(57)【要約】【課題】容易に液滴形状を形成することができるノズルプレートを提供する。【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００は、基板１１０と、基板１１０の厚み方向に貫通し、厚み方向のテーパー形状を有する開口部１２０と、開口部１２０を部分的に塞ぐ閉塞部１３０と、閉塞部１３０を支持する支持部１４０と、を含み、閉塞部１３０は、開口部１２０に、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃと離間して設けられ、支持部１４０は、開口部１２０に設けられ、閉塞部１３０と、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃとを当接する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の厚み方向に貫通し、厚み方向のテーパー形状を有する開口部と、
前記開口部を部分的に塞ぐ閉塞部と、
前記閉塞部を支持する支持部と、
を含み、
前記閉塞部は、前記開口部に、前記開口部を構成する前記基板の側面と離間して設けられ、
前記支持部は、前記開口部に設けられ、前記閉塞部と、前記開口部を構成する前記基板の側面とを当接する、ノズルプレート。
【請求項２】
請求項１において、
前記閉塞部は、円柱状に形成されている、ノズルプレート。
【請求項３】
請求項２において、
平面視において、前記閉塞部の中心と前記開口部の中心は、一致している、ノズルプレート。
【請求項４】
請求項１において、
前記閉塞部は、円錐状に形成されている、ノズルプレート。
【請求項５】
請求項１において、
前記閉塞部は、角柱状に形成されている、ノズルプレート。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記閉塞部は、撥液処理が施されている、ノズルプレート。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のノズルプレートと、
前記開口部に連通している圧力室と、
前記圧力室の上方に形成された振動板と、
前記振動板の上方に形成された圧電素子と、を含む、液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７において、
前記圧電素子は、複数の電極と複数の圧電体が交互に積層された積層型圧電素子である、液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項７において、
前記圧電素子は、
前記振動板の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有する、液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれかに記載の液体噴射ヘッドを有する、プリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレート、液体噴射ヘッド、およびプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット技術は、家庭用のプリンタのみならず、工業用、産業用など様々な分野に用いられている。これらの分野に応じて、インクジェット技術では、様々な組成のインクを吐出する必要がある。そのなかでも、特に高分子ポリマーなどからなる高粘度インクは、ノズル孔から吐出されたインク液柱が切れ難く、液滴形状を形成することが困難である。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ノズル孔から吐出されたインクに光エネルギー、熱エネルギー等のエネルギーを与えることで、液滴形状を形成する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−１８１４４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された方法では、インクにエネルギーを与えるため、インクの劣化が問題となる場合がある。
【０００５】
本発明の目的の１つは、容易に液滴形状を形成することができるノズルプレート、液体噴射ヘッド、およびプリンタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るノズルプレートは、
基板と、
前記基板の厚み方向に貫通し、厚み方向のテーパー形状を有する開口部と、
前記開口部を部分的に塞ぐ閉塞部と、
前記閉塞部を支持する支持部と、
を含み、
前記閉塞部は、前記開口部に、前記開口部を構成する前記基板の側面と離間して設けられ、
前記支持部は、前記開口部に設けられ、前記閉塞部と、前記開口部を構成する前記基板の側面とを当接する。
【０００７】
本発明に係るノズルプレートは、容易に液滴形状を形成することができる。
【０００８】
本発明に係るノズルプレートにおいて、
前記閉塞部は、円柱状に形成されていることができる。
【０００９】
