(57)【要約】【課題】収納枚数が可変でランダムアクセス可能なバッファカセットを提供する。【解決手段】四角形の枠体（１０）と、枠体（１０）の四隅の下面に設けた足部（４０）と、枠体（１０）の四隅の上面に設けた勘合部（５０）と、枠体（１０）内の互いに向き合う２つの側面の間に所定の間隔で設けた支持フレーム（２０）と、支持フレーム（２０）の上面に所定の間隔で設けた基板支持ピン（３０）とを備え、足部（４０）の下部に勘合部（５０）と勘合する窪み部（６０）を設けた枚葉バッファカセット。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形の枠体と、前記枠体の四隅の下面に設けた足部と、前記枠体の四隅の上面に設けた勘合部と、前記枠体内の互いに向き合う２つの側面の間に所定の間隔で設けた支持フレームと、前記支持フレームの上面に所定の間隔で設けた基板支持ピンとを備え、前記足部の下部に前記勘合部と勘合する窪み部を設けたことを特徴とする枚葉バッファカセット。
【請求項２】
請求項１の枚葉バッファカセットを使用したことを特徴とする生産ライン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を１枚単位で収納及び取り出し可能なバッファカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板を１枚単位で処理するフラットパネルディスプレイの製造ラインのように、ワークを枚葉処理をする製造ラインにおいて、無駄な搬送を排した効率的な生産を行う物流フローを構築するにあたり、工程内におけるワークの一時バッファリング機構や、工程間を跨ぐ場合のカセット機構の使い方は、非常に重要な要素となる。
【０００３】
従来、一般に認知されているバッファカセット（基板収納機構）は、バックサポートタイプ、クロスオーバータイプ、ワイヤーカセットタイプの三種類である（例えば特許文献１参照）。カセットタイプ選定に際し最も重要なポイントは、ワーク収納効率（カセット段数）とランダムアクセス性であるとされてきた。
【０００４】
フラットパネルディスプレイ業界においては、近年ガラス基板サイズ拡大に伴い、ガラス重量増加起因のカセットピッチ増大が不可避となり、Ｇ６以上の大型ガラス基板を扱うラインにおいて、バックサポートタイプは有効な構造と言えなくなった。クロスオーバータイプについても同様のことが言える。このため、高スループットを満足するため、ランダムアクセス性を犠牲にして、収納効率の最も高いワイヤーカセットタイプが、工程内及び工程間共に、選択されるケースが増えている（例えば特許文献１又は２参照）。
【０００５】
しかしながら、ランダムアクセスができないことは、工程内のガラス基板の枚葉での管理をより困難なものにする。
【０００６】
また、従来の工程間カセットの共通点として、収納枚数が固定、すなわち、フレーム（外枠）が固定であることが挙げられる。本制約は、歯抜け収納カセットや物流タイムラグ（遅延）を発生させる要因となり、生産ラインの物流効率を圧迫する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−２０４９９６号公報
【特許文献２】特開２００４−７５２０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は斯かる背景技術に鑑みてなされたもので、収納枚数が可変でランダムアクセス可能なバッファカセットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、四角形の枠体と、前記枠体の四隅の下面に設けた足部と、前記枠体の四隅の上面に設けた勘合部と、前記枠体内の互いに向き合う２つの側面の間に所定の間隔で設けた支持フレームと、前記支持フレームの上面に所定の間隔で設けた基板支持ピンとを備え、前記足部の下部に前記勘合部と勘合する窪み部を設けたことを特徴とする枚葉バッファカセットとしたものである。
【００１０】
また請求項２の発明では、請求項１の枚葉バッファカセットを使用したことを特徴とする生産ラインとしたものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明は、足部の窪み部６０と勘合部とを勘合させることにより任意の段数だけ積み重ねることができるので、収納枚数が可変であるという効果がある。また請求項１の発明は、ロボットのアームにより、ガラス基板を基板支持ピンの上に収納し、ガラス基板を基板支持ピンの上から取り出せるので、ランダムアクセス可能であるという効果がある。
