(57)【要約】【課題】弁アクチュエータの追加、改造、また、圧力センサの設置等を容易に行うことができること。【解決手段】  第１流路と、第１流路と平行な第２流路と、第１及び第２流路と直交する方向のねじれの位置にある第３流路と、第３流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と第１流路とを連通する第１連通路と、第３流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と第２流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドブロックと、第１開口部又は第２開口部を塞ぐとともに、形状の異なる流路を持った複数種類の開口部キャップのいずれか１つを取付ける。【選択図】  図１
2010216606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流路と、前記第１流路と直交する方向のねじれの位置にある第２流路と、前記第２流路と平行の位置にある第３流路と、
前記第１流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と前記第２流路とを連通する第１連通路と、
前記第１流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と前記第３流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドブロックと、
前記第１開口部又は前記第２開口部に取付けられ、異なる流路が形成された複数種類の開口部キャップを有すること、
前記第１開口部に前記複数種類の開口部キャップの１つが取付けられていること、
前記第２開口部に前記複数種類の開口部キャップの１つが取付けられていること、
を特徴とするマニホールドシステム。
【請求項２】
請求項１に記載するマニホールドシステムにおいて、
前記複数種類の開口部キャップの１つは、前記第２流路又は前記第３流路と連通する外部流路を有し、前記第２流路又は前記第３流路を前記外部流路へ分岐すること、前記第１流路を連通状態又は非連通状態とすること、
を特徴とするマニホールドシステム。
【請求項３】
請求項１に記載するマニホールドシステムにおいて、
前記複数種類の開口部キャップの１つは、前記第１連通路又は前記第２連通路を塞ぎ、前記第１流路を連通状態又は非連通状態とすること、
を特徴とするマニホールドシステム。
【請求項４】
請求項１に記載するマニホールドシステムにおいて、
前記複数種類の開口部キャップの１つは、前記第１連通路又は前記第２連通路を塞ぎ、前記第１流路と連通する前記外部流路を有し、前記第１流路を前記外部流路へ分岐すること、
を特徴とするマニホールドシステム。
【請求項５】
請求項１に記載するマニホールドシステムにおいて、
前記複数種類の開口部キャップの１つは、前記第１流路と、前記第２流路又は前記第３流路が連通した状態とすること、
を特徴とするマニホールドシステム。
【請求項６】
請求項１に記載するマニホールドシステムにおいて、
前記複数種類の開口部キャップの１つは、前記第１流路及び前記第２流路又は前記第３流路と連通する外部流路を有し、前記第１流路及び前記第２流路又は前記第３流路を前記外部流路へ分岐すること、
を特徴とするマニホールドシステム。
【請求項７】
第１流路と、前記第１流路と直交する方向のねじれの位置にある第２流路と、前記第２流路と平行の位置にある第３流路と、
前記第１流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と前記第２流路とを連通する第１連通路と、
前記第１流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と前記第３流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドブロックと、
前記第１開口部又は前記第２開口部に取付けられる開口部キャップにおいて、
前記開口部キャップは、前記第１連通路又は第２連通路と同じ中心線上にあって、外部へ分岐する第１外部流路又は第２外部流路を有すること、
前記第１外部流路又は前記第２外部流路は、前記マニホールドブロックの真上に形成されていること、
を特徴とする開口部キャップ。
【請求項８】
請求項７に記載する開口部キャップにおいて、
前記第１外部流路は前記第１連通路と接続し、前記第２流路と連通すること、
前記第２外部流路は前記第２連通路と接続し、前記第３流路と連通すること、
を特徴とする開口部キャップ。
【請求項９】
請求項７に記載する開口部キャップにおいて、
前記第１外部流路は前記第１流路と連通すること、
前記第２外部流路は前記第１流路と連通すること、
を特徴とする開口部キャップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１流路と、第１流路と直交する方向のねじれの位置にある第２流路と、第２流路と平行の位置にある第３流路と、第１流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と第２流路とを連通する第１連通路と、第１流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と第３流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドシステム、及び、第１開口部又は第２開口部を塞ぐ開口部キャップに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の技術として、ベースとなるベース部材に流路が形成されたマニホールドブロックが取付けられ、使用状況に応じて、マニホールドブロックの上に弁アクチュエータが取付けられた薬液供給マニホールドがあった。
従来の薬液供給マニホールドであれば、流路変更及び回路変更を行う場合には、新たに、第１流路乃至第３流路から流体の分岐を行うため、マニホールドブロックをベース部材に取付け、マニホールドブロックに弁アクチュエータを取付けることにより行っていた。
また、流路内の圧力を測る場合、圧力センサをベース部材の側面に取付け、圧力を計測していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７６８３７号公報
【特許文献２】特開２０００−６５２２９号公報
【特許文献３】特開平９−２５２０６７号公報
【特許文献４】特開平９−１０９５３号公報
【特許文献５】特開平７−２２９５７０号公報
【特許文献６】特開平７−１９０２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来技術には、以下の問題があった。
薬液供給マニホールドに、流路変更及び回路変更に伴う弁アクチュエータの追加等を行う場合、また、圧力センサの設置等を行うためには、ベース部材にスペースを確保して、継ぎ手であるマニホールドブロックを外して再度組み付けをする必要があった。また、マニホールドブロックを外す際にも、マニホールドブロックを外すためのスペースを確保するためバルブの位置をずらしたりする必要があり、狭いスペースの中で構成するのは困難であった。
また、薬液供給マニホールドに新たに、弁アクチュエータの追加等を行う場合、また、圧力センサの設置等を行う場合に、時間が掛かると生産効率が悪くなるため問題であった。
