(57)【要約】【課題】磁気記録媒体の生産における段取り時間またはタクトタイムの短縮化を図ることができること。【解決手段】固定台２０は、スタンパ２８および記録媒体用基板３０を位置決めする位置決めピン２０Ｐと、スタンパ２８を吸着保持する固定側スタンパ支持体２２を有し、固定台２０に対し近接または離隔可能に配される可動台１０は、スタンパ１８を位置決めする位置決めピン１０Ｐと、スタンパ１８を吸着保持する可動側スタンパ支持体１２を有するもの。【選択図】図１
2010182362.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写面に所定の凹凸パターンを形成したスタンパおよび被転写面に予めレジスト層を塗工した基板を上下１組の圧接構造体で挟み込み、被転写面に対して転写圧力を与えることにより、該所定の凹凸パターンを該基板の該被転写面に形成するインプリント装置において、
前記上下１組の圧接構造体の少なくとも一方は、前記基板の被転写面に転写すべき凹凸パターンを有し、前記基板よりも大なる外周を有するスタンパと、
前記スタンパを外周側で着脱可能に保持するスタンパ保持部を有するスタンパ支持体と、
前記スタンパを挟んで前記基板の被転写面に対向して前記スタンパ支持体のスタンパ保持部の内側に配される緩衝シートと、
を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
転写面に所定の凹凸パターンを形成したスタンパおよび被転写面に予めレジスト層を塗工した基板を上下１組の圧接構造体で挟み込み、被転写面に対して転写圧力を与えることにより、該所定の凹凸パターンを該基板の該被転写面に形成するインプリント装置において、
前記基板は、両面を記録面とする磁気ディスクからなり、
前記磁気ディスクの一方の記録面に転写すべき凹凸パターンを有し、前記磁気ディスクよりも大なる外径を有する第１のスタンパと、該第１のスタンパを外周側で着脱可能に保持するスタンパ保持部を有する固定側スタンパ支持体と、前記第１のスタンパを挟んで前記磁気ディスクの一方の記録面に対向して前記固定側スタンパ支持体のスタンパ保持部の内側に配される第１の緩衝シートと、前記磁気ディスク、前記第１のスタンパおよび前記第１の緩衝シートが有する中心孔に挿入されて当該磁気ディスク、第１のスタンパおよび第１の緩衝シートの前記固定側スタンパ支持体に対する位置決めを行うための第１の位置決め部材と、を備える固定台と、
前記固定台に対して近接または離隔可能に配される可動台であって、前記磁気ディスクの他方の記録面に転写すべき凹凸パターンを有し、前記磁気ディスクよりも大なる外径を有する第２のスタンパと、該第２のスタンパを外周側で着脱可能に保持するスタンパ保持部を有する可動側スタンパ支持体と、前記第２のスタンパを挟んで前記磁気ディスクの他方の記録面に対向して前記可動側スタンパ支持体のスタンパ保持部の内側に配される第２の緩衝シートと、前記第２のスタンパおよび前記第２の緩衝シートが有する中心孔に挿入されて当該第２のスタンパおよび第２の緩衝シートの前記可動側スタンパ支持体に対する位置決めを行うための第２の位置決め部材と、を備える可動台と、
を具備して構成されることを特徴とするインプリント装置。
【請求項３】
前記固定側スタンパ支持体および前記可動側スタンパ支持体は、それぞれ、前記第１の緩衝シートおよび第２の緩衝シートの周辺と前記スタンパ保持部との間であって前記第１のスタンパおよび第２のスタンパに対向した位置に凹部を有することを特徴とする請求項２記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記凹部における前記第１のスタンパおよび第２のスタンパの半径方向に沿った幅の寸法が、該第１のスタンパおよび第２のスタンパの厚さの１０倍以上に設定されることを特徴とする請求項３記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記固定側スタンパ支持体は、第１の緩衝シートを介して前記第１のスタンパおよび前記基板を支持する第１の受圧体を内側に有し、前記可動側スタンパ支持体は、第２の緩衝シートを介して第２のスタンパを支持する第２の受圧体を内側に有することを特徴とする請求項２記