(57)【要約】      （修正有）【課題】改変されたリットマン構成を有する周波数ステップ・レーザー・システム及び当該システムを用いる方法を提供する。【解決手段】共通の光軸を有するレーザー共振器１０４及び外部共振器１１０を有するレーザーと、外部共振器１１０内に固定された反射回折格子２１４と、レーザー共振器１０４及び反射回折格子間のコリメータ・レンズ１１２と、外部共振器１１０の一端を画定し、該固定された反射回折格子２１４に光学的に結合され、該固定された反射回折格子２１４の位置のまわりにピボット回転する調整可能な反射ミラー２２０と、を有する波長チューナブル・システム及びその使用方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長チューナブル・システムであって、
共通の光軸を有するレーザー共振器及び外部共振器を有するレーザーと、
前記外部共振器内に固定された反射回折格子と、
前記レーザー共振器及び前記反射回折格子間のコリメータ・レンズと、
前記外部共振器の一端を画定し、前記固定された反射回折格子に光学的に結合された調整可能な反射ミラーであって、前記固定された反射回折格子の位置のまわりにピボット回転する前記調整可能な反射ミラーと、を有することを特徴とする波長チューナブル・システム。
【請求項２】
前記調整可能な反射ミラーは、１つの軸の周りに調整可能にピボット回転し、前記軸は前記反射回折格子の面と同一平面上にあることを特徴とする請求項１に記載の波長チューナブル・システム。
【請求項３】
当該ピボット回転軸は前記回折格子面上の刻線に平行であることを特徴とする請求項２に記載の波長チューナブル・システム。
【請求項４】
レーザーの波長チューニングをなす方法であって、
請求項１に記載の前記システムを設けるステップと、
順次または逐次的に前記反射回折格子に関してＮのピボット角度θNのそれぞれに前記調整可能な反射ミラーを配向させ、一連の波長λNのそれぞれを有するビームを出力するステップと、を有することを特徴とする方法。
【請求項５】
インタロゲーション・バイオセンサ装置におけるレーザーの波長チューニングをなす方法であって、
請求項１に記載の前記チューナブル・システムの前記調整可能な反射ミラーを前記反射回折格子に関して一連の逐次的なピボット角度θNに配向させ、一連の波長λNのそれぞれを有するビームを出力するステップと、
前記ビームを回折格子ベースの導波路バイオセンサに向けて照射するステップと、
前記バイオセンサから反射された放射を収集し、異なる波長λNの各々での当該反射放射の相対強度を測定するステップと、
波長に対する収集した強度データを分析して前記バイオセンサの最大ピーク波長応答を確定するステップと、を有することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
本願は、２００８年１１月２６日に出願の米国仮出願第６１／１１８，１６２号の利益を主張する。
【０００２】
本発明は、波長チューナブル・レーザー・システム、特に、周波数ステップ・レーザー・システム及びその方法に関する。
【発明の開示】
【０００３】
本実施形態において、本開示は、改変されたリットマン構成を有する周波数ステップ・レーザー・システム及び当該システムを用いる方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】既知のリトロー構成の周波数ステップ・外部共振器チューナブル・レーザーの模式図である。
【図２】本開示の実施形態における、固定した反射回折格子に関して異なるピボット角で向けられた反射ミラーを有し、外部共振器チューナブル・レーザーの帯域の範囲内で対応する異なったレーザー波長を生成する、改変されたリットマン構成の周波数ステップ・外部共振器チューナブル・レーザーの模式図である。
【図３】本開示の実施形態における、改変されたリットマン構成の周波数ステップ・外部共振器チューナブル・レーザーの第２の模式図である。
【図４】本開示の実施形態における、外部共振器および基本レーザー・ダイオード共振器間の適切なモードマッチングの例示的な結果を示す図である。
【図５】本開示の実施形態における、リットマン構成のステップ・レーザーの例示的な実施の斜視図である。
【発明の詳細な説明】
【０００５】
