(57)【要約】      （修正有）【課題】主に主面方向からの荷重により基部や支持腕部に折れなどの破損を生じることが少ない、小型薄型の水晶振動素子を提供する。【解決手段】基部１１１とこの基部１１１から同一方向に延設した複数の振動腕部１１２，１１３とこの基部１１１から延設した支持腕部１１４とを備えた水晶片と、この水晶片の表面に少なくとも励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと接続用電極１２３ａ、１２３ｂと導配線パターン１２５、１２６とが設けられた水晶振動素子１００であって、基部１１１及び支持腕部１１４の少なくとも一方の主面に溝部が設けられている水晶振動素子１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と前記基部から隣り合う前記振動腕部の間に前記振動腕部と同じ方向に延設した支持腕部とを備えた水晶片と、
前記水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、
前記基部及び前記支持腕部の少なくとも一方の主面に、溝部が設けられていることを特徴とする水晶振動素子。
【請求項２】
基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と前記基部から前記振動腕部と平面視直交する方向に延設された第一の延設部と、前記第一の延設部の延設先端部から前記振動腕部と同じ方向に延設された第二の延設部とにより構成された支持腕部とを備えた水晶片と、
前記水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、
前記基部及び前記支持腕部の少なくとも一方の主面に、溝部が設けられていることを特徴とする水晶振動素子。
【請求項３】
前記導配線パターンの一部が前記基部に設けられた前記溝部内面に設けられており、金属膜が前記支持腕部に設けられた前記溝部内面に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の水晶振動素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子機器に用いられる水晶振動素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コンピュータ，携帯電話又は小型情報機器等の電子機器の内部には、電子部品の一つとして水晶振動子又は水晶発振器が搭載されている。この水晶振動子又は水晶発振器は、基準信号源やクロック信号源として用いられる。又、水晶振動子や水晶発振器は、その内部に水晶振動素子が搭載されている。
【０００３】
図５は、従来の水晶振動素子の一例を示した斜視図である。図６は、図５に示す水晶振動素子を構成する水晶片を示した斜視図である。図５に示すように、水晶振動素子４００は、水晶片４１０（図６参照）と、その水晶片４１０の表面に設けられた励振用電極４２１ａ，４２１ｂ，４２２ａ及び４２２ｂと、接続用電極４２３ａ及び４２３ｂと、周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂと、導配線パターン４２５，４２６及び４２７とにより概略構成される。
【０００４】
図６に示すように、水晶片４１０は、平面視略四角形の平板である基部４１１と、この基部４１１の一辺から同一方向に延設された第一の振動腕部４１２及び第二の振動腕部４１３と、支持腕部４１４により構成されている。第一の振動腕部４１２及び第二の振動腕部４１３の表裏両主面には、基部４１１との境界部分からそれぞれの振動腕部の先端に向って、所定の長さを有する有底の溝部４１５が、振動腕部毎に２本平行に設けられている。
【０００５】
支持腕部４１４は、第一の振動腕部４１２と第二の振動腕部４１３が延設している基部４１１の側部における第一の振動腕部４１２と第二の振動腕部４１３との間から、振動腕部の延設方向に所定の長さで延設されている。尚、水晶片４１０の外形形状は、周知なフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
図５に示すように、励振用電極４２１ａは、水晶片４１０を構成する第一の振動腕部４１２の対向する表裏主面に設けられた溝部４１５内面及びその溝部４１５の開口部周囲の主面に設けられている。励振用電極４２１ｂは、第一の振動腕部４１２の対向する両側面に設けられている。又、励振用電極４２２ａは、第二の振動腕部４１３の対向する表裏主面に設けられた溝部４１５の内面及びその溝部４１５の開口部周囲の主面に設けられている。励振用電極４２２ｂは、第二の振動腕部４１３の対向する両側面に設けられている。
【０００７】
接続用電極４２３aは、支持腕部４１４の表裏主面に一個ずつ一対で且つ主面間で対向する位置に設けられており、その一部分は支持腕部４１４の表裏主面における第一の振動腕部４１２側の一辺に接するように設けられている。又、接続用電極４２３ｂは、支持腕部４１４の表裏主面に一個ずつ一対で且つ主面間で対向する位置に設けられており、その一部分は支持腕部４１４の表裏主面における第二の振動腕部４１３側の一辺に接するように設けられている。尚、接続用電極４２３ａと４２３ｂは、支持腕部４１４の表裏主面上で、互いに導通しないように位置をずらして設けられている。
【０００８】
