(57)【要約】【課題】  Ｘ線管装置の故障を防止したり、使用不能となる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、使用方法改善のための検討が行えるＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線装置本体１０１に取り付けられ、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させることで、一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管装置１０であって、Ｘ線装置本体１０１の制御部５０と通信可能とする記憶部１８を備え、記憶部１８は、制御部５０と通信することにより、フィラメント１２の前回の使用終了日時情報、フィラメント１２への通電時間情報、フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。【選択図】図１
2010250955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出射窓が形成されている筐体と、
前記筐体の内部に端面が配置された陽極であるターゲットと、
前記筐体の内部に配置された陰極であるフィラメントとを備え、
前記ターゲット及びフィラメントがＸ線装置本体の電源と電気的に接続されてＸ線装置本体に取り付けられることにより、前記フィラメントから放射された熱電子をターゲットの端面に衝突させることで、前記ターゲットの端面で発生した一次Ｘ線を筐体の出射窓から出射するＸ線管装置であって、
前記Ｘ線装置本体の制御部と通信可能とする記憶部を備え、
前記記憶部は、前記Ｘ線装置本体の制御部と通信することにより、フィラメントの前回の使用終了日時情報、フィラメントへの通電時間情報、フィラメントへの通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶することを特徴とするＸ線管装置。
【請求項２】
前記筐体の温度情報を検出する温度センサを備え、
前記温度センサがＸ線装置本体の制御部と電気的に接続されてＸ線装置本体に取り付けられることにより、前記Ｘ線装置本体の制御部に温度情報を送信して、
前記記憶部は、前記Ｘ線装置本体の制御部と通信することにより、温度情報を記憶することを特徴とする請求項１に記載のＸ線管装置。
【請求項３】
前記記憶部は、Ｘ線管装置の種類を特定する種類情報を記憶することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＸ線管装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載のＸ線管装置と、
前記Ｘ線管装置を取付け取外し可能とするＸ線装置本体とを備えるＸ線装置であって、
試料に一次Ｘ線が照射されることにより、当該試料で発生した二次Ｘ線の強度を検出する検出器と、
前記ターゲット及びフィラメントに電圧を印加する電源と、
前記電源を制御することにより、前記検出器で検出された二次Ｘ線の強度を取得する制御部とを備え、
前記Ｘ線装置本体の制御部は、フィラメントの前回の使用終了日時情報、フィラメントへの通電時間情報、フィラメントへの通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を、前記Ｘ線管装置の記憶部に記憶させることを特徴とするＸ線装置。
【請求項５】
前記Ｘ線装置本体の制御部は、前記Ｘ線管装置の記憶部からフィラメントの前回の使用終了日時情報及び／又は前回高電圧の印加を終了した日時情報を受信することにより、フィラメントの前回の使用終了日時情報及び／又は前回高電圧の印加を終了した日時情報に基づいて、前記電源を制御することを特徴とする請求項４に記載のＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一次Ｘ線を出射するＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、一般的なエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（Ｘ線装置）の構成を示す図である。また、図４は、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１に取り付けたときのＸ線管装置１１０を示す断面図であり、図５は、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１から取り外したときのＸ線管装置１１０を示す断面図である。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００は、一次Ｘ線を出射するＸ線管装置１１０と、Ｘ線管装置１１０を取付け取外し可能とする蛍光Ｘ線分析装置本体１０１とを備える（例えば、特許文献１参照）。
蛍光Ｘ線分析装置本体１０１は、試料Ｓが配置される試料台２０と、蛍光Ｘ線（二次Ｘ線）のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを検出する検出器３０と、高電圧を印加する高圧電源４０と、低電圧を印加する低圧電源９０と、蛍光Ｘ線分析装置１００全体を制御する制御部１５０とを備える。
