(57)【要約】【課題】底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供する。【解決手段】基板４０を収納するカセット１００であって、内部に基板４０が配置されるカセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面１５に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とを備え、底板２０とカセット本体部１０とは互いに分離可能であり、カセット本体部１０は、底面開口部１４の下方に凹部３２を有する置台３０の上に配置され、凹部３２は、カセット本体部１０が置台３０の上に配置された際に底板２０を収納可能であり、且つ、凹部３２の一部には、底板台３４が形成されている、カセット１００である。【選択図】図２
2010182965.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納するカセットであって、
内部に基板が配置されるカセット本体部と、
前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、
前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、
前記カセット本体部の底面に配置されて、前記底面開口部を塞ぐ底板と
を備え、
前記底板と前記カセット本体部とは互いに分離可能であり、
前記カセット本体部は、前記底面開口部の下方に位置する置台の上に配置され、
前記置台は、前記底面開口部の下方に凹部を有しており、
前記凹部は、前記カセット本体部が置台の上に配置された際に前記底板を収納可能であり、且つ、
前記凹部の一部には、前記底板を支える底板台が形成されている、カセット。
【請求項２】
前記凹部において、前記底板台の下方には、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入される空間が設けられている、請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、
前記基板は、ガラス基板であり、
前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、
前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させるローラーコンベアが挿入される、請求項１または２に記載のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納するカセットに関し、特に、フラットパネルディスプレイ（例えば、液晶パネル）の製造方法に用いる薄型の基板（例えば、ガラス基板）を収納するカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の構成部品である液晶パネルは、一対のガラス基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。液晶パネルの大型化・量産化に伴って、液晶パネル用のガラス基板は年々大型化している。このような次世代の大型液晶ガラス基板を搬送する基板搬送システムでは、液晶ガラス基板を多段収納する収納カセットが用いられる（例えば、特許文献１〜３など）。
【０００３】
ガラス基板を収納した収納カセットは、クリーンルーム内の製造工程において液晶パネル製造装置の載置部から別の製造装置の載置部へガラス基板を搬送したり保管したりするのに用いられる。また、収納カセットは、液晶パネル製造装置の載置部とカセット保管庫の保管部との間でガラス基板を搬送・保管したりすることにも用いられる。
【０００４】
クリーンルーム内の雰囲気は十分な空気清浄度が確保されているが、収納カセットの搬送・保管時に作業者や床面などから飛散したゴミなどの異物が基板表面に付着したり、基板処理時の有機ガスなどのミストがクリーンルーム内を浮遊して基板表面に付着することがある。そして、異物やミストが付着したまま、基板をプロセス処理すると液晶パネルの品質が低下するおそれがある。そのため、ガラス基板は、収納カセットの中で遮蔽された状態にして、異物などが付着しないよう搬送・保管を行うようにされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１５９９７号公報
【０００６】
【特許文献２】特開２００５−１４２４８０号公報
【０００７】
【特許文献３】特開２００５−１４５６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年のガラス基板の大型化に伴って、棚片の張り出し形式の収納カセットでは、ガラス基板を支持する棚片の面積が小さいために、大型のガラス基板を収納する場合には、その重量によってガラス基板に歪みが発生する場合がある。したがって、そのような形式の収納カセットでは、大型のガラス基板に使用することができない。
【０００９】
そこで、最近では、大型のガラス基板を収納・搬送する場合、そのような歪みを抑制する上で、収納カセットの内壁に前後並列してワイヤーを多段的に配置したワイヤーカセットが用いられることがある。
