(57)【要約】【課題】機能液の配置むらを目立たなくして画質の低下を抑制する。【解決手段】複数のノズルを有するノズル列１１Ａ〜１１Ｄを複数用いて、複数の塗布領域７０７に液滴を複数吐出する。塗布領域に液滴を吐出するノズルが属するノズル列の組み合わせパターンを、複数の塗布領域で同一とする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するノズル列を複数用いて、複数の塗布領域に液滴を複数吐出する液滴吐出方法であって、
前記塗布領域に前記液滴を吐出する前記ノズルが属する前記ノズル列の組み合わせパターンを、前記複数の塗布領域で同一とすることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出方法において、
液滴吐出ヘッドに、前記複数のノズル列を並行して設け、
前記液滴吐出ヘッドが前記塗布領域に対して相対的に走査する方向と略直交する非走査方向に対して、前記液滴吐出ヘッドを傾けた状態で前記ノズルから前記液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
請求項１記載の液滴吐出方法において、
前記複数のノズル列を、複数の液滴吐出ヘッドに亘って並行して設け、
前記液滴吐出ヘッドと前記塗布領域との走査方向と略直交する非走査方向に対して、前記液滴吐出ヘッドを傾けた状態で前記ノズルから前記液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項２または３記載の液滴吐出方法において、
複数のノズル列のうち所定の一つの前記ノズルを、前記非走査方向に関して、他のノズル列のノズルの間に配置することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用いることを特徴とするカラーフィルター製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルター等の電気光学装置の製造方法としては、液滴吐出法を応用した方法が提案されている。この方法では、透明基板上に画素部に対応するパターンでマトリクス状に仕切りを形成した後、液滴吐出法を用いて液滴吐出ヘッドのノズルからＲ、Ｇ、Ｂの各色素を含有する着色液（以下液滴という）を仕切り内に吐出している。そして、液滴吐出時には基板上の仕切りより上方に盛り上がる程度に液滴を付与し、これを所定温度でベークし乾燥及び硬化させると体積が減り、仕切り内で平坦化させて着色層を形成する。
この方法によればＲ、Ｇ、Ｂの各着色層の形成を一度に行なうことができ、更に着色液の使用量にも無駄が生じないため大幅な生産性の向上、コストダウン等の効果を得ることができる。
【０００３】
上記の液滴吐出においては、液滴吐出ヘッドにおけるノズルピッチと、画素部の配列ピッチとが一致または整数倍にならないことが多いため、液滴吐出ヘッドを画素部の配列方向に対して傾けることにより、両ピッチを一致または整数倍にさせている。
さらに、吐出した液滴により形成するパターンの分解能を上げるために、複数の液滴吐出ヘッドを用いることで複数のノズルで形成されるノズル列を用い、ヘッド間で画素部の配列方向におけるノズルの位置（ノズル列の位相）をずらせる技術も開示されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１３８３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
ノズル列間で液滴の吐出量を調整しても、僅かながらの差は生じてしまう。
そのため、画素部に液滴を塗布するノズルが特定のノズル列に偏ると、その偏りの差に起因して周期的な筋状の濃淡むら（スジむら）として視認されてしまい表示品質が低下することになる。
【０００６】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、機能液の配置むらを目立たなくして画質の低下を抑制できる液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出方法は、複数のノズルを有するノズル列を複数用いて、複数の塗布領域に液滴を複数吐出する液滴吐出方法であって、前記塗布領域に前記液滴を吐出する前記ノズルが属する前記ノズル列の組み合わせパターンを、前記複数の塗布領域で同一とすることを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出方法では、複数のノズル列の間で吐出量に差が生じる場合でも、複数の塗布領域について、液滴を吐出するノズルが属するノズル列の組み合わせパターンが同一であることから、塗布領域に吐出される機能液の液滴の量を略同一とすることができる。
そのため、本発明では、筋状の濃淡むらが生じることを防止して画質の低下を抑制できる。
【０００８】