また、圧力センサをベース部材の側面に取付けると、ベース部材からはみ出すことになり、狭いスペースの中で構成するのは困難であった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、弁アクチュエータの追加等、また、圧力センサの設置等を容易に行うことができるマニホールドシステム及び開口部キャップを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るマニホールドシステム及び開口部キャップは、以下の構成を有する。
（１）第１流路と、第１流路と直交する方向のねじれの位置にある第２流路と、第２流路と平行の位置にある第３流路と、第１流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と第２流路とを連通する第１連通路と、第１流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と第３流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドブロックと、第１開口部又は第２開口部に取付けられ、異なる流路が形成された複数種類の開口部キャップを有すること、第１開口部に複数種類の開口部キャップの１つが取付けられていること、第２開口部に複数種類の開口部キャップの１つが取付けられていること、を特徴とすることにある。
（２）（１）に記載するマニホールドシステムにおいて、複数種類の開口部キャップの１つは、第２流路又は第３流路と連通する外部流路を有し、第２流路又は第３流路を外部流路へ分岐すること、第１流路を連通状態又は非連通状態とすること、を特徴とすることにある。
（３）（１）に記載するマニホールドシステムにおいて、複数種類の開口部キャップの１つは、第１連通路又は第２連通路を塞ぎ、第１流路を連通状態又は非連通状態とすること、を特徴とすることにある。
（４）（１）に記載するマニホールドシステムにおいて、複数種類の開口部キャップの１つは、第１連通路又は第２連通路を塞ぎ、第１流路と連通する外部流路を有し、第１流路を外部流路へ分岐すること、を特徴とすることにある。
（５）（１）に記載するマニホールドシステムにおいて、複数種類の開口部キャップの１つは、第１流路と、第２流路又は第３流路が連通した状態とすること、を特徴とすることにある。
（６）（１）に記載するマニホールドシステムにおいて、複数種類の開口部キャップの１つは、第１流路及び第２流路又は第３流路と連通する外部流路を有し、第１流路及び第２流路又は第３流路を外部流路へ分岐すること、を特徴とすることにある。
【０００７】
（７）第１流路と、第１流路と直交する方向のねじれの位置にある第２流路と、第２流路と平行の位置にある第３流路と、第１流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と第２流路とを連通する第１連通路と、第１流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と第３流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドブロックと、第１開口部又は第２開口部に取付けられる開口部キャップにおいて、開口部キャップは、第１連通路又は第２連通路と同じ中心線上にあって、外部へ分岐する第１外部流路又は第２外部流路を有すること、第１外部流路又は第２外部流路は、マニホールドブロックの真上に形成されていること、を特徴とすることにある。
（８）（７）に記載する開口部キャップにおいて、第１外部流路は第１連通路と接続し、第２流路と連通すること、第２外部流路は第２連通路と接続し、第３流路と連通すること、を特徴とすることにある。
（９）（７）に記載する開口部キャップにおいて、第１外部流路は第１流路と連通すること、第２外部流路は第１流路と連通すること、を特徴とすることにある。
【発明の効果】
【０００８】
上記マニホールドシステム及び開口部キャップの作用及び効果について説明する。
第１流路と、第１流路と直交する方向のねじれの位置にある第２流路と、第２流路と平行の位置にある第３流路と、第１流路上に形成され、第１開口部を備える第１弁室と第２流路とを連通する第１連通路と、第１流路上に形成され、第２開口部を備える第２弁室と第３流路とを連通する第２連通路と、が形成されたマニホールドブロックと、第１開口部又は第２開口部に取付けられ、異なる流路が形成された複数種類の開口部キャップを有すること、第１開口部に複数種類の開口部キャップの１つが取付けられていること、第２開口部に複数種類の開口部キャップの１つが取付けられていることにより、弁アクチュエータの追加、また、圧力センサの設置等を容易に行うことができる。
すなわち、弁アクチュエータを追加する時には、開口部キャップを外すだけで、第１開口部又は第２開口部に弁アクチュエータを取付ることができるため、弁アクチュエータの追加が容易である。
また、弁アクチュエータを使用しない場合には、開口部キャップを取付けることにより、薬液マニホールドの流路変更及び回路変更を容易にすることができる。
また、圧力センサの設置をする際には、第１開口部又は第２開口部の開口部キャップを取外し、圧力センサを取付けることが可能な開口部キャップを取付けることにより、圧力センサ等を容易に設置することができる。さらに、圧力センサをベース部材上である開口部キャップに設置することができるため、狭いスペースにおいても圧力センサを取付けることができる。
以上、容易に弁アクチュエータ及び圧力センサを取付でき、また、容易に開口部キャップにより流路変更及び回路変更ができるため、時間が掛からず生産効率をあげることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の本実施例１に係る第１開口部キャップ１０の取付構造の断面斜視図を示す。
【図２】本発明の本実施例１に係る図１の第１開口部キャップ１０の取付構造の分解斜視図を示す。
【図３】本発明の本実施例１に係る第２開口部キャップ２０の取付構造の断面斜視図を示す。
【図４】本発明の本実施例１に係る図２の第１開口部キャップ２０の取付構造の分解斜視図を示す。
【図５】本発明の本実施例１に係る第３開口部キャップ３０の取付構造の一部断面図を示す。
【図６】本発明の本実施例１に係る第４開口部キャップ４０の取付構造の一部断面図を示す。
【図７】本発明の本実施例１に係る第５開口部キャップ５０の取付構造の一部断面図を示す。
【図８】本発明の本実施例１に係る第６開口部キャップ６０の取付構造の一部断面図を示す。
【図９】本発明の本実施例１に係る第７開口部キャップ７０の取付構造の一部断面図を示す。
【図１０】本発明の本実施例２に係る第８開口部キャップ８０の取付構造の一部断面図を示す。
【図１１】本発明の本実施例２に係る第９開口部キャップ９０の取付構造の一部断面図を示す。
【図１２】本発明の本実施例２に係る第１０開口部キャップ１００の取付構造の一部断面図を示す。
【図１３】本発明の本実施例１に係る薬液マニホールド１の外観斜視図を示す。
【図１４】図１３の薬液マニホールド１の断面斜視図を示す。
【図１５】図１３のバルブボディ３を抜き出した外観斜視図を示す。
【図１６】本発明の本実施例１の具体例１に係る薬液マニホールド３００の断面図を示す。
【図１７】本発明の本実施例１の具体例２に係る薬液マニホールド４００の断面図を示す。
【図１８】本発明の本実施例２の具体例に係る薬液マニホールド５００の断面図を示す。
【図１９】本発明の本実施例１に係る第３開口部キャップ３０に圧力センサ１９を取付けた薬液マニホールド２の外観斜視図を示す。
【図２０】本発明の本実施例１に係る第３開口部キャップ３０に圧力センサ１９を取付けた薬液マニホールド２の外観断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明に係るマニホールドシステム及び開口部キャップの一実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１実施形態）
