(57)【要約】【課題】プレートの高さをその上側（上面側）から容易に調整でき、複数のプレート全体の平面度を高める。【解決手段】板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルである。前記板状部材が直接載置されるプレートをその下側から支持すると共に環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートをその高さを調整して支持するネジ台座と、前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され前記ネジ台座を介して前記ベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構であって、
前記板状部材が直接載置されるプレートを、その下側から支持すると共に、環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、
外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートを、その高さを調整し、かつ支持するネジ台座と、
前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され、前記ネジ台座を介してベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、
前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
【請求項２】
請求項１に記載のテーブル高さ調整機構において、
前記調整リングと前記プレートとの間を、前記固定ネジを軸心として回転可能に支持すると共に、前記プレートの傾斜を許容する球面座金を備えたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のテーブル高さ調整機構において、
前記調整リングの嵌合穴が円環状に複数設けられると共に、
前記プレートの調整穴が、前記複数の嵌合穴が設けられた円環状の軌跡上に１組以上設けられると共に前記嵌合穴よりも大きく形成され、いずれかの組の調整穴内に常に前記嵌合穴が位置するように、位置関係を調整したことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
【請求項４】
請求項３に記載のテーブル高さ調整機構において、
前記プレートの調整穴が、前記嵌合穴よりも大径に形成された円穴によって構成されたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
【請求項５】
請求項３に記載のテーブル高さ調整機構において、
前記プレートの調整穴が、少なくとも隣り合う２つの前記嵌合穴を含む長さの長穴によって構成されたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のテーブル高さ調整機構において、
前記プレートの調整穴およびネジ嵌合穴が、前記プレートの上面側から下面側に貫通する様に設けたことを特徴とするテーブル高さ調整機構。
【請求項７】
板状部材を載置して複数位置でその高さを調整して前記板状部材の高さ及び平面度の調整を行う高さ調整テーブルであって、
全体を支持するベースと、当該ベース上に配列されて前記板状部材を直接支持する１又は複数のプレートと、当該プレートと前記ベースとの間に位置してプレートの高さを調整するテーブル高さ調整機構とを備え、
前記テーブル高さ調整機構として請求項１乃至６のいずれか１項に記載のテーブル高さ調整機構を用いると共に、当該テーブル高さ調整機構を１つの前記プレートに対して少なくとも２箇所の位置に設けたことを特徴とする高さ調整テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイのガラス基板等の板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのガラス基板等の板状部材を載置して回路パターンの製造や検査等を行う場合は、平面度の高いテーブルを用いる必要がある。このようなテーブルの例としては特許文献１〜３に記載のものがある。特に大型のガラス基板に対しては、特許文献２のように、複数の板から構成された調整テーブルを用いて支持される。この調整テーブルの場合、各板毎に高さ調整を行って、大型のガラス基板全体を高い平面度で支持する。
【０００３】
これら特許文献１〜３におけるテーブルの平面度の調整は、特許文献１，２の場合、ボルトとナットで、特許文献３の場合、ジャッキで行われる。
【０００４】
ところで、前記特許文献１，２の場合は、ボルトのガタつきによって固定時に、精度に狂いが生じるおそれがある。特許文献３の場合は、ジャッキを多数設けることにより、コストが嵩んでしまう。
【０００５】
さらに、載置されるガラス基板等の変形を防ぐために、テーブルの平面度を調整する場合、テーブルを床面等に対して僅かに傾斜させる必要がある。この場合は、特許文献４，５のように、球面座金を具備する調整機構を用いることも提案されている。
【特許文献１】特開平１０−１４１３５０号公報
【特許文献２】特開２００４−２８６４４号公報
【特許文献３】特開２００５−３５１８１０号公報
【特許文献４】特開平１１−１０９７２２号公報
