(57)【要約】【課題】耐久性と信頼性に優れた圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子１は、圧電体３０と、圧電体３０に電界を印加する下部電極２０及び上部電極４０とを備えた素子であり、圧電体３０の上部電極４０より露出した部分３０Ｓの少なくとも一部が、疎水性でかつ絶縁性を有する流動性材料５０で被覆されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体と、該圧電体に電界を印加する下部電極及び上部電極とを備えた圧電素子において、
前記圧電体の前記上部電極より露出した部分の少なくとも一部が、疎水性でかつ絶縁性を有する流動性材料で被覆されていることを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
さらに、前記上部電極の表面が前記流動性材料で被覆されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
さらに、前記上部電極の表面及び側面が前記流動性材料で被覆されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記流動性材料が絶縁性オイルを主成分とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電素子。
【請求項５】
前記絶縁性オイルがシリコーンオイルであることを特徴とする請求項４に記載の圧電素子。
【請求項６】
前記流動性材料は柔軟性を有する多孔質材に吸着保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の圧電素子。
【請求項７】
前記流動性材料中に吸水性物質が含まれていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の圧電素子。
【請求項８】
前記吸水性物質が吸水性ポリマー粒子であることを特徴とする請求項７に記載の圧電素子。
【請求項９】
前記吸水性ポリマー粒子がシリカゲルであることを特徴とする請求項８に記載の圧電素子。
【請求項１０】
前記圧電体及び前記上部電極が樹脂製の蓋材で封止されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の圧電素子。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の圧電素子と、該圧電素子に隣接して設けられた液体吐出部材とを備え、該液体吐出部材は、液体が貯留される液体貯留室と、前記圧電体に対する前記電界の印加に応じて該液体貯留室から外部に前記液体が吐出される液体吐出口とを有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子、及びこれを用いた液体吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電界印加強度の増減に伴って伸縮する圧電体と、この圧電体に対して電界を印加する電極とを備えた圧電素子が、インクジェット式記録ヘッド等の液体吐出装置に搭載されるアクチュエータ等として使用されている。圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系等のペロブスカイト型酸化物が知られている。
【０００３】
圧電素子は高温高湿環境下で長期使用すると、圧電体が水分を吸収し、これに起因して、圧電体にマイクロクラックが発生したり、圧電体の電気抵抗あるいは静電容量等の特性が変化することがある。
【０００４】
従来、圧電体への水分の浸入を抑制するために、圧電素子の表面に無機の水分バリア膜を設けることが提案されている。しかしながら、圧電体上に剛性の高い無機膜があると圧電体の変位が拘束されるために、大きな変位が得られにくい。
【０００５】
上記の問題を解消するために、特許文献１，２には、圧電セラミック粉末と可撓性を有する有機高分子とを含む圧電組成物感圧体を備えた圧電素子において、圧電セラミック粉末の外側に、圧電セラミック粉末への水分の吸収を抑制する撥水材料からなる被覆層を設けた構成が提案されている（特許文献１の請求項１，２、特許文献２の請求項１，２）。
【０００６】
被覆層を構成する撥水材料としては、脂肪酸、脂肪酸塩、脂肪酸アミド、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、アクリル系樹脂、及びシラン化合物が例示されている（特許文献１の段落００７２、特許文献２の００７１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2007-17420号公報
【特許文献２】特開2008-192672号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１の段落００５５等，及び特許文献２の００５３等に記載のプロセスによれば、上記被覆層は固体の層であり、無機膜より柔軟ではあるものの、やはり圧電体の変位が拘束される恐れがある。また、圧電体にマイクロクラックが生じると、その上の被覆層にもマイクロクラックが生じて、被覆層による水分バリア機能が失われてしまう。  
