(57)【要約】【課題】  部品点数を増やすことなく解像度に応じて液体噴射ヘッドを位置決め精度を良好に維持しながら固定できる液体噴射ヘッドユニットの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置を提供する。【解決手段】  複数の液体噴射ヘッド１０が固定されるベースプレート２０に固定され、液体噴射ヘッドをベースプレートに対して所定位置に位置決めするための固定プレート４０と、固定プレートをベースプレートに対して位置決めするための固定プレートに形成された基準マーク及びベースプレートに形成された位置決めマークとを備え、位置決めマークが、ノズルが列設された方向に沿って複数形成されており、所定の解像度に応じて位置決めマークを選択し、基準マークと選択された位置決めマークとの相対的な位置関係が同一となるように固定プレートをベースプレートに固定し、固定プレートを用いて各液体噴射ヘッドをベースプレートに固定する。【選択図】図６
2010264700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するノズルが列設されたノズル列を有する複数の液体噴射ヘッドと、該複数の液体噴射ヘッドが固定されるベースプレートと、該ベースプレートに固定され、前記液体噴射ヘッドを前記ベースプレートに対して所定位置に位置決めするための固定プレートと、該固定プレートを前記ベースプレートに対して位置決めするための前記固定プレートに形成された基準マーク及び前記ベースプレートに形成された位置決めマークとを備え、
前記位置決めマークが、前記ノズルが列設された方向に沿って複数形成されており、
所定の解像度に応じて前記位置決めマークを選択し、前記基準マークと選択された該位置決めマークとの相対的な位置関係が同一となるように前記固定プレートを前記ベースプレートに固定し、該固定プレートを用いて前記各液体噴射ヘッドをベースプレートに固定することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
【請求項２】
前記位置決めマークは前記ベースプレートに形成された孔であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
【請求項３】
前記位置決めマークの形状及び大きさの少なくとも一方が各位置決めマークにおいて異なることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
【請求項４】
前記位置決めマークが、前記固定プレートに、前記ノズルが列設された方向に直交して複数列形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
【請求項５】
前記固定プレートには、位置決めピンが設けられ、該位置決めピンが挿通される挿通孔が前記液体噴射ヘッドに設けられており、
前記位置決めピンを前記挿通孔に挿通することにより前記液体噴射ヘッドを前記ベースプレートに固定することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載された液体噴射ヘッドユニットの製造方法により製造された液体噴射ヘッドユニットを備えた液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドユニットの製造方法及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンターやプロッター等のインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、カートリッジやタンク等に貯留されたインクなどの液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドが複数設けられた液体噴射ヘッドユニットを具備する。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドユニットを構成する複数の各液体噴射ヘッドは、共通の保持部材であるベースプレートの所定位置に高精度に位置決めされた状態で固定されている。例えば、各液体噴射ヘッドは、各液体噴射ヘッドの複数のノズルが列設されたノズル列に沿った方向において、各ノズルが一定のピッチで連続するように高精度に位置決めされてベースプレートに固定される。
【０００４】
