(57)【要約】【課題】第１の基板搬送装置や第２の基板搬送装置が基板収容機構に効率的にアクセスすることができるようになり、このため単位時間あたりの基板の処理枚数を多くすることができる基板処理システムを提供する。【解決手段】ウエハ収容部３０において、複数のウエハＷを上下方向に互いに離間させて収容するウエハ収容機構３２が複数設けられており、各々のウエハ収容機構３２は移動自在となっている。各ウエハ収容機構３２は、第１のウエハ搬送装置５０によりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第１のウエハ受け渡し位置Ｐ、および第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓの間で駆動部３４、３５、３６、３８により移動させられるようになっている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う基板処理ユニットと、
複数の基板を上下方向に互いに離間させて収容する基板収容機構を複数有する基板収容部であって、各基板収容機構が移動自在となっているような基板収容部と、
前記基板収容部の各基板収容機構の駆動を行う駆動部と、
前記基板収容部の各基板収容機構に基板を搬送するとともに各基板収容機構から基板を取り出すための第１の基板搬送装置と、
前記基板処理ユニットと前記基板収容部の各基板収容機構との間で基板を搬送するための第２の基板搬送装置と、
を備え、
前記基板収容部の各基板収容機構は、前記第１の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする第１の基板受け渡し位置、および前記第２の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする第２の基板受け渡し位置の間で前記駆動部により移動させられるようになっていることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
前記基板処理ユニットは複数設けられており、各基板処理ユニットは上下方向に沿って設けられた複数のグループに区分けされるようになっており、
前記第２の基板搬送装置は、上下方向における前記各グループに対応するよう上下方向に複数段設けられており、各々の第２の基板搬送装置は、対応する前記グループの基板処理ユニットと前記基板収容部の各基板収容機構との間で基板を搬送するようになっており、
前記基板収容部の各基板収容機構は、前記第１の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする第１の基板受け渡し位置、および上下方向に複数段設けられた各々の前記第２の基板搬送装置によりそれぞれ基板が搬送されたり取り出されたりする上下方向に複数設けられた第２の基板受け渡し位置の間で前記駆動部により移動させられるようになっていることを特徴とする請求項１記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記駆動部は、前記基板収容部の各基板収容機構をその上下方向において反転させることができるようになっていることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記第１の基板搬送装置および前記第２の基板搬送装置は、それぞれ前記基板収容部において上下方向に反転させられた基板収容機構に対して基板を搬送したり基板を取り出したりすることができるようになっていることを特徴とする請求項３記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記基板収容部の各基板収容機構は予め設定された循環経路に沿ってそれぞれ前記駆動部により循環移動させられるようになっていることを特徴とする請求項３または４記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記基板収容部の各基板収容機構は、当該基板収容機構に収容される基板を上下方向から挟持するための把持機構を有し、前記駆動部が前記基板収容機構をその上下方向において反転させたときに当該基板収容機構に収容される基板が前記把持機構により上下方向から挟持されるようになっていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項７】
前記基板収容部の各基板収容機構は、当該基板収容機構に収容される複数の基板のうち隣り合う基板の間隔を変更することができるようになっており、前記基板収容機構が前記第１の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔と前記基板収容機構が前記第２の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔とが異なるようになっていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項８】
前記基板収容機構が前記第１の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔は、少なくとも前記第１の基板搬送装置がアクセスすることができる大きさとなっており、前記基板収容機構が前記第２の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔は、少なくとも前記第２の基板搬送装置がアクセスすることができる大きさとなっていることを特徴とする請求項７記載の基板処理システム。
【請求項９】
前記第１の基板搬送装置は、基板を保持するためのフォークを上下方向に沿って複数有し、前記基板収容部の各基板収容機構に基板を搬送したり各基板収容機構から基板を取り出したりする際に前記各フォークにより複数の基板を同時に搬送するようになっていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の基板に対して、処理液による液処理や処理ガスによるガス処理、あるいは洗浄処理や熱的処理等の処理を行うための基板処理システムに関し、とりわけ、単位時間あたりの基板の処理枚数を多くすることができる基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハ等の基板に対して、処理液による液処理や処理ガスによるガス処理、あるいは洗浄処理や熱的処理等の処理を行うための基板処理システムとして、様々な種類のものが知られている。このような基板処理システムには、基板の処理を行うための基板処理ユニットが複数設けられている。また、基板処理システムには、基板処理ユニットにより処理される前の基板、および基板処理ユニットにより処理された基板を一時的に収容するための基板収容部が設けられている。そして、基板搬送装置により、基板処理ユニットにより処理される前の基板を基板収容部から基板処理ユニットに搬送したり基板処理ユニットにより処理された基板を基板処理ユニットから基板収容部に搬送したりするようになっている。
【０００３】
