(57)【要約】【課題】簡単に製作が可能であると共に、テラヘルツ波の発生及び測定が容易なテラヘルツ波送受信モジュールパッケージを提供する。【解決手段】基板の上部に形成され、中心部に活性領域を備える光伝導アンテナと、前記基板の下部に整列されるシリコンボールレンズと、フェムト秒レーザパルスを集束させるための集束レンズと、前記集束レンズを前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列させるための集束レンズ整列器と、前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる上部及び下部固定部と、前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させる上部及び下部蓋体とを含む。【選択図】図４
2010147457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上部に形成され、中心部に活性領域を備える光伝導アンテナと、
前記基板の下部に整列されるシリコンボールレンズと、
フェムト秒レーザパルスを集束させるための集束レンズと、
前記集束レンズを前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列させるための集束レンズ整列器と、
前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる上部及び下部固定部と、
前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させる上部及び下部蓋体と
を含むことを特徴とするテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項２】
前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に外部端子が接続されることを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項３】
前記シリコンボールレンズは、前記シリコンボールレンズの外側面を取り囲む円筒形状のスリーブに固定されることを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項４】
前記集束レンズ整列器は、
前記集束レンズを内部に実装し、前記集束レンズを上下方向に移動させる内部フランジと、
前記内部フランジを取り囲むように形成され、前記集束レンズを左右方向に移動させる外部フランジと
を含むことを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項５】
前記内部フランジは、固定ボルトとメタルボールによって前記集束レンズを上下方向に移動させることを特徴とする請求項４に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項６】
前記外部フランジは、前記上部固定部のフランジに形成された溝に面接続するように挿入され、前記溝に沿って前記集束レンズを左右方向に移動させることを特徴とする請求項４に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項７】
前記内部フランジの上下移動及び前記外部フランジの左右移動によって前記集束レンズの中心が前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列されることを特徴とする請求項４に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項８】
前記集束レンズの中心が前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列された後、前記外部フランジが前記上部固定部のフランジに固定されることを特徴とする請求項６に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項９】
前記上部及び下部固定部は、締結手段によって前記光伝導アンテナを内部に実装、及び固定させると共に、前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させることを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項１０】
前記上部及び下部蓋体は、前記上部及び下部固定部にそれぞれ結合され、前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させることを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ。
【請求項１１】
（ａ）基板上にテラヘルツ波の放射または検出のための活性領域を備える光伝導アンテナを形成する段階と、
（ｂ）上部及び下部固定部を利用して前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる段階と、
（ｃ）シリコンボールレンズを前記基板の下部に整列して固定させる段階と、
（ｄ）上下移動が可能な内部フランジと左右移動が可能な外部フランジを利用して前記集束レンズの中心を前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列させる段階と、
（ｅ）前記集束レンズと前記光伝導アンテナの整列状態を維持させる段階と
を含むことを特徴とするテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【請求項１２】
