(57)【要約】【課題】載置台に載置される際の搬送容器に生じる加速度を載置台の側で検出し、所定以上の加速度が搬送容器に生じると判断された場合に報知出力をおこなう。【解決手段】半導体ウェハが収納された搬送容器２００を載置する載置台１１０に取り付けられて、搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に載置台１１０に生じる加速度を検出する加速度検出部２０と、載置台１１０に載置される搬送容器２００に生じる加速度に対応して設定された、載置台１１０に許容される加速度を示す閾値の入力を受け付ける入力部と、加速度検出部２０で検出された加速度と、入力部に入力された閾値との大小を判定する判定部と、判定部による判定結果に基づいて、検出された加速度が閾値以上である場合に報知出力をおこなう報知部と、を備える衝撃監視装置１０および衝撃監視方法。【選択図】図１
2010122035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハが収納された搬送容器を載置する載置台に取り付けられて、前記搬送容器を前記載置台に載置した際に前記載置台に生じる加速度を検出する加速度検出部と、
前記載置台に載置される前記搬送容器に生じる加速度に対応して設定された、前記載置台に許容される加速度を示す閾値の入力を受け付ける入力部と、
前記加速度検出部で検出された前記加速度と、前記入力部に入力された前記閾値との大小を判定する判定部と、
前記判定部による判定結果に基づいて、検出された前記加速度が前記閾値以上である場合に報知出力をおこなう報知部と、
を備える衝撃監視装置。
【請求項２】
前記入力部が、異なる大きさの二以上の前記閾値の入力を受け付けるとともに、
前記報知部が、複数通りより選択された前記報知出力により、検出された前記加速度がいずれの前記閾値以上となったかを報知することを特徴とする請求項１に記載の衝撃監視装置。
【請求項３】
前記加速度検出部で検出された前記加速度を示す振動波形のデータを出力するデータ出力部をさらに備える請求項１または２に記載の衝撃監視装置。
【請求項４】
前記搬送容器に取り付けられて、前記搬送容器を前記載置台に載置した際に前記搬送容器に生じる加速度を検知する校正センサと、
前記加速度検出部で検出された前記加速度と前記校正センサで検知された加速度との関係を示す相関データ、および前記搬送容器に許容された容器許容加速度に基づいて、前記入力部に入力される前記閾値を算出する演算部と、
をさらに備える請求項１から３のいずれかに記載の衝撃監視装置。
【請求項５】
前記演算部は、
前記相関データとして、前記校正センサで検知された前記加速度に対する、前記加速度検出部で検出された前記加速度の倍率を算出するとともに、
前記容器許容加速度に前記倍率を乗じて前記閾値を算出することを特徴とする請求項４に記載の衝撃監視装置。
【請求項６】
前記演算部が、前記校正センサから直交三軸方向についての前記加速度を示すデータを取得して前記相関データおよび前記閾値をそれぞれ算出し、
前記入力部が、前記直交三軸方向についてそれぞれ異なる前記閾値の入力を受け付けることを特徴とする請求項４または５に記載の衝撃監視装置。
【請求項７】
前記加速度検出部で検出される前記載置台の振動周波数が５〜２００Ｈｚである請求項１から６のいずれかに記載の衝撃監視装置。
【請求項８】
前記加速度検出部で検出された前記加速度が、前記閾値よりも小さなノイズ識別値以上である場合に、該加速度検出部が所定回数の加速度サンプリングをおこなう請求項７に記載の衝撃監視装置であって、
前記所定回数のうち、前記加速度サンプリングのサンプリング周波数をＦ（Ｈｚ）として下式（１）；
Ｎ＝［Ｆ／２００／２］      （１）
で表される少なくともＮ個のサンプルが前記ノイズ識別値を超え、かつ、
前記Ｎ個のサンプルのうち少なくとも一つが前記閾値以上である場合に、前記報知部が前記報知出力をおこなうことを特徴とする衝撃監視装置。
【請求項９】
前記載置台が防振機能を有する請求項１から８のいずれかに記載の衝撃監視装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の衝撃監視装置と、
前記載置台と、
前記載置台を支持する本体部と、
前記載置台と前記本体部との間に設けられて、前記載置台に生じる加速度を緩和する防振構造と、
を備える載置装置。
【請求項１１】
前記載置台が、前記搬送容器を載置する載置面と、前記載置面から離間して設けられた計測面とを有し、
前記加速度検出部が、前記計測面に取り付けられていることを特徴とする請求項１０に記載の載置装置。
【請求項１２】
前記本体部が、軟質材料が周着されたキャスターをさらに備える請求項１０または１１に記載の載置装置。
【請求項１３】
半導体ウェハが収納された搬送容器を載置台に載置した際に該搬送容器に生じる加速度に対応して、前記載置台に許容される加速度を示す閾値を設定する設定工程と、
前記搬送容器を前記載置台に載置した際に前記載置台に生じる加速度を検出する検出工程と、
検出された前記加速度と、前記閾値との大小を判定する判定工程と、
前記判定結果に基づいて、検出された前記加速度が前記閾値以上である場合に報知出力をおこなう報知工程と、
を含む衝撃監視方法。
【請求項１４】
前記設定工程にて、
前記載置台に載置される前記搬送容器に生じる加速度が、該搬送容器に許容された容器許容加速度を超えない値として、前記閾値を設定する請求項１３に記載の衝撃監視方法。
【請求項１５】
前記設定工程が、
前記搬送容器を前記載置台に載置した際に、前記搬送容器および前記載置台に生じる加速度をそれぞれ検知する予備検知工程と、
前記予備検知工程で検知された前記加速度同士の関係を示す相関データ、および前記容器許容加速度に基づいて、前記閾値を算出する演算工程と、
を含む請求項１４に記載の衝撃監視方法。
【請求項１６】
前記演算工程にて、
前記相関データとして、前記搬送容器に生じた前記加速度に対する、前記載置台に生じた前記加速度の倍率を算出するとともに、前記容器許容加速度に前記倍率を乗じて前記閾値を算出することを特徴とする請求項１５に記載の衝撃監視方法。
【請求項１７】
前記設定工程にて、
前記搬送容器に生じる加速度を直交三軸方向についてそれぞれ検知し、前記閾値を前記直交三軸方向についてそれぞれ算出することを特徴とする請求項１５または１６に記載の衝撃監視方法。
