(57)【要約】【課題】  大型の基板Ｗに反り等の変形がある場合であっても、基板Ｗの搬送幅方向の端面とサイド浮上ユニット３９Ｂ等との干渉を回避して、基板Ｗの損傷を十分に防止すること。【解決手段】  浮上ユニット本体４１の上面に枠状のノズル５１が形成され、浮上ユニット本体４１の下側に中空パイプ状の浮上ユニット脚５３が設けられ、浮上ユニット脚５３の内部はチャンバー２９の内部に連通し、浮上ユニット本体４１の設置穴５９に浮上ユニット脚５３の一対の開口部５７の開口面積を調節する円形の調節部材６１が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装されたこと。【選択図】  図１
2010280453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置フレームに設けられ、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容するチャンバーと、
前記チャンバーに前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って設けられ、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記浮上ユニットは、
上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成された中空状の浮上ユニット本体と、
前記浮上ユニット本体の下側に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通してあって、上側に浮上ガスを前記浮上ユニット本体の内部へ導入する開口部を有した中空状の浮上ユニット脚と、を備え、
更に、全ての前記浮上ユニットのうち、前記搬送幅方向の両側に配列したサイド浮上ユニットは、
前記浮上ユニット本体及び前記浮上ユニット脚の他に、前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する調節部材を備えていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記サイド浮上ユニットにおける前記浮上ユニット本体の上面に設置穴が形成され、
前記浮上ユニット本体の前記設置穴に前記調節部材が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装され、前記調節部材は、上方向から操作可能であって、鉛直軸心周りの回転によって前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を可変できるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記浮上ユニット本体の前記ノズルが前記浮上ユニット本体の外縁に沿って形成されてあって、前記浮上ユニットの前記ノズルが鉛直方向に対して前記浮上ユニット本体の中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットにおいて、
上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成された浮上ユニット本体と、
前記浮上ユニット本体の下側に設けられ、上側に浮上ガスを前記浮上ユニット本体の内部へ導入する開口部を有した浮上ユニット脚と、
前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する調節部材と、を備えたことを特徴とする浮上ユニット。
【請求項５】
前記浮上ユニット本体の上面に設置穴が形成され、
前記浮上ユニット本体の前記設置穴に前記調節部材が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装され、前記調節部材は、上方向から操作可能であって、鉛直軸心周りの回転によって前記浮上ユニット本体の前記開口部の開口面積を可変できるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の浮上ユニット。
【請求項６】
前記浮上ユニット本体の前記設置穴の周縁裏面に複数の係合凹部又は複数の係合凸部が周方向に間隔を置いて形成され、
前記調節部材が前記浮上ユニット本体に対して上下方向へ移動可能であって、前記調節部材の外周面にフランジが前記浮上ユニット本体の前記設置穴の周縁裏面に対向するように形成され、前記調節部材の前記フランジに複数の前記係合凹部又は複数の前記係合凸部に係合可能な複数の相手係合凸部又は複数の相手係合凹部が周方向に間隔を置いて形成され、
更に、前記浮上ユニット本体、前記浮上ユニット脚、及び前記調節部材の他に、前記調節部材を前記浮上ユニット本体に対して上方向へ付勢する付勢部材を備えたことを特徴とする請求項５に記載の浮上ユニット。
【請求項７】
