(57)【要約】【課題】大型化することなく、処理室内からの処理流体を含む排気を、所望の個別排気管に良好に導くことができる基板処理装置を提供すること。また、３つの個別排気管が全て閉塞することを確実に防止することができる基板処理装置を提供すること。【解決手段】処理室からの排気が集合管４５に導入される。排気切換器５０は、集合管４５から排気が導入される排気導入室５４と、排気導入室５４の内部に回転可能に設けられた回転板５５とを備えている。排気導入室５４の側壁５９には、３つの導出接続孔６２，７２，８２が、回転軸線Ｃを中心とする円周上に等角度間隔に貫通して形成されている。各導出接続孔６２，７２，８２には、個別排気管６０，７０，８０の上流端が接続されている。回転板５５の回転軸線Ｃまわりの回転に伴って、選択孔４９が３つの導出接続孔６２，７２，８２と順に対向する。【選択図】図２
2010226043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理のために複数種の処理流体が内部で使用される処理室と、
前記処理室内からの排気が流通する集合排気管と、
前記集合排気管が接続され、前記集合排気管から排気が導入される排気導入室と、
前記排気導入室に接続され、前記排気導入室からの排気が流通する３つの個別排気管と、
前記排気導入室内に、所定の回転軸線を中心に回転可能に設けられる回転部材と、
前記回転部材を回転駆動するための駆動手段とを含み、
前記排気導入室には、各個別排気管に対応して、３つの連通孔が前記回転軸線を中心とする円周上に当該円周方向に間隔を空けて形成されており、
前記３つの個別排気管は、それぞれ対応する前記連通孔と連通し、
前記回転部材には、１つの選択孔が前記回転部材の回転に伴って前記連通孔と順に対向する位置に形成されており、
前記選択孔における前記回転部材の回転方向の幅が、互いに隣り合う前記連通孔の間の間隔よりも大きい、基板処理装置。
【請求項２】
前記連通孔は、前記排気導入室の壁に貫通して形成され、
各個別排気管は、それぞれ対応する連通孔に接続され、
前記排気導入室内には、各連通孔の全周縁から延びる筒部が形成されており、
前記回転部材は、前記筒部の先端面に接している、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記選択孔は、前記回転軸線を中心とする円弧形状に形成されている、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記選択孔は、前記回転軸線を中心とする扇形状に形成されている、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記選択孔は、前記回転部材がその周縁から切り欠かれることにより形成された切欠である、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記排気導入室の壁には、各個別排気管に対応して、３つの接続孔が前記回転軸線を中心とする円周上に当該円周方向に間隔を空けて形成され、
前記３つの個別排気管は、それぞれ対応する前記接続孔に接続され、
前記排気導入室内には、前記３つの接続孔の周囲を一括して取り囲む周壁と、互いに隣り合う前記接続孔の間を延び、前記周壁と同じ高さを有し、前記周壁により囲まれる空間を３つの分離空間に分離する分離壁とが形成され、
前記回転部材は、前記分離空間を閉塞するように、前記周壁および前記分離壁の先端面に接しており、
前記連通孔は、前記周壁および前記分離壁の先端部により区画形成される前記分離空間の開口である、請求項１に記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理液による処理を基板に施すための基板処理装置に関する。処理対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等が含まれる。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板に対して処理液や処理ガスなどの処理流体を用いた処理が行われる。このような処理のために、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置が用いられることがある。
枚葉式の基板処理装置は、処理室内に、基板を保持する基板保持部材と、基板の表面に処理流体を供給するためのノズルと、基板保持部材を収容するカップとを備えている。ノズルからの処理流体が基板の表面に供給されることにより、基板の表面に対して処理が施される。処理流体を含む雰囲気がカップ外に漏れ出ることを防止するために、カップの底壁には、カップ内の雰囲気を排気するための排気孔が形成されている。排気孔には排気管の上流端が接続されており、排気管の下流端は排気処理設備に接続されている。カップ内の雰囲気は、排気管を通って排気処理設備へと導かれ、この排気処理設備で処理される。
【０００３】
処理室内で２種類の処理流体を用いて基板を処理することがある。この場合、基板保持部材に保持された基板の表面に２種類の処理流体（第１処理流体および第２処理流体）が順に供給されることにより、基板の表面に処理流体が供給される。第１処理流体が使用される処理では、カップ内に第１処理流体を含む雰囲気が存在する。また、第２処理流体が使用される処理では、カップ内に第２処理流体を含む雰囲気が存在する。したがって、第１処理流体および第２処理流体の種類によっては、第１処理流体が使用される処理時における排気と、第２処理流体が使用される処理時における排気とが、互いに異なる排気処理設備で処理されることが望ましい場合がある。
【０００４】
このため、処理室内からの排気が流通する集合排気管の下流端に２つの個別排気管を接続するとともに、集合排気管とこれら２つの個別排気管との間に、排気切換器を配置する構成が提案されている。この排気管切換器は、集合排気管を流通する排気の流通先を、２つの個別排気管の間で切り換える。
図１１は、従来の排気切換器３００の構成を図解的に示す断面図である。図１２は、図１１を切断面線XII−XIIから見た断面図である。
【０００５】
排気切換器３００は、集合排気管３０１から排気が導入される排気導入室３０２を備えている。排気導入室３０２の本体は、一方側の側面（図１２で示す左側面）が開放した四角箱状の箱体３０４と、箱体３０４の開放面を覆う蓋体３０５とを備えている。
蓋体３０５の壁には、１つの導入接続孔３０６が貫通して形成されている。この導入接続孔３０６には、集合排気管３０１の下流端が接続されている。蓋体３０５と対向する箱体３０４の側壁３０７には、２つの導出接続孔３０８，３０９（第１導出接続孔３０８および第２導出接続孔３０９）が貫通して形成されている。第１導出接続孔３０８には、第１個別排気管３１０の上流端が接続されている。第２導出接続孔３０９には、第２個別排気管３１１の上流端が接続されている。第１導出接続孔３０８および第２導出接続孔３０９は、隣り合って並んでいる。
【０００６】
側壁３０７の内面には、切換羽根３１２が側壁３０７と直交する揺動軸線Ｐを中心として揺動可能に支持されている。この切換羽根３１２によって、第１導出接続孔３０８および第２導出接続孔３０９が選択的に閉塞される。切換羽根３１２が第１導出接続孔３０８を覆う第１閉塞位置にあるとき（図１２に二点鎖線で示す状態）は、第２導出接続孔３０９が開放し、排気導入室３０２の内部が第２個別排気管３１１と連通する。また、切換羽根３１２が第２導出接続孔３０９を覆う第２閉塞位置にあるとき（図１２に実線で示す状態）は、第１導出接続孔３０８が開放し、排気導入室３０２の内部が第１個別排気管３１０と連通する。
【０００７】
したがって、処理室内で基板に第１処理流体が使用される処理が行われているときに、切換羽根３１２を第２閉塞位置に位置させておけば、排気導入室３０２の内部が第１個別排気管３１０と連通し、第１処理流体を含む排気が排気導入室３０２および第１個別排気管３１０を通って、第１排気処理設備へと導かれる。
また、処理室内で基板に第２処理流体が使用される処理が行われているときに、切換羽根３１２を第１閉塞位置に位置させておけば、排気導入室３０２の内部が第２個別排気管３１１と連通し、第２処理流体を含む排気が排気導入室３０２および第２個別排気管３１１を通って、第２排気処理設備へと導かれる。
【０００８】
