(57)【要約】【課題】被処理体へ悪影響を及ぼすことなく、被処理体を連続して処理する際におけるスループットを向上させること。【解決手段】処理装置は、延長可能液処理機構４０，４５と、一の被処理体と他の被処理体を順次取り扱う共有取扱部１０と、を備えている。処理装置は、リンス液処理工程と、共有取扱工程と、を有するレシピを算出するレシピ算出部５１も備えている。レシピ算出部５１は、共有取扱部１０が一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と共有取扱部１０が他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする。【選択図】図１
2010153732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理機構と、
一の被処理体と他の被処理体を順次取り扱う共有取扱部と、
前記延長可能液処理機構で前記被処理体を処理する延長可能液処理工程と、前記共有取扱部で前記被処理体を取り扱う共有取扱工程と、を有するレシピを算出するレシピ算出部と、を備え、
前記レシピ算出部は、前記共有取扱部が一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と該共有取扱部が他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにすることを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記被処理体を薬液で処理する薬液処理機構をさらに備え、
前記レシピ算出部の算出するレシピは、前記薬液処理機構で前記被処理体を処理する薬液処理工程をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記延長可能液処理機構は、延長可能液であるリンス液によって前記被処理体を処理するリンス液処理機構を有することを特徴とする請求項１または２のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項４】
前記延長可能液処理機構は、延長可能液である剥離液によって前記被処理体を処理する剥離液処理機構を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項５】
前記共有取扱部は、前記薬液処理機構にオゾン水を供給するオゾン水供給部を有することを特徴とする請求項２に記載の処理装置。
【請求項６】
前記共有取扱部は、前記リンス液処理機構にオゾン水を供給するオゾン水供給部を有することを特徴とする請求項３に記載の処理装置。
【請求項７】
前記共有取扱部は、前記リンス液処理機構に加熱した純水を供給する加熱ＤＩＷ供給部を有することを特徴とする請求項３に記載の処理装置。
【請求項８】
前記共有取扱部は、前記被処理体を移動させる搬送機構を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項９】
前記延長可能液処理機構は、複数の延長可能液処理部からなり、
各延長可能液処理部で延長された時間の合計が、共有取扱工程をシフトさせた時間と等しくなることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項１０】
延長可能液処理機構によって、前記被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理工程と、
共有取扱部で一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と、
前記一の共有取扱工程の後で行われ、前記共有取扱部で他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程と、を備え、
一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにすることを特徴とする処理方法。
【請求項１１】
延長可能液処理機構および共有取扱部を有する処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムにおいて、
前記処理方法は、
前記延長可能液処理機構によって、前記被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理工程と、
前記共有取扱部で一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と、
前記一の共有取扱工程の後で行われ、前記共有取扱部で他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程と、を備え、
一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする方法からなることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１２】
延長可能液処理機構および共有取扱部を有する処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記処理方法は、
前記延長可能液処理機構によって、前記被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理工程と、
前記共有取扱部で一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と、
前記一の共有取扱工程の後で行われ、前記共有取扱部で他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程と、を備え、
一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする方法からなることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理体を処理する処理装置と、当該処理装置を用いた処理方法と、当該処理方法を実行させるコンピュータプログラムと、当該コンピュータプログラムを格納した記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被処理体である複数のウエハ（以下、ウエハ群とも呼ぶ）を、薬液が貯留された薬液槽やリンス液が貯留されたリンス液槽に順次浸漬させることにより、ウエハの各々に付着した汚染物を除去して洗浄する方法が知られている。そして、ウエハ群を薬液槽とリンス液槽で順次浸漬させるためには、搬送機構が利用されている（例えば、特許文献１参照）。そして、このような特許文献１では、当該搬送機構が、ウエハ群を順次取り扱う共有取扱部として機能している。
【特許文献１】特開２００２−１１８０８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
