(57)【要約】【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、流入ポートに連通する１次室および流出ポートに連通する２次室と、
前記隔壁に貫通形成され、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路と、
前記連通流路を形成した前記隔壁の１次室側開口縁部を弁座として、前記連通流路を前記１次室側から開閉する弁体と、
前記隔壁に平行な前記２次室の１の面を構成すると共に前記弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、
前記隔壁に対向する前記１次室の１の壁面を受けとして、前記受圧膜体と拮抗しつつ前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、
前記弁体は、前記１次室に配設され前記弁座に対し直接開閉動作する弁体本体と、前記弁体本体を保持する保持部と、を有し、
前記受圧膜体は、膜体本体と、前記膜体本体の中心部に同心上に接着された受圧板と、前記受圧板から延び前記連通流路を挿通して前記保持部に当接する作動軸部と、を有していることを特徴とする圧力調整弁。
【請求項２】
前記保持部と前記作動軸部との当接部分において、
前記作動軸部は、半球状に形成され、
前記保持部は平坦に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
【請求項３】
前記弁体本体、前記保持部、前記膜体本体、前記受圧板および前記作動軸部は、同一軸線上に配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力調整弁。
【請求項４】
前記流入ポートを介して機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整し、前記流出ポートを介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧力調整弁。
【請求項５】
請求項４に記載の圧力調整弁と、
前記機能液供給手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁体を大気圧基準で開閉する圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、サブタンクの機能液を、所定の圧力に減圧して機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁が知られている（特許文献１）。この圧力調整弁は、バルブハウジング内に形成された流入ポートに連通する１次室および流出ポートに連通する２次室と、１次室と２次室との間の隔壁を連通する連通流路と、１次室側の連通流路の開口縁部を弁座として連通流路を１次室側から開閉する弁体と、２次室の１の面を構成すると共に、弁体を大気圧基準で開閉するダイヤフラム（受圧膜体）と、弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備えている。弁体は、環状のシール（Ｏリング）を有する弁体本体と、その中心から連通流路に遊嵌され２次室側に延びる軸部と、で一体形成されている。また、ダイヤフラムは、フィルム状のダイヤフラム本体と、その内側に貼着した平板状の受圧板と、から構成されている。
この圧力調整弁では、弁体ばねにより付勢された弁体が、閉弁状態で軸部の先端が受圧板に当接または所定の間隙を有している。そして、２次室内が負圧となると、ダイヤフラム本体が凹形状となり受圧板を介して軸部を押し込むことで弁体が開弁する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１６３７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このような圧力調整弁での弁体の開閉は、ダイヤフラムにかかる大気圧によるが、重力の影響や取付け時の残留応力等のため、開弁の際には常に一様に撓むわけではない。この場合、ダイヤフラムが不均一に撓むと、平坦に形成された受圧板が、軸部の先端部分に斜め方向から接触する。すると、軸部に回転力が作用して弁体が微妙に傾き、弁体本体を構成するＯリングが弁座に対し片当りし、開閉動作が不安定になる。このため、所定の圧力制御特性が得られないという問題があった。
【０００５】
