(57)【要約】【課題】真空回路の保守管理の頻度を削減し、生産性を向上させる。【解決手段】レンズホルダ３１の吸着孔３１ａを真空回路Ｖ１に接続して被加工レンズＬを吸着保持し、研削液３０ａを供給しつつ砥石２０に押圧して加工する加工装置Ｍ１において、吸着孔３１ａを真空排気源４１に接続する配管３７、配管３８、配管３９の経路に切換３方弁３２、切換３方弁３３、３方向接続部品３４を配置してチェック弁３５およびドレン排出口３５ａ設け、切換３方弁３２および切換３方弁３３を介して与圧空気供給源４０から配管経路内に与圧空気を導入し、真空吸着時にレンズホルダ３１の吸着孔３１ａから吸い込まれて配管内に付着した研削液３０ａをドレン排出口３５ａを通じて排除し、空気濾過器３６が研削液３０ａで汚染されることを防止し、空気濾過器３６の保守管理頻度の削減、加工装置Ｍ１の稼働率の向上を実現する。【選択図】図１
2010188486.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空回路に接続されたワークホルダ部に吸着保持されたワークを加工工具に接触させて加工する加工装置において、
前記真空回路は、
前記ワークホルダ部と真空源とを接続する配管と、
前記配管に接続され、当該配管からドレン排出口を分岐させる三方向接続部材と、
前記三方向接続部材の前記ドレン排出口に設けられた逆止弁と、
前記配管に対する前記真空源または与圧空気源の接続を切り換える切換手段と、
を具備したことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記切換手段は、
前記三方向接続部材と前記ワークホルダ部との間における前記配管に設けられ、前記ワークホルダ部の前記真空源または与圧空気源に対する接続を切り換える第１切換部と、
前記三方向接続部材と前記真空源との間における前記配管に設けられ、前記三方向接続部材の前記真空源または前記与圧空気源に対する接続を切り換える第２切換部と、
を備えたことを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
前記第２切換部と前記真空源との間における前記配管には空気濾過器が配置され、
前記配管において、前記三方向接続部材は鉛直方向に前記空気濾過器よりも低い位置に配置されていることを特徴とする請求項２記載の加工装置。
【請求項４】
ワークを吸着保持するワークホルダ部に接続される真空回路において、
前記ワークホルダ部と真空源とを接続する配管と、
前記配管に接続され、当該配管からドレン排出口を分岐させる三方向接続部材と、
前記三方向接続部材の前記ドレン排出口に設けられた逆止弁と、
前記配管に対する前記真空源または与圧空気源の接続を切り換える切換手段と、
を具備したことを特徴とする真空回路。
【請求項５】
前記切換手段は、
前記三方向接続部材と前記ワークホルダ部との間における前記配管に設けられ、前記ワークホルダ部の前記真空源または与圧空気源に対する接続を切り換える第１切換部と、
前記三方向接続部材と前記真空源との間における前記配管に設けられ、前記三方向接続部材の前記真空源または前記与圧空気源に対する接続を切り換える第２切換部と、
を具備したことを特徴とする請求項４記載の真空回路。
【請求項６】
前記第２切換部と前記真空源との間における前記配管には空気濾過器が配置され、
前記配管において、前記三方向接続部材は鉛直方向に前記空気濾過器よりも低い位置に配置されていることを特徴とする請求項５記載の真空回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置および真空回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にレンズを研削または研磨加工する場合は、研削液を使用することが多く、一方、レンズの保持には真空吸着法が広く用いられている。
よって、レンズの保持に真空吸着法を用いる場合には、レンズの吸着時に空気とともに研削液を真空回路内に吸い込むことになり、放置しておくと配管や真空発生器に損傷を及ぼすことになる。