具体的には、例えば、特許文献１には、半導体ウエハ等の基板の洗浄を行うための基板処理ユニットが複数（具体的には４つ）設けられた基板処理システムが開示されている。特許文献１に開示される基板処理システムにおいて、基板処理ユニットは上下方向に２段となるよう配置されている。そして、１つの基板搬送装置が、基板収容部から上下２段の各基板処理ユニットにそれぞれ基板を交互に搬送するとともに、上下２段の各基板処理ユニットから基板収容部にそれぞれ基板を交互に搬送するようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２７３０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えば特許文献１に示すような基板処理システムにおいて、１つの基板搬送装置により複数段の各基板処理ユニットと基板収容部との間で基板の搬送を行ったときには、以下に示すような問題がある。すなわち、この基板搬送装置は、基板収容部から各基板処理ユニットにそれぞれ基板を交互に搬送するとともに、各基板処理ユニットから基板収容部にそれぞれ基板を交互に搬送することとなるため、多数の基板を基板処理システムで処理しようとする際に基板収容部と各基板処理ユニットとの間での基板の搬送時間により基板処理システムの処理能力が律速してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、単位時間あたりの基板の処理枚数を多くすることができる基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の基板処理システムは、基板の処理を行う基板処理ユニットと、複数の基板を上下方向に互いに離間させて収容する基板収容機構を複数有する基板収容部であって、各基板収容機構が移動自在となっているような基板収容部と、前記基板収容部の各基板収容機構の駆動を行う駆動部と、前記基板収容部の各基板収容機構に基板を搬送するとともに各基板収容機構から基板を取り出すための第１の基板搬送装置と、前記基板処理ユニットと前記基板収容部の各基板収容機構との間で基板を搬送するための第２の基板搬送装置と、を備え、前記基板収容部の各基板収容機構は、前記第１の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする第１の基板受け渡し位置、および前記第２の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする第２の基板受け渡し位置の間で前記駆動部により移動させられるようになっていることを特徴とする。
【０００８】
このような基板処理システムによれば、基板収容機構が複数設けられており、各々の基板収容機構が、第１の基板搬送装置や第２の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする各々の基板受け渡し位置に移動するようになっているので、一の基板収容機構に対して第１の基板搬送装置および第２の基板搬送装置のうち一方の基板搬送装置がアクセスする間に他の基板収容機構に対して他方の基板搬送装置がアクセスすることができるようになり、複数の基板搬送装置が基板収容機構にアクセスする際にこれらの基板搬送装置が渋滞してしまうことを防止することができる。このことにより、第１の基板搬送装置や第２の基板搬送装置が基板収容機構に効率的にアクセスすることができるようになり、このため基板処理システムは単位時間あたりの基板の処理枚数を多くすることができるようになる。
【０００９】
本発明の基板処理システムにおいては、前記基板処理ユニットは複数設けられており、各基板処理ユニットは上下方向に沿って設けられた複数のグループに区分けされるようになっており、前記第２の基板搬送装置は、上下方向における前記各グループに対応するよう上下方向に複数段設けられており、各々の第２の基板搬送装置は、対応する前記グループの基板処理ユニットと前記基板収容部の各基板収容機構との間で基板を搬送するようになっており、前記基板収容部の各基板収容機構は、前記第１の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする第１の基板受け渡し位置、および上下方向に複数段設けられた各々の前記第２の基板搬送装置によりそれぞれ基板が搬送されたり取り出されたりする上下方向に複数設けられた第２の基板受け渡し位置の間で前記駆動部により移動させられるようになっていることが好ましい。
【００１０】
このような基板処理システムによれば、各々の基板収容機構が、第１の基板搬送装置や上下方向に複数段設けられた各々の第２の基板搬送装置により基板が搬送されたり取り出されたりする各々の基板受け渡し位置に移動するようになっているので、一の基板収容機構に対して第１の基板搬送装置および各々の第２の基板搬送装置のうち一の基板搬送装置がアクセスする間に他の基板収容機構に対して他の基板搬送装置がアクセスすることができるようになり、複数の基板搬送装置が基板収容機構にアクセスする際にこれらの基板搬送装置が渋滞してしまうことを防止することができる。このことにより、第１の基板搬送装置や各々の第２の基板搬送装置が基板収容機構に効率的にアクセスすることができるようになる。
【００１１】
本発明の基板処理システムにおいては、前記駆動部は、前記基板収容部の各基板収容機構をその上下方向において反転させることができるようになっていることが好ましい。このことにより、基板の反転を行う基板反転機構の設置を省略することができる。
【００１２】
この場合、前記第１の基板搬送装置および前記第２の基板搬送装置は、それぞれ前記基板収容部において上下方向に反転させられた基板収容機構に対して基板を搬送したり基板を取り出したりすることができるようになっていることがより好ましい。このことにより、第１の基板搬送装置や第２の基板搬送装置は、反転させられた状態での基板を搬送することができるようになる。
【００１３】
また、前記基板収容部の各基板収容機構は予め設定された循環経路に沿ってそれぞれ前記駆動部により循環移動させられるようになっていることがより好ましい。
【００１４】
また、前記基板収容部の各基板収容機構は、当該基板収容機構に収容される基板を上下方向から挟持するための把持機構を有し、前記駆動部が前記基板収容機構をその上下方向において反転させたときに当該基板収容機構に収容される基板が前記把持機構により上下方向から挟持されるようになっていることがより好ましい。このことにより、基板収容機構がその上下方向において反転させられた場合でも、基板収容機構に収容された基板が誤って基板収容機構から落下することを防止することができる。
【００１５】
本発明の基板処理システムにおいては、前記基板収容部の各基板収容機構は、当該基板収容機構に収容される複数の基板のうち隣り合う基板の間隔を変更することができるようになっており、前記基板収容機構が前記第１の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔と前記基板収容機構が前記第２の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔とが異なるようになっていることが好ましい。
