(57)【要約】【課題】公転及び自転を伴う運動、前後及び揺動運動を伴う運動を研磨部材の取り替えだけで設定できるようにした研磨装置。【解決手段】この研磨装置は、ケーシング（４８）と、モータ（１６）と、モータに駆動連結され、第１の軸線（４０）を中心に回転される回転支持体（２２）と、第１の軸線（４０）と平行な第２の軸線（６０）を中心に回転可能にして、回転支持体（２２）に取り外し可能に取り付けられる少なくとも２つの種類の研磨部材（１４、１４−２、１４−３、１４−４）とを有する。ケーシングは第１摺動係合部（８６）を有し、少なくとも１つの研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）が、該第１摺動係合部に摺動可能に係合する第２摺動係合部（細長溝８２、一対の突起８４）を有する。少なくとも他の１つの研磨部材（１４）は、回転支持体に取り付けられたときに、第１摺動係合部（８６）に係合しないようにされている。【選択図】          図２
2010264536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングと、
該ケーシングに取り付けられたモータと、
該ケーシングに取り付けられ、該モータの出力軸に駆動連結され、第１の軸線を中心に回転される回転支持体と、
該回転支持体における該第１の軸線から離された位置において該第１の軸線に平行に延びる第２の軸線を中心に回転可能にして、該回転支持体に選択的に取り外し可能に取り付けられる少なくとも２つの種類の研磨部材であって、該回転支持体に取り付けられた状態において、該第２の軸線に直交する方向で延びる研磨面を有する少なくとも２つの種類の研磨部材と、
を有し、
該ケーシングは、該回転支持体の回転に伴って該第１の軸線の周りで回転される該第２の軸線よりも該第１の軸線からの放射方向で該第１の軸線から離れた位置に設けられた第１摺動係合部を有し、
該研磨部材のうちの少なくとも１つの研磨部材が、該回転支持体に取り付けられたときに、該第１摺動係合部に摺動可能に係合する第２摺動係合部であって、該回転支持体が回転されて、該第２の軸線が該第１の軸線を中心に回転されるときに、該第１摺動係合部との係合部分と該第２の軸線とを結ぶ線に沿って当該研磨部材が変位しながら該係合部分の周りで枢動するのを許容する第２摺動係合部を有し、
該研磨部材のうちの少なくとも他の１つの研磨部材が、該回転支持体に取り付けられたときに、該第１摺動係合部に係合しないようにされている
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
該第１摺動係合部が、該ケーシングから、該回転支持体に取り付けられた研磨部材に向かって突出するようにされ、該第２摺動係合部が該第２の軸線から放射方向に直線状に延びて該第１摺動係合部と摺動係合するようにされている請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
該第２摺動係合部が、該第１摺動係合部の両側を、該第２の軸線から略放射方向に延び、該第１摺動係合部と係合可能とされた平行な面を有している請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
該第１摺動係合部が、該第１の軸線に平行に延びる固定軸と、該固定軸の周りに回転自在に取り付けられたラジアルベアリングを有し、該ラジアルベアリングが該平行な面の間に受け入れられている請求項３に記載の研磨装置。
【請求項５】
該第２摺動係合部が、該回転支持体に取り付けられた研磨部材から該ケーシングに向かって突出するようにされ、該第１摺動係合部が該第２摺動係合部の両側を該第２の軸線から略放射方向に直線状に延びて該第２摺動係合部と摺動係合可能とされた平行な面を有している請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
該少なくとも１つの研磨部材が、該第２の軸線から見て前方に延びる延長支持部材と、該延長支持部材の先端部分に該第２の軸線と平行で該ケーシングから離れる方向に延びるよう取り付けられた細長い研磨材とを有する請求項１乃至５のいずれかに記載の研磨装置。
