(57)【要約】【課題】カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法において、修正液を白欠陥部に選択的に残すことができ、従って新たな混色や突起を発生させることの無い修正方法および修正装置を提供すること。【解決手段】白欠陥部を満たす領域に着色感光性樹脂を塗布する工程と手段、該着色感光性樹脂を塗布された領域の中で、前記白欠陥部の形状に合わせて整形された光を空間光変調素子により照射する工程と手段、現像により前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残す工程と手段、を含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法であって、白欠陥部を満たす領域に着色感光性樹脂を塗布する工程、該着色感光性樹脂を塗布された領域の中で、前記白欠陥部の形状に合わせて整形された光を空間光変調素子により照射する工程、現像により前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残す工程、を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項２】
前記白欠陥部の形状に合わせて照射光の整形を行う方法が、白欠陥部の形状を撮像する工程、修正対象とする白欠陥部の外形を認識する工程、認識される画像データに合わせて空間光変調素子に出力情報を与える工程、を含むことを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項３】
前記空間光変調素子に出力情報を与える工程が、認識される画像データを基に、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、照射光の強度を制御するようにしたことを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項４】
カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法であって、白欠陥部にレーザ光を照射して初期の欠陥の形状を整形する工程、および該整形された白欠陥に対して、請求項１〜３のいずれかに記載の白欠陥を修正する各工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項５】
カラーフィルタの着色層における黒欠陥を修正する方法であって、黒欠陥部を含む黒欠陥周辺の着色層を除去することによって、黒欠陥を白欠陥に加工する工程、および該加工された白欠陥に対して、請求項１〜３のいずれかに記載の白欠陥を修正する各工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項６】
前記空間光変調素子がＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項７】
カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する装置であって、白欠陥部を満たす領域に着色感光性樹脂を塗布する手段、該白欠陥部の形状に合わせて整形された光を空間光変調素子により照射する手段、前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残す現像手段、を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項８】
前記白欠陥部の形状に合わせて照射光の整形を行う機構が、白欠陥部の形状を撮像する手段、修正対象とする白欠陥部の外形を認識する手段、認識される画像データに合わせて空間光変調素子に出力情報を与える手段、を含むことを特徴とする請求項７記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項９】
前記空間光変調素子に出力情報を与える手段が、認識される画像データを基に、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、照射光の強度を制御する機能を有することを特徴とする請求項８記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項１０】
カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する装置であって、白欠陥部にレーザ光を照射して初期の欠陥の形状を整形する手段、および該整形された白欠陥に対して、請求項７〜９のいずれかに記載の白欠陥を修正する各手段を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項１１】
カラーフィルタの着色層における黒欠陥を修正する装置であって、黒欠陥部を含む黒欠
陥周辺の着色層を除去することによって、黒欠陥を白欠陥に加工する手段、および該加工された白欠陥に対して、請求項７〜９のいずれかに記載の白欠陥を修正する各手段を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項１２】
