(57)【要約】【課題】カメラ内部に生じた水滴を短時間で蒸発させることが可能で、撮像素子の結露を防止した冷却カメラを提供する。【解決手段】撮像素子５と、撮像素子５を気密に収納する筐体６と、筐体６内に配置されており、撮像素子５を冷却する電子冷却素子２と、筐体６の壁面に設けられており、固体高分子電解質膜を用いた除湿素子４と、を有しており、電子冷却素子２の第１表面２ａが撮像素子５に接触し、かつ第２表面２ｂが筐体６の壁面に接触しており、電子冷却素子２の第１表面２ａを冷却面として作用させ、第２表面２ｂを放熱面として作用させる第１動作と、電子冷却素子２の第１表面２ａを放熱面として作用させ、第２表面２ｂを冷却面として作用させるとともに、除湿素子４によって筐体６内の除湿を行う第２動作と、を切り換えて実施することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子と、
前記撮像素子を気密に収納する筐体と、
前記筐体内に配置されており、前記撮像素子を冷却する電子冷却素子と、
前記筐体の壁面に設けられており、固体高分子電解質膜を用いた除湿素子と、を有しており、
前記電子冷却素子の第１表面が前記撮像素子に接触し、かつ第２表面が前記筐体の壁面に接触しており、
前記電子冷却素子の前記第１表面を冷却面として作用させ、前記第２表面を放熱面として作用させる第１動作と、前記電子冷却素子の前記第１表面を放熱面として作用させ、前記第２表面を冷却面として作用させるとともに、前記除湿素子によって前記筐体内の除湿を行う第２動作と、を切り換えて実施することを特徴とする冷却カメラ。
【請求項２】
前記筐体内の湿度を検出する湿度検出手段を有し、
前記湿度検出手段の検出結果に応じて、前記第１動作と前記第２動作とを切り換えて実施することを特徴とする請求項１に記載の冷却カメラ。
【請求項３】
前記湿度検出手段の検出結果に基づき、前記第１動作と前記第２動作とを自動的に切り換える制御手段を有することを特徴とする請求項２に記載の冷却カメラ。
【請求項４】
前記湿度検出手段は、前記電子冷却素子の前記第１表面の近傍に配置されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の冷却カメラ。
【請求項５】
前記電子冷却素子の前記第１表面と前記撮像素子との間に、少なくとも１種類の熱伝導部材を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の冷却カメラ。
【請求項６】
前記電子冷却素子の前記第２表面と前記筐体の壁面との間に、少なくとも１種類の熱伝導部材を有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の冷却カメラ。
【請求項７】
前記電子冷却素子の前記第１表面と前記撮像素子との接触位置の近傍に、前記第１動作時に水分を吸収し、前記第２動作時に水分を水蒸気として放出する吸水手段を有していることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の冷却カメラ。
【請求項８】
前記第２動作時に、前記第２動作を実施中である旨の情報を出力するための情報出力手段を有していることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の冷却カメラ。
【請求項９】
前記第１動作時に、前記電子冷却素子の前記第１表面を冷却面として作用させ、前記第２表面を放熱面として作用させるとともに、前記除湿素子によって前記筐体内の除湿を行うことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の冷却カメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子冷却素子を内蔵した冷却カメラに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子冷却素子としてペルチェ素子を内蔵した冷却カメラが知られており、近年では撮像素子の結露を防止するために電気分解セルを用いて、カメラ内部の湿度が高い場合はペルチェ素子を作動させずに電気分解セルのみを作動させ、湿度が十分に低下した時点でペルチェ素子を作動させる構成のものが提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。また、ペルチェ素子付近に結露した水分を吸収するための吸水シートを備えた構成の冷却カメラも提案されている（例えば、特許文献２を参照。）。
