(57)【要約】【課題】光や熱を必要とすることなくマイクロ流体を送液するためのガスを発生させることを可能とするマイクロポンプ装置を提供する。【解決手段】基板２内にマイクロ流路３が形成されているマイクロ流体デバイス１に用いられるマイクロポンプ装置４であって、第１の物質と、第１の物質と接触された際にガスを発生させる第２の物質９とのうち少なくとも一方の物質が、基板２内または基板２の表面に設けられたガス発生部に配置されている、マイクロポンプ装置４。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板内にマイクロ流路が形成されているマイクロ流体デバイスに用いられるマイクロポンプ装置であって、
第１の物質と、第１の物質と接触してガスを発生させる第２の物質のうち少なくとも一方の物質が、前記基板内または基板表面に設けられたガス発生部に配置されている、マイクロポンプ装置。
【請求項２】
前記ガス発生部に前記第１の物質が配置されており、前記第２の物質が液体であり、前記ガス発生部に前記第２の物質を導く流路が前記基板に設けられている、請求項１に記載のマイクロポンプ装置。
【請求項３】
前記ガス発生部が、前記基板において、外部に向かって開くように設けられた開口部と、該開口部を閉成するように設けられたテープ材とで囲まれた空間であり、該テープ材に、第１の物質と、第１の物質と接触してガスを発生させる第２の物質のうち少なくとも一方の物質が含有もしくは担持されている、請求項１または２に記載のマイクロポンプ装置。
【請求項４】
前記第２の物質がプロトン性溶媒であり、前記第１の物質がプロトン性溶媒と接触して、ガスを発生させる物質である、請求項１または２に記載のマイクロポンプ装置。
【請求項５】
前記プロトン性溶媒が水である、請求項４に記載のマイクロポンプ装置。
【請求項６】
前記第１の物質が活性アルミニウム、マグネシウム、アルミニウムもしくはマグネシウムを主体とする合金、イソシアネート化合物、炭酸水素ナトリウム及びイーストからなる郡から選択された少なくとも１種の物質である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のマイクロポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細流路が形成されているマイクロ流体デバイスに用いられるマイクロポンプ装置に関し、より詳細には、化学反応などを利用してガスを発生させる構造が備えられたマイクロポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
分析装置の小型化を果たすために、また屋外等における分析を容易に行なうことを可能とするために、小型の分析機器が求められている。このような要求を満たすものとして、マイクロ流体デバイスが注目されている。
【０００３】
マイクロ流体デバイスは、例えば、手で容易に持ち運び、取り扱い得る大きさの基板を用いて構成されている。この基板内に、試薬、希釈液または検体などを搬送する複数のマイクロ流路が形成されている。上記基板の大きさは、通常、平面積が１０００ｃｍ２以下程度であり、基板の厚みは０．５ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。従って、内部に形成されているマイクロ流路の径は、通常、５μｍ〜１ｍｍ程度と非常に細い。
【０００４】
このようなマイクロ流路を流れるマイクロ流体は、液体の表面張力や微細流路の液面の濡れ性などに大きく影響を受ける。従って、マイクロ流体デバイス用の回路や送液装置が種々検討されている。マイクロ流体を搬送する構造としては、様々なマイクロポンプが提案されている。
【０００５】
