(57)【要約】      （修正有）【課題】効率的に放熱することができる燃料噴射弁を制御する積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】積層型圧電アクチュエータ１は、圧電アクチュエータ本体２における積層方向略中央に一対の不活性層２４ａ，２４ｂを備える。そして、一対の不活性層２４ａ，２４ｂの間に、筒体５の内側面に長手方向の両端部が当接し、筒体５の内側面に固定された放熱部材３を備える。筒体５の内面に当接する放熱部材３が圧電アクチュエータ本体１の積層方向略中央において発生した熱を、筒体５に伝導して放熱を行うことができる。また、これに加えて、放熱部材３は筒体５に固定されているため、放熱部材３からの放熱効率を向上することができる。【選択図】図１
2010153728.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と内部電極層とが交互に積層された圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体における積層方向略中央に形成された一対の不活性部と、
前記圧電アクチュエータ本体の積層方向に延び、少なくとも前記圧電アクチュエータ本体の前記不活性部を離間して囲繞する筒体と、
前記一対の不活性部の間に配置された板状の放熱部材と、を備え、
前記放熱部材は、その端部が前記筒体の内周面に当接し、前記内周面に固定されることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記放熱部材による前記圧電アクチュエータ本体に対する変位抑制力は、前記圧電アクチュエータ本体に印加される駆動電圧のうち、前記圧電アクチュエータ本体に最小変位を生じさせる最小駆動電圧による前記圧電アクチュエータ本体の変位を許容する程度に小さいことを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータ本体の一端側に当接するように配置される第１部材と、
前記圧電アクチュエータ本体の他端側に当接するように配置される第２部材と、を備え、
前記第１部材と前記第２部材とは、前記圧電アクチュエータ本体が駆動電圧を印加されない状態で前記圧電アクチュエータ本体に、前記圧電アクチュエータ本体における積層方向への圧縮予荷重を与えるようにそれぞれ前記筒体に固定され、
前記変位抑制力は、前記圧縮予荷重より小さいことを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記放熱部材は、前記放熱部材の長手方向端部近傍に形成されたビードを有することを特徴とする請求項２又は３に記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記放熱部材における積層方向の厚さは、０．２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項６】
圧電体層と内部電極層とが交互に積層された圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体における積層方向略中央に形成された一対の不活性部と、
前記圧電アクチュエータ本体の積層方向に延び、少なくとも前記圧電アクチュエータ本体の前記不活性部を離間して囲繞する筒体と、
前記一対の不活性部の間に配置された板状の放熱部材と、を備え、
前記放熱部材は、その端部が前記筒体の内周面に当接し、前記内周面にレーザ溶接により接合されることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型圧電アクチュエータに関する。詳しくは、燃料噴射弁を制御する積層型圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ディーゼルエンジンに燃料を供給する燃料噴射弁（以下、「インジェクタ」と表記する）では、インジェクタを構成するニードル弁を制御するための駆動源として、電磁弁に変わり積層型圧電アクチュエータが用いられるようになっている。
【０００３】
積層型圧電アクチュエータは、印加電圧に応じて変位する圧電体層と、圧電体層に電圧を印加する内部電極層とを交互に積層して構成される。このような積層型圧電アクチュエータは、圧電体の変形を利用して変位を得るため、電磁式アクチュエータに比べて電磁ノイズが発生せず、その応答速度や変位精度において優位性を有している。このため、近年のインジェクタの主要な駆動源として多く用いられている。
【０００４】
このような積層型圧電アクチュエータは、圧電素子に対して内部電極層が印加電圧を変化させることにより変位を得る。圧電素子は変位と同時に熱も発生するので、圧電アクチュエータの繰り返し運動により、圧電アクチュエータに熱が蓄積される。この圧電アクチュエータに蓄積した熱により圧電素子が破壊される場合があり、この熱を効率的に放熱することが求められている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平３−２８３５８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の装置では、２つの電歪効果素子の間に配置され、電歪効果素子を覆う金属ケースの内側に沿って摺動する金属部材を備える。
