(57)【要約】【課題】下面が平面形状でないスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペーストの拭き取りを行うことができるスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。【解決手段】マスク３の下面に摺擦されるペーパー部材２５と、上端部に取り付けられた弾性体部材２３を介してペーパー部材２５をマスク３の下面に押し付けるバックアップ部材２２を備え、弾性体部材２３を介してペーパー部材２５をマスク３の下面に押し付けたバックアップ部材２２をマスク３に対して相対移動させることによりマスク３の下面にペーパー部材２５を摺擦させてマスク３の下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行う。【選択図】図４
2010280088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置であって、
スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦されるペーパー部材と、
上端部に取り付けられた弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けるバックアップ部材と、
弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けたバックアップ部材をスクリーン印刷用マスクに対して相対移動させることによりスクリーン印刷用マスクの下面にペーパー部材を摺擦させてスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置。
【請求項２】
バックアップ部材の上端部に取り付けられた弾性体部材は、バックアップ部材の上端部の外周を取り囲んで設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置。
【請求項３】
バックアップ部材の上端部に取り付けられた弾性体部材は、ペーパー部材との接触面が平面状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置。
【請求項４】
基板に設けられた電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機であって、
基板に接触して用いられ、基板の電極に対応するパターン孔が形成されたスクリーン印刷用マスクと、
スクリーン印刷用マスクに形成されたパターン孔と基板の電極を合致させた状態でスクリーン印刷用マスク上にペーストを供給し、その後スクリーン印刷用マスクと基板を相対的に離間させることによって電極にペーストを印刷する印刷実行手段と、
スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置とを備え、
スクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦されるペーパー部材と、上端部に取り付けられた弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けるバックアップ部材と、弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けたバックアップ部材をスクリーン印刷用マスクに対して相対移動させることによりスクリーン印刷用マスクの下面にペーパー部材を摺擦させてスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段とを有することを特徴とするスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置及びスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板の電極に半田ペースト等のペーストを印刷するときに基板に接触させて用いられるスクリーン印刷用マスク（以下、単にマスクと称する）では、版抜けをした後にマスクに付着したペーストを拭き取って次のスクリーン印刷に備える必要がある。このようなマスクに付着したペーストの拭き取りを行うためのクリーニング装置では、バックアップ部材の上面でペーパー部材の所定領域（摺擦領域）をマスクの下面に押し付けたうえで、そのバックアップ部材をスクリーン印刷用マスクの下面に対して相対移動させ、ペーパー部材をスクリーン印刷用マスクに対して摺擦させることによって、スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うようになっている（例えば特許文献１）。また、バックアップ部材の内部には上方に開口する空気吸引管路が設けられており、この空気吸引管路からペーパー部材の摺擦領域を介して空気を真空吸引することにより、マスクの下面に付着したペーストをペーパー部材側に吸い出すことができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−６６８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、クリーニング装置に備えられるバックアップ部材はアルミニウム等の金属材料から形成されることから、マスクの下面（すなわちペーパー部材が摺擦される面）が平面形状でない場合、例えば、比較的大型のサイズのスクリーン印刷用マスクがその自重によって下方に撓んで凸形状となっているような場合には、バックアップ部材の上端部がマスクの形状に追従できず、ペーパー部材をマスクの下面に密着させることができないためにペーストの拭き取り効果が低下するという問題点があった。また、ペーパー部材をマスクの下面に密着させることができないことから、空気の吸引によるペーストの吸い出し効果が低下してしまうおそれがあるという問題点もあった。
