(57)【要約】【課題】微小突起除去作業に要する時間を短くすることができる微小突起除去装置および微小突起除去方法、交換頻度が少ない微小突起除去テープを提供する。【解決手段】ポリイミドからなるテープ基体１の幅方向の一方端部に微小突起３４よりも硬質な硬質材料からなる複数の研削突起２を設けた微小突起除去テープ１０を観察装置の移動装置により移動し、研削突起２を液晶カラーフィルタ基板３１に付着した微小突起３４の近傍に位置させたのち、移動装置により研削突起２を移動させて、研削突起２により微小突起３４を研削除去する。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去装置であって、
前記微小突起を観察する観察装置と、
前記観察装置の観察部を前記被修正体上の任意の位置に移動する移動装置と、
前記移動装置の取付部に取り付けられた微小突起除去部と、
前記微小突起除去部に取り付けられ、かつテープ基体の幅方向の一方端部に前記微小突起よりも硬質な硬質材料からなる研削突起を設けた微小突起除去テープと
を備えていることを特徴とする微小突起除去装置。
【請求項２】
前記取付部に前記微小突起除去部を退避させた状態にする退避手段を介して前記微小突起除去部を取り付けたことを特徴とする請求項１に記載の微小突起除去装置。
【請求項３】
平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去方法であって、
テープ基体の幅方向の一方端部に前記微小突起よりも硬質な硬質材料からなる研削突起を設けた微小突起除去テープをＵ字型に曲げ、前記研削突起を前記被修正体の表面に接触させた状態で、前記研削突起を移動させ、前記研削突起により前記微小突起に剪断力を作用させて、前記微小突起を研削除去する
ことを特徴とする微小突起除去方法。
【請求項４】
前記微小突起除去テープの前記研削突起が設けられた端部とは反対側の端部を板状体に当接させることを特徴とする請求項３に記載の微小突起除去方法。
【請求項５】
平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去テープであって、
テープ基体の幅方向の一方端部に前記微小突起よりも硬質な硬質材料からなる研削突起を設けたことを特徴とする微小突起除去テープ。
【請求項６】
前記テープ基体に複数の前記研削突起を設けたことを特徴とする請求項５に記載の微小突起除去テープ。
【請求項７】
前記テープ基体の端部の前記研削突起が設けられた部分の両側にそれぞれ凹部を設けたことを特徴とする請求項５または６に記載の微小突起除去テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶カラーフィルタ基板等の平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去装置、前記微小突起を除去する微小突起除去方法、前記微小突起除去装置、前記微小突起除去方法に用いる微小突起除去テープに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶カラーフィルタ基板を製造する際に、液晶カラーフィルタ基板の表面に数ミクロンの微小突起が付着すると、液晶封入部分の厚みが均一にならず、液晶表示の画質が低下する。
【０００３】
このため、液晶カラーフィルタ基板の異物である微小突起はできる限り除去しなければならず、近年、液晶カラーフィルタ基板に付着した微小突起を除去して、液晶カラーフィルタ基板を平滑にする微小突起除去装置が提供されている。
【０００４】
この装置は、液晶カラーフィルタ基板を載せる表面が平面状の載置台と、該載置台の上方に配置され、研磨テープを連続的に移送するテープ移送機構と、上下動可能に配置され、前記研磨テープの裏面を前記載置台の方向に押圧して、前記研磨テープを介して前記載置台に載せられた液晶カラーフィルタ基板に付着した微小突起を除去する研磨ヘッドと、微小突起を拡大して観察する光学系とを具備している装置である。
【０００５】
