(57)【要約】【目的】ワーク基板の縦横サイズの変更に対応して自らの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、搬送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱及び冷却することができる、ワーク基板への加熱及び冷却機能を備えたコンベアを提供する。【構成】ワーク基板の搬送方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーター又は冷却水等供給部を備えることが可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されている。【選択図】    図１
2010215324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス製又は樹脂製のワーク基板（ロール状基板を含む）を所定の搬送方向に移動させるためのコンベアであって、
前記搬送方向と平行に延びる支持フレームと、
前記ワーク基板の加熱を行うための加熱機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つの中に棒状ヒーターなどの全体が細長い形状の細長ヒーターが挿入されることにより加熱機能を付与されている、加熱機構と、
前記ワーク基板の冷却を行うための冷却機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つに前記各筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部が備えられることにより冷却機能を付与されている、冷却機構と、
前記各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記切断済み押出材の上方に位置する前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体と、
を備えた加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【請求項２】
請求項１において、
前記ワーク基板が前記冷却機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための冷却制御手段、
を備えた、ことを特徴とする、加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【請求項３】
請求項１において、
前記ワーク基板が前記加熱機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための加熱制御手段、
を備えた、ことを特徴とする、加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などに使用されるガラス製又は樹脂製のワーク基板を加熱しながら搬送及び冷却するための、加熱及び冷却機能を備えたコンベアに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、テレビやパソコン用のディスプレイに使用されるガラス製又は樹脂製のワーク基板を搬送するためのコンベアが利用されている。例えば、特許文献１は、ガラス製などの大型のワーク基板の下方にワーク基板を乾燥や焼成などの目的で加熱するためのヒーターなどを含む下加熱板を配置し、この下加熱板の側方に前記ワーク基板を搬送するためのローラを備えた加熱乾燥装置を開示している。なお、この特許文献１の装置においては、前記ワーク基板の上方にも上加熱板を配置しているので、この特許文献１の装置によれば、ワーク基板を搬送しながら、同時にワーク基板の上下両面を加熱することができるようになっている。特許文献２もほぼ同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２２５０８０号公報
【特許文献２】特開平１１−１５２５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１などに示す従来のワーク基板を加熱しながら搬送する装置においては、前記下加熱板をヒーターで加熱された「一個の金属板」により構成し、この加熱された１個の金属板から放射される熱によりワーク基板を加熱するようにしていたので、技術革新などに伴ってワーク基板の縦横サイズが変更されたときは、その度に、前記のサイズが変更されたワーク基板に対応する縦横サイズの１個の金属板を別個に新しく製造する必要があった。そして、その場合は、前述のような金属板は縦横サイズが異なる毎に新規に特注する必要があったため、全体として加熱及び冷却機能付きコンベアの製造コストが高くなってしまう、という問題があった。
【０００５】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、前述のように下加熱板を１個の金属板により構成していたため、前記１個の金属板をヒーターなどで加熱するとき、その金属板に反りや撓みなどの変形が生じてしまい、その結果、ワーク基板全体への均一な加熱が難しくなってしまう、という問題があった。
【０００６】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、前述のように下加熱板を１個の金属板により構成していたため、下加熱板の重量が大きくなってしまうので、加熱及び冷却機能付きコンベアの設置などの際に作業者に大きな負担を掛けてしまう、という問題があった。
【０００７】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、前述のように下加熱板を１個の金属板により構成していたため、前記１個の金属板を加熱するために多くの熱量を必要とし、ヒーターの駆動電力が多量に消費されてしまう、という問題があった。
【０００８】
また、前記の従来の加熱機能を備えたコンベアにおいては、同じガラス基板を加熱及び冷却する場合、加熱のためだけに使用する加熱専用の加熱板と冷却のためだけに使用する冷却専用の冷却板とをそれぞれ別個に用意しておく必要があるため、ガラス基板を搬送しながら加熱及び冷却するためのコストが増大してしまうという問題があった。
【０００９】
さらに、前記の従来のコンベアにおけるように、加熱のためだけに使用する加熱板と冷却のためだけに使用する冷却板とをそれぞれ別個に設ける場合は、加熱工程から冷却工程に移行するときガラス基板を加熱板から冷却板へ移載するための移載装置が必要となりコストが増大してしまう、加熱板と冷却板との双方を設置するため床面積が増大してしまうなどの問題があった。
