(57)【要約】【課題】特に，微粉研磨材を使用したブラスト加工においてワークに研磨材が付着することを防止する。【解決手段】ワークＷの表面に開口２２を臨ませて対向配置された負圧空間２０ａ，２０ｂと，前記負圧空間２０ａ，２０ｂ内に開口２２を介してワークＷの表面に臨むブラストガン３０及びブローノズル３２を設ける。前記ブローノズル３２の噴射孔３３を前記ブラストガン３０の噴射孔３１に対しワークＷの移動方向Ｔに対する直交方向の少なくとも一方側に隣接して配置し，このブローノズル３２より圧縮気体を噴射してワークＷの移動方向Ｔと略平行な拡散方向を成すよう，誘導気体流を生じさせ，研磨材がワークＷの移動方向Ｔの直交方向に拡散することを防止すると共にワークＷの移動方向Ｔの前方側及び／又は後方側に誘導し，この誘導方向前方側で開口する一対の吸引部２１ａ，２１ｂを介して吸引，回収する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧空間内で，ワークＷの被加工面に対して，ブラストガンの噴射孔から圧縮気体と共に研磨材を混合流体として噴射し，同時に，前記ワークの被加工面上で，前記ブラストガンの噴射孔を介して，前記ワークの移動方向に対して直交する方向の少なくとも一方側に，前記ブラストガンの噴射孔に対する前記ワークの相対的な移動方向と略平行な拡散方向を成す気体の流れを発生する圧縮気体をブローノズルから噴射し，前記気体の流れにより前記ワークの相対的な移動方向と略平行に拡散する方向の前方側より，前記負圧空間から切削粉及び前記研磨材を吸引，回収することを特徴とするブラスト加工方法。
【請求項２】
前記構成のブラスト加工方法において，前記負圧空間に対峙して前記ワークの前記被加工面に対する反対側の面で，前記ワークを介して対向する対向負圧空間から，前記負圧空間及び／又は前記対向負圧空間から，前記切削粉及び前記研磨材を吸引，回収することを特徴とする請求項１記載のブラスト加工方法。
【請求項３】
前記負圧空間に，前記ブラストガンの噴射孔から前記負圧空間の前記ワークの相対的な移動方向と略平行な拡散方向の誘導気体流を発生させ，該誘導気体流の前方側から，前記誘導気体流に乗せて，前記負圧空間から切削粉及び前記研磨材を回収することを特徴とする請求項１又は２記載のブラスト加工方法。
【請求項４】
前記ブローノズルからの気体流のワーク上における分布が，前記ワークＷの移動方向に長さ方向を有する形状であることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載のブラスト加工方法。
【請求項５】
前記ブラストガンからの噴射が，ワーク上における分布を，前記ワークの移動方向に長さ方向を有する形状とし，前記ブラストガンの研磨材の噴射分布の長さ方向に平行に，前記ブローノズルから圧縮気体を噴射することを特徴とする請求項４記載のブラスト加工方法。
【請求項６】
前記ブローノズルの噴射方向を前記ワークの移動方向の前方側又は後方側に向けて傾斜させたことを特徴とする請求項１〜５いずれか１項記載のブラスト加工方法。
【請求項７】
前記ブラストガンの噴射方向を，前記ブローノズルの噴射方向と同方向に傾斜させたことを特徴とする請求項５又は６記載のブラスト加工方法。
【請求項８】
相対的に移動するワークの被加工面に開口を臨ませて対向配置された負圧空間を成す少なくとも一の吸引部と，
前記ワークの被加工面に臨み研磨材を噴射するブラストガンと，
前記開口を介して前記ワークの被加工面に臨むと共に，前記ワークの移動方向と略平行な拡散方向を成すよう，圧縮気体の流れから成る誘導気体流を発生するブローノズルと，
前記ブローノズルの噴射孔を，前記ブラストガンの噴射孔に対し前記ワークの移動方向に対する直交方向の少なくとも一方側に配置すると共に，
前記誘導気体流の拡散方向前方側より前記ブラストガンの先端部に向けて前記吸引部の負圧空間を開口させたことを特徴とするブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項９】
前記ワークの前記被加工面に対する反対側の面に開口を臨ませる対向負圧空間を，前記ワークの移動許容間隔を介して前記負圧空間に対向形成すると共に，前記対向負圧空間を吸引する対向吸引部を設けたことを特徴とする請求項８記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１０】
前記負圧空間に，下端を前記ブラストガンの先端部に向けると共に上端を前記吸引部の開口部上方に向けた仕切板を設けたことを特徴とする請求項８又は９記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１１】
前記仕切板は，その幅方向の両端辺を前記ワークの移動方向と同方向に形成された前記負圧空間の側壁内面を成すよう保持枠を介して，取り付け，下端辺を前記負圧空間の開口内で前記ブラストガンの先端部に接合すると共に，上端辺を前記一対の吸引部の開口部の上方位置において，保持枠を介して負圧空間の内壁を形成するよう取り付けたことを特徴とする請求項１０記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１２】
前記ブローノズルの噴射孔を，前記ワークの移動方向に対して直交方向の長さ方向を有するスリット状に形成したことを特徴とする請求項８記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１３】
前記ブラストガンの噴射孔は，前記ワークの移動方向Ｔに対して直交方向の長さ方向を有するスリット状に形成し，該ブラストガンの噴射孔の長さ方向延長上に，前記ブローノズルの噴射孔を配置したことを特徴とする請求項８又は１２記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１４】
前記ブローノズルは，その噴射方向を前記ワークの移動方向の前方側又は後方側に向けて傾斜させたことを特徴とする請求項８又は１２記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１５】
前記ブラストガンの噴射方向を前記ブローノズルと同方向に傾斜させたことを特徴とする請求項１４記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１６】
前記吸引部を前記ブローノズル又は前記ブローノズル及びブラストガンの噴射方向の一方側に形成したことを特徴とする請求項１４又は１５記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１７】
前記ワークの移動方向における前記ブラストガンの両側にそれぞれ前記仕切板を設けると共に，前記ブラストガン及びブローノズルの先端部の配置位置を除き，前記２枚の仕切板の下端辺間を連結したことを特徴とする請求項８記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１８】
前記仕切板の下端辺間の連結部における下端面と，前記ブラストガンの先端部における端面とが同一平面Ｐとなるように両者を配置したことを特徴とする請求項１７記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項１９】
前記仕切板の下端辺間の連結部に前記ブローノズルの先端部が挿入されるブローノズル用の孔を設け，該孔に挿入された前記ブローノズルの先端部外周と前記孔の内縁間に所定の間隙を設けたことを特徴とする請求項１８記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項２０】
前記ブラストガンの先端部と前記ブローノズルの先端部間を通る前記ワークの移動方向と平行な直線に対し，前記ブローノズルの先端部の配置側における前記負圧空間の開口２２を，前記ブローノズルの先端部の配置位置を除き，閉塞したことを特徴とする請求項１９記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項２１】
前記負圧空間の開口内に，長さ方向を前記ワークの移動方向に対して直交方向と成し，且つ，幅方向を前記ブラストガンの噴射孔より遠ざかるに従って前記ワークより離反するように傾けた邪魔板を設けたことを特徴とする請求項８記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【請求項２２】
前記邪魔板は，メクラ板によって閉塞されていない部分の開口に設けたことを特徴とする請求項２１記載のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，ブラスト加工方法及びこの加工に用いるブラスト加工装置における研磨材噴射回収部の構造に関し，より詳細には，研磨材のうち，特に，所謂微粉研磨材を使用したブラスト加工に適応して好適なブラスト加工において，ワークに対する微粉研磨材の付着を防止できるブラスト加工方法及び，この方法を実施するブラスト加工装置における研磨材噴射回収部の構造に関する。
【０００２】
なお，本発明における微粉研磨材とは，これに限定されるものではないが，♯４００以上，又は平均粒径３０μm以下の研磨材をいう。
【背景技術】
【０００３】
ブラスト加工装置の一例として，重力式ブラスト加工装置６０について図１７を参照して説明すると，このブラスト加工装置６０は，内部を加工室と成すキャビネット６１を備え，このキャビネット６１内に噴射ノズル６２を配置することで搬入口６３を介してキャビネット６１内に搬入されたワーク（図示せず）を加工することができるように構成されている。
【０００４】
また，前記キャビネット６１の下部は逆角錐状に形成されてこの部分にホッパ６８が形成されており，このホッパ６８の最下端を導管６５を介してキャビネット６１の上部に設置された研磨材回収用の回収タンク７０の上部に連通している。
【０００５】
前述の回収タンク７０は切削粉を研磨材から分離するいわゆるサイクロンであり，回収タンク７０の流入口７３に連通管７５を介して前記導管６５の先端を連結すると共に，連結管７４，排出管６７を介して，排風機を備えた図示せざる集塵機により回収タンク７０内を吸引すると，連通管７５を介してキャビネット内の研磨材及び切削粉が回収タンク７０内へ気流と共に流入し，回収タンク７０の内壁に沿って回りながら降下する際に切削粉は集塵機へ回収される一方，再利用可能な研磨材が回収タンク７０の底部へ溜まり，研磨材供給管６４を介して再度，噴射ノズル６２より噴射可能となっている。
【０００６】
以上のような従来のブラスト加工装置６０において，加工室内で噴射された研磨材は，集塵機によって生じた負圧によって回収タンク７０内に搬送されて回収されるが，特に粒径が極めて小さな微粉研磨材を使用する場合，この微粉研磨材は一般的な研磨材に比較して個々の粒子が重量に対して表面積が大きいためにワーク等に対して強固に付着したり凝集したりし易い性質があり，ワークや加工室の内壁に研磨材が一旦付着すると，加工室内を負圧によって吸引し，又は，ワークに対してエアブロー等を行っても，これを除去することが困難となる。
【０００７】
