(57)【要約】【課題】装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる、研磨布用複合布帛および研磨布を提供する。【解決手段】単繊維径５０〜１５００ｎｍのポリエステルマルチフィラメント糸Ａを含む布帛にシート状物を積層して研磨布用複合布帛を得て、研磨布とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
単繊維径５０〜１５００ｎｍのポリエステルマルチフィラメント糸Ａを含む布帛にシート状物が積層されてなる研磨布用複合布帛。
【請求項２】
前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａのフィラメント数が１０００本以上である、請求項１に記載の研磨布用複合布帛。
【請求項３】
前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａが、海成分と島成分とからなる海島型複合繊維の海成分を溶解除去して得られた糸条である、請求項１または請求項２に記載の研磨布用複合布帛。
【請求項４】
前記布帛に、他糸条として、単繊維径が１５００ｎｍより大のポリエステルマルチフィラメント糸Ｂが含まれる、請求項１〜３のいずれかに記載の研磨布用複合布帛。
【請求項５】
前記布帛が織物または編物である、請求項１〜４のいずれかに記載の研磨布用複合布帛。
【請求項６】
前記シート状物が、織物または編物または不織布またはフィルムまたはウレタン樹脂発泡体である、請求項１〜５のいずれかに記載の研磨布用複合布帛。
【請求項７】
複合布帛の厚さが０．０２〜１０ｍｍの範囲内である、請求項１〜６のいずれかに記載の研磨布用複合布帛。
【請求項８】
複合布帛の曲げ強度が５０ｃＮ／ｍｍ２以上である、請求項１〜７のいずれかに記載の研磨布用複合布帛。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の研磨布用複合布帛を用いてなる、記録媒体のテキスチャリング用研磨布、記録媒体のポリッシング用研磨布、電子部品の仕上げ用研磨布、および電子部品のバフ研磨用研磨布からなる群より選択されるいずれかの研磨布。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる、研磨布用複合布帛および研磨布に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種情報機器の進展に伴い、磁気ディスク等の磁気記録媒体やシリコンウエハーは、さらなる記録容量の増大が望まれており、記録容量の増大につながる記録の高密度化を実現するべく、基板表面加工の一層の高精度仕上げが要求されている。例えば、ハードディスク装置に用いられる磁気記録媒体の基板としては、従来の長手磁気記録方式に代えて、現在磁気記録方式は、垂直磁気記録方式に移行しつつあり、基板となるアルミニウム、ガラスなどの表面をより高度に平滑化することが要求されており、そこで用いられる研磨布に対する要求もますます高くなってきている。用いる研磨布の特性に起因し、研磨した際に基板表面に欠点（うねりやスクラッチ傷など）を生じると、情報のリード／ライト時にエラーが発生してしまうおそれがある。
このため、被研磨物表面の欠点（スクラッチ）発生率を低減させるため、極細繊維を用いた研磨布が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
しかしながら、かかる研磨布では、研磨布としての剛直性がなく、研磨装置に取り付ける際の取り扱い性に問題があり、かつ、研磨中において研磨布にシワが発生し、被研磨物表面に欠点（うねりやスクラッチ傷）を生じさせてしまうという問題があることが判明した。
