(57)【要約】【課題】液滴材料の消費を少なくしてもノズル詰まりを回復することができ、液滴材料の安定吐出を実現する。【解決手段】滴を吐出するためのノズル２を有するヘッド１と、ヘッド１にインク５を供給するタンク４とを有するインクジェット装置のノズル２の液滴不吐出を改善する方法であって、タンク４内のインクの液面５ａがヘッド１から、液滴を吐出するときの吐出位置からヘッド１の液滴吐出面の高さより高い位置になるまでタンク４を移動させ、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面の高さより高い位置に保持したままで、ヘッド１の液滴吐出面を、インク５を生成する溶液の成分の少なくとも一部からなる溶媒を塗布した拭き取りシート８により拭くことにより、ヘッド１のノズル２を不吐出状態を回復させる。【選択図】図３
2010274208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動し、前記タンクの液面を前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置まで移動させ、前記タンクの液面を前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記タンクの液面を、前記ヘッドの液滴吐出面の高さより高い位置と前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置との中間地点に移動させ、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置まで移動させ、前記タンクの液面を前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記タンクの液面を、前記ヘッドの液滴吐出面の高さより高い位置から前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置まで移動させながら、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記タンクを前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置まで移動させ、前記タンクの液面を前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記タンクの液面を、前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置から前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置まで移動させ、
前記タンクが前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
液滴を吐出するためのノズルを有するヘッドと、前記ヘッドに吐出用液体を供給するためのタンクを具備する液滴吐出装置に用いられる液滴吐出方法であって、
前記ヘッドのノズルをクリーニングするための前記吐出用液体を生成する溶液の成分の少なくとも一部からなる溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置まで移動させ、前記タンクの液面を前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記タンクの液面を、前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置から前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍まで移動させ、
前記タンクが前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記タンクを前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項６】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動させた後、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置へ移動させながら、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
前記タンクの液面が、前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項７】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動させた後、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍へ移動させながら、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
前記タンクの液面が、前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記タンクを前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項８】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動させた後、前記タンクを前記ヘッドの液滴吐出面の高さより高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記溶媒塗布部材を前記ヘッドの液滴吐出面に接触させた状態で、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動させ、
前記タンクの液面が前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項９】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動させた後、前記タンクを前記ヘッドの液滴吐出面の高さより高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記溶媒塗布部材を前記ヘッドの液滴吐出面に接触させた状態で、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍に移動させ、
前記タンクの液面が前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記タンクを前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１０】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
液滴を吐出するためのノズルを有するヘッドと、前記ヘッドに吐出用液体を供給するためのタンクを具備する液滴吐出装置に用いられる液滴吐出方法であって、
前記ヘッドのノズルをクリーニングするための前記吐出用液体を生成する溶液の成分の少なくとも一部からなる溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動させた後、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動させながら前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、かつ前記溶媒塗布部材を前記ヘッドの液滴吐出面に接触させた状態で、そのまま前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動させ、
前記タンクの液面が前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
その後、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１１】
タンクに貯蔵された液体をノズルを有するヘッドから液滴として吐出する方法であって、
溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、
前記タンクの液面を、前記ヘッドから前記液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動させた後、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に移動させながら前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、かつ前記溶媒塗布部材を前記ヘッドの液滴吐出面に接触させた状態で、そのまま前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍に移動させ、