そのため，このような微粉研磨材によってブラスト加工が行われたワークは，ブラスト加工後，これを洗浄水で洗浄する等して表面に付着した研磨材を除去する作業が必要となる。
【０００８】
このように，微粉研磨材を使用したブラスト加工では，研磨材がワーク等に一旦付着すると，これを除去することが困難であることに鑑み，研磨材がワークや他の場所へ付着する前に回収することも提案されている。
【０００９】
このような構成の一例として，図１８に示すブラスト加工装置８０では，ブラスト加工ダクト８１の一端に研磨材を噴射する噴射ノズル９１を設け，ブラスト加工ダクト８１の他端に研磨材を負圧により吸引する吸引ダクト８３を連通し，ブラスト加工ダクト８１には研磨材噴射流の前方にブラスト加工室８２を設け，ブラスト加工室８２の側壁に研磨材噴射流に対して略直交の方向にワークＷを挿入せしめる挿入口８４を設け，この挿入口８４の内周とワークＷの外周との間に外気を吸気する吸気口８５となる吸気間隙を形成し，ブラスト加工室のワークに噴射された研磨材が吸引ダクトから直ちに吸引されると共に，吸気間隙より吸入された外気によるエアブローによって加工室からの研磨材の飛び出しを防止することが提案されている（特許文献１参照）。
【００１０】
なお，微粉研磨材を使用したブラスト加工は高精度な加工が可能であることから各種分野での利用が期待でき，一例として，このような利用分野として薄膜太陽電池の製造工程において行われるスクライビング（溝加工）において，現在利用されているレーザ加工に代わるものとしての利用が考えられる。
【００１１】
ここで，薄膜太陽電池の製造工程でレーザによるスクライビングが行われる一場面としては，図１９（Ａ），（Ｂ）に示すように，ガラス基板上に背面電極，光吸収層，エミッタ，透明電極等の薄膜太陽電池として必要な薄膜層を形成した後，ガラスカバーを取り付ける前に，周縁部における幅数mmから十数mmの範囲でガラス基板上より薄膜層を除去する作業があり，このように周縁部における薄膜層を除去することで，ガラスカバーの取り付け後，周縁部にアルミ等の金属製フレームを取り付けた場合であってもこのフレームとの間に短絡が生じることが防止できるものとなっている。
【００１２】
なお，薄膜太陽電池の製造工程で行われるレーザによるスクライビングは，上記の例の他，薄膜太陽電池を各セル毎に分割する場合等においても行われている。
【００１３】
この発明の先行技術文献情報としては次のものがある。
【特許文献１】特開平０９−３００２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前述した薄膜太陽電池の製造工程で行われるスクライビングは，現在，レーザによってこれを行うことが一般的であるが，レーザ加工装置は高価であり，多大な初期投資が必要であると共に，この種の作業に一般的に使用されている窒素ガスレーザでは，窒素ガスが消費されるために比較的ランニングコストもかかる。
【００１５】
そのため，このようなスクライビングを，レーザ装置に比べて安価なブラスト加工装置により，かつ，ランニングコストを比較的安く抑えることのできるブラスト加工という手法によって行うことができれば市場における価格競争力の点で優位に立つことができる。
【００１６】
しかし，このようなスクライビングを微粉研磨材を使用したブラスト加工によって行う場合，噴射された研磨材がワークに付着するため，このようにして付着した研磨材を除去する必要があるが，前述したように微粉研磨材は，一旦ワークに付着すると除去が極めて困難で，集塵機による加工室内の吸引や，ワークに対してエアブローを行う程度では容易に除去することができない。
【００１７】
そこで，このようにしてワークに付着した微粉研磨材を除去しようとすれば，ブラスト加工後にワークを洗浄水等で洗浄することになるが，ワークが前述した薄膜太陽電池である場合にはこれを洗浄水により洗浄することができず，付着した研磨材を除去する有効な手段がない。
【００１８】
また，ブラスト加工装置によって切削を行う場合，ブラストガンよりワークの表面に対して直交方向に研磨材の噴射を行うと，ワークの表面に衝突した研磨材は図２０に示すように研磨材を搬送する気流と共にワークの表面に沿って３６０°全方向に拡散するために，ワークは研磨材との衝突部分のみならず，その周辺も切削されてしまう。
【００１９】
そのため，ブラスト加工によって前述のようなスクライビングを行おうとすれば，除去せずに残す部分が切削されないように，予めワークの非切削部分の表面をマスク材の貼着等により保護しておく必要がある。
【００２０】
しかし，前述した薄膜太陽電池をワークとする場合，ガラス基板上に形成された各層は比較的脆く，マスク材の貼着や剥離を行えば，貼着や剥離の際の衝撃等により薄膜層がガラス基板上より剥離してしまうおそれがある。
【００２１】
このように，微粉研磨材を使用したブラスト加工にあっては，研磨材がワークに強固に付着して除去し難いこと，切削範囲を画定するためにマスク材の貼着等が必要であること等から，レーザによるスクライビング等に比較してコスト面で優れたものであるにも拘わらず，薄膜太陽電池のように洗浄やマスク材の貼着を行うことができないワークに対して適用することができない。
【００２２】
なお，前掲の特許文献１として紹介したブラスト加工装置では，研磨材がワークに付着する前においてこれを回収しようとするものであるが，図１８に示す構成より，ここで対応できるワークは棒乃至は線状のものに限定され，例えば加工室を二分するような板状のワークに対して適用できない。
【００２３】
また，前掲の特許文献１に記載の構成では，ワークに対して一定幅の溝形成を行おうとすればマスク材の貼着が必須であり，この点からも薄膜太陽電池のスクライビングに使用することはできない。
【００２４】
なお，以上の説明では，ワークの一例として薄膜太陽電池を例に挙げて説明したが，これに限らず，洗浄水による洗浄やマスク材の貼着を行うことができない各種材質のワークについても上記同様の問題がある。
【００２５】
また，洗浄やマスク材の貼着を行うことができるワークであっても，洗浄やマスク材の貼着を省略することができればその分生産性が向上し，加工コストを低減できるという利点がある。
【００２６】
そこで本発明は，上記従来技術における欠点を解消するために成されたものであり，微粉研磨材を使用した場合であっても，この研磨材をワークに付着させることなく回収することが可能であり，従って，ブラスト加工後に研磨材を除去するための洗浄等の作業を不要とし，また，相対的に移動するワークに対してマスク材を貼着することなしに一定の切削幅で溝加工等を行うことができるブラスト加工方法及びブラスト加工装置の研磨材噴射回収部構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
上記目的を達成するために，本発明のブラスト加工方法は，負圧空間内で，ワークＷの被加工面に対して，ブラストガン３０の噴射孔３１から圧縮気体と共に研磨材を，混合流体として，噴射し，同時に，前記ワークの被加工面上で，前記ブラストガンの噴射孔を介して，前記ワークの移動方向に対して直交する方向の少なくとも一方側に，前記ブラストガンの噴射孔に対する前記ワークの相対的な移動方向Ｔと略平行な拡散方向を成す気体の流れを発生する圧縮気体をブローノズル３２から噴射する（図１３参照）。そして，前記気体の流れにより前記ワークの相対的な移動方向Ｔと略平行に拡散する方向の前方，実施形態では，前記移動方向Ｔの前後に位置する，前方側より，前記負圧空間から切削粉及び前記研磨材を吸引，回収することを特徴とする（請求項１）。
【００２８】
前記構成のブラスト加工方法において，前記負圧空間に対峙して前記ワークの前記被加工面に対する反対側の面で，前記ワークを介して対向する対向負圧空間から，前記負圧空間と共に，又はこれに代えて，前記対向負圧空間から，前記切削粉及び前記研磨材を吸引，回収するものとしても良い（請求項２）。
【００２９】
また，前記負圧空間に，前記ブラストガンの噴射孔から前記負圧空間の前記ワークの相対的な移動方向と略平行な拡散方向の誘導気体流を発生させ，該誘導気体流の前方側から，前記誘導気体流に乗せて，前記負圧空間から切削粉及び前記研磨材を回収するものとすることもできる（請求項３）。
【００３０】
また，前記ブローノズル３２からの気体流のワークＷ上における分布が，実施形態では，両端が略円弧状で，中央部が細幅となる，前記ワークＷの移動方向Ｔに長さ方向を有する形状とすることができる（請求項４）。
【００３１】
この場合，実施形態では，前記ブラストガン３０の噴射孔３１の噴射が，ワーク上における分布が，同様に前記ワークＷの移動方向Ｔに長さ方向を有する形状となるようにし，前記ブラストガン３０の研磨材の噴射分布の長さ方向に平行に，前記ブローノズル３２から圧縮気体を噴射することができる（請求項５）。
【００３２】
また，前記ブローノズル３２の噴射方向を前記ワークＷの移動方向Ｔの前方側又は後方側に向けて傾斜させた構成としても良い（請求項６）。
【００３３】
この場合，前記ブラストガン３０の噴射方向を，前記ブローノズル３２の噴射方向と同方向に傾斜させることが好ましい（請求項７）。
【００３４】
請求項６又は請求項６及び７の構成により，前記吸引，回収を前記ブローノズル３２又は前記ブローノズル３２及びブラストガン３０の噴射方向の一方側からとすることができる（符号２1ａ又は２１ｂ）。
【００３５】
また，本発明のブラスト加工装置における研磨材噴射回収部１０の構造は，相対的に移動するワークＷの被加工面に開口２２を臨ませて対向配置された負圧空間を成す少なくとも一の吸引部２1（２１ａ，２１ｂ）と，
前記ワークＷの被加工面に臨み研磨材を噴射するブラストガン３０と，
前記開口２２を介して前記ワークＷの被加工面に臨むと共に，前記ワークＷの移動方向と略平行な拡散方向を成すよう，圧縮気体の流れから成る誘導気体流を発生するブローノズル３２と，
前記ブローノズル３２の噴射孔３３を，前記ブラストガン３０の噴射孔３１に対し前記ワークＷの移動方向Ｔに対する直交方向の少なくとも一方側に配置すると共に，
前記誘導気体流の拡散方向前方側より前記ブラストガン３０の先端部３０ａに向けて前記吸引部２１（２１ａ，２１ｂ）を負圧空間(２０ａ，２０ｂ)に開口させたことを特徴とする（請求項８）。
【００３６】
前記構成の研磨材噴射回収部１０において，前記ワークＷの前記被加工面に対する反対側の面に開口４２を臨ませる対向負圧空間４０を，前記ワークＷの移動許容間隔を介して前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）に対向形成すると共に，前記対向負圧空間４０を吸引する対向吸引部４１を設けるものとしてもよい（請求項９）。
【００３７】
また，前記負圧空間に，下端を前記ブラストガン３０の先端部３０ａに向けると共に上端を前記吸引部２１（２１ａ，２１ｂ）の開口部上方に向けた仕切板２６を設けた構成とすることができる（請求項１０）。
【００３８】
