(57)【要約】【課題】従来の磁気ヘッドスライダは、磁気ディスクの外周側で浮上姿勢角が増加し、円板速度が速い外周側で磁気ヘッド素子部が浮上の最下点となり、磁気ヘッド素子部の摺動によるヘッド破損や円板損傷が発生するという問題があった。【解決手段】磁気ヘッドスライダ１は、空気軸受の効果を利用して浮上力を発生させるため、スライダ１ａの媒体対向面８の空気流入端側に流入側浅溝面４ａが設けられ、その後方に流入側浅溝面４ａよりも高さが高い１対の流入側浮上面２ａ，２ｂが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂは、スライダ１ａの空気流出端方向となる長手方向に略長方形状をなし、空気流入側のスライダ幅方向の、装置実装時の外周寄りを頂点９とし、この頂点９から内周側となる角部が略三角形状に取り除かれている。一方、前記頂点９から外周側となる角部は前記三角形よりも小さい略三角形状に取り除かれている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体対向面の空気流入端側に形成された一対の流入側浮上面と、前記流入側浮上面の空気流入端側及び間に形成された当該流入側浮上面よりも高さが低い浅溝面と、空気流出端側の中央部に形成され、磁気ヘッドが配置されたセンター浮上面と、前記流入側浮上面と浅溝面とセンター浮上面に囲まれ、浅溝面よりも高さが低い深溝面とを有する磁気ヘッドスライダにおいて、
前記一対の流入側浮上面は、空気流出端方向となる長手方向に略長方形状をなし、空気流入側の幅方向の装置実装時の外周寄りを頂点とし、該頂点から装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれ、外周側となる角部が前記三角形状よりも小さな略三角形状に取り除かれ、山形の流入側形状であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の長手方向の長さが150um以上であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の前記頂点を含む幅方向端部からの角度が５０度以上であること特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記一対の流入側浮上面の幅方向の外側には浅溝面が存在しないこと特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記一対の流入側浮上面の間に、当該一対の流入側浮上面を連結する連結浮上面を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
磁気ディスクと、磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドスライダは、
媒体対向面の空気流入端側に形成された一対の流入側浮上面と、前記流入側浮上面の空気流入端側及び間に形成された当該流入側浮上面よりも高さが低い浅溝面と、空気流出端側の中央部に形成され、磁気ヘッドが配置されたセンター浮上面と、前記流入側浮上面と浅溝面とセンター浮上面に囲まれ、浅溝面よりも高さが低い深溝面とを有し、
前記一対の流入側浮上面は、空気流出端方向となる長手方向に略長方形状をなし、空気流入側の幅方向の外周寄りを頂点とし、該頂点から内周側となる角部が略三角形状に取り除かれ、外周側となる角部が前記三角形状よりも小さな略三角形状に取り除かれ、山形の流入側形状であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項７】
前記一対の流入側浮上面の内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の長手方向の長さと、前記磁気ディスクの中周の速度の平方根との積が、スライダ長１ｍｍ換算した値が０．６以上であることを特徴とする請求項６記載の磁気ディスク装置。
【請求項８】
前記内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の長手方向の長さが150um以上であることを特徴とする請求項６記載の磁気ディスク装置。