本発明は、弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧力調整弁は、隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、流入ポートに連通する１次室および流出ポートに連通する２次室と、隔壁に貫通形成され、１次室と２次室とを連通する連通流路と、連通流路を形成した隔壁の１次室側開口縁部を弁座として、連通流路を１次室側から開閉する弁体と、隔壁に平行な２次室の１の面を構成すると共に弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、隔壁に対向する１次室の１の壁面を受けとして、受圧膜体と拮抗しつつ弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体は、１次室に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体と、弁体本体を保持する保持部と、を有し、受圧膜体は、膜体本体と、膜体本体の中心部に同心上に接着された受圧板と、受圧板から延び連通流路を挿通して保持部に当接する作動軸部と、を有していることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、弁体ではなく受圧板に作動軸部を設けることで、弁体を短く形成することができる。このため、大気圧に押された受圧膜体が不均一に撓んで、受圧板から延びた作動軸部が、弁体の保持部に斜めに接触した場合でも、弁体に加わるモーメント（回転力）は小さくなり、弁体に対しては、直進方向（開閉方向）への力が主に作用する。すなわち、弁体にかかる力のモーメントを低減することができるため、弁体は開閉方向に平行移動する。これにより、弁体が弁座に片当りすることがなく、適正な開弁を行うことができ、適正な圧力制御特性を維持することができる。
【０００８】
この場合、保持部と作動軸部との当接部分において、作動軸部は、半球状に形成され、保持部は平坦に形成されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、弁体が、受圧膜体から軸線に対し傾いた力を受けても、当接部分の滑りにより、分力を逃がすことができるため、弁体には、直進力のみが伝わる。これにより、弁体の開閉方向への直進性を適切に確保することができる。
【００１０】
また、この場合、弁体本体、保持部、膜体本体、受圧板および作動軸部は、同一軸線上に配設されていることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、高い直進性をもって、弁体を平行移動させることができる。これにより、弁体の開閉動作を精度良く行うことができ、所定の圧力調整が可能となる。
【００１２】
さらに、この場合、流入ポートを介して機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整し、流出ポートを介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、大気圧基準で圧力調整された機能液を、機能液滴吐出ヘッドに対して安定供給することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、上記した圧力調整弁と、機能液供給手段と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、適正に圧力調整された機能液を、機能液滴吐出ヘッドに対して供給することができるため、液滴吐出装置の吐出不良を適切に防止することができる。これにより、液滴吐出装置で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載されたキャリッジユニット（ヘッドユニット）を模式的に表した平面図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図４】機能液供給ユニットを模式的に示した系統図である。
【図５】キャリッジユニットに搭載された圧力調整弁の外観側面図である。
【図６】圧力調整弁の流入コネクター側の縦断面図（ａ）および流出コネクター側の縦断面図（ｂ）である。
【図７】圧力調整弁の連通流路、弁体および受圧膜体の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る圧力調整弁を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルタのフィルタエレメント等を形成するものである。また、圧力調整弁は、機能液を機能液滴吐出ヘッドに所定の圧力で減圧供給するものである。
【００１８】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１２ａ上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル１２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３ａ上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５が搭載された１３個のキャリッジユニット１４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー１５と、チャンバー１５を貫通して機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液供給ユニット１６（機能液供給手段）と、を備えており、チャンバー１５の側壁の一部には、機能液供給ユニット１６の主要部を為すメインタンク４０等を収納するタンクキャビネット５０が設けられている。