(57)【要約】【課題】被搬送物の搬送先の負荷が高くなった場合にも、処理装置の総体としてのタクトタイムの短縮を図り、また、枚葉搬送ラインにおいても、演算処理を要するデータ量を増大させず、大掛かりな演算処理装置が不要で、演算処理時間が長くならない搬送制御装置を提供する。【解決手段】処理設備の各搬送装置を制御する制御手段２は、上位システムから仕分け条件を受信し、この仕分け条件に基づいて仕分け情報を生成し、生産ロットが開始済みであるかを判別し、開始済みであれば、処理設備の被搬送物の搬出ポートのうち、空の搬出ポートがあるか否かを判別し、生産ロットが完了済みであるかを判別し、優先度の高い仕分け条件があるかを判別し、生産ロットが完了済みであり、空の搬出ポートがあれば、優先度の高い仕分け条件にしたがって、搬出ポートに仕分け情報を割付け、この仕分け情報にしたがって、搬送装置３−１，３−２，・・・３−ｎを制御する。【選択図】図１
2010055567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送装置を有し、一の搬送装置について複数の被搬送物が対応されている処理設備において、前記搬送装置を制御する搬送制御装置であって、
前記各搬送装置を制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、上位システムから仕分け条件を受信し、この仕分け条件に基づいて仕分け情報を生成し、生産ロットが開始済みであるかを判別し、開始済みであれば、前記処理設備の被搬送物の搬出ポートのうち、空の搬出ポートがあるか否かを判別し、生産ロットが完了済みであるかを判別し、優先度の高い仕分け条件があるかを判別し、生産ロットが完了済みであり、空の搬出ポートがあれば、優先度の高い仕分け条件にしたがって、前記搬出ポートに仕分け情報を割付け、この仕分け情報にしたがって、前記搬送装置を制御する
ことを特徴とする搬送制御装置。
【請求項２】
複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送装置を有し、一の搬送装置について複数の被搬送物が対応されている処理設備において、前記搬送装置を制御する搬送制御方法であって、
上位システムから仕分け条件を取得し、この仕分け条件に基づいて仕分け情報を生成し、生産ロットが開始済みであるかを判別し、開始済みであれば、前記処理設備の被搬送物の搬出ポートのうち、空の搬出ポートがあるか否かを判別し、生産ロットが完了済みであるかを判別し、優先度の高い仕分け条件があるかを判別し、生産ロットが完了済みであり、空の搬出ポートがあれば、優先度の高い仕分け条件にしたがって、前記搬出ポートに仕分け情報を割付け、この仕分け情報にしたがって、前記搬送装置を制御する
ことを特徴とする搬送制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在する場合において、この搬送ルート上において被搬送物の搬送を行う搬送装置を制御するための搬送制御装置及び搬送制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルート上において被搬送物の搬送を行う搬送装置を有し、一の搬送装置に対して複数の被搬送物が対応されている処理設備が存在する。
【０００３】
このような処理設備においては、効率のよい処理を実現するため、いずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送するかについて、搬送装置を適切に制御する必要がある。
【０００４】
従来の搬送制御方法としては、当該搬送装置に到着した順序や、到着時刻、搬送時間及び待ち時間などにより予約された順序や、または、負荷状況などにより予めスケジューリングされた順序に従って、搬送装置が搬送を行うようにする制御方法であった。
【０００５】
また、従来の搬送制御方法においては、被搬送物は、カセットに積載されて複数がまとめて搬送されている。
【０００６】
例えば、特許文献１には、荷の移載を同期させて搬送指示データを制御装置から次の制御装置へと出力し、搬送機器に迅速に搬送作業を行わせるようにした搬送システムが記載されている。この搬送システムは、搬送機器として、自動倉庫内で荷を搬送するスタッカクレーン、有軌道台車、荷受け用コンベヤ及び入出庫用コンベヤを備えている。クレーンはクレーン制御装置に、有軌道台車は台車制御装置に、各コンベヤはコンベヤ制御装置にて制御される。搬送作業を指示するためのデータ（搬送指示データ）を作成する在庫管理コンピュータ及び各制御装置は、同一の通信回線にて接続されている。
【０００７】
