(57)【要約】【課題】シートの平坦性が低下するのを抑制するとともに、複数の工程を連続して行うことが可能な塗布装置を提供する。【解決手段】この塗布装置１は、シート１００をＡ方向に搬送する搬送ステージ６０と、搬送ステージ６０上にシート１００を導くシート供給ガイド２１と、シート１００のＡ１方向側の部分およびＡ２方向側の部分をそれぞれ固定する固定バー２５および２６と、固定バー２５および２６をそれぞれ駆動するバー駆動機構２２および２３とを備えている。搬送ステージ６０、固定バー２５、２６、バー駆動機構２２および２３は、それぞれ、分離独立している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを搬送するとともに前記シート上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記シートを第１の方向に搬送する搬送ステージと、
前記搬送ステージ上に前記シートを導くシート供給ガイドと、
前記シートの前記第１の方向の一方側の部分および他方側の部分を固定するシート固定部材と、
前記シート固定部材を駆動する駆動機構とを備え、
前記シート供給ガイドは、前記シートを滑らせて前記搬送ステージ上に導く傾斜部を含み、
前記搬送ステージ、前記シート固定部材および前記駆動機構は、それぞれ、分離独立していることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記シートを前記搬送ステージ上に配置するシート供給エリアと、
前記シートを前記シート固定部材により前記搬送ステージ上に固定するシート固定エリアと、
前記シート上に前記塗布液を塗布する塗布エリアと、
前記シート上に塗布された前記塗布液を乾燥し、塗布膜を形成する乾燥エリアと、
前記塗布膜上にラミネートシートを配置するラミネートエリアと、
前記シートの固定を解除するシート固定解除エリアとを備え、
前記シートは、前記搬送ステージにより、前記シート供給エリア、前記シート固定エリア、前記塗布エリア、前記乾燥エリア、前記ラミネートエリアおよび前記シート固定解除エリアの間を搬送されることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記シート固定部材は、前記シートの一方側の部分を固定する一方側固定部材と、前記シートの他方側の部分を固定する他方側固定部材とを含み、
前記駆動機構は、前記一方側固定部材を駆動する第１駆動機構と、前記他方側固定部材を駆動する第２駆動機構とを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記シートの一方側の部分が前記搬送ステージ上に配置された後、前記一方側固定部材は、前記第１駆動機構により、前記シートの一方側の部分上に固定され、
前記一方側固定部材が固定された後、前記シートは、前記搬送ステージにより、前記第１の方向に搬送され、
前記シートが前記第１の方向に搬送された後、前記他方側固定部材は、前記第２駆動機構により、前記シートの他方側の部分上に固定されることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記第１駆動機構は、前記一方側固定部材を回収することにより、前記シートの一方側の部分の固定を解除し、
前記第２駆動機構は、前記他方側固定部材を回収することにより、前記シートの他方側の部分の固定を解除することを特徴とする請求項３または４に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記第１駆動機構は、上下方向に移動可能であるとともに前記一方側固定部材を略同じ位置に回収する第１保持部を含み、
前記第２駆動機構は、上下方向に移動可能であるとともに前記他方側固定部材を略同じ位置に回収する第２保持部を含むことを特徴とする請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記シート固定部材の前記第１の方向と直交する第２の方向の長さは、前記搬送ステージの前記第２の方向の長さよりも大きく、
前記駆動機構は、前記搬送ステージを前記第２の方向の両側から挟み込むように配置されるとともに、前記シート固定部材の前記第２の方向の両側を保持する一対の保持部を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記シート固定部材は、磁力により、前記搬送ステージに固定されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記シートを平坦化させるシート平坦化機構をさらに備え、
前記シート平坦化機構は、前記シートの一方側の部分が固定された後、前記シートの他方側の部分が固定される前に、前記シートを平坦化させることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項１０】
前記シート上に前記塗布液を塗布する注射器型の吐出部材をさらに備え、
前記吐出部材は、前記塗布液が収納された塗布液容器から前記塗布液を吸い込むとともに、前記シート上に前記塗布液を所定量塗布することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、塗布装置に関し、特に、シート上に塗布液を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薄いシート上に塗布液を塗布する方法としては、ロールトゥロール方式で塗布するのが一般的である。ロールトゥロール方式では、２つのロールによりシートに張力が付与されるので、シートを容易に平坦化することが可能である。また、ロールトゥロール方式では、容易に、複数の工程を連続して行うことが可能である。このため、大面積のシートに塗布液を塗布する方法として、広く用いられている。
【０００３】
しかしながら、ロールトゥロール方式では、塗布装置が非常に大型化するとともに、シート上に形成される塗布膜を均一な膜厚に安定させるまでの初期の立上げ作業に多くの塗布液やシートが必要である。このため、シートの塗布面積が小さい場合には、有効な方法でない。
【０００４】
シートの塗布面積が小さい場合の塗布方法としては、例えば、スピンコート法によりガラス基板上に薄膜を形成する方法がある。この方法は、初期の立上げ作業に必要な塗布液や基板を少なくすることが可能であり、効率的な方法である。
【０００５】