周波数調整用金属膜４２４ａは、第一の振動腕部４１２の表裏主面の先端部に設けられており、第一の振動腕部４１２の両側面に設けられた励振用電極４２１ｂと電気的に接続している。又、周波数調整用金属膜４２４ｂは、第二の振動腕部４１３の表裏主面の先端部に設けられており、第二の振動腕部４１３の両側面に設けられた励振用電極４２２ｂと電気的に接続している。尚、水晶振動素子４００は、この周波数調整用金属膜４２４ａ及び４２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整する。
【０００９】
図５に示すように、励振用電極４２１ａ及び４２２ｂと、周波数調整用金属膜４２４ｂと接続用電極４２３ｂとは、水晶片４１０の表面に設けられた、例えば導配線パターン４２５及び４２６により電気的に接続している。具体的には、接続用電極４２３ｂは、支持部４１４の側面及び基部４１１の側面に設けられた導配線パターン４２５により、励振用電極４２２ｂ及び周波数調整用金属膜４２４ｂと電気的に接続している。又導配線パターン４２５は、基部４１１の表裏主面に設けられた導配線パターン４２６により、励振用電極４２１ａと電気的に接続している。
【００１０】
励振用電極４２１ｂ及び４２２ａと、周波数調整用金属膜４２４ａと接続用電極４２３ａとは、水晶片４１０の表面に設けられた、例えば導配線パターン４２７により電気的に接続している。具体的には、接続用電極４２３ａは、支持部４１４の側面及び基部４１１の側面に設けられた導配線パターン（図示せず）により、励振用電極４２１ｂ及び周波数調整用金属膜４２４ａと電気的に接続している。励振用電極４２１ｂは、基部４１１の表裏主面及び側面に設けられた導配線パターン４２７により、励振用電極４２２ａと電気的に接続している。尚、各励振用電極、接続用電極、周波数調整用金属膜及び導配線パターンは、例えば、下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから成る。
【００１１】
このように水晶振動素子４００は、水晶片４１０の表面に、前記した励振用電極、接続用電極、導配線パターン及び周波数調整用金属膜をフォトリソグラフィ技術及び蒸着技術により形成することにより成る（例えば、特許文献２参照）。
又、水晶振動素子４００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた容器体の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部の開口部が蓋体により気密封止されて水晶振動子となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−３５７１７８号公報
【特許文献２】特開２００６−３４５５１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
水晶振動子の小型薄型化が進むにつれ、その内部に搭載する水晶振動素子４００も小型薄型化が必要となる。特に薄型化を進めた水晶振動素子４００の幅寸法を小型化のために小さくする場合、振動腕部の長さ寸法及び幅寸法は所望する周波数値によって規定されてしまうため、支持腕部４１４の幅寸法を小さくする必要がある。しかしながら、幅寸法を小さくした場合の支持腕部４１４、及びその支持腕部４１４が接続している基部４１１の機械的強度は低下する。
【００１４】
例えば、水晶振動素子４００は、その製造工程において表面に付着した異物を除去するための超音波洗浄が行われる。このような従来の構造で超音波洗浄を行った場合、水晶振動素子４００には超音波振動で発生した気泡の崩壊時の衝撃による荷重が主に支持腕部４１４の主面方向から加わるが、その荷重により支持腕部４１４に亀裂が生じることがあった。又、水晶振動素子４００はこの亀裂から支持腕部４１４が折れてしまうことがあった。又、支持腕部４１４に生じた亀裂が基部４１１にまで達し、基部４１１部分で折れが発生することもあった。更に、水晶振動子として構成した後、落下などで外部から衝撃が加わった場合、水晶振動子内部に搭載されている水晶振動素子４００の基部４１１や支持腕部４１４に機械的強度不足による折れなどの破損が生じる恐れがある。
本発明の目的は、荷重により基部及び支持腕部に折れなどの破損が発生することが少ない、小型薄型の水晶振動素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は前記課題を解決するために成されたものであり、基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と前記基部から隣り合う前記振動腕部の間に前記振動腕部と同じ方向に延設した支持腕部とを備えた水晶片と、前記水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、前記基部及び前記支持腕部の少なくとも一方の主面に、溝部が設けられていることを特徴とする水晶振動素子である。
【００１６】
又、本発明は、基部と前記基部から同一方向に延設した複数の振動腕部と前記基部から前記振動腕部と平面視直交する方向に延設された第一の延設部と、前記第一の延設部の延設先端部から前記振動腕部と同じ方向に延設された第二の延設部とにより構成された支持腕部とを備えた水晶片と、前記水晶片の表面に少なくとも励振用電極と接続用電極と導配線パターンとが設けられた水晶振動素子であって、前記基部及び前記支持腕部の少なくとも一方の主面に、溝部が設けられていることを特徴とする水晶振動素子である。
【００１７】
