(57)【要約】      （修正有）【課題】屋外における太陽光などによる外乱を十分に除去することのできる受光素子用フィルタを提供する。【解決手段】受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１、受光素子における信号光のエネルギ密度をＮ２として、制約条件の下でＮ１／（Ｎ２）２が最小となるように構成される。【選択図】図８
2010217334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタであって、受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１、受光素子における該信号光のエネルギ密度をＮ２として、制約条件の下で
Ｎ１／（Ｎ２）２
が最小となるように構成された受光素子用フィルタ。
【請求項２】
信号光が赤外線波長領域の光である請求項１に記載の受光素子用フィルタ。
【請求項３】
信号光の光源が赤外線波長範囲で発光するレーザまたは発光ダイオードである請求項２に記載の受光素子用フィルタ。
【請求項４】
外乱光が主に太陽光である請求項１から３のいずれかに記載の受光素子用フィルタ。
【請求項５】
レンズ光学系、受光素子および請求項１から４のいずれかに記載された受光素子用フィルタを含む受光装置。
【請求項６】
請求項５に記載された受光装置を含む距離測定装置。
【請求項７】
既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタを製造する方法であって、
該受光素子用フィルタの仕様を仮に定めるステップと、
該受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１として、Ｎ１を求めるステップと、
該受光素子における信号光のエネルギ密度をＮ２として、Ｎ２を求めるステップと、
Ｎ１／（Ｎ２）２
を求めるステップと、
制約条件の下で
Ｎ１／（Ｎ２）２
を最小とするように、該受光素子用フィルタの仕様を定めるステップと、を含む受光素子用フィルタを製造する方法。
【請求項８】
Ｎ１を外乱光のスペクトル分布および前記受光素子用フィルタの特性から求め、Ｎ２を前記信号光の前記既知のスペクトル分布および前記受光素子用フィルタの特性から求める請求項７に記載の受光素子用フィルタを製造する方法。
【請求項９】
既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタであって、主な外乱光が太陽光であり、入射する信号光の光量に対する透過する信号光の光量の比率が７０％以上８７％以下であるように構成された受光素子用フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタおよび該受光素子用フィルタを備えた受光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
赤外領域などの既知のスペクトル分布を有する信号光を対象に照射して、対象からの反射光を受光して対象の画像を取得する撮像装置（たとえば、特許3214195号公報）や対象までの距離を測定する距離測定装置が開発されている（たとえば、特許3272699号公報）。また、赤外領域などの既知のスペクトル分布を有する信号光を空間に照射して、該空間内の物体の有無を検出する物体検出装置は広く使用されている。
【０００３】
上記のような撮像装置、距離測定装置および物体検出装置などを、特に屋外で使用する場合に太陽光などの外乱が、距離測定精度や物体検出精度に大きな影響を与える。外乱の影響を小さくするために、信号光の波長を透過させる帯域フィルタなどが使用されている。しかし、たとえば、屋外における太陽光の強度の影響が非常に大きい場合には、従来の方法によって十分に外乱を除去することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３２１４１９５号