＜薬液マニホールドの全体構成＞
図１３には、薬液マニホールド１の外観斜視図を示す。図１４には、図１３の薬液マニホールド１の断面斜視図を示す。図１５に、マニホールドブロック３の断面斜視図を示す。
図１３に示すように、薬液マニホールド１は、下から、流体の供給源と接続されたマニホールドベース２、流体を供給先へと繋ぐ接続部材４と接合する２つのマニホールドブロック３、流体の流量を調整または、流路を開・閉するための４つの弁アクチュエータ５から構成されている。
図１４に示すように、マニホールドベース２の正面から背面にかけて平行に、第２流路２Ａ及び第３流路２Ｂが貫通している。第２流路２Ａからマニホールドブロック３の第１弁室３Ｅ方向へ垂直に、バルブベース第１連通路２Ｃが形成されている。第３流路２Ｂからマニホールドブロック３の第２弁室３Ｆ方向へ垂直に、マニホールドベース第２連通路２Ｄが形成されている。
【００１１】
接続部材４は、図１４中、マニホールドブロック３の右側面に取付けられ、接続部材４内には接続流路４Ａが形成されている。マニホールドブロック３内には、第２流路２Ａ及び第３流路２Ｂとねじれの位置にある第１流路３Ａ（第１流路３Ａ１、３Ａ２）が形成されている。第１流路３Ａ１は、接続流路４Ａと一端が連通した状態にある。第１流路３Ａ１の他端は、図１５に示す、円柱状の中空部であり、上端に第２開口部３Ｆ１を有する第２弁室３Ｆの右側面と連通している。第２弁室３Ｆと平行するようにマニホールドブロック３内には、円柱状の中空部であり、上端に第１開口部３Ｅ１を有する第１弁室３Ｅが形成されている。第２弁室３Ｆの左側面と第１弁室３Ｅの右側面とは、第１流路３Ａ２により連通されている。接続流路４Ａ、第１流路３Ａ１、第２弁室３Ｆ、第１流路３Ａ２、及び、第１弁室３Ｅは連通した状態にある。
図１４に示すように、第１弁室３Ｅの底面３Ｅ２と第２流路２Ａの上面の間には、マニホールドベース第１連通路２Ｃ及びマニホールドブロック第１連通路３Ｃが形成され、弁アクチュエータ５が開弁状態にあるときは、第１弁室３Ｅと第２流路２Ａとは連通する状態になる。第２弁室３Ｆの底面３Ｆ２と第３流路２Ｂの上面の間には、マニホールドベース第２連通路２Ｄ及びマニホールドブロック第２連通路３Ｄが形成され、弁アクチュエータ５が開弁状態にあるときは、第２弁室３Ｆと第３流路２Ｂとは連通する状態になる。
マニホールドブロック第１連通路３Ｃと第１弁室３Ｅが接続する部分に連通口３Ｃ１が形成されている。また、マニホールドブロック第２連通路３Ｄと第２弁室３Ｆが接続する部分に連通口３Ｄ１が形成されている。
【００１２】
図１５に、マニホールドブロック３に、弁アクチュエータ５等が取付けられていない状態が示されている。マニホールドブロック３の上面３Ｉの第１弁室３Ｅ及び第２弁室３Ｆを中心とする周囲の四隅には、弁アクチュエータ５等をマニホールドブロック３に対して取付ネジを介して取付け可能とする取付孔３Ｊが形成されている。
第１弁室３Ｅの上面３Ｉ付近には、中空状の円柱部であり、第１弁室３Ｅの径より大きい嵌合部３Ｋが形成されている。嵌合部３Ｋの周端部には、凹部形状である嵌合溝３Ｍが形成されている。
第２弁室３Ｆにも同様の嵌合部３Ｌ及び嵌合溝３Ｎが形成されている。
【００１３】
＜弁アクチュエータの構成＞
図１４に示すように、１つのマニホールドブロック３の上には２つの弁アクチュエータ５が固設されている。弁アクチュエータ５の各々には、４つのネジ孔５Ｇが形成されており、図示しない４つの取付ネジをネジ孔５Ｇに挿入し、マニホールドブロック３の取付孔３Ｊに係合させることで、固定する。
弁アクチュエータ５は、ダイアフラム５Ａ、ピストンロッド５Ｂ、シリンダ５Ｃ、カバー５Ｄ、操作ポート５Ｆ、及び図示しないスプリングなどを有し、これらにより構成されている。また、ダイアフラム５Ａの周端部をマニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍに嵌合させ、マニホールドブロック３とシリンダ５Ｃとでダイアフラム５Ａの周端部を狭持する。また、シリンダ５Ｃ内に挿設されたピストンロッド５Ｂの下端に対して、ダイアフラム５Ａの中央部を螺設している。
【００１４】
ピストンロッド５Ｂには、シリンダ５Ｃとカバー５Ｄとの間に装備された図示しないスプリングによって、下向きの力を常に作用させている。その一方で、ピストンロッド５Ｂには、操作ポート５Ｆから、シリンダ５Ｃ内に圧縮空気を流入させることによって、上向きの力を作用させることができ、さらに、操作ポート５Ｆからシリンダ５Ｃ内の圧縮空気を流出させることによって、この上向きの力の作用を解除させることができる。
これにより、ピストンロッド５Ｂはシリンダ５Ｃ内を上下に移動するので、ピストンロッド５Ｂの下端に螺設されたダイアフラム５Ａでマニホールドブロック３に形成された第１流路３Ａ２とマニホールドブロック第１連通路３Ｃとを連通又は遮断させることができる。
【００１５】
＜開口部キャップの構成・作用効果＞
（第１開口部キャップの構成）
図１に、第１開口部キャップ１０の取付構造の断面斜視図を示す。図２は、図１の第１開口部キャップ１０の取付構造の分解斜視図を示す。図１及び図２において、第１開口部キャップ１０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図１及び図２に示すように、第１開口部キャップ１０は、円柱状の連通路挿入部１１が円板形状の円板部１２の中心部に固設されている。
円板部１２の周端部の連通路挿入部１１方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部１３が垂直方向に形成されている。
連通路挿入部１１には、円板部１２と固設されている反対側の下端部の円周上にＯリング取付凹部１５が形成されている。Ｏリング取付凹部１５には、Ｏリング１４が円周上に取付けられている。
【００１６】
（第１開口部キャップの作用効果）
第１開口部キャップ１０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から連通路挿入部１１がマニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されるように嵌め込む。さらに、円板部１２の嵌合部１３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように第１開口部キャップ１０を第１弁室３Ｅに押し込む。
連通路挿入部１１が、マニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されると、Ｏリング１４により、第２流路２Ａからマニホールドブロック第１連通路３Ｃを介し第１弁室３Ｅに流れ込もうとする流体を遮断することができる。それにより、第２流路２Ａからの流体と第１流路３Ａの流体が混ざることを防止することができる。
また、連通路挿入部１１が挿入されても、第１流路３Ａ２、第１流路３Ａ３は遮断されていないため、第１流路３Ａ内の流体が自由に第１弁室３Ｅを通り流れることができる。
また、第１開口部キャップ１０の円板部１２により、第１弁室３Ｅの第１開口部３Ｅ１が塞がれ遮断されるため、流体が、第１弁室３Ｅ内を通過する際に、第１開口部３Ｅ１から漏れることはない。また、嵌合部１３が嵌合溝３Ｍに嵌合されることにより第１開口部３Ｅ１が塞がれているため、流体が漏れることがない。
【００１７】
図１に示すように、取付部材６は角柱形状をしている。取付ネジ７が取付けられている取付部材６の四隅には、上面６Ａから下面６Ｂに貫通するように取付孔６Ｃが設けられている。