【００１６】
この場合、前記基板収容機構が前記第１の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔は、少なくとも前記第１の基板搬送装置がアクセスすることができる大きさとなっており、前記基板収容機構が前記第２の基板受け渡し位置にあるときの当該基板収容機構に収容される基板の間隔は、少なくとも前記第２の基板搬送装置がアクセスすることができる大きさとなっていることがより好ましい。
【００１７】
本発明の基板処理システムにおいては、前記第１の基板搬送装置は、基板を保持するためのフォークを上下方向に沿って複数有し、前記基板収容部の各基板収容機構に基板を搬送したり各基板収容機構から基板を取り出したりする際に前記各フォークにより複数の基板を同時に搬送するようになっていることが好ましい。このことにより、第１の基板搬送装置により基板収容部に基板を搬送したり基板収容部から基板を取り出したりする動作をより効率的に行うことができるようになり、単位時間あたりの基板の処理枚数をより多くすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の基板処理システムによれば、第１の基板搬送装置や第２の基板搬送装置が基板収容機構に効率的にアクセスすることができるようになり、このため単位時間あたりの基板の処理枚数を多くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の一の実施の形態について説明する。図１乃至図９は、本実施の形態に係るウエハ処理システムを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態におけるウエハ処理システムの構成を示す上面図であり、図２は、図１に示すウエハ処理システムのＡ−Ａライン矢視による側面図である。また、図３は、図１に示すウエハ処理システムのウエハ収容部のＢ−Ｂライン矢視による側面図であり、図４は、図１に示すウエハ処理システムのＣ−Ｃライン矢視による側面図である。また、図５（ａ）〜（ｃ）は、図１に示すウエハ処理システムのウエハ収容部に設けられたウエハ収容機構の構成を示す概略側面図である。また、図６は、図５に示すウエハ収容機構の固定ステージの斜視図であり、図７は、図５に示すウエハ収容機構の移動ステージの斜視図であり、図８は、図５に示すウエハ収容機構の押さえステージの斜視図である。また、図９は、図１に示すウエハ処理システムにおける第１のウエハ搬送装置の構成を示す斜視図である。
【００２０】
図１等に示すように、本実施の形態のウエハ処理システム１０は、半導体ウエハ（以下、ウエハＷともいう）に洗浄処理や乾燥処理等の処理を行うための複数の（具体的には１２個の）ウエハ処理ユニット（ＳＰＩＮ）４０と、複数枚のウエハＷを一時的に収容するためのウエハ収容部３０と、複数枚（例えば２５枚）のウエハＷが上下方向に所定の間隔で水平状態に収容可能なフープ（ＦＯＵＰ；Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ、ウエハ格納用ポッド）２０と、を備えている。ここで、１２個のウエハ処理ユニット４０は、上下方向に沿って設けられた３つのグループに区分けされており、上部のグループ、中部のグループおよび下部のグループにはそれぞれウエハ処理ユニット４０が４つずつ設けられている。より具体的には、図１、図２および図４（とりわけ図２）に示すように、上部のグループにおいて、ウエハ処理ユニット４０ａは上下２段かつ各段に２つずつとなるよう設けられており、中部のグループにおいて、ウエハ処理ユニット４０ｂは上下２段かつ各段に２つずつとなるよう設けられている。同様に、下部のグループにおいて、ウエハ処理ユニット４０ｃは上下２段かつ各段に２つずつとなるよう設けられている。
【００２１】
また、ウエハ処理システム１０には、第１のウエハ搬送装置５０がフープ２０とウエハ収容部３０の間に設けられている。第１のウエハ搬送装置５０は、ウエハ処理ユニット４０により処理される前のウエハＷをフープ２０からウエハ収容部３０に搬送するとともに、ウエハ処理ユニット４０により処理されたウエハＷをウエハ収容部３０からフープ２０に搬送するようになっている。
【００２２】
また、図１や図２等に示すように、ウエハ処理システム１０には、上部のグループ、中部のグループおよび下部のグループに対応するよう、上下方向に沿って３つの第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃがそれぞれ設けられている。より具体的には、上部の第２のウエハ搬送装置６０ａは上部のグループに対応するよう設けられており、この上部のグループの各ウエハ処理ユニット４０ａとウエハ収容部３０との間でウエハＷを搬送するようになっている。また、中部の第２のウエハ搬送装置６０ｂは中部のグループに対応するよう設けられており、この中部のグループの各ウエハ処理ユニット４０ｂとウエハ収容部３０との間でウエハＷを搬送するようになっている。また、下部の第２のウエハ搬送装置６０ｃは下部のグループに対応するよう設けられており、この下部のグループの各ウエハ処理ユニット４０ｃとウエハ収容部３０との間でウエハＷを搬送するようになっている。
【００２３】
以下、ウエハ処理システム１０の各構成要素について詳述する。
【００２４】
図１および図４に示すように、ウエハ処理システム１０には、４つのフープ２０が並列に載置される載置台２５が設けられている。各フープ２０は、複数枚、例えば２５枚のウエハＷを上下方向に互いに離間して積み重ねるよう収容することができるようになっている。
【００２５】
次に、ウエハ収容部３０について図３および図５乃至図８を用いて説明する。図３等に示すように、ウエハ収容部３０は、上下一対のプーリ３４、３５に張架された無端状の循環ベルト３６と、循環ベルト３６に取り付けられた複数のウエハ収容機構３２とを有している。ここで、上下一対のプーリ３４、３５のうち一方のプーリ（例えば下方のプーリ３５）には駆動モータ３８が設けられており、当該駆動モータ３８によってプーリ３５が回転駆動させられることにより循環ベルト３６は図３の反時計回りに循環移動するようになっている。図３に示すように、循環ベルト３６は、上下方向（鉛直方向）に沿って延びる循環経路に沿って循環移動するようになっている。
【００２６】
なお、ウエハ収容部３０は、図１に示すように、第１のウエハ搬送装置５０側から見て（図１の左方から見て）右側部分３０ａおよび左側部分３０ｂから構成されており、図３に示すように、右側部分３０ａでは循環ベルト３６は上方に移動し、左側部分３０ｂでは循環ベルト３６は下方に移動するよう循環ベルト３６は循環移動するようになっている。ここで、循環ベルト３６に取り付けられたウエハ収容機構３２がウエハ収容部３０の左側部分３０ｂで移動させられる際に、このウエハ収容機構３２は上下方向に反転させられることとなる。
【００２７】