【特許文献２】特許第３２７２６９９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、屋外における太陽光などによる外乱を十分に除去することのできる受光素子用フィルタおよび上記外乱の影響を十分に除去することのできる受光素子に対するニーズがある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様による受光素子用フィルタは、既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される。本発明の態様による受光素子用フィルタは、受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１、受光素子における該信号光のエネルギ密度をＮ２として、制約条件の下で
Ｎ１／（Ｎ２）２
が最小となるように構成されている。
【０００７】
本発明の態様による受光素子用フィルタによれば、制約条件の下で
Ｎ１／（Ｎ２）２
が最小となるように構成することによって、制約条件の下でＳ／Ｎ比を最大とする受光素子を得ることができる。
【０００８】
本発明の実施形態による受光素子用フィルタにおいて、信号光は赤外線波長領域の光である。
【０００９】
本実施形態によれば、信号光は赤外線波長領域の光であり、目が認識することができない波長域なので安全に使用でき、太陽光の放射照度が可視光域に比較して低いので、太陽光による外乱を低減できる。
【００１０】
本発明の実施形態による受光素子用フィルタにおいて、信号光の光源が赤外線波長範囲で発光するレーザまたは発光ダイオードである。
【００１１】
本実施形態によれば、既知のスペクトル分布を有する信号光を容易に生成することができる。
【００１２】
本発明の実施形態による受光素子用フィルタにおいて、外乱光が主に太陽光である。
【００１３】
本実施形態によれば、太陽光のスペクトル分布が既知であるので、高い精度でＮ１を求めることができる。
【００１４】
本発明の態様による受光装置は、レンズ光学系、受光素子および本発明のいずれかの実施形態による受光素子用フィルタを含む。
【００１５】
本態様による受光装置は、制約条件の下でＳ／Ｎ比を最大とすることによって、高い精度で信号を受け取ることができる。
【００１６】
本発明の態様による距離測定装置は、本発明の態様による受光装置を含む。
【００１７】
本態様による距離測定装置は、本発明の態様による受光装置を含むので、高い精度で距離を測定することができる。
【００１８】
本発明による受光素子用フィルタを製造する方法は、既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタを製造する方法である。本方法は、該受光素子用フィルタの仕様を仮に定めるステップと、該受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１として、Ｎ１を求めるステップと、該受光素子における信号光のエネルギ密度をＮ２として、Ｎ２を求めるステップと、
Ｎ１／（Ｎ２）２
を求めるステップと、制約条件の下で
Ｎ１／（Ｎ２）２
を最小とするように、該受光素子用フィルタの仕様を定めるステップと、を含む。
【００１９】
本発明によれば、制約条件の下で
Ｎ１／（Ｎ２）２
が最小となるようにすることによって、制約条件の下でＳ／Ｎ比を最大とする受光素子を製造することができる。
【００２０】
本発明の実施形態による受光素子用フィルタを製造する方法において、Ｎ１を外乱光のスペクトル分布および前記受光素子用フィルタの特性から求め、Ｎ２を前記信号光の前記既知のスペクトル分布および前記受光素子用フィルタの特性から求める。
【００２１】
本実施形態によれば、外乱光のスペクトル分布が既知の場合に、高い精度で、
Ｎ１／（Ｎ２）２
を求めることができるので、確実にＳ／Ｎ比を最大とする受光素子を製造することができる。
【００２２】
本発明の態様による受光素子用フィルタは、既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタであって、主な外乱光が太陽光であり、入射する信号光の光量に対する透過する信号光の光量の比率が７０％以上８７％以下であるように構成されている。
【００２３】
本発明の態様による受光素子用フィルタによれば、入射する信号光の光量に対する透過する信号光の光量の比率を７０％以上８７％以下とすることによって最大値付近のＳ／Ｎ比を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明による受光素子用フィルタを備えた距離測定装置の構成の一例を示す図である。
【図２】光源によって発光される光のスペクトル分布の一例を示す図である。
【図３】主要な外乱である太陽光のスペクトル分布を示す図である。