又、本発明は、前記導配線パターンの一部が前記基部に設けられた前記溝部内面に設けられており、金属膜が前記支持腕部に設けられた前記溝部内面に設けられていることを特徴とする水晶振動素子である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る水晶振動素子によれば、基部及びこの基部から隣り合う振動腕部の間に振動腕部と同じ方向に延設した支持腕部の少なくとも一方の主面に溝部を設けることにより、基部及び支持腕部の主面方向からの荷重に対する機械的強度を向上させることができる。
【００１９】
又、本発明に係る水晶振動素子によれば、基部とこの基部から振動腕部と平面視直交する方向に延設された第一の延設部と、この第一の延設部の延設先端部から振動腕部と同じ方向に延設された第二の延設部とにより構成された支持腕部の少なくとも一方の主面に溝部を設けることにより、基部及び支持腕部の主面方向からの荷重に対する機械的強度を向上させることができる。
【００２０】
更に、本発明に係る水晶振動素子によれば、基部に設けられた溝部の内面には導配線パターンの一部を設けられており、支持腕部に設けられた溝部の内面には金属膜が設けられていることにより、基部や支持腕部の主面方向からの荷重に対する機械的強度を更に向上させることができる。
【００２１】
以上のことから、本発明は、荷重による基部や支持腕部に折れなどの破損が少ない、小型薄型の水晶振動素子を提供することができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動素子を示す外観斜視図である。
【図２】図１記載の水晶振動素子を構成する水晶片を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）記載のＡ−Ａの断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の変形例を示し、（ａ）は第二の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は第三の変形例を示す平面図である。
【図５】従来の水晶振動素子を示す斜視図である。
【図６】図５記載の水晶振動素子を構成する水晶片を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を、図面を参照しながら説明する。
尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に水晶片の厚さは誇張して図示している。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を示す外観斜視図である。図２は、図１記載の水晶振動素子を構成する水晶片を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）記載のＡ−Ａの断面図である。図３は、本発明の第一の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例を示す断面図である。図４は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の変形例を示し、（ａ）は第二の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は第三の変形例を示す平面図である。図１に示すように、水晶振動素子１００は、水晶片１１０（図２参照）と、その水晶片１１０の表面に設けられた励振用電極１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂと、導配線パターン１２５，１２６及び１２７と、金属膜１２８とにより概略構成される。
【００２５】
図２に示すように、水晶片１１０は、平面視略四角形の平板である基部１１１と、この基部１１１の一辺から同一方向に延設された第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３と、支持腕部１１４により構成されている。第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の表裏両主面には、基部１１１との境界部分からそれぞれの振動腕部の先端に向って、所定の長さで設けられる有底の第一の溝部１１５が、振動腕部毎に２本平行に設けられている。
【００２６】
支持腕部１１４は、第一の振動腕部１１２と第二の振動腕部１１３が延設している基部１１１の側部における第一の振動腕部１１２と第二の振動腕部１１３との間から、振動腕部の延設方向に所定の長さで延設されている。この支持腕部１１４は平面視矩形状であり、その表裏主面に長さ方向に沿って第二の溝部１１６が設けられている。この第二の溝部１１６は、支持腕部１１４の表裏主面において、支持部１１４の幅の中心軸ＣＬ１に第二の溝部１１６の幅の中心軸（図示せず）を合わせた位置に設けられている。又、第二の溝部１１６は、その基部側の端部が支持腕部１１４近くの基部１１１の主面にまで至り、支持腕部先端側の端部が支持腕部１１４の先端部にまで至るような長さで設けられている。尚、支持腕部１１４の表裏主面それぞれ設けられた第二の溝部１１６は、その底部が互いに対向するように設けられている。
【００２７】