そして、在庫管理コンピュータから出力された搬送指示データは、通信回線を介して順次制御装置から制御装置へと出力され、各制御機器ではその搬送指示データに従って搬送作業が行われるようになっている。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−３０６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前述したような従来の搬送制御方法においては、複数の被搬送物をカセットに積載してまとめて搬送しているため、被搬送物の入れ替えが少ない工程では生産効率が向上するが、被搬送物の入れ替えが多い工程では、生産効率が低下する。被搬送物の入れ替えの多い工程では、複数の被搬送物をカセットに搭載して搬送するのではなく、個々の被搬送物をいわゆる枚葉式に搬送したほうが生産効率が向上する。
【００１０】
しかし、被搬送物を個々に搬送する枚葉式の搬送ラインにおいては、演算処理を要するデータ量が膨大なものとなってしまうため、演算処理に要する時間により、処理装置としてのタクトタイムの短縮が困難となり、また、演算処理装置として大掛かりな装置が必要となってしまう。
【００１１】
例えば、液晶パネル製造工場では、プロセス順序はすべて生産管理システムが管理しているが、基板を１枚１枚搬送して処理するとなると、生産管理システムと枚葉搬送制御システムとの通信量が多くなり、生産管理システムがすべてのプロセス処理の順序を管理するのは難しい。
【００１２】
そこで、本発明は、いわゆる枚葉搬送ラインにおいても、演算処理を要するデータ量を増大させず、演算処理装置として大掛かりな装置が不要であり、演算処理に要する時間も長くならない搬送制御装置及び搬送制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前述の課題を解決し、前記目的を達成するため、本発明は、以下の構成のいずれか一を有するものである。
【００１４】
〔構成１〕
本発明に係る搬送制御装置は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在しこの搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送装置を有し一の搬送装置について複数の被搬送物が対応されている処理設備において搬送装置を制御する搬送制御装置であって、各搬送装置を制御する制御手段を備え、制御手段は、上位システムから仕分け条件を受信し、この仕分け条件に基づいて仕分け情報を生成し、生産ロットが開始済みであるかを判別し、開始済みであれば、処理設備の被搬送物の搬出ポートのうち、空の搬出ポートがあるか否かを判別し、生産ロットが完了済みであるかを判別し、優先度の高い仕分け条件があるかを判別し、生産ロットが完了済みであり、空の搬出ポートがあれば、優先度の高い仕分け条件にしたがって、搬出ポートに仕分け情報を割付け、この仕分け情報にしたがって、搬送装置を制御することを特徴とするものである。
【００１５】
〔構成２〕
本発明に係る搬送制御方法は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在しこの搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送装置を有し一の搬送装置について複数の被搬送物が対応されている処理設備において搬送装置を制御する搬送制御方法であって、上位システムから仕分け条件を取得し、この仕分け条件に基づいて仕分け情報を生成し、生産ロットが開始済みであるかを判別し、開始済みであれば、処理設備の被搬送物の搬出ポートのうち、空の搬出ポートがあるか否かを判別し、生産ロットが完了済みであるかを判別し、優先度の高い仕分け条件があるかを判別し、生産ロットが完了済みであり、空の搬出ポートがあれば、優先度の高い仕分け条件にしたがって、搬出ポートに仕分け情報を割付け、この仕分け情報にしたがって、搬送装置を制御することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
構成１を有する本発明に係る搬送制御装置においては、制御手段は、上位システムから仕分け条件を受信し、各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの搬送ポートに搬送すべきかを決定するので、上位システムからの指示を被搬送物の個々について取得しなくても、制御手段が単独で、処理結果に応じて被搬送物を搬送ポートに搬送することが可能となり、生産効率の向上が図られる。
【００１７】