【図４】受光素子の、波長に対する量子効率を一例として示す図である。
【図５】吸収フィルタの、波長に対する透過率を一例として示す図である。
【図６】バンドパスフィルタの、波長に対する透過率を一例として示す図である。
【図７】バンドパスフィルタの仕様を定める手順を示す流れ図である。
【図８】中心波長９４０ｎｍのバンドパスフィルタの透過率を変化させた場合の、バンドパスフィルタの特性を示す図である。
【図９】中心波長８５０ｎｍのバンドパスフィルタの透過率を変化させた場合の、バンドパスフィルタの特性を示す図である。
【図１０】図８および図９に関して定義した透過率とN1/(N2)2との関係を示す図である。
【図１１】N1/(N2)2と、図１に示した距離測定装置の距離測定精度との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、本発明による受光素子用フィルタを備えた距離測定装置の構成の一例を示す図である。図１において、光源１０１ａおよび光源１０１ｂから対象物体に向けて光が照射される。光源は赤外線波長範囲で発光するレーザまたは発光ダイオードであってもよい。赤外線波長範囲の信号光を使用する理由は、人間の目が認識することができない波長域なので安全に使用できること、および図３に示すように、太陽光の放射照度が可視光域に比較して低いので、太陽光による外乱を低減できることである。対象物体によって反射された光は、第１レンズ１０３、吸収フィルタ１０５、第２レンズ１０７、第３レンズ１０９およびバンドパスフィルタ１１１を通過して受光素子１１３に到達する。
【００２６】
第１レンズ１０３は、たとえば、凹レンズであり、画角の広い画像が得られるように機能する。第２レンズ１０７は、たとえば、凸レンズであり、各種光学性能を調製するように機能する。第３レンズ１０９は、たとえば、凸レンズであり、受光素子へ結像するように機能する。
【００２７】
受光素子１１３は、いわゆるＣＣＤ（Charge-Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）などの撮像素子であってもよい。
【００２８】
受光素子１１３に結像された光は、図示しない処理ユニットに送られ、処理ユニット内で位相原理または作動時間測定原理に基づいて測定対象物までの距離が求められる。受光素子１１３を２次元アレイとすれば、距離の情報を有する２次元画像が得られる。
【００２９】
図２は、光源１０１ａおよび光源１０１ｂによって発光される光のスペクトル分布の一例を示す図である。横軸は波長を表し、縦軸は相対強度を表す。本例において、発光される光の中心波長は９４０ｎｍである。
【００３０】
図３は、主要な外乱である太陽光のスペクトル分布を示す図である。
【００３１】
図４は、受光素子１１３の、波長に対する量子効率を一例として示す図である。ここで、量子効率とは、受光素子１１３が受け取った光子に対する、電子に変換される光子の数の比率である。
【００３２】
図５は、吸収フィルタ１０５の、波長に対する透過率を一例として示す図である。吸収フィルタ１０５は、たとえば、吸収色素を添加した樹脂やガラスから構成されるフィルタである。市販品を利用することができる。一例として、三菱樹脂エンジニアリングプラスチック株式会社製のポリカーボネート樹脂を使用したユーピロンＳ３０００Ｒ（商品名）などである。
【００３３】
図６は、バンドパスフィルタ１１１の、波長に対する透過率を一例として示す図である。バンドパスフィルタ１１１は、たとえば、誘電体多層膜から構成されるフィルタや染料や顔料を使用したフィルタである。バンドパスフィルタ１１１の透過帯域の中心波長は、発光される光の中心波長に設定するのが好ましい。誘電体多層膜から構成されるバンドパスフィルタは、一例として特開2005-266653号公報に記載されている。染料や顔料を使用したバンドパスフィルタは、一例として実開平5-21201号公報に記載されている。
【００３４】
図７は、バンドパスフィルタ１１１の仕様を定める手順を示す流れ図である。ここで、バンドパスフィルタ１１１の仕様を定めるとは、バンドパスフィルタ１１１の、波長に対する透過率を定めることを言う。以下において、主な外乱光が太陽光である場合を例として説明する。
【００３５】
最初に Ｓ／Ｎ比を考察する。ここで、Ｓは信号光強度を示し、Ｎはノイズ、すなわち外乱光強度を示す。信号光強度Ｓは一般的に