このように、切換羽根３１２の位置の切換えにより、処理室からの排気を、２つの個別排気管３１０，３１１に選択的に流通させることができる。このため、第１処理流体を含む排気と第２処理流体を含む排気とを、互いに異なる排気設備に導くことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１２５２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
処理室内で３種類の処理流体を用いて基板を処理することがある。基板保持部材に保持された基板の表面に３種類の処理流体（たとえば、第１処理流体、第２処理流体および第３処理流体）が順に供給されることにより、基板の表面に処理流体が供給される。この場合、第１〜第３処理流体の種類の組み合わせによっては、各処理流体が使用される処理が、個別の排気処理設備に導かれることが望ましい場合がある。このため、個別排気管を３つ設けるとともに、集合排気管を流通する排気の流通先を３つの個別排気管の間で切り換える構成が要求されている。
【００１１】
たとえば図１１および図１２に示す従来の排気切換器３００を、２つ直列に接続して使用することが考えられる。具体的には、図１１および図１２に示す排気切換器３００における一方の個別排気管（たとえば第１個別排気管３１０）の下流端に、もう１つの排気切換器３００を介して、さらに２つの個別排気管３１０，３１１を接続させる。
しかしながら、２つの排気切換器３００を直列に接続するので、装置全体として大型化する。
【００１２】
また、処理室からの排気が最初の排気切換器３００に達してから次の排気切換器３００に達するまでにタイムラグが生じる。このため、処理の処理時間が短い場合、処理流体を含む排気を所望の個別排気管に導くことができないおそれもある。
さらに、図１１および図１２の排気切換器３００を用いずに、導出接続孔を３つ有する排気導入室と、各導出接続孔に接続される個別排気管とを設け、各導出接続孔を蓋で個別に開閉させる構成も考えられる。
【００１３】
しかしながら、この場合は、蓋を駆動する機構に故障や誤作動があると、３つの個別排気管が全て閉塞される全閉状態を発生するおそれがある。
そこで、この発明の目的は、大型化することなく、処理室内からの処理流体を含む排気を、所望の個別排気管に良好に導くことができる基板処理装置を提供することである。
また、この発明の他の目的は、３つの個別排気管が全て閉塞することを確実に防止することができる基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）の処理のために複数種の処理流体が内部で使用される処理室（３）と、前記処理室内からの排気が流通する集合排気管（４５）と、前記集合排気管が接続され、前記集合排気管から排気が導入される排気導入室（５４；２０４）と、前記排気導入室に接続され、前記排気導入室からの排気が流通する３つの個別排気管（６０，７０，８０）と、前記排気導入室内に、所定の回転軸線（Ｃ；Ｃ１）を中心に回転可能に設けられる回転部材（５５；２０５；５５Ａ；５５Ｂ）と、前記回転部材を回転駆動するための駆動手段（１１２；２６２）とを含み、前記排気導入室には、各個別排気管に対応して、３つの連通孔（６２，７２，８２；２４６，２４７，２４８）が前記回転軸線を中心とする円周上に当該円周方向に間隔を空けて形成されており、前記３つの個別排気管は、それぞれ対応する前記連通孔と連通し、前記回転部材には、１つの選択孔（４９；１９９；４９Ａ；４９Ｂ）が前記回転部材の回転に伴って前記連通孔と順に対向する位置に形成されており、前記選択孔における前記回転部材の回転方向の幅（Ｗ１；Ｄ；Ｗ２；Ｗ３）が、互いに隣り合う前記連通孔の間の間隔（Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３）よりも大きい、基板処理装置（１，１５０）である。
【００１５】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、選択孔が１つの連通孔に対向する状態では、排気導入室の内部が、その連通孔に対応する１つの個別排気管に連通する。回転部材を回転軸線を中心として回転させると、選択孔が３つの連通孔と順に対向する。したがって、回転部材の選択孔を３つの連通孔のうち所望の連通孔に対向させておけば、排気導入室に導入された排気を、３つの個別排気管のうち所望の個別排気管に流通させることができる。このため、大型化することなく、処理室内からの処理流体を含む排気を、所望の個別排気管に良好に導くことができる。
【００１６】
よって、処理室の内部で使用されている処理流体の種別に応じて、集合排気管を流通する排気の流通先を、３つの個別排気管の間で切り換えることができる。
また、選択孔における回転部材の回転方向の幅が、互いに隣り合う連通孔の間の間隔よりも大きく形成されている。このため、回転部材がいずれの回転位置にあっても、選択孔が１つまたは２つの連通孔に重複し、３つの連通孔の全てが閉塞されることない。したがって、駆動手段に故障や誤作動が生じた場合であっても、３つの個別排気管が全て閉塞する全閉状態の発生を、確実に防止することができる。
【００１７】
請求項２記載の発明は、前記連通孔は、前記排気導入室の壁（５９）に貫通して形成され、各個別排気管は、それぞれ対応する連通孔に接続され、前記排気導入室内には、各連通孔の全周縁から延びる筒部（６３，７３，８３）が形成されており、前記回転部材は、前記筒部の先端面に接している、請求項１に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、排気導入室の壁に、複数の連通孔が貫通して形成される。各個別排気管は、対応する連通孔に接続されている。そして、排気導入室内には、各連通孔の全周縁から延びる筒部が形成されている。さらに、回転部材は、複数の筒部の各先端面に接している。このため、選択孔を１つの連通孔に対向させることにより、当該連通孔を開放させるとともに、他の２つの連通孔を回転部材によって閉塞させることができる。これにより、排気導入室に導入された排気を、３つの個別排気管のうち所望の個別排気管に良好に流通させることができる。
【００１８】
また、排気導入室の壁に貫通して形成された連通孔の開閉によって、排気導入室と個別排気管との間の連通／非連通が切り換えられる。このため、筒部の高さを比較的小さく設定することができ、この場合、回転部材を、連通孔が形成される壁に接近して配置させることができる。したがって、排気導入室の小型化を図ることができ、これにより、装置の小型化を図ることができる。
【００１９】
請求項３記載に記載のように、前記選択孔（４９）は、前記回転軸線を中心とする円弧形状に形成されていてもよい。
また、請求項４に記載のように、前記選択孔（１９９Ａ）は、前記回転軸線を中心とする扇形状に形成されていてもよい。
さらに、請求項５に記載のように、前記選択孔は、前記回転部材がその周縁から切り欠かれることにより形成された切欠（１９９Ｂ）であってもよい。
【００２０】
請求項６記載の発明は、前記排気導入室の壁（２０９）には、各個別排気管に対応して、３つの接続孔（２１２；２２２；２３２）が前記回転軸線を中心とする円周上に当該円周方向に間隔を空けて形成され、前記３つの個別排気管は、それぞれ対応する前記接続孔に接続され、前記排気導入室内には、前記３つの接続孔の周囲を一括して取り囲む周壁（２４１，２４２）と、互いに隣り合う前記接続孔の間を延び、前記周壁と同じ高さを有し、前記周壁により囲まれる空間を３つの分離空間（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３）に分離する分離壁（２４３，２４４，２４５）とが形成され、前記回転部材は、前記分離空間を閉塞するように、前記周壁および前記分離壁の先端面に接しており、前記連通孔は、前記周壁および前記分離壁の先端部により区画形成される前記分離空間の開口（２４６，２４７，２４８）である、請求項１に記載の基板処理装置である。
【００２１】
この構成によれば、排気導入室内に、周壁と分離壁とによって区画された分離空間が形成されている。この分離空間の開口によって連通孔が形成される。そして、回転部材は、周壁および分離壁の各先端面に接している。このため、選択孔を１つの開口に対向させることにより、当該開口を含む分離空間を開放させるとともに、他の２つの分離空間を回転部材によって閉塞させることができる。これにより、排気導入室に導入された排気を、３つの個別排気管のうち所望の個別排気管に流通させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態（第１実施形態）に係る基板処理装置の構成を概念的に示す断面図である。