【０００３】
そのため、一般には、特許文献１のように、空気濾過器を用いて配管内の研削液を取り除いている。
すなわち、図４に示されるように、特許文献１に開示されたレンズ自動研磨装置では、被加工レンズＬをレンズホルダ２１にて真空吸着しており、ホルダシャフト２２内を通る管路の一端はレンズホルダ２１に開口し、他端は真空発生器１５に繋がっている。
【０００４】
また、真空発生器１５に到る管路の途中に空気濾過器１３を設け、研削液を主体とした管路内の不純物を除去している。空気濾過器１３に溜まった研削液は、空気作動弁１４にて排出される。
【０００５】
上述の従来の技術では、レンズホルダ２１への被加工レンズＬの吸着時に吸引された研削液が、配管経路を吸いあがり、空気濾過器まで到達する。
この空気濾過器には濾過する為のフィルタなどの交換部材が使用されており、定期的な交換が必要となる。
【０００６】
また、フィルタの交換作業の際には、レンズ自動研磨装置を停止させる必要があるため、フィルタなどの交換頻度が増すと装置の停止回数が増え、稼働率が低下するとともに、交換部材に掛かる費用も増大する。
【０００７】
また、管路に吸い込まれた研削液には不純物も混入されている為、ドレンの排出場所は、加工に使用する研削液に混入しない場所に設定する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１８１６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、真空回路の保守管理の頻度を削減し、生産性を向上させることが可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の観点は、真空回路に接続されたワークホルダ部に吸着保持されたワークを加工工具に接触させて加工する加工装置において、
前記真空回路は、
前記ワークホルダ部と真空源とを接続する配管と、
前記配管に接続され、当該配管からドレン排出口を分岐させる三方向接続部材と、
前記三方向接続部材の前記ドレン排出口に設けられた逆止弁と、
前記配管に対する前記真空源または与圧空気源の接続を切り換える切換手段と、
を具備した加工装置を提供する。
【００１１】
本発明の第２の観点は、ワークを吸着保持するワークホルダ部に接続される真空回路において、
前記ワークホルダ部と真空源とを接続する配管と、
前記配管に接続され、当該配管からドレン排出口を分岐させる三方向接続部材と、
前記三方向接続部材の前記ドレン排出口に設けられた逆止弁と、
前記配管に対する前記真空源または与圧空気源の接続を切り換える切換手段と、
を具備した真空回路を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、真空回路の保守管理の頻度を削減し、生産性を向上させることが可能な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態である加工装置の構成の一例を示す概念図である。
【図２】本発明の一実施の形態である加工装置の作用の一例を示す概念図である。
【図３】本発明の一実施の形態である加工装置および真空回路の変形例を示す概念図である。
【図４】従来技術のレンズ自動研磨装置を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本実施の形態では、レンズの吸着時に吸引されて真空回路の配管経路内に入った研削液が空気濾過器に到達する前に、当該研削液を管路外に排出することにより、交換部材の交換頻度を軽減させ、加工装置の停止回数を減らし、経費の節減を安価に実現する。
【００１５】
すなわち、本実施の形態では、一態様として、ワークホルダ部にレンズを真空吸着するための真空回路における配管経路の途中にドレン排出口を設ける。ドレン排出口は、たとえば逆止弁により、真空吸引時は閉じており、与圧空気の導入時は開くようになっている。また、切換弁によりこの配管経路に真空吸引と与圧空気とを選択的に作用させる構成としている。
【００１６】
