(57)【要約】      （修正有）【課題】アルカリ性水溶液に可溶で、かつ可視光領域において良好な伝搬損失を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物を用いて得られる光導波路を提供する。【解決手段】基材フィルム、（Ａ）連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有するビニル重合体、（Ｂ）重合性化合物及び（Ｃ）重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、（Ｃ）成分が、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル、オキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］｝プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも１種である感光性樹脂フィルムを用いて、下部クラッド層４、コア部２、上部クラッド層３の少なくとも１つが形成されてなる光導波路１である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルム、（Ａ）連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有するビニル重合体、（Ｂ）重合性化合物及び（Ｃ）重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、（Ｃ）成分が、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル、オキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］｝プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも１種であり、（Ｃ）成分の含有量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．５〜５．０質量部である感光性樹脂組成物、若しくは該感光性樹脂組成物を硬化又は重合して得られる感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの３層構造を有する感光性樹脂フィルム、又は該感光性樹脂フィルムの硬化物を用いて、下部クラッド層、コア部、上部クラッド層の少なくとも１つが形成されてなる光導波路。
【請求項２】
少なくともコア部が、前記感光性樹脂フィルム、又は該感光性樹脂フィルムの硬化物を用いて、形成される請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
４６０ｎｍにおける光伝搬損失が、１．０ｄＢ／ｃｍ以下である請求項１又は２に記載の光導波路。
【請求項４】
（Ｃ）成分が、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル及びオキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ)エチルエステルを含有する請求項１〜３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項５】
（Ａ）成分の配合量が（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量に対して、１０〜８５質量％である請求項１〜４のいずれかに記載の光導波路。
【請求項６】
（Ａ）成分が、下記一般式（１）で表される繰り返し単位（Ａ−１）及び下記一般式（２）で表される繰り返し単位（Ａ―２）の少なくとも一方を含み、かつ、下記一般式（３）で表される繰り返し単位（Ａ−３）及び下記一般式（４）で表される繰り返し単位（Ａ−４）の少なくとも一方を含む請求項１〜５のいずれかに記載の光導波路。
【化１】
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（式中、Ｒ1〜Ｒ3は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。）
【化２】
2010020328.tif 000022
（式中、Ｒ4〜Ｒ6は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。Ｒ7は炭素数１〜２０の１価の有機基である。）
【化３】
2010020328.tif 000023
（式中、Ｒ8〜Ｒ10は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。）
【化４】
2010020328.tif 000024
（式中、Ｒ11〜Ｒ13は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。Ｘ1は炭素数１〜２０の２価の有機基である。）
【請求項７】
（Ａ）成分が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の炭酸塩水溶液に可溶である請求項１〜６のいずれかに記載の光導波路。
【請求項８】
（Ｂ）成分が、その分子中に連鎖重合可能な官能基を少なくとも１つ含む化合物である請求項１〜７のいずれかに記載の光導波路。
【請求項９】
（Ｂ）成分に含まれる連鎖重合可能な官能基が、エチレン性不飽和基である請求項８に記載の光導波路。
【請求項１０】
（Ｂ）成分が、下記一般式（５）〜（８）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１〜９のいずれかに記載の光導波路。
【化５】
2010020328.tif 000025
（式中、Ｒ14は水素原子又はメチル基である。Ｘ2は、Ｏ（酸素原子）、Ｓ（硫黄原子）、ＯＣＨ2、ＳＣＨ2、Ｏ（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）a、Ｏ［ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ］b、又はＯＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2Ｏで示される２価の基である（ａ及びｂは各々独立して１〜２０の整数である）。Ａｒは、以下の式で示される１価の有機基のいずれかである。なお、＊印の部分でＸ2と結合する。
【化６】
2010020328.tif 000026
（Ｒ15〜Ｒ31は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数１〜２０の１価の有機基、又は炭素数１〜２０の１価の含フッ素有機基のいずれかである。Ｙ1は、以下の式で示される２価の基のいずれかである。
【化７】
2010020328.tif 000027
（ｄは２〜１０の整数を示す。）））
【化８】
2010020328.tif 000028
（式中、Ｒ32は、以下の式で示される１価の有機基のいずれかである。なお、＊印の部分でＮと結合する。
【化９】
2010020328.tif 000029
（式中、Ｒ33〜Ｒ35は、各々独立して水素原子又はメチル基である。ｅは１〜１０の整数である。）））
【化１０】
2010020328.tif 000030
（式中、Ｒ36及びＲ41は、各々独立して水素原子又はメチル基である。Ｒ37〜Ｒ40は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数１〜２０の１価の有機基、又は炭素数１〜２０の１価の含フッ素有機基のいずれかである。Ｘ3及びＸ4は、各々独立にＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）f、又はＯ［ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ］gで示される２価の基である（ｆ及びｇは各々独立して１〜２０の整数である。）
Ｙ2は、以下の式で示される２価の基のいずれかである。
【化１１】
2010020328.tif 000031
（ｈは２〜１０の整数を示す。）））
【化１２】
2010020328.tif 000032
（式中、Ｒ42及びＲ47は、各々独立して水素原子又はメチル基である。Ｒ43〜Ｒ46は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数１〜２０の１価の有機基、又は炭素数１〜２０の１価の含フッ素有機基のいずれかである。Ｙ3は、以下の式で示される２価の基のいずれかであり、またｉは１〜５の整数である。
【化１３】
2010020328.tif 000033
（ｊは２〜１０の整数である。））
【請求項１１】
前記感光性樹脂硬化物に白色ＬＥＤ光を照射した際に観測される、５６０ｎｍ付近における透過光強度ピークと４５０ｎｍ付近における透過光強度ピークから求められる透過強度比が、１：１〜１：４である請求項１〜１０のいずれかに記載の光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物及びその硬化物、感光性樹脂フィルム及びその硬化物並びに、それらを用いた光導波路に関し、特に可視光波長領域における伝搬特性に優れ、かつアルカリ性水溶液に可溶な感光性樹脂組成物及びその硬化物、感光性樹脂フィルム及びその硬化物並びに、それらを用いた光導波路に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年注目を浴びている照明用光源として白色ＬＥＤが挙げられる。白色ＬＥＤは高い輝度と低い消費電力を併せ持つことから、近年携帯電話や携帯情報端末（ＰＤＡ；Personal Digital Assistant）、携帯ゲーム機器、携帯オーディオなど、様々なモバイル機器などで多用されている。
【０００３】
また、これらの機器は更なる低消費電力化や軽量化などが求められていることから、より効率的に照明を当てるデバイスとして、導光板や導波路といったデバイスを用いた照明が注目を浴びている。
【０００４】
その中でもポリマーを用いたデバイスは、特に加工性に優れ、フレキシブルな構造が可能であることから、ポリマー導光板やポリマー導波路は、これらの用途に最適と考えられている。
【０００５】
これらの照明用デバイスには、適用される機器の使用環境や部品実装などの観点から、特に可視光領域における高透明性（低光伝搬損失）が要求されるが、このような用途に適する材料として、脂環式ポリオレフィンや（メタ）アクリルポリマーなどに代表されるビニル重合体が挙げられる。
【０００６】
これらの多くは主にプリズムやレンズのような用途に用いられ、極めて高い透明性を有するが、射出成形用途が中心であるため、小型で複雑な形状を有する部材や、極めて薄い部材などには使用できないという問題を有する。
【０００７】
複雑な部材を形成可能な加工技術として、感光性レジストが考えられる。感光性を持たせたシート状樹脂、フィルム状樹脂又は液状樹脂にパターンマスクを介して光を照射することで任意部分のみを三次元架橋化・不溶化し、その後溶媒などによって未照射部を溶解除去することで容易に複雑な形状の部材を形成可能である。
【０００８】
さらにその部材を、屈折率が低い材料や空気で覆うことにより、より効率的に光を伝搬することが可能になる。そこで感光性を有し、かつ光学特性の良好な素材が検討されている（例えば、特許文献１及び２参照）
【０００９】
しかしこれらの材料では、長波長側（例えば８５０ｎｍ）のレーザー光については良好な伝搬特性が示されているが、可視光領域である４００〜６００ｎｍ領域の光については検討されていなかったり、また短波長側の伝搬特性が良好であっても、人体に対して刺激が強く、環境負荷が大きいトリメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いているといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−１９５０７９号公報
【特許文献２】特開２００６−６３２８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので、アルカリ性水溶液に可溶で、かつ可視光領域において良好な伝搬損失を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いて得られる光導波路を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有するビニル重合体、重合性化合物、及び特定の重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、それからなる感光性樹脂フィルムを用いて光導波路を製造することにより上記問題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１３】