【０００３】
試料台２０には、円形状の開口２１が形成されており、取り付けられたＸ線管装置１１０から出射する一次Ｘ線が開口２１に入射するように構成されている。これにより、試料Ｓの分析面が開口２１を塞ぐように当接されることで、試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されることになる。試料Ｓの分析面が一次Ｘ線に照射されると、試料Ｓの分析面で蛍光Ｘ線が発生する。
検出器３０は、導入窓３１が形成されており、試料Ｓの分析面で発生する蛍光Ｘ線が導入窓３１に入射するように構成されている。これにより、検出器３０は、蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを検出する。
【０００４】
高圧電源４０は、例えば、電圧値１ｋＶ〜５０ｋＶ程度及び電流値１μＶ〜１ｍＡのうちから自由に選択して、選択した電圧値を印加し電流を流すことができるようになっている。
低圧電源９０は、電圧値（例えば、２〜３Ｖ等）を印加できるようになっている。
制御部１５０は、ＣＰＵ６０とメモリ７０とを備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置８１と、キーボードやマウス等を有する入力装置８２とが連結されている。また、ＣＰＵ６０が処理する機能をブロック化して説明すると、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とに基づいて試料Ｓ中に含まれる元素の濃度を算出する検出器制御部６１と、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧を印加するととともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧を印加する電源制御部６２とを有する。
【０００５】
Ｘ線管装置１１０は、陽極であるターゲット１１と陰極であるフィラメント１２とを内部に有する円筒形状の内側筐体１３と、内側筐体１３を内部に有する円筒形状の外側筐体１４と、温度情報Ｗ（ｔ）を検出するための温度センサ１７とを有する。
内側筐体１３の側壁には、円形状の開口１３ａが形成されており、開口１３ａと対向する位置にターゲット１１の端面が配置されるとともに、ターゲット１１の端面と対向する位置にフィラメント１２の先端が配置されている。そして、詳細は後述するが、ターゲット１１は、高電圧用ケーブル１５を介して高圧電源４０と電気的に接続されるとともに、フィラメント１２は、低電圧用ケーブル１６を介して低圧電源９０と電気的に接続されるようになっている。
これにより、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧が印加されるとともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧が印加されることで、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させることで、ターゲット１１の端面で発生した一次Ｘ線を開口１３ａから出射する。
【０００６】
外側筐体１４の内部には、絶縁油が充填されており、外側筐体１４の内部の中央部に内側筐体１３が配置される。これにより、ターゲット１１で発生する熱を絶縁油の対流により外側筐体１４に逃がすことができる。さらに、絶縁油が絶縁材の役割を果すことになる。
そして、外側筐体１４の側壁には、内側筐体１３の開口１３ａと連結される円筒形状の窓部１４ａが形成されるとともに、端面には絶縁体である円筒形状の高電圧用開口部１４ｂと低電圧用接続部１４ｃとが形成されている。
ターゲット１１の他端面と高電圧用開口部１４ｂの金属製の端部１４ｄとは、配線１１ｂを介して接続されており、高電圧用開口部１４ｂに、高圧電源４０の陽極と接続された高電圧用ケーブル１５の導線１５ａが挿入されることにより、高電圧用ケーブル１５の導線１５ａの先端部と高電圧用開口部１４ｂの端部１４ｄとが電気的に接続され、その結果、ターゲット１１と高圧電源４０の陽極とが電気的に接続されるようになっている。また、高圧電源４０の陰極と接続された高電圧用ケーブル１５の導線１５ｂが高電圧用開口部１４ｂの入口部でアースされるようになっている。
このとき、高電圧用ケーブル１５の導線１５ａの先端部と導線１５ｂの先端部とは高電圧が印加されており、導線１５ａの先端部と導線１５ｂの先端部との間で、放電を起こさないように沿面距離を大きくするために、高電圧用開口部１４ｂの端部１４ｄは、外側筐体１４の内部まで伸びている。
【０００７】
また、フィラメント１２と低電圧用接続部１４ｃとは、電気的に接続されており、低電圧用接続部１４ｃには、低圧電源９０の陽極と接続された低電圧用ケーブル１６の導線１６ａの先端部と、低圧電源９０の陰極と接続された低電圧用ケーブル１６の導線１６ｂの先端部とが電気的に接続され、その結果、フィラメント１２と低圧電源９０とが電気的に接続されるようになっている。なお、低電圧用ケーブル１６の導線１６ａの先端部と導線１６ｂの先端部とは低電圧が印加されており、危険でないので、外側筐体１４の表面で電気的に接続される。
