(57)【要約】 【課題】  簡単な機構によって、より精度の高い電気抵抗等の測定をすることができる異方性導電シート等を提供する。【解決手段】  シート１の第１面１ａに位置する端子部３ａと、シートの第２面１ｂに位置して、外部電極の複数個と接触するために絶縁分離された複数端子、または面積が広げられた１つの端子、で構成される拡張端子部３ｂと、シートを貫通して、第１面の端子部と、第２面の拡張端子部とを導通する導通部５と、を備え、拡張端子部が複数個の端子部３ｂであり、導通部５が、第１面の端子部から、第２面の複数個の端子部へと、個別に、シートを斜めに貫通する、複数個の斜め導通部であることを特徴とする。【選択図】        図２
2010153263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部の電極と接触して厚み方向に導電する導電シートであって、
絶縁性で厚み方向に弾性を有するシートと、
前記シートの第１面に位置する端子部と、
前記シートの第２面に位置して、前記外部電極の複数個と接触するために絶縁分離された複数端子、または面積が広げられた１つの端子、で構成される拡張端子部と、
前記シートを貫通して、前記第１面の端子部と、前記第２面の拡張端子部とを導通する導通部と、を備えることを特徴とする、異方性導電シート。
【請求項２】
前記拡張端子部が複数個の端子部であり、前記導通部が、前記第１面の端子部から、前記第２面の複数個の端子部へと、個別に、前記シートを該シート面法線方向に対して斜めに貫通する、複数個の斜め導通部であることを特徴とする、請求項１に記載の異方性導電シート。
【請求項３】
前記拡張端子部が、前記導通部の端部から延びる複数本の線状端子部であり、前記導通部は、前記第１面の端子部と前記第２面の線状端子部とを導通することを特徴とする、請求項１に記載の異方性導電シート。
【請求項４】
前記拡張端子部が、前記導通部の端部から広がる面状端子部であり、前記導通部は、前記第１面の端子部と前記第２面の面状端子部とを導通することを特徴とする、請求項１に記載の異方性導電シート。
【請求項５】
前記第２面における前記第１面の端子部の対応位置が、前記第２面の拡張端子部の中心部分に位置することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の異方性導電シート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の異方性導電シートと、回路基板とを備え、該異方性導電シートの前記第２面の拡張端子部に、前記回路基板の電極が接触することを特徴とする、基板体。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の異方性導電シート、または請求項６に記載の基板体を備えることを特徴とする、検査装置。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の異方性導電シートと、回路基板に搭載された複数の電子部品とを備え、該回路基板の電極が、該異方性導電シートの前記第２面の拡張端子部に接続されることを特徴とする、部品モジュール。
【請求項９】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の異方性導電シート、または請求項８に記載の部品モジュールを備えることを特徴とする、電子製品。
【請求項１０】
異方性導電シートの製造方法であって、
絶縁性で厚み方向に弾性を有するシートに対して、第１面の端子部位置と、第２面における前記第１面端子部対応位置のまわりの位置とを結ぶように斜め貫通孔をあける工程と、
前記斜め貫通孔の孔壁に金属を付着させる工程とを備えることを特徴とする、異方性導電シートの製造方法。
【請求項１１】
絶縁性で厚み方向に弾性を有するシートに、該シートを貫通する導通部を形成する工程と、
前記シートの一方の面において、前記導通部の端部から複数の配線、または面状の導体膜、を形成する工程とを備えることを特徴とする、異方性導電シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方性導電シート、その製造方法、基板体、検査装置、部品モジュール、および電子製品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、磁気ディスク装置等の電子製品に用いられる配線板、表示パネル等は、電気検査を経て出荷される。電気検査に用いられる検査装置は、これら配線板等の端子に、当該検査装置の電極をコンタクトさせ、所定の電圧を配線板の端子間に印加することで、電流を読み取るなどして電気検査を行う。この検査装置の電極は金属製であり、配線板の端子も金属なので、コンタクトを確実に行うために、厚み方向に弾性変形する異方性導電シートやプローブピンが、検査装置と配線板との間に挿入されるのが普通である。