この装置においては、前記光学系を用いて微小突起を観察して研磨対象である微小突起を選択したのち、微小突起の高さを測定し、微小突起の高さに応じて研磨ヘッドを下降し、研磨テープを研磨対象部に押圧しながら研磨テープを連続的に移送して、この研磨テープの研磨作用により微小突起を除去する（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２６６２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記のような構成の微小突起除去装置には次のような問題があった。すなわち、研磨テープにより微小突起を研磨しているから、微小突起の高さに応じて研磨テープの下降量を決定しなければならないので、研磨テープにより研磨を行なう前に、微小突起の高さを測定する必要がある。したがって、微小突起除去作業に要する時間が長くなる。
【０００８】
また、研磨テープを研磨対象部に押圧しながら研磨テープを連続的に移送するから、１つの微小突起を研削除去するためには、研磨テープのかなり長い部分を使用しなければならないので、研磨テープの交換頻度が多くなり、微小突起除去作業が面倒である。
【０００９】
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、微小突起除去作業に要する時間を短くすることができる微小突起除去装置および微小突起除去方法を提供することを目的とする。
【００１０】
また、交換頻度が少ない微小突起除去テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明においては、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。すなわち、請求項１に係る微小突起除去装置は、平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去装置であって、前記微小突起を観察する観察装置と、前記観察装置の観察部を前記被修正体上の任意の位置に移動する移動装置と、前記移動装置の取付部に取り付けられた微小突起除去部と、前記微小突起除去部に取り付けられ、かつテープ基体の幅方向の一方端部に前記微小突起よりも硬質な硬質材料からなる研削突起を設けた微小突起除去テープとを備えていることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２に係る微小突起除去装置は、請求項１に係る微小突起除去装置において、前記取付部に前記微小突起除去部を退避させた状態にする退避手段を介して前記微小突起除去部を取り付けたことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３に係る微小突起除去方法は、平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去方法であって、テープ基体の幅方向の一方端部に前記微小突起よりも硬質な硬質材料からなる研削突起を設けた微小突起除去テープをＵ字型に曲げ、前記研削突起を前記被修正体の表面に接触させた状態で、前記研削突起を移動させ、前記研削突起により前記微小突起に剪断力を作用させて、前記微小突起を研削除去することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項４に係る微小突起除去方法は、請求項３に係る微小突起除去方法において、前記微小突起除去テープの前記研削突起が設けられた端部とは反対側の端部を板状体に当接させることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項５に係る微小突起除去テープは、平板状の被修正体に付着した微小突起を除去する微小突起除去テープであって、テープ基体の幅方向の一方端部に前記微小突起よりも硬質な硬質材料からなる研削突起を設けたことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項６に係る微小突起除去テープは、請求項５に係る微小突起除去テープにおいて、前記テープ基体に複数の前記研削突起を設けたことを特徴とする。
【００１７】
また、請求項７に係る微小突起除去テープは、請求項５または７に係る微小突起除去テープにおいて、前記テープ基体の端部の前記研削突起が設けられた部分の両側にそれぞれ凹部を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、以下の優れた効果を奏する。すなわち、請求項１に係る発明では、前述の構成とすることによって、微小突起の高さに応じて微小突起除去テープの下降量を決定しなくともよいから、微小突起の高さを測定する必要がないので、微小突起除去作業に要する時間が短くなる。
