(57)【要約】【課題】ラミネート加工中の被加工物内の温度を均一にできるようにすることを目的とする。【解決手段】本発明のラミネート装置は、押圧部材により仕切られた上チャンバと下チャンバとを有し、その下チャンバに設けられた熱板１２２上に被加工物１０を配置し、前記熱板１２２により加熱した前記被加工物１０を、前記下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板１２２と前記押圧部材とで挟圧してラミネートするラミネート装置であって、前記熱板１２２は、前記被加工物１０の周縁部を加熱する周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５と、前記被加工物１０の周縁部よりも内側の内側加熱領域Ｓ１とが別々に温度制御され、前記被加工物１０の周縁部と内側部とを略同一温度に加熱することを特徴とする。【選択図】図５
2010280172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
押圧部材により仕切られた上チャンバと下チャンバとを有し、その下チャンバに設けられた熱板上に被加工物を配置し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートするラミネート装置であって、
前記熱板は、前記被加工物の周縁部を加熱する周縁加熱領域と、前記被加工物の周縁部よりも内側の内側加熱領域とが別々に温度制御され、前記被加工物の周縁部と内側部とを略同一温度に加熱することを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
前記熱板は、前記周縁加熱領域と、前記内側加熱領域とが別々に温度制御され、前記被加工物内の充填材を前記被加工物の周縁部と内側部とで溶融を開始する時間を略同一にすることを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項３】
前記熱板は、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とで別体にして構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のラミネート装置。
【請求項４】
前記熱板は、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とが被加工物を載置する載置板を介して接続して構成されていることを特徴とする請求項３に記載のラミネート装置。
【請求項５】
前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体は、前記周縁加熱領域に配置される前記被加工物の各辺ごとに別体にして構成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載のラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱板上に太陽電池モジュール等の被加工物を配置し、熱板により加熱した被加工物を熱板と押圧部材とで挟圧してラミネートするラミネート装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、太陽電池モジュールを製造する場合、ラミネート装置が使用されている（特許文献１および２参照）。ラミネート装置は、下方向に向けて膨張自在なダイヤフラムを有する上ケースと、熱板を有する下ケースとを有している。太陽電池モジュールをラミネートする際、まず、構成部材を重ね合わせた太陽電池モジュールを、上ケースと下ケースとで形成される空間に搬送する。次に、ラミネート装置は、上ケースと下ケースとで形成される空間を真空状態にし、熱板上に太陽電池モジュールを配置した後、構成部材を加熱した状態で、上ケースの内部に大気圧を導入する。このようにすることで、太陽電池モジュールは、ダイヤフラムと熱板とで挟圧されて、ラミネートされ、太陽電池モジュールの各構成部材が溶融された充填材により接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−４７７６６号公報
【特許文献２】特開２００４−３１７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、従来のラミネート装置は、熱板の上面を複数の加熱領域に分割して、何れの加熱領域でも均一の温度になるように設定されている。しかしながら、上ケースと下ケースとで形成される空間は、熱板によりすでに加熱されている。したがって、太陽電池モジュールが、その空間に搬送されると、太陽電池モジュールの構成部材であるカバーガラスの上下面の温度差等の影響により、太陽電池モジュールの周縁部が熱板から離間するような態様で反ってしまう。このように反った太陽電池モジュールでは、太陽電池モジュールの内側部（中央部）のみが熱板上に接地し、その後、周縁部がダイヤフラムの押圧によって内側部に遅れて接地する。そして、熱板は、太陽電池モジュールが接地した箇所から、太陽電池モジュールに熱を奪われるため、太陽電池モジュールが接地する箇所やそのタイミングによって、温度が急変してしまう。このような場合、何れの加熱領域の温度に基づいて熱板の温度を均一にするか等が問題となり、全ての加熱領域の温度を均一にするまでに、かなりの時間を要してしまう。また、熱板の全ての加熱領域において、均一の温度になるまでは、太陽電池モジュール内でも、その内側部と周縁部とで温度が異なってしまい、周縁部の温度が高くて周縁部の充填材が最初に溶融し、内側部の温度が低くて充填材が溶融しないという現象が生じてしまう。すなわち、太陽電池モジュールの周縁部と内側部とで温度が異なり、充填材が溶融を開始する時間にタイムラグが生じてしまう。
【０００５】
ここで、図１２を参照して、従来のラミネート装置の熱板９０により太陽電池モジュール９１を加熱したときの太陽電池モジュール９１内の温度変化について説明する。
図１２（ａ）は、従来のラミネート装置の熱板９０の中央に太陽電池モジュール９１を載置した状態の平面図である。図１２（ａ）に示す熱板９０は、何れも同じ温度に加熱された加熱領域９３を３つ有している。また、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示す太陽電池モジュール９１の表面の測定点９１ａ、９１ｂ、９１ｃの温度を測定したグラフを示す図である。ここで、太陽電池モジュール９１の寸法は、幅ｗが約１１００ｍｍ、奥行きｄが約１４００ｍｍである。また、測定点９１ａは、太陽電池モジュール９１の角９２から幅および奥行き方向それぞれ１０ｍｍ内側に位置する点である。また、測定点９１ｂは、太陽電池モジュール９１の一方の長辺の中心から幅方向に１０ｍｍ内側に位置する点である。また、測定点９１ｃは、太陽電池モジュール９１の中央に位置する点である。図１２（ｂ）において、測定点９１ａの温度変化が実線で示す特性線に対応し、測定点９１ｂの温度変化が破線で示す特性線に対応し、測定点９１ｃの温度変化が一点鎖線で示す特性線に対応する。