【請求項１８】
前記検出工程で検出された前記加速度を示す振動波形のデータを出力するデータ出力工程をさらに含む請求項１４から１７のいずれかに記載の衝撃監視方法。
【請求項１９】
前記搬送容器または他の搬送容器を前記載置台に載置する再現工程と、
前記再現工程で前記載置台に生じた加速度を検出する再検出工程と、
前記再検出工程で検出された前記加速度を示す再現振動波形のデータを出力する再現データ出力工程と、
前記データ出力工程で出力された前記振動波形と前記再現振動波形とを照合する照合工程と、
をさらに含む請求項１８に記載の衝撃監視方法。
【請求項２０】
前記載置台が防振機能を有する請求項１３から１９のいずれかに記載の衝撃監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、衝撃監視装置およびこれを備える載置装置、並びに衝撃監視方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ（以下、ウェハと略記する場合がある）に対して振動や衝撃が悪影響を及ぼすことが知られている。そのため、ウェハを搬送する台車やウェハを保管する棚には、色々な振動吸収の工夫がされてきた。しかし、近年のウェハの大径化と薄型化により、ウェハへの振動や衝撃を監視する必要が益々高まっている。
【０００３】
この種の装置および方法としては、台車に振動センサを取り付けて、予め設定した閾値を超える振動が検知された場合に警報を発する技術（下記特許文献１を参照）や、ウェハを収納したキャリア（搬送容器）ごとに振動センサを取り付けて、閾値を超える振動が検知された回数や最大振動値などを出力する技術（下記特許文献２を参照）が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３３０６２０号公報
【特許文献２】特開２００１−２６４１５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記技術においては、搬送容器に生じる振動や衝撃を示す加速度を高い精度で測定しようとすると、加速度データの収集が煩雑になるという問題があった。
すなわち、特許文献１の技術では、台車の上面で発生する振動や衝撃を示す加速度に対して、０．３５Ｇや５Ｇなどと単に定めた閾値との大小判定をするにとどまり、高い精度で加速度を測定することができない。このため、台車で搬送される搬送容器に対して現実に過大な振動が発生していたとしてもこれを検知することができない。逆に、搬送装置に対して現実には過小な振動しか発生していなくとも警報が発せられる恐れがある。
一方、特許文献２の技術では、台車などで移送されるすべての搬送容器に対して個別にセンサを設ける必要があり、振動データの収集が煩雑になる。したがって、センサの設けられていない搬送容器でウェハを移送した場合には振動データを収集することができず、搬送容器に過大な振動が負荷されたとしてもこれを知得することができない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、半導体ウェハが収納された搬送容器を載置する載置台に取り付けられて、前記搬送容器を前記載置台に載置した際に前記載置台に生じる加速度を検出する加速度検出部と、
前記載置台に載置される前記搬送容器に生じる加速度に対応して設定された、前記載置台に許容される加速度を示す閾値の入力を受け付ける入力部と、
前記加速度検出部で検出された前記加速度と、前記入力部に入力された前記閾値との大小を判定する判定部と、
前記判定部による判定結果に基づいて、検出された前記加速度が前記閾値以上である場合に報知出力をおこなう報知部と、
を備える衝撃監視装置が提供される。
【０００７】
上記発明によれば、載置台に載置される際に搬送容器に生じる加速度に対応して設定された閾値と、載置台の加速度とが大小判定されるため、搬送容器に生じる加速度に応じた報知出力が可能である。また、加速度検出部は搬送容器ではなく載置台に取り付けられるため、個々の搬送容器にセンサを設ける必要がない。したがって本発明によれば、載置される搬送容器に実際に負荷される衝撃加速度を、載置台の側で推定して報知するという新しい衝撃監視の方法が実現する。
【０００８】
また本発明によれば、半導体ウェハが収納された搬送容器を載置台に載置した際に該搬送容器に生じる加速度に対応して、前記載置台に許容される加速度を示す閾値を設定する設定工程と、
前記搬送容器を前記載置台に載置した際に前記載置台に生じる加速度を検出する検出工程と、
検出された前記加速度と、前記閾値との大小を判定する判定工程と、
前記判定結果に基づいて、検出された前記加速度が前記閾値以上である場合に報知出力をおこなう報知工程と、
を含む衝撃監視方法が提供される。
【０００９】
上記発明によれば、載置台に許容される加速度を示す閾値を、搬送容器に生じる加速度に対応して設定する。したがって、載置台に生じた加速度をモニターすることで、搬送容器での加速度を個々に直接検知することなく、ウェハに対して悪影響を及ぼすと判断される加速度の超過が報知される。
【００１０】
なお、上記発明において、搬送容器または載置台の加速度とは、搬送容器または載置台の加速度のうち、特定の軸方向成分、またはその絶対値を意味する場合がある。
【００１１】
なお、本発明の各種の構成要素は、その機能を実現するように形成されていればよく、例えば、所定の機能を発揮する専用のハードウェア、所定の機能がコンピュータプログラムにより付与されたデータ処理装置、コンピュータプログラムによりデータ処理装置に実現された所定の機能、これらの任意の組み合わせ、等として実現することができる。
また、本発明の各種の構成要素は、個々に独立した存在である必要はなく、複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等でもよい。
【００１２】
また、本発明による衝撃監視方法を説明するにあたり、複数の工程を順番に記載することがあるが、明示の場合を除き、その記載の順番は工程を実行する順番を必ずしも限定するものではない。また、複数の工程は、明示の場合を除き、個々に相違するタイミングで実行されることに限定されず、ある工程の実行中に他の工程が発生すること、ある工程の実行タイミングと他の工程の実行タイミングとの一部ないし全部が重複していること、等でもよい。
