(57)【要約】【課題】被着体に貼付された接着シートを切断する際に、切断手段が被着体に接触することを防止可能にすること。【解決手段】リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷを保持するテーブル１１と、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷの上面に臨むように接着シートＳを支持可能な支持手段１２と、接着シートＳをリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに押圧して貼付する押圧ローラ１６と、接着シートＳを切断する切断手段１４と、テーブル１１と支持手段１２とを相対移動させる移動手段１３とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１４は、接着シートＳを介してウエハＷに沿って配置され、当該切断手段１４がウエハＷと共に接着シートＳと相対移動することで接着シートＳを所定形状に切断する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートを閉ループ状に切断し、この切断による内側領域を貼付用シートとする一方、切断による外側領域を不要シートとして当該不要シートを被着体から剥離することによって貼付用シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
被着体を保持する保持手段と、
この保持手段に保持された被着体の被着面に臨むように接着シートを支持可能な支持手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを所定形状に切断する切断手段と
前記被着体と接着シートとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記切断手段は、前記接着シートを介して前記被着体に沿って配置され、当該切断手段が前記被着体と共に前記接着シートと相対移動することで、接着シートを所定形状に切断して貼付用シートを形成する一方、この切断によって形成された前記不要シートを被着体から剥離することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記支持手段は、接着シートを把持する把持部材を備え、当該把持部材は、前記被着面を平面視したときに、直交する二軸方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記切断手段は、接着シートの切断形状に対応する形状となるカッター刃を含み、このカッター刃は、被着面と平行に位置可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記切断手段は、接着シートの切断形状に沿って移動可能なカッター刃を含み、このカッター刃は、角度変位可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の接着シートを前記支持手段に繰り出す繰出手段を有することを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
被着体に貼付された接着シートを閉ループ状に切断し、この切断による内側領域を貼付用シートとする一方、切断による外側領域を不要シートとして当該不要シートを被着体から剥離することによって貼付用シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、
被着体を保持する工程と、
保持された被着体の被着面に臨むように支持手段を介して接着シートを支持する工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートを介して前記被着体に沿って切断手段を配置する工程と、
前記切断手段が前記被着体と共に前記接着シートと相対移動することで接着シートを所定形状に切断して前記貼付用シートを形成する一方、この切断によって形成された前記不要シートを被着体から剥離する工程とを行うことを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
前記支持手段は、接着シートを把持する把持部材を備え、
