(57)【要約】      （修正有）【課題】デバイスケース内に収容したデバイスの散乱を防止可能なデバイス収容装置を提供する。【解決手段】デバイスケースを水平移動させるデバイスケース移動手段を備えたデバイス収容装置であって、該デバイスケースの一方の側部の外側に固定的に設けられ、出射光の光路が該デバイスケースの上面から所定距離以内を通過するように位置付けされた発光部と、該発光部に対向して該デバイスケースの他方の側部の外側に固定的に設けられ、該発光部の出射光を受光するように位置付けられた受光部と、該受光部に接続されデバイスの該デバイスケース内への収容状態の正常と異常を判定する判定手段とを含むデバイス収容状態検出機構１１０を更に具備し、該デバイスケース移動手段によって該デバイスケースが該発光部の出射光の光路の下側を移動する際、該受光部の受光が遮断された場合に、該判定手段がデバイスの収容状態の異常を判定し異常信号を出力する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の升目を有し該各升目中にデバイスを収容可能なデバイスケースと、デバイスをピックアップして該デバイスケースの各升目中へデバイスを収容するピックアップ手段と、該デバイスケースの各升目が該ピックアップ手段によってデバイスを収容可能とするデバイス収容位置へ位置付けられるように該デバイスケースを水平移動させるデバイスケース移動手段とを備えたデバイス収容装置であって、
該デバイスケースの一方の側部の外側に固定的に設けられ、出射光の光路が該デバイスケースの上面から所定距離以内を通過するように位置付けされた発光部と、
該発光部に対向して該デバイスケースの他方の側部の外側に固定的に設けられ、該発光部の出射光を受光するように位置付けられた受光部と、
該受光部に接続されデバイスの該デバイスケース内への収容状態の正常と異常を判定する判定手段とを含むデバイス収容状態検出機構を更に具備し、
該デバイスケース移動手段によって該デバイスケースが該発光部の出射光の光路の下側を移動する際、該受光部の受光が遮断された場合に、該判定手段がデバイスの収容状態の異常を判定し異常信号を出力することを特徴とするデバイス収容装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイスをデバイスケースに収容するデバイス収容装置に関し、特に、デバイスを収容したデバイスケースのデバイス収容状態の異常を検出可能なデバイス収容装置のデバイス収容状態検出機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路が複数形成され、樹脂によってパッケージングされたＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の矩形基板は、ダイシング装置などの切削装置によって個々のデバイスへと分割され、デバイスケースに収容された状態で電子機器の組み立て工程に搬送される。搬送された個々のデバイスは組み立て工程において、各種電子機器に実装される。
【０００３】
一般に、デバイスケースへのデバイスの収容には専用のデバイス収容装置が用いられるが、特開２０００−２０８４４５号公報又は特開２００６−１５６７７７号公報では、切削装置とデバイス収容装置とを一体化した矩形基板の分割装置が提案されている。
【０００４】
一般にこれらデバイスが収容されるデバイスケースは複数の升目を有し、デバイス収容装置のピックアップ手段がデバイスを上面から吸着保持し、デバイスケースの各升目にデバイスを位置付けた後、吸着を解除してデバイスをデバイスケースの升目中に収容する。全ての升目にデバイスが収容されたデバイスケースは積層されて一時的に保管され、次の実装工程へと搬出される。
【特許文献１】特開２０００−２０８４４５号公報
【特許文献２】特開２００６−１５６７７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、デバイスをデバイスケースに収容する際、ピックアップ手段とデバイスケースとの位置付け誤差等により、既にデバイスが収容されている升目の上にデバイスの一部が乗り上がった形で別のデバイスが収容されたりすることがあった。
【０００６】
