(57)【要約】【課題】主に支持腕部主面方向からの荷重により支持腕部に折れなどの破損を生じない、小型薄型の水晶振動素子を提供することにある。【解決手段】基部とこの基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と、基部から振動腕部と平面視直交する方向に延設された第一の延設部と、この第一の延設部の延設先端部から振動腕部と同じ方向に延設された第二の延設部とにより構成された複数の支持腕部とを備えた水晶片と、この水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、基部及び支持腕部の少なくとも一方の主面に、基部から第一の延設部を通り第二の延設部まで連通した溝部が設けられている水晶振動素子。【選択図】図１
2010259024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と前記基部から延設した複数の支持腕部とを備えた水晶片と、
前記水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、
前記基部及び前記支持腕部の少なくとも一方の主面に溝部が設けられていることを特徴とする水晶振動素子。
【請求項２】
前記振動腕部が、
基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と、
前記基部から前記振動腕部と平面視直交する方向に延設された第一の延設部と、
前記第一の延設部の延設先端部から前記振動腕部と同じ方向に延設された第二の延設部とにより構成され、
前記溝部が、
前記基部から前記第一の延設部を通り前記第二の延設部まで連通して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動素子。
【請求項３】
前記導配線パターンの一部が前記溝部内面に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の水晶振動素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に用いられる水晶振動素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コンピュータ，携帯電話又は小型情報機器等の電子機器には、電子部品の一つとして水晶振動子又は水晶発振器が搭載されている。この水晶振動子又は水晶発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。又、水晶振動子や水晶発振器は、その内部に水晶振動素子が搭載されている。
【０００３】
図５は、従来の水晶振動素子の一例を示した斜視図である。図６は、図５に示す水晶振動素子を構成する水晶片を示した斜視図である。図５に示すように、水晶振動素子４００は、水晶片４１０（図６参照）と、その水晶片４１０の表面に設けられた励振用電極４２１ａ，４２１ｂ，４２２ａ及び４２２ｂと、接続用電極４２３ａ及び４２３ｂと、周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂと、導配線パターン４２５，４２６及び４２７とにより概略構成される。
【０００４】
図６に示すように、水晶片４１０は、平面視略四角形の平板である基部４１１と、この基部４１１の一辺から同一方向に延設された第一の振動腕部４１２及び第二の振動腕部４１３と、第一の支持腕部４１４と第二の支持腕部４１５とにより構成されている。
【０００５】
第一の支持腕部４１４は、第一の延設部４１４ａと第二の延設部４１４ｂとから構成されている。第一の延設部４１４ａは、基部４１１の第一の振動腕部４１２側の側部から第一の振動腕部４１２の延設方向とは平面視直交する方向に、所定の長さで延設されている。第二の延設部４１４ｂは、第一の延設部４１４ａの延設先端部から、第一の振動腕部４１２の外側に、第一の振動腕部４１２の延設方向と同じ方向に所定の長さで延設されている。
【０００６】
第二の支持腕部４１５は、第一の延設部４１５ａと第二の延設部４１５ｂとから構成されている。第二の延設部４１５ａは、基部４１１の第二の振動腕部４１３側の側部から第二の振動腕部４１３の延設方向とは平面視直交する方向に、所定の長さで延設されている。第二の延設部４１５ｂは、第一の延設部４１５ａの延設先端部から、第二の振動腕部４１３の外側に、第二の振動腕部４１３の延設方向と同じ方向に所定の長さで延設されている。水晶片４１０は、これら基部４１１、第一の振動腕部４１２、第二の振動腕部４１３、第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５が一体で構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
図５に示すように、励振用電極４２１ａは、水晶片４１０を構成する第一の振動腕部４１２の対向する表裏主面に設けられている。励振用電極４２１ｂは、第一の振動腕部４１２の対向する両側面に設けられている。又、励振用電極４２２ａは、第二の振動腕部４１３の対向する表裏主面に設けられている。励振用電極４２２ｂは、第二の振動腕部４１３の対向する両側面に設けられている。
【０００８】
