(57)【要約】【課題】ガルバノ制御回路のノッチフィルタの回路規模を小さくでき、装置全体の小型化を図ることができるレーザマーキング装置を提供する。【解決手段】ノッチフィルタ回路部４２は、制御駆動信号Ｓ５を通す信号線５０と、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ１帯の第１信号成分Ｓｆ１のみを通す第１バンドパス回路５１と、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ２帯の第２信号成分Ｓｆ２のみを通す第２バンドパス回路５２と、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ３帯の第３信号成分Ｓｆ３のみを通す第３バンドパス回路５３とを並列に接続した。そして、その並列回路５５をオペアンプ５４に対して直列に接続して、第１〜第３バンドパス回路５１〜５３が１つのオペアンプ５４を共有するようにして、共有にした分だけオペアンプの数を省略できるようにした。【選択図】図５
2010128373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガルバノ制御回路で生成した制御駆動信号を、ガルバノスキャナのガルバノミラーを回転軸に固着したガルバノモータに入力し、該ガルバノモータを駆動制御することにより前記ガルバノミラーを回動させて、レーザ光を加工対象物の加工面に対して走査し前記加工面に印字を行うレーザマーキング装置であって、
前記ガルバノ制御回路に、予め定めた複数の周波数の成分を、前記制御駆動信号からカットして前記ガルバノモータに入力するノッチフィルタ回路部を設け、
前記ノッチフィルタ回路部は、
前記予め定めた複数の周波数ごとに設けられ、前記制御駆動信号から対応する周波数の信号成分のみを通すバンドパス回路と、
その複数のバンドパス回路及び前記制御駆動信号を通す信号線を並列に接続し、前記各バンドパス回路からの各信号成分と、前記信号線からの前記制御駆動信号を加算して、前記制御駆動信号から各信号成分をカットする並列回路と、
前記並列回路にて前記各信号成分をカットした前記制御駆動信号を入力し増幅して前記ガルバノモータに供給する増幅器と
を備えたことを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザマーキング装置において、
前記バンドパス回路は、差動増幅器にて反転増幅された前記信号成分の信号をレベル調整するレベル調整手段を設けたことを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザマーキング装置において、
前記レベル調整手段は、可変抵抗であることを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１に記載のレーザマーキング装置において、
前記レーザマーキング装置は、ガルバノスキャナ及びガルバノ制御回路を収容するヘッドユニットと、前記レーザ光を出射するレーザ発振器を収容する発振ユニットと、両ユニットを接続し前記レーザ発振器からのレーザ光を、ヘッドユニット内に導く光ファイバとからなるヘッド分離型のレーザマーキング装置であることを特徴とするレーザマーキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザマーキング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光によりマーキングを行うレーザマーキング装置が知られている。マーキング対象物に対して所定の座標位置へ高速かつ高精度レーザビームを位置決め及び走査するガルバノスキャナを備えている。
【０００３】
ガルバノスキャナは、モータ（ガルバノモータ）、ガルバノモータにて回動するシャフト、その回動するシャフトに取着されたミラーを有しているとともに、ミラーの回動位置を検出しガルバノモータを制御するガルバノ制御回路を有している。そして、ガルバノ制御回路にてガルバノモータの回転角を検出し、その検出した位置信号（回転角）に基づいてガルバノモータをフィードバック制御することでガルバノミラーの角度を制御する。これによって、レーザ光をその角度制御されたガルバノミラーにて反射させることによって、マーキング位置に対するレーザ光の照射位置を制御する。
【０００４】
