(57)【要約】【課題】簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光導波路フィルム及びその製造方法、並びに、当該光導波路フィルムを備えた光送受信モジュールを提供すること。【解決手段】クラッド１１４と、クラッド１１４に埋設された光導波路コア１１２と、を有する光導波路フィルム本体１１６を備えた光導波路フィルム１０において、光導波路フィルム本体１１６の２つの主面うち一方の主面１１６Ｂに電気配線層１２０が形成させる。そして、電気配線層１２０は、チタン層１２４Ｂを含む保護層１２４で覆わせる。また、保護層１２４は、チタン合金層でであってもよく、チタン層１２４Ｂを覆って設けられる窒化チタン層１２４Ｃを有していてもよい。【選択図】図１
2010049225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光が伝播する光導波路コア、及び前記光導波路コアを包囲し前記光導波路コアよりも屈折率が低いクラッド部を有する光導波路フィルム本体と、
光導波路フィルム本体の主面の少なくとも一部に形成され、銀又は銀合金を含んで構成された電気配線層と、
前記電気配線層上を覆って設けられ、チタン層又はチタン合金層を含む保護層と、
を備えることを特徴とする光導波路フィルム。
【請求項２】
前記保護層が、前記チタン層又はチタン合金層上に配された窒化チタン層を含むことを特徴とする請求項１に記載の光導波路フィルム。
【請求項３】
前記反射層と前記保護層が一体化され、銀又は銀合金を含んで構成される金属層の表面がチタン銀合金からなる複合合金であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光導波路フィルム。
【請求項４】
前記光導波路フィルムが、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を長手方向の少なくとも一端部に有し、且つ当該傾斜面に前記電気配線層と同種の層を反射層として有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路フィルム。
【請求項５】
前記電気配線層の厚みが、５００ｎｍ以上５μｍ以下であり、
光導波路フィルムの最小屈曲半径が、１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光導波路フィルム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光導波路フィルムと、
発光素子と該発光素子を保持する第１の保持部材とを有し、前記発光素子から射出された光が前記光導波路の入射端面に結合されるように、前記第１の保持部材上に前記光導波路フィルムの一方の端部を保持する光送信部と、
受光素子と該受光素子を保持する第２の保持部材とを有し、前記光導波路の出射端面から射出された光が前記受光素子に受光されるように、前記第２の保持部材上に前記光導波路フィルムの他方の端部を保持する光受信部と、
前記第１の保持部材及び前記第２の保持部材に設けられ、前記光導波路フィルムの前記電気配線層と通電するための結線部と、
を備えることを特徴とする光送受信モジュール。
【請求項７】
少なくとも前記光導波路フィルムが、ＵＬ−９４試験による難燃性がＨＢ以上である難燃性樹脂によって被覆され、且つ該難燃性樹脂によって被覆されて表面に難燃性樹脂層の形成された前記光導波路フィルムの最小屈曲半径が１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項６に記載の光送受信モジュール。
【請求項８】
前記光導波路フィルムと、前記発光素子、前記受光素子、及び前記結線部の内の少なくとも１つと、が前記難燃性樹脂によって被覆されていることを特徴とする請求項７に記載の光送受信モジュール。
【請求項９】
前記光導波路フィルムの少なくとも前記難燃性樹脂層に接する領域が、アクリル系樹脂又はエポキシ系樹脂からなることを特徴とする請求項７又は８に記載の光送受信モジュール。
【請求項１０】
前記難燃性樹脂が、低分子シロキサンを５００ｐｐｍ以下含むことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１１】
前記難燃性樹脂が、難燃性フィラーを含有することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１２】
前記難燃性樹脂層の引っ張り強度が、０．５ＭＰａ以上５ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１３】
前記難燃性樹脂の粘度が、１Ｐａ・ｓ以上３０Ｐａ・ｓ以下であることを特徴とする請求項７乃至１２のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１４】
前記難燃性樹脂層の厚みが、２０μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする請求項７乃至１３のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１５】
前記難燃性樹脂層が、前記難燃性樹脂をディスペンサーによって塗布した後に硬化させることによって設けられたことを特徴とする請求項７乃至１４のいずいれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１６】
前記難燃性樹脂層が、前記光導波路フィルムの前記電気配線層を保護する保護層として機能することを特徴とする請求項７乃至１５のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【請求項１７】
光を伝播する光導波路コア及び前記光導波路コアよりも屈折率が低く前記光導波路コアを埋設させるクラッドを有する、光導波路フィルム本体を製造する光導波路フィルム本体製造工程と、
前記光導波路フィルム本体の主面の少なくとも一部に、開口を持つマスクを配設するマスク配設工程と、
前記マスクの開口内に、銀又は銀合金を含んで構成される金属層を形成して、当該金属層からなる電気配線層を形成する電気配線層形成工程と、
前記マスクの開口内に形成された前記金属層からなる電気配線層を覆って、チタン層又はチタン合金層を含む保護層を形成する保護層形成工程と、
前記マスクを、光導波路フィルムから剥離する剥離工程と、
を有することを特徴とする光導波路フィルムの製造方法。
【請求項１８】
光導波路フィルム本体製造工程が、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を長手方向の少なくとも一端部に有する光導波路フィルム本体を製造する工程であり、
前記配線層形成工程が、前記マスクの開口内と共に、前記傾斜面に前記金属層を形成する工程であり、
且つ前記保護層形成工程が、前記マスクの開口内に形成された前記金属層からなる電気配線層と共に、前記傾斜面に形成された前記金属層を覆って、前記保護層を形成する工程である、
ことを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項１９】
前記金属層を、蒸着又はスパッタリング法により形成することを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２０】
前記光導波路フィルム本体製造工程が、少なくとも、
第１クラッド層及びコア層が積層された積層体を準備する工程と、
前記コア層を切削し、光を伝播する光導波路コアを形成する工程と、
前記光導波路コアを覆うように、第２クラッド層を形成する工程と、
前記積層体の長手方向端部の少なくとも一方を切削し、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２１】
前記光導波路フィルム本体製造工程が、少なくとも、
第１クラッド層、コア層、及び第２クラッド層がこの順で積層された積層体を準備する工程と、
前記第２クラッド層と共に前記コア層を切削し、光が伝播する光導波路コアを形成する工程と、
前記光導波路コアを覆うように、第３クラッド層を形成する工程と、
前記積層体の長手方向端部の少なくとも一方を切削し、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２２】
前記マスク配設工程が、前記マスクを、密着層を介して前記光導波路フィルム本体の主面の少なくとも一部に配設する工程であることを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２３】
前記密着層が、前記マスク及び前記光導波路フィルムの一方を接着し、他方を接着しない接着層であることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２４】
前記密着層が、硬化性の材料を含んで構成されることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２５】
紫外線硬化性樹脂の塗膜を光導波路フィルム本体の主面に形成し、当該塗膜上に前記マスクを配設した後、マスクの上方側から紫外線を照射して、マスクに覆われた未硬化の前記紫外線硬化性樹脂の塗膜を密着層とすることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２６】
予めマスクに前記密着層を形成した後、当該密着層を持つマスクを光導波路フィルム本体の主面上に配設することを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【請求項２７】
前記マスクと前記密着層との間、及び前記光導波路フィルム本体と前記密着層との間の少なくとも一方に、剥離層を形成することを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路フィルム及びその製造方法、並びに、光送受信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブル電気配線回路が、一般に広く使われているが信号処理技術の高速化の要求に伴い、ギガヘルツオーダーの伝送が求められるようになっている。そこで、ギガヘルツオーダーの信号伝送に関しては、ノイズ対策のために光化を行った光電混載基板が検討されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、フレキシブル銅箔基板と光導波路を積層した例が提案されている。
また、特許文献２や特許文献３には、ポリイミドのフレキシブル基板に光導波路や電気回路を積層して作る代表的な方法が記載されている。
また、特許文献４には、コアの周りに金属膜を形成し反射ミラーとして、光閉じ込めの機能と電気配線の機能を兼用する例が考案されている。
【特許文献１】特開２００１−３１１８４６公報
【特許文献２】特開平６−２２２２３６公報
【特許文献３】特開平６−２８１８３１公報
【特許文献４】特開２００２−３３３５３７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、例えば、モバイル機器では高速信号処理というだけではなく、低消費電力化が強く求められている。低消費電力化という観点では、光化するのは不利であり電気信号を完全に無くすことは実用上難しいのが現状である。また、受発光素子への電力供給が必ず必要であるため、これまで光化しても電気配線用のケーブルは必ず必要になっていた。従って、屈曲性を有しつつ、光電混載の光導波路フィルムが実現できて初めて、電気配線用のケーブルが不要になると共に、光導波路フィルム屈曲性を利用できることから実用上のメリットが大きい。
【０００５】
また、電気配線として、コスト面を考慮すると、銀又は銀合金を構成材料として使用することが望ましいものの、銀又は銀合金は酸化や硫黄化及び塩化などが生じ易く、耐久性に劣る。銀に種々の金属を添加した銀合金なども存在するが、これでも経時による劣化は避けられず、樹脂による保護層を厚く設けることが必要である。また、光導波路フィルムは屈曲性を高める必要があり、電気配線の保護層もできるだけ薄くする必要がある。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、低コストを実現しつつ電気配線の劣化が抑制され、簡易な構成で屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光導波路フィルム及びその製造方法、並びに、当該光導波路フィルムを備えた光送受信モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
請求項１に係る発明は、
光が伝播する光導波路コア、及び前記光導波路コアを包囲し前記光導波路コアよりも屈折率が低いクラッド部を有する光導波路フィルム本体と、
光導波路フィルム本体の主面の少なくとも一部に形成され、銀又は銀合金を含んで構成された電気配線層と、
前記電気配線層上を覆って設けられ、チタン層又はチタン合金層を含む保護層と、
を備えることを特徴とする光導波路フィルム。
【０００８】
請求項２に係る発明は、
前記保護層が、前記チタン層又はチタン合金層上に配された窒化チタン層を含むことを特徴とする請求項１に記載の光導波路フィルム。
