(57)【要約】【課題】複数のプローブの先端を一括して研磨しテーパー加工が行うことが可能な、プローブ先端の加工方法を提供する。【解決手段】基板とガイド板の間にブロックを挟んで、上記基板、ブロック、ガイド板を固定し、上記基板及びガイド板に設けられた穴に、基板側から複数のプローブを挿入し、上記ガイド板から上記プローブの先端が突出した状態で、上記プローブの後端を上記基板に固定し、上記プローブを固定後、上記ブロックを取り外し、上記ガイド板の穴に上記プローブが挿入された状態で、上記ガイド板を下方へ移動して上記基板の表面に直接固定し、上記基板の表面に、上記ガイド板から突出しているプローブよりも高さが低い治具をセットし、上記治具の頂部より上記プローブの先端が突出した状態で、上記治具の上を表面に研磨紙を貼り付けた平面板を移動させて、上記平面板の表面の研磨紙に上記プローブの先端を接触させて上記プローブを曲げた状態で、上記研磨紙にて上記プローブの先端を研磨し、テーパー加工を行う。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板とガイド板の間にブロックを挟んで、上記基板、ブロック、ガイド板を固定し、上記基板及びガイド板に設けられた穴に、基板側から複数のプローブを挿入し、上記ガイド板から上記プローブの先端が突出した状態で、上記プローブの後端を上記基板に固定し、
上記プローブを固定後、上記ブロックを取り外し、上記ガイド板の穴に上記プローブが挿入された状態で、上記ガイド板を下方へ移動して上記基板の表面に直接固定し、
上記基板の表面に、上記ガイド板から突出しているプローブよりも高さが低い治具をセットし、
上記治具の頂部より上記プローブの先端が突出した状態で、上記治具の上を表面に研磨紙を貼り付けた平面板を移動させて、上記平面板の表面の研磨紙に上記プローブの先端を接触させて上記プローブを曲げた状態で、上記研磨紙にて上記プローブの先端を研磨し、テーパー加工を行うことを特徴とするプローブ先端の加工方法。
【請求項２】
上記平面板を上記プローブの先端に対して、互いに垂直な２方向に往復移動させて上記プローブの先端を研磨し、さらに、上記２方向に対してそれぞれ４５°となる２方向に往復移動させて上記プローブの先端を研磨することを特徴とする請求項１に記載のプローブ先端の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブの先端をテーパー形状にするためのプローブ先端の加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの検査を行う際に、プローブカードに設けられたプローブの先端を半導体デバイス上の電極に対して接触させて検査を行う。
【０００３】
プローブとしては、スプリングプローブやカンチレバープローブが知られている。スプリングプローブは、回路基板やデバイスの検査において、電気特性を測定するために電極等に接触させる。一方、カンチレバープローブは、先端の尖った部分で電極に被覆された酸化薄膜を意識的に傷つけ、接触抵抗を低下させて電気特性を測定する。これらのプローブの先端の形状として、例えば円錐形状、角錐形状、Ｒ形状、フラット形状、クラウン形状、カップ形状等が知られている。
【０００４】
なお、このようなプローブに関する一般的な技術としては様々な方法（特許文献１から３参照）が、知られている。
【特許文献１】特開２０００−２２７４４４号公報
【特許文献２】特開２０００−３４６８９７号公報
【特許文献３】特開平１１−５１９７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プローブの先端を円錐状あるいは角錐状に加工する場合、針研削機を用いて１ピンずつ削って加工を行っている。このような従来の方法では、１時間当り約２００ピンの研磨を行うのが精一杯で、外観検査を含めると１時間当り１００ピン程度しか加工することができず、作業効率が非常に悪いという問題があった。
【０００６】
