＯＨ基を含有する例えばメタクリル酸と、これらと共重合可能なアクリル系若しくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、ＯＨ基に対し反応性を有するエポキシ環と炭素間不飽和結合基を有する化合物（例えばグリシジルアクリレートなどの化合物）を反応させて得られる化合物、等を使用できる。ＯＨ基との反応ではエポキシ環のほかに酸無水物、イソシアネート基、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。
また、特開平６−１０２６６９号公報、特開平６−１９３８号公報に記載のエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。
【０１３０】
ＣＯＯＨ基のようなアルカリ可溶化基と炭素間不飽和基とを併せ持つ化合物として、例えば、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）；Ｐｈｏｔｏｍｅｒ  ６１７３（ＣＯＯＨ基含有Ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ａｃｒｙｌｉｃ  ｏｌｉｇｏｍｅｒ、Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．Ｌｔｄ．，製）；ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）；サイクロマーＰシリーズ、プラクセルＣＦ２００シリーズ（いずれもダイセル化学工業（株）製）；Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー（株）製）、などが挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂の添加量としては、感光性着色組成物層の全固形分中、３〜３０質量％の範囲であることが好ましく、５〜２０質量％がより好ましい。
【０１３１】
感光性着色組成物の調製時にはバインダーポリマーとして、上記アルカリ可溶性樹脂に加え、さらに下記のエポキシ樹脂も添加することが好ましい。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などのエポキシ環を分子中に２個以上有する化合物が挙げられる。
例えば、ビスフェノールＡ型としては、エポトートＹＤ-１１５、ＹＤ-１１８Ｔ、ＹＤ-１２７、ＹＤ−１２８、ＹＤ-１３４、ＹＤ-８１２５、ＹＤ−７０１１Ｒ、ＺＸ−１０５９、ＹＤＦ−８１７０、ＹＤＦ−１７０など（以上、東都化成（株）製）、デナコールＥＸ−１１０１、ＥＸ−１１０２、ＥＸ−１１０３など（以上、ナガセ化成（株）製）、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、Ｇ１０１、Ｇ１０２（以上、ダイセル化学工業（株）製）などが挙げられ、その他にも、これらと類似のビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂も使用可能なものとして挙げることができる。
【０１３２】
また、Ｅｂｅｃｒｙｌ  ３７００、３７０１、６００（以上、ダイセルユーシービー（株）製）などのエポキシアクリレートも使用可能である。クレゾールノボラック型としては、エポトートＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、ＹＤＰＮ−７０２、ＹＤＰＮ−７０３、ＹＤＰＮ−７０４など（以上、東都化成（株）製）、デナコールＥＭ−１２５など（以上ナガセ化成製）、ビフェニル型としては３,５,３’,５’−テトラメチル-４,４’
−ジグリシジルビフェニルなど、脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド２０２１、２０８１、２０８３、２０８５、エポリードＧＴ−３０１、ＧＴ−３０２、ＧＴ−４０１、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０（以上、ダイセル化学工業（株）製）、サントートＳＴ−３０００、ＳＴ−４０００、ＳＴ−５０８０、ＳＴ−５１００など（以上、東都化成（株）製）、Ｅｐｉｃｌｏｎ４３０、同６７３、同６９５、同８５０Ｓ、同４０３２（以上、大日本インキ化学工業（株）製）などを挙げることができる。また１,１,２,２
−テトラキス(p-グリシジルオキシフェニル)エタン、トリス(p-グリシジルオキシフェニ
ル)メタン、トリグリシジルトリス（ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、ｏ−フタル
酸ジグリシジルエステル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートＹＨ−４３４、ＹＨ−４３４Ｌ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。
【０１３３】
この中で好ましいのは「分子量／エポキシ環の数」が１００以上であり、より好ましいものは１３０〜５００である。「分子量／エポキシ環の数」が小さいと硬化性が高く、硬化時の収縮が大きく、また大きすぎると硬化性が不足し、信頼性に欠けたり、平坦性が悪くなる。
具体的な好ましい化合物としては、エポトートＹＤ−１１５、１１８Ｔ、１２７、ＹＤＦ−１７０、ＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’ジグリシジルビフェニル、セロキサイド２０２１、２０８１、エポリードＧＴ−３０２、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０などが挙げられる。
【０１３４】
−（Ｃ−１）重合性化合物−
本発明に用いられる感光性着色組成物は、（Ｃ−１）重合性化合物を含有することが好ましい。
本発明に用いることができる重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち２量体、３量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応生成物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応生成物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
【０１３５】
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸ＥＯ変性トリアクリレート等がある。
【０１３６】
メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタン等がある。
【０１３７】
イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。
【０１３８】
その他のエステルの例として、例えば、特公昭５１−４７３３４号公報、特開昭５７−１９６２３１号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭５９−５２４０号公報、特開昭５９−５２４１号公報、特開平２−２２６１４９号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平１−１６５６１３号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。
【０１３９】
また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭５４−２１７２６号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
【０１４０】
また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭４８−４１７０８号公報中に記載されている１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式（Ｖ）で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
【０１４１】
ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ４）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ（Ｒ５）ＯＨ  （Ｖ）
（ただし、Ｒ４及びＲ５は、各々独立に、Ｈ又はＣＨ３を示す。）
【０１４２】
また、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載される分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。
【０１４３】
その他の例としては、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、特公昭５２−３０４９０号公報の各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭４６−４３９４６号公報、特公平１−４０３３７号公報、特公平１−４０３３６号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平２−２５４９３号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭６１−２２０４８号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
【０１４４】
これらの重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、最終的な感材の性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では１分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、２官能以上が好ましい。また、着色画像部すなわち、感光性着色組成物層の強度を高くするためには、３官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基（例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物）のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、（メタ）アクリル酸エステル構造を２個以上含有する化合物を用いることが好ましく、３個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、４個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、ＥＯ変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
また、感光性着色組成物層中の他の成分（例えばアルカリ可溶性樹脂、開始剤、着色剤（顔料、染料等）との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、２種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板との密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
【０１４５】
以上の観点より、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（山陽国策パルプ社製）、ＤＰＨＡ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）が好ましい。
【０１４６】
なかでも、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが、市販品としては、ＤＰＨＡ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）がより好ましい。
【０１４７】
（Ｃ−１）重合性化合物の含有量は、本発明の感光性着色性組成物層中の全固形分中、５質量％〜５５質量％であることが好ましく、１０質量％〜５０質量％であることがより好ましく、１５質量％〜４５質量％であることが更に好ましい。
【０１４８】
−（Ｄ）光重合開始剤−
本発明の感光性着色性組成物は、（Ｄ）光重合開始剤を含有することが好ましい。
前記光重合開始剤は、光により分解し、前記（Ｃ−１）重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長３００〜５００ｎｍの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、前記光重合開始剤は、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。