なお、極細繊維を用いた研磨布は、例えば特許文献３などにより提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０００７５１号公報
【特許文献２】特開２００８−１７３７５９号公報
【特許文献３】特開２００７−３０８８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記の背景に鑑みなされたものであり、その目的は、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる、研磨布用複合布帛および研磨布を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は上記の課題を達成するため鋭意検討した結果、極細繊維を含む布帛にシート状物を積層させて研磨布を得ることにより、研磨布の剛性が大きくなり、その結果、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られることを見出し、さらに鋭意検討を重ねることにより本発明を完成するに至った。
【０００７】
かくして、本発明によれば「単繊維径５０〜１５００ｎｍのポリエステルマルチフィラメント糸Ａを含む布帛にシート状物が積層されてなる研磨布用複合布帛。」が提供される。
【０００８】
その際、前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａのフィラメント数が１０００本以上であることが好ましい。また、前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａが、海成分と島成分とからなる海島型複合繊維の海成分を溶解除去して得られた糸条であることが好ましい。また、前記布帛に、他糸条として、単繊維径が１５００ｎｍより大のポリエステルマルチフィラメント糸Ｂが含まれることが好ましい。また、前記布帛が織物または編物であることが好ましい。また、前記シート状物が、織物または編物または不織布またはフィルムまたはウレタン樹脂発泡体であることが好ましい。また、複合布帛の厚さが０．０２〜１０ｍｍの範囲内であることが好ましい。また、複合布帛の曲げ強度が５０ｃＮ／ｍｍ２以上であることが好ましい。
【０００９】
また、本発明によれば、前記の研磨布用複合布帛を用いてなる、記録媒体のテキスチャリング用研磨布、記録媒体のポリッシング用研磨布、電子部品の仕上げ用研磨布、および電子部品のバフ研磨用研磨布からなる群より選択されるいずれかの研磨布が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる、研磨布用複合布帛および研磨布が得られる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
まず、本発明において、ポリエステルマルチフィラメント糸Ａはその単繊維径（単繊維の直径）が５０〜１５００ｎｍ（好ましくは１００〜１０００ｎｍ、特に好ましくは４００〜８００ｎｍ）の範囲内であることが肝要である。かかる単繊維径を単糸繊度に換算すると、０．００００２〜０．０２２ｄｔｅｘに相当する。ここで、単繊維径が５０ｎｍ未満の場合には製造が困難となるだけでなく、繊維強度が低くなるため実用上好ましくない。逆に、単繊維径が１５００ｎｍを超える場合には、研磨布用布帛を研磨布として使用する際、被研磨物表面を高度に平坦化することができず好ましくない。なお、単繊維の断面形状が丸断面以外の異型断面である場合には外接円の直径を単繊維径とする。また、単繊維径は、透過型電子顕微鏡で繊維の横断面を撮影することにより測定が可能である。
【００１２】
かかるポリエステルマルチフィラメント糸Ａにおいて、フィラメント数は特に限定されないが、１０００以上（より好ましくは２０００〜１００００）であることが好ましい。また、ポリエステルマルチフィラメント糸Ａの総繊度（単繊維繊度とフィラメント数との積）としては、５〜２００ｄｔｅｘの範囲内であることが好ましい。