複数のウエハ群を連続して処理する場合においては、一のウエハ群で搬送機構（共有取扱部）を用いているときには、他のウエハ群を搬送機構（共有取扱部）によって搬送させることができない。このため、一のウエハ群で搬送機構を用いていないときに、他のウエハ群で搬送機構を用いるようレシピを組む必要があるが、レシピの内容によっては、他のウエハ群で搬送機構を利用できる時間を確保することができず、結果的には、他のウエハ群のレシピを大幅に遅らせる必要がある。
【０００４】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、被処理体へ悪影響を及ぼすことなく、被処理体を連続して処理する際におけるスループットを向上させることができる処理装置、処理方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による処理装置は、
被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理機構と、
一の被処理体と他の被処理体を順次取り扱う共有取扱部と、
前記延長可能液処理機構で前記被処理体を処理する延長可能液処理工程と、前記共有取扱部で前記被処理体を取り扱う共有取扱工程と、を有するレシピを算出するレシピ算出部と、を備え、
前記レシピ算出部が、前記共有取扱部が一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と該共有取扱部が他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする。
【０００６】
本発明による処理装置において、
前記被処理体を薬液で処理する薬液処理機構をさらに備え、
前記レシピ算出部の算出するレシピは、前記薬液処理機構で前記被処理体を処理する薬液処理工程をさらに有することが好ましい。
【０００７】
本発明による処理装置において、
前記延長可能液処理機構は、延長可能液であるリンス液によって前記被処理体を処理するリンス液処理機構を有することが好ましい。
【０００８】
本発明による処理装置において、
前記延長可能液処理機構は、延長可能液である剥離液によって前記被処理体を処理する剥離液処理機構を有することが好ましい。
【０００９】
本発明による処理装置において、
前記共有取扱部は、前記薬液処理機構にオゾン水を供給するオゾン水供給部を有することが好ましい。
【００１０】
本発明による処理装置において、
前記共有取扱部は、前記リンス液処理機構にオゾン水を供給するオゾン水供給部を有することが好ましい。
【００１１】
本発明による処理装置において、
前記共有取扱部は、前記リンス液処理機構に加熱した純水を供給する加熱ＤＩＷ供給部を有することが好ましい。
【００１２】
本発明による処理装置において、
前記共有取扱部は、前記被処理体を移動させる搬送機構を有することが好ましい。
【００１３】
本発明による処理装置において、
前記延長可能液処理機構は、複数の延長可能液処理部からなり、
各延長可能液処理部で延長された時間の合計が、共有取扱工程をシフトさせた時間と等しくなることが好ましい。
【００１４】
本発明による処理方法は、
延長可能液処理機構によって、前記被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理工程と、
共有取扱部で一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と、
前記一の共有取扱工程の後で行われ、前記共有取扱部で他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程と、を備え、
一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする。
【００１５】
本発明によるコンピュータプログラムは、
延長可能液処理機構および共有取扱部を有する処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムにおいて、
前記処理方法が、
前記延長可能液処理機構によって、前記被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理工程と、
前記共有取扱部で一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と、
前記一の共有取扱工程の後で行われ、前記共有取扱部で他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程と、を備え、
一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする方法からなっている。
【００１６】
本発明による記憶媒体は、
延長可能液処理機構および共有取扱部を有する処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記処理方法が、
前記延長可能液処理機構によって、前記被処理体を延長可能液で処理する延長可能液処理工程と、
前記共有取扱部で一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と、
前記一の共有取扱工程の後で行われ、前記共有取扱部で他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程と、を備え、
一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする方法からなっている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、共有取扱部が一の被処理体を取り扱う一の共有取扱工程と当該共有取扱部が他の被処理体を取り扱う他の共有取扱工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についての延長可能液処理工程を延長し、かつ、延長可能液処理工程を延長した分だけ他の共有取扱工程をシフトさせることによって、一の共有取扱工程と他の共有取扱工程とが時間的に重複しないようにする。このため、被処理体へ悪影響を及ぼすことなく、被処理体を連続して処理する際におけるスループットを向上させることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
第１の実施の形態
以下、本発明に係る処理装置、処理方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図３（ａ）（ｂ）は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００１９】
