(57)【要約】【課題】輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供すること。【解決手段】ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部２、可動部３、および載置テーブル部５等に分割することが可能となり、各部材２，３，５を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。また、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができるので、各側２，５に設けられた測定部と被測定物ｍとの間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
床上に平行に設置された一対のガイド部と、
前記一対のガイド部に跨って設けられ、前記ガイド部に沿って移動可能な可動部と、
前記可動部に設けられ、被測定物を測定する測定部と、
前記床上、かつ前記ガイド部間に設けられ、前記被測定物が載置される載置テーブル部とを備え、
前記載置テーブル部と前記ガイド部とは、一方に生じた振動を他方に伝達する振動伝達部材により着脱可能に連結されている
ことを特徴とする測定機。
【請求項２】
請求項１に記載の測定機において、
前記ガイド部は、前記可動部を移動可能に支持するガイド部本体と、
前記ガイド部本体下に設けられ、前記ガイド部本体を支持する支持台とを備え、
前記支持台に前記振動伝達部材の一端が連結されている
ことを特徴とする測定機。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の測定機において、
前記載置テーブル部には、鉛直面が形成され、
前記ガイド部には、鉛直面と水平面とを備えた段差部が形成され、
前記振動伝達部材の一端には、前記ガイド部の前記水平面に連結される水平な第１連結部が形成され、他端には、前記載置テーブル部の前記鉛直面に連結される鉛直な第２連結部が形成されている
ことを特徴とする測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガイド部に沿って所定の方向に移動可能に設けられた測定部により被測定物を測定する測定機として、例えば画像測定機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の画像測定機は、ベース部と、ベース部上にＹ軸方向に沿って平行に設置された一対のガイド部と、ベース部上かつガイド部間に亘って設けられて被測定物が載置されるとともに、内部に被測定物を下から透過照明する照明手段が設けられた載置テーブル部と、ガイド部に跨って設けられ、ガイド部に沿ってＹ軸方向に移動可能な門型のＹ軸スライダ、およびＹ軸スライダに沿ってＸ軸方向に移動可能なＸ軸スライダからなる可動部と、Ｘ軸スライダに設けられ、被測定物を撮像する測定部と、を備えている。このような従来の画像測定機は、ガイド部および載置テーブル部がベース部上で一体に設けられた一体構造となっており、ユーザへ納品される際には、分割されることなく全体が梱包されて輸送される。
【０００４】
また、ガイド部に沿って所定の方向に移動可能に設けられた測定部により被測定物を測定する測定機において、各部が分割可能な測定機としては、ガイド部が側面視門型に形成されたガントリー型の三次元測定機が知られている。ガントリー型の三次元測定機は、側面視門型の一対のガイド部と、ガイド部に跨って設けられてＹ軸方向に移動可能なＹ軸スライダ、Ｙ軸スライダに沿ってＸ軸方向に移動可能なＸ軸スライダ、およびＸ軸スライダに設けられてＺ軸方向に移動可能なＺ軸スライダからなる可動部と、Ｚ軸スライダの下端に取り付けられたタッチセンサプローブ等の測定部と、を備えている。被測定物は、ガイド部間において床上に設けられる。
【０００５】
このような三次元測定機は、被測定物を下から透過照明する必要がないため、照明手段が内部に設けられる載置テーブル部や、載置テーブル部をガイド部と一体にするためのベース部が存在しない。そのため、このような三次元測定機は、分割することが可能となっており、ユーザへ納品される際には分割輸送される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２６６７４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、画像測定機では、測定対象であるフラットディスプレイパネルの大型化に伴い、大型化が要望されている。しかしながら、従来の画像測定機は、一体構造であり、分割できないため、トレーラ等の輸送制限により、所定の寸法（幅３．５ｍ）以上には大きくできないという問題がある。
【０００８】
一方、ガントリー型の三次元測定機では、各部を分割することができ、分割輸送することができるため、大型化が可能となっている。しかしながら、ガントリー型の三次元測定機では、被測定物が床上に設けられ、三次元測定機とは別個に設けられるため、床振動によって被測定物側にのみ大きく振動が伝達されたり、三次元測定機の駆動系によって三次元測定機の測定部側にのみ大きく振動が伝達されたりすることにより、測定部と被測定物との間に相対振動が生じ、精度、特に繰り返し精度が低下してしまうおそれがある。
