(57)【要約】【課題】脱気エレメントを真空チャンバに確実に固定する。【解決手段】脱気装置１００は、真空チャンバ３、脱気エレメント４、コネクタ９および緩み止め部材１４を備えている。コネクタ９は、真空チャンバ３の接続口２に嵌め込まれた第１部分９ａと、接続口２から突出している第２部分９ｂとを含む。第２部分９ｂの外周面は非円形の断面プロファイルを有する。脱気エレメント４は、気体透過性チューブ６と、気体透過性チューブ６の端部を被覆している接合片８とを有する。接合片８とコネクタ９とに跨る形で溶着部２０が形成されている。緩み止め部材１４は、コネクタ９の第２部分９ｂに対応した形状の保持孔１８を有する。保持孔１８に第２部分９ｂを差し込んだ状態で、緩み止め部材１４が真空チャンバ３に固定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続口を有する真空チャンバと、
前記接続口に嵌め込まれた第１部分と、前記真空チャンバの外側で前記接続口から突出している第２部分とを含み、前記第２部分の外周面が非円形の断面プロファイルを有している、前記接続口に取り付けられた筒状のコネクタと、
気体透過性チューブと、前記気体透過性チューブの端部を被覆しているとともに前記コネクタを介して前記真空チャンバに固定された接合片とを有し、前記真空チャンバ内に配置された脱気エレメントと、
前記接合片と前記コネクタとに跨る形で形成された溶着部と、
前記非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔を有し、前記接続口に対する前記第１部分の姿勢の変化を阻止するように前記保持孔に前記第２部分を差し込んだ状態で前記真空チャンバに固定された緩み止め部材と、
を備えた、脱気装置。
【請求項２】
前記第１部分の外周面におねじ、前記接続口の内周面にめねじが形成されており、
前記コネクタが前記接続口に螺合されている、請求項１に記載の脱気装置。
【請求項３】
前記おねじおよび前記めねじが、それぞれ、テーパーねじであり、
前記第１部分と前記接続口との間にフッ素樹脂製のシールテープが介在している、請求項２に記載の脱気装置。
【請求項４】
前記真空チャンバが、筒状の本体と、前記本体の開口部を閉じている蓋とを含み、
前記接続口が前記蓋に設けられており、
前記緩み止め部材が円板状の部材で構成されるとともに、ボルト、ねじ等の止め具によって前記蓋に固定されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の脱気装置。
【請求項５】
前記コネクタの前記第２部分に突き合わせ溶着された第２コネクタをさらに備えた、請求項１〜４のいずれか１項に記載の脱気装置。
【請求項６】
前記第２部分の端面と前記接合片の端面とが面一であり、
前記溶着部が、前記第２部分の端面、前記接合片の端面および前記第２コネクタの端面に跨っている、請求項５に記載の脱気装置。
【請求項７】
前記非円形の断面プロファイルが、多角形、楕円形、互いに異なる曲率半径を有する複数の曲線の組み合わせによる形状、および、直線と曲線の組み合わせによる形状からなる群より選ばれる１つの形状の断面プロファイルである、請求項１〜６のいずれか１項に記載の脱気装置。
【請求項８】
前記接合片および前記コネクタが、それぞれ、熱可塑性樹脂でできている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の脱気装置。
【請求項９】
前記熱可塑性樹脂がテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体である、請求項８に記載の脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脱気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体中の溶存ガスは、配管の腐食、圧力損失の増大、熱交換率の低下、液体の塗布ムラなどの原因になる。そのため、液体の使用方法や使用目的に応じて、液体から溶存ガスを除去する必要がある。液体から溶存ガスを除去する脱気装置として、例えば、図９に示すものが存在する。脱気装置１０１によれば、真空チャンバ１０２内に配置した脱気エレメント１０３に液体を流す。これにより、液体から溶存ガスを除去できる。
【０００３】