図１に示すように、処理装置は、筐体１と、筐体１内に設けられ、複数のウエハ（以下、ウエハ群とも呼ぶ）が収納されているキャリア（図示せず）を搬入出するためのキャリア搬入出部（図示せず）と、当該キャリア搬入出部からキャリアを受け取って保管するキャリアストック部（図示せず）と、処理するときにキャリアストック部に保管されたウエハ群が移動されるキャリア搬入出ステージ３と、当該キャリア搬入出ステージ３からウエハ群を取り出す第一搬送機構５と、当該第一搬送機構５からウエハ群を受け取るローダ部２１と、を備えている。このうち、キャリア搬入出ステージ３は、第一搬送機構５が接近すると開状態となり、第一搬送機構５が離れると閉状態となるキャリア搬入扉３ａを有している。
【００２０】
また、図１に示すように、処理装置は、第一薬液でウエハを処理する第一薬液処理部３０と、第二薬液でウエハを処理する第二薬液処理部３５とを有する薬液処理機構と、第一リンス液でウエハを処理する第一リンス液処理部４０と、第二リンス液でウエハを処理する第二リンス液処理部４５とを有するリンス液処理機構と、を備えている。
【００２１】
このうち、第一薬液処理部３０は、第一薬液を貯留した第一薬液槽３１と、後述する第二搬送機構１０からウエハ群を受け取って第一薬液槽３１内にウエハ群を搬送する第一薬液昇降機構３２とを有している。また、第二薬液処理部３５は、第二薬液を貯留した第二薬液槽３６と、第二搬送機構１０からウエハ群を受け取って第二薬液槽３６内にウエハ群を搬送する第二薬液昇降機構３７とを有している。
【００２２】
また、第一リンス液処理部４０は、第一リンス液を貯留した第一リンス液槽４１と、第二搬送機構１０からウエハ群を受け取って第一リンス液槽４１内にウエハ群を搬送する第一リンス液昇降機構４２とを有している。また、第二リンス液処理部４５は、第二リンス液を貯留した第二リンス液槽４６と、第二搬送機構１０からウエハ群を受け取って第二リンス液槽４６内にウエハ群を搬送する第二リンス液昇降機構４７とを有している。
【００２３】
ところで、本願において薬液とは、後述する剥離液を除くエッチング液などを意味しており、薬液としては、例えば、濃厚フッ酸、希フッ酸、アンモニア過水(ＳＣ１)、塩酸過水(ＳＣ２)、リン酸などを用いることができる。他方、リンス液としては、例えば、純水（ＤＩＷ）、オゾン水などを用いることができる。この点、本実施の形態では、第一薬液として希フッ酸を用い、第二薬液としてＳＣ１を用い、第一リンス液および第二リンス液として純水を用いた態様によって、以下説明する。
【００２４】
図１に示すように、処理装置は、第二リンス液処理部４５に隣接した位置に設けられ、ウエハを乾燥させる乾燥部６０と、第一薬液処理部３０に隣接した位置に設けられ、後述する第二搬送機構（搬送機構）１０を洗浄する搬送機構洗浄部６５と、を備えている。
【００２５】
なお、本実施の形態の乾燥部６０は、図１に示すように、第三リンス液（本実施の形態では純水）を収容する第三リンス液槽６１と、当該第三リンス液槽６１の上方に設けられた乾燥室６３と、第三リンス液槽６１と乾燥室６３との間に開閉自在に設けられたシャッタ（図示せず）と、第三リンス液槽６１と乾燥室６３との間を昇降する乾燥昇降機構６２と、を有している。また、乾燥室６３には、ＩＰＡなどの乾燥液を供給する乾燥液供給部（図示せず）と、Ｎ２などの不活性ガスを供給する不活性ガス供給部（図示せず）が設けられている。
【００２６】
また、図１に示すように、処理装置は、ローダ部２１に載置されたウエハ群を当該ローダ部２１から持ち上げるとともに、搬送機構洗浄部６５、第一薬液処理部３０、第一リンス液処理部４０、第二薬液処理部３５、第二リンス液処理部４５および乾燥部６０間で、当該ウエハ群を移動させる第二搬送機構（搬送機構）１０を備えている。なお、本実施の形態では、この第二搬送機構１０が、一のウエハ群と他のウエハ群を順次取り扱う共有取扱部を構成している。
【００２７】
また、図１に示すように、処理装置は、乾燥部６０で乾燥された後のウエハ群を、第二搬送機構１０から受け取るアンローダ部２２も備えている。なお、このアンローダ部２２に載置されたウエハ群は、第一搬送機構５によって持ち上げられて、キャリア搬入出ステージ３へと搬送されるように構成されている。
【００２８】
ところで、本実施の形態において、後述する処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムが記憶媒体５２に格納されている（図１参照）。そして、処理装置は、記憶媒体５２を受け付けるコンピュータ５５と、当該コンピュータ５５からの信号を受けて、処理装置自身を制御する制御装置５０とを備えている。このため、記憶媒体５２をコンピュータ５５に挿入する（または取り付ける）ことで、制御装置５０によって、後述する一連の液処理方法を液処理装置に実行させることができる。なお、本願において記憶媒体５２とは、ＣＤ，ＤＶＤ，ＭＤ，ハードディスク、ＲＡＭなどを意味している。
【００２９】
また、制御装置５０は、後述する、ローダ載置工程ａ１，ｂ１，ｃ１、第一薬液搬送工程ａ２，ｂ２，ｃ２、第一薬液処理工程ａ３，ｂ３，ｃ３、第一リンス液搬送工程ａ４，ｂ４，ｃ４、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５、第二薬液搬送工程ａ６，ｂ６，ｃ６、第二薬液処理工程ａ７，ｂ７，ｃ７、第二リンス液搬送工程ａ８，ｂ８，ｃ８、第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９、乾燥搬送工程ａ１０，ｂ１０，ｃ１０、第三リンス液処理工程ａ１１，ｂ１１，ｃ１１、乾燥処理工程ａ１２，ｂ１２，ｃ１２およびアンローダ載置工程ａ１３，ｂ１３，ｃ１３を有するレシピを算出するレシピ算出部５１を有している（図１および図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３０】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００３１】
まず、第一搬送機構５がキャリア搬入出ステージ３に接近し、キャリア搬入扉３ａが開状態となる。その後、第一搬送機構５によって、キャリア搬入出ステージ３内に載置されたウエハ群（例えば２５枚のウエハ）が取り出された後で、キャリア搬入扉３ａが閉状態となる（図１参照）。
【００３２】
次に、第一搬送機構５が、ローダ部２１に向かって９０°回転されつつ、ウエハ群をその面が鉛直方向に延在するように回転させる。その後、面が鉛直方向に延在した状態のウエハがローダ部２１に載置される（図１参照）。
【００３３】
次に、上述した工程を再度繰り返して、さらに複数（例えば２５枚）のウエハをローダ部２１に載置させる。このとき、先に載置させたウエハと今回載置させるウエハとは、入れ子状に載置されることとなり、ウエハがキャリアに収納されていたピッチの１／２のピッチからなるウエハ群が形成される（ローダ載置工程ａ１，ｂ１，ｃ１）（図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３４】