S= (信号光の入射光子数)×(受光素子の量子効率)×(積分時間)×(受光素子面積)
で計算される。
【００３６】
一方、ノイズＮは
N= 定数×（外乱光の入射光子数）1/2
で計算されると仮定する。Ｎが入射光子数の平方根に比例する理由は、ノイズ成分が光ショットノイズのような挙動を示すと仮定したからである。光子数の平均値は、光源の強さによって決まるが、光子数の分布はポアソン分布を示す。したがって、光子数の平均値に対する標準偏差は光子数の平方根で与えられる。上記の仮定については、後で検証する。
【００３７】
したがって、
S/N  ＝Ａ×(信号光の入射光子数)/( 外乱光の入射光子数)1/2        （１）
となる。ここで、Ａは、定数である。式（１）の両辺を２乗し逆数を取ると、
(N/S)2 =B× (外乱光の入射光子数)/ (信号光の入射光子数)2        （２）
となる。ここで、B=1/A2である。
【００３８】
式（２）において、受光素子への外乱光の入射光子数を、受光素子上の外乱光のエネルギ密度Ｎ１で表し、受光素子への信号光の入射光子数を、受光素子上の信号光のエネルギ密度Ｎ２で表すと、
N1/(N2)2          （３）
となる。
【００３９】
図７のステップＳ０１０において、バンドパスフィルタ１１１の仕様（波長に対する透過率）を仮に定める。
【００４０】
図７のステップＳ０２０において、受光素子１１３における信号光のエネルギ密度Ｎ２を求める。受光素子１１３における信号光のエネルギ密度Ｎ２は、測定によって求めても、計算によって求めてもよい。測定によって求める場合は外乱光が無い環境下において、光源から発光され、対象物体で反射、散乱された光の内、吸収フィルタ、バンドパスフィルタを通過し受光素子１１３の位置へ入射される光のスペクトル及び強度をスペクトラムアナライザなどで測定する。測定された波長毎の光強度情報からエネルギ密度Ｎ２を得る。計算によって求める場合には、事前に光源の各波長の発光強度(I0)及び各波長の対象物体の反射率(R1)、吸収フィルタ透過率(T1)、バンドパスフィルタ透過率(T2)を測定する。またレンズ設計により決まる光取り込み効率(η)を計算する。光源の各波長の発光強度(I0)に各波長の対象物体の反射率(R1)、吸収フィルタの透過率(T1)、バンドパスフィルタの透過率(T2)、レンズ部光取り込み効率(η)を乗じた値が各波長の光源光のエネルギ密度Ｎ２となる。Ｎ２を求める際に、受光素子１１３の量子効率（図４）を乗じて、実効エネルギ密度を求めてもよい。
【００４１】
図７のステップＳ０３０において、受光素子１１３における外乱光のエネルギ密度Ｎ１を求める。受光素子１１３における外乱光のエネルギ密度Ｎ１は、測定によって求めても、計算によって求めてもよい。測定によって求める場合には、たとえば、信号光及び太陽光以外の外乱光が無い環境下において太陽光が対象物体で反射、散乱された光の内、吸収フィルタ、バンドパスフィルタを通過し受光素子１１３の位置へ入射される光のスペクトル及び強度をスペクトラムアナライザなどで測定する。測定された波長毎の光強度情報からエネルギ密度Ｎ1を得る。計算によって求める場合には、事前に太陽光の各波長の発光強度(Is)及び各波長の対象物体の反射率(R2)、吸収フィルタ透過率(T3)、バンドパスフィルタ透過率(T4)を測定する。またレンズ設計により決まる光取り込み効率(η)を計算する。太陽光の各波長の発光強度(Is)に各波長の対象物体の反射率(R2)、吸収フィルタの透過率(T3)、バンドパスフィルタの透過率(T4)、レンズ部光取り込み効率(η)を乗じた値が各波長の太陽光のエネルギ密度Ｎ１となる。Ｎ１を求める際に、受光素子１１３の量子効率（図４）を乗じて、実効エネルギ密度を求めてもよい。
【００４２】
図７のステップＳ０４０において、
N1/(N2)2 
の値を求める。
【００４３】
図７のステップＳ０５０において、
N1/(N2)2 
の値が最小となるように、バンドパスフィルタ１１１の透過率を変化させる。
【００４４】
図７のステップＳ０５０の詳細な内容について以下に説明する。
【００４５】
