(57)【要約】      （修正有）【課題】液滴を吐出するノズルが設けられたノズル面の近傍の雰囲気を加湿することができ、かつ装置の小型化を実現することができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】複数のノズル２１ｂが設けられたノズル面２１ａを有し、ノズル面２１ａの各ノズル２１ｂから機能液の液滴Ｄを吐出する吐出ヘッドを備え、ノズル面２１ａの周囲に機能液の溶媒又は分散媒からなる保湿液を含浸する保湿部材２２が配置されていることを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが設けられたノズル面を有し、前記ノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを備え、前記ノズル面の周囲に前記機能液の溶媒又は分散媒からなる保湿液を含浸する保湿部材が配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記保湿部材に前記保湿液を供給する保湿液供給部を更に備えることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記保湿部材は前記吐出ヘッドの補給位置において前記保湿液供給部と接続されることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記保湿部材は、前記保湿液を含浸した状態で前記ノズル面と面一になるように設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記保湿部材に含浸された前記保湿液の蒸気又は霧を発生させる加湿部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吐出ヘッドの移動方向の前方の前記蒸気又は霧の発生量を増加させるように前記加湿部を制御する加湿制御部を更に備えることを特徴とする請求項５記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記保湿部材は多孔質の樹脂により形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記保湿部材の表面に凹凸が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基材等の表面に液状体の液滴を吐出する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置の吐出ヘッドにおいては、液状体の高粘度化に起因する種々の問題を回避するために、一般的には次のような手段が用いられている。例えばノズル内部の高粘度化した液状体の排出には、キャップを用いた吸引が行われている。また、ノズルプレートに付着して高粘度化した液状体を除去する場合には、ゴムブレードや繊維クロスによって擦り取る乾式除去方法や、液状体の溶剤をしみ込ませた繊維クロスによって擦り取る湿式除去方法が用いられている。
【０００３】
ガラス基板等の基材にインク等の液状体を吐出する場合には、液滴の吐出と同時にインクが霧状に飛散してミストが発生してしまう。ミストの発生は吐出ヘッドの駆動波形を調整することで抑制することが可能であるが、ミストの発生を完全に防止することは困難である。そのため、吐出ヘッドによって液状体の液滴を連続的に吐出していると、液滴の吐出に伴って発生した液状体のミストがノズルの近傍に浮遊した状態となる。
【０００４】
ノズルの近傍に浮遊した液状体のミストはやがてノズルプレートの全面に付着する。ノズルプレートに付着した液状体は、上記の除去方法によって除去されるまでの間に高粘度化し、液状体の吐出量の減少、液滴の飛散・着弾位置異常、固形物脱落による製品不良などの問題の原因となる。そのため、上記の吸引や除去方法によるメンテナンスを頻繁に行う必要があり、液状体の消費量の増加や生産性の低下の要因となっていた。
【０００５】
このような問題を解決するために、ノズルプレートの近傍の雰囲気を管理することで、ノズルプレートに付着した液状体の乾燥を防止する技術が開示されている（例えば、特許文献１及び２参照）。特許文献１では、ノズルプレートの周囲に耐溶剤性のカバーを取り付けることで排気等の雰囲気制御からノズルの乾燥を防ぎ、安定吐出を達成している。特許文献２では、吐出ヘッドと基板をチャンバーに収容し、チャンバー内に液状体の溶媒又は分散媒の蒸気を供給することで液状体の高粘度化に起因する課題を解消している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２７７４９０号公報
