(57)【要約】【課題】耐熱き裂性に優れたブレーキディスクを製造する。【解決手段】ブレーキディスクの材料として、Ｃを０．１５質量％以上、０．３０質量％以下、Ｓｉを０．３質量％以上、１．３質量％以下、Ｍｎを０．３質量％以上、Ｃｒを０．６質量％以上、１．０質量％以下、Ｍｏを０．４質量％以上、Ａｌを０．１５質量％以下、それぞれの金属の質量含有百分率の値から下記式（１）で示される炭素当量Ｃｅｑが０．６０質量％以上、０．８６質量％以下であり、ＭｎとＮｉとの合計が１．３質量％以下であり、残分が鉄と不純物とからなる鋼系材料を用いる。  Ｃｅｑ（ｗｔ％）＝Ｃ＋Ｓｉ／２４＋Ｍｎ／６＋Ｃｒ／５＋Ｎｉ／４０＋Ｍｏ／４  （１）【選択図】図１
2010270392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃを０．１５質量％以上、０．３０質量％以下、Ｓｉを０．３質量％以上、１．３質量％以下、Ｍｎを０．３質量％以上、Ｃｒを０．６質量％以上、１．０質量％以下、Ｍｏを０．４質量％以上、Ａｌを０．１５質量％以下の範囲で有し、それぞれの元素の質量含有百分率の値から下記式（１）で示される炭素当量Ｃｅｑが０．６０質量％以上、０．８６質量％以下であり、ＭｎとＮｉとの合計が１．３質量％以下であり、残分が鉄と不純物とからなるブレーキディスク用材料。
記
Ｃｅｑ（ｗｔ％）＝Ｃ＋Ｓｉ／２４＋Ｍｎ／６＋Ｃｒ／５＋Ｎｉ／４０＋Ｍｏ／４  （１）
【請求項２】
Ａｌが０．０２質量％以上である請求項１に記載のブレーキディスク用材料。
【請求項３】
Ｃが０．２５質量％以下であり、Ｓｉが０．５質量％以上、１．０質量％以下であり、Ｍｎが１．０質量％以下であり、Ｍｏが１．５質量％以下であり、Ｃｅｑが０．７０質量％以上である請求項１又は２に記載のブレーキディスク用材料。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のブレーキディスク用材料からなるブレーキディスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、鉄道車両などで用いるブレーキディスク用材料と、それを用いたブレーキディスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
鉄道車両、自動車、航空機などの制動に用いられるディスクブレーキは、車軸や車輪とともに回転するブレーキディスクにブレーキパッドを押し付けて、車輪及びブレーキディスクの運動エネルギーを摩擦により生じる熱エネルギーに変換するものである。従って、ブレーキディスクは高速回転しながら表面に強い摩擦力を受けるので、車両用構造材料で一般に求められる強度や靭性を有するだけでなく、耐摩耗性、耐熱き裂性に優れたものであることが求められる。ブレーキディスク用の鋼系材料としては、そのような特性をバランスよく満足するものを求めて、多くの元素を添加したものが種々提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載のようなブレーキディスク用鋼が挙げられる。この材料は、質量％で、Ｃを０．１〜０．６％、Ｓｉを０．０１〜１．２％、Ｍｎを０．２〜２．０％、Ｎｉを０．８〜３．０％、Ｃｒを１．３〜５．０％、Ｍｏを０．１〜３．０％、Ｖを０．００５〜０．５％含有し、残部が鉄と不純物とからなり、かつ、ＣとＣｒとＭｏとＶとの量が所定の関係式を満たすようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３６３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のブレーキディスクに求められる性能はいずれも高いことが望ましいが、特に耐熱き裂性はディスクブレーキの耐久性向上において重要である。これは、ブレーキディスクのブレーキパッドとの摺動部は作動時に生じる摩擦熱により高温に加熱されるが、ブレーキ解除時には一転して空冷されるので、温度が激しく変化するため、耐熱き裂性の低い金属では焼入れに伴う変態応力や温度変化に伴う熱応力に耐えきれずに容易にき裂を生じてしまうからである。
