(57)【要約】【課題】  装置の小型化を図りつつ、十分な明るさと広い照野を持ち、暗視野照明及び偏斜照明のうち少なくとも一方が可能な照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供する。【解決手段】  暗視野照明装置１０は、試料面３１ａの下方に、前記試料面３１ａに垂直な観察光軸Ｘを中心とする中空七角形状に配置された複数のＬＥＤからなる光源１１と、光源１１から射出された照明光を反射するミラー１２ａ〜１２ｇからなる反射部材１２とを備え、反射部材１２を少なくとも１回介した照明光を試料面３１ａの斜め下方から照射する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
暗視野照明及び偏斜照明のうち少なくとも一方が可能な顕微鏡の照明装置であって、
試料面の下方に、前記試料面に垂直な観察光軸を中心として、その周囲に配置された複数の半導体光源と、
前記複数の半導体光源から射出された照明光を反射する複数の反射部材とを備え、
前記反射部材を少なくとも１回介した前記照明光を、前記試料面の斜め下方から照射することを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記反射部材は、回転可能に設けられ、前記試料面に対する反射面の傾きが変更可能であることを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記複数の半導体光源の光軸は、それぞれ前記試料面に垂直であることを特徴とする請求項１又は２に記載の照明装置。
【請求項４】
前記暗視野照明時には、
前記反射部材の反射面と前記試料面とのなす角をθとし、前記複数の半導体光源の広がり角をαとし、前記顕微鏡に設けられた対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、次式
θ＞（ＮＡ＋α）／２
の条件を満足することを特徴とする請求項３に記載の照明装置。
【請求項５】
前記偏斜照明時には、
前記反射部材の反射面と前記試料面とのなす角をθとし、前記複数の半導体光源の広がり角をαとし、前記顕微鏡に設けられた対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、次式
θ＜（ＮＡ＋α）／２
の条件を満足することを特徴とする請求項３又は４に記載の照明装置。
【請求項６】
前記反射部材は、前記反射面の傾きに応じて、上下方向に移動可能であることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の照明装置。
【請求項７】
前記反射部材の反射面と前記試料面とのなす角をθとし、前記半導体光源の広がり角をαとし、前記半導体光源の光軸と前記反射部材の反射面の交点から前記試料面までの距離をｄとし、前記半導体光源の光軸と前記反射部材の反射面の交点から前記半導体光源までの距離をｄ’とし、前記半導体光源の光軸から前記対物レンズの光軸までの距離をＬとしたとき、次式
(d+d’cos2θ)tan(2θ-α)−d’sin2θ<L<(d+d’cos2θ)tan(2θ+α)−d’sin2θ
の条件を満足することを特徴とする請求項３〜６のいずれか一項に記載の照明装置。
【請求項８】
前記反射部材は、シリンドリカルミラーであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の照明装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の照明装置を備えることを特徴とする顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、暗視野照明及び偏斜照明のうち少なくとも一方が可能な照明装置及びこれを備える顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、実体顕微鏡などに用いられる照明装置には、生物標本を生きたまま観察したり、あるいは半導体デバイス工程での検査などを行ったりするのに、透過照明が多く用いられている。また、このような照明装置は、用途によって明視野観察用や暗視野観察用として使い分けられており、これらに用いられる照明光源も多岐にわたっている。
【０００３】