前記浮上ユニット本体の前記ノズルが前記浮上ユニット本体の外縁に沿って形成されてあって、前記浮上ユニット本体の前記ノズルが鉛直方向に対して前記浮上ユニット本体の中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項４から請求項６のうちのいずれか請求項に記載の浮上ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置、及び圧縮空気等の浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術として、本発明の出願人が既に出願したものがある（特許文献１、特許文献２、及び特許文献３参照）。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、先行技術に係る浮上搬送装置は、装置フレーム（支持フレーム）を具備しており、この装置フレームには、基板を搬送方向へ搬送する搬送機構（搬送ユニット）が設けられている。また、装置フレームには、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数のチャンバーが搬送方向に間隔を置いて設けられており、各チャンバーの内部は、圧縮空気を供給するファン等の浮上ガス供給源に接続されている。そして、各チャンバーには、圧縮空気の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って設けられており、換言すれば、複数のチャンバーには、複数の浮上ユニットが搬送方向及び搬送幅方向に沿って設けられており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。
【０００４】
従って、浮上ガス供給源によって各チャンバーの内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させると共に、搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板を搬送方向へ浮上搬送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１０５３７７号公報
【特許文献２】特開２００９−１２８７２号公報
【特許文献３】特開２００９−１２８７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、近年、浮上搬送対象であるガラス基板等の基板の大型化が急速に進んでおり、基板の大きさが例えば３ｍ角以上であって、基板に反り等の変形があると、基板の浮上搬送中に、基板の搬送幅方向の端部付近が下方向へ大きく撓んでしまうことが判明した。そのため、大型の基板に反り等の変形がある場合には、基板の搬送幅方向の端面が浮上ユニット等に干渉して、基板の損傷を招き易く、基板の浮上搬送を円滑に行うことが困難になるというという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置及び浮上ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、前記装置フレームに設けられ、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容するチャンバーと、前記チャンバーに前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って設けられ、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、前記浮上ユニットは、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成された中空状の浮上ユニット本体と、前記浮上ユニット本体の下側に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通してあって、上側に浮上ガスを前記浮上ユニット本体の内部へ導入する開口部を有した中空状の浮上ユニット脚と、を備え、更に、全ての前記浮上ユニットのうち、前記搬送幅方向の両側に配列したサイド浮上ユニットは、前記浮上ユニット本体及び前記浮上ユニット脚の他に、前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する調節部材を備えていることを要旨とする。
【０００９】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の介在部材を介して間接的に設けられたこと、及び一体形成されたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。
【００１０】
第１の特徴によると、前記浮上ガス供給源によって前記チャンバーの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。
【００１１】
