(57)【要約】      （修正有）【課題】あらゆる規模の光学系器材に適用でき、しかも伝送するレーザ光に直接影響を与えず、光軸を適切に補正する光伝送装置を提供する。【解決手段】レーザ光を伝送するための１以上のミラー１ｂと、対応するミラーの角度に連動する１以上の小型ミラー４ａ，４ｂと、１以上の小型ミラー４ａ，４ｂに対して回転ミラー７を介して補正用可視レーザ光を照射する補正用可視レーザ光照射部と、１以上の小型ミラー４ａ，４ｂのいずれかにより反射された補正用可視レーザ光を検知する検知部８と、補正用可視レーザ光が照射された小型ミラー４ａ，４ｂの位置と検知部８により検知された補正用可視レーザ光の位置とに基づいてレーザ光の光軸ずれを補正するための補正信号を生成する制御部９と、ミラー１ｂの後段に設けられ、制御部９により生成された補正信号に基づいて入射光軸に対する自己の角度を調整する微動ミラー５とを備える。【選択図】図１
2010182847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を伝送するための１以上の第１ミラーと、
前記１以上の第１ミラーに対応して設けられるとともに、対応する前記第１ミラーの角度に連動する１以上の反射ミラーと、
前記１以上の反射ミラーに対して補正用可視レーザ光を照射する補正用可視レーザ光照射部と、
前記１以上の反射ミラーのいずれかにより反射された補正用可視レーザ光を検知する検知部と、
前記補正用可視レーザ光照射部により補正用可視レーザ光が照射された前記反射ミラーの位置と前記検知部により検知された補正用可視レーザ光の位置とに基づいて前記レーザ光の光軸ずれ量を算出するとともに、算出した光軸ずれ量を補正するための補正信号を生成する制御部と、
前記１以上の第１ミラーの後段に設けられ、前記制御部により生成された補正信号に基づいて入射光軸に対する自己の角度を調整する第２ミラーと、
を備えることを特徴とする光伝送装置。
【請求項２】
前記補正用可視レーザ光照射部は、前記１以上の反射ミラーの各々に対して所定の順番で所定時間毎に補正用可視レーザ光を照射することを特徴とする請求項１記載の光伝送装置。
【請求項３】
前記補正用可視レーザ光照射部は、
補正用可視レーザ光を生成して射出する射出部と、
回転可能に設けられるとともに、前記１以上の反射ミラーのいずれかを選択し、前記射出部により射出された補正用可視レーザ光が選択した反射ミラーに対して照射されるように回転角度を調節する回転ミラーと
を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光伝送装置。
【請求項４】
前記検知部は、４つの光検知器により構成された４象限光検出器であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の光伝送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光伝送装置に関し、例えばレーザ発生器により発生したレーザ光を伝送させるための光学系器材全般による光伝送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光共振器を使用したレーザ発生装置等により発生したレーザ光を伝送する光伝送装置は、所望の方向にレーザ光を伝送させるために、予め角度調節された複数枚のミラーやレンズ等を備えて光伝送路を確保する。しかしながら、当該光伝送装置が特殊な温度環境下や振動環境下に設置された場合に、レーザ光の向きを調整して伝送するためのミラーやレンズ等は、予め調節された角度から傾いてしまう場合がある。その際にレーザ光の光軸角度が本来の位置からずれてしまうため、作業者は、ミラーやレンズ等を調節し直す必要がある。例えば、レーザ発生装置内部に当該光伝送装置が組み込まれている場合、これらのミラーやレンズ等は、光学系器材を収納する箱等の密閉空間に設置されているのが通常であるため、作業者は、装置を解体してミラーやレンズ等を調節し直す必要があり、手間がかかるという問題がある。