すなわち本発明は、基材フィルム、（Ａ）連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有するビニル重合体、（Ｂ）重合性化合物及び（Ｃ）重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、（Ｃ）成分が、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル、オキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ)エチルエステル、及びオリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］｝プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも１種であり、（Ｃ）成分の含有量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．５〜５．０質量部である感光性樹脂組成物、若しくは該感光性樹脂組成物を硬化又は重合して得られる感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの３層構造を有する感光性樹脂フィルム、又は該感光性樹脂フィルムの硬化物を用いて、下部クラッド層、コア部、上部クラッド層の少なくとも１つが形成されてなる光導波路、を提供するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、可視光領域において良好な伝搬特性を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いた光導波路を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】光導波路の断面図であり、（ａ）は下部クラッド層の外側に保護フィルムが配置された光導波路、（ｂ）は上部クラッド層の外側に保護フィルムが配置された光導波路、（ｃ）は下部クラッド層及び上部クラッド層の外側に保護フィルムが配置された光導波路及び（ｄ）は保護フィルムが配置されていない光導波路を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有するビニル重合体、（Ｂ）重合性化合物及び（Ｃ）重合開始剤を含有してなり、（Ｃ）成分として、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル、オキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチルエステル、及びオリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］｝プロパノンのうちの少なくともいずれか１つを用いることを特徴とする。これらは１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。特にオキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル及びオキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチルエステルを混合して用いることが最も好ましい態様である。
【００１７】
このような重合開始剤を用いることで着色が少なく、可視光領域において透明性の高い硬化物が得られるだけでなく、このような組成物を用いて作られた光導波路は、可視光領域において、材料損失が低くなるため好ましい。
【００１８】
また（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．５〜５．０質量部である。０．５質量部未満であると光照射によって十分に硬化反応が進行せず、また５．０質量部を超えると（Ｃ）成分に由来する着色の影響が大きくなる結果、可視光領域において透明性が低下したり、導波路において材料損失が高くなるため好ましくない。以上の理由から、（Ｃ）成分の含有量は、さらに好ましくは１．０〜３．０質量部である。
【００１９】
次に、本発明に用いられる（Ａ）成分について説明する。（Ａ）成分は、透明性、耐熱性、アルカリ性水溶液への溶解性の観点から、主鎖に下記一般式（１）で表される繰り返し単位（Ａ−１）及び下記一般式（２）で表わされる繰り返し単位（Ａ―２）の少なくとも一方を含み、かつ下記一般式（３）で表される繰り返し単位（Ａ−３）及び下記一般式（４）で表される繰り返し単位（Ａ−４）の少なくとも一方を含むことが好ましく、特にこれらの繰り返し単位を有する（メタ）アクリルポリマーを用いることが好ましい。
【００２０】
【化１】
2010020328.tif 000003
【００２１】
上記一般式（１）中、Ｒ1〜Ｒ3は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。
【００２２】
【化２】
2010020328.tif 000004
【００２３】
上記一般式（２）中、Ｒ4〜Ｒ6は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。また、Ｒ7は炭素数１〜２０の１価の有機基である。
【００２４】
【化３】
2010020328.tif 000005
【００２５】
上記一般式（３）中、Ｒ8〜Ｒ10は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。
【００２６】
【化４】
2010020328.tif 000006
【００２７】
上記一般式（４）中、Ｒ11〜Ｒ13は各々独立に水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。また、Ｘ1は、炭素数１〜２０の２価の有機基である。
【００２８】
一般式（１）〜（４）における有機基としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリーロキシカルボニル基、カルバモイル基等の１価又は２価の基が挙げられ、それらは、さらに、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリーロキシカルボニル基、カルバモイル基、アルコキシ基、アリーロキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アミノ基、シリル基等で置換されていてもよい。
【００２９】
繰り返し単位（Ａ−１）の構造は、一般式（１）で表されるものであれば特に制限はない。
繰り返し単位（Ａ−１）の原料となるマレイミドとしては、例えば、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−プロピルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−イソブチルマレイミド、Ｎ−２−メチル−２−プロピルマレイミド、Ｎ−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２−メチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−３−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−３−メチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−４−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−４−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−２，２−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−３，３−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−３，３−ジメチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−２，３−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２，３−ジメチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−ヒドロキシメチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシエチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−１−プロピルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−１−プロピルマレイミド、Ｎ−３―ヒドロキシ−１−プロピルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−プロピルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−プロピルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−１−ブチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−１−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−１−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−ブチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−２−ブチルマレイミド、Ｎ−２−メチル−３−ヒドロキシ−１−プロピルマレイミド、Ｎ−２−メチル−３−ヒドロキシ−２−プロピルマレイミド、Ｎ−２−メチル−２−ヒドロキシ−１−プロピルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−５−ヒドロキシ−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−５−ヒドロキシ−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−２−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−２−メチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，２−ジメチル−１−プロピルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２，２−ジメチル−１−プロピルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−１−ヘキシルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−ヘキシルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−ヘキシルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−４−ヘキシルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−５−ヘキシルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−６−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−１−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−４−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−５−ヘキシルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−６−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−１−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−３−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−４−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−５−ヘキシルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−６−ヘキシルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−４−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２−メチル−５−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−４−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−メチル−５−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−４−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−メチル−５−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−４−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−４−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−４−メチル−４−ペンチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−４−メチル−５−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−メチル−４−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−２−メチル−５−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