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記固定側スタンパ支持体および前記可動側スタンパ支持体は、それぞれ、前記第１の受圧体および第２の受圧体の周辺と前記スタンパ保持部との間であって前記第１のスタンパおよび第２のスタンパに対向した位置に凹部を有することを特徴とする請求項５記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記凹部における前記第１のスタンパおよび第２のスタンパの半径方向に沿った幅の寸法が、該第１のスタンパおよび第２のスタンパの厚さの１０倍以上に設定されることを特徴とする請求項６記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記スタンパ保持部は、吸引力、または、電磁力、あるいは、粘着力で前記第１のスタンパおよび前記第２のスタンパの外周縁を着脱可能に保持することを特徴とする請求項２記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記スタンパ保持部は、選択的に吸引する吸引手段に接続される複数の環状溝を同心円状に有することを特徴とする請求項８記載のインプリント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体などの被転写基板に所定の凹凸パターンを転写するインプリント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体の高記録密度化に伴い、特許文献３にも示唆されるような、サイドフリンジと呼称される余計な記録の問題を回避すべく、隣接する記録トラックの間に溝を設けたディスクリートトラック方式の磁気記録媒体や、さらなる高記録密度を企図してディスク上にそれぞれが１ｂｉｔとなるようなドットを形成するようなパターンドメディアも提案されている。
【０００３】
このような磁気記録媒体を製造するにあたり、例えば、特許文献１および特許文献２にも示されるように、ナノインプリント技術を利用することが提案されている。
【０００４】
そのようなナノインプリント技術による磁気記録媒体の製造方法に用いられるインプリント装置は、例えば、特許文献２にも示されるように、レジスト膜を有する基板が配される基板載置面を備えるプレス底板と、プレス底板に対し近接または離隔可能に配され、転写すべき凹凸パターンを中央部に有する円盤状のスタンパを有するプレス天板とを主な要素として含んで構成され、スタンパとプレス天板との間に緩衝シートを挿入して加圧力をより均一にすることも行われている。
【０００５】
斯かる構成のインプリント装置を用いてディスクリートトラック媒体やパターンドメディアを作製する場合には、微細な凹凸パターンが転写面（成形面）に形成されたスタンパ（モールドともいう）を原型とし、レジスト樹脂を塗布した基板としての磁気ディスクの表面に凹凸パターンの転写を行い、しかる後、凹凸パターンが転写されたレジスト膜をマスクとしてエッチング処理を施すことにより、媒体（磁気ディスク）表面の磁性層をその凹凸パターンの形状に加工する。
【０００６】
上述の凹凸パターンを基板の片面に転写する場合、そのような基板は、プレス底板に設けられる位置合わせ用内柱（位置決めピン）がその中央の貫通孔に挿入されることにより、基板載置面上に位置決めされる。また、上述の凹凸パターンを基板の両面にそれぞれ転写する場合、その基板は、その両面が二つのスタンパにより挟持される状態でプレス底板の基板載置面に配されることとなる。基板の片面に転写する場合と同様に、その基板は、プレス底板に設けられる位置合わせ用内柱がその中央の貫通孔に挿入されることにより、基板載置面上に位置決めされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−３２６９２７号公報
【特許文献２】特開２００５−１０８３５１号公報
【特許文献３】特開２００５−５６５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述のインプリント装置を量産に適用する場合以下の問題がある。第一に、インプリント毎に、基板、スタンパ、緩衝シートを順番に挿入組立て、逆に順番に取り外しを実施する必要があるため、タクトタイムを短縮することが難しく、また高度なハンドリング技術も必要となる。第二に、上記組立て、取り外しの際、位置決めピンとの間で摺動・発塵し、転写欠陥の原因となる。