例えば、照明光源としてハロゲンやタングステンなどのランプを用いて、レンズやリフレクタを通して実体顕微鏡の視野内の照明を行っているものがある。この場合、ランプを実体顕微鏡本体と対向する標本の真下に配置したり、あるいは、標本の直下にミラーを配置し、ランプからの光線をミラーにより折り曲げられた光軸上に配置したりするようにしている。また、ランプからの光の導入に、光ファイバを用いたものもある。
【０００４】
ところが、一般に、実体顕微鏡の倍率は、通常の顕微鏡のそれに比べて低く、観察できる視野も広いため、照明する範囲を広くしなければならない。このため、ランプを標本の真下に配置した場合、リフレクタやレンズで必要な視野の照明を行うと、机上から標本までの距離が大きくなってしまい、また、ミラーを用いて光軸を折り返した場合も同様で、必要な光束径を大きくするため、机上から標本までの距離が大きくなってしまう。このことは、標本が机上面より高い所に位置されるため、例えば、標本の載せ換えの際には、机上面とステージの間で観察者の手の移動を上下に大きくしなければならず、標本観察をしながらの作業が行いにくいという問題があった。また、照明光源として用いられるハロゲンやタングステンなどのランプは、発熱量や消費電力も大きく、さらに寿命も短いという問題があった。
【０００５】
そこで、このようなランプを用いたことによる問題を解決する手段として、光源に複数の発光ダイオードを用いた方法がある（例えば、特許文献１及び特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−７５７２５号公報
【特許文献２】特開２００６−２０９０３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、光源に用いた発光ダイオード（以下、ＬＥＤと称する）から発せられる光束の広がり角は限られている。したがって、従来の照明装置では、ＬＥＤの照射範囲を広げるためには、光源と標本面までの光路長をできるだけ長くとる必要があり、照明装置の大型化（特に厚さ方向）に繋がってしまう。
【０００８】
また、特許文献１に記載の照明装置では、暗視野照明に用いるＬＥＤによって標本面が照明される角度が一定である。したがって、開口数の大きな対物レンズを用いた場合には、直接光が対物レンズに入射して、フレアを生じさせるおそれがある。一方、このような現象を防ぐために照明角度を大きくすると、ステージガラスで光が反射される割合が高くなるので、開口数の小さな対物レンズを用いる場合には、照明が必要以上に暗くなってしまう。
【０００９】
また、特許文献２に記載の照明装置では、照明角度を可変とすることで、上記の課題を解消しているものの、個々のＬＥＤをそれぞれ別々の基板に配置する必要があり、コストが掛かってしまう。フレキシブル基板を用いれば、一つの基板に複数のＬＥＤを配置することも可能であるが、やはりコスト増は避けられない。
【００１０】
また、特許文献２の実施例９に記載の照明装置では、試料面と直交する観察光軸と平行に試料面の方へ、光源からの光束を向けるように個々のＬＥＤを円周状に配置し、各ＬＥＤからの光束をミラーで反射して試料面を照明している。この場合、複数のＬＥＤを円周状に１つの基板に配置することは可能であるが、試料面からＬＥＤまでの距離が長くなり、照明装置の厚みが増してしまう。そこで、観察光軸とＬＥＤの光軸との距離を短くすれば装置の厚みを抑えることは可能であるが、ＬＥＤを配置する円周の長さが短くなるため、配置可能なＬＥＤの数が減少して照明が暗くなってしまう。
【００１１】
また、特許文献２に記載の照明装置では、照明角度を変更した際に、光源から試料面までの距離が最適化されておらず、照明角度を小さくすると試料の中心部が暗くなり、逆に照明角度を大きくすると照野が小さくなってしまう。
【００１２】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、装置の小型化を図りつつ、十分な明るさと広い照野を持ち、暗視野照明及び偏斜照明のうち少なくとも一方が可能な照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するため、本発明は、暗視野照明及び偏斜照明のうち少なくとも一方が可能な顕微鏡の照明装置であって、試料面の下方に、前記試料面に垂直な観察光軸を中心として、その周囲に配置された複数の半導体光源と、前記複数の半導体光源から射出された照明光を反射する複数の反射部材とを備え、前記反射部材を少なくとも１回介した前記照明光を、前記試料面の斜め下方から照射する。
【００１４】
なお、前記反射部材は、回転可能に設けられ、前記試料面に対する反射面の傾きが変更可能であることが好ましい。
