(57)【要約】【課題】簡単かつ確実にラビングクロスに付着した異物を除去できることによって、ラビングクロスから配向膜への異物の付着が防止できることにより、配向膜のラビング不良を防止する構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。【解決手段】配向膜１６が形成された基板１０’が載置されるステージ６１と、ステージ６１に載置された基板１０’上の配向膜１６に、ラビングクロス６３を当接させて、配向膜１６をラビング処理するラビングローラー６２と、ラビングクロス６３に近接して設けられ、ラビングクロス６３への対向面に、ラビングクロス６３に気体を吹き付ける吹付口と該吹付口から吹き付けられた気体及び該気体によりラビングクロス６３から除去された異物を吸気する吸気口とが開口されたノズル６５と、を具備していることを特徴とする。【選択図】図３
2010217246.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す電気光学装置の製造装置であって、
前記配向膜が形成された前記基板が載置されるステージと、
前記ステージに載置された前記基板上の配向膜に、ラビングクロスを当接させて、前記配向膜をラビング処理するラビングローラーと、
前記ラビングクロスに近接して設けられ、前記ラビングクロスへの対向面に、前記ラビングクロスに気体を吹き付ける吹付口と該吹付口から吹き付けられた前記気体及び該気体により前記ラビングクロスから除去された異物を吸気する吸気口とが開口されたノズルと、
を具備していることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
前記対向面において、前記吹付口は、前記対向面を平面視した状態で、２つ開口された前記吸気口の内、一方の吸気口と他方の吸気口との間に位置しており、
前記ノズル内に、前記吹付口に連通する送気管路が設けられているとともに、前記ノズルの外装部材と前記送気管路との間に、前記各吸気口に連通する吸気管路がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
前記対向面において、前記吸気口は、前記対向面を平面視した状態で、２つ開口された前記吹付口の内、一方の吹付口と他方の吹付口との間に位置しており、
前記ノズル内に、前記吸気口に連通する吸気管路が設けられているとともに、前記ノズルの外装部材と前記吸気管路との間に、前記各吹付口に連通する送気管路がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記対向面における前記吹付口の開口面積は、前記吸気口の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記送気管路は、前記吹付口側において、管路径が前記吹付口に向かう程、小さくなるよう前記ノズルの径方向内側に絞られて形成されていることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
前記ノズルの外装部材の前記ラビングクロスに近接する側は、前記送気管路の前記吹付口側に沿った形状に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
前記ノズルの外装部材の前記ラビングクロスに近接する側は、前記ノズルの径方向外側に広がった形状に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
前記ノズルは、前記ラビングローラーの回転軸方向に沿ってレール状に形成されており、
前記吹付口及び前記吸気口は、前記対向面において、前記回転軸方向と平行な前記対向面の辺に沿ってスリット状に形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記ノズルは、前記ラビングローラーの回転軸方向に沿ってレール状に形成されており、
前記吹付口及び前記吸気口は、前記対向面において、前記回転軸方向と平行な前記対向面の辺と対向面内において交差する方向にスリット状に形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
前記ノズルは、前記ラビングローラーの回転軸方向に沿ってレール状に形成されており、
前記対向面において、前記吹付口は、平面視した形状が円形に開口されており、前記対向面における前記吹付口を除く領域が、前記吸気口として開口されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか1項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１１】
電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す電気光学装置の製造装置であって、
前記配向膜が形成された前記基板が載置されるステージと、
前記ステージに載置された前記基板上の配向膜に、ラビングクロスを当接させて、前記配向膜をラビング処理するラビングローラーと、
前記ラビングクロスに近接して設けられ、前記ラビングクロスへの対向面において、前記ラビングローラーの回転方向における一の側に、前記ラビングクロスに気体を吹き付ける吹付口が開口されるとともに、前記回転方向における前記一の側より後方の他の側に、前記吹付口から吹き付けられた前記気体及び該気体により前記ラビングクロスから除去された異物を吸気する吸気口が前記吹付口に対向して開口された、前記回転方向とは逆方向に前記気体の流れを生じさせるノズルと、
を具備していることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項１２】
電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す、ラビングローラーの外周面に構成されたラビングクロスの除塵装置であって、
搬入される前記ラビングローラーの前記ラビングクロスに近接して設けられ、前記ラビングクロスへの対向面に、前記ラビングクロスに気体を吹き付ける吹付口と、該吹付口から吹き付けられた前記気体及び該気体により前記ラビングクロスから除去された異物を吸気する吸気口とが開口されたノズルを具備していることを特徴とする除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す電気光学装置の製造装置、除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、電気光学装置、例えば光透過型の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶が介在されて構成されており、一方の基板に、例えば薄膜トランジスター(Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に介在された液晶層による光学応答を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
【０００３】
即ち、ＴＦＴ等のスイッチング素子によってマトリクス状に配列された複数の画素電極に画像信号を供給し、画素電極と対向電極相互間の液晶層に画像信号に基づく電圧を印加して、液晶分子の配列を変化させる。これにより、画素の透過率を変化させ、画素電極及び液晶層を通過する光を画像信号に応じて変化させて画像表示を行う。
【０００４】
