(57)【要約】【課題】微細配線を形成できると共に、基板の側面側に接続端子を容易に形成できる配線基板を提供する。【解決手段】シリコン基板１１と、その厚み方向に貫通して形成されたスルーホールＴＨと、シリコン基板１１の両面、側面及びスルーホールＴＨの内面に形成された絶縁層１４と、スルーホールＴＨに形成された貫通電極２０と、シリコン基板１１の一方の面に形成され、貫通電極２０に接続された配線層２２と、配線層２２に接続されて、シリコン基板１１の一方の面から側面Ｓに延在して形成された金属ワイヤ端子４２とを含む。配線基板１に電子部品３０が実装された電子装置２の基板方向が実装基板５０の基板方向に直交するように、電子装置２の側面Ｓの金属ワイヤ端子４２が実装基板５０に接続される。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板と、
前記シリコン基板の厚み方向に貫通して形成されたスルーホールと、
前記シリコン基板の両面、側面及び前記スルーホールの内面に形成された絶縁層と、
前記スルーホールに形成された貫通電極と、
前記シリコン基板の少なくとも一方の面に形成され、前記貫通電極に接続された配線層と、
前記配線層に接続されて、前記シリコン基板の一方の面から側面に延在して形成された金属ワイヤ端子とを有することを特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記金属ワイヤ端子は、ワイヤボンディング法によって形成された金ワイヤからなることを特徴とする請求項１に記載の配線基板。
【請求項３】
前記シリコン基板の前記配線層が形成された面と反対面側の中央部に凹部が設けられており、前記スルーホール及び貫通電極は前記凹部の底部に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の配線基板。
【請求項４】
前記金属ワイヤ端子が設けられた前記シリコン基板の側面には、厚み方向に溝が設けられており、前記金属ワイヤ端子は前記溝に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の配線基板。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかの配線基板と、
前記シリコン基板の前記配線層が形成された面と反対面側に実装され、前記貫通電極に電気的に接続された電子部品とを有することを特徴とする電子装置。
【請求項６】
請求項５の電子装置と、
前記電子装置が実装された実装基板であって、前記電子装置の基板方向が前記実装基板の基板方向に直交するように、前記電子装置の側面の前記金属ワイヤ端子が前記実装基板の接続電極に接続された前記実装基板とを有することを特徴とする電子装置実装構造。
【請求項７】
前記実装基板は垂直方向に立って配置されており、前記電子部品はその基板方向が水平方向に配置されることを特徴とする請求項６に記載の電子装置実装構造。
【請求項８】
前記電子部品はＭＥＭＳ加速度センサであることを特徴とする請求項７に記載の電子装置実装構造。
【請求項９】
前記電子装置の前記実装基板との接続領域の周りに補強樹脂が設けられていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の電子装置実装構造。
【請求項１０】
前記電子装置の前記金属ワイヤ端子は金ワイヤからなり、前記実装基板の接続電極はその最上層が金層、又は金／錫合金層からなり、
前記電子装置の前記金属ワイヤ端子と前記実装基板の接続電極とは、金と金との超音波接合、又は金−錫接合によって接続されていることを特徴とする請求項請求項６乃至８のいずれか一項に記載の電子装置実装構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は配線基板、電子装置及び電子装置実装構造に係り、さらに詳しくは、基板の側面に接続端子を備えた配線基板、その配線基板に電子部品が実装された電子装置、及びその電子装置が実装基板に実装された電子装置実装構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パッケージの側面側に接続端子が設けられた電子装置がある。特許文献１には、加速度センサ用のセラミックパッケージが開示されており、セラミックパッケージは６面体を有し、底面とそれに直交する側面にリード端子を重複して設け、底面及び側面のいずれかを選択して加速度センサが回路基板に実装されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１３２６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、セラミックから形成されるパッケージ（配線基板）では、微細配線を形成することが困難であり、高性能な電子部品の実装基板として対応することは困難になってきている。このため、微細配線を形成できると共に、基板の側面側に接続端子を備えた新規な構造の配線基板が求められている。