【００１０】
本発明はこのような従来技術の問題点に着目してなされたものであって、ワーク基板を乾燥や熱処理などのために加熱しながら搬送及び冷却する加熱及び冷却機能付きコンベアにおいて、ワーク基板の縦横サイズの変更に対応するための加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を、極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、搬送中のワーク基板に対してその全体を均一に加熱することができ、前記加熱及び冷却機能付きコンベア全体の重量を軽量化して作業者の負担を軽減することができ、前記加熱及び冷却機能付きコンベア全体の消費電力を節減することができ、さらにワーク基板を搬送しながら加熱及び冷却するための装置のコストや装置の床面積を大幅に低減することができる、加熱及び冷却機能を備えたコンベアを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上のような課題を解決するための本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアは、ガラス製又は樹脂製のワーク基板（ロール状基板を含む）を所定の搬送方向に移動させるためのコンベアであって、前記搬送方向と平行に延びる支持フレームと、前記ワーク基板の加熱を行うための加熱機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つの中に棒状ヒーターなどの全体が細長い形状の細長ヒーターが挿入されることにより加熱機能を付与されている、加熱機構と、前記ワーク基板の冷却を行うための冷却機構であって、「アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材」が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つに前記各筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部が備えられることにより冷却機能を付与されている、冷却機構と、前記各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記切断済み押出材の上方に位置する前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体と、を備えたものである。
【００１２】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記ワーク基板が前記冷却機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための冷却制御手段を備えることが望ましい。
【００１３】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記ワーク基板が前記加熱機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための加熱制御手段を備えることが望ましい。
【００１４】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各回転体は、前記搬送方向と直交する方向に延びる回転軸とこの回転軸の複数箇所に突設されているローラとを備えており、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板と対向する側（上側）には、前記隙間であって前記ローラが突出している部分を除く隙間の上方を塞ぐための上カバーが備えられており、前記各切断済み押出材の外側枠体の前記切断面から見て左右の各上端部には、前記各切断済み押出材の長手方向と直交する方向に突出し且つ前記各切断済み押出材の長手方向と平行に延びる上カバー支持用突出片であって前記上カバーの一端を載置するための上カバー支持用突出片が一体に形成されている、ことが望ましい。
【００１５】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板と反対の側（下側）には、前記隙間の下方を塞ぐための断面略円弧状の下カバーが備えられており、前記各切断済み押出材の外側枠体の前記切断面から見て左右の各下端部には、前記各切断済み押出材の長手方向と直交する方向に突出し且つ前記各切断済み押出材の長手方向と平行に延びる下カバー支持用突出片であって前記下カバーの一端を載置するための下カバー支持用突出片が一体に形成されている、ことが望ましい。
【００１６】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各切断済み押出材の各切断面には、前記各切断面の開口部を塞ぐための切断面用カバーが取り付けられている、ことが望ましい。
【００１７】
さらに、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記各切断済み押出材の前記外側枠体の前記切断面から見て左右の各側板部の上下方向の途中部分には、前記各切断済み押出材の長手方向と平行な方向に延びる外側筒状パイプであって前記細長ヒーターが挿入可能又は前記冷却水等供給部が取り付け可能な外側筒状パイプが、前記各切断済み押出材と一体に形成されている、ことが望ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明においては、同じ構造の安価な複数のアルミ押出材に対して細長ヒーターを挿入するか又は冷却水等供給部を備えるかだけにより、各アルミ押出材に加熱機能又は冷却機能を持たせるようにしているので、搬送しながら加熱及び冷却するための装置を、全体として極めて低コストで構成することができる。
【００１９】
また、本発明においては、ワーク基板を加熱又は冷却するとき、ワーク基板が、前記加熱機構又は冷却機構の上で、所定の距離だけ前記搬送方向に移動した後に所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記制御装置により前記回転体を制御するようにしているので、ワーク基板の全体をより一層、均一に加熱又は冷却できるようになる。
【００２０】
