(57)【要約】【課題】透過性の窓を有する光学ミラー素子を提供すること。【解決手段】本願の一実施形態による光学ミラー素子は、第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、ミラー表面を定義する上記第１の表面上の反射コーティングであって、上記第１の表面の上記第１の部分は、上記第１の部分がミラー表面において光透過性の窓を定義することができるように、上記反射コーティング層を含んでいない、反射コーティング層とを備えている、光学ミラー素子である。【選択図】図４
2010020262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、
ミラー表面を定義する該第１の表面上の反射コーティングであって、該第１の表面の第１の部分は、該第１の部分が該ミラー表面において光透過性の窓を定義することができるように、該反射コーティング層を含んでいない、反射コーティング層と
を備えている、光学ミラー素子。
【請求項２】
前記第１の表面の前記第１の部分をカバーする反射防止コーティングをさらに含む、請求項１に記載の光学ミラー素子。
【請求項３】
前記反射防止コーティングは、１つ以上の酸化物材料の層および／またはＭｇＦの層を含む、請求項２に記載の光学ミラー素子。
【請求項４】
前記反射コーティングは、金属および／または酸化物材料の１つ以上の層を含む、請求項１に記載の光学ミラー素子。
【請求項５】
前記第１の表面は、凹形状を有している、請求項１に記載の光学ミラー素子。
【請求項６】
内部表面および外部表面を有する第１のミラー素子であって、該内部表面の第１の部分は、反射表面を定義する反射コーティングを含んでおり、該内部表面の第２の部分は、該反射表面において光透過性の窓を定義する反射防止コーティングを含んでいる、第１のミラー素子と、
内部表面および外部表面を有する第２のミラー素子と、
該内部表面が共通の軸に沿って互いに向かい合っているように、該第１および第２のミラー素子を保持するように構成されたハウジング構造と
を備えている、光学キャビティデバイス。
【請求項７】
前記第１のミラー素子および第２のミラー素子の両方の前記内部表面は、凹状の幾何学的形状を有している、請求項６に記載の光学キャビティデバイス。
【請求項８】
前記反射防止コーティングは、１つ以上の酸化物材料の層および／または１つのＭｇＦの層を含む、請求項６に記載の光学キャビティ要素。
【請求項９】
前記反射コーティングは、金属および／または酸化物材料の１つ以上の層を含む、請求項６に記載の光学キャビティ要素。
【請求項１０】
窓部分を有する光学ミラー素子を形成する方法であって、
光学素子を提供することと、
該光学素子の第１の表面の第１の部分をマスキングすることと、その後に、
反射表面を定義するために、該第１の表面に対して反射コーティングを適用することであって、該マスキングされた部分は、該反射表面において光透過性の領域を定義する、ことと
を包含する、方法。
【請求項１１】
マスキングの前に、前記光学素子の少なくとも前記第１の部分に対して、反射防止コーティングを適用することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記光学素子は、光透過性のレンズ素子である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記レンズ素子は、平坦な表面、凹状の表面、および／または凸状の表面のうちの１つを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記光学素子の前記第１の表面は、凹状の表面である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記マスキングすることは、少なくとも前記第１の部分をカバーしている前記光学素子に対して物質を適用することを含み、前記方法は、前記反射コーティングを適用する前に、該物質を除去することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１６】
前記マスキングすることは、前記反射コーティングを適用する前に、前記第１の部分の上に、タブまたはその他の特徴を挿入することを含み、該タブまたはその他の特徴は、該部分と実質的に同じ大きさを有する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１７】
前記反射コーティングは、金属および／または酸化物材料の１つ以上の層を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１８】
前記反射防止コーティングは、１つ以上の酸化物材料の層および／または１つのＭｇＦの層を含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１９】
窓部分を有する光学ミラー素子を形成する方法であって、
光学素子を提供することと、
反射表面を定義するように、該光学素子の第１の表面に対して反射コーティングを適用することと、