また、ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と該ＴＦＴ基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造される。製造後、両基板は、パネル組立工程において高精度（例えばアライメント誤差１μｍ以内）に貼り合わされる。その後、両基板間に液晶が介在されることにより、液晶装置が形成される。
【０００５】
このパネル組立工程は、概略的に、先ず、各基板の製造工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との液晶層と接する面上に、液晶分子を基板面に沿って配向させる配向膜を形成する。この配向膜は、例えばポリイミドを約数十ナノメータの厚さで印刷することにより形成される。
【０００６】
その後、焼成を行い、さらに、電圧無印加時の液晶分子の配列を決定させるためのラビング処理を配向膜に施す。次いで、例えば液晶封入方式により両基板間に液晶を介在させる場合には、一方の基板上の周縁に、一部に切り欠きを有するよう略周状に接着剤となるシール材を塗布し、このシール材を介してＴＦＴ基板と対向基板を貼り合わせた後、アライメントを施しながらシール材を圧着硬化させる。その後、切り欠きを介して液晶を封入するとともに、切り欠きを熱等により硬化された封止材により封止することにより液晶装置を製造するといった手法が用いられている。
【０００７】
また、ラビング処理とは、ラビング装置内において、レーヨン、ポリエステル、コットン等のクロス材料から形成されたラビングクロスで表面が構成された回転するラビングローラーに対し、基板に形成された配向膜を接触させた状態で基板を直線的に移動させて、配向膜に細かい溝を形成して配向膜を配向異方性の膜にする処理のことである。配向膜に一定方向の溝を形成するラビング処理を施すことにより、液晶分子の配列を規定することができる。
【０００８】
ここで、ラビング処理の際、ラビングクロスの配向膜への接触に伴い、ラビングクロスのクロス材料から切れ毛、抜け毛が発生してしまう場合がある他、削られた配向膜やラビング装置内の塵埃等が、ラビング装置内に飛散する場合がある。これらの異物が、ラビング処理の際、ラビングクロスまたは配向膜表面に付着してしまうと、異物とともにラビングされた配向膜の部位だけ局所的な異常配向を形成し、ラビング不良が発生してしまうといった問題があった。
【０００９】
そこで、定期的に、ラビングクロスをラビングローラーから取り外して、ラビングクロスに対し、吸引処理、ワイピング処理、テープを用いた除塵処理等によりクリーニングを行う手法が通常行われているが、吸引処理だけでは異物が完全に除去できず、また、ワイピング処理やテープを用いた除塵処理では、処理中に作業要因による異物がラビングクロスに付着してしまう場合がある。また、クリーニングは、ラビング装置外で行われるため、ラビング装置内においてラビングクロスに付着した異物が除去できないといった問題があった。
【００１０】
このような問題に鑑み、特許文献１では、ラビング装置内において、配向膜が形成された基板が載置されるステージ上に、表面に凹凸部が形成された異物除去基板が設けられ、ラビングローラーを用いて配向膜にラビング処理を施した後、ステージを移動させ、ラビングローラーを回転させた状態でラビングクロスを異物除去基板に押しつけることにより、ラビングクロスに付着した異物を異物除去板の表面の凹凸部によって除去する構成が開示されている。
【００１１】
しかしながら、特許文献１の構成では、ラビング装置内においては、ラビングクロスのクリーニングを行うことはできるが、ラビング処理中にラビングクロスのクリーニングを行うことができないといった問題があった。
【００１２】
そこで、特許文献２には、ラビング装置内において、ラビングローラーのラビングクロスに近接する位置に、ラビングクロスに対向する位置が開口された気流制御板を設け、該気流制御板によって囲まれた空間に、ノズル状の吹付部材及び吸引部材を設け、ラビング処理中に、気流制御板の開口を介してラビングクロスに吹付部材からエアを吹き付けるとともに、エアにより除去されたラビングクロスの異物を吸引部材によって吸引することにより、ラビング処理中にラビングクロスのクリーニングが行える構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００６−１３９１２０号公報
【特許文献２】特開２００４−７８２４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところが、特許文献２に開示された構成では、気流制御板によって囲まれた空間内に設けられた吹付部材及び吸引部材を用いて、吹付部材の吹付口と吸引部材の吸気口との間に気流を発生させてラビングクロスのクリーニングを行うため、両部材間における気流が発生しない箇所、例えば、吹付部材及び吸引部材の外周側面や気流制御板の内周面、気流制御板の開口縁近傍においては、ラビングクロスから除去された異物が付着してしまう場合があった。
【００１５】
よって、これらの部位に付着した異物が落下して、再度ラビングクロスに付着してしまい、異物が付着したラビングローラーを用いてラビング処理を行ってしまうと、上述したように、配向膜のラビング不良が発生してしまうといった問題があった。従って、定期的に、気流制御板等に付着した異物を除去しなければならないため、作業者にとって大変煩雑であった。
【００１６】
本発明は上記問題点に着目してなされたものであり、簡単かつ確実にラビングクロスに付着した異物を除去できることによって、ラビングクロスから配向膜への異物の付着が防止できることにより、配向膜のラビング不良を防止する構成を有する電気光学装置の製造装置、除塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために本発明に係る電気光学装置の製造装置は、電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す電気光学装置の製造装置であって、前記配向膜が形成された前記基板が載置されるステージと、前記ステージに載置された前記基板上の配向膜に、ラビングクロスを当接させて、前記配向膜をラビング処理するラビングローラーと、前記ラビングクロスに近接して設けられ、前記ラビングクロスへの対向面に、前記ラビングクロスに気体を吹き付ける吹付口と該吹付口から吹き付けられた前記気体及び該気体により前記ラビングクロスから除去された異物を吸気する吸気口とが開口されたノズルと、を具備していることを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、ラビング装置内において、ノズルの吹付口からラビングクロスへの気体の吹き付けのみならず、送気した気体及び該気体により除去した異物をノズルの吸気口にて吸引することにより、ラビング処理によりラビングクロスに付着した異物を効率良く除去することができる。また、ノズルの対向面に吹付口と吸気口とが開口されていることにより、対向面において吹付口と吸気口との間には気流流れが発生するため、ノズルにラビング処理中またはラビング処理後の異物がラビングクロスから付着してしまうことが防止できる。以上から、簡単かつ確実にラビングクロスに付着した異物を除去できることによって、ラビングクロスから配向膜への異物の付着が防止できることにより、配向膜のラビング不良を防止する構成を有する電気光学装置の製造装置を提供することができる。
【００１９】