次に、第二搬送機構１０によって、複数（例えば５０枚）のウエハからなるウエハ群（一の被処理体）は、ローダ部２１から持ち上げられ、その後、第一薬液処理部３０まで搬送される（第一薬液搬送工程ａ２，ｂ２，ｃ２）（図２の（１）と、図３（ａ）（ｂ）参照）。そして、当該第一薬液処理部３０において、第一薬液昇降機構３２によって、ウエハ群が第二搬送機構１０から受け取られ、第一薬液槽３１内に搬送される（図１参照）。このことによって、ウエハ群は、希フッ酸（第一薬液）によって処理されることとなる（第一薬液処理工程ａ３，ｂ３，ｃ３）（図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３５】
次に、第一薬液昇降機構３２によって、ウエハ群が上昇され、第一薬液槽３１内から搬出される。そして、第二搬送機構１０によって、ウエハ群が第一薬液昇降機構３２から受け取られ、第一リンス液処理部４０に搬送される（第一リンス液搬送工程ａ４，ｂ４，ｃ４）（図２の（２）と、図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３６】
次に、第一リンス液処理部４０において、第一リンス液昇降機構４２によって、ウエハ群が第二搬送機構１０から受け取られ、第一リンス液槽４１内に搬送される（図１参照）。このことによって、ウエハ群は、純水（第一リンス液）によって処理されることとなる（第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５）（図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３７】
次に、第一リンス液昇降機構４２によって、ウエハ群が上昇され、第一リンス液槽４１内から搬出される。そして、第二搬送機構１０によって、ウエハ群が第一リンス液昇降機構４２から受け取られ、第二薬液処理部３５に搬送される（第二薬液搬送工程ａ６，ｂ６，ｃ６）（図２の（３）と、図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３８】
次に、第二薬液処理部３５において、第二薬液昇降機構３７によって、ウエハ群が第二搬送機構１０から受け取られ、第二薬液槽３６内に搬送される。このことによって、ウエハ群は、ＳＣ１（第二薬液）によって処理されることとなる（第二薬液処理工程ａ７，ｂ７，ｃ７）（図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００３９】
次に、第二薬液昇降機構３７によって、ウエハ群が上昇され、第二薬液槽３６内から搬出される。そして、第二搬送機構１０によって、ウエハ群が第二薬液昇降機構３７から受け取られ、第二リンス液処理部４５に搬送される（第二リンス液搬送工程ａ８，ｂ８，ｃ８）（図２の（４）と、図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００４０】
次に、第二リンス液処理部４５において、第二リンス液昇降機構４７によって、ウエハ群が第二搬送機構１０から受け取られ、第二リンス液槽４６内に搬送される。このことによって、ウエハ群は、純水（第二リンス液）によって処理されることとなる（第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９）（図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００４１】
次に、第二リンス液昇降機構４７によって、ウエハ群が上昇され、第二リンス液槽４６内から搬出される。そして、第二搬送機構１０によって、ウエハ群が第二リンス液昇降機構４７から受け取られ、乾燥部６０に搬送される（乾燥搬送工程ａ１０，ｂ１０，ｃ１０）（図２の（５）と、図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００４２】
次に、乾燥部６０において、乾燥昇降機構６２によって、ウエハ群が第二搬送機構１０から受け取られ、第三リンス液槽６１内に搬送される。このことによって、ウエハ群は、純水（第三リンス液）によって処理されることとなる（第三リンス液処理工程）。
【００４３】
次に、乾燥昇降機構６２によってウエハ群が上昇される。そして、上昇されたウエハ群に、ＩＰＡなどの乾燥液が供給された後で、Ｎ２などの不活性ガスが供給され、当該ウエハ群は乾燥される（乾燥工程）。なお、本実施の形態では、以下、上述の第三リンス液処理工程と乾燥工程とを合わせて乾燥処理工程ａ１１，ｂ１１，ｃ１１と呼ぶ（図３（ａ）（ｂ）参照）。
【００４４】
次に、第二搬送機構１０によって、ウエハ群が乾燥昇降機構６２から受け取られ、当該ウエハ群はアンローダ部２２に搬送され（アンローダ搬送工程ａ１２，ｂ１２，ｃ１２）、当該アンローダ部２２に載置される（アンローダ載置工程ａ１３，ｂ１３，ｃ１３）（図２の（６）と、図３（ａ）（ｂ）参照）。その後、ウエハ群は、第一搬送機構５によって持ち上げられて、キャリア搬入出ステージ３へと搬送される。他方、第二搬送機構１０からアンローダ部２２にウエハ群が受け渡されると、第二搬送機構１０はローダ部２１に移動される（図２の（７）参照）。
【００４５】
上述したような一連の工程は、次に処理されるウエハ群（他の被処理体）にも施される。そして、スループットを高めるために、先に処理されるウエハ群（一の被処理体）を処理する工程と、次に処理されるウエハ群（他の被処理体）を処理する工程は、合間を縫って行われる。
【００４６】
このことについて、以下具体的に説明するが、説明のため、先に処理されるウエハ群（一番目のウエハ群）に施される工程には、「工程」の前に「先」を付け、次に処理されるウエハ群（二番目のウエハ群）に施される工程には、「工程」の前に「中」を付け、さらにその後に処理されるウエハ群（三番目のウエハ群）に施される工程には「工程」の前に「後」を付けて説明する。
【００４７】
すなわち、先に処理されるウエハ群（一番目のウエハ群）には、ローダ載置先工程ａ１、第一薬液搬送先工程ａ２、第一薬液処理先工程ａ３、第一リンス液搬送先工程ａ４、第一リンス液処理先工程ａ５、第二薬液搬送先工程ａ６、第二薬液処理先工程ａ７、第二リンス液搬送先工程ａ８、第二リンス液処理先工程ａ９、乾燥搬送先工程ａ１０、乾燥処理先工程ａ１１、アンローダ搬送先工程ａ１２およびアンローダ載置先工程ａ１３が順次行われる。
【００４８】
また、次に処理されるウエハ群（二番目のウエハ群）には、ローダ載置中工程ｂ１、第一薬液搬送中工程ｂ２、第一薬液処理中工程ｂ３、第一リンス液搬送中工程ｂ４、第一リンス液処理中工程ｂ５、第二薬液搬送中工程ｂ６、第二薬液処理中工程ｂ７、第二リンス液搬送中工程ｂ８、第二リンス液処理中工程ｂ９、乾燥搬送中工程ｂ１０、乾燥処理中工程ｂ１１、アンローダ搬送中工程ｂ１２およびアンローダ載置中工程ｂ１３が順次行われる。
【００４９】
さらに、その後に処理されるウエハ群（三番目のウエハ群）には、ローダ載置後工程ｃ１、第一薬液搬送後工程ｃ２、第一薬液処理後工程ｃ３、第一リンス液搬送後工程ｃ４、第一リンス液処理後工程ｃ５、第二薬液搬送後工程ｃ６、第二薬液処理後工程ｃ７、第二リンス液搬送後工程ｃ８、第二リンス液処理後工程ｃ９、乾燥搬送後工程ｃ１０、乾燥処理後工程ｃ１１、アンローダ搬送後工程ｃ１２およびアンローダ載置後工程ｃ１３が順次行われる。
