(57)【要約】【課題】  グライドヘッドのスライダーと磁気ディスクとの間に生じる放電現象を抑制する。【解決手段】  グライドヘッドのスライダーに、突起検出部を含む浮上面の流出端側角部に曲率半径５μｍ以上の丸みを持たせ、更に、その角部を含む浮上面の縁部と、浮上面と略平行な一段低い面とを繋ぐ面の断面形状を凹型とすることにより、グライドハイトテスト中に磁気ディスクとスライダー間に発生する放電現象が抑制され、ヘッドと磁気ディスク間の放電現象発生率の低減ができる。また、スライダーとサスペンションの接合を導電性接着剤によって行うことで、放電現象をより低減することができる。【選択図】      図１
2010182341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サスペンションに固着され磁気ディスクから所定量浮上するスライダーで、磁気ディス
クの突起や異物、潤滑剤との衝突を圧電素子やＡＥセンサーで検出する磁気ディスク用グ
ライドヘッドであって、スライダーの流出端の突起検出部の角部は５μｍ以上の曲率半径
を有し、該角部を含む浮上面と該浮上面と略平行で一段低い面は、凹型の断面形状を有す
る面で連続していることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項２】
スライダーとサスペンションは硬化後の体積抵抗率が１×１００〜１×１０−４（Ω・
ｃｍ）の導電性接着剤で固着されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク
用グライドヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、磁気ディスクの製造検査等に使用される磁気ディスク用グライドヘッドに
係るものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置に使用される磁気ディスクは、円盤状のガラスあるいはアルミニウ
ム等の非磁性材基板を用いている。非磁性材基板の表面に磁性材料と主に炭素からなる保
護膜を、スパッター等を用いて成膜、さらにフルオロカーボン系の潤滑剤を塗布している
。このように作られた磁気ディスクは磁気ヘッドと組み合わせ、情報を記録あるいは再生
する記録装置として用いられている。磁気ディスク用グライドヘッド（以降、単にグライ
ドヘッドと呼称することもある）は、この磁気ディスクの表面に発生した微小な突起ある
いは異物等（以降、突起物と称する）を検出するためのセンサーとして、磁気ディスクの
検査工程で用いられている。グライドヘッドは数種実用化されているが、圧電素子を搭載
したものが主流となっている。
【０００３】
圧電素子をスライダーに搭載したグライドヘッド１０１は、特許文献１〜３に記載され
ている。図８に、圧電素子を搭載したグライドヘッドの斜視図を示す。図９に、グライド
ヘッドの浮上面側からの斜視図を示す。スライダー１は、一対の浮上レール３を有する。
スライダー１の側面に張り出し部４が設けられ、張り出し部４のスライダー背面側に圧電
素子９を固着している。圧電素子９の出力電圧は圧電素子の両端からリード線１０により
取り出され、サスペンション２に設けた絶縁性チューブ１１を通じて外部に出力される。
スライダー１は接着剤でサスペンション２と固着されている。以後、説明を判り易くする
ため、同一の部品および部位には同じ符号を用いている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６１６３号
【特許文献２】特開平０７−３２６１４９号
【特許文献３】特開２０００−９７６８２号
【０００５】
グライドヘッドの動作原理を、図１０を用いて簡単に説明する。スライダ−１の背面に
サスペンション２に設けられたフレキシャー７が熔接される。フレキシャー７に形成され
たピボット８の頂点にサスペンション２がスライダー１を磁気ディスク５５に押付ける力
である荷重を与えている。ピボット８を支点としてスライダー１が、僅かであるが上下左
右に動けるようになっている。ピボット８がスライダーに荷重を与える位置が荷重点とな
る。図１０では、リード線１０等の図示は省略している。スライダー１は磁気ディスク５
５の回転に伴う空気流の作用により浮上する。空気流はスライダー１の流入端１５から流
出端１６に向かって流れる。グライドヘッドの浮上量ｈは種々の要素で決まるが、主に空
気流の流速とスライダーのレール幅、荷重によって決まる。レール幅と荷重はグライドヘ
