(57)【要約】      （修正有）【課題】上面発光構造やフリップチップ構造の種類に関係なく、各光学素子の光学特性を簡単に測定することを可能にする。【解決手段】上面発光チップ１０１Ａ又はフリップチップ１０１Ｂが計測ステージ１０に置かれ、同チップ１０１Ａ等の電極にプローブ２０の先端が接触すると、同チップ１０１Ａ等が発光する。上面発光チップ１０１Ａの場合、電極同一面から光が出力され、上側反射板３０の光拡散反射面３１等で散乱反射を繰り返し、その全光束の殆どが光ファイバ５０の先端部に入射する。フリップチップ１０１Ｂの場合、電極反対面から光が出力され、透明な計測ステージ１０を透過し、下側反射板４０の光拡散反射面４１で散乱反射し、その後、上側反射板３０の光拡散反射面３１等で散乱反射を繰り返し、その全光束の殆どが光ファイバ５０の先端部に入射する。【選択図】図４
2010217109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤチップその他の発光素子が面上に置かれる透明な計測ステージと、計測ステージ上の所定位置に置かれた発光素子の電極に接触して通電するための電極部と、発光素子対向位置に配設され且つ略半球面状の光拡散反射面を内側に有した第１の反射部と、計測ステージを挟んだ第１の反射部の対向位置に配設され且つ略半球面状の光拡散反射面を内側に有した第２の反射部と、第１の反射部若しくは第２の反射部に又はこれらの近くに配置され且つ前記発光素子から出力された光束を受ける受光部とを備えたことを特徴とする発光素子測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の発光素子測定装置において、前記発光素子と受光部との間に配設され且つ当該発光素子から出力された光を拡散反射させる反射面を有した遮蔽部を更に備えていることを特徴とする発光素子測定装置。
【請求項３】
ＬＥＤチップその他の発光素子が表面上に置かれる透明な計測ステージと、発光素子対向位置に配設され且つ前記発光素子から出力された光束を受ける受光部と、計測ステージ上に置かれた発光素子の電極に接触して通電するための電極部と、計測ステージを挟んだ発光素子対向位置に配設され且つ焦点が受光部付近にされた略半球面状の集光反射面を内側に有した反射部とを備えていることを特徴とする発光素子測定装置。
【請求項４】
請求項１又は２記載の発光素子測定装置において、前記発光素子を搬入出位置から測定位置にかけて搬送する搬送手段を更に備えることを特徴とする発光素子測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は主としてＬＥＤ（発光ダイオード）等の発光素子の光学特性を測定するのに使用される発光素子測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＥＤを一般照明用光源として利用する場合、ＬＥＤの有する全光束等の光学特性を測定することが重要になる。ＬＥＤの全光束を求める方法としては、配光曲線を正確に求めて、その配光曲線を三次元的に積分して求める方法と、球形光束計（積分球）を使用する方法とがあるが、後者方法が前者方法に比べて簡便であるという理由で採用されることが多い。
【０００３】
図６は上面発光構造を有したＬＥＤ１００Ａの断面図を示している。図中１０１Ａは発光面と電極面とが同一面にあるＬＥＤベアチップ（以下、これを単に上面発光チップと称する）、１０２Ａは上面発光チップ１０１Ａが実装される基板、１０３Ａは基板１０２Ａ上に実装された上面発光チップ１０１Ａを保護する樹脂である。
【０００４】
このようなＬＥＤ１００Ａを組み立てる前に上面発光チップ１０１Ａの全光束等の光学的特性を測定している。この際に使用される発光素子測定装置の従来例として以下のような構成のものがある（例えば、特許文献１等参照）。
【０００５】
図７は上面発光チップ１０１Ａの光学特性を測定するための発光素子測定装置の模式的構成図を示している。図中１０２は表面上に上面発光チップ１０１Ａが置かれる計測ステージ、１０３は先端部が上面発光チップ１０１Ａの電極に接触して通電するためのプローブ、１０４は略半球面状の光拡散反射面を内側に有した凹部、１０５は凹部１０４の上方位置に設けられ且つ上面発光チップ１０１Ａから出力された光束を受けて図外の計測器に導くための光ファイバである。
【０００６】