ところで、ガルバノスキャナは、ガルバノスキャナが持つ機械構造上の固有の共振周波数を持つ。従って、ガルバノスキャナは、特定の周波数で動作させたり、外来ノイズ等に起因した余分な周波数成分がガルバノスキャナが持つ機械構造上の固有の共振周波数を含んでガルバノ制御回路に入ると、その固有の共振周波数で共振し発振現象が起こり、位置決め及び走査制御が行えなくなる。
【０００５】
位置決め及び走査制御が行えなくなると、実照射位置が本来マーキングしたいマーキング指令位置からずれてしまい、高精度なマーキンングができなくなる。又、位置決め操作が行えなくなると、制御回路が振れ角の異常を検出して動作しなくなる。その結果、マーキング装置が動かなくなる。
【０００６】
そこで、その固有の共振周波数で共振して発振を防止する対策として、発振する周波数成分（共振周波数）の信号を抑制することで、高精度なレーザマーキングを実現している（例えば特許文献１）。
【０００７】
一般的には、ノッチフィルタを用い、該ノッチフィルタにてガルバノスキャナ及びガルバノ制御回路の構成部品の共振周波数を打ち消すようにしている。そして、図６に示すように、この特定の周波数帯（共振周波数）の信号をカットさせるノッチフィルタＮＦは、バンドパスフィルタ（ＢＰＦ）６１とオペアンプ６２とで構成されている。
【０００８】
また、共振周波数は１つではなく、複数の共振周波数を持っており、高速制御を行おうとすると、フィードバックゲインを大きな値に設定することから、問題となる共振周波数の数が多くなる。
【０００９】
このような、問題となる複数の共振周波数は、所定の周波数の範囲でスイープさせた交流信号を、ガルバノ制御回路にて作成しガルバノモータに供給する位置制御信号に重畳させて、共振周波数を求める。そして、求めた複数の共振周波数に対するノッチフィルタを設けて、問題となる複数の共振周波数の信号をカットするようにしていた。
【００１０】
つまり、図６に示すノッチフィルタＮＦを、問題となる共振周波数毎に設け、図７に示すように、それら共振周波数毎に設けたノッチフィルタＮＦ１〜ＮＦ３を直列に接続していた。
【特許文献１】特開２００６−２７６１２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記複数のノッチフィルタＮＦ１〜ＮＦ３を直列に構成した場合、１つのノッチフィルタに対してバンドパスフィルタ６１とオペアンプ６２が設けられていることから回路規模が大きくなる。カットしたい共振周波数が多くなればノッチフィルタがその分だけ多くなり回路規模がさらに大きくなる。
【００１２】
特に、近年、レーザマーキング装置の高速駆動が求められ、そのためにサーボ回路を含むガルバノ制御回路の回路ゲインの大きな値に設定することから、正規の信号とそれ以外の信号（固有の共振周波数の信号成分）に対しても増幅率が上昇する。従って、益々発振の問題が大きくなり、問題となる共振周波数の数も多くなる。その結果、回路規模が大規模になりレーザマーキング装置の小型化を図る上で問題となる。特に、近年、レーザマーキング装置の設置自由度を向上させるために、レーザ発振器からのレーザ光を光ファイバで伝送し、離間した位置にあるヘッドユニットに設けたガルバノスキャナに導くようにしたヘッド分離型のレーザマーキング装置においては、ヘッド部を小型化するためにガルバノスキャナの小型化を図ることは重要であった。
【００１３】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、ガルバノ制御回路のノッチフィルタの回路規模を小さくでき、装置全体の小型化を図ることができるレーザマーキング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明は、ガルバノ制御回路で生成した制御駆動信号を、ガルバノミラーを回転軸に固着したガルバノモータに入力し、該ガルバノモータを駆動制御することにより前記ガルバノミラーを回動させて、レーザ光を加工対象物の加工面に対して走査し加工面に印字を行うレーザマーキング装置であって、前記ガルバノ制御回路に、前記予め定めた複数の周波数の成分を、前記制御駆動信号からカットして前記ガルバノモータに入力するノッチフィルタ回路部を設け、前記ノッチフィルタ回路部は、前記予め定めた複数の周波数ごとに設けられ、前記制御駆動信号から対応する周波数の信号成分のみを通すバンドパス回路と、その複数のバンドパス回路及び前記制御駆動信号を通す信号線を並列に接続し、前記各バンドパス回路からの各信号成分と、前記信号線からの前記制御駆動信号を加算して、前記制御駆動信号から各信号成分をカットする並列回路と、前記並列回路にて前記各信号成分をカットした前記制御駆動信号を入力し増幅して前記ガルバノモータに供給する増幅器とを備えた。