ッドによって決まっているため、磁気ディスク５５の回転数と磁気ディスク上のグライド
ヘッド位置によって決まる線速度で浮上量が決まる。磁気ディスクの回転数を変え、線速
度を磁気ディスク面内で一定とすることで、磁気ディスク５５上を一定の浮上量ｈで浮上
させることができる。本願では、サスペンションの一部であるフレキシャー７を含めてサ
スペンション２と称している。
【０００６】
一般に、グライドヘッドは、磁気ディスク面内を一定の条件、すなわち、突起物５６の
高さｎを検出する浮上量ｈを磁気ディスク面内で一定とし、かつ、突起とグライドヘッド
の衝突時に発生するエネルギーを揃える（突起物とグライドヘッドの相対速度を一定にす
る）ために、線速度を磁気ディスク面内で一定としている。また、浮上量や飛行時の姿勢
を磁気ディスク面内で一定とするために、グライドヘッドのスライダーは磁気ディスク上
のいずれの位置においても、スライダーとスライダーが飛行する磁気ディスク上の円周の
接線とのなす角（ＹＡＷ角）は一定であり、グライドハイトテストでは、通常０度で用い
られる。スライダー１が磁気ディスク上の突起物５６に接触あるいは衝突すると、衝突に
より発生する振動はスライダー１を伝播して圧電素子９を振動変形させる。圧電素子９の
電極に電荷が誘起されるので、リード線１０から電極間電圧を取り出し測定することによ
り突起物の検出ができる。さらに、所定の浮上量ｈを持つスライダー１を磁気ディスクの
表面で移動すると、浮上量ｈより高い突起物にスライダーが接触（衝突）する。このとき
発生する圧電素子の電圧と磁気ディスクの位置を求めれば、磁気ディスク表面にある規格
外の突起物を検知、特定することができる。
【０００７】
近年の磁気ディスク装置の高容量化と小型化、つまり高記録密度化は猛烈な勢いで進ん
でいる。記録密度を上げるために、記録ビットの幅と長さはますます小さくなり、それに
伴い磁気ヘッドの狭トラック幅化と磁気ギャップの狭ギャップ長化が進んでいる。また、
記録密度を上げるため、磁気ディスクと磁気ヘッドとの隙間、即ち磁気ヘッドのスライダ
ーの浮上高さは、１０ｎｍ以下が求められるようになってきている。
【０００８】
磁気ヘッドが磁気ディスク上を浮上し、情報の記録や再生を行う場合、磁気ディスク表
面に磁気ヘッドのスライダーの浮上高さより高い突起物があると、スライダーが磁気ディ
スクと衝突を起こし、正確な情報の記録や再生ができなくなる。また、データの破損や磁
気ディスク装置の故障を引き起こす原因にもなる。そのために、磁気ディスク表面の突起
物の高さｎは磁気ヘッドのスライダーの浮上高さより低くする必要がある。スライダーの
浮上高さの極小化に伴って、磁気ディスクの突起や異物の許容される高さｎはますます低
くなる傾向にあり、その高さ要求は７ｎｍ以下になってきている。
【０００９】
グライドヘッドの低浮上化が進むに連れ２本レールの正圧型スライダーでは、スライダ
ー幅が小さくなる。つまり、突起検出部の幅が狭くなり検査時間の増加が避けられなくな
ってきている。また、スライダー幅が小さくなるため浮上の安定性確保も難しくなってき
た。低浮上量の制御には、スライダー流入端より流入した空気流が、流入に伴う圧縮状態
から負圧面の領域に到達した際に体積膨張することで得られる負の浮上圧力を利用した負
圧型のスライダーが望ましい。負圧面の領域は浮上レール面より凹ませることが必要であ
るので、機械加工のみで実現することは難しいため、フォトリソ技術とドライエッチング
技術を導入することが必要である。
【００１０】
負圧型のスライダーは、正の浮上圧力を発生させる浮上レールの形状で次の３つに大別
される。図１１ａ）の浮上レール３０を分割した形状、図１１ｂ）の浮上レール３０を一
体化した形状、図１１ｃ）の分割と一体を組み合わせた様な形状がある。図１１ａ）の形
状は特許文献４〜８に、図１１ｂ）の形状は特許文献９，１０に、図１１ｃ）の形状は特
許文献１１に記載されている。浮上レールの形状は異なっていても、浮上原理は同じであ
り、図１１ａ）を用いて説明する。浮上レール３０と浮上レール面より深い（低い）空気
導入面３１、空気導入面より深い（低い）負圧面３２、流出側に記録再生素子部４０を有
している。空気導入面３１から入った空気流は浮上レール３０で正圧を発生させ、負圧面
３２で負圧を発生させる。スライダー面で発生する正圧と負圧、サスペンションから加え
られる荷重がバランスして、スライダーは磁気ディスクから所定量浮上する。流出側に設
けられた記録再生素子部４０を、突起検出部とすることでグライドヘッド用スライダーと
して使用できるものである。図１１ｂ）で、突起検出部を設けず流出端まで延びた浮上レ