【００１０】
しかしながら、ワイヤーカセットを用いてガラス基板を収納・搬送する場合、ワイヤーカセットの下面には、ローラーコンベアを挿入するための開口部があり、それゆえに、密閉性が確保されていない。ガラス基板を収容したワイヤーカセットを常にクリーンルームに置いておく場合には、ワイヤーカセットの下面が密閉していない点の問題は少ないが、ガラス基板を搬送する点でいえば、常時、クリーンルーム中だけでワイヤーカセットを用いることができない場合もある。そのような状況の中、ワイヤーカセットの底面の開口を簡単に密閉できる構造は技術的に大きな価値を提供することができる。
【００１１】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、底面を簡便に密閉及び開放できるカセット構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るカセットは、基板を収納するカセットであり、内部に基板が配置されるカセット本体部と、前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、前記カセット本体部の底面に配置されて、前記底面開口部を塞ぐ底板とを備え、前記底板と前記カセット本体部とは互いに分離可能であり、前記カセット本体部は、前記底面開口部の下方に位置する置台の上に配置され、前記置台は、前記底面開口部の下方に凹部を有しており、前記凹部は、前記カセット本体部が置台の上に配置された際に前記底板を収納可能であり、且つ、前記凹部の一部には、前記底板を支える底板台が形成されている。
ある好適な実施形態では、前記凹部において、前記底板台の下方には、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入される空間が設けられている。
ある好適な実施形態において、前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、前記基板は、ガラス基板であり、前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させるローラーコンベアが挿入される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るカセットによれば、カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、底面開口部を塞ぐ底板とを備え、カセット本体部が配置される置台の凹部は底板を収納可能であり、凹部の一部には底板台が形成されている。それゆえ、カセット本体部を置台の上に載せることによって、カセット本体部の底面開口部を簡便に密閉および開放できるカセット構造を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の側面構成を示す断面図である。
【図３】ワイヤーカセット１００の底面構成を示す図である。
【図４】底面周縁部位１５ａと底板２０の周辺を拡大した図である。
【図５】ワイヤーカセット１００の搬送ステップを説明するための平面図である。
【図６】ワイヤーカセット１００を運ぶ搬送ビークル７０の模式図である。
【図７】ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための工程断面図である。
【図８】ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための工程断面図である。
【図９】比較例のワイヤーカセット１１００の断面図である。
【図１０】比較例のワイヤーカセット１２００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。
【００１６】
まず、図１から図４を参照しながら、本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００について説明する。
【００１７】
図１は、本実施形態のワイヤーカセット１００の全体構成を模式的に示す斜視図である。本実施形態のワイヤーカセット１００は、ワイヤーによって基板４０を支持することによって、基板４０を収納することができる収納カセットである。なお、図１においては、ワイヤーは図示していない。また、矢印５０は重力方向（鉛直方向）を表している。
【００１８】
本実施形態の基板４０は、例えば、液晶パネル用のガラス基板である。このガラス基板４０は、液晶パネルの寸法に切り出す前のマザーガラスであってもよいし、切り出した後の液晶パネルのサイズのガラスであってもよい。さらに、ガラス基板４０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が作製されるアレイ基板（またはその作製途中のもの）であってもよいし、カラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板（またはその作製途中のもの）であってもよい。
【００１９】
