(57)【要約】【課題】入射光の混色の発生を抑制することができるカラーフィルタを提供する。【解決手段】青色光を透過する領域（ＢＬＵ）３１、緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）３３、及び、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）３２を備えるカラーフィルタ３０を構成する。そして、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）３１、緑色光を透過する領域ＧＲＥ）３３、及び、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）３２のうち、隣接する少なくとも２つの領域を、補色光を透過する補色フィルタ３４，３５，３６の組み合わせにより構成する。さらに、隣接する領域において、光の入射面側に同色光を透過する補色フィルタ３４，３５，３６が設けられている。【選択図】図８
2010128382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
青色光を透過する領域、緑色光を透過する領域、及び、赤色光を透過する領域を備え、
前記青色光を透過する領域、前記緑色光を透過する領域、及び、前記赤色光を透過する領域のうち、隣接する少なくとも２つの領域が、補色光を透過する補色フィルタの組み合わせにより構成され、
前記隣接する領域において、光の入射面側に同色光を透過する前記補色フィルタが設けられている
カラーフィルタ。
【請求項２】
前記青色光を透過する領域が、シアン光を透過する前記補色フィルタと、マゼンダ光を透過する前記補色フィルタから構成され、
前記赤色光を透過する領域が、イエロー光を透過する前記補色フィルタと、マゼンダ光を透過する前記補色フィルタから構成され、
前記緑色光を透過する領域が、シアン光を透過する前記補色フィルタと、イエロー光を透過する前記補色フィルタとから構成される
請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記青色光を透過する領域、前記緑色光を透過する領域、及び、前記赤色光を透過する領域のうち、１つの領域が他の２つの領域と隣接し、前記１つの領域内で、隣接する領域の光の入射側の面の前記補色フィルタに併せ、前記１つの領域内の光の入射側の面の前記補色フィルタを分割する請求項２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記青色光を透過する領域、前記緑色光を透過する領域、及び、前記赤色光を透過する領域のうち、隣接する２つの領域が補色フィルタであり、他の１つの領域が原色フィルタである請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
前記青色光を透過する領域は、光の入射面側に前記シアン光を透過する補色フィルタが設けられ、
前記赤色光を透過する領域は、光の入射面側に前記イエロー光を透過する補色フィルタが設けられ、
前記緑色光を透過する領域は、前記青色光を透過する領域と隣接する部分の光の入射面側に前記シアン光を透過する補色フィルタが設けられ、前記赤色光を透過する領域と隣接する部分の光の入射面側に前記イエロー光を透過する補色フィルタが設けられている請求項２に記載のカラーフィルタ。
【請求項６】
三原色光の何れかを透過する、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域を、第１〜３の補色フィルタにより形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記第１の領域の前記第２の領域と隣接する部分に、前記第１の補色フィルタを形成する工程と、
前記第２の領域及び前記第３の領域に、第２の補色フィルタを形成する工程と、
前記第１の領域及び前記第２の領域に、第３の補色フィルタを形成する工程と、
前記第１の領域の前記第１の補色フィルタを形成していない部分及び前記第３の領域に、第１の補色フィルタを形成する工程と
を含むカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
三原色光の何れかを透過する、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域を、第１〜３の補色フィルタにより形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記第１の領域に、前記第１の補色フィルタを形成する工程と、
前記第２の領域に、前記第２の補色フィルタを形成する工程と、
前記第１の領域及び前記第２の領域に、第３の補色フィルタを形成する工程と、
前記第３の領域に原色フィルタを形成する工程と
を含むカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
画素を構成する複数の光電変換領域を備える光電変換部と、
前記光電変換部で得られた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、
前記電荷転送部に接続される周辺回路部と、
前記光電変換部の上層に青色光を透過する領域、緑色光を透過する領域、及び、赤色光を透過する領域の隣接する少なくとも２つの領域が、補色光を透過する補色フィルタの組み合わせにより構成され、前記隣接する領域において、光の入射面側に同色光を透過する前記補色フィルタが設けられているカラーフィルタを備える
固体撮像装置。
【請求項９】
画素を構成する複数の光電変換領域を備える光電変換部と、前記光電変換部で得られた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記電荷転送部に接続される周辺回路部と、前記光電変換部の上層に青色光を透過する領域、緑色光を透過する領域、及び、赤色光を透過する領域の隣接する少なくとも２つの領域が、補色光を透過する補色フィルタの組み合わせにより構成され、前記隣接する領域において、光の入射面側に同色光を透過する前記補色フィルタが設けられているカラーフィルタを備える固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像部に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路と
前記固体撮像装置を駆動する駆動回路
とを備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法、このカラーフィルタを用いた固体撮像装置、及び、この固体撮像装置を用いた電子機器に係わる。