即ち、上面発光チップ１０１Ａから出力された光束が反射板１０４の内壁で拡散反射を繰り返して空間的に積分され、その一部が光ファイバ１０５に入射して図外の測定器に導かれ、同測定器により光束等が測定される。
【０００７】
図８はフリップチップ構造を有したＬＥＤ１００Ｂの断面図を示している。図中１０１Ｂは発光面と電極面とが反対面にあるＬＥＤベアチップ（以下、これを単にフリップチップと称する）、１０２Ｂはフリップチップ１０１Ｂが実装される基板、１０３Ｂは基板１０２Ｂ上に実装されたフリップチップ１０１Ｂを保護する樹脂である。
【０００８】
図９はフリップチップ１０１Ｂの光学特性を測定するための発光素子測定装置の模式図である。同装置は図７に示す装置と同様の構成となっている。即ち、図中１０２’は表面上に上面発光チップ１０１Ｂが置かれる透明な計測ステージ、１０４’は略半球面状の光拡散反射面を内側に有した凹部、１０５’は凹部１０４’の下方位置に設けられ、フリップチップ１０１Ａから出力された光束を受けて図外の計測器に導くための光ファイバである。これ以外の構成部については図７に示す装置と同一である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２３４４９７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上面発光構造を有した上面発光チップの光学特性とフリップチップの光学特性との双方を測定可能なように同装置を設計変更するには、次のような問題が指摘されている。
【００１１】
図９に示された発光素子測定装置において、図７に示す凹部１０４及び光ファイバ１０５を構成的に付加するという設計変更を行った場合、計測器が２台必要不可欠であり、これに伴い大幅なコスト高になる。また、図７を示す凹部１０４を構成的に付加するという設計変更を行った場合、測定器を共用することが可能であるものの、ＬＥＤの種類の変更の度に光ファイバ１０５’を凹部１０４又は凹部１０４’に付け替えることが必要となる。光ファイバの付け替えの際には位置調整や計測器の校正を行う必要であり、この作業等の工程が増加し、この点でもコスト高になる。
【００１２】
このような事項はＬＥＤの特有の問題ではなく、ＬＥＤ以外の他の光学素子についても同様の問題が指摘されており、同装置の高性能化を図る上で大きな障害となっている。
【００１３】
本発明は上記した背景に鑑みて創作されたものであり、その目的とするところは、上面発光構造やフリップチップ構造の種類に関係なく、各光学素子の光学特性を簡単に測定することが可能な発光素子測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る発光素子測定装置は、ＬＥＤチップその他の発光素子が表面上に置かれる透明な計測ステージと、計測ステージ上の所定位置に置かれた発光素子の電極に接触して通電するための電極部と、計測ステージの表面側の発光素子対向位置に配設され且つ略半球面状の光拡散反射面を内側に有した上側反射部と、計測ステージを挟んだ上側反射部の対向位置に配設され且つ略半球面状の光拡散反射面を内側に有した下側反射部と、上側反射部若しくは下側反射部に又はこれらの近くに配置され且つ発光素子から出力された光束を受ける受光部とを備えている。
【００１５】
この発明によると、発光素子が計測ステージ上に置かれ、同素子の面上の電極に電極部の先端が接触すると、同素子が通電されて発光する。上面発光構造を有する光学素子の場合、同素子の電極同一面から光が出力される一方、フリップチップ構造を有する光学素子の場合、同素子の電極反対面から光が出力される。同素子から出力された光は上側反射部又は計測ステージを透過した下側反射部の光拡散反射面で散乱反射を繰り返し、その全光束の殆どが受光部に入射する。
【００１６】
よって、上面発光構造やフリップチップ構造の種類に関係なく、各光学素子の光学特性を簡単に測定することが可能になる。即ち、従来とは異なり、測定器が１台で良いことから、低コスト化を図ることが可能になる。また、同素子から出力された全光束の殆どが受光部に入射することから、測定精度等が向上する。しかも同素子の種類の変更の度に受光部を付け替える等を行う必要がないため、受光部の位置調整や計測器の校正を行う必要がなく、この点で取り扱いが良好となる。
【００１７】