【０１４９】
前記光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。
【０１５０】
有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Ｂｕｌｌ  Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ
Ｊａｐａｎ」４２、２９２４（１９６９）、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、Ｍ．Ｐ．Ｈｕｔｔ“Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”１（Ｎｏ３），（１９７０）」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【０１５１】
ｓ−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がｓ−トリアジン環に結合したｓ−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、２，４，６−トリス（モノクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２―ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−エポキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔１−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ブタジエニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ｉ−プロピルオキシスチリル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ナトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ベンジルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メトキシ−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１５２】
オキシジアゾール化合物としては、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。
【０１５３】
カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチル−１−（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２，４，６トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキシド、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。
【０１５４】
ケタール化合物としては、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
【０１５５】
ベンゾイン化合物としてはｍ−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
【０１５６】
アクリジン化合物としては、９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ジ（９−アクリジニル）エタン、１，３−ジ（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ジ（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ジ（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ジ（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ジ（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ジ（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ジ（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ジ（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ジ（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ジ（９−アクリジニル）ドデカン等のジ（９−アクリジニル）アルカン、などを挙げることができる。
【０１５７】
有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−オキサノイルパーオキサイド、過酸化琥珀酸、過酸化ベンゾイル、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシオクタノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ヘキシルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｐ−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、カルボニルジ（ｔ−ブチルパーオキシ二水素二フタレート）、カルボニルジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート）等が挙げられる。
【０１５８】
アゾ化合物としては、例えば、特開平８−１０８６２１号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
【０１５９】
クマリン化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を挙げることができる。
【０１６０】
アジド化合物としては、米国特許第２８４８３２８号明細書、米国特許第２８５２３７９号明細書ならびに米国特許第２９４０８５３号明細書に記載の有機アジド化合物、２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−エチルシクロヘキサノン（ＢＡＣ−Ｅ）等が挙げられる。
【０１６１】
メタロセン化合物としては、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号公報、特開昭６３−４１４８４号公報、特開平２−２４９号公報、特開平２−４７０５号公報、特開平５−８３５８８号公報に記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４−ジ−フルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、特開平１−３０４４５３号公報、特開平１−１５２１０９号公報に記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。
【０１６２】
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル））４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｏ’−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−トリフルオロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
【０１６３】
有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭６２−１４３０４４号公報、特開昭６２−１５０２４２号公報、特開平９−１８８６８５号公報、特開平９−１８８６８６号公報、特開平９−１８８７１０号公報、特開２０００−１３１８３７号公報、特開２００２−１０７９１６号公報、特許第２７６４７６９号公報、特願２０００−３１０８０８号公報等の各公報、及び、Ｋｕｎｚ，Ｍａｒｔｉｎ“Ｒａｄ  Ｔｅｃｈ’９８．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ  Ａｐｒｉｌ  １９−２２，１９９８，Ｃｈｉｃａｇｏ”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平６−１５７６２３号公報、特開平６−１７５５６４号公報、特開平６−１７５５６１号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平６−１７５５５４号公報、特開平６−１７５５５３号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平９−１８８７１０号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平６−３４８０１１号公報、特開平７−１２８７８５号公報、特開平７−１４０５８９号公報、特開平７−３０６５２７号公報、特開平７−２９２０１４号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。
【０１６４】
ジスルホン化合物としては、特開昭６１−１６６５４４号公報、特願２００１−１３２３１８号明細書等に記載される化合物等が挙げられる。
【０１６５】
オキシムエステル化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．  Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ  （１９７９  ）１６５３−１６６０）、Ｊ．Ｃ．Ｓ．  Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ  （１９７９）１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５）２０２−２３２、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物等が挙げられる。具体例としてはチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２などが好適である。
【０１６６】
オニウム塩化合物としては、例えば、Ｓ．Ｉ．Ｓｃｈｌｅｓｉｎｇｅｒ，Ｐｈｏｔｏｇｒ．Ｓｃｉ．Ｅｎｇ．，１８，３８７（１９７４）、Ｔ．Ｓ．Ｂａｌ  ｅｔ  ａｌ，Ｐｏｌｙｍｅｒ，２１，４２３（１９８０）に記載のジアゾニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、特開平４−３６５０４９号公報等に記載のアンモニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、同４，０６９，０５６号明細書の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第１０４、１４３号明細書、米国特許第３３９，０４９号明細書、同第４１０，２０１号明細書の各明細書、特開平２−１５０８４８号公報、特開平２−２９６５１４号公報の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。
【０１６７】
本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で２つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。
【０１６８】
本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第３７０，６９３号明細書、同３９０，２１４号明細書、同２３３，５６７号明細書、同２９７，４４３号明細書、同２９７，４４２号明細書、米国特許第４，９３３，３７７号明細書、同１６１，８１１号明細書、同４１０，２０１号明細書、同３３９，０４９号明細書、同４，７６０，０１３号明細書、同４，７３４，４４４号明細書、同２，８３３，８２７号明細書、独国特許第２，９０４，６２６号明細書、同３，６０４，５８０号明細書、同３，６０４，５８１号明細書の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が０より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
【０１６９】