【背景技術】
【０００２】
近年、固体撮像装置の高微細化が進んでいる。高微細化された固体撮像装置では、感度の低下を防ぐため、マイクロレンズの境界の部分に入射される光までも有効利用することが試みられている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１５９０１６号公報
【特許文献２】特開２００７−１４７７３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、高微細化された固体撮像装置では、マイクロレンズやカラーフィルタ同士の配置間隔が狭いために、マイクロレンズの境界とカラーフィルタの境界との位置のわずかなずれが混色を生み出してしまう。このため、固体撮像装置において、色再現性悪化および色シェーディング（ムラ）悪化などの問題を生じる。
【０００５】
また、固体撮像装置の画素が極めて小さいことから、例えば、斜めからの入射光による隣接カラーフィルタを通過した光が画素に入射される可能性が高くなる。特に、裏面照射型イメージセンサなど、遮光膜構造を有しない固体撮像装置の場合は、その影響がさらに顕著なものとなる。この場合にも、色再現性・色シェーディングなどの悪化が特に問題となってくる。
【０００６】
上述した問題の解決のため、本発明においては、入射光の混色の発生を抑制することができるカラーフィルタを提供するものである。
また、カラーフィルタに入射する入射光の混色を防ぐことにより、色再現性に優れる固体撮像装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のカラーフィルタは、青色光を透過する領域、緑色光を透過する領域、及び、赤色光を透過する領域を備える。そして、青色光を透過する領域、緑色光を透過する領域、及び、赤色光を透過する領域のうち、隣接する少なくとも２つの領域が、補色光を透過する補色フィルタの組み合わせにより構成されている。さらに、隣接する領域において、光の入射面側に同色光を透過する補色フィルタが設けられている。
【０００８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、三原色光の何れかを透過する、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域を、第１〜３の補色フィルタにより形成するカラーフィルタの製造方法である。即ち、第１の領域の第２の領域と隣接する部分に、第１の補色フィルタを形成する工程と、第２の領域及び第３の領域に、第２の補色フィルタを形成する工程とを含む。また、第１の領域及び第２の領域に、第３の補色フィルタを形成する工程と、第１の領域の第１の補色フィルタを形成していない部分及び第３の領域に、第１の補色フィルタを形成する工程とを含む。
【０００９】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、三原色光の何れかを透過する、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域を、第１〜３の補色フィルタにより形成するカラーフィルタの製造方法である。即ち、第１の領域に、第１の補色フィルタを形成する工程と、
第２の領域に、第２の補色フィルタを形成する工程と、第１の領域及び第２の領域に、第３の補色フィルタを形成する工程とを含む。また、第３の領域に原色フィルタを形成する工程を含む。
【００１０】
本発明の固体撮像装置は、画素を構成する複数の光電変換領域を備える光電変換部と、光電変換部で得られた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、電荷転送部に接続される周辺回路部とを備える。そして、光電変換部の上層に上述のカラーフィルタを備える。
【００１１】
本発明の電子機器は、上述の固体撮像装置と、固体撮像装置の撮像部に入射光を導く光学系と、固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路と、固体撮像装置を駆動する駆動回路とを備える。
【００１２】
本発明のカラーフィルタは、赤色、緑色、青色の何れか２つ以上の隣接する領域が、補色フィルタを組み合わせることで構成され、光の入射側が同じ色の補色フィルタで構成される。このため、この光の入射側の補色フィルタに入射した光は、隣接する領域間で同じ分光特性を有する。従ってカラーフィルタに斜め方向から入射する入射光が、光の入射側の補色フィルタに入射し、隣接する領域の境界を通過する場合にも、隣接する画素間での混色が発生しない。
また、本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、製造工程数を大幅に増加させることなく、上述のカラーフィルタを製造することができる。
また、本発明の固体撮像装置及び電子機器によれば、上述のカラーフィルタを備えることにより、混色の発生を抑制することができ、色再現性を向上することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、カラーフィルタにおいて、入射光の混色の発生を抑制することができる。また、カラーフィルタに入射する入射光の混色を防ぐことにより、固体撮像装置の色再現性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
なお、説明は以下の順序で行う。
１．従来のカラーフィルタの概要の説明
２．カラーフィルタの第１の実施の形態
３．第１の実施の形態のカラーフィルタの製造方法
４．カラーフィルタの第２の実施の形態
５．第２の実施の形態のカラーフィルタの製造方法
６．第１の実施の形態のカラーフィルタを適用した固体撮像装置の実施の形態
７．実施の形態の固体撮像装置を適用した電子機器
【００１５】
〈１．従来のカラーフィルタの概要の説明〉
まず、本発明の説明に先立ち、従来用いられているカラーフィルタの概要について説明する。
図１にカラーフィルタ１０の平面図を示す。また、図１のカラーフィルタ１０の破線部分での断面図を図２に示す。
【００１６】
カラーフィルタ１０は、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）１１、緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）１２、及び、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）１３が図示するように配列されている。