前記（ａ）段階において、前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に外部端子を結合させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【請求項１３】
前記（ｂ）段階において、締結手段によって前記光伝導アンテナを前記上部及び下部固定部の内部に実装、及び固定させると共に、前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【請求項１４】
前記（ｃ）段階において、前記シリコンボールレンズを前記シリコンボールレンズの外側面を取り囲む円筒形状のスリーブに固定させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【請求項１５】
前記（ｄ）段階において、
前記内部フランジに集束レンズを実装した後、前記内部フランジを上下に移動させる第１段階と、
前記内部フランジを取り囲むような外部フランジを前記上部固定部のフランジに形成された溝に面接続するように挿入した後、前記溝に沿って前記外部フランジを左右に移動させる第２段階と
をさらに含むことを特徴とする 請求項１１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【請求項１６】
前記（ｅ）段階において、前記集束レンズの中心が前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列された後、前記外部フランジを前記上部固定部のフランジに固定させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【請求項１７】
前記（ｅ）段階以後、前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させる上部及び下部蓋体を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テラヘルツ波送受信モジュールパッケージ及びその製造方法に関し、より詳細には、シリコンボールレンズ、光伝導アンテナ及び集束レンズを簡単に整列させて、１つの完全で且つ独立したテラヘルツ波送受信モジュールパッケージを具現する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
テラヘルツ（ＴＨｚ）波は、赤外線とマイクロ波との間の１００ＧＨｚから１０ＴＨｚ範囲の周波数を有する電磁気波であって、最近、先端技術の発展に伴って、未来の電波資源として認められ、世界的にますます多くの注目を集めており、ＩＴ（Information Technology）、ＢＴ（Bio Technology）などとの融合による多様な応用分野においてその重要性を増している。
【０００３】
特に、テラヘルツ波は、可視光線のように直進すると共に、電波のように多様な物質をよく透過するので、物理、化学、生物学、医学などの基礎科学だけでなく、偽札、麻薬、爆発物、生化学武器などの感知はもちろん、産業構造物をも非破壊的に検査することができるので、一般産業、国防、保安などの分野においても広く活用されるものと期待されている。また、情報通信分野においても、４０Ｇｂｉｔ／ｓ以上の無線通信、高速データ処理、衛星間通信にテラヘルツ技術が広範囲に使用されるものと期待されている。
【０００４】
このようなテラヘルツ波は、その発生方法によって連続型とパルス型とに分けることができるが、一般的にパルス型テラヘルツ波は、フェムト秒（１０-15秒）レーザを特殊な半導体または光学結晶に照射して発生させる。以下、これについてさらに詳しく説明する。
【０００５】
図１は、フェムト秒レーザを光伝導アンテナに照射し、パルス型テラヘルツ波を発生させる方法を説明するための図である。
【０００６】
図１を参照すれば、光伝導アンテナ１００は、半絶縁性ガリウム砒素（Semi-insulator ＧａＡｓ）基板１１０の上に形成された光伝導性薄膜１２０と、光伝導性薄膜１２０の上に形成された中央突出部を有する金属平行伝送路（電極をも兼ねる）１３０とを含む。ここで、金属平行伝送路１３０の中央領域で突出した部位は、小型ダイポールアンテナとして作用する。
【０００７】
金属平行伝送路１３０にバイアス電圧Ｖｂを印加した状態で時間幅が１００フェムト秒以下のレーザパルス光ｆｓを使用して間歇的に励起させると、光吸収によるキャリア（電子と正孔）が生成され、瞬間的に金属平行伝送路１３０を通じて電流が流れ、この電流の時間微分値に比例するテラヘルツ波（双極子放射）が発生する。
【０００８】
このように発生したテラヘルツ波は、誘電率の大きい基板１１０の表面で強く放射され、放射されるテラヘルツ波のパルス幅は、１ｐｓ以下であって、汎用である３０ｆｓ以上のレーザパルスを使用して光励起させる場合、フーリエ変換して得られるスペクトルは、０〜数テラヘルツ波までの広いスペクトルを有することになる。
【０００９】
このように基板の表面でテラヘルツ波が放射されるためには、フェムト秒レーザパルスを集束レンズを介して光伝導アンテナ１００に集束させて周波数領域に変換した後、再度シリコンボールレンズを介して所定の領域に集束させなければならない。
【００１０】
しかし、従来には集束レンズ、光伝導アンテナ、シリコンボールレンズなどの素子を一度に光学テーブルに実装及び整列し、テラヘルツ波送受信モジュールを製作するので、これらを精度よく面接続させるためには、高精度の整列技術が要求されるという問題がある。
【００１１】