−４−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−４−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−４−メチル、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−３−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−４−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−メチル−５−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−３−メチル−１−ペンチルマレイミド、Ｎ−３−ヒドロキシ−３−メチル−２−ペンチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３−エチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３−エチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２−エチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−３−エチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−３−エチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−３−エチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−４−ヒドロキシ−３−エチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−２，３−ジメチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，２−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，２−ジメチル−３−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−２，２−ジメチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３，３−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３，３−ジメチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−２−ヒドロキシ−３，３−ジメチル−４−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３，３−ジメチル−１−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３，３−ジメチル−２−ブチルマレイミド、Ｎ−１−ヒドロキシ−３，３−ジメチル−４−ブチルマレイミド等のアルキルマレイミド；Ｎ−シクロプロピルマレイミド、Ｎ−シクロブチルマレイミド、Ｎ−シクロペンチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−シクロヘブチルマレイミド、Ｎ−シクロオクチルマレイミド、Ｎ−２−メチルシクロヘキシルマレイミド、Ｎ−２−エチルシクロヘキシルマレイミド、Ｎ−２−クロロシクロヘキシルマレイミド等のシクロアルキルマレイミド；Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−２−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−２−エチルフェニルマレイミド、Ｎ−２−クロロフェニルマレイミド等のアリールマレイミドなどが挙げられる。
【００３０】
これらの中で、透明性及び溶解性の観点から、シクロアルキルマレイミドを用いることが好ましく、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−２−メチルシクロヘキシルマレイミドを用いることがさらに好ましい。
これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３１】
繰り返し単位（Ａ−２）の原料となる（メタ）アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチルヘプチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）スクシネート等の脂肪族（メタ）アクリレート；シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テトラヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロフタレート等の脂環式（メタ）アクリレート；ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニル（メタ）アクリレート、１−ナフチル（メタ）アクリレート、２−ナフチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｐ−クミルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｏ−フェニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、１−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、２−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（ｏ−フェニルフェノキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（１−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（２−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート等の芳香族（メタ）アクリレート；２−テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、Ｎ−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−Ｎ−カルバゾール等の複素環式（メタ）アクリレート、これらのカプロラクトン変性体などが挙げられる。
【００３２】
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等の脂肪族（メタ）アクリレート；上記脂環式（メタ）アクリレート；上記芳香族（メタ）アクリレート；上記複素環式（メタ）アクリレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３３】
カルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物由来の繰り返し単位（Ａ−３）及び（Ａ−４）の構造は、一般式（３）及び（４）で表されるものであれば特に制限はない。
繰り返し単位（Ａ−３）の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸等が挙げられ、これらの中で、透明性、現像性の観点から（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸であることが好ましい。
【００３４】
また、無水マレイン酸を原料として用いて、重合後にメタノール、エタノール、プロパノール等の適当なアルコールによって開環し、繰り返し単位（Ａ−３）の構造に変換してもよい。
これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３５】
繰り返し単位（Ａ−４）の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物としては、例えば、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）スクシネート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）フタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）イソフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テレフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テトラヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロイソフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロテレフタレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、３−ビニル安息香酸、４−ビニル安息香酸等が挙げられる。
【００３６】
これらの中で、透明性、アルカリ可溶性の観点から、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）スクシネート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テトラヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロイソフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロテレフタレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３７】
また、（Ａ）成分の主鎖にマレイミド骨格を含むアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーは、必要に応じて繰り返し構造（Ａ−１）〜（Ａ−４）以外の繰り返し構造を含んでもよい。
【００３８】
このような繰り返し構造の原料となるエチレン性不飽和基を有する化合物としては特に制限はなく、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカルバゾール、ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等が挙げられる。これらの中で、耐熱性、透明性の観点からスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニルカルバゾールを用いることがさらに好ましい。
これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００３９】
連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有するビニル重合体は、その合成方法に特に制限はないが、例えば、繰り返し単位（Ａ−１）の原料となるマレイミド、繰り返し単位（Ａ−２）の原料となる（メタ）アクリレート及び繰り返し単位（Ａ−３）及び／又は（Ａ−４）の原料となるカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する化合物、さらには必要に応じてその他のエチレン性不飽和基を有する化合物と、適切な熱ラジカル重合開始剤を用いて加熱しながら共重合させることにより得ることができる。このとき、必要に応じて有機溶剤を反応溶媒として用いることができる。
【００４０】
熱ラジカル重合開始剤としては、特に制限はなく、例えば、メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、メチルシクロヘキサノンパーオキシド等のケトンパーオキシド；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−２−メチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン等のパーオキシケタール；ｐ−メンタンヒドロパーオキシドなどのヒドロパーオキシド；α、α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキシド、ｔ−ブチルクミルパーオキシド、ジ−ｔ−ブチルパーオキシド等のジアルキルパーオキシド；オクタノイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、ステアリルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド等のジアシルパーオキシド；ビス（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−３−メトキシブチルパーオキシカーボネート等のパーオキシカーボネート；ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、１，１，３，３−テトラメチルブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウリレート、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキシルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ヘキシルパーオキシベンゾエート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ブチルパーオキシアセテート等のパーオキシエステル；２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２’−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物が挙げられる。