もっとも、ポンプの構造が複雑化すると、マイクロ流体デバイスが大型化し、かつコストが高くなる。そこで、下記の特許文献１には、基板内に形成されたマイクロポンプ室に、熱または光線によりガスを発生する材料として、酸素含有量が１５〜５５重量％のポリオキシアルキレン樹脂が充填されているマイクロポンプが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２９７１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載のマイクロポンプでは、酸素含有量が１５〜５５重量％のポリオキシアルキレン樹脂をマイクロポンプ室内に配置しておき、外部から熱または光を与えることにより、ガスが発生される。このガスの圧力により、マイクロ流路内のマイクロ流体が送液される。機械的な構造などを必要としないため、小型化を進めることができ、マイクロ流体デバイスの構造の簡略化を図ることができる。
【０００８】
しかしながら、上記マイクロポンプ室内に充填された材料に熱を与える場合には、加熱源を必要とし、さらに加熱温度が高くなりすぎると、マイクロ流体がタンパク質等の生化学物質を含む場合、変質するおそれがあった。
【０００９】
他方、光の照射によりガスを発生させる場合には、光源を別途必要とする。従って、光を照射するための光源を用意しなければならなかった。よって、分析装置全体の小型化を進めることができなかった。また、分析装置全体のコストも高くつくという問題もあった。また、光の照射によってガスを発生させる場合には、マイクロポンプ室を透明材料で作製しなければならないといった制約もあった。
【００１０】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、マイクロ流体デバイスの小型化及び低コスト化を進め得るだけでなく、熱源や光源などの他のエネルギー源を必要とせず、マイクロ流体を送液するためのガスを発生させることを可能とするマイクロポンプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によれば、基板内にマイクロ流路が形成されているマイクロ流体デバイスに用いられるマイクロポンプ装置であって、第１の物質と、第１の物質と接触してガスを発生させる第２の物質のうち少なくとも一方の物質が、前記基板内または基板表面に設けられたガス発生部に配置されている、マイクロポンプ装置が提供される。すなわち、本発明のマイクロポンプ装置は、第１，第２の物質の接触によりガスを発生させることに特徴を有するものであり、活性エネルギー線を与えずともガスが発生する。従って、加熱源や光源を必要としない。
【００１２】
本発明に係るマイクロポンプ装置のある特定の局面では、前記ガス発生部に前記第１の物質が配置されており、前記第２の物質が液体であり、前記ガス発生部に前記第２の物質を導く流路が前記基板に設けられている。この場合には、第２の物質を導く流路に液体としての第２の物質を供給することにより、ガス発生部において、第１，第２の物質を接触させ、ガスを速やかに発生させることができる。
【００１３】
この場合、初期状態では、前記第１の物質と前記第２の物質とは隔離されていなければならず、前記第２の物質を導く流路に外部から操作可能な弁を設けて、必要に応じて前記弁を解放し、前記第２の物質と前記第１の物質を接触させることが好ましい。
【００１４】
また、前記第１の物質と第２の物質の隔離手段としては、前記第１の物質と前記第２の物質の少なくとも一方の物質をカプセル、微粒子、チューブ、袋などに充填する手段などある。この場合、前記第２の物質と前記第１の物質を接触させる手段としては、必要に応じてカプセルなどを破り、前記第２の物質と前記第１の物質を接触させる手段や、カプセル、微粒子、チューブ、袋などを、例えば、加熱により溶融するような素材で形成しておいた場合には、外部からの加熱により、カプセル、微粒子、チューブ、袋などを溶融させて、前記第２の物質と前記第１の物質を接触させる手段などがある。
【００１５】
前記第１の物質と第２の物質の隔離手段としては、前記第１の物質を前記ガス発生部に配置し、前記第２の物質をガス発生部の外部から供給する手段などもある。
【００１６】
前記第２の物質をガス発生部の外部から供給する手段としては、注射器などを使用する手段などもある。