この液滴吐出装置１は、制御装置１７により装置全体が統括制御され、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド２５を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００１９】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット２１、吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３、吐出性能検査ユニット２４から成るメンテナンス装置１８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド２５の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１２とＹ軸テーブル１３とが交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル１３とメンテナンス装置１８（吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３）が交わる部分にキャリッジユニット１４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を行う。
【００２０】
図１および図２に示すように、各キャリッジユニット１４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート２６と、各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を大気圧基準で供給する１２個の圧力調整弁２７と、を有するヘッドユニット１９を備えている。各圧力調整弁２７は、ヘッドプレート２６上において機能液滴吐出ヘッド２５の分割方向と直交する方向に６個ずつ２群に分割して配設されている。各キャリッジユニット１４は、一対のＹ軸支持ベース１３ａに掛け渡されたブリッジプレート１３ｂに吊設されている。各キャリッジユニット１４は、ブリッジプレート１３ｂ上に配設されたサブタンク４１から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁２７を介して各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液が供給されるようになっている（図４参照）。なお、キャリッジユニット１４の個数および各キャリッジユニット１４に搭載される機能液滴吐出ヘッド２５の個数は任意である。
【００２１】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なる２連のポンプ部３３と、ポンプ部３３に連なるノズルプレート３５と、を備えている。機能液導入部３１には、後述する２本の２次側チューブ４３ｂが接続され（図４参照）、ノズルプレート３５のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３６で構成されている。ヘッド基板３２は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置１７が接続されており、制御装置１７から出力された駆動波形が各ポンプ部３３（の圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル３６から機能液が吐出される。
【００２２】
図１および図４に示すように、機能液供給ユニット１６は、チャンバー１５に併設のタンクキャビネット５０に収容された６個（６色）のメインタンク４０と、各ブリッジプレート１３ｂ上に配設された複数（１３個）のサブタンク４１と、メインタンク４０と複数のサブタンク４１とを接続するタンク側チューブ４２と、各サブタンク４１と各機能液滴吐出ヘッド２５を接続する複数のヘッド側チューブ４３と、を備えている。各ヘッド側チューブ４３には、機能液滴吐出ヘッド２５と共にキャリッジユニット１４に搭載された圧力調整弁２７が介設されており、ヘッド側チューブ４３は、サブタンク４１と圧力調整弁２７とを接続する１次側チューブ４３ａと、圧力調整弁２７と機能液滴吐出ヘッド２５とを接続する２次側チューブ４３ｂと、を有している。
【００２３】
メインタンク４０から送液された機能液は、タンク側チューブ４２を通って各サブタンク４１に貯留される。各サブタンク４１の機能液は、各機能液滴吐出ヘッド２５の駆動に応じ、ヘッド側チューブ４３および圧力調整弁２７を介して、機能液滴吐出ヘッド２５に自然水頭で供給される。一方、キャリッジユニット１４（ヘッドユニット１９）を交換する場合には、１次側チューブ４３ａに介設された開閉バルブ４３ｃを閉弁した後、１次側チューブ４３ａを圧力調整弁２７から接続を解除（離脱）し、この状態で交換が行われる。
【００２４】
