(57)【要約】      （修正有）【課題】複数成分からなる洗浄液を効率よく再生することができ、しかも簡易かつ小型の洗浄液再生装置およびこれを用いてなる循環洗浄装置を提供する。【解決手段】使用済洗浄液３０を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気を生成するとともに、当該洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液１５とするための生成部１３と、再生洗浄液１５を連続的に回収するための回収部１３と、を備えた洗浄液再生装置１０等であって、生成部１３は、加熱するための蒸発部３１と、洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液１５とするための冷却部４１と、蒸発部および冷却部をつなぐ連結部と、を備えており、連結部の開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、蒸発部を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式で定義される洗浄液蒸気の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とする。洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数成分からなる使用済洗浄液を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気を生成するとともに、当該洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための生成部と、
前記再生洗浄液を連続的に回収するための回収部と、を備えた洗浄液再生装置であって、
前記生成部は、
前記使用済洗浄液を収容するとともに、加熱するための蒸発部と、
前記洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための冷却部と、
前記蒸発部および前記冷却部をつなぐ連結部と、
を備えており、
前記連結部の開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、前記蒸発部を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする洗浄液再生装置。
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
【請求項２】
前記連結部の開口面積（Ａ）を１００〜３,０００,０００ｍｍ2の範囲内の値とすることを特徴とする請求項１に記載の洗浄液再生装置。
【請求項３】
前記ヒータ容量（Ｂ）を０．１〜１００ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄液再生装置。
【請求項４】
前記洗浄液蒸気に水蒸気が含まれる場合、当該水蒸気の移動速度を０．０２〜６ｍ／ｓｅｃの範囲内の値とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の洗浄液再生装置。
【請求項５】
前記回収部は、
前記再生洗浄液が貯留された洗浄液タンクと、
前記再生洗浄液を外部に取り出すための洗浄液取出部と、
前記再生洗浄液を循環ポンプにより循環流動させる循環経路と、
前記循環経路の途中に設けられ、前記再生洗浄液が流動することで負圧を生じる吸引部と、
前記吸引部及び生成部の間を連通する減圧経路と、を備えているとともに、
前記吸引部の負圧によって、前記減圧経路を介して、前記生成部を減圧状態とするとともに、前記貯留部から、前記再生洗浄液を吸引して、前記循環経路に導入することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の洗浄液再生装置。
【請求項６】
前記生成部における冷却部が、前記蒸発部の直上に設けてあるとともに、それぞれ同一の筐体内部に設けてあることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の洗浄液再生装置。
【請求項７】
前記生成部の圧力を−０．０１〜−０．１ＭＰａの範囲内の値とすることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の洗浄液再生装置。
【請求項８】
前記洗浄液が、水を含むとともに、当該水の含有量を、全体量に対して、４０〜７０重量％の範囲内の値とすることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の洗浄液再生装置。
【請求項９】
再生洗浄液により被洗浄物を洗浄可能であるとともに、洗浄後の使用済洗浄液を生成部へ供給可能な洗浄装置と、再生洗浄液を生成する洗浄液再生装置と、を備えた循環洗浄装置であって、
前記洗浄液再生装置が、
複数成分からなる使用済洗浄液を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気を生成するとともに、当該洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための生成部と、
前記再生洗浄液を連続的に回収するための回収部と、を備えており、
前記生成部は、
前記使用済洗浄液を収容するとともに、加熱するための蒸発部と、
前記洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための冷却部と、
前記蒸発部および前記冷却部をつなぐ連結部と、
を備えており、
前記連結部の開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、前記蒸発部を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする循環洗浄装置。
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
【請求項１０】
前記回収部は、
前記再生洗浄液が貯留された洗浄液タンクと、
前記再生洗浄液を外部に取り出すための洗浄液取出部と、
前記再生洗浄液を循環ポンプにより循環流動させる循環経路と、
前記循環経路の途中に設けられ、前記再生洗浄液が流動することで負圧を生じる吸引部と、
前記吸引部及び生成部の間を連通する減圧経路と、を備えているとともに、
前記吸引部の負圧によって、前記減圧経路を介して、前記生成部を減圧状態とすることを特徴とする請求項９に記載の循環洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液再生装置及び循環洗浄装置に関し、特に、複数成分からなる水系洗浄液であっても、複数成分からなる相分離状態の洗浄液であっても、それぞれ効率的に再生するための洗浄液再生装置及び、このような洗浄液再生装置を備えてなる循環洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数成分からなる洗浄液を用いて金属電子部品やプリント配線基板等の被洗浄物を洗浄したときに生成される使用済洗浄液を再生するための洗浄液再生装置が各種提案されている。
【０００３】
例えば、蒸留再生装置を用いた連続蒸留再生システムであって、一定組成の多成分系洗浄液を連続的に循環させて浄化する連続蒸留再生システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
より具体的には、図１５に示すように、洗浄液を有する洗浄槽１０１、１０２と、蒸留再生装置１０３と、これらを接続する配管とからなり、一定組成の多成分系洗浄液を洗浄槽１０１、１０２に収容しているとともに、蒸留再生装置１０３に予め多成分系洗浄液の気液平衡図から求めた蒸留装置からの留出液組成が洗浄液と同一組成となるように調整された多成分系洗浄液を規定量収容した連続蒸留再生システムである。
そして、洗浄槽１０１、１０２と、蒸留再生装置１０３とがそれぞれ逆流防止弁１０６、１０８、１１３を設置した配管で接続されており、蒸留再生装置１０３では、液槽部１０３ａの洗浄液の液面を一定に保持する液面調整装置１１０を備えて留出量と流入量が調整されるとともに、蒸留再生装置１０３からの一定組成の多成分系洗浄液留出液を洗浄槽１０２へ供給し、洗浄槽１０１からの過剰の洗浄液を蒸留再生装置１０３内へ還流させて、一定組成の多成分系洗浄液が連続的に循環させて浄化する連続蒸留再生システムである。
【０００４】
また、非水系溶剤等からなる洗浄液を再生するための減圧蒸留装置として、エゼクタを具備した減圧蒸留装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
より具体的には、図１６に示すように、被処理液を減圧下で加熱蒸発させる蒸留釜２０１と、被処理液の蒸気を凝縮液化する冷却器２１９と、凝縮液化した留出液を、貯液タンク２３１およびポンプ２３３を介して循環させる循環系２３２に介挿され、蒸留釜２０１の内部を減圧するためのエゼクタ２３４、とを具備した減圧蒸留装置２００が提案されている。
また、好適態様として、蒸留釜２０１と、冷却器２１９と、の間に、熱交換器２２６が備えてあり、また、貯液タンク２３１には、非水系溶剤に含まれる水分を除去するための水分分離器２３７を備えている。
【特許文献１】特許第２５７７８５７号公報
【特許文献２】特開平７−１３６４０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された連続蒸留再生システムでは、減圧蒸留を考慮していないことから、配合組成を変えずに十分量の洗浄液を得るためには、蒸留時間が長くなり易く、また、十分量の洗浄液を再生するためには、蒸留再生装置が大型化し易いという問題点が見られた。
【０００６】
また、特許文献２に開示された減圧蒸留装置は、エゼクタを用いた減圧蒸留によって、蒸留時間を短縮できるものの、複数成分からなる洗浄液を対象としていないばかりか、それらにおける移動速度や気液平衡等を全く考慮していないために、蒸発タンクにおいて突沸現象が生じたり、得られる洗浄液の配合組成が変化したりするという問題が見られた。
特に、蒸留釜から取り出した蒸気を、離間して配置された冷却器にそのまま導入して、液化させるために、蒸発タンクにおける圧力が過剰となって、突沸現象が生じたり、気液平衡が維持できなかったりするという問題が見られた。
その上、本来、非水系溶剤を対象としているばかりか、貯液タンクに、水分分離器を設けた場合には、水系溶剤を適用できないという問題も見られた。
【０００７】
そこで、本願発明によれば、洗浄液蒸気の移動速度を考慮するとともに、気相としての洗浄液蒸気と、その液相との間の気液平衡を利用した減圧蒸留によって、非水系溶剤はもちろんのこと、水系溶剤であっても、さらには、静置状態では相分離し、洗浄時に白濁状態となる複数成分からなる洗浄液であっても、初期配合組成を実質的に維持しながら効率的に再生可能な洗浄液再生装置を提供することを目的とする。
また、本願発明によれば、気液平衡を利用した減圧蒸留を行う洗浄液再生装置を備えることによって、複数成分からなる洗浄液を長期間にわたって安定的に循環使用可能な循環洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、複数成分からなる使用済洗浄液を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気を生成するとともに、当該洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための生成部と、再生洗浄液を連続的に回収するための回収部と、を備えた洗浄液再生装置であって、生成部は、使用済洗浄液を収容するとともに、加熱するための蒸発部と、洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための冷却部と、蒸発部および冷却部をつなぐ連結部と、を備えており、連結部の開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、蒸発部を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする洗浄液再生装置が提供され、上述した問題点を解決することができる。
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
【０００９】
すなわち、本願発明の洗浄液再生装置によれば、洗浄液蒸気の移動速度を考慮するとともに、気相としての洗浄液蒸気と、その液相との間の気液平衡を利用した減圧蒸留を行うように構成することによって、非水系溶剤はもちろんのこと、水系溶剤であっても、さらには、静置状態では相分離し、洗浄時に白濁状態となる複数成分からなる洗浄液であっても、初期配合組成を実質的に維持し、かつ、突沸現象を防止しながら、洗浄液を効率的に再生することができる。
なお、本願発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、生成部において洗浄液を加熱して、洗浄液蒸気を生成するに際し、蒸発部において、当該洗浄液蒸気と同種の配合組成であって、かつ、気液平衡図から算出した配合の複数成分からなる蒸留元液を、予め収容しておくことが好ましい。
【００１０】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、連結部の開口面積（Ａ）を１００〜３,０００,０００ｍｍ2の範囲内の値とすることが好ましい。
このように連結部の開口面積（Ａ）を所定範囲内の値に制限することにより、洗浄液蒸気の移動速度の制御がさらに容易になって、気液平衡を利用した減圧蒸留において、突沸現象を有効に防止することができる。
また、このような連結部の開口面積（Ａ）であれば、洗浄液再生装置が過度に大きくなることを防止し、洗浄装置への取付けが容易な適当サイズの洗浄液再生装置とすることができる。
【００１１】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、ヒータ容量（Ｂ）を０．１〜１００ｋＷの範囲内の値とすることが好ましい。
このようにヒータ容量（Ｂ）を所定範囲内の値に制限することにより、洗浄液蒸気の移動速度の制御がさらに容易になって、気液平衡を利用した減圧蒸留においても、突沸現象を有効に防止することができる。
また、このようなヒータ容量（Ｂ）であれば、消費電力が過度に大きくなることを防止し、経済性にも優れた洗浄液再生装置とすることができる。