【０００９】
請求項３に係る発明は、
前記反射層と前記保護層が一体化され、銀又は銀合金を含んで構成される金属層の表面がチタン銀合金からなる複合合金であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光導波路フィルム。
【００１０】
請求項４に係る発明は、
前記光導波路フィルムが、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を長手方向の少なくとも一端部に有し、且つ当該傾斜面に前記電気配線層と同種の層を反射層として有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路フィルム。
【００１１】
請求項５に係る発明は、
前記電気配線層の厚みが、５００ｎｍ以上５μｍ以下であり、
光導波路フィルムの最小屈曲半径が、１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光導波路フィルム。
【００１２】
請求項６に係る発明は、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光導波路フィルムと、
発光素子と該発光素子を保持する第１の保持部材とを有し、前記発光素子から射出された光が前記光導波路の入射端面に結合されるように、前記第１の保持部材上に前記光導波路フィルムの一方の端部を保持する光送信部と、
受光素子と該受光素子を保持する第２の保持部材とを有し、前記光導波路の出射端面から射出された光が前記受光素子に受光されるように、前記第２の保持部材上に前記光導波路フィルムの他方の端部を保持する光受信部と、
前記第１の保持部材及び前記第２の保持部材に設けられ、前記光導波路フィルムの前記電気配線層と通電するための結線部と、
を備えることを特徴とする光送受信モジュール。
【００１３】
請求項７に係る発明は、
少なくとも前記光導波路フィルムが、ＵＬ−９４試験による難燃性がＨＢ以上である難燃性樹脂によって被覆され、且つ該難燃性樹脂によって被覆されて表面に難燃性樹脂層の形成された前記光導波路フィルムの最小屈曲半径が１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項６に記載の光送受信モジュール。
【００１４】
請求項８に係る発明は、
前記光導波路フィルムと、前記発光素子、前記受光素子、及び前記結線部の内の少なくとも１つと、が前記難燃性樹脂によって被覆されていることを特徴とする請求項７に記載の光送受信モジュール。
【００１５】
請求項９に係る発明は、
前記光導波路フィルムの少なくとも前記難燃性樹脂層に接する領域が、アクリル系樹脂又はエポキシ系樹脂からなることを特徴とする請求項７又は８に記載の光送受信モジュール。
【００１６】
請求項１０に係る発明は、
前記難燃性樹脂が、低分子シロキサンを５００ｐｐｍ以下含むことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００１７】
請求項１１に係る発明は、
前記難燃性樹脂が、難燃性フィラーを含有することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００１８】
請求項１２に係る発明は、
前記難燃性樹脂層の引っ張り強度が、０．５ＭＰａ以上５ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００１９】
請求項１３に係る発明は、
前記難燃性樹脂の粘度が、１Ｐａ・ｓ以上３０Ｐａ・ｓ以下であることを特徴とする請求項７乃至１２のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００２０】
請求項１４に係る発明は、
前記難燃性樹脂層の厚みが、２０μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする請求項７乃至１３のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００２１】
請求項１５に係る発明は、
前記難燃性樹脂層が、前記難燃性樹脂をディスペンサーによって塗布した後に硬化させることによって設けられたことを特徴とする請求項７乃至１４のいずいれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００２２】
請求項１６に係る発明は、
前記難燃性樹脂層が、前記光導波路フィルムの前記電気配線層を保護する保護層として機能することを特徴とする請求項７乃至１５のいずれか１項に記載の光送受信モジュール。
【００２３】
請求項１７に係る発明は、
光を伝播する光導波路コア及び前記光導波路コアよりも屈折率が低く前記光導波路コアを埋設させるクラッドを有する、光導波路フィルム本体を製造する光導波路フィルム本体製造工程と、
前記光導波路フィルム本体の主面の少なくとも一部に、開口を持つマスクを配設するマスク配設工程と、
前記マスクの開口内に、銀又は銀合金を含んで構成される金属層を形成して、当該金属層からなる電気配線層を形成する電気配線層形成工程と、
前記マスクの開口内に形成された前記金属層からなる電気配線層を覆って、チタン層又はチタン合金層を含む保護層を形成する保護層形成工程と、
前記マスクを、光導波路フィルムから剥離する剥離工程と、
を有することを特徴とする光導波路フィルムの製造方法。
【００２４】
請求項１８に係る発明は、
光導波路フィルム本体製造工程が、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を長手方向の少なくとも一端部に有する光導波路フィルム本体を製造する工程であり、
前記配線層形成工程が、前記マスクの開口内と共に、前記傾斜面に前記金属層を形成する工程であり、
且つ前記保護層形成工程が、前記マスクの開口内に形成された前記金属層からなる電気配線層と共に、前記傾斜面に形成された前記金属層を覆って、前記保護層を形成する工程である、
ことを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００２５】
請求項１９に係る発明は、
前記金属層を、蒸着又はスパッタリング法により形成することを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００２６】
請求項２０に係る発明は、
前記光導波路フィルム本体製造工程が、少なくとも、
第１クラッド層及びコア層が積層された積層体を準備する工程と、
前記コア層を切削し、光を伝播する光導波路コアを形成する工程と、
前記光導波路コアを覆うように、第２クラッド層を形成する工程と、
前記積層体の長手方向端部の少なくとも一方を切削し、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００２７】
請求項２１に係る発明は、
前記光導波路フィルム本体製造工程が、少なくとも、
第１クラッド層、コア層、及び第２クラッド層がこの順で積層された積層体を準備する工程と、
前記第２クラッド層と共に前記コア層を切削し、光が伝播する光導波路コアを形成する工程と、
前記光導波路コアを覆うように、第３クラッド層を形成する工程と、
前記積層体の長手方向端部の少なくとも一方を切削し、前記光導波路コアに伝播する光の光路変換部となる傾斜面を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００２８】
請求項２２に係る発明は、
前記マスク配設工程が、前記マスクを、密着層を介して前記光導波路フィルム本体の主面の少なくとも一部に配設する工程であることを特徴とする請求項１７に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００２９】
請求項２３に係る発明は、
前記密着層が、前記マスク及び前記光導波路フィルムの一方を接着し、他方を接着しない接着層であることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法である。
【００３０】
請求項２４に係る発明は、
前記密着層が、硬化性の材料を含んで構成されることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００３１】
請求項２５に係る発明は、
紫外線硬化性樹脂の塗膜を光導波路フィルム本体の主面に形成し、当該塗膜上に前記マスクを配設した後、マスクの上方側から紫外線を照射して、マスクに覆われた未硬化の前記紫外線硬化性樹脂の塗膜を密着層とすることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００３２】
請求項２６に係る発明は、
予めマスクに前記密着層を形成した後、当該密着層を持つマスクを光導波路フィルム本体の主面上に配設することを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【００３３】
請求項２７に係る発明は、
前記マスクと前記密着層との間、及び前記光導波路フィルム本体と前記密着層との間の少なくとも一方に、剥離層を形成することを特徴とする請求項２２に記載の光導波路フィルムの製造方法。
【発明の効果】
【００３４】
請求項１に係る発明によれば、他種の電気配線層及びその保護層を適用した場合に比べ、低コストを実現しつつ電気配線の劣化が抑制され、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光導波路フィルムが提供される、という効果を奏する。
請求項２に係る発明によれば、チタン層又はチタン合金層のみを保護層として適用した場合に比べ、より、電気配線層の劣化が抑制される、といった効果を奏する。
請求項３に係る発明によれば、電気配線層と保護層との密着性が向上される。
請求項４に係る発明によれば、光導波路フィルムの主面に形成される電気配線層と傾斜面に形成される反射層とが同種の金属層で形成されるため、低コスト化が実現された光導波路フィルムが提供される、といった効果を奏する。
【００３５】
請求項５に係る発明は、高い屈曲性を有しつつ、光導波路フィルムの主面に形成される電気配線層と傾斜面に形成される反射層との双方が、同種の導電性を持つ金属層で構成しており、反射層が赤外域での高い反射率を持つと共に劣化が抑制される、といった効果を奏する。
【００３６】
請求項６に係る発明は、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光送電モジュールが提供される、といった効果を奏する。
請求項７に係る発明によれば、簡易な構成で高い難燃性を示し且つ高い屈曲性を有する光送受信モジュールが提供される、という効果を奏する。
請求項８に係る発明によれば、光送受信モジュールの難燃性の向上が図れる、という効果を奏する。
請求項９に係る発明によれば、光導波路フィルムと難燃性樹脂層との接着性の向上が図れる、という効果を奏する。
請求項１０に係る発明によれば、難燃性樹脂における難燃性向上が図れる、という効果を奏する。また、難燃性樹脂層が電気配線層を被覆しても、当該電気配線層の電気接点障害が抑制される。
請求項１１に係る発明によれば、難燃性樹脂における難燃性向上が図れる、という効果を奏する。
請求項１２に係る発明によれば、光送受信モジュールの強度向上が図れる、という効果を奏する。
請求項１３に係る発明によれば、塗布対象となる領域が難燃性樹脂によって容易に被覆される、という効果を奏する。
請求項１４に係る発明によれば、光送受信モジュールの屈曲性の向上が図れる、という効果を奏する。
請求項１５に係る発明によれば、塗布対象となる領域に難燃性樹脂による難燃性樹脂層が容易に設けられる、という効果を奏する。
請求項１６に係る発明によれば、簡易な構成で、難燃性と共に電気配線層の耐久性が向上される、といった効果を奏する。
【００３７】
請求項１７に係る発明によれば、他種の電気配線層及びその保護層を適用した場合に比べ、低コストを実現しつつ電気配線の劣化が抑制され、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光導波路フィルムが簡易且つ低コストで得られる、といった効果を奏する。
請求項１９に係る発明によれば、簡易且つ低コストで、電気配線層及び反射層として機能する金属層が同時に形成される、といった効果を奏する。
請求項２０に係る発明によれば、より簡易且つ低コストで、電気配線層及び反射層として機能する金属層が形成される、といった効果を奏する。
請求項２１に係る発明によれば、簡易且つ低コストで、光導波路フィルム本体が製造される、といった効果を奏する。
【００３８】
請求項２２に係る発明によれば、マスクと光導波路フィルム本体との間に密着層を配設しない場合に比べ、電気配線層（金属層）の形状が崩れたり、潰れたりすることが抑制される、といった効果を奏する。
請求項２３に係る発明によれば、密着層としてマスク及び光導波路フィルムの双方を接着する接着層を適用する場合に比べ、密着性が確保され易くなると共に、マスクを光導波路フィルム本体から剥離し易くなる、といった効果を奏する。