【００１５】
また、前記複数の半導体光源の光軸は、それぞれ前記試料面に垂直であることが好ましい。
【００１６】
また、前記暗視野照明時には、前記反射部材の反射面と前記試料面とのなす角をθとし、前記複数の半導体光源の広がり角をαとし、前記顕微鏡に設けられた対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、次式θ＞（ＮＡ＋α）／２の条件を満足することが好ましい。
【００１７】
また、前記偏斜照明時には、前記反射部材の反射面と前記試料面とのなす角をθとし、前記複数の半導体光源の広がり角をαとし、前記顕微鏡に設けられた対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、次式θ＜（ＮＡ＋α）／２の条件を満足することが好ましい。
【００１８】
また、前記反射部材は、前記反射面の傾きに応じて、上下方向に移動可能であることが好ましい。
【００１９】
また、前記反射部材の反射面と前記試料面とのなす角をθとし、前記半導体光源の広がり角をαとし、前記半導体光源の光軸と前記反射部材の反射面の交点から前記試料面までの距離をｄとし、前記半導体光源の光軸と前記反射部材の反射面の交点から前記半導体光源までの距離をｄ’とし、前記半導体光源の光軸から前記対物レンズの光軸までの距離をＬとしたとき、次式(d+d’cos2θ)tan(2θ-α)−d’sin2θ<L<(d+d’cos2θ)tan(2θ+α)−d’sin2θの条件を満足することが好ましい。
【００２０】
また、前記反射部材は、シリンドリカルミラーであることが好ましい。
【００２１】
また、本発明に係る顕微鏡は、上記いずれかの照明装置を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、装置の小型化を図りつつ、十分な明るさと広い照野を持ち、暗視野照明及び偏斜照明のうち少なくとも一方が可能な照明装置及びこれを備える顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係る顕微鏡の構成概略図である。
【図２】第１実施形態に係る照明装置を対物レンズの光軸方向から見た図である。
【図３】第２実施形態に係る顕微鏡の構成概略図である。
【図４】第２実施形態に係る照明装置を対物レンズの光軸方向から見た図である。
【図５】第２実施形態に係る照明装置の構成図であり、図５（ａ）は高ＮＡの対物レンズを用いた際の暗視野観察時について、図５（ｂ）は低ＮＡの対物レンズを用いた際の暗視野観察時についてそれぞれ示す。
【図６】第２実施形態に係る照明装置の構成図であり、図６（ａ）は暗視野照明を行う際について、図６（ｂ）は偏斜照明を行う際についてそれぞれ示す。
【図７】条件式（１），（２）の効果を説明するための図である。
【図８】条件式（３）の効果を説明するための図である。
【図９】第３実施形態に係る顕微鏡の構成概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る各実施形態について、図面を用いて説明する。
（第１実施形態）
本実施形態に係る顕微鏡ＭＳ１は、図１に示すように、暗視野照明装置１０と、明視野照明装置２０と、ステージガラス３１と、対物レンズ３２と、結像レンズ３３と、接眼レンズ３４とを有する。
【００２５】
暗視野照明装置１０は、光源１１と、ミラー１２とからなる。
【００２６】
光源１１は、複数のＬＥＤからなり、試料３０を載置するステージガラス３１の下面に取り付けられたベース部材３５に保持されている。そして、光源１１は、このベース部材３５に対して、試料面（すなわち、ステージガラス３１における試料３０の載置面）３１ａに垂直な観察光軸Ｘを中心とする中空七角形状に配置されている（図２参照）。なお、光源１１を構成するＬＥＤの各光軸は、試料面３１ａに対して垂直となるように構成されている。
【００２７】
ミラー１２は、７枚の平面ミラー１２ａ〜１２ｇからなり、光源１１の下方に、観察光軸Ｘを中心として中空七角形を描くように設けられ、試料面３１ａを斜め下方から照明するように、光源１１から射出された照明光を反射する。
【００２８】
図２は、暗視野照明装置１０を対物レンズ３２の光軸方向から見た図である。図２に示すように、光源１１とミラー１２はそれぞれ、ステージガラス３１を通る観察光軸Ｘ上に載置された試料３０を中心とする中空多角形を描くように、複数のＬＥＤとミラー１２ａ〜１２ｇが配置されている。本実施形態において、光源１１とミラー１２は、ともに七角形状に配置されているが、角数をさらに増やせば照明の方向性を低減させることが可能となる。逆に、角数を減らせば、構成をより単純にして、製造コストを抑えることも可能となる。