【図２】図１に示す排気切換器の構成を示す断面図である。
【図３】図２の切断面線III−IIIから見た断面図である。
【図４】図１に示す基板処理装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図５】図１に示す基板処理装置において行われる処理例を説明するための工程図である。
【図６】本発明の他の実施形態（第２実施形態）に係る基板処理装置の排気切換器の構成を示す分解斜視図である。
【図７】図６に示す排気切換器の構成を示す断面図である。
【図８】図７の切断面線VIII−VIIIから見た図である。
【図９】本発明の他の実施形態（第３実施形態）に係る基板処理装置の排気切換器の断面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態（第４実施形態）に係る基板処理装置の排気切換器の断面図である。
【図１１】従来の排気切換器の構成を図解的に示す断面図である。
【図１２】図１１の切断面線XII−XIIから見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態（第１実施形態）に係る基板処理装置１の構成を概念的に示す断面図である。この基板処理装置１は、第１処理流体としてのアルカリ性薬液、第２処理流体としての酸性薬液、第３処理流体としての有機溶剤の蒸気、および純水（deionized water）を用いて、基板の一例である半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗから汚染物質を除去するための洗浄処理を実行するための装置である。この実施形態では、酸性薬液としてＳＣ１（ammonia-hydrogen peroxide mixture：アンモニア過酸化水素水混合液）が用いられ、アルカリ性薬液としてふっ酸（ＨＦ）が用いられ、有機溶剤としてＩＰＡ（isopropanol）が用いられる。
【００２４】
この基板処理装置１は、隔壁２により区画された処理室３内に、ウエハＷをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック４と、スピンチャック４に保持されたウエハＷの表面（上面）にＳＣ１を供給するための第１ノズル５と、スピンチャック４に保持されたウエハＷの表面にふっ酸を供給するための第２ノズル６と、スピンチャック４に保持されたウエハＷの表面に純水を供給するための純水ノズル７と、スピンチャック４を収容するカップ８とを備えている。
【００２５】
スピンチャック４は、ほぼ鉛直に配置されたスピン軸（図示しない）の上端に固定された円盤状のスピンベース１０と、スピンベース１０の下方に配置されて、スピン軸を駆動するためのスピンモータ１２と、スピンベース１０の周縁部に配置された複数の挟持部材１１とを備えている。複数の挟持部材１１は、スピン軸の中心軸線を中心とする円周上にほぼ等角度間隔で配置されている。
【００２６】
なお、スピンチャック４としては、挟持式のものに限らず、たとえば、ウエハＷの裏面を真空吸着することにより、ウエハＷを水平な姿勢で保持し、さらにその状態で鉛直な軸線まわりに回転することにより、その保持したウエハＷを回転させることができる真空吸着式のもの（バキュームチャック）が採用されてもよい。
第１ノズル５は、たとえば、連続流の状態で処理液を吐出するストレートノズルであり、その吐出口を下方に向けた状態で、ほぼ水平に延びる第１アーム１３の先端部に取り付けられている。第１アーム１３の基端部は、カップ８の側方においてほぼ鉛直に延びる第１支持軸１４の上端部に支持されている。第１支持軸１４には、モータ（図示しない）を含む第１ノズル駆動機構１５が結合されている。第１ノズル駆動機構１５から第１支持軸１４に回転力を入力して、第１支持軸１４を回動させることにより、スピンチャック４の上方で第１アーム１３を揺動させることができる。
【００２７】
第１ノズル５には、ＳＣ１供給源からＳＣ１が供給されるＳＣ１供給管１６が接続されている。ＳＣ１供給管１６の途中部には、ＳＣ１供給管１６を開閉するためのＳＣ１バルブ１７が介装されている。ＳＣ１バルブ１７が開かれると、ＳＣ１供給管１６から第１ノズル５にＳＣ１が供給され、第１ノズル５からＳＣ１が吐出される。
スピンチャック４にウエハＷが保持され、そのウエハＷの上方に第１ノズル５が配置された状態で、第１ノズル５からＳＣ１を吐出させることにより、ウエハＷの表面にＳＣ１を供給することができる。そして、この第１ノズル５からウエハＷの表面へのＳＣ１の供給時に、第１アーム１３を所定の角度範囲内で揺動させることにより、ウエハＷの表面におけるＳＣ１の供給位置を、ウエハＷの回転中心からウエハＷの周縁部に至る範囲内を円弧状の軌跡を描きつつ移動させることができる。
【００２８】
第２ノズル６は、たとえば、連続流の状態で処理液を吐出するストレートノズルであり、その吐出口を下方に向けた状態で、ほぼ水平に延びる第２アーム１８の先端部に取り付けられている。第２アーム１８の基端部は、カップ８の側方においてほぼ鉛直に延びる第２支持軸１９の上端部に支持されている。第２支持軸１９には、モータ（図示しない）を含む第２ノズル駆動機構２０が結合されている。第２ノズル駆動機構２０から第２支持軸１９に回転力を入力して、第２支持軸１９を回動させることにより、スピンチャック４の上方で第２アーム１８を揺動させることができる。
【００２９】
第２ノズル６には、ふっ酸供給源からふっ酸が供給されるふっ酸供給管２１が接続されている。ふっ酸供給管２１の途中部には、ふっ酸供給管２１を開閉するためのふっ酸バルブ２２が介装されている。ふっ酸バルブ２２が開かれると、ふっ酸供給管２１から第２ノズル６にふっ酸が供給され、第２ノズル６からふっ酸が吐出される。
スピンチャック４にウエハＷが保持され、そのウエハＷの上方に第２ノズル６が配置された状態で、第２ノズル６からふっ酸を吐出させることにより、ウエハＷの表面にふっ酸を供給することができる。そして、この第２ノズル６からウエハＷの表面へのふっ酸の供給時に、第２アーム１８を所定の角度範囲内で揺動させることにより、ウエハＷの表面におけるふっ酸の供給位置を、ウエハＷの回転中心からウエハＷの周縁部に至る範囲内を円弧状の軌跡を描きつつ移動させることができる。
【００３０】
純水ノズル７は、スピンチャック４の上方に、スピンチャック４に対して固定的に配置されている。純水ノズル７には、純水供給ライン（図示しない）から純水が供給される純水下供給管２３が接続されている。純水下供給管２３の途中部には、純水下供給管２３を開閉するための純水下バルブ２４が介装されている。純水下バルブ２４が開かれると、純水下供給管２３から純水ノズル７に純水が供給され、純水ノズル７から純水が吐出される。スピンチャック４にウエハＷが保持された状態で、純水ノズル７から純水を吐出させることにより、ウエハＷの表面の中央部に純水を供給することができる。
【００３１】
スピンチャック４の上方には、ウエハＷとほぼ同じ径を有する円板状の遮断板２５が設けられている。遮断板２５の上面には、スピンチャック４のスピン軸と共通の軸線に沿う回転軸２６が固定されている。この回転軸２６は中空に形成されていて、その内部には、ウエハＷの中心部に向けて、純水、ＩＰＡ蒸気、および不活性ガスとしての窒素ガスを供給するための上供給路２７が形成されている。この上供給路２７の下端は、遮断板２５の下面の中心に開口して中心吐出口２８が形成されている。上供給路２７には、純水供給ライン（図示しない）から純水が供給される純水上供給管２９と、窒素ガス供給源から窒素ガスが供給される窒素ガス供給管３０と、ＩＰＡ供給源からＩＰＡ蒸気が供給されるＩＰＡ供給管３１とが接続されている。純水上供給管２９の途中部には、純水上供給管２９を開閉するための純水上バルブ３２が介装されている。窒素ガス供給管３０の途中部には、窒素ガス供給管３０を開閉するための窒素ガスバルブ３３が介装されている。ＩＰＡ供給管３１の途中部には、ＩＰＡ供給管３１を開閉するためのＩＰＡバルブ３４が介装されている。
【００３２】
窒素ガスバルブ３３およびＩＰＡバルブ３４が閉じられた状態で、純水上バルブ３２が開かれると、純水上供給管２９から上供給路２７に純水が供給されて、中心吐出口２８から純水が吐出される。スピンチャック４にウエハＷが保持された状態で、中心吐出口２８から純水を吐出させることにより、ウエハＷの表面の中央部に純水を供給することができる。
【００３３】