前記仕切板２６は，その幅方向の両端辺２６ａ，２６ｂを前記ワークＷの移動方向Ｔと同方向に形成された前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の側壁内面を成すよう保持枠２０を介して，取り付け，下端辺２６ｃを前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の開口２２内で前記ブラストガン３０の先端部３０ａに接合すると共に，上端辺２６ｄを前記一対の吸引部２１（２１ａ，２１ｂ）の開口部の上方位置において，保持枠２０を介して負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の内壁を形成するよう取り付けることができる（請求項１１）。
【００３９】
また，前記ブローノズル３２の噴射孔３３を，前記ワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向の長さ方向を有するスリット状に形成することができる（請求項１２）。
【００４０】
この場合，前記ブラストガン３０の噴射孔３１についても同様に前記ワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向の長さ方向を有するスリット状に形成し，該ブラストガン３０の噴射孔３１の長さ方向延長上に，前記ブローノズル３２の噴射孔３３を配置することができる（請求項１３）。
【００４１】
また，前記ブローノズル３２は，その噴射方向を前記ワークＷの移動方向Ｔの前方側又は後方側に向けて傾斜させた構成とすることができる（請求項１４）。
【００４２】
この場合，前記ブラストガン３０の噴射方向についても前記ブローノズル３２と同方向に傾斜させることが好ましい（請求項１５）。
【００４３】
請求項１４又は請求項１４及び１５の構成により，前記吸引部２１を前記ブローノズル３２又は前記ブローノズル３２及びブラストガン３０の噴射方向の一方側に形成することができる（符号２１ａ又は２１ｂ；請求項１６）。
【００４４】
なお，前記ワークＷの移動方向Ｔにおける前記ブラストガン３０の両側にそれぞれ前記仕切板２６，２６を設けると共に，前記ブラストガン３０及びブローノズル３２の先端部の配置位置を除き，前記２枚の仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間を連結した構成とすることができる（請求項１７）。
【００４５】
この場合，仕切板２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間の連結部における下端面２６ｅと，前記ブラストガン３０の先端部３０ａにおける端面とが同一平面Ｐとなるように両者を配置することが好ましい（請求項１８）。
【００４６】
また，前記仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間の連結部に前記ブローノズル３２の先端部３２ａが挿入されるブローノズル用の孔２７を設け，該孔２７に挿入された前記ブローノズル３２の先端部３２ａ外周と前記孔２７の内縁間に所定の間隙δを設けることもできる（請求項１９）。
【００４７】
なお，前記ブラストガン３０の先端部３０ａと前記ブローノズル３２の先端部３２ａ間を通る前記ワークＷの移動方向Ｔと平行な直線ＴＬに対し，前記ブローノズル３２の先端部３２ａの配置側における前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の開口２２を，前記ブローノズル３２の先端部３２ａの配置位置を除き，例えばメクラ板２９等によって閉塞するものとすることができる（請求項２０）。
【００４８】
更に，前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の開口２２内に，長さ方向を前記ワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向と成し，且つ，幅方向を前記ブラストガン３０の噴射孔３１より遠ざかるに従って前記ワークＷより離反するように傾けた邪魔板２４を設けても良い（請求項２１）。この邪魔板２４は，前述したメクラ板２９によって負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の開口２２を一部閉塞した場合には，メクラ板２９によって閉塞されていない部分の開口２２内に設ける（請求項２２）。
【発明の効果】
【００４９】
以上説明した本発明の構成により，本発明のブラスト加工方法及び研磨材噴射回収部構造を備えたブラスト加工装置によれば，以下のような顕著な効果を得ることができた。
【００５０】
ブローノズル３２より圧縮気体を噴射して，ブラストガン３０の噴射孔３１の側方にワークＷの移動方向Ｔと略平行な拡散方向を成すよう，誘導気体流を発生させることにより（図１３参照），ブラストガン３０より噴射された研磨材がこの誘導気体流側に拡散することを防止することができると共に，研磨材を，ワークＷの移動方向Ｔの前方側及び／又は後方側に向けて誘導することができた。
【００５１】
その結果，この誘導気体流の拡散方向前方から，装置的には前記拡散方向前方に設けられた，一対の吸引部２１ａ，２１ｂを介して，負圧空間２０ａ（，２０ｂ）を吸引することで，研磨材の拡散方向と，前記一対の吸引部２１ａ，２１ｂによる，吸引回収方向とを一致させることができ，その結果，負圧空間２０ａ（，２０ｂ）内の研磨材及び切削粉を効率的に回収することができた。
【００５２】
これにより，研磨材がワークＷの表面に堆積する前の流動状態にあるときに，これを回収することができ，ワークＷに対する研磨材の付着を確実に防止することができた。
【００５３】
また，このようにワークＷに対する研磨材の付着を防止できたことにより，ブラスト加工後にワークＷを洗浄等して研磨材を除去する作業が不要となると共に，ブラストガン３０より噴射された研磨材は，ブローノズル３２によって噴射された誘導気体流によってワークＷの移動方向Ｔに対する直交方向への広がりが抑制される結果，マスク材等の貼着なしに所望幅の溝加工を行うことが可能となった。
【００５４】
その結果，加工対象とするワークＷが薄膜太陽電池等のように洗浄を行うことができず，また，マスク材を貼着することができない性質のものであっても，これを研磨材によるブラスト加工の対象とすることが可能となった。
【００５５】
前記負圧空間２０ａ，２０ｂに対して，装置的には，対向配置される対向負圧空間４０を形成する構成にあっては，例えば図１，２に示すように板状のワークＷの一辺に対して溝加工を行う場合，負圧空間２０ａ（，２０ｂ）内の研磨材や切削粉を，（図２に示す例では挿入規制体５１とワークＷの一辺間の隙間ρを介して）対向負圧空間４０からも回収することができ，負圧空間２０ａ（，２０ｂ）内に研磨材が残留してワークＷや負圧空間２０ａ（，２０ｂ）内に付着することを好適に防止することができた。
【００５６】
また，ワークＷの挿入前や，ワークＷの通過後等，負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間にワークＷが存在しない状態でブラストガン３０より噴射された研磨材を直ちに回収できることから，ワークＷの装填位置を清浄に保つことができ，これにより，ワークＷの装填位置に残留する研磨材がワークＷに付着することにより生じる二次的な汚染をも好適に防止することができた。
【００５７】
しかも，負圧空間２０ａ，２０ｂの吸引と，対向負圧空間４０の吸引とを共に行うことで，負圧空間２０ａ，２０ｂの吸引によってワークＷに作用する吸引力を，対向負圧空間４０の吸引によってワークＷに作用する吸引力によって打ち消すことができ，これによってワークＷの相対的な移動を容易とすることができた。
【００５８】
負圧空間２０ａ（，２０ｂ）内に仕切板２６を設けた構成にあっては，この仕切板２６によっても誘導気体流を増幅させ，研磨材を好適に一対の吸引部２１ａ，２１ｂ側にこの気流により誘導することができた。
【００５９】
特に，この仕切板２６の幅方向の両端辺２６ａ，２６ｂを前記ワークＷの移動方向Ｔと同方向に設けられた前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の側壁内面を成すよう，保持枠２０を介して取り付け，下端辺２６ｃを前記開口２２内で前記ブラストガン３０の先端部に接合すると共に，上端辺２６ｄを前記一対の吸引部２１ａ，２１ｂの開口部の上方位置において保持枠２０を介して負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の内壁を形成するよう取り付ける場合には，負圧空間２０ａ（，２０ｂ）がこの仕切板２６によって仕切られることにより，一対の吸引部２１ａ，２１ｂによって発生した吸引負圧によって前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）を創成し，この負圧空間内から研磨材をより吸引し易いものとすることができた。
【００６０】
前記ブローノズル３２の噴射孔３３を，前記ワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向の長さ方向を有する長方形ないしスリット状に形成し，気体流のワーク上における分布が，前記ワークの移動方向に長さ方向を有する形状で噴射した場合には，このような噴射孔３３を介してワークＷの表面に直交方向に圧縮気体を噴射すると，ワークＷに衝突した圧縮気体を図１３に示すように，ワークＷの移動方向Ｔと平行な方向に広がりを持ち，かつ，噴射孔３３の開孔幅方向両側に広がる誘導気体流を形成することができ，この誘導気体流によって研磨材がワークＷの移動方向Ｔの直交方向に拡散することを広範囲で防止でき，研磨材をワークＷの移動方向Ｔに誘導することができた。
【００６１】
この場合，ブラストガン３０の噴射孔３１についても同様のスリット状に形成することで，ブラストガン３０より噴射された研磨材のワーク上における分布が，前記ワークの移動方向に長さ方向を有する形状に拡散させることができ（図１３参照），研磨材の拡散防止及び研磨材の誘導をより正確に行うことができた。
【００６２】
なお，このように噴射孔３１，３３をスリット状に形成する構成に代え，または，噴射孔３１，３３をスリット状とした構成と共に，ブラストガン３０及びブローノズル３２をワークＷの表面に対して移動方向Ｔ前方又は後方に向けて同方向に傾斜して配置することにより，研磨材や圧縮気体を，ワークＷの移動方向Ｔと略平行な方向に拡散させることもできる。このようにブラストガン３０やブローノズル３２の噴射方向を傾斜させた構成にあっては，既知の丸孔状の噴射孔を備えたブローノズルやブラストガンを使用した場合であっても，好適に研磨材の拡散方向を一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向けて誘導することができた。
【００６３】
なお，前述のようにブラストガン３０及びブローノズル３２の噴射孔３１，３３をスリット状とした構成にあっては，図１３に示すように研磨材や圧縮流体をワークＷの移動方向Ｔの前方側と後方側の双方に向かうものとして生じさせることもでき，一対の吸引部２１ａ，２１ｂ及び仕切板２６も，これに対応してブラストガン３０の噴射孔３１の両側にそれぞれ設け，２枚の仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間を連結することにより，誘導気体流を発生させ，一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向かって研磨材を円滑に誘導することができた。