【請求項７】
該少なくとも１つの研磨部材が、該回転支持体に該第２の軸線の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材を有し、該延長支持部材が弾性を有するシート状部材から作られ、該剛性基材の下面に固定されて、該剛性基材の先端縁より前方に延出した部分を有し、該細長い研磨材は該延出した部分に取り外し可能に固定されるようにした請求項６に記載の研磨装置。
【請求項８】
該少なくとも１つの研磨部材が、該回転支持体に該第２の軸線の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材と、該剛性基材に固定されて前方に延びる弾性を有する延長支持部材と、該延長支持部材の下面に取り外し可能に取り付けられ、下面に該研磨面を有する三角形状の研磨材とを有する請求項１乃至５のいずれかに記載の研磨装置。
【請求項９】
該延長支持部材が、前後方向に延びるリブを有し、該研磨材が、三角形の各頂点から対向する辺に向かって延びるリブ係合部を有し、研磨材をそのリブ係合部の１つを該リブに係合するようにして該延長支持部材に取り付けるようにした請求項８に記載の研磨装置。
【請求項１０】
ケーシングと、
該ケーシングに取り付けられたモータと、
該ケーシングに取り付けられ、該モータの出力軸に駆動連結され、第１の軸線を中心に回転される回転支持体と、
該回転支持体における該第１の軸線から離された位置において該第１の軸線に平行に延びる第２の軸線を中心に回転可能にして、該回転支持体に選択的に取り外し可能に取り付けられ、該第２の軸線に直交する方向で延びる研磨面を有する研磨部材と、
を有する研磨装置であって、
該第１の軸線からの放射方向で該第２の軸線よりも該第１の軸線から離れた所定位置において該ケーシングに設けられ、該ケーシングから、該回転支持体に取り付けられた研磨部材に向かって突出するようにされた第１摺動係合部を有する研磨装置における該研磨部材であって、
該回転支持体に取り付けられたときに、該第１摺動係合部に摺動可能に係合して、該回転支持体が回転されるときに、該第１摺動係合部に対し、該第１摺動係合部との係合部分と該第２の軸線とを結ぶ線に沿って相対的に変位する第２摺動係合部を有する研磨部材。
【請求項１１】
該第２摺動係合部が、該第１摺動係合部と摺動係合する、該第２の軸線から放射方向に延びる摺動係合面を有する請求項１０に記載の研磨部材。
【請求項１２】
該第２の軸線から見て前方に延びる延長支持部材と、該延長支持部材の先端部分に該第２の軸線と平行で該ケーシングから離れる方向に延びるよう取り付けられ、先端に該研磨面を有する細長い研磨材とを有する請求項１０又は１１に記載の研磨部材。
【請求項１３】
該回転支持体に該第２の軸線の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材を有し、該延長支持部材が弾性を有するシート状部材から作られ、該剛性基材の下面に固定されて、該剛性基材の先端縁より前方に延出した部分を有し、該細長い研磨材は該延出した部分に取り外し可能に固定されるようにした請求項１２に記載の研磨部材。
【請求項１４】
該回転支持体に該第２の軸線の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材と、該剛性基材に固定されて前方に延びる弾性を有する延長支持部材と、該延長支持部材の下面に取り外し可能に取り付けられ、下面に該研磨面を有する三角形状の研磨材とを有する請求項１又は１１に記載の研磨部材。
【請求項１５】
該延長支持部材が、前後方向に延びるリブを有し、該研磨材が、三角形の各頂点から対向する辺に向かって延びるリブ係合部を有し、研磨材をそのリブ係合部の１つを該リブに係合するようにして該延長支持部材に取り付けるようにした請求項１４に記載の研磨部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏芯回転運動を伴う研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