【００１９】
また、請求項２に係る発明では、前述の構成とすることによって、微小突起除去部を退避した状態とすることができるから、観察装置の表示装置の画面に微小突起除去テープが表示されない状態とすることができる。
【００２０】
また、請求項３に係る発明では、前述の構成とすることによって、被修正体の表面の微小突起の周辺部が損傷するのを防止することができる。
【００２１】
また、請求項４に係る発明では、前述の構成とすることによって、研削突起による微小突起の研削除去時に、テープ基体の移動を板状体によって阻止することができ、しかも研削突起が磨耗したときに、微小突起除去テープをその長さ方向に移動して、他の研削突起を使用可能な状態にすることができる。
【００２２】
また、請求項５に係る発明では、前述の構成とすることによって、微小突起除去テープを連続的に移送せず、かつ１つの研削突起で多数の微小突起を除去することができるから、微小突起除去テープの交換頻度が少なくなる。
【００２３】
また、請求項６に係る発明では、前述の構成とすることによって、１つの微小突起除去テープを微小突起除去部に取り付ければ、複数の研削突起を使用することができるから、微小突起除去テープの交換頻度がさらに少なくなる。
【００２４】
また、請求項７に係る発明では、前述の構成とすることによって、研削突起が被修正体の表面に対して平行となるように保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る微小突起除去テープを示す図である。
【図２】本発明に係る微小突起除去装置を示す概略平面図である。
【図３】図２の拡大Ｂ矢視図である。
【図４】図３のＣ矢視図である。
【図５】図４の一部拡大図である。
【図６】図３の一部を切断した一部拡大図である。
【図７】本発明に係る微小突起除去方法の説明図である。
【図８】本発明に係る微小突起除去方法の説明図である。
【図９】本発明に係る微小突起除去方法の説明図である。
【図１０】本発明に係る微小突起除去方法の説明図である。
【図１１】本発明に係る他の微小突起除去装置の一部を示す概略図である。
【図１２】本発明に係る他の微小突起除去テープの一部を示す図である。
【図１３】図１２に示した微小突起除去テープを使用した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１は本発明に係る微小突起除去テープを示す図で、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図に示すように、微小突起除去テープ１０のポリイミドからなるテープ基体１の幅方向（図１（ａ）紙面上下方向）の一方端部に複数の研削突起２が設けられている。テープ基体１の幅寸法は約１０ｍｍ、厚さは５０〜２００μｍである。また、研削突起２は厚さが２μｍ、縦横寸法（図１（ａ）紙面左右方向寸法および上下方向寸法）が５０μｍであり、研削突起２はタングステン、ニッケルなどの硬質金属、酸化タングステン、セラミック、ダイアモンド等の除去すべき微小突起よりも硬質な硬質材料からなり、研削突起２は蒸着等により設けられている。また、テープ基体１の一方端部に板金３が固定されており、テープ基体１および板金３に穴４が設けられている。また、テープ基体１の他方端部に角穴である取付穴５が設けられている。
【００２７】
図２は本発明に係る微小突起除去装置を示す概略平面図、図３は図２の拡大Ｂ矢視図、図４は図３のＣ矢視図、図５は図４の一部拡大図、図６は図３の一部を切断した一部拡大図である。図に示すように、枠体５１に２本のレール５２が設けられ、レール５２上をそれぞれ走行する走行体５３が設けられている。なお、枠体５１の内部には複数の載置ピン３２（説明後述）が設けられている。また、両端が走行体５３に取り付けられたロッド体５４が設けられ、ロッド体５４に沿って移動する移動体５５が設けられている。また、移動体５５に昇降装置５６を介して取付部１１が取り付けられ、昇降装置５６は移動体５５に対して取付部１１を昇降する。また、取付部１１に観察装置の観察部５８が取り付けられ、観察部５８は顕微鏡を有し、顕微鏡は対物レンズ１２を有する。そして、レール５２、走行体５３、ロッド体５４、移動体５５、昇降装置５６および取付部１１により、観察部５８を移動する移動装置５７が構成されており、移動装置５７は観察部５８を上述の載置ピン３２上に載置された平板状の被修正体である液晶カラーフィルタ基板（図示せず）上の任意の位置に移動することができる。また、観察部５８に観察装置の表示装置５９が接続されている。
