(57)【要約】【課題】部品等の被洗浄物を気泡によって洗浄する洗浄装置において、洗浄初期に大量に浮上分離されてくる汚れによって洗浄性能や洗浄装置の性能が悪化することを防止する。【解決手段】洗浄槽１の洗浄水２の表面に浮かぶ浮上汚れ４と洗浄水２とが樋を通過し、はじめに大量の汚れ１８を分離するための分離槽１６へ流入させる。続いて、大量の汚れがほぼ流出した後、制御部によって開閉弁を制御し、第２分離槽１２へ微量の汚れを含んだ洗浄水を流入させる。第２分離槽１２には、循環水の取組口への汚れの流入を防ぐために仕切り板１３が設置されており、洗浄槽へ洗浄水を再供給するため、微細気泡生成器６に水配管１５と水循環ポンプ１１を介して接続されている。このような構成にすると微細気泡３を用いた洗浄において特徴的な洗浄初期の大量の汚れ１８を第１分離槽１６へ貯留させることができ、洗浄装置の安定運用が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽に貯留され添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物を微細気泡によって洗浄する洗浄方法において、
前記洗浄槽の表面に浮かぶ浮上汚れの量に応じて第１の分離槽と第２の分離槽とに区分して前記洗浄水を流入させて前記浮上汚れを分離する分離工程と、
前記分離槽で汚れが分離した洗浄水を前記洗浄槽に再供給する再供給工程と
を含む洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記第１の分離槽と前記第２の分離槽への浮上汚れの流入の切り替えは、前記洗浄槽から流入する前記洗浄水の汚れを汚れセンサで検知してコントロールする
ことを特徴とする洗浄方法。
【請求項３】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記第１の分離槽に前記洗浄水を流入させた後に、前記第２の分離槽に前記洗浄水を流入させる
ことを特徴とする洗浄方法。
【請求項４】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記洗浄槽に前記浮上汚れを強制的に排出する排出工程をさらに含む
ことを特徴とする洗浄方法。
【請求項５】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記洗浄槽に前記浮上汚れを吸引する吸引工程をさらに含む
ことを特徴とする洗浄方法。
【請求項６】
請求項１に記載の洗浄方法において、
前記分離槽に微細気泡を供給する微細気泡供給工程をさらに含む
ことを特徴とする洗浄方法。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の洗浄方法によって洗浄された被洗浄物。
【請求項８】
洗浄槽に貯留され添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物を微細気泡によって洗浄する洗浄装置において、
前記洗浄槽の表面に浮かぶ浮上汚れの量に応じて第１の分離槽と第２の分離槽とに区分して前記洗浄水を流入させて前記浮上汚れを分離する分離槽と、
前記分離槽で汚れが分離した洗浄水を前記洗浄槽に再供給する再供給機構と
を備えた洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品等の被洗浄物を気泡によって洗浄する洗浄方法および当該洗浄方法により洗浄された被洗浄物並びに洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、工業的洗浄の分野において、フロン系の溶剤や有機溶剤、石油系溶剤などの特別な洗浄剤が用いられてきたが、オゾン層の破壊や地下水、河川、海洋汚染といった環境問題を深刻化する重大な要因となることが明らかとされてきた。このため、これらの特殊な洗浄剤を用いない洗浄方法および洗浄装置の開発が進められている。
【０００３】
例えば、水を主体とした洗浄水中に微細気泡を発生させ、そこに被洗浄物を浸漬、あるいはシャワー状にして供給することにより洗浄する洗浄方法および洗浄装置があげられる。ここで、この明細書において、微細気泡とは、球状となる気泡のことである。微細気泡と異なる通常の大きな気泡は水中を浮上するときに受ける水からの抗力によって球状でなくなり歪んだ形となる。これに対して微細気泡は気泡内部の圧力が高いため水の抗力による歪みがなく球状となることが広く知られている。具体的には、気泡径ｄが１ｍｍ以下となる場合に気泡は球状となる。
