(57)【要約】【課題】はんだバンプの品質やはんだバンプの高さにばらつきがないようにはんだバンプを形成することができるはんだ組成物を提供する。【解決手段】はんだ組成物１０は、多数のはんだ粒子１１と、ベース材としての脂肪酸エステル油と、該脂肪酸エステル油に添加されるイソステアリン酸との混合物からなる液状体１２（液体材料）とからなり、例えばパッド電極２２にはんだバンプを形成するために用いられる。【選択図】図１
2010075934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸価が０．０５未満の脂肪酸エステル油と該脂肪酸エステル油に添加されたイソステアリン酸とからなる混合物と、
はんだ粒子と
を含むはんだ組成物。
【請求項２】
上記混合物の酸価が２．０以上３．５以下である請求項１記載のはんだ組成物。
【請求項３】
上記イソステアリン酸は、式（１）で表される脂肪酸または２−（１，３，３−トリメチルブチル）−５，７，７−トリメチルオクタン酸である請求項１記載のはんだ組成物。
【化１】
2010075934.tif 000008
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば半導体基板やインターポーザ基板の上に突起状のはんだバンプを形成してＦＣ（filip chip）やＢＧＡ（ball grid array）を製造する際に用いられるはんだ組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の一般的なはんだバンプの形成方法は、スクリーン印刷法やディスペンス法などを用いて基板のパット電極上にはんだペーストを塗布し、このはんだペーストを加熱してリフローするというものであった。
【０００３】
しかしながら、近年の更なる多電極化、高密度化および微細化に対して、スクリーン印刷法やディスペンス法では対応できなくなりつつある。すなわち、スクリーン印刷法では、メタルマスクの機械的強度が低下したり、メタルマスクの開口からはんだペーストが抜け難くなったりする、という問題が生じてきた。ディスペンス法では、多数のパッド電極の上に一つずつはんだペーストを載せていくので、パッド電極が多くなるほど量産には向かなくなる。
【０００４】
そこで、最近では、はんだバンプを選択的に形成する様々な技術が開発されている。これらの技術は、微細なバンプの形成に適しており、バンプの一括形成もできるので、生産性にも優れる。例えば、特許文献１には、油脂よりなる液状体と該液状体に含まれる遊離脂肪酸からなるフラックス成分とはんだ粒子との混合物からなるはんだ組成物（はんだバンプ形成材料）を、表面に電極が形成された基板上にベタ塗りし、基板を加熱することによって、はんだ粉を溶融させ、隣接電極間で短絡をおこさず、濡れ性の高い電極上に選択的にはんだバンプを形成する技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】国際公開第０５／０９１３５４号公報パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の従来のはんだバンプ形成材料では、ベース材である油脂中に含まれる遊離脂肪酸を主な活性剤として使用していたが、遊離脂肪酸には材料ロット感でのばらつきがあるため、形成されるはんだバンプの品質にもばらつきが生じてしまう問題があった。
【０００７】
したがって、この発明の目的は、はんだバンプの品質やはんだバンプの高さにばらつきがないはんだバンプを形成することができるはんだ組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、この発明は、
酸価が０．０５未満の脂肪酸エステル油と脂肪酸エステル油に添加されたイソステアリン酸とからなる混合物と、
はんだ粒子と
を含むはんだ組成物である。
【０００９】
この発明では、酸価が０．０５未満の脂肪酸エステル油と脂肪酸エステル油に添加されたイソステアリン酸とからなる混合物とを含むようにしているので、はんだバンプの品質やはんだバンプの高さにばらつきがないはんだバンプを形成することができる。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、はんだバンプの品質やはんだバンプの高さにばらつきがないはんだバンプを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。以下に説明する実施の形態は、この発明の具体的な例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、実施の形態に限定されないものとする。