図２に示すように、カラーフィルタ１０は、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）１１、緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）１２、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）１３を備える。また、カラーフィルタ１０上にマイクロレンズ１５を備える。また、図２ではカラーフィルタ１０のＧＲＥ１２とＲＥＤ１３の境界部分を通過する入射光１４を矢印で示している。
【００１７】
図３に、カラーフィルタ１０のＧＲＥ１２を透過する入射光の分光特性を破線１６で示す。また、ＲＥＤ１３を透過する入射光の分光特性を破線１７で示し、ＧＲＥ１２とＲＥＤ１３の境界を通過する入射光１４の分光特性を実線１８で示す。
図３に示すように、ＧＲＥ１２のみを透過する入射光、及び、ＲＥＤ１３のみを透過する入射光の分光特性は、破線１６，１７に示すように、それぞれ独立したピークを有する特性を示す。しかし、ＧＲＥ１２とＲＥＤ１３の境界を通過する入射光１４の分光特性は、実線１８で示すように、破線１６と破線１７との平均した特性を有する。この入射光１４は、例えば、固体撮像装置において、ＧＲＥ１２のみを透過する入射光と同じ画素に入射する。このため、ＧＲＥ１２のみを透過する入射光の分光特性に、ＲＥＤ１３のみを透過する入射光の分光特性が混ざることになる。このため、固体撮像装置の受光部において混色が発生する。
【００１８】
このため、例えば、図４に示す構造のカラーフィルタ２０が提案されている。
このカラーフィルタ２０は、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）２１、緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）２２、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）２３、及び、カラーフィルタ２０を備える。また、カラーフィルタ上にマイクロレンズ１５を備える。さらに、ＢＬＵ２１とＧＲＥ２２との間、及び、ＧＲＥ２２とＲＥＤ２３との間に透光領域２６を備える。
【００１９】
また、図４において、カラーフィルタ２０のＧＲＥ２２と、ＧＲＥ２２とＲＥＤ２３との間の透光領域２６の境界部分を通過する入射光２４を矢印で示す。
入射光２４は、まず、透光領域２６に入射した後、ＧＲＥ２２に入射する。このため、入射光２４がＲＥＤ２３を通過せず、ＧＲＥ２２の下部の受光部において混色が発生しない。しかし、入射光２４は、ＧＲＥ２２のみを通過する入射光よりも、ＧＲＥ２２内を通過する距離が短くなる。
【００２０】
図５にＧＲＥ２２の分光特性を実線２７で示す。図５に示すように、図４に示す構成のカラーフィルタ２０では、図３に破線１６で示したＧＲＥの分光特性に比べ、全体的に高くなる。このため、固体撮像装置に適用した場合に色再現性及び色シェーディングが悪化する。
上述のように、図４に示す構成のカラーフィルタ２０では、色吸収領域部分が減少するため、所望の分光特性を得ることが難しく、固体撮像装置に適用した場合の色再現性及び色シェーディングに劣る。
【００２１】
〈２．カラーフィルタの第１の実施の形態〉
次に、本発明のカラーフィルタの具体的な実施の形態について説明する。
図６に、本発明の第１の実施の形態として、カラーフィルタ３０の平面図を示す。
図６に示すように、第１の実施の形態のカラーフィルタ３０では、三原色光のうち、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）３１、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）３２、及び、緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）３３が設けられている。
【００２２】
また、カラーフィルタ３０は、ＢＬＵ３１とＲＥＤ３２の間に、ＧＲＥ３３が配置されている。このため、ＢＬＵ３１及びＲＥＤ３２は、その周囲にＧＲＥ３３が形成され、ＢＬＵ３１及びＲＥＤ３２の隣接する領域は、すべてＧＲＥ３３が配置されている。
【００２３】
このカラーフィルタ３０は、図７Ａと図７Ｂに示す配列で構成される、第１のカラーフィルタ３０Ａ、及び、第２のカラーフィルタ３０Ｂの２層からなる。つまり、第１のカラーフィルタ３０Ａ上に、第２のカラーフィルタ３０Ｂを積層することにより、カラーフィルタ３０が構成されている。
【００２４】
第１のカラーフィルタ３０Ａは、マゼンダ色光を透過する領域（ＭＧ）３４、シアン色光を透過する領域（ＣＹ）３５、及び、イエロー色光を透過する領域（ＹＬ）３６とから構成されている。また、第２のカラーフィルタ３０Ｂは、シアン色光を透過する領域（ＣＹ）３５、及び、イエロー色光を透過する領域（ＹＬ）３６とから構成されている。つまり、補色光を透過するカラーフィルタを積層することにより、図６に示すカラーフィルタ３０が構成されている。
【００２５】
第１のカラーフィルタ３０Ａは、図６に示したカラーフィルタ３０においてＢＬＵ３１及びＲＥＤ３２が形成される領域に、ＭＧ３４が形成されている。そして、図６に示したカラーフィルタ３０において、ＧＲＥ３３が形成される領域では、ＣＹ３５とＹＬ３６が形成されている。つまり、ＧＲＥ３３が形成される領域において、ＲＥＤ３２が形成される領域に隣接する部分にＣＹ３５が形成され、ＢＬＵ３１が形成される領域に隣接する部分ではＹＬ３６が形成されている。このとき、ＧＲＥ３３が形成される領域において、ＲＥＤ３２が形成される領域から、ＢＬＵ３１が形成される領域とＲＥＤ３２が形成される領域の中間位置まで、ＣＹ３５が形成されている。また、ＧＲＥ３３が形成される領域において、ＢＬＵ３１が形成される領域から、ＢＬＵ３１が形成される領域とＲＥＤ３２が形成される領域の中間位置まで、ＹＬ３６が形成されている。従って、ＧＲＥ３３が形成される領域において、ＢＬＵ３１と隣接する領域にはＣＹ３５が形成され、ＲＥＤ３２と隣接する領域には、ＹＬ３６が形成されている。このとき、ＧＲＥ３３が形成される領域において、ＣＹ３５とＹＬ３６の面積が同じになるように構成される。
【００２６】
第２のカラーフィルタ３０Ｂは、図６に示したカラーフィルタ３０においてＢＬＵ３１が形成される領域に、ＣＹ３５が形成されている。また、図６に示したカラーフィルタ３０においてＲＥＤ３２が形成される領域に、ＹＬ３６が形成されている。
【００２７】