図８は、中心波長９４０ｎｍのバンドパスフィルタの透過率を変化させた場合の、バンドパスフィルタの特性を示す図である。バンドパスフィルタの透過率とは、バンドパスフィルタに入射する信号光の光量に対するバンドパスフィルタを透過する信号光の光量の比率である。横軸は波長を表し、縦軸はバンドパスフィルタ透過後の光の相対強度を表す。バンドパスフィルタは、台形状であり、台形の下底の幅を変化させることによって特性を変化させている。図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、台形の下底の幅が、それぞれ、１４０ｎｍ、１００ｎｍ、８５ｎｍおよび７０ｎｍのバンドパスフィルタの特性を信号光のスペクトル分布とともに示す。バンドパスフィルタの特性は、たとえば、誘電体多層膜から構成されるフィルタであれば、膜の材料、膜厚および層数を調整することにより変化させることができる。
【００４６】
表１は、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）のバンドパスフィルタの透過率および
N1/(N2)2
の値を示す表である。表１において、
N1/(N2)2
の値は図８（ｃ）の場合に最小となる。
【００４７】
一般的に、バンドパスフィルタの透過率と
N1/(N2)2
との関係は、後に説明する図１０に示される関数で表される。したがって、
N1/(N2)2
の最小値を求めることは、図１０に示される関数の最小値を求めることに相当する。関数の最小値を求めるには、たとえば、横軸で示されるバンドパスフィルタの透過率を十分に小さな区間に分割し、区間ごとの
N1/(N2)2
の値を求め、その最小値を求めてもよい。
【００４８】
【表１】
2010217334.tif 000003
【００４９】
図９は、中心波長８５０ｎｍのバンドパスフィルタの透過率を変化させた場合の、バンドパスフィルタの特性を示す図である。横軸は波長を表し、縦軸はバンドパスフィルタ透過後の光の相対強度を表す。バンドパスフィルタは、台形状であり、台形の下底の幅を変化させることによって特性を変化させている。図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、台形の下底の幅が、それぞれ、１００ｎｍ、７０ｎｍ、６０ｎｍおよび４５ｎｍのバンドパスフィルタの特性を信号光のスペクトル分布とともに示す。
【００５０】
表２は、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）のバンドパスフィルタについて、バンドパスフィルタの透過率および
N1/(N2)2
の値を示す表である。表２において、
N1/(N2)2
の値は図９（ｃ）の場合に最小となる。
【００５１】
【表２】
2010217334.tif 000004
【００５２】
表１および表２において、
N1/(N2)2
の値を比較すると、全般的に表１の値の方が小さい。その理由は、以下のとおりである。図３の太陽光のスペクトル分布において８５０ｎｍの放射照度と９４０ｎｍの放射照度とを比較すると、９４０ｎｍの放射照度のほうがはるかに小さい。これは、地表におけるスペクトル吸収の差によるものである。したがって、９４０ｎｍの信号光を使用した方が、
N1/(N2)2
の値は小さくなり、Ｓ／Ｎ比は向上する。
【００５３】
上記のように、図７に示した方法によれば、バンドパスフィルタ１１１の中心波長を決めて帯域幅を求める際に
N1/(N2)2
を最小とすることにより、該中心波長に対してＳ／Ｎ比を最大とすることができる。この場合の制約条件は、バンドパスフィルタ１１１の形状及び中心波長である。さらに、中心波長ごとにＳ／Ｎ比を最大とする帯域幅を求めた後に、Ｓ／Ｎ比を最大とする中心波長を定めることができる。この場合の制約条件は、バンドパスフィルタ１１１の形状である。
【００５４】
上記の実施形態においては、フィルタの形状は下底の大きさによって定まる台形形状としたが、他の形状を任意に変化させてＳ／Ｎ比を最大とすることもできる。
【００５５】
このようにして、図７に示した方法によれば、制約条件の下で、
N1/(N2)2
を最小とすることにより、Ｓ／Ｎ比を最大とするバンドパスフィルタ１１１の仕様（波長に対する透過率）を定めることができる。
【００５６】
図１０は、バンドパスフィルタの透過率と
N1/(N2)2
との関係を示す図である。横軸は、バンドパスフィルタの透過率を表す。縦軸は、
N1/(N2)2
を表す。領域３において、バンドパスフィルタの透過率が減少するにしたがって、
N1/(N2)2
は減少し、Ｓ／Ｎ比は向上する。領域２において、
N1/(N2)2