【０００８】
温度センサ１７は、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部１５０と電気的に接続されるようになっている。このような温度センサ１７は、例えば、サーミスタ等である。ターゲット１１に高電圧を印加するとともに、フィラメント１２に低電圧を印加しつづけると、ターゲット１１に印加する高電圧と流す電流とが大きい場合にＸ線管装置１１０が高温になりすぎて、Ｘ線管装置１１０が故障することがあるが、制御部１５０で温度センサ１７から温度情報Ｗ（ｔ）を所定の時間間隔（例えば、数ミリ秒間隔）で取得することで、温度情報Ｗ（ｔ）がある温度以上になると、高電圧及び低電圧の印加を停止することにより、Ｘ線管装置１１０が故障することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−００３２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００では、Ｘ線管装置１１０が高温になるような条件で頻繁に使用する等の様々な理由で、Ｘ線管装置１１０のターゲット１１が劣化したり、フィラメント１２が寿命になったりして故障するので、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１から故障したＸ線管装置１１０を取り外し、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１に新品のＸ線管装置１１０を取り付ける必要がある。
Ｘ線管装置１１０の交換時期の目安（例えば、１年間等）は蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の製造業者から示されるが、実際にＸ線管装置１１０がいつ故障するかわからないため、急に蛍光Ｘ線分析装置１００が使用できなくなると困るので、制御部１５０が、Ｘ線管装置１１０の使用時間情報（例えば、「フィラメント１２への通電時間情報」や「ターゲット１１への高電圧印加時間情報」等）をメモリ７０に記憶して表示装置８１に表示させることで、使用者に交換時期が近づいていることを知らせることが考えられる。また、Ｘ線管装置１１０の使用時間情報に基づいて、製造業者に交換作業者の派遣を依頼し、Ｘ線管装置１１０を交換することが考えられる。
【００１１】
また、長期間（例えば、３０日間等）使用されていなかったＸ線管装置１１０を使用するときには、ターゲット１１に高電圧を印加するとともに、フィラメント１２に低電圧を印加すると、ターゲット１１とフィラメント１２との周辺で放電を起こすことがあるので、エージング（試運転）を実行する必要がある。Ｘ線管装置１１０が長期間使用されていないにもかかわらずエージングを実行せずに、ターゲット１１に高電圧を印加するとともに、フィラメント１２に低電圧を印加すると、ターゲット１１とフィラメント１２との周辺で放電を起こし、例えばフィラメント１２の寿命を短くしＸ線管装置１１０の交換時期を早めることが考えられる。
そこで、使用者がエージングを実行することを忘れないように、制御部１５０が「Ｘ線管装置１１０の前回の使用終了時間情報」をメモリ７０に記憶させることで、「Ｘ線管装置１１０の前回の使用終了時間情報」に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加しないように高圧電源４０を制御することにより、Ｘ線管装置１１０が故障することを防止することが考えられる。例えば、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１を起動したときに、制御部１５０が、メモリ７０に記憶された「Ｘ線管装置１１０の前回の使用終了時間情報」に基づいて、エージングの実行を使用者に勧める通知文を表示装置８１に表示したり、自動でエージングを開始したりすることが考えられる。
【００１２】
このように制御部１５０に、「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」や「Ｘ線管装置１１０の前回の使用終了日時情報」や「温度情報Ｗ（ｔ）」を管理させると、Ｘ線管装置１１０が故障することを防止したり、蛍光Ｘ線分析装置１００が使用できなくなる前に、Ｘ線管装置１１０を交換したりすることはできる。しかし、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の製造業者が、古いＸ線管装置１１０を回収したときには、古いＸ線管装置１１０を回収しただけでは、「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報を入手することができず、Ｘ線管装置１１０の使用方法を改善するための検討を行うことができなかった。つまり、製造業者は、古いＸ線管装置１１０を入手するだけでなく、使用者が所有する蛍光Ｘ線分析装置本体１０１のメモリ７０に記憶された情報をＸ線管装置１１０の交換作業時に入手する必要があった。さらに、製造業者から派遣された交換作業者が、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１に新品のＸ線管装置１１０を取り付けたときには、新しい「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報を古い「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報に積算しないように、メモリ７０に記憶された古い「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報をリセットする必要がある。