構成２を有する本発明に係る搬送制御方法においては、上位システムから仕分け条件を取得し、各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの搬送ポートに搬送すべきかを決定するので、上位システムからの指示を被搬送物の個々について取得しなくても、処理結果に応じて被搬送物を搬送ポートに搬送することが可能となり、生産効率の向上が図られる。
【００１８】
すなわち、本発明は、いわゆる枚葉搬送ラインにおいても、演算処理を要するデータ量を増大させず、演算処理装置として大掛かりな装置が不要であり、演算処理に要する時間も長くならない搬送制御装置及び搬送制御方法を提供することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の最良の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
〔搬送制御装置の構成〕
図１は、本発明に係る搬送制御装置の構成を示すブロック図である。
【００２１】
本発明に係る搬送制御装置は、図１に示すように、上位システムである生産管理システム１から指示を受ける制御手段となる搬送制御システム２を有して構成される。この搬送制御システム２は、複数の機器制御盤３−１，３−２，・・・３−ｎを制御し、これら機器制御盤３−１，３−２，・・・３−ｎを介して、処理設備を構成する複数の処理装置及び搬送装置の動作を制御する。
【００２２】
図２は、本発明に係る搬送制御装置が適用される処理設備の構成を示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。
【００２３】
本発明に係る搬送制御装置が適用される処理設備においては、例えば、図２中の（ａ）に示すように、出入口１０５となる搬入搬出ポートＡ、搬入搬出ポートＢ、搬入搬出ポートＣ、搬入搬出ポートＤ、搬入搬出ポートＥから、被搬送物が投入される。被搬送物は、搬送装置となるコンベア１０６，１０７により、複数の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４間を搬送されるようになっている。
【００２４】
コンベア１０７は、図２中の（ｂ）に示すように、被搬送物を水平に搬送するとともに処理装置１０１，１０２，１０３，１０４との間で被搬送物の授受を行うフォーク機能付きコンベア（ＦＣＶ）と、縦搬送（昇降）機能付きコンベア（縦ＣＶ）とからなる。
【００２５】
この処理設備においては、プロセスＡの処理装置１０１とプロセスＤの処理装置１０４とが上下に積載されて配置され、また、プロセスＢの処理装置１０２とプロセスＣの処理装置１０３とが上下に積載されて配置されている。これら各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４は、フォーク機能付きコンベア（ＦＣＶ）に対向して設置されている。そして、ラインの始端及び終端と、プロセスＡの処理装置１０１及びプロセスＤの処理装置１０４とプロセスＢの処理装置１０２及びプロセスＣの処理装置１０３との間には、それぞれバッファ１０８，１０９，１１０が設置されている。これらバッファ１０８，１０９，１１０は、縦搬送機能付きコンベア（縦ＣＶ）に対向して設置されている。これらバッファ１０８，１０９，１１０は、いずれかの処理装置から次の処理装置に搬送されるまでの間の被搬送物が一時的に滞留される場所である。
【００２６】
この処理設備においては、本発明に係る搬送制御装置により、コンベア１０６，１０７が制御されることにより、各被搬送物は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４及び各バッファ１０８，１０９，１１０の任意の場所に搬送され、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４において、所定の処理（検査）を施される。
【００２７】
図３は、本発明に係る搬送制御方法が実施される処理設備の構成を示すブロック図である。
【００２８】
すなわち、本発明に係る搬送制御装置は、図３に示すように、複数の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送装置を有し、一の搬送装置について複数の被搬送物が対応されている処理設備である。
【００２９】
このような処理設備は、上位システムから取得される処理装置１０１，１０２，１０３，１０４（工程Ａ，工程Ｂ，工程Ｃ，工程Ｄ）間の搬送情報に従って、ライン内の被搬送物（例えば、ＦＰＤや半導体に使用するガラス基板など）を処理装置間１０１，１０２，１０３，１０４で順次搬送するようになっている。本発明に係る搬送制御方法は、このような処理設備における搬送効率を改善するものである。
【００３０】