【００１２】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、洗浄液蒸気に水蒸気が含まれる場合、当該水蒸気の移動速度を０．０２〜６ｍ／ｓｅｃの範囲内の値とすることが好ましい。
このように水蒸気の移動速度を所定範囲内の値に制限することにより、気液平衡を利用した減圧蒸留において、非水系溶剤はもちろんのこと、水系溶剤であっても、突沸現象をさらに有効に防止することができる。
【００１３】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、回収部は、再生洗浄液が貯留された洗浄液タンクと、再生洗浄液を外部に取り出すための洗浄液取出部と、再生洗浄液を循環ポンプにより循環流動させる循環経路と、循環経路の途中に設けられ、再生洗浄液が流動することで負圧を生じる吸引部と、吸引部及び生成部の間を連通する減圧経路と、を備えているとともに、吸引部の負圧によって、減圧経路を介して、生成部を減圧状態とするとともに、再生洗浄液を吸引して、循環経路に導入することが好ましい。
このように回収部を構成することによって、生成部内を直接的に減圧するための真空ポンプや、排出される気体を気液分離する手段等を用いる必要がないことから、簡易かつ小型化した洗浄液再生装置を提供することができる。
【００１４】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、生成部における冷却部が、蒸発部の直上に設けてあるとともに、それぞれ同一の筐体内部に設けてあることが好ましい。
このように生成部を構成することによって、冷却部と、蒸発部との間の距離を可及的に短くして、洗浄液蒸気の移動速度の制御のみならず、減圧下の気液平衡状態の維持も容易になって、複数成分からなる所定配合の洗浄液をさらに効率的に再生することができる。
また、生成部における冷却部と、蒸発部とが、同一の筐体内部に設けてあることから、さらに簡易かつ小型化した洗浄液再生装置を提供することができる。
【００１５】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、生成部の圧力を−０．０１〜−０．１ＭＰａの範囲内の値とすることが好ましい。
このように生成部の圧力を所定範囲内の値に制限することによって、生成部における減圧蒸留を効率的に行うことができるとともに、洗浄液蒸気の移動速度や、沸点が大きく異なる配合組成における気液平衡状態を安定的に維持することができる。
【００１６】
また、本発明の洗浄液再生装置を構成するにあたり、洗浄液が、水を含むとともに、当該水の含有量を、全体量に対して、４０〜７０重量％の範囲内の値とすることが好ましい。
このように構成することによって、生成部における減圧蒸留を効率的に行うとともに、所定の水系洗浄液を用いた場合においても、生成部における気液平衡状態を安定的に維持することができる。
【００１７】
また、本発明の別の態様は、再生洗浄液により被洗浄物を洗浄可能であるとともに、洗浄後の使用済洗浄液を生成部へ供給可能な洗浄装置と、再生洗浄液を生成する洗浄液再生装置と、を備えた循環洗浄装置であって、洗浄液再生装置が、複数成分からなる使用済洗浄液を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気を生成するとともに、当該洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための生成部と、再生洗浄液を連続的に回収するための回収部と、を備えており、生成部は、使用済洗浄液を収容するとともに、加熱するための蒸発部と、洗浄液蒸気を凝縮して、再生洗浄液とするための冷却部と、蒸発部および冷却部をつなぐ連結部と、を備えており、連結部の開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、蒸発部を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする循環洗浄装置である。
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
【００１８】
すなわち、本願発明の循環洗浄装置によれば、所定の洗浄液再生装置を備えていることによって、使用済洗浄液を減圧状態で、かつ突沸現象を防止しながら、安定的に蒸発させるとともに、気液平衡状態を利用して、非水系溶剤はもちろんのこと、水系溶剤であっても、さらには、静置状態では相分離し、洗浄時に白濁状態となる複数成分からなる洗浄液であっても、所定配合の洗浄液を効率的に回収するとともに、そのように回収した再生洗浄液を用いて、被洗浄物を安定的に洗浄することができる。
【００１９】
また、本発明の循環洗浄装置を構成するにあたり、回収部は、再生洗浄液が貯留された洗浄液タンクと、再生洗浄液を外部に取り出すための洗浄液取出部と、再生洗浄液を循環ポンプにより循環流動させる循環経路と、循環経路の途中に設けられ、再生洗浄液が流動することで負圧を生じる吸引部と、吸引部及び生成部の間を連通する減圧経路と、を備えているとともに、吸引部の負圧によって、減圧経路を介して、生成部を減圧状態とすることが好ましい。
このような回収部を有する洗浄液再生装置を備えることによって、生成部内を直接的に減圧するための真空ポンプや、排出される気体を気液分離する手段等を省略できることから、簡易かつ小型化した洗浄液再生装置を備えた循環洗浄装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本願発明の洗浄液再生装置を説明するために供する概略図である。
【図２】洗浄液の２成分（ＮＭＰとＢＦＧ）の理想溶液とした場合に、洗浄液再生装置の稼働条件下における液相組成と気相組成との相関を示す図である。
【図３】洗浄液の２成分（ＮＭＰと水）の理想溶液とした場合に、洗浄液再生装置の稼働条件下における液相組成と気相組成との相関を示す図である。
【図４】洗浄液の２成分（水とＢＦＧ）の理想溶液とした場合に洗浄液再生装置の稼働条件下における液相組成と気相組成との相関を示す図である。
【図５】洗浄液蒸気の移動係数と、蒸発部の圧力との関係を説明するために供する図である。
【図６】洗浄液蒸気の移動係数と、水蒸気の移動速度との関係を説明するために供する図である。
【図７】本願発明の循環洗浄装置を説明するために供する概略図である。
【図８】本願発明の別の循環洗浄装置を説明するために供する概略図である。
【図９】第１の有機溶剤の配合量の、洗浄性に対する影響を説明するために供する図である。
【図１０】第２の有機溶剤の配合量の、洗浄性に対する影響を説明するために供する図である。
【図１１】第３の有機溶剤の配合量の、洗浄性に対する影響を説明するために供する図である。
【図１２】第３の有機溶剤の配合量の、乾燥性に対する影響を説明するために供する図である。
【図１３】第３の有機溶剤の配合量の、引火点に対する影響を説明するために供する図である。
【図１４】水の配合量の、洗浄性に対する影響を説明するために供する図である。
【図１５】従来の循環洗浄装置を説明するために供する概略図である。
【図１６】従来の別の循環洗浄装置を説明するために供する概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［第１の実施形態］
第１の実施形態は、図１に示すように、複数成分からなる使用済洗浄液３０を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気１５´を生成するとともに、当該洗浄液蒸気１５´を凝縮して、再生洗浄液１５とするための生成部１３と、再生洗浄液１５を連続的に回収するための回収部２３と、を備えた洗浄液再生装置１０であって、生成部１３は、使用済洗浄液３０を収容するとともに、加熱するための蒸発部３１と、洗浄液蒸気１５´を凝縮して、再生洗浄液１５とするための冷却部４１と、蒸発部３１および冷却部４１をつなぐ連結部４１ｃと、を備えており、連結部４１ｃの開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、蒸発部３１を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気１５´の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする洗浄液再生装置１０である。
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
以下、第１の実施形態の洗浄液再生装置１０について、図１等を適宜参照しながら、具体的に説明する。
【００２２】
１．洗浄液
（１）種類１
図１等において、洗浄液再生装置１０で処理対象とする多成分からなる使用済洗浄液３０としては、少なくとも二成分以上、好ましくは三成分以上の洗浄剤成分が混合された混合溶液からなる。
このような洗浄成分の種類としては、被洗浄物に応じて適宜選択することが可能である。
より具体的には、水、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール（ＭＭＢ）、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート（ＭＭＢＡＣ）、３−メトキシブチルアセテート（メトアセ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＭＡ）、プロピレングリコールモノプロピルエーテル（ＰＦＧ）、プロピレングリコールジアセテート（ＰＧＤＡ）、エチレングリコールモノイソブチルエーテル（ｉＢＧ）、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル（ｉＰＧ）、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＧＡＣ）、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＢＦＧ）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（ＤＭＦＤＧ）、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル（ＢＦＤＧ）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＭＦＤＧ）、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル（ＨｅＤＧ）、ジエチレングリコールジエチルエーテル（ＤＥＤＧ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）、Ｎ，Ｎ−ジエチルイソパノールアミン（２ＦＡ）、Ｎ−エチルエタノールアミン（ＭＥＭ）、Ｎ−メチルエタノールアミン（ＭＭＡ）、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン（２Ａ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン（２Ｍａｂｓ）、２−エチルヘキシルアミン（２ＥＨＡ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン（ＤＭＢＡＮ）、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−エチルホルムアミド、１−デセン、１−ドデセン、リモネン、シメン、アニソール、フルフラール、２−ヘプタノン、２−オクタノン、フルフリルアルコール（ＦＦＡＬ）、プロピレングリコール（ＰＧ）、テトラヒドロフルフリルアルコール（ＴＨＦＦＡＬ）、１−ヘキサノール、１−ヘプタノール、ジブチルアミン（ＤＢＡ）、ベンジルアルコール（ＢＡＬ）、ベンジルアミン（ＢＡＮ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、ジエタノールアミン（ＤＥＡ）、モノイソパノールアミン（ＭＩＰＡ）、プソイドクメン（クメン）、ｎ−デカン（デカン）等の一種単独または二種以上の組み合わせが例示される（かっこ内は略号である。）。
【００２３】
したがって、洗浄液再生装置で処理対象とする多成分からなる洗浄液（使用済洗浄液）の好適な組み合わせとして、クメン、デカンの組み合わせ、ＢＡＬ、ＨｅＤＧ、ＤＥＡの組み合わせ、ＢＡＬ、ＤＥＡの組み合わせ、ＰＦＧ、ＤＭＡＣ、水の組み合わせ、ＰＭＡ、ＤＭＡＣ、水の組み合わせ、ＰＭＡ、ＰＦＧ、ＮＭＰ、水の組み合わせ、メトアセ、ＰＦＧ、ＮＭＰ、水の組み合わせ、ＭＭＢＡＣ、ＰＦＧ、ＮＭＰ、水の組み合わせ、ＢＡＮ、ＢＡＬ、ＢＧＡＣ、ＭＩＰＡ、水の組み合わせ、デカン、ＢＡＮ、ＢＡＬ、ＢＧＡＣ、ＭＩＰＡ、水の組み合わせ、ＰＭＡ、メトアセ、ＰＧＤＡ、ＭＭＢ、ＤＭＳＯ、ＮＭＰ、水の組み合わせ、ＭＥＭ、ｉＢＧ、ＢＦＧ、水の組み合わせ、ｉＢＧ、ＢＦＧ、水の組み合わせ、ＭＥＭ、１−デセン、ＮＭＰ、１−ヘキサノール、ＭＡＫの組み合わせ、ＤＭＢＡＮ、アニソール、ＢＡＬ、水の組み合わせ、２ＦＡ、１−デセン、ｉＢＧの組み合わせ、ＭＭＢ、ＭＥＭ、水の組み合わせ、ＰＦＧ、水の組み合わせ等が挙げられる。
なお、相分離し、白濁状態で洗浄する洗浄剤組成物の例も一部含むが、第２の実施形態で詳細に説明する。
【００２４】
２．生成部
（１）基本的構成
また、図１に示す生成部１３は、使用済洗浄液（以下、蒸留元液と称する場合がある。）３０を収容するとともに、当該蒸留元液３０を加熱手段３１ａによって加熱するための蒸発部３１と、洗浄液蒸気１５´を凝縮して、再生洗浄液１５とするための冷却部４１と、蒸発部３１および冷却部４１をつなぐ連結部４１ｃと、を備えている。
そして、生成部１３の減圧状態において、蒸発部３１に貯留された蒸留元液３０と、洗浄液蒸気１５´（すなわち、得られた再生洗浄液１５）と、が気液平衡状態にある構成である。
なお、生成部１３は、図示しない被洗浄物を洗浄することによって、蒸発部３１内に蓄積された固体又は液体などの汚染物質を、バルブ３７ａを介して、外部に取り出すための排出部３７と、を備えており、安定的な再生ができるように構成されている。
【００２５】
（２）蒸留元液
また、図１に示す蒸留元液３０は、使用前の洗浄液（再生洗浄液）を構成する全ての配合成分を含有しているものの、かかる洗浄液とは異なる配合組成を有しており、生成部１３の温度及び圧力条件下で、蒸発して生成される洗浄液蒸気１５´が、再生洗浄液１５と等しい配合となるように、予め調製された液体物である。