請求項２４に係る発明によれば、密着層として他種の材料を適用した場合に比べ、電気配線層（金属層）の形状が崩れたり、潰れたりすることが抑制される、といった効果を奏する。
請求項２５に係る発明によれば、密着層として紫外線硬化性樹脂を用いない場合に比べ、密着性が確保され易くなると共に、マスクを光導波路フィルム本体から剥離し易くなる、といった効果を奏する。
請求項２６に係る発明によれば、密着層を予めマスクに形成しない場合に比べ、密着性が確保され易くなると共に、マスクを光導波路フィルム本体から剥離し易くなる、といった効果を奏する。
請求項２７に係る発明によれば、剥離層を形成しない場合に比べ、密着層の構成材料によらず、密着性が確保され易くなると共に、マスクを光導波路フィルム本体から剥離し易くなる、といった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、実質的に同一の機能・作用を有する部材には、全図面を通じて同じ符合を付与し、重複する説明は省略することがある。
【００４０】
［光導波路フィルム］
図１は、実施形態に係る光導波路フィルムを示す概略構造図であり、（Ａ）が斜視図であり、（Ｂ）がＡ−Ａ断面図である。図２は、実施形態に係る光導波路フィルムが変形に対して追従性（屈曲性）を有することを示す斜視図である。
【００４１】
本実施形態に係る光導波路フィルム１０は、図１に示すように、例えば、ベルト状の光導波路であり、クラッド１１４と、クラッド１１４に埋設された光導波路コア１１２と、を有する光導波路フィルム本体１１６を備える。また、光導波路フィルム本体１１６には、その長手方向両端部に光導波路コア１１２に伝播する光の光路変換部となるミラー面１１６Ａ（傾斜面）を有しており、当該ミラー面１１６Ａ上には、ミラー層１１８が形成されている。また、光導波路フィルム本体１１６の２つの主面うち一方の主面１１６Ｂに電気配線層１２０が形成されている。そして、ミラー層１１８、及び電気配線層１２０は、保護層１２４で覆われている。なお、主面とは、フィルム厚み方向に直行する面を意味する。
【００４２】
また、図示しないが、各電気配線層１２０の長手方向両端部の一部は、例えば、外部との導通を図るため（例えば、後述する光送受信モジュールでのワイヤによる結線）、保護層１２４を形成しない保護層非形成領域を設けてもよい。この保護層非形成領域で露出された電気配線層１２０は、ワイヤボンディングなどのボンディング部材により保護されることとなる。
【００４３】
ここで、光導波路コア１１２の屈折率はクラッド１１４よりも高く構成されている。例えば、光導波路コア１１２とクラッド１１４との屈折率差を一例として3％である場合を考えると、屈曲させたときに曲率半径が１．５ｍｍまで曲げ損失がほとんどない光導波路フィルムとなる。屈折率差は、大きいほど屈曲時の損失が無い曲げ半径を小さくできるが、光導波路フィルムの機械的な屈曲性、受発光素子との接続損などを考えると屈折率差を２％以上５％以下程度が最も好ましい。この屈折率差を３％以上４％以下にすると、曲げ半径１ｍｍで屈曲させても、実用的な屈曲時の光損失が非常に小さくなり、受発光素子との接続も容易で実用的である。
【００４４】
光導波路コア１１２は、同一平面上であって光導波路フィルム１０の幅方向に互いに伝播光が並進するように並列に配列して複数配設されている。なお、本実施形態では、２本の光導波路コア１１２が配列されている。光導波路コア１１２は、その長手方向端部が、当該長手方向に対して傾斜するミラー面１１６Ａが形成されている。当該ミラー面１１６Ａは、光導波路コア１１２の長手方向に対して、例えば４５°の角度をなすように形成されている。このミラー面１１６Ａでは、光導波路コア１１２内を伝播する光がミラー面１１６Ａに到達すると、ミラー面１１６Ａと隣接する層（本実施形態ではミラー層１１８）により、反射され、光の伝播方向が変換される。なお、ミラー面の角度を４５°と標記しているが、金属反射面を介して光路変換を行うため導波路の臨界角以下のずれであれば十分に機能する。例えば、導波路のコアとクラッドの屈折率差が３％である場合には、臨界角が２３．６°となり４５°との差である、２１．４°以上６８．６°以下まで９０°光路変換機能を有する反射面として機能する。
【００４５】
なお、後述する如く光導波路フィルム１０を難燃性樹脂によって被覆させる場合、この難燃性樹脂が受発光素子と光導波路フィルムとの間に細管現現象で回り込み、難燃性樹脂の吸収で光量の低下が生じる。しかしながら、受発光素子と光導波路フイルムを透明な材料で充填接着し、ミラー面１１６Ａにミラー層１１８（金属層）を設けた構成とすれば、難燃性樹脂の侵入を避けることができ、光導波路フィルムを伝搬する光量の低下を避けることができる。
【００４６】
クラッド１１４は、光導波路コア１１２よりも屈折率が低い材料で構成され、光導波路コア１１２の周囲を取り囲んで配設されている。
【００４７】
ここで、光導波路コア１１２及びクラッド１１４の材料としては、光導波路フィルム１０の使用波長に対して透明であり、光導波路コア１１２及びクラッド１１４との間に所望の屈折率差を設定できるものであれば、特に制限されるものではなく、例えば脂環式オレフィン樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂等が使用される。
【００４８】
なお、後述する如く光導波路フィルム１０が難燃性樹脂により被覆される場合、難燃性樹脂層との良好な接着性を得るためには、少なくともこの難燃性樹脂層と接する領域については、クラッド１１４の材料としてアクリル系樹脂、又はエポキシ系樹脂を用いることが好ましい。
【００４９】
電気配線層１２０は、光導波路フィルム本体１１６の長手方向に沿って、その一端部から他端部に延在して配設されている。本実施形態では、光導波路フィルム本体１１６の幅方向に沿って５本所定間隔で並列して形成されている。この５本の電気配線層１２０は、例えば、電源線、２本の信号線、２本の接地線として機能させる。
【００５０】
電気配線層１２０は、例えば、ミラー層１１８と共にこれと同種の金属層から構成されている。そして、金属層は、銀又は銀合金を含んで構成されている。銀合金としては、通常のＡｇに比べ経時変化の少ない材料が開発されおり、これを用いることがよい。この如く銀合金としては、例えば、「３７番合金」、「１０９番合金」、「１１０番合金」等の三菱マテリアル社製の銀合金が挙げられる。
【００５１】
電気配線層１２０及びミラー層１１８として配設される金属層の厚さ５００ｎｍ以上５μｍ以下、好ましくは５００ｎｍ以上２μｍ以下の金属層であることがよい。ここで、電気配線層１２０を構成する金属層には、例えば導電性や、ワイヤーボンディング等による電気配線に必要な光導波路フィルム本体１１６と金属膜との密着性が好適に要求されることから、ワイヤーボンディングに必要な金属膜の膜厚は３００ｎｍ以上で、電気配線に必要な導電性は例えばＡｇ合金を用いた場合５００ｎｍ以上であることが好ましい。このため、その厚みは上記範囲が好適である。また、この金属層（電気配線層）の厚みであれば、ミラー層１１８との兼用が可能であり実用的であると共に、低コスト化が実現される。
【００５２】
保護層１２４は、ミラー層１１８及び電気配線層１２０側から、チタン銀合金層１２４Ａ（ＴｉＡｇ層）、チタン層１２４Ｂ（Ｔｉ層）、及び窒化チタン層１２４Ｃ（ＴｉＮ層）が順次配設され、これらの層で構成されている。ここで、本実施形態では、保護層１２４が３層構成の形態を説明しているが、これに限られず、保護層１２４は、チタン層１２４Ｂ及び窒化チタン層１２４Ｃで構成した形態、チタン銀合金層１２４Ａ及びチタン層１２４Ｂで構成した形態であってもよい。ここで、銀及び銀合金膜の上にスパッタリング法でチタン膜を薄く形成した場合、チタンが銀及び銀合金中に拡散してチタン銀合金を形成し易い。従って、純チタン層という層が独立して存在しないことも考えられるが、この場合には銀の表面に、銀とチタンの合金が確認される。つまり、チタン層の代わりに、チタン合金層のみを有していてもよい。具体的には、例えば、反射層と保護層とが一体化された形態、すなわち、銀及び銀合金膜の上にチタン銀合金層が一体で形成された複合合金の単独膜のような形態であってもかまわない。言い換えれば、反射層と保護層が一体化され、銀又は銀合金を含んで構成される金属層（当該一体化された層）の表面がチタン銀合金からなる複合合金である形態であってもかまわない。
【００５３】
保護層１２４は、その全体の厚みが１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが望ましく、より望ましくは１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であり、さら望ましくは１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。また、当該保護層１２４を構成する各層（チタン銀合金層１２４Ａ、チタン層１２４Ｂ、及び窒化チタン層１２４Ｃのそれぞれの層）は、その厚みが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが望ましく、より望ましくは５ｎｍ以上２５ｎｍ以下である。この厚みを、上記範囲とすることで、保護層の厚膜化を抑制しつつ、電気配線層１２０及びミラー層１１８（反射層）の劣化が抑制される。
なお、保護層１２４を構成するチタン層１２４Ｂの厚みは、後述するスパッタリング法により形成する場合、この形成と同時に下層の銀又は銀合金で構成される電気配線層１２０及びミラー層１１８との界面にチタン銀合金層１２４Ａも形成されることから、当該チタン銀合金層１２４Ａを含む厚みとする。
【００５４】
光導波路フィルム１０は、可とう性を有する透明樹脂フィルムからなり、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、電気配線層１２０を有しても（後述する難燃性樹脂により被覆した状態でも）、「折り曲げ」や「ねじれ」等の変形に対して追従性（高い屈曲性）を有している。このためフィルムが変形した状態でも、光送受信部から送信された光信号が、光導波路フィルム１０に形成された光導波路を導波して、光送受信部により受信される。光導波路フィルム１０は、最小屈曲半径３ｍｍ以下の可とう性を備えていることが好ましい。最小屈曲半径は、光導波路フィルム１０を折り曲げたときに光導波路フィルム１０の内側に形成される曲線の微小な部分を円と近似したとき、その円の最小半径の長さを表す値であり、ＡＳＴＭ  Ｄ―２１７６に従いその許容値が測定される。
【００５５】
光導波路フィルム１０は、その厚さが５０μｍ以上５００μｍ以下であることが望ましく、より望ましくは、５０μｍ以上２００μｍ以下である。一方、光導波路フィルム１０は、その幅が０．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが望ましく、より望ましくは、０．２５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。
【００５６】
以下、本実施形態に係る光導波路フィルム１０の製造方法について説明する。図３は、実施形態に係る光導波路フィルムの製造方法を示す工程図である。図４は、他の実施形態に係る光導波路フィルムの製造方法を示す工程図である。図３乃至図４は、図１（Ａ）におけるＡ−Ａ断面図における工程図を示す。
【００５７】
本実施形態に係る光導波路フィルム１０の製造方法では、まず、図３（Ａ）に示すように、クラッド層１１４Ａ及びコア層１１２Ａがこの順で積層された高分子フィルム１０Ａ（積層体）を準備する。高分子フィルム１０Ａの各層を積層する方法は、各層の間で剥離が生じないように一体的に積層されれば特に限定されず、例えば、ラミネート法、スピンコート等の公知の方法が採用される。
【００５８】
クラッド層１１４Ａを構成する材料は、コア層１１２Ａ（光導波路コア１１２）との間で所定の屈折率差が設定され得る材質であれば特に制限されず、用途に応じて、材料の屈折率、光透過性等の光学的特性、機械的強度、耐熱性、フレキシビリティー（可撓性）等を考慮して選択される。例えば、放射線硬化性、電子線硬化性、熱硬化性等の樹脂、望ましくは紫外線硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を選択し、紫外線硬化性又は熱硬化性のモノマー、オリゴマーあるいはモノマーとオリゴマーの混合物が望ましく用いられる。より望ましくは紫外線硬化性樹脂を選択する。
【００５９】
クラッド層１１４Ａを構成する具体的な材料としては、例えばエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂（ポリメチルメタクリレート等）、脂環式アクリル樹脂、スチレン系樹脂（ポリスチレン、アクリロニトリル・スチレン共重合体等）、オレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン・プロピレン共重合体等）、脂環式オレフィン樹脂、塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、ビニルアルコール系樹脂、ビニルブチラール系樹脂、アリレート系樹脂、含フッ素樹脂、ポリエステル系樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリカーボネート系樹脂、二又は三酢酸セルロース、アミド系樹脂（脂肪族、芳香族ポリアミド等）、イミド系樹脂、スルホン系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリオキシメチレン系樹脂、又は前記樹脂のブレンド物等が挙げられる。