接続用電極４２３ａは、第一の支持腕部４１４の表裏主面全面に設けられている。第一の支持腕部４１４の一方の主面に設けられている接続用電極４２３ａは、励振用電極４２１ｄの基部４１１側端部から第一の支持腕部４１４の側面にまで延設された電極（図示しない）により、第一の支持腕部４１４の他方の主面に設けられた接続用電極４２３ａと電気的に接続している。又、接続用電極４２３ｂは、第二の支持腕部４１５の表裏主面全面に設けられている。第二の支持腕部４１５の一方の主面に設けられている接続用電極４２３ｂは、励振用電極４２２ｂの基部４１１の側端部から第二の支持腕部４１５側面にまで延設された電極（図示せず）により、第二の支持腕部４１５の他方の主面に設けられた接続用電極４２３ｂと電気的に接続している。
【０００９】
周波数調整用金属膜４２４ａは、第一の振動腕部４１２の表裏主面の先端部に設けられており、第一の振動腕部４１２両側面に設けられた励振用電極４２１ｂと電気的に接続している。又、周波数調整用金属膜４２４ｂは、第二の振動腕部６１３の表裏主面の先端部に設けられており、第二の振動腕部４１３両側面に設けられた励振用電極４２２ｂと電気的に接続している。尚、水晶振動素子４００は、この周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整する。
【００１０】
接続用電極４２３ａは、基部４１１主面に設けられた導配線パターン４２７により、励振用電極４２２ａと電気的に接続している。又、接続用電極４２３ａは、第一の振動腕部４１２の両側面に設けられた励振用電極４２１ｂ及び周波数調整金属膜４２４ａとも電気的に接続している。更に、第二の振動腕部４１３の表裏主面に設けられている励振用電極４２２ａは、導配線パターン４２６により電気的に接続されている。
【００１１】
接続用電極４２３ｂは、基部４１１主面に設けられた導配線パターン（図示せず）により、励振用電極４２１ａと電気的に接続している。又接続用電極４２３ｂは、第二の振動腕部４１３両側面に設けられた励振用電極４２２ｂ及び周波数調整金属膜４２４ｂとも電気的に接続している。更に、第一の振動腕部４１２の表裏主面に設けられている励振用電極４２１ａは、導配線パターン４２５により電気的に接続されている。これらにより水晶振動素子４００は構成される（例えば、特許文献２又は特許文献３参照）。
又、このような水晶振動素子４００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた容器体の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部開口部は蓋体により気密封止され水晶振動子となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００５−９４７２４号公報
【特許文献２】特開２００４−３５７１７８号公報
【特許文献３】特開２００４−２９７１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
水晶振動子の小型薄型化が進むにつれ、その内部に搭載する水晶振動素子４００も小型薄型化が必要になる。特に薄型化を進めた水晶振動素子４００の幅寸法を小型化のために小さくする場合、振動腕部の長さ寸法及び幅寸法は所望する周波数値によって規定されてしまうため、第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５の幅寸法を小さくする必要がある。しかしながら、幅寸法を小さくした場合の第一の支持腕部４１４，第二の支持腕部４１５及びこれら支持腕部が接続している基部４１１は、その機械的強度が低下する。
【００１４】
例えば、水晶振動素子４００は、その製造工程において表面に付着した異物を除去するための超音波洗浄が行われる。このような従来の構造で超音波洗浄を行った場合、水晶振動素子４００には、超音波振動で発生した気泡の崩壊時の衝撃による荷重が、主に第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５の主面方向から加わる。その荷重により第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５に亀裂が生じることがあった。又、水晶振動素子４００はこの亀裂から第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５が折れてしまうことがあった。又、第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５に生じた亀裂が基部４１１にまで達し、基部４１１部分で折れが発生することもあった。更に、水晶振動子として構成した後、落下などで外部から衝撃が加わった場合、水晶振動子内部に搭載されている水晶振動素子４００の基部４１１や第一の支持腕部４１４及び第二の支持腕部４１５に機械的強度不足による折れなどの破損が生じる恐れがある。
本発明の目的は、荷重により基部及び支持腕部に折れなどの破損の発生が少ない、小型薄型の水晶振動素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は前記課題を解決するために成されたものであり、基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と前記基部から延設した複数の支持腕部とを備えた水晶片と、前記水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、前記基部及び前記支持腕部の少なくとも一方の主面に溝部が設けられていることを特徴とする。
【００１６】
