(57)【要約】【課題】  脆性板材の積層作業を効率よく、しかも板材が大型化しても対応可能な脆性板材の積層及び加工方法を提供する。【解決手段】  液状化させた凝固剤Ｌ中に、複数枚の脆性板材Ｇを間隔を空けて整列配置する工程と、前記脆性板材Ｇの間隔を縮めるように押圧力を加え、脆性板材Ｇの集合体とする工程と、脆性板材Ｇの集合体を凝固剤Ｌから取り出して凝固剤Ｌを凝固させ、脆性板材積層体とする工程とを含むことを特徴とする。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状化させた凝固剤中に、複数枚の脆性板材を間隔を空けて整列配置する工程と、前記脆性板材の間隔を縮めるように押圧力を加え、脆性板材の集合体とする工程と、脆性板材の集合体を凝固剤から取り出して凝固剤を凝固させ、脆性板材積層体とする工程とを含むことを特徴とする脆性板材の積層方法。
【請求項２】
脆性板材を整列させた後、液状の凝固剤中に浸漬することにより、脆性板材を整列配置することを特徴とする請求項１に記載の脆性板材の積層方法。
【請求項３】
スペーサーを介して脆性板材を所定間隔に整列配置することを特徴とする請求項１又は２に記載の脆性板材の積層方法。
【請求項４】
押圧力を加える前にスペーサーを取り外すことを特徴とする請求項３に記載の脆性板材の積層方法。
【請求項５】
液状化された凝固剤が、熱軟化したワックスであることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の脆性板材の積層方法。
【請求項６】
液状化された凝固剤が、凝固点以上の温度に保たれた低温凝固剤であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の脆性板材の積層方法。
【請求項７】
脆性板材が、ガラス板であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の脆性板材の積層方法。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載の方法によって形成された脆性板材積層体に加工を施した後、凝固剤を液状化させて、脆性板材積層体を解片することを特徴とする脆性板材の加工方法。
【請求項９】
加工が、切断、穴開け、長穴加工及び／又は端面加工であることを特徴とする請求項８に記載の脆性板材の加工方法。
【請求項１０】
解片後に脆性板材を洗浄することを特徴とする請求項８又は９に記載の脆性板材の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板、結晶化ガラス板、セラミックス板等の脆性板材を積層する方法と、これを用いた脆性板材の加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ、ＣＭＯＳ等のイメージセンサ用カバーガラス、半導体レーザー用ガラス、マイクロレンズアレイ用基板ガラス、ディスプレイ保護用ガラス等に使用されるガラス板は、溶融ガラスを板状に成形し、或いは一旦ブロック状に成形した後スライスして板状とし、これに表面研磨、穴開け、切断、端面加工、長穴加工等の加工や、化学強化等の強化処理を施して実用に供される。ガラス板に各種加工を行うに当たっては、加工効率を高める目的で、凝固剤を用いて複数枚のガラス板を予め積層一体化した後、各種加工を行う方法を採用するのが一般的である。（例えば特許文献１）
ガラス板を積層一体化するための凝固剤として、ワックスが広く使用されている。ワックスを用いてガラス板を積層一体化する代表的な方法には次の２つがある。１つめは、予め加熱しておいたガラス板にワックスを塗布し、これを積み重ねる方法である。2つめは、まず複数のガラス板を所定間隔に整列配置する。次に、加熱して液状化させたワックス中に所定間隔を空けて整列配置したガラス板をゆっくりと沈め、ワックスをガラス板間の空隙に浸入させていく。ガラス板間の空隙に十分にワックスが浸入したら、ガラス板整列体をワックスから引き上げ、降温してワックスを凝固させる。このようにしてガラス板積層体を形成する方法である。
【０００３】
また最近では、ワックスに代えて低温凝固剤を使用する方法も提案されている。例えば特許文献２では、脆性板材間に低温凝固剤を塗布して積層一体化する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１３９８４０号公報