【００１３】
かかるポリエステルマルチフィラメント糸Ａを形成するポリマーは、艶消し剤の含有率がポリエステル重量対比１．０重量％以下（より好ましくは０．５重量％以下、特に好ましくは０重量％）のポリエステルであることが好ましい。艶消し剤がポリエステル重量対比１．０重量％より多くポリエステル中に含まれていると、研磨布を用いて被研磨物を研磨した際に、被研磨物表面に欠点（スクラッチ）が発生しやすくなるおそれがある。また、ポリエステルの種類としては、ポリエチレンテレフタレートやポリトリメチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ステレオコンプレックスポリ乳酸、ポリ乳酸、第３成分を共重合させたポリエステルなどが好ましく例示される。なお、前記の艶消し剤とは二酸化チタンのことであり、二酸化チタンは無機微粒子の１種である。かかる二酸化チタンの含有量は、蛍光Ｘ線（例えば、リガク電機工業（株）社製ＺＳＸ１００ｅ）を用いる方法や、溶媒を用いてポリエステルを溶かす方法などにより測定をすることができる。
【００１４】
また、前記ポリマー中には、本発明の目的を損なわない範囲内で必要に応じて、カチオン染料可染剤、着色防止剤、熱安定剤が１種または２種以上含まれていてもよいが無機微粒子の含有率がポリエステル重量対比１．０重量％以下であることが好ましい。
【００１５】
前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａの繊維形態は特に限定されず、通常の空気加工、仮撚捲縮加工が施されていてもさしつかえない。また、空気混繊または合撚糸または複合仮撚により他の糸条との複合糸として織物に含まれていてもよい。
【００１６】
本発明において、研磨層となる布帛は前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａのみで構成されていてもよいが、前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａ以外に他糸条として、単繊維径が１５００ｎｍより大のポリエステルマルチフィラメント糸Ｂが含まれることが好ましい。その際、該ポリエステルマルチフィラメント糸Ｂはその単繊維径が３μｍ以上（より好ましくは３〜３０μｍ）の範囲内であることが好ましい。該単繊維径が３μｍよりも小さいと、布帛の圧縮剛さが小さくなるため、被研磨物表面の欠点（スクラッチ）が発生しやすくなるおそれがある。ここで、単繊維の断面形状が丸断面以外の異型断面である場合には、外接円の直径を単繊維径とする。なお、単繊維径は、前記と同様、透過型電子顕微鏡で繊維の横断面を撮影することにより測定が可能である。
【００１７】
前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ｂにおいて、フィラメント数は特に限定されないが、１０〜３００本（好ましくは３０〜１５０本）の範囲内であることが好ましい。また、かかるポリエステルマルチフィラメント糸Ｂの繊維形態は特に限定されないが、長繊維（マルチフィラメント糸）であることが好ましい。単繊維の断面形状も特に限定されず、丸、三角、扁平、中空など公知の断面形状でよい。また、通常の空気加工、仮撚捲縮加工が施されていてもさしつかえない。
【００１８】