上記の異方性導電シートについては、多くの提案がなされてきた。たとえば、ゴム弾性を有する絶縁材料からなるシートに、複数の導電性ワイヤを貫通させたもの（特許文献１）、剛性絶縁板にあけられた多数の貫通孔に、導電性粒子を含む弾性高分子を充填して導通部としたもの（特許文献２）などが知られている。また、絶縁性の多孔質樹脂シートに、レーザ光を照射して貫通孔をあけ、その貫通孔壁面に無電解めっきにより金属粒子を付着させたもの（特許文献３）や、この異方性導電シートを用いた、異方性導電シート付き検査装置（特許文献４）が提案されている。
上記の異方性導電シートは、その導通部が厚み方向に弾性変形可能なので、検査装置の電極と、配線板の端子との間に挟まれた状態で、確実で安定な導通をとることを可能にする。
【特許文献１】特開平０９−３５７８９号公報
【特許文献２】特開平０９−３２０６６７号公報
【特許文献３】特開２００４−２６５８４４号公報
【特許文献４】特開２００７−２９２５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の異方性導電シートによれば、配線板等の電極と、検査装置の電極とを１対１で接続する構造となっている。このため、より精度の高い電気抵抗等の測定をすることができない。コスト等をかければ高精度の測定は可能であるが、たとえばＩＣチップのような大量に生産される製品では、検査精度向上のため手数のかかるに大掛かりな機構を用いることはできない。また、上記の異方性導電シートは、実装品を電子製品に実装する場合、複数の実装品等の接続方法が限定される。
本発明は、簡単な機構によって、能率よく精度の高い電気抵抗等の測定をすることができる異方性導電シート、その製造方法、基板体、検査装置、部品モジュール、および電子製品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の異方性導電シートは、外部の電極と接触して厚み方向に導電する導電シートである。この異方性導電シートは、絶縁性で厚み方向に弾性を有するシートと、シートの第１面に位置する端子部と、シートの第２面に位置して、外部電極の複数個と接触するために絶縁分離された複数端子、または面積が広げられた１つの端子、で構成される拡張端子部と、シートを貫通して、第１面の端子部と、第２面の拡張端子部とを導通する導通部と、を備えることを特徴とする。
【０００５】
上記の構成によれば、第１面の端子部と第２面の端子部との間に、１対複数、の導通が可能になる。この結果、電気検査において、被検査体と検査装置とを多様な形態で導電接続することができ、そのうち適切な導電接続の形態を選択することで、高精度の測定を能率的に行うことが可能となる。また、電気検査の内容および当該異方性導電シート内の配線の形態に依存するが、一つの導電接続の配置を変えることなく、複数の内容の電気検査を行うことができ、高精度の電気検査の能率向上にも有益である。
【０００６】
拡張端子部が複数個の端子部であり、導通部が、第１面の端子部から、第２面の複数個の端子部へと、個別に、シートを該シート面法線方向に対して斜めに貫通する、複数個の斜め導通部である構成をとることができる。これによって、たとえば電気検査において、被検査体に対して電流導入と電圧測定が同時に行うことができ、四端子法による精度の高い電気抵抗測定が可能となる。すなわち電流導入の回路と電圧測定の回路とが、検査装置（テスター）配線側で重複しないので、テスターの配線抵抗を含まず、被検査体の純粋な電気抵抗値を直接測定することができる。本発明の異方性導電シートは圧縮変形２０％程度かけてはじめて導通状態とするので、被検査体の正味の電気抵抗値を、直接、得ることは重要である。上記の圧縮変形によって導通をとる異方性導電シートでは、非圧縮状態では電気抵抗は絶縁体なみに非常に大きく、圧縮変形をかけて導通して導電材なみの電気抵抗となり、その間の変化が非常に大きい。このため、当該シート内の配線の電気抵抗を補正することは極めて難しいからである。また、上記の異方性導電シートの製造において、レーザなどを用いて斜め貫通孔をあけ、めっき処理により、簡単に斜め導通部を形成することができる。異方性導電シートの第１面と第２面とは並行しており、シート面法線方向は、両面に共通している。