【０００９】
本発明の目的は、輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の測定機は、床上に平行に設置された一対のガイド部と、前記一対のガイド部に跨って設けられ、前記ガイド部に沿って移動可能な可動部と、前記可動部に設けられ、被測定物を測定する測定部と、前記床上、かつ前記ガイド部間に設けられ、前記被測定物が載置される載置テーブル部とを備え、前記載置テーブル部と前記ガイド部とは、一方に生じた振動を他方に伝達する振動伝達部材により着脱可能に連結されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、ガイド部と載置テーブル部とが振動伝達部材によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部、可動部、および載置テーブル部等に分割することが可能となり、各部材を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。
また、ガイド部と載置テーブル部とが、一方に生じた振動を他方に伝達する振動伝達部材によって連結されるので、ガイド部側で生じた振動も載置テーブル部側で生じた振動も、振動伝達部材を介して他方に伝達されることとなる。そのため、各側に設けられた測定部と被測定物との間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。
【００１２】
本発明の測定機では、前記ガイド部は、前記可動部を移動可能に支持するガイド部本体と、前記ガイド部本体下に設けられ、前記ガイド部本体を支持する支持台とを備え、前記支持台に前記振動伝達部材の一端が連結されていることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、支持台に、振動伝達部材の一端が連結されるので、ガイド部本体に、振動伝達部材から力が加えられることがない。そのため、ガイド部本体の真直精度を良好に維持することができる。
【００１４】
本発明の測定機では、前記載置テーブル部には、鉛直面が形成され、前記ガイド部には、鉛直面と水平面とを備えた段差部が形成され、前記振動伝達部材の一端には、前記ガイド部の前記水平面に連結される水平な第１連結部が形成され、他端には、前記載置テーブル部の前記鉛直面に連結される鉛直な第２連結部が形成されていることが好ましい。
【００１５】
本発明によれば、振動伝達部材の一端に水平な第１連結部が形成されているので、第１連結部をガイド部の水平面の適宜の位置に連結することができ、ガイド部および載置テーブル部の水平方向の相対位置に誤差が生じても、第１連結部をガイド部に連結することができる。また、振動伝達部材の他端に鉛直な第２連結部が形成されているので、第２連結部を載置テーブル部の鉛直面の適宜の位置に連結することができる。そのため、第１連結部をガイド部の水平面に連結することによって決められる第２連結部の高さ位置で、第２連結部を載置テーブル部の鉛直面に連結することができる。従って、振動伝達部材は、ガイド部および載置テーブル部の相対位置に誤差が生じても、各部材を確実に連結することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態に係る画像測定機１を示す正面図、図２は、画像測定機１を示す側面図である。
画像測定機１は、図１および図２に示すように、床上にＹ軸方向に沿って平行に設置された一対のガイド部２と、ガイド部２に跨って設けられ、Ｙ軸方向にスライド移動可能な可動部３と、可動部３の下端に設けられ、被測定物ｍを測定する測定部４と、床上かつガイド部２間に設けられ、被測定物ｍが載置される載置テーブル部５とを備えている。
【００１７】
ガイド部２は、可動部３をスライド移動可能に支持するガイド部本体２１と、ガイド部本体２１下に設けられ、ガイド部本体２１を支持する支持台２２とを備えている。支持台２２は、ガイド部本体２１より大きな幅に形成されており、これにより、ガイド部本体２１と支持台２２との間には段差部２３が形成されている。段差部２３は、ガイド部本体２１の壁面である鉛直面２３１と、支持台２２の上面である水平面２３２とから構成されている。
【００１８】
可動部３は、ガイド部２に跨って設けられ、ガイド部２に沿ってＹ軸方向にスライド移動可能な門型のＹ軸スライダ３１と、Ｙ軸スライダ３１に沿ってＸ軸方向にスライド移動可能に設けられたＸ軸スライダ３２とを備えている。また、可動部３は、ガイド部２と分割可能に設けられている。
【００１９】
測定部４は、Ｘ軸スライダ３２の下端に設けられている。測定部４は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを備え、載置テーブル部５上の被測定物ｍを撮像する。撮像された被測定物ｍの画像データは、図示しないコンピュータに出力され、このコンピュータにより、被測定物ｍの形状および寸法等が解析される。