しかし、耐熱き裂性は、単純に強度と延性を向上させればよいというものではなく、高い性能を発揮させることは難しかった。
【０００６】
そこでこの発明は、特に耐熱き裂性に優れたブレーキディスクを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、ブレーキディスクの材料として、Ｃを０．１５質量％以上、０．３０質量％以下、Ｓｉを０．３質量％以上、１．３質量％以下、Ｍｎを０．３質量％以上、Ｃｒを０．６質量％以上、１．０質量％以下、Ｍｏを０．４質量％以上の範囲で有し、それぞれの元素の質量含有百分率の値から下記式（１）で示される炭素当量Ｃｅｑが０．６０質量％以上、０．８６質量％以下であり、ＭｎとＮｉとの合計が１．３質量％以下であり、Ａｌを０．１５質量％以下有していてよく、残分が鉄と不純物とからなる鋼系材料を用いることで、上記の課題を解決したのである。
【０００８】
Ｃｅｑ（ｗｔ％）＝Ｃ＋Ｓｉ／２４＋Ｍｎ／６＋Ｃｒ／５＋Ｎｉ／４０＋Ｍｏ／４  （１）
【０００９】
この発明は、鉄を主成分とする材料は、加熱と冷却を繰り返す焼き入れによって、マルテンサイト構造への変態を起こすことがあるという事実に基づく。マルテンサイト構造は、鉄鋼系材料を一般的な方法で鋳造することで取りうる構造よりも硬度が高いが脆いため、マルテンサイト変態を起こした箇所はき裂を生じやすい。また、ブレーキディスクはブレーキパットと摺動する箇所に集中して熱がかかるため、変態を起こすのはディスクの表面付近の一部であり、局所的な塑性変形が生じて、き裂発生に至る。従って、マルテンサイト変態を起こしやすいと、耐熱き裂性は低いものとなる。従って、このマルテンサイト構造への変態が起こりにくい成分比率及び他の条件を見出すことで、耐熱き裂性の高い鋼系材料を得ることができる。
【００１０】
この発明は上記の前提の下、さらに、硬度及び引張強度や、き裂の原因となる鋳造欠陥を生じにくくするための脱酸効果を付与するといった、ブレーキディスクとして必要な性質を発揮するように合金の成分を設計したものである。ただし、単純に個々の元素の含有率だけでなく、上記組成の中でも特に焼き入れ性に直結する元素であるＭｎ及びＮｉについては合計量として上限を規定する。
【００１１】
また、炭素当量Ｃｅｑは、炭素以外の含有元素について、硬度や強度を主に向上させる影響度を、炭素の影響度に換算した値である。一般に、高ければ高いほど硬度が高い。ただし、この発明では、ＪＩＳ  Ｇ  ０２０３（５１０３）で規定される炭素当量の算出式から、不純物としてしか含まれないＶについての項を除外している。
【００１２】
なお、硬度は、ブレーキディスク用材料としては少なくとも３００ＨＶ以上の硬度を必要とする。好ましくは３３０ＨＶ以上である。
【発明の効果】
【００１３】
この発明にかかる合金によるブレーキディスクを用いることにより、ディスクブレーキの置かれる環境で生じる加熱と冷却の環境でも、ブレーキディスクの摺動部におけるマルテンサイト組織の生成を抑えることができる。これにより、ブレーキディスクの摺動部におけるマルテンサイト組織の部分的な塑性変形に起因する熱き裂の発生や、それによる破損を防止することができる。
（参考文献  雑誌  素形材  ２００７．０３号  Ｐ６７素形材の表面処理（１２）図２）
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ブレーキディスクの例を示す概略図
【図２】試験片の寸法図
【図３】熱衝撃試験機の斜視図
【図４】熱衝撃試験機の断面図
【図５】熱衝撃試験時の試験片の温度変化を示すグラフ
【図６】熱衝撃試験の参照例とする写真
【図７】比較例１，９，１３，２２の試験片の表面からの硬度変化を示すグラフ
【図８】実施例１，２，４の試験片の表面からの硬度変化を示すグラフ