【００２８】
また、取付部１１にθステージ１３が取り付けられ、θステージ１３はθモータ１４によって駆動される。また、θステージ１３の可動部１３ａに支持体１５が取り付けられ、支持体１５に突出板１６が設けられている。なお、図示の状態では、支持体１５、突出板１６は対物レンズ１２の光軸に対して３０°傾斜している。このように、支持体１５、突出板１６等を有する微小突起除去部２３はθステージ１３を介して取付部１１に取り付けられている。
【００２９】
また、支持体１５の一方の側部に巻取装置１７が取り付けられ、支持体１５の他方の側部に突出ピン１８が設けられ、図１に示した微小突起除去テープ１０の取付穴５によって、微小突起除去テープ１０の一方端部が巻取装置１７に取り付けられ、微小突起除去テープ１０の他方端部がバネ１９を介して突出ピン１８に取り付けられている。すなわち、バネ１９の一方端は突出ピン１８に取り付けられ、バネ１９の他方端は穴４に挿入されている。このように、微小突起除去テープ１０が微小突起除去部２３に取り付けられ、微小突起除去テープ１０がバネ１９によって引っ張られた状態となっている。
【００３０】
また、突出板１６に２本の案内ピン２０および１本の支持ピン２１が設けられ、案内ピン２０、支持ピン２１の中心線は突出板１６に対して直角である。したがって、支持ピン２１は対物レンズ１２の光軸と直角な面に対して３０°傾斜している。また、支持ピン２１は突出板１６の先端部の近傍に設けられており、支持ピン２１の断面形状は楕円形である。そして、微小突起除去テープ１０が案内ピン２０、支持ピン２１に掛けられている。すなわち、微小突起除去テープ１０が支持ピン２１に巻き付けられている。この状態では、支持ピン２１により微小突起除去テープ１０がＵ字型に曲げられ、またテープ基体１の研削突起２が設けられた端部が支持ピン２１の先端部から突出している。また、研削突起２の１つが図６に示す位置となるように、微小突起除去テープ１０が案内ピン２０、支持ピン２１に掛けられ、微小突起除去テープ１０の研削突起２が設けられた端部とは反対側の端部は板状体である突出板１６に当接している。また、図３、図４に示した状態では、支持ピン２１の先端部はほぼ対物レンズ１２の光軸上に位置している。また、突出板１６に穴２２が設けられており、図３、図４に示した状態では、穴２２の中心と対物レンズ１２の光軸とがほぼ一致している。
【００３１】
つぎに、図２〜図６に示した微小突起除去装置を使用した本発明に係る微小突起除去方法を説明する。まず、液晶カラーフィルタ基板を検査することにより、液晶カラーフィルタ基板に付着した異物である微小突起の位置を検出し、微小突起の位置を記憶手段に記憶する。
【００３２】
つぎに、図７に示すように、液晶カラーフィルタ基板３１をロボットハンド３５により複数の載置ピン３２上に載置し、吸着パッド３３で吸引することにより、液晶カラーフィルタ基板３１を所定位置に固定する。つぎに、θモータ１４によりθステージ１３を駆動することにより、図８に示すように、支持ピン２１を図３に示した位置よりも紙面左方でかつ上方に位置させた状態すなわち微小突起除去部２３を取付部１１に対して退避位置に退避させた状態とし、記憶手段に記憶された位置に基づいて、移動装置５７により観察部５８、微小突起除去部２３を移動し、図９（ａ）に示すように、表示装置５９の画面内に研削対象である微小突起３４が表示された状態とする。
【００３３】
つぎに、画像処理を行なうことにより、対物レンズ１２と微小突起３４との位置関係を検出し、対物レンズ１２と微小突起３４との位置関係に基づいて、移動装置５７により観察部５８を移動し、図９（ｂ）に示すように、表示装置５９の画面内の紙面上下方向の中央部で、紙面左右方向の右よりに微小突起３４を位置させる。
【００３４】