【００１２】
請求項２の発明は、各工程の途中で滞留保管された不良ガラス基板或いは不要ガラス基板を、生産ライン本流の物流を阻害することなく、任意のタイミングで回収でき、生産物流が効率化するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の枚葉バッファカセットを模式的に示す三面図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は正面図である。
【図２】本発明の枚葉バッファカセットを積み重ねて使用している図である。
【図３】本発明の枚葉バッファカセット使用した生産ラインの例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００１５】
本発明は、図１に示すように、四角形の枠体（１０）と、枠体（１０）の四隅の下面に設けた足部（４０）と、枠体（１０）の四隅の上面に設けた勘合部（５０）と、枠体（１０）内の互いに向き合う２つの側面の間に所定の間隔で設けた支持フレーム（２０）と、支持フレーム（２０）の上面に所定の間隔で設けた基板支持ピン（３０）とを備え、足部（４０）の下部に勘合部（５０）と勘合する窪み部（６０）を設けた枚葉バッファカセットである。
【００１６】
本発明の枚葉バッファカセットは、図２に示すように、足部（４０）の窪み部（６０）と勘合部（５０）とを勘合させることにより、平面の位置精度を保証しながら、任意の段数だけ積み重ねることができる。
【００１７】
また本発明の枚葉バッファカセットは、ロボットのアームによって底面を支持することにより、単独或いは積載の状態によらず、移載可能な強度を有する。
【００１８】
本発明の枚葉バッファカセットへのガラス基板の収納及び取り出しは、ロボットのアームを利用して行われ、収納する場合は、ガラス基板を載置したアームを、基板支持ピン（３０）の上まで持って行き、アームを下げて基板支持ピン（３０）にガラス基板に載置したところで、アームを引き出すことで収納し、取り出す場合は、アームをガラス基板に接触しないように、ガラス基板と基板支持ピン（３０）との間にアームを挿入し、アームを持ち上げてアーム上にガラス基板を載置して、アームを引き出すことで取り出す。
【００１９】
このように、本発明の枚葉バッファカセットは、ガラス基板の収納及び取り出しを、ロボットのアームを利用して行うので、枚葉バッファカセットを積み重ねた場合でも、ガラ
ス基板が収納されていない任意の段の枚葉バッファカセットに、ガラス基板を収納し、ガラス基板が収納されている任意の段の枚葉バッファカセットから、ガラス基板を取り出せるというランダムアクセスが可能となり、しかも、ランダムアクセスするための大掛かりな専用装置も不要であり、また、清浄度への影響も緩和できる。
【００２０】
尚、本発明の枚葉バッファカセット内におけるガラス基板のズレや、本発明の枚葉バッファカセット間のズレの影響を回避するために、本発明の枚葉バッファカセット上のガラス基板にアクセスするロボットは、アライメント機能を有することが好ましい。
【００２１】
本発明の枚葉バッファカセットは、段数を任意に組み替え可能なため、例えば工程内に滞留した不良品を扱うカセットに適用することで、生産ライン全体の効率が向上する。
【００２２】
本発明の枚葉バッファカセットを使用した生産ラインのモデルの例を、図２に示す。
【００２３】
図２に示す例では、各工程の途中で枚葉バッファカセットに滞留保管された不良ガラス基板或いは不要ガラス基板を、枚葉バッファカセットが満載になるまで待つことなく、生産ライン本流の物流を阻害することなく、任意のタイミングでロボットで搬送ロボット（ＲＧＶ）に移載しソーター兼ＮＧ回収ポートに回収し、ソーター兼ＮＧ回収ポートで任意にソーティングしまとめて（積載して）ストッカ内の棚へ保管するなどの運用を行う。これにより、生産物流の効率化を実現する。
【符号の説明】
【００２４】
１０…枠体
２０…支持フレーム
３０…基板支持ピン
４０…足部
５０…勘合部
６０…窪み部
７０…ガラス基板
ＬＤ…搬入装置
ＮＧ…不良ガラス基板或いは不要ガラス基板
ＲＧＶ…搬送ロボット
ＵＬＤ…搬出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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