研磨装置においては、研磨部材をモータによって直接回転駆動するのではなく、研磨部材を偏芯回転運動によって間接的に駆動するようなものがある。具体的には、第１の軸線を中心にモータからの回転駆動力によって直接回転駆動される回転支持体と、該回転支持体における該第１の軸線から離された位置において該第１の軸線に平行に延びる第２の軸線を中心に回転可能にして該回転支持体に取り付けられる研磨部材とを有し、第１の軸線の周りでの回転支持体の回転に伴って、研磨部材が第２の軸線の周りで回転力を受けて回転されるようにしたものである。この研磨装置では、基本的には、研磨部材は第１の軸線の周りでの公転とともに、第２の軸線の周りでの自転が生じる。これに対して、自転を制限して当該研磨部材の第１の軸線の周りでの向きを略一定に保ち、当該研磨部材の動きを、第１の軸線の周りでの第２の軸線の回転運動に伴った前後運動と揺動運動とに制限することが可能である。特許文献１は、研磨部材に自転及び公転を生じるようにする場合と、前後運動及び揺動運動を生じるようにする場合とを使い分けできるようにした装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４０６１０５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された研磨装置では、研磨部材（研磨パッド）を上記のように使い分けするために、研磨部材を支持しているフレームに連結軸を通し、その先端を研磨部材に差し込んで、該フレームと研磨部材とを連結することにより、当該研磨部材の第２の軸線の周りでの自転を阻止するようにしている。
【０００５】
この研磨装置では、上記連結軸によりフレームと研磨部材とを連結する作業が煩雑であり、作業効率の妨げとなる。また、高速で運動する研磨部材と静止状態のフレームとを連結する構造となっているので、その連結構造のメンテナンスをする煩わしさもある。
【０００６】
本発明は、このような従来の研磨装置でのこのような煩わしさをなくし、研磨部材の動きを簡単に変えることができるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明は、
ケーシング（上述の実施形態の説明においては参照番号４８として示しある）と、
該ケーシングに取り付けられたモータ（１６）と、
該ケーシングに取り付けられ、該モータの出力軸（１８）に駆動連結され、第１の軸線を中心に回転される回転支持体（２２）と、
該回転支持体における該第１の軸線（４０）から離された位置において該第１の軸線に平行に延びる第２の軸線（６０）を中心に回転可能にして、該回転支持体に取り外し可能に取り付けられ、該第２の軸線に直交する方向で延びる研磨面（１２）を有する少なくとも２つの種類の研磨部材（１４、１４−２、１４−３、１４−４）と、
を有し、
該ケーシングは、該回転支持体の回転に伴って該第１の軸線（４０）の周りで回転される該第２の軸線（６０）よりも該第１の軸線（４０）からの放射方向で該第１の軸線から離れた位置に設けられた第１摺動係合部（８６）を有し、
該研磨部材のうちの少なくとも１つの研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）が、該回転支持体に取り付けられたときに、該第１摺動係合部に摺動可能に係合する第２摺動係合部（同実施形態においては細長溝８２と一対の突起８４とから構成）であって、該回転支持体（２２）が回転されて、該第２の軸線（６０）が該第１の軸線（４０）を中心に回転されるときに、該第１摺動係合部との係合部分と該第２の軸線（６０）とを結ぶ線に沿って当該研磨部材が変位しながら該係合部分の周りで枢動するのを許容する第２摺動係合部（８２，８４）を有し、
該研磨部材のうちの少なくとも他の１つの研磨部材（１４）が、該回転支持体に取り付けられたときに、該第１摺動係合部（８６）に係合しないようにされている
ことを特徴とする研磨装置を提供する。
【０００８】
