(57)【要約】【課題】クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいペリクル用粘着材組成物を提供する。【解決手段】（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部と多官能性エポキシ化合物０．００５〜３重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数４〜１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも２つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部と多官能性エポキシ化合物０．００５〜３重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数４〜１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも２つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物。
【請求項２】
多官能性エポキシ化合物が２〜４個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物であることを特徴とする請求項１記載のペリクル用粘着材組成物。
【請求項３】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成するモノマー総量の９〜５９重量％が炭素数４〜１４の分岐したアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルであることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載のペリクル用粘着材組成物。
【請求項４】
ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペリクル枠の他端面に請求項１〜３のいずれかに記載のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有することを特徴とするペリクル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスあるいは液晶表示板などを製造する際に、マスクに異物が付着することを防止するために使用されるリソグラフィー用ペリクルに関する。特に高解像度を必要とする露光において使用されるエキシマレーザーを使用したリソグラフィー用ペリクルに関する。特に好ましくは２００ｎｍ以下の紫外光露光に使用されるリソグラフィー用ペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造のフォトリソグラフィー工程において、ウエハー上に集積回路に対応したフォトレジストパターンを形成するためには、ステッパー（縮小投影露光装置）等の半導体製造装置が使用されている。ペリクルは枠形状を有するペリクル枠の一端面に透明薄膜を張設したものであり、異物が回路パターンを形成するためのマスク上に直接付着することを防止するものである。従って、仮にフォトリソグラフィー工程において異物がペリクル上に付着したとしても、フォトレジストが塗布されたウエハー上にこれらの異物は結像しないため、異物の像による半導体集積回路の短絡や断線等を防ぐことができ、フォトリソグラフィー工程の製造歩留まりを向上させることができる。
【０００３】
近年、半導体装置の高集積化に伴って、フォトリソグラフィー工程に用いる露光光の短波長化が進められている。すなわち、ウエハー上に集積回路パターンを描写する際に、より狭い線幅で微細な回路パターンを描画できる技術が要求されている。これに対応するために、例えば、フォトリソグラフィー用ステッパーの露光光として、従来のｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）から進んでＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）さらに、Ｆ２エキシマレーザー（波長１５７ｎｍ）等のより短波長の光が用いられようとしている。
ペリクルをマスク上に固定する方法としては、粘着材で剥離可能に固定する方法が通常使用され、そのための粘着材としては、アクリル系、ゴム系、ポリブテン系、ポリウレタン系、シリコーン系等のものが知られている。(特許文献１参照）粘着材層は一端面にペリクル膜が張設されたペリクル枠の他端面に形成されるのであるが、ペリクル膜またはマスクが汚れた場合には、マスクから一度ペリクルを剥離して汚れを除去しペリクルを再度マスクに貼り替える必要がある。
【０００４】
一方、上述した露光光の短波長化・高エネルギー化に伴い、露光に伴うペリクル膜またはマスクの汚れ（「ヘイズ」と呼ばれる。）が発生する頻度は高くなってきている。従って、ペリクル用粘着材は、適切な粘着力を安定して有するとともに、マスクからの剥離時に粘着材がマスク上に糊残りしないことが好ましい。特に２００ｎｍよりも波長の短い光を用いるフォトリソグラフィー工程においては上述のヘイズがより発生しやすいため、ペリクルのマスクからの剥離時にマスク上に粘着材が糊残りしないという特質がより求められている。その一方で、現在ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）を用いるフォトリソグラフィー工程においてペリクル用粘着材として使用されているシリコーン系粘着材は、マスク上に粘着材が糊残りしやすいという問題があった。
【０００５】