【００６４】
この場合，２枚の仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間の連結部分に生じた下端面２６ｅと，前記ブラストガン３０の先端部３０ａにおける端面とを同一平面Ｐ上に形成することにより，ブラストガン３０の噴射孔３１より噴射された研磨材が，一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向かって拡散する際に，ブラストガン３０の先端部端面と前記仕切板２６の下端面２６ｅとの間に生じた段差２６ｈ〔図９（Ａ）参照〕等によって乱されることがなく，一対の吸引部２１ａ，２１ｂ側に向かう誘導気体流を発生させ研磨材を円滑に誘導することができた。
【００６５】
更に，前記仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間の連結部にブローノズル用の孔２７を設け，この孔２７の内縁と前記ブローノズル３２の先端部３２ａ外周との間に所定の間隙δが形成されるように前記孔２７内にブローノズル３２の先端部３２ａを挿入した構成にあっては，ブローノズル３２より圧縮気体を噴射すると，２枚の仕切板２６，２６間に形成された空間２０ｃ内の空気がエゼクタ効果によって前記間隙δを介してワークＷに向かって噴射され，その結果，ブローノズル３２より噴射された圧縮気体により生じた誘導気体流が周囲の研磨材を巻き込んで，切削を行わない部分であるブローノズル３２の噴射孔３３が臨むワークＷの表面部分を切削し，又は梨地とすることを好適に防止できた。
【００６６】
更に，前記ブラストガン３０の先端部と前記ブローノズル３２の先端部間を通る前記ワークＷの移動方向Ｔと平行な直線ＴＬに対し，前記ブローノズル３２の先端部の配置側における前記負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の開口２２を，前記ブローノズル３２の先端部の配置位置を除きメクラ板２９等で閉塞した場合〔図４（Ａ），（Ｂ）参照〕には，前記ブローノズル３２より噴射された誘導気体流は，ワークＷの表面とこのメクラ板２９間に形成された比較的狭い空間内に導入される結果，ブラストガン３０より噴射された研磨材はこの空間内に浸入できず，ワークＷの移動方向Ｔの直交方向に対する研磨材の拡散をより好適に防止することができた。
【００６７】
負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の開口２２内に前述した邪魔板２４を設けた構成にあっては，この邪魔板２４によってワークＷの表面に沿って移動しようとする研磨材の流れを，ワークＷの表面より上向きに離間する方向に偏向させることができ，一対の吸引部２１ａ，２１ｂによる研磨材や切削粉等を前記負圧空間内の誘導気体流に乗せて回収し，回収効率を向上させてワークＷに対する研磨材の付着を更に確実に防止することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６８】
次に，本発明の実施形態につき添付図面を参照しながら以下説明する。
【００６９】
研磨材噴射回収部の構造
図１及び図２に示すように，本発明の研磨材噴射回収部１０は，ワークＷの被加工面に所定の間隙を介して対向配置される負圧空間２０ａ，２０ｂと，この負圧空間２０ａ，２０ｂ内に先端部３０ａが収容されたブラストガン３０，前記ブラストガン３０に隣接して設けられたブローノズル３２，及び前記負圧空間２０ａ，２０ｂ内を吸引する一対の吸引部２１（２１ａ，２１ｂ）を備えている。
【００７０】
図示の実施形態にあっては，この負圧空間２０ａ，２０ｂの他，ワークＷの被加工面とは反対側の面（以下，「裏面」という。）に所定の間隙を介して対向配置される対向負圧空間４０を設け，この対向負圧空間４０をワークＷを介して前記負圧空間２０ａ，２０ｂに対向させて配置すると共に，この対向負圧空間４０内を吸引する対向吸引部４１を設けているが，この対向負圧空間４０は必ずしも必要ではなく，後述するようにこれを省略して本発明の研磨材噴射回収部１０を構成することもできる。
【００７１】
負圧空間２０ａ，２０ｂ
ワークＷの表面に対して所定の間隙を介して対向配置される前述の負圧空間２０ａ，２０ｂは，図示の実施形態にあっては，水平に配置されるワークＷの表面を覆うように対向配置されるもので，図示の例ではワークＷとの対向面である底面に矩形状の開口２２を備えている〔図４（Ａ），（Ｂ）参照〕。
【００７２】
なお，図示の実施形態にあっては，本発明の研磨材噴射回収部１０を備えたブラスト加工装置によって加工するワークＷを板状のものとして説明するが，加工対象とするワークＷは，このような板状のものに限定されず，例えば図１２に示すように円筒状や円柱状のワークＷを対象とすることもでき，この場合には同図に示すように負圧空間２０ａ，２０ｂの前記ワークＷに対する対向面を，ワークＷの表面形状に対応させて湾曲等させた形状とする。
【００７３】
なお，図１２に示す例では，円柱状乃至は円筒状のワークＷを回転させながら加工を行う例を示しているが，例えば円筒状乃至は円柱状のワークＷを軸線方向に移動させながら，又は軸線方向に移動させつつ回転させながら，その外周に加工を行うように構成しても良い。
【００７４】
図１〜３に示す実施形態において，前述の負圧空間２０ａ，２０ｂは，図３に示すように平面視において加工対象であるワークＷの移動方向Ｔを長さＬmc方向とし，移動方向Ｔと直交方向の幅Ｗmc方向を有する矩形状に形成され，その底面に，ワークＷの移動方向Ｔを長さ方向とする矩形の開口２２が形成されている〔図４（Ａ），（Ｂ）参照〕。
【００７５】
この負圧空間２０ａ，２０ｂの底部には，底面周縁より外周方向に突出するフランジ状の押さえ板（上側押さえ板）２３を設けることが好ましく，本実施形態にあっては，この上側押さえ板２３の肉厚内に，後述する邪魔板２４の配置スペースを確保している。
【００７６】
この押さえ板２３は，前述した負圧空間２０ａ，２０ｂの底部を，前記開口２２に対応した矩形の開口が形成された板材によって覆うことにより，この板材が底面より外周方向に突出した部分で前記押さえ板２３を形成しても良く，この構成では，前記押さえ板２３に形成した開口が，負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２となる。
【００７７】
この負圧空間２０ａ，２０ｂのサイズは，加工対象とするワークＷのサイズ，ワークＷに対する切削加工幅，ワークＷの加工位置（例えば，矩形板であるワークＷの端部の一辺に沿った切削加工であるか，又は中心部に対する切削加工であるか等）によって種々のサイズに変更可能であるが，負圧空間２０ａ，２０ｂを過度に大型化する場合には内部で浮遊する研磨材を回収するためには負圧空間２０ａ，２０ｂ内の吸引速度を上昇させる必要があり，大型の吸引手段が必要となる等経済的でない。
【００７８】
一例として，前記負圧空間２０ａ，２０ｂのサイズは，平面視における矩形の幅Ｗmcで５０〜１５０mm程度，長さＬmcで１００〜３００mm程度であり，正面視における台形の高さにおいて５０〜１５０mm程度であるが，これに限定されない。
【００７９】
なお，前記負圧空間２０ａ，２０ｂの前記開口２２内には，好ましくは図１，図４（Ａ），（Ｂ）及び図５に示すように邪魔板２４を設ける。この邪魔板２４は，その長さ方向をワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向と成すと共に，その幅方向が噴射孔３１から遠ざかるに従いワークＷの表面から離反するように傾斜されている。
【００８０】
図１及び図４に示す実施形態にあっては，この邪魔板２４を，ブラストガン３０の先端部３０ａ一方側に各６本，両側で計１２本設けており，それぞれの幅方向における傾斜角が一定となるように平行に配置している。
【００８１】
この邪魔板２４は，例えば図４（Ａ）に示すようにブラストガン３０の噴射孔３１より所定の距離離れた位置に設けることが好ましく，噴射孔３１に近接した位置に設ける場合，研磨材により激しく摩耗する。
【００８２】
このように設けられた邪魔板２４は，ブラストガン３０の噴射孔３１より噴射され，ワークＷの表面に衝突した後にワークＷの表面に沿って移動しようとする研磨材の流れを上方に偏向させてワークＷの表面より離間させる作用を有し（図５参照），これにより研磨材が負圧空間２０ａ，２０ｂ内で浮遊して，後述する一対の吸引部２１ａ，２１ｂを介した負圧空間２０ａ，２０ｂ内の吸引によりワークＷの表面に対する研磨材の付着をより確実に防止することができるものとなっている。
【００８３】
以上のように構成された負圧空間２０ａ，２０ｂは，その底部に形成された開口２２を前記ワークＷの被加工面に所定の間隙を介して対向させた状態で配置され，これにより，前記負圧空間２０ａ，２０ｂが形成される。
【００８４】
ブラストガン
以上のように構成された負圧空間２０ａ，２０ｂ内には，ワークＷに対して微粉研磨材を噴射するためのブラストガン３０の先端部３０ａが収容されている。
【００８５】
このブラストガン３０は，図示の実施形態にあっては図１に示すように，保持枠２０の天板部を貫通して，その噴射方向がワークＷに対して垂直方向となり，かつ，噴射孔３１が負圧空間２０ａ，２０ｂの底部に設けた前述の開口２２を介してワークＷの表面に近接して配置されるように取り付けられている。
【００８６】
このブラストガン３０の先端部３０ａに設けられた噴射孔３１は，好ましくは開口幅が狭く形成されたスリット状に形成されており，このスリット状の噴射孔３１の開口に対応して，研磨材の噴射がかような長方形ないし方形となる。そして，このスリット状の噴射孔３１の開口幅方向が，前記ワークＷの移動方向Ｔと一致するように前記保持枠２０に取り付けられている〔図４（Ａ），（Ｂ）参照〕。
【００８７】
ブラストガン３０の噴射孔３１は，一例として開孔幅０．０５〜３mm，開孔長さ３〜６００mmであり，本実施形態にあっては開孔幅０．５mm，開孔長さ１０mmとした。
【００８８】
一般に，丸孔形状の噴射孔を持つブラストガンより噴射された研磨材，特に軽量であるために搬送気体流に乗り易い微粉研磨材をワークＷの表面に対して直交方向に噴射してワークＷの表面に衝突させると，微粉研磨材は噴射気体流と共にワークの表面に沿って３６０°全方向に流れるが（図２０参照），前述のようにスリット状の噴射孔３１を備えたブラストガン３０によって微粉研磨材の噴射を行う場合，ワークＷの表面に衝突した後の微粉研磨材の拡散方向を図１３に示すように，噴射孔３１に対応する，ワーク上における研磨材の分布が，前記ワークの移動方向に長さ方向を有する形状となり，研磨材の噴射が両端が円弧で，中央部が細幅の形状となる前記スリットの開孔幅方向に広がるものとすることができ，その結果，ワークＷの切削幅が拡がることを防止できる。
【００８９】
また，スリット状の噴射孔３１の開孔長さ，すなわち，研磨材の噴射面は，一例としてワークＷに対する加工幅に対応した長さに形成するが，ワークＷの端部一辺に沿って所定幅の切削を行う例では，切削幅に対して開孔長さを長く形成し，噴射孔３１とワークＷの位置調整によって，所望の切削幅が得られるようにしても良い。