また、第２のカラーフィルタ３０Ｂは、図６に示したカラーフィルタ３０においてＧＲＥ３３が形成される領域に、ＣＹ３５とＹＬ３６が形成されている。つまり、図７Ａに示した第１のカラーフィルタ３０ＡでＣＹ３５が形成される部分には、第２のカラーフィルタ３０ＢにＹＬ３６が形成されている。また、第１のカラーフィルタ３０ＡでＹＬ３６が形成される部分には、第２のカラーフィルタ３０ＢにＣＹ３５が形成されている。つまり、ＧＲＥ３３が形成される領域のみを見ると、第１のカラーフィルタ３０Ａにおいて、ＣＹ３５が形成されている領域では、第２のカラーフィルタ３０ＢにおいてＹＬ３６が形成される。そして、第１のカラーフィルタ３０Ａにおいて、ＹＬ３６が形成されている領域では、第２のカラーフィルタ３０ＢにおいてＣＹ３５が形成される。
【００２８】
次に、図６に示すカラーフィルタ３０のＡ−Ａ’線断面図を図８に示す。
図８に示すように、カラーフィルタ３０は、異なる補色光を透過する領域が積層され、原色光を透過する領域を構成する。つまり、ＢＬＵ３１は、ＭＧ３４とＣＹ３５からなる。また、ＲＥＤ３２は、ＭＧ３４とＹＬ３６とからなる。
また、ＧＲＥ３３は、ＣＹ３５とＹＬ３６とからなるが、ＧＲＥ３３の中央においてその上下の構成が逆になる。つまり、ＧＲＥ３３の中央において、第１のカラーフィルタ３０Ａに構成されているＣＹ３５及びＹＬ３６と、第２のカラーフィルタ３０Ｂに構成されているＣＹ３５及びＹＬ３６が、互い違いになるように配置されている。
このように、カラーフィルタ３０は、ＢＬＵ３１、ＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３の隣接する領域において、光の入射面側に同色光を透過する補色フィルタが設けられている。
【００２９】
上述のように、第１の実施の形態のカラーフィルタ３０では、異なる色光を透過する補色フィルタを組み合わせることにより、三原色のカラーフィルタが形成される。つまり、ＭＧ３４、ＣＹ３５、及び、ＹＬ３６からなる補色光を透過する補色フィルタが、それぞれ組み合わされて、ＢＬＵ３１、ＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３が形成されている。
このような構成とすることにより、斜めからの入射光による混色を防ぐことができる。
例えば、図８に示すＲＥＤ３２からＧＲＥ３３に斜め方向から入射する入射光３７は、まず、ＲＥＤ３２のＹＬ３６に入射する。そして、ＲＥＤ３２のＹＬ３６を通過した後、ＧＲＥ３３のＹＬ３６とＣＹ３５を通過する。
この場合、ＧＲＥ３３の上層、つまり第２のカラーフィルタ３０Ｂにおいて、ＲＥＤ３２に隣接する部分には、ＲＥＤ３２の上層と同じ補色であるＹＬ３６が形成されている。このため、ＲＥＤ３２の上部を斜めに通過する入射光に対しては、ＧＲＥ３３の上層のＹＬ３６を通過したものと同様の分光特性を有する。
【００３０】
同様に、ＢＬＵ３１からＧＲＥ３３は斜めに入射する入射光３８に対しても、混色の発生を防ぐことができる。これは、ＧＲＥ３３ＢＬＵ３１の上層、つまり第２のカラーフィルタ３０Ｂにおいて、ＢＬＵ３１と隣接する部分には、ＢＬＵ３１の上層と同じＣＹ３５が形成されている。このため、ＢＬＵ３１のＣＹ３５を通過し、ＧＲＥ３３のＣＹ３５及びＹＬ３６を通過する入射光３８は、ＧＲＥ３３のみを通過する入射光と同じ分光特性を有する。
【００３１】
従って、上述の構成のカラーフィルタを構成することにより、隣接する異なる色光を透過する領域から斜めに入射する入射光による混色の発生を抑制することができる。このため、例えば、このカラーフィルタを固体撮像装置に適用した場合には、画素に入射する光の混色を防ぐことができる。そして、このカラーフィルタを用いることにより、色再現性に優れ、色シェーディングの悪化を防ぐことができる固体撮像装置を提供することができる。
【００３２】
なお、上述の実施の形態のカラーフィルタにおいて、各領域における厚さや、面積、形状等は、混色の程度などを考慮の上で、任意に調整することが可能である。また、シェーディングによる影響を低減するために、固体撮像装置に適用した場合には、装置の中心と外周とで、カラーフィルタの各領域の幅、面積等を変更することも可能である。
【００３３】
〈３．第１の実施の形態のカラーフィルタの製造方法〉
次に、上述の第１の実施の形態のカラーフィルタの製造方法について、図９〜図１２を用いて説明する。なお、図９〜図１２において、Ａはカラーフィルタの平面図であり、Ｂは、Ａに示すカラーフィルタのＡ−Ａ’線断面図である。
【００３４】
以下で説明するカラーフィルタの製造方法は、三原色光の何れかを透過する、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域を、それぞれ異なる補色光を透過する第１〜３の補色フィルタを組み合わせて形成するカラーフィルタの製造方法である。以下の説明において、三原色光の何れかを透過する第１の領域は、ＧＲＥ３３に対応する。また、三原色光の何れかを透過する第２の領域はＢＬＵ３１に対応し、第３の領域はＲＥＤ３２に対応する。また、第１の補色フィルタはＹＬ３６に対応し、第２の補色フィルタはＭＧ３４に対応し、第３の補色フィルタはＣＹ３５に対応する。
【００３５】
まず、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、カラーフィルタのＢＬＵ３１が形成される領域の周囲の基体３９上に、ＹＬ３６を形成する。このＹＬ３６は、ＧＲＥ３３を形成する領域のＢＬＵ３１が形成される領域に隣接する部分において、ＢＬＵ３１が形成される領域から、ＢＬＵ３１が形成される領域とＲＥＤ３２が形成される領域の中間位置まで形成する。
ここで形成するＹＬ３６は、第１のカラーフィルタを構成するＹＬ３６である。
【００３６】
次に、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、ＢＬＵ３１及びＲＥＤ３２が形成される領域に、ＭＧ３４を形成する。この工程において、ＢＬＵ３１及びＲＥＤ３２が形成される領域において、第１のカラーフィルタを構成するＭＧ３４がすべて形成される。
【００３７】
次に、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、ＢＬＵ３１が形成される領域、及び、ＧＲＥ３３が形成される領域に、ＣＹ３５を形成する。このようにＣＹ３５を形成することにより、ＢＬＵ３１を構成する領域において、第１のカラーフィルタを構成するＭＧ３４上にＣＹ３５を形成する。また、ＧＲＥ３３が形成される領域において、第１のカラーフィルタを構成するＹＬ３６上にＣＹ３５を形成する。また、ＧＲＥ３３が形成される領域において、ＹＬ３６を形成していない部分に第１のカラーフィルタを構成するＣＹ３５を形成する。
このとき、ＢＬＵ３１が形成される領域、及び、ＧＲＥ３３が形成される領域のＹＬ３６上のＣＹ３５は、第２のカラーフィルタを構成する。
【００３８】