【特許文献２】特開２００４−１４１７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１では、カバーによってある程度の乾燥防止効果を達成することができるが、ノズルプレートの近傍の空気の湿度が低い場合には液状体の乾燥防止効果が十分に得られないという課題がある。特許文献２では、チャンバー内に溶媒又は分散媒の蒸気を供給することで十分な乾燥防止効果が得られるが、チャンバーを設けることで装置が大型化してしまうという課題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、液滴を吐出するノズルが設けられたノズル面の近傍の雰囲気を加湿することができ、かつ装置の小型化を実現することができる液滴吐出装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルが設けられたノズル面を有し、前記ノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを備え、前記ノズル面の周囲に前記機能液の溶媒又は分散媒からなる保湿液を含浸する保湿部材が配置されていることを特徴とする。
【００１０】
このように構成することで、保湿部材に含浸された保湿液を蒸発又は霧化させてノズル面近傍の雰囲気を加湿し、機能液の溶媒又は分散媒の蒸気雰囲気とすることができる。これにより、ノズル面に付着した機能液中の溶媒又は分散媒を蒸発しにくくすることができる。したがって、吐出ヘッドのメンテナンス頻度を低下させることができ、機能液の消費量を抑制と生産性の向上を実現できる。
また、ノズル面の周囲に保湿部材を配置するスペースを確保するだけでよいので、チャンバー等を設ける場合のように装置が大型化することがない。したがって、ノズル近傍の機能液の高粘度化に伴う種々の問題を解決することができるだけでなく、装置の小型化を実現することができる。
【００１１】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記保湿部材に前記保湿液を供給する保湿液供給部を更に備えることを特徴とする。
【００１２】
このように構成することで、保湿部材に定期的に保湿液を供給し、保湿液を継続的に蒸発させることができる。
【００１３】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記保湿部材は前記吐出ヘッドの補給位置において前記保湿液供給部と接続されることを特徴とする。
【００１４】
このように構成することで、吐出ヘッドを待機させる際に補給位置に待機させ、吐出ヘッドの待機中に保湿部材に保湿液を補給することができる。したがって、新たに保湿液を供給する工程を設ける必要がなく、生産性が低下することを防止できる。また、液滴吐出時には保湿部材と保湿液供給部との接続を解除することができる。したがって、保湿部材と保湿液供給部とを連結する保湿液供給路等によって吐出ヘッドの機動性が損なわれることがない。
【００１５】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記保湿部材は、前記保湿液を含浸した状態で前記ノズル面と面一になるように設けられていることを特徴とする。
【００１６】
このように構成することで、ノズル面と保湿部材との間に段差が形成されることが防止され、吐出ヘッドの移動に伴って発生するノズル面に沿う気流が乱れることを防止できる。これにより、ノズル面に沿う気流によってノズル面の近傍に浮遊する機能液のミストをノズル面の近傍から除去することができる。したがって、ノズル面に付着する機能液を減少させることができる。
【００１７】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記保湿部材に含浸された前記保湿液の蒸気又は霧を発生させる加湿部が設けられていることを特徴とする。
【００１８】
このように構成することで、保湿部材に含浸された保湿液を積極的に蒸発又は霧化できる。したがって、ノズル面の近傍の空気における保湿液の蒸気又は霧の濃度を上昇させ、ノズル面に付着した機能液の高粘度化をより効果的に防止することができる。
【００１９】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記吐出ヘッドの移動方向の前方の前記蒸気又は霧の発生量を増加させるように前記加湿部を制御する加湿制御部を更に備えることを特徴とする。
【００２０】
このように構成することで、吐出ヘッドの移動によって発生する吐出ヘッドの移動方向前方から後方へ向かう気流によって、より多くの保湿液の蒸気をノズル面の近傍に供給することができる。