図３に示すように、各々のウエハ収容機構３２は循環ベルト３６に沿って等間隔に設けられている。各々のウエハ収容機構３２は、複数のウエハＷを上下方向に互いに離間させて収容するようになっている。ウエハ収容機構３２の具体的な構成について図５乃至図８を用いて説明する。
【００２８】
図５に示すように、ウエハ収容機構３２は、上下方向に延びる側板部材３２ａと、側板部材３２ａに直交するよう当該側板部材３２ａに取り付けられた複数の固定ステージ３２ｂと、各々の固定ステージ３２ｂの上方に設けられた複数の移動ステージ３２ｃと、各々の移動ステージ３２ｃの上方に設けられた複数の押さえステージ３２ｅとを有している。ここで、各固定ステージ３２ｂ上および各移動ステージ３２ｃ上にはウエハＷを載置することができるようになっている。また、ウエハ収容機構３２には、上下方向に延びる移動ステージ駆動軸３２ｄおよび上下方向に延びる押さえステージ駆動軸３２ｆが設けられており、各々の移動ステージ３２ｃは移動ステージ駆動軸３２ｄに取り付けられており、各々の押さえステージ３２ｅは押さえステージ駆動軸３２ｆに取り付けられている。
【００２９】
以下、ウエハ収容機構３２の各構成要素について詳述する。
ウエハ収容部３０の循環ベルト３６には複数の連結部材（図示せず）が等間隔で設けられており、側板部材３２ａは、各ステージ３２ｂ、３２ｃ、３２ｅが設けられた面とは反対側の面（図５における左側の面）において連結部材に着脱自在に取り付けられるようになっている。
【００３０】
各々の固定ステージ３２ｂは、その基端部（図５における左側の端部）が側板部材３２ａに取り付けられている。ここで、固定ステージ３２ｂ間の距離（図５における上下方向の距離）が同一となるよう、各固定ステージ３２ｂが側板部材３２ａに取り付けられている。図６に、各固定ステージ３２ｂの構成を斜視図で示す。図５および図６に示すように、固定ステージ３２ｂの上面（おもて面）には複数のウエハ保持ガイドピン３２ｇが設けられており、ウエハＷを固定ステージ３２ｂの各ウエハ保持ガイドピン３２ｇ上に保持することができるようになっている。
【００３１】
各々の移動ステージ３２ｃは、それぞれ対応する固定ステージ３２ｂの上方に設けられている。ここで、移動ステージ３２ｃ間の距離（図５における上下方向の距離）が同一となるよう、各移動ステージ３２ｃが移動ステージ駆動軸３２ｄに取り付けられている。そして、各々の移動ステージ３２ｃは、移動ステージ駆動軸３２ｄにより上下方向に同期して移動させられるようになっている。すなわち、各々の移動ステージ３２ｃが移動ステージ駆動軸３２ｄにより上下方向に移動させられる際に、移動ステージ３２ｃ間の距離は変化しない。図７に、各移動ステージ３２ｃの構成を斜視図で示す。図５および図７に示すように、移動ステージ３２ｃの上面（おもて面）には複数のウエハ保持ガイドピン３２ｇが設けられており、ウエハＷを移動ステージ３２ｃの各ウエハ保持ガイドピン３２ｇ上に保持することができるようになっている。また、移動ステージ３２ｃの下面（裏面）にも複数のウエハ保持ガイドピン３２ｈが設けられている。
【００３２】
各々の押さえステージ３２ｅは、それぞれ対応する移動ステージ３２ｃの上方に設けられている。そして、各々の押さえステージ３２ｅは押さえステージ駆動軸３２ｆに取り付けられており、各々の押さえステージ３２ｅは、押さえステージ駆動軸３２ｆにより上下方向に同期して移動させられるようになっている。すなわち、各々の押さえステージ３２ｅが押さえステージ駆動軸３２ｆにより上下方向に移動させられる際に、押さえステージ３２ｅ間の距離は変化しない。図８に、各押さえステージ３２ｅの構成を斜視図で示す。図５および図８に示すように、押さえステージ３２ｅの下面（裏面）には複数のウエハ保持ガイドピン３２ｈが設けられている。そして、図５（ｃ）に示すように、各押さえステージ３２ｅは、押さえステージ駆動軸３２ｆにより下方に移動させられたときにこの押させステージ３２ｅに対向する移動ステージ３２ｃ上に載置されたウエハＷを上方から押さえることができるようになっている。この際に、ウエハＷは押さえステージ３２ｅの下面に設けられた各ウエハ保持ガイドピン３２ｈにより保持されることとなる。
【００３３】
前述のように、各ウエハ収容機構３２は、駆動モータ３８および一対のプーリ３４、３５によって、循環ベルト３６の循環移動に沿って移動させられるようになっている。ここで、駆動モータ３８、一対のプーリ３４、３５および循環ベルト３６により、各ウエハ収容機構３２の駆動を行う駆動部が構成されている。そして、図３や図４に示すように、各ウエハ収容機構３２は、第１のウエハ搬送装置５０によりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第１のウエハ受け渡し位置Ｐ、および上下方向に複数段設けられた各々の第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによりそれぞれウエハＷが搬送されたり取り出されたりする上下方向に複数設けられた第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓの間で駆動部により移動させられるようになっている。なお、駆動モータ３８は循環ベルト３６を間欠的に循環移動させるようになっており、各ウエハ収容機構３２が各ウエハ受け渡し位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに到達すると、循環ベルト３６を一時的に停止させるようになっている。そして、循環ベルト３６が一時的に停止している間に、第１のウエハ搬送装置５０や各々の第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが各ウエハ受け渡し位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにおいてウエハ収容機構３２にアクセスすることとなる。なお、循環ベルト３６が駆動モータ３８により間欠的に循環移動させられる代わりに、循環ベルト３６が駆動モータ３８により連続的に循環移動させられ、各ウエハ収容機構３２が各ウエハ受け渡し位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに近づくと循環ベルト３６が減速させられるようになっていてもよい。この場合、循環ベルト３６を間欠的に循環移動させる場合と比較して、循環ベルト３６が停止することがなくなる分だけ各ウエハ収容機構３２をより迅速に移動させることができるようになる。以下、第１のウエハ受け渡し位置Ｐおよび第２の受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓについて図３および図４を用いて説明する。
【００３４】