【００４１】
反応溶媒として用いる有機溶剤としては、（Ａ）成分の主鎖にマレイミド骨格を含むアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーを溶解し得るものであれば、特に制限はなく、例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、ｐ−シメン等の芳香族炭化水素；テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン等の環状エーテル；メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン等のケトン；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル；エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミドなどが挙げられる。
これらの有機溶剤は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００４２】
さらに（Ａ）成分は、側鎖に連鎖重合可能な官能基を１分子中に少なくとも１つ有する。連鎖重合可能な官能基とは、具体的にはビニル基、アクリル基、メタクリル基、アリル基、スチリル基等のエチレン性不飽和基、グリシジル基などが挙げられる。
【００４３】
その組成や合成方法に特に制限はないが、例えば上記の（Ａ）成分である（メタ）アクリルポリマーに、少なくとも１つのエチレン性不飽和基とエポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基、カルボキシル基等の１つの官能基を有する化合物を付加反応させて側鎖にエチレン性不飽和基を導入することができる。
【００４４】
これらの化合物としては特に制限はなく、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、α−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、α−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、α−ブチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、α−エチル−６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエチレン性不飽和基とエポキシ基を有する化合物；（２−エチル−２−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（２−メチル−２−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、２−（２−エチル−２−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、２−（２−メチル−２−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、３−（２−エチル−２−オキセタニル）プロピル（メタ）アクリレート、３−（２−メチル−２−オキセタニル）プロピル（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基とオキセタニル基を有する化合物；２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、１，１−ビス［メタ（アクリル）オキシメチル］エチルイソシアネート、２−｛［２−メタ（アクリル）オキシ］エトキシ]エチルイソシアネートなどのエチレン性不飽和基とイソシアネート基を有する化合物；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基とヒドロキシル基を有する化合物；（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、コハク酸（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、２−フタロイルエチル（メタ）アクリレート、２−テトラヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレート、２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、３−ビニル安息香酸、４−ビニル安息香酸等のエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有する化合物などが挙げられる。
【００４５】
これらの中でも透明性及び反応性の観点から、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、１，１−ビス［メタ（アクリル）オキシメチル］エチルイソシアネート、２−｛［２−メタ（アクリル）オキシ］エトキシ]エチルイソシアネート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４６】
（Ａ）成分の重量平均分子量は、１，０００〜３，０００，０００であることが好ましい。１，０００以上であると分子量が大きいため樹脂組成物とした場合の硬化物の強度が十分で、３，０００，０００以下であれば、アルカリ性水溶液からなる現像液に対する溶解性や（Ｂ）重合性化合物との相溶性が良好である。以上の観点から３，０００〜２，０００，０００とすることがより好ましく、５，０００〜１，０００，０００であることがさらに好ましい。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定し、標準ポリスチレン換算した値である。
【００４７】
また、（Ａ）成分はアルカリ金属又はアルカリ土類金属の炭酸塩水溶液に可溶であることが好ましい。ここでアルカリ金属及びアルカリ土類金属の炭酸塩を具体的に例示すれば、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ルビジウム、炭酸セシウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素ルビジウム、炭酸水素セシウム、炭酸ベリリウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、炭酸バリウム等が挙げられるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウムは安価であり人体に対して毒性が低く好ましい。また、ここで水溶液における濃度は特に制限はないが、１〜１０質量％の炭酸塩水溶液に可溶であることが好ましい。このような（Ａ）成分を用いると、フォトリソグラフィープロセスにおいて容易にパターンを形成することが可能となる。
【００４８】
（Ａ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量に対して、１０〜８５質量％であることが好ましい。１０質量％以上であると、感光性樹脂組成物の硬化物の強度や可撓性が十分で、８５質量％以下であれば、露光時に（Ｂ）成分によって絡め込まれて容易に硬化し、耐現像液性が不足することがない。以上の観点から、（Ａ）成分の配合量は、２０〜８０質量％であることがより好ましく、２５〜７５質量％であることがさらに好ましい。
【００４９】
以下、本発明に用いられる（Ｂ）成分について説明する。
（Ｂ）成分の重合性化合物としては、加熱又は紫外線などの照射によって重合するものであれば特に制限はなく、例えばエチレン性不飽和基などの重合性置換基を有する化合物が好適に挙げられる。
【００５０】
具体的には、（メタ）アクリレート、ハロゲン化ビニリデン、ビニルエーテル、ビニルエステル、ビニルピリジン、ビニルアミド、アリール化ビニル等が挙げられるが、これらのうち透明性の観点から、（メタ）アクリレートやアリール化ビニルであることが好ましい。（メタ）アクリレートとしては、単官能のもの、２官能以上の多官能のもののいずれも用いることができる。
【００５１】
単官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチルヘプチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）スクシネート等の脂肪族（メタ）アクリレート；シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テトラヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロフタレート等の脂環式（メタ）アクリレート；ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニル（メタ）アクリレート、１−ナフチル（メタ）アクリレート、２−ナフチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｐ−クミルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｏ−フェニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、１−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、２−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（ｏ−フェニルフェノキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（１−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（２−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート等の芳香族（メタ）アクリレート；２−テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、Ｎ−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−Ｎ−カルバゾール等の複素環式（メタ）アクリレート、これらのカプロラクトン変性体などが挙げられる。
【００５２】
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、上記脂環式（メタ）アクリレート；上記芳香族（メタ）アクリレート；上記複素環式（メタ）アクリレートであることが好ましい。
またこれらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
【００５３】
２官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、３−メチル−１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノール（メタ）アクリレート、エトキシ化２−メチル−１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート等の脂肪族（メタ）アクリレート；シクロヘキサンジメタノール（メタ）アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンジメタノール（メタ）アクリレート、プロポキシ化シクロヘキサンジメタノール（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化シクロヘキサンジメタノール（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノール（メタ）アクリレート、エトキシ化トリシクロデカンジメタノール（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリシクロデカンジメタノール（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化トリシクロデカンジメタノール（メタ）アクリレート、エトキシ化水添ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化水添ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化水添ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エトキシ化水添ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化水添ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化水添ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート等の脂環式（メタ）アクリレート；エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡＦジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールＡＦジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ビスフェノールＡＦジ（メタ）アクリレート、エトキシ化フルオレン型ジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化フルオレン型ジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化フルオレン型ジ（メタ）アクリレート等の芳香族（メタ）アクリレート；エトキシ化イソシアヌル酸ジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化イソシアヌル酸ジ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化イソシアヌル酸ジ（メタ）アクリレート等の複素環式（メタ）アクリレート；これらのカプロラクトン変性体；ネオペンチルグリコール型エポキシ（メタ）アクリレートなどの脂肪族エポキシ（メタ）アクリレート；シクロヘキサンジメタノール型エポキシ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦ型エポキシ（メタ）アクリレートなどの脂環式エポキシ（メタ）アクリレート；レゾルシノール型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、フルオレン型エポキシ（メタ）アクリレート等の芳香族エポキシ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００５４】