【００５０】
ところで、レシピ算出部５１が、（各工程をシフトさせたり延長させたりせずに）既に決められたレシピを、同じ部材（特に第二搬送機構１０）の利用時間が重複しないように組み合わせると、図３（ａ）に示すようになる。
【００５１】
ここでは、まず、一番目のウエハ群についてのレシピが決定される。次に、二番目のウエハ群について、搬送先工程ａ２，ａ４，ａ６，ａ８，ａ１０，ａ１２（以下、搬送先工程ａ２−ａ１２と示す）と搬送中工程ｂ２，ｂ４，ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２（以下、搬送中工程ｂ２−ｂ１２と示す）が時間的に重複しないようにレシピが決定される。最後に、三番目のウエハ群について、搬送先工程ａ２−ａ１２と搬送中工程ｂ２−ｂ１２と搬送後工程ｃ２，ｃ４，ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２（以下、搬送後工程ｃ２−ｃ１２と示す）が時間的に重複しないようにレシピが決定される。
【００５２】
このように、図３（ａ）に示す態様では、レシピ内に含まれる工程をシフトさせたり延長させたりせずに、三番目のウエハ群のレシピ全体を時間的に後にシフトさせている。このため、三番目のウエハ群を処理する時間が大幅に遅れてしまい、ウエハ群を連続して処理する際におけるスループットが悪くなる。
【００５３】
これに対して、本実施の形態によるレシピ算出部５１は、第二搬送機構１０が一の被処理体を取り扱う一の搬送工程と、当該第二搬送機構１０が他の被処理体を取り扱う他の搬送工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体についてのリンス液処理工程を延長し、かつ、リンス液処理工程を延長した分だけ当該リンス液処理工程よりも時間的に後方に位置する他の搬送工程をシフトさせることによって、一の搬送工程と他の搬送工程とが時間的に重複しないようにする。
【００５４】
より具体的に図３（ｂ）に示した態様で説明すると、レシピ算出部５１は、まず、一番目のウエハ群についてのレシピを決定する。
【００５５】
次に、レシピ算出部５１は、二番目のウエハ群について、搬送先工程ａ２−ａ１２と搬送中工程ｂ２−ｂ１２が時間的に重複しないようにレシピを決定する。このとき、第一リンス液処理中工程ｂ５以降に行われる搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をずらすことで、二番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くなる場合には、第一リンス液処理中工程ｂ５を延長し、かつ、搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をシフトさせる。
【００５６】
なお、ずらされる搬送中工程が第二リンス液処理中工程ｂ９以降に行われる場合（ずらされる搬送中工程が搬送中工程ｂ１０，ｂ１２の場合）には、第一リンス液処理中工程ｂ５ではなく第二リンス液処理中工程ｂ９を延長してもよいし、第一リンス液処理中工程ｂ５と第二リンス液処理中工程ｂ９の両方を延長してもよい。ここで、第一リンス液処理中工程ｂ５と第二リンス液処理中工程ｂ９の両方が延長される際には、第一リンス液処理中工程ｂ５と第二リンス液処理中工程ｂ９で延長された時間の合計は、搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をシフトさせた時間と等しくなる。
【００５７】
この点、本実施の形態では、第一リンス液処理中工程ｂ５以降に行われる搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をずらすことで、二番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くならないことから、レシピ算出部５１は、レシピ内に含まれる工程をシフトさせたり延長させたりせずに、搬送先工程ａ２−ａ１２と搬送中工程ｂ２―ｂ１２が時間的に重複しないように決定されたレシピを算出することとなる。
【００５８】
次に、レシピ算出部５１は、三番目のウエハ群について、搬送先工程ａ２−ａ１２と搬送中工程ｂ２―ｂ１２と搬送後工程ｃ２―ｃ１２が時間的に重複しないようにレシピを決定する。このとき、第一リンス液処理後工程ｃ５以降に行われる搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらすことで、三番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くなる場合には、第一リンス液処理後工程ｃ５を延長し、かつ、搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をシフトさせる。
【００５９】
なお、ずらされる搬送後工程が第二リンス液処理後工程ｃ９以降に行われる場合（ずらされる搬送後工程が搬送後工程ｃ１０，ｃ１２の場合）には、第一リンス液処理後工程ｃ５ではなく第二リンス液処理後工程ｃ９を延長してもよいし、第一リンス液処理後工程ｃ５と第二リンス液処理後工程ｃ９の両方を延長してもよい。ここで、第一リンス液処理後工程ｃ５と第二リンス液処理後工程ｃ９の両方が延長される際には、第一リンス液処理後工程ｃ５と第二リンス液処理後工程ｃ９で延長された時間の合計は、搬送工程をシフトさせた時間と等しくなる。
【００６０】
本実施の形態では、第一リンス液処理後工程ｃ５以降に行われる搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらすことで、三番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くなることから、レシピ算出部５１は、例えば図３（ｂ）に示すように、第一リンス液処理後工程ｃ５をＥ１だけ延長し、かつ、第二薬液搬送後工程ｃ６と当該薬液搬送後工程ｃ６より後の工程をずらすレシピを算出することとなる。
【００６１】
このため、本実施の形態によれば、三番目のウエハ群のレシピ全体を時間的に後にシフトさせた場合（図３（ａ）参照）と比較して、連続してウエハ群を処理する際におけるスループットを向上させることができる（図３（ｂ）参照）。
【００６２】
すなわち、レシピ内に含まれる工程をシフトさせたり延長させたりせずに既に決まったレシピを組み合わせるだけでは、どうしても搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２で重複部分が発生してしまうため、レシピ全体を後にずらす必要が出てきてしまい、連続してウエハ群を処理する場合でのスループットが悪くなってしまう。これに対して、本実施の形態のように、レシピ内に含まれる搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２を適宜シフトさせることによって、第二搬送機構１０が利用されていない時間を有効に用いることができ、連続してウエハ群を処理する場合でのスループットを向上させることができる。
