(57)【要約】【課題】クロストークを抑制しつつ圧電素子の絶縁性をより確実に確保することが可能な圧電アクチュエーター、液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置を提供する。【解決手段】第１の電極と、圧電体層と、第２の電極と、をこの順に積層した状態で有し、少なくとも第２の電極および圧電体層が、駆動対象部毎にパターニングされた圧電アクチュエーターであって、比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆されている。【選択図】図４
2010280115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極と、圧電体層と、第２の電極と、をこの順に積層した状態で有し、少なくと
も第２の電極および圧電体層が、駆動対象部毎にパターニングされた圧電アクチュエータ
ーであって、
比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆され
たことを特徴とする圧電アクチュエーター。
【請求項２】
前記絶縁性被覆材が、前記圧電体層を構成する圧電材料であることを特徴とする請求項
１に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項３】
前記圧電体層の側面が前記絶縁性被覆材によって被覆されたことを特徴とする請求項１
又は請求項２に記載の圧電アクチュエーター。
【請求項４】
ノズル、当該ノズルに連通する圧力発生室、及び圧電アクチュエーターを備え、当該圧
電アクチュエーターの作動により前記ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドであって
、
前記圧電アクチュエーターは、圧電体層と、前記圧電体層の一方の面に形成された第１
の電極と、前記圧電体層の他方の面に形成された第２の電極と、を積層状態で有し、少な
くとも第２の電極および圧電体層が前記圧力発生室毎にパターニングされ、
比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆され
たことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項５】
ノズル、当該ノズルに連通する圧力発生室、及び圧電アクチュエーターを備え、当該圧
電アクチュエーターの作動により前記ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えた
液体吐出装置であって、
前記圧電アクチュエーターは、圧電体層と、前記圧電体層の一方の面に形成された第１
の電極と、前記圧電体層の他方の面に形成された第２の電極と、を積層状態で有し、少な
くとも第２の電極および圧電体層が前記圧力発生室毎にパターニングされ、
比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆され
たことを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式プリンター等の液体吐出装置に用いられる圧電アクチュエ
ーター、これを備えた液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置に関するものであり、特に、
上下電極間の絶縁性をより確実に確保することが可能な圧電アクチュエーター、液体吐出
ヘッド、及び、液体吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液体吐出装置は、液体を吐出可能な液体吐出ヘッドを備え、この液体吐出ヘッ
ドから各種の液体を吐出する装置である。この液体吐出装置の代表的なものとして、例え
ば、液体吐出ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという
）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクを記録紙等の記録媒体（吐出対象
物）に対して吐出・着弾させてドットを形成することで画像等の記録を行うインクジェッ
ト式プリンター等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画
像記録装置に限らず、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置等、各種の製造装
置にも液体吐出装置が応用されている。
【０００３】
液体吐出ヘッドにおいて液体を吐出するための駆動源、即ち、ヘッド流路内の液体に圧
力変動を生じさせるための圧力発生手段として用いられる圧電素子は、圧電材料からなる
圧電体膜を電極で挟んで成る素子である。具体的には、この圧電素子は、下部電極と、チ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層（圧電体膜の積層構造）と