また、オニウム塩化合物としては、Ｊ．Ｖ．Ｃｒｉｖｅｌｌｏ  ｅｔ  ａｌ，Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，１０（６），１３０７（１９７７）、Ｊ．Ｖ．Ｃｒｉｖｅｌｌｏ
ｅｔ  ａｌ，Ｊ．Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉ．，Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｃｈｅｍ．Ｅｄ．，１７，１０４７（１９７９）に記載のセレノニウム塩、Ｃ．Ｓ．Ｗｅｎ  ｅｔ  ａｌ，Ｔｅｈ，Ｐｒｏｃ．Ｃｏｎｆ．Ｒａｄ．Ｃｕｒｉｎｇ  ＡＳＩＡ，ｐ４７８  Ｔｏｋｙｏ，Ｏｃｔ（１９８８）に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
【０１７０】
アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。
【０１７１】
（Ｄ）光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、３−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。
【０１７２】
さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。
【０１７３】
（Ｄ）光重合開始剤の含有量は、感光性着色組成物層中の全固形分に対し０．１質量％〜２０質量％であることが好ましく、より好ましくは０．５質量％〜１５質量％、特に好ましくは１質量％〜１０質量％である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。
【０１７４】
−（Ｅ）溶剤−
本発明に用いられる感光性着色組成物は、一般に溶剤を用いて調製することができる。
溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、並びに３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチルなど）、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピルなどの２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチルなど）、並びに、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、１，３-ブタンジオールジアセテート等；
【０１７５】
エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールn-プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールn-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等；
【０１７６】
ケトン類、例えばアセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；
アルコール類、例えばエタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、
芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が挙げられる。
【０１７７】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１７８】
−その他の添加物−
また、本発明に用いられる感光性着色組成物には、上記成分の他に、さらに、目的に応じて種々の公知の添加剤を用いることができる。
以下、そのような添加剤について述べる。
【０１７９】
（分散剤）
本発明における感光性着色組成物は高分子分散剤を含有することが好ましい。この高分子分散剤は重量平均分子量が３，０００〜１００，０００の範囲にある樹脂である。さらに、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。このような特定の高分子分散剤を、以下、単に、「分散樹脂」と称する場合がある。
本発明における分散樹脂は、前記（Ａ−１）着色剤として挙げた顔料の分散剤、または、後述するブラックマトリクス形成のための感光性濃色組成物において、遮光剤（ブラックマトリクス形成用顔料）の分散剤として機能しうる化合物である。
分散樹脂は、特定の酸価を有する必要があるため、酸性基を有する高分子化合物であることが好ましい。
【０１８０】
この高分子化合物の高分子骨格としては、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、アミド系ポリマー、エポキシ系ポリマー、シリコーン系ポリマー、及びこれらの変性物、又は共重合体〔例えば、ポリエーテル／ポリウレタン共重合体、ポリエーテル／ビニルモノマーの重合体の共重合体など（ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体のいずれであってもよい。）を含む。〕からなる群より選択される少なくとも一種が好ましく、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、及びこれらの変性物又は共重合体からなる群より選択される少なくとも一種がより好ましく、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体が特に好ましい。
【０１８１】
また、上記のような高分子骨格に酸性基の導入する方法としては、例えば、上記の高分子骨格を重合する際に酸性基を含有するモノマーを共重合する方法や、また、上記の高分子骨格を重合後に高分子反応により導入する方法が挙げられる。
酸性基を含有するモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、桂皮酸、アクリル酸ダイマー、ビニル安息香酸、スチレンスルホン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、リン酸モノ（メタ）アクリロイルエチルエステル、或いは２−ヒドロキシエチルメタクリレートなどのアルコール性水酸基含有モノマーと無水マレイン酸、無水フタル酸などの環状酸無水物等を反応させることにより得られるモノマーなどが挙げられる。
【０１８２】
更に、酸性基を有する高分子化合物は、更に、ビニルモノマー成分を共重合してなるものであってもよい。
前記ビニルモノマーとしては、特に制限されないが、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、クロトン酸エステル類、ビニルエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、イタコン酸ジエステル類、（メタ）アクリルアミド類、ビニルエーテル類、ビニルアルコールのエステル類、スチレン類、（メタ）アクリロニトリルなどが好ましい。
【０１８３】
前記「酸性基」として、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、モノ硫酸エステル基、リン酸基、モノリン酸エステル基、ホウ酸基が好ましい例として挙げられ、カルボン酸基、スルホン酸基、モノ硫酸エステル基、リン酸基、モノリン酸エステル基がより好ましく、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基が特に好ましい。
【０１８４】
また、分散性向上のため、塩基性窒素原子を有する基を含有することも好ましい。前記塩基性窒素原子を有する基は、例えば、アミノ基（−ＮＨ２）、置換イミノ基（−ＮＨＲ８、又は−ＮＲ９Ｒ１０；ここで、Ｒ８、Ｒ９、及びＲ１０は、各々独立に、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６以上のアリール基、又は、炭素数７以上のアラルキル基を表す。）、下記化学式（ａ１）で表されるグアニジル基、又は、下記化学式（ａ２）で表されるアミジニル基などが好ましい例として挙げられる。
【０１８５】
【化１４】
2010020146.tif 000016
【０１８６】
上記化学式（ａ１）中、Ｒ１１及びＲ１２は、各々独立に、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６以上のアリール基、又は、炭素数７以上のアラルキル基を表す。
上記化学式（ａ２）中、Ｒ１３及びＲ１４は、各々独立に、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６以上のアリール基、又は、炭素数７以上のアラルキル基を表す。
【０１８７】
これらの中でも、アミノ基（−ＮＨ２）、置換イミノ基（−ＮＨＲ８、又は−ＮＲ９Ｒ１０；ここで、Ｒ８、Ｒ９、及びＲ１０は、各々独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。）、前記化学式（ａ１）で表されるグアニジル基〔化学式（ａ１）中、Ｒ１１及びＲ１２は各々独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。〕、前記化学式（ａ２）で表されるアミジニル基〔化学式（ａ２）中、Ｒ１３及びＲ１４は各々独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。〕などには、１〜２００個の水素原子、及び０〜２０個の硫黄原子から成り立つ基が含まれ、これらは無置換であっても置換基を更に有していてもよい。
【０１８８】
（他の分散剤）
本発明に用いられる感光性着色組成物は、分散樹脂以外に、従来から公知の分散剤（顔料分散剤）を併用することもできる。
【０１８９】
公知の分散剤（顔料分散剤）としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【０１９０】
高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
【０１９１】
本発明に用いうる公知の分散剤（顔料分散剤）の具体例としては、ＢＹＫ  Ｃｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０７（カルボン酸エステル）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０、４０１０、４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０、４３４０（ブロック共重合体）、４４００、４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロン＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、日本ルーブリゾール社製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」等が挙げられる。
【０１９２】
上記のような公知の分散剤は、必要に応じて分散樹脂に対して、１０質量％〜１００質量％、即ち、１／１０〜１／１（等量）の範囲で用いることができる。
【０１９３】
（界面活性剤）
顔料濃度を大きくすると塗布液のチキソ性が一般的に大きくなるため、基板上に感光性着色組成物を塗布または転写して感光性着色組成物層（着色層塗膜）形成後の膜厚ムラを生じやすい。また特に、スリットコート法による感光性着色組成物層（着色層塗膜）形成では乾燥までに感光性着色組成物層形成用の塗布液がレベリングして均一な厚みの塗膜を形成することが重要である。このため、前記感光性着色組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。上記界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報、特開平１１−１３３６００号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
塗布性を向上するための界面活性剤としてはノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤等が添加される。
【０１９４】
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール類、ポリオキシプロピレングリコール類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が好ましい。
【０１９５】
具体的には、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール類；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-プロピレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレンノニ
ルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシアルキレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンソルビタン脂肪酸エステル類などのノニオン系界面活性剤がある。
【０１９６】
これらの具体例は、例えば、アデカプルロニックシリーズ、アデカノールシリーズイ、テトロニックシリーズ（以上ＡＤＥＫＡ（株）製）、エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ（以上花王（株）製）、エレミノールシリーズ、ノニポールシリーズ、オクタポールシリーズ、ドデカポールシリーズ、ニューポールシリーズ（以上三洋化成(株)製）、パイオニンシリーズ（以上竹本油脂（株）製）、ニッサンノニオンシリーズ（以上日本油脂(株)製）などである。これらの市販されているものが適宜使用できる。好ましいＨＬＢ値は８〜２０、更に好ましくは１０〜１７である。
【０１９７】
フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。
具体的市販品としては、例えばメガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同７８０、同７８１、同Ｒ３０、同Ｒ０８（大日本インキ（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（旭硝子（株）製）、エフトップＥＦ３５１、同３５２、同８０１、同８０２（ＪＥＭＣＯ（株）製）などである。
【０１９８】
シリコーン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＤＣ７ＰＡ、同ＳＨ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、同ＳＨ−１９０、同ＳＨ−１９３、同ＳＺ−６０３２、同ＳＦ−８４２８、同ＤＣ−５７、同ＤＣ−１９０（以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、ＧＥ東芝シリコーン（株）製）等を挙げることができる。
【０１９９】
これらの界面活性剤は、感光性着色組成物層を形成するための塗布液１００質量部に対して、好ましくは５質量部以下、より好ましくは２質量部以下で用いられる。界面活性剤の量が５質量部を超える場合は、塗布乾燥での表面あれが生じやすく平滑性が悪化しやすくなる。
【０２００】
また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、光硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、フェノキシ酢酸、メトキシフェノキシ酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０２０１】
（アルコキシシラン化合物）
本発明に用いられる感光性着色組成物には、基板との密着性向上といった観点から、アルコキシシラン化合物、なかでもシランカップリング剤を使用することができる。
シランカップリング剤は、無機材料と化学結合可能な加水分解性基としてアルコキシシリル基を有するものが好ましく、有機樹脂との間で相互作用もしくは結合形成して親和性を示す（メタ）アクリロイル、フェニル、メルカプト、エポキシシランであることが好ましく、その中でも（メタ）アクリロイルプロピルトリメトキシシランであることがより好ましい。
シランカップリング剤を用いる場合の添加量としては、本発明に用いられる感光性着色組成物層中の全固形分中、０．２質量％〜５．０質量％の範囲であることが好ましく、０．５質量％〜３．０質量％がより好ましい。
【０２０２】
（共増感剤）
本発明に用いられる感光性着色組成物は、所望により共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばＭ．  Ｒ．  Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４−２０１８９号公報、特開昭５１−８２１０２号公報、特開昭５２−１３４６９２号公報、特開昭５９−１３８２０５号公報、特開昭６０−８４３０５号公報、特開昭６２−１８５３７号公報、特開昭６４−３３１０４号公報、Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ  ３３８２５号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ホルミルジメチルアニリン、ｐ−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
【０２０３】
共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭５３−７０２号公報、特公昭５５−５００８０６号公報、特開平５−１４２７７２号公報記載のチオール化合物、特開昭５６−７５６４３号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。
【０２０４】
また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物（例、Ｎ−フェニルグリシン等）、特公昭４８−４２９６５号公報記載の有機金属化合物（例、トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５−３４４１４号公報記載の水素供与体、特開平６−３０８７２７号公報記載のイオウ化合物（例、トリチアン等）等が挙げられる。
【０２０５】
これら共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、硬化性組成物の全固形分の質量に対し、０．１質量％〜３０質量％の範囲が好ましく、１質量％〜２５質量％の範囲がより好ましく、０．５質量％〜２０質量％の範囲が更に好ましい。
【０２０６】
（重合禁止剤）
本発明においては、感光性着色組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４'−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩、フェノキサジン、フェノチアジン等が挙げられる。
【０２０７】
熱重合防止剤の添加量は、感光性着色組成物層中の質量に対して約０．０１質量％〜約５質量％が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約０．５質量％〜約１０質量％が好ましい。
【０２０８】
（可塑剤）
さらに、本発明においては、感光性着色組成物層の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し１０質量％以下添加することができる。
【０２０９】
上述した成分を用いることで、本発明における感光性着色組成物は、高感度で硬化し、かつ、保存安定性も良好となる。また、基板への高い密着性を示す。従って、前記各種成分を含有する感光性着色組成物は、カラーフィルタに好ましく使用することができる。
【０２１０】
＜感光性濃色組成物＞
本発明に用いられる感光性濃色組成物は、（Ａ−２）遮光剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ−２）重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）溶剤を含有することが好ましく、必要に応じて、分散剤や界面活性剤などの他の添加剤を含有させることができる。
【０２１１】
−（Ａ−２）遮光剤−
（Ａ−２）遮光剤としては、前記（Ａ−１）着色剤のほか、カーボンブラック、チタンブラック、金属微粒子、金属酸化物、硫化物の微粒子などが挙げられる。本発明の液晶表示素子用カラーフィルタにおけるブラックマトリクスの光学濃度（ＯＤ値）を３．５以上とすることができるものであれば、特に制限はないが、中でも、光学濃度（ＯＤ値）を３．５以上とし易く、遮光性とコストのバランスに優れているカーボンブラックが特に好ましい。
これらは必要に応じて、単独又は複数種組み合わせて用いられる。例えば、カーボンブラック単独、有機顔料の混合、カーボンブラックと有機顔料の併用などである。
遮光用の材料としては従来から黒色着色剤として、可視光領域を遮蔽するように顔料を少なくとも２種以上併用して用いられてきた。これらの顔料としては、特開２００５−１７７１６号公報［００３８］〜［００４０］や、特開２００５−１７５２１号公報［００８０］〜［００８８］に記載の顔料を挙げることができ、これらの顔料を使用した遮光層の形成は特開平７−２７１０２０などに開示されている。
遮光効果をより大きくするために特開２０００−１４７２４０、特開２０００−１４３９８５、特開２００５−３３８３２８、特開２００６−１５４８４９などでは、カーボンブラック、チタンブラック、または黒鉛等が遮光材料の好適なものとして開発されてきた。本発明においては、遮光性やコストの観点から、カーボンブラックは遮光材料のひとつとして好ましいものである。
【０２１２】
カーボンブラックの例としては、ピグメント・ブラック７（カーボンブラック）が好ましい。カーボンブラックとしては、例えば、三菱化学社製のカーボンブラック＃２４００、＃２３５０、＃２３００、＃２２００、＃１０００、＃９８０、＃９７０、＃９６０、＃９５０、＃９００、＃８５０、ＭＣＦ８８、＃６５０、ＭＡ６００、ＭＡ７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＭＡ１００、ＭＡ２２０、ＩＬ３０Ｂ、ＩＬ３１Ｂ、ＩＬ７Ｂ、ＩＬ１１Ｂ、ＩＬ５２Ｂ、＃４０００、＃４０１０、＃５５、＃５２、＃５０、＃４７、＃４５、＃４４、＃４０、＃３３、＃３２、＃３０、＃２０、＃１０、＃５、ＣＦ９、＃３０５０、＃３１５０、＃３２５０、＃３７５０、＃３９５０、ダイヤブラックＡ、ダイヤブラックＮ２２０Ｍ、ダイヤブラックＮ２３４、ダイヤブラックＩ、ダイヤブラックＬＩ、ダイヤブラックＩＩ、ダイヤブラックＮ３３９、ダイヤブラックＳＨ、ダイヤブラックＳＨＡ、ダイヤブラックＬＨ、ダイヤブラックＨ、ダイヤブラックＨＡ、ダイヤブラックＳＦ、ダイヤブラックＮ５５０Ｍ、ダイヤブラックＥ、ダイヤブラックＧ、ダイヤブラックＲ、ダイヤブラックＮ７６０Ｍ、ダイヤブラックＬＰ；デグサ社製のカーボンブラックＣｏｌｏｒ
Ｂｌａｃｋ  ＦＷ２００、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  ＦＷ２、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ
ＦＷ１、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  Ｓ１７０、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  Ｓ１６０、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ６、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ５、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ４、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ４Ａ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  Ｕ、ＰｒｉｎｔｅｘＶ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  １４０Ｕ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  １４０Ｖ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  ３５；Ｃａｂｏｔ社製のカーボンブラックＲＥＧＡＬ  ４００、ＲＥＧＡＬ  ４００Ｒ、ＲＥＧＡＬ  ＸＣ７２、ＶＵＬＣＡＮ  ＸＣ７２Ｒ、ＭＯＧＵＬ  Ｌ、ＭＯＮＡＲＣＨ  １４００、ＭＯＮＡＲＣＨ  １０００、ＢＬＡＣＫ  ＰＥＡＲＬＳ１４００；旭カーボン社製のカーボンブラックＳＵＮＢＬＡＣＫ９００、同９１０、同９３０、同９６０、同９７０等を挙げることができる。また電気抵抗を大きくするためにこれらを高分子化合物で被覆したものも好ましいものである。これらのカーボンブラックの好ましい単粒子の大きさは１０〜１００ｎｍ、より好ましくは１０〜５０ｎｍである。
【０２１３】
−（Ｃ−２）重合性化合物−