また、基板４０は、ガラス基板の他、ウェハのような他の薄板であっても構わない。加えて、液晶パネル用の基板４０に限らず、ＰＤＰ、有機ＥＬパネル、その他フラットパネルディスプレイを製作する上での薄型の基板（ガラスに限らず、シート状のものでワイヤーカセットに保管され得るもの）であってもよい。
【００２０】
本実施形態のワイヤーカセット１００は、カセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とから構成されている。カセット本体部１０の内部には、基板４０を配置することができる。また、カセット開口部１２からは、基板４０を出し入れすることができる。なお、カセット開口部１２には、その開口を塞ぐパネル（不図示）を配置することができる。
【００２１】
底板２０は、カセット本体部１０の底面１５に配置される。また、底板２０は、カセット本体部１０とは分離可能な状態である。具体的には、底板２０とカセット本体部１０とは、接着や溶接などの手段によって一体化されておらず、底板２０の底に置台または地面が存在している場合、あるいは、底板２０の底が、カセット本体部１０の搬送用のアームなどによって支えられている場合に、カセット本体部１０の底面１５に底板２０が位置付けられる。
【００２２】
図２は、本実施形態のワイヤーカセット１００の側面構成を模式的に示す断面図である。図２に示した例では、カセット本体部１０の内部には、基板４０を支持するワイヤー６０が配列されている。具体的には、一枚の基板４０を複数本のワイヤー６０で支持し、その複数本のワイヤー６０が多段に配列されている。ワイヤー６０が多段に配列されていることによって、カセット本体部１０の内部にガラス基板４０を多段に収納することができる。
【００２３】
この例では、基板４０を４段収納しているが、基板４０の収納の枚数は、ワイヤー６０の段数に対応し、その段数は適宜好適なものを設定することができる。また、ワイヤー６０は、カセット本体部１０の内部の対向する壁面（内壁）の間に張られており、その張力で基板４０を支持している。
【００２４】
図３は、ワイヤーカセット１００を底面側から見た模式図である。ワイヤーカセット１００のカセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４は、図３に示すように底板２０によって塞がれ得る。また、底板２０は、昇降アーム３５によって支えられる。なお、底面開口部１４には、底板２０が外された時には、基板４０を出し入れするローラーコンベア（不図示）を挿入することができる。ローラーコンベアは、ワイヤー６０の間から基板４０に接触して、そして、基板４０をカセット開口部１２から払い出す機能を有している。
【００２５】
再び図２を参照する。本実施形態のカセット本体部１０は、置台３０の上に配置される。具体的には、カセット本体部の底面１５のうち底面開口部１４を除く部位（底面周縁部位）１５ａが置台３０の上面３０ａに接触する。置台３０は、カセット本体部１０の底面開口部１４の下方に凹部３２を有している。
【００２６】
本実施形態では、凹部３２の開口幅Ｗ１が底板２０の幅Ｗ２よりも大きくなるように、凹部３２は構成されている。したがって、底板２０（図２中の「２０Ａ」）を介してカセット本体部１０を支えていた昇降アーム３５（図２中の「３５Ａ」）が、矢印５１のように下方に移動すると、昇降アーム３５の上に乗っていた底板２０もあわせて下方に移動する。すなわち、底板２０は、凹部３２の開口内を下降していく。
【００２７】
置台３０の凹部３２の一部には、下降してくる底板２０を支える底板台３４が形成されている。この例の底板台３４は、凹部３２の壁面から延びた板状部材である。また、図２に示した例の底板台３４ａは、凹部３２の壁面から水平方向に延び、底板２０の端部を支持する板状部材である。本実施形態の構成においては、底板台３４ａ同士の間隔Ｗ３よりも、底板２０の幅Ｗ２の方が大きくされている。それゆえ、昇降アーム３５によって底板２０を下降させるだけで、底板台３４（３４ａ）にて底板２０（図２中の２０Ｂ）を支持することができる。すなわち、昇降アーム３５を底板台３４の上面よりも下方に移動させると（図中の「昇降アーム３５Ｂ」参照）、底板２０（２０Ｂ）は、底板台３４にて受けとめられ、その結果、底板２０は凹部３２内に収納される。
【００２８】
本実施形態では、底板２０の端部を支える底板台３４ａの間に、底板２０の中央部を支持する底板台３４ｂも配置している。昇降アーム３５が底板２０から離れた時に、底板２０が大きく撓む場合には、底板２０の中央部を支える底板台３４ｂによって、底板２０の撓みを抑制することができる。
【００２９】
本実施形態の昇降アーム３５は、凹部３２内を昇降する時は、底板台３４ａの間隔Ｗ３内の領域で移動する。図２に示した構成では、壁面から延びた底板台３４ａに加えて、底板台３４ｂも設けられているので、昇降アーム３５は、底板台３４ａと底板台３４ｂの間の領域を昇降移動する。
【００３０】
また、カセット本体部１０の底面１５の幅Ｗ４は、凹部３２の開口幅Ｗ１よりも大きくされている。したがって、カセット本体部１０の底面１５を置台３０の上に載せたときは、カセット本体部１０の底面１５は、置台３０の上面３０ａによって支えられるので、カセット本体部１０自体が凹部３２の開口に入ることがない。