【００６０】
クラッド層１１４Ａは、例えば、上記材料から選択される液状樹脂をガラス等の基板上に滴下し、スピンコートにより均一な厚みとした後、これを硬化させて形成してもよいし、予め成形された樹脂フィルムを用いてもよい。
クラッド層１１４Ａの厚みは特に限定されるものではないが、光学性能、フレキシブル性能、後述する切削加工性、強度などの観点から、１０μｍ以上１００μｍ以下であることが望ましく、より望ましくは２０μｍ以上５０μｍ以下である。
【００６１】
コア層１１２Ａとしては、例えば紫外線硬化性樹脂が用いられ、紫外線硬化性のモノマー、オリゴマー、若しくはモノマーとオリゴマーの混合物が望ましく用いられる。コア用の具体的な材料として、エポキシ系、アクリル系紫外線硬化性樹脂などが望ましく用いられる。
【００６２】
例えば、コア用硬化性樹脂（紫外線硬化性樹脂）の液状樹脂をクラッド層１１４Ａ上に均一な厚みで塗布した後、紫外線ランプ、紫外線ＬＥＤ、ＵＶ照射装置等を用いて紫外線を照射して硬化させることでコア層１１２Ａが形成される。
コア層１１２Ａの厚みは特に限定されず、用途に応じて適宜設定すればよいが、光学性能、フレキシブル性能、後述する切削加工性、強度などの観点から、２０μｍ以上１２０μｍ以下であることが望ましく、より望ましくは３０μｍ以上９０μｍ以下である。
【００６３】
また、高分子フィルム１０Ａのサイズや総厚は特に限定されず、材質、用途等に応じて適宜設定すればよいが、例えば、フレキシブルな光導波路フィルム１０とするためには、高分子フィルム１０Ａの厚さは５０μｍ以上５００μｍ以下であることが望ましく、より望ましくは５０μｍ以上２００μｍ以下である。一方、高分子フィルム１０Ａの幅は、０．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが望ましく、より望ましくは、０．２５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。光導波路フィルム１０の厚さ及び幅を上記範囲とすることで、光導波路としての屈曲性及び強度を確保し易い。
【００６４】
次に、図３（Ｂ）に示すように、高分子フィルム１０Ａをコア層１１２Ａ側から切削、即ちコア層１１２Ａを切削し、光導波路コア１１２を形成する。光導波路コア１１２の形成は、例えば、ダイシングソーにより、高分子フィルム１０Ａの長手方向に沿って行う切削を、高分子フィルム１０Ａの幅方向に所定間隔（この間隔が光導波路コア１１２の幅となる）で実施することで行われる。この切削により、クラッド層１１４Ａの同一平面上であって高分子フィルム１０Ａの幅方向に互いに伝播光が並進するように並列に配列して、光導波路コア１１２が複数配設される。本実施形態では２本の光導波路コア１１２を形成している。
【００６５】
次に、図３（Ｃ）に示すように、光導波路コア１１２を覆う、即ち、上記切削による切削溝に埋め込むように、クラッド形成用硬化性樹脂を塗布し、これを硬化してクラッド層１１４Ｂを形成する。具体的には、例えば、高分子フィルム１０Ａの切削面側に、クラッド用硬化性樹脂を滴下するとともに、スピンコート法による遠心力により広げることで、光導波路コア１１２上とクラッド用硬化性樹脂が塗布されると共に各切削溝の内部がクラッド用硬化性樹脂によって満たされ、これを硬化させる。なお、このクラッド用硬化性樹脂を塗布する方法としては、スピンコート法に限ることではなく、例えばスペーサーにより膜厚を制御しながら、ガラス基板などによりクラッド用硬化性樹脂を押し付けて露光硬化する方法を採用してもよい。これによりクラッド１１４（クラッド層１１４Ａ、１１４Ｂ）が、光導波路コア１１２の周囲を取り囲んで形成される。
【００６６】
ここで、クラッド層１１４Ｂを形成するためのクラッド形成用硬化性樹脂は、液状の物質であり、例えば、放射線硬化性、電子線硬化性、熱硬化性等の樹脂を用いられる。中でも、硬化性樹脂としては、紫外線硬化性樹脂及び熱硬化性樹脂が望ましく用いられるが、紫外線硬化性樹脂を選択することが望ましい。紫外線硬化性樹脂及び熱硬化性樹脂としては、紫外線硬化性、熱硬化性のモノマー、オリゴマーあるいはモノマーとオリゴマーの混合物が望ましく用いられる。紫外線硬化性樹脂としては、エポキシ系、アクリル系の紫外線硬化性樹脂が望ましく用いられ、熱硬化性樹脂としては、ポリイミド系、シリコーン系の樹脂が望ましく用いられる。
【００６７】
次に、図示しないが、光導波路コア１１２が形成された高分子フィルム１０Ａの長手方向両端部を切削し、高分子フィルム１０Ａの長手方向に対して例えば４５°傾斜したミラー面（傾斜構造）をクラッド１１４の端面及び光導波路コア１１２の端面に形成する。このクラッド１１４の端面及び光導波路コア１１２の端面をミラー面とするための切削は、例えば、刃先に４５°の傾斜構造を有するブレードを用いたダイシングソーにより高分子フィルム１０Ａを切断することで形成される。
【００６８】
このようにして光導波路フィルム本体１１６を作製する。
【００６９】
次に、図３（Ｄ）に示すように、得られた光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ上に、開口（開口パターン）を持つマスク１２６を配設する。このマスク１２６としては、例えば、金属マスク（具体的には、例えばＮｉ電鋳のメタルマスク）が好適に適用される。なお、本実施形態では、格子状の枠体をマスク１２６（枠体に囲まれた領域が開口に相当する）として配設した形態を説明している。この格子状の枠体は、ミラー面１１６Ａに形成される金属層１２２と主面１１６Ｂに形成される金属層１２２とを分離するため枠体（２本）と、主面１１６Ｂに形成される金属層１２２を幅方向に分離するための枠体（４本）と、で構成されている。
【００７０】
マスク１２６が配置された光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ全面と共に、ミラー面１１６Ａの全面に金属層１２２を形成する（図５参照）。ここで、金属層１２２は、例えば、スパッタリング法を利用して形成することがよい。ここで、図５は、光導波路フィルム本体１１６へマスク１２６を配設し、金属層１２２及び保護層を順次形成した様子を示す２面図（平面図：フィルム厚み方向からから見た図、側面図：フィルム幅方向から見た図）である。
【００７１】
続いて、マスク１２６の開口内に金属層１２２が形成された、光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ全面と共に、ミラー面１１６Ａの全面に保護層１２４を形成する。つまり、光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂに形成された金属層１２２とミラー面１１６Ａに形成された金属層１２２（ミラー層１１８）を覆って、保護層１２４を形成する。この保護層１２４は、例えば、金属層１２２（電気配線層１２０、ミラー層１１８）側から、チタン銀合金層１２４Ａ（Ｔｉ層）、チタン層１２４Ｂ（Ｔｉ層）、及び窒化チタン層１２４Ｃ（ＴｉＮ層）を順次形成する。これらの層は、例えば、スパッタリング法により形成することがよい。
【００７２】
具体的には、例えば、チタンをターゲットとするスパッタリング法に従って、アルゴンガスを装置内に流入させ、これを放電させることでチタン層１２４Ｂを形成する。スパッタリング法によりチタンを、銀又は銀合金を含んで構成される金属層１２２（電気配線層１２０、ミラー層１１８）上に堆積させると、まず、チタンと銀との合金が生成される。このため、チタン層１２４Ｂは、当該チタン層１２４Ｂと金属層１２２（電気配線層１２０、ミラー層１１８）との間にチタン銀合金層１２４Ａを介在して形成される。
【００７３】
そして、チタンをターゲットとするスパッタリング法に従って、アルゴンガスに窒素ガスを混入させて装置内に流入させ、これを放電させることで窒化チタン層１２４Ｃを形成する。スパッタリング法による窒化チタン層１２４Ｃの形成では、着膜時の圧力と、装置内に流入させるアルゴンガス及び窒素ガスの流量比を変えることで、窒化チタン層１２４Ｃの特性やチタン及び窒素の構成比が調整される。特に、製膜条件としては、窒化チタン本来の色調である黄金色の窒化チタン層となる条件が好ましく、窒素の構成比を高めて褐色の窒化チタン層であっても保護層としては機能する。このときの製膜条件としては、例えば、アルゴンと窒素の混合比で５％以上２０％以下である。成膜時の圧力によって黄金色となる混合比は変化するが、例えば、典型的には成膜圧力０．３Ｐａでは、混合比が１０％で黄金色の窒化チタン層が形成される。したがって、スパッタリング法による窒化チタン層の形成は、制御範囲が大きく、容易に目的の窒化チタン層が得られる。
【００７４】
なお、金属層１２２（電気配線層１２０、ミラー層１１８）、保護層１２４（チタン銀合金層１２４Ａ（Ｔｉ層）、チタン層１２４Ｂ（Ｔｉ層）、及び窒化チタン層１２４Ｃ（ＴｉＮ層））を順次、スパッタリング法により着膜することで、各層の主面と共に側面も覆うように、上層の層が着膜される。
【００７５】
ここで、上記スパッタリング法による、金属層１２２（電気配線層１２０、ミラー層１１８）と、保護層１２４（チタン層１２４Ｂ（チタン銀合金層１２４Ａ含む）、窒化チタン層１２４Ｃ）と、の形成は、以下の手法を採用して実施することがよい。
１）高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）を加熱しないでスパッタリングを行う手法（例えば、当該高分子フィルム１０Ａを保持する保持部材（ワーク）に加熱源（ヒータ）を設けない手法）
２）スパッタリング領域（着膜させる領域）を移動させながら間欠的にスパッタリングを行う手法（例えば、「ターゲット」とワークとなる「高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）」と相対的に移動（例えば回転）させながらスパッタリングを行う手法）
【００７６】
上記手法を採用することにより、スパッタリング法において、高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）への加熱や、輻射熱により高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）の劣化（ダメージ）を低減させ、得られる光導波路フィルム１０の性能低下が抑制される。この手法は、特に、スパッタリング温度が高温となり易い、保護層１２４（チタン層１２４Ｂ（チタン銀合金層１２４Ａ含む）、窒化チタン層１２４Ｃ）の形成に有効である。
【００７７】
また、上記手法を採用することにより、スパッタリング法において、高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）への加熱がなく、また、輻射熱の負荷が最小限の抑えられることから、高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）はダイシングテープを貼り付けられたまま、スパッタリンクの実施が行える。ダイシングテープは、通常耐熱性が低く、着膜対象を加熱する通常のスパッタリング法では、接着剤の成分が真空中に放出され真空度の低下といった現象が生じることになるが、上記手法を採用することにより、この現象が抑制される。このため、本実施形態では、高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）はダイシングテープを貼り付けられたまま、スパッタリンクの実施が行える。
【００７８】
次に、図３（Ｅ）に示すように、光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ上に配設したマスク１２６を取り除く（図６参照）。これにより、ミラー面１１６Ａに形成された金属層１２２（ミラー層１１８）とは独立して、光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ上に、その長手方向に沿って、その一端部から他端部に延在し、且つ光導波路フィルム本体１１６の幅方向に沿って所定間隔で並列して、電気配線層１２０が形成される。ここで、図６は、光導波路フィルム本体１１６へ金属層１２２した後、マスク１２６を取り除いた様子を示す２面図（平面図：フィルム厚み方向からから見た図、側面図：フィルム幅方向から見た図）である。
【００７９】
このようにして、保護層１２４により覆われた電気配線層１２０が形成された光導波路フィルム１０が作製される。
【００８０】
一方、他の実施形態に係る光導波路フィルム１０の製造方法では、図４（Ａ）示すように、クラッド層１１４Ａ、コア層１１２Ａ、及びクラッド層１１４Ｃがこの順で積層された高分子フィルム１０Ａ（積層体）を準備する。即ち、２つのクラッド層１１４Ａ、１４Ｃによりコア層１１２Ａが挟まれて積層された高分子フィルム１０Ａを準備する。
【００８１】