【０００６】
熱板９０が均一の温度になるように加熱した場合、上述したように全ての加熱領域で均一の温度になるまでには時間を要し、均一の温度になるまで熱板の温度は、太陽電池モジュールの周縁部と内側部とを加熱する領域とで異なってくる。したがって、図１２（ｂ）に示すように、ラミネート工程内における真空工程では、太陽電池モジュール９１の内側部（測定点９１ｃ）の温度が高かったり、加圧工程の後半では、太陽電池モジュールの周縁部（測定点９１ａ、９１ｂ）の温度が高くなったりして、加圧工程が終了する時点では太陽電池モジュール９１の内側部と周縁部との温度差Δｔは、略１０℃にもなってしまう。このように、太陽電池モジュール９１の中央部と周縁部とで温度が異なり、充填材が溶融を開始する時間にタイムラグが生じてしまう。太陽電池モジュール９１の周縁部の充填材が、最初に溶融してしまうと、太陽電池モジュール９１内の内側部の空気を脱気することができず、太陽電池モジュール９１内に気泡が残ってしまう。気泡が残った太陽電池モジュール９１を屋外に設置すると、気泡が膨張して、太陽電池モジュール９１に悪い影響を与えてしまう。
【０００７】
上述した特許文献１に記載のラミネート装置は、熱板としてのヒータ盤の上面を複数の加熱領域に分割して、太陽電池モジュールＭが載置される加熱領域の温度が何れの加熱領域でも常に同じになるように制御されている。したがって、図１２（ａ）に示す熱板９０と同様、太陽電池モジュールの内側部と周縁部との温度差を解消することができない。
【０００８】
また、上述した特許文献２に記載のラミネート装置は、ヒータ盤の上面に配置される透光性基板を、ヒータ盤の透光性基板の反りが発生する周縁部に複数の真空吸着孔により吸着させることにより、透光性基板の反りを防止させる。このように透光性基板の反りを防止させることにより、太陽電池モジュール内の温度上昇を均一化させている。しかしながら、ヒータ盤に複数の真空吸着孔を穿設する必要があり、構造が複雑になってしまうばかりでなく、ヒータ盤内のヒータの配置の自由度が限定されてしまうという問題がある。
【０００９】
また、太陽電池モジュールの充填材としては、材料費、加工特性および必要とする強度等に応じてＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）樹脂、又は他の充填材が使い分けられている。この場合、使用される充填材により溶融温度等の特性が異なってしまう。したがって、使用する充填材の種類により溶融する温度が変化してしまうために、上述したように太陽電池モジュールの周縁部と内側部とで温度が異なることに加えてさらに、充填材が溶融を開始する時間を均一に制御することが困難になる。
【００１０】
本発明は、上述したような問題点に鑑みてなされたものであり、ラミネート加工中の被加工物内の温度を均一にできるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するための本発明のラミネート装置は、押圧部材により仕切られた上チャンバと下チャンバとを有し、その下チャンバに設けられた熱板上に被加工物を配置し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートするラミネート装置であって、前記熱板は、前記被加工物の周縁部を加熱する周縁加熱領域と、前記被加工物の周縁部よりも内側の内側加熱領域とが別々に温度制御され、前記被加工物の周縁部と内側部とを略同一温度に加熱することを特徴とする。
前記熱板は、前記周縁加熱領域と、前記内側加熱領域とが別々に温度制御され、前記被加工物内の充填材を前記被加工物の周縁部と内側部とで溶融を開始する時間を略同一にすることを特徴とする。
前記熱板は、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とで別体にして構成することができる。
前記熱板は、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とが被加工物を載置する載置板を介して接続して構成することができる。
前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体は、前記周縁加熱領域に配置される前記被加工物の各辺ごとに別体にして構成することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によればラミネート加工中の被加工物内の温度を均一にすることができる。
また例えば、前記熱板は、前記被加工物の周縁部を加熱する周縁加熱領域と、前記被加工物の周縁部よりも内側の内側加熱領域とが別々に温度制御され、前記被加工物の周縁部と内側部とを略同一温度に加熱する。この場合、被加工物を構成する充填材を被加工物内において、略同時に溶融させることができるので、被加工物内に気泡が残るのを防止することができる。
また例えば、前記熱板は、前記周縁加熱領域と、前記内側加熱領域とが別々に温度制御され、前記被加工物内の充填材を前記被加工物の周縁部と内側部とで溶融を開始する時間を略同一にする。この場合、被加工物内に気泡が残るのを防止することができる。
また例えば、前記熱板は、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とで別体にして構成されている。この場合、周縁加熱領域と内側加熱領域との間の温度制御が容易になるとともに、周縁加熱領域と内側加熱領域とにシースヒータ等の熱伝達体を取り付ける加工等を容易に行うことができる。
また例えば、前記熱板は、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とが被加工物を載置する載置板を介して接続されて構成されている。この場合、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体と前記内側加熱領域に対応する内側熱板本体とを容易に接続することができる。
また例えば、前記周縁加熱領域に対応する周縁熱板本体は、前記周縁加熱領域に配置される前記被加工物の各辺ごとに別体にして構成されている。この場合、周縁熱板本体にシースヒータ等の熱伝達体を取り付ける加工等を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】被加工物としての太陽電池モジュールの構成を示す断面図である。