また、通常のマスクは石英基板上にクロム金属薄膜で微細パターンを描画したものである。従って、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいペリクル用粘着材の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０５−２８１７１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいペリクル用粘着材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、鋭意検討した結果、特定の構造を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物とを反応させた生成物を用いることにより、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力（以下「粘着力」ともいう。）を有し、剥離時に基材表面に残りにくい粘着材が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明の一は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部と多官能性エポキシ化合物０．００５〜３重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数４〜１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも２つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物である。
【００１０】
上記多官能性エポキシ化合物は、２〜４個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物であることが好ましい。また、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体を構成するモノマー総量の９〜５９重量％が炭素数４〜１４の分岐したアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルであることが好ましい。
本発明の二は、ペリクル枠の一端面に接着されたペリクル膜を有し、該ペリクル枠の他端面に本発明の一のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を有することを特徴とするペリクルである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のペリクル用粘着材組成物は、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいという効果を有する。また、本発明のペリクルは、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に粘着材が基材表面に残りにくいという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のペリクル用粘着材組成物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部と多官能性エポキシ化合物０．００５〜３重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数４〜１４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル（以下「Ａ成分」という。）と、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマー（以下「Ｂ成分」という。）との少なくとも２つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体である。アルキルエステル共重合体は、Ａ成分が９９〜８０重量％、Ｂ成分が１〜２０重量％である単量体混合物の共重合体であることがより好ましい。
【００１３】
ここで、Ａ成分のモノマーの炭素数は、４〜１４のアルキル基であるが、より好ましくは炭素数４〜８のアルキル基である。このＡ成分のモノマーの炭素数４〜１４のアルキル基が直鎖状のもの（以下「Ａ１成分」という。）と炭素数４〜１４のアルキル基が分岐状のもの（以下「Ａ２成分」という。）に分けた場合に、Ａ成分とＢ成分の単量体混合物中のＡ２成分の割合が９〜５９重量％であると、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、粘着力に優れるのでより好ましい。Ａ成分とＢ成分の単量体混合物中の割合としては、Ａ１成分は４０〜９０重量％、好ましくは４５〜８５重量％、更には４８〜８０重量％が好ましく、Ａ２成分は９〜５９重量％、好ましくは１４〜５４重量％、更には１９〜５１重量％が好ましく、Ｂ成分は１〜２０重量％、好ましくは１〜１０重量％、更には１〜８重量％が好ましい。
【００１４】
Ａ１成分のアクリレ―ト系モノマーは、アルキル基の炭素数が４〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステルであり、具体的には、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ） アクリル酸ドデシル、（メタ） アクリル酸ラウリルなどの直鎖脂肪族アルコールの（メタ）アクリル酸エステルがあげられる。これらは単独でも２ 種以上併せて用いてもよい。なかでも、汎用性、共重合性の点から、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸オクチルなどの炭素数４〜８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられる。
【００１５】
Ａ２成分のアクリレ―ト系モノマーは、分岐状のアルキル鎖を持つものであり、具体的には、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニルがあげられる。これらは単独でも２ 種以上併せて用いてもよい。なかでも、共重合性の点から、（メタ）アクリル酸イソブチルや（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルが好ましく用いられる。
【００１６】