特に、光伝導アンテナと半球形のシリコンボールレンズとを面接続させる場合、光伝導アンテナ及びシリコンボールレンズの表面にスクラッチが発生することがあり、整列誤差の問題も生じることがあり、さらには、光伝導アンテナ及びシリコンボールレンズの整列状態を継続的に維持するための別途の固定手段が必要となるという問題がある。
【００１２】
また、発生したテラヘルツ波の特性をテストするためには、伝導性接着剤やインジウム接合を利用して光伝導アンテナに電線を直接連結し、テストが完了した後、再度伝導性接着剤やインジウム接合を利用して電線を除去しなければならないので、光伝導アンテナ及びシリコンボールレンズの整列状態をそのまま維持しながらテラヘルツ波の特性をテストすることが非常に煩雑であり、複雑であるという問題がある。
【００１３】
さらに、運搬及び保管の際に集束レンズ、光伝導アンテナ及びシリコンボールレンズの整列状態が容易に崩れることがあり、これらの素子等を外部の環境によって非常に容易に破損または汚染することが可能であるという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】大韓民国特許公開第１０−２００８−００７０６２２号公報
【非特許文献】
【００１５】
【非特許文献１】Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｌｅｔｔｅｒｓ，  Ｖｏｌ．８４，  Ｎｏ．５，  Ｓ．Ｃｏｌｅｍａｎ  ｅｔ  ａｌ．，“Ｐａｒａｌｌｅｌ  Ｐｌａｔｅ  ＴＨｚ  ｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｒ”  Ｆｅｂｒｕａｒｙ  ２，  ２００４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
したがって、本発明は、前述のような問題を解決するためになされたもので、その目的は、製作が簡単であり、且つ、テラヘルツ波の発生及び測定が容易なテラヘルツ波送受信モジュールパッケージを提供することである。
【００１７】
さらに具体的に説明すれば、シリコンボールレンズ、光伝導アンテナ及び集束レンズを簡単に整列して１つの完全で且つ独立したテラヘルツ波送受信モジュールパッケージを具現することによって、テラヘルツ波を容易に発生及び測定することができる。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るテラヘルツ波送受信モジュールパッケージは、基板の上部に形成され、中心部に活性領域を備える光伝導アンテナと、前記基板の下部に整列されるシリコンボールレンズと、フェムト秒レーザパルスを集束させるための集束レンズと、前記集束レンズを前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列させるための集束レンズ整列器と、前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる上部及び下部固定部と、前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させる上部及び下部蓋体とを含むことを特徴とする。
【００１９】
前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に外部端子が接続され、前記シリコンボールレンズは、前記シリコンボールレンズの外側面を取り囲む円筒形状のスリーブに固定される。
【００２０】
前記集束レンズ整列器は、前記集束レンズを内部に実装し、前記集束レンズを上下方向に移動させる内部フランジと、前記内部フランジを取り囲むように形成され、前記集束レンズを左右方向に移動させる外部フランジとを含む。
【００２１】
前記内部フランジは、固定ボルト及びメタルボールによって前記集束レンズを上下方向に移動させ、前記外部フランジは、前記上部固定部のフランジに形成された溝に面接続するように挿入され、前記溝に沿って前記集束レンズを左右方向に移動させる。
【００２２】
前記内部フランジの上下移動及び前記外部フランジの左右移動によって前記集束レンズの中心が前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列され、前記集束レンズの中心が前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列された後、前記外部フランジは前記上部固定部のフランジに固定される。
【００２３】
前記上部及び下部固定部は、締結手段によって前記光伝導アンテナを内部に実装及び固定させると共に、前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させ、前記上部及び下部蓋体は、前記上部及び下部固定部にそれぞれ結合され、前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させる。
【００２４】
また、本発明の他の態様に係るテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの製造方法は、（ａ）基板上にテラヘルツ波の放射または検出のための活性領域を備える光伝導アンテナを形成する段階と、（ｂ）上部及び下部固定部を利用して前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる段階と、（ｃ）シリコンボールレンズを前記基板の下部に整列して固定させる段階と、（ｄ）上下移動が可能な内部フランジと左右移動が可能な外部フランジを利用して前記集束レンズの中心を前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列させる段階と、（ｅ）前記集束レンズと前記光伝導アンテナの整列状態を維持させる段階とを含むことを特徴とする。