【０００９】
以上の問題点を考慮し、本発明は、高度なハンドリング技術を適用することなく、タクトタイムが短くかつ転写欠陥が少ないインプリント装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するために、本発明に係るインプリント装置は、転写面に所定の凹凸パターンを形成したスタンパおよび被転写面に予めレジスト層を塗工した基板を上下１組の圧接構造体で挟み込み、被転写面に対して転写圧力を与えることにより、該所定の凹凸パターンを該基板の該被転写面に形成するインプリント装置において、前記上下１組の圧接構造体の少なくとも一方は、前記基板の被転写面に転写すべき凹凸パターンを有し、前記基板よりも大なる外周を有するスタンパと、前記スタンパを外周側で着脱可能に保持するスタンパ保持部を有するスタンパ支持体と、前記スタンパを挟んで前記基板の被転写面に対向して前記スタンパ支持体のスタンパ保持部の内側に配される緩衝シートと、を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、基板が、両面を記録面とする磁気ディスクからなる場合には、前記磁気ディスクの一方の記録面に転写すべき凹凸パターンを有し、前記磁気ディスクよりも大なる外径を有する第１のスタンパと、該第１のスタンパを外周側で着脱可能に保持するスタンパ保持部を有する固定側スタンパ支持体と、前記第１のスタンパを挟んで前記磁気ディスクの一方の記録面に対向して前記固定側スタンパ支持体のスタンパ保持部の内側に配される第１の緩衝シートと、前記磁気ディスク、前記第１のスタンパおよび前記第１の緩衝シートが有する中心孔に挿入されて当該磁気ディスク、第１のスタンパおよび第１の緩衝シートの前記固定側スタンパ支持体に対する位置決めを行うための第１の位置決め部材と、を備える固定台と、前記固定台に対して近接または離隔可能に配される可動台であって、前記磁気ディスクの他方の記録面に転写すべき凹凸パターンを有し、前記磁気ディスクよりも大なる外径を有する第２のスタンパと、該第２のスタンパを外周側で着脱可能に保持するスタンパ保持部を有する可動側スタンパ支持体と、前記第２のスタンパを挟んで前記磁気ディスクの他方の記録面に対向して前記可動側スタンパ支持体のスタンパ保持部の内側に配される第２の緩衝シートと、前記第２のスタンパおよび前記第２の緩衝シートが有する中心孔に挿入されて当該第２のスタンパおよび第２の緩衝シートの前記可動側スタンパ支持体に対する位置決めを行うための第２の位置決め部材と、を備える可動台と、を具備して構成されることを特徴とする。
【００１２】
本発明において、緩衝シートは、スタンパを挟んでスタンパ保持部の内側に配されるので、スタンパがスタンパ保持部に保持されると、その保持されたスタンパによりスタンパ支持体の内側に保持される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るインプリント装置によれば、最初の転写時にスタンパと緩衝シートをスタンパ支持体に保持し、それ以後は被転写基板の設置／取り外しで済むため、高度なハンドリング技術を適用することなく、タクトタイムが短くかつ転写欠陥が少ないインプリント装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るインプリント装置の一例の要部を示す断面図である。
【図２】図１に示される例における動作説明に供される断面図である。
【図３】図１に示される例における固定側スタンパ支持体を示す平面図である。
【図４】図１に示される例における動作説明に供される部分断面図である。
【図５】本発明に係るインプリント装置の他の一例の要部を示す断面図である。
【図６】比較例における構成を示す部分断面図である。
【図７】比較例における動作説明に供される部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、被転写基板が、両面を記録面とする磁気ディスクからなる場合について説明するが、本発明はこれに限らず、基板の片面に転写する場合や形状がディスク状でないものにも適用できる。