また、前記対向面において、前記吹付口は、前記対向面を平面視した状態で、２つ開口された前記吸気口の内、一方の吸気口と他方の吸気口との間に位置しており、前記ノズル内に、前記吹付口に連通する送気管路が設けられているとともに、前記ノズルの外装部材と前記送気管路との間に、前記各吸気口に連通する吸気管路がそれぞれ設けられていることを特徴とする。
【００２０】
本発明によれば、吹付口から吹き付けた気体によりラビングクロスから除去された異物を、吹付口の両脇に開口された各吸気口によって吸引することにより、効率良く異物を確実に吸引することができる。
【００２１】
さらに、前記対向面において、前記吸気口は、前記対向面を平面視した状態で、２つ開口された前記吹付口の内、一方の吹付口と他方の吹付口との間に位置しており、前記ノズル内に、前記吸気口に連通する吸気管路が設けられているとともに、前記ノズルの外装部材と前記吸気管路との間に、前記各吹付口に連通する送気管路がそれぞれ設けられていることを特徴とする。
【００２２】
本発明によれば、各吹付口から吹き付けた気体によりラビングクロスから除去された異物を、各吹付口の間に挟まれて開口された吸気口によって吸引する構成であっても、効率良く異物を確実に吸引することができる。
【００２３】
また、前記対向面における前記吹付口の開口面積は、前記吸気口の開口面積よりも小さいことを特徴とする。
【００２４】
さらに、前記送気管路は、前記吹付口側において、管路径が前記吹付口に向かう程、小さくなるよう前記ノズルの径方向内側に絞られて形成されていることを特徴とする。
【００２５】
また、前記ノズルの外装部材の前記ラビングクロスに近接する側は、前記送気管路の前記吹付口側に沿った形状に形成されていることを特徴とする。
【００２６】
本発明によれば、ラビングクロスに吹付口から吹き付けられる気体の速度を、管路径の等しい送気管路の吹付口から吹き付けられる気体よりも速くすることができることから、効率良くラビングクロスから異物を確実に除去することができる。
【００２７】
さらに、前記ノズルの外装部材の前記ラビングクロスに近接する側は、前記ノズルの径方向外側に広がった形状に形成されていることを特徴とする。
【００２８】
本発明によれば、吸気口の開口面積が、管路径の等しい吸気管路の吸気口よりも大きくなるため、吸気口から効率良く、ラビングクロスから除去された異物を確実に吸引することができる。
【００２９】
また、前記ノズルは、前記ラビングローラーの回転軸方向に沿ってレール状に形成されており、前記吹付口及び前記吸気口は、前記対向面において、前記回転軸方向と平行な前記対向面の辺に沿ってスリット状に形成されていることを特徴とする。
【００３０】
本発明によれば、吹付口及び吸気口が対向面において、回転軸方向と平行な対向面の辺に沿ってスリット状に形成されていることにより、回転軸方向に沿って細長く形成されたラビングローラーのラビングクロスに付着した塵埃を、送気及び吸引により確実に除去することができる。
【００３１】
さらに、前記ノズルは、前記ラビングローラーの回転軸方向に沿ってレール状に形成されており、前記吹付口及び前記吸気口は、前記対向面において、前記回転軸方向と平行な前記対向面の辺と対向面内において交差する方向にスリット状に形成されていることを特徴とする。
【００３２】
本発明によれば、ラビングクロスに対して斜め方向から気体が吹付口から吹き付けられることにより、より効率良く、ラビングクロスに付着した異物を確実に除去することができる。
【００３３】
また、前記ノズルは、前記ラビングローラーの回転軸方向に沿ってレール状に形成されており、前記対向面において、前記吹付口は、平面視した形状が円形に開口されており、前記対向面における前記吹付口を除く領域が、前記吸気口として開口されていることを特徴とする。
【００３４】
本発明によれば、吹付口を対向面に複数形成することができるとともに、吸気口をより大きく確保することができることから、より効率良く、ラビングクロスに付着した異物を確実に除去することができる。
【００３５】
本発明に係る電気光学装置の製造装置は、電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す電気光学装置の製造装置であって、前記配向膜が形成された前記基板が載置されるステージと、前記ステージに載置された前記基板上の配向膜に、ラビングクロスを当接させて、前記配向膜をラビング処理するラビングローラーと、前記ラビングクロスに近接して設けられ、前記ラビングクロスへの対向面において、前記ラビングローラーの回転方向における一の側に、前記ラビングクロスに気体を吹き付ける吹付口が開口されるとともに、前記回転方向における前記一の側より後方の他の側に、前記吹付口から吹き付けられた前記気体及び該気体により前記ラビングクロスから除去された異物を吸気する吸気口が前記吹付口に対向して開口された、前記回転方向とは逆方向に前記気体の流れを生じさせるノズルと、を具備していることを特徴とする。
【００３６】
本発明によれば、効率良くラビングクロスに付着した異物を確実に除去できるとともに、ラビングローラーの回転方向とは逆の方向に、吹付口から吸気口への気体の流れを生じさせることができることにより、ラビングクロスの毛流れを気流方向に調整することができる。
【００３７】
本発明に係る除塵装置は、電気光学装置に用いる基板上に形成された配向膜にラビング処理を施す、ラビングローラーの外周面に構成されたラビングクロスの除塵装置であって、搬入される前記ラビングローラーの前記ラビングクロスに近接して設けられ、前記ラビングクロスへの対向面に、前記ラビングクロスに気体を吹き付ける吹付口と、該吹付口から吹き付けられた前記気体及び該気体により前記ラビングクロスから除去された異物を吸気する吸気口とが開口されたノズルを具備していることを特徴とする。
【００３８】
本発明によれば、ラビング装置外において、ノズルの吹付口からラビング処理後のラビングクロスに気体を吹き付けるとともに、吹き付けた気体をノズルの吸気口にて吸引することにより、ラビング処理によりラビングクロスに付着した異物を効率良く確実に除去することができる。また、ノズルの対向面に吹付口と吸気口とが開口されていることにより、ノズルにラビングクロスに付着している異物がラビングクロスから付着してしまうことが防止できる。以上から、ラビング処理後のラビングクロスの異物を簡単かつ確実に除去することができる除塵装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】以下の実施の形態の製造装置によって製造される液晶装置の平面図。
【図２】図１中のII-II線に沿って切断した液晶装置の断面図。
【図３】第1実施の形態を示すラビング装置の構成の概略を示す斜視図。
【図４】図３中のIV-IV線に沿うノズルの部分断面図。
【図５】図４のノズルを、ラビングクロスへの対向面側からみた底面図。
【図６】第２実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図。
【図７】第３実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図。
【図８】図７のノズルの対向面に、吹付口が２つ開口されているとともに、吸気口が３つ開口されている変形例を示す部分断面図。
【図９】第４実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図。
【図１０】第５実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図。