前記接着シートを切断する工程において、前記被着面を平面視したときに、把持部材が直交する二軸方向に移動することを特徴とする請求項６記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）とリングフレームとを一体化する場合には、リングフレームの内側にウエハを配置した状態で、ダイシングシートやマウント用シート等の接着シートをそれらに亘って貼付する方法が行われている。かかる貼付を行う装置として、例えば、特許文献１に開示された装置が知られている。同文献のシート貼付装置では、リングフレームとウエハとに接着シートを貼付した後、リングフレーム上の円周軌跡に沿ってカッター刃を移動することで、接着シートを切断している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１０２８２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたシート貼付装置にあっては、接着シートを切断するときに、カッター刃がリングフレームに接触し、当該リングフレームの面を傷付けたり、回転刃の刃先が損傷したりする、という不都合がある。また、切断時に、リングフレームが削れて削りかす等のダストが発生し、ウエハの処理施設内をクリーンな状態に保つことが困難になる。しかも、切断する度にリングフレームが傷付くと、リングフレームを使いまわして長期に亘って使用できなくなり、製造上コストが上昇する、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを貼付した後で切断する際に、切断手段が被着体に接触することを防止可能なシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートを閉ループ状に切断し、この切断による内側領域を貼付用シートとする一方、切断による外側領域を不要シートとして当該不要シートを被着体から剥離することによって貼付用シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
被着体を保持する保持手段と、
この保持手段に保持された被着体の被着面に臨むように接着シートを支持可能な支持手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを所定形状に切断する切断手段と
前記被着体と接着シートとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記切断手段は、前記接着シートを介して前記被着体に沿って配置され、当該切断手段が前記被着体と共に前記接着シートと相対移動することで、接着シートを所定形状に切断して貼付用シートを形成する一方、この切断によって形成された前記不要シートを被着体から剥離する、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記支持手段は、接着シートを把持する把持部材を備え、当該把持部材は、前記被着面を平面視したときに、直交する二軸方向に移動可能に設けられる、という構成を採用してもよい。
【０００８】
また、前記切断手段は、接着シートの切断形状に対応する形状となるカッター刃を含み、このカッター刃は、被着面と平行に位置可能に設けられる、という構成も好ましくは採用される。
【０００９】
更に、前記切断手段は、接着シートの切断形状に沿って移動可能なカッター刃を含み、このカッター刃は、角度変位可能に設けられることが好ましい。
【００１０】
また、帯状の接着シートを前記支持手段に繰り出す繰出手段を有するとよい。
【００１１】
また、本発明の貼付方法は、被着体に貼付された接着シートを閉ループ状に切断し、この切断による内側領域を貼付用シートとする一方、切断による外側領域を不要シートとして当該不要シートを被着体から剥離することによって貼付用シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、
被着体を保持する工程と、
保持された被着体の被着面に臨むように支持手段を介して接着シートを支持する工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートを介して前記被着体に沿って切断手段を配置する工程と、
前記切断手段が前記被着体と共に前記接着シートと相対移動することで接着シートを所定形状に切断して前記貼付用シートを形成する一方、この切断によって形成された前記不要シートを被着体から剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
【００１２】
更に、前記支持手段は、接着シートを把持する把持部材を備え、
前記接着シートを切断する工程において、前記被着面を平面視したときに、把持部材が直交する二軸方向に移動するとよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、切断手段が被着体に接触することなく接着シートを切断することができるので、従来のように、切断時に被着体となるリングフレームの面にカッター刃等の切断手段が接触することを回避することができる。この結果、リングフレームに傷が生じることを防止でき、削りかす等のダストの発生を回避することができる他、リングフレームを使いまわして長期間使用できるようになり、製造コストの低減を図ることが可能となる。