、上部電極とが、成膜技術によりそれぞれ積層形成され、リソグラフィー及びイオンミリ
ング等のエッチングによるパターニングによって圧力発生室毎に切り分けられて構成され
る。
【０００４】
ところで、上記圧電素子の製造工程において圧電素子の表面に異物が付着することがあ
る。この異物が導電性を有している場合、上部電極と下部電極との間において電流のリー
クを誘発する虞がある。このような不具合を防止するべく、圧電素子の表面全体が電気的
絶縁性を有する保護膜で覆われた構成のものがある（例えば、特許文献１参照）。この保
護膜としては、耐水性および電気的絶縁性を有する材料、例えば、酸化シリコン、酸化タ
ンタル、酸化アルミニウム（特にアルミナ（Ａｌ２Ｏ３））等が好適に用いられている。
また、上部電極の幅を、圧電体層の幅よりも短くすることで、上下の電極間での電気的な
短絡を抑制するように構成されたものもある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２１６４２９号公報
【特許文献２】特開２００４−０７１９３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示されるような従来の保護膜では、直流に対する絶縁性を
確保できる一方で、比誘電率が比較的低い（アルミナの場合１０〜２０程度）ため、交流
に対する絶縁性を確保することが難しいという問題がある。即ち、インクを吐出させるた
めに圧電素子を変位駆動させる吐出駆動パルスは、時間の経過に伴って電圧が変化する交
流波形であるため、保護膜には交流に対するより高い絶縁性が求められる。そして、十分
な絶縁性を確保するべく、上記保護膜は９０〜１００ｎｍ程度の厚さに形成されていた。
このため、保護膜によって圧電素子の変位が阻害される虞があった。また、保護膜は、絶
縁性をより確実にするために、列設された複数の圧電素子群全体に渡って連続的に形成さ
れるので（特許文献１の図２参照）、１つの圧電素子を駆動したときにその振動が保護膜
を通じて隣接する圧電素子側に伝わる可能性がある。このため、圧電素子を単体で駆動し
たときの吐出特性（ノズルから吐出されるインク滴の重量や速度）と、隣接する複数の圧
電素子を駆動したときの吐出特性とが変動する所謂クロストークが生じる虞があった。
また、上記特許文献２の構成では、上記のような導電性を有する異物の付着などにより
電流がリークする可能性があるので、絶縁性をより確実に確保するには不十分である。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クロストークを
抑制しつつ圧電素子の絶縁性をより確実に確保することが可能な圧電アクチュエーター、
液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、第１の電極と、圧電体層
と、第２の電極と、をこの順に積層した状態で有し、少なくとも第２の電極および圧電体
層が、駆動対象部毎にパターニングされた圧電アクチュエーターであって、
比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆され
たことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極を被覆して外部に露出
しないようにしたので、電極間の絶縁性を向上させることができる。即ち、比誘電率が１
００以上の強誘電体を絶縁性被覆材として用いることで、直流に対する絶縁性に加えて、
圧電アクチュエーターを変位駆動させるための駆動パルスのような交流に対する絶縁性を
高めることができる。したがって、電極間に交流（駆動パルス）を印加したときの漏れ電
流を抑えることができる。
【００１０】
また、絶縁性被覆材は交流に対する絶縁性が高いことから、従来の保護膜よりも厚さを
薄くすることができるので、絶縁性被覆材が圧電アクチュエーターの変位を阻害すること
を抑制することができる。
【００１１】
さらに、少なくとも第２の電極が露出しない範囲に形成すれば足りるので、隣り合う圧
電素子同士の間で絶縁性被覆材を連続的に形成しなくても良い。その結果、隣り合う圧電
アクチュエーター間で絶縁性被覆材を通じて駆動時の振動が伝達することを低減すること
ができ、これにより、クロストークを抑制することが可能となる。
【００１２】
上記構成において、前記絶縁性被覆材が、前記圧電体層を構成する圧電材料であること
が望ましい。
【００１３】
この構成によれば、絶縁性被覆材として圧電体層を構成する圧電材料を用いるので、圧
電体層を形成する場合と同じ材料及び手法で絶縁性被覆材を形成することができ、簡便で
ある。
【００１４】
また、上記構成において、前記圧電体層の側面が前記絶縁性被覆材によって被覆される