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、耐久性と信頼性に優れた圧電素子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の圧電素子は、圧電体と、該圧電体に電界を印加する下部電極及び上部電極とを備えた圧電素子において、
前記圧電体の前記上部電極より露出した部分の少なくとも一部が、疎水性でかつ絶縁性を有する流動性材料で被覆されていることを特徴とするものである。
【００１０】
本明細書において、「疎水性材料」とは、ＨＬＢ値（Hydrophile-lipophile balance）が６．０以下の材料により定義するものとする。本発明で用いる流動性材料のＨＬＢ値は好ましくは３．０以下であり、より好ましくは２．０以下である。
【００１１】
本発明の圧電素子において、前記上部電極の表面が前記流動性材料で被覆されていることが好ましい。本発明の圧電素子において、前記上部電極の表面及び側面が前記流動性材料で被覆されていることが特に好ましい。
【００１２】
本発明の圧電素子において、前記流動性材料が絶縁性オイルを主成分とすることが好ましい。  
本明細書において、「主成分」は７０質量％以上の成分と定義する。  
本発明の圧電素子において、前記流動性材料は柔軟性を有する多孔質材に吸着保持されていてもよい。  
本発明の圧電素子において、前記流動性材料中に吸水性物質が含まれていることが好ましい。  
本発明の圧電素子において、前記圧電体及び前記上部電極が樹脂製の蓋材で封止されていることが好ましい。
【００１３】
本発明の液体吐出装置は、上記の本発明の圧電素子と、該圧電素子に隣接して設けられた液体吐出部材とを備え、該液体吐出部材は、液体が貯留される液体貯留室と、前記圧電体に対する前記電界の印加に応じて該液体貯留室から外部に前記液体が吐出される液体吐出口とを有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、耐久性と信頼性に優れた圧電素子を提供することができる。  
本発明によれば、４０℃相対湿度８０％の高温高湿環境下における耐久性と信頼性に優れた圧電素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る第１実施形態の圧電素子及びインクジェット式記録ヘッドの構造を示す断面図
【図２】本発明に係る第２実施形態の圧電素子及びインクジェット式記録ヘッドの構造を示す断面図
【図３】本発明に係る第３実施形態の圧電素子及びインクジェット式記録ヘッドの構造を示す断面図
【図４】インクジェット式記録装置の構成例を示す図
【図５】図４のインクジェット式記録装置の部分上面図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
「圧電素子及びインクジェット式記録ヘッドの第１実施形態」
図１を参照して、本発明に係る第１実施形態の圧電素子及びこれを備えたインクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）の構造について説明する。図１はインクジェット式記録ヘッドの要部断面図（圧電素子の厚み方向の断面図）である。視認しやすくするため、構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。
【００１７】
本実施形態の圧電素子１は、基板１０上に、下部電極２０と圧電体３０と上部電極４０とが順次積層された素子であり、圧電体３０に対して下部電極２０と上部電極４０とにより厚み方向に電界が印加されるようになっている。
【００１８】
下部電極２０及び圧電体３０は基板１０の略全面に形成されており、この上に上部電極４０がパターン形成されている。圧電体３０はパターン形成されても構わない。圧電体３０は、互いに分離した複数の凸部からなるパターンで形成することで、個々の凸部の伸縮がスムーズに起こるので、より大きな変位量が得られ、好ましい。
【００１９】
基板１０としては特に制限なく、シリコン，酸化シリコン，ステンレス（ＳＵＳ），イットリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ），アルミナ，サファイヤ，ＳｉＣ，及びＳｒＴｉＯ３等の基板が挙げられる。基材１０としては、シリコン基板上にＳｉＯ２膜とＳｉ活性層とが順次積層されたＳＯＩ基板等の積層基板を用いてもよい。
【００２０】
下部電極２０の組成は特に制限なく、Ａｕ，Ｐｔ，Ｉｒ，ＩｒＯ２，ＲｕＯ２，ＬａＮｉＯ３，及びＳｒＲｕＯ３等の金属又は金属酸化物、及びこれらの組合せが挙げられる。上部電極４０の組成は特に制限なく、下部電極２０で例示した材料，Ａｌ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｃｕ等の一般的に半導体プロセスで用いられている電極材料、及びこれらの組合せが挙げられる。下部電極２０と上部電極４０の厚みは特に制限なく、５０〜５００ｎｍであることが好ましい。
【００２１】