【００１６】
図１は、本発明に係るインプリント装置の一例の要部を示す。
【００１７】
図１において、インプリント装置は、固定台２０に固定され、後述するスタンパ２８の周縁を吸着する吸着部を有する固定側スタンパ支持体２２と、固定側スタンパ支持体２２の内側に配されスタンパ２８および後述する緩衝シート２６を介して転写される記録媒体用基板（磁気ディスク）３０を受け止める受圧体２４と、可動台１０に固定され後述するスタンパ２８の周縁を吸着する吸着部を有する可動側スタンパ支持体１２と、可動側スタンパ支持体１２の内側に配されスタンパ１８および緩衝シート１６を介して記録媒体用基板３０を押圧する受圧体１４とを含んで構成されている。
【００１８】
転写される記録媒体用基板３０の両面には、それぞれ、レジスト層が形成されている。記録媒体用基板３０の中央部には、後述する位置決めピン２０Ｐが嵌合される孔３０ａが形成されている。
【００１９】
円盤状のスタンパ１８およびスタンパ２８は、可撓性を有する材料で形成され、例えばＮｉ製で記録媒体用基板３０の外径よりも大なる直径を有し、例えば、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍ程度の厚さを有する。スタンパ１８およびスタンパ２８の中央部における孔１８ａおよび２８ａの回りの一方の表面には、それぞれ、転写すべき凹凸パターンが形成されている。スタンパ１８およびスタンパ２８において、その凹凸パターンは、記録媒体用基板３０の両面にそれぞれ形成されるレジスト層におけるパターンの凹部が凸部に対応するパターンが形成されている。
【００２０】
固定台２０の一方の表面には、後述する固定側スタンパ支持体２２と、固定側スタンパ支持体２２の内側に配される受圧体２４とが固定されている。
【００２１】
受圧体２４の略中央の孔２４ａには、円柱状の位置決めピン２０Ｐが、固定台２０の一方の表面に対し略垂直に一体に設けられている。位置決めピン２０Ｐの中心軸線は、スタンパ２８の孔１８ａの中心軸線との共通の直線上にある。位置決めピン２０Ｐにおける固定台２０の一方の表面から突出した長さは、図１に示されるように、スタンパ２８上に載置された記録媒体用基板３０の最上面までの位置よりも若干低い位置に設定されている。
【００２２】
円筒状の固定側スタンパ支持体２２は、その中央部に、受圧体２４を収容する円形の孔２２ａを有している。孔２２ａの中心軸線は、位置決めピン２０Ｐの中心軸線と共通の直線上にある。また、孔２２ａの周縁には、図３に示されるように、同心円上に環状の凹部２２Ｒが形成されている。
【００２３】
矩形横断面を有する凹部２２Ｒの底部を形成する底壁面は、孔２２ａに交差している。また、その底壁面に略直交する凹部２２Ｒの円周部を形成する壁面は、位置決めピン２０Ｐの中心軸線に対し略平行に形成されている。図１において、環状の凹部２２Ｒにおける半径方向の幅Ｗの寸法は、発明者による実験結果に基づいてスタンパ２８の厚さの約１０倍以上に設定されており、スタンパ１８、２８の厚さが0.1〜1.0mmであるとするならば、該凹部の幅Wは1.0〜10.0mm程度とすることができる。また該凹部の深さはインプリント圧力や使用部材の材質、寸法に依存するものの、例えば0.3mm程度以上とすることができる。
【００２４】
固定側スタンパ支持体２２における凹部２２Ｒよりもさらに外周部側には、スタンパ２８の環状の周縁部が載置される吸着部２２Ｓが上端部に形成されている。スタンパ保持部としての吸着部２２Ｓには、図３に示されるように、図示が省略される吸引手段としての真空ポンプに接続される円形の溝２２ｇａ，２２ｇｂ，および、２２ｇｃが同心円上に形成されている。溝２２ｇａの半径は、他の溝２２ｇｂ，および、２２ｇｃの半径に比して大に設定され、溝２２ｇｃの半径は、他の溝２２ｇａ、２２ｇｂの半径に比して小に設定されている。溝２２ｇａ，２２ｇｂ，および、２２ｇｃには、それぞれ、真空ポンプに接続される吸引通路３６の一端が連通している。
【００２５】
なお、図３においては、溝２２ｇａ，２２ｇｂ，および、２２ｇｃが代表的に示されるものであって、溝の数は、３個に限られるものではなく、例えば、３個未満、あるいは、４個以上設けられてもよい。
【００２６】