又、基部１１１の表裏主面には、支持腕部１１４の延設方向とは平面視直交する長さ方向に沿った第三の溝部１１７が設けられている。この第三の溝部１１７は、支持腕部１１４が延設している基部１１１の一辺と平行となる基部１１１の中心軸ＣＬ２より、支持腕部２１４側にずれた位置に、第三の溝部１１７の幅方向の中心軸（図示せず）が位置するように設けられている。又、第三の溝部１１７は、その第一の振動腕部側の端部が基部１１１の第一の振動腕部１１２の延設箇所付近まで至り、第二の振動腕部側の端部が基部１１１の第二の振動腕部１１３の延設箇所付近にまで至るような長さで設けられている。尚、基部１１１の表裏主面にそれぞれ設けられた第三の溝部１１７は、その底面が互いに対向するように設けられている。
尚、これら第一の溝部１１５、第二の溝部１１６及び第三の溝部１１７を含む水晶片１１０の外形形状は、周知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて形成される。
【００２８】
図１に示すように、励振用電極１２１ａは、第一の振動腕部１１２の表裏主面に設けられた第一の溝部１１５内面及びその第一の溝部１１５開口部周囲の主面に設けられている。励振用電極１２１ｂは、第一の振動腕部１１２の対向する両側面に設けられている。又、励振用電極１２２ａは、第二の振動腕部１１３の表裏主面に設けられた第一の溝部１１５内面及びその第一の溝部１１５開口部周囲の主面に設けられている。励振用電極１２２ｂは、第二の振動腕部１１３の対向する両側面に設けられている。
【００２９】
接続用電極１２３aは、支持腕部１１４表裏主面に一個ずつ一対で、且つ主面間で対向する位置に設けられており、その一部分は支持腕部１１４表裏主面における第一の振動腕部１１２側の一辺に接するように設けられている。又、接続用電極１２３ｂは、支持腕部１１４表裏主面に一個ずつ一対で且つ主面間で対向する位置に設けられており、その一部分は支持腕部１１４表裏主面における第二の振動腕部１１３側の一辺に接するように設けられている。尚、接続用電極１２３ａと１２３ｂは、支持腕部１１４表裏主面上で、互いに導通しないように位置をずらして設けられており、又後述する金属膜１２８とも導通しない大きさで設けられている。
【００３０】
周波数調整用金属膜１２４ａは、第一の振動腕部１１２の表裏主面の先端部に設けられており、第一の振動腕部１１２両側面に設けられた励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。又、周波数調整用金属膜１２４ｂは、第二の振動腕部１１３の表裏主面の先端部に設けられており、第二の振動腕部１１３両側面に設けられた励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。尚、水晶振動素子１００は、この周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に合わせるように調整する。
【００３１】
図１に示すように、励振用電極１２１ａ及び１２２ｂと、周波数調整用金属膜１２４ｂと接続用電極１２３ｂとは、水晶片１１０表面に設けられた、例えば導配線パターン１２５及び１２６により電気的に接続している。具体的には、接続用電極１２３ｂは、支持部１１４側面及び基部１１１側面に設けられた導配線パターン１２５により、励振用電極１２２ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ｂと電気的に接続している。又導配線パターン１２５は、基部１１１の表裏主面に設けられた導配線パターン１２６により、励振用電極１２１ａと電気的に接続している。尚、この導配線パターン１２６の一部は、第三の溝部１１７の内面に設けられている。
【００３２】
又、励振用電極１２１ｂ及び１２２ａと、周波数調整用金属膜１２４ａと接続用電極１２３ａとは、水晶片１１０表面に設けられた、例えば導配線パターン１２７により電気的に接続している。具体的には、接続用電極１２３ａは、支持部１１４側面及び基部１１１側面に設けられた導配線パターン（図示せず）により、励振用電極１２１ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ａと電気的に接続している。励振用電極１２１ｂは、基部１１１表裏主面及び側面に設けられた導配線パターン１２７により、励振用電極１２２ａと電気的に接続している。尚、各励振用電極、接続用電極、周波数調整用金属膜、導配線パターンは、例えば、下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから成る。
【００３３】
第二の溝部１１６の内面及びその第二の溝部１１６開口部周囲の主面上には、励振用電極等と同じＣｒ−Ａｕ構造の金属膜１２８が設けられている。尚、この金属膜１２８は、支持腕部１１４に設けられている接続用電極１２３ａ，１２３ｂ及び導配線パターン１２５とは電気的に接続していない。
【００３４】
この水晶振動素子１００を振動させる場合、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２の励振用電極１２１ｂは＋（プラス）電位となり、励振用電極１２１ａは−（マイナス）電位となり、＋から−に電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１３の励振用電極は、第一の振動腕部１１２の励振用電極に生じた極性とは反対の極性となる。これらの印加された電界により、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３に伸縮現象が生じ、各振動腕部に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。