【００１３】
また、ターゲット１１に高電圧を印加するとともに、フィラメント１２に低電圧を印加している際に、停電や誤操作等の理由で高圧電源４０を制御することを強制的に中断することがある。このように強制的に中断することが何度も行われると、Ｘ線管装置１１０が故障する原因となることが考えられる。
よって、制御部１５０が、「高圧電源４０への通電が正常に遮断されたことを示す情報」をメモリ７０に記憶させることで、故障したＸ線管装置１１０が経験した、「高圧電源４０への通電が正常に遮断されなかった回数情報」を知ることが考えられるが、この場合にも、製造業者は、古いＸ線管装置１１０を入手するだけでなく、メモリ７０に記憶された情報をＸ線管装置１１０の交換作業時に入手する必要があった。
そこで、本発明は、Ｘ線管装置が故障することを防止したり、使用できなくなる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、Ｘ線管装置の使用方法を改善するための検討を行うことができるＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線管装置は、出射窓が形成されている筐体と、前記筐体の内部に端面が配置された陽極であるターゲットと、前記筐体の内部に配置された陰極であるフィラメントとを備え、前記ターゲット及びフィラメントがＸ線装置本体の電源と電気的に接続されてＸ線装置本体に取り付けられることにより、前記フィラメントから放射された熱電子をターゲットの端面に衝突させることで、前記ターゲットの端面で発生した一次Ｘ線を筐体の出射窓から出射するＸ線管装置であって、前記Ｘ線装置本体の制御部と通信可能とする記憶部を備え、前記記憶部は、前記Ｘ線装置本体の制御部と通信することにより、フィラメントの前回の使用終了日時情報、フィラメントへの通電時間情報、フィラメントへの通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶するようにしている。
【００１５】
ここで、「フィラメントへの通電時間情報」とは、フィラメントへの合計通電時間が把握できる情報であればよく、例えば、「○年○月○日○時  ○時間」、「○年○月○日○時  ○時間」と順次記憶される情報であってもよく、電源出力（電圧及び電流）と積算時間とのヒストグラム情報であってもよい。
また、「高電圧印加時間情報」とは、ターゲットへの合計通電時間が把握できる情報であればよく、例えば、「○年○月○日○時  ○時間」、「○年○月○日○時  ○時間」と順次記憶される情報であってもよく、電源出力（電圧及び電流）と積算時間とのヒストグラム情報であってもよい。
【００１６】
本発明のＸ線管装置によれば、Ｘ線装置本体の制御部と通信可能とする記憶部を備える。そして、記憶部は、Ｘ線装置本体の制御部と通信することにより、フィラメントの前回の使用終了日時情報、フィラメントへの通電時間情報、フィラメントへの通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。これにより、Ｘ線管装置が取り付けられたＸ線装置本体の制御部が、Ｘ線管装置の記憶部と通信を行い、フィラメントへの通電時間情報等を管理することで、Ｘ線管装置が故障することを防止したり、使用できなくなる前にＸ線管装置の交換時期が近いことを通知したりすることができる。
また、Ｘ線管装置は様々な理由で故障するので、Ｘ線装置本体から故障したＸ線管装置を取り外し、Ｘ線装置本体に新品のＸ線管装置を取り付けることになるが、製造業者等は古いＸ線管装置を回収すれば、フィラメントの前回の使用終了日時情報等も入手することができる。つまり、使用者が所有するＸ線装置本体に記憶された情報をＸ線管装置の交換作業時に入手する必要がなくなる。また、製造業者から派遣された交換作業者が、Ｘ線装置本体に新品のＸ線管装置を取り付けたときには、Ｘ線装置本体に記憶された情報をリセットする必要もなくなる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明のＸ線管装置によれば、Ｘ線管装置が故障することを防止したり、使用できなくなる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、Ｘ線管装置の使用方法を改善するための検討を行うことができる。
【００１８】
（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記の発明において、前記筐体の温度情報を検出する温度センサを備え、前記温度センサがＸ線装置本体の制御部と電気的に接続されてＸ線装置本体に取り付けられることにより、前記Ｘ線装置本体の制御部に温度情報を送信して、前記記憶部は、前記Ｘ線装置本体の制御部と通信することにより、温度情報を記憶するようにしてもよい。