【特許文献５】特開２００２−２９５４４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の各特許文献に記載された調整機構では、いずれもテーブルの下側（裏側）から調整する形態をとっているため、調整が難しい。特に、特許文献２のように、複数の板を並べて構成されている調整テーブルの場合は、それぞれの板を下側から個別に調整してテーブル全体の平面度を調整するのは難しいという問題点がある。
【０００７】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、テーブルの上側から容易に高い精度で平面度の調整を行うことができるテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るテーブル高さ調整機構は、板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構であって、前記板状部材が直接載置されるプレートを、その下側から支持すると共に、環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートを、その高さを調整し、かつ支持するネジ台座と、前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され、前記ネジ台座を介してベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る高さ調整テーブルは、板状部材を載置して複数位置でその高さを調整して前記板状部材の高さ及び平面度の調整を行う高さ調整テーブルであって、全体を支持するベースと、当該ベース上に配列されて前記板状部材を直接支持する１又は複数のプレートと、当該プレートと前記ベースとの間に位置してプレートの高さを調整するテーブル高さ調整機構とを備え、当該テーブル高さ調整機構として前記テーブル高さ調整機構を用いると共に、当該テーブル高さ調整機構を１つの前記プレートに対して少なくとも２箇所の位置に設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のテーブル高さ調整機構によれば、前記調整穴から工具を挿入して前記調整リングの嵌合穴に嵌合させてこの調整リングを回動させることができるため、前記プレートの高さを当該プレートの上側（上面側）から調整することができる。これにより、前記プレートの高さ及び平面度を容易に調整することができる。
【００１１】
本発明の高さ調整テーブルによれば、１つのプレートに対して複数設けられたテーブル高さ調整機構を個別に当該プレートの上側（上面側）から調整することで、１つのプレートの高さと傾斜を調整して、複数のプレート全体の平面度を高くすることができる。これにより、前記各プレートの全体の高さ及び平面度を容易に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルについて、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す側面断面図、図２は高さ調整テーブルを示す斜視図、図３は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す平面図、図４は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す平面図、図５は本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す側面断面図である。
【００１３】
本実施形態に係るテーブル高さ調整機構を用いた高さ調整テーブルは、液晶ディスプレイのガラス基板等の板状部材の表面の加工、検査等の種々の処理に用いるためのテーブルである。高さ調整テーブルは、板状部材を載置して、複数位置でその高さを調整して平面度を向上させる。板状部材としては、液晶ディスプレイに限らず、板状の材料すべてを用いることができる。
【００１４】
この高さ調整テーブル１は、図１〜３に示すように主に、ベース２と、プレート３と、テーブル高さ調整機構４とを備えて構成されている。
【００１５】
ベース２は、プレート３及びテーブル高さ調整機構４等の全体を支持するための部材である。ベース２は肉厚の板材で構成されている。ベース２には、テーブル高さ調整機構４を固定するためのネジ穴６が複数箇所に設けられている。このネジ穴６は、テーブル高さ調整機構４の設置位置に設けられる。ここでは、１つのプレート３に対して３箇所の位置にテーブル高さ調整機構４が設けられるため、１つのプレート３に対応して３箇所、４枚のプレート３に対応して１２箇所にネジ穴６が設けられている。なお、このベース２は、テーブル高さ調整機構４を支持できるものであればよい。このため、ベース２は、板材に限らず、他の部材でも良い。例えば、高さ調整テーブル４を設置する箇所の床面であっても、または当該床面上に設置されるものであっても良い。また、当該床面に設置される装置（例えば液晶ディスプレイの検査装置）に設けられるものでも良い。
【００１６】
プレート３は、ベース２上に配列されて前記板状部材を直接支持するための板材である。このプレート３は、支持する板状部材の大きさに合わせて１枚又は複数枚組み合わされる。例えば本実施形態では、４枚のプレート３を組み合わせている。
【００１７】
プレート３には、後述する固定ネジ１２のネジ嵌合穴７と、工具挿入用の調整穴８とが設けられている。
【００１８】