【図１１】吹付口及び吸気口を、ノズルの対向面の回転軸方向に沿った辺と対向面内において交差する方向にスリット状に形成した変形例を示すノズルの底面図。
【図１２】ノズルの対向面において、吹付口が円形に開口され、吸気口が吹付口を除く領域に形成された変形例を示すノズルの底面図。
【図１３】ラビングクロスをクリーニングするノズルを、ラビング処理装置内におけるステージから離れた位置に設けた変形例の概略を示す図。
【図１４】ラビングクロスをクリーニングするノズルを、ラビング処理装置外の除塵装置内に設けた変形例の概略を示す図。
【図１５】ランビングローラのラビングクロスに近接する位置に、ノズルを複数設けた変形例を、概略的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、以下に示す実施の形態において電気光学装置は、液晶装置を例に挙げて説明する。また、液晶装置に用いる一対の基板の内、一方の基板は、素子基板（以下、ＴＦＴ基板と称す）を、また他方の基板は、ＴＦＴ基板に対向する対向基板を例に挙げて説明する。
【００４１】
先ず、以下に示す実施の形態の製造装置によって製造される液晶装置の全体の構成について説明する。図１は、以下の実施の形態の製造装置によって製造される液晶装置の平面図、図２は、図１中のII-II線に沿って切断した液晶装置の断面図である。
【００４２】
図１、図２に示すように、液晶装置１００は、例えば、石英基板、ガラス基板等を用いたＴＦＴ基板１０と、該ＴＦＴ基板１０に対向配置される、例えばガラス基板や石英基板等を用いた対向基板２０との間の内部空間に、液晶５０が介在されて構成される。対向配置されたＴＦＴ基板１０と対向基板２０とは、シール材５２によって貼り合わされている。
【００４３】
ＴＦＴ基板１０の基板上の液晶５０と接する面側に、液晶装置１００の表示領域４０を構成するＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈが構成されている。また、表示領域１０ｈに、画素を構成する画素電極（ＩＴＯ）９ａがマトリクス状に配置されている。
【００４４】
また、対向基板２０の基板上の全面に、対向電極（ＩＴＯ）２１が設けられており、対向電極２１のＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈに対向する位置の液晶５０と接する面側に、液晶装置１００の表示領域４０を構成する対向基板２０の表示領域２０ｈが構成されている。
【００４５】
ＴＦＴ基板１０の画素電極９ａ上に、ラビング処理が施された配向膜１６が設けられており、また、対向基板２０上の全面に渡って形成された対向電極２１上にも、ラビング処理が施された配向膜２６が設けられている。各配向膜１６，２６は、例えばポリイミド膜等の透明な有機膜からなる。
【００４６】
また、ＴＦＴ基板１０の画素領域においては、複数本の走査線と複数本のデータ線とが（いずれも図示されず）交差するように配線され、走査線とデータ線とで区画された領域に画素電極９ａがマトリクス状に配置される。そして、走査線とデータ線との各交差部分に対応してトランジスターであるＴＦＴ３０が設けられ、このＴＦＴ３０毎に画素電極９ａが電気的に接続されている。
【００４７】
ＴＦＴ３０は走査線のＯＮ信号によってオンとなり、これにより、データ線に供給された画像信号が画素電極９ａに供給される。この画素電極９ａと対向基板２０に設けられた対向電極２１との間の電圧が液晶５０に印加される。
【００４８】
対向基板２０に、ＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈ及び対向基板２０の表示領域２０ｈの外周を、画素領域において規定し区画することにより、表示領域を規定する額縁としての遮光膜５３が設けられている。
【００４９】
液晶５０がＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間の空間に、既知の液晶注入方式で注入される場合、シール材５２は、シール材５２の１辺の一部において欠落して塗布されている。
【００５０】
シール材５２の欠落した箇所は、該欠落した箇所から貼り合わされたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０との間に液晶５０を注入するための液晶注入口１０８を構成している。液晶注入口１０８は、液晶注入後、封止材１０９で封止される。
【００５１】
シール材５２の外側の領域に、ＴＦＴ基板１０のデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するドライバーであるデータ線駆動回路１０１及び外部回路との接続のための外部接続端子１０２が、ＴＦＴ基板１０の一辺に沿って設けられている。
【００５２】
この一辺に隣接する二辺に沿って、ＴＦＴ基板１０の走査線及び図示しないゲート電極に、走査信号を所定のタイミングで供給することにより、ゲート電極を駆動するドライバーである走査線駆動回路１０３，１０４が設けられている。走査線駆動回路１０３，１０４は、シール材５２の内側の遮光膜５３に対向する位置において、ＴＦＴ基板１０上に形成されている。
【００５３】
また、ＴＦＴ基板１０上に、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０３，１０４、外部接続端子１０２及び上下導通端子１０７を電気的に接続する配線１０５が、遮光膜５３の３辺に対向して設けられている。
【００５４】
上下導通端子１０７は、シール材５２のコーナー部の４箇所のＴＦＴ基板１０上に形成されている。そして、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０相互間に、下端が上下導通端子１０７に接触し上端が対向電極２１に接触する上下導通材１０６が設けられており、該上下導通材１０６によって、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通がとられている。
【００５５】
次に、このように構成された液晶装置１００の製造装置、具体的には、ＴＦＴ基板１０に形成された配向膜１６または対向基板２０に形成された配向膜２６にラビング処理を施すラビング装置の構成を、図３〜図５を用いて説明する。
【００５６】
（第１実施の形態）
図３は、第1実施の形態を示すラビング装置の構成の概略を示す斜視図、図４は、図３中のIV-IV線に沿うノズルの部分断面図、図５は、図４のノズルを、ラビングクロスへの対向面側からみた底面図である。
【００５７】
尚、以下、ラビング処理される基板は、上述したＴＦＴ基板１０が複数構成される、石英、ガラス等から構成された大板基板１０’（以下、単に基板１０’と称す）を例に挙げて説明する。また、基板１０’の形状は、図３に示した形状に限定されない。
【００５８】
図３に示すように、ラビング装置６０は、ステージ６１と、ラビングローラー６２と、ノズル６５とを具備して主要部が構成されている。
【００５９】
ステージ６１は、配向膜１６が図３中の上面の全面に形成された基板１０’が載置された状態で、例えばステージ６１の図３中の底面に当接するよう複数設けられた搬送ローラ９０により、Ｑ１の方向に直線的に移動することにより、載置された基板１０’の配向膜１６を、回転するラビングローラー６２の後述するラビングクロス６３に当接させるものである。
【００６０】