又、本発明は、前記振動腕部が、基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と、前記基部から前記振動腕部と平面視直交する方向に延設された第一の延設部と、前記第一の延設部の延設先端部から前記振動腕部と同じ方向に延設された第二の延設部とにより構成され、前記溝部が、前記基部から前記第一の延設部を通り前記第二の延設部まで連通して設けても良い。又、本発明は、前記導配線パターンの一部が前記溝部内面に設けても良い。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る水晶振動素子によれば、水晶片を構成する基部及び支持腕部の少なくとも一方の主面に溝部を設けることにより、基部及び支持腕部の主面方向からの荷重に対する機械的強度を向上させることができる。
【００１８】
又、本発明に係る水晶振動素子によれば、溝部が、基部から第一の延設部を通り第二の延設部まで連通して設けているので、基部及び支持腕部の主面方向からの荷重に対する機械的強度を向上させることができる。
【００１９】
又、溝部の内面に導配線パターンの一部を設けることにより、基部や支持腕部の主面方向からの荷重に対する機械的強度を更に向上させることができる。
以上のことから、本発明は、荷重による基部や支持腕部に折れなどの破損が少ない、小型薄型の水晶振動素子を提供することができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動素子の一形態を示す外観斜視図である。
【図２】図１記載の水晶振動素子を構成する水晶片を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）記載のＡ−Ａの断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る水晶振動素子の第二の変形例を示す斜視図である。
【図５】従来の水晶振動素子を示す斜視図である。
【図６】図５記載の水晶振動素子を構成する水晶片を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を、図面を参照しながら説明する。
尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に水晶片の厚さは誇張して図示している。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を示す外観斜視図である。図２は、図１記載の水晶振動素子を構成する水晶片を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）記載のＡ−Ａの断面図である。図３は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の変形例を示す断面図である。図４は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子の変形例を示す斜視図である。図１に示すように、水晶振動素子１００は、水晶片１１０（図２参照）と、その水晶片１１０の表面に設けられた励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂと、導配線パターン１２５，１２６，１２７，１２８，１２９及び１３０と、により概略構成される。
【００２３】
図１及び図２に示すように、水晶片１１０は、平面視略四角形の平板である基部１１１と、この基部１１１の一辺から同一方向に延設された第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３と、第一の支持腕部１１４と、第二の支持腕部１１５により構成されている。第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の表裏主面には、基部１１１との境界部分からそれぞれの振動腕部の先端に向って、所定の長さを有する第一の溝部１１６が、振動腕部毎に２本平行に設けられている。
【００２４】
第一の支持腕部１１４は、第一の延設部１１４ａと第二の延設部１１４ｂから構成されている。第一の延設部１１４ａは、基部１１１の第一の振動腕部１１２側の側部から第一の振動腕部１１２の延設方向とは平面視直交する方向に、所定の長さで延設されている。第二の延設部１１４ｂは、第一の延設部１１４ａの延設先の終端部から、第一の振動腕部１１２の延設方向と同じ方向に所定の長さで延設されており、第一の振動腕部１１４全体として、平面視略Ｌ字形状となる。
【００２５】
第二の支持腕部１１５は、第一の延設部１１５ａと第二の延設部１１５ｂから構成されている。第一の延設部１１５ａは、基部１１１の第二の振動腕部１１３側の側部から第二の振動腕部１１３の延設方向とは平面視直交する方向に、所定の長さで延設されている。第二の延設部１１５ｂは、第一の延設部１１５ａの延設先の終端部から、第二の振動腕部１１３の延設方向と同じ方向に所定の長さで延設されており、第二の振動腕部１１５全体として、平面視略Ｌ字形状となる。尚、第一の延設部１１４ａ及び１１５ａにおいて、延設した方向（図２（ａ）では紙面縦方向）の要素を長さとし、延設した方向と平面視直交する方向（図２（ａ）では紙面横方向）の要素を幅とする。
【００２６】