【００９０】
なお，図示の例では，前述したようにブラストガン３０をスリット状の噴射孔３１を備えたものとして説明したが，ブラストガン３０の構成はこれに限定されず，既知の丸孔状の噴射孔を備えたブラストガンを使用しても良い。
【００９１】
この場合，ブローノズル３２又はブローノズル及びブラストガンをワークの移動方向Ｔ前方，又は後方に向けて傾けて配置とすることにより，ワークＷの表面に衝突した後の研磨材の拡散方向をワークの移動方向前方又は後方に向けることができ，このブローノズル３２又はブローノズル及びブラストガン３０の傾斜方向前方に前述の吸引部２１（２１ａ又は２１ｂ）を配置することにより，吸引部による吸引方向と，微粉研磨材の拡散方向を一致させて効率的に微粉研磨材の回収を行うことが可能となる。
【００９２】
従って，このようにブローノズル３２又はブローノズル及びブラストガンを傾斜して設ける場合には，図１に示す実施形態とは異なり，吸引部をブローノズル３２又はブローノズル及びブラストガン３０の傾斜方向前方又は後方の一方側に吸引部２１（２１ａ又は２１ｂ）のみ設けるものとしても良い。
【００９３】
なお，このように研磨材をワークＷの表面に対して傾斜して噴射する構成は，前述したスリット状のブラストガンとの組み合わせにおいて採用するものとしても良い。
【００９４】
一例として，ワークＷの表面に対するブローノズル３２又はブローノズル及びブラストガンの傾斜角は，５〜９０°の範囲である。
【００９５】
なお，ブラストガン３０による微粉研磨材の噴射圧力は，一例として０．０５〜１．５MPaの範囲であり，本実施形態にあっては０．１５MPaである。
【００９６】
ブローノズル
前述の保持枠２０には，前述したブラストガン３０の他，ワークＷに対して圧縮気体を噴射するためのブローノズル３２が配置されている。
【００９７】
このブローノズル３２は，図２及び図４（Ａ），（Ｂ）に示すように，ワークＷの移動方向Ｔに対する直交方向，従って形成する溝の幅方向において，前記ブラストガン３０の噴射孔３１に隣接してその噴射孔３３を開口するもので，図示の実施形態にあっては，このブローノズル３２の噴射孔３３を，前述したブラストガン３０の噴射孔３１と同様のスリット形状とし，図４（Ａ），（Ｂ）に示すように，このブローノズル３２の噴射孔３３の長さ方向が，前述したブラストガン３０の噴射孔３１の長さ方向の延長上に位置するよう配置している。
【００９８】
ブローノズル３２の噴射孔３３は，一例として開孔幅０．１〜１０mm，開孔長さ５〜３０mmであり，本実施形態にあっては開孔幅０．５mm，開孔長さ１０mmとした。
【００９９】
このブローノズル３２の噴射孔３３は，例えばワークＷに対する溝の形成が，ワークＷの一辺に沿って行われる場合には，このワークＷの一辺側とは反対側に微粉研磨材が拡散することを防止できれば良く，従って図４（Ａ）に示すようにブラストガン３０の噴射孔３１の一方側〔図４（Ａ）中紙面上側〕にのみ設けるものとすることができる。
【０１００】
これに対し，ワークＷに対する溝の形成が，ワークＷの例えば中央部分に対して行われるものである場合には，ワークＷの移動方向Ｔに対する直交方向のいずれの側にも微粉研磨材が拡散することを共に防止する必要があり，この場合には，図４（Ｂ）に示すようにブラストガン３０の噴射孔３１の両隣〔図４（Ｂ）中紙面上下側〕にそれぞれブローノズル３２，３２の噴射孔３３，３３を配置する。
【０１０１】
なお，ワークＷの移動方向Ｔと平行で，前記ブラストガン３０の先端部と前記ブローノズル３２の先端部間を通る直線ＴＬを想定し，この直線ＴＬを境として前記ブローノズル３２の配置側における負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２を前記ブローノズル３２の先端部の配置位置を除きメクラ板２９等で閉塞することが好ましい。
【０１０２】
このように前述した位置における負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２をメクラ板２９で閉塞することにより，ブローノズル３２より噴射された圧縮気体は，ワークＷの表面と前記メクラ板２９間の比較的狭い空間内に誘導気体流として導入される。
【０１０３】
その結果，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材はこの空間内に入り込むことができず，ワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向に拡がることを確実に防止することができる。
【０１０４】
そのため，前記負圧空間内の誘導気体流に乗せて，微粉研磨材を一対の吸引部２１ａ，２１ｂ側に正確に誘導することができ，微粉研磨材がワークＷの表面に堆積することを防止できると共に，ワークＷの切削範囲を限定することができ，その結果，マスク材等を貼着することなしに高精度でワークの表面に溝を形成することができる。
【０１０５】
なお，ブローノズル３２についても前述したブラストガン３０と同様，ワークＷの表面に対し圧縮気体の噴射方向をワークＷの移動方向Ｔの前方又は後方にむけて傾けたものとしても良い。この場合，前述したスリット状の噴射孔３３を有するブローノズルの他，丸孔形状の噴射孔を持つブローノズルを使用できる点は，前述したブラストガンの場合と同様である。
【０１０６】
このように，ブローノズル３２による噴射方向を傾斜した配置とする場合，ブローノズルとブラストガンとの傾斜方向を同一の方向に傾斜させる。
【０１０７】
なお，ブラストガン３０及びブローノズル３２の傾斜角は，いずれもワークＷの表面に対し，一例として５〜９０°の範囲である。
【０１０８】
さらに，ブローノズル３２より噴射する圧縮気体の噴射圧力は，前述したブラストガン３０による微粉研磨材の噴射圧力に対して同等もしくは低く設定することが好ましく，このようにブローノズル３２による圧縮気体の噴射圧力を比較的低く設定することにより，ブローノズル３２より噴射された誘導気体流に微粉研磨材を巻き込んでワークＷの表面が切削されることを防止できる一方，ブローノズル３２の噴射圧力が低すぎると微粉研磨材がワークＷの移動方向Ｔに対して直交方向に拡散することを防止することができず，その噴射圧力は一例として０．０５〜１．５MPaであり，本実施形態にあっては０．０８MPaである。
【０１０９】
吸引部
上記負圧空間２０ａ，２０ｂには，負圧空間２０ａ，２０ｂ内を吸引するための一対の吸引部２１ここでは，一対の吸引部２１ａ，２１ｂが設けられており，この一対の吸引部２１ａ，２１ｂを介して負圧空間２０ａ，２０ｂ内を吸引することで，負圧空間２０ａ，２０ｂ内で浮遊する微粉研磨材や切削粉を回収することができるように構成されている。
【０１１０】
この一対の吸引部２１ａ，２１ｂは，ブラストガン３０の噴射孔３１の開口幅方向における両側に向かって開口するよう設けられており（図１及び図３参照），図示の実施形態にあっては，正面視における台形の斜辺部分に形成された保持枠２０に取り付けられ負圧空間２０ａ，２０ｂ内に連通する一対の吸引部２１ａ，２１ｂを設けている。
【０１１１】
この一対の吸引部２１ａ，２１ｂは，一対の吸引部２１ａ，２１ｂの軸線を延長した線と，ワークＷの表面とが成す角θが，１０〜８０°の範囲となるように取り付けることが好ましく，図示の実施形態において前記角θが３０°となるように保持枠２０に取り付けられ，負圧空間２０ａ，２０ｂ内に連通，開口している。
【０１１２】
なお，一対の吸引部２１ａ，２１ｂのサイズは，負圧空間２０ａ，２０ｂのサイズ，使用する吸引手段（後述の集塵機３）の性能等によって各種サイズへの変更が可能であるが，図示の実施形態では一例として直径（内径）４７．６mmである。
【０１１３】
仕切板
前述した負圧空間２０ａ，２０ｂ内には，更に好ましくは仕切板２６が配置される。
【０１１４】
この仕切板２６は，図１に示す実施形態において，ブラストガン３０の先端位置から一対の吸引部２１ａ，２１ｂの上端縁上方に向かって斜め上方に傾斜して配置され，一対の吸引部２１ａ，２１ｂによる負圧空間２０ａ，２０ｂ内の吸引によって生じた微粉研磨材や切削粉と空気との混合流体の流れを一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向けて誘導することができるように構成されている。
【０１１５】
この仕切板２６は，好ましくは図１及び図６に示すように，２枚の仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃを負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２内においてブラストガン３０の先端位置の両側にそれぞれ配置すると共に，上端辺２６ｄを負圧空間２０ａ（，２０ｂ）の内壁を形成するよう保持枠２０を介して取り付け，かつ，図６に示すように幅方向の両辺２６ａ，２６ｂが，保持枠２０を介して負圧空間２０ａ，２０ｂの幅方向の両内壁を形成するように配置する。
【０１１６】
このように仕切板２６を配置することにより，負圧空間２０ａ，２０ｂは，図１に示すようにブラストガン３０及びブローノズル３２が配置された空間２０ｃと，一対の吸引部２１ａ，２１ｂと連通する負圧空間２０ａ，２０ｂとに区画され，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材を負圧空間２０ａ，２０ｂを介して確実に一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向かって誘導することができる。
【０１１７】
もっとも，この仕切板２６は，前述したように一対の吸引部２１ａ，２１ｂによって発生した吸引負圧によって前記負圧空間を創成し，この負圧空間内から，微粉研磨材及び切削粉と空気との混合流体を一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向かって誘導できるものであれば図示の実施形態に示すように負圧空間を完全に分割するものである必要はなく，例えば仕切板２６の上端辺２６ｄを保持枠２０に圧密状態で取付ることなく，これとは離間した状態で配置するものとしても良い。
【０１１８】
なお，このように仕切板２６の上端辺２６ｄを保持枠２０に取り付けて保持枠２０内を３つの空間２０ａ，２０ｂ，２０ｃに完全に仕切るものとした場合，一対の吸引部２１ａ，２１ｂによって吸引される空間２０ａ，２０ｂのみを略気密状態に塞ぐものとし，中央に形成されたブラストガン３０やブローノズル３２が収容された空間２０ｃについては，これを閉塞せずに開放した状態となる。
【０１１９】
このような仕切板２６を設けた場合には，仕切板２６の下端辺２６ｃに対するブラストガン３０及びブローノズル３２の先端部の取り付けは，一例として図７（Ａ），（Ｂ）に示すように二枚の仕切板２６，２６間にブラストガン３０及びブローノズル３２の先端部を挟持すると共に，挟持位置以外の両仕切板２６,２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間に充填材等を充填して塞ぐものとしても良い。