ここで、クラッド層１１４Ｃは、コア層１１２Ａとの間で所定の屈折率差が設定され得る材質であれば特に制限されないが、クラッド層１１４Ａと同じ材料が望ましく用いられる。例えば、クラッド層１１４Ａと同じ液状樹脂をコア層１１２Ａ上に均一な厚みで塗布した後、これを硬化させることでクラッド層１１４Ｃが形成される。
クラッド層１１４Ｃの厚みは、光学性能、フレキシブル性能、後述する切削加工性、強度などの観点から、５μｍ以上１００μｍ以下であることが望ましく、より望ましくは１０μｍ以上５０μｍ以下である。
なお、クラッド層１１４Ａとクラッド層１１４Ｃの厚みは同じである必要はなく、例えば、クラッド層１１４Ｃの厚みをクラッド層１１４Ａよりも薄くすることで、高分子フィルム１０Ａの総厚を小さく抑えてもよい。
【００８２】
次に、図４（Ｂ）に示すように、高分子フィルム１０Ａをクラッド層１１４Ｃ側から当該クラッド層１１４Ｃと共にコア層１１２Ａを切削し、光導波路コア１１２を形成する。
【００８３】
次に、図４（Ｃ）に示すように、光導波路コア１１２を覆う、即ち、複数の光導波路コア１１２同士の間隙を埋め込んで（切削溝に埋め込むように）、硬化性樹脂を塗布し、これを硬化してクラッド層１１４Ｂを形成する。これによりクラッド１１４（クラッド層１１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ）が、光導波路コア１１２の周囲を取り囲んで形成される。
【００８４】
次に、図示しないが、光導波路コア１１２が形成された高分子フィルム１０Ａの長手方向両端部を切削し、高分子フィルム１０Ａの長手方向に対して例えば４５°傾斜したミラー面１１６Ａ（傾斜構造）をクラッド１１４の端面及び光導波路コア１１２の端面に形成する。
【００８５】
このようにして光導波路フィルム本体１１６を作製する。
【００８６】
次に、図４（Ｄ）に示すように、得られた光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ上に、開口を持つマスク１２６を配設する。そして、マスク１２６が配置された光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ全面と共に、ミラー面１１６Ａの全面に金属層１２２（電気配線層１２０、ミラー層１１８）を形成する（図５参照）。
【００８７】
次に、図４（Ｅ）に示すように、光導波路フィルム本体１１６の主面１１６Ｂ上に配設したマスク１２６を取り除く（図６参照）。これにより、光導波路フィルム本体１１６の長手方向に沿って、その一端部から他端部に延在し、且つ光導波路フィルム本体１１６の幅方向に沿って所定間隔で並列して、電気配線層１２０が形成される。
【００８８】
このようにして、電気配線層１２０が形成された光導波路フィルム１０が作製される。これら以外は、上記図３で説明した光導波路フィルム１０の製造方法と同様であるので、説明を省略する。
【００８９】
以上説明した本実施形態に係る光導波路フィルム１０は、光導波路フィルム本体１１６の主面へ電気配線層１２０を配設した構成であることから、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光導波路フィルムとなる。結果、低消費電力化と光速信号処理とも同時に実現される。
【００９０】
また、本実施形態に係る光導波路フィルム１０では、銀又は銀合金を含んで構成される金属層１２２が、電気配線層１２０（及びミラー層１１８）として配設されている。そして、電気配線層１２０（及びミラー層１１８）を保護する目的で、当該電気配線層１２０（及びミラー層１１８）を覆ってチタン層１２４Ｂを含む保護層１２４が配設されている。
【００９１】
この如く、本実施形態では、コストの面で有利だが劣化しやすい銀又は銀合金を含んで構成される金属層１２２を電気配線層１２０として適用し、これを保護する保護層１２４として、耐久性が高いチタン層１２４Ｂを含む保護層１２４を適用している。このため、本実施形態では、他種の電気配線層及びその保護層を適用した場合に比べ、低コストを実現しつつ電気配線層の劣化が抑制される。また、光路変換を行うためのミラー面（傾斜面）に配設するミラー層１１８（金属層１２２の材料としては、近赤外線域での反射性能とコストとの観点から、銀又は銀合金が最も適しているため、他種の反射層及びその保護層を適用した場合に比べ、近赤外域での高い反射率を持つと共に劣化が抑制されたミラー層１１８（反射層）となる。
【００９２】
また、本実施形態では、保護層１２４として、チタン層１２４Ｂに比べより物質透過性（例えば、酸素、硫黄、塩素などの透過性）の低い窒化チタン層１２４Ｃをさらに配設していることから、チタン層１２４Ｂのみを保護層１２４として適用した場合に比べ、より、電気配線層１２０（及びミラー層１１８）の劣化が抑制される。また、窒化チタン層１２４Ｃは、チタン層１２４Ｂを介在させて、銀又は銀合金の金属層からなる電気配線層１２０（及びミラー層１１８）を覆うことから、密着性も向上される。
【００９３】
加えて、本実施形態では、保護層１２４として、チタン層１２４Ｂと電気配線層１２０（及びミラー層１１８）との間に、双方の構成成分で構成されるチタン銀合金層１２４Ａを介在させるため、チタン層１２４Ｂと電気配線層１２０（及びミラー層１１８）の密着性が向上される。つまり、電気配線層１２０（及びミラー層１１８）と保護層１２４との密着性が向上される。
【００９４】
なお、保護層１２４の材料としては、耐腐食性の金属（例えばチタン）、窒化物（ＳｉＮやＴｉＮ等）や酸化物（ＳｉＯ２等）がある。特に、耐腐食性の金属、窒化物は酸化物より膜質が均一で各種の封止膜として優れた特性を示す。しかしながら、通常、耐腐食性の金属、窒化物は５００℃以上６００℃以下に加熱してＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ））やＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）で製膜する方法が一般的であり、低温で製膜できるスパッタリング法を用いても、２００℃程度に加熱して製膜する必要があり、耐熱性が低い樹脂製の高分子フィルム（光導波路フィルム本体）に対して製膜するのは困難である。
【００９５】
具体的には、通常、スパッタリング法によるチタン層１２４Ｂ、窒化チタン層１２４Ｃの形成には、基板（着膜対象）を２００℃以上３００℃以下程度に加熱して、密着性と膜質の均一性を高めることが行われる。したがって、これまでアクリル樹脂やエポキシ樹脂などの高分子フイルム上への着膜はほとんど行われていないのが現状である。
【００９６】
以下、基板（着膜対象）を加熱しないで、且つスパッタリング領域（着膜させる領域）を移動させながら間欠的にスパッタリングを行う手法を採用して、スパッタリングで製膜した、チタン層１２４Ｂ、窒化チタン層１２４Ｃ等をＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を示す。なお、Ｘ線回折装置への取り付けと、ピーク検出の容易さを考慮してガラス基板上に着膜したサンプルでＸＲＤ（Ｘ線回折）解析を行った。また、スパッタリング装置としては、ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）を用いた。
【００９７】
具体的には、チタン（Ｔｉ）ターゲットを用いてアルゴン（Ａｒ）ガス（流量２０ＳＣＣＭ）を流しながらスパッタリング法（パワー３５０Ｗ、圧力０．３Ｐａ、製膜速度７ｎｍ／ｍｉｎ）で、ガラス基板を加熱することなく、ターゲットに対して、当該ガラス基板を回転移動（ワークを毎分２回転）させつつ、当該ガラス基板上にチタン（Ｔｉ）を製膜（厚み３２０ｎｍ）した。この製膜した、チタン層の膜質のＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を図７に示す。この図７から、チタン（Ｔｉ）のピークが観測され、チタン層が製膜されていることがわかる。
【００９８】
また、同じく、チタン（Ｔｉ）ターゲットを用いて、アルゴン（Ａｒ）ガス（流量）と窒素（Ｎ２）ガス（流量２ＳＣＣＭ）とを９：１の流量比（アルゴンガス流量１８ＳＣＣＭ、窒素ガス流量２ＳＣＣＭ）で流しながらスパッタリング法（パワー３５０Ｗ、圧力０．３Ｐａ、製膜速度２．８ｎｍ／ｍｉｎ）で、ガラス基板を加熱することなく、ターゲットに対してガラス基板を回転移動（ワークを毎分２回転）させつつ、当該ガラス基板上に窒化チタン（ＴｉＮ）を製膜（厚み２３６ｎｍ）した。この製膜した、窒化チタン層の膜質のＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を図８に示す。この図８から、２θの値が図７に見られたＴｉのピークが消えてＴｉＮのピークが得られており、窒化チタン（ＴｉＮ）層が形成されていることがわかる。
【００９９】
また、比較のために、ガラス基板を２００℃で加熱しながら、上記同様にしてスパッタリング法で当該ガラス基板上に窒化チタン（ＴｉＮ）を製膜（厚み２３６ｎｍ）した。この窒化チタン層の膜質のＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を図９に示す。この図９から、上記図８と同様にＴｉＮのピークが得られており、窒化チタン（ＴｉＮ）層が形成されており、ガラス基板を加熱せずに製膜を行った窒化チタン（ＴｉＮ）層とはほとんど膜質の差がないことがわかる。
【０１００】
また、銀合金（三菱マテリアル社製の３７番銀合金）のターゲットを用いてスパッタリング法で、ガラス基板を加熱することなく、ターゲットに対して、当該ガラス基板を回転移動（ワークを毎分２回転）させつつ、ガラス基板上に銀合金を製膜（厚み１００ｎｍ）した。その後、チタン（Ｔｉ）ターゲットを用いてアルゴン（Ａｒ）ガス（流量２０ＳＣＣＭ）を流しながらスパッタリング法（パワー３５０Ｗ、圧力０．３Ｐａ、製膜速度７ｎｍ／ｍｉｎ）で、同様にガラス基板を非加熱で回転移動させつつ、銀合金を製膜したガラス基板上にチタン（Ｔｉ）を製膜（厚み２０ｎｍ）した後、続けて、アルゴン（Ａｒ）ガス（流量）と共に窒素（Ｎ２）ガス（流量２ＳＣＣＭ）を９：１の流量比（アルゴンガス流量１８ＳＣＣＭ、窒素ガス流量２ＳＣＣＭ）で流させて、銀合金、チタンが順次製膜されたガラス基板上に窒化チタン（ＴｉＮ）を製膜（厚み２３６ｎｍ）した。この製膜した層の膜質のＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を図１０に示す。この図１０から、銀合金、チタン、窒化チタンのピークと共に、チタン銀合金（ＴｉＡｇ）のピークが観測され、各層と共に、銀合金層とチタン層との間にチタン銀合金層が介在して製膜されていることがわかる。
【０１０１】
このように、本実施形態では、例えば、上記如く、スパッタリング法における特定の手法（上記１）、２））を採用すると、高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）への加熱や、輻射熱により高分子フィルム１０Ａ（光導波路フィルム本体１１６）の劣化（ダメージ）を低減させる、即ち、当該フィルムに熱による劣化を低減させつつスパッタリング法により保護層１２４の製膜がなされる。つまり、本実施形態では、光導波路フィルム１０の熱による劣化を抑制しつつ、上記特定の層構成の電気配線層（及びミラー層１１８）と保護層１２４との配設が実現される。
【０１０２】
本実施形態では、マスク１２６を用いて、スパッタリング法により電気配線層（及びミラー層１１８）と保護層１２４と、順次着膜させているので（つまり、マスク１２６により各層のパターニングを行っているので）、電気配線層（及びミラー層１１８）の主面と共に側面も覆って、保護層１２４が形成される。このため、電気配線層（及びミラー層１１８）の露出が抑制され、例えば、側面の電気配線層１２０が露出してしまうダイシングソーによって切削・パターニングする場合に比べ、劣化が抑制される。
【０１０３】
ここで、本実施形態では、マスク１２６を、光導波路フィルム本体１１６の主面上に直接配設した形態を説明したが、これに限られるわけではない。例えば、図１１及び図１２に示すように、マスク１２６を、密着層１２８を介して光導波路フィルム本体１１６の主面の少なくとも一部に配設する形態であってもよい。密着層１２８を介在させることで、マスク１２６（特にメタルマスク）と光導波路フィルム本体１１６との間に間隙が生じるのを抑制し、電気配線層形成時に、その構成材料が当該間隙に入り込む（回り込む）ことが抑制される。特に、電気配線層をスパッタリング法により形成する場合、例えば、蒸着法を採用した場合に比べ、その構成材料が当該間隙に入り込み（回り込み）易いことから有効である。結果、電気配線層の形状が崩れたり、潰れたりすることが抑制される。
【０１０４】
密着層１２８としては、マスク１２６と光導波路フィルム本体１１６との密着が図られれば、特に制限はなく、例えば、所謂、樹脂層（例えば、シリコングリース層等）や接着層（例えば、両面テープ等）が適用されるが、例えば、マスク１２６及び光導波路フィルム本体１１６の一方を接着し、他方を接着しない接着層であることがよい。これにより、密着性が確保され易くなると共に、マスク１２６が光導波路フィルム本体１１６から剥離され易くなる。
【０１０５】