また、本発明においては、従来より一般的に極めて安価に製造されているアルミ押出材が所望の長さで切断されて成る、複数の切断済み押出材と、各切断済み押出材の間にそれぞれ配置された回転体と、により加熱及び冷却機能付きコンベアを構成している。よって、本発明によれば、ワーク基板の縦横サイズが技術革新などにより変更する必要が生じたために加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズも変更する必要が生じた場合でも、「前述のようなアルミ押出材を切断して前記切断済み押出板を形成するときの前記切断する長さを変更すると共にこのようにして切断されて成る切断済み押出板の個数を増減する」という極めて低コストの部品調達や作業を行うだけで、加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を行うことができる（従来より前記アミ押出材は極めて低コストで製造でき前記切断作業なども極めて低コストで行うことができる）。よって、本発明によれば、ワーク基板の縦横サイズが変更された場合にそれに対応するための前記加熱及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を、極めて柔軟に且つ低コストで行うことができるようになる。
【００２１】
また、本発明においては、加熱及び冷却機能付きコンベアを、「アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材を、複数個、所定の間隔を介して並べること」により構成しているので、加熱及び冷却機能付きコンベアの全体を軽量化することができ、コンベア設置時の作業員の負担を軽減させることができる。
【００２２】
また、本発明においては、加熱及び冷却機能付きコンベアを、「アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材を、複数個、所定の間隔を介して並べること」により構成し、前記細長ヒーターにより前記各切断済み押出板を加熱することができるようにし、また前記冷却水等供給部からの冷却水等により前記各切断済み押出板を冷却することができるようにしている。したがって、本発明によれば、従来のコンベアにおけるようにワーク基板の加熱機構又は冷却機構をそれぞれ１個の金属板により構成する場合と異なって、加熱機構の全体又は冷却機構の全体に反りや撓みなどの変形が生じてしまうことが抑制されるので、加熱機構及び冷却機構に対向しながら移動するワーク基板の全体を均一に加熱及び冷却することができる。
【００２３】
また、本発明によれば、従来のコンベアにおけるような加熱のためだけに使用する加熱板と冷却のためだけに使用する冷却板とをそれぞれ別個に備えることが不要になるので装置全体の軽量化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおいて必要であった加熱工程から冷却工程に移行するときのガラス基板を加熱板から冷却板へ移載するための移載装置が不要になるので装置全体の簡素化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおけるように加熱板と冷却板とを別々に備えることが不要になるので装置全体の床面積を節減することができる、などの効果を得ることができる。
【００２４】
また、本発明において、前記筒状パイプと前記外側枠体とを接続する帯状の接続部を前記切断済み押出材と一体に形成しているときは、前記細長ヒーターの熱は前記帯状の接続部を介して前記アルミ押出材の前記空洞部を囲んでいる外側枠体の上側に伝熱されて前記外側枠体の上面全体から熱が放射されて前記ワーク基板を面状に加熱するので、前記細長ヒーターにより直接にワーク基板を加熱する場合（この場合はワーク基板の中の前記細長ヒーターに対向する線状部分だけが他の部分より強く加熱されてしまうので加熱にムラが生じてしまう）と比較して、ワーク基板全体をより均一に加熱できるようになる。
【００２５】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の空洞部内に一つ又は複数の前記筒状パイプを一体に形成すると共に、前記各切断済み押出材の外側枠体の左右の各側板部の途中部分に前記筒状パイプを一体に形成したときは、少なくとも３本以上の細長ヒーターを内部に含ませて前記外側枠体の上面から面状に且つ効率的に前記ワーク基板を加熱することができる。また、このように前記左右の各側板部の途中部分に前記筒状パイプを形成するときは、前記各側板部を介して前記細長ヒーターの熱が前記外側枠体の上面に伝導されるので、いちいち帯状の接続部を形成する必要がなく製造コストを低減できる。
【００２６】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の前記外側枠体の左右各上端部に上カバー支持用突出片を一体に形成し、この上カバー支持用突出片を利用して、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板に対向する側（上側）に、前記隙間（前記の突出しているローラの部分を除く隙間）の上方を塞ぐための上カバーを備えるようにしたときは、前記細長ヒーターからの熱が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板への加熱がより効率的に行えるようになる。
【００２７】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の前記外側枠体の左右各下端部に下カバー支持用突出片を一体に形成し、この下カバー支持用突出片を利用して、前記各切断済み押出材の間の隙間の前記ワーク基板と反対側（下側）に、前記隙間の下方を塞ぐための下カバーを備えるようにしたときは、前記細長ヒーターからの熱が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板への加熱がより効率的に行えるようになる。
【００２８】
また、本発明において、前記各切断済み押出材の前記各切断面に切断面用カバーを取り付けるようにしたときは、前記細長ヒーターからの熱が前記切断面の開口部から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板への加熱がより効率的に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１（ａ）は本実施例１を構成する切断済み押出材の切断面を示す正面図、図１（ｂ）はその斜視図である。
【図２】本実施例１における支持フレームと切断済み押出材を説明するための斜視図である。
【図３】本実施例１における切断済み押出材と回転軸及びローラとの位置関係を説明するための正面図（切断済み押出材の切断面の方向から見たときの図）である。
【図４】本実施例１における切断済み押出材と回転軸及びローラとの位置関係を説明するための平面図である。
【図５】本実施例１における切断済み押出材と切断面用カバーとを説明するための斜視図である。
