(57)【要約】【課題】放電が正常に行われたときに得られた分析結果であるか否かを正確かつ自動的に判定できる発光分析装置の提供。【解決手段】  固体試料６の分析面６ａ中における分析箇所と電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析する分析部２と、固体試料６を保持しながら、固体試料６の分析面６ａ中における分析箇所を順番に変更していく搬送機構４と、固体試料６の分析面６ａ中における複数の分析箇所から得られた複数の分析結果を、分析箇所で分析した分析順に分析結果記憶部５４に記憶させる制御部２１とを備える発光分析装置１であって、分析面６ａを撮影する撮影部１０を備え、制御部２１は、全ての分析箇所で分析した後に、搬送機構４によって固体試料６を保持しながら、固体試料６を分析部２から撮影部１０へ移送し、撮影部１０で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像に基づき、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体試料の分析面中における複数個の分析箇所と分析順とを示す分析箇所データを記憶する分析箇所データ記憶部と、
前記固体試料の分析面中における１個の分析箇所と、当該１個の分析箇所に対向配置された電極との間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析する分析部と、
前記分析箇所データに基づいて、前記固体試料を保持しながら、前記固体試料の分析面中における分析箇所を順番に変更していく搬送機構と、
前記固体試料の分析面中における複数の分析箇所から得られた複数の分析結果を、前記分析箇所で分析した分析順に分析結果記憶部に記憶させる制御部とを備える発光分析装置であって、
前記分析面を撮影する撮影部を備え、
前記制御部は、全ての分析箇所で分析した後に、前記搬送機構によって固体試料を保持しながら、前記固体試料を分析部から撮影部へ移送して、
前記撮影部で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像に基づいて、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定することを特徴とする発光分析装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記撮影部で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像の輝度に基づいて、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の発光分析装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記固体試料を分析する前に、前記搬送機構によって固体試料を保持しながら、前記固体試料を撮影部へ移送して、
前記撮影部で撮影された分析面画像に基づいて、前記分析面中における欠陥箇所を検出することにより、当該欠陥箇所を避けるように固体試料の分析面中における複数の分析箇所と分析順とを決定することで分析箇所データを作成して、前記分析箇所データを分析箇所データ記憶部に記憶させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の発光分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スパーク放電、アーク放電等の各種放電法やレーザ励起法等により、固体試料中の成分を定量する発光分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
鉄鋼品種や非鉄品種の多様化や高品質化や製鋼加工技術の発展に伴い、鉄鋼（固体試料）や非鉄（固体試料）中に含まれる微量成分、特に窒素成分、酸素成分、硫黄成分、炭素成分等の量を厳密にコントロールすることが要求されてきており、鉄鋼材や非鉄金属材等の生産工場等での製鋼・精練工程において、鉄鋼や非鉄中に含まれる微量成分を定量することが重要になってきている。
このような製鋼・精練工程はオンライン操業であるため、定量結果が速やかに製鋼・精練工程にフィードバックされることが好ましい。
【０００３】
そこで、近年、鉄鋼や非鉄中に含まれる多種類の微量成分の定量を迅速に行なうことができる発光分光分析方法が広く利用されるようになってきている。
このような発光分光分析方法を利用するための発光分析装置では、採取した鉄鋼等の固体試料を切断、研磨した後、この固体試料の研磨面を分析面としてアーク放電したりスパーク放電したりすることにより発光させ、その発光光を分光器に導入して各元素に特有な波長を有するスペクトルを取り出して検出する。そして、そのスペクトルの強度から成分濃度（窒素成分、酸素成分、硫黄成分、炭素成分等の量）を算出している。
【０００４】