このような方法では、ガラス基板を搬送ステージ上に配置し、ガラス基板の背面（底面）を吸引することにより、ガラス基板を搬送ステージ上に固定するのが一般的である。また、吸引以外の方法でガラス基板などの基材を搬送ステージ上に固定する方法として、搬送ステージに、基材を固定するための固定部材と固定部材を駆動するための駆動機構とを一体的に設け、固定部材を電気的に駆動させることにより、基材の固定および固定解除を行う方法も用いられている。
【０００６】
なお、ガラス基板の背面を吸引することにより、ガラス基板を搬送ステージ上に固定する方法は、例えば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−１９２５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、吸引によりガラス基板を搬送ステージ上に固定する方法では、搬送ステージに、吸引のための管などが接続される。また、搬送ステージに固定部材と駆動機構とを一体的に設ける方法では、搬送ステージに、固定部材を電気的に駆動させるための電気配線が接続される。
【０００９】
このように、管や電気配線が搬送ステージに接続されていると、搬送ステージを長距離移動させにくくなるので、複数の工程を連続して行うのが困難であるという問題点がある。
【００１０】
また、吸引により固定する方法では、ガラス基板のように硬度のある基材を用いる場合は良いが、薄いシート（基材）を用いる場合、シートの吸引部分に撓みが生じ、シートの平坦性を確保するのが困難であるという問題点がある。なお、シートの平坦性が低下した場合、シート上に塗布膜（塗布液）を均一な厚みに形成するのが困難になる。
【００１１】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、シートの平坦性が低下するのを抑制するとともに、複数の工程を連続して行うことが可能な塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による塗布装置は、シートを搬送するとともにシート上に塗布液を塗布する塗布装置であって、シートを第１の方向に搬送する搬送ステージと、搬送ステージ上にシートを導くシート供給ガイドと、シートの第１の方向の一方側の部分および他方側の部分を固定するシート固定部材と、シート固定部材を駆動する駆動機構とを備え、シート供給ガイドは、シートを滑らせて搬送ステージ上に導く傾斜部を含み、搬送ステージ、シート固定部材および駆動機構は、それぞれ、分離独立している。
【００１３】
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、シートを搬送ステージ上に配置するシート供給エリアと、シート固定部材によりシートを搬送ステージ上に固定するシート固定エリアと、シート上に塗布液を塗布する塗布エリアと、シート上に塗布された塗布液を乾燥し、塗布膜を形成する乾燥エリアと、塗布膜上にラミネートシートを配置するラミネートエリアと、シートの固定を解除するシート固定解除エリアとを備え、シートは、搬送ステージにより、シート供給エリア、シート固定エリア、塗布エリア、乾燥エリア、ラミネートエリアおよびシート固定解除エリアの間を搬送される。
【００１４】
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、シート固定部材は、シートの一方側の部分を固定する一方側固定部材と、シートの他方側の部分を固定する他方側固定部材とを含み、駆動機構は、一方側固定部材を駆動する第１駆動機構と、他方側固定部材を駆動する第２駆動機構とを含む。
【００１５】
上記シート固定部材は一方側固定部材と他方側固定部材とを含み、駆動機構は第１駆動機構と第２駆動機構とを含む塗布装置において、好ましくは、シートの一方側の部分が搬送ステージ上に配置された後、一方側固定部材は、第１駆動機構により、シートの一方側の部分上に固定され、一方側固定部材が固定された後、シートは、搬送ステージにより、第１の方向に搬送され、シートが第１の方向に搬送された後、他方側固定部材は、第２駆動機構により、シートの他方側の部分上に固定される。
【００１６】
上記シート固定部材は一方側固定部材と他方側固定部材とを含み、駆動機構は第１駆動機構と第２駆動機構とを含む塗布装置において、好ましくは、第１駆動機構は、一方側固定部材を回収することにより、シートの一方側の部分の固定を解除し、第２駆動機構は、他方側固定部材を回収することにより、シートの他方側の部分の固定を解除する。
【００１７】
上記第１駆動機構は一方側固定部材を回収し、第２駆動機構は他方側固定部材を回収する塗布装置において、好ましくは、第１駆動機構は、上下方向に移動可能であるとともに一方側固定部材を略同じ位置に回収する第１保持部を含み、第２駆動機構は、上下方向に移動可能であるとともに他方側固定部材を略同じ位置に回収する第２保持部を含む。
【００１８】
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、シート固定部材の第１の方向と直交する第２の方向の長さは、搬送ステージの第２の方向の長さよりも大きく、駆動機構は、搬送ステージを第２の方向の両側から挟み込むように配置されるとともに、シート固定部材の第２の方向の両側を保持する一対の保持部を含む。
【００１９】
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、シート固定部材は、磁力により、搬送ステージに固定される。
【００２０】
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、シートを平坦化させるシート平坦化機構をさらに備え、シート平坦化機構は、シートの一方側の部分が固定された後、シートの他方側の部分が固定される前に、シートを平坦化させる。
【００２１】
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、シート上に塗布液を塗布する注射器型の吐出部材をさらに備え、吐出部材は、塗布液が収納された塗布液容器から塗布液を吸い込むとともに、シート上に塗布液を所定量塗布する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の一の局面による塗布装置では、上記のように、搬送ステージ、シート固定部材および駆動機構を、それぞれ、分離独立させることによって、シート固定部材を駆動する駆動機構に電気配線が接続されている場合であっても、搬送ステージおよびシート固定部材に電気配線を接続する必要がない。このため、搬送ステージおよびシート固定部材を長距離移動させにくくなるのを抑制することができるので、複数の工程を連続して行うことができる。