【０００３】
したがって、従来の光伝送装置は、振動や温度等の影響によりミラーやレンズ等が傾斜するのを低減するために、当該ミラーやレンズ等が設置されているステージの強化を図るといった対策がとられている。しかしながら、ステージの強化により、当該光伝送装置やこれを含むレーザ発生装置は、サイズが大きくなるとともに重量が増してしまうという問題がある。
【０００４】
図４は、従来の光伝送装置においてミラーの傾斜によるレーザ光伝送路の光軸ずれを説明する図である。この図における従来の光伝送装置は、レーザ光の伝送路を確保するための３つのミラー１ａ，１ｂ，１ｃとレンズ２とを備えている。ミラー１ａ，１ｂ，１ｃやレンズ２が傾いておらず正常な場合において、光伝送装置内に入射されたレーザ光は、図４の実線で示すように各ミラーで反射されて伝送され、最後にレンズ２を介して光ファイバ等に入射される。
【０００５】
しかしながら、振動等の影響によりミラー１ａ，１ｂがずれた場合には、光伝送装置内に入射されたレーザ光は、図４の破線で示すように伝送されるため、最終的にレンズ２に対して傾いた角度で入射し、レンズ２の焦点位置にレーザ光が集光されないという問題がある。
【０００６】
したがって、ステージの強化等を必要とせず、且つ振動等により光軸ずれが生じた場合でも当該ミラーやレンズ等の傾斜を自動的に調整する方法や装置が望まれている。
【０００７】
特許文献１には、ミラーを組み合わせた光伝送路の光軸調整を遠隔地から自動的に調整する光伝送装置及びその調整方法の発明が記載されている。この光伝送装置は、ミラーを組み合せて光伝送路を構成する光伝送手段と、この光伝送手段を構成する少なくとも１枚のミラーの傾き角度を制御するミラー調整装置と、光伝送路を伝送される光源側の光軸の延長線上に設置された電子光学撮像手段と、ミラーの近傍に配置される画像処理用ターゲットと、電子光学撮像手段からの画像情報を演算処理し、この画像情報に含まれる画像処理用ターゲットの位置情報に基づいて正規位置からのミラーの角度ずれ量を測定する画像処理装置と、ミラーの角度ずれ量を入力してミラー調整装置を駆動させる制御装置とを備えている。
【０００８】
この光伝送装置によれば、ＣＣＤカメラ等の電子機器（電子光学撮像手段）を光伝送路の途中に設置する必要がなく、放射線の強い環境等においても、遠隔で光軸調整することが可能となる。また、画像処理装置を備えることにより、電子光学撮像手段で撮影した画像を基にミラーのずれ量を自動的に測定して、ミラーを自動調整することが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−１４６０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した特許文献１に開示された従来技術では、光通過孔を備えた画像処理用ターゲットが光伝送路を横断するように配置されており、ＣＣＤカメラは、ミラーを介して当該画像処理用ターゲットを観測する。したがって、ミラーの設置角度がずれている場合には、ＣＣＤカメラによる撮影画像上の画像処理用ターゲットの位置が撮影画面の中心からずれて見える。ＣＣＤカメラにより観測された撮影画像は、ＣＣＤカメラから画像処理装置に送られる。画像処理装置は、このターゲットが中心に見える時の画像を予め登録しており、この登録画像と観測されたカメラ画像（ミラー画像）とを比較し、画像上でのターゲットの位置がどれだけ中心から外れているかを演算処理する。制御装置は、画像処理装置による演算処理結果に基づいてミラー調整装置を駆動制御してミラーの位置を調整する。
【００１１】
ところが、上述したように画像処理用ターゲットが光伝送路を横断するように配置されているため、当該画像処理用ターゲットは、伝送されるレーザ光に対して損失や角度ずれ等の影響を与える可能性がある。
【００１２】