ネジ嵌合穴７は、ベース２のネジ穴６に対応する位置にそれぞれ設けられている。このネジ嵌合穴７は、軸部挿入部７Ａと、頭部嵌合部７Ｂとから構成されている。軸部挿入部７Ａは、固定ネジ１２の軸部１２Ａが挿入される穴部である。頭部嵌合部７Ｂは、固定ネジ１２の頭部１２Ｂが嵌合されるための凹部である。固定ネジ１２の軸部１２Ａは、頭部嵌合部７Ｂに挿入された状態で、プレート３の表面から突出して前記板状部材に接触しないように構成されている。
【００１９】
調整穴８は、後述する調整リング１０を回動させるための調整工具１５（図４参照）を挿入するための穴である。調整穴８はプレート３のうちネジ嵌合穴７の周囲に形成されている。具体的には、調整穴８は、ネジ嵌合穴７の周囲であって、後述する調整リング１０の嵌合穴１０Ｃに臨ませた位置に形成されている。調整穴８は、嵌合穴１０Ｃよりも大径の円穴によって構成されている。調整穴８は、円環状に配設された嵌合穴１０Ｃの円環状の軌跡上の４箇所の位置に２組設けられている。２組である４つの調整穴８は、９０度ずつずらして配設されている。対向する２つの調整穴８を対にした２組の調整穴８は、そのいずれかの組の調整穴８内に常に前記嵌合穴１０Ｃが位置するように、各嵌合穴１０Ｃの間隔、各嵌合穴１０Ｃと調整穴８との位置関係が調整されている。これにより、２組の調整穴８のうち常にいずれかの組に前記嵌合穴１０Ｃが位置し、調整工具１５を常にいずれかの組の調整穴８内の嵌合穴１０Ｃに挿入できるようになっている。
【００２０】
テーブル高さ調整機構４は、ベース２とプレート３との間に位置してプレート３の高さを調整するための機構である。テーブル高さ調整機構４は、１つのプレート３に対して３箇所の位置に設けられて、プレート３の高さ及び角度を自由に調整できるようになっている。３箇所のテーブル高さ調整機構４でプレート３の高さを個別に調整して、全体としてプレート３の角度と高さを自由に調整する。４枚のプレート３に対して個別に角度及び高さを調整して、４枚のプレート３全体で平坦な面を形成する。これにより、４枚のプレート３全体で、高い平面度を保って任意の高さに調整することができる。
【００２１】
テーブル高さ調整機構４は、調整リング１０と、ネジ台座１１と、固定ネジ１２と、調整穴８とから構成されている。なお、調整穴８は、上述したとおりである。
【００２２】
調整リング１０は、プレート３をその下側から支持して上下に移動させるための部材である。調整リング１０は、肉厚のドーナツ状に形成され、その中心の穴がネジ台座１１にねじ込まれるネジ穴１０Ａとなっている。調整リング１０の上側面の中央部には、後述する球面座金１４が嵌合する円形凹状の嵌合凹部１０Ｂが形成されている。調整リング１０の上側面のうち、嵌合凹部１０Ｂの周囲には、工具嵌合用の嵌合穴１０Ｃが設けられている。この嵌合穴１０Ｃは、袋穴で構成され、嵌合凹部１０Ｂの周囲に円環状に１０個設けられている。この嵌合穴１０Ｃの大きさ及び間隔は、プレート３の２組の調整穴８のうちいずれかの組の調整穴８内に、１０個の嵌合穴１０Ｃのうちのいずれかが常に位置するように調整されている。
【００２３】
球面座金１４は、調整リング１０とプレート３との間を支持するための部材である。球面座金１４は、下側座金部１４Ａと、上側座金部１４Ｂとから構成されている。これら下側座金部１４Ａと上側座金部１４Ｂとの境界面は球面状になっており、プレート３の回転と回動を許容している。即ち、調整リング１０の嵌合凹部１０Ｂに嵌合された下側座金部１４Ａが、プレート３側の上側座金部１４Ｂを支持して、プレート３の回転と回動を許容している。具体的には、球面座金１４は、プレート３を、下側座金部１４Ａに支持された上側座金部１４Ｂによって、固定ネジ１２を軸心として回転可能に支持すると共に、当該プレート３が傾斜することを許容している。
【００２４】
図４および図５に示す調整工具１５は、プレート３の上側（水平に設置されたプレート３の上面側）からテーブル高さ調整機構４を調整するための工具である。この調整工具１５は、回転調整部１６と、締め付け部１７とから構成されている。回転調整部１６は、テーブル高さ調整機構４の調整リング１０を回転させるための部材である。回転調整部１６は、レバー部１６Ａと、回転棒１６Ｂとから構成されている。レバー部１６Ａは、作業者が手で持って調整リング１０を回すためのレバーである。回転棒１６Ｂは、プレート３の調整穴８から挿入されて調整リング１０の嵌合穴１０Ｃに嵌合するための棒材である。回転棒１６Ｂはレバー部１６Ａに２本設けられている。
【００２５】
締め付け部１７は、固定ネジ１２を締め付けるための部材である。締め付け部１７は、Ｌ型の六角レンチで構成され、回転調整部１６の２本の回転棒１６Ｂの中間位置に回転自在に挿入されている。この締め付け部１７は、回転調整部１６の２本の回転棒１６Ｂがテーブル高さ調整機構４の調整リング１０の嵌合穴１０Ｃに嵌合した状態で、固定ネジ１２の頭部１２Ｂの六角穴１２Ｃに嵌合して、この固定ネジ１２を締め付けるようになっている。
【００２６】
図１に示すネジ台座１１は、プレート３の高さを調整して支持するための部材である。ネジ台座１１は、外周に形成されたねじ山に調整リング１０をねじ込んで回転させて当該調整リング１０の高さを変化させることで、この調整リング１０に支持されたプレート３の高さを調整する。
【００２７】
ネジ台座１１は、筒部１１Ａと、台座部１１Ｂとから構成されている。筒部１１Ａは、その内部に固定ネジ１２を通し、外部で調整リング１０を支持するための部材である。筒部１１Ａの外周にはねじ山が形成されている。この筒部１１Ａに調整リング１０のネジ穴１０Ａがねじ込まれる。筒部１１Ａの内部は円形穴になっており、固定ネジ１２の軸部１２Ａが通される。筒部１１Ａの内部にはネジは設けられていない。