【００６３】
さらに、本実施の形態では延長する工程がリンス液処理工程（より具体的には第一リンス液処理後工程ｃ５）からなっているので、延長することによるウエハへの悪影響を防止することができる。すなわち、例えば薬液処理工程ｃ３，ｃ７の時間を延長する場合には、薬液によって各ウエハがオーバーエッチングされるおそれがあるが、リンス液に予定時間よりも長時間浸されていたとしても各ウエハにはこのような悪影響が出ることはない。
【００６４】
ところで、本実施の形態では、リンス液を供給するリンス液処理部４０，４５を用いて説明したが、これに限られることなく、リンス液処理部４０，４５の代わりに、薬液を供給した後でリンス液を供給するＰＯＵ槽を用いてもよい。このようなＰＯＵ槽でも、ウエハは、最終的にはリンス液で処理されることとなるので、オーバーエッチングされるおそれはない。
【００６５】
また、上記の態様において、第二搬送機構１０は、搬送機構洗浄部６５によって、適宜洗浄されてもよい。
【００６６】
すなわち、第二搬送機構１０は、第一薬液搬送工程ａ２，ｂ２，ｃ２（図２の（１）参照）と第一リンス液搬送工程ａ４，ｂ４，ｃ４（図２の（２）参照）の間、第一リンス液搬送工程ａ４，ｂ４，ｃ４（図２の（２）参照）と第二薬液搬送工程ａ６，ｂ６，ｃ６（図２の（３）参照）の間、第二薬液搬送工程ａ６，ｂ６，ｃ６（図２の（３）参照）と第二リンス液搬送工程ａ８，ｂ８，ｃ８（図２の（４）参照）の間、第二リンス液搬送工程ａ８，ｂ８，ｃ８（図２の（４）参照）と乾燥搬送工程ａ１０，ｂ１０，ｃ１０（図２の（５）参照）の間、乾燥搬送工程ａ１０，ｂ１０，ｃ１０（図２の（５）参照）とアンローダ載置工程ａ１３，ｂ１３，ｃ１３（図２の（６）参照）の間、および、アンローダ載置工程ａ１３，ｂ１３，ｃ１３（図２の（６）参照）とウエハ群がローダ部２１に移動される工程（図２の（７）参照）の間の各々において、必要に応じて適宜、搬送機構洗浄部６５まで移動され、当該搬送機構洗浄部６５で洗浄された後で、元の位置に戻ってきてもよい。
【００６７】
なお、上記では、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５と第二リンス液処理後工程ａ９，ｂ９，ｃ９を延長してもよい旨述べたが、これに限られることなく、例えば、第三リンス液処理工程、乾燥工程、または、第三リンス液処理工程と乾燥工程の両方を延長する態様を用いることもできる。このうち、乾燥工程を延長する場合には、ウエハ群への影響が少ないことから、ＩＰＡなどの乾燥液を供給する工程を延長するよりもＮ２などの不活性ガスを供給する工程を延長する方が好ましい。
【００６８】
第２の実施の形態
次に、図４および図５（ａ）（ｂ）により、本発明の第２の実施の形態について説明する。図４および図５（ａ）（ｂ）に示す第２の実施の形態は、第一リンス液処理部４０と第二リンス液処理部４５にオゾン水を供給するオゾン水供給部７１をさらに備えたものであり、当該オゾン水供給部７１も第二搬送機構１０と同様に共有取扱部を構成するものである。その他の構成は図１乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００６９】
図４および図５（ａ）（ｂ）に示す第２の実施の形態において、図１乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７０】
本実施の形態では、第一リンス液処理部４０でウエハを処理している間と、第二リンス液処理部４５でウエハを処理している間の両方で、オゾン水供給部７１が用いられる。このため、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２同士だけでなく、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５と第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９も時間的に重複しないように調整される（図５（ａ）（ｂ）で点線で示したａ９’，ｂ９’，ｃ９’参照）。
【００７１】
レシピ算出部５１が、（各工程をシフトさせたり延長させたりせずに）既に決められたレシピを、同じ部材（特に、第二搬送機構１０、第一リンス液処理部４０および第二リンス液処理部４５）の利用時間が重複しないように組み合わせると、図５（ａ）に示すようになる。
【００７２】
ここでは、まず、一番目のウエハ群についてのレシピが決定される。次に、二番目のウエハ群について、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２同士と、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５および第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９同士が時間的に重複しないようにレシピが決定される。最後に、三番目のウエハ群について、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２同士と、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５および第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９同士が時間的に重複しないようにレシピが決定される。
【００７３】
このように、図５（ａ）に示す態様では、レシピ内に含まれる工程をシフトさせたり延長させたりせずに、三番目のウエハ群のレシピ全体を時間的に後にシフトさせている。このため、三番目のウエハ群を処理する時間が大幅に遅れてしまい、ウエハ群を連続して処理する際におけるスループットが悪くなる。
【００７４】
これに対して、本実施の形態によるレシピ算出部５１は、第二搬送機構１０が一の被処理体を取り扱う一の搬送工程と、当該第二搬送機構１０が他の被処理体を取り扱う他の搬送工程とが時間的に重複する場合、または、オゾン水供給部７１が一の被処理体を取り扱う一の第一リンス液処理工程および一の第二リンス液処理工程と、当該第二搬送機構１０が他の被処理体を取り扱う他の第一リンス液処理工程および他の第二リンス液処理工程とが時間的に重複する場合には、他の被処理体についてのリンス液処理工程を延長し、かつ、リンス液処理工程を延長した分だけ当該リンス液処理工程よりも時間的に後方に位置する他の搬送工程をシフトさせることによって、搬送工程同士と、第一リンス液処理工程および第二リンス液処理工程同士が、時間的に重複しないようにする。
【００７５】