前記タンクの液面が前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置近傍に移動した後、再度、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、
次いで、前記タンクを前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１いずれか１項に記載の液滴吐出方法を用いる液滴吐出装置であって、タンクの液面がヘッドの液滴吐出面の高さより高い位置として、前記タンクの液面と前記ヘッドの液滴吐出面との距離が、少なくとも１００ｍｍ以上の間隔が確保されるように設定したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１〜１１いずれか１項に記載の液滴吐出方法を用いる液滴吐出装置であって、液滴を吐出するためのノズルを有するヘッドと、前記ヘッドに吐出用液体を供給するためのタンクと、前記タンクを上下する駆動機構と、前記ヘッドのノズルをクリーニングするための前記吐出用液体を生成する溶液の成分の少なくとも一部からなる溶媒を塗布した溶媒塗布部材と、前記溶媒塗布部材を移動させる移動機構とを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液滴吐出装置において、ヘッド面のノズル詰まりを回復するための液滴吐出方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、民生用プリンタや産業用印刷、あるいは電子光学装置用のディスプレイなどの製造において、インクジェット法による液滴吐出技術が用いられている。
【０００３】
インクジェット法は、材料を物体上に堆積する技術として用いられており、吐出ヘッドに設けられたノズルから吐出用液体を吐出する方法であって、スピンコート法などの他の塗布技術に比べて、液体材料の無駄な消費が少なく、物体上に直接精度よくパターニング塗布することが可能であるという利点を有する。
【０００４】
吐出用液体として、特殊なインクや感光性樹脂などの特別な材料を用いることにより、さまざまな商品分野への応用が期待されている。
【０００５】
インクジェットプリンタなどの液滴吐出装置では、吐出用液体としてのインクは溶質を溶媒で溶かした材料が一般的に用いられている。インクは、運転停止時には、時間経過とともに溶媒が蒸発し、インクジェットヘッドの液滴吐出面での粘度が増加する。このため、インクジェットヘッド面上の液滴吐出孔内におけるインクの粘度が増加し、液滴吐出を行うノズルに目詰まりが発生し、液滴の不吐出や不安定な吐出が発生する。
【０００６】
そのため、特許文献１，２に示すように、従来ではヘッドキャップを用いて、ヘッド面を覆い、インクを吸引することにより、液滴の不吐出を回復するという方法が行われている。
【０００７】
図４は従来の液滴の不吐出を回復するための方法を説明するためのノズルヘッドの概略図である。
【０００８】
図４において、３０は液滴を吐出するための吐出ヘッド、３１は液滴が吐出されるノズル、３２は、ノズル３１が液滴不吐出になった場合に、ノズル３１を通してインクを吸引するために設けられるキャップ、３３は、キャップ３２の内部を真空に引くためのチューブであって、真空ポンプ（図示せず）で真空に引かれる。
【０００９】
このように、ヘッド３０のノズル３１からインクを吸引することにより、不吐出を回復するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開昭４７−３０３３７号公報
【特許文献２】特開２００４−１４２４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献１，２に記載されているように、ノズル３１の目詰まりを防止するためにキャップ３２を用いた構成の場合、吐出用液体であるインクを吸引するため、インクを多量に消費してしまい、高価なインクの場合にはコスト高になるという課題がある。
【００１２】
例えば、１ヘッドで１回当たり数十ｃｍ３のインクを吸引する必要のある場合もある。特に、頻繁に停止が発生した場合にはインクの吸引回数が増え、インクを大量に消費してしまう。
【００１３】
前記インクの消費を抑えるため、吸引量を少なくすることも考えられるが、そのために吸引圧力を低くした場合には、ヘッド面とキャップ面でリークが発生しやすく、ノズルのインクを十分吸引できなくなる場合がある。
【００１４】
本発明は、前記従来の課題に鑑みなされたものであり、液体吐出面における吐出用液体によるノズルの目詰まりに対処し、少ない吐出用液体の消費で、吐出用液体の安定吐出を実現する液滴吐出方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明は、溶媒が塗布された溶媒塗布部材を用意し、タンクの液面を、ヘッドから液滴を吐出するときの吐出位置から前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置へ移動し、前記タンクの液面を前記ヘッドの液滴吐出面の高さよりも高い位置に保持したままで、前記ヘッドの液滴吐出面を前記溶媒塗布部材で拭き、その後、前記タンクの液面を前記ヘッドから液滴を吐出するときの前記吐出位置に戻して、前記ヘッドから液滴を吐出させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ヘッドのノズルが目詰まりした場合でも、従来のようにキャップなどの特別な部材を用いる吸引を行わなくても、良好な状態にノズルを回復することができるため、当該回復処理のために少ない吐出用液体の消費量で、吐出用液体の安定吐出が実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態１〜１１に係るインクジェット装置の概略構成を示す断面図
【図２】本発明の実施形態１〜１１に係るインクジェット装置におけるヘッドの断面図
【図３】本発明の実施形態１〜１１に係るインクジェット装置におけるヘッドの液滴吐出面とインクの液面との高さの関係の説明図
【図４】従来の液滴の不吐出を回復するための方法を説明するためのノズルヘッドの概略図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る液滴吐出方法および装置の実施の形態について図１〜図３を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は本実施形態に係るインクジェット装置の概略構成を示す断面図である。
【００２０】
図１に示すように、ヘッド１に液滴を吐出するノズル２が設けられている。ヘッド１に対して、フッ素樹脂からなるチューブ３を通して、タンク４から吐出用液体であるインク５が供給される。タンク４には、インク５をインク供給源（図示せず）から追加供給するための供給チューブ６が連結されている。
【００２１】
図１において、７は、ヘッド１のノズル２面（液滴吐出面）をクリーニングするための拭き取り部材であって、クリーンルーム対応の布製の拭き取りシート８と、拭き取りシート８を巻き出しかつ巻き取りするためのテフロン（登録商標）からなるロール９を備え、クリーニング前、あるいはクリーニング後に、拭き取りシート８がロール９により巻き取られる構成になっている。
【００２２】
さらに、１０は、拭き取りシート８をヘッド１に接触するように押し当てるための押し当て部材であって、押し当て部材１０は、拭き取りシート８をヘッド１の液滴吐出面に軽く押し当てるバネ機構（図示せず）を有する。
【００２３】
１１は、インク５を生成する主材料である溶媒の少なくとも１つを、溶媒塗布部材としての拭き取りシート８に塗布するための溶媒供給部材である。本例では、インク５の溶媒として、沸点１７５℃のメトキシトルエン（ＣＨ３ＯＣ６Ｈ４ＣＨ３）を使用した。
【００２４】
拭き取り部材７を構成する拭き取りシート８，ロール９，押し当て部材１０，溶媒供給手段１１は、全体として上下・左右に移動可能な構成になっている。また、タンク４はボールねじ（図示せず）などにより上下動可能な構成になっている。
【００２５】
本実施形態において液滴吐出装置であるインクジェット装置は、液滴塗布部Ａとノズル詰まりを修復するノズル回復部Ｂとからなる。
【００２６】
ノズル回復部Ｂは、回復処理対象であるヘッド１と、ヘッド１の液滴吐出面をクリーニングするための拭き取り部材７とが設置され、ノズル回復部Ｂにおいてヘッド１の回復動作を行った後、液滴塗布部Ａにおいて、状態が回復されたヘッド１から基板１２に液滴を塗布する。
【００２７】