ール３０の流出端部を突起検出部とすることもできる。
【００１１】
【特許文献４】特開平１１−２３８２１３号
【特許文献５】特開平−１２０７２７号
【特許文献６】特開２０００−３５３３７０号
【特許文献７】特開２０００−３３１３１４号
【特許文献８】特開平１１−３９８１９号
【特許文献９】特開２００１−４３６５０号
【特許文献１０】特開平１０−８３６４３号
【特許文献１１】特開２００２−５０１４１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
グライドハイトテストは、グライドヘッドを用い、グライドヘッドと磁気ディスク上の
突起物の衝突を利用して、磁気ディスク上の突起物の有無、つまり磁気ディスクの良否を
判別する検査工程である。テスト中にグライドヘッドとディスクの何れかが帯電し、両者
間に数Ｖ程度の電位差が生じると、グライドヘッドスライダーと磁気ディスクの間隙がナ
ノメートルレベルであることから、電界としては大きなものとなり、時としてグライドヘ
ッドスライダーと磁気ディスク間に放電が生じることがある。
【００１３】
近年、グライドハイトテスト時の磁気ディスクとグライドヘッドスライダー間での放電
現象が問題視されて来ている。該放電現象は、非常に発生頻度は低いがハードディスクが
用いられた当初からあった。磁気ディスクの基板材料はアルミニウムが主であったが小径
や薄板、面粗さ等の要求から絶縁性のガラス化や磁性層の保護膜の薄肉化、浮上量ｈの低
下、スライダーのダイナミックローディング等帯電し易い状況が増えてきていることも考
えられるが、それ以上に他の不良項目での不良発生率が低下して放電による不良が目立っ
て来た為とも考えられる。
【００１４】
グライドハイトテストで磁気ディスクとスライダー間での放電現象が発生すると、磁気
ディスクとスライダーの何れにも放電痕ができ、その放電痕は凸部を有している。磁気デ
ィスクとスライダー間での放電現象が発生したとき、放電を検知し当該磁気ディスクとグ
ライドヘッドを直ちに廃棄すれば良いが、もし続けて検査作業を行うと不良が多発する。
放電を起こしたグライドヘッドで新しい磁気ディスクを検査すると、磁気ディスクに傷を
付けて不良品としてしまう。放電を起こした磁気ディスクが磁気ディスクの磁気特性を検
査するサーティファイ工程に流れると、サーティファイヘッドを損傷する危険性が出てく
る。グライドヘッドとサーティファイヘッドの交換は人手で行うため、ヘッドの費用と作
業コストだけでなく交換中の検査装置の停止による検査数の減が、磁気ディスクの製造コ
ストを上げることになる。
【００１５】
本願発明の目的は、低浮上量でも磁気ディスク間で放電のし難いグライドヘッドを提供
することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、サスペンションに固着され磁気ディスク
から所定量浮上するスライダーで、磁気ディスクの突起や異物、潤滑剤との衝突を圧電素
子やＡＥセンサーで検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、スライダーの流出
端の突起検出部の角部は５μｍ以上の曲率半径を有し、該角部を含む浮上面と該浮上面と
略平行で一段低い面は、凹型の断面形状を有する面で連続していることが好ましい。
【００１７】
放電現象は、鋭端部を基点とすることが多い。これは、鋭端部は表面積が小さいことか
ら電束密度が高まり電界が強まる。その結果、磁気ディスクとグライドヘッドの最短距離
部で絶縁破壊が起こり、放電現象が発生することになる。該最短距離部はグライドヘッド
のスライダーの流出端の突起検出部である。
【００１８】
従来の正圧型のグライドヘッドは、砥石研削とラッピング研磨等の機械加工を用い製作
されていた。スライダーの浮上面をラッピング研磨し、砥石で浮上レール幅を形成してい
た。砥石で浮上レールを形成するので、浮上量の異なるグライドヘッドの製作は容易であ
った。しかし、砥石での研削加工を行うため、衝突検出を行うスライダー浮上面の流出端
先端部の角部は、平面方向とスライダー厚み方向に鋭利な形状である鋭端部を持っていた
。鋭端部を有するため放電現象が発生し易いものであった。
【００１９】
スライダーの流出端の突起検出部の角部は５μｍ以上の曲率半径を有し、該角部を含む
浮上面と該浮上面と略平行で一段低い面は、凹型の断面形状を有する面で連続している形
状とすることで、放電現象の基点となる鋭端部を浮上面の流出端先端部からなくすことが