本発明の様々な実施形態について、図面がある場合には、図面を参照して詳細に説明する。様々な実施形態についての言及は本発明の範囲を限定するものではなく、本明細書に添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。さらに、本明細書に記載されるいずれの例も、特許請求の範囲に記載の発明に係る多くの可能な実施形態のいくつかを記載しているに過ぎない。
【０００６】
［定義］
「波長チューナブル」又は同様の用語は、例えば、瞬時の周波数又は波長出力が制御的に変化させ得るレーザー光源に関する。
【０００７】
「周波数ステップ」又は同様の用語は、例えば、瞬時の周波数又は波長出力が離散的な数の可能な周波数または波長のうちの１つであり得るレーザー光源に関する。
【０００８】
「含む」又は同様の用語は、包含する又は含むことをいうが、排他的又は制限的ではないことをいう。
【０００９】
「約」は、本開示の実施形態を記載する際に用いられ、本開示の構成要素、部分または態様、例えば角度、距離、厚さおよび同様の値及びこれらの範囲を修飾し、例えば、装置およびその部品を製造または使用するのに用いられる典型的な測定及び取扱い手順、これらの手順における偶然の誤差、当該方法を実行するのに用いられる物質または成分の製造又はソースの差、及び同様の事項などにおいて生じうる数量の変動をいう。用語「約」が添付の特許請求の範囲において用いられる場合は、これらに等価な量を含む。
【００１０】
実施形態の「本質的に構成されている」は、例えば、改変されたリットマン構成を有する周波数ステップ・レーザー装置およびシステム、及び当該システムを製造又は使用する方法に関し、特許請求の範囲に列挙された要素又はステップ、さらに本開示のアイテム、装置又はシステム、及び製造又は使用する方法の基本的で新規な特性に実質的に影響を与えない他の要素又はステップを含んでもよく、例えば、特定の構成要素、特定の材料、特定の構成、特定の条件、又は同様の構造、材料または選択されるプロセス変数などを含んでもよい。本開示の構成要素、構成又はステップの基本的な特性に実質的に影響を与える、又は本開示に望ましくない特性を与えるアイテムや態様は、例えば、光学要素の非ピボット（回動）の相対的運動または横方向の変位を含む。
【００１１】
従って、特許請求の範囲に記載の発明は、例えば、本明細書に規定される装置またはシステム、本明細書に規定される当該システムを製造し、使用する方法からなり、構成され、又は本質的に構成されている。
【００１２】
本明細書で用いられる不定冠詞「a」又は「an」、及びその対応する定冠詞「the」は、他の意味に特定されない限り、少なくとも１つの、又は１つ以上を意味する。
【００１３】
当業者に周知の略語（例えば、時間または時間（複数）について「ｈ」または「ｈｒ」、ナノメートルについて「ｎｍ」、マイクロンについて「μ」及び同様の略語）が用いられることがある。
【００１４】
構成要素、構成、方向および同様の態様、及びそれらの範囲についての開示された特定で好ましい値は説明のためだけであり、他の規定された値または他の規定された範囲内の値を除外しない。本開示の装置、システムおよび方法は、本明細書に記載されているいかなる値、又は特定の値、さらに特定の値及び好ましい値のいかなる組合せをも含む。
【００１５】
チューナブル・レーザー・システムは知られており、例えば、「チューナブル外部共振器レーザーについてのモードマッチング・システム（“MODE-MATCHING SYSTEM FOR TUNABLE EXTERNAL CAVITY LASER”）」と題するＷＯ２００６１１２９７１号、「モード選択的周波数チューニング・システム（“Mode-Selective Frequency Tuning System”）」と題する米国特許第７，２０９，４９９号、「周波数偏移インターフェロメトリのための位相分解測定（“Phase-Resolved Measurement for Frequency Shifting Interferometry”）」と題する米国特許第７，２６８，８８９号、「モード選択チューナからの光学フィードバック（“Optical Feedback from Mode-Selective Tuner”）」と題する米国特許第７，２５９，８６０号、及び「調整可能な外部共振器を有するチューナブル・レーザー・システム（“Tunable Laser System having an Adjustable External Cavity”）」と題する米国特許第６，６９０，６９０号を参照のこと。
【００１６】