液体噴射ヘッドを位置決めし、液体噴射ヘッドユニットを製造する方法としては、例えば、シリコン基板からなるアライメント基板（ベースプレートに相当）及びこれに配設されるサブユニット（液体噴射ヘッドに相当）に、フォトリソグラフィー法でキー溝及びキーをそれぞれ形成し、キー溝にキーを係合させてアライメント基板上にサブユニットを所定の位置に位置決めして取り付ける方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２５４９７６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような方法によれば、各液体噴射ヘッドを高精度に位置決めしてベースプレートに固定することはできる。しかしながら、特許文献１に記載された方法では、各液体噴射ヘッドをノズル列方向にずらして配置して高い解像度を得ようとする場合に、キー溝を所望の解像度に応じて形成する必要があるため、部品点数が増えてしまう。その結果、コスト高になるという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、部品点数を増やすことなく解像度に応じて液体噴射ヘッドをベースプレートに位置決め精度を良好に維持しながら固定することができる液体噴射ヘッドユニットの製造方法及びこの液体噴射ヘッドユニットを用いた液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドユニットの製造方法は、液滴を噴射するノズルが列設されたノズル列を有する複数の液体噴射ヘッドと、該複数の液体噴射ヘッドが固定されるベースプレートと、該ベースプレートに固定され、前記液体噴射ヘッドを前記ベースプレートに対して所定位置に位置決めするための固定プレートと、該固定プレートを前記ベースプレートに対して位置決めするための前記固定プレートに形成された基準マーク及び前記ベースプレートに形成された位置決めマークとを備え、前記位置決めマークが、前記ノズルが列設された方向に沿って複数形成されており、所定の解像度に応じて前記位置決めマークを選択し、前記基準マークと選択された該位置決めマークとの相対的な位置関係が同一となるように前記固定プレートを前記ベースプレートに固定し、該固定プレートを用いて前記各液体噴射ヘッドをベースプレートに固定することを特徴とする。位置決めマークが複数形成され、所定の解像度に応じて位置決めマークを選択することで簡易に解像度の異なるヘッドユニットを製造することができることから、解像度に応じて部品を作製する必要がなく、コスト低下を図ることが可能である。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態としては、前記位置決めマークは前記ベースプレートに形成された孔であることが挙げられる。
【００１１】
ここで、前記位置決めマークの形状及び大きさの少なくとも一方が各位置決めマークにおいて異なることが好ましい。このように形成することで、どの位置決めマークを選択しているのかを認識しやすくなるために、より簡易にヘッドユニットを製造することができる。
【００１２】
また、前記位置決めマークが、前記固定プレートに、前記ノズルが列設された方向に直交して複数列形成されていることが好ましい。このように複数列設けられることで、基準マークとの位置決めを容易に行うことが可能である。
【００１３】
さらにまた、前記固定プレートには、位置決めピンが設けられ、該位置決めピンが挿通される挿通孔が前記液体噴射ヘッドに設けられており、前記位置決めピンを前記挿通孔に挿通することにより前記液体噴射ヘッドを前記ベースプレートに固定することが好ましい。かかる形態によれば、液体噴射ヘッドを位置決めピンにより簡易に位置決めして固定することができる。
【００１４】
本発明の液体噴射装置は、上記いずれかの液体噴射ヘッドユニットの製造方法により製造された液体噴射ヘッドユニットを備えたことを特徴とする。本発明の液体噴射ヘッドユニットの製造方法を用いていることで、部品点数を増やすことなく解像度に応じて液体噴射ヘッドをベースプレートに位置決め精度を良好に維持しながら固定することができるので、液体噴射装置は液体噴射特性が良好である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】ヘッドユニットの概略を示す斜視図。
【図２】ヘッドの概略を示す斜視図。
【図３】ヘッドユニットの概略を示す平面図。
【図４】ノズル列方向におけるヘッドユニットの概略を示す断面図。
【図５】ベースプレートの一部拡大図。
【図６】ヘッドの（ａ）設置前（ｂ）設置後を示すベースプレートの一部拡大図。
【図７】ベースプレートを裏面からみた場合の一部拡大図。
【図８】ベースプレートの断面図の一部拡大図。
【図９】液体噴射装置の概略を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１〜図４に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、単にヘッドユニットとも言う）は、複数のインクジェット式記録ヘッド１０（以下、単にヘッドとも言う）からなるヘッド群１００と、これら複数のヘッド１０が所定位置に位置決めされた状態で固定されるベースプレート２０とを具備する。
【００１７】