【図６】図６（ａ）は本実施例１によるコンベアの一部を示す部分平面図、図６（ｂ）はそのＡ−Ａ線断面図である。
【図７】ワーク基板Ｗが搬送されているときの状態を示す本実施例１の側面図である。
【図８】図８（ａ）は本実施例１によるワーク基板Ｗの加熱と搬送の動作を模式的に示す図、図８（ｂ）は比較例によるワーク基板Ｗの加熱と搬送の動作を模式的に示す図である。
【図９】本実施例１の電気的構成の一部を示すブロック図である。
【図１０】本実施例１において各アルミ押出材の筒状パイプ内に冷却水を供給するための機構を説明するための模式図である。
【図１１】本実施例１における前記加熱ゾーン（加熱ポジション）と冷却ゾーン（冷却ポジション）の全体を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明を実施するための最良の形態は、以下の実施例１について述べるような形態である。
【実施例１】
【００３１】
以下、本発明の実施例１による加熱及び冷却機能付きコンベアを説明する。図１（ａ）は本実施例１を構成する部品の一つである切断済み押出材の切断面を示す正面図、図１（ｂ）は前記切断済み押出材の斜視図である。
【００３２】
図１において、１は切断済み押出材を示している。この切断済み押出材１は、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材（長手方向の両端が開口された細長い箱状体）が、所定の長さ（例えば約６ｍなど）で切断されて成るものである。
【００３３】
また図１において、２は前記切断済み押出材１の内部の空洞部（この空洞部２は、後述の各筒状パイプ６，６ａと各帯状接続部７により複数に仕切られている）、３は前記切断済み押出材１の図示上側の面を構成する上板部であってワーク基板（図示せず）との対向面を構成する上板部、４は前記切断済み押出材１の図示下側の面を構成する下板部、５は前記切断済み押出材１の図示右側及び左側の側部をそれぞれ構成する側板部、６，６ａは前記空洞部２内に前記切断済み押出材１の長手方向と平行に延びるように一体的に形成された筒状パイプ、７，７ａは前記筒状パイプ６，６ａの図示上側部分と前記上板部３とを接続するために前記切断済み押出材１の長手方向と平行に延びるように帯状に形成された上側接続部、８，８ａは前記筒状パイプ６，６ａの図示下側部分と前記下板部４とを接続するために前記切断済み押出材１の長手方向と平行に延びるように帯状に形成された下側接続部、９は前記切断済み押出材１の図示左右の各側板部５の途中部分に一体的に形成された筒状パイプ、１０は前記切断済み押出材１の図示左右各下端部にそれぞれ一体的に形成され後述の下カバーを支持するための下カバー支持用の下側突出片、１１は前記切断済み押出材１の図示左右各上端部にそれぞれ一体的に形成され後述の上カバーを支持するための上カバー支持用の上側突出片、である。
【００３４】
本実施例１では、前記各切断済み押出材１と一体に形成されている図１の計５個の筒状パイプ６，６ａ，９の中の中央の筒状パイプ６の中に、棒状ヒーター（図示せず）が挿入されている。また、本実施例１では、図１の計５個の筒状パイプ６，６ａ，９の中の前記筒状パイプ６（棒状ヒーターが挿入されるもの）の両側の２つ筒状パイプ６ａに、前記筒状パイプ６ａの中に冷却水（又は冷媒）を供給し流通させるための冷却水供給部（（図示せず。後述）が取り付けられている。
【００３５】
また、本実施例１では、図２に示すように、複数の前記切断済み押出材１は、ワーク基板の搬送方向（矢印Ｐ参照）と平行に延びるように配置された支持フレーム２０の上に、前記搬送方向Ｐと直交する方向に、互いに所定間隔を介して並べられている。また、前記各切断済み押出材１の間には後述のローラ（後述）が配置されている。
【００３６】
図３は複数の前記切断済み押出材１とローラとを使用した本実施例１による加熱及び冷却機能付きコンベアの一部を示す部分正面図、図４は前記切断済み押出材１とローラとを上方から示す平面図、である。なお、図３，図４においては、図２の支持フレームは図示を省略している。
【００３７】
本実施例１においては、図３に示すように、各切断済み押出材１の間に図示しないモーターにより駆動される回転軸２１とこの回転軸２１の複数箇所に突設・固定されたローラ２２が配置されている。前記ローラ２２は、図３に示すように、前記切断済み押出材１の上面よりも所定距離だけ上方（ワーク基板Ｗに近づく方向）に突出するように配置されている。
【００３８】
また、本実施例１においては、図３に示すように、前記切断済み押出材１の間の隙間（空間）の上方（ワーク基板Ｗの側）であって前記ローラ２２が突出していない部分の隙間の上方を塞ぐための例えば金属製の板状の上カバー（蓋）２３が配置されている。この上カバー２３は、図３に示すように、その両端部がそれぞれ前記切断済み押出材１の前記上側突出片１１の上に載置・支持されることにより、前述のように配置されている。前記上カバー２３は、前記棒状ヒーターからの熱（又は前記冷却水からの冷熱）が前記隙間から逃げないようにして前記ワーク基板Ｗへの加熱及び冷却の効率を向上させるために設置されている。
【００３９】
また、本実施例１においては、図３に示すように、前記切断済み押出材１の間の隙間（空間）の下方（ワーク基板Ｗと反対の側）を塞ぐための例えば金属製の断面略円弧状の下カバー２４が配置されている。この下カバー２４は、図３に示すように、その両端部がそれぞれ前記切断済み押出材１の前記下側突出片１０上に載置・支持されることにより、前述のように配置されている。前記下カバー２４は、前記棒状ヒーターからの熱（又は前記冷却水からの冷熱）が前記隙間から逃げないようにして前記ワーク基板Ｗへの加熱及び冷却の効率を向上させるために設置されている。
【００４０】
また、前記切断済み押出材１の両端部（前記アルミ押出材の各切断面）には、前述のように、前記の空洞部２や筒状パイプ６，６ａ，９などの開口部が存在している（図１参照）。そこで、本実施例１では、図５に示すように、前記の各開口部を塞ぐための例えば金属製の切断面用カバー２５が前記各両端部（切断面）にネジ（図示せず）などで固定されている。前記切断面用カバー２５は、前記棒状ヒーターからの熱（又は前記冷却水からの冷熱）が前記両端部（切断面）の開口部から逃げないようにして前記ワーク基板Ｗへの加熱の（又は冷却の）効率を向上させるためのものである。また、前記切断面用カバー２５には、前記棒状ヒーターを前記筒状パイプ６の中に通過させたり前記冷却水等供給部を前記筒状パイプ６ａに取り付るための抜き穴２５ａが形成されている。
【００４１】