また、特許文献１に記載の光伝送装置は、原子力発電所内等の広いスペースに設置されることを前提としているため、装置の小型化に対する配慮はそれほどされておらず、画像処理用ターゲットや当該画像処理用ターゲットの近傍を照射するために照明装置を設置し、あるいはＣＣＤカメラを設置することにより装置の規模は大きなものとなってしまう。したがって、レーザ発生装置の筐体内等の狭い範囲に限定された空間内を伝送するレーザ光の光軸調整を望む場合において、特許文献１に記載の光伝送装置を適用するのは困難である。
【００１３】
本発明は上述した従来技術の問題点を解決するもので、あらゆる規模の光学系器材に適用でき、しかも伝送するレーザ光に直接影響を与えず、振動等の影響によりレーザ光を伝送するミラー等の部品が本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る光伝送装置は、上記課題を解決するために、レーザ光を伝送するための１以上の第１ミラーと、前記１以上の第１ミラーに対応して設けられるとともに、対応する前記第１ミラーの角度に連動する１以上の反射ミラーと、前記１以上の反射ミラーに対して補正用可視レーザ光を照射する補正用可視レーザ光照射部と、前記１以上の反射ミラーのいずれかにより反射された補正用可視レーザ光を検知する検知部と、前記補正用可視レーザ光照射部により補正用可視レーザ光が照射された前記反射ミラーの位置と前記検知部により検知された補正用可視レーザ光の位置とに基づいて前記レーザ光の光軸ずれ量を算出するとともに、算出した光軸ずれ量を補正するための補正信号を生成する制御部と、前記１以上の第１ミラーの後段に設けられ、前記制御部により生成された補正信号に基づいて入射光軸に対する自己の角度を調整する第２ミラーとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、あらゆる規模の光学系器材に適用でき、しかも伝送するレーザ光に直接影響を与えず、振動等の影響によりレーザ光を伝送するミラー等の部品が本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１の形態の光伝送装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施例１の形態の光伝送装置における１以上の第１ミラーの角度ずれ量の測定動作を示す図である。
【図３】本発明の実施例１の形態の光伝送装置における第２ミラーによる光軸ずれ補正の動作を示す図である。
【図４】従来の光伝送装置においてミラーの傾斜によるレーザ光伝送路の光軸ずれを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１は、本発明の実施例１の光伝送装置の構成を示す図である。図１を参照して、光伝送装置の構成を説明する。本実施例の光伝送装置は、図１に示すように、ミラーホルダ３ａ，３ｂ，３ｃ、補正用可視レーザ光射出部６、回転ミラー７、検知部８、及び制御部９から構成される。なお、本実施例において、「レーザ光」と「補正用可視レーザ光」とは、別のものであるとする。当該光伝送装置は、「レーザ光」を伝送することを本来の目的としている。これに対し、「補正用可視レーザ光」は、従来無い本発明独自のレーザ光であり、「レーザ光」の光軸ずれを補正するために、当該「補正用可視レーザ光」を利用して「レーザ光」の光軸ずれ量を測定し、補正量を決定することを目的として生成されるものである。
【００１９】
ミラーホルダ３ａは、ミラー１ａと小型ミラー４ａとを保持する。ただし、ミラー１ａは、図１においてミラーホルダ３ｂの陰に隠れているため、図示されていない。また、ミラーホルダ３ｂは、ミラー１ｂと小型ミラー４ｂとを保持する。さらに、ミラーホルダ３ｃは、制御部９に接続された微動ミラー５を保持している。
【００２０】
ミラー１ａとミラー１ｂとは、本発明の第１ミラーに対応し、レーザ光を伝送する。本実施例において、第１ミラーは、ミラー１ａとミラー１ｂとの２つであるが、１以上であれば幾つでも良い。