【図２】ラミネート装置の全体の構成を示す図である。
【図３】ラミネート装置のラミネート部の側断面図である。
【図４】ラミネート装置のラミネート加工時におけるラミネート部の側断面図である。
【図５】熱板の温度制御領域と温度制御装置の構成を説明するための図である。
【図６】熱板の詳細な構成を示す図である。
【図７】熱板本体に熱伝達体を埋設する方法について説明するための図である。
【図８】本実施形態に係る熱板により加熱された被加工物の表面温度の変化を説明するための図である。
【図９】周縁加熱領域を加熱する熱板本体を一体で構成した熱板を示す図である。
【図１０】熱板本体同士を接続して構成した熱板を示す図である。
【図１１】一つの熱板本体で構成した熱板を示す図である。
【図１２】従来の熱板により加熱された被加工物の表面温度の変化を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本実施形態に係るラミネート装置について説明する。
ここでは、まず、ラミネート装置でラミネートされる被加工物１０について説明する。
図１は、被加工物１０として結晶系セルを使用した太陽電池モジュールの構成を示す断面図である。太陽電池モジュール１０は、図示のように、透明なカバーガラス１１と裏面材１２との間に、充填材１３、１４を介してストリング１５を挟み込んだ構成を有する。裏面材１２にはポリエチレン樹脂等の材料が使用される。また、充填材１３、１４にはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂や、ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）樹脂等が使用される。ストリング１５は、電極１６、１７の間に結晶系セルとしての太陽電池セル１８をリード線１９を介して接続した構成である。
【００１５】
また、被加工物１０としては、上述した太陽電池モジュールだけではなく、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池モジュールを対象とすることもできる。この薄膜式太陽電池モジュールの代表的な構造例では、透明なカバーガラスに、予め、透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。このような薄膜式太陽電池モジュールは、カバーガラスを下向きに配置し、カバーガラス上の発電素子の上に充填材を被せる。更に、充填材の上に裏面材を被せた構造になっている。このような状態で真空加熱ラミネートすることにより薄膜式太陽電池モジュールの構成部材が接着される。すなわち、薄膜式太陽電池モジュールは、上述した太陽電池モジュールの結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけある。薄膜式太陽電池モジュールの基本的な封止構造は上述した太陽電池モジュールと同じである。
【００１６】
図２は、本実施形態に係るラミネート装置１００の全体の構成を示す図である。ラミネート装置１００は、上ケース１１０と、下ケース１２０と、被加工物１０を搬送するための搬送ベルト１３０とを有する。搬送ベルト１３０は、被加工物１０を上ケース１１０と下ケース１２０との間に搬送する。ラミネート装置１００には、ラミネート前の被加工物１０をラミネート装置１００に搬送するための搬入コンベア２００が設けられている。また、ラミネート装置１００には、ラミネート後の被加工物１０をラミネート装置１００から搬出するための搬出コンベア３００が設けられている。搬入コンベア２００と搬出コンベア３００とは、連設されている。被加工物１０は、搬入コンベア２００から搬送ベルト１３０に受け渡され、搬送ベルト１３０から搬出コンベア３００に受け渡される。
【００１７】
ラミネート装置１００には、シリンダ及びピストンロッド等で構成される図示しない昇降装置が設けられている。昇降装置は、上ケース１１０を水平状態に維持したまま下ケース１２０に対して昇降させることができる。昇降装置が上ケース１１０を下降させることで、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間を密閉させることができる。
【００１８】
次に、本実施形態に係るラミネート装置１００のラミネート部１０１の構成についてより具体的に説明する。図３は、ラミネート装置１００において被加工物１０をラミネートするラミネート部１０１の側断面図である。図４は、ラミネート加工時におけるラミネート部１０１の側断面図である。
【００１９】
上ケース１１０には、下方向に開口された空間が形成されている。この空間には、空間を水平に仕切るようにダイヤフラム１１２が設けられている。ダイヤフラム１１２は、シリコーン系のゴム等の耐熱性のあるゴムにより成形されている。後述するように、ダイヤフラム１１２は、被加工物１０を押圧する押圧部材として機能し、ラミネートを行う。上ケース１１０内には、ダイヤフラム１１２によって仕切られた空間（上チャンバ１１３）が形成される。
【００２０】
また、上ケース１１０の上面には、上チャンバ１１３と連通する吸排気口１１４が設けられている。上チャンバ１１３では、吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内を真空引きして真空状態にしたり、上チャンバ１１３内に大気を導入したりすることができる。
【００２１】
下ケース１２０には、上方向に開口された空間（下チャンバ１２１）が形成されている。この空間には、熱板１２２（パネル状のヒータ）が設けられている。熱板１２２は、下ケース１２０の底面に立設された支持部材によって、水平状態を保つように支持されている。この場合に、熱板１２２は、その表面が下チャンバ１２１の開口面とほぼ同一高さになるように支持される。
【００２２】
また、下ケース１２０の下面には、下チャンバ１２１と連通する吸排気口１２３が設けられている。下チャンバ１２１では、吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内を真空引きして真空状態にしたり、下チャンバ１２１内に大気を導入したりすることができる。
【００２３】
上ケース１１０と下ケース１２０との間であって、熱板１２２の上方には、搬送ベルト１３０が移動自在に設けられている。搬送ベルト１３０は、図２の搬入コンベア２００からラミネート前の被加工物１０を受け取ってラミネート部１０１の中央位置、すなわち熱板１２２の中央部に正確に搬送する。また、搬送ベルト１３０は、ラミネート後の被加工物１０を図２の搬出コンベア３００に受け渡す。