できる。これにより、グライドヘッドと磁気ディスク間の放電現象は大きく減少し、ヘッ
ドや磁気ディスクの損傷発生率を抑える事ができる。角部を５μｍ以上の曲率半径とする
ことで、放電現象発生率を０．００５％以下に下げることができる。従来の機械加工で製
作した正圧型のグライドヘッドの約１／１０の発生率とすることができる。角部の曲率半
径を大きくするに従い、僅かであるが放電現象発生率が低下していく。曲率半径が１５μ
ｍを超えると、放電現象発生率は約０．００３％で一定となり、曲率半径を大きくする効
果が出なくなる。  また、角部の曲率半径を大きくすることは、突起検出部の幅を小さく
することになるため、上限は１５μｍ程度とすることが好ましい。放電現象が発生しなく
ても平均２０００枚の磁気ディスクを検査した時点で、出力の低下やノイズの増加等のた
め交換するため、放電現象発生率は次の方法で求めている。約２週間で検査した磁気ディ
スク面数を分母とし、放電現象で交換したグライドヘッドの数を分子とし百分率で表して
いる。磁気ディスクは両面あり、またグライドヘッドも２個（各面１個）使うため、検査
磁気ディスク枚数ではなく磁気ディスク面数としている。
【００２０】
スライダーの厚み方向は、該角部を含む浮上面と該浮上面と略平行で一段低い面は、凹
型の断面形状を有する面で連続している形状とすることで、放電現象の基点となる鋭端部
を、浮上面の流出端先端部を無くすことができる。凹型の断面とは、浮上面端部と一段低
い面の浮上面端部から段差分の約１０倍離れた点を結んだ直線領域内に、浮上面と一段低
い面を結ぶ面があることを言う。言い変えると、面はジャンプスキーの滑走台の形状であ
ることが好ましい。
【００２１】
本発明のグライドヘッドの浮上面加工は、フォトリソグラフィ技術とドライエッチング
技術を用いて行うことが好ましい。特に、ドライエッチング技術にイオンミリングを用い
ることが好ましい。これら方法を用いると、浮上面の形の設計自由度は高まり、検出部の
幅を確保した状態で、その角部に任意の曲率半径付けを行うことができる。
【００２２】
スライダーの厚み方向の、浮上面と該浮上面と略平行で一段低い面を結ぶ面を凹型とす
るのも、イオンミリング加工は適している。イオンミリング加工において、エッチングを
行わない部分をマスキングするレジストの厚みと、イオンミリング加工でのイオンの密度
、加速電圧、そしてイオンの進行方向と被ミリング物の相対角度の条件により、浮上面か
ら略平行な一段低い面とを繋ぐ面の断面形状を凹型とすることができる。
【００２３】
本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、スライダーとサスペンションは硬化後の
体積抵抗率が１×１００〜１×１０−４（Ω・ｃｍ）の導電性接着剤で固着されているこ
とが好ましい。
【００２４】
スライダーは２ｘ１０−３（Ω・ｃｍ）程度の体積抵抗率を有するアルミナチタンカー
バイド（ＡＴＣ）を用いているので、スライダーに帯電した静電気をサスペンションを通
してゼロ電位に逃がすことで、放電現象発生率を下げることができる。絶縁性の接着剤で
はなく金や銀などの導電性粒子を分散させ導電性を持たせた樹脂接着剤を、スライダーと
サスペンションの接合に用いることが好ましい。高価な金や銀に限ることはなく、導電性
粒子の混合量や粒子径等を検討することで、銅やアルミニウムの様な安価な金属粒子も用
いることができる。導電性接着剤の硬化後の体積抵抗率を６×１００（Ω・ｃｍ）以下と
することで、放電現象発生率を０．００１（％）まで下げることができる。導電性接着剤
の硬化後の体積抵抗率が１×１００（Ω・ｃｍ）以下では、放電現象発生率は約０．００
０５％で一定となる。導電性粒子の分散量を増やす事で体積抵抗率が下がり放電現象発生
率を下げることができるが、接着強度の低下は免れない。導電性粒子を含まない接着剤を
使用した時の接着強度を１とすると、導電性粒子を混ぜて行くと体積抵抗率１×１００（
Ω・ｃｍ）で約０．８５、１０−５（Ω・ｃｍ）では約０．５まで低下する。少なくとも
、接着強度０．６以上を確保するためには、導電性粒子の混合量は体積抵抗率１×１０−
４（Ω・ｃｍ）以上とすることが好ましい。導電性粒子の形状は球状や棒状、方体状、不
定形状を含むものである。
【発明の効果】
【００２５】
グライドヘッドのスライダーに、突起検出部を含む浮上面の流出端側角部に曲率半径５
μｍ以上の丸みを持たせ、更に、その角部を含む浮上面の縁部と、浮上面と略平行な一段
低い面とを繋ぐ面の断面形状を凹型とすることにより、グライドハイトテスト中に磁気デ