【００２１】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記保湿部材は多孔質の樹脂により形成されていることを特徴とする。
【００２２】
このように構成することで、保湿部材の空孔に保湿液を保持させることで保湿部材に保湿液を含浸させ、ノズル面の近傍に保湿液の蒸気又は霧を供給できる。
【００２３】
また、本発明の液滴吐出装置は、前記保湿部材の表面に凹凸が設けられていることを特徴とする。
【００２４】
このように構成することで、保湿部材の表面積を増大させ、保湿部材と空気との接触面積が増大し、保湿部材に含浸された保湿液の蒸気をより多く発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態における液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置の吐出ヘッドの平面図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置の吐出ヘッドの部分断面図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置のステージの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各図面では、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、部材毎に縮尺を適宜変更している。以下では、基板の搬送方向をＸ軸方向、基板の上面に垂直な方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向とする直交座標系を用いて説明する。
【００２７】
図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置１の一例を示す斜視図である。
図１に示すように、液滴吐出装置１は、インク等の機能液の液滴を吐出する吐出ヘッド２と、基板Ｐを載置するステージ３と、吐出ヘッド２を移動させる第１駆動ユニット４と、ステージ３を移動させる第２駆動ユニット５と、吐出ヘッド２に保湿液を供給する保湿液供給部６と、液滴吐出装置１全体の動作を制御する制御装置７とを備えている。
【００２８】
図２は、吐出ヘッド２を下方から見た平面図である。
吐出ヘッド２の下端には、図２に示すように、略長方形のノズルプレート２１が設けられている。ノズルプレート２１のノズル面２１ａには、インク等の液滴を吐出する複数のノズル２１ｂが設けられている。ノズル面２１ａは、ステージ３に載置された基板Ｐの上面（ＸＹ平面）と略平行になっている。ノズル２１ｂは、ノズル面２１ａの長手方向に沿って配列され、各々のノズル２１ｂからそれぞれインク等の機能液の液滴を吐出するようになっている。ノズルプレート２１の周囲には、後述する保湿部材２２が配置されている。
【００２９】
図３は、吐出ヘッド２の断面図である。
吐出ヘッド２は、図３に示すように、主にノズルプレート２１と、共通インク室（リザーバー）２３と、振動板２４と、ヘッド本体２５と、ピエゾ素子２６と、保湿部材２２と、により構成されている。
【００３０】
ノズルプレート２１は、吐出ヘッド２の下端に共通インク室２３の下部を閉塞するように設けられている。ノズルプレート２１には複数のノズル２１ｂがノズルプレート２１を貫通するように設けられ、下面のノズル面２１ａにそれぞれ開口されている（図２参照）。
共通インク室２３は、例えばシリコン等により形成され、内部には複数のキャビティー２３ａが形成されている。キャビティー２３ａは、ノズル２１ｂの各々に対応して設けられ、ノズル２１ｂ毎に区画されている。共通インク室２３は、インク等の機能液を供給する機能液供給部（図示略）に接続されている。機能液供給部から共通インク室２３内に供給されたインク等の機能液は、共通インク室２３内のキャビティー２３ａの各々に貯留されるようになっている。
【００３１】
共通インク室２３上には可撓性の材料によって振動板２４が設けられ、振動板２４が上下に振動することで、共通インク室２３のキャビティー２３ａの容積が変化するようになっている。振動板２４上には、内部に収容室２５ａを有するヘッド本体２５が設けられている。収容室２５ａは、キャビティー２３ａに対応する位置に設けられ、内部にピエゾ素子２６が収容されている。ピエゾ素子２６の一端側は、収容室２５ａの内壁に固定され、他端側が振動板２４上に配置されている。ピエゾ素子２６は制御装置７からの駆動信号により上下方向（長手方向）に伸縮可能に設けられ、振動板２４を上下（共通インク室２３側及び収容室２５ａ側）に振動させるようになっている。
【００３２】