【０００５】
そこで本発明は、下面が平面形状でないスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペーストの拭き取りを行うことができるスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置であって、スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦されるペーパー部材と、上端部に取り付けられた弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けるバックアップ部材と、弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けたバックアップ部材をスクリーン印刷用マスクに対して相対移動させることによりスクリーン印刷用マスクの下面にペーパー部材を摺擦させてスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段とを備えた。
【０００７】
請求項２に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、請求項１に記載のス
クリーン印刷用マスクのクリーニング装置であって、バックアップ部材の上端部に取り付けられた弾性体部材は、バックアップ部材の上端部の外周を取り囲んで設けられている。
【０００８】
請求項３に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置であって、バックアップ部材の上端部に取り付けられた弾性体部材は、ペーパー部材との接触面が平面状に形成されている。
【０００９】
請求項４に記載のスクリーン印刷機は、基板に設けられた電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機であって、基板に接触して用いられ、基板の電極に対応するパターン孔が形成されたスクリーン印刷用マスクと、スクリーン印刷用マスクに形成されたパターン孔と基板の電極を合致させた状態でスクリーン印刷用マスク上にペーストを供給し、その後スクリーン印刷用マスクと基板を相対的に離間させることによって電極にペーストを印刷する印刷実行手段と、スクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置とを備え、スクリーン印刷用マスクのクリーニング装置は、スクリーン印刷用マスクの下面に摺擦されるペーパー部材と、上端部に取り付けられた弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けるバックアップ部材と、弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けたバックアップ部材をスクリーン印刷用マスクに対して相対移動させることによりスクリーン印刷用マスクの下面にペーパー部材を摺擦させてスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段とを有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、バックアップ部材の上端部に設けられた弾性体部材を介してペーパー部材をスクリーン印刷用マスクの下面に押し付けるようになっており、弾性体部材を弾性変形させてスクリーン印刷用マスクの形状に追従させることができることから、下面が平面形状でないスクリーン印刷用マスクであっても、その下面にペーパー部材を密着させることができ、効率的にペーストの拭き取りを行うことができる。また、バックアップ部材の内部に設けられた空気吸引管路からペーパー部材の摺擦領域を介して空気を吸引することによりスクリーン印刷用マスクの下面に付着したペーストをペーパー部材側に吸い出すようになっている場合には、ペーパー部材をマスクの下面に密着させることができることから、空気の吸引時における空気漏れが少なくなり、ペーストの吸い出し効果を向上させることができるので、この面からもペーストの拭き取り効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の概略構成図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とする基板の（ａ）平面図（ｂ）側断面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクの（ａ）平面図（ｂ）側断面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の一部の（ａ）斜視図（ｂ）断面図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の一部の分解斜視図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１において、本実施の