なお、上記の斜め導通部を持つ異方性導電シートの場合、第１面の端子部は、第２面の複数の端子部と同じ数の部分が絶縁分離しながら隣接してひとまとまりに形成されていてもよい。そして、当該絶縁分離しながらひとまとまりの複数の部分と、該第２面の複数の端子部とが、個別に接続されている構造をとることができる。この構造によれば、上述のように、被検査体の純粋な電気抵抗を四端子法によって得ることができる。また、第１面端子部にコンタクトする回路基板等の電極は一定の大きさ、および所定の間隔（ピッチ）を持ちつつ、ある程度の位置のばらつきの許容範囲をもつことができる。このため、レーザによる斜め貫通孔の形成などの際、シートが第１面端子部で局所的に過度にレーザ照射され、損傷される部分が生じるのを防止することができる。この結果、製造歩留り等を向上させることができる。
【０００７】
また、拡張端子部が、導通部の端部から延びる複数本の線状端子部であり、導通部は、第１面の端子部と第２面の線状端子部とを導通するように構成することができる。これによって、１つの導通部と、第２面の線状端子部とで、１：複数の導通を構成することができる。この構造は、既存の装置を用いて簡単に製造することができる。
【０００８】
さらにまた、拡張端子部が、導通部の端部から広がる面状端子部であり、導通部は、第１面の端子部と第２面の面状端子部とを導通する構成とすることができる。これによって、第１面の端子部と第２面の端子部との間に、１対複数の導通を確実に実現することができる。
【０００９】
第２面における第１面の端子部の対応位置が、第２面の拡張端子部の中心部分に位置することができる。これによって、第２面の端子部に接続される検査装置等の電極の間隔を大きくすることができる。たとえば、第２面の端子部が２つの場合、第２面における第１面の端子部対応位置を挟むように位置する構造をとることができる。
【００１０】
本発明の基板体は、上記のいずれかの異方性導電シートと、回路基板とを備え、該異方性導電シートの第２面の拡張端子部に、回路基板の電極が接触することを特徴とする。
また、本発明の検査装置は、上記のいずれかの異方性導電シート、または上記の基板体を備えることを特徴とする。
上記の基板体または検査装置によれば、被検査体に対して、検査装置から、同じ電極／端子部の状態を維持しながら、電流を流し、また電圧を印加することができる。この結果、適切な導電接続の形態を選択することで、高精度の測定を能率的に行うことが可能となる。また、電気検査の内容および当該異方性導電シート内の配線の形態に依存するが、一つの導電接続の配置を変えることなく、複数の内容の電気検査を行うことができ、電気検査の能率向上にも有益である。
【００１１】
本発明の部品モジュールは、上記のいずれかの異方性導電シートと、回路基板に搭載された複数の電子部品とを備え、該回路基板の電極が、該異方性導電シートの第２面の拡張端子部に接続されることを特徴とする。
また本発明の電子製品は、上記のいずれかの異方性導電シート、または部品モジュールを備えることを特徴とする。上記の構成によって、複数の電子部品を、電子製品に対して、容易に、並列に接続することができる。
【００１２】
本発明の異方性導電シートの製造方法は、絶縁性で厚み方向に弾性を有するシートに対して、第１面の端子部位置と、第２面における第１面端子部対応位置のまわりの位置とを結ぶように斜め貫通孔をあける工程と、斜め貫通孔の孔壁に金属を付着させる工程とを備えることを特徴とする。この方法によれば、レーザビーム加工により、簡単に斜め貫通孔を形成し、無電解めっきおよび／または電解めっきによって、斜め導通部を簡単に形成することができる。なお、複数の斜め導通部は、第１面において完全に重複していてもよいが（第１面の端子部の端子は１つ）、絶縁分離していてもよい（第１面の端子部の端子は複数で、第２面の端子数と同数）。また、第２面における第１面端子部対応位置は、平面的に見て第２面の、第１面の端子部に重なる位置をさす。
【００１３】
本発明の異方性導電シートの、別の製造方法は、絶縁性で厚み方向に弾性を有するシートに、該シートを貫通する導通部を形成する工程と、シートの一方の面において、導通部の端部から複数の配線、または面状の導体膜、を形成する工程とを備えることを特徴とする。この方法によれば、既存の製造装置を用いて、簡単に、上記の異方性導電シートを製造することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の異方性導電シート等によれば、簡単な機構を用いて、能率よく精度の高い電気抵抗等の測定をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における異方性導電シート１０を示す図である。図１において、絶縁体であって厚み方向に弾性変形可能なシート１に、Ｖ字状またはハ字状の導通部が設けられている。