【００２４】
また、上ケース１１０と下ケース１２０との間であって、搬送ベルト１３０の上方には、剥離シート１４０が設けられている。剥離シート１４０は、被加工物１０の充填材１３、１４（図１参照）が溶融したときに、充填材１３、１４がダイヤフラム１１２に付着するのを防止する。
【００２５】
次に、本実施形態に係るラミネート装置１００によるラミネート工程についてより具体的に説明する。まず、図３に示すように、搬送ベルト１３０は、被加工物１０をラミネート部１０１の中央位置に搬送する。なお、このとき、下チャンバ１２１や熱板１２２に配設された上下動可能な図示しない保持ピン等を上昇させることで、被加工物１０を熱板１２２上から離間した位置に保持しておいてもよい。
【００２６】
次に、昇降装置は、上ケース１１０を下降させる。上ケース１１０を下降させることにより、図４に示すように、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間は、密閉される。すなわち、上ケース１１０と下ケース１２０との内部にて上チャンバ１１３及び下チャンバ１２１は、それぞれ密閉状態に保つことができる。
【００２７】
次に、ラミネート装置１００は、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内の真空引きを行う。同様に、ラミネート装置１００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内の真空引きを行う（真空工程）。下チャンバ１２１の真空引きにより、被加工物１０内に含まれている気泡は、被加工物１０外に送出される。なお、上下動可能な図示しない保持ピンにより被加工物１０を、熱板１２２上から離間した位置に保持していた場合は、真空工程の略後半から、保持ピンを下降して被加工物１０を熱板１２２上に載置する。
被加工物１０は、後述する温度制御装置の温度制御により加熱された熱板１２２によって加熱されるので、被加工物１０の内部に含まれる充填材１３、１４も加熱される。
【００２８】
次に、ラミネート装置１００は、下チャンバ１２１の真空状態を保ったまま、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３に大気を導入する。これにより、上チャンバ１１３と下チャンバ１２１との間に気圧差が生じることで、ダイヤフラム１１２が膨張する。従って、ダイヤフラム１１２は、図４に示すように下方に押し出される（加圧工程）。被加工物１０は、下方に押し出されたダイヤフラム１１２と、熱板１２２とで挟圧され、加熱により溶融された充填材１３、１４によって各構成部材が接着される。本実施形態のラミネート装置１００は、充填材１３、１４を完全に溶融させて、各構成部材を接着させる、いわゆる全架橋タイプのラミネート装置である。
【００２９】
このとき、充填材１３、１４がカバーガラス１１と裏面材１２との間からはみ出てしまうことがあるものの、はみ出した充填材１３、１４は剥離シート１４０に付着する。このように剥離シート１４０を介在させることにより、はみ出した充填材１３、１４がダイヤフラム１１２に付着するのを防止する。従って、剥離シート１４０は、ダイヤフラム１１２から次にラミネートする被加工物１０に充填材１３、１４が付着するのを防止する。また、はみ出した充填材１３、１４が、搬送ベルト１３０上に付着した場合は、付着した充填材１３、１４は、図示しないクリーニング機構により除去される。
【００３０】
このようにラミネート工程が終了した後、ラミネート装置１００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１に大気を導入する。このとき、昇降装置は、上ケース１１０を上昇させる。上ケース１１０を上昇させることにより、図３に示すように、搬送ベルト１３０を移動させることができるようになる。搬送ベルト１３０は、ラミネート後の被加工物１０を搬出コンベア３００に受け渡す。
【００３１】
次に、本実施形態に係るラミネート装置１００の熱板１２２の構成について説明する。図５は、熱板１２２および熱板１２２の温度を制御する温度制御装置７０を示す図である。図５は、熱板１２２の平面図であり、被加工物としての太陽電池モジュール１０を載置する載置面２１が現れている。
熱板１２２は、全体の大きさが下ケース１２０内に収まるサイズであって、図５の二点鎖線で示す太陽電池モジュール１０よりも大きいサイズで形成される。ここで、本実施形態の熱板１２２の寸法は、幅Ｗｈが約１２００ｍｍ、奥行きＤｈが約１５００ｍｍである。また、この熱板１２２により加熱される太陽電池モジュール１０の寸法は、幅ｗが約１１００ｍｍ、奥行きｄが約１４００ｍｍであり、平面視で長方形状である。
【００３２】
そして、熱板１２２は、太陽電池モジュール１０を熱板１２２の中心に載置したときに太陽電池モジュール１０の内側部（中央部）を加熱する内側加熱領域Ｓ１と、太陽電池モジュール１０の周縁部を加熱する周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５とを有している。
内側加熱領域Ｓ１は、一つのみからなる領域であって、太陽電池モジュール１０全体の面積よりも小さく、太陽電池モジュール１０全体の面積の７０％以上である。ここで、本実施形態の内側加熱領域Ｓ１の寸法は、幅Ｗａが約９４０ｍｍ、奥行きＤａが約１２５０ｍｍであり、平面視で略長方形状である。内側加熱領域Ｓ１の形状は、太陽電池モジュール１０と略相似形である。また、本実施形態の内側加熱領域Ｓ１の面積は、太陽電池モジュール１０全体の面積の７６％である。
このように、熱板１２２の内側加熱領域Ｓ１は、太陽電池モジュール１０の内側部すなわち中央部を加熱する。
なお、内側加熱領域Ｓ１の寸法は、太陽電池モジュール１０が熱の影響により反り返ったときに、太陽電池モジュール１０が熱板１２２に接地している範囲と略同一の領域であることが好ましい。したがって、内側加熱領域Ｓ１の寸法は、太陽電池モジュール１０の大きさによって変更される。
【００３３】