よって、真空回路において、真空時はレンズ吸着を行い、与圧空気の導入時は、管路内に溜まった研削液がドレン排出口より排出される。
これにより、真空回路に設けられた空気濾過器等の機器の研削液による汚染が防止され、保守管理の頻度が削減されるとともに、真空回路を備えた加工装置の保守管理による停止頻度も減少し、加工装置の稼働率の向上により、生産性を向上させることが可能となる。
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施の形態である加工装置の構成の一例を示す概念図である。
図２は、本発明の一実施の形態である加工装置の作用の一例を示す概念図である。
【００１８】
なお、本実施の形態では、図１において、左右方向をＸ方向、上下方向をＺ方向、紙面に垂直な方向をＹ方向として説明する。また、一例として、Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ−Ｙ平面は水平面とする。
（構成）
図１に例示されるように、本実施の形態の加工装置Ｍ１は、回転軸２０ａが鉛直方向に設けられた砥石２０（加工工具）と、この砥石２０に対向する下端部に被加工レンズＬ（ワーク）を保持するレンズホルダ３１（ワークホルダ部）を備えている。
【００１９】
また、砥石２０の斜め上方には、砥石２０に対して研削液３０ａを供給する研削液ノズル３０が配置されている。
そして、被加工レンズＬの加工時は、レンズホルダ３１に吸着保持された被加工レンズＬが、砥石２０に押し付けられ、研削液ノズル３０から供給される研削液３０ａを掛けながら砥石２０が回転することにより被加工レンズＬが加工される。
【００２０】
レンズホルダ３１には、軸方向（Ｚ方向）に貫通し、下端がレンズ保持部３１ｂに開口する吸着孔３１ａが設けられており、この吸着孔３１ａの上端側を真空回路Ｖ１の真空ポンプ等の真空排気源４１（真空源）に接続することによって、被加工レンズＬをレンズホルダ３１のレンズ保持部３１ｂに着脱自在に吸着保持する構成となっている。
【００２１】
本実施の形態の加工装置Ｍ１の場合、この真空回路Ｖ１は、レンズホルダ３１から真空排気源４１に向う方向に順に、配管３７、切換３方弁３２（第１切換部）（切換手段）、配管３８、３方向接続部品３４（三方向接続部材）、配管３９、切換３方弁３３（第２切換部）（切換手段）、空気濾過器３６、真空排気源４１を配置して構成されている。
【００２２】
レンズホルダ３１に接続される配管３７は、被加工レンズＬの搬送動作のために移動するレンズホルダ３１の変位に追随して柔軟に変形するフレキシブル配管を用いることができる。
【００２３】
また、切換３方弁３２および切換３方弁３３の各々には、たとえば、コンプレッサや蓄圧タンク等からなる与圧空気供給源４０（与圧空気源）が接続されている。
切換３方弁３２は、ポート３２ａ、ポート３２ｂ、ポート３２ｃを備えている。
【００２４】
切換３方弁３２の鉛直方向（Ｚ方向）の上向きに開口したポート３２ａには与圧空気供給源４０が接続されている。
切換３方弁３２の水平方向（Ｘ方向）に開口したポート３２ｂには、配管３７を介してレンズホルダ３１の吸着孔３１ａが接続されている。
【００２５】
切換３方弁３２の鉛直方向（Ｚ方向）の下向きに開口したポート３２ｃには、配管３８を介して３方向接続部品３４のポート３４ｂが接続されている。
そして、切換３方弁３２は、ポート３２ａ（与圧空気供給源４０）とポート３２ｂ（配管３７）を接続する動作と、ポート３２ｂ（配管３７）とポート３２ｃ（配管３８）を接続する動作と、が切換可能となっている。
【００２６】
切換３方弁３３は、ポート３３ａ、ポート３３ｂ、ポート３３ｃを備えている。
切換３方弁３３の水平方向（Ｘ方向）に開口したポート３３ａには与圧空気供給源４０が接続されている。
【００２７】
切換３方弁３３の鉛直方向（Ｚ方向）に下向きに開口したポート３３ｂには配管３９が接続されている。
切換３方弁３３の水平方向（Ｘ方向）に開口したポート３３ｃには、空気濾過器３６を介して真空排気源４１が接続されている。
【００２８】