脱気エレメント１０３は、典型的には、気体透過性を有する多数の中空糸で作られている。脱気エレメント１０３の両端部には、それぞれ、接合片１０６が設けられている。真空チャンバ１０２の上蓋には、接続部材１０４が固定されている。フェルール１０７を介して、接続部材１０４に脱気エレメント１０３の接合片１０６が嵌められている。接合片１０６が接続部材１０４から外れないように、接続部材１０４、フェルール１０７および接合片１０６をナット１０８で一体的に締め付けている。このような構造により、接続部材１０４を介して、脱気エレメント１０３が真空チャンバ１０２に固定されている。
【０００４】
ナット１０８の締め付け力（トルク）が弱すぎると、脱気エレメント１０３が接続部材１０４から外れるおそれがある。逆に、ナット１０８の締め付け力が強すぎると、ナット１０８が破損するおそれがある。また、フェルール１０７およびナット１０８を使用したいわゆるカシメ構造で脱気エレメント１０３と接続部材１０４とが締結されているため、接合片１０６や接続部材１０４に高い寸法精度が要求される。このことは、部品コストの削減や製品歩留まりの向上の妨げとなる。
【０００５】
一方、特許文献２には、熱融着性を有する樹脂粉末を用いて接続部材と接合片とを接合するとともに、接続部材を真空チャンバに熱溶着して、脱気エレメントを真空チャンバに固定する技術が記載されている。この技術によると、カシメ構造を採用せずに、脱気エレメント、接続部材および真空チャンバを相互に固定できる。各部品に要求される精度も、カシメ構造で要求されるほど高くはない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３５８５０７７号公報
【特許文献２】特開２００７−３１９８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ただし、特許文献２に記載された脱気装置の接続構造には、更なる改良の余地がある。本発明は、脱気エレメントを真空チャンバに確実に固定することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明は、
接続口を有する真空チャンバと、
前記接続口に嵌め込まれた第１部分と、前記真空チャンバの外側で前記接続口から突出している第２部分とを含み、前記第２部分の外周面が非円形の断面プロファイルを有している、前記接続口に取り付けられた筒状のコネクタと、
気体透過性チューブと、前記気体透過性チューブの端部を被覆しているとともに前記コネクタを介して前記真空チャンバに固定された接合片とを有し、前記真空チャンバ内に配置された脱気エレメントと、
前記接合片と前記コネクタとに跨る形で形成された溶着部と、
前記非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔を有し、前記接続口に対する前記第１部分の姿勢の変化を阻止するように前記保持孔に前記第２部分を差し込んだ状態で前記真空チャンバに固定された緩み止め部材と、
を備えた、脱気装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
上記本発明によれば、脱気エレメントの接合片を保持しているコネクタが、真空チャンバの接続口に嵌め込まれている。脱気エレメントの接合片は、コネクタに溶着されている。コネクタは、真空チャンバの接続口に嵌め込まれた第１部分と、接続口から突出している第２部分とを含む。第２部分の外周面は、非円形の断面プロファイルを有している。コネクタが真空チャンバから外れないように、真空チャンバの外側に緩み止め部材が設けられている。この緩み止め部材は、非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔を有している。保持孔にコネクタの第２部分を差し込んだ状態で、緩み止め部材が真空チャンバに固定されている。これにより、接続口に対する第１部分の姿勢の変化を阻止する、つまり、コネクタが接続口から外れるのを防止する。このような構造によれば、カシメ構造を用いることなく、脱気エレメントを真空チャンバに確実に固定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態にかかる脱気装置の縦断面図
【図２Ａ】真空チャンバの上蓋の平面図
【図２Ｂ】上蓋の縦断面図
【図２Ｃ】上蓋の側面図
【図３Ａ】第１コネクタの側面図
【図３Ｂ】第１コネクタの横断面図