【００２１】
また、小型ミラー４ａと小型ミラー４ｂとは、本発明の反射ミラーに対応し、１以上の第１ミラー（ミラー１ａ、ミラー１ｂ）に対応して設けられるとともに、対応する第１ミラーの角度に連動する。具体的には、小型ミラー４ａは、ミラー１ａとともにミラーホルダ３ａに保持されているため、振動等によりミラー１ａに角度ずれが生じた場合には、ミラー１ａに対する角度ずれ量と同量の角度ずれが生ずる。同様に、小型ミラー４ｂは、ミラー１ｂとともにミラーホルダ３ｂに保持されているため、振動等によりミラー１ｂに角度ずれが生じた場合には、ミラー１ｂに対する角度ずれ量と同量の角度ずれが生ずる。
【００２２】
反射ミラーは、第１ミラーに対応して設けられるため、第１ミラーの数と同数だけ存在する。本実施例において、反射ミラー（小型ミラー４ａ、小型ミラー４ｂ）は、第１ミラー（ミラー１ａ、ミラー１ｂ）と同数の２つ存在する。なお、本実施例においては、同じミラーホルダに設けられた反射ミラーと第１ミラーとが対応するものとする。したがって、小型ミラー４ａは、ミラー１ａに対応して設けられたものである。また、小型ミラー４ｂは、ミラー１ｂに対応して設けられたものである。
【００２３】
補正用可視レーザ光射出部６は、本発明の射出部に対応し、補正用可視レーザ光を生成して射出する。また、回転ミラー７は、回転可能に設けられるとともに、１以上の反射ミラー（小型ミラー４ａ、小型ミラー４ｂ）のいずれかを選択し、補正用可視レーザ光射出部６により射出された補正用可視レーザ光が選択した反射ミラーに対して照射されるように回転角度を調節する。
【００２４】
すなわち、補正用可視レーザ光射出部６と回転ミラー７とは、本発明の補正用可視レーザ光照射部を構成し、１以上の反射ミラー（小型ミラー４ａ、小型ミラー４ｂ）に対して補正用可視レーザ光を照射する。
【００２５】
検知部８は、１以上の反射ミラーのいずれかにより反射された補正用可視レーザ光を検知する。具体的には、検知部８は、補正用可視レーザ光の自己の検知部８に対する照射位置を検知するものであり、例えば４つの光検知器により構成された４象限光検出器である。当然のことながら、検知部８は、４象限以上の素子からなる検知器でもよく、反射された補正用可視レーザ光の位置を検知できればよい。
【００２６】
なお、本実施例において、補正用可視レーザ光射出部６、回転ミラー７、及び検知部８は、いずれも後述する制御部９に接続されているものとする。
【００２７】
制御部９は、補正用可視レーザ光照射部（補正用可視レーザ光射出部６、回転ミラー７）により補正用可視レーザ光が照射された反射ミラーの位置と、検知部８により検知された補正用可視レーザ光の位置とに基づいて「レーザ光」の光軸ずれ量を算出するとともに、算出した光軸ずれを補正するための補正信号を生成する。
【００２８】
微動ミラー５は、本発明の第２ミラーに対応し、１以上の第１ミラーの後段に設けられ、制御部９により生成された補正信号に基づいて入射光軸に対する自己の角度を調整する。本実施例において、当該光伝送装置は、「レーザ光」をミラー１ａ、ミラー１ｂ、微動ミラー５の順に伝送し、最後に図示されないレンズ２に対して入射させる。したがって、微動ミラー５は、１以上の第１ミラー（ミラー１ａ、ミラー１ｂ）の後段に設けられていることになる。また、微動ミラー５は、その名の通り、制御部９により生成された補正信号に基づいてわずかに動き、伝送された「レーザ光」を反射させる方向を調整し、光軸ずれを補正する。
【００２９】
次に、上述のように構成された本実施の形態の作用を説明する。図２は、本発明の実施例１の光伝送装置における１以上の第１ミラー（ミラー１ａ、ミラー１ｂ）の角度ずれ量の測定動作を示す図であり、図１に示す光伝送装置を上から見た模式図である。
【００３０】
