(57)【要約】【課題】真円度誤差の増大を抑制しつつ回転体の不釣り合いを修正する。【解決手段】ファンモータのモータ部に用いられる金属製薄肉円筒状の回転体であるロータホルダ３２において、重心が偏る不釣り合いを修正するためにレーザ光を照射してロータホルダ３２の一部が除去される際に、不釣り合い方向に第１除去領域３２３１が設定され、第１除去領域３２３１の周方向両側に第２除去領域３２３３が設定される。そして、第１除去領域３２３１における第１除去量ｍ１（ｇ）、および、第２除去領域３２３３における第２除去量ｍ２（ｇ）が不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に相当する除去量として設定され、これらの除去量が各除去領域から除去されることにより、真円度誤差の増大を抑制しつつ回転体の不釣り合いが修正される。【選択図】図３
2010075973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属により形成された薄肉円筒状の回転体における回転軸に対する重心の偏りを修正する不釣り合い修正方法であって、
ａ）前記回転軸に対する前記回転体の不釣り合い方向および不釣り合いの程度を示す不釣り合い量を測定する工程と、
ｂ）前記回転体の外側面上において、前記不釣り合い方向に中央が位置する第１除去領域を設定し、前記回転軸を中心として前記不釣り合い方向から両側に所定の角度だけ離れた角度位置に中央が位置する領域であって前記第１除去領域と離間または隣接する２つの第２除去領域を設定する工程と、
ｃ）前記第１除去領域における第１除去量、および、前記２つの第２除去領域のそれぞれにおける第２除去量を、前記不釣り合い方向における前記不釣り合い量に相当する除去量として求める工程と、
ｄ）レーザ光の照射により前記第１除去領域から前記第１除去量だけ前記回転体の一部を除去するとともに前記２つの第２除去領域のそれぞれから前記第２除去量だけ前記回転体の一部を除去する工程と、
を備えることを特徴とする不釣り合い修正方法。
【請求項２】
請求項１に記載の不釣り合い修正方法であって、
前記所定の角度をα、前記不釣り合い量をＵ、前記回転体の前記外側面の半径をＲとして、正の係数βを用いて、
前記第１除去量が、（１−２βｃｏｓα）Ｕ／Ｒとされ、前記第２除去量がβＵ／Ｒとされることを特徴とする不釣り合い修正方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の不釣り合い修正方法であって、
前記所定の角度が３０度以上７０度以下であることを特徴とする不釣り合い修正方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の不釣り合い修正方法であって、
前記第１除去領域および前記２つの第２除去領域のそれぞれの前記回転軸を中心とする周方向の幅に対応する前記回転軸を中心とする角度が６０度以下であることを特徴とする不釣り合い修正方法。
【請求項５】
金属により形成された薄肉円筒状の回転体における回転軸に対する重心の偏りを修正する不釣り合い修正方法であって、
ａ）前記回転軸に対する前記回転体の不釣り合い方向および不釣り合いの程度を示す不釣り合い量を測定する工程と、
ｂ）前記回転体の外側面上において、前記不釣り合い方向に中央が位置する第１除去領域を設定し、前記第１除去領域と離間または隣接する複数の第２除去領域を前記回転軸を中心とする周方向に等間隔、かつ、いずれか２つの隣り合う第２除去領域の間の中央に前記第１除去領域が位置するように設定する工程と、
ｃ）レーザ光の照射により前記第１除去領域から前記不釣り合い量に相当する第１除去量だけ前記回転体の一部を除去し、前記複数の第２除去領域のそれぞれから一定の第２除去量だけ前記回転体の一部を除去する工程と、
を備えることを特徴とする不釣り合い修正方法。
【請求項６】
請求項５に記載の不釣り合い修正方法であって、
前記複数の第２除去領域の数が２ないし４のいずれかであることを特徴とする不釣り合い修正方法。
【請求項７】
電動式のモータであって、
請求項１ないし６のいずれかに記載された方法により不釣り合いが修正されたロータホルダを有するロータ部と、
ステータ部と、
前記ロータ部を前記ステータ部に対して中心軸を中心として回転可能に支持する軸受機構と、
を備えることを特徴とするモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転体における回転軸に対する重心の偏りを修正する不釣り合い修正方法に関連する。
【背景技術】
【０００２】
ファンモータの静圧−風量特性の向上等、昨今の様々な装置の改良においてモータの回転の高速化が要求されている。モータの回転を高速化するためにはロータ部における回転軸に対する重心の偏り（以下、「不釣り合い」という。）を小さくする必要があり、不釣り合いが大きい場合、回転時にロータ部の各部で発生する遠心力にばらつきが生じ、エネルギー損失が増大するとともに、ロータ部の振れによる振動や騒音が増大する。このような不釣り合いの修正方法の一つとして、レーザを用いてロータ部の一部を除去する方法がある。
【０００３】
例えば、特許文献１に開示される回転体に対するレーザ加工法では、レーザ光が回転体の周方向に所定角度毎に繰り返し照射される。周方向の照射回数が一定の数に達した後、レーザ光の照射位置が回転体の軸方向に所定距離だけずらされ、再度周方向に照射が繰り返されることにより回転体の修正領域全体にレーザ光が照射される。
【０００４】
また、特許文献２では、回転体の軸方向における複数の位置に対して複数のレーザ光源から収束したレーザ光をパルス状にして照射することにより、回転体の一部を極少量だけ除去する不釣り合い調整装置が開示されている。
【特許文献１】特開昭５９−０５０９８７号公報