一方、周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５は、内側加熱領域Ｓ１の外側に位置し、太陽電池モジュール１０の周縁部の全周を加熱する。また、周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５は、全体では一つのみからなる領域であるが、本実施形態では複数に分割されている。第１の周縁加熱領域Ｓ２は、太陽電池モジュール１０の周縁部のうち長辺の一方側を加熱する。また、第２の周縁加熱領域Ｓ３は、太陽電池モジュール１０の周縁部のうち長辺の他方側を加熱する。第１の周縁加熱領域Ｓ２と第２の周縁加熱領域Ｓ３は、図５に示すように、平面視で奥行き方向に長い細長の略長方形状である。また、第３の周縁加熱領域Ｓ４は、太陽電池モジュール１０の周縁部のうち短辺の一方側を加熱する。また、第４の周縁加熱領域Ｓ５は、太陽電池モジュール１０の周縁部のうち短辺の他方側を加熱する。第３の周縁加熱領域Ｓ４と第４の周縁加熱領域Ｓ５は、図５に示すように、平面視で幅方向に長い細長の略長方形状である。このように、周縁加熱領域Ｓ１〜Ｓ５は、全体では、太陽電池モジュール１０の周縁部の長辺の一方側から短辺の一方側、長辺の他方側、長辺の他方側に亘り連続する領域となっている。
なお、周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５の寸法は、太陽電池モジュール１０が熱の影響により反り返ったときに、太陽電池モジュール１０が熱板１２２に接地していない範囲と略同一の領域であることが好ましい。したがって、周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５の寸法は、太陽電池モジュール１０の大きさによって変更される。
【００３４】
上述した内側加熱領域Ｓ１と周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５の内部には、それぞれ熱電対等の温度センサが埋設されている。そして、温度制御装置７０は、温度センサにより検出された温度データに基づいて、内側加熱領域Ｓ１と周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５とが同一に設定された温度になるように、内側加熱領域Ｓ１と周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５とを別々に温度制御することができる。なお、本実施形態の熱板１２２の周縁加熱領域は、上述したように、第１の周縁加熱領域Ｓ２〜第４の周縁加熱領域Ｓ５に分割されていて、温度制御装置７０は、第１の周縁加熱領域Ｓ２〜第４の周縁加熱領域Ｓ５の間でも別々に温度制御することができる。
【００３５】
次に、熱板１２２の構成について、図６を参照してより詳細に説明する。図６（ａ）は、熱板１２２の平面図である。図６（ｂ）は、熱板１２２の正面図である。図６（ｃ）は、熱板１２２の底面図である。
熱板１２２は、図６（ａ）、（ｂ）の二点鎖線に示した太陽電池モジュール１０を載置する載置面２１を有する載置板２０と、載置板２０の載置面２１とは反対の取付面２２に取り付けられる熱板本体３０（第１の熱板本体３１〜第５の熱板本体３５）とが接続されて構成されている。
【００３６】
図６（ｂ）の正面図に示すように、載置板２０は、熱板本体３０の上側に配置されている。また、載置板２０は、アルミニウム又はアルミニウム合金等により、被加工物１０を載置できるようなパネル状に形成されている。
一方、熱板本体３０は、載置板２０の取付面２２に固定ネジ等を介して取り付けられている。熱板本体３０も同様に、アルミニウム又はアルミニウム合金等により形成されている。図６（ｃ）に示すように、本実施形態の熱板本体３０は、第１の熱板本体３１〜第５の熱板本体３５を含んで構成されている。第１の熱板本体３１〜第５の熱板本体３５は、それぞれ同一の厚みＴｐで形成されているので、熱板１２２全体でも、一定の厚みＴｈで形成される（図６（ｂ）参照）。
【００３７】
ここで、第１の熱板本体３１は、熱板１２２を裏側から見たときに、載置板２０の中央に取り付けられる。すなわち、第１の熱板本体３１は、上述した内側加熱領域Ｓ１を加熱する役割を有するものであり、内側加熱領域Ｓ１と同じ大きさである。
第１の熱板本体３１の裏面には、収容溝が裏面全体に亘って複数、加工され、その収容溝内には、第１の熱板本体３１を加熱する熱伝達体としてのシースヒータ４１が埋設されている。本実施形態の第１の熱板本体３１には、裏面からみてＵ字状に曲げて形成されたシースヒータ４１が、３つ並列して埋設されている。なお、図示しないが、それぞれのシースヒータ４１は、各収容溝から上述した温度制御装置７０に接続される。したがって、温度制御装置７０は、これらシースヒータ４１を加熱することで、第１の熱板本体３１を介して、内側加熱領域Ｓ１全体を均一した温度に制御することができる。
【００３８】
一方、第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５は、熱板１２２を裏側から見たときに、第１の熱板本体３１の周りを囲むようにして、載置板２０の周縁に取り付けられる。すなわち、第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５は、それぞれ上述した周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５を加熱する役割を有するものであり、それぞれ周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５と同じ大きさである。
第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５の裏面には、それぞれ収容溝が略直線状または略細長環状に加工され、これら収容溝内には、それぞれ第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５を加熱する熱伝達体としてのシースヒータ４２〜４５が埋設されている。本実施形態の第２の熱板本体３２および第３の熱板本体３３には、略直線状に形成されたシースヒータ４２、４３がそれぞれ埋設されている。また、本実施形態の第４の熱板本体３４および第５の熱板本体３５には、裏面からみて略細長環状に曲げて形成されたシースヒータ４４、４５がそれぞれ埋設されている。なお、図示しないが、シースヒータ４２〜４５は、各収容溝から上述した温度制御装置７０に接続されている。したがって、温度制御装置７０は、これらシースヒータ４２〜４５を加熱することで、第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５を介して、周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５全体を均一した温度に制御することができる。場合によって、温度制御装置７０は、第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５の温度をそれぞれ制御して、周縁加熱領域Ｓ２〜周縁加熱領域Ｓ５の温度を、別々に温度制御してもよい。なお、第１の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５の間には、僅かな隙間を有していて、隣り合う熱板本体同士の温度が干渉しないように構成されている。