【０００５】
本発明は以上の課題を鑑みて創作されたものであり、微細配線を形成できると共に、基板の側面側に接続端子を容易に形成できる配線基板、電子装置及び電子装置実装構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は配線基板に係り、シリコン基板と、前記シリコン基板の厚み方向に貫通して形成されたスルーホールと、前記シリコン基板の両面、側面及び前記スルーホールの内面に形成された絶縁層と、前記スルーホールに形成された貫通電極と、前記シリコン基板の少なくとも一方の面に形成され、前記貫通電極に接続された配線層と、前記配線層に接続されて、前記シリコン基板の一方の面から側面に延在して形成された金属ワイヤ端子とを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の配線基板では、シリコン基板にスルーホールが形成されており、シリコン基板の両面、側面及びスルーホールの内面に絶縁層が形成されている。スルーホールには貫通電極が形成されており、シリコン基板の一方の面に貫通電極に接続された配線層が形成されている。
【０００８】
また、シリコン基板の一方の面から側面にかけて、配線層に接続された金属ワイヤ端子が設けられている。金属ワイヤ端子は、例えば、ワイヤボンディング法で形成される金ワイヤからなる。
【０００９】
そして、シリコン基板の配線層が形成された面と反対面に、貫通電極に電気的に接続される電子部品が実装されて電子装置が構成される。
【００１０】
本発明では、基板として微細配線を形成できるシリコン基板を使用し、その側面に接続端子として金属ワイヤ端子を設けている。これにより、高性能な電子部品の実装に対応できると共に、電子装置の側面を実装基板に接続して実装することができる。
【００１１】
つまり、電子装置はその基板方向が実装基板の基板方向に対して直交するように実装基板に実装される。実装基板が垂直方向に立って配置される場合は、電子装置の側面の金属ワイヤ端子が実装基板に接続されて実装され、電子装置はその基板方向が水平方向を向いて実装される。
【００１２】
本発明の一つの好適な態様では、電子部品はＭＥＭＳ加速度センサであり、ＭＥＭＳ加速度センサを実装する際には、その特性上、ＭＥＭＳ加速度センサの基板方向が水平方向になるように実装する必要がある。本発明の電子装置では、実装基板が垂直方向に立って配置される場合に、電子装置の側面の金属ワイヤ端子を実装基板に接続することにより、ＭＥＭＳ加速度センサを水平方向に実装することができる。
【００１３】
このように、実装基板が垂直方向に立って配置される場合に、ＭＥＭＳ加速度センサが正常に機能するように水平方向にして実装することが可能になる。
【００１４】
あるいは、電子部品が半導体チップである場合は、水平方向に配置される実装基板に電子装置の側面の金属ワイヤ端子を接続して実装することにより、電子装置の基板方向が垂直方向に立つように実装することができる。この態様の場合、実装基板の水平方向の実装面積を小さくすることができる。
【００１５】
電子装置の側面の金属ワイヤ端子を実装基板に接続して実装した後に、電子装置の接続領域の周りに補強樹脂を形成して電子装置の接続を補強してもよい。これにより、特に、電子装置の基板方向が水平方向になって実装される場合に、下側に傾くことが防止されて実装の信頼性を向上させることができる。
【００１６】
また、シリコン基板の側面に溝を形成しておき、その溝に金属ワイヤ端子を配置して金属ワイヤ端子の段差を解消するようにしてもよい。これにより、電子装置を実装する際にぐらつきが低減されて信頼性よく電子装置を実装基板に接続することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明の配線基板では、微細配線を形成できると共に、基板の側面側に接続端子を容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す平面図（その１）である。