ラビングローラー６２は、回転軸方向Ｖに沿って細長に形成されており、ステージ６１の図３中の上方において、該ステージ６１に近接するよう、既知の手段により一方向Ｒ１に回転自在に設けられている。また、ラビングローラー６２は、外周面に、レーヨン、ポリエステル、コットン等のクロス材料から形成されたラビングクロス６３が構成されている。ラビングローラー６２は、一方向Ｒ１に回転しながら、ステージ６１によりＱ１方向に直線的に移動されてきた基板１０’の配向膜１６にラビングクロス６３が当接することにより、配向膜１６に細かい溝を形成して配向膜１６をラビング処理するものである。
【００６１】
ノズル６５は、図３に示すように、例えば図３中におけるラビングローラー６２の上方位置、または基板１０’がラビングローラー６２に進入する側の図３中において２点鎖線で示されたラビングローラー６２の左方位置において、ラビングクロス６３に近接するよう、ラビングローラー６２の回転軸方向Ｖに沿って、ラビングローラー６２と同等の長さ、またはラビングローラー６２よりも長いレール状に形成されている。
【００６２】
ノズル６５のラビングクロス６３への対向面６５ｔに、図４、図５に示すように、ラビングクロス６３へエア等の気体Ａを吹き付けて、ラビングクロス６３に付着した異物を除去する吹付口６６ｋが開口されているとともに、該吹付口６６ｋから吹き付けられた気体Ａ及び該気体Ａの吹き付けにより除去された異物を吸気する吸気口６７ａｋ，６７ｂｋが開口されている。尚、気体Ａは、エアに限定されず、ガス等であっても構わない。なお、対向面６５は、一の平面に限定されるものではなく、例えば、ラビングロール６３の曲面に沿って、湾曲させた曲面でもよく、複数の平面から構成された面でもよい。
【００６３】
図４、図５に示すように、吹付口６６ｋは、対向面６５ｔを平面視した状態で、２つ開口された吸気口６７ａｋ，６７ｂｋの内、一方の吸気口６７ａｋと他方の吸気口６７ｂｋとの間に挟まれて位置しており、図５に示すように、対向面６５ｔにおいて、回転軸方向Ｖと平行な対向面６５ｔの辺６５ｔｈに沿って、スリット状に形成されている。また、吹付口６６ｋは、図４に示すように、ノズル６５内に設けられた送気管路６６に連通している。尚、送気管路６６は、図示しない送気装置に接続されている。
【００６４】
吸気口６７ａｋ，６７ｂｋも、対向面６５ｔを平面視した状態で、図５に示すように、対向面６５ｔにおいて、回転軸方向Ｖと平行な対向面６５ｔの辺６５ｔｈに沿って、スリット状に形成されている。また、吸気口６７ａｋは、図４に示すように、ノズル６５内において、ノズル６５の外装部材６５ｇと送気管路６６との間に設けられた吸気管路６７ａに連通しており、また、吸気口６７ｂｋは、図４に示すように、ノズル６５内において、ノズル６５の外装部材６５ｇと送気管路６６との間に設けられた吸気管路６７ｂに連通している。尚、吸気管路６７ａ，６７ｂからなる吸気管路６７は、図示しない吸気装置に接続されている。
【００６５】
ラビング装置６０は、ステージ６１によりＱ１方向に移動されてきた基板１０’に形成された配向膜１６に対しラビングローラー６２がラビング処理を行っている際中に、ノズル６５の吹付口６６ｋから気体Ａをラビングクロス６３に吹き付けて、ラビング処理中、ラビングクロス６３に付着した異物をラビングクロス６３から掻きだして除去するとともに、各吸気口６７ａｋ，６７ｂｋから異物を除去した気体及び異物を吸気することにより、即ち、吹付口６６ｋと各吸気口６７ａｋ，６７ｂｋとの間に気流を生じさせることにより、ラビングクロス６３のクリーニングを行う。
【００６６】
このように、本実施の形態のラビング装置は、ラビングローラー６２のラビングクロス６３に近接する位置に、ノズル６５が設けられており、ノズル６５のラビングクロス６３への対向面６５ｔに、該対向面６５ｔを平面視した状態で、吹付口６６ｋが吸気口６７ａｋと吸気口６７ｂｋとの間に挟まれて位置するよう、吹付口６６ｋ，吸気口６７ａｋ，６７ｂｋが辺６５ｔｈに沿ってスリット状に開口されていると示した。
【００６７】
このことによれば、ラビング装置６０内において、ノズル６５の吹付口６６ｋからラビングクロス６３に気体Ａを吹き付けることができるだけでなく、吹き付けた気体Ａを吹付口６６ｋの両脇に設けられた吸気口６７ａｋ，６７ｂｋにて吸引することにより、ラビング処理によりラビングクロス６３に付着した異物を確実かつ効率良く除去することができる。
【００６８】
また、ノズル６５の対向面６５ｔに吹付口６６ｋと吸気口６７ａｋ，６７ｂｋとが開口されていることにより、対向面６５ｔ内において、吹付口６６ｋと吸気口６７ａｋ，６７ｂｋとの間に気流が発生することから、従来のように、ノズル６５にラビング処理中またはラビング処理後の異物がラビングクロス６３から飛散し付着してしまうことが防止できる。
【００６９】
以上から、簡単かつ確実にラビングクロス６３に付着した異物を除去できることによって、ラビングクロス６３から配向膜１６への異物の付着が防止できることにより、配向膜１６のラビング不良を防止する構成を有するラビング装置６０を提供することができる。
【００７０】
尚、本実施の形態においては、ラビング処理される基板に、ＴＦＴ基板１０が複数構成され、配向膜１６が上面の全面に形成された基板１０’を例に挙げて示したが、これに限らず、配向膜１６が形成されたＴＦＴ基板１０単体であっても構わないし、対向基板２０が複数構成され、配向膜２６が上面の全面に形成された大板基板であっても構わないし、さらには、配向膜２６が形成された対向基板２０単体であっても構わない。
【００７１】
（第２実施の形態）
図６は、第２実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図である。
【００７２】
この第２実施の形態のラビング装置の構成は、上述した図３〜図５に示した第１実施の形態のラビング装置と比して、ノズルのラビングクロス側部位の形状のみが異なる。よって、これらの相違点のみを説明し、第１実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００７３】
図６に示すように、本実施の形態におけるラビング装置のノズル１６５は、送気管路１６６の管路径が、吹付口１６６ｋ側となる先端部位１６６ｄに向かう程、小さくなるよう送気管路１６６の先端部位１６６ｄが、ノズル１６５の径方向Ｑの内側に絞られて形成されている。
【００７４】
また、ノズル１６５の外装部材１６５ｇのラビングクロス６３に近接する側となる先端部位１６５ｇｄは、送気管路１６６の先端部位１６６ｄに沿った形状に形成されている。その結果、吹付口１６６ｋの開口面積Ｍ１は、各吸気管路１６７ａ，１６７ｂに連通する各吸気口１６７ａｋ，１６７ｂｋの開口面積Ｍ２よりも小さく形成されている（Ｍ１＜Ｍ２）。
【００７５】
また、本実施の形態においても、吹付口１６６ｋは、ノズル１６５の対向面１６５ｔにおいて、吸気口１６７ａｋと吸気口１６７ｂｋとの間に挟まれて開口されており、吹付口１６６ｋ、吸気口１６７ａｋ，１６７ｂｋは、図５に示すように、辺１６５ｔｈに沿ってスリット状に形成されている。さらに、送気管路１６６は、図示しない送気装置に接続されており、吸気管路１６７ａ，１６７ｂからなる吸気管路１６７は、図示しない吸気装置に接続されている。尚、その他の構成は、第１実施の形態と同じである。
【００７６】
このような構成によれば、送気管路１６６の先端部位１６６ｄが絞られていることにより、ベンチュリー効果によって、ラビングクロス６３に吹付口１６６ｋから吹き付けられる気体Ａの速度を、図４に示した部位に関わらず管路径の等しい送気管路６６の吹付口６６ｋから吹き付けられる気体Ａよりも速くすることができることから、第1実施の形態よりも効率良くラビングクロス６３から異物を確実に除去することができる。尚、その他の効果は、上述した第1実施の形態と同様である。