ここで、「温度情報」とは、今まで使用してきたなかでの最高温度やオーバーヒートした回数が把握できる情報であればよく、例えば、「○年○月○日○時  ○℃」、「○年○月○日○時  ○℃」、…、「○年○月○日○時  オーバーヒート」、…と順次記憶される情報であってもよい。
【００１９】
さらに、上記の発明において、前記記憶部は、Ｘ線管装置を特定する種類情報を記憶するようにしてもよい。
本発明のＸ線管装置によれば、製造業者等は、種類情報（例えば、製造番号等）を容易に入手することができるので、Ｘ線管装置の使用方法を改善するための検討を行うことが容易にできるようになる。また、Ｘ線管装置が取り付けられたＸ線装置本体の制御部が、Ｘ線管装置の記憶部と通信を行い、「前回使用したＸ線管装置を特定する種類情報」と、「現在使用しているＸ線管装置を特定する種類情報」とを比較することにより、Ｘ線管装置が交換されたことを認識し、古い「Ｘ線管装置の使用時間情報」等の情報をリセットすることができる。
【００２０】
また、本発明のＸ線装置は、上述したＸ線管装置と、前記Ｘ線管装置を取付け取外し可能とするＸ線装置本体とを備えるＸ線装置であって、試料に一次Ｘ線が照射されることにより、当該試料で発生した二次Ｘ線の強度を検出する検出器と、前記ターゲット及びフィラメントに電圧を印加する電源と、前記電源を制御することにより、前記検出器で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部とを備え、前記Ｘ線装置本体の制御部は、フィラメントの前回の使用終了日時情報、フィラメントへの通電時間情報、フィラメントへの通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を、前記Ｘ線管装置の記憶部に記憶させるようにしてもよい。
さらに、上記の発明において、前記Ｘ線装置本体の制御部は、前記Ｘ線管装置の記憶部からフィラメントの前回の使用終了日時情報及び／又は前回高電圧の印加を終了した日時情報を受信することにより、フィラメントの前回の使用終了日時情報及び／又は前回の高電圧の印加を終了した日時情報に基づいて、前記電源を制御するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】蛍光Ｘ線分析装置本体に取付けたときのＸ線管装置を示す断面図である。
【図３】従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。
【図４】蛍光Ｘ線分析装置本体に取付けたときのＸ線管装置を示す断面図である。
【図５】蛍光Ｘ線分析装置本体から取外したときのＸ線管装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００２３】
図１は、実施形態に係るエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図であり、図２は、蛍光Ｘ線分析装置本体に取付けたときのＸ線管装置を示す断面図である。なお、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００と同様のものについては、同じ符号を付している。
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１は、一次Ｘ線を出射するＸ線管装置１０と、Ｘ線管装置１０を取付け取外し可能とする蛍光Ｘ線分析装置本体１０１とを備える。
【００２４】
Ｘ線管装置１０は、陽極であるターゲット１１と陰極であるフィラメント１２とを内部に有する円筒形状の内側筐体１３と、内側筐体１３を内部に有する円筒形状の外側筐体１４と、温度情報Ｗ（ｔ）を検出するための温度センサ１７と、外側筐体１４の外周面に接着された不揮発性記憶媒体基板（記憶部）１８とを有する。
そして、不揮発性記憶媒体基板１８は、接続用コネクタ１８ｆを有し、接続用コネクタ１８ｆによって蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０と通信可能に接続されるようになっている。また、ターゲット１１が高電圧用ケーブル１５によって蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の高圧電源４０と電気的に接続されるとともに、フィラメント１２が低電圧用ケーブル１６によって蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の低圧電源９０と電気的に接続されようになっている。さらに、温度センサ１７は、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０と電気的に接続されるようになっている。
【００２５】
不揮発性記憶媒体基板１８は、「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」と「フィラメント１２への通電時間情報」とを記憶するフィラメント情報記憶領域１８ａと、「フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報」と「高電圧が正常に遮断されたことを示す情報」とを記憶する遮断情報記憶領域１８ｂと、「温度情報」を記憶する温度情報記憶領域１８ｃと、Ｘ線管装置１０を特定する「種類情報」を記憶する種類情報記憶領域１８ｄと、「前回の高電圧の印加を終了した日時情報」と「高電圧印加時間情報」とを記憶する高電圧情報記憶領域１８ｅとを有する。
