(57)【要約】【課題】簡素な構造にて昇華物除去部材の汚染状態を正確に検知することができる排気ガス処理装置を提供する。【解決手段】第１の筐体１１の内部に、熱処理炉Ｘから排出される高温の排気ガスを透過させて、当該排気ガス中の昇華物を捕集するフィルタ層２ａを設けた。前記昇華物を付着させるゲージ５を、前記第１の筐体１１の内部に引き抜き可能に導入した。【選択図】      図１
2010104960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理炉から排出される排気ガスを導入して排出する筐体と、この筐体の内部に設けられ、前記排気ガスを透過させて当該排気ガスに含まれる昇華物を除去する昇華物除去部材とを備える排気ガス処理装置であって、
前記筐体の内部に、前記昇華物を付着させるゲージを当該筐体から引き抜き可能に設けていることを特徴とする排気ガス処理装置。
【請求項２】
前記昇華物除去部材が、前記昇華物を捕集するフィルタ層と、このフィルタ層を透過させた排気ガスに残留する昇華物を酸化燃焼させる触媒層とを有し、
前記フィルタ層および触媒層を、前記排気ガスの流路に沿って設置しているとともに、前記ゲージを前記排気ガスの流路に沿ってフィルタ層および触媒層の少なくとも一方に挿通している請求項１記載の排気ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理炉から排出された排気ガスに含まれる昇華物を除去する排気ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル（カラーフィルタ）製造用のガラス基板の加熱処理には、熱風循環式の熱処理炉が多用されている。この熱風循環式の熱処理炉は、加熱器で加熱した空気を炉内（熱処理槽内）で循環させて、炉内に配置したガラス基板を加熱するものである。
このガラス基板の加熱処理においては、例えばガラス基板に塗布された溶剤等が高温に加熱されることにより、当該溶剤に含まれる昇華成分が気化して、処理雰囲気が昇華成分により汚染される。このような処理雰囲気中では、ガラス基板も汚染されてその品質が低下することになるので、処理雰囲気の一部を排出して炉内の清浄度を確保することが行われている。この炉内から排出された排気ガスについては、排気ガス処理装置に導入して昇華物を除去した後、熱交換器によって熱処理炉に供給される空気と熱交換させて、大気中に排出することが行われている。
【０００３】
前記排気ガス処理装置には、前記排気ガス中の昇華物を除去する昇華物除去部材が設けられている。この昇華物除去部材は、排気ガスが透過可能な板状、ペレット状又はハニカム状のものであり、それぞれ排気ガスの流路に沿って所定間隔毎にあるいは一体的に、いずれにしても層状に配列されている。この昇華物除去部材に排気ガスを透過させることにより、昇華物を除去することができ、これにより、熱交換器の内部に昇華物が堆積することに起因して熱交換効率が低下するのを防止している。
【０００４】
前記昇華物除去部材は、昇華物によって徐々に汚染されるので、昇華物の除去能力が徐々に低下する。このため、熱交換器の内部に昇華物が徐々に堆積して、その熱交換効率が経時的に低下する。このため、前記昇華物除去部材の汚染状態を検知するための検知装置が提案されている。この検知装置として、例えば、前記昇華物除去部材の上流側と下流側との差圧を検出するもの、熱交換器の上流側と下流側との差圧を検出するもの（例えば特許文献１参照）、および昇華物除去部材の表面や熱交換器に付着した昇華物の量を、光学センサで検出するもの等が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−３２４８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、前記差圧を検出する検知装置は、熱処理炉の炉内圧力の変化や昇華物の種類等によって、前記昇華物除去部材や熱交換器の上流側と下流側との差圧が変動し易い。また、光学センサを用いた検知装置については、光学センサ自体あるいは光学センサを昇華物から遮蔽する透明ガラスが昇華物で汚染される。このため、昇華物除去部材の汚染状態を正確に検知することができないという問題があった。また、いずれの検知装置についても、構造が複雑で装置のコストが高くつくという問題もあった。
【０００７】