【００２０】
載置テーブル部５は、直方体状に形成され、上部には、被測定物ｍが載置される図示しないガラス板が設けられている。また、載置テーブル部５の内部には、被測定物ｍを下からガラス板を介して透過照明する図示しない照明手段が設けられている。このような載置テーブル部５のガイド部２との各対向面には、鉛直面５１が形成されている。
【００２１】
図３は、振動伝達部材６を示す拡大図である。
このような載置テーブル部５は、図３に示すように、ガイド部２と振動伝達部材６によって連結されている。具体的には、載置テーブル部５は、各側面がガイド部２とそれぞれ２つの振動伝達部材６（図２）によって連結される。
【００２２】
振動伝達部材６は、ガイド部２および振動伝達部材６間に介装される伝達部材本体６１と、伝達部材本体６１の一端に形成された水平な第１連結部６２と、伝達部材本体６１の他端に形成された鉛直な第２連結部６３（フランジ）とを備えている。第１連結部６２は、ガイド部２の水平面２３２の適宜の場所にボルトにより連結される。第２連結部６３は、載置テーブル部５の鉛直面５１の適宜の場所にボルトにより連結される。
【００２３】
このように、本実施形態では、ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、各部材２，３，５（測定部４は可動部３と一体に設けられている）が分割可能となる。そのため、本実施形態では、各部材２，３，５を現場に分割輸送することができ、輸送制限にかかることなく画像測定機１を大型化することが可能となる。
【００２４】
また、振動伝達部材６は、ガイド部２および載置テーブル部５の一方に生じた振動を他方に伝達する。そのため、本実施形態では、例えば可動部３によって振動が生じ、その振動が測定部４に伝達されても、当該振動を、ガイド部２から振動伝達部材６を介して載置テーブル部５、ひいては被測定物ｍに伝達させることができる。また、載置テーブル部５側に振動が生じ、その振動が被測定物ｍに伝達されても、当該振動を、振動伝達部材６を介してガイド部２、ひいては被測定物ｍに伝達させることができる。従って、本実施形態は、測定部４と被測定物ｍとの間に生じる相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。
【００２５】
以下、画像測定機１の組立方法について説明する。
まず、載置テーブル部５を現場に輸送し、載置テーブル部５を床上の所定の位置に位置決め固定する（工程１）。
【００２６】
工程１の後、一対のガイド部２をそれぞれ現場に輸送し、床上の所定の位置にそれぞれ位置決めする（工程２）。なお、以上のいずれかの工程１、２において、振動伝達部材６をいずれかの部材２，５と共に現場に輸送しておく。
【００２７】
工程２の後、ガイド部２と載置テーブル部５との間、４箇所に振動伝達部材６をそれぞれ介装する。そして、各振動伝達部材６の第１連結部６２をガイド部２の水平面２３２上に載置するとともに、第２連結部６３を載置テーブル部５の鉛直面５１に突き当て、第１連結部６２の水平方向の位置決めを行った後に、第１連結部６２を水平面２３２にボルトによって連結する（工程３）。この工程３により、第２連結部６３の高さ位置が、ガイド部２の水平面２３２の高さ位置に応じた高さ位置に位置決めされる。
【００２８】
工程３の後、高さ位置が位置決めされた各振動伝達部材６の第２連結部６３を、載置テーブル部５の鉛直面５１にボルトによって連結する（工程４）。この工程４により、ガイド部２が、振動伝達部材６を介して載置テーブル部５に連結されるとともに、載置テーブル部５を基準に床面に対して位置決めされる。
工程４の後、床面に対して位置決めされたガイド部２を当該床面に対して固定する（工程５）。
【００２９】
工程５の後、測定部４が取り付けられた可動部３を現場に輸送し、ガイド部２に組み付ける（工程６）。なお、測定部４と可動部３とは分割可能に設けられていてもよく、その場合、可動部３をガイド部２に組み付けた後に、測定部４を現場に送り、可動部３に組み付ける。
以上の各工程１〜６により、画像測定機１が組み立てられる。
【００３０】
以上のような本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、各部材２，３，５が分割可能となり、各部材２，３，５を現場に分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機１を大型化することが可能となる。
また、ガイド部２と載置テーブル部５とが、一方に生じた振動を他方に伝達する振動伝達部材６によって連結されるので、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができる。そのため、各側２，５に設けられた測定部４と被測定物ｍとの間に生じる相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。
【００３１】