「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」と「フィラメント１２への通電時間情報」としては、例えば、「フィラメント  ○年○月○日○時  ○時間」、「フィラメント  ○年○月○日○時  ○時間」、…となっており、前回に使用した際の使用終了日時情報が把握できるとともに、フィラメント１２への合計通電時間が把握できるようになっている。このような「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」と「フィラメント１２への通電時間情報」とは、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から情報を受信することによって記憶されるようになっている。
【００２６】
「フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報」としては、例えば、フィラメント１２への通電が開始されたときには「通電開始」と受信し、フィラメント１２への通電が正常に遮断されたときには「通電正常遮断」と受信するようになっており、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０は、フィラメント１２への通電を開始する前に不揮発性記憶媒体基板１８の遮断情報記憶領域１８ｂに記録された情報を読み取り、その情報が「通電開始」であるか「通電正常遮断」であるかで、正常に遮断されたか否かが判断できるようになっている。このような「フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報」は、フィラメント１２への通電が正常に遮断された際には、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から「通電正常遮断」情報を受信することによって記憶されるようになっている。一方、フィラメント１２への通電が正常に遮断されなかったときには、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から「通電正常遮断」情報を受信しないようになっている。
「温度情報」としては、例えば、「○年○月○日○時  ○℃」、「○年○月○日○時  ○℃」、…、「○年○月○日○時  オーバーヒート」、…となっており、そのときに使用したときの最高温度やオーバーヒートしたことが記憶され、その結果、今まで使用してきたなかでの最高温度やオーバーヒートした回数が把握できるようになっている。このような「温度情報」は、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から情報を受信することによって記憶されるようになっている。
「種類情報」としては、例えば、「シリアル番号（ＩＤ）  ○○○○」となっており、Ｘ線管装置１０の種類が把握できるようになっている。このような「種類情報」は、製造業者等によってＸ線管装置１０の使用方法を改善するための検討を行うことが容易にできるように予め記憶されるようになっている。
【００２７】
「前回高電圧の印加を終了した日時情報」と「高電圧印加時間情報」としては、例えば、「高電圧  ○年○月○日○時  ○時間」、「高電圧  ○年○月○日○時  ○時間」、…となっており、前回に高圧電源４０を使用した際の使用終了日時情報が把握できるとともに、ターゲット１１への合計高電圧印加時間が把握できるようになっている。このような「前回高電圧の印加を終了した日時情報」と「高電圧印加時間情報」とは、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から情報を受信することによって記憶されるようになっている。
「高電圧が正常に遮断されたことを示す情報」としては、例えば、ターゲット１１への印加が開始されたときには「印加開始」と受信し、ターゲット１１への印加が正常に遮断されたときには「印加正常遮断」と受信するようになっており、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０は、ターゲット１１への印加を開始する前に不揮発性記憶媒体基板１８の遮断情報記憶領域１８ｂに記録された情報を読み取り、その情報が「印加開始」であるか「印加正常遮断」であるかで、正常に遮断されたか否かが判断できるようになっている。このような「高電圧が正常に遮断されたことを示す情報」は、ターゲット１１への印加が正常に遮断された際には、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から「印加正常遮断」情報を受信することによって記憶されるようになっている。一方、ターゲット１１への印加が正常に遮断されなかったときには、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０から「印加正常遮断」情報を受信しないようになっている。