【００１７】
上記ガス発生部の形態は、様々に変形し得る。本発明の別の特定の局面では、ガス発生部は、基板内に設けられたガス発生室であり、この場合には、ガス発生室が基板内に設けられているので、発生したガスを外部に漏洩させることなく、効率よくマイクロ流路に供給することができる。
【００１８】
本発明のさらに別の特定の局面では、前記ガス発生部が、前記基板において、外部に向かって開くように設けられた開口部と、該開口部を閉成するように設けられたテープ材とで囲まれた空間であり、該テープ材に、前記第１の物質が含有もしくは担持されている。
【００１９】
前記第２の物質は、前記第１の物質と隔離されて該テープ材に含有もしくは担持されていてもよく。また、テープ材の外部から供給されてもよい。
【００２０】
前記第１の物質と第２の物質の隔離手段としては、前記第１の物質と前記第２の物質の少なくとも一方の物質をカプセル、微粒子、チューブ、袋などに充填して、該テープ材に含有もしくは担持する方法などがある。この場合、必要に応じてカプセルなどを破り、前記第２の物質と前記第１の物質を接触させる手段や、カプセル、微粒子、チューブ、袋などを、例えば、加熱により溶融するような素材で形成しておいた場合には、外部からの加熱により、カプセル、微粒子、チューブ、袋などを溶融させて、前記第２の物質と前記第１の物質を接触させる手段などがある。
【００２１】
また、前記第２の物質をテープ材の外部から供給する手段としては、注射器などを使用して注射針でテープ材を破って、第２の物質を供給し前記第１の物質と接触させる手段や、テープ材を液体浸透性材料とし、外部から液体の第２の物質を供給し前記第１の物質と接触させる手段などもある。
【００２２】
この場合には、テープ材を貼付するだけでガス発生部を容易に形成することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るマイクロポンプ装置では、第１の物質と第２の物質とが接触してガスが発生するため、光や熱などのエネルギーを付与する必要がない。光源や熱源を必要としないので、マイクロポンプ装置を含むマイクロ流体デバイスの小型化を進めることができ、さらにマイクロ流体デバイスを含む全体のシステムの小型化及び低コスト化を図ることが可能となる。
【００２４】
また、加熱によりガスを発生させる従来のマイクロポンプ装置を用いた場合、タンパク質等の変性を生じるおそれがあったのに対し、本発明によれば、加熱を必要としないので、熱による変性も生じ難い。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るマイクロポンプ装置が構成されているマイクロ流体デバイスを示す模式的正面断面図である。
【図２】図１に示したマイクロポンプ装置の変形例を示す部分切欠正面断面図である。
【図３】図１に示したマイクロポンプ装置の他の変形例を示す部分切欠正面断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るマイクロポンプ装置が構成されているマイクロ流体デバイスの具体的な好ましい構造例を示す部分切欠正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２７】
〔第１の物質及び第２の物質〕
本発明のマイクロポンプ装置では、第１の物質と第２の物質とが反応してガスが発生する。このメカニズムは、化学反応もしくは生化学反応などの様々な反応、または後述の物質の分解や発酵などが挙げられ、光や熱などの活性エネルギー線を与えることなく、ガスを発生させ得る。もっとも、加熱等が併用されてもよい。加熱手段としては、赤外線を照射する方法などがある。
【００２８】
上記ガス発生メカニズムの種類に応じて、様々な第１の物質及び第２の物質を用いることができる。
【００２９】
また、第１及び第２の物質は、固体であってもよく、液体であってもよい。
【００３０】