前記空間光変調素子がＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）であることを特徴とする、請求項７〜１１のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置（ＬＣＤ）等に用いられるカラーフィルタの点欠陥の修正方法及び修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、平面型ディスプレイ装置が多く使われるようになってきており、中でもＬＣＤ（液晶表示装置）は、特にカラーフィルタによって色表示を行う多色カラータイプがテレビ、モニタ、携帯端末等の表示パネルに利用が進んでいる。多色カラー化のために一般にマイクロセル構造のカラーフィルタが多用され、カラーフィルタはパネルの表示品質を決める重要な役割を担っている。
【０００３】
カラーフィルタの製造工程で発生する欠陥の内、着色層と重なって存在する微小な異物や突起を黒欠陥と呼び、着色層の微小領域の抜けである色抜け（白欠陥）と合わせて、点欠陥と総称する。これらの点欠陥はそれ自体がパネル表示の際に現れる明暗の異常を伴う主要な欠陥の一つとなるばかりでなく、黒欠陥の突起に関しては、カラーフィルタ基板の液晶側の表面に一定の高さ以上の突起が存在すると、仮にそれが透明な突起であっても、対向して貼り合わせられるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）基板との間で電気的に短絡を生じる原因を作ることとなるため、ＬＣＤの表示駆動における全体異常にもつながる。
【０００４】
上記の点欠陥はカラーフィルタ製造における良品率を下げる主要な要因となる。しかし、個々の点欠陥は、各々修正を加えることにより、カラーフィルタが良品として救済される可能性も大きい欠陥が多い。特に近年のパネルサイズの大型化に伴い、欠陥密度低減の必要性が益々重要になる中で、これらの点欠陥の修正により、最終良品率を向上させる対策も強く望まれている。
【０００５】
なお、前記の着色層は、通常はＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色から構成されるが、ＬＣＤの種々のタイプに合わせ、また、狙いの色特性の実現のために、色の組み合わせは多様である。上記の点欠陥の問題は、ブラックマトリクスを構成する黒色の色材も含めて、色材による差はあるものの、カラーフィルタにおける共通の問題であるとともに、修正による救済も共通に望まれている。
【０００６】
点欠陥の修正方法として一般的に行われているのは、白欠陥は対象となる着色層が抜けた凹部に周囲の着色部と同様に着色した修正液を塗布して凹みを埋める方法、黒欠陥はレーザ光により異物や突起を除去し（特許文献１参照）、除去後に白欠陥となった部分を前述の白欠陥と同様に修正液を塗って凹みを埋める方法である。修正液の塗り方としては、針部材の先端に修正液を付着させて接触塗布する方法やインクジェットまたはディスペンサを用いて微少量を吐出する方法がある（特許文献２および特許文献３参照）。修正液の乾燥には、溶剤系の液の場合は、修正部にヒーターなどの外部熱源を近づけ、溶剤を揮発させることができるが、最終的に、熱またはＵＶ光による硬化手段により、固定する。
【０００７】
白欠陥を埋める修正液は、白欠陥部を満たす領域に過不足なく塗れれば最善である。しかし、実際には不足しないように、若干過剰に塗る必要がある。修正液が低粘度であれば、塗布後、欠陥部の周辺の正常な着色層部上に色の上塗り状態が生じて過大な膜厚部分を作ったり、塗布された修正液が異なる色領域上まで拡大侵入して新たな混色欠陥を発生させたりする。また、白欠陥部を埋める修正液が高粘度であれば、白欠陥部に近接した周囲に突起状の欠陥を生じることが多い。
【０００８】
上記の修正不良をできるだけ回避するために、着色感光性樹脂を修正液に用い、硬化前にできるだけ正確な位置を狙って細く絞り込んだスポット光を照射して光硬化し、未露光部は現像液により除去する方法も行われる。これにより、白欠陥部からの修正液の大きなはみ出しは防止できるが、白欠陥部の周囲の着色層に膜厚過剰部や突起部を発生させることを防ぎきれない。このような膜厚過剰部や突起部があると、液晶の配向乱れを引き起こし、ＬＣＤの表示性能の低下につながる。
【０００９】
また、白欠陥の修正において、元の白欠陥の形状やサイズが様々であることによる修正品質のばらつきを防ぐ目的で、初めに白欠陥部にレーザ光を照射して欠陥の形状を整形しておき、然る後に形状を修正した白欠陥部に対して、従来の白欠陥の修正方法と同様に、修正液を塗って凹みを埋める方法を行う。しかし、修正液のタイプに応じて上述のように新たな混色や突起の欠陥を生じることがあり、また、着色感光性樹脂を用いてスポット光を照射する方法を用いても、上述の元からある白欠陥と同様の問題がある。
【００１０】