また、図６（ａ）は本実施例１による加熱及び冷却機能付きコンベアの一部を示す部分平面図、図６（ｂ）はそのＡ−Ａ線断面図である。本実施例１では、図６（ｂ）に示すように、前記ワーク基板Ｗの上面を加熱するための上側加熱板２６が、前記切断済み押出材１の上方に並べて配置されている。図６（ｂ）では、前記上側加熱板２６は１個のみしか図示されているが、実際には前記上側加熱板２６が、複数個、ワーク基板Ｗの全体に対向するように並べて配置されている。前記上側加熱板２６は、例えば金属製の内部が空洞に形成された板状部材であって内部に棒状ヒーターが挿入されている。
【００４２】
次に、本実施例１の動作を説明する。まず、図７を参照して、本実施例１による前記ワーク基板Ｗの搬送及び加熱の動作について説明する。図７はワーク基板Ｗが搬送されているときの状態を示す本実施例１の側面図である（図７では図６の上側加熱板２６は図示を省略している）。本実施例１では、図７に示すように、ワーク基板Ｗの搬送方向Ｐと平行に、前記切断済み押出材１とローラ２２とが交互に配置されている。そして、前記切断済み押出材１の内部に挿入されている棒状ヒーターの熱が伝導されて前記切断済み押出材１の上面から面状に放射される。よって、本実施例１によれば、複数のワーク基板Ｗが、順次、前記切断済み押出材１により加熱されながら同時に前記ローラ２２により搬送される。この場合、技術革新などにより前記ワーク基板Ｗの縦横サイズを変更する必要が生じた場合でも、前記切断済み押出材１のアルミ押出材からの切断長さを変更すると共に前記切断済み押出材１の配置個数を変更するだけで、極めて柔軟に且つ安価に、前記変更に対応することができる（この点は後述の切断済み押出材１を冷却用に使用する場合も同様）。
【００４３】
次に、図８の模式図を参照して、本実施例１によるワーク基板Ｗの加熱と搬送の動作を説明する。図８（ａ）において、符号２７は前記切断済み押出材１の各筒状パイプ６又は９内に挿入される棒状ヒーターを模式的に示すものである。図８（ａ）では、前記計５つの筒状パイプの中の中央の筒状パイプ６と前記左右の各側板５の途中部分に形成された各筒状パイプ９との計３個の筒状パイプ６，９の中に、棒状ヒーター２７が挿入されている。
【００４４】
本実施例１を使用してワーク基板Ｗを搬送するときは、前記棒状ヒーター２７からの熱が前記帯状の上側接続部（図１の符号７参照）などを介して前記切断済み押出材１の上面に伝導されるので、ワーク基板Ｗは前記切断済み押出材１の上面から面状に加熱され、ワーク基板Ｗの全体が均一に加熱されるようになる。これに対して図８（ｂ）に示すような比較例においては、各ローラ２２の間に棒状ヒーター２７がそのまま配置されているだけであり、前記棒状ヒーター２７からの熱は線状にワーク基板Ｗを加熱するだけでなので、ワーク基板Ｗに加熱ムラが生じてしまう恐れがある（ワーク基板Ｗに反りや歪みが生じてしまう原因となってしまう恐れがある）。
【００４５】
また、本実施例１においては、図９のブロック図に示すように、前記各ローラ２２を回転させる回転軸２１を駆動する駆動部３１（図示しないモータにより構成される）を制御する制御装置３２が備えられている。前記制御装置３２は、図示しないパソコンなどにより構成されている。前記制御装置３２には、各ワーク基板Ｗの種類などに応じた加熱時間と、この各ワーク基板Ｗに適した加熱時間を実現するために必要な前記ローラ回転軸２１の駆動態様を実現するためのプログラムが予め記録されている。前記制御装置３２は、前記プログラムにしたがって、前記駆動部３１を制御する。例えば、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを１０分間だけ加熱する必要がある場合は、ワーク基板Ｗが前記加熱機能を備えた複数のアルミ押出材１が並べられて成る加熱ゾーン（加熱機構）の上に移動した後、ワーク基板Ｗを、前記加熱ゾーンの上で、前記１０分間だけ、例えば１００〜２００ｍｍくらいずつ図８の左右方向に揺動させる（左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動と右左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動とを所定回数だけ繰り返す）。このような揺動により、ワーク基板Ｗの全体が均一に加熱されるようになる。そして、前記の必要な加熱時間が経過したら、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを前記加熱ゾーン（加熱機構）から次の冷却ゾーン（冷却機構）へ移動させる（後述の図１１参照）。
【００４６】
次に、本実施例１における冷却機構（冷却水等供給部など）の構成について図１０を参照して説明する。この冷却機構は、前記加熱機構と同様に、前記の複数のアルミ押出材１が前記支持フレーム２０上に所定間隔を介して並べられることにより、構成されている。図１０において、３３は外部の冷却水源（図示せず）からの冷却水(符号Ｂ参照）を前記各アルミ押出材１の前記各筒状パイプ６ａ内に供給するための冷却水供給管、３４は前記冷却水供給管３３からの冷却水を受け入れるために前記各アルミ押出材１内の各筒状パイプ６ａの図示下端部に取り付けられた受水口部、３３ａは前記冷却水供給管３３からの冷却水の一部を前記各受水口部３４に供給するための支管である。前記各受水口部３４から前記各筒状パイプ６ａ内に受け入れられた冷却水は前記接続部７ａ（図１参照）を介して前記各アルミ押出材１を冷却し、これにより冷却された前記各アルミ押出材１は自らと近接した位置に配置されているワーク基板Ｗを冷却する（なお、本実施例１において、前記ワーク基板Ｗを冷却するためには、前記ワーク基板Ｗを前記アルミ押出材１に近接させるだけでもよいが、例えばワーク基板Ｗが冷却機構の上にあるとき、周知の昇降機構により前記ローラを前記各アルミ押出材１よりも下降させることにより、前記ワーク基板Ｗを前記各アルミ押出材１に接触させるようにしてもよい）。
【００４７】
他方、図１０において、３５は、前記冷却水供給管３３からの冷却水であって前記各筒状パイプ６ａ内での熱交換に使用された後の水を、前記各筒状パイプ６ａの外に流出させるために前記各筒状パイプ６ａの図示上端部に取り付けられた流出口部である。また、３６は、前記各流出口部３５から流出された水を各支管３６ａを介して受け入れて冷却水源（図示せず）に戻す(符号Ｃ参照）ための排水管、である。
【００４８】
なお、本実施例１における前記各受水口部３４（又は、前記各受水口部３４、前記冷却水供給管３３、前記流出口部３５、及び前記排水管３６）は、本発明における「筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部」の一具体例である。
【００４９】