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザマーキング装置において、前記バンドパス回路は、前記差動増幅器にて反転増幅された前記信号成分の信号をレベル調整するレベル調整手段を設けた。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のレーザマーキング装置において、前記レベル調整手段は可変抵抗である。
請求項４に記載した発明は、請求項１〜３のいずれか１に記載のレーザマーキング装置において、前記レーザマーキング装置は、ガルバノスキャナ及びガルバノ制御回路を収容するヘッドユニットと、前記レーザ光を出射するレーザ発振器を収容する発振ユニットと、両ユニットを接続し前記レーザ発振器からのレーザ光を、ヘッドユニット内に導く光ファイバとからなるヘッド分離型のレーザマーキング装置である。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、ノッチフィルタ回路部は、信号線、複数のバンドパス回路を並列に接続し、その並列回路に増幅器を直列に接続した。従って、その並列接続した各バンドパス回路は１つの増幅器を共有することになる。その結果、共有にした分だけ増幅器の数を省略でき、ガルバノ制御回路全体の回路規模を小さくできる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、前記差動増幅器にて増幅された前記信号成分の信号レベルは、レベル調整手段にて、制御駆動信号の信号レベルに合わせることができ、前記制御駆動信号から信号成分を確実にカットすることができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、可変抵抗の可変抵抗値を調整するだけで、信号成分の信号レベルを簡単に調整できる。
請求項４に記載の発明によれば、ヘッドユニット内に設けたガルバノ制御回路の回路規模を小型にでき、ヘッドユニットの小型を図ることができ、レーザマーキング装置のヘッドユニットの設置自由度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化したレーザマーキング装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、レーザマーキング装置１０は、略直方体形状の筺体１１を有し、筺体１１は基端側を本体部１１ａと、本体部１１ａの先端部をヘッド部１１ｂとから構成されている。
【００２１】
筺体１１のヘッド部１１ｂの下方には、搬送ベルトＢが配置されている。搬送ベルトＢは、筺体１１の長手方向（Ｘ方向）に直交して交差する方向（Ｙ方向）に敷設されている。搬送ベルトＢは、加工対象物Ｗを載置しＹ方向に搬送する。そして、搬送ベルトＢに載置された加工対象物Ｗが、筺体１１のヘッド部１１ｂの直下に搬送された時、筺体１１の底面１２に設けた収束レンズ２４から出射するＸ方向及びＹ方向に２次元的に走査されたレーザ光Ｌが加工対象物Ｗの加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに照射される。
【００２２】
図２は、筺体１１にケーシングされたレーザマーキング装置１０の概略構成図を示す。図２において、レーザ発振器２１は、励起光を出射する半導体レーザを備え、半導体レーザから出射された励起光を入射し該励起光に基づいて共振してレーザ光Ｌを出射する。レーザ発振器２１は、この励起光のパワーを調整することによってレーザ発振器２１から出射するレーザ光Ｌのパワーが制御される。
【００２３】
レーザ発振器２１から出射されたレーザ光は、ビームエキスパンダ２２に出射される。ビームエキスパンダ２２は、レーザ光を入射する入射レンズ２２ａと、入射レンズ２２ａを通過したレーザ光をガルバノスキャナ２３に出射する出射レンズ２２ｂを備えている。ビームエキスパンダ２２は、入射レンズ２２ａと出射レンズ２２ｂとの相対距離を変化させることができるようになっている。
【００２４】
