(57)【要約】【課題】検査速度及び検査信頼性を向上できる印刷回路基板の外観検査システム及び方法を提供する。【解決手段】本発明の外観検査方法は、検査対象物の全体検査領域を第１領域と第２領域とで区分する段階と、異なる照明を使用する第１カメラと第２カメラとで検査対象物の全体検査領域を撮像する段階と、上記第１カメラから獲得された第１イメージを有して第１領域の良好或いは不良の可否を判断し、上記第２カメラから獲得された第２イメージを有して第２領域の良好或いは不良の可否を判断する判別段階を包含する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外観検査システムであって、
検査対象物が置かれるステージと、
前記ステージに置かれる検査対象物を検査する検査部と、を含み、
前記検査部は、
第１照明を利用して検査対象物を撮像する第１撮影部と、
第２照明を利用して検査対象物を撮像する第２撮影部と、
前記第１撮影部から提供された第１イメージでは第１領域を検査し、前記第２撮影部から提供された第２イメージでは第２領域を検査することによって、良好或いは不良の可否を判別する映像処理部と、
を含み、
前記第１領域と前記第２領域とは、前記検査対象物で相異なる領域であることを特徴とする外観検査システム。
【請求項２】
前記第１照明と前記第２照明とは、相異なる種類の照明であることを特徴とする請求項１に記載の外観検査システム。
【請求項３】
前記第１照明は、同軸落射照明であり、前記第２照明は、集光照明であることを特徴とする請求項１に記載の外観検査システム。
【請求項４】
前記第１照明は、赤色波長を有する照明であり、
前記第２照明は、グリーン波長を有する照明であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の外観検査システム。
【請求項５】
前記第１、２照明は、ＬＥＤ照明又は、カラーフィルターが装着されたメタルハライドランプであることを特徴とする請求項４に記載の外観検査システム。
【請求項６】
前記第１撮影部と前記第２撮影部とが検査対象物をライン単位で連続撮影できるように前記第１撮影部と前記第２撮影部とを同時に移動させる移動部をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の外観検査システム。
【請求項７】
検査対象物の外観検査方法であって、
第１照明を提供して検査対象物の第１イメージを獲得する段階と、
第２照明を提供して前記検査対象物の第２イメージを獲得する段階と、
前記第１イメージでは、第１領域に対する良好或いは不良の可否を判断し、前記第２イメージでは、第２領域に対する良好或いは不良の可否を判断する段階と、を含み、
前記第１領域と前記第２領域とは、前記検査対象物で相異なる領域であることを特徴とする外観検査方法。
【請求項８】
前記第１領域と前記第２領域とは、互いに重畳される領域が存在することを特徴とする請求項７に記載の外観検査方法。
【請求項９】
前記第１領域と前記第２領域とは、互いに重畳される領域が存在しないことを特徴とする請求項７に記載の外観検査方法。
【請求項１０】
前記第１イメージと前記第２イメージとを獲得するカメラは、相異なることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の外観検査方法。
【請求項１１】
前記第１、２イメージは、同一な前記検査対象物の全体検査領域に対するイメージであることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の外観検査方法。
【請求項１２】
前記第１イメージと前記第２イメージとは、相異なる解像度のイメージであることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の外観検査方法。
【請求項１３】
前記第１領域と前記第２領域は、前記検査対象物の項目別の検査領域で区分されることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の外観検査方法。
【請求項１４】
フレキシブル印刷回路基板ユニットの外観検査方法であって、
検査対象物の全体検査領域を第１領域と第２領域とで区分する段階と、
相異なる照明を使用する第１カメラと第２カメラとで検査対象物の全体検査領域を撮像する段階と、
前記第１カメラから獲得された第１イメージを有して第１領域の良好或いは不良の可否を判断し、前記第２カメラから獲得された第２イメージを有して第２領域の良好或いは不良の可否を判断する判別段階と、を含む外観検査方法。
【請求項１５】