純水上バルブ３２およびＩＰＡバルブ３４が閉じられた状態で、窒素ガスバルブ３３が開かれると、窒素ガス供給管３０から上供給路２７に窒素ガスが供給されて、中心吐出口２８から窒素ガスが吐出される。スピンチャック４にウエハＷが保持された状態で、中心吐出口２８から窒素ガスを吐出させることにより、ウエハＷの表面の中央部に窒素ガスを供給することができる。
【００３４】
また、純水上バルブ３２および窒素ガスバルブ３３が閉じられた状態で、ＩＰＡバルブ３４が開かれると、ＩＰＡ供給管３１から上供給路２７にＩＰＡ蒸気が供給されて、中心吐出口２８からＩＰＡ蒸気が吐出される。スピンチャック４にウエハＷが保持された状態で、中心吐出口２８からＩＰＡ蒸気を吐出させることにより、ウエハＷの表面の中央部にＩＰＡ蒸気を供給することができる。このように、中心吐出口２８から純水、窒素ガスおよびＩＰＡ蒸気を選択的に吐出させることができる。
【００３５】
回転軸２６には、遮断板２５をスピンチャック４に保持されたウエハＷの表面に近接した近接位置とスピンチャック４の上方に大きく退避した退避位置との間で昇降させるための遮断板昇降駆動機構３５が結合されている。
カップ８は、有底円筒容器状の下カップ４０と、この下カップ４０の上方で、下カップ４０に対して昇降可能なスプラッシュガード４１とを備えている。
【００３６】
カップ８の底部には、処理液（純水）を廃液するとともにカップ８内を排気するための排気液溝４２が、ウエハＷの回転軸線（スピンチャック４のスピン軸の中心軸線）を中心とする円環状に形成されている。排気液溝４２を区画する底壁には、カップ８内の雰囲気を排気するための排気孔（図示しない）が形成されている。
また、カップ８の底部には、排気液溝４２を取り囲むように、ＳＣ１を回収するための第１回収溝４３およびふっ酸を回収するための第２回収溝４４が２重円環状に形成されている。排気液溝４２の外側に第２回収溝４４が形成され、第２回収溝４４の外側に第１回収溝４３が形成されている。排気液溝４２には集合管４５が接続されている。第１回収溝４３にはＳＣ１回収管４７が接続されている。第２回収溝４４にはふっ酸回収管４８が接続されている。
【００３７】
集合管４５は処理室３の外方に延びて、その下流端が排気切換器５０に接続されている。排気切換器５０には、第１個別排気管６０、第２個別排気管７０および第３個別排気管８０が接続されている。排気切換器５０は、集合管４５を流通する排気の流通先を、３つの個別排気管６０，７０，８０の間で切り換えるためのものである。第１個別排気管６０の下流端は、ＳＣ１を含む排気を処理するためのＳＣ１排気処理設備６１に接続されている。第２個別排気管７０の下流端は、ふっ酸排気処理設備７１に接続されている。第３個別排気管８０の下流端は、ＩＰＡ排気処理設備８１に接続されている。
【００３８】
集合管４５の途中部には、排気に含まれる処理液を除去するための気液分離器５１が介装されている。気液分離器５１には、排気から除去された処理液（純水など）を廃棄するための廃液管５３が接続されている。廃液管５３は廃液処理設備（図示しない）に接続されている。
排気源としての排気処理設備６１，７１，８１は常に負圧に維持されているため、排気液溝４２内が強制的に排気されている。このため、カップ８内からの排気が、排気液溝４２に集められた処理液（純水など）とともに、集合管４５を通って気液分離器５１に導かれ、気液分離器５１によって処理液が除去される。その後、排気は排気切換器５０へと導かれた後、３つの個別排気管６０，７０，８０のうち１つの個別排気管を通って、排気処理設備６１，７１，８１に向けて導かれる。一方、気液分離器５１により排気から分離された処理液は、廃液管５３を通って、廃液処理設備（図示しない）へと導かれる。
【００３９】
スプラッシュガード４１は、互いに大きさが異なる３つの傘状部材９０，９１，９２を重ねて構成されている。スプラッシュガード４１には、たとえば、サーボモータやボールねじ機構などを含むガード昇降機構９３が結合されている。このガード昇降機構９３によって、スプラッシュガード４１をカップ８に対して昇降（上下動）させることができる。
各傘状部材９０，９１，９２は、ウエハＷの回転軸線に対してほぼ回転対称な形状を有している。
【００４０】
傘状部材９０は、ウエハＷの回転軸線を中心軸線とする円筒状の円筒部９４と、円筒部９４の上端から延びてウエハＷの回転軸線に近づくほど高くなるように傾斜する傾斜部９５と、傾斜部９５の途中部から下方に延びる排気液案内部９６とを備えている。排気液案内部９６の下端は、排気液溝４２上に位置している。円筒部９４の下端は、第２回収溝４４上に位置している。また、排気液案内部９６および円筒部９４は、スプラッシュガード４１が最下方の退避位置に下降したときに、それぞれの下端がカップ８の底面に接触しないような長さを有している。
【００４１】
傘状部材９１は、傘状部材９０を取り囲むように設けられ、ウエハＷの回転軸線を中心軸線とする同軸円筒状の円筒部９７，９８と、これら円筒部９７，９８の上端を連結し、ウエハＷの回転軸線に近づくほど高くなるように傾斜する傾斜部９９とを一体的に備えている。内側（中心側）の円筒部９７の下端は、第２回収溝４４上に位置し、外側の円筒部９８の下端は、第１回収溝４３上に位置している。また、円筒部９７，９８は、スプラッシュガード４１が最下方の退避位置に下降したときに、それぞれの下端がカップ８の底面に接触しないような長さを有している。
【００４２】
傘状部材９２は、傘状部材９１を取り囲むように設けられ、ウエハＷの回転軸線を中心軸線とする円筒状の円筒部１００と、この円筒部１００の上端からウエハＷの回転軸線に近づくほど高くなるように傾斜する傾斜部１０１とを備えている。円筒部１００は、第２回収溝４４上に位置しており、スプラッシュガード４１が最下方の退避位置に下降したときに、その下端がカップ８の底面に接触しないような長さを有している。
【００４３】
傾斜部９５，９９，１０１の上端縁は、ウエハＷの回転軸線を中心軸線とする円筒面上において、そのウエハＷの回転軸線に沿う方向（鉛直方向）に間隔を空けて位置している。これにより、傾斜部１０１の上端縁と傾斜部９９の上端縁との間には、ウエハＷから飛散するＳＣ１を進入させるための円環状の第１開口部１０２が形成されている。また、傾斜部９９の上端縁と傾斜部９５の上端縁との間には、ウエハＷから飛散するふっ酸を進入させるための円環状の第２開口部１０３が形成されている。さらに、傾斜部９５の上端縁の下方には、ウエハＷから飛散する純水を進入させるための円環状の第３開口部１０４が形成されている。
【００４４】
第１開口部１０２に進入したＳＣ１は、傘状部材９２の内壁と傘状部材９１の外壁との間を通して、第１回収溝４３に集められる。第１回収溝４３に集められたＳＣ１は、ＳＣ１回収管４７を通して、ＳＣ１回収処理設備（図示しない）に回収される。
第２開口部１０３に進入したふっ酸は、傘状部材９１の内壁と傘状部材９０の外壁との間を通して、第２回収溝４４に集められる。第２回収溝４４に集められたふっ酸は、ふっ酸回収管４８を通して、ふっ酸回収処理設備（図示しない）に回収される。
【００４５】
また、第３開口部１０４に進入した純水は、傘状部材９０の排気液案内部９６の内壁を伝って、排気液溝４２に導かれる。排気液溝４２に導かれた純水は、集合管４５および廃液管５３を通して廃液される。
図２は、図１に示す排気切換器５０の構成を示す断面図である。
排気切換器５０は、集合管４５から排気が導入される排気導入室５４と、排気導入室５４の内部に回転可能に設けられた回転部材としての回転板５５とを備えている。排気導入室５４の本体は、一方側の側面（図２で示す左側面）が開放した四角箱状の箱体５６と、箱体５６の開放面を覆う四角板状の蓋体５７とを備えている。
【００４６】
蓋体５７の中央部には、１つの導入接続孔５８が形成されている。この導入接続孔５８には、集合管４５の下流端が接続されている。
箱体５６における蓋体５７と対向する側壁（図２で示す右側の壁）５９には、３つの導出接続孔（連通孔）６２，７２，８２（第１導出接続孔６２、第２導出接続孔７２および第３導出接続孔８２（図３（ａ）〜図３（ｄ）参照）が貫通して形成されている。これらの導出接続孔６２，７２，８２は、側壁５９と直交する回転軸線Ｃ（後述する）を中心とする円周上に、その円周方向に等角度間隔に（１２０°ずつ間隔を空けて）形成されている（図３参照）。３つの導出接続孔６２，７２，８２は、ほぼ同じ大きさを有する円形孔である。第１導出接続孔６２には、第１個別排気管６０の上流端が接続されている。第２導出接続孔７２には、第２個別排気管７０の上流端が接続されている。第３導出接続孔８２には、第３個別排気管８０の上流端が接続されている。