該光学素子の該第１の表面の一部分を露出させるように、該反射コーティングの第１の部分を除去することであって、該第１の表面の該露出されている部分は、該反射表面において光透過性の領域を定義する、ことと
を包含する、方法。
【請求項２０】
前記除去することは、前記反射コーティングをエッチングすることを含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記光透過性の素子の前記第１の表面は、球形のキャビティの内部を定義し、前記第２の表面は、外部の表面を定義する、請求項１に記載のミラー素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、光学素子に関し、より具体的には、光透過性の窓または特徴を有する光学ミラー素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばガスアナライザのようなデバイスは、典型的には、２つのエンドミラーによって定義された内部キャビティを有する。レーザビームまたはその他の光源はキャビティに入り、ミラーの端面の間で前後に反射され、長い経路長を提供する。長い経路長は、ガトレースガスによる光の良好な吸収、そしてトレースガスの検出を可能にする。約１メートル〜１００メートルの経路長が典型的であり、キロメートル単位の経路長が存在し得る。共焦点のキャビティ配置（例えば、Ｈｅｒｒｉｏｔｔセルにおいて見出され得る）に対し、キャビティ内へのビームの入射は、典型的には、特定の入射点における軸から外れている。ビームは、このビームが入射点またはその他の定義された開口部を出て行くまで、様々な反射点において、凹形状のミラーから反射される。典型的には、入射点およびその他の開口部は、ミラー素子に穴をドリルで開けることによって形成され、キャビティ内への光の入射を可能にする。
【０００３】
現場での適用（例えば、現場におけるガスの試験的トレースのための移動式ガスアナライザの使用）に対し、Ｈｅｒｒｉｏｔｔセルのキャビティ内で、制御された環境を維持することが望ましい。そのような適用を実現するために、物理的な穴はガスプラグによって充填され、キャビティ環境を封じ込められた状態に維持することによって、デバイスを現場での使用に耐えるようにする（すなわち、汚染物がキャビティに入ることを阻止する）。しかしながら、ガスプラグの使用は、困難かつ高コストであり得、穴の周囲のまわりの反射に起因するノイズを導入し得る。加えて、ドリルで穴を開けてガスプラグによって充填するプロセスは、高コストかつ時間がかかり得、使用され得るキャビティのサイズを制限し得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、以上の問題およびその他の問題を克服する方法およびデバイスを提供することが望ましい。特に、単純かつコスト効率の良い、ミラー素子、ミラー素子を製造する方法を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（概要）
本発明は、と透過性の窓を有する光学ミラー素子、光学ミラー素子を形成する方法、およびそのような光学ミラー素子を組み込んだデバイスを提供する。光学ミラー素子は、特に、Ｈｅｒｒｉｏｔｔセルの配置における使用に対してよく適している。
【０００６】
一実施形態にしたがうと、光学ミラー素子が提供され、この光学ミラー素子は、典型的には、第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、ミラー表面を定義する第１の表面上の反射コーティング層とを含んでおり、第１の表面の第１の部分は、第１の部分がミラー表面において光透過性の窓を定義することができるように、反射コーティング層を含んでいない。
【０００７】
別の実施形態にしたがうと、光学キャビティ素子が提供される。この素子は、典型的には、内部表面および外部表面を有する第１のミラー素子を含んでおり、内部表面の第１の部分は、反射表面を定義する反射コーティングを含んでおり、内部表面の第２の部分は、反射表面において光透過性の窓を定義する反射防止コーティングを含んでおり、第２のミラー素子は、内部表面および外部表面を有している。この素子はまた、典型的には、共通の軸に沿って内部表面が互いに向かい合うように、第１および第２のミラーを保持するように構成された、ハウジング構造を含んでいる。そのような素子の一例は、Ｈｅｒｒｉｏｔｔセルの配置である。
【０００８】
さらに別の実施形態にしたがうと、窓部分を有する光学ミラー素子を形成するための方法が提供される。この方法は、典型的には、光学素子を提供することと、光学素子の第１の表面の第１の部分をマスキングすることと、その後に、反射表面を定義することができるように、第１の表面に対して反射コーティングを適用することであって、マスキングされた部分は、反射表面において光透過性の領域を定義する、ことと、を含む。特定の局面において、第１の表面の露出された部分は、反射コーティングが適用される前または後のいずれか一方において、反射防止コーティングによってコーティングされる。
【０００９】
