(57)【要約】【課題】モータの質量に関わらず、応答性の高い揺動装置を提供する。【解決手段】揺動装置１０は、ベース１２と、揺動テーブル１４と、複数のリンク機構２０と、当該リンク機構２０を駆動するモータ２６と、リンク機構２０と揺動テーブル１４との間に介在する連結部材と、を備える。リンク機構２０は、モータの駆動に応じて、その上端位置がリンク機構面内で変化するものの、リンク機構面の位置およびリンク機構面の角度は不変である。連結部材は、スライド機構２２と、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸回りの回動を許容する回転ジョイントと、を有しており、揺動テーブル１４がリンク機構２０に対して回動およびスライドすることを許容する。そして、かかる構成とすることで、モータ２６をベース１２に固定設置（位置固定）することが可能となる。そして、結果として、リンク機構２０、ひいては、揺動装置１０の応答性を向上することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定床面に載置されるベースと、
揺動が付与される揺動テーブルと、
前記ベースに直交する規定の平面内で上端が連結部材を介して前記揺動テーブルを支持し、前記揺動テーブルに揺動を付与する複数のリンク機構を含む、揺動テーブル支持機構と、
を備え、前記揺動テーブル支持機構は、
前記各上端位置を前記規定の平面内で位置決め可能なリンク機構と、
前記リンク機構と揺動テーブルとの間に介在し、前記揺動テーブルのリンク機構に対する回動および前記規定の平面に対して直交する方向への移動を許容する連結部材と、
前記リンク機構を駆動するために前記ベースに固定設置されるモータと、
を備えることを特徴とする揺動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の揺動装置であって、
前記リンク機構は、略「く」の字状に屈曲可能な一対のアーム体により構成されることを特徴とする揺動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の揺動装置であって、
前記連結部材は、前記揺動テーブルの当該揺動テーブル面方向へのスライド移動を許容するスライド機構を含み、
前記スライド機構のスライド方向は、上面視において、前記規定の平面に対して略直交方向である、
ことを特徴とする揺動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の揺動装置であって、
前記スライド機構は、前記揺動テーブルに平行な軸回りの回動を許容する回動軸を介して前記リンク機構に連結されるとともに、前記揺動テーブルに直交する軸回りの回動を許容する回動軸を介して前記揺動テーブルに連結される、ことを特徴とする揺動装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の揺動装置であって、
前記リンク機構が３以上である場合に、
各リンク機構における前記規定の各平面は、その全てが平行ではない、ことを特徴とする揺動装置。
【請求項６】
請求項５に記載の揺動装置であって、
前記複数のリンク機構は、
前記ベースの長辺方向両端付近において同一線上に並ぶように設置され、かつ、互いに平行になるように設置された二つのリンク機構と、
前記ベースの短辺方向端部付近に設置され、かつ、前記二つのリンク機構に対して略直交になるように設置された一つのリンク機構と、
を含むことを特徴とする揺動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動テーブルに振動を付与する揺動装置に関し、特に、揺動テーブルをリンク機構で支持した揺動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から対象物に三次元的な揺動を付与するために、三次元的に揺動可能な揺動テーブルを備えた揺動装置が広く知られている。かかる揺動装置は、例えば、人間の動特性測定装置や、ドライブシュミレータ、フライトシュミレータ、遊戯装置、作業テーブル装置あるいは工業用ロボットなどに利用される。
【０００３】