【００３９】
次に、熱板本体に熱伝達体を埋設する方法について、図７（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。図７（ａ）、（ｂ）は、熱板１２２の一部断面を示す図である。ここでは、熱伝達体は、シースヒータ５０である。シースヒータ５０は、中心にコイル状に加工されたニクロム線５１と、ニクロム線５１の周りに充填された酸化マグネシウム等の絶縁材５２と、絶縁材５２の全周を覆うシース５３（外周をなす外皮）とを有するものである。
【００４０】
図７（ａ）は、シースヒータ５０を熱板本体３０の収容溝６１に加締めることでシースヒータ５０を埋設した熱板１２２を示す断面図である。図７（ａ）に示す埋設方法では、まず、予めシースヒータ５０と略同じ寸法で加工した収容溝６１にシースヒータ５０を収容する。その後、収容溝６１にシースヒータ５０を収容した状態で、収容溝６１の開口縁とシースヒータ５０とを熱板本体３０の裏面から加締める。このようにすることで、図７（ａ）に示すように、収容溝６１にシースヒータ５０を埋設させることができる。その後、固定ネジ６５を用いて、熱板本体３０を載置板２０の取付面２２に取り付ける。このように、第１の熱板本体３１〜第５の熱板本体３５について、それぞれ同様にシースヒータ４１〜４５を埋設し、載置板２０の取付面２２に取り付ける。第１の熱板本体３１と、第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５とを載置板２０を介して接続することにより、熱板１２２を容易に製造することができるとともに、単に熱板本体同士を接続して熱板１２２を構成する場合に想定される載置面の凹凸をなくすことができる。また、本実施形態のように、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５とを別体で構成することにより、各熱板本体の収容溝６１の加工や、熱伝達体の埋設を容易に行うことができる。
【００４１】
図７（ｂ）は、シースヒータ５０を上下の熱板本体３０ａ、３０ｂで挟み込むことでシースヒータ５０を埋設した熱板１２２を示す断面図である。図７（ｂ）に示す埋設方法では、上下の熱板本体３０（３０ａ、３０ｂ）にそれぞれ予めシースヒータ５０の略半円形状と同じ寸法で加工した収容溝６１ａ、６１ｂにシースヒータ５０を収容する。その後、熱板本体３０ａ、３０ｂでシースヒータ５０をボルト６６等でネジ固定して上下から挟み込むことで、図７（ｂ）に示すように、収容溝６１ａ、６１ｂにシースヒータ５０を埋設させることができる。その後、固定ネジ６５を用いて、熱板本体３０（３０ａ、３０ｂ）を載置板２０の取付面２２に取り付ける。このように、第１の熱板本体３１〜第５の熱板本体３５について、それぞれ同様にシースヒータ４１〜４５を埋設し、載置板２０の取付面２２に取り付けることで、熱板１２２を製造することができる。
【００４２】
なお、シースヒータ５０を熱板本体３０に埋設する方法は、上述した方法に限られない。例えば、シースヒータ５０の周囲に熱板本体３０を構成するアルミニウム等の鋳込み材を鋳込むことにより、シースヒータ５０を熱板本体３０に埋設してもよい。
また、熱板本体３０に埋設する熱伝達体としてシースヒータ５０を用いる場合について説明したが、この場合に限られない。例えば、熱伝達体として図示しない熱パイプ等を用いることができる。熱パイプとは、中空の管部材と、管部材内を流れる加熱したオイル等の熱伝達媒体とから構成されるものである。このような熱パイプを図７（ａ）、（ｂ）に示す埋設方法および鋳込みによる埋設方法と同様に、熱板本体３０に埋設することにより、熱板１２２を製造することができる。この場合、熱パイプを温度制御装置７０に接続させ、温度制御装置７０が、管部材内に流す熱伝達媒体の温度を調整することで、熱板１２２の温度を制御する。
【００４３】
次に、図８を参照して、本実施形態のラミネート装置１００により太陽電池モジュール１０を加熱したときの太陽電池モジュール１０内の温度変化について説明する。
図８（ａ）は、本実施形態のラミネート装置１００の熱板１２２の載置面２１の中央に太陽電池モジュール１０を載置した状態の平面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す太陽電池モジュール１０の表面の測定点８１ａ、８１ｂ、８１ｃの温度を測定したグラフを示す図である。ここで、熱板１２２、内側加熱領域Ｓ１、周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５および太陽電池モジュール１０の寸法は、図５で説明した大きさと同様である。また、測定点８１ａは、太陽電池モジュール１０の角８２から幅および奥行き方向それぞれ１０ｍｍ内側に位置する点である。また、測定点８１ｂは、太陽電池モジュール１０の一方の長辺の中心から幅方向に１０ｍｍ内側に位置する点である。すなわち測定点８１ａ、８１ｂは、熱板１２２の周縁加熱領域Ｓ２により加熱される。また、測定点８１ｃは、太陽電池モジュール１０の中心に位置する点である。すなわち測定点８１ｃは、熱板１２２の内側加熱領域Ｓ１により加熱される。図８（ｂ）において、測定点８１ａの温度変化が実線で示す特性線に対応し、測定点８１ｂの温度変化が破線で示す特性線に対応し、測定点８１ｃの温度変化が一点鎖線で示す特性線に対応する。また、図８（ｃ）は、温度制御装置７０に制御された熱板１２２の温度を測定したグラフを示す図である。図８（ｃ）において、周縁加熱領域Ｓ２の温度変化が実線で示す特性線に対応し、内側加熱領域Ｓ１の温度変化が一点鎖線で示す特性線に対応する。
【００４４】
なお、図８（ｂ）、（ｃ）に示す温度変化のグラフは、真空工程の略前半まで、下チャンバ１２１または熱板１２２等に配設された上下動可能な図示しない保持ピンの上昇により、被加工物１０を熱板１２２上から離間した位置に保持するタイプのラミネート装置１００によりラミネートしたときの結果である。
まず、温度制御装置７０は、真空工程が開始されると、図８（ｃ）に示すように、熱板１２２の内側加熱領域Ｓ１と周縁加熱領域Ｓ２〜Ｓ５とを同じように加熱して温度制御することで、図８（ｂ）の真空工程の前半までに示すように、太陽電池モジュール１０の測定点８１ａ、８１ｂ、８１ｃでは、温度差があるものの同じような勾配で温度が上昇する。
