(57)【要約】  【課題】本発明の目的は、特別なスキルが無くても異常発生時の装置状態及び現在の装置状態を簡単に診断することが可能な基板処理装置を提供することにある。  【解決手段】複数のプロセス室と、この複数のプロセス室を使って基板の処理を行うための運転レシピを作成する画面を有する表示部と、前記運転レシピの整合を判定して記憶部に記憶する制御部とを備えた基板処理装置において、前記表示部は、前記基板処理装置の現在の状態を表示するとともに異常発生を認識した場合に、発生した異常の要因を確認する画面に切り替える切替手段(切替ボタン１００)を表示する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプロセス室と、この複数のプロセス室を使って基板の処理を行うための運転レシピを作成する画面を有する表示部と、前記運転レシピの整合を判定して記憶部に記憶する制御部とを備えた基板処理装置において、
前記制御部は、異常発生を認識した場合、前記基板処理装置の現在の状態を表示する画面に、発生した異常の要因を確認する画面に切り替える切替手段を表示することを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプロセス室を有し、この複数のプロセス室を使って異なる複数のプロセスを実行することにより、基板に処理を施す基板処理装置に係り、特に基板を高温のプロセス室で処理する機能を有するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、枚葉式の基板処理装置では、１台で異なるプロセス（例えば、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ドライエッチング、スパッタリング、熱処理等）を実行するマルチプロセス方式の装置が提案されている
【０００３】
このマルチプロセス方式の基板処理装置は、通常、複数のプロセス室を有し、各プロセス室で異なるプロセスを実行することにより、１台で異なる複数のプロセスに適用できる。
【０００４】
従来、この種のものとして特開平１１−１９５５７３号公報に記載の基板処理装置が知られている（特許文献１参照）。これによると、複数のプロセス等からなる運転レシピを表示画面上で作成できるようになっている。そのために、装置の表示部に運転レシピ作成画面が表示され、この運転レシピ作成画面は表形式で構成され、この画面上には、搬送順序欄やプロセス指定欄を有している。
オペレータは、この搬送順序欄やプロセス指定欄を使って、複数のプロセス室に対する基板の搬送順序を各基板毎に指定するとともに、複数のプロセス室で実行するプロセスを各基板毎に指定する。
このように、運転レシピ作成画面を使って、空欄を埋めるような形式で搬送順序やプロセスの指定を行って運転レシピを作成していくので、例えば、複数のコマンドを記述して作成していくような場合と比べて、運転レシピの作成が容易になる。
また、装置の状態を容易に把握できるように、装置の表示部に装置の現在の状態を表示することが可能である。
装置に異常が発生し、ゲート弁を開くことができなかったことは警告機能およびロギング機能によって把握することは可能であるが、異常発生時に装置のそばにいなかった場合などは、なぜ異常が発生したのか、また現在の装置の状態がどうなのかをすぐに診断することは難しかった。
【特許文献１】特開平１１−１９５５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来の装置においても、警告機能やロギング機能及び装置状態表示機能を組合わせることにより診断は可能であった。しかし、診断はある程度のスキルが必要とされるため、全てのオペレータが診断できるわけでは無かった。
よって、本発明の目的は、特別なスキルが無くても異常発生時の装置状態及び現在の装置状態を簡単に診断することが可能な基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１記載の基板処理装置は、複数のプロセス室と、この複数のプロセス室を使って基板の処理を行うための運転レシピを作成する画面を有する表示部と、前記運転レシピの整合を判定して記憶部に記憶する制御部とを備えた基板処理装置において、前記制御部は、異常発生を認識した場合、前記基板処理装置の現在の状態を表示する画面に、発生した異常の要因を確認する画面に切り替える切替手段を表示することを特徴とする。
【０００７】