【００１３】
また、本発明の衝撃監視装置、およびこれを構成する各要素は、コンピュータプログラムを読み取って対応する衝撃監視を実行できるように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、Ｉ／Ｆ（Interface）ユニット、等の汎用デバイスで構築されたハードウェア、所定のデータ処理を実行するように構築された専用の論理回路、これらの組み合わせ、等として実施することができる。
なお、本発明でコンピュータプログラムに対応した各種動作を衝撃監視装置に実行させることは、各種デバイスを衝撃監視装置に動作制御させることなども意味している。
例えば、衝撃監視装置に各種データを記憶させることは、衝撃監視装置に固定されているＨＤＤ（Hard Disc Drive）等の情報記憶媒体にＣＰＵが各種データを格納すること、衝撃監視装置に交換自在に装填されているＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable）等の情報記憶媒体にＣＰＵがＣＤドライブで各種データを格納すること、等でよい。
また、本発明で云う情報記憶媒体とは、衝撃監視装置に各種処理を実行させるためのコンピュータプログラムが事前に格納されたハードウェアであればよく、例えば、衝撃監視装置に固定されているＲＯＭやＨＤＤ（Hard Disc Drive）、衝撃監視装置に交換自在に装填されるＣＤ（Compact Disc）−ＲＯＭやＦＤ（Flexible Disc-cartridge）、これらの組み合わせ、等で実施することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の衝撃監視装置および衝撃監視方法によれば、載置台に載置される搬送容器に生じる加速度を載置台の側で検出し、所定以上の加速度が搬送容器に生じると判断された場合には報知出力をおこなうことができる。これにより、載置台に載置される搬送容器に現実に発生する振動が所定以上の場合には確実に報知出力がなされ、かかる振動が過小の場合には報知出力されることがない。また、搬送容器のすべてに対して個別に振動センサを設ける必要がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１６】
＜衝撃監視装置および載置装置＞
図１は、本発明の実施形態にかかる衝撃監視装置１０、およびこれを備える載置装置１００の構成の一例を示す側面模式図である。同図には、載置装置１００に対して矢印の向きに載置される搬送容器２００も併せて図示している。
図２は、衝撃監視装置１０のシステム構成を示す模式図である。
【００１７】
はじめに、本実施形態の衝撃監視装置１０の概要について説明する。
衝撃監視装置１０は、ウェハ（図示せず）が収納された搬送容器２００を載置する載置台１１０に取り付けられて搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に載置台１１０に生じる加速度ＧＴを検出する加速度検出部２０と、載置台１１０に載置される搬送容器２００に生じる加速度ＧＣに対応して設定された載置台１１０に許容される加速度を示す閾値Ｔｈの入力を受け付ける入力部３０と、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴと入力部３０に入力された閾値Ｔｈとの大小を判定する判定部４２と、判定部４２による判定結果に基づいて検出された加速度ＧＴが閾値Ｔｈ以上である場合に報知出力をおこなう報知部５０と、を備えている。
【００１８】
載置装置１００は、衝撃監視装置１０と、載置台１１０と、載置台１１０を支持する本体部１２０と、載置台１１０と本体部１２０との間に設けられて載置台１１０に生じる加速度ＧＣを緩和する防振構造１３０と、を備えている。
【００１９】
つぎに、本実施形態の衝撃監視装置１０および載置装置１００について、さらに詳細に説明する。
載置装置１００は、平坦な載置台１１０に搬送容器２００を載置した瞬間に搬送容器２００に生じる衝撃が、搬送容器２００に許容された加速度である容器許容加速度ＧＡＣ以上、またはこれを超えたことを推定して報知する装置である。
【００２０】
搬送容器２００を載置する載置台１１０は、防振構造１３０によって本体部１２０に接続されおり、載置台１１０に搬送容器２００を載せ降ろしする際の移載衝撃が緩和される。
すなわち、本実施形態の載置台１１０は防振機能を有している。
【００２１】
また、載置装置１００を構成する本体部１２０は、軟質材料１４２が周着されたキャスター１４０をさらに備えている。すなわち、本実施形態の載置装置１００は可搬性を有し、搬送台車として用いられる。
そして、キャスター１４０が軟質材料１４２を備えることにより、搬送容器２００への移載衝撃が緩和されるとともに、載置装置１００が走行する床面２１０から載置装置１００を介して搬送容器２００に負荷される走行振動を吸収する。
すなわち、載置装置１００は、防振構造１３０と軟質材料１４２により、搬送容器２００に負荷される移載衝撃と走行振動を緩和する。
【００２２】
ただし、本実施形態の載置装置１００は、上記に代えて、キャスター１４０を含まない固定式の載置台であってもよい。
【００２３】
ここで、本発明者らは、搬送容器２００への悪影響を及ぼす振動や衝撃は、移載衝撃で発生する場合が支配的であるとの知見を得ている。すなわち、一般的な搬送容器２００に負荷する振動と搬送容器２００内の発塵との関係を予備実験により調べたところ、搬送容器２００の重心に負荷される加速度が２〜３Ｇ程度以下の振動では発塵が見られることはなかった。また、搬送容器２００内に発塵があり、ウェハへの損傷が懸念される振動は、搬送容器２００の重心に対して１０Ｇ以上が負荷された場合であることが明らかとなっている。
一方、ほぼ平坦なクリーンルームの床面２１０を走行する場合、載置装置１００（搬送台車）の走行振動として搬送容器２００に負荷される加速度は、キャスター１４０や防振構造１３０により０．３〜１．０Ｇ程度に抑えられ、一般に発塵は発生しにくい。