保湿部材２２は、ノズルプレート２１及び共通インク室２３の周囲にこれらを取り囲むように設けられている。保湿部材２２は例えば所定の空孔率を有するポリエチレン等の樹脂材料により形成され、液体を含浸する多孔質のスポンジ状の部材である。保湿部材２２は、空孔内の空気が液体に置換されることで液体を含浸して保持するようになっている。
【００３３】
保湿部材２２は、保湿液を含浸して膨潤した状態で、図３に示すように、基板Ｐ側の面２２ａがノズルプレート２１のノズル面２１ａと面一になるように設けられている。保湿液は、例えば吐出ヘッド２が吐出するインク等の機能液の溶媒又は分散媒である。すなわち、吐出ヘッド２による液滴の吐出時には基板Ｐ側の面２２ａがノズルプレート２１のノズル面２１ａと段差なく平坦になるように設けられている。
【００３４】
図３に示すように、保湿部材２２には保湿部材２２に含浸させる保湿液の供給を受ける保湿液受給部２２ｂが設けられている。保湿液受給部２２ｂには、保湿液を供給する保湿液供給管（保湿液供給部）６ａが接続される接続部２２ｃが設けられている。保湿液受給部２２ｂの接続部２２ｃは、保湿液供給管６ａの接続部６ｂと着脱自在に設けられている。
【００３５】
保湿液受給部２２ｂの接続部２２ｃは、吐出ヘッド２が所定の補給位置に移動したときに、保湿液供給管６ａの接続部６ｂに接続されるようになっている。また、吐出ヘッド２による液滴の吐出時には、保湿液受給部２２ｂの接続部２２ｃと保湿液供給管６ａの接続部６ｂとの接続が解除されるようになっている。
保湿液供給管６ａは、図１に示すように、保湿液供給部６に接続され、保湿液供給部６から供給された保湿液を保湿液受給部２２ｂへ供給するようになっている。
【００３６】
保湿部材２２には、保湿部材２２に含浸された保湿液の蒸気の発生又は霧化を促進する加湿部２２ｄが設けられている。加湿部２２ｄは、図１に示す制御装置７に接続され、制御装置７からの信号により保湿部材２２に含浸された保湿液の蒸気又は霧の発生を促進させる。加湿部２２ｄとしては、例えば保湿液を加熱するヒーターや、保湿液に超音波を印加して霧化させる超音波振動子等を用いることができる。加湿部２２ｄは、平面視で長方形状の吐出ヘッド２の四辺の各辺に沿ってそれぞれ設けられている。各辺の加湿部２２ｄは、制御装置７によってそれぞれ独立して制御することができるようになっている。
【００３７】
すなわち、本実施形態では、制御装置７が、加湿部２２ｄによる蒸気又は霧の発生量を制御する加湿制御部として機能するようになっている。制御装置７は吐出ヘッド２の移動方向の前方に位置する加湿部２２ｄによる蒸気又は霧の発生量が、その他の加湿部２２ｄによる蒸気又は霧の発生量よりも多くなるように、各加湿部２２ｄを制御するようになっている。
【００３８】
図１に示すように、第１駆動ユニット４は、吐出ヘッド２を支持する支持機構４Ａと、支持機構４Ａを介して吐出ヘッドを回転及び移動させるアクチュエータ４Ｂとを含む。第１駆動ユニット４は、吐出ヘッド２を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸方向に移動させることができるようになっている。また、吐出ヘッド２をＺ軸回りに回転させることができるようになっている。
【００３９】
図４は、ステージ３の側面図である。
ステージ３は、図１及び図４に示すようにスライド部材３Ａとホルダ部材３Ｂとにより構成されている。スライド部材３Ａは、ベース部材１０上にＹ軸方向に延在するレール状のガイド部材８に沿ってスライド可能に設けられている。スライド部材３Ａ上には、基板Ｐを位置決めした状態で保持するホルダ部材３Ｂが設けらている。ホルダ部材３Ｂは、基板Ｐをその表面がＸＹ平面と略平行となるように保持する。
【００４０】
第２駆動ユニット５は、スライド部材３Ａをガイド部材８に沿ってスライドさせる第１駆動部５Ａと、ホルダ部材３Ｂをスライド部材３Ａ上で微動させる第２駆動部５Ｂとにより構成されている。第１駆動部５Ａは例えばリニアモータ等により構成されている。第２駆動部５Ｂは、例えばピエゾ素子等の複数のアクチュエータにより構成され、ホルダ部材３Ｂをスライド部材３Ａに対してＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸方向、及び各軸回りに微動させることができるようになっている。
制御装置７は、第１駆動ユニット４及び第２駆動ユニット５を制御することで、ステージ３上の所望の位置に吐出ヘッド２を配置させるようになっている。
【００４１】
液滴吐出装置１に液滴を吐出させて基板Ｐ上に配置させる際には、図１に示すように、制御装置７によって予め吐出ヘッド２を所定の供給位置に移動させる。そして、図３に示すように、吐出ヘッド２に設けられた保湿液受給部２２ｂの接続部２２ｃを保湿液供給管６ａの接続部６ｂに接続させる。制御装置７は、保湿液受給部２２ｂと保湿液供給管６ａとの接続を確認した後、図１に示す保湿液供給部６に保湿液を供給させる。