各ヘッド１０には、ノズル１１が、一方向に一定のピッチで列設されており、これによりノズル列１４を形成している。このノズル列１４に沿うように複数のヘッド１０（本実施形態では例としてヘッド１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）を配置することで、各ヘッド群１００は構成されている。各ヘッド群１００を構成する複数のヘッド１０ａ、１０ｂ、１０ｃは、千鳥状で配置される。即ち、ヘッド１０ａとヘッド１０ｂとは、ノズル列方向に一列に配置されており、ヘッド１０ｃは、ヘッド１０ａ及びヘッド１０ｂに対してノズル列方向に直交する方向にずらした状態で、かつ、ヘッド１０ａのヘッド１０ｂ側のノズル列１４の端部と、ヘッド１０ｂのヘッド１０ａ側のノズル列１４の端部とが、ヘッド１０ｃのノズル列１４の端部と重なるように（ノズル列１４に対して直交する方向において同一位置になるように）配置されている。このように配置されていることでノズル列１４の列設方向においてノズル１１がとぎれることがない。このようにして構成された複数のヘッド群１００（本実施形態では例として２つヘッド群１００ａ、１００ｂ）がベースプレート２０上にノズル列１４とは直交する方向に並設されている。
【００１８】
ベースプレート２０には、その厚さ方向に貫通する貫通孔２１が各ヘッド１０に対応してそれぞれ設けられている。つまり各ヘッド１０は、これらの各貫通孔２１に挿通された状態でベースプレート２０に固定されている。
【００１９】
各ヘッド１０は、一端面に複数のノズル１１を有するヘッド本体１２と、ヘッド本体１２のノズル１１とは反対側の面に固定されるヘッドケース１３とを具備する。例えば、本実施形態では、ヘッド本体１２はノズル１１が列設されたノズル列１４を２列具備している。またヘッド本体１２の内部には、図示しないが、ノズル１１に連通する流路の一部を構成する圧力発生室と、圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズルからインクを噴射させる圧力発生手段とが設けられている。
【００２０】
圧力発生手段は、特に限定されないが、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を２つの電極で挟んだ圧電素子を用いたものや、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル１１から液滴を噴射させるものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて静電気力によって振動板を変形させてノズル１１から液滴を噴射させるものなどを用いることができる。また、圧電素子としては、圧力発生室側から下電極、圧電材料及び上電極を積層して撓み変形させる撓み振動型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを用いることができる。
【００２１】
ヘッドケース１３は、インクタンク等の図示しないインク貯留手段からのインクをヘッド本体１２に供給するための供給路１５を有する。またヘッドケース１３内には、上述した圧電素子等に接続される駆動配線（図示なし）が収容されており、ヘッド本体１２とは反対側の面にはこの駆動配線に接続されるコネクター１６が設けられている。
【００２２】
そして、このような各ヘッド１０は、サブプレート３０を介してベースプレート２０に固定されている。サブプレート３０は、ヘッド挿通孔３１が設けられた基台部３２と、この基台部３２からノズル１１側に突出して設けられた脚部３３とから構成されている。サブプレート３０は、ヘッド１０がヘッド挿通孔３１に挿通された状態でヘッド１０に固定されている。具体的には、サブプレート３０の基台部３２がヘッドケース１３の外周部に設けられたフランジ部１７に固定ネジ１８によって固定されている。
【００２３】
またサブプレート３０の脚部３３には、その厚さ方向に貫通して固定ネジ３５が挿通される固定ネジ挿通孔３４が形成されている。そして、サブプレート３０は、この固定ネジ３５によってベースプレート２０に固定されている。すなわち、ベースプレート２０には、固定ネジ３５が螺合する固定部材挿通穴２２が後述する固定プレート４０のヘッド１０が形成されている側とは反対側となる外側に設けられている。
【００２４】
このようにサブプレート３０によってベースプレート２０に固定された各ヘッド１０は、以下に説明するように、ベースプレート２０に固定されている位置決めピン２３によって高精度に位置決めされている。
【００２５】