前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ｂを形成するポリマー形成するポリマーは、艶消し剤の含有率がポリエステル重量対比１．０重量％以下（より好ましくは０．５重量％以下、特に好ましくは０重量％）のポリエステルであることが好ましい。艶消し剤がポリエステル重量対比１．０重量％より多くポリエステル中に含まれていると、研磨布を用いて被研磨物を研磨した際に、被研磨物表面に欠点（スクラッチ）が発生しやすくなるおそれがある。また、ポリエステルの種類としては、ポリエステル系ポリマーであれば特に限定されず、ポリエチレンテレフタレートやポリトリメチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ステレオコンプレックスポリ乳酸、ポリ乳酸、第３成分を共重合させたポリエステルなどが好ましく例示される。かかるポリエステルとしては、マテリアルリサイクルまたはケミカルリサイクルされたポリエステルであってもよい。さらには、特開２００４−２７００９７号公報や特開２００４−２１１２６８号公報に記載されているような、特定のリン化合物およびチタン化合物を含む触媒を用いて得られたポリエステルでもよい。該ポリマー中には、本発明の目的を損なわない範囲内で必要に応じて、カチオン染料可染剤、着色防止剤、熱安定剤が１種または２種以上含まれていてもよいが、無機微粒子の含有率がポリエステル重量対比１．０重量％以下であることが好ましい。
【００１９】
本発明において、研磨層となる布帛の組織は特に限定されないが、編物または織物が好ましい。その際、編物の編組織としては、例えば、よこ編組織としては、平編、ゴム編、両面編、パール編、タック編、浮き編、片畔編、レース編、添え毛編等が例示され、たて編組織としては、シングルデンビー編、シングルアトラス編、ダブルコード編、ハーフ編、ハーフベース編、サテン編、ハーフトリコット編、裏毛編、ジャガード編等などが例示される。層数も単層でもよいし、２層以上の多層でもよい。なかでも、前記のような伸度を得る上で、たて編組織が好ましい。また、層数を２層以上の多層構造とし、多層のうち１層または２層を前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ａで構成し、他の層を前記ポリエステルマルチフィラメント糸Ｂで構成することは好ましいことである。また、織物の織組織としては、例えば、平織、斜文織、サテン織物等の三原組織、変化組織、変化斜文織等の変化組織、たて二重織、よこ二重織等の片二重組織、たてビロードなどが例示される。層数も単層でもよいし、２層以上の多層でもよい。
【００２０】
また、前記の布帛の織編密度は特に限定されないが、編物であれば、３０コース／２．５４ｃｍ以上（より好ましくは３０〜１４０コース／２．５４ｃｍ）かつ２０ウエール／２．５４ｃｍ以上（より好ましくは２０〜１１０ウエール／２．５４ｃｍ）であることが好ましい。また、布帛が織物の場合、カバーファクターＣＦが２０００〜４５００（より好ましくは２５００〜４０００）の範囲であることが被研磨物に微細な溝を形成する上で好ましい。カバーファクターが２０００未満であると、研磨布用織物に研磨剤を付与した際、分散性が不十分となり被研磨物に微細な溝を形成するのが困難となるおそれがある。逆に、カバーファクターが４５００よりも大きいと、剛性が高くなりすぎ被研磨物に微細な溝を形成するのが困難となるおそれがある。なお、本発明でいうカバーファクターＣＦは下記の式により表されるものである。
ＣＦ＝（ＤＷｐ／１．１）１／２×ＭＷｐ＋（ＤＷｆ／１．１）１／２×ＭＷｆ
［ＤＷｐは経糸総繊度（ｄｔｅｘ）、ＭＷｐは経糸織密度（本／２．５４ｃｍ）、ＤＷｆは緯糸総繊度（ｄｔｅｘ）、ＭＷｆは緯糸織密度（本／２．５４ｃｍ）である。］
【００２１】
また、布帛において、厚みが０．１５〜１．０ｍｍ（より好ましくは０．１７〜０．９０ｍｍ）の範囲内であることが好ましい。該厚みが０．１５ｍｍよりも小さいと、クッション性が低くなり被研磨物表面に欠点（スクラッチ）を発生させやすくなるおそれがある。逆に厚みが１．０ｍｍよりも大きいと作業性が低下するおそれがある。
【００２２】