また、黒欠陥の修正において、上述のようにレーザ光による異物や突起の除去を行い、除去後に新たな白欠陥となった部分に対して、元からある白欠陥と同様に、修正液を塗って凹みを埋める方法を行う。しかし、修正液のタイプに応じて上述のように新たな混色や突起の欠陥を生じることがあり、また、着色感光性樹脂を用いてスポット光を照射する方法を用いても、上述の元からある白欠陥と同様の問題がある。
【特許文献１】特公平６−１００６８３号公報
【特許文献２】特開２００３−４３２３６号公報
【特許文献３】特開２００５−２７５０１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであり、その課題とするところは、カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法において、修正液を白欠陥部に選択的に残すことができ、従って新たな混色や突起を発生させることの無い修正方法および修正装置を提供することである。また、本発明の他の課題は、カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法において、修正品質のばらつきが少なく、かつ、新たな欠陥を生じさせない修正方法および修正装置を提供することである。また、本発明の他の課題は、カラーフィルタの着色層における黒欠陥を修正する方法において、新たな欠陥を生じさせない修正方法および修正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法であって、白欠陥部を満たす領域に着色感光性樹脂を塗布する工程、該着色感光性樹脂を塗布された領域の中で、前記白欠陥部の形状に合わせて整形された光を空間光変調素子により照射する工程、現像により前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残す工程、を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記白欠陥部の形状に合わせて照射光の整形を行う方法が、白欠陥部の形状を撮像する工程、修正対象とする白欠陥部の外形を認識する工程、認識される画像データに合わせて空間光変調素子に出力情報を与える工程、を含むことを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、前記空間光変調素子に出力情報を与える工程が、認識される画像データを基に、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、照射光の強度を制御するようにしたことを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する方法であって、白欠陥部にレーザ光を照射して初期の欠陥の形状を整形する工程、および該整形された白欠陥に対して、請求項１〜３のいずれかに記載の白欠陥を修正する各工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、カラーフィルタの着色層における黒欠陥を修正する方法であって、黒欠陥部を含む黒欠陥周辺の着色層を除去することによって、黒欠陥を白欠陥に加工する工程、および該加工された白欠陥に対して、請求項１〜３のいずれかに記載の白欠陥を修正する各工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、前記空間光変調素子がＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する装置であって、白欠陥部を満たす領域に着色感光性樹脂を塗布する手段、該白欠陥部の形状に合わせて整形された光を空間光変調素子により照射する手段、前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残す現像手段、を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置である。
【００１９】
請求項８に記載の発明は、前記白欠陥部の形状に合わせて照射光の整形を行う機構が、白欠陥部の形状を撮像する手段、修正対象とする白欠陥部の外形を認識する手段、認識される画像データに合わせて空間光変調素子に出力情報を与える手段、を含むことを特徴とする請求項７記載のカラーフィルタの欠陥修正装置である。
【００２０】
請求項９に記載の発明は、前記空間光変調素子に出力情報を与える手段が、認識される画像データを基に、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、照射光の強度を制御する機能を有することを特徴とする請求項８記載のカラーフィルタの欠陥修正装置である。
【００２１】
請求項１０に記載の発明は、カラーフィルタの着色層における白欠陥を修正する装置であって、白欠陥部にレーザ光を照射して初期の欠陥の形状を整形する手段、および該整形された白欠陥に対して、請求項７〜９のいずれかに記載の白欠陥を修正する各手段を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置である。