圧電体３０の形態としては特に制限なく、単結晶、バルクセラミックス、及び膜が挙げられる。圧電素子１の薄型化・小型化、生産性等を考慮すれば、圧電体３０の形態としては膜が好ましく、厚み１０ｎｍ〜１００μｍの薄膜がより好ましく、厚み１００ｎｍ〜２０μｍの薄膜が特に好ましい。
【００２２】
圧電体３０の成膜方法は特に制限されず、スパッタ法、プラズマＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法、及びＰＬＤ法等の気相法；ゾルゲル法及び有機金属分解法等の液相法；及びエアロゾルデポジション法等が挙げられる。
【００２３】
圧電体３０の組成は特に制限されず、下記一般式（Ｐ）で表される１種又は２種以上のペロブスカイト型酸化物からなる（不可避不純物を含んでいてもよい）ことが好ましい。
一般式ＡＢＯ３・・・（Ｐ）
（Ａ：Ａサイトの元素であり、Ｐｂ，Ｂａ，Ｓｒ，Ｂｉ，Ｌｉ，Ｎａ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｍｇ，Ｋ，及びランタニド元素からなる群より選ばれた少なくとも１種の元素を含む。  
Ｂ：Ｂサイトの元素であり、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ｍｇ，Ｓｃ，Ｃｏ，Ｃｕ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ｇａ，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｈｆ，及びＡｌからなる群より選ばれた少なくとも１種の元素を含む。  
Ｏ：酸素。  
Ａサイト元素とＢサイト元素と酸素元素のモル比は１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。）
【００２４】
上記一般式（Ｐ）で表されるペロブスカイト型酸化物としては、
チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、ジルコニウム酸鉛、チタン酸鉛ランタン、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛、ニッケルニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛、亜鉛ニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛等の鉛含有化合物、及びこれらの混晶系；
チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウムバリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム等の非鉛含有化合物、及びこれらの混晶系が挙げられる。
【００２５】
電気特性がより良好となることから、上記一般式（Ｐ）で表されるペロブスカイト型酸化物は、Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｂｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｗ，及びＬｎ（＝ランタニド元素（Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，及びＬｕ））等の金属イオンを、１種又は２種以上含むものであることが好ましい。
【００２６】
本実施形態において、圧電素子１の表面は、疎水性でかつ絶縁性を有する流動性材料５０により被覆されている。具体的には、圧電体３０の上部電極４０より露出した部分３０Ｓ、上部電極の表面４０Ｓ、及び上部電極の側面４０Ｅが流動性材料５０により被覆されている。
【００２７】
流動性材料５０の主成分は疎水性、絶縁性、かつ流動性を有する材料であれば特に制限されず、絶縁用鉱物油、ひまし油、大豆油、亜麻仁油、えの油、きり油、いわし油、合成乾性油、及び合成絶縁油（塩素系合成油、フッ素系合成油、シリコーン油など）等の各種オイル、さらには絶縁性ゲルポリマー、絶縁性ゲルペースト、及びグリース等が挙げられる。  
流動性材料５０の主成分の絶縁性は特に制限なく、１０×１０１２Ω/ｃｍ以上の体積固有抵抗を有することが好ましい。
【００２８】
本実施形態において、流動性材料５０は疎水性材料であるので、流動性材料５０の層は水分バリア層と機能し、この層の存在によって圧電体３０への水分浸入が抑制され、耐湿性の向上効果が得られる。  
流動性材料５０のＨＬＢ値は６．０以下であり、好ましくは３．０以下、より好ましくは２．０以下である。  
流動性材料５０の主成分としては、ＨＬＢ値６．０以下、好ましくは３．０以下、より好ましくは２．０以下であるシリコーンオイルが好ましい。
【００２９】
流動性材料５０の粘度は特に制限されず、粘度が低すぎると圧電素子１の表面から流失する恐れがあるので、室温（２０〜３０℃程度）にて１０ｃＰ以上が好ましい。  
流動性材料５０の蒸気圧は特に制限されず、蒸気圧が高すぎると圧電素子１の表面から揮発して消失する恐れがあるので、室温での蒸気圧として１０ｍｍＨｇ以下が好ましく、１ｍｍＨｇ以下がより好ましい。