【０１２０】
又は，図８（Ａ），（Ｂ）に示すように，ブラストガン３０及びブローノズル３２の先端幅に対して若干幅広に形成された平坦部２６ｆが形成されるように板材を略Ｖ字状に曲折して２枚の仕切板２６，２６がその下端辺２６ｃ，２６ｃにおいて平坦部２６ｆを介して一体的に連結されたものとして形成し，この仕切板２６の前記平坦部２６ｆにそれぞれブローノズル用の孔２７及びブラストガン用の孔２８を形成し，これらの孔２７，２８内にブラストガン３０及びブローノズル３２の先端部３０ａ，３２ａをそれぞれ挿入するものとしても良い。
【０１２１】
上記いずれの構成においても，ブラストガン３０の先端部３０ａにおける端面を，仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間に形成された下端面２６ｅと同一平面Ｐに配置すると共に，ブラストガン３０の先端部外周と仕切板２６との間に隙間が生じないように構成する。
【０１２２】
例えば，図９（Ａ）に示すようにブラストガン３０の先端部３０ａにおける端面が，仕切板２６の下端面２６ｅに対して上方に配置され，両者間に段差２６ｈが生じている場合，ブラストガン３０の噴射孔３１より噴射された研磨材は，ブラストガン３０の先端側端面と下端面２６ｅ間に生じた段差２６ｈに衝突して渦流を発生して，噴射後の研磨材の流れには乱れが生じる。
【０１２３】
その結果，ブラストガン３０の噴射孔３１より噴射された研磨材を，正確に一対の吸引部２１ａ，２１ｂ側に向かって誘導することができず，ワークＷに対する微粉研磨材の堆積や付着が生じる場合がある。
【０１２４】
これに対し，前述したようにブラストガン３０の先端側の端面を図９（Ｂ）に示すように仕切板２６の下端面２６ｅと同一平面Ｐとなるよう構成した場合には，図９（Ａ）におけるような段差２６ｈが無く，渦流の発生を防止して研磨材の拡散方向を正確に制御することができ，その結果，研磨材の拡散方向を一対の吸引部２１ａ，２１ｂ側に正確に誘導して微粉研磨材を効率的に回収することで，ワークＷに対する微粉研磨材の付着を防止することができる。
【０１２５】
また，図７及び図８のいずれの構成においても，仕切板２６，２６の下端辺２６ｃ，２６ｃ間に形成したブローノズル用の孔２７の内周と，プローノズル３２の先端部外周との間には，僅かな間隙δ，一例として０．８〜１０mm程度の間隙δが形成されるように構成し，本実施形態にあっては一例としてこの間隙δを１．５mmとした。
【０１２６】
このような間隙δは，図７（Ａ），（Ｂ）に示した構成にあっては，例えばブローノズル３２の先端部における幅を，ブラストガンの先端部の幅に対して僅かに狭く形成し，仕切板２６，２６の一辺２６ｃ，２６ｃをブラストガン３０の先端部に突合させて配置すると，ブローノズル３２の先端部と仕切板２６，２６の一辺２６ｃ，２６ｃとの間に僅かな間隙δが形成されるようにして設けたものであっても良く，また，図８（Ａ），（Ｂ）に示した構成にあっては，ブローノズル用の孔２７の開口幅をブローノズル３２の先端部における幅に対して若干幅広に形成し，ブローノズル孔２７の開口縁とブローノズル３２の先端部外周間に間隙δが生じるように構成しても良い。
【０１２７】
例えば図１０（Ａ）に示すように，ブローノズル３２の先端部３２ａ外周に前述した間隙δを設けることなく圧縮気体の噴射を行う場合，このブローノズル３２より噴射された誘導気体流は仕切板２６の下端面２６ｅとワークＷの表面間に存在する微粉研磨材を巻き込んでワークＷの表面に衝突し，ブローノズル３２からの誘導気体流が衝突する部分のワーク表面（この部分は切削を行わない部分である。）を僅かに切削してしまう。
【０１２８】
しかし，前述のようにブローノズル３２の先端部外周に僅かな間隙δを形成することで，図１０（Ｂ）に示すようにブローノズル３２から高圧の圧縮気体が噴射されると，この誘導気体流と共にこの間隙δを介して，微粉研磨材が存在しない空間２０ｃ内の空気がエゼクタ現象によってワークＷ側に導入され，その結果，ブローノズル３２より噴射される圧縮気体に対する微粉研磨材の巻き込みを防止して，切削を行わない部分に対して意図しない切削が行われることを防止できる。
【０１２９】
対向カバー
以上で説明したブラストガン３０，一対の吸引部２１ａ，２１ｂ，ブローノズル３２，仕切板２６等を備えた保持枠２０に対しては，対向負圧空間４０を対向配置することができる。
【０１３０】
この対向負圧空間４０は，図１１に示すようにその上面に開口４２が形成されており，前記負圧空間２０ａ，２０ｂの底面に形成された開口２２と，前記対向負圧空間４０の上面に形成された開口４２とを，少なくともその一部を臨ませて加工対象とするワークＷの移動許容間隔を介して対向配置する。
【０１３１】
負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２と，対向負圧空間４０の開口４２とは必ずしも同じ形状に形成する必要はないが，両者を同形状に形成し，平面視において両開口（２２，４２）の開口縁が重なるように配置するものとしても良い。
【０１３２】
なお，前述のように負圧空間２０ａ，２０ｂの底部に設けた開口を一部メクラ板２９によって閉塞した構成にあっては，この対向負圧空間４０に設ける開口４２を前述したメクラ板２９によって閉塞されていない部分の負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２と同形状に形成するものとしても良い。
【０１３３】
この対向負圧空間４０は，本実施形態にあっては図１に示すように上向きに開口する箱型の本体形状を有し，その底面において対向負圧空間４０内に連通する対向吸引部４１を設け，この対向吸引部４１を介して対向負圧空間４０内を吸引することができるように構成しているが，この対向カバーの形状は，図示の実施形態に限定されず各種形状に変形可能であり，例えば対向カバーの底面を逆角錐状のホッパ状に形成し，このホッパの下端部に前記対向吸引部を連通することにより，微粉研磨材及び切削粉を対向吸引部４１に誘導し易い形状等としても良い。
【０１３４】
また，対向負圧空間４０の開口４２周縁には，前述した負圧空間２０ａ，２０ｂと同様，下側押さえ板４３をフランジ状に外周方向に突出させている。
【０１３５】
このように負圧空間２０ａ，２０ｂに対向配置される対向負圧空間４０を設け，この対向負圧空間４０内を吸引することにより，負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０が連通した状態にあるとき，対向負圧空間４０を介して噴射された微粉研磨材の回収を行うことができると共に，負圧空間２０ａ，２０ｂ内の吸引によってワークＷに対して作用する上向きの吸引力を，対向負圧空間４０の吸引によって生じる下向きの吸引力によって相殺して，ワークＷの移動を容易に行うことができる。
【０１３６】
従って，このような作用を得ることができるものであれば，対向負圧空間４０の形状，対向吸引部４１の形成位置，サイズ等は特に限定されない。
【０１３７】
もっとも，図示の実施形態のように対向負圧空間４０の底部中心に対向吸引部４１を形成した構成にあっては，対向吸引部４１がブラストガン３０の噴射方向前方で開口するものとなるために，ブラストガン３０の前面よりワークＷが取り除かれた状態で微粉研磨材の噴射を行った際，噴射された微粉研磨材を対向負圧空間から前記対向吸引部４１を介して効率的に吸引，回収することができ，負圧空間２０ａ，２０ｂ，対向負圧空間４０のいずれの負圧空間からも微粉研磨材を迅速に除去，回収できるという利点がある。
【０１３８】
なお，図２及び図１１中，符号４６は，対向負圧空間４０の開口４２内に設けた搬送ローラであり，負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間に配置されたワークＷの裏面と接触して，ワークＷを所定の移動方向Ｔに移動させる際の抵抗を軽減する。
【０１３９】
なお，対向負圧空間４０は前述したように必ずしもこれを設ける必要はなく，省略することも可能である。この場合，一対の吸引部２１ａ，２１ｂによる吸引負圧によって，ワークＷが負圧空間２０ａ，２０ｂ側に吸引されて接触することがないよう，ワークＷを負圧空間２０ａ，２０ｂより離間する方向に押圧（図１４，１５を参照して説明する後述の例では，コンベアテーブル４上に押圧）する図示せざる押圧ローラ等を設け，これにより前述した対向負圧空間４０の吸引力の発生に代えるものとしても良い。
【０１４０】
また，対向負圧空間４０を省略した場合，ワークＷが負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２を塞いでいない状態にあるとき，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材は，一対の吸引部２１ａ，２１ｂ側に向かう流れを生じないために微粉研磨材の回収を行うことができなくなる。
【０１４１】
そのため，このように負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２がワークＷによって塞がれていない場合には，例えばダミーワークによって負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２の前面を覆い，一対の吸引部２１ａ，２１ｂを介して微粉研磨材の回収を行うことができるよう構成しても良い。
【０１４２】
なお，例えばワークＷが湾曲した板体等である場合には，対向負圧空間４０の形状を加工対象とするワークＷの形状に対応した形状とすることができる点については，前述した負圧空間２０ａ，２０ｂの場合と同様である。
【０１４３】
その他
図示の研磨材噴射回収部１０は，板状ワークＷの一辺を，所定の幅で切削することができるように構成したものであることから，図１，２に示すように，負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間に形成された間隙に，挿入規制体５１を設け，この挿入規制体５１によって板状ワークＷの挿入位置を規制している。
【０１４４】
従って，ワークＷの一辺がこの挿入規制体５１と衝突するまで負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間にワークＷを挿入すると共に，この挿入規制体５１に一辺を摺接させた状態でワークＷを移動させると，ワークＷの加工対象部分がブラストガン３０の噴射孔３１の前面を通過することができるように構成されている。
【０１４５】
また，図示の実施形態にあっては，本発明の研磨材噴射回収部をワークＷの一辺付近を加工するものとして構成した例を示すものであることから，ワークＷの挿入側とは反対側の側面において負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０とを，図２に示すように連結板５２で連結しているが，例えば比較的大型のワークＷの中心部に，所定幅の切削を移動方向を長さ方向として行う場合には，挿入規制体５１や連結板５２を除去して，負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０とを上下で完全に分離した状態で配置しても良い。