この研磨装置では、所要の研磨部材を回転支持部材に取り付けるだけで、当該研磨部材が上述の公転及び自転を伴った動きを行うか、又は、前後運動及び揺動運動を伴った動きを行うかを決定することができる。
【０００９】
具体的には、該第１摺動係合部（８６）が、該ケーシング（４８）から、該回転支持体に取り付けられた研磨部材（１４、１４−２、１４−３、１４−４）に向かって突出するようにされ、該第２摺動係合部（８２、８４）が該第２の軸線から放射方向に直線状に延びて該第１摺動係合部（８６）と摺動係合するようにすることができる。
【００１０】
より具体的には、第２摺動係合部（８２、８４）が、第１摺動係合部（８６）の両側を、第２の軸線（６０）から略放射方向に延び、該第１摺動係合部と係合可能とされた平行な面を有するようにすることができる。
【００１１】
該第１摺動係合部は、第１の軸線に平行に延びる固定軸（８８）と、該固定軸の周りに回転自在に取り付けられたラジアルベアリング（９０）を有し、該ラジアルベアリングが該平行な面の間に受け入れられるようにすることができる。
【００１２】
また、上記とは逆に、第２動係合部が、回転支持体に取り付けられた研磨部材からケーシングに向かって突出するようにされ、第１摺動係合部が第２摺動係合部の両側を第２の軸線から略放射方向に直線状に延びて第２摺動係合部と摺動係合可能とされた平行な面を有するようにすることもできる。
【００１３】
上記少なくとも１つの研磨部材（１４−３）が、第２の軸線（６０）から見て前方に延びる延長支持部材（１００）と、該延長支持部材の先端部分に該第２の軸線と平行でケーシングから離れる方向に延びるよう取り付けられた細長い研磨材１０４とを有するようにすることができる。このようにすることにより、研磨材を当該研磨装置の使用者から見やすい位置に設定できると共に、他の部分よりも凹んだ部分の面を研磨するのが容易になる。より具体的には、上記少なくとも１つの研磨部材（１４−３）が、回転支持体（２２）に第２の軸線（６０）の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材（７２−２）を有し、延長支持部材（１００）が弾性を有するシート状部材から作られ、剛性基材（７２−２）の下面に固定されて、剛性基材の先端縁より前方に延出した部分を有し、細長い研磨材（１０４）が該延出した部分に取り外し可能に固定されるようにすることができる。
【００１４】
また、少なくとも１つの研磨部材（１４−３）が、回転支持体（２２）に第２の軸線（６０）の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材（７２−２）と、該剛性基材に固定されて前方に延びる弾性を有する延長支持部材（１００）と、該延長支持部材の下面に取り外し可能に取り付けられ、下面に上記研磨面を有する三角形状の研磨材（１０４−２）とを有するようにすることができる。この研磨材を使用する場合には、三角形の１つの角部分を中心に研磨作業を行い、この角部分が摩耗したときには、他の角部分を用いて研磨作業を行うことができる。
【００１５】
この場合、延長支持部材（７２−２）が、前後方向に延びるリブ部（１０２）を有し、研磨材（１０４−２）が、三角形の各頂点から対向する辺に向かって延びるリブ係合部（同実施形態においては溝１２６として構成）を有し、研磨材をそのリブ係合部の１つを該リブに係合するようにして延長支持部材に取り付けるようにすることができる。リブ係合部をリブと係合するようにすることにより、該リブ係合部が延びる三角形の１つの角部が当該研磨装置の前方に向けられるように設定することができる。
【００１６】
本発明はまた、
ケーシング（４８）と、
該ケーシングに取り付けられたモータ（１６）と、
該ケーシングに取り付けられ、該モータの出力軸（１８）に駆動連結され、第１の軸線（４０）を中心に回転される回転支持体（２２）と、
該回転支持体（２２）における該第１の軸線（４０）から離された位置において該第１の軸線（４０）に平行に延びる第２の軸線（６０）を中心に回転可能にして、該回転支持体に取り外し可能に取り付けられ、該第２の軸線（６０）に直交する方向で延びる研磨面（１２）を有する研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）と、