ビームエキスパンダ２２は、入射レンズ２２ａと出射レンズ２２ｂとの相対距離を変化させることで、ガルバノスキャナ２３及び収束レンズ２４を介して加工対象物Ｗへ集光されるレーザ光Ｌの焦点位置を、光軸方向に移動させるようになっている。そして、ビームエキスパンダ２２を通過したレーザ光Ｌはガルバノスキャナ２３に出射される。
【００２５】
ガルバノスキャナ２３は、Ｘ軸及びＹ軸ガルバノミラー２３ａ，２３ｂを備えている。
Ｘ軸ガルバノミラー２３ａは、回動して、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光Ｌを、加工対象物Ｗに対して、搬送方向（Ｙ方向）と直交するＸ方向に走査させるミラーである。Ｘ軸ガルバノミラー２３ａは、図３に示すように、Ｘ軸ガルバノモータＭＸの回転軸ＭＸａに固着され、Ｘ軸ガルバノモータＭＸの駆動により回動されて、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光Ｌを、加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに対してＸ方向に走査させる。
【００２６】
Ｙ軸ガルバノミラー２３ｂは、回動して、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光Ｌを、加工対象物Ｗに対して、搬送方向（Ｙ方向）に走査させるミラーである。Ｙ軸ガルバノミラー２３ｂは、図３に示すように、Ｙ軸ガルバノモータＭＹの回転軸ＭＹａに固着され、Ｙ軸ガルバノモータＭＹの駆動により回動されて、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光Ｌを、加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに対してＹ方向に走査させる。
【００２７】
従って、加工対象物Ｗに向けて照射するレーザ光Ｌは、Ｘ軸及びＹ軸ガルバノミラー２３ａ，２３ｂにより、加工対象物Ｗの加工面Ｗｓのマーキング領域Ｚに対して、Ｘ方向及びＹ方向に走査される。
【００２８】
ガルバノスキャナ２３のＸ軸及びＹ軸ガルバノミラー２３ａ，２３ｂにてＸ及びＹ方向に走査されたレーザ光Ｌは、収束レンズ２４を介して集光されて加工対象物Ｗの加工面Ｗｓに照射される。そして、レーザ光Ｌが、収束レンズ２４を介して集光されて加工対象物Ｗの加工面Ｗｓにレーザ光Ｌが照射されることによって、該加工面Ｗｓに多種多様な文字、記号、図形等がマーキングされる。
【００２９】
次に、上記したガルバノスキャナ２３を駆動制御するガルバノ制御回路３０の電気的構成を図４に従って説明する。
尚、ガルバノスキャナ２３のＸ軸及びＹ軸ガルバノミラー２３ａ，２３ｂを回動制御は、実質的に同様な回路構成であるため、説明の便宜上、Ｘ軸ガルバノモータＭＸを駆動制御する回路部分について説明し、Ｙ軸ガルバノモータＭＹを駆動制御する回路部分についてその説明は省略する。
【００３０】
図４は、ガルバノスキャナ２３のＸ軸ガルバノモータＭＸを駆動制御するガルバノ制御回路３０を示す。図４において、回転軸ＭＸａにＸ軸ガルバノミラー２３ａを固着したＸ軸ガルバノモータＭＸは、ガルバノ制御回路３０から印加される駆動電圧（制御駆動信号Ｓ５）に基づいてその界磁巻線Ｌｘを流れる駆動電流の大きさ向きによって、回転軸ＭＸａが回転制御されガルバノミラー２３ａを所定の角度に回動制御する。
【００３１】
また、Ｘ軸ガルバノモータＭＸには、ポジションセンサ３１が設けられ、Ｘ軸ガルバノモータＭＸの回転軸ＭＸａのその時々の回転位置を、即ち、Ｘ軸ガルバノミラー２３ａの角度を検出するようになっている。そして、Ｘ軸ガルバノミラー２３ａの角度に応じた角度検出信号ＳＧ１を、電圧信号として出力する。
【００３２】
さらに、Ｘ軸ガルバノモータＭＸには、界磁巻線Ｌｘに接続された電流検出抵抗Ｒｓが設けられ、Ｘ軸ガルバノモータＭＸの界磁巻線Ｌｘに供給されるその時々の駆動電流を検出することによって、Ｘ軸ガルバノモータＭＸに印加されているその時々の実際の駆動電圧を検出するようになっている。そして、Ｘ軸ガルバノミラー２３ａに印加された実際の駆動電圧値に応じた電圧検出信号ＳＧ２を、電圧信号として出力する。
【００３３】
Ｘ軸ガルバノモータＭＸを駆動制御するガルバノ制御回路３０は、データ生成部３２を有している。データ生成部３２は、レーザマーキング装置１０に所定のマークを加工対象物Ｗの加工面Ｗｓに印字させるために予め用意されたデータに基づいて、各ガルバノミラー２３ａの角度データを生成し、その角度データに応じた角度指令信号ＳＣを、電圧信号として出力する。