取付部材６の下面６Ｂには、バルブボディ３の嵌合部３Ｋに嵌まり込む、円柱形状の嵌合凸部６Ｄが形成されている。
嵌合凸部６Ｄをマニホールドブロック３の嵌合部３Ｋに嵌合させた状態で、取付ネジ７を、取付孔６Ｃから挿通し、取付ネジ７を、マニホールドブロック３の取付孔３Ｊに係合されることで、取付部材６は、マニホールドブロック３に固設される。
第１開口部キャップ１０を、嵌め込んだ後に、取付部材６をマニホールドブロック３に取付ネジ７により固設することにより、第１開口部キャップ１０を上から押圧するため、第１開口部キャップ１０をマニホールドブロック３に確実に固定することができる。また、取付部材６により、第１開口部キャップ１０は、外れることがない。
【００１８】
（第２開口部キャップの構成）
図３に、第２開口部キャップ２０の取付構造の断面斜視図を示す。図４は、図３の第２開口部キャップ２０の取付構造の分解斜視図を示す。図３及び図４において、第２開口部キャップ２０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図３及び図４に示すように、第２開口部キャップ２０は、円柱状の連通路挿入部２１が円板形状の円板部２２の中心部に固設されている。連通路挿入部２１は、円板部２２と固設されている部分は、径が大きい大連通路挿入部２１Ａで形成され、大連通路挿入部２１Ａの下端部には、大連通路挿入部２１Ａよりも径が小さい小連通路挿入部２１Ｂが形成されている。小連通路挿入部２１Ｂの径は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃの径よりもやや小さい径である。
円板部２２の周端部の連通路挿入部２１方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部２３が垂直方向に形成されている。
連通路挿入部２１には、円板部２２と固設されている反対側の下端部の円周上にＯリング取付凹部２５が形成されている。Ｏリング取付凹部２５には、Ｏリング２４が円周上に取付けられている。
【００１９】
第２開口部キャップ２０をマニホールドブロック３に取付けるときには、嵌合部材２９が用いられる。嵌合部材２９は、略円筒形状をしている。嵌合部材２９の径は、第１弁室３Ｅ、及び第２弁室３Ｆの径より小さい径である。そのため、嵌合部材２９を、第１弁室３Ｅ及び第２弁室３Ｆに嵌合することができる。
嵌合部材２９の対向する側面には、第１流路連通口２９Ａが形成されている。嵌合部材２９を、第１弁室３Ｅに嵌合すると、第１流路連通口２９Ａと第１流路３Ａ２、３Ａ３が連通状態となる。
【００２０】
第２開口部キャップ２０をマニホールドブロック３に取付けるときには、第１流路シール部材２８が用いられる。第１流路シール部材２８は、略円板状の土台２８Ｂと土台２８Ｂよりも径が小さい円柱形状の挿入部２８Ａにより構成されている。
挿入部２８Ａには、Ｏリング２７が円周上に嵌合されている。土台２８Ｂには、大連通路挿入部２１Ａの外周部と係合する形の切欠き部２８Ｃが形成されている。
【００２１】
（第２開口部キャップの作用効果）
第１に、図４に示すように、嵌合部材２９をマニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から第１弁室３Ｅに嵌め込む。嵌め込む際には、嵌合部材２９の側面の第１流路連通口２９Ａが第１流路３Ａ２、３Ａ３と連通状態となる向きに嵌め込む。
第２に、第１流路シール部材２８を第１流路連通口２９Ａを介して、第１流路３Ａ２、３Ａ３に対して挿入する。第１流路シール部材２８の挿入部２８Ａを挿入すると、土台２８Ｂまで挿入される。嵌合部材２９を介して第１流路シール部材２８を挿入することで、第１流路３Ａ２、３Ａ３と第２キャップ２０の間にできた隙間を埋めることができる。さらに、第１流路シール部材２８の中間部を支えることができるため、第１流路シール部材２８を安定した状態とすることができる。
第３に、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から連通路挿入部１１が、マニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されるように、第２開口部キャップ２０を、嵌め込む。さらに、円板部２２の嵌合部２３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように第２開口部キャップ２０を第１弁室３Ｅに押し込む。連通路挿入部２１が、マニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されると、Ｏリング２４により、第２流路２Ａからマニホールドブロック第１連通路３Ｃを介し第１弁室３Ｅに流れ込もうとする流体を遮断することができる。それにより、第２流路２Ａからの流体と第１流路３Ａの流体が混ざることを防止することができる。
また、第２開口部キャップ２０の大連通路挿入部２１Ａが、第１流路シール部材２８の切欠き部２８Ｃと係合し、第１流路シール部材２８を第１流路３Ａ２、３Ａ３側へ、押圧する。それにより、第１流路シール部材２８は、第１流路３Ａ２、３Ａ３へ確実に挿入され、Ｏリング２７により、第１流路３Ａ２、３Ａ３からの流体の流れが遮断される。
第４に、第２開口部キャップ２０を、嵌め込んだ後に、取付部材６をマニホールドブロック３に取付ネジ７により固設することにより、第２開口部キャップ２０を上から押圧するため、第２開口部キャップ２０をマニホールドブロック３に確実に固定することができる。また、取付部材６により、第２開口部キャップ２０は、外れることがない。
【００２２】
（第３開口部キャップの構成）
図５に、第３開口部キャップ３０の取付構造の断面図を示す。図１９に、第３開口部キャップ３０に圧力センサ１９を取付けた薬液マニホールド２の外観斜視図を示す。図２０に、第３開口部キャップ３０に圧力センサ１９を取付けた薬液マニホールド２の外観断面図を示す。図５において、第３開口部キャップ３０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図５に示すように、第３開口部キャップ３０は、円柱状の連通路挿入部３１が円板形状の円板部３２の下面中心部に固設されている。また、円板部３２の上面中心部に外部ポート接続部３６が形成されている。連通路挿入部３１の円板部３２と固設されている部分は、径が大きい大連通路挿入部３１Ａで形成され、大連通路挿入部３１Ａの下端部には、大連通路挿入部３１Ａよりも径が小さい小連通路挿入部３１Ｂが形成されている。連通路挿入部３１と外部ポート接続部３６内部には、第１連通路接続流路３７が形成されている。第１連通路接続流路３７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。
図１９及び図２０に示すように、外部ポート接続部３６の先端部には、圧力センサ１９を取付けることができる。
円板部３２の周端部の連通路挿入部３１方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部３３が垂直方向に形成されている。
小連通路挿入部３１Ｂには、円板部３２と固設されている反対側の下端部の円周上にＯリング取付凹部３５が形成されている。Ｏリング取付凹部３５には、Ｏリング３４が円周上に取付けられている。
【００２３】
取付部材９は角柱形状をしている。取付部材９の中心部には、外部ポート接続部３６を挿通するための貫通孔９Ｅが形成されている。取付ネジ７が取付けられている取付部材９の四隅には、上面９Ａから下面９Ｂに貫通するように図示しない、取付孔が貫通されている。