【００３０】
流動性材料５０中に吸水性物質が含まれていることが好ましい。吸水性物質としては、シリカゲルや吸水性ポリマー粒子が挙げられる。かかる構成では、流動性材料５０中に水分が浸入したとしても、水分が吸水性物質により捕捉されるので、より高い耐湿性の向上効果が得られる。
【００３１】
圧電アクチュエータ２は、圧電素子１の基板１０の裏面に、圧電体３０の伸縮により振動する振動板６０が取り付けられたものである。圧電アクチュエータ２には、圧電素子１の駆動を制御する駆動回路等の制御手段（図示略）も備えられている。
【００３２】
インクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）３は、概略、圧電アクチュエータ２の裏面に、インクが貯留されるインク室（液体貯留室）７１及びインク室７１から外部にインクが吐出されるインク吐出口（液体吐出口）７２を有するインクノズル（液体貯留吐出部材）７０が取り付けられたものである。インクジェット式記録ヘッド３では、圧電素子１に印加する電界強度を増減させて圧電素子１を伸縮させ、これによってインク室７１からのインクの吐出や吐出量の制御が行われる。
【００３３】
基板１０とは独立した部材の振動板６０及びインクノズル７０を取り付ける代わりに、基板１０の一部を振動板６０及びインクノズル７０に加工してもよい。例えば、基板１０がＳＯＩ基板等の積層基板からなる場合には、基板１０を裏面側からエッチングしてインク室７１を形成し、基板自体の加工により振動板６０とインクノズル７０とを形成することができる。
【００３４】
本実施形態の圧電素子１及びインクジェット式記録ヘッド３は、以上のように構成されている。本実施形態では、圧電素子１の表面を疎水性でかつ絶縁性を有する流動性材料５０により被覆する構成としているので、圧電素子１を高湿環境下で長期使用しても、流動性材料５０によって圧電体３０への水分の浸入が抑制される。したがって、圧電体３０の水分吸収に起因して、圧電体３０にマイクロクラックが発生したり、圧電体３０の電気抵抗あるいは静電容量等の特性が変化するという問題が抑制される。
【００３５】
また、仮に圧電体３０にマイクロクラックが発生した場合も、流動性材料５０はマイクロクラックに滲みこんでこれを修復することができる。本実施形態においては、圧電素子１の表面が流動性材料５０で被覆されているので、素子表面から放熱されやすく、素子１の劣化が抑制される効果も得られる。かかる効果は「背景技術」の項に挙げた特許文献１，２に記載の固体の被覆層では得られない。
【００３６】
なお、下記特許文献３には、有機ＥＬ素子において、封止空間にシリコーンオイルを充填して、水分の浸入を抑制することが記載されている（段落００２５等）。しかしながら、圧電素子ではかかる技術は過去に報告されていない。また、この文献には、マイクロクラックが発生した場合の流動性材料による修復効果や流動性材料による放熱効果については記載がない。
【００３７】
特許文献３：特開2003-173868号公報
【００３８】
以上のように、本実施形態によれば、耐久性と信頼性に優れた圧電素子１を提供することができる。本実施形態によれば、４０℃相対湿度８０％の高温高湿環境下における耐久性と信頼性に優れた圧電素子１を提供することができる。
【００３９】
インクジェット式記録ヘッド３の微細な電気配線を流動性材料５０で被覆しても構わない。この場合には、水分の影響による電気配線のリークを抑制することができ、好ましい。
【００４０】
本実施形態では、圧電素子１の表面全体、すなわち、圧電体３０の上部電極４０より露出した部分３０Ｓ、上部電極の表面４０Ｓ、及び上部電極の側面４０Ｅを流動性材料５０により被覆する場合について説明したが、圧電体３０の上部電極４０より露出した部分３０Ｓの少なくとも一部が流動性材料５０で被覆されていれば、耐久性の向上効果は得られる。
【００４１】
ただし、圧電体３０の上部電極４０より露出した部分３０Ｓの全体が流動性材料５０で被覆されていることが好ましい。さらに、上部電極４０の表面４０Ｓが流動性材料５０で被覆されていることがより好ましい。さらに、上部電極４０の表面４０Ｓ及び側面４０Ｅが流動性材料５０で被覆されていることが特に好ましい。
【００４２】
「圧電素子及びインクジェット式記録ヘッドの第２実施形態」
図２を参照して、本発明に係る第２実施形態の圧電素子及びこれを備えたインクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）の構造について説明する。図２はインクジェット式記録ヘッドの要部断面図（圧電素子の厚み方向の断面図）である。視認しやすくするため、構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。第１実施形態と同じ構成要素については同じ参照符号を付して、説明は省略する。
【００４３】
本実施形態の圧電素子４は、第１実施形態と同様、基板１０上に、下部電極２０と圧電体３０と上部電極４０とが順次積層された素子であり、圧電体３０に対して下部電極２０と上部電極４０とにより厚み方向に電界が印加されるようになっている。第１実施形態と同様、下部電極２０及び圧電体３０は基板１０の略全面に形成されており、この上に上部電極４０がパターン形成されている。