ブラックマトリクス形成用の感光性濃色組成物における（Ｃ−２）重合性化合物としては、前記感光性着色組成物において用いられた（Ｃ−１）重合性化合物も、好ましいものとして挙げられるが、特に以下に示すものが好ましい。
感光性濃色組成物における重合性化合物としては、エチレン性不飽和二重結合を２個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びフェノキシエチル（メタ）アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）シアヌレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート；トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後（メタ）アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
【０２１４】
また酸性多官能光硬化性化合物も好ましい化合物である。酸性多官能光硬化性化合物としては、（１）水酸基と共に３つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーを二塩基酸無水物で変性することによりカルボキシル基を導入したもの、（２）水酸基と共に３つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーに、グリシジル基もしくはイソシアネート基とＣＯＯＨ基とを併せ持つ化合物等を付加することによってカルボキシル基を導入したもの、あるいは（３）３つ以上の光硬化性官能基を有する芳香族化合物を濃硫酸や発煙硫酸で変性することによりスルホン酸基を導入したもの等を用いることができる。また、酸性多官能光硬化性化合物そのものであるモノマーを繰返し単位として含むオリゴマーを、酸性多官能光硬化性化合物として用いてもよい。
酸性多官能光硬化性化合物の例としては、下記一般式（ｉ）、一般式（ｉｉ）で表されるものが好ましい。なお、一般式（ｉ）及び一般式（ｉｉ）において、Ｔ又はＧがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲ、Ｘ及びＷに結合する。
【０２１５】
【化１５】
2010020146.tif 000017
【０２１６】
一般式（ｉ）中、Ｒは、（メタ）アクリロイロキシ基を表し、Ｘは、−ＣＯＯＨ基、又は−ＯＰＯ３Ｈ２基を表す。Ｔは、オキシアルキレン基を表し、ここでアルキレン基の炭素数は１〜４である。ｎは、０〜２０である。
一般式（ｉｉ）中、Ｗは、一般式（ｉ）におけるＲ又はＸを表し、６個のＷのうち、３個以上のＷがＲである。Ｇは、一般式（ｉ）におけるＴと同義である。Ｚは、−Ｏ−又は、−ＯＣ＝ＯＮＨ（ＣＨ２）qＮＨＣＯＯ−を表す。ｐは０〜２０であり、ｑは１〜８で
ある。一分子内に複数存在するＲ、Ｘ、Ｔ、Ｇは、各々同一であっても、異なっていても良い。
【０２１７】
一般式（ｉ）及び一般式（ｉｉ）で表される酸性多官能光硬化性化合物の市販品としては、例えば、東亞合成（株）製のカルボキシル基含有３官能アクリレートであるＴＯ−７５６、及びカルボキシル基含有５官能アクリレートであるＴＯ−１３８２などが挙げられる。
【０２１８】
更に特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報及び特開昭５１−３７１９３号公報に記載されているウレタンアクリレート類；特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載されているポリエステルアクリレート類；エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。これらの中で、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、上記カルボキシル基含有５官能アクリレートなどが好ましい。また、この他、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「重合性化合物Ｂ」も好適なものとして挙げることができる。
【０２１９】
ブラックマトリクス形成用として用いられる感光性濃色組成物における（Ｃ−２）重合性化合物の含有量としては、感光性濃色組成物層の全固形分中、５質量％〜５０質量％であることが好ましく、７質量％〜４０質量％であることがより好ましく、１０質量％〜３５質量％であることが更に好ましい。
【０２２０】
感光性濃色組成物に用いられる（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）重合開始剤、（Ｅ）溶剤、その他の添加剤などは前記した着色パターン形成用の感光性着色組成物におけるものと同様であり、好ましい含有量も同様である。
【０２２１】
≪液晶表示装置≫
本発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。そのため、表示ムラが抑制されており、コントラストが高い。
スペーサについては塗布による作製方法や転写による作製方法を好適に用いることができる。塗布による作製方法は工程が簡単である点で好ましい。転写による作製方法はスペーサ高さの均一性が良い点で好ましい。転写による作製方法については特願２００７−１８５７９７記載の方法が特に好ましい。
表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【０２２２】
本発明は、中でも特に、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、ＳＴＮ、ＴＮ、ＶＡ、ＩＰＳ、ＯＣＳ、ＦＦＳ、及びＲ−ＯＣＢ等にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の遮光膜付基板はこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉（株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
【０２２３】
バックライトに関しては、ＳＩＤ  ｍｅｅｔｉｎｇ  Ｄｉｇｅｓｔ  １３８０（２００
５）（Ａ．Ｋｏｎｎｏ  ｅｔ．ａｌ）や、月刊デイスプレイ  ２００５年１２月号の１８
〜２４ページ  （島  康裕）、同２５〜３０ページ（八木  隆明）などに記載されている。
本発明のカラーフィルタは、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に赤、緑、青のＬＥＤ光源（ＲＧＢ−ＬＥＤ）をバックライトとすることによって輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
【０２２４】
また一方で、液晶表示装置に求められる性能は画像の応答速度の向上である。応答速度の向上のために液晶の配向速度の改良がなされている。一方セルの構造面からは液晶層の厚み低減が、コストダウン上も必要である。液晶層の厚み低減に必要なもうひとつの技術は、着色画素とブラックマトリクスの境界部分での液晶の配向乱れを小さくすることである。そのため、着色画素とブラックマトリクスとの境界部分での盛り上がり（ツノ）を小さくすることが求められる。
本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタは、重なり部ＯＹ付近における着色パターンの段差が小さいため、液晶表示装置に用いた際、液晶の配向乱れを抑制することができ、その結果、コントラストを向上できる。
【０２２５】
このように、本発明のカラーフィルタは、前記重なり部での液晶の配向の乱れを低減することができ、画像表示した際の視認性も向上する。本発明の液晶表示装置に、本発明のカラーフィルタを用いることで、各着色画素のブラックマトリクスとの重なり部を平坦にすることができ、平坦性が良好になるため、液晶層を薄層化したり、透明電極ＩＴＯを敷設する前に、研磨したり、平坦化層を付与したりする必要がなくなり、工程の合理化ひいてはコストダウン、量産性に貢献できる。
【実施例】
【０２２６】
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の範囲から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、分子量とは重量平均分子量のことを示す。また、「ｗｔ％」は「質量％」を表す。
【０２２７】
＜露光マスク＞
まず、カラーフィルタの赤色画素用の露光マスクとして、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有するマスク１及びマスク２を準備した。
別途、開口パターン周辺部に半透過膜を設けた比較用マスクＡを準備した。
更に、ハーフトーンマスクではない（詳細には、開口パターン中央部及び周辺部がすべて透過領域となっている）通常の露光マスクである比較用マスクＢを準備した。
マスク１、マスク２、比較用マスクＡ、及び比較用マスクＢの仕様を下記表１に示す。
【０２２８】
【表１】
2010020146.tif 000018
【０２２９】
〜表１の説明〜
・マスク１及びマスク２は、前述の第１の例及び第２の例（図２〜図６）と同様のパターンとなっている。ＴＥ−ＭＡＸ、ＴＥ−ＭＩＮ、ＷＭＡＸ、ＷＭＩＮ、ＷＡＶＥ、ＳＭＡＸ、ＳＭＩＮ、及びＳＡＶＥ、についても前述のとおりである。
・いずれの露光マスクにおいても、開口パターン中央部における透過領域密度は１００％である。
・いずれの露光マスクにおいても、開口パターンの形状は、幅１００μｍのストライプ状の開口パターンとした。
・いずれの露光マスクにおいても、開口パターン周辺部の幅は、８．０μｍとした。
・（※１）  …  開口パターン中央側から開口パターン端に向かうにつれて遮光領域のサイズが増大するようになっている。
・（※２）  …  開口パターン中央側から開口パターン端に向かうにつれて遮光領域群の密度が増大するようになっている。
・（※３）  …  開口パターン周辺部全体に透過率５０％の半透過膜（クロム膜）が形成されている。
・（※４）  …  開口パターン周辺部全体が透過領域（遮光領域なし）となっている。
【０２３０】
なお、以下の説明において、「パターン露光」においては特に断りのない限り、露光マスクとしてはハーフトーンマスクではない通常の露光マスク（比較用マスクＢのような露光マスク）を用いた。
【０２３１】
〔実施例１〕
＜１．感光性濃色組成物の調製＞
−カーボンブラック分散液（Ｋ−１）の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を調製した。
・カーボンブラック（デグッサ社製  カラーブラックＦＷ２）  ・・・  ２６．７部
・分散剤（楠本化成製ディスパロンＤＡ７５００  酸価２６  アミン価４０）
・・・  ３．３部
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８［モル比］）共重合体（分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０質量％溶液）                                                          ・・・  １０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・  ６０部
【０２３２】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液（Ｋ−１）を得た。
【０２３３】
得られたカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を用いて、下記表２の処方で感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を調製した。表２中の数値は質量比を示す。
【０２３４】
【表２】
2010020146.tif 000019
【０２３５】
表２中の各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液Ｃ−２：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝８５／１５モル比）共重合体、（Ｍｗ１００００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０質量％溶液）
・ＵＶ硬化性樹脂Ｃ−３：商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業（株）製〔側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）〕
・重合性化合物Ｃ−５：日本化薬（株）製  ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡと、日本化薬（株）製  ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−６８４と、の６０対４０（質量比）の混合物