そこで本発明は、上述のような問題に対し、複数のプローブの先端を一括して研磨しテーパー加工が行うことが可能な、プローブ先端の加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のプローブ先端の加工方法は、基板とガイド板の間にブロックを挟んで、上記基板、ブロック、ガイド板を固定し、上記基板及びガイド板に設けられた穴に、基板側から複数のプローブを挿入し、上記ガイド板から上記プローブの先端が突出した状態で、上記プローブの後端を上記基板に固定し、上記プローブを固定後、上記ブロックを取り外し、上記ガイド板の穴に上記プローブが挿入された状態で、上記ガイド板を下方へ移動して上記基板の表面に直接固定し、上記基板の表面に、上記ガイド板から突出しているプローブよりも高さが低い治具をセットし、上記治具の頂部より上記プローブの先端が突出した状態で、上記治具の上を表面に研磨紙を貼り付けた平面板を移動させて、上記平面板の表面の研磨紙に上記プローブの先端を接触させて上記プローブを曲げた状態で、上記研磨紙にて上記プローブの先端を研磨し、テーパー加工を行うことを特徴とする。
【０００８】
さらに、上記平面板を上記プローブの先端に対して、互いに直角な２方向に往復移動させて上記プローブの先端を研磨し、さらに、上記２方向に対して斜め４５°の２方向に往復移動させて上記プローブの先端を研磨する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のプローブ先端の加工方法は、基板とガイド板の間にブロックを挟んで、上記基板、ブロック、ガイド板を固定し、上記基板及びガイド板に設けられた穴に、基板側から複数のプローブを挿入し、上記ガイド板から上記プローブの先端が突出した状態で、上記プローブの後端を上記基板に固定し、上記プローブを固定後、上記ブロックを取り外し、上記ガイド板の穴に上記プローブが挿入された状態で、上記ガイド板を下方へ移動して上記基板の表面に直接固定し、上記基板の表面に、上記ガイド板から突出しているプローブよりも高さが低い治具をセットし、上記治具の頂部より上記プローブの先端が突出した状態で、上記治具の上を表面に研磨紙を貼り付けた平面板を移動させて、上記平面板の表面の研磨紙に上記プローブの先端を接触させて上記プローブを曲げた状態で、上記研磨紙にて上記プローブの先端を研磨し、テーパー加工を行うことにより、複数のプローブを一括して研磨しテーパー加工することが可能となり、作業効率が大幅に改善される。
【００１０】
さらに、記平面板を上記プローブの先端に対して、互いに直角な２方向に往復移動させて上記プローブの先端を研磨し、さらに、上記２方向に対して斜め４５°の２方向に往復移動させて上記プローブの先端を研磨することにより、より正確なテーパー加工を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に図を用いて本発明のプローブ先端の加工方法について詳しく説明する。
【００１２】
まず初めに、図１に示すような、先端を加工する前のプローブ１を用意する。上記プローブ１の先端は、図９（ａ）に示すように、フラットな状態であり、断面形状は円形或いは矩形である。また後端は折り曲げ形状となっている。そして、上記プローブ１の先端を加工するために、基板３、基板３上にセットするブロック４、プローブ１を保持するためのガイド板５、プローブ２の先端を研磨するために表面に研磨紙８を貼り付けた平面板７、上記平面板７を動かすための駆動装置１０、上記平面板７を上記基板３に対して所定の間隔に保つための治具９からなる研磨装置２を用意する。
【００１３】
上記研磨装置２に上記プローブ１をセットするために、上記研磨装置２を、図２に示すように、上記基板３の表面に上記ブロック４を載せ、さらに上記ブロック４の上に上記ガイド板５を載せて、ボルト６によって、上記基板３、上記ブロック４、上記ガイド板５を固定する。この時、上記基板３と上記ガイド板５が平行になるように配置し、さらに、上記基板３および上記ガイド板５に設けた、上記プローブ１を挿入するための穴１１，１２が上下に重なるように配置する。
【００１４】
上記研磨装置２を上述のような状態にセットしたら、上記プローブ１を上記基板３側から上記穴１１に挿入し、さらに上記ガイド板５の穴１２へと挿入して、上記プローブ１の先端が上記ガイド板５から突出する状態とする。そして、図３に示すように、上記プローブ２の後端を上記基板３の背面にはんだ１３によって固定する。図３には２本のプローブ２が示されているが、このようなプローブ２を複数列配置することで、同時に加工するプローブの数を調整することができる。また、ブロック４の間隔を広げて、さらに多数のプローブ２を配置することも可能である。