【図４Ａ】緩み止め部材の平面図
【図４Ｂ】緩み止め部材の縦断面図
【図５】脱気エレメントの接合片の斜視図
【図６】溶着部の概略拡大図
【図７】第２コネクタの側面図
【図８】溶着方法を示す工程図
【図９】従来の脱気装置の縦断面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付の図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１２】
図１に示すように、本実施形態の脱気装置１００は、真空チャンバ３、脱気エレメント４、第１コネクタ９、第２コネクタ１２および緩み止め部材１４を備えている。脱気エレメント４の端部が第１コネクタ９に溶着されており、第１コネクタ９を介して、脱気エレメント４が真空チャンバ３に固定されている。真空チャンバ３に対する第１コネクタ９の取り付け状態を維持するために、緩み止め部材１４が設けられている。真空ポンプ等の減圧装置で真空チャンバ３内を排気しながら脱気エレメント４に液体を流す。これにより、液体から溶存ガスを除去できる。
【００１３】
真空チャンバ３は、円筒状の本体３ａ、下蓋３ｂおよび上蓋３ｃで構成されている。真空チャンバ３内の気密を保持しうるように、下蓋３ｂおよび上蓋３ｃによって、本体３ａの両端の開口部が閉じられている。図２Ａおよび２Ｂに示すように、上蓋３ｃには、当該上蓋３ｃを厚み方向に貫通している接続口２が２箇所に設けられている。一方の接続口２が脱気すべき液体の流入口であり、他方の接続口２が脱気された液体の流出口である。これらの接続口２には、それぞれ、真空チャンバ３の内部側から脱気エレメント４の一端と他端とが接続されている。
【００１４】
上蓋３ｃには、さらに、吸引口５、凹部１１およびねじ孔１６が設けられている。吸引口５には、真空引きのための減圧装置が接続される。凹部１１は、緩み止め部材１４を収容するための部分であり、２つの接続口２のそれぞれに対応して設けられている。ねじ孔１６は、緩み止め部材１４を上蓋３ｃにねじ止めするのに使用される。図２Ｃに示すように、上蓋３ｃの外周面には、おねじ１７（テーパーねじ）が形成されている。真空チャンバ３内の気密が保持されるように、本体３ａに上蓋３ｃが螺合している。この構造は、下蓋３ｂに関しても同様である。なお、蓋３ｂおよび３ｃを本体３ａに固定するための構造に限定はなく、例えば蓋３ｂおよび３ｃが本体３ａに溶着されていてもよい。
【００１５】
真空チャンバ３の材料として、樹脂、好適にはフッ素樹脂やポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を使用できる。真空チャンバ３の一部または全部が他の材料、例えば金属やガラスでできていてもよい。好適な金属としては、ステンレスが挙げられる。
【００１６】
図１および５に示すように、脱気エレメント４は、チューブ束１０および接合片８を有する。チューブ束１０は、複数の気体透過性チューブ６で構成されている。接合片８は、チューブ束１０の端部を被覆している。チューブ束１０における気体透過性チューブ６の本数は、通常、数本〜数百本程度の範囲である。液体は、各気体透過性チューブ６の中を流れる。図１では、脱気エレメント４がＵ字の形状を有しているが、脱気エレメント４が他の形状を有していてもよい。例えば、脱気エレメント４がコイル状に巻かれていてもよい。
【００１７】
気体透過性チューブ６には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレンなどのフッ素樹脂でできたチューブや、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンでできたチューブを使用できる。典型的には、気体透過性チューブ６として、樹脂多孔質膜でできた中空糸が用いられる。気体透過性チューブ６は、通常、数十μｍ〜数ｍｍの範囲の内径を有する。なお、脱気エレメント４は、少なくとも１本の気体透過性チューブ６を備えていればよい。
【００１８】
複数の気体透過性チューブ６は、公知の方法に従って束ねることができる。例えば、熱融着性を有する熱可塑性樹脂を用いて、気体透過性チューブ６の端部を互いに結着すれば、チューブ束１０を形成できる。熱融着性を有する熱可塑性樹脂として、ＰＦＡ、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ＥＴＦＥなどのフッ素樹脂を使用できる。