本発明に係るノズルプレートにおいて、
平面視において、前記閉塞部の中心と前記開口部の中心は、一致していることができる。
【００１０】
本発明に係るノズルプレートにおいて、
前記閉塞部は、円錐状に形成されていることができる。
【００１１】
本発明に係るノズルプレートにおいて、
前記閉塞部は、角柱状に形成されていることができる。
【００１２】
本発明に係るノズルプレートにおいて、
前記閉塞部は、撥液処理が施されていることができる。
【００１３】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、
本発明に係るノズルプレートと、
前記開口部に連通している圧力室と、
前記圧力室の上方に形成された振動板と、
前記振動板の上方に形成された圧電素子と、を含む。
【００１４】
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下「Ｂ」という）を形成する」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。
【００１５】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、複数の電極と複数の圧電体が交互に積層された積層型圧電素子であることができる。
【００１６】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子は、
前記振動板の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を有することができる。
【００１７】
本発明に係るプリンタは、
本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
１．  ノズルプレート
１．１．  まず、本実施形態に係るノズルプレートについて説明する。図１は、本実施形態に係るノズルプレート１００を模式的に示す断面図である。図２は、本実施形態に係るノズルプレート１００を模式的に示す平面図である。なお、図１は、図２で示すＡ−Ａ線の断面図である。また、図２は、図１に示すノズルプレート１００を、基板１１０の吐出側の面１１０ａ側から平面的に見た図である。
【００２０】
ノズルプレート１００は、図１に示すように、基板１１０と、開口部１２０と、閉塞部１３０と、支持部１４０と、を有する。
【００２１】
基板１１０は、例えば、ニッケル、銅、シリコン、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などからなる。基板１１０は、液体を吐出する側に第１の面１１０ａを有し、第１の面１１０ａと対向する側に第２の面１１０ｂを有する。
【００２２】
開口部１２０は、基板１１０の厚み方向に貫通し、厚み方向のテーパー形状を有する。開口部１２０は、複数設けられることができる。開口部１２０は、図示の例では、２つ設けられているが、その数は特に限定されない。開口部１２０は、第１開口面１２０ａと第２開口面１２０ｂとを有する。第１開口面１２０ａは、基板１１０の第１の面１１０ａに形成される。第２開口面１２０ｂは、基板１１０の第２の面１１０ｂに形成される。図示の例では、第１開口面１２０ａは、ドーナツ状であり、第２開口面１２０ｂは、円状である。図２の点線は、第２開口面１２０ｂの外周を示したものである。開口部１２０には、支持部１４０によって支持される閉塞部１３０が設けられている。
【００２３】
閉塞部１３０は、開口部１２０を部分的に塞いでいる。閉塞部１３０は、図示の例では、円柱状に形成されている。閉塞部１３０は、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃと離間して設けられている。平面視において、閉塞部１３０の中心と開口部１２０の中心は、一致していてもよい。閉塞部１３０は、例えば、基板１１０と同じ材料からなる。閉塞部１３０は、撥液処理が施されていてもよい。これにより、閉塞部１３０の底面に液体が回り込むことを防ぐことができる。撥液処理は、例えば、閉塞部１３０を撥液膜で覆うことにより行われる。
【００２４】
図９は、ノズルプレート１００を用いた液体噴射ヘッド４００を模式的に示す断面図である。図９に示すように、開口部１２０に閉塞部１３０が形成されているため、開口部１２０から吐出された液体１０ａは、内部に空洞１０ｂを有する。吐出された液体１０ａの空洞１０ｂの形状は、閉塞部１３０の吐出する側の面の形状に対応する。同じ体積の液体を吐出した場合、吐出された液体１０ａは、空洞１０ｂを有するため、閉塞部１３０を有さない開口部から吐出された液体と比較して、液体の径ＷＬを大きくすることができる。したがって、吐出された液体１０ａは、表面張力の効果を大きくすることができる。これにより、吐出された液体１０ａは、切れやすいため、液柱を短くすることができる。また、閉塞部１３０は、第１開口面１２０ａの開口幅ＷＡを小さくすることができる。これにより、吐出された液体１０ａの切断面を小さくすることができるため、液柱をより切れやすくすることができる。
【００２５】