次に、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、ＲＥＤ３２が形成される領域、及び、ＧＲＥ３３が形成される領域内で図９に示す工程でＹＬ３６を形成していない部分に、ＹＬ３６を形成する。ＧＲＥ３３が形成される領域の図９に示す工程でＹＬ３６を形成していない部分とは、ＧＲＥ３３が形成される領域において、第１のカラーフィルタを構成するＣＹ３５の上層にあたる。
このとき、ＲＥＤ３２が形成される領域、及び、ＧＲＥ３３が形成される領域のＣＹ３５の上層のＹＬ３６は、第２のカラーフィルタを構成する。また、この工程のＹＬ３６の形成により、ＣＹ３５及びＹＬ３６からなる第２のカラーフィルタが形成される。
【００３９】
上述のように、第１の工程及び第４の工程においてＹＬ３６を形成し、第２の工程において、ＭＧ３４を形成し、第３の工程においてＣＹ３５を形成することにより、４工程でカラーフィルタを製造することができる。
例えば、従来のＲＥＤ、ＧＲＥ及びＢＬＵの３原色により構成されるカラーフィルタの製造方法では、色毎に製造するため３工程必要となる。このため、上述のカラーフィルタの製造方法によれば、製造工程数を大幅に増加させることなく、第１の実施の形態のカラーフィルタを製造することができる。
【００４０】
なお、上述の製造方法では、三原色光の何れかを透過する第１〜第３の領域及び第１〜第３の補色フィルタを、ＧＲＥ３３、ＢＬＵ３１、ＲＥＤ３２、ＹＬ３６、ＭＧ３４及びＣＹ３５に対応させて説明したが、これらの組み合わせは任意に変更することができる。つまり、製造するカラーフィルタの構成に応じて、三原色光の何れかを透過する第１〜第３の領域、及び、第１〜第３の領域を構成する第１〜第３の補色フィルタを任意に適用することが可能である。
【００４１】
〈４．カラーフィルタの第２の実施の形態〉
次に、本発明のカラーフィルタの第２の実施の形態について説明する。
図１３に、本発明の第２の実施の形態として、カラーフィルタ４０の平面図を示す。なお、図６〜１２おいて示した第１の実施の形態のカラーフィルタ３０の構成と同様の構成は、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４２】
図１３に示すように、第２の実施の形態のカラーフィルタ４０では、三原色光のうち、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）３１、赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）３２、及び、緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）３３が設けられている。
また、カラーフィルタ４０のＢＬＵ３１、ＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３の配列は、いわゆるベイヤ配列である。
【００４３】
このカラーフィルタ４０は、図１４Ａと図１４Ｂに示す配置で構成される、第３のカラーフィルタ４０Ａ、及び、第４のカラーフィルタ４０Ｂの２層からなる。つまり、第３のカラーフィルタ４０Ａ上に、第４のカラーフィルタ４０Ｂを積層することにより、カラーフィルタ４０が構成されている。
【００４４】
第３のカラーフィルタ４０Ａは、マゼンダ色光を透過する領域（ＭＧ）３４、シアン色光を透過する領域（ＣＹ）３５、及び、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）４１とから構成されている。また、第４のカラーフィルタ４０Ｂは、イエロー色光を透過する領域（ＹＬ）３６、及び、と青色光を透過する領域（ＢＬＵ）４１から構成されている。
つまり、図１３に示したカラーフィルタ４０のＲＥＤ３２とＧＲＥ３３が、補色光を透過するカラーフィルタを積層することにより構成される。また、カラーフィルタ４０のＢＬＵ３１は、第３のカラーフィルタ４０Ａ及び第４のカラーフィルタ４０Ｂにおいて、青色光を透過する領域（ＢＬＵ）４１により形成される。
【００４５】
第３のカラーフィルタ４０Ａは、図１３に示したカラーフィルタ４０においてＲＥＤ３２が形成される領域に、ＭＧ３４が形成されている。そして、図１３に示したカラーフィルタ４０において、ＧＲＥ３３が形成される領域に、ＣＹ３５が形成されている。また、図１３に示したカラーフィルタ４０においてＢＬＵ３１が形成される領域に、ＢＬＵ４１が形成されている。
【００４６】
第４のカラーフィルタ４０Ｂは、図１３に示したカラーフィルタ４０においてＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３が形成される領域に、ＹＬ３６が形成されている。また、図１３に示したカラーフィルタ４０においてＢＬＵ３１が形成される領域に、ＢＬＵ４１が形成されている。
【００４７】
図１３に示したカラーフィルタ４０のＧＲＥ３３が形成される領域では、図１４Ａに示した第３のカラーフィルタ４０ＡでＣＹ３５が形成され、第４のカラーフィルタ４０ＢでＹＬ３６が形成される。
また、図１３に示したカラーフィルタ４０のＲＥＤ３２が形成される領域では、図１４Ａに示した第３のカラーフィルタ４０ＡでＭＧ３４が形成され、第４のカラーフィルタ４０ＢでＹＬ３６が形成されている。
このように、カラーフィルタ４０は、隣接する２つの領域が、異なる色光を透過する補色フィルタが組み合わされて構成され、１つの領域が原色フィルタにより構成されている。
【００４８】
次に、図１３に示すカラーフィルタ４０のＢ−Ｂ’線断面図を図１５Ａに示す。また、図１３に示すカラーフィルタ４０のＣ−Ｃ’線断面図を図１５Ｂに示す。
図１５Ａに示すように、カラーフィルタ４０のＲＥＤ３２とＧＲＥ３３は、異なる色（補色）光を透過する領域が積層され、原色光を透過する領域を構成する。つまり、ＲＥＤ３２は、ＭＧ３４とＹＬ３６とからなる。また、ＧＲＥ３３は、ＣＹ３５とＹＬ３６とからなる。
上述のように、第２の実施の形態のカラーフィルタ４０では、隣接する２つの領域において、異なる色光を透過する補色フィルタを組み合わせることにより、三原色のカラーフィルタが形成される。つまり、ＭＧ３４、ＣＹ３５、及び、ＹＬ３６からなる補色光を透過するカラーフィルタがそれぞれ組み合わされて、三原色のＲＥＤ３２とＧＲＥ３３のカラーフィルタが形成されている。
【００４９】
また、図１５Ｂに示すように、カラーフィルタ４０のＢＬＵ３１は、ＢＬＵ４１が積層された構成である。
なお、カラーフィルタ４０のＢＬＵ３１は、例えば、第３のカラーフィルタ４０ＡのＢＬＵ４１と第４のカラーフィルタ４０ＢのＢＬＵ４１とに分けずに形成することもできる。この場合には、カラーフィルタ４０のＲＥＤ３２とＧＲＥ３３のみ、第３のカラーフィルタ４０Ａ及び第４のカラーフィルタ４０Ｂの２層から形成される。そして、ＢＬＵ４１は第３のカラーフィルタ４０Ａ及び第４のカラーフィルタ４０Ｂに分けずに、１層で形成する。