したがって、本実施形態の衝撃監視装置１０および載置装置１００では、走行時の振動成分を監視対象から除外し、防振対策された載置台１１０で生じる載置衝撃についての衝撃加速度を検出する。具体的には、本実施形態では、搬送容器２００の載置時に３Ｇまたは１０Ｇ以上の衝撃加速度が搬送容器２００の全体に加えられるか否かを監視する。
【００２４】
本実施形態では、搬送容器２００に許容された容器許容加速度ＧＡＣとして、例えば３Ｇ（＝ＧＡＣＬ）および１０Ｇ（＝ＧＡＣＨ）の二段階に設定する。以下、搬送容器２００の重心に３Ｇの加速度が生じているレベルを注意レベル、同じく１０Ｇの加速度が生じているレベルを警告レベルとする。
【００２５】
本実施形態の衝撃監視装置１０は、加速度検出部２０を搬送容器２００に直接に取り付けるのではなく、載置装置１００の側である載置台１１０にこれを取り付けている。そして、載置台１１０で検出された加速度ＧＴをもって、搬送容器２００の全体に負荷されたと推定される加速度ＧＣが、例えば３Ｇまたは１０Ｇ以上となっていないか否かを判定する。
これにより、多数の搬送容器２００が載置装置１００に載置されて移送されるたびごとに加速度検出部２０を搬送容器２００に取り付ける必要がない。
【００２６】
加速度検出部２０には圧電素子などからなる加速度ピックアップセンサーを用いる。加速度検出部２０で検出される載置台１１０の加速度ＧＴは、搬送容器２００の全体に負荷される発生衝撃と高い相関を示すことが好ましい。このため、加速度検出部２０は、載置装置１００のうち、搬送容器２００の重心とほぼ一体となって振動する部位であって、搬送容器２００の移載衝撃を過大に拾うことのない部位に設置される。
【００２７】
したがって、本実施形態では、図１に示すように、載置台１１０に対して、搬送容器２００を載置する載置面１１２と、載置面１１２から離間して設けられた計測面１１４とを設け、載置台１１０に生じた加速度ＧＴを検出する加速度検出部２０を、計測面１１４に取り付けている。
計測面１１４は、載置面１１２への搬送容器２００の載置を阻害しないよう、載置面１１２の下面側に対向して設けられている。計測面１１４は、立面１１６を介して載置面１１２と接続されている。計測面１１４は平板状をなし、
【００２８】
すなわち、加速度検出部２０を載置台１１０の一部に取り付けることにより、加速度検出部２０に入力される載置装置１００の走行振動は、搬送容器２００と同等のレベルとなる。加速度検出部２０および搬送容器２００は、いずれも防振構造１３０およびキャスター１４０を介して床面２１０と接続されることとなるためである。
また、加速度検出部２０を、載置面１１２ではなく、これと対向して離間した計測面１１４に取り付けることにより、搬送容器２００の載置時の衝撃を加速度検出部２０で過大に拾うことがない。これにより、加速度検出部２０にて検出される載置台１１０の加速度ＧＴは、搬送容器２００の全体に生じる加速度ＧＣと高い相関をもつ。
【００２９】
図２に示すように、衝撃監視装置１０は、加速度検出部２０と、これが接続されてデータ処理および全体の制御をおこなう制御部４０と、報知出力をおこなう報知部５０と、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴを示す振動波形のデータを出力するデータ出力部６０と、電源部７０と、を備えている。
【００３０】
本実施形態の衝撃監視装置１０は、複数式の加速度検出部２０を備えており、載置台１１０の複数箇所において加速度ＧＴを測定することができる。
【００３１】
本実施形態の制御部４０には、閾値Ｔｈの外部入力を受け付ける入力部３０として、キー３２および表示部３４が設けられている。後記に詳述する方法などにより予め算出された閾値Ｔｈを入力することができる。
【００３２】
データ出力部６０を構成する装置としては、加速度ＧＴを示す振動波形のデータをリムーバブルメディア６２に記録するための記録装置が設けられている。データ出力部６０からは、振動波形を示すアナログデータまたはデジタル信号データが出力される。
【００３３】
電源部７０は、衝撃監視装置１０および載置装置１００の可搬性を損なうことのないよう、充電器７２により充電が可能である。
【００３４】
上記本実施形態の載置装置１００によれば、本体部１２０に外部より加えられる振動が防振構造１３０によって緩和されるため、かかる振動が載置台１１０および搬送容器２００に負荷されることが軽減される。したがって、搬送容器２００に負荷される振動は、載置台１１０に搬送容器２００を載せ降ろしする際に搬送容器２００に発生する移載衝撃に実質的に限られることとなる。そして、移載衝撃が閾値以上となった場合には本実施形態の衝撃監視装置１０により報知出力がなされるため、搬送容器２００に負荷される振動が所定のレベル以上となったことが検知される。
【００３５】
図３は、衝撃監視装置１０の機能ブロック図である。同図を用いて、本実施形態の衝撃監視方法を説明する。
【００３６】
＜衝撃監視方法＞
本実施形態の衝撃監視方法は、以下の各工程を含む。
（１）設定工程
ウェハ（図示せず）が収納された搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に搬送容器２００に生じる加速度ＧＣに対応して、載置台１１０に許容される加速度を示す閾値Ｔｈを設定する工程である。
（２）検出工程
搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に載置台１１０に生じる加速度ＧＴを検出する工程である。
（３）判定工程
検出された加速度ＧＴと、閾値Ｔｈとの大小を判定する工程である。
（４）報知工程
判定結果に基づいて、検出された加速度ＧＴが閾値Ｔｈ以上である場合に報知出力をおこなう工程である。
【００３７】
設定工程では、載置台１１０に載置される搬送容器２００に生じる加速度ＧＣが、搬送容器２００に許容された容器許容加速度ＧＡＣを超えない値として、閾値Ｔｈを設定する。制御部４０は、入力部３０より入力された閾値Ｔｈを記憶部３６に格納する。
【００３８】
本実施形態の入力部３０は、異なる大きさの二以上の閾値Ｔｈの入力を受け付ける。具体的には、搬送容器２００に発生する注意レベルの移載衝撃に対応する閾値ＴｈＬと、同じく警告レベルの移載衝撃に対応する閾値ＴｈＨとが入力される。
そして、本実施形態の報知部５０は、複数通りより選択された報知出力により、検出された加速度ＧＴがいずれの閾値（閾値ＴｈＬまたは閾値ＴｈＨ）以上となったかを報知する。