支持部１４０は、開口部１２０に設けられる。支持部１４０は、閉塞部１３０を支持している。支持部１４０は、閉塞部１３０と開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃとを当接している。支持部１４０は、吐出された液体が分断されないように、第１開口面１２０ａに近接する領域に設けないことが望ましい。支持部１４０の形状および位置は、上述した機能を有すれば、特に限定されない。支持部１４０は、例えば、基板１１０と同じ材料からなる。支持部１４０は、撥液処理が施されていてもよい。
【００２６】
本実施形態に係るノズルプレート１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００２７】
ノズルプレート１００は、開口部１２０に、閉塞部１３０を有することができる。これにより、開口部１２０から吐出された液体１０ａは、内部に空洞１０ｂを有するため、表面張力の効果を大きくすることができる。さらに、吐出された液体１０ａの切断面を小さくすることができる。したがって、ノズルプレート１００では、吐出された液体１０ａが、切れやすいため、液柱を短くすることができ、容易に液滴形状を形成することができる。
【００２８】
ノズルプレート１００は、閉塞部１３０に撥液処理が施されていることができる。これにより、閉塞部１３０の底面に液体が回り込むことを防ぐことができる。したがって、ノズルプレート１００は、容易に液滴形状を形成することができる。
【００２９】
１．２．  次に、本実施形態に係るノズルプレート１００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図３および図４は、本実施形態に係るノズルプレート１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００３０】
図３に示すように、基板１１０に開口部１２０の第１開口面１２０ａを形成する。具体的には、基板１１０の第１の面１１０ａに、支持部１４０の第１の面１１０ａ側の面に相当する深さまで、閉塞部１３０が残るように、ポンチを打ち込む。
【００３１】
図４に示すように、基板１１０に開口部１２０の第２開口面１２０ｂを形成する。具体的には、基板１１０の第２の面１１０ｂから、支持部１４０の第２の面１１０ｂ側の面に相当する深さまで、閉塞部１３０が残り、テーパー形状を有するように、ポンチを打ち込む。なお、第１開口面１２０ａを先に形成する場合について説明したが、第２開口面１２０ｂを先に形成してもよい。
【００３２】
図１に示すように、支持部１４０および閉塞部１３０が残るように、開口部１２０を貫通させる。具体的には、いずれかの開口面１２０ａ，１２０ｂから、支持部１４０および閉塞部１３０が残るようにポンチを打ち込むことで、開口部１２０を貫通させる。次に、閉塞部１３０に撥液処理を行う。撥液処理は、例えば、液状の撥液膜形成用材料を供給した後に、必要に応じて、乾燥することにより行われる。
【００３３】
以上の工程により、ノズルプレート１００を製造することができる。
【００３４】
なお、上述したノズルプレート１００の製造方法では、基板１１０にポンチを打ち込むことにより、閉塞部１３０および支持部１４０を基板１１０と一体的に製造したが、閉塞部１３０および支持部１４０をそれぞれ製造し、接着剤などで、開口部１２０に固定することで製造してもよい。
【００３５】
１．３．  次に、本実施形態に係るノズルプレートの変形例について説明する。なお、上述した図１及び図２に示すノズルプレート１００の例と異なる点について説明し、同様の点については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００３６】
（１）まず、第１の変形例について説明する。
【００３７】
図５は、本変形例に係るノズルプレート２００を模式的に示す断面図である。図６は、本実施形態に係るノズルプレート２００を模式的に示す平面図である。なお、図５は、図６で示すＢ−Ｂ線の断面図である。また、図６は、図５に示すノズルプレート２００を、基板１１０の第１の面１１０ａ側から平面的に見た図である。
【００３８】
ノズルプレート１００の例では、図１に示すように、閉塞部１３０は、円柱状に形成されていた。これに対し、本変形例のノズルプレート２００では、図５および図６に示すように、閉塞部２３０が円錐状に形成されることができる。より具体的には、閉塞部２３０は、吐出側の面が円錐の底面となる、円錐状に形成されることができる。これにより、第２開口面１２０ｂから供給された液体が、閉塞部２３０と基板１１０の側面１１０ｃとの間を、よりなめらかに通過することができる。
【００３９】
（２）次に、第２の変形例について説明する。
【００４０】
図７は、本変形例に係るノズルプレート３００を模式的に示す断面図である。図８は、本実施形態に係るノズルプレート３００を模式的に示す平面図である。なお、図７は、図８で示すＣ−Ｃ線の断面図である。また、図８は、図７に示すノズルプレート３００を、基板１１０の第１の面１１０ａ側から平面的に見た図である。