【特許文献２】特開２００４−８２１６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、モータのロータホルダのように加工対象である回転体が薄肉円筒状である場合、レーザ加工時の熱による膨張および収縮により円筒部に残留応力が発生して変形が生じる。特に、加工対象が有蓋円筒状の場合は開口側で変形が大きくなる。これにより、回転体を平面視した形状の理想的な円からの誤差（すなわち、真円度誤差）が増大してしまう。真円度誤差が増大すると、回転体を回転させたときの外側面の径方向の振れ幅も増大し、コギングトルク等のモータ特性の変動や振動、騒音等の原因となる。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、真円度誤差の増大を抑制しつつ回転体の不釣り合いを修正することを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、金属により形成された薄肉円筒状の回転体における回転軸に対する重心の偏りを修正する不釣り合い修正方法であって、ａ）前記回転軸に対する前記回転体の不釣り合い方向および不釣り合いの程度を示す不釣り合い量を測定する工程と、ｂ）前記回転体の外側面上において、前記不釣り合い方向に中央が位置する第１除去領域を設定し、前記回転軸を中心として前記不釣り合い方向から両側に所定の角度だけ離れた角度位置に中央が位置する領域であって前記第１除去領域と離間または隣接する２つの第２除去領域を設定する工程と、ｃ）前記第１除去領域における第１除去量、および、前記２つの第２除去領域のそれぞれにおける第２除去量を、前記不釣り合い方向における前記不釣り合い量に相当する除去量として求める工程と、ｄ）レーザ光の照射により前記第１除去領域から前記第１除去量だけ前記回転体の一部を除去するとともに前記２つの第２除去領域のそれぞれから前記第２除去量だけ前記回転体の一部を除去する工程とを備える。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の不釣り合い修正方法であって、前記所定の角度をα、前記不釣り合い量をＵ、前記回転体の前記外側面の半径をＲとして、正の係数βを用いて、前記第１除去量が、（１−２βｃｏｓα）Ｕ／Ｒとされ、前記第２除去量がβＵ／Ｒとされる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の不釣り合い修正方法であって、前記所定の角度が３０度以上７０度以下である。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の不釣り合い修正方法であって、前記第１除去領域および前記２つの第２除去領域のそれぞれの前記回転軸を中心とする周方向の幅に対応する前記回転軸を中心とする角度が６０度以下である。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、金属により形成された薄肉円筒状の回転体における回転軸に対する重心の偏りを修正する不釣り合い修正方法であって、ａ）前記回転軸に対する前記回転体の不釣り合い方向および不釣り合いの程度を示す不釣り合い量を測定する工程と、ｂ）前記回転体の外側面上において、前記不釣り合い方向に中央が位置する第１除去領域を設定し、前記第１除去領域と離間または隣接する複数の第２除去領域を前記回転軸を中心とする周方向に等間隔、かつ、いずれか２つの隣り合う第２除去領域の間の中央に前記第１除去領域が位置するように設定する工程と、ｃ）レーザ光の照射により前記第１除去領域から前記不釣り合い量に相当する第１除去量だけ前記回転体の一部を除去し、前記複数の第２除去領域のそれぞれから一定の第２除去量だけ前記回転体の一部を除去する工程とを備える。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の不釣り合い修正方法であって、前記複数の第２除去領域の数が２ないし４のいずれかである。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、電動式のモータであって、請求項１ないし６のいずれかに記載された方法により不釣り合いが修正されたロータホルダを有するロータ部と、ステータ部と、前記ロータ部を前記ステータ部に対して中心軸を中心として回転可能に支持する軸受機構とを備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では真円度誤差の増大を抑制しつつ回転体の不釣り合いを修正することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は本発明の第１の実施の形態に係るファンモータ６０を中心軸Ｊ１を含む平面で切断した縦断面図である。図１に示すように、ファンモータ６０は、電動式のモータ部１、モータ部１に取り付けられて中心軸Ｊ１を中心として回転することによりエアの流れを発生するインペラ６１、および、モータ部１およびインペラ６１の周囲を覆うハウジング６２を備える。
【００１６】
インペラ６１はモータ部１の後述するロータ部３に取り付けられた有蓋円筒状のインペラカップ６１１、および、インペラカップ６１１の外側面に複数（本実施の形態では９枚）の動翼６１２を有し、動翼６１２は中心軸Ｊ１を中心とする周方向（以下、単に「周方向」という。）に等間隔に配置され、樹脂によりインペラカップ６１１および動翼６１２は１つの部材として形成される。また、ハウジング６２はモータ部１およびインペラ６１の外周を覆う風洞部６２１、および、風洞部６２１の内側面下部から中心軸Ｊ１に向かって伸びてモータ部１のベース部２１に接続される複数（本実施の形態では１１枚）の静翼６２２を有し、風洞部６２１、静翼６２２およびベース部２１は樹脂により１つの部材として形成される。
【００１７】
モータ部１はステータ部２、ロータ部３、および、ロータ部３をステータ部２に対して中心軸Ｊ１を中心として回転可能に支持する軸受機構４を備える。以下の説明では、便宜上、中心軸Ｊ１に沿ってロータ部３側を上側、ステータ部２側を下側として説明するが、中心軸Ｊ１は必ずしも重力方向に一致する必要はない。
【００１８】
ステータ部２はベース部２１および環状のステータ２２を有し、ベース部２１から上方に突出する円筒状の軸受保持部２１１の外周がステータ２２に圧入される。ロータ部３は略円柱状のシャフト３１、シャフト３１の上端に取り付けられた有蓋円筒状のロータホルダ３２、および、ロータホルダ３２の内側面に固定された界磁用磁石３３を有し、ロータホルダ３２にはインペラカップ６１１が圧入により固定される。軸受機構４はベース部２１の軸受保持部２１１の内側において中心軸Ｊ１に沿う方向（以下、単に「軸方向」という。）の２箇所に取り付けられた玉軸受を有し、シャフト３１が挿入される。
【００１９】
ステータ２２では薄板状の珪素鋼板を積層したコアにインシュレータ上から導線が巻回されてコイルが形成されており、導線はステータ２２の下側に取り付けられた回路基板５１に電気的に接続されて回路基板５１によりステータ２２に対する電流の供給および制御が行われる。ロータ部３の界磁用磁石３３は多極着磁された略円筒状の永久磁石であり、ステータ２２との間で中心軸Ｊ１を中心とする回転力（トルク）を発生する。すなわち、ステータ２２、界磁用磁石３３および回路基板５１はロータ部３をステータ部２に対して中心軸Ｊ１を中心として回転させる駆動機構５として機能する。
【００２０】
図２はロータ部３の正面図であり、図３はロータ部３の平面図である。ロータ部３のロータホルダ３２は金属により形成された回転体であり、中心軸Ｊ１に垂直な方向に広がりシャフト３１に取り付けられる蓋部３２１、および、蓋部３２１の外縁から下方に突出する薄肉円筒状の側部３２２を有する。