図３、４に示すように、一対の位置決めピン２３は、例えば、金属材料からなり、それぞれ固定プレート４０に固定されている。各固定プレート４０は、ベースプレート２０の所定位置に、ベースプレート２０に形成された一対の基準孔（基準マーク）２４と位置決め孔（位置決めマーク）５２とにより高精度に位置決めされた状態で固定されている。詳しくは後述するが、このように固定プレート４０が位置決め孔５２により高精度にベースプレート２０に対して位置決めされていることで、位置決めピン２３が高精度にベースプレート２０に対して位置決めされるので、この位置決めピン２３を用いて位置決めされるヘッド１０もベースプレート２０に対して高精度に位置決めされることが可能である。具体的には、位置決めピン２３が固定された固定プレート４０が、ノズル列１４の方向におけるベースプレート２０の各貫通孔２１の両外側の領域にそれぞれ高精度に位置決めされた状態で固定されている。なお、基準孔２４は基準となるマークであればどのようなものであってもよく、エッチングやレーザー等で形成することができ、形状等は特に限定されない。
【００２６】
この固定プレート４０は、その表面に対して略垂直な方向に穿設された保持孔４１を有し、位置決めピン２３はこの保持孔４１に挿通されて保持されている。つまり、位置決めピン２３は、この保持孔４１に保持されることで固定プレート４０に対して所望の垂直度が確保されている。そして、後述するように勿論、位置決めピン２３を固定プレート４０に良好に固定することができれば、位置決めピン２３は必ずしも保持孔４１に圧入されていなくてもよいし、固定プレート４０の材料も特に限定されない。ただし、保持孔４１の加工精度等を考慮すると固定プレート４０の材料としては金属材料を用いることが好ましい。
【００２７】
なおこの固定プレート４０のベースプレート２０への固定方法は、特に限定されず、図示しないが、例えば、ベースプレート２０側からネジ等の締結部材で固定すればよい。
【００２８】
この固定プレート４０の表面には、シリコン基板からなる基準プレート５０が接合されている。この基準プレート５０には、位置決めピン２３が挿通される挿通孔５１が形成されている。すなわち挿通孔５１は、基準プレート５０が固定プレート４０に接合された状態で、保持孔４１に連通している。また挿通孔５１は、位置決めピン２３が実質的に内接する大きさで形成されている。さらに基準プレート５０には、ベースプレート２０に対する固定プレート４０（位置決めピン２３）の位置決め基準となる位置決め孔５２が形成されている。
【００２９】
基準プレート５０は、例えば、結晶面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、挿通孔５１及び位置決め孔５２は、このシリコン単結晶基板を異方性エッチングすることによって形成されている。このように挿通孔５１及び位置決め孔５２が、シリコン基板をエッチングすることにより形成されているため、これら挿通孔５１と位置決め孔５２とは互いに高精度に位置決めされる。したがって、この位置決め孔５２及びベースプレート２０に形成された基準孔２４を基準として、ベースプレート２０に対する各固定プレート４０の位置決めを行うことで、ベースプレート２０の面内方向において各固定プレート４０に固定された各位置決めピン２３を極めて高精度に位置決めすることができる。
【００３０】
なお、位置決め孔５２を形成しているのは、以下のような理由である。即ち、ノズル１１が、高密度に配列されていると、各ヘッド１０をミクロンオーダーで極めて高精度に位置決めする必要がある。位置決めピン２３（固定プレート４０）の位置決めは、例えば、ＣＣＤカメラ等を用いた画像処理によって行われるが、上記のようにノズル１１が高密度に配列されていると、画像を極めて高倍率で処理する必要がある。このため、比較的開口の大きい位置決めピン２３が挿通される挿通孔５１を基準とすることは難しく、別途形成した位置決め孔５２を基準とする必要がある。
【００３１】
本発明では、上述のように固定プレート４０の表面にシリコン基板からなる基準プレート５０を設け、この基準プレート５０に挿通孔５１及び位置決め孔５２を形成するようにしたので、これら挿通孔５１と位置決め孔５２とは互いに高精度に位置決めされている。したがって、この位置決め孔５２を基準とすることで、挿通孔５１の位置決め、つまり位置決めピン２３（固定プレート４０）の位置決めを高精度に行うことができる。
【００３２】
この基準プレート５０の材料はシリコン単結晶基板に限定されず、薄い金属板を微細プレス加工したものや、同じく薄い金属板をワイヤー放電加工したものであってもよい。このように形成された基準プレート５０を用いても同様の効果を奏する。すなわち高精度な微細加工ができるものであれば、基準プレート５０の材料を特定のものに限定する必要はない。
【００３３】
一方、サブプレート３０の基台部３２のノズル１１側の面には、位置決めピン２３の先端部が挿通される先端挿通孔６１が形成された位置決めプレート６０が取り付けられている。この位置決めプレート６０は、先端挿通孔６１がノズル１１に対して高精度に位置決めされるように、サブプレート３０に固定されている。
【００３４】