また、本発明では、液滴吐出ヘッドに、前記複数のノズル列を並行して設け、前記液滴吐出ヘッドが前記塗布領域に対して相対的に走査する方向と略直交する非走査方向に対して、前記液滴吐出ヘッドを傾けた状態で前記ノズルから前記液滴を吐出する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、吐出ヘッドに設けられたノズル列におけるノズルピッチと、非走査方向の塗布領域の配列ピッチが一致または整数倍となっていない場合でも、吐出ヘッドを非走査方向に対して傾けることにより、非走査方向についてノズルピッチと塗布領域の配列ピッチとを一致または整数倍にすることができ、不使用のノズルを設定することなく、効率的に液滴吐出処理を実施することが可能となる。
【０００９】
さらに、本発明では、前記複数のノズル列を、複数の液滴吐出ヘッドに亘って並行して設け、前記液滴吐出ヘッドと前記塗布領域との走査方向と略直交する非走査方向に対して、前記液滴吐出ヘッドを傾けた状態で前記ノズルから前記液滴を吐出する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数の吐出ヘッドに亘って設けられたノズル列におけるノズルピッチと、非走査方向の塗布領域の配列ピッチが一致または整数倍となっていない場合でも、各吐出ヘッドを非走査方向に対して傾けることにより、非走査方向についてノズルピッチと塗布領域の配列ピッチとを一致または整数倍にすることができ、不使用のノズルを設定することなく、功利的に液滴吐出処理を実施することが可能となる。
【００１０】
また、上記構成においては、複数のノズル列のうち所定の一つの前記ノズルを、前記非走査方向に関して、他のノズル列のノズルの間に配置する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、塗布領域の分解能を上げることができ、より高精細の表示装置等を得ることが可能になる。
【００１１】
そして、本発明のカラーフィルター製造方法は、先に記載の液滴吐出方法を用いることを特徴とするものである。
これにより、本発明では、筋状の濃淡むらが生じることを防止して画質の低下が抑制された高品質のカラーフィルターを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】アクティブマトリクス型の液晶装置の一例を示す図である。
【図２】アクティブマトリクス型の液晶装置の断面構成図である。
【図３】液滴吐出装置の一例を模式的に示す図である。
【図４】液滴吐出ヘッドをノズル面側から見た図である。
【図５】ピエゾ方式による液状材料の吐出原理を説明するための図である。
【図６】ノズル列におけるノズルの配置とフィルターエレメント形成領域との位置関係を示す模式図である。
【図７】液晶装置の製造方法を模式的に示す図である。
【図８】液晶装置の製造方法を模式的に示す図である。
【図９】電子機器の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法の実施の形態を、図１ないし図９を参照して説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
【００１４】
まず、本発明を用いて製造されるカラーフィルターを備えた液晶装置（電気光学装置）について説明する。
ここでは、アクティブマトリクス型の液晶装置の例を用いて説明する。
図１は、ＴＦＴをスイッチング素子に用いたアクティブマトリクス型の液晶装置（液晶表示装置）の一例を示すもので、（Ａ）はこの例の液晶表示装置の全体構成を示す斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）における一画素の拡大図である。
【００１５】
図１において、本実施形態の液晶装置（電気光学装置）５８０は、ＴＦＴ素子が形成された側の素子基板５７４と対向基板５７５とが対向配置され、これら基板５７４、５７５間にシール材５７３が額縁型に配置され、基板間のシール材５７３に囲まれた領域に液晶層（図示略）が封入されている。
【００１６】
素子基板５７４の液晶側表面上には、多数のソース線５７６（データ線）および多数のゲート線５７７（走査線）が互いに交差するように格子状に設けられている。各ソース線５７６と各ゲート線５７７の交差点の近傍にはＴＦＴ素子５７８が形成されており、各ＴＦＴ素子５７８を介して画素電極５７９が接続され、多数の画素電極５７９は平面視マトリクス状に配置されている。一方、対向基板５７５の液晶層側の表面上には、表示領域に対応してＩＴＯなどからなる透明導電材料製の共通電極５８５が形成されている。
【００１７】
ＴＦＴ素子５７８は、図１（Ｂ）に示すように、ゲート線５７７から延びるゲート電極５８１と、ゲート電極５８１を覆う絶縁膜（図示略）と、絶縁膜上に形成された半導体層５８２と、半導体層５８２中のソース領域に接続されたソース線５７６から延びるソース電極５８３と、半導体層５８２中のドレイン領域に接続されたドレイン電極５８４とを有している。そして、ＴＦＴ素子５７８のドレイン電極５８４が画素電極５７９に接続されている。