このようなハ字状の導通部の形態によれば、異方性導電シート１０内で導通部（配線）が重複しない。このため、別回路で被検査体に電流導入と電圧測定を同時に行うことで、被検査体の正味の電気抵抗を補正なしで直ちに得ることができる。本実施の形態における異方性導電シート１０のように、２０％程度の圧縮変形を加えて導通状態となる場合、上述の理由により異方性導電シート内の配線の電気抵抗を補正することが難しい。シート１の一方の面（第２面）１ｂには、２個の端子部３ｂが設けられ、他の面（第１面）１ａには、第２面の２個の端子部３ｂの対応位置間の中心に位置する１個の端子部３ａが設けられている。図１において、第１面端子部３ａから、二股になって、２つの第２面端子部３ｂへと接続する導通部、または斜めにシート１を貫通する２つの斜め導通部５が、形成されている。第１面端子部３ａおよび第２面端子部３ｂは、斜め導通部５と同質のもの、すなわち斜め導通部５の端部そのものであり、斜め導通部５と材料的に区別できないものでもよい。図１の場合、第１面端子部３ａおよび第２面端子部３ｂは、斜め導通部５の端面や端部である。また、図１に示す異方性導電シート１０では、第２面端子部３ｂは、２個であるが、３個以上であってもよい。
【００１６】
シート１の材料は、厚み方向に弾性変形可能なものとするが、とくにポリオレフィン系樹脂の多孔質材は、クッション性がよく、好ましい。また、高周波信号を伝達する場合には、高周波信号の漏れがないように、高周波誘電率が低いポリテトラフルオロエチハレン（ＰＴＦＥ）の多孔質材を用いるのがよい。多孔質樹脂シートを用いる場合、導通部は、シート面に対して斜めと直交とによらず、貫通孔の壁面に金属が付着されて形成された円筒状とするのがよい。所定の圧縮ひずみを受けた状態で電気抵抗が低くなり、検査装置７０と被検査体２０との導通をとりながら、圧縮力とクッション性に基づく反発力との均衡によって安定した導通状態を得ることができる。多孔質樹脂シートの貫通孔の壁面を形成する樹脂繊維に、無電解めっき等により金属を付着して、導通部を形成する方法は、特許文献３，４に詳しく説明されている。本実施の形態における、斜め導通部およびこのあと説明する直交導通部も、同様の方法で形成するのがよい。
【００１７】
図２は、図１に示す異方性導電シート１０を用いて、被検査体を検査する状態を示す図である。検査装置７０は、電圧計Ｖおよび電流源を内蔵し、回路基板３０を備えている。すなわち回路基板付き検査装置である。検査される被検査体２０は、たとえばＩＣチップであり、配線パターン２３が形成され、表面に電極２４を有している。被検査体２０と、回路基板付き検査装置７０，３０との間に、異方性導電シート１０が挿入される。図２において、被検査体２０の一つの配線２３に着目すると、配線２３と連絡する電極２４は、異方性導電シート１０の第１面端子部３ａにコンタクトする。そして、ハ字状の斜め導通部５によって２個の第２面端子部３ｂへと分岐される。回路基板３０は、本体３１と電極３４とで構成され、電極３４は、２個の第２面端子部３ｂのそれぞれに対応しており、一方は配線７３ａにより定電流源に接続され、他方は配線７３ｖにより電圧計Ｖに接続される。４端子測定によって、被検査体２０ｂについて、簡単な機構により、２端子測定よりも高精度の検査を行うことが可能になる。
【００１８】
従来の異方性導電シートは、導通部がシート面に直交するもののみで構成されているため、微小な被検査体の電極に、２個の異方性導電シートの電極を接触させても、こんどはそれぞれを別個の検査装置の電極に、接触させることが困難であった。このため、４端子測定に適合せず、高精度の検査ができなかった。上記のように、本実施の形態における異方性導電シート１０を用いることで、非常に簡単な機構に基づき、高精度な検査を容易に遂行することができるようになる。
【００１９】
図２において、２つの斜め導通部５を持つ異方性導電シート１０の場合、第１面端子部３ａでは、第２面の複数の端子部３ｂと同じ数の部分が絶縁分離しながら隣接して形成されている。すなわち、その複数の各部分と、該第２面の複数の端子部３ｂとが、個別に接続されている構造をとることができる。上述のように、この構造によれば、第１面端子部３ａに接触する電極２４は一定の大きさ、および隣の電極と所定の間隔（ピッチ）を持つので、ある程度の広がりが許容される。このため、このあと説明する製造方法におけるレーザによる斜め貫通孔５ｈの形成などの際、シートが第１面端子部で局所的に過度に集中してレーザ照射され、損傷される部分が生じるのを防止することができる。この結果、製造歩留り等を向上させることができる。
