(57)【要約】【課題】吸引圧力が作用した際に、樹脂シートが変形するのを抑制することが可能な吸着搬送治具を提供すること。【解決手段】吸着搬送治具１は、基台１０、樹脂シート２０、及びメッシュ３０を備えている。基台１０は、対向する第１及び第２の主面１０ａ，１０ｂを有している。基台１０には、第２の主面１０ｂ側に複数の吸引孔１２が形成され、第１の主面１０ａ側に吸引孔１２と連通する凹部１４が形成されている。樹脂シート２０は、通気性を有し、基台１０の第１の主面１０ａに対向するように配置されている。メッシュ３０は、基台１０と樹脂シート２０との間に配置されており、金属線が網状に織られてなる。メッシュ３０により、吸引孔１２から凹部１４を通して作用する吸引圧力が、樹脂シート２０における凹部１４に対向する領域２２と、樹脂シート２０における凹部１４に対向しない領域２４とに分散して作用する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する第１及び第２の主面を有し、吸引孔が前記第２の主面側に形成されると共に前記吸引孔と連通する凹部が前記第１の主面側に形成された基台と、
前記基台の前記第１の主面に対向するように配置され、通気性を有する樹脂シートと、
前記基台と前記樹脂シートとの間に配置され、金属線が網状に織られてなるメッシュと、を備え、
前記メッシュにより、前記吸引孔から前記凹部を通して作用する吸引圧力を、前記樹脂シートにおける前記凹部に対向する領域と、前記樹脂シートにおける前記凹部に対向しない領域とに分散して作用させることを特徴とする吸着搬送治具。
【請求項２】
前記メッシュは、前記樹脂シートよりも通気性が高いことを特徴とする請求項１に記載の吸着搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着搬送治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
吸着搬送治具として、対向する第１及び第２の主面を有し、吸引孔が第２の主面側に形成されると共に吸引孔と連通する凹部が第１の主面側に形成された基台を備えているものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−９２５８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
吸着搬送治具では、基台の第１の主面に対向するように通気性を有する樹脂シートを配置して、樹脂シートの表面を被吸着部材との接触面とすることにより、被吸着部材に傷や接触痕が生じるのを防ぐことが行なわれている。
【０００５】
しかしながら、樹脂シートを配置した場合、樹脂シートにおける基台に形成された凹部に対向する領域に、吸引孔から凹部を通して作用する吸引圧力が局所的に作用し、樹脂シートが変形して、樹脂シートの表面に凹凸が生じることが判明した。樹脂シートの表面、すなわち被吸着部材との接触面に凹凸が生じてしまうと、被吸着部材を適切に吸着できなくなってしまう。
【０００６】
本発明は、吸引圧力が作用した際に、樹脂シートが変形するのを抑制することが可能な吸着搬送治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る吸着搬送治具は、対向する第１及び第２の主面を有し、吸引孔が第２の主面側に形成されると共に吸引孔と連通する凹部が第１の主面側に形成された基台と、基台の第１の主面に対向するように配置され、通気性を有する樹脂シートと、基台と樹脂シートとの間に配置され、金属線が網状に織られてなるメッシュと、を備え、メッシュにより、吸引孔から凹部を通して作用する吸引圧力を、樹脂シートにおける凹部に対向する領域と、樹脂シートにおける凹部に対向しない領域とに分散して作用させることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る吸着搬送治具では、基台と樹脂シートとの間に配置されるメッシュにより、吸引孔から凹部を通して作用する吸引圧力が、樹脂シートにおける凹部に対向する領域と、樹脂シートにおける凹部に対向しない領域とに分散して作用する。これにより、吸引孔から凹部を通して作用する吸引圧力が、樹脂シートにおける凹部に対向する領域に局所的に作用することはなく、樹脂シートが変形するのを抑制することができる。
【０００９】
好ましくは、メッシュは、樹脂シートよりも通気性が高い。この場合、吸引孔から凹部を通して作用する吸引圧力を、樹脂シートにおける凹部に対向する領域と、樹脂シートにおける凹部に対向しない領域とに効率よく且つ適切に分散させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吸引圧力が作用した際に、樹脂シートが変形するのを抑制することが可能な吸着搬送治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る吸着搬送治具を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る吸着搬送治具を示す分解斜視図である。
【図３】本実施形態に係る吸着搬送治具の断面構成を説明するための模式図である。
【図４】本実施形態に係る吸着搬送治具にてセラミックグリーンシートを吸着した状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１３】
図１〜図３に基づいて、本実施形態に係る吸着搬送治具１について説明する。吸着搬送治具１は、平面視で矩形形状を呈している基台１０と、同じく平面視で矩形形状を呈している樹脂シート２０と、同じく平面視で矩形形状を呈しているメッシュ３０と、を備えている。
【００１４】