【００３１】
さらに、カセット本体部１０の底面開口部１４の開口幅Ｗ５よりも、底板２０の幅Ｗ２は大きくされている。したがって、カセット本体部１０の底面１５に底板２０を接触させることにより（図２中の「２０Ａ」参照）、カセット本体部１０の底面開口部１４を底板２０によって簡便に塞ぐことができる。
【００３２】
加えて、カセット本体部１０の底面開口部１４の開口幅Ｗ５よりも、凹部３２の開口幅Ｗ１を大きくする構成を採用することができる。このような構成にした場合、ワイヤーカセット１００のカセット本体部１０の設計に変更を行わずに（あるいは、大幅な変更を行わずに）、ワイヤーカセット１００を使用することができる。すなわち、置台３０の凹部３２内において、基板４０を出し入れするローラーコンベア（不図示）を底面開口部１４から挿入する際に、凹部３２の壁面によって、底面開口部１４の開放領域が遮られることがない。したがって、本実施形態の構成によれば、置台３０の凹部３２内でも、既存のローラーコンベアの動作を同様に実行することが可能となる。
【００３３】
図４は、カセット本体部１０の底面周縁部位１５ａと底板２０の周辺を拡大した断面図である。底面周縁部位１５ａは、カセット本体部１０の底面１５のうちの底面開口部１４を除く部位であり、底面１５の周縁領域に位置している。図４に示すように、昇降アーム３５によってカセット本体部１０が置台３０の上面３０ａに配置された瞬間は、底面周縁部位１５ａは、底板２０に接した状態にて、置台３０の上面３０ａに接する。
【００３４】
本実施形態の構成の例示的な寸法を示すと次の通りである。ここでは、液晶パネル用のガラス基板４０の寸法が３ｍ×３ｍ程度の場合を想定したときものを例として示しているが、各寸法は条件にあわせて適宜改変可能である。カセット本体部１０の全幅Ｗ６は、３５００ｍｍである。基板４０の幅Ｗ７は、３０００ｍｍである。カセット本体部１０の内面と基板４０の側面との間の間隔（マージン）Ｌ１は、１００ｍｍである。また、底面周縁部位１５ａの寸法Ｌ２は２８０ｍｍである。カセット本体部１０の外面を基準にして底板２０の側面までの距離Ｌ３は２３０ｍｍである。また、底板２０の厚さＴ１は、例えば、２ｍｍ〜３ｍｍ程度である。カセット本体部１０の底面１５および底面周縁部位１５ａの厚さＴ２は、８０ｍｍである。
【００３５】
なお、図２に示した凹部３２の開口幅Ｗ１は、３１４０ｍｍである。底板２０の幅Ｗ２は、３０４０ｍｍである。また、底板台３４ａの間隔Ｗ３は、２８００ｍである。加えて、凹部３２の開口深さＨ１は、６００ｍｍである。また、置台３０の上面３０ａから底板台３４の上面までの深さＨ２は１００ｍｍである。そして、底板台３４の上面から凹部３２の底面までの深さＨ３は５００ｍｍである。
【００３６】
また、本実施形態のカセット本体部１０は、箱形形状を有している。例えば、カセット本体部１０の辺の部分をフレーム構造で作製して、カセット本体部１０の面の部分をパネル構造で作製することができる。その場合、フレーム構造の部分は、金属（例えば、アルミ、鉄、ステンレスなど）から構成され、パネル構造の部分は、樹脂板、金属板（例えば、アルミ板）などから構成され得る。
【００３７】
なお、図３に示した底面構成の例では、昇降アーム３５がカセット本体部１０を支えて持つ構成となっている。つまり、底板２０は昇降アーム３５とカセット本体部１０との間に挟まれる構成となっている。したがって、この構成においては、強度は、昇降アーム３５とカセット本体部１０とによって考えればよく、昇降アーム３５は、カセット本体部１０との関係で保持位置を決定し、この例での底板２０の強度は特段考慮する必要はない。より詳細に述べると、底板２０は、カセット本体部１０と昇降アーム３５（又は置台３０）との間に挟まれる圧縮力に耐えることができる強度があれば十分である。また、その圧縮力に耐えることができる強度を持った底板２０であれば、カセット本体部１０の底面における底板２０の配置は、図３に示したものに限定されるものではなく、適宜好適なものを採用すればよい。一方で、底板２０とカセット本体部１０との引っ掛かり部位（図２中の「Ｗ２−Ｗ５」）の強度、および、底板２０の強度が十分大きければ、それらの強度によってもカセット本体部１０を支えることも可能である。その場合には、昇降アーム３５は、底板２０を挟んでカセット本体部１０の辺から辺までわたるように支える場合の他、例えば底板２０の中央付近を支えてカセット本体部１０を持ち上げることが可能な場合もある。
【００３８】
また、 図１及び図２に示した構成例では、カセット本体部１０の骨格はフレーム構造を有しており、そして、カセット本体部１０の側面（左面・右面）１１Ａおよび上面１１Ｂはパネル構造（例えば、金属板）によって覆われている。この例では、カセット開口部１２は、カセット本体部１０の前面に形成されているが、前面に加えて後面に形成してもよい。カセット本体部１０の前面と後面との両方にカセット開口部１２を形成した場合には、前後の両方から基板４０を出し入れすることが可能となる。
【００３９】