取付部材９の下面９Ｂには、マニホールドブロック３の嵌合部３Ｋに嵌まり込む、円柱形状の嵌合凸部９Ｄが形成されている。
【００２４】
（第３開口部キャップの作用効果）
図５に示すように、第３開口部キャップ３０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から小連通路挿入部３１Ｂがマニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されるように嵌め込む。さらに、円板部３２の嵌合部３３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように第３開口部キャップ３０を第１弁室３Ｅに押し込む。
第３開口部キャップ３０内部には、第１連通路接続流路３７が形成されているため、第２流路２Ａからの流体が第１連通路３Ｃを介して、第１連通路接続流路３７内を流れ、外部ポート接続部３６の先に接続された圧力センサ１９まで流れる。
図２０に示すように、外部ポート接続部３６内の第１連通路接続流路３７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。そのため、外部ポート接続部３６に接続する圧力センサ１９は、マニホールドブロック３の上部に取付けることができる。したがって、圧力センサ１９を、マニホールドブロック３の上部スペースを利用できるため、省スペース化できるメリットがある。
また、連通路挿入部３１が挿入されても、第１流路３Ａ２、第１流路３Ａ３は遮断されていないため、第１流路３Ａ内の流体が自由に第１弁室３Ｅを通り流れることができる。
また、第３開口部キャップ３０の円板部３２により、第１弁室３Ｅの第１開口部３Ｅ１が塞がれ遮断されるため、流体が、第１弁室３Ｅ内を通過する際に、第１開口部３Ｅ１から漏れることはない。また、嵌合部３３が嵌合溝３Ｍに嵌合されることにより、流体が漏れることがない。
第３開口部キャップ３０を、嵌め込んだ後に、取付部材９の貫通孔９Ｅに外部ポート接続部３６を挿通させ、取付部材９をマニホールドブロック３に取付ネジ７により固設する。それより、第３開口部キャップ３０を上から押圧するため、第３開口部キャップ３０をマニホールドブロック３に確実に固定することができる。また、取付部材９により、第３開口部キャップ３０は、外れることがない。
【００２５】
（第４開口部キャップの構成）
図６に、第４開口部キャップ４０の取付構造の断面図を示す。図６において、第４開口部キャップ４０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図６に示すように、第４開口部キャップ４０は、円柱状の連通路挿入部４１が円板形状の円板部４２の下面中心部に固設されている。また、円板部４２の上面中心部に外部ポート接続部４６が形成されている。外部ポート接続部４６には、図示しない圧力センサ等が接続されている。連通路挿入部４１の円板部４２と固設されている部分は、径が大きい大連通路挿入部４１Ａで形成され、大連通路挿入部４１Ａの下端部には、大連通路挿入部４１Ａよりも径が小さい小連通路挿入部４１Ｂが形成されている。連通路挿入部４１と外部ポート接続部４５内部には、第１連通路接続流路４７が形成されている。第１連通路接続流路４７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。
円板部４２の周端部の連通路挿入部４１方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部４３が垂直方向に形成されている。
小連通路挿入部４１Ｂには、円板部４２と固設されている反対側の下端部の円周上にＯリング取付凹部４５が形成されている。Ｏリング取付凹部４５には、Ｏリング４４が円周上に取付けられている。
【００２６】
（第４開口部キャップの作用効果）
第４開口部キャップ４０をマニホールドブロック３に取付けるときには、第２開口部キャップ２０と同様に、嵌合部材２９、及び、第１流路シール部材２８が用いられる。
第１に、図４に示すように、嵌合部材２９をマニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から第１弁室３Ｅに嵌め込む。嵌め込む際には、嵌合部材２９の側面の第１流路連通口２９Ａが第１流路３Ａ２、３Ａ３と連通状態となる向きになるように嵌め込む。
第２に、第１流路シール部材２８を第１流路連通口２９Ａを介して、第１流路３Ａ２、３Ａ３に対して挿入する。第１流路シール部材２８の挿入部２８Ａを挿入すると、土台２８Ｂまで挿入される。嵌合部材２９を介して第１流路シール部材２８を挿入することで、第１流路３Ａ２、３Ａ３と第４キャップ４０の間に隙間を埋めることができる。さらに、第１流路シール部材２８の中間部を支えることができるため、第１流路シール部材２８を安定した状態とすることができる。
第３に、第４開口部キャップ４０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から連通路挿入部１１がマニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されるように嵌め込む。さらに、円板部４２の嵌合部４３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように第４開口部キャップ４０を第１弁室３Ｅに押し込む。第４開口部キャップ４０内部には、第１連通路接続流路４７が形成されているため、第２流路２Ａからの流体が第１連通路３Ｃを介して、第１連通路接続流路４７内を流れ、外部ポート接続部４６の先に接続された圧力センサ等まで流れる。
圧力センサ及び第１連通路接続流路４７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。そのため、圧力センサ及び第１連通路接続流路４７は、マニホールドブロック３の上部に取付けられる。したがって、マニホールドブロック３の上部スペースを利用できるため、省スペース化できるメリットがある。
また、第４開口部キャップ４０の円板部４２により、第１弁室３Ｅの第１開口部３Ｅ１が塞がれ遮断されるため、流体が、第１弁室３Ｅ内を通過する際に、第１開口部３Ｅ１から漏れることはない。また、嵌合部４３が嵌合溝３Ｍに嵌合されることにより、流体が漏れることがない。
第４に、第４開口部キャップ４０を、嵌め込んだ後に、取付部材９の貫通孔９Ｅに外部ポート接続部４６を挿通させ、取付部材９をマニホールドブロック３に取付ネジ７により固設する。それより、第４開口部キャップ４０を上から押圧するため、第４開口部キャップ４０をマニホールドブロック３に確実に固定することができる。また、取付部材９により、第４開口部キャップ４０は、外れることがない。
【００２７】
（第５開口部キャップの構成）
図７に、第５開口部キャップ５０の取付構造の断面図を示す。図７において、第５開口部キャップ５０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図７に示すように、第５開口部キャップ５０は、円柱状の連通路挿入部５１が円板形状の円板部５２の下面中心部に固設されている。また、円板部５２の上面中心部に外部ポート接続部５６が形成されている。外部ポート接続部５６には、図示しない圧力センサ等が接続されている。連通路挿入部５１の円板部５２と固設されている部分は、径が大きい大連通路挿入部５１Ａで形成され、大連通路挿入部５１Ａの下端部には、大連通路挿入部５１Ａよりも径が小さい小連通路挿入部５１Ｂが形成されている。大連通路挿入部５１Ａには、第１流路３Ａ２及び第１流路３Ａ３の流路上に第１流路連通路５１Ａ１が形成されている。小連通路挿入部５１Ｂの径は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃの径よりもやや小さい径である。