この発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、簡素な構造にて昇華物除去部材の汚染状態を正確に検知することができる排気ガス処理装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するためのこの発明の排気ガス処理装置は、熱処理炉から排出される排気ガスを導入して排出する筐体と、この筐体の内部に設けられ、前記排気ガスを透過させて当該排気ガスに含まれる昇華物を除去する昇華物除去部材とを備える排気ガス処理装置であって、前記筐体の内部に、前記昇華物を付着させるゲージを当該筐体から引き抜き可能に設けていることを特徴としている。
【０００９】
前記の構成の排気ガス処理装置によれば、前記ゲージに排気ガス中の昇華物を経時的に付着させることができるので、前記ゲージを筐体から引き抜き抜いて、当該ゲージにおける昇華物の付着状態を目視観察することにより、前記昇華物除去部材の汚染状態を検知することができる。このため、簡素な構造にて前記昇華物除去部材の汚染状態を正確に検知することができる。
【００１０】
前記排気ガス処理装置は、前記昇華物除去部材が、前記昇華物を捕集するフィルタ層と、このフィルタ層を透過させた排気ガスに残留する昇華物を酸化燃焼させる触媒層とを有し、前記フィルタ層および触媒層を、前記排気ガスの流路に沿って設置しているとともに、前記ゲージを前記排気ガスの流路に沿ってフィルタ層および触媒層の少なくとも一方に挿通しているのが好ましい。
この場合には、筐体から引き抜いたゲージのフィルタ層および触媒層の少なくとも一方に対応する位置の汚染状態を目視観察することにより、フィルタ層および触媒層の少なくとも一方の汚染状態を、排気ガスの流路に沿って容易に検知することができる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の排気ガス処理装置によれば、昇華物除去部材の汚染状態を、簡素な構造にてコスト安価にかつ正確に検知することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る排気ガス処理装置Ｂを備える廃熱回収装置Ａを示すブロック図であり、図２は前記排気ガス処理装置Ｂの要部斜視図である。
前記廃熱回収装置Ａは、前記排気ガス処理装置Ｂと、この排気ガス処理装置Ｂによって処理された排気ガスと熱処理炉Ｘに供給される空気（外気）との間で熱交換を行なわせる熱交換器Ｃとを備えている。
【００１３】
前記排気ガス処理装置Ｂは、熱処理炉Ｘの炉内から排出される昇華物を含む高温の排気ガスを導入して排出する筐体１と、この筐体１に導入された排気ガス中の昇華物を除去する昇華物除去部材２とを有している。
前記筐体１は、排気ガスの流路の上流側に設けられた第１の筐体１１と、この第１の筐体１１の下流側に設けられた第２の筐体１２とによって構成されている。前記第１の筐体１１の吸気側１１ａは、第１のダクトＤ１を介して前記熱処理炉Ｘの炉内に連通されており、排気側１１ｂは、第２のダクトＤ２を介して前記第２の筐体１２の吸気側１２ａに連通されている。
【００１４】
前記昇華物除去部材２は、第１の筐体１１の内部に設けられたフィルタ層２ａと、第２の筐体１２の内部に設けられた触媒層２ｂの２種類で構成されている。
前記フィルタ層２ａは、排気ガス中に含まれる昇華物の固化物や、触媒毒とされるイオウ（Ｓ）やリン（Ｐ）を含有する気体成分を捕集する板状のメッシュフィルタ、あるいはアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等のセラミック材料等からなるペレット状の層等で構成されている。
また、前記触媒層２ｂは、フィルタ層２ａを透過した排気ガス中に残留する昇華物を酸化燃焼させるものであり、ハニカム触媒や粒状（ペレット）触媒によって構成された層状のものである。この触媒層２ｂについても、排気ガスの流路に沿って設置されている。
前記昇華物除去部材２は、各筐体１１，１２の内部において当該筐体１１，１２の内壁に対して気密性を有して設けられている。
【００１５】