前記第１領域と前記第２領域は、検査対象物の項目別の検査領域で区分されることを特徴とする請求項１４に記載の外観検査方法。
【請求項１６】
前記第１カメラは、同軸落射照明を利用して撮影し、前記第２カメラは、集光照明を利用して撮影することを特徴とする請求項１４に記載の外観検査方法。
【請求項１７】
前記第１カメラは、赤色波長を有するＬＥＤ照明を利用して撮影し、
前記第２カメラは、グリーン波長を有するＬＥＤ照明を利用して撮影することを特徴とする請求項１４に記載の外観検査方法。
【請求項１８】
前記判別段階は、
前記第１領域と前記第２領域の中で少なくとも何れか一つが不良である場合は、最終検査結果が不良に判別されることを特徴とする請求項１４に記載の外観検査方法。
【請求項１９】
前記第１領域は、検査対象物の項目別の検査領域の中で、カバーレイヤー領域を含み、
前記第２領域は、検査対象物の項目別の検査領域の中で、鍍金領域とソルダーレジスト（ＳＲ）領域とを含むことを特徴とする請求項１４に記載の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷回路基板の外観検査システム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルム液晶表示装置のドライバー集積回路、メモリ等の各種半導体デバイスの製造に使われる主要材料の１つである印刷回路基板としては、半導体デバイスの小型化、軽量化の傾向によって、フィルム（ｆｉｌｍ）、テープ（ｔａｐｅ）タイプ等のフレキシブル印刷回路基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ）が多く使用されている。フレキシブル形態の印刷回路基板には、例えば、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）基板等があり、露光、現像、エッチング工程等を通して基板に微細回路パターンが形成される。
【０００３】
このようなフレキシブル印刷回路基板の生産会社は、最終出荷の前に全体外観を検査するために外観検査器（ＡＶＩ）を利用した検査工程を実施し、フレキシブル印刷回路基板の生産会社では、外観検査をより効果的に且つ速やかに行うことが可能である検査装備が要求されてくる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】韓国特許登録第１０−８２０９１７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、検査速度を向上させる印刷回路基板の外観検査システム及びその方法を提供することである。
【０００６】
本発明の他の目的は、最適化された検査領域別の検査が可能である印刷回路基板の外観検査システム及びその方法を提供することである。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、ここに制限されず、言及されない他の課題は、以下の記載から当業者に明確に理解されるはずである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の外観検査システムは、検査対象物が置かれるステージと、前記ステージに置かれる検査対象物を検査する検査部と、を含み、前記検査部は、第１照明を利用して検査対象物を撮像する第１撮影部と、第２照明を利用して検査対象物を撮像する第２撮影部と、前記第１撮影部から提供された第１イメージでは第１領域を検査し、前記第２撮影部から提供された第２イメージでは第２領域を検査し、２つの検査結果を統合して最終的に良好或いは不良の可否を判別する映像処理部と、を含み、前記第１領域と前第２領域とは、前記検査対象物で相異なる領域である。
【０００９】
本発明の形態によると、前記第１照明と前記第２照明とは、相異なる種類の照明であり、前記第１照明は、同軸落射照明であり、前記第２照明は、集光照明である。
【００１０】
本発明の形態によると、前記第１照明は、赤色波長を有する照明であり、前記第２照明は、グリーン波長を有する照明であり、前記第１、２照明は、ＬＥＤ照明である。
【００１１】
本発明の形態によると、前記第１撮影部と前記第２撮影部とが検査対象物をライン単位で連続撮影できるように前記第１撮影部と前記第２撮影部とを同時に移動させる移動部をさらに含む。
【００１２】
他の形態によると、本発明の検査対象物の外観検査方法は、第１照明を提供して検査対象物の第１イメージを獲得する段階と、第２照明を提供して前記検査対象物の第２イメージを獲得する段階と、前記第１イメージでは、第１領域に対する良好或いは不良の可否を判断し、前記第２イメージでは、第２領域に対する良好或いは不良の可否を判断する段階とを含み、前記第１領域と前記第２領域は、前記検査対象物で相異なる領域である。