このような処理設備においては、出入口１０５に投入された被搬送物は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４に順次搬送されて、所定の処理を施され、再び出入口１０５に戻される。しかし、この処理設備において、被搬送物は、各処理装置における処理結果（例えば、検査結果）によって、次に搬送される処理装置（工程）が変更される可能性がある。また、この処理設備において、被搬送物は、同一の処理装置（例えば、検査装置）に複数回に亘って搬送されることもあるため、各処理装置間の搬送ルートには、分岐や合流が多く存在する。
【００３１】
本発明に係る搬送制御方法は、特に、被搬送物を１枚ずつ搬送する枚葉搬送ラインに適用するに好適である。枚葉搬送ラインでは、同時に搬送制御される被搬送物の数が膨大なものとなり、従来の搬送制御方法によっては、制御が極めて困難となるためである。
【００３２】
〔搬送制御装置の動作（搬送制御方法）〕
図４は、本発明に係る搬送制御装置の搬送制御システムの動作を示すフローチャートである。
【００３３】
この搬送制御装置において、搬送制御システム２は、図４に示す処理を実行する。
【００３４】
ステップｓｔ１では、工程（処理設備）に複数の被搬送物を収納したカセットが到着する。ステップｓｔ２では、上位システムである生産管理システム１からプロセスフローを受信し、ステップｓｔ３及びステップｓｔ４に進む。
【００３５】
ステップｓｔ３では、プロセスフローを展開してプロセス情報とし、各処理装置（プロセス装置）に割付ける。なお、プロセス情報は、プロセス情報データベースに蓄積しておく。
【００３６】
一方、ステップｓｔ４では、上位システムである生産管理システム１から仕分け情報を受信し、ステップｓｔ５及びステップｓｔ６に進む。
【００３７】
ステップｓｔ５では、仕分け情報を展開し、各カセットに割付ける。なお、仕分け情報は、仕分け情報データベースに蓄積しておく。
【００３８】
ステップｓｔ６では、ステップｓｔ３で蓄積されたプロセス情報に基づいて、カセット内の被搬送物（例えば、基板）の個々のプロセスフローを作成し、ステップｓｔ７に進む。ステップｓｔ７では、プロセスフローに従って、被搬送物（基板）を搬送し、ステップｓｔ８に進む。
【００３９】
ステップｓｔ８では、プロセス処理結果により、プロセスフローに基づいて、次の搬送先を決定し、ステップｓｔ９に進む。ステップｓｔ９では、ステップｓｔ８までで行った処理が最終処理か否かを判別し、最終処理であればステップｓｔ１０に進み、最終処理でなければステップｓｔ７に戻る。
【００４０】
ステップｓｔ１０では、ステップｓｔ５で蓄積された仕分け情報に基づいて、仕分け条件にしたがって、被搬送物（基板）を仕分け用カセットに搬送する。
【００４１】
図５は、本発明に係る搬送制御装置の搬送制御システムのプロセス情報の生成動作を示すフローチャートである。
【００４２】
搬送制御システム２は、プロセス情報の生成にあたっては、図５に示すように、ステップｓｔ１１でプロセスフローを受信すると、ステップｓｔ１２及びステップｓｔ１３に進む。
【００４３】
図７は、本発明に係る搬送制御装置において生産管理システムから受信するプロセスフローの例を示すブロック図である。
【００４４】
搬送制御システムが生産管理システムから受信するプロセスフローは、例えば、図７に示すように、「生産ロット情報」、「品種コード」、「ロットＩＤ」、「現プロセスコード」、「仕分けコード」、「次プロセスコード」、「次プロセスレシピＩＤ」からなる。
【００４５】
ステップｓｔ１２では、生産ロット情報を生成し、ステップｓｔ１４に進む。ステップｓｔ１４では、生産ロット完了情報を受信したか否かを判別し、生産ロット完了情報を受信したならばステップｓｔ１５に進み、生産ロット完了情報を受信していないならばステップｓｔ１４に留まる。生産ロット完了情報は、例えば、「管理ＩＤ」、「品種コード」、「ロットＩＤ」、「プロセスコード」、「仕分けコード」からなる。
【００４６】
ステップｓｔ１５では、ロットエンドマークを付加し、ステップｓｔ１９に進む。
【００４７】
一方、ステップｓｔ１３では、ライン別生産ロット情報を生成し、ステップｓｔ１６に進む。生産ロット情報は、例えば、「管理ＩＤ」、「品種コード」、「ロットＩＤ」、「プロセスコード」、「仕分けコード」、「処理枚数」、「完了枚数」、「破損枚数」、「処理状態」からなる。
【００４８】
ステップｓｔ１６では、空の処理装置があるか否かを判別し、空の処理装置があるならばステップｓｔ１７に進み、空の処理装置がないならばステップｓｔ１６に留まる。ステップｓｔ１７では、ラインの処理装置に生産ロット情報を割付けて、ステップｓｔ１８に進む。ステップｓｔ１８では、処理装置にレシピＩＤ（処理内容）を割付けて、ステップｓｔ１９に進む。
【００４９】