こうした揺動装置の中には、揺動テーブルを支持するリンク機構を変形させることで揺動テーブルに揺動を付与するものがある。例えば、下記特許文献１には、複数のリンク機構で揺動テーブルを支持する構成の揺動テーブル装置が開示されている。この揺動テーブル装置では、略「く」の字状の可動リンクを一対並設した五角形リンク機構の上端を揺動テーブルに連結している。各可動リンクは、その下方に連結されたモータにより駆動され、変形するようになっている。リンク機構の下端は、このモータを含めた可動リンク全体を回転可能に支持する金具によりベースに連結されている。この金具を介することにより、リンク機構面が傾斜自在となり、より多様な動きをとることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２４１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、かかる構成は、動きが多様化される一方で、応答性の向上や、被揺動物の質量増加への対応が困難という問題があった。すなわち、この特許文献１では、モータは、ベースに固定されているわけではなく、ベースより僅かに浮いた状態となっている。モータは、この浮いた状態で可動リンクに連結されており、リンク機構面とともに回転する構成となっている。そのため、質量の大きなモータを組み合わせる場合には、モータ質量が高速動作時の応答に影響し、所望の揺動状態を実現することが困難になる場合がある。また、特許文献１記載の構成では、モータにかかる重力成分によりリンク面に曲げモーメントが発生する。この曲げモーメントは、当然ながら、モータの質量が大きいほど大きくなり、装置の安定性の低下や制御精度の低下などが生じやすくなる。そのため、特許文献１記載の構成では、質量が大きくなる大出力モータの採用が困難であり、ひいては、被揺動物の質量増加への対応が困難であった。
【０００６】
そこで、本発明では、モータの質量に関わらず、応答性の高い揺動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の揺動装置は、固定床面に載置されるベースと、揺動が付与される揺動テーブルと、前記ベースに直交する規定の平面内で上端が連結部材を介して前記揺動テーブルを支持し、前記揺動テーブルに揺動を付与する複数のリンク機構を含む、揺動テーブル支持機構と、を備え、前記揺動テーブル支持機構は、前記各上端位置を前記規定の平面内で位置決め可能なリンク機構と、前記リンク機構と揺動テーブルとの間に介在し、前記揺動テーブルのリンク機構に対する回動および前記規定の平面に対して直交する方向への移動を許容する連結部材と、前記リンク機構を駆動するために前記ベースに固定設置されるモータと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
好適な態様では、前記リンク機構は、略「く」の字状に屈曲可能な一対のアーム体により構成される。他の好適な態様では、前記連結部材は、前記揺動テーブルの当該揺動テーブル面方向へのスライド移動を許容するスライド機構を含み、前記スライド機構のスライド方向は、上面視において、前記規定の平面に対して略直交方向である。
【０００９】
他の好適な態様では、前記スライド機構は、前記揺動テーブルに平行な軸回りの回動を許容する回動軸を介して前記リンク機構に連結されるとともに、前記揺動テーブルに直交する軸回りの回動を許容する回動軸を介して前記揺動テーブルに連結される。
【００１０】
他の好適な態様では、前記リンク機構が３以上である場合に、各リンク機構における前記規定の各平面は、その全てが平行ではない。この場合、前記複数のリンク機構は、前記ベースの長辺方向両端付近において同一線上に並ぶように設置され、かつ、互いに平行になるように設置された二つのリンク機構と、前記ベースの短辺方向端部付近に設置され、かつ、前記二つのリンク機構に対して略直交になるように設置された一つのリンク機構と、を含むことが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、モータはベースに固定設置されているため、当該モータの質量に関わらず、高い応答性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態である揺動装置の概略構成図である。
【図２】リンク機構周辺の正面図である。
【図３】各リンク機構の動きを上面から見た場合のイメージ図である。
【図４】モータの配置を上面から見た場合のイメージ図である。
【図５】他の実施形態である揺動装置の概略構成図である。
【図６】リンク機構周辺の正面図である。
【図７】リンク機構の他の配置例を示す図である。