より具体的には、運転レシピに基づいて複数のプロセス室で基板を処理する基板処理装置において、基板処理装置の状態を確認できるモニタ画面にゲート弁が開禁止となる要因を確認できる画面を開くボタンを追加することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、異常発生時と現在の装置状態の発生した部位が併記されているため、発生した部位と現在の状態を特別なスキルが無くても簡単に診断することができるようになるので、装置復旧の時間を短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態を示す基板処理装置の全体的な構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態を示す運転レシピ作成画面を示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態を示す装置状態一覧画面の一例である。
【図４】本発明の一実施の形態を示すゲート弁開禁止要因表示画面の一例である。
【図５】本発明の一実施の形態を示すゲート弁開禁止要因表示画面（圧力）の一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施形態を説明する。
【００１１】
図１は、本発明の基板の処理装置をマルチチャンバ方式の基板処理装置の一例として適用した内部構成の平面図である。この装置は、プロセス室で一度に処理する基板の枚数が一枚である枚葉式である。
【００１２】
図示の基板処理装置は、搬送室ＴＲを形成するための六角形のプロセス室１を有する。この基板搬送室用プロセス室１の内部には、基板を搬送するための基板搬送用ロボット１４が収容されている。また、この基板搬送用プロセス室１の周囲には、六角形の各辺に、６つのプロセス室２，３，４，５，６，７が配設されている。
【００１３】
ここで隣接する２つのプロセス室２，３はカセット室ＣＭ１，ＣＭ２を形成するためのプロセス室である。また、残りの４つのプロセス室４〜７は、プロセス室ＣＳ１，ＣＳ２，ＰＭ１，ＰＭ２を形成するためのプロセス室である。これらのプロセス室２〜７は、ゲートバルブ８〜１３を介して基板搬送用プロセス室１に接続されている。
【００１４】
尚、ここではプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２は、プロセスとしてＣＶＤ、ドライエッチング、スパッタリング、熱処理等を行う処理室である。また、プロセス室ＣＳ１，ＣＳ２は冷却処理を行う冷却室である。
【００１５】
ここにプロセス室について名称を一覧でまとめておく。
【００１６】
【表１】
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【００１７】
図２は、この運転レシピ作成画面を示す図である。図示の運転レシピ作成画面は、各基板毎に、４つのプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２に対する基板の搬送順序と４つのプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２で実行するプロセスとを指定する搬送順序・プロセス指定部３１を有する。この搬送順序・プロセス指定部は、１枚分の基板の搬送順序とプロセスとを指定するための１０個の基板単位指定部３１（１）、３１（２）、・・・、３１（１０）を有する。尚、表示画面２４の表示スペースの都合で、基板単位指定部３１（１）、３１（２）、・・・、３１（１０）が１０個しか表示されていないが、これよりも多くの基板単位指定部が必要な場合は、画面を切り替えることによって、１カセットに格納可能な最大の基板枚数分の基板単位指定部を表示することができる。ここでは、便宜上、最上段から２個目の基板指定部３１（１）、３１（２）のみが指定されている。
【００１８】
各基板単位指定部３１（ｎ）（ｎ＝１，２，・・・・１０）は、スロット番号指定部（Ｓｌｏｔ  Ｎｏ．）を有する。このスロット番号指定部３１０（ｎ）は、処理すべき基板のカセット内における取出しスロットの番号を指定するための（Ｕ）及び（Ｌ）とタイトル表示された取出しスロット番号ａ１（ｎ）、ａ２（ｎ）を有する。両スロット番号の指定は、番号を選択または記述することによって行われる。この図では、取出しスロット番号指定部の１個目の基板単位指定部には「０１」と「０２」、２個目の基板単位指定部には「０３」と「０４」が指定された場合を示している。
【００１９】