を有する研磨装置（１０）であって、
該第１の軸線（４０）からの放射方向で該第２の軸線（６０）よりも該第１の軸線（４０）から離れた所定位置において該ケーシング（４８）に設けられ、該ケーシングから、該回転支持体（２２）に取り付けられた研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）に向かって突出するようにされた第１摺動係合部（８６）を有する研磨装置（１０）における該研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）であって、
該回転支持体（２２）に取り付けられたときに、該第１摺動係合部（８６）に摺動可能に係合して、該回転支持体（２２）が回転されるときに、該第１摺動係合部（８６）に対し、該第１摺動係合部（８６）との係合部分と該第２の軸線（６０）とを結ぶ線に沿って相対的に変位する第２摺動係合部（８２、８４）を有する研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）を提供する。
【００１７】
第２摺動係合部（８２，８４）は、第１摺動係合部（８６）と摺動係合する、該第２の軸線（６０）から放射方向に延びる摺動係合面を有するようにすることができる。
【００１８】
また、当該研磨部材は、第２の軸線から見て前方に延びる延長支持部材（１００）と、該延長支持部材の先端部分に第２の軸線（６０）と平行でケーシングから離れる方向に延びるよう取り付けられ、先端に該研磨面を有する細長い研磨材（１０４）とを有するようにすることができる。
【００１９】
この場合、回転支持体（２２）に第２の軸線（６０）の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材（７２−２）を有し、該延長支持部材（１００）が弾性を有するシート状部材から作られ、剛性基材の下面に固定されて、該剛性基材の先端縁より前方に延出した部分を有し、該細長い研磨材は該延出した部分に取り外し可能に固定されるようにすることができる。
【００２０】
また、当該研磨部材は、回転支持体（２２）に第２の軸線（６０）の周りで回転可能に取り付けられた剛性基材（７２−２）と、該剛性基材に固定されて前方に延びる弾性を有する延長支持部材（１００）と、該延長支持部材の下面に取り外し可能に取り付けられ、下面に該研磨面を有する三角形状の研磨材（１０４−２）とを有するようにすることができる。
【００２１】
この場合、延長支持部材が、前後方向に延びるリブ部（１０２）を有し、該研磨材が、三角形の各頂点から対向する辺に向かって延びるリブ係合部（１２６）を有し、研磨材をそのリブ係合部の１つを該リブに係合するようにして該延長支持部材に取り付けるようにすることができる。
【００２２】
以下、本発明の実施形態につき添付図面に基づき説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る研磨装置の一実施形態を示す縦断面側面図である。
【図２】本発明に係る研磨装置の他の実施形態を示す縦断面側面図である。
【図３】図２の研磨装置のIII―III矢視から研磨部材の平面図である。
【図４】図２の研磨装置において研磨作業が行われるときの研磨部材の動きを示す図である。
【図５】本発明に係る研磨装置の更に別の実施形態を示す図であり、（ａ）は縦断面側面図、（ｂ）は同研磨装置の研磨部材を底面から見た図、（ｃ）は同研磨部材を左方から見た図である。
【図６】図５の研磨装置における研磨材を示し，（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図７】本発明に係る研磨装置の更に異なる実施形態を示す図であり、（ａ）は縦断側面図、（ｂ）は同研磨装置の前方部分を上から見た図である。