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、上記脂環式（メタ）アクリレート；上記芳香族（メタ）アクリレート；上記複素環式（メタ）アクリレート；上記脂環式エポキシ（メタ）アクリレート；上記芳香族エポキシ（メタ）アクリレートであることが好ましい。
また、これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離等を行って精製してから使用してもよい。
【００５５】
３官能以上の多官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の脂肪族（メタ）アクリレート；エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、エトキシ化プロポキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート等の複素環式（メタ）アクリレート；これらのカプロラクトン変性体；フェノールノボラック型エポキシ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ（メタ）アクリレート等の芳香族エポキシ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００５６】
これらの中でも透明性及び耐熱性の観点から、複素環式（メタ）アクリレート；芳香族エポキシ（メタ）アクリレートであることが好ましい。
これらの化合物は、単独又は２種類以上組み合わせて使用することができ、さらにその他の重合性化合物と組み合わせて使用することもできる。
また、これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
【００５７】
また、（Ｂ）成分の重合性化合物として、耐熱性の観点から、分子中に脂環構造、アリール基、アリールオキシ基及びアラルキル基からなる群から選ばれる少なくとも１種とエチレン性不飽和基を含む化合物を用いることが好ましい。具体的には、脂環構造、アリール基、アリールオキシ基及びアラルキル基からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む（メタ）アクリレート又はＮ−ビニルカルバゾールなどが挙げられる。なお、アリール基とは、例えば、フェニル基、ナフチル基などの芳香族炭素水素基、カルバゾール基などの芳香族複素環式基を表す。これらの化合物は１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５８】
より具体的には、（Ｂ）成分の重合性化合物として、アリール基及びエチレン性不飽和基を含む化合物が好ましく、下記一般式（５）〜（８）で表される化合物が好適に挙げられる。
【００５９】
【化５】
2010020328.tif 000007
【００６０】
一般式（５）中、Ｒ14は水素原子又はメチル基である。また、Ｘ2は、Ｏ（酸素原子）、Ｓ（硫黄原子）、ＯＣＨ2、ＳＣＨ2、Ｏ（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）a、Ｏ［ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ］b、又はＯＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2Ｏで示される２価の基である、なお、ａ及びｂは各々独立して１〜２０の整数を示す。Ａｒは、以下の式で示される１価の有機基のいずれかである。
【００６１】
【化６】
2010020328.tif 000008
【００６２】
ここで、Ｒ15〜Ｒ31は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数１〜２０の１価の有機基、又は炭素数１〜２０の１価の含フッ素有機基のいずれかである。また、Ｙ1は、以下の式で示される２価の基のいずれかである。なお、＊印の部分でＸ2と結合するものである。
【００６３】
【化７】
2010020328.tif 000009
【００６４】
ここで、ｄは２〜１０の整数である。
【００６５】
【化８】
2010020328.tif 000010
【００６６】
一般式（６）中、Ｒ32は、以下の式で示される１価の有機基のいずれかである。なお、＊印の部分でＮと結合するものである。
【００６７】
【化９】
2010020328.tif 000011
【００６８】
ここで、Ｒ33〜Ｒ35は、各々独立して水素原子又はメチル基である。また、ｅは１〜１０の整数を示す。
【００６９】
【化１０】
2010020328.tif 000012
【００７０】
一般式（７）中、Ｒ36及びＲ41は、各々独立して水素原子又はメチル基である。また、Ｒ37〜Ｒ40は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数１〜２０の１価の有機基、又は炭素数１〜２０の１価の含フッ素有機基のいずれかである。Ｘ3及びＸ4は、各々独立にＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）f、又はＯ［ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ］gで示される２価の基である。なお、ｆ及びｇは各々独立して１〜２０の整数を示す。また、Ｙ2は、以下の式で示される２価の基のいずれかである。
【００７１】
【化１１】
2010020328.tif 000013
【００７２】
ここで、ｈは２〜１０の整数である。
【００７３】
【化１２】
2010020328.tif 000014
【００７４】
一般式（８）中、Ｒ42及びＲ47は、各々独立して水素原子又はメチル基である。Ｒ43〜Ｒ46は、各々独立して水素原子、フッ素原子、炭素数１〜２０の１価の有機基、又は炭素数１〜２０の１価の含フッ素有機基のいずれかである。また、Ｙ3は、以下の式で示される２価の基のいずれかであり、またｉは１〜５の整数である。
【００７５】
【化１３】
2010020328.tif 000015
【００７６】
ここで、ｊは２〜１０の整数である。
【００７７】
なお、一般式（５）〜（８）における有機基としては、一般式（１）〜（４）で説明したものと同様の例が挙げられる。
これらの化合物の市販品を使用する際は、そのままでも使用できるが、必要に応じて使用前に蒸留、カラム分離などを行って精製してから使用してもよい。
【００７８】
（Ｂ）成分の重合性化合物の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量に対して、１５〜９０質量％であることが好ましい。１５質量％以上であると、（Ａ）成分のポリマー鎖と化学的結合を形成しながら硬化することが容易となり、耐現像液性が不足することがない。また、９０質量％以下であれば、硬化フィルムのフィルム強度や可撓性が十分である。以上の観点から、（Ｂ）成分の配合量は３０〜８０質量％であることがさらに好ましい。
【００７９】
また、上記（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分に加えて、必要に応じて、本発明の感光性樹脂組成物中には、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、可視光吸収剤、着色剤、可塑剤、安定剤、充填剤、蛍光増白剤等のいわゆる添加剤を本発明の効果に悪影響を与えない割合で添加してもよい。
【００８０】
本発明の感光性樹脂組成物は、適当な有機溶剤を用いて希釈し、感光性樹脂ワニスとして使用してもよい。ここで用いる有機溶剤としては、該樹脂組成物を溶解しえるものであれば特に制限はなく、例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、ｐ−シメン等の芳香族炭化水素；テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン等の環状エーテル；メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン等のケトン；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル；エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミドなどが挙げられる。
【００８１】
これらの中で、溶解性及び沸点の観点から、トルエン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドであることが好ましい。
これらの有機溶剤は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
また、樹脂ワニス中の固形分濃度は、通常２０〜８０質量％であることが好ましい。
【００８２】
感光性樹脂ワニスを調合する際は、撹拌により混合することが好ましい。撹拌方法については特に制限はないが、撹拌効率の観点からプロペラを用いた撹拌が好ましい。撹拌する際のプロペラの回転速度には特に制限はないが、１０〜１，０００ｍｉｎ-1であることが好ましい。１０ｍｉｎ-1以上であると、（Ａ）〜（Ｃ）成分及び有機溶剤のそれぞれの成分が十分に混合され、１，０００ｍｉｎ-1以下であるとプロペラの回転による気泡の巻き込みが少なくなる。以上の観点から５０〜８００ｍｉｎ-1であることがより好ましく、１００〜５００ｍｉｎ-1であることがさらに好ましい。
【００８３】
撹拌時間についても特に制限はないが、１〜２４時間であることが好ましい。１時間以上であると、（Ａ）〜（Ｃ）成分及び有機溶剤のそれぞれの成分が十分に混合され、２４時間以下であると、ワニス調合時間を短縮することができ、十分な生産性が得られる。
【００８４】
調合した感光性樹脂ワニスは、孔径５０μｍ以下のフィルタを用いて濾過するのが好ましい。孔径５０μｍ以下のフィルタを用いることで、大きな異物などが除去されて、ワニス塗布時にはじきなどを生じることがなく、またコア部を伝搬する光の散乱が抑制される。以上の観点から、孔径３０μｍ以下のフィルタを用いて濾過するのがより好ましく、孔径１０μｍ以下のフィルタを用いて濾過するのがさらに好ましい。
【００８５】
調合した感光性樹脂ワニスは、減圧下で脱泡することが好ましい。脱泡方法には、特に制限はなく、具体例としては真空ポンプとベルジャー、真空装置付き脱泡装置を用いることができる。減圧時の減圧度には特に制限はないが、樹脂ワニスに含まれる有機溶剤が沸騰しない範囲が好ましい。減圧脱泡時間には特に制限はないが、３〜６０分であることが好ましい。３分以上であると、樹脂ワニス内に溶解した気泡を取り除くことができる。６０分以下であると、樹脂ワニスに含まれる有機溶剤が揮発することがない。
【００８６】
以下、本発明の感光性樹脂フィルムについて説明する。
本発明の感光性樹脂フィルムは、前記感光性樹脂組成物からなり、前記（Ａ）〜（Ｃ）成分を含有する感光性樹脂ワニスを好適な基材フィルムに塗布し、溶媒を除去して、感光性樹脂層（以下単に「樹脂層」という場合がある。）を形成することにより容易に製造することができる。また感光性樹脂組成物をワニス化することなく、直接基材フィルムに塗布して製造してもよい。
【００８７】
基材フィルムとしては、特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン、液晶ポリマー等が挙げられる。
【００８８】
これらの中で、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホンであることが好ましい。
【００８９】