【０００４】
気泡による洗浄では、気泡表面への汚れ成分の吸着や気泡による剥離によって固体表面から汚れが液中に脱離し、気泡の浮力によって汚れ成分が持ち上げられ、気体と液体の界面で形成された汚れの蓄積層（堆積層）を除去することを洗浄の原理とする。
【０００５】
気泡を用いた洗浄方法や洗浄装置の特徴として、被洗浄物の清浄度は、気泡の径や密度に大きく依存する。即ち、安定的に高い清浄度を維持するためには、洗浄水中に気泡を微細かつ高密度に発生させることが必須となる。しかし、洗浄水中で気泡を大量に発生させると、気泡同士の衝突頻度が高まるため、気泡同士が合一して大きくなる。この課題をクリアするために、一般的に気泡同士の合一を抑制する作用を有するアルコール系化合物や界面活性剤などの添加剤が使用されている。
【０００６】
気泡を用いた洗浄装置や微細気泡（通常、マイクロバブルとも呼ぶ）を用いた汚れの分離装置はいくつか提案されている。通常、気泡を用いた洗浄装置においては、洗浄を行う洗浄部（洗浄槽）と汚れを溜めて処理する分離部（分離槽）を持つことが一般的であり、洗浄部で被洗浄物から除去し、浮上した汚れを分離部へ流しこみ、分離部において汚れを除去する。
【０００７】
また、先行例として、まず、洗浄液が満たされた洗浄槽に被洗浄物を浸漬させ、槽内に微細気泡を発生させ、その後に比較的大きな気泡を発生させて、微細気泡が被洗浄物表面の細部に到達し表面の汚れを気泡が吸着するようにし、そして、比較的大きな気泡が洗浄液を攪拌し、汚れを吸着した微細気泡を被洗浄物表面から引き離すと共に微細気泡を取り込んで汚れを洗浄液表面に移動させるものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
また、他の先行例として、攪拌機を付設した洗浄槽と、洗浄槽とオーバーフロー流路で接続した油水分離槽とを設け、油水分離槽に浮上油を回収するオイルスキマーと沈降したスラッジを排出するスラッジコンベアを付設し、浮上油及びスラッジが除去された洗浄液を油水分離槽から洗浄槽に循環する循環流路を設けたものがある（例えば、特許文献２参照）。この洗浄装置によれば、攪拌機が付設された洗浄槽での洗浄において、洗浄除去された油脂及び塵埃などのスラッジを確実に分離除去でき、洗浄後のワ−クへの再付着が防止され、安定して洗浄度の高いワ−クが得られると共に、洗浄液の寿命を長く保持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平６−１７９９９１号公報（段落０００８）
【特許文献２】特開２００５−２４６１８３８号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
洗浄装置では、量産・実用化の観点から被洗浄物に求められる清浄度を安定的に維持することが最も重要である。量産の製造ラインにおいて、被洗浄物の清浄度は後工程に大きく影響し、要求清浄度を達成できなくなると洗浄装置への再投入ロスや欠陥製品などの問題が発生する。
【００１１】
前述したように気泡を用いた洗浄装置、特に微細気泡を用いた洗浄方法や装置では、大量の油脂や異物を含む汚れが一気に浮上される。この傾向は、気泡同士の合一を抑制する作用を有する添加剤を含む場合にさらに顕著となる。
【００１２】
このため、安定的に高い清浄度を維持するためには、浮上分離された大量の汚れを、速やかに除去する必要がある。通常は、このような微細気泡を用いた洗浄装置においては、洗浄を行う洗浄部（洗浄槽）と汚れを溜めて処理する分離部（分離槽）を持つことが一般的であり、洗浄部で被洗浄物から除去し、浮上した汚れを分離部へ流しこみ、その分離部において汚れを除去することが多い。この大量の汚れを速やかに取り除くことができないと場合の問題点として次のようなことが挙げられる。
【００１３】
・分離部に流れ込んだ汚れを速やかに回収できないと、分離部から洗浄部に汚れが再度送られてしまい、被洗浄物に付着してしまい清浄度の悪化を引き起こす。
【００１４】
・分離された汚れ成分を水面で長い時間そのままにしておくと、汚れ成分である油や異物が凝集を起こして比重が高まり、沈降してしまう。これらによって洗浄水の純度が低下する場合がある。さらに、これらの体積量が増加すると汚泥状のもの（スラッジ）となり、これらの一部が循環系に引き込まれ、詰まりをおこしてしまう場合がある。
【００１５】
