(57)【要約】【課題】メンテナンスユニットをクリーニングする作業員の安全を確保するインクジェット装置を提供する。【解決手段】印刷室内１００に設置されるメンテナンスユニット３を、上面に開口部を形成する略箱状の第１のユニットケース５の内部に収容し、この第１のユニットケース５を、上面に開口部を形成する略箱状の第２のユニットケース６の内部に支持し、さらに、第２のユニットケース６の底部または側壁部に設けた排気口部と印刷室の外部との間を排気装置７で接続した。これにより、印刷室内１００へ進入するメンテナンスユニット３をクリーニングする作業員の安全を確保することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷室内においてインクを吐出するインクヘッド部を有するインクジェットユニットと、
前記インクヘッド部に対し相互に移動させながらメンテナンスを行なうメンテナンスユニットと、
前記インクジェットユニットを支持するガントリと、
底部および側壁部を有し且つ上面に開口部を形成するとともに、前記メンテナンスユニットを収容する略箱状の第１のユニットケースと、
底部および側壁部を有し且つ上面に開口部を形成するとともに、前記第１のユニットケースを内部に支持する略箱状の第２のユニットケースと、
前記第２のユニットケースに形成された排気口部と前記印刷室の外部との間を接続する排気装置と、を備える、
インクジェット装置。
【請求項２】
前記第１のユニットケースの前記側壁部の全部または一部は、上方に向かって内側に斜設された、
請求項１に記載のインクジェット装置。
【請求項３】
前記第１のユニットケースの前記側壁部の上端部の全部または一部は、垂直高さ方向において、前記メンテナンスユニットの上端部位置以上である、
請求項１または２に記載のインクジェット装置。
【請求項４】
前記第１のユニットケースの前記側壁部の上端部の全部または一部は、垂直高さ方向において、前記第２のユニットケースの前記側壁部の上端部位置より高い、
請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット装置。
【請求項５】
前記排気口部は、前記第２のユニットケースの前記底部に設けられた、
請求項１から４のいずれかに記載のインクジェット装置。
【請求項６】
前記排気口部は、前記第２のユニットケースの前記側壁部に設けられた、
請求項１から４のいずれかに記載のインクジェット装置。
【請求項７】
前記排気口部の中心位置は、前記第２のユニットケースの前記側壁部の高さ方向における中心位置以下の領域に設けられた、
請求項６に記載のインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェット装置に用いるメンテナンスユニットの排気構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置は、密閉された印刷室の内部に設置され、半導体装置や液晶表示装置などの製造工程において、描画対象の表面に樹脂膜や配向膜などを形成する種々のインクを吐出する。
【０００３】
家庭用のインクジェット装置に比べ、半導体装置などの製造工程に用いるインクジェット装置は、インクの着弾位置やインクの吐出量について非常に高い精度を必要とする。このため、一般的には印刷室の内部にインクジェット装置のインクヘッド部を機械的にメンテナンスするメンテナンスユニットを設置する。さらに、印刷室の内部へ作業員が進入し、メンテナンスユニットのクリーニングを定期的に行なっている。
【０００４】
印刷対象物、インクヘッド部またはメンテナンスユニットなどに付着したインクからは有害な化学物質が揮発する。この揮発した化学物質を印刷室の内部から外部に排気するために、印刷室の壁や天井には排気装置が設けられる。ところが、近年は印刷速度の高速化に伴い揮発性の高いインクが使用されるため、印刷室の内部に有害な化学物質が充満し、危険な雰囲気となっている場合がある。
【０００５】
印刷室の内部が危険な雰囲気である場合、これを検出し、作業員の安全を確保するために作業員の進入を防止するという技術を開示した先行技術文献として、下記の特許文献１が挙げられる。
【０００６】
特許文献１には、印刷室の内部における出入口付近および印刷台付近にガスセンサを設け、印刷室の内部の化学物質の濃度を検出するとともに、危険と判断した場合には印刷室の出入口の扉を施錠したり警告灯などを用いて警告したりすることで作業員の進入を妨げるという技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−３１３４８１
【特許文献２】特開２００７−２５３５９２
【特許文献３】特開平１１−１３８７８１