より具体的に図５（ｂ）に示した態様で説明すると、レシピ算出部５１は、まず、一番目のウエハ群についてのレシピを決定する。
【００７６】
次に、レシピ算出部５１は、二番目のウエハ群について、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２同士と、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５および第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９同士が、時間的に重複しないようにレシピを決定する。このとき、第一リンス液処理中工程ｂ５以降に行われる搬送中工程をずらすことで、二番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くなる場合には、第一リンス液処理中工程ｂ５を延長し、かつ、搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をシフトさせる。
【００７７】
なお、ずらされる搬送中工程が第二リンス液処理中工程ｂ９以降に行われる場合（ずらされる搬送中工程が搬送中工程ｂ１０，ｂ１２の場合）には、第一リンス液処理中工程ｂ５ではなく第二リンス液処理中工程ｂ９を延長してもよいし、第一リンス液処理中工程ｂ５と第二リンス液処理中工程ｂ９の両方を延長してもよい。ここで、第一リンス液処理中工程ｂ５と第二リンス液処理中工程ｂ９の両方が延長される際には、第一リンス液処理中工程ｂ５と第二リンス液処理中工程ｂ９で延長された時間の合計は、搬送工程をシフトさせた時間と等しくなる。
【００７８】
本実施の形態では、第一リンス液処理後工程ｃ５以降に行われる搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらすことで、二番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くなることから、レシピ算出部５１は、例えば図５（ｂ）に示すように、第一リンス液処理後工程ｃ５をＥ２だけ延長し、かつ、第二薬液搬送後工程ｃ６と当該薬液搬送後工程ｃ６より後の工程をずらすレシピを算出することとなる。
【００７９】
次に、レシピ算出部５１は、三番目のウエハ群について、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２同士と、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５および第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９同士が時間的に重複しないようにレシピを決定する。このとき、第一リンス液処理後工程ｃ５以降に行われる搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらすことで、三番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くなる場合には、第一リンス液処理後工程ｃ５を延長し、かつ、搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をシフトさせる。
【００８０】
なお、ずらされる搬送後工程が第二リンス液処理後工程ｃ９以降に行われる場合（ずらされる搬送後工程が搬送後工程ｃ１０，ｃ１２の場合）には、第一リンス液処理後工程ｃ５ではなく第二リンス液処理後工程ｃ９を延長してもよいし、第一リンス液処理後工程ｃ５と第二リンス液処理後工程ｃ９の両方を延長してもよい。ここで、第一リンス液処理後工程ｃ５と第二リンス液処理後工程ｃ９の両方が延長される際には、第一リンス液処理後工程ｃ５と第二リンス液処理後工程ｃ９で延長された時間の合計は、搬送工程をシフトさせた時間と等しくなる。
【００８１】
この点、本実施の形態では、リンス液処理後工程ｃ５，ｃ９以降に行われる搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらすことで、（ずらさない場合と比較して）三番目のウエハ群について処理の終了する時間が早くならないことから、レシピ算出部５１は、レシピ内に含まれる工程をシフトさせたり延長させたりせずに、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２同士と、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５および第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９同士が時間的に重複しないように決定されたレシピを算出することとなる。
【００８２】
上述のように、本実施の形態では、二番目のウエハ群についての処理を時間的に前方にずらすことができるので、ウエハ群を連続して処理する際におけるスループットを向上させることができる（図５（ａ）（ｂ）参照）。さらに、本実施の形態でも延長する工程がリンス液処理工程からなっているので、延長することによるウエハへの悪影響を防止することができる。
【００８３】
ところで、本実施の形態では、第一リンス液処理部４０でウエハを処理している間と、第二リンス液処理部４５でウエハを処理している間の両方で、オゾン水供給部７１が用いられる態様を用いて説明したが、これに限られることはない。例えば、第一リンス液処理部４０でウエハを処理している間と、第二リンス液処理部４５でウエハを処理している間と、第三リンス液処理部６１でウエハを処理している間の全てでオゾン水供給部７１が用いられる態様であっても良い。
【００８４】
この場合には、第二搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２同士と、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５、第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９および第三リンス液処理工程同士とが時間的に重複しないように、リンス液処理中工程ｂ５，ｂ９を延長するとともに、搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をずらしたり、リンス液処理後工程ｃ５，ｃ９を延長するとともに、搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらしたりすることとなる。
【００８５】
また、オゾン水を薬液に混ぜて利用することもできる。この場合にも、第一薬液処理工程ａ３，ｂ３，ｃ３同士（第一薬液処理部３０でオゾン水を利用する場合）、第二薬液処理工程ａ７，ｂ７，ｃ７同士（第二薬液処理部３５でオゾン水を利用する場合）、または、第一薬液処理工程ａ３，ｂ３，ｃ３および第二薬液処理工程ａ７，ｂ７，ｃ７同士（第一薬液処理部３０と第二薬液処理部３５の両方でオゾン水を利用する場合）が時間的に重複しないように、リンス液処理中工程ｂ５，ｂ９を延長するとともに、搬送中工程ｂ６，ｂ８，ｂ１０，ｂ１２をずらしたり、リンス液処理後工程ｃ５，ｃ９を延長するとともに、搬送後工程ｃ６，ｃ８，ｃ１０，ｃ１２をずらしたりすることとなる。