位置決めプレート６０は、上述した基準プレート５０と同様にシリコン基板からなると共に先端挿通孔６１に対して高精度に位置決めされた第二位置決め孔６２を有する。すなわち、先端挿通孔６１と第二位置決め孔６２とは、例えば、結晶面方位（１１０）のシリコン基板を異方性エッチングすることによって形成されている。そして、位置決めプレート６０は、例えば、画像処理によって、この第二位置決め孔６２を基準として先端挿通孔６１を高精度に位置決めした状態で、サブプレート３０に固定されている。
【００３５】
なお、位置決めプレート６０の材料としては、上述のように先端挿通孔６１及び第二位置決め孔６２を高精度に形成可能なシリコン基板を用いることが好ましいが、これら先端挿通孔６１及び第二位置決め孔６２を高精度に形成することができれば、位置決めプレート６０の材料は特に限定されるものではない。
【００３６】
そして、このような本実施形態の構成では、ヘッド１０（サブプレート３０）をベースプレート２０に固定する際には、ベースプレート２０に固定された位置決めピン２３の先端部を所定の先端挿通孔６１に挿通させることのみで、各ヘッド１０をベースプレート２０に対して高精度に位置決めすることができる。したがって、ヘッド１０の交換作業が極めて容易となる。つまり、ＣＣＤカメラ等を用いて各ヘッド１０を位置あわせする必要がなくなるため、手間や時間をかけることなく容易にヘッド１０のアライメントを行うことができる。したがって、例えば、ヘッドユニット１を具備する液体噴射装置が実際に使用されている現場においてヘッド１０の交換作業を行う場合であっても、比較的容易に交換作業を遂行することができる。
【００３７】
ところで、本実施形態においては、位置決め孔５２は、基準プレート５０に複数形成されている（５２ａ〜５２ｄ）。このように位置決め孔５２が複数形成されていることで、本実施形態のヘッドユニット１は、ヘッド群１００毎にベースプレート２０において設置位置をずらして固定することができ、部品点数を増やすことなく解像度を向上させることができる。この点について、以下図５〜７も用いて詳細に説明する。
【００３８】
図５に示すように、位置決めピン２３が挿通される挿通孔５１が形成された基準プレート５０の長手方向端部近辺には、位置決め孔５２ａ〜５２ｄが形成されている。具体的には、位置決め孔５２ａ〜５２ｄは、基準プレート５０の長手方向の両端部に、短手方向に沿ってそれぞれ形成されている。即ち、位置決め孔５２は二列形成されており、各列は４つの位置決め孔５２により構成されている。
【００３９】
これらの位置決め孔５２は、ノズル列方向とは直交する方向に沿って所定の間隔ｄ（隣接する位置決め孔の中心間距離）に離間して形成されている。これらの位置決め孔５２ａ〜５２ｄの間隔ｄは、それぞれノズル１１のピッチ（ノズル１１間距離）の４分の１となっている。本実施形態では、製造工程においてこれらの位置決め孔５２ａ〜５２ｄのうち、どの位置決め孔５２をベースプレート２０に形成された基準孔２４と位置あわせをするかを選択することにより、ヘッドユニット１の解像度を変更することができる。
【００４０】
具体的には、図６（ａ）に示すように、一つのヘッド群１００ａを構成するヘッド１０ａに対応する固定プレート４０及び基準プレート５０については、一対の基準孔２４に対して一対の位置決め孔５２ｃを位置合わせに用いて基準プレート５０、即ち固定プレート４０を設置する。そして、一つのヘッド群１００ａに隣接するヘッド群１００ｂを構成するヘッド１０ａに対応する固定プレート４０及び基準プレート５０については、基準孔２４に対して位置決め孔５２ａを位置合わせに用いて別の基準プレート５０、即ち固定プレート４０を設置する。このように設置することで、一の固定プレート４０に対して、別の固定プレート４０は、二つの位置決め孔５２の間隔ｄ分、即ち半ピッチ分ノズル列１４方向にずれて設置される。この場合に、位置決め孔５２が二列形成されていることで、画像処理により一対の基準孔２４に対して一対の選択された位置決め孔５２が、それぞれノズル列方向において同一位置にあるかどうかを簡易に確認し位置決めすることができるので、画像処理において調整位置を補正して（即ち角度を変えて）位置あわせを行う必要がない。
【００４１】
そして、これらの基準プレート５０を基準として位置合わせピン２３を用いて上述したように各ヘッド１０ａを設置すると、図６（ｂ）に示すように、ヘッド群１００ｂを構成するヘッド１０ａは、ヘッド群１００ａを構成するヘッド１０ａに対してノズル列１４方向に半ピッチ分ずれて設置される。このように設置することで、図７（ａ）に示すように、ヘッド群１００ｂを構成するヘッド１０ａに対するヘッド群１００ａを構成するヘッド１０ａのノズル１１はそれぞれ半ピッチずれているので、ノズル列１４方向において、ノズル数が２倍となっている。これにより、例えば一つのヘッド１０の解像度が１８０ｄｐｉである場合には、ヘッドユニット１の解像度は３６０ｄｐｉとなる。