しかしながら、製鋼・精練工程において採取された固体試料には欠陥が多く、固体試料の分析面中における分析箇所に欠陥が存在すると、正常な発光が起こらず、その結果、正確な分析結果を得ることができない。よって、従来の発光分析装置では、分析部での分析前に撮影部でＣＣＤカメラによって固体試料の分析面を撮影し、その分析面画像の輝度に基づいて、分析面中における欠陥の位置（欠陥箇所）を判定することで、欠陥箇所を避けるように固体試料の分析面中における分析箇所を決定している（例えば、特許文献１参照）。
さらに、固体試料を正確に分析するため、通常、一個の固体試料の分析面中において複数（例えば、３個）の分析箇所で分析して、３個の分析箇所から得られた３個の分析結果を得ている。例えば、半径ｒの円形の分析面中における３個の分析箇所は、分析面の中心を中心とした半径ｒ／２の円周上に、欠陥箇所を避けるように配列されている。
【特許文献１】特開２００５−６９８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、発光分析装置では、固体試料の分析面中における分析箇所で分析する際に、分析箇所に欠陥が存在していなくても、正常な放電が行われず、その結果、正確な分析結果を得られないことがある。分析箇所で正常な放電が行われなかった場合には、分析面中に、正常な放電が行われたときとは異なる放電痕が残る。よって、分析後の固体試料の分析面における放電痕を観察することで、正常な放電が行われなかったことを把握することができる。
【０００６】
しかしながら、固体試料の分析面中において３個の分析箇所で分析した場合、３個の分析結果は順番に記憶されるが、分析後の固体試料の分析面における３個の放電痕を観察しても、３個の分析痕は円周上に配列されているため、各分析痕が形成された順番がわからないので、３個の分析結果がそれぞれどの分析痕に対応するものであるかを確実に決定することができなかった。つまり、３個の分析箇所のうちから１個の分析箇所で正常な放電が行われなかったことを把握しても、３個の分析結果のうちでどの分析結果が正常な放電が行われなかったときに得られたものであるかを確実に決定することができなかった。
【０００７】
また、３個の分析箇所から得られた分析結果を得ているので、発光分析装置の制御部によって３個の分析結果を比較させることで、１個の分析結果の数値が他の２個の分析結果の数値とあまりにも異なる場合には、１個の分析結果を棄却させることもできるが、このような方法では２個の分析箇所で正常な放電が行われなかったときには、異常な放電が行われたときに得られたものが採用される問題点がある。
そこで、本発明は、放電が正常に行われたときに得られた分析結果であるか否かを正確に自動的に判定することができる発光分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本発明の発光分析装置は、固体試料の分析面中における複数個の分析箇所と分析順とを示す分析箇所データを記憶する分析箇所データ記憶部と、前記固体試料の分析面中における１個の分析箇所と、当該１個の分析箇所に対向配置された電極との間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析する分析部と、前記分析箇所データに基づいて、前記固体試料を保持しながら、前記固体試料の分析面中における分析箇所を順番に変更していく搬送機構と、前記固体試料の分析面中における複数の分析箇所から得られた複数の分析結果を、前記分析箇所で分析した分析順に分析結果記憶部に記憶させる制御部とを備える発光分析装置であって、前記分析面を撮影する撮影部を備え、前記制御部は、全ての分析箇所で分析した後に、前記搬送機構によって固体試料を保持しながら、前記固体試料を分析部から撮影部へ移送して、前記撮影部で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像に基づいて、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定するようにしている。
【０００９】
本発明の発光分析装置によれば、制御部は、搬送機構によって固体試料を保持しながら、固体試料の分析面中における分析箇所を順番に変更しながら、分析部が放電を行うことにより発生したスペクトルを分析していく。このとき、制御部は、固体試料の分析面中における複数の分析箇所から得られた複数の分析結果を、分析箇所で分析した分析順に分析結果記憶部に記憶させていく。
制御部は、全ての分析箇所で分析した後に、搬送機構によって固体試料を保持しながら、固体試料を分析部から撮影部へ移送して、撮影部は、分析面を撮影する。つまり、分析面中における複数の分析痕を撮影する。