図１に示すように、フラッシングユニット２１は、一対の描画前フラッシングユニット２１ａと、定期フラッシングユニット２１ｂと、を有し、描画処理直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド２５の捨て吐出を受ける。吸引ユニット２２は、１３台のキャップユニット４４を有し、各機能液滴吐出ヘッド２５の吐出ノズル３６から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット２３は、吸引後の機能液滴吐出ヘッド２５のノズル面ＮＦを拭取る。吐出性能検査ユニット２４は、機能液滴吐出ヘッド２５の吐出の有無および飛行曲りを検査する。
【００２５】
本実施形態における液滴吐出装置１の稼動停止時には、Ｙ軸テーブル１３により１３個のキャリッジユニット１４が１３台の吸引ユニット２２の位置まで移動し、キャップユニット４４を密接位置に上昇させ、全機能液滴吐出ヘッド２５に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全機能液滴吐出ヘッド２５に対し、キャッピングされた状態でエジェクター（図示省略）を駆動して吸引処理が行なわれ（初期充填）、続いてキャリッジユニット１４単位でワイピング処理が行なわれる。そして、１３台のキャリッジユニット１４は順次、Ｘ軸テーブル１２にセットされたワークＷ上に移動する。
【００２６】
次に、図５ないし図７を参照して、圧力調整弁２７について説明する。圧力調整弁２７は、主要部を成す調整弁本体６０と、調整弁本体６０の流入側に差込み接合した流入コネクター６１と、調整弁本体６０の流出側に差込み接合した流出コネクター６２と、を備えている。そして、流入コネクター６１には、サブタンク４１に連なる１次側チューブ４３ａが接続され、他方、流出コネクター６２には、機能液滴吐出ヘッド２５に連なる２次側チューブ４３ｂが接続されている。
【００２７】
調整弁本体６０は、略円板状で、且つ前面および後面の中央部が凹型形成されたバルブハウジング６４と、バルブハウジング６４と共に１次室６７を画成する蓋体６５と、バルブハウジング６４に受圧膜体７３（ダイヤフラム）を固定することでバルブハウジング６４と共に２次室６８を画成するドーナツ状の膜体押え部材６６と、で構成されている。また、１次室６７および２次室６８は、バルブハウジング６４の一部を構成する隔壁７６を隔てて同軸上に配設されており、隔壁７６の中心部（軸心）には、１次室６７および２次室６８を連通する連通流路６９が貫通形成されている。なお、バルブハウジング６４、蓋体６５および膜体押え部材６６は、ステンレス等の耐食性材料で形成されている。
【００２８】
蓋体６５および膜体押え部材６６は、円形の受圧膜体７３の中心を通る軸線と同心円となる外形を有しており、バルブハウジング６４を前後方向から挟み込むようにネジ止めされている（図示省略）。また、蓋体６５および膜体押え部材６６は、バルブハウジング６４に対し、各々シールリングＳを挟み込んで相互に固定され、１次室６７および２次室６８を液密に構成している。
【００２９】
１次室６７は、受圧膜体７３と同心となる略円柱形状に形成され、１次室６７の上部には、１次室６７から径方向斜めに延びる流入ポート７１が形成されている。また、１次室６７側の隔壁７６の中心部には、連通流路６９に連なる１次室側開口部７８ａが開口している（図７参照）。１次室側開口部７８ａには、１次室６７側から連通流路６９を開閉する弁体７０が臨む一方、これに対応して、１次室側開口部７８ａの周縁部には、弁体７０が離接する弁座となる弁座形成部位７８ｂが構成されている（図７参照）。流入ポート７１には、流入コネクター６１が差し込み接合されており、流入コネクター６１と１次室６７とを連通する流入流路部７２が形成されている（図６（ａ）参照）。
【００３０】
２次室６８は、受圧膜体７３が膜体押え部材６６によりバルブハウジング６４に取り付けられ、バルブハウジング６４（隔壁７６）に凹型形成した内面壁６８ａと受圧膜体７３とによって、全体として受圧膜体７３を底面とする円錐台形状に形成されている。すなわち、内面壁６８ａは、テーパー部位６８ｂを有する有底すり鉢状に形成されている。また、２次室６８側の隔壁７６の中心部には、連通流路６９に連なる２次室側開口部７８ｃが開口している（図７参照）。
【００３１】
図６（ｂ）に示すように、２次室６８の下部から真下に延びる流出ポート７４には、流出コネクター６２が差し込み接合されており、流出コネクター６２と２次室６８とを連通する流出流路部７５が形成されている。流出流路部７５は、２次室６８内下部のテーパー部位６８ｂに開口して、後方斜め下方に向かって形成されており、前後方向、略中央で流出コネクター６２に連通している。
【００３２】
次に、図６および図７を参照して、連通流路６９、弁体７０および受圧膜体７３について詳細に説明する。連通流路６９は、後述する受圧膜体７３の作動軸部７３ｃがスライド自在に挿通する軸遊挿部６９ａと、軸遊挿部６９ａから径方向四方に延びる十字状断面の流路部６９ｂと、から構成されている（図５参照）。なお、１次室６７、２次室６８および連通流路６９（の軸遊挿部６９ａ）は、受圧膜体７３と同心の円形断面を有している。
【００３３】