【０００６】
しかしながら、このような積層型圧電アクチュエータは、金属部材と金属ケースとが固定されていないため、積層型圧電アクチュエータ本体から金属ケースへの熱伝導の効率は低くなる。また、金属部材は金属ケースを摺動するため、この摺動する部分が経時的に摩耗したり、摺動することにより異音が発生したり、また、金属摩耗粉が生じたりする恐れがある。
【０００７】
本発明は、上述した点を考慮してなされたものであり、効率的に積層型圧電アクチュエータ本体から金属ケースへの放熱をすることができる積層型圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の積層型圧電アクチュエータは、圧電体層（例えば、後述の圧電体層２１）と内部電極層（例えば、後述の内部電極層２２）とが交互に積層された圧電アクチュエータ本体（例えば、後述の圧電アクチュエータ本体２）と、前記圧電アクチュエータ本体における積層方向略中央に形成された一対の不活性部（例えば、後述の不活性層２４ａ，２４ｂ）と、前記圧電アクチュエータ本体の積層方向に延び、少なくとも前記圧電アクチュエータ本体の前記不活性部を離間して囲繞する筒体（例えば、後述の筒体５）と、前記一対の不活性部の間に配置された板状の放熱部材（例えば、後述の放熱部材３）と、を備え、前記放熱部材は、その端部が前記筒体の内周面に当接し、前記内周面に固定されることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、圧電アクチュエータ本体における積層方向略中央に一対の不活性部を備え、当該一対の不活性部の間に、筒体の内面に端部が当接し当該内面に固定された放熱部材を備える。筒体の内面に当接する放熱部材が圧電アクチュエータ本体の積層方向略中央において発生した熱を、筒体に伝導して放熱を行うことができる。また、これに加えて、放熱部材は筒体に固定されているため、放熱部材からの放熱効率を向上することができる。
【００１０】
また、本発明の積層型圧電アクチュエータは、前記放熱部材による前記圧電アクチュエータ本体に対する変位抑制力が、前記圧電アクチュエータ本体に印加される駆動電圧のうち、前記圧電アクチュエータ本体に最小変位を生じさせる最小駆動電圧による前記圧電アクチュエータ本体の変位を許容する程度に小さいことが好ましい。
【００１１】
この発明によれば、放熱部材が筒体の内面側に固定されている場合であっても、圧電アクチュエータ本体の変位や応答性等を損ねることがない。
【００１２】
また、本発明の積層型圧電アクチュエータは、前記圧電アクチュエータ本体の積層方向一端側に当接するように配置される第１部材（例えば、後述の第１支持部材６）と、前記圧電アクチュエータ本体の積層方向他端側に当接するように配置される第２部材（例えば、後述の第２支持部材７）と、を備え、前記第１部材と前記第２部材とは、前記圧電アクチュエータ本体が駆動電圧を印加されない状態で前記圧電アクチュエータ本体に、前記圧電アクチュエータ本体における積層方向への圧縮予荷重を与えるようにそれぞれ前記筒体に固定され、前記変位抑制力は、前記圧縮予荷重より小さいことを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、圧電アクチュエータ本体は、圧電アクチュエータ本体に駆動電圧が印加されない状態のときに所定の圧縮予荷重が与えられた状態で第１部材と第２部材とにより筒体に保持される。このとき、放熱部材により圧電アクチュエータ本体に与えられる変位抑制力は、第１部材と第２部材とにより与えられる圧縮予荷重よりも小さいため、圧電アクチュエータ本体の変位や応答性等を損ねることがない。
【００１４】
また、本発明の積層型圧電アクチュエータは、前記放熱部材が、前記放熱部材の長手方向端部近傍に形成されたビードを有することが好ましい。
【００１５】
この発明によれば、放熱部材には、長手方向端部近傍に形成されたビードを有している。このため、圧電アクチュエータ本体に対する変位抑制力をより小さくすることができる。また、例え放熱部材の厚みを大きくした場合であっても、変位抑制力を小さく維持することができる。
【００１６】
また、本発明の積層型圧電アクチュエータは、前記放熱部材における積層方向の厚さが、０．２ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１７】
この発明によれば、放熱部材が筒体の内面側に固定されている場合であっても、圧電アクチュエータ本体の変位や応答性等を損ねることがない。
【００１８】