受圧体２４は、その中央部に位置決めピン２０Ｐが挿入される孔２４ａを有している。
受圧体２４の厚さは、緩衝シート２６が受圧体２４の上面に載置された状態で、上述の吸着部２２Ｓの載置面と緩衝シート２６の表面とが共通の平面上にあるように設定される。即ち、受圧体２４の上面における固定台２０の一方の表面からの高さは、固定側スタンパ支持体２２の吸着部２２Ｓにおける対応する高さに比して緩衝シート２６の厚さ分だけ小に設定されている。緩衝シート２６に適用する材料としては、該スタンパ１８、２８に対して十分弾性率の小さい樹脂系のフィルムが適当であり、例えばポリイミド、ポリオレフィン、フッ素樹脂、などを使用してもよい。
【００２７】
可動台１０の一方の表面には、後述する可動側スタンパ支持体１２と、可動側スタンパ支持体１２の内側に配される受圧体１４とが固定されている。
【００２８】
可動台１０の他方の表面部には、図示が省略される可動台駆動制御機構に連結される連結部３２が接続されている。これにより、可動台駆動制御機構が作動状態とされる場合、可動台１０が固定台２０に対し近接されるとき、図２に示されるように、スタンパ１８の押圧状態をとり、また、可動台１０が固定台２０に対し離隔されるとき、図１に示されるように、スタンパ１８が待機状態をとることとなる。
【００２９】
受圧体１４の略中央の孔１４ａには、円柱状の位置決めピン１０Ｐが、可動台１０の一方の表面に対し略垂直に一体に設けられている。位置決めピン１０Ｐの中心軸線は、スタンパ１８の孔１８ａおよび上述の位置決めピン２０Ｐの中心軸線との共通の直線上にある。位置決めピン１０Ｐにおける可動台１０の一方の表面から突出した長さは、図１に示されるように、可動側スタンパ支持体１２に吸着されたスタンパ１８における基板３０に対向する外面に到達する位置に設定されている。従って、位置決めピン１０Ｐおよび２０Ｐが、それぞれ、独立して可動台１０および固定台２０に設けられている。これにより、緩衝シート１６および２６、スタンパ１８および２８が、それぞれ、可動台１０、固定台２０に独立に保持されることとなる。
【００３０】
円筒状の可動側スタンパ支持体１２は、その中央部に、受圧体１４を収容する円形の孔１２ａを有している。孔１２ａの中心軸線は、位置決めピン１０Ｐの中心軸線と共通の直線上にある。また、孔１２ａの周縁には、同心円上に環状の凹部１２Ｒが形成されている。
【００３１】
矩形横断面を有する凹部１２Ｒの底部を形成する底壁面は、孔１２ａに交差している。また、その底壁面に略直交する凹部１２Ｒの円周部を形成する壁面は、位置決めピン１０Ｐの中心軸線に対し略平行に形成されている。図１において、環状の凹部１２Ｒにおける半径方向の幅Ｗの寸法は、発明者による実験結果に基づいてスタンパ１８の厚さの約１０倍以上に設定されている。
【００３２】
可動側スタンパ支持体１２における凹部１２Ｒよりもさらに外周部側には、スタンパ１８の環状の周縁部が載置される吸着部１２Ｓが上端部に形成されている。吸着部１２Ｓには、図示が省略される吸引手段としての真空ポンプに接続される円形の溝（不図示）が同心円上に複数個、形成されている。各溝には、それぞれ、真空ポンプに接続される吸引通路３４の一端が連通している。
【００３３】
受圧体１４は、その中央部に位置決めピン１０Ｐが挿入される孔１４ａを有している。受圧体１４の厚さは、緩衝シート１６が受圧体１４の上面に載置された状態で、上述の吸着部１２Ｓの載置面と緩衝シート１６の表面とが共通の平面上にあるように設定される。即ち、受圧体１４の上面における可動台１０の一方の表面からの高さは、可動側スタンパ支持体１２の吸着部１２Ｓにおける対応する高さに比して緩衝シート１６の厚さ分だけ小に設定されている。緩衝シート１６は緩衝シート２６と同様のものを使っても良い。
【００３４】
斯かる構成において、図１に示されるように、先ず、可動台１０が固定台２０に対し離隔された状態で、上述の真空ポンプが作動状態とされ、スタンパ１８および２８がそれぞれ、可動側スタンパ支持体１２、固定側スタンパ支持体２２に吸着保持される。次に、記録媒体用基板３０が、スタンパ２８上に載置され、続いて、可動台駆動制御機構が作動状態とされ、図２に示されるように、可動台１０が固定台２０に対し近接されることにより、スタンパ１８が記録媒体用基板３０の記録面に対し所定の圧力Ｆで押圧される。