ここで、大型の基板（例えば３ｍ角以上の大きさの基板）に反り等の変形がある場合には、基板の前記搬送幅方向の端部付近（端部を含む）の浮上状態（浮上挙動）に応じて、各調節部材によって対応する前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する。これにより、各サイド浮上ユニットの浮上ガスの噴出流量を適切な噴出流量に設定することができ、前述の場合であっても、基板の浮上搬送中に、基板の前記搬送幅方向の端部付近における下方向に撓みを抑えることができる。
【００１２】
本発明の第２の特徴は、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットにおいて、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成された浮上ユニット本体と、前記浮上ユニット本体の下側に設けられ、上側に浮上ガスを前記浮上ユニット本体の内部へ導入する開口部（導入開口部）を有した浮上ユニット脚と、前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する調節部材と、を備えたことを要旨とする。
【００１３】
第２の特徴の特徴からなる前記浮上ユニットを複数用意し、複数の前記浮上ユニットを前記浮上搬送装置の複数の前記サイド浮上ユニットとして用いると、第１の特徴からなる作用と同様の作用を奏する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、大型の基板に反り等の変形がある場合であっても、基板の浮上搬送中に、基板の前記搬送幅方向の端部付近における下方向の撓みを抑えることができるため、基板の前記搬送幅方向の端面と前記サイド浮上ユニット等との干渉を回避することができ、基板の損傷を十分に防止して、基板の浮上搬送を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施形態に係るサイド浮上ユニットの平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるIB-IB線に沿った図である。
【図２】図２（ａ）（ｂ）は、図１（ｂ）におけるII-II線に沿った図であって、浮上ユニット脚の開口部の開口面積の可変状況を示している。
【図３】図３（ａ）は、本発明の実施形態に係る通常の浮上ユニットの平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるIIIB-IIIB線に沿った図である。
【図４】図５におけるIV-IV線に沿った図である。
【図５】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図６】図５におけるVI-VI線に沿った図であって、搬送機構を省略してある。
【図７】図５における矢視部VIIを示す図である。
【図８】図８（ａ）は、本発明の実施形態の変形例に係るサイド浮上ユニットの平面図、図８（ｂ）は、図８（ａ）におけるVIIIB-VIIIB線に沿った図である。
【図９】図９（ａ）（ｂ）は、図８（ｂ）におけるIX-IX線に沿った図であって、浮上ユニット脚の開口部の開口面積の可変状況を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（本発明の実施形態）
本発明の実施形態について図１から図７を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１７】
図４から図７に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上搬送する装置であって、前後方向へ延びた装置フレーム（支持フレーム）３を具備している。また、装置フレーム３は、前後方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。
【００１８】
支持台５には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送機構（搬送ユニット）１１が設けられている。そして、この搬送機構１１の具体的な構成は、次のようになる
即ち、各支持台５の左端部付近には、一対の支持アーム１３が前後方向に間隔を置いて設けられており、各支持アーム１３には、基板Ｗの一端面（左端面）を支持する第１搬送ローラ１５が設けられている。換言すれば、複数の装置フレーム３の左端部付近には、複数の第１搬送ローラ１５が複数の支持アーム１３を介して前後方向に間隔を置いて設けられている。ここで、各第１搬送ローラ１５は、鉛直（垂直）な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。
【００１９】