【請求項９】
前記内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の前記頂点を含む幅方向端部からの角度が５０度以上であること特徴とする請求項６記載の磁気ディスク装置。
【請求項１０】
前記一対の流入側浮上面の間に、当該一対の流入側浮上面を連結する連結浮上面を有することを特徴とする請求項６記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク上を微小な浮上隙間で浮上もしくは間歇接触する磁気ヘッドスライダ、およびこの磁気ヘッドスライダを搭載する磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の磁気ディスク装置に搭載される磁気ヘッドスライダは、特許文献１に記載された基本構成のものが使われている。図１６に特許文献１に記載された磁気ヘッドスライダの平面図を示す。スライダ101の軸受面108は、浮上面102と、浮上面102より僅かの深さの段差を持たせた浅溝面104と、浅溝面104よりさらに浮上面102から深く掘られた深溝面105より構成されている。浮上面102は流入側の左右一対の流入側浮上面102a、102bと、磁気ヘッド103を搭載する流出端のセンターパッド102cよりなる。さらに、流入側の浅溝面104aと、流入側浮上面102a,102bと、サイドの浅溝レール104bと、センターパッド周辺の浅溝レール104cで囲まれた深溝面105が設けられている。本構成では、浅溝面104と浮上面102によるステップ空気軸受作用により、ディスクからスライダを浮上させる浮上力を発生し、同時に深溝面105で負圧を発生し、正圧・負圧併用により、適切な空気軸受剛性を確保して安定に浮上させると同時に、センターパッドの磁気ヘッド103をディスクに対し、再接近点とすることができ、ヘッド特性的に好適な形状と言える。現在広く使われているスライダのサイズは、長さが1.25mm、幅が0.7mm、厚さが0.23mmである。
【０００３】
【特許文献１】米国特許第5777825号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気ディスク装置は、高密度化に伴って磁気的スペーシングを狭小化することが必然となっている。一方で磁気ヘッドと磁気ディスク間の摺動信頼性の確保がますます重要課題となっている。磁気的スペーシングを低減する方法の一つに、スライダ浮上面とヘッド素子部との段差（Recession）を低減する方法がある。通常、ディスク面に対し、ヘッド素子部はスライダ浮上面より、約2nm程度引っ込んでおり、これをRecessionと呼ぶ。このRecessionが小さくなると、ヘッド素子部の最下点がスライダの最下点より小さくなる機会が増加する。そうなると、ヘッド素子部とディスク面上の突起やコンタミ物質との接触により、ヘッド素子の特性低下や素子破壊が起こり、最悪の場合には、クラッシュに至るという問題がある。
【０００５】
ヘッド素子部の最下点を決定する要素の一つに、スライダの浮上中の姿勢角（以下浮上姿勢角またはFly pitchと称する）がある。従来のスライダは、浮上姿勢角が内周で最も小さく、中周、外周になるに従って大きくなる構成であった。従来の構成によると、ディスクの回転速度が速い外周側で、素子部側が最下点になるポテンシャルが増加し、スライダの最下点から円板までのクリアランスが低下して、素子ダメージの可能性が増加する。前述のように磁気スペーシング狭小化のために、Recessionを小さくするほどこの問題は大きくなる。また、ライト時のライト電流によるヘッド素子の突出も外周側で大きくなり、これによるクリアランスの減少も問題の１つである。
【０００６】
本発明の目的は、磁気ヘッドスライダの浮上姿勢角を、磁気ディスクの内周より外周側で小さくすることである。
本発明の他の目的は、磁気ヘッドスライダのディスク外周側でのクリアランス低下を防止し、磁気ディスク装置の摺動信頼性を改善することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、媒体対向面の空気流入端側に形成された一対の流入側浮上面と、前記流入側浮上面の空気流入端側及び間に形成された当該流入側浮上面よりも高さが低い浅溝面と、空気流出端側の中央部に形成され、磁気ヘッドが配置されたセンター浮上面と、前記流入側浮上面と浅溝面とセンター浮上面に囲まれ、浅溝面よりも高さが低い深溝面とを有し、