・また、分離された汚れ成分の中で特に油脂の場合には、油脂中に含有される添加剤成分のために、分離部での発泡が起こり、その泡立ちがひどい場合には分離部や洗浄部からあふれてしまう場合がある。また泡立ちが大きいと液面の流動が悪化するために分離汚れの回収効率が低下するという問題が起こる場合もある。
【００１６】
これらの課題に対して、先行例である特許文献１では洗浄槽が汚れを流し出すことは考慮されているが、それを効率的に除去することは考慮されておらず、上記のような課題に直面することは明らかである。
【００１７】
また、特許文献２では、浮上油とスラッジの両方を効率的に除去するために、２種類の除去装置を設けているが、その除去能力が低いために、分離槽の汚れを除去するための時間がかかってしまい、循環系への汚れの混入やスラッジの生成、泡だちの問題があることは明らかである。
【００１８】
このように、大量の汚れを速やかに処理する手段や機構を備えていないために、洗浄装置に必要とされる十分な洗浄力や長期的な洗浄性能の維持ということを実現できていなかった。
【００１９】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、気泡を用いた洗浄や微細気泡用いた洗浄、その中でも特に添加剤によって高密度化させた微細気泡を用いた洗浄において、洗浄初期の大量の汚れ（油・異物）を処理できる洗浄方法および当該洗浄法により洗浄された被洗浄物並びに洗浄装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明に係る洗浄方法は、洗浄槽に貯留され添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物を微細気泡によって洗浄する洗浄方法において、前記洗浄槽の表面に浮かぶ浮上汚れの量に応じて第１の分離槽と第２の分離槽とに区分して前記洗浄水を流入させて前記浮上汚れを分離する分離工程と、前記分離槽で汚れを分離した前記洗浄水を前記洗浄槽に再供給する再供給工程とを含むものである。
【００２１】
また、本発明に係る被洗浄物は、上記洗浄法によって洗浄されたものである。
【００２２】
さらに、本発明に係る洗浄装置は、洗浄槽に貯留され添加剤を加えた洗浄水に浸漬された被洗浄物を微細気泡によって洗浄する洗浄装置において、前記洗浄槽の表面に浮かぶ浮上汚れの量に応じて第１の分離槽と第２の分離槽とに区分して前記洗浄水を流入させて前記浮上汚れを分離する分離槽と、前記分離槽で汚れを分離した前記洗浄水を前記洗浄槽に再供給する再供給機構とを備えたものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、微細気泡洗浄の初期における大量に分離される浮上汚れを処理することが可能となり、洗浄性能を高める。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態１における洗浄装置を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態２を説明するもので、実施の形態１において微細気泡３を用いた洗浄初期の大量の汚れ１８が生成することを示す図である。
【図３】本発明の実施の形態３における洗浄装置を示す概略図である。
【図４】本発明の実施の形態４における繰返し洗浄性能を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態４における洗浄槽１に浮上した汚れを除去する機構を備えたことを示す装置概略図である。
【図６】本発明の実施の形態５における洗浄水の汚れの度合いをセンシングする機構を備えたことを示す装置概略図である。
【図７】本発明の実施の形態６における洗浄槽１上部に浮上した汚れを吸引する機構を備えたことを示す装置概略図である。
【図８】本発明の実施の形態７における分離槽に微細気泡生成手段を備えてことを示す装置概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
実施の形態１．（洗浄装置の代表図）
図１は、本発明の実施の形態１による洗浄装置を示す概略図である。ベンチュリタイプの微細気泡生成器６に、ガスポンプ７からガス流量計８を通って空気が供給される。また、水用圧力計９を監視しつつ水循環ポンプ１１から水用流量計１０で流量を調節しながら水を供給し、水とガスの混合により生成した微細気泡３を洗浄槽１内に溜められた洗浄水２中に供給する。