・開始剤Ｃ−７：商品名「ＯＸＥ−０２」  チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤Ｃ−８：商品名「メガファックＲ３０」  大日本インキ化学工業（株）製
・溶剤：ＰＧＭＥＡ＝プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＥＥＰ＝３−エトキシエチルプロピオネート
【０２３６】
＜２．樹脂ブラックマトリクスの形成＞
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物ＣＫ−１を用いて、以下のようにして、格子状パターンである樹脂ブラックマトリクスを、ガラス基板上に形成した。
まず、前記感光性濃色組成物ＣＫ−１を、洗浄したガラス基板（コーニング社製ミレニアム  ０．７ｍｍ厚）にスリットコーター（型番ＨＣ６０００、平田機工株式会社製）を用いて、ポストベーク後の膜厚が１．２μｍとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０２３７】
−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、８０℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、プロキシミティ方式露光機（型番ＬＥ５５６５Ａ、株式会社日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。
【０２３８】
−現像工程−
その後、水平搬送型の現像装置で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２４℃）でシャワー圧を０．１５ＭＰａに設定して、３７秒現像し、純水で洗浄し、現像後のブラックマトリクスパターンを得た。
【０２３９】
−ポストベーク工程−
次いで２２０℃のクリーンオーブンで４０分間ポストベーク処理し、基板上に格子状パターンであるブラックマトリクスが形成されたブラックマトリクス付き基板を得た。
得られたブラックマトリクスは、画素である開口部が９０μｍ×２００μｍで、厚みが１．２μｍで、画素の長手方向と平行な方向のパターンの線幅が２５μｍであった。
Ｘ−Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ（Ｖ）（サカタインクスエンジニアリング（株）製）を用いて、出来上がったブラックマトリクスの光学濃度（ＯＤ）を測定したところ、４．２であった。
【０２４０】
＜３．感光性着色組成物の調製＞
−  ３−１．赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１の調製  −
（顔料分散液１の調製）
顔料分散液１（赤色（Ｒ）用顔料分散液）を次のようにして調製した。すなわち、下記表３に記載の組成にて、ホモジナイザーを用いて回転数３，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３時間撹拌して混合し、混合溶液を調製し、さらに０．１ｍｍφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル（寿工業社製）にて８時間分散処理を行なった。
【０２４１】
【表３】
2010020146.tif 000020
【０２４２】
前記表３中の成分の詳細は下記のとおりである。
・Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４
チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ
〔前記一般式（Ａ）におけるＲが塩素原子である顔料〕
・ディスパービック１６１
ビックケミー社製
〔３０質量％溶液を用いた。したがって、固形分は２．１部である。〕
・ＰＥＧＭＥＡ
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
【０２４３】
（感光性着色組成物ＣＲ−１の調製）
得られた顔料分散液１にさらに下記表４に記載の組成の成分を添加し、撹拌混合して赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を調製した。
【０２４４】
【表４】
2010020146.tif 000021
【０２４５】
前記表４中の成分の詳細は下記のとおりである。
・ＢＺＭＡ／ＭＭＡ
ベンジルメタクリレートとメタクリル酸（＝７０／３０[モル比]）との共重合体
重量平均分子量＝３０，０００
・ＤＰＨＡ
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート／１−メトキシ−２−プロピルアセテート（７６／２４［質量比］）日本化薬（株）製、「ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ」〕
・ＬＤ５
２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール〔保土ヶ谷科学社製、「Ｂ−ＣＩＭ」〕
・トリアジン系開始剤１
４−［ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニル）アミノフェニル］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン）
・エピクロンＮ６９５
大日本インキ化学工業社製、「エピクロン６９５」
・ＰＥＧＭＥＡ／ＥＰＡ
プロピレングリコールメチルエーテルアセテートと３−エトキシエチルプロピオネート（＝８０／２０[質量比]）の混合溶液
・界面活性剤１
大日本インキ化学工業社製、メガファックＦ−７８０−Ｆ
【０２４６】
感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１中の顔料について、感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１の全固形分に対する「一次粒子径が０．０８μｍを超える顔料」及び、「一次粒子径が０．０２μｍ未満の顔料」の割合は、次のようにして求めた。
すなわち、顔料粉体を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察し、ＴＥＭ写真を画像解析して粒径分布を調べ、一次粒子径を求めた。具体的には、１０万倍での観察試料中の全粒子数と０．０２μｍ未満、及び０．０８μｍを超える顔料の粒子数を計測した。
一次粒子径についての、０．０２μｍ未満の一次粒子の割合、０．０８μｍを超える一次粒子の割合は、個々の一次粒子の長径を測定し、０．０２μｍ未満及び０．０８μｍを超える顔料の粒子の割合（個数％）を算出した。顔料粉体を透過型電子顕微鏡で３〜１０万倍で観察し、写真を撮り、１０００個の一次粒子の長径を測定し、０．０２μｍ未満及び０．０８μｍを超える一次粒子の割合を算出した。この操作を顔料粉体の部位を変えて合計で３箇所について行い、結果を平均したところ、「一次粒子径が０．０８μｍを超える顔料」の割合は、０．５０％（個数分布）であり、「一次粒子径が０．０２μｍ未満の顔料」の割合は、１．６％（個数分布）であった。
【０２４７】
−  ３−２．緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１の調製−
下記処方で緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を調製した。
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６（ＳＥＭ観察での平均粒子径４７ｎｍ）
・・・１１部
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０（ＳＥＭ観察での平均粒子径３９ｎｍ）
・・・７部
・後述の分散樹脂Ａ−３                                            ・・・５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製  ３０％溶液）
・・・３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８５／１５［モル比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））          ・・・１１部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・７０部
【０２４８】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を得た。
【０２４９】
得られた緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を用いて、下記処方で緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１を調製した。再びＳＥＭで観察すると平均粒子径は３２ｎｍであった。
・緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）                                ・・・１００部
・エポキシ樹脂：（商品名ＥＨＰＥ３１５０  ダイセル化学工業社製）  ・・・２部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート  ・・・８部
・重合性化合物：ペンタエリスリトールのテトラ（エトキシアクリレート）
・・・２部
・重合開始剤：１，３−ビストリハロメチル−５−ベンゾオキソラントリアジン
・・・２部
・重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１                                                    ・・・１部
・重合開始剤：ジエチルチオキサントン                          ・・・０．５部
・重合禁止剤：ｐ−メトキシフェノール                      ・・・０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ０８  大日本インキ化学工業社製）                                                            ・・・０．０２部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：エマルゲンＡ−６０  花王社製）・・・０．５部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ・・・１２０部
・溶剤：プロピレングリコールｎ−プロピルエーテルアセテート      ・・・３０部
上記組成を混合撹拌し、緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１を得た。
得られた緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１の２５℃における粘度を、東機産業（株）製のＥ型粘度計（ＲＥ−８０Ｌ）を用いて測定したところ、０．３×１０−２Ｐａ・ｓであった。
【０２５０】
−  ３−３．青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１の調製−
下記処方で青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を調製した。
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６（ＳＥＭ観察での平均粒子径５５ｎｍ）
・・・１４部
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３（ＳＥＭ観察での平均粒子径６１ｎｍ）
・・・１部
・後述の分散樹脂Ａ−３                                            ・・・５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製  ３０％溶液）
・・・３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８０／２０［モル比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））              ・・・４部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・７３部