【００２３】
また、本発明の一の局面による塗布装置では、上記のように、シート供給ガイドに、シートを滑らせて搬送ステージ上に導く傾斜部を設けることによって、シートを、自重によりシート供給ガイドの傾斜部を滑らせて、搬送ステージ上に導くことができる。これにより、薄いシートを、シワやヨレが生じるのを抑制しながら搬送ステージ上に配置することができるので、シートの平坦性が低下するのを抑制することができる。その結果、シート上に塗布膜（塗布液）を均一な厚みに形成することができる。なお、シートを、例えば水平に保った状態で搬送ステージ上に配置する場合、シートが薄くなるほど、シートにシワやヨレが生じるのを抑制することが困難になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態による塗布装置の全体構成を示した概略図である。
【図２】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置の搬送ステージの構造を示した側面図である。
【図３】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置の搬送ステージの構造を示した平面図である。
【図４】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置のバー駆動機構の構造を説明するための平面図である。
【図５】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置のバー駆動機構の構造を示した側面図である。
【図６】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置の搬送ステージおよび固定バーの構造を示した側面図である。
【図７】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置の搬送ステージおよび固定バーの構造を示した平面図である。
【図８】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置のエア照射装置（シート平坦化機構）の構造を示した側面図である。
【図９】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置のローラ装置（シート平坦化機構）の構造を示した側面図である。
【図１０】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置の吐出ユニットの構造を示した側面図である。
【図１１】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置の吐出ユニットおよび塗布機構の構造を示した側面図である。
【図１２】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１３】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１４】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１５】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１６】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１７】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１８】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図１９】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための正面図である。
【図２０】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための正面図である。
【図２１】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図２２】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【図２３】図１に示した本発明の一実施形態による塗布装置を用いた製造プロセスを説明するための側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２６】
まず、図１〜図１１を参照して、本発明の一実施形態による塗布装置１の構造について説明する。
【００２７】
本発明の一実施形態による塗布装置１は、図１に示すように、装置全体が装置カバー２で覆われている。また、塗布装置１には、Ａ１方向側から順に、シート取り出しエリア１０、シート供給・固定・固定解除エリア２０、ラミネートエリア３０、乾燥エリア４０および塗布エリア５０が設けられている。なお、シート供給・固定・固定解除エリア２０は、本発明の「シート供給エリア」、「シート固定エリア」および「シート固定解除エリア」の一例である
【００２８】
また、塗布装置１には、シート取り出しエリア１０から塗布エリア５０までＡ方向（第１の方向）に延びる搬送レール３が設けられている。この搬送レール３には、シート１００を搬送するための搬送ステージ６０が、Ａ方向に移動可能に取り付けられている。
【００２９】
ここで、本実施形態では、シート１００は、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなるとともに、約２０μｍ〜約１００μｍの厚みと、約２５０ｍｍ×約５００ｍｍの大きさとを有する。
【００３０】
搬送ステージ６０は、図２および図３に示すように、板状の金属製の本体部６１と、本体部６１のＡ１方向の端部に設けられたシート位置決め部材６２とを含んでいる。このシート位置決め部材６２は、本体部６１の厚みよりも大きい厚み（高さ）を有し、本体部６１の上面よりも上方に突出している。
【００３１】