【００１８】
図２は、アクティブマトリクス型の液晶装置（液晶表示装置）の断面構成図である。
液晶装置５８０は、互いに対向するように配置された素子基板５７４と対向基板５７５と、これらの間に挟持された液晶層７０２と、対向基板５７５に付設された位相差板７１５ａ、偏光板７１６ａと、素子基板５７４に付設された位相差板７１５ｂ、偏光板７１６ｂとが備えられた液晶パネルを主体として構成されている。
さらに、素子基板５７４には液晶層７０２に駆動信号を供給するためのドライバＩＣ２１３が設けられており、また、偏光板７１６ｂの外側には、透過表示用光源となるバックライト２１４を備えている。
この液晶パネルに、電気信号を伝達するための配線類、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての液晶装置が構成される。
【００１９】
対向基板５７５は、石英やガラス等の光透過性の基板７４２と、この基板７４２に形成されたカラーフィルター７５１とを主体として構成されている。カラーフィルター７５１は、ブラックマトリクスやバンクなどからなる隔壁７０６と、フィルターエレメントとしての着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂと、基板７４２と着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂとの間に介装された親液層７１０と、隔壁７０６及び着色層７０３Ｒ，７０３Ｂ，７０３Ｇを覆う保護膜７０４と、を具備して構成されている。
【００２０】
隔壁７０６は、各着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂを形成する着色層形成領域であるフィルターエレメント形成領域（画素部）７０７をそれぞれ取り囲むように形成された格子状のもので、基板７４２の一面７４２ａに形成されている。
また、隔壁７０６は、例えば黒色感光性樹脂膜からなり、この黒色感光性樹脂膜としては例えば、通常のフォトレジストに用いられるようなポジ型若しくはネガ型の感光性樹脂と、カーボンブラック等の黒色の無機顔料あるいは黒色の有機顔料とを少なくとも含むものが用いられる。本実施の形態では、隔壁７０６として、フッ素樹脂等の撥液性を有する材料を用いている。また、この隔壁７０６は、黒色の無機顔料または有機顔料を含むもので、着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂの形成位置を除く部分に形成されているため、着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂ同士の間の光の透過を遮断でき、従ってこの隔壁７０６は、遮光膜としての機能も有する。
【００２１】
着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂは、隔壁７０６の内壁と基板７４２に渡って設けられたフィルターエレメント形成領域７０７に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各フィルターエレメント材料（着色材）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により導入、すなわち吐出し、その後乾燥させることにより形成したものである。フィルターエレメント材料としては、例えば熱硬化性アクリル樹脂、有機顔料、ジエチレングリコールブチルエーテル誘導体等の溶剤等からなるものを用いることができる。
【００２２】
また、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料からなる液晶駆動用の電極層７０５が保護膜７０４の略全面にわたって形成されている。さらにこの液晶駆動用の電極層７０５を覆って配向膜７１９ａが設けられており、また、素子基板５７４側の画素電極５７９上にも配向膜７１９ｂが設けられている。
【００２３】
素子基板５７４は、石英やガラス等の光透過性の基板７１４上に図示略の絶縁層が形成され、さらにこの絶縁層の上に、ＴＦＴ素子５７８と画素電極５７９が形成されてなるものである。また、基板７１４上に形成された絶縁層上には、先の図１に示したように、マトリクス状に複数の走査線と複数の信号線とが形成され、これら走査線と信号線とに囲まれた領域毎に先の画素電極５７９が設けられ、各画素電極５７９と走査線及び信号線とが電気的に接続される位置にＴＦＴ素子５７８が組み込まれており、走査線と信号線に対する信号の印加によってＴＦＴ素子５７８をオン・オフして画素電極５７９への通電制御が行われる。また、対向基板５７５側に形成された電極層７０５はこの実施形態では画素領域全体をカバーする全面電極とされている。尚、ＴＦＴの配線回路や画素電極形状には様々なものを適用できる。