【図８】リンク機構の他の配置例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態である揺動装置１０の概略構成図である。また、図２は、この揺動装置１０に用いられるリンク機構２０＿１，２０＿２，２０＿３（以下、特に区別しない場合は、添え数字を省略し「リンク機構２０」と呼ぶ。以下、他部材でも同様）の概略正面図である。
【００１４】
この揺動装置１０は、例えば、車両や航空機などのシミュレータや遊戯装置、人間の動特性測定装置、作業テーブル装置などに利用される装置で、三次元的に揺動する揺動テーブル１４の他に、当該揺動テーブル１４を支持する揺動テーブル支持機構や当該揺動テーブル支持機構が設置されるベース１２などを備えている。そして、揺動テーブル支持機構は、さらに、揺動テーブル１４を支持する複数のリンク機構２０や、リンク機構２０と揺動テーブル１４との間に介在する連結部材、リンク機構２０の駆動を制御する制御装置（図示せず）などを備えている。
【００１５】
揺動テーブル１４は、三次元的な揺動が付与されるテーブルである。車両の振動試験などを行う場合、当該揺動テーブル１４に、揺動対象物である車両などが連結される。この揺動テーブル１４の形状は、特に限定されないが、本実施形態では、略矩形の平板材を揺動テーブル１４として用いている。なお、当然ながら、軽量化などのために、揺動テーブル１４として、部位ごとに肉厚が異なるような板材を用いてもよい。
【００１６】
ベース１２は、床面などの固定面に設置される板材である。このベース１２の形状も特に限定されないが、本実施形態では、揺動テーブル１４とほぼ同形である略矩形の板材をベース１２として用いている。
【００１７】
このベース１２の上には、複数（本実施形態では三つ）のリンク機構２０が設置されている。この複数のリンク機構２０は、いずれも、同様の構成をしており、互いに協働して揺動テーブル１４を支持する。本実施形態では、モータ２６の質量に関わらず、応答性の高い揺動装置１０を提供するために、このリンク機構２０周辺の構成を特殊なものとしている。以下、各リンク機構２０周辺の構成について詳説する。
【００１８】
各リンク機構２０は、いずれも、同様の構成を有している。具体的には、各リンク機構２０は、屈曲自在な略「く」の字状のアーム体３１ａ，３１ｂ（以下、特に区別しない場合は添え字のアルファベットを省略し「アーム体３１」と呼ぶ。他部材も同様）を二つ、「く」の字が向かい合うように連結することで構成される略五角形リンク機構である。各アーム体３１は、二つのアーム、すなわち、上側アーム３４および下側アーム３２から構成されている。
【００１９】
上側アーム３４の下端は、中間連結軸３８を介して、下側アーム３２の上端に、回転自在に連結されており、両アーム３２，３４の成す角度（すなわち「く」の字の屈曲角度）は、適宜、変更できるようになっている。また、一つのアーム体３１ａの上側アーム３４ａの上端は、上端連結軸４０を介して、他のアーム体３１ｂの上側アーム３４ｂの上端に回転自在に連結されている。そして、これにより、一つの上側アーム３４ａと他の上側アーム３４ｂとが成す角度も、適宜、変更できるようになっている。下側アーム３２の下端は、下端連結軸３６を介して、ベース１２に固定設置されたモータ２６の出力軸に連結されている。そして、この下側アーム３２は、モータ２６の駆動、ひいては、出力軸の回転に伴い、下端連結軸３６を中心として、回動できるようになっている。
【００２０】
ここで、長さ一定のアーム３２，３４で連結されている関係上、各連結軸３６，３８，４０の距離関係は常に一定である。一方で、モータ２６の駆動に応じて、下側アーム３２の回動角度（傾斜角度）、ひいては、当該下側アーム３２の先端に設けられる中間連結軸３８の位置は、適宜、変更する。この中間連結軸３８の変位を許容しつつ、各連結軸間の距離関係を維持するために、下側アーム３２が回動した場合には、上側アーム３４も回動することになる。そして、その結果、リンク機構２０は、適宜、形状変形することになる。そして、このリンク機構２０の形状変形により、当該リンク機構２０の上端位置が変化することになる。ただし、この上端位置の変化は、当該リンク機構２０を構成する四つのアーム３２，３４を通る垂直平面（以下「リンク機構面」と呼ぶ）内での変化である。別の言い方をすれば、リンク機構２０の上端は、上下方向、および、二つのアーム体３１ａ，３１ｂの配設方向（図２における左右方向）には移動するが、モータの出力軸方向（図２における紙面垂直方向）には移動しないようになっている。
【００２１】