【００２６】
洗浄水２中には、微細気泡３を安定に維持する効果を有するアルコール系化合物や界面活性剤などの添加剤が添加される。たとえば添加剤の例としては、カルボキシル基とアミノ基を分子内にもち、分子量をカルボキシル基の数で割った値が９４以上２８０以下の物質、分子内に水酸基を複数持ち、分子量を水酸基の数で割った値が３８以上７３以下の物質、分子内にエステル基を持ち、分子量をエステル基の数で割った値が４７以上１４０以下の物質、あるいは、分子内にスルホン酸基を持ち、分子量をスルホン酸基の数で割った値が４７以上１４０以下の物質などがあげられる。これらの添加剤を洗浄水２中に微量添加（０．００１ｍｏＬ／Ｌ以上１ｍｏＬ／Ｌ以下）することにより、微細気泡３を安定に維持することが可能となる。
【００２７】
添加剤を所定量添加された洗浄水２中へ供給された微細気泡３は、部品かご２４内に保持された汚れの付着した洗浄部品５の部品群へ作用する。油脂や微粒子などの汚れを付着した微細気泡３は洗浄槽１の上方へ上昇し、気液界面で浮上汚れ４の層を形成する。次に、洗浄水２の表面に浮かぶ浮上汚れ４と洗浄水２とが樋１７を通過し、はじめに第１分離槽１６へ流入する。続いて、大量の汚れ１８がほぼ流出した後、第１及び第２開閉弁１９及び２０が制御部２１からの信号によってコントロールされ、第２分離槽１２へ微量の汚れ２３を含んだ洗浄水２が流入する。第２分離槽１２には、循環水取込口１４への汚れの流入を防ぐために仕切り板１３が設置されており、洗浄槽１へ汚れが分離した洗浄水２を再供給する再供給機構として、水配管１５に設けられたフィルター２２、水循環ポンプ１１及び水用流量計１０を介して微細気泡生成器６に接続されている。
【００２８】
このように、洗浄槽１に貯留され添加剤を加えた洗浄水２に浸漬された洗浄部品５を微細気泡３によって洗浄する際、洗浄槽１の表面に浮かぶ浮上汚れ４の量に応じて第１の分離槽１６と第２の分離槽１２とに区分して洗浄水２を流入させて浮上汚れ４を分離し、分離槽１６，１２で汚れを分離した洗浄水２を洗浄槽１に再供給するようにしたので、微細気泡３を用いた洗浄において特徴的な洗浄初期の大量の汚れ１８を第１分離槽１６へ貯留させることができ、微細気泡３の洗浄初期における大量に分離される汚れを処理することが可能となり、洗浄性能を高める洗浄装置を安定的に運用することが可能となる。
【００２９】
また、第１の分離槽１６に洗浄水２を流入させた後に、第２の分離槽１２に洗浄水２を流入させるようにして、汚れの２段階分離方式を採用することにより、洗浄回数に全く依存することなく、一定の高い洗浄性能を示すことができる。
【００３０】
なお、本実施の形態１では、第１及び第２分離槽１６及び１２が連続的に接続されているが、３方弁にて別方向へ流してもよい。また、樋１７を第１及び第２分離槽１６及び１２で全く別に接続してもよい。大量の汚れ１８が流れる配管を第１及び第２分離槽１６及び１２で兼用すると、残留した汚れが第２分離槽１２に流れることになるため、兼用する配管長はなるべく短いほうが好ましい。
【００３１】
実施の形態２．（分離の速攻性）
図２は、図１に示す実施の形態１に係る洗浄装置を用いて洗浄処理で浮上した油脂の量を測定した結果である。工業用の油脂で汚染された３００個の洗浄部品５を、部品かご２４の中に保持し、部品かご２４を３０ｒｐｍの速度で回転させながら、微細気泡３によって洗浄した。微細気泡生成器６には水１０Ｌ／ｍｉｎ、空気１０Ｌ／ｍｉｎを供給して微細気泡を生成させた。所定時間の洗浄を行った後一旦洗浄をやめて、水面に浮上した油脂をすべて掬い取り、水分を除いてその重さを測定した。図２では、本発明による浮上した油脂量（分離汚れの量）の洗浄時間依存性を従来例の結果とともに示している。
【００３２】
本発明の微細気泡（マイクロバブル）洗浄の場合には、多大な表面積により洗浄初期から大量の油脂が浮上されることがわかる。一方、従来例の溶剤と超音波を併用した洗浄した洗浄方法では、洗浄時間に従って徐々に汚れが除去される。さらに、その洗浄原理のために、これらの汚れは溶剤の中に溶解されるため、水面に浮上してくる汚れの量は半分以下である。このように、添加剤を含む洗浄水におけるマイクロバブルを用いた洗浄では、一気に汚れがオーバーフローされる。このため、既述のように汚れによる様々な問題が起こるために、適正な運用ができないことになり、本発明のように初期の浮上汚れを処理する手段や機構を設けることが有効であることがわかる。
【００３３】
実施の形態３．（一体型）