【００１２】
図１は、この発明の一実施の形態によるはんだ組成物を基板上に塗布した状態を示す断面図である。この発明の一実施の形態によるはんだ組成物１０は、多数のはんだ粒子１１と、ベース材としての脂肪酸エステル油と該脂肪酸エステル油に添加されるイソステアリン酸との混合物からなる液状体１２（液体材料）とからなる。はんだ組成物１０は、例えばパッド電極２２にはんだバンプを形成するために用いられる。なお、本明細書において、イソステアリン酸とは、例えば、式（１）で表される脂肪酸や２−（１，３，３−トリメチルブチル）−５，７，７−トリメチルオクタン酸などの主鎖の任意の位置に分岐構造を有する炭素数１８の脂肪酸を意味する。
【００１３】
【化１】
2010075934.tif 000003
【００１４】
脂肪酸エステル油は、酸価が０．０５未満であり、遊離脂肪酸を含まない、または遊離脂肪酸を極めて少量含有する高品質のものを用いる。なお、酸価とは、脂肪酸エステル油に含まれる遊離脂肪酸を中和するのに要する水酸化カリウムのミリグラム数をいう。すなわち、酸価が大きいほど、遊離脂肪酸が多く含まれることになる。脂肪酸エステル油は、特に限定されないが、例えば、熱・酸化安定性に優れたネオペンチルポリオールエステルが好ましい。この脂肪酸エステル油に対して、イソステアリン酸を添加する。イソステアリン酸は、脂肪酸エステル油とイソステアリン酸との混合物の酸価が２．０以上３．５以下となるように添加することが好ましい。脂肪酸エステル油とイソステアリン酸との混合物の酸価は、２．０以上３．５以下とされることで、はんだバンプのばらつきがより少なくさらにはんだバンプの高さが最適なものとなる。
【００１５】
脂肪酸エステル油とイソステアリン酸との混合物からなる液状体１２は、常温で流動して母材の一例である基板２０に層状に堆積する粘性を有している。はんだ粒子１１は、液状体１２内を母材の一例である基板２０に向けて沈降するとともに、液状体１２内に均一に分散可能な混合比および粒径を有する粒剤である。
【００１６】
また、はんだ粒子１１の表面酸化膜には自然酸化膜（図示せず）のみを有する。液状体
１２は、フラックス成分としてイソステアリン酸を含み、イソステアリン酸は、はんだ粒子１１の融点以上に加熱された状態で、その反応生成物によりはんだ粒子１１同士の合体を抑制しつつ、はんだ粒子１１とパッド電極２２とのはんだ付けを促進するとともに、パッド電極上２２に形成されたはんだ皮膜とはんだ粒子１１との合体を促進する作用を有する。
【００１７】
はんだ粒子１１は液状体１２中に均一に分散している必要があるので、はんだ組成物１０は使用直前に攪拌しておくことが望ましい。はんだ粒子１１としては、例えば、錫鉛系はんだまたは鉛フリーはんだ等を使用する。隣接するパッド電極２２同士の周端間の最短距離ａよりも、はんだ粒子１１の直径ｂを小さくするとよい。この場合、隣接する二つのパッド電極２２上のはんだ皮膜にそれぞれ到達したはんだ粒子１１同士は、接触しないため、合体してはんだブリッジを形成することがない。
【００１８】
はんだ組成物１０は、パッド電極２２を有する基板２０上に、常温において自然落下により滴下させる。これだけで、基板２０上に均一な厚みのはんだ組成物１０を塗布できる。つまり、スクリーン印刷やディスペンサを用いることなく、均一な膜厚のはんだ組成物１０の塗布膜を基板２０上に形成する。塗布の均一性ははんだバンプのばらつきに影響を及ぼすため、できる限り均一に塗布する。その後、基板２０全体を均一に加熱することにより、はんだバンプの形成が可能となる。加熱は短時間ではんだ融点以上まで昇温する。短時間で昇温することにより、プロセス中での有機酸活性力の低下を抑えることができる。
【００１９】
基板２０は、例えばシリコンウエハである。基板２０の表面２１には、パッド電極２２が形成されている。パッド電極２２上には、本実施形態の形成方法によってはんだバンプが形成される。基板２０は、はんだバンプを介して、他の半導体チップや配線板に電気的および機械的に接続される。パッド電極２２は、形状が例えば円であり、直径ｃが例えば４０μｍである。隣接するパッド電極２２の中心間の距離ｄは、例えば８０μｍである。はんだ粒子１４の直径ｂは、例えば３〜１５μｍである。
【００２０】