上記の特許は、例えば、リトロー構成の回折格子を有する外部共振器に結合された標準的なコーティングしてないレーザー・ダイオードを組み込んだチューナブル・レーザー・システムに言及している。レーザー・ダイオードにフィードバックされる光の波長を変化させるために回折格子の角度が調整され得る。回折格子は、回折格子の面と同一平面内の軸の周りにピボット回転することができ、当該ピボット軸は回折格子面の刻線（ruling）方向に平行である。外部共振器の長さは基本レーザー・ダイオードにモード・マッチングするように選択される。回折格子の角度が連続的に変化されるに従い、レーザーの出力ビーム周波数は、モード・ホップと呼ばれる離散的な周波数ステップで変化する。理想的にモード・マッチングした条件において、モード・ホップまたは周波数ステップは、基本レーザー・ダイオードの長さ及びその光学屈折率によって確定される。上記した特許は、リトロー共振器デザインを有する周波数ステップ・レーザー・システム及びその使用について言及している。
【００１７】
異なるチューニング方法を用いた、モード・ホップのない「連続チューニング」を可能にするチューナブル・レーザー・システムがある。これらのチューナブル・レーザー・システムは、ダイオード端面のうちの１つが特殊な無反射（ＡＲ）コーティングを有するレーザー・ダイオードを用いている。レーザーのモード構造は外部共振器の長さによって確定され、レーザー・ダイオード自身からの競合モードはない。回折格子の角度を変更しつつ外部共振器の長さが変更されて、チューニング帯域にわたって同一のモードが用いられる。この連続チューニング技術は、櫛型の周波数のチューニングにはあまり適していない。一定の周波数間隔の１セットのステップ、例えば、８２０ｎｍないし８５０ｎｍまでの３０ｎｍ帯域の範囲内の、例えば３５ＧＨｚのステップが望まれる応用がある。連続チューニング技術は、例えば、無反射コーティングは製造及び品質を制御するのが困難であり得ること、及び小さな回折格子の角度変化が好ましくない周波数変化を生じ得ること、を含む少なくとも２つの基本的な欠点を有する。
【００１８】
リトロー構成を用いた周波数ステップ・レーザーは、例えば米国特許第７，２０９，４９９号及びその中の引用文献に開示され、これらを参照のこと。リトロー構成の外部共振器チューナブル・レーザーは、回折格子から１次反射がレーザー共振器内に戻される回転調整可能な回折格子を用いている。
【００１９】
リットマン又はリトロー構成を有する外部共振器チューナブル・レーザーは既知であり、例えば「光増幅器、ビームステアリング装置及び凹面回折格子集積型波長チューナブル光源（“Wavelength Tunable Light Source Integrated with Optical Amplifier, Beam Steering Unit, and Concave Diffraction Grating”）」と題された米国特許第７，１３３，１９４号及びその図１，２を参照のこと。しかしながら、これらの構成はチューニング帯域にわたる同一の共振器モードを追跡することによって連続チューニングを得ようとするものである。これは、チューニングの間、外部共振器長の変化を制御することを必要とする。これに対し、本開示によれば、周波数ステップ・チューニングは、外部共振器長を固定し、基本レーザー・ダイオードにモードマッチしてなされる。
【００２０】
既存の連続チューナブル・レーザーは、基本レーザー・ダイオード出射端面に優れた無反射コーティングが施されることを必要とする。無反射コーティングは高価な場合があり、レーザー寿命が短くなり、現場で故障していた。これらのチューナブル・レーザーはまた、例えば、所定の周波数セットにわたる繰返し走査を必要とするアプリケーションにおいて、ある一定の固有の制限を有している。これらのレーザーは「連続チューナブル」なので、小さい角度誤差が重大な周波数誤差を生じることがある。この制限は、周波数誤差を最小にするため「安定させる」ことにかなりの走査時間が費やされることを必要とする。これによって、スループットは低くなる。
【００２１】
我々は、既に、レーザーが帯域全体に亘って調整される間、外部共振器チューナブル・レーザー長が固定又は一定に保持される周波数ステッッピング設計を用いてこれらの制限を除去するチューナブル・レーザー技術を報告した。例えば、WO2006112971、US 7,209,499、US 7,268,889、US 7,259,860およびUS 6,690,690を参照のこと。これらの特許文献の周波数ステップ・レーザーは、回折格子がピボット回転調整可能であるリトロー構成を用い、レーザー共振器内に１次逆方向反射を戻す角度調整が可能である。