前記の布帛は、例えば、以下の製造方法により製造することができる。まず、海成分と、ポリエステルからなりその径が１０〜１５００ｎｍである島成分とで形成される海島型複合繊維（ポリエステルマルチフィラメント糸Ａ用繊維）を用意する。かかる海島型複合繊維としては、特開２００７−２３６４号公報に開示された海島型複合繊維マルチフィラメント（島数１００〜１５００）が好ましく用いられる。
【００２３】
すなわち、海成分ポリマーとしては、繊維形成性の良好なポリエステル、ポリアミド、ポリスチレン、ポリエチレンなどが好ましい。例えば、アルカリ水溶液易溶解性ポリマーとしては、ポリ乳酸、超高分子量ポリアルキレンオキサイド縮合系ポリマー、ポリエチレングルコール系化合物共重合ポリエステル、ポリエチレングリコール系化合物と５−ナトリウムスルホン酸イソフタル酸の共重合ポリエステルが好適である。なかでも、５−ナトリウムスルホイソフタル酸６〜１２モル％と分子量４０００〜１２０００のポリエチレングルコールを３〜１０重量％共重合させた固有粘度が０．４〜０．６のポリエチレンテレフタレート系共重合ポリエステルが好ましい。
【００２４】
一方、島成分ポリマーは、繊維形成性の良好なポリエチレンテレフタレートやポリトリメチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ乳酸、第３成分を共重合させたポリエステルなどのポリエステルが好ましい。該ポリマー中には、本発明の目的を損なわない範囲内で必要に応じて、微細孔形成剤、カチオン染料可染剤、着色防止剤、熱安定剤、蛍光増白剤、艶消し剤、着色剤、吸湿剤、無機微粒子が１種または２種以上含まれていてもよい。
【００２５】
上記の海成分ポリマーと島成分ポリマーからなる海島型複合繊維は、溶融紡糸時における海成分の溶融粘度が島成分ポリマーの溶融粘度よりも大きいことが好ましい。また、島成分の径は、１０〜１５００ｎｍの範囲とする必要がある。その際、島成分の形状が真円でない場合は外接円の直径を求める。前記の海島型複合繊維において、その海島複合重量比率（海：島）は、４０：６０〜５：９５の範囲が好ましく、特に３０：７０〜１０：９０の範囲が好ましい。
【００２６】
かかる海島型複合繊維マルチフィラメント糸は、例えば以下の方法により容易に製造することができる。すなわち、前記の海成分ポリマーと島成分ポリマーとを用い溶融紡糸する。溶融紡糸に用いられる紡糸口金としては、島成分を形成するための中空ピン群や微細孔群を有するものなど任意のものを用いることができる。吐出された海島型断面複合繊維マルチフィラメント糸は、冷却風によって固化され、好ましくは４００〜６０００ｍ／分で溶融紡糸された後に巻き取られる。得られた未延伸糸は、別途延伸工程をとおして所望の強度・伸度・熱収縮特性を有する複合繊維とするか、あるいは、一旦巻き取ることなく一定速度でローラーに引き取り、引き続いて延伸工程をとおした後に巻き取る方法のいずれでも構わない。かかる海島型複合繊維マルチフィラメント糸において、単糸繊維繊度、フィラメント数、総繊度としてはそれぞれ単糸繊維繊度０．５〜１０．０ｄｔｅｘ、フィラメント数５〜７５本、総繊３０〜１７０ｄｔｅｘの範囲内であることが好ましい。また、かかる海島型複合繊維マルチフィラメント糸の沸水収縮率としては５〜３０％の範囲内であることが好ましい。
【００２７】
一方、必要に応じて、単繊維繊度が０．１ｄｔｅｘ以上（好ましくは０．１〜５０ｄｔｅｘ）であるポリエステルマルチフィラメント糸Ｂを用意する。最終的に得られる生地内のフィラメント糸Ｂの単繊維径を１５００ｎｍより大とする上で、単繊維繊度を前記の範囲内とすることが好ましい。
【００２８】
次いで、前記海島型複合繊維マルチフィラメント糸と、必要に応じてポリエステルマルチフィラメント糸Ｂとを用いて布帛を織編成する。その際、前記海島型複合繊維フィラメント糸とポリエステルマルチフィラメント糸Ｂとの総繊度比としては、９０：１０〜２０：８０の範囲内であることが好ましい。なお、製織編する際に用いる織編機を限定されず通常のものでよい。