【００２２】
請求項１１に記載の発明は、カラーフィルタの着色層における黒欠陥を修正する装置であって、黒欠陥部を含む黒欠陥周辺の着色層を除去することによって、黒欠陥を白欠陥に加工する手段、および該加工された白欠陥に対して、請求項７〜９のいずれかに記載の白欠陥を修正する各手段を含むことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置である。
【００２３】
請求項１２に記載の発明は、前記空間光変調素子がＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）であることを特徴とする、請求項７〜１１のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正装置である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置によれば、カラーフィルタの着色層における白欠陥に対して、修正液を白欠陥部に選択的に残すことができ、従って新たな混色や突起を発生させることが無い。
【００２５】
また、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置によれば、個々の白欠陥部の形状を正確に捉えて照射光の整形を行えるので、白欠陥部の大きさや形状により
修正品質のばらつきが大きくなることはない。
【００２６】
また、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置によれば、照射光の整形のための情報に白欠陥部の形状の外縁からの距離の要素も入れて、照射光の強度を制御できるので、修正された白欠陥部の内部の表面を平坦にすることができる。
【００２７】
また、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置によれば、白欠陥部をレーザ光で所定の形状に整形した白欠陥に対しても、黒欠陥を発生させる異物や突起を下部の着色層とともに除去することで発生した新たな白欠陥に対しても、元からある白欠陥と同様に、新たな白欠陥部に修正液を選択的に残すことができ、従って新たな混色や突起を発生させることが無い。しかも、新たな白欠陥部の大きさや形状により修正品質のばらつきが大きくなることもなく、修正された白欠陥部の内部の表面を平坦にすることもできる。
【００２８】
また、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置によれば、空間光変調素子を用いる整形された光の照射系において、ＤＭＤを使用することにより、白欠陥部への充分な強度でかつ面内分布の制御された照射量を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の実施形態を工程順に説明する。欠陥修正工程に入る前に予め、カラーフィルタの点欠陥を検査機にて検出し、欠陥修正対象を確認しておく。以下、図面に従って説明する。
【００３０】
図１は本発明の白欠陥修正方法を説明するための拡大模式図である。（ａ）は白欠陥部の平面図、（ｂ）は白欠陥部の断面図であり、カラーフィルタの着色層の正常部１の中に白欠陥部２が囲まれている例である。（ｃ）は修正液の塗布された状態の断面図であり、本発明においては、修正液３に周囲の正常な着色層と同色の着色感光性樹脂を用い、白欠陥部２を満たす領域に塗布される。修正液３は白欠陥部２を過不足なく満たすことが最善であるが、塗布法をインクジェット法や精密ディスペンサを用いるなどにより改良しても、塗布位置と塗布量の精度が完全という訳ではない。従って、現状では、若干過剰な塗布量の修正液３を白欠陥部２の中心を狙って、できるだけ均一な広がりを持つ条件で塗布する。図１の（ｃ）では、修正液３の白欠陥部２からのはみ出しも生じている状態を表す。
【００３１】
次に、前記着色感光性樹脂が塗布された領域の中で、前記白欠陥部２の形状に合わせて整形された光を照射して、白欠陥部２の形状に合致する部分のみの着色感光性樹脂を光硬化させる。（ｄ）は光の照射領域と照射強度の例を示す平面図であり、（ｅ）は照射強度分布の傾向を示す。ここで、照射領域全体が白欠陥部２の外形と一致することが最も重要であり、詳細は後述する。また、照射強度の分布を作ることは、塗布状態の修正液が必ずしも平坦ではなく、中央部が厚くなる傾向があることを考慮して、露光・現像により、膜厚を均一化する方向に補正することを目的としている。本例では、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、一定量内側に入るまでは照射強度を低下させていく制御をする。その結果、照射強度小領域４、照射強度中領域５、照射強度大領域６でランク分けされるような照射強度分布を与え、その後の現像工程により、（ｆ）修正後の状態の断面図に示すように、前記着色感光性樹脂を白欠陥部に過不足なく選択的に残すことができる。しかも、上述のように照射強度分布を制御することにより、修正された白欠陥部の内部の表面を平坦にすることもできる。