【００２９】
このような構成の暗視野照明装置１０において、光源１１から試料面３１ａと逆方向（本実施形態では鉛直下方）に発せられた照明光は、ミラー１２により反射され、（対物レンズ３２に直接光が入らないように）試料面３１ａを斜め下方から照明する。これにより、暗視野照明が達成される。
【００３０】
さらに、試料３０に照射された照明光の一部は、試料３０によって回折されたり散乱されたり光のみが対物レンズ３２に入射し、結像レンズ３３によって像３６が形成される。観察者３７は像３６（ここでは暗視野像）を接眼レンズ３４を介して観察する。このように、顕微鏡ＭＳ１によって、試料３０の暗視野観察が可能となる。
【００３１】
明視野照明装置２０は、光源２１と、コレクタレンズ２２と、リレーレンズ２３と、ミラー２４と、コンデンサレンズ２５とからなり、光源２１から射出された照明光が、コレクタレンズ２２により平行光束となった後、リレーレンズ２３により収束光となり、ミラー２４により反射された後に対物レンズ３２の瞳と共役な面に集光され、コンデンサレンズ２５により平行光束となり、試料３０を照明するように構成されている。試料３０を照明した光は、対物レンズ３２を経て、結像レンズ３３によって結像される。観察者３７は像３６（ここでは明視野像）を接眼レンズ３４を介して観察する。このように顕微鏡ＭＳ１によって、試料３０の明視野観察が可能となる。但し、明視野照明装置２０については代表例であり、明視野照明が可能であれば、この構成に限らない。
【００３２】
上記構成を有する顕微鏡ＭＳ１においては、観察者は暗視野照明用の光源１１と、明視野照明用の光源２１とを必要に応じて切り換えることで、暗視野観察と明視野観察の両方が可能である。
【００３３】
以上のように、本実施形態においては、試料面３１ａとは逆方向に（試料面３１ａから離れる方向に）光束を発するように光源１１を設置し、その光束をミラー１２で反射して試料３０を照明するという構成から成り立っている。これにより、暗視野照明装置１０の薄型化を図りながらも、光源１１と試料面３１ａまでの光路長を延ばすことができ、広がり角が制限された光源１１から発せられる光束を十分に広げ、広い照野を確保することが可能となる。
【００３４】
なお、本実施形態は、上記に限定されるものではなく、本発明に係る要旨を逸脱しない範囲であれば適宜改良可能である。例えば、本実施形態に係る暗視野照明装置１０では、照明光が直接対物レンズ３２に入射しないようにミラー１２の角度が設定されているが、ミラー１２の角度を調整して照明光が直接対物レンズ３１に入射するように構成することで、偏斜照明装置として使用することも可能である。これにより、通常の明視野観察では見ることのできない、透明な位相試料を観察することが可能となる。
【００３５】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る顕微鏡ＭＳ２について、図３〜図８を用いて説明する。なお、本実施形態において、上記の第１実施形態と同じ構成、機能を有するものについては、同じ符号を用いて適宜説明を省略する。
【００３６】
本実施形態に係る顕微鏡ＭＳ２は、図３に示すように、暗視野照明装置２１０と、明視野照明装置２０と、試料３０を載置するステージガラス３１と、対物レンズ３２と、結像レンズ３３と、接眼レンズ３４とを有する。
【００３７】
第２実施形態では、暗視野照明装置２１０を構成するミラー２１２が、回転可能に設けられ、試料面３１ａに対する反射面の傾きが変更可能である点、及び、前記反射面の傾きに応じて上下方向に移動可能である点が、第１実施形態とは異なる。
【００３８】
すなわち、本実施形態の暗視野照明装置２１０においては、ミラー２１２が、図４に示すように、観察光軸Ｘを中心として七角形状に配置された、７枚の平面ミラー２１２ａ〜２１２ｇからなり、それぞれが回転可能に設けられている。さらに、ミラー２１２は、反射面の傾きに応じて上下方向にも移動可能であり、光源１１とミラー２１２との間隔を調整できるようになっている。
【００３９】