【特許文献１】特開２００３−１４３４４９号公報
【特許文献２】特開２００６−１４２４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら電気分解セルを用いた従来の冷却カメラは、高湿度環境での使用や長時間の使用によってカメラ内部に水滴が生じた場合、この水滴を電気分解セルによって蒸発させるためには、非常に長い時間を要するという問題があった。また、吸水シートを用いた従来の冷却カメラは、吸水シートによって水滴を吸収できるものの、吸水シートの吸水量が飽和状態に達すると、カメラ内部の湿度が上昇して撮像素子に結露が生じて画像がぼける等の不具合を招いてしまうという問題があった。
【０００４】
そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、カメラ内部に生じた水滴を短時間で蒸発させることが可能で、撮像素子の結露を防止した冷却カメラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために本発明は、
撮像素子と、
前記撮像素子を気密に収納する筐体と、
前記筐体内に配置されており、前記撮像素子を冷却する電子冷却素子と、
前記筐体の壁面に設けられており、固体高分子電解質膜を用いた除湿素子と、を有しており、
前記電子冷却素子の第１表面が前記撮像素子に接触し、かつ第２表面が前記筐体の壁面に接触しており、
前記電子冷却素子の前記第１表面を冷却面として作用させ、前記第２表面を放熱面として作用させる第１動作と、前記電子冷却素子の前記第１表面を放熱面として作用させ、前記第２表面を冷却面として作用させるとともに、前記除湿素子によって前記筐体内の除湿を行う第２動作と、を切り換えて実施することを特徴とする冷却カメラを提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、カメラ内部に生じた水滴を短時間で蒸発させることが可能で、撮像素子の結露を防止した冷却カメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の各実施形態に係る冷却カメラを添付図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る冷却カメラの構成を示す断面図である。
図１に示すように本実施形態に係る冷却カメラ１は、以下に詳述するペルチェ素子２、基板３、電気分解セル４、及び撮像素子（ＣＣＤ）５等を筐体６内に備えてなる。
【０００８】
筐体６は、前筐体７と放熱筐体８とからなり、これらはＯリング９を介して気密状態を維持しながら前筐体７外周のフランジ部７ａにおいてビス１０で複数箇所固定されている。
前筐体７にはＣＣＤ５と対向する位置に開口７ｂが形成されており、さらにこの開口７ｂにはガラス板１１がＯリング１２を介して気密状態を維持しながら固定されている。なお、前筐体７においてガラス板１１の外周位置には、本冷却カメラ１を顕微鏡等の鏡筒に取り付けるためのマウント部７ｃが設けられている。
【０００９】
放熱筐体８には、当該放熱筐体８に形成された凸部８ａに隣接して、即ちペルチェ素子２の近傍に貫通口１３が形成されており、この貫通口１３の前筐体７側位置には大径部１３ａが設けられている。この大径部１３ａには、樹脂等の絶縁体１４で外周が覆われた電気分解セル４が気密状態を維持しながら接着剤で固定されている。なお、絶縁体１４には、電気分解セル４の陽極４ａを冷却カメラ１内の空間へ露出させるための開口、及び陰極４ｂを外部へ露出させるための開口がそれぞれ形成されている。また、放熱筐体８の外部には後述するパイロットランプ１５が備えられている。斯かる構成の放熱筐体８は、熱伝導性の良いアルミニウム等の金属材料によって作製することが望ましい。
上記構成により、筐体６の内部は常時気密に保たれている。
【００１０】