そして、制御部は、撮影部で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像に基づいて、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する。例えば、撮影部で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像の所定領域（例えば、円周形状）の輝度に基づいて、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように、本発明の発光分析装置によれば、放電が正常に行われたときに得られた分析結果であるか否かを自動的に判定することができる。
【００１１】
（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記の発明において、前記制御部は、前記撮影部で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像の輝度に基づいて、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定するようにしてもよい。
また、上記の発明において、前記制御部は、前記固体試料を分析する前に、前記搬送機構によって固体試料を保持しながら、前記固体試料を撮影部へ移送して、前記撮影部で撮影された分析面画像に基づいて、前記分析面中における欠陥箇所を検出することにより、当該欠陥箇所を避けるように固体試料の分析面中における複数の分析箇所と分析順とを決定することで分析箇所データを作成して、前記分析箇所データを分析箇所データ記憶部に記憶させるようにしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００１３】
図１は、実施形態に係る発光分析装置の概略構成図である。
発光分析装置１は、スペクトルを分析する分析部２と、固体試料６’の分析面６ａ’を撮影するＣＣＤカメラ１２を備えた撮影部１０と、固体試料６を保持しながら移送するロボットアーム（搬送機構）４と、発光分析装置１全体の制御を行うコンピュータ２０とにより構成される。
なお、固体試料６（６’）は、鉄鋼材や非鉄金属材等の生産工場等での製鋼・精練工程において、オンライン操業で採取されるものであり、その形状は、半径ｒの円形の上面と底面とを有する円柱形状である。そして、発光分析装置１の分析部２では、底面を分析面６ａとして、スパーク放電することにより発光させ、その発光光を分光器２ｄに導入して各元素に特有な波長を有するスペクトルを取り出して検出する。また、詳細は後述するが、半径ｒの円形の底面の分析面６ａ中における３個の分析箇所（第一の分析箇所、第二の分析箇所、第三の分析箇所）は、分析面６ａの中心を中心とした半径ｒ／２の円周上に、欠陥箇所を避けるように配列されるようになっている（図２参照）。
【００１４】
ロボットアーム４は、固体試料６を保持しながら移送するものである。ロボットアーム４には、座標系が設定されており、コンピュータ２０は、ロボットアーム４が固体試料６を保持したときには、ロボットアーム４に対する固体試料６の位置を正確に把握することができるようになっている。
また、ロボットアーム４は、固体試料６を保持したまま、コンピュータ２０からの制御信号により動作可能となっている。コンピュータ２０は、出力した制御信号に基づいて、発光分析装置１に対するロボットアーム４の位置を把握することができ、その結果、発光分析装置１に対する固体試料６の位置を把握することができるようになっている。
これにより、ロボットアーム４は、固体試料６を分析部２の設定位置へ移送することで、固体試料６の分析面６ａ中における各分析箇所で分析することができるようにしたり、さらに分析部２では、固体試料６の分析面６ａに対向配置される電極２ａの位置が変化するように固体試料６を移送することで、固体試料６の分析面６ａ中における第一の分析箇所から第二の分析箇所に変更したり、固体試料６を撮影部１０の設定位置へ移送することで、固体試料６の分析面６ａ全面を撮影することができるようにしたりする。
【００１５】
撮影部１０は、撮影の妨害となる外光を避ける遮蔽カバー８を備え、遮蔽カバー８の内部に、横向きに設置されたＣＣＤカメラ１２と、上向きに設置された照明ランプ１４と、撮影方向と同軸方向から分析面６ａを照明ランプ１４で照明するためのハーフミラー１６とを備える。そして、遮蔽カバー８の下面には、ロボットアーム４を挿入するための開口部８ａが形成されている。
これにより、遮蔽カバー８の開口部８ａからロボットアーム４’によって固体試料６’の分析面６ａ’が垂直に起立した状態となるように挿入されて、撮影部１０の設定位置に配置されると、固体試料６’の分析面６ａ’全面が、照明ランプ１４で照明されて、ＣＣＤカメラ１２で撮影されるようになっている。そして、ＣＣＤカメラ１２で撮影された画像データ（分析面画像）がコンピュータ２０に出力される。
【００１６】
分析部２は、分光スタンド２ｂを備え、分光スタンド２ｂの内部に、上向きに設置された対向電極２ａと、発光光が導入される分光器２ｄとを備える。そして、分光スタンド２ｂの上面には、対向電極２ａと対向する位置に円形状の開孔２ｃが形成されている。