【００４７】
側壁５９には、蓋体５７側に向けて延びる３つの円筒部６３，７３，８３（第１円筒部６３、第２円筒部７３および第３円筒部８３）が形成されている。第１円筒部６３は、側壁５９における第１導出接続孔６２の全周縁から、側壁５９と直交する方向に延びている。第２円筒部７３は、側壁５９における第２導出接続孔７２の全周縁から、側壁５９と直交する方向に延びている。第３円筒部８３は、側壁５９における第３導出接続孔８２の全周縁から、側壁５９と直交する方向に延びている。これらの円筒部６３，７３，８３は同じ高さを有しているが、その高さは比較的小さく設定されている（たとえば５ｍｍ程度）。
【００４８】
回転板５５は、円板形状をなし、側壁５９に接近して配置されている。回転板５５は、側壁５９に、回転軸線Ｃまわりに回転可能に支持されている。具体的には、回転板５５には、側壁５９と直交する方向に延びる回転シャフト１１０が接合板１０９を介して固定されている。回転シャフト１１０は、側壁５９の中央部に固定された軸受１１１により回転可能に支持されている。回転板５５は、サーボモータなどを含む回転板駆動モータ１１２により回転駆動される。回転板駆動モータ１１２は、側壁５９の外面に固定されたブラケット１１３に、排気導入室５４の外方で支持されている。回転シャフト１１０は、排気導入室５４外に延びて、その他端がカップリング１１４を介して回転板駆動モータ１１２の出力軸に駆動連結されている。
【００４９】
回転板５５は、第１〜第３円筒部６３，７３，８３の先端面に接するように配置されている。そして、回転板５５は、その内面が第１〜第３円筒部６３，７３，８３の先端面に接したまま回転する。
回転板５５には、１つの選択孔４９が貫通して形成されている。この選択孔４９と回転軸線Ｃとの間隔は、回転軸線Ｃと導出接続孔６２，７２，８２との間の間隔とほぼ同じ大きさに設定されている。このため、回転板５５の回転軸線Ｃまわりの回転に伴って、３つの導出接続孔６２，７２，８２と順に対向する。
【００５０】
図３は、図２の切断面線III−IIIから見た断面図である。
選択孔４９は、回転軸線Ｃを中心とする円弧状の長孔に形成されている。選択孔４９における回転方向の幅（より詳しくは、各導出接続孔６２，７２，８２の中心を通過する部分における回転方向の幅）Ｗ１は、第１導出接続孔６２および第２導出接続孔７２の間の回転方向の間隔Ｎ１（図３（ａ）参照）、第２導出接続孔７２および第３導出接続孔８２の間の回転方向の間隔Ｎ２（図３（ｂ）参照）、第３導出接続孔８２および第１導出接続孔６２の回転方向の間隔Ｎ３よりも大きい。なお、この実施形態では、第１〜第３導出接続孔Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３は、等角度間隔に配置されているので、間隔Ｎ１、間隔Ｎ２および間隔Ｎ３はともに同じ長さである。
【００５１】
回転板５５が、選択孔４９が第１導出接続孔６２と対向する状態（以下、「第１対向状態」という。図３（ａ）参照）にあるときは、第１導出接続孔６２が開放し、回転板５５によって第２導出接続孔７２および第３導出接続孔８２が閉塞する。これにより、排気導入室５４の内部を第１個別排気管６０とのみ連通させることができる。また、回転板５５が、選択孔４９が第２導出接続孔７２と対向する状態（以下、「第２対向状態」という。図３（ｂ）参照）にあるときは、第２導出接続孔７２が開放し、回転板５５によって第３導出接続孔８２および第１導出接続孔６２が閉塞する。これにより、排気導入室５４の内部を第２個別排気管７０とのみ連通させることができる。さらに、回転板５５が、選択孔４９が第３導出接続孔８２と対向する状態（以下、「第３対向状態」という。図３（ｃ）参照）にあるときは、第３導出接続孔８２が開放し、回転板５５によって第１導出接続孔６２および第２導出接続孔７２が閉塞する。これにより、排気導入室５４の内部を第３個別排気管８０とのみ連通させることができる。
【００５２】
選択孔４９における回転方向の幅Ｗ１が、第１導出接続孔６２および第２導出接続孔７２の間の回転方向の間隔Ｎ１よりも大きいので、回転板５５が第１対向状態から第２対向状態まで回転移動する際には、選択孔４９と第１導出接続孔６２との重複が解かれる前に、図３（ｃ）のように選択孔４９が第２導出接続孔７２と重複する。
また、選択孔４９における回転方向の幅Ｗ１が、第２導出接続孔７２および第３導出接続孔８２の間の回転方向の間隔Ｎ２よりも大きいので、回転板５５が第２対向状態から第３対向状態まで回転移動する際には、選択孔４９と第２導出接続孔７２との重複が解かれる前に選択孔４９が第３導出接続孔８２と重複する。
【００５３】
さらに、選択孔４９における回転方向の幅Ｗ１が、第３導出接続孔８２および第１導出接続孔６２の間の回転方向の間隔Ｎ３よりも大きいので、回転板５５が第２対向状態から第３対向状態まで回転移動する際には、選択孔４９と第３導出接続孔８２との重複が解かれる前に選択孔４９が第１導出接続孔６２と重複する。このため、回転板５５がいずれの回転位置にあっても、選択孔４９が１つまたは２つの導出接続孔６２，７２，８２に重複し、３つの導出接続孔６２，７２，８２の全てが閉塞することはない。したがって、回転板駆動モータ１１２に故障や誤作動が生じた場合であっても、第１〜第３導出接続孔６２，７２，８２の全ての閉塞を防止することができる。
【００５４】
この排気切換器５０では、選択孔４９が１つの導出接続孔６２，７２，８２に対向する状態では、排気導入室５４の内部が、その導出接続孔６２，７２，８２に対応する１つの個別排気管６０，７０，８０に連通する。そして、回転板５５を回転軸線Ｃを中心として回転させることにより、選択孔４９が３つの導出接続孔６２，７２，８２と順に対向する。したがって、回転板５５の選択孔４９を３つの導出接続孔６２，７２，８２のうち所望の連通孔に対向させておけば、排気導入室５４に導入された排気を、３つの個別排気管６０，７０，８０のうち所望の個別排気管に流通させることができる。このため、大型化することなく、処理室３内からの処理流体を含む排気を、所望の個別排気管６０，７０，８０に良好に導くことができる。
【００５５】
また、排気導入室５４の側壁５９に貫通して形成された導出接続孔６２，７２，８２の開閉によって、排気導入室５４と個別排気管６０，７０，８０との間の連通／非連通との間の連通／非連通が切り換えられる。このため、各円筒部６３，７３，８３の高さを比較的小さく設定することができ、この場合、回転板５５を側壁５９に接近して配置させることができる。したがって、排気導入室５４の小型化を図ることができ、これにより、基板処理装置１の小型化を図ることができる。
【００５６】
図４は、基板処理装置１の電気的構成を示すブロック図である。
基板処理装置１は、たとえば、マイクロコンピュータで構成される制御装置１２０を備えている。制御装置１２０には、スピンモータ１２、第１ノズル駆動機構１５、第２ノズル駆動機構２０、遮断板昇降駆動機構３５、ガード昇降駆動機構９３、ふっ酸バルブ２２、ＳＣ１バルブ１７、純水下バルブ２４、純水上バルブ３２、窒素ガスバルブ３３、ＩＰＡバルブ３４および回転板駆動モータ１１２が制御対象として接続されている。
【００５７】
図５は、図１に示す基板処理装置１において行われる処理例を説明するための工程図である。
装置運転中は、排気源としての排気処理設備６１，７１，８１が常に負圧に維持されており、排気液溝４２内が強制的に排気されている。また、回転板５５は第１対向状態に設定されている。
【００５８】
処理対象のウエハＷは、図示しない搬送ロボットによって基板処理装置１内に搬入されて、その表面を上方に向けた状態でスピンチャック４に保持される（ステップＳ１）。なお、このウエハＷの搬入時においては、その搬入の妨げにならないように、スプラッシュガード４１が最下方の退避位置に下げられている。この退避位置にあるスプラッシュガード４１は、傘状部材９２の上端がウエハＷの下方に位置している。また、遮断板２５は、退避位置（図１に示す位置）に配置されている。
【００５９】
ウエハＷがスピンチャック４に保持されると、スピンモータ１２が制御されて、スピンチャック４によるウエハＷの回転（スピンベース１０の回転）が開始され（ステップＳ２）、ウエハＷの回転速度が所定の液処理速度（たとえば１５００ｒｐｍ）まで上昇される。また、ガード昇降駆動機構９３が制御されて、スプラッシュガード４１が、第１開口部１０２がウエハＷの端面に対向する位置まで上昇される。さらに、第１ノズル駆動機構１５が制御されて第１アーム１３が回動し、第１ノズル５は、スピンチャック４の側方の退避位置からウエハＷの上方位置へと移動される。