図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ高ＮＡの対物レンズ（以下、対物レンズ３２Ｈ）及び低ＮＡの対物レンズ（以下、対物レンズ３２Ｌ）を用いて暗視野観察を行う際の暗視野照明装置２１０の構成図である。図５（ａ）に示すように、暗視野照明装置２１０において高ＮＡの対物レンズ３２Ｈを用いる際には、ミラー２１２の角度を立てることで照明角度を大きくし、直接照明光が対物レンズ３２Ｈに入射することを防ぐ。また同時に、（ミラー２１２の傾きに応じて）ミラー２１２を上下方向に移動させ、（下記低ＮＡの対物レンズ３２Ｌの使用時と比べて相対的に短くなるように）光源１１とミラー２１２との間隔を調整することで、視野全体をムラなく照明することが可能となる。逆に、図５（ｂ）に示すように、暗視野照明装置２１０において低ＮＡの対物レンズ３２Ｌを用いる際には、ミラー２１２の角度を寝かせることで照明角度を小さくし、ステージガラス３１での反射を少なくし、試料３０を明るく照明することが可能となる。また同時に、（ミラー２１２の傾きに応じて）ミラー２１２を上下方向に移動させ、（上記高ＮＡの対物レンズ３２Ｈの使用時と比べて相対的に長くなるように）光源１１とミラー２１２との間隔を調整することで、視野全体をムラなく照明することが可能となる。
【００４０】
図６(a)及び（ｂ）は、それぞれ暗視野照明及び偏斜照明を行う際の暗視野照明装置２１０の構成図である。図６（ａ）に示すように、暗視野照明装置２１０において暗視野照明を行う際には、ミラー２１２の角度を立てることで照明角度を大きくし、直接照明光が対物レンズ３２に入射しないように構成する。また同時に、（ミラー２１２の傾きに応じて）ミラー２１２を上下方向に移動させ、（下記偏斜照明時と比べて相対的に短くなるように）光源１１とミラー２１２との間隔を調整することで、視野全体をムラなく照明することが可能となる。逆に、図６（ｂ）に示すように、暗視野照明装置２１０において偏斜照明を行う際には、ミラー２１２の角度を寝かせることで照明角度を小さくし、直接照明光が対物レンズ３２に入射するように構成する。また同時に、（ミラー２１２の傾きに応じて）ミラー２１２を上下方向に移動させ、（上記暗視野照明時と比べて相対的に長くなるように）光源１１とミラー２１２との間隔を調整することで、視野全体を明るく照明することが可能となる。
【００４１】
なお、本実施形態においては、ミラー２１２の反射面と試料面３１ａとのなす角をθとし、光源１１の広がり角をαとし、顕微鏡ＭＳ２に設けられた対物レンズ３２の開口数をＮＡとしたとき、暗視野照明時には条件式（１）を満足し、偏斜照明時には条件式（２）を満足することが好ましい。
【００４２】
θ＞（ＮＡ＋α）／２  …  （１）
θ＜（ＮＡ＋α）／２  …  （２）
【００４３】
上記の式（１）及び（２）の作用について、図７を用いて説明する。暗視野照明装置２１０を構成する光源１１は、試料面３１ａに対して鉛直下向きに広がり角αを持つ光束（照明光）を発する。そして、その光束は、試料面３１ａと角度θをなすミラー２１２の反射面によって反射され、試料面３１ａを照明する。このとき、対物レンズ３２の光軸Ｘとなす角度が最も小さい光線（照明光）の角度は（２θ−α）となる。暗視野照明を行う際には、この光線の角度が対物レンズ３２のＮＡより大きい、すなわち条件式（４）が満たされる必要がある。
【００４４】
２θ−α  ＞  ＮＡ  …  （４）
【００４５】
なお、条件式（４）は、条件式（１）と等価である。逆に、偏斜照明を行う際には、この光線の角度（２θ−α）が対物レンズ３２のＮＡより小さい、すなわち条件式（５）が満たされる必要がある。
【００４６】
２θ−α  ＜  ＮＡ  …（５）
【００４７】
なお、条件式（５）は、条件式（２）と等価である。
【００４８】
また、本実施形態においては、ミラー２１２の反射面と試料面３１ａとのなす角をθとし、光源１１の広がり角をαとし、光源１１の光軸とミラー２１２の反射面の交点から記試料面３１ａまでの距離をｄとし、光源１１の光軸とミラー２１２の反射面の交点から光源１１までの距離をｄ’とし、光源１１の光軸から対物レンズ３２の光軸までの距離をＬとしたとき、次式（３）の条件を満足することが好ましい。
【００４９】
(d+d’cos2θ)tan(2θ-α)−d’sin2θ  <  L  
<  (d+d’cos2θ)tan(2θ+α)−d’sin2θ  …（３）
【００５０】