基板３は、放熱筐体８に対して少なくとも２箇所、スリーブ１６を挟んでビス１７で固定することで、放熱筐体８に所定の間隔をおいて設置されている。
基板３には、カメラコントロールユニット等の外部装置から入力された電力をＣＣＤ５、ペルチェ素子２、電気分解セル４等の各素子へ供給する電力供給回路１８と、前記各素子や電力供給回路１８の制御、及びＣＣＤ５で得られた画像信号の処理等を行う制御回路２０とが実装されている。また、基板３の反対側の面には、ＣＣＤ５が半田付けによって実装されており、ＣＣＤ５の近傍位置には湿度センサ２１も実装されている。なお、湿度センサ２１は本冷却カメラ１内部のその他の位置に設けることも可能であるが、冷却カメラ１内部で最も結露しやすいペルチェ素子２とＣＣＤ５との接触面近傍に設けることが好ましい。
斯かる基板３の中央位置には、角形の貫通穴３ａが形成されており、この貫通穴３ａ内にはペルチェ素子２が配置されている。
【００１１】
ペルチェ素子２は、ＣＣＤ５を冷却するための板状の電子冷却素子であり、図１中の下側の表面である第１表面２ａが伝熱性両面テープ２２を介してＣＣＤ５の裏面に接着されており、図１中の上側の表面である第２表面２ｂが熱伝導シート２３を介して放熱筐体８の凸部８ａに接触している。
なお、熱伝導シート２３はシリコーン等の樹脂製のシートであって、その厚み寸法はペルチェ素子２と放熱筐体８の凸部８ａとのギャップ寸法より大きく、組み付け時に当該熱伝導シート２３が変形することで密着性が確保される。本実施形態において詳細には、０．５ｍｍ厚の熱伝導シート２３を０．４ｍｍのギャップ寸法に挿入している。斯かる熱伝導シート２３により、ペルチェ素子２の第２表面２ｂと放熱筐体８の凸部８ａとの密着性を確保するとともに熱伝導性を確保することができる。
【００１２】
ペルチェ素子２には、図２（ａ）に示すように電源回路２５として、向きの異なる２つの電源２６ａ，２６ｂが並列に接続されており、電源２６ａ，２６ｂにはそれぞれスイッチ２７ａ，２７ｂが設けられている。これらのスイッチ２７ａ，２７ｂは、一方の接続時、他方が非接続となるように連動して開閉するように構成されている。斯かる電源回路２５は上述した基板３上の電力供給回路１８に含まれており、このような構成により制御回路２０はスイッチ２７ａ，２７ｂの動作を制御することでペルチェ素子２へ印加する電圧の極性を反転させることが可能となる。
【００１３】
以上の構成の下、基板３上の制御回路２０が電力供給回路１８を制御して図２（ａ）に示すように電源回路２５のスイッチ２７ａを開放しスイッチ２７ｂを接続した際には、電源２６ｂによってペルチェ素子２に電圧が印加され、第１表面２ａから第２表面２ｂへ向かって熱の移動が生じる。これにより第１表面２ａは冷却面として作用し、第２表面２ｂは放熱面として作用させることができる（後述の通常動作）。
これに対し、制御回路２０が図２（ｂ）に示すように電源回路２５のスイッチ２７ａを接続しスイッチ２７ｂを開放した際には、電源２６ａによってペルチェ素子２に電圧が印加され、即ち図２（ａ）と逆の電圧がペルチェ素子２に印加されることとなる。このため第１表面２ａは放熱面として作用し、第２表面２ｂは冷却面として作用させることができる（後述の強制除湿動作）。
なお、電源２６ａ，２６ｂは定電圧源としているが、これに限られず電圧可変式の電源としてもよく、この場合はＣＣＤ５の冷却温度又は加熱温度を測定しながら電圧を適切に制御すればよい。
【００１４】
電気分解セル４は、固体高分子電解質膜を用いた除湿素子であって、当該電気分解セル４の陽極４ａ及び陰極４ｂに所定の電圧を印加することで、固体高分子電解質膜の陽極側で水分子が分解されて湿度が低下し、陰極側で分解された水分子の一部が出現し水蒸気を発生させるものである。なお、電気分解セル４は、不図示の電線によって上述した基板３上の電力供給回路１８と接続されており、これによって電気分解セル４への電力供給が可能である。
【００１５】
次に、本実施形態に係る冷却カメラ１におけるペルチェ素子２及び電気分解セル４の通常動作と、本冷却カメラ１内に生じた水滴を蒸発させるための強制除湿動作について説明する。
（通常動作）
上記構成の本実施形態に係る冷却カメラ１において、該冷却カメラ１へ導かれた不図示の被写体からの光は、ＣＣＤ５の撮像面５ａ上に投影されて被写体像を形成する。この被写体像はＣＣＤ５で光電変換され、基板３上の制御回路２０で画像データに変換された後、カメラコントロールユニット等の外部装置へ出力される。