【図２】図２（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図（その２）である。
【図３】図３（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図（その３）である。
【図４】図４（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図（その４）である。
【図５】図５（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図（その５）である。
【図６】図６（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図（その６）である。
【図７】図７（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図（その７）である。
【図８】図８は本発明の実施形態の電子装置を示す断面図である。
【図９】図９（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の電子装置の側面の金属ワイヤ端子を垂直方向に配置された実装基板に実装した様子を示す断面図である。
【図１０】図１０（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の電子装置の側面の金属ワイヤ端子を水平方向に配置された実装基板に実装した様子を示す断面図である。
【図１１】図１１（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の変形例の電子装置を示す斜視図である。
【図１２】図１２（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の変形例の電子装置の側面の金属ワイヤ端子を水平方向に配置された実装基板に実装した様子を示す断面図及び斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００２０】
図１〜図７は本発明の実施形態の配線基板の製造方法を示す断面図、図８は同じく電子装置を示す断面図である。本実施形態の配線基板の製造方法では、まず、図１に示すようなシリコンウェハ１０を用意する。シリコンウェハ１０の厚みは例えば７００〜８００μｍであり、シリコンウェハ１０には多数の配線基板領域Ａが画定されている。
【００２１】
次いで、図２（ａ）に示すように、シリコンウェハ１０の背面をグラインダによって研削することにより、その厚みを５００μｍ程度に薄型化する。図２（ａ）からの断面図では、図１のシリコンウェハ１０の２つの配線基板領域Ａが部分的に描かれている。
【００２２】
続いて、図２（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィによって、シリコンウェハ１０の上にホール状の開口部１３ａが設けられたレジスト１３を形成する。レジスト１３の開口１３ａは、シリコンウェハ１０のスルーホールが配置される部分に形成される。
【００２３】
次いで、図２（ｃ）に示すように、レジスト１３をマスクにしてその開口部１３ａを通してドライエッチング（ＲＩＥなど）によってシリコンウェハ１０をエッチングする。このとき、シリコンウェハ１０の厚みの途中までエッチングが行われて複数の穴部１０ａが形成される。シリコンウェハ１０の厚みが５００μｍの場合は、穴部１０ａの深さは２００μｍ程度に設定され、穴部１０ａの径は３０〜６０μｍに設定される。その後に、レジスト１３が除去される。
【００２４】
次いで、図２（ｄ）に示すように、シリコンウェハ１０を熱酸化することにより、その両面及び穴部１０ａの内面にシリコン酸化層からなる絶縁層１２を形成する。あるいは、ＣＶＤ法によってシリコン酸化層を形成して絶縁層１２としてもよい。
【００２５】
続いて、図３（ａ）に示すように、図２（ｄ）のシリコンウェハ１０を上下反転させて裏面側を上側に向け、上側の絶縁層１２に開口部１２ａを形成する。絶縁層１２はフォトリソグラフィ及びウェットエッチングによってパターン化される。絶縁層１２の開口部１２ａは各配線基板領域Ａの中央主要部にそれぞれ配置される。