【００２２】
実施形態において、本開示は、波長チューナブル・システムであって、
共通の光軸を有するレーザー共振器及び外部共振器を有するレーザーと、
前記外部共振器内に固定された反射回折格子と、
前記レーザー共振器及び前記反射回折格子間のコリメータ・レンズと、
前記外部共振器の一端を画定し、前記固定された反射回折格子に光学的に結合された調整可能な反射ミラーであって、前記固定された反射回折格子の位置のまわりにピボット回転する前記調整可能な反射ミラーと、を有する波長チューナブル・システムを提供する。
【００２３】
実施形態において、上記調整可能な反射ミラーは、１つの軸の周りに調整可能にピボット回転（回動）し、当該軸は、上記反射回折格子の面と同一平面内にある（co-planar）。当該ピボット軸は、回折格子の面上の刻線（ruling）に平行であってもよい。調整可能な反射ミラーは、固定反射回折格子の軸の周りに調整可能にピボット回転することができる。レーザーの出力ビームの波長は、反射ミラーを異なる角度に逐次段階的に変更することで離散的に変化させることができる。実施形態において、レーザーは、例えば、光増幅器であってもよい。外部共振器の長さは、例えば、一定であってもよい。１次反射は、例えば、調整可能な反射ミラーに入射されてもよい。０次反射の方向は、例えば、不変でもよく、例えば、調整可能な反射ミラーに入射されなくてもよい。
【００２４】
実施形態において、本開示は、
上記のチューナブル・システムを設けるステップと、
順次または逐次的に前記反射回折格子に関してＮ個のピボット位置角度（ピボット回転角度）θNのそれぞれに調整可能な反射ミラーを配向させ、一連の波長λNのそれぞれを有するビームを出力するステップと、を有する光源の波長チューニングをなす方法を提供する。
【００２５】
実施形態において、本開示は、例えばインタロゲーション（検出）バイオセンサ装置に用いられる、レーザーの波長チューニングをなす方法であって、
上記のチューナブル・システムを設けるステップと、
前記調整可能な反射ミラーを前記反射回折格子に関して一連の逐次的なピボット回転角度θNに配向させ、一連の波長λNのそれぞれを有するビームを出力するステップと、
前記ビームを回折格子ベースの導波路バイオセンサに向けて照射するステップと、
前記バイオセンサから反射された放射を収集し、異なる波長λNの各々での当該反射放射の相対強度を測定するステップと、
波長に対する収集した強度データを分析して前記バイオセンサの最大ピーク波長応答を確定するステップと、を有する方法を提供する。
【００２６】
実施形態において、本開示は、レーザーを波長チューニングする方法であって、
上記のチューナブル・システムを設けるステップと、
順次または逐次的に固定反射回折格子に関してＮ個のピボット角度θNのそれぞれに調整可能な反射ミラーを配向させ、一連の波長λNの各々を有するビームを出力するステップと、を有する光源の波長チューニングをなす方法を提供する。
【００２７】
上記「Ｎ」は、例えば、２ないし約10,000、２ないし約２００、２ないし約１００、及びこれらの間の全ての値及び範囲を含む整数であり得る。角度θNは、例えば、約１度ないし約５度、約２度ないし約４度、及びこれらの間の全ての値及び範囲を含み、例えば約３度である。
【００２８】
実施形態において、本開示のシステムは、スタンドアローンのレーザー、あるいは他の製品または装置と共に又は組み込まれ、例えば測定応用、バイオセンシング等の光学センシング、医療、通信および同様のアプリケーション等に用いられ得る、より複雑な又は統合されたシステムを構成し得る。
【００２９】
本開示の装置および方法は、例えば、製造及び所有における低コスト、より簡単さ及びより良好な性能を提供する点によって既知のシステム及び方法に比較して優れている。実施形態において、本開示はリットマン構成を有する周波数ステップ・レーザー・システムを提供する。リットマン構成を有するレーザー・システムは、上述したリトロー・レーザー構成と比較して、及び下記に記載するように、いくつかの利点を有している。
【００３０】