【特許文献４】特開２００３−７２１１１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、出入口付近のガスセンサはその周辺の濃度を検出することしかできず、同様に、印刷台付近のガスセンサもその周辺の濃度を検出することしかできない。すなわち、特許文献１にはガスセンサを用いてメンテナンスユニット付近の濃度を検出する手段は開示されていない。このため、メンテナンスユニット付近の濃度が高い場合であってもクリーニングする作業員の進入を妨げることができず、作業員の安全を確保することが困難であった。
【０００９】
なお、メンテナンスユニットの付近にもガスセンサを設けることができれば良い。より具体的には、クリーニングのために作業員が立ち、作業員の頭部が位置する場所、すなわちメンテナンスユニットの上方位置にもガスセンサを設けることができれば良い。しかし、後述するようにインクジェット装置がメンテナンスユニットの上方の空間を利用してメンテナンスユニットと描画対象との間を往復するために、この空間にガスセンサを設けることは物理的に困難である。このことからも、メンテナンスユニットをクリーニングする作業員の安全が確保されないという問題があった。
【００１０】
この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、メンテナンスユニットの付近に排気装置を設け、印刷室の内部へ進入するメンテナンスユニットをクリーニングする作業員の安全を確保することを可能とするインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明に基づいたインクジェット装置においては、印刷室の内部においてインクを吐出するインクヘッド部を有するインクジェットユニットと、上記インクヘッド部に対し相互に移動させながらメンテナンスを行なうメンテナンスユニットと、上記インクジェットユニットを支持するガントリと、底部および側壁部を有し且つ上面に開口部を形成するとともに、上記メンテナンスユニットを収容する略箱状の第１のユニットケースと、底部および側壁部を有し且つ上面に開口部を形成するとともに、上記第１のユニットケースを内部に支持する略箱状の第２のユニットケースと、上記第２のユニットケースに形成された排気口部と上記印刷室の外部との間を接続する排気装置と、を備えている。
【００１２】
上記発明の他の形態においては、上記第１のユニットケースの上記側壁部の全部または一部は、上方に向かって内側に斜設されている。
【００１３】
上記いずれかの発明の他の形態においては、上記第１のユニットケースの上記側壁部の上端部の全部または一部は、垂直高さ方向において、上記メンテナンスユニットの上端部位置以上となっている。
【００１４】
上記いずれかの発明の他の形態においては、上記第１のユニットケースの上記側壁部の上端部の全部または一部は、垂直高さ方向において、上記第２のユニットケースの上記側壁部の上端部位置より高くなっている。
【００１５】
上記いずれかの発明の他の形態においては、上記排気口部は、上記第２のユニットケースの上記底部に設けられている。
【００１６】
上記いずれかの発明の他の形態においては、上記排気口部は、上記第２のユニットケースの上記側壁部に設けられている。
【００１７】
上記いずれかの発明の他の形態においては、上記排気口部の中心位置は、上記第２のユニットケースの上記側壁部の高さ方向における中心位置以下の領域に設けられている。
【発明の効果】
【００１８】
この発明に基づいたインクジェット装置によれば、メンテナンスユニットの付近に設けられた排気装置により、印刷室の内部へ進入する作業員の安全を確保することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施の形態１におけるインクジェット装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】実施の形態１におけるメンテナンスユニットの周辺の構成を示す部分の拡大斜視図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に関する矢視断面図である。
【図４】図３に関し、実施の形態１におけるインクヘッド部に対して行なわれるメンテナンスの順路の縦断面構造の概略図である。
【図５】実施の形態１における第１のユニットケースの他の側壁部が採用されたメンテナンスユニットの周辺の構成を示す斜視図である。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ線に関する矢視断面図である。
【図７】実施の形態１における第１のユニットケースの他の側壁部が採用されたメンテナンスユニットの周辺の構成を示す部分の縦断面構造の概略図である。
【図８】実施の形態１と参考技術とについて、１ヶ月あたりのインク詰まりの回数とインクジェット装置の停止時間とを比較した図である。
【図９】参考技術として示すメンテナンスユニットの周辺の構成を示す斜視図である。