なお、必ずしも、カセット開口部１２以外のカセット本体部１０の側面のすべてにパネルを設けなくてもよい。例えば、カセット本体部１０の側面にパネルがない形態において、底板２０が設けられている構成であっても、カセット本体部１０を載せたカセット搬送車が走行したときのエア（ダスト）の巻き上がりを抑制する効果が得られる。
【００４０】
カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２には、その開口を塞ぐための閉塞板を設けることができる。なお、カセット開口部１２を塞ぐことができる構成であれば、閉塞板は、種々の構成をとることができる。加えて、上述したように、閉塞板を設けない構成でも、本実施形態の底板２０を設けたことによる効果を得ることができる。
【００４１】
次に、図５及び図６を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００の搬送ステップについて説明する。図４は、ワイヤーカセット１００の搬送ステップを説明するための平面図である。図５は、ワイヤーカセット１００を運ぶ搬送ビークル７０の模式図である。
【００４２】
まず、図５に示すように、ワイヤーカセット１００は、搬送ビークル７０の荷台に載せられて、工場内の所定位置に移動して配置される。搬送ビークル７０には車輪７２が設けられており、任意位置に移動可能である。また、搬送ビークル７０には、図６に示すように、ワイヤーカセット１００を移動させるためのアーム３５が搭載されている。このアーム３５は、ワイヤーカセット１００（又はカセット本体部１０）を乗せたまま、矢印５２に示すように上下方向に移動可能であり、昇降アームとして機能する。また、アーム３５は、ワイヤーカセット１００を乗せたまま、矢印５４に示すように水平方向にも移動可能である。
【００４３】
ワイヤーカセット１００は、アーム３５の動作によって、図５に示すように搬送ビークル７０から置台３０の上に移される（矢印９１参照）。置台３０には、図２にも示したように、凹部３２が形成されており、そして、凹部３２の一部には底板台３４が設けられている。図２に示した置台３０の構成は、図５中の底板抜き取り領域８０において設置されており、この領域８０に底板台３４が設けられている。
【００４４】
底板抜き取り領域８０においては、図２にて説明した動作によって、ワイヤーカセット１００の底板２０の抜き取りが行われる。すなわち、昇降アーム３５は、底板２０の上にカセット本体部１０を乗せた状態で、底板抜き取り領域８０における置台３０の上に移動し、次いで、昇降アーム３５は矢印５１のように凹部３２の中に下降していく。すると、カセット本体部１０は置台３０の上面３０ａの上に乗ったまま、底板２０は昇降アーム３５とともに下降していく。その後、底板２０は、底板台３４の上に載置される。続いて、底板２０を乗せていない昇降アーム３５は、図２中の深さ範囲Ｈ３の領域内において、矢印５４のように水平方向に移動し、再び、搬送ビークル７０の方に収納される。
【００４５】
底板２０が取り外されて、底面開口部１４が開放状態になったワイヤーカセット１００は、矢印９２に示すように、領域８０から領域８２へと移動する。この例では、置台３０の上面に、ワイヤーカセット１００を水平方向に移動可能なローラーコンベアが設けられている。領域８２は、ワイヤーカセット１００から基板４０の払い出しを実行するための作業領域である。この領域８２には、基板４０を払い出すためのローラーコンベアを備えた昇降ポートが配置されている。
【００４６】
また、ワイヤーカセット１００を領域８２から領域８０に移動させて、先ほど説明した逆の動作を実行すると、ワイヤーカセット１００の底面開口部１４を底板２０で覆うことができる。続いて、ワイヤーカセット１００を昇降アーム３５に乗せて、搬送ビークル７０に移動させることも可能である。
【００４７】
次に、図７及び図８を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップについて説明する。
【００４８】
まず、図５に示した領域８０においてワイヤーカセット１００から底板２０を取り外し、次いで、領域８２に移動させる。この状態で、図７に示すように、底面開口部１４に基板搬出用のローラーコンベア６１を挿入する。図５に示した構成例では、カセット本体部１０を固定し、ローラーコンベア６１を上方させて底面開口部１４内に挿入させている。一方で、カセット本体部１０を下方に移動させることができる構成の場合には、カセット本体部１０を下降させて、底面開口部１４内にローラーコンベア６１を挿入することもできる。
【００４９】
次に、図８に示すように、ローラーコンベア６１を更に上昇させて、ワイヤー６０の間に通して、ローラーコンベア６１と基板４０とを接触させ、次いで、ローラーコンベア６１によって基板４０を持ち上げる。続いて、基板４０とワイヤー６０とを離した状態で、ローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０を水平方向に移動させる。それにより、基板４０は、カセット開口部１２から払い出され、ワイヤーカセット１００の外に位置する搬送装置６４の上に移動する。その後は、基板４０は必要な工程に供されたり、必要な場所に保管されたりする。