【０２５１】
上記各成分を、３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いてビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて４時間微分散処理を施し、青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を得た。再びＳＥＭで観察すると平均粒子径は３９ｎｍであった。
【０２５２】
得られた青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を用いて、下記処方で青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１を調製した。
・青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）                                  ・・・１００部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８０／２０［モル比］共重合体、分子量３０，０００）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））              ・・・７部
・エポキシ樹脂：（商品名セロキサイド２０８０  ダイセル化学工業社製）・・・２部
・ＵＶ硬化性樹脂：（商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業社製）
（側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）  ・・・４部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート  ・・・１２部
・重合開始剤：１−（９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾル−３−イル）−１−（ｏ−アセチルオキシム）エタノン                    ・・・３部
・重合禁止剤：  ｐ−メトキシフェノール                      ・・・０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ０８  大日本インキ化学工業社製）
・・・０．０２部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：エマルゲンＡ−６０  花王社製）  ・・・１．０部
・溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル                          ・・・２０部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・１５０部
上記成分を混合撹拌し、青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１を得た。
得られた青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１の２５℃における粘度を、東機産業（株）製のＥ型粘度計（ＲＥ−８０Ｌ）を用いて測定したところ、０．３×１０−２Ｐａ・ｓであった。
【０２５３】
＜４．分散樹脂Ａ−３の合成＞
（１．連鎖移動剤Ａ３の合成）
ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）〔ＤＰＭＰ；堺化学工業（株）製〕（下記化合物（３３））７．８３部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物（ｍ−６）４．５５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル２８．９０部に溶解させ、窒素気流下、７０℃に加熱した。これに、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）〔Ｖ−６５、和光純薬工業（株）製〕０．０４部を加えて３時間加熱した。更に、Ｖ−６５を０．０４部加え、窒素気流下、７０℃で３時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物（連鎖移動剤Ａ３）の３０％溶液を得た。
【０２５４】
【化１６】
2010020146.tif 000022
【０２５５】
（２．分散樹脂Ａ―３の合成）
前記のようにして得られた連鎖移動剤Ａ３の３０％溶液４．９９部、メタクリル酸メチル１９．０部、及びメタクリル酸１．０部、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．６６部の混合溶液を、窒素気流下、９０℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔Ｖ−６０１、和光純薬工業（株）製〕０．１３９部、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．３６部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９．４０部の混合溶液を２．５時間かけて滴下した。滴下終了してから、９０℃で２．５時間反応させた後、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル０．０４６部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．００部の混合溶液を投入し、更に２時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル１．５２部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１．７部を加え、室温まで冷却することで分散樹脂Ａ−３（ポリスチレン換算の重量平均分子量２４０００）の溶液（特定分散樹脂３０質量％、プロピレングリコールモノメチルエーテル２１質量％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４９質量％）を得た。
この分散樹脂Ａ−３の酸価は４８ｍｇ／ｇであった。分散樹脂Ａ−３の構造を以下に示す。
【０２５６】
【化１７】
2010020146.tif 000023
【０２５７】
＜５．カラーフィルタの作製＞
−感光性着色組成物層形成−
まず、上記で得られた赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、前記ブラックマトリクス基板のブラックマトリクス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層の層厚が２．０μｍとなるようにスリットとブラックマトリクス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０２５８】
−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、前記塗布により感光性着色組成物層（着色層）に対しホットプレートを用いて、１００℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった。
次に、プリベーク処理後の着色層に対し、プロキシミテイー露光機（日立ハイテク社製、ＬＥ５５６５Ａ）を用い、前記で準備したマスク１を介して露光量９０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光を行った。
この際、前記着色層のうち、ブラックマトリクスとの重なり部を露光マスクの開口パターンの周辺部を介して露光し、前記感光性樹脂層のうちブラックマトリクスとの非重なり部を前記開口パターンの中央部を介して露光した。
また、露光パターンと、ブラックマトリクスとの重なり（露光重なり量）が８．０μｍとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。
【０２５９】
−着色層現像工程、着色層ベーク（ポストベーク）工程−
その後、現像装置（日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２５℃）でシャワー圧を０．２ＭＰａに設定して、４５秒現像し、純水で洗浄した。
次いで２２０℃のクリーンオーブンで３０分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
【０２６０】
次いで、上記感光性着色組成物層形成工程、着色層プリベーク工程、着色層露光工程、着色層現像工程、及び着色層ベーク工程において、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１に代えた他は同様にして、緑色パターンを形成した。但し、この緑色パターン形成におけるパターン露光においては、マスク１ではなく、通常の露光マスク（比較用マスクＢのような、開口パターン周辺部が全て透過領域となっている露光マスク）を用いた。
さらにその後、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１に代えた他は同様にして、青色パターンを形成し、カラーフィルタを得た。但し、この青色パターン形成におけるパターン露光においては、マスク１ではなく、通常の露光マスク（比較用マスクＢのような、開口パターン周辺部が全て透過領域となっている露光マスク）を用いた。
【０２６１】
＜液晶表示装置の作製＞
上記より得たカラーフィルタのＲ画素、Ｇ画素、及びＢ画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）透明電極を、スパッタリングにより形成した。そして、前記ＩＴＯ透明電極上のブラックマトリクスの上方に相当する部分に柱状フォトスペーサを設け、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
別途、対向基板としてＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を備えたアクティブマトリクス基板を用意し、ＴＦＴ形成面側にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
【０２６２】
その後、カラーフィルタの着色画素群の周囲を取り囲むように設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＴＮモード用液晶を滴下して真空状態にて対向基板と貼り合わせ、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして液晶セルを得た。この液晶セルの両面に（株）サンリッツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付け、次いで冷陰極管のバックライトを構成して前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
【０２６３】
＜カラーフィルタの評価＞
上記カラーフィルタの作製において赤色画素形成（ポストベーク）までを完了させた測定用サンプルを準備し、下記の各評価を行った。評価結果を下記表５に示す。
【０２６４】
（パターン端部の断面形状）
上記測定用サンプルにおいて、赤色画素の長手方向を２等分する面であって、基板に垂直な面で測定用サンプルを切断し、走査型電子顕微鏡を用いて、前述の図８に示すような構図で断面ＳＥＭ写真を撮影した（倍率５０００倍）。ＳＥＭ撮影は、基板面内１０箇所について行った。
得られたＳＥＭ写真に基づき、パターン端部（赤色画素端部）の断面形状を観察し、下記評価基準にて評価した。
〜評価基準〜
Ａ  …  １０箇所全てにおいて、パターン端部の断面形状はテーパー形であった。
Ｂ  …  １箇所以上５箇所未満において、パターン端部の断面形状が垂直であり、残りの箇所はテーパー形であった。
Ｃ  …  ５箇所以上１０箇所未満において、パターン端部の断面形状が垂直であり、残りの箇所はテーパー形であった。
Ｄ  …  １０箇所全てにおいて、パターン端部の断面形状は逆テーパー形であった。
【０２６５】
（パターン端部の剥がれ）
上記測定用サンプルを光学顕微鏡にて観察し（倍率５００倍）、パターン端部（赤色画素端部）の剥がれの有無を確認し、下記評価基準にて評価した。
〜評価基準〜
Ａ  …  パターンの剥がれは確認されなかった。
Ｂ  …  パターンの剥がれは確認されたものの、１００画素当たり１箇所未満であった。
Ｃ  …  パターンの剥がれが確認され、１００画素当たり１箇所以上５箇所未満であった。