【００２５】
前記（ａ）段階において、前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に外部端子を結合させ、前記（ｂ）段階で、締結手段によって前記光伝導アンテナを前記上部及び下部固定部の内部に実装及び固定させると共に、前記光伝導アンテナの活性領域の垂直上下部を開口させる。また、前記（ｃ）段階で、前記シリコンボールレンズを前記シリコンボールレンズの外側面を取り囲む円筒形状のスリーブに固定させる。
【００２６】
前記（ｄ）段階において、前記内部フランジに集束レンズを実装した後、前記内部フランジを上下に移動させると共に、前記内部フランジを取り囲むような形態の外部フランジを前記上部固定部のフランジに形成された溝に面接続するように挿入した後、前記溝に沿って前記外部フランジを左右に移動させる。
【００２７】
前記（ｅ）段階において、前記集束レンズの中心が前記光伝導アンテナの活性領域の中心部に整列された後、前記外部フランジを前記上部固定部のフランジに固定させ、前記（ｅ）段階の後に、前記上部及び下部固定部の開口領域を密閉させる上部及び下部蓋体を形成する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージによれば、次のような利点がある。
【００２９】
第１に、シリコンボールレンズ、光伝導アンテナ及び集束レンズを簡単に高精度に整列させることができるので、従来に比べて一層簡単な構造でテラヘルツ波を容易に発生及び測定することができ、これにより、テラヘルツ波の発生及び測定システムの構築に所要される時間及び費用を画期的に減少させることができる。また、テラヘルツ波の発生及び測定システムの単純化及び小型化を図ることができる。
【００３０】
第２に、テラヘルツ波の特性測定が必要な場合、光伝導アンテナの活性領域の中心部に外部端子を接続して光伝導アンテナで発生したテラヘルツ波の特性を簡単に測定することができる。したがって、従来のように特性テストのために伝導性接着剤やインジウム接合作業を行う必要がなくなり、一層容易で且つ簡便にテストを行うことができると共に、テスト時間及びコストをも画期的に減少させることができる。
【００３１】
第３に、保管または運搬の際に、上部及び下部蓋体を利用して内部素子を完全に密閉することができる。したがって、光伝導アンテナ、シリコンボールレンズ及び集束レンズの整列状態をそのまま維持しながら保存及び運搬が可能であり、安定性を確保することができると共に、外部環境によって内部素子が汚染されることを最小化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】フェムト秒レーザを光伝導アンテナに照射してパルス型テラヘルツ波を発生させる方法を説明するための図である。
【図２】本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの基本構造を説明するための図である。
【図３】図２に示されたテラヘルツ波送受信モジュールパッケージが適用されたテラヘルツ波の発生及び測定システムを概略的に示す図である。
【図４】本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの詳細構造を示す図である。
【図５】本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージの動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、添付の図面を参照して本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を容易に実施することができる好ましい実施例を詳しく説明する。但し、本発明の好ましい実施例に係る動作原理を詳細に説明するにあたって、関連された公知機能または構成に関する具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合にはその詳細な説明を省略する。
【００３４】
図２は、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００の基本構造を説明するための図面であり、図３は、図２に示されたテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００が適用されたテラヘルツ波の発生及び測定システムを概略的に示す図面である。
【００３５】
図２及び図３を参照すれば、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュール２００は、光伝導アンテナ２２０にシリコンボールレンズ２３０を整列させて接合した後、集束レンズ２４０の位置を調節し、光伝導アンテナ２２０に集束レンズ２４０を整列させることによって完成される。
【００３６】
すなわち、本発明では、高精度の整列技術を使用せずに、光伝導アンテナ２２０、シリコンボールレンズ２３０及び集束レンズ２４０を精度よく整列させることができるパッケージ構造を提案する。
【００３７】
したがって、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュール２００は、従来に比べて一層簡単な構造でテラヘルツ波を容易に発生及び測定することができ、これにより、テラヘルツ波の発生及び測定システムの構築に所要される時間及びコストを画期的に減少させることができる。