第１流路連通路５１Ａ１から外部ポート接続部５６の上端までの内部には、外部ポート流路５７が形成されている。第１流路連通路５１Ａ１と外部ポート流路５７はＴ字状に連通している。外部ポート流路５７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。
円板部５２の周端部の連通路挿入部５１方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部５３が垂直方向に形成されている。
小連通路挿入部５１Ｂには、円板部５２と固設されている反対側の下端部の円周上にＯリング取付凹部５５が形成されている。Ｏリング取付凹部５５には、Ｏリング５４が円周上に取付けられている。
【００２８】
（第５開口部キャップの作用効果）
第５開口部キャップ５０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から小連通路挿入部５１Ｂがマニホールドブロック第１連通路３Ｃに挿入されるように嵌め込む。さらに、円板部５２の嵌合部５３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように第５開口部キャップ５０を第１弁室３Ｅに押し込む。第５開口部キャップ５０内部には、第１流路連通路５１Ａ１及び外部ポート流路５７が形成されているため、第１流路連通路５１Ａ１を介して、外部ポート流路５７へ第１流路３Ａの流体が流れ外部ポート接続部５６の先に接続された圧力センサ等まで流れる。
圧力センサ及び外部ポート流路５７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。そのため、圧力センサ及び外部ポート流路５７は、マニホールドブロック３の上部に取付けられる。したがって、マニホールドブロック３の上部スペースを利用できるため、省スペース化できるメリットがある。
また、第５開口部キャップ５０の円板部５２により、第１弁室３Ｅの第１開口部３Ｅ１が塞がれ遮断されるため、流体が、第１弁室３Ｅ内を通過する際に、第１開口部３Ｅ１から漏れることはない。また、嵌合部５３が嵌合溝３Ｍに嵌合されることにより、流体が漏れることがない。
第５開口部キャップ５０を、嵌め込んだ後に、取付部材９の貫通孔９Ｅに外部ポート接続部５６を挿通させ、取付部材９をマニホールドブロック３に取付ネジ７により固設する。それより、第５開口部キャップ５０を上から押圧するため、第５開口部キャップ５０をマニホールドブロック３に確実に固定することができる。また、取付部材９により、第５開口部キャップ５０は、外れることがない。
【００２９】
（第６開口部キャップの構成）
図８に、第６開口部キャップ６０の取付構造の断面図を示す。図８において、第６開口部キャップ６０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図８に示すように、第６開口部キャップ６０は、円板形状の円板部６２により形成されている。円板部６２の周端部のマニホールドブロック３方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部６３が垂直方向に形成されている。
【００３０】
（第６開口部キャップの作用効果）
第６開口部キャップ６０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から円板部６２の嵌合部６３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように嵌め込む。
第６開口部キャップ６０の円板部６２により、第１弁室３Ｅの第１開口部３Ｅ１が塞がれ遮断されるため、第１流路３Ａ内を流れる流体が、第１弁室３Ｅ内を通過する際に、第１開口部３Ｅ１から漏れることはない。また、嵌合部６３が嵌合溝３Ｍに嵌合されることにより、流体が漏れることがない。
また、第６開口部キャップ６０を取付けても、第１弁室３Ｅ内には影響はないため、第２流路２Ａから第１連通路３Ｃを介して流れる流体は、第１流路３に自由に流れる。また、第１流路３Ａに対しても影響はないため、第１流路３Ａ内の流体は、自由に流れる。
第６開口部キャップ６０を、嵌め込んだ後に、取付部材６をマニホールドブロック３に取付ネジ７により固設することにより、第６開口部キャップ６０を上から押圧するため、第６開口部キャップ６０をマニホールドブロック３に確実に固定することができる。また、取付部材６により、第６開口部キャップ６０は、外れることがない。
【００３１】
（第７開口部キャップの構成）
図９に、第７開口部キャップ７０の取付構造の断面図を示す。図９において、第７開口部キャップ７０の構成、作用、効果が理解しやすいように、第１弁室３Ｅの左側面に第１流路３Ａ３が連通している状態としたものを示す。
図９に示すように、第７開口部キャップ７０は、円板形状の円板部３２の上面中心部に外部ポート接続部７６が形成されている。外部ポート接続部７６には、図示しない圧力センサ等が接続されている。外部ポート接続部７６内部には、流路接続路７７が形成されている。
円板部７２の周端部の下面方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部７３が垂直方向に形成されている。
第７開口部キャップ７０は、円板形状の円板部７２により形成されている。円板部７２の周端部のマニホールドブロック３方向に対して、マニホールドブロック３の嵌合溝３Ｍと嵌合する凸形状の嵌合部７３が垂直方向に形成されている。
【００３２】
（第７開口部キャップの作用効果）
第７開口部キャップ７０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から円板部７２の嵌合部７３が嵌合溝３Ｍに嵌合するように嵌め込む。
第７開口部キャップ７０内部には、流路連通路７７が形成されているため、第１流路３Ａの流体、及び、第２流路２Ａからの流体が、流路連通路７７内を流れ、外部ポート接続部７６の先に接続された圧力センサ等まで流れる。
圧力センサ及び流路連通路７７は、マニホールドブロック第１連通路３Ｃと同じ中心線上にある。そのため、圧力センサ及び流路連通路７７は、マニホールドブロック３の上部に取付けられる。したがって、マニホールドブロック３の上部スペースを利用できるため、省スペース化できるメリットがある。
また、第１流路３Ａ２、第１流路３Ａ３は遮断されていないため、第１流路３Ａ内の流体が自由に第１弁室３Ｅを通り流れることができる。
また、第７開口部キャップ７０の円板部７２により、第１弁室３Ｅの第１開口部３Ｅ１が塞がれ遮断されるため、流体が、第１弁室３Ｅ内を通過する際に、第１開口部３Ｅ１から漏れることはない。また、嵌合部７３が嵌合溝３Ｍに嵌合されることにより、流体が漏れることはない。
【００３３】
（第１実施形態の使用例）
図１６に、第１実施形態の使用例１の薬液マニホールド３００の断面図を示す。図１７に、第１実施形態の使用例２の薬液マニホールド４００の断面図を示す。
図１６及び図１７に示すように、マニホールドベース２Ｖ内には、左端から、第２流路２ＡＶ、第３流路２ＢＶ、第４流路２ＣＶ、第５流路２ＤＶ、第６流路２ＥＶが形成されている。
マニホールドブロック３Ｖ内には、第１流路３ＡＶが貫通している。第１流路３ＡＶのうち、図１６及び図１７中左端が、第１流路左端３１ＡＶで、右端が第１流路右端３２ＡＶである。第１流路３ＡＶ上には、左から、第１弁室３ＥＶ、第２弁室３ＦＶ、第３弁室３ＧＶ、第４弁室３ＨＶ、第５弁室３ＩＶが形成されている。