【００３９】
検出工程では、搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に載置台１１０に生じる加速度ＧＴを加速度検出部２０が検出すると、かかる加速度を示す振動データを信号処理部４６に取り込む。信号処理部４６は、振動データを増幅するアンプ部と、必要な振動管理周波数範囲の振動データのみ通過させるフィルター部と、所定のサンプリング周期にて振動データをサンプリングするサンプリング部とを備えている。
【００４０】
図４は、増幅およびサンプリングされた振動データの一例を示す波形グラフである。
【００４１】
判定工程では、制御部４０の判定部４２は、信号処理部４６より加速度ＧＴに関する振動データを受け付けるとともに、記憶部３６より閾値ＴｈＬおよび閾値ＴｈＨを呼び出す。そして、振動データの絶対値と、閾値ＴｈＬおよび閾値ＴｈＨとの大小を比較する。
具体的には、サンプリングされた振動データの絶対値（加速度データ）と、まず閾値ＴｈＬとを比較する。加速度データが閾値ＴｈＬ以上である、またはこれよりも大きい場合、さらに加速度データを閾値ＴｈＨと比較する。
【００４２】
報知工程において、本実施形態の衝撃監視装置１０は、加速度データが低ランク閾値である閾値ＴｈＬ以上となった場合に、報知部５０にて第一の報知出力がなされる。さらに、加速度データが高ランク閾値である閾値ＴｈＨ以上となった場合に、報知部５０にて第二の報知出力がなされる。
【００４３】
判定部４２は、加速度データが閾値ＴｈＬ以上かつ閾値ＴｈＨ以下の場合、報知部５０に対して第一の報知出力の実行を指示する。
また判定部４２は、加速度データが閾値ＴｈＨ以上の場合、報知部５０に対して第二の報知出力の実行を指示する。
【００４４】
報知出力の態様は特に限定されず、例えば報知部５０の例として図２に示すランプ５２の点灯やスピーカー５４からのブザー音の発生、または加速度ＧＴが閾値以上となったことを示すデータが出力される。
本実施形態では、第一の報知出力と第二の報知出力とは異なる態様にて出力がおこなわれる。具体的には、第一の報知出力としては黄色のランプが点滅し、ブザー音は一定時間発生した後、自動的に消音する。また、第二の報知出力としては赤色のランプが点滅するとともにブザー音が発生する。
【００４５】
なお、本実施形態の制御部４０は、信号処理部４６よりデータ出力部６０に対して振動データを送信して以下のデータ出力工程を行う。
（５）データ出力工程
上記（２）の検出工程で検出された加速度ＧＴを示す振動波形のデータを出力する工程である。
具体的には、加速度検出部２０からのアナログ信号を増幅して出力する方法や、ＡＤコンバータを含む情報処理装置にてデジタル信号に変換して出力する方法などをとることができる。
【００４６】
データ出力工程は、加速度データが閾値ＴｈＬ以上の場合に行う。データ出力工程では、振動データに対して、当該衝撃の発生時刻および載置装置１００の固体識別番号を関連づけて出力してもよい。
【００４７】
本実施形態の衝撃監視方法では、さらに、データ出力部６０より出力された振動データを用いて、搬送容器２００に発生した衝撃の原因を検証するための検証工程をおこなう。
【００４８】
検証工程は、下記の各工程を含む。
（６）再現工程
搬送容器２００または他の搬送容器を載置台１１０に載置する工程である。
（７）再検出工程
再現工程で載置台１１０に生じた加速度ＧＴを検出する工程である。
（８）再現データ出力工程
再検出工程で検出された加速度ＧＴを示す再現振動波形のデータを出力する工程である。
（９）照合工程
上記（５）のデータ出力工程で出力された振動波形と再現振動波形とを照合する工程である。
【００４９】
再現工程では、移載時に報知出力が行われたものと同一、または同種の搬送容器を用いて、これを載置台１１０に載置する。
再検出工程では、載置台１１０に取り付けられている加速度検出部２０により、再現工程で載置台１１０に生じた加速度ＧＴを検出する。検出された加速度を示す振動データは、上記（２）の検出工程と同様に、制御部４０の信号処理部４６に取り込まれ、増幅およびサンプリングされる。
再現データ出力工程では、かかる振動データをデータ出力部６０より出力する。
照合工程では、衝撃発生時に出力された振動データと、再現振動波形のデータとを照合する。照合工程はコンピュータ装置（図示せず）にておこなわれる。具体的な照合の方法は特に限定されないが、各データをグラフィックソフトにて図示して波形同士を目視対比してもよく、各データにおける特徴量同士を比較し、相関係数の大小を判定してもよい。
【００５０】
照合工程にて、衝撃発生時の振動波形と同様の再現波形が確認された場合、当該衝撃が再現工程の載置動作によって発生したものと推定される。また、振動データに関連づけて出力された衝撃発生時刻や載置装置１００の固体識別番号とあわせることで、当該衝撃の発生原因を特定する。例えば、同一の搬送台車にて移載衝撃が繰り返し発生した場合は、当該搬送台車の構造的な特徴に起因して移載衝撃が生じている可能性がある。また、同一の作業工程にて移載衝撃が繰り返し発生した場合は、作業工程の見直しに反映することができる。
また、電磁波ノイズや信号伝達上のエラーに起因する誤検知の場合についても、振動波形の特徴としてこれを確認することができる。
【００５１】
本実施形態の衝撃監視装置１０では、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴが閾値ＴｈＬまたは閾値ＴｈＨ以上となった場合に報知出力をするのみならず、振動データを波形データとして出力することができる。このため、搬送容器２００の移載条件を再現して、発生した衝撃の原因を特定するための検証工程を実施することができる。
【実施例】
【００５２】
以下、本発明の衝撃監視方法における（１）設定工程および（２）検出工程について、実施例を用いてさらに具体的に説明する。
【００５３】
＜（１）設定工程＞
図５は、本実施例にかかる衝撃監視装置１０の機能ブロック図である。図３と共通する構成要素に関しては詳述を省略する。
本実施例では、校正センサ８０を取り付けた搬送容器２００を載置台１１０に載置し、搬送容器２００に実際に生じる加速度ＧＣと載置台１１０で検知される加速度ＧＴとのキャリブレーションを行った。
【００５４】