構成を採用することが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、圧電体層の側面を絶縁性被覆材によって被覆することで、絶縁性を
さらに向上させることができ、その結果、より確実に漏れ電流を抑えることができる。
【００１６】
また、本発明は、ノズル、当該ノズルに連通する圧力発生室、及び圧電アクチュエータ
ーを備え、当該圧電アクチュエーターの作動により前記ノズルから液体を吐出する液体吐
出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエーターは、圧電体層と、前記圧電体層の一方の面に形成された第１
の電極と、前記圧電体層の他方の面に形成された第２の電極と、を積層状態で有し、少な
くとも第２の電極および圧電体層が前記圧力発生室毎にパターニングされ、
比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆され
たことを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明は、ノズル、当該ノズルに連通する圧力発生室、及び圧電アクチュエー
ターを備え、当該圧電アクチュエーターの作動により前記ノズルから液体を吐出する液体
吐出ヘッドを備えた液体吐出装置であって、
前記圧電アクチュエーターは、圧電体層と、前記圧電体層の一方の面に形成された第１
の電極と、前記圧電体層の他方の面に形成された第２の電極と、を積層状態で有し、少な
くとも第２の電極および圧電体層が前記圧力発生室毎にパターニングされ、
比誘電率が１００以上の絶縁性被覆材によって少なくとも第２の電極の外面が被覆され
たことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】記録ヘッドの製造工程を示す要部断面図である。
【図４】記録ヘッドの製造工程を示す要部断面図である。
【図５】駆動パルスの構成を説明する波形図である。
【図６】第２実施形態の構成を説明する記録ヘッドの要部断面図である。
【図７】変形例の構成を説明する記録ヘッドの要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述
べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の
範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に
限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体吐出ヘッドとして、インクジ
ェット式プリンター（本発明の液体吐出装置の一種）に搭載されるインクジェット式記録
ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００２０】
図１は、本実施形態の記録ヘッド１の構成を示す分解斜視図である。また、図２（ａ）
は記録ヘッド１の平面図、図２（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ′線断面図、図２（ｃ）は
圧力発生室９の幅方向（圧電素子短尺方向）の要部断面図である。本実施形態における記
録ヘッド１は、流路形成基板２、ノズルプレート３、弾性体膜４、絶縁体膜５、圧電素子
６（本発明の圧電アクチュエーターに相当）、及び、保護基板７等を積層して構成されて
いる。
【００２１】
流路形成基板２は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、
この流路形成基板２には、複数の圧力発生室９がその幅方向に並設されている。また、流
路形成基板２の圧力発生室９の長手方向外側の領域には連通部１０が形成され、連通部１
０と各圧力発生室９とが、圧力発生室毎に設けられたインク供給路１１を介して連通され
ている。なお、連通部１０は、後述する保護基板７のリザーバー部２０と連通して各圧力
発生室９の共通のインク室となるリザーバー２１の一部を構成する。インク供給路１１は
、圧力発生室９よりも狭い幅で形成されており、連通部１０から圧力発生室９に流入する
インクの流路抵抗を一定に保持している。
【００２２】
流路形成基板２の開口面側には、各圧力発生室９のインク供給路１１とは反対側の端部
に連通するノズル１２が開設されたノズルプレート３が接着剤や熱溶着フィルム等を介し
て固着されている。なお、ノズルプレート３は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン
単結晶基板、又はステンレス鋼などからなる。
【００２３】
一方、流路形成基板２の開口面とは反対側には、厚さが例えば約１．０μｍの二酸化シ
リコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜４が形成され、この弾性膜４上には、厚さが例えば、