【００２６】
次いで、図３（ｂ）に示すように、絶縁層１２をマスクとしてその開口部１２ａを通してシリコンウェハ１０をウェットエッチングすることにより、各配線基板領域Ａの中央主要部に凹部Ｃを形成する。
【００２７】
このとき、凹部Ｃは、シリコンウェハ１０に形成した穴部１０ａに到達する深さで形成される。シリコンウェハ１０は絶縁層１２に対して選択的にエッチングされるため、穴部１０ａの底部側の絶縁層１２が上側に突出した状態となる。
【００２８】
前述したようにシリコンウェハ１０の厚みが５００μｍで、穴部１０ａの深さが２００μｍの場合は、凹部Ｃの深さは３００μｍ以上に設定される。
【００２９】
その後に、図３（ｃ）に示すように、シリコンウェハ１０に形成された絶縁層１２をウェットエッチングによって全て除去する。
【００３０】
これにより、シリコンウェハ１０の上面側の各配線基板領域Ａの中央主要部に凹部Ｃがそれぞれ得られる。これと同時に、前述した穴部１０ａの周りの絶縁層１２が除去されることにより、凹部Ｃの底部にシリコンウェハ１０を貫通するスルーホールＴＨが設けられる。スルーホールＴＨは凹部Ｃの底部に連通して形成される。
【００３１】
次いで、図４（ａ）に示すように、シリコンウェハ１０の各配線基板領域Ａの境界部（ダイシング部）の主要部を貫通加工することにより貫通部１０ｂを部分的に形成する。貫通部１０ｂはフォトリソグラフィ及びドライエッチング（ＲＩＥなど）によって形成される。
【００３２】
このとき、各配線基板領域Ａはその四隅に残された連結部１０ｘによって繋がった状態となっており、シリコンウェハ１０は１枚のウェハ状態となっている。つまり、各配線基板領域Ａにおいて、それらの四方の側面主要部がそれぞれ露出した状態となる。
【００３３】
続いて、図４（ｂ）に示すように、シリコンウェハ１０を熱酸化することにより、シリコンウェハ１０の両面、スルーホールＴＨ及び貫通部１０ｂの各内面にシリコン酸化層からなる絶縁層１４を形成する。あるいは、ＣＶＤによってシリコン酸化層を形成して絶縁層１４としてもよい。
【００３４】
このようにすることにより、シリコンウェハ１０の状態で、各配線基板領域Ａの四方の側面主要部に絶縁層１４を一括で容易に形成することができる。
【００３５】
次いで、図５（ａ）に示すように、図４（ｂ）のシリコンウェハ１０を銅箔などのめっき給電部材１６の上に配置する。さらに、シリコンウェハ１０の貫通部１０ｂにディスペンサなどによって液状のレジスト１８を充填し、ベークして乾燥させる。図５（ａ）の部分平面図に示すように、レジスト１８はスルーホールＴＨを除いて貫通部１０ｂのみに選択的に形成される（点ハッチング部）。
【００３６】
その後に、図５（ｂ）に示すように、めっき給電部材１６をめっき給電経路に利用する電解めっきにより、シリコンウェハ１０のスルーホールＴＨに金属めっき層を充填して貫通電極２０を得る。貫通電極２０は充填金属部２０ａとその上に形成された接続部２０ｂとによって構成される。
【００３７】
例えば、充填金属部２０ａは銅（Ｃｕ）めっき層からなり、接続部２０ｂは、下から順にニッケル（Ｎｉ）めっき層／金（Ａｕ）めっき層からなる。実装する電子部品の接続仕様に合わせて貫通電極２０の材料が選択される。
【００３８】
シリコンウェハ１０の貫通部１０ｂにはレジスト１８が充填されているので、貫通部１０ｂに金属めっき層が形成されることが阻止される。
【００３９】
さらに、図５（ｃ）に示すように、めっき給電部材１６を除去すると共に、シリコンウェハ１０の貫通部１０ｂに充填されたレジスト１８を除去して貫通部１０ｂを露出させる。レジスト１８はレジスト剥離液又はドライアッシングによってシリコンウェハ１０、絶縁層１４及び貫通電極２０に対して選択的に除去される。
【００４０】
次いで、図５（ｄ）に示すように、シリコンウェハ１０の下面側に、無電解めっき又はスパッタ法によりＣｕ層などを形成してシード層２２ａを得る。さらに、シリコンウェハ１０の貫通部１０ｂに対応するシード層２２ａの部分を除去する。続いて、シード層２２ａの上に、配線層が配置される領域に開口部２４ａが設けられためっきレジスト２４をフォトリソグラフィによって形成する。
【００４１】
続いて、図６（ａ）に示すように、シード層２２ａをめっき給電経路に利用する電解めっきにより、めっきレジスト２４の開口部２４ａにＣｕ層などからなる導電パターン層２２ｂを形成する。さらに、めっきレジスト２４を除去した後に、導電パターン層２２ｂをマスクにしてシード層２２ａをエッチングする。