【００４２】
これにより保湿液供給管６ａ及び保湿液受給部２２ｂを介して保湿部材２２に保湿液が供給される。そして、保湿部材２２が保湿液を含浸して膨潤した状態となり、保湿部材２２の基板Ｐ側の面２２ａとノズルプレート２１のノズル面２１ａとが段差なく面一の状態になる。保湿液供給部６から供給する保湿液としては、例えば吐出ヘッド２から吐出するインク等の機能液の溶媒又は分散媒が用いられる。制御装置７は、保湿部材２２への機能液の補給が終了したら、吐出ヘッド２を移動させて保湿液受給部２２ｂの接続部２２ｃと保湿液供給管６ａの接続部６ｂとの接続を解除させる。制御装置７は、所定時間経過後又は吐出工程の合間の待機時間等に、吐出ヘッド２を再び補給位置に移動させ、同様の手順で保湿部材２２に保湿液を定期的に供給する。
【００４３】
制御装置７は、不図示の機能液供給部からインク等の機能液を供給し、図３に示すように、吐出ヘッド２の共通インク室２３のキャビティー２３ａを機能液によって満たした状態にする。
次いで、制御装置７は各々のピエゾ素子２６に所定の駆動信号を印加して、各々のピエゾ素子２６を駆動信号に応じて伸縮させる。これにより、振動板２４が振動し、キャビティー２３ａの容積が変化する。キャビティー２３ａの容積変化はキャビティー２３ａ内の圧力変化を生じさせる。この圧力変化に伴う各々のキャビティー２３ａ内の機能液の圧力上昇によって、各々のノズル２１ｂから機能液の液滴Ｄが吐出される。
【００４４】
各々のノズル２１ｂから吐出された機能液の液滴Ｄは、基板Ｐ上の所定の位置に着弾し、基板Ｐ上に機能液が配置される。制御装置７は、更に基板Ｐと吐出ヘッド２とを相対的に移動させながら吐出ヘッド２によって液滴Ｄを吐出させ、基板Ｐ上の所定の位置に機能液を配置していく。吐出ヘッド２を基板Ｐに対して相対的に移動させることで、吐出ヘッド２のノズル面２１ａと基板Ｐとの間にノズル面２１ａに沿う気流が発生する。
【００４５】
制御装置７は、吐出ヘッド２を基板Ｐに対して相対的に移動させる際に、基板Ｐに対する吐出ヘッド２の移動方向の前方の加湿部２１ｄにその他の加湿部２１ｄよりも多く保湿液の蒸気又は霧を発生させるようにする。具体的には、加湿部２１ｄとしてヒーターを用いる場合には、吐出ヘッド２の移動方向前方の加湿部２１ｄの温度を他のものより上昇させる。また、加湿部２１ｄとして超音波振動子を用いる場合には、振動振幅及び周波数を制御して他のものより多くの保湿液を霧化させる。
【００４６】
液滴吐出装置１では、吐出ヘッド２のノズル２１ｂから機能液の液滴Ｄを吐出する際に、液滴Ｄの吐出と同時に機能液が霧状に飛散してミストが発生してしまう。ミストの発生は吐出ヘッド２のピエゾ素子２６に印加する駆動信号の波形を調整することで抑制することが可能であるが、ミストの発生を完全に防止することは困難である。そのため、吐出ヘッド２によって機能液の液滴Ｄを連続的に吐出していると、液滴Ｄの吐出に伴って発生した機能液のミストがノズルの近傍に浮遊した状態となる。ノズルの近傍に浮遊した機能液のミストは、やがてノズルプレート２１のノズル面２１ａの全面に付着する。更に、ノズル面２１ａと基板Ｐとの間に発生したノズル面２１ａに沿う気流によってノズル面２１ａが乾燥しやすくなる。
【００４７】
ここで、本実施形態では、ノズル面２１ａの周囲に機能液の溶媒又は分散媒からなる保湿液を含浸する保湿部材２２が配置されている。これにより、保湿部材２２に含浸された保湿液を蒸発又は霧化させてノズル面２１ａ近傍の雰囲気を加湿し、機能液の溶媒又は分散媒の蒸気雰囲気とすることができる。これにより、ノズル面２１ａに付着した機能液中の溶媒又は分散媒を蒸発しにくくすることができる。そのため、ノズルプレート２１に付着した機能液が、吸引、乾式除去方法、湿式除去方法等の除去方法によって除去されるまでの間に高粘度することが防止される。したがって、吐出ヘッド２のメンテナンス頻度を低下させることができ、機能液の消費量の抑制と生産性の向上を実現できる。
【００４８】
また、ノズル面２１ａの周囲に保湿部材２２を配置するスペースを確保するだけでよいので、チャンバー等を設ける場合のように装置が大型化することがない。したがって、ノズル２１ｂ近傍の機能液の高粘度化に伴う種々の問題を解決することができるだけでなく、装置の小型化を実現することができる。
また、保湿部材２２に保湿液を供給する保湿液供給部６、保湿液供給管６ａ、保湿液受給部２２ｂを備えているので、保湿部材２２に定期的に保湿液を供給し、保湿液を継続的に蒸発させることができる。
【００４９】