【００６０】
ウエハＷの回転速度が所定の液処理速度に達すると、ＳＣ１バルブ１７が開かれて、第１ノズル５からＳＣ１が吐出される（Ｓ３：ＳＣ１処理）。このＳＣ１処理では、第１ノズル駆動機構１５が駆動されて、第１アーム１３が所定の角度範囲内で揺動される。これによって、第１ノズル５からのＳＣ１が導かれるウエハＷの表面上の供給位置は、ウエハＷの回転中心からウエハＷの周縁部に至る範囲内を、ウエハＷの回転方向と交差する円弧状の軌跡を描きつつ往復移動する。また、ウエハＷの表面に供給されたＳＣ１は、ウエハＷの表面の全域に拡がる。これにより、ウエハＷの表面の全域に、ＳＣ１がむらなく供給される。第１ノズル５からウエハＷの表面にＳＣ１が供給されることにより、そのＳＣ１の化学的能力により、ウエハＷの表面に付着しているパーティクルなどの異物を除去することができる。ウエハＷの表面に供給されたＳＣ１は、ウエハＷの周縁から側方へ飛散し、ウエハＷの端面に対向している第１開口部１０２に飛入する。そして、傘状部材９２の内または傘状部材９１の外壁を伝って第１回収溝４３に集められ、ＳＣ１回収管４７と送られ、ＳＣ１回収処理設備（図示しない）へ導かれる。
【００６１】
回転中のウエハＷの表面にＳＣ１が供給されると、ウエハＷの周縁から飛散したＳＣ１が傘状部材９１，９２の壁面等に衝突することにより、カップ８の内部でＳＣ１のミストが発生し、カップ８の内部の雰囲気は、ＳＣ１のミストを含む雰囲気となる。このため、排気液溝４２から集合管（集合排気管）４５に導入される排気はＳＣ１のミストを含んでおり、この排気が排気切換器５０の排気導入室５４へと導入される。このとき、回転板５５が第１対向状態（図３（ａ）参照）に位置しているので、排気導入室５４に導入された排気雰囲気は、第１個別排気管６０へと導入され、第１個別排気管６０を流通してＳＣ１排気処理設備６１へと導かれる。
【００６２】
ウエハＷへのＳＣ１の供給開始からＳＣ１処理時間（たとえば３０秒間）が経過すると、ＳＣ１バルブ１７が閉じられて、第１ノズル５からのＳＣ１の供給が停止されるとともに、第１ノズル駆動機構１５が制御されて第１アーム１３が回動し、第１ノズル５は、ウエハＷの上方位置からスピンチャック４の側方の退避位置に退避される。また、ガード昇降駆動機構９３が駆動されて、ウエハＷの端面に第３開口部１０４が対向する位置までスプラッシュガード４１が上げられる。
【００６３】
スプラッシュガード４１の上昇後、純水下バルブ２４が開かれて、純水ノズル７の吐出口から、回転状態にあるウエハＷの表面の回転中心に向けて純水が吐出される。ウエハＷの表面に供給された純水は、ウエハＷの回転による遠心力によって、ウエハＷの周縁に向けて流れる。これにより、ウエハＷの表面に付着しているＳＣ１が純水によって洗い流される（Ｓ４：リンス処理）。ウエハＷの周縁に向けて流れる純水は、ウエハＷの周縁から側方へ飛散する。ウエハＷの周縁から飛散する純水（ウエハＷから洗い流されたＳＣ１を含む）は、ウエハＷの端面に対向している第３開口部１０４に捕獲され、傘状部材９０の内壁を伝って排気液溝４２に集められ、その排気液溝４２から集合管４５および廃液管５３を通して廃液処理設備（図示しない）へ導かれる。
【００６４】
ウエハＷへの純水の供給開始から所定のリンス時間（たとえば３０秒間）が経過すると、純水下バルブ２４が閉じられて、純水ノズル７からの純水の供給が停止される。また、ガード昇降駆動機構９３が制御されて、スプラッシュガード４１が、第２開口部１０３がウエハＷの端面に対向する位置まで上昇される。さらに、第２ノズル駆動機構２０が制御されて第２アーム１８が回動し、第２ノズル６は、スピンチャック４の側方の退避位置からウエハＷの上方位置へと移動される。純水の供給開始から所定のリンス時間（たとえば３０秒間）が経過すると、純水上バルブ３２が閉じられて、中心吐出口２８からの純水の吐出が停止される。さらにまた、回転板駆動モータ１１２が駆動されて、回転板５５が第２対向状態まで回転移動される。
【００６５】
第２ノズル６がウエハＷの上方位置へ達すると、ふっ酸バルブ２２が開かれて、第２ノズル６からふっ酸が吐出される（Ｓ５：ふっ酸処理）。このふっ酸処理では、第２ノズル駆動機構２０が駆動されて、第２アーム１８が所定の角度範囲内で揺動される。これによって、第２ノズル６からのふっ酸が導かれるウエハＷの表面上の供給位置は、ウエハＷの回転中心からウエハＷの周縁部に至る範囲内を、ウエハＷの回転方向と交差する円弧状の軌跡を描きつつ往復移動する。また、ウエハＷの表面に供給されたふっ酸は、ウエハＷの表面の全域に拡がる。これにより、ウエハＷの表面の全域に、ふっ酸がむらなく供給される。第２ノズル６からウエハＷの表面にふっ酸が供給されることにより、そのふっ酸の化学的能力により、ウエハＷの表面に形成される酸化膜を除去することができる。ウエハＷの表面に供給されたふっ酸は、ウエハＷの周縁から側方へ飛散し、ウエハＷの端面に対向している第２開口部１０３に飛入する。そして、傘状部材９１の内壁または傘状部材９０の外壁を伝って第２回収溝４４に集められ、ふっ酸回収管４８と送られ、ふっ酸回収設処理設備（図示しない）へ導かれる。
【００６６】
回転中のウエハＷの表面にふっ酸が供給されると、ウエハＷの周縁から飛散したふっ酸が傘状部材９０，９１の壁面等に衝突することにより、カップ８の内部でふっ酸のミストが発生し、カップ８の内部の雰囲気は、ふっ酸のミストを含む雰囲気となる。このため、排気液溝４２から集合管４５に導入される排気はふっ酸のミストを含んでおり、この排気が排気切換器５０の排気導入室５４へと導入される。このとき、回転板５５が第２対向状態（図３（ｂ）参照）に位置しているので、排気導入室５４に導入された排気雰囲気は、第２個別排気管７０へと導入され、第２個別排気管７０を流通してふっ酸排気処理設備７１へと導かれる。
【００６７】
ウエハＷへのふっ酸の供給開始から所定のふっ酸処理時間（たとえば３０秒間）が経過すると、ふっ酸バルブ２２が閉じられて、第２ノズル６からのふっ酸の供給が停止されるとともに、第２ノズル駆動機構２０が制御されて第２アーム１８が回動し、第２ノズル６は、ウエハＷの上方位置からスピンチャック４の側方の退避位置に退避される。また、ガード昇降駆動機構９３が駆動されて、ウエハＷの端面に第３開口部１０４が対向する位置までスプラッシュガード４１が上げられる。
【００６８】
さらに、遮断板昇降駆動機構３５が制御されて、遮断板２５が近接位置まで下げられる。
遮断板２５が近接位置まで下降すると、純水上バルブ３２が開かれて、上供給路２７の中心吐出口２８から回転状態にあるウエハＷの表面の回転中心に向けて純水が吐出される。ウエハＷの表面に供給された純水は、ウエハＷの回転による遠心力によって、ウエハＷの周縁に向けて流れる。これにより、ウエハＷの表面に付着しているふっ酸が純水によって洗い流される（Ｓ６：リンス処理）。ウエハＷの周縁に向けて流れる純水は、ウエハＷの周縁から側方へ飛散する。ウエハＷの周縁から飛散する純水（ウエハＷから洗い流されたふっ酸を含む）は、ウエハＷの端面に対向している第３開口部１０４に捕獲され、傘状部材９０の内壁を伝って排気液溝４２に集められ、その排気液溝４２から集合管４５および廃液管５３を通して廃液処理設備（図示しない）へ導かれる。
【００６９】
純水の供給開始から所定のリンス時間（たとえば３０秒間）が経過すると、純水上バルブ３２が閉じられて、中心吐出口２８からの純水の吐出が停止される。また、回転板駆動モータ１１２が駆動されて、回転板５５が第３対向状態まで回転移動される。その後、ＩＰＡバルブ３４が開かれて、中心吐出口２８からＩＰＡ蒸気が吐出される。このＩＰＡ蒸気によって、ウエハＷの表面に付着している純水がＩＰＡに置換され、ＩＰＡの揮発性によってウエハＷの表面が乾燥されていく（Ｓ７：置換処理）。
【００７０】
中心吐出口２８からＩＰＡ蒸気が吐出されると、カップ８の内部の雰囲気は、ＩＰＡ蒸気を含む雰囲気となる。このため、排気液溝４２から集合管４５に導入される排気はＩＰＡ蒸気を含んでおり、この排気が排気切換器５０の排気導入室５４へと導入される。このとき、回転板５５が第３対向状態（図３（ｃ）参照）に位置しているので、排気導入室５４に導入された排気雰囲気は、第３個別排気管８０へと導入され、第３個別排気管８０を流通してＩＰＡ排気処理設備８１へと導かれる。
【００７１】