形態におけるスクリーン印刷機１は、印刷対象物である基板ＰＢを保持する基板保持部２、基板保持部２によって保持された基板ＰＢの上方に水平に設けられた矩形形状のスクリーン印刷用マスク（以下、単にマスク）３、マスク３の上方に設けられたペースト供給ヘッド４、マスク３の下面に下方から接触してスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷の実行後にマスク３のクリーニングを行うクリーニング装置５を備えて構成されている。以下、説明の便宜上、図１の紙面に垂直な方向をＸ軸方向、図１の紙面左右方向をＹ軸方向、図１の紙面上下方向をＺ軸方向とする。
【００１３】
図２（ａ），（ｂ）において基板ＰＢの上面には複数の電極ｄが設けられている。基板保持部２は水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられており、保持した基板ＰＢをマスク３の下方の任意の位置に位置決めすることができる。
【００１４】
図１及び図３（ａ），（ｂ）において、マスク３は四辺を枠部材３ｗによって支持されており、枠部材３ｗによって囲まれた矩形の領域には、基板ＰＢの上面に設けられた複数の電極ｄに対応する複数のパターン孔ｈが設けられている。
【００１５】
図１において、ペースト供給ヘッド４はマスク３に対して水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられたヘッド本体１１と、ヘッド本体１１の下部に設けられてＹ軸方向に対向する２つのガイド部材１２を備えて成る。各ガイド部材１２はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、ヘッド本体１１に内蔵されたペーストカートリッジ（図示せず）より下方に供給（圧送）される半田ペーストや導電性ペースト等のペーストがマスク３上の目的とする箇所に集中して供給されるようにガイドをする。
【００１６】
図１においてクリーニング装置５は、水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられたケース状のベース部２１と、ベース部２１内に設けられ、上方に開口した長方形枠形状のノズル部２２ａを有したバックアップ部材２２と、バックアップ部材２２の上端部（ノズル部２２ａ）の外周を取り囲んで設けられた弾性体部材２３と、バックアップ部材２２を挟んでＹ軸方向に対向して配置されたＸ軸回りに回転自在な一対の巻き取りローラ２４と、一対の巻き取りローラ２４に掛け渡されたペーパー部材２５と、一対の巻き取りローラ２４の間においてバックアップ部材２２を挟んでＹ軸方向に対向して配置されたＸ軸回りに回転自在な一対の案内ローラ２６を備えて成る。
【００１７】
図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ），（ｂ）において、弾性体部材２３はバックアップ部材２２のノズル部２２ａの長辺部に沿って設けられた一対の弾性体部材２３ａと、ノズル部２２ａの短辺部に沿って設けられた一対の弾性体部材２３ｂから成り、これら４つの弾性体部材２３はそれぞれ複数の締結具Ｂによってノズル部２２ａの側面に取り付けられるプレート状の押さえ部材２３ｐに押さえられてノズル部２２ａの外周面に取り付けられている。各弾性体部材２３は隣接するもの同士と端部を接触又は近接させており、４つの弾性体部材２３は全体として閉じた形状（上方から見て閉じた枠形状）をなしている。
【００１８】
ペーパー部材２５はその上面が粘着面となっており、一対の案内ローラ２６の間の４つの弾性体部材２３によって支持される水平な領域は、マスク部材３の下面に下方から摺擦される摺擦領域２５ａとなっている。各弾性体部材２３はその上面であるペーパー部材２５との接触面２３ｓ（図４（ｂ）中の拡大図）が水平な平面状になっており、各弾性体部材２３はペーパー部材２５と面接触できるようになっている。
【００１９】
ペーパー部材２５の摺擦領域２５ａは、一対の巻き取りローラ２４を同方向に駆動してペーパー部材２５を巻き取ることによって更新することができる。また、図４（ｂ）にお
いて、バックアップ部材２２には上下に貫通する空気吸引管路２２ｂが設けられており、この空気吸引管路２２ｂ内に真空圧を供給することにより、ペーパー部材２５の摺擦領域２５ａを介して空気吸引管路２２ｂ内に空気を吸引することができるようになっている。
【００２０】
基板保持部２の水平面内方向移動及び上下方向移動による基板ＰＢのマスク３に対する位置決め動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置３０（図１）が図示しないアクチュエータ等から成る基板位置決め機構３１（図１）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２１】
ペースト供給ヘッド４のヘッド本体１１の水平面内方向移動及び上下方向移動によるペースト供給ヘッド４のマスク３に対する位置決め動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給ヘッド移動機構３２（図１）の作動制御を行うことによってなされ、ペースト供給ヘッド４からのペーストの供給動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構３３（図１）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２２】