これにより、ロボットアーム４によって固体試料６’の分析面６ａ’の分析箇所が、分光スタンド２ｂの開孔２ｃを塞ぐように当接されて、分析箇所と対向電極２ａとの間で放電を行うと、その発光光を分光器２ｄに導入して各元素に特有な波長を有するスペクトルを取り出して検出するようになっている。そして、分光器２ｄで得られた検出信号（分析結果）がコンピュータ２０に出力される。
また、ロボットアーム４によって、分光スタンド２ｂの開孔２ｃに当接される固体試料６の分析面６ａの位置を変化させることで、固体試料６の分析面６ａ中における分析箇所を順番に変更することができ、その結果、一個の固体試料６の分析面６ａ中において３個の分析箇所で分析すれば、３個の分析結果（第一の分析結果、第二の分析結果、第三の分析結果）がコンピュータ２０に順番に出力される。
【００１７】
コンピュータ２０においては、ＣＰＵ２１やメモリ２２を備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置３１と、キーボードやマウス等を有する入力装置３０とが連結されている。
また、ＣＰＵ（制御部）２１が処理する機能をブロック化して説明すると、ロボットアーム４を制御する搬送制御部２３と、撮影部１０を制御する撮影制御部２４と、分析部２を制御する分析制御部２５と、分析面画像と抽出アルゴリズム（後述する）とに基づいて欠陥箇所を回避するように固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所を抽出する分析箇所抽出処理部２６と、自動的に各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する判定部７３とを有する。
さらに、メモリ２２は、固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析個所を抽出するための抽出アルゴリズム（抽出情報と輝度閾値Ｔ１）を記憶する抽出情報記憶領域５１と、分析面画像を記憶するための画像データ記憶領域５２と、固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所と分析順とを示す分析箇所データを記憶するための分析箇所データ記憶領域５３と、分析結果を記憶するための分析結果記憶領域５４と、放電が正常に行われたか否かを判定するための輝度閾値Ｔ２を記憶するための輝度閾値記憶領域５５とを有する。
【００１８】
撮影制御部２４は、ロボットアーム４’によって固体試料６’が撮影部１０の設定位置に配置されると、固体試料６’の分析面６ａ’を照明ランプ１４で照明して、ＣＣＤカメラ１２で撮影するように、撮影部１０を制御することにより、ＣＣＤカメラ１２で撮影された分析面画像を読み込み、分析面画像を画像データ記憶領域５２に記憶させる制御を行う。
なお、発光分析装置１では、固体試料６’を分析する前と後とに、ロボットアーム４’によって固体試料６’が撮影部１０の設定位置に配置されるようになっており、固体試料６を分析する前に、ロボットアーム４’によって撮影部１０の設定位置に配置されたときには、分析前の分析面画像として画像データ記憶領域５２に記憶され、一方、固体試料６を分析した後に、ロボットアーム４’によって撮影部１０の設定位置に配置されたときには、分析後の分析面画像として画像データ記憶領域５２に記憶されるようになっている。
【００１９】
分析箇所抽出処理部２６は、画像データ記憶領域５２に記憶された分析前の分析面画像と、抽出情報記憶領域５１に記憶された抽出アルゴリズムとに基づいて、欠陥箇所を回避するように固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所を抽出して、固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所と分析順とを示す分析箇所データを分析箇所データ記憶領域５３に記憶させる制御を行う。
ここで、固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析個所を抽出するための抽出アルゴリズムの一例について説明する。図２は、抽出アルゴリズムの一例について説明するための図である。
図２（ａ）に示すように、分析面画像の中心を中心とした円周４１上で適宜に決めた基準位置（これを角度０°とする）に半径ｒ１の円形の第一の分析箇所候補４２ａを設定し、その位置から所定方向に所定角度（例えば、反時計回り方向に９０°）だけ離れた位置に、半径ｒ１の円形の第二の分析箇所候補４２ｂを設定し、さらに第二の分析箇所候補４２ｂから同様に所定角度だけ離れた位置に、半径ｒ１の円形の第三の分析箇所候補４２ｃを設定する。ところで、上述したように分析箇所に欠陥が存在すると、正常な発光が起こらず、その結果、正確な分析結果を得ることができないので、図２（ｂ）に示すように、第ｎの分析箇所候補の一部に欠陥４３が存在すると判定した場合には、第ｎの分析箇所候補を飛ばして次に所定角度だけ離れた位置に、新たな第ｎの分析箇所候補を設定する。このとき、分析箇所候補に欠陥が存在するか否かの判定は、分析面画像中の分析箇所候補の輝度と輝度閾値Ｔ１とを比較することにより、分析箇所候補の全部の領域の輝度が輝度閾値Ｔ１以上であるときには、分析箇所候補に欠陥が存在しないとされ、一方、分析箇所候補の一部の領域の輝度が輝度閾値Ｔ１未満であるときには、分析箇所候補に欠陥が存在するように実行される。