【図９】（ａ）実施例８の材料を用いた試験ディスクのブレーキ試験後浸透探傷表面写真、（ｂ）比較例１の材料を用いた試験ディスクのブレーキ試験後浸透探傷表面写真
【図１０】（ａ）実施例８の材料を用いた試験ディスクの脱錆処理後の表面拡大写真、（ｂ）比較例１の材料を用いた試験ディスクの脱錆処理後の表面拡大写真
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、この発明の実施形態について具体的に説明する。
この発明にかかるブレーキディスクに用いる材料は、主として鉄からなり、具体的には次のような構成からなる。なお、以下の比率は全て質量％であり、鋳造前の材料配合時の値ではなく、鋳造後に得られるブレーキディスクそのものでの値である。
【００１６】
上記のブレーキディスク用材料は、Ｃを０．１５質量％以上含有することが必要である。０．１５質量％未満であると、硬度及び引張強度が不足し、ブレーキディスクに必要な機械的性質を確保できなくなる可能性が高くなる。一方で、Ｃの含有量は０．３０質量％以下である必要がある。Ｃが０．３０質量％を超えると、耐熱き裂性の低下が無視できないものとなる。より確実に耐熱き裂性の低下を避けるには、０．２５質量％以下であるとよい。また、この他に炭素当量Ｃｅｑに関与する元素を勘案しての含有率制限がある。
【００１７】
上記のブレーキディスク用材料は、Ｓｉを０．３質量％以上含有することが必要である。Ｓｉは脱酸効果を有し、鋳造時に鋳造欠陥を生じさせる元となる酸素を奪うことで、鋳造欠陥を抑制する効果を有する。０．３質量％未満ではこの効果が不十分となり、鋳造欠陥が生じる可能性が無視できないものとなってくる。より確実に脱酸効果を確保するには、０．５質量％以上であると好ましい。一方で、１．３質量％を超えて含有させても、鋳造欠陥を防止する脱酸効果への寄与はほとんど向上せず、伸びが低下するおそれが出てくるので、１．３質量％以下である必要がある。伸び低下の抑制の点から好ましくは１．０質量％以下である。また、この他に炭素当量Ｃｅｑに関与する元素を勘案しての含有率制限がある。
【００１８】
上記のブレーキディスク用材料は、Ｍｎを０．３質量％以上含有する必要がある。Ｍｎも脱酸効果を有し、Ｓｉと併用することで鋳造欠陥を防止する効果をより徹底させる効果がある。Ｍｎが０．３質量％未満であると鋳造欠陥が生じる可能性が無視出来ないものとなってくる。一方、１．０質量％を超えると焼き入れ性過大のおそれが出てくるため、１．０質量％以下であることが好ましい。また、後述するＮｉとの合計量について、耐熱き裂性の付与の点から事実上の上限（１．３質量％）が存在する。
【００１９】
上記のブレーキディスク用材料は、Ｃｒを０．６質量％以上含有する必要がある。Ｃｒが０．６質量％未満であると耐酸化性が不十分になってしまう。一方で、Ｃｒが１．０質量％を超えると、焼入れ性が大きくなり、すなわちマルテンサイト変態が起こりやすくなり、耐熱き裂性が大きく低下することになるため、Ｃｒは１．０質量％以下である必要がある。
【００２０】
上記のブレーキディスク用材料は、Ｍｏを０．４質量％以上含有する必要がある。Ｍｏも硬度及び引張強度に寄与し、０．４質量％未満であると、これら機械的性質が不十分になってしまう。一方、Ｍｏは含有量が増えても、Ｃｒのように焼入れ性が大きくなる作用は少ないため、単独では耐熱き裂性を保持するための上限は特に規定されない。ただし、炭素と同様の作用をわずかながら有するので、上記炭素当量の一項として、事実上の上限が存在する。また、実際には１．５質量％を超えて含有させても、硬度及び引張強度への向上効果はほとんど現れなくなってしまい無駄となるので、１．５質量％以下であるとよい。
【００２１】
上記のブレーキディスク用材料は、Ａｌを０．０２質量％以上含有することができる。Ａｌも脱酸効果を有し、Ｓｉよりも比較的少量で効果を発揮する。Ａｌが０．０２質量％未満であると脱酸効果が不十分となり、鋳造欠陥が生じる可能性が無視できないものとなる。ただし、これは同様に脱酸効果に寄与するＳｉやＭｎの量を調整したり、製造方法を工夫したりすることで解決可能である。このため、Ａｌを含有しなくてもこの発明に用いる材料としての要件は満たす。一方で、典型元素であるＡｌが増えすぎると、靭性の低下に繋がることがあり、また、０．１５質量％を超えて含有しても鋳造欠陥を防止する脱酸効果への寄与はほとんど向上しないので、０．１５質量％以下であるとよい。