Ｄ  …  パターンの剥がれは１００画素当たり５箇所以上であり、特に顕著であった。
【０２６６】
（ツノ高さ）
接触式表面粗さ計Ｐ−１０（ケーエルエー・テンコール（株）製）を用い、上記測定用サンプルにおいて無作為に選んだ１００の赤色画素の「ツノ高さ」を測定し、算術平均を平均ツノ高さとした。
ツノ高さの測定は、赤色画素長辺側の中央付近で、画素の幅方向（即ち、ブラックマトリクスの幅方向）に触針を動かして行った。
また、ツノの高さは、着色画素の中央部（ブラックマトリクスとの非重なり部）の平坦面から、着色画素のブラックマトリクスとの重なり部において最も高い位置までの高さとして求めた。
【０２６７】
＜液晶表示装置の評価＞
上記で得られた液晶表示装置に通電し、下記の評価を行った。評価結果は下記表５に示す。
【０２６８】
（表示ムラ評価）
上記で得られた液晶表示装置に通電し、各種表示画像を目視により観察し、下記の評価基準にしたがって評価した。
〜評価基準〜
Ａ：表示ムラが無く、表示が鮮やかで迫力があると感じる。
Ｂ：表示ムラは無いが、表示に迫力を感じない。
Ｃ：表示ムラがあったり、白っぽく見えたりした。
Ｄ：表示ムラ、点欠陥等の表示不良が特に顕著であった。
【０２６９】
（コントラスト評価）
上記で得られた液晶表示装置に通電し、全白表示時の輝度と全黒表示時の輝度とを、それぞれ暗室にて、色彩輝度計（トプコン社製ＢＭ−５Ａ）を用いて測定した。いずれの輝度も、液晶表示装置の表示画面中央部にて測定した。
比率〔全白表示時の輝度／全黒表示時の輝度〕をコントラストとし、下記評価基準に基づいてコントラストを評価した。
【０２７０】
〜評価基準〜
Ａ  …  コントラストが８００以上であった。
Ｂ  …  コントラストが５００以上８００未満であった。
Ｃ  …  コントラストが２５０以上５００未満であった。
Ｄ  …  コントラストが２５０未満であった。
【０２７１】
〔実施例２〜６、比較例１〜６〕
実施例１の赤色画素の形成において、感光性樹脂組成物や露光マスクを下記表５に示すように変更した以外は実施例１と同様にしてカラーフィルタ及び液晶表示装置を作製し、実施例１と同様の評価を行った。評価結果を下記表５に示す。
なお、下記表５中、感光性着色組成物塗布液ＣＲ−２及びＣＲ−３は、下記のようにして調製した。
【０２７２】
−側鎖に複素環を有する高分子化合物の合成例−
（重合体１の合成）
Ｍ-１１（下記構造）２７．０ｇ、メチルメタクリレート  １２６．０ｇ、メタクリル酸  ２７．０ｇ、および１-メトキシ-２-プロパノール  ４２０．０ｇを、窒素置換した三つ口フラスコに導入し、攪拌機（新東科学（株）：スリーワンモータ）にて攪拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して９０℃まで昇温した。これに２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（和光純薬（株）製Ｖ−６５）を１．６９ｇ加え、９０℃にて２時間加熱攪拌を行った。２時間後、さらにＶ−６５を１．６９ｇ加え、３時加熱攪拌の後、重合体１の３０質量％溶液を得た。得られた高分子化合物の重量平均分子量をポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）により測定した結果、２．０万であった。また、水酸化ナトリウムを用いた滴定から、固形分あたりの酸価は、９８ｍｇＫＯＨ/ｇであった。
【０２７３】
（重合体２の合成）
Ｍ-６（下記構造）２７．０ｇ、メチルメタクリレート  １２６．０ｇ、メタクリル酸  ２７．０ｇ、および１-メトキシ-２-プロパノール  ４２０．０ｇを、窒素置換した三口フラスコに導入し、撹拌機（新東科学（株）：スリーワンモータ）にて撹拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して９０℃まで昇温する。これに２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（和光純薬（株）製Ｖ−６５）を１．８０ｇ加え、９０℃にて２時間加熱撹拌を行った。２時間後、さらにＶ−６５を１．８０ｇ加え、３時加熱撹拌の後、重合体２の３０質量％溶液を得た。ポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）により、得られた高分子化合物の重量平均分子量を測定した結果、２．１万であった。また、水酸化ナトリウムを用いた滴定から、固形分あたりの酸価は、９９ｍｇＫＯＨ/ｇであった。
【０２７４】
【化１８】
2010020146.tif 000024
【０２７５】
（被覆顔料１の調製）
顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４  チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ）  ５０ｇ、塩化ナトリウム  ５００ｇ、上記した重合体１の溶液  ２０ｇ、およびジエチレングリコール１００ｇをステンレス製１ガロンニーダー（井上製作所製）に仕込み、９時間混練した。次に、この混合物を約３リットルの水中に投入し、ハイスピードミキサーで約１時間撹拌した後に、ろ過、水洗して塩化ナトリウムおよび溶剤を除き、乾燥して被覆顔料１を調製した。
【０２７６】
（被覆顔料２の調製）
被覆顔料１の調製で、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４の代わりに、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６（日本ルーブリゾール社製  Ｍｏｎａｓｔｒａｌ  Ｇｒｅｅｎ  ６Ｙ−ＣＬを用いて、また重合体１の代わりに重合体２を用いて、他は被覆顔料１の調製と同様にして被覆顔料２を調製した。
【０２７７】
（顔料の被覆度の評価）
得られた顔料１０ｇを１−メトキシ−２−プロパノール  １００ｍＬ中に投入し、振とう機にて室温で３時間、振とうさせた。その後、遠心分離機にて、８０，０００ｒｐｍ、８時間かけて顔料を沈降させた。上澄み液部分の固形分を乾燥法から求めた。顔料から遊離した高分子化合物の量を求め、処理に使用した高分子化合物との比から、遊離率（％）を算出した。遊離率は小さいほど顔料への被覆度が高い。
上記で得た被覆顔料１および２は、いずれも２０質量％以下の遊離量を示し、被覆された顔料であることがわかった。
【０２７８】
−感光性着色組成物塗布液ＣＲ−２の調製−
（顔料分散液２の調製）
顔料分散液１の調製で、顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４  チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＣＲＯＭＯＰＨＴＡＬ  ＲＥＤ  ＢＰ）３５部の代わりに、被覆顔料１を顔料相当分で３５部用いた以外は、顔料分散液１の調製と同様にして、顔料分散液２を得た。
【０２７９】
（感光性着色組成物塗布液ＣＲ−２の調製）
得られた顔料分散液２にさらに以下の組成の成分を添加し、撹拌混合して感光性着色組成物塗布液ＣＲ−２を調製した。
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレートとメタクリル酸（＝７０／３０［モル比］）との共重合体  重量平均分子量＝３０，０００                    １９．８部
・モノマー：日本化薬社製  ＤＰＨＡ                                    ２０部
・重合開始剤：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール                                                    ３部
・重合開始剤：４−［ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニル）アミノフェニル］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン                            ３部
・ジエチルアミノベンゾフェノン                                      ０．５部
・Ｎ−フェニルメルカプトベンズイミダゾール                          ０．５部
・多官能エポキシ化合物：大日本インキ化学工業社製  エピクロン６９５      ５部
・界面活性剤：前記界面活性剤１                                      １．０部
・溶剤（プロピレングリコールメチルエーテルアセテート／３−エトキシエチルプロピオネート＝８／２）                                                    ４００部
【０２８０】
−感光性着色組成物塗布液ＣＲ−３の調製−
（顔料分散液３の調製）
顔料分散液２の調製で、被覆顔料１の代わりに、被覆顔料２を顔料相当分で３５部用いた以外は、顔料分散液２の調製と同様にして、顔料分散液３を得た。
【０２８１】
（感光性着色組成物塗布液ＣＲ−３の調製）
感光性着色組成物塗布液ＣＲ−２の調製において、顔料分散液２の代わりに顔料分散液３を用いた以外は感光性着色組成物塗布液ＣＲ−２の調製と同様にして感光性着色組成物塗布液ＣＲ−３を得た。
【０２８２】
〔実施例７〕
実施例１の樹脂ブラックマトリクスの形成において、パターン露光における露光マスクを、開口パターン全体の形状は変更せず、開口パターン周辺部の条件を前記マスク１のごとく変更した以外は実施例１と同様にしてカラーフィルタ及び液晶表示装置を作製し、実施例１と同様の評価を行った。評価結果を下記表５に示す。
【０２８３】
【表５】
2010020146.tif 000025
【０２８４】
表５に示すように、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有する露光マスクを介してパターン露光を行った実施例１〜７では、カラーフィルタのパターン端部の断面形状が良好であり、パターン端部におけるパターン欠けが抑制されていた。また、液晶表示装置においては表示ムラが抑制されており、コントラストが高かった。
【０２８５】
以上の実施例では、赤色画素の形成において、周辺部における透過領域密度が中央部における透過領域密度よりも低い開口パターンを有する露光マスクを介してパターン露光を行う例を中心に説明したが、緑色画素、青色画素の形成も同様に行うことにより、同様の効果が得られることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０２８６】
【図１】本発明に用いられる露光マスクにおける透過領域密度の例を示すグラフである。
【図２】本発明に用いられる露光マスクの第１の例を示した平面図である。
【図３】第１の例に係る露光マスクにおいて開口パターン周辺部の付近を拡大した様子を示す平面図である。
【図４】（Ａ）は、第１の例に係る露光マスクの断面図であり、（Ｂ）は、前記第１の例に係る露光マスクを用いて形成されたポストベーク後のパターンの端部の断面図である。
【図５】本発明に用いられる露光マスクの第２の例における開口パターン周辺部の付近を拡大した様子を示す平面図である。
【図６】本発明に用いられる露光マスクの別の例を示した平面図である。
【図７】本発明において現像後のパターンの一例を示す断面図である。
【図８】本発明の製造方法により着色パターンを形成したカラーフィルタの一例を示す断面図である。
【図９】本発明の製造方法により樹脂ブラックマトリクス及び着色パターンを形成したカラーフィルタの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【０２８７】
１０、２０、４０  露光マスク
１１  露光マスク用基板
１２、２２、４２  開口パターン周辺部
１４、２４、４４  開口パターン中央部
１６、２６、４６  遮光パターン
１２Ａ、４２Ａ  遮光領域
１２Ｂ、４２Ｂ  透過領域
１００  基板
１０２  ポストベーク後のパターン
１０６  現像後のパターン
１１０、１２０  樹脂ブラックマトリクス
１１２、１２２  着色パターン
１１４、１２４  カラーフィルタ
Ｏ  重なり部
Ｎ  非重なり部
ｈ  ツノ高さ
【図１】
2010020146.tif 000026
【図２】
2010020146.tif 000027
【図３】
2010020146.tif 000028
【図４】
2010020146.tif 000029
【図５】
2010020146.tif 000030
【図６】
2010020146.tif 000031
【図７】
2010020146.tif 000032
【図８】
2010020146.tif 000033
【図９】
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