【００４２】
また、例えば一つのヘッドユニット１に対してヘッド群１００を４つ（１００ａ〜１００ｄ）用いる場合には、図７（ｂ）に示すように、ヘッド群１００ａを構成するヘッド１０ａを基準として各ヘッド群１００を構成する各ヘッド１０ａをそれぞれ隣接するヘッド群１００を構成するヘッド１０ａに対してノズルのピッチの４分の１ピッチずつずらして設置することで、ヘッドユニット１の解像度は７２０ｄｐｉとなる。この場合には、ヘッド群１００ａを構成するヘッド１０ａに対応する基準プレート５０は、位置決め孔５２ｄを、ヘッド群１００ｂを構成するヘッド１０ａに対応する基準プレート５０は、位置決め孔５２ｃを、ヘッド群１００ｃを構成するヘッド１０ａに対応する基準プレート５０は、位置決め孔５２ｂを、ヘッド群１００ｄを構成するヘッド１０ａに対応する基準プレート５０は、位置決め孔５２ａを基準孔２４との位置合わせに用いればよい。
【００４３】
このように、本実施形態においては、位置決め孔５２を複数設け、これらのうちから所望の解像度に応じてどの位置決め孔５２を用いるかを決定できるように構成しているので、部品点数を増やすことなくヘッドユニット１毎に解像度を変えて作製することができる。例えば、位置決め孔５２が一つしか設けられていない場合には、解像度に応じて位置決め孔の形成位置を変える必要があったため、部品点数が増加するが、本実施形態ではそのような必要はない。
【００４４】
また、図７（ｃ）に示すように、各ヘッド１０において二列のノズル列１４が互いに半ピッチずつずれている場合（ヘッド１０が３６０ｄｐｉである場合）には、この半ピッチに対してさらに半ピッチずらすように、即ち一列のノズル１１の間隔に対して四分の一ピッチずらすようにしてもよい。具体的には、ヘッド群１００ａを構成するヘッド１０ａに対応する基準プレート５０は、位置決め孔５２ｂを、ヘッド群１００ｂを構成するヘッド１０ａに対応する基準プレート５０は、位置決め孔５２ａを用いて基準孔２４に対して位置合わせすればよい。このように、各ヘッド１０のノズル列１４が互いにずれている場合であっても本実施形態の位置決め孔５２により部品点数を増加させずにヘッドユニット１を形成することができる。
【００４５】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本実施形態では、位置決め孔５２はそれぞれエッチングで形成された孔であるとしたが、これに限定されず、位置決めの基準となるマークであればよい。例えば、レーザーで固定プレート４０及びベースプレート２０に設けた位置決めマークであってもよい。また、位置決め孔５２は、上述した実施形態では４個としたがこれに限定されない。例えば８個にすれば、位置決め孔５２を選択するこことで解像度を１８０ｄｐｉから最大で１４４０ｄｐｉとすることができる。
【００４６】
また、上述した実施形態では、各位置決め孔５２の形状や大きさは同一としたが、異なるように構成してもよい。異なるように構成することで、位置決め孔５２を選択する場合にどの位置決め孔５２を選択しているのか認識しやすくなるために、基準孔２４との高精度な位置合わせを簡易に行うことが可能である。
【００４７】
上述した実施形態では、固定プレート４０は一つの部材からなるように構成したが、複数の部材からなるように構成してもよい。例えば、図８に示すように位置決め孔５２が形成された基準プレート５０下の固定プレート４０を複数の薄いガイドプレート８１〜８４から構成し、最上部のガイドプレート８１と、最下部のガイドプレート８４とには、位置決めピン２３と嵌合する開口部８５が形成されている。また、中間部のガイドプレート８２、８３には、これらの開口部８５と連通すると共に、これらの開口の縁部よりも外側に縁部が設けられている連通開口部８６が設けられている。そして、位置決めピン２３は、ベースプレート２０の凹部に立設され、開口部８５により垂直に保持されている。このようにガイドプレート８１、８４の開口部８５により保持されるように構成されることで、これらの開口部８５が傾いて形成されたとしても、その影響は少ないか、または無視できるものとなっているため、位置決め精度が高い。即ち、固定プレート４０を一つの部材から構成する場合には、挿通孔５１の一方の開口と他方の開口とが平面視においてずれて形成されてしまい精度が低下することがあるが、本実施形態では、薄いガイドプレート８１、８４に開口部８５を形成しているので、ずれが少ない。その結果、より精度良く位置決めピンを垂直に立設することができるので、位置決め精度が低下しない。なお、ここでは最上部のガイドプレート８１の上部に基準プレート５０を設けたが、基準プレート５０を最上部のガイドプレート８１としてもよい。そして、このガイドプレート８１に位置決め孔５２を設けても良い。
【００４８】