本実施例１においては、図９で示す前記制御装置３２に、各ワーク基板Ｗの種類などに応じた冷却時間と、この各ワーク基板Ｗに適した冷却時間を実現するために必要な前記ローラ回転軸２１の駆動態様を実現するためのプログラムが予め記録されている。前記制御装置３２は、前記プログラムにしたがって、前記駆動部３１を制御する。例えば、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを１０分間だけ冷却する必要がある場合は、ワーク基板Ｗが前記冷却機能を備えた複数のアルミ押出材１が並べられて成る冷却ゾーン（冷却機構）の上に移動した後、ワーク基板Ｗを、前記冷却ゾーンの上で、前記１０分間だけ、例えば１００〜２００ｍｍくらいずつ図８の左右方向に揺動させる（左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動と右左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動とを所定回数だけ繰り返す）。このような揺動により、ワーク基板Ｗの全体が均一に冷却されるようになる。そして、前記の必要な冷却時間が経過したら、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを前記冷却ゾーン（冷却機構）から他へ移動させる。
【００５０】
図１１は本実施例１における前記加熱ゾーン（加熱ポジション）と冷却ゾーン（冷却ポジション）を示す模式図である。図１１において、４１は前記各筒状パイプ６にそれぞれ棒状ヒーターが挿入されている複数個のアルミ押出材１から構成される加熱機構が配置されている加熱ゾーン（加熱ポジション）、４２は前記各筒状パイプ６ａにそれぞれ前記冷却水用の受水口部３４が取り付けられている複数個のアルミ押出材１から構成される加熱機構が配置されている冷却ゾーン（冷却ポジション）、Ｐはワーク基板Ｗの搬送方向を示している。なお、図１１では、加熱ゾーン（加熱ポジション）からそのまま冷却ゾーン（冷却ポジション）へ連続的に移行するようにしているが、工場のレイアウトによっては、加熱ゾーン（加熱ポジション）と冷却ゾーン（冷却ポジション）との間に、通常の（加熱及び冷却機能を有していない）コンベアを介在させるようにしてもよい。
【００５１】
以上のように、本実施例１においては、前記切断済み押出材１と各ローラ２２（及び回転軸２１）とにより加熱及び冷却機能付きコンベアを構成しているので、ワーク基板Ｗの縦横サイズが変更されために加熱機能及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズを変更する必要が生じた場合でも、前記アルミ押出材を切断して前記切断済み押出板１を形成するときの切断する長さを変更すると共にこのようにして切断されて成る切断済み押出板１の個数を増減するだけで、前記加熱機能及び冷却機能付きコンベアの縦横サイズの変更を行うことができる（しかも従来から前記アミ押出材は極めて低コストで製造でき前記切断作業なども極めて低コストで行うことができる）ので、前記ワーク基板Ｗの縦横サイズの変更に対して、極めて容易に且つ低コストで対応することができる。
【００５２】
また、本実施例１においては、加熱機能及び冷却機能付きコンベアを、複数の切断済み押出材１を所定の間隔を介して並べることにより構成するようにし、前記棒状ヒーターからの熱（又は冷却水からの冷熱）は前記帯状の上側接続部７を介して前記上板部３に伝熱されて前記上板部３の全体から熱（又は冷熱）が面状に放射されて前記ワーク基板Ｗを面状に加熱（又は冷却）するようにしている。したがって、本実施例１によれば、前記棒状ヒーターにより直接ワーク基板Ｗを加熱する場合（この場合はワーク基板Ｗの中の前記棒状ヒーターに対向する線状部分だけが他の部分より強く加熱されてしまうのでワーク基板Ｗに加熱ムラなどが生じてしまう）などと比較して、ワーク基板Ｗ全体をより均一に加熱（又は冷却）できるようになる。
【００５３】
また、本実施例１によれば、従来のコンベアにおけるような加熱のためだけに使用する加熱板と冷却のためだけに使用する冷却板とをそれぞれ別個に備えることが不要になるので装置全体の軽量化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおいて必要であった加熱工程から冷却工程に移行するときのガラス基板を加熱板から冷却板へ移載するための移載装置が不要になるので装置全体の簡素化・低コスト化が可能になる、前記の従来のコンベアにおけるように加熱板と冷却板とを別々に備えることが不要になるので装置全体の床面積を節減することができる、などの効果を得ることができる。
【００５４】
また、本実施例１においては、ワーク基板Ｗを前記加熱又は冷却ゾーン（加熱又は冷却機構）の上で加熱又は冷却するとき、前記制御装置３２が前記駆動部３１を制御することにより、ワーク基板Ｗが、前記加熱又は冷却ゾーン（加熱又は冷却機構）の上で、例えば１００〜２００ｍｍくらいずつ図８の左右方向に揺動させる（左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動と右左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動とを所定回数だけ繰り返す）ようにしているので、ワーク基板Ｗの全体をより一層、均一に加熱又は冷却できるようになる。
【００５５】
また、本実施例１において、前記各切断済み押出材１の側板部５の途中部分に前記筒状パイプ９を一体に形成したときは、前記側板部５の途中部分の筒状パイプ９の中に棒状ヒーターを挿入することにより、前記ワーク基板Ｗを加熱することができる。
【００５６】
また、本実施例１において、前記各切断済み押出材１の左右各上端部に上側突出片１１を一体に形成し、この上側突出片１１を利用して、前記各切断済み押出材１の間の隙間（前記ローラ２２が突出している部分を除く）のワーク基板Ｗ側（上側）を塞ぐための上カバー２３を備えるようにしたときは、前記棒状ヒーターからの熱（又は冷却水からの冷熱）が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板Ｗへの加熱（又は冷却）がより効率的に行えるようになる。
【００５７】
また、本実施例１において、前記各切断済み押出材１の左右各下端部に下側突出片１０を一体に形成し、この下側突出片１０を利用して、前記各切断済み押出材１の間の隙間の前記ワーク基板Ｗと反対側（下側）を塞ぐための下カバー２４を備えるようにしたときは、前記棒状ヒーターからの熱（又は冷却水からの冷熱）が前記隙間から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板Ｗへの加熱（又は冷却）がより効率的に行えるようになる。