各下側アーム３２にはモータ２６が連結されている。モータ２６は、このリンク機構２０を駆動（変形）させる駆動源として機能するもので、各下側アーム３２ごとに設けられている。このモータ２６の出力軸は、直接的に、または、ギアなどを介して間接的に下端連結軸３６に連結されており、当該モータ２６の駆動に応じて下側アーム３２を回動、ひいては、リンク機構２０を形状変形できるようになっている。本実施形態では、このモータ２６を、ブランケットなどの金具を介してベース１２に固定設置している。そのため、モータ２６の重量が、リンク機構２０に荷重としてかかることはない。そして、その結果、揺動装置１０全体として応答性向上などを図ることができるが、これについては、後に詳説する。なお、各モータ２６の駆動は、制御装置により制御されており、この制御装置には、モータ２６に取り付けられたエンコーダでの検出値が入力される。
【００２２】
リンク機構２０の上端は、揺動テーブルのリンク機構に対する回動およびスライド移動を許容する連結部材を介して揺動テーブル１４に連結されている。連結部材は、より具体的には、回転ジョイント２４およびスライド機構２２から構成される。回転ジョイント２４は、連結軸４０の回転自由度を除く２自由度の回転軸、すなわち、図２における上下および左右方向に回転軸を持つジョイントである。そして、かかる回転ジョイント２４、および、連結軸４０の作用により、揺動テーブル１４が、リンク機構２０およびベース１２に対してＸ，Ｙ，Ｚ軸回りに回動できる。
【００２３】
回転ジョイント２４と揺動テーブル１４との間には、さらに、スライド機構２２が設けられている。スライド機構２２は、揺動テーブル１４を、当該揺動テーブル面方向にスライドさせる機構で、レールや移動ブロックなどを備えている。レールは、揺動テーブル１４の底面に固着された部材である。移動ブロックは、回転ジョイント２４、ひいては、リンク機構２０に連結されたブロック体である。この移動ブロックが、レールに沿って相対移動（実際にはレールが移動）することにより、揺動テーブル１４が当該揺動テーブル１４の面方向にスライド移動することになる。ここで、レールは、上面視で、その長軸、ひいては、スライド機構２２によるスライド方向が、リンク機構面に対してほぼ直交するように設置されている。ただし、当然ながら、回転ジョイント２４の作用により揺動テーブル１４がＺ軸回りに回転した場合、このスライド方向とリンク機構面との直交関係は多少変化する。
【００２４】
本実施形態では、以上のような構成のリンク機構２０を三つ設けている。第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２は、そのリンク機構面が互いに平行となるように、ベースのＸ軸方向両端付近の同一線上に対向配置されている。第三リンク機構２０＿３は、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２とは、そのリンク機構面がほぼ直交するように、ベース１２のＹ軸方向端部付近に配設されている。
【００２５】
次に、この揺動装置１０の動作について図１、図３、図４を参照して説明する。図３は、各リンク機構２０の動きを、図４はモータ２６の配置を、揺動装置１０の上面から見た場合のイメージ図である。なお、図３において、破線の矢印は、各リンク機構２０の可動方向を示しており、太実線の矢印はスライド機構２２の可動方向を示している。また、細実線の矢印は、回転ジョイント２４による回動方向を示している。なお、図３には図示できていないが、各回転ジョイント２４等の作用により揺動テーブル１４は、Ｘ軸回りの回動、および、Ｙ軸回りの回動も許容されている。
【００２６】
本実施形態の揺動装置１０は、適宜、モータ２６を駆動することにより、揺動テーブル１４に６自由度の揺動、すなわち、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向の直線運動およびＸ，Ｙ，Ｚ軸回りの回動を付与することができる。以下、この各揺動の付与について詳説する。なお、ここでは、理解を容易にするために、各揺動を単独で付与する場合についてのみ説明するが、これら各揺動は適宜、組み合わせて付与してもよい。
【００２７】
Ｘ軸方向の直線運動は、第三リンク機構２０＿３に対応するモータ２６を駆動して当該第三リンク機構２０＿３の上端をＸ軸方向に移動させることで揺動テーブル１４に付与される。このＸ軸方向の直線運動は、第一スライド機構２２＿１および第二スライド機構２２＿２により許容される。Ｙ軸方向の直線運動は、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２に対応するモータ２６を駆動して両リンク機構２０＿１，２０＿２の上端をＹ軸方向、同一向きに移動させることで揺動テーブルに付与される。このＹ軸方向の直線運動は、第三スライド機構２２＿３により許容される。Ｚ方向の直線運動は、三つのリンク機構２０＿１，２０＿２，２０＿３に対応するモータ２６を駆動して当該三つのリンク機構２０＿１，２０＿２，２０＿３の上端をＺ軸方向、同一向きに移動させることで揺動テーブル１４に付与される。