【００３４】
ガルバノ制御回路３０は、第１増幅器３３を有し、その第１増幅器３３は前記角度検出信号ＳＧ１を入力して増幅し、その増幅した第１出力信号Ｓ１を、第１減算器３４と微分回路３５にそれぞれ出力する。
【００３５】
第１減算器３４は、第１増幅器３３からの第１出力信号Ｓ１とデータ生成部３２からの角度指令信号ＳＣとを入力し、角度指令信号ＳＣの値（電圧値）から第１出力信号Ｓ１の値（電圧値）を減算し、その減算値Δθ１を第２増幅器３６に出力する。
【００３６】
詳述すると、第１減算器３４は、所定のマークを加工対象物Ｗに印字させるために次に位置させるＸ軸ガルバノミラー２３ａの角度（目標角度θｐ；角度指令信号ＳＣ）とその時の実際のＸ軸ガルバノミラー２３ａの角度（実角度θｎ；角度検出信号ＳＧ１）の偏差を求める。そして、第１減算器３４は、その偏差を第１減算値Δθ１（＝θｐ−θｎ）として第２増幅器３６に出力する。
【００３７】
第２増幅器３６は前記第１減算値Δθ１を入力して増幅し、その増幅した第２出力信号Ｓ２を、第１可変抵抗Ｒ１を介してレベル調整して第２減算器３７に出力する。
微分回路３５は、第１増幅器３３からの第１出力信号Ｓ１を微分し、その微分出力信号値ＳＤを、第２可変抵抗Ｒ２を介してレベル調整して第２減算器３７に出力される。
【００３８】
第２減算器３７は、微分回路３５からレベル調整した微分出力信号ＳＤと第２増幅器３６からの第１減算値Δθ１を増幅した第２出力信号Ｓ２とを入力し、第２出力信号Ｓ２の値（第１減算値Δθ１）から微分出力信号ＳＤの値（微分値Δθｎ）を減算する。そして、第２減算器３７は、その第２減算値Δθ２（＝Δθ１−Δθｎ）を第３増幅器３８に出力する。
【００３９】
第３増幅器３８は前記第２減算値Δθ２（＝Δθｎ−Δθ１）を入力して増幅して第３出力信号Ｓ３として出力する。この第３増幅器３８からの第３出力信号Ｓ３は、前記データ生成部３２からの角度指令信号ＳＣに基づいて、所定のマークを加工対象物Ｗに印字させるためにＸ軸ガルバノモータＭＸを駆動させるための駆動信号となる。つまり、第３出力信号Ｓ３は、所定のマークを加工対象物Ｗに印字させるためにＸ軸ガルバノモータＭＸの界磁巻線Ｌｘに印加する駆動電圧（目標駆動電圧Ｖｐ）を示す信号である。そして、この第３増幅器３８からの第３出力信号Ｓ３は、第３減算器３９に出力される。
【００４０】
第３減算器３９は、第３増幅器３８からの第３出力信号Ｓ３と、前記した電圧検出信号ＳＧ２を増幅して出力する第４増幅器４０からの第４出力信号Ｓ４を入力する。そして、第３減算器３９は、第３出力信号Ｓ３（目標駆動電圧値Ｖｐ）から第４出力信号Ｓ４（実駆動電圧値Ｖｎ）を減算し、その第３減算値ΔＶ（＝Ｖｐ−Ｖｎ）を第５増幅器４１に出力する。
【００４１】
第５増幅器４１は、その減算値ΔＶを増幅し、Ｘ軸ガルバノモータＭＸに目標駆動電圧Ｖｐが印加されるための制御量を制御駆動信号Ｓ５として、ノッチフィルタ回路部４２に出力する。
【００４２】
ノッチフィルタ回路部４２は、前記制御駆動信号Ｓ５に含まれる、Ｘ軸ガルバノモータＭＸが共振して発振現象を起すガルバノスキャナ２３が持つ機械的構造上の固有の複数の共振周波数成分をカットし、Ｘ軸ガルバノモータＭＸの界磁巻線Ｌｘに出力する。これによって、Ｘ軸ガルバノモータＭＸは共振して発振する現象がなくなり、位置決め及び走査制御が確実かつ高精度に行え、高精度なマーキンングができる。
【００４３】
次に、ノッチフィルタ回路部４２について説明する。
図５は、ノッチフィルタ回路部４２の電気回路図を示す。ノッチフィルタ回路部４２は、信号線５０と、複数（本実施形態では３個）の第１〜第３バンドパス回路５１〜５３と、１つの増幅器としてのオペアンプ５４（加算器）とを備えている。信号線５０と第１〜第３バンドパス回路５１〜５３は、互いに並列に接続され、その並列回路５５の入力端子が第５増幅器４１の出力端子に接続され、その並列回路５５の出力端子がオペアンプ５４の反転入力端子に接続されている。
【００４４】
信号線５０は、第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力端子Ｐ０ａから入力し出力端子Ｐ０ｂから出力する。