また、保湿液受給部２２ｂが吐出ヘッド２に設けられ、吐出ヘッド２の補給位置において保湿液受給部２２ｂと保湿液供給管６ａとが接続されることで、保湿部材２２が保湿液供給部６と接続される。そのため、吐出ヘッド２を待機させる際に補給位置に待機させ、吐出ヘッド２の待機中に保湿部材２２に保湿液を補給することができる。したがって、新たに保湿液を供給する工程を設ける必要がなく、生産性が低下することを防止できる。また、液滴吐出時には保湿液受給部２２ｂと保湿液供給管６ａとの接続を解除し、保湿部材２２と保湿液供給部６との接続を解除することができる。したがって、保湿部材２２と保湿液供給部６とを連結する保湿液供給管６ａによって吐出ヘッド２の機動性が損なわれることがない。
【００５０】
また、保湿部材２２は多孔質の樹脂により形成されているので、保湿部材２２の空孔に保湿液を保持させることで保湿部材に保湿液を含浸させ、ノズル面２１ａの近傍に保湿液の蒸気又は霧を供給できる。
【００５１】
また、保湿部材２２は、保湿液を含浸した状態でノズル面２１ａと面一になるように設けられている。そのため、ノズル面２１ａと保湿部材２２との間に段差が形成されることが防止され、吐出ヘッド２と基板Ｐの相対的な移動に伴って発生するノズル面２１ａに沿う気流が乱れることを防止できる。これにより、ノズル面２１ａに沿う気流によってノズル面２１ａの近傍に浮遊する機能液のミストをノズル面２１ａの近傍から除去することができる。したがって、ノズル面２１ａに付着する機能液を減少させることができる。
【００５２】
また、保湿部材２２に含浸された保湿液の蒸気又は霧を発生させる加湿部２１ｄが設けられているので、保湿部材２２に含浸された保湿液を積極的に蒸発又は霧化できる。したがって、ノズル面２１ａの近傍の空気における保湿液の蒸気又は霧の濃度を上昇させ、ノズル面２１ａに付着した機能液の乾燥による高粘度化をより効果的に防止することができる。
【００５３】
また、制御装置７によって吐出ヘッド２の移動方向の前方の蒸気又は霧の発生量を増加させるように加湿部２１ｄを制御している。これにより、吐出ヘッド２の移動によって発生する吐出ヘッド２の移動方向前方から後方へ向かう気流によって、より多くの保湿液の蒸気又は霧をノズル面２１ａの近傍に供給することができる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態によれば、液Ｄ滴を吐出するノズル２１ｂが設けられたノズル面２１ａの近傍の雰囲気を加湿することができ、かつ装置の小型化を実現することができる液滴吐出装置１を提供することができる。
これにより、ノズルプレート２１に付着した機能液の高粘度化を防止し、機能液の吐出量の減少、液滴Ｄの飛散・着弾位置異常、固形物脱落による製品不良などの問題を解決することができる。したがって、吐出ヘッド２による描画品質を長期間維持することができ、吸引やその他の除去方法によるメンテナンス頻度を低下させ、機能液の消費量を抑制し、生産性の向上を実現することが可能になる。
【００５５】
尚、この発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、保湿部材の基板側の面の表面に凹凸が設けられていてもよい。このように構成することで、保湿部材の表面積を増大させ、保湿部材と空気との接触面積が増大し、保湿部材に含浸された保湿液の蒸気又は霧をより多く発生させることができる。
【００５６】
また、保湿部材の基板側の面を基板の表面に対して傾斜させて斜面を形成したり、曲面状に加工したりしてもよい。これにより、吐出ヘッドと基板との相対的な移動によって、吐出ヘッドの移動方向前方から基板とノズル面との間に空気をスムーズに導入することができ、気流の流速を増加させることができる。これによりノズル面近傍の機能液のミストをより除去しやすくすることができる。
また、保湿部材の表面の凹凸や斜面や曲面の形成により、保湿部材の表面積が増加する。これにより、ノズルプレートの近傍に浮遊するミストを保湿部材に付着させ、ノズルプレートへの機能液のミストの付着を減少させることができる。
また、保湿部材と保湿液供給部と接続する流路が吐出ヘッドの移動を妨げない場合には保湿部材と保湿液供給部とを流路によって常に接続した状態とし、保湿液を常時供給するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１  液滴吐出装置、２  吐出ヘッド、６  保湿液供給部、６ａ  保湿液供給管（保湿液供給部）、７  制御装置（加湿制御部）、２１ａ  ノズル面、２１ｂ  ノズル、２２  保湿部材、２２ａ  面、２２ｂ  保湿液受給部、２２ｄ  加湿部、Ｄ  液滴
【図１】
2010188277.tif 000003
【図２】
2010188277.tif 000004
【図３】
2010188277.tif 000005
【図４】
2010188277.tif 000006