【図１０】実施の形態２におけるメンテナンスユニットの周辺の構成を示す斜視図である。
【図１１】図１０に関し、実施の形態２における他の排気口部位置が採用されたメンテナンスユニットの周辺の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に基づいた各実施の形態におけるインクジェット装置について、以下、図を参照しながら説明する。なお、以下に説明する各実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。
【００２１】
（インクジェット装置の概要）
図１を参照して、インクジェト装置の概要について説明する。このインクジェット装置は、密閉された印刷室１００の内部においてインクジェットユニット２を備える。このインクジェットユニット２は下面にインクヘッド部１を有し、ステージ５１の上に置かれた描画対象５０に種々のインクを吐出し、描画対象５０の表面に描画する。この吐出されたインクにより、描画対象５０の表面に樹脂膜や配向膜などが形成される。
【００２２】
ガントリ４はインクジェットユニット２を側面に支持し、インクヘッド部１を描画対象５０の上方において、水平および垂直方向に自由に移動させることを可能にしている。このため、インクヘッド部１は描画対象５０に対して所望の位置にインクを吐出することができる。また、ガントリ４は印刷室床５３を図面手前方向に移動し、インクヘッド部１を印刷室１００の内部に設けられたメンテナンスユニット３の上方に移動させることを可能としている。
【００２３】
メンテナンスユニット３は、インクヘッド部１に対してメンテナンスを行なう。このメンテナンスはインクの着弾位置や吐出量などの吐出状態を維持し、インクヘッド部１を長寿命化させる目的で行なわれる。家庭用のインクジェット装置に比べ、半導体装置などの製造工程に用いるインクジェット装置は、インクの着弾位置やインクの吐出量について非常に高い精度が必要になる。よって、本発明を実施するための形態におけるインクジェット装置に対するメンテナンスは、一般的にはインクヘッド部１による描画の前後に行なわれる。
【００２４】
具体的には、ガントリ４がインクジェットユニット２をメンテナンスユニット３の上方に移動させ、インクヘッド部１とメンテナンスユニット３とを接近させる。その後インクヘッド部１が予備吐出を行ない、メンテナンスユニット３がインクヘッド部１のインク吐出口に対してキャップ吸引動作および拭き取り（ワイプ）動作を行なう。このメンテナンスについて、より具体的には後述する。
【００２５】
印刷室１００の上部にはＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）ユニット５２が設けられている。ＨＥＰＡユニット５２は、印刷室１００の外部から空気を取り入れ、ゴミ、塵埃などを取り除き、印刷室１００の内部に清浄空気を供給する。
【００２６】
また、この印刷室１００の環境として、印刷室１００の内部の温度や湿度の調整を行なわれることも多く、インクから揮発する化学物質が印刷室１００の外部に漏れることがないように印刷室１００の内部の気圧は、印刷室１００の外部の気圧よりも低く設定されている。清浄空気は印刷室１００の内部を下向きに流れ、印刷室１００の壁や天井に設けられた図示しない排気手段や後述する排気装置７から、化学物質ととともに印刷室１００の外部に排気される。
【００２７】
（実施の形態１）
図２、図３を参照して、本実施の形態におけるメンテナンスユニット３の周辺の構成について説明する。メンテナンスユニット３は印刷室１００の内部に設置される。メンテナンスユニット３は、上面にキャップ部３Ａおよびワイプ部３Ｂを備える。キャップ部３Ａはインクヘッド部１のインク吐出口からのインクの吸引を行なう。ワイプ部３Ｂはインクヘッド部１の拭き取りを行なう。
【００２８】
略箱状の第１のユニットケース５は、上面に開口部を形成し、側壁部５Ａおよび底部５Ｂを有する。メンテナンスユニット３は第１のユニットケース５の内部に設置される。
【００２９】
略箱状の第２のユニットケース６は、上面に開口部を形成し、側壁部６Ａおよび底部６Ｂを有する。底部６Ｂには排気口部６Ｃが形成され、排気口部６Ｃと印刷室１００の外部との間を接続する排気装置７が装着される。第１のユニットケース５は、支持部５Ｃを介して第２のユニットケース６の内部に設置される。
【００３０】
ここで、メンテナンスの際に、インクヘッド部１がメンテナンスユニットに対して移動する経路を確保できるように、側壁部５Ａ、側壁部６Ａおよびメンテナンスユニットの各高さを設定する必要がある。すなわち、インクジェットユニット２がインクヘッド部１をワイプ部３Ｂに当接させインクを拭き取ることができる空間、および、インクヘッド部１をキャップ部３Ａに密着させインクを吸込することができる空間を形成するように、側壁部５Ａ、側壁部６Ａおよびメンテナンスユニットの各高さを設定する必要がある。これは、以下に述べる種々の場合において同様である。