【００２９】
次いで、前記の布帛にアルカリ水溶液処理を施し、前記海島型複合繊維の海成分をアルカリ水溶液で溶解除去することにより、海島型複合繊維フィラメント糸を単繊維径が１０〜１５００ｎｍのフィラメント糸Ａとする。その際、アルカリ水溶液処理の条件としては、濃度３〜４％のＮａＯＨ水溶液を使用し５５〜６５℃の温度で処理するとよい。
【００３０】
ここで、前記アルカリ水溶液による溶解除去の前および／または後に、あるいは、前記熱セットの前および／または後に編物に染色加工を施してもよい。カレンダー加工（加熱加圧加工）やエンボス加工を施してもよい。さらに、常法の起毛加工、撥水加工、さらには、紫外線遮蔽あるいは制電剤、抗菌剤、消臭剤、防虫剤、蓄光剤、再帰反射剤、マイナスイオン発生剤等の機能を付与する各種加工を付加適用してもよい。
【００３１】
本発明の研磨布用複合布帛は前記の布帛のどちらか一方の面にシート状物を積層してなる二層構造複合布帛である。このように、布帛にシート状物を積層することにより、複合布帛の剛性が向上し、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる。
【００３２】
ここで、前記シート状物が、織物または編物または不織布またはフィルムまたはウレタン樹脂発泡体であることが好ましい。その際、織物、編物、不織布を構成する繊維としては、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステルからなるポリエステル繊維が好ましい。また、前記フィルムを形成する樹脂としてはポリエチレンテレフタレートが好ましい。かかるフィルムには、コーティングなどにより形成した樹脂層も含まれる。また、前記シート状物は、織物または編物または不織布またはフィルムまたはウレタン樹脂発泡体の複合体でもよい。前記布帛に前記シート状物を積層する方法は特に限定されず、熱ロールラミネート法により熱接着する方法、接着剤を用いる方法、樹脂をコーティングする方法などが例示される。
【００３３】
かくして得られた複合布帛において、厚さが０．０２〜１０ｍｍの範囲内であることが好ましい。厚さが０．０２ｍｍよりも小さいと、複合布帛としての剛性が大きくならず、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率を有する研磨布が得られないおそれがある。逆に、布帛の厚さが１０ｍｍよりも大きいと、複合布帛としての剛性が大きくなりすぎて、かえって取扱い性が損われるおそれがある。その際、かかる複合布帛の、タテ方向またはヨコ方向またはななめ方向のうち、少なくとも一方向の曲げ強度が５０ｃＮ／ｍｍ２以上であることが好ましい。特に、タテ方向およびヨコ方向の曲げ強度が５０ｃＮ／ｍｍ２以上であることが好ましい。なお、かかる曲げ強度はＪＩＳ  Ｋ  ６９１１  ５．１７に従って測定するものとする。
【００３４】
次に、本発明の研磨布は、前記研磨布用複合布帛を用いてなる、磁気デイスクや光デイスクなど記録媒体のテキスチャリング用研磨布、記録媒体のポリッシング用研磨布、電子部品の仕上げ用研磨布、および電子部品のバフ研磨用研磨布からなる群より選択されるいずれかの研磨布である。かかる研磨布によれば、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる。
【実施例】
【００３５】
（１）単繊維径と繊維径の均一性
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で繊維の横断面を撮影することにより測定した。ｎ数５で測定しその平均値を求め、その最大値と最小値の幅が平均値の５０％より小さいものを「繊維径の均一性良好」とした。