図２において、回路基板３０が異方性導電シート１０を必須付属物として伴う場合には、異方導電性シート付き回路基板、すなわち基板体３０ａとみることができる。また、検査装置７０が基板体３０ａを必須付属物として伴う場合、または異方性導電シート１０を必須付属物とする場合、基板体付き検査装置７０ａまたは異方性導電シート付き検査装置７０ａ、とみることができる。
【００２０】
図３は、回路基板４０、および図１に示す異方性導電シート１０を用いて、２つの電子部品４３，４５を含む実装品を、電子製品５０に実装する状態を示す図である。回路基板４０は、その本体４１と電極４４とで構成される。電子部品４３，４５は、能動部品、受動部品などを問わず何でもよく、ＬＳＩなどでもよい。異方性導電シート１０の、２個の第２面端子部３ｂは２つの電子部品４３，４５を、並列に、斜め導通部５および第１面端子部３ａを介して、電子製品５０の配線パターン５３に接続する。回路基板４０および電子製品５０は、異方性導電シート１０を挟んで、圧縮するように荷重を加えられ、接着剤、固定具などで固定状態を維持される。斜め導通部５の他に、直交導通部７も配置されており、電子製品５０の電気回路、および回路基板４０の配線パターンに応じて、斜め導通部５および直交導通部７の配置を決める。なお、直交導通部７は、直交していない導通部に置き換えてもよい。
上記は電子部品４３，４５を電子回路５０の所定部分５３に、並列に、接続する場合について説明した。このほか、電子製品５０の配線パターン５３に応じて、新たな用途を見出すことができる。
【００２１】
つぎに図４を用いて、本実施の形態における異方性導電シート１０の製造方法について説明する。図４（ａ）〜（ｄ）は、シート１に斜め貫通孔５ｈをあける方法を説明するための図である。図４（ａ）に示すように、シート１の両面を被覆層１ａで被覆したものを準備し、これに、斜めにレーザビームを照射する。レーザは、樹脂を精度良く穿孔できるエキシマレーザーやフェムト秒レーザ等を用いるが、炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザ等でもよい。これにより、図４（ｂ）に示す斜め貫通孔５ｈがあけられる。このあと、向きを変えて、図４（ｃ）に示すように、ハ字状になるように配置して、レーザビームを照射する。この結果、図４（ｄ）に示すように、ハ字状の貫通孔５を得ることができる。このあと、上述の無電解めっき処理によって、貫通孔５の壁面に金属を付着させる。付着する金属の厚みは、無電解めっき処理の時間を制御することで、調節可能である。図４は、斜め導通部を設ける場合について説明するが、直交導通部が混在する異方性導電シートであってもよい。
【００２２】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２における異方性導電シート１０を示す図である。本実施の形態における異方性導電シート１０の電気伝導経路は、第１面端子部３ａ／直行導通部７／第２面の線状端子部３ｂ、となる。実施の形態１ではハ字状であった電気伝導経路が、本実施の形態では、Ｔ字状である。第２面端子部は、線状端子部３ｂによって構成される。図６は、図５に示す異方性導電シート１０を用いて、被検査体を検査する状態を示す図である。上記したように、検査装置７０は、電圧計Ｖおよび定電流源を内蔵し、回路基板３０を備えている。検査される被検査体２０は、たとえばＩＣチップであり、配線パターン２３が形成され、表面に電極２４を有している。被検査体２０と、回路基板付き検査装置７０，３０との間に、異方性導電シート１０が挿入される。図６において、ＩＣチップ２０の一つの配線２３に着目すると、配線２３と連絡する電極２４は、異方性導電シート１０の第１面端子部３ａにコンタクトする。そして、直交導通部７によって第２面の線状端子部３ｂへと接続される。この結果、第１面の端子部に接触する被検査体等の電極と、第２面の線状端子部に接触する検査装置側の電極との間に、１：複数、の導通関係を実現することができる。図６において、回路基板３０の電極３４は、線状端子部３ｂの２箇所にコンタクトしており、一方の箇所は配線７３ａにより定電流源に接続され、他方の箇所は配線７３ｖにより電圧計Ｖに接続される。検査装置７０において、定電流を流して電圧を測定することができる。このとき、たとえば被検査体の電気抵抗が既知の回路部分に電流を流すことで、異方性導電シート１０内の重複配線部分の電気抵抗を知ることができる。これを補正することで、被検査体の他の回路部分の正味の電気抵抗を得ることができる。このような測定によって、被検査体２０ｂについて、簡単な機構により、複数の内容の電気検査を配線の接続を変えることなく能率よくかつ精度よく行うことが可能になる。また、その他の新しい用途を開拓することができる。
【００２３】