好ましくは、一方の物質、例えば第２の物質が液体からなる。その場合には、ガス発生部に第１の物質を配置しておき、かつガス発生部に第２の物質を導く流路を設ければ、第１，第２の物質を速やかに接触させることができる。
【００３１】
液体である第２の物質としては、プロトン性溶媒が挙げられる。プロトン性溶媒を用いた場合、自ら解離して容易にプロトンを放出し、水素ガスを発生することができる。プロトン性溶媒としては、例えば、水またはメタノール、エタノールなどのアルコール類を挙げることができる。水は、容易に入手可能であり、取り扱いが容易であり、さらに検体等の変質を招き難い。従って、好ましくは、第２の物質として、プロトン性溶媒としての水が好適に用いられる。
【００３２】
もっとも、第１及び第２の物質は、利用されるガス発生メカニズムによって適宜選ばれる。以下において、具体的な第１，第２の物質及びガス発生メカニズムの例を説明する。
【００３３】
（１）第１の物質が水と反応する金属材料であり、第２の物質が水との組み合わせ。
【００３４】
第１のタイプの反応は、水と反応して水素ガスを放出する金属材料と、水との反応である。この水素を発生する反応は、金属の酸化反応であり、従って、上記使用し得る金属材料に用い得る金属としては、酸化反応の自由エネルギー変化量ΔＧの値が、水よりも小さい金属元素を用いることができる。例えば、Ｚｎ、Ｋ、Ｍｎ、Ｎａ、Ｓｉ、Ｖ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｂａ、Ｍｇ及びＣａを水により酸化することにより、これらの金属は還元され、水素を発生する。
【００３５】
より具体的には、上記金属材料としては、水と反応して水素を効率よく発生し得るため、活性アルミニウム、マグネシウム及びこれらを主体とする合金を用いることが望ましい。
【００３６】
上記金属材料は、特に限定されないが、好ましくは、水との接触面積が大きくなるため、アトマイズ法や機械的粉化法などにより作製された、粒子状、鱗片状、紡錘状、液的状またはじゃがいも状など様々な形状の金属材料を用いることができるが、アトマイズ法のような急冷凝固法により形成された金属材料が好ましく用いられる。すなわち、急冷凝固法により上記金属材料を形成することにより、結晶粒が微細化して活性点となる粒界が増加し、水との反応が進行しやすくなることが期待できる。また、急冷凝固法による金属材料では、水との濡れ性が比較的高いため、反応を生じやすいことも期待される。
【００３７】
従って、上記金属材料は、アトマイズ法や機械的粉化法により得られた金属粒子であることが望ましい。
【００３８】
活性アルミニウムとは、酸化アルミニウムの金属表面の酸化膜を除去し反応性を高めた状態のものを含む。
【００３９】
また、この第１のタイプのガス発生メカニズムを利用する場合、さらに常温で水と反応して発熱する発熱材料が含有されていてもよい。このような発熱材料を単に含有することにより発熱し、上記金属材料と水との反応を促進することができる。このような発熱材料としては、水との反応によって水酸化物となったり、水和することにより発熱する化合物、例えば、アルカリ金属の化合物（酸化リチウムなど）、アルカリ土類金属の酸化物（酸化カルシウムなど）、アルカリ土類金属の塩化物（塩化カルシウム、塩化マグネシウムなど）、アルカリ土類金属の硫酸化合物（硫酸カルシウムなど）などが挙げられる。
【００４０】
（２）第１の物質がプロトン性溶媒と接触してガスを発生する化合物と、第２の物質がプロトン性溶媒との組み合わせ。
【００４１】
第２のタイプのガス発生メカニズムは、水などのプロトン性溶媒と化合物とが化学反応して、ガスを発生する反応である。化合物としては、有機化合物が好ましい。このような反応としては、例えば、下記のように、複数のイソシアネート基と、水とが反応して、尿素結合を形成する反応が挙げられる。
【００４２】
−ＮＣＯ＋−ＮＣＯ＋Ｈ２Ｏ→−ＮＨ−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＨ−  ＋ＣＯ２
【００４３】