【００２１】
ロータホルダ３２の重心はロータホルダ３２の回転中心である中心軸Ｊ１に一致することが望ましいが、通常、組立直後のロータホルダ３２では組立誤差、偏肉、形状の非対称性等により質量分布が均一とはならず、中心軸Ｊ１と重心とは一致しない。このようなロータホルダ３２がファンモータ６０に使用された場合、ロータホルダ３２の質量の不釣り合い（すなわち、回転軸に対する重心の偏り）により回転時に遠心力の偏りが生じ、振動や騒音が生じることがある。そこで、組立直後のロータホルダ３２には重心を回転中心に近付けるための修正（以下、「不釣り合い修正」という。）が行われる。
【００２２】
図４は不釣り合い修正装置７の概略を示す図である。不釣り合い修正装置７はロータホルダ３２を上面に保持する位置決め機構７１、ロータホルダ３２にレーザ光を照射するレーザヘッド７２、並びに、位置決め機構７１およびレーザヘッド７２を制御する制御部７３を有し、ロータホルダ３２の外側面３２３にレーザ光を照射してロータホルダ３２の一部を蒸発により、または、溶融した部位へのガスの吹きつけもしくは遠心力等で飛散させることにより除去してロータホルダ３２の質量分布の調整を行う。
【００２３】
制御部７３からの信号により、位置決め機構７１は中心軸Ｊ１に沿ってロータホルダ３２を上下に移動するとともに、周方向にロータホルダ３２を回転する。また、レーザヘッド７２の位置および向きは固定されており、位置決め機構７１により決定されたロータホルダ３２の外側面３２３上の所定の位置にレーザ光が照射される。さらに、制御部７３によりレーザヘッド７２が照射するレーザ光のピッチ、パルスの数、ショット電流および電圧等が制御されることにより、ロータホルダ３２の所定の位置における除去量が調整される。
【００２４】
不釣り合い修正が行われる前のロータホルダ３２の不釣り合いを、理想的な釣り合い状態（ロータホルダ３２の重心が回転中心である中心軸Ｊ１上に位置する状態）にあるロータホルダ３２の中心軸Ｊ１から一定の偏重心距離ｒ（ｍｍ）だけ離れた位置に質量ｍ（ｇ）の仮想的な錘が付加された状態と捉えた場合、本実施の形態では質量ｍ（ｇ）と偏重心距離ｒ（ｍｍ）との積としてロータホルダ３２における不釣り合いの程度を示す不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）が定義されるものとする。なお、錘が配置されている方向を不釣り合い方向として図３中に直線Ｌ１にて示し、図２では不釣り合い方向を正面としてロータホルダ３２を示している。
【００２５】
図５はロータホルダ３２の不釣り合い修正の流れを示す図である。ロータホルダ３２の不釣り合い修正では、まず、図示省略の不釣り合い測定装置により、ロータホルダ３２の回転時に生じる遠心力に基づいて、ロータホルダ３２の中心軸Ｊ１に対する不釣り合い方向および不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）が測定される（ステップＳ１１）。
【００２６】
次に、図２および図３に示すように、ロータホルダ３２の外側面３２３上において蓋部３２１に近い軸方向位置（図２における上部）に、不釣り合い修正装置７によりレーザ光が照射される予定の領域３２３１が設定される（ステップＳ１２）。領域３２３１は直線Ｌ１にて示す不釣り合い方向に設定された中央位置３２３２を中央として各辺が軸方向または周方向に平行となる略矩形とされ、周方向の幅に対応する中心軸Ｊ１を中心とする角度を図３中にθ１にて示している。
【００２７】
外側面３２３上にはレーザ光を照射するための２つの領域３２３３が領域３２３１の両側かつ同じ高さにさらに設定される（ステップＳ１３）。図３に示すように、各領域３２３３の中央である中央位置３２３４は、中心軸Ｊ１を中心として不釣り合い方向から両側に所定の角度（αを付して示す。）だけ離れた角度位置に設定される。領域３２３３は各辺が軸方向または周方向に平行となる略矩形とされ、周方向の幅に対応する中心軸Ｊ１を中心とする角度を図３中にθ２にて示している。
【００２８】
以下では、領域３２３１を「第１除去領域」、中央位置３２３２を「第１中央位置」と呼び、２つの領域３２３３をそれぞれ「第２除去領域」、中央位置３２３４を「第２中央位置」と呼ぶ。
【００２９】
第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３が設定されると、不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に相当し、第１除去領域３２３１から除去される質量である第１除去量ｍ１（ｇ）、および、各第２除去領域３２３３から除去される質量である第２除去量ｍ２（ｇ）が後述する処理により求められる（ステップＳ１４）。また、既述のように制御部７３により位置決め機構７１およびレーザヘッド７２が制御される。具体的には、図２に示すように、一回毎に一定の出力にてレーザ光を照射することにより照射部位が除去されてレーザ痕３２３５が形成され、第１除去領域３２３１全体に照射が行われるまで順次ロータホルダ３２の回転および軸方向への移動が行われる。これにより、第１除去領域３２３１からの除去量が第１除去量ｍ１（ｇ）にほぼ等しくなるようにロータホルダ３２の一部が除去される（ステップＳ１５）。また、同様の処理により２つの第２除去領域３２３３のそれぞれからの除去量が第２除去量ｍ２（ｇ）にほぼ等しくなるようにロータホルダ３２の一部が除去される（ステップＳ１６）。
【００３０】
なお、仮に、大きさを有さない第１中央位置３２３２および第２中央位置３２３４のみにおいて不釣り合いの修正が可能であるものとし（すなわち、一点に集中して除去を行うことができると仮定し）、この条件にて求められる第１除去量ｍ１および第２除去量ｍ２を、大きさを有する第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３から均一に除去すると、除去による修正される不釣り合い量は望ましい不釣り合い量Ｕから僅かにずれてしまう。例えば、第１除去量ｍ１が角度θ１（ｒａｄ）の幅を有する第１除去領域３２３１から均一に除去されると、実際には、第１中央位置３２３２にて数１にて示す質量が除去された場合と同様の修正効果しか得られない。
【００３１】
【数１】
2010075973.tif 000003
【００３２】