【００３５】
水晶振動素子１００は、水晶片１１０の表面に、前記した励振用電極、接続用電極、導配線パターン及び周波数調整用金属膜をフォトリソグラフィ技術及び蒸着技術により形成することにより成る。又、水晶振動素子１００は、例えば、一方の主面に開口部を有する凹部を設けた容器体の、凹部内底面に形成された素子接続用電極パッド上に搭載され、更に凹部の開口部が蓋体により気密封止されて水晶振動子となる。
【００３６】
前記した水晶振動素子１００によれば、水晶片１１０を構成する支持腕部１１４に第二の溝部１１６を設け、更に基部１１１に第三の溝部１１７を設けることにより、基部１１１及び支持腕部１１４の主面方向からの荷重に対する機械的強度を向上することができる。又、第二の溝部１１６の内面に金属膜１２８を設け、更に第三の溝部１１７内面に導配線パターン１２６の一部を設けることにより、支持腕部１１４及び基部１１１の主面方向からの荷重に対する機械的強度を更に向上させることができる。
従って、例えば、製造工程中における超音波洗浄による、基部１１１及び支持腕部１１４の主面方向からの荷重によって生じていた基部１１１及び支持腕部１１４の亀裂を防止することができ、又、この荷重により支持腕部が折れることも防止することができる。又、落下などで水晶振動子に外部から衝撃が加わったとしても、水晶振動子内部に搭載された水晶振動素子１００の基部１１１、支持腕部１１４に、折れなどの破損が生じることを減少させることができる。
【００３７】
（第一の変形例）
図３は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例を示す。本発明の実施形態になる水晶振動素子を構成する水晶片の第一の変形例は、水晶片１１０ａにおいて、支持腕部１１４及び基部１１１の一方の主面のみに、第二の溝部１１６及び第三の溝部１１７が設けられている。
【００３８】
（第二の変形例）
図４（ａ）は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の第二の変形例を示す。本発明の実施形態になる水晶振動素子を構成する水晶片の第二の変形例は、水晶片１１０ｂにおいて、第二の溝部１１６が、支持腕部１１４に設けられた第二の溝部１１６の基部側端部で第三の溝部１１７と繋がっている。尚、この第二の変形例の水晶片１１０ｂを用いた水晶振動素子１００おいて、導配線パターン１２６と金属膜１２８は接続して設けられている。
【００３９】
（第三の変形例）
図４（ｂ）は、本発明の実施形態に係る水晶振動素子を構成する水晶片の変形例を示す。本発明の実施形態になる水晶振動素子を構成する水晶片の第三の変形例は、水晶片１１０ｃにおいて、支持腕部１１４が、基部１１１の第二の振動腕部側の側部から振動腕部の延設方向と平面視直交する方向に延設された第一の延設部１１４ａと、第一の延設部１１４ａの延設先端部から振動腕部の延設方向と同じ方向に延設された第二の延設部１１４ｂとにより構成されている。
【００４０】
支持腕部１１４の表裏主面には、第一の延設部１１４ａから第二の延設部１１４ｂまで連通した第二の溝部１１６が設けられている。又、基部１１１の表裏主面には第三の溝部１１７が設けられており、この第二の溝部１１６と第三の溝部１１７とは連通している。
【００４１】
第二の延設部１１４ｂ部分に設けられている第二の溝部１１６は、第二の延設部１１４ｂの幅の中心軸ＣＬ１に第二の溝部１１６の幅の中心軸（図示せず）を合わせて設けられている。
又、第一の延設部１１４ａに設けられている第二の溝部１１６は、基部１１１の幅の中心軸ＣＬ２から第一の振動腕部１１２側にずれた位置に、第二の溝部１１６の幅の中心軸が位置するように設けられている。更に、第三の溝部１１７は、第一の延設部１１４ａに設けられている第二の溝部１１６と同様に、基部１１１の幅の中心軸ＣＬ２から第一の振動腕部１１２側にずれた位置に、第三の溝部１１７の幅の中心軸が位置するように設けられている。
【００４２】
尚、この第二の変形例の水晶片１００ｃを用いた水晶振動素子おいて、第二の溝部１１６及び第三の溝部１１７の内面には、所定の導配線パターンの一部か、又は支持腕部１１４に設けられる接続用電極１２３ａ，１２３ｂ及び導配線パターンとは電気的に接続しない金属膜１２８のどちらか一方が設けられている。
【符号の説明】
【００４３】
１００・・・水晶振動素子
１１０，１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ・・・水晶片
１１１・・・基部
１１２・・・第一の振動腕部
１１３・・・第二の振動腕部
１１４・・・支持腕部
１１４ａ・・・第一の延設部
１１４ｂ・・・第二の延設部
１１５・・・第一の溝部
１１６・・・第二の溝部
１１７・・・第三の溝部
１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ・・・励振用電極
１２３ａ，１２３ｂ・・・接続用電極
１２４ａ，１２４ｂ・・・周波数調整用金属膜
１２５，１２６，１２７・・・導配線パターン
１２８・・・金属膜  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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