約０．４μｍの酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜５が形成されている。ま
た、この絶縁体膜５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下部電極１４（本発明におけ
る第１の電極に相当）と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層１５（圧電体膜３２）
と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上部電極１６（本発明における第２の電極に相当）
とがこの順で形成され、全体として約１．２５μｍの膜厚の圧電素子６を構成している。
【００２４】
ここで、圧電素子６は、下部電極１４、圧電体層１５、及び上部電極１６を含む部分を
いう。一般的には、圧電素子６の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電
体層１５を圧力発生室９（本発明における駆動対象部の一種）毎にパターニングして構成
する。そして、パターニングされた一方の電極及び圧電体層１５から構成され、上下電極
への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態において
、下部電極１４は圧電素子６の共通電極となっており、上部電極１６は圧電素子６の個別
電極となっている。なお、駆動回路や配線の都合によってこれらを逆にする構成とするこ
ともできる。何れの場合においても、圧力発生室９毎に圧電体能動部が形成されているこ
とになる。また、このような各圧電素子６の上部電極１６には、例えば、金（Ａｕ）等か
らなるリード電極１７がそれぞれ接続され、このリード電極１７を介して各圧電素子６に
選択的に駆動電圧（駆動パルス）が印加されるようになっている。
【００２５】
また、上記圧電素子６において、少なくとも上部電極１６の外面（即ち、圧電体層１５
との接合面以外の外表面）が、保護膜１８（本発明における絶縁性被覆材に相当）によっ
て被覆されている。より詳しくは、上部電極１６の外面と、この上部電極１６が積層され
ている圧電体層１５の上面において上部電極１６よりも外側の部分とが保護膜１８に覆わ
れている。この保護膜１８は、耐湿性を有し、比誘電率が１００以上の絶縁性材料によっ
て構成されている。本実施形態においては、この保護膜１８として、圧電体層１５を構成
する圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が用いられている。このＰＺＴの比
誘電率は、４００以上１２００以下である。なお、保護膜１８の材料としては、耐湿性を
有し且つ比誘電率が１００以上の絶縁性材であれば、上記ＰＺＴ以外のものを用いること
もできる。例えば、チタン酸鉛にマグネシウム酸・ニオブ酸鉛を固溶または混合した圧電
材料（ＰＭＮ−ＰＴ：比誘電率１７００以上３０００以下）、またはチタン酸鉛に亜鉛酸
・ニオブ酸鉛を固溶または混合した圧電材料（ＰＺＮ−ＰＴ：比誘電率１７００以上３０
００以下）を用いることができる。
【００２６】
流路形成基板２上の圧電素子６側の面には、圧電素子６に対向する領域にその変位を阻
害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持部１９を有する保護基板７が接合されて
いる。保護基板７には、流路形成基板２の連通部１０に対応する領域にリザーバー部２０
が設けられている。このリザーバー部２０は、保護基板７を厚さ方向に貫通して圧力発生
室９の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板２の連通部１０と
連通されて各圧力発生室９の共通のインク室となるリザーバー２１を構成している。
【００２７】
また、保護基板７の圧電素子保持部１９とリザーバー部２０との間の領域には、保護基
板７を厚さ方向に貫通する貫通孔２２が設けられ、この貫通孔２２内に下部電極１４の一
部及びリード電極１７の先端部が露出され、これら下部電極１４及びリード電極１７には
、図示しないが、駆動ＩＣからの配線の一端部が電気的に接続される。保護基板７上には
、封止膜２３及び固定板２４とからなるコンプライアンス基板２５が接合されている。封
止膜２３は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサ
ルファイドフィルム）からなり、この封止膜２３によってリザーバー部２０の一方面が封
止されている。また、固定板２４は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板２４
のリザーバー２１に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部２６となってい
