(57)【要約】【課題】品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。【解決手段】液状体を液滴Ｄとして吐出する複数のノズル５２が列状に配設されたノズル列５２ａと複数の被吐出領域を備えた基板Ｂとを前記ノズル列５２ａの配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズル５２から前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記被吐出領域は、第１被吐出領域および第２被吐出領域からなり、前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に対する前記液状体の吐出条件は、前記第２被吐出領域に対する前記液状体の吐出条件と異なるように設定されることを特徴とする液状体の吐出方法。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に配設されたノズル列と複数の被吐出領域を備えた基板とを前記ノズル列の配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズルから前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記被吐出領域は、第１被吐出領域および第２被吐出領域からなり、
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に対する前記液状体の吐出条件は、前記第２被吐出領域に対する前記液状体の吐出条件と異なるように設定されることを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記第１被吐出領域の面積は、前記第２被吐出領域の面積と異なることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
前記第１被吐出領域内に前記ノズルから吐出される前記液滴の打ち込み密度は、前記第２被吐出領域内に前記ノズルから吐出される前記液滴の打ち込み密度と異なるように設定されることを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記基板と前記ノズル列との前記主走査方向への相対移動速度は、前記第２被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記基板と前記ノズル列との前記主走査方向への相対移動速度と異なるように設定されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出周期は、前記第２被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出周期と異なるように設定されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項６】
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出量は、前記第２被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出量と異なるように設定されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記吐出工程は、前記ノズル列と前記基板との前記主走査方向の複数回の相対移動の間に、前記ノズル列と前記基板とを前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させるノズル列移動工程を有し、
前記第１被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記主走査方向への相対移動の回数および前記副走査方向の移動量のうち少なくとも一方は、前記第２被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記主走査方向への相対移動の回数および前記副走査方向の移動量のうち少なくとも一方と異なるように設定されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、略矩形形状に形成され、
前記基板上の前記第１被吐出領域の略矩形形状の長辺方向は、前記第２被吐出領域の略矩形形状の長辺方向と略直交する方向に配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項９】
基板上の複数の被吐出領域に複数色の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記複数の被吐出領域は、第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の被吐出領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
基板上の複数の被吐出領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記複数の被吐出領域は、第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の被吐出領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体をノズルから吐出する液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等の分野に、機能性材料を含む液状体を吐出する液状体の吐出方法が適用されている。この液状体の吐出方法には液状体吐出装置が用いられる。液状体吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。カラーフィルタや有機ＥＬ装置の製造では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板等に液滴として吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する。
【０００３】
近年、表示装置は、適用される分野が拡大しており、様々なサイズのパネルが提供されている。また、表示装置の高画質化の要求もあり、それに答えるため高精細、高密度なカラーフィルタや有機ＥＬ装置の成膜を実現しなくてはならない。そのため、様々なサイズの基板に対して、液状体を、高精細、高密度に吐出することが重要になってきている。また、表示装置のパネルの需要が増加し、パネルの生産性を向上させるため、１枚の大型基板から多数のパネルを製造したいとの要求もある。この場合、取り数の効率を追求するため、または、１枚の基板から異なったサイズのパネルを生産するため、様々なレイアウトが検討されている。レイアウトによっては、１枚の大型基板にサイズの異なる画素領域（液状体が吐出される最小単位の領域）を有するパネルが混在する場合がある。
【０００４】
ワーク（基板）に液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出方法として、ワークを第１方向および第１方向と略直交する第２方向に移動させて、第２方向に沿ってあらかじめ位置決めされた複数のキャリッジに配設された液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８７７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の液滴吐出装置は、あらかじめ位置決めされたノズルから液状体を基板の所定の領域に吐出する。なお、ノズルは一定のピッチで列状に構成されており、液状体が吐出される最小単位の領域である画素領域は略矩形形状に形成されている。そのため、領域内の片寄った位置に液状体が吐出されることを防いだり、ノズルの吐出ばらつきを分散させるためにも、できるだけ多くのノズルから画素領域に液状体を供給することが好ましい。
【０００７】
ところが、１枚の基板にサイズの異なる画素領域が混在して構成されていると、画素領域によっては、領域内に液状体を吐出できるノズルが制約され、領域内の片寄った位置に液状体が吐出され領域内に液状体の吐出量の片寄りが生ずる虞がある。液状体の吐出量の片寄りが生ずると、領域に形成される薄膜の厚さの不均一が発生する可能性がある。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜において、膜厚の不均一が発生すると、製造された表示装置の画像品質が低下してしまう。すなわち、１枚の大型基板にサイズの異なる画素領域を有するパネルが混在していると、安定した品質のパネルを効率よく生産することが困難であるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
（適用例１）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に配設されたノズル列と複数の被吐出領域を備えた基板とを前記ノズル列の配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズルから前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記被吐出領域は、第１被吐出領域および第２被吐出領域からなり、前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に対する前記液状体の吐出条件は、前記第２被吐出領域に対する前記液状体の吐出条件と異なるように設定されることを特徴とする液状体の吐出方法。
【００１０】
この方法によれば、ノズルから第１被吐出領域に液状体を供給する吐出条件と第２被吐出領域に液状体を供給する吐出条件とをそれぞれ異ならせて設定することができる。そのため、第１被吐出領域および第２被吐出領域に対して、それぞれの要求仕様もしくは特徴に合致した最適な吐出条件を選択することができる。その結果、１つの基板に異なる仕様もしくは条件の被吐出領域が混在していたとしても、被吐出領域ごとに適切な吐出条件で液状体を供給することができ、液状体の吐出量の片寄り等の不具合を低減することができる。従って、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができ生産性の向上に寄与することができる。
【００１１】
（適用例２）前記第１被吐出領域の面積は、前記第２被吐出領域の面積と異なることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１２】