【００４４】
本実施形態においては、圧電素子４の表面に柔軟性を有する多孔質材８０が載置されており、これに第１実施形態の疎水性でかつ絶縁性を有する流動性材料５０（図示略）が吸着保持されている。多孔質材８０としては、多孔質樹脂、スポンジ等が挙げられる。さらには繊維状のものでも流動性材料を保持するものであればかまわない。
【００４５】
本実施形態では、流動性材料５０を多孔質材８０により吸着保持させる構成としているので、流動性材料５０の流失が抑制される。したがって、流動性材料５０の粘度に制限はない。
【００４６】
圧電アクチュエータ５は、圧電素子４の基板１０の裏面に振動板６０が取り付けられたものである。インクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）６は、圧電アクチュエータ５の裏面にインクノズル（液体貯留吐出部材）７０が取り付けられたものである。
【００４７】
本実施形態の圧電素子４及びインクジェット式記録ヘッド６は、以上のように構成されている。本実施形態においても第１実施形態と同様に、流動性材料５０による耐湿性の向上効果及びマイクロクラックの修復効果等が得られる。したがって、本実施形態によれば、耐久性と信頼性に優れた圧電素子４を提供することができる。本実施形態によれば、４０℃相対湿度８０％の高温高湿環境下における耐久性と信頼性に優れた圧電素子４を提供することができる。
【００４８】
「圧電素子及びインクジェット式記録ヘッドの第３実施形態」
図３を参照して、本発明に係る第３実施形態の圧電素子及びこれを備えたインクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）の構造について説明する。図３はインクジェット式記録ヘッドの要部断面図（圧電素子の厚み方向の断面図）である。視認しやすくするため、構成要素の縮尺は実際のものとは適宜異ならせてある。第１実施形態と同じ構成要素については同じ参照符号を付して、説明は省略する。
【００４９】
本実施形態の圧電素子７は、第１実施形態と同様、基板１０上に、下部電極２０と圧電体３０と上部電極４０とが順次積層された素子であり、圧電体３０に対して下部電極２０と上部電極４０とにより厚み方向に電界が印加されるようになっている。第１実施形態と同様、下部電極２０及び圧電体３０は基板１０の略全面に形成されており、この上に上部電極４０がパターン形成されている。
【００５０】
本実施形態においては、圧電体３０及び上部電極４０が樹脂製の蓋材９０で封止されており、この蓋材９０の内空間に第１実施形態の流動性材料５０が充填されている。
【００５１】
圧電アクチュエータ８は、圧電素子７の基板１０の裏面に振動板６０が取り付けられたものである。インクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）９は、圧電アクチュエータ２の裏面にインクノズル（液体貯留吐出部材）７０が取り付けられたものである。
【００５２】
本実施形態の圧電素子７及びインクジェット式記録ヘッド９は、以上のように構成されている。本実施形態においても第１実施形態と同様に、流動性材料５０による耐湿性の向上効果及びマイクロクラックの修復効果等が得られる。さらに、本実施形態では、圧電体３０及び上部電極４０を蓋材９０で封止する構成としているので、より高い耐湿性の向上効果が得られる。  
以上のように、本実施形態によれば、耐久性と信頼性に優れた圧電素子７を提供することができる。本実施形態によれば、４０℃相対湿度８０％の高温高湿環境下における耐久性と信頼性に優れた圧電素子７を提供することができる。
【００５３】
本実施形態では、蓋材９０の内空間の全体に流動性材料５０を充填する場合について説明したが、流動性材料５０による圧電体３０及び上部電極４０の被覆範囲については、第１実施形態と同様に適宜変更できる。
【００５４】
「インクジェット式記録装置」
図４及び図５を参照して、上記実施形態のインクジェット式記録ヘッド３，６，９のいずれかを備えたインクジェット式記録装置の構成例について説明する。図４は装置全体図であり、図５は部分上面図である。
【００５５】
図示するインクジェット式記録装置１００は、インクの色ごとに設けられた複数のインクジェット式記録ヘッド（以下、単に「ヘッド」という）１０２Ｋ，１０２Ｃ，１０２Ｍ，１０２Ｙを有する印字部１０２と、各ヘッド１０２Ｋ，１０２Ｃ，１０２Ｍ，１０２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１１４と、記録紙１１６を供給する給紙部１１８と、記録紙１１６のカールを除去するデカール処理部１２０と、印字部１０２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１１６の平面性を保持しながら記録紙１１６を搬送する吸着ベルト搬送部１２２と、印字部１０２による印字結果を読み取る印字検出部１２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部１２６とから概略構成されている。  