第１バンドパス回路５１は、入力端子Ｐ１ａに第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力し、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ１帯の信号成分（第１信号成分Ｓｆ１という）のみを出力端子Ｐ１ｂから出力するバンドパスフィルタである。第１バンドパス回路５１は、バンドパスフィルタ部５１ａと、差動増幅器５１ｂ、レベル調整手段としての可変抵抗Ｒｖ１とからなる。
【００４５】
バンドパスフィルタ部５１ａは、抵抗Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ、可変抵抗Ｒｃ１、共振用コンデンサＣ１及び直流カット用コンデンサＣｏ１からなり、第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力する。そして、バンドパスフィルタ部５１ａは、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ１帯の第１信号成分Ｓｆ１のみを通過させ、次段の差動増幅器５１ｂに出力する。差動増幅器５１ｂは、第１信号成分Ｓｆ１を反転増幅し、その反転増幅した第１信号成分Ｓｆ１の信号レベルを、可変抵抗Ｒｖ１を介して制御駆動信号Ｓ５の信号レベルまでレベル調整して出力端子Ｐ１ｂから出力される。
【００４６】
第２バンドパス回路５２は、入力端子Ｐ２ａに第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力し、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ２帯の信号成分（第２信号成分Ｓｆ２という）のみを出力端子Ｐ２ｂから出力するバンドパスフィルタである。第２バンドパス回路５２は、バンドパスフィルタ部５２ａと、差動増幅器５２ｂ、レベル調整手段としての可変抵抗Ｒｖ２とからなる。
【００４７】
バンドパスフィルタ部５２ａは、抵抗Ｒ２ａ，Ｒ２ｂ、可変抵抗Ｒｃ２、共振用コンデンサＣ２及び直流カット用コンデンサＣｏ２からなり、第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力する。そして、バンドパスフィルタ部５２ａは、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ２帯の第２信号成分Ｓｆ２のみを通過させ、次段の差動増幅器５２ｂに出力する。差動増幅器５２ｂは、第２信号成分Ｓｆ２を反転増幅し、その反転増幅した第２信号成分Ｓｆ２の信号レベルを、可変抵抗Ｒｖ２を介して制御駆動信号Ｓ５の信号レベルまでレベル調整して出力端子Ｐ２ｂから出力される。
【００４８】
第３バンドパス回路５３は、入力端子Ｐ３ａに第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力し、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ３帯の信号成分（第３信号成分Ｓｆ３という）のみを出力端子Ｐ３ｂから出力するバンドパスフィルタである。第３バンドパス回路５３は、バンドパスフィルタ部５３ａと、差動増幅器５３ｂ、レベル調整手段としての可変抵抗Ｒｖ３とからなる。
【００４９】
バンドパスフィルタ部５３ａは、抵抗Ｒ３ａ，Ｒ３ｂ、可変抵抗Ｒｃ３、共振用コンデンサＣ３及び直流カット用コンデンサＣｏ３からなり、第５増幅器４１の制御駆動信号Ｓ５を入力する。そして、バンドパスフィルタ部５３ａは、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ３帯の第３信号成分Ｓｆ３のみを通過させ、次段の差動増幅器５３ｂに出力する。差動増幅器５３ｂは、この第３信号成分Ｓｆ３を反転増幅し、その反転増幅した第３信号成分Ｓｆ３の信号レベルを、可変抵抗Ｒｖ２を介して制御駆動信号Ｓ５の信号レベルまでレベル調整して出力端子Ｐ３ｂから出力される。
【００５０】
そして、信号線５０と第１〜第３バンドパス回路５１〜５３は、互いに並列に接続されている。そのため、信号線５０から第５増幅器４１からの制御駆動信号Ｓ５、及び、第１〜第３バンドパス回路５１〜５３からの反転増幅された第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３が加算されて、次段のオペアンプ５４の反転入力端子に入力される。
【００５１】