【００７７】
（第３実施の形態）
図７は、第３実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図である。
【００７８】
この第３実施の形態のラビング装置の構成は、上述した図６に示した第２実施の形態のラビング装置と比して、ノズルにおける外装部材の先端部位の形状のみが異なる。よって、これらの相違点のみを説明し、第１実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００７９】
図７に示すように、本実施の形態におけるラビング装置のノズル２６５においても、送気管路２６６の管路径が、吹付口２６６ｋ側となる先端部位２６６ｄに向かう程、小さくなるよう送気管路２６６の先端部位２６６ｄが、ノズル２６５の径方向Ｑの内側に絞られて形成されている。
【００８０】
また、ノズル２６５の外装部材２６５ｇのラビングクロス６３に近接する側となる先端部位２６５ｇｄは、ノズル２６５の径方向Ｑの外側に広がった形状に形成されている。その結果、吹付口２６６ｋの開口面積Ｍ１は、各吸気管路２６７ａ，２６７ｂに連通する各吸気口２６７ａｋ，２６７ｂｋの開口面積Ｍ３よりも小さく形成されている（Ｍ１＜Ｍ３）。
【００８１】
また、本実施の形態においても、吹付口２６６ｋは、ノズル２６５の対向面２６５ｔにおいて、吸気口２６７ａｋと吸気口２６７ｂｋとの間に挟まれて開口されており、吹付口２６６ｋ、吸気口２６７ａｋ，２６７ｂｋは、図５に示すように、辺２６５ｔｈに沿ってスリット状に形成されている。さらに、送気管路２６６は、図示しない送気装置に接続されており、吸気管路２６７ａ，２６７ｂからなる吸気管路２６７は、図示しない吸気装置に接続されている。尚、その他の構成は、第２実施の形態と同じである。
【００８２】
このような構成によれば、吸気口２６７ａｋ，２６７ｂｋの開口面積Ｍ３が第２実施の形態の吸気口１６７ａｋ，１６７ｂｋの開口面積Ｍ２よりも大きくなるため（Ｍ２＜Ｍ３）、吸気口２６７ａｋ，２６７ｂｋから第２実施の形態よりも効率良く、ラビングクロス６３から除去された異物を確実に吸引することができる。尚、その他の効果は、上述した第２実施の形態と同様である。
【００８３】
尚、以下、変形例を、図８を用いて示す。図８は、図７のノズルの対向面に、吹付口が２つ開口されているとともに、吸気口が３つ開口されている変形例を示す部分断面図である。
【００８４】
図８に示すように、ノズル２６５の対向面２６５ｔに、３つの吸気口２６７ａｋ，２６７ｂｋ，２６７ｃｋが開口されており、一方の吸気口２６７ａｋと他方の吸気口２６７ｂｋとの間に挟まれた位置に吹付口２６６ａｋが開口され、一方の吸気口２６７ｂｋと他方の吸気口２６７ｃｋとの間に挟まれた位置に、吹付口２６６ｂｋが開口されていても構わない。
【００８５】
この場合、吸気口２６７ａｋに連通する吸気管路２６７ａは、吹付口２６６ａｋに連通する送気管路２６６ａとノズル２６５の外装部材２６５ｇとの間に形成され、吸気口２６７ｂｋに連通する吸気管路２６７ｂは、吹付口２６６ａｋに連通する送気管路２６６ａと吹付口２６６ｂｋに連通する送気管路２６６ｂとの間に形成され、吸気口２６７ｃｋに連通する吸気管路２６７ｃは、吹付口２６６ｂｋに連通する送気管路２６６ｂとノズル２６５の外装部材２６５ｇとの間に形成されている。尚、送気管路２６６ａ，２６６ｂからなる送気管路２６６は、図示しない送気装置に接続されており、吸気管路２６７ａ，２６７ｂ，２６７ｃからなる吸気管路２６７は、図示しない吸気装置に接続されている。
【００８６】
このような構成によれば、気体Ａの吹付口が、対向面２６５ｔに２つ開口されているとともに、吸気口が３つ開口されていることにより、上述した第３実施の形態よりも、効率良く、ラビングクロス６３から除去された異物を確実に吸引することができる。尚、その他の効果は、上述した第３実施の形態と同様である。
【００８７】
（第４実施の形態）
図９は、第４実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図である。
【００８８】
この第４実施の形態のラビング装置の構成は、上述した図３〜図７に示した第１〜第３実施の形態のラビング装置と比して、ノズルの対向面に吹付口が２つ開口され、各吹付口間に挟まれた位置に、吸気口が１つ開口されている点のみ異なる。よって、これらの相違点のみを説明し、第１〜第３実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００８９】
図９に示すように、ノズル３６５のラビングクロス６３への対向面３６５ｔに、ラビングクロス６３へエア等の気体Ａを吹き付けて、ラビングクロス６３に付着した異物を除去する吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋが開口されているとともに、該吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋから吹き付けられた気体Ａ及び該気体Ａにより除去された異物を吸気する吸気口３６７ｋが開口されている。
【００９０】
吸気口３６７ｋは、対向面３６５ｔを平面視した状態で、２つ開口された吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋの内、一方の吹付口３６６ａｋと他方の吹付口３６６ｂｋとの間に挟まれて位置している。また、本実施の形態においても、吸気口３６７ｋ、吹付口３６６ａｋ、３６６ｂｋは、回転軸方向Ｖに沿って、スリット状に形成されている。
【００９１】
また、吹付口３６６ａｋは、ノズル３６５内に設けられた送気管路３６６ａに連通しており、吹付口３６６ｂｋは、ノズル３６５内に設けられた送気管路３６６ｂに連通しており、吸気口３６７ｋは、ノズル３６５内に設けられた吸気管路３６７に連通している。
【００９２】
尚、送気管路３６６ａ，３６６ｂは、吸気管路３６７と、ノズル３６５の外装部材３６５ｇとの間に形成されている。また、送気管路３６６ａ，３６６ｂからなる送気管路３６６は、図示しない送気装置に接続されており、吸気管路３６７は、図示しない吸気装置に接続されている。
【００９３】
また、ノズル３６５においても、送気管路３６６ａ，３６６ｂの管路径が、先端部位３６５ｇｄに向かう程、小さくなるよう外装部材３６５ｇの先端部位３６５ｇｄが、ノズル３６５の径方向Ｑの内側に絞られて形成されている。
【００９４】
その結果、吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋの開口面積Ｍ４は、吸気口３６７ｋの開口面積Ｍ５よりも小さく形成されている（Ｍ４＜Ｍ５）。
【００９５】
このことによれば、各吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋから吹き付けられた気体Ａによりラビングクロス６３から除去された異物を、各吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋの間に挟まれて開口された吸気口３６７ｋによって吸引する構成であっても、効率良く異物を確実に吸引することができる。尚、その他の効果は、上述した第１〜第３実施の形態と同様である。
【００９６】
（第５実施の形態）