同装置において、発光素子と受光部との間に配設され且つ当該発光素子から出力された光を拡散反射させる反射面を有した遮蔽部を更に備えた構成とすることが好ましい。
【００１８】
この下位概念の発明によると、発光素子から受光部に直接に入射する強度の大きい光束が無くなり、遮蔽部で拡散反射することから、この点で測定精度を高めることが可能になる。
【００１９】
本発明に係る他の発光素子測定装置は、ＬＥＤチップその他の発光素子が表面上に置かれる透明な計測ステージと、計測ステージの表面側の発光素子対向位置に配設され且つ前記発光素子から出力された光束を受ける受光部と、計測ステージ上に置かれた発光素子の電極に接触して通電するための電極部と、計測ステージの裏面側の発光素子対向位置に配設され且つ焦点が受光部付近にされた略半球面状の集光反射面を内側に有した反射部とを備えている。
【００２０】
この発明によると、発光素子が計測ステージ上に置かれ、同素子の面上の電極に電極部の先端が接触すると、同素子が通電されて発光する。上面発光構造を有する光学素子の場合、同素子の電極同一面から光が出力される一方、フリップチップ構造を有する光学素子の場合、同素子の電極反対面から光が出力される。同素子から受光部側に向けて出力された光については受光部に直接に入射する一方、同素子から反射部側に向けて出力された光については反射部にて集光反射され、計測ステージを透過した後に受光部に直接に入射する。
【００２１】
よって、上面発光構造やフリップチップ構造の種類に関係なく、各光学素子の光学特性を簡単に測定することが可能になり、上記装置と同様のメリットを奏する。また、同素子から出力された全光束の殆どが受光部に入射する訳ではないため、この点で測定精度や測定再現性が上記装置に比べて劣るものの、上側反射部等が不要であるため構成が簡略化され、一層の低コスト化を図ることが可能になる。また、構成が簡単になった分、操作性も良好になる。
【００２２】
上記両装置において、発光素子を搬入出位置から測定位置にかけて搬送する搬送手段を更に備えた構成とすることが好ましい。この場合、発光素子のみを搬送するのではなく、計測ステージ等が組み込まれたベース部とともに搬送する形態であっても良い。
【００２３】
この下位概念の発明によると、発光素子が搬入位置、測定位置及び搬出位置へと順次的に搬送され、この過程で当該発光素子の光学特性を自動的に測定することが可能であることから、測定の効率化を高めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る発光素子測定装置の構成図である。
【図２】同装置の部分側面図である。
【図３】同装置の回転テーブルの部分平面図である。
【図４】同装置の動作を説明するための模式図である。
【図５】同装置の変形例を説明するための図４に対応する模式図である。
【図６】上面発光構造を有したＬＥＤの断面図である。
【図７】同ＬＥＤの光学特性を測定するのに使用される従来装置を説明するための縦断面図である。
【図８】フリップチップ構造を有したＬＥＤの断面図である。
【図９】同ＬＥＤの光学特性を測定するのに使用される従来装置を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係る発光素子測定装置について説明する。なお、特許請求の範囲に記載された発明の構成要素と実施形態に係る発明の構成要素との間の対応関係が不明なものは、後述する符号の説明の欄において併せて記載するものとする。
【００２６】
ここに例として掲げる発光素子測定装置は、図６に示す上面発光チップ１０１Ａと図８に示すフリップチップ１０１Ｂとの双方の光学特性（本実施形態では全光束のレベル及び発光波長）を全自動で測定する装置である。
【００２７】
図１は発光素子測定装置１の構成図、図２は同装置１の部分側面図である。図１中１０は計測ステージ、２０はプローブ、３０は上側反射板、３５は遮蔽部、４０は下側反射板、５０は光ケーブル、６０は回転テーブル、７０は測定器、８０は直流電源、９０は上下移動機構である。このような各部により発光素子測定装置１が構成されている。
【００２８】
計測ステージ１０については、円盤状のサファイアガラス等が使用されており、その表面中心部には上面発光チップ１０１Ａ又はフリップチップ１０１Ｂを位置決め保持するための治具（図示省略）が設けられている。即ち、上面発光チップ１０１Ａ等が電極面（図６及び図８参照）を上にして計測ステージ１０の表面上の中心位置に置くことが可能になっている。