【００１３】
本発明の形態によると、前記第１領域と前記第２領域とは、互いに重畳される領域が存在する。
【００１４】
本発明の形態によると、前記第１領域と前記第２領域とは、互いに重畳される領域が存在しない。
【００１５】
本発明の形態によると、前記第１イメージと前記第２イメージとを獲得するカメラは、異なる。
【００１６】
本発明の形態によると、前記第１、２イメージは、前記検査対象物の同一の撮像領域に対するイメージで、前記第１イメージと前記第２イメージは、相異なる解像度のイメージである。
【００１７】
本発明の形態によると、前記第１領域と前記第２領域は、前記検査対象物の項目別の検査領域で区分される。
【００１８】
他の形態によると、本発明の外観検査方法は、検査対象物の全体検査領域を第１領域と第２領域とで区分する段階と、相異なる照明を使用する第１カメラと第２カメラとで検査対象物の全体検査領域を撮像する段階と、前記第１カメラから獲得された第１イメージを有して第１領域の良好或いは不良の可否を判断し、前記第２カメラから獲得された第２イメージを有して第２領域の良好或いは不良の可否を判断する判別の段階と、を含む。
【００１９】
本発明の形態によると、前記第１領域と前記第２領域とは、検査対象物の項目別の検査領域で区分される。
【００２０】
本発明の形態によると、前記第１カメラは、同軸落射照明を利用して撮影し、前記第２カメラは、集光照明を利用して撮影する。
【００２１】
本発明の形態によると、前記第１カメラは、赤色波長を有するＬＥＤ照明を利用して撮影し、前記第２カメラは、グリーン波長を有するＬＥＤ照明を利用して撮影する。
【００２２】
本発明の形態によると、前記判別の段階では、前記第１領域と前記第２領域との中で少なくとも何れか一つが不良である場合は、最終検査結果が不良と判別される。
【００２３】
本発明の形態によると、前記第１領域は、検査対象物の項目別の検査領域の中でカバーレイヤー領域を含み、前記第２領域は、検査対象物の項目別の検査領域の中で鍍金領域とソルダーレジスト（ＳＲ）領域を含む。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によると、印刷回路基板の外観検査システム及びその方法は、照明タイプに従って最適化された領域別の検査が可能である。
【００２５】
尚、本発明によると、検査速度及び検査信頼性を向上させることが可能である。
【００２６】
又、本発明によると、必要に従って各々の検査領域に最適化された色相の波長帯を有する照明を利用して獲得される良質のイメージで検査が実行されるので検査が非常に効率的である。
【００２７】
又、本発明によると、検査領域に従って一部イメージを低画質で提供できるので、映像データの大きさを減らすことができる。したがって、検査対象物の良好或いは不良を判別する処理速度を増大できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】フレキシブル印刷回路基板である検査対象物の一実施形態を項目別の検査領域で区分した図である。
【図２】本発明の実施形態による外観検査システムの主要構成を示す概略図である。
【図３】外観検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】項目別の検査領域の第１、２イメージを比較するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態に対して、添付された図１乃至図４を参照してより詳しく説明する。本発明の実施形態は、多様な形態に変形することができ、本発明の範囲が以下の実施形態に限定されると解釈してはならない。本実施形態は、該当技術分野で平均的な知識を有した者に本発明をより完全に説明するために提供される。従って、図面での構成要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。前記図面で同一の機能を実行する構成要素に対しては同一の参照番号を併記する。
【００３０】
図１は、フレキシブル印刷回路基板である検査対象物の実施形態を項目別の検査領域で区分する図面である。図１を参照すると、検査対象物は、鍍金領域１１、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域１２、カバーレイヤー（ＣＬ（ｃｏｖｅｒ  ｌａｙｅｒ））領域１３、オーバーコーティング（Ｏ／Ｃ（Ｏｖｅｒ  Ｃｏａｔｉｎｇ））領域１４と同じ項目別の検査領域で区分される。そのような各項目別の検査領域は、互いに重畳される領域が存在するか、或いは重畳されない可能性もある。