基台１０は、金属等の部材からなり、対向する第１及び第２の主面１０ａ，１０ｂを有している。図２及び図３に示されるように、基台１０の第２の主面１０ｂ側に、複数の吸引孔１２が形成されている。基台１０の第１の主面１０ａ側には、吸引孔１２と連通する凹部１４が形成されている。本実施形態においては、凹部１４は、基台１０の辺に平行な方向に溝状に伸びるように形成されている。
【００１５】
樹脂シート２０は、通気性を有しており、基台１０の第１の主面１０ａに対向するように配置されている。樹脂シート２０としては、市販の多孔質フィルムを用いることができる。このような多孔質フィルムとしては、例えば、旭化成ケミカルズ社製サンファイン（登録商標）ＡＱ等が挙げられる。
【００１６】
メッシュ３０は、基台１０と樹脂シート２０との間に配置されており、金属線（例えば、ステンレス鋼線）が網状に織られてなる。メッシュ３０は、樹脂シート２０よりも通気性が高い。メッシュ３０は、通気性を有する両面粘着部材（例えば、両面テープ等）４０により基台１０に取り付けられている。樹脂シート２０は、同じく、通気性を有する両面粘着部材４２によりメッシュ３０に取り付けられている。メッシュ３０として、例えば、線径が１０〜２００μｍであり且つ目開きが１０〜３００μｍであるメッシュを用いることができる。メッシュ３０は、所定の張力（例えば、１０〜４０Ｎ）が付与された状態で基台１０に取り付けられている。
【００１７】
以上のように、本実施形態では、基台１０と樹脂シート２０との間に配置されるメッシュ３０により、吸引孔１２から凹部１４を通して作用する吸引圧力が、樹脂シート２０における凹部１４に対向する領域２２と、樹脂シート２０における凹部１４に対向しない領域２４とに分散して作用することとなる。これにより、吸引孔１２から凹部１４を通して作用する吸引圧力が、樹脂シート２０における凹部１４に対向する領域２２に局所的に作用することはなく、樹脂シート２０が変形するのを抑制することができる。
【００１８】
メッシュ３０の通気性は、樹脂シート２０の通気性よりも高い。これにより、上記吸引圧力を、樹脂シート２０における凹部１４に対向する領域２２と、樹脂シート２０における凹部１４に対向しない領域２４とに効率よく且つ適切に分散させることができる。
【００１９】
メッシュ３０は、所定の張力が付与された状態で基台１０に取り付けられている。これにより、樹脂シート２０における凹部１４に対向する領域２２が当該領域２２に作用する吸引圧力により変形してしまうのをより効果的に抑制することができる。
【００２０】
続いて、製造工程の一部において上述した吸着搬送治具１を用いる積層電子部品（例えば、積層コンデンサ）の製造方法について説明する。
【００２１】
まず、セラミックグリーンシートを準備する（準備工程）。支持体（例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる帯状の長尺フィルム等）の一面上に、セラミックペーストを塗布し、乾燥することにより、セラミックグリーンシートを形成する。セラミックペーストは、セラミック粉末、有機バインダ、及び有機溶剤を混合して、スラリー化することにより、得られる。
【００２２】
次に、セラミックグリーンシート上の所定の位置に上述した導電性のペーストを塗布して、乾燥させて、電極パターンを形成する（電極パターン形成工程）。導電性のペーストは、導体粉を、バインダ及び有機溶剤に分散させてペースト状にしたものである。
【００２３】
次に、セラミックグリーンシートを所定の位置で切断し、複数のセラミックグリーンシートに分離する。その後、分離された複数のセラミックグリーンシートは、電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートと共に積層し、シート積層体を得る（積層工程）。これらの工程において、電極パターンＥＰが形成されたセラミックグリーンシートＧＳは、図４に示されるように、上方から吸着搬送治具１に吸着されて搬送される。このとき、セラミックグリーンシートＧＳにおける電極パターンＥＰが形成された側の面と、樹脂シート２０とが接触することがある。
【００２４】
樹脂シートの表面（セラミックグリーンシート及び電極パターンと接触する面）に凹凸が形成され、樹脂シートの表面における凸状となっている部分と電極パターンとが接触していると、凸状となっている部分が電極パターンに過度に押圧されてしまうことあり、電極ペーストの成分の一部（例えば、導体粉等）が樹脂シートに付着する懼れがある。樹脂シートに付着した電極ペーストの成分の一部は、セラミックグリーンシートのコンタミネーションとなって、積層電子部品の特性劣化の要因となる。しかしながら、吸着搬送治具１を用いてセラミックグリーンシートＧＳを搬送する場合、上述したように、樹脂シート２０が変形するのを抑制され、樹脂シート２０の表面に凹凸が形成され難いので、樹脂シート２０に電極ペーストの成分の一部が付着するのを防ぐことができる。
【００２５】
次に、得られたシート積層体を、所定の位置で切断し、複数の積層グリーンチップを得る（切断工程）。次に、積層グリーンチップに含まれる樹脂成分を除去し、焼成して、セラミック素体を得る（焼成工程）。その後、セラミック素体の側面に端子電極を形成する（端子形成工程）。以上の工程により、積層電子部品が完成する。
【符号の説明】
【００２６】
１…吸着搬送治具、１０…基台、１０ａ…第１の主面、１０ｂ…第２の主面、１２…吸引孔、１４…凹部、２０…樹脂シート、２２…凹部に対向する領域、２４…凹部に対向しない領域、３０…メッシュ、４０，４２…両面粘着部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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