さらに別の局面にしたがうと、窓部分を有する光学ミラー素子を形成するための方法が提供される。この方法は、典型的には、光学素子を提供することと、反射表面を定義することができるように、光学素子の第１の表面に対して反射コーティングを適用することと、光学素子の第１の表面の一部分を露出させることができるように、反射コーティングの第１の部分を除去することであって、第１の表面の露出されている部分は、反射表面において光透過性の領域を定義する、ことと、を含む。特定の局面において、第１の表面の露出された部分は、反射コーティングが適用される前または後のいずれか一方において、反射防止コーティングによってコーティングされる。
【００１０】
図面および請求の範囲を含む本明細書の残りの部分を参照することによって、本発明のその他の特徴および利点を理解することができよう。本発明のさらなる特徴および利点、ならびに本発明の様々な実施形態の構造および動作は、添付の図面に関連して、以下で詳細に記載される。複数の図面において、同じ参照番号は、同一または機能上類似している要素を示している。
【００１１】
本発明は、さらに以下の手段を提供する。
【００１２】
（項目１）  
第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、
ミラー表面を定義する該第１の表面上の反射コーティングであって、該第１の表面の第１の部分は、該第１の部分が該ミラー表面において光透過性の窓を定義することができるように、該反射コーティング層を含んでいない、反射コーティング層と
を備えている、光学ミラー素子。
【００１３】
（項目２）  
上記第１の表面の上記第１の部分をカバーする反射防止コーティングをさらに含む、項目１に記載の光学ミラー素子。
【００１４】
（項目３）  
上記反射防止コーティングは、１つ以上の酸化物材料の層および／またはＭｇＦの層を含む、項目２に記載の光学ミラー素子。
【００１５】
（項目４）  
上記反射コーティングは、金属および／または酸化物材料の１つ以上の層を含む、項目１に記載の光学ミラー素子。
【００１６】
（項目５）  
上記第１の表面は、凹形状を有している、項目１に記載の光学ミラー素子。
【００１７】
（項目６）  
内部表面および外部表面を有する第１のミラー素子であって、該内部表面の第１の部分は、反射表面を定義する反射コーティングを含んでおり、該内部表面の第２の部分は、該反射表面において光透過性の窓を定義する反射防止コーティングを含んでいる、第１のミラー素子と、
内部表面および外部表面を有する第２のミラー素子と、
該内部表面が共通の軸に沿って互いに向かい合っているように、該第１および第２のミラー素子を保持するように構成されたハウジング構造と
を備えている、光学キャビティデバイス。
【００１８】
（項目７）  
上記第１のミラー素子および第２のミラー素子の両方の上記内部表面は、凹状の幾何学的形状を有している、項目６に記載の光学キャビティデバイス。
【００１９】
（項目８）  
上記反射防止コーティングは、１つ以上の酸化物材料の層および／または１つのＭｇＦの層を含む、項目６に記載の光学キャビティ要素。
【００２０】
（項目９）  
上記反射コーティングは、金属および／または酸化物材料の１つ以上の層を含む、項目６に記載の光学キャビティ要素。
【００２１】
（項目１０）  
窓部分を有する光学ミラー素子を形成する方法であって、
光学素子を提供することと、
該光学素子の第１の表面の第１の部分をマスキングすることと、その後に、
反射表面を定義するために、該第１の表面に対して反射コーティングを適用することであって、該マスキングされた部分は、該反射表面において光透過性の領域を定義する、ことと
を包含する、方法。
【００２２】
（項目１１）  
マスキングの前に、上記光学素子の少なくとも上記第１の部分に対して、反射防止コーティングを適用することをさらに含む、項目１０に記載の方法。
【００２３】
（項目１２）  
上記光学素子は、光透過性のレンズ素子である、項目１０に記載の方法。
【００２４】
（項目１３）  
上記レンズ素子は、平坦な表面、凹状の表面、および／または凸状の表面のうちの１つを含む、項目１２に記載の方法。
【００２５】
（項目１４）  
上記光学素子の上記第１の表面は、凹状の表面である、項目１２に記載の方法。
【００２６】
（項目１５）  
上記マスキングすることは、少なくとも上記第１の部分をカバーしている上記光学素子に対して物質を適用することを含み、上記方法は、上記反射コーティングを適用する前に、該物質を除去することをさらに含む、項目１０に記載の方法。
【００２７】
（項目１６）  
上記マスキングすることは、上記反射コーティングを適用する前に、上記第１の部分の上に、タブまたはその他の特徴を挿入することを含み、該タブまたはその他の特徴は、該部分と実質的に同じ大きさを有する、項目１０に記載の方法。
【００２８】
（項目１７）  
上記反射コーティングは、金属および／または酸化物材料の１つ以上の層を含む、項目１０に記載の方法。
【００２９】
（項目１８）  
上記反射防止コーティングは、１つ以上の酸化物材料の層および／または１つのＭｇＦの層を含む、項目１１に記載の方法。
【００３０】
（項目１９）  
窓部分を有する光学ミラー素子を形成する方法であって、
光学素子を提供することと、
反射表面を定義するように、該光学素子の第１の表面に対して反射コーティングを適用することと、