また、カラーフィルタ４０のＢＬＵ３１は、第１の実施の形態のカラーフィルタと同様に、ＢＬＵ３１をＭＧ３４とＣＹ３５からなる２層構造とすることもできる。
【００５０】
上述のカラーフィルタ４０の構成によれば、ベイヤ配列のカラーフィルタにおいても、斜めからの入射光による混色を低減することができる。
例えば、図１５Ａに示すＲＥＤ３２からＧＲＥ３３に斜め方向から入射する入射光４２は、まず、ＲＥＤ３２のＹＬ３６に入射する。そして、ＲＥＤ３２のＹＬ３６を通過した後、ＧＲＥ３３のＹＬ３６とＣＹ３５を通過する。
この場合、ＧＲＥ３３の上層、つまり第４のカラーフィルタ４０Ｂにおいて、ＲＥＤ３２に隣接する部分には、ＲＥＤ３２の上層と同じ補色であるＹＬ３６が形成されている。このため、ＲＥＤ３２の上部を斜めに通過する入射光に対しては、ＧＲＥ３３の上層のＹＬ３６を通過したものと同様の分光特性を有する。
【００５１】
このように、カラーフィルタの隣接する異なる色光を透過する領域において、上層が同じ補色を透過することにより、斜めからの入射光による混色の発生を防ぐことができる。そして、上層の補色フィルタと下層の補色フィルタとを組み合わせることにより、三原色光を透過するカラーフィルタを構成することができる。
従って、上述の構成のカラーフィルタを構成することにより、補色により構成された隣接する異なる色の光を透過する領域から斜めに入射する入射光による混色の発生を抑制することができる。
【００５２】
なお、上述の第２の実施の形態のカラーフィルタ４０においては、ＢＬＵ３１を原色により構成するか、又は、ＭＧ及びＣＹの補色により構成する。このため、ＢＬＵ３１と隣接するＧＲＥ３３において、同じ補色を透過するカラーフィルタによって上層を構成することができない。このため、ＢＬＵ３１からＧＲＥ３３に斜めに入射する入射光、又は、ＧＲＥ３３からＢＬＵ３１に斜めに入射する入射光に対しては、混色の発生を防ぐことができない。
しかし、例えば、ＢＬＵ３１をＭＧ３４とＣＹ３５からなる２層構造し、ＧＲＥ３３をＣＹ３５とＹＬ３６とからなる２層構造し、さらに、ＢＬＵ３１とＧＲＥ３３の上層を同じＣＹ３５としたカラーフィルタを構成する。この構造のカラーフィルタによれば、ＢＬＵ３１からＧＲＥ３３に斜めに入射する入射光、及び、ＧＲＥ３３からＢＬＵ３１に斜めに入射する入射光に対して、混色の発生を防ぐことができる。
但し、このカラーフィルタをこの構成とした場合には、ＲＥＤ３２において、上述の第２の実施の形態のＢＬＵ３１と同じ理由で、ＲＥＤ３２からＧＲＥ３３、又は、ＧＲＥ３３からＲＥＤ３２に斜めに入射する入射光の混色の発生を防ぐことができない。
第２の実施の形態のカラーフィルタでは、例えば、ＢＬＵ又はＲＥＤにおいて、ＧＲＥとの混色による問題が発生しやすい方の領域を選択して、上述の補色を用いた構造を適用することが好ましい。
【００５３】
従って、例えば、第２の実施の形態のカラーフィルタを固体撮像装置に適用した場合には、画素に入射する光の混色を防ぐことができる。そして、このカラーフィルタを用いることにより、色再現性に優れ、色シェーディングの悪化を防ぐことができる固体撮像装置を提供することができる。
【００５４】
〈５．第２の実施の形態のカラーフィルタの製造方法〉
次に、上述の第２の実施の形態のカラーフィルタの製造方法について、図１６〜図１９を用いて説明する。なお、図１６〜図１９において、Ａはカラーフィルタの平面図であり、Ｂは、Ａに示すカラーフィルタのＢ−Ｂ’線断面図である。
【００５５】
以下で説明するカラーフィルタの製造方法は、三原色光の何れかを透過する、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域を、それぞれ異なる補色光を透過する第１〜３の補色フィルタにより形成するカラーフィルタの製造方法である。以下の説明において、三原色光の何れかを透過する第１の領域は、ＧＲＥ３３に対応する。また、三原色光の何れかを透過する第２の領域はＲＥＤ３２に対応し、第３の領域はＢＬＵ３１に対応する。また、第１の補色フィルタはＣＹ３５に対応し、第２の補色フィルタはＭＧ３４に対応し、第３の補色フィルタはＹＬ３６に対応する。
【００５６】
まず、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、カラーフィルタのＧＲＥ３３が形成される領域の基体３９上に、ＣＹ３５を形成する。そして、図１７Ａ及び図１７Ｂに示すように、ＲＥＤ３２が形成される領域に、ＭＧ３４を形成する。ここで形成するＣＹ３５及びＭＧ３４は、第３のカラーフィルタを構成するＣＹ３５及びＭＧ３４である。
【００５７】
次に、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、カラーフィルタのＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３が形成される領域において、第３のカラーフィルタを構成するＣＹ３５及びＭＧ３４上に、ＹＬ３６を形成する。このＹＬ３６は、第４のカラーフィルタを構成するＹＬ３６である。
【００５８】
次に、カラーフィルタにＢＬＵ３１が形成される領域、つまり、図１９Ａ及び図１９Ｂに示すＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３が形成されていない領域に、ＢＬＵ３１を形成する。
なお、この工程では、ＢＬＵ３１は、原色のＢＬＵ３１の色素を用いて第３のカラーフィルタ４０Ａ及び第４のカラーフィルタ４０ＢのＢＬＵ４１を共通して形成している。
【００５９】
上述のように、第１の工程においてＣＹ３５を形成し、第２の工程において、ＭＧ３４を構成し、第３の工程においてＹＬ３６を形成することにより、カラーフィルタのＲＥＤ３２及びＧＲＥ３３を形成することができる。また、第４の工程でＢＬＵ３１を第３のカラーフィルタ及び第４のカラーフィルタに共通して形成することにより、４工程でカラーフィルタを製造することができる。
例えば、従来のＲＥＤ、ＧＲＥ及びＢＬＵの３原色により構成されるカラーフィルタの製造方法では、色毎に製造するため３工程必要となる。このため、上述のカラーフィルタの製造方法によれば、製造工程数を大幅に増加させることなく、第２の実施の形態のカラーフィルタを製造することができる。
【００６０】
なお、上述のように、第２の実施の形態のカラーフィルタのＢＬＵ３１を、第１の実施の形態のカラーフィルタと同様に、ＭＧ３４とＣＹ３５からなる２層構造とすることもできる。この場合には、第２の工程でＲＥＤ３２を形成する領域にＭＧ３４を形成する際、併せてＢＬＵ３１を形成する領域にＭＧ３４を形成する。そして、第４の工程でＢＬＵ３１を形成する領域にＣＹを形成する。