【００２４】
素子基板５７４と対向基板５７５とは、対向基板５７５の外周縁に沿って形成されたシール材５７３によって所定の間隙を介して貼り合わされている。なお、符号７５６は両基板間の間隔（セルギャップ）を基板面内で一定に保持するためのスペーサである。素子基板５７４と対向基板５７５との間には、平面視略額縁状のシール材５７３によって矩形の液晶封入領域が区画形成され、この液晶封入領域内に、液晶が封入されている。
【００２５】
続いて、上記カラーフィルター７５１を製造する際に用いる液滴吐出装置について説明する。
図３は、液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。
液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド１と、Ｘ軸方向駆動軸４と、Ｙ軸方向ガイド軸５と、制御装置ＣＯＮＴと、ステージ７と、クリーニング機構８と、基台９と、ヒータ１５とを備えている。
ステージ７は、この液滴吐出装置ＩＪによりインク（液体材料）を設けられる基板Ｐを支持するものであって、基板Ｐを基準位置に固定する不図示の固定機構を備えている。
【００２６】
液滴吐出ヘッド１は、複数の吐出ノズルを備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドであり、長手方向とＹ軸方向とを一致させている。複数の吐出ノズルは、液滴吐出ヘッド１の下面にＹ軸方向に並んで一定間隔で設けられている。液滴吐出ヘッド１の吐出ノズルからは、ステージ７に支持されている基板Ｐに対して、上述した着色材を含むインクの液滴が吐出される。
【００２７】
図４は液滴吐出ヘッド１をノズル面側（基板Ｐとの対向面側）から見た図である。図４に示すように、液滴吐出ヘッド１は、複数のヘッド部２１と、これらヘッド部２１を搭載したキャリッジ部２２とを備えている。ヘッド部２１のノズル面２４には液状材料の液滴を吐出する複数の吐出ノズル（ノズル）１０が設けられている。
【００２８】
ヘッド部２１（ノズル面２４）のそれぞれは平面視矩形状であって、吐出ノズル１０は、ノズル面２４にヘッド部２１の長手方向に沿って一定間隔で列状に複数（例えば、１列１８０ノズル、合計３６０ノズル）配置されてノズル列１１を形成している。ノズル列１１は、ヘッド部２１の幅方向に間隔をあけて並行配置されたノズル列１１Ａ、１１Ｂから構成されている。また、ヘッド部２１は、吐出ノズル１０を基板１０１側に向けるとともに、基板Ｐとの走査方向（相対移動方向）であるＹ軸に対して所定角度傾いた状態で略Ｙ軸方向に沿って列状に、且つＸ軸方向に所定間隔をあけて２列に配置された状態でキャリッジ部２２に複数（図４では１列６個、合計１２個）位置決めされて支持されている（−Ｙ側に位置するヘッド部２１に形成されたノズル列については符合１１Ｃ、１１Ｄを付している）。
【００２９】
また、キャリッジ部２２に支持されたヘッド部２１は、図６に模式図として示すように、非走査方向であるＸ方向に関して、符合Ａ〜Ｄで示す各ノズル列１１Ａ〜１１Ｄにおける吐出ノズル１０の位置が、他のノズル列の吐出ノズル１０の間に配置されるように位置決めされている。
【００３０】
ここで、液滴吐出ヘッド１は、この液滴吐出ヘッド１のＹ軸方向に対する取り付け角度を調整可能な角度調整機構（不図示）を備えている。この角度調整機構により、液滴吐出ヘッド１はＹ軸方向に対する角度θを可変とする。角度調整機構を駆動することにより、吐出ノズル１０のそれぞれをＹ軸方向に並んで配置したり、吐出ノズル１０の並び方向のＹ軸に対する角度を調整でき、ノズル間のピッチを調節することが出来る。また、基板Ｐとノズル面との距離を任意に調節することが出来るようにしてもよい。
【００３１】
図３に戻り、Ｘ軸方向駆動軸４には、Ｘ軸方向駆動モータ２が接続されている。Ｘ軸方向駆動モータ２はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ軸方向駆動軸４を回転させる。Ｘ軸方向駆動軸４が回転すると、液滴吐出ヘッド１はＸ軸方向に移動する。
Ｙ軸方向ガイド軸５は、基台９に対して動かないように固定されている。ステージ７は、Ｙ軸方向駆動モータ３を備えている。Ｙ軸方向駆動モータ３はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＹ軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ７をＹ軸方向に移動する。
【００３２】