図３に示すように、第１のウエハ受け渡し位置Ｐおよび第２の受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓはそれぞれウエハ収容部３０における右側部分３０ａに設けられている。そして、ウエハ収容部３０の右側部分３０ａにおける循環ベルト３６に沿って下方から順に第１のウエハ受け渡し位置Ｐ、第２のウエハ受け渡し位置Ｓ、第２のウエハ受け渡し位置Ｒ、第２のウエハ受け渡し位置Ｑがそれぞれ設けられている。図３に示すように、第１のウエハ搬送装置５０は、第１のウエハ受け渡し位置Ｐにあるウエハ収容機構３２にウエハＷを搬送したりウエハＷを取り出したりするようになっている。また、上部の第２のウエハ搬送装置６０ａは、第２のウエハ受け渡し位置Ｑにあるウエハ収容機構３２にウエハＷを搬送したりウエハＷを取り出したりするようになっている。
【００３５】
また、中部の第２のウエハ搬送装置６０ｂは、第２のウエハ受け渡し位置Ｒにあるウエハ収容機構３２にウエハＷを搬送したりウエハＷを取り出したりするようになっている。また、下部の第２のウエハ搬送装置６０ｃは、第２のウエハ受け渡し位置Ｓにあるウエハ収容機構３２にウエハＷを搬送したりウエハＷを取り出したりするようになっている。なお、図３では、説明のために第１のウエハ搬送装置５０および各第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃを二点鎖線で示しているが、これらの二点鎖線で示される各ウエハ搬送装置はあくまで説明用のために図３に記載しているに過ぎず、実際には、各ウエハ搬送装置は図３の右方から各ウエハ収容機構３２にアクセスするのではなく図３の紙面の前方や奥方から各ウエハ収容機構３２にアクセスするようになっている。
【００３６】
このように、第１のウエハ搬送装置５０、および各第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃに対応するウエハ受け渡し位置Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓが上下方向において互いに異なっているので、ウエハ収容部３０に対して、第１のウエハ搬送装置５０および各第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃのうち少なくとも２つの装置が同時にアクセスすることができるようになっている。このことにより、一の装置がウエハ収容部３０にアクセスする間に他の装置がウエハ収容部３０にアクセスすることができず待機しなければならないといった事態が発生することを防止することができるようになる。
【００３７】
また、各ウエハ収容機構３２は、当該ウエハ収容機構３２に収容される複数のウエハＷのうち隣り合うウエハＷの間隔を変更することができるようになっている。より具体的には、各ウエハ収容機構３２において、移動ステージ駆動軸３２ｄが各移動ステージ３２ｃを上下方向に移動させることにより、ウエハ収容機構３２における各ウエハＷの上下方向の間隔が変更させられることとなる。
【００３８】
より詳細には、ウエハ収容機構３２が第１のウエハ受け渡し位置Ｐにあるときにはウエハ収容機構３２の各移動ステージ３２ｃは図５（ｂ）に示すような位置にある。一方、ウエハ収容機構３２が第１の受け渡し位置Ｐから第２の受け渡し位置Ｓに移動する間に、移動ステージ駆動軸３２ｄが各移動ステージ３２ｃをそれぞれ例えば上方に同期して移動させ、ウエハ収容機構３２が第２のウエハ受け渡し位置Ｑにあるときにはウエハ収容機構３２の各移動ステージ３２ｃは図５（ａ）に示すような位置となる。このことにより、各固定ステージ３２ｂと各移動ステージ３２ｃとの間の間隔が図５（ｂ）に示す間隔ｂの大きさから図５（ａ）に示す間隔ａの大きさとなる。各々の第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓの間では、各移動ステージ３２ｃは移動することはなく、ウエハＷの上下方向における間隔も一定に保たれる。すなわち、ウエハ収容機構３２が第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒにあるときにもウエハ収容機構３２の各移動ステージ３２ｃは図５（ａ）に示すような位置にある。なお、一方、ウエハ収容機構３２が第１の受け渡し位置Ｐから第２の受け渡し位置Ｓに移動する間に、移動ステージ駆動軸３２ｄが各移動ステージ３２ｃをそれぞれ下方に同期して移動させてもよい。
【００３９】
その後、ウエハ収容機構３２がウエハ収容部３０の右側部分３０ａから左側部分３０ｂに移動し、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられる際に、移動ステージ駆動軸３２ｄが各移動ステージ３２ｃを下方に移動させるとともに押さえステージ駆動軸３２ｆが各押さえステージ３２ｅを下方に移動させ、図５（ｃ）に示すように各々のウエハＷを固定ステージ３２ｂと移動ステージ３２ｃの間、または移動ステージ３２ｃと押さえステージ３２ｅの間に挟み込むようにする。より具体的には、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられる際に、各々のウエハＷは、固定ステージ３２ｂのおもて面に設けられたウエハ保持ガイドピン３２ｇと移動ステージ３２ｃの裏面に設けられたウエハ保持ガイドピン３２ｈとの間で、または移動ステージ３２ｃのおもて面に設けられたウエハ保持ガイドピン３２ｇと押さえステージ３２ｅの裏面に設けられたウエハ保持ガイドピン３２ｈとの間で保持されることとなる。このことにより、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられたとしても、当該ウエハ収容機構３２に収容されたウエハＷが誤ってウエハ収容機構３２から落下することはない。このように、隣り合う固定ステージ３２ｂと移動ステージ３２ｃ、および隣り合う移動ステージ３２ｃと押さえステージ３２ｅは、それぞれ、ウエハ収容機構３２に収容されるウエハＷを上下方向から挟持するための把持機構を構成することとなる。
【００４０】
なお、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられた後、図５（ｃ）に示す状態から、隣り合う固定ステージ３２ｂと移動ステージ３２ｃ、または隣り合う移動ステージ３２ｃと押さえステージ３２ｅが離間するようになっていてもよい。この場合は、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられたとしても、このウエハ収容機構３２に対して第１のウエハ搬送装置５０や第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃがウエハＷを搬送したり取り出したりすることができるようになる。この際に、各ウエハ搬送装置５０、６０ａ、６０ｂ、６０ｃにより搬送されたり取り出されたりするウエハＷは、その表裏が反転したものとなる。なお、この場合には、ウエハＷは、移動ステージ３２ｃや押さえステージ３２ｅの裏面に設けられたウエハ保持ガイドピン３２ｈに保持されることとなる。
【００４１】
次に、第１のウエハ搬送装置５０および第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃの具体的な構成について説明する。まず、第１のウエハ搬送装置５０の構成について図１、図４、図９を用いて説明する。