（２）複合布帛の厚さ
ＪＩＳ  Ｌ  １０１８  ８．５に従って複合布帛の厚みを測定した。
（３）複合布帛の曲げ強度
ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１  ５．１７に従って複合布帛の曲げ強度を測定した。
（４）研磨能率
シリコンウエハに対し、研磨剤に０．０３５μｍのコロイダルシリカ砥粒を５重量％含んでいるスラリーを１２ｍｌ／ｍｉｎで滴下しながら、定盤回転数８０ｒｐｍ、加圧２００ｇｆ／ｃｍ２で１０分間ポリッシュ加工した際の、シリコンウエハの重量低下量により測定した。０．４μｍ／ｍｉｎ以上であれば合格とする。
【００３６】
［実施例１］
島成分としてポリエチレンテレフタレート、海成分として５−ナトリウムスルホイソフタル酸９モル％と数平均分子量４０００のポリエチレングリコール３重量％を共重合したポリエチレンテレフタレートを用い、海：島＝３０：７０、島数＝８３６の海島型複合未延伸繊維を、紡糸温度２８０℃、紡糸速度１５００ｍ／分で溶融紡糸して一旦巻き取った。得られた未延伸糸を、延伸温度８０℃、延伸倍率２．５倍でローラー延伸し、次いで１５０℃で熱セットして巻き取り、ポリエステルマルチフィラメント糸Ａ用糸条とした。得られた海島型複合延伸糸は５６ｄｔｅｘ／１０ｆｉｌであり、透過型電子顕微鏡ＴＥＭによる繊維横断面を観察したところ、島の形状は丸形状でかつ島の径は７００ｎｍであった。
【００３７】
次いで、２８ゲージの通常の経編機を使用して、前述の海島型複合延伸糸をフロント筬とミドル筬に用い、ポリエチレンテレフタレートからなるマルチフィラメント（３３ｄｔｅｘ／１２ｆｉｌ、ポリエステルマルチフィラメント糸Ｂ）をバック筬に用い、サテン組織（バック：１０／２１、ミドル：１０／３４、フロント：１０／３４による編方）によりサテン組織の経編生機を得た。次いで、該編物を５０℃にて湿熱処理した後、海島型複合延伸糸の海成分を除去するために、２．５％ＮａＯＨ水溶液で、５５℃にて２５％減量（アルカリ減量）した。その後、常法の染色仕上げ加工、湿熱加工、乾熱加工を行った。
【００３８】
その後、該編物の裏面に、ポリエチレンテレフタレートからなる厚さ１００μｍ（０．１ｍｍ）のフィルム（帝人デュポンフィルム（株）製「メリネックス」）を、熱ロールラミネート法により、ウレタン樹脂溶剤系接着剤を用い、塗工量２８ｇ／ｍ２、プレス温度８０℃、プレス圧力２０００ｋｇｆ／ｃｍ、速度８ｍ／秒の条件で貼り合せて複合布帛（研磨層が編物、下地層がポリエチレンテレフタレートフィルムからなるシート状物）を得た。
【００３９】
得られた複合布帛において、ポリエステルマルチフィラメント糸Ａの平均単繊維径は７００ｎｍ、最大値と最小値の幅は平均繊維径に対し１５％であった。また、複合布帛の厚みは０．５６ｍｍであり、曲げ強度はタテ方向１１６ｃＮ／ｍｍ２、ヨコ方向１６０ｃＮ／ｍｍ２であった。
該複合布帛を直径３８０ｍｍの円形に裁断し、シリコンウエハのポリッシュ加工に適した研磨パッドとした。該研磨パッドを用い、研磨剤に０．０３５μｍのコロイダルシリカ砥粒を５重量％含んでいるスラリーを１２ｍｌ／ｍｉｎで滴下しながら、定盤回転数８０ｒｐｍ、加圧２００ｇｆ／ｃｍ２で１０分間ポリッシュ加工を実施した。研磨能率は０．６μｍ／ｍｉｎと良好であり、スクラッチ傷などの欠点が非常に少なかった。
【００４０】
［実施例２］
実施例１と同様に編物を得た後、該編物の裏面に、厚さ１．５ｍｍの硬質ポリウレタン発泡体（ロデール・ニッタ社製の「ＭＨ−Ｓ１５Ａ」）を熱ロールラミネート法により、ウレタン樹脂溶剤系接着剤を用い、塗工量２８ｇ／ｍ２、プレス温度８０℃、プレス圧力２０００ｋｇｆ／ｃｍ、速度８ｍ／秒の条件で貼り合せ、研磨層が編物、下地層が硬質ポリウレタン発泡体からなる複合布帛を得た。
【００４１】