また、本体部６１の上面のＡ１方向側の部分およびＡ２方向側の部分には、Ｂ方向（Ａ方向と直交する方向）（第２の方向）に延びる凹部６１ａおよび６１ｂがそれぞれ形成されている。そして、凹部６１ａの内部には、例えば５つの磁石６３が配置されており、凹部６１ｂの内部には、例えば３つの磁石６３が配置されている。
【００３２】
図１に示すように、シート取り出しエリア１０の装置カバー２の所定の位置には、シート１００を取り出すためのスリット状の取り出し開口部２ａが形成されている。
【００３３】
シート供給・固定・固定解除エリア２０には、シート供給ガイド２１と、バー駆動機構２２および２３と、シート平坦化機構２４（図８および図９参照）とが設けられている。なお、バー駆動機構２２は、本発明の「駆動機構」および「第１駆動機構」の一例であり、バー駆動機構２３は、本発明の「駆動機構」および「第２駆動機構」の一例である。
【００３４】
シート供給ガイド２１の上方に位置する装置カバー２の部分には、シート１００を挿入するためのスリット状のシート挿入開口部２ｂが形成されている。このシート挿入開口部２ｂの外側に、複数のシート１００を収納する収納部（図示せず）や、シート１００を１枚ずつシート挿入開口部２ｂに挿入するローラ（図示せず）などが設けられていてもよい。
【００３５】
ここで、本実施形態では、シート供給ガイド２１は、シート１００を滑らせて搬送ステージ６０上に導く傾斜部２１ａを含んでいる。この傾斜部２１ａ（シート供給ガイド２１）の水平方向に対する傾斜角度は、例えば、４５度以上８０度以下である。傾斜部２１ａの傾斜角度を大きくするにしたがって、シート供給エリア２０および塗布装置１のＡ方向の長さを小さくすることが可能であるので、傾斜部２１ａの傾斜角度は、大きい方が好ましい。
【００３６】
バー駆動機構２２は、図４および図５に示すように、一対の保持部材２２ａと、一対の保持部材２２ａを支持する一対の支柱２２ｂ（図５参照）とを含んでいる。一対の保持部材２２ａの上面上には、金属製の固定バー２５が配置されている。この固定バー２５は、図６および図７に示すように、搬送ステージ６０上に配置されたシート１００のＡ１方向側の部分を固定するために設けられている。また、固定バー２５は、磁石６３の磁力により、搬送ステージ６０に固定されている。なお、保持部材２２ａは、本発明の「第１保持部」および「保持部」の一例であり、固定バー２５は、本発明の「シート固定部材」および「一方側固定部材」の一例である。
【００３７】
また、本実施形態では、図７に示すように、固定バー２５のＢ方向の長さは、搬送ステージ６０のＢ方向の長さよりも大きい。
【００３８】
また、図４に示すように、一対の保持部材２２ａは、搬送ステージ６０よりもＢ１方向側の位置とＢ２方向側の位置とに配置されている。すなわち、一対の保持部材２２ａは、搬送ステージ６０をＢ方向の両側から挟み込むように配置されている。そして、固定バー２５は、搬送レール３上に跨った状態で、一対の保持部材２２ａにより、Ｂ方向の両側の部分が保持されている。
【００３９】
また、保持部材２２ａの上面には、図５に示すように、固定バー２５のＡ方向の長さと略同じＡ方向の長さを有する水平面２２ｃと、水平面２２ｃのＡ方向の両側に配置された傾斜面２２ｄとが形成されている。
【００４０】
支柱２２ｂは、上下方向に移動可能に構成されており、支柱２２ｂの上下方向の移動に伴って保持部材２２ａおよび固定バー２５も上下方向に駆動（移動）される。また、バー駆動機構２２には、図示しない電気配線が接続されている。
【００４１】
バー駆動機構２３は、バー駆動機構２２と同様に構成されている。すなわち、バー駆動機構２３は、図４および図５に示すように、一対の保持部材２３ａと、一対の保持部材２３ａを支持する一対の支柱２３ｂ（図５参照）とを含んでいる。一対の保持部材２３ａの上面上には、金属製の固定バー２６が配置されている。この固定バー２６は、図６および図７に示すように、搬送ステージ６０上に配置されたシート１００のＡ２方向側の部分を固定するために設けられている。また、固定バー２６は、磁石６３の磁力により、搬送ステージ６０に固定されている。なお、保持部材２３ａは、本発明の「第２保持部」および「保持部」の一例であり、固定バー２６は、本発明の「シート固定部材」および「他方側固定部材」の一例である。
【００４２】
また、本実施形態では、図７に示すように、固定バー２６のＢ方向の長さは、搬送ステージ６０のＢ方向の長さよりも大きい。
【００４３】
また、図４に示すように、一対の保持部材２３ａは、搬送ステージ６０よりもＢ１方向側の位置とＢ２方向側の位置とに配置されている。すなわち、一対の保持部材２３ａは、搬送ステージ６０をＢ方向の両側から挟み込むように配置されている。そして、固定バー２６は、搬送レール３上に跨った状態で、一対の保持部材２３ａにより、Ｂ方向の両側の部分が保持されている。
【００４４】
また、保持部材２３ａの上面には、図５に示すように、固定バー２６のＡ方向の長さと略同じＡ方向の長さを有する水平面２３ｃと、水平面２３ｃのＡ方向の両側に配置された傾斜面２３ｄとが形成されている。
【００４５】
支柱２３ｂは、上下方向に移動可能に構成されており、支柱２３ｂの上下方向の移動に伴って保持部材２３ａおよび固定バー２６も上下方向に駆動（移動）される。また、バー駆動機構２３には、図示しない電気配線が接続されている。
【００４６】
シート平坦化機構２４（図８および図９参照）は、後述するように、シート１００のＡ１方向側の部分が固定された後、Ａ２方向側の部分が固定される前に、シート１００を搬送ステージ６０の上面に密着させ平坦化する機能を有する。
【００４７】
また、シート平坦化機構２４は、図８に示すように、例えば、シート１００にエアを照射するエア照射装置２４ａにより構成されていてもよい。この場合、エア照射装置２４ａは、Ａ２方向の斜め下方向にエアを吹き出すように構成されていてもよい。
【００４８】
また、シート平坦化機構２４は、図９に示すように、例えば、シート１００にＡ２方向側に張力を付与しシート１００を平坦化させるローラ装置２４ｂにより構成されていてもよい。この場合、ローラ装置２４ｂは、Ｃ方向に回転するように構成されていてもよい。また、ローラ装置２４ｂは、搬送ステージ６０の上方ではなく、例えば、シート供給ガイド２１の傾斜部２１ａ上に配置されていてもよい。
【００４９】
なお、シート平坦化機構２４は、エア照射装置２４ａやローラ装置２４ｂ以外にも、多くの手法を用いることが可能である。
【００５０】