【００４２】
図４や図９に示すように、第１のウエハ搬送装置５０は、図１におけるＹ方向に延びるレール５６上を走行する基体部材５１と、この基体部材５１の上面に設けられ、Ｚ方向に伸縮することができる垂直移動機構５２とを有している。この垂直移動機構５２の上部には基台５５が設けられており、当該基台５５にフォーク支持部材５３が取り付けられている。そして、このフォーク支持部材５３により、ウエハＷを保持するための一対のフォーク５４ａ、５４ｂが支持されている。
【００４３】
また、垂直移動機構５２は、図９に示すように基体部材５１に対してθ方向に回転することができるようになっている。すなわち、基台５５は、Ｙ方向、Ｚ方向に移動することができるとともに、θ方向に回転することができるよう構成されている。そして、一対のフォーク５４ａ、５４ｂが基台５５の上方で重ねて配置されている。各フォーク５４ａ、５４ｂは、それぞれウエハＷを裏面から（下方から）保持するようになっている。フォーク支持部材５３は、一対のフォーク５４ａ、５４ｂの基端部に各々取り付けられた水平移動機構５３ａ、５３ｂを有しており、この水平移動機構５３ａ、５３ｂはそれぞれフォーク５４ａ、５４ｂを図９のＸ方向に進退移動させるようになっている。
【００４４】
第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃもそれぞれ第１のウエハ搬送装置５０と略同一の構成となっている。より具体的には、図１に示すように、第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃに設けられた基台６５ａ、６５ｂ、６５ｃは、それぞれθ方向に回転することができるようになっている。また、各基台６５ａ、６５ｂ、６５ｃにはそれぞれフォーク支持部材６３ａ、６３ｂ、６３ｃが設けられており、フォーク支持部材６３ａ、６３ｂ、６３ｃは、それぞれ上下一対のフォーク６４ａ、６４ｂ、６４ｃを支持するようになっている（図２参照）。上下一対の各フォーク６４ａ、６４ｂ、６４ｃは、それぞれウエハＷを裏面から（下方から）保持するようになっている。また、上下一対の各フォーク６４ａ、６４ｂ、６４ｃは、フォーク支持部材６３ａ、６３ｂ、６３ｃから図１や図２の矢印方向に進退移動することができるようになっている。なお、一対のフォーク６４ａ、６４ｂ、６４ｃのうち上段のフォーク６４ａ、６４ｂ、６４ｃはウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃから処理済のウエハＷをウエハ収容部３０に搬送する際に用いられ、下段のフォーク６４ａ、６４ｂ、６４ｃはウエハ収容部３０からウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃに処理前のウエハＷを搬送する際に用いられるようになっている。
【００４５】
各ウエハ処理ユニット４０は、処理チャンバー内においてウエハＷを１枚ずつ処理するようなスピン式のものからなり、処理チャンバー内でウエハＷを回転させながら当該ウエハＷに対して処理液による液処理や処理ガスによるガス処理、あるいは洗浄処理や熱的処理等の処理を行うようになっている。
【００４６】
次に、このような構成からなるウエハ処理システム１０の動作について説明する。
【００４７】
最初に、処理されるべきウエハＷを例えば２５枚収容したフープ２０が載置台２５上に載置される。次に、フープ２０に設けられた窓部開閉機構（図示せず）が開かれ、このフープ２０内のウエハＷが取り出し可能となる。そして、このフープ２０に対して第１のウエハ搬送装置５０が接近し、この第１のウエハ搬送装置５０の一対のフォーク５４ａ、５４ｂがそれぞれフープ２０内のウエハＷを持ち上げて保持する。この際に、一対のフォーク５４ａ、５４ｂにより、フープ２０内の上下方向に隣り合う２枚のウエハＷが同時に取り出される。
【００４８】
次に、第１のウエハ搬送装置５０の各フォーク５４ａ、５４ｂにそれぞれ保持された２枚のウエハＷはウエハ収容部３０のウエハ収容機構３２に搬送される。この際に、図３や図４に示す第１のウエハ受け渡し位置Ｐにおいて、第１のウエハ搬送装置５０の各フォーク５４ａ、５４ｂから各ウエハ収容機構３２の固定ステージ３２ｂや移動ステージ３２ｃにウエハＷが同時に受け渡される。なお、この際に、ウエハ収容機構３２は図５（ｂ）に示すような態様となっている。また、前述のように、循環ベルト３６は駆動モータ３８により連続的または間欠的に循環移動させられるようになっており、循環ベルト３６が減速または一時的に停止している間に、第１のウエハ受け渡し位置Ｐにおいて第１のウエハ搬送装置５０からウエハ収容機構３２にウエハＷが受け渡されるようになっている。
【００４９】
ウエハ収容部３０からそれぞれのウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃにウエハＷを搬送する際には、各ウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃに対応する第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓにおいてウエハ収容機構３２からウエハＷを取り出すようになっている。なお、この際に、固定ステージ３２ｂ上のウエハＷが取り出される場合には、移動ステージ駆動軸３２ｄにより各移動ステージ３２ｃが上昇させられ、ウエハ収容機構３２は図５（ａ）に示すような態様となり、各固定ステージ３２ｂと各移動ステージ３２ｃとの間の間隔が図５（ｂ）に示す間隔ｂの大きさから増加して図５（ａ）に示す間隔ａの大きさとなる。一方、移動ステージ３２ｃ上のウエハＷが取り出される場合には、移動ステージ駆動軸３２ｄにより各移動ステージ３２ｃが下降させられ、各移動ステージ３２ｃと各押さえステージ３２ｅとの間の間隔が大きくなる。また、前述のように、循環ベルト３６は駆動モータ３８により連続的または間欠的に循環移動させられるようになっており、循環ベルト３６が減速または一時的に停止している間に、第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓにおいてそれぞれウエハ収容機構３２から第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃにウエハＷが受け渡されるようになっている。
【００５０】
その後、それぞれの第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃから対応するウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃにウエハＷが搬送され、ウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃの処理チャンバー内において、ウエハＷに対する様々な処理が行われる。
【００５１】