【特許文献２】特開２００７−２８３６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ガラス板にワックスを塗布して積み重ねる方法は、ガラス板に1枚ずつワックスを塗布しなければならないので作業効率が悪い。しかもガラスの面積が大きくなるとワックスの厚みのばらつきが大きくなるという欠点を有している。
【０００６】
ガラス板整列体の空隙にワックスを浸入させていく方法では、予めガラス板同士を小さな間隔で保持しておく必要があり、小径ビーズをガラス板表面に付着させおくことが行われている。従ってこの方法では、積層化を行う前にビーズ付着工程が必要となる。また粘性の高いワックスを浸入させるのに長時間を要する。さらに積層するガラス板が大型化していくと、ガラス板間にワックスを十分に浸入させることが困難になり、ガラス板の大型化の要求に適応することができないという欠点がある。また積層枚数を増やすことを目的としてワックスの厚み、すなわち板ガラス間の間隔を狭くしようとするとワックスを侵入させることができないという問題点もある。
【０００７】
特許文献２に記載の積層方法では、低温凝固剤を基板間に塗布する方法を採用しているために、板材への塗布を一枚ずつ行わなければならず、積層作業が繁雑である。
【０００８】
本発明の目的は、脆性板材の積層作業を効率よく、しかも板材が大型化しても対応可能な脆性板材の積層及び加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は、種々の検討を行った結果、液状の凝固剤中に整列配置された複数の板材を、板材間の間隔が縮まるように押圧力を加えることにより、板材同士の間隙への凝固剤の充填（浸入）を短時間で行えることを見いだし、本発明として提案するものである。
【００１０】
即ち、本発明の脆性板材の積層方法は、液状化させた凝固剤中に、複数枚の脆性板材を間隔を空けて整列配置する工程と、前記脆性板材の間隔を縮めるように押圧力を加え、脆性板材の集合体とする工程と、脆性板材の集合体を凝固剤から取り出して凝固剤を凝固させ、脆性板材積層体とする工程とを含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明において、「液状化させた凝固剤」とは、粘性が十分に低く、流動可能な状態に維持された凝固剤を指す。「脆性板材」とは、ガラス板、結晶化ガラス板、又はセラミックス板を意味している。またその形状は特に限定されるものではなく、矩形状、円盤状等種々の形状が使用可能である。なお言うまでもないが、同形状、同サイズ、同材質の板材を積層することが重要である。「整列配置する」とは、予め整列させた板材整列体を凝固剤中に浸漬する方法のみならず、凝固剤中で板材を整列させた整列体とする方法も含む。なお整列させた板材の間隔は、必ずしも等間隔である必要はない。「押圧力を加える」とは、片側を固定し、反対側から押圧力を加える方法のみならず、両側から押圧力を加える方法も含む。「凝固させる」とは、凝固剤の温度を低下させて粘度を高め、流動しない状態にすることを意味する。
【００１２】
本発明では、脆性板材を整列させた後、液状の凝固剤中に浸漬することにより、脆性板材を整列配置することが好ましい。
【００１３】
上記構成によれば、板材の整列作業を正確且つスピーディーに行うことができる。
【００１４】
本発明では、スペーサーを介して脆性板材を所定間隔に整列配置すること、また押圧力を加える前にスペーサーを取り外すことが好ましい。
【００１５】
上記構成によれば、板材同士を所望の間隔に保持することが容易になる。なおスペーサーとしては、板材間の間隔を保持し、且つ用意に取り外しできるものであれば、その大きさや形状は特に限定されない。例えば図８に示すような、板材間の間隔を保持するための突出部４２を複数備えた長尺のスペーサー４でもよいし、図９に示すような平面視で凸形状を有し、２枚の板材の間隙に突出部４２が挿入されるスペーサー４を複数個使用してもよい。
【００１６】
本発明では、液状化された凝固剤が、熱軟化したワックスであることが好ましい。
【００１７】
上記構成によれば、後の加工工程を常温で実施することができる。
【００１８】