ラミネートエリア３０には、図１に示すように、ラミネートシート供給ガイド３１と、ラミネートローラ機構３２とが設けられている。
【００５１】
ラミネートシート供給ガイド３１の上方に位置する装置カバー２の部分には、ラミネートシート１１０を挿入するためのスリット状のラミネートシート挿入開口部２ｃが形成されている。このラミネートシート挿入開口部２ｃの外側に、複数のラミネートシート１１０を収納する収納部（図示せず）や、ラミネートシート１１０を１枚ずつラミネートシート挿入開口部２ｃに挿入するローラ（図示せず）などが設けられていてもよい。
【００５２】
本実施形態では、装置カバー２に設けられた取り出し開口部２ａ、シート挿入開口部２ｂおよびラミネートシート挿入開口部２ｃをスリット状に形成することにより、取り出し開口部２ａ、シート挿入開口部２ｂおよびラミネートシート挿入開口部２ｃの開口面積を小さくすることが可能である。これにより、後述する塗布液１２０の揮発成分（有機溶剤など）が装置カバー２の外部に漏れるのを抑制することが可能であるので、作業者が揮発成分（有機溶剤など）により暴露されるのを抑制することが可能である。
【００５３】
また、本実施形態では、ラミネートシート供給ガイド３１は、ラミネートシート１１０を搬送ステージ６０上に導く傾斜部３１ａを含んでいる。この傾斜部３１ａ（ラミネートシート供給ガイド３１）の水平方向に対する傾斜角度は、例えば、４５度以上８０度以下である。傾斜部３１ａの傾斜角度を大きくするにしたがって、ラミネートエリア３０および塗布装置１のＡ方向の長さを小さくすることが可能であるので、傾斜部３１ａの傾斜角度は、大きい方が好ましい。
【００５４】
また、ラミネートシート供給ガイド３１の傾斜部３１ａ上にラミネートシート１１０を下方向に送り出す送りローラ（図示せず）などを設けてもよい。このように構成すれば、容易に、ラミネートシート１１０を搬送ステージ６０上の所定の位置に配置することが可能である。
【００５５】
ラミネートローラ機構３２は、ローラ部３２ａと、ローラ部３２ａを支持するローラ部上下機構３２ｂとを含んでいる。ローラ部３２ａは、ラミネートシート１１０をシート１００および搬送ステージ６０に押圧させるために設けられている。ローラ部上下機構３２ｂは、ローラ部３２ａを上下方向に移動させる機能を有する。
【００５６】
乾燥エリア４０は、シート１００上に塗布された塗布液１２０を乾燥し塗布膜を形成するために設けられている。また、乾燥エリア４０には、排気ダクト４１が設けられており、後述する塗布液１２０の揮発成分が塗布装置１の外部に漏れるのを抑制している。また、乾燥エリア４０に、ヒータ（図示せず）が設けられていてもよい。
【００５７】
塗布エリア５０には、シート１００に塗布液１２０を塗布する塗布機構７０と、塗布機構７０に塗布液１２０を供給する塗布液供給機構８０と、シート１００上に塗布された塗布液１２０を所定の厚みに形成するスキージ機構９０とが設けられている。
【００５８】
塗布機構７０は、注射器型の吐出ユニット７１と、吐出ユニット駆動機構７２とを含んでいる。なお、吐出ユニット７１は、本発明の「吐出部材」の一例である。
【００５９】
吐出ユニット７１は、図１０に示すように、ノズル部７１ａを有するシリンジ７１ｂと、シリンジ７１ｂに挿入されるピストン７１ｃと、ピストン７１ｃに取り付けられシリンジ７１ｂ内の密封性を保つＯリング７１ｄとによって構成されている。そして、シリンジ７１ｂの内部に、塗布液１２０（図１参照）が注入される。この塗布液１２０は、例えば、有機溶剤などを含んでいる。
【００６０】
また、シリンジ７１ｂ、ピストン７１ｃおよびＯリング７１ｄは、塗布液１２０に対する耐性（耐有機溶剤性）を有し、特にトルエンやアセトン等に対する耐性を有する。また、シリンジ７１ｂ、ピストン７１ｃおよびＯリング７１ｄは、ピストン７１ｃの上下方向の往復動作に対する摺動性が良好であるとともに、耐摩耗性を有する。
【００６１】
具体的には、シリンジ７１ｂおよびピストン７１ｃは、ＳＵＳ等の金属により形成されている。また、シリンジ７１ｂおよびピストン７１ｃの塗布液１２０に接する部分には、フッ素系の表面処理が施されている。フッ素系の表面処理としては、例えば、ニフグリップ（登録商標）やニダックス（登録商標）等のテフロン（登録商標）共析を用いてもよい。このように、フッ素系の表面処理を施すことにより、塗布液１２０に対する耐性（耐有機溶剤性）、摺動性、および、耐磨耗性を向上させることが可能である。
【００６２】
また、Ｏリング７１ｄには、フッ素系ゴムであるパーフルオロゴム等を用いてもよい。このように構成すれば、Ｏリング７１ｄの柔軟性および密封性を向上させることが可能である。さらに、Ｏリング７１ｄのシリンジ７１ｂと接する部分に、テフロン（登録商標）リングを設けてもよい。この場合、Ｏリング７１ｄとして、例えば三菱電線工業株式会社製のキャップシール等を用いてもよい。
【００６３】
吐出ユニット駆動機構７２は、図１１に示すように、Ｂ方向（図３参照）に延びるレール７２ａと、Ｂ方向に移動可能にレール７２ａに取り付けられた吐出ユニット保持部７２ｂと、吐出ユニット保持部７２ｂに取り付けられたピストン保持部７２ｃとを含んでいる。
【００６４】
吐出ユニット保持部７２ｂは、吐出ユニット７１のシリンジ７１ｂを保持しており、吐出ユニット７１は、Ｂ方向（図３参照）に移動可能である。また、ピストン保持部７２ｃは、ピストン７１ｃを上下方向に移動可能に保持している。なお、吐出ユニット７１のシリンジ７１ｂは、Ｂ方向（水平方向）に移動可能である一方、上下方向には移動できないように構成されている。このため、シリンジ７１ｂのノズル７１ａから搬送ステージ６０（図１参照）までの距離（高さ）が一定になるので、複数枚のシート１００に塗布液１２０を繰り返し塗布する場合、精度良く塗布することが可能である。
【００６５】
塗布液供給機構８０は、図１に示すように、本体部８１と、台座部８２と、本体部８１および台座部８２の間に配置され、台座部８２を上下方向に移動可能に支持する台座部上下機構８３とを含んでいる。そして、台座部８２上には、塗布液１２０が収納された塗布液容器１３０が配置されている。
【００６６】
この塗布液容器１３０のシリンジ７１ｂ（吐出ユニット７１）が挿入される開口部の内径は、シリンジ７１ｂの外径に近い方が好ましい。このように構成すれば、塗布液容器１３０から塗布液１２０の溶媒などの揮発成分（有機溶剤など）が揮発するのを抑制することが可能であるので、塗布液１２０の濃度（粘度）が変化するのを抑制することが可能である。