パッド電極２２は、基板２０上に形成されたアルミニウム電極２４と、アルミニウム電極２４上に形成されたニッケル層２５と、ニッケル層２５上に形成された金層２６とからなる。ニッケル層２５および金層２６はＵＢＭ（under barrier metalまたはunder bump metallurgy）層である。基板２０上のパッド電極２２以外の部分は、保護膜２７で覆われている。
【００２１】
パッド電極２２は、例えば、以下のようにして形成できる。まず、基板２０上にアルミニウム電極２４を形成し、アルミニウム電極２４以外の部分にポリイミド樹脂またはシリコン窒化膜によって保護膜２７を形成する。これらは、例えばフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて形成される。続いて、アルミニウム電極２４表面にジンケート処理を施した後に、無電解めっき法を用いてアルミニウム電極２４上にニッケル層２５および金層２６を形成する。このＵＢＭ層を設ける理由は、アルミニウム電極２４にはんだ濡れ性を付与するためである。
【００２２】
はんだ粒子１１としては、例えばＳｎ−Ｐｂ（融点１８３℃）、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ（融点２１８℃）、Ｓｎ−Ａｇ（融点２２１℃）、Ｓｎ−Ｃｕ（融点２２７℃）、その他の鉛フリーはんだ等を使用する。
【００２３】
この発明の一実施の形態によるはんだ組成物を用いて以下に説明するようにしてはんだバンプを形成できる。以下、図２および図３を参照しながらこの発明の一実施の形態によるはんだ組成物を用いたはんだバンプの形成方法について説明する。なお、図１と同じ部分は同じ符号を付すことにより説明を省略する。
【００２４】
図２および図３は、この発明の一実施の形態によるはんだ組成物を用いたはんだバンプの形成方法を説明するための断面図である。図２は滴下工程であり、図２Ａ〜図２Ｃの順に工程が進行する。図３は、リフロー工程であり、図３Ａ〜図３Ｃの順に工程が進行する。
【００２５】
図２では、基板２０上のパッド電極２２の図示を略している。まず、図２Ａに示すように、受け容器３０に基板２０を入れる。そして、注ぎ容器３１中で必要に応じはんだ組成物１０を撹拌した後、注ぎ口３２からはんだ組成物１０を基板２０上に滴下させる。すると、はんだ組成物１０が自重で広がって均一な厚みになる。このときは、常温でよく、しかも、はんだ組成物１０の自然落下を利用できる。そのため、印刷機や吐出機を用いなくても、はんだ組成物１０を簡単に基板２０上に塗布できる。
【００２６】
なお、受け容器３０は、リフロー工程で基板２０とともに加熱するので、耐熱性があって熱伝導が良く、かつはんだ粒子１１によるはんだ濡れが生じない金属例えばアルミニウムからなる。また、堆積工程の途中または後に、基板１０を水平に回転させることによって、基板２０上のはんだ組成物１０を均一な厚みにしてもよい。基板１０を水平に回転させるには、市販のスピンコート装置を用いればよい。
【００２７】
堆積工程の終了は、はんだ組成物１０中に基板２０が浸漬されるまで、はんだ組成物１０を滴下するか否かによって二通りに分かれる。図２Ｂは、はんだ組成物１０中に基板２０を浸漬しない場合である。この場合、基板２０上に層状に堆積するはんだ組成物１０の厚みｔ１は、はんだ組成物１０の主に表面張力および粘性によって決まる値である。一方、図２Ｃは、はんだ組成物１０中に基板２０を浸漬する場合である。この場合、基板２０上に層状に堆積するはんだ組成物１０の厚みｔ２は、滴下するはんだ組成物１０の量に応じた所望の値に設定できる。
【００２８】
以上の堆積工程によって、図１に示すように、複数のパッド電極２２が離間して設けられた基板２０上に、はんだ組成物１０がベタ塗りによって載置されたことになる。このとき、複数のパッド電極２２上およびこれらの間隙の保護膜２７上を含む面に、全体的にはんだ組成物１０が載置される。はんだ組成物１０は、ちょうどインクのような状態である。
【００２９】
続いて、リフロー工程で、基板２０およびはんだ組成物１０の加熱が始まると、液状体１２の粘性が更に低下する。すると、図３Ａに示すように、はんだ粒子１１は、液状体１２よりも比重が大きいので、沈降してパッド電極２２上および保護膜２７上に積み重なる。
【００３０】
続いて、図３Ｂに示すように、はんだ組成物１０がはんだ粒子１１の融点以上に加熱される。このとき、液状体１２に含まれる有機酸（フラックス成分）の作用によって、次のような状態が引き起こされる。まず、はんだ粒子１１同士は、有機酸の反応生成物によって合体が抑えられる。ただし、図３Ｂでは図示していないが、一部のはんだ粒子１１同士は合体して大きくなる。つまり、はんだ粒子１１同士は合体しても一定の大きさ以下であれば問題ない。一方、はんだ粒子１１は、パッド電極２０上に広がって界面に合金層を形成する。その結果、パッド電極２０上にはんだ皮膜２３’が形成され、はんだ皮膜２３’に更にはんだ粒子１１が合体する。すなわち、はんだ皮膜２３’は成長して、図３Ｃに示すようなはんだバンプ２３となる。
