(57)【要約】【課題】基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置においての基板とフィルムをラミネートする前の段取りにおいて、搬出口からまず単独で引き出されるフィルムに入りやすいしわ取りの時間の低減と、また、基板が長尺連続体の場合には、基板が傾いて真空槽の搬入口から搬入されるのを防止する。【解決手段】本発明は、搬入口または搬出口を通過する基板またはフィルムの厚さより広い高さで、一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるための開放手段を設ける。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置において、前記搬入口または搬出口を通過する前記基板またはフィルムの厚さより大きい高さで、前記一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるための開放手段を設ける真空ラミネート装置。
【請求項２】
基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置において、前記一対のシールローラには回転軸を有していて、前記搬入口または搬出口を通過する前記基板またはフィルムの厚さより大きい高さで、前記一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるために、前記一対のシールローラの回転軸間を押し広げるくさびを設ける真空ラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中で、基板にフィルムを貼り合わせる（ラミネートする）真空ラミネート装置に関するものである。特に、真空ラミネート装置のシールローラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板にフィルムを貼り合わせるラミネート装置は、基板とフィルムを一対の熱ローラで加熱加圧してラミネートしている。また、基板とフィルム間の微小な気泡をなくすために、これを真空中でおこなっている（特許文献１）。この真空中でのラミネートは真空槽内で行っていて、基板をこの真空槽外から搬入または搬出するために、この真空槽の搬入口または搬出口に一対のシールローラを設けている。このシールローラは一般にゴム製で、シールローラ同士と、この真空槽の搬入口または搬出口の周辺の壁とで接触することにより真空を保持する構造になっている。
【特許文献１】特開平８−３２３９１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
解決しようとする問題点は、基板とフィルムをラミネートする前に、真空槽の搬出口からフィルム単独でまず引き出し、その後それに重ね合わせた形で基板がフィルムとラミネートされるが、搬出口からまず単独で引き出されたフィルムにはしわが入りやすく、なかなかしわがとれず、フィルムがムダになる点と、そのためラミネートするまでに時間のロスが発生する点である。
また、基板が、長尺連続体の場合、基板が傾いて真空槽の搬入口から搬入されるとズレが拡大し、基板が搬入口の端に接触し、基板にダメージを与える点である。
【０００４】
本発明の目的は、基板とフィルムをラミネートする前の段取りにおけるフィルムのムダや時間のロスまたは基板に与えるダメージを解消した真空ラミネート装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、課題を解決するための手段として、基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置において、前記搬入口または搬出口を通過する前記基板またはフィルムの厚さより大きい高さで、前記一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるための開放手段を設けることである。
また、本発明は、基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置において、前記一対のシールローラには回転軸を有していて、前記搬入口または搬出口を通過する前記基板またはフィルムの厚さより大きい高さで、前記一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるために、前記一対のシールローラの回転軸間を押し広げるくさびを設けることである。
【０００６】
すなわち、本発明は、以下のものに関する。
（１）基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置において、前記搬入口または搬出口を通過する前記基板またはフィルムの厚さより大きい高さで、前記一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるための開放手段を設ける真空ラミネート装置。