【図８】本発明に係る研磨装置の更に別の実施形態で用いられる研磨材を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図９】本発明に係る研磨装置の同実施形態を示す図であり、（ａ）は縦断側面図、（ｂ）は同研磨装置の前方部分を上から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１には、本発明の一実施形態に係る研磨装置１０の縦断側面図を示している。
【００２５】
この研磨装置１０には、底面側から見た場合円板状の研磨面１２を備えるディスク状の研磨部材１４が装着されており、ベーン式エアモータ１６と、該ベーン式エアモータの出力軸１８に傘歯車１９，２０を介して駆動連結され、研磨部材１４を支持するための回転支持体２２とを有している。
【００２６】
ベーン式エアモータ１６は、当業者には周知のものであり詳細な説明は省略するが、ラジアルベアリング２４，２６によって水平に回転自在に支持されたロータ及び該ロータに半径方向で変位可能に設けられた複数のベーンを備え、圧搾空気供給チューブ２８を通して（図示しない）圧搾空気供給源から供給される圧搾空気により回転駆動されるようになっている。
【００２７】
圧搾空気供給チューブ２８とベーン式エアモータ１６との間には、ピボット３０により枢着されたレバー３２の操作により開閉操作が行なわれる開閉弁装置３４が取り付けられている。この弁装置も当業者には周知のものであり、詳細な説明は省略する。
【００２８】
回転支持体２２は、それに固定された傘歯車２０の軸線（以下、第１の軸線とする）４０を中心に回転駆動されるようになっており、上下のラジアルベアリング４４、４６によって当該研磨装置のケーシング４８内に回転自在に支持されている。
【００２９】
回転支持体２２は、具体的には、上部のラジアルベアリング４４によって支持された上部軸部５０と、傘歯車２０が固定された中間軸部５２と、下部のラジアルベアリング４６によって支持された下部軸部５４と、下部軸部５４に連結され研磨部材１４を支持するための研磨部材支持部５６とを有する。
【００３０】
研磨部材支持部５６は、全体としては円柱状とされており、その底部から上方に延びる研磨部材支持凹部５８を有している。該研磨部材支持凹部５８は、第１の軸線４０から間隔Aをあけて平行とされた第２の軸線６０を中心にした円形の断面を有し、その円筒状内壁面６４にはラジアルベアリング６２が取り付けられており、研磨部材１４は該ラジアルベアリング６２によって回転自在に支持されている。
【００３１】
具体的には、円筒状内壁面６４がラジアルベアリング６２のアウターレースとされ、該ラジアルベアリングのインナーレースとしては第２の軸線６０に同軸状にされた筒状レース部材６６が設けられ、該筒状レース部材６６の内周面にネジ６８が切られており、研磨部材１４はその頂面中央を通して上方に延びるボルト７０を該ネジ６８にネジ係合することにより回転支持部材に連結固定されるようになっている。
【００３２】
この研磨装置においてレバー３２の操作により弁装置３４が開かれ、ベーン式エアモータ１６が供給される圧搾空気により回転されると、回転支持体２２が第１の軸線４０を中心として回転駆動される。これにより、第２の軸線６０は第１の軸線４０を中心に回転（公転）され、これに伴い、研磨部材１４が該第２の軸線６０を中心に回転（自転）されるようになる。従って、この研磨部材１４の研磨面１２を被研磨物の面に適度な圧力で押し付けることにより、公転及び自転を伴った研磨面の動きにより研磨が行なわれる。
【００３３】
図２は、図１の研磨装置１０において、ディスク状の研磨部材１４を別の研磨部材１４−２に取り替えた状態を示している。この研磨部材１４−２は、図２のIII-III線に沿って見た場合、図３に示すように長方形状で、全体としてはソリ状に形成されている。
【００３４】
この研磨部材１４−２は、具体的には、ボルト７０によって筒状レース部材６６に固定された長方形状の剛性基材７２と、該剛性基材の底面に取り付けられたスポンジ材などからなる緩衝部材７４と、該緩衝部材７４の底面に面ファスナによって取り外し可能に取り付けられたシート状研磨材７６とからなる。