【００１４】
また、支持手段の把持部材が直交二軸方向に移動可能となるので、カッター刃の形状に応じて、接着シートにおける折り返された領域の引っ張り方向を、カッター刃の存在する方向に向けることができ、安定して切断することが可能となる。
【００１５】
更に、切断手段のカッター刃を、切断形状に対応する形状としたり、角度変位可能としたりすることで、切断形状や接着シート等の種々の条件に対応した切断を容易に行うことが可能となる。
【００１６】
また、帯状の接着シートを繰り出す繰出手段を設けた場合、接着シートの供給形態に自由度を持たせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、「左」、「右」は、図１を基準とし、「上」、「下」は、図２を基準として用いる。また、「前」は図１中下側、「後」は同図上側として用いる。
【００１８】
図１には、実施形態に係るシート貼付装置の概略平面図が示され、図２には、図１の構造を一部省略した概略正面図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷ及びリングフレームＲＦを保持する保持手段としてのテーブル１１と、このテーブル１１の上方で方形の接着シートＳを支持可能な支持手段１２と、接着シートＳを所定形状に切断する切断手段としてのカッター刃１４と、接着シートＳをウエハＷ及びリングフレームＲＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１６と、テーブル１１と支持手段１２とを相対移動させる移動手段１３とを備えて構成されている。
【００１９】
前記テーブル１１は、リングフレームＲＦの開口内にウエハＷを配置し、これらリングフレームＲＦ及びウエハＷを吸着保持可能に形成されている。テーブル１１の上面には、凸部１１Ａ（図２及び図３参照）が形成され、この凸部１１Ａの上面でウエハＷが吸着保持され、凸部１１Ａの外側でリングフレームＲＦが吸着保持される。
【００２０】
支持手段１２は、把持部としての左把持部１２Ａと右把持部１２Ｂとからなり、左把持部１２Ａは、接着シートＳの左側の各コーナー領域をそれぞれ把持する前後一対の左側把持部材２０Ａと、これら左側把持部材２０Ａを支持する左側リニアモータ２２Ａとを備えて構成されている。各左側把持部材２０Ａは、左側リニアモータ２２Ａの左側スライダ２６Ａを介して前後方向に移動可能に設けられている。なお、右把持部１２Ｂは、左側リニアモータ２２Ａよりもストロークが短い右側リニアモータ２２Ｂが採用されているが、左把持部１２Ａと実質的に左右対称構成のため、構成名称先頭の「左」を「右」に、符号末尾の「Ａ」を「Ｂ」に代えて説明を省略する。
【００２１】
前記カッター刃１４は、外周縁で接着シートＳを切断可能な円盤状に設けられ、接着シートＳの切断形状に対応する平面形状に形成されている。具体的には、カッター刃１４は、リングフレームＲＦの内径より大きく、外径より小さい径寸法に設けられる。また、カッター刃１４は、その上面で多関節ロボット３０を介して支持されており、リングフレームＲＦ及びウエハＷの被着面となる上面位置と退避した位置との間で移動可能となっている。
【００２２】
前記押圧ローラ１６は、図示しない駆動手段を介して上下方向及び左右方向に移動可能に設けられ、リングフレームＲＦ及びウエハＷ上を転動し、接着シートＳを押圧して貼付するように設けられている。
【００２３】
移動手段１３は、左側移動部１３Ａと右側移動部１３Ｂとからなり、左側移動部１３Ａは、前後一対の左側単軸ロボット２４Ａと、この左側単軸ロボット２４Ａを昇降させる前後一対の左側昇降モータ２５Ａとを備えて構成されている。左側リニアモータ２２Ａは、左側単軸ロボット２４Ａの左側スライダ２８Ａを介して左右方向に移動可能に設けられている。従って、各左側把持部材２０Ａは、ウエハＷ上面を平面視したときに、左右方向及び前後方向の直交する二軸方向に移動可能とされ、カッター刃１４の左側に沿って接着シートＳを切断可能に設けられている（図３（Ａ）及び図６参照）。なお、右側移動部１３Ｂは、左側単軸ロボット２４Ａよりもストロークが短い右側単軸ロボット２４Ｂが採用され、カッター刃１４の右側に沿って接着シートＳを切断可能に設けられており（図３（Ｂ）参照）、右側移動部１３Ｂと実質的に左右対称構成のため、構成名称先頭の「左」を「右」に、符号末尾の「Ａ」を「Ｂ」に代えて説明を省略する。
【００２４】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について、図４及び図５をも用いて説明する。
【００２５】
まず、図示しない搬送手段を介してリングフレームＲＦとウエハＷとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。また、図示しない搬送手段を介して接着シートＳが支持手段１２に搬送され、各左側把持部材２０Ａ及び右側把持部材２０Ｂにより接着シートＳの各コーナー部分を把持することで、リングフレームＲＦ及びウエハＷの各上面に臨むように接着シートＳが支持される（図４（Ａ）参照）。