図１０は、第５実施の形態を示すラビング装置のノズルの構成の概略を示す部分断面図である。
【００９７】
この第５実施の形態のラビング装置の構成は、上述した図３〜図８に示した第１〜第４実施の形態のラビング装置と比して、ノズルの対向面において、吹付口及び吸気口が対向するとともに、ラビングローラーの回転方向と反対側に、吹付口から吸気口へ気流が生じるように、吹付口及び吸気口が開口されている点のみ異なる。よって、これらの相違点のみを説明し、第１〜第４実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００９８】
図１０に示すように、本実施の形態におけるラビング装置のノズル４６５においては、対向面４６５ｔにおいて、ラビングローラー６２の回転方向Ｒ１における一の側、即ち回転方向Ｒ１の前方側に、ラビングクロス６３に気体Ａを吹き付ける吹付口４６６ｋが開口されているとともに、回転方向Ｒ１における吹付口４６６ｋよりも後方の他の側に、吹付口４６６ｋから吹き付けられた気体Ａ及び該気体Ａによりラビングクロス６３から除去された異物を吸気する吸気口４６７ｋが、吹付口４６６ｋに対向して開口されている。
【００９９】
尚、吹付口４６６ｋには、ノズル４６５内に設けられた送気管路４６６が連通しており、吸気口４６７ｋには、ノズル４６５内に設けられた吸気管路４６７が連通している。また、送気管路４６６には、図示しない送気装置が接続されており、吸気管路４６７には、図示しない吸気装置が接続されている。さらに、吹付口４６６ｋ及び吸気口４６７ｋは、上述した第１〜第４実施の形態同様、回転軸方向Ｖに沿ってスリット状に形成されている。
【０１００】
その結果、吹付口４６６ｋと吸気口４６７ｋとの間には、回転方向Ｒ１とは逆方向に、気体Ａの流れが生じ、ラビングクロス６３の毛流れ方向に沿って、気流が発生する。
【０１０１】
このような構成によれば、効率良くラビングクロス６３に付着した異物を確実に除去できるとともに、ラビングローラー６２の回転方向Ｒ１とは逆の方向に、吹付口４６６ｋから吸気口４６７ｋへの気体の流れを生じさせることができることにより、ラビングクロス６３の毛流れを気流方向に調整することができる。尚、その他の効果は、上述した第１〜第４実施の形態と同様である。
【０１０２】
尚、以下変形例を、図１１を用いて示す。図１１は、吹付口及び吸気口を、ノズルの対向面の回転軸方向に沿った辺と対向面内において交差する方向にスリット状に形成した変形例を示すノズルの底面図である。
【０１０３】
上述した第１〜第３実施の形態においては、吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋ及び吸気口６７ａｋ，６７ｂｋ，１６７ａｋ，１６７ｂｋ，２６７ａｋ，２６７ｂｋを、図５に示すように、ノズル６５，１６５，２６５の対向面６５ｔ，１６５ｔ，２６５ｔの回転軸方向Ｖに沿った辺６５ｔｈ，１６５ｔｈ，２６５ｔｈに沿って、スリット状に形成されていると示した。
【０１０４】
これに限らず、図１１に示すように、吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋ及び吸気口６７ａｋ，６７ｂｋ，１６７ａｋ，１６７ｂｋ，２６７ａｋ，２６７ｂｋが、ノズル６５，１６５，２６５の対向面６５ｔ，１６５ｔ，２６５ｔの回転軸方向Ｖに沿った辺６５ｔｈ，１６５ｔｈ，２６５ｔｈと対向面６５ｔ，１６５ｔ，２６５ｔ内において交差する方向Ｓに沿ってスリット状に並んで形成されていても構わない。
【０１０５】
このことによれば、ラビングクロス６３に対して斜め方向Ｓから気体Ａが吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋから吹き付けられることにより、より効率良く、ラビングクロス６３に付着した異物を確実に除去することができる。尚、以上のことは、図示しないが、第４実施の形態に示した吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋ、吸気口３６７ｋであっても同様である。
【０１０６】
また、以下、別の変形例を、図１２を用いて示す。図１２は、ノズルの対向面において、吹付口が円形に開口され、吸気口が吹付口を除く領域に形成された変形例を示すノズルの底面図である。
【０１０７】
図１２に示すように、上述した第１〜第３実施の形態における吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋが、ノズル６５，１６５，２６５の対向面６５ｔ，１６５ｔ，２６５ｔにおいて、平面視した形状が円形に開口され、対向面６５ｔ，１６５ｔ，２６５ｔにおける吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋを除く領域が、吸気口６７ａｋ，６７ｂｋ，１６７ａｋ，１６７ｂｋ，２６７ａｋ，２６７ｂｋとして開口されている構成であっても構わない。
【０１０８】
このことによれば、吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋを対向面６５ｔ，１６５ｔ，２６５ｔに複数形成することができるとともに、吸気口６７ａｋ，６７ｂｋ，１６７ａｋ，１６７ｂｋ，２６７ａｋ，２６７ｂｋをより大きく確保することができることから、より効率良く、ラビングクロス６３に付着した異物を確実に除去することができる。尚、以上のことは、図示しないが、第４実施の形態に示した吹付口３６６ａｋ，３６６ｂｋ、吸気口３６７ｋであっても同様である。
【０１０９】
さらに、以下、別の変形例を、図１３を用いて示す。図１３は、ラビングクロスをクリーニングするノズルを、ラビング処理装置内におけるステージから離れた位置に設けた変形例の概略を示す図である。
【０１１０】
上述した第１〜第５実施の形態においては、ラビング装置６０内において、ノズル６５、１６５，２６５，３６５，４６５は、ステージ６１上のラビングローラー６２に近接する位置に設けられていることにより、ラビング処理中に、ラビングクロス６３のクリーニングが行えると示した。
【０１１１】
これに限らず、図１３に示すように、ラビング装置１６０内において、ステージ６１から離れた位置に、毛流れ制御板７２が載置されたステージ７１を設け、該ステージ７１の上方に、ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５が設けられていても構わない。
【０１１２】
尚、毛流れ制御板７２は、ラビング処理後のラビングローラー６２のラビングクロス６３が回転状態で当接することにより、ラビングクロス６３の毛流れ方向を整えるものである。
【０１１３】
ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５は、毛流れ制御板７２に、ラビングクロス６３が回転状態で当接している状態において、ラビングクロス６３に近接するよう設けられている。
【０１１４】
このような構成によれば、ラビング処置中においては、ラビングクロス６３のクリーニングを行うことはできないものの、ラビング装置１６０内において、ラビング処理後、ラビングクロス６３の毛流れ方向を調整中に、ラビングクロス６３のクリーニングを行うことができる。尚、その他の効果は、上述した第1〜第５実施の形態と同様である。
【０１１５】
さらに、以下、別の変形例を、図１４を用いて示す。図１４は、ラビングクロスをクリーニングするノズルを、ラビング処理装置外の除塵装置内に設けた変形例の概略を示す図である。
【０１１６】