本発明では、凝固点以上の温度に保たれた低温凝固剤であることが好ましい。ここで「低温凝固剤」とは２０℃以下の凝固点を有する低温凝固剤を意味する。
【００１９】
上記構成によれば、凝固剤を液状化する際に高温に加熱する必要がない。またこの種の低温凝固剤は、一般に低粘性であることから、脆性板材を押圧する作業を短時間で完了することができ、かつ間隙を小さくする、即ち積層するガラスの枚数を多くすることが可能である。
【００２０】
本発明では、脆性板材が、ガラス板であることが好ましい。
【００２１】
本発明の脆性板材の加工方法は、上記した方法によって形成された脆性板材積層体に加工を施した後、凝固剤を液状化させて、脆性板材集合体を解片することを特徴とする。
【００２２】
本発明では、加工が、切断、穴開け、長穴加工及び／又は端面加工であることが好ましい。
【００２３】
本発明では、解片後に脆性板材を洗浄することが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の積層方法によれば、複数枚の板材を一度に積層することができるため、効率的である。また予め小径ビーズを板材表面に付着させておく必要がないことから、この準備工程を省くことができる。また板材のサイズに関係なく積層化を行うことが可能である。さらに、積層するガラス間の間隔を小さく出来るため、積層する枚数を多くすることができ、ガラスの加工工程のさらなる効率化に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】脆性板材を整列配置する工程を示す説明図である。
【図２】脆性板材を整列配置する工程を示す説明図である。
【図３】液状凝固剤中に脆性板材を浸漬した状態を示す説明図である。
【図４】エアシリンダーを取り付けた状態を示す説明図である。
【図５】スペーサーを取り外した状態を示す説明図である。
【図６】押圧力を加えた状態を示す説明図である。
【図７】脆性板材を水平に載置した状態を示す説明図である。
【図８】スペーサーの一例を示す説明図である。
【図９】スペーサーの他の例を示す説明図である。
【実施例】
【００２６】
以下、実施例に基づいて本発明を詳述する。図１（ａ）は整列治具に脆性板材を配置した状態を示す概略正面図、図１（ｂ）は同状態の概略側面図、図２は押さえプレートを設置して固定された脆性板材の概略正面図である。図３は脆性板材を凝固剤に浸漬した状態を示す概略正面図である。図４は、押圧力を付与するためのエアシリンダーを取り付けた状態を示す概略正面図である。図５（ａ）はスペーサーを取り外した状態を示す概略正面図、図５（ｂ）はその概略側面図である。図６は押さえプレートを介して押圧力を加えた状態を示す概略正面図である。図７は凝固剤から取り出した脆性板材を水平方向に載置した状態を示す概略正面図である。
【００２７】
なお本発明のガラス板成形装置は、本実施例に限定されるものではない。
【００２８】
本発明の板材の積層方法は、主として
（１）液状化させた凝固剤中に、脆性板材整列体を整列配置する工程、
（２）押圧力を加えて脆性板材集合体とする工程、
（３）脆性板材集合体を凝固剤から取り出して凝固剤を凝固させ、脆性板材積層体とする工程、とを含む。
【００２９】
第一の工程は、複数枚の脆性板材を、液状の凝固剤中に整列配置する工程である。なお本実施例では、脆性板材をスペーサーを用いて整列させた後、凝固剤中に浸漬、配置する例を示している。
【００３０】
まず、各種機械加工に供する脆性板材Ｇを複数枚用意する。脆性板材１は、ガラス板、結晶化ガラス板、セラミックス板の何れであっても差し支えない。またその形状は、矩形状、円盤状等種々の形状が使用できる。
【００３１】
また脆性板材Ｇが整列配置可能な整列治具を用意する。整列治具は、例えば図１に示すような、ベースプレート１と、板材を下方から支持する複数本（本実施例では２本）の下部支持棒２と、板材の横方向への動きを規制する複数本（本実施例では２本）の側部支持棒３と、スペーサー４、及び後述する押さえプレート５からなっている。ここで下部支持棒２及び側部支持棒３は、ベースプレート１の下部及び上部に設けられた嵌合孔にそれぞれ挿入されており、ベースプレート１の主面に対してほぼ直交する方向に固定される。また下部支持棒２の間隔は、脆性板材Ｇの板幅より狭く設定されており、側部支持棒３の間隔は、脆性板材Ｇの板幅より僅かに広く設定されている。さらに整列治具のベースプレート１の両端には、ベースプレート１の主面に対してほぼ直交する方向に一対のスペーサー４が着脱可能に取り付けられている。スペーサー４には、図８に示すように、ベースプレート１に嵌合する嵌合部４１と、脆性板材Ｇを互いに離間させる複数の突出部４２と、後述する押さえプレート５と係合する係合部４３が形成されている。ここで突出部４２の幅は最終的に得られる積層体の板材間隔よりも大きくしてある。なお図中、６はダミー板である。