制御装置ＣＯＮＴは、液滴吐出ヘッド１に液滴の吐出制御用の電圧を供給する。また、Ｘ軸方向駆動モータ２に液滴吐出ヘッド１のＸ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、Ｙ軸方向駆動モータ３にステージ７のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を供給する。
クリーニング機構８は、液滴吐出ヘッド１をクリーニングするものである。クリーニング機構８には、図示しないＹ軸方向の駆動モータが備えられている。このＹ軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構は、Ｙ軸方向ガイド軸５に沿って移動する。クリーニング機構８の移動も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
ヒータ１５は、ここではランプアニールにより基板Ｐを熱処理する手段であり、基板Ｐ上に塗布された液体材料に含まれる溶媒の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ１５の電源の投入及び遮断も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００３３】
液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド１と基板Ｐを支持するステージ７とを相対的に走査しつつ基板Ｐに対して液滴を吐出する。ここで、以下の説明において、Ｙ軸方向を走査方向、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向を非走査方向とする。したがって、液滴吐出ヘッド１の各ノズル列１１Ａ、１１Ｂは、非走査方向であるＸ軸方向に傾いて配列されている。
【００３４】
図５は、ピエゾ方式による液体材料の吐出原理を説明するための図である。
図５において、液体材料を収容する液体室１２１に隣接してピエゾ素子１２２が設置されている。液体室１２１には、液体材料を収容する材料タンクを含む液体材料供給系１２３を介して液体材料が供給される。ピエゾ素子１２２は駆動回路１２４に接続されており、この駆動回路１２４を介してピエゾ素子１２２に電圧を印加し、ピエゾ素子１２２を変形させることにより、液体室１２１が変形し、ノズル１０から液体材料が吐出される。この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子１２２の歪み量が制御される。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１２２の歪み速度が制御される。
なお、液滴吐出方式としては、液体材料を加熱し発生した泡（バブル）により液体材料を吐出させるバブル（サーマル）方式でも採用可能であるが、ピエゾ方式による液滴吐出は材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
【００３５】
次に、上記液滴吐出装置ＩＪを用いてカラーフィルター７５１を製造する手順について説明する。  図７及び図８は、カラーフィルター７５１の製造方法の一例を説明するための図である。
【００３６】
まず、図７（ａ）に示すように、透明の基板７４２の一方の面に対し、隔壁７０６（ブラックマトリクス）を形成する。この隔壁７０６を形成する際には、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色樹脂）を、スピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いてパターニングする。あるいは、インクジェットプロセスを用いることもできる。
なお、リソグラフィ法を使用する場合は、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート、バーコート、スリットコート等所定の方法で隔壁の高さに合わせて有機材料を塗布し、その上にレジスト層を塗布する。そして、隔壁形状に合わせてマスクを施しレジストを露光・現像することにより隔壁形状に合わせたレジストを残す。最後にエッチングしてマスク以外の部分の隔壁材料を除去する。また、下層が無機物で上層が有機物で構成された２層以上で隔壁を形成してもよい。
【００３７】
続いて、親液性の酸化チタン微粒子をアルコールに分散させた酸化チタン分散液（親液性液状体；石原産業株式会社製ST-K211）を液滴吐出ヘッド１からフィルターエレメント形成領域（塗布領域）７０７内に吐出・着弾させる。
酸化チタン微粒子としては、平均粒径が１〜５００ｎｍであることが好ましく、特に５〜１００ｎｍが望ましい。また、分散媒としてはアルコール類、例えばメタノール、エタノール、ｉ−プロパノール、ｎ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｉ−ブタノール、ｔ−ブタノール、メトキシエタノール、エトキシエタノール、エチレングリコール等を例示でき、これら２種以上を組み合わせて使用することも可能である。