また、本発明の積層型圧電アクチュエータは、圧電体層（例えば、後述の圧電体層２１）と内部電極層（例えば、後述の内部電極層２２）とが交互に積層された圧電アクチュエータ本体（例えば、後述の圧電アクチュエータ本体２）と、前記圧電アクチュエータ本体における積層方向略中央に形成された一対の不活性部（例えば、後述の不活性層２４ａ，２４ｂ）と、前記圧電アクチュエータ本体の積層方向に延び、少なくとも前記圧電アクチュエータ本体の前記不活性部を離間して囲繞する筒体（例えば、後述の筒体５）と、前記一対の不活性部の間に配置された板状の放熱部材（例えば、後述の放熱部材３）と、を備え、前記放熱部材は、その端部が前記筒体の内周面に当接し、前記内周面にレーザ溶接により接合されることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、圧電アクチュエータ本体における積層方向略中央に一対の不活性部を備え、当該一対の不活性部の間に、筒体の内面に端部が当接し当該内面に固定された放熱部材を備える。筒体の内面に当接する放熱部材が圧電アクチュエータ本体の積層方向略中央において発生した熱を、筒体に伝導して放熱を行うことができる。また、これに加えて、放熱部材は筒体に固定されているため、放熱部材からの放熱効率を向上することができる。また、放熱部材の接合は、レーザ溶接により行われるため、接合作業性が高いと共に、接合部分の耐久性を高くすることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、積層型圧電アクチュエータ本体から金属ケースへの放熱を効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の第１実施形態について図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る積層型圧電アクチュエータ１の構成を示す図である。図２は、放熱部材３の斜視図である。図３は、図１のＡ−Ａ方向断面図である。図４は、図１のＢ−Ｂ方向断面図である。
【００２２】
図１から図４を参照して積層型圧電アクチュエータ１の構成について説明する。
積層型圧電アクチュエータ１は、略四角柱形状の圧電アクチュエータ本体２と、圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央に配置される放熱部材３と、圧電アクチュエータ本体２の側面に、互いに対向するように配設された一対の外部電極４ａ，４ｂと、圧電アクチュエータ本体２を覆う筒体５と、圧電アクチュエータ本体２の積層方向端部に配置され、圧電アクチュエータ本体２を筒体５内に支持する第１支持部材６及び第２支持部材７と、により構成される。
【００２３】
圧電アクチュエータ本体２は、複数の平板状の圧電体層２１と、複数の平板状の内部電極層２２と、を備え、圧電体層２１と内部電極層２２は交互に積層されている。積層された複数の内部電極層２２は、一層おきに外部電極４ａ，４ｂに接続される。詳細には、図３に示すように、圧電アクチュエータ本体２における外部電極４ａ，４ｂが配設される側面において、内部電極層２２が当該側面に露出する部分に絶縁体２３が一層おきに配置される。また、圧電アクチュエータ本体２の一方側の面に配置された絶縁体２３は、対向する他方側の面に配置された絶縁体２３とは積層方向に互い違いとなるように配置される。すなわち、複数の内部電極層２２は、一対の外部電極４ａ，４ｂのうち、必ずどちらか一方の外部電極４ａ，４ｂに接続される。
【００２４】
圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央には、一対の不活性層２４ａ，２４ｂが設けられており、当該一対の不活性層２４ａ，２４ｂの間には、板状の放熱部材３が配置される（図２参照）。したがって、圧電アクチュエータ本体２は、不活性層２４ａ，２４ｂにより２つに分割される。そして、圧電アクチュエータ本体２が分割されたことにより形成された面に不活性層２４ａ，２４ｂが対向するように形成されることになる。さらに対向する２つの不活性層２４ａ，２４ｂに挟み込まれるように放熱部材３が配置される。
【００２５】
圧電アクチュエータ本体２の積層方向端部には、それぞれ外側不活性層２５ａ，２５ｂが形成される。そして、それぞれの外側不活性層２５ａ，２５ｂに接するように第１支持部材６及び第２支持部材７がそれぞれ配置される。
【００２６】
一対の不活性層２４ａ，２４ｂの間に配置される放熱部材３は、本実施形態においては、略長方形の板状に形成される。放熱部材３は、圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央において、該圧電アクチュエータ本体２における外部電極４ａ，４ｂが配設されていない側面から該放熱部材３の長手方向両端が突出するように積層配置される。
【００２７】
また、放熱部材３は、長手方向の両端部において、それぞれ、放熱部材３が一方側に折り曲げられた曲折部３１ａ，３１ｂを有する。この曲折部３１ａ，３１ｂは、当該曲折部３１ａ，３１ｂの外側面において、筒体５の内側面に当接する。図１に示すように、放熱部材３の短手方向の長さは、圧電アクチュエータ本体２の直径の長さより短い長さに形成され、放熱部材３が外部電極４ａ，４ｂに接触して短絡することを防止する。