前記一対の流入側浮上面は、空気流出端方向となる長手方向に略長方形状をなし、空気流入側の幅方向の装置実装時の外周寄りを頂点とし、該頂点から装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれ、外周側となる角部が前記三角形状よりも小さな略三角形状に取り除かれ、山形の流入側形状であることを特徴とする。
【０００８】
前記装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の長手方向の長さが150um以上であることが望ましい。
【０００９】
前記装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の前記頂点を含む幅方向端面からの角度が５０度以上であることが望ましい。
【００１０】
前記一対の流入側浮上面の幅方向の外側には浅溝面を設けなくても良い。
【００１１】
前記一対の流入側浮上面の間に、当該一対の流入側浮上面を連結する連結浮上面を設けても良い。
【００１２】
上記他の目的を達成するために、本発明の磁気ディスク装置においては、磁気ディスクと、磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置であって、
前記磁気ヘッドスライダは、媒体対向面の空気流入端側に形成された一対の流入側浮上面と、前記流入側浮上面の空気流入端側及び間に形成された当該流入側浮上面よりも高さが低い浅溝面と、空気流出端側の中央部に形成され、磁気ヘッドが配置されたセンター浮上面と、前記流入側浮上面と浅溝面とセンター浮上面に囲まれ、浅溝面よりも高さが低い深溝面とを有し、
前記一対の流入側浮上面は、空気流出端方向となる長手方向に略長方形状をなし、空気流入側の幅方向の外周寄りを頂点とし、該頂点から内周側となる角部が略三角形状に取り除かれ、外周側となる角部が前記三角形状よりも小さな略三角形状に取り除かれ、山形の流入側形状であることを特徴とする。
【００１３】
前記一対の流入側浮上面の内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の長手方向の長さと、前記磁気ディスクの中周の速度の平方根との積が、スライダ長１ｍｍ換算した値が０．６以上であることが望ましい。
【００１４】
前記内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の長手方向の長さが150um以上であることが望ましい。
【００１５】
前記内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の前記頂点を含む幅方向端面からの角度が５０度以上であることが望ましい。
【００１６】
前記一対の流入側浮上面の間に、当該一対の流入側浮上面を連結する連結浮上面を設けても良い。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、磁気ヘッドスライダのディスク外周側での浮上姿勢角を、内周側での浮上姿勢角よりも小さくすることができる。これにより、磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダのヘッド素子部が最下点になることを回避し、特に高速で回転するディスク外周でのクリアランス低下を防止し、ヘッド素子の摺動によるヘッド破損やディスク損傷を防止することができる。その結果、磁気ディスク装置の摺動信頼性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図３に本発明に係る磁気ディスク装置の構成と、磁気ディスク上での磁気ヘッドスライダの浮上姿勢を示す。磁気ディスク装置１０は、モータにより回転されるスピンドル２０と、スピンドル２０に取り付けられた磁気ディスク３０と、磁気ヘッドスライダ１をサスペンション４０で支持し、回転する磁気ディスク３０の上に浮上させ、磁気ディスクの任意の半径位置に位置決めするアクチュエータ４０とを具備している。