【００４１】
ノズルプレート１００の例では、図１に示すように、閉塞部１３０は、円柱状に形成されていた。これに対し、本変形例のノズルプレート３００では、図７および図８に示すように、閉塞部３３０が三角柱状に形成されることができる。図示の例では、閉塞部３３０は、三角柱状だが、例えば、角柱状であることができる。
【００４２】
２．  液体噴射ヘッド
２．１．  次に本実施形態に係る液体噴射ヘッドについて説明する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドは、本発明に係るノズルプレートを有する。以下、ノズルプレート１００を用いた例について説明する。図９は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００の要部を模式的に示す断面図である。図１０は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００の分解斜視図である。
【００４３】
液体噴射ヘッド４００は、図９および図１０に示すように、ノズルプレート１００と、圧力室４１０と、振動板４２０と、圧電素子４３０と、を有する。
【００４４】
圧力室４１０は、ノズルプレート１００上に形成されている。圧力室４１０は、開口部１２０に連通して形成されている。圧力室４１０は、圧力室基板４１２によって区画されている。圧力室基板４１２は、例えば、ニッケル、銅、シリコンからなる。圧力室４１０は、図１０に示すように、供給路４４０を介してリザーバ４５０と連通していることができる。リザーバ４５０は、供給路４４０を介して圧力室４１０に液体１０を供給することができる。リザーバ４５０には、貫通孔（図１０では図示しない、図１２では５５０）が形成されており、貫通孔を通って外部からリザーバ４５０内に液体１０が供給される。
【００４５】
振動板４２０は、圧力室４１０上および圧力室基板４１２上に形成されている。振動板４２０の材質としては、圧電素子４３０によって変形できれば特に限定されず、プラスチック、金属などを用いることができる。より具体的には、振動板４２０は、例えば、ニッケルなどの金属膜、ポリイミドなどの高分子材料膜、二酸化ジルコニウムや二酸化シリコンなどの絶縁膜からなる。振動板４２０は、圧電素子４３０によって振動（変位）することができる。振動板４２０は、高弾性領域４２２を有してもよい。高弾性領域４２２を有することにより、圧電素子４３０の変形による圧力を振動板４２０に効率的に伝達することができる。
【００４６】
圧電素子４３０は、振動板４２０上に形成されている。圧電素子４３０は、図示はしないが、接着剤などを介して、振動板４２０上に形成されていてもよい。圧電素子４３０は、与えられる電気信号にしたがって、振動板４２０を上下方向に振動（変位）させることができる。圧電素子４３０は、複数の電極と複数の圧電体が交互に積層された構造を有する。圧電素子４３０の電極の延びる方向は、振動板４２０の振動方向に対して垂直（縦モード）である。圧電素子４３０の上部は、固定基板（図示せず）に固定されている。圧電素子４３０の電極は、例えばケーブル（図示せず）によって、外部駆動回路と接続されている。圧電素子４３０の圧電体は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）からなる。圧電素子４３０の電極は、例えば、白金、イリジウムからなる。
【００４７】
液体噴射ヘッド４００では、本発明に係るノズルプレートを有することができる。本発明に係るノズルプレートは、上述のように、容易に液滴形状を形成することができる。そのため、容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッド４００を得ることができる。
【００４８】
２．２．  次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッド４００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００４９】
液体噴射ヘッド４００の製造方法は、ノズルプレート１００の製造方法に続いて行うことができる。図１０に示すように、ノズルプレート１００上に圧力室基板４１２を形成する。圧力室基板４１２は、例えば、電鋳法により形成される。具体的には、ノズルプレート１００上に所定の形状を有するレジスト層（図示しない）を形成し、めっきを行うことにより、圧力室基板４１２を形成する。レジスト層を除去することにより、圧力室４１０、供給路４４０、リザーバ４５０を形成することができる。
【００５０】
図９に示すように、圧力室４１０上および圧力室基板４１２上に振動板４２０を形成する。振動板４２０は、例えば、めっき法により形成された金属膜を、接着することにより形成される。次に、振動板４２０上に圧電素子４３０を形成する。圧電素子４３０は、例えば、公知の方法で形成された後、振動板４２０上に接着される。
【００５１】
以上の工程により、液体噴射ヘッド４００を製造することができる。
【００５２】