【００１９】
接合片８は、チューブ束１０の端部を被覆する役割と、脱気エレメント４を第１コネクタ９に固定する役割とを担う。本実施形態では、接合片８として、円筒の形状を有する部材が使用されている。接合片８の材料として、熱可塑性樹脂を好適に使用できる。熱可塑性樹脂としては、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）などのフッ素樹脂が挙げられる。熱収縮性を有するためにチューブ束１０の被覆が容易であり、かつ、チューブ束１０を確実に保持できることから、ＰＦＡが推奨される。
【００２０】
図１に示すように、第１コネクタ９は、円筒状の内周面を有する部材である。脱気エレメント４の接合片８は、第１コネクタ９に差し込まれ、第１コネクタ９によって保持されている。第１コネクタ９には、真空チャンバ３の内部側から接合片８が差し込まれている。接合片８は、熱溶着により第１コネクタ９に固定されている。接合片８が差し込まれた状態を維持しながら、第１コネクタ９は接続口２に取り付けられている。つまり、第１コネクタ９を介して、脱気エレメント４が真空チャンバ３に固定されている。このような構造によれば、カシメ構造やＯ−リングを使用せずに、脱気エレメント４を真空チャンバ３に確実に固定できる。なお、カシメ構造やＯ−リングが必須でないだけで、これらが設けられていてもよい。
【００２１】
具体的に、第１コネクタ９は、第１部分９ａおよび第２部分９ｂを含む。第１部分９ａは接続口２に嵌め込まれた部分であり、第２部分９ｂは真空チャンバ３の外側で接続口２から突出している部分である。詳細には、第２部分９ｂは、緩み止め部材１４を突き抜けて、緩み止め部材１４よりも上に突出している。図３Ａに示すように、第１部分９ａの外周面にはおねじが形成されている。このおねじに対応するめねじが上蓋３ｃの接続口２の内周面１３（図２Ｂ参照）に形成されている。つまり、第１コネクタ９が接続口２に螺合されており、これにより、第１コネクタ９が上蓋３ｃに固定されている。
【００２２】
本実施形態において、第１部分９ａの外周面に形成されたおねじ、および、上蓋３ｃの接続口２の内周面１３に形成されためねじは、それぞれ、テーパーねじである。第１コネクタ９の第１部分９ａと接続口２との間に、フッ素樹脂製のシールテープが介在していてもよい。テーパーねじとシールテープとを組み合わせて使用すれば、より確実に空気漏れを防げる。また、テーパーねじはストレートねじよりも緩み易いので、緩み止め部材１４を設ける意義が増す。
【００２３】
他方、図３Ｂに示すように、第２部分９ｂの外周面は、非円形の断面プロファイルを有する。第２部分９ｂがこのような形状を有している場合、緩み止め部材１４の保持孔１８に第２部分９ｂを嵌め込むだけで、第１コネクタ９の回転を阻止できる。つまり、第１コネクタ９が回転して第１部分９ａが緩むのを防止できる。
【００２４】
第１コネクタ９の回転を阻止できる限りにおいて、第２部分９ｂの外周面の形状は特に限定されない。具体的には、「非円形」として、多角形、楕円形、互いに異なる曲率半径を有する複数の曲線の組み合わせによる形状、および、直線と曲線の組み合わせによる形状からなる群より選ばれる１つの形状を採用しうる。本実施形態では、第２部分９ｂの外周面が、小判形の断面プロファイルを有している。小判形は、直線と曲線の組み合わせによる形状の一例であり、円筒状の部材の一部を切削して簡単に形成できる利点がある。
【００２５】
図４Ａおよび４Ｂに示すように、緩み止め部材１４は、円板状の部材で構成されている。緩み止め部材１４には、第１コネクタ９の第２部分９ｂにおける非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔１８が形成されている。保持孔１８の大きさは、第１コネクタ９の第２部分９ｂを差し込めるように、第２部分９ｂよりも僅かに大きく調整されている。図１に示すように、接続口２に対する第１部分９ａの姿勢の変化を阻止するように保持孔１８に第２部分９ｂを差し込んだ状態で、緩み止め部材１４が真空チャンバ３に固定されている。ねじ７で緩み止め部材１４を上蓋３ｃに固定できるように、緩み止め部材１４にもねじ孔１９が形成されている。ねじ７に代えて、ボルト、キーなどの他の止め具も使用できる。また、緩み止め部材１４が上蓋３ｃに溶着されていてもよい。
【００２６】