図１４に示すように、上述した第１〜第５実施の形態に示したノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５が、ラビング装置６０外の除塵装置８０内に設けられていても構わない。
【０１１７】
このことによれば、ラビング装置６０外においても、上述した第１〜第５実施の形態と同様に、ラビング処理後のラビングクロス６３の異物を確実に除去することができる除塵装置８０を提供することができる。尚、その他の効果は、上述した第１〜第５実施の形態と同様である。
【０１１８】
また、以下、さらに別の変形例を、図１５を用いて示す。図１５は、ランビングローラのラビングクロスに近接する位置に、ノズルを複数設けた変形例を、概略的に示す図である。
【０１１９】
上述した第１〜第５実施の形態においては、ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５は、図３に示すように、ラビングローラー６２の上方位置、または基板１０’がラビングローラー６２に進入する側のラビングローラー６２の左方位置において、ラビングクロス６３に近接するよう設けられていると示した。
【０１２０】
これに限らず、ラビングローラー６２のラビングクロス６３に近接する位置であれば、ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５は、図１５に示すように、複数設けられていても構わない。
【０１２１】
このことによれば、よりラビングクロス６３のクリーニング効果を向上させることができる。
【０１２２】
また、この場合、複数のノズルの内、いくつかのノズルを、吹付専用ノズルとし、いくつかのノズルを、吸気専用ノズルとしても構わない。また、吹付ノズル毎に、異なる種類の気体を送気しても構わない。
【０１２３】
さらに、上述した第１〜第５実施の形態における、ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５の吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋ，３６６ａｋ，３６６ｂｋ，４６６ｋから吹き付けられる気体Ａは、ラビングクロス６３に連続的に送気されても構わないし、断続的に送気されても構わない。
【０１２４】
また、第１〜第５実施の形態における、ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５の吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋ，３６６ａｋ，３６６ｂｋ，４６６ｋに、既知のイオナイザが設けられていても構わない。
【０１２５】
さらに、第１〜第５実施の形態における、ノズル６５，１６５，２６５，３６５，４６５の吹付口６６ｋ，１６６ｋ，２６６ｋ，３６６ｋ，４６６ｋまたは吸気口６７ａｋ，６７ｂｋ，１６７ａｋ，１６７ｂｋ，２６７ａｋ，２６７ｂｋ，３６７ｋ，４６７ｋに、エアフィルターが設けられていても構わない。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
また、液晶装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶装置は、ＴＦＴ（薄膜トランジスター）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を例に挙げて説明したが、これに限らず、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置であっても構わない。
【０１２７】
さらに、本実施の形態においては、電気光学装置は、液晶装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置、ＳＥＤ(Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｙ)装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管または液晶シャッター等を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【０１２８】
また、電気光学装置は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）等であっても構わない。ＬＣＯＳでは、素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイッチング素子としてトランジスターを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には、反射型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。
【０１２９】
また、電気光学装置は、片側の基板の同一層に、一対の電極が形成される表示用デバイス、例えばＩＰＳ（In-Plane Switching）や、片側の基板において、絶縁膜を介して一対の電極が形成される表示用デバイスＦＦＳ（Fringe Field Switching）等であっても構わない。
【符号の説明】
【０１３０】
１０’…基板、１６…配向膜、２６…配向膜、６０…ラビング装置（電気光学装置の製造装置）、６１…ステージ、６２…ラビングローラー、６３…ラビングクロス、６５…ノズル、６５ｇ…外装部材、６５ｔ…対向面、６５ｔｈ…辺、６６…送気管路、６６ｋ…吹付口、６７…吸気管路、６７ａｋ…吸気口、６７ｂｋ…吸気口、８０…除塵装置、１００…液晶装置（電気光学装置）、１６０…ラビング装置（電気光学装置の製造装置）、１６５…ノズル、１６５ｇ…外装部材、１６５ｔ…対向面、１６５ｔｈ…辺、１６６…送気管路、１６６ｋ…吹付口、１６７…吸気管路、１６７ａｋ…吸気口、１６７ｂｋ…吸気口、２６５…ノズル、２６５ｇ…外装部材、２６５ｔ…対向面、２６５ｔｈ…辺、２６６…送気管路、２６６ａｋ…吹付口、２６６ｂｋ…吹付口、２６６ｋ…吹付口、２６７…吸気管路、２６７ａｋ…吸気口、２６７ｂｋ…吸気口、２６７ｃｋ…吸気口、３６５…ノズル、３６５ｇ…外装部材、３６５ｔ…対向面、３６６…送気管路、３６６ｋ…吹付口、３６７…吸気管路、３６７ｋ…吸気口、４６５…ノズル、４６５ｔ…対向面、４６６…送気管路、４６６ｋ…吹付口、４６７…吸気管路、４６７ｋ…吸気口、Ｍ１…吹付口の開口面積、Ｍ２…吸気口の開口面積、Ｍ３…吸気口の開口面積、Ｍ４…吹付口の開口面積、Ｍ５…吸気口の開口面積、Ｑ…径方向。
【図１】
2010217246.tif 000003
【図２】
2010217246.tif 000004
【図３】
2010217246.tif 000005
【図４】
2010217246.tif 000006
【図５】
2010217246.tif 000007
【図６】
2010217246.tif 000008
【図７】
2010217246.tif 000009
【図８】
2010217246.tif 000010
【図９】
2010217246.tif 000011
【図１０】
2010217246.tif 000012
【図１１】
2010217246.tif 000013
【図１２】
2010217246.tif 000014
【図１３】
2010217246.tif 000015
【図１４】
2010217246.tif 000016
【図１５】
2010217246.tif 000017