つまり、アンプ５４の反転入力端子には、制御駆動信号Ｓ５と反転増幅された第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３とが加算されて入力される。従って、加算されることによって、制御駆動信号Ｓ５から第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３が減算され、第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３（共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３の信号成分）がカットされた制御駆動信号Ｓ５がオペアンプ５４に出力される。
【００５２】
このとき、第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３の各信号レベルは、可変抵抗Ｒｖ１〜Ｒｖ３にて制御駆動信号Ｓ５の信号レベルと合わせたので、前記制御駆動信号Ｓ５から第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３を確実にカットすることができる。しかも、レベル調整は、可変抵抗Ｒｖ１〜Ｒｖ３の抵抗値を調整する簡単な操作で行えることができる。
【００５３】
オペアンプ５４は、第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３がカットされた制御駆動信号Ｓ５を増幅してＸ軸ガルバノモータＭＸに出力する。つまり、ノッチフィルタ回路部４２は、並列に接続した第１〜第３バンドパス回路５１〜５３が、それぞれ１つのオペアンプ５４を共有して、異なる問題となる３種類の周波数（共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３）をカットする制御駆動信号Ｓ５を生成する。
【００５４】
従って、Ｘ軸ガルバノモータＭＸには、共振して発振を起す問題となる複数の共振周波数成分ｆ１，ｆ２，ｆ３がカットされた制御駆動信号Ｓ５が入力されるため、Ｘ軸ガルバノモータＭＸは共振して発振を起こすことがなく位置決め及び走査制御が確実かつ高精度に行え、高精度なマーキンングができる。
【００５５】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、ノッチフィルタ回路部４２は、制御駆動信号Ｓ５を通す信号線５０と、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ１帯の第１信号成分Ｓｆ１のみを通す第１バンドパス回路５１と、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ２帯の第２信号成分Ｓｆ２のみを通す第２バンドパス回路５２と、制御駆動信号Ｓ５中に含まれる共振周波数ｆ３帯の第３信号成分Ｓｆ３のみを通す第３バンドパス回路５３とを並列に接続した。
【００５６】
従って、制御駆動信号Ｓ５から第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３（共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３の信号成分）がカットされた制御駆動信号Ｓ５が生成でき、オペアンプ５４に出力される。その結果、Ｘ軸ガルバノモータＭＸには、共振して発振を起す問題となる複数の共振周波数成分ｆ１，ｆ２，ｆ３がカットされた制御駆動信号Ｓ５が入力されるため、Ｘ軸ガルバノモータＭＸは発振を起こすことがなくなり、位置決め及び走査制御が確実かつ高精度に行えて、高精度なマーキンングが行うことができる。
【００５７】
（２）上記実施形態によれば、ノッチフィルタ回路部４２は、信号線５０、第１〜第３バンドパス回路５１〜５３を並列に接続し、その並列回路５５にオペアンプ５４を直列に接続する。そして、並列接続した第１〜第３バンドパス回路５１〜５３が１つのオペアンプ５４を共有するようにした。
【００５８】
従って、共有にした分だけオペアンプの数を省略できる。因みに、図６に示す従来のノッチフィルタ回路部に比べて、２個のオペアンプを省力できる。その結果、ガルバノ制御回路３０全体の回路規模を小さくでき、装置全体の小型化を図ることができる。
【００５９】