薬液マニホールド３００及び薬液マニホールド４００のうち、マニホールドベース２Ｖ及びマニホールドブロック３Ｖは共通する。
【００３４】
図１６に示すように、第１弁室３ＥＶに、弁アクチュエータ５Ｖ（図１４）が取付られている。第２弁室３ＦＶに、第１開口部キャップ１０Ｖ（図１）が取付けられている。第３弁室３ＧＶに、第５開口部キャップ５０Ｖ（図７）が取付けられている。第４弁室３ＨＶに、第３開口部キャップ３０Ｖ（図５）が取付けられている。第５弁室３ＩＶに、第７開口部キャップ７０Ｖ（図９）が取付けられている。
図１７に示すように、第１弁室３ＥＶに、弁アクチュエータ５Ｖ（図１４）が取付られている。第２弁室３ＦＶに、第２開口部キャップ２０Ｗ（図２）が取付けられている。第３弁室３ＧＶに、第６開口部キャップ６０Ｗ（図９）が取付けられている。第４弁室３ＨＶに、第弁アクチュエータ５Ｗ（図１４）が取付けられている。第５弁室３ＩＶに、第４開口部キャップ４０Ｗ（図６）が取付けられている。
【００３５】
図１６に示すように、第２弁室３ＦＶには、第１開口部キャップ１０Ｖ（図１）が取付けられ、マニホールドブロック第１連通路３ＣＶ２を塞いでいるため、第３流路２ＢＶからの流体は、第２弁室３ＦＶ内に流入することができない。第１開口部キャップ１０Ｖは、第１流路３ＡＶを塞ぐものではないため、第１流路３ＡＶ内の流体は、自由に流れる状態にある。
ここで、第２弁室３ＦＶのマニホールドブロック第１連通路３ＣＶ２を塞ぎつつ、第１流路３ＡＶを塞ぎたいときに、第１開口部キャップ１０Ｖを第２弁室３ＦＶから取り外し、図１７に示す、第２開口部キャップ２０Ｗ（図２）に付け替える。第２開口部キャップ２０Ｗを、第２弁室３ＦＶに取付けることにより、第１流路３ＡＶは、取付部材２８Ｗにより塞がれるため、第１流路３ＡＶの流れが、第２開口部キャップ２０Ｗにより遮断される。また、マニホールドブロック第１連通路３ＣＶ２を塞いでいるため、第３流路２ＢＶからの流体は、第２弁室３ＦＶ内に流入することができない。
【００３６】
図１６に示すように、第３弁室３ＧＶには、第５開口部キャップ５０Ｖ（図７）が取付けられ、マニホールドブロック第１連通路３ＣＶ３を塞いでいるため、第４流路２ＣＶからの流体は、第３弁室３ＧＶ内に流入することができない。第５開口部キャップ５０Ｖは、第１流路３ＡＶを塞ぐものではないため、第１流路３ＡＶ内の流体は、自由に流れる状態にある。また、第５開口部キャップ５０Ｖには第１流路接続流路５１Ａ１ＶとＴ字に係合する外部ポート流路５７Ｖが形成されているため、第１流路３ＡＶの流体が、外部ポート流路５７Ｖを流れ外部ポート接続部５６の先に接続された圧力センサ等まで流れる。
ここで、第４流路２ＣＶからの流体を第１流路３ＡＶに流したいときに、第５開口部キャップ５０Ｖを第３弁室３ＧＶから取り外し、図１７に示す、第６開口部キャップ６０Ｗ（図８）に付け替える。第６開口部キャップ６０Ｗを、第３弁室３ＧＶに取付けることにより、マニホールドブロック第１連通路３ＣＶ３を塞ぐことはないため、第４流路２ＣＶからの流体が第３弁室３ＧＶへと流れ、第１流路３ＡＶへと流れる。
【００３７】
図１６に示すように、第４弁室３ＨＶには、第３開口部キャップ３０Ｖ（図５）が取付けられ、マニホールドブロック第１連通路３ＣＶ３と繋がる第１連通路接続流路３７Ｖを有するため、第５流路２ＤＶからの流体が、第１連通路接続流路３７Ｖを流れ外部ポート接続部３６の先に接続された圧力センサ等まで流れる。第３開口部キャップ３０Ｖは、第１流路３ＡＶを塞ぐものではないため、第１流路３ＡＶ内の流体は、自由に流れる状態にある。
ここで、第５流路２ＤＶからの流体を調整して第１流路３ＡＶに流したいときに、第３開口部キャップ３０Ｖを第４弁室３ＨＶから取り外し、図１７に示す、弁アクチュエータ５Ｗ（図１４）に付け替える。第３開口部キャップ３０Ｗを、弁アクチュエータ５Ｗに取付けることにより、第５流路２ＤＶの流体を自由に第１流路３ＡＶに流入することができる。
【００３８】
図１６に示すように、第５弁室３ＩＶには、第７開口部キャップ７０Ｖ（図９）が取付けられ、第７開口部キャップ７０Ｖには、流路連通路７７Ｖが形成されているため、第１流路３ＡＶの流体、及び、第６流路２ＥＶからの流体が、流路連通路７７Ｖ内を流れ、外部ポート接続部７６Ｖの先に接続された圧力センサ等まで流れる。
ここで、第６流路２ＥＶからの流体のみを圧力センサ等へ流し、第１流路Ａの流れを遮断したいときに、第７開口部キャップ７０Ｖを第５弁室３ＩＶから取り外し、図１７に示す、第４開口部キャップ４０Ｗ（図６）に付け替える。第４開口部キャップ４０Ｗを取付けることにより、第１連通路接続流路４７Ｖが形成されているため、第６流路２ＥＶからの流体が、第１連通路接続流路４７Ｖ内を流れ、外部ポート接続部４６Ｖの先に接続された圧力センサ等まで流れる。また、第１流路シール部材２８Ｗが第１流路３ＡＶ内に挿入されているため、第１流路３ＡＶ内の流体は第５弁室３ＩＶ内を流れることはない。
【００３９】
以上のように、図１６に示す使用例１で使用していた開口部キャップを、図１７に示す使用例２の開口部キャップ又は弁アクチュエータに交換することにより、薬液マニホールドの流路変更及び回路変更を容易に変えることができる。
上記使用例以外においても、形状の異なる流路を持った第１開口部キャップ１０乃至第７開口部キャップ７０の開口部キャップ、又は弁アクチュエータ５、のいずれか１つをマニホールドブロック３に取付けることにより、薬液マニホールドの流路変更及び回路変更を容易に行うことができる。
また、圧力センサを取付け可能な開口部キャップ３０、４０、５０、７０を使用することで、第１流路乃至第３流路が備えられるマニホールドブロック３の上面から圧力センサ等の設置を容易に行うことができる。また、マニホールドブロック３の上部スペースを有効に利用できるため、省スペース化できるメリットがある。
また、弁アクチュエータ５を追加して流路変更及び回路変更を行う時には、開口部キャップを取り外しし、弁アクチュエータ５を取付けることで、容易に流路変更及び回路変更を行うことができる。また、弁アクチュエータ５を使用しないときには取外して、開口部キャップを取付けることで、弁アクチュエータ５の無駄を減らすことができるため、コスト削減を図ることができる。
【００４０】
（第２実施形態）
第２実施形態における開口部キャップは、第１実施形態における第１開口部キャップ１０乃至第６開口部キャップ６０と比較して、連通路挿入部の形状が異なるだけなので、連通路挿入部以外は、説明を割愛する。第２実施形態における開口部キャップは、第１実施形態と同様の作用効果を有する。
図１０の第８開口部キャップ８０は、図１の第１開口部キャップ１０に対応し、図１１の第９開口部キャップ９０は、図５の第３開口部キャップ３０に対応し、図１２の第１０開口部キャップ１００は、図７の第５開口部キャップ５０に対応する。その他、図面に示されていないが、第２開口部キャップ２０、第４開口部キャップ４０、第６開口部キャップ６０に対応する第２実施形態における開口部キャップも考えられる。
【００４１】
図１０に示すように、第８開口部キャップ８０は、円柱状の支持部８１が円板形状の円板部８２の中心部に固設されている。
支持部８１には、円板部８２と固設されている反対側の下端部に、第１弁室３Ｅの底面３Ｅ１と当接し、マニホールドブロック第１連通路３Ｃの連通口３Ｃ１を全周にわたり塞ぐシール凸部８４が形成されている。シール凸部８４には、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）素材が用いられる。
【００４２】