【００３１】
図４を参照して、本実施の形態におけるメンテナンスについて説明する。本実施の形態におけるメンテナンスは、まずキャップ吸引動作を行なう。矢印Ｘに表わされるように、インクジェットユニット２は、描画の前後にメンテナンスユニット３の上方、より具体的にはキャップ部３Ａの直上に移動する。その後、インクジェットユニット２は下降し、インクヘッド部１とキャップ部３Ａとを密着させ、インクヘッド部１とキャップ部３Ａとの間に密閉空間を形成する。その後、キャップ部３Ａは、形成された密閉空間を減圧することで、インクヘッド部１のインク吐出口に対してインクの吸引を行なう。
【００３２】
本実施の形態におけるメンテナンスは、次にワイプ動作を行なう。キャップ吸引動作が終わったあと、矢印Ｘに表わされるように、インクジェットユニット２はワイプ部３Ｂの直上に移動する。その後、インクジェットユニット２はインクヘッド部１をワイプ部３Ｂの左端部付近に当接させる。この状態で、インクジェットユニット２はインクヘッド部１を右方向（キャップ部３Ａの反対方向）に移動させ、インクヘッド部１に対してインクの拭き取りを行なう。
【００３３】
ワイプ動作のあと、インクヘッド部１の吐出状態の確認が行なわれ、本実施の形態におけるメンテナンスは終了する。このキャップ吸引動作およびワイプ動作によるメンテナンスが、インクの着弾位置や吐出量などの吐出状態を維持する。メンテナンスが終わった後、インクジェットユニット２は上方に移動し、インク描画対象５０の上方に戻り、描画を行なう。
【００３４】
（作用・効果）
再び図２および図３を参照して、揮発した後の化学物質の経路について説明する。メンテナンスが終わった後のメンテナンスユニット３のワイプ部３Ｂおよびキャップ部３Ａにはインクが付着しており、このインクから上方に向かって化学物質が揮発する。これに対し、ＨＥＰＡユニット５２から供給された清浄空気２０は下方のメンテナンスユニット３に向かって流れる。
【００３５】
メンテナンスユニット３は第１のユニットケース５の内部に収容されている。第１のユニットケース５は、底部５Ｂおよび側壁部５Ａを有し、上面の開口部を除き密閉した構造となっている。
【００３６】
このため、清浄空気２０は、第１のユニットケース５の内部に形成された空間、すなわちメンテナンスユニット３が収容されている空間に進入することができない。この空間には空気が満たされており、下方向には空気の逃げ道がないからである。
【００３７】
進入することができなかった空気は、後から流れてくる新たな清浄空気２０によりさらに下方に押されるが、この方向には進入することができないため、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上面に沿って略水平方向に流れる。
【００３８】
このとき、清浄空気２０はインクから上方に向かって揮発した化学物質と一体になり、空気２０Ａ、２０Ａとして略水平方向に移動する。
【００３９】
その後、空気２０Ａ、２０Ａは第１のユニットケース５の側壁部５Ａと第２のユニットケース６の側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓを通過して下方に進み、排気装置７へと流れる。その後、印刷室１００の外部へ空気２１となって排気される。
【００４０】
上記により、印刷室１００の壁や天井にのみ排気手段を設けた場合に比べ、メンテナンスユニット３の上方の化学物質の濃度は著しく低下し、メンテナンスユニット３のクリーニングを行なう作業員の安全を確保することが可能となる。
【００４１】
また、本実施の形態１においては、これらに付着したインクの乾燥を遅らせることも可能となる。上述の通り、第１のユニットケース５は、底部５Ｂおよび側壁部５Ａを有し、上面の開口部を除き密閉した構造となっているため、ＨＥＰＡユニット５２から供給された清浄空気２０は、メンテナンスユニット３が収容されている空間に進入することができない。
【００４２】
進入することができなかった空気は、後をから流れてくる新たな清浄空気２０によりさらに下方に押されるが、この方向には進入することができないため、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上面に沿って略水平方向に流れる。したがって、清浄空気２０はメンテナンスユニット３が収容されている空間を通り抜けて流れることができない。  
【００４３】
上記により、清浄空気２０はキャップ部３Ａやワイプ部３Ｂに直接触れることが無くなり、メンテナンスユニット３が収容されている空間内での空気の流れの発生が抑制され、結果として、これらに付着したインクの乾燥を遅らせることが可能となる。
【００４４】