ＩＰＡ蒸気の供給開始から所定の置換時間（たとえば３０秒間）が経過すると、ＩＰＡバルブ３４が閉じられて、ウエハＷへのＩＰＡ蒸気の供給が停止される。その後、ガード昇降駆動機構９３が駆動されて、スプラッシュガード４１が最下方の退避位置まで下げられる。さらに、回転板駆動モータ１１２が駆動されて、回転板５５が第１対向状態まで回転移動される。さらにまた、窒素ガスバルブ３３が開かれて、中心吐出口２８から、ウエハＷの表面と遮断板２５の下面との間に窒素ガスが供給される。これにより、ウエハＷの表面と遮断板２５の下面との間が窒素ガスで充満される。
【００７２】
また、ウエハＷの回転速度がスピンドライ回転速度（たとえば３０００ｒｐｍ）に上げられる。これにより、リンス処理後のウエハＷの表面に付着している純水を遠心力で振り切って乾燥させるスピンドライ処理が実施される（ステップＳ８）。
スピンドライ処理が所定のスピンドライ時間にわたって行われると、スピンチャック４の回転が停止され（ステップＳ９）、窒素ガスバルブ３３が閉じられる。また、遮断板昇降駆動機構３５が制御されて、遮断板２５が離間位置まで上昇される。その後、基板搬送ロボットによって処理済のウエハＷが搬出される（ステップＳ１０）。
【００７３】
以上によりこの実施形態によれば、処理室３の内部で使用されている処理流体（ＳＣ１、ふっ酸およびＩＰＡ蒸気）の種別に応じて、集合管４５を流通する排気の流通先を、３つの個別排気管６０，７０，８０の間で切り換えることができる。これにより、３種類の処理流体（ＳＣ１、ふっ酸およびＩＰＡ蒸気）を含む排気を、互いに異なる排気処理設備６１，７１，８１に導くことができる。
【００７４】
図６は、本発明の他の実施形態（第２実施形態）に係る基板処理装置１５０の排気切換器２００の構成を示す分解斜視図である。図７は、図６に示す排気切換器２００の構成を示す断面図である。図８は、図７の切断面線VIII−VIIIから見た図である。この第２実施形態において、第１実施形態に示された各部に対応する部分には、第１実施形態と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
【００７５】
この第２実施形態では、図２に示す排気切換器５０に代えて排気切換器２００が設けられている。
排気切換器２００は、集合管４５（図７参照）から排気が導入される排気導入室２０４と、排気導入室２０４の内部に回転可能に設けられた回転部材としての回転板２０５とを備えている。排気導入室２０４の本体は、一方側の側面（図７で示す左側面）が開放した四角箱状の箱体２０６と、箱体２０６の開放面を覆う四角板状の蓋体２０７とを備えている。
【００７６】
蓋体２０７の中央部には、１つの導入接続孔２０８が形成されている。この導入接続孔２０８には、集合管４５の下流端が接続されている。
蓋体２０７と対向する箱体２０６の側壁（図７で示す右側の壁）２０９は、鉛直に延びている。側壁２０９には、３つの導出接続孔（接続孔）２１２，２２２，２３２（第１導出接続孔２１２、第２導出接続孔２２２および第３導出接続孔２３２（図８（ｃ）参照））が貫通して形成されている。これらの導出接続孔２１２，２２２，２３２は、側壁２０９と直交する回転軸線Ｃ１（後述する）を中心とする円周上に、その円周方向に等角度間隔に（１２０°ずつ間隔を空けて）形成されている（図８（ｃ）参照）。３つの導出接続孔２１２，２２２，２３２は、ほぼ同じ大きさを有する円形孔である。第１導出接続孔２１２には、第１個別排気管６０の上流端が接続されている。第２導出接続孔２２２には、第２個別排気管７０の上流端が接続されている。第３導出接続孔２３２には、第３個別排気管８０の上流端が接続されている。
【００７７】
回転板２０５と側壁２０９との間には、この回転板２０５と側壁２０９との間の間隔を規制するためのスペーサ２４０が配置されている。このスペーサ２４０は、側壁２０９の中央部に対向する円筒状の内側周壁２４１と、３つの導出接続孔２１２，２２２，２３２の外側を一括して、その周囲を取り囲む円筒状の外側周壁２４２と、内側周壁２４１と外側周壁２４２とにより囲まれる空間を、３つの分離空間ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３に分離する３つの分離壁２４３，２４４，２４５（第１分離壁２４３、第２分離壁２４４および第３分離壁２４５。図６および図８参照）を備えている。第１、第２および第３分離壁２４３，２４４，２４５は、回転軸線Ｃ１を中心とする放射状に形成されている。内側周壁２４１、外側周壁２４２、第１分離壁２４３、第２分離壁２４４および第３分離壁２４５は、側壁２０９の内面から側壁２０９と直交する方向に延びている。
【００７８】
具体的には、第１分離壁２４３は、第１導出接続孔２１２と第２導出接続孔２２２との間を延びて形成されている。第２分離壁２４４は、第２導出接続孔２２２と第３導出接続孔２３２との間を延びて形成されている。第３分離壁２４５は、第３導出接続孔２３２と第１導出接続孔２１２との間を延びて形成されている。第１、第２および第３分離壁２４３，２４４，２４５および周壁２４１，２４２は、同じ高さを有している。
【００７９】
内側周壁２４１、外側周壁２４２、第３分離壁２４５および第１分離壁２４３によって、第１導出接続孔２１２と連通する第１分離空間ＳＳ１が区画形成されている。この第１分離空間ＳＳ１は、側壁２０９と反対側に第１開口２４６を有している。この第１開口２４６は、内側周壁２４１の先端部、外側周壁２４２の先端部、第３分離壁２４５の先端部および第１分離壁２４３の先端部によって区画形成されている。第１分離空間ＳＳ１は、側壁２０９に沿う方向の断面形状が回転軸線Ｃ１を中心とする扇形状である。
【００８０】
内側周壁２４１、外側周壁２４２、第１分離壁２４３および第２分離壁２４４によって、第２導出接続孔２２２と連通する第２分離空間ＳＳ２が区画形成されている。この第２分離空間ＳＳ２は、側壁２０９と反対側に第２開口２４７を有している。この第２開口２４７は、内側周壁２４１の先端部、外側周壁２４２の先端部、第１分離壁２４３の先端部および第２分離壁２４４の先端部によって区画形成されている。第２分離空間ＳＳ２は、側壁２０９に沿う方向の断面形状が回転軸線Ｃ１を中心とする扇形状である。
【００８１】
内側周壁２４１、外側周壁２４２、第２分離壁２４４および第３分離壁２４５によって、第３導出接続孔２３２と連通する第３分離空間ＳＳ３（図７には図示しない。図６および図８参照）が区画形成されている。この第３分離空間ＳＳ３は、側壁２０９と反対側に第３開口２４８を有している。この第３開口２４８は、内側周壁２４１の先端部、外側周壁２４２の先端部、第２分離壁２４４の先端部および第３分離壁２４５の先端部によって区画形成されている。第３分離空間ＳＳ３は、側壁２０９に沿う方向の断面形状が回転軸線Ｃ１を中心とする扇形状である。
【００８２】
回転板２０５は、円板形状をなし、側壁２０９に接近して配置されている。回転板２０５は、側壁２０９に、回転軸線Ｃ１まわりに回転可能に支持されている。具体的には、回転板２０５には、側壁２０９と直交する方向に延びる回転シャフト２６０の一端部が固定されている。この回転シャフト２６０は、側壁２０９に固定された軸受２６１および内側周壁２４１のボス部２６９に固定された軸受２７０により回転可能に支持されている。回転板２０５は、サーボモータなどを含む回転板駆動モータ２６２により回転駆動される。この回転板駆動モータ２６２は、側壁２０９の外面に固定されたブラケット２６３に、排気導入室２０４の外方で支持されている。回転シャフト２６０は、排気導入室２０４外に延びて、その他端がカップリング２６４を介して回転板駆動モータ２６２の出力軸に駆動連結されている。回転板２０５は、その内面が、内側周壁２４１、外側周壁２４２および第１〜第３分離壁２４３，２４４，２４５の先端面に接するように配置されており、回転板２０５は、周壁２４１，２４２および分離壁２４３，２４４，２４５の先端面に接したまま回転する。
【００８３】
回転板２０５には、１つの円形の選択孔１９９が貫通して形成されている。選択孔１９９の直径Ｄ（回転板２０５の回転方向の幅）は、各開口２４６，２７４，２４８における径方向の幅の半分程度の大きさを有し、第１分離壁２４３の厚みＴ１（図８（ａ）参照）、第２分離壁２４４の厚みＴ２（図８（ａ）参照）および第３分離壁２４５の厚みＴ３（図８（ａ）参照）よりも著しく大きい。なお、この実施形態では、第１〜第３分離壁２４３，２４４，２４５は同じ厚みを有している。
【００８４】