基材フィルムの厚みは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、３〜２５０μｍであることが好ましい。３μｍ以上であるとフィルム強度が十分であり、２５０μｍ以下であると十分な柔軟性が得られる。以上の観点から、５〜２００μｍであることがさらに好ましく、７〜１５０μｍであることがさらに好ましい。なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物等により離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
【００９０】
基材フィルム上に感光性樹脂ワニス又は感光性樹脂組成物を塗布して製造した感光性樹脂フィルムは、必要に応じて保護フィルムを樹脂層上に貼り付け、基材フィルム、感光性樹脂組成物又は感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの３層構造としてもよい。
【００９１】
保護フィルムとしては、特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンなどが挙げられる。これらの中で、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンであることが好ましい。なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物等により離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
【００９２】
保護フィルムの厚みは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、１０〜２５０μｍであることが好ましい。１０μｍ以上であるとフィルム強度が十分であり、２５０μｍ以下であると十分な柔軟性が得られる。以上の観点から、１５〜２００μｍであることがより好ましく、２０〜１５０μｍであることがさらに好ましい。
【００９３】
本発明の感光性樹脂フィルムの樹脂層の厚みについては特に制限はないが、乾燥後の厚みで、通常は５〜５００μｍであることが好ましい。５μｍ以上であると、厚みが十分であるため樹脂フィルム又は該フィルムの硬化物の強度が十分であり、５００μｍ以下であると、乾燥が十分に行えるため樹脂フィルム中の残留溶媒量が増えることなく、該フィルムの硬化物を加熱したときに発泡することがない。
【００９４】
このようにして得られた感光性樹脂フィルムは、例えばロール状に巻き取ることによって容易に保存することができる。又はロール状のフィルムを好適なサイズに切り出して、シート状にして保存することもできる。
【００９５】
本発明の感光性樹脂組成物は、光導波路形成用樹脂組成物として好適であり、同様に本発明の感光性樹脂フィルムは、光導波路形成用樹脂フィルムとして好適である。
感光性樹脂組成物は光、熱などによって硬化反応又は重合反応させることによって、硬化物を得ることも可能である。その際、前もってシート、フィルム、短冊等の任意の形状にしておき、その後硬化反応等させることで、任意形状を有する硬化物を得ることも可能である。このようにして得られた硬化物は、空気クラッド中で用いることで、通常の光導波路と同様に照明用デバイスとして用いることも可能である。
【００９６】
また、感光性樹脂組成物を硬化反応させて得られる硬化物に白色ＬＥＤ光を照射した際、５６０ｎｍ付近における透過光強度と４６０ｎｍ付近における透過強度の比が１：１〜１：４である透過光を発することが好ましい。１：１以上であれば、透過した光は元の光源から発する光と近似となり、照明用途に適したデバイスとなり得る。１：４以上は現実的には不可能である。
上記白色ＬＥＤ光を照射した際の透過光の５６０ｎｍ付近における透過光強度と４６０ｎｍ付近における透過強度比１：１〜１：４を得るためには、（Ｃ）成分が、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステル、オキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチルエステル、及びオリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］｝プロパノンからなる群から選ばれる少なくとも１種であり、（Ｃ）成分の含有量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．５〜５．０質量部であることに加えて、例えば（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の各分子骨格中に、４２０〜５００ｎｍの範囲にて光を吸収し得る、電子遷移吸収を有する化学構造や２個以上の芳香環が直接結合する化学構造を有しない構成をとることにより達成される。
【００９７】
以下、本発明の光導波路について説明する。
図１の（ａ）に光導波路の断面図を示す。光導波路１は基板５上に形成され、高屈折率であるコア部形成用樹脂組成物からなるコア部２並びに低屈折率であるクラッド層形成用樹脂組成物からなる下部クラッド層４及び上部クラッド層３で構成されている。
【００９８】
本発明の感光性樹脂組成物及び感光性樹脂フィルムは、光導波路１の下部クラッド層４、コア部２及び上部クラッド層３のうち、少なくとも１つに用いることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性樹脂フィルムは、アルカリ性水溶液からなる現像液によりパターン形成が可能との特徴を有する点から、特にコア部２に用いることで、より一層の効果を発揮する。
【００９９】
また、感光性樹脂フィルムを用いることによって、クラッドとコアの層間密着性や光導波路コアパターン形成時のパターン形成性（細線又は狭線間対応性）をより向上させることができ、線幅や線間の小さい微細パターン形成が可能となる。また大面積の光導波路を一度に製造できるという生産性に優れたプロセスを提供することが可能となる。
【０１００】
光導波路１において、基板としてはシリコーン基板、ガラス基板、ＦＲ−４等のガラスエポキシ樹脂基板のような硬い基板を用いることができる。光導波路１は、上記基板の代わりに、柔軟性及び強靭性のある前記基材フィルムを用いて、フレキシブル光導波路としてもよい。
【０１０１】
基板として柔軟性及び強靭性のある基材フィルムを用いた場合、該基板は光導波路１の保護フィルムとしての機能も併せ持たせることが可能である。すなちわ、保護フィルム５（基板）の柔軟性や強靭性を光導波路１に付与することが可能となり、また光導波路１が汚れや傷を受けなくなるため、取り扱いやすさが向上する。
【０１０２】
また、上記と同様に、光導波路１に柔軟性や強靭性を付与し、汚れや傷を受けないようにするとの観点から、図１の（ｂ）のように上部クラッド層３の外側に保護フィルム５が配置されていてもよいし、図１の（ｃ）のように下部クラッド層４及び上部クラッド層３の両方の外側に保護フィルム５が配置されていてもよい。
一方、光導波路１に柔軟性や強靭性が十分に備わっているならば、図１の（ｄ）のように、保護フィルム５が配置されていなくてもよい。
【０１０３】
下部クラッド層４の厚みは、特に制限はないが、２〜２００μｍであることが好ましい。２μｍ以上であると伝搬光をコア内部に閉じ込めるのが容易となり、２００μｍ以下であると、光導波路１全体の厚みが大きすぎることがない。なお、下部クラッド層４の厚みとは、コア部２と下部クラッド層４との境界から下部クラッド層４の下面までの値である。
下部クラッド層形成用樹脂フィルムの厚みについては特に制限はなく、硬化後の下部クラッド層４の厚みが上記の範囲となるように厚みが調整される。
【０１０４】
コア部２の高さは、特に制限はないが、１０〜５００μｍであることが好ましい。コア部の高さが１０μｍ以上であると、光導波路形成後のＬＥＤなどの光源との結合において、位置合わせトレランスが小さくなることがなく、５００μｍ以下であれば、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバとの結合において、結合効率が小さくなることがない。
【０１０５】
上部クラッド層３の厚みは、コア部２を埋め込むことができる範囲であれば、特に制限はないが、乾燥後の厚みで、１２〜７００μｍであることが好ましい。上部クラッド層３の厚みとしては、最初に形成される下部クラッド層４の厚みと同一であっても異なってもよいが、コア部２を埋め込むという観点から、下部クラッド層４の厚みよりも厚くすることが好ましい。なお、上部クラッド層３の厚みとは、コア部２と下部クラッド層４との境界から上部クラッド層３の上面までの値である。
【０１０６】
本発明の光導波路において、４６０ｎｍにおける光伝搬損失は１．０ｄＢ／ｃｍ以下であることが好ましい。１．０ｄＢ／ｃｍ以下であると、光の損失が小さくなり、伝送信号の強度が十分である。
【０１０７】
以下、本発明の感光性樹脂フィルムを最も好適な用途である光導波路形成用樹脂フィルムとして用いた場合の適用例について説明する。
光導波路形成用樹脂フィルムも、前記感光性樹脂フィルムと同様の方法によって製造することができる。
【０１０８】
なお、コア部形成用樹脂フィルムの製造過程で用いる基材としては、後述のコアパターン形成に用いる露光用活性光線が透過するものであれば特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリアリレート等が挙げられる。
【０１０９】
これらの中で、露光用活性光線の透過率、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル；ポリプロピレンなどのポリオレフィンであることが好ましい。
【０１１０】
さらに、露光用活性光線の透過率向上及びコアパターンの側壁荒れ低減の観点から、高透明タイプな基材フィルムを用いることがさらに好ましい。このような高透明タイプな基材フィルムとしては、東洋紡績株式会社製コスモシャインＡ１５１７、コスモシャインＡ４１００が挙げられる。なお、樹脂層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物などにより離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。
【０１１１】
コア部形成用樹脂フィルムの基材フィルムの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましい。５μｍ以上であると、支持体としての強度が十分であり、５０μｍ以下であると、コアパターン形成時にフォトマスクとコア部形成用樹脂組成物層のギャップが大きくならず、パターン形成性が良好である。以上の観点から、基材フィルムの厚みは１０〜４０μｍであることがより好ましく、１５〜３０μｍであることがさらに好ましい。
【０１１２】
上記基材フィルム上に光導波路形成用樹脂ワニス又は光導波路形成用樹脂組成物を塗布して製造した光導波路形成用樹脂フィルムは、必要に応じて前記保護フィルムを樹脂層上に貼り付け、基材フィルム、感光性樹脂組成物又は感光性樹脂硬化物からなる樹脂層及び保護フィルムの３層構造としてもよい。
【０１１３】
このようにして得られた光導波路形成用樹脂フィルムは、例えばロール状に巻き取ることによって容易に保存することができる。
又はロール状のフィルムを好適なサイズに切り出して、シート状にして保存することもできる。
【０１１４】
以下、光導波路形成用樹脂ワニス及び／又は光導波路形成用樹脂フィルムを用いて光導波路を形成するための製造方法について説明する。
本発明の光導波路を製造する方法としては、特に制限はないが、コア部形成用樹脂ワニス及びクラッド層形成用樹脂ワニスを用いてスピンコート法などにより製造する方法、又はコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法などが挙げられる。また、これらの方法を組み合わせて製造することもできる。これらの中では、生産性に優れた光導波路製造プロセスが提供可能という観点から、光導波路形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法が好ましい。
【０１１５】
以下、光導波路形成用樹脂フィルムを下部クラッド層、コア部及び上部クラッド層に用いて光導波路を形成するための製造方法について説明する。
まず、第１の工程として下部クラッド層形成用樹脂フィルムを基板上に積層して下部クラッド層を形成する。
【０１１６】
第１の工程における積層方式としては、ロールラミネータ又は平板型ラミネータを用いて加熱しながら圧着することにより積層する方法が挙げられるが、密着性及び追従性の観点から、平板型ラミネータを用いて減圧下で下部クラッド層形成用樹脂フィルムを積層することが好ましい。
【０１１７】
なお、本発明において平板型ラミネータとは、積層材料を一対の平板の間に挟み、平板を加圧することにより圧着させるラミネータのことを指し、例えば、真空加圧式ラミネータを好適に用いることができる。
【０１１８】
ここでの加熱温度は、４０〜１３０℃であることが好ましく、圧着圧力は、０．１〜１．０ＭＰａであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。下部クラッド層形成用樹脂フィルムに保護フィルムが存在する場合には、保護フィルムを除去した後に積層する。
【０１１９】
なお、真空加圧式ラミネータによる積層の前に、ロールラミネータを用いて、あらかじめ下部クラッド層形成用樹脂フィルムを基板上に仮貼りしておいてもよい。ここで、密着性及び追従性向上の観点から、圧着しながら仮貼りすることが好ましく、圧着する際、ヒートロールを有するラミネータを用いて加熱しながら行ってもよい。
【０１２０】