各支持台５の右端部付近には、移動用エアシリンダ１７が設けられており、各移動用エアシリンダ１７は、支持台５に固定されたシリンダ本体１９、及びシリンダ本体１９に左右方向（搬送幅方向）へ移動可能に設けられたピストンロッド２１を有している。また、各移動用エアシリンダ１７におけるシリンダ本体１９には、スライダ２３が左右方向へ移動可能に設けられており、各移動用エアシリンダ１７におけるピストンロッド２１は、対応するスライダ２３の適宜位置に連結してある。更に、各スライダ２３の左端部には、基板Ｗの他端面（右端面）を支持する第２搬送ローラ２５が鉛直な軸心周りに回転可能に設けられている。換言すれば、複数の装置フレーム３の右端部付近には、複数の第２搬送ローラ２５が複数の移動用エアシリンダ１７及び複数のスライダ２３を介して前後方向に間隔を置いて設けられてあって、各第２搬送ローラ２５は、移動用エアシリンダ１７の作動によってスライダ２３と一体的に左右方向へ移動するようになっている。そして、各スライダ２３の右端部には、第２搬送ローラ２５を回転させる回転用モータ２７が設けられてあって、各回転用モータ２７のモータ軸（図示省略）は、対応する第２搬送ローラ２５のローラ軸に連動連結してある。
【００２０】
なお、第１搬送ローラ１５をフリーローラとし、第２搬送ローラ２５をモータ（回転用モータ２７）の駆動によって回転する駆動ローラとする代わりに、第１搬送ローラ１５を駆動ローラとし、第２搬送ローラ２５をフリーローラとしたり、第１搬送ローラ１５及び第２搬送ローラ２５を駆動ローラとしたりするようにしても構わない。また、複数の第１搬送ローラ１５及び複数の第２搬送ローラ２５等を備えた搬送機構１１の代わりに、基板Ｗの端部を把持しかつ前後方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送機構等を用いても構わない。
【００２１】
図４から図６に示すように、支持台５には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容するチャンバー２９が前後方向へ間隔を置いて設けられており、各チャンバー２９は、左右方向へ延びている。また、各チャンバー２９の下面には、圧縮空気を各チャンバー２９の内部へ導入可能な複数の導入穴３１が貫通して形成されており、各チャンバー２９の上面には、複数の連絡穴３３が貫通して形成されている。更に、各チャンバー２９における各導入穴３１の周縁部には、圧縮空気をチャンバー２９の内部へ供給する浮上ガス供給源としてのファン（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）３５がブラケット３７を介して設けられており、換言すれば、各チャンバー２９の内部は、複数のファン３５に接続されている。
【００２２】
各チャンバー２９における各連絡穴３３の周縁部には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる浮上ユニット３９が設けられており、換言すれば、複数のチャンバー２９には、複数の浮上ユニット３９が前後方向及び左右方向に沿って設けられている。ここで、全ての浮上ユニット３９は、複数の通常の浮上ユニット３９Ａと、左右両側（搬送幅方向の両側）に配列した複数のサイド浮上ユニット３９Ｂに分類される。そして、通常の浮上ユニット３９Ａとサイド浮上ユニット３９Ｂの共通の構成は、次のようになる。
【００２３】
図１（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）（ｂ）に示すように、浮上ユニット３９（３９Ａ，３９Ｂ）は、中空状の浮上ユニット本体４１を備えており、この浮上ユニット本体４１は、底面の支持穴４３が形成された外郭部材４５と、この外郭部材４５の内側に複数本（本発明の実施形態にあっては４本）の支持ピン４７を介して設けられた島部材４９とからなるものである。また、外郭部材４５の内縁と島部材４９の外縁との間には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル５１が区画形成されており、換言すれば、浮上ユニット本体４１の上面には、枠状のノズル５１が浮上ユニット本体４１の外縁に沿って形成されている。また、浮上ユニット本体４１のノズル５１は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、鉛直方向に対して浮上ユニット本体４１の中心側へ傾斜するように構成されている。なお、浮上ユニット本体４１の上面に枠状のノズル５１が形成される代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが形成されるようにしても構わない。
【００２４】
外郭部材４５の支持穴４３の周縁部（換言すれば、浮上ユニット本体４１の下側）には、中空パイプ状の浮上ユニット脚５３が設けられており、浮上ユニット脚５３の下端部は、チャンバー２９の対応する連絡穴３３の周縁部に一体的に連結されてあって、浮上ユニット脚５３の内部は、チャンバー２９の内部に連通してある。また、通常の浮上ユニット３９Ａにおける浮上ユニット脚５３は、上側に、圧縮空気を浮上ユニット本体４１の内部へ導入する円形の開口部（導入開口部）５５を有しており（図３（ｂ）参照）、サイド浮上ユニット３９Ｂにおける浮上ユニット脚５３は、上側に、圧縮空気を浮上ユニット本体４１の内部へ導入する扇形の一対の開口部（導入開口部）５７を有してあって、一対の開口部５７は、浮上ユニット本体４１の軸心を基準に対称関係になっている（図２（ａ）（ｂ）参照）。