【００３５】
これにより、スタンパ１８および２８がそれぞれ、記録媒体用基板３０における双方の記録面に押圧され、その結果、スタンパ１８および２８のパターンが記録媒体用基板３０における双方の記録面に転写されることとなる。
【００３６】
従って、スタンパ１８および２８、緩衝シート１６および２６は、可動側スタンパ支持体１２の吸着部１２Ｓ、および、固定側スタンパ支持体２２の吸着部２２Ｓに一度保持されれば、新たな記録媒体用基板３０に対する段取り作業は、記録媒体用基板３０のみの着脱で済むこととなる。その結果、比較的安価なハンドリング技術で、ハンドリングのタクトタイムを大幅に短縮できる。さらに、スタンパ１８および２８、緩衝シート１６および２６の位置決めピン１０Ｐおよび２０Ｐに対する摺動、および、それに伴う粉塵の発生が抑えられるので欠陥の少ない転写を実現することができる。
【００３７】
その際、スタンパ１８および２８における吸着部１２Ｓ，２２Ｓに吸着される部分と記録媒体用基板３０の外周縁との間に形成される曲げ部は、図４に示されるように、凹部１２Ｒおよび２２Ｒが形成されているのでその曲率半径が比較的小となることがなく、従って、スタンパ１８および２８に生じる不所望な損傷を抑制することができる。
【００３８】
また、可動側スタンパ支持体１２、受圧体１４、固定側スタンパ支持体２２、受圧体２４が、それぞれ、分離した構造であって、吸着部よりも低く、転写圧力を生じることがなく、かつ、スタンパ１８および２８が吸着されることもない十分な深さを有する凹部１２Ｒおよび２２Ｒが形成されているので押圧力がスタンパ１８および２８の端部に集中することなく均一な転写圧力が得られる。また、吸着による転写性能への影響も排除されることとなる。
【００３９】
なお、スタンパを保持する構成は、上述のような真空ポンプの吸引による吸着方法に限られることなく、例えば、繰り返し使用可能な粘着力を有する接着剤を利用することもできる。また、スタンパが磁性材料であれば電磁力を使用することもできる。
【００４０】
図６は、例えば、比較例として、凹部１２Ｒおよび２２Ｒがない場合、即ち、上述したような、凹部が、可動側スタンパ支持体１２’、固定側スタンパ支持体２２’にそれぞれ、設けられていない場合を示す。なお、図６においては、図１に示される例における構成要素と同一の構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
【００４１】
図６において、可動側スタンパ支持体１２’、固定側スタンパ支持体２２’は、それぞれ、図１に示される上述の受圧体１４、および、２４に対応する部分を一体に備えるものとされる。
【００４２】
斯かる例において、図７に示されるように、可動台１０が固定台２０に対し近接せしめられる場合、可動側スタンパ支持体１２’および固定側スタンパ支持体２２’において基板３０に圧力をかける圧接部Ｐと吸着部Ｃとが地続きであるのでスタンパ１８、２８が、吸着部Ｃにより引っ張られ、隣り合う圧接部Ｐの端部ＰＥ、および、吸着部Ｃの端部ＣＥに、圧力が集中する。これにより、基板３０上の転写圧力は、圧力分布線ＳＤのようにエッジ部分に高い圧力が発生してしまう。また、低弾性率である緩衝シート１６および２６が介在する場合、あるいは、そもそも転写圧力自身が高い場合、吸着部Ｃに対する圧接部Ｐの変形が大きくなる。従って、スタンパ１８における圧接部Ｐの端部ＰＥ、および、吸着部Ｃの端部ＣＥに対応する部分に段差が生じ、比較的小さな曲率で屈曲させられ損傷が発生することとなる。
【００４３】
図５は、本発明に係るインプリント装置の他の一例の要部を示す。
【００４４】
図１に示される例においては、可動側スタンパ支持体１２、受圧体１４、固定側スタンパ支持体２２、受圧体２４が、それぞれ、分離した構造であるのに対し、一方、図５に示される例においては、可動側スタンパ支持体４２および固定側スタンパ支持体５２は、それぞれ、受圧体を一体に備えた構成とされる。
【００４５】
高精度のインプリント、すなわちインプリント圧力分布を精密に均一化させる場合、受圧面５２Ｐ、４２Ｐには高い面精度が必要とされ、本構成のように一体構成にすると、緩衝シート分だけ引っ込んだ受圧面の加工が難しく、既に説明した図１のような構成を取った方が望ましい。しかしながら、比較的ラフな圧力分が許容されるような場合、本構成のように一体構成とすることで、加工工数、組立て工数を削減し装置のコストダウンを図ることができる。