また、曲折部３１ａ，３１ｂは、矩形平板状の部材の長手方向両端近傍を曲折して形成され、曲折部３１ａ，３１ｂの角部分は曲線状に形成される。
【００２８】
また、放熱部材３は、曲折部３１ａ，３１ｂが圧電アクチュエータ本体２の伸び方向（図４の矢印Ｐ方向）に曲がるように配置されることが好ましい。詳細には、曲折部３１ａ，３１ｂの先端が第２支持部材７に向くように配置されることが好ましい。したがって、放熱部材３は、圧電アクチュエータ本体２が伸びた場合に、その伸び方向が放熱部材３の撓み方向となるように配置される。
そして、放熱部材３は、曲折部３１ａ，３１ｂの外側面において筒体５の内側面に溶接される。この溶接はレーザ溶接により行われ、曲折部３１ａ，３１ｂの外側面において筒体５の内側面に当接する部分の略中央で溶接される。
【００２９】
放熱部材３が圧電アクチュエータ本体２の伸び方向に対して撓み方向となるように配置される理由としては、放熱部材３は筒体５に固定されるため、放熱部材３が逆方向（曲折部３１ａ，３１ｂの先端が第１支持部材６側に向く方向）に配置されると、圧電アクチュエータ本体２の伸び方向が放熱部材３に対する引っ張り方向となり、放熱部材３が部材の撓み方向に配置された場合よりも圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力が大きくなるからである。特に、曲折部３１ａ，３１ｂの角Ｒが大きい場合には、放熱部材３そのものを伸ばす方向となってしまい、変位抑制力がより大きくなるからである。
【００３０】
放熱部材３は、圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央の位置に固定されるため、圧電アクチュエータ本体２に電圧が印加されることにより生じる変位を抑制する変位抑制力を有する。この変位抑制力は、圧電アクチュエータ本体２に印加される最小駆動電圧による圧電アクチュエータ本体２の変位を許容する程度に小さい。なお、この最小駆動電圧とは、圧電アクチュエータ本体２の圧電体層２１に最小変位を生じさせる際に圧電アクチュエータ本体２に印加される電圧である。
【００３１】
また、放熱部材３における積層方向の厚さは、０．２ｍｍ以下が好ましく、さらには０．１５ｍｍから０．２ｍｍであることが好ましい。これにより、変位抑制力を小さく維持しつつ、圧電アクチュエータ本体２から筒体５への放熱量を確保することができる。
【００３２】
また、放熱部材３は、熱伝導度の高い部材を用いることが好ましい。例えば、ステンレス鋼や普通鋼などを例示できる。
【００３３】
圧電アクチュエータ本体２は、圧電アクチュエータ本体２の積層方向両端部に配置される第１支持部材６と第２支持部材７とにより筒体５の内側に支持された状態となっている。
【００３４】
筒体５は、圧電アクチュエータ本体２を覆うケース部材である。筒体５は、少なくとも圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央に形成された不活性層２４ａ，２４ｂを覆うように形成され、好ましくは、圧電アクチュエータ本体２全体を覆うように形成される。筒体５の直径は、筒体５の内側面が圧電アクチュエータ本体２の側面とは離間した状態となる長さに形成される。
また、筒体５は、一方側の端部において底面５２が形成され、他方側の端部は開放端となっている。そして、底面５２の略中央に、開口部５１が形成される。筒体５の底面を形成する部材は、例えば板ばねなどの弾性を有する部材で形成されることが好ましい。
【００３５】
第１支持部材６は、圧電アクチュエータ本体２における積層方向の一方側に配置される。また、第１支持部材６は、筒体５の開放端となっている側の端部に配置され、当該端部において、筒体５に接合される。また、第１支持部材６は、圧電アクチュエータ本体２と当接し、第１支持部材６と圧電アクチュエータ本体２とが接合される。
【００３６】
第２支持部材７は、圧電アクチュエータ本体２における積層方向の他方側に配置され、また、筒体５の底面５２側に配置される。第２支持部材７は、圧電アクチュエータ本体２の端部に当接すると共に筒体５の底面５２に当接する。
第２支持部材７の圧電アクチュエータ本体２側の面は平面に形成される。また、第２支持部材７の底面５２側の面は、第２支持部材７の直径よりも小さく形成された平面部が底面５２に当接し、さらに当該平面部の略中央に突起部７１が形成されている。突起部７１は、筒体５の開口部５１から突出した状態となっており、突起部７１に他の部材（図示せず）が当接する。そして、圧電アクチュエータ本体２に生じた変位は第２支持部材７を介して他の部材に伝達される。
【００３７】
また、第２支持部材７は、平面部において筒体５の底面５２と接合される。したがって、圧電アクチュエータ本体２は、第１支持部材６及び第２支持部材７により筒体５に間接的に保持される。
【００３８】