【００２５】
ここで、図６に示すように、浮上ユニット脚５３の前後方向の最大外形寸法は、浮上ユニット本体４１の前後方向の最大外形寸法よりも小さくなってあって、浮上ユニット３９（３９Ａ，３９Ｂ）の側面視形状は、Ｔ字形状を呈している。また、図７に示すように、浮上ユニット脚５３の左右方向の最大外形寸法は、浮上ユニット本体４１の左右方向の最大外形寸法よりも小さくなってあって、浮上ユニット３９（３９Ａ，３９Ｂ）の正面視形状は、Ｔ字形状を呈している。
【００２６】
次に、サイド浮上ユニット３９Ｂの特有の構成について説明する。
【００２７】
図１（ａ）（ｂ）及び図２（ａ）（ｂ）に示すように、島部材４９には、円形の設置穴５９が形成されており、島部材４９の設置穴５９には、浮上ユニット脚５３の一対の開口部５７の開口面積を調節する円形の調節部材６１が鉛直軸心周りに回転可能かつ昇降可能（上下方向へ移動可能）に嵌装されてあって、調節部材６１は、上方向（表側）から操作（回転操作及び昇降操作）可能である。また、調節部材６１の鉛直軸心周りの回転によって浮上ユニット脚５３の一対の開口部５７の開口面積を可変できるように、調節部材６１は、下側に、浮上ユニット脚５３の一対の開口部５７を開閉する扇形の一対の開閉部６３を有してあって、一対の開閉部６３は、調節部材６１の軸心（回転軸心）を基準に対称関係になっている。なお、浮上ユニット脚５３の一対の開閉部６３は、外郭部材４５の支持穴４３に回転可能かつ昇降可能に案内支持されている。
【００２８】
島部材４９の設置穴５９の周縁裏面には、半球状の複数の係合凹部６５が周方向に等間隔に形成されている。また、調節部材６１の外周面には、フランジ６７が島部材４９の設置穴５９の周縁裏面に対向するように形成されており、調節部材６１のフランジ６７には、複数の前記係合凹部６５に係合可能な半球状の複数の相手係合凸部６９が周方向に等間隔に形成されている。そして、調節部材６１の裏面と浮上ユニット脚５３の上面との間には、調節部材６１を浮上ユニット本体４１に対して上方向へ付勢するスプリング７１（付勢部材の一例）が設けられている。なお、島部材４９の設置穴５９の周縁裏面に複数の係合凹部６５が形成されかつ調節部材６１のフランジ６７に複数の相手係合凸部６９が形成される代わりに、島部材４９の設置穴５９の周縁裏面に半球状の複数の係合凸部が形成されかつ調節部材６１のフランジ６７に複数の係合凸部に係合可能な半球状の複数の相手係合凹部が形成されるようにしても構わない。
【００２９】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３０】
各ファン３５を適宜に作動させて、各チャンバー２９の内部へ圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット本体４１のノズル５１から圧縮空気を噴出させる。また、各移動用エアシリンダ１７の作動により各第２搬送ローラ２５を左方向へ移動させると共に、各回転用モータ２７の駆動より各第２搬送ローラ２５を同期して回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット３９（３９Ａ，３９Ｂ）との間に略均一な圧力溜まり層（空気溜まり層）Ｓ（図４参照）を生成しつつ、複数の第１搬送ローラ１５及び複数の第２搬送ローラ２５により搬送幅方向の両側から支持された状態で基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送することができる。なお、浮上ユニット３９（３９Ａ，３９Ｂ）の側面視形状及び正面視形状がＴ字形状を呈しているため、隣接関係にある浮上ユニット３９（３９Ａ，３９Ｂ）間に形成される通路Ｐ（図６及び図７参照）の断面積を大きくして、複数の浮上ユニット本体４１のノズル５１から噴出した圧縮空気を基板Ｗの外側に逃げ易くすることができる。
【００３１】
ここで、大型の基板（例えば３ｍ角以上の大きさの基板）Ｗに反り等の変形がある場合には、次のような操作を行う。即ち、各調節部材６１をスプリング７１の付勢力に抗して一旦下降させて、複数の係合凹部６５と複数の相手係合凸部６９の係合状態を解除する。そして、基板Ｗの搬送幅方向の端部付近（端部を含む）の浮上状態（浮上挙動）に応じて、各調節部材６１を鉛直軸心周りに回転させる。更に、各調節部材６１をスプリング７１の付勢力によって上昇させて、複数の係合凹部６５と複数の相手係合凸部６９を係合状態に復帰させる。これにより、各サイド浮上ユニット３９Ｂの圧縮空気の噴出流量を適切な噴出流量に設定することができ、前述の場合であっても、基板Ｗの浮上搬送中に、基板Ｗの搬送幅方向の端部付近（端部を含む）における下方向に撓みを抑えることができる。
【００３２】
従って、本発明によれば、大型の基板Ｗに反り等の変形がある場合であっても、基板Ｗの浮上搬送中に、基板Ｗの搬送幅方向の端部付近における下方向の撓みを抑えることができるため、基板Ｗの搬送幅方向の端面とサイド浮上ユニット３９Ｂ及び搬送ローラ１３等との干渉を回避することができ、基板Ｗの損傷を十分に防止して、基板Ｗの浮上搬送を円滑に行うことができる。