すなわち、蒸留元液３０は、生成部１３の稼働条件において、かかる蒸留元液３０と、再生洗浄液１５の組成を有する洗浄液蒸気１５´との間で、気液平衡状態が成立する配合組成の液体物である。
なお、蒸留元液に対して使用済洗浄液が供給されて混合された場合であっても、洗浄液再生装置の定常状態においては、その混合物を蒸留元液と称呼する場合もあるし、あるいは、使用済洗浄液と称呼する場合もある（以下、同様である。）。
【００２６】
また、蒸留元液３０の配合組成を設定するには、生成部１３の稼働条件下で、予備試験等を繰り返すことで行うことも可能であるが、例えば、所望の組成の洗浄液に対し、洗浄液を構成する各成分の理想溶液の気液平衡図等に基づいて算出することも可能である。
【００２７】
ここで、２成分からなる洗浄液を対象として、蒸留元液３０の配合組成を算出する場合、２成分からなる洗浄液の気液平衡図を予めもとめ、その気体における配合が、洗浄液の配合成分となる場合の液相における混合割合をそれぞれ求めて、それを蒸留元液とするものである。
例えば、図２に示すように、洗浄液再生装置の稼働条件下におけるＮＭＰ−ＢＦＧ溶液の液相組成と、気相組成との相関を示す気液平衡図（ＮＭＰ−ＢＦＧのＸＹ線図）に基づいて、気相組成が、所望の洗浄剤としてのＮＭＰ−ＢＦＧ溶液の混合割合と一致する場合の液相における混合割合をそれぞれ求めて、それを蒸留元液とするものである。
同様に、図３に示すように、洗浄液再生装置の稼働条件下におけるＨ2Ｏ−ＮＭＰ溶液の液相組成と、気相組成との相関を示す気液平衡図（Ｈ2Ｏ−ＮＭＰのＸＹ線図）に基づいて、気相組成が、所望の洗浄剤としてのＨ2Ｏ−ＮＭＰ溶液の混合割合と一致する場合の液相における混合割合をそれぞれ求めて、それを蒸留元液とするものである。
さらに、図４に示すように、洗浄液再生装置の稼働条件下におけるＨ2Ｏ−ＢＦＧ溶液の液相組成と、気相組成との相関を示す気液平衡図（Ｈ2Ｏ−ＢＦＧのＸＹ線図）に基づいて、気相組成が、所望の洗浄剤としてのＨ2Ｏ−ＢＦＧ溶液の混合割合と一致する場合の液相における混合割合をそれぞれ求めて、それを蒸留元液とするものである。
【００２８】
なお、上述したように、複数成分からなる蒸留元液の場合、周囲温度や圧力が多少変化した場合であっても、それらの複数成分からなる洗浄液蒸気との間の気液平衡状態はほとんど変化せずに、安定していることが別途判明している。
より具体的には、蒸留元液が、例えば、Ａ成分：Ｂ成分：Ｃ成分が、常温、条圧において、重量比でＡ：Ｂ：Ｃで存在している場合、それが、高温として、例えば、５０〜２００℃、低圧として、例えば、−０．０１〜−０．１ＭＰａにおいても、Ａ成分：Ｂ成分：Ｃ成分の重量比が、略Ａ：Ｂ：Ｃとなることが判明している。
【００２９】
また、３成分以上からなる洗浄液を対象とする場合であっても、複数成分からなる洗浄液のうち、一つの成分を基準成分とし、他の配合成分との間の気液平衡図から、この基準成分と、他の配合成分との洗浄液中の混合割合をそれぞれ求めることによって、３成分以上からなる蒸留元液３０の配合組成を決定することができる。
すなわち、基準成分と、他の各成分との２成分系の理想溶液を仮定し、それぞれの気液平衡図から、その混合割合の蒸気が得られる液組成をそれぞれ求める。
【００３０】
次いで、２成分系の理想溶液について求めた基準成分に対する他の各成分の液組成を、洗浄液中の存在割合に対応させて全量が１００％となるように組み合わせ、必要に応じ実際の洗浄液再生装置に適用するための補正を行うことによって、蒸留元液としての配合組成を決定することができる。
具体的には、Ａ成分、Ｂ成分、Ｃ成分の配合割合が、それぞれの合計量を１００重量％としたときに、Ｙａ（重量％）：Ｙｂ（重量％）：Ｙｃ（重量％）となる洗浄液の場合、Ａ成分を基準成分とし、Ａ成分とＢ成分との２成分系の理想溶液（Ａ−Ｂ溶液）と、Ａ成分とＣ成分との２成分系の理想溶液（Ａ−Ｃ溶液）とを仮定する。
その場合、Ａ−Ｂ溶液における混合割合は、Ｙａ／（Ｙａ＋Ｙｂ）、Ｙｂ／（Ｙａ＋Ｙｂ）となり、Ａ−Ｃ溶液における混合割合は、Ｙａ／（Ｙａ＋Ｙｃ）、Ｙｃ／（Ｙａ＋Ｙｃ）となる。
【００３１】
次に、蒸留元液におけるＡ成分の配合割合を、Ａ−Ｂ溶液の気液平衡図および下式（２）から算出する。
【００３２】
【数１】
2010188338.tif 000003
【００３３】
ここで、Ｙａは、洗浄装置における洗浄液からなる気相中のＡ成分の配合割合である。したがって、例えば、洗浄液におけるＡ成分の配合割合が１．８重量％の場合には、Ｙａ＝１．８となる。
また、液相中のＡ成分の配合割合は、再生槽におけるＡ成分と、Ｂ成分の合計量に対するＡ成分の配合割合（Ｙａ／（Ｙａ＋Ｙｂ））を意味する。したがって、洗浄液中におけるＡ成分：Ｂ成分の重量比率が、例えば、８３：１７の場合、再生槽における洗浄液からなる液相中のＡ成分の配合割合は、０．１７となる。
【００３４】
また、気相中のＡ成分の配合割合は、Ａ−Ｂ溶液の気液平衡図から、液相中のＡ成分の配合割合に対して求めた値である。したがって、例えば、再生槽における洗浄液からなる液相中のＡ成分の配合割合が０．１７であって、Ａ−Ｂ溶液の気液平衡図において、その数値に対応した気相の値が０．３８である場合、この０．３８を洗浄槽における洗浄液からなる気相中のＡ成分の配合割合とするものである。
【００３５】
さらに、補正係数は、暫定的に、補正係数を１として算出したＡ成分の配合割合Ｙａ´（％）と、同様に、Ａ−Ｂ溶液の気液平衡図および下式（３）（補正係数は１と仮定）から算出したＢ成分の配合割合Ｙｂ´（％）と、Ａ−Ｃ溶液の気液平衡図および下式（４）（補正係数は１と仮定）から算出したＣ成分の配合割合Ｙｃ´（％）から、下式（５）に準じて、算出するものである。
【００３６】
【数２】
2010188338.tif 000004
【００３７】
【数３】
2010188338.tif 000005
【００３８】
補正係数＝（Ｙａ´＋Ｙｂ´＋Ｙｃ´）／１００                      （５）
【００３９】
このようにして配合割合が決定された液体を蒸留元液とすることにより、洗浄液再生装置１０の稼働中には、各配合成分が、蒸発部３１から連続的に、再生洗浄液１５の配合組成を有する洗浄液蒸気１５´として、それぞれ連続的に蒸発することになる。そして、所定時間経過し、洗浄液再生装置１０が定常状態になって、蒸発部３１に、配管１７ｂから使用済洗浄液が所定量で連続的に供給されるとともに、蒸留元液３０の配合組成は、略一定に維持されることになる。
【００４０】
（３）冷却部
また、生成部１３における冷却部４１は、蒸発タンク等を含む蒸発部３１の上方に一体的に設けられており、蒸発部３１で生成された洗浄液蒸気１５´を凝縮するための部位である。
したがって、蒸発部３１、例えば、蒸発タンクからの蒸気が上昇し、それが冷却管４１ａにより冷却されて、流下してなる凝縮液を、貯留部４１ｂに、一時的に集めたのち、それを吸引部４９によって導くように構成されている。
そのため、生成部１３における冷却部４１が、蒸発部３１の直上に設けてあることが好ましい。
すなわち、このように生成部１３における冷却部４１の位置を考慮することによって、冷却部４１と、蒸発部３１と、の間の距離を比較的短くして、蒸発部３１から上方に蒸発した洗浄液蒸気１５´が、すぐに液化されることから、生成部１３における気液平衡状態をさらに安定的に維持することができるためである。
【００４１】
（４）連結部
また、図１に示すように、生成部１３における冷却部４１と、蒸発部３１との間に、連結部４１ｃが設けてあり、当該連結部４１ｃに設けてある開口部４１ｄを介して、洗浄液蒸気１５´が、蒸発部３１から、冷却部４１に移動するように構成することが好ましい。
この理由は、連結部４１ｃによって、冷却部４１と、蒸発部３１と、が明確に分けられるとともに、連結部４１ｃにおける開口部４１ｄの開口面積を制御することによって、洗浄液蒸気１５´の移動速度を制御することができ、結果として、蒸発部３１における洗浄液の突沸現象を有効に防止できるためである。
【００４２】
そして、連結部４１ｃの開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、蒸発部３１を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気１５´の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とするものである。
【００４３】
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
【００４４】
この理由は、図５に示すように、洗浄液（洗浄液蒸気）１５´の移動係数が、１００ｍｍ2／ｋＷ未満となると、蒸発部の圧力が著しく大きくなって、蒸留元液３０が突沸しやすくなるためである。
また、図６に示すように、洗浄液（洗浄液蒸気）１５´の移動係数が、１００ｍｍ2／ｋＷ未満となると、水蒸気の移動速度も著しく大きくなって、水系洗浄剤の場合、蒸留元液３０がさらに突沸しやすくなるためである。
一方、図５に示すように、洗浄液（洗浄液蒸気）１５´の移動係数が、３０,０００ｍｍ2／ｋＷを超えた値になると、蒸発部の圧力は小さくなって、蒸留元液３０の突沸が防止できるものの、連結部４１ｃの開口部の面積が過度になって、洗浄液再生装置が大型化しやすくなるためである。
同様に、図６に示すように、洗浄液（洗浄液蒸気）１５´の移動係数が、５,０００ｍｍ2／ｋＷを超えた値になると、水蒸気の移動速度も小さくなって、水系洗浄剤の場合であっても、蒸留元液３０の突沸が防止できるものの、連結部４１ｃの開口部の面積が過度になって、洗浄液再生装置が大型化しやすくなるためである。
したがって、洗浄液（洗浄液蒸気）１５´の移動係数Ｃを１,０００〜２０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることが好ましく、１,０００〜５,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００４５】
また、洗浄液再生装置において、連結部の開口面積（Ａ）を１００〜３,０００,０００ｍｍ2の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、このように連結部の開口面積（Ａ）を所定範囲内の値に制限することによって、洗浄液蒸気の移動速度の制御がさらに容易になって、気液平衡を利用した減圧蒸留において、突沸現象を有効に防止することができるためである。
また、このような連結部の開口面積（Ａ）であれば、洗浄液再生装置が過度に大きくなることを防止し、洗浄装置への取付けが容易な適当サイズの洗浄液再生装置とすることができるためである。
したがって、洗浄液再生装置において、連結部の開口面積（Ａ）を１,０００〜１,０００,０００ｍｍ2の範囲内の値とすることがより好ましく、１０,０００〜１５０,０００ｍｍ2の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００４６】
また、洗浄液蒸気に水蒸気が含まれる場合、連結部における開口部での水蒸気の移動速度を０．０２〜６ｍ／ｓｅｃの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、このように水蒸気の移動速度を所定範囲内の値に制限することにより、気液平衡を利用した減圧蒸留において、非水系溶剤はもちろんのこと、水系溶剤であっても、突沸現象をさらに有効に防止することができるためである。
したがって、連結部における開口部での水蒸気の移動速度を０．０３〜０．６ｍ／ｓｅｃの範囲内の値とすることがより好ましく、０．１〜０．６ｍ／ｓｅｃの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００４７】
（５）加熱手段
また、図１に示す生成部１３における加熱手段３１ａは、蒸発槽３１に貯留された蒸留元液３０を所定温度に維持可能な熱量を供給するものである。
したがって、例えば、加熱用蒸気が通気されることで蒸留元液３０を加熱可能な蒸気流路や加熱ヒータなどから構成される。
また、このような加熱手段３１ａは、蒸発槽３１内の液量が一定又は略一定に維持される場合には、一定の熱量を供給するものであってもよく、あるいは、蒸発槽３１内の液量が経時的に変動する場合や、配管１７ｂから供給される使用済洗浄液の温度が経時的に変動する場合には、液量や温度に応じて熱量を調整可能なものであってもよい。
さらに、図示しない温度センサ等を用いて、供給する熱量を調整するように構成することも可能である。
【００４８】
また、加熱手段に関し、ヒータ容量（Ｂ）を０．１〜１００ｋＷの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、このようにヒータ容量（Ｂ）を所定範囲内の値に制限することにより、洗浄液蒸気の移動速度の制御がさらに容易になって、気液平衡を利用した減圧蒸留においても、突沸現象を有効に防止することができるためである。
また、このようなヒータ容量（Ｂ）であれば、消費電力が過度に大きくなることを防止し、経済性にも優れた洗浄液再生装置とすることができるためである。
したがって、ヒータ容量（Ｂ）を０．１〜５０ｋＷの範囲内の値とすることがより好ましく、１〜３０ｋＷの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００４９】
また、生成部１３における温度（蒸発温度）は、用いる洗浄液や圧力により適宜選択することが可能であるが、稼働中には一定温度に維持されることが好ましい。
より具体的に、生成部における蒸発温度を５０〜２００℃の範囲内の値に保つことが好ましい。
この理由は、このような温度範囲に設定することによって、洗浄液再生装置において用いる洗浄液の選択幅を著しく高めることができるためである。
すなわち、生成部における蒸発温度が５０℃未満の値になると、使用可能な洗浄剤の種類が過度に制限される場合があるためである。
一方、生成部における蒸発温度が２００℃を超えると、同様に、使用可能な洗浄剤の種類が過度に制限されたり、生成部における構成材料が過度に制限されたり、さらには、生成部の維持管理が困難となる場合があるためである。
したがって、生成部における蒸発温度を５０〜１８０℃の範囲内の値とすることが好ましく、６０〜１６０℃の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
なお、かかる生成部における蒸発温度は、基本的に、生成部の減圧度や洗浄液の配合組成等によって調整され、決定される値である。
【００５０】
（６）排出部