このように、一点に集中して除去が可能であると仮定して除去量を求める場合は、第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３の面積（正確には、領域の幅に対応する中心軸Ｊ１を中心とする角度）が小さいほど理論的な不釣り合い修正の算出誤差は小さくなり、かつ、修正除去時間も短くなる。しかし、レーザ光を集中して照射することによる側部３２２での加工誤差の増大および強度の低下を抑制するために第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３は適宜広げられて設定される。また、角度θ１が６０度の場合に、一点に集中して第１除去量ｍ１の約９５％の除去を行った場合と同様の効果が得られることが数１から判るため、角度θ１および角度θ２はそれぞれ６０度以下とされるのであれば、一点に集中して除去が可能であると仮定して除去量が求められてよい。なお、角度θ１および角度θ２の最小値は、不釣り合い修正装置７の能力に依存するが、除去量が少ない場合は、理論上、１つのレーザ痕３２３５の幅に相当する角度とすることができる。
【００３３】
もちろん、第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３の大きさを考慮して正確に計算上の除去量が求められてもよく、さらに、加工穴の大きさや深さのばらつきといった加工誤差や測定誤差等の他の誤差を考慮して第１除去量ｍ１および第２除去量ｍ２が求められてもよい。
【００３４】
次に、図５のステップＳ１４において、ロータホルダ３２の側部３２２を大きく変形させることなく不釣り合いを解消するために最適な第１除去量ｍ１（ｇ）および第２除去量ｍ２（ｇ）を求める方法について説明する。以下の説明では、第１中央位置３２３２および第２中央位置３２３４にて一点に集中して第１除去量ｍ１および第２除去量ｍ２の除去が可能であると仮定して演算を簡略化している。
【００３５】
既述のように、図３に示す直線Ｌ１上の第１中央位置３２３２の角度位置と中心軸Ｊ１および図３における上側の第２中央位置３２３４を通る直線Ｌ２の角度位置との差はαであり、中心軸Ｊ１および図３における下側の第２中央位置３２３４を通る直線Ｌ３の角度位置との差もαとなっており、αは（（θ１＋θ２）／２）以上とされ、第１除去領域３２３１に対して第２除去領域３２３３は離間または隣接し、重なり合うことはない。
【００３６】
不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に対する修正量のうち、第１除去量ｍ１（ｇ）が寄与する方向（すなわち、第１中央位置３２３２の方向）での修正量を第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）とすると、第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）と第１除去量ｍ１（ｇ）との関係は外側面３２３の半径Ｒ（ｍｍ）（本実施の形態では２２．４ｍｍ）を用いて数２にて示される。
【００３７】
【数２】
2010075973.tif 000004
【００３８】
同様に、不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に対する修正量のうち、第２除去量ｍ２（ｇ）が寄与する２方向（すなわち、第２中央位置３２３４の方向）での修正量をそれぞれ第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）とすると、第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）と第２除去量ｍ２（ｇ）との関係は数３にて示される。
【００３９】
【数３】
2010075973.tif 000005
【００４０】
第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）を中心軸Ｊ１から第１中央位置３２３２に向かうベクトル、第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）を中心軸Ｊ１から２つの第２中央位置３２３４に向かう２つのベクトルと捉えた場合、第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）および２つの第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）の不釣り合い方向に垂直な方向の成分の合計は２つの第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）の対称性により０であり、不釣り合い方向に平行な成分の合計は数４に示すように不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に等しくされる必要がある。
【００４１】
【数４】
2010075973.tif 000006
【００４２】
正の係数βを用いて第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）をβＵと表すと、数４は数５にて表される。
【００４３】
【数５】
2010075973.tif 000007
【００４４】
また、数５を変形することにより、第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）をＵを用いて数６にて表現することができる。
【００４５】
【数６】
2010075973.tif 000008
【００４６】
これにより、角度α、係数βをパラメータとして、第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）および第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）が不釣り合い方向における不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に対応する修正量として求められる。数６にてＵを用いて示される第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）およびβＵである第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）と数２および数３とを比較すると、第１除去量ｍ１（ｇ）を数７、第２除去量ｍ２（ｇ）を数８にて表すことができる。
【００４７】
【数７】
2010075973.tif 000009
【００４８】
【数８】
2010075973.tif 000010
【００４９】
以上のように、角度αおよび係数βを決定することにより第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）、第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）、第１除去量ｍ１（ｇ）および第２除去量ｍ２（ｇ）を決定することができる。
【００５０】