クリーニング装置５のベース部２１の水平面内方向移動及び上下方向移動によるクリーニング装置５のマスク３に対する位置決め及び相対移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るクリーニング装置移動機構３４（図１）の作動制御を行うことによってなされる。また、一対の巻き取りローラ２４によるペーパー部材２５の巻き取り動作（ペーパー部材２５の摺擦領域２５ａの更新動作）は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るペーパー部材巻き取り機構３５（図１）の作動制御を行うことによってなされる。また、空気吸引管路２２ｂ内に真空圧を供給して行うペーパー部材２５の摺擦領域２５ａを介した空気の吸引動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構３６の作動制御を行うことによってなされる。
【００２３】
このスクリーン印刷機１による基板ＰＢへのスクリーン印刷実行工程では、制御装置３０は先ず、マスク３のパターン孔ｈと基板保持部２に保持された基板ＰＢの電極ｄが上下に対応するように基板ＰＢを移動させた後（図６（ａ））、基板ＰＢを上昇させて基板ＰＢの上面とマスク３の下面を接触させる（図６（ｂ））。これによりマスク３のパターン孔ｈと基板ＰＢの電極ｄとが上下に合致する（位置合わせ工程）。
【００２４】
制御装置３０は、基板ＰＢの上面とマスク３の下面を接触させたら、ペースト供給ヘッド４のガイド部材１２をマスク３の上面に接触させたうえでペースト供給機構３３を作動させ、基板ＰＢの上面にペーストＰＴを供給する（図６（ｃ）。ペースト供給工程）。これによりマスク３のパターン孔ｈを介して電極ｄ上にペーストＰＴが供給されるので、その後基板ＰＢとマスク３を上下方向に相対的に離間させれば（版抜け工程）、各電極ｄにペーストＰＴが印刷（転写）される（図６（ｄ））。
【００２５】
制御装置３０は、上記のスクリーン印刷実行工程を終了したら、クリーニング装置５によりマスク３の下面のクリーニングを行う。このマスク３の下面のクリーニングでは、制御装置３０は、図７（ａ）に示すように、クリーニング装置移動機構３４の作動制御を行って、マスク３の下面にクリーニング装置５のペーパー部材２５の摺擦領域２５ａを接触させたうえで、ベース部２１を水平面内方向（ここではＹ軸方向）に移動させる（図７（ａ）中に示す矢印Ｄ）。これにより、マスク３の下面に付着していたペーストＰＴ（ペーストＰＴの残り滓ＤＳ。図６（ｄ）参照）はペーパー部材２５の摺擦領域２５ａにくっつくので、マスク３の下面からペーストＰＴを拭き取ることができる（ペースト拭き取り工程）。
【００２６】
このペースト拭き取り工程では、ペーパー部材２５の摺擦面２５ａは、バックアップ部
材２２の上端部に設けられた弾性体部材２３を介してマスク３の下面に押し付けられるが、弾性体部材２３はマスク３の形状に追従するように弾性変形してペーパー部材２５をマスク３の下面に押し付けるため、図７（ｂ）に示すように、マスク３がその自重によって下方に撓んで凸形状となり、下面が平面形状でなくなっているマスク３であっても、その下面にペーパー部材２５を密着させることができ、効率的にペーストＰＴの拭き取りを行うことができる。また、前述のように、各弾性体部材２３はその上面であるペーパー部材２５との接触面２３ｓが平面状に形成されているので、ペーパー部材２５を広い面積でマスク３に押し付けて摺擦させることができ、効率よくペーストＰＴの拭き取りを行うことができる。また、弾性体部材２３はバックアップ部材２２の上端部（ノズル部２２ａ）の外周を取り囲んで設けられているので、その分、ペーパー部材２５とマスク３の下面との接触面積が増大し、このことによってもペーパー部材２５は広い面積でマスク３に押し付けられる。
【００２７】
また制御装置３０は、上記ペースト拭き取り工程におけるペーストＰＴの拭き取りの際には、吸引機構３６の作動制御を行い、空気吸引管路２２ｂからペーパー部材２５の摺擦領域２５ａを介して空気を真空吸引するようにする。これによりマスク３の下面に付着したペーストＰＴはペーパー部材２５側に吸い出されるようになるので、ペーストＰＴの拭き取りを一層効果的に行うことができるようになる。ここで、弾性体部材２３はバックアップ部材２２の上端部（ノズル部２２ａ）の外周を取り囲んで設けられているので、マスク３の下面のペーストＰＴの吸い出し対象領域を密閉状態にしてペーストＰＴの吸い出しを行うことができる。
【００２８】
制御装置３０は、ペーパー部材２５の摺擦面２５ａにくっついたペーストＰＴの残り滓ＤＳが多くなってきた頃に、ペーパー部材巻き取り機構３５を作動させてペーパー部材２５の巻き取りを行い、ペーパー部材２５の摺擦領域２５ａを更新するようにする。
【００２９】
なお、基板３の中にはその上面だけでなく、上面から窪んだ開口部（キャビティ部）の底面にも電極が設けられているもの（いわゆるキャビティ基板）が知られているが、このようなキャビティ基板に対応するマスクはキャビティ部に嵌合する形状の凸状部が下面に形成されたものとなるので、マスク３が自重によって下方に撓んで凸形状となっている場合と同様のペーストＰＴの拭き取り効率の問題が生じ得る。しかし、本実施の形態におけるクリーニング装置５によれば、バックアップ部材２２の上端部に取り付けられた弾性体部材２３が弾性変形することによってマスク３の下面に形成された凸状部に倣うので、自重によって下方に凸形状となっているマスク３の場合と同様、キャビティ基板に対応するマスクに対しても、その下面から効率よくペーストＰＴを拭き取ることができる。