【００３２】
比較のために、従来の白欠陥修正方法の中で本発明に近い例を図２の拡大模式図に従って説明する。（ａ）は白欠陥部の平面図、（ｂ）は白欠陥部の断面図であり、カラーフィルタの着色層の正常部１の中に白欠陥部２が囲まれている例である。（ｃ）は修正液の塗
布された状態の断面図であり、図１を用いた上述の本発明の説明と同様である。（ｄ）は光の照射領域の例を示す平面図である。従来はスポット露光領域９が最も正確な位置を狙って細く絞り込んだ領域であるが、それでも修正液のはみ出し部３１にも光が照射される。（ｅ）の照射強度分布の傾向図はスポット露光領域９の中で均一な強度であることを示し、（ｆ）に示す修正後の状態の断面図で、修正済み白欠陥部８が修正液３の塗布状態の盛り上がりをそのまま残すとともに、修正液のはみ出し部３１を反映した修正液のはみ出し硬化部８１も残してしまう。
【００３３】
次に、本発明の欠陥修正装置の構成を示す概要図、図３に従って、本発明の詳細な方法と手段について説明する。
【００３４】
カラーフィルタ基板１１の着色層の一部に白欠陥が存在する。白欠陥は、カラーフィルタの製造工程で発生した白欠陥の場合と、白欠陥を整形して所定の形状の白欠陥に加工した場合と、黒欠陥を除去して白欠陥に加工した場合とを含むが、いずれの場合も凹部を埋めるための修正対象箇所の位置と対象欠陥の情報を予め得ておき、その情報をもとに以下の修正を行う。
【００３５】
欠陥修正対象を確認したカラーフィルタ基板１１をステージ１２上に固定して、欠陥修正装置に設置する。カラーフィルタ基板１１は任意の位置を正確に修正対象位置に合致させられるように、位置決め・駆動手段（図示せず）を有する。白欠陥の修正を始める前に、整形すべき白欠陥や黒欠陥が残っていれば、新たな白欠陥に整形または加工する手段として、加工用レーザ源１４により加工することもできる。
【００３６】
例えば加工用レーザ源１４としてのＹＡＧレーザ源からレーザ光を照射して、整形すべき白欠陥や黒欠陥を周囲の樹脂とともに局部的に加熱除去する。除去された部分が新たな白欠陥部となり、元からある白欠陥部とともに白欠陥の修正対象となる。なお、レーザ光を用いた白欠陥の形状整形としては、元からある白欠陥部より大きい形状にして、元からある白欠陥部を囲む円形または方形に整形するなどの手段が挙げられる。
【００３７】
白欠陥の修正は、白欠陥部を満たす領域に修正液として所定の色の着色感光性樹脂を塗布する工程から始まる。微量の液量が制御できれば、白欠陥の凹部の容積を勘案して、吐出量を決めるディスペンサ方式が望ましい。ディスペンサ１３を修正対象の白欠陥部上に接近させ、例えば、概略の粘度を２００〜３００ｍＰａ・ｓとした着色感光性樹脂を塗布する。前述のとおり、白欠陥部からの修正液のはみ出し塗布は多少は許容されるので、針部材の先端に修正液を付着させて接触塗布する方法も可能である。
【００３８】
上記の着色感光性樹脂を塗布された白欠陥部を完全に含む領域の中で、前記白欠陥部の形状に合わせて整形された光を空間光変調素子により照射することにより、白欠陥部の外形に完全に一致する領域のみを光硬化する。その後、未露光部にある、前記白欠陥部からのはみ出し修正液を未硬化のまま、現像により除去することによって、前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残すことができる。
【００３９】
ここで、前記白欠陥部の形状に合わせて照射光の整形を行う方法と手段について、図面に従って説明する。
【００４０】
図３において、照明光源１５とビームスプリッタ１６を備えた光学系の上方からカメラ１７により、白欠陥部の形状を撮像する。撮像は前記修正液の塗布を行う前が望ましい。欠陥の形状を高精度に捉えるための拡大撮像の機能と画像の焦点を精細に合わせるための焦点合わせ機構（図示せず）を付随的に作用させる。撮像された画像情報を画像処理部１８に送り、修正対象とする白欠陥部の外形を認識させることができる。補助的に人の判断を必要とする場合もあるので、画像モニタ１９を備えて、随時、人の判断を介在させることができる。なお、上記の光学系、カメラ、画像モニタは整形すべき白欠陥や黒欠陥を新たな白欠陥に整形または加工する手段を働かせる場合や、白欠陥部を満たす領域に修正液として所定の色の着色感光性樹脂を塗布する工程においても使用されることは言うまでもない。
【００４１】
認識される白欠陥部の外形から露光位置を正確に決めるために、露光位置処理部２０での処理を行う。ここでは、前述のように、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、一定量内側に入るまでは照射強度を低下させていく制御を行う場合も想定して、そのための位置情報を決定し、次の、具体的に照射光の出力を制御するための出力制御部２１に繋げる。露光光源２３からの均一な光を空間光変調素子、本発明の実施の形態においては、ＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）２４で照射光のパターンに変換して、ビームスプリッタ１６を使用した光学系により、カラーフィルタ基板１１上の白欠陥部に塗布された修正液である前記着色感光性樹脂が満たす該白欠陥部に対応する形状と位置の部分を硬化する。その際、前記出力制御部２１からの出力情報をＤＭＤドライバ２２に与えてＤＭＤへの制御信号を引き出し、該制御信号がＤＭＤ２４の中の個別の微小ミラーを制御するとともに、前記出力制御部２１からの出力情報は露光光源２３の制御にも関わる。露光光源２３には、通常の露光機で使用される水銀ランプ等が利用できる。