本実施例の衝撃監視装置１０は、搬送容器２００に取り付けられて搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に搬送容器２００に生じる加速度ＧＣを検知する校正センサ８０と、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴと校正センサ８０で検知された加速度ＧＣとの関係を示す相関データＣｏおよび搬送容器に許容された容器許容加速度ＧＡＣに基づいて入力部３０に入力される閾値Ｔｈを算出する演算部４４と、をさらに備えている。
【００５５】
図６は、本実施例で用いられる搬送容器２００と、搬送容器２００に校正センサ８０が取り付けられた状態を示す模式図である。
搬送容器２００には、載置装置１００に載置されて移送に供される搬送容器と同種のものを用いた。搬送容器２００には、実際の移送条件を模擬するため、２５枚のウェハを収容した。
【００５６】
本実施例では、搬送容器２００の重心よりも上方、より具体的には搬送容器２００の上面に、校正センサ８０を取り付けた。これにより、搬送容器２００に発生する加速度ＧＣとして、搬送容器２００の重心で発生する加速度よりも高い値が測定されるため、安全側の報知出力がおこなわれる。
【００５７】
校正センサ８０にはチャージアンプ８２およびレコーダー８４が信号接続されており、搬送容器２００の上面に生じた加速度ＧＣを示す振動データを増幅した上で記録することができる。レコーダー８４に記録された加速度ＧＣを示す振動データは、記録メディアまたは信号線を通じて制御部４０の演算部４４に取り込まれる。
【００５８】
本実施例の衝撃監視方法では、（１）設定工程として、以下の予備検知工程と演算工程を行う。
（１−１）予備検知工程
搬送容器２００を載置台１１０に載置した際に、搬送容器２００および載置台１１０に生じる加速度ＧＴ，ＧＣをそれぞれ検知する工程である。
（１−２）演算工程
予備検知工程で検知された加速度ＧＴ，ＧＣ同士の関係を示す相関データＣｏ、および容器許容加速度ＧＡＣに基づいて、閾値Ｔｈを算出する工程である。
【００５９】
予備検知工程では、校正センサ８０を取り付けた搬送容器２００を載置装置１００の載置台１１０に載置し、校正センサ８０によって加速度ＧＣを、そして加速度検出部２０によって加速度ＧＴを、それぞれ測定する。
【００６０】
演算工程では、演算部４４は、相関データＣｏとして、校正センサ８０で検知された加速度ＧＣに対する、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴの倍率ＳＦを算出するとともに、容器許容加速度ＧＡＣに倍率ＳＦを乗じて閾値Ｔｈを算出する。
すなわち、相関データＣｏとしては、載置台１１０に生じた加速度ＧＴに対する、搬送容器２００に生じた加速度ＧＣの倍率ＳＦを算出する。そして閾値Ｔｈを、容器許容加速度ＧＡＣに倍率ＳＦを乗じて算出する。
ここで、容器許容加速度ＧＡＣに倍率ＳＦを乗じて閾値Ｔｈを算出するとは、切り捨てや四捨五入などの端数処理や、所定の安全率の算入を含む。また、倍率ＳＦは、加速度ＧＴ／加速度ＧＣにより算出しても、その逆数である加速度ＧＣ／加速度ＧＴにより算出してもよい。後者の場合、容器許容加速度ＧＡＣを倍率ＳＦで除することにより閾値Ｔｈが算出される。
なお、容器許容加速度ＧＡＣは、操作者が予め入力部３０を通じて記憶部３６に入力しておく。本実施例では、容器許容加速度ＧＡＣを、注意レベルに相当する３Ｇ（＝ＧＡＣＬ）、および警告レベルに相当する１０Ｇ（＝ＧＡＣＨ）の二段階に設定した。
【００６１】
具体的には、演算部４４は、取得した加速度ＧＴおよび加速度ＧＣをそれぞれ示す振動データの絶対値（加速度データ）の最大値を二次元プロットし、近似直線を求める。近似直線は、例えば最小二乗法により求めることができる。
本実施例では、二次元座標平面の原点を通る近似直線を求めることとした。したがって、かかる近似直線の傾きが、倍率ＳＦにあたる。
なお、演算部４４は、図５に示すように、記憶部３６より容器許容加速度ＧＡＣ（ＧＡＣＬおよびＧＡＣＨ）を読み出し、これに倍率ＳＦを乗じて閾値Ｔｈ（閾値ＴｈＬおよび閾値ＴｈＨ）を算出する。
【００６２】
算出された閾値Ｔｈは、演算部４４から入力部３０に送られる。閾値Ｔｈは、記録メディアまたは信号線を通じて、または操作者の手入力によって、入力部３０より記憶部３６に入力される。
【００６３】
本実施例の設定工程では、予備検知工程において、搬送容器２００に生じる加速度ＧＣを直交三軸方向についてそれぞれ検知する。また、載置台１１０に生じる加速度ＧＴに関しても、直交三軸方向についてそれぞれ検出する。
なお、搬送容器２００に取り付けられる校正センサ８０と、載置台１１０に取り付けられる加速度検出部２０は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向を共通とする。
【００６４】
そして、演算工程においては、演算部４４は、校正センサ８０から直交三軸方向についての加速度ＧＣを示すデータを取得して相関データＣｏおよび閾値Ｔｈ（閾値ＴｈＬ，ＴｈＨ）を直交三軸方向についてそれぞれ算出する。
したがって、入力部３０は、直交三軸方向についてそれぞれ異なる閾値Ｔｈ（閾値ＴｈＬ，ＴｈＨ）の入力を受け付ける。
すなわち、本実施例の衝撃監視装置１０では、各軸について注意レベルと警告レベルの閾値をそれぞれ受け付ける。
【００６５】
相関データＣｏの具体例を図７（ａ）〜（ｃ）に示す。同図は、搬送容器２００を１０回に亘って載置台１１０に載置した場合に測定された各軸方向の最大加速度ＧＣおよび最大加速度ＧＴの絶対値を二次元プロットしたものである。校正センサ８０より得られる搬送容器２００の加速度ＧＣの最大値（ＧＣＭＡＸ）を横軸に、加速度検出部２０より得られる載置台１１０の加速度ＧＴの最大値（ＧＴＭＡＸ）を縦軸にプロットし、原点を通る近似直線を最小二乗法により求めた。
【００６６】