面積の小さい被吐出領域は、領域内に液状体を吐出できるノズルの数が制約される。この方法によれば、第１被吐出領域に液状体を供給する吐出条件と第２被吐出領域に液状体を供給する吐出条件とをそれぞれ異ならせて設定することができる。そのため、面積の小さい被吐出領域に対しても吐出条件を異ならせることによって所定の液状体を安定的に供給することができる。その結果、液状体の吐出量の片寄り等の不具合を低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。従って、生産性の向上に寄与することができる。
【００１３】
（適用例３）前記第１被吐出領域内に前記ノズルから吐出される前記液滴の打ち込み密度は、前記第２被吐出領域内に前記ノズルから吐出される前記液滴の打ち込み密度と異なるように設定されることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１４】
この方法によれば、第１もしくは第２被吐出領域ごとに吐出条件の１つである液滴の打ち込み密度を調整することができる。そのため、領域内に液状体を吐出することができるノズルの数が少ない被吐出領域に対して、打ち込み密度を増やすことによって、所定の液状体を安定的に供給することができる。その結果、液状体の吐出の片寄り等の不具合を低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。従って、生産性の向上に寄与することができる。
【００１５】
（適用例４）前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記基板と前記ノズル列との前記主走査方向への相対移動速度は、前記第２被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記基板と前記ノズル列との前記主走査方向への相対移動速度と異なるように設定されることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１６】
この方法によれば、第１もしくは第２被吐出領域ごとに基板とノズル列との主走査方向への相対移動速度を調整することができる。そのため、被吐出領域に対する主走査方向の液滴の着弾間隔を変えることができる。すなわち、第１もしくは第２被吐出領域ごとに吐出条件の１つである液滴の主走査方向での打ち込み密度を変えることができる。
【００１７】
（適用例５）前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出周期は、前記第２被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出周期と異なるように設定されることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１８】
この方法によれば、第１もしくは第２被吐出領域ごとにノズルから液状体を吐出する周期を調整することができる。そのため、被吐出領域に対する主走査方向の液滴の着弾間隔を変えることができる。すなわち、第１もしくは第２被吐出領域ごとに吐出条件の１つである液滴の主走査方向での打ち込み密度を変えることができる。
【００１９】
（適用例６）前記吐出工程において、前記第１被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出量は、前記第２被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を吐出するときの吐出量と異なるように設定されることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２０】
この方法によれば、第１もしくは第２被吐出領域ごとに吐出条件の１つであるノズルからの液状体の吐出量を調整することができる。そのため、領域内に液状体を吐出することができるノズルの数が少ない被吐出領域に対して、ノズルからの吐出量を増やすことによって、所定の液状体を安定的に供給することができる。その結果、液状体の吐出の不均一等の不具合を低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。従って、生産性の向上に寄与することができる。
【００２１】
（適用例７）前記吐出工程は、前記ノズル列と前記基板との前記主走査方向の複数回の相対移動の間に、前記ノズル列と前記基板とを前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させるノズル列移動工程を有し、前記第１被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記主走査方向への相対移動の回数および前記副走査方向の移動量のうち少なくとも一方は、前記第２被吐出領域に前記液状体を吐出するときの前記主走査方向への相対移動の回数および前記副走査方向の移動量のうち少なくとも一方と異なるように設定されることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２２】
この方法によれば、主走査方向への吐出動作の間に、第１もしくは第２被吐出領域ごとにノズル列と基板とを副走査方向へ相対移動させる量（距離）を調整することができる。そして、第１もしくは第２被吐出領域ごとに主走査方向への吐出動作を所定の回数だけ実施することができる。すなわち、副走査方向の液滴の着弾間隔を被吐出領域ごとに調整することができる。そのため、第１もしくは第２被吐出領域ごとに吐出条件の１つである液滴の副走査方向の打ち込み密度を変えることができる。
【００２３】
（適用例８）前記第１被吐出領域と前記第２被吐出領域とは、略矩形形状に形成され、前記基板上の前記第１被吐出領域の略矩形形状の長辺方向は、前記第２被吐出領域の略矩形形状の長辺方向と略直交する方向に配置されていることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００２４】
１枚の基板から異なったサイズのパネルを生産する場合、レイアウトによっては、１枚の大型基板にサイズおよび配置の異なる被吐出領域が混在する場合がある。基板上に互いに略直交する方向に配置された第１被吐出領域および第２被吐出領域のどちらか一方の被吐出領域は、その長辺方向がノズル列の方向に沿い、他方の被吐出領域はその短辺方向がノズル列の方向に沿う。そのため、短辺方向がノズル列の方向に沿うように配置された被吐出領域は領域内に液状体を吐出できるノズルの数が制約される。
【００２５】
この方法によれば、第１被吐出領域に液状体を供給する吐出条件と第２被吐出領域に液状体を供給する吐出条件とをそれぞれ異ならせて設定することができる。そのため、短辺方向がノズル列の方向に沿うように配置された被吐出領域に対しても吐出条件を異ならせることによって所定の液状体を安定的に供給することができる。その結果、液状体の吐出量の片寄り等の不具合を低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。従って、生産性の向上に寄与することができる。
【００２６】
（適用例９）基板上の複数の被吐出領域に複数色の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記複数の被吐出領域は、第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、上記の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の被吐出領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２７】
この方法によれば、仕様もしくは条件の異なる第１被吐出領域および第２被吐出領域に吐出される液状体の片寄り等の不具合を低減させることができ、着色層の配列方向が異なる少なくとも２種のカラーフィルタを高品質かつ高い生産性で製造することができる。
【００２８】
（適用例１０）基板上の複数の被吐出領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、前記複数の被吐出領域は、第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、上記の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の被吐出領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２９】
この方法によれば、仕様もしくは条件の異なる第１被吐出領域および第２被吐出領域に形成される発光層の厚さの不均一を低減させることができ、有機ＥＬ素子の配列方向が異なる少なくとも２種の有機ＥＬ装置を高品質かつ高い生産性で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明を、基板上に区画された複数の画素領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造を例にとり説明する。着色層は、画素構成要素であり、複数のノズルから画素領域に向けて着色層形成材料を含む液状体が液滴として吐出されて形成される。この液状体を液滴として吐出するには、以下に説明する液状体吐出装置を用いる。
【００３１】
（液状体吐出装置の構成について）
まず、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置について図１を参照して説明する。図１は、液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図１に示すように、液状体吐出装置１０は、被吐出領域（膜形成領域）を有する基板Ｂを主走査方向に移動させる基板移動機構２０と、複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット９を副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。この液状体吐出装置１０は、基板Ｂとヘッドユニット９との相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、基板Ｂに液状体で所定の機能膜を形成するものである。なお、図中のＸ方向は基板Ｂの移動方向すなわち主走査方向を示し、Ｙ方向はヘッドユニット９の移動方向すなわち副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００３２】