ここで、インクが乾燥するとインクの粘度が増加する。インクの粘度が増加すると、インクヘッド部１の拭き取りを行なった際に、インク吐出口にインクが入り込み、インク吐出口のインク詰まりの原因となり得る。これを防止するためには、メンテナンスユニット３のクリーニングの周期を短くし、頻繁に作業員がクリーニングする必要がある。これは作業員の作業工数の増加だけでなく、インクジェット装置を長時間停止させることに繋がり、生産性も悪化する。
【００４５】
本実施の形態１によれば、インクの乾燥を遅らせることにより生産性を向上させることが可能となる。
【００４６】
（参考技術）
出願人は本発明に至る段階で、図９に参照される構成を考えた。このメンテナンスユニット３は、側壁部を有さない第１のユニットケース５の上に設置され、その周囲を囲うように第２のユニットケース６が設けられている。その他の構成や拭き取りなどについては実施の形態１と同様である。
【００４７】
この構成によれば、ワイプ部３Ｂなどから揮発した化学物質はＨＥＰＡユニット５２から供給された清浄空気３０と一体になり、空気３０Ａ、３０Ａとして下方の排気装置７へと送り込まれ、印刷室１００の外部へ空気３１となって排気される。これにより、印刷室１００の壁や天井にのみ排気手段を設けた場合に比べ、メンテナンス３の上方の化学物質の濃度は著しく低下し、メンテナンスユニット３のクリーニングを行なう作業員の安全を確保することが可能となる。
【００４８】
しかし、この構成によるインクジェット装置は、清浄空気３０がメンテナンスユニットに直接触れるためワイプ部３Ｂなどに付着したインクの乾燥を遅らせることができない。このため、メンテナンスユニットをメンテナンスする作業員の工数が増加し、インクジェット装置を長時間停止させ、生産性が悪いという問題があった。
【００４９】
これに対し、実施の形態１の構成によればインクの乾燥を遅らせることが可能であるため、上述の参考技術に比べ生産性を向上させることが可能となる。
【００５０】
図８は、本実施の形態１と参考技術とについて、１ヶ月あたりのインク詰まりの回数とインクジェット装置の停止時間とを示している。
【００５１】
参考技術によるインクジェット装置を１ヶ月間動かした場合、作業員が３日に１回の頻度でメンテナンスユニット３をクリーニングしたにも関わらず、インク詰まりが１０回発生した。なお、このクリーニングのために、インクジェット装置を合計で２０時間停止させる必要があった。
【００５２】
本実施の形態１によるインクジェット装置を１ヶ月間動かした場合、作業員が７日に１回の頻度でメンテナンスユニット３をクリーニングすることで、インク詰まりはまったく発生しなかった。なお、このクリーニングのために、インクジェット装置を合計で４．５時間停止させる必要があった。
【００５３】
このことからも、本実施の形態１の構成によれば、作業員の作業工数は少なくてよく、インクジェット装置を長時間停止させる必要もないことは明らかである。すなわち、結果として生産性が向上していることがわかる。
【００５４】
（側壁部に関する好ましい事項）
第１のユニットケース５の側壁部５Ａは、全部が垂直に設けられている必要はない。図５および図６を参照して、側壁部５Ａの全部を、上方に向かって角度qだけ内側に傾けて斜設することが好ましい。
【００５５】
このような構成によれば、上述の実施の形態１と同様に作業員の安全を確保することが可能となる。また、上方からの清浄空気２０は、側壁部５Ａと側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓを通るとき、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上方において乱流を形成することが少なく、隙間Ｓを円滑に流れる。これにより、メンテナンスユニット３が収容されている空間内での空気の流れを抑制し、結果としてワイプ部などの乾燥をより遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００５６】
なお、側壁部５Ａの一部を上方に向かって角度qだけ内側に傾けて斜設することでも良い。このような構成によれば、上述の実施の形態１と同様に作業員の安全を確保することが可能となる。また、上方からの清浄空気２０は、内側に傾けて斜設した一部の側壁部５Ａにおいて、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上方の乱流を形成することが少なく、側壁部５Ａと側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓを円滑に流れる。これによりメンテナンスユニット３が収容されている空間内での空気の流れを抑制し、結果としてワイプ部などの乾燥を遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００５７】