受圧膜体７３（ダイヤフラム）は、樹脂フィルムで構成した膜体本体７３ａと、膜体本体７３ａの中央部に接着した樹脂製の受圧板７３ｂと、受圧板７３ｂから連通流路６９（の軸遊挿部６９ａ）を挿通して延在する作動軸部７３ｃと、から構成されている。受圧板７３ｂは、膜体本体７３ａと同心の円板状に、且つ膜体本体７３ａに対し十分に小さい径に形成されている。また、２次室側開口部７８ｃの周縁部と受圧板７３ｂとの間には、受圧板７３ｂ（受圧膜体７３）を前方向に向かって付勢する膜体付勢ばね７９が介設されている。
【００３４】
作動軸部７３ｃは、受圧板７３ｂの中央から直角に突出するように設けられており、且つ軸遊挿部６９ａに挿通可能な径に形成されている。また、作動軸部７３ｃの先端部分は、半球形状に形成された半球部位７３ｄとなっている。この半球部位７３ｄが、後述する弁ホルダー８２の当接面８２ａに当接し、後方に弁体７０を押し込むことで開弁するようになっている。
【００３５】
弁体７０は、弾性材で構成され、弁の機能を奏するリング状の弁体本体８１と、弁体本体８１を保持する弁ホルダー８２（保持部）と、を備えている。弁体本体８１は、弁座形成部位７８ｂに離接することで連通流路６９を開閉する。弁ホルダー８２（保持部）は、段付円柱状に形成されたものであり、その段部に弁体本体８１を保持している。弁ホルダー８２の弁体本体８１を保持した面には、作動軸部７３ｃの半球部位７３ｄが当接する平坦な当接面８２ａが形成されており、この当接面８２ａが、作動軸部７３ｃ（および受圧板７３ｂ）を介して膜体本体７３ａにかかる大気圧による力を受けるようになっている。また、弁ホルダー８２と蓋体６５との間には、弁体付勢ばね８３が介設されており、弁体７０は、この弁体付勢ばね８３によって、閉弁方向（２次室６８側）に弱い力で付勢されている。
【００３６】
この弁体７０は、連通流路６９の開閉にのみ使用されるものであるため、その形状を簡素で且つ小型に形成することができる。したがって、弁体７０は、その全長を短くすることができる。このため、例えば、当接面８２ａに対し、作動軸部７３ｃが斜めに接触した場合でも、弁体７０に加わるモーメント（回転力）は小さくなり、弁体７０に対しては、直進方向（開閉方向）への力が主に作用する。すなわち、弁体７０にかかる力のモーメントを低減することができるため、弁体７０は開閉方向に平行移動する。なお、弁体本体８１、弁ホルダー８２、膜体本体７３ａ、受圧板７３ｂおよび作動軸部７３ｃは、同一軸線上に配設されている。これにより、高い直進性をもって、弁体７０を平行移動させることができ、弁体７０の開閉動作を精度良く行うことができ、所定の圧力調整が可能となる。
【００３７】
このように構成された圧力調整弁２７では、機能液の吐出等により２次室６８の圧力が低くなると、受圧膜体７３が後方（内側）に変形し、受圧板７３ｂ（および作動軸部７３ｃ）が弁体７０を後方に押して開弁し、１次室６７から２次室６８に機能液が流入する。機能液の流入が進み２次室６８の圧力が高まると、受圧膜体７３が前方（外側）に変形し、弁体７０が閉弁する。すなわち、圧力調整弁２７は、大気圧と２次室６８の内部圧力とのバランスにより受圧膜体７３が変形することで連通流路６９を開閉する。
【００３８】
上記のように、弁体７０の開閉は、膜体本体７３ａにかかる大気圧によるため、開弁の際に、膜体本体７３ａ（受圧膜体７３）が常に一定の形状変化を伴って撓むわけではなく、不均一に撓み、作動軸部７３ｃが斜め方向から弁ホルダー８２の当接面８２ａに当接する場合がある。しかし、このような場合であっても、この圧力調整弁２７では、上記したように、弁体７０にかかる力のモーメントが低減し、開閉方向への適切な平行移動が可能であるため、弁座形成部位７８ｂに片当りすることなく、適正な開弁を行うことができ、適正な圧力制御特性を維持することができる。また、平坦な当接面８２ａに対して、作動軸部７３ｃの半球部位７３ｄが当接するため、受圧膜体７３から軸線に対し傾いた力を受けても、当接部分が滑り易く、開閉方向以外に働く分力を逃がすことができる。このため、弁体７０には、直進力のみが伝わり、弁体７０の開閉方向への直進性を適切に確保することができる。
【００３９】
以上の構成によれば、大気圧に押された受圧膜体７３が、弁体７０に対して斜め方向に撓むような場合でも、適正な開弁を行うことができ、適正な圧力制御特性を維持することができる。これにより、大気圧基準で適正に圧力調整された機能液を、機能液滴吐出ヘッド２５に対して供給することができるため、液滴吐出装置１の吐出不良を適切に防止することができ、液滴吐出装置１で製造する製品の信頼性の向上を図ることができる。
【符号の説明】
【００４０】
１：液滴吐出装置、２５：機能液滴吐出ヘッド、２７：圧力調整弁、６４：バルブハウジング、６７：１次室、６８：２次室、６９：連通流路、７０：弁体、７１：流入ポート、７３：受圧膜体、７３ａ：膜体本体、７３ｂ：受圧板、７３ｃ：作動軸部、７３ｄ：半球部位、７４：流出ポート、７６：隔壁、７８ａ：１次室側開口部、７８ｂ：弁座形成部位、８１：弁体本体、８２：弁ホルダー、８２ａ：当接面、８３：弁体付勢ばね、Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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