図６は所定の不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に相当する除去量（Ｕ／Ｒ）（ｇ）が第１除去領域３２３１のみにおいてレーザ加工により除去された場合のロータホルダ３２の側部３２２（図２参照）の形状の変化を示す図であり、中心軸Ｊ１の位置を原点として、各角度位置における中心軸Ｊ１からの距離と、ロータホルダ３２の設計上の理想的な内側面の半径（半径に対応する円を点線にて示す。）との差を示すグラフである。側部３２２の形状の変化は外側面の径方向の振れ幅（以下、「周方向振れ」という。）により示されており、ロータホルダ３２を回転させて所定の軸方向位置にて内側面の周方向の各点における測定器との間の径方向の距離を測定することにより取得される。
【００５１】
図６では原点から右に向かう方向が直線Ｌ１にて示す不釣り合い方向であり、直線Ｌ１と外側面との交点である第１中央位置３２３２を矢印にて示す。なお、この修正では第１除去領域３２３１の高さは約３ｍｍ、周方向の幅は約１１．５ｍｍであり、除去量は約２０ｍｇである。
【００５２】
なお、図６は、ロータホルダ３２から界磁用磁石３３が外された状態でレーザ加工および周方向振れの測定を行った結果を示しているが、実際のレーザ加工および周方向振れの測定、並びに、不釣り合い量の測定およびレーザ加工の際にはロータホルダ３２には界磁用磁石３３（図１参照）が取り付けられた状態とされ、以下の説明は、ロータホルダ３２に界磁用磁石３３がついている場合においても同様に成り立つ（他の実施の形態においても同様）。したがって、図５に示す実際の修正作業では、界磁用磁石３３の装着により発生する不釣り合いも含めて不釣り合いの修正が行われる。
【００５３】
図６に示すように、第１除去領域３２３１にてレーザ光の照射によりロータホルダ３２の一部が除去されると、側部３２２には熱膨張収縮と金属除去により残留応力分布が大きく変化して変形が生じる。レーザ光が照射された第１除去領域３２３１の反対側（図６の左側）では大きな変形は生じないが、第１除去領域３２３１およびその近傍の領域では径方向位置が理想の円よりも内側に移動し（すなわち、側部３２２は径方向外側から見て凹状となり）、第１除去領域３２３１の周方向両側では側部３２２は外側に向かって凸状となる。その結果、側部３２２の径の最大値と最小値との差が拡大し、不釣り合い修正前に比べて周方向振れが増大する。また、周方向振れの増大に伴って、ロータホルダ３２を平面視した形状の理想的な円からの誤差（すなわち、ロータホルダ３２の外側面を２つの同心円の間に位置するように設定した場合の２つの同心円の半径の差の最小値であり、以下、「真円度誤差」という。）も増大する。
【００５４】
図７は２箇所の第２除去領域３２３３のみにレーザ加工を行った場合に予測される（図６の場合と同じ軸方向位置における）ロータホルダ３２の周方向振れを示す図である。図７に示す例では、図６の形状（以下、「基準周方向振れ」と呼ぶ。）において側部３２２が凸状となる位置（第１中央位置３２３２の周方向両側）を考慮して、角度αが６０度とされて図７中に矢印にて示す２箇所の第２中央位置３２３４が定められる。
【００５５】
図７に示す周方向振れは、基準周方向振れを元にして、各第２除去領域３２３３の変形量が第２修正量βＵ（ｇ・ｍｍ）の係数βに比例するものとして計算されたものであり、２箇所の第２除去領域３２３３におけるレーザ加工に起因する側部３２２の変形を合成したものとなっている。したがって、図７に示す周方向振れは、各第２除去領域３２３３の高さが約３ｍｍ、周方向の幅が約１１．５ｍｍとされ、第２除去領域３２３３内にて第２修正量βＵに対応する第２除去量ｍ２（ｇ）として（βＵ／Ｒ）（ｇ）だけ除去が行われたものに対応する。レーザ光が照射された各第２除去領域３２３３およびその近傍の領域は点線にて示す理想的な円よりも径方向内側に位置し、外側から見て凹状となっており、第２除去領域３２３３の周方向両側では側部３２２は理想的な円から外側へと凸状となる。図７では（修正が行われていない）第１除去領域３２３１は２つの第２除去領域３２３３の中間に位置するため、両方の第２除去領域３２３３からの影響で凸状に膨らんでいる。
【００５６】
図８は図６および図７に示す両方の変形を合成した周方向振れを実線にて示す図であり、第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３における修正により得られると予測される形状を示す。ただし、第１除去領域３２３１では数６にて表される第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）だけ修正が行われたものとし、それに合わせて図６の変形量がＵ１／Ｕに比例して変換されてから図７の形状と合成されている。また、比較のためにロータホルダ３２の側部３２２における理想的な円を点線にて示し、図６に示す第１除去領域３２３１のみにおいて修正をした場合の変形例を一点鎖線にて示している。図８に示すように、合成により第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３における修正による変形が互いの凹凸を打ち消し合い、周方向振れおよび真円度誤差が低減されて側部３２２の形状は理想的な円に近くなっている。
【００５７】
図９は係数βと真円度誤差との関係を示す図であり、図９に示すグラフの横軸は係数βを示し、縦軸は、第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３にて不釣り合いを修正した後の真円度誤差と、第１除去領域３２３１のみにて修正した後の真円度誤差（図６に示す形状における真円度誤差）との比（以下、「真円度誤差改善比」という。）を示している。また、図９は角度αが６０度に固定された状態で複数の係数βについて真円度誤差を求めた結果を示しており、係数βを変更することにより第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）および第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）が変化し、その結果、ロータホルダ３２の変形も異なったものとなる。図９に示す結果では、係数βが０．４のときにロータホルダ３２の真円度誤差が最小となる（すなわち、最も理想的な円に近づく）。なお、角度αは真円度誤差を低減することができるのであれば他の値とされてもよく、図６に示す凸状を低減するために好ましくは角度αは３０度以上７０度以下とされる。
【００５８】