Ｂ成分のモノマーは、上記Ａ成分のモノマーと共重合可能なモノマーであって、エポキシ基との反応性を有するモノマーである。例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマーや、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル等のヒドロキシル基含有モノマーである。これらは単独でも２ 種以上併せて用いてもよい。なかでも、共重合性、汎用性等の点から、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル等の炭素数２〜４のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシル基含有（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーが好ましく用いられる。
【００１７】
本発明に用いる（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体において、上記のＡ１成分のアクリレート系モノマーは、Ａ成分とＢ成分のモノマー混合物中、４０〜９０重量％、好ましくは４５〜８５重量％、更に好ましくは４８〜８０重量％の割合で用いられる。また、Ａ２成分は９〜５９重量％、好ましくは１４〜５４重量％、更に好ましくは１９〜５１重量％、Ｂ成分は１〜２０重量％、好ましくは１〜１０重量％、更に好ましくは１〜８重量％となるようにするのがよい。
【００１８】
Ａ２成分の使用量が５９重量％以内、かつＢ成分の使用量が２０重量％以内であれば、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対する親和性（濡れ性）が高くなり、石英ブランクスおよびクロム付きブランクスへの粘着力のバランスに優れる。また、Ａ２成分の使用量が９重量％以上、かつＢ成分の使用量が１重量％以上になると、架橋密度が高くなり過ぎず、タックが低下しにくく、基材からの浮き、剥がれが起きにくい。
【００１９】
本発明において使用される（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体は、重量平均分子量が２０万以上、２００万以下である。重量平均分子量は、１５０万以下が好ましく、１２０万以下がより好ましい。一方、重量平均分子量は、２５万以上が好ましく、３０万以上がより好ましい。重量平均分子量が、２０万以上であれば、凝集力が高く充分な剥離性が得られる。また、重量平均分子量が、２００万以下であれば、粘着材が適切な柔軟さを有しクロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して充分な密着が得られる。
【００２０】
本発明の粘着材組成物には、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物からなる架橋剤との反応生成物を含有する。
かかる架橋剤としては、多官能性エポキシ化合物以外にも、金属塩、金属アルコキシド、アルデヒド系化合物、非アミノ樹脂系アミノ化合物、尿素系化合物、イソシアネート系化合物、金属キレート系化合物、メラミン系化合物、アジリジン系化合物など、通常の粘着材に使用される架橋剤をあげることができるが、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基成分との反応性の点から、多官能性エポキシ化合物が好ましい。
【００２１】
具体的には、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、Ｎ、Ｎ、Ｎ’、Ｎ’−テトラグリシジルｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどがあげられる。これらの中でも２〜４個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物が好ましく、４個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物が反応性の点から好適に用いられる。
【００２２】
多官能性エポキシ化合物の含有量は、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部に対して、０．００５〜３ 重量部であることが好ましく、０．０１〜２重量部であることがより好ましい。更には、０．０２〜１．５重量部が好ましく、０．０３〜１．００重量部がより好ましい。多官能性エポキシ化合物の含有量が３重量部以下であれば、架橋密度が高くなり過ぎず、タックが低下しにくく、クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材からの浮き、剥がれが起きにくい。また、多官能性エポキシ化合物の含有量が０．００５重量部以上であれば、凝集力が充分となり粘着力が高くなりすぎず適切な剥離性を有する。
【００２３】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物との反応生成物を得るための反応は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と多官能性エポキシ化合物溶液を秤量し、均一に混ざるように混合・攪拌し、溶剤を加熱乾燥除去した後に、加温することで迅速に進行する。
また、本発明のペリクル用粘着材組成物には、上記の反応生成物以外に、必要に応じて、充填剤、顔料、希釈剤、老化防止剤、紫外線安定剤などの従来公知の添加剤を含んでいてもよい。これらの添加剤は、１種類または２種以上を使用することが可能である。ただし、所望する物性が得られるように、添加量は適時設定することが好ましい。
【００２４】
本発明のペリクルは、例えば以下の方法で好適に製造することができる。
第一に、上述の（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と多官能性エポキシ化合物溶液とを混合し粘着材前駆体組成物を得る。この場合、所定の厚み・幅のマスク粘着材層を塗布するために、粘着材前駆体組成物をさらに溶媒で希釈し、溶液濃度（粘度）を調整する。希釈のための溶媒は、溶解性、蒸発速度などの観点から選ばれる。好ましい溶媒の具体例としては、アセトン、酢酸エチル、トルエンがあげられるが、これらに限定されるものではない。