第８開口部キャップ８０は、マニホールドブロック３の第１弁室３Ｅの真上から連通口３Ｃを覆うように嵌め込む。シール凸部８４は、第１弁室３Ｅの底面３Ｅ１に直接当接し、連通口３Ｃを塞ぐため、マニホールドブロック第１連通路３Ｃから連通口３Ｃを介し第１弁室３Ｅに流れ込もうとする流体を遮断することができる。
また、支持部８１が第１弁室３Ｅ内に挿入されても、第１流路３Ａ２、第１流路３Ａ３は遮断されていないため、流体が自由に第１流路３Ａ内を流れることができる。
以上より、第２実施形態においては、シール凸部８４を有することにより、Ｏリングを用いないでシールをすることができる。
また、シール部にＯリングではなく、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）を用いることで、シール部分も含めた接液部を構成する全ての部品に対し、耐薬品性のある材料を使用することで、あらゆる薬液に対応できる。
【００４３】
その他、第９開口部キャップ９０、第１０開口部キャップ１００も、第８開口部キャップ８０と同様に、シール凸部９４、１０４が形成されている。シール凸部９４、１０４にも、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）素材が用いられる。したがって、第９開口部キャップ９０、第１０開口部キャップ１００においても、シール凸部９４、１０４を有することにより、Ｏリングを用いないでシールをすることができる。
また、シール部にＯリングではなく、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）を用いることで、シール部分も含めた接液部を構成する全ての部品に対し、耐薬品性のある材料を使用することで、あらゆる薬液に対応できる。
【００４４】
第２実施形態においても、取付部材６又は取付部材９を用いる。
第２実施形態における第８開口部キャップ８０乃至第１０開口部キャップ１００は、Ｏリングを用いず、連通口３Ｃ１を全周にわたり塞ぐシール凸部８４、９４、１０４が当接することによりシールする。そのため、取付部材６又は取付部材９により、第８開口部キャップ８０乃至第１０開口部キャップ１００をマニホールドブロック３に押圧し当接させることが必要となる。取付部材６又は取付部材９により、第８開口部キャップ８０乃至第１０開口部キャップ１００のシール凸部８４、９４、１０４をマニホールドブロック３に押圧することにより当接させ、マニホールドブロック第１連通路３Ｃから第１弁室３Ｅに流れ込もうとする流体を確実に遮断することができる。
【００４５】
（第２実施形態の使用例）
図１８に、第２実施形態の使用例１の薬液マニホールド５００の断面図を示す。
図１８に示すように、マニホールドベース２Ｙ内には、左端から、第２流路２ＡＹ、第３流路２ＢＹ、第４流路２ＣＹ、第５流路２ＤＹ、第６流路２ＥＹが形成されている。
マニホールドブロック３Ｙ内には、第１流路３ＡＹが貫通している。第１流路３ＡＹのうち、図１８中左端が、第１流路左端３１ＡＹで、右端が第１流路右端３２ＡＹである。第１流路３ＡＹ上には、左から、第１弁室３ＥＹ、第２弁室３ＦＹ、第３弁室３ＧＹ、第４弁室３ＨＹ、第５弁室３ＩＹが形成されている。
【００４６】
図１８に示すように、第１弁室３ＥＹに、弁アクチュエータ５Ｙ（図１４）が取付られている。第２弁室３ＦＹに、第８開口部キャップ８０Ｙ（図１０）が取付けられている。第３弁室３ＧＹに、第１０開口部キャップ１００Ｙ（図１２）が取付けられている。第４弁室３ＨＹに、第９開口部キャップ９０Ｖ（図１１）が取付けられている。第５弁室３ＩＹに、第７開口部キャップ７０Ｖ（図９）が取付けられている。
図１８に示す、第１弁室３ＥＹ乃至第５弁室３ＩＹの開口部キャップ及び弁アクチュエータを薬液マニホールドの使用態様により、図１６や、図１７に示す開口部キャップや弁アクチュエータに自由に取替えすることができる。
【００４７】
以上のように、図１８に示す使用例１の開口部キャップを、その他使用例で示さなかった第８開口部キャップ８０乃至第１０開口部キャップ１００等に交換することにより、薬液マニホールドの仕様を容易に変えること、及び、流体の流れを容易に替えることができる。
上記使用例以外においても、形状の異なる流路を持った第８開口部キャップ８０乃至第１０開口部キャップ１００の開口部キャップ、又は弁アクチュエータ５、のいずれか１つをマニホールドブロック３に取付けることにより薬液マニホールドの流路変更及び回路変更を容易に行うことができる。
また、圧力センサを取付可能な開口部キャップ９０、１００を使用することで、第１流路乃至第３流路が備えられるマニホールドブロック３の上面から圧力センサ等の設置を行うことができる。そのため、圧力センサ等の設置を容易に行うことができる。また、マニホールドブロック３の上部スペースを有効に利用できるため、省スペース化できるメリットがある。
また、弁アクチュエータ５を追加して流路変更及び回路変更を行う時には、開口部キャップを取り外し、弁アクチュエータ５を取付けることで、容易に流路変更及び回路変更を行うことができる。また、弁アクチュエータ５を使用しないときには取外して、開口部キャップを取付けることで、弁アクチュエータ５の無駄を減らすことができるため、コスト削減を図ることができる。
【００４８】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で色々な応用が可能である。
例えば、上記使用例においては、第１実施形態の第１開口部キャップ１０乃至第７開口部キャップ７０と第２実施形態の第８開口部キャップ８０乃至第１０開口部キャップ１００を分けて取付を行っているが、混合して取付けることもできる。
また、第１実施形態における第１開口部キャップ１０乃至第７開口部キャップ７０に対応する第２実施形態における開口部キャップも考えられる。
第２開口部キャップ２０乃至第６開口部キャップ６０の連通路挿入部には、大連通路挿入部及び小連通路挿入部を設けたが、第１開口部キャップ１０のように、段差のない連通路挿入部であってもよい。
第１開口部キャップ１０は、第２開口部キャップ２０及び第６開口部キャップ６０のように、連通路挿入部に大連通路挿入部及び小連通路挿入部を設けたものであってもよい。
図１９及び図２０において、第３開口部キャップ３０についてのみ、圧力センサ１９を取付けた図を示したが、第４開口部キャップ４０、第５開口部キャップ５０、第７開口部キャップ７０、第９開口部キャップ９０、第１０開口部キャップ１００についても、第３開口部キャップ３０と同様に圧力センサ１９を取付けることができる。
【符号の説明】
【００４９】
１      薬液マニホールド
２      マニホールドベース
２Ａ    第２流路
２Ｂ    第３流路
２Ｃ    マニホールドベース第１連通路
２Ｄ    マニホールドベース第２連通路
３      マニホールドブロック
３Ａ１、３Ａ２、３Ａ３    第１流路
３Ｃ    マニホールドブロック第１連通路
３Ｄ    マニホールドブロック第２連通路
３Ｅ    第１弁室
３Ｅ１  第１弁室開口部
３Ｆ    第２弁室
３Ｆ１  第２弁室開口部
１０    第１開口部キャップ
１１    連通路挿入部
１２    円板部
２０    第２開口部キャップ
２８    第１流路シール部材
３０    第３開口部キャップ
４０    第４開口部キャップ
５０    第５開口部キャップ
６０    第６開口部キャップ
７０    第７開口部キャップ
８０    第８開口部キャップ
９０    第９開口部キャップ
１００  第１０開口部キャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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