【００６７】
また、塗布液供給機構８０と吐出ユニット駆動機構７２とは連動しており、吐出ユニット駆動機構７２のピストン保持部７２ｃが上方向に移動するのに伴って、塗布液供給機構８０の台座部８２が一定の割合で上方向に移動するように構成されている。
【００６８】
スキージ機構９０は、ブレード９１と、ブレード９１を上方向に付勢するバネ９２と、ブレード９１の上下方向の位置決めを行うマイクロメータ９３とを含んでいる。
【００６９】
ブレード９１は、Ｂ方向（図３参照）に延びるように形成されているとともに、搬送ステージ６０の上面から所定の距離を隔てた高さに配置されている。また、ブレード９１は、シート１００上に塗布された塗布液１２０を、均一な厚みに形成する機能を有する。
【００７０】
また、ブレード９１は、回転軸により、約９０度回動可能に構成されている。これにより、ブレード９１を水平方向に向けることにより、ブレード９１に付着した塗布液１２０を容易に清掃することが可能である。
【００７１】
次に、図１、図３、図５、図８、図９および図１２〜図２３を参照して、本発明の一実施形態による塗布装置１を用いた製造プロセスについて説明する。
【００７２】
まず、図１２に示すように、搬送ステージ６０が、搬送レール３に沿って、シート供給・固定・固定解除エリア２０（図１参照）の所定の位置に移動される。このとき、固定バー２５は、搬送ステージ６０上を跨ぐように、バー駆動機構２２に保持されている。
【００７３】
そして、装置カバー２のシート挿入開口部２ｂ（図１参照）からシート１００が挿入される。これにより、シート１００は、自重によりシート供給ガイド２１の傾斜部２１ａを滑り落ち、シート１００のＡ１方向の端部が、搬送ステージ６０のシート位置決め部材６２に当接する。
【００７４】
その後、図１３に示すように、バー駆動機構２２の一対の保持部材２２ａが搬送ステージ６０の上面側よりも下側に移動されることにより、固定バー２５がシート１００のＡ１方向側の部分上に配置される。このとき、固定バー２５は、搬送ステージ６０の凹部６１ａ（図３参照）内に配置された５つの磁石６３により固定される。これにより、シート１００のＡ１方向側の部分が搬送ステージ６０上に固定される。
【００７５】
そして、図１４に示すように、搬送ステージ６０が、Ａ１方向に所定の距離だけ移動される。このとき、シート１００は、シート供給ガイド２１の傾斜部２１ａを滑り落ち、シート１００のＡ１方向側の部分からＡ２方向側の部分まで徐々に搬送ステージ６０上に配置される。また、このとき、図８や図９に示したシート平坦化機構２４により、シート１００がより平坦化される。
【００７６】
その後、図１５に示すように、バー駆動機構２３の一対の保持部材２３ａが搬送ステージ６０の上面よりも下側に移動されることにより、固定バー２６がシート１００のＡ２方向側の部分上に配置される。このとき、固定バー２６は、搬送ステージ６０の凹部６１ｂ（図３参照）内に配置された３つの磁石６３により固定される。これにより、シート１００のＡ２方向側の部分が搬送ステージ６０上に固定される。
【００７７】
なお、固定バー２５を５つの磁石６３により固定することによって、固定バー２５を、３つの磁石６３により固定されている固定バー２６に比べて、より強固に搬送ステージ６０に固定することが可能である。これにより、シート平坦化機構２４やスキージ機構９０により、シート１００に、Ａ２方向側に向かって力が付与される際にも、シート１００が搬送ステージ６０に対してＡ２方向に位置ずれするのを抑制することが可能である。また、固定バー２５および２６を、磁石６３により固定することによって、固定バー２５および２６の固定強度を、容易に設定することが可能である。
【００７８】
次に、搬送ステージ６０が、塗布エリア５０（図１参照）の所定の位置に移動される。このとき、吐出ユニット７１（シリンジ７１ｂ）（図１参照）には、塗布液１２０が予め注入されている。
【００７９】
ここで、吐出ユニット７１に塗布液１２０が注入される場合、図１６に示すように、吐出ユニット７１のシリンジ７１ｂのノズル部７１ａの先端（下端）が塗布液１２０内に配置されるまで、塗布液供給機構８０の台座部８２により、塗布液容器１３０が上方向に移動される。そして、図１７および図１８に示すように、ピストン保持部７２ｃにより、ピストン７１ｃが上方向に移動され、シリンジ７１ｂ内に塗布液１２０が吸い込まれる（注入される）。
【００８０】
また、本実施形態では、ピストン７１ｃ（ピストン保持部７２ｃ）が上方向に移動するのに伴って、塗布液容器１３０（台座部８２）が一定の割合で上方向に移動される。具体的には、ピストン７１ｃのノズル部７１ａの先端が、塗布液１２０の液面から離れることがなく、かつ、ピストン７１ｃのノズル部７１ａ以外の部分に塗布液１２０が付着しないように、塗布液容器１３０（台座部８２）が上方向に移動される。これにより、塗布液１２０がノズル部７１ａ以外の部分に付着するのを抑制することが可能であるので、塗布液１２０の無駄を低減することが可能であるとともに、塗布エリア５０などが汚れるのを抑制することが可能である。
【００８１】
その後、図１９に示すように、吐出ユニット駆動機構７２により、吐出ユニット７１がシート１００上の所定の位置に移動される。そして、図１９および図２０に示すように、吐出ユニット７１（吐出ユニット保持部７２ｂ）がＢ方向に移動されながら、ピストン７１ｃが下方向に移動されることによって、シート１００上に、塗布液１２０がＢ方向に延びる線状に一定量塗布される。
【００８２】
その後、図１に示すように、搬送ステージ６０が、乾燥エリア４０の所定の位置に移動される。このとき、搬送ステージ６０がスキージ機構９０下をＡ１方向に通過するとともに、シート１００上に塗布された塗布液１２０は、スキージ機構９０のブレード９１により均一な厚みに形成される。なお、マイクロメータ９３を用いてブレード９１の高さ位置を調整することにより、シート１００上に塗布された塗布液１２０の厚みを調整することが可能である。
【００８３】
そして、搬送ステージ６０は、所定の時間だけ排気ダクト４１下で停止される。これにより、塗布液１２０が乾燥されることにより、塗布液１２０の溶媒などの揮発成分（有機溶剤など）が除去され、シート１００上に所定の厚みを有する塗布膜１２０ａが形成される。
【００８４】
次に、搬送ステージ６０が、ラミネートエリア３０の所定の位置に移動される。
【００８５】