このような液状体吐出装置１０を用いて、例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液状体吐出装置１０の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかを基板Ｂの膜形成領域に液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを形成する。
【００３３】
ここで、液状体吐出装置１０の各構成について説明する。
基板移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動テーブル２２と、移動テーブル２２上に基板Ｂを吸着固定可能に載置するステージ５とを備えている。移動テーブル２２は、ガイドレール２１の内部に設けられた図示しないエアスライダとリニアモータによりＸ方向（主走査方向）に移動する。
【００３４】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する第１の移動台３２とを備えている。第１の移動台３２にはキャリッジ８が設けられ、キャリッジ８には複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を搭載したヘッドユニット９が取り付けられている。そして、第１の移動台３２は、キャリッジ８をＹ方向（副走査方向）に移動させることができる。キャリッジ８は、ヘッドユニット９を基板Ｂに対してＺ方向に所定の間隔をあけて対向配置することができる。
【００３５】
液状体吐出装置１０は、上記構成の他にも、液滴吐出ヘッド５０もしくはノズルごとに吐出された液状体を受けて、その吐出重量を計測する電子天秤等の計測器を有する吐出検査機構７０を備えている。また、液状体吐出装置１０は、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消等のメンテナンスを行うメンテナンス機構６０（図４参照）や、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構が設けられている。これらの各機構は、制御部４（図４参照）によって制御される。図１では、制御部４、液状体供給機構およびメンテナンス機構６０は、図示省略した。
【００３６】
（液滴吐出ヘッドについて）
ここで複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドについて図２および図３を参照して説明する。図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｂに対向する側から見た図である。なお、図３に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。
【００３７】
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００３８】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００３９】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに、駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００４０】
図３に示すように、上述の液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドユニット９のヘッドプレート９ａに配置される。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０Ａの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ１）とヘッド群５０Ｂの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ２）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４１】
各液滴吐出ヘッド５０は、一定のノズルピッチＰで配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。そのため、１つの各液滴吐出ヘッド５０は長さＬなる吐出幅を有している。ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、主走査方向（Ｘ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ方向）に１ノズルピッチＰを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。そのため、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２は、長さ２Ｌの吐出幅を有している。
【００４２】
本実施例では、ノズル列５２ａが１列の場合について説明しているがこれに限定されない。液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル列５２ａが図中Ｘ方向に一定の間隔をおいて、Ｙ方向に１／２ピッチ（Ｐ／２）ずれて配列されていてもよい。このようにすることにより、実質的なノズルピッチＰが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することができる。
【００４３】
（液状体吐出装置の制御系について）
次に液状体吐出装置１０の制御系について図４を参照して説明する。図４は、液状体吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液状体吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液状体吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。駆動部４６は、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス機構６０の各メンテナンス用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ４９と、吐出検査機構７０を制御する吐出量計測用ドライバ６８とを備えている。
【００４４】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００４５】
ＲＡＭ４３は、基板Ｂにパターンを描画するパターンデータを記憶するパターンデータ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うとともに、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むとともに、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４６】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液状体吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｂとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｂとを相対移動させ、その相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の所定数のノズル５２から基板Ｂに液状体を液滴Ｄとして吐出してパターンを形成する。
【００４７】
この場合、Ｘ方向への基板Ｂの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施例の液状体吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出することができる。このとき、基板移動機構２０を制御することによって、液滴吐出ヘッド５０に対して主走査方向への基板Ｂの移動速度および基板Ｂの往復回数等を設定することができる。また、ヘッド移動機構３０を制御することによって、基板Ｂに対して副走査方向への液滴吐出ヘッド５０の移動量（距離）をコントロールすることができる。
【００４８】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データ等の制御情報を液状体吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、ノズル５２の位置情報等に基づいて、基板Ｂ上の吐出領域ごとに必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出させるノズル５２と待機させるノズル５２との分類および吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（言い換えれば、基板Ｂとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数、吐出割合）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミング等の情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。
【００４９】
（液滴吐出ヘッドの駆動制御について）
次に、液滴吐出ヘッドの駆動制御について図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドの制御を説明する図であり、同図（ａ）は、液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図であり、同図（ｂ）は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。
【００５０】
図５（ａ）に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴吐出ヘッド５０を制御する駆動信号ＣＯＭを生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣと称す）７１と、ＤＡＣ７１が生成する駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭライン）のスルーレートデータ（以下、波形データＷＤと称す）の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１で生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。
【００５１】