【００３８】
ここで、フィルターエレメント形成領域７０７に向けて吐出された酸化チタン分散液は、隔壁７０６が撥液性を有しているため、隔壁７０６の上面に着弾した場合でも隔壁７０６からはじかれて画素部であるフィルターエレメント形成領域７０７内に導入される。また、この分散液はアルコールが分散媒であるため、フィルターエレメント形成領域７０７に導入された後に直ちに蒸発・乾燥して、図７（ｂ）に示すように、透明層として製膜される。このようにして、複数のフィルターエレメント形成領域７０７の全てに対して親液層７１０を形成する。
【００３９】
次に、図７（ｃ）に示すように、Ｒの液滴７９０Ｒ（液状体、機能液）を複数吐出し、これを基板７４２上の親液層７１０に着弾させる。
なお、フィルターエレメント形成領域７０７に吐出する液滴７９０Ｒの量については、加熱工程における液状体の体積減少を考慮した十分な量とする。
【００４０】
ここで、各フィルターエレメント形成領域７０７に、例えば８滴の液滴７９０Ｒを吐出する場合、図６中の左端に位置するフィルターエレメント形成領域７０７（符合７０７αとする）に対しては、走査方向（走査経路上）に位置するノズル列１１Ａ、１１Ｂに属するノズル（Ａ、Ｂ）から液滴７９０Ｒを吐出し、その隣りのフィルターエレメント形成領域７０７（符合７０７βとする）に対しては、同様に走査方向に位置するノズル列１１Ｃ、１１Ｄに属するノズル（Ｃ、Ｄ）から液滴７９０Ｒを吐出することが考えられるが、この場合には、フィルターエレメント形成領域７０７α、７０７βでは、液滴７９０Ｒを吐出するノズルが属するノズル列が異なる組み合わせパターンとなる。
【００４１】
そこで、本実施形態では、例えばフィルターエレメント形成領域７０７αに対してノズル列１１Ａ、１１Ｂに属する吐出ノズル１０（Ａ、Ｂ）から液滴７９０Ｒを吐出した後に、ノズル列１１Ａ〜１１Ｄ（液滴吐出ヘッド１）を基板Ｐに対してＸ方向に相対移動（フィード）させ、ノズル列１１Ｃ、１１Ｄに属する吐出ノズル１０（Ｃ、Ｄ）をフィルターエレメント形成領域７０７αの走査方向（走査経路上）に位置決めし、その後、フィルターエレメント形成領域７０７αに対してノズル列１１Ｃ、１１Ｄに属する吐出ノズル１０（Ｃ、Ｄ）から液滴７９０Ｒを吐出する。
これにより、フィルターエレメント形成領域７０７αに対しては、ノズル列１１Ａ〜１１Ｄに属するノズル１０からそれぞれ２滴ずつの液滴７９０Ｒが吐出・塗布されることになる。
そして、Ｒの液滴７９０Ｒを吐出する他のフィルターエレメント形成領域７０７に対しても、同様に、ノズル列１１Ａ〜１１Ｄに属するノズル１０からそれぞれ２滴ずつの液滴７９０Ｒを吐出・塗布する。
【００４２】
次いで、液状体の仮焼成を行い、図８（ｄ）に示すようなＲ着色層７０３Ｒとする。以上の工程を、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色について繰り返し、図８（ｅ）に示すように、着色層７０３Ｇ，７０３Ｂを順次形成する。着色層７０３Ｇ，７０３Ｂを形成する際にも、着色層７０３Ｒと同様に、フィルターエレメント形成領域７０７に対して液滴を吐出・塗布するノズル１０が属するノズル列１１Ａ〜１１Ｄの組み合わせパターンを複数のフィルターエレメント形成領域７０７で同一とする。
そして、着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂを全て形成した後、着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂを一括して焼成する。
【００４３】
次に、基板７４２を平坦化し、かつ着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂを保護するため、図８（ｆ）に示すように各着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂや隔壁７０６を覆うオーバーコート膜（保護膜）７０４を形成する。この保護膜７０４の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層７０３Ｒ，７０３Ｇ，７０３Ｂの場合と同様に液滴吐出プロセスを用いることもできる。
【００４４】
以上のように、本実施の形態では、フィルターエレメント形成領域７０７に対して液滴を吐出・塗布するノズル１０が属するノズル列１１Ａ〜１１Ｄの組み合わせパターンを、複数のフィルターエレメント形成領域７０７で同一としているため、ノズル列１１Ａ〜１１Ｄの間で液滴の吐出量に差が生じていても、各フィルターエレメント形成領域７０７における液滴の総和を略同一とすることができる。そのため、本実施形態では、液滴量の差に起因する周期的な筋状の濃淡むら（スジむら）の発生を抑制することが可能となり、表示品質の低下を防止できる。
【００４５】