【００２６】
次に、左側昇降モータ２５Ａを介して左側単軸ロボット２４Ａを下降させることで左側把持部材２０Ａを下降させ、接着シートＳの左側領域をリングフレームＲＦに接近させる（図４（Ｂ）参照）。次いで、押圧ローラ１６が下方に移動され、リングフレームＲＦの左端側領域に接着シートＳが押圧される（図４（Ｃ）参照）。その後、押圧ローラ１６を右方向に移動し、この移動に同期して右側昇降モータ２５Ｂを介して右側単軸ロボット２４Ｂを下降させることで右側把持部材２０Ｂを下降させる（図４（Ｄ）参照）。これにより、リングフレームＲＦ及びウエハＷの上面に接着シートＳが貼付される。そして、押圧ローラ１６を上昇して退避させるとともに、多関節ロボット３０を作動させることで、カッター刃１４が接着シートＳを介してウエハＷに沿って配置される（図４（Ｅ）参照）。このとき、カッター刃１４は接着シートＳに接触していてもよいし、少々離れていてもよい。カッター刃１４が接着シートＳに接触しても、刃先がリングフレームＲＦには接触しないため、リングフレームＲＦが損傷することはない。
【００２７】
次に、左側昇降モータ２５Ａを介して左側把持部材２０Ａを上昇させた後（図２及び図５（Ｆ）参照）、左側単軸ロボット２４Ａによって左側把持部材２０Ａを右方向に移動させる（図５（Ｇ）参照）。これにより、接着シートＳは、折り返された領域がカッター刃１４の外周縁に向かって押し当てられ、カッター刃１４の左半分を過ぎる位置まで引っ張られることで、カッター刃１４の左側に沿って接着シートＳが切断される（図３（Ａ）及び図６参照）。そして、接着シートＳのカッター刃１４による切断位置の内側領域はリングフレームＲＦ及びウエハＷに対する貼付が維持され、切断位置の外側領域は、リングフレームＲＦから剥離される。ここで、図６に示されるように、各左側把持部材２０Ａは、右方向に移動されると同時に、左側リニアモータ２２Ａを介して相互に接近するように移動される。この移動によって、接着シートＳにおける折り返された領域の引っ張り方向を、カッター刃１４の存在する方向に向けることができ、接着シートＳの切断の円滑化が図られるようになる。
【００２８】
そして、左側単軸ロボット２４Ａにより左側把持部材２０Ａを左方向に移動させて切断前の位置に復帰させる（図５（Ｈ）参照）。その後、多関節ロボット３０がアーム部を図６中実線位置から二点鎖線で示される位置に変位させる。次いで、左側昇降モータ２５Ａを介して左側把持部材２０Ａを下降させた後、右側昇降モータ２５Ｂを介して右側把持部材２０Ｂを上昇させる（図５（Ｉ）参照）。そして、押圧ローラ１６を左方向に移動するとともに、右側把持部材２０Ｂを左側把持部材２０Ａと左右対称となる動作で移動させる。これにより、カッター刃１４の右側に沿って接着シートＳが切断され（図３（Ｂ）参照）、先に切断されているカッター刃１４の左側部分に繋がって接着シートＳが切断され、この切断による内側領域が貼付用シートＳ１とされる一方、その外側領域が不要シートＳ２とされる（図５（Ｊ）参照）。そして、カッター刃１４の外縁に沿う円形の切断が完了し、貼付用シートＳ１を介してウエハＷとリングフレームＲＦとが一体化される。その後、不要シートＳ２を図示しない回収手段で回収し、これと前後して、各把持部材２０Ａ、２０Ｂを初期位置に復帰させる。
以後、同様の動作により、接着シートＳの貼付を行うことができる。
【００２９】
従って、このような実施形態によれば、貼付された接着シートＳを介してカッター刃１４を配置した状態で、接着シートＳを引っ張ることで切断を行うので、カッター刃１４がリングフレームＲＦに接触することなく切断することができ、従来のようにリングフレームＲＦがカッター刃等で損傷されることを回避することが可能となる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、多関節ロボット３０とカッター刃１４との連結部分にモータＭ（図１参照）を設け、カッター刃１４を周方向に回転可能としてもよい。
【００３２】
また、接着シートＳの切断は、カッター刃１４がウエハＷと共に接着シートＳと相対移動すればよく、接着シートＳを固定しておき、カッター刃１４がウエハＷと共に移動したり、接着シートＳとカッター刃１４を伴った支持手段１２との両方を移動したりしてもよい。更に、接着シートＳの切断時における各把持部材２０Ａ、２０Ｂの移動方向を変更してもよく、図７に示されるように、各把持部材２０Ａ、２０Ｂを上昇することで接着シートＳをカッター刃１４に押し当てて切断してもよい。
【００３３】
また、カッター刃１４による切断形状は、方形、多角形、楕円、その他形状にする等、種々の変更が可能である。
【００３４】