図１に示すように、第２コネクタ１２は、径大部１２ａと径小部１２ｂとを含む。径大部１２ａは、第１コネクタ９に接合された部分である。径小部１２ｂは、脱気するべき液体を脱気エレメント４に供給するための管、または、脱気された液体を脱気エレメント４から回収するための管を接続するための部分である。径大部１２ａは、第１コネクタ９の端面に熱溶着されている。詳細には、第２コネクタ１２は、第１コネクタ９の第２部分９ｂに突き合わせ溶着されている。このようにすれば、カシメ構造やＯ−リングを使用せずに、第２コネクタ１２を第１コネクタ９に容易に接合できる。なお、第２コネクタ１２を省略して、上述の管を第１コネクタ９に直接接続することも可能である。
【００２７】
本実施形態では、脱気エレメント４が第１コネクタ９に熱溶着されるとともに、第２コネクタ１２も第１コネクタ９に熱溶着されている。詳細には、図６に示すように、脱気エレメント４は、第２部分９ｂの端面と接合片８の端面とが面一となる位置まで、第１コネクタ９に差し込まれている。そして、第１コネクタ９の径方向に関して、脱気エレメント４の接合片８と第１コネクタ９の第２部分９ｂとに跨る形で、溶着部２０が形成されている。さらに、溶着部２０は、第１コネクタ９の軸方向（長手方向）に関して、第１コネクタ９と第２コネクタ１２との間にも跨っている。つまり、溶着部２０が、第２部分９ｂの端面、接合片８の端面および第２コネクタ１２の端面に跨っている。このようにすれば、脱気エレメント４、第１コネクタ９および第２コネクタ１２を互いに強固に接合できる。
【００２８】
本実施形態において、第１コネクタ９および第２コネクタ１２は、それぞれ、樹脂（詳細には熱可塑性樹脂）でできている。溶着部２０を形成できる限り、第１コネクタ９および第２コネクタ１２に樹脂以外の材料が含まれていてもよい。第１コネクタ９および第２コネクタ１２を構成する樹脂の種類は特に限定されず、接合片８の樹脂として先に列挙したものの中から選んで使用できる。例えば、第１コネクタ９および第２コネクタ１２の材料として、フッ素樹脂を好適に使用できる。
【００２９】
すなわち、第１コネクタ９を構成する樹脂、第２コネクタ１２を構成する樹脂、および、接合片８を構成する樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１つとして、フッ素樹脂を好適に使用できる。これらの樹脂は、互いに異なっていても構わないが、同一の樹脂（例えばＰＦＡ）を使用することにより、熱溶着による強固な接合が可能となる。
【００３０】
本実施形態では、第１コネクタ９の内径および外径は、それぞれ、第２コネクタ１２の径大部１２ｂの内径および外径に等しい。このようにすれば、精度の高い突き合わせ溶着が可能となる。ただし、これらが互いに相違していてもよい。例えば、第２コネクタ１２の径大部１２ｂの内径を第１コネクタ９の内径よりも大きくしうる。
【００３１】
なお、図７に示すように、溶着前の第２コネクタ１２の端面に凸部１２ｃを設けておくと、第２コネクタ１２を第１コネクタ９に突き合わせ溶着しやすくなる。さらに、凸部１２ｃを設けておくと、図６に示すように、その凸部１２ｃが溶融および固化することに基づき、厚肉の溶着部２０（いわゆる肉盛溶着部）を形成できるので、接合強度が向上する。
【実施例】
【００３２】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。本発明は、以下に示す実施例に限定されない。
【００３３】
まず、気体透過性チューブ６として、内径０．９５ｍｍ、厚み０．１１ｍｍ、長さ３００ｍｍのＰＴＦＥチューブを４本準備した。４本のＰＥＴＦチューブの両端部の外周面にＰＦＡ粉末を塗布した後、両端部を金型で挟んで３７０℃で５分間加熱および加圧した。これにより、４本のＰＴＦＥチューブを相互に接着してチューブ束１０を得た。次に、接合片８として、熱収縮性を有する円筒形のＰＦＡパイプ（外径６ｍｍ）を準備した。ＰＦＡパイプの内周面にＰＦＡ粉末を塗布した後、このＰＦＡパイプをチューブ束１０の端部に取り付けた。チューブ束１０の端部およびＰＦＡパイプを加熱して、チューブ束１０にＰＦＡパイプを一体化させた。このようにして、外径６ｍｍ、有効長さ２００ｍｍの脱気エレメント４を得た。
【００３４】
図３Ａおよび３Ｂを参照して説明した第１コネクタ９（内径６ｍｍ）を作製した。第１コネクタ９の材料には、ＰＦＡを用いた。第１部分９ａの外周面には、ＰＴ１／８のテーパーおねじを形成した。外周面の断面プロファイルが小判形になるように、第２部分９ｂを形成した。