ステップｓｔ１９では、搬送指示情報を生成して、ステップｓｔ２０に進む。搬送指示情報は、例えば、「搬送ＩＤ」、「基板ＩＤ」、「ロットエンドマーク」、「開始（From）位置」、「終了（To）位置」、「最終搬送先」、「処理状態」からなる。
【００５０】
ステップｓｔ２０では、次工程への搬送が可能か否かを判別し、搬送が可能であれば、ステップｓｔ２１に進み、搬送が可能でなければ、ステップｓｔ２０に留まる。ステップｓｔ２１では、被搬送物（基板）の搬送を指示し、ステップｓｔ２２に進む。ステップｓｔ２２では、ロットエンドか否かを判別し、ロットエンドであればロットを終了し、ロットエンドでなければステップｓｔ１９に戻る。
【００５１】
図６は、本発明に係る搬送制御装置の搬送制御システムの仕分け情報の生成動作を示すフローチャートである。
【００５２】
搬送制御システム２は、仕分け情報の生成にあたっては、図６に示すように、ステップｓｔ３１で仕分け条件を受信すると、ステップｓｔ３２に進む。ステップｓｔ３２では、仕分け情報を生成し、ステップｓｔ３３に進む。
【００５３】
図８は、本発明に係る搬送制御装置において生産管理システムから受信する仕分け条件の例を示すブロック図である。
【００５４】
搬送制御システムが生産管理システムから受信する仕分け条件は、例えば、図８に示すように、「管理ＩＤ」、「品種コード」、「ロットＩＤ」、「代表プロセスコード」、「代表仕分けコード」、「優先度」、「基板情報」、「搬送基板枚数」、「処理状態」からなる。
【００５５】
ステップｓｔ３３では、空の搬入搬出ポートがあるか否かを判別し、空の搬入搬出ポートがあればステップｓｔ３４に進み、空の搬入搬出ポートがなければ、ステップｓｔ３３に留まる。
【００５６】
ステップｓｔ３４では、生産ロットが開始済みであるかを判別し、開始済みであればステップｓｔ３５に進み、開始済みでなければ、ステップｓｔ３４に留まる。
【００５７】
ステップｓｔ３５では、生産ロットが完了済みであるかを判別し、完了済みであればステップｓｔ３６に進み、完了済みでなければ、ステップｓｔ３５に留まる。
【００５８】
ステップｓｔ３６では、優先度の高い仕分け条件があるかを判別し、優先度の高い仕分け条件があればステップｓｔ３７に進み、優先度の高い仕分け条件がなければ、ステップｓｔ３６に留まる。
【００５９】
ステップｓｔ３７では、搬入搬出ポートに仕分け情報を割付けて、処理を終了する。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る搬送制御装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る搬送制御装置が適用される処理設備の構成を示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。
【図３】本発明に係る搬送制御方法が実施される処理設備の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明に係る搬送制御装置の搬送制御システムの動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明に係る搬送制御装置の搬送制御システムのプロセス情報の生成動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明に係る搬送制御装置の搬送制御システムの仕分け情報の生成動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係る搬送制御装置において生産管理システムから受信するプロセスフローの例を示すブロック図である。
【図８】本発明に係る搬送制御装置において生産管理システムから受信する仕分け条件の例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００６１】
１      生産管理システム
２      搬送制御システム
３−１  機器制御盤
３−２  機器制御盤
３−ｎ  機器制御盤
１０２      処理装置（プロセスＢ）
１０３      処理装置（プロセスＣ）
１０４      処理装置（プロセスＤ）
１０６      搬送装置
１０７      搬送装置
【図１】
2010055567.tif 000003
【図２】
2010055567.tif 000004
【図３】
2010055567.tif 000005
【図４】
2010055567.tif 000006
【図５】
2010055567.tif 000007
【図６】
2010055567.tif 000008
【図７】
2010055567.tif 000009
【図８】
2010055567.tif 000010