【００２９】
プローブ２０については、計測ステージ１０の表面上に置かれた上面発光チップ１０１Ａ等の正側、負側電極に先端が各々接触して通電するための電極針であり、上下移動機構９０に連結されて鉛直方向に対して互いに斜めに保持されている。プローブ２０，２０の端部は直流電源８０に電気接続されている。
【００３０】
直流電源８０については、上面発光チップ１０１Ａ等を点灯させるのに必要な直流電圧を発生する電源であり、本実施形態においては、その電流値を計測して計測器７０に転送する機能も有している。
【００３１】
上側反射板３０については、計測ステージ１０の表面側の発光素子対向位置に配設された筒状体であり、電極部２０，２０とともに上下移動機構９０に連結され保持されている。上側反射板３０の内側には下向きに開口した略半球面状の穴３２が形成されており、穴３２の内面が光拡散反射面３１となっている。即ち、光拡散反射面３１にはつや消しの白色塗料が塗布され、上面発光チップ１０１Ａ等から出力された光が効率良く拡散反射されるようになっている。
【００３２】
上側反射板３０の左側面及び右側面にはスリット３３，３３が穴３２に連通して形成されており、スリット３３，３３を通じて電極部２０の先端部が上側反射板３０の穴３２内に入り込んでいる（図２参照）。上側反射板３０の上部には鉛直方向に向けて貫通孔３４が穴３２に連通して形成されている。貫通孔３４には光ケーブル５０の先端部が挿入されて位置決め保持されている。
【００３３】
光ファイバ５０については、上面発光チップ１０１Ａ等から出力された光束を受けて測定器７０に導く役目を果たすものであり、先端部が上側反射板３０の貫通穴３４に通して取り付けられている。光ファイバ５０の先端面が上側反射板３０の穴３２の内壁面と面一となっている。
【００３４】
測定器７０については、上面発光チップ１０１Ａ等の全光束のレベル及び発光波長等を測定を行う機器であって、その光入力ポートには光ファイバ５０が接続されている一方、電気入力ポートには直流電源８０の計測結果が入力されている。即ち、上面発光チップ１０１Ａ等の光学測定と電気測定とが同時に行われるようになっている。
【００３５】
遮蔽部３５については、上面発光チップ１０１Ａ等と光ケーブル５０の先端部との間に配設された球状体であって、上側反射板３０の穴３５の中心位置に水平軸３６を用いて中空保持されている（図２参照）。遮蔽部３５の外面にはつや消しの白色塗料が塗布されている。即ち、遮蔽部３５の外面が上面発光チップ１０１Ａ等から出力された光を効率良く拡散反射させる反射面３５１となっている。
【００３６】
下側反射板４０については、上向きに開口した半球状の穴４２が形成された略直方体であり、その上面に計測ステージ１０が取り付けられている。穴４２の内面にはつや消しの白色塗料が塗布されている。穴４２の内面が上面発光チップ１０１Ａ等から出力され計測ステージ１０を透過した光を効率良く拡散反射させる拡散反射面４１となっている。即ち、下側反射板４０は、計測ステージ１０を挟んだ上側反射板３０の対向位置に配設され、穴４２の最下位置、上面発光チップ１０１Ａ等、遮蔽部３５及び光ケーブル５０の先端部が鉛直方向に並んだ位置関係になっている（図２参照）。
【００３７】
回転テーブル６０については駆動モータ６２とともに上面発光チップ１０１Ａ等を搬入出位置から測定位置にかけて搬送する役割を果している。
【００３８】
図３は回転テーブル６０の部分平面図である。図中６１は下側反射板４０が入り込む角穴、６１１はテーブル６０内に設けられた吸着用配管である。また、図中αが搬入位置、βが測定位置、γが搬出位置を各々示している。測定位置βの鉛直上方位置に上側反射板３０等が配置されている。
【００３９】
回転テーブル６０は駆動モータ６２に連結されて図中示す方向に回転可能になっている。回転テーブル６０の外縁部には角穴６１が９０度ピッチ間隔で形成されており、角穴９１の奥側面には吸着用配管６１１の末端口が形成されている。吸着用配管６１１の他端側には図外の真空ポンプが接続されている。
【００４０】
即ち、計測ステージ１０上に上面発光チップ１０１Ａ等が置かれた下側反射板４０が回転テーブル６０の角穴６１に入れられると、吸着用配管６１１を通じて吸着保持される。この状態で駆動モータ６２を動作させ回転テーブル６０を９０度毎に回転させる。この結果、上面発光チップ１０１Ａ等が下側反射板４０とともに搬入位置α、測定位置β及び搬出位置γにかけて順次搬送される。