マスク１２６と接着せず、光導波路フィルム本体１１６と接着する密着層１２８（接着層）の構成材料としては、例えば、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、付加型シリコーン系接着剤等が好適に挙げられる。接着剤が、構成される光導波路フィルムと同じ系統の樹脂で構成される付加型の接着剤である場合は、一般的に光導波路フィルム本体１１６と接着され易く、マスク１２６（特にメタルマスク）には接着され難い性質を有するため密着層１２８の構成材料として好適である。
【０１０６】
密着層１２８が光導波路フィルム本体１１６と接着する場合、マスク１２６を剥離後、当該光導波路フィルム本体に残存することから考えても、密着層１２８の構成材料としてクラッド形成硬化性樹脂と同様の硬化性樹脂（接着剤）が好ましい。
【０１０７】
一方で、マスク１２６と接着し、光導波路フィルム本体１１６と接着しない密着層１２８（接着層）の構成材料としては、例えば、シリコーン樹脂（特に、湿気硬化型のシリコーン接着剤）等が挙げられる。湿気硬化型のシリコーン接着剤は、一般的には樹脂にも金属にも接着するが、表面から硬化が始まるため一度マスクに密着させて硬化が始まった後の半硬化状態では、他の材料との接着力が極端に落ちる。従って、マスク１２６とは接着し光導波路フィルム本体１１６とは接着しない状態を容易に作り出せることから密着層１２８の構成材料として好適である。
【０１０８】
密着層１２８を形成する方法として具体的には、図１１に示すように、例えば、形成した光導波路フィルム本体１１６の主面上に、硬化性の接着剤を形成した後、マスク１２６を配設し、硬化性の接着剤を硬化させた層を密着層１２８とすることがよい。これにより、密着層１２８は、光導波路フィルム本体１１６へ接着され、マスク１２６（特にメタルマスク）に接着せずに、密着性が確保され易く、電気配線層を形成後、マスク１２６を容易に剥離され易くなる。
【０１０９】
また、図１２に示すように、例えば、予めマスク１２６に硬化性のシリコーン樹脂を塗布・硬化させて密着層１２８を形成し、このマスク１２６を密着層１２８が光導波路フィルム本体１１６と対面するように光導波路フィルム本体１１６の主面上に配設することがよい。つまり、予め密着層１２８をマスクに形成し、当該密着層１２８を持つマスクを光導波路フィルム本体１１６に配設させることがよい。これにより、密着層１２８は、光導波路フィルム本体１１６へ接着されず、マスク１２６（特にメタルマスク）に接着して、電気配線層を形成後、マスク１２６が容易に剥離される。
【０１１０】
密着層１２８の構成材料としては、特に、硬化性の材料を適用することがよい。例えば、上記図１１及び図１２に示す形態の如く、硬化性の材料を硬化させて密着層１２８とすることで、密着性が確保され易くなる。結果、密着層として他種の材料を適用した場合に比べ、電気配線層（金属層）の形状が崩れたり、潰れたりすることが抑制される。
【０１１１】
また、密着層１２８の構成材料として、紫外線硬化性樹脂を適用することがよい。例えば、図１１に示す形態の如く、紫外線硬化性樹脂の塗膜を光導波路フィルム本体１１６の主面（例えば主面全面）上に形成して、マスク１２６を当該塗膜上に配設した後、上面側（マスク１２６の上方側）から紫外線を照射すると、マスク１２６の開口部に露出する紫外線硬化性樹脂の塗膜は硬化される一方で、マスク１２６に覆われた紫外線硬化性樹脂の塗膜は未硬化のままとなるため、密着性が確保され易くなると共に、マスク１２６を光導波路フィルム本体１１６から剥離がさせ易くなる。この形態は、密着層１２８の構成材料として、マスク１２６及び光導波路フィルム本体１１６の双方を接着する硬化性樹脂を適用する場合に有効である。
【０１１２】
密着層１２８の厚みは、例えば、１０μｍ以上１００μｍであり、マスク１２６の厚みよりも薄いことがよい。例えば、細線パターンを形成するためのマスク１２６としては、その厚みが１００μｍ程度のものが多く、この場合、密着層１２８の厚みは、２０μｍ以上５０μｍ以下であることがよい。また、密着層１２８を形成するための硬化性樹脂塗布液の粘度は、例えば、０．５Ｐａ・ｓ以上５Ｐａ・ｓ以下であることがよい。この硬化性樹脂塗布液の塗布方法は、特に制限はないが、例えば、予めマスク１２６の塗布する場合には転写によるスタンプ法を採用することが好適である。
【０１１３】
また、マスク１２６と密着層１２８との間、及び光導波路フィルム本体１１６と密着層１２８との間の少なくとも一方には、剥離層を形成してもよい。これにより、密着層１２８の構成材料によらず、マスク１２６を光導波路フィルム本体１１６から剥離し易くなる。剥離層の構成材料としては、シリコーン系潤滑剤やフッ素系の潤滑剤等が挙げられる。
【０１１４】
［光送受信モジュール］
図１３は、実施形態に係る光送受信モジュールの概略側面図である。図１４は、実施形態に係る光送受信モジュールの概略平面図である。本実施形態に係る光送受信モジュール１１は、図１３及び図１４に示すように、ベルト状の光導波路フィルム１０と、光導波路フィルム１０に形成された光導波路を介して光信号を送受信する光送受信部１２及び光送受信部１４とで構成されている。そして、光導波路フィルム１０として、上記説明した実施形態に係る光導波路フィルム１０が適用される。
【０１１５】
また、光送受信部１２は保持部材２２を備えており、光導波路フィルム１０の一方の端部は保持部材２２上に保持されている。また、光送受信部１４は保持部材２４を備えており、光導波路フィルム１０の他方の端部は保持部材２４上に保持されている。
【０１１６】
保持部材２２及び保持部材２４の各々には、受光素子３４と、発光素子３２と、これら受発光素子の信号の送受信を行うための結線部４４と、光導波路フィルム１０の電気配線層１２０と通電するための結線部４２と、が設けられている。なお、図示しないが、受光素子３４と発光素子３２との駆動用回路と増幅用回路を配設してもよい。
【０１１７】
受発光素子の信号の送受信を行うための結線部４２は、モジュール外部から受発光素子から送受信する信号の増幅、受発光素子の駆動を行うため、受光素子３４及び発光素子３２が保持部材２２及び保持部材２４に設けられた電極５２Ａ（本実施形態では２つ）とワイヤ５４Ａによりそれぞれ結線されて構成している。
【０１１８】
また、光導波路フィルム１０の電気配線層１２０と通電するための結線部４４は、モジュール外部から電気配線層１２０へ通電することで、電力供給や電気信号の送受信、接地等を行うため、電気配線層１２０の一端部が保持部材２２及び保持部材２４に設けられた電極５２Ｂ（本実施形態では電気配線層１２０が５本なので、電極も５つ設けている）とそれぞれワイヤ５４Ｂにより結線され構成している。
【０１１９】
この光送受信モジュール１１に設けられた光導波路フィルム１０と、保持部材２２及び保持部材２４の各々に設けられた受光素子３４、発光素子３２、結線部４２、及び結線部４４は、難燃性樹脂によって被覆され、これらの部材の表面には難燃性樹脂層１３が形成されている。この難燃性樹脂層１３は、光導波路フィルム１０に配設された電気配線層１２０上を覆い、当該電気配線層１２０の保護層として機能させている。
なお、本実施形態において「難燃性樹脂によって被覆されている」状態とは、被覆対象となる部材上に難燃性樹脂による難燃性樹脂層１３が形成されることで、上記の被覆対象となる部材が外気に触れない状態とされていることを示している。
【０１２０】
本実施形態では、光導波路フィルム１０と、保持部材２２及び保持部材２４の各々に設けられた受光素子３４、発光素子３２、結線部４２、及び結線部４４全てが、難燃性樹脂によって被覆された状態にある場合を説明する。
なお、光導波路フィルム１０と、保持部材２２及び保持部材２４の各々に設けられた受光素子３４、発光素子３２、結線部４２、及び結線部４４の全てが被覆されていることが光送受信モジュール１１の難燃性を向上させる観点から最も好ましいが、少なくとも光導波路フィルム１０が難燃性樹脂によって被覆されていればよく、より好ましくは、光導波路フィルム１０と、保持部材２２及び保持部材２４の各々に設けられた受光素子３４、発光素子３２、結線部４２、及び結線部４４の内の少なくとも１つが難燃性樹脂によって被覆されていればよい。
【０１２１】
本実施形態で用いる難燃性樹脂は、ＵＬ９４試験による難燃性がＨＢ以上である樹脂であって、この難燃性樹脂によって被覆されて表面に難燃性樹脂層１３の形成された光導波路フィルム１０の最小屈曲半径が１ｍｍ以上３ｍｍ以下である特性を満たす樹脂である。
【０１２２】
難燃性樹脂のＵＬ９４試験は、幅１３．０ｍｍ、長さ１２５ｍｍ、厚みは実用上の最小値である１００μｍの短冊状試験片を用いて行い、垂直燃焼試験又は水平燃焼試験によりガスバーナーの炎を当てて試験片の燃焼の程度を調べる公知の燃焼試験であって、このＵＬ９４に基づく一般的な材料の難燃性の等級としては、難燃性の高いものから順に５ＶＡ、５ＶＢ、Ｖ−０、Ｖ−１、Ｖ−２、そしてＨＢがある。本実施形態の難燃性樹脂は、難燃性樹脂層として形成されたときの、このＵＬ９４試験による難燃性がＨＢ以上であり、好ましくはＶ−２以上、更に好ましくは、Ｖ−０以上である。
【０１２３】
上記特性を有する難燃性樹脂として、本実施形態では、重合度２００以上１０００以下のジメチルポリシロキサン（ＨＯ−〔Ｓｉ（ＣＨ３）２Ｏ〕Ｎ−Ｈ）を主成分とする樹脂が用いられる。なお、上記ジメチルポリシロキサンを主成分とする難燃性樹脂とは、上記ジメチルポリシロキサンを３０重量％以上含んでいることを示す。
【０１２４】
ここで、通常の製造工程で得られるジメチルポリシロキサンには、微量の環状ジメチルポリシロキサンが存在することが知られているが、この環状ジメチルポリシロキサンは反応性が無く且つ揮発性であるため、電気接点障害を引き起こす場合がある。
そこで、本実施形態では、環状ジメチル型（Ｄ体）の結合量がＤ３（３量体）以上Ｄ２０（２０量体）以下である低分子シロキサンの含有量が５００ｐｐｍ以下であり、好ましくは３００ｐｐｍ以下の難燃性樹脂を用いる。
【０１２５】
この難燃性樹脂には、難燃性を有するフィラー（難燃性フィラー）を含有することが好ましい。難燃性フィラーとしては、酸化チタン、酸化シリコン、酸化アルミニウム等が挙げられる。
【０１２６】
難燃性樹脂が上記難燃性フィラーを含有する場合、上記ジメチルポリシロキサン１００重量部に対する難燃性フィラーの配合量は、１重量部以上７０重量部以下の範囲内であることが好ましい。
【０１２７】
この難燃性樹脂は、上記被覆対象となる各部材上に塗布された後に室温による放置や加熱等によって硬化することで難燃性樹脂層１３として上記各部材表面に設けられる。この難燃性樹脂の塗布には、ディスペンサー等が用いられる。このため、塗布時における難燃性樹脂の粘度は充分な低粘度である必要があり、具体的には、１Ｐａ・ｓ以上３０Ｐａ・ｓ以下であり、２Ｐａ・ｓ以上２０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。
なお、粘度調整のために用材を用材の悪影響が出ない程度に加えても良い。
【０１２８】
上記難燃性樹脂が上記各種部材上に塗布された後に硬化されることで形成された難燃性樹脂層１３の厚みは、屈曲性が必要とされる直線部では、２０μｍ以上１００μｍ以下であり、３０μｍ以上８０μｍ以下であることが好ましい。屈曲性が必要とされない保持部材２２及び保持部材２４では、結線するための配線電極のワイヤ等が全て覆われている必要があり、その都度決定される。
【０１２９】
また、この難燃性樹脂層１３の引っ張り強度は、０．５ＭＰａ以上５ＭＰａ以下であり、好ましくは、１．０ＭＰａ以上４．０ＭＰａ以下である。
なお、上記引っ張り強度及び粘度の測定は、ＪＩＳ−Ｋ６２４９に準拠して測定した。
【０１３０】
また、上記難燃性樹脂によって被覆されることで表面に難燃性樹脂層１３の形成された状態の光導波路フィルム１０の最小屈曲半径は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下である。ここで、難燃性樹脂によって被覆された状態の光導波路フィルム１０は、光導波路フィルム１０は、変形に対する追従性を高めるために、厚さを５０μｍ以上５００μｍ以下の範囲とすることが好ましく、１００μｍ以上３００μｍ以下の範囲とすることがより好ましい。また、同様の理由から、幅を０．２５ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲とすることが好ましく、０．３ｍｍ以上３ｍｍ以下の範囲とすることがより好ましい。この場合の光導波路フィルム１０（未被覆）の厚みは、６０μｍ以上１００μｍ以下が望ましい。
【０１３１】
次に、保持部材２２を備えた光送受信部１２の構成について説明する。なお、保持部材２４は保持部材２２と同じ構成であり、光送受信部１４は光送受信部１２と同じ構成となるため、保持部材２４及び光送受信部１４については説明を省略する。
【０１３２】
保持部材２２は、略直方体状の基板から構成されている。この保持部材２２には、受光素子３４と、発光素子３２と、これらの受光素子３４及び発光素子３２、結線部４２、及び結線部４４が設けられている。
【０１３３】
なお、本実施形態では、光送受信部１２から光信号を送信するための光導波路を送信用光導波路とし、光送受信部１２により光信号を受信するための光導波路を受信用光導波路としているが、光送受信部１４から見た場合には、送信用光導波路と受信用光導波路とが逆転することは言うまでもない。