その後、真空工程の後半において、保持ピンの下降により太陽電池モジュール１０が熱板１２２上に載置されると、図８（ｃ）のｃ１部分に示すように、熱板１２２の内側加熱領域Ｓ１のみの温度が急激に低下する。これは、真空工程の前半において保持ピンを上昇させ太陽電池モジュール１０を熱板１２２上から離間させていたときに、太陽電池モジュール１０のカバーガラス１１の上下の温度差により、太陽電池モジュール１０の周縁部が熱板１２２からより離間する方向に反ってしまったためである。すなわち、太陽電池モジュール１０の内側部のみが内側加熱領域Ｓ１に熱板１２２上に接地し、熱板１２２の内側加熱領域Ｓ１の熱が太陽電池モジュール１０に奪われるためである。したがって、図８（ｂ）のｃ２部分に示すように、真空工程の後半において、太陽電池モジュール１０の内側部（測定点８１ｃ）の温度が急激に上昇する。
次に、真空工程から加圧工程にかけて、温度制御装置７０は、図８（ｃ）のｃ３部分に示すように、奪われた内側加熱領域Ｓ１の温度を補うようにして加熱し、内側加熱領域Ｓ１の温度を上昇させる。
【００４５】
一方、図８（ｃ）に示すように、熱板１２２の周縁加熱領域Ｓ２は、真空工程の後半でも太陽電池モジュール１０に接地しないため、周縁加熱領域Ｓ２の温度が低下しない。しかし、図８（ｃ）のａ１部分に示すように、加圧工程が開始されると、熱板１２２の周縁加熱領域Ｓ２の温度が急激に低下する。これは、ダイヤフラム１１２により、太陽電池モジュール１０の周縁部が周縁加熱領域Ｓ２に接地し、熱板１２２の周縁加熱領域Ｓ２の熱が太陽電池モジュール１０に奪われるためである。したがって、図８（ｂ）のａ２部分に示すように、太陽電池モジュール１０の周縁部（測定点８１ａ、８１ｂ）の温度が上昇する。
次に、温度制御装置７０は、図８（ｃ）のａ３部分に示すように、奪われた周縁加熱領域Ｓ２の温度を補うようにして、加熱して周縁加熱領域Ｓ２の温度が目標温度になるよう加熱制御を行う。
【００４６】
このとき、図８（ｃ）のｃ４部分に示すように、温度制御装置７０は、周縁加熱領域Ｓ２の温度の上昇に合わせるように、内側加熱領域Ｓ１の温度を加熱して上昇させる。
このような温度制御を行うことにより、加圧工程の後半では、図８（ｂ）に示すように、太陽電池モジュール１０の周縁部（測定点８１ａ、８１ｂ）と内側部（測定点８１ｃ）との温度を均一にすることができる。本実施形態では、設定した温度に対して太陽電池モジュール１０の測定点８１ａ、８１ｂ、８１ｃの温度差を±５％以内にすることができる。具体的には、図８（ｂ）に示す最終的な測定点８１ａの温度は１４７．５℃であり、測定点８１ｂの温度は１４９．３℃であり、測定点８１ｃの温度は１５１．３℃であった。
【００４７】
このように、太陽電池モジュール１０と熱板１２２とダイヤフラム１１２との間の熱の移動によって、熱板１２２の内側加熱領域と周縁加熱領域との間で、時間差で温度低下が生じても、温度制御装置７０により、内側加熱領域と周縁加熱領域とが別々に温度制御されるので、それぞれの温度変化に応じた迅速な温度制御を行うことができる。したがって、ラミネート装置１００は、温度制御装置７０により、内側加熱領域の温度を周縁加熱領域の温度に、又は周縁加熱領域の温度を内側加熱領域の温度に追従させることができるので、容易に太陽電池モジュール１０内の温度を均一にすることができる。すなわち、太陽電池モジュール１０内の周縁部と内側部との充填材の温度を略同一にすることで、充填材が溶融を開始する時間を略同一にでき、内部に気泡が生じない品質の高い太陽電池モジュール１０を提供することができる。
【００４８】
なお、温度制御装置７０が、短時間に充填材が溶融を開始できるように熱板１２２の温度をより急激に上昇させたとしても、熱板１２２の内側加熱領域と周縁加熱領域とを別々に温度制御することにより、太陽電池モジュール１０内において、充填材が溶融を開始する時間を略同一にすることができる。したがって、熱板１２２の温度を急激に上昇させても均一な温度に制御できるので、内部に気泡が生じない品質の高い太陽電池モジュールを製造するタクトタイムの短縮を容易に行うことができる。
また、温度制御装置７０は、太陽電池モジュール１０の周辺の温度や供給熱量を制御することができるので、反りによる太陽電池モジュール１０の温度分布の悪化を軽減できる。
【００４９】
なお、上述した温度制御装置７０が熱板１２２の内側加熱領域と周縁加熱領域とを温度制御する過程は、上述した説明に限られることがなく、太陽電池モジュール１０内の温度を均一にすることができるのであれば、どのような温度制御であってもよい。例えば、予め熱板１２２の内側加熱領域と周縁加熱領域とで、それぞれ温度低下するタイミングを想定し、それぞれ内側加熱領域と周縁加熱領域とで温度低下しないように、温度低下をする直前にそれぞれ内側加熱領域と周縁加熱領域との温度を上昇させるような温度制御をしてもよい。
【００５０】
また、上述した図８（ａ）、（ｂ）に示す温度変化のグラフの結果は、真空工程の略前半まで、保持ピン等により、被加工物１０を熱板１２２上から離間した位置に保持するタイプのラミネート装置を用いたときの結果であった。しかしながら、このようなラミネート装置に限られず、搬送ベルト１３０が、太陽電池モジュール１０を最初から、熱板１２２上に載置するタイプのラミネート装置であっても、適用することができる。
【００５１】
また、太陽電池モジュール１０の充填材には、様々な種類が用いられている。すなわち、充填材の種類によって溶融する温度が異なる等、充填材の特性が異なる。本実施形態のラミネート装置では、充填材が異なったとして、上述した説明と同様に、熱板１２２の内側加熱領域と周縁加熱領域との温度変化に応じた迅速な温度制御をする。したがって、充填材の特性が異なっても安定した品質の太陽電池モジュール１０を製造することができる。
【００５２】
また、上述した実施形態では、周縁加熱領域を加熱する熱板本体を、第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５の複数で構成する場合について説明したが、この場合に、限られない。例えば、周縁加熱領域を加熱する熱板本体を一体で構成してもよい。
ここで、周縁加熱領域Ｓ２を加熱する熱板本体３０を一体で構成した熱板１５０の構成について、図９を参照して説明する。図９（ａ）は、熱板１５０の平面図である。図９（ｂ）は、熱板１５０の正面図である。図９（ｃ）は、熱板１５０の底面図である。なお、図６に示す熱板１２２と同一の構成要素については同一符号を付して、この説明を省略する。
【００５３】
熱板１５０は、太陽電池モジュール１０を載置する載置面２１を有する載置板２０と、載置板２０の載置面２１とは反対の取付面２２に取り付けられる熱板本体１５１（第１の熱板本体３１、第２の熱板本体１５２）とが接続されて構成されている。