このとき、第１支持部材６及び第２支持部材７は、圧電アクチュエータ本体２に電圧が印加されない状態で、圧電アクチュエータ本体２を積層方向に圧縮する所定の圧縮予荷重を付加するように筒体５に接合される。そして、第１支持部材６及び第２支持部材７は、この筒体５と第１支持部材６及び第２支持部材７とにより圧電アクチュエータ本体２に付加される圧縮予荷重が、放熱部材３の圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力よりも大きくなるように、筒体５に固定される。すなわち、放熱部材３の圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力は、筒体５と第１支持部材６及び第２支持部材７が圧電アクチュエータ本体２に与える圧縮予荷重よりも小さくなる。
【００３９】
以下に積層型圧電アクチュエータ１の製造方法について説明する。
まず、筒体５に第２支持部材７を挿入し、筒体５に接合する。このとき、第２支持部材７は、筒体５の底面５２に当接する部分において筒体５に接合される。次に、圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央に形成された一対の不活性層２４ａ，２４ｂの間に放熱部材３を挟み込み、放熱部材３を挟み込んだ状態の圧電アクチュエータ本体２を筒体に挿入する。
【００４０】
そして第１支持部材６を筒体５に挿入し、筒体５に接合する。このとき、圧電アクチュエータ本体２に電圧を印加しない状態で所定の圧縮予荷重が圧電アクチュエータ本体２に加えられるように、第１支持部材６を接合する位置を調節する。
【００４１】
そして、筒体５の外側から、放熱部材３の曲折部３１ａ，３１ｂの略中央部分をレーザ溶接によりそれぞれ固定する。このとき、放熱部材３による圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力は、筒体５、第１支持部材６及び第２支持部材７による圧電アクチュエータ本体２に対する圧縮予荷重よりも小さくなるように固定される。
【００４２】
図５及び図６を参照して本発明の第２実施形態について説明する。図５は、積層型圧電アクチュエータ１の斜視図である。図６は、放熱部材３の斜視図である。なお、以下では第１実施形態と異なる部分を中心に説明し、特に説明がない場合は第１実施形態と同様である。また、第１実施形態と同様の部材には、同様の符号を付している。
【００４３】
第２実施形態における放熱部材３は、略十字形状に形成される。そして、略十字形状に形成された各端部にそれぞれ曲折部３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄが形成され、筒体５に固定される。
【００４４】
また、一対の外部電極４ａ，４ｂはそれぞれ分割されており、外部電極４ａ，４ｂ毎にそれぞれリード線４１により接続されている。このリード線４１は、放熱部材３の端部同士の隙間を通って外部電極４ａ，４ｂをそれぞれ接続する。図５では、外部電極４ａ及びリード線４１のみ示されているが、圧電アクチュエータ本体２における外部電極４ａに対向する面においては、外部電極４ａと同様に外部電極４ｂが配設され、リード線（図示せず）で接続されている。
【００４５】
図７を参照して本発明の第３実施形態について説明する。図７は、放熱部材３の斜視図である。
【００４６】
第３実施形態における放熱部材３は、第１実施形態における放熱部材３の長手方向端部近傍にビード３２ａ，３２ｂを有する。ビード３２ａ，３２ｂは、放熱部材３が圧電アクチュエータ本体２に配置された場合に、ビード３２ａ，３２ｂが圧電アクチュエータ本体２の側面よりも外側となるような位置に形成される。
【００４７】
この場合、放熱部材３の積層方向の厚さを、例えば０．３ｍｍとより厚くした場合であっても、圧電アクチュエータ本体２に印加される最小駆動電圧による圧電アクチュエータ本体２の変位を許容する程度に変位抑制力を小さくすることができると共に、さらに大きな放熱量を確保することができる。このように、放熱部材３の圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力を小さく維持しつつ、より質量の大きな放熱部材３を適用して、より大きな放熱量を確保することができる。
なお、第２実施形態における放熱部材３においても同様に、ビードを形成してもよい。
【００４８】
上述の実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央に一対の不活性層２４ａ，２４ｂを形成し、その間に放熱部材３を配置した。そして放熱部材３の端部を筒体５に固定した。これにより、圧電アクチュエータ本体２に発生した熱が放熱部材３に伝導し、さらにその熱を筒体５へと伝導することで効率的に圧電アクチュエータ本体２の放熱を行うことができる。特に、圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央部分における放熱を効率よく行うことができる。
【００４９】