【００４１】
上下移動機構９０については、上側反射板３０及びプローブ２０等を測定位置αにて鉛直方向に上下移動させる機構である。即ち、上側反射板３０等が所定の基準位置から下方に移動し、この結果、プローブ２０，２０の先端が上面発光チップ１０１Ａ等の電極に各々接触し（図１及び図２参照）、この状態で光学測定が行われる。また、上側反射板３０等が上方に移動して基準位置に戻され、この状態で回転テーブル６０が回転して上面発光チップ１０１Ａ等の上記した搬送が行われる。
【００４２】
なお、測定器７０、直流電源８０、駆動モータ６２及び上下移動機構９０等については、図外の制御装置によりシーケンス制御されている。
【００４３】
このように構成された発光素子測定装置１により上面発光チップ１０１Ａとフリップチップ１０１Ｂとの双方の光学測定を行うことが可能となる原理について説明する。
【００４４】
図４は同装置１の同原理を説明するための模式図である。なお、図中に実線で示された矢印については上面発光チップ１０１Ａから出力された光を仮想的に表し、破線で示された矢印についてはフリップチップ１０１Ｂから出力された光を仮想的に表したものである。
【００４５】
まず、上面発光チップ１０１Ａが計測ステージ１０上に置かれ、上面発光チップ１０１Ａの面上の電極にプローブ２０の各先端が接触し、この状態で上面発光チップ１０１Ａが通電されると、これが発光し、上面発光チップ１０１Ａの電極面から光が出力される。
【００４６】
上面発光チップ１０１Ａの光軸方向を中心とした前方に出力された光束については遮蔽部３５の反射面３５１にて散乱反射した後、上側反射板３０の光拡散反射面３１又は下側反射板４０の光拡散反射面４１にて散乱反射される。上面発光チップ１０１Ａの前方以外の方向に出力された光束については、上側反射板３０の光拡散反射面３１等にて散乱反射される。このようにして散乱反射が繰り返された後、上面発光チップ１０１Ａから出力された全光束の殆どが光ファイバ５０に入射し、計測器７０に光ファイバ５０を通じて導かれる。
【００４７】
一方、フリップチップ１０１Ｂが計測ステージ１０上に置かれ、フリップチップ１０１Ｂの面上の電極にプローブ２０の各先端が接触し、この状態でフリップチップ１０１Ｂが通電されると発光し、フリップチップ１０１Ｂの電極反対面から光が出力される。
【００４８】
フリップチップ１０１Ｂから出力された光束については計測ステージ１０を透過し、下側反射板４０の光拡散反射面４１にて散乱反射される。その後、計測ステージ１０を透過して上側反射板３０の光拡散反射面３１等にて散乱反射される。このようにして上側反射板３０の光拡散反射面３１等にて散乱反射が繰り返され、その後、フリップチップ１０１Ｂから出力された全光束の殆どが光ファイバ５０に入射し、計測器７０に光ファイバ５０を通じて導かれる。
【００４９】
よって、上面発光チップ１０１Ａとフリップチップ１０１Ｂとの双方の光学特性を簡単に測定することが可能になる。また、測定器７０が１台である点、光ファイバ５０を付け替える等する必要がない点、上面発光チップ１０１Ａとフリップチップ１０１Ｂとの間の電極の位置関係が同一でありプローブ２０が共用可能である点、上面発光チップ１０１Ａ等の搬送が容易である点等により、装置全体の構成が簡単化され、部品点数が削減されることから、大幅な低コスト化を図ることができる。しかも従来とは異なり光ファイバの位置調整等の作業が不要であることから、この点でも低コスト化を図ることかできる。さらに、回転テーブル６０を用いて上面発光チップ１０１Ａ等が搬入位置α、測定位置β及び搬出位置γへと順次的に搬送し、この過程で上面発光チップ１０１Ａ等の光学特性を自動的に測定することが可能であることから、測定の効率化を高めることも可能になる。
【００５０】
次に発光素子測定装置１の変形例について説明する。図５は変形例に係る発光素子測定装置１' の模式図である。なお、図中に実線で示された矢印については上面発光チップ１０１Ａから出力された光を仮想的に表し、破線で示された矢印についてはフリップチップ１０１Ｂから出力された光を仮想的に表している。
【００５１】
発光素子測定装置１' が同装置１と大きく異なる点については、１）上側反射板３０に相当するものが省略されている点、２）遮蔽部３５に相当するものが省略されている点、３）下側反射板４０’の光拡散反射面４１’が凹面鏡となって集光反射面とされ、その焦点が光ケーブル５０’の先端部付近にされている点である。