ラミネート温度は、２０〜１３０℃であることが好ましい。２０℃以上であると下部クラッド層形成用樹脂フィルムと基板との密着性が向上し、１３０℃以下であると樹脂層がロールラミネート時に流動しすぎることがなく、必要とする膜厚が得られる。以上の観点から、４０〜１００℃であることがより好ましい。圧力は０．２〜０．９ＭＰａであることが好ましく、ラミネート速度は０．１〜３ｍ／ｍｉｎであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
【０１２１】
続いて、基材上に積層された下部クラッド層形成用樹脂フィルムを光及び／又は加熱により硬化し、下部クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムを除去し、下部クラッド層を形成する。
【０１２２】
下部クラッド層を形成する際の活性光線の照射量は、０．１〜５Ｊ／ｃｍ2とすることが好ましく、加熱温度は５０〜２００℃とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
【０１２３】
次いで、第２の工程としてコア部形成用樹脂フィルムを第１の工程と同様な方法で積層する。ここで、コア部形成用樹脂フィルムは下部クラッド層形成用樹脂フィルムより高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターンを形成し得る感光性樹脂組成物からなることが好ましい。
【０１２４】
次に、第３の工程としてコア部を露光し、光導波路のコアパターン（コア部２）を形成する。具体的には、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線が画像状に照射される。また、レーザー直接描画を用いてフォトマスクを通さずに直接活性光線を画像上に照射してもよい。
【０１２５】
活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプなどの紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプなどの可視光を有効に放射するものが挙げられる。
【０１２６】
ここでの活性光線の照射量は、０．０１〜１０Ｊ／ｃｍ2であることが好ましい。０．０１Ｊ／ｃｍ2以上であると、硬化反応が十分に進行し、後述する現像工程によりコア部２が流失することがなく、１０Ｊ／ｃｍ2以下であると露光量過多によりコア部２が太ることがなく、微細なパターンが形成でき好適である。以上の観点から、０．０５〜５Ｊ／ｃｍ2であることがより好ましく、０．１〜３Ｊ／ｃｍ2であることが特に好ましい。
【０１２７】
なお、露光後に、コア部の解像度及び密着性向上の観点から、露光後加熱を行ってもよい。紫外線照射から露光後加熱までの時間は、１０分以内であることが好ましい。１０分以内であると紫外線照射により発生した活性種が失活することがない。露光後加熱の温度は４０〜１６０℃であることが好ましく、時間は３０秒〜１０分であることが好ましい。
【０１２８】
露光後、コア部形成用樹脂フィルムの基材フィルムを除去し、アルカリ性水溶液、水系現像液などの前記コア部形成用樹脂フィルムの組成に対応した現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング、ディップ及びパドルなどの公知の方法により現像する。また必要に応じて２種類以上の現像方法を併用してもよい。
【０１２９】
上記アルカリ性水溶液の塩基としては、特に制限はないが、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ；リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩などの炭酸アルカリ；リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩；ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩；ホウ砂、メタケイ酸ナトリウム等のナトリウム塩；水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、２−アミノ−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，３−ジアミノプロパノール−２−モルホリン等の有機塩基などが挙げられる。
【０１３０】
現像に用いるアルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１であることが好ましく、その温度はコア部形成用樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。
また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。
この中でも、特に炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム水溶液は人体への刺激や環境への負荷が少ないため好ましい。
【０１３１】
また、必要に応じ、上記アルカリ水溶液には有機溶媒を併用することも可能である。ここでいう有機溶媒とは、アルカリ水溶液と混和可能であれば特に制限はないが、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール；アセトン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンなどのケトン；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテルなどが挙げられる。
これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる
【０１３２】
現像後の処理として、必要に応じて水と上記有機溶剤からなる洗浄液を用いて光導波路のコア部を洗浄してもよい。有機溶剤は単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。有機溶剤の濃度は通常、２〜９０質量％とすることが好ましく、その温度はコア部形成用樹脂組成物の現像性に合わせて調節される。
【０１３３】
現像又は洗浄後の処理として、必要に応じて、６０〜２５０℃程度の加熱又は０．１〜５Ｊ／ｃｍ2程度の露光を行うことによりコア部をさらに硬化して用いてもよい。
【０１３４】
続いて、第４の工程として上部クラッド層形成用樹脂フィルムを第１及び第２の工程と同様の方法で積層して上部クラッド層を形成する。ここで、上部クラッド層形成用樹脂フィルムは、コア部形成用樹脂フィルムよりも低屈折率になるように設計されている。また上部クラッド層の厚みは、コア部の高さより大きくすることが好ましい。
次いで、第１の工程と同様な方法で上部クラッド層形成用樹脂フィルムを光及び／又は熱によって硬化し、上部クラッド層を形成する。
【０１３５】
上記クラッド層形成用樹脂フィルムの基材フィルムがＰＥＴの場合、活性光線の照射量は、０．１〜５Ｊ／ｃｍ2であることが好ましい。一方、基材フィルムがポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリスルホンなどの場合、ＰＥＴに比べて紫外線などの短波長の活性光線を通しにくいことから、活性光線の照射量は、０．５〜３０Ｊ／ｃｍ2であることが好ましい。０．５Ｊ／ｃｍ2以上であると硬化反応が十分に進行し、３０Ｊ／ｃｍ2以下であると光照射の時間が長くかかりすぎることがない。以上の観点から、３〜２７Ｊ／ｃｍ2であることがより好ましく、５〜２５Ｊ／ｃｍ2であることが特に好ましい。
【０１３６】
なお、より硬化させるために、両面から同時に活性光線を照射することが可能な両面露光機を使用することができる。
また、加熱をしながら活性光線を照射してもよい。活性光線照射中及び／又は照射後の加熱温度は５０〜２００℃であることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
上部クラッド層を形成後、必要であれば基材フィルムを除去して、光導波路１を作製することができる。
【実施例】
【０１３７】
以下、本発明の実施例をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。
製造例１
［連鎖重合可能な官能基を有しない（メタ）アクリルポリマーＰ−１の作製］
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０質量部及び乳酸メチル３０質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌した。
【０１３８】
液温を８０℃に上昇させ、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド２０質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート４０質量部、２−エチルヘキシルメタクリレート２５質量部、メタクリル酸１５質量部及び２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）３質量部を滴下後、８０℃で６時間撹拌を続け、（メタ）アクリルポリマーＰ−１溶液（固形分３６質量％）を得た。
【０１３９】
［酸価の測定］
Ｐ−１の酸価を測定した結果、９８ｍｇＫＯＨ／ｇであった。なお、酸価はＰ−１溶液を中和するのに要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。
【０１４０】
［重量平均分子量の測定］
Ｐ−１の重量平均分子量（標準ポリスチレン換算）をＧＰＣ（東ソー株式会社製、商品名ＳＤ−８０２２／ＤＰ−８０２０／ＲＩ−８０２０）を使用して測定した結果、２７，０００であった。なお、カラムは日立化成工業株式会社製、商品名Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ａ１５０−Ｓ／ＧＬ−Ａ１６０−Ｓを使用した。
【０１４１】
製造例２
［メタクリル基を有する（メタ）アクリルポリマーＰ−２の作製］
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、上記Ｐ−１溶液（固形分３６質量％）１６８質量部（固形分６０質量部）、ジブチルスズジラウリレート０．０３質量部及びｐ−メトキシフェノール０．１質量部を秤量し、空気を導入しながら撹拌した。
【０１４２】
液温を６０℃に上昇させた後、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート７質量部を３０分かけて滴下後、６０℃で４時間撹拌を続けて、連鎖重合可能な官能基を有する（メタ）アクリルポリマーＰ−２溶液（固形分４０質量％）を得た。Ｐ−２は繰り返し単位として、Ａ−１、Ａ−２及びＡ−３を含有するものである。
製造例１と同様の方法で、Ｐ−２の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ５３ｍｇＫＯＨ／ｇ、２７，０００であった。
【０１４３】
製造例３
〔カルボキシル基を有しない（メタ）アクリルポリマーＰ−３の作製〕
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１２０質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌した。
【０１４４】
液温を９０℃に上昇させ、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド１８質量部、ベンジルメタクリレート６１質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート５５質量部、２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）２質量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート８０質量部の混合物を３時間かけて滴下後、９０℃で３時間撹拌し、さらに１２０℃で１時間撹拌を続けて、室温まで冷却した。
【０１４５】
続いて、ジブチルスズジラウリレート０．０３質量部及びｐ−メトキシフェノール０．１質量部を秤量し、空気を導入しながら撹拌した。液温を６０℃に上昇させた後、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート７質量部を３０分かけて滴下後、６０℃で４時間撹拌を続けて、連鎖重合可能な官能基を有する（メタ）アクリルポリマーＰ−３溶液（固形分４０質量％）を得た。Ｐ−３は繰り返し単位として、Ａ−１及びＡ−２を含有するが、Ａ−３及びＡ−４を含有しないものである。
製造例１と同様の方法で、Ｐ−３の酸価及び重量平均分子量を測定した結果、それぞれ０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ、２３，０００であった。
【０１４６】
実施例１
［コア部形成用樹脂ワニスＣＯ−１の調合］
（Ａ）成分として、前記Ｐ−２溶液（固形分４０質量％）１５０質量部（固形分６０質量部）、（Ｂ）として、エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート（新中村化学工業株式会社製、商品名Ａ−ＢＰＥ−６）２０質量部、ｐ−クミルフェノキシエチルアクリレート（新中村化学工業株式会社製、商品名Ａ−ＣＭＰ−１Ｅ）２０質量部及び（Ｃ）として、オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステルとオキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチルエステルの混合物（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア７５４）２質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度２５℃、回転数４００ｍｉｎ-1の条件で、６時間撹拌して、コア部形成用樹脂ワニスを調合した。