【００２２】
次に、上記のブレーキディスク用材料を構成する元素のうち、ＡｌとＦｅ以外の元素について、下記式（１）で示される炭素当量Ｃｅｑが、０．６０質量％以上である関係を満足する必要がある。この炭素当量は、炭素以外の元素が性質に及ぼす影響度を炭素の影響度に換算した値であり、これが０．６０質量％未満であると、ブレーキディスクとして必要な硬度３００ＨＶを得られない。また、０．７０質量％以上であると、硬度を安定して得ることができるので好ましい。一方で、Ｃｅｑが０．８６質量％以下である関係を満足する必要がある。これが０．８６質量％を超えると、炭素の含有量が多すぎる場合と同様に、耐熱き裂性が低下しすぎてしまう。
【００２３】
Ｃｅｑ（ｗｔ％）＝Ｃ＋Ｓｉ／２４＋Ｍｎ／６＋Ｃｒ／５＋Ｎｉ／４０＋Ｍｏ／４  （１）
【００２４】
さらに、上記のブレーキディスク用材料に含まれるＭｎとＮｉとの合計量は、１．３質量％以下である必要がある。ＭｎとＮｉは、含有率が増加して耐熱き裂性を損なうか否かの寄与について、一体となって寄与する。耐熱き裂性への関与について、これらの化学的性質が類似しているためと考えられる。なお、この合計値の限界とＭｎ単独での下限値から、Ｎｉは事実上１．０質量％以下である必要があることとなる。ただし、Ｎｉには下限はなく、含有しなくてもよい。
【００２５】
上記のブレーキディスク用材料が含有する元素は、上記のＣ，Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｉ以外には、鉄が主成分を占めるものである。それ以外には、意図的に含めるのではなく混入されうる不純物となる元素が、この発明にかかるブレーキディスク用材料が必要とする性能を阻害しない範囲で含まれていることが許容される。この不純物は、鋳造のための溶湯を調整するるつぼや鋳型に残存する、それまでに利用された溶湯に含まれていた元素が残存したものや、環境保護の点からスクラップを材料にする際に除外しきれない元素などである。
【００２６】
上記の不純物となる元素の含有量は以下の通りであると好ましい。Ｐは０．０５質量％以下であると好ましい。０．０５質量％を超えると、耐熱き裂性に有害である。Ｓも０．０５質量％以下であると好ましい。０．０５質量％を超えると、同様に、耐熱き裂性に有害である。その他、ＣｕやＶ、Ｔｉ、Ｎｂの他、他の元素の含有量は０．０５質量％以下であると好ましい。これらの元素が含まれることで、不測の作用を発揮して、この発明にかかるブレーキディスク用材料の性質を阻害するおそれがあるためである。またこれらの元素が含まれる事で不要なコストアップにつながる。なお、これら不純物である元素の含有量は少ないほどよく、０質量％であると望ましい。
【００２７】
上記の元素の含有率は、原料となる元素の配合比ではなく、鋳造後に実際に得られる物の含有率である。その具体的な測定方法はスパーク発光分析法（ＪＩＳ  Ｇ  １２５３）による。
【００２８】
上記の構成であるブレーキディスク用材料により、一般的な鋳造方法によってディスクブレーキ用ブレーキディスクを製造すると、耐熱き裂性が高く、硬度、引張強度等の機械的性質に優れたものとすることができる。図１はこのブレーキディスクの一例である鉄道車両用ブレーキディスクの概念図である。ブレーキディスク１は、その中央の取付孔２に鉄道車両の車軸４が嵌め込まれ、取付孔２の周囲の複数のボルト孔３で車輪５にボルト締めされた状態で使用される。これにより、ブレーキディスク１と車輪５は同軸回転する。ブレーキ作動時にはブレーキディスク１の車輪５と反対側の面にブレーキパッド６が押し付けられる。この際にブレーキパッド６は回転せず、ブレーキディスク１は停止するまでしばらくの間回転しつづけるために、ブレーキパッド６がブレーキディスク１上の円環状部分７を摺動する。これにより、円環状部分７に高熱が生じる。ブレーキによって停止した後は加熱が止まり、緩やかに空冷され、鉄道車両が動き始めるとそれによって空冷される。この加熱と冷却の繰り返しを受けることによる負担と、ブレーキディスク１の中でも特に円環状部分７に加熱が集中することで、熱き裂が生じやすい環境が整うが、この発明にかかるブレーキディスク用材料を用いることで、このような環境でも高い耐熱き裂性を発揮できる。