上記のように、複数のイソシアネートと水とを反応させることにより、尿素結合が形成され、ガスとして二酸化炭素が発生する。複数のイソシアネートとしては、複数のイソシアネート基含有化合物、例えばポリイソシアネートを用いてもよく、あるいは、複数の１価のイソシアネート化合物を用いてもよい。
【００４４】
また、例えば、炭酸水素ナトリウムは、水と反応し、二酸化炭素を発生する。
【００４５】
このように、水と接触して反応し、ガスを発生する適宜の化合物を第１の物質とし、第２の物質として水を用いることも可能である。
【００４６】
（３）触媒の作用により、物質自身が速やかに分解し、ガスを発生する反応。
【００４７】
例えば、過酸化水素は、触媒としての二酸化マンガンやカタラーゼの存在下で速やかに分解し、酸素を発生する。この場合、第１の物質として過酸化水素を、第２の物質として触媒を用いることにより、本発明に従って、マイクロポンプ装置の駆動源として酸素を得ることができる。また、このタイプの反応では、第１の物質と第２の物質を逆にしても使用することができる。
【００４８】
（４）発酵を利用したもの。
【００４９】
例えば、イーストは、糖を原料として二酸化炭素やアルコールを形成する。従って、第１の物質としてイーストを用い、第２の物質として糖を用いれば、この反応により、二酸化炭素ガスを得ることができる。二酸化炭素ガスは、安定でありまた危険性も低いためマイクロポンプ装置の駆動源として使用しやすい。
【００５０】
このタイプの反応では、第１の物質と第２の物質を逆にしても使用することができる。
【００５１】
なお、第１の物質と第２の物質は、利用する反応等に応じて適宜選択され、従って、第１の物質と第２の物質を使用する割合についても、供給すべきガス量、ガスの流速、利用する反応等によって異なるため、一義的には定められない。もっとも、上記（１）の場合には、金属原料重量として、０．１〜１０００ｍｇ程度とすることが望ましい。また、上記（２）の場合には、イソシアネート基１個当たり０．２〜３０００ｍｇ程度とすることが望ましい。
【００５２】
〔マイクロポンプ装置の構造例〕
本発明のマイクロポンプ装置は、上記のように、第１の物質と、第１の物質と接触された場合にガスを発生させる第２の物質のうち少なくとも一方の物質が、マイクロ流体デバイスの基板内または基板表面に設けられたガス発生部に配置されていることを特徴とするものであり、その限りにおいて、構造を特に限定されるものではない。
【００５３】
図１は、本発明のマイクロポンプ装置の第１の実施形態が備えられたマイクロ流体デバイスを示す略図的正面断面図である。マイクロ流体デバイス１は、基板２を有する。基板２は、複数の基板層を積層した積層基板からなり、内部にマイクロ流路３が形成されている。このマイクロ流路３にマイクロポンプ装置４が接続されている。
【００５４】
マイクロポンプ装置４は、基板２内に設けられたガス発生室５を有する。ガス発生室５に、第１の物質６が収納されている。そして、ガス発生室５がマイクロ流路３に接続されており、かつガス発生室５は、第２の物質９を導く流路７に接続されている。流路７は、第２の物質９が収納されている収納室８に接続されている。収納室８に、第２の物質９が収納されている。
【００５５】
流路７には、外部から操作し得る弁７ａが貼り付けられている。弁７ａは、初期状態では流路７を閉じており、外部から操作することにより、流路７を開放する。それによって、第２の物質９が流路７を経てガス発生室に供給される。このような第２の物質９を第１の物質６に必要に応じて接触させる具体的な構造例を図２に示す。
【００５６】
図２は、本発明のマイクロポンプ装置の第１の実施形態の変形例が備えられたマイクロ流体デバイスを示す略図的正面断面図である。マイクロ流体デバイス１Ａでは、流路７に、外部から引き抜きできる弁７ｂが挿入されている。その他の点は図１に示した実施形態と同様である。
【００５７】
弁７ｂは、初期状態では流路７を閉じており、外部から引き抜くことにより、流路７を開放する。それによって、第２の物質９が流路７を経てガス発生室に供給される。