また、図１に示す排出部３７は、使用済洗浄液に混入された状態で蒸発槽３１に持ち込まれた汚染物質を、系外に排出するための部位である。
したがって、蒸発槽３１の底部に開口した排出管３７ａと、排出管３７ａを開閉するための開閉弁３７ｂとを有している。
また、汚染物質は、洗浄液を構成する洗浄成分以外の液体や固体などであり、洗浄液再生装置１０の稼働中に蒸発することなく経時的に蒸発槽３１に蓄積され、この実施の形態では蒸発槽３１の底部に滞留する。
そのため、定期的に、或いは、滞留する汚染物質の量が増加した際に、蒸発槽３１の底部から排出することが可能となっている。
但し、このような排出部を設けることなく、所定時間経過した後に、生成部における蒸発槽３１を、新規蒸発槽に交換することによって、汚染物資の影響を排除することもできる。
【００５１】
（７）液面調整手段
その他、この生成部１３では、蒸発槽３１に貯留される蒸留元液３０の貯留量を一定又は略一定に保つために、例えば、液面を所定の範囲、好ましくは一定の位置に保つための液面調整手段を設けることが好ましい。
このような液面調整手段としては、例えば、図１に示すような、フロート３１ｂの所定動作（上下方向動作）によって、機械的に流量調整弁１７ｄの開度を調整することが好ましい。
さらに、液面センサにより検出された液面位に基づき、配管１７ｂに設けられた流量調整弁１７ｄの開度を、図示しないマイクロプロセッサーからの電気的信号をもとに、調整するようにしてもよい。
【００５２】
３．回収部
（１）基本的構成
また、図１に示す洗浄液再生装置１０における回収部２３は、再生洗浄液１５を、洗浄液タンク４３を介して、連続的に回収するための部位である。
したがって、再生洗浄液１５が貯留される洗浄液タンク４３と、洗浄液タンク４３の再生洗浄液１５を循環ポンプ４９ａにより循環流動させる循環経路４７と、循環経路４７の途中に設けられて洗浄液１５が流動することで負圧を生じる吸引部４９と、吸引部４９により冷却部４１内及び生成部１３内の気体或いは液体を吸引するように、冷却部４１を介して吸引部４９と生成部１３との間を連通する配管路であって、逆止弁５３ｂを含む減圧経路５５と、を備えている。
そして、洗浄液タンク４３には、貯留されている再生洗浄液１５を外部に取り出すための洗浄液取出部としての逆止弁１７ｃを含む配管１７ａが設けられている。
【００５３】
（２）洗浄液タンク
また、洗浄液タンク４３は、所定の配合組成の再生洗浄液１５が貯留される容器として設けられている。
この洗浄液タンク４３に収容される洗浄液量としては、循環経路４７内に洗浄液を常時循環流動させた状態で、配管１７ａから洗浄装置（図示しない）へ供給する量の洗浄液を十分に確保できる容積であればよい。
但し、洗浄液量が過剰となると、洗浄液再生装置の簡易化や小型化に資することが困難となる。すなわち、この洗浄液タンク４３に貯留される洗浄液が過剰に多いと、洗浄液再生装置１０における再生洗浄液１５の使用量が無駄に多くなりやすく、また、洗浄液再生装置自体が大型化しやいという問題があるためである。
なお、この洗浄液タンク４３には、再生洗浄液を所定温度に保つために、冷却装置や加熱装置等を設けることがより好ましい。
【００５４】
（３）循環経路
また、循環経路４７は、洗浄液タンク４３に流入口４７ａ及び流出口４７ｂが設けられた配管路であり、途中に設けられた循環ポンプ４９ａにより、吸引部４９ｂを介して、洗浄液タンク４３内の洗浄液を、常時流入口４７ａから流出口４７ｂまで流動させるように構成されている。
そして、吸引個所４９ｂに設けた圧力計４９ｃによって、循環経路４７の圧力をモニタするとともに、維持管理している。
なお、循環ポンプ４９ａは、例えば洗浄液を一定流量で連続的に循環流動させるポンプであることから、エゼクタ効果により、吸引個所４９ｂに生じる負圧を一定に保ち易くできることから好適である。
【００５５】
（４）吸引部
また、循環経路４７の途中に設けられた吸引部４９は、再生洗浄液１５が流動することで負圧を生じて液体あるいは気体を吸引する部位であって、図１の場合、循環ポンプ４９ａと、吸引個所４９ｂと、圧力計４９ｃと、から構成されている。
すなわち、かかる吸引部４９によれば、エゼクタ効果により、負圧を生じることで、減圧経路５５を介して、冷却部４１内の貯留部４１ｂに貯留された再生洗浄液（洗浄液蒸気を含む場合がある。）１５を吸引することが可能である。
したがって、吸引された再生洗浄液１５は、吸引部４９において循環経路４７を流動する再生洗浄液１５に対して、そのまま導入されて洗浄液タンク４３に供給されることとなる。
【００５６】
また、この洗浄液再生装置１０では、吸引部４９により、貯留部４１ｂを介して、再生洗浄液１５及び洗浄液蒸気が吸引されることにより、生成部１３内が減圧されている。
この実施形態では、生成部１３の圧力を、例えば、−０．０１〜−０．１ＭＰａの範囲内の値とするように吸引部４９で吸引することが可能であり、それにより、洗浄液再生装置１０において用いる洗浄液の構成の選択幅の自由度が高くなっている。
但し、過度に減圧すると、吸引部の能力を増加すべく、大型化する場合がある。
したがって、吸引部４９によって、生成部１３の圧力を、−０．０６〜−０．０９５ＭＰａの範囲内の値とすることがより好ましい。
なお、吸引部４９における吸引個所４９ｂの構成は、Ｔ字管であれば十分であるが、その他、エゼクタやアスピレータ等から構成されていても良い。
【００５７】
４．基本的動作
次に、図１に示す洗浄液再生装置１０の基本的動作について説明する。
かかる洗浄液再生装置１０では、予め生成部１３に蒸留元液３０が貯留されて、蒸発槽３１内で、ヒータ等の加熱手段３１ａにより加熱されている。
また、予め回収部２３の洗浄液タンク４３内に再生洗浄液１５が貯留され、循環ポンプ４９ａにより再生洗浄液１５が、循環経路４７内で反時計回りに循環流動されており、それを利用した吸引部４９により生じた負圧により、生成部１３が減圧状態にされている。
これにより、生成部１３内は、所望とする再生洗浄液１５の配合成分や組成に応じた所定の温度及び圧力を有する稼働条件に保たれている。
【００５８】
次いで、生成部１３に、配管１７ｂにより導かれた使用済洗浄液が供給され、蒸留元液３０と混合されることで、生成部１３の稼働条件下、再生洗浄液１５を構成する配合成分が、洗浄液蒸気１５´として蒸発する。
そして、蒸留元液３０が、予め生成部１３の稼働条件下で、配管１７ｂを介して供給される使用済洗浄液と混合されつつ、再生洗浄液の配合組成を有する洗浄液蒸気１５´を生成可能なように、気液平衡を利用して調整されているため、生成部１３において、所定の配合組成を有する洗浄液蒸気１５´が生成される。
【００５９】
一方、生成部１３では、吸引部４９の機能によって所定の減圧状態で保持されつつ、連続的に洗浄液蒸気１５´が生成されて、蒸留元液３０から各配合成分が減少するものの、配管１７ｂから連続的に使用済洗浄液が供給されることで、結果として、再生洗浄液の配合組成に対応する割合で各成分が補充される。
そして、液面が一定又は略一定に保たれることで、蒸留元液３０の配合組成及び貯留量は一定又は略一定に保たれることになる。
【００６０】
また、吸引部４９では、吸引された洗浄液蒸気１５´や再生洗浄液１５が、循環経路４７内をすでに流動する再生洗浄液１５に導入されて、洗浄液タンク４３に移送される。
これにより生成部１３により生成された洗浄液蒸気１５´が系外に排出されることなく、全て再生洗浄液１５として洗浄液タンク４３に収容される。したがって、使用済洗浄液の再生処理が終了し、再び、洗浄液として、配管１７ａから洗浄装置１１に供給可能となる。
【００６１】
以上説明した洗浄液再生装置１０によれば、所定の吸引部４９を設けることにより、洗浄液タンク４３の洗浄液１５が循環経路４７を循環流動することで負圧が生じ、生成部１３が減圧状態にされるとともに、生成部１３で生じる洗浄液蒸気１５´や再生洗浄液１５が、貯留部４１ｂを介して吸引され、それが、循環経路４７を流動する再生洗浄液１５に対して導入されるので、洗浄液１５の各成分を系外に排出することなく、使用済洗浄液を減圧状態で蒸発させて回収する再生処理を行うことが可能である。
その上、この洗浄液再生装置１０では、生成部１３に貯留された蒸留元液３０が、吸引部４９の負圧に基づく生成部１３の圧力及び温度において、洗浄液１５の組成を有する洗浄液蒸気と気液平衡となる組成を有するので、洗浄液１５の組成が変動し難く、洗浄液１５を所望の組成で維持して再生処理を安定して行うことが可能である。
【００６２】
また、減圧状態で再生処理を行うため、より低温で十分な量の洗浄液１５を再生し易いという利点がある。
さらにまた、生成部１３内を減圧するために気体を排出する手段や、排出される気体を気液分離する手段などを用いる必要がない。そのため、洗浄液再生装置１０の構成を簡易かつ小型化することが可能である。
【００６３】
その他、この洗浄液再生装置１０では、循環ポンプ４９ａが所定流量で連続的に洗浄液１５を循環流動させるものであって、生成部１３が所定温度で維持されるものであれば、生成部１３の稼働条件を安定に維持することができる。
したがって、生成部１３から安定した量で洗浄液蒸気を生成させることが可能であり、この生成部１３に使用済洗浄液が所定量連続的に混合されるように構成されているので、洗浄液蒸気の生成量と使用済洗浄液の混合量とを合わせることで、所望の組成を維持して洗浄液１５の再生処理を長期間継続することが可能である。
【００６４】
［第２の実施形態］
第２の実施形態は、図７に示すように、再生洗浄液１５により被洗浄物（図示せず）を洗浄可能であるとともに、洗浄後の使用済洗浄液３０を生成部１３へ供給可能な洗浄装置１１と、再生洗浄液１５を生成する洗浄液再生装置１０と、を備えた循環洗浄装置１２である。
そして、洗浄液再生装置１０が、複数成分からなる使用済洗浄液３０を減圧状態で加熱蒸発させることによって、洗浄液蒸気１５´を生成するとともに、当該洗浄液蒸気１５´を凝縮して、再生洗浄液１５とするための生成部１３と、再生洗浄液１５を連続的に回収するための回収部２３と、を備えており、生成部１３は、使用済洗浄液３０を収容するとともに、加熱するための蒸発部３１と、洗浄液蒸気１５´を凝縮して、再生洗浄液１５とするための冷却部４１と、蒸発部３１および冷却部４１をつなぐ連結部４１ｃと、を備えており、連結部４１ｃの開口面積をＡ（ｍｍ2）とし、蒸発部３１を加熱するためのヒータ容量をＢ（ｋＷ）としたときに、下式（１）で定義される洗浄液蒸気１５´の移動係数Ｃを１００〜３０,０００ｍｍ2／ｋＷの範囲内の値とすることを特徴とする循環洗浄装置１２である。
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）＝開口面積（Ａ）／ヒータ容量（Ｂ）  （１）
なお、図７に示す循環洗浄装置１２において、第１の実施形態で説明したように、図１に示す洗浄液再生装置１０と同様のものがそのまま使用できるため、ここでは、洗浄装置１１について、中心に説明する。
【００６５】
１．洗浄装置
図７に示す洗浄装置１１は、配管１７ａから供給される洗浄液１５ａを、リンス槽６０を含むリンス部１１ａおよび逆止弁６５を介して、洗浄槽６２を含む洗浄部１１ｂに導入し、それを用いて、被洗浄物を洗浄可能な構成としており、かつ、洗浄に使用した使用済の洗浄液１５ｂを、配管１７ｂを介して、洗浄液再生装置１０に対して供給可能な構成である。
このような洗浄装置１１としては、配管１７ａから供給される再生洗浄液１５の実質的に全量を洗浄液再生装置１０に供給可能なものであることが好適である。
したがって、被洗浄物に付着して洗浄液１５が系外に排出される等の不可避の消費があってもよいが、配管１７ｂ以外からは系外に排出されない構成であることが好ましい。
【００６６】
また、かかる洗浄装置１１では、リンス槽６０を含むリンス部１１ａと、洗浄槽６２を含む洗浄部１１ｂと、を備えており、その間に、再生洗浄液１５ｂの逆流を防止するための逆止弁６５が設けてある。
したがって、まずは、洗浄槽６２において、被洗浄物を、洗浄液３０に浸漬するとともに、それを用いて洗浄し、半田やフラックス残渣等を除去する。そして、洗浄槽６２に収容した洗浄液１５ｂが、半田やフラックス残渣等によって、所定以上に汚染された場合、当該半田やフラックス残渣等を含む洗浄液１５ｂ（３０）を、洗浄液再生装置１０に供給する構成である。
一方、洗浄槽６２において洗浄した被洗浄物を、洗浄槽６２からリンス槽６０に移動させ、そこで、清浄なリンス液としての再生洗浄液１５ａを用いて、表面に付着した汚染物を効率的に除去する。そして、洗浄液再生装置１０において再生された再生洗浄液１５ａが、定常的または非定常的に、リンス槽６０に供給されるため、それをリンス液として、安定的にリンス処理を実施することができる。
その他、洗浄液再生装置１０において再生され、リンス槽６０に供給された再生洗浄液１５ａの一部は、オーバーフロー等して、洗浄槽６２に導入され、被洗浄物の洗浄に使用されることになるが、逆止弁６５が設けてあるため、構成として、リンス槽６０に還流することはない。
なお、図７に示す洗浄装置１１は、便宜上、左方から、リンス槽６０を含むリンス部１１ａと、洗浄槽６２を含む洗浄部１１ｂと、洗浄液再生装置１０と、を順次配列してあるが、リンス槽６０を含むリンス部１１ａの下方、上方、あるいは左方に、洗浄液再生装置１０を配置するとともに、当該リンス部１１ａを、洗浄部１１ｂの右方に配置し、その間に、逆止弁６５を設けても良い。
【００６７】
２．循環洗浄装置
（１）基本的構成
また、図７に示す循環洗浄装置１２の基本的構成として、再生洗浄液１５により被洗浄物を洗浄するとともに、洗浄後の使用済洗浄液３０を生成部１３へ供給可能な洗浄装置１１と、再生洗浄液１５を生成するための洗浄液再生装置１０と、を備えているが、洗浄装置１１と、洗浄液再生装置１０とが、一対一で対応して設けられていてもよい。
あるいは、図示しないものの、一つの洗浄装置に対して、複数の洗浄液再生装置が設けられていてもよく、さらには、複数の洗浄装置に対して、一つの洗浄液再生装置が設けられていてもよい。
【００６８】
また、循環洗浄装置１２は、洗浄装置１１と、洗浄液再生装置１０と、を含んで構成されているものの、図８に示すように、洗浄液再生装置１０の一部１０ｂが、洗浄装置１１のリンス部１１ａを兼用するように、構成されていても良い。
すなわち、図８に示す循環洗浄装置１２は、図１に示す洗浄液再生装置１０の回収部２３における洗浄液タンク４３が、洗浄装置１１におけるリンス槽６０を兼用する例である。
したがって、このような循環洗浄装置１２であれば、かかるリンス槽６０を、被洗浄物のリンス処理場所として使用し、このリンス槽６０の右方に、被洗浄物の主洗浄タンク６２を設けることができることから、全体として、循環洗浄装置の小型化を図ることができる。