２．３．  次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの変形例について説明する。なお、上述した図９及び図１０に示す液体噴射ヘッド４００の例と異なる点について説明し、同様の点については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５３】
図１１は、本変形例に係る液体噴射ヘッド５００の要部を模式的に示す断面図である。図１２は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド５００の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
【００５４】
液体噴射ヘッド４００の例では、圧電素子４３０は、複数の電極と複数の圧電体が交互に積層された構造を有する積層型の圧電素子であった。これに対し、本変形例では、下部電極５３２、圧電体層５３４および上部電極５３６を有する圧電素子５３０を用いることができる。
【００５５】
圧電素子５３０は、振動板４２０上に形成される。圧電素子５３０は、複数形成され、その数は特に限定されない。
【００５６】
下部電極５３２は、振動板４２０上に形成される。下部電極５３２は、圧電体層５３４に電圧を印加するための一方で電極である。下部電極５３２は、例えば、白金、イリジウム、それらの導電性酸化物からなることができる。下部電極４２は、前記例示した材料の単層でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。
【００５７】
圧電体層５３４は、下部電極５３２上に形成される。圧電体層５３４は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３：ＰＺＴＮ）からなることができる。
【００５８】
上部電極５３６は、圧電体層５３４上に形成される。上部電極５３６は、圧電体層５３４に電圧を印加するための他方で電極である。上部電極５３６は、例えば、白金、イリジウム、それらの導電性酸化物からなることができる。上部電極４６は、前記例示した材料の単層でもよいし、複数の材料を積層した構造であってもよい。
【００５９】
液体噴射ヘッド５００は、図１２に示すように、更に、圧電素子５３０やノズルプレート１００などを収納する筐体５４０を有していてもよい。筐体５４０は、例えば、各種樹脂材料、各種金属材料からなる。
【００６０】
本変形例に係る液体噴射ヘッド５００の製造方法については、圧力室基板４１２が、公知のエッチング技術を用いて形成されることができること、振動板４２０上に、下部電極５３２、圧電体層５３４、上部電極５３６が、ＣＶＤ法、ゾルゲル法等により成膜され、エッチング技術により形成できることを除いては、上述した液体噴射ヘッド４００の製造方法と同様のため、説明を省略する。
【００６１】
液体噴射ヘッド５００では、本発明に係るノズルプレートを有することができる。本発明に係るノズルプレートは、上述のように、容易に液滴形状を形成することができる。そのため、容易に液滴形状を形成することができる液体噴射ヘッド５００を得ることができる。
【００６２】
３．プリンタ
次に、本実施形態に係るプリンタについて説明する。本実施形態に係るプリンタは、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。ここでは、本実施形態に係るプリンタ６００がインクジェットプリンタである場合について説明する。図１３は、本実施形態に係るプリンタ６００を模式的に示す斜視図である。
【００６３】
プリンタ６００は、ヘッドユニット６３０と、駆動部６１０と、制御部６６０と、を含む。また、プリンタ６００は、装置本体６２０と、給紙部６５０と、媒体Ｐ（記録用紙）を設置するトレイ６２１と、媒体Ｐを排出する排出口６２２と、装置本体６２０の上面に配置された操作パネル６７０と、を含むことができる。
【００６４】
ヘッドユニット６３０は、本発明に係る液体噴射ヘッド（たとえば、液体噴射ヘッド４００、５００）から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット６３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ６３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ６３１を搭載した運搬部（キャリッジ）６３２と、を備える。
【００６５】
駆動部６１０は、ヘッドユニット６３０を往復動させることができる。駆動部６１０は、ヘッドユニット６３０の駆動源となるキャリッジモータ６４１と、キャリッジモータ６４１の回転を受けて、ヘッドユニット６３０を往復動させる往復動機構６４２と、を有する。
【００６６】