つぎに、移動装置５７の昇降装置５６により微小突起除去部２３を多少上昇させたのち、θモータ１４によりθステージ１３を駆動することにより、支持ピン２１（微小突起除去部２３）を取付部１１に対して図３に示した研削位置に戻した状態にし、この後昇降装置５６により対物レンズ１２の焦点高さまで観察部５８、微小突起除去部２３を下降して、研削突起２の位置を図１０（ａ）に示した位置とする。この場合、図９（ｃ）に示すように、表示装置５９の画面に微小突起除去テープ１０が表示される。この状態では、研削突起２は微小突起３４の近傍でかつ液晶カラーフィルタ基板３１の上方に位置しており、テープ基体１の最下部は液晶カラーフィルタ基板３１の表面に対して３０°傾斜している。
【００３５】
つぎに、昇降装置５６により支持ピン２１（微小突起除去部２３）を下降させる。すると、図１０（ｂ）に示すように、研削突起２が液晶カラーフィルタ基板３１の表面と接触し、テープ基体１が変形し、研削突起２が微小突起３４の近傍に位置する。この場合、図９（ｄ）に示すように、表示装置５９の画面のテープ基体１の突出側端部の位置が紙面右方に移動する。たとえば、支持ピン２１の先端部からのテープ基体１の突出量を１００μｍとすると、昇降装置５６により支持ピン２１（微小突起除去部２３）を図１０（ｂ）に示す位置まで下降させると、テープ基体１の突出側端部の位置が約１５μｍ紙面右方に移動する。したがって、画像処理によりテープ基体１の突出側端部の位置の移動量を検出し、その移動量が所定値になったときに、昇降装置５６による支持ピン２１の下降を停止すれば、図１０（ｂ）に示す状態すなわち研削突起２の下面が液晶カラーフィルタ基板３１に接触した状態とすることができる。なお、画像処理における分解能を１．５μｍとすることができるから、画像処理によりテープ基体１の突出側端部の位置の移動量を検出することは十分可能である。
【００３６】
つぎに、移動装置５７により支持ピン２１（微小突起除去部２３）を図１０紙面右方すなわち液晶カラーフィルタ基板３１の表面と平行な方向に移動することにより、研削突起２により微小突起３４を研削除去する。この場合、吸引装置（図示せず）により研削突起２の近傍部分を吸引することにより、微小突起を研削することにより生じた削りカスを吸引除去する。
【００３７】
このように、微小突起除去テープ１０をＵ字型に曲げ、研削突起２を液晶カラーフィルタ基板３１の表面に接触させた状態で、研削突起２を液晶カラーフィルタ基板３１の表面と平行に移動させ、研削突起２により微小突起３４に剪断力を作用させて、微小突起３４を研削除去する。
【００３８】
なお、この場合には、微小突起除去テープ１０がＵ字型に曲げられているから、テープ基体１が剛性を有しており、研削突起２による微小突起３４の研削除去時に、テープ基体１が変形することはない。また、微小突起除去テープ１０の研削突起２が設けられた端部とは反対側の端部は突出板１６に当接しているから、研削突起２による微小突起３４の研削除去時に、テープ基体１に図１０紙面左方への力が作用するが、テープ基体１の左方への移動は突出板１６によって阻止される。
【００３９】
つぎに、昇降装置５６により支持ピン２１（微小突起除去部２３）を図１０（ａ）に示す高さより多少上方まで上昇させたのち、θモータ１４によりθステージ１３を駆動することにより、微小突起除去部２３を退避させた状態とし、この後昇降装置５６により対物レンズ１２の焦点高さまで観察部５８、微小突起除去部２３を下降する。
【００４０】
つぎに、記憶手段に記憶された位置に基づいて、移動装置５７により観察部５８を移動し、表示装置５９の画面内に次の研削対象である微小突起３４が表示された状態とする。以下、上記と同様の工程を行なう。
【００４１】
なお、研削突起２が磨耗したときには、巻取装置１７により微小突起除去テープ１０の一端を巻き取って、微小突起除去テープ１０をその長さ方向に移動し、磨耗した研削突起２の隣の研削突起２を図６に示す位置にすることにより、その研削突起２を使用可能な状態にする。このようにして、次々に研削突起２を使用し、微小突起除去テープ１０に設けられた全ての研削突起２を使用したのちに、新たな微小突起除去テープ１０と交換する。
【００４２】
このような微小突起除去装置、微小突起除去方法においては、微小突起除去テープ１０により微小突起３４を研削しているから、微小突起３４の高さに応じて微小突起除去テープ１０の下降量を決定しなくともよいので、微小突起３４の高さを測定する必要がない。すなわち、微小突起３４の高さにかかわらず、研削突起２を微小突起３４の近傍に位置させたのち、移動装置５７により研削突起２を移動させて、研削突起２により微小突起３４を研削除去するから、微小突起３４の高さを測定する必要がない。このため、微小突起除去作業に要する時間が短くなる。