【００３８】
図４は、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００の詳細構造を示す図面であり、図５は、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００の動作を説明するための図面である。
【００３９】
図４を参照すれば、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００は、基板２１０の上部に活性領域２２１を有するように形成された光伝導アンテナ２２０と、基板２１０の下部に固定されたシリコンボールレンズ２３０と、フェムト秒レーザパルスを集束させるための集束レンズ２４０と、集束レンズ２４０を光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに整列させるための集束レンズ整列器２５０と、光伝導アンテナ２２０の活性領域２２１の垂直上下部を開口させる上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂと、上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂの開口領域を密閉させる上部及び下部蓋体２７０ａ、２７０ｂとを含む。
【００４０】
光伝導アンテナ２２０の中心部には、テラヘルツ波の放射または検出のための活性領域２２１が形成されており、光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに、外部端子（図示せず）を接続することができる。
【００４１】
シリコンボールレンズ２３０は、シリコンボールレンズ２３０の外側面を取り囲む円筒形状のスリーブ２３１に固定され、ボールレンズブロック２３０ａを構成する。
【００４２】
上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂは、基板２１０上に形成された光伝導アンテナ２２０を内部に実装及び固定させることができるように構成されており、光伝導アンテナ２２０を固定するための締結孔２６３と締結ねじ２６５とを備えている。また、上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂは、光伝導アンテナ２２０の活性領域２２１の垂直上下部を開口させる構造を有する。
【００４３】
上部及び下部蓋体２７０ａ、２７０ｂは、上面が開放され、下面が密閉されたカップ形状で形成されており、上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂにそれぞれ結合され、上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂの開口領域を密閉させる。
【００４４】
集束レンズ整列器２５０は、集束レンズ２４０を内部に実装し、集束レンズ２４０を上下方向に移動させる内部フランジ２５０ａと、内部フランジ２５０ａを取り囲むように形成され、集束レンズ２４０を左右方向に移動させる外部フランジ２５０ｂとを含む。
【００４５】
内部フランジ２５０ａは、固定ボルト２５１とメタルボール２５３とによって集束レンズ２４０を上下方向に移動させ、外部フランジ２５０ｂは、上部固定部２６０ａのフランジ２６１と面接続（Ｊ）され、集束レンズ２４０を左右方向に移動させる。
【００４６】
特に、外部フランジ２５０ｂは、上部固定部２６０ａのフランジ２６１に形成された溝２６１ａに挿入され、溝２６１ａに沿って移動可能であり、これにより、集束レンズ２４０を左右方向に移動させることができる。
【００４７】
このような内部フランジ２５０ａの上下移動及び外部フランジ２５０ｂの左右移動によって、図５に示されたように集束レンズ２４０の集束位置が変わる。すなわち、集束レンズ整列器２５０は、集束レンズ２４０を実装した状態で、上下または左右の位置を調節して集束レンズ２４０の中心が光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに正確に整列されるようにする。
【００４８】
一方、集束レンズ２４０の中心が光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに正確に整列された後に、集束レンズ２４０と光伝導アンテナ２２０との整列状態を維持するためにエポキシ接着剤または固定用ブラケットなどを利用して外部フランジ２５０ｂを上部固定部２６０ａのフランジ２６１に固定させることが好ましい。
【００４９】
前述のような構造を有する本発明のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００は、次のような利点がある。
【００５０】
第１に、光伝導アンテナ２２０、シリコンボールレンズ２３０及び集束レンズ２４０を簡単に高精度に整列させることができる。このように、光伝導アンテナ２２０、シリコンボールレンズ２３０及び集束レンズ２４０が高精度に整列されることによって、集束レンズ２４０にフェムト秒レーザパルスｆｓが入射されれば、フェムト秒レーザパルスｆｓが光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに正確に照射され、光伝導アンテナ２２０でテラヘルツ波ＴＨｚが発生する。発生したテラヘルツ波ＴＨｚは、シリコンボールレンズ２３０を通じて所定の領域に正確に集束され、周波数領域に変換される。
【００５１】