各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４を備えている。ノズル５２において、振動子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１のグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、振動子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａと称す）は、スイッチング回路７４を介して、ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。
データメモリ７３には、液滴吐出ヘッド５０の駆動タイミングごとに各振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、ＤＡＣ７１に入力される波形データＷＤの種別を規定する波形番号データＷＮとが格納されている。
【００５２】
上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図５（ｂ）に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各振動子５９のセグメント電極５９ａが、ＣＯＭラインに接続された状態となる。ＤＡＣ７１の生成に係る駆動信号の波形データＷＤは設定される。
【００５３】
タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データＷＤに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭラインと接続された状態にある振動子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティ５５の容積（圧力）制御が行われる。ここで、タイミングｔ３における上昇成分としての電位Ｖｈはキャビティ５５を膨張させ、液状体をキャビティ５５内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ５における降下成分としての電位Ｖｈは、キャビティ５５を収縮させ、液状体をノズル５２外に押し出して吐出させる役割を果たしている。
【００５４】
このとき、生成される駆動信号ＣＯＭを変化させることにより、液状体の吐出量および吐出速度等の吐出条件をコントロールすることができる。すなわち、電位Ｖｈを増減することによりノズル５２からの吐出される液状体の吐出量を増減させることができ、タイミングｔ５における降下成分としての電位Ｖｈの傾きを変化させることにより、液状体の吐出速度を変化させることができる。また、タイミングｔ１から次のタイミングｔ１’までの周期Ｔの時間を変化させることにより、ノズル５２から液状体が吐出される間隔（周期Ｔ）を変化させることができる。
【００５５】
（液状体の吐出方法およびカラーフィルタの製造方法）
次に、本実施形態の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図６〜図８を参照して説明する。図６は、カラーフィルタを示す概略図であり、同図（ａ）はカラーフィルタを示す概略平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。図７はカラーフィルタの製造方法を示すフローチャートであり、図８（ａ）〜（ｄ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００５６】
図６（ａ）および（ｂ）に示すように、カラーフィルタ１００は、透明なガラスなどの基板１０１上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色のフィルタエレメントである着色層１０３を有している。着色層１０３が形成される矩形形状の被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂは隔壁部１０４によりマトリクス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ１００は、同色の着色層１０３が直線的に配列するいわゆるストライプ方式のカラーフィルタである。
【００５７】
図６（ｂ）に示すように、隔壁部１０４は、第１隔壁部１０４ａと第２隔壁部１０４ｂとからなる２層構造となっている。第１隔壁部１０４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮光性を有している。第２隔壁部１０４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部１０４を構成する一層構造でもよい。
【００５８】
着色層１０３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカラーフィルタ１００を上述の液状体吐出装置１０を用いて製造する。
図７に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１００の製造方法は、隔壁部１０４を形成する隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部１０４が形成された基板１０１の表面を表面処理する表面処理工程（ステップＳ２）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する液状体の吐出工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層１０３を形成する乾燥工程（ステップＳ４）とを基本的に備えるものである。
【００５９】
図７のステップＳ１では、まず、基板１０１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニングして開口させた図８（ａ）に示す第１隔壁部１０４ａを形成する。次いで、第１隔壁部１０４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部１０４ａ上に第２隔壁部１０４ｂを形成する。これにより図８（ａ）に示すように基板１０１上に開口した矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂを形成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００６０】
図７のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１０１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部１０４ｂに着弾したとしても膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂ内に収まるように、第２隔壁部１０４ｂの少なくとも上面部を撥液処理する。
【００６１】
表面処理方法としては、隔壁部１０４が形成された基板１０１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂが親液処理され、その後、感光性樹脂からなる第２隔壁部１０４ｂの上面が撥液処理される。なお、第２隔壁部１０４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００６２】
図７のステップＳ３では、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５に表面処理された基板１０１を載置する。そして、図３に示したヘッドユニット９の液滴吐出ヘッド５０から異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出する。詳しくは、図８（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１０１と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出する。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出される液状体の吐出量は、予め膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部４のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、所定量の液状体が膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂごとに吐出される。なお、液状体の吐出方法の詳細については後述する。そして、ステップＳ４へ進む。
【００６３】
図７のステップＳ４では、図８（ｄ）に示すように、基板１０１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層１０３を形成する。本実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置に基板１０１をセットして減圧乾燥し、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色の着色層１０３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。ステップＳ３の液状体の吐出工程において、着色層１０３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出すればよい。
【００６４】
カラーフィルタ１００が形成される基板１０１の大きさは、これを用いる表示装置の大きさによる。また、同一の大きさの表示装置であっても画素が高密度に配置されている場合は、対応するカラーフィルタ１００の着色層１０３の配置も高密度な配置が要求される。カラーフィルタ１００をより効率的に生産する方法として、一般的には基板１０１よりも面積が大きいマザー基板Ｂに多面取りする方法が採用されている。だが、マザー基板Ｂの大きさによって面積的に効率的なカラーフィルタ１００のサイズが決まる。面積的に非効率なサイズのカラーフィルタ１００を多面取りすると、空きスペースが生ずる。よって、この空きスペースに異なるサイズのカラーフィルタ１００を面付けしてマザー基板Ｂを無駄なく利用することが考えられる。
【００６５】