さらに、複数の角度αについて図９の場合と同様に係数βに対する真円度誤差を計算することにより、最も真円度誤差を低減することができる角度αおよび係数βの組み合わせが決定されてもよい。本実施の形態では、角度αを６０度として係数βを０．４とした場合に真円度誤差改善比が０．２８となって真円度誤差が最小となり、第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）が０．６Ｕ（第１除去量ｍ１（ｇ）は（０．６Ｕ／Ｒ））、第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）が０．４Ｕ（第２除去量ｍ２（ｇ）は（０．４Ｕ／Ｒ））とされ、３箇所での総修正量は１．４Ｕ（ｇ・ｍｍ）となる。
【００５９】
また、第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３の大きさは上記説明にて示したものには限定されず、第１修正量Ｕ１（ｇ・ｍｍ）および第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）に合わせて高さおよび周方向の幅は適宜変更されてよい。
【００６０】
以上に説明したように、角度αおよび係数βを用いて図５に示すステップＳ１２以降の不釣り合い修正を実行することにより、ロータホルダ３２の真円度誤差の増大を抑制しつつロータホルダ３２の不釣り合いを修正することができる。
【００６１】
図１０は本発明の第２の実施の形態に係る不釣り合い修正の流れを示す図であり、図１１は不釣り合いが修正されるロータ部３の平面図である。本実施の形態では、図５に示す不釣り合い修正の流れと比較して、不釣り合い修正と真円度誤差に対する修正とが独立して行われる点で異なり、ファンモータ６０や不釣り合い修正装置７等の他の構成は同様とされる。
【００６２】
図１０に示す不釣り合い修正では、図５の場合と同様に、まず、図示省略の不釣り合い測定装置を用いてロータホルダ３２の中心軸Ｊ１に対する不釣り合い方向および不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）が測定される（ステップＳ２１）。
【００６３】
次に、図１１に示すように、直線Ｌ１にて示される不釣り合い方向上に位置する第１中央位置３２３２を中央としてロータホルダ３２の外側面３２３上に第１除去領域３２３１が設定される（ステップＳ２２）。第１除去領域３２３１は図２に示すものと同様の略矩形であり、周方向の幅に対応する中心軸Ｊ１を中心とする角度を図１１中にθ１にて示している。さらに、外側面３２３上において、直線Ｌ１にて示す不釣り合い方向から中心軸Ｊ１を中心として周方向両側に９０度離れた角度位置に第２中央位置３２３４ａが設定され、２箇所の第２中央位置３２３４ａのそれぞれを中心として第２除去領域３２３３ａが設定される（ステップＳ２３）。第２除去領域３２３３ａは図２に示すものと同様の略矩形であり、図１０では、周方向の幅に対応する中心軸Ｊ１を中心とする角度をθ２にて示している。
【００６４】
除去領域が設定されると、図４に示す不釣り合い修正装置７のレーザヘッド７２によりレーザ光が照射されて不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に相当する第１除去量として質量（Ｕ／Ｒ）（ｇ）（Ｒはロータホルダ３２の外側面の半径）だけ第１除去領域３２３１からロータホルダ３２の一部が除去される（ステップＳ２４）。このとき、レーザ光の照射に伴い発生する熱によりロータホルダ３２には変形が生じ、第１除去領域３２３１の近傍ではロータホルダ３２の側部３２２（図１１参照）が理想的な円から径方向内側に向かって凹状となり、凹状となった部位の周方向両側は径方向外側に向かって凸状となる（図６参照）。その後、図示省略の測定装置により周方向振れが測定される（ステップＳ２５）。
【００６５】
周方向振れが測定されると、測定結果に基づいて、２箇所の第２除去領域３２３３ａに対して後述の方法により一定の（すなわち、同一の）第２除去量ｍ２（ｇ）が求められる（ステップＳ２６）。さらに、不釣り合い修正装置７にてレーザ光を照射することにより２つの第２除去領域３２３３ａのそれぞれから第２除去量ｍ２（ｇ）だけロータホルダ３２の一部の除去が行われる（ステップＳ２７）。なお、レーザ光の照射による加工を局所的に行うことによるロータホルダ３２の強度の低下を防止するために、第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３ａは適宜広げられて設定される。ただし、不釣り合い修正の誤差を小さく保つために角度θ１および角度θ２は好ましくはそれぞれ６０度以下とされる。また、角度θ１および角度θ２の設定可能な最小幅は１つのレーザ痕の幅に等しい。
【００６６】
次に、ステップＳ２６において第２除去量ｍ２（ｇ）を求める処理について説明する。既述のように、第２除去領域３２３３ａは中心軸Ｊ１を中心として周方向に１８０度間隔に配置されており、２つの第２除去領域３２３３ａの間の中央に第１除去領域３２３１が位置する。したがって、各第２除去領域３２３３ａにて除去が等量行われても、不釣り合いが修正されたロータホルダ３２の重心位置が影響を受けることはない。
【００６７】
図１２は第２除去領域３２３３ａのみにおいてレーザによる除去が行われた場合の周方向振れを予想して示す図である。以下では、１つの第２除去領域３２３３ａのみから第２除去量ｍ２（ｇ）だけ除去が行われた場合に生じるロータホルダ３２の不釣り合い量をそれぞれ第１の実施の形態に倣って「第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）」と呼ぶ。また、第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）と第２除去量ｍ２（ｇ）との関係は数３で表され、第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）を不釣り合い量Ｕ（ｇ・ｍｍ）に正の係数γを用いてγＵにて表す。図１２では、ステップＳ２５で測定された周方向振れ（ただし、図１２では図６に示すものがステップＳ２５にて取得されたものと仮定している。）を元にして、各第２除去領域３２３３ａの変形量が第２修正量Ｕ２（すなわち、γＵ）（ｇ・ｍｍ）の係数γに比例するものとして計算され、２箇所の第２除去領域３２３３ａに起因する変形が合成されている。レーザ光が照射された各第２除去領域３２３３ａおよびその近傍の領域は点線にて示す理想的な円から径方向内側に位置し、外側から見て凹状となっており、第２除去領域３２３３ａ以外の領域は理想的な円から僅かに外側に位置している。
【００６８】
図１３はステップＳ２５にて測定された変形と図１２に示す変形とが合成された周方向振れを実線にて示す図であり、第１除去領域３２３１における不釣り合い修正、および、第２除去領域３２３３ａにおける除去（真円度誤差を低減する加工であることから、以下、「真円度誤差修正」という。）により得られると予測される形状を示す。また、比較のためにロータホルダ３２の理想的な側部３２２を示す円を点線にて示し、第１除去領域３２３１のみにて不釣り合い修正をした場合の変形例を一点鎖線にて示している。図１３に示す周方向振れは、第１除去領域３２３１近傍の変形および２つの第２除去領域３２３３ａ近傍の変形が共に現れた形状となっている。