は最小値を示し、Ｓ／Ｎ比は最大値を示す。領域１において、バンドパスフィルタの透過率が減少するにしたがって、
N1/(N2)2
は増加し、Ｓ／Ｎ比は劣化する。
【００５７】
一般的に、主な外乱光が太陽光である場合に、バンドパスフィルタの透過率が７０％以上８７％以下である場合に
N1/(N2)2
の値は、最小値付近の値を示し、この範囲の外側では、急速に増大する。したがって、バンドパスフィルタの透過率を７０％以上８７％以下とすることによって最大値付近のＳ／Ｎ比を得ることができる。
【００５８】
図１１は、
N1/(N2)2
と、図１に示した距離測定装置の距離測定精度との関係を示す図である。図１１の横軸は、
N1/(N2)2
を表し、縦軸は、距離測定誤差（任意単位による相対値）を表す。図１１に関するデータは、照度１０万ルクスの擬似太陽光の下で、該距離測定装置による距離測定を行うことによって採取した。図１１によれば、
N1/(N2)2
の値と、距離測定誤差とはほぼ比例することがわかる。したがって、ノイズ成分が光ショットノイズのような挙動を示すと仮定して求めた式（１）および式（２）は、妥当であることがわかる。結果として、
N1/(N2)2
を最小とすることによって距離測定誤差を最小とすることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１０５    吸収フィルタ
１１１    バンドパスフィルタ
１１３    受光素子    
【図１】
2010217334.tif 000005
【図２】
2010217334.tif 000006
【図３】
2010217334.tif 000007
【図４】
2010217334.tif 000008
【図５】
2010217334.tif 000009
【図６】
2010217334.tif 000010
【図７】
2010217334.tif 000011
【図８】
2010217334.tif 000012
【図９】
2010217334.tif 000013
【図１０】
2010217334.tif 000014
【図１１】
2010217334.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月25日(2009.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタであって、受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１、受光素子における該信号光のエネルギ密度をＮ２として
Ｎ１／（Ｎ２）２
が最小となるように、該受光素子用フィルタに入射する該信号光の光量に対する、該受光素子用フィルタを透過する光量の比率を、７０％以上８７パーセント以下の範囲内で定めた、受光素子用フィルタ。
【請求項２】
信号光が赤外線波長領域の光である請求項１に記載の受光素子用フィルタ。
【請求項３】
信号光の光源が赤外線波長範囲で発光するレーザまたは発光ダイオードである請求項２に記載の受光素子用フィルタ。
【請求項４】
外乱光が主に太陽光である請求項１から３のいずれかに記載の受光素子用フィルタ。
【請求項５】
レンズ光学系、受光素子および請求項１から４のいずれかに記載された受光素子用フィルタを含む受光装置。
【請求項６】
請求項５に記載された受光装置を含む距離測定装置。
【請求項７】
既知のスペクトル分布を有する信号光を受光する受光素子に使用される受光素子用フィルタを製造する方法であって、
該受光素子用フィルタの波長に対する透過率の特性を仮に定めるステップと、
該受光素子における外乱光のエネルギ密度をＮ１として、Ｎ１を求めるステップと、
該受光素子における信号光のエネルギ密度をＮ２として、Ｎ２を求めるステップと、
Ｎ１／（Ｎ２）２
を求めるステップと、
該受光素子用フィルタの波長に対する透過率の特性を変化させて、該受光素子用フィルタに入射する該信号光の光量に対する、該受光素子用フィルタを透過する光量の比率を変化させながら、
Ｎ１／（Ｎ２）２
を最小とするステップと、を含む受光素子用フィルタを製造する方法。
【請求項８】
Ｎ１を外乱光のスペクトル分布および前記受光素子用フィルタの波長に対する透過率の特性から求め、Ｎ２を前記信号光の前記既知のスペクトル分布および前記受光素子用フィルタの波長に対する透過率の特性から求める請求項１に記載の受光素子用フィルタを製造する方法。