図２は本実施形態のインクジェット装置におけるヘッドの側面断面図、図３は本実施形態におけるヘッドの液滴吐出面とインクの液面との高さの関係の説明図であって、（ａ）は液滴供給時、（ｂ）は液滴回復時の状態を示す。
【００２８】
（実施形態１）
以下、本発明の実施形態１における動作について図面を参照して説明する。
【００２９】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４内のインク５の液面５ａを、ヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【００３０】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、その位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触したときに上昇を停止する。
【００３１】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させると同時にタンク４を下降させる。タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置に移動させた後、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動させてから、基板１１へインク５を塗布する。
【００３２】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動させて、溶剤が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することが可能となる。
【００３３】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【００３４】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動させた状態で、ヘッド１を拭き取りシート８で拭くことにより、不吐出のノズルが改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【００３５】
（実施形態２）
以下、本発明の実施形態２における動作について図面を参照して説明する。
【００３６】
実施形態２に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【００３７】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【００３８】
タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動させた段階で、その位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触したときに上昇を停止する。
【００３９】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させると同時にタンク４を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置とヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置との間の途中段階で、再度、ヘッド１の液滴吐出面の拭き取りを実施する。
【００４０】
実施内容は、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置で拭き取りをした内容と同じである。すなわち、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００４１】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。そして、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動させてから、基板１１へインク５を塗布する。
【００４２】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶剤が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズルの不吐出を低減することが可能となる。
【００４３】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。さらに、タンク４が下降する途中段階で再度拭き取りを行うことにより、ヘッド面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【００４４】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１を拭き取り、さらにヘッド１の液滴吐出面より高い位置とヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置の途中段階で再度拭き取ることにより、不吐出のノズルが改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【００４５】
（実施形態３）
以下、本発明の実施形態３における動作について図面を参照して説明する。
【００４６】
実施形態３に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【００４７】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【００４８】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、タンク４をヘッド１の液滴吐出面より高い位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１の液滴吐出面に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。
【００４９】
ヘッド１の液滴吐出面に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００５０】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させると同時にタンク４を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置からヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置への移動中に、再度、拭き取りを実施する。
【００５１】
実施内容は、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置で拭き取りをした内容と同じである。すなわち、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材を上昇させ、ヘッド１に拭き取り８が接触した段階で上昇を停止させる。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００５２】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。そして、タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動させてから、基板１１へインク５を塗布する。
【００５３】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することが可能となる。
【００５４】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【００５５】
また、タンク４を移動中に液滴吐出面を再度拭き取ることにより、ヘッド面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【００５６】
以上のように、タンク４をヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭き取り、さらにヘッド１の液滴吐出面より高い位置から液滴を吐出するときの吐出位置への移動中に再度拭き取ることにより、不吐出のノズルが改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【００５７】
（実施形態４）
以下、本発明の実施形態４における動作について図面を参照して説明する。
【００５８】
実施形態４に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【００５９】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【００６０】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、ロール９で新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止させる。