【００４３】
また、上述の微小突起除去装置、微小突起除去方法においては、微小突起除去テープ１０を微小突起３４に押圧しないから、液晶カラーフィルタ基板３１が変形しない状態とするために、液晶カラーフィルタ基板３１を表面が平面状の載置台に吸着させる必要がない。すなわち、液晶カラーフィルタ基板３１を載置台に載置したのちに、載置台と液晶カラーフィルタ基板３１との間の空気を吸引して、液晶カラーフィルタ基板３１を載置台に吸着させる必要がなく、また微小突起３４を除去した液晶カラーフィルタ基板３１を載置台から排出するときに、載置台と液晶カラーフィルタ基板３１との間に空気を供給して、液晶カラーフィルタ基板３１が載置台に吸着されない状態とする必要がない。このため、微小突起除去作業に要する時間が短くなる。
【００４４】
また、上述の微小突起除去装置においては、取付部１１にθステージ１３を介して微小突起除去部２３を取り付けているから、微小突起除去部２３を退避した状態とすることができるので、表示装置５９の画面に微小突起除去テープ１０が表示されない状態とすることができる。
【００４５】
また、上述の微小突起除去方法においては、微小突起除去テープ１０をＵ字型に曲げ、研削突起２を液晶カラーフィルタ基板３１の表面に接触させた状態で、研削突起２を液晶カラーフィルタ基板３１の表面と平行に移動させ、研削突起２により微小突起３４に剪断力を作用させて、微小突起３４を研削除去するから、液晶カラーフィルタ基板３１の表面に接触するのは研削突起２だけであるので、液晶カラーフィルタ基板３１の表面の微小突起３４の周辺部が損傷するのを防止することができる。
【００４６】
また、上述の微小突起除去方法においては、微小突起除去テープ１０の研削突起２が設けられた端部とは反対側の端部は突出板１６に当接しているから、研削突起２による微小突起３４の研削除去時に、テープ基体１の移動を突出板１６によって阻止することができ、しかも研削突起２が磨耗したときに、微小突起除去テープ１０をその長さ方向に移動して、他の研削突起２を使用可能な状態にすることができる。
【００４７】
また、上述の微小突起除去方法においては、支持ピン２１を対物レンズ１２の光軸と直角な面に対して３０°傾斜させ、画像処理によりテープ基体１の突出側端部の位置の移動量を検出しながら、昇降装置５６により支持ピン２１（微小突起除去部２３）を下降し、上記移動量が所定値になったときに、昇降装置５６による支持ピン２１（微小突起除去部２３）の下降を停止するから、容易にかつ確実に研削突起２の下面が液晶カラーフィルタ基板３１に接触した状態とすることができる。この結果、研削突起２の移動により、研削突起２で微小突起３４を確実に研削除去することができる。
【００４８】
また、上述の微小突起除去方法においては、昇降装置５６により微小突起除去部２３を図１０（ａ）に示す高さより多少上方まで上昇させたのち、θステージ１３、θモータ１４により微小突起除去部２３を退避させた状態とし、この後対物レンズ１２の焦点高さまで観察部５８、微小突起除去部２３を下降しているから、研削突起２が液晶カラーフィルタ基板に接触するのを防止することができる。
【００４９】
また、従来のように、研磨テープにより微小突起を研磨除去するときには、研磨範囲がたとえば２００μｍと広くなるが、上述の微小突起除去装置、微小突起除去方法においては、研削突起２の縦横寸法をたとえば５０μｍと小さくすることができるから、液晶カラーフィルタ基板３１に設けられたフォトスペーサ（ＰＳ）の近くに微小突起３４が存在する場合にも、微小突起３４を研削除去することができる。
【００５０】
また、従来のように、液晶カラーフィルタ基板を載置台に吸着させるときには、液晶カラーフィルタ基板を載置台に載置するためのロボットハンドが載置台上を移動するから、ロボットハンドが載置台上に存在するときに、誤動作により微小突起除去装置を移動させたときには、微小突起除去装置がロボットハンドと衝突して、微小突起除去装置が損傷することがある。これに対して、図７に示すように、液晶カラーフィルタ基板３１を複数の載置ピン３２上に載置し、吸着パッド３３で吸引することにより、液晶カラーフィルタ基板３１を固定したときには、液晶カラーフィルタ基板３１を載置ピン３２上に載置するためのロボットハンド３５を載置ピン３２の上端よりも下方に移動させることができるから、ロボットハンド３５が載置ピン３２の近傍に存在するときに、誤動作により微小突起除去部２３を移動させたとしても、微小突起除去部２３がロボットハンド３５と衝突することがないので、微小突起除去部２３が損傷することがない。