磁気ヘッドスライダ１は、スライダ１ａと、スライダ１ａの空気流出端に搭載された磁気ヘッド（磁気ヘッド素子部）３で構成され、回転する磁気ディスク３０に対し、空気流入端の浮上量が大きく、磁気ヘッド素子部３を搭載した空気流出端の浮上量が最小になり、傾きを持って浮上する。この浮上姿勢の傾きが浮上姿勢角(Fly Pitch)である。図４に磁気ヘッド素子部３を拡大した浮上姿勢を示す。磁気ヘッド素子部３はスライダ１ａに対しRecessionがあるため、図４（ａ）に示すようにスライダ浮上姿勢角(Fly Pitch)が小さいと、スライダ１ａと磁気ヘッド素子部３の境界が最下点となる。しかしながら、図４（ｂ）に示すようにスライダ浮上姿勢角(Fly Pitch)が大きくなると、磁気ヘッド素子部３が最下点になる。本発明は、磁気ヘッドスライダのディスク外周側での浮上姿勢角を、内周側での浮上姿勢角よりも小さくし、磁気ヘッド素子の摺動によるヘッド破損やディスク損傷を防止するものである。
【００１９】
図１は実施例による磁気ヘッドスライダの斜視図であり、図２は図１の平面図である。磁気ヘッドスライダ１は、図１及び図２に示すごとく、空気軸受の効果を利用して浮上力を発生させるため、スライダ１ａの媒体対向面８の空気流入端側に流入側浅溝面４ａが設けられ、その後方に流入側浅溝面４ａよりも高さが高い１対の流入側浮上面２ａ，２ｂが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂの後方の両サイドに流出端近くまで伸びたサイドレール浅溝面４ｂが設けられている。サイドレール浅溝面４ｂには一対の流出側浮上面２ｄ，２ｅが設けられている。一方、スライダ１ａの空気流出端側の幅方向中央部にセンター浮上面２ｃが設けられており、センター浮上面２ｃに磁気ヘッド３が搭載されている。センター浮上面２ｃの空気流入側にはセンター浅溝面４ｃが設けられている。流入側浅溝面４ａと、流入側浮上面２ａ，２ｂと、サイドレール浅溝面４ｂと、センター浅溝面４ｃとで囲まれた中央部分に、浅溝面４ａ，４ｂ，４ｃよりも高さが低い深溝面５が設けられている。ここで、流入側浮上面２ａ，２ｂとセンター浮上面２ｃの高さは同じであり、流入側浅溝面４ａ，サイドレール浅溝面４ｂ，センター浅溝面４ｃの高さは同じである。そして、浮上面（２ａ，２ｂ，２ｃ）から浅溝面（４ａ，４ｂ，４ｃ）までの深さｄ１は約200nm、浮上面から深溝面５までの深さは約1700nmである。また、スライダ長さは1.25 mm、スライダ幅は0.7mmである。
【００２０】
流入側浮上面２ａ，２ｂは、スライダ１ａの空気流出端方向となる長手方向に略長方形状をなし、空気流入側のスライダ幅方向の、装置実装時の外周寄りを頂点９とし、この頂点９から内周側となる角部が略三角形状に取り除かれている。一方、前記頂点９から外周側となる角部は前記三角形よりも小さい略三角形状に取り除かれている。したがって、流入側浮上面２ａ，２ｂの空気流入側は山形の形状をしている。山形形状によって、磁気ディスクの中周から外周での浮上姿勢角の増加を調整することができる。
【００２１】
本実施例による磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク３０に対向させると、流入側浅溝面４ａと流入側浮上面２ａ，２ｂの構成により、磁気ディスク３０の回転による空気流が圧縮されて空気軸受効果により浮上力を発生する。一方、深溝面５では、逆に空気流が拡大して、負圧力が発生する。この空気軸受による力と磁気ヘッドスライダ１を支持するサスペンション４０が印加する荷重とが釣り合ったところで、磁気ヘッドスライダ１は浮上する。浮上量は磁気ヘッド素子部３で1０nmかそれ以下である。流出側浮上面２ｄ、２ｅはスライダ１ａの幅方向（ロール方向）の空気膜剛性を向上するために設けられている。また、外周側の流出端部には、流出端パッド６が設けられており、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク３０にロードする際の接触時、スライダ１ａのコーナーでの磁気ディスク３０との接触を回避し、接触ダメージを低減している。