上記条件式（３）の作用について、図８を用いて説明する。光源１１は試料面３１ａと鉛直下向きに広がり角αを持つ光束（照明光）を発する。そして、その光束は、試料面３１ａと角度θをなすミラー２１２の反射面によって反射され、試料面３１ａを照明する。このとき、試料面３１ａを中抜けすることなく一様に照明するためには、光源１１の光軸と対物レンズ３２の光軸の距離Ｌは、光源１１から広がり角αで発せられた光線と試料面３１ａとの交点ａ、ｂから光源１１の光軸までの距離をそれぞれＬａ、Ｌｂとしたとき（Ｌａ＜Ｌｂ）、次式（６）を満足する必要がある。
【００５１】
Ｌａ＜  Ｌ  ＜  Ｌｂ  …（６）
【００５２】
上記Ｌａ、Ｌｂは、それぞれ幾何学計算から以下の式のように表される。
Ｌａ＝（ｄ＋ｄ’cos2θ）tan（2θ−α）−ｄ’sin2θ  …（７）
Ｌｂ＝（ｄ＋ｄ’cos2θ）tan（2θ＋α）−ｄ’sin2θ  …（８）
【００５３】
上記条件式（６）に、式（７）及び（８）を代入すると、上記の条件式（３）が導かれる。
【００５４】
以上のように、第２実施形態において、ミラー２１２の反射面の角度を変化させて、照明光の照射角度を調整すれば、対物レンズ３２の開口数に合わせて最適な明るさで、かつフレアの少ない暗視野照明が可能となる。また、暗視野照明装置２１０において、照明光が直接対物レンズ３２に入射するように、ミラー２１２を傾けて照明光の照射角度を調整すれば、暗視野照明から偏斜照明へと容易に切り換えることが可能となる。また、ミラー２１２の傾きの変化に連動して、該ミラー２１２を上下方向に移動させ、光源１１とミラー２１２との間隔を調整すれば、視野全体の照度ムラを減らすことが可能となる。
【００５５】
さらに、本実施形態においては発散光で試料３０を照明するので、より広い領域を照明することが可能となる。したがって、低倍の対物レンズ３２で観察する際にも、視野周辺までムラなく照明することが可能となる。
【００５６】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る顕微鏡ＭＳ３について、図９を用いて説明する。なお、本実施形態において、上記の第１実施形態と同じ構成、機能を有するものについては、同じ符号を用いて適宜説明を省略する。
【００５７】
本実施形態に係る顕微鏡ＭＳ３は、図９に示すように、暗視野照明装置３１０と、明視野照明装置２０と、試料３０を載置するステージガラス３１と、対物レンズ３２と、結像レンズ３３と、接眼レンズ３４とを有する。
【００５８】
なお、第３実施形態では、暗視野照明装置３１０を構成するミラー３１２が、シリンドリカルミラー（いわゆる凹面鏡）である点、及び、（第２実施形態と同様に）回転可能に設けられて試料面３１ａに対する反射面の傾きが変更可能であるとともに、これに連動して上下方向にも移動可能である点が、第１実施形態とは異なる。
【００５９】
このような構成の第３実施形態によれば、光源１１から発せられる発散光（照明光）は、シリンドリカルミラー３１２で反射し、タンジェンシャル面内ではおよそ平行もしくは収束する光束となって試料３０を照明する。このとき、試料面３１ａへの照明光の照射角度を制限されるため、対物レンズ３２への直接光の入射を防ぐことが可能となる。したがって、比較的開口数の大きな対物レンズ３２を用いてもフレアが少なく、良好な暗視野観察が可能となる。
【００６０】
また、本実施形態によれば、対物レンズ３２の開口数に合わせて、ミラー３１２の傾き角度を変更するとともに、これに連動してミラー３１２を上下方向に移動させることで、光源１１とミラー３１２との間隔を適切に調整し、明るく、フレアが少ない暗視野照明が可能となる。
【００６１】
なお、以上のような本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る要旨を逸脱しない範囲であれば適宜改良可能である。
【符号の説明】
【００６２】
ＭＳ１〜ＭＳ３  顕微鏡
１０、２１０、３１０  暗視野照明装置（照明装置）
１１  光源（半導体光源）
１２，２１２，３１２  ミラー（反射部材）
２０  明視野照明装置
３０  試料
３１  ステージガラス
３１ａ  試料面
３２  対物レンズ
３３  結像レンズ
３４  接眼レンズ
【図１】
2010217473.tif 000003
【図２】
2010217473.tif 000004
【図３】
2010217473.tif 000005
【図４】
2010217473.tif 000006
【図５】
2010217473.tif 000007
【図６】
2010217473.tif 000008
【図７】
2010217473.tif 000009
【図８】
2010217473.tif 000010
【図９】
2010217473.tif 000011