得られた複合布帛において、フィラメント糸Ａの平均単繊維径は７００ｎｍ、最大値と最小値の幅は平均繊維径に対し１５％であり、複合布帛の厚みは１．９ｍｍであり、曲げ強度はタテ方向１９５ｃＮ／ｍｍ２、ヨコ方向２１０ｃＮ／ｍｍ２であった。
該複合布帛を直径３８０ｍｍの円形に裁断し、シリコンウエハのポリッシュ加工に適した研磨パッドとした。該研磨パッドを用い、研磨剤に０．０３５μｍのコロイダルシリカ砥粒を５重量％含んでいるスラリーを１２ｍｌ／ｍｉｎで滴下しながら、定盤回転数８０ｒｐｍ、加圧２００ｇｆ／ｃｍ２で１０分間ポリッシュ加工を実施した。研磨能率は０．５６μｍ／ｍｉｎと良好であり、スクラッチ傷などの欠点が非常に少なかった。
【００４２】
［実施例３］
実施例１と同様に海島型複合延伸糸５６ｄｔｅｘ／１０ｆｉｌを得た。次いで、該延伸糸２本と通常のポリエチレンテレフタレートからなるマルチフィラメント（３３ｄｔｅｘ／１２ｆｉｌ）とインターレース加工にて混繊糸を得た。
該混繊糸を３００回／ｍ（Ｓ方向）にて撚糸し、経糸に全量配し、一方、通常のポリエチレンテレフタレートからなるマルチフィラメント仮撚捲縮加工糸（５６ｄｔｅｘ／１４４ｆｉｌ）を２本引き揃え３００回／ｍ（Ｓ方向）にて合撚後、緯糸に全量配し、経密度１７１本／２．５４ｃｍ、緯密度６７本／２．５４ｃｍの織密度にて、通常の製織方法により５枚サテン組織の織物生機を得た。次いで、該織物を５０℃にて湿熱処理した後、海島型複合延伸糸の海成分を除去するために、２．５％ＮａＯＨ水溶液で、５５℃にて２０％減量（アルカリ減量）した。その後、常法の湿熱加工、乾熱加工を行った。
【００４３】
その後、該織物の裏面に、厚さ１．２７ｍｍのウレタン含浸不織布（ロデール・ニッタ社製の「ＳＵＢＡ６００」）を熱ロールラミネート法により、ウレタン樹脂溶剤系接着剤を用い、塗工量２８ｇ／ｍ２、プレス温度８０℃、プレス圧力２０００ｋｇｆ／ｃｍ、速度８ｍ／秒の条件で貼り合せ、研磨層が織物、下地層がウレタン含浸不織布からなる複合布帛を得た。
【００４４】
得られた複合布帛において、フィラメント糸Ａの平均単繊維径は７００ｎｍ、最大値と最小値の幅は平均繊維径に対し１７％であり、複合布帛の厚みは１．６ｍｍであり、曲げ強度はタテ方向７２ｃＮ／ｍｍ２、ヨコ方向７９ｃＮ／ｍｍ２であった。
該複合布帛を直径３８０ｍｍの円形に裁断し、シリコンウエハのポリッシュ加工に適した研磨パッドとした。該研磨パッドを用い、研磨剤に０．０３５μｍのコロイダルシリカ砥粒を５重量％含んでいるスラリーを１２ｍｌ／ｍｉｎで滴下しながら、定盤回転数８０ｒｐｍ、加圧２００ｇｆ／ｃｍ２で１０分間ポリッシュ加工を実施した。研磨能率は０．４８μｍ／ｍｉｎと良好であり、スクラッチ傷などの欠点が非常に少なかった。
【００４５】
［比較例１］
実施例１と同様に編物を得た後、そのまま該編物を直径３８０ｍｍの円形に裁断し、シリコンウエハのポリッシュ加工に適した研磨パッドとした。得られた研磨パッドにおいて、フィラメント糸Ａの平均単繊維径は７００ｎｍ、最大値と最小値の幅は平均繊維径に対し１５％であり、厚みは０．４７ｍｍであり、曲げ強度はタテ方向１７ｃＮ／ｍｍ２、ヨコ方向７ｃＮ／ｍｍ２であった。
該研磨パッドを用い、研磨剤に０．０３５μｍのコロイダルシリカ砥粒を５重量％含んでいるスラリーを１２ｍｌ／ｍｉｎで滴下しながら、定盤回転数８０ｒｐｍ、加圧２００ｇｆ／ｃｍ２で１０分間ポリッシュ加工を実施した。研磨能率は０．５８μｍ／ｍｉｎと良好であったが、研磨中に研磨パッドにシワが発生し、スクラッチ傷の欠点が多発した。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明によれば、装置などに取り付ける際の取り扱い性に優れ、かつ被研磨物表面の欠点（うねり、スクラッチ傷など）の発生を抑制することができ、さらに優れた研磨能率が得られる、研磨布用複合布帛および研磨布が提供され、その工業的価値は極めて大である。