第１のユニットケースの側壁部５Ａは、メンテナンスユニットの上端部、すなわちワイプ部３Ｂまたはキャップ部３Ａの上端部と同一高さである必要はない。図４を参照して、側壁部５Ａの全部を、メンテナンスユニットの上端部位置、すなわちワイプ部３Ｂまたはキャップ部３Ａの上端部位置以上にすることが好ましい。
【００５８】
このような構成によれば、上述の実施の形態１と同様に作業員の安全を確保することが可能となる。また、上方からの清浄空気２０は、第１のユニットケース５の内部に形成された空間、すなわちメンテナンスユニット３が収容されている空間を通り抜けて流れることができない。そのため、清浄空気２０は、メンテナンスユニット３に向かって下降してきても揮発した化学物質と一体となりつつ空気２０Ａ、２０Ａとなって略水平方向に流れ、メンテナンスユニット３に直接触れることはない。結果としてワイプ部３Ｂなどの乾燥をより遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００５９】
なお、側壁部５Ａの一部を、メンテナンスユニットの上端部位置、すなわちワイプ部３Ｂまたはキャップ部３Ａの上端部位置以上にすることでも良い。このような構成によれば、上述の実施の形態１と同様に作業員の安全を確保することが可能となる。また、側壁部の一部を、メンテナンスユニットの上端部位置、すなわちワイプ部３Ｂまたはキャップ部３Ａの上端部位置以上とした場所において、清浄空気２０がメンテナンスユニット３に直接触れることを抑制し、結果としてワイプ部などの乾燥をより遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００６０】
なお、側壁部５Ａの全部を、メンテナンスユニットの上端部位置、すなわちワイプ部３Ｂまたはキャップ部３Ａの上端部位置以下としてもよい。
【００６１】
このような構成によれば、上述の実施の形態１と同様に作業員の安全を確保することが可能となる。また、清浄空気２０は、メンテナンスユニット３に向かって下降してきても揮発した化学物質と一体となりつつ空気２０Ａ、２０Ａとなって略水平方向に流れ、メンテナンスユニット３に若干は触れつつも、結果としてワイプ部などの乾燥を遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００６２】
第１のユニットケース５の側壁部５Ａの上端部は、第２のユニットケース６の側壁部６Ａの上端部と同一高さである必要はない。図７を参照して、側壁部５Ａの上端部５Ｄの全部を、第２のユニットケース６の側壁部６Ａの上端部６Ｄより高くすることが好ましい。
【００６３】
このような構成によれば、上述の実施の形態１と同様に作業員の安全を確保することが可能となる。上方からの清浄空気２０は側壁部５Ａと側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓをより垂直に近い角度で下方に向かって流れる。これにより、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上方において、略水平方向に流れる空気の発生を少なくするため、メンテナンスユニット３が収容されている空間内での空気の流れを抑制する。結果として、ワイプ部３Ｂなどの乾燥をより遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００６４】
また、側壁部５Ａの上端部５Ｄの一部を、第２のユニットケース６の側壁部６Ａの上端部６Ｄより高くすることでもよい。このような構成によれば、側壁部５Ａの上端部５Ｄの一部を、第２のユニットケース６の側壁部６Ａの上端部６Ｄより高くした場所において、上方からの清浄空気２０は側壁部５Ａと側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓをより垂直に近い角度で下方に向かって流れる。これにより、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上方において、略水平方向に流れる空気の発生を少なくするため、メンテナンスユニット３が収容されている空間内での空気の流れを抑制する。結果として、ワイプ部３Ｂなどの乾燥をより遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００６５】
（実施の形態２）
次に、図１０を参照して、実施の形態２におけるメンテナンスユニット３の周辺の構成について、その特徴的部分を説明する。上記実施の形態１では、第２のユニットケース６の排気口部６Ｃは底部６Ｂに設けられていたが、実施の形態２では、側壁部６Ａに設けられる。その他の構成については、実施の形態１における構成と同一であることから、同一または相当部分については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さないこととする。
【００６６】
（作用・効果）