【００３１】
なお、図３Ｃにおいて、はんだバンプ２３の形成に使用されなかったはんだ粒子１１は、残った液状体１２とともに後工程で洗い落とされる。
【００３２】
この発明の一実施の形態によるはんだ組成物１０によれば、表面に自然酸化膜のみを有する多数のはんだ粒子１１からはんだ粉末（集合体）が構成され、はんだ粉末とともに混合される液状体１２にイソステアリン酸（フラックス成分）が含まれ、このイソステアリン酸の反応生成物によって、フロー時にはんだ粒子１１同士が合体しにくく、はんだ粒子１１がパッド電極２２上に広がってパッド電極２２上のはんだ皮膜２３’と合体することにより、パッド電極２２間でのはんだブリッジの発生を抑えつつ、はんだバンプ２３を形成できる。しかも、はんだ粒子１１の酸化膜を形成する工程が不要であるので製造工程を簡略化できるとともに、酸化膜の膜厚の正確な制御も不要になるのではんだバンプ２３を確実に高密度化および微細化できる。また、液状体１２は、酸価が０．０５未満の脂肪酸エステル油と該脂肪酸エステル油に添加されるイソステアリン酸とから構成されているので、品質や高さのばらつきがないようにはんだバンプを形成することができる。
【実施例】
【００３３】
この発明の効果を、以下の試験例を用いて説明する。ただし、この発明の技術的範囲は以下の例に限定されるものではない。
【００３４】
ベース材としての脂肪酸エステル油に添加する最適な脂肪酸の検討を行った。脂肪酸は、表１に示す複数の脂肪酸について検討を行った。表１中のＨＬＢ（Hydrophile-Lipophile Balance;親水性-親油性バランス）は、その数値が低いほど親油性が大きく、高いほど親水性が大きいという目安となり、以下の式により求められる。
（式）
ＨＬＢ＝７＋Σ（親水性原子団ＨＬＢ値）＋Σ（疎水性原子団ＨＬＢ値）
（-ＣＯＯＨのＨＬＢ値：２．１、−ＣＨ2−のＨＬＢ値：−０．４７５、−ＣＨ3のＨＬＢ値：−０．４７５）
【００３５】
【表１】
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【００３６】
[相溶性確認]
＜試験例１−１＞
ベース材としての以下の脂肪酸エステル油に対して、オクタン酸を添加し、ベース材との相溶性を目視観察にて評価した。オクタン酸は、添加後の混合物の酸価が３程度になる量を添加した。
ベース材（ＨＡ−０１と表記する）：ペンタエリストール混合コンプレックスエステル
比重１．１０２（２５℃）、動粘度２１．００ｃｓｔ[センチストークス]（１００℃）／１６４ｃｓｔ（４０℃）、酸価０．０５未満
【００３７】
＜試験例１−２＞
オクタン酸の換わりにステアリン酸を添加した点以外は、試験例１と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００３８】
＜試験例１−３＞
オクタン酸の換わりにコハク酸を添加した点以外は、試験例１と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００３９】
＜試験例１−４＞
オクタン酸の換わりにセバシン酸を添加した点以外は、試験例１と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４０】
＜試験例１−５＞
添加脂肪酸としてオクタン酸の換わりにラウリン酸を添加した点以外は、試験例１と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４１】
＜試験例１−６＞
添加脂肪酸としてオクタン酸の換わりにイソステアリン酸を添加した点以外は、試験例１と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４２】
＜試験例１−７＞
ベース材として以下の脂肪酸エステル油を用いた点以外は、試験例１−１と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
ベース材（ＨＡ−０４と表記する）：ペンタエリスリトール混合エステル
比重０．９７０（２５℃）、動粘度１７．８０ｃｓｔ（１００℃）／１７５ｃｓｔ（１００℃）、酸価０．０５未満
【００４３】
＜試験例１−８＞