【００５１】
また、上述の微小突起除去装置においては、オペレータが観察装置により微小突起３４の研削状態を観察することができるから、研削のこりがあった場合でも、表示装置５９の画面を見ながら手動操作により、研削修正作業を行なうことができる。
【００５２】
また、上述の微小突起除去テープ１０においては、微小突起除去テープ１０を連続的に移送せず、かつ１つの研削突起２で多数の微小突起３４を除去することができ、しかもテープ基体１に複数の研削突起２を設けているから、微小突起除去テープ１０の交換頻度が少なくなる。
【００５３】
図１１は本発明に係る他の微小突起除去装置の一部を示す概略図である。図に示すように、取付部１１に直動ステージ４１が取り付けられ、直動ステージ４１は駆動装置４２によって駆動される。また、直動ステージ４１の可動部４１ａは対物レンズ１２の光軸に対して６０°傾斜した方向に移動し、直動ステージ４１の可動部４１ａに支持体１５が取り付けられている。すなわち、微小突起除去部２３は直動ステージ４１を介して取付部１１に取り付けられている。そして、その他の構成は図２〜図６に示した微小突起除去装置の構成と同様である。
【００５４】
図１１に示した微小突起除去装置を使用した本発明に係る微小突起除去方法においては、液晶カラーフィルタ基板３１を所定位置に固定したのち、駆動装置４２により直動ステージ４１を駆動することにより、支持ピン２１を図１１に示した位置よりも紙面左方でかつ上方に位置させた状態すなわち微小突起除去部２３を取付部１１に対して退避位置に退避させた状態とし、記憶手段に記憶された位置に基づいて、移動装置５７により観察部５８を移動する。
【００５５】
また、図９（ｂ）に示すように、表示装置５９の画面内の紙面上下方向の中央部で、紙面左右方向の右よりに微小突起３４を位置させ、昇降装置５６により微小突起除去部２３を多少上昇させたのち、駆動装置４２により直動ステージ４１を駆動することにより、支持ピン２１（微小突起除去部２３）を取付部１１に対して図１１に示した研削位置に戻した状態とし、この後昇降装置５６により対物レンズ１２の焦点高さまで観察部５８、微小突起除去部２３を下降する。
【００５６】
また、研削突起２により微小突起３４を研削除去し、昇降装置５６により支持ピン２１（微小突起除去部２３）を図１０（ａ）に示す高さより多少上方まで上昇させたのち、駆動装置４２により直動ステージ４１を駆動することにより、微小突起除去部２３を退避させた状態とし、この後昇降装置５６により対物レンズ１２の焦点高さまで観察部５８、微小突起除去部２３を下降する。
【００５７】
このように、図２〜図６に示した微小突起除去装置を使用した微小突起除去方法においては、θモータ１４によりθステージ１３を駆動することにより、微小突起除去部２３を取付部１１に対して研削位置と退避位置とに移動したが、図８に示した微小突起除去装置を使用した微小突起除去方法においては、駆動装置４２により直動ステージ４１を駆動することにより、微小突起除去部２３を取付部１１に対して研削位置と退避位置とに移動しており、その他の工程は図２〜図６に示した微小突起除去装置を使用した微小突起除去方法と同様である。
【００５８】
また、図１１に示した微小突起除去装置、図１１に示した微小突起除去装置を使用した微小突起除去方法においても、図２〜図６に示した微小突起除去装置、図２〜図６に示した微小突起除去装置を使用した微小突起除去方法と同様の効果を奏する。
【００５９】
図１２は本発明に係る他の微小突起除去テープの一部を示す図であり、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。図に示すように、テープ基体１の端部の研削突起２が設けられた部分の両側にそれぞれ凹部１ａが設けられている。
【００６０】
図１２に示した微小突起除去テープを使用したときには、研削突起２が液晶カラーフィルタ基板３１の表面に接触したときに、図１３に示すように、テープ基体１の凹部１ａに隣接する角部１ｂが自重によって下方に変形するから、角部１ｂも液晶カラーフィルタ基板３１の表面に接触した状態となるので、研削突起２が液晶カラーフィルタ基板３１の表面に対して平行となるように保つことができる。