このスロット番号指定部ａ１（ｎ）、ａ２（ｎ）を設けることにより、４つのプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２に対する基板の搬送順序と４つのプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２でのプロセスを、基板毎に指定可能である。
【００２０】
また、各基板単位指定部３１（ｎ）は、Ｐｒｏｃｅｓｓ１，Ｐｒｏｃｅｓｓ２，Ｐｒｏｃｅｓｓ３，Ｐｒｏｃｅｓｓ４とタイトル表示されたプロセス室単位指定部３１１（ｎ），３１２（ｎ），３１３（ｎ），３１４（ｎ）を有する。各プロセス室３１ｑ（ｑ）（ｑ＝１，２，・・・・４）は、対応するプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２に対する基板の搬送順位を指定するための搬送順位指定部ｂ１（ｎ），ｃ１（ｎ），ｄ１（ｎ），ｅ１（ｎ）と、このプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２で実行するプロセスを指定するためのプロセス指定部ｂ２（ｎ），ｃ２（ｎ），ｄ２（ｎ），ｅ２（ｎ）とを有する。
【００２１】
この図では、１個目の基板単位指定部に取り出しカセット室指定部（Ｌｏａｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）４２に指定されたカセット室「ＣＭ１」からの最初の搬送先を指定する搬送順位指定部ｂ１（１）にプロセス室「ＰＭ１」が指定され、そのプロセス室ＰＭ１で実行されるプロセスを指定するプロセス指定部ｂ２（１）にプロセス名「ＲＥＣＩＰＥ０１」が指定され、また、次の搬送先を指定する搬送順位指定部ｃ１（１）にプロセス室「ＰＭ２」が指定され、そのプロセス室ＰＭ２で実行されるプロセス指定部ｃ２（１）にプロセス名「ＲＥＣＩＰＥ０２」が指定されている。
【００２２】
更に、次の搬送先を指定する搬送順位指定部ｄ１（１）に冷却機能を有するプロセス室「ＣＳ１」が指定され、そのプロセス室ＣＳ１で実行されるプロセス指定部ｄ２（１）に冷却時間「０４００」（４分）が記述されている。
【００２３】
また、各基板単位指定部３１（ｎ）は、処理の終了した基板を回収するカセット室を指定するための回収カセット室指定部（Ｕｎｌｏａｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）３１５（１）、３１５（２）、・・・、３１５（１０）を有する。回収カセット室の指定は、リストから選択することによって行われる。図では、基板単位指定部３１（１）でカセット室ＣＭ１を指定した場合を示している。２個目の基板指定部については、１個目の処理手順と同様だが、搬送手順に冷却機能を有するプロセス室「ＣＳ１」または「ＣＳ２」が指定されていない点が異なる。
【００２４】
上記構成において、動作を説明する。まず、図２を参照しながら、運転レシピを作成する場合の動作を説明する。この動作は、作業者が制御部（図示せず）に運転レシピの作成を要求することによって開始される。この作成要求は、例えば、制御部によって表示部（図示せず）に表示された操作画面を使って行われる。制御部は、運転レシピの作成要求を受けると、表示部に図２に示す運転レシピ作成画面を表示する。作業者は、表示部に運転レシピ作成画面が表示されると、この運転レシピ作成画面を使って所望の運転レシピを作成する。この作成が終了すると、作業者は、制御部に作成した運転レシピの登録（保存）を要求する。この登録要求は、例えば、運転レシピ作成画面上の釦を押すなどして行われる。この登録要求を受けると、制御部は、作成された運転レシピについて整合が取られているかをチェックする。例えば、基板毎に、プロセス室で処理を行った後、カセット室に回収される直前に、冷却処理が行われるような搬送順序になっているかどうかをチェックする。運転レシピの整合チェックで、何等問題がなければ、制御部は、作成された運転レシピを記憶部に登録する。これにより、作成された運転レシピが登録されたことになる。整合がとられていない場合は、運転レシピは登録されることはない。
【００２５】
次に、作成された運転レシピを実行する場合の動作を説明する。この動作は、例えば、作業者によって運転レシピの実行を開始するための捜査が実行されることにより開始される。この操作は、例えば、表示部に表示された操作画面上のボタンを押すなどして行われる。
【００２６】
この動作において、制御部は、記憶部から運転レシピを読み出し、この運転レシピに基づいて、基板搬送手段としての基板搬送部（図示せず）の動作やプロセス実行手段としてのプロセス実行部（図示せず）の動作を制御する。
【００２７】