印字部１０２をなすヘッド１０２Ｋ，１０２Ｃ，１０２Ｍ，１０２Ｙが、各々上記実施形態のインクジェット式記録ヘッド３，６，９のいずれかである。
【００５６】
デカール処理部１２０では、巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム１３０により記録紙１１６に熱が与えられて、デカール処理が実施される。  
ロール紙を使用する装置では、図４のように、デカール処理部１２０の後段に裁断用のカッター１２８が設けられ、このカッターによってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター１２８は、記録紙１１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃１２８Ａと、該固定刃１２８Ａに沿って移動する丸刃１２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃１２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃１２８Ｂが配置される。カット紙を使用する装置では、カッター１２８は不要である。
【００５７】
デカール処理され、カットされた記録紙１１６は、吸着ベルト搬送部１２２へと送られる。吸着ベルト搬送部１２２は、ローラ１３１、１３２間に無端状のベルト１３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１０２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）となるよう構成されている。
【００５８】
ベルト１３３は、記録紙１１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（図示略）が形成されている。ローラ１３１、１３２間に掛け渡されたベルト１３３の内側において印字部１０２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ１３４が設けられており、この吸着チャンバ１３４をファン１３５で吸引して負圧にすることによってベルト１３３上の記録紙１１６が吸着保持される。
【００５９】
ベルト１３３が巻かれているローラ１３１、１３２の少なくとも一方にモータ（図示略）の動力が伝達されることにより、ベルト１３３は図４上の時計回り方向に駆動され、ベルト１３３上に保持された記録紙１１６は図４の左から右へと搬送される。
【００６０】
縁無しプリント等を印字するとベルト１３３上にもインクが付着するので、ベルト１３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部１３６が設けられている。  
吸着ベルト搬送部１２２により形成される用紙搬送路上において印字部１０２の上流側に、加熱ファン１４０が設けられている。加熱ファン１４０は、印字前の記録紙１１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１１６を加熱する。印字直前に記録紙１１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後に乾きやすくなる。
【００６１】
印字部１０２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙送り方向と直交方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている（図５を参照）。各印字ヘッド１０２Ｋ，１０２Ｃ，１０２Ｍ，１０２Ｙは、インクジェット式記録装置１００が対象とする最大サイズの記録紙１１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００６２】
記録紙１１６の送り方向に沿って上流側から、黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応したヘッド１０２Ｋ，１０２Ｃ，１０２Ｍ，１０２Ｙが配置されている。記録紙１１６を搬送しつつ各ヘッド１０２Ｋ，１０２Ｃ，１０２Ｍ，１０２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより、記録紙１１６上にカラー画像が記録される。  
印字検出部１２４は、印字部１０２の打滴結果を撮像するラインセンサ等からなり、ラインセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まり等の吐出不良を検出する。
【００６３】
印字検出部１２４の後段には、印字された画像面を乾燥させる加熱ファン等からなる後乾燥部１４２が設けられている。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けた方が好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。  