るため、リザーバー２１の一方面は可撓性を有する封止膜２３のみで封止されている。
【００２８】
上記構成の記録ヘッド１では、インク供給手段からインクを取り込み、リザーバー２１
からノズル１２に至るまで内部をインクで満たした後、プリンター本体の図示しないプリ
ンターコントローラー側からの駆動パルスの供給により、圧力発生室９に対応するそれぞ
れの下部電極１４と上部電極１６との間に駆動パルスを印加し、弾性膜４、絶縁体膜５、
下部電極１４及び圧電体層１５を撓み変形させることにより圧力発生室９内の圧力が変動
し、この圧力変動を制御することで、ノズル１２からインク滴が吐出（噴射）される。
【００２９】
図５は、圧電素子６を駆動する駆動パルスＤＰの一例を示す波形図である。駆動パルス
ＤＰは、基準電位（中間電位）ＶＢから最低電位ＶＬまで比較的緩やかな勾配で電位を降
下させる電位下降要素ｐ１と、最低電位ＶＬを所定時間保持する第１電位ホールド要素ｐ
２と、最低電位ＶＬから最高電位ＶＨまで急勾配で電位を上昇させる電位上昇要素ｐ３と
、最高電位ＶＨを所定時間保持する第２電位ホールド要素ｐ４と、最高電位ＶＨから基準
電位ＶＢまで電位を下降させる復帰要素ｐ５と、を含んで構成されている。
【００３０】
このように構成された駆動パルスＤＰが圧電素子６に供給されると、まず、電位下降要
素ｐ１により、圧電素子６が圧力発生室９とは反対側に撓んで弾性膜４を変形させること
により圧力発生室９が比較的緩やかに膨張し圧力発生室９の内部が減圧される。続いて、
第１ホールド要素ｐ２が供給されることで圧力発生室９の膨張状態が維持される。その後
、電位上昇要素ｐ３が供給されて圧電素子６が圧力発生室９側に撓み、圧力発生室９がご
く短時間で収縮し、この収縮状態が第２ホールド要素ｐ４の供給期間に亘って維持される
。そして、電位上昇要素ｐ３の供給により、圧力発生室９内のインクが急激に加圧されて
ノズル１２からインクが吐出される。その後、第２ホールド要素ｐ４の後に続いて復帰要
素ｐ５が供給されて圧力発生室９が緩やかに膨張され、インクが吐出された後のノズル１
２におけるメニスカスの振動が収束される。
【００３１】
ここで、上記の記録ヘッド１の製造方法について、図３及び図４を参照して説明する。
なお、各図は、圧力発生室９の幅方向（短尺方向）或いは圧電素子６の幅方向（短尺方向
）となる方向における記録ヘッド１の要部断面図である。また、各図では１つの圧力発生
室９に対応する構成を図示しているが、他の圧力発生室９も同様な構成である。
まず、図３（ａ）に示すように、シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ２９を約
１１００℃の拡散炉で熱酸化し、その表面に弾性膜４を構成する二酸化シリコン（ＳｉＯ
２）膜３０を形成する。次いで、図３（ｂ）に示すように、弾性膜４上に、酸化ジルコニ
ウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜５を形成する。具体的には、まず、弾性膜４上に、例
えば、ＤＣスパッタ法によりジルコニウム層を形成し、このジルコニウム層を熱酸化する
ことにより酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５を形成する。次いで、図３（ｃ）に示す
ように、例えば、白金（Ｐｔ）とイリジウム（Ｉｒ）とを絶縁体膜５上に積層することに
より下部電極１４を形成する。
【００３２】
次に、図３（ｄ）に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体層１
５を下部電極１４の表面に積層する。圧電体層１５の形成方法は、本実施形態では、金属
有機物を溶媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成
することで金属酸化物からなる圧電体層１５を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電
体層１５を形成する。なお、圧電体層１５の形成方法は、特に限定されず、例えば、ＭＯ
Ｄ法やスパッタリング等を用いることも可能である。続いて、当該圧電体層１５の上面に
、図３（ｅ）に示すように、例えばイリジウムからなる上部電極１６を圧電体層１５の上
面にスパッタリング等により形成する。
【００３３】
次に、図４（ａ）に示すように、上部電極１６を、圧力発生室９の幅よりも小さい幅と
なるように平面視短冊状にパターニングする。続いて、図４（ｂ）に示すように、圧電体
層１５をパターニングする。この際、圧電体層１５の幅が、予定している圧力発生室９（
図４（ｄ））の幅よりも少し小さく且つ上部電極１６の幅よりも大きくなるようにパター
ニングする。上部電極１６と圧電体層１５を圧力発生室９毎に対応させてパターニングし