本実施の形態における異方性導電シート１０は、次の点に注意を払う必要がある。異方性導電シート１０が圧縮変形を受けたとき、第２面上の線状端子部３ｂが変形して電気抵抗が高くなることである。このため、線状端子部３ｂは、直交導通部７に比べて、膜厚を厚くするのがよい。すなわち直交導通部７は圧縮変形されてはじめて電気抵抗が十分低くなるように、金属を付着するのに対して、線状端子部３ｂは、圧縮変形などを受けないフリーな状態で電気抵抗を十分低くするだけでなく、厚み方向に曲げ変形を受けても低い電気抵抗を維持するようにするのがよい。このような電気抵抗の変化があるため、実施の形態１における異方性導電シートのように当該シート内に重複する部分がない導通部を持つと、四端子法により被検査体の正味の電気抵抗値を、補正なしで得ることができるので、非常に有益である。
【００２４】
本実施の形態における異方性導電シート１０は、次の処理工程で製造することができる。
（１）多孔質樹脂シートを準備して、直交貫通孔７ｈをあける。
（２）無電解めっき処理によって、直交貫通孔７ｈの内壁面に金属を付着して、筒状の導電体を形成する。
（３）第２面において、第２面１ｂ上の線状端子部３ｂに相当する箇所（直交導通部の端面を通る）に、開口を持つレジストパターンを形成する。この状態のシートに無電解めっき処理を施し、線状端子部３ｂを第２面１ｂ上に形成する。
上記の方法は、比較的、簡単である。
【００２５】
（実施の形態２の変形例）
図７は、本発明の実施の形態２の変形例における異方性導電シート１０を示す図である。本変形例における異方性導電シート１０の電気伝導経路は、第１面端子部３ａ／直交導通部７／第２面の面状端子部３ｂ、となる。これまで説明した実施の形態１および２では、ハ字状またはＴ字状であった電気伝導経路が、本実施の形態では、軸付き円板状である。第２面端子部は、面状端子部３ｂによって構成される。軸付き円板の電気伝導経路が、実施の形態２のＴ字状の電気伝導経路と同じ作用を奏することは、明らかである。本変形例における異方性導電シート１０は、線状端子部を面状接続とすることで、実施の形態２における製造方法によって、製造することができる。
【００２６】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明の異方性導電シート等によれば、簡単な機構によって、能率よく精度の高い電気抵抗等の測定をすることが可能となる。また、その他の新しい用途を開拓することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態１における異方性導電シートを示す斜視図である。
【図２】図１の異方性導電シートを用いて検査装置により被検査体を検査する状態を示す断面図である。
【図３】図１の異方性導電シートを用いて電子部品を電子製品に実装する状態を示す断面図である。
【図４】図１の異方性導電シートの製造において、斜め貫通孔をあける方法を説明しており、（ａ）は最初のレーザビーム照射を、（ｂ）は最初の斜め貫通孔をあけたあとを、（ｃ）は２度目のレーザビーム照射を、（ｄ）は２回目の斜め貫通孔をあけたあとを、示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２における異方性導電シートを示す斜視図である。
【図６】図５の異方性導電シートを用いて検査装置により被検査体を検査する状態を示す断面図である。
【図７】本発明の実施の形態２の変形例における異方性導電シートを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  シート、１ａ  第１面、１ｂ  第２面、３ａ  第１面端子部、３ｂ  第２面端子部（線状端子部、面状端子部）、５  斜め導通部、５ｈ  斜め貫通孔、７  直交導通部、７ｈ  直交貫通孔、１０  異方性導電シート、２０  被検査体、２４  被検査体の電極、２３  被検査体の配線、３０  回路基板、３１  回路基板本体、３０ａ  基板体（異方性導電シート付き回路基板）、３１  回路基板本体、３４  電極、４０  回路基板、４０ａ  部品モジュール、４１  回路基板本体、４３  電子部品、４４  電極、４５  電子部品、５０  電子製品、５０ａ  部品モジュールまたは異方性導電シート付き電子製品、５３  電子製品の配線、５４  電極、７０  検査装置、７０ａ  基板体または異方性導電シート付き検査装置、７３ａ  定電流源配線、７３ｖ  電圧計配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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