そして、装置カバー２のラミネートシート挿入開口部２ｃからラミネートシート１１０が挿入される。これにより、ラミネートシート１１０は、ラミネートシート供給ガイド３１の傾斜部３１ａに沿って下方向へ移動し、ラミネートシート１１０のＡ１方向側の部分が塗布膜１２０ａ上に配置される。
【００８６】
その後、搬送ステージ６０がＡ１方向に移動されることによって、ラミネートローラ機構３２のローラ部３２ａにより、ラミネートシート１１０が塗布膜１２０ａに密着される。これにより、塗布膜１２０ａが、ラミネートシート１１０により保護される。
【００８７】
次に、搬送ステージ６０が、シート供給・固定・固定解除エリア２０（図１参照）の所定の位置に移動される。
【００８８】
そして、図２１に示すように、バー駆動機構２２の一対の保持部材２２ａが上方向に移動されることにより、固定バー２５が一対の保持部材２２ａにより持ち上げられ（回収され）、シート１００のＡ１方向側の部分の固定が解除される。このとき、本実施形態では、図５に示すように、保持部材２２ａの上面には、固定バー２５のＡ方向の長さと略同じ長さを有する水平面２２ｃと、傾斜面２２ｄとが形成されているので、固定バー２５は、保持部材２２ａの上面の所定の位置に位置決めされるとともに、保持部材２２ａの上面に対して位置ずれするのが抑制される。
【００８９】
その後、図２２に示すように、搬送ステージ６０が、Ａ１方向に所定の距離だけ移動される。
【００９０】
そして、図２３に示すように、バー駆動機構２３の一対の保持部材２３ａが上方向に移動されることにより、固定バー２６が一対の保持部材２３ａにより持ち上げられ（回収され）、シート１００のＡ２方向側の部分の固定が解除される。このとき、本実施形態では、図５に示すように、保持部材２３ａの上面には、固定バー２６のＡ方向の長さと略同じ長さを有する水平面２３ｃと、傾斜面２３ｄとが形成されているので、固定バー２６は、保持部材２３ａの上面の所定の位置に位置決めされるとともに、保持部材２３ａの上面に対して位置ずれするのが抑制される。
【００９１】
最後に、搬送ステージ６０がシート取り出しエリア１０（図１参照）に移動されるとともに、シート１００が取り出し開口部２ａ（図１参照）から取り出される。
【００９２】
本実施形態では、上記のように、搬送ステージ６０、固定バー２５、２６、バー駆動機構２２および２３を、それぞれ、分離独立させることによって、搬送ステージ６０、固定バー２５および２６に電気配線を接続する必要がない。このため、搬送ステージ６０、固定バー２５および２６を長距離移動させにくくなるのを抑制することができるので、複数の工程を連続して行うことができる。
【００９３】
また、本実施形態では、上記のように、搬送ステージ６０を移動させる際に、バー駆動機構２２および２３を移動させないので、移動する部材（搬送ステージ６０、固定バー２５および２６）を、小型化および軽量化することができる。
【００９４】
また、移動する部材（搬送ステージ６０、固定バー２５および２６）を小型化することができるので、搬送ステージ６０、固定バー２５および２６を、各工程（エリア）の装置の下方を通過しやすくできる。このため、搬送ステージ６０、固定バー２５および２６に当接するのを防ぐために各工程の装置を退避させることなく、搬送ステージ６０、固定バー２５および２６を移動させることができる。
【００９５】
また、本実施形態では、上記のように、シート１００が自重により傾斜部２１ａを滑り落ちるように構成することによって、シート１００にシワやヨレが生じるのを抑制することが可能である。これにより、シート１００の平坦性が低下するのを抑制することが可能である。なお、例えば、シート１００のＡ方向の両端を保持し、シート１００を水平にした状態で搬送ステージ６０上に配置しようとする場合、シート１００は厚みが小さいので、シート１００にシワやヨレが生じやすくなる。
【００９６】
また、本実施形態では、上記のように、固定バー２５および２６により、シート１００を搬送ステージ６０に固定することによって、吸引によりシート１００を搬送ステージ６０に固定する場合のようにシート１００の一部（吸引部分）が撓むことがない。これにより、シート１００の平坦性が低下するのをより抑制することができる。
【００９７】
また、本実施形態では、上記のように、シート１００のＡ１方向側の部分を固定する固定バー２５と、Ａ２方向側の部分を固定する固定バー２６とを設けることによって、搬送ステージ６０がＡ１方向およびＡ２方向のどちらの側に移動する場合にも、シート１００がめくれ上がるのを抑制することができる。
【００９８】
また、本実施形態では、上記のように、シート１００のＡ１方向側の部分を固定する固定バー２５とＡ２方向側の部分を固定する固定バー２６とを別体で設けることによって、固定バー２５と固定バー２６と一体的に設ける場合に比べて、シート１００を固定する部材（固定バー２５および２６）が大型化するのを抑制することができる。
【００９９】
また、本実施形態では、上記のように、固定バー２５によりシート１００を固定した後、固定バー２６によりシート１００を固定する前に、搬送ステージ６０をＡ１方向に移動させる。これにより、バー駆動機構２２とバー駆動機構２３とを近づけて配置することができるので、塗布装置１が大型化するのを抑制することができる。また、上記のように、シート１００のＡ１方向側の部分を固定し、シート１００を搬送した後、シート１００のＡ２方向側の部分を固定するので、シート１００のＡ１方向側の部分とＡ２方向側の部分とが同時に固定されることがない。これにより、シート１００のＡ１方向側の部分とＡ２方向側の部分とを同時に固定する場合に比べて、シート１００にシワやヨレが生じるのを抑制することができる。
【０１００】
また、本実施形態では、上記のように、シート１００の固定と固定解除とを同じ機構（バー駆動機構２２および２３）で行うことによって、複数枚のシート１００を、同じ機構で繰り返し固定および固定解除することができるので、複数枚のシート１００に、塗布液１２０を繰り返し塗布することができる。
【０１０１】
また、本実施形態では、上記のように、保持部材２２ａの上面に、固定バー２５のＡ方向の長さと略同じ長さを有する水平面２２ｃと、傾斜面２２ｄとを形成することによって、固定バー２５は、保持部材２２ａの略同じ位置に回収されるとともに、保持部材２２ａに対して位置ずれするのが抑制される。同様に、保持部材２３ａの上面に、固定バー２６のＡ方向の長さと略同じ長さを有する水平面２３ｃと、傾斜面２３ｄとを形成することによって、固定バー２６は、保持部材２３ａの略同じ位置に回収されるとともに、保持部材２３ａに対して位置ずれするのが抑制される。これにより、複数枚のシート１００を、容易に、繰り返し固定および固定解除することができるので、複数枚のシート１００に、容易に、塗布液１２０を繰り返し塗布することができる。