【００２２】
図５に磁気ディスク装置の内周位置と外周位置での、空気流入方向と流入側浮上面２ａ，２ｂの関係を示す。空気は流入側の深さd1の浅溝面４ａを通り、流入側浮上面２ａ，２ｂに達する。空気はステップ軸受け効果で正圧力を発生する。流入側浮上面２ａ，２ｂの内周側に大きな略三角形状に取り除かれた部分を設けることにより、内周位置では流入側は幅の広いステップ軸受となって正圧力を増加する反面、浮上面長さが短くなることにより正圧力が減少するため、内周位置での浮上姿勢角は微増にとどまる。一方、外周位置では、内周側に大きな略三角形を設けることにより、流入側は幅の狭いステップ軸受となるため、正圧力が減少する。その結果、内周位置に対し、中周から外周位置での流入側浮上面２ａ，２ｂでの浮上力を低く抑えることができ、装置外周側の浮上姿勢角を、装置内周側の浮上姿勢角より小さくすることができる。
【００２３】
図６に本実施例の磁気ヘッドスライダ１の内周から外周までの浮上姿勢の変化を示す。内周skew角は約−16度、外周Skew角は約12度である。従来例では内周から外周に向かって浮上姿勢は増加するのに対し、本実施例磁気ヘッドスライダ１は内周から外周に向かって浮上姿勢は低下する。この結果、ディスクの回転速度の速い外周側での、磁気ヘッドスライダ１の磁気ヘッド素子部３が最下点になることを回避し、外周でのクリアランス低下を防止し、磁気ヘッド素子の摺動による破損や円板損傷を防止することができる。なお、本構成の磁気ヘッドスライダでは、一対の流入側浮上面と、流出端のセンターの浮上面を分離して設けているので、流入側浮上面の形状が流出端の素子浮上量へあまり影響しない。
【００２４】
次に流入側浮上面の形状と浮上姿勢角との関係を説明する。図７に流入側浮上面の形状の例を示す。Ａタイプは長さ350um、幅210umの長方形、Ｂタイプは長さ350um、幅が160umの長方形、Cタイプは長さが250um、幅210umの略正方形である。また、外周側の小さい外直角三角形の長さは20um一定とした。図８にCut length と外周と内周の浮上姿勢角の変化の関係を示す。円板回転数は7200rpmと4120rpmの２種類の結果である。いずれのタイプ、回転数でもCut length 150um以上で外周（ＯＤ）の浮上姿勢角が内周（ＩＤ）の浮上姿勢角より小さくなる。図９は取り除き角度θと外周と内周の浮上姿勢角の変化の関係を示す図である。取り除き角度θは、図７に示すように、装置実装時に内周側となる角部が略三角形状に取り除かれた部分の前記頂点を含む幅方向端部からの角度θとして定義することができる。いずれのタイプ、回転数でも取り除き角度５０度以上で外周の浮上姿勢角が内周より小さくなる。
【００２５】
図１０は上記実施例の1.25mm長スライダについて、各種円板サイズ、回転数の内外周の浮上姿勢角の差(OD-ID)を比較した図である。磁気ディスクの中周の速度の平方根(SQRT(MD velocity))とCut lengthの積を単位スライダ長さ(1mm)に換算した値を横軸に、外周(OD)―内周(ID)の浮上姿勢角の差を縦軸にプロットすると、いろいろな条件に対して、概ね一定の幅曲線となる。図中、ＤＴはデスクトップＰＣに内蔵されているＨＤＤを示し、MobileはモバイルＰＣに内蔵されているＨＤＤを示し、Serverはサーバーに内蔵されているＨＤＤを示す。図１１に0.85ｍｍ長スライダの結果を示す。横軸を図１０と同じにしてプロットすると、ほぼ同じカーブを得た。この結果から、上記の横軸の値を0.6以上にすることによって、1.25mm長スライダと0.85ｍｍ長スライダによらず、また、広い装置条件で、外周浮上姿勢角を内周浮上姿勢角より小さくすることができる。
【００２６】
以上説明したように、従来構造の磁気ヘッドスライダでは、外周で速度が速くなるとスライダ姿勢角が大きくなり、最下点が磁気ヘッド素子部に移動し、磁気ヘッド素子部の摺動によるヘッド破損や円板損傷が発生して信頼性が低下するが、本発明の実施例では、内周から外周までのスライダの浮上姿勢を、内周より外周の姿勢角を小さくすることで、磁気ヘッドスライダの磁気ヘッド素子部が最下点になることを回避し、特にディスクが高速で回転する外周でのクリアランス低下を防止することができるので、磁気ヘッド素子部の摺動によるヘッド破損や円板損傷を防止することができる。その結果、磁気ディスク装置の摺動信頼性が向上し、品質が向上する効果がある。