【００６１】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させると同時にタンク４を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの塗布位置に移動した後、再度、拭き取りを実施する。
【００６２】
実施内容は、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置で拭き取りをした内容と同じである。すなわち、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００６３】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。そして、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動してから、基板１１へインク５を塗布する。
【００６４】
このように、タンク４の液面をヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズルの不吐出を低減することが可能となる。
【００６５】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【００６６】
また、タンク４の液面をヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後、再度、拭き取ることにより、ヘッド面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【００６７】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭き取り、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【００６８】
（実施形態５）
以下、本発明の実施形態５における動作について図面を参照して説明する。
【００６９】
実施形態５に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【００７０】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【００７１】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。
【００７２】
その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止させる。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、溶媒が塗布された拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００７３】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させると同時にタンク４を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの所定の塗布位置近傍に移動した後、再度、拭き取りを実施する。
【００７４】
実施内容は、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置で拭き取りした内容と同じである。すなわち、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００７５】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置に移動した段階で、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動してから、基板１２へインク５を塗布する。
【００７６】
タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することが可能となる。
【００７７】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【００７８】
また、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の塗布位置近傍に移動させた後に、再度拭き取ることにより、ヘッド面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【００７９】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１を拭き取り、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置近傍に移動させた後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【００８０】
（実施形態６）
以下、本発明の実施形態６における動作について図面を参照して説明する。
【００８１】
実施形態６に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【００８２】
ヘッド１からの液滴５ａに不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【００８３】
タンク４がヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置に移動させながら、並行して拭き取り部材７で拭き取る。
【００８４】
拭き取り方法は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止させる。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００８５】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの所定位置に移動した後、再度拭き取りを実施する。
【００８６】
拭き取り方法は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止させる。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００８７】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。ヘッド１を液滴塗布部Ｂに移動してから、基板１１へインク５を塗布する。タンク４をヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動してから、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズルの不吐出を低減することが可能となる。
【００８８】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【００８９】
また、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置に移動させた後に、再度拭き取ることにより、ヘッド面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【００９０】
以上のように、タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置に移動した状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭き取り、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後に再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【００９１】
（実施形態７）
以下、本発明の実施形態７における動作について図面を参照して説明する。
【００９２】
実施形態７に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【００９３】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。タンク４の液滴吐出面がヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した後、タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動しながら、並行して拭き取り部材７で拭き取る。