オクタン酸の換わりにステアリン酸を添加した点以外は、試験例１−７と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４４】
＜試験例１−９＞
オクタン酸の換わりにコハク酸を添加した点以外は、試験例１−７と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４５】
＜試験例１−１０＞
オクタン酸の換わりにセバシン酸を添加した点以外は、試験例１−７と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４６】
＜試験例１−１１＞
添加脂肪酸としてオクタン酸の換わりにラウリン酸を添加した点以外は、試験例１−７と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４７】
＜試験例１−１２＞
添加脂肪酸としてオクタン酸の換わりにイソステアリン酸を添加した点以外は、試験例１−７と同様にして相溶性を目視観察にて評価した。
【００４８】
評価結果を表２に示す。
【００４９】
【表２】
2010075934.tif 000005
【００５０】
［評価］
表２に示すように、イソステアリン酸、オクタン酸、ラウリン酸はベース材との相溶性が良好であった。一方、ステアリン酸は白濁が生じ、コハク酸およびセバシン酸は酸が析出した。
【００５１】
［形成バンプ高さばらつき比較］
＜試験例２−１＞
まず、ベース材としての以下の脂肪酸エステル油に対して、イソステアリン酸を添加した混合物を作製した。イソステアリン酸は、混合物の酸価が３程度になる量を添加した。
ベース材（ＨＡ−０４）：ペンタエリスリトール混合エステル
比重０．９７０（２５℃）、動粘度１７．８０ｃｓｔ（１００℃）／１７５ｃｓｔ（１００℃）、酸価０．０５未満
次に、この混合物に対して、以下のはんだ粉末４ｗｔ％を分散させて、ペースト状のはんだ組成物を作製した。
はんだ粉末：合金組成９６．５ｗｔ％Ｓｎ−３．０ｗｔ％Ａｇ−０．５ｗｔ％Ｃｕ、融点２１７℃〜２１９℃、粒度  中心径２．９μｍ（分布２〜５μｍ）
【００５２】
４マスアルミジグのマス内に、はんだバンプ形成用のパッド電極が縦１２０個×横１２０個配置された基板を配した後、上記はんだ組成物１ｇを供給し、基板をはんだ組成物に浸漬させた。
【００５３】
次に、上記状態で基板が配されたアルミジグを、リフロー装置で、リフロー加熱して基板のバッド電極上にはんだバンプを形成した。リフロー加熱は、図４に示す以下の３つのリフロー条件で行った。
［リフロー条件］
ＳＴＤ Profilｅ；Peak２６０℃（図４中線ａに示す）
ＰＨ３０ Profilｅ;Keep２００℃ ３０sec/Peak２６０℃（図４中線ｂに示す）
ＰＨ６０ Profilｅ;Keep２００℃ ６０sec/Peak２６０℃（図４中線ｃに示す）
【００５４】
次に、はんだバンプの高さを、以下の測定機器を用いて、基板の中央付近の１００点測定し、測定結果をグラフおよび表にまとめて、はんだバンプの高さのばらつきの検討を行った。また、目視観察にて、はんだバンプの外観を評価した。
測定機器：レーザ顕微鏡（キーエンス製  商品名：ＶＫ−８５００）
【００５５】
＜試験例２−２＞
イソステアリン酸の換わりに、オクタン酸を添加した点以外は、試験例２−１と同様にして、はんだバンプの高さのばらつきの検討を行った。また、目視観察にて、はんだバンプの外観を評価した。
【００５６】
＜試験例２−３＞
イソステアリン酸の換わりに、ステアリン酸を添加した点以外は、試験例２−１と同様にして、はんだバンプの高さのばらつきの検討を行った。また、目視観察にて、はんだバンプの外観を評価した。
【００５７】
＜試験例２−４＞
イソステアリン酸の換わりに、ラウリン酸を添加した点以外は、試験例２−１と同様にして、はんだバンプの高さのばらつきの検討を行った。また、目視観察にて、はんだバンプの外観を評価した。
【００５８】
試験例２−１〜試験例２−４の測定結果をまとめたグラフを図５および図６に示し、試験例２−１〜試験例２−４の測定結果をまとめた表を表３に示す。
【００５９】
【表３】
2010075934.tif 000006
【００６０】
［評価］
図５〜６および表３に示すように、イソステアリン酸を添加した試験例では、バンプ高さのばらつきが良好であった。また、目視観察の結果、イソステアリン酸を添加した場合が最も良好な外観であった。
【００６１】
［バンプ高さ評価］
＜試験例３−１＞