【００５０】
一番下の段の基板４０の払い出しが終了すると、次に、その上の基板４０の払い出しが実行される。具体的には、ローラーコンベア６１を更に上昇させて、ワイヤー６０の間に通し、そのローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０（下から２番目の基板４０）をカセット開口部１２から払い出しする。この工程を順次繰り返して、全ての段の基板４０の払い出しを完了する。
【００５１】
本実施形態のワイヤーカセット１００によれば、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とを備え、カセット本体部１０が配置される置台３０の凹部３２は底板２０を収納可能であり、凹部３２の一部には底板台３４が形成されている。したがって、ワイヤーカセット１００のカセット本体部１０を置台の上に載せることによって、カセット本体部１０の底面開口部１４を簡便に密閉および開放できるワイヤーカセット構造を実現することができる。
【００５２】
ここで、本実施形態のワイヤーカセット１００と、他のワイヤーカセット（比較例）とを比較して検討してみる。
【００５３】
図９は、摺動部１２５を備えたスライド式構造の底面カバー１２０を備えたワイヤーカセット１１００（比較例）を示している。なお、図９に示したワイヤーカセット１１００では、基板４０が出し入れされるカセット開口部１１２を前面カバー１１５で覆っている。
【００５４】
カセット本体部１１０の底面開口部１１４には、スライド構造（摺動部）１２５が設けられている。そして、底面開口部１１４を塞ぐ底面カバー１２０は、スライド構造１２５で摺動しながら水平動作（矢印１５４）を行う。この場合、基板４０が収納されているカセット本体部１１０の内部の近傍において、そのスライド構造１２５がダスト発生源となる。したがって、これではクリーンルームでの使用に適さない。
【００５５】
また、図１０は、底面カバー１２１が扉開閉構造１２７を有する形態のワイヤーカセット１２００を示している。図１０に示した扉開閉構造１２７を持ったワイヤーカセット１２００の場合、底面カバー１２１の開閉において回動スペース（１５６）を確保しておく必要があり、それゆえに、多くの占有面積が必要なカセットとなってしまう。したがって、この構成では、占有面積の小さい開閉構造を有するワイヤーカセットにはならない。
【００５６】
以上のように、本実施形態のワイヤーカセット１００と比較して、ワイヤーカセット１１００及び１２００は何れも欠点があり、構造上、その欠点を解決するのが困難である。一方、本実施形態のワイヤーカセット１００は、そのような欠点を回避することができる。また、比較例のワイヤーカセット１１００及び１２００では、底面カバー（１２０、１２１）を開閉する上で独自の機構（１２５、１２７）を取り付けなければならないのに対し、本実施形態のワイヤーカセット１００では、そのような独自の機構を取り付けなくても、カセット本体部１０の昇降動作によって、カセット本体部１０の底面開口部１４の開閉を簡便に実行することができる。その点においても、本実施形態の構成は技術的に大きな価値を有する。
【００５７】
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。例えば、底板２０に発生するたわみが大きい場合には、底板２０の表面の少なくとも一部に（例えば、底板２０の周縁領域以外の部分に）、補強材（例えば、Ｌ字アングル）を設けることも可能である。また、カセット本体部１０と底板２０とが接触する箇所（特に、底面周縁部位１５ａの底面と底板２０の周縁部との接触箇所）に、摩擦度が高い材料（例えば、樹脂）を用いた場合には、ワイヤーカセット１００の搬送の加速や振動に対して底板２０がずれることを抑制する効果を得ることもできる。さらに、本実施形態では、複数のワイヤーによって基板４０を収納可能なワイヤーカセットの構成例について説明したが、底板２０によって底面開口部１４を簡便に密閉・開放できる本実施形態の技術はワイヤーカセットに限らず、ワイヤー以外の手段で基板４０を収納する基板収納カセットに適用可能なものである。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明によれば、底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１０ カセット本体部
１２ カセット開口部
１４ 底面開口部
１５ 底面
１５ａ 底面周縁部位
２０ 底板
３０ 置台
３０ａ 上面
３２ 凹部
３４ 底板台
３５ 昇降アーム
４０ 基板（ガラス基板）
６０ ワイヤー
６１ ローラーコンベア
６４ 搬送装置
７０ 搬送ビークル
７２ 車輪
１００ ワイヤーカセット
１１００，１２００ ワイヤーカセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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