【００３５】
内径５２ｍｍ、長さ１３０ｍｍのポリプロピレン製の円筒パイプを本体３ａとして準備した。本体３ａの開口部の近傍の内周面に、テーパー角度６０°、ピッチ２．０ｍｍのテーパーめねじを形成した。次に、ポリプロピレン製の板を押出成形および切削加工し、下蓋３ｂおよび上蓋３ｃを作製した。各蓋の外周面には、本体３ａと同じテーパー角度およびねじピッチを有するテーパーおねじを形成した。上蓋３ｃには、図２Ａおよび２Ｂを参照して説明したように、接続口２、吸引口５、凹部１１およびねじ孔１６を設けた。接続口２の内周面には、Ｒｃ１／８のテーパーめねじを形成した。吸引口５の内周面にも、Ｒｃ１／８のテーパーめねじを形成した。
【００３６】
図７を参照して説明した第２コネクタ１２を作製した。第２コネクタ１２の材料には、ＰＦＡを使用した。径大部１２ａの内径を６ｍｍに設定した。
【００３７】
ポリプロピレン製の板を用いて、切削加工により、図４Ａおよび４Ｂを参照して説明した緩み止め部材１４（固定板）を作製した。
【００３８】
第１コネクタ９にシールテープ（日東電工社製Ｎｏ．９５）を巻き付けて上蓋３ｃに螺合させた。真空チャンバの内部側から脱気エレメント４の接合片８を第１コネクタ９に差し込んだ後、上蓋３ｃおよび下蓋３ｂを本体３ａに組み付けた。接合片８の端面と第１コネクタ９の端面とを面一とした。次に、第１コネクタ９が緩まないように、緩み止め部材１４を上蓋３ｃに嵌め込み、ステンレス製のねじ７で固定した。
【００３９】
次に、図８に示すように、板状の遠赤外線ヒータ２４を介して、第１コネクタ９と第２コネクタ１２とを向かい合わせに配置した。ヒータ２４に通電して、第１コネクタ９、接合片８および第２コネクタ１２の各端面を２分間かけて溶融させた。なお、通電時には、真空チャンバ３および緩み止め部材１４を断熱材２２で被覆した。その後、ヒータ２４を外して、第１コネクタ９に第２コネクタ１２を突き当てた。室温で２分間徐冷し、第１コネクタ９、脱気エレメント４の接合片８および第２コネクタ１２を相互に接合した。このようにして、図１に示す構造の脱気装置１００を製造した。
【００４０】
製造した脱気装置１００を用いて脱気実験を行った。まず、脱気装置１００の真空チャンバ３内を真空ポンプにより４ｋＰａの圧力まで排気した。この圧力を維持しつつ、第２コネクタ１２を通じて脱気エレメント４に水圧０．３ＭＰａで水を１０秒間供給した後に、水の供給を６０秒間停止するサイクルを１０万回繰り返した。１０万回のサイクルの後、真空ポンプを停止し、真空チャンバ３の内部の真空度の変化を調べた。真空ポンプの停止後も真空チャンバ３内の真空度は殆ど変化せず、第１コネクタ９と真空チャンバ３との接合状態は良好であった。さらに、真空チャンバ３を開いて水漏れの有無を調べた。その結果、真空チャンバ３内に水は漏れていなかった。
【符号の説明】
【００４１】
２  接続口
３  真空チャンバ
３ｃ  上蓋
４  脱気エレメント
６  気体透過性チューブ
７  ねじ
８  接合片
９  第１コネクタ
９ａ  第１部分
９ｂ  第２部分
１０  チューブ束
１２  第２コネクタ
１４  緩み止め部材
１８  保持孔
２０  溶着部
１００  脱気装置
【図１】
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【図２Ａ】
2010264405.tif 000004
【図２Ｂ】
2010264405.tif 000005
【図２Ｃ】
2010264405.tif 000006
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
2010264405.tif 000008
【図４Ａ】
2010264405.tif 000009
【図４Ｂ】
2010264405.tif 000010
【図５】
2010264405.tif 000011
【図６】
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【図７】
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【図８】
2010264405.tif 000014
【図９】
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