第一の支持腕部１１４の表裏主面及び基部１１１の表裏主面には、基部１１１から第二の延設部１１４ｂまで連通した第二の溝部１１７が設けられている。第二の延設部１１４ｂ部分に設けられている第二の溝部１１７は、第二の延設部１１４ｂの幅の中心軸ＣＬ１に第二の溝部１１７の幅の中心軸（図示せず）を合わせて設けられている。又、第一の延設部１１４ａ及び基部１１１部分に設けられている第二の溝部１１７は、第一の延設部１１４ａの幅の中心軸ＣＬ２から第一の振動腕部１１２側にずれた位置に、第二の溝部１１７の幅の中心軸が位置するように設けられている。尚、この第二の溝部１１７は、第一の支持腕部１１４の表裏主面及び基部１１１の表裏主面にそれぞれ設けられた第二の溝部１１７の底部が、互いに対向する位置に設けられている。
【００２７】
第二の支持腕部１１５の表裏主面及び基部１１１の表裏主面にも、基部１１１から第二の延設部１１５ｂまで連通した有底の第二の溝部１１７が設けられている。第二の延設部１１５ｂ部分に設けられた第二の溝部１１７は、第二の延設部１１５ｂの幅の中心軸ＣＬ３に第二の溝部１１７の幅の中心軸（図示せず）を合わせて設けられている。又、第一の延設部１１５ａ及び基部１１１部分に設けられている第二の溝部１１７は、第一の延設部１１５ａの幅の中心軸ＣＬ２から第二の振動腕部１１３側にずれた位置に、第二の溝部１１７の幅の中心軸が位置するように設けられている。尚、この第二の溝部１１７は、第二の支持腕部１１５の表裏主面及び基部１１１の表裏主面にそれぞれ設けられた第二の溝部１１７の底部が互いに対向する位置に設けられている。尚、第一の溝部１１６及び第二の溝部１１７を含む水晶片１１０の外形形状は、周知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成される。
【００２８】
図１に示すように、励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２の表裏主面に設けられた第一の溝部１１６の内面及びその第一の溝部１１６の開口部周囲の主面に設けられている。励振用電極１２１ｂは、第一の振動腕部１１２の対向する両側面に設けられている。又、励振用電極１２２ａは、第二の振動腕部１１３の表裏主面に設けられた第一の溝部１１６の内面及びその第一の溝部１１６の開口部周囲の主面に設けられている。励振用電極１２２ｂは、第一の振動腕部１１２の対向する両側面に設けられている。
【００２９】
接続用電極１２３ａは、第一の支持腕部１１４を構成する第二の延設部１１４ｂの先端部の表裏主面に設けられている。又、接続用電極１２３ｂは、第二の支持腕部１１５を構成する第二の延設部１１５ｂの先端部の表裏主面に設けられている。
【００３０】
周波数調整用金属膜１２４ａは、第一の振動腕部１１２の表裏主面の先端部に設けられており、第一の振動腕部１１２両側面に設けられた励振用電極４２１ｂと電気的に接続している。又、周波数調整用金属膜１２４ｂは、第二の振動腕部１１３の表裏主面の先端部に設けられており、第二の振動腕部１１３両側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。尚、水晶振動素子１００は、この周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整する。
【００３１】
図１に示すように、励振用電極１２１ａ及び１２２ｂと、周波数調整用金属膜１２４ｂと接続用電極１２３ｂとは、水晶片１１０表面に設けられた、例えば導配線パターン１２５、１２６及び１２７により電気的に接続している。接続用電極１２３ｂは、導配線パターン１２７と電気的に接続している。この導配線パターン１２７は、基部１１１及び第二の支持腕部１１５の表裏両主面に設けられ、その一部が第二の溝部１１７の内面にも設けられている。又、この導配線パターン１２７は、導配線パターン１２６により、励振用電極１２２ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ｂと電気的に接続している（図示せず）。又、裏主面に設けられた導配線パターン１２７の基部１１１側の端部は、基部１１１主面を延設して励振用電極１２１ａと電気的に接続している（図示せず）。第一の振動腕部１１２の表裏主面に設けられた励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２の側面に設けられた導配線パターン１２５により電気的に接続している。
【００３２】
又、励振用電極１２１ｂ及び１２２ａと、周波数調整用金属膜１２４ａと接続用電極１２３ａとは、水晶片１１０表面に設けられた、例えば導配線パターン１２８、１２９及び１３０により電気的に接続している。接続用電極１２３ａは、導配線パターン１３０と電気的に接続している。この導配線パターン１３０は、基部１１１及び第一の支持腕部１１４の表裏主面に設けられ、その一部が第二の溝部１１７内面にも設けられている。又、この導配線パターン１３０は、導配線パターン１２９により、励振用電極１２１ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ａと電気的に接続している（図示せず）。又、表主面に設けられた導配線パターン１３０の基部１１１側の端部は、基部１１１主面を延設して励振用電極１２２ａと電気的に接続している。第二の振動腕部１１３の表裏主面に設けられた励振用電極１２２ａは、第二の振動腕部１１３の側面に設けられた導配線パターン１２８により電気的に接続している。尚、各励振用電極、接続用電極、周波数調整用金属膜、導配線パターンは、下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから成る。