同図（ａ）における近似直線の傾きより、Ｘ軸方向の倍率ＳＦ（ＳＦ（Ｘ））は、２．３と求まった。これは、載置面１１２に対する水平方向であるＸ軸方向に関して、載置台１１０での最大加速度（ＧＴＭＡＸ）が、搬送容器２００の最大加速度（ＧＣＭＡＸ）の約２．３倍であったことを意味する。すなわち、搬送容器２００にて最大１Ｇの加速度がＸ軸方向に発生した場合、載置台１１０ではＸ軸方向に最大２．３Ｇの加速度が検出されることとなる。換言すると、載置台１１０にてＸ軸方向に最大３．０Ｇの加速度が検出された場合にも、搬送容器２００では約１．３（＝３．０／２．３）Ｇの加速度しか発生していないこととなる。これは、搬送容器２００が所定の質量を有するとともに作業者や作業装置に保持された状態で載置台１１０に載置されるため、搬送容器２００に生じる加速度ＧＣは載置台１１０に生じる加速度ＧＴよりも小さくなることに起因する。
【００６７】
したがって、本実施例のように判定部４２が載置台１１０に生じる加速度ＧＴを閾値Ｔｈと対比することにより、過小な衝撃に対して載置装置１００が報知出力することがない。本実施例では、搬送容器２００に対して予め設定された容器許容加速度ＧＡＣに相当する加速度が実際に搬送容器２００で発生したことを、載置台１１０の発生加速度に基づいて予測し、報知出力をおこなう。
【００６８】
したがってＸ軸方向のみに関していえば、注意レベルである３Ｇの加速度が搬送容器２００に発生したことを検知するためには、載置台１１０において、３×２．３＝６．９Ｇの加速度が検出された場合に報知出力を行えばよいこととなる。
ただし、載置台１１０においてＸ軸方向に６．９Ｇの加速度が検出された場合に、ＹまたはＺ軸方向に関して搬送容器２００に容器許容加速度ＧＡＣを超える加速度が発生する場合は、当該方向をクリティカル方向として報知出力をおこなう。
【００６９】
載置面１１２に水平でＸ軸方向と直交するＹ軸方向については、同図（ｂ）における近似直線の傾きより、Ｙ軸方向の倍率ＳＦ（ＳＦ（Ｙ））は、１．８と求まった。同様に、載置面１１２に垂直なＺ軸方向については、同図（ｃ）における近似直線の傾きより、Ｚ軸方向の倍率ＳＦ（ＳＦ（Ｚ））は、１．８と求まった。
【００７０】
つぎに、クリティカル方向を特定するため、校正センサ８０で実測された搬送容器２００の最大加速度（ＧＣＭＡＸ）の軸方向ごとの平均値を算出し、搬送容器２００の移載衝撃が軸方向ごとにどの程度の振動レベルにて負荷されるかを求めた。
１０回に亘る搬送容器２００の載置試験の結果より、搬送容器２００に発生する平均最大加速度（ＧＣＭＡＸ）は、下表１の通りであった。
【００７１】
【表１】
2010122035.tif 000003
【００７２】
したがって、軸方向比率は、Ｘ軸方向：Ｙ軸方向：Ｚ軸方向＝３．０：５．５：６．８＝１．０：１．８：２．３と求まった。
そして、各軸方向の容器許容加速度ＧＡＣ（ＧＡＣＬおよびＧＡＣＨ）を、かかる軸方向比率で除した値が最も小さい軸方向を特定することにより、移載衝撃をモニターすべきクリティカル方向が求まる。
本実施例では、容器許容加速度ＧＡＣを各軸共通としているため、軸方向比率の逆数に基づいて、Ｚ軸方向がクリティカル方向となる。
下表２に示すように、注意レベルの容器許容加速度ＧＡＣＬ（＝３Ｇ）が搬送容器２００のＺ軸方向に発生した場合の、Ｘ軸方向とＹ軸方向の発生加速度（注意レベル加速度ＧＣＬ）は、軸方向比率にしたがって、それぞれ１．３Ｇ、２．４Ｇとなる。
同様に、警告レベルの容器許容加速度ＧＡＣＨ（＝１０Ｇ）が搬送容器２００のＺ軸方向に発生した場合の、Ｘ軸方向とＹ軸方向の発生加速度（警告レベル加速度ＧＣＨ）は、軸方向比率にしたがって、それぞれ４．４Ｇ、８．１Ｇとなる。
【００７３】
かかる注意レベル加速度および警告レベル加速度に対して検知倍率を乗じることにより、クリティカル方向（Ｚ軸方向）に容器許容加速度ＧＡＣＬ，ＧＡＣＨが発生した場合の、載置台１１０に生じる加速度の推定値が算出される。
下表２に示すように、校正センサ８０で検知される加速度ＧＴの最大値が、Ｚ軸方向に関して５．４Ｇである場合、搬送容器２００では容器許容加速度ＧＡＣＬの振動が発生していることが推定される。
同様に、校正センサ８０で検知される加速度ＧＴの最大値が、Ｚ軸方向に関して１８．０Ｇである場合、搬送容器２００では容器許容加速度ＧＡＣＨの振動が発生していることが推定される。
【００７４】
以上より、本実施例の衝撃監視装置１０では、加速度検出部２０により少なくともＺ軸方向に関して載置台１１０の加速度ＧＴをモニターし、これが注意レベル加速度以上または警告レベル加速度以上となった場合に報知出力をおこなう。また、かかる場合に、加速度ＧＴの振動波形のデータをデータ出力部６０より出力する。
すなわち、下表２の注意レベル加速度および警告レベル加速度を超えない値を閾値Ｔｈ（ＴｈＬ，ＴｈＨ）として、入力部３０を通じて制御部４０に入力する。
【００７５】
【表２】
2010122035.tif 000004
【００７６】
＜（２）検出工程＞
検出工程では、衝撃監視装置１０は、上記設定工程にて設定された閾値ＴｈＬ，ＴｈＨ以上となる加速度ＧＴが載置台１１０に発生したことを、加速度検出部２０からの信号により検出する。載置台１１０に載置される搬送容器２００としては、上記設定工程における載置試験からの再現性を良好にして閾値ＴｈＬ，ＴｈＨの信頼性を高めるため、載置試験に供された搬送容器と同種のものを用いる。
閾値ＴｈＬ，ＴｈＨとしては、Ｚ軸方向の注意レベル加速度として５．０Ｇ、Ｚ軸方向の警告レベル加速度として１７．５Ｇを設定した。
【００７７】
図８は、加速度検出部２０で検出された載置台１１０の振動波形の例を示すグラフである。横軸はサンプリングのタイミング、縦軸は加速度ＧＴである。
加速度検出部２０は、所定のサンプリング周波数にて載置台１１０の振動をモニターする。モニター方向としては、少なくともＺ軸方向を含む。
【００７８】
本実施例では、加速度検出部２０で検出される載置台１１０の振動周波数を５〜２００Ｈｚとした。
これは、走行振動や移載衝撃として搬送容器２００に加えられる加速度のうち、２００Ｈｚ以上の高周波成分による影響は一般に無視できるレベルであることによる。また、５Ｈｚ以下の低周波成分に関しても、搬送容器２００内の発塵やウェハの損傷をもたらす影響は一般に無視できる。
【００７９】
衝撃監視装置１０は、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴが、閾値Ｔｈよりも小さなノイズ識別値ＴＮ以上である場合に、加速度検出部２０が所定回数ＮＳの加速度サンプリングをおこなう。
そして、上記の所定回数ＮＳのうち、加速度サンプリングのサンプリング周波数をＦ（Ｈｚ）として下式（２）；