デバイスが既に収容されている升目の上にデバイスの一部が乗り上がった形で別のデバイスが収容されると、デバイスケースを積層して一時的に保管する際に、他のデバイスケースを必要以上に押し上げて、収容したデバイスを散乱させてしまう恐れがあるという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、デバイスケース内に収容したデバイスを散乱させてしまうことを防止可能なデバイス収容装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によると、複数の升目を有し該各升目中にデバイスを収容可能なデバイスケースと、デバイスをピックアップして該デバイスケースの各升目中へデバイスを収容するピックアップ手段と、該デバイスケースの各升目が該ピックアップ手段によってデバイスを収容可能とするデバイス収容位置へ位置付けられるように該デバイスケースを水平移動させるデバイスケース移動手段とを備えたデバイス収容装置であって、該デバイスケースの一方の側部の外側に固定的に設けられ、出射光の光路が該デバイスケースの上面から所定距離以内を通過するように位置付けされた発光部と、該発光部に対向して該デバイスケースの他方の側部の外側に固定的に設けられ、該発光部の出射光を受光するように位置付けられた受光部と、該受光部に接続されデバイスの該デバイスケース内への収容状態の正常と異常を判定する判定手段とを含むデバイス収容状態検出機構を更に具備し、該デバイスケース移動手段によって該デバイスケースが該発光部の出射光の光路の下側を移動する際、該受光部の受光が遮断された場合に、該判定手段がデバイスの収容状態の異常を判定し異常信号を出力することを特徴とするデバイス収容装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、デバイスケース内に収容したデバイスを散乱させてしまうことを防止可能なデバイス収容装置が提供される。即ち、対向して配設された発光部と受光部との僅かばかり下側をデバイス収容済みのデバイスケースを移動させることにより、デバイスが既に収容されている升目の上にデバイスの一部が乗り上がった形で別のデバイスが収容された場合には、発光部からの出射光が乗り上がったデバイスによって遮断され受光部で受光されないため、収容不良を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１を参照すると、例えば図２に示すような矩形基板４に格子状に形成された分割予定ライン６を切削して個々のデバイスに分割する矩形基板の分割装置２の斜視図が示されている。図２に示した矩形基板４は、分割予定ライン６によって区画されて複数のデバイスが形成されている。
【００１１】
デバイスは、図示の例では第１デバイス列Ｄ１〜第８デバイス列Ｄ８により構成されており、各デバイス列は三つのデバイスと両端の二つの端材８により構成されている。第１デバイス列Ｄ１及び第８デバイス列Ｄ８よりも外周側には不要端部（端材）１０が形成されている。端材８及び不要端部１０は、最終的には廃棄されるものである。
【００１２】
矩形基板４の裏面には、デバイス保護用の保護テープＴが貼着されている。図１に示した分割装置２を用いて分割予定ライン６を切削することにより、矩形基板４を個々のデバイスに分割することができる。矩形基板４としては、例えばＣＳＰ、ガラス基板等がある。
【００１３】
図１を再び参照すると、分割装置２は裏面に保護テープＴが貼着された矩形基板４を縦横に切削して個々のデバイスに分割する切削担当領域１２と、矩形基板４から保護テープＴを剥離するテープ剥離担当領域１４と、個々のデバイスをデバイスケースに収容するデバイス収容担当領域１６とから構成される。
【００１４】
切削担当領域１２には、複数の矩形基板を収容したカセットが載置されるカセットテーブル１８と、カセットテーブル１８から矩形基板を搬出する搬出手段２０と、回転ベース２１の上面に固定され搬出された矩形基板を保持するとともに回転可能なチャックテーブル（保持テーブル）２２と、チャックテーブル２２に保持された矩形基板を分割予定ライン６に沿って切削して個々のデバイスに分割する切削ブレード２４を有する切削手段２６と、切削済みの矩形基板を洗浄する洗浄手段２８とが設けられており、切削担当領域１２では、矩形基板の切削によるダイシング及び切削後の矩形基板の洗浄が行われる。
【００１５】
搬出手段２０はＹ軸方向に移動可能であり、カセットテーブル１８上に載置されたカセットＣ１又はＣ２から矩形基板を搬出する。カセットテーブル１８は後述するカセット位置付け手段３０とともにＺ軸方向に昇降可能となっており、その上に二つのカセットＣ１，Ｃ２が取り外し可能に載置されている。
【００１６】