まず、ベース材としての以下の脂肪酸エステル油に対して、イソステアリン酸を添加した混合物を作製した。イソステアリン酸は、混合物の酸価が２程度になる量を添加した。
ベース材（ＨＡ−０４）：ペンタエリスリトール混合エステル
比重０．９７０（２５℃）、動粘度１７．８０ｃｓｔ（１００℃）／１７５ｃｓｔ（１００℃）、酸価０．０５未満
次に、この混合物に対して、以下のはんだ粉末４ｗｔ％を分散させて、ペースト状のはんだ組成物を作製した。
はんだ粉末：合金組成９６．５ｗｔ％Ｓｎ−３．０ｗｔ％Ａｇ−０．５ｗｔ％Ｃｕ、融点２１７℃〜２１９℃、粒度  中心径２．９μｍ（分布２〜５μｍ）
【００６２】
４マスアルミジグのマス内に、はんだバンプ形成用のパッド電極が縦１２０個×横１２０個配置された基板を配した後、上記はんだ組成物１ｇを供給し、基板をはんだ組成物に浸漬させた。
【００６３】
次に、上記状態で基板が配されたアルミジグを、リフロー装置でリフロー加熱して基板のバッド電極上にはんだバンプを形成した。
【００６４】
次に、はんだバンプの高さを、以下の測定機器を用いて、基板の中央付近の１００点測定し、測定結果をグラフおよび表にまとめて、はんだバンプの高さの検討を行った。
測定機器：レーザ顕微鏡（キーエンス製  商品名：ＶＫ−８５００）
【００６５】
＜試験例３−２＞
イソステアリン酸の添加量を、混合物の酸価が２．５になる量とした点以外は、試験例３−１と同様にして、はんだバンプの高さ検討を行った。
【００６６】
＜試験例３−３＞
イソステアリン酸の添加量を、混合物の酸価が３．５になる量とした点以外は、試験例３−１と同様にして、はんだバンプの高さ検討を行った。
【００６７】
＜試験例３−４＞
イソステアリン酸の添加量を、混合物の酸価が４になる量とした点以外は、試験例３−１と同様にして、はんだバンプの高さ検討を行った。
【００６８】
＜試験例３−５＞
イソステアリン酸の添加量を、混合物の酸価が５になる量とした点以外は、試験例３−１と同様にして、はんだバンプの高さ検討を行った。
【００６９】
試験例３−１〜試験例３−５の測定結果をまとめたグラフを図７および図８に示し、試験例３−１〜試験例３−５の測定結果をまとめた表を表４に示す。
【００７０】
【表４】
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【００７１】
［評価］
図７〜８、表４に示すように、最適なはんだバンプの高さが得られる観点から、イソステアリン酸を、脂肪酸エステル油とイソステアリン酸との混合物の酸価が２以上３．５以下となるように添加することが好ましいことがわかった。なお、混合物の酸価を２．０未満にした場合は、はんだバンプの高さが十分なものを形成することができない傾向にある。
【００７２】
この発明は、上述したこの発明の実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えば、はんだ組成物には、必要に応じて、添加剤を含むようにしてもよい。例えば、シリコンウエハ（ＦＣ）の代えて、微細ピッチのサブストレートやインターポーザ、更に配線板（ＢＧＡ）を用いてもよい。なお、また、電極材料は、アルミニウムに限らず、Ａｌ‐Ｓｉ、Ａｌ‐Ｓｉ‐Ｃｕ、Ａｌ‐Ｃｕ、Ｃｕなどを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】この発明の一実施の形態によるはんだ組成物を基板上に塗布した状態を示す断面図である。
【図２】この発明の一実施の形態によるはんだ組成物を用いたはんだバンプの形成方法を説明するための断面図である。
【図３】この発明の一実施の形態によるはんだ組成物を用いたはんだバンプの形成方法を説明するための断面図である。
【図４】ＲＦプロファイルを示すグラフである。
【図５】試験例２−１〜試験例２−４の測定結果をまとめたグラフである。
【図６】試験例２−１〜試験例２−４の測定結果をまとめたグラフである。
【図７】試験例３−１〜試験例３−５の測定結果をまとめたグラフである。
【図８】試験例３−１〜試験例３−５の測定結果をまとめたヒストグラムである。
【符号の説明】
【００７４】
１０・・・はんだ組成物
１１・・・はんだ粒子
１２・・・液状体
２０・・・基板
２２・・・パッド電極
２３・・・はんだバンプ
２４・・・アルミニウム電極
２５・・・ニッケル層
２６・・・金層
２７・・・保護膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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