【００４２】
これにより、図６（ｂ）に示すように、シード層２２ａ及び導電パターン層２２ｂにより構成される配線層２２がシリコンウェハ１０の下面側の絶縁層１４の上に形成される。配線層２２は、貫通電極２０に電気的に接続されて形成される。
【００４３】
上記したようなセミアディティブ法によって配線層２２を形成する場合は、配線層２２のライン：スペースを１０：１０μｍ〜５０：５０μｍに設定することができ、従来技術のセラミックパッケージ（配線幅：数百μｍ）を使用する場合よりも格段に配線層２２を微細化することができる。
【００４４】
また、スパッタ法、フォトリソグラフィ及びドライエッチングなどのウェハプロセスを使用することもできるので、配線層２２のさらなる微細化も可能である。
【００４５】
その後に、図６（ｃ）に示すように、シリコンウェハ１０の連結部１０ｘ（図５（ａ）の部分平面図を参照）を切断することにより、個々のシリコン基板１１に分割する。これにより、多数の配線基板領域Ａが分離されて個々の配線部材５が得られる。
【００４６】
次いで、図７（ａ）に示すように、図６（ｃ）の配線部材５を上下反転させ、裏面側の配線層２２を上側に向ける。そして、配線部材５の側面Ｓの近傍に、ワイヤボンダ（不図示）のキャピラリ４０から金ワイヤ４２ａを所定長だけ出し、金ワイヤ４２ａの先端部を放電により球状に丸める。
【００４７】
さらに、図７（ｂ）に示すように、キャピラリ４０を配線部材５の配線層２２の接続部に移動させ、金ワイヤ４２ａをその接続部に接触させて加熱と超音波振動により金ワイヤ４２ａを配線層２２に接合した後に、金ワイヤ４２ａを切断する。
【００４８】
これにより、図７（ｂ）の配線部材５を上下反転させると、図７（ｄ）に示すように、配線部材５の下面側の配線層２２の接続部に接続されて、配線部材５の下面側から側面Ｓに沿って上側に延在する金属ワイヤ端子４２が設けられる。
【００４９】
金ワイヤ４２ａからなる金属ワイヤ端子４２を例示するが、ワイヤボンディング法などにより、銅ワイヤ端子又はアルミニウムワイヤ端子などを形成することができる。
【００５０】
シリコン基板１１の側面Ｓには絶縁層１４が形成されているので、シリコン基板１１の側面Ｓに金属ワイヤ端子４２が接触するとしても、シリコン基板１１と金属ワイヤ端子４２との間で電気ショートするおそれがない。
【００５１】
前述した製造方法では、シリコン基板１１の四隅近傍の側面には絶縁層１４が部分的に形成されないが、金属ワイヤ端子４２はシリコン基板１１の四隅には配置されないので特に問題はない。
【００５２】
あるいは、前述した製造方法においてシリコンウェハ１０に貫通部１０ｂ（図４（ａ）の工程）を形成せずに、シリコンウェハ１０を切断して個々の配線部材を得た後に、シリコン基板１１の側面に絶縁樹脂を塗るなどして絶縁層を形成してもよい。この場合は、シリコン基板１１の四隅の側面を含む全ての側面に絶縁層１４を形成することができる。
【００５３】
このようにして、配線部材５の側面Ｓに配線層２２に接続される金属ワイヤ端子４２（接続端子）が設けられて、本実施形態の配線基板１が得られる。
【００５４】
図７（ｃ）に示すように、本実施形態の配線基板１では、シリコン基板１１の上面側の中央主要部に凹部Ｃが設けられており、凹部Ｃの底部にシリコン基板１１を貫通するスルーホールＴＨが設けられている。シリコン基板１１の両面、側面及びスルーホールＴＨの内面にはシリコン酸化層からなる絶縁層１４が形成されている。
【００５５】
シリコン基板１１の中央主要部に凹部Ｃを設けることにより、凹部Ｃに電子部品を実装した後に、平坦なキャップを設けて電子部品を容易に気密封止することができる。キャップを設けない場合は、必ずしもシリコン基板１１に凹部Ｃを設けなくてもよい。
【００５６】
また、スルーホールＴＨ内には最上部に接続部２０ｂを備えた貫通電極２０が充填されている。シリコン基板１１の下面の絶縁層１４の上には貫通電極２０に電気接続された配線層２２が形成されている。特に図示しないが、シリコン基板１１の凹部Ｃの底面に貫通電極２０に接続される配線層が形成されていてもよい。
【００５７】
さらに、シリコン基板１１の下面側の配線層２２の接続部に接続された金属ワイヤ端子４２がシリコン基板１１の側面Ｓに沿って上側に延在して形成されている。前述したように金属ワイヤ端子４２がワイヤボンディング法によって形成される場合は、金属ワイヤ端子４２はシリコン基板１１の側面Ｓに単に接触しているだけで、シリコン基板１１の側面Ｓと非接着状態となっている。