【００６９】
（２）基本的動作
次に、図７に示すような循環洗浄装置１２の基本的動作について説明する。
この循環洗浄装置１２を連続的に稼働させると、洗浄装置１１では、洗浄液タンク４３から、流量調整弁１７ｃにより流量を調整されつつ配管１７ａにより導かれた再生洗浄液１５が、リンス槽６０に順次供給され、リンス液１５ａになるとともに、この再生洗浄液１５の一部が、リンス槽６０からオーバーフローして、洗浄槽６２に流入し、洗浄液１５ｂとなる。
したがって、被洗浄物が洗浄槽６２に収容され、そこの洗浄液１５ｂによって、被洗浄物の洗浄が行われることになる。
この洗浄で、被洗浄物に付着している固体や液体からなる汚染物質が洗浄液に移行し、洗浄液に汚染物質が混入した状態の使用済洗浄液３０が、洗浄装置１１から排出される。この使用済洗浄液３０が、配管１７ｂにより洗浄液再生装置１０に導かれる。
【００７０】
すなわち、洗浄液再生装置１０では、予め生成部１３に蒸留元液３０が貯留されて、蒸発槽３１内で加熱手段３５により加熱されている。また、予め回収部２３の洗浄液タンク４３内に再生洗浄液１５が貯留され、循環ポンプ４９ａにより、再生洗浄液１５が循環経路４７内で循環流動されており、吸引部４９により生じた負圧により、生成部１３が減圧状態にされている。
これにより、生成部１３内は、洗浄液１５の成分や組成に応じた所定の温度及び圧力を有する稼働条件に保たれている。
【００７１】
そして、このような洗浄液再生装置１０を用いた循環洗浄装置１２において、洗浄液再生装置１０の配管１７ａからの再生洗浄液１５（リンス液１５ａ、洗浄液１５ｂ）により、被洗浄物を洗浄するとともに、リンス処理を行うことができる。
それとともに、洗浄後の汚染された使用済洗浄液３０を洗浄液再生装置１０の生成部１３へ供給する洗浄装置１１を備えていることから、かかる洗浄装置１１と、洗浄液再生装置１０との間で、再生洗浄液１５を繰り返し循環させて使用することができる。
【００７２】
その際、洗浄液再生装置１０では、再生洗浄液１５の各成分を系外に排出することなく、使用済洗浄液を蒸発して回収する再生処理を行うことができるため、長期間連続して再生洗浄液を循環して使用することが可能である。
【００７３】
しかも、洗浄液再生装置１０の生成部１３では、蒸留元液３０から洗浄液１５の配合組成に対応する各配合成分が連続的に、突沸もなく、気液平衡状態を利用しつつ、蒸発する。したがって、生成部１３に対して、洗浄液１５に対応する各配合成分が、使用済洗浄液として連続的かつ安定的に補充されるため、生成部１３の蒸留元液３０の配合組成を維持することができる。
よって、長期間洗浄液を循環して使用したとしても、特別な成分調整を行うことなく、所定の配合組成の再生洗浄液を継続して再生することができ、その結果、複数成分が所定の組成で混合された洗浄液を長期間連続して洗浄装置に供給して被処理物を洗浄することが可能となる。
【００７４】
（３）洗浄液
また、洗浄液として、第１の実施形態で説明したのと同様のものを使用することができるが、さらに、所定の洗浄剤組成物用原液を準備し、それに所定量の水を後添加して、白濁状態の洗浄液（洗浄剤組成物）として使用することも好ましい。
すなわち、所定量の水を含んだ状態で、白濁状態の洗浄剤組成物として、被洗浄物を洗浄するための洗浄剤組成物用原液であって、その配合組成としては、第１の有機溶剤として、ＳＰ値が６．５〜１２の範囲内の値である炭化水素化合物または芳香族化合物と、第２の有機溶剤として、ＳＰ値が８〜１５の範囲内の値である含窒素化合物または含イオウ化合物と、第３の有機溶剤として、ＳＰ値が８〜１２の範囲内の値であるエステル化合物と、を含むとともに、第１の有機溶剤１００重量部に対して、第２の有機溶剤の配合量を５〜１４００重量部の範囲内の値とし、第３の有機溶剤の配合量を５〜１４００重量部の範囲内の値とした洗浄液用の組成物である。
このように構成することによって、所定量の水を後添加する前は、均一溶液であるとともに、所定量の水を後添加し、相分離させ、白濁状態の洗浄液として、フラックス残渣やソルダーペースト等が付着した被洗浄物に対して、優れた洗浄力を示すことができる。
すなわち、第１の有機溶剤であるＳＰ値が６．５〜１２の範囲内の値である炭化水素化合物（例えば、脂肪族炭化水素等）または芳香族化合物（例えば、芳香族炭化水素等）と、第３の有機溶剤であるＳＰ値が８〜１２の範囲内の値であるエステル化合物とは、本来相溶し難い組み合わせである。しかるに、第２の有機溶剤であるＳＰ値が８〜１５の範囲内の値である含窒素化合物（例えば、アミン化合物等）や含イオウ化合物（例えば、スルホキシド化合物等）を所定量含むことにより、洗浄剤組成物用原液において、第１の有機溶剤と、第３の有機溶剤とが相溶し、均一溶液となるものである。
そして、かかる洗浄剤組成物用原液に対して、所定量の水を後添加した場合、第２の有機溶剤の作用効果が変化し、第１の有機溶剤と、第３の有機溶剤とが、非相溶状態となって、静置すると、相分離することになる。それを、所定の攪拌状態におくと白濁状態となるものの、フラックス残渣やソルダーペースト等に対して、優れた洗浄力を示すことができるようになる。
なお、洗浄剤組成物における白濁状態の是非は、目視によって官能的に判断することも可能であるが、後述するように洗浄剤組成物の光透過率によって、定量的に判断することができる。
【００７５】
また、このような洗浄剤組成物用原液であれば、比較的多量の水と混合使用できることから、環境安全性や取扱性、さらには再処理性に優れた洗浄剤組成物を効率的に提供することができる。
より具体的には、全体量に対して、６０重量％以上の水を含むことが可能なことから、消防法の危険物に該当しなくなるためである。
また、同様に、比較的多量の水を含むことから、使用によって、洗浄剤組成物が汚染された場合であっても、効率的に再生使用することが可能なためである。
さらに、このような洗浄剤組成物用原液であれば、使用者が、被洗浄物における汚染度合い等に応じて、洗浄剤組成物用原液と、水との配合割合を変えられることから、安価に、洗浄性を変えてなる洗浄剤組成物を効率的に提供することができる。
【００７６】
次いで、洗浄剤組成物用原液を構成する第１の有機溶剤、第２の有機溶剤、および第３の有機溶剤を具体的に説明する。
【００７７】
（第１の有機溶剤）
また、洗浄剤組成物用原液を構成する第１の有機溶剤は、ＳＰ値が６．５〜１２の範囲内の値である炭化水素化合物または芳香族化合物であって、所定の洗浄力を発揮するために配合する有機溶剤である。
すなわち、第１の有機溶剤として、所定ＳＰ値を有する炭化水素化合物または芳香族化合物を用いることにより、所定量の水と混合する前は、幅広い温度領域において、第２の有機溶剤および第３の有機溶剤とともに均一溶液を組成するとともに、所定量の水を後添加した場合には、白濁状態の洗浄剤組成物となって、さらに優れた洗浄力を示すことができる。
【００７８】
より具体的には、このような第１の有機溶剤としては、第２および第３の有機溶剤、あるいは後述する第４の有機溶剤のいずれにも該当しない炭化水素化合物または芳香族化合物であって、例えば、アニソール（ＳＰ値：９．３、沸点：１５２℃、引火点：５２℃）、フルフラール（ＳＰ値：１０．２、沸点：１６２℃、引火点：６２℃）、メチルスチレン（ＳＰ値：８．８、沸点：１６４℃、引火点：５４℃）、ミルセン（ＳＰ値：７．７、沸点：１６７℃、引火点：５４℃）、クメン（ＳＰ値：９．０、沸点：１６９℃、引火点：５０℃）、メンタン（ＳＰ値：７．２、沸点：１７０℃、引火点：６３℃）、フェネトール（ＳＰ値：９．０、沸点：１７０℃、引火点：６３℃）、デカン（ＳＰ値：７．７、沸点：１７０℃、引火点：５３℃）、リモネン（ＳＰ値：７．８、沸点：１７５℃、引火点：４８℃）、シメン（ＳＰ値：８．７、沸点：１７７℃、引火点：４７℃）、テルピネン（ＳＰ値：８．０、沸点：１８０℃、引火点：７１℃）、ｎ−パラフィンＬ（ＳＰ値：８．９、沸点：１８９〜２２９℃、引火点：７１℃）、インデン（ＳＰ値：６．８、沸点：１８２℃、引火点：７８℃）、トルイジン（ＳＰ値：９．８、沸点：２０２℃、引火点：８５℃）、デュレン（ＳＰ値：９．２、沸点：１９２℃、引火点：６５℃）、ベンジルアミン（ＳＰ値：９．９、沸点：１８５℃、引火点：７２℃）、ベンジルエチルエーテル（ＳＰ値：８．９、沸点：１８９℃、引火点：７３℃）、チオアニソール（ＳＰ値：８．８、沸点：１８８℃、引火点：７２℃）、ジメチルアニリン（ＳＰ値：９．９、沸点：１８８℃、引火点：６３℃）、リナロール（ＳＰ値：９．４、沸点：１９８℃、引火点：８３℃）、メチルベンゾエート（ＳＰ値：９．９、沸点：１９９℃、引火点：８２℃）、ジイソプロピルベンゼン（ＳＰ値：８．３、沸点：２０２℃、引火点：８５℃）、スワゾール（ＳＰ値：９．５、沸点：１８０〜２０８℃、引火点：６４℃）、グアヤコール（ＳＰ値：１０．２、沸点：２０５℃、引火点：８７℃）、ベンジルアルコール（ＳＰ値：１１．６、沸点：２０５℃、引火点：９３℃）、テトラリン（ＳＰ値：９．２、沸点：２０８℃、引火点：７７℃）、Ｎ−メチルベンジルアミン（ＳＰ値：９．５、沸点：１８０℃、引火点：７７℃）、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン（ＳＰ値：９．８、沸点：１８１℃、引火点：６０℃）、α−フェニルエチルアミン（ＳＰ値：９．７、沸点：１９２℃、引火点：７９℃）、およびフェネチルアミン（ＳＰ値：９．７、沸点：１９８℃、引火点：９０℃）からなる群から選択される少なくとも一つの脂肪族炭化水素または芳香族化合物（ベンジルアミンや、ベンジルアルコールを含む。）であることが好ましい。
【００７９】
特に、第１の有機溶剤としては、アニソール、フルフラール、クメン、フェネトール、デカン、リモネン、シメン、テルピネン、ｎ−パラフィン、ベンジルアミン、ベンジルエチルエーテル、メチルベンゾエート、ジイソプロベンゼン、ベンジルアルコール、トルイジン、Ｎ−メチルベンジルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、α−フェニルエチルアミンおよびフェネチルアミンからなる群から選択される少なくとも一種であることが好ましい。
この理由は、このような種類の第１の有機溶剤を用いることにより、比較的少量の配合であっても優れた洗浄性が得られるとともに、乾燥性の低下も相対的に少なくなるためである。
よって、第１の有機溶剤におけるＳＰ値を７〜１２の範囲内の値とすることが好ましく、８〜１１の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００８０】
また、第１の有機溶剤の配合量を、全体量に対して、０．２５〜５５重量％の範囲内の値にすることが好ましい。
この理由は、かかる第１の有機溶剤の配合量が、０．２５重量％未満の値になると、フラックス等に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。一方、かかる第１の有機溶剤の配合量が、５５重量％を超えると、可燃性液体量として、所定量を超えるために、消防法上の危険物として取り扱わなければならない場合があるためである。
したがって、その洗浄性と、取り扱い性とのバランスを考慮して、第１の有機溶剤の配合量を、全体量に対して、１〜５０重量％の範囲内の値にすることがより好ましく、３〜３０重量％の範囲内の値にすることがさらに好ましい。
【００８１】
また、図９に、第１の有機溶剤の配合量の、洗浄性に対する影響を検討した結果を示す。
すなわち、図９の横軸に、実施例１に準拠した洗浄剤組成物原液を用いた洗浄剤組成物（水分も含む）中の第１の有機溶剤の配合量（重量％）が採って示してあり、縦軸に、実施例１に準拠した洗浄剤組成物原液を用いた場合の洗浄性の評価結果（相対値）が採って示してある。
そして、洗浄性の評価結果（相対値）は、０〜１０の評価点で表しており、フラックスの洗浄温度を７０℃とした上で、その評価基準は、以下の通りである。
評価点１０：フラックス洗浄時間が０〜１０分未満である。
評価点９  ：フラックス洗浄時間が１０〜１２分未満である。
評価点８  ：フラックス洗浄時間が１２〜１５分未満である。
評価点７  ：フラックス洗浄時間が１５〜１７分未満である。
評価点６  ：フラックス洗浄時間が１７〜２０分未満である。
評価点５  ：フラックス洗浄時間が２０〜２５分未満である。
評価点４  ：フラックス洗浄時間が２５〜３０分未満である。
評価点３  ：フラックス洗浄時間が３０〜４０分未満である。
評価点２  ：フラックス洗浄時間が４０〜５０分未満である。
評価点１  ：フラックス洗浄時間が５０〜６０分未満である。
評価点０  ：フラックス洗浄時間が６０分以上である。
【００８２】
かかる図９の特性曲線が示すように、洗浄剤組成物原液中の第１の有機溶剤の配合量が、全体量に対して、例えば、図中、レンジＡで示す０．２５〜５５重量％の範囲であれば、水を所定量含む洗浄剤組成物とした場合に、良好な洗浄性が得られている。
一方、第１の有機溶剤の配合量が０．２５重量％未満の値となったり、５５重量％を超える値となったりすると、水を所定量含む洗浄剤組成物とした場合の洗浄性の評価結果が著しく低下することが理解される。
また、配合成分の相違や配合量等のばらつきを考慮しても、例えば、図中、レンジＢで示す１〜５０重量％の範囲であれば、さらに良好な洗浄性が得られることが理解される。
したがって、洗浄剤組成物原液中の第１の有機溶剤の配合量を所定範囲内の値に制限することによって、水を所定量含む洗浄剤組成物とした場合に、良好な洗浄性が得られることが理解される。
よって、本願発明の洗浄剤組成物原液における第１の有機溶剤の配合量を、水を所定量含む洗浄剤組成物とした場合の洗浄性から、所定範囲に制限することが好ましいと言える。
【００８３】
（第２の有機溶剤）
第２の有機溶剤は、ＳＰ値が８〜１５の範囲内の値である含窒素化合物（例えば、アミン化合物やピロリドン化合物等）または含イオウ化合物（例えば、スルホキシド化合物等）、あるいはいずれか一方の化合物である。
すなわち、第２の有機溶剤は、洗浄剤組成物とした場合の洗浄性を向上させるとともに、所定量の水と混合する前は、第１の有機溶剤と、第３の有機溶剤との相分離を有効に防いで、均一溶液としての洗浄剤組成物用原液を提供するために配合する有機溶剤である。
【００８４】