この製造方法においても、カラーフィルタを４工程で製造することができる。このため、製造工程数を大幅に増加させることなく、第２の実施の形態のカラーフィルタを製造することができる。
【００６１】
なお、上述の製造方法では、三原色光の何れかを透過する第１〜第３の領域及び第１〜第３の補色フィルタを、ＧＲＥ３３、ＲＥＤ３２、ＢＬＵ３１、ＣＹ３５、ＭＧ３４及びＹＬ３６に対応させて説明したが、これらの組み合わせは任意に変更することができる。つまり、製造するカラーフィルタの構成に応じて、三原色光の何れかを透過する第１〜第３の領域、及び、第１〜第３の領域を構成する第１〜第３の補色フィルタを任意に適用することが可能である。
【００６２】
〈６．第１の実施の形態のカラーフィルタを適用した固体撮像装置の実施の形態〉
次に、上述の第１の実施の形態のカラーフィルタを適用した固体撮像装置について説明する。
本実施の形態の固体撮像装置の一例として、図２０に第１の実施の形態のカラーフィルタを適用したＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ５０の断面図を示す。
【００６３】
ＣＣＣＤイメージセンサ５０は、シリコン等からなる基体５１の表面の一部にフォトダイオード（ＰＤ）５２が形成されている。このＰＤ５２は、基体５１の第１導電型、例えばｐ型の不純物領域に、第２導電型、例えば、リン（Ｐ）やヒ素（Ａｓ）等のｎ型の不純をイオン注入し、熱拡散することによりに形成される。
【００６４】
また、基体５１の表面のＰＤ５２とは異なる領域に、ＰＤ５２よりｎ型不純物濃度の高い不純物拡散層からなる垂直電荷転送部５３を備える。
この垂直電荷転送部５３はＰやＡｓ等のｎ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成される。垂直電荷転送部５３は、ＰＤ５２が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する縦方向のＢｕｒｉｅｄ  Ｃｈａｎｎｅｌ層（ＣＣＤ）の役割を果たす。
【００６５】
本実施の形態では、基体５１のｐ型不純物領域をｐ型不純物層、ＰＤ５２および垂直電荷転送部５３を、ｎ型不純物層としているが、基体５１の不純物領域をｎ型不純物層、ＰＤ５２及び垂直電荷転送部５３をｐ型不純物層として実施することもできる。
【００６６】
基体５１、ＰＤ５２及び垂直電荷転送部３上には、ＳｉＯ２またはＳｉＯ２／ＳｉＮ／ＳｉＯ２等の絶縁層５５を介してポリシリコン、タングステン、タングステンシリサイド、Ａｌ、Ｃｕ等からなる垂直電荷転送電極５４が形成される。垂直電荷転送電極５４はＰＤ５２に発生した電荷を垂直電荷転送部５３に転送するための転送ゲートとしての役割と、垂直電荷転送部５３に転送された電荷を素子の縦方向に転送するための転送電極としての役割を果たす。
【００６７】
垂直電荷転送電極５４の上方および側面には、絶縁層５５を介して遮光層５６が形成されている。遮光層５６はタングステン、タングステンシリサイド、または、Ａｌ、Ｃｕ等の金属からなり、入射光が垂直電荷転送電極５４や垂直電荷転送部５３に入り込むことを防ぐ。また、遮光層５６の側面のうち、ＰＤ５２の上方には遮光層５６に張り出し部５６Ａを設け、入射光が垂直電荷転送部５３に漏れこむのを防ぐこともできる。
【００６８】
遮光層５６の上方にはＢ−ＰＳＧ（Boron-Phosphorus Silicon Glass)層５７、及び、プラズマ−シリコン窒化層（Ｐ−ＳｉＮ層）５８が形成されている。Ｂ−ＰＳＧ層５７とＰ−ＳｉＮ層５８とは、界面がＰＤ５２の上方でＰＤ５２側に湾曲する形状になるように形成されている。この形状により、入射光を効率よくＰＤ５２に導くための層内レンズの効果を備えることができる。
【００６９】
Ｐ−ＳｉＮ層５８上には、Ｐ−ＳｉＮ膜５８表面又は画素領域以外の凹凸部を平坦化するための平坦化層５９が形成されている。
次に、この平坦化層５９上に、カラーフィルタ３０を形成する。カラーフィルタ３０は、例えば、上述の図９〜１２を用いて説明した製造方法によって形成することができる。
さらに、カラーフィルタ３０上に、固体撮像装置のＰＤ５２に入射する光を効率良く集光させるためのマイクロレンズ１５が形成されている。
【００７０】
本実施の形態の固体撮像装置は、ＰＤ５２で発生した信号電荷が、垂直電荷転送部５３によって列方向に転送される。そして、列方向に転送された信号電荷が図示しない水平電荷転送路（ＨＣＣＤ）により行方向に転送される。転送された信号電荷に応じた色信号が図示しないアンプから出力される陽に構成されている。
このように、本実施の形態の固体撮像装置は、光電変換部、電荷転送部、ＨＣＣＤ、及び、アンプを含む固体撮像素子部と、固体撮像素子部のＰＤＡ部等の周辺回路が形成される、周辺回路部とが形成される構成である。
【００７１】
上述の構成の固体撮像装置によれば、例えば、隣接する画素から斜め方向から入射する入射光３７，３８に対して、第１の実施の形態のカラーフィルタにおいて説明したように、混色の発生を抑制することができる。従って、本実施の形態の固体撮像装置によれば、画素に入射する光の混色を防ぐことができ、色再現性に優れ、色シェーディングの悪化を防ぐことができる固体撮像装置を提供することができる。
【００７２】
なお、本実施の形態では、固体撮像装置の例として、ＣＣＤイメージセンサに第１の実施の形態のカラーフィルタを適用した場合について説明したが、固体撮像装置には、例えば第２の実施の形態のカラーフィルタを適用することも可能である。また、固体撮像装置として、ＣＣＤイメージセンサの他に、例えば、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサを適用することも可能である。この場合にも、隣接する画素から斜め方向から入射する入射光に対して、混色の発生を抑制して混色を抑制し、色再現性に優れ、色シェーディングの悪化を防ぐことができる固体撮像装置を提供することができる。
【００７３】
また、固体撮像素子に適用するカラーフィルタとして、上述の第１の実施の形態のカラーフィルタを用いているが、このカラーフィルタに替えて、例えば、上述の第２の実施の形態のカラーフィルタを適用することもできる。この場合にも、隣接する画素から斜め方向から入射する入射光に対して、混色の発生を抑制して混色を抑制し、色再現性に優れ、色シェーディングの悪化を防ぐことができる固体撮像装置を提供することができる。
【００７４】
〈７．実施の形態の固体撮像装置を適用した電子機器〉
上述の実施の形態の固体撮像装置は、例えば、この撮像装置を備えたカメラ、カメラ付き携帯機器、撮像装置を備えたその他の機器等の電子機器に適用することができる。図２１に、上述の実施の形態の固体撮像装置を適用した電子機器の一例として、カメラシステムに適用した実施の形態を示す。