（２）放熱部材３による圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力は、圧電アクチュエータ本体２に最小変位が生じる場合に圧電アクチュエータ本体２に印加される電圧よる変位を許容する程度の大きさである。すなわち、圧電アクチュエータ本体２に対する最小駆動電圧による変位を許容する程度の大きさとなる。これにより、圧電アクチュエータ本体２の応答性や変位を妨げることがないようにすることができる。
【００５０】
（３）圧電アクチュエータ本体２は、積層方向の両端部にそれぞれ配置された第１支持部材６及び第２支持部材７により挟持されている。そして、第１支持部材６及び第２支持部材７はそれぞれ筒体５に接合されている。このため、圧電アクチュエータ本体２は、筒体５、第１支持部材６及び第２支持部材７により圧縮予荷重が与えられている。そしてこの圧縮予荷重は、圧電アクチュエータ本体２に電圧が印加されていない状態において、放熱部材３の圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力よりも大きい。このため、圧電アクチュエータ本体２を、主として第１支持部材６及び第２支持部材７により筒体５内に保持することができ、かつ圧電アクチュエータ本体２の応答性や変位を妨げないようにすることができる。
【００５１】
（４）放熱部材３は、長手方向端部近傍に形成されたビード３２ａ，３２ｂを有する。このため、圧電アクチュエータ本体２に対する変位抑制力をより小さくすることができる。また、例え放熱部材３の厚みを大きくした場合であっても、変位抑制力を小さく維持することができる。
【００５２】
（５）放熱部材３の積層方向における厚さは、０．２ｍｍ以下に形成されるので、圧電アクチュエータ本体２の応答性や変位を妨げることがないようにすることができる。
【００５３】
（６）筒体５と放熱部材３とはレーザ溶接により固定されるので、筒体５の外面側から放熱部材３を接合することができる。これにより、積層型圧電アクチュエータ１を形成する際に、筒体５と放熱部材３とを接合する際の作業性を向上させることができる。また、接合部分について耐久性を高くすることができる。
【００５４】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
【００５５】
例えば、上述の実施形態においては、圧電アクチュエータ本体２は放熱部材３を１つ備えるとしたが、複数であってもよい。具体的には、圧電アクチュエータ本体２において、一対の不活性層２４ａ，２４ｂを複数形成し、その間に放熱部材３をそれぞれ配置する。したがって、圧電アクチュエータ本体２は、２分割に限らず３分割やそれ以上の数に分割されるようにしてもよい。
【００５６】
また、上述の実施形態においては、放熱部材３は圧電アクチュエータ本体２の積層方向略中央に形成された一対の不活性層２４ａ，２４ｂの間に挟み込まれるとしたが、これに限らず、不活性層２４ａ，２４ｂに接着するようにしてもよい。
【００５７】
また、上述の実施形態においては、筒体５は、筒体５の内側面が圧電アクチュエータ本体２の側面とは離間するように形成される。すなわち、筒体５の内側面と圧電アクチュエータ本体２との間は空洞であるとしたが、これに限らず、圧電アクチュエータ本体２における圧電体層２１と内部電極層２２とが積層されている部分の側面について絶縁樹脂を充填するようにしてもよい。このとき、絶縁樹脂は放熱部材３とは接触しないように充填されることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る積層型圧電アクチュエータの斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る放熱部材の斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ方向断面図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ方向断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る積層型圧電アクチュエータの斜視図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る放熱部材の斜視図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る放熱部材の斜視図である。
【符号の説明】
【００５９】
１    積層型圧電アクチュエータ
２    圧電アクチュエータ本体
３    放熱部材
４ａ，４ｂ  外部電極
５    筒体
６    第１支持部材
７    第２支持部材
２１  圧電体層
２２  内部電極層
２４  不活性層
２４ａ，２４ｂ  不活性層
３１  曲折部
４１  リード線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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