より具体的には、このような第２の有機溶剤としては、第１および第３の有機溶剤、あるいは後述する第４の有機溶剤のいずれにも該当しない含窒素化合物または含イオウ化合物であって、例えば、２−エチルヘキシルアミン（ＳＰ値：８．４、沸点：１６８℃、引火点：５３℃）、モノイソプロパノールアミン（ＳＰ値：１２．７、沸点：１６０℃、引火点：７４℃）、Ｎ−エチルエタノールアミン（ＳＰ値：１１．４、沸点：１６９℃、引火点：７１℃）、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＳＰ値：１１．１、沸点：１６６℃、引火点：７０℃）、Ｎ−メチルホルムアミド（ＳＰ値：１１．８、沸点：１８３℃、引火点：９８℃）、ジメチルスルホキシド（ＳＰ値：１３．０、沸点：１８９℃、引火点：９５℃）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＳＰ値：１１．２、沸点：２０４℃、引火点：９１℃）、およびジエタノールアミン（ＳＰ値：１４．４、沸点：２６９℃、引火点：１３４℃）からなる群から選択される少なくとも一つのアミン系化合物やピロリドン化合物等である。
【００８５】
特に、第２の有機溶剤としては、２−エチルヘキシルアミン、モノイソプロパノールアミン、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドからなる群から選択される少なくとも一つのアミン化合物やピロリドン化合物等であることが好ましい。
この理由は、このような種類の第２の有機溶剤を用いることにより、所定量の水と混合する前は、幅広い温度領域において、第１の有機溶剤と、第３の有機溶剤との間の相分離を有効に防いで、均一溶液を組成するとともに、所定量の水を後添加した場合には、白濁状態の洗浄剤組成物となって、さらに優れた洗浄力を示すことができるためである。
よって、第２の有機溶剤におけるＳＰ値を９〜１４の範囲内の値とすることが好ましく、１０〜１３．５の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００８６】
また、第２の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、５〜１４００重量部の範囲内の値とする。
この理由は、かかる第２の有機溶剤の配合量が、５重量部未満の値になると、洗浄剤組成物とした場合の洗浄性が著しく低下する場合があるためである。
一方、かかる第２の有機溶剤の配合量が、１４００重量部を超えた値になると、洗浄剤組成物とした場合の洗浄性や乾燥性が著しく低下する場合があるためである。
したがって、第２の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、１０〜６００重量部の範囲内の値とすることがより好ましく、３０〜３５０重量部の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００８７】
また、図１０に、第２の有機溶剤の配合量の、洗浄性に対する影響を検討した結果を示す。
すなわち、図１０の横軸に、実施例１に準拠した洗浄剤組成物原液中の第２の有機溶剤の配合量（重量部）が採って示してあり、縦軸に、当該洗浄剤組成物原液を用いた洗浄剤組成物における洗浄性の評価結果（相対値）が採って示してある。
そして、洗浄性の評価結果（相対値）は、０〜１０の評価点で表しており、その評価基準は、図９の場合と、同様である。
そして、かかる図１０の特性曲線が示すように、洗浄剤組成物原液中の第２の有機溶剤の配合量が、第１の有機溶剤１００重量部に対して、例えば、レンジＡで示す５〜１４００重量部の範囲であれば、評価点が８以上の良好な洗浄性が得られている。
一方、第２の有機溶剤の配合量が５重量部未満の値となったり、１４００重量部を超える値となったりした場合、洗浄性の評価結果が著しく低下することが理解される。
また、配合成分の相違や配合量等のばらつきを考慮しても、例えば、レンジＢで示す１０〜６００重量部の範囲であれば、評価点が１０程度のさらに良好な洗浄性が得られることが理解される。
したがって、洗浄剤組成物原液中の第２の有機溶剤の配合量を所定範囲内の値に制限することによって、良好な洗浄性が得られることが理解される。
【００８８】
（第３の有機溶剤）
また、洗浄剤組成物用原液を構成する第３の有機溶剤は、ＳＰ値が８〜１２の範囲内の値であるエステル化合物であって、洗浄剤組成物とした場合の乾燥性を向上させるために配合する有機溶剤である。
そして、第３の有機溶剤は、所定量の水と混合する前は、第１および第２の有機溶剤とともに、均一溶液としての洗浄剤組成物用原液を提供するために配合する有機溶剤である。
より具体的には、このような第３の有機溶剤としては、第１〜２の有機溶剤、および後述する第４の有機溶剤のいずれにも該当しないエステル化合物であって、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＳＰ値：９．２、沸点：１４６℃、引火点：４７℃）、３−メトキシブチルアセテート（ＳＰ値：９．３、沸点：１７３℃、引火点：６３℃）、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート（ＳＰ値：９．２、沸点：１８８℃、引火点：７３℃）、プロピレングリコールジアセテート（ＳＰ値：１０．４、沸点：１９０℃、引火点：９３℃）、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＳＰ値：９．０、沸点：１９２℃、引火点：８８℃）、乳酸ブチル（ＳＰ値：１０．５、沸点：１８８℃、引火点：７１℃）、アセト酢酸メチル（ＳＰ値：１１．６、沸点：１７２℃、引火点：７７℃）、アセト酢酸エチル（ＳＰ値：１０．７、沸点：１８１℃、引火点：７５℃）、無水プロピオン酸（ＳＰ値：１０．５、沸点：１６７℃、引火点：７４℃）、無水酪酸（ＳＰ値：９．７、沸点：１９９℃、引火点：８８℃）、シュウ酸ジエチル（ＳＰ値：１０．８、沸点：１８９℃、引火点：７６℃）、およびオクタン酸エステル（ＳＰ値：８．４、沸点：２０８℃、引火点：７５℃）からなる群から選択される少なくとも一つのエステル化合物である。
【００８９】
特に、第３の有機溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、およびエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートからなる群から選択される少なくとも一つのエステル化合物であることが好ましい。
この理由は、このような種類の第３の有機溶剤を用いることにより、所定量の水と混合する前は、幅広い温度領域において、第１の有機溶剤および第２の有機溶剤とともに、均一溶液を組成するとともに、所定量の水を後添加した場合には、白濁状態の洗浄剤組成物として、さらに優れた洗浄力を示すことができるためである。
したがって、第３の有機溶剤におけるＳＰ値を８．５〜１１．５の範囲内の値とすることが好ましく、９〜１１の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００９０】
また、第３の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、５〜１４００重量部の範囲内の値とする。
この理由は、かかる第３の有機溶剤の配合量が、５重量部未満の値になると、洗浄剤組成物原液から洗浄剤組成物を構成した場合の乾燥性が著しく低下する場合があるためである。
一方、かかる第３の有機溶剤の配合量が、１４００重量部を超えた値になると、洗浄剤組成物原液から洗浄剤組成物を構成した場合の洗浄性が著しく低下する場合があるためである。
したがって、第３の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、１０〜６００重量部の範囲内の値とすることがより好ましく、３０〜３５０重量部の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００９１】
また、図１１に、第３の有機溶剤の配合量の、洗浄性に対する影響を検討した結果を示す。
すなわち、図１１の横軸に、実施例１に準拠した洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量（重量部）が採って示してあり、縦軸に、当該洗浄剤組成物原液を用いた洗浄剤組成物における洗浄性の評価結果（相対値）が採って示してある。
また、洗浄性の評価結果（相対値）は、０〜１０の評価点で表しており、その評価基準は、図９の場合と、同様である。
そして、かかる図１１の特性曲線が示すように、洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量が、第１の有機溶剤１００重量部に対して、例えば、レンジＡで示すように、１４００重量部以下の値であれば、評価点が８以上の良好な洗浄性が得られ、レンジＢで示すように、６００重量部以下の値であれば、評価点が１０以上の良好な洗浄性が得られている。
但し、第３の有機溶剤の配合量が０重量部となっても、洗浄性の評価結果は良好であることが理解される。
【００９２】
一方、図１２に、第３の有機溶剤の配合量の、乾燥性に対する影響を検討した結果を示す。
すなわち、図１２の横軸に、実施例１に準拠した洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量（重量部）が採って示してあり、縦軸に、当該洗浄剤組成物原液を用いた洗浄剤組成物における乾燥性の評価結果（相対値）が採って示してある。
そして、乾燥性の評価結果（相対値）は、０〜１０の評価点で表しており、乾燥温度１００℃の条件において、その評価基準は、以下のとおりである。
評価点１０：乾燥時間が０〜５分未満である。
評価点９  ：乾燥時間が５〜７分未満である。
評価点８  ：乾燥時間が７〜１０分未満である。
評価点７  ：乾燥時間が１０〜１２分未満である。
評価点６  ：乾燥時間が１２〜１５分未満である。
評価点５  ：乾燥時間が１５〜１７分未満である。
評価点４  ：乾燥時間が１７〜２０分未満である。
評価点３  ：乾燥時間が２０〜２２分未満である。
評価点２  ：乾燥時間が２２〜２５分未満である。
評価点１  ：乾燥時間が２５〜３０分未満である。
評価点０  ：乾燥時間が３０分以上である。
【００９３】
かかる図１２の特性曲線が示すように、洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量が、全体量に対して、レンジＡで示すように、１０重量部以上の値であれば、評価点が８以上の良好な乾燥性が得られ、レンジＢで示すように、２０重量部以上の値であれば、評価点が１０程度のさらに良好な乾燥性が得られている。
したがって、洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量を所定範囲内の値に制限することによって、良好な乾燥性が得られることが理解される。
よって、上述した洗浄性の評価結果を加味すると、洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量を所定範囲内の値に制限することによって、良好な洗浄性および乾燥性との間のバランスを取ることができる。
【００９４】
その他、図１３に、第３の有機溶剤の配合量の、洗浄剤組成物原液の引火点に対する影響を検討した結果を示す。
すなわち、図１３の横軸には、実施例１に準拠した洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量（重量部）が採って示してあり、縦軸に、当該洗浄剤組成物原液の引火点（℃）が採って示してある。
かかる図１３の特性曲線が示すように、洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量が、全体量に対して、例えば、５０重量部以上の値であれば、７５℃以上の比較的高い引火点の値が得られている。
よって、上述した洗浄性および乾燥性の評価結果をさらに加味すると、洗浄剤組成物原液中の第３の有機溶剤の配合量を所定範囲内の値に制限することによって、引火点のみならず、良好な洗浄性および乾燥性との間のバランスを取ることができる。
【００９５】
（第４の有機溶剤）
また、洗浄剤組成物用原液を構成するに際して、第４の有機溶剤として、ＳＰ値が８.５〜１２の範囲内の値であるグリコールエーテルまたはアルコール化合物をさらに添加するとともに、当該第４の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、５〜６００重量部の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、このような第４の有機溶剤を所定量添加することにより、第２の有機溶剤を補完して、第１の有機溶剤と、第３の有機溶剤と、の間の相分離をさらに有効に防止することができるためである。
【００９６】
ここで、このような第４の有機溶剤としては、第１〜３の有機溶剤のいずれにも該当しないグリコールエーテルまたはアルコール化合物である。
より具体的に、プロピレングリコールモノプロピルエーテル（ＳＰ値：９．６、沸点：１５０℃、引火点：４８℃）、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＳＰ値：９．０、沸点：１７１℃、引火点：６２℃）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（ＳＰ値：８．７、沸点：１７１℃、引火点：６５℃）、エチレングリコールモノイソブチルエーテル（ＳＰ値：９．１、沸点：１６１℃、引火点：５６℃）、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル（ＳＰ値：１０．９、沸点：１４２℃、引火点：４６℃）、フルフリルアルコール（ＳＰ値：１１．９、沸点：１７１℃、引火点：６５℃）、および３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール（ＳＰ値：１０．５、沸点：１７４℃、引火点：６８℃）等の少なくとも一つである。
【００９７】
また、第４の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、５〜６００重量部の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる第４の有機溶剤の配合量が、５重量部未満の値になると、添加効果を発現しない場合があるためである。
一方、かかる第４の有機溶剤の配合量が、６００重量部を超えた値になると、洗浄性が著しく低下する場合があるためである。