また、上述した実施形態では、各ヘッド１０にノズル列１４を２列設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、各ヘッド１０にノズル列１４を１列設けてもよく、また３列以上設けてもよい。また、上述した実施形態では、ヘッド群１００を３つのヘッド１０で構成するようにしたが、特にこれに限定されず、ヘッド群１００は、２つヘッド１０で構成されていてもよいし、４つ以上のヘッド１０で構成されていてもよい。
【００４９】
さらに、上述した実施形態１では、ヘッドユニット１に２つのヘッド群１００を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、ヘッド群１００は１つであってもよく、３つ以上であってもよい。
【００５０】
また、上述した実施形態では、ヘッド１０は、サブプレート３０を具備していたが、特にこれに限定されず、位置決めプレート６０をヘッドケース１３に直接取り付け、このヘッドケース１３をベースプレート２０に位置決めして固定するようにしてもよい。
【００５１】
さらに、上述した実施形態では、ヘッド１０は、先端挿通孔６１が形成された位置決めプレート６０を具備していたが、先端挿通孔６１は、例えば、ヘッドケース１３などヘッド１０を構成する部材に形成されていてもよい。
【００５２】
またこのような本発明のヘッドユニットは、ノズル列方向に対して直交する方向に記録用紙等の記録媒体を搬送することで記録媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置等に適用することができる。例えば、図９に示すインクジェット式記録装置Ｉは、上述したヘッドユニット１と、装置本体２、移動手段の一例である給紙ローラー３と、制御部４とを備えている。
【００５３】
ヘッドユニット１は、複数のヘッド１０からなるヘッド群１００（なお、図９中では各ヘッド群１００を４つのヘッド１０が構成するようにした）が保持されたベースプレート２０に取り付けられたフレーム部材１９を備えており、このフレーム部材１９を介してヘッドユニット１が装置本体２に固定されている。
【００５４】
また、装置本体２には給紙ローラー３が設けられている。給紙ローラー３は、装置本体２に給紙された紙等の記録シートＳ（被噴射媒体）を第１の方向に搬送し、記録シートＳをヘッド１０のインクの吐出面側を通過させる。ここで、第１の方向とは、記録シートＳとヘッド１０との相対的な移動方向をいう。本実施形態では、ヘッドユニット１は装置本体２に固定されているので、給紙ローラー３により記録シートＳが搬送される方向が第１の方向となる。以後、第１の方向を搬送方向という。
【００５５】
また、装置本体２には、インクが貯留されたインク貯留手段５が設けられており、該インクは供給管６を介して各ヘッド１０に供給される。
【００５６】
制御部４は、詳細は後述するが、記録シートＳに印字される画像を表した印刷データに基づいて、給紙ローラー３に信号を送信して記録シートＳの搬送をさせると共に、図示しない配線を介して各ヘッド１０に駆動信号を送信してインクを吐出させる。
【００５７】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、給紙ローラー３により搬送方向に記録シートＳが搬送されると共に、ヘッドユニット１のヘッド１０によってインクが吐出されて記録シートＳに画像等が印刷される。この場合に、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニットを備えたことで、インクジェット式記録装置は解像度に応じて部品点数を増やすことがなく製造でき、かつ、高精度に位置決めされているのでインク吐出特性も高い。
【００５８】
また、本発明のヘッドユニットは、図９に示すライン式のインクジェット式記録装置だけでなく、他のタイプのインクジェット式記録装置にも適用することができる。例えば、ヘッドユニットを搭載したキャリッジを記録媒体の搬送方向とは直交する方向に移動させながら印刷を行うタイプのインクジェット式記録装置にも適用することができる。
【００５９】
勿論、インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例に過ぎず、本発明はインクジェット式記録装置以外の液体噴射装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １１  ノズル、  １２  ヘッド本体、  
１３  ヘッドケース、  ２０  ベースプレート、  ２３  位置決めピン、  ３０  サブプレート、  ４０  固定プレート、  ４１  保持孔、  ５０  基準プレート、  ５１  挿通孔、  ５２  位置決め孔、  ６０  位置決めプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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