【０１３４】
上記の光送受信部１２は、たとえば、保持部材２２上に発光素子３２及び受光素子３４を、フリップチップボンダー等を用いて実装する。次に、上記光導波路フィルム１０を発光素子３２及び受光素子３４上にフリップチップボンダーを用いて実装する。これによって、光導波路フィルム１０は、保持部材２２及び保持部材２４によって保持された状態となる。そして、発光素子３２及び受光素子３４をワイヤ５４Ａより電極５２Ａと結線する。また、電気配線層１２０の一端部をワイヤ５４Ｂにより電極５２Ｂと結線する。
【０１３５】
さらに、ディスペンサーを用いて、保持部材２２及び保持部材２４各々上に実装又は保持された発光素子３２、受光素子３４、結線部４２、結線部４４、及び光導波路フィルム１０の表面に塗布することによって、これらの表面に、難燃性樹脂による難燃性樹脂層１３を形成する。このディスペンサーによる塗布は、モジュールを溝が設けられた型に配置して行ってもよい。
上記工程によって、光送受信モジュール１１を構成する発光素子３２、受光素子３４、結線部４２、結線部４４、及び光導波路フィルム１０の表面が難燃性樹脂によって被覆された、本実施形態の光送受信モジュール１１が作製される。
【０１３６】
次に、本実施形態に係る光送受信モジュール１１の作用について説明する。ここでは、光送受信部１２から光信号を送信するための光導波路を送信用光導波路とし、光送受信部１２により光信号を受信するための光導波路を受信用光導波路として説明する。
【０１３７】
本実施形態に係る光送受信モジュールでは、光送受信部１２から光送受信部１４に光信号を送信する場合には、光送受信部１２の保持部材２２に保持された発光素子３２から射出された光が送信用光導波路の光導波路コア１１２の入射端面に結合され、光導波路フィルム１０に形成された送信用光導波路を導波する。そして、送信用光導波路の光導波路コア１１２の出射端面から射出された光が、光送受信部１４の保持部材２４に保持された受光素子３４により受光される。
【０１３８】
同様に、光送受信部１４から送信された光信号を光送受信部１２で受信する場合には、光送受信部１４の保持部材２４に保持された発光素子３２から射出された光が受信用光導波路の光導波路コア１１２の入射端面（ミラー面１１６Ａ）に結合され、光導波路フィルム１０に形成された受信用光導波路を導波する。そして、受信用光導波路の光導波路コア１１２の出射端面（ミラー面１１６Ａ）から射出された光が、光送受信部１２の保持部材２２に保持された受光素子３４により受光される。
【０１３９】
そして、この光送受信と共に、光導波路フィルム１０に設けられた電気配線層１２０を通じで、例えば、電力供給、電気信号の送受信、接地等、電気的な処理も行われる。
【０１４０】
上記の実施形態では、発光素子及び受光素子の両方を実装した光送受信部の間で双方向の光通信を行う光送受信モジュールについて説明したが、発光素子を備えた光送信部と受光素子を備えた光受信部との間で一方向の光通信を行う光送受信モジュールとしてもよい。
【実施例】
【０１４１】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【０１４２】
（実施例１）
＜光導波路フィルム本体の作製＞
まず、コアとなる高屈折率のエポキシ系フィルム（厚さ５０μｍ、屈折率１．５７）を用意した。次に、屈折率１．５１のエポキシ系紫外線硬化樹脂を厚さ２０μｍとなるように、このコアとなる高屈折率のエポキシ系フィルムの両面にスピンコートにより塗布し、紫外線を照射して硬化させることで３層フィルムを得た。
【０１４３】
次に、上記３層フィルムをダイシングソー（ＤＩＳＣＯ社製ＤＡＤ３２１）に設置し、厚さ１００μｍのブレードを取り付けたダイシングソーを用い、主面（最上面）側から、７５μｍ±５μｍの精度で切削した。次に５０μｍ移動させて切削することでコア径が５０μｍのコアに相当する凸部を形成した。次に、４５０μｍ移動させて切削し更に５０μｍ移動させて切削することによって、コア径が５０μｍでピッチが５００μｍの２芯のコアを形成した。
【０１４４】
次に、屈折率１．５１のエポキシ系紫外線硬化樹脂を、上記切削した凹部へ埋めるように塗布した後に、紫外線を照射して硬化させて、幅１．０ｍｍ、膜厚９０μｍのベルト状の光導波路フィルムとした。
【０１４５】
次に、４５°角度付きＳｉ用のブレードを備えたダイシングソーを用いて、この光導波路フィルムの両端を光軸に対し４５°の角度で切断し、４５°ミラー面を形成し、コアを露出させた。
このようにして、光導波路フィルム本体を作製した。
【０１４６】
＜光導波路フィルム本体への電気配線層及び保護層の作製＞
次に、得られた光導波路フィルム本体の上面（傾斜面及び設置面除く）に、格子状の枠体からなるマスク（Ｎｉ電鋳製のメタルマスク）を配設した（図５参照）。
【０１４７】
次に、銀合金ターゲット（三菱マテリアル社製、３７番Ａｇ合金）を用いたスパッタリング法により、４５°ミラー面を含めて導波路フィルム本体上面（設置面除く）に膜厚１００ｎｍの銀合金層を着膜した。スパッタリングによる着膜は、ダイシングテープに張り付いたまま行った。スッパッタリングには、ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）を用いて、パワーが０．４ｋＷ、アルゴンガス流量が１５ＳＣＣＭ、製膜圧力が０．２５Ｐａ、ワーク（光導波路フィルム本体）を加熱することなく毎分２回転させながら、２４分間の着膜を行うことで銀合金層（電気配線層、ミラー層）を光導波路フイルム本体の傾斜面上に１．０μｍ着膜した。
【０１４８】
続けて、ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）において、銀合金ターゲットからチタン（Ｔｉ）ターゲットに変えてスパッタリングを行い、チタン（Ｔｉ）層と窒化チタン（ＴｉＮ）層との積層し、これを保護層とした。
【０１４９】
具体的には、Ｔｉ層の製膜は、パワーが０．３５ｋＷ、アルゴンガス流量が２０ＳＣＣＭ、製膜圧力が０．３０Ｐａ、ワーク（光導波路フィルム本体）を加熱することなく毎分２回転させながら４０分間で着膜することで、光導波路フイルム本体の銀合金層（電気配線層、ミラー層）を覆ってＴｉ層を２００ｎｍ着膜した。
次に、ＴｉＮ膜の製膜は、同じＴｉターゲットを用いて、パワーが０．３５ｋＷ、アルゴンガス流量が１８ＳＣＣＭ、窒素ガス流量が２ＳＣＣＭ、製膜圧力が０．３０Ｐａ、ワーク（光導波路フィルム本体）を加熱することなく毎分２回転させながら７分間で着膜することで、光導波路フイルム本体のＴｉ層を覆ってＴｉＮ層を２０ｎｍ製膜した。
なお、ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）は、ターゲットを４種類積むことができるため、大気に曝すことなく一連の動作で３層の層を積層した。
また、ＸＲＤ（Ｘ線回折）解析から、Ｔｉ層は銀合金層と反応して、チタン銀合金層が形成されているのが確認された。
【０１５０】
次に、光導波路フィルム本体からマスクを取り外した。これにより、保護層に覆われると共に、光導波路フィルム本体のミラー面（傾斜面）と上面とに形成された銀合金層が分離されて（Ａｇ合金層の無い分離幅は、５３μｍ）、銀合金層からなるミラー層が形成されていた。また、保護層に覆われると共に、光導波路フィルム本体の上面上に長手方向に沿って、その一端部から他端部に延在し、且つ光導波路フィルム本体の幅方向に沿って間隔が２００μｍ、幅が１５０μｍの電気配線層５ラインが形成されていた。結果的に、保護層に覆われた、厚さ９０μｍ、長さ１００ｍｍ、幅１ｍｍのミラー層（銀合金層：厚み１．７μｍ）及び電気配線層５ライン（銀合金層：厚み１．７μｍ）付き光導波路フィルムを作製した。
【０１５１】
＜光導波路フィルムの評価＞
波長８５０ｎｍのＬＥＤ光源の光を、コア径５０μｍのマルチモードファイバーを介して得られた光導波路に入射し、受光側にはコア径２００μｍのポリマークラッドファイバーを介してフォトダイオードで光の挿入損失を測定し、ミラー層の性能を測った結果、反射損失は０．３ｄＢと高性能であった。また、長期信頼性を調べるため、得られた光導波路フィルムを５ｗｔ％の食塩水に２４時間侵積することで長期信頼性の加速試験を行ったところ、ミラー層には塩化による白化など何の変化も認められず長期信頼性が高いことが分かった。比較のため、Ｔｉ／ＴｉＮ層のない銀合金層（ミラー層）のみのサンプルでは、完全に白化し反射率が大きく低下した。
【０１５２】
＜モジュールへの実装＞
厚み６００ｎｍのシリコン基板に、ＶＣＳＥＬ素子（富士ゼロックス社製、商品名：ＡＭ−０００１）、フォトダイオード素子（ＥＭＣＯＲＥ社、商品名：Ｄ８４８５−１０２６）をフリップチップボンダーを用いてこれらをシリコン基板上に実装した後に、各チップの電極をシリコン基板に配設された電極とワイヤーボンダーにより結線した。
【０１５３】
次に、上記得られた光導波路フィルムを、上記実装されたＶＣＳＥＬ素子及びフォトダイオード素子上に、フリップチップボンダーを用いて実装した。なお、接着には、エポキシ系紫外線硬化樹脂を用い、ＵＶ照射により硬化させた。最後に、光導波路フィルムの各電気配線層の一端部をシリコン基板に配設された電極とワイヤーボンダーにより結線した。これにより、光送受信モジュールを作製した。
【０１５４】
＜難燃性樹脂の塗布＞
難燃性樹脂として、信越化学工業社製の１液型の縮合硬化型シリコーン樹脂を用意した。
―実施例１で用いた難燃性樹脂の特性―
・未硬化時における粘度      ：２０Ｐａ・ｓ
・引っ張り強度              ：４．０ＭＰａ
・環状ジメチル型の結合量がＤ３（３量体）以上Ｄ２０（２０量体）以下である低分子シロキサンの含有量                  ：３００ｐｐｍ未満
・難燃性フィラーの種類      ：酸化シリコン及び酸化チタン。
・上記難燃性フィラーの含有量  ：５０重量％
・ＵＬ−９４試験による難燃性  ：Ｖ−０。
【０１５５】
この難燃性樹脂を、本実施例１で調整した光送受信モジュールの光導波路フィルム表面、基板上に実装されたＶＣＳＥＬ素子、フォトダイオード素子、各結線部（電極、ワイヤ等）を被覆するように、塗布ロボット（武蔵エンジニアリング社製、ＦＡＤ３２０Ｓ）を用いて塗布した後に、室温（２５℃）で１０分放置することによって硬化させた。
上記塗布された難燃性樹脂が硬化することで形成された難燃性樹脂層の層厚を測定したところ、０．２ｍｍであった。
【０１５６】
上記難燃性樹脂によって表面を被覆された光導波路フィルムの最小屈曲半径をＡＳＴＭ  Ｄ―２１７６に従い測定したところ、難燃性樹脂によって被覆された状態における光導波路フィルムの最小屈曲半径は１．５ｍｍであった。
このため、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、難燃性に優れた光電混載の光送受信モジュールが提供されたといえる。
【０１５７】
＜実施例２＞
以下の如く保護層としてチタン層のみを形成した以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製し、評価した。
【０１５８】
＜光導波路フィルム本体への保護層の作製＞
ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）において、銀合金ターゲットからチタン（Ｔｉ）ターゲットに変えてスパッタリングを行い、チタン（Ｔｉ）層を形成し、これを保護層とした。
【０１５９】
具体的には、Ｔｉ層の製膜は、パワーが０．３５ｋＷ、アルゴンガス流量が２０ＳＣＣＭ、製膜圧力が０．３０Ｐａ、ワーク（光導波路フィルム本体）を加熱することなく毎分２回転させながら９０秒間で着膜することで、光導波路フイルム本体の銀合金層（ミラー層）を覆ってＴｉ層を１０ｎｍ着膜した。
なお、ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）は、ターゲットを４種類積むことができるため、大気に曝すことなく一連の動作で２層の層を積層した。
また、ＸＲＤ（Ｘ線回折）解析から、Ｔｉ層は銀合金層と反応して、チタン銀合金層が形成されているのが確認された。
【０１６０】
＜光導波路フィルムの評価＞
実施例１と同様にして、ミラー層の性能を測った結果、反射損失は０．３ｄＢと高性能であった。また、長期信頼性を調べるため、得られた光導波路フィルムを５ｗｔ％の食塩水に２４時間侵積することで長期信頼性の加速試験を行ったところ、ミラー層には塩化による白化など何の変化も認められず長期信頼性が高いことが分かった。しかし、長期信頼性の加速試験において、食塩水の浸漬を３６時間に伸ばしたところ、若干ではあるが、ミラー層には塩化による白化が認められた。Ｔｉ層とＴｉＮ層を複合化した保護層に比べ劣るものの、Ｔｉ層のみの単独層でも、銀合金層（ミラー層）の保護層として機能することがわかった。比較のため、Ｔｉ層のない銀合金層（ミラー層）のみのサンプルでは、完全に白化し反射率が大きく低下した。
【０１６１】
＜実施例３＞
以下の如く保護層として窒化チタン層のみを形成した以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製し、評価した。
【０１６２】