このように欠陥箇所を回避するように分析面画像中における３個の分析箇所候補４２ａ、４２ｂ、４２ｃを抽出したときには、固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所と分析順とを示す分析箇所データを分析箇所データ記憶領域５３に記憶させる。
【００２０】
分析制御部２５は、ロボットアーム４によって固体試料６が分析部２の設定位置に配置されると、固体試料６の分析面６ａ中における第ｎの分析箇所と対向電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析するように、分析部２を制御することにより、第ｎの分析結果を分析結果記憶領域５４に記憶させる制御を行う。
具体的には、発光分析装置１では、まず、ロボットアーム４によって分析箇所データに基づいて、固体試料６の分析面６ａ中における第一の分析箇所で分析するように、固体試料６が分析部２の設定位置に配置されると、固体試料６の分析面６ａ中における第一の分析箇所と対向電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析するように、分析部２を制御する。そして、分光器２ｄで得られた第一の分析結果を分析結果記憶領域５４に記憶させる。
次に、ロボットアーム４によって分析箇所データに基づいて、固体試料６の分析面６ａ中における第二の分析箇所で分析するように、固体試料６が分析部２の設定位置に配置されると、固体試料６の分析面６ａ中における第二の分析箇所と対向電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析するように、分析部２を制御する。そして、分光器２ｄで得られた第二の分析結果を分析結果記憶領域５４に記憶させる。
最後に、ロボットアーム４によって分析箇所データに基づいて、固体試料６の分析面６ａ中における第三の分析箇所で分析するように、固体試料６が分析部２の設定位置に配置されると、固体試料６の分析面６ａ中における第三の分析箇所と対向電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析するように、分析部２を制御する。そして、分光器２ｄで得られた第三の分析結果を分析結果記憶領域５４に記憶させる。
【００２１】
判定部７３は、画像データ記憶領域５２に記憶された分析後の分析面画像と、分析箇所データ記憶領域５３に記憶された分析箇所データと、輝度閾値記憶領域５５に記憶された輝度閾値Ｔ２とに基づいて、自動的に各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する制御を行う。
ここで、固体試料６の分析面６ａ中における各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定するための判定方法の一例について説明する。図３は、判定方法の一例について説明するための図である。
図３に示すように、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かの判定は、分析面画像中の分析痕画像の所定領域（例えば、分析箇所候補の中心を中心とした半径ｒ１の円の内側、かつ、分析箇所候補の中心を中心とした半径ｒ２の円の外側となる領域である円周形状）の平均輝度と輝度閾値Ｔ２とを比較することにより、分析痕画像の所定領域の平均輝度が輝度閾値Ｔ２未満であるときには、分析箇所で放電が正常に行われたとされ、一方、分析痕画像の所定領域の平均輝度が輝度閾値Ｔ２以上であるときには、分析箇所で放電が正常に行われなかったように実行される。なお、半径ｒ１と半径ｒ２との値や輝度閾値Ｔ２の値は、放電の種類等によって予め設定されて記憶されている。
これにより、発光分析装置１が第一の分析結果と第二の分析結果と第三の分析結果とを評価する際には、判定部７３の判定結果に基づいて、各分析結果が正常な放電が行われたときに得られたものであるかを決定することができ、その結果、正常な放電が行われたときに得られた分析結果のみを採用する。例えば、発光分析装置１は、異常な放電が行われたときに得られた分析結果を棄却して、正常な放電が行われたときに得られた分析結果のみを用いて、平均処理等を実行する。
【００２２】
次に、発光分析装置１により、分析結果を得る分析結果取得方法について説明する。図４は、発光分析装置１による分析結果取得方法について説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ１０１の処理において、使用者はロボットアーム４に固体試料６を設置する。