【０１４７】
その後、孔径２μｍのポリフロンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製、商品名ＰＦ０２０）及び孔径０．５μｍのメンブレンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製、商品名Ｊ０５０Ａ）を用いて、温度２５℃、圧力０．４ＭＰａの条件で加圧濾過した。続いて、真空ポンプ及びベルジャーを用いて減圧度５０ｍｍＨｇ（約６．７ｋＰａ）の条件で１５分間減圧脱泡し、コア部形成用樹脂ワニスＣＯ−１を得た。
【０１４８】
［コア部形成用樹脂フィルムＣＯＦ−１の作製］
上記コア部形成用樹脂ワニスＣＯ−１を、ＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、商品名Ａ１５１７、厚み１６μｍ）の非処理面上に塗工機（株式会社ヒラノテクシード製、商品名マルチコーターＴＭ−ＭＣ）を用いて塗布し、１００℃で２０分乾燥し、次いで保護フィルムとして離型ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名Ａ３１、厚み２５μｍ）を貼付け、コア部形成用樹脂フィルムＣＯＦ−１を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、５０μｍとなるように、また透過強度測定用フィルムは膜厚が１００μｍとなるように調節した。
【０１４９】
［クラッド層形成用樹脂ワニスＣＬ−１の調合］
表１に示すように、（Ａ）成分として、前記Ｐ−２溶液（固形分４０質量％）１５０質量部（固形分６０質量部）、（Ｂ）成分として、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製、商品名Ａ−ＣＨＤ−４Ｅ）２０質量部、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート（新中村化学工業株式会社製、商品名Ａ−９３００Ｓ）２０質量部及び（Ｃ’）重合開始剤として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア８１９）１質量部と１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製、商品名イルガキュア２９５９）１質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度２５℃、回転数４００ｍｉｎ-1の条件で、６時間撹拌して、クラッド部形成用樹脂ワニスを調合した。
【０１５０】
その後、孔径２μｍのポリフロンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製、商品名ＰＦ０２０）及び孔径０．５μｍのメンブレンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製、商品名Ｊ０５０Ａ）を用いて、温度２５℃、圧力０．４ＭＰａの条件で加圧濾過した。続いて、真空ポンプ及びベルジャーを用いて減圧度５０ｍｍＨｇの条件で１５分間減圧脱泡し、クラッド部形成用樹脂ワニスＣＬ−１を得た。
【０１５１】
【表１】
2010020328.tif 000016
【０１５２】
＊１  製造例２で作製した（メタ）アクリルポリマー溶液
＊２  エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製）
＊３  エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート（新中村化学工業株式会社製）
＊４  ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）
＊５  １−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）
＊６  かっこ内の数字は固形分換算配合量を表わす。
【０１５３】
［下部クラッド層形成用樹脂フィルムＣＬＦ−１の作製］
上記クラッド層形成用樹脂ワニスＣＬ−１を、ＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、商品名Ａ４１００、厚み５０μｍ）の非処理面上に、コア層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、クラッド層形成用樹脂フィルムＣＬＦ−１を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が２５μｍとなるように調節した。
【０１５４】
［上部クラッド層形成用樹脂フィルムＣＬＦ−２の作製］
上記クラッド層形成用樹脂ワニスＣＬ−１を、ＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、商品名Ａ１５１７、厚み１６μｍ）の非処理面上に、コア層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、クラッド層形成用樹脂フィルムＣＬＦ−２を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が８０μｍとなるように調節した。
【０１５５】
［透過光強度測定用硬化フィルムの作製］
真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルム（Ａ３１）を除去した透過強度測定用フィルムＣＯＦ−１を２枚張り合わせ、圧力０．５ＭＰａ、温度５０℃及び加圧時間３０秒の条件で積層した。
【０１５６】
その後、長さ１０ｃｍ、幅１ｃｍの短冊状に切削し、両面より紫外線（波長３６５ｎｍ）を２Ｊ／ｃｍ2照射して硬化した。その後基材フィルム（Ａ１５１７）を除去した後、１２０℃で１時間加熱処理することによって、透過強度測定用硬化フィルムを得た。
【０１５７】
［光導波路（図１の（ｄ））の作製］
紫外線露光機（大日本スクリーン株式会社製、商品名ＭＡＰ−１２００−Ｌ）を用い、下部クラッド層形成用樹脂フィルムＣＬＦ−１に紫外線（波長３６５ｎｍ）を２Ｊ／ｃｍ2照射後、基材フィルム（Ａ１５１７）を除去した。この硬化した下部クラッドフィルムに、ロールラミネータ（日立化成テクノプラント株式会社製、商品名ＨＬＭ−１５００）を用いて、保護フィルム（Ａ３１）を除去したコア部形成用樹脂フィルムＣＯＦ−１を、圧力０．４ＭＰａ、温度８０℃及び速度０．４ｍ／ｍｉｎの条件で積層した。
【０１５８】
次いで、幅５０μｍのネガ型フォトマスクを介し、上記紫外線露光機で紫外線（波長３６５ｎｍ）を１．５Ｊ／ｃｍ2照射し、さらに８０℃で５分間露光後加熱を行った。基材フィルム（Ａ１５１７）を除去し、現像液（１質量％炭酸ナトリウム水溶液）を用い、コア部２を現像した後、２０％イソプロピルアルコール水溶液、次いで純水を用いて洗浄し、１００℃で１時間加熱乾燥した。
【０１５９】
次に、上記真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルム（Ａ３１）を除去した上部クラッド層形成用樹脂フィルムＣＬＦ−２を、コア部２及び下部クラッド層４上に、圧力０．５ＭＰａ、温度５０℃及び加圧時間３０秒の条件で積層した。
【０１６０】
紫外線（波長３６５ｎｍ）を２Ｊ／ｃｍ2照射し、基材フィルム（Ａ１５１７）を除去した後、１２０℃で１時間加熱処理することによって、上部クラッド層３を形成し、図１（ｄ）に示す光導波路１を得た。その後、ダイシングソー（株式会社ディスコ製、商品名ＤＡＤ−３４１）を用いて導波路長１０ｃｍの光導波路を切り出した。
【０１６１】
［白色ＬＥＤ光の透過強度測定］
得られた透過強度測定用サンプルの端面より白色ＬＥＤ光（電流出力１５ｍＡ）を入射し、入射部から光が漏れ出さないよう、黒い布で覆った。もう片方の端面より透過光を出し、出てきた光を分光器（大塚電子製、商品名発光測定装置ＭＣＰＤ−３０００）にて検出した。この５６０ｎｍ付近に観測される透過強度ピークと、４５０ｎｍ付近に観測される透過強度ピークから、透過強度比を算出したところ、１：１．７７であった。
【０１６２】
［光伝搬損失の測定］
切り出した光導波路の光伝搬損失を、光源に波長８５０ｎｍの光を中心波長とするＶＣＳＥＬ（ＥＸＦＯ社製、商品名ＦＬＳ−３００−０１−ＶＣＬ）、受光センサ（株式会社アドバンテスト製、商品名Ｑ８２２１４）、入射ファイバ（ＧＩ−５０／１２５マルチモードファイバ、ＮＡ＝０．２０）及び出射ファイバ（ＳＩ−１１４／１２５、ＮＡ＝０．２２）を用いて測定した結果、０．１２ｄＢ／ｃｍであった。
【０１６３】
次に、光源を白色ＬＥＤ（横河電機株式会社製、商品名ＡＱ−６３０３Ｂ）、受光センサに損失波長スペクトル測定装置（横河電機株式会社製、商品名ＡＱ−６３１５Ａ）を用いて、３００ｎｍ〜１２００ｎｍの間でスペクトルの測定を行った。
【０１６４】
前で述べたＶＣＳＥＬ光源（８５０ｎｍ）における伝搬損失値を用いてスペクトルの補正を行い、得られた補正スペクトルから、４６０ｎｍにおける損失値を読み取り、白色ＬＥＤにおける光伝搬損失とした。補正スペクトルから得られた伝搬損失量は０．７７ｄＢ／ｃｍであった。
【０１６５】
実施例２〜４及び比較例１〜５
表２に示す配合比に従ってコア部形成用樹脂ワニスＣＯ−２〜９を調合した。以下、実施例１と同様の方法で、コア部形成用樹脂フィルムＣＯＦ−２〜９を作製し、光導波路１を作製した。光導波路１の作製に用いたコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムの組合せを表３に示す。
また、得られたコア層硬化フィルムの白色ＬＥＤの透過光強度の測定結果及び光導波路１の伝搬損失と導波路パターン形状の外観観測結果を表４及び５に示す。
【０１６６】
【表２】
2010020328.tif 000017
【０１６７】
＊７  製造例１で作製した（メタ）アクリルポリマー溶液
＊８  製造例２で作製した（メタ）アクリルポリマー溶液
＊９  製造例３で作製した（メタ）アクリルポリマー溶液
＊１０  エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート（新中村化学工業株式会社製）
＊１１  ｐ−クミルフェノキシエチルアクリレート（新中村化学工業株式会社製）
＊１２  オキシフェニル酢酸２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステルとオキシフェニル酢酸２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチルエステルの混合物（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）
＊１３  オリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］｝プロパノン（日本シイベルヘグナー株式会社製）
＊１４  １−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製）
【０１６８】
【表３】
2010020328.tif 000018
【０１６９】
【表４】
2010020328.tif 000019
【０１７０】
【表５】
2010020328.tif 000020
【０１７１】
表４及び５に示されるように、本発明の樹脂組成物及びそれを用いた光導波路は、炭酸ナトリウムを用いた現像プロセスが適用可能で、また光伝搬特性にすぐれ、透過光も光源の光に近く、照明用途に適していることが明らかである。
一方、カルボキシル基を有しないビニル重合体を用いた比較例１では、炭酸ナトリウムを用いて現像できなかった。連鎖重合可能な官能基を有しないビニル重合体を用いた比較例２ではコア材料が不透明であった。
【０１７２】
また、光開始剤の配合量が少ない比較例４では、十分な光硬化ができず、現像ができなかった。
また、光開始剤の配合量が多い比較例５やイルガキュア２９５９を光開始剤に用いた場合（比較例３）では、開始剤に起因する着色により、伝搬損失が大きく、また透過された光は、元の光源の光よりも黄色く、照明用途として不適であった。
【０１７３】
上記に示すように、本発明によれば、可視光領域において良好な伝搬損失を有する感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化物、感光性樹脂フィルム、感光性樹脂フィルム硬化物及びこれらを用いた光導波路を提供することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１７４】
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ性水溶液に可溶であるため、コアパターンを形成する際に、アルカリ現像が可能であり、作業環境を良好とすることができる上、環境負荷を低減することができる。また、可視光領域において良好な伝搬損失を有するため、光導波路などの用途として最適である。さらに、本発明の感光性樹脂フィルムによれば、高い生産性で光導波路を製造することができる。
【符号の説明】
【０１７５】
１  光導波路
２  コア部
３  上部クラッド層
４  下部クラッド層
５  保護フィルム（基板）
【図１】
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