ィスクとスライダー間に発生する放電現象が抑制され、ヘッドと磁気ディスク間の放電現
象発生率の低減ができた。また、スライダーとサスペンションの接合を導電性接着剤によ
って行うことより、放電現象をより低減することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下本発明を、図面を参照しながら実施例に基づいて詳細に説明する。説明を判り易く
するため、同一の部品、部位には同じ符号を用いている。
【実施例１】
【００２７】
図１は、本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの斜視図である。アルミナチタンカ
ーバイド材（ＡＴＣ材）のスライダー１は、負圧型浮上面と張出し部４で構成している。
スライダー１の浮上レールの反対側にサスペンション２を非導電性のエポキシ系樹脂で固
着した。スライダー張出し部４の浮上レールの反対側に、電気絶縁材（図示せず）を介し
て圧電素子９を樹脂で貼り付けている。圧電素子９に接続されたワイヤー１０は、サスペ
ンション２に設けられたチューブ１１に挿入して取り回している。
【００２８】
図２を用いて、本実施例のスライダーの寸法等を説明する。図２ａ）にスライダー浮上
面側の平面、側面を示す。スライダーの全長Ｌ１は１．２５ｍｍ、スライダーの幅Ｌ２は
０．９５ｍｍ、張出し部の幅Ｌ３は０．７５ｍｍ、スライダーの全幅Ｌ４は１．７ｍｍで
ある。浮上レール３０の流出端１６が突起検出部３５となる。突起検出部は２ヶ所とし、
幅Ｌ５は０．２４ｍｍとした。２本の浮上レール３０の流入端側を繋ぐクロスレールには
、漏斗型をした溝３６を形成した。スライダー厚みＬ６は、浮上レール面とスライダー背
面間の距離で０．４３ｍｍとした。張出し部９の厚みＬ７は０．２３ｍｍとした。スライ
ダー浮上面の深さ方向の寸法関係について、図２ｂ）のｍ−ｍ’断面で説明する。スライ
ダーの浮上面は、空気導入面３１に対し浮上レール３０は凸で負圧面３２は凹となってお
り、凸量Ｌ１０は０．２２μｍ、凹量Ｌ１１は２．２μｍとした。
【００２９】
スライダー１の加工方法について簡単に説明する。アルミナチタンカーバイト（ＡＴＣ
）材にダイアモンド砥石とダイアモンド砥粒を用い切断と研削、研磨加工を行い、Ｌ４の
約２０倍の長さでＬ１の幅、Ｌ８の厚みの、短冊状の板を得た。短冊の１面は研磨加工を
行い、表面粗さＲａで２ｎｍの鏡面としている。この鏡面が浮上レール３０の面となる。
短冊の鏡面に１０μｍ厚のフォトレジトを塗布し、浮上レール３０の形状にパターニング
を行った。突起検出部を含む浮上面の流出端側角部３７の丸みは、曲率半径５μｍとした
。イオンミリングは、Ａｒ雰囲気で圧力４×１０−１Ｐａ、加速電圧１２０Ｖ、Ａｒイオ
ンの加速方向と被ミリング物であるＡＴＣ材の相対角度を６０度として、空気導入面３１
と負圧面３２を、Ｌ１０の深さまでドライエッチングを行った。再度、フォトレジストを
塗布し、浮上レール３０と空気導入面３１が残るようにパターニングを行い、Ｌ１１の量
をイオンミリング加工した。２回のイオンミリングで、空気導入面３１に対し浮上レール
３０はＬ１０凸量、負圧面３２はＬ１１凹量を持つ負圧型スライダー面が得られた。ダイ
アモンド砥石を用い、張出し部４の形成と個片化を行い、スライダー１を得た。
【００３０】
スライダー１の流出端先端部の浮上面と略平行な一段低い面３２とを繋ぐ面の断面形状
は、図３に記号Ａ，Ｂを繋ぐ凹形状であり、深さｄ＝２．４２μｍに対して、裾引きの長
さＷは、２５μｍであった。図４に流出端の角部３７の形状を示す。図４ａ）は、角部を
非触針式の表面形状測定器で測定した形状データである。図４ｂ）は、図４ａ）の測定デ
ータを基に、ノイズ部分を除いて形状をイメージしたコンピュータグラフィックである。
形状イメージ図であるので、縦横の寸法や曲率半径等は任意の値としている。
【００３１】
スライダー１に圧電素子９、サスペンション２をエポキシ樹脂で固着し、圧電素子に接
続されたワイヤー１０をチューブ１１へ取り回し、磁気ディスク用グライドヘッド１００
を得た。
【実施例２】
【００３２】
曲率半径と放電現象発生率の関係について説明する。実施例１の浮上面形状と、角部３
７を含む浮上面と浮上面と略平行で一段低い面を結ぶ面の凹型形状は、図３および４に示
した形状とした。角部３７の曲率半径を、１．５μｍと３μｍ、５μｍ、１０μｍ、１５
μｍ、２０μｍと変えたものを製作し放電現象発生率を求めた。比較のために、曲率半径
０μｍの機械加工で製作した図８と図９に示す従来の正圧型グライドヘッドも入れている