各々のウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃにより処理されたウエハＷは、対応する第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃにより、ウエハ収容部３０のウエハ収容機構３２に搬送される。この際に、それぞれの第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓにおいて、第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃからウエハ収容部３０のウエハ収容機構３２に受け渡される。なお、この際に、固定ステージ３２ｂ上にウエハＷが受け渡される場合には、移動ステージ駆動軸３２ｄにより各移動ステージ３２ｃが上昇させられ、ウエハ収容機構３２は図５（ａ）に示すような態様となり、各固定ステージ３２ｂと各移動ステージ３２ｃとの間の間隔が図５（ａ）に示す間隔ａの大きさとなる。一方、移動ステージ３２ｃ上にウエハＷが受け渡される場合には、移動ステージ駆動軸３２ｄにより各移動ステージ３２ｃが下降させられ、各移動ステージ３２ｃと各押さえステージ３２ｅとの間の間隔が大きくなる。
【００５２】
各第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃからウエハＷが受け渡されたウエハ収容機構３２は、ウエハＷを収容した状態で、ウエハ収容部３０の右側部分３０ａから左側部分３０ｂに移動し、その上下方向が反転させられる。ここで、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられる際に、移動ステージ駆動軸３２ｄが各移動ステージ３２ｃを下方に移動させるとともに押さえステージ駆動軸３２ｆが各押さえステージ３２ｅを下方に移動させ、図５（ｃ）に示すように各々のウエハＷを固定ステージ３２ｂと移動ステージ３２ｃの間、および移動ステージ３２ｃと押さえステージ３２ｅの間に挟み込むようにする。このことにより、ウエハ収容機構３２が上下方向に反転させられたとしても、当該ウエハ収容機構３２に収容されたウエハＷが誤ってウエハ収容機構３２から落下することはない。
【００５３】
なお、ウエハ収容機構３２の上下方向に反転させられた状態で、このウエハ収容機構３２に対して第１のウエハ搬送装置５０や第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃがウエハＷを搬送したり取り出したりする場合には、移動ステージ駆動軸３２ｄが各移動ステージ３２ｃを移動させるとともに押さえステージ駆動軸３２ｆが各押さえステージ３２ｅを移動させ、隣り合う固定ステージ３２ｂと移動ステージ３２ｃ、または隣り合う移動ステージ３２ｃと押さえステージ３２ｅが離間する。この場合には、ウエハＷは、移動ステージ３２ｃや押さえステージ３２ｅの裏面に設けられたウエハ保持ガイドピン３２ｈに保持されることとなる。
【００５４】
その後、ウエハ収容機構３２が第１のウエハ受け渡し位置Ｐに到達すると、このウエハ収容機構３２は図５（ｂ）に示すような態様となる。そして、第１のウエハ受け渡し位置Ｐにおいて、第１のウエハ搬送装置５０がウエハ収容部３０のウエハ収容機構３２にアクセスし、このウエハ収容機構３２からウエハＷを取り出す。より具体的には、第１のウエハ搬送装置５０が第１のウエハ受け渡し位置Ｐにおいてウエハ収容部３０のウエハ収容機構３２に接近し、この第１のウエハ搬送装置５０の一対のフォーク５４ａ、５４ｂがそれぞれウエハ収容機構３２の固定ステージ３２ｂや移動ステージ３２ｃ上にあるウエハＷを持ち上げて保持する。その後、第１のウエハ搬送装置５０の各フォーク５４ａ、５４ｂにそれぞれ保持された２枚のウエハＷがフープ２０に同時に移載される。
【００５５】
このようにして、ウエハ処理システム１０におけるウエハＷに対する一連の処理が終了する。
【００５６】
なお、上述のようなウエハの処理方法において、第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによって処理前のウエハＷがウエハ収容機構３２の固定ステージ３２ｂ上や移動ステージ３２ｃ上から取り出された後、このウエハＷが各ウエハ処理ユニット４０ａ、４０ｂ、４０ｃにより処理されて第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによりウエハ収容機構３２に戻される際に同じ位置にある固定ステージ３２ｂ上や移動ステージ３２ｃに戻されるようになっていてもよい。あるいは、第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによって処理前のウエハＷがウエハ収容機構３２の固定ステージ３２ｂ上や移動ステージ３２ｃ上から取り出された後、ウエハＷが載置されていない固定ステージ３２ｂや移動ステージ３２ｃに対して異なる第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃからウエハＷが搬送されるようになっていてもよい。
【００５７】
以上のように本実施の形態のウエハ処理システム１０によれば、ウエハ収容部３０において、複数のウエハＷを上下方向に互いに離間させて収容するウエハ収容機構３２が複数設けられており、各々のウエハ収容機構３２は移動自在となっている。そして、各ウエハ収容機構３２は、第１のウエハ搬送装置５０によりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第１のウエハ受け渡し位置Ｐ、および第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓの間で駆動部（駆動モータ３８、一対のプーリ３４、３５および循環ベルト３６）により移動させられるようになっている。
【００５８】
このため、一のウエハ収容機構３２に対して第１のウエハ搬送装置５０および第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃのうち一方のウエハ搬送装置がアクセスする間に他のウエハ収容機構３２に対して他方のウエハ搬送装置がアクセスすることができるようになり、複数のウエハ搬送装置がウエハ収容機構３２にアクセスする際にこれらのウエハ搬送装置が渋滞してしまうことを防止することができる。このことにより、第１のウエハ搬送装置５０や第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃがウエハ収容機構３２に効率的にアクセスすることができるようになり、このためウエハ処理システム１０は単位時間あたりのウエハＷの処理枚数を多くすることができる。
【００５９】