【００２８】
Ｘ軸回りの回動は、第一リンク機構２０＿１（または第二リンク機構２０＿２）の上端と、第三リンク機構２０＿３の上端と、に高低差を生じさせることで揺動テーブル１４に付与される。なお、各リンク機構に連結された回転ジョイント２４等は、このＸ軸回りの回動を許容するべく回動する。Ｙ軸回りの回動は、第一リンク機構２０＿１の上端と第二リンク機構２０＿２の上端とに高低差を生じさせることで揺動テーブル１４に付与される。なお、このＹ軸回りの回動を許容するべく、第三リンク機構２０＿３も、適宜、その上端高さを可変する。また、当該Ｙ軸回りの回動を許容するべく、各リンク機構２０＿１，２０＿２，２０＿３に連結された回転ジョイント２４等も回動する。Ｚ軸回りの回動は、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２の上端を、Ｙ軸方向逆向きに移動させることで揺動テーブルに付与される。例えば、第一リンク機構２０＿１の上端をＹ軸方向プラス側に、第二リンク機構２０＿２の上端をＹ軸方向マイナス側に移動させることで、Ｚ軸回りの回動が実現される。このＺ軸回りの回動時、当該回動に追従するべく第三リンク機構２０＿３はＸ方向に移動し、かつ、揺動テーブル１４は第三スライド機構２２＿３に沿ってスライドする。また、適宜、このＺ軸回りの回動を許容するべく、各リンク機構２０＿１，２０＿２，２０＿３に連結された回転ジョイント２４等も回動するようになっている。
【００２９】
以上、説明したとおり、本実施形態の揺動装置１０によれば、６自由度の揺動を揺動テーブル１４に付与することができる。ところで、これまでの説明で明らかなとおり、本実施形態では、リンク機構２０は、リンク機構面内でのみ移動し、各軸回りの回動およびリンク機構面に直交する方向への移動は、リンク機構２０の上端に連結された回転ジョイント２４およびスライド機構２２で担保している。換言すれば、本実施形態において、リンク機構２０は、形状変形はするものの、その設置位置やリンク機構面の角度は不変である。そのため、リンク機構２０を駆動するモータ２６を位置固定とすることができ、結果として、応答性の向上や、大重量のモータを利用することが可能となる。
【００３０】
すなわち、特許文献１記載のような従来技術においては、リンク機構全体が水平軸回りに回動するようになっていた。換言すれば、リンク機構面が角度可変となっていた。このリンク機構面の角度可変を許容するために、当該リンク機構を駆動するモータも、当該リンク機構とともに回動するようになっていた。別の見方をすれば、従来技術において、モータは、ベースから浮いて、リンク機構にぶら下がった状態となっていた。
【００３１】
この場合、リンク機構には、当然ながら、モータの質量が前記水平軸回りの慣性モーメントとして付加される。このモータ質量がリンク機構を高速動作させる際の応答に影響し、所望の揺動状態を実現することが困難になる場合があった。また、従来技術では、モータにかかる重力成分によりリンク面に曲げモーメントが発生する。この曲げモーメントは、当然ながら、モータの質量が大きいほど大きくなり、装置の安定性の低下や制御精度の低下などが生じやすくなる。そのため、従来技術では、質量が大きくなる大出力モータの採用が困難であり、ひいては、被揺動物の質量増加への対応が困難であった。
【００３２】
一方、本実施形態では、既述したとおり、リンク機構２０は、その設置位置やリンク機構面の角度は不変であるため、当該リンク機構２０を駆動するモータ２６を位置固定とすることができる。そして、モータ２６が位置固定の場合には、当該モータ２６をリンク機構２０にぶら下げる必要は無く、ベース１２に固定設置させることができる。モータ２６をベース１２に固定設置することで、当該モータ２６の質量が負荷としてリンク機構２０に作用することが無くなり、結果として、リンク機構２０の応答性を向上させることができる。また、モータ２６をベース１２で支持する構成としているため、当該モータ２６の質量が増加したとしても、リンク機構２０に悪影響を与えることは殆どない。そのため、質量が大きくなる大出力モータの採用も可能となり、ひいては、より大重量の物品を揺動させることが可能となる。