まず、光伝送装置の１以上の第１ミラー（ミラー１ａ、ミラー１ｂ）に対して、振動等に起因する角度ずれは生じていないものとする。この場合において、補正用可視レーザ光射出部６は、補正用可視レーザ光を生成して射出する。ただし、図２においては、補正用可視レーザ光射出部６の図示を省略している。回転ミラー７は、１以上の反射ミラー（小型ミラー４ａ、小型ミラー４ｂ）のいずれかを選択し、補正用可視レーザ光射出部６により射出された補正用可視レーザ光が選択した反射ミラーに対して照射されるように回転角度を調節する。補正用可視レーザ光射出部６及び回転ミラー７は、制御部９により動作を制御されている。したがって、制御部９は、補正用可視レーザ光射出部６による補正用可視レーザ光の射出タイミングを制御するとともに、予め記憶している各反射ミラー（小型ミラー４ａ，４ｂ）に対応する角度に回転ミラー７の回転角度を制御する。これにより、補正用可視レーザ光射出部６と回転ミラー７とからなる補正用可視レーザ光照射部は、１以上の反射ミラー（小型ミラー４ａ、小型ミラー４ｂ）の各々に対して補正用可視レーザ光を照射する。
【００３１】
なお、補正用可視レーザ光射出部６は、常に補正用可視レーザ光を射出しているとしてもよい。その場合には、補正用可視レーザ光の射出タイミングを制御する必要が無いため、制御部９は、必ずしも補正用可視レーザ光射出部６に接続される必要は無い。
【００３２】
また、補正用可視レーザ光照射部は、必ずしも補正用可視レーザ光射出部６と回転ミラー７とからなる必要は無く、回転ミラー７を介さずに補正用可視レーザ光射出部６自体が回転して直接補正用可視レーザ光を各反射ミラー（小型ミラー４ａ，４ｂ）に対して照射する構成でもよい。しかしながら、補正用可視レーザ光を生成する補正用可視レーザ光射出部６のように精密且つ複雑な機構を有する部分は、回転等の運動を与えることによる物理的な劣化等の影響が大きいと考えられるため、直接回転させることは好ましくない。したがって、本実施例の補正用可視レーザ光照射部は、回転する回転ミラー７を介して補正用可視レーザ光を照射するため、年月に対する耐久性が高い（補正用可視レーザ光射出部６の寿命を延ばすことができる）という利点も有する。
【００３３】
回転ミラー７が制御部９の制御により小型ミラー４ａの方向を向いたときに、補正用可視レーザ光は、回転ミラー７を介して小型ミラー４ａに照射される。小型ミラー４ａは、ミラー１ａとともにミラーホルダ３ａに保持されているため、振動等の影響でミラー１ａが傾いた場合にはミラー１ａの角度に連動して傾く（すなわちミラー１ａの角度ずれ量と同量の角度ずれが小型ミラー４ａに生ずる）が、ここでは角度ずれは生じていないものとする。
【００３４】
次に、小型ミラー４ａは、照射された補正用可視レーザ光を反射する。小型ミラー４ａにより反射された補正用可視レーザ光は、回転ミラー７近くに設置された検知部８に対して照射される。検知部８は、４象限光検出器であり、小型ミラー４ａにより反射された補正用可視レーザ光を検知する。
【００３５】
制御部９は、補正用可視レーザ光が照射された小型ミラー４ａの位置と、検知部８により検知された補正用可視レーザ光の位置とに基づいて「レーザ光」の光軸ずれ量を算出する。具体的には、制御部９は、ミラー１ａに角度ずれが生じておらず且つ小型ミラー４ａに対して補正用可視レーザ光が照射された場合に、小型ミラー４ａから反射されて検知部８に照射される補正用可視レーザ光の位置情報を有している。したがって、ミラー１ａに角度ずれが生じた場合には、検知部８に照射される補正用可視レーザ光の位置が本来の位置からずれるため、制御部９は、検知部８における位置ずれ量に基づいてミラー１ａの角度ずれ量及び伝送される「レーザ光」の光軸ずれ量を算出することができる。
【００３６】
次に、制御部９は、回転ミラー７の回転角度を制御して小型ミラー４ｂの方向に向ける。回転ミラー７が制御部９の制御により小型ミラー４ｂの方向を向いたときに、補正用可視レーザ光は、回転ミラー７を介して小型ミラー４ｂに照射される。小型ミラー４ｂは、ミラー１ｂとともにミラーホルダ３ｂに保持されているため、振動等の影響でミラー１ｂが傾いた場合にはミラー１ｂの角度に連動して傾くが、ここでは角度ずれは生じていないものとする。