運転レシピによって指定されたカセット室ＣＭ１又はＣＭ２のカセットに収容されている複数の基板のうち、運転レシピに基づいて選択された各基板がそれぞれ運転レシピによって指定されるプロセス室ＰＭ（１）、ＰＭ（２）、ＰＭ（３）、ＰＭ（４）に搬送される。プロセス室ＰＭ（１）、ＰＭ（２）、ＰＭ（３）、ＰＭ（４）に搬送された基板は、それぞれ運転レシピによって指定されるプロセスによる処理を受けた後、運転レシピによって指定されるカセット室ＣＭ１又はＣＭ２のカセットに回収される。
【００２８】
図３は、装置状態一覧画面の装置イメージ図の一例である。図３に示すとおり、ゲート弁開禁止要因画面表示へ切替えるためのボタン１００が表示されている。この切替ボタン１００は、異常が発生した場合に装置状態一覧画面上に表示されるように構成されている。
【００２９】
図４は、前記切替ボタン１００を押すことにより表示されるゲート弁開禁止要因表示画面の一例である。この画面は、ゲート弁開禁止情報を表示させるボタン(ゲート弁開禁止情報表示ボタン)２０２が選択された状態で、装置状態一覧画面に重ねて表示されるように構成されている。図４では、ゲート弁１（ＧＶ１）の情報を表示している。画面左上方のゲート弁選択ボタン２０１を押すことにより、全てのゲート弁状態を表示させて確認できる。また、２０３は、圧力情報を表示させるボタン(圧力情報表示ボタン)である。これについては後述する。
【００３０】
２０４は、データ表示部である。データ表示部２０４は、各項目（Ｉｔｅｍ）２０５に対し、現在（Ｃｕｒｒｅｎｔ）のゲート弁開禁止情報２０６とゲート弁エラー発生時（ＧＶ  ＥＲＲ）のゲート弁開禁止情報２０７を表示する。２０６は、各項目２０５に対し、現在の装置状態を表示し、２０７は、各項目に対し、開禁止時の状態を赤色で表示する。
【００３１】
Ｄａｔｅ２０８は、ゲート弁選択ボタン２０１で選択されたゲート弁について、ＧＶ（ゲート弁）エラーが発生した日時を表示する。また、Ｓｔａｔｕｓ２０９は、ＧＶエラー発生時のＧＶの状態を表示する。例えば、図４において、“ＧＶ  ＯＰＥＮ  ＩＮ  ＩＮＨＩＢＩＴ”と表示されていれば、ＧＶ開禁止中にＧＶがＯＰＥＮ(開)したということを示す。また、“ＩＮＨＩＢＩＴ  ＩＮ  ＧＶ  ＯＰＥＮ”と表示されていれば、ＧＶ  ＯＰＥＮ中にＧＶ開禁止エラーが発生したことを示す。
【００３２】
つまり、操作者は、図４を操作画面上に表示させることで、各ゲート弁の各項目について現在の状態(通常の状態)とエラー発生時の状態を一括して確認することができる。これにより、各ゲート弁が、どのような要因でエラーを発生したのかを容易に知ることができる。
【００３３】
図５は、図４にて圧力情報表示ボタン２０３を押すことにより表示される。この画面では、図４の情報に加えてゲート弁開禁止時の各モジュールに於ける圧力状態(Pressur欄参照)が表示される。Ｃｕｒｒｅｎｔ２１０には、ＴＭ及びＣＭ１の現在の状態における圧力値が表示され、ＧＶ  ＥＲＲ２１１には、ＴＭ及びＣＭ１のＧＶ開禁止エラー発生時における圧力値が表示される。
【符号の説明】
【００３４】
１      プロセス室（搬送室ＴＲ）
２      プロセス室（カセット室ＣＭ１）
３      プロセス室（カセット室ＣＭ２）
４      プロセス室（冷却室ＣＳ２）
５      プロセス室（処理室ＰＭ２）
６      プロセス室（処理室ＰＭ１）
７      プロセス室（冷却室ＣＳ１）
８      ゲートバルブ
９      ゲートバルブ
１０    ゲートバルブ
１１    ゲートバルブ
１２    ゲートバルブ
１３    ゲートバルブ
１４    基板搬送用ロボット
３１    基板単位指定部
４２    取り出しカセット室指定部
１００    切替ボタン
２０１    ゲート弁選択ボタン
２０２    ゲート弁開禁止情報表示ボタン
２０３    圧力情報表示ボタン
２０４    データ表示部
２０６    現在装置状態表示部
２０７    ＧＶ開禁止発生時の装置状態表示部
２０８    （ＧＶ開禁止発生時の）日時表示部（Ｄａｔｅ）
２０９    （ＧＶ開禁止発生時の）ＧＶ（ゲート弁）状態表示部（Ｓｔａｔｕｓ）
３１０    スロット番号指定部
３１１    プロセス室単位指定部
３１２    プロセス室単位指定部
３１３    プロセス室単位指定部
３１４    プロセス室単位指定部
３１５    プロセス室単位指定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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