（２）基板にフィルムを貼り合わせるための真空槽と、この真空槽の搬入口または搬出口に設けた一対のシールローラとを有する真空ラミネート装置において、前記一対のシールローラには回転軸を有していて、前記搬入口または搬出口を通過する前記基板またはフィルムの厚さより大きい高さで、前記一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるために、前記一対のシールローラの回転軸間を押し広げるくさびを設ける真空ラミネート装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、基板とフィルムをラミネートする前の段取りにおけるフィルムのムダや時間のロスまたは基板に与えるダメージを解消した真空ラミネート装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明に述べる基板は、板状またはフィルム状のもの、枚葉のもの長尺連続体のものと特に制約はないが、真空でフィルムと貼り合わせるため、片面または両面に、凹凸面をもったものが好都合である。例えば、プリント配線板の製造においては、１０μｍから１ｍｍ程度の凹凸表面をもった、樹脂や金属が積層された回路基板をさし、素子が内蔵される場合もある。
【０００９】
本発明に述べるフィルムは、室温または加温中で、加圧によりの張り付き力を持つフィルムをさす。例えば、プリント配線板の製造においては、ドライフィルムをさし、エッチングで残す部分やめっきしない部分のマスクや、部品を実装してはんだ付けするときにはんだが不要な部分などを覆うためのフィルム材料をさす。また、張り合わせる側には、一般に保護フィルムが張られていて、貼り合わせ前にはがされる。
【００１０】
本発明に述べる真空槽は、真空ポンプ等により内部を減圧できる一般的な槽をさす。真空槽内には、例えば、基板にフィルムを貼り合わせる手段としての加熱加圧ローラや、貼り合わせるフィルム等を収納する。
【００１１】
本発明に述べるシールローラは、円柱状の金属性などの軸に弾性体を円柱状に成形したものである。
金属性の軸には、一般的に銅、アルミニウム、鉄、ステンレスなどの金属、ステンレスや鉄にニッケル、マンガン、モリブデン、シリコンなどを添加した合金等が用いられる。
弾性体の材質は、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルブタジエンゴム、クロロプレーンゴムなどの耐熱性のあるエラストマが使用できる。無機ヒイラーを添加したりして硬度を調節する。また、基板の凹凸の状態により、表面が柔らかで背面が硬いような複層の弾性体や硬度の異なる複数枚の弾性体を用いてもよい。
【００１２】
本発明に述べる開放手段は、シールローラとシールローラの間に隙間を一時的に設けるものである。搬出口に設ける場合、そこを通すフィルムを一時的に自由に動かすことができる手段で、そのためにシールローラとシールローラの間に隙間の高さを、フィルムの厚さより高い高さにすることにより得られる。また、搬入口に設ける場合、そこを通す基板を一時的に自由に動かすことができる手段で、そのためにシールローラとシールローラの間に隙間の高さを、基板の厚さより高い高さにすることにより得られる。
【００１３】
本発明に述べるくさびは、一対のシールローラの金属性の軸間に挿入し、その軸間を広げたり、広げたものをもどしたりするものである。くさびの挿入は、シールローラの弾性体から露出した両端部分の軸間に同時に挿入するほうが、シールローラとシールローラの間に隙間の高さを平行に広げることができる。材質としては例えば金属性の板を加工したものを使用し、くさびと接触するシールローラの金属性の軸との間にはグリス等を設ける。また、くさびの挿入は、シールローラの弾性体から露出した両端部分の軸にはめ込んだベアリングどうしの側面間に挿入してもよい。そのほうが容易に挿入することができる。
【００１４】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。図１は、本発明で用いる真空ラミネート装置の概略図を示していて（シールローラ間を一時的に開けるための開放手段の表示は省く）、ラミネートローラを上下に用い、基板を水平に挿入し、その表裏両面にフィルムを同時に被着する真空ラミネート装置例の概略を示している。
【００１５】
図１において、ラミネートは、真空を保持する真空槽１内で一対のラミネートローラ２で行い、真空槽１には真空排気用ポンプ３を設ける。真空槽１内への基板４の搬入または取り出し部分には、一対のシールローラ５を設ける。
ラミネートローラ２には、加熱手段を設け、また、ラミネートローラ２の表面には弾性体を設ける。
そして、一対のラミネートローラ２の一方には、ラミネートローラ２が上下に移動できるためのエアーまたは油圧シリンダ等の上下運動手段（表示は省く）を設け、他方のラミネートローラ２は、真空槽１の内壁に固定する。