【実施例】
【００２９】
以下、この発明について実施例により具体的に検討した例を説明する。
下記のそれぞれの組成である鉄鋼材について、熱衝撃試験を行って加熱と冷却を繰り返した際のき裂の生じやすさを検討した。また合わせて、試験材について熱衝撃試験前の硬度ＨＶ０．１０を測定した。
【００３０】
＜熱衝撃試験＞
後述する表１のそれぞれの鋳鋼材を、高周波溶解炉にて１５８０〜１６００℃で溶解し、１５６０℃で鋳型に流し込み、鋳造して、試験片（３０角×１４０Ｌ）を得た。同試験片を熱処理（焼鈍し９５０℃×３ｈ保持後炉冷＋焼入れ９２０℃×３ｈ保持後水冷＋焼戻し６３０℃×３ｈ保持後空冷）し、図２に示す切り欠きを有する円柱型試験片（高さ２０ｍｍ、φ２５±０．２）を機械加工により作製した。側面には幅６ｍｍ、深さ３ｍｍであり、対向する一対の溝が上下方向に設けてある。上底面の中央には、深さ５ｍｍ、φ５±０．２の穴を空けてある。側面の算術平均粗さは約２．０である。
【００３１】
この円柱型試験片を急加熱、急冷する熱衝撃試験機２０の概略図を図３に、断面図を図４に示す。本体２１は上端が開放された管厚の円筒形で、その内部に上記の試験片１１を収納できる。本体２１の周囲には高周波コイル３１が巻き付けてあり、この高周波コイル３１により、収納した試験片１１を３秒で１０００℃にまで加熱できる。
【００３２】
本体２１の上端環部には、等間隔に内部へ通じる穴が空いている。このうちの半分が空気を供給するための空気孔２２であり、残りは冷却水を供給するための冷水孔２３である。これらは交互に設けられている。それぞれに、空気供給管２４、冷水供給管２５が繋がっており、本体２１の内部に張り巡らされた孔路を通じて、本体２１の内周面に多数空けた空気噴出口２７、冷水噴出口２８へと空気及び冷水を供給して、試験片１１を冷却することができる。なお、供給された水は排出管２９を通じて排出される。
【００３３】
この熱衝撃試験機により、図５に示すような急加熱と急冷とからなる温度変化を繰り返した。この温度変化はまず、高周波コイル３１からの加熱により、３秒ほどで１０００℃にまで昇温させる急加熱を行う。次に、高周波コイル３１による加熱を停止し、冷水噴出口２８からの冷水供給を２０秒間行い、冷水供給の後は空冷を３０秒間行う。これにより、高温化した試験片１１を速やかに急冷する。このような急加熱と急冷とを繰り返す熱サイクルを５０回繰り返して、割れ発生の有無を目視及び浸透探傷試験により確認した。
【００３４】
割れの評価は、図６に示す参照例に準じた判断基準による。なお、この参照例では上記の熱サイクルを１０回、２０回、３０回、５０回繰り返した時点で割れの様子を観察したものである。写真中、表面が染まっている箇所は、浸透探傷のための色素が付着している箇所であり、試験片に傷が入っていることを示す。参照例１では、熱サイクル２０回の時点で切り欠きの最も深いところから、周方向に傷が延びていき、熱サイクル５０回ではっきりとした割れを示す線が生じていることが分かる。参照例２は熱サイクルを５０回まで到達させる前に、２０回でき裂が繋がって周辺部分が剥離している。これらのように、熱サイクル５０回までに明白な割れが認められた試験片を「×」と評価する。次に、参照例３は、熱サイクル５０回終了時において、切り欠きの最深部から微細な割れが認められる。このように、５０回経過後に２ｍｍ未満の微細割れが生じた試験片を「△」と評価する。さらに、参照例４は、熱サイクル５０回終了時において、割れも浸透探傷の色素も認められないものである。このように、５０回終了後に傷が見あたらない試験片を「○」と評価する。なお、浸透探傷試験は、ＪＩＳ  Ｚ  ２３４３に従って行った。