【００３３】
なお、これまで説明した構成は一例であり、２以上のリンク機構２０と、各リンク機構２０と揺動テーブル１４との間に介在する４自由度（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸回りの回動、および、リンク機構面に直交する方向への移動）の連結部材と、を備えるのであれば、他の構成は、適宜、変更されてもよい。
【００３４】
例えば、上述の実施形態では、スライド機構２２のレールは揺動テーブル１４に固着しているが、図５、図６に図示するように、スライド機構２２のレールと揺動テーブル１４との間にＺ軸回りの回動を許容するＺ回転軸２４ｚを介在させるようにしてもよい。
【００３５】
この場合、スライド機構２２の移動ブロックは、Ｘ軸回りの回動を許容するＸ回転軸２４ｘおよびＹ軸回りの回動を許容するＹ回転軸２４ｙを介してリンク機構の上端に連結される。別の見方をすれば、スライド機構２２は、リンク機構２０に対してＸ軸回りおよびＹ軸回りの回動が許容されている。一方で、Ｚ軸回りの回動を許容するＺ回転軸２４ｚは、レールの上面に連結されているため、当該レール（スライド機構２２）は、リンク機構２０に対してＺ軸回りに回動することはできない。換言すれば、この構成の場合、上面視において、スライド機構２２のスライド方向とリンク機構面との角度関係は常に不変であり、両者は互いに直交する関係を常に保っている。その結果、揺動を付与する際におけるリンク機構２０の駆動制御を、上述の実施形態に比して、単純化することができ、ひいては、制御に関するプログラム等を簡易化することができる。
【００３６】
また、これまでの説明では、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２を同一線上に配置、換言すれば、スライド機構２２のスライド軸が同一線上になるように配置している。しかし、図７に図示するように、スライド機構２２のスライド軸が同一線上にならないように、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２をずらしてもよい。かかる構成とすることで、スペースを、より効率的に利用することができる場合がある。
【００３７】
すなわち、被揺動物の大重量化に伴い、モータ２６を大型化した場合、図４に図示するように、同一線上に二つのモータ２６を並べることは困難な場合がある。かかる場合には、図７に図示するように、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２をずらして配置するようにすればよい。
【００３８】
また、これまでの説明では、第一リンク機構２０＿１および第二リンク機構２０＿２を、そのリンク機構面が略平行となるように配置していたが、これらリンク機構面を非平行としてもよい。例えば、図８に図示するように、三つのリンク機構２０＿１，２０＿２，２０＿３を１２０度対称の位置に、換言すれば、三つのリンク機構面が１２０度ずつ順に異なるように配置してもよい。また、複数のリンク機構２０のリンク機構面が全て平行でないのであれば（換言すれば、一つでも他のリンク機構２０と非平行のリンク機構２０が存在するのであれば）、他の配置を採用してもよい。いずれにしても、ベース１２の形状や、モータ２６のサイズなどに応じて、適宜、リンク機構２０の配置を変更することで、スペースをより有効に利用できる。
【００３９】
また、これまでの説明では、リンク機構２０を三つ設ける場合のみを例示してきたが、リンク機構２０は、２以上であれば、いくつであってもよい。なお、リンク機構２０の数がいくつであったとしても、全てのリンク機構２０のリンク機構面が平行の場合には、６自由度の揺動を付与することはできない。したがって、リンク機構２０が３以上の場合は、リンク機構面の全てが平行でないことが必要である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  揺動装置、１２  ベース、１４  揺動テーブル、２０  リンク機構、２２  スライド機構、２４  回転ジョイント、２６  モータ、３１  アーム体、３２  下側アーム、３４  上側アーム、３６，３８，４０  連結軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010264515.tif 000009
【図８】
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