実施形態において、本開示は、リットマン構成の外部共振器チューナブル・レーザーを用いることによって周波数ステップ走査を達成する方法、レーザー装置及びシステムを提供する。リットマン構成の外部共振器チューナブル・レーザーは、横方向及び回転方向に位置的に固定した反射回折格子からの１次反射を角度チューニングする制御可能なピボット回転反射ミラーなどの反射光学系を用いる。開示されたシステム及び方法の重要な態様は、開示された角度チューニングは方向を変える０次ビームを生じないことである。
【００３１】
実施形態において、本開示は、固定された回折格子及び調整可能なミラーを有し、レーザー共振器内に１次反射を逆反射するリットマン構成の周波数ステップ・レーザーを提供する。開示されたシステムは、いくつかの利点を提供する。回折格子が固定されているので、０次ビームもまた角度的に固定され、角度チューニングの間、０次ビームは動かない。これまで、技術者は、回折格子とともに動くミラーを含ませ、０次ビームの動きを最小化しなければならなかった。固定した出力ビームを有することは、例えばシステムの機械的構成を単純化し、通常出力ビームのファイバ結合に関連する問題を除去することによってコスト節約をもたらす。また、通常レーザー・アセンブリの間になされる回折格子に対するいくつかの調整がある。これらの調整は角度調整のための設計とは分離することができるので、著しく単純化される。
【００３２】
実施形態において、本開示は、改変されたリットマン構成の外部共振器チューナブル・レーザーの周波数ステップ・チューニングを有する装置および方法を提供する。図面を参照すると、図１は、リトロー構成（１００）のレーザーの周波数ステップ・チューニングをなす既知の外部共振器チューナブル・レーザーの模式図である。例えば、米国特許第７，２０９，４９９号を参照のこと。図示するように、ピボット軸のまわりに回折格子は回転し、レーザーが動作帯域にわたってチューニングされる間、共振器長は固定されている。
【００３３】
図１及び２の両者の構成において、内部共振器（１０４）を有する標準のコーティングしてないレーザー・ダイオード（ＬＤ）（１０２）は、コリメータ・レンズ又は同様の分散要素によって外部共振器（１１０）に結合されている。外部共振器（１１０）又は（１１８）は、固定回折格子及びピボット回転ミラー間の距離を含む。図１の従来技術のリトロー構成において、回転軸（１１５）及び回折格子角θ（１１６）をさらに有する回折格子（１１４）などの回転可能な回折光学要素は、１次反射（１１８）がレーザー・ダイオード内に戻るように調整される。回折格子（１１４）は、軸（１１５）の周りに回転することができる。回転軸（１１５）は、回折格子の面と同一平面上にあり、回折格子の面の刻線に平行であり、かつ入射及び反射ビームに垂直である。回折格子角θを僅かに変化させることによって、レーザー・ダイオード内にフィードバックされる光の波長を変化させることができ、従って、レーザー波長出力光（Ｐｏ）（１２５）を変化させる。ミラー（１２０）などの固定反射光学要素は０次反射（１２２）を受ける。
【００３４】
本開示のレーザー装置（２００）およびシステムの部分的な模式図が図２に示され、固定反射回折格子（２１４）に関して、例えば、異なる（２２０ａ，２２０ｂ，２２０ｃの３つが示されている）ピボット角に配向された、制御可能な回動（pivotal）反射ミラー（２２０）を有し、外部共振器チューナブル・レーザー帯域内で、対応する異なるレーザー波長を生成する。反射ミラー（２２０）についてのピボット点（２１５）は、例えば、反射回折格子（２１４）の面上であるように選択でき、外部共振器長はチューニング帯域にわたって一定であるようにすることができる。図２の本開示の改変リットマン構成において、反射ミラー（２２０）のチューニング角θ（２１６）は、回転及びピボット回転（回動）に関し固定された反射回折格子（２１４）に位置する想像上又は実際の点又はピボット軸などの遠隔位置（２１５）の周りに制御可能にピボット回転調整することができ、１次反射（１１８）はレーザー・ダイオード（１０４）の内部共振器に向けて戻される。反射ミラー角θ（２１６）に僅かなピボット回転変化、例えば約３度のピボット範囲にわたり約２００ステップ、を与えることによって、レーザー・ダイオード内にフィードバックされる光の波長は変化し、レーザー波長をステップ的に変化させる。ミラー（２２０）は、例えば、当該固定回折格子の面と同一平面上にあり、当該回折格子の面の刻線に平行である、遠隔のピボット軸（２１５）に関してピボット回転させることができる。