該光学素子の該第１の表面の一部分を露出させるように、該反射コーティングの第１の部分を除去することであって、該第１の表面の該露出されている部分は、該反射表面において光透過性の領域を定義する、ことと
を包含する、方法。
【００３１】
（項目２０）  
上記除去することは、上記反射コーティングをエッチングすることを含む、項目１９に記載の方法。
【００３２】
（項目２１）  
上記光透過性の素子の上記第１の表面は、球形のキャビティの内部を定義し、上記第２の表面は、外部の表面を定義する、項目１に記載のミラー素子。
【００３３】
（摘要）
光学ミラー素子は、第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、ミラーの表面を定義する第１の表面上の反射コーティング層とを含んでいる。第１の表面の第１の部分は、この第１の部分がミラー表面における光透過性の窓を定義するように、反射コーティング層を含んでいない。窓部分を有する光学ミラー素子を形成するための方法は、光学素子を提供することと、光学素子の第１の表面の第１の部分をマスキングすることと、その後に、反射表面を定義するように、第１の表面を反射コーティングすることとを含み、マスキングされた部分は、反射表面において光透過性の領域を定義する。第１の表面の露出した部分は、反射コーティングが適用された前または後のいずれか一方において、反射防止コーティングよって、コーティングされ得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
本発明は、透過性の窓を有する光学ミラー素子、および光学ミラー素子を製造するための方法、およびそのような光学ミラー素子を組み込んだデバイスを提供する。光学ミラー素子は、特に、Ｈａｒｒｉｅｔセルの配置に対して良く適している。
【００３５】
図１は、一実施形態にしたがう、窓部分を有する光学ミラー素子を示している。示されているように、ミラー素子１０は、窓または開口部２０を有する反射ミラー表面１５を有しており、この窓または開口部２０は、ミラー表面を通って光が通過することを可能にする。窓２０は、必要に応じて、円形、長方形、または任意のその他の形状を取り得る。図１ａは、ミラー表面の前面図であり、図１ｂは、ミラー素子の側面図を示している。一実施形態において、反射ミラー表面１５は、ミラー表面を定義する反射コーティング層を含んでいる。ミラー表面の第１の部分は、この部分がミラー表面において光透過性の窓２０を定義できるようにするために、反射コーティング層を含んでいない。図１に示されているミラー素子１０は、平坦な端面２２および凹状の面２４を有しており、この凹状の面２４上に、ミラー表面１５が定義される。当業者は、ミラー素子は、必要に応じて、任意のその他の形状を取り得ることを理解し得る。
【００３６】
図２は、一実施形態にしたがう、窓２０を有するミラー素子１０を製造するための方法１００を示している。ステップ１１０において、光透過性の素子（例えば、光学的平坦部、レンズ、等）の第１の表面は、誘電性の反射防止コーティング（例えば、薄膜コーティングまたは干渉コーティング）によってコーティングされ得る。一局面においては、単層の誘電性のコーティングが適用される。例えば、化学気相成長（ＣＶＤ：ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、スパッタリング、物理気相成長（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、物理液相成長（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｌｉｑｕｉｄ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、化学液相成長（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｌｉｑｕｉｄ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）（例えば、電気プレーティング）等のコーティング技術が、同様に使用され得る。光透過性の素子は、溶融石英またはその他の光透過性の材料から構成され得る。コーティングステップ１１０は、反射防止材料の１つ以上の層によって、光学素子をコーティングすることを含み得る。特定の局面にしたがう有用な反射防止コーティング材料は、使用され得る放射の波長範囲に対して適切な厚さを有する酸化物の層を含み、酸化物は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、および酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）および／またはその他の酸化物（金属酸化物を含む）等である。誘電性のコーティングのためには、異なる屈折率を有する２つの材料が必要とされ得る。別の有用な反射防止コーティングは、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ）の単層のコーティングである。
【００３７】