前記第１の筐体１１の内部には、フィルタ層２ａの汚染状態を目視観察するためのゲージ５が導入されている。このゲージ５は長尺の棒材からなり、その先端側に格子状の目盛り５１が形成されている（図３参照）。このゲージ５は、その長手方向を排気ガスの流路に沿わせた状態で、筐体１１の内部に抜き取り可能に差し込まれている。このゲージ５はフィルタ層２ａに設けられた貫通孔２ｃを挿通しており（図２参照）、その目盛５１は、ゲージ５の先端部から排気側１１ｂのフィルタ層２ａの下流側に至る範囲に形成されている。前記ゲージ５と昇華物除去部材２の貫通孔２ｃとの間には、隙間が形成されており、この隙間により少量の排気ガスをゲージ５の目盛り５１部分に導いて、当該目盛り５１部分に排気ガス中の昇華物を付着させるようにしている。
【００１６】
前記熱交換器Ｃは、筐体４の内部を隔壁４ｃによって排気室４ａと給気室４ｂとに区画したものであり、排気ガス処理装置Ｂによって昇華物が除去された排気ガスが、第３のダクトＤ３を介して排気室４ａに導入され、外気が給気室４ｂに導入されて、隔壁４ｃを介して排気ガスと外気との熱交換が行われる。
【００１７】
前記の構成の排気ガス処理装置Ｂによれば、前記第１の筐体１１の内部を通過する排気ガス中の昇華物を、ゲージ５に経時的に付着させることができるので、前記ゲージ５を筐体１１から定期的に引き抜き抜いて、昇華物の付着状態を目視観察することにより、前記フィルタ層２ａの汚染状態（劣化状態）を検知することができる。したがって、フィルタ層２ａの使用限度に対応する汚染状態を予め把握しておくことにより、フィルタ層２ａの交換時期を判別することができる。このように、前記排気ガス処理装置Ｂは、ゲージ５を用いてフィルタ層２ａの汚染状態を検知するものであるので、簡素な構造にて当該フィルタ層２ａの汚染状態を正確かつコスト安価に検知することができる。
【００１８】
特に、前記ゲージ５が排気ガスの流路に沿った状態でフィルタ層２ａを挿通しているので、フィルタ層２ａの汚染状態を、ゲージ５によって容易に検知することができる。すなわち、第１の筐体１１から引き抜いたゲージ５の目盛り５１部分のうちの、フィルタ層２ａの位置と対応する部分における汚染状態を判別することにより、フィルタ層２ａの汚染状態を排気ガスの流路に沿って知ることができる。このため、使用限度まで汚染が進んだフィルタ層２ａを容易に検知することができるので、フィルタ層２ａの不必要な交換やメンテンナンス作業を防止することができる。
【００１９】
前記ゲージ５は、第１の筐体１１の内部だけでなく第２の筐体１２の内部にも引き抜き可能に設けられていてもよい。この場合には、前記第１の筐体１１の内部のフィルタ層２ａを透過させた排気ガスに残留する昇華物を、第２の筐体１２内のゲージ５に経時的に付着させることができるので、前記ゲージ５を第２の筐体１２から引き抜き抜いて、昇華物の付着状態を目視観察することにより、触媒層２ｂの汚染状態を排気ガスの流路に沿って検知することもできる。
【００２０】
さらに、前記ゲージ５は、第２の筐体１２の内部のみに引き抜き可能に設けられていてもよい。この場合には、前記ゲージ５を第２の筐体１２から引き抜き抜いて、昇華物の付着状態を目視観察することにより、フィルタ層２ａの全体的な汚染状態を検知することができるとともに、前記触媒層２ｂの汚染状態を排気ガスの流路に沿って検知することができる。
【００２１】
なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、第１の筐体１１と第２の筐体１２とは一体形成して実施する場合もある。また、昇華物除去部材２については、昇華物の種類に応じてフィルタ層２ａまたは触媒層２ｂの何れか一方のみで構成する場合もある。
さらに、前記筐体１に、少量の排ガスを通す分岐路を形成し、この分岐路に臨ませてゲージ５を配置してもよく、この場合には、ゲージ５を昇華物除去部材２に挿通させることなく配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の一実施形態に係る排気ガス処理装置を備える廃熱回収装置示すブロック図である。
【図２】前記排気ガス処理装置の要部斜視である。
【図３】ゲージの要部拡大図である。
【符号の説明】
【００２３】
１      筐体
１１    第１の筐体
１２    第２の筐体
２      昇華物除去部材
２ａ    フィルタ層
２ｂ    触媒層
５      ゲージ
Ａ      廃熱回収装置
Ｂ      排気ガス処理装置
Ｃ      熱交換器
Ｘ      熱処理炉
【図１】
2010104960.tif 000003
【図２】
2010104960.tif 000004
【図３】
2010104960.tif 000005