マザー基板Ｂ上に異なるサイズのカラーフィルタ１００を面付けする場合、異なるサイズの膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂが１枚のマザー基板Ｂに混在することがある。前述したように膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂにおける液滴の配置は、副走査方向のノズル５２の配置間隔（ノズルピッチＰ）と主走査における吐出タイミングにより決定される。従って、マザー基板Ｂ上において矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂのサイズが異なる場合、特に小さいサイズの膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂは、対向するノズル５２の数が制約される。
【００６６】
本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタ１００の製造方法は、マザー基板Ｂにおける膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂのサイズに基づいて、好適な液状体の吐出方法を提供するものである。詳しくは実施例を参照して説明する。
【００６７】
（第１実施例）
ここで第１実施例のカラーフィルタの製造方法を図９および図１０を参照して説明する。図９は、液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図であり、図１０（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図９および図１０に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。
【００６８】
図９に示すように、第１実施例におけるマザー基板Ｂは、マザー基板Ｂの図中上部の長辺と短辺とに沿ってマトリクス状に複数（４つ）面付けされた第１パネルＥ１と、マザー基板Ｂの図中下部の長辺に沿って複数（５つ）面付けされた第２パネルＥ２とを有している。ここで第２パネルＥ２の面積は第１パネルＥ１の面積よりも小さい。なお、以降マザー基板Ｂの第１パネルＥ１が４つ面付けされた領域を領域Ｆと称し、第２パネルＥ２が５つ面付けされた領域を領域Ｈと称する。
【００６９】
第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列している。同様に、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列している。ここで膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の面積は、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの面積よりも小さい。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とは、同種（同色）の液状体が吐出されるストライプ方向が等しく配置されている。そして、それぞれに所望の液状体が所定量吐出されて着色層１０３が形成される。
【００７０】
本実施例においては、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５にマザー基板Ｂが載置される。本実施例では、Ｙ方向に配置された複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上にセットする。そして、Ｘ方向にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００７１】
この場合、例えば、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂおよび膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向はＹ方向に合致している。また、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａは、Ｙ方向に合致するように配置されている。その結果、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂおよび膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に沿って配置されている。
【００７２】
図１０（ａ）に示すように、Ｙ方向において、例えば、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、３つのノズル５２がかかりそれぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ３滴の液滴Ｄ１が着弾する。着弾した液滴Ｄ１は、膜形成領域１０３ｒ内に濡れ拡がる。また、Ｘ方向においては、吐出タイミングを制御することにより一定の吐出間隔ｍで膜形成領域１０３ｒの所定の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。Ｙ方向における着弾位置は、膜形成領域１０３ｒのＹ方向における配置ピッチとノズルピッチＰとの関係から膜形成領域１０３ｒごとに必ずしも同一とは限らない。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂに対しても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として３滴ずつ吐出する。
【００７３】
図１０（ｂ）に示すように、上記主走査において、例えば、膜形成領域１０３ｒに対して面積が小さい膜形成領域１０３ｒ'には、１つのノズル５２がかかる。そして、それぞれのノズル５２からＸ方向に複数の液滴Ｄ１を吐出する。これにより各膜形成領域１０３ｒ'ごとに１滴の液滴Ｄ１が着弾する。Ｘ方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒの吐出間隔ｍより小さい吐出間隔ｎ（ｍ＞ｎ）で膜形成領域１０３ｒ'の所定の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。Ｙ方向における着弾位置は、膜形成領域１０３ｒ'のＹ方向における配置ピッチとノズルピッチＰとの関係から必ずしも同一とは限らない。なお、第２パネルＥ２における他の膜形成領域１０３ｇ'，１０３ｂ'に対しても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として１滴ずつ吐出する。
【００７４】
なお、吐出間隔ｍと吐出間隔ｎとは、図１に示すノズル列５２ａを有する液滴吐出ヘッド５０が搭載されるヘッドユニット９とマザー基板Ｂが載置されるステージ５とのＸ方向の相対移動速度を図４に示す基板移動機構２０により異ならせることによって、それぞれ違う値に設定することができる。すなわち、マザー基板Ｂの領域Ｈにおけるノズル列５２ａとマザー基板ＢとのＸ方向への相対移動速度を、マザー基板Ｂの領域Ｆにおけるノズル列５２ａとマザー基板ＢとのＸ方向への相対移動速度より遅く設定する。このことによって、領域Ｈ、すなわち膜形成領域１０３ｒ'におけるＸ方向の吐出間隔ｎを、領域Ｆ、すなわち膜形成領域１０３ｒにおけるＸ方向の吐出間隔ｍより狭く設定することができる。換言すると、面積の小さい膜形成領域１０３ｒ'におけるＸ方向の液滴の打ち込み密度を、面積の大きい膜形成領域１０３ｒにおけるＸ方向の液滴の打ち込み密度より大きく設定することができる。
【００７５】
この方法によれば、面積が小さく領域内に液状体を吐出できるノズル５２が制約される膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して、Ｘ方向の液滴の着弾間隔を狭くすることができ、より多くの液滴Ｄ１を供給することができる。すなわち、所定量の液状体を安定して供給することができる。そのことにより、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'において、液状体の着弾位置の片寄りを低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。その結果、カラーフィルタの生産性の向上に寄与することができる。
【００７６】
（第２実施例）
ここで、第２実施例のカラーフィルタの製造方法について、同じく図９および図１０を参照して説明する。なお、第２実施例は、第１実施例に対して、膜形成領域１０３ｒの吐出間隔ｍおよび膜形成領域１０３ｒ'の吐出間隔ｎの調整方法が異なる例である。また、第１実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００７７】
第２実施例においては、吐出間隔ｍと吐出間隔ｎとを、図５（ａ）に示すヘッドドライバ４８により、生成される図５（ｂ）に示す駆動信号ＣＯＭの波形を異ならせることによってそれぞれ違う値に設定する。詳しくは、駆動信号ＣＯＭの周期Ｔを変化させることによりノズル５２から液状体が吐出される吐出タイミングを異ならせる。すなわち、図９に示すマザー基板Ｂの領域Ｈにおける駆動信号ＣＯＭの周期Ｔをマザー基板Ｂの領域Ｆにおける駆動信号ＣＯＭの周期Ｔより短い時間に設定する。このことによって、領域Ｈ、すなわち膜形成領域１０３ｒ'におけるＸ方向の吐出間隔ｎを、領域Ｆ、すなわち膜形成領域１０３ｒにおけるＸ方向の吐出間隔ｍより狭く設定することができる。換言すると、面積の小さい膜形成領域１０３ｒ'におけるＸ方向の液滴の打ち込み密度を、面積の大きい膜形成領域１０３ｒにおけるＸ方向の液滴の打ち込み密度より大きく設定することができる。
【００７８】
この方法によれば、面積が小さく領域内に液状体を吐出できるノズル５２が制約される膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して、Ｘ方向の液滴の着弾間隔を狭くすることができ、より多くの液滴Ｄ１を供給することができる。すなわち、所定量の液状体を安定して供給することができる。そのことにより、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'において、液状体の着弾位置の片寄りを低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。その結果、カラーフィルタの生産性の向上に寄与することができる。
【００７９】
（第３実施例）
ここで、第３実施例のカラーフィルタの製造方法について、図９および図１１を参照して説明する。図１１（ａ）および（ｂ）は、第３実施例の液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、第１実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００８０】