【００２５】
第二に、該粘着材前駆体組成物を、一端面に接着されたペリクル膜を有するペリクル枠の他端面に塗布する。塗布方法は、特に限定されるものではないが、ディスペンサーを用いて塗布することが好ましい。前記粘着材前駆体組成物中のアクリル共重合体溶液（溶媒と（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体からなる溶液をいう。）粘度については特に限定はされないが、好ましくは５０Ｐ以下、より好ましくは１０〜４０Ｐ、さらに好ましくは２０〜３０Ｐ程度の粘度である（Ｂ型粘度計、２５℃）。ディスペンサーでの塗布において溶媒で希釈することによって、塗布液の糸引きが少なく、安定した幅・厚みに調整することが容易となる。
【００２６】
第三に、塗布した粘着材層を加熱乾燥させることにより、溶媒及び／又は残存モノマーを除去することができる。さらに、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基と多官能エポキシ化合物とが加熱反応して架橋構造を形成すると、ペリクル枠と粘着材組成物とが一体化し、ペリクル枠表面に密着する。
かかる乾燥温度については、溶媒および残存モノマーの沸点、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体の分解温度を考慮し、５０〜２００℃であることが好ましく、６０〜１９０℃であることが好ましい。
【００２７】
乾燥、架橋後に、粘着面を保護するための離型シートを貼っても良い。離型シートは、一般的にはポリエステルなどの厚さ３０〜２００μｍ程度のフィルムを用いる。また、粘着材から離型シートを剥がす際の剥離力が大きいと、剥がす際に粘着材が変形する恐れがあるので、適切な剥離力になるように、粘着材と接するフィルム表面にシリコーンやフッ素などの離型処理を行っても良い。粘着面を保護するための離型シートを貼った後、加重をかけて、粘着材表面を略平坦に成型しても良い。
【００２８】
本発明のペリクルは、石英、またはクロムからなるマスク被着面に対して貼付を行う。従って、双方の被着面への粘着力が、０．２〜１．０ｋｇｆ／ｃｍ２の範囲に入ることが好ましく、さらに好ましくは０．３〜０．８ｋｇｆ／ｃｍ２の範囲である。
また、双方の基材に対して粘着力のバランスが良く、剥離時の糊残りが少ないものが好ましい。粘着力バランス比（「対クロム基材に対する粘着力／対石英基材に対する粘着力」で定義する。）は０．３３〜３．０の範囲が好ましく、０．５〜２．０の範囲がより好ましい。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００２９】
以下、実施例および比較例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されない。
ここで、粘着力は、ペリクルを石英、またはクロムからなるマスク被着面に対して貼付後、マスクを水平に固定し、ペリクルのひとつの角を引張試験機により、マスク面に対し垂直に５ｍｍ／ｍｉｎの速度で引き上げた時の最大力によって表すものとする。
また、剥離性は、上記剥離力を測定した後の各被着体表面の様子を観察し、以下の基準で評価した。
○：糊残り面積が全体の貼付け面積の０〜５％
△：糊残り面積が全体の貼付け面積の６〜２０％
×：糊残り面積が全体の貼付け面積の２１〜１００％
【００３０】
＜実施例１＞
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１は、周知の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３０重量部）を入れ、イソブチルアクリレート／ブチルアクリレート／アクリル酸／２−ヒドロキシエチルアクリレート／２、２’−アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３２重量部）を４８／４８／１．５／２．５／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で８時間反応する。反応終了後、トルエン（３８重量部）を添加して、不揮発分濃度３２重量％ のアクリル共重合体溶液を得た。次いで得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を１．５重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．２３重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
【００３１】
その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠（外径１１３ｍｍ×１４９ｍｍ、内径１０９ｍｍ×１４５ｍｍ、高さ４．８ｍｍ）の他端面に調合した上記粘着材前駆体組成物をディスペンサーで塗布した。これを２段階で加熱乾燥・キュア（１段階：１００℃、８分；２段階：１８０℃、８分）して、実施例１のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層（厚み０．２ｍｍ）を形成した実施例１のペリクルを得た。ついで、シリコーン離型処理した厚さ１００μｍのポリエステル製保護フィルムを貼り合わせ、室温（２０±３℃）にて３日間養生させ、粘着力を安定化させた。その後、該保護フィルムを剥がして、６０２５石英ブランクス基材および６０２５クロム付きマスクブランクス基材に簡易型マウンターで加重（３０Ｋｇｆ、６０ｓｅｃ）貼付を行い、ペリクルを貼り付けた基材を得た。
ペリクルを貼り付けた基材を、室温（２０±３℃）にて２時間放置後、粘着力と剥離性を前述の方法で評価した。
【００３２】
＜実施例２＞