図１の装置では、真空槽１内に設けた、ロール状に巻かれたフィルム供給手段６から供給された上下２枚のフィルム７を一対のラミネートローラ５間に通しながら、そのフィルム７間に入るように、右から基板４を、搬入口に設けた一対のシールローラ５間から挿入し、真空槽１内の搬送ローラ８により水平に保ちながら、ラミネートされる。ラミネート後、真空槽１の取り出し口に設けた一対のシールローラ５を通し、搬出ローラ９により水平に保ちながら、搬出される。
【００１６】
本発明は、このラミネートをする前に、まず、フィルムのしわを取り除いてからラミネートする。
図２は、ラミネートローラと取り出し口のシールローラ部分の部分図（シールローラ間を一時的に開けるための開放手段の表示は省く）で、このフィルムのしわの除去方法を示している。
【００１７】
初めに、図２（ａ）に示すように、一対のラミネートローラ２間と取り出し口に設けた一対のシールローラ５間には隙間を設けておいて、ロール状に巻かれたフィルム供給手段６から供給された上下２枚のフィルム７を、一対のラミネートローラ２間と、次に真空槽の取り出し口に設けた一対のシールローラ５間に通し、真空槽１外に引き出し放置する。このとき２枚のフィルム７は、長さ方向にも幅方向にもたるんだ状態となっている場合が多い。
次に、図２（ｂ）に示すように、フィルム供給手段６の回転を停止させた後、フィルム７の真空槽外に引き出した部分１０を図２では左方向に、また幅方向にも広がるように引っ張って、フィルム７のたるみを除く。
次に、図２（ｃ）に示すように、フィルム７の真空槽外に引き出した部分１０を引っ張ったままで、一対のラミネートローラ２間を押し付け合って隙間をなくし、次に、一対のシールローラ５間を押し付け合って隙間をなくす。
以上の方法により、ラミネートをする前の段取りにおいて、フィルムのしわの除去を行う。
次に、一対のラミネートローラ２間の隙間を閉じて真空ラミネートを開始する。
【００１８】
また、特に基板が、長尺連続体体の場合、基板が傾いて真空槽の搬入口から搬入されないように、真空槽の搬入口と搬出口に設けた一対のシールローラ間に隙間を設けておいて、基板を一時的に自由に動かすことができるようにし、真空ラミネート前の段取りにおいて、基板の進行方向の傾きを補正する。
【００１９】
図３は、本発明に係る真空ラミネート装置の部分図を示していて、真空槽の搬入口または搬出口の、一対のシールローラの間を一時的に開けるために、くさびを用いる方法の例を示している。図３（ａ）は、この部分の斜視図を、図３（ｂ）および（ｃ）は、動作を説明するための側面図を示している。
【００２０】
図３（ａ）に示すように、くさび１１は、一対のシールローラの両端から露出した回転軸部分１２間にそれぞれ挿入される。そして、図３（ｂ）および（ｃ）に示すように、くさび１１をエアーまたは油圧シリンダ等の左右運動手段１３により、回転軸１２間を押し広げることにより、シールローラ５の間を一時的に開けることができる。そして、フィルムの厚さより大きい高さで開けることにより、フィルムが自由に移動することはできるようになる。
【００２１】
図４は、本発明に係る真空ラミネート装置のくさびを用いる別の方法の部分図を示している。一対のシールローラ５の両端から露出した回転軸部分１２にはベアリング１４がはめ込まれていて、そのベアリング１４間にくさび１１をそれぞれ挿入している。
【００２２】
本発明の真空ラミネート装置は、一対のシールローラの間に隙間を一時的に開けるための手段を講じて、そこを通過する基板やフィルムを自由にずらすことができるので、基板とフィルムをラミネートする前の段取りにおいて、搬出口からまず単独で引き出されるフィルムに入りやすいしわ取りの時間を低減することができる。また、基板が長尺連続体の場合には、基板が傾いて真空槽の搬入口から搬入されるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に用いる真空ラミネート装置の概略図を示している。
【図２】本発明に係る真空ラミネート装置の動作を説明するための部分図を示している。
【図３】本発明に係る真空ラミネート装置のくさびを用いる方法の部分図を示している。
【図４】本発明に係る真空ラミネート装置のくさびを用いる別の方法の部分図を示している。
【符号の説明】
【００２４】
１…真空槽、２…ラミネートローラ、３…真空排気用ポンプ、４…基板、５…シールローラ、６…フィルム供給手段、７…フィルム、８…搬送ローラ、９…搬出ローラ、１０…フィルムの真空槽外に引き出した部分、１１…くさび、１２…シールローラの両端から露出した回転軸部分、１３…左右運動手段、１４…ベアリング。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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