＜光導波路フィルム本体への保護層の作製＞
ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）において、銀合金ターゲットからチタン（Ｔｉ）ターゲットに変えてスパッタリングを行い、窒化チタン（ＴｉＮ）層を形成し、これを保護層とした。
【０１６３】
具体的には、ＴｉＮ層の製膜は、チタン（Ｔｉ）ターゲットを用いて、パワーが０．３５ｋＷ、アルゴンガス流量が１８ＳＣＣＭ、窒素ガス流量が２ＳＣＣＭ、製膜圧力が０．３０Ｐａ、ワーク（光導波路フィルム本体）を加熱することなく毎分２回転させながら４２０秒間で着膜することで、銀合金ミラー層を覆ってＴｉＮ層を２０ｎｍ製膜した。
なお、ＵＬＶＡＣ社製のハイレートスパッタリング装置（ＳＨ−４５０）は、ターゲットを４種類積むことができるため、大気に曝すことなく一連の動作で２層の層を積層した。
【０１６４】
＜光導波路フィルムの評価＞
実施例１と同様にして、ミラー層の性能を測った結果、反射損失は０．３ｄＢと高性能であった。また、長期信頼性を調べるため、得られた光導波路フィルムを５ｗｔ％の食塩水に２４時間侵積することで長期信頼性の加速試験を行ったところ、ミラー層には塩化による白化が若干も認められ長期信頼性がＴｉ層がある場合に比較して劣ることが確認された。比較のため、Ｔｉ層のない銀合金層（ミラー層）のみのサンプルでは、完全に白化し反射率が大きく低下した。
【０１６５】
＜実施例４＞
上記実施例１で調整した３層フィルムのダイシングソーによる切削において、主面（最上面）側から、７５μｍ±５μｍの精度で切削した後に、５０μｍ移動させて切削することでコア径が５０μｍの１芯のコアを形成した以外は、実施例１と同じ材料及び同じ方法により光送受信モジュールを作製した。
【０１６６】
この調整した光送受信モジュールにおいて、表面を被覆された光導波路フィルムの最小屈曲半径をＡＳＴＭ  Ｄ―２１７６に従い測定したところ、難燃性樹脂によって被覆された状態における光導波路フィルムの最小屈曲半径は１．５ｍｍであった。
このため、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、難燃性に優れた光電混載の光送受信モジュールが提供されたといえる。
【０１６７】
＜実施例５＞
難燃性樹脂として、下記特性の難燃性樹脂を用いた以外は、実施例４と同じ材料及び同じ方法により光送受信モジュールを調整した。但し、難燃性樹脂の硬化は、塗布後、１２０℃で１時間加熱することにより行った。
本実施例５では、難燃性樹脂として、信越化学工業社製の２液型の、付加硬化型シリコーン樹脂を用意した。
―実施例５で用いた難燃性樹脂の特性―
・未硬化時における粘度      ：１Ｐａ・ｓ
・引っ張り強度              ：１．０ＭＰａ
・環状ジメチル型の結合量がＤ３（３量体）以上Ｄ１０（１０量体）以下である低分子シロキサンの含有量                  ：５００ｐｐｍ未満
・難燃性フィラーの種類      ：酸化シリコン。
・上記難燃性フィラーの含有量  ：１０重量％
・ＵＬ−９４試験による難燃性  ：Ｖ−０。
【０１６８】
この調整した光送受信モジュールにおいて、表面を被覆された光導波路フィルムの最小屈曲半径をＡＳＴＭ  Ｄ―２１７６に従い測定したところ、難燃性樹脂によって被覆された状態における光導波路フィルムの最小屈曲半径は１．５ｍｍであった。
このため、簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、難燃性に優れた光電混載の光送受信モジュールが提供されたといえる。
【０１６９】
＜実施例６＞
光導波路フィルム本体への電気配線層及び保護層の作製時において、光導波路フィルム本体の上面（傾斜面除く）に、エポキシ系紫外線硬化性樹脂の塗膜（厚み５μｍ）を形成した後、エポキシ系紫外線硬化性樹脂の塗膜上にマスクを配設した。その後、マスクの上方側から紫外線を照射し、マスクの開口部に露出した紫外線硬化性樹脂の塗膜を硬化させた。そして、マスクに覆われた未硬化の紫外線硬化性樹脂の塗膜を密着層とした。これら以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製すると共に、光送受信モジュールを作製した。
【０１７０】
得られた光導波路フィルムの電気配線層を観察したところ、実施例１の光導波路フィルムに比べ、電気配線層のラインの輪郭がはっきりと観察されて崩れていないことがわかった。これにより、マスクと光導波路フィルム本体との間に間隙が生じていないことがわかった。また、マスクが光導波路フィルム本体に張り付くことなく、容易に剥離された。
【０１７１】
＜実施例７＞
光導波路フィルム本体への電気配線層及び保護層の作製時において、光導波路フィルム本体の上面（傾斜面除く）に、熱硬化型エポキシ樹脂の塗膜（厚み５μｍ）を形成した後、熱硬化型エポキシ樹脂の塗膜上にマスクを配設した。その後、１３０℃の環境下で１時間放置して、エポキシ樹脂の塗膜を硬化させ密着層とした。これら以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製すると共に、光送受信モジュールを作製した。
【０１７２】
得られた光導波路フィルムの電気配線層を観察したところ、実施例１の光導波路フィルムに比べ、電気配線層のラインの輪郭がはっきりと観察されて崩れていないことがわかった。これにより、マスクと光導波路フィルム本体との間に間隙が生じていないことがわかった。また、密着層が光導波路フィルム本体に接着されたまま、マスクが光導波路フィルム本体から容易に剥離された。
【０１７３】
＜実施例８＞
光導波路フィルム本体への電気配線層及び保護層の作製時において、光導波路フィルム本体の上面（傾斜面除く）に、熱硬化型のシリコーン系接着剤であるポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）からなるシリコンエラストマー（ダウコーニング社製、Ｓｙｌｇａｒｄ  １８４）の塗膜（厚み１０μｍ）を形成した後、塗膜上にマスクを配設した。その後、１３０℃の環境下で１時間放置して、ＰＤＭＳの塗膜を硬化させた。そして、硬化したＰＤＭＳの塗膜を密着層とした。これら以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製すると共に、光送受信モジュールを作製した。
【０１７４】
得られた光導波路フィルムの電気配線層を観察したところ、実施例１の光導波路フィルムに比べ、電気配線層のラインの輪郭がはっきりと観察されて崩れていないことがわかった。これにより、マスクと光導波路フィルム本体との間に間隙が生じていないことがわかった。また、密着層が光導波路フィルム本体に接着されたまま、マスクが光導波路フィルム本体から容易に剥離された。
【０１７５】
＜実施例９＞
まず、マスクに湿気硬化型のシリコーン接着剤（信越化学社製、ＫＥ−１８４２）を塗布し、１２０℃で１時間加熱し、この硬化したシリコーン樹脂からなる密着層を持つマスクを得た。具体的には、一旦、スピンコート法でポリオレフィン樹脂製のアートンフイルム上に膜厚３０μｍのシリコーン樹脂を塗布した後、マスクをシリコーン樹脂に密着させて１２０℃で１時間加熱してシリコーン樹脂を硬化させた。硬化したシリコーン樹脂は、ポリオレフィン樹脂製のアートンフイルムとは接着せず、Ｎｉ電鋳製のメタルマスクとは接着するため、硬化したシリコーン樹脂がマスクに貼り付いたまま、マスクがアートンフィルムから剥離され、シリコーン樹脂の密着層を持つマスクを得た。そして、光導波路フィルム本体への電気配線層及び保護層の作製時において、上記密着層を持つマスクを用いた。これら以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製すると共に、光送受信モジュールを作製した。
【０１７６】
得られた光導波路フィルムの電気配線層を観察したところ、実施例１の光導波路フィルムに比べ、電気配線層のラインの輪郭がはっきりと観察されて崩れていないことがわかった。これにより、マスクと光導波路フィルム本体との間に間隙が生じていないことがわかった。また、密着層がマスクに接着されたまま、マスクが光導波路フィルム本体から容易に剥離された。
【０１７７】
＜実施例１０＞
光導波路フィルム本体への電気配線層及び保護層の作製時において、光導波路フィルム本体の上面（傾斜面除く）に、剥離層としてシリコーン潤滑剤を厚み０．５μｍで形成した後、湿気硬化型のシリコーン接着剤（信越化学社製、ＫＥ−１８４２）の塗膜（厚み５μｍ）を形成した後、シリコーン接着剤の塗膜上にマスクを配設した。その後、室温（２５℃）で１時間時間放置して、シリコーン系接着剤の塗膜を硬化させ密着層とした。これら以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを作製すると共に、光送受信モジュールを作製した。
【０１７８】
得られた光導波路フィルムの電気配線層を観察したところ、実施例１の光導波路フィルムに比べ、電気配線層のラインの輪郭がはっきりと観察されて崩れていないことがわかった。これにより、マスクと光導波路フィルム本体との間に間隙が生じていないことがわかった。また、湿気硬化型のシリコーン接着剤は、マスク及び光導波路フィルム本体の双方を接着するものであるにもかかわらず、剥離層の存在により、当該接着剤からなる密着層はマスクに接着されたまま、マスクが光導波路フィルム本体から容易に剥離された。
【図面の簡単な説明】
【０１７９】
【図１】実施形態に係る光導波路フィルムを示す概略構造図であり、（Ａ）が斜視図であり、（Ｂ）がＡ−Ａ断面図である。
【図２】実施形態に係る光導波路フィルムが変形に対して追従性（屈曲性）を有することを示す斜視図である。
【図３】実施形態に係る光導波路フィルムの製造方法を示す工程図である。
【図４】他の実施形態に係る光導波路フィルムの製造方法を示す工程図である。
【図５】光導波路フィルム本体１１６へマスク１２６を配設し、金属層１２２及び保護層を順次形成した様子を示す２面図（平面図：フィルム厚み方向からから見た図、側面図：フィルム幅方向から見た図）である。
【図６】光導波路フィルム本体１１６へ金属層１２２した後、マスク１２６を取り除いた様子を示す２面図（平面図：フィルム厚み方向からから見た図、側面図：フィルム幅方向から見た図）である。
【図７】着膜対象を加熱しないでスパッタリングによりチタン層を着膜したときのＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を示す図である。
【図８】着膜対象を加熱しないでスパッタリングによりた窒化チタン層を着膜したときのＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を示す図である。
【図９】着膜対象を加熱してスパッタリングにより窒化チタン層を着膜したときのＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を示す図である。
【図１０】着膜対象を加熱しないでスパッタリングにより銀合金層、チタン層、窒化チタン層を順次着膜したときのＸＲＤ（Ｘ線回折）解析結果を示す図である。
【図１１】実施形態に係る光導波路フィルムの製造方法において、密着層を介してマスクを光導波路フィルム本体に配設した様子を示す模式図である。
【図１２】実施形態に係る光導波路フィルムの製造方法において、密着層を介してマスクを光導波路フィルム本体に配設した様子を示す模式図である。る。
【図１３】実施形態に係る光送受信モジュールの概略側面図である。
【図１４】実施形態に係る光送受信モジュールの概略平面図である。
【符号の説明】
【０１８０】
１０ 光導波路フィルム
１０Ａ 高分子フィルム
１１ 光送受信モジュール
１２ 光送受信部
１３ 難燃性樹脂層
１４ 光送受信部
２２ 保持部材
２４ 保持部材
３２ 発光素子
３４ 受光素子
４２ 結線部
４４ 結線部
５２Ａ 電極
５２Ｂ 電極
５４Ａ ワイヤ
５４Ｂ ワイヤ
１１２ 光導波路コア
１１２Ａ コア層
１１４ クラッド
１１４Ａ クラッド層
１１４Ｂ クラッド層
１１４Ｃ クラッド層
１１６ 光導波路フィルム本体
１１６Ａ ミラー面
１１６Ｂ 主面
１１８ ミラー層
１２０ 電気配線層
１２２ 金属層
１２４ 保護層
１２４Ａ チタン銀合金層
１２４Ｂ チタン層
１２４Ｃ 窒化チタン層
１２６ マスク
【図１】
2010049225.tif 000003
【図２】
2010049225.tif 000004
【図３】
2010049225.tif 000005
【図４】
2010049225.tif 000006
【図５】
2010049225.tif 000007
【図６】
2010049225.tif 000008
【図７】
2010049225.tif 000009
【図８】
2010049225.tif 000010
【図９】
2010049225.tif 000011
【図１０】
2010049225.tif 000012
【図１１】
2010049225.tif 000013
【図１２】
2010049225.tif 000014
【図１３】
2010049225.tif 000015
【図１４】
2010049225.tif 000016