後乾燥部１４２の後段には、画像表面の光沢度を制御するために、加熱・加圧部１４４が設けられている。加熱・加圧部１４４では、画像面を加熱しながら、所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ１４５で画像面を加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００６４】
こうして得られたプリント物は、排紙部１２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット式記録装置１００では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部１２６Ａ、１２６Ｂへと送るために排紙経路を切り替える選別手段（図示略）が設けられている。  
大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列にプリントする場合には、カッター１４８を設けて、テスト印字の部分を切り離す構成とすればよい。  
インクジェット記記録装置１００は、以上のように構成されている。
【００６５】
（設計変更）
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。
【実施例】
【００６６】
（実施例１）
本発明に係る実施例及び比較例について説明する。
【００６７】
（比較例１）
シリコンウエハ上にスパッタリング法により１５０ｎｍ厚のＩｒ下部電極を成膜し、この上に、ＲＦスパッタリング法により４μｍ厚のＰＺＴ圧電体膜を成膜した。ＰＺＴ膜の成膜条件は以下の通りとした。  
ターゲット：Ｐｂ１．３（Ｚｒ0.46Ｔｉ0.42Ｎｂ0.12）Ｏ３焼結体、
基板温度：５００℃、
成膜ガス：Ａｒ／Ｏ２＝９７．５／２．５（流量比）、
成膜圧力：０．５Ｐａ、
ターゲット−基板間距離：６０ｍｍ、
ＲＦパワー：２００Ｗ。  
その後、通常のフォトリソグラフィー法により上部電極をパターン形成し、圧電素子を得た。上部電極は、５０ｎｍ厚のＴｉ層と２００ｎｍ厚のＰｔ層との積層構造とした。
【００６８】
得られた圧電素子を、４０℃相対湿度８０％の環境下にて、電界強度６０ｋＶ／ｃｍ及び１００ｋＨｚ矩形波の条件で駆動試験を実施した。１０億ドット以下の駆動で、電気抵抗は低下し、静電容量は低下し、及びＴａｎδ（Ｔａｎδは誘電損失の指標となるパラメータである。）は上昇するなどの変化が見られた。水分によって圧電体膜が劣化したものと思われる。
【００６９】
（実施例１）
比較例１で得られた圧電素子の表面全体にディスペンス法により、流動性材料として、ＨＬＢが１以下、粘度４０ｃｐの鉱物油を滴下して、圧電体膜の上部電極より露出した部分、上部電極の表面、及び上部電極の側面をシリコーンオイルにより被覆した。  
得られた圧電素子について比較例１と同様の駆動試験を行ったところ、１００億ドットの駆動を実施しても、電気抵抗、静電容量、及びＴａｎδのいずれも全く変化がなかった。
【００７０】
（実施例２）
圧電素子を被覆する流動性材料として、実施例１で用いたシリコーンオイルに市販のシリカゲル（粒径５μｍ）を混合したものを用いた以外は実施例１と同様にして、圧電素子を得た。シリコーンオイルに対するシリカゲルの添加量は５質量％とした。  
得られた圧電素子について比較例１と同様の駆動試験を行ったところ、１００億ドットの駆動を実施しても、電気抵抗、静電容量、及びＴａｎδのいずれも全く変化がなかった。
【００７１】
（実施例３）
実施例１で用いたシリコーンオイルをスポンジに含浸させて、これを圧電素子の上に載置した以外は実施例１と同様にして、圧電素子を得た。  
得られた圧電素子について比較例１と同様の駆動試験を行ったところ、１００億ドットの駆動を実施しても、電気抵抗、静電容量、及びＴａｎδのいずれも全く変化がなかった。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明の圧電素子は、インクジェット式記録ヘッド，磁気記録再生ヘッド，ＭＥＭＳ（Micro Electro-Mechanical Systems）デバイス，マイクロポンプ，超音波探触子，及び超音波モータ等に搭載される圧電アクチュエータ、及び強誘電体メモリ等の強誘電体素子に好ましく適用できる。
【符号の説明】
【００７３】
１、４、７  圧電素子
３、６、９  インクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）
１０  基板
２０  下部電極
３０  圧電体
３０Ｓ  上部電極より露出した部分
４０  上部電極
４０Ｓ  上部電極の表面
４０Ｅ  上部電極の側面
５０  流動性材料
８０  多孔質材
９０  蓋材
７０  インクノズル（液体貯留吐出部材）
７１  インク室（液体貯留室）
７２  インク吐出口（液体吐出口）
１００  インクジェット式記録装置
１０２Ｋ、１０２Ｃ、１０２Ｍ、１０２Ｙ  インクジェット式記録ヘッド（液体吐出装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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