【００１６】
ここで、動作中のＣＣＤ５が発熱してその温度が上昇すると、これに起因して生じる暗電流ノイズによって撮影画像の画質が劣化してしまう。これを防止するために本冷却カメラ１では、制御回路２０が電力供給回路１８を制御して図２（ａ）に示すようにペルチェ素子２に電源２６ｂの電圧を印加する。これにより、冷却面として作用する第１表面２ａでＣＣＤ５を冷却して暗電流の発生を抑制することができ、放熱面として作用する第２表面２ｂから放熱筐体８へ熱を伝導して外気へ放出することができる。
また、これと同時に本冷却カメラ１では、制御回路２０が電力供給回路１８を制御して電気分解セル４へ所定の電圧を印加することによって電気分解セル４を作動させる。これにより、本冷却カメラ１の内部（放熱筐体８、前筐体７、及びガラス板１１によって形成された密閉空間内）に元々存在する水蒸気、及び冷却によってＯリング９，１２等を透過して浸入する微量の水蒸気を、電気分解セル４の電気分解作用によって外部へ放出することができ、これによってＣＣＤ５のガラス面５ｂの結露を防止することができる。
【００１７】
（強制除湿動作）
本冷却カメラ１において、上述の通常動作を特に高湿度環境下で繰り返し実施する場合、電気分解セル４による水蒸気の放出量よりも外部からＯリング９，１２等を透過して冷却カメラ１の内部へ浸入する水蒸気の量の方が多くなり、冷却カメラ１の内部、特にペルチェ素子２の第１表面２ａの近傍に水滴が生じる場合がある。このような場合、冷却カメラ１の内部の湿度が上昇し、この状態で上述の通常動作を実施すれば、ＣＣＤ５のガラス面５ｂに結露が発生し、撮影画像の画質の劣化を招くこととなってしまう。
【００１８】
そこで斯かる問題を回避するために本冷却カメラ１では、制御回路２０が電力供給回路１８を制御して図２（ｂ）に示すようにペルチェ素子２に電源２７ａの電圧を印加する。これにより、第１表面２ａが放熱面として作用するため、第１表面２ａ及び第１表面２ａに接するＣＣＤ５が加熱されることとなり、これらの近傍の水蒸気を冷却カメラ１内の雰囲気中へ蒸発させることができる。このとき、第２表面２ｂは冷却面として作用するが、放熱筐体８の熱容量はＣＣＤ５の熱容量よりも大きいため、放熱筐体８の著しい温度低下は起きず結露が発生することはない。
また、これと同時に本冷却カメラ１では、制御回路２０が電力供給回路１８を制御して電気分解セル４へ所定の電圧を印加することによって電気分解セル４を作動させる。これにより、前述のように本冷却カメラ１内の雰囲気中へ蒸発した水蒸気を、電気分解セル４の電気分解作用によって外部へ放出することができ、これによってＣＣＤ５のガラス面５ｂの結露を防止することができる。
【００１９】
本実施形態に係る冷却カメラ１において上述した通常動作と強制除湿動作は、以下に述べる制御ルーチンにしたがって実施される。
図３は、本発明の第１実施形態に係る冷却カメラ１の制御ルーチンを示すフローチャートである。
本制御ルーチンは、本冷却カメラ１の電源投入にともなって開始される。
ステップＳ１：基板３上の制御回路２０が湿度センサ２１で検出された相対湿度値Ｘを当該湿度センサ２１より取得する。
【００２０】
ステップＳ２：ステップＳ１で取得した相対湿度値Ｘが後述する基準湿度値Ｘ０以下であるか否かを制御回路２０が判定する。相対湿度値Ｘが基準湿度値Ｘ０以下である場合はステップＳ３へ進み、相対湿度値Ｘが基準湿度値Ｘ０よりも大きい場合はステップＳ４へ進む。
ここで、基準湿度値Ｘ０とは、基準湿度値Ｘ０以下の湿度条件においてＣＣＤ５を冷却した際に結露が発生するおそれのない湿度であって、ペルチェ素子２によるＣＣＤ５の冷却温度に依存する値である。この基準湿度値Ｘ０は、湿度センサ２１の配置場所にも依存する値であるため、実験によって設定することが望ましい。
【００２１】
ステップＳ３：ペルチェ素子２及び電気分解セル４の通常動作を実施し、ステップＳ１へ戻る。
ステップＳ４：ペルチェ素子２及び電気分解セル４の強制除湿動作を実施し、ステップＳ１へ戻る。なお、強制除湿動作の実施中、制御回路２０は放熱筐体８に備えられたパイロットランプ１５を点灯することで、強制除湿動作を現在実施中であることを使用者へ向かって表示する。