。放電現象発生率は、約２週間で検査した磁気ディスク面数を分母とし、放電現象で交換
したグライドヘッドの数を分子とし百分率で表している。
【００３３】
７２００（ｒｐｍ）で回転する磁気ディスクの半径３０ｍｍの位置にグライドヘッドを
ダイナミックローディングして浮上させた後、半径２４ｍｍの位置まで移動し、回転数を
４０００（ｒｐｍ）で測定した。この時のグライドヘッドと磁気ディスクの相対速度は約
１０（ｍ／ｓ）である。浮上量ｈは６ｎｍである。曲率半径の異なるグライドヘッドを複
数台のグライドハイトテスターに装着し、約２週間検査を行った。各曲率半径のグライド
ヘッドで検査した磁気ディスク面数は、約１２万面である。
【００３４】
図５に角部の曲率半径と放電現象発生率の関係を示す。従来品の曲率半径０μｍでは放
電現象発生率が約０．０５（％）である。曲率半径が大きくなるに従い放電現象発生率は
減少し、曲率半径５μｍで約０．００５（％）まで低下するが、それ以上曲率半径を大き
くしても放電現象発生率の値は殆ど低下しない。この結果からも、スライダーの突起検出
部の角部３７の曲率半径を５μｍ以上とすることで、放電現象発生率を従来のグライドヘ
ッドに比べ約１／１０以下にできることが確認できた。
【実施例３】
【００３５】
スライダー１とサスペンション２を接合する樹脂の体積抵抗率と放電現象発生率の関係
について説明する。実施例１の浮上面形状と、角部３７を含む浮上面と浮上面と略平行で
一段低い面を結ぶ面の凹型形状は、図３および４に示した形状でとした。角部３７の曲率
半径は５μｍとした。スライダーとサスペンションを接合する樹脂はエポキシ樹脂を用い
、銀粒子の混合量を変えて硬化後の体積抵抗率を１×１０２〜２×１０−５（Ω・ｃｍ）
間で６種類作製した。比較のために、実施例１のエポキシ樹脂のみのグライドヘッドも供
試した。銀粒子を含まないエポキシ樹脂の体積抵抗率は、１×１０１０（Ω・ｃｍ）であ
った。放電現象発生率の測定方法は実施例２と同じとした。
【００３６】
図６にスライダーとサスペンションを接合する樹脂の体積抵抗率と放電現象発生率と接
着強度の関係を示す。導電性を持たないエポキシ樹脂で接合したグライドヘッドの放電現
象発生率が約０．００５（％）である。体積抵抗率が低下するに従い放電現象発生率は減
少し、１×１００（Ω・ｃｍ）で約０．０００５（％）まで低下するが、それ以上体積抵
抗率を下げても放電現象発生率の値は殆ど低下しない。反面、体積抵抗率を下げるために
導電性粒子の混合量を増やす事で、接着強度は低下している。接着強度を従来の接着剤の
０．６以上とするには、硬化後の体積抵抗率を１×１０−４（Ω・ｃｍ）以上にする事が
必要である。この結果から、スライダーとサスペンションを接合する樹脂の体積抵抗率を
１×１００〜１×１０−４（Ω・ｃｍ）の範囲にすることで、導電性を持たないエポキシ
樹脂で接着したグライドヘッドに比べ、放電現象発生率を約１／１０以下にできることが
確認できた。接着強度は、スライダーをバイスで固定しサスペンションを引っ張り上げ、
スライダーとサスペンションを引き剥がすピールテスト法を用いた。導電性粒子の混合量
を変えて体積抵抗率を調整した樹脂で接着したグライドヘッド各２０個を供試した。接着
強度は２０個の平均値で、接着樹脂のみの値を１として比率を求めた。
【実施例４】
【００３７】
実施した他のスライダーの形状を、図７に示す。スライダーレール３０はスライダーの
流出端まで届かない形状である。流出端側に突起検出部３８を設け、突起検出部３８の流
出端側で突起を検出する。少なくとも突起検出部の流出端側の角部３７には、約８μｍの
曲率半径を持たせている。本実施例のスライダー形状で、曲率半径と放電現象発生率を求
めた。曲率半径の値と測定方法は実施例２と同じとした。曲率半径と放電現象発生率の関
係は、実施例２の図５に示した結果と大差なかった。このことから、スライダーのレール
形状にかかわらず、角部に５μｍ以上の曲率半径を持たせることが、放電現象発生率を下
げるのに効果があることが確認できた。
【実施例５】
【００３８】
角部３７を含む浮上面と浮上面と略平行で一段低い面を結ぶ面の凹型形状を、ばらつき
なく精度良く変えてスライダーを作製し供試するが難しいため、実施例２と３で放電を起
こしたグライドヘッドの凹形状を測定した。図３に示すＡ−Ｂ間を結ぶ直線より面が上に
出ている（凸形状）と略直線上に載る面（平ら形状）、図３の実線で示す面（凹形状）に
分けて、面の形状の比率を求めた。凸形状は２／３、平ら形状は１／３、凹形状は０／３