【００１５】
上記プローブ１の上記基板３への固定が完了したら、上記ブロック４を取り外し、上記プローブ１が上記ガイド板５の穴１２に挿入された状態で、上記ガイド板５を下方へと移動させ、上記基板３に設けられた凹部１４に上記ガイド板５を固定する。これによって、上記プローブ１は、図４に示すように、上記基板３の上方に突出した状態となるが、この時の上記プローブ１の突出量をここでは１２ｍｍとする。
【００１６】
次に、図５に示すように、上記基板３の上に、上記治具９をセットする。この時、上記治具９の高さは、上記プローブ１の突出量よりも小さくなるように設定する。上記治具９の高さが上記プローブ１の研磨後の形状に大きく影響を与える要素であり、ここでは、上記治具９の高さを７ｍｍとする。これにより、上記プローブ１が上記治具９の頂部より突出する突出量は５ｍｍとなる。
【００１７】
そして、駆動装置１０により、表面に９μｍの厚さの研磨紙８が貼り付けられた平面板７を上記治具９の上を図６に示す矢印の方向に移動させる。この時、上記プローブ１は上記治具９の頂部よりも突出しているので、上記平面板７が矢印の方向に移動すると、上記プローブ１は、上記平面板７の表面の上記研磨紙８と接触して、その後、図７に示すように、曲げられた状態となる。
【００１８】
このように上記プローブ１の先端が上記研磨紙８と接触して曲げられた状態で、図７に示すように、上記駆動装置１０によって、上記平面板７を左右に移動させ、上記プローブ１の先端を研磨する。さらに、上記平面板７を移動させる方向を最初の移動方向に対して垂直な方向に変えて、上記プローブ１の先端を研磨する。このような２方向（図８（ａ）に矢印で示す方向）の研磨を行うと、上記プローブ１の先端は、先端が丸くなった四角錐状に研磨される。
【００１９】
続いて、上述の２方向に対して、４５°回転させた２方向（図８（ｂ）に矢印で示す方向）に上記平面板７を移動させ、上記プローブ１の先端の研磨を行う。そうすると、図９（ｂ）に示すように、上記プローブ１の先端は先端が丸くなった円錐状に研磨される。このようにして、最初は図９（ａ）に示すようなフラットであった上記プローブ２の先端は、図９（ｂ）に示すようなテーパー加工が施され、先端が丸くなった円錐状となる。
【００２０】
所定の形状に上記プローブ１の先端が研磨できたら、上記駆動装置１０を停止させて、研磨を終了する。そして、はんだ１３を除去し、プローブ１の先端の加工が完了する。
【００２１】
このように、本発明のプローブ先端の加工方法は、複数のプローブを同時に研磨し加工することができるので、作業効率を大幅に向上することができる。
【００２２】
また、上記治具９の高さ、あるいは、上記プローブ１の上記基板３からの突出量を変化させて、上記治具９からの上記プローブ１の突出量を調整することで、上記プローブ１の先端のテーパー形状を変化させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】プローブの側面図である
【図２】研磨装置の最初の状態の概略断面図である
【図３】プローブを研磨装置にセットした状態の概略断面図である
【図４】研磨装置からブロックを取り外した状態の概略断面図である
【図５】治具をセットした状態の概略断面図である
【図６】研磨紙を用いて研磨を開始する直前の状態の概略断面図である。
【図７】プローブ先端を研磨している状態の研磨装置の概略断面図である
【図８】プローブを上から見た時に研磨方向を矢印で示した図であり、（ａ）は最初の２方向を示す図であり、（ｂ）は最初の２方向から４５°回転させた２方向を示す図である
【図９】（ａ）は加工前のプローブ先端の斜視図であり、（ｂ）加工後のプローブ先端の斜視図である
【符号の説明】
【００２４】
１    プローブ
２    研磨装置
３    基板
４    ブロック
５    ガイド板
６    ボルト
７    平面板
８    研磨紙
９    治具
１０  駆動装置
１１  穴
１２  穴
１３  はんだ
１４  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010122049.tif 000009
【図８】
2010122049.tif 000010
【図９】
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