【００３１】
本発明の外観検査システムでは鍍金領域１１、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域１２、カバーレイヤー（ＣＬ）領域１３、オーバーコーティング領域１４を含む検査領域に対して外観検査をする。
【００３２】
参考として、フレキシブル印刷回路基板（ＦＰＣＢ）は、主にコンタクト（ｃｏｎｔａｃｔ）用で使用されるから製品上に各種電子デバイスの表面実装が可能でなければならない、又は屈曲性を有しなければならない。フレキシブル印刷回路基板の使用過程で、導体回路が外部に露出されると、反復／長期使用の時、製品に不可避な損傷が加わられるので、それを防止するため導体保護用フィルム、或いは、高分子絶縁体ＩＮＫを塗布することもある。
【００３３】
ここで、オーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域は、導体回路を絶縁性及び屈曲に優秀な性能を有する高分子絶縁体で塗布した領域である。一般的に、カバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）のように導体回路の多い部分を保護するための用途では使用されず、銀ペースト（Ａｇ  Ｐａｓｔｅ）が塗布された部分の保護用など制限的な小規模の面積保護用として多く使用される。そして、カバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）領域は、製品表面に形成された導体回路を外部要因からの損傷に対して保護する役割で絶縁性及び屈曲性を有するフィルムを利用してコーティングされた領域である。もちろん、本発明は、フレキシブルな基板以外、他の種類の基板外観検査にも適用が可能である。
【００３４】
図２は、本発明の実施形態に従った外観検査システムの主要構成を示す概略図である。
【００３５】
図２を参照すると、本発明の実施形態による外観検査システム１は、互いに異なる照明を利用する第１、２撮影部３００、４００を利用してフレキシブル印刷回路基板である検査対象物１０の項目別の検査領域を検査することが可能するシステムである。
【００３６】
外観検査システム１は、検査対象物１０が置かれるステージ１００と、ステージ１００に置かれる検査対象物１０を検査する検査部２００とを含む。
【００３７】
検査部２００は、第１撮影部３００と、第２撮影部４００と、移動部５００と、映像処理部６００とを含む。
【００３８】
第１撮影部３００は、第１カメラ３１０と、第１照明３２０とを含む。第１照明３２０は、同軸落射（ｃｏ−ａｘｉａｌ）照明であり、赤色波長を有するＬＥＤ又は赤色フィルターを装着したメタルハライドランプ（Ｍｅｔａｌ  Ｈａｌｉｄｅ  Ｌａｍｐｓ）で構成される。赤色波長を有する同軸方式の第１照明３２０を使用する第１撮影部３００は、検査対象物の項目別の検査領域である鍍金領域、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域、カバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）領域、オーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域の中で、鍍金領域とカバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）領域とを検査することに最も適合する。
【００３９】
赤色の波長帯を有する同軸方式の第１照明３２０は、鍍金領域及びカバーレイヤー領域に対して、異なる波長帯の照明より鮮明な映像を獲得することができる。鍍金領域を検査するためには、表面に露出された部分の領域に対して表面の凹凸及び汚染変色等の検査を遂行しなければならないので、表面に垂直に照射される同軸（ｃｏ−ａｘｉａｌ）方式が非常に有利である。又、カバーレイヤー領域の下に存在する導体回路を検査するためには、カバーレイヤーを透過して映像を獲得しなければならない。そのため半透明のオレンジ色相のカバーレイヤーと似ている赤色波長帯の照明を使用することによって、その他の波長帯の照明より鮮明な撮像が可能である。又、カバーレイヤーと似ている色相の赤色波長帯の照明を使用すると、カバーレイヤー表面の映像も鮮明に撮像が可能である。
【００４０】