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体２は、実施例１と同様に調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（３２重量部）を入れ、ブチルアクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／アクリル酸／２、２’−アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３８重量部）を５２／４１／７／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で８時間反応する。反応終了後、トルエン（３０重量部）を添加して、不揮発分濃度３８重量％ のアクリル共重合体溶液を得た。次いで、得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能性エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を３重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．３９重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
以下、実施例１と同様にして、実施例２のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した実施例２のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力および剥離性を評価して結果を表１に記載した。
【００３３】
＜比較例１＞
シリコーン粘着材（東レダウコーニング（株）製、SD４５８０（商品名）不揮発分濃度４０重量％、トルエン／キシレン溶液）１００重量部に対して硬化剤（東レダウコーニング（株）製、SRX２１２）を０．９重量部添加し、比較例１の粘着材組成物とペリクルを得た。
以下実施例１と同様にして、比較例１のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した比較例１のペリクルを作成し、ペリクルのクロム基材に対する剥離性を評価したところ、剥離後にマスクに残る付着物が多いものであった。
【００３４】
＜実施例３＞  
（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体３は、実施例１と同様に調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル（２３重量部）を入れ、ブチルアクリレート／オクチルアクリレート／アクリル酸／２、２’−アゾビスイソブチロニトリルの混合物（３５重量部）を７５／２０／５／０．５の重量比で仕込み、窒素雰囲気下中、この反応溶液を還流温度で８時間反応する。反応終了後、トルエン（４２重量部）を添加して、不揮発分濃度３５重量％ のアクリル共重合体溶液を得た。次いで、得られたアクリル共重合体溶液１００重量部に多官能エポキシ化合物溶液（溶媒をトルエンとし、多官能性エポキシ化合物溶液中には１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサンを不揮発成分として５重量％含む）を４重量部添加した。この時、多官能性エポキシ化合物は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．５７重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
以下、実施例１と同様にして、実施例３のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した実施例３のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、および剥離性を評価して結果を表１に記載した。
【００３５】
＜比較例２＞
実施例３記載のアクリル共重合体溶液１００重量部にイソシアネート硬化剤（日本ポリウレタン（株）製、コロネートＬ、不揮発分濃度７５重量％、酢酸エチル溶液）を４重量部添加した。この時、不揮発成分は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり８．５７重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆体組成物を得た。
以下、実施例１と同様にして、比較例２のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した比較例２のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、および剥離性を評価して結果を表１に記載した。
表１の結果から分かるように，本発明のペリクル用粘着材組成物を塗布したペリクルは、石英からなる基材とクロムからなる基材の双方に対して、粘着力、剥離性の特性に優れる。特に、（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体のＡ２成分が９〜５９重量％である単量体混合物の共重合体である実施例１及び実施例２においては、石英からなる基材とクロムからなる基材の双方に対して、粘着力のバランスに優れる。
【００３６】
＜比較例３＞
実施例３記載のアクリル共重合体溶液１００重量部にイソシアネート硬化剤液（日本ポリウレタン（株）製、コロネートＬ、不揮発分濃度７５重量％、酢酸エチル溶液）を０．４重量部添加した。この時、不揮発成分は（メタ）アクリル酸アルキルエステル共重合体１００重量部あたり０．８６重量部であった。その後攪拌混合し、粘着材前駆対組成物を得た。
以下、実施例１と同様にして比較例３のペリクル用粘着材組成物からなる粘着材層を形成した比較例３のペリクルを作成し、ペリクルの基材に対する粘着力、及び剥離性を評価して結果を表１に記載した。
【００３７】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の組成物は、ペリクルをフォトマスクに剥離可能にはりつけるための粘着材の分野で好適に使用できる。