【００５８】
さらに、本実施例１において、前記各切断済み押出材１の各切断面に切断面用カバー２５を取り付けるようにしたときは、前記棒状ヒーターからの熱（又は冷却水からの冷熱）が前記切断面の開口部（空洞部２や筒状パイブ６，９の開口部など）から逃げることを防止できるので、前記ワーク基板Ｗへの加熱（又は冷却）がより効率的に行えるようになる。
【００５９】
また、本実施例１によれば、加熱機構及び冷却機構付きコンベアを前記切断済み押出材１を複数個並べることにより構成しているので、加熱機構及び冷却機構付きコンベアの全体を軽量化することができると共に、加熱機構及び冷却機構付きコンベアによるワーク基板Ｗの加熱（又は冷却）のための消費電力を節減することができる。
【００６０】
以上、本発明の各実施例について説明したが、本発明は前記の各実施例として述べたものに限定されるものではなく、様々な修正及び変更が可能である。例えば、前記実施例１においては前記各切断済み押出材１の空洞部２内に計３個の筒状パイプ６，６ａを一体に形成するようにしている（前記各切断済み押出材１の側板部５の途中部分には他の筒状パイプ９も形成している）が、前記空洞部２内にはより多数の又は１個の筒状パイプを一体に形成するようにしてもよい。また、逆に、前記実施例１においては前記各切断済み押出材１の空洞部２内に３個の筒状パイプ６，６ａを形成すると共に前記各切断済み押出材１の左右の各側板部５の途中部分に筒状パイプ９を形成することにより前記各切断済み押出材１に全体として計５個の筒状パイプを形成するようにしているが、前記各切断済み押出材１に全体として少なくとも一つの筒状パイプを形成するものでもよい。また、前記実施例１においては、前記筒状パイプ６などに挿入する細長ヒーターとして棒状ヒーターを使用しているが、本発明においては、前記筒状パイプ６などに挿入できるヒーターであればどのような形状でもよく、例えばコイル状のニクロム線を前記筒状パイプ６などに挿入できるように全体を細長く形成したものなどでもよいことはもちろんである。
【符号の説明】
【００６１】
１     切断済み押出材
２     空洞部
３     上板部
４     下板部
５     側板部
６，６ａ，９  筒状パイプ
７     上側接続部
８     下側接続部
１０   下側突出片
１１   上側突出片
２０   支持フレーム
２１   回転軸
２２   ローラ
２３   上カバー
２４   下カバー
２５   切断面用カバー
２５ａ，２５ｂ 抜き穴
２６   上側加熱板
２７   棒状ヒーター
３１   駆動部
３２   制御装置
３３   冷却水供給管
３４   受水口部
３５   流出口部
３６   排水管
３３ａ，３６ａ 支管
Ｐ     搬送方向
Ｗ     ワーク基板
【図１】
2010215324.tif 000003
【図２】
2010215324.tif 000004
【図３】
2010215324.tif 000005
【図４】
2010215324.tif 000006
【図５】
2010215324.tif 000007
【図６】
2010215324.tif 000008
【図７】
2010215324.tif 000009
【図８】
2010215324.tif 000010
【図９】
2010215324.tif 000011
【図１０】
2010215324.tif 000012
【図１１】
2010215324.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月6日(2009.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス製又は樹脂製のワーク基板（ロール状基板を含む）を所定の搬送方向に移動させるためのコンベアであって、
前記搬送方向と平行に延びる支持フレームと、
前記ワーク基板の加熱を行うための加熱機構であって、アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つの中に棒状ヒーターなどの全体が細長い形状の細長ヒーターが挿入されることにより加熱機能を付与されている、加熱機構と、
前記ワーク基板の冷却を行うための冷却機構であって、アルミ押出材が所定の長さに切断されて成り、その内部が空洞部となっており、前記空洞部内には、その長手方向と平行な方向に延びる複数の筒状パイプと、前記筒状パイプと略平行に延びており前記各筒状パイプと前記空洞部を囲む外側枠体とをそれぞれ接続する帯状の接続部と、が一体に形成されており、前記外側枠体はその前記切断された面が略長方形状となっている、複数個の切断済み押出材が、それぞれの長手方向が前記搬送方向と直交するように且つそれぞれが互いに所定の間隔を介して並べられるように前記支持フレームの上に配置されて成り、前記各切断済み押出材は、前記複数個の筒状パイプの少なくとも一つに前記各筒状パイプの中に冷却水又は冷媒を流通させるための冷却水等供給部が備えられることにより冷却機能を付与されている、冷却機構と、
前記各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記切断済み押出材の上方に位置する前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体と、
を備えた加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【請求項２】
請求項１において、
前記ワーク基板が前記冷却機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動する動作と所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作とを、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための冷却制御手段、を備えた、ことを特徴とする、加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【請求項３】
請求項１において、