【００３７】
次に、小型ミラー４ｂは、照射された補正用可視レーザ光を反射する。小型ミラー４ｂにより反射された補正用可視レーザ光は、検知部８に対して照射される。検知部８は、小型ミラー４ｂにより反射された補正用可視レーザ光を検知する。
【００３８】
制御部９は、補正用可視レーザ光が照射された小型ミラー４ｂの位置と、検知部８により検知された補正用可視レーザ光の位置とに基づいて「レーザ光」の光軸ずれ量を算出する。
【００３９】
小型ミラー４ａに関する情報と同様に、制御部９は、ミラー１ｂに角度ずれが生じておらず且つ小型ミラー４ｂに対して補正用可視レーザ光が照射された場合に、小型ミラー４ｂから反射されて検知部８に照射される補正用可視レーザ光の位置情報を有している。したがって、制御部９は、検知部８における位置ずれ量に基づいてミラー１ａの角度ずれ量及び伝送される「レーザ光」の光軸ずれ量を算出することができる。
【００４０】
このように、制御部９は、補正用可視レーザ光照射部を制御して１以上の反射ミラーの各々に対して補正用可視レーザ光を照射することにより、全ての第１ミラー（本実施例ではミラー１ａ，１ｂ）の角度ずれ情報を得ることができる。なお、補正用可視レーザ光照射部は、例えば、１以上の反射ミラーの各々に対して所定の順番で所定時間毎に補正用可視レーザ光を照射する構成としてもよい。これにより、制御部９は、定期的に各第１ミラーの角度ずれ情報を収集することができる。
【００４１】
なお、図２において、小型ミラー４ａ，４ｂがいずれも補正用可視レーザ光を同じ位置に反射するように設置されているため、検知部８は、位置を変える必要が無いが、回転ミラー７の回転動作に連動して位置を変えるように構成することもできる。例えば複数の第１ミラーの位置関係に起因して検知部８に補正用可視レーザ光を返すことが困難である場合には、検知部８は、回転ミラー７に連動して反射ミラーから補正用可視レーザ光を受けやすい位置に自己の位置を移動させる。このような構成を採用することにより、より複雑な位置関係に複数の第１ミラーが設置されている場合においても、柔軟に対応することができる。
【００４２】
また、図２のような構成の場合には、補正用可視レーザ光照射部は、回転ミラー７から見えない位置に対して補正用可視レーザ光を照射することができない。そこで、複数の補正用可視レーザ光照射部を備えることも考えられる。いずれにしても、制御部９は、当該光伝送装置内に設けられた１以上の第１ミラーの全てに対する角度ずれ量の情報を得ることができればよい。
【００４３】
さらに制御部９は、算出した「レーザ光」の光軸ずれを微動ミラー５において補正するための補正信号を生成する。微動ミラー５は、制御部９により生成された補正信号に基づいて入射光軸に対する自己の角度を調整する。
【００４４】
微動ミラー５は、例えば微動ミラー５のミラー面の中心を基準として、垂直軸、水平軸を独立してあおり（水平及び鉛直方向のミラー角度）調整する。垂直軸と水平軸に対する微動ミラー５の角度をそれぞれ独立して調整するために、複数のアクチュエータを設置してもよい。
【００４５】
図３は、本発明の実施例１の光伝送装置における第２ミラー（微動ミラー５）による光軸ずれ補正の動作を示す図であり、図２と同様に、図１に示す光伝送装置を上から見た模式図である。従来技術として図４で説明した場合と同様に、１以上の第１ミラー（ミラー１ａ，１ｂ）が傾いておらず正常な場合において、光伝送装置内に入射されたレーザ光は、図３の実線で示すように各ミラーで反射されて伝送され、最後にレンズ２を介して光ファイバ等に入射される。
【００４６】
しかしながら、振動等の影響によりミラー１ａ，１ｂがずれた場合には、光伝送装置内に入射されたレーザ光は、最終的にレンズ２に対して傾いた角度で入射し、レンズ２の焦点位置にレーザ光が集光されない。
【００４７】