図３は、本発明の実施の形態３による洗浄装置を示す概略図である。なお、実施の形態３も含め他の実施の形態に係る構成の図面において、図１に示す実施の形態１の構成と同一部分は同一符号を付して示す。図３に示す洗浄装置において、第１分離槽１６と第２分離槽１２とは一体型の分離槽でなり、槽中央部に設けられた開閉扉２６を有する仕切り板２５によって仕切られ、大量の汚れ１８の分離機構を構成している。本装置においては、第１分離槽１６と第２分離槽１２が一体型となっているために、別々に分離槽を設ける必要がなく、装置全体を小型にできる利点を有する。
【００３４】
次に装置の動作について説明する。初期の大量の汚れ１８を含む液は、第１分離槽１６へ流入する。次に、開閉扉２６が閉じて分離槽１６が閉じられて、洗浄槽１からオーバーフローした洗浄水は第２分離槽１２へ流入する。一体型でなる分離槽には仕切り板２５が槽中央部に設置されており、これによって両分離槽が仕切られる構造となっている。第２分離槽１２には水循環ポンプ１１へ送水するための循環水取込口１４が設置されており、所定量の循環水が水循環ポンプ１１によって微細気泡を生成する微細気泡生成器６のエジェクタに送液され、所定量のガスと混合され、微細気泡となって部品かご２４内の汚染部品へと供給される。
【００３５】
本構成によってコンパクトな装置構成を実現することが可能なる。すなわち、所望される機能である初期の大量の汚れ１８を処理し、汚れを少量含む洗浄水のみを分離槽１２へ導くことが可能となり、ひいては循環水の純度を保持して洗浄水を繰返し利用することができるので、高い清浄度を実現可能となる。
【００３６】
実施の形態４．（繰返し特性）
この実施の形態４では、実施の形態３で示した装置を用いて洗浄の繰返し試験を行った。その結果を従来例による微細気泡（マイクロバブル）洗浄装置の試験結果および従来の溶剤を用いた洗浄試験結果とともに図４に示す。従来の洗浄方式、特に溶剤を用いた洗浄では、洗浄水中への汚れの蓄積によって、洗浄性能が繰返し回数に依存して急速に悪化することがわかる。また、微細気泡を用いた従来の洗浄装置においても、汚れの大量流入のために汚れが循環経路に取り込まれるために、洗浄回数に依存して徐々に悪化することがわかる。これに対して、本発明による汚れの２段階分離方式では、洗浄回数に全く依存することなく、一定の高い洗浄性能を示すことが示された。本実施の形態によって、大量の汚れを分離することが極めて有効であることが証明された。
【００３７】
この機構をさらに効率的にするには、洗浄槽１から浮上した汚れを排出させることが重要である。微細気泡３の洗浄では、多量のガスによって無数の微細気泡３が生成するため、槽上部の流れは複雑な流れとなり、汚れ排出に対しては不利となる。そこで、図５に示すように、浮上汚れ４を一方向へ動かす強制排出工程、すなわち、強制排出機構として、例えばガス噴出器でなる排出手段２７があるとさらに効果的となる。本実施の形態３では、板状のもので汚れを一方向に押し出す方法や、狭いギャップを幅広く有するいわゆるガスブロアーのようなものを設置し、浮上汚れ４の層を押し出す機構を試したが、いずれも有効であった。
【００３８】
また、浮上汚れ４を排出するために、ガス注入を間欠的にＯＮ，ＯＦＦすることも有効である。ＯＦＦの時には、分離層が波打つことなく、均一にうっすらと形成されるため、排出が容易となる。さらに効果的とするには、前述のような強制排出機構を備えるとよい。また、洗浄槽１自身を分離槽１６及び１２側に傾斜させると分離汚れを効率的に排出することが可能となる。その他に、洗浄槽１の体積をみかけ上膨張させるための方法として、洗浄槽１内で風船をふくらませた。これも有効であった。
【００３９】
実施の形態５．（センサ）
２段階分離においては、なるべく濃縮した汚れのみを初段の分離槽へ導くことが重要である。このため、本実施の形態５では、浮上汚れ４を検知する手段を備えた装置を評価した。図６では、浮上汚れ４が分離されて流れる樋１７の部分に汚れセンサ２８を保持させた。センサ２８の検出原理は、光学的なもので浮上汚れ４の有無によって反射光の量が異なることを検出原理とする。
【００４０】
このセンサ２８を用いることで適切なプロセス運用が可能となった。すなわち、汚れセンサ２８の検出値に基づいて制御部２１により第１開閉弁１９及び第２開閉弁２０をコントロールすることで第１分離槽１６から第２分離槽１２に浮上汚れ４の流入を切り替えるようにすることができ、適切なプロセス運用が可能となる。なお、２９は汚れ回収器、３０は汚れ蓄積器を示し、汚れ回収器２９により回収された第１分離槽１６及び第２分離槽１２の浮上汚れ４が汚れ蓄積器３０に蓄積される。