【００４６】
なお、図５においては、図１に示される例における構成要素と同一の構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
【００４７】
可動側スタンパ支持体４２および固定側スタンパ支持体５２の構造は、互いに同一とされるので可動側スタンパ支持体４２について説明し、固定側スタンパ支持体５２の説明を省略する。
【００４８】
円筒状の可動側スタンパ支持体４２は、その中央部に、位置決めピン１０Ｐが嵌合される円形の孔４２ａを有している。孔４２ａの中心軸線は、位置決めピン１０Ｐの中心軸線と共通の直線上にある。また、可動側スタンパ支持体４２における孔４２ａより外側となる位置には、同心円上に環状の凹部４２Ｒが形成されている。
【００４９】
矩形横断面を有する凹部４２Ｒの底部を形成する底壁面を延長した面は、孔４２ａに交差している。また、その底壁面に略直交する凹部４２Ｒの円周部を形成する壁面は、位置決めピン１０Ｐの中心軸線に対し略平行に形成されている。図５において、環状の凹部４２Ｒにおける半径方向の幅Ｗの寸法は、発明者による実験結果に基づいてスタンパ１８の厚さの約１０倍以上に設定されている。また、凹部４２Ｒの深さは、上述の凹部１２Ｒの深さに比して大に設定されている。
【００５０】
可動側スタンパ支持体４２における凹部４２Ｒよりもさらに外周部側には、スタンパ１８の環状の周縁部が載置される吸着部４２Ｓが上端部に形成されている。吸着部４２Ｓには、図示が省略される吸引手段としての真空ポンプに接続される円形の溝（不図示）が同心円上に複数個、形成されている。各溝には、それぞれ、真空ポンプに接続される吸引通路３４の一端が連通している。
【００５１】
斯かる構成において、先ず、可動台１０が固定台２０に対し離隔された状態で、上述の真空ポンプが作動状態とされ、スタンパ１８および２８がそれぞれ、可動側スタンパ支持体４２、固定側スタンパ支持体５２に吸着保持される。次に、記録媒体用基板３０が、スタンパ２８上に載置され、続いて、可動台駆動制御機構が作動状態とされ、図５に示されるように、可動台１０が固定台２０に対し近接されることにより、スタンパ１８が記録媒体用基板３０の記録面に対し所定の圧力で押圧される。
【００５２】
これにより、スタンパ１８および２８がそれぞれ、記録媒体用基板３０における双方の記録面に押圧され、その結果、スタンパ１８および２８のパターンが記録媒体用基板３０における双方の記録面に転写されることとなる。
【００５３】
斯かる例においても、スタンパ１８および２８、緩衝シート１６および２６は、可動側スタンパ支持体４２の吸着部４２Ｓ、および、固定側スタンパ支持体５２の吸着部５２Ｓに一度保持されれば、新たな記録媒体用基板３０に対する段取り作業は、記録媒体用基板３０のみの着脱で済むこととなる。その結果、比較的安価なハンドリング技術で、ハンドリングのタクトタイムを大幅に短縮できる。さらに、スタンパ１８および２８、緩衝シート１６および２６の位置決めピン１０Ｐおよび２０Ｐに対する摺動、および、それに伴う粉塵の発生が抑えられるので欠陥の少ない転写を実現することができる。
【００５４】
その際、スタンパ１８および２８における吸着部４２Ｓ，５２Ｓに吸着される部分と記録媒体用基板３０の外周縁との間に形成される曲げ部は、凹部４２Ｒおよび５２Ｒが形成されているのでその曲率半径が比較的小となることがなく、従って、スタンパ１８および２８に生じる不所望な損傷を抑制することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１０    可動台
１０Ｐ，２０Ｐ    
１２、４２    可動側スタンパ支持体
１２Ｒ，２２Ｒ    凹部
１６、２６    緩衝シート
１８、２８    スタンパ
２０    固定台
２２、５２    固定側スタンパ支持体
３０    記録媒体用基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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