選択孔１９９と回転軸線Ｃ１との間隔は、回転軸線Ｃ１と導出接続孔２１２，２２２，２３２との間の間隔とほぼ同じ大きさに設定されている。このため、回転板２０５の回転軸線Ｃ１まわりの回転に伴って、３つの導出接続孔２１２，２２２，２３２と順に対向する。
回転板２０５が、選択孔１９９が第１開口２４６と対向する状態（図８（ａ）参照）にあるときは、第１開口２４６が開放し、回転板２０５によって第２開口２４７および第３開口２４８が閉塞する。これにより、排気導入室２０４の内部を第１個別排気管６０とのみ連通させることができる。また、回転板２０５が、選択孔１９９が第２開口２４７と対向する状態（図８（ｂ）に実線で図示）にあるときは、第２開口２４７が開放し、回転板２０５によって第３開口２４８および第１開口２４６が閉塞する。これにより、排気導入室２０４の内部を第２個別排気管７０とのみ連通させることができる。さらに、回転板２０５が、選択孔１９９が第３開口２４８と対向する状態（図８（ｂ）に二点鎖線で図示）にあるときは、第３開口２４８が開放し、回転板２０５によって第１開口２４６および第２開口２４７が閉塞する。これにより、排気導入室５４の内部を第３個別排気管８０とのみ連通させることができる。
【００８５】
また、選択孔１９９の直径Ｄが、分離壁２４３，２４４，２４５の厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３よりも著しく大きいので、回転板２０５がいずれの回転位置にあっても、選択孔１９９が１つまたは２つの開口２４６，２４７，２４８に重複し、第１〜第３開口２４６，２４７，２４８の全てが閉塞することはない。したがって、回転板２０５の回転位置によらずに、排気導入室２０４の内部を、いずれかの個別排気管６０，７０，８０に連通させることができる。
【００８６】
したがって、回転板駆動モータ２６２に故障や誤作動が生じた場合であっても、第１〜第３開口２４６，２４７，２４８の全ての閉塞を防止することができる。
図９は、本発明のさらに他の実施形態（第３実施形態）に係る基板処理装置の排気切換器５０Ａの構成を示す分解斜視図である。この図９の実施形態において、前述の第１実施形態に示された各部に対応する部分には、第１実施形態と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
【００８７】
回転板（回転部材）５５Ａは、円板形状をなし、側壁５９に直交する回転軸線Ｃまわりに回転可能に設けられている。回転板５５Ａには、１つの選択孔４９Ａが貫通して形成されている。この選択孔４９Ａと回転軸線Ｃとの間隔は、回転軸線Ｃと導出接続孔６２，７２，８２との間の間隔とほぼ同じ大きさに設定されている。このため、回転板５５Ａの回転軸線Ｃまわりの回転に伴って、３つの導出接続孔６２，７２，８２と順に対向する。
【００８８】
選択孔４９Ａは、回転軸線Ｃを中心とする扇形状に形成されている。この選択孔４９Ａにおける回転方向の幅（より詳しくは、各導出接続孔６２，７２，８２の中心を通過する部分における回転方向の幅）Ｗ２は、第１導出接続孔６２および第２導出接続孔７２の間の回転方向の間隔Ｎ１、第２導出接続孔７２および第３導出接続孔８２の間の回転方向の間隔Ｎ２、第３導出接続孔８２および第１導出接続孔６２の回転方向の間隔Ｎ３よりも大きい。
【００８９】
図１０は、本発明のさらに他の実施形態（第４実施形態）に係る基板処理装置の排気切換器５０Ｂの構成を示す分解斜視図である。この図１０の実施形態において、前述の第１実施形態に示された各部に対応する部分には、第１実施形態と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
この図１０に示す排気切換器５０Ｂが、第１実施形態の排気切換器５０と相違する点は、回転板５５Ｂに形成された選択孔が、周縁部に設けられた切欠４９Ｂである点である。
【００９０】
回転板（回転部材）５５Ｂは、円板形状をなし、側壁５９に直交する回転軸線Ｃまわりに回転可能に設けられている。切欠４９Ｂは、回転板５５Ｂの周縁から内側に入り込む円弧形状を有している。切欠４９Ｂは、その内端と回転軸線Ｃとの間の間隔が、回転軸線Ｃと導出接続孔６２，７２，８２との間の間隔よりも短くなるように形成されている。このため、切欠４９Ｂは、回転板５５Ｂの回転軸線Ｃまわりの回転に伴って、３つの導出接続孔６２，７２，８２と順に対向する。
【００９１】
以上、この発明の４つの実施形態について説明したが、この発明は、他の形態で実施することもできる。
前述の実施形態では、第１処理流体としてのＳＣ１をし、第２処理流体としてふっ酸（ＨＦ）を、第３処理流体としてＩＰＡ（isopropanol）蒸気をそれぞれ例示した。しかし、第１処理流体として、ＳＣ１以外のアルカリ性薬液（たとえば、ＳＣ２（塩酸過酸化水素水混合液）を用いることもでき、また、第２処理流体として、ふっ酸以外の酸性薬液（たとえば、バファードフッ酸（Buffered  HF：フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合液））を用いることもできる。また、第３処理流体として、ＩＰＡ以外の有機溶剤（たとえば、ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）など）を用いることもできる。
【００９２】
前述の実施形態では、３種類の処理流体が使用される処理を例に挙げて、第１処理流体を含む排気、第２処理流体を含む排気および第２処理流体を含む排気が互いに異なる排気設備に導かれるとして説明した。しかし、基板処理装置１，１５０の処理において、４種類以上の処理流体が使用されるにも適用することができる。この場合、１つの個別排気管６２，７２，８２に２種類以上の処理流体が導かれるようにすればよい。
【００９３】
また、前述の４つの実施形態において、排気導入室５４，２０４の箱体５６，２０６の上壁に洗浄用開口が形成されるとともに、底壁にドレン孔が貫通して形成されていてもよい。この場合、洗浄用開口を介して排気導入室５４，２０４内に挿入されたハンドシャワーにより、排気導入室５４，２０４の壁の内面に向けて洗浄液が噴出されることにより、壁の内面に付着した付着物が除去される。洗浄後の洗浄液は、ドレン孔から排出される。
【００９４】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００９５】
１  基板処理装置
３  処理室
４５  集合管（集合排気管）
４９  選択孔
４９Ａ  選択孔
４９Ｂ  切欠
５０  排気切換器
５１  気液分離器
５４  排気導入室
５５  回転板（回転部材）
５５Ａ  回転板（回転部材）
５５Ｂ  回転板（回転部材）
５９  側壁（壁）
６０  第１個別排気管
６１  ＳＣ１排気処理設備
６２  第１導出接続孔（連通孔）
６３  第１円筒部（筒部）
７０  第２個別排気管
７１  ふっ酸排気処理設備
７２  第２導出接続孔（連通孔）
７３  第２円筒部（筒部）
８０  第３個別排気管
８１  ＩＰＡ排気処理設備
８２  第３導出接続孔（連通孔）
８３  第３円筒部（筒部）
１１２  回転板駆動モータ
１５０  基板処理装置
１９９  選択孔
２０４  排気導入室
２０５  回転板（回転部材）
２０９  側壁（壁）
２１２  第１導出接続孔（接続孔）
２２２  第２導出接続孔（接続孔）
２３２  第３導出接続孔（接続孔）
２４１  内側周壁
２４２  外側周壁
２４３  第１分離壁
２４４  第２分離壁
２４５  第３分離壁
２４６  第１開口
２４７  第２開口
２４８  第３開口
２６２  回転板駆動モータ
Ｃ  回転軸線
Ｃ１  回転軸線
Ｄ  直径（幅）
Ｎ１  間隔
Ｎ２  間隔
Ｎ３  間隔
ＳＳ１  第１分離空間
ＳＳ２  第２分離空間
ＳＳ３  第３分離空間
Ｗ  ウエハ（基板）
Ｗ１  幅
Ｗ２  幅
Ｗ３  幅
【図１】
2010226043.tif 000003
【図２】
2010226043.tif 000004
【図３】
2010226043.tif 000005
【図４】
2010226043.tif 000006
【図５】
2010226043.tif 000007
【図６】
2010226043.tif 000008
【図７】
2010226043.tif 000009
【図８】
2010226043.tif 000010
【図９】
2010226043.tif 000011
【図１０】
2010226043.tif 000012
【図１１】
2010226043.tif 000013
【図１２】
2010226043.tif 000014