第３実施例においては、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５に、第１実施例および第２実施例と同様に図９に示すマザー基板Ｂが載置される。そして、Ｘ方向にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００８１】
この場合も、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂおよび膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向はＹ方向に合致している。また、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａは、Ｙ方向に合致するように配置されている。その結果、図１１（ａ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂおよび膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に沿って配置されている。
【００８２】
図１１（ａ）に示すように、Ｙ方向において、例えば、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、３つのノズル５２がかかり、それぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ３滴の液滴Ｄ１が着弾する。着弾した液滴Ｄ１は、膜形成領域１０３ｒ内に濡れ拡がる。また、Ｘ方向においては、吐出タイミングを制御することにより一定の吐出間隔ｍで膜形成領域１０３ｒの所定の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂにおいても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として３滴ずつ吐出する。
【００８３】
図１１（ｂ）に示すように、上記主走査において、例えば、膜形成領域１０３ｒに対して面積が小さい膜形成領域１０３ｒ'には、１つのノズル５２がかかる。そして、ノズル５２からＸ方向の相対移動にともない複数の液滴Ｄ２が吐出される。このとき、Ｘ方向の液滴Ｄ２の吐出間隔は、膜形成領域１０３ｒの吐出間隔ｍと同一であるが、ノズル５２から吐出される液状体の吐出量は多く設定されている。従って、図１１（ｂ）に示すように、膜形成領域１０３ｒ'に液滴Ｄ２が着弾したときの着弾径ｄ２は、膜形成領域１０３ｒに液滴Ｄ１が着弾したときの着弾径ｄ１より大きくなる。なお、第２パネルＥ２における他の膜形成領域１０３ｇ'，１０３ｂ'においても同様に所望の液状体を液滴Ｄ２として吐出する。
【００８４】
なお、ノズル５２から吐出される液滴Ｄの量（吐出量）は、図５（ｂ）に示す駆動信号ＣＯＭの電位Ｖｈを増減することにより増減させることができる。本実施例では、膜形成領域１０３ｒ'に対して液状体を吐出するときにノズル５２に付与する駆動信号ＣＯＭの電位Ｖｈ２は、膜形成領域１０３ｒに対して液状体を吐出するときにノズル５２に付与する駆動信号ＣＯＭの電位Ｖｈ１より高く設定されている。そのため、膜形成領域１０３ｒ'に吐出される液滴Ｄ２は、膜形成領域１０３ｒに吐出される液滴Ｄ１に比較して吐出１回当たりの液状体の量が多くなっている。
【００８５】
この方法によれば、面積が小さく領域内に液状体を吐出できるノズル５２が制約される膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して、吐出１回当たりの液滴Ｄ２の量を多くすることができ、より多くの液状体を供給することができる。すなわち、所定量の液状体を安定して供給することができる。そのことにより、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'において、液状体の着弾位置の片寄りを低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。その結果、カラーフィルタの生産性の向上に寄与することができる。
【００８６】
（第４実施例）
ここで、第４実施例のカラーフィルタの製造方法について、図１２および図１３を参照して説明する。図１２は、第４実施例の液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図であり、図１３（ａ）〜（ｃ）は、第４実施例の液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、第１から第３実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００８７】
図１２に示すように、第４実施例におけるマザー基板Ｂは、上述の実施例と同様にマザー基板Ｂの領域Ｆに複数（４つ）面付けされた第１パネルＥ１と、マザー基板Ｂの領域Ｈに複数（５つ）面付けされた第２パネルＥ２とを有している。ここで第２パネルＥ２の面積は第１パネルＥ１の面積よりも小さい。
【００８８】
第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列している。同様に、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列している。ここで膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の面積は、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの面積よりも小さい。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とは、同種（同色）の液状体が吐出されるストライプ方向が等しく配置されている。そして、それぞれに所望の液状体が所定量吐出されて着色層１０３が形成される。
【００８９】
本実施例においては、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５にマザー基板Ｂが載置される。本実施例では、Ｙ方向に配置された複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上にセットする。そして、Ｘ方向にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００９０】
この場合、例えば、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂおよび膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の長辺方向はＹ方向に合致している。また、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａは、Ｙ方向に合致するように配置されている。その結果、図１３（ａ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂおよび膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の長辺方向に沿って配置されている。
【００９１】
図１３（ａ）に示すように、Ｙ方向において、例えば、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、５つのノズル５２がかかりそれぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ５滴の液滴Ｄ１が着弾する。また、Ｘ方向においては、吐出タイミングを制御することにより一定の吐出間隔ｍで膜形成領域１０３ｒの所定の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。このことによって、膜形成領域１０３ｒには１０滴の液滴Ｄ１が供給される。着弾した液滴Ｄ１は、膜形成領域１０３ｒ内に濡れ拡がる。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂにおいても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として１０滴ずつ吐出する。すなわち、面積の大きい膜形成領域１０３ｒには、多数の液滴Ｄ１を塗布することができる。
【００９２】
しかしながら、膜形成領域１０３ｒに対して面積が小さい膜形成領域１０３ｒ'に液滴Ｄを供給するためには、ノズルピッチＰとの関係で液滴Ｄを供給することができるノズル５２の数が制約されてしまう。例えば、図１３（ｂ）に示すように、複数のノズル５２i（ｉは１以上の自然数）からなるノズル列５２ａは、膜形成領域１０３ｒ'の長辺方向に沿って配置されている。ところが、膜形成領域１０３ｒ'の長辺方向の幅は、膜形成領域１０３ｒに比較して小さく形成されているため、例えば、３つのノズル５２1〜５２3から赤の液状体を膜形成領域１０３ｒ'に同時に吐出すると、膜形成領域１０３ｒ'の境界部に赤の液状体がかかり、他の膜形成領域１０３ｇ'に赤の液状体が混入する虞がある。そのため、膜形成領域１０３ｒ'には、２つのノズル５２1，５２2を用いる。
【００９３】
図１に示すステージ５によりマザー基板Ｂを図中Ｘ（＋）方向に移動させながらノズル５２1，５２2から液滴Ｄ１を吐出する１回目の吐出動作を行うと、図１３（ｂ）に示すように、膜形成領域１０３ｒ'には液滴Ｄ１が間隔をおいて２つ配置される。
【００９４】
次いで、図１に示すヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９を図中Ｙ（−）方向に微量移動させる。移動距離を調整することにより、図１３（ｃ）に示すように、膜形成領域１０３ｒ'内には、ノズル５２2,５２3が対向する。そして、マザー基板Ｂを図中Ｘ（−）方向に移動させながらノズル５２2，５２3から液滴Ｄ２を吐出する２回目の吐出動作を行うと、膜形成領域１０３ｒ'のＸ方向中央には液滴Ｄ２がそれぞれ液滴Ｄ１と並んで配置される。このように、マザー基板ＢのＸ方向の移動およびノズル５２iからの液状体の吐出の間に、ヘッドユニット９をＹ方向に微量移動させることによって、膜形成領域１０３ｒ'に対して、Ｙ方向の着弾間隔を詰めて液状体を液滴Ｄ１，Ｄ２として配置することができる。
【００９５】
この方法によれば、面積が小さく領域内に液状体を吐出できるノズル５２が制約される膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して、Ｙ方向の液滴の着弾間隔を狭くすることができ、より多くの液滴Ｄ１，Ｄ２を供給することができる。すなわち、所定量の液状体を安定して供給することができる。そのことにより、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'において、液状体の着弾位置の片寄りを低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。その結果、カラーフィルタの生産性の向上に寄与することができる。