【００３５】
＜硬度判断基準＞
ＨＶ０．１０の値が３００以上となるものを○と評価した。
【００３６】
＜実施例及び比較例＞
鋳造後にスパーク発光分析法（ＪＩＳ  Ｇ  １２５３）によって測定した成分が下記の表１の組成となる鉄鋼材にて、図２に示す上記試験片を作成して上記の測定を行った。その結果を表１に示す。なお、Ｍｎについては他の鉄鋼材において０．３質量％を下回るものは多くの場合硬度が低くなるか脱酸が不十分となる経験則があり、本願においてはＭｎを全て０．３質量％以上とする条件で行った。このうち、上記参照例１は表１の比較例１，参照例２は表１の比較例２２、参照例３は比較例１６、参照例４は実施例８の材料を用いたときの写真である。
【００３７】
【表１】
2010270392.tif 000003
【００３８】
＜マルテンサイト変態についての検討＞
実施例と比較例との一部について、上記熱衝撃試験後の試験片を、高さ１／２の位置で切断し、中心から、加熱及び冷却に直接曝される外周面へ向かって、断面硬度をビッカース硬度計により測定し、横軸に外周面からの距離、縦軸に断面硬度としてプロットした。このうち、比較例１、比較例９、比較例１３、比較例２２についての散布図を図７に、実施例１、実施例２、実施例４についての散布図を図８に示す。いずれの例でも、端面（表面）に近い部分が内部よりも高い硬度を示している。比較例１、９、１３、２２は、Ｈｖ０．１０の値が急激に上昇している。すなわち、これらは局所的な塑性変形がおきており割れを生じやすくなると考えられる。一方で、実施例では表面に向かっての硬度の上昇が連続的で緩やかであり、組織の歪みがそれほど大きくなっていないことがわかる。
【００３９】
＜ブレーキ試験による耐熱き裂性評価＞
実施例８の材料と、比較例１の材料を用いて、現行の鉄道車両で用いられているブレーキディスクと同型同サイズの試験ディスクを鋳造した。この試験ディスクについて、現実のブレーキディスクの使用に準じ、表２の制動初速度で非常ブレーキを掛ける試験を表２に記載のそれぞれの回数行った。手順としては、一つの制動初速度での試験が終わった後に、より高速の制動初速度での試験を行い、低速から高速へ計８４回の非常ブレーキ試験を行った。その後、表面割れの有無を浸透探傷試験により検査した。その表面写真を図９（ａ）（ｂ）に示す。図９（ａ）に示される実施例８では、浸透探傷試験において傷を示す色が全体に薄く付いただけであるのに対して、図９（ｂ）に示す比較例１では、周方向にはっきりとした傷の着色が目視できた。
【００４０】
【表２】
2010270392.tif 000004
【００４１】
次に、同様にブレーキ試験を行った試験ディスクについて、脱錆処理をした後の表面を拡大した顕微鏡写真を撮影した。その結果を図１０（ａ）（ｂ）に示す。図１０（ｂ）で示される比較例１に比べて、図１０（ａ）に示される実施例８は、表面に生じる割れの密度が低減しており、耐熱き裂性に優れたものであることが示された。
【符号の説明】
【００４２】
１  ブレーキディスク
２  取付孔
３  ボルト孔
４  車軸
５  車輪
６  ブレーキパッド
７  円環状部分
１１  試験片
２０  熱衝撃試験機
２１  本体
２２  空気孔
２３  冷水孔
２４  空気供給管
２５  冷水供給管
２７  空気噴出口
２８  冷水噴出口
２９  排出管
３１  高周波コイル
【図１】
2010270392.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
2010270392.tif 000011
【図６】
2010270392.tif 000012
【図９】
2010270392.tif 000013
【図１０】
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