【００５８】
図３は、本発明のマイクロポンプ装置の第１の実施形態の他の変形例が備えられたマイクロ流体デバイスを示す略図的正面断面図である。マイクロ流体デバイス１Ｂでは、ガス発生室５がマイクロ流路３に接続されており、かつガス発生室５は、第２の物質９が注入される注入室１１に接続されている。収納室８に、第２の物質９が収納されている。外部から注射器１０により第２の物質を注入室１１に導入する。それによって、第２の物質９がガス発生室に供給される。第１，第２の物質が接触しガスが発生する。このガスがマイクロ流路３に供給される。その他の点は、図１に示した実施形態と同様である。
【００５９】
図４は、本発明の第２の実施形態のマイクロポンプ装置を設けられたマイクロ流体デバイスを示す模式的正面断面図である。
【００６０】
図４に示すマイクロ流体デバイス２１では、複数の基板２２内にマイクロ流路２３が形成されている。マイクロ流路２３が、基板２２の外表面に開口している。この開口している部分２３ａを閉成するように、テープ材２４が基板２２の外表面に貼り付けられている。テープ材２４が、第１の物質を含有もしくは担持している。外部から注射器２５によりテープ材２４を破って、第２の物質をテープ材２４に導入する。従って、第１，第２の物質が接触し、ガスが発生する。このガスがマイクロ流路２３に供給される。
【００６１】
なお、第２の実施形態では、第１の物質がテープ材２４に担持されており、第２の物質が外部から供給されていたが、逆に、テープ材２４に第２の物質が担持されており、第１の物質が外部から供給されてもよい。あるいは、第１及び第２の物質の双方がテープ材２４において、初期状態では接触されずに担持されており、外部からの操作で両者が接触するように構成されていてもよい。すなわち、第１の物質及び第２の物質のうち少なくとも一方の物質がテープ材２４に担持されておればよい。
【００６２】
また、第１の物質または第２の物質がテープ材２４に担持されている場合、第２の物質または第１の物質は、外部から供給される必要は必ずしもなく、マイクロ流体デバイス内に収納されていてもよい。
【００６３】
また、上記テープ材２４の背面側すなわちマイクロ流体デバイス側とは反対側の面である外表面側に、発生したガスの外側への抜けを抑制するために、ガスバリア性を有する材料層を設けてもよい。このようなガスバリア性材料層としては、テープ材２４と同様にテープ状部材であってもよく、その場合には、テープ材２４の背面に貼付して設けることができる。また、ガスバリア性材料層は、テープ材２４の表面にガスバリア性材料を積層させて形成してもよい。
【００６４】
また、テープ材２４の内面側において、開口している部分２３ａにガスを導く溝が設けられてもよい。それによって、開口している部分２３ａからマイクロ流路２３に発生したガスを確実に導くことができる。
【００６５】
なお、第１〜第３の実施形態において、気体として、マイクロポンプ装置において発生したガスのみがマイクロ流路に導かれるように、開口している部分２３ａ付近にパッシブバルブ等を接続してもよい。
【００６６】
〔実施例〕
以下、本発明の具体的な実施例を挙げることにより、本発明を明らかにする。
【００６７】
（実施例１）
〔マイクロポンプ装置１の準備〕
・厚さ３ｍｍのアクリル樹脂からなる基板内に、図２で示すガス発生室として、平面形状が円形であり直径８ｍｍ、深さ２ｍｍのガス発生室を形成した。
・該ガス発生室に連結した幅１００μｍ、深さ１００μｍ、長さ１０ｍｍの流路と、平面形状が正方形であり一辺１０ｍｍ、深さ２ｍｍの収納室を形成した。
・該ガス発生室と該流路の間には、差し込み式の弁を設けた。
【００６８】
〔マイクロポンプ性能の評価〕
・基板内の幅１００μｍ、深さ１００μｍの流路に、送液量評価用液体としてのポリエチレングリコール１％水溶液を注入した。
・単位時間当たりの評価用液体の送液量により、ポンプ性能を評価した。
【００６９】
アトマイズ法により作製された平均粒径３μｍのアルミニウム粉体を、５０ｍｇ設置した。収納室に注入しておいた水を、ガス発生室に連結した流路に流し込み、弁を解放することで、ガス発生室に導入した。水とアルミニウムが接触した。