カセットテーブル１８の下方には、何れかのカセットに収容された矩形基板が搬出手段２０により搬出可能となる位置に選択的に位置付け可能なカセット位置付け手段３０が配設され、カセットテーブル１８はＸ軸方向にも移動可能に構成されている。これにより、それぞれのカセットＣ１，Ｃ２中に格納された矩形基板を次々と効率良く搬出することができる。
【００１７】
図３に示すように、チャックテーブル２２の上方であってカセットテーブル１８と搬出手段２０との間には、Ｙ軸方向に長尺で断面がＬ字型の一対の開閉部材３２が対向して構成される姿勢矯正手段３４が配設されている。
【００１８】
一対の開閉部材３２の各々は、底部３２ａと側部３２ｂとから構成され、互いに近づく方向又は離れる方向に移動し、近づいた状態において閉状態を形成し、離れた状態において第１の開状態と第２の開状態を形成する。
【００１９】
カセットＣ１又はカセットＣ２から矩形基板を搬出する際には、姿勢矯正手段３４が第１の開状態となっており、搬出された矩形基板は二つの底部３２ａ上に載置される。即ち、第１の開状態は、矩形基板を搬出できる程度に開いており、且つ、矩形基板が下方に落下しない程度に開いた状態である。
【００２０】
一方、第２の開状態は、矩形基板が一対の開閉部材３２の間を垂直方向に移動できる程に開いた状態である。一対の開閉部材３２が近づいて閉状態となることにより、矩形基板の姿勢が矯正され、一定の位置に位置合わせされて所定の方向を向くようになる。
【００２１】
カセットテーブル１８が所定の高さに位置付けられると、搬出手段２０が＋Ｙ軸方向に移動し、把持部３６によってカセットＣ１又はカセットＣ２に収容された矩形基板を把持する。
【００２２】
そして、開閉部材３２が第１の開状態となった状態で、搬出手段２０が−Ｙ軸方向に移動すると、矩形基板４が裏面に貼着された保護テープＴとともに開閉部材３２の底部３２ａの上をスライドする。
【００２３】
矩形基板４がチャックテーブル２２の真上の位置まで移動されると、搬出手段２０の移動を停止させるとともに把持部３６による把持状態を解除し、矩形基板４を二つの底部３２ａの上に載置する。この状態で、一対の開閉部材３２が近づいて閉状態となり、矩形基板４の姿勢が矯正される。
【００２４】
チャックテーブル２２の真上には、第１の搬送手段３８が配設されている。第１の搬送手段３８は、吸引源に連通した複数の吸着パッド４０ａが下部に固定された保持部４０を備えており、矩形基板４が開閉部材３２の底部３２ａ上に載置されると、保持部４０が下降して矩形基板４の表面が吸着パッド４０ａによって吸着される。
【００２５】
そして、一対の開閉部材３２を第１の開状態とした後に、矩形基板４を吸着した状態で保持部４０が上昇して矩形基板４を持ち上げると共に、次に一対の開閉部材３２を第２の開状態として保持部４０を下降させて矩形基板４をチャックテーブル２２に載置し、吸着パッド４０ａによる吸着を解除すると、矩形基板４の裏面に貼着された保護テープＴがチャックテーブル２２に吸引保持され、矩形基板４もチャックテーブル２２によって保持される。
【００２６】
チャックテーブル２２は回転可能であると共に、Ｘ軸方向に移動可能に構成されており、チャックテーブル２２の移動経路の上方には、矩形基板に形成された分割予定ライン６（図２参照）を検出するアライメント手段４２が配設されている。
【００２７】
チャックテーブル２２上に矩形基板４が保持されると、チャックテーブル２２が＋Ｘ軸方向に移動して矩形基板４がアライメント手段４２の直下に位置付けられる。アライメント手段４２は撮像部４４を備えており、アライメント手段４２は、撮像部４４がＹ軸方向に移動しながら取得した画像と予め記憶された画像とのパターンマッチング等によって分割予定ライン６を検出する。
【００２８】
図１を再び参照すると、アライメント手段４２よりも＋Ｘ軸方向側には、高速回転する切削ブレード２４を備え、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な切削手段２６が配設されている。
【００２９】
切削手段２６は撮像部４４と一体に構成されており、撮像部４４の＋Ｘ軸方向の延長線上に切削ブレード２４が位置している。アライメント手段４２によって分割予定ライン６が検出された時には、その分割予定ライン６と切削ブレード２４とのＹ軸方向の位置合わせが自動的に達成される。
【００３０】