【００２７】
また、図１２に上記実施例による磁気ヘッドスライダのロール剛性を示す。図１２では従来例に対する増加率で表している。内周ではほぼ従来例と同等であるが、外周では約５０％もロール剛性が増加している。これは、外乱に対してスライダの振動を抑制できることを意味しており、したがって、磁気ヘッドスライダを安定して浮上させることができる。
【００２８】
次に上記実施例による磁気ヘッドスライダの変形例について説明する。図１３に第１の変形例の平面図を示す。この変形例は、流入側浮上面２ａ，２ｂのスライダ幅方向の両側に浅溝部を設けないで構成した例である。本構成例によっても、内周から外周までのスライダの浮上姿勢を、内周より外周の姿勢角を小さくすることで、磁気ヘッドスライダの磁気ヘッド素子部が最下点になることを回避し、外周でのクリアランス低下を防止することができる。したがて、磁気ヘッド素子部の摺動によるヘッド破損や円板損傷を防止することができるという、上記実施例と同様の効果がある。
【００２９】
図１４に第２の変形例の平面図を示す。この変形例は、流入側浮上面２ａ，２ｂの間に、これらの浮上面２ａ，２ｂを連結する連結浮上面７を設けた例である。この変形例においても、上記実施例と同等の効果があることを確認した。
【００３０】
図１５に、スライダ長さが0.85mm、スライダ幅が0.7mmのスライダに適用した例を示す。図１及び図２に示した磁気ヘッドスライダは、スライダ長さが1.25 mm、スライダ幅が0.7mmであるが、スライダ長さが0.85mm、スライダ幅が0.7mmのスライダにおいても上記実施例と同様の効果があることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面の斜視図である。
【図２】図１の磁気ヘッドスライダの浮上面の平面図である。
【図３】本発明に係る磁気ディスク装置の斜視図と磁気ヘッドスライダの浮上姿勢を示す図である。
【図４】磁気ヘッド素子部の浮上姿勢とスライダ最下点を説明するための図である。
【図５】実施例による磁気ヘッドスライダの内外周位置の空気流入方向と流入側浮上面の関係を示す図である。
【図６】実施例による磁気ヘッドスライダの内外周位置における浮上姿勢角を示す図である。
【図７】実施例による磁気ヘッドスライダの流入側浮上面の形状を示す図である。
【図８】実施例による磁気ヘッドスライダの流入側浮上面のCut lengthと浮上姿勢角との関係を示す図である。
【図９】実施例による磁気ヘッドスライダの流入側浮上面の角部の取り除き角と浮上姿勢角との関係を示す図である。
【図１０】1.25mm長スライダの長さの新指標と浮上姿勢角との関係を示す図である。
【図１１】0.85mm長スライダの長さの新指標と浮上姿勢角との関係を示す図である。
【図１２】実施例による磁気ヘッドスライダのRoll剛性の改善効果を示す図である。
【図１３】変形例１による磁気ヘッドスライダの浮上面の平面図である。
【図１４】変形例２による磁気ヘッドスライダの浮上面の平面図である。
【図１５】0.85mm長スライダを用いた磁気ヘッドスライダの浮上面の平面図である。
【図１６】従来技術による正圧負圧併用形磁気ヘッドスライダの浮上面の平面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１…磁気ヘッドスライダ、１ａ…スライダ、２ａ，２ｂ…流入側浮上面、２ｃ…センター浮上面、２ｄ，２ｅ…流出側浮上面、３…磁気ヘッド、４a…流入側浅溝面、４b…サイドレール浅溝面、４c…センター浅溝面、５…深溝面、６…流出端パッド、７…連結浮上面、８…媒体対向面、９…頂点、１０…磁気ディスク装置、２０…スピンドル、３０…磁気ディスク、４０…サスペンション、５０…アクチュエータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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