の比率であった。これからも、角部３７を含む浮上面と浮上面と略平行で一段低い面を結
ぶ面を、凹型形状とすることが良いことが確認できた。
【００３９】
突起検出部の角部の曲率半径を５μｍ以上とすることで、従来のグライドヘッドに比べ
放電現象発生率を約１／１０に、体積抵抗率が１×１００（Ω・ｃｍ）以下の導電性樹脂
を用いることで、従来のエポキシ樹脂を用いたグライドヘッドに比べ放電現象発生率を約
１／１０にすることができた。突起検出部の角部の曲率半径と導電性樹脂を組み合わせる
事で、従来の機械加工で製造した正圧型のグライドヘッドに比べ、放電現象発生率が約１
／１００と放電し難い磁気ディスク用グライドヘッドが得られた。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明実施例１のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図２】本発明実施例１のグライドヘッドのスライダー寸法図である。
【図３】本発明実施例１のグライドヘッドの流出端部断面形状図である。
【図４】本発明実施例１のグライドヘッドの角部の斜視図である。
【図５】本発明実施例２の曲率半径と放電現象発生率の関係を示す図である。
【図６】本発明実施例３の体積抵抗率と放電現象発生率，接着強度の関係を示す図である。
【図７】本発明実施例４のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図８】従来のグライドヘッドの背面側からの斜視図である。
【図９】従来のグライドヘッドの浮上面側からの斜視図である。
【図１０】グライドヘッドの動作原理を説明する図である。
【図１１】負圧型磁気記録再生ヘッドのスライダー斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  スライダー、
２  サスペンション、
３  浮上レール、
４  張出し部、
７  フレキシャー、
８  ピボット、
９  圧電素子、
１０  リード線、
１１  絶縁チューブ、
１５  流入端、
１６  流出端、
３０  浮上レール、
３１  空気導入面、
３２  負圧面
３７  角部、
３８  突起検出部、
４０  記録再生素子部、
５５  磁気ディスク、
５６  突起物、
１００，１０１  グライドヘッド。
【図１】
2010182341.tif 000003
【図２】
2010182341.tif 000004
【図３】
2010182341.tif 000005
【図４】
2010182341.tif 000006
【図５】
2010182341.tif 000007
【図６】
2010182341.tif 000008
【図７】
2010182341.tif 000009
【図８】
2010182341.tif 000010
【図９】
2010182341.tif 000011
【図１０】
2010182341.tif 000012
【図１１】
2010182341.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月29日(2007.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
グライドヘッドの動作原理を、図１０を用いて簡単に説明する。スライダ−１の背面に
サスペンション２に設けられたフレキシャー７が接着剤６で固着される。フレキシャー７
に形成されたピボット８の頂点にサスペンション２がスライダー１を磁気ディスク５５に
押付ける力である荷重を与えている。ピボット８を支点としてスライダー１が、僅かであ
るが上下左右に動けるようになっている。ピボット８がスライダーに荷重を与える位置が
荷重点となる。図１０では、リード線１０等の図示は省略している。スライダー１は磁気
ディスク５５の回転に伴う空気流の作用により浮上する。空気流はスライダー１の流入端
１５から流出端１６に向かって流れる。グライドヘッドの浮上量ｈは種々の要素で決まる
が、主に空気流の流速とスライダーのレール幅、荷重によって決まる。レール幅と荷重は
グライドヘッドによって決まっているため、磁気ディスク５５の回転数と磁気ディスク上
のグライドヘッド位置によって決まる線速度で浮上量が決まる。磁気ディスクの回転数を
変え、線速度を磁気ディスク面内で一定とすることで、磁気ディスク５５上を一定の浮上
量ｈで浮上させることができる。本願では、サスペンションの一部であるフレキシャー７