このようにして、切削しようとする分割予定ライン６と切削ブレード２４とのＹ軸方向の位置合わせが行われると、次に、チャックテーブル２２に保持された矩形基板４が＋Ｘ軸方向に移動するとともに、切削ブレード２４が高速回転しながら切削手段２６が下降し、高速回転する切削ブレード２４が検出された分割予定ライン６に切り込み、当該分割予定ライン６が切削される。
【００３１】
分割予定ラインのピッチずつ切削ブレード２４をＹ軸方向に割り出し送りしながら順次分割予定ライン６を切削していくと、同方向の分割予定ライン６が全て切削される。更に、チャックテーブル２２を９０度回転させて矩形基板４を９０度回転させた後に上記と同様の切削を行うと、全ての分割予定ライン６が切削されて個々のデバイスに分割される。
【００３２】
分割の終了した矩形基板４は第２の搬送手段４６で洗浄手段２８に搬送され、ここで洗浄及びスピン乾燥される。尚、洗浄手段２８の詳細構成については特許文献２に開示された内容を本明細書中にリファレンスとして取り込むため、特許文献２を参照されたい。
【００３３】
洗浄手段２８で洗浄及びスピン乾燥された矩形基板４は、第３の搬送手段４８でテープ剥離担当領域１４に配置されたテープ剥離機構５１に搬送される。
【００３４】
図４に示すように、テープ剥離機構５１は個々のデバイスに分割後、洗浄及び乾燥された矩形基板４が仮置きされる仮置きテーブル５２と、デバイスが載置されてピックアップされるテーブルであるピックアップテーブル５４と、矩形基板４の裏面に貼着された保護テープＴを剥離しながら仮置きテーブル５２からピックアップテーブル５４にデバイスを移載するデバイス移載手段５６を備えている。
【００３５】
仮置きテーブル５２の上方には、保護テープＴが貼着された切削済みの矩形基板４を＋Ｙ軸方向に移動させるプッシャ５８が配設されている。プッシャ５８よりも＋Ｙ軸方向側には、仮置きテーブル５２に載置された矩形基板４を上方から押圧して仮置きテーブル５２との間で挟み込む押圧ローラ６０が配設されている。
【００３６】
ピックアップテーブル５４は、第１のテーブル５４ａと第２のテーブル５４ｂとから構成されている。第１のテーブル５４ａは、仮置きテーブル５２と第２のテーブル５４ｂとの間の領域をＹ軸方向に移動可能に配設され、仮置きテーブル５２に近づいたり第２のテーブル５４ｂに近づいたりすることができる。
【００３７】
ピックアップテーブル５４の上方には、第１のテーブル５４ａに載置されているデバイスを第２のテーブル５４ｂに移動させるデバイス移動手段６２が配設されている。また、第２のテーブル５４ｂよりも＋Ｙ軸方向側の下方には、ダイシングされた矩形基板４の外周にある端材８，１０（図２参照）を収容する端材収容部６４が配設されている。更に、仮置きテーブル５２の下方には、廃棄する保護テープＴを収容する保護テープ収容部６６が配設されている。
【００３８】
デバイス移動手段６２は、Ｙ軸方向に水平移動する水平移動部６８と、水平移動部６８によってＺ軸方向に昇降可能に支持された昇降部７０と、昇降部７０の先端に固定され第１のテーブル５４ａの上又は第２のテーブル５４ｂの上においてデバイスや端材を摺動させて＋Ｙ軸方向に押し出す押し出し部７２とから構成される。
【００３９】
押し出し部７２は、第１のテーブル５４ａに載置されているデバイスを＋Ｙ軸方向に押し出して第２のテーブル５４ｂに移動させるデバイス押し出し部７２ａと、第２のテーブル５４ｂに残存している端材を端材収容部６４に廃棄する端材押し出し部７２ｂを有している。
【００４０】
このように構成されたテープ剥離機構５１において、仮置きテーブル５２上に載置された矩形基板４をデバイス移載手段５６のプッシャ５８で＋Ｙ軸方向に押しながら図示しない把持部で矩形基板４の不良端部１０を保護テープＴとともに把持して下側に引き込むことにより、保護テープＴは矩形基板４から剥離され、まず第１デバイス列Ｄ１が第１のテーブル５４ａ上に載置される。
【００４１】
尚、テープ剥離機構５１のテープ剥離動作の詳細については上述した特許文献２に詳細に記載されているため、本明細書中にその内容をリファレンスとして取り組むことにするため、特許文献２を参照されたい。
【００４２】
第１のテーブル５４ａ上の第１デバイス列Ｄ１は押し出し部７２のデバイス押し出し部７２ａにより＋Ｙ軸方向に押し込まれ、第１のテーブル５４ａから図５に示すように第２のテーブル５４ｂに移載される。
【００４３】
図５を参照すると、テープ剥離機構５１はピックアップテーブル５４の上方に固定的に配設された支持部材７４を備えている。支持部材７４は、第２のテーブル５４ｂ上に載置されたデバイスＤをピックアップしてデバイスケース８４まで搬送するピックアップ手段７６を支持している。