【００６９】
図１４は係数γと真円度誤差改善比との関係を示す図であり、図１４に示すグラフの横軸は係数γであり、縦軸は第１除去領域３２３１および第２除去領域３２３３ａにて除去を行った後の真円度誤差と、第１除去領域３２３１のみにて不釣り合い修正をした後の真円度誤差（図６に示す形状における真円度誤差）との真円度誤差改善比である。図１４に示すように、係数γを変更することにより第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）が変化し、その結果、ロータホルダ３２の変形も異なったものとなる。
【００７０】
図１４に示す結果では、係数γが１．４のとき真円度誤差改善比が０．９２であり、ロータホルダ３２の真円度誤差が最小となる。ステップＳ２７ではこの結果に基づいて決定された第２除去量ｍ２（ｇ）を用いて修正が行われる。係数γは他の条件から決定されてもよく、例えば、全修正量（すなわち、全除去量および修正コストに対応する。）を最小とするものが選択されてもよい。
【００７１】
図１０の不釣り合い修正の流れでは、ステップＳ２４の第１除去領域３２３１にて除去を行う工程の前にステップＳ２６の第２除去量ｍ２（ｇ）の設定が行われてもよい。この場合、図６に例示するように予め取得されている基準周方向振れに基づいて係数γが決定され、ステップＳ２４の第１除去領域３２３１における不釣り合い修正およびステップＳ２７の第２除去領域３２３３ａにおける真円度誤差修正が連続して行われる。
【００７２】
また、予め第２除去量ｍ２（ｇ）を求めておき、第２除去領域３２３３ａにおける除去が先に行われてもよい。この場合、第２除去領域３２３３ａにおける除去によりロータホルダ３２の重心位置がずれることを考慮しつつ不釣り合い修正が最後に行われる方法が採用されてもよい。すなわち、まず、不釣り合いを測定して各第２除去領域３２３３ａにおける除去量が予め決定されて第２除去領域３２３３ａでの除去が先に行われ、その後、ロータホルダ３２の不釣り合いが再び測定され、第１除去領域３２３１における不釣り合い修正が行われてもよい。
【００７３】
図１５は第２の実施の形態に係る不釣り合い修正方法の他の例により不釣り合いが修正されるロータ部３を示す平面図である。図１５に示すロータホルダ３２は、図１１に示すものと比較して、第２除去領域が３箇所に設けられる点で異なり、他は同様とされる。
【００７４】
図１５に示す第２除去領域３２３３ｂは、中心軸Ｊ１を中心として周方向に１２０度ずつ等間隔に配置された第２中央位置３２３４ｂを中心として設定され、２つの第２中央位置３２３４ｂの間の中央に第１除去領域３２３１が位置する。すなわち、３つの第２中央位置３２３４ｂのうちの１つは不釣り合い方向（第１中央位置３２３２）に対し正反対に位置し、他の２つは不釣り合い方向から対称に６０度ずつ離れて位置している。したがって、図１５に示す例においても、第２除去領域３２３３ｂにおける真円度誤差修正によりロータホルダ３２の重心位置が影響を受けることはない。
【００７５】
次に、図１０のステップＳ２６において第２除去領域３２３３ｂにて除去される第２除去量ｍ２（ｇ）を設定する方法について説明する。図１６は第２除去領域３２３３ｂのみにて除去が行われた場合の周方向振れを予想して示す図であり、周方向振れは図１１に示すものと同様の計算により求められている。各第２除去領域３２３３ｂは外側から見て凹状となり、隣り合う第２除去領域３２３３ｂの間の領域は凸状となっている。
【００７６】
図１７はステップＳ２５にて取得された周方向振れ（図６に示すものが取得されると仮定している。）と図１６に示す周方向振れとを合成したものを実線にて示す図であり、不釣り合い修正および真円度誤差修正が行われた場合に予測されるロータホルダ３２の周方向振れを示す。また、比較のためにロータホルダ３２の理想的な側部３２２を示す円を点線にて示し、図６に示す第１除去領域３２３１のみにて不釣り合いを修正した場合の変形例を一点鎖線にて示している。図１７に示す周方向振れは、第１除去領域３２３１およびその近傍の変形および３つの第２除去領域３２３３ｂおよびその近傍の変形が共に現れた形状となっている。
【００７７】
図１８は係数γと真円度誤差改善比との関係を示す図であり、係数γを変更することにより第２除去量ｍ２（ｇ）に相当する第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）が変化し、その結果、真円度誤差改善比も変化する。図１８に示す結果では、係数γが１．５のとき真円度誤差改善比が０．６３となり、ロータホルダ３２の真円度誤差が最小となる。ステップＳ２７ではこの結果に基づいて決定された第２除去量ｍ２（ｇ）を用いて除去が行われる。
【００７８】
図１９は第２の実施の形態に係る不釣り合い修正方法のさらに他の例により不釣り合いが修正されるロータ部３を示す平面図である。図１９に示すロータホルダ３２は、図１１に示すものと比較して、第２除去領域が４箇所に設けられる点で異なり、他は同様とされる。
【００７９】
図１９に示す第２除去領域３２３３ｃは、中心軸Ｊ１を中心として周方向に９０度ずつ等間隔に離れて配置された第２中央位置３２３４ｃを中心として設定され、そのうちの２つの第２中央位置３２３４ｃの間の中央に第１除去領域３２３１が位置する。したがって、図１９に示す例においても、第２除去領域３２３３ｃにおける真円度誤差修正によりロータホルダ３２の重心位置が影響を受けることはない。
【００８０】
次に、図１０のステップＳ２６において第２除去領域３２３３ｃにて除去される第２除去量ｍ２（ｇ）を設定する方法について説明する。図２０は第２除去領域３２３３ｃのみにて除去が行われた場合の周方向振れを予想して示す図であり、図１１に示すものと同様の計算により周方向振れが求められている。各第２除去領域３２３３ｃは外側から見て凹状となり、隣り合う第２除去領域３２３３ｃの間の領域は凸状となっている。
【００８１】
図２１はステップＳ２５にて取得された周方向振れ（図６に示すものが取得されると仮定している。）と図２０に示す周方向振れとを合成したものを実線にて示す図であり、不釣り合い修正および真円度誤差修正が行われた場合に予測されるロータホルダ３２の周方向振れを示す。また、比較のためにロータホルダ３２の理想的な側部３２２を示す円を点線にて示し、図６に示す第１除去領域３２３１のみにて修正をした場合の変形例を一点鎖線にて示している。図２１に示す周方向振れは、第１除去領域３２３１およびその近傍の変形および４つの第２除去領域３２３３ｃおよびその近傍の変形が共に現れた形状となっている。