【００９４】
拭き取り方法は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、ロール９で新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８を巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面部を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００９５】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。タンク４がヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置近傍に移動した後、再度、拭き取りを実施する。
【００９６】
拭き取り方法は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、ロール９で新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８を巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でノズル２の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【００９７】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動した後、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動してから、基板１１へインク５を塗布する。
【００９８】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動してから、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取ることにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することが可能となる。
【００９９】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【０１００】
また、タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置近傍に移動させた後、再度拭き取ることにより、ヘッド１面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【０１０１】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭き取り、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置近傍に移動させた後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【０１０２】
（実施形態８）
以下、本発明の実施形態８における動作について図面を参照して説明する。
【０１０３】
実施形態８に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【０１０４】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【０１０５】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１の液滴吐出面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。
【０１０６】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０をノズル２の液滴吐出面に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でノズル２の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させないで、そのまま拭き取りシート８をヘッド１の液滴吐出面に接触させる。
【０１０７】
前記接触状態を保ちながらタンク４を下降させる。タンク４がヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動した後、拭き取り部材７をヘッド１の液滴吐出面と隙間ができる程度（１ｍｍ程度）に下降させ、再度、拭き取り実施する。
【０１０８】
実施内容は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。拭き取りシート８を介して押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【０１０９】
このように、拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動してから、基板１２へインク５を塗布する。
【０１１０】
タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動させて、ヘッド１の液滴吐出面を溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取り、さらに溶媒が塗布された拭き取りシート８をノズル２の液滴吐出面に接触させておくことにより、ノズル詰まりが解消し、ノズルの不吐出を低減することができる。
【０１１１】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ることによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【０１１２】
また、タンク４の液面５ａを、ヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置に移動させた後に、再度拭き取ることにより、ヘッド１面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【０１１３】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１を拭き取り、ヘッド１を溶媒が塗布された拭き取りシート８に曝し、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの所定の塗布位置に移動後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【０１１４】
（実施形態９）
以下、本発明の実施形態９における動作について図面を参照して説明する。
【０１１５】
実施形態９に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【０１１６】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面を前記ヘッド１から液滴を吐出するときの所定位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【０１１７】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１の液滴吐出面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１の液滴吐出面に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。
【０１１８】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、押し当て部材１０を拭き取りシート８を介してヘッド１のノズル２部に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させないで、そのまま拭き取りシート８とヘッド１の液滴吐出面のノズル２とを接触させる。この接触状態を保ちながらタンク４を下降させる。
【０１１９】
タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置近傍に移動させた後、拭き取り部材７をヘッド１の液滴吐出面と隙間ができる程度（１ｍｍ程度）に下降させ、再度、拭き取りを実施する。
【０１２０】
実施内容は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。溶媒が塗布された拭き取りシート８を介して押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動後、拭き取り部材７を下降させる。ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動させてから、基板１２へインク５を塗布する。