【００３２】
次に上記整列治具に、複数枚の脆性板材Ｇを互いに離間させて整列させる。詳述すると、脆性板材Ｇは、２本の下部支持棒により下方から支持され、また２本の側部支持棒２によって側方への動きが規制されている。またスペーサー４の突出部４２によって、隣り合う２枚の脆性板材Ｇが所定間隔を空けて保持される。
【００３３】
続いて図２に示すように、押さえプレート５を整列治具に取り付ける。押さえプレート５は、ベースプレート１と略同一形状及び同一サイズであり、ベースプレート１と同じ位置に下部支持棒２及び側部支持棒３を挿通可能な貫通孔が設けられている。これらの貫通孔に、下部支持棒２及び側部支持棒３を挿入し、さらにスペーサー４の係合部４３を押さえプレート５の端部に係合させることによって、押さえプレート５が整列治具に取り付けられる。
【００３４】
このようにして脆性板材Ｇの整列体を準備する。
【００３５】
また液状化された凝固剤を用意する。具体的には、凝固剤が液状化する温度に管理された恒温槽７に凝固剤Ｌを投入し、液状にする。
【００３６】
凝固剤としては、従来広く使用されているワックスや、２０℃以下の凝固点を有する低温凝固剤等を使用することができる。ワックスとしてはポリ酢酸ビニル等が使用可能である。また低温凝固剤としては、例えば株式会社エミネントサプライから販売されている商品名マジックウォーター（凝固点１７℃）や水が使用できる。なおマジックウォーターや水は、ワックスと比べて洗浄性に優れている。またマジックウォーターは、凝固時の硬度が高いので積層体を効率よく、かつ高品質に機械加工できる。さらにエッチングを行う場合には、低温で行うことになるため、エッチングレートの高い材質であっても所望の形状に面取り加工でき、またその寸法精度も安定する。凝固剤の好ましい使用温度は、ポリ酢酸ビニルが１５０〜２００℃程度、マジックウォーターが２０〜４０℃程度、水が５〜３０℃程度である。
【００３７】
次に、図３に示すように、凝固剤Ｌ中に脆性板材Ｇの整列体を浸漬する。このとき、脆性板材Ｇは、整列治具内に直立状態で整列配置されているため、凝固剤Ｌ中でもその姿勢を保った状態で保持される。脆性板材Ｇの揺動等が収まった後に、図５に示すように、スペーサー４をベースプレート１及び押さえプレート５から取り外す。この時、出きる限り脆性板材Ｇに振動を与えないように、スペーサー４を静かに取り外すことが望ましい。脆性部材Ｇに強い振動を与えると脆性部材Ｇの位置ずれや転倒等が起こり、精確な積層体を形成することが難しくなる。
【００３８】
このようにして、凝固剤中に、複数枚の脆性板材Ｇを整列配置することができる。なお上記の方法に代えて、液状凝固剤中に予め浸漬させておいた治具に、脆性板材を整列させていく方法を採用しても良い。また板材の配置姿勢は必ずしも直立状態である必要はなく、水平状態や傾斜状態でも構わない。なお水平状態や傾斜状態で整列させる場合、スペーサーは必ずしも必要でない。スペーサーを使わない場合、脆性板材同士の間隔は、板材の自重と凝固剤の粘性によって決まる。
【００３９】
第二の工程は、押圧力を加える工程である。
【００４０】
板材への押圧は、片側を固定し、反対側から押圧力を加えてもよいし、両側から押圧力を加えても良い。本実施例においては、片側を固定した態様を示している。つまり押さえプレート５がベースプレート１側に移動するように押圧力を加える。ここで押さえプレート５の貫通孔には下部支持棒２及び側部支持棒３が挿通しているため、押さえプレート５はベースプレート１へ向かって正確に案内される。押さえプレート５の移動に伴い、ダミー板６及び脆性板材Ｇは間隔を順次縮めながらベースプレート１方向に直立状態を維持したまま移動する。
【００４１】