なお、以上の制御ルーチンは、本冷却カメラ１の電源投入後、電源が切られるまで繰り返し実行される。
【００２２】
以上、本実施形態に係る冷却カメラ１では、上述の制御ルーチンを実行することにより、ペルチェ素子２及び電気分解セル４の通常動作と強制除湿動作を自動で適切に切り換えることが可能となり、ＣＣＤ５の結露を効果的に防止することができる。
なお、上記制御ルーチンのステップＳ４では、ＣＣＤ５が加熱されることとなるため、制御回路２０からカメラコントロールユニット等の外部装置への画像データの出力を停止し、本冷却カメラ１を撮影休止状態としてもよい。
また、同じくステップＳ４においては、パイロットランプ１５の点灯に限られず、強制除湿動作を実施中である旨の情報を、撮影画像を表示するモニタにスーパーインポーズ表示する、或いは音声出力手段を設けて音声によって出力する構成とすることもできる。
【００２３】
また、本実施形態に係る冷却カメラ１では、湿度センサ２１のかわりに、湿度と同時に温度を測定可能な温湿度センサを備えることが望ましい。斯かる場合、冷却カメラ１内部の温度毎に基準湿度値Ｘ０を予め設定し、基板３上の不図示の記憶装置に記憶しておく。これにより、制御回路２０は温湿度センサで測定された温度に対応した基準湿度値Ｘ０を記憶装置から読み出し、これに基づいて上記制御ルーチンを実行することが可能となるため、より効果的にＣＣＤ５のガラス面５ｂの結露を防止することができる。
また、本実施形態に係る冷却カメラ１では、上述した通常動作と強制除湿動作とを使用者が手動で適宜切り換えて実施することも可能である。
【００２４】
以上、本実施形態に係る冷却カメラ１は、ペルチェ素子２及び電気分解セル４の強制除湿動作により、上述のようにカメラ内部に生じた水滴をペルチェ素子２で強制的に短時間で蒸発させながら、蒸発した水蒸気を電気分解セル４で冷却カメラ１の外部へ放出し効果的に除湿することができる。このため、強制除湿動作を短時間で完了して通常動作に移行する、即ち本冷却カメラ１は通常の使用状態に短時間で復帰することが可能となる。また、冷却カメラ１内で最も結露しやすいペルチェ素子２等に生じた水滴によるペルチェ素子２の故障や基板３上の電子部品に水滴が付着してショートしてしまうことを効果的に防止することもできる。
【００２５】
また、本実施形態に係る冷却カメラ１では、通常動作及び強制除湿動作を通じて常に電気分解セル４を作動させる構成としている。これにより、冷却カメラ１内部の除湿を効果的に行い、結露の発生をより効果的に抑制することができる。なおこれに限られず、通常動作時に電気分解セル４の作動を休止する構成として、電気分解セル４の長寿命化を図ることもできる。
なお、本実施形態に係る冷却カメラ１は電気分解セル４を除湿素子として採用しているため、従来の吸水シートを用いた冷却カメラのように吸水シートの吸水量が飽和状態に達して撮像素子に結露が生じてしまうことも勿論ない。
【００２６】
（第２実施形態）
本実施形態及び後述する第３実施形態において、上記第１実施形態と同様の構成である部分には同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。
図４は、本発明の第２実施形態に係る冷却カメラの構成を示す断面図である。
図４に示すように本実施形態に係る冷却カメラ３０は、ペルチェ素子２とＣＣＤ５との間にアルミニウムからなる熱伝導板３１を備えており、熱伝導板３１の上側面とペルチェ素子２の第１表面２ａ、及び熱伝導板３１の下側面とＣＣＤ５はそれぞれ熱伝導性両面テープ３２によって接着されている。なお、ペルチェ素子２とＣＣＤ５の間に熱伝導板３１を配置するために、放熱筐体８には上記第１実施形態のような凸部８ａは形成されていない。
【００２７】
斯かる構成の本実施形態に係る冷却カメラ３０は、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。また、上記熱伝導板３１により、ペルチェ素子２でＣＣＤ５を冷却及び加熱する際の温度の均一化を図ることができる。
なお、熱伝導板３１の材料はアルミニウムに限られず、熱伝導性の大きな金属等のその他の材料を用いることもできる。
【００２８】
（第３実施形態）