ガイド部２は、可動部３を移動可能に支持するガイド部本体２１と、ガイド部本体２１下に設けられた支持台２２とを備え、支持台２２に、振動伝達部材６の一端６２が連結される。従って、ガイド部本体２１に、振動伝達部材６から力が加えられることがないので、ガイド部本体２１の真直精度を良好に維持することができる。
【００３２】
振動伝達部材６の一端に水平な第１連結部６２が形成されているので、第１連結部６２をガイド部２の水平面２３２の適宜の位置に連結することができ、ガイド部２および載置テーブル部５の水平方向の相対位置に誤差が生じても、第１連結部６２をガイド部２に連結することができる。また、振動伝達部材６の他端に鉛直な第２連結部６３が形成されているので、第２連結部６３を載置テーブル部５の鉛直面５１の適宜の位置に連結することができる。そのため、第１連結部６２をガイド部２の水平面２３２に連結することによって決められる第２連結部６３の高さ位置で、第２連結部６３を載置テーブル部５の鉛直面５１に連結することができる。従って、振動伝達部材６は、ガイド部２および載置テーブル部５の相対位置に誤差が生じても、各部材２，５を確実に連結することができる。
【００３３】
〔第２実施形態〕
図４は、本実施形態に係る三次元測定機１Ａを示す正面図、図５は、三次元測定機１Ａを示す側面図である。以下、前記第１実施形態と同一機能部位には同一符号を付し、その説明を省略若しくは簡略化する。
【００３４】
前記第１実施形態では、ガイド部２が直線状に形成され、測定部４が設けられるＸ軸スライダ３２が低い位置で移動する構成となっていたが、本実施形態では、図４および図５に示すように、ガイド部２が門型に形成され、測定部４が設けられるＸ軸スライダ３２が高い位置で移動可能なガントリー型に当該測定機１Ａが構成されている点が特徴である。
【００３５】
なお、ガイド部２は、図４および図５に示すように、門型のガイド部本体２１と、ガイド部本体２１下に設けられた支持台２２とを備えている。ガイド部本体２１は、一対のコラム部２１１と、コラム部２１１を跨ぐように設けられ、可動部３をスライド移動可能に支持するレール部２１２とを備えている。可動部３は、Ｙ，Ｘ軸スライダ３１，３２の他、Ｘ軸スライダ３２に設けられてＺ軸方向にスライド移動可能なＺ軸スライダ３３を備えている。このＺ軸スライダ３３の下端に、タッチセンサプローブからなる測定部４が取り付けられている。本実施形態のその他の構成は、前記第１実施形態と同様である。
【００３６】
従って、本実施形態の三次元測定機１Ａでも、前記第１実施形態と同様に、ガイド部２に振動伝達部材６によって連結された載置テーブル部５上に被測定物ｍが載置されるので、測定部４と被測定物ｍとの間に生じる相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。また、本実施形態は、前記第１実施形態と同様の構成を備えることにより、前記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００３７】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
図６は、変形例の振動伝達部材６Ａを示す図である。
前記各実施形態では、振動伝達部材６の第１連結部６２は水平に形成されていたが、図６に示すように、振動伝達部材６Ａの第１連結部６２Ａは、鉛直（フランジ状）に形成されていてもよい。このように形成されていても、第１連結部６２Ａを、ガイド部２の鉛直面２３１の適宜の位置に連結させることができ、振動伝達部材６Ａを、鉛直方向において適宜の位置で各部材２，５に取り付けることができる。
【００３８】
前記各実施形態では、ガイド部２は、ガイド部本体２１と支持台２２とを備え、ガイド部本体２１の鉛直面２３１および支持台２２の水平面２３２から段差部２３が形成されていた。しかしながら、ガイド部２がガイド部本体２１のみから構成され、このガイド部本体２１に段差部２３が形成されていてもよい。この場合、支持台２２を不要にできる分、部品点数を低減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、画像測定機や三次元測定機等の測定機に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る画像測定機を示す正面図。
【図２】画像測定機を示す側面図。
【図３】振動伝達部材を示す拡大図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る三次元測定機を示す正面図。
【図５】三次元測定機を示す側面図。
【図６】変形例の振動伝達部材を示す図。
【符号の説明】
【００４１】
１  画像測定機（測定機）
１Ａ  三次元測定機（測定機）
２  ガイド部
３  可動部
４  測定部
５  載置テーブル部
６，６Ａ  振動伝達部材
２１  ガイド部本体
２２  支持台
２３  段差部
５１  鉛直面
６２  第１連結部
６３  第２連結部
２３１  鉛直面
２３２  水平面
ｍ  被測定物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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