【００２８】
蛍光Ｘ線分析装置本体１０１は、試料Ｓが配置される試料台２０と、蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とを検出する検出器３０と、高電圧を印加する高圧電源４０と、低電圧を印加する低圧電源９０と、蛍光Ｘ線分析装置１００全体を制御する制御部５０とを備える。
制御部５０は、ＣＰＵ６０とメモリ７０とを備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置８１と、キーボードやマウス等を有する入力装置８２とが連結されている。また、ＣＰＵ６０が処理する機能をブロック化して説明すると、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とに基づいて試料Ｓ中に含まれる元素の濃度を算出する検出器制御部６１と、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧を印加するととともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧を印加する電源制御部６２と、Ｘ線管装置１０の不揮発性記憶媒体基板１８と通信する通信制御部６３と、Ｘ線管装置１０の温度センサ１７から温度情報Ｗ（ｔ）を取得する温度情報取得部６４とを有する。
メモリ７０は、「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」と「フィラメント１２への通電時間情報」とを記憶するフィラメント情報記憶領域７０ａと、「フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報」と「高電圧が正常に遮断されたことを示す情報」とを記憶する遮断情報記憶領域７０ｂと、「温度情報」を記憶する温度情報記憶領域７０ｃと、「種類情報」を記憶する種類情報記憶領域７０ｄと、「高電圧を印加した日時情報」と「高電圧印加時間情報」とを記憶する高電圧情報記憶領域７０ｅとを有する。
【００２９】
通信制御部６３は、Ｘ線管装置１０の不揮発性記憶媒体基板１８と通信する制御を行う。
具体的には、入力装置８２によってＸ線の放射を実行する操作信号が入力されたときには、Ｘ線管装置１０の不揮発性記憶媒体基板１８と通信して、フィラメント情報記憶領域１８ａからフィラメント１２への合計通電時間と前回に使用した際の使用終了日時情報とを取得して、フィラメント情報記憶領域７０ａに記憶させる。そして、表示装置８１に画像でフィラメント１２への合計通電時間を表示する。また、高電圧情報記憶領域１８ｅから合計印加時間と前回に使用した際の使用終了日時情報とを取得して、高電圧情報記憶領域７０ｅに記憶させる。そして、表示装置８１に画像で合計印加時間を表示する。
そして、遮断情報記憶領域１８ｂから「通電正常遮断」情報或いは「通電開始」情報と、「印加正常遮断」情報或いは「印加開始」情報とを取得して、遮断情報記憶領域７０ｂに記憶させる。また、種類情報記憶領域１８ｄから「種類情報」を取得して、種類情報記憶領域７０ｄに記憶させる。
さらに、「通電開始」情報と「印加開始」情報とを遮断情報記憶領域１８ｂに記憶させる。
一方、Ｘ線の放射を停止したときには、Ｘ線管装置１０の不揮発性記憶媒体基板１８と通信して、「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」として現在の日時情報を、「フィラメント１２への通電時間情報」として測定した際のフィラメント１２への通電時間又は合計通電時間を、フィラメント情報記憶領域１８ａに記憶させる。また、「前回高電圧の印加を終了した日時情報」として現在の日時情報を、「高電圧印加時間情報」として測定した際のターゲット１１への印加時間又は合計印加時間を、高電圧情報記憶領域１８ｅに記憶させる。
また、「温度情報」として測定した際の最高温度やオーバーヒートしたことを、温度情報記憶領域１８ｃに記憶させる。
さらに、Ｘ線の放射を停止したときには、「通電正常遮断」情報と「印加正常遮断」情報とを遮断情報記憶領域１８ｂに記憶させ、一方、Ｘ線の放射を正常に停止しなかったときには、「通電正常遮断」情報及び／又は「印加正常遮断」情報を遮断情報記憶領域１８ｂに記憶させない。
【００３０】
電源制御部６２は、フィラメント情報記憶領域７０ａに記憶された「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」や高電圧情報記憶領域７０ｅに記憶された「前回の高電圧の印加を終了した日時情報」に基づいて、ターゲット１１とフィラメント１２とに電圧を印加する制御を行う。
具体的には、フィラメント情報記憶領域７０ａに記憶された前回に使用した際の使用終了日時情報や高電圧情報記憶領域７０ｅに記憶された前回に使用した際の使用終了日時情報が、現在の日時情報と間隔があいているときには、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧を印加するととともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧を印加するエージングを実行する。エージングは、電源制御部６２が、所定の時間の間、ターゲット１１の高電圧とフィラメント１２の低電圧とを定められた値に制御することによって行う。これにより、Ｘ線管装置１０が長期間使用されていなかったにもかかわらず、エージングを実行しなかったことによってＸ線管装置１０が故障することを防止する。