図５は、本発明の第３実施形態に係る冷却カメラの構成を示す断面図である。
図５に示すように本実施形態に係る冷却カメラ４０は、ＣＣＤ５の裏面上であって、ＣＣＤ５の裏面とペルチェ素子２の第１表面２ａとの接触位置近傍に、粘着テープ等で接着された吸水シート４１を備えている。
吸水シート４１は、所定温度Ｔ０以下の温度環境において水分を吸収し、所定温度Ｔ０を越える温度環境においては吸収した水分を水蒸気として放出する性質を有するものである。詳しくは本実施形態の吸水シート４１には、ペルチェ素子２及び電気分解セル４の通常動作時に冷却カメラ４０の内部温度が所定温度Ｔ０以下となって水分を吸収し、かつ強制除湿動作時に冷却カメラ４０の内部温度が所定温度Ｔ０を上回って通常動作時に吸収した水分を水蒸気として放出するものが選定されている。
【００２９】
斯かる構成の本実施形態に係る冷却カメラ４０では、ペルチェ素子２及び電気分解セル４の通常動作中、吸水シート４１は冷却カメラ４０内部の水分を吸収する。そして、吸水シート４１の吸水量が飽和状態に達すると、冷却カメラ４０内部の湿度が上昇し湿度センサ２１で検出される相対湿度値Ｘが基準湿度値Ｘ０を上回ることとなり、ペルチェ素子２及び電気分解セル４は強制除湿動作へ移行することとなる。強制除湿動作中、吸水シート４１は通常動作時に吸収した水分を水蒸気として冷却カメラ４０内部へ放出し、飽和状態から吸水可能状態へ復帰することができる。なお、このとき冷却カメラ４０内部へ放出された水蒸気は、電気分解セル４によって冷却カメラ４０外部へ放出される。
【００３０】
斯かる構成の本実施形態に係る冷却カメラ４０は、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。また、上記吸水シート４１により、冷却カメラ４０内部で最も結露しやすいペルチェ素子２及びＣＣＤ５近傍の除湿をより効果的に行うことができ、ＣＣＤ５のガラス面５ｂの結露をより効果的に防止することができる。
なお、本実施形態では吸水シート４１を使用しているが、これに限られず、例えばシリカゲル等のその他の乾燥剤を使用することも可能である。
【００３１】
上記各実施形態によれば、カメラ内部に生じた水滴を短時間で蒸発させることが可能で、撮像素子の結露を防止した冷却カメラを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る冷却カメラ１の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る冷却カメラ１のペルチェ素子２に接続された電源回路２５の構成を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る冷却カメラ１の制御ルーチンを示すフローチャートである。
【図４】本発明の第２実施形態に係る冷却カメラ１の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る冷却カメラ１の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１，３０，４０    冷却カメラ
２                ペルチェ素子
２ａ              ペルチェ素子の第１表面
２ｂ              ペルチェ素子の第２表面
３                基板
４                電気分解セル
５                ＣＣＤ
６                筐体
１５              パイロットランプ
２０              制御回路
２１              湿度センサ
２２，３２        熱伝導性両面テープ
２３              熱伝導シート
３１              熱伝導板
４１              吸水シート
【図１】
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【図２】
2010153963.tif 000004
【図３】
2010153963.tif 000005
【図４】
2010153963.tif 000006
【図５】
2010153963.tif 000007