【００４４】
ピックアップ手段７６は、支持部材７４の下面に固定された支持部７８と吸着部８０を有しており、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動可能である。ピックアップ手段７６にはＣＣＤカメラ等からなる撮像手段８２が取り付けられている。
【００４５】
第１ケース枠（良品ケース枠）８６中には良品を収容するデバイスケース８４が出し入れ可能に収容されており、第２ケース枠（不良品ケース枠）８８中には不良品を収容するデバイスケース枠８４が出し入れ可能に収容されている。
【００４６】
次に図６を参照して、デバイス収容担当領域１６の構成について説明する。デバイス収容担当領域１６には、デバイスケース格納部９０が配設されている。デバイスケース格納部９０は、空のデバイスケース８４を格納する空デバイスケース格納部９２と、良品のデバイスが収容された良品デバイスケース８４ａを格納する良品デバイスケース格納部９４と、不良品のデバイスが収容された不良品デバイスケース８４ｂを格納する不良品デバイスケース格納部９６を含んでいる。
【００４７】
空デバイスケース格納部９２、良品デバイスケース格納部９４、不良品デバイスケース格納部９６には、それぞれデバイスケース８４を垂直方向に重ねて複数枚格納することができる。
【００４８】
１７はデバイス収容装置であり、空デバイスケース格納部９２からデバイスケース８４を取り出して、ピックアップ手段７６によってピックアップされたデバイスＤを収容できる位置であるデバイス収容位置に位置付けるデバイスケース位置付け手段９８を備えている。
【００４９】
デバイスケース位置付け手段９８は、第１ケース枠８６を水平移動する第１移動手段１０６と、第２ケース枠８８を水平移動する第２移動手段１０８を含んでいる。第１ケース枠８６と第２ケース枠８８は互いに高さを変えて配置されており、第１ケース枠８６上を第２ケース枠８８がスライド可能に構成されている。
【００５０】
空デバイスケース格納部９２、良品デバイスケース格納部９４、不良品デバイスケース格納部９６のそれぞれの直下には、第１の昇降板１００、第２の昇降板１０２、第３の昇降板１０４がそれぞれ配設されている。第１の昇降板１００、第２の昇降板１０２及び第３の昇降板１０４上にはそれぞれデバイスケース８４を載置することができる。
【００５１】
空デバイスケース格納部９２に格納された複数のデバイスケース８４のうち、最も下側に格納されたデバイスケース８４は、突出片９２ａによって支持されて落下しないようになっており、これによってその上方のデバイスケース８４も支持されている。突出片９２ａは出没自在となっており、没入時にはデバイスケース８４の支持状態が解除される。
【００５２】
良品デバイスケース格納部９４及び不良品デバイスケース格納部９６にも、同様の機能を有する突出片９４ａ，９６ａがそれぞれ配設されており、突出片９４ａにより積層された複数の良品デバイスケース８４ａが支持され、突出片９６ａにより積層された複数の不良品デバイスケース８４ｂが支持されている。
【００５３】
１１０はデバイス収容状態検出機構であり、固定的に配設された第１検出機構１１２と、第２ケース枠８８の一端部下側に取り付けられた第２検出機構１１４とを含んでいる。
【００５４】
第１及び第２検出機構１１２，１１４とも発光素子と、発光素子に対向して配置された受光素子と、受光素子に接続されたデバイスの収容状態を判定する判定部とから構成される。
【００５５】
第１検出機構１１２は、第２ケース枠８８の一側部の外側に配設され、出射光の光路が第２ケース枠８８の上面より僅かばかり高い位置になるように位置付けされた発光素子１１２ａと、第２ケース枠８８の他の側部の外側に固定的に配置され、発光素子１１２ａの出射光を受光する受光素子とを含んでいる。
【００５６】
第２検出機構１１４は、第２ケース枠８８の一端部下側に取り付けられ、出射光の光路が第１ケース枠８６の上面より僅かばかり高い位置になるように位置付けされた発光素子１１４ａと、発光素子１１４ａに対向するように第２ケース枠８８の一端部下側に取り付けられた受光素子とを含んでいる。
【００５７】
以下、上述したデバイス収容状態検出機構の動作について図７を参照して説明する。第１ケース枠８６の各升目中に良品デバイスＤが収容され、第２ケース枠８８の各升目中に不良品デバイスＤが収容されているものとする。
【００５８】