【０１４６】
使用方法
以上のように構成された本発明の研磨材噴射回収部１０は，保持枠２０の天板より外部に延設されたブラストガン３０の後端部に，圧縮気体と微粉研磨材の混合流体を供給する混合流体の供給源を接続する。
【０１４７】
また，ブローノズル３２の後端に連通されるホースを圧縮気体供給源，例えばエアコンプレッサに連結してブローノズル３２に対する圧縮気体の供給を可能と成す。
【０１４８】
更に，負圧空間２０ａ，２０ｂに設けた２つの一対の吸引部２１ａ，２１ｂ，及び対向カバー４０を設ける場合には対向吸引部４１のいずれともに，集塵機等の吸引手段に連通して，負圧空間２０ａ，２０ｂ及び対向負圧空間４０内を吸引し，前記主カバー内部で負圧空間を創成する。
【０１４９】
この集塵機等の吸引手段による吸引負圧は，一例として−２００〜−１５００mmAgであり，本実施形態にあっては−８００mmAgである。このように吸引負圧を既知の一般的なブラスト加工装置における吸引負圧(−２００mmAg程度）に対して高めに設定することで，微粉研磨材がワークＷの表面に堆積する前の浮遊状態にあるときに迅速に吸引回収することができるようにしている。
【０１５０】
一例として，図１４は，前述した本発明の研磨材噴射回収部１０を備えたブラスト加工装置１の一構成例を示したものであり，本発明の研磨材噴射回収部１０に設けた前記ブラストガン３０の後端部を，微粉研磨材を定量ずつ計量しながら圧縮気体との混合流体としてブラストガンに定量供給する加圧タンク２に連通すると共に，ブローノズル３２の後端部を，該ブローノズル３２に対して圧縮気体を供給する圧縮気体供給源６に連通している。
【０１５１】
また，負圧空間２０ａ，２０ｂに設けた２つの一対の吸引部２１ａ，２１ｂ，及び対向負圧空間４０に設けた対向吸引部４１は，いずれともに吸引手段である共通の集塵機３に連通されており，これにより各カバー２０，４０内の雰囲気を負圧下とする，すなわち，前記主カバー内部で負圧空間を創成すべく吸引可能となっている。
【０１５２】
この集塵機３によって回収された負圧空間２０ａ，２０ｂ及び対向負圧空間４０内の負圧空間から，微粉研磨材は，集塵機３に設けたサイクロン３ａによって再使用可能な研磨材と切削粉とに分別されて回収され，再使用可能な研磨材は，再度，加圧タンク２内に投入する等して再使用することができる。
【０１５３】
なお，図示の実施形態において，図１４，及び図１５中の符号４は，コンベアテーブルであり，駆動モータＭの回転によりコンベアテーブル４上に設けられた搬送ローラ５が回転して，この上に載置した板状ワークＷを所定の方向に搬送することができるように構成されている。
【０１５４】
図示の実施形態では，板状ワークＷの搬送方向を長さ方向とするコンベアテーブルの一辺４ａに，本発明の研磨材噴射回収部１０を構成する前記負圧空間２０ａ，２０ｂ及び対向負圧空間４０を形成し，コンベアテーブル４の搬送ローラ５上に載置した板状ワークＷを移動させると，板状ワークＷの端部一辺近傍が負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間を通過するように構成しているが，これとは逆に，板状ワークＷを固定しておき，本発明の研磨材噴射回収部１０を構成する負圧空間２０ａ，２０ｂ及び対向負圧空間４０を移動させることにより，板状ワークＷとの間の相対移動を可能としても良い。
【０１５５】
更に，板状ワークＷの端部一辺における所定幅を加工可能とした図示の実施形態にあっては，本発明の研磨材噴射回収部１０をコンベアテーブル４の１辺４ａ側にのみ設けているが，例えば，板状ワークＷの平行する２辺のそれぞれに対して同時に加工を行う場合には，ローラコンベアの他辺４ｂにも前記研磨材噴射回収部１０を設けて，１回の搬送により板状ワークの２辺を同時に加工できるように構成しても良く，更には，図１６（Ａ）に示すように板状ワークＷの回転を伴う連続作業により，例えば板状ワークの４辺に対して加工を行うことができるように構成しても良く，更には，図１６（Ｂ）に示すように，板状ワークＷの中心部が通過する位置に研磨材噴射回収部１０を配置しておき，板状ワークＷの端辺部分のみならず，中央部，その他任意の位置にもブラスト加工を行うことができるように構成しても良い。
【０１５６】
使用に際し，処理対象とするワークＷの厚さ等に対応して負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間の間隔，ワークＷと各カバー２０，４０間の間隙，及びブラストガン３０，ブローノズル３２の高さを調整し，ワークＷの被加工面と負圧空間２０ａ，２０ｂの対向面，ワーク裏面と対向負圧空間４０の対向面間に所定の間隙を設ける。
【０１５７】
このように間隙を設けることで，負圧空間２０ａ，２０ｂ及び対向負圧空間４０内の気体を吸引した際に，この部分を介して両カバー内には外気が導入され，カバー外への微粉研磨材の飛散が防止されると共に，外気がワークＷの表面に沿って導入されることに伴い，この外気流によってワークＷの表面に付着しようとする微粉研磨材を浮遊させることができる。
【０１５８】
以上のようにして，各部に対する配管接続，及び各部の間隔調整が終了した状態で，ブラストガン３０からの微粉研磨材の噴射とブローノズル３２からの圧縮気体の噴射を行うと共に，３つの吸引管２１ａ，２１ｂ，４１より負圧空間２０ａ，２０ｂ及び対向負圧空間４０内の吸引を行いつつ，ワークＷを負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間に挿入，通過させると，ワークＷは，ブラストガン３０に形成されたスリット状の噴射孔３１の開孔長さに対応した幅で，移動方向Ｔに連続して切削される。
【０１５９】
前述したように，微粉研磨材は，一旦ワークＷ上に堆積してしまうと，これをワークＷの表面より除去することが困難となるが，その一方で，ワークＷ等に対して堆積する前の，空気中を浮遊する状態であれば，空気流と共にこれを比較的容易に回収することができる。そのため，このような微粉研磨材の回収は，微粉研磨材が堆積する前の，空気中を浮遊した状態にあるときに回収することが重要である。
【０１６０】
そのため，噴射された微粉研磨材をワークＷに付着させることなく回収するためには，噴射された微粉研磨材が噴射気体と共に移動する方向の前方に前述した一対の吸引部２１ａ，２１ｂを配置して，研磨材の拡散方向と吸引方向を一致させて，微粉研磨材がワークＷ上に堆積する前に素早く回収する。
【０１６１】
ここで，ブラストガン３０の噴射孔３１の形状を，前述したようにスリット状に形成した場合，大部分の微粉研磨材はワークＷの表面に衝突した後，噴射孔３１の幅方向に拡散するために，噴射孔３１の幅方向をワークＷの移動方向Ｔに向けて配置することで，ブラストガン３０より噴射された研磨材の拡散方向と，前記一対の吸引部２１ａ，２１ｂによる吸引方向とを一致させることができる。
【０１６２】
しかし，スリット状の噴射孔３１を有するブラストガン３０を使用した場合であっても，このブラストガン３０より噴射された微粉研磨材の拡散方向は，僅かであるが，噴射孔の長さ方向にも広がる（図１３参照）。
【０１６３】
これに対し，本発明の研磨材噴射回収部１０の構造にあっては，同様にスリット状の噴射孔３３を有するブローノズル３２を使用して圧縮気体を噴射することで，ブラストノズル３０より噴射された微粉研磨材の噴射方向と略平行な方向を成す圧縮気体の流れにより誘導気体流を発生させる，ブローノズル３２より噴射された誘導気体流によって研磨材がワークＷの移動方向に対して直交方向に拡散することを妨げることができ，これにより研磨材の移動方向をワークＷの移動方向Ｔの前後方向に一致させることで，移動方向前方に配置された一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向けて正確に誘導することができる。
【０１６４】
その結果，微粉研磨材がワークＷの表面に堆積する前の流動乃至は浮遊状態にあるときに迅速に微粉研磨材を回収することができ，ワークＷに堆積する微粉研磨材の発生を防止したものである。
【０１６５】
また，このブローノズル３２を使用して圧縮気体の噴射を行うことで，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材が，形成すべき溝の幅以上に拡散することを防止し得るものとなるために，マスク材等を使用することなく，比較的正確な幅の溝を形成することも可能となる。
【０１６６】
一例として，本実施形態にあっては，ＷＡ（ホワイトアランダム）♯１０００（平均粒径１０μm）の研磨材を使用したソーダ石英ガラスの加工の例において，幅０．５mm，長さ１０mのスリット状の噴射孔３１を備えたブラストガン３０を使用して，前記微粉研磨材を噴射圧力０．１５MPaで噴射すると共に，幅０．５mm，長さ１０mのスリット状の噴射孔３３を備えたブローノズル３２を使用して，圧縮空気を噴射圧力０．０８MPaで噴射した。
【０１６７】
この際の集塵機によるバキューム圧は−８００mmAg，ワークＷの移動速度は，１５００mm/minとした。
【０１６８】
なお，上記の例では，ブラストガン３０及びブローノズル３２がいずれもスリット状の噴射孔３１，３３を有する場合について説明したが，例えば既知の丸孔形状の噴射孔を有するブラストガン３０を使用した場合であっても，このブラストガン３０を一対の吸引部方向に向かって傾斜させた配置とすることで，同様にブラストガン３０より噴射された微粉研磨材の移動方向を回収方向と一致させることができると共に，この際に，回収方向に対して直交方向に拡がろうとする研磨材を，同様に傾斜して配置したブローノズル３２によって噴射された圧縮気体によって回収方向の流れに矯正することで，微粉研磨材がワークＷに堆積する前にこれを回収することが可能である。
【０１６９】
このようにして，噴射孔３１の幅方向に板状ワークＷの表面を移動した研磨材は，その後，負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２に設けられた邪魔板２４によって，板状ワークＷの表面から離反されるように斜め上向きの流れに偏向され（図５），これに伴って微粉研磨材は，負圧空間２０ａ，２０ｂを浮遊する。
【０１７０】
また，負圧空間２０ａ，２０ｂ内に配置された仕切板２６によって，ブラストガン３０から噴射された微粉研磨材の噴射流は，一対の吸引部２１ａ，２１ｂによる吸引によって生じた前記主カバー内部の負圧空間から引かれて一対の吸引部２１ａ，２１ｂに向かって誘導されて好適に回収される。
【０１７１】
本発明で使用する微粉研磨材である♯４００以上，又は平均粒径３０μm以下の研磨材粒は，浮遊した際の滞空時間が長く，かつ，気体流に乗り易いために浮遊状態において場の気体と共に容易に回収できることから，このようにして浮遊した状態にある微粉研磨材を前述の一対の吸引部２１ａ，２１ｂからの吸引によって負圧空間２０ａ，２０ｂ内の気体と共に回収することで，ワークＷの被加工面に微粉研磨材が付着する前にこれを容易に回収することができる。
【０１７２】