脆性板材Ｇへの押圧力印加は、例えばエアシリンダーを用いて行うことができる。エアシリンダー８を用いれば、押圧力の大きさを精確に制御することが可能になる。なおエアシリンダー８の取り付けは、スペーサー４を取り外す前に行うことが好ましい。詳述すると、図４に示すように、エアシリンダー８は、シリンダチューブ８１をベースプレート１の固定孔に挿入するとともに、押さえプレート５の固定孔にピストンロッド８２を挿入固定すればよい。このような構成にすれば、ピストンロッド８２をシリンダチューブ８１方向に移動させることにより、押さえプレート５がベースプレート１側に引き寄せられて脆性板材に押圧力を付与することが可能になる。
【００４２】
このようにして複数枚の脆性板材Ｇは、図６に示すように、凝固剤Ｌ中で、ベースプレート１と押さえプレート５とで押圧固定された板材集合体となる。この板材集合体は、各脆性板材Ｇに対して均等に押圧力が印可された状態となっており、板材間に均等な間隙で凝固剤が介在している。
【００４３】
第三の工程は、脆性板材の集合体を凝固剤から取り出して凝固剤を凝固させ、脆性板材積層体とする工程である。
ベースプレート１と押さえプレート５とで押圧固定された脆性板材Ｇの集合体を、押圧力を付与した状態のまま凝固剤中から取り出し、凝固剤を凝固させる。これによって、脆性板材Ｇの間隙に存在する凝固剤が凝固して、脆性板材Ｇが積層一体化する。より好ましい態様は、凝固剤が凝固する温度以下の温度に調整した環境下で、凝固剤Ｌからの取り出しを行うことである。また凝固剤Ｌから取り出した脆性板材Ｇの集合体は、図７に示すように、板材が水平方向となるように載置することが作業性の点から好ましい。
【００４４】
なお凝固剤を凝固させるのに好適な温度としては、例えばポリ酢酸ビニルでは０〜５０℃程度、マジックウォーターでは−５〜１０℃程度、水では−２０〜−５℃程度である。
【００４５】
続いて上記方法で作成した積層体を用いて脆性板材を加工する方法を説明する。
【００４６】
本発明の脆性板材の加工方法は、
（４）脆性板材積層体に加工を施す工程
（５）脆性板材積層体を解片する工程、を含む。
【００４７】
積層体形成工程に続く第四の工程は、積層体に所望の加工を施す工程である。
【００４８】
加工の種類は限定されるものではなく、例えば切断、穴開け、長穴加工、端面加工等を行うことができる。また複数の加工を連続して行うことも可能である。なお加工工程は、凝固剤が液状化しない温度に保たれた雰囲気下で行うことが重要である。加工工程における好ましい雰囲気温度は、ポリ酢酸ビニルでは０〜５０℃程度、マジックウォーターでは−５〜１０℃程度、水では−２０〜−５℃程度である。
【００４９】
第五の工程は、脆性板材積層体を複数枚の脆性板材に解片する工程である。
【００５０】
この工程は、積層体の板材間に存在する凝固剤を液状化させるものであり、例えば、加工を終えた脆性板材積層体を、凝固剤が液状化する温度に保たれた雰囲気下に持ち込むことにより、或いは雰囲気の温度を上昇させることにより実施することができる。なお凝固剤を液状化させるのに好ましい温度は、ポリ酢酸ビニルでは１５０〜２００℃程度、マジックウォーターでは２０〜４０℃程度、水では５〜３０℃程度である。
【００５１】
なお解片後の脆性板材には、凝固剤が付着していることがあるため、解片後に洗浄することが好ましい。
【００５２】
また解片後に、脆性板材の主表面に対して各種の処理又は加工を施すことが可能である。例えば化学強化等の強化処理や膜付け処理、或いは表面研磨等を施すことができる。
（実験例１）
まず１３０×１８０×０．８ｍｍの大きさのＡｌ２Ｏ３―Ｎａ２Ｏ―ＳｉＯ２系ガラス板Ｇを用意した。このガラス板Ｇ４０枚を、図１に示すように、整列治具に整列配置した。なおスペーサー４は、突出部４２の幅（ガラス板同士の間隔に対応）が２ｍｍのものを使用した。さらに図２に示すように、押さえプレート５をセットして、ガラス板を固定した。
【００５３】
また低温凝固剤Ｌ（商品名マジックウォーター）を恒温槽７に投入し、３０℃に加温して液状にした後、整列治具を低温凝固剤Ｌに浸漬し（図３）、エアシリンダー８を整列治具に取り付けた（図４）。なおエアシリンダー８は、ボア径φ２０ｍｍのものを使用した。
【００５４】
次いで整列治具からスペーサー４を取り外し（図５）、エアシリンダー８を駆動して押さえプレート５を介してガラス板Ｇに押圧力を与え、ベースプレート１と押さえプレート５により４０枚のガラス板Ｇを集合させた（図６）。なおエアシリンダー８による押圧力は０．２ＭＰａとし、押圧に要した時間は５秒であった。