【００７５】
図２１に示すカメラシステム６０は、光学系（光学レンズ）６１と、固体撮像装置としてのＣＣＤイメージセンサ６２と、信号処理回路６３と、イメージセンサ駆動回路６４とを備える。
【００７６】
ＣＣＤイメージセンサ６２は、上述した固体撮像素子の実施の形態として示したＣＣＤイメージセンサが適用される。
【００７７】
光学系６１は、被写体からの像光（入射光）をＣＣＤイメージセンサ６２の撮像面上に結像させる。これにより、ＣＣＤイメージセンサ６２の光電変換素子において一定期間信号電荷が蓄積される。信号処理回路６３は、ＣＣＤイメージセンサ６２の出力信号に対して種々の信号処理を施して出力する。
また、ＣＣＤイメージセンサ６２は、イメージセンサ駆動回路６４により駆動される。
なお、カメラシステム６０は、光学系６１、ＣＣＤイメージセンサ６２、信号処理回路６３及びイメージセンサ駆動回路６４がモジュール化したカメラモジュールの形態を含む。また、電子機器６２を構成する固体撮像装置としてＣＣＤイメージセンサを用いたが、ＣＣＤイメージセンサの代りに、ＣＭＯＳイメージセンサを適用することもできる。
【００７８】
本実施の形態の電子機器は、図２１のカメラ、あるいはカメラモジュールを備えた例えば携帯電話に代表されるカメラ付き携帯機器などを構成することができる。
さらに、図２１の構成は、光学系５１、半導体撮像素子５２、信号処理回路５３がモジュール化した撮像機能を有するモジュール、いわゆる撮像機能モジュ−ルとして構成することができる。本実施の形態の電子機器は、このような撮像機能モジュールを備えた電子機器を構成することができる。
本実施の形態に係る電子機器によれば、斜め方向から入射する入射光に対して混色の発生を抑制することができるカラーフィルタを用いることにより、色再現性に優れ、色シェーディングの悪化を防ぐことができる、電子機器を提供することができる。
【００７９】
なお、本発明は上述の実施形態例において説明した構成に限定されるものではなく、その他本発明構成を逸脱しない範囲において種々の変形、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】従来のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタにおける断面図である。
【図３】図１に示すカラーフィルタを透過する入射光の分光特性を示す図である。
【図４】従来のカラーフィルタの概略構成を示す断面図である。
【図５】図４に示すカラーフィルタを透過する入射光の分光特性を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。
【図７】Ａは、本発明の第１の実施の形態のカラーフィルタを構成する第１のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。Ｂは、本発明の第１の実施の形態のカラーフィルタを構成する第２のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。
【図８】図６に示すカラーフィルタのＡ−Ａ’線における断面図である。
【図９】Ａは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１０】Ａは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１１】Ａは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１２】Ａは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図６に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。
【図１４】Ａは、本発明の第２の実施の形態のカラーフィルタを構成する第３のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。Ｂは、本発明の第１の実施の形態のカラーフィルタを構成する第４のカラーフィルタの概略構成を示す平面図である。
【図１５】Ａは、図１３に示すカラーフィルタのＢ−Ｂ’線における断面図である。Ｂは、図１３に示すカラーフィルタのＣ−Ｃ’線における断面図である。
【図１６】Ａは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１７】Ａは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１８】Ａは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図１９】Ａは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための平面図である。Ｂは、図１３に示すカラーフィルタの製造方法を説明するための断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態の固体撮像装置の概略構成を示す断面図である。
【図２１】本発明の電子機器の実施の形態のカメラシステムの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０，２０，３０，４０  カラーフィルタ、１１，２１，３１，４１  青色光を透過する領域（ＢＬＵ）、１２，２２，３３  緑色光を透過する領域（ＧＲＥ）、１３，２３，３２  赤色光を透過する領域（ＲＥＤ）、１４，２４，３７，３８  入射光、１５  マイクロレンズ、１６，１７  破線、１８，２７  実線、２６  透光領域、３０Ａ  第１のカラーフィルタ、３０Ｂ  第２のカラーフィルタ、３４  マゼンダ色光を透過する領域（ＭＧ）、３５  シアン色光を透過する領域（ＣＹ）、３６  イエロー色光を透過する領域（ＹＬ）、３９，５１  基体、４０Ａ  第３のカラーフィルタ、４０Ｂ  第４のカラーフィルタ、５０，６２  ＣＣＤイメージセンサ、５２  フォトダイオード（ＰＤ）、５３  垂直電荷転送部、５４  垂直電荷転送電極、５５  絶縁層、５６  遮光層、５６Ａ  張り出し部、５７  Ｂ−ＰＳＧ層、５８  Ｐ−ＳｉＮ層、５９  平坦化層、６０  カメラシステム、６１  光学系（光学レンズ）、６３  信号処理回路、６４  イメージセンサ駆動回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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