【００４２】
なお、修正箇所以外への露光を確実に避けるために、露光光源２３とＤＭＤ２４との間にシャッター２５を別に設けてもよい。シャッター２５の制御は、ＤＭＤドライバ２２からシャッター専用の制御信号を引き出すことにより行う。
【００４３】
上述のように、前記空間光変調素子としてのＤＭＤ２４の個別の微小ミラーを制御するために、出力情報を与える工程と手段は、前記の情報の流れの中で、認識される画像データを基に、白欠陥部の形状の外縁からの距離に対応して、照射光の強度を制御することができる。これにより、前述の図１の説明で述べたとおり、修正された白欠陥部の内部の表面を平坦にすることもできる。
【００４４】
白欠陥部の修正のために、整形された光を照射する工程に続いて、現像により前記着色感光性樹脂を白欠陥部に選択的に残すことができるのは、前述のとおりであるが、前記着色感光性樹脂の材料特性に応じて適宜熱硬化も行う。上記の現像および熱硬化の条件は材料により選択すれば良いが、通常の顔料分散法で製造されるカラーフィルタの製造方法と類似した工程となる。特に熱硬化に関しては、使用する材料に合わせて、色特性、耐性に影響する硬化の程度を考慮して、加熱条件を決める。
【００４５】
本発明に用いる空間光変調素子のＤＭＤ（ディジタルマイクロミラーデバイス）は、フォトマスクを使用しないダイレクト露光装置に最近多く使われるようになってきている。ダイレクト露光装置において、ＤＭＤは、露光光源からの均一光を受けて、多数の微小ミラーの独立制御された傾動により、反射光としてパターン状に対象物へ照射する素子であって、照射すべき画像パターンに対応する出力情報を、個別の微小ミラーに制御信号として与えることによって、機能する。本発明のカラーフィルタの欠陥修正に用いるＤＭＤは、上記のダイレクト露光装置に用いるものほどには高速駆動を必要としない。但し前記白欠陥部の形状を緻密に取り込んだ撮像データを基に、狭い領域とはいえ、微細な分割による高精度の露光を要求するものであって、ＤＭＤの性能の向上は本発明の実施においても有用である。また、ＤＭＤ以外の空間光変調素子であっても、光量、精度、応答速度等の性能面で良好であれば、使用可能である。
【００４６】
なお、本発明を判り易く説明するために、元からある白欠陥と、元からある白欠陥を整形した白欠陥と、黒欠陥から加工した白欠陥と、全てがあたかも単一の着色層の中だけの
現象であるかのように扱い、修正方法も単一の着色層で完結する場合を述べたが、実際の現象として種々の場合があり、黒色も含めて多色にまたがる欠陥が生じることもある。そのような場合にも本発明の欠陥修正方法と欠陥修正装置は適用できるのであって、修正液の着色感光性樹脂の選択を適宜行うことにより、一定の救済措置をとることができる。上記の複雑なタイプの欠陥の修正においては、修正前の検査の段階で人の判断を加えて、修正の程度や各修正工程の条件設定を見直すことも必要になる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の白欠陥修正方法を説明するための拡大模式図である。（ａ）白欠陥部の平面図（ｂ）白欠陥部の断面図（ｃ）修正液の塗布された状態の断面図（ｄ）光の照射領域と照射強度の例を示す平面図（ｅ）照射強度分布の傾向図（ｆ）修正後の状態の断面図
【図２】従来の白欠陥修正方法を説明するための拡大模式図である。（ａ）白欠陥部の平面図（ｂ）白欠陥部の断面図（ｃ）修正液の塗布された状態の断面図（ｄ）光の照射領域の例を示す平面図（ｅ）照射強度分布の傾向図（ｆ）修正後の状態の断面図
【図３】本発明の欠陥修正装置の構成を示す概要図である。
【符号の説明】
【００４８】
１・・・・カラーフィルタの着色層の正常部
２・・・・白欠陥部
３・・・・修正液
４・・・・照射強度小領域
５・・・・照射強度中領域
６・・・・照射強度大領域
７・・・・照射強度分布
８・・・・修正済み白欠陥部
９・・・・スポット露光領域
１１・・・カラーフィルタ基板
１２・・・ステージ
１３・・・ディスペンサ
１４・・・加工用レーザ源
１５・・・照明光源
１６・・・ビームスプリッタ
１７・・・カメラ
１８・・・画像処理部
１９・・・画像モニタ
２０・・・露光位置処理部
２１・・・出力制御部
２２・・・ＤＭＤドライバ
２３・・・露光光源
２４・・・ＤＭＤ
２５・・・シャッター
３１・・・修正液のはみ出し部
８１・・・修正液のはみ出し硬化部
【図１】
2010019880.tif 000003
【図２】
2010019880.tif 000004
【図３】
2010019880.tif 000005