ステップ１１５において、窓部分を定義し得る第１の表面の一部分をカバーするために、マスクが提供される。マスクは、テープまたはその他の周知の材料であり得るか、あるいはマスクは、窓部分をカバーするために配置されるタブまたはその他の要素を含み得る。真空状態において優れた機能を果たす有用なテープのうちの１つは、Ｋａｐｔｏｎ（登録商標）テープである。ステップ１２０において、第１の表面は、ミラー表面を形成するために、誘電性の反射コーティング（例えば、薄膜コーティングまたは干渉コーティング）によって、コーティングされ得る。例えば、ＣＶＤ、スパッタリング、物理気相成長、物理液層成長、化学液層成長（例えば、電気プレーティング）等の周知のコーティング技術が使用され得る。このコーティングステップは、反射性の材料の１つ以上の層によって、光学素子をコーティングすることを含み得る。特定の局面にしたがう有用な反射コーティング材料は、適切な厚さを有する酸化物の層を含み、酸化物は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、および酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）および／またはその他の酸化物（金属酸化物を含む）等である。誘電性のコーティングのためには、使用される放射の波長範囲に対して適切な厚さを有する、異なる屈折率を有する２つの材料が必要とされ得る。特定の局面にしたがうその他の有用な反射コーティング材料は、金属コーティング（すなわち、金、アルミニウム、銀、等）を含む。ステップ１２５においては、窓部分２０を露出させるために、マスクが除去される。例えば、マスクがタブまたはその他の物理的な特徴である場合、タブは単純に除去され得る。マスクが化学的な材料または層を含んでいる場合、マスクは、溶剤またはその他の周知の技術を用いることによって、化学的に除去され得る。ステップ１１０においては、光学素子の第１の表面の窓部分を定義し得る第１の部分のみが、処理される必要があるということに、留意されたい（例えば、第１の表面の残りは、マスキングされ得る）。
【００３８】
図３は、別の実施形態にしたがう、窓２０を有するミラー素子１０を製造するための方法２００を示している。ステップ２１０において、第１の表面は、ミラー表面を形成するために、誘電性の反射コーティングによって、コーティングされ得る。上述のように、例えば、ＣＶＤ，電子ビーム蒸着、スパッタリング等の周知のコーティング技術が使用され得る。このコーティングステップは、反射性の材料の１つ以上の層によって、光学素子をコーティングすることを含み得る。特定の局面にしたがう有用な反射コーティング材料は、適切な厚さを有する酸化物の層を含み、酸化物は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、および酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）および／またはその他の酸化物（金属酸化物を含む）等である。その後、ステップ２２０において、反射コーティングを除去して窓部分２０を露出させるために、コーティングされた第１の表面の一部分がエッチングされる。エッチングは、化学エッチング、レーザ切断、またはその他の周知の技術を含み得る。特定の局面においては、窓部分２０が反射防止コーティングを有することが望ましい。これは有利にも、後方反射を防ぎ、第１の表面（特に、定義された窓部分）を通過することに起因する光学的なノイズを低減することに役立つ。したがって、特定の局面においては、露出された窓部分２０に対して誘電性の反射防止コーティング層を適用する追加的なステップが実行される。例えば、一局面においては、ステップ２２０の後に、窓部分を除く反射部分がマスキングされ得、反射防止コーティングが窓部分に適用され得る。上述のように、マスクはその後に除去される。あるいは、ステップ２１０の前に、図１のステップ１１０と同様に、光学素子（または、その一部分）に対して、反射防止コーティングが適用される。この場合には、反射防止コーティング層を露出させ、窓の形状を定義するために、エッチング２２０が実行される。
【００３９】
１つまたは複数の窓が、任意の所与のミラー表面上に形成され得、窓２０の形状は、マスクおよび／または使用されるエッチングのパラメータによって定義され得るということに、留意されたい。例えば、図４は、細長い（くさび形状の）窓部分を有するミラー素子の例を示しており、図５は、２つの別個の窓部分を有するミラー素子を示している。
【００４０】
光学素子は、必要に応じて任意の形状を有し得るということに留意されたい。例えば、Ｈｅｒｒｉｏｔｔセルの適用に対しては、光学素子の第１の表面（ミラー表面）が、凹形状を有している（例えば、定義された曲率の輪郭を有している）ことが望ましい。しかしながら、第１の表面は、凸形状の表面、平坦な形状の表面、またはその他の形状の表面を有していたり含んでいたりし得るということに、留意されたい。一局面においては、第１の表面は、球形の内部表面（例えば、積分球素子において見出され得る）を定義する。光学素子が向かい合う表面（例えば、ディスクまたはレンズ素子）を有している場合、第１の表面の反対側の光学素子の第２の表面は、必要に応じて、任意の形状（例えば、凹形状、平坦形状、凸形状、等）を有し得る。加えて、光学素子はプリズムの形態であり得、この場合には、第１の表面（ミラー表面）は、必要に応じて、実質的に平坦であるか、または任意のその他の形状を有し得る。さらに、本発明にしたがうと、１つ以上の窓要素が定義された、ミラー加工された表面（または表面の一部分）を生成するために、光学素子の１つ以上の表面が処理され得る。