【００３５】
図３に示すように、剛性基材７２には、ボルト７０を通す挿通孔７８が形成されており、当該剛性基材７２がボルト７０によって回転支持部材２２に固定された状態では、該ボルト７０の長手方向軸線、従って挿通孔７８の長手方向軸線７８−１は上述の第２の軸線６０と整合されるようになる。また、該剛性基材７２の上面には挿通孔７８の長手方向軸線７８−１（従って第２の軸線）から放射状に延びる１つの線８０に沿って形成された細長溝８２が形成されており、該細長溝８２の両側縁に沿って一対の突起８４が設けられている。
【００３６】
これら細長溝８２及び一対の突起８４は、研磨部材１４、１４−２を支持するラジアルベアリング６２に隣接して研磨装置１０のケーシング４８に取り付けられた第１摺動係合部材８６と摺動係合されるようになっている。該摺動係合部材８６は、具体的には、研磨部材１４-２に面するケーシングの底面から上方に挿入固定されたボルト状の固定軸８８の下端部にラジアルベアリング９０を取り付けて形成されており、この固定軸の下端部が一対の突起８４の間を延びて細長溝８２内に挿入された状態とされている。
【００３７】
この状態でベーン型エアモータが作動され、回転支持体２２が回転されると、ボルト７０，従って、その長手軸線と整合されている第２の軸線６０は、回転支持体２２の回転軸線と整合されている第１の軸線４０の周りを回転（公転）されることになる。図４は、それに伴う研磨部材１４-２の動きを示している。図１に示した如きディスク状の研磨部材１４が取り付けられている場合には、前述したごとく、研磨部材１４は上記公転と共に、第２の軸線の周りで回転（自転）することになるが、研磨部材１４-２は細長溝８２及び一対の突起８４を備えており、これが当該研磨装置のケーシング４８から突出する摺動係合部材８６のラジアルベアリング９０と係合しているために、第２の軸線６０の周りでの回転（自転）が阻止される。この場合、第２の軸線６０は第１の軸線４０の周りで公転するので、該第２の軸線は１８０度回転したときに（図４のｄ）、回転が始まる前のときの位置（図４のａ）から第２の軸線６０の第１の軸線４０からの偏芯量Ａの２倍の２Ａだけ変位し、３６０度回転したときに２Ａだけ戻る動きを生じる。図２及び図３に示す例では、第１の軸線４０と摺動係合部材８６とは当該研磨装置の前後方向（図１及び図２における左右方向）で整合されているので、研磨部材１４-２は２Ａの距離を前後動することになる。更に、第２の軸線６０は公転に伴い、前後方向に対して横方向にも変位することにもなるので、研磨部材１４-２は、摺動係合部材８６が細長溝８２及び一対の突起８４と係合している部分を中心に揺動されることになる。
【００３８】
図１に示した研磨部材１４を自転公転させるようにした場合には、被研磨面が広い場合の研磨に適しており、図２に示した如き研磨部材１４−２を前後動及び揺動させるようにした場合は、研磨面の動きは小さく、従って、狭い部分や角隅部分での平面の研磨を好適に行うことができる。
【００３９】
図５乃至図７は、更に異なる形態の研磨部材１４−３を取り付けた例を示している。この研磨部材では図２に示した研磨部材における剛性基材７２と同様の剛性基材７２−２を有している。この剛性基材７２−２は、ボルト７０によって筒状レース部材６６に固定されており、細長溝８２及び該細長溝の両側縁に沿って形成された一対の突起８４を有しており、これら細長溝８２及び一対の突起８４に研磨装置のケーシングから延びた摺動係合部材８６のラジアルベアリング９０が係合するようにされている。従って、回転支持体が回転されたときの剛性基材７２−２の動きは、上述の剛性基材７２と同じである。該剛性基材７２−２は、底面から見た場合、図５の（ｂ）に示しように、前方に向かって先細りとなっている。
【００４０】