【００８２】
図２２は係数γと真円度誤差改善比との関係を示す図であり、係数γを変更することにより、第２除去量ｍ２（ｇ）に相当する第２修正量Ｕ２（ｇ・ｍｍ）が変化し、その結果、真円度誤差改善比も変化する。図２２に示す結果では、係数γが１．３のとき真円度誤差改善比が０．７４となり、ロータホルダ３２の真円度誤差が最小となっている。ステップＳ２７ではこの結果に基づいて決定された第２除去量ｍ２（ｇ）を用いて除去が行われる。
【００８３】
以上に説明したように、第１除去領域３２３１にて不釣り合い修正を行った後、等間隔の複数箇所に配置された第２除去領域にて真円度誤差修正を行うことにより、ロータホルダ３２の真円度誤差の増大を抑制しつつロータホルダ３２の不釣り合いを修正することができる。複数の第２除去領域の数は２ないし４とされることが好ましいが、第２除去領域は５箇所以上に設けられてもよく、この場合においても、複数の第２除去領域は周方向に等間隔に配置され、いずれか２つの隣り合う第２除去領域の間の中央に第１除去領域３２３１が位置するとともに複数の第２除去領域が第１除去領域３２３１と離間または隣接する。
【００８４】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００８５】
例えば、第１の実施の形態に係る不釣り合い修正方法における角度αおよび係数β、並びに、第２の実施の形態に係る不釣り合い修正方法における係数γを最適化する工程において、これらのパラメータを決定する方法は計算によるものには限定されない。ロータホルダ３２に対して各パラメータを用いた加工が実際に行われ、加工後の周方向振れを測定することにより各パラメータの最適化が行われてもよい。また、予め取得された計算データまたは実測データによるデータベースを構築しておき、当該データベースが随時参照されて最適なパラメータが決定されてもよい。
【００８６】
図２に示す各除去領域の軸方向位置は図２における上側（蓋部３２１側）の位置には限定されず、下側（開口側）や中間の位置等の他の軸方向位置とされてもよい。また、複数の軸方向位置にて不釣り合い修正が行われてもよい。さらに、各除去領域の形状は略矩形以外とされてもよく、例えば、周方向に並ぶ列ごとにレーザ痕の数が変更されて除去量の軸方向の分布が調整されてもよい。
【００８７】
上記不釣り合い修正方法が適用される対象はロータホルダ３２単体には限定されず、インペラカップ等の他の部品と組み合わされた状態のロータホルダ３２であってもよい。上記不釣り合い修正方法はファンモータ６０以外のモータにおけるロータ部に適用されてもよく、例えば、固定ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等を回転させるディスク駆動装置やレーザプリンタに用いられるポリゴンミラー回転装置等に用いられるモータ部やエンコーダのロータ部に適用されてもよい。また、不釣り合い修正の対象は薄肉円筒状の回転体であればロータホルダ３２以外のものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】第１の実施の形態に係るファンモータの縦断面図である。
【図２】ロータ部の正面図である。
【図３】ロータ部の平面図である。
【図４】不釣り合い修正装置の概略を示す図である。
【図５】不釣り合い修正の流れを示す図である。
【図６】第１除去領域におけるレーザ光による除去後の周方向振れを示す図である。
【図７】第２除去領域のみにおける除去後の周方向振れを示す図である。
【図８】全除去領域における除去後の周方向振れを示す図である。
【図９】係数βと真円度誤差改善比との関係を示す図である。
【図１０】第２の実施の形態に係る不釣り合い修正の流れを示す図である。
【図１１】ロータ部の平面図である。
【図１２】第２除去領域のみにおける除去後の周方向振れを示す図である。
【図１３】全除去領域における除去後の周方向振れを示す図である。
【図１４】係数γと真円度誤差改善比との関係を示す図である。
【図１５】他の例に係るロータ部の平面図である。
【図１６】第２除去領域のみにおける除去後の周方向振れを示す図である。
【図１７】全除去領域における除去後の周方向振れを示す図である。
【図１８】係数γと真円度誤差改善比との関係を示す図である。
【図１９】さらに他の例に係るロータ部の平面図である。
【図２０】第２除去領域のみにおける除去後の周方向振れを示す図である。
【図２１】全除去領域における除去後の周方向振れを示す図である。
【図２２】係数γと真円度誤差改善比との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００８９】
１    モータ部
２    ステータ部
３    ロータ部
４    軸受機構
３２    ロータホルダ
３２３    外側面
３２３１    第１除去領域
３２３２    第１中央位置
３２３３〜３２３３ｃ    第２除去領域
３２３４〜３２３４ｃ    第２中央位置
α    （第１中央位置と第２中央位置との間の）角度
θ１    （第１除去領域の範囲を示す）角度
θ２    （第２除去領域の範囲を示す）角度
Ｊ１    中心軸
Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｓ２１〜Ｓ２７    ステップ
【図１】
2010075973.tif 000011
【図２】
2010075973.tif 000012
【図３】
2010075973.tif 000013
【図４】
2010075973.tif 000014
【図５】
2010075973.tif 000015
【図６】
2010075973.tif 000016
【図７】
2010075973.tif 000017
【図８】
2010075973.tif 000018
【図９】
2010075973.tif 000019
【図１０】
2010075973.tif 000020
【図１１】
2010075973.tif 000021
【図１２】
2010075973.tif 000022
【図１３】
2010075973.tif 000023
【図１４】
2010075973.tif 000024
【図１５】
2010075973.tif 000025
【図１６】
2010075973.tif 000026
【図１７】
2010075973.tif 000027
【図１８】
2010075973.tif 000028
【図１９】
2010075973.tif 000029
【図２０】
2010075973.tif 000030
【図２１】
2010075973.tif 000031
【図２２】
2010075973.tif 000032