【００６１】
なお、上述実施の形態においては、平板状の被修正体が液晶カラーフィルタ基板３１の場合について説明したが、平板状の被修正体は液晶カラーフィルタ基板３１に限定されない。
【００６２】
また、上述実施の形態においては、微小突起除去部２３を退避させた状態にする退避手段としてθステージ１３およびθモータ１４あるいは直動ステージ４１および駆動装置４２を用いたが、退避手段はこれらに限定されない。すなわち、取付部に微小突起除去部を退避させた状態にする退避手段を介して微小突起除去部を取り付ければよい。
【００６３】
また、上述実施の形態においては、取付部１１にθステージ１３または直動ステージ４１を介して微小突起除去部２３（支持体１５）を取り付けたが、取付部１１に回転機構を介してθステージ１３または直動ステージ４１を取り付けることにより、微小突起除去部２３を対物レンズ１２の光軸を中心に回転することができるようにすれば、研削突起２の向きを変更することができるから、液晶カラーフィルタ基板３１に設けられたフォトスペーサの近傍に微小突起３４が存在する場合にも、フォトスペーサを回避しながら微小突起３４を研削除去することができ、また液晶カラーフィルタ基板３１に長尺状の微小突起が存在する場合にも、研削突起２の向きを変更しながら、長尺状の微小突起に追従して研磨突起２を移動することにより、長尺状の微小突起３４を研削除去することができる。
【００６４】
また、上述実施の形態においては、液晶カラーフィルタ基板３１を複数の載置ピン３２上に載置し、吸着パッド３３で吸引することにより、液晶カラーフィルタ基板３１を所定位置に固定したが、液晶カラーフィルタ基板３１をガラスステージ上に載置してもよい。この場合、研削突起２により微小突起３４を研削除去するから、液晶カラーフィルタ基板３１をガラスステージに吸着させる必要はない。したがって、本発明においては、平板状の被修正体を載置する載置部は表面が平面状の載置台に限定されない。
【００６５】
また、上述実施の形態においては、支持体１５、突出板１６を対物レンズ１２の光軸に対して３０°傾斜させて、テープ基体１の最下部を液晶カラーフィルタ基板３１の表面に対して３０°傾斜させたが、支持体１５、突出板１６を対物レンズ１２の光軸に対して１５〜４５°傾斜させて、テープ基体１の最下部を液晶カラーフィルタ基板３１の表面に対して１５〜４５°傾斜させてもよい。
【００６６】
また、上述実施の形態においては、吸引装置により研削突起２の近傍部分を吸引することにより、微小突起を研削することにより生じた削りカスを吸引除去したが、微小突起を研削することにより生じた削りカスを空気噴出装置により吹き飛ばしてもよい。
【００６７】
また、上述実施の形態においては、微小突起除去テープ１０のテープ基体１に複数の研削突起２を設けたが、テープ基体１に１個の研削突起２を設けてもよい。この場合、突出板に微小突起除去テープを着脱可能に取り付ける。
【００６８】
また、上述実施の形態においては、ポリイミドからなるテープ基体１を用いたが、テープ基体の材質はポリイミド以外のものでもよい。
【００６９】
また、上述実施の形態においては、テープ基体１の幅寸法を約１０ｍｍ、厚さを５０〜２００μｍとし、研削突起２の厚さを２μｍ、縦横寸法を５０μｍとしたが、テープ基体１、研削突起２の寸法は上記寸法に限定されない。
【００７０】
また、研削突起２がテープ基体１の端部から突出して形成されたとしても、研削突起２により微小突起３４を研削除去することができれば、問題はない。
【符号の説明】
【００７１】
１…テープ基体
１ａ…凹部
２…研削突起
１０…微小突起除去テープ
１１…取付部
１２…対物レンズ
１３…θステージ
１４…θモータ
１５…支持体
１６…突出板
１７…巻取装置
１８…突出ピン
１９…バネ
２０…案内ピン
２１…支持ピン
２３…微小突起除去部
４１…直動ステージ
４２…駆動装置
５７…移動装置
５８…観察部
５９…表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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