【０１０２】
また、本実施形態では、上記のように、固定バー２５および２６を、磁力により、搬送ステージ６０に固定することによって、磁力を用いずに固定バーの自重のみで固定する場合に比べて、小さな固定バー２５および２６でも搬送ステージ６０に強固に固定することができる。これにより、搬送ステージ６０が高速で移動する場合にも、固定バー２５および２６が、搬送ステージ６０に対して位置ずれするのを抑制することができる。また、固定バー２５および２６を小さくすることができるので、固定バー２５および２６を、各工程（エリア）の装置の下方をより通過しやすくすることができる。
【０１０３】
また、本実施形態では、上記のように、搬送ステージ６０に磁石６３を設け、固定バー２５および２６を、金属により形成することによって、例えば、固定バー２５および２６に磁石６３を設ける場合に比べて、固定バー２５および２６の厚みを小さくすることができる。これにより、固定バー２５および２６を、各工程（エリア）の装置の下方をさらに通過しやすくすることができる。
【０１０４】
また、本実施形態では、上記のように、シート１００上に塗布液１２０を塗布する装置として、注射器型の吐出ユニット７１を用いることによって、例えば、シート１００上に塗布液１２０を塗布する装置が、シート１００のＢ方向の長さと同程度の大きさのスリットを有する装置により形成されている場合に比べて、シート１００上に塗布液１２０を塗布する装置（吐出ユニット７１）を小型化することができるとともに、無駄になる塗布液１２０の量を少なくすることができる。また、吐出ユニット７１を、塗布液容器１３０から塗布液１２０を吸い込むとともに、シート１００上に塗布液を塗布するように構成することによって、塗布液１２０の注入（吸い込み）から塗布までを連続して自動で行うことができる。
【０１０５】
また、本実施形態では、上記のように、吐出ユニット７１に塗布液１２０を注入する際に、塗布液容器１３０を上方向に移動させる。これにより、吐出ユニット７１のシリンジ７１ｂを下方向に移動させる必要がないので、吐出ユニット駆動機構７２にシリンジ７１ｂを上下方向に移動させるための機構を設ける必要がない。吐出ユニット駆動機構７２には、吐出ユニット７１（シリンジ７１ｂ）をＢ方向（水平方向）に移動させる機構（吐出ユニット保持部７２ｂ）と、ピストン７１ｃを上下方向に移動させるピストン保持部７２ｃとが設けられているので、吐出ユニット駆動機構７２に、さらにシリンジ７１ｂを上下方向に移動させるための機構を設けた場合、吐出ユニット駆動機構７２の構造が複雑になるとともに、吐出ユニット駆動機構７２が大型化する。したがって、上記のように、吐出ユニット駆動機構７２にシリンジ７１ｂを上下方向に移動させるための機構を設けないことによって、吐出ユニット駆動機構７２の構造が複雑になるのを抑制することができるとともに、吐出ユニット駆動機構７２が大型化するのを抑制することができる。
【０１０６】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【０１０７】
例えば、上記実施形態では、シートのＡ１方向側の部分を固定する部材（固定バー２５）と、シートのＡ２方向側の部分を固定する部材（固定バー２６）とを別体で設けた例について示したが、本発明はこれに限らず、シートのＡ１方向側の部分を固定する部材と、シートのＡ２方向側の部分を固定する部材と一体的に設けてもよい。一体的に設けた場合、Ａ１方向側のバー駆動機構とＡ２方向側のバー駆動機構とを、順次駆動させることで、片側ずつ固定してもよいし、両側同時に駆動して、一度に両側を固定してもよい。
【０１０８】
また、上記実施形態では、シートのＡ１方向側の部分を固定する部材（固定バー２５）を駆動する機構（バー駆動機構２２）と、シートのＡ２方向側の部分を固定する部材（固定バー２６）を駆動する機構（バー駆動機構２２）とを別体で設けた例について示したが、本発明はこれに限らず、シートのＡ１方向側の部分を固定する部材を駆動する機構と、シートのＡ２方向側の部分を固定する部材を駆動する機構とを一体的に設けてもよい。
【０１０９】
また、上記実施形態では、塗布膜上にラミネートシートを配置した例について示したが、本発明はこれに限らず、塗布膜上にラミネートシートを配置しなくてもよい。
【０１１０】
また、上記実施形態では、シート平坦化機構を設けた例について示したが、本発明はこれに限らず、シート平坦化機構を設けなくてもよい。この場合にも、固定バー２５の固定により、シート１００は自然に搬送ステージ６０上に配置されるが、シート平坦化機構２４を設ける方が好ましい。
【０１１１】
また、上記実施形態では、搬送ステージに磁石を設け、固定バーを金属により形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、搬送ステージに磁石を設けることなく、固定バーに磁石を設けてもよい。
【０１１２】
また、上記実施形態では、固定バーを、磁力により搬送ステージに固定した例について示したが、本発明はこれに限らず、固定バーを、自重により搬送ステージに固定してもよい。
【符号の説明】
【０１１３】
１  塗布装置
２０  シート供給・固定・固定解除エリア（シート供給エリア、シート固定エリア、シート固定解除エリア）
２１  シート供給ガイド
２１ａ  傾斜部
２２  バー駆動機構（駆動機構、第１駆動機構）
２２ａ  保持部材（第１保持部、保持部）
２３  バー駆動機構（駆動機構、第２駆動機構）
２３ａ  保持部材（第２保持部、保持部）
２４  シート平坦化機構
２５  固定バー（シート固定部材、一方側固定部材）
２６  固定バー（シート固定部材、他方側固定部材）
３０  ラミネートエリア
４０  乾燥エリア
５０  塗布エリア
６０  搬送ステージ
７１  吐出ユニット（吐出部材）
１００  シート
１１０  ラミネートシート
１２０  塗布液
１２０ａ  塗布膜
１３０  塗布液容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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