次に、ステップＳ１０２の処理において、ロボットアーム４は、固体試料６を撮影部１０の設定位置に配置する。
【００２３】
次に、ステップＳ１０３の処理において、撮影制御部２４は、固体試料６’の分析面６ａ’を照明ランプ１４で照明して、ＣＣＤカメラ１２で撮影するように、撮影部１０を制御することにより、ＣＣＤカメラ１２で撮影された分析面画像を読み込み、分析前の分析面画像を画像データ記憶領域５２に記憶させる。
次に、ステップＳ１０４の処理において、分析箇所抽出処理部２６は、画像データ記憶領域５２に記憶された分析前の分析面画像と、抽出情報記憶領域５１に記憶された抽出アルゴリズムとに基づいて、欠陥箇所を回避するように固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所を抽出して、固体試料６の分析面６ａ中における３個の分析箇所と分析順とを示す分析箇所データを分析箇所データ記憶領域５３に記憶させる。
次に、ステップＳ１０５の処理において、分析箇所の分析順パラメータをｎ＝１とする。
【００２４】
次に、ステップＳ１０６の処理において、ロボットアーム４は、固体試料６の分析面６ａ中における第ｎの分析箇所で分析するように、固体試料６を分析部２の設定位置に配置する。
次に、ステップＳ１０７の処理において、分析制御部２５は、固体試料６の分析面６ａ中における第ｎの分析箇所と対向電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析するように、分析部２を制御することにより、第ｎの分析結果を分析結果記憶領域５４に記憶させる。
【００２５】
次に、ステップＳ１０８の処理において、ｎ＝３であるか否かを判定する。ｎ＝３でないと判定したときには、ステップＳ１０９の処理において、ｎ＝ｎ＋１とし、ステップＳ１０６の処理に戻る。
一方、ｎ＝３であると判定したときには、ステップＳ１１０の処理において、ロボットアーム４は、固体試料６を撮影部１０の設定位置に配置する。
次に、ステップＳ１１１の処理において、撮影制御部２４は、固体試料６’の分析面６ａ’を照明ランプ１４で照明して、ＣＣＤカメラ１２で撮影するように、撮影部１０を制御することにより、ＣＣＤカメラ１２で撮影された分析面画像を読み込み、分析後の分析面画像を画像データ記憶領域５２に記憶させる。
【００２６】
次に、ステップＳ１１２の処理において、判定部７３は、画像データ記憶領域５２に記憶された分析後の分析面画像と、分析箇所データ記憶領域５３に記憶された分析箇所データと、輝度閾値記憶領域５５に記憶された輝度閾値Ｔ２とに基づいて、自動的に各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する（図３参照）。これにより、正常な放電が行われたときに得られた分析結果のみを採用する。
次に、ステップＳ１１３の処理において、使用者はロボットアーム４から固体試料６を取り除く。
そして、ステップＳ１１３の処理を終了したときには、本フローチャートを終了させる。
【００２７】
（他の実施形態）
（１）上述した実施形態では、ＣＣＤカメラ１２で撮影する構成としたが、ＣＭＯＳカメラで撮影するような構成としてもよい。
（２）上述した実施形態では、撮影部１０において照明ランプ１４とハーフミラー１６とを備える構成としたが、分析面を照明ランプで照明することができればよく、例えば、ＣＣＤカメラを中心としたドーナツ状の照明ランプを備えたり、ドーム状の照明ランプを備えたりするような構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明は、スパーク放電、アーク放電、誘導結合プラズマ放電等の各種放電法やレーザ励起法等により、固体試料中の成分を定量する発光分析装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態に係る発光分析装置の概略構成図である。
【図２】抽出アルゴリズムの一例について説明するための図である。
【図３】判定方法の一例について説明するための図である。
【図４】発光分析装置による分析結果取得方法について説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００３０】
１  発光分析装置
２  分析部
２ａ  対向電極
４  ロボットアーム（搬送機構）
６  固体試料
６ａ  分析面
１０  撮影部  
２０  ＣＰＵ（制御部）
２２  メモリ
３１  表示装置
５４  分析結果記憶領域
【図１】
2010133844.tif 000003
【図２】
2010133844.tif 000004
【図４】
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【図３】
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