また、図９（ｃ）に示すように、熱板本体１５１は、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２とを含んで構成されている。
第１の熱板本体３１は、熱板１５１を裏側から見たときに、載置板２０の中央に取り付けられる。すなわち、第１の熱板本体３１は、内側加熱領域Ｓ１と同じ大きさである。
第１の熱板本体３１の裏面には、収容溝が裏面全体に亘って複数、加工され、その収容溝内には、図６と同様なシースヒータ４１が埋設されている。
第２の熱板本体１５２は、熱板１５０を裏側から見たときに、第１の熱板本体３１の周りを囲むような口字形状をしている。第２の熱板本体１５２と第１の熱板本体３１との間には、僅かな隙間を有している。第２の熱板本体１５２は、周縁加熱領域Ｓ２を加熱する役割を有するものであり、周縁加熱領域Ｓ２と同じ大きさである。第２の熱板本体１５２の裏面には、シースヒータ１５３が埋設されている。シースヒータ１５３は、第２の熱板本体１５２の各辺の幅方向における略中央に埋設される。なお、図示しないが、シースヒータ１５３は、収容溝から上述した温度制御装置７０に接続されている。したがって、温度制御装置７０は、これらシースヒータ１５３を加熱することで、第２の熱板本体１５２を介して、周縁加熱領域Ｓ２全体を均一した温度に制御することができる。
【００５４】
また、上述した図６に示す熱板１２２では、内側加熱領域を加熱する第１の熱板本体３１と周縁加熱領域を加熱する熱板本体（第２の熱板本体３２〜第５の熱板本体３５）とを載置板２０を介して接続する場合について説明したが、載置板２０を省略して熱板本体同士を接続してもよい。
ここで、熱板本体同士を接続した熱板１６０の構成について、図１０を参照して説明する。図１０（ａ）は、熱板１６０の平面図である。図１０（ｂ）は、熱板１６０の正面図である。図１０（ｃ）は、熱板１６０の底面図である。なお、ここでは、上述した図９に示す熱板１５０と同一の構成要素については同一符号を付して、この説明を省略する。
【００５５】
図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、熱板１６０は、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２とを含んで構成されていて、載置板は含まれない。したがって、太陽電池モジュール１０は、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２との上に直接、載置される。
そして、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２とは、図１０（ｂ）、（ｃ）に示す取付板１６１を介して直接、接続する。具体的には、図１０（ｂ）のＣ部分の一部断面拡大図で示すように、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２とに跨る取付板１６１を介して、固定ネジ１６２を第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２とにネジ固定する。
このように熱板１６０を構成することで、載置板を用いずに、第１の熱板本体３１と第２の熱板本体１５２と接続することができる。
【００５６】
また、上述した図６に示す熱板１２２は、複数の熱板本体（第１の熱板本体３１〜第５の熱板本体３５）と載置板２０とで構成する場合について説明したが、熱板を一つの熱板本体で構成してもよい。
ここで、一つの熱板本体１７１で構成する熱板１７０の構成について、図１１を参照して説明する。図１１（ａ）は、熱板１７０の平面図である。図１１（ｂ）は、熱板１７０の正面図である。図１１（ｃ）は、熱板１７０の底面図である。なお、ここでは、上述した図９に示す熱板１５０と同一の構成要素については同一符号を付して、この説明を省略する。
【００５７】
熱板本体１７１の裏側には、内側加熱領域Ｓ１を加熱するシースヒータ４１が埋設されている。また、熱板本体１７１の裏側には、周縁加熱領域Ｓ２を加熱するシースヒータ１５３が埋設されている。温度制御装置７０は、これらシースヒータ４１、１５３を加熱することで、内側加熱領域Ｓ１および周縁加熱領域Ｓ２をそれぞれ均一した温度に制御することができる。
このように熱板１７０を構成することで、熱板の構成を簡単にすることができる。
【００５８】
また、本実施形態の熱板の周縁加熱領域と内側加熱領域とは、太陽電池モジュール１０の大きさに合わせて構成される。したがって、一台のラミネート装置１００に異なる大きさの太陽電池モジュール１０を加熱する場合、例えば、ラミネート部を上下方向に２段以上重ねて、各段に異なる大きさの内側加熱領域および周縁加熱領域を有する熱板１２２を設けてもよい。また、１つの熱板に隣接させて異なる大きさの内側加熱領域および周縁加熱領域を有する熱板を２つ以上設けてもよい。また、異なる大きさの内側加熱領域および周縁加熱領域を有する熱板に取り替えられるように構成してもよい。
【００５９】
また、本実施形態のラミネート装置１００は、温度制御装置７０を内蔵してもよい。また、温度制御装置７０を別体にして、ラミネート装置１００と温度制御装置７０とを含んで構成されるラミネートシステムとしてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１０          被加工物（太陽電池モジュール）
１１          カバーガラス
１３、１４    充填材
２０          載置板
３０          熱板本体
３１〜３５    第１の熱板本体〜第５の熱板本体
４１〜４５、５０    シースヒータ
７０          温度制御装置
１００        ラミネート装置
１０１        ラミネート部
１１０        上ケース
１１２        ダイヤフラム
１１３        上チャンバ
１２０        下ケース
１２１        下チャンバ
１２２        熱板
１５０        熱板
１５１        熱板本体
１５２        第２の熱板本体
１５３        シースヒータ
１６０        熱板
１６１        取付板
１７０        熱板
１７１        熱板本体
Ｓ１          内側加熱領域
Ｓ２〜Ｓ５    周縁加熱領域
【図１】
2010280172.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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