【００５８】
そして、配線基板１の貫通電極２０の接続部２０ｂに電子部品が接続されて実装される。シリコン基板１１の凹部Ｃの底面に貫通電極２０に接続される配線層を形成する場合は、配線層の接続部に電子部品が接続されて実装される。
【００５９】
図８には、図７（ｃ）の配線基板１にＭＥＭＳ加速度センサ３０（ジャイロセンサ）が実装された例が示されている。ＭＥＭＳ加速度センサ３０の接続電極３２が配線基板１の貫通電極２０の接続部２０ｂに接続されて実装される。
【００６０】
ＭＥＭＳ加速度センサ３０の接続電極３２はＡｌ層の上にＮｉ層／Ａｕ層が順に形成されて構成される。そして、超音波接合によってＭＥＭＳ加速度センサ３０の接続電極３２（表層がＡｕ層）と配線基板１の接続部２０ｂ（表層がＡｕ層）とが接合される。
【００６１】
さらに、配線基板１の上に蓋（キャップ）４６が設けられてＭＥＭＳ加速度センサ３０が配線基板１の凹部Ｃ内に気密封止される。蓋４６はシリコンから形成され、Ａｕ−Ｓｎ接合やＡｕ−Ｉｎ接合によって配線基板１に固着される。
【００６２】
これにより、配線基板１にＭＥＭＳ加速度センサ３０が気密封止された状態で実装されて構成される本実施形態の電子装置２が得られる。
【００６３】
配線基板１の接続部２０ｂ及びＭＥＭＳ加速度センサ３０の接続電極３２は、各種の金属から形成することができ、各種の接続方式を採用することができる。
【００６４】
なお、本実施形態では、配線部材５に金属ワイヤ端子４２を形成した後に、電子部品を実装しているが、シリコンウェハ１０を切断する前（図６（ｂ）の状態）に電子部品を実装してもよいし、個々の配線部材５に電子部品を実装した後に金属ワイヤ端子４２を形成してもよい。
【００６５】
次に、本実施形態の電子装置２を実装基板に実装する方法について説明する。実装基板は電子装置が実装される被実装体であり、各種の電子機器や機械などに備えられる。ＭＥＭＳ加速度センサ３０が実装された電子装置２を実装基板に実装する際に、加速度センサを正常に機能させるには、ＭＥＭＳ加速度センサ３０の基板方向が水平方向（横方向）になるように実装する必要がある。
【００６６】
本実施形態の電子装置２では側面Ｓに金属ワイヤ端子４２が設けられているので、実装基板が垂直方向（縦方向）に配置されている場合に都合がよい。つまり、図９（ａ）に示すように、実装基板５０が垂直方向に壁のように立って配置されている場合、本実施形態の電子装置２は側面Ｓの金属ワイヤ端子４２が実装基板５０の接続電極に５２接続されて実装される。
【００６７】
これにより、実装基板５０が垂直方向に立って配置される場合に、電子装置２のＭＥＭＳ加速度センサ３０は水平方向に配置されるので、加速度センサを正常に機能させることができる。
【００６８】
実装基板５０の接続電極５２は、Ｃｕ層の上にＮｉ層／Ａｕ層が順に形成されて構成される。そして、電子装置２の金属ワイヤ端子４２（Ａｕワイヤ）が実装基板５０の接続電極５２（最上層がＡｕ層）に超音波接合によって接合される。
【００６９】
あるいは、実装基板５０の接続電極５２は、Ｃｕ層の上にＮｉ層／Ａｕ層とＳｎ・Ａｕ合金層が順に形成されて構成されるようにしてもよい。この場合、電子装置２の金属ワイヤ端子４２（Ａｕワイヤ）が実装基板５０の接続電極５２（最上層がＳｎ・Ａｕ合金層）にＡｕ−Ｓｎ接合によって接続される。
【００７０】
電子装置２の金属ワイヤ端子４２及び実装基板５０の接続電極５２は、各種の金属から形成することができ、各種の接続方式を採用することができる。
【００７１】
さらに、図９（ｂ）に示すように、電子装置２の実装基板５０との接続領域の周りにエポキシ樹脂などからなる補強樹脂４４が形成される。電子装置２の接続領域を補強樹脂４４で補強することにより、電子装置２が下側に傾くことが防止され、ＭＥＭＳ加速度センサ３０の信頼性を向上させることができる。
【００７２】
次に、水平方向に配置された実装基板に、電子装置を垂直方向に立てた状態で実装する形態について説明する。この形態の場合、図１０（ａ）に示すように、配線基板１の接続部２０ｂに半導体チップ３４の接続電極３６がフリップチップ実装され、配線基板１の上に蓋４６が固着されて電子装置２ａが構成される。ＣＰＵやメモリなどの半導体チップ３４（ＬＳＩチップ）は実装方向に関しては特に制限されない。
【００７３】