【００８６】
第３の実施の形態
次に、図６により、本発明の第３の実施の形態について説明する。図６に示す第３の実施の形態は、第一リンス液処理部４０と第二リンス液処理部４５にオゾン水を供給するオゾン水供給部７１の代わりに、第一リンス液処理部４０と第二リンス液処理部４５に加熱した純水を供給する加熱ＤＩＷ供給部７２を設けたものであり、当該加熱ＤＩＷ供給部７２が第二搬送機構１０と同様に共有取扱部を構成するものである。その他の構成は図４および図５に示す第２の実施の形態と略同一である。
【００８７】
図６に示す第３の実施の形態において、図１乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態および図４および図５に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８８】
本実施の形態では、第一リンス液処理部４０でウエハを処理している間と、第二リンス液処理部４５でウエハを処理している間の両方で、加熱ＤＩＷ供給部７２が用いられる。このため、第２の実施の形態と同様、搬送工程ａ２−ａ１２，ｂ２−ｂ１２，ｃ２−ｃ１２同士だけでなく、第一リンス液処理工程ａ５，ｂ５，ｃ５と第二リンス液処理工程ａ９，ｂ９，ｃ９も時間的に重複しないように調整される。
【００８９】
このため、本実施の形態でも、第２の実施の形態で述べた内容と同様の作用効果を奏することができ、ウエハへ悪影響を及ぼすことなく、ウエハ群を連続して処理する際におけるスループットを向上させることができる。
【００９０】
第４の実施の形態
次に、図７により、本発明の第４の実施の形態について説明する。図７に示す第４の実施の形態は、剥離液によってウエハ群を処理する剥離液処理機構８０をさらに備えたものである。本実施の形態において、剥離液処理機構８０は、リンス液処理部４０，４５とともに延長可能液処理機構を構成する。その他の構成は図１乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００９１】
図７に示す第４の実施の形態において、図１乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００９２】
本実施の形態では、複数のウエハ群がローダ部２１上に載置されているローダ載置工程ａ１，ｂ１，ｃ１と、ローダ部２１から持ち上げられたウエハ群が第一薬液処理部３０まで搬送される第一薬液搬送工程ａ２，ｂ２，ｃ２との間で、剥離液処理機構８０の剥離液によってウエハ群が処理されることとなる（剥離液処理工程）。なお、剥離液処理機構８０は、剥離液を貯留した剥離液槽８１と、第二搬送機構１０からウエハ群を受け取って剥離液槽８１内にウエハ群を搬送する剥離液昇降機構８２とを有している。
【００９３】
このような剥離液においては、剥離される対象物が決まっているので、予定時間よりも長時間浸されていたとしても、ウエハがオーバーエッチングされるようなことはない。このため、リンス液処理部４０，４５だけでなく、剥離液処理機構８０においても処理工程を延長することができる。
【００９４】
このため、レシピ算出部５１は、第二搬送機構１０が一の被処理体を取り扱う一の搬送工程と、当該第二搬送機構１０が他の被処理体を取り扱う他の搬送工程とが時間的に重複する場合に、他の被処理体について、剥離液処理工程を延長し、かつ、剥離液処理工程を延長した分だけ当該剥離液処理工程よりも時間的に後方に位置する他の搬送工程をシフトさせるか、または、リンス液処理工程を延長し、かつ、リンス液処理工程を延長した分だけ当該リンス液処理工程よりも時間的に後方に位置する他の搬送工程をシフトさせることによって、一の搬送工程と他の搬送工程とが時間的に重複しないようにする。
【００９５】
このため、本実施の形態でも、ウエハへ悪影響を及ぼすことなく、ウエハ群を連続して処理する際におけるスループットを向上させることができる。なお、本実施の形態では、剥離液処理工程が、第一薬液搬送工程よりも時間的に前に行われるので、シフトさせることができる搬送工程の対象が、第１の実施の形態と比較して多くなっている点で有益である。すなわち、第１の実施の形態では、シフトさせることができる搬送工程は、第二薬液搬送工程ｂ６，ｃ６以降の搬送工程であるのに対して、本実施の形態によれば、シフトさせることができる搬送工程は、第一薬液搬送工程ｂ２，ｃ２以降の搬送工程となっており、第一薬液搬送工程ｂ２，ｃ２および第一リンス液搬送中工程ｂ４，ｃ４もシフトさせることができる点で、第１の実施の形態と比較して有益である。
【００９６】
なお、本実施の形態の剥離液としては、例えばＨ２ＳＯ４とＨ２Ｏ２の混合液であるＳＰＭやＨ２ＳＯ４とＯ３の混合液であるＳＰＯＭなどを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１の実施の形態による処理装置の構成を示す概略図。
【図２】本発明の第１の実施の形態による処理装置による処理方法を説明するための概略図。
【図３】本発明の第１の実施の形態による処理装置のレシピ算出部によって算出されるレシピを示した図。
【図４】本発明の第２の実施の形態による処理装置の構成を示す概略図。
【図５】本発明の第２の実施の形態による処理装置のレシピ算出部によって算出されるレシピを示した図。
【図６】本発明の第３の実施の形態による処理装置の構成を示す概略図。
【図７】本発明の第４の実施の形態による処理装置の構成を示す概略図。
【符号の説明】
【００９８】
３        キャリア搬入出部
５        第一搬送機構
１０      第二搬送機構（搬送機構）
３０      第一薬液処理部
３１      第一薬液槽
３２      第一薬液昇降機構
３５      第二薬液処理部
３６      第二薬液槽
３７      第二薬液昇降機構
４０      第一リンス液処理部
４１      第一リンス液槽
４２      第一リンス液昇降機構
４５      第二リンス液処理部
４６      第二リンス液槽
４７      第二リンス液昇降機構
５０      制御装置
５１      レシピ算出部
５２      記憶媒体
５５      コンピュータ
６０      乾燥部
７１      オゾン水供給部
７２      加熱ＤＩＷ供給部
８０      剥離液処理機構
【図１】
2010153732.tif 000003
【図２】
2010153732.tif 000004
【図３】
2010153732.tif 000005
【図４】
2010153732.tif 000006
【図５】
2010153732.tif 000007
【図６】
2010153732.tif 000008
【図７】
2010153732.tif 000009