そこで、制御部９は、算出した「レーザ光」の光軸ずれを微動ミラー５において補正するための補正信号を生成する。具体的には、制御部９は、１以上の第１ミラー（ミラー１ａ，１ｂ）の各々の角度ずれに基づくレーザ光の光軸ずれ量を算出し、当該光軸ずれを補正するために、正常時の光軸に対してレンズ２に入射されるレーザ光の光軸が平行になるように微動ミラー５を傾けるための補正信号を生成する。また、微動ミラー５は、制御部９により生成された補正信号に基づいて入射光軸に対する自己の角度を調整する。
【００４８】
レンズ２に対して平行に入射した光は、レンズ２の焦点位置で一点に集光する。したがって、微動ミラー５の角度調整後においても、伝送されるレーザ光は、レンズ２に対する入射位置が正常時と異なることになるが、レンズ２に対する入射角度が正常時と同じであるため、レンズ２の焦点位置において正常時と同じ位置に集光されることになり、その後に光ファイバ等に入射する場合にも問題とならない。すなわち、正常時のレーザ光と振動等による各第１ミラーの角度ずれが生じた場合における微動ミラー５調整後のレーザ光とは、光軸の平行移動を施した関係となる。
【００４９】
上述のとおり、本発明の実施例１の形態に係る光伝送装置によれば、あらゆる規模の光学系器材に適用でき、しかも伝送するレーザ光に直接影響を与えず、振動等の影響によりレーザ光を伝送する第１ミラー（ミラー１ａ，１ｂ）等の部品が本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正することができる。
【００５０】
特許文献１に記載の光伝送装置が光伝送路を横断するように画像処理用ターゲットを設置していたのに対し、本発明の光伝送装置は、補正用可視レーザ光を利用して各第１ミラー（ミラー１ａ，１ｂ）の角度ずれ量を測定するので、伝送されるレーザ光に損失等の影響を与えることなく、正確に各第１ミラーのずれ状況を知ることができる。
【００５１】
また、本発明の光伝送装置は、特許文献１に記載の光伝送装置のように画像処理用ターゲット及びその近傍を照射するための照明装置やＣＣＤカメラを設置する必要が無く、装置全体を小型化することが可能であり、レーザ発生装置内のように限定された狭い空間内の光学系器材に対しても適用可能である。
【００５２】
さらに、本発明の光伝送装置は、従来の光伝送装置のように、ミラーやレンズ等が設置されているステージの強化を図るといった対策をとる必要も無いため、サイズや重量の増大を回避することができるとともに、自動的に光軸を補正して、より正確なレーザ光の伝送を実現することができる。
【００５３】
また、補正用可視レーザ光照射部が１以上の反射ミラー（小型ミラー４ａ，４ｂ）の各々に対して所定の順番で所定時間毎に補正用可視レーザ光を照射する構成とした場合には、定期的に各第１ミラー（ミラー１ａ，１ｂ）の角度ずれ量をチェックして常に正確で安定したレーザ光伝送を行うことができる。
【００５４】
さらに、補正用可視レーザ光射出部６と回転ミラー７とからなる補正用可視レーザ光照射部を構成することにより、補正用可視レーザ光射出部６を直接回転させる必要が無く、補正用可視レーザ光射出部６の寿命を延ばして高い耐久性を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明に係る光伝送装置は、レーザ発生装置等に組み込まれた光学系器材によりレーザ光を伝送する光伝送装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１ａ，１ｂ，１ｃ  ミラー
２    レンズ
３ａ，３ｂ，３ｃ  ミラーホルダ
４ａ，４ｂ  小型ミラー
５    微動ミラー
６    補正用可視レーザ光射出部
７    回転ミラー
８    検知部
９    制御部
【図１】
2010182847.tif 000003
【図２】
2010182847.tif 000004
【図３】
2010182847.tif 000005
【図４】
2010182847.tif 000006