更に、本発明の切断手段は、前記カッター刃１４に限られるものでなく、例えば、図８に示される構成に代替することができる。同図において、切断手段４０は、モータＭを介して多関節ロボット３０に支持されるフレーム４１と、このフレーム４１の左右両側にそれぞれ設けられるとともに、下端において接着シートＳを切断可能なカッター刃４２とを備えている。カッター刃４２は、リングフレームＲＦと接触することなくモータＭの作動によって回転し、この状態で各把持部材２０Ａ、２０Ｂを上昇することで接着シートＳをカッター刃４２に押し当てて切断する。フレーム４１とカッター刃４２との連結部分にはヒンジ部４３が設けられ、図８（Ｂ）に示されるように、カッター刃４２が角度変位可能となっている。
【００３５】
前記実施例では、方形の接着シートＳを対象としてウエハＷとリングフレームとに貼付するシート貼付装置を例示したが、図９（Ａ）に示されるように、帯状の接着シートＳを左右側把持部材２０Ａ、２０Ｂに繰り出すように繰出手段５０を設けてもよい。繰出手段５０は、正逆回転可能なモータＭ１に連結されて帯状の接着シートＳを支持する支持軸５１と、正逆回転可能なモータＭ２に連結されてピンチローラ５３との間に接着シートＳを挟み込む駆動ローラ５２と、正逆回転可能なモータＭ３に連結されてピンチローラ５５との間に接着シートＳを挟み込む駆動ローラ５４と、正逆回転可能なモータＭ４に連結されて帯状の接着シートＳを巻き取る巻取軸５６とで構成される。そして、リングフレームＲＦとウエハＷとがテーブル１１上に保持されると、モータＭ１乃至Ｍ４が同期して接着シートＳを左右側把持部材２０Ａ、２０Ｂ間に繰り出す。次いで、左右側把持部材２０Ａ、２０Ｂが接着シートＳの短寸幅方向４箇所を把持し、前記実施例同様に、押圧ローラ１６がリングフレームＲＦ及びウエハＷに接着シートＳを押圧して貼付した後、カッター刃１４が接着シートＳを介してウエハＷに沿って配置される（図９（Ｂ）参照）。そして、モータＭ３、Ｍ４は左側把持部材２０Ａの動作に同期して、巻取ローラ５６から接着シートＳを繰り出しつつ、カッター刃１４の左側に沿って着シートＳを切断する（図９（Ｃ）参照）。次いで、モータＭ３、Ｍ４によって接着シートＳを巻き取りつつ、左側把持部材２０Ａが初期位置に戻った後、モータＭ１、Ｍ２は右側把持部材２０Ｂの動作に同期して、支持ローラ５１から接着シートＳを繰り出しつつ、カッター刃１４の右側に沿って着シートＳを切断する（図９（Ｄ）参照）。その後、モータＭ１、Ｍ２によって接着シートＳを巻き取りつつ、右側把持部材２０Ｂが初期位置に戻る。
【００３６】
また、本発明の押圧手段は、前述の押圧ローラ１６と同様に貼付を行える限りにおいて、種々の変更が可能であり、例えば、板状のブレード材や、ゴム、樹脂、スポンジ等の弾性部材に代えてもよい。
【００３７】
更に、本発明における被着体としては、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、ウエハＷは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３８】
また、接着シートＳは、リングフレームＲＦにウエハＷをマウントするものに限定されることなく、ウエハＷ等に貼付してその回路面を保護する保護シート等であってよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略平面図。
【図２】図１の構造を一部省略した概略正面図。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、接着シート切断中の要部正面図。
【図４】（Ａ）〜（Ｅ）は、接着シートの貼付要領を示す説明図。
【図５】（Ｆ）〜（Ｊ）は、図４（Ｅ）に続く接着シートの貼付要領を示す説明図。
【図６】接着シート切断中のシート貼付装置の概略平面図。
【図７】第１変形例に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図８】第２変形例に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図９】第３変形例に係るシート貼付装置の概略正面図。
【符号の説明】
【００４０】
１０  シート貼付装置
１１  テーブル（保持手段）
１２  支持手段
１３  移動手段
１４  カッター刃（切断手段）
１６  押圧ローラ（押圧手段）
２０Ａ  左側把持部材（把持部）
２０Ｂ  右側把持部材（把持部）
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
Ｓ  接着シート
Ｓ１  貼付用シート
Ｓ２  不要シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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