空気濾過器３６は、レンズホルダ３１の吸着孔３１ａから吸引される空気等に含まれる異物を除去するフィルタ３６ａを備えており、異物等の吸い込みによる真空ポンプ等の真空排気源４１の故障を防止する。
【００２９】
そして、切換３方弁３３は、ポート３３ａ（与圧空気供給源４０）とポート３３ｂ（配管３９）を接続する動作と、ポート３３ｂ（配管３９）とポート３３ｃ（真空排気源４１）を接続する動作と、が切換可能となっている。
【００３０】
本実施の形態の場合、３方向接続部品３４は、三つのポート３４ａ、ポート３４ｂ、ポート３４ｃを備えた配管部品であるＴ型、Ｙ型等の三方継手で構成されている。
そして、３方向接続部品３４において水平方向に同軸上に配置されたポート３４ｂとポート３４ｃが、それぞれ配管３８および配管３９に接続され、これらから鉛直方向に下向きに分岐したポート３４ａは、チェック弁３５（逆止弁）を介してドレン排出口３５ａに接続されている。
【００３１】
このチェック弁３５は、配管３８および配管３９の内部が負圧（陰圧）のときにはドレン排出口３５ａを閉じ、逆に正圧（陽圧）のときにはドレン排出口３５ａを開くように動作方向が設定されている。
【００３２】
本実施の形態の真空回路Ｖ１の場合、配管３８は、切換３方弁３２の鉛直方向に下向きに設けられたポート３２ｃと３方向接続部品３４の水平方向に開口したポート３４ｂを接続するように、垂直面（Ｚ−Ｘ平面）内で略Ｌ字形に屈曲して設けられている。
【００３３】
また、３方向接続部品３４の水平方向のポート３４ｃと、切換３方弁３３の鉛直方向に下向きに開口するポート３３ｂとを接続する配管３９は、垂直面（Ｚ−Ｘ平面）内で略逆Ｌ字形に屈曲し、３方向接続部品３４よりも高い位置にある切換３方弁３３（空気濾過器３６）の側に立ち上がるように設けられている。
【００３４】
このため、本実施の形態の場合、配管３８と配管３９の配管経路を合わせると、垂直面（Ｚ−Ｘ平面）内で、両端の高いに切換３方弁３２および切換３方弁３３（空気濾過器３６）が位置する略Ｕ字形を呈している。
【００３５】
そして、３方向接続部品３４は、この配管３８および配管３９で構成される略Ｕ字形の配管経路において、空気濾過器３６よりも低く、鉛直方向で最も低い位置となるように配置されている。
【００３６】
このため、本実施の形態の場合、レンズホルダ３１における被加工レンズＬの真空吸着の際に吸着孔３１ａを通じて外気とともに吸い込まれる一部の研削液３０ａは、Ｕ字形の配管経路の底部に位置する３方向接続部品３４の鉛直方向に下向きに分岐したポート３４ａの位置に集まって滞留し、空気濾過器３６を汚染することが防止される。
【００３７】
（作用）
まず、加工に際して被加工レンズＬをレンズホルダ３１のレンズ保持部３１ｂに吸着保持する時は、図１に例示されるように、切換３方弁３２では配管３７（ポート３２ｂ）と配管３８（ポート３２ｃ）を接続するように切換方向が設定され、切換３方弁３３では配管３９（ポート３３ｂ）と真空排気源４１（ポート３３ｃ）とを接続するように切換方向が設定されている。
【００３８】
これにより、真空回路Ｖ１の真空排気源４１による負圧が、配管３９、配管３８、配管３７を介してレンズホルダ３１の吸着孔３１ａに作用するとともに、３方向接続部品３４のチェック弁３５は閉じ、レンズホルダ３１のレンズ保持部３１ｂに被加工レンズＬが吸着保持される。
【００３９】
この被加工レンズＬを吸着する時に、レンズホルダ３１の吸着孔３１ａを通じて外気とともに吸い込まれた研削液３０ａは、わずかに空気濾過器３６に到達するものもあるが、その多くは配管３７、配管３８、配管３９の内側に付着している。
【００４０】
また、略Ｌ字形の配管３８および略逆Ｌ字形の配管３９の内部付着した研削液３０ａは、重力により、当該配管３８および配管３９の経路の最も低い位置に位置する３方向接続部品３４のポート３４ａに集まり、空気濾過器３６に流れる込むことはない。
【００４１】
被加工レンズＬの加工が終了し、被加工レンズＬをレンズホルダ３１から外す時には、切換３方弁３２と切換３方弁３３の接続状態は、図２の向きに設定される。