したがって、本発明のテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００は、従来に比べて一層簡単な構造でテラヘルツ波を容易に発生及び測定することができるので、テラヘルツ波の発生及び測定システムの構築に所要される時間及び費用を画期的に減少させることができ、テラヘルツ波の発生及び測定システムの単純化及び小型化を図ることができる。
【００５２】
第２に、テラヘルツ波の特性測定が必要な場合、光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに外部端子（図示せず）を接続することによって、光伝導アンテナ２２０から発生したテラヘルツ波ＴＨｚの特性を簡単に測定することができる。
【００５３】
したがって、従来のように、特性テストのために伝導性接着剤やインジウム接合作業を行う必要がなくなり、さらに容易で且つ簡便にテストを行うことができると共に、テスト時間及びコストをも画期的に減少させることができる。
【００５４】
第３に、保管または運搬の際に、上部及び下部蓋体２７０ａ、２７０ｂを上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂにそれぞれ結合させ、内部の素子を完全に密閉することができる。
【００５５】
したがって、光伝導アンテナ２２０、シリコンボールレンズ２３０及び集束レンズ２４０の整列状態をそのまま維持しながら保存及び運搬が可能であるため、安定性を確保することができるだけでなく、外部環境によってテラヘルツ波素子が汚染されることを最小化することができる。
【００５６】
以下、本発明によるテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００の製造方法を説明する。
【００５７】
まず、基板２１０上にテラヘルツ波の放射または検出のための活性領域２２１を備える光伝導アンテナ２２０を形成する。この時、光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに外部端子が結合できるようにすることが好ましい。
【００５８】
次に、基板２１０上に形成された光伝導アンテナ２２０を上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂの間に実装した後、締結孔２６３に締結ねじ２６５を締結し、光伝導アンテナ２２０が動かないように固定する。この時、光伝導アンテナ２２０の活性領域２２１の垂直上下部は開口されるようにする。
【００５９】
次に、半球形のシリコンボールレンズ２３０を円筒形状のスリーブ２３１にエポキシ接合させ、ボールレンズブロック２３０ａを形成する。
【００６０】
次に、エポキシ接合作業によってボールレンズブロック２３０ａを基板２１０の下部に固定させる。
【００６１】
次に、集束レンズ整列器２５０の内部フランジ２５０ａに集束レンズ２４０を実装した後、内部フランジ２５０ａを取り囲むような外部フランジ２５０ｂを上部固定部２６０ａのフランジ２６１に面接続（Ｊ）させる。
【００６２】
次に、内部フランジ２５０ａと外部フランジ２５０ｂとを利用して集束レンズ２４０の中心が光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに整列されるように調節する。言い換えれば、集束レンズ２４０に入射されるフェムト秒レーザパルス光ｆｓが光伝導アンテナ２２０の活性領域の中心部Ｃに集束されるように集束レンズ２４０を光伝導アンテナ２２０に整列させる。
【００６３】
前述のような過程により集束レンズ２４０が光伝導アンテナ２２０に整列されれば、集束レンズ整列器２５０の外部フランジ２５０ｂと上部固定部２６０ａのフランジ２６１とをエポキシ接着剤を使用して固定する。
【００６４】
最後に、必要に応じて、上部及び下部蓋体２７０ａ、２７０ｂを上部及び下部固定部２６０ａ、２６０ｂにそれぞれ結合させる。
【００６５】
前述したように、本発明によれば、光伝導アンテナ２２０、シリコンボールレンズ２３０及び集束レンズ２４０を簡単に整列させ、１つの完全で且つ独立したテラヘルツ波送受信モジュールパッケージ２００を具現することができ、これにより、テラヘルツ波の発生及び測定システムの構築に所要される時間及び費用を画期的に減少させることができ、テラヘルツ波の発生及び測定システムの単純化及び小型化を図ることができる。
【００６６】
以上、本発明の好ましい実施例を中心に説明したが、本発明の実施例は、当該分野における通常の知識を有する者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるもので、本発明の範囲が上記実施例に限定されるものではなく、様々な他の形態に変形可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００６７】
２００    テラヘルツ波送受信モジュールパッケージ
２１０    基板
２２０    光伝導アンテナ
２３０    シリコンボールレンズ
２３１    スリーブ
２３０ａ  ボールレンズブロック
２４０    集束レンズ
２５０    集束レンズ整列器
２５０ａ  内部フランジ
２５０ｂ  外部フランジ
２５１    固定ボルト
２５３    メタルボール
２６０ａ  上部固定部
２６０ｂ  下部固定部
２６１    フランジ
２６１ａ  溝
２７０ａ  上部蓋体
２７０ｂ  下部蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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