【００９６】
（第５実施例）
ここで、第５実施例のカラーフィルタの製造方法について、図１４を参照して説明する。図１４は、第５実施例の液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図である。なお、第１から第４実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００９７】
図１４に示すように、第５実施例におけるマザー基板Ｂは、他の実施例と同様に、マザー基板Ｂの上部長辺と左右短辺とに沿ってマトリクス状に複数（４つ）面付けされた第１パネルＥ１と、下部長辺に沿って複数（５つ）面付けされた第２パネルＥ２とを有している。第２パネルＥ２の面積は第１パネルＥ１の面積よりも小さい。
【００９８】
第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列している。同様に、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列している。ここで膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの面積は、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の面積よりも大きい。また、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とは、同種（同色）の液状体が吐出されるストライプ方向が互いに直交して配置されている。
【００９９】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において、Ｙ方向に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。そして、Ｘ方向にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【０１００】
この場合、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向はＹ方向に合致している。膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の長辺方向はＸ方向に合致している。また、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａは、ヘッドユニット９の配置方向、すなわちＹ方向に合致するように配置されている。そのため、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向に沿って配置されている。そのため、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに液状体を吐出することができるノズル５２の数と膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'内に液状体を吐出することができるノズル５２の数とは大きく異なる。すなわち、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'内に液状体を吐出することができるノズル５２の数は制約されてしまう。
【０１０１】
本実施例では、この液状体を吐出することができるノズル５２の数が制約された膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'が形成される領域Ｈに対して、上述の第１実施例から第４実施例で説明した液状体の吐出方法のいずれかを適用する。すなわち、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂが形成される領域Ｆに対してノズル５２から液状体を吐出する吐出条件と膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'が形成される領域Ｈに対してノズル５２から液状体を吐出する吐出条件とを異ならせる。
【０１０２】
この液状体の吐出方法によれば、サイズのみならず配置方向が異なる膜形成領域１０３が混在するように形成されたマザー基板Ｂに対して、それぞれの領域ごとに上記の第１実施例から第４実施例で説明した液状体の吐出方法のいずれかを適用することによって、それぞれの膜形成領域１０３に対して必要量の液状体を安定的に供給することができ、吐出量の片寄り等の不具合を低減することができる。そのため、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができ、カラーフィルタの生産性の向上に寄与することができる。
【０１０３】
（第６実施例）
次に前述の液状体の吐出方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法について図１５から図１７を参照して説明する。
（有機ＥＬ装置）
図１５は、有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図である。図１５に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの色要素領域としての被吐出領域Ｑに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの被吐出領域Ｑを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【０１０４】
封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１０５】
本実施形態の素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の被吐出領域Ｑを有するものであって、複数の被吐出領域Ｑを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の被吐出領域Ｑに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の被吐出領域Ｑ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する色要素としての発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、下層バンク６１８ａと被吐出領域Ｑを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、被吐出領域Ｑの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【０１０６】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１５ではこれらの図示を省略している。
【０１０７】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層６１７ｂ）と、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【０１０８】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、更に正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層６１７ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。
【０１０９】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
次に本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法について図１６および図１７に基づいて説明する。図１６は、有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図１７は、有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１６（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１１０】
図１６に示すように、有機ＥＬ装置の製造方法は、素子基板６０１の複数の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に被吐出領域Ｑを区画するように上層バンク６１８ｂを形成するバンク（隔壁部）形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに色要素形成材料としての発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して発光層６１７ｂを吐出描画する色要素描画工程としての発光層描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層６１７ｂを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の被吐出領域Ｑへの付与は、液状体吐出装置１０を用いて行う。
【０１１１】
図１６のステップＳ１１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ１１では、図１７（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そしてステップＳ１２へ進む。
【０１１２】
図１６のステップＳ１２は、バンク（隔壁部）形成工程である。ステップＳ１２では、図１７（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層６１７ｂに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが積層されても発光を阻害することはない。
【０１１３】
続いて、各被吐出領域Ｑを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の前記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、被吐出領域Ｑに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部としてのバンク６１８が形成される。そして、ステップＳ１３へ進む。