とりわけ、本実施の形態においては、ウエハ処理ユニット４０は複数設けられており、各ウエハ処理ユニット４０は上下方向に沿って設けられた複数のグループ（具体的には、上部のグループ、中部のグループ、下部のグループからなる３つのグループ）に区分けされるようになっており、第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃは、上下方向における各グループに対応するよう上下方向に複数段設けられている。また、第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓは、上下方向に複数段設けられた各々の第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによりそれぞれウエハＷが搬送されたり取り出されたりするよう上下方向に複数設けられている。そして、ウエハ収容部３０のウエハ収容機構３２は、第１のウエハ受け渡し位置Ｐ、および上下方向に複数設けられた第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓの間で駆動部により移動させられるようになっている。このため、一のウエハ収容機構３２に対して複数の第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃのうちある第２のウエハ搬送装置がアクセスする間に他のウエハ収容機構３２に対して他の第２のウエハ搬送装置がアクセスすることができるようになり、複数の第２のウエハ搬送装置がウエハ収容機構３２にアクセスする際にこれらの第２のウエハ搬送装置が渋滞してしまうことを防止することができる。このことにより、複数の第２のウエハ搬送装置がウエハ収容機構３２に効率的にアクセスすることができるようになる。
【００６０】
また、駆動モータ３８、一対のプーリ３４、３５および循環ベルト３６からなる駆動部は、ウエハ収容部３０の各ウエハ収容機構３２をその上下方向において反転させることができるようになっている。このことにより、ウエハＷの反転を行うウエハ反転機構の設置を省略することができる。
【００６１】
この場合、第１のウエハ搬送装置５０および第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃは、それぞれウエハ収容部３０において上下方向に反転させられたウエハ収容機構３２に対してウエハＷを搬送したりウエハＷを取り出したりすることができるようになっている。このことにより、第１のウエハ搬送装置５０や第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃは、反転させられた状態でのウエハＷを搬送することができるようになる。
【００６２】
また、第１のウエハ搬送装置５０は、ウエハＷを保持するためのフォーク５４ａ、５４ｂを上下方向に沿って複数（具体的には、例えば２本）有し、ウエハ収容部３０にウエハＷを搬送したりウエハ収容部３０からウエハＷを取り出したりする際に各フォーク５４ａ、５４ｂにより複数（例えば、２枚）のウエハＷを同時に搬送するようになっている。このことにより、第１のウエハ搬送装置５０によりウエハ収容部３０にウエハＷを搬送したりウエハ収容部３０からウエハＷを取り出したりする動作をより効率的に行うことができるようになり、単位時間あたりのウエハＷの処理枚数を多くすることができる。
【００６３】
なお、本実施の形態によるウエハ処理システムは、上記の態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。例えば、ウエハ収容部は、図３や図５等に示す構成のものに限定されることはない。ウエハ収容部として、複数のウエハＷを上下方向に互いに離間させて収容するウエハ収容機構を複数有し、各ウエハ収容機構が移動自在となっているものであれば、他の構成のものを使用することもできる。なお、他の構成のウエハ収容部を用いた場合でも、ウエハ収容部の各ウエハ収容機構は、第１のウエハ搬送装置によりウエハが搬送されたり取り出されたりする第１のウエハ受け渡し位置、および第２のウエハ搬送装置によりウエハが搬送されたり取り出されたりする第２のウエハ受け渡し位置の間で移動させられるようになっていることが望ましい。
【００６４】
また、ウエハ収容機構は、図５乃至図８、とりわけ図５に示すような構成のものに限定されることはない。ウエハ収容機構として、複数のウエハＷを上下方向に互いに離間させて収容することができるものであれば、他の構成とすることができる。なお、この場合でも、ウエハ収容機構は、当該ウエハ収容機構に収容される複数のウエハのうち隣り合うウエハの間隔を変更することができるようになっており、ウエハ収容機構が第１のウエハ受け渡し位置にあるときの当該ウエハ収容機構に収容されるウエハの間隔とウエハ収容機構が第２のウエハ受け渡し位置にあるときの当該ウエハ収容機構に収容されるウエハの間隔とが異なるようになっていることがより望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一の実施の形態におけるウエハ処理システムの構成を示す上面図である。
【図２】図１に示すウエハ処理システムのＡ−Ａライン矢視による側面図である。
【図３】図１に示すウエハ処理システムのウエハ収容部のＢ−Ｂライン矢視による側面図である。
【図４】図１に示すウエハ処理システムのＣ−Ｃライン矢視による側面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、図１に示すウエハ処理システムのウエハ収容部に設けられたウエハ収容機構の構成を示す概略側面図である。
【図６】図５に示すウエハ収容機構の固定ステージの斜視図である。
【図７】図５に示すウエハ収容機構の移動ステージの斜視図である。
【図８】図５に示すウエハ収容機構の押さえステージの斜視図である。
【図９】図１に示すウエハ処理システムにおける第１のウエハ搬送装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０  ウエハ処理システム
２０  フープ
２５  載置台
３０  ウエハ収容部
３０ａ  右側部分
３０ｂ  左側部分
３２  ウエハ収容機構
３２ａ  側板部材
３２ｂ  固定ステージ
３２ｃ  移動ステージ
３２ｄ  移動ステージ駆動軸
３２ｅ  押さえステージ
３２ｆ  押さえステージ駆動軸
３２ｇ  ウエハ保持ガイドピン
３２ｈ  ウエハ保持ガイドピン
３４、３５  プーリ
３６  循環ベルト
３８  駆動モータ
４０  ウエハ処理ユニット
４０ａ  上部のウエハ処理ユニット
４０ｂ  中部のウエハ処理ユニット
４０ｃ  下部のウエハ処理ユニット
５０  第１のウエハ搬送装置
５１  基体部材
５２  垂直移動機構
５３  フォーク支持部材
５３ａ、５３ｂ  水平移動機構
５４ａ、５４ｂ  フォーク
５５  基台
５６  レール
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ  第２のウエハ搬送装置
６３ａ、６３ｂ、６３ｃ  フォーク支持部材
６４ａ、６４ｂ、６４ｃ  フォーク
６５ａ、６５ｂ、６５ｃ  基台
【図１】
2010153482.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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