【００５２】
なお、上記以外の構成については装置１と同一である。装置１と同一の構成部については同一の部品番号を付して表すものとし、その説明を省略するものとする。
【００５３】
このように構成された発光素子測定装置１’の場合、上面発光チップ１０１Ａの光軸方向を中心とした前方向に出力された光束については、光ファイバ５０’の先端部に直接的に入射し、計測器７０に光ファイバ５０’を通じて導かれる。一方、フリップチップ１０１Ｂから出力された光束については、計測ステージ１０を透過し、下側反射板４０’の光拡散反射面４１’にて集光反射される。その後、計測ステージ１０を透過して光ファイバ５０’の先端部に直接的に入射し、計測器７０に光ファイバ５０’を通じて導かれる。
【００５４】
上面発光チップ１０１Ａ等から出力された光束のうち高強度成分が光ファイバ５０’を通じて計測器７０に導かれることから、装置１’であっても装置１と同様に上面発光チップ１０１Ａとフリップチップ１０１Ｂとの双方の光学測定を行うことが可能となる。ただ、上側反射板３０等が不要であるため全体構成が簡略化され、装置１に比べて低コスト化を図ることが可能になる。また、構成が簡単になった分、操作性も一層良好になる。
【００５５】
なお、本発明に係る発光素子測定装置については、ＬＥＤだけの適用に止まらず半導体レーザ等の他の発光素子にも同様に適用可能であり、発光素子の光量や発光波長だけでなく、演色性、分光分布及び発光スペクトル等の光学測定にも利用可能である。
【００５６】
計測ステージについては、光学素子を測定時に所定位置に保持するとともに光学素子から出力された光を透過可能なものである限り、どのような構成でもかまわず、上記実施形態とは異なり固定形式の形態であっても良い。
【００５７】
電極部については、発光素子の電極に接触して通電可能である限り、どのようの構成でもかまわず、例えば、計測ステージの面上に形成された薄膜状の電極であっても良い。
【００５８】
第１、第２の反射部については、略半球面状の光拡散反射板面を内側に有し、計測ステージを挟んで互いに対向配置されている限り、どのような形状等のものを使用してもかまわず、双方とも固定形式の形態であっても良い。。
【００５９】
遮蔽部については、発光素子と受光部との間に配設され且つ発光素子から出力された光を拡散反射させる反射面を有している限り、どのような構成のものを使用してもかまわず、例えば、板状のものでも良い。
【００６０】
受光部については、発光素子から出力された光束を受光し得る限り、どのような構成のものを使用してもかまわず、光学測定を検出する測定器であっても良い。また、第１の反射部に固定するのではなく、その近くに配置する形態であっても良い。
【００６１】
搬送手段については、発光素子を搬入出位置から測定位置にかけて搬送するものある限り、どのような構成のものを使用してもかまわない。例えば、ロボットハンドのようなものや透明なベルトコンベア（計測ステージも兼ねる）等を用いて発光素子を搬送する形態であっても良い。
【符号の説明】
【００６２】
１    発光素子測定装置
１０  計測ステージ
２０  プローブ（電極部）
３０  上願反射板（第１の反射部）                                                ３５  遮蔽部
４０  下側反射板（第２の反射部）
５０  光ケーブル（受光部）
６０  回転テーブル（搬送手段の一部）
６２  駆動モータ（搬送手段の他部）
１’  発光素子測定装置
１０  計測ステージ
２０  プローブ（電極部）
４０’反射板（反射部）
５０’光ケーブル（受光部）
６０  回転テーブル（搬送手段の一部）
６２  駆動モータ（搬送手段の他部）
【図１】
2010217109.tif 000003
【図２】
2010217109.tif 000004
【図３】
2010217109.tif 000005
【図４】
2010217109.tif 000006
【図５】
2010217109.tif 000007
【図６】
2010217109.tif 000008
【図７】
2010217109.tif 000009
【図８】
2010217109.tif 000010
【図９】
2010217109.tif 000011