前記ワーク基板が前記加熱機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動する動作と所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作とを、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための加熱制御手段、を備えた、ことを特徴とする、加熱及び冷却機能を備えたコンベア。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記ワーク基板が前記冷却機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動する動作と所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動すると動作を、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための冷却制御手段を備えることが望ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明による加熱及び冷却機能を備えたコンベアにおいては、前記ワーク基板が前記加熱機構の上に移動したとき、前記ワーク基板が、所定の距離だけ前記搬送方向に移動する動作と所定の距離だけ前記搬送方向と逆方向に移動する動作とを、所定の回数又は所定の時間だけ繰り返すように、前記回転体を制御するための加熱制御手段を備えることが望ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、本実施例１においては、図９のブロック図に示すように、前記各ローラ２２を回転させる回転軸２１を駆動する駆動部３１（図示しないモータにより構成される）を制御する制御装置３２が備えられている。前記制御装置３２は、図示しないパソコンなどにより構成されている。前記制御装置３２には、各ワーク基板Ｗの種類などに応じた加熱時間と、この各ワーク基板Ｗに適した加熱時間を実現するために必要な前記ローラ回転軸２１の駆動態様を実現するためのプログラムが予め記録されている。前記制御装置３２は、前記プログラムにしたがって、前記駆動部３１を制御する。例えば、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを１０分間だけ加熱する必要がある場合は、ワーク基板Ｗが前記加熱機能を備えた複数の切断済み押出材１が並べられて成る加熱ゾーン（加熱機構）の上に移動した後、ワーク基板Ｗを、前記加熱ゾーンの上で、前記１０分間だけ、例えば１００〜２００ｍｍくらいずつ図８の左右方向に揺動させる（左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動と右方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動とを所定回数だけ繰り返す）。このような揺動により、ワーク基板Ｗの全体が均一に加熱されるようになる。そして、前記の必要な加熱時間が経過したら、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを前記加熱ゾーン（加熱機構）から次の冷却ゾーン（冷却機構）へ移動させる（後述の図１１参照）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
次に、本実施例１における冷却機構（冷却水等供給部など）の構成について図１０を参照して説明する。この冷却機構は、前記加熱機構と同様に、前記の複数の切断済み押出材１が前記支持フレーム２０上に所定間隔を介して並べられることにより、構成されている。図１０において、３３は外部の冷却水源（図示せず）からの冷却水(符号Ｂ参照）を前記各切断済み押出材１の前記各筒状パイプ６ａ内に供給するための冷却水供給管、３４は前記冷却水供給管３３からの冷却水を受け入れるために前記各切断済み押出材１内の各筒状パイプ６ａの図示下端部に取り付けられた受水口部、３３ａは前記冷却水供給管３３からの冷却水の一部を前記各受水口部３４に供給するための支管である。前記各受水口部３４から前記各筒状パイプ６ａ内に受け入れられた冷却水は前記接続部７ａ（図１参照）を介して前記各切断済み押出材１を冷却し、これにより冷却された前記各切断済み押出材１は自らと近接した位置に配置されているワーク基板Ｗを冷却する（なお、本実施例１において、前記ワーク基板Ｗを冷却するためには、前記ワーク基板Ｗを前記切断済み押出材１に近接させるだけでもよいが、例えばワーク基板Ｗが冷却機構の上にあるとき、周知の昇降機構により前記ローラを前記各切断済み押出材１よりも下降させることにより、前記ワーク基板Ｗを前記各切断済み押出材１に接触させるようにしてもよい）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本実施例１においては、図９で示す前記制御装置３２に、各ワーク基板Ｗの種類などに応じた冷却時間と、この各ワーク基板Ｗに適した冷却時間を実現するために必要な前記ローラ回転軸２１の駆動態様を実現するためのプログラムが予め記録されている。前記制御装置３２は、前記プログラムにしたがって、前記駆動部３１を制御する。例えば、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを１０分間だけ冷却する必要がある場合は、ワーク基板Ｗが前記冷却機能を備えた複数の切断済み押出材１が並べられて成る冷却ゾーン（冷却機構）の上に移動した後、ワーク基板Ｗを、前記冷却ゾーンの上で、前記１０分間だけ、例えば１００〜２００ｍｍくらいずつ図８の左右方向に揺動させる（左方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動と右方向への例えば１００〜２００ｍｍの移動とを所定回数だけ繰り返す）。このような揺動により、ワーク基板Ｗの全体が均一に冷却されるようになる。そして、前記の必要な冷却時間が経過したら、前記制御装置３２は、ワーク基板Ｗを前記冷却ゾーン（冷却機構）から他へ移動させる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図１１は本実施例１における前記加熱ゾーン（加熱ポジション）と冷却ゾーン（冷却ポジション）を示す模式図である。図１１において、４１は前記各筒状パイプ６にそれぞれ棒状ヒーターが挿入されている複数個の切断済み押出材１から構成される加熱機構が配置されている加熱ゾーン（加熱ポジション）、４２は前記各筒状パイプ６ａにそれぞれ前記冷却水用の受水口部３４が取り付けられている複数個の切断済み押出材１から構成される加熱機構が配置されている冷却ゾーン（冷却ポジション）、Ｐはワーク基板Ｗの搬送方向を示している。なお、図１１では、加熱ゾーン（加熱ポジション）からそのまま冷却ゾーン（冷却ポジション）へ連続的に移行するようにしているが、工場のレイアウトによっては、加熱ゾーン（加熱ポジション）と冷却ゾーン（冷却ポジション）との間に、通常の（加熱及び冷却機能を有していない）コンベアを介在させるようにしてもよい。