たならば、図４（ｃ）に示すように、圧電体層１５の形成時と同じ材料及び同様な手法で
、保護膜１８を、圧電体層１５と上部電極１６を覆い隠す状態に形成する。そして、図４
（ｄ）に示すように、保護膜１８をパターニングする。本実施形態においては、上部電極
１６と圧電体層１５の上面のみを被覆する状態にパターニングする。即ち、保護膜１８の
幅は、圧電体層１５の幅に揃えられる。その後、流路形成基板用ウェハ２９（流路形成基
板２）に圧力発生室９等の流路をエッチングにより形成する工程、ノズルプレート３を流
路形成基板２に接合する工程が行われる。
【００３４】
このように、本発明に係る圧電素子６は、保護膜１８によって少なくとも上部電極１６
を被覆して外部に露出しないようにしたので、上下の電極間の絶縁性を向上させることが
できる。即ち、比誘電率が１００以上の強誘電体を保護膜１８として用いることで、直流
に対する絶縁性に加えて、上記の駆動パルスＤＰのような交流に対する絶縁性を高めるこ
とができる。つまり、保護膜１８に関し、誘電率が高いことにより、それ自体である程度
の電荷を溜めることができるので電流が通過し難い。したがって、上下電極間に交流（駆
動パルスＤＰ）を印加したときの漏れ電流を抑えることができる。
【００３５】
また、保護膜１８は交流に対する絶縁性が高いことから、従来の保護膜よりも厚さを薄
くすることができるので（例えば、従来の１／１０程度）、保護膜１８によって圧電素子
６の変位が阻害されることを抑制できる。
さらに、少なくとも上部電極１６が露出しない範囲に形成すれば足りるので、隣り合う
圧電素子同士の間で保護膜１８を連続的に形成しなくても良い。即ち、隣とは線を切って
圧電体層１５ごとに独立した状態で保護膜１８を形成できる。その結果、隣り合う圧電素
子間で保護膜１８を通じて駆動時の振動が伝達することを低減することができ、これによ
り、クロストークを抑制することが可能となる。
【００３６】
また、上記実施形態では、保護膜１８の絶縁性被覆材として圧電体層１５を構成する圧
電材料を用いるので、圧電体層１５を形成する場合と同じ材料及び手法で保護膜１８を形
成することができ、簡便である。
そして、上記圧電素子６を、インクを吐出するための駆動源（圧力発生手段）として備
える記録ヘッド１、及び、この記録ヘッド１を備えるプリンターでは、圧電素子６の故障
が生じ難くなることから、信頼性を向上させることが可能となる。
【００３７】
次に、第２実施形態について説明する。
図６は、第２実施形態における記録ヘッド１の圧力発生室９の幅方向における要部断面
図である。本実施形態においては、保護膜１８の形成範囲が上記第１実施形態と異なって
いる。具体的には、保護膜１８が上部電極１６と圧電体層１５の上面の他に圧電体層１５
の側面を被覆するようにパターニングされている。その他の構成については、上記第１実
施形態と同様である。このように、圧電体層１５の側面を保護膜１８によって被覆するこ
とで、絶縁性をさらに向上させることができ、その結果、より確実に漏れ電流を抑えるこ
とができる。
【００３８】
また、上記第１実施形態及び第２実施形態では、上部電極１６、圧電体層１５、及び保
護膜１８を幅方向の断面視で矩形状に形成した例を示したが、図７に示すように、これら
の断面形状を台形状にすることもできる。
【００３９】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。また、上述した実施形
態では、インクジェットプリンターに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示した
が、上記構成の圧電素子を用いるものであれば、インク以外の液体を吐出するものにも適
用することができる。その他の液体吐出ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記
録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置
に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）
等の電極形成装置に用いられる電極材料吐出ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生
体有機物吐出ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４０】
１…記録ヘッド，６…圧電素子，１４…下部電極，１５…圧電体層，１５ａ…平坦部，
１５ｂ…側面部，１６…上部電極，１６ａ…中央部，１６ｂ…傾斜部，１８…保護膜，２
９…流路形成基板用ウェハ，３２…圧電体膜 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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