また、本実施形態では、複数のノズル列１１Ａ〜１１Ｄを、液滴吐出ヘッド１に並行して設け、非走査方向であるＸ方向に対して、液滴吐出ヘッド１を傾けた状態で吐出ノズル１０から液滴を吐出するため、液滴吐出ヘッド１に設けられたノズル列１１Ａ〜１１Ｄにおけるノズルピッチと、非走査方向のフィルターエレメント形成領域７０７の配列ピッチが一致または整数倍となっていない場合でも、非走査方向についてノズルピッチとフィルターエレメント形成領域７０７の配列ピッチとを一致または整数倍にすることができ、不使用のノズルを設定することなく、効率的に液滴吐出処理を実施することが可能となる。これは、本実施形態のように、ノズル列が複数の液滴吐出ヘッド１に亘って設けられる場合や、単数の液滴吐出ヘッド１に複数のノズル列を設ける場合でも同様である。
【００４６】
また、本実施形態では、各ノズル列１１Ａ〜１１Ｄにおけるノズル１０を、非走査方向に関して、他のノズル列のノズルの間に配置しているため、フィルターエレメント形成領域７０７の分解能を上げることができ、より高精細の表示装置等を得ることが可能になる。
【００４７】
（電子機器）
続いて、上記実施形態に係るカラーフィルターを備えた電子機器について説明する。
図９（ａ）〜（ｃ）は、本発明の電子機器の実施の形態例を示している。
本例の電子機器は、本発明に係るカラーフィルターを有する液晶装置を表示手段として備えている。
図９（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図９（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体（電子機器）を示し、符号１００１は上記の液晶装置を用いた表示部を示している。
図９（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図９（ｂ）において、符号１１００は時計本体（電子機器）を示し、符号１１０１は上記の液晶装置を用いた表示部を示している。
図９（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図９（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置（電子機器）、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記の液晶装置を用いた表示部を示している。
図９（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、本発明の液晶装置を表示手段として備えているので、高精細の微細パターニングが可能で高品質の表示特性を有する電子機器を得ることができる。
【００４８】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４９】
例えば、上記実施形態では、フィルターエレメント形成領域７０７に対して液滴を吐出・塗布するノズル１０を有するノズル列の組み合わせパターンとして、同数の滴数を吐出するパターンとしたが、これに限定されるものではなく、全てのフィルターエレメント形成領域７０７においてノズル列の組み合わせパターンが同一であれば、液滴を吐出するノズル列の数が同数である必要はなく、例えば８滴の液滴を吐出する場合に、ノズル列１１Ａ、１１Ｂのノズル１０は３滴ずつで、ノズル列１１Ｃ、１１Ｄのノズル１０は１滴ずつであってもよい。
【００５０】
一方、上記実施の形態では、アクティブマトリクス型の液晶装置の例を用いて説明したが、パッシブマトリクス型の液晶装置にも適用可能である。
さらに、フィルターエレメント形成領域７０７の形成パターンとしては、ストライプ型の例を図示したが、ストライプ型の他に、モザイク型、デルタ型、あるいはスクウェア型などでもよい。
また、本実施形態におけるフィルターエレメント形成領域７０７の配色は、ＲＧＢ系を採用したが、ＲＧＢ系に限らず、ＹＭＣ系であっても構わない。なお、Ｙはイエロー、Ｍはマゼンタ、Ｃはシアンである。
【００５１】
また、上記実施形態では、表示装置として液晶表示装置を例示したが、これに限定されるものではなく、他の表示装置、例えば有機ＥＬパネル等、画素部に塗布する機能性液体の量が表示品質に影響を及ぼす表示装置に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１…吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）、  １０…吐出ノズル（ノズル）、  １１、１１Ａ〜１１Ｄ…ノズル列、  ７０７…フィルターエレメント形成領域（塗布領域）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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