【００３３】
また、調節部材６１が上方向から操作可能であるため、各サイド浮上ユニット３９Ｂの噴出流量の設定作業を簡単かつ短時間で行うことができる。
【００３４】
（変形例）
本発明の実施形態の変形例に係るサイド浮上ユニットについて図８（ａ）（ｂ）及び図９（ａ）（ｂ）を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００３５】
図８（ａ）（ｂ）及び図９（ａ）（ｂ）に示すように、本発明の実施形態の変更例に係るサイド浮上ユニット７３は、本発明の実施形態に係るサイド浮上ユニット３９Ｂと同様に、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させるものであって、サイド浮上ユニット７３の構成のうち、サイド浮上ユニット３９Ｂと異なる構成等について説明する。なお、サイド浮上ユニット７３における複数の構成要素のうち、サイド浮上ユニット３９Ｂにおける構成要素と相当するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。
【００３６】
即ち、外郭部材４５の支持穴４３には、円形の蓋部材７５が嵌装されており、この蓋部材７５には、圧縮空気を浮上ユニット本体４１の内部へ導入にする扇形の一対の開口部（導入開口部）７７が形成されており、換言すれば、浮上ユニット脚５３は、上側に、蓋部材７５を介して扇形の一対の開口部７７を有しており、一対の開口部７７は、浮上ユニット本体４１の軸心を基準に対称関係になっている。また、蓋部材７５は、複数本（本発明の実施形態にあっては、８本）の連結バー７９を介して島部材４９に一体的に連結してある。
【００３７】
島部材４９の設置穴５９には、蓋部材７５の一対の開口部７７（換言すれば、浮上ユニット脚５３の一対の開口部７７）の開口面積を調節する円形の調節部材８１が嵌装されており、調節部材８１は、蓋部材７５に対して固定ねじ８３を介して着脱可能であって、上方向（表側）から操作（回転操作）可能である。また、調節部材８１の鉛直軸心周りの回転によって蓋部材７５の一対の開口部７７の開口面積を可変できるように、調節部材８１は、下側に、浮上ユニット脚５３の一対の開口部７７を開閉する扇形の一対の開閉部８５を有してあって、一対の開閉部８５は、調節部材８１の軸心（回転軸心）を基準に対称関係になっている。
【００３８】
続いて、本発明の実施形態の変形例の作用及び効果について説明する。
【００３９】
複数のサイド浮上ユニット３９Ｂに代えて複数のサイド浮上ユニット７３が用いられた浮上搬送装置１にあっては、大型の基板Ｗに反り等の変形がある場合には、次のような操作を行う。即ち、各固定ねじ８３を緩めて、各調節部材８１を鉛直軸心周りに回転可能な状態にする。そして、基板Ｗの搬送幅方向の端部付近の浮上状態に応じて、各調節部材８１を鉛直軸心周りに回転させる。更に、各固定ねじ８３を締付けて、各調節部材８１を回転不能状態に復帰させる。これにより、各サイド浮上ユニット７３の圧縮空気の噴出流量を適切な噴出流量に設定することができ、前述の場合であっても、基板Ｗの浮上搬送中に、基板Ｗの搬送幅方向の端部付近における下方向に撓みを抑えることができる。
【００４０】
従って、本発明の実施形態の変形例によれば、前述の本発明の実施形態の効果と同様の効果を奏することができる。
【００４１】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００４２】
Ｗ        基板
１        浮上搬送装置
３        装置フレーム（支持フレーム）
１１        搬送機構（搬送ユニット）
１３        搬送ローラ
２３        搬送モータ
２９        チャンバー
３５        ファン
３９        浮上ユニット
３９Ａ      浮上ユニット
３９Ｂ      サイド浮上ユニット
４１        浮上ユニット本体
４５        外郭部材
４７        支持ピン
４９        島部材
５１        ノズル
５３        浮上ユニット脚
５７        開口部
５９        設置穴
６１        調節部材
６３        開閉部
６５        係合凹部
６７        フランジ
６９        相手係合凸部
７１        スプリング
７３        サイド浮上ユニット
７５        蓋部材
７７        開口部
７９        連結バー
８１        調節部材
８３        固定ねじ
８５        開閉部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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