そして、実装基板５０が水平方向に配置されており、電子装置２ａの側面Ｓの金属ワイヤ端子４２が実装基板５０の接続電極５２に接続されて実装される。つまり、電子装置２ａが垂直方向に立った状態で実装基板５０に実装される。
【００７４】
さらに、図１０（ｂ）に示すように、前述した図９（ｂ）と同様に、電子装置２ａの接続領域の周りに補強樹脂４４が設けられる。
【００７５】
このようにして実装する場合、実装基板５０から垂直方向（上側）にある程度の実装領域を確保する必要があるが、実装基板５０の水平方向（横方向）の実装面積を小さくすることができる。
【００７６】
あるいは、前述した図９（ｂ）と同様に、半導体チップ３４が実装された電子装置２ａの側面Ｓの金属ワイヤ端子４２を垂直方向に配置された実装基板５０に接続して、電子装置２ａを水平方向に実装してもよい。
【００７７】
このように、本実施形態の電子装置実装構造では、電子装置２，２ａの基板方向が実装基板５０の基板方向に直交するように、電子装置２，２ａの側面の金属ワイヤ端子４２が実装基板５０の接続電極に５２接続される。
【００７８】
従って、上記した図１０（ａ）及び（ｂ）において、実装基板５０の下面側に電子装置２ａの基板方向を垂直にして実装することも可能である。
【００７９】
なお、電子部品として、ＭＥＭＳ加速度センサ３０及び半導体チップ３４を例示したが、各種の能動部品、又はキャパシタや抵抗などの受動部品を実装してもよい。
【００８０】
図１１（ｂ）には本実施形態の変形例の電子装置２ｂが示されている。図１１（ａ）及び（ｂ）では、シリコン基板１１の裏面側（凹部Ｃが設けられた面と反対面）が斜視的に描かれている。
【００８１】
変形例の電子装置２ｂでは、図１１（ａ）に示すように、シリコン基板１１の側面Ｓに金属ワイヤ端子４２が収容される溝２６が設けられる。シリコン基板１１の側面Ｓの溝２６は、前述した図４（ａ）の貫通部１０ｂを形成する工程で同時に形成された後に、絶縁層１４で被覆される。
【００８２】
さらに、図１１（ｂ）に示すように、前述した図７（ａ）〜（ｃ）と同様な方法で、配線層２２の接続部からシリコン基板１１の側面Ｓに延在する金属ワイヤ端子４２が設けられる。金属ワイヤ端子４２はシリコン基板１１の側面Ｓの溝２６に配置されて、側面Ｓとの金属ワイヤ端子４２の段差が解消される。
【００８３】
そして、図１２（ａ）に示すように、前述した図１０（ａ）と同様に、水平方向に配置された実装基板５０の接続電極５２に電子装置２ｂの側面Ｓの金属ワイヤ端子４２が接続されて実装される。さらに、電子装置２ｂの接続領域の周りに補強樹脂４４が設けられる。
【００８４】
図１２（ｂ）を加えて参照すると、電子装置２ｂの側面Ｓの溝２６に金属ワイヤ端子４２が収容されて側面Ｓとの段差が解消されているので、電子装置２ｂのシリコン基板１１の側面Ｓが実装基板５０に安定して配置される。図１２（ｂ）では、説明を容易にするために、補強樹脂４４が透視的に描かれている。
【００８５】
これにより、電子装置２ｂを実装基板５０に配置する際にぐらつきが低減されるので、電子装置２ｂの金属ワイヤ端子４２を実装基板５０の接続電極５２に信頼性よく接続することができる。
【００８６】
変形例の電子装置２ｂにおいても、前述した図９（ａ）及び（ｂ）と同様に、垂直方向に配置された実装基板５０に電子装置２ｂの側面Ｓの金属ワイヤ端子４２を接続して、電子装置２ｂを水平方向に実装してもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１…配線基板、２，２ａ，２ｂ…電子装置、５…配線部材、１０…シリコンウェハ、１０ａ…穴部、１０ｂ…貫通部、１０ｘ…連結部、１１…シリコン基板、１３，１８…レジスト、１３ａ，１２ａ，２４ａ…開口部、１２，１４…絶縁層、１６…めっき給電部材、２０…貫通電極、２０ａ…充填金属部、２０ｂ…接続部、２２…配線層、２２ａ…シード層、２２ｂ…導電パターン層、２４…めっきレジスト、２６…溝、３０…ＭＥＭＳ加速度センサ、３２，３６，５２…接続電極、３４…半導体チップ、４０…キャピラリ、４２ａ…金ワイヤ、４２…金属ワイヤ端子、４４…補強樹脂、４６…蓋、５０…実装基板、Ａ…配線基板領域、Ｃ…凹部、Ｓ…側面、ＴＨ…スルーホール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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