剛性基材７２−２の下面には、ボルト７０のヘッドによって板状の延長支持部材１００が固定されている。具体的には、この延長支持部材１００は、弾性を有するシート状材から構成され、剛性基材７２−２の下面に前後方向で延びるように形成されている浅い溝１０３内に嵌合されて、剛性基材７２−２の先端縁から前方に延びている。延長支持部材１００の幅方向中央に沿って、下方に湾曲して形成されたリブ部１０２が設けられている。また、このリブ部１０２の先端に近い部分には、研磨材１０４（図６、図７）を取り付けるためのネジ１１４を通すための穴１０８が形成されている。研磨材１０４は、図６に示すごとく、剛性円柱部材１０６と、該剛性円柱部材１０６の下面に取り付けられたスポンジ等からなる緩衝部材１０９と、該緩衝部材の下面に面ファスナによって取り外し可能に取り付けられた研磨シート１１０とからなり、剛性円柱部材１０６の上面には直径方向で延びる溝１１２が形成されており、該溝１１２が延長支持部材１００のリブ部１０２と嵌合するようにし、図７に示すようにネジ１１４を延長支持部材１００に形成した穴１０８を通して研磨部材の剛性円柱部材１０６の上面に設けたネジ穴１２０にネジ係合して固定されている。図７の（ｂ）から分かるように、延長支持部材１００もその先端部分が先細りとされており、当該研磨装置を手に持って作業する作業者が上方から研磨材１０４を確認できるようになっている。
【００４１】
図５乃至図７に示す研磨部材１４−３は、被研磨面が他の部分よりも凹んだ狭い部分を研磨することに適している。
【００４２】
図８及び図９には、図５乃至図７に示したものとは異なる形態の研磨材１０４−２が取り付けられる場合を示している。すなわち、この研磨材は、剛性三角形部材１２１と、該剛性三角形部材１２１の下面に取り付けられたスポンジ等からなる緩衝部材１２２と、該緩衝部材１２２の下面に面ファスナで取り外し可能に取り付けられたシート状研磨材１２４とを有している。剛性三角形部材１２１の上面には、三角形の各頂点から対向する辺に向かって延びる溝１２６が相互に交差するように設けられており、各溝１２６の端部近くにはネジ穴１２８が形成されている。この研磨材１０４−２の取付けは上述の研磨材１０４と同じく、１つの溝１２６を延長支持部材１００のリブ部１０２に嵌合するようにしてネジ１１４で固定する。
【００４３】
この三角形の研磨材１０４-２は、角隅部の平面など、狭い部分での研磨に適している。研磨作業によってシート状研磨材１２４の１つの角部分が摩耗したときには、ネジ１１４を外し、他の角部分が前端となるように付け替える。
【００４４】
以上、本発明に係る研磨装置の実施形態につき説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、例えば、上述の実施形態では、摺動係合部材８６をケーシング４８の方に取り付けたが、研磨部材の方に取り付け、ケーシングの方に細長溝などをもうけるようにすることができる。また、第２摺動係合部材として細長溝と一対の突起とから構成されるものを示したが、細長溝だけで構成したり、一対の突起だけから構成したりすることができる。
【符号の説明】
【００４５】
研磨装置１０；研磨面１２；研磨部材１４；研磨部材１４−２；研磨部材１４−３；出力軸１８；傘歯車１９，２０；回転支持体２２；ラジアルベアリング２４，２６；圧搾空気供給チューブ２８；ピボット３０；レバー３２；開閉弁装置３４；第１の軸線４０；ラジアルベアリング４４、４６；ケーシング４８；上部軸部５０；中間軸部５２；下部軸部５４；研磨部材支持部５６；研磨部材支持凹部５８；間隔A；第２の軸線６０；；ラジアルベアリング６２；円筒状内壁面６４；筒状レース部材６６；ネジ６８；ボルト７０；剛性基材７２；剛性基材７２−２；緩衝部材７４；シート状研磨材７６；挿通孔７８；長手方向軸線７８−１；線８０；細長溝８２；突起８４；摺動係合部材８６；固定軸８８；ラジアルベアリング９０；延長支持部材１００；リブ部１０２；溝１０３；研磨材１０４；研磨材１０４−２；剛性円柱部材１０６；穴１０８；緩衝部材１０９；研磨シート１１０；溝１１２；ネジ１１４；ネジ穴１２０；剛性三角形部材１２１；緩衝部材１２２；シート状研磨材１２４；溝１２６；ネジ穴１２８
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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