【００３５】
図３は、リットマン構成の周波数ステップ・外部共振器レーザーを有する本開示のシステム（３００）の部分的な模式図である。この構成において、反射回折格子（２１４）は固定角で保持されており、１次反射はピボット回転調整可能な反射ミラー（２２０）に入射する。当該調整可能な反射ミラーが変化されて、反射ビーム（３１８）の角度が変えられる。これにより、チューナブル・レーザーのレーザー波長が変更される。反射回折格子（２１４）の面に又は面上に反射ミラー（２２０）のピボット点が位置していることで、レーザーが動作帯域にわたってチューニングされている間、外部共振器長（１１０）は一定に保持される。
【００３６】
図２及び３の構成の目的は、レーザーを動作帯域にわたって角度調整する際に、外部共振器長（１１０）を一定に維持することにある。外部共振器（１１０）の当該固定長は、基本レーザー・ダイオード（１０２）にモードマッチするように選択される。基本レーザー・ダイオードに対するモードマッチング（モード整合）の例が模式的に図４に示されている。
【００３７】
図４は、外部共振器および基本レーザー・ダイオード共振器間の適切なモードマッチングの例示的な結果を示している。レーザー・ダイオードのモード間隔は、外部共振器モードの整数倍である。図示した（目盛りは図示していない）本実施例において、外部共振器の光路長は基本レーザー・ダイオード・モードの光路長の５倍（5X）であるように選択されている。基本レーザー・ダイオードの共振器モード（４１０）の間隔は、外部共振器の縦モード（４２０）の間隔の整倍数である。チューニング角（２１６）またはミラー角θが連続的に変化されるに従い、レーザー周波数はモード・ホップと呼ばれる離散的な周波数ステップで変化する。理想的なモード・マッチングする条件において、モード・ホップまたは周波数ステップは、基本レーザー・ダイオード（１０４）の長さ及びその光学屈折率によって確定される。
【００３８】
リトロー又はリットマン構成のいずれの場合でも、周波数ステップ・チューニングを達成するには、モード整合は主又は基本レーザー・ダイオード・モード間隔が外部共振器モード間隔の整倍数であることが必要とされる。
【００３９】
［例］
下記の例は、上記の本開示を用いる方法をより十分に説明するのに役立ち、本開示の様々な態様を実行するための最良の形態の例を説明している。これらの例は、本開示の範囲を限定するものではなく、説明の目的のために提示される。
【００４０】
［例１］
本開示の装置および方法を実施するのに多数の改変や変更を用いることができる。装置構成（５００）の１例が図５の斜視図に示されている。ピボット回転（回動）可能なミラー（５０５）は、回転車軸（アクスル）アセンブリ（５１５）に遠隔取り付けされたミラー支持板（５１０）に搭載されている。車軸（５１５）は、回転軸（５２０）が、例えば固定回折格子（５２５）の面と機械的にアライメントされ、固定回折格子（５２５）上の溝に平行であるように配置される。回折格子（５２５）は固定され、その機械的調整の全ては回転車軸とは独立して行うことができる。レバーアーム（５３０）は、車軸に取り付けられ、例えば、リニアモータ（５３５）によって動かすことができる。外部共振器からのレーザービーム（５４０）は、固定回折格子（５２５）及びピボット回転可能なミラー（５０５）に照射され得る。リニアモータは、いかなる適切なタイプまたはモデルのものであってもよい。実施形態において、リニアモータは、例えばステッパモータ、ボイスコイル・アセンブリ、圧電性アクチュエータまたはＤＣモーターであってもよい。当該モーターの移動範囲は、例えば、レバーアームの長さに依存してもよい。アームの長さは、選択されたモーターの性能に整合するように最適化されてもよい。例えば、６ｍｍの範囲にわたって移動する小さなボイスコイル・アセンブリ及び１００ｍｍのアームによってミラー角を約３度にわたって変化させることができる。
【００４１】
本開示は、様々な特定の実施形態および技術に関して記載された。しかしながら、本開示の範囲内において様々な改変及び変更が可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2010153836.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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