往復動機構６４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸６４４と、キャリッジガイド軸６４４と平行に延在するタイミングベルト６４３と、を備える。キャリッジガイド軸６４４は、キャリッジ６３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ６３２を支持している。さらに、キャリッジ６３２は、タイミングベルト６４３の一部に固定されている。キャリッジモータ６４１の作動により、タイミングベルト６４３を走行させると、キャリッジガイド軸６４４に導かれて、ヘッドユニット６３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、媒体Ｐへの印刷が行われる。
【００６７】
制御部６６０は、ヘッドユニット６３０、駆動部６１０、および給紙部６５０を制御することができる。
【００６８】
給紙部６５０は、媒体Ｐをトレイ６２１からヘッドユニット６３０側へ送り込むことができる。給紙部６５０は、その駆動源となる給紙モータ６５１と、給紙モータ６５１の作動により回転する給紙ローラ６５２とを備える。給紙ローラ６５２は、媒体Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラ６５２ａおよび駆動ローラ６５２ｂを備える。駆動ローラ６５２ｂは、給紙モータ６５１に連結されている。制御部６６０によって給紙部６５０が駆動されると、媒体Ｐは、ヘッドユニット６３０の下方を通過するように送られる。
【００６９】
ヘッドユニット６３０、駆動部６１０、制御部６６０、および給紙部６５０は、装置本体６２０の内部に設けられている。
【００７０】
プリンタ６００では、本発明に係る液体噴射ヘッドを有することができる。本発明に係る液体噴射ヘッドは、上述のように、容易に液滴形状を形成することができる。そのため、容易に液滴形状を形成することができるプリンタ６００を得ることができる。
【００７１】
なお、上述した例では、プリンタ６００がインクジェットプリンタである場合について説明したが、本実施形態のプリンタは、工業的な液滴吐出装置として用いられることもできる。この場合に吐出される液体（液状材料）としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したものなどを用いることができる。
【００７２】
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本実施形態に係るノズルプレートを模式的に示す断面図。
【図２】本実施形態に係るノズルプレートを模式的に示す平面図。
【図３】本実施形態に係るノズルプレートの製造工程を模式的に示す断面図。
【図４】本実施形態に係るノズルプレートの製造工程を模式的に示す断面図。
【図５】第１の変形例に係るノズルプレートを模式的に示す断面図。
【図６】第１の変形例に係るノズルプレートを模式的に示す平面図。
【図７】第２の変形例に係るノズルプレートを模式的に示す断面図。
【図８】第２の変形例に係るノズルプレートを模式的に示す平面図。
【図９】本実施形態に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す断面図。
【図１０】本実施形態に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す分解斜視図。
【図１１】変形例に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す断面図。
【図１２】変形例に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す分解斜視図。
【図１３】本実施形態に係るプリンタを模式的に示す斜視図。
【符号の説明】
【００７４】
１０  液体、１０ａ  吐出された液体、１０ｂ  空洞、１００  ノズルプレート、１１０  基板、１１０ａ  第１の面、１１０ｂ  第２の面、１１０ｃ  基板の側面、１２０  開口部、１２０ａ  第１開口面、１２０ｂ  第２開口面、１３０  閉塞部、１４０  支持部、２００  ノズルプレート、２３０  閉塞部、３００  ノズルプレート、３３０  閉塞部、４００  液体噴射ヘッド、４１０  圧力室、４１２  圧力室基板、４２０  振動板、４２２  高弾性領域、４３０  圧電素子、４４０  供給路、４５０  リザーバ、４６０  貫通孔、５００  液体噴射ヘッド、５３０  圧電素子、５３２  下部電極、５３４  圧電体層、５３６  上部電極、５４０  筐体、５５０  貫通孔、６００  プリンタ、６１０  駆動部、６２０  装置本体、６２１  トレイ、６２２  排出口、６３０  ヘッドユニット、６３１  インクカートリッジ、６３２  キャリッジ、６４１  キャリッジモータ、６４２  往復動機構、６４３  タイミングベルト、６４４  キャリッジガイド軸、６５０  給紙部、６５１  給紙モータ、６５２  給紙ローラ、６６０  制御部、６７０  操作パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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