【００３０】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷用マスク３のクリーニング装置５は、マスク３の下面に摺擦されるペーパー部材２５と、上端部に取り付けられた弾性体部材２３を介してペーパー部材２５をマスク３の下面に押し付けるバックアップ部材２２と、弾性体部材２３を介してペーパー部材２５をマスク３の下面に押し付けたバックアップ部材２２をマスク３に対して相対移動させることによりマスク３の下面にペーパー部材２５を摺擦させてマスク３の下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行うペーパー部材摺擦手段（クリーニング装置移動機構３４及び制御装置３０）を備えたものとなっている。
【００３１】
このように、本実施の形態では、バックアップ部材２２の上端部に設けられた弾性体部材２３を介してペーパー部材２５をマスク３の下面に押し付けるようになっており、弾性体部材２３を弾性変形させてマスク３の形状に追従させることができることから、下面が平面形状でないマスク３であっても、その下面にペーパー部材２５を密着させることができ、効率的にペーストＰＴの拭き取りを行うことができる。
【００３２】
また、本実施の形態のように、バックアップ部材２２の内部に設けられた空気吸引管路２２ｂからペーパー部材２５の摺擦領域２５ａを介して空気を吸引することによりマスク３の下面に付着したペーストＰＴをペーパー部材２５側に吸い出すようになっている場合には、ペーパー部材２５をマスク３の下面に密着させることができることから、空気の吸引時における空気漏れが少なくなり、ペーストＰＴの吸い出し効果を向上させることができるので、この面からもペーストＰＴの拭き取り効率を向上させることができる。
【００３３】
また、本実施の形態におけるクリーニング装置５では、弾性体部材２３はその上面であるペーパー部材２５との接触面２３ｓが平面状に形成されているので、ペーパー部材２５を広い面積でマスク３に押し付けて摺擦させることができ、その分、ペーストＰＴの拭き取り効率を向上させることができる。
【００３４】
また、弾性体部材２３はバックアップ部材２２の上端部（ノズル部２２ａ）の外周を取り囲んで設けられているので、これによってペーパー部材２５とマスク３の下面との接触面積を増大させることができるだけでなく、マスク３の下面のペーストＰＴの吸い出し対象領域を密閉状態にしてペーストＰＴの吸い出しを行うことができるので、ペーストＰＴの拭き取り効率を一層向上させることができる。
【００３５】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＴに接触して用いられ、基板ＰＢの電極ｄに対応するパターン孔ｈが形成されたマスク３と、マスク３に形成されたパターン孔ｈと基板ＰＢの電極ｄを合致させた状態でマスク３上にペーストＰＴを供給し、その後マスク３と基板ＰＢを相対的に離間させることによって電極ｄにペーストＰＴを印刷する印刷実行手段（ペースト供給ヘッド４、基板保持部２、ペースト供給機構３３、基板位置決め機構３１及び制御装置３０）と、マスク３の下面に付着したペーストＰＴの拭き取りを行う上記クリーニング装置５を備えたものとなっている。このようなスクリーン印刷機１では、効率よくペーストＰＴの拭き取りを行うことができるクリーニング装置５を備えているので、マスク３のクリーニングに要する時間を短縮することができ、基板ＰＢの生産性を向上させることができる。
【００３６】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、バックアップ部材２２の上端部（ノズル部２２ａ）の外周を取り囲んで設けられる弾性体部材２３は複数の部材（ノズル部２２ａの長辺部に沿って設けられた一対の弾性体部材２３ａ及びノズル部２２ａの短辺部に沿って設けられた一対の弾性体部材２３ｂ）から成るものであったが、これは一例であり、閉じた枠形状をなす断面形状を有する１つの弾性体部材２３をバックアップ部材２２に上方から嵌め込んで取り付ける構成のもの等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
下面が平面形状でないスクリーン印刷用マスクに対して効率よくペーストの拭き取りを行うことができるスクリーン印刷用マスクのクリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供する。
【符号の説明】
【００３８】
１  スクリーン印刷機
２  基板保持部（印刷実行手段）
３  スクリーン印刷用マスク
４  ペースト供給ヘッド（印刷実行手段）
５  クリーニング装置
２２  バックアップ部材
２３  弾性体部材
２３ｓ  接触面
２５  ペーパー部材
３０  制御装置（ペーパー部材摺擦手段、印刷実行手段）
３１  基板位置決め機構（印刷実行手段）
３３  ペースト供給機構（印刷実行手段）
３４  クリーニング装置移動機構（ペーパー部材摺擦手段）
ｈ  パターン孔
ＰＴ  ペースト
ＰＢ  基板
ｄ  電極
【図１】
2010280088.tif 000003
【図２】
2010280088.tif 000004
【図３】
2010280088.tif 000005
【図４】
2010280088.tif 000006
【図５】
2010280088.tif 000007
【図６】
2010280088.tif 000008
【図７】
2010280088.tif 000009