【００４１】
実施の形態６．（洗浄槽内で処理）
次に、大量の汚れ１８を洗浄槽１で除去する方法を示す。図７は、洗浄槽１内で浮上した浮上汚れ４を吸引する工程を備えた装置を示すものである。洗浄装置を作動させ微細気泡３を部品かご２４に供給し洗浄を開始する。この場合、洗浄槽１の上部まで水位が上がり、オーバーフローしそうになったら、本装置においては、大量に分離された浮上汚れ４を吸引手段としての汚れ吸引器３１によりほぼ完全に吸引する機構を備えたので、大量の浮上汚れのリターンや巻き込みによる清浄度の悪化を防ぐことができる。汚れ吸引器３１により吸引された浮上汚れ４は汚れ蓄積層３２に蓄積される。
【００４２】
本機構においては、ガスの注入と停止を繰り返すことが有効に作用する。なぜなら微細気泡３の生成時は気液界面が乱れており、浮上汚れ４の層がゆれてしまうため吸引がうまくいかない。これに対して、微細気泡３で一定時間洗浄し、浮上汚れ４を除去・分離させた後に、ガスの注入を一旦停止し、浮上した浮上汚れ４の層を落ち着かせた後に除去部を作動させると効率的に汚れを除去することがさらに可能となる。
【００４３】
あるいは洗浄槽１の上方に浮上した浮上汚れ４を一箇所に集める機構を備えるとさらに効率的となる。たとえば、洗浄槽１の上方に板状のものを設置し、油膜を一定方向に押しやる機構を備えるとより効果的となる。さらに、除去する機構として、吸引するばかりでなく、浮上汚れ４に対して親和性の高い物質、たとえば表面がざらついて紙や繊維質の布などを作用させ浮上汚れ４を一気に吸着させることも有効である。
【００４４】
実施の形態７．（回収手段）
濃縮汚れといえども洗浄水とともに排出されるため、洗浄水を回収し、洗浄槽１へ戻すことが重要である。このために、図８に示すように、第２分離槽１２に微細気泡を供給する微細気泡供給工程を有するようにすれば、洗浄された洗浄水２を回収して洗浄槽１に再供給することができる。すなわち、第２分離槽１２内の微量の汚れ２３の分離を促進するための分離用微細気泡生成器３３を設け、水循環ポンプ１１から三方弁３４を介して水用流量計３５で流量を調節しながら水を供給し、水とガスの混合により生成した微細気泡３を第２の分離槽１２内に溜められた微量の汚れ２３を含んだ洗浄水２中に供給して洗浄し、洗浄槽１へ洗浄水２を再供給するようにして回収する。
【００４５】
これによって、洗浄水２のロスが少なくなった。回収手段としては、スキマー、フロート式などいわゆる一般的な回収手段でよい。或いは遠心分離機能などいかなる分離機構によっても有効性を確認した。分離手段を高めるために、図８に示す第１分離槽１６または第２分離槽１２あるいは両方へ微細気泡３の供給手段を備えてもよい。供給手段は、エジェクタ式、旋回流方式、多孔板、加圧溶解式などいかなる生成原理を用いてもよい。
【００４６】
なお、微細気泡のみでの清浄度には限界がある。たとえば粘度の高いものや微細な穴をもったものなどの部品などは洗浄しがたい。このため、超音波を併用した処理などは有効性が高い。洗浄槽１の構造としては特に制限がなく、その他の物理力を併用した洗浄方法、たとえば微細気泡３を含んだ洗浄水をシャワーで供給し、初期のシャワー洗浄水のみを分離槽１に溜め、初期大量の汚れ１８を分離することも有効である。
【符号の説明】
【００４７】
１  洗浄槽、２  洗浄水、３  微細気泡（微細気泡）、４  浮上汚れ、５  洗浄部品、６  微細気泡生成器、７  ガス用ポンプ、８  ガス用流量計、９  水用圧力計、１０  水用流量計、１１  水循環ポンプ、１２  第２分離槽、１３  仕切り板、１４  循環水取込口、１５  水配管、１６  第１分離槽、１７  樋、１８  大量の汚れ、１９  第１開閉弁、２０  第２開閉弁、２１  制御部、２２  フィルター、２３  微量の汚れ、２４  部品かご、２５  第１分離槽と第２分離槽の仕切り板、２６  開閉扉、２７  ガス噴出器、２８  汚れセンサ、２９  汚れ回収器、３０  汚れ蓄積器、３１  汚れ吸引器、３２  汚れ蓄積槽、３３  分離槽用気泡生成器、３４  三方弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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