すなわち、切換３方弁３２では、与圧空気供給源４０（ポート３２ａ）と配管３７（ポート３２ｂ）を接続する切換状態となり、切換３方弁３３では、与圧空気供給源４０（ポート３３ａ）と配管３９（ポート３３ｂ）を接続する切換状態となる。
【００４２】
その結果、配管３７、配管３８、配管３９には、与圧空気供給源４０から与圧空気が導入され、配管３７においては、管路内に付着していた研削液３０ａがレンズホルダ３１の吸着孔３１ａから排出され、空気濾過器３６に至ることが防止される。
【００４３】
特に、空気濾過器３６に近い配管３９の側では、切換３方弁３３から３方向接続部品３４に向かう与圧空気の流れによって配管３９内に付着した研削液３０ａが強制的に３方向接続部品３４のドレン排出口３５ａに押し戻され、研削液３０ａによる空気濾過器３６の汚染が防止される。
【００４４】
また、配管３８と配管３９においては、切換３方弁３３を通じた与圧空気供給源４０からの与圧空気の導入によって、３方向接続部品３４のポート３４ａに設けられたチェック弁３５が開くため、当該管路内の研削液３０ａがチェック弁３５を通じてドレン排出口３５ａに確実に排出され、空気濾過器３６に至ることが防止される。
【００４５】
すなわち、本実施の形態の真空回路Ｖ１の場合、レンズホルダ３１の吸着孔３１ａから外気とともに吸い込まれた研削液３０ａは、空気濾過器３６に到達することなく、ドレン排出口３５ａや吸着孔３１ａから確実に排出される。
【００４６】
本実施の形態の場合、ドレン排出口３５ａや吸着孔３１ａから排出された研削液３０ａは、後述のように、研削液ノズル３０に還流させて再利用できる。
（効果）
従来の技術では、被加工レンズＬをレンズホルダ３１に吸着保持する時に外気と一緒に真空回路Ｖ１内に吸い込まれた研削液３０ａは、そのまま空気濾過器３６に到達していた。そのため、空気濾過器３６に使用している吸気を濾過するためのフィルタ３６ａは、定期交換が必要であり、交換のための加工装置Ｍ１の停止やフィルタ３６ａ等の保守部品購入費用が発生していた。
【００４７】
これに対して、本実施の形態の加工装置Ｍ１および真空回路Ｖ１では、外気とともに配管経路内に吸い込まれた研削液３０ａを、空気濾過器３６に到達する前に３方向接続部品３４のドレン排出口３５ａやレンズホルダ３１の吸着孔３１ａを通じて管路外に強制的に排出できるため、空気濾過器３６の保守管理のための加工装置Ｍ１の停止頻度が減少して稼働率が向上し、被加工レンズＬの生産工程の生産性が向上する。
【００４８】
また、真空回路Ｖ１の空気濾過器３６におけるフィルタ３６ａ等の定期交換の間隔を長くすることが可能になり、フィルタ３６ａの購入費用や保守管理の労務費等の保守管理コストの削減も実現できる。
【００４９】
また、レンズホルダ３１の吸着孔３１ａに接続される配管３７においては、与圧空気供給源４０から導入された与圧空気による管路内の研削液３０ａの排出の際に、被加工レンズＬをレンズホルダ３１から確実に離脱させる効果も得られる。
【００５０】
また、従来技術のように空気濾過器３６のフィルタ３６ａで捕捉された研削液３０ａは、他の異物が混在している可能性があり、別途廃棄する必要がある。
これに対して、本実施の形態の場合には、ドレン排出口３５ａから排出される研削液３０ａは、空気濾過器３６に至る前の３方向接続部品３４の位置で捕捉されているので、空気濾過器３６における異物等で汚染されている可能性が少ない。
【００５１】
このため、３方向接続部品３４のドレン排出口３５ａから排出された研削液３０ａは、研削液ノズル３０に還流させて使用することもでき、真空回路Ｖ１に流入した研削液３０ａの有効な再利用を実現でき、生産性はさらに向上する。
【００５２】
なお、本実施の形態の真空回路Ｖ１では、切換３方弁３２の側から与圧空気が作用しない配管３８の管路長が短い程得られる効果が大きい。
そこで、図３を参照して、本実施の形態の真空回路Ｖ１および加工装置Ｍ１の変形例である真空回路Ｖ２および加工装置Ｍ２について説明する。
【００５３】
図３は、本実施の形態の加工装置および真空回路の変形例を示す概念図である。