第２撮影部４００は、第２カメラ４１０と、第２照明４２０とを含む。第２照明４２０は、第１照明３２０と互いに異なる照明を使用する。第２照明４２０は、集光照明としてグリーン波長を有するＬＥＤ又はグリーンフィルターを装着したメタルハライドランプで構成される。グリーン波長を有する集光方式の第２照明４２０を使用した第２撮影部４００は、検査対象物の項目別の検査領域である鍍金領域、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域、カバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）領域、オーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域の中で、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域とオーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域とを検査することに最も適合する。
【００４１】
例えば、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域を検査するのにグリーン色のＬＥＤ照明を使用する理由は、より正確な（鮮明な）イメージを獲得するためである。例えば、検査対象物１０は、パターン成分の上に絶縁成分であるグリーン色のソルダーレジスト（ＳＲ）が覆われるので、もし白色又は赤色の照明を使用すると、ソルダーレジストのためにパターンが鮮明に撮像されない。しかし、ソルダーレジストの色相と同一であるか、或いは類似する波長のグリーン色ＬＥＤ照明を調査して撮影すると、同一な波長のＬＥＤ照明がソルダーレジスト層を通過して内側のパターン面を明るく照らす。したがって、グリーンのＬＥＤ照明を使用すると、ソルダーレジスト内側に有するパターンがきれいに（ＳＲがない場合のように）撮像される。本発明で使用する照明は、ＬＥＤ、メタルハライドランプ以外にカラーフィルターを装着した多様な照明が使用されることが可能である。
【００４２】
このように、第２撮像部４００は、ソルダーレジストと似ている波長の照明を使用してＳＲ領域のソルダーレジスト内の異物と内部にあるパターンまできれいにイメージを得ることができる。
【００４３】
そして、オーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域でもソルダーレジストと似ている高分子絶縁体を利用するので類似の効果を得ることができる。
【００４４】
本発明で第１撮影部３００と第２撮影部４００とが互いに異なる波長の照明を使用する理由は、検査領域で波長別にきれいな（鮮明な）イメージを得るためである。
【００４５】
例えば、本発明では、必要なら、各々の検査領域の特性に従って最適化された色相（類似な色相）の波長帯を有する照明を利用して良質のイメージが得られる。
【００４６】
移動部５００は、第１撮影部３００と第２撮影部４００とが検査対象物１０をライン単位で撮影できるように第１撮影部３００と第２撮影部４００とを移動させるための直線移動装置である。移動部５００は、検査対象物１０を検査する時、第１撮影部３００と第２撮影部４００を検査対象物１０の一側から他側まで片道移動、或いは往復移動させられる。ここで、移動部５００は、油圧を利用するシリンダー方式、又はモータ、ボールスクリュー、そして移送ナットを利用した様々な直線移動方式が使用されることが可能である。
【００４７】
本発明において、第１撮像部３００の第１カメラ３１０と第２撮像部４００の第２カメラ４１０とは、両方が検査対象物１０の全体領域を同一に撮影することになる。映像処理部６００では、第１、２カメラ３１０、４１０から提供された検査対象物の全体領域に対する第１、２イメージから第１、２照明３２０、４２０によって最適化されている領域のイメージだけを使用して基準となる映像と比較することになる。例えば、第１イメージと第２イメージに対して獲得された検査対象物の撮像領域は、互いに異なり、第１イメージと第２イメージは、一つのカメラによって獲得されることが可能である。そして、第１イメージと第２イメージは、同一の照明によって獲得されることが可能である。
【００４８】
映像処理部６００は、典型的なコンピューターシステム（マイコン）である。映像処理部６００は、第１撮影部３００から第１イメージが提供され、第２撮影部４００から第２イメージが提供されて、それを基準データと比較して良好或いは不良の可否を判定する。ここで、映像処理部６００は、検査対象物の全体検査領域（第１カメラと第２カメラとによって撮像される領域）を領域別に区分する。本実施形態では、鍍金領域とカバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）領域とを含む第１領域と、ソルダーレジスト（ＳＲ）領域とオーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域とを含む第２領域とで区分する。例えば、第１領域と第２領域は、検査対象物の項目別の検査領域以外に異なる基準（領域の色相、又は材質等）によって区分されることが可能である。