を含めてサスペンション２と称している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図１は、本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの斜視図である。アルミナチタンカ
ーバイド材（ＡＴＣ材）のスライダー１は、負圧型浮上面と張出し部４で構成している。
スライダー１の浮上レールの反対側にサスペンション２を非導電性のエポキシ系樹脂（図
示せず）で固着した。スライダー張出し部４の浮上レールの反対側に、電気絶縁材（図示
せず）を介して圧電素子９を樹脂で貼り付けている。圧電素子９に接続されたワイヤー１
０は、サスペンション２に設けられたチューブ１１に挿入して取り回している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図２を用いて、本実施例のスライダーの寸法等を説明する。図２ａ）にスライダー浮上
面側の平面、側面を示す。スライダーの全長Ｌ１は１．２５ｍｍ、スライダーの幅Ｌ２は
０．９５ｍｍ、張出し部の幅Ｌ３は０．７５ｍｍ、スライダーの全幅Ｌ４は１．７ｍｍで
ある。浮上レール３０の流出端が突起検出部３８となる。突起検出部は２ヶ所とし、幅Ｌ
５は０．２４ｍｍとした。２本の浮上レール３０の流入端側を繋ぐクロスレールには、漏
斗型をした溝３６を形成した。スライダー厚みＬ６は、浮上レール面とスライダー背面間
の距離で０．４３ｍｍとした。張出し部９の厚みＬ７は０．２３ｍｍとした。スライダー
浮上面の深さ方向の寸法関係について、図２ｂ）のｍ−ｍ’断面で説明する。スライダー
の浮上面は、空気導入面３１に対し浮上レール３０は凸で負圧面３２は凹となっており、
凸量Ｌ１０は０．２２μｍ、凹量Ｌ１１は２．２μｍとした。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
スライダー１とサスペンション２を接合する接着剤（図１０の符号６）の体積抵抗率と
放電現象発生率の関係について説明する。実施例１の浮上面形状と、角部３７を含む浮上
面と浮上面と略平行で一段低い面を結ぶ面の凹型形状は、図３および４に示した形状でと
した。角部３７の曲率半径は５μｍとした。スライダーとサスペンションを接合する樹脂
はエポキシ樹脂を用い、銀粒子の混合量を変えて硬化後の体積抵抗率を１×１０２〜２×
１０−５（Ω・ｃｍ）間で６種類作製した。比較のために、実施例１のエポキシ樹脂のみ
のグライドヘッドも供試した。銀粒子を含まないエポキシ樹脂の体積抵抗率は、１×１０
１０（Ω・ｃｍ）であった。放電現象発生率の測定方法は実施例２と同じとした。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
突起検出部の角部の曲率半径を５μｍ以上とすることで、従来のグライドヘッドに比べ
放電現象発生率を約１／１０に、体積抵抗率が１×１００（Ω・ｃｍ）以下の導電性接着
剤を用いることで、従来のエポキシ樹脂を用いたグライドヘッドに比べ放電現象発生率を
約１／１０にすることができた。突起検出部の角部の曲率半径と導電性接着剤を組み合わ
せる事で、従来の機械加工で製造した正圧型のグライドヘッドに比べ、放電現象発生率が
約１／１００と放電し難い磁気ディスク用グライドヘッドが得られた。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
１  スライダー、
２  サスペンション、
３  浮上レール、
４  張出し部、
６  接着剤、
７  フレキシャー、
８  ピボット、
９  圧電素子、
１０  リード線、
１１  絶縁チューブ、
１５  流入端、
１６  流出端、
３０  浮上レール、
３１  空気導入面、
３２  負圧面
３７  角部、
３８  突起検出部、
４０  記録再生素子部、
５５  磁気ディスク、
５６  突起物、
１００，１０１  グライドヘッド。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2010182341.tif 000014
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2010182341.tif 000015
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2010182341.tif 000016
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2010182341.tif 000017