【００５５】
続いて４０枚のガラス板Ｇの集合体を、押圧力を作用させた状態で恒温槽７から取り出した。さらにガラス板が水平方向となるように定盤上に載置した後（図７）、雰囲気温度を０℃まで低下させ、低温凝固剤を凝固させた。このようにして得られたガラス板積層体は、厚さ５〜１０μｍの低温凝固剤層を介して、４０枚のガラス板が積層一体化したものであった。
【００５６】
次に、得られたガラス板積層体に各種加工を施した。なお加工は、何れも０℃の雰囲気温度下で行った。
【００５７】
まず５６×１１１ｍｍの大きさになるようにガラス板積層体を切断した。切断に当たっては、＃２７０の外周刃を用いた。次に幅２ｍｍ×長さ２０ｍｍの長穴を形成した。長穴の形成にはφ2ｍｍの＃４００ダイヤモンド砥石を用いた。さらに５５×１１０ｍｍ（コーナー１０Ｒ）の大きさとなるように端面加工を施した。端面加工には＃４００のダイヤモンド砥石を用いた。更に加工された積層体を、液温０℃のフッ硫酸に浸漬して、ダイヤ加工によって発生したクラックの除去と稜部の面取り加工を行った。なおフッ硫酸への浸漬時間は３０分間とした。
【００５８】
上記加工の完了後に、ガラス板積層体を２０℃に加熱し、低温凝固剤を液状化させることによって個々のガラス板に解片した。さらに弱アルカリ洗剤の入った超音波槽で洗浄し、純水槽内ですすぎを行った後、熱風乾燥炉を用いて乾燥した。
【００５９】
その後、ガラス板に化学強化を行って、所望の形状を有する強化ガラスを得た。なお強化は、４４０℃の硝酸カリウム液に６時間浸漬することにより行った。
（実験例２）
まず１５０×１７０×０．５ｍｍの大きさのＡｌ２Ｏ３―Ｂ２Ｏ３―ＳｉＯ２系ガラス板Ｇを用意した。このガラス板Ｇ４０枚を、実験例１と同様にして整列治具に整列配置した。なおスペーサー４は、突出部４２の幅（ガラス板同士の間隔に対応）が５ｍｍのものを使用した。
【００６０】
また凝固剤Ｌ（ポリ酢酸ビニル）を恒温槽７に投入し、１８０℃に加温して液状にした後、実験例１と同様にしてガラス板Ｇを凝固剤Ｌに浸漬し、エアシリンダー８を取り付けた。
【００６１】
次いで整列治具からスペーサー４を取り外し、エアシリンダー８を駆動して４０枚のガラス板Ｇを集合させた。なおエアシリンダー８による押圧力は０．４ＭＰａとした。また４０枚のガラス板Ｇを密着させるのに要した時間は５分であった。
【００６２】
続いて４０枚のガラス板Ｇの集合体を、押圧力を作用させた状態で恒温槽７から取り出した。さらにガラス板Ｇが水平方向となるように定盤上に載置した後、雰囲気温度を３０℃に調整して凝固剤Ｌを凝固させた。このようにして得られたガラス板積層体は、厚さ０．２〜０．２５ｍｍの凝固剤層を介して、４０枚のガラス板が積層一体化したものであった。
【００６３】
次に、得られたガラス板積層体に各種加工を施した。なお加工は、何れも３０℃の雰囲気温度下で行った。
【００６４】
まず１０×１０ｍｍの大きさになるようにガラス板積層体を切断した。切断に当たっては、＃２７０のダイヤモンド砥石を用いた。次にコーナー部をドリルで角取りした。さらに加工された積層体を、液温３０℃のフッ硫酸に浸漬して、クラック除去及び稜部の面取り加工を行った。なおフッ硫酸への浸漬時間は６０分間とした。
【００６５】
上記加工の完了後に、実験例１と同様にして洗浄、乾燥を行った。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、ガラス板、結晶化ガラス板、セラミックス板等の積層及び加工方法として使用できる。特にＣＤ、ＣＭＯＳ等のイメージセンサ用カバーガラス、半導体レーザー用ガラス、マイクロレンズアレイ用基板ガラス、ディスプレイ保護用ガラス等に使用されるガラス板の積層及び加工方法として好適である。
【符号の説明】
【００６７】
１  ベースプレート
２  下部支持棒
３  側部支持棒
４  スペーサー
５  押さえプレート
６  ダミー板
７  恒温槽
８  エアシリンダー
Ｇ  脆性板材
Ｌ  液状の凝固剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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