（３）上記実施形態によれば、第１〜第３バンドパス回路５１〜５３から抽出された第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３の各信号レベルは、可変抵抗Ｒｖ１〜Ｒｖ３にて制御駆動信号Ｓ５の信号レベルと合わせた。従って、信号線５０からの制御駆動信号Ｓ５中に含まれる第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３を確実にカットすることができる。しかも、レベル調整は、可変抵抗Ｒｖ１〜Ｒｖ３の抵抗値を調整するだけで、簡単に行えることができる。
【００６０】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、図２に示すように、本体部１１ａとヘッド部１１ｂとからなる筺体１１内にはレーザ発振器２１とガルバノスキャナ２３とその制御回路３０を配置したレーザマーキング装置１０に具体化した。図２に示すレーザ発振器２１を収容した発振ユニットを離間した位置に設置し、ガルバノスキャナ２３とガルバノ制御回路３０を筐体１１のヘッド部１１ｂに相当するヘッドユニットに配置し、発振ユニット（レーザ発振器２１）とヘッドユニット（ガルバノスキャナ２３）を光ファイバで結んで、レーザ発振器２１からのレーザ光Ｌを光ファイバを介してガルバノスキャナ２３に出射するヘッド分離型のレーザマーキング装置に応用してもよい。
【００６１】
この場合、ヘッドユニット内に収容されたガルバノ制御回路３０の回路規模を小型にでき、ヘッド部の小型を図ることができ、設置自由度がさらに向上させることができる。
・上記実施形態では、ノッチフィルタ回路部４２を、第５増幅器４１の出力端子とＸ軸ガルバノモータＭＸとの間に設けた。これを、第３増幅器３８と第３減算器３９の間に設けてもよい。そして、第３増幅器３８からの第３出力信号Ｓ３について、第３出力信号Ｓ３に含まれる第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３（共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３の信号成分）をカットして次段の第３減算器３９に出力して実施してもよい。この場合にも、上記実施形態と同様な効果を有する。
【００６２】
・上記実施形態では、３個の共振周波数ｆ１〜ｆ３をカットするノッチフィルタ回路部４２であった。これを２個または４個以上の共振周波数をカットするノッチフィルタ回路部に応用してもよい。この場合、カットする共振周波数の数が多くなるほどオペアンプの数が従来に比べてさらに省略でき、より回路規模の小型化を図ることができる。
【００６３】
・上記実施形態では、可変抵抗Ｒｖ１〜Ｒｖ３にて第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３の各信号レベルを御駆動信号Ｓ５の信号レベルと合わせる可変抵抗Ｒｖ１〜Ｒｖ３を設けたが、これを省略してもよい。
【００６４】
・上記実施形態では、第１〜第３信号成分Ｓｆ１〜Ｓｆ３がカットされた制御駆動信号Ｓ５を増幅する増幅器をオペアンプ５４にしたが、それ以外の増幅器を用いて実施してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】レーザマーキング装置に全体斜視図。
【図２】レーザマーキング装置の概略構成図。
【図３】ガルバノスキャナの全体斜視図。
【図４】ガルバノスキャナのガルバノ制御回路図。
【図５】制御回路に設けたノッチフィルタ回路部の電気回路図。
【図６】従来のノッチフィルタの回路図。
【図７】従来のノッチフィルタ回路部の構成図。
【符号の説明】
【００６６】
１０…レーザマーキング装置、２３…ガルバノスキャナ、２３ａ…Ｘ軸ガルバノミラー、２３ｂ…Ｙ軸ガルバノミラー、３０…ガルバノ制御回路、４２…ノッチフィルタ回路部、５０…信号線、５１…第１バンドパス回路、５１…第１バンドパス回路、５３…第３バンドパス回路、５４…オペアンプ、５５…並列回路、Ｌ…レーザ光、ＭＸ…Ｘ軸ガルバノモータ、ＭＸａ…回転軸、ＭＹ…Ｙ軸ガルバノモータ、ＭＹａ…回転軸、Ｒｖ１，Ｒｖ２，Ｒｖ３…可変抵抗、Ｓ５…制御駆動信号、Ｓｆ１…第１信号成分、Ｓｆ２…第２信号成分、Ｓｆ３…第３信号成分、Ｗ…加工対象物、Ｗｓ…加工面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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