上記により、本実施の形態２においても実施の形態１と同様に、印刷室１００の壁や天井にのみ排気手段を設けた場合に比べ、メンテナンスユニット３の上方の化学物質の濃度は著しく低下し、メンテナンスユニット３のクリーニングを行なう作業員の安全を確保することが可能となる。
【００６７】
さらに、実施の形態１と同様に、清浄空気はワイプ部３Ｂやキャップ部３Ａに直接触れることが無いため、これらに付着したインクの乾燥を遅らせ、結果として、生産性を向上させることが可能となる。
【００６８】
（排気口部の位置に関する好ましい事項）
排気口部６Ｃの中心高さ位置６ＣＨは、側壁部６Ａの中心高さ位置６ＡＨ以下に設けられることが好ましい。
【００６９】
図１１を参照して、排気口部６Ｃの中心高さ位置６ＣＨを側壁部６Ａの中心高さ位置６ＡＨより高い位置に設けた場合、上方からの清浄空気４０は側壁部５Ａと側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓを流れる際、空気４０Ａ、空気４０Ｂの流速に偏りが生じる。この偏りは、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上方において、略水平方向に流れる空気を発生させる。このため、メンテナンスユニット３が収容されている空間内にも、空気の流れが発生する。
【００７０】
これに対し、排気口部６Ｃの中心高さ位置６ＣＨを側壁部６Ａの中心高さ位置ＡＨ以下に設けたため、上方からの清浄空気２０は側壁部５Ａと側壁部６Ａとの間に設けられた隙間Ｓを垂直に近い角度で下方に向かって流れる。これは、メンテナンスユニット３が収容されている空間の上方において、略水平方向に流れる空気の発生を少なくする。このため、メンテナンスユニット３が収容されている空間内での空気の流れを抑制し、結果としてワイプ部３Ｂなどの乾燥をより遅らせるため、生産性を向上させることが可能となる。
【００７１】
なお、上記各実施の形態において示したメンテナンスユニット３は、ワイプ部３Ｂおよびキャップ部３Ａの両方を備えているが、これらに限定されるものではなく、いずれか一方であってもかまわない。
【００７２】
また、上記各実施の形態では、ガントリ４がインクジェットユニット２を下方に移動させ、メンテナンスユニット３に接近させることでメンテナンスする例について説明したが、メンテナンスユニット３を上方に移動させるよう構成してもかまわない。メンテナンスユニット３を上方に移動させる場合については、メンテナンスユニット３および第１のユニットケース５を一体で昇降させるよう装置を構成することで、上記の実施の形態１および実施の形態２で説明したものと同様の作用効果が得られる。
【００７３】
また、上記各実施の形態における構成は、半導体用や液晶表示装置の製造工程に限定されるものではなく、種々の電子装置の製造工程や、印刷工程に適用してもかまわない。
【００７４】
また、上記各実施の形態において示した構成は、固定されたステージ５１および固定されたメンテナンスユニット３に対してガントリ４およびインクヘッド部１が移動するが、これらに限定されるものではない。ガントリ４およびインクヘッド部１を固定して、ステージ５１およびメンテナンスユニット３とを移動する構成であってもかまわない。
【００７５】
メンテナンスユニット３の移動に伴い、メンテナンスユニット３の周りに略水平方向の気流が発生するが、本発明を適用することにより印刷室１００の壁や天井にのみ排気手段を設けた場合に比べ、メンテナンスユニット３の上方の化学物質の濃度は著しく低下し、メンテナンスユニット３のクリーニングを行なう作業員の安全を確保することが可能となる。また、第１のユニットケースおよび第２のユニットケースが無い場合に比べインクの乾燥を遅くすることができ、結果として、生産性を向上させることが可能となる。
【００７６】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００７７】
１  インクヘッド部、２  インクジェットユニット、３  メンテナンスユニット、３Ａ  キャップ部、３Ｂ  ワイプ部、４  ガントリ、５  第１のユニットケース、５Ａ，６Ａ  側壁部、５Ｂ，６Ｂ  底部、５Ｃ  支持部、５Ｄ，６Ｄ  上端部、６  第２のユニットケース、６Ｃ  排気口部、６ＡＨ，６ＣＨ  中心高さ位置、７  排気装置、２０，３０，４０  清浄空気、２０Ａ，２１，３０Ａ，３１，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ  空気、５０  描画対象、５１  ステージ、５２  ＨＥＰＡユニット、５３  印刷室床、１００  印刷室、Ｓ  隙間、Ｘ  矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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