【０１２１】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取り、さらに溶剤が塗布された拭き取りシート８をヘッド１の液滴吐出面に接触させておくことにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することができる。
【０１２２】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ること、あるいはノズル２を溶媒が塗布された拭き取りシート８でインク５の固形物を溶解することによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【０１２３】
また、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置近傍に移動させた後に、再度拭き取ることにより、ヘッド１の液滴吐出面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【０１２４】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭き取り、ヘッド１を溶媒が塗布された拭き取りシート８に曝し、さらにヘッド１から液滴５ａを吐出するときの吐出位置近傍に移動した後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【０１２５】
（実施形態１０）
以下、本発明の実施形態１０における動作について図面を参照して説明する。
【０１２６】
実施形態１０に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【０１２７】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【０１２８】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した後、タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動しながら、並行して拭き取り部材７でヘッド１の液滴吐出面を拭き取る。
【０１２９】
拭き取り方法は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１の液滴吐出面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１の液滴吐出面に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、拭き取りシート８を介して押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、ヘッド１の液滴吐出面部を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させないで、そのまま拭き取りシート８とヘッド１の液滴吐出面とを接触させる。
【０１３０】
前記接触状態を保ちながらタンク４を下降させる。タンク４がヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動した後、拭き取り部材７をヘッド１の液滴吐出面と隙間ができる程度（１ｍｍ程度）に下降させ、再度拭き取りを実施する。
【０１３１】
実施内容は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。拭き取りシート８を介して押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭くように拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動させてから、基板１２へインク５を塗布する。
【０１３２】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶媒が塗布された拭き取り部材８で拭き取り、さらに溶媒が塗布された拭き取りシート８をヘッド１の液滴液滴吐出面に接触させておくことにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することができる。
【０１３３】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ること、あるいはノズル２を溶媒が塗布された拭き取りシート８でインク５の固形物を溶解することによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【０１３４】
また、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後に、再度拭き取ることにより、ヘッド１の液滴吐出面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【０１３５】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１を拭き取り、ヘッド１を溶媒が塗布された拭き取りシート８に曝し、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【０１３６】
（実施形態１１）
以下、本発明の実施形態１１における動作について図面を参照して説明する。
【０１３７】
実施形態１１に係るインクジェットの装置の構成およびヘッド構成は、図１〜図３に示す実施形態１と同様な構成である。
【０１３８】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（図５（ａ）の状態）から、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置（図５（ｂ）の状態）に移動させる。
【０１３９】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した後、タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させながら、並行して拭き取り部材７でヘッド１の液滴吐出面を拭き取る。
【０１４０】
拭き取り方法は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１の液滴吐出面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１の液滴吐出面に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。
【０１４１】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、拭き取りシート８を介して押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させないで、そのまま拭き取りシート８とヘッド１の液滴吐出面とを接触させる。
【０１４２】
前記接触状態を保ちながらタンク４を下降させる。タンク４の液面５ａがヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置近傍に移動した後、拭き取り部材７をヘッド１の液面５ａと隙間ができる程度（１ｍｍ程度）に下降させ、再度拭き取りを実施する。
【０１４３】
実施内容は、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒がヘッド１の液滴吐出面の直下に位置するまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、ヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。
【０１４４】
拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させる。ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動してから、基板１２へインク５を塗布する。
【０１４５】
このように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動して、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭き取り、さらに溶媒が塗布された拭き取りシート８をヘッド１の液滴吐出面に接触させておくことにより、ノズル詰まりが解消し、ノズル２の不吐出を低減することができる。