【００７０】
その結果、ガスが発生し、ガスの圧力によって基板内流路の評価用液体が送液された。毎秒当たりの送液量は５００ｎｌであった。
【００７１】
この結果は、マイクロ流体デバイスに用いるマイクロポンプとしては、充分な性能である。
【００７２】
（実施例２）
アルミニウム粉体５０ｍｇを、２価のイソシアネートであるイソホロンジイソシアネート１００ｍｇに変えた以外は、実施例１と同様して評価した。
【００７３】
その結果、ガスが発生し、ガスの圧力によって基板内流路の評価用液体が送液された。毎秒当たりの送液量は３８０ｎｌであった。
【００７４】
この結果は、マイクロ流体デバイスに用いるマイクロポンプとしては、充分な性能である。
【００７５】
（実施例３）
アルミニウム粉体５０ｍｇを、炭酸水素ナトリウム１００ｍｇに変えた以外は、実施例１と同様して評価した。
【００７６】
その結果、ガスが発生し、ガスの圧力によって基板内流路の評価用液体が送液された。毎秒当たりの送液量は４６０ｎｌであった。
【００７７】
この結果は、マイクロ流体デバイスに用いるマイクロポンプとしては、充分な性能である。
【００７８】
（実施例４）
アルミニウム粉体５０ｍｇを、イースト１００ｍｇに変えた以外は、実施例１と同様して評価した。
【００７９】
その結果、ガスが発生し、ガスの圧力によって基板内流路の評価用液体が送液された。毎秒当たりの送液量は３２０ｎｌであった。
【００８０】
この結果は、マイクロ流体デバイスに用いるマイクロポンプとしては、充分な性能である。
【００８１】
（実施例５）
アルミニウム粉体５０ｍｇを、二酸化マンガン２０ｍｇに、水を、過酸化水素水に変えた以外は、実施例１と同様して評価した。
【００８２】
その結果、ガスが発生し、ガスの圧力によって基板内流路の評価用液体が送液された。毎秒当たりの送液量は４３０ｎｌであった。
【００８３】
この結果は、マイクロ流体デバイスに用いるマイクロポンプとしては、充分な性能である。
【００８４】
（実施例６）
〔マイクロポンプ装置２の準備〕
・厚さ３ｍｍのアクリル樹脂からなる基板内に、図３で示す開口部として、直径２ｍｍの開口を形成した。
【００８５】
アクリル酸ブチルエステル（ＢＡ）とアクリル酸（ＡＡｃ）の共重合体ポリマー（共重合比ＢＡ：ＡＡｃ＝９７：３、重量平均分子量５０万）と酢酸エチルからなるアクリル系粘着剤溶液を、厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗工、乾燥させて、アクリル系粘着テープを作製した。乾燥後の粘着剤厚みは３０μｍである。
【００８６】
テープを２０ｍｍ×２０ｍｍで切り出し、粘着面の中心２ｍｍの範囲に、アトマイズ法により作製された平均粒径３μｍのアルミニウム粉体を付着させた。
【００８７】
テープのアルミニウム粉体付着部分が、基板開口部と合うように、テープを基板に貼り付けた。
【００８８】
テープの開口部貼り付け部分に、注射器を突き刺して水を注入した。水とアルミニウムが接触した。
【００８９】
その結果、ガスが発生し、ガスの圧力によって基板内流路の評価用液体が送液された。毎秒当たりの送液量は５１０ｎｌであった。
【００９０】
この結果は、マイクロ流体デバイスに用いるマイクロポンプとしては、充分な性能である。
【符号の説明】
【００９１】
１…マイクロ流体デバイス
２…基板
３…マイクロ流路
４…マイクロポンプ装置
５…ガス発生室
６…第１の物質
７…流路
７ａ…弁
７ｂ…引き抜き弁
８…収納室
９…第２の物質
１０…注射器
１１…注入室
２１…マイクロ流体デバイス
２２…基板
２３…マイクロ流路
２３ａ…開口部分
２４…テープ材
２５…注射器  
【図１】
2010216445.tif 000003
【図２】
2010216445.tif 000004
【図３】
2010216445.tif 000005
【図４】
2010216445.tif 000006