図７（Ａ）に示すように、第２移動手段１０８により第２ケース枠８８が矢印Ａに示すように水平移動すると、第１検出機構１１２が固定的に配設されているため、第２ケース枠８８中に収容されたデバイスケース８４の各升目中に不良品デバイスが綺麗に収容されている場合には、発光素子１１２ａの出射光を受光素子で受光することができるため、受光素子に接続された判定部は正常の収容状態であると判定する。
【００５９】
一方、デバイスが既に収容されている升目の上にデバイスの一部が乗り上がった形で別のデバイスが収容された場合には、発光素子１１２ａからの出射光が乗り上がったデバイスによって遮断され、受光素子で受光されないため、受光素子に接続された判定部は収容状態の異常と判定することができる。
【００６０】
図７（Ｂ）に示すように、第２ケース枠８８がＡ方向に更に水平移動すると、第１ケース枠８６と部分的に重なって水平移動されることになる。よって、第１ケース枠８６中に収容されたデバイスケース８４の各升目中に良品デバイスが綺麗に収容されている場合には、第２検出機構１１４の発光素子１１４ａから出射された光を受光素子で受光することができ、収容状態良好と判定することができる。
【００６１】
一方、デバイスが既に収容されている升目の上にデバイスの一部が乗り上がった形で別のデバイスが収容されている場合には、発光素子１１４ａからの出射光が乗り上がったデバイスによって遮断され、受光素子で受光されないため、デバイス収容状態の異常を検出することができる。異常を検出した場合には異常信号を出力し、ブザー等で警告を発する。
【００６２】
上述した実施形態では、第１検出機構１１２及び第２検出機構１１４をそれぞれ発光素子と受光素子とから構成しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、発光素子に光学的に接続された光ファイバの先端を発光素子１１２ａ，１１４ａの代わりに配置し、受光素子に光学的に接続された光ファイバの先端で発光側の光ファイバから出射された光を受光するようにしても良い。
【００６３】
尚、第１及び第２ケース枠８６，８８中へのデバイスケース８４の収容プロセス、及び良品デバイスケース格納部９４への良品デバイスケース８４ａの格納動作、不良品デバイスケース格納部９６への不良品デバイスケース８４ｂの格納動作については、上述した特許文献２に詳細に開示されている。よって、本明細書では特許文献２の開示内容をリファレンスとして明細書中に取り込むことにするため、これらの動作については特許文献２を参照されたい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明実施形態に係る矩形基板の分割装置の外観斜視図である。
【図２】矩形基板の一例を示す斜視図である。
【図３】切削担当領域の一部を示す斜視図である。
【図４】テープ剥離担当領域を示す斜視図である。
【図５】第１デバイスケース枠及び第２デバイスケース枠中にそれぞれ収容されたデバイスケース中に良品デバイス及び不良品デバイスを収容する様子を示す斜視図である。
【図６】デバイス収容装置の分解斜視図である。
【図７】デバイス収容状態検出機構の動作を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
２    分割装置
４    矩形基板
６    分割予定ライン
８    端材
１０    不要端部
１２    切削担当領域
１４    テープ剥離担当領域
１６    デバイス収容担当領域
１７    デバイス収容装置
２２    チャックテーブル
２４    切削ブレード
２６    切削手段
２８    洗浄手段
４２    アライメント手段
５１    テープ剥離機構
５２    仮置きテーブル
５４    ピックアップテーブル
５４ａ    第１のテーブル
５４ｂ    第２のテーブル
７６    ピックアップ手段
８２    撮像手段
８４    デバイスケース
８６    第１ケース枠（良品デバイスケース枠）
８８    第２ケース枠（不良品デバイスケース枠）
９２    空デバイスケース格納部
９４    良品デバイスケース格納部
９６    不良品デバイスケース格納部
９８    デバイスケース位置付け手段
１１０    デバイス収容状態検出機構
１１２    第１検出機構
１１４    第２検出機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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