【０１４６】
ノズル２の吐出が改善される理由は、タンク４をヘッド１の液面５ａより上げることにより、水頭差が加わり、その圧力と溶媒が塗布された拭き取りシート８で擦ること、あるいはノズル２を溶媒が塗布された拭き取りシート８でインク５の固形物を溶解することによって、ノズル２の詰まりをなくすようにしたことによる。圧力も水頭差だけであるため、少ないインク消費量で改善することができる。
【０１４７】
また、タンク４をヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置近傍に移動させた後に、再度拭き取ることにより、ヘッド１の液滴吐出面上の液だまりを除去することができ、より信頼性の高い液滴塗布を実現することができる。
【０１４８】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭き取り、ヘッド１の液滴吐出面を溶媒が塗布された拭き取りシート８に曝し、さらにヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置近傍に移動させた後に、再度拭き取ることにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、より信頼性の高い吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができる。
【０１４９】
（実施例）
本発明の実施例によって、より具体的に説明する。使用するインクジェット装置の構成は図１〜図３にて説明した構成のものと同じである。
【０１５０】
図１，図２に示すように、ヘッド１には、液滴を吐出するノズル２が設けられている。本実施例は５６００個のノズル２を有するものである。また、ヘッド１には、フッ素樹脂からなるチューブ３を通して、タンク４からインク５が供給される。タンク４には供給チューブ６からインク５が追加供給される。
【０１５１】
ヘッド１のノズル２をクリーニングするための拭き取り部材７は、クリーンルーム対応の拭き取りシート８とテフロン（登録商標）からなるロール９から構成され、クリーニング前、あるいはクリーニング後に拭き取りシート８がロール９で巻き取られる機構となっている。拭き取りシート８をヘッド１に接触するように押し当てるための押し当て部材１０には、拭き取りシート８を介してヘッド１に軽く押し当てられるように、ばね機構（図示せず）が設けられている。
【０１５２】
拭き取りシート８に対して溶媒供給手段１１によって、インク５の主材料である溶媒を供給されて塗布される。溶媒としては、沸点１７５℃のメトキシトルエン（ＣＨ３ＯＣ６Ｈ４ＣＨ３）を使用した。
【０１５３】
既述したように、インクジェット装置は、液滴塗布部Ａとノズル回復部Ｂとを具備する。ノズル回復部Ｂは、上記のインク５を吐出するためのノズル１，タンク４，拭き取りシート８，ロール９，押し当て部材１０、および溶媒供給手段１１とからなる。
【０１５４】
前記ノズル回復部Ｂにおいて回復処理が施された後のヘッド１により、液滴塗布部Ａにおいて基板１２にインク液滴の塗布が行われる。
【０１５５】
以下、本実施例の動作について説明する。これらの動作は、図示しないＣＰＵ（中央演算処理ユニット）によってコントロールされる。
【０１５６】
ヘッド１からの液滴に不吐出が発生したとき、あるいはトラブルなどにより液滴吐出を停止した場合、液滴吐出を停止したヘッド１を、液滴塗布部Ａからノズル回復部Ｂに移動させる。ヘッド１のノズル回復部Ｂへの移動後、図３（ａ）に示すタンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの所定の吐出位置（ヘッド１のノズル面Ｎとタンク４のインク５の液面５ａの間隔は２０ｍｍ）から、図３（ｂ）に示すヘッド１の液滴吐出面より高い位置（ヘッド１のノズル面Ｎとタンク４の液面５ａの間隔は２００ｍｍ）に移動させる。
【０１５７】
タンク４の液面５ａがヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した段階で、その位置に保持した状態で、拭き取り部材７の拭き取りシート８に溶媒供給手段１１により溶媒を供給し、新たに溶媒が供給された位置がヘッド１の液滴吐出面の直下になるまで拭き取りシート８をロール９で巻き取る。その後、拭き取り部材７を上昇させ、ヘッド１に拭き取りシート８が接触した段階で上昇を停止する。
【０１５８】
ヘッド１に拭き取りシート８が接触した状態を保ちながら、拭き取りシート８を介して押し当て部材１０をヘッド１に当てた状態で、溶媒が塗布された拭き取りシート８でヘッド１の液滴吐出面を拭くように、拭き取り部材７全体を一方向に移動させる。拭き取り部材７全体を移動させた後、拭き取り部材７を下降させると同時にタンク４を下降させる。
【０１５９】
タンク４の液面５ａをヘッド１から液滴を吐出するときの吐出位置に移動させた後、ヘッド１を液滴塗布部Ａに移動してから、基板１２へインク５を塗布した。
【０１６０】
ノズル２の不吐出数の個数を数えた結果、回復作業をする前は、１２００個のノズル数で不吐出があったが、回復作業の後は、不吐出数は８ノズル２のみとなった。
【０１６１】
また、本実施例の方法を複数回実施することにより、そのたびに不吐出数が改善され、４回以上、本実施例の方法を実施することにより不吐出数をなくすことができた。
【０１６２】
以上のように、タンク４の液面５ａをヘッド１の液滴吐出面より高い位置に移動した状態で、ヘッド１の液滴吐出面を、溶媒が塗布された拭き取りシート８で拭くことにより、不吐出のノズル２が改善され、吐出用液体，液滴材料の消費を少なくしても、吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現することができた。
【０１６３】
また、従来例では、吐出用液体，液滴材料の溶媒の化学的性質により、通常使用されるゴム系樹脂では膨潤が発生し、キャップ自体が変形し吸引できないという問題も起こるが、本実施例では、変形などの問題も起こることなく、各種吐出用液体，液滴材料の安定吐出を実現できる。
【０１６４】
以上、本発明の実施形態，実施例について説明してきたが、本発明は前記実施形態，実施例に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【０１６５】
例えば、ヘッド１のノズル２面をクリーニングするときに、拭き取り部材７全体を移動して拭き取る例を示しているが、押し当て部材１０を移動してヘッド１を拭き取るようにしても同様の効果を得ることができる。
【０１６６】
また、ヘッド１の液滴吐出面より高い位置を、ヘッド１の液滴吐出面とタンク４の液面５ａの間隔を２００ｍｍとしたが、高いほど水頭差が上がり、より効果が高くなるが、間隔が１００ｍｍ以上あれば同様な効果があることが、実験的に確かめられた。
【０１６７】
また、溶媒供給手段１１により供給する溶媒をメトキシトルエン（ＣＨ３ＯＣ６Ｈ４ＣＨ３）としたが、インク５を構成する溶媒であれば、何種類混合しても同様な効果がある。
【０１６８】
また、拭き取り部材７を拭き取りシート８をロール９で巻き取って拭き取る方法としたが、ロール状でなくても、個片の拭き取りシート８を用いても同様の効果がある。
【０１６９】
また、チューブ３は、耐溶剤性を考慮してフッ素樹脂からなる材質としたが、他の耐溶剤性材料でもよい。
【０１７０】
また、ロール９の材質として、耐溶剤性を考慮してテフロン（登録商標）材料を用いたが、他の耐溶剤性材料でもよい。
【０１７１】
また、拭き取りシート８は、布製としたが、紙製のものでも同様の効果がある。
【０１７２】
また、前記実施形態において、再度拭き取り部材７で拭き取るときに、拭き取り部材７をヘッド１の液滴吐出面と隙間ができる程度（１ｍｍ程度）に下降させ、再度拭き取りを実施する例を説明したが、拭き取り部材７を下降させずに、拭き取りシート８をロール９で巻き取り、そのままの高さで拭き取っても同様の効果がある。
【産業上の利用可能性】
【０１７３】
本発明は、有機溶剤を用いた溶液の塗布として、民生用や産業用の印刷としてだけではなく、特に高機能で高価なインクを用いるディスプレイや半導体などの液滴塗布用インクジェットヘッドとして利用可能である。
【符号の説明】
【０１７４】
１  ヘッド
２  ノズル
３  チューブ
４  タンク
５  インク
５ａ  液面
６  インクを追加供給するための供給チューブ
７  拭き取り部材
８  拭き取りシート
９  ロール
１０  押し当て部材
１１  溶媒供給手段
１２  基板
Ａ  液滴塗布部
Ｂ  ノズル回復部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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