したがって、第４の有機溶剤の配合量を、第１の有機溶剤１００重量部に対して、１０〜２５０重量部の範囲内の値とすることがより好ましく、１５〜１５０重量部の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００９８】
（界面活性剤）
また、界面活性剤は、上述した第１〜第３の有機溶剤、あるいは第１〜第４の有機溶剤を、水に対して乳化あるいは可溶化させるために添加するが、さらには、被洗浄物に対する親和性を向上させ、結果として、洗浄性を高めるために、洗浄剤組成物中に配合することが好ましい。
ここで、界面活性剤の好適例としては、非イオン系界面活性剤であるポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリプロピレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンベンジルアルコール、ポリグリセリン脂肪酸エステル等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。
【００９９】
また、界面活性剤の配合量は、例えば、洗浄剤組成物の全体量に対して、０．０１〜５重量％の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる界面活性剤の配合量が、０．０１重量％未満の値になると、上述した第１〜第３の有機溶剤の相溶性が不十分となって、洗浄剤組成物用原液において、分離しやすくなる場合があるためである。
一方、かかる界面活性剤の配合量が、５重量％を超えると、被洗浄物への残留量が多くなって、リンス工程が必須になったり、被洗浄物の電気特性を劣化させたりする場合があるためである。
したがって、その乳化性と、残留性等とのバランスを考慮して、界面活性剤の配合量を、全体量に対して、０．０５〜２重量％の範囲内の値にすることがより好ましく、０．１〜２重量％の範囲内の値にすることがさらに好ましい。
【０１００】
（水分量）
また、多成分からなる洗浄剤組成物（使用済洗浄剤組成物）が、配合成分として水を含有している場合、洗浄剤組成物における水の含有量を、全体量に対して、４０〜９０重量％の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる水の含有量が４０重量％未満の値になると、洗浄剤組成物における低ＶＯＣ性、安全性、取扱性等が著しく低下する場合があるためである。
一方、かかる水の含有量が９０重量％を超えると、洗浄剤組成物における洗浄性や再生性が著しく低下する場合があるためである。
したがって、洗浄剤組成物における水の含有量を、全体量に対して、６０〜９０重量％の範囲内の値とすることがより好ましく、６５〜９０重量％の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【０１０１】
また、水分量に関して、白濁状態となって、優れた洗浄力を示すために、洗浄剤組成物用原液に対して、所定量の水を後添加し、所定の洗浄剤組成物とする。
すなわち、洗浄剤組成物用原液に対して、比較的多量の水を後添加することによって、第２の有機溶剤の作用効果を変化させるとともに、第１の有機溶剤と、第３の有機溶剤との分離を促進し、白濁状態の洗浄剤組成物となって、優れた洗浄力を示すことができる。
また、比較的多量の水を含むことから、環境安全性や取扱性、さらには再処理性に優れた洗浄剤組成物を効率的に提供することができる。
さらに、使用者が、被洗浄物における汚染度合いや汚染物の種類等に応じて、洗浄剤組成物用原液と、水との配合割合を変えられることから、安価かつ迅速に、洗浄性を変えてなる洗浄剤組成物を提供することができる。
【０１０２】
また、水の配合量を、洗浄剤組成物用原液１００重量部に対して、５０〜１９００重量部の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる水の配合量が、５０重量部未満の値になると、洗浄性が低下するばかりか、安全性や取扱性が低下する場合があるためである。
一方、かかる水の配合量が、１９００重量部を超えた値になると、逆に、洗浄性が著しく低下する場合があるためである。
したがって、水の配合量を、洗浄剤組成物用原液１００重量部に対して、１５０〜９００重量部の範囲内の値とすることがより好ましく、１７５〜６００重量部の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【０１０３】
ここで、図１４に、洗浄性における、洗浄剤組成物用原液１００重量部に対する水の配合量の影響を検討した結果を示す。
すなわち、図１４の横軸に、実施例１に準拠した洗浄剤組成物用原液１００重量部に対する水の配合量（重量部）が採って示してあり、縦軸に、当該洗浄剤組成物原液から構成した洗浄剤組成物における洗浄性に対する評価結果（相対値）が採って示してある。
かかる図１４の特性曲線が示すように、洗浄剤組成物用原液１００重量部に対する水の配合量が、全体量に対して、例えば、レンジＡで示すように、５０〜１９００重量部の範囲内の値であれば、評価点８以上の良好な洗浄性が得られている。
また、例えば、レンジＢで示すように、６５〜９００重量部の範囲内の値であれば、評価点１０の良好な洗浄性が得られている。
したがって、洗浄剤組成物用原液１００重量部に対する水の配合量を所定範囲内の値に制限することによって、それから得られる洗浄剤組成物において、良好な洗浄性が得られることが理解される。
【０１０４】
（光透過率）
また、洗浄剤組成物の白濁状態の目安となる光透過率（可視光／７５０ｎｍ基準）を８０％以内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる光透過率が８０％を超えた値になると、均一溶液に近くなるか、あるいは相分離が過度になって、白濁状態を維持することができず、フラックス等に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。
一方、かかる洗浄剤組成物の光透過率が過度に小さくなると、相分離が不十分になって、洗浄性の制御が困難となったり、フラックス等に対する洗浄効果が逆に低下したりする場合があるためである。
したがって、洗浄剤組成物の光透過率を０．５〜６０％の範囲内の値とすることがより好ましく、３〜４０％の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
なお、洗浄剤組成物の可視光に対する光透過率は、分光光度計を用いて、実施例１に記載するように、測定することができる。
【実施例】
【０１０５】
［実施例１］
実施例１では、水と、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）と、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＢＦＧ）とが、１５：２０：６５重量％である配合組成の洗浄液を用いて、図１に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄液の配合組成が安定に維持できるか否かを確認した。
そのため、表１に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
なお、実施例１の洗浄液は、相分離しない均一組成であることから、その光透過率は１００％であった。
【０１０６】
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１０７】
さらに、洗浄液（洗浄剤組成物）の光透過率は、以下のように測定した。すなわち、得られた洗浄剤組成物２００ｇを、容量３００ｍｌのビーカー内部に収容した。次いで、ビーカー内のマグネチックスターラーを約７００ｒｐｍで回転させた。次いで、その状態の洗浄剤組成物をすばやく分光光度計のセルに収容し、５分間静置させた後、その時点での光透過率を、下記条件に基づき測定した。
測定装置：分光光度計（日立製作所（株）製）
測定光  ：可視光（波長７５０ｎｍ）
測定温度：室温（２５℃）
【０１０８】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表１のように調製し、蒸発槽に投入した。
ここでは、仮の蒸留元液は循環洗浄装置の稼働開始時点で組成が変動するため、定常状態に達した時点で適切な蒸留元液となるように調製した。この仮の蒸留元液は、洗浄液再生装置の稼働条件下における液相組成と気相組成との相関図である図２〜図４、および上述した式（２）〜（５）をもとにし、洗浄液の組成の洗浄液蒸気と気液平衡が成立するように蒸留元液の配合組成を算出して、仕込み量を設定した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、凝集部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。その結果を表１に示す。
また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数を、それぞれ測定した。
【０１０９】
【表１】
2010188338.tif 000006
【０１１０】
表１の結果から明らかなように、洗浄液タンクに貯留されている再生洗浄液の配合組成は、循環洗浄装置を１０時間および１００時間、それぞれ継続的に稼働させた後でも、光透過率が１００％である洗浄液の当初配合組成を略維持することが確認された。
なお、蒸留元液の配合組成の稼働開始時の値は、使用済洗浄液が生成部に供給が開始される前の値であるため、初期の変動が大きいものの、稼働開始後には、安定していた。そのため、定常状態に達した後は、適切な蒸留元液として、水：ＮＭＰ：ＢＦＧ＝２：４３：５５重量％となる配合組成の液となった。
従って、この循環洗浄装置によれば、長期間継続して稼働させても、所望の洗浄液の配合組成を維持できることが確認できた。
また、実施例１の循環洗浄装置の仕様によれば、初期はもちろんのこと、長期間経過した後でも、突沸現象が生じないことが確認された。
【０１１１】
［実施例２］
実施例２では、実施例１の循環洗浄装置の仕様を以下のように変更した他は、実施例１と同様に、循環洗浄装置を駆動させ、洗浄液の配合組成を経時的に測定するとともに、突沸回数を測定した。得られた結果を表２に示す。
なお、実施例２の洗浄液は、相分離しない均一組成であることから、その光透過率は１００％であった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：９,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：１．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：６,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．１ｍ／ｓｅｃ
【０１１２】
【表２】
2010188338.tif 000007
【０１１３】
表２の結果から明らかなように、洗浄液タンクに貯留されている再生洗浄液の配合組成は、実施例２における循環洗浄装置を１０時間および１００時間、それぞれ継続的に稼働させた後でも、光透過率が１００％である洗浄液の当初配合組成を維持することが確認された。
また、実施例２の循環洗浄装置の仕様によれば、初期はもちろんのこと、長期間経過した後でも、突沸現象が生じないことが確認された。
【０１１４】
［実施例３］
実施例３では、実施例１の循環洗浄装置の仕様を以下のように変更した他は、実施例１と同様に、循環洗浄装置を駆動させ、洗浄液の配合組成を経時的に測定するとともに、突沸回数を測定した。得られた結果を表３に示す。
なお、実施例３の洗浄液は、相分離しない均一組成であることから、その光透過率は１００％であった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：１５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：３,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．２ｍ／ｓｅｃ
【０１１５】
【表３】
2010188338.tif 000008
【０１１６】
表３の結果から明らかなように、洗浄液タンクに貯留されている再生洗浄液の配合組成は、実施例３における循環洗浄装置を１０および１００時間、それぞれ継続的に稼働させた後でも、光透過率が１００％である洗浄液の当初配合組成を維持することが確認された。
また、実施例３の循環洗浄装置の仕様によれば、初期はもちろんのこと、長期間経過した後でも、突沸現象が生じないことが確認された。
【０１１７】
［実施例４］
実施例４では、水と、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）と、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＢＦＧ）とが１５：４０：４５重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄液の配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表４に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
なお、実施例４の洗浄液は、相分離しない均一組成であることから、その光透過率は１００％であった。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１１８】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表４のように調製し、蒸発槽に投入した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、凝集部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。その結果を表４に示す。
また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数を、それぞれ測定した。
【０１１９】
【表４】
2010188338.tif 000009
【０１２０】
表４の結果から明らかなように、洗浄液タンクに貯留されている洗浄液の組成は、循環洗浄装置を１０時間および１００時間、それぞれ継続的に稼働させた後でも、光透過率が１００％である洗浄液の当初配合組成を略維持することができた。
従って、この循環洗浄装置によれば、長期間継続して稼働させても、所望の洗浄液の組成を維持できることが確認できた。