【０１１４】
図１６のステップＳ１３は、被吐出領域Ｑを表面処理する工程である。ステップＳ１３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。つぎにＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ１４へ進む。
【０１１５】
図１６のステップＳ１４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ１４では、図１７（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体８２を被吐出領域Ｑに付与する。液状体８２を付与する方法としては、前述の液状体吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体８２は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体８２は被吐出領域Ｑの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。液状体吐出装置１０により、１種の液状体８２を吐出して描画するので、少なくとも１回の主走査により吐出描画が可能である。そしてステップＳ１５へ進む。
【０１１６】
図１６のステップＳ１５は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１５では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体８２の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各被吐出領域Ｑに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後の発光層の形成材料に対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を被吐出領域Ｑごとに変えてもよい。そしてステップＳ１６へ進む。
【０１１７】
図１６のステップＳ１６は、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１を表面処理する工程である。ステップＳ１６では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、次のステップＳ１７で用いられる３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも被吐出領域Ｑの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そしてステップＳ１７へ進む。
【０１１８】
図１６のステップＳ１７は、ＲＧＢ発光層描画工程である。ステップＳ１７では、図１７（ｄ）に示すように、前述の液状体の吐出方法を適用して液状体吐出装置１０の異なる液滴吐出ヘッド５０から複数の被吐出領域Ｑに発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを付与する。液状体８４Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂは、被吐出領域Ｑに濡れ広がって断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、ステップＳ１８へ進む。
【０１１９】
図１６のステップＳ１８は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１８では、図１７（ｅに示すように、吐出描画された各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各被吐出領域Ｑの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そしてステップＳ１９へ進む。
【０１２０】
図１６のステップＳ１９は、陰極形成工程である。ステップＳ１９では、図１７（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層に近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。このようにして出来上がった素子基板６０１を用いて有機ＥＬ装置６００を製造する。
【０１２１】
この有機ＥＬ装置６００の製造方法によれば、発光層描画工程において、面積が異なったり、配列方向が異なる等要求仕様や特徴が相違する直交する素子基板６０１の２種類の被吐出領域Ｑに、前述の液状体の吐出方法を用いて３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを吐出して、３種の色要素としての発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを形成することができる。そして、２種類の被吐出領域Ｑに形成される発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの厚さの不均一を低減させることができるとともに、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の配列方向が異なる少なくとも２種の有機ＥＬ装置６００を高い生産性で製造することができる。
【０１２２】
この方法によれば、面積が小さく領域内に液状体を吐出できるノズル５２が制約される膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して、Ｙ方向の液滴の着弾間隔を狭くすることができ、より多くの液滴Ｄ１，Ｄ２を供給することができる。すなわち、所定量の液状体を安定して供給することができる。そのことにより、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'において、液状体の着弾位置の片寄りを低減することができ、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができる。その結果、カラーフィルタの生産性の向上に寄与することができる。
【０１２３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１２４】
（変形例１）上記実施形態で説明したマザー基板Ｂにおける第１パネルＥ１および第２パネルＥ２のレイアウトは１実施例でありこれに限定されない。第１パネルＥ１および第２パネルＥ２がマザー基板Ｂにおいて、ある規則性を有して配置されていればよい。また、本実施形態で説明した第１被吐出領域および第２被吐出領域のレイアウトは、いわゆるストライプ方式の場合について説明したが、これに限定されない。いわゆるモザイク方式もしくはデルタ方式のレイアウトであってもよい。
【０１２５】
（変形例２）上記実施形態では、第１被吐出領域および第２被吐出領域の面積が異なる場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、第１被吐出領域および第２被吐出領域が同じ面積で配列方向が異なっている場合でも、本実施形態の液状体の吐出方法を適用することができる。
【０１２６】
また、本実施形態では、説明の簡便のためそれぞれの実施例において１つずつの液状体の吐出方法を説明したが、これらの液状体の吐出方法は単独で適用してもよいし、複数の吐出方法を組み合わせて適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液状体吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】液滴吐出ヘッドの制御を説明する図。
【図６】カラーフィルタを示す概略図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図８】カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】第１実施例におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図１０】第１実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１１】第３実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１２】第４実施例におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図１３】第４実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１４】第５実施例におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図１５】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１６】有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。
【図１７】有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１２８】
４…制御部、９…ヘッドユニット、９ａ…ヘッドプレート、１０…液状体吐出装置、２０…基板移動機構、３０…ヘッド移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２，５２i…ノズル、５２ａ…ノズル列、７０…吐出検査機構、１００…カラーフィルタ、１０３…着色層、１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂ…第１被吐出領域としての膜形成領域、１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'…第２被吐出領域としての膜形成領域、６００…有機ＥＬ装置、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、６１７ａ…正孔注入／輸送層、Ｂ…マザー基板（基板）、Ｄ，Ｄ１，Ｄ２…液滴、Ｅ１…第１パネル、Ｅ２…第２パネル、Ｐ…ノズルピッチ。
【図１】
2010104861.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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