一方、前回に使用した際の使用終了日時情報が、現在の日時情報と間隔があいていないときには、高圧電源４０によってターゲット１１に高電圧を印加するととともに、低圧電源９０によってフィラメント１２に低電圧を印加する。つまり、エージングを実行せずに、測定を実行する。
【００３１】
温度情報取得部６４は、温度センサ１７で検出された「温度情報」に基づいて、温度情報Ｗ（ｔ）がある温度以上になると、高電圧及び低電圧の印加を停止するように電源制御部６２に制御信号を出力するとともに、「温度情報」を温度情報記憶領域７０ｃに記憶させる制御を行う。
検出器制御部６１は、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線のエネルギーと強度Ｉ（ｔ）とに基づいて試料Ｓ中に含まれる元素の濃度を算出する制御を行う。
【００３２】
そして、蛍光Ｘ線分析装置１を使用しているうちに、Ｘ線管装置１０が故障したときには、製造業者から派遣された交換作業者が、故障したＸ線管装置１０を蛍光Ｘ線分析装置本体１０１から取り外し、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１に新品のＸ線管装置１０を取り付けることになる。
その後、製造業者が、古いＸ線管装置１０を回収することになるが、古いＸ線管装置１０を回収すれば、不揮発性記憶媒体基板１８に「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」、「フィラメント１２への通電時間情報」、「フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報」、「温度情報」、「種類情報」、「前回高電圧の印加を終了した日時情報」、「高電圧印加時間情報」、「高電圧が正常に遮断されたことを示す情報」が記憶されているので、「フィラメント１２の前回の使用終了日時情報」等も入手することができる。よって、製造業者から派遣された交換作業者は、使用者が所有する蛍光Ｘ線分析装置本体１０１に記憶された情報をＸ線管装置１０の交換作業時に入手する作業を行う必要がなくなる。また、製造業者から派遣された交換作業者が、蛍光Ｘ線分析装置本体１０１に新品のＸ線管装置１１０を取り付けたときには、新しい「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報を古い「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報に積算しないように、メモリ７０に記憶された古い「Ｘ線管装置１１０の使用時間情報」等の情報をリセットする必要もなくなる。
【００３３】
以上のように、本発明のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１によれば、Ｘ線管装置１０が故障することを防止したり、使用できなくなる前にＸ線管装置１０を交換したりするとともに、Ｘ線管装置１０を入手するだけで、Ｘ線管装置１０の使用方法を改善するための検討を行うことができる。
【００３４】
（他の実施形態）
（１）上述したエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１では、不揮発性記憶媒体基板１８は、接続用コネクタ１８ｆを有するような構成を示したが、接続用コネクタ１８ｆを有さず、無線によって蛍光Ｘ線分析装置本体１０１の制御部５０と通信するような構成としてもよい。
（２）上述したエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１では、表示装置８１と入力装置８２とは別々に形成されているような構成を示したが、一体的に形成されているような構成としてもよい。
（３）また、Ｘ線管装置１０は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１だけでなく、Ｘ線回折装置等に用いられてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、一次Ｘ線を出射するＸ線管装置を用いたＸ線装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１、１００  蛍光Ｘ線分析装置
１０、１１０  Ｘ線管装置
１１  ターゲット
１２  フィラメント
１４  外側筐体
１４ａ  窓部（出射窓）
１５  高電圧用ケーブル
１６  低電圧用ケーブル
１８  不揮発性記憶媒体基板（記憶部）
２０  試料台
３０  検出器
４０  高圧電源
５０、１５０  制御部
８２  入力装置
９０  低圧電源
１０１  蛍光Ｘ線分析装置本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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