【００４１】
適用されるコーティングは勿論、必要に応じて、特定の用途に合わせて調整され得る。例えば、反射コーティングを適用するとき、反射率は、必要に応じて調整され得る。一例として、１６４５〜１６５５ｎｍの波長に対して約９９．９％よりも大きい反射率を提供するコーティングが、使用され得る。同様に、反射防止コーティングに対し、反射率は、必要に応じて調整され得る。一例として、１６４５〜１６５５ｎｍの波長に対して約０．２％よりも小さい反射率を提供する反射防止コーティングが、使用され得る。当業者は、使用される放射の波長に応じて、調整された反射（および反射防止）コーティングを形成するための、適切な材料およびプロセスパラメータを理解し得る。
【００４２】
図６は、キャビティを定義する光学素子の様々な配置の例を示している。図６ａに示されているように、両凹（ｃｏｎｃａｖｅ−ｃｏｎｃａｖｅ）の配置が示されており、この場合には、ビームは定義された窓２０を通ってキャビティに入射し、ビームが入射点から出て行くまで、各ミラー素子のまわりの別個の反射点から反射する。図６ｂは平凹（ｃｏｎｃａｖｅ−ｐｌａｎｏ）の配置を示しており、図６ｃは凹凸（ｃｏｎｃａｖｅ−ｃｏｎｖｅｘ）の配置を示している。
【００４３】
図７および図８は、２つのＨｅｒｒｉｏｔｔセルの実施形態を示しており、これらにおいては、本発明のミラー素子が特に有用である。図７のＨｅｒｒｉｏｔｔセルの配置において、ミラー要素は、装置の軸に沿ってミラー素子の中央に定義されている入射開口部（例えば、窓２０）を含んでいる。反対側のミラー素子は、軸のまわりを回転する。交換液体洗浄ノズルおよびブラシが、反対側のミラー素子の洗浄を容易にするために、使用される。図８においては、入射開口部（例えば、窓２０）は、図６ａにおけるように、レンズ素子の縁の方に定義されている。
【００４４】
本明細書中で使用される場合に、第１の表面は必ずしも、光学素子と相互作用するときに光線が当たる第１の表面を意味しているとは限らず、むしろ第１の表面は、本明細書中で議論されたように、ミラー表面を形成するために反射および／または反射防止コーティングを用いて処理される表面を意味しているということに、留意されたい。
【００４５】
本発明は、例示を目的として特定の実施形態に関連して記載されてきたが、本発明は開示された実施形態に限定されるものではないということが、理解されるべきである。反対に、本発明は、当業者にとって明白であり得る様々な改変および同様の配置をカバーすることが意図されている。実施形態は、様々な光学素子（例えば、積分球、Ｈｅｒｒｉｏｔｔセル、白色セル、リングダウンキャビティ、非点収差Ｈｅｒｒｉｏｔｔセル、等のデバイス）に対して使用され得る。したがって、添付の請求の範囲の権利範囲は、そのような改変および同様の配置の全てを含むように、最も広い解釈がされるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１は、一実施形態にしたがう、窓部分を有する光学ミラー素子を示している。
【図２】図２は、一実施形態にしたがう、窓を有するミラー素子を製造するための方法を示している。
【図３】図３は、別の実施形態にしたがう、窓を有するミラー素子を製造するための方法を示している。
【図４】図４は、細長い（くさび形状の）窓部分を有するミラー素子の一例を示している。くさび形状は、斜交平行線によって示されており、円形の破線は、光学的な曲率のインジケータ（例えば、素子は、インジケータの間で、凹状または凸状であり得る）を示している。
【図５】図５は、２つの別個の窓部分を有するミラー素子の例を示している。
【図６】図６は、キャビティを定義する光学素子の様々な配置の例を示している。
【図７】図７は、本発明のミラー素子が特に有用なＨｅｒｒｉｏｔｔセルの実施形態を示している。
【図８】図８は、本発明のミラー素子が特に有用なＨｅｒｒｉｏｔｔセルの実施形態を示している。
【符号の説明】
【００４７】
１０  ミラー素子
１５  反射ミラー表面
２０  窓
２２  平坦な端面
２４  凹状の面
【図１】
2010020262.tif 000003
【図２】
2010020262.tif 000004
【図３】
2010020262.tif 000005
【図４】
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【図５】
2010020262.tif 000007
【図６】
2010020262.tif 000008
【図７】
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【図８】
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