【００３３】
この水晶振動素子１００を振動させる場合、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２の励振用電極１２１ｂは＋（プラス）電位となり、励振用電極１２１ａは−（マイナス）電位となり、＋から−に電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１３の励振用電極は、第一の振動腕部１１２の励振用電極に生じた極性とは反対の極性となる。これらの印加された電界により、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３に伸縮現象が生じ、各振動腕部に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。
【００３４】
水晶振動素子１００は、水晶片１１０の表面に、前記した励振用電極、接続用電極、導配線パターン及び周波数調整用金属膜をフォトリソグラフィ技術及び蒸着技術により形成することができる。又、水晶振動素子１００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた容器体の、その凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部の開口部が蓋体により気密封止されて水晶振動子となる。
【００３５】
前記した水晶振動素子１００によれば、水晶片１１０を構成する第一の支持腕部１１４及び第二の支持腕部１１５の表裏主面に第二の溝部１１７を設けることにより、第一の支持腕部１１４及び第二の支持腕部１１５の主面方向からの荷重に対する機械的強度を向上させることができる。又、第二の溝部１１７の内面に導配線パターン１２７及び１３０の一部を設けることにより、第一の支持腕部１１４及び第二の支持腕部１１５の主面方向からの荷重に対する機械的強度を更に向上させることができる。
従って、例えば、水晶振動素子１００に超音波洗浄を行った場合に生じていた、主面方向からの荷重による第一の支持腕部１１４及び第二の支持腕部１１５の亀裂の発生を防止することができ、又、この荷重により支持腕部が折れることも防止することができる。又、落下などで水晶振動子に外部から衝撃が加わったとしても、水晶振動子内部に搭載された水晶振動素子１００の基部１１１、第一の支持腕部１１４及び第二の支持腕部１１５に、折れなどの破損が生じることを減少させることができる。
【００３６】
（第一の変形例）
図３は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例を示す。本発明の実施形態になる水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例は、水晶片１１０ａにおいて、水晶片１１０ａの一方の主面のみに、第一の溝部１１６及び第二の溝部１１７が設けられている。
したがって、このように水晶片の第一の変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３７】
（第二の変形例）
図４は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子の第二の変形例を示す。
本発明の実施形態になる水晶振動素子に用いられる水晶片の変形例は、支持腕部１１４を構成する第一の延設部１１４ａ及び基部１１１の表裏主面に第二の溝部１１７ｂが設けられており、支持腕部１１４を構成する第二の延設部１１４ｂの表裏主面にさらに第二の溝部１１７ａが設けられ、又、支持腕部１１５を構成する第一の延設部１１５ａ及び基部１１１の表裏主面に第二の溝部１１７が設けられており、支持腕部１１５を構成する第二の延設部１１５ｂの表裏主面に第二の溝部１１７ａが設けられた構造となっている。
つまり、第二の溝部１１７ａ、１１７ｂは、独立した状態となっている。
【００３８】
この水晶振動素子１００ａにおいて、基部１１１及び支持腕部１１４に設けられた溝部１１７ａ及び１１７ｂの内面には、導配線パターン１３０の一部が設けられている。又、基部１１１及び支持腕部１１５に設けられた溝部１１７ａ及び１１７ｂの内面には、導配線パターン１２７の一部が設けられている。
したがって、このように水晶片の第二の変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００３９】
１００，１００ａ・・・水晶振動素子
１１０，１１０ａ・・・水晶片
１１１・・・基部
１１２・・・第一の振動腕部
１１３・・・第二の振動腕部
１１４・・・第一の支持腕部
１１５・・・第二の支持腕部
１１４ａ，１１５ａ・・・第一の延設部
１１４ｂ、１１５ｂ・・・第二の延設部
１１６・・・第一の溝部
１１７，１１７ａ，１１７ｂ・・・第二の溝部
１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ・・・励振用電極
１２３ａ，１２３ｂ・・・接続用電極
１２４ａ，１２４ｂ・・・周波数調整用金属膜
１２６，１２７，１２８，１２９，１３０・・・導配線パターン
【図１】
2010259024.tif 000003
【図２】
2010259024.tif 000004
【図３】
2010259024.tif 000005
【図４】
2010259024.tif 000006
【図５】
2010259024.tif 000007
【図６】
2010259024.tif 000008