【００２８】
台座部１１Ｂは、ネジ台座１１をベース２に安定的に載置するための部材である。台座部１１Ｂで安定して支持された筒部１１Ａが調整リング１０を介してプレート３を支持する。
【００２９】
図１及び図３に示す固定ネジ１２は、プレート３をベース２側に固定するためのネジである。固定ネジ１２は、プレート３に設けられたネジ嵌合穴７に嵌合され、ネジ台座１１を介してベース２側にねじ込まれることで、プレート３をベース２側に固定する。固定ネジ１２の軸部１２Ａが、ネジ嵌合穴７の軸部挿入部７Ａ及びネジ台座１１の筒部１１Ａ内に通されて、ベース２のネジ穴６にねじ込まれる。このとき、ネジ嵌合穴７の頭部嵌合部７Ｂに固定ネジ１２の頭部１２Ｂが嵌合される。頭部１２Ｂには、固定ネジ１２を回転させるための六角穴１２Ｃ(図３参照)が設けられている。
【００３０】
以上のように構成された高さ調整テーブル１は、次のようにして使用される。
【００３１】
高さ調整テーブル１は、表面処理等の加工装置や検査装置のテーブルとして用いられる。このような装置の、高い平面度を要求されるテーブルとして用いられる。液晶ディスプレイのガラス基板等が、高い平面度を保った高さ調整テーブル１に載置されて、処理される。
【００３２】
このとき、高さ調整テーブル１の平面度は、テーブル高さ調整機構４を調整することで高められる。
【００３３】
調整工具１５を上側（プレート３の上面側）からプレート３の調整穴８へ挿入し、回転調整部１６の回転棒１６Ｂを調整穴８から調整リング１０の嵌合穴１０Ｃに嵌合させる。これと同時に、締め付け部１７を固定ネジ１２の頭部１２Ｂの六角穴１２Ｃに嵌合させる。
【００３４】
次いで、締め付け部１７で固定ネジ１２を回転させて弛める。これにより、固定ネジ１２が弛んだ範囲でプレート３が自由に動く状態になる。なお、このプレート３の傾きは、球面座金１４で吸収される。
【００３５】
次いで、回転調整部１６を回して調整リング１０を回転させてプレート３の高さを調整する。この動作を、１つのプレート３の３つのテーブル高さ調整機構４に対して同時に行う。
【００３６】
さらに、ベース２に組み込んだ４枚のプレート３全部に対して、テーブル高さ調整機構４の調整を行って、４枚のプレート３全部の高さを調整して、平面度を高める。
【００３７】
［効果］
以上のように、プレート３の上側（プレート３の上面側）から調整穴８に調整工具１５を挿入して、調整リング１０の嵌合穴１０Ｃに嵌合させてこの調整リング１０を回動させることができるため、プレート３の高さをその上側（プレート３の上面側）から容易に調整することができる。これにより、プレート３の平面度をその上側（プレート３の上面側）から容易に調整することができる。
【００３８】
また、１つのプレート３に対して複数設けられたテーブル高さ調整機構４を個別に、そのプレート３の上側（プレート３の上面側）から調整することで、１つのプレート３の高さと傾斜を調整して、複数のプレート３全体の平面度を容易に高くすることができると共に、プレート３全体の高さを容易に調整することができる。
【００３９】
[変形例]
前記実施形態では、テーブル高さ調整機構４は、１つのプレート３に対して３箇所の位置に設けられたが、２箇所又は４箇所以上に設けてもよい。テーブル高さ調整機構４の数は、プレート３の大きさ等の条件に応じて設定される。プレート３を、２つのテーブル高さ調整機構４と１つの支持部材で支持する態様の場合、１箇所をボールジョイントで回動可能に支持して、２箇所のテーブル高さ調整機構４でプレート３の角度を調整して平面度を高めるようにしても良い。
【００４０】
前記実施形態では、調整穴８を２組、計４つ設けたが、２組に限らず、１組又は３組以上設けても良い。調整リング１０の大きさ、嵌合穴１０Ｃの数等の条件に応じて設定する。
【００４１】
調整穴８を１組設ける場合は、この調整穴８が、少なくとも隣り合う２つの嵌合穴１０Ｃを含む大きさに設定する。具体的には、調整穴８を、少なくとも隣り合う２つの嵌合穴１０Ｃを含む大きさの円穴や、少なくとも隣り合う２つの嵌合穴１０Ｃを含む長さの円弧状長穴等によって構成する。
【００４２】
この場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す側面断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る高さ調整テーブルを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構を示す平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るテーブル高さ調整機構に調整工具を装着した状態を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１：高さ調整テーブル、２：ベース、３：プレート、４：テーブル高さ調整機構、６：ネジ穴、７：ネジ嵌合穴、８：調整穴、１０：調整リング、１１：ネジ台座、１２：固定ネジ、１４：球面座金、１５：調整工具、１６：回転調整部、１７：締め付け部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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