また、実施例４の循環洗浄装置の仕様によれば、初期はもちろんのこと、所定時間経過した後でも、突沸現象が生じないことが確認された。
【０１２１】
［実施例５］
実施例５では、水と、モノイソパノールアミン（ＭＩＰＡ）と、ベンジルアミン（ＢＡＮ）と、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＧＡＣ）と、ベンジルアルコール（ＢＡＬ）と、が６９：１０：１：１５：５重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することにより、白濁状態（光透過率５％）の洗浄液の配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表５に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１２２】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表５のように調製し、蒸発槽に投入した。ここでは、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表５に示す。
【０１２３】
【表５】
2010188338.tif 000010
【０１２４】
［実施例６］
実施例６では、水と、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）と、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）と、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール（ＭＭＢ）と、プロピレングリコールジアセテート（ＰＧＤＡ）と、メトキシブチルアセテート（メトアセ）と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＭＡ）と、が７０：２：２：７：９：９：２重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄時に白濁状態（光透過率１０％）となる洗浄液の当初配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表６に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１２５】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表６のように調製し、蒸発槽に投入した。また、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表６に示す。
【０１２６】
【表６】
2010188338.tif 000011
【０１２７】
［比較例１］
比較例１では、実施例１の循環洗浄装置の仕様を以下のように変更した他は、実施例１と同様に、循環洗浄装置を駆動させ、洗浄液の配合組成を経時的に測定するとともに、突沸回数を測定した。得られた結果を表７に示す。
連結部の開口面積（Ａ）    ：３００ｍｍ2
ヒータ容量（Ｂ）          ：５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：６０ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：９ｍ／ｓｅｃ
【０１２８】
【表７】
2010188338.tif 000012
【０１２９】
表７の結果から明らかなように、洗浄液タンクに貯留されている再生洗浄液の配合組成は、比較例１における循環洗浄装置を１０時間および１００時間、それぞれ継続的に稼働させた後、当初の組成比から相当ずれることが確認された。
また、比較例１の循環洗浄装置の仕様によれば、初期はもちろんのこと、長期間経過した後でも、所定回数の突沸現象が生じることが確認された。
【０１３０】
［比較例２］
比較例２では、実施例４の循環洗浄装置の仕様を以下のように変更した他は、実施例１と同様に、循環洗浄装置を駆動させ、洗浄液の配合組成を経時的に測定するとともに、突沸回数を測定した。得られた結果を表８に示す。
連結部の開口面積（Ａ）    ：１８０ｍｍ2
ヒータ容量（Ｂ）          ：５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：３６ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：１５ｍ／ｓｅｃ
【０１３１】
【表８】
2010188338.tif 000013
【０１３２】
表８の結果から明らかなように、洗浄液タンクに貯留されている再生洗浄液の配合組成は、比較例２における循環洗浄装置を１０時間および１００時間、それぞれ継続的に稼働させた後、当初の組成比から若干ずれることが確認された。
また、比較例２の循環洗浄装置の仕様によれば、初期はもちろんのこと、長期間経過した後でも、所定回数の突沸現象が生じることが確認された。
【０１３３】
［実施例７］
実施例７では、水と、Ｎ−エチルエタノールアミン（ＭＥＭ）と、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＢＦＧ）と、エチレングリコールモノイソブチルエーテル（ｉＢＧ）と、が７０：２：１９：９重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することにより、洗浄時に白濁状態（光透過率１０％）となる洗浄液の当初配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表９に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１３４】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表９のように調製し、蒸発槽に投入した。また、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表９に示す。
【０１３５】
【表９】
2010188338.tif 000014
【０１３６】
［実施例８］
実施例８では、水と、１−デセン、Ｎ−エチルエタノールアミン（ＭＥＭ）と、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）と、１−ヘキサノールと、２−ヘプタノン（ＭＡＫ）と、が７０：１７．１：０．１：４．３：４．２：４．３重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄時に白濁状態（光透過率５％）となる洗浄液の当初配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表１０に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１３７】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表１０のように調製し、蒸発槽に投入した。また、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表１０に示す。
【０１３８】
【表１０】
2010188338.tif 000015
【０１３９】
［実施例９］
実施例９では、水と、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ＢＦＧ）、エチレングリコールモノイソブチルエーテル（ｉＢＧ）と、が７０：１７：１３重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄時に白濁状態（光透過率３０％）となる洗浄液の当初配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表１１に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１４０】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表１１のように調製し、蒸発槽に投入した。また、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表１１に示す。
【０１４１】
【表１１】
2010188338.tif 000016
【０１４２】
［実施例１０］
実施例１０では、水と、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール（ＭＭＢ）と、Ｎ−エチルエタノールアミン（ＭＥＭ）と、が７０：２８：２重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄液の当初配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表１２に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
なお、実施例１０の洗浄液は、相分離しない均一組成であることから、その光透過率は１００％であった。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１４３】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表１２のように調製し、蒸発槽に投入した。また、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表１２に示す。
【０１４４】
【表１２】
2010188338.tif 000017
【０１４５】
［実施例１１］
実施例１１では、水と、プロピレングリコールモノプロピルエーテル（ＰＦＧ）と、が６０：４０重量％となる配合組成の洗浄液を用いて、図７に示すような循環洗浄装置を構成し、連続的に稼働することで、洗浄液の当初配合組成が安定に維持できるかを確認した。
そのため、表１３に示すような割合で各配合成分を混合して、洗浄液を調製し、それを洗浄液タンクに投入した。
なお、実施例１１の洗浄液は、相分離しない均一組成であることから、その光透過率は１００％であった。
また、循環洗浄装置の仕様は、以下の通りであった。
連結部の開口面積（Ａ）    ：５,０００ｍｍ2 
ヒータ容量（Ｂ）          ：０．５ｋＷ
洗浄液蒸気の移動係数（Ｃ）：１０,０００ｍｍ2／ｋＷ
水蒸気の移動係数（Ｄ）    ：０．０６ｍ／ｓｅｃ
【０１４６】
次いで、洗浄液タンクに投入した洗浄液に対応する仮の蒸留元液を表１３のように調製し、蒸発槽に投入した。また、仮の蒸留元液は実施例１の手法に準拠して調製した。
そして、この状態で循環洗浄装置を稼働し、略定常状態に達した後、生成部の温度及び圧力、及び、生成部からの凝縮液の流出流量を経時的に測定するとともに、洗浄液タンク内に貯留されている洗浄液の配合組成を経時的に測定した。また、開始後〜１時間の間に生じた突沸回数、１０時間〜１１時間の間に生じた突沸回数、および１００時間〜１０１時間の間に生じた突沸回数をそれぞれ測定した。その結果を表１３に示す。
【０１４７】
【表１３】
2010188338.tif 000018
【産業上の利用可能性】
【０１４８】
本願発明の洗浄液再生装置によれば、洗浄液蒸気の移動速度を考慮するとともに、気相としての洗浄液蒸気と、その液相との間の気液平衡を利用した減圧蒸留によって、非水系溶剤はもちろんのこと、水系溶剤であっても、さらには、静置状態では相分離状態（洗浄時には、白濁状態）となる複数成分からなる洗浄液であっても、初期配合組成を実質的に維持しながら効率的に再生することが可能となった。
また、本願発明の循環洗浄装置によれば、気液平衡を利用した減圧蒸留を行う所定の洗浄液再生装置を備えることによって、水系溶剤であっても、さらには、静置状態では相分離状態（洗浄時には、白濁状態）となる複数成分からなる洗浄液であっても、長期間にわたって安定的に循環使用可能な循環洗浄装置を提供することが可能となった。
なお、所定種類であって、かつ、所定ＳＰ値の有機溶剤を用いた洗浄剤組成物用原液とすることにより、所定量の水を含み、静置状態では相分離状態（洗浄時には、白濁状態）となる複数成分からなる洗浄液も、所定量の水を添加する前は、相分離しない均一状態とできることから、保管条件や運搬条件等によって、配合組成や洗浄力等がばらつくおそれはない。
よって、本願発明の洗浄液再生装置や循環洗浄装置によれば、特に、高信頼性を要求される電子部品におけるフラックス残渣やソルダーペースト等の洗浄、スクリーン版洗浄や切削油やプレス油が付着した金属部品の洗浄において、洗浄性に優れた洗浄剤組成物や洗浄方法を提供することができる。
【符号の説明】
【０１４９】
１０：洗浄液再生装置、１１：洗浄装置、１１ａ：リンス部、１１ｂ：洗浄部、１２：循環洗浄装置、１３：生成部、１５：再生洗浄液、１５ａ：リンス液（再生洗浄液）、１５ｂ：洗浄液（再生洗浄液）、１５´：洗浄液蒸気、１７ａ：洗浄液取出部、１７ｂ：配管、 １７ｃ、１７ｄ：流量調整弁、２３：回収部、３０：使用済洗浄液（蒸留元液）、３１：蒸発部（蒸発タンク）、３１ａ：加熱手段（ヒータ）、４１：冷却部（水冷管）、４１ｂ：貯留部、４１ｃ：開口部、４３：洗浄液タンク、４７：循環経路、４９：吸引部、４９ａ：循環ポンプ、４９ｂ：吸引個所、４９ｃ：圧力計、５１：配管路、５３ａ：吸引バルブ、５３ｂ：逆止弁、５５：減圧経路、６０：リンス槽、６２：洗浄槽
【図１】
2010188338.tif 000019
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2010188338.tif 000026
【図９】
2010188338.tif 000027
【図１０】
2010188338.tif 000028
【図１１】
2010188338.tif 000029
【図１２】
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【図１３】
2010188338.tif 000031
【図１４】
2010188338.tif 000032
【図１５】
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【図１６】
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