【００４９】
そして、映像処理部６００は、第１カメラが撮像した第１イメージで第１領域に該当するイメージを選別して検査し、第２カメラが撮像した第２イメージで第２領域に該当するイメージだけを選別して検査する。その時、比較の対象になる基準データは、設計基準を使用する方式と良品基板のデータを使用する方式がある。
【００５０】
図３は、外観検査方法を説明するためのフローチャートで、図４は、項目別の検査領域の第１、２イメージを比較するための図面である。
【００５１】
図３及び図４を参照すると、本発明による外観検査方法は、映像処理部６００が検査対象物の全体検査領域（第１カメラと第２カメラとによって撮像される領域）を第１領域と第２領域とで区分される（Ｓ１０）。
【００５２】
第１撮像部３００の第１カメラ３１０は、第１照明を利用して検査対象物１０の全体領域を撮影し、第２撮像部４００の第２カメラ４１０は、第２照明を利用して検査対象物１０の全体領域を撮影する（Ｓ２０）。第１カメラ３１０で獲得した第１イメージと第２カメラ４１０で獲得した第２イメージは、同一な検査対象物の撮像領域に対するイメージである。
【００５３】
第１カメラ３１０で獲得した第１イメージと第２カメラ４１０で獲得した第２イメージは、映像処理部６００に提供され、映像処理部６００は、第１イメージで第１領域に該当される鍍金領域とカバーレイヤー（Ｃ／Ｌ）領域に該当されるイメージを有して、良好或いは不良の可否を判断し、第２イメージで第２領域に該当されるソルダーレジスト（ＳＲ）領域とオーバーコーティング（Ｏ／Ｃ）領域に該当されるイメージを有して、良好或いは不良の可否を判断する（Ｓ３０）。
【００５４】
図３で示すように、カバーレイヤー領域と鍍金領域とに対する検査は、第１カメラ３１０から獲得された第１イメージが第２カメラ４１０から獲得された第２イメージより鮮明であるので、第１イメージを有して検査し、ソルダーレジスト領域に対する検査は、第２カメラ４１０から獲得された第２イメージが第１カメラ３１０から獲得された第１イメージより鮮明であるから第２イメージを有して検査する。そして、最終的に映像処理部６００は、二つの検査結果を統合して良好或いは不良の可否を判断する（Ｓ４０）。
【００５５】
このように、本発明の外観検査方法は、各々の領域で特定化された照明を使用してイメージを獲得し、そうして獲得されたイメージから最適化されている領域のイメージだけを使用して良好或いは不良の可否を検査して、検査速度と検査信頼性を向上させることが可能である。
【００５６】
本実施形態では、二つのカメラを基本構成にしているが、必要によって、カラーカメラが追加され適用されることが可能である。
【００５７】
本発明は、検査対象物に対する最終外観検査を実施する装備であり、このような最終外観検査装備の特性は、基本的に既存の目視検査を代替するためのもので、低廉し、速やかな検査速度が非常に重要である。そして、本発明では、第１カメラ３１０と第２カメラ４１０とに使用される照明波長を異ならせて検査対象物を撮像し、第１カメラ３１０が撮像した第１イメージでは、検査対象物の第１領域を検査し、第２カメラ４１０が撮像した第２イメージでは、検査対象物の第２領域を検査し、検査速度と検査信頼性を向上させることが可能である。
【００５８】
一方、本発明は、前記の構成で構成される外観検査装置及び方法において、多様に変形可能であり、様々な形態を取る。しかし、本発明は、前記の詳細な説明で言及される特別の形態で限定されないことで理解されなければならない。逆に添附された請求範囲によって定義される本発明の精神と範囲内である全ての変形物と均等物及び代替物を含むことで理解されなければならない。
【符号の説明】
【００５９】
１００  ステージ
２００  検査部
３００  第１撮影部
４００  第２撮影部
６００  映像処理部
【図１】
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【図２】
2010217169.tif 000004
【図３】
2010217169.tif 000005
【図４】
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