このような微粉研磨材の拡散方向と，回収方向の一致に関し，前述したようにブラストガン３０の先端側の端面を，仕切板２６の下端辺２６ｃ間に形成された下端面２６ｅと同一平面上に形成した構成では，ブラストガン３０の噴射孔３１より噴射された微粉研磨材の流れに乱れが生じることなく，意図せざる方向に微粉研磨材が拡散することを防止できる。
【０１７３】
このようにして行われる微粉研磨材の回収により，負圧空間２０ａ，２０ｂは負圧となり，この負圧によってワークＷは負圧空間２０ａ，２０ｂ側に吸引されるが，この負圧空間２０ａ，２０ｂに対して対向配置された対向負圧空間４０内の吸引によって板状ワークＷには同時に対向負圧空間４０側への吸引力が作用することとなり，その結果，この両者のバランスによってワークＷは容易に負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０間の間隔を通過する。
【０１７４】
好ましくは，ワークＷと負圧空間２０ａ，２０ｂ間の間隔に対し，ワークＷと対向負圧空間４０間の間隔を狭く形成する等して，対向負圧空間４０によって生じる下向きの吸引力を，負圧空間２０ａ，２０ｂによって生じる上向きの吸引力以上の吸引力を発生するものとし，これにより，板状ワークＷをコンベアテーブル４の搬送ローラ５に押圧することにより，例えば板状ワークＷが薄膜太陽電池等である場合，上側押さえ板２３との接触によりガラス基板上に形成された各薄膜層がダメージを受けるといった問題の発生を回避することができる。
【０１７５】
また，ワークＷをコンベアテーブル４等に向けて押圧する図示せざる押圧ローラ等を設け，これによりワークＷと上側押さえ板２３との接触を防止するように構成しても良い。このように，ワークＷをコンベア４上に押圧する構成を設ける場合には，前述したように対向負圧空間４０を省略しても良い。
【０１７６】
図示の実施形態のように，ワークＷの一辺側端部を加工する場合には，板状ワークＷの切削加工時，板状ワークＷの端部位置が挿入規制体５１によって規制され，その結果，負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２と，対向負圧空間４０の開口４２間は，図２に示すように板状ワークＷと挿入規制体５１間に生じる隙間ρを介して連通する。
【０１７７】
その結果，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材，及びこの微粉研磨材の噴射によって生じた切削粉は，負圧空間２０ａ，２０ｂ内を吸引する一対の吸引部２１ａ，２１ｂを介して集塵機に吸引・回収される他，対向負圧空間４０内を吸引する対向吸引部４１によって，対向負圧空間４０，前記隙間ρを介して負圧空間２０ａ，２０ｂの微粉研磨材や切削粉の吸引・回収が行われて，両カバー内の微粉研磨材及び切削粉が，板状ワークＷの表面に付着する前の浮遊した状態において効率的に回収される。
【０１７８】
また，ブラストガン３０の噴射孔３１の長さ方向における一方側に対してのみブローノズル３２の噴射孔３３を設けた場合であっても，このブローノズル３２が設けられていない側に拡散した微粉研磨材は，対向負圧空間４０を介しても回収される。
【０１７９】
また，対向負圧空間４０及び対向吸引部４１は，一対の吸引部２１ａ，２１ｂと共に負圧空間２０ａ，２０ｂ内を浮遊する微粉研磨材や切削粉の回収を分担し，また，板状ワークＷのワーク裏面側に回り込んだ微粉研磨材を効率的に回収して，板状ワークＷのワーク裏面に対する微粉研磨材の付着をも効果的に防止する。
【０１８０】
更に，板状ワークＷの移動により両カバー間の間隔から板状ワークＷが取り除かれると，負圧空間２０ａ，２０ｂの開口２２と，対向負圧空間４０の開口４２の全面を介して両カバー２０，４０間が連通し，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材は，直接，対向負圧空間４０に導入されて直ちに回収され，両カバー間に板状ワークＷが存在していない状態においても，カバー２０，４０内に微粉研磨材が溜まることがない。
【０１８１】
一方，比較的大型の板状ワークＷの例えば中央部に対して加工を行う場合のように，板状ワークＷによって負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０内の負圧空間が上下に完全に仕切られる場合には，板状ワークＷの介在時，負圧空間２０ａ，２０ｂ内で，噴射された微粉研磨材は，負圧空間２０ａ，２０ｂ内に連通された一対の吸引部２１ａ，２１ｂのみを介して回収され，対向負圧空間４０の吸引は，板状ワークＷを下方に吸引するためにのみ働くが，板状ワークＷの移動により負圧空間２０ａ，２０ｂと対向負圧空間４０内の対向負圧間が連通すると，ブラストガン３０より負圧空間２０ａ，２０ｂ内で噴射された微粉研磨材は，対向負圧空間４０及び対向吸引部４１を介して対向負圧間から吸引，回収される。
【０１８２】
このように，前述した構成を備える本発明の研磨材噴射回収部１０では，切削加工時，微粉研磨材が板状ワークＷの表面に付着することを防止でき，しかも，板状ワークＷに対してマスク材を貼着することなく，所定幅の切削加工を行うことができることから，例えば薄膜太陽電池のガラス基板上に形成された薄膜をスクライブする場合のように，洗浄水による洗浄やマスク材の貼着を行うことができないワークに対しても，微粉研磨材によるブラスト加工が可能となる。
【０１８３】
また，ブラスト加工後の洗浄やマスク材の貼着が可能なワークに対して加工を行う場合であっても，洗浄やマスク材の貼着に費やす労力や，この作業に使用されるマスク材，洗浄液等の資材の使用を省略でき，切削加工のコストを大幅に低減することが可能となる。
【０１８４】
更に，両カバー２０，４０間に板状ワークＷを配置する前や，両カバー２０，４０間を板状ワークＷが通過した後等，両カバー２０，４０間に板状ワークＷが存在していない場合において，ブラストガン３０より噴射された微粉研磨材は，対向負圧間４０からの吸引によって両負圧空間より迅速に除去され，微粉研磨材がカバー内の空間に滞留することがない。
【産業上の利用可能性】
【０１８５】
以上説明した本発明の構成より，本発明のブラスト加工方法及びブラスト加工装置は，各種のワークに対して所定幅の切削加工を行う場合に有効に使用することができ，特に，切削範囲を限定するためのマスク材の貼着や，付着した微粉研磨材を除去するための洗浄液による洗浄等の工程が不要であることから，従来レーザによって行われていた各種のエッチング，例えば薄膜太陽電池のスクライビングに使用されていたレーザに代わるものとして利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１８６】
【図１】研磨材噴射回収部の正面図。
【図２】図１のII−II線断面図。
【図３】本発明の研磨材噴射回収部の平面図。
【図４】主カバーの底面図であり，（Ａ）は板状ワークの一辺加工用，（Ｂ）は中央加工用。
【図５】研磨材噴射回収部の正面要部断面図。
【図６】図５のVI−VI線断面図。
【図７】仕切板下端辺に対するブラストガン先端部及びブローノズル先端部の取り付け状態の説明図であり，（Ａ）は正面視，（Ｂ）は平面視を示す。
【図８】仕切板下端辺に対するブラストガン先端部及びブローノズル先端部の取り付け状態の説明図であり，（Ａ）は正面視，（Ｂ）は平面視を示す。
【図９】仕切板下端辺に対するブラストガン先端部の取り付け状態の説明図であり，（Ａ）は段差が生じた状態，（Ｂ）は平坦に取り付けた状態（好ましい取付状態）。
【図１０】仕切板下端辺に対するブローノズル先端部の取り付け状態の説明図であり，（Ａ）はブローノズル先端部外周に間隙を設けていない例，（Ｂ）は間隙を設けた例（好ましい取付状態）。
【図１１】対向カバー（対向負圧間）の平面図。
【図１２】主カバー（負圧空間）の変形例を示す説明図。
【図１３】微粉研磨材の拡散方向の説明図（平面視）。
【図１４】本発明の研磨材回収部を備えたブラスト加工装置の平面図。
【図１５】本発明の研磨材回収部を備えたブラスト加工装置の正面図。
【図１６】本発明の研磨材噴射回収部を使用した加工例の説明図であり，（Ａ）は板状ワークの４辺を加工可能とした例，（Ｂ）は板状ワークの二辺及び中央部を加工可能とした例。
【図１７】従来のブラスト加工装置（重力式）の説明図。
【図１８】従来のブラスト加工装置（特許文献１）の説明図。
【図１９】薄膜太陽電池に対するスクライビングの説明図であり，（Ａ）はスクライビングを行う部分の説明図，（Ｂ）はスクライビングによって除去する層の説明図。
【図２０】ブラストガン（丸型噴射孔）による研磨材の拡散状態を示す説明図。
【符号の説明】
【０１８７】
１  ブラスト加工装置
２  加圧タンク
３  集塵機
３ａ  サイクロン
４  コンベアテーブル
４ａ  一辺（コンベアテーブルの）
４ｂ  他辺（コンベアテーブルの）
５  搬送ローラ
６  圧縮気体供給源
１０  研磨材噴射回収部
２０  保持枠
２０ａ，２０ｂ  負圧空間
２０ｃ  空間
２１  吸引部（２１ａ，２１ｂ：一対の吸引部）
２２  （吸引部２１ａ，２１ｂの）開口
２３  押さえ板（上側押さえ板）
２４  邪魔板
２６  仕切板
２６ａ，２６ｂ  幅方向の端辺（仕切板２６の）
２６ｃ  下端辺（仕切板２６の）
２６ｄ  上端辺（仕切板２６の）
２６ｅ  下端面
２６ｆ  平坦部
２６ｈ  段差
２７  ブローノズル用の孔
２８  ブラストガン用の孔
２９  メクラ板
３０  ブラストガン
３０ａ  先端部（ブラストガン３０の）
３１  噴射孔（ブラストガン３０の）
３２  ブローノズル
３２ａ  先端部（ブローノズル３２の）
３３  噴射孔（ブローノズル３２の）
４０  対向カバー（対向負圧空間）
４１  対向吸引部
４２  開口
４３  下側押さえ板
４６  搬送ローラ
５１  挿入規制体
５２  連結板
６０  ブラスト加工装置
６１  キャビネット
６２  噴射ノズル
６３  搬入口
６４  研磨材供給管
６５  導管
６７  排出管
６８  ホッパ
７０  回収タンク
７３  流入口
７４  連結管
７５  連通管
７７  排出管
８０  ブラスト加工装置
８１  ブラスト加工ダクト
８２  ブラスト加工室
８３  吸引ダクト
８４  挿入口
８５  吸気口
９１  噴射ノズル
Ｗ  ワーク
Ｔ  ワークの相対移動方向
ＴＬ  直線
Ｍ  モータ
ＷO  噴射孔の開孔幅
ＬO  噴射孔の開孔長さ
δ  間隙（ブローノズル先端部外周の）
ρ  隙間（挿入規制体とワーク間の）
【図１】
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【図２】
2010120134.tif 000004
【図３】
2010120134.tif 000005
【図４】
2010120134.tif 000006
【図５】
2010120134.tif 000007
【図６】
2010120134.tif 000008
【図７】
2010120134.tif 000009
【図８】
2010120134.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図１３】
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