Ｎ＝［Ｆ／２００／２］      （２）
で表される少なくともＮ個のサンプルがノイズ識別値ＴＮを超え、かつ、Ｎ個のサンプルのうち少なくとも一つが閾値Ｔｈ以上である場合に、報知部５０は報知出力をおこなう。
なお、式（２）の右辺の大括弧はガウス記号を示し、Ｆ／２００／２を超えない最大の整数を意味している。
【００８０】
本実施例では、載置台１１０の２００Ｈｚまでの振動を確実に検知でき、また瞬間的な振動である移載衝撃を取りこぼさないサンプリング周期を０．５ｍｓｅｃと設定した。したがって、サンプリング周波数は２０００Ｈｚである。よって、上式（２）より、Ｎ＝［２０００／２００／２］＝５と求まる。
【００８１】
また、加速度検出部２０が一連の加速度サンプリングをおこなう所定回数ＮＳは、上記Ｎ以上であれば特に限定されない。ＮＳが過大であると、離散的なノイズ振動に起因する加速度をＮ回検出した場合に、衝撃の発生と誤報知する恐れがある。逆にＮＳが過小であると、正弦波振動の節にあたる低加速度状態を無衝撃負荷状態と誤認して、移載衝撃に起因する振動を、ノイズ振動と認識する恐れがある。したがって、本実施例では、所定回数ＮＳを８回と定めた。
【００８２】
図８に示すように、本実施例では、ノイズ識別値ＴＮを２Ｇと定める。加速度検出部２０は、上記サンプリング周波数にて載置台１１０の加速度ＧＴを継続してモニターする。注意レベルの閾値ＴｈＬを超える加速度を加速度検出部２０が検出した場合（図中Ａ）、制御部４０は、次回より８回の加速度サンプリング中、ノイズ識別値ＴＮを超える絶対値の加速度ＧＴが５回以上検出されるか否かを判定する。
本実施例では、図中Ｂ〜Ｉのうち、Ｈを除く７回について、加速度ＧＴの絶対値がノイズ識別値ＴＮ以上であることから、かかる振動を移載衝撃と認識する。
【００８３】
また、本実施例では、図中Ｃ、Ｄにおいて、警告レベルの閾値ＴｈＨ以上の加速度ＧＴが検出されている。
したがって衝撃監視装置１０では、警告レベルの移載衝撃が搬送容器２００に発生したことを示す第二の報知出力が報知部５０にておこなわれる。
【００８４】
なお、本発明は本実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。
まず、本実施例では、予備検知工程において、校正センサ８０で検知した搬送容器２００の加速度ＧＣをチャージアンプ８２およびレコーダー８４に取り込んでデータ処理することとしている（図５，６を参照）が、これに限られない。校正センサ８０の出力信号を、制御部４０の信号処理部４６に取り込むこととしてもよい。
【００８５】
また、上記実施例では、加速度検出部２０で検出された加速度ＧＴと校正センサ８０で検知された加速度ＧＣとの関係を示す相関データＣｏとして、原点を通る近似直線の傾きにより倍率ＳＦを求めたが、これに限られない。例えば、加速度ＧＴと加速度ＧＣを二次元プロットしたうえで、原点を通らない近似直線を求め、加速度ＧＴと加速度ＧＣとを関数またはテーブル形式にて対応づけてもよい。
そして、演算工程にて演算部４４は、かかる関数またはテーブルと容器許容加速度ＧＡＣとから、載置台１１０に許容される閾値Ｔｈを算出することができる。
【００８６】
また、上記実施例では、直交三軸方向についてそれぞれ容器許容加速度ＧＡＣを定め、各軸方向に閾値Ｔｈを設定しているが、これに限られない。容器許容加速度ＧＡＣとしては注意レベルまたは警告レベルとしてそれぞれ一つずつの値を定め、各軸に関して測定された加速度のベクトル和が、かかる値以上とならないよう、閾値Ｔｈを設定してもよい。
【００８７】
また、上記実施例では、クリティカル方向（Ｚ軸方向）についてモニターして、閾値Ｔｈ以上の加速度ＧＴの発生を検出しているが、これに限られない。例えば表２に示す本実施例に関しては、加速度検出部２０にて直交三軸方向のすべてをモニターし、Ｘ軸方向の注意レベル加速度（＝３．０Ｇ）またはＹ軸方向の注意レベル加速度（＝４．３Ｇ）が検出された場合にも、Ｚ軸方向と同様に、注意レベルの移載衝撃の発生と認定してもよい。
【００８８】
また、上記実施例では、軸方向によらず容器許容加速度ＧＡＣを共通としているが、これに限られない。例えば、搬送容器２００に収容されるウェハの向きに応じて、容器許容加速度ＧＡＣを軸方向ごとに相違させて設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の実施形態にかかる衝撃監視装置、およびこれを備える載置装置の構成の一例を示す側面模式図である。
【図２】衝撃監視装置のシステム構成を示す模式図である。
【図３】衝撃監視装置の機能ブロック図である。
【図４】増幅およびサンプリングされた振動データを示す波形グラフである。
【図５】実施例にかかる衝撃監視装置の機能ブロック図である。
【図６】本実施例で用いられる搬送容器と、搬送容器に校正センサが取り付けられた状態を示す模式図である。
【図７】加速度ＧＴと加速度ＧＣとの相関データＣｏを示す図である。
【図８】加速度検出部で検出された載置台の振動波形の例を示すグラフである。
【符号の説明】
【００９０】
１０    衝撃監視装置
２０    加速度検出部
３０    入力部
３２    キー
３４    表示部
３６    記憶部
４０    制御部
４２    判定部
４４    演算部
４６    信号処理部
５０    報知部
６０    データ出力部
６２    リムーバブルメディア
７０    電源部
７２    充電器
８０    校正センサ
８２    チャージアンプ
８４    レコーダー
１００    載置装置
１１０    載置台
１１２    載置面
１１４    計測面
１１６    立面
１２０    本体部
１３０    防振構造
１４０    キャスター
１４２    軟質材料
２００    搬送容器
２１０    床面
【図１】
2010122035.tif 000005
【図２】
2010122035.tif 000006
【図３】
2010122035.tif 000007
【図４】
2010122035.tif 000008
【図５】
2010122035.tif 000009
【図６】
2010122035.tif 000010
【図７】
2010122035.tif 000011
【図８】
2010122035.tif 000012