この変形例の真空回路Ｖ２の場合、切換３方弁３２の鉛直下向きに開口するポート３２ｃに対して、鉛直方向に短い配管３８ａの上端部を接続し、配管３８ａの下端部は３方向接続部品３４に接続されている。
【００５４】
また、この場合、３方向接続部品３４は、軸方向に対向するポート３４ｂとポート３４ｃが鉛直方向となるように配置し、ポート３４ｂを配管３８ａに接続し、ポート３４ｃにチェック弁３５およびドレン排出口３５ａを接続し、水平方向（Ｘ方向）に分岐したポート３４ａに配管３９が接続された構成となっている。
【００５５】
このため、本変形例の真空回路Ｖ２においては、鉛直方向の配管３８ａと、略逆Ｌ字形の配管３９の配管経路は、略Ｖ字形となり、この略Ｖ字形の鉛直方向の最下端の位置に３方向接続部品３４（ドレン排出口３５ａ）が位置する。
【００５６】
また、配管３８ａの長さは、切換３方弁３２と３方向接続部品３４を接続するためのねじ込み継手やフランジ継手等に必要な最小限の長さに設定することができる。
このように、配管３８ａの長さを短く設定することにより、配管３８ａの内部に付着する研削液３０ａの量を少なくすることができる。
【００５７】
このため、切換３方弁３２および切換３方弁３３を、上述の図２の接続状態に設定して、配管３７および配管３９に与圧空気を導入する場合に、鉛直方向に短く設けられた配管３８ａの内部に付着する研削液３０ａは、切換３方弁３２の側から与圧空気が作用しなくとも、重力により３方向接続部品３４のポート３４ｃに集まり、チェック弁３５を通じてドレン排出口３５ａから確実に排出される。
【００５８】
この結果、上述の空気濾過器３６に対する研削液３０ａの付着防止の効果が一層大きくなる。
以上説明したように、本発明の実施の形態や変形例によれば、研削液３０ａなどの加工液等の液体を使用している加工工程において、被加工レンズＬ等の被加工物（ワーク）を、真空回路を用いて真空吸着保持する場合に、真空回路の配管経路に混入した液体を空気濾過器に到達する前に除去し、空気濾過器の性能維持を安価に実現できる。
【００５９】
すなわち、加工装置における真空回路の保守管理の頻度を削減し、生産性を向上させることが可能となる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００６０】
たとえば、ワークは被加工レンズＬに限らず、また、加工は、研削や研磨加工に限らず、加工液等を用いる一般のワークの加工に広く適用することができる。
［付記１］
ワークを砥石に対して押圧し、押圧部に加工液を供給しながらワークと砥石を相対的に動かすことでワークの加工を行う研削、研磨装置において、
真空吸着回路を有したワークホルダ部と、ワークホルダ部と繋がる配管を加圧空気供給口と真空供給口に切換える第一の切換部と、切換部の真空供給口に繋がる配管をドレン排出口と真空供給口に分ける３箇所の接続口を有した接続部と、接続部の真空供給口に繋がる配管を加圧空気供給口と真空供給口に切換える第二の切換部と、からなり、接続部のドレン排出口にはチェック弁が接続されていることを特徴とする真空回路のドレン排出機構。
【符号の説明】
【００６１】
３０  研削液ノズル
３０ａ  研削液
３１  レンズホルダ
３１ａ  吸着孔
３１ｂ  レンズ保持部
３２  切換３方弁
３２ａ  ポート
３２ｂ  ポート
３２ｃ  ポート
３３  切換３方弁
３３ａ  ポート
３３ｂ  ポート
３３ｃ  ポート
３４  ３方向接続部品
３４ａ  ポート
３４ｂ  ポート
３４ｃ  ポート
３５  チェック弁
３５ａ  ドレン排出口
３６  空気濾過器
３６ａ  フィルタ
３７  配管
３８  配管
３８ａ  配管
３９  配管
４０  与圧空気供給源
４１  真空排気源
Ｌ  被加工レンズ
Ｍ１  加工装置
Ｍ２  加工装置
Ｖ１  真空回路